(57)【要約】【課題】全長が短く、基板の熱処理の精度が高く、生産性が高く、また基板の汚染の恐れの少ない基板熱処理装置を提供しようとする。【解決手段】従来の基板を熱処理する基板熱処理装置にかわって、基板を内部に収納し該基板の縁の面に対面する開口断面を持った一対の開口である収納体入口と収納体出口とを持つ収納体を有する基板搬送架台と、一対の開口面であるダクト入口とダクト出口とを連通するダクトと気体をダクト入口からダクト出口へ送風する送風機と該気体を加熱または冷却する温調機とを有する熱処理炉と、前記基板搬送架台を前記熱処理炉に固有の特定位置へ固定しさらに該特定位置から移動させることのできる基板搬送架台送り機構と、を備え、前記基板搬送架台が前記特定位置に固定された際に、前記収納体入口が前記ダクト出口に連通し、前記収納体出口が前記ダクト入口に連通する、ものとした。【選択図】    図１
2004333075.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を熱処理する基板熱処理装置であって、
基板を内部に収納し該基板の縁の面に対面する開口断面を持った一対の開口である収納体入口と収納体出口とを持つ収納体を有する基板搬送架台と、
一対の開口面であるダクト入口とダクト出口とを連通するダクトと気体をダクト入口からダクト出口へ送風する送風機と該気体を加熱または冷却する温調機とを有する熱処理炉と、
前記基板搬送架台を前記熱処理炉に固有の特定位置へ固定しさらに該特定位置から移動させることのできる基板搬送架台送り機構と、
を備え、
前記基板搬送架台が前記特定位置に固定された際に、前記収納体入口が前記ダクト出口に連通し、前記収納体出口が前記ダクト入口に連通する、
ことを特徴とする基板熱処理装置。
【請求項２】
前記ダクト出口と前記収納体入口との間に設けられ前記気体を濾過する気体フィルタを、
備えることを特徴とする請求項１に記載の基板熱処理装置。
【請求項３】
複数の前記熱処理炉を
備え、
前記基板搬送架台送り機構が、前記基板搬送架台を複数の前記熱処理炉に固有の各々の前記特定位置へ順次移動可能である、
ことを特徴とする請求項１または請求項２のうちのひとつに記載の基板熱処理装置。
【請求項４】
前記基板搬送架台送り機構が前記基板搬送架台を複数の前記熱処理炉に固有の各々の前記特定位置に順次移動させ、前記複数の熱処理炉の各々の温度調整器が個別の温度制御をされ、基板搬送架台に支持された基板に所望の温度履歴を与える、
ことを特徴とする請求項３に記載の基板熱処理装置。
【請求項５】
前記基板搬送架台が複数の基板を表面を平行に揃えて支持する支持部材を持つ、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４に記載の基板熱処理装置。
【請求項６】
前記基板搬送架台が複数の基板を表面を平行に揃えて縦向きに支持する支持部材を持つ、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４に記載の基板熱処理装置。
【請求項７】
前記支持部材が縦向きに収納された基板の上の辺に係合する上桟と基板の下の辺に係合する下桟とを持つ、
ことを特徴とする請求項６に記載の基板熱処理装置。
【請求項８】
前記収納体が、前記収納体入口と前記収納体出口とを残して複数の基板の群を気密に囲う壁構造を持つ、
ことを特徴とする請求項５乃至請求項７に記載の基板熱処理装置。
【請求項９】
前記壁構造が、断熱材製の断熱部材と該断熱部材を隙間なく覆う金属板でできた被覆部材とを持つ、
ことを特徴とする請求項８に記載の基板熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板等の基板を熱処理する基板熱処理装置に係る。特に、基板の支持構造と基板を加熱するための構造に特徴のある基板熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガラス基板等の基板を熱処理する従来の基板熱処理装置は、炉と搬送装置とで構成される。
搬送装置は、ローラーにガラス基板を水平に乗せ、ローラーを回転して１枚づつガラス基板を炉内で搬送する。
炉は、ガラス基板の送り方向に長い空間をもっており、炉内温度が長手方向に所定の分布をもっている。ガラス基板が、炉内を搬送されると、所望の温度履歴を受ける。ガラス基板は、炉内を搬送される際に、加熱され、所定時間を所定温度に維持され、冷却されて、炉から取りだされる。一般に、炉長の中央部の温度が最高になる。
【０００３】
一般に、搬送装置のガラス基板を送るための送り速度は、炉の長手方向について、一定である。従って、高温の熱処理をするには炉の長さを長くする必要が生じる。
また、炉内には長手方向に温度勾配が生ずるので、炉内を搬送されるガラス基板の先端部と後端部とでは常に温度が異なっている。この温度差を小さくするには、炉の単位長さ当たりの温度勾配を小さく必要が有るので、炉の長さを長くする必要が生ずる。
また、ガラス基板を搬送用ローラーに平置して搬送するので、ガラス基板の表面に不純物が付着するおそれがあった。
また、ローラーハウスからは粉塵が発生するので、その粉塵が不純物としてガラス基板に付着しない様に注意が必要であった。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−３７６６０号公報
【特許文献２】
特開平１１−２５８５４号広報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、全長が短く、基板の熱処理の精度が高く、生産性が高く、また基板の汚染の恐れの少ない基板熱処理装置を提供しようとする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る基板を熱処理する基板熱処理装置を、基板を内部に収納し該基板の縁の面に対面する開口断面を持った一対の開口である収納体入口と収納体出口とを持つ収納体を有する基板搬送架台と、一対の開口面であるダクト入口とダクト出口とを連通するダクトと気体をダクト入口からダクト出口へ送風する送風機と該気体を加熱または冷却する温調機とを有する熱処理炉と、前記基板搬送架台を前記熱処理炉に固有の特定位置へ固定しさらに該特定位置から移動させることのできる基板搬送架台送り機構と、を備え、前記基板搬送架台が前記特定位置に固定された際に、前記収納体入口が前記ダクト出口に連通し、前記収納体出口が前記ダクト入口に連通する、ものとした。
【０００７】
上記本発明の構成により、基板搬送架台の収納体が基板を内部に収納し該基板の縁の面に対面する開口断面を持った一対の開口である収納体入口と収納体出口とを持ち、熱処理炉のダクトが一対の開口面であるダクト入口とダクト出口とを連通し、熱処理炉の送風機が気体をダクト入口からダクト出口へ送風し、熱処理炉の温調機が該気体を加熱または冷却し、基板搬送架台送り機構が前記基板搬送架台を前記熱処理炉に固有の特定位置へ固定しさらに該特定位置から移動させることをでき、前記基板搬送架台が前記特定位置に固定された際に、前記収納体入口が前記ダクト出口に連通し、前記収納体出口が前記ダクト入口に連通するので、基板搬送架台を特定位置に固定して、送風機と温調機を作動させると、基板搬送架台に収納される基板を熱処理することができ、熱処理が終了した後で基板搬送架台を特定位置から移動させることができる。
【０００８】
さらに、本発明に係る基板熱処理装置は、前記ダクト出口と前記収納体入口との間に設けられ気体を濾過する気体フィルタを、備える、のが好ましい。
上記本発明の構成により、気体フィルタが前記ダクト出口と前記収納体入口との間に設けられ気体を濾過するので、不純物が基板に付着するのを抑制できる。
【０００９】
さらに、本発明に係る基板熱処理装置は、複数の前記熱処理炉を備え、前記基板搬送架台送り機構が、前記基板搬送架台を複数の前記熱処理炉に固有の各々の前記特定位置へ順次移動可能である、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記基板搬送架台送り機構が、前記基板搬送架台を複数の前記熱処理炉に固有の各々の前記特定位置へ順次移動可能であるので、基板搬送架台送り機構が基板搬送架台が複数の熱処理炉へ移動する間に、基板に一連の熱処理を施すことができる。
【００１０】
さらに、本発明に係る基板熱処理装置は、前記基板搬送架台送り機構が前記基板搬送架台を複数の前記熱処理炉に固有の各々の前記特定位置に順次移動させ、前記複数の熱処理炉の各々の温度調整器が個別の温度制御をされ、基板搬送架台に支持された基板に所望の温度履歴を与える、のが好ましい。
上記本発明の構成により、基板搬送架台送り機構が前記基板搬送架台を各々の前記特定位置に順次移動させ、前記複数の熱処理炉の各々の温度調整器が個別の温度制御をされ、基板搬送架台に支持された基板に所望の温度履歴を与える、ので、複数の熱処理炉がない場合に比べて、効率良く熱処理をすることができる。
【００１１】
さらに、本発明に係る基板熱処理装置は、前記基板搬送架台が複数の基板を表面を平行に揃えて支持する支持部材を持つ、が好ましい、
上記本発明の構成により、前記支持部材が複数の基板を表面を平行に揃えて支持するので、基板の熱処理のスループットが向上する。
【００１２】
さらに、本発明に係る基板熱処理装置は、前記基板搬送架台が複数の基板を表面を平行に揃えて縦向きに支持する支持部材を持つ、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記支持部材が複数の基板を表面を平行に揃えて縦向きに支持するので、基板の熱処理のスループットが向上し、不純物が基板の表面に付着しにくくなる。
【００１３】
さらに、本発明に係る基板熱処理装置は、前記支持部材が縦向きに収納された基板の上の辺に係合する上桟と基板の下の辺に係合する下桟とを持つ、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記上桟が縦向きに収納された基板の上の辺に係合し、前記上桟が基板の下の辺に係合するので、基板の基板搬送架台への収納、取り外しが容易になる。
【００１４】
さらに、本発明に係る基板熱処理装置は、前記収納体が、前記収納体入口と前記収納体出口とを残して複数の基板の群を気密に囲う壁構造を持つ、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記収納体の壁構造が、前記収納体入口と前記収納体出口とを残して複数の基板の群を気密に囲うので、基板の熱処理のばらつきが少なくなる。
【００１５】
さらに、本発明に係る基板熱処理装置は、前記壁構造が、断熱材製の断熱部材と該断熱部材を隙間なく覆う金属板でできた被覆部材とを持つ、のが好ましい。
上記本発明の構成により、前記壁構造が、断熱材製の断熱部材と該断熱部材を隙間なく覆う金属板でできた被覆部材とを持つので、基板の熱処理のばらつきが少なくなり、また断熱材のごみが基板に付着することを抑制できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態に係る基板熱処理装置を、図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【００１７】
図１は、実施形態にかかる基板熱処理装置の鳥瞰図である。図２は、実施形態にかかる基板熱処理装置の側面図である。図３は、実施形態にかかる基板熱処理装置のＡ−Ａ断面図である。図４は実施形態に係る基板熱処理装置のＢ−Ｂ断面図である。
基板熱処理装置１は、基板２を熱処理する装置であって、基板搬送架台１０とＮ個の熱処理炉２０と気体フィルタ３０と基板搬送架台送り機構４０とで構成される。
【００１８】
基板搬送架台１０は、基板を収納して搬送するものであって、収納体１１と支持部材１２と台車１３とで構成される。
収納体１１は、基板２を内部に収納し、基板２の縁の面に対面する開口断面を持った一対の開口である収納体入口Ｖｉと収納体出口Ｖｏとを持つ構造体である。
収納体１１が、収納体入口Ｖｉと前記収納体出口Ｖｏとを残して複数の基板２の群を気密に囲う壁構造を持つのが好ましい。
また、壁構造が、断熱材製の断熱部材と該断熱部材を隙間なく覆う金属板でできた被覆部材で構成されるのが好ましい。
【００１９】
図１乃至図４は、四辺形をした一対の側壁部材と床部材と天井部材とが辺を連ねた収納体１１を示している。収納体１１は、対面する一対の面が開口となった、立方体の箱形状をしている。この開口が、収納体入口Ｖｉと収納体出口Ｖｏとに相当する。また、一対の側壁部材と床部材と天井部材とは、夫々断熱部材と被覆部材で構成される。断熱部材は、断熱材製であり、例えば、アルミナブランケットである。被覆部材は、断熱部材を隙間なく覆う金属板であり、例えば、ステンレス板である。
【００２０】
支持部材１２は、基板２を支持する部材である。支持部材１２は、その縁の面が収納体入口Ｖｉと収納体出口Ｖｏとに面する姿勢になる様に基板を支持する。
支持部材１２は、複数の基板を表面を平行に揃えて支持するのが好ましい。
特に、支持部材１２は、複数の基板を表面を平行に揃えて縦向きに支持するのが好ましい。
特に、支持部材１２は、縦向きに収納された基板の上の辺に係合する上桟１２ｕと基板の下の辺に係合する下桟１２ｄとを持つのが好ましい。
図４は、上桟１２ｕが天井部材の下面に設けられ、下桟１２ｄが床部材の上面に設けられる。下向きの溝（図示せず）が上桟１２ｕに設けられ、上向きの溝（図示せず）が下桟１２ｄに設けられる。縦向きになった基板の上の辺が上桟１２ｕの溝に係合し、基板の下の辺が下桟１２ｄの溝に係合する。
【００２１】
台車１３は、収納体１１と支持部材１２とを乗せて移動する移動体である。台車１３は、後述する基板搬送架台送り機構４０のレール上を転動する車輪を持つ。台車１３は、基板搬送架台送り機構によりレール上を移動し、所定の場所で停止する。
【００２２】
熱処理炉２０は、基板搬送架台１０に支持される基板２を気体加熱により熱処理する装置であり、ダクト２１と送風機２２と温調機２３と整流板２４と出口邪魔板２５と入口邪魔板２６とで構成される。
ダクト２１は、一対の開口面であるダクト入口Ｄｉとダクト出口Ｄｏとを連通するものである。
図１乃至図４は、ダクト２１が、下部に基板搬送架台１０を配置可能な空間をもち、その空間にを挟んで設けられたダクト入口Ｄｉとダクト出口Ｄｏとを連通している、のを示す。
基板搬送架台１０が、収納体入口Ｖｉがダクト出口Ｄｏに連通し、収納体出口Ｖｏがダクト入口Ｄｉに連通する様に、ダクト入口Ｄｉとダクト出口Ｄｏとに挟まれた空間に配置された際、その基板搬送架台１０の位置を特定位置Ｘと呼称する。
図１は、ダクト入口Ｄｉとダクト出口Ｄｏが対向する矩形の開口である、のを示す。
ダクト２１は、ダクト入口Ｄｉから上方に回り込み、特定位置Ｘに配置された基板搬送架台１０の上方を水平に配置され、さらに下方に回り込んでダクト出口Ｄｏに繋がる。
基板搬送架台１０は、特定位置Ｘからダクト入口Ｄｉの中心とダクト出口Ｄｏの中心を結ぶ線に直交する方向へ移動可能である。
【００２３】
送風機２２は、気体３をダクト入口Ｄｉからダクト出口Ｄｏへ送風する機器である。送風機は２２は、ダクト２１の内部に設けられる。送風機２２は、ダクト２１のダクト入口Ｄｉの側から気体３を吸い込み、気体３を昇圧し、ダクト２２のダクト出口Ｄｏの側へ気体３を吐出する。
送風機２２を作動させると、気体３が、ダクト入口Ｄｉからダクト出口Ｄｏへ流れる。
【００２４】
温調機２３は、気体３を加熱または冷却する機器である。温調機２３は、ダクト２１の内部の送風機２２の下流側に設けられる。
気体３を加熱する場合は、例えば温調機２３は電気ヒーターを備える。気体３を冷却する場合は、例えは温調機２３は液体冷却ジャケットを備える。
温調機２３が作動すると、送風機２２から送られてきた気体３が加熱または冷却され、ダクト出口Ｄｏへ流れる。
【００２５】
整流板２４は、ダクト２１の内部の気体３の流れを整流する一群の板である。整流板２４は、温調機２３の下流側のダクト２１の曲り部に設けられる。
【００２６】
出口邪魔板２５は、整流板２４から下方に吹きだしてダクト出口Ｄｏへ向かって流れる気体３の向きを変針させるための板部材である。出口邪魔板２５は、ダクト出口Ｄｏの上流側のダクト２１の角部に設けられる。
【００２７】
入口邪魔板２６は、ダクト入口Ｄｉから上方へ向かって送風機２２に吸い込まれる気体３の向きを変針させるための板部材である。入口邪魔板２６は、ダクト２１のダクト入口Ｄｉの下流のダクト２１の角部に設けられる。
【００２８】
基板熱処理装置１は、複数の熱処理炉２０が連なっているのが好ましい。
また、後述する基板搬送架台送り機構４０が、基板搬送架台１０を複数の熱処理炉２０に固有の各々の特定位置Ｘへ順次移動可能であるのが好ましい。
また、互いの気体の送風される向きが反対になる様に、隣り合った熱処理炉２０を配置するのが好ましい。
複数の熱処理炉２０が、所定の配置ピッチＨで配置され、特定位置Ｘが連なる。隣り合った熱処理炉２０は互いに接合され、互いの特定位置Ｘの隙間が気密になっている。
基板搬送架台１０が、連なった熱処理炉２０の各々の特定位置Ｘを移動する間に、各々の熱処理炉２０が基板搬送架台１０に収納された基板２に各々の熱処理を施す。複数の所定の機能を有する熱処理炉２０が、基板に施したい熱処理条件（例えば、温度履歴）の時系列の過程に従って、配置される。例えば、加熱処理の過程を担当する熱処理炉２０の温調機は電気ヒータを備える。また、冷却処理の過程を担当する熱処理炉２０の温調機は冷却ジャケットを持つ。
【００２９】
仕切り弁５０は、連なった熱処理炉の各々の特定位置Ｘを周囲環境から遮断するための弁であり、入口側仕切り弁５１と出口側仕切り弁５２と中間仕切り弁５３で構成される。
入口側仕切り弁５１が、最初の熱処理過程を施す熱処理炉２０の特定位置Ｘの外側に、設けられる。
出口側仕切り弁５２が、最後の熱処理過程を施す熱処理炉２０の特定位置Ｘの外側に、設けられる。
中間仕切り弁５３が、加熱の熱処理工程を施す熱処理炉２０と冷却の熱処理工程を施す熱処理炉２０との間に、設けられる
【００３０】
図１乃至図３は、複数の熱処理炉２０が、各々の特定位置Ｘが連なる様に、配置されるのを示す。複数の熱処理炉２０に固有の夫々の特定位置Ｘが、連続して連なっている。
後述する基板搬送架台送り機構４０が、基板搬送架台１０を熱処理炉２０の連なった方向に移動させると、複数の熱処理炉２０に固有の各々の特定位置Ｘへ順次移動させることができる。
説明の便宜の為に、基板搬送架台１０が移動する順に、熱処理炉に番号第１〜第１４を付ける。図２では、第１〜第５の熱処理炉が加熱処理を施し、第６の熱処理炉が均熱処理を施し、第７〜第１０の熱処理炉が加熱処理を施し、第１１の熱処理炉が均熱処理を施し、第１２〜第１４の熱処理炉が冷却処理を施す。
【００３１】
気体フィルタ３０は、気体３を濾過するフィルタであり、入口気体フィルタ３１と出口気体フィルタ３２とで構成される。入口気体フィルタ３１は、ダクト出口Ｄｏと収納体入口Ｖｉとの間に設けられるフィルタである。出口気体フィルタ３２は、ダクト入口Ｄｉと収納体出口Ｖｏとの間に設けられるフィルタである。フィルタは、例えば、金属メッシュフィルタである。
入口気体フィルタ３１は、ダクト出口Ｄｏを塞いでダクト２１に固定されるか、または、収納体入口Ｖｉを塞いで基板搬送架台１０に固定される。
出口気体フィルタ３２は、ダクト入口Ｄｉを塞いでダクト２１に固定されるか、または、収納体出口Ｖｏを塞いで基板搬送架台１０に固定される。
【００３２】
基板搬送架台送り機構４０は、基板搬送架台１０を熱処理炉２０に固有の特定位置Ｘへ固定し、さらに特定位置Ｘから移動させることのできる装置であり、送りレール４１と入口側基板搬送架台プッシャー４２と出口側基板搬送架台プッシャー４３と横行レール４４とリターンレール４５とで構成される。
【００３３】
送りレール４１は、基板搬送架台１０を複数の熱処理炉２０に固有の各々の特定位置Ｘへ順次移動させるためのレールである。送りレール４１は、連なった特定位置Ｘの下部に設けられる。送りレール４１は、基板搬送架台１０をレールを敷設された方向に案内する。
【００３４】
入口側基板搬送架台プッシャー４２は、送りレール４１に案内された基板搬送架台１０を押す機器であり、例えば、水平に配置された電動シリンダである。電動シリンダは、ピストンを入口側仕切弁５１が開閉する特定位置Ｘに向けて配置される。入口側基板搬送架台プッシャー４２は、基板搬送架台１０を熱処理炉の配置ピッチＨに等しい距離だけ移動させることができる。
出口側基板搬送架台プッシャー４３は、送りレール４１に案内された基板搬送架台１０を押す機器であり、例えば、水平に配置された電動シリンダである。電動シリンダは、ピストンを出口側仕切弁５２が開閉する特定位置Ｘに向けて配置される。出口側基板搬送架台プッシャー４３は、基板搬送架台１０を熱処理炉の配置ピッチＨに等しい距離だけ移動させることができる。
入口側基板搬送架台プッシャー４２と出口側基板搬送架台プッシャー４３とが、居一連に連なった基板搬送架台１０を配置ピッチＨに等しい距離だけ順次移動させることにより、個々の基板搬送架台１０は一連に連なった特定位置Ｘを順次移動できる。
【００３５】
横行レール４４は、出口側仕切り弁５２から出てきた基板搬送架台１０を、送りレール４１の送り方向の直交方向に送るレールである。
リターンレール４５は、横行レール４４により横行された基板搬送架台１０を、連なった熱処理炉２０の外側を通って、入口側仕切弁５１のある側へ移動させるレールである。
【００３６】
次に、実施形態に係る基板熱処理装置の作用を説明する。
図５は、実施形態に係る基板熱処理装置の作用説明図である。
【００３７】
最初に温度履歴の一例を説明する。
第一昇温処理：基板を加熱し所定時間で室温から所定温度Ｔ１までに昇温する。
第一保持処理：基板を所定時間、所定温度Ｔ１に維持する。
第二昇温処理：基板を加熱し所定時間で所定温度Ｔ１から所定温度Ｔ２に昇温する。
第二保持処理：基板を所定時間、所定温度Ｔ２に維持する。
冷却処理：基板を所定時間で所定温度Ｔ２度から所定温度Ｔ１に冷却する。
【００３８】
一つの基板搬送架台１０に支持された基板２に着目して、基板熱処理装置の作用を説明する。
入口側仕切弁５１が、入口を開く。
入口側基板搬送架台プッシャー４２が、基板搬送架台１０を第１の熱処理炉２０の特定位置Ｘへ移動させる。第１の熱処理炉２０において、収納体入口Ｖｉがダクト出口Ｄｏに連通し、収納体出口Ｖｏがダクト入口Ｄｉに連通する。
入口側仕切弁５１が、入口を閉じる。
【００３９】
第１の熱処理炉２０の送風機２２と温調機２３とが作動する。気体３が送風機２２により昇圧され、ダクト２１のダクト入口Ｄｉの側からダクト出口Ｄｏの側へ送風される。気体３が、温調機２３により加熱され、昇温する。温調機２３をでた気体３は、整流板２４により整流され、向きを下向きに変える。整流された気体３は、下方に吹き出る。気体３は、出口邪魔板２５により向きを変針し、ダクト出口Ｄｏへ向かって流れる。気体３は、入口気体フィルタ３１により濾過されて、基板搬送架台１０の収納体入口Ｖｉに流れる。
気体３は、収納体入口Ｖｉから収納体出口Ｖｏへ流れる際に、複数の基板２の隙間を流れ、複数の基板２を加熱する。気体３は、出口気体フィルタ３２により濾過されて、ダクト入口Ｄｉへ入る。
気体３は、  入口邪魔板２６により向きを変針し、ダクト入口Ｄｉから上方へ向かって送風機２２に吸い込まれる。
気体３は、再度、送風機２２によりダクト２１内に送風され、ダクト内を循環する。
ダクト内に設けられた温度センサ（図示せず）の出力により、送風機２２と温調機２３が制御され、基板搬送架台１０内の基板を所望の時間で所望の温度に昇温し、第１の熱処理炉２０での熱処理を行なう。
【００４０】
第１の熱処理炉２０での熱処理が完了すると、入口側仕切弁５１が、入口を開く。入口側基板搬送架台プッシャー４２が、次の基板搬送架台１０を第一の熱処理炉の特定位置Ｘへ移動させる。
基板搬送架台１０は、次の基板搬送架台１０に押されて、第二の熱処理炉２０の特定位置Ｘへ移動する。第二の熱処理炉２０において、収納体入口Ｖｉがダクト出口Ｄｏに連通し、収納体出口Ｖｏがダクト入口Ｄｉに連通する。
入口側仕切弁５１が、入口を閉じる。
【００４１】
以下、上述の作業を繰り返すと、基板搬送架台１０は、第１の熱処理炉２０から順に第２、第３・・・・第１１の熱処理炉２０へ移動する。第１の熱処理炉２０から順に第２、第３・・・・第１１の熱処理炉２０へ移動する際に、基板搬送架台１０に収納された基板２は、所望の温度履歴を受ける。
【００４２】
中間仕切弁５４が、第１１の熱処理炉２０と第１２の熱処理炉２０の境を開く。
基板搬送架台１０が、第１２の熱処理炉２０へ入り冷却処理を施される。基板搬送架台１０は、第１２の熱処理炉２０の特定位置Ｘから順に第１３、第１４の熱処理炉の特定位置Ｘへ移動する。第１２の熱処理炉２０の特定位置Ｘから順に第１３、第１４の熱処理炉２０の特定位置Ｘへ移動する際に、基板搬送架台１０に収納された基板２は、所定の冷却処理を施される。
出口側仕切り弁５２が、出口を開く。
基板搬送架台１０が出口から熱処理炉を出る。
基板搬送架台１０は、横行レール４４、リターンレール４５に沿って移動し、連なった熱処理炉２０の外側を通って、入口側仕切弁５１のある側へ移動する。
基板２が、基板搬送架台１０から取りだされて、後工程へ搬送される。
【００４３】
上述の実施形態の基板熱処理装置を用いれば、基板２を基板搬送架台１０に収納して、基板搬送架台１０を熱処理炉２０の特定位置Ｘに固定することで、気体３が基板２の表面に沿って流れ、基板２に所定の熱処理を施すことができる。
また、複数の熱処理炉２０を並べて、複数の熱処理炉２０の特定位置Ｘへ基板搬送架台１０を順に送り、各々の熱処理炉２０において熱処理を基板２に施すので、基板２に所望の履歴の熱処理を効率良く施すことができる。
また、複数の基板２を基板搬送架台１０に収納するので、複数の基板２に熱処理を同時に施すことができ、熱処理のスループットが向上する。
また、熱処理炉２０の気体３の通り道に気体フィルタを設けたので、不純物が基板２に付着するのを防止することができる。
また、基板２を縦にして基板搬送架台１０に収納するので、基板２に不純物が付着しにくくなる。
また、基板搬送架台１０の収納体１１を断熱材とその断熱材を覆う金属板で構成したので、熱処理を施す際に、基板２からの熱の外部への移動が少なくなり、基板搬送架台１０に収納された複数の基板２同士の熱処理のばらつきが少なくなり、さらに不純物が基板２に付着するのを防止できる。
また、縦にした基板２の上下の辺を係合して基板搬送架台に収納するので、基板２の基板搬送架台１０への搭載が容易になり、自動化に向いた収納形態となる。
【００４４】
本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
収納体入口、または収納体出口を矩形の開口であるとして説明したがこれに限定されず、他の形状の開口でもよい。
またダクト入口、またはダクト出口を矩形の開口であるとして説明したがこれに限定されず、他の形状でもよい。
また、収納体入口と収納体出口とが対面する一対の開口であるとしたがこれに限定されない。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の基板を熱処理する基板熱処理装置は、その構成により、以下の効果を有する。
基板搬送架台送り機構で基板を収納した基板搬送架台を移動して、特定位置に固定された基板搬送架台の収納体入口と収納体出口とをダクトの中に送風機と温調機と設けた熱処理炉のダクト入口とダクト出口とに連通することができ、送風機と温調機を作動させると、基板搬送架台に収納される基板を熱処理することができ、熱処理が終了した後に基板搬送架台送り機構が基板搬送架台を特定位置から移動させることができる。
また、気体フィルタを前記ダクト出口と前記収納体入口との間に設けたので、濾過された気体が基板搬送架台に入り、不純物が基板に付着しにくくなる。
また、基板搬送架台送り機構により基板搬送架台を複数の熱処理炉の各々の特定位置へ順に移動させるので、基板搬送架台が複数の熱処理炉へ移動する間に、基板に一連の熱処理を施すことができる。
また、各々の温度調整器が個別の温度制御をされ、基板搬送架台に支持された基板に所望の温度履歴を与えるので、複数の熱処理炉がない場合に比べて、効率良く熱処理をすることができる。
また、前記基板搬送架台の支持部材が複数の基板を表面を平行に揃えて支持するので、基板の熱処理のスループットが向上する。
また、前記基板搬送架台の支持部材が複数の基板を表面を平行に揃えて縦向きに支持するので、基板の熱処理のスループットが向上し、不純物が基板に付着しにくくなる。
また、基板搬送架台に基板の上下の辺に係合する上桟と下桟とを設けたので、基板の基板搬送架台への収納、取り外しが容易になる。
また、前記収納体が、前記収納体入口と前記収納体出口とを残して複数の基板の群を気密に囲う壁構造を持つ、ので、基板の熱処理のばらつきが少なくなる。
また、前記壁構造が、断熱材製の断熱部材と該断熱部材を隙間なく覆う金属板でできた被覆部材とを持つので、断熱材のごみが基板に付着することを抑制できる。
従って、全長が短く、基板の熱処理の精度が高く、生産性が高く、また基板の汚染の恐れの少ない基板熱処理装置を提供できる。
【００４６】
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態にかかる基板熱処理装置の鳥瞰図である。
【図２】実施形態にかかる基板熱処理装置の側面断面図である。
【図３】実施形態にかかる基板熱処理装置のＡ−Ａ断面図である。
【図４】実施形態にかかる基板熱処理装置のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】実施形態にかかる基板熱処理装置の作用説明図である。
【符号の説明】
Ｄｉ    ダクト入口
Ｄｏ    ダクト出口
Ｖｉ    収納体入口
Ｖｏ    収納体出口
Ｈ    配置ピッチ
Ｘ    特定位置
１    基板熱処理装置
２    基板（ガラス基板）
３    気体
１０    基板搬送架台
１１    収納体
１２    支持部材
１２ｕ  上桟
１２ｄ  下桟
１３    台車
２０    熱処理炉
２１    ダクト
２２    送風機
２３    温調機
２４    整流板
２５    出口邪魔板
２６    入口邪魔板
３０    気体フィルタ
３１    入口気体フィルタ
３２    出口気体フィルタ
４０    基板搬送架台送り機構
４１    送りレール
４２    入口側基板搬送架台プッシャー
４３    出口側基板搬送架台プッシャー
４４    横行レール
４５    リターンレール
５０    仕切り弁
５１    入口側仕切り弁
５２    出口側仕切り弁
５３    中間仕切り弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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