(57)【要約】【課題】検査精度を低下させることなく、画像処理時間を短縮することにある。【解決手段】検査装置は、検査すべき表示用パネルを受けるステージと、それぞれが複数のセンサ素子をステージに受けられた表示パネルと平行の少なくとも第１の方向に配列したラインセンサと、ラインセンサを第１の方向と交差する第２の方向であって表示パネルと平行の第２の方向に移動させる移動機構と、表示用パネルをラインセンサの側から撮影するエリアセンサと、該エリアセンサを前記表示パネルに対して移動させる駆動機構とを含むことを特徴とする。【選択図】          図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査すべき表示用パネルを受けるステージと、
それぞれが複数のセンサ素子を前記ステージに受けられた表示パネルと平行の少なくとも第１の方向に配列したラインセンサと、
前記ラインセンサを前記第１の方向と交差する第２の方向であって前記表示パネルと平行の第２の方向に移動させる移動機構と、
前記表示用パネルを前記ラインセンサの側から撮影するエリアセンサと、
該エリアセンサを前記表示パネルに対して移動させる駆動機構とを含む、表示用パネルの検査装置。
【請求項２】
前記駆動機構は、前記エリアセンサを、前記第１の方向と、前記第２の方向と、前記第１及び第２の方向と交差する第３の方向とに移動させる、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
さらに、前記ラインセンサの出力信号を取り込む取り込み回路と、該取り込み回路に取り込んだ信号を用いて画像処理をする画像処理回路と、前記エリアセンサの出力信号を取り込んで画像処理をすると共に、前記取り込み回路及び前記画像処理回路を制御する主制御処理装置とを含む、請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
さらに、複数の前記ラインセンサが前記第１の方向に整列して配置されており、該ラインセンサに個々に対応された複数の前記取り込み回路及び複数の画像処理回路が備えられている、請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
さらに、前記表示用パネルの電極に押圧される複数のプローブを備えたプローブユニットを含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルのような表示用パネルを検査する装置に関し、表示用パネルの点灯検査に好適な検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネルのような表示用パネルは、パネル点灯させて、その良否の検査をされる。そのような点灯検査には、表示用パネルの各表示画素の輝度欠陥（すなわち、点欠陥）の有無を検査する点欠陥検査と、表示用パネルの所定領域における輝度むらを検査するむら欠陥検査とがある。
【０００３】
そのような点灯検査は、点灯された表示用パネルを作業者の目視により検査する目視検査と、点灯された表示用パネルをラインセンサやエリアセンサのようなセンサで撮影して得られた電気信号を処理（画像処理）するいわゆる自動検査とのいずれかにより行われる。
【０００４】
自動検査装置は、一般に、ＣＣＤカメラのように、受光素子（センサ素子）をライン状又はマトリクス状に配置したセンサにより撮影し、センサの出力信号を画像処理し、それにより表示用パネルの良否を判定している。
【０００５】
この種の自動点灯検査装置の１つとして、多数のセンサ素子をステージ上の表示用パネルと平行な面内にマトリクス状に配置したＣＣＤテレビカメラのようなエリアセンサを用いるもの（特許文献１）と、多数のセンサ素子をステージ上の表示用パネルと平行な面内の一方向（Ｙ方向）に配列したＣＣＤラインセンサのようなラインセンサを用いるものがある（特許文献２）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平９−２５８１５７号公報
【０００７】
【特許文献２】
特開平１１−１４２２８８号公報
【０００８】
これらの検査装置は、表示用パネルを点灯させた状態で、その表示用パネルをセンサで撮影し、得られた電気信号を用いて画像処理をすることにより、表示用パネルの良否を判定している。
【０００９】
【解決しようとする課題】
しかし、エリアセンサは、その解像度が低いため、検査精度が低く、高検査精度を要求される点欠陥検査には不向きである。これに対し、ラインセンサは、高解像度であることから、点欠陥検査には好適であるが、センサ出力の取り込み処理や、取り込んだ信号による画像処理等の処理に時間を要する。
【００１０】
本発明の目的は、検査精度を低下させることなく、画像処理時間を短縮することにある。
【００１１】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係る検査装置は、検査すべき表示用パネルを受けるステージと、それぞれが複数のセンサ素子を前記ステージに受けられた表示パネルと平行の少なくとも第１の方向に配列したラインセンサと、前記ラインセンサを前記第１の方向と交差する第２の方向であって前記表示パネルと平行の第２の方向に移動させる移動機構と、前記表示用パネルを前記ラインセンサの側から撮影するエリアセンサと、該エリアセンサを前記表示パネルに対して移動させる駆動機構とを含む。
【００１２】
エリアセンサは、輝点欠陥アドレスや色の認識が困難で、高解像度は得にくいが、画像取り込み及び画像処理を高速で行うことができるし、長い時間の点灯及び撮影により信号対雑音比（Ｓ／Ｎ）を高めることができる。このため、むら欠陥検査の際には、表示用パネルはエリアセンサにより撮影され、エリアセンサの出力信号を用いて輝度むらの有無が判定される。
【００１３】
これに対し、ラインセンサは、画像の取り込みや画像処理等に時間を要するが、高解像度を得ることができる。このため、点欠陥検査の際には、表示用パネルはラインセンサにより撮影され、ラインセンサの出力信号を用いて点欠陥の有無が判定される。
【００１４】
上記のようにエリアセンサとラインセンサとを備えると、検査の種類に応じてエリアセンサ又はラインセンサで表示用パネルを撮影し、欠陥の有無を判定することができるから、検査精度が低下することなく、画像処理時間が短縮する。
【００１５】
前記駆動機構は、前記エリアセンサを、三次元的に、すなわち、前記第１の方向と、前記第２の方向と、前記第１及び第２の方向と交差する第３の方向とに移動させることができる機構としてもよい。
【００１６】
検査装置は、さらに、前記ラインセンサの出力信号を取り込む取り込み回路と、該取り込み回路に取り込んだ信号を用いて画像処理をする画像処理回路と、前記エリアセンサの出力信号を取り込んで画像処理をすると共に、前記取り込み回路及び前記画像処理回路を制御する主制御処理装置とを含むことができる。そのようにすれば、画像の取り込み時間及び画像処理時間がより短縮する。
【００１７】
検査装置は、さらに、複数の前記ラインセンサが前記第１の方向に整列して配置されており、該ラインセンサに個々に対応された複数の前記取り込み回路及び複数の画像処理回路が備えられていてもよい。そのようにすれば、画像の取り込み時間及び画像処理時間がさらに短縮する。
【００１８】
検査装置は、さらに、前記表示用パネルの電極に押圧される複数のプローブを備えたプローブユニットを含むことができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１〜図５を参照するに、検査装置１０は、矩形の形状を有する液晶表示パネルを検査すべき表示用パネル１２とし、パネル１２の自動点灯検査に用いられる。図示の例では、パネル１２は、複数の電極を隣り合う２つの辺のそれぞれに有している。
【００２０】
以下の説明においては、検査装置１０の検査位置に配置された表示用パネル１２と平行の面内における直交する２方向（矩形のパネル１２の隣り合う縁部（矩形の辺）の方向）をＸ方向及びＹ方向といい、そのパネル１２に垂直な方向をＺ方向という。
【００２１】
検査装置１０は、図示しないフレームに水平方向へ移動可能に配置されたステージ１４を含む。ステージ１４は、パネル１２を受けるチャックトップと、受けたパネル１２をその背後から照明するバックライトユニットとを備えた検査ステージである。
【００２２】
このため、ステージ１４は、受けたパネル１２を、パネル１２と平行なＸ及びＹ方向へ二次元的に移動させることができると共に、パネル１２に垂直なＺ方向に移動させることができ、さらにパネル１２をこれに垂直なＺ軸線の周りに角度的に回転させることができる。
【００２３】
ステージ１４は、搬送ロボットのような受け渡し装置に対してパネル１２の受け渡しをする受け渡し位置と、パネル１２の点灯検査を行う検査位置とに移動可能である。
【００２４】
ステージ１４の上側には、基板１６がフレームに水平に取り付けられている。基板１６は、検査位置に移動されているステージ１４を上方から見ることができる矩形の穴１８を有している。穴１８はパネル１２より大きい平面寸法を有している。
【００２５】
基板１６には、プローブユニット２０が矩形の穴１８に対応する箇所に配置されている。プローブユニット２０は、パネル１２の電極に個々に押圧される複数のプローブをブロックに配置した既知の複数のプローブブロック２２を板状のプローブベース２４に取り付けて、プローブベース２４を基板１６の下面に取り付けている。
【００２６】
プローブベース２４は、基板１６の穴１８より小さくかつパネル１２より大きい矩形の穴２５を有しており、穴２５が穴１８と同軸となるように、基板１６に取り付けられている。
【００２７】
プローブブロック２２は、矩形の隣り合う２つの辺に個々に対応する２つのプローブブロック群に分けられている。各プローブブロック群のプローブブロック２２は、プローブの先端（針先）が整列するように、プローブベース２４に取り付けられている。
【００２８】
検査装置１０は、また、パネル１２を線状に撮影すべくＹ方向に一列に整列した状態に基板１６に配置された複数のラインセンサ２６と、パネル１２を面状に撮影すべく基板１６の上方に配置されたエリアセンサ２８とを含む。
【００２９】
各ラインセンサ２６は、複数のセンサ素子をＸ方向に隣り合ってＹ方向に伸びる少なくとも３つの列に配置したＣＣＤラインセンサのような既知のセンサであり、Ｘ，Ｙ及びＺの移動機構３０，３２，及び３４により三次元的に移動される。
【００３０】
Ｘ移動機構３０は、それぞれが、長い固定子領域を有する固定子３６と、固定子３６に移動可能に組み付けられた可動子３８とを有する一対のリニアガイドを用いており、固定子３６が穴１８を間にして対向した状態で固定子領域がＸ方向へ平行に伸びるように、基板１６の上面に取り付けられている。可動子３８は、Ｘ方向へ移動可能に固定子３６に支持されている。
【００３１】
Ｚ移動機構３４も、それぞれが、長い固定子領域を有する固定子４０と、固定子４０に移動可能に組み付けられた可動子４２とを有する一対のリニアガイドを用いており、固定子４０が穴１８を間にして対向した状態で固定子領域がＺ方向へ平行に伸びるように、固定子４０をＸ移動機構３０の可動子３８に取り付けられている。可動子４２は、Ｚ方向へ移動可能に固定子４０に支持されている。
【００３２】
Ｙ移動機構３２は、長い固定子領域を有する固定子４４と、固定子４４に移動可能に組み付けられた複数の可動子４６とを有するリニアガイドを用いており、固定子４４がＹ方向へ伸びるように、Ｚ移動機構３４の可動子４２に固定子４４において支持されている。可動子４６は、Ｙ方向へ個々に移動可能に固定子４４に支持されている。
【００３３】
エリアセンサ２８は、ＣＣＤテレビカメラのように、複数のセンサ素子をマトリクス状に配置した既知のセンサであり、駆動機構４８によりステージ１４に対しＸ，Ｙ，Ｚの３方向へ移動される。
【００３４】
駆動機構４８は、エリアセンサ２８をＺ方向へ移動させるように図示しないフレームに取り付けられたＺ駆動機構５０と、エリアセンサ２８をＸ方向へ移動させるようにＺ駆動機構に取り付けられたＸ駆動機構５２と、エリアセンサ２８をＹ方向へ移動させるようにＸ駆動機構５２に取り付けられたＹ駆動機構５４とを含む。そのような駆動機構４８も、３以上のリニアガイドを用いて構成することができる。
【００３５】
各ラインセンサ２６は、その光入射側をステージ１４上のパネル１２に向けた状態に、Ｙ移動機構３２の可動子４６に支持されている。エリアセンサ２８も、その光入射側をステージ１４上のパネル１２に向けた状態に、駆動機構４８のＹ駆動機構５４に支持されている。
【００３６】
上記した各リニアガイドは、リニアモータテーブル等の名称で市販されている既知の駆動機構である。そのような駆動機構は、一般に、リニアモータのように、複数のコイルを一方向に配列した固定子と、該固定子に前記一方向に移動可能に組み付けられた１以上の可動子とを含み、可動子に交流電力を供給することにより、可動子を固定子に対し、移動させることができるし、所定の位置に維持することができる。固定子は、可動子の移動方向を規制するガイドを有している。
【００３７】
図１０を参照するに、主制御処理装置６０は、エリアセンサ２８をステージ１４上のパネル１２に対しＸ，Ｙ及びＺに移動させるべくドライバ６２を制御する。これにより、駆動機構４８のＸ，Ｙ及びＺ駆動機構５２，５４及び５０はドライバ６２により個々に駆動される。
【００３８】
主制御処理装置６０は、また、ラインセンサ２６をパネル１２に対しＸ，Ｙ及びＺ方向へ移動させるべくドライバ６４，６６及び６８を制御する。これにより、Ｘ，Ｙ及びＺ移動機構３０，３２及び３４はそれぞれドライバ６４，６６及び６８により駆動される。図示してはいないが、Ｙ移動機構３２のドライバ６６は、可動子４６を個々に移動させるように構成されている。
【００３９】
主制御処理装置６０は、さらに、ラインセンサ２６の出力信号を取り込むべくラインセンサ２６毎に備えられた複数の取り込み回路７０と、取り込んだ信号の画像処理をすべくラインセンサ２６毎に備えられた複数の画像処理回路７２とを制御する。
【００４０】
主制御処理装置６０、取り込み回路７０及び画像処理回路７２として、一般的なコンピュータを用いることができる。特に、主制御処理装置６０として、キーボード、マウス等の入力機器や、表示装置を備えたコンピュータを用いることが好ましい。
【００４１】
しかし、それら処理装置及び処理回路の機能を単一のコンピュータに担わせてもよいし、駆動機構４８及び移動機構３０，３２，３４の制御を主制御処理装置６０と共同する他の処理装置により行わせてもよい。さらに、ステージ１４は、主制御処理装置６０、前記他の処理装置及びステージ専用の処理装置のいずれにより制御するようにしてもよい。
【００４２】
ラインセンサ２６は、画像の取り込みや画像処理等に時間を要するが、高解像度を得ることができる。このため、点欠陥検査の際には、パネル１２はラインセンサ２６により撮影され、ラインセンサ２６の出力信号を用いて点欠陥の有無が判定される。
【００４３】
これに対し、エリアセンサ２８は、輝点欠陥アドレスや色の認識が困難で、高解像度は得にくいが、画像取り込み及び画像処理を高速で行うことができるし、長い時間の点灯及び撮影により信号対雑音比（Ｓ／Ｎ）を高めることができる。このため、むら欠陥検査の際には、パネル１２はエリアセンサ２８により撮影され、エリアセンサ２８の出力信号を用いて輝度むらの有無が判定される。
【００４４】
次に、上記検査装置１０の動作を説明する。
【００４５】
検査に先立って、プローブユニット２６に対するパネル１２の位置決めが行われる。この位置決めは、例えば、ステージ１４上のパネル１２をプローブブロック２２から離し、ラインセンサ２６又はエリアセンサ２８を所定に位置に移動させた状態で、パネル１２のアライメントマークのような複数の箇所を撮影し、それらの箇所が撮影した画像内の所定に位置となるように、ステージ１４によってパネル１２をＸ及びＹ方向に移動させることにより、行われる。
【００４６】
パネル１２をＺ軸線の周りに角度的に回転させる機能を備えているステージ１４の場合、パネル１２は、表示画素の配列方向がラインセンサ２６のセンサ素子の配列方向と一致するように、ステージ１４によりＺ軸線の周りに角度的に回転される。
【００４７】
次いで、パネル１２がステージ１４により上昇されて、パネル１２の電極がプローブブロック２２のプローブに押圧されて、パネル１２に通電されると共に、ステージ１４内のバックライトが点灯される。この状態で、むら欠陥検査と、点欠陥検査が行われる。
【００４８】
むら欠陥の検査時、ラインセンサ２６は、図５に示すように、Ｘ，Ｙ及びＺ移動機構３０，３２及び３４によりエリアセンサ２８によるパネル１２の撮影の妨げにならない位置に退避されている。
【００４９】
上記状態で、先ず、パネル１２がエリアセンサ２８の撮影領域内の所定の位置となるように、ドライバ６２が主制御処理装置６０により制御されて駆動機構４８を駆動させる。
【００５０】
次いで、主制御処理装置６０が、エリアセンサ２８の出力信号を取り込み、取り込んだ信号を基に画像処理をして、輝度むらの有無を判定する。
【００５１】
むら欠陥検査は、パネル全体の明るさのむらに関するものであり、例えば、画像内の所定領域同士の明るさの偏差が許容値を超えているか否かを判定することにより行うことができる。この判定結果は、主制御処理装置６０に附属するメモリに記憶される。
【００５２】
点欠陥の検査時、各ラインセンサ２６がパネル１２のＹ方向における所定領域の表示画素を撮影するようにＹ移動機構３２の各可動子４６がドライバ６６によりＹ方向に移動されと共に、１つの表示画素を複数のセンサ画素で撮影するようにＺ移動機構３４の可動子４２がドライバ６８によりＺ方向に移動されて、Ｙ移動機構３２ひいてはその可動子４６がＺ方向に移動される。
【００５３】
１つの表示画素に割り当てるセンサ画素数は、例えば図７，図８及び図９に示すように、３つとすることができる。カラーの場合、１つの表示画素５６は、Ｒ，Ｇ，Ｂの各原色画素の集合、すなわち、１つの色を表すのに必要な原色画素の集合とすることができる。しかし、各原色画素を表示画素５６としてもよい。
【００５４】
図７，図８及び図９においては、１つのラインセンサ２６で３つの表示画素５６を撮影するように、示している。しかし、実際には、各ラインセンサ２６が複数ｎのセンサ素子をＹ方向に配列していることから、各ラインセンサ２６は３×ｎ＝ｒの表示画素５６を撮影する。
【００５５】
上記状態で、ドライバ６４が、主制御処理装置６０により制御されて、ラインセンサ２６を図６に示すようにＸ移動機構３０によりＸ方向における一端から他端に向けて少なくとも一回移動させる。これにより、ラインセンサ２６によるパネル１２の撮影が行われる。
【００５６】
ラインセンサ２６によるパネル１２の撮影時、各取り込み回路７０が、主制御処理装置６０により制御されて、対応するラインセンサ２６の出力信号をセンサ素子の列毎に取り込む。各取り込み回路７０に取り込まれた信号は、対応する画像処理回路７２に主制御処理装置６０を介して供給される。
【００５７】
各画像処理回路７２は、センサ素子列毎の入力信号を基に表示素子列毎に画像処理をして、各表示素子の輝度欠陥の有無を判定する。輝度欠陥は、例えば、表示素子の輝度が所定の許容値内にあるか否かを判定することにより、行うことができる。
【００５８】
標準の表示用パネル１２と異なる種類の表示用パネル１２の検査を行うときは、そのパネル１２の、パネルサイズ（寸法）、表示画素５６の大きさ、表示画素５６の配列ピッチ、Ｙ方向における表示画素数等に応じて、ラインセンサ２６の増減、Ｙ方向における各ラインセンサ２６の位置の調整及びＺ方向におけるラインセンサ２６の位置の調整のグループから選択される少なくとも１つの作業が行われる。
【００５９】
例えば、図７（Ａ）に示すように、標準装備数のラインセンサ２６によりＹ方向への一ラインの表示画素５６を同時に撮影することができる画素数及び配列ピッチの表示画素５６を有する標準の表示用パネル１２の場合には、Ｙ移動機構３２がＺ移動機構３４により上下移動されて、１つの表示画素５６を複数のセンサ素子で撮影するようにラインセンサ２６がパネル１２に対して位置決められる。
【００６０】
しかし、図７（Ｂ）に示すように、表示画素数は標準のパネル１２と同じであるが、表示画素５６の配列ピッチが大きい表示用パネル１２ａを検査するときは、Ｙ移動機構３２がＺ移動機構３４により上昇されると共に、各ラインセンサ２６がＹ移動機構３２によりＹ方向に移動されて、１つの表示画素５６を複数のセンサ素子で撮影するようにラインセンサ２６がパネル１２ａから離される。
【００６１】
また、図８（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、図８（Ａ）に示す標準のパネル１２に対し、パネルサイズは同じであるが、表示画素数が倍の表示用パネル１２ｂを検査するときは、検査装置１０は以下のように駆動される。
【００６２】
先ず、図８（Ｂ）に示すように、Ｙ移動機構３２がＺ移動機構３４により下降されて、表示画素５６をｒずつの２つのグループに分けられると共に、１つのグループの各表示画素５６を複数のセンサ素子で撮影するようにラインセンサ２６がパネル１２ａに接近される。その状態で、ラインセンサ２６が、Ｘ移動機構３０によりＹ移動機構３２と共にＸ方向に一回移動されて、パネル１２ｂを撮影する。
【００６３】
次いで、図８（Ｃ）に示すように、ラインセンサ２６が次のグループの表示画素５６を複数のセンサ素子で撮影するように、ラインセンサ２６がＹ移動機構３２によりｒの画素の寸法分だけＹ方向に移動されされる。その状態で、ラインセンサ２６が、Ｘ移動機構３０によりＹ移動機構３２と共にＸ方向に一回移動されて、パネル１２ｂを撮影する。
【００６４】
さらに、図９（Ｂ）に示すように、図９（Ａ）に示す標準のパネル１２に対し、表示画素の配列ピッチは同じであるが、パネルサイズが大きくなり、表示画素数が多い表示用パネル１２ｃを検査するときは、検査装置１０は以下のように駆動される。
【００６５】
先ず、図９（Ｂ）に示すように、パネルサイズ及び表示画素数に応じて、１以上のラインセンサ２６ａが追加され、で各表示画素５６を複数のセンサ素子で撮影するようにラインセンサ２６がＹ及びＺ移動機構３２及び３４によりパネル１２ａに対しＹ及びＺ方向に移動される。その状態で、ラインセンサ２６が、Ｘ移動機構３０によりＹ移動機構３２と共にＸ方向に一回移動されて、パネル１２ｂを撮影する。
【００６６】
上記のように、Ｙ方向における複数のラインセンサ２６の位置を個々に変更可能であると共に、Ｚ方向におけるそれらラインセンサ２６の位置を変更可能である。その結果、１つの表示素子５６に割り当てるべきセンサ素子数が同じであっても又は異なっても、種類の異なる表示用パネルの検査をすることができる。
【００６７】
上記のようにラインセンサ２６とエリアセンサ２８とを備えると、検査の種類に応じてラインセンサ２６又はエリアセンサ２８でパネル１２を撮影し、欠陥の有無を判定することができるから、検査精度が低下することなく、画像処理時間が短縮する。
【００６８】
また、ラインセンサ２６用の取り込み回路７０及び画像処理回路７２と、エリアセンサ２８の出力信号を取り込んで画像処理をすると共に、前記取り込み回路及び前記画像処理回路を制御する主制御処理装置とを備えると、画像の取り込み時間及び画像処理時間がより短縮する。
【００６９】
さらに、取り込み回路７０及び画像処理回路７２をラインセンサ２６毎に備えると、画像の取り込み時間及び画像処理時間がさらに短縮する。
【００７０】
本発明は、液晶表示パネルの検査のみならず、発光ダイオードを用いる表示パネル、有機ＥＬ等、他の表示用パネルの検査にも適用することができる。
【００７１】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す斜視図であって一部を破断して示す図である。
【図２】図１に示す検査装置の斜視図である。
【図３】図１に示す検査装置の平面図である。
【図４】図３における４−４線に沿って得た断面図である。
【図５】図３における５−５線に沿って得た断面図である。
【図６】図１に示す装置におけるラインセンサをＸ方向へ移動させた状態を示す図である。
【図７】図１に示す装置の動作を説明すべくラインセンサと表示画素との関係を示す図である。
【図８】図１に示す装置の他の動作を説明すべくラインセンサと表示画素との関係を示す図である。
【図９】図１に示す装置のさらに他の動作を説明すべくラインセンサと表示画素との関係を示す図である。
【図１０】図１に示す装置における電気回路の一実施例を示すブロック図である。
【符号の説明】
１０  検査装置
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ  表示用パネル
１４  ステ−ジ
１６  基板
１８，２５  穴
２０  プローブユニット
２２  プローブブロック
２４  プローブベース
２６  ラインセンサ
２６ａ  追加のラインセンサ
２８  エリアセンサ
３０，３２，３４  ラインセンサ用のＸ，Ｙ，Ｚの移動機構
３６，４０，４４  移動機構の固定子
３８，４２，４６  移動機構の可動子
４８  エリアセンサ用の駆動機構
５０，５２，５４  エリアセンサ用のＺ，Ｘ，Ｙの駆動機構
５６  表示画素
【図１】
2004333663.tif 000003
【図２】
2004333663.tif 000004
【図３】
2004333663.tif 000005
【図４】
2004333663.tif 000006
【図５】
2004333663.tif 000007
【図６】
2004333663.tif 000008
【図７】
2004333663.tif 000009
【図８】
2004333663.tif 000010
【図９】
2004333663.tif 000011
【図１０】
2004333663.tif 000012