(57)【要約】【課題】ヘッド分離型センサにおいて、補正情報を変更するに際して、変更対象以外のセンサの補正情報が誤って変更されてしまうことを効果的に防止できるセンサシステムを提供する。【解決手段】センサシステム１は、複数のセンサユニット２を有し、各々のセンサユニット２は、被検出物との距離に応じたレベルの検出信号を出力するセンサヘッド５と、このセンサヘッド５が着脱自在に接続され、センサヘッド５からの検出信号のレベルと固有の補正情報とに基づいて被検出物とセンサヘッド５との間の距離情報を生成するセンサコントローラ１０とを備えている。補正情報を変更する場合には、その補正情報の変更対象のセンサユニット２においてセンサヘッド５の接続状態を検出し、センサヘッド５が接続されていないと判断された場合にのみ補正情報の変更を可能としている。【選択図】　図１
2004125528.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検出物との距離に応じたレベルの検出信号を出力する複数のセンサヘッドと、
これらの複数のセンサヘッドがそれぞれ接続及び取り外し可能とされると共に、各センサヘッドからの検出信号のレベルに基づいて、前記被検出物と前記センサヘッドとの間の距離情報を生成すると共に、その距離情報の生成の際に補正を行うための補正情報をセンサヘッド毎の固有値として記憶する補正情報記憶手段を備えた複数のセンサコントローラとを有し、
これら複数のセンサコントローラは、
各センサコントローラ毎に固有に付されたアドレスを記憶するアドレス記憶手段と、
いずれかのセンサコントローラの補正情報記憶手段に記憶される補正情報を変更するに際し、その補正情報の変更対象となるセンサコントローラのアドレスと、補正情報の変更値とを入力する入力手段と、
この入力手段にて入力されるアドレスに対応するセンサコントローラを、前記アドレス記憶手段にて記憶されるデータに基づいて特定するセンサコントローラ特定手段と、
前記センサコントローラ特定手段により特定されるセンサコントローラにおけるセンサヘッドの接続状態を判断する接続状態判断手段と、
この接続状態判断手段において、変更対象のセンサコントローラのセンサヘッドが接続されていないと判断された場合にのみ、前記入力手段にて入力された前記変更値を新たな補正情報とするように前記補正情報記憶手段に記憶される値を設定変更する設定変更手段とを備えることを特徴とするセンサシステム。
【請求項２】
被検出物との距離に応じたレベルの検出信号を出力する複数のセンサヘッドと、
これらの複数のセンサヘッドがそれぞれ接続及び取り外し可能とされると共に、各センサヘッドからの検出信号のレベルに基づいて、前記被検出物と前記センサヘッドとの間の距離情報を生成すると共に、その距離情報の生成の際に補正を行うための補正情報をセンサヘッド毎の固有値として記憶する補正情報記憶手段を備えたセンサコントローラとを有し、
これら複数のセンサコントローラは、他のセンサコントローラに情報を送信するためのセンサ間送信手段と、他のセンサコントローラの前記センサ間送信手段からの情報を受信するセンサ間受信手段とをそれぞれ備えると共に、一のセンサコントローラの前記センサ間送信手段から他のセンサコントローラのセンサ間受信手段に向けて情報伝達可能に順次配置される構成をなしているセンサシステムであって、
各センサコントローラは、
各センサコントローラ毎に固有に付されたアドレスを記憶するアドレス記憶手段と、
いずれかのセンサコントローラの補正情報記憶手段に記憶される補正情報を変更するに際し、補正情報の変更対象となるセンサコントローラのアドレスと、補正情報の変更値とを入力する入力手段と、
この入力手段により入力されたアドレスと、自身のアドレス記憶手段にて記憶されるデータとを比較すると共に、自身が変更対象のセンサコントローラであるか否かを判断するセンサコントローラ特定手段と、
自身に備えられたセンサヘッドの接続状態を判断する接続状態判断手段と、
前記アドレス比較手段により変更対象であると判断され、かつ前記接続状態判断手段によりセンサヘッドが接続されていないと判断された場合にのみ、前記入力手段にて入力された前記変更値を、新たな補正情報とするように前記補正情報記憶手段に記憶される値を設定変更する設定変更手段とを備えることを特徴とするセンサシステム。
【請求項３】
被検出物との距離に応じたレベルの検出信号を出力する複数のセンサヘッドと、
これらの複数のセンサヘッドがそれぞれ接続及び取り外し可能とされると共に、各センサヘッドからの検出信号のレベルに基づいて、前記被検出物と前記センサヘッドとの間の距離情報を生成すると共に、その距離情報の生成の際に補正を行うための補正情報をセンサヘッド毎の固有値として記憶する補正情報記憶手段を備えた複数のセンサコントローラとを有し、
各センサコントローラは、
各センサコントローラ毎に固有に付されたアドレスを記憶するアドレス記憶手段と、
センサヘッドの接続状態を判断する接続状態判断手段と、
前記アドレス記憶手段に記憶されるアドレス、及び前記接続状態判断手段によるセンサヘッドの判断情報を外部に向けて出力する出力手段と、
前記補正情報記憶手段に記憶される補正情報を変更するに際し、補正情報の変更値を外部より入力する入力手段とを有し、
一方、前記センサコントローラの外部において、
前記補正情報の変更対象となるセンサコントローラのアドレス及び補正情報の変更値を生成する外部生成装置と、
各々のセンサコントローラから出力されるアドレスに基づいて、前記外部生成装置により生成されたアドレスに対応する、変更対象のセンサコントローラを特定するセンサコントローラ特定手段と、
その変更対象のセンサコントローラから出力される前記センサヘッドの判断情報が、センサヘッドの非接続を示す場合にのみ、その変更対象のセンサコントローラに向けて前記外部生成装置にて生成された補正情報の変更値を出力する変更値出力手段とが設けられており、
さらに、各センサコントローラは、前記変更値出力手段にて出力された変更値を前記入力手段にて入力し、その入力された変更値を新たな補正情報とするように前記補正情報記憶手段に記憶される値を設定変更する設定変更手段とを備えることを特徴とするセンサシステム。
【請求項４】
前記センサヘッドは検出コイルを有するものであり、
前記センサコントローラは、前記検出コイルと前記被検出物の距離に応じて変化する前記検出コイルのインピーダンスの変化を前記検出信号のレベルの変化として検出するインピーダンス検出手段を含むことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のセンサシステム。
【請求項５】
前記センサヘッドは投光素子及び受光素子を有するものであり、
前記センサコントローラは、前記受光素子の受光量に応じたレベルの受光信号を前記検出信号として検出する受光レベル検出手段を含むことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のセンサシステム。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のセンサシステムに用いられることを特徴とするセンサコントローラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、センサシステム及びセンサコントローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、例えば距離センサなどにおいて、測定距離に対応した検出信号を生成・出力するセンサヘッドが、センサコントローラと分離可能に構成されたヘッド分離型センサが提供されている。このヘッド分離型の距離センサでは、センサヘッドにて生成・出力された検出信号のレベルに応じてセンサコントローラ内にて距離情報を生成するようにしているが、各センサヘッドの特性のばらつきに起因して、同一の距離を測定した場合であってもセンサヘッドからの出力レベルに若干の差が生じる可能性がある。そこで、従来においては、センサコントローラ内にて距離情報を生成する際に、各センサヘッドごと固有に設定された補正情報を用いて、センサヘッドの出力レベルのばらつきの影響を補正し、もって正確な測定値を得ようとする技術が提供されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−１６５６０３公報
【特許文献２】
実開平４−１３００１４号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記の特許文献におけるヘッド分離型センサは単体で用いようとするもののみが提供されているが、このようなヘッド分離型センサを複数台隣接配置して用いることによりその利用性を一層高めることができ、具体的には図１のように構成できる。そして、このように構成される複数のセンサユニットにおいては、各々のセンサユニット毎にセンサヘッドの交換が可能となるように構成できるが、このように複数のユニット構成とし、各々のセンサヘッドを交換可能とする場合には以下のような特有の問題が生じる。
【０００５】
図５におけるセンサシステム１００は、各センサユニット１０２毎に設けられた図示しない記憶手段に各々の補正情報が記憶される構成について例示している。そして、例えば４番のセンサヘッド１０５が故障した場合にはその故障したセンサヘッド１０５に換えて新たなセンサヘッド１０５を装着する必要がある。しかしながら、このように新たに装着されるセンサヘッド１０５は交換前の４番のセンサヘッドとは特性が異なる可能性があるので、対応するセンサコントローラ１１０（４番）に記憶される補正情報についても新しく交換されるセンサヘッド１０５に対応したものに変更せねばならない。
【０００６】
この変更作業としては、例えば、作業者がコンピュータ等の外部装置１２０を用いて、補正情報の変更対象となるセンサコントローラ１１０のアドレス（ここでは４番）と、新たな補正情報（変更値）のデータを入力することにより、その入力されるアドレスに対応したセンサコントローラ１１０に向けて変更値を出力して補正情報の変更を行うようにすることができる。この場合、センサコントローラ１１０側では、その出力されたアドレスを検出し、自身に付されるアドレスと一致している場合にのみ、補正情報をその出力される変更値に更新することとなる。
【０００７】
しかしながら、作業者がアドレス番号の設定を間違えて行ってしまった場合、変更すべきセンサコントローラ以外のものに変更値が送られてしまうこととなる。そして、その誤って送信されるセンサコントローラは受信したアドレスが自身に付されるアドレスと一致していれば自動的に補正情報の変更を行うので、誤った補正情報に変更されてしまい、そのセンサコントローラにおいては正確な距離情報の生成が行えなくなる可能性がある。
【０００８】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、ヘッド分離型センサにおいて、センサヘッドを交換する際に各センサヘッド固有に設定される補正情報を変更するに際して、センサヘッドを交換しない他のセンサの補正情報が誤って変更されてしまうことを効果的に防止できるセンサシステムを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明は、
被検出物との距離に応じたレベルの検出信号を出力する複数のセンサヘッドと、これらの複数のセンサヘッドがそれぞれ接続及び取り外し可能とされると共に、各センサヘッドからの検出信号のレベルに基づいて、前記被検出物と前記センサヘッドとの間の距離情報を生成すると共に、その距離情報の生成の際に補正を行うための補正情報をセンサヘッド毎の固有値として記憶する補正情報記憶手段を備えた複数のセンサコントローラとを有し、
これら複数のセンサコントローラは、
各センサコントローラ毎に固有に付されたアドレスを記憶するアドレス記憶手段と、
いずれかのセンサコントローラの補正情報記憶手段に記憶される補正情報を変更するに際し、その補正情報の変更対象となるセンサコントローラのアドレスと、補正情報の変更値とを入力する入力手段と、
この入力手段にて入力されるアドレスに対応するセンサコントローラを、前記アドレス記憶手段にて記憶されるデータに基づいて特定するセンサコントローラ特定手段と、
前記センサコントローラ特定手段により特定されるセンサコントローラにおけるセンサヘッドの接続状態を判断する接続状態判断手段と、
この接続状態判断手段において、変更対象のセンサコントローラのセンサヘッドが接続されていないと判断された場合にのみ、前記入力手段にて入力された前記変更値を新たな補正情報とするように前記補正情報記憶手段に記憶される値を設定変更する設定変更手段とを備えるところに特徴を有する。
【００１０】
請求項２の発明は、被検出物との距離に応じたレベルの検出信号を出力する複数のセンサヘッドと、
これらの複数のセンサヘッドがそれぞれ接続及び取り外し可能とされると共に、各センサヘッドからの検出信号のレベルに基づいて、前記被検出物と前記センサヘッドとの間の距離情報を生成すると共に、その距離情報の生成の際に補正を行うための補正情報をセンサヘッド毎の固有値として記憶する補正情報記憶手段を備えたセンサコントローラとを有し、
これら複数のセンサコントローラは、他のセンサコントローラに情報を送信するためのセンサ間送信手段と、他のセンサコントローラの前記センサ間送信手段からの情報を受信するセンサ間受信手段とをそれぞれ備えると共に、一のセンサコントローラの前記センサ間送信手段から他のセンサコントローラのセンサ間受信手段に向けて情報伝達可能に順次配置される構成をなしているセンサシステムであって、
各センサコントローラは、
各センサコントローラ毎に固有に付されたアドレスを記憶するアドレス記憶手段と、
いずれかのセンサコントローラの補正情報記憶手段に記憶される補正情報を変更するに際し、補正情報の変更対象となるセンサコントローラのアドレスと、補正情報の変更値とを入力する入力手段と、
この入力手段により入力されたアドレスと、自身のアドレス記憶手段にて記憶されるデータとを比較すると共に、自身が変更対象のセンサコントローラであるか否かを判断するセンサコントローラ特定手段と、
自身に備えられたセンサヘッドの接続状態を判断する接続状態判断手段と、
前記アドレス比較手段により変更対象であると判断され、かつ前記接続状態判断手段によりセンサヘッドが接続されていないと判断された場合にのみ、前記入力手段にて入力された前記変更値を、新たな補正情報とするように前記補正情報記憶手段に記憶される値を設定変更する設定変更手段とを備えるところに特徴を有する。
【００１１】
請求項３の発明は、被検出物との距離に応じたレベルの検出信号を出力する複数のセンサヘッドと、
これらの複数のセンサヘッドがそれぞれ接続及び取り外し可能とされると共に、各センサヘッドからの検出信号のレベルに基づいて、前記被検出物と前記センサヘッドとの間の距離情報を生成すると共に、その距離情報の生成の際に補正を行うための補正情報をセンサヘッド毎の固有値として記憶する補正情報記憶手段を備えた複数のセンサコントローラとを有し、
各センサコントローラは、
各センサコントローラ毎に固有に付されたアドレスを記憶するアドレス記憶手段と、
センサヘッドの接続状態を判断する接続状態判断手段と、
前記アドレス記憶手段に記憶されるアドレス、及び前記接続状態判断手段によるセンサヘッドの判断情報を外部に向けて出力する出力手段と、
前記補正情報記憶手段に記憶される補正情報を変更するに際し、補正情報の変更値を外部より入力する入力手段とを有し、
一方、前記センサコントローラの外部において、
前記補正情報の変更対象となるセンサコントローラのアドレス及び補正情報の変更値を生成する外部生成装置と、
各々のセンサコントローラから出力されるアドレスに基づいて、前記外部生成装置により生成されたアドレスに対応する、変更対象のセンサコントローラを特定するセンサコントローラ特定手段と、
その変更対象のセンサコントローラから出力される前記センサヘッドの判断情報が、センサヘッドの非接続を示す場合にのみ、その変更対象のセンサコントローラに向けて前記外部生成装置にて生成された補正情報の変更値を出力する変更値出力手段とが設けられており、
さらに、各センサコントローラは、前記変更値出力手段にて出力された変更値を前記入力手段にて入力し、その入力された変更値を新たな補正情報とするように前記補正情報記憶手段に記憶される値を設定変更する設定変更手段とを備えるところに特徴を有する。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のものにおいて、
前記センサヘッドは検出コイルを有するものであり、前記センサコントローラは、前記検出コイルと前記被検出物の距離に応じて変化する前記検出コイルのインピーダンスの変化を前記検出信号のレベルの変化として検出するインピーダンス検出手段を含むところに特徴を有する。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のものにおいて、前記センサヘッドは投光素子及び受光素子を有するものであり、前記センサコントローラは、前記受光素子の受光量に応じたレベルの受光信号を前記検出信号として検出する受光レベル検出手段を含むところに特徴を有する。
【００１４】
請求項６の発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のセンサシステムに用いられるセンサコントローラとして構成されるところに特徴を有する。
【００１５】
【発明の作用及び効果】
＜請求項１の発明＞
請求項１の発明によれば、センサヘッドが接続されていないセンサコントローラのみでしか補正情報の変更が行われない構成となるので、仮に作業者が補正情報の変更を行うセンサコントローラのアドレス設定を間違えた場合であっても、変更の必要のないセンサコントローラの補正情報が誤って変更されてしまうことがなく、ひいては誤検出を効果的に防止することができる。
【００１６】
＜請求項２の発明＞
請求項２のように構成すれば、請求項１と同様の効果を達成しつつ、さらに、各々のセンサコントローラに情報送信するための送信ラインを、各々に設ける必要がない構成とすることができ、装置構成の簡素化、小型化、及びコスト低減に寄与する。さらには、補正情報を変更する場合には、アドレスと更新値を単一のセンサコントローラに送信しさえすれば良いため、変更作業が極めて容易に行えることとなる。
＜請求項３の発明＞
請求項３の発明によれば、パソコン等の外部装置にて変更情報の設定操作を行う場合に、変更対象となるセンサコントローラのセンサヘッドの接続状態を確認してから補正情報の変更値を送信することとなるため、変更可能時にのみ情報送信がなされることとなり、変更不能時には不要な情報送信を行わずに済むこととなる。また、変更不能状態（即ちセンサヘッドが接続されている状態）を情報送信前に検出することが可能となるため、仮に変更不能状態であったとしても即座に対応可能な構成となり（即ち、変更不能状態をいち早く検出でき、その不能状態を解除するための手立てを迅速に行うことができるため）、ひいては補正情報の迅速な変更処理に寄与することとなる。
【００１７】
＜請求項４の発明＞
請求項４の構成のように、検出コイルと被検出物の距離に応じて変化する検出コイルのインピーダンスの変化を検出信号のレベルの変化として検出するような構成をなすセンサコントローラは、各センサコントローラ毎の固有の補正情報の設定が必要不可欠であるため、このような構成のものにおいて上記のような補正情報の変更方法を用いると効果的である。
【００１８】
＜請求項５の発明＞
同様に、受光素子の受光量に応じたレベルの受光信号を前記検出信号として検出するようなセンサコントローラは、受光素子、レンズ、或いは抵抗等の電子部品などの特性に起因してセンサヘッド毎にばらつきが生じやすいため各センサコントローラ毎の補正情報の設定が不可欠であり、それを複数配置したような構成において上記のような補正情報の変更方法を用いると効果的である。
＜請求項６の発明＞
請求項６のように構成することにより、補正情報が正確に更新されるように構成されたセンサシステムに好適に用いられるセンサコントローラとなる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態を図１ないし図３を参照しつつ説明する。
図１に示すように、センサシステム１は、被検出物との距離に応じたレベルの検出信号を出力するセンサヘッド５と、このセンサヘッド５が着脱自在に接続されるセンサコントローラ１０とを有してなるヘッド分離型のセンサユニット２を複数備えた構成をなしている。センサユニット２は、センサヘッド５からの検出信号のレベルを補正するための補正情報をセンサヘッド５毎の固有値として記憶する補正情報記憶手段（メモリ１７（図２）：後述）を備え、かつセンサヘッド５からの検出信号のレベルと、その記憶される補正情報とに基づいて被検出物とセンサヘッド５との間の距離情報を生成するように構成されるものである。
【００２０】
図２に示すように、これら複数のセンサユニット５の各々は、他のセンサユニット５に情報を送信するためのセンサ間送信手段として送信回路１５が設けられる一方、他のセンサユニット５のセンサ間送信手段からの情報を受信するセンサ間受信手段としての受信回路１４をそれぞれ備えている。そして、図１に示すように、一のセンサユニットのセンサ間送信手段から他のセンサユニットのセンサ間受信手段に向けて情報伝達可能に順次配置される構成をなしている。なお、図１の矢印は、センサユニット間の情報送信の流れを概念的に示すものである。
【００２１】
図２のセンサユニット２は、渦電流式変位センサとして構成されており、この渦電流式変位センサは、高周波の交流電流で励磁された検出コイル５Ａを含むセンサヘッド５を、金属製の被検出物に近接させたときに、その被検出物に生じる渦電流の影響によって変化する検出コイル５のインピーダンスに関係する１次測定量（電圧値）を検出し、この１次測定量を変換することによってセンサヘッドと対象物との距離を求めるように構成されている。なお、渦電流式変位センサ自体の基本構成や、測定基本原理については特開２００１‐１６５６０３公報等に示される通り公知であるため詳細な説明は省略する。
【００２２】
図２に示すように、本実施形態において、センサコントローラ１０には検出コイル５に高周波電流を供給する発振回路１１と、発振回路１１の発振周波数の変化を検出する検波回路１２と、検波回路１２の出力を取り込むＣＰＵ１６とがそれぞれ設けられており、さらに、上述した、センサ間受信手段として機能する受信回路１４及びセンサ間送信手段として機能する送信回路１５がＣＰＵ１６に接続されている。
【００２３】
さらに、複数のセンサユニット２におけるセンサユニット１０の内部に入力手段が設けられる。図１の例では、入力手段は、例えばパーソナルコンピュータ（単に、パソコンとも称する）等のコンピュータなどからなる外部生成装置２０から送信される情報や自身以外のセンサコントローラ１０から送信される情報を取り込むための装置、或いはセンサコントローラ１０自体に設けられた入力装置（後述する設定キー１８として構成されている。そして、この入力手段は、複数のセンサユニット２のうちのいずれかの補正情報を変更するに際し、その補正情報の変更対象となるセンサコントローラ１０のアドレスと、補正情報の変更値とを入力するように構成されており、本実施形態においては、外部入力回路１３、受信回路１４、及び設定キー１８がこれに該当する。また、外部生成装置２０は、キーボード、マウス、或いはその他の操作装置等において作業者が情報入力することにより、その情報入力に基づいてアドレス及び変更値を示す電気的情報を生成するように構成されており、これらの情報が外部生成装置２０からセンサコントローラ１０に向けて送信されるようになっている。なお、情報入力としては、作業者がアドレスを入力するようにしてもよく、アドレスを特定できるような情報を入力するようにしてもよい。この入力されるアドレス、又はアドレスを特定するための情報に基づいて変更対象とするセンサコントローラのアドレスが電気的情報として生成されることとなる。また、センサヘッドの種類毎（例えば型番毎）に固有に定められる補正情報を、その種類と対応付けて例えばテーブルとして記憶しておき、アドレスとセンサヘッドの種類を特定する情報（例えば型番）が作業者の入力により指定されることに基づいて、その型番に対応する補正情報をテーブルより読出し、入力されるアドレスに対応したセンサコントローラに向けて出力するようにしてもよい。
【００２４】
また、センサユニット２には、外部生成装置２０との通信を行うための外部入力回路１３がＣＰＵ１６に接続される構成にて設けられている。この外部入力回路１３は、外部生成装置２０との情報の送受信を行うインターフェース回路として構成されるとともに上述した入力手段として機能し、外部生成装置２０から送信されるアドレス、変更値などの情報がこの外部入力回路１３を介してセンサユニット２内（具体的にはセンサコントローラ１０内）に取り込まれることとなる。
【００２５】
また、上述した入力手段としてセンサユニット２の内部に設定キー１８が設けられており、作業者がこの設定キー１８を操作することにより補正情報やアドレス（アドレスを特定するための情報（センサヘッドの型番等）を含む）直接入力できるように構成されている。これにより、特別な外部生成装置を用いずともセンサコントローラ上で変更情報の設定作業を行えることとなる。
【００２６】
受信回路１４は例えば受光素子及び受光回路を備えた構成とすることができ、隣接配置された他のセンサコントローラに設けられた送信回路１５と光信号を送受信する無線通信により信号の伝送を行うようにすることができる。送信回路１５は受信回路１４と対応するもので、投光素子と投光回路を備えて構成され、電気信号の通信を行うときは、この投光素子から対向する他のセンサユニット２の受光素子に向けて光信号を照射することとなる。なお、情報の伝送形態はこれに限定されるわけではなく、例えばケーブルなどを用いた有線通信により送受信を行うような構成であってもよい。
【００２７】
また、複数のセンサユニット２において各センサコントローラ１０毎に固有に付されたアドレスを、各々のセンサコントローラ１０と対応付けて記憶するように、各センサコントローラ１０毎にアドレス記憶手段が設けられる構成をなしており、本実施形態においては、メモリ１７がこのアドレス記憶手段として機能している。なお、ここでは、アドレスと補正情報とを同一のメモリ１７内に記憶するような構成を例示しているがこのような構成に限らず、各々を別々の記憶媒体に記憶させるようにしてもよい。なお、補正情報は書き換え可能なメモリに記憶されるようになっており、一方、アドレスについては書き換え可能なメモリでも良く、書き換え不能なものでもよい。
【００２８】
次に、上記のように構成されたセンサシステムにおいて補正情報を変更する処理について図３に示すフローチャートを参照しつつ説明する。
この補正情報の変更処理は、センサコントローラの外部に接続された外部生成装置２０により変更対象のセンサコントローラのアドレスと、補正情報の変更値とが、複数のセンサコントローラ１０のいずれか（図１では１番のセンサコントローラ１０）に向けて出力されるようになっており、そのセンサユニット１０から他のセンサユニット１０へと順次出力されるようになっている。そして、複数のセンサコントローラ１０の各々は、その出力されるアドレスが自身に付されたアドレスと一致している場合には、接続検出手段により自身のセンサヘッドの接続状態を確認し、非接続の場合にのみ補正情報の変更を行うこととなる。
【００２９】
具体的には、図３に示すように、いずれかのセンサユニット２におけるセンサコントローラ１０において、入力手段から送られるデータ（アドレス及び補正情報の変更値を示すデータ）を受信する（Ｓ１００）。そして、そのデータに付されるアドレスが自身のメモリ１７に記憶されるアドレスと一致していない場合にはＳ１１０においてＮＯに進み、次のセンサユニット２に情報送信する。Ｓ１１０において、自身のアドレスと一致している場合には、そのデータを受信するとともに、センサヘッドが接続されているか否かを検出する。本実施形態では、センサヘッド５の検出コイル５Ａが発振回路の一部を構成しており、センサヘッド５が接続されていない場合には、端子１９（１９Ａ，１９Ｂ）においてオープンとなり、発振回路は発振を停止するため検波回路で検出されるレベルがゼロレベルとなる。一方センサヘッド５が接続されている場合には、発振回路が構成されるため、被検出物の接近状態にかかわらず所定のレベルが検波回路にて検出されることとなる。このように、検波回路にて検出されるレベルに基づいて接続状態が判断されることとなる。
【００３０】
ここで、センサヘッドが接続されていると判断された場合にはＳ１３０においてＹＥＳに進み、取得したデータに付される補正情報（ここでは補正係数）を新たな補正係数として更新する。一方、Ｓ１３０において、センサヘッドが接続されていないものと判断された場合には、ＮＯに進み当該処理を終了する。なお、この終了の際に、エラー情報を外部生成装置２０に送信するようにして、作業者に伝達するようにしてもよい。
【００３１】
図３のような処理を行うプログラムに付いては、メモリ１７内、若しくはそれとは別の記憶手段に設けるようにすることができる。そして、このプログラム及びＣＰＵ１６が、入力手段により入力されたアドレスに対応するセンサコントローラを、アドレス記憶手段にて記憶されるデータに基づいて特定するセンサコントローラ特定手段として機能すると共に、このセンサコントローラ特定手段により特定されるセンサコントローラ１０において、センサヘッド５の接続状態を判断する接続状態判断手段としても機能している。さらに、これらプログラム及びＣＰＵ１６は、入力手段にて入力された変更値を新たな補正情報とするように補正情報記憶手段（メモリ１７）に記憶される値を設定変更する設定変更手段としても機能する。
【００３２】
なお、図１に示す例においては、センサコントローラ間において情報が一方向のみに送信される構成について例示したが、双方向に送信されるような構成としてもよい。具体的には、センサコントローラ間において、もう一対の送信手段、受信手段を設けるようにして図１の逆方向に送信可能となるように構成したり、或いは、受信回路１４及び送信回路１５を送受信可能な回路（又は装置）として構成し、センサコントローラ間、及びセンサコントローラと外部生成装置の間において双方向通信可能な構成とすることができる。なお、本実施形態において、複数のセンサコントローラにおいて、センサヘッドの非接続が検出された場合に、エラー情報を出力するエラー情報出力手段を設けてもよい。具体的には、複数のセンサコントローラにおいてセンサヘッドの非接続が検出された場合に、エラー情報を、コンピュータにおける表示画面上にて出力するようにしても良く、センサコントローラに図示しない表示部（ランプ、表示装置等）を設け、それらにおいてエラー表示するような構成とすることができる。なお、この場合には、補正情報の変更を禁止するようにできる。このようにすれば、複数のセンサヘッドが非接続の場合に、誤ったアドレスを入力したとしてもエラー表示、或いは変更の禁止がなされることとなるため、偶然の重なりにも対応でき、極めて正確な処理が行えることとなる。
【００３３】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態を図４を参照しつつ説明する。
図４の構成では、外部生成装置２０から各々のセンサユニット２（具体的に各々のセンサコントローラ１０）に対して情報の送受信を行う送受信ラインが設けられており、各センサコントローラ１０と独立して情報の送受信を行うようになっている。なお、センサユニット２の構成については図２に示す第１実施形態とほぼ同じとすることができるため重複した説明は省略するが、本実施形態においては、他のセンサコントローラ１０からの情報を受信するための受信回路１４および送信するための送信回路１５を省略する構成としてもよい。
【００３４】
また、各々のセンサコントローラ１０においてセンサヘッド５が接続されているか否かを検出する接続検出手段を設け、その接続状態を示す信号を、前記複数のセンサユニットの外部に設けられた外部生成装置２０に対して出力するようにしてもよい。外部生成装置２０は、変更対象のセンサユニット２におけるセンサヘッドの接続状態を示す信号が非接続を示す場合にのみ、その外部生成装置２０から変更対象のセンサユニット２に対して補正情報の変更値を出力することとなる。この方法では、接続状態を判断する判断手段を外部生成装置２０内に設けており、この場合においては、コンピュータにおけるＣＰＵ及び記憶手段（ハードディスクドライブやその他の記憶媒体等）に記憶されるプログラムが主体となり接続状態判断手段として機能することとなる。
【００３５】
また、上記例に限らず、第１実施形態と同様にセンサユニット２側（即ちセンサコントローラ１０側）で接続状態の判断を行うようにしてもよい。この場合、例えば外部生成装置２０をセンサコントローラ１０の外部に接続し、その外部生成装置２０により変更対象のセンサコントローラ１０のアドレスと、補正情報の変更値とを、複数のセンサコントローラ１０に向けて出力する。そして、複数のセンサコントローラ１０の各々は、その出力されるアドレスが自身に付されたアドレスと一致している場合に、接続状態判断手段により自身のセンサヘッドの接続状態を確認し、非接続の場合にのみ補正情報の変更を行うこととなる。
【００３６】
なお、本実施形態においても第１の実施形態と同様に、複数のセンサコントローラにおいて、センサヘッドの非接続が検出された場合に、エラー情報を出力するエラー情報出力手段を設けてもよい。具体的には、複数のセンサコントローラにおいてセンサヘッドの非接続が検出された場合に、エラー情報を、コンピュータにおける表示画面上にて出力するようにしても良く、センサコントローラに図示しない表示部（ランプ、表示装置等）を設け、それらにおいてエラー表示するような構成とすることができる。なお、この場合には、補正情報の変更を禁止するようにできる。このようにすれば、複数のセンサヘッドが非接続の場合に、誤ったアドレスを入力したとしてもエラー表示、或いは変更の禁止がなされることとなるため、偶然の重なりにも対応でき、極めて正確な処理が行えることとなる。
【００３７】
上記第２実施形態によれば、各センサコントローラ１０において、センサ間送信手段及びセンサ間受信手段を省略することが可能となるためセンサユニット２における装置構成の簡略化及びコスト削減を図ることが可能となり、さらに、センサコントローラ１０間における信号送受信処理が無くなるため送受信処理の迅速化、ひいては補正情報の変更処理の迅速化を図ることが可能となる。
【００３８】
＜第３実施形態＞
また、センサユニット２を光学式変位センサとして構成してもよい。光学式変位センサの基本構成については従来において種々提供されているため、詳細な説明は省略するが、例えば、実開平４−１３００１４に示されるようなものを利用することができる。構成としては、投光手段としての光源と、この光源からの光を被検出物上に照射し、ビームスポットを形成するための投光レンズと、ビームスポットからの反射光の一部又は全部を集光する集光レンズと、この集光レンズにより反射光を結像され、その結像位置に対応した電気信号を出力する受光手段と、この受光手段からの電気信号に基づいて被検出物の変位量（即ち、被検出物までの距離）を算出するように構成される。そして、図１に示すセンサヘッド５内においては、上記のような投光手段、受光手段、投光レンズ、集光レンズ等をを備えた構成とすることができ、一方、センサコントローラ１０内においては、増幅回路や演算回路（ＣＰＵ）を備えるような構成とすることができる。このような光学式変位センサにおいて、受光素子が接続されているか否かを検出する方法は種々の方法を採用できるが、例えば、特願２００２−９４８９７に示されるような方法や実公昭５６−８９４号公報に示されるような方法、その他公知の断線検出回路などを用いることができる。
【００３９】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
（１）本実施形態では、複数設けられたセンサユニット２において、全てのセンサコントローラ１０に外部入力回路を設ける構成としたが、端部のセンサコントローラ１０のみにこのような外部入力回路１３を設け、中間部のセンサコントローラ１０には設けないようにしてもよい。
（２）図２の例では入力手段（設定キー１８）をセンサコントローラ内部１０に設けるように構成したが、このような装置を設けずに外部生成装置２０のみによりアドレスや補正情報の変更値を入力するようにしてもよく、端部のセンサコントローラのみ（図１の例ではセンサコントローラ１のみ）の内部に入力手段としての設定キー１８を設けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０００１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るセンサシステムを概念的に示す概念図
【図２】センサユニットの構成例を示すブロック図
【図３】補正係数の更新処理の一例を示すフローチャート
【図４】本発明の第２実施形態に係るセンサシステムを概念的に示す概念図
【図５】ヘッド分離型のセンサユニットを複数配置した構成について概念的に例示する概念図
【符号の説明】
１…センサシステム
５…センサヘッド
５Ａ…検出コイル
１０…センサコントローラ
１３…外部入力回路（入力手段）
１４…受信回路（センサ間受信手段、入力手段）
１５…送信回路（センサ間送信手段）
１６…ＣＰＵ（センサコントローラ特定手段、接続状態判断手段、設定変更手段）
１７…メモリ（補正情報記憶手段、アドレス記憶手段）
１８…設定キー（入力手段）
２０…外部生成装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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