(57)【要約】【課題】板状部材にコーティングされているフィルムを除去するためのフィルム除去装置及びフィルム除去方法を提供する。【解決手段】フィルムがコーティングされているガラス基板を移送手段により除去位置に移送し、移送手段の除去位置でガラス基板の移送方向先端に圧縮空気を噴射して、ガラス基板からフィルムを剥離する。ガラス基板から剥離された廃フィルムを真空吸着ローリング手段の真空吸着により移送手段の除去位置から排出し、真空吸着ローリング手段により排出される廃フィルムを捕集手段により吸入して捕集した後、捕集手段から排出される廃フィルムを圧縮して処理する。【選択図】　　図１１
2004099321.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム除去装置であって、
フィルムがコーティングされた板状部材を移送させる移送手段と、
前記板状部材が除去位置に達すれば、前記板状部材の先端に気体を噴射して前記板状部材から前記フィルムを剥離させる気体噴射手段と、
前記板状部材から剥離された前記フィルムを吸着して、前記板状部材から離脱させる吸着ローリング装置と
を含むことを特徴とするフィルム除去装置。
【請求項２】
前記気体噴射手段は、空気供給装置に連結されて空気の流路を形成する中空型パイプと、前記板状部材の先端に気体が噴射できるように前記パイプの外面に取り付けられている多数のノズルとを備えていることを特徴とする請求項１に記載のフィルム除去装置。
【請求項３】
前記気体噴射手段を前記板状部材の表面に対して水平方向に移送させる第１の作動手段と、前記気体噴射手段を前記板状部材の表面に対して垂直方向に移送させる第２の作動手段とをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のフィルム除去装置。
【請求項４】
前記吸着ローリング装置は中空型ローラを備え、
前記中空型ローラの周りには、前記板状部材から剥離された前記フィルムを吸引するための複数の孔が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフィルム除去装置。
【請求項５】
前記吸着ローリング装置は、前記中空型ローラの外周に結合されているとともに、複数の孔が形成された少なくとも１つ以上のサブローラをさらに備え、
前記サブローラに形成された孔のうち少なくとも一部は、メインローラに形成された少なくとも一部の孔と連通されていることを特徴とする請求項４に記載のフィルム除去装置。
【請求項６】
前記吸着ローリング装置は、前記中空型ローラの内部に挿入され、中空型ローラの長さ方向に一列に配列された複数の孔が形成された吸引パイプをさらに備え、
前記吸引パイプに形成された複数の孔は、前記板状部材にコーティングされた前記フィルムに向くように位置され、前記メインローラに形成された複数の孔のうち前記板状部材にコーティングされた前記フィルムに向く孔に連通され、
前記吸引パイプは固定され、前記吸引パイプの両端のうち少なくとも一方は空気吸引装置に連結されていることを特徴とする請求項５に記載のフィルム除去装置。
【請求項７】
前記吸引パイプの外面は、前記中空型ローラの内面との接触が防止されるように前記中空型ローラの内側に挿入されていることを特徴とする請求項６に記載のフィルム除去装置。
【請求項８】
前記移送手段は、前記板状部材の先端が前記中空型ローラの上部に達すれば、前記板状部材の移送を停止する停止手段を含むことを特徴とする請求項４ないし請求項７のいずれか１に記載のフィルム除去装置。
【請求項９】
前記中空型ローラの上部に位置する前記板状部材を前記中空型ローラに対して押す加圧手段をさらに含み、
前記気体噴射手段は、前記板状部材が前記加圧手段により前記中空型ローラの上部に固定された後、気体を噴射することを特徴とする請求項８に記載のフィルム除去装置。
【請求項１０】
前記板状部材から離脱された前記フィルムを捕集する捕集装置をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のフィルム除去装置。
【請求項１１】
前記捕集装置は、前記板状部材から剥離された前記フィルムを吸入して捕集するサイクロンを備えていることを特徴とする請求項１０に記載のフィルム除去装置。
【請求項１２】
前記サイクロンは、第１のロータ及び第２のロータを備え、
前記第１及び第２のロータは、各々円筒型ドラムと、この円筒型ドラムの外面に長さ方向に沿って放射状に形成され、互いに協働して前記剥離されたフィルムを前記サイクロンの外部に送出するための多数の翼とを有することを特徴とする請求項１１に記載のフィルム除去装置。
【請求項１３】
前記サイクロンは、前記板状部材から剥離された前記フィルムが入る入口及び捕集された前記フィルムが送出される出口を備え、
前記入口の内圧は、前記出口の内圧より高いことを特徴とする請求項１２に記載のフィルム除去装置。
【請求項１４】
前記捕集装置から排出された前記フィルムを圧縮及びバインディングして排出する自動圧縮器をさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載のフィルム除去装置。
【請求項１５】
フィルム除去方法であって、
フィルムがコーティングされた板状部材を移動させる工程と、
前記板状部材が除去位置に達すれば、前記板状部材の先端に空気を噴射して前記フィルムを前記板状部材から剥離する工程と、
前記板状部材から剥離された前記フィルムを吸着して前記板状部材から離脱させる工程と
を含むことを特徴とするフィルム除去方法。
【請求項１６】
前記板状部材に空気を噴射する間、前記板状部材を固定する工程を含むことを特徴とする請求項１５に記載のフィルム除去方法。
【請求項１７】
前記板状部材から剥離された前記フィルムを離脱させながら、前記板状部材を続けて移送させる工程を含むことを特徴とする請求項１６に記載のフィルム除去方法。
【請求項１８】
前記板状部材から離脱されたフィルムを吸引力を用いて捕集する工程を含むことを特徴とする請求項１５に記載のフィルム除去方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルム除去装置及びフィルム除去方法に関し、例えば、ガラス基板のフィルムを除去するための剥離、捕集、体積減量（または圧縮）などの一連の工程を効率よく行うことのできるフィルム除去装置及びフィルム除去方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、ＴＦＴ−ＬＣＤ（薄膜トランジスタ駆動カラー液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＥＬ（エレクトロルミネセンス）などの平面ディスプレイ（フラットディスプレイ）の製造分野で用いられるガラス基板は、ガラス溶解炉で溶解された水ガラスを溶解成形器に供給してガラス基板を製造した後、１次規格に合うように切断し、その表面に保護用フィルムをコーティングしてガラス基板の加工ラインに運ぶ。ガラス基板の加工ラインでは、ガラス基板からフィルムを剥離した後、ガラス基板を平面ディスプレイの規格に合うサイズに再切断する。そして、その後のコーティング工程で、ガラス基板の表面に、例えば絶縁膜としてシリカ（ＳｉＯ２）膜及び導電膜としてＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　ｔｉｎ　ｏｘｉｄｅ）膜をコーティングする。
【０００３】
一般のガラス基板のフィルム除去装置においては、ローラコンベヤを用いてガラス基板を移送させながら、粘着性のあるウレタンローラの表面に、移送されるガラス基板のフィルムを粘着して剥離している。
【０００４】
一方、特許文献１には、プレッサーロールの外面に沿って粘着テープが巻かれるように供給し、プレッサーロールでガラス基板のフィルムを圧着しながら粘着テープにフィルムを粘着させた後、プレッサーロールを移動させながらプレッサーロールと連動するペーパーパイプでガラス基板からフィルムを除去する技術が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平４−１８９２６０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したウレタンローラの表面にダスト等のような異物が付着すると、ウレタンローラの粘着性が低下して機能を失うので、フィルム除去装置の稼動を周期的に停止し、ウレタンローラの表面を周期的に掃除しなければならないので、生産性が大きく低下する問題がある。特に、ウレタンローラの粘着性を再生するためには、人体に有害な例えばメチルエチルケトンなどの溶剤を用いて掃除しなければならないので、作業環境の阻害になる短所がある。そして、ウレタンローラによりガラス基板から剥離された廃フィルムは、作業者が別途に集めて廃棄するのに手間がかかり、廃フィルムの体積を減量させて廃棄することに多くの時間と努力が投入され、生産費が増加する問題がある。一般に、作業者は廃フィルムを効率良く収去するために、１時間に一回程度収去作業を行っており、作業者が廃フィルムを収去せず、加工ラインにそのまま放置する場合、加工ラインの周りに廃フィルムが散らばって、作業環境を阻害するのみではなく、加工ラインの装置に流れ込まれて故障を発生させるおそれがあるといった問題がある。
【０００７】
また、上述した特許文献１の技術は、粘着テープの連続的な供給に多数の難題を有している。この技術においても、プレッサーロールの粘着テープに貼り付けられたフィルムを作業者が手作業で外して除去しなければならず、廃フィルムの廃棄のための収去及び圧縮または体積減量の作業が必要であるので、生産性が低下するだけではなく、生産費が増加する問題がある。
【０００８】
本発明は、前記のような従来技術の様々な問題を解決するために案出されたものであり、本発明の目的は、板状部材からフィルムを除去するために剥離、捕集、体積減量などの一連の工程を効率的に行い、生産性を向上させることができ、生産費が大きく節減できるフィルム除去装置及びフィルム除去方法を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、板状部材から剥離されて排出される廃フィルムを直ちに捕集して作業環境が改善できるフィルム除去装置及びフィルム除去方法を提供することにある。
【００１０】
本発明のさらに他の目的は、廃フィルムの体積を簡単に減量して、廃棄費用が節減できるフィルム除去装置及びフィルム除去方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するための本発明のフィルム除去方法は、フィルムがコーティングされている板状部材を移送手段により除去位置に移送する工程と、移送手段の除去位置で前記板状部材の移送方向先端に圧縮空気を噴射して前記板状部材からフィルムを剥離する工程と、前記板状部材から剥離された廃フィルムを真空吸着ローリング手段の真空吸着により移送手段の除去位置から排出する工程と、真空吸着ローリング手段により排出される廃フィルムを捕集手段により吸入して捕集する工程と、捕集手段から排出される廃フィルムを圧縮する工程とからなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明によるフィルム除去装置及びフィルム除去方法に対する好適な実施の形態について添付の図面を用いて詳細に説明する。
【００１３】
まず、図１ないし図３を参照すれば、本発明のフィルム除去装置は、移送手段としてローラコンベヤ１０を備えている。このローラコンベヤ１０は、厚さが０．５〜１ｍｍ程度である薄板の板状部材であるガラス基板１を、その表面にコーティングされているフィルム２を除去する除去位置Ｐ１に、フィルム２が下を向くようにして移送する。なお、ガラス基板１は、縦（ｍｍ）×横（ｍｍ）のサイズが例えば３７０×４７０〜１，１５０×１，３００程度である。
【００１４】
図１および図３に示すように、ローラコンベヤ１０のフレーム１１には、ガラス基板１を回転運動により移送する多数の移送ローラ（フィーディングローラ）１２が所定の間隔を置いて配列されている。ローラコンベヤ１０の移送ローラ１２は、周知のモーターと、このモーターの駆動力を伝達する動力伝導用チェーン、動力伝導用ベルトなどの伝達手段とにより回転しながらガラス基板１を移送方向１３に沿って移送する。また、図１に示すように、ローラコンベヤ１０のフレーム１１には、ガラス基板１の移送方向先端がローラコンベヤ１０の除去位置Ｐ１に達したか否かを感知するセンサ１４が配置されている。センサ１４は、光信号を発信する発光センサ１４ａと、この発光センサ１４ａから発信される光信号を受信する受光センサ１４ｂとから構成されている。本実施例において、センサ１４は近接センサで構成することもできる。
【００１５】
図１ないし図３、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）を参照すれば、ローラコンベヤ１０の除去位置Ｐ１には、ガラス基板１の移送方向先端に圧縮空気を噴射してガラス基板１からフィルム２を剥離する空気噴射手段としてエアブラスター２０が設けられている。エアブラスター２０は、ローラコンベヤ１０の移送ローラ１２と平行に配置されている。エアブラスター２０は、空気供給装置２１に連結されて空気の流路を形成する中空型エアパイプ２２と、ガラス基板１の移送方向先端に対して圧縮空気を噴射できるようにエアパイプ２２の外面に取り付けられている多数のエアノズル２３とから構成されている。空気供給装置２１は、圧縮空気を発生させるエアコンプレッサーと、このエアコンプレッサーからの空気の供給を制御するエアコントローラーと、エアパイプ２２とエアコントローラーとを連結するエアラインに取り付けられて空気の圧力及び流量を制御するバルブ及び圧力計などの付属装置とから構成することができる。本実施例において、空気供給装置２１のエアコンプレッサーの代わりに、ブロワを用いても良い。
【００１６】
また、エアブラスター２０は、作動手段である一対の第１のエアシリンダ２４の作動により、ローラコンベヤ１０の除去位置Ｐ１とガラス基板１の移送を許容する待機位置Ｐ２（図７（Ｂ）参照）との間を乗降運動する。一対の第１のエアシリンダ２４は、マウンティングブラケット２５によりフレームの両上部に各々配置されている。第１のエアシリンダ２４のシリンダーロッド２４ａにはジョイントブラケット２６が連結されている。
【００１７】
ジョイントブラケット２６の側端には、除去位置Ｐ１に位置するガラス基板１の移送方向先端に対してエアブラスター２０を水平方向に運動させて近接または離隔させる第２のエアシリンダ２７が取り付けられている。この第２のエアシリンダ２７のシリンダーロッド２７ａは、エアパイプ２２の側端に連結されている。
【００１８】
ジョイントブラケット２６の下部には、ピンチローラ２８の側端がベアリング２９を通して回転可能に取り付けられている。ピンチローラ２８は、ガラス基板１の損傷が防止できるように柔軟性を有する素材、例えばウレタンで製作されている。
【００１９】
図７（Ａ）に示すように、ピンチローラ２８は、第１のエアシリンダ２４の作動によりエアブラスター２０が待機位置Ｐ２から除去位置Ｐ１に下降すると、ローラコンベヤ１０の移送ローラ１２に沿って移送されるガラス基板１が通過できる程度の間隔を置いて、真空吸着ローリング装置３０（後述）に近接される。図７（Ｂ）に示すように、エアブラスター２０が待機位置Ｐ２に位置されていれば、ピンチローラ２８はローラコンベヤ１０の作動によりガラス基板１を自在に移送できるように、真空吸着ローリング装置３０から離隔される。
【００２０】
図１ないし図６を参照すれば、ローラコンベヤ１０の除去位置Ｐ１には、エアブラスター２０の作動によりガラス基板１から剥離された廃フィルム２ａ（図８（Ｂ）参照）を吸着してガラス基板１から離脱させ、フレーム１１の下部に排出する真空吸着ローリング装置３０が設けられている。真空吸着ローリング装置３０は、ローラコンベヤ１０の除去位置Ｐ１に回転可能に移送ローラ１２と平行に設けられている中空型メインローラ３１を備えている。このメインローラ３１にはガラス基板１から剥離されたフィルム２ａを空気の吸入により吸着する多数の吸引孔３１ａが長さ方向及び円周方向に沿って所定の間隔を置いて整列され、群をなすように形成されている。メインローラ３１の吸引孔３１ａは、長さ方向に沿って細くて長いスロットとして形成されている。メインローラ３１の両側端には、ベアリング３２が嵌合される中空型カップラー３１ｂが各々結合されている。
【００２１】
また、メインローラ３１の内側には中空型吸引パイプ３３が取り付けられている。ローラコンベヤ１０の除去位置Ｐ１と近接する吸引パイプ３３の上部には、メインローラ３１の吸引孔３１ａ等に連通されて、空気の流路を形成する吸引孔３３ａ等が吸引パイプ３３の長さ方向に沿って一列に形成されている。吸引パイプ３３の両端には、アダプタ３３ｂが結合されている。アダプタ３３ｂはローラコンベヤ１０のフレーム１１に固定されているマウンティングブラケット３４を貫通して固定されている。メインローラ３１のカップラー３１ｂに取り付けられているベアリング３２は、アダプタ３３ｂの外面に支持されている。また、吸引パイプ３３は、少なくとも吸引孔３３ａが形成された吸引パイプ３３の外面がメインローラ３１の内面と離隔されるように、メインローラ３１の内側に挿入されている。
【００２２】
図４に詳細に示すように、吸引パイプ３３のアダプタ３３ｂはエアライン３５ａにより第１の空気吸引装置３５と連結されている。第１の空気吸引装置３５は吸引パイプ３３を通して空気を吸入して排出するブロワ３６で構成されている。第１の空気吸引装置３５は、ブロワ３６の代わりに真空ポンプで構成しても良い。メインローラ３１の外面には、ガラス基板１を保護し、廃フィルム２ａに対する吸着力が増大するように、摩擦係数の大きい素材、例えばウレタン、ゴム、軟性を有するポリエステル等で製造される多数のサブローラ３７等がメインローラ３１の吸引孔３１ａを取り囲むように所定の間隔を置いて取り付けられている。
【００２３】
サブローラ３７には、メインローラ３１の吸引孔３１ａに各々対応されるように吸引孔３７ａが形成されている。そして、互いに隣接しているサブローラ３７の間には、サブローラ３７の間隔を維持するためのスペーサーリング３８ａが各々介在されている。メインローラ３１の左右側端部に位置するサブローラ３７は、各々異なる長さを有するスペーサーリング３８ｂにより、メインローラ３１の端部と適切な間隔を維持するように取り付けられている。
【００２４】
一方、図８（Ａ）および図８（Ｂ）に示すように、真空吸着ローリング装置３０のメインローラ３１は、駆動装置４０（図３参照）が作動することによりガラス基板１の移送方向に一方向に回転する。図３に示すように、駆動装置４０は、ローラコンベヤ１０のフレーム１１に固定され、駆動力を提供するモーター４１と、このモーター４１の駆動力をメインローラ３１に伝達する動力伝導用ベルト４２とから構成されている。動力伝導用ベルト４２は、モーター４１の駆動軸４１ａに取り付けられている駆動プーリー（ドライビングプーリー）４２ａと、メインローラ３１の一側端に取り付けられている従動プーリー（ドリブンプーリー）４２ｂと、駆動プーリー４２ａ及び従動プーリー４２ｂに巻かれるベルト４２ｃとから構成されている。
【００２５】
図９を参照すれば、本発明のフィルム除去装置は、真空吸着ローリング装置３０の真空吸着により、ローラコンベヤ１０の除去位置Ｐ１から排出される廃フィルム２ａを捕集する捕集装置５０を備えている。捕集装置５０は、吸入フード（サクションフード）５１と、サイクロン５３とから構成されている。吸入フード５１は、真空吸着ローリング装置３０によりガラス基板１から剥離、離脱され、除去位置Ｐ１から排出される廃フィルム２ａを受容する。サイクロン５３は、吸入フード５１に第１のフィルム移送ライン５２で連結されている。このサイクロン５３は、廃フィルム２ａを吸入する入口５３ａ及び廃フィルム２ａを排出する出口５３ｂが上下に形成されている。
【００２６】
吸入フード５１の入口５１ａは、真空吸着ローリング装置３０の下部に近接するように配置されている。吸入フード５１の一側端に形成されている出口５１ｂには、第１のフィルム移送ライン５２が連結されている。サイクロン５３の入口５３ａ及び出口５３ｂには、第１のフィルム移送ライン５２が連結されている。サイクロン５３の入口５３ａ及び出口５３ｂは垂直に配列されている。サイクロン５３の入口５３ａは第１のフィルム移送ライン５２により吸入フード５１の出口５１に連結されている。
【００２７】
図９には、１つの吸入フード５１が示されているが、吸入フード５１は複数のガラス基板加工ラインに構成されるローラコンベヤ１０の除去位置Ｐ１に対応する数だけ提供され、第１のフィルム移送ライン５２によりサイクロン５３の入口５３ａに連結することもできる。本実施例において、吸入フード５１と第１のフィルム移送ライン５２とを用いる代わりに、サイクロン５３の入口５３ａで廃フィルム２ａを直接吸入して捕集することも可能である。
【００２８】
図９を参照すれば、サイクロン５３の出口５３ｂにはサイクロン５３から廃フィルム２ａを排出するロータリーゲート５４が取り付けられている。図１０に示すように、このロータリーゲート５４は、駆動力を提供するモーター５５と、サイクロン５３の出口５３ｂに回転可能に近接され、互いに平行に取り付けられている第１のロータ５６及び第２のロータ５７と、モーター５５の駆動力を第１及び第２のロータ５６，５７のうち１つ、例えば第１のロータ５６に伝達する動力伝導用ベルト５８と、第１のロータ５６の回転力を第２のロータ５７に伝達するギア列５９とから構成されている。
【００２９】
第１及び第２のロータ５６，５７は、各々円筒型ドラム５６ａ，５７ａを有し、ドラム５６ａ，５７ａの外面に互いに協働して廃フィルム２ａを送出するように多数の翼５６ｂ，５７ｂが長さ方向に沿って放射状に形成されている。ドラム５６ａ，５７ａの両側端にはサイクロン５３の両側壁を貫通して突出できるように軸５６ｃ，５７ｃが延在されている。第１及び第２のロータ５６，５７の各々の軸５６ｃ，５７ｃは、周知のベアリングにより、サイクロン５３の両側壁に回転できるように支持されている。動力伝導用ベルト５８は、モーター５５の駆動軸５５ａに取り付けられている駆動プーリー５８ａと、第１のロータ５６の軸５６ｃに取り付けられている従動プーリー５８ｂと、駆動プーリー５８ａ及び従動プーリー５８ｂに巻かれるベルト５８ｃとから構成されている。ギア列５９は、駆動プーリー５８ａに対して反対位置の第１のロータ５６の軸５６ｃに取り付けられる駆動歯車５９ａと、第２のロータ５７の軸５７ｃに駆動歯車５９ａに噛合わされて回転するように取り付けられる従動ギア５９ｂとから構成されている。
【００３０】
動力伝導用ベルト５８によりモーター５５の駆動力が伝達されて第１のロータ５６が回転すると、第１のロータ５６の回転力はギア列５９により第２のロータ５７に伝達され、第２のロータ５７は第１のロータ５６に対して反対方向に回転され、第１及び第２のロータ５６，５７の翼５６ｂ，５７ｂはサイクロン５３の出口５３ｂで廃フィルム２ａを送出する。
【００３１】
図９をさらに参照すれば、サイクロン５３の入口５３ａに近接する位置には、第２の空気吸引装置６０の第１のターボブロワ６１がエアライン６０ａにより連結されている。第２の空気吸引装置６０のエアライン６０ａには第１のターボブロワ６１と同じ構成を有する第２のターボブロワ６２が並列に連結されている。本実施例において、第１及び第２のターボブロワ６１，６２の各々の風量は１４ｍ３／ｍｉｎ、風圧は２５０ｍｍＡｇとして設計されている。
【００３２】
本発明のフィルム除去装置を稼動する場合、第２の空気吸引装置６０の第１及び第２のターボブロワ６１，６２のうち１つ、例えば第１のターボブロワ６１のみが作動される。第２のターボブロワ６２は、第１のターボブロワ６１に故障が発生した場合、廃フィルム２ａの捕集を中断することなく、連続的に行うために予備されたものである。サイクロン５３の出口５３ｂに近接する位置には、第３の空気吸引装置６３のブロワ６４がエアライン６３ａにより連結されている。本実施例において、ブロワ６４の風量は２３ｍ３／ｍｉｎ、風圧は１９０ｍｍＡｇとして設計されている。第１及び第２のターボブロワ６１，６２及びブロワ６４は、各々真空ポンプで構成しても良い。
【００３３】
また、サイクロン５３の出口５３ｂには、サイクロン５３から供給される廃フィルム２ａを圧縮（コンプレッション）、バインディングして排出（イジェクション）する自動圧縮機７０が第２のフィルム移送ライン７１により連結されている。自動圧縮機７０は、ドイツＡｎｃｏｖｅ社（Ａｎｃｏｖｅ　ｅｎｔｅｒｐｒｉｓｅ　ｌｉｍｉｔｅｄ）で製品名Ｗｅｌｇｅｒ　ＳＢ２０００シリーズとして市販されている自動圧縮機で構成されており、第１及び第２のフィルム移送ライン５２，７１は各々ダクトで構成されている。
【００３４】
図１に示すように、本発明のフィルム除去装置は、ローラコンベヤ１０と、エアブラスター２０と、第１の空気吸引装置３５のブロワ３６と、駆動装置４０と、ロータリーゲート５４と、第２の空気吸引装置６０及び第３の空気吸引装置６３などの作動を制御するコントローラー８０とを備えている。コントローラー８０にはセンサ１４が連結されており、センサ１４から入力される信号によりエアブラスター２０の作動を制御する。コントローラー８０は、各装置の動作をシーケンスプログラムにより制御できるプログラム可能なコントローラー（プログラマブルコントローラー）又はコンピューターで構成することができる。
【００３５】
以下、このような構成を有する本発明に係るガラス基板のフィルム除去装置によるフィルムの除去方法を図１１及び図１２を用いて説明する。
【００３６】
図１、図４及び図９を参照すれば、まずコントローラー８０の制御により第１の空気吸引装置３５のブロワ３６、ロータリーゲート５４のモーター５５、第２の空気吸引装置６０の第１のターボブロワ６１及び第３の空気吸引装置６３のブロワ６４を作動させて、ガラス基板１から剥離されて排出される廃フィルム２ａを捕集する準備をする（Ｓ１００）。
【００３７】
図３及び図７（Ａ）に示すように、第１のエアシリンダ２４の作動によりシリンダーロッド２４ａを前進させて、エアブラスター２０を待機位置Ｐ２からローラコンベヤ１０の除去位置Ｐ１に下降させて準備する（Ｓ１０１）。エアブラスター２０の下降により、ピンチローラ２８は、真空吸着ローリング装置３０のサブローラ３７に対してガラス基板１が通過できる間隔を置いて離隔される。
【００３８】
図１及び図４を参照すれば、ローラコンベヤ１０の移送ローラ１２にフィルム２が下を向くようにガラス基板１を供給した後、ローラコンベヤ１０を作動させると、ガラス基板は移送ローラ１２の回転運動により移送方向１３に沿って除去位置Ｐ１に移送される（Ｓ１０２）。
【００３９】
ローラコンベヤ１０の作動により移送されるガラス基板１はセンサ１４により感知され、センサ１４はガラス基板１の感知信号をコントローラー８０に入力し、コントローラー８０はセンサ１４から入力される感知信号によりガラス基板の移送方向先端が除去位置Ｐ１に達したか否かを判断する（Ｓ１０３）。
【００４０】
コントローラー８０は、ガラス基板１の移送方向先端が除去位置Ｐ１に達した（ＹＥＳ）と判断すれば、ローラコンベヤ１０の作動を停止させる（Ｓ１０４）。本実施例において、ローラコンベヤ１０の停止は、図７（Ａ）に示すように、ガラス基板１の移送方向先端がピンチローラ２８と真空吸着ローリング装置３０のサブローラ３７との間を通過した時点に設定されている。
【００４１】
図３及び図７（Ａ）をさらに参照すれば、コントローラー８０は、ローラコンベヤ１０の作動を停止させれば、第２のエアシリンダ２７の作動によりシリンダーロッド２７ａを前進させ、エアブラスター２０のエアノズル２３をガラス基板１の移送方向先端に近接させ（図７（Ａ）に一点鎖線で示す）、エアブラスター２０のエアノズル２３を通して圧縮空気を噴射させ、ガラス基板１からフィルム２を剥離させる（Ｓ１０５）。エアブラスター２０のエアノズル２３を用いてガラス基板１の移送方向先端に圧縮空気を噴射する時、圧縮空気の噴射力によりガラス基板１の移送方向先端が真空吸着ローリング装置３０のサブローラ３７から浮かぶ現象が発生する場合もあるが、図７（Ａ）に示すように、サブローラ３７の上方に位置されているピンチローラ２８がガラス基板１の上面を支持するので、ガラス基板１の浮かぶ現象が防止される。
【００４２】
次に、図７（Ｂ）に示すように、フィルム２の剥離後には、移送されるガラス基板１がエアブラスター２０に干渉しないように、第２のエアシリンダ２７の作動によりシリンダーロッド２７ａを後退させて、エアブラスター２０のエアノズル２３をガラス基板１の移送方向先端から離隔させ、第１のエアシリンダ２４の作動によりシリンダーロッド２４ａを後退させて、エアブラスター２０を除去位置Ｐ１から待機位置Ｐ２に復帰させる（Ｓ１０６）。
【００４３】
エアブラスター２０が待機位置Ｐ２に復帰すると、ローラコンベヤ１０の作動によりガラス基板１を再移送し、除去位置Ｐ１から排出する（Ｓ１０７）。
【００４４】
図３、図４、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）を参照すれば、ローラコンベヤ１０の作動によりガラス基板１を排出する間、エアブラスター２０の作動によりガラス基板１から剥離された廃フィルム２ａはサブローラ３７の吸引孔３７ａ等、メインローラ３１の吸引孔３１ａ等及び吸引パイプ３３の吸引孔３３ａ等によって伝達される吸入力により、サブローラ３７の表面に吸着される。動力伝導用ベルト４２によりモーター４１の駆動力が伝達される真空吸着ローリング装置３０のメインローラ３１はガラス基板１の移送方向に回転され、メインローラ３１の回転によりサブローラ３７の表面に吸着されている廃フィルム２ａは、ガラス基板１から離脱され、ローラコンベヤ１０の除去位置Ｐ１から排出される（Ｓ１０８）。また、図８（Ｂ）に示すように、メインローラ３１の回転により、廃フィルム２ａが吸着されているサブローラ３７の吸引孔３７ａが吸引パイプ３３の吸引孔３３ａから遠くなると、該当サブローラ３７の吸引孔３７ａに作用する吸引力が弱化されて、サブローラ３７の表面に吸着されていた廃フィルム２ａがサブローラ３７から円滑に剥がれる。このようにローラコンベヤ１０を作動させることにより、フィルム２がコーティングされているガラス基板１を連続的に移送させ、エアブラスター２０の作動によりガラス基板１の移送方向先端に圧縮空気を噴射して、ガラス基板１にコーティングされているフィルム２を剥離した後、ガラス基板１から剥離された廃フィルム２ａを真空吸着ローリング装置３０の作動によりガラス基板１から迅速に排出することにより生産性を大きく向上させ、フィルム２の除去が容易になるように自動化して生産費を節減することができる。そして、真空吸着ローリング装置３０の真空吸着方式による廃フィルム２ａの迅速な自動排出により作業環境を改善することができ、廃フィルム２ａがガラス基板加工ラインに残留して誘発させる加工ラインの故障を効果的に防止することができる。
【００４５】
図９及び図１０に示すように、サブローラ３７により剥がれて排出される廃フィルム２ａは、捕集装置５０の吸入フード５１に受容される。このとき、吸入フード５１の入口５１ａには、第１のターボブロワ６１の作動により発生される吸引力がサイクロン５３に第１のフィルム移送ライン５２を経由して作用されるので、真空吸着ローリング装置３０のサブローラ３７から剥がれた廃フィルム２ａは吸入フード５１の入口５１ａに直ちに受容される。そして、廃フィルム２ａは、吸入フード５１の出口５１ｂ、第１のフィルム移送ライン５２及びサイクロン５３の入口５３ａを経てサイクロン５３の内側に吸入されて捕集される（Ｓ１０９）。ブロワ６４の作動により発生される２次吸引力は、サイクロン５３の入口５３ａで吸入される廃フィルム２ａが出口５３ｂで排出できるように、サイクロン５３の入口５３ａ及び出口５３ｂに作用する内圧を制御する。即ち、ブロワ６４によりサイクロン５３の入口５３ａ側で発生する内圧より出口５３ｂで発生する内圧が小さくなる。従って、サイクロン５３の入口５３ａ側に対して出口５３ａ側には低い内圧が発生するので、サイクロン５３の入口５３ａで吸入される廃フィルム２ａを出口５３ｂに円滑に移動させて排出することができる。
【００４６】
続いて、サイクロン５３の出口５３ｂに移動される廃フィルム２ａは、モーター５５の駆動力が動力伝導用ベルト５８により伝達されて回転する第１及び第２のロータ５６，５７の翼５６ａ，５７ａの作用により、サイクロン５３の出口５３ｂで排出され、サイクロン５３の出口５３ｂから排出される廃フィルム２ａは第２のフィルム移送ライン７１を経て自動圧縮機７０に供給される（Ｓ１１０）。
【００４７】
自動圧縮機７０は、廃フィルム２ａを塊に圧縮する（Ｓ１１１）。
【００４８】
圧縮された廃フィルムの塊２ｂを結束手段、例えば針金でバインディングして排出する（Ｓ１１２）。このとき、自動圧縮機７０は、供給される廃フィルム２ａが所定の量に達すると自動的に圧縮を行って体積を減少させ、自動圧縮機７０の作動により結束される廃フィルムの塊２ｂの重さは４０〜６０ｋｇ程度、体積（ｃｍ３）は５００×４００×６００〜１２００程度である。従って、作業者は自動圧縮機７０から排出される廃フィルムの塊２ｂを容易に廃棄することができる。
【００４９】
なお、この実施の形態では、ガラス基板について説明したが、その他の材質、例えばプラスチック材などの基板でも同様に適用される。
【００５０】
上記において、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明の精神及び請求範囲から逸脱することなく、種々の変更及び修正がなされてもよいことは当業者にはご理解いただけるであろう。
【００５１】
【発明の効果】
以上で説明したように、本発明によるフィルム除去装置及びフィルム除去方法によれば、板状部材の表面にコーティングされているフィルムを除去するための剥離、離脱、捕集、圧縮などの一連の工程を効率良く行い、生産性を大きく向上させ、生産費を節減することができる。また、板状部材から剥離されて排出される廃フィルムを直ちに捕集して作業環境を改善することができ、廃フィルムの塊の体積を減少させて廃棄費用を大きく節減できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における、ローラコンベヤ、エアブラスター、真空吸着ローリング装置及び駆動装置の構成を示す平面図。
【図２】本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における、ローラコンベヤ、エアブラスター、真空吸着ローリング装置及び駆動装置の構成を示す正面図。
【図３】本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における、ローラコンベヤ、エアブラスター、真空吸着ローリング装置及び駆動装置の構成を示す側面図。
【図４】本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における真空吸着ローリング装置及び第１の空気吸引装置の構成を示す正面図。
【図５】本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における真空吸着ローリング装置の構成を部分的に拡大して示す断面図。
【図６】図５に示すＩ−Ｉ線に沿う断面図。
【図７】（Ａ）および（Ｂ）は、本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置におけるエアブラスターの作動を説明するための側面図。
【図８】（Ａ）および（Ｂ）は、本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における真空吸着ローリング装置の作動を説明するための断面図。
【図９】本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における捕集装置の吸入フード、サイクロン、第１及び第２の空気吸引装置、並びに自動圧縮機の構成を示す系統図。
【図１０】本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置におけるサイクロンの出口に取り付けられるロータリーゲートの構成を示す斜視図。
【図１１】本発明の好ましい実施の形態におけるガラス基板のフィルム除去方法を説明するためのフローチャート。
【図１２】本発明の好ましい実施の形態におけるガラス基板のフィルム除去方法を説明するための図１１から続くフローチャート。
【符号の説明】
１…ガラス基板、２…フィルム、１０…ローラコンベヤ、１４…センサ、２０…エアブラスター、２１…空気供給装置、２２…エアパイプ、２３…エアノズル、２４…第１のエアシリンダ、２７…第２のエアシリンダ、２８…ピンチローラ、３０…真空吸着ローリング装置、３１…メインローラ、３３…吸引パイプ、３５…第１の空気吸引装置、３６…ブロワ、３７…サブローラ、４０…駆動装置、４１…モーター、４２…動力伝導用ベルト、５０…捕集装置、５１…吸入フード、５３…サイクロン、５４…ロータリーゲート、５５…モーター、５６，５７…第１及び第２のロータ、５８…動力伝導用ベルト、５９…ギア列、６０…第２の空気吸引装置、６１，６２…第１及び第２のターボブロワ、６３…第３の空気吸引装置、６４…ブロワ、７０…自動圧縮機、８０…コントローラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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