(57)【要約】【課題】光学機能部品において、フィルタ部材の材料破壊を有効に防止できない。【解決手段】硼珪酸ガラスから成り、四角平板状の基板２の一主面に誘電体多層膜３を被着して成るフィルタ部材１において、基板２の中央部が３．３×１０−５（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ≦Ｘ≦１×１０−３（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ（ただし、Ｘは凸部の高さ（ｍｍ）、Ｌ１は基板の縦方向の長さ（ｍｍ）、Ｌ２は基板の横方向の長さ（ｍｍ）、Ｔは基板の厚み（ｍｍ））の条件を満足するように、一主面側に凸部となっている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
硼珪酸ガラスから成り、四角平板状の基板の一主面に誘電体多層膜を被着して成るフィルタ部材において、前記基板は、下記式の条件を満足するように、中央部が前記一主面側に凸部となっていることを特徴とするフィルタ部材。
３．３×１０−５（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ  ≦  Ｘ
≦  １×１０−３（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ
ただし、Ｘは凸部の高さ（ｍｍ）、Ｌ１は基板の縦方向の長さ（ｍｍ）、Ｌ２は基板の横方向の長さ（ｍｍ）、Ｔは基板の厚み（ｍｍ）。
【請求項２】
上面に固体撮像素子を収容するための凹部を有する絶縁基体と、該絶縁基体の上面に前記凹部を覆うように封止材を介して接合される請求項１に記載のフィルタ部材から成る蓋体とを具備することを特徴とする固体撮像素子収納用パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、外界からの入力光を補正して固体撮像素子に届けるフィルタ部材およびこれを用いた固体撮像素子収納用パッケージ関し、、特にＣＣＤ・ＣＭＯＳイメージセンサ等のカラー撮像素子を搭載する光学機能部品に用いられるフィルタ部材およびこれを用いた固体撮像素子収納用パッケージ関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＣＣＤ・ＣＭＯＳ等のカラー撮像素子を搭載する光学機能部品を含むカメラの軽薄短小化および低価格化が急激に進展し、これに伴って搭載されるカメラモジュールをはじめとする光学機能部品も軽薄短小化あるいは部品削減が進んでいる。
このような光学機能部品は、一般に画像を集光しカラー撮像素子に導くためのガラス材あるいはプラスチック材から成るレンズと、赤みがかる色調を補正するための金属錯体を含有する赤外線カットフィルタと、酸化アルミニウム質焼結体や有機プリント板等の電気絶縁材料から成り、これらの各部品を保持するホルダーとから構成されている。
【０００３】
しかしながら、このような光学機能部品構成では、個々の特性を得るための部材厚みの制約から薄型化が困難であり、結果としてカメラ本体が小型化できないという問題点があった。
そこで、特性が厚みに依存するため薄型化が困難な赤外線カットフィルタに変わり、赤外線遮蔽機能を硼珪酸ガラスに誘電体多層膜を施すことにより得る方法が、特開２０００−１１４５０２号公報に提案されている。
【０００４】
この提案によれば、例えばＣＶＤ法・スパッタ法・真空蒸着法により形成される、Ｔａ２０５・ＴｉＯ２・Ｎｂ２０５・ＬａＦ３・Ｌａ２Ｏ３・Ｔａ２Ｏ５・ＺｒＯ２・Ｙ２Ｏ３等の屈折率が１．７以上の誘電体から成る高屈折率層とＳｉＯ２・Ａｌ２Ｏ３・ＭｇＦ２・Ｎａ３ＡｌＦ６等の屈折率が１．６以下の低屈折率層とを、基板片面の全面あるいは画像認識の有効エリアに交互に数十層積層することにより赤外線遮蔽機能を有する誘電体多層膜を形成するので、赤外線遮蔽特性は基板の厚みに依存することがなくカメラの薄型化が可能になるというものである。なお、一般的には、λ／４（λは設計波長）で算出される光学的膜厚を屈折率と形状膜厚の積（ｎ×ｄ）で表し、各層の屈折率および形状膜厚を変えることにより特定波長光の反射をコントロールし、結果として透過率をコントロールすることにより遮蔽膜の機能を発揮することが可能となる。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−１１４５０２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、硼珪酸ガラスに誘電体多層膜を施すことにより赤外線遮蔽機能を付与する構成では、実装時あるいは使用環境下での温度変化により硼珪酸ガラスが膨張・収縮し、特に硼珪酸ガラスが膨張する際に誘電体多層膜が硼珪酸ガラスの外周方向に引張られてしまい、誘電体多層膜にクラックが発生し誘電体多層膜の赤外線遮蔽機能が低下してしまうという問題点を有していた。
【０００７】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、光学特性に優れ、長期信頼性に優れたフィルタ部材およびこれを用いた固体撮像素子収納用パッケージを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明のフィルタ部材は、硼珪酸ガラスから成り、四角平板状の基板の一主面に誘電体多層膜を被着して成るフィルタ部材において、前記基板は、３．３×１０−５（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ≦Ｘ≦１×１０−３（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ（ただし、Ｘは凸部の高さ（ｍｍ）、Ｌ１は基板の縦方向の長さ（ｍｍ）、Ｌ２は基板の横方向の長さ（ｍｍ）、Ｔは基板の厚み（ｍｍ））の条件を満足するように、中央部が前記一主面側に凸部となっていることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明のフィルタ部材によれば、基板は、３．３×１０−５（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ≦Ｘ≦１×１０−３（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔの条件を満足するように、中央部が誘電体多層膜が被着された一主面側に凸部となっていることから、基板には平坦に戻ろうとする力が働くので、誘電体多層膜には常にその中央領域に向かって圧縮応力が働き、誘電体多層膜にクラックが発生して誘電体多層膜の赤外線遮蔽機能が低下してしまうことはなく、光学特性に優れたフィルタ部材とすることができる。
【００１０】
本発明の固体撮像素子収納用パッケージは、上面に撮像素子を収容するための凹部を有する絶縁基体と、この絶縁基体の上面に前記凹部を覆うように封止材を介して接合される上記フィルタ部材から成る蓋体とを具備することを特徴とするものである。
【００１１】
本発明の固体撮像素子収納用パッケージによれば、蓋体が上記フィルタ部材から成ることから、光学特性に優れ、長期信頼性に優れた固体撮像素子収納用パッケージとすることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明のフィルタ部材およびこれを用いた固体撮像素子収納用パッケージを、添付の図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明のフィルタ部材の実施の形態の一例を示す断面図であり、２は硼珪酸ガラスから成る基板、３は誘電体多層膜であり、主にこれらでフィルタ部材１が構成される。また、図２は、本発明の固体撮像素子収納用パッケージの実施の形態の一例を示す断面図であり、４は絶縁基体、５はフィルタ部材１から成る蓋体５であり、主にこれらで本発明の固体撮像素子収納用パッケージが構成され、これに固体撮像素子６やホルダー８を介してレンズ７を実装することにより固体撮像素子装置等の光学機能部品となる。
【００１３】
フィルタ部材１は、赤外線遮蔽機能を有し、硼珪酸ガラスから成る、四角平板状の基板２の一主面に誘電体多層膜３を被着することにより形成されている。
なお、フィルタ部材１は、通常、固体撮像素子収納用パッケージ等の絶縁基体にフィルタ部材１の一主面の外周部あるいは他主面の外周部が接着材等により接合され、内部に収容する固体撮像素子を気密に封止することから、フィルタ部材１を構成する基板２は、その一主面の外周の４つの辺および他主面の外周の４つの辺が、それぞれ同一平面内に位置するように製作されている。
また、基板２は、その厚みが均一であることが好ましいが、製造方法によっては±１０％程度の厚みバラツキを有する場合もある。さらに一主面の外周の４つの辺および他主面の外周の４つの辺も、基板２の厚みバラツキや部分的な反り等により、同一平面内からずれて位置する場合もある。
【００１４】
誘電体多層膜３は、フィルタ部材１に赤外線遮蔽機能を付与するものであり、ＣＶＤ法やスパッタ法・真空蒸着法等の従来周知の薄膜形成技術により成膜される。また、誘電体多層膜３が、例えば真空蒸着法により成膜される場合は、蒸着物質を真空蒸着器の内部に配置した坩堝内に置き、真空蒸着器の内部を真空にした後連続して、Ｔａ２０５・ＴｉＯ２・Ｎｂ２０５等の屈折率が１．７以上の誘電体から成る高屈折率層とＳｉＯ２・Ａｌ２Ｏ３・ＭｇＦ２等の屈折率が１．５５以下の誘電体から成る低屈折率層とを、基板２の一主面の全面あるいは画像認識の有効エリアに交互に数十層積層することにより形成される。
【００１５】
なお、撮像素子のフィルタとして用いられる部材には異物・傷等の外観欠陥は撮像素子の画質に影響を与えることから、真空蒸着器の開放放置等により発生する真空蒸着器内部での発塵を抑えることが必要である。
【００１６】
そして、本発明のフィルタ部材１は、基板２の中央部が、３．３×１０−５（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ≦Ｘ≦１×１０−３（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ（ただし、Ｘは凸部の高さ（ｍｍ）、Ｌ１は基板の縦方向の長さ（ｍｍ）、Ｌ２は基板の横方向の長さ（ｍｍ）、Ｔは基板の厚み（ｍｍ））の条件を満足するように、誘電体多層膜３が被着された一主面側に凸部となっており、このことが重要である。
【００１７】
なお、ここで凸部の高さＸとは、一主面の外周の４つの辺が位置する平面から一主面までの高さのうち、最大の高さをいう。また、フィルタ部材１を透過する光の歪を小さくするという観点からは、一主面は、それぞれの外周辺から一主面の中心部にかけて連続的に膨らんでいることが好ましく、さらには、一主面の中心点、すなわち一主面の対角線の交点における一主面の外周の４つの辺で形成される平面から一主面までの高さを凸部の高さＸとすることが好ましい。
【００１８】
本発明のフィルタ部材１によれば、基板２の中央部が、３．３×１０−５（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ≦Ｘ≦１×１０−３（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔの条件を満足するように、誘電体多層膜３が被着された一主面側に凸部となっていることから、基板２には平坦に戻ろうとする力が働くので、誘電体多層膜３には常にその中央領域に向かって圧縮応力が働き、誘電体多層膜３にクラックが発生して誘電体多層膜３の赤外線遮蔽機能が低下してしまうことはなく、光学特性に優れたフィルタ部材１とすることができる。
【００１９】
なお、基板２は、中央部が他主面側に凸部となっている形状である場合、硼珪酸ガラスから成る基板２が平坦に戻る力が誘電体多層膜３に対して引っ張り応力として働くため、誘電体多層膜３にクラックが発生しやすくなり、誘電体多層膜３の赤外線遮蔽機能が低下してしまう傾向がある。
【００２０】
また、凸部の高さＸが３．３×１０−５（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ未満となると、硼珪酸ガラスが大きく収縮した場合に、硼珪酸ガラスから成る基板２と誘電体多層膜３の熱膨張差により誘電体多層膜３にクラックが発生し易く成る傾向あり、他方、凸部の高さＸが１×１０−３（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔを超えると、誘電体多層膜３が大きく歪んで内部応力が大きなものとなり、硼珪酸ガラスから成る基板２を破壊してしまう危険性がある。さらには、フィルタ部材１を透過する光が歪み、フィルタ部材２としての機能を果たさなくなる危険性がある。従って、一主面は、３．３×１０−５（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ≦Ｘ≦１×１０−３（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔの条件を満足するように外側に膨らんでいることが重要である。
【００２１】
なお、ここで基板２の縦方向の長さ（Ｌ１）および横方向の長さ（Ｌ２）は、例えば基板２が長方形である場合は、長辺を縦方向の長さ（Ｌ１）、短辺を横方向の長さ（Ｌ２）とすればよく、正方形である場合は、縦方向の長さ（Ｌ１）および横方向の長さ（Ｌ２）は等しくなるので、特に区別する必要はない。
【００２２】
このような中央部が一主面側に凸部となった形状の基板２は、例えば誘電体多層膜を真空蒸着法により成膜する場合であれば、基板２の加熱温度や成膜数、成膜厚み、成膜面積、真空蒸着装置内の蒸着時の真空度やガス濃度を調整することにより得ることができる。
【００２３】
かくして本発明のフィルタ部材１によれば、誘電体多層膜３には常にその中央領域に向かって圧縮応力が働き、誘電体多層膜３にクラックが発生して誘電体多層膜３の赤外線遮蔽機能が低下してしまうことはなく、光学特性に優れたフィルタ部材１とすることができる。
【００２４】
次に、本発明の固体撮像素子収納用パッケージについて説明する。
本発明の固体撮像素子収納用パッケージは、主に上面に凹部４ａを有する絶縁基体４とフィルタ部材１から成る蓋体５とで構成され、固体撮像素子６を容器内部に気密に収容することにより、固体撮像装置等の光学機能部品となる。
【００２５】
このような絶縁基体４は、エポキシ樹脂・フェノール樹脂・液晶ポリマー・ポリフェニレンサルファイド等の有機絶縁材料あるいは、酸化アルミニウム質焼結体やムライト質焼結体・窒化アルミニウム質焼結体・窒化珪素質焼結体・炭化珪素質焼結体等の無機絶縁材料から成り、例えば、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム・酸化珪素・酸化マグネシウム・酸化カルシウム等の原料粉末に適当な有機バインダ・溶剤・可塑剤・分散剤を添加混合して泥漿物を作り、この泥漿物を従来周知のドクターブレード法やカレンダーロール法等のシート成形法を採用しシート状にしてセラミックグリーンシート（セラミック生シート）を得、しかる後、それらセラミックグリーンシートに適当な打抜き加工を施すとともにこれを必要に応じて複数枚積層し、約１６００℃の高温で焼成することによって製作される。あるいは、エポキシ樹脂から成る場合であれば、一般的にシリカ粉末を充填した樹脂コンパウンドを射出成形機により約１８０℃の熱で任意の金型形状に成形し硬化させることによって製作される。なお、一般的に固体撮像素子としては対角線長が２インチ以下のものが使用されるため、絶縁基体４の外形寸法としては５０ｍｍ角以下の寸法のものが使用される。
【００２６】
また、絶縁基体４は、その凹部４ａ内から絶縁基体４の外部にかけて複数の配線導体層（図示せず）が被着形成されており、凹部４ａ内に位置する配線導体層には撮像素子６の各電極がボンディングワイヤあるいは金属バンプを介して電気的に接続され、絶縁基体４の外部に導出する配線導体層には外部電気回路の配線導体（図示せず）が半田等の接続部材を介して電気的に接続される。
【００２７】
このような配線導体層は、撮像素子６の各電極を外部電気回路に電気的に接続する際の導電路として作用し、絶縁基体４が酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、例えばタングステン・モリブデン・マンガン等の高融点金属粉末に適当な有機溶剤・溶媒・可塑剤等を添加混合して得た金属ペーストを従来周知のスクリーン印刷法等の厚膜手法を採用して絶縁基体４となるセラミックグリーンシートにあらかじめ印刷塗布しておき、これをセラミックグリーンシートと同時に焼成することによって絶縁基体４の所望の箇所に所定パターンに被着形成される。
【００２８】
また、絶縁基体４の上面には、凹部４ａ内部に固体撮像素子６を実装後、凹部４ａを覆うように封止材（図示せず）を介して上述のフィルタ部材１から成る蓋体５が接合される。蓋体５は、これを構成するフィルタ部材１が、基板２の中央部が、３．３×１０−５（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ≦Ｘ≦１×１０−３（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ（ただし、Ｘは凸部の高さ（ｍｍ）、Ｌ１は基板の縦方向の長さ（ｍｍ）、Ｌ２は基板の横方向の長さ（ｍｍ）、Ｔは基板の厚み（ｍｍ））の条件を満足するように、誘電体多層膜３が被着された一主面側に凸部となっていることから、基板２には平坦に戻ろうとする力が働くので、誘電体多層膜３には常にその中央領域に向かって圧縮応力が働き、誘電体多層膜３にクラックが発生して誘電体多層膜３の赤外線遮蔽機能が低下してしまうことはなく、光学特性に優れた固体撮像装置とすることができる。
【００２９】
なお、蓋体５を絶縁基体４の上面に接合する場合、蓋体５の誘電体多層膜３は蓋体５の凹部４ａ側あるいは外部側の表面のどちらに位置してもよいが、耐湿性の観点からは蓋体５の凹部４ａ側に位置することが好ましい。
【００３０】
また、蓋体５を絶縁基体４の上面に接合する封止材は、エポキシ樹脂またはアクリル樹脂等の樹脂から成り、耐湿性あるいは接合強度の観点からは緻密な３次元網目構造を有するエポキシ樹脂を主成分とする熱硬化性樹脂が好ましく、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂やビスフェノールＡ変性エポキシ樹脂・ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂・フェノールノボラック型エポキシ樹脂・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂・特殊ノボラック型エポキシ樹脂・フェノール誘導体エポキシ樹脂・ビフェノール骨格型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂にイミダゾール系・アミン系・リン系・ヒドラジン系・イミダゾールアダクト系・アミンアダクト系・カチオン重合系・ジシアンジアミド系等の硬化剤を添加したもので形成することが好ましい。なお、２種類以上のエポキシ樹脂を混合して用いてもよい。
【００３１】
また、本実施例では絶縁基体４の上部にホルダー８を介してレンズ７を接合した例を示している。レンズ７は、例えばアクリル系樹脂あるいはガラス材の注型成形により表面が球面または火球面加工され、ホルダー８にエポキシ樹脂やアクリル樹脂等の樹脂を用いて接合され、あるいは嵌合により固定される。
なお、このようなホルダー８は、絶縁基体４と同様な材料・方法で製作される。
【００３２】
かくして固体撮像装置によれば、絶縁基体４の凹部４ａの底面に固体撮像素子６をガラス・樹脂・ろう材等から成る接着剤を介して接着固定するとともに、絶縁基体４の上面に凹部４ａを覆って蓋体５を封止材を介して接合することにより固体撮像装置となり、これに必要に応じてレンズ７等の光学部品を取着することにより光学機能部品となる。
【００３３】
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能であり、例えば、誘電体多層膜２は赤外線遮光膜に限定されず、弗化マグネシウム等の材料を成膜した反射防止膜であってもよい。
【００３４】
【実施例】
（実施例１）
試料は、まず厚みが０．３ｍｍで、外形寸法が９０ｍｍ角である硼珪酸ガラス基板を２８０℃に加熱し、ＥＢ蒸着により３８層の赤外線遮光膜を形成した。主面の中央部の凸部の高さは、蒸着時の真空度、ガス濃度およびＥＢ銃の出力調整を行なうことにより調整した。試料は、蒸着後２４時間経過した後、および蒸着後２４時間経過した後に強制的に平坦にした後の目視検査、および９０ｍｍ角の資料を２０ｍｍ角に切断してＣＣＤデバイスでの画像確認を行ない評価した。結果を、表１に示す。
【００３５】
なお、本試料においては、Ｌ１＝Ｌ２＝９０ｍｍ、Ｔ＝０．３ｍｍであることから、３．３×１０−５（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ＝０．００９９（ｍｍ）、１×１０−３（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ＝０．３（ｍｍ）となることから、凸部の高さＸの範囲は０．００９９〜０．３ｍｍの範囲となる。
【００３６】
【表１】
2004296949.tif 000003
【００３７】
表１から、硼珪酸ガラスに誘電体多層膜を施した側の面が窪む形状すなわち、凸部の高さがマイナスおよびゼロの場合には、蒸着後２４時間経過した後に膜クラックが発生することがわかった。また、０．００９ｍｍ未満の場合には、蒸着後２４時間経過した後に強制的に平坦にした時点で膜クラックが発生することがわかった。また、凸部の高さが０．３５ｍｍ以上では、焦点距離がずれることから画像確認において外周部にぼやけが確認された。
これに対して、本発明の請求範囲内の凸部の高さでは、良好な結果が得られることがわかった。
【００３８】
（実施例２）
厚みが０．５ｍｍであること以外は、実施例１と同じ条件で試料の作成・評価を行なった。結果を表２に示す。
【００３９】
【表２】
2004296949.tif 000004
【００４０】
なお、本試料においては、Ｌ１＝Ｌ２＝９０ｍｍ、Ｔ＝０．５ｍｍであることから、３．３×１０−５（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ＝０．００５９（ｍｍ）、１×１０−３（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ＝０．１８（ｍｍ）となることから、凸部の高さＸの範囲は０．００５９〜０．１８ｍｍの範囲となる。
【００４１】
表２から、硼珪酸ガラスに誘電体多層膜を施した側の面が凹反りになる形状すなわち、凸部の高さがマイナスおよびゼロの場合には、蒸着後２４時間経過した後に膜クラックが発生することがわかった。また、０．０５ｍｍ未満の場合には、蒸着後２４時間経過後に強制的に平坦にした時点で膜クラックが発生することがわかった。さらに、凸部の高さが０．２０ｍｍ以上では、焦点距離がずれることから画像確認において外周部にぼやけが確認された。
これに対して、本発明の請求範囲内の凸部の高さでは、良好な結果が得られることがわかった。
【００４２】
【発明の効果】
本発明のフィルタ部材によれば、基板は、３．３×１０−５（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔ≦Ｘ≦１×１０−３（ｍｍ）×（Ｌ１×Ｌ２）１／２／Ｔの条件を満足するように、中央部が誘電体多層膜が被着された一主面側に凸部となっていることから、基板には平坦に戻ろうとする力が働くので、誘電体多層膜には常にその中央領域に向かって圧縮応力が働き、誘電体多層膜にクラックが発生して誘電体多層膜の赤外線遮蔽機能が低下してしまうことはなく、光学特性に優れたフィルタ部材とすることができる。
【００４３】
本発明の固体撮像素子収納用パッケージによれば、蓋体が上記フィルタ部材から成ることから、光学特性に優れ、長期信頼性に優れた固体撮像素子収納用パッケージとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフィルタ部材の実施の形態の一例を示す断面図である。
【図２】本発明の固体撮像素子収納用パッケージの実施の形態の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
１・・・・・・フィルタ部材
２・・・・・・基板
３・・・・・・誘電体多層膜
４・・・・・・絶縁基体
４ａ・・・・・凹部
５・・・・・・蓋体
６・・・・・・固体撮像素子
７・・・・・・レンズ
８・・・・・・ホルダー
Ｘ・・・・・・凸部の高さ
【図１】
2004296949.tif 000005
【図２】
2004296949.tif 000006