(57)【要約】【課題】できるだけ大きな基板を処理可能で、かつ設備の小型化、占有面積の小型化を図ることのできる基板搬送装置を提供する。【解決手段】水平方向に移動して基板の位置決めを行うＸＹテーブルを持つ基板位置決め機構１と、基板位置決め機構１に供給する基板を搬送するための供給用搬送コンベア５と、基板搬送機構１から排出される基板を搬送するための排出用搬送コンベア６とを備え、前記搬送コンベア５，６を直動ガイド２０，３０で垂直方向に昇降自在にそれぞれ支持するとともに前記搬送コンベア５，６をそれぞれ昇降駆動するアクチュエータ２１，３１を設けた構成としている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平方向に移動して基板の位置決めを行う基板位置決め機構と、該基板位置決め機構に供給する又は当該基板搬送機構から排出される基板を搬送するための搬送機構とを備える基板搬送装置において、前記搬送機構を垂直方向に昇降自在に支持するとともに前記搬送機構を昇降駆動するアクチュエータを設けたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記搬送機構は直動ガイドで垂直方向に昇降自在に支持されている請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記搬送機構が上昇位置にあるときは、前記基板位置決め機構は前記搬送機構の下方空間を含む可動範囲を有している請求項１又は２記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子回路基板の組立装置、同樹脂塗布装置、同検査装置等の基板処理設備における電子回路基板等の基板搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板処理設備内の搬送機構（入口コンベア、出口コンベア）と位置決め機構（基板位置決め用ＸＹテーブル）は同一平面上に構成されている。そして、前記位置決め機構（ＸＹテーブル）の必要ストロークを回避する為、前記搬送機構（コンベア）は水平方向へ回避動作を行うのが一般的である。
【０００３】
図４乃至図６で従来装置の構成及び動作例について説明する。これらの図において、１は基板位置決め機構であり、ＸＹテーブル２上にステージ３を固定し、ステージ３上に搬送レール４を設置した構造であり、搬送レール４は基板１０を一定位置にて固定保持するクランプ機構（図示せず）を有している。ステージ３は基板１０を下方から支え、図示しないヒータにより基板１０に予熱を与える等の役割をする。
【０００４】
前記ＸＹテーブル２上に搭載された搬送レール４の一方の側には供給用搬送コンベア５が、他方の側には排出用搬送コンベア６がそれぞれ配設されており、搬送レール４、供給用搬送コンベア５及び排出用搬送コンベア６はそれらの上面がほぼ同じ高さとなるように設定されている。
【０００５】
前記排出用搬送コンベア６は水平方向の直動ガイド７により水平方向に移動自在であり、水平方向（Ｘ方向）移動を可能にするためにアクチュエータ８が設けられている。
【０００６】
図５の基板切替え時、搬送レール４上の基板１０と供給用搬送コンベア５上の基板１０をプッシャー（図示せず）等の手段でそれぞれ移動させ（搬送レール４上の基板をコンベア６に排出し、コンベア５上の基板を搬送レール４上に移動させ）、基板を切替える。このとき、排出用搬送コンベア６は前記アクチュエータ８により搬送レール４に近接するように水平に移動し、搬送レール４から排出された基板を受け取る。
【０００７】
図６の基板切り替え後の位置決め動作時、搬送レール４上で、図示しないクランプ機構で固定された基板１０を、基板位置決め機構１はＸＹテーブル２の動作によって複数の処理ポイントへ移動し位置決めを行う。このとき、排出用搬送コンベア６は前記アクチュエータ８により搬送レール４から離間する向きに移動し、ＸＹテーブル２の動作によって移動した基板１０及び搬送レール４との干渉を防止する。
【０００８】
また、下記特許文献１には、薄板（基板）の供給取出し装置として、基板供給シリンダ及びポジショナ（ＸＹテーブルに相当）とその前後の移送手段（コンベアに相当）を持ち、移送手段を平行リンク機構を用いて上下させる構成が提案されている。これにより、基板の傷防止、供給取出しの高速化、ポジショナの自由空間（回避領域に相当）を広く取る等としている。
【０００９】
さらに、下記特許文献２には、ＸＹテーブルの動作時に、コンベアと当たらない位置に移載レールを退避させることが開示され、この場合、第１の方法はＸＹテーブル側にある移載レールを回転させ、第２の方法は移載レールを横移動にて設備奥側に退避させるようにしている。
【００１０】
【特許文献１】特公昭５９−１２５６５号公報
【特許文献２】実開昭６１−１８７６２９号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
基板処理設備の占有面積（フットプリント）は、▲１▼工程数、▲２▼設置エリア確保、▲３▼移設の容易さ等の理由により、小型化の要求が高い。
【００１２】
また、設備の処理能力を上げる手法の一つとして、基板位置決め機構（ＸＹテーブル）のストロークを大きく取ることによって大型基板或いは複数基板の処理に対応していく必要がある。ところが、図４乃至図６にて説明した従来装置では搬送機構（コンベア）は水平方向（Ｘ方向）へ回避動作を行うため、前記位置決め機構（ＸＹテーブル）のストローク量の増大に伴い、干渉を防止するために前記搬送機構（コンベア）の水平方向回避動作ストローク量も大きくなる。つまり前記位置決め機構（ＸＹテーブル）動作ストロークから前記搬送機構が水平方向へ回避する領域を確保し、且つ設備を小型化する（占有面積を小さくする）ことは難しい課題であった。
【００１３】
また、前記特許文献１ではコンベアに相当する移送手段の上下機構が平行リンク式であり、▲１▼リンクが２個所必要となるため、確保できる回避領域が小さく、▲２▼各支点に小さなガタがあると、ガタは支点の数の和となり、またリンクアームの長さに正比例するため、大きなガタとなりやすく、基板搬送基準の位置出しが難しい等の欠点があった。
【００１４】
さらに、前記特許文献２において、▲１▼ＸＹテーブル側にある移載レールを回転させる第１の方法は回避領域が小さいきらいがあり、▲２▼移載レールを設備奥側に退避させる第２の方法は水平方向への回避なので、ＸＹテーブルのＹ方向（基板搬送方向と同平面直角方向）については、図４乃至図６の従来装置のＸ方向と同様に回避スペースを大きくすることにより占有面積が大きくなる問題がある。
【００１５】
本発明は、上記の点に鑑み、できるだけ大きな基板を処理可能で、かつ設備の小型化、つまり占有面積の小型化を図ることのできる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【００１６】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、水平方向に移動して基板の位置決めを行う基板位置決め機構と、該基板位置決め機構に供給する又は当該基板搬送機構から排出される基板を搬送するための搬送機構とを備える基板搬送装置において、前記搬送機構を垂直方向に昇降自在に支持するとともに前記搬送機構を昇降駆動するアクチュエータを設けた構成としている。
【００１８】
前記基板搬送装置において、前記搬送機構は直動ガイドで垂直方向に昇降自在に支持されているとよい。
【００１９】
また、前記搬送機構が上昇位置にあるときは、前記基板位置決め機構は前記搬送機構の下方空間を含む可動範囲を有する構成とすることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る基板搬送装置の実施の形態を図面に従って説明する。
【００２１】
図１乃至図３で本発明に係る基板搬送装置の実施の形態の構成及び動作について説明する。これらの図において、１は基板位置決め機構であり、ＸＹテーブル２上にステージ３を固定し、ステージ３上に搬送レール４を設置した構造であり、搬送レール４は基板１０を一定位置にて固定保持するクランプ機構（図示せず）を有している。ステージ３は基板１０を下方から支え、図示しないヒータにより基板１０に予熱を与える等の役割をする。
【００２２】
前記ＸＹテーブル２上に搭載された搬送レール４の一方の側には供給用搬送コンベア５が、他方の側には排出用搬送コンベア６がそれぞれ配設されている。これらの供給用搬送コンベア５及び排出用搬送コンベア６は垂直方向に昇降自在である。すなわち、供給用搬送コンベア５は直動ガイド２０（直動ベアリング（商品名：ＬＭガイド）、直動シャフト（ボールブッシュ）等）で垂直方向に昇降自在に支持され、垂直方向（Ｚ方向）移動を可能にするためにアクチュエータ２１（エアシリンダ等）が設けられている。同様に、排出用搬送コンベア６は直動ガイド３０（直動ベアリング（商品名：ＬＭガイド）、直動シャフト（ボールブッシュ）等）で垂直方向に昇降自在に支持され、垂直方向（Ｚ方向）移動を可能にするためにアクチュエータ３１（エアシリンダ等）が設けられている。
【００２３】
なお、搬送レール４、供給用搬送コンベア５及び排出用搬送コンベア６は、図２のように供給用搬送コンベア５及び排出用搬送コンベア６が下降位置にあるとき、それらの上面がほぼ同じ高さとなるように設定されている。
【００２４】
図２の基板切替え時、搬送レール４上の基板１０と供給用搬送コンベア５上の基板１０をプッシャー（図示せず）等の手段で移動させ、基板を切替える。このとき、供給用搬送コンベア５及び排出用搬送コンベア６は、それらの上面が搬送レール４の上面と略同一となるよう前記アクチュエータ２１，３１が縮動することで下降位置となり、供給用搬送コンベア５から搬送レール４へ基板１０を送り出し、且つ搬送レール４から排出された基板を排出用搬送コンベア６で受け取る。
【００２５】
図３の基板切り替え後の位置決め動作時、搬送レール４上で、図示しないクランプ機構で固定された基板１０を、基板位置決め機構１はＸＹテーブル２の水平方向の移動動作によって複数の処理ポイントへ移動し位置決めを行う。このとき、供給用搬送コンベア５及び排出用搬送コンベア６は前記アクチュエータ２１，３１の伸動により搬送レール４よりも高い位置に上昇し、供給用搬送コンベア５及び排出用搬送コンベア６の下方空間が前記基板位置決め機構１の可動範囲に含まれるように設定する。すなわち、ＸＹテーブル２の動作によって移動する基板１０及び搬送レール４が前記下方空間に入り込めるようにする。これにより、ＸＹテーブル２の動作に伴い移動した基板１０及び搬送レール４と各コンベア５，６との干渉を防止できる。
【００２６】
この実施の形態によれば、次の通りの効果を得ることができる。
【００２７】
（１）  水平方向に移動して基板１０の位置決めを行う基板位置決め機構１と、これに基板１０を供給する供給用搬送コンベア５及び基板位置決め機構１から排出された基板１０を受け取る排出用搬送コンベア６とを備える構成において、供給用搬送コンベア５及び排出用搬送コンベア６を垂直方向に昇降させることにより、基板位置決め機構１のＸＹ方向の移動の妨げとならないように回避できる。このため、基板位置決め機構１の可動範囲を拡大しても設備の占有面積を増加させる必要がない。
【００２８】
（２）  供給用搬送コンベア５及び排出用搬送コンベア６は直動ガイド２０，３０で垂直方向に昇降自在に支持されていて、ＸＹテーブル２を含む基板位置決め機構１に対して上下方向に動いて回避するので、前記特許文献１のリンク機構で移送手段を昇降させるものに比較して、リンクが無いためＸＹテーブル２を含む基板位置決め機構１の可動範囲を大きくとれ（回避領域をより広くとることができ）、またガタの影響を最小にできる。また、前記特許文献２のように移載レールを回転もしくは水平方向に移動させるものに比較した場合でも、基板位置決め機構１の可動範囲を大きくとれる。
【００２９】
なお、上記実施の形態では基板位置決め機構１がＸＹテーブル２を有する場合を例示したが、基板位置決め機構１がＸ方向にのみ移動するＸテーブルを有する場合にも本発明は適用可能であり、Ｘテーブル又はＸＹテーブルに加えて回転機能を有するθテーブルを更に有する場合にも適用できることは明らかである。
【００３０】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る基板搬送装置によれば、基板位置決め機構の動作領域を搬送機構が設備上下方向に退避することにより、従来の水平方向に退避する構成に比較して、大型基板或いは複数基板に対応した可動範囲の大きな基板位置決め機構であっても占有面積（フットプリント）の小さな基板処理設備を実現可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板搬送装置の実施の形態を示す概略正面図である。
【図２】前記実施の形態において、基板切替え時を示す概略正面図である。
【図３】前記実施の形態において、基板切替え後の位置決め動作時を示す概略正面図である。
【図４】基板搬送装置の従来例を示す概略正面図である。
【図５】前記従来例において、基板切替え時を示す概略正面図である。
【図６】前記従来例において、基板切替え後の位置決め動作時を示す概略正面図である。
【符号の説明】
１  基板位置決め機構
２  ＸＹテーブル
３  ステージ
４  搬送レール
５  供給用搬送コンベア
６  排出用搬送コンベア
７，２０，３０  直動ガイド
８，２１，３１  アクチュエータ
１０  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004221455.tif 000006
【図５】
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【図６】
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