(57)【要約】【課題】レーザ光のビーム品質劣化を十分防止できる固体レーザ装置及びそのビーム品質改善方法を提供すること。【解決手段】本発明は、ＬＤバー７からの励起光でロッド２を励起し、ロッド２で発生するレーザ光を共振器で共振させて出射する固体レーザ装置１において、各ＬＤバー７から出射されロッド２で反射される各光を収集する複数の光学系８と、光学系８により収集される各光を測定する光出力測定手段１９と、各ＬＤバー７に駆動電流を供給する電流供給手段と、光出力測定手段１９で測定される複数の光出力の、基準光出力からの変化量ΔＰを算出する第１算出手段１７、ΔＰ及びΔＰをゼロにするための電流変化量ΔＩの対応関係に基づきΔＩを算出する第２算出手段１８を備え、ＬＤバー７に供給される駆動電流を、算出されたΔＩだけ変化するよう電流供給手段を制御する制御手段１６とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の半導体レーザ光源から発せられる励起光でレーザロッドを励起し、前記レーザロッドで発生するレーザ光を共振器で共振させて出射する固体レーザ装置において、
前記複数の半導体レーザ光源から出射され前記レーザロッドで反射される光をそれぞれ収集する複数の収集光学系と、
前記複数の収集光学系により収集される光の出力をそれぞれ測定する光出力測定手段と、
前記複数の半導体レーザ光源のそれぞれに駆動電流を供給する電流供給手段と、
前記光出力測定手段で測定される複数の光出力に基づいて前記電流供給手段を制御し、前記複数の半導体レーザ光源に供給される駆動電流をそれぞれ調整する制御手段とを備えており、
前記制御手段は、
前記光出力測定手段で測定される複数の光出力の、基準光出力からの光出力変化量を算出する第１算出手段と、
これら複数の光出力変化量と、光出力変化量及びその光出力変化量をゼロにするための電流変化量の対応関係とに基づき、前記複数の光出力変化量に対応する電流変化量をそれぞれ算出し、前記複数の半導体レーザ光源のそれぞれに供給される駆動電流を、前記複数の半導体レーザ光源に対応して算出される電流変化量だけ変化させるよう前記電流供給手段を制御する第２算出手段とを備える、
ことを特徴とする固体レーザ装置。
【請求項２】
前記レーザロッドの長手方向に沿って延び且つ前記レーザロッドの周囲に等間隔に配置される複数の半導体レーザアレイを備えており、前記複数の半導体レーザ光源が、前記複数の半導体レーザアレイに含まれることを特徴とする請求項１に記載の固体レーザ装置。
【請求項３】
前記収集光学系が、内面に設けられた光反射材を有し、前記半導体レーザ光源から出射されて前記レーザロッドで反射される光を収集する中空状の光コレクタを有することを特徴とする請求項１又は２に記載の固体レーザ装置。
【請求項４】
複数の半導体レーザ光源から発せられる励起光でレーザロッドを励起し、前記レーザロッドで発生するレーザ光を共振器で共振させて出射する固体レーザ装置において、前記レーザ光のビーム品質を改善するビーム品質改善方法において、
前記複数の半導体レーザ光源のそれぞれに駆動電流を供給し、前記複数の半導体レーザ光源から前記レーザロッドにそれぞれ励起光を出射する励起光出射工程と、
前記複数の半導体レーザ光源から出射されて前記レーザロッドで反射される光出力をそれぞれ測定する光出力測定工程と、
前記光出力測定工程で測定される複数の光出力の、基準光出力からの光出力変化量をそれぞれ算出する第１算出工程と、
前記第１算出工程で算出される光出力変化量と、光出力変化量及びこの光出力変化量をゼロにするための電流変化量の対応関係とに基づき、前記第１算出工程で算出される光出力変化量に対応する電流変化量をそれぞれ算出する第２算出工程と、
前記複数の半導体レーザ光源のそれぞれに供給される駆動電流を、前記第２算出工程で算出される電流変化量だけ変化させる電流供給工程と、
を含むことを特徴とするビーム品質改善方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザ光源によってレーザロッドを励起することによりレーザ光を出射する固体レーザ装置及びそのビーム品質改善方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
固体レーザ装置として、半導体レーザ光源から発せられる励起光によってレーザロッドを励起し、レーザ光を発生するものが知られている。このような固体レーザ装置は、一般に高出力であるため、金属加工、材料の熱処理、医療などの様々な分野で応用されている。
【０００３】
この固体レーザ装置においては通常、レーザロッドの長手方向に沿って高出力の半導体レーザ光源が複数配置される。ところが、複数の半導体レーザ光源のうち数個が経時的に劣化して出力低下を起こす場合があり、その場合には、ロッドのその部分だけ熱の発生量が小さくなり、ロッドにおける屈折率分布が変化して熱レンズの焦点距離が変化するため、固体レーザ装置からは、基本モード発振のみならず、高次モード発振までもが起こるようになり、ビーム品質が経時的に悪くなるおそれがある。特に、この固体レーザ装置において、高出力（数百Ｗから数ｋＷ）の半導体レーザ光源が使用される場合には、熱レンズ効果が顕著に現れる。このことは、ビーム品質に対する要求の厳しい微細加工用の高出力固体レーザ装置に対しては重大な問題となる。
【０００４】
このようなビーム品質の改善については、例えば特開２０００−２６９５７６号公報に記載されている。同公報に記載の固体レーザ装置は、図７に示すように、ロッド１０１の長手方向に沿って配置された複数の半導体レーザ１０２から励起光を照射し、ロッド１０１を励起してレーザ光を発生させる。発生したレーザ光は、全反射鏡１０３及び出力鏡１０４で構成される共振器を出た後、モニタ用ミラー１０５で反射され、モニタ光学系１０６を経てモニタ用ＣＣＤカメラ１０７で撮像される。そして、ＣＣＤカメラ１０７で撮像されたレーザ光に基づき、出力・波長制御装置１０８により、各半導体レーザ１０２に接続された可変抵抗１０９の抵抗値が変更され、レーザ光のビーム品質の改善が図られている。なお、図７において、符号１１０は、半導体レーザ用電源を表す。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−２６９５７６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述した従来の公報に記載の固体レーザ装置１００は、以下に示す課題を有する。
【０００７】
即ち、固体レーザ装置１００は、ロッド１０１から出射されるレーザ光をＣＣＤカメラ１０７によりモニタし、ＣＣＤカメラ１０７で撮像されたレーザ光に基づいて可変抵抗１０９の抵抗値を変更する。このため、複数の半導体レーザ１０２のうちいずれの半導体レーザ１０２が劣化したかを的確に特定することができない。従って、可変抵抗１０９の抵抗値を変更しても、ロッド１０１において熱レンズ効果を完全に補正できず、基本モード発振のみならず、高次モード発振も起こり、レーザビームの品質も劣化することとなる。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、レーザ光のビーム品質劣化を十分に防止できる固体レーザ装置及びそのビーム品質改善方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、複数の半導体レーザ光源から発せられる励起光でレーザロッドを励起し、レーザロッドで発生するレーザ光を共振器で共振させて出射する固体レーザ装置において、複数の半導体レーザ光源から出射されレーザロッドで反射される光をそれぞれ収集する複数の収集光学系と、複数の収集光学系により収集される光をそれぞれ測定する光出力測定手段と、複数の半導体レーザ光源のそれぞれに駆動電流を供給する電流供給手段と、光出力測定手段で測定される複数の光出力に基づいて電流供給手段を制御し、複数の半導体レーザ光源に供給される駆動電流を調整する制御手段とを備えており、制御手段は、光出力測定手段で測定される複数の光出力の、基準光出力からの光出力変化量を算出する第１算出手段と、これら複数の光出力変化量と、光出力変化量及びその光出力変化量をゼロにするための電流変化量の対応関係とに基づき、複数の光出力変化量に対応する電流変化量をそれぞれ算出し、複数の半導体レーザ光源に供給される駆動電流を、複数の半導体レーザ光源に対応して算出される電流変化量だけ変化させるよう電流供給手段を制御する第２算出手段とを備えることを特徴とする。
【００１０】
この固体レーザ装置によれば、電流供給手段により、複数の半導体レーザ光源のそれぞれに電流が供給されると、複数の半導体レーザ光源から励起光が発せられる。この励起光によりレーザロッドが励起され、レーザロッドからレーザ光が発生し、このレーザ光は共振器により共振されて出射される。一方、複数の半導体レーザ光源から出射された各励起光の一部は、レーザロッドで反射された後、複数の収集光学系により収集され、光出力測定手段により、複数の収集光学系により収集された光の出力がそれぞれ測定される。そして、第１算出手段により、光出力測定手段で測定される複数の光出力の、基準光出力からの光出力変化量がそれぞれ算出される。その後、第２算出手段により、第１算出手段で算出される複数の光出力変化量と、光出力変化量及びこの光出力変化量をゼロにするための電流変化量の対応関係とに基づいて、算出される光出力変化量に対応する電流変化量がそれぞれ算出される。そして、制御手段により電流供給手段が制御され、電流供給手段により、複数の半導体レーザ光源のそれぞれに供給される駆動電流が、上記のようにして算出された電流変化量だけ変化される。このため、複数の半導体レーザ光源のうちの一部が経時的に劣化し、その半導体レーザ光源から発せられる励起光の出力が低下しても、その劣化した半導体レーザ光源における励起光の出力が一定に維持される。従って、熱によるレーザロッド内での屈折率変化、即ち熱レンズの焦点距離のズレが十分に防止される。
【００１１】
上記固体レーザ装置は、レーザロッドの長手方向に沿って延び且つレーザロッドの周囲に等間隔に配置される複数の半導体レーザアレイを備えており、複数の半導体レーザ光源が、前記複数の半導体レーザアレイに含まれることが好ましい。
【００１２】
この場合、複数の半導体レーザアレイがレーザロッドの周囲に等間隔に配置されるため、励起光がレーザロッドに均等に照射されることになり、熱によるレーザロッド内での屈折率変化が均一になり、熱レンズによる収差がより十分に低減される。
【００１３】
上記固体レーザ装置は、収集光学系が、内面に設けられた光反射材を有し、半導体レーザ光源から出射されてレーザロッドで反射される光を収集する中空状の光コレクタを有することが好ましい。
【００１４】
この固体レーザ装置によれば、半導体レーザ光源から発せられる励起光がスリットを通してレーザロッドに照射される。そして、レーザロッドで反射された励起光の一部は、光コレクタにより収集される。このとき、光コレクタはその内面に光反射材を有するため、光コレクタに入射される光を効率よく収集することができる。
【００１５】
また本発明は、複数の半導体レーザ光源から発せられる励起光でレーザロッドを励起し、レーザロッドで発生するレーザ光を共振器で共振させて出射する固体レーザ装置においてレーザ光のビーム品質を改善するビーム品質改善方法において、複数の半導体レーザ光源のそれぞれに駆動電流を供給し、複数の半導体レーザ光源からレーザロッドにそれぞれ励起光を出射する励起光出射工程と、複数の半導体レーザ光源から出射されてレーザロッドで反射される光をそれぞれ測定する光出力測定工程と、光出力測定工程で測定される複数の光出力、基準光出力からの光出力変化量をそれぞれ算出する第１算出工程と、第１算出工程で算出される光出力変化量と、光出力変化量及びこの光出力変化量をゼロにするための電流変化量の対応関係とに基づき、第１算出工程で算出される光出力変化量に対応する電流変化量をそれぞれ算出する第２算出工程と、複数の半導体レーザ光源のそれぞれに供給される駆動電流を、第２算出工程で算出される電流変化量だけ変化させる電流供給工程とを含むことを特徴とする。
【００１６】
このビーム品質改善方法によれば、複数の半導体レーザ光源のそれぞれに電流が供給されると、複数の半導体レーザ光源から励起光が発せられる。この励起光によりレーザロッドが励起され、レーザロッドからレーザ光が発生し、このレーザ光は共振器により共振されて出射される。一方、複数の半導体レーザ光源から出射された各励起光の一部はそれぞれ、レーザロッドで反射された後、その光出力が測定される。そして、測定される複数の光出力の、基準光出力からの光出力変化量がそれぞれ算出された後、算出される複数の光出力変化量と、光出力変化量及びその光出力変化量をゼロにするための電流変化量の対応関係とに基づいて、算出された光出力変化量に対応する電流変化量がそれぞれ算出される。そして、複数の半導体レーザ光源のそれぞれに供給される駆動電流が、上記のようにして算出された電流変化量だけ変化される。このため、複数の半導体レーザ光源のうちの一部が経時的に劣化し、その半導体レーザ光源から発せられる励起光の出力が低下しても、その劣化した半導体レーザ光源における励起光の出力が一定に維持される。従って、熱によるレーザロッド内での屈折率変化、即ち熱レンズの焦点距離のズレが十分に防止される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００１８】
図１は、本発明の固体レーザ装置の一実施形態を示す斜視図である。図１に示すように、固体レーザ装置１はレーザロッド２を備えている。レーザロッド２は、レーザ光を発生することが可能な物質で構成されていれば特に限定されず、例えばＮｄ：ＹＡＧ結晶などで構成される。
【００１９】
レーザロッド２の両端面側にはそれぞれ反射ミラー（図示せず）が配置されている。これら反射ミラーは共振器として機能し、レーザロッド２で発生するレーザ光を共振させてレーザ発振を起こさせる。
【００２０】
レーザロッド２は、円筒状の冷却管３の内側にレーザロッド２と同心状に設けられている。冷却管３は、その内部にレーザロッド２を冷却する冷却水を通すためのものであり、後述するレーザダイオードバー（以下、ＬＤバーという）７から発せられる励起光に対して透明であり且つ耐圧性を有する材質、例えば石英ガラスで構成されている。冷却管３の外周には、レーザロッド２から発せられるレーザ光を反射するリフレクタ４が設けられている。リフレクタ４は、３つのリフレクタ４ａ，４ｂ，４ｃで構成され、隣り合うリフレクタ４ａ〜４ｃ同士間にはそれぞれ励起光入射スリット５が形成されている。
【００２１】
リフレクタ４の外周には、半導体レーザアレイとしてのレーザダイオードレーザアレイ（以下、ＬＤアレイという）６が３個配置されている。各ＬＤアレイ６は、励起光入射スリット５に対向して配置されている。各ＬＤアレイ６においては、図２に示すように、発光面６ａに、レーザロッド２を励起する励起光を発する６個のＬＤバー（半導体レーザ光源）７が設けられ、６個のＬＤバー７は、レーザロッド２の長手方向に沿って一列に配列されている。なお、ＬＤバー７としては、例えばピーク波長が８０８ｎｍの励起光を発するものが用いられる。
【００２２】
各ＬＤバー７には、図示しない電源が電気的に接続され、この電源により各ＬＤバー７に一定の電圧を供給することが可能となっている。またＬＤバー７には可変抵抗８が並列に接続され、可変抵抗値を調整することによりＬＤバー７に供給する電流を調整することが可能となっている。従って、ＬＤアレイ６の６個のＬＤバー７から励起光が発せられると、この励起光は、励起光入射スリット５を通ってレーザロッド２に照射され、レーザロッド２を励起させる。これにより、レーザロッド２内でレーザ光が発生し、このレーザ光が反射ミラーにより共振され、レーザ発振が起こるようになる。なお、可変抵抗８及び電源により電流供給手段が構成されている。
【００２３】
ＬＤアレイ６は、レーザロッド２の周囲において等間隔に配置されることが好ましい。この場合、３個のＬＤアレイ６がレーザロッド２の周囲に等間隔に配置されるため、励起光がレーザロッド２に均等に照射されることになり、熱によるレーザロッド２内での屈折率変化が均一になり、熱レンズによる収差がより十分に低減される。
【００２４】
また図１に示すように、固体レーザ装置１は、レーザロッド２から反射される光を収集する光コレクタ９を備えている。光コレクタ９は、１個のＬＤアレイ６につき、ＬＤアレイ６の６個のＬＤバー７に対応して６個設けられている。
【００２５】
図３に示すように、各光コレクタ９はコレクタ本体１０を備えている。コレクタ本体１０は貫通穴１１を有し、コレクタ本体１０の一端は第１開口１２となっており、他端は第２開口１３となっている。そして、第１開口１２の面積は、より多くの光を収集できるよう第２開口１３の面積より大きくなっている。また光コレクタ９に到達する光の強度は小さいため、コレクタ本体１０の内面には、集光量を増大させるために光反射材１４がコーティングされている。光反射材１４としては、例えば銀が用いられ、銀膜は例えば銀鏡反応により形成される。光コレクタ９は、ＬＤバー７からレーザロッド２への励起光の照射が遮断されないよう、光コレクタ９によってリフレクタ４ａ〜４ｃの各表面の縁部近傍に配置されており、第１開口１２は、励起光入射スリット５側に向けられている。
【００２６】
コレクタ本体１０の第２開口１３側には、光ファイバ１５の一端が光学的に接続され、光ファイバ１５の他端には、光検出器（光出力測定手段）が光学的に接続されている。光検出器は、各光ファイバ１５から入射される光出力を別個に測定可能なものであればよく、このような光検出器としては、例えば、ホトダイオードが用いられる。なお、本実施形態では、光コレクタ８と光ファイバ１５が収集光学系として機能する。
【００２７】
上記構成により、ＬＤバー７から出射される励起光の一部は、励起光入射スリット５を通ってレーザロッド２の側面を照射される。このとき、レーザロッド２の側面からの反射光は、励起光入射スリット５を通り、光コレクタ９の第１開口１２から入射され、コレクタ本体１０の貫通穴１１を通り、第２開口１３及び光ファイバ１５を経て光検出器へと導かれる。そして、光検出器において、各光ファイバ１５から入射される光出力がそれぞれ測定される。
【００２８】
なお、光コレクタ９には、ＬＤバー７から出射されてレーザロッド２で反射された光だけではなく、レーザロッド２の蛍光の一部もリフレクタ４の励起光入射スリット５を経由して光コレクタ９に入る。この蛍光は雑信号となるため、これを遮断すべく、１８個の信号を光検出器に伝送する前に、図４に示すように、レーザ光の発振波長である１０６４ｎｍ近傍で透過率の低い透過スペクトルを持つフィルタが設置されることが好ましい。フィルタは、例えば光検出器と光ファイバ１５との間に設置されるが、光コレクタ９の第１開口１２、第２開口１３に設置されても構わない。
【００２９】
更に固体レーザ装置１は、光検出器で測定される１８個の光出力に基づいて各ＬＤバー７に接続された可変抵抗８の抵抗値を制御し、ＬＤバー７に供給する電流を調整する制御装置１６を備えている。
【００３０】
ここで、制御装置１６について図５を用いて説明する。
【００３１】
図５に示すように、制御装置１６は、第１算出手段１７と、第２算出手段１８とを備えている。第１算出手段１７は、光検出器１９で測定される１８個の光出力Ｐ１と、記憶部２０に格納された初期光出力（基準光出力）Ｐ０とを比較し、１８個の光出力Ｐ１の初期光出力Ｐ０からの光出力変化量ΔＰをそれぞれ算出する。初期光出力Ｐ０とは、ＬＤアレイ６の製造直後のＬＤバー７からの励起光出力のことをいう。なお、算出される１８個の光出力変化量ΔＰは記憶部２０に記憶される。一方、第２算出手段１８は、第１算出手段１７で算出され記憶部２０に記憶された１８個の光出力変化量ΔＰと、ΔＰ及びそのΔＰをゼロにするための電流変化量ΔＩの対応関係とを比較し、１８個の光出力変化量ΔＰに対応する電流変化量ΔＩをそれぞれ算出する。そして、第２算出手段１８は、１８個のＬＤバー７に供給される駆動電流が、第２算出手段１８で算出される電流変化量ΔＩだけ変化するように各ＬＤバー７に接続された可変抵抗値を制御する。
【００３２】
次に、上記固体レーザ装置１におけるレーザ光のビーム品質改善方法について図６のフローチャートを用いて説明する。
【００３３】
まず３個のＬＤアレイ６における１８個のＬＤバー７のそれぞれに駆動電流を供給し（Ｓ１）、１８個のＬＤバー７から励起光を出射させる。すると、励起光は、励起光入射スリット５を通り、冷却管３を透過してレーザロッド２の側面に出射される（励起光出射工程）。これにより、レーザロッド２が励起され、レーザロッド２からレーザ光が発せられる。このとき、反射ミラーの曲率と共振器長を調整することによって基本モードのレーザ発振が得られる。
【００３４】
一方、ＬＤアレイ６から発せられる励起光の一部は、レーザロッド２の側面で反射された後、冷却管３を透過し、励起光入射スリット５を経て光コレクタ９に入射される。光コレクタ９においては、コネクタ本体１０の第１開口１２から励起光が入射し、第２開口１３まで導かれ、光ファイバ１５を経て光検出器へと導かれる。ここで、光検出器は、各光ファイバ１５から入射される光出力をそれぞれ測定可能であるため、各ＬＤバー７に対応した光出力Ｐ１がそれぞれ測定されることになる（光出力測定工程、Ｓ２）。
【００３５】
こうして測定された１８個の光出力Ｐ１は制御装置１６に入力される。そして、制御装置１６において、第１算出手段１７により、１８個の光出力Ｐ１と、記憶部２０に予め記憶された初期光出力Ｐ０とが比較され、１８個の光出力Ｐ１の初期光出力Ｐ０からの光出力変化量ΔＰがそれぞれ算出される（第１算出工程、Ｓ３）。
【００３６】
そして、第２算出手段１８により、上記のようにして算出される光出力変化量ΔＰと、記憶部２０に格納された光出力変化量ΔＰ及びそのΔＰをゼロにするための電流変化量ΔＩの対応関係とに基づいて、各ＬＤバー７への電流変化量ΔＩが算出される（第２算出工程、Ｓ４）。
【００３７】
そして、制御装置１６により、対応するＬＤバー７に接続された可変抵抗８の値が制御され、ＬＤバー７に供給される駆動電流が、上記のようにして算出された電流変化量ΔＩだけ変化される（電流供給工程、Ｓ５）。そして、ΔＰがゼロになると、ＬＤバー７から発せられる励起光の光出力が一定に維持されるようになり、熱によるレーザロッド２内での屈折率変化、即ち熱レンズの焦点距離のズレが十分に防止され、高次モードのレーザ発振が十分に防止される。よって、固体レーザ装置１により、基本モードのみのレーザ発振が起こり、レーザ光のビーム品質の劣化が十分に防止される。更には、高出力ＬＤバー７の劣化によって引き起こされる固体レーザ装置１の寿命の短縮化を十分に防止できる。一方、ΔＰがゼロになっていない場合には再びＳ２に戻って１８個の光出力Ｐ１を測定し（Ｓ６）、上記の操作を繰り返す。
【００３８】
次に、ある光出力変化量ΔＰに対しそのΔＰをゼロにするための電流変化量ΔＩの算出方法について説明する。
【００３９】
まずＬＤアレイ６の６個のＬＤバー７のうち１個のＬＤバー７に駆動電流を供給し、ＬＤバー７から励起光を出射させる。励起光の一部は、レーザロッド２の側面で反射され、光コレクタ９で収集され、光ファイバ１５を経て光検出器に入射される。そして、その光出力が光検出器で測定される。このとき測定される光出力をＰ０とする。またこのとき、ＬＤバー７に供給されている駆動電流をＩ０とする。
【００４０】
次に、ｔ時間、例えば２０００時間経過後に上記と同様にして光検出器で光出力を測定する。このとき測定される光出力をＰ１とし、Ｐ１−Ｐ０をΔＰとする。
【００４１】
次に、ＬＤバー７に接続された可変抵抗８を調整し、上記ΔＰがゼロになるように、ＬＤバー７に供給される駆動電流を調整し、ΔＰがゼロになるときの電流をＩ１とし、Ｉ１−Ｉ０をΔＩとする。
【００４２】
以後、ｔの値を変えて、ΔＰをゼロにするためのΔＩを算出する。こうしてΔＰとΔＩとの対応関係を求めることができる。
【００４３】
本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では１つのＬＤアレイ６につきＬＤバー７が６個設けられているが、ＬＤバー７の数は６個に限定されるものではなく、レーザロッド２の長さ等に応じて適宜変更することができる。またＬＤアレイ６の数も３個に限られるものではなく、４個以上であってもよい。
【００４４】
また上記実施形態では、光コレクタ９と光ファイバ１５によって収集光学系が構成されているが、収集光学系は、光ファイバ１５又は光コレクタ９のみによって構成されてもよい。
【００４５】
更に上記実施形態では、制御装置１６を用いて、１８個の光出力変化量から、ＬＤバー７からの励起光出力を一定にする電流変化量が算出されているが、制御装置１６は必ずしも必要ではない。操作者が、１８個の光出力変化量ΔＰのそれぞれに対応する電流変化量ΔＩを、予め作成された光出力変化量ΔＰ及びそのΔＰをゼロにするための電流変化量ΔＩの対応関係に基づいて算出するようにしてもよい。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の固体レーザ装置及びそのビーム品質改善方法によれば、複数の半導体レーザ光源が経時的に劣化し、複数の半導体レーザ光源のうちの一部から発せられる励起光の出力が低下しても、その半導体レーザ光源における励起光の出力が一定に維持される。従って、熱によるレーザロッド内での屈折率変化、即ち熱レンズの焦点距離のズレが十分に防止され、レーザ光のビーム品質劣化を十分に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る固体レーザ装置の一実施形態の主要部を示す斜視図である。
【図２】半導体レーザアレイの発光面を示す正面図である。
【図３】収集光学系の一例を示す分解斜視図である。
【図４】収集光学系を構成するフィルタの透過スペクトルを示すグラフである。
【図５】主として制御装置の構成を示すブロック図である。
【図６】本発明のビーム品質改善方法の一実施形態を示すフローチャートである。
【図７】従来の固体レーザ装置の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
１…固体レーザ装置、２…レーザロッド、４…リフレクタ、６…ＬＤアレイ（半導体レーザアレイ）、７…ＬＤバー（半導体レーザ光源）、８…光コレクタ（収集光学系）、１４…光反射材、１５…光ファイバ（収集光学系）、１６…制御手段、１７…第１算出手段、１８…第２算出手段、１９…光検出器（光出力測定手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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