(57)【要約】【課題】高温プロセスを精度良く制御すべく、圧力の有無に関わらず室温域から２０００℃以上の高温域までの温度を連続で安定して精度良く測定し得る高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置を提供する。【解決手段】高融点金属炭化物からなる棒状部材２を炭素系材料からなる底付きパイプ状部材３の内部に装入すると共に底部７において結合し温度測定部とする。【選択図】　　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高融点金属炭化物からなる棒状部材と炭素系材料からなる棒状部材の一端を何れかの材料からなる結合部材を用いて結合し温度測定部とすることを特徴とする高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置。
【請求項２】
高融点金属炭化物からなる棒状部材を炭素系材料からなる底付きパイプ状部材の内部に装入すると共に底部において結合し温度測定部とすることを特徴とする高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置。
【請求項３】
高融点金属炭化物が、タングステン、タンタル、チタン、ハフニウム、ニオブ、ジルコニウムの何れか１種の炭化物である請求項１又は２に記載の高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置。
【請求項４】
高融点金属炭化物が端部にオネジが形成され、一方結合部材にメネジが形成されてネジ結合されてなる請求項１又は３に記載の高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置。
【請求項５】
高融点金属炭化物が端部にオネジが形成され、一方底付きパイプ状部材の底部にメネジが形成されてネジ結合されてなる請求項２又は３に記載の高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置。
【請求項６】
高融点金属炭化物が、高融点金属棒材を炭素粉末で覆い、全体を高温状態で圧縮することにより炭化して製造されるとともに、その外周部を研削加工し、更に端部に超音波加工もしくは放電加工によりオネジが形成されたものである請求項４又は５に記載の高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置。
【請求項７】
高融点金属棒材を炭素粉末で覆い、全体を高温状態で圧縮することにより、高融点金属棒材を炭化させ、ついで、外周部を研削加工するとともに、端部に超音波加工もしくは放電加工によりオネジを形成し、このオネジに底部にメネジが加工して施された炭素系材料からなる底付きパイプ状部材を結合することによって熱電対形に形成することを特徴とする高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置及びその装置の製造方法に関し、詳細には２０００℃を超えるような高温度の測定に適した温度測定技術に関し、特に熱間等方圧（ＨＩＰ）装置に代表されるような縦形の電気炉構造を有する装置における温度測定を室温から最高温度まで連続的に行うことを可能とする温度測定技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
工業的に利用されている高温プロセスでは、そのプロセスの成否は、温度測定の精度、再現性などの信頼性に大きく依存している。工業的な温度測定技術としては、近年は、温度測定精度と簡便さから熱電対が使用されることが多いが、２０００℃を超えるような高温域では、唯一使用可能な熱電対が、タングステン−レニウム（Ｗ−Ｒｅ）系熱電対に限定されているのが現状である。しかしながら、このＷ−Ｒｅ系熱電対の市販品では熱電対素線の線径が０．５ｍｍ以外は一般的でなく、この細い熱電対素線の製造が線引き法を使用していることに起因して、１６００℃以上の高温域で使用すると熱電対素線の結晶粒の粗大化に伴う脆化現象により非常に破損しやすくなって寿命が短くなり、実際に使用途中でしばしば断線するという問題を有している。また、このＷ−Ｒｅ系熱電対も実質上２３００℃以上の高温では温度測定ができないという根本的な問題を有している。
【０００３】
上記Ｗ−Ｒｅ系熱電対の線引き法による細い熱電対素線に伴う破断の問題点を解消するため、太径（３〜５ｍｍ）のロッド状のタングステン（Ｗ）及びタングステン−レニウム（Ｗ−Ｒｅ）系材料を用いて、これら２本のロッドの一端をいずれかの金属からなるボタン状の結合部材を用いてネジ構造によって結合するとともに、全体を高融点金属又は窒化硼素（ＢＮ）等の耐熱材料からなるシースの中に収納した構造を採用するＷ−Ｒｅ系熱電対が提案（特公平３−１７０７５号公報参照）され、２２００℃位までの温度域での操業が可能なＨＩＰ装置用の熱電対として用いられている。この熱電対は、２２００℃までの温度域においては工業上問題が無い程度の期間、安定に使用できることが実証され、主として窒化ケイ素セラミックスのＨＩＰ処理等に用いられている。しかし、２２００℃を超える高温では、長期間の使用には安定性の点で、まだ問題を残しているのが実状である。
【０００４】
一方、炭化硼素焼結体ロッドと黒鉛底付きパイプを上端部で差込構造により結合した熱電対が、ＥＳＫ（Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｓｃｈｍｅｌｚｗｅｒｋ　Ｋｅｍｐｔｅｎ）社により販売されている。この熱電対も常温からかなりの高温域まで温度測定ができるものの、熱起電力の安定性の問題および、使用温度の上限が高々２３００℃弱であることから、２３００℃の連続的な温度測定には不十分という問題を残している。また、この炭化硼素焼結体と黒鉛を組合わせた熱電対では、一方の電極材料として炭化硼素焼結体が使用されているが、焼結体の密度が１００％ではないために、例えばＨＩＰ装置で２０００℃以上の高温度測定に使用すると、さらに焼結が進んで、炭化硼素焼結棒材の長さが短くなるという問題が経験されている。これは、高純度の炭化物の多くが、高融点であるために、焼結助剤を添加しないと通常の焼結法では高密度焼結ができないにもかかわらず、熱起電力の安定性確保には、焼結助剤のような添加物の使用が大きな影響を与えるため、焼結助剤の使用が許容されないことに起因している。
【０００５】
上述のような状況から、２０００℃を超えるような温度域での処理プロセスに用いられる装置、例えば高温の焼結炉やホットプレス装置及び一部のＨＩＰ装置では、放射光を利用した二色温度計等の光学的な測温技術が使用されることが多いのが実状である。しかしながら、この光学的な測温技術の場合、放射光の強度が強くなる１０００乃至１１００℃以上の高温でなければ十分な温度精度が得られず、実質上このような温度域以上でなければ使用できないという問題を有している。したがって、実際には、この温度域以下の温度では測定可能な温度測定装置を用い、例えば電気炉の場合には電力を所定のプログラムにしたがって投入して光学的測温装置からの出力が検知される１０００乃至１１００℃以上の温度域でこの光学的な温度測定装置に温度制御装置の入力を切替えて温度制御するという手法が取られており、非常に使いにくいというのが実状である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、工業的に利用されている高温プロセスにおける温度測定技術として、ロッド状の電極材を用いたＷ−Ｒｅ系熱電対や炭化硼素焼結体と黒鉛を組合わせた熱電対あるいは光学的測温装置が知られているが、Ｗ−Ｒｅ系熱電対や炭化硼素焼結体と黒鉛を組合わせた熱電対では、２０００℃程度の高温までは温度測定が可能であるが、２０００℃を超え２３００℃以上ともなると安定した温度測定が期待できなくなる。その上、後者の炭化硼素焼結体と黒鉛を組合わせた熱電対の場合には、ＨＩＰ処理のように圧力がかかる処理装置に適用した場合には、さらに焼結が進んで、炭化硼素焼結棒材の長さが短くなるという問題が懸念される。一方、光学的測温装置では、１０００乃至１１００℃以上の高温においては十分な温度精度が得られるものの、逆に１０００℃未満では十分な温度測定精度が期待し得なくなる。
【０００７】
そこで、本発明は、上記の問題点を解消するためになしたものであって、その目的は、高温プロセスを精度良く制御すべく、圧力の有無に関わらず室温域から２０００℃以上の高温域までの温度を連続で安定して精度良く測定し得る高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置及びその装置の製造方法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は次の如き構成となっている。すなわち、請求項１に係る発明は、高融点金属炭化物からなる棒状部材と炭素系材料からなる棒状部材の一端を何れかの材料からなる結合部材を用いて結合し温度測定部とする高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置である。
【０００９】
請求項２に係る発明は、高融点金属炭化物からなる棒状部材を炭素系材料からなる底付きパイプ状部材の内部に装入すると共に底部において結合し温度測定部とする高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置である。
【００１０】
請求項３に係る発明は、高融点金属炭化物が、タングステン、タンタル、チタン、ハフニウム、ニオブ、ジルコニウムの何れか１種の炭化物である請求項１又は２に記載の高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置とするものである。
【００１１】
請求項４に係る発明は、高融点金属炭化物が端部にオネジが形成され、一方結合部材にメネジが形成されてネジ結合されてなる請求項１又は３に記載の高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置とするものである。
【００１２】
請求項５に係る発明は、高融点金属炭化物が端部にオネジが形成され、一方底付きパイプ状部材の底部にメネジが形成されてネジ結合されてなる請求項２又は３に記載の高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置とするものである。
【００１３】
請求項６に係る発明は、高融点金属炭化物が、高融点金属棒材を炭素粉末で覆い、全体を高温状態で圧縮することにより炭化して製造されるとともに、その外周部を研削加工し、更に端部に超音波加工もしくは放電加工によりオネジが形成されたものである請求項４又は５に記載の高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置とするものである。
【００１４】
請求項７に係る発明は、高融点金属棒材を炭素粉末で覆い、全体を高温状態で圧縮することにより、高融点金属棒材を炭化させ、ついで、外周部を研削加工するとともに、端部に超音波加工もしくは放電加工によりオネジを形成し、このオネジに底部にメネジが加工して施された炭素系材料からなる底付きパイプ状部材を結合することによって熱電対形に形成することを特徴とする高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置の製造方法とするものである。
【００１５】
上記構成の本発明について更に詳細に説明する。
２０００℃以上の高温を測定するためには、耐熱性のある材料すなわち高融点の材料が必要であり、かつ熱電対として使用するためには、二種類の材料を高温の温度を測定する側の温度測定部（温接点）で結合することが必要である。更に、これらの材料がワイヤ（線）もしくはロッド状に形成でき、全体にわたって組成（純度）の点で均一であることが要求される。
【００１６】
炭化物材料の多くは高融点である。その中でも本発明が対象とする炭化物材料は高融点金属の炭化物であって、例えばタングステン炭化物（ＷＣ）、タンタル炭化物（ＴａＣ）、ハフニウム炭化物（ＨｆＣ）、ニオブ炭化物（ＮｂＣ）、ジルコニウム炭化物（ＺｒＣ）などである。このように本発明が高融点金属の炭化物に限定する理由は、半金属のような硼素の炭化物（ＢＣ）では高融点ではあるものの、焼結によって成形しなければならず、その際、焼結助剤を添加する必要があるため緻密な棒材に成形することが難しい。これに対して、高融点金属の炭化物であれば、後記するように緻密な棒材の成形が可能なためである。
【００１７】
また、高融点金属炭化物であっても、これらの材料系には二種類以上の炭化物を形成するものも多く、例えばタングステンの炭化物には、上記のＷＣのほかにＷ２Ｃという化学記号で表される炭化物も存在する。しかし、本発明で対象とする炭化物は当該高融点金属材料と炭素の二元系状態図の上でもっとも炭素に近い側の組成の炭化物に限定することが好ましい。その理由は、熱電対構造の場合、相手方の電極として黒鉛（炭素）を用いることから、最も炭素量の多い炭化物でなければ、使用過程で、黒鉛側の電極から炭素原子が拡散現象によって移動し、例えばＷ２Ｃを使用していれば黒鉛との接点からＷＣが形成されていくために、熱起電力の変動が生じてしまうという問題が発生するためである。
【００１８】
また、タングステンと炭素の二元系を例にとれば、Ｗ２ＣとＷＣの間の組成域に共晶点（共晶温度〜２７３５℃）が存在するため、この温度で融解現象が生じるが、ＷＣとＣの間の組成域には共晶点は存在しないので、ＷＣの融点（約２７８０℃）までは、溶融することはない。表１にＷＣを含めて高融点金属炭化物の融点及び共晶温度を示す。なおこれらの値は測定が困難であることから±５０℃程度の誤差が見込まれる。
【００１９】
【表１】
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【００２０】
表１に示すように、本発明が対象とする高融点金属炭化物材料は、相手方材料の炭素（黒鉛）の昇華する温度３７５０℃と同等もしくはそれ以上の融点を有しており、２０００℃以上の高温域での温度測定に十分に使用可能である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明に係る高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置の要部を構成する熱電対ユニットの断面図である。図において、１は熱電対ユニット、２は高融点金属炭化物棒状部材、３は炭素系材料製底付きパイプ状部材を示す。
【００２２】
高融点金属炭化物棒状部材２は、一方の電極を構成するもので、両端部のそれぞれにオネジ４、５が形成されている。
【００２３】
炭素系材料製底付きパイプ状部材３は、他方の電極を構成するもので、パイプ部６と底部７で構成され、底部７の中央部には貫通孔８が形成されている。底部７側が温度測定の際の高温側の温度測定部（温接点）となる。なお、炭素系材料は黒鉛を用いた。
【００２４】
熱電対ユニット１は、炭素系材料製底付きパイプ状部材３のパイプ部６の開口９側から高融点金属炭化物棒状部材２をパイプ部６内に装入するとともに、高融点金属炭化物棒状部材２の一端オネジ４側を底部７の貫通孔８に挿通し底部７の外側で炭素材料（黒鉛）もしくは高融点金属炭化物のいずれかの材料で製作されたナット１０により固定する一方、高融点金属炭化物棒状部材２のオネジ５側を電気絶縁部材１１の貫通孔１２に挿通するとともに、その電気絶縁部材１１を炭素系材料製底付きパイプ状部材３の開口９に固定して構成したものであって、炭素系材料製底付きパイプ状部材３の内部に配置された高融点金属炭化物棒状部材２は、底部７で炭素系材料製底付きパイプ状部材３に懸垂された構造となっている。
【００２５】
上記のような構造とする理由は、高融点金属炭化物棒状部材２と炭素系材料製底付きパイプ状部材３とに熱膨張係数の違いがあるため、熱膨張によって熱応力が発生して、強度の弱い部材が変形もしくは破損してしまうため、その熱膨張による伸びの影響を回避するためである。一方、このような構造としているため、高融点金属炭化物棒状部材２がオネジ４側以外の部分で炭素系材料製底付きパイプ状部材３と接触しないようにするため、電気絶縁部材１１が配置され、オネジ４側の温度測定部以外で電気的な接点が形成されないように配慮されている。
【００２６】
また、高融点金属炭化物棒状部材２のオネジ５には高融点金属炭化物製ナット１３が取付けられ、このナット１３，１３により導電性の材料からなるリード線１４が接続されている。また、炭素系材料製底付きパイプ状部材３の開口９側にもリード線１５が接続されている。これらリード線１４，１５は電圧計（図示せず）に接続される。
【００２７】
上記の如く構成された熱電対ユニット１は、例えばＨＩＰ装置（図示せず）の場合、高圧容器内の加熱装置の内側に支持部材によって装着されて温度測定が行われる。この場合、熱起電力は、上記のリード線１４，１５により、高圧容器の下蓋等の部材を通過するコネクタ部材を介して、大気圧下に置かれた熱起電力変換計（冷接点温度補償機能を持つ電圧計）に入力される。このとき、高融点金属炭化物棒状部材２のオネジ５及び炭素系材料製底付きパイプ状部材３の開口９側（低温側の端部）の温度が、熱起電力変換計の入力端子部の温度と異なる場合、この温度差に起因する測温誤差が発生するので、この低温端部の温度はなるべく室温に近い状態とすることが推奨される。このようにして、例えばＨＩＰ装置のような高温プロセスにおいて、室温域から２０００℃以上の高温域までの温度を安定して精度良く測定できる。
【００２８】
なお、上記例では、炭素系材料製底付きパイプ状部材３を例に説明したが、このように底付きパイプ形とすることにより、温度測定対象装置の雰囲気ガス中の不純物による高融点金属炭化物棒状部材２の変質が防止できて好ましいためである。しかし、本発明は、この例に限定されるものではなく、炭素系材料製底付きパイプ状部材３を高融点金属炭化物棒状部材２と同様に棒状部材としても熱電対としての機能は上記例と同様に発揮される。この場合、図２に示すように、炭素系材料製棒状部材３Ａと高融点金属炭化物棒状部材２の温度測定部側は、どちらかの材料からなる２つ貫通孔を有する結合部材１６を用いて、また低温側は、同様に２つの貫通孔を有する電気絶縁材製結合部材１７を用いて、ナット１８により相対位置がずれないようにする構造が採用され、温度測定対象装置への固定方法については、上記例の場合と同様に、片側の電極のみもしくは前記電気絶縁材製結合部材１７を装置の低温部に固定して他方の電極を懸垂させる構造が採用される。
【００２９】
また、上記例では、高融点金属炭化物棒状部材２の一端オネジ４側を炭素系材料製底付きパイプ状部材３の底部７の貫通孔８に挿通し底部７の外側でナット１０により固定する例を説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、炭素系材料製底付きパイプ状部材３の底部７の貫通孔８に代えてメネジを施し、そのメネジにオネジ４を直接ネジ込んで結合してもよい。また、高融点金属炭化物棒状部材２のオネジ５と電気絶縁部材１１との結合、及び上記炭素系材料製棒状部材３Ａや高融点金属炭化物棒状部材２と結合部材１６、１７との結合も同様に直接ネジ結合としてもよい。
【００３０】
次に、本発明に係る高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置の製造方法について説明する。
【００３１】
本発明による熱電対形の温度測定装置の特性、とくに長期安定性を決定するものは、高融点金属炭化物棒状部材の純度・強度等であり、通常の焼結法により製造された棒状の炭化物を使用することも本発明の範囲に含まれ、使用は可能であるが、より適した高融点金属炭化物棒状部材は、以下に示す本発明者等による製造方法により製造されたものが好ましい。
【００３２】
すなわち、高融点金属棒材を炭素粉末で覆い、全体を高温状態で圧縮することにより、高融点金属棒材を炭化させ、高融点金属炭化物棒状部材を得る。ついで、その高融点金属炭化物棒状部材の外周部を研削加工するとともに、端部に超音波加工もしくは放電加工によりオネジを形成し、このオネジに底部にメネジが加工して施された炭素系材料からなる底付きパイプ状部材（炭素系材料製底付きパイプ状部材）を結合することによって熱電対形に形成する、高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置の製造方法である。
【００３３】
前述のように、高融点金属の炭化物とくに本発明で使用されるようなＷＣ、ＨｆＣ、ＴａＣ、ＴｉＣ、ＮｂＣ、ＺｒＣ等は融点が元の高融点金属材料よりも高く、通常の高融点金属やこれらの炭化物からなる製品を製造するのに通常用いられている常圧もしくは真空焼結法では、焼結助材と称される添加物を加えなければ高密度の部材が得られないという問題がある。とくに、本発明における熱電対として使用する場合には、組成が均一であり、高密度であることが必要条件であり、通常の焼結方法では必ずしも本発明の目的に使用するような高融点金属炭化物棒状部材を製造するには適していない。また、形状として線材に近い細くかつ長い棒状の形状となるため、通常の粉末を原料とする焼結法では、粉末の成形及び焼結に技術的な問題が多く、適用に多くの困難を伴なう。本発明は、これらの炭化物の原料となる高融点金属については、線材もしくは細径の棒材が市販されており、入手が容易であることに着目し、これらを素材として、炭素との反応を利用して、線もしくは棒状の炭化物を製造し、これを高融点金属炭化物素材として、機械加工を施して熱電対形の温度測定装置を製造するものである。
【００３４】
図３に、本発明に係る高融点金属炭化物棒状素材の製造方法を概念的に示す。本例では，高融点金属棒１９の周囲に炭素粉末２０を充填した状態で，金属もしくはガラス製のカプセル２１中に真空封入してＨＩＰ処理を行うことで，高融点金属棒１９と炭素を反応させて棒状の高融点金属の炭化物（高融点金属炭化物棒状部材）を製造する。高温下で高融点金属棒１９と炭素が反応して炭化物を生成する反応では、高融点金属自体は体積膨張を生じる。この時、反応生成物である炭化物と元の高融点金属との界面に空隙が発生することがあるが、ＨＩＰ処理を利用すると高温下で高圧力が作用しているため、このような空隙の発生を生じることなく、緻密な炭化物を得ることができる。ＨＩＰ処理の温度は元の高融点金属材料の種類によって異なるが，高融点金属棒の直径が５ｍｍ以下の時、少なくとも１０００℃以上の高温が必要で、１５００〜２０００℃であれば、反応時間が１〜４時間程度で高融点金属棒全体を炭化物に変換させることができる。
【００３５】
このような高温度域でのＨＩＰ処理では、使用するカプセル２１の材料の選択が問題で、石英ガラスや高融点金属が用いられる。高融点金属を使用する場合、肉厚０．３〜０．５ｍｍの底付きパイプ状の部材と開口端部を閉塞する蓋部材で構成され、炭素粉末２０と棒状の高融点金属（図示のように複数本でも可）１９をカプセル２１内に装填した後、エレクトロンビーム（ＥＢ）溶接法により真空封入する方法が推奨される。なお、当然であるが、ＨＩＰ処理過程でカプセル２１も炭化されるが、緻密化の初期過程でカプセル２１内部の気密性が保持されていれば、ＨＩＰ処理による緻密化は達成され、ＨＩＰ処理後はカプセル２１の材料がこの炭化により脆くなっているため、薄肉であることと相俟って、カプセル２１の除去が非常に容易となるという利点がある。
【００３６】
カプセル２１の材料が石英ガラスの場合には、石英チューブは比較的容易に入手でき、一方の端部を閉じた石英チューブの中に、炭素粉末２０と棒状の高融点金属１９を装填した後、他端開口に真空引き用のホースを装着して真空引きを行いつつ、都市ガス−酸素炎のバーナで加熱して、真空封入作業を行うことができ、高価なＥＢ溶接機を必要としないという利点を有するが、石英ガラスは割れ物であるため、ＨＩＰ処理時の加圧速度やカプセルのハンドリングに注意が必要である。
【００３７】
上記ＨＩＰ処理により得られた高融点金属炭化物棒状部材は、外表面に凹凸等が存在するため、研削などによって平坦化させるとともに、端部にオネジを形成して、前述の本発明に係る熱電対形の温度測定装置に適用される高融点金属炭化物棒状部材の形状・寸法に加工される。このようにして製造された高融点金属炭化物棒状部材を、別途準備した炭素系材料（黒鉛）製底付きパイプ状部材内に挿入すると共に電気絶縁部材を装着して熱電対形として完成される。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置によれば、室温から２０００℃以上の高温までの領域での温度測定を、簡便な方法で、極めて経済的に行えるようになり、今後の超高温のプロセス、とくにガス圧力を組合わせたようなプロセスの発展に資するところ極めて大きい。
【００３９】
また、２０００℃を超えるような高い温度の測定を光学的な測温手法を用いることなく、室温域から２０００℃以上の高温度域までの連続した温度測定が可能となる。また、低温と高温の２段階で温度を保持するようなプロセスも精度良く制御することが可能となる。
【００４０】
また、ＨＩＰ処理のような高圧ガス雰囲気下でのプロセスの場合や，加圧雰囲気焼結のような場合には、光学的な測温手法では、光を信号として取出すには、石英ガラスなどでできた光学的透過窓もしくは光ファイバを用いることが必要で、ガラスが割れ物であって同時に耐圧性を要求されることから、課題が多いが、本発明によれば、温度測定装置自体にガス圧力が作用しても、等方圧は作用するものの、耐圧部材構造とはなっていないので、破損するようなことはなく、ＨＩＰ処理のような高圧ガス雰囲気であっても使用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置の要部を構成する熱電対ユニットの断面図である。
【図２】本発明に係る別の実施形態の高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置の要部を構成する熱電対ユニットの断面図である。
【図３】本発明に係る高融点金属炭化物棒状素材の製造方法を概念的に示す説明図である。
【符号の説明】
１：熱電対ユニット　　　２：高融点金属炭化物棒状部材
３：炭素系材料製底付きパイプ状部材　　　　　　　４、５：オネジ
６：パイプ部　　　　　　７：底部　　　　　　　　８：貫通孔
９：開口　　　　　　　１０：ナット　　　　　　１１：電気絶縁部材
１２：貫通孔　　　　　　１３：高融点金属炭化物製ナット
１４、１５：リード線　　１６：結合部材
１７：電気絶縁材製結合部材　　　　　　　　　　　１８：ナット
１９：高融点金属棒　　　２０：炭素粉末　　　　　２１：カプセル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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