(57)【要約】【課題】研磨材回収タンクから噴射ノズルへ定量の研磨材を安定した状態で連続して供給する。又、所望の研磨材の噴射量を容易に確実に設定する。【解決手段】研磨材回収タンク２６内の研磨材３４を、水平回転する研磨材供給盤２０の円周上の研磨材供給孔２４に落下装填し、前記研磨材供給孔２４の回転軌跡に臨む送受口２２から前記研磨材３４を圧縮機からの射出圧縮空気３１により吹き上げて送受管２９を介して研磨材供給管３０に運ぶと共に、送風機からの加圧圧縮空気３２により圧送して噴射ノズル１１へ供給し、前記研磨材３４が被加工物に噴射される。研磨材供給盤の回転速度を調整するなどにより所望の研磨材供給量を容易に設定され低コストで供給する。【選択図】図１
2004154901.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
噴射ノズルに研磨材回収タンクから研磨材を圧送する直圧式サンドブラスト方法において、前記噴射ノズルに研磨材を定量供給する射出空気及び該射出空気より低圧の前記研磨材を圧送する加圧空気を前記噴射ノズルを含む前記噴射ノズルに至る配管で合流し、前記研磨材噴射ノズルから研磨材を噴射することを特徴とする研磨材供給・噴射方法。
【請求項２】
研磨材供給管を介して連通する噴射ノズルに前記研磨材を圧送する直圧式サンドブラスト方法において、前記噴射ノズルに前記研磨材を定量供給する圧縮機又は送風機からの射出空気を前記研磨材供給管に供給すると共に、前記射出空気よりも低圧の前記研磨材を圧送する加圧空気を送風機から前記研磨材供給管に供給することを特徴とする研磨材供給・噴射方法。
【請求項３】
研磨材供給盤を回転させ、この研磨材供給盤の外周もしくは側面の複数の研磨材供給孔で研磨材回収タンク内の研磨材を装填ないし捕集し、前記研磨材供給孔の回転軌跡に、前記研磨材供給孔及び該研磨材供給孔に臨む研磨材供給管に連通する空間を画成し、この空間に圧縮機又は、送風機からの射出空気を注入し、前記研磨材を噴射ノズルへ連通する前記研磨材供給管に供給すると共に、前記研磨材を圧送する加圧空気を送風機から前記研磨材供給管に供給することを特徴とする研磨材供給・噴射方法。
【請求項４】
研磨材回収タンク下部に装填口を設け、該装填口に臨み複数の研磨材供給孔を形成した研磨材供給盤を回転駆動手段で回転自在に設けると共に、前記研磨材供給孔の回転軌跡に臨み、前記研磨材供給孔及び噴射ノズルへ連通する研磨材供給管に連通する空間を配置し、この空間に射出空気の導管を設けると共に、該導管を圧縮機又は、送風機から成る射出空気供給源に連通すると共に前記研磨材供給管に送風機から成る加圧空気供給源を連通したことを特徴とする連続研磨材供給・噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
ブラスト加工において、研磨材回収タンク内の研磨材を噴射ノズルから被加工物へ定量的に噴射する、すなわち噴射量を一定に維持することは、良好で安定したブラスト加工を行うための重要なブラスト加工条件の１つであり、とくに、近年ブラスト加工が伝統的な単なるスケール除去やバリ取り等以外に数μｍから数百μｍの微細な切削加工を行う用途が増加している。例えば、半導体、ファインセラミック、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）その他の薄膜面の微少切削、又、金属部品等の機械加工、レーザー加工、超音波加工に代替するものとして、ブラスト加工による微少切削が行われている。とくにこれらの加工が自動化ラインによって行われる場合には、噴射量の制御は重要な要素となる。
【０００２】
本発明は、かようなニーズに対応するものとして、研磨材タンク内の研磨材を定量的に噴射ノズルへ連続して安定的に供給し、且つ、噴射するための研磨材の連続供給・噴射方法及び装置に関する。
【０００３】
【従来の技術】
伝統的な直圧式のサンドブラスト装置（例えば特許文献１参照）は、エネルギー効率が高く、強烈なブラスト噴射が得られるが、研磨材を加圧タンク内において加圧して吐出するために一度研磨材を加圧タンクに入れる必要があり、連続噴射ができなかった。すでにこの問題点を解消すべく新たな提案がなされている。この種の直圧式ブラスト装置は、図６に示すように、研磨材回収タンク２６内の研磨材を、水平回転する研磨材供給盤２０の円周上の空間３５で圧密状態で画成される研磨材供給孔２４に落下装填し、前記研磨材供給孔２４の回転軌跡に臨む送受口２２から前記研磨材を前記空間３５内で射出圧縮空気３１により吹き上げて送受管２９を介して研磨材供給管３０に研磨材との加圧混合流体として圧送すると共に、加圧圧縮空気３２により圧送して噴射ノズル１１へ加圧供給し、前記研磨材３４が被加工物に噴射される（特許文献１参照）。
【０００４】
この発明の先行技術文献情報としては次のものがある。
【特許文献１】実公平３−９９７８号公報（第１−２頁、図１，図４）
【特許文献２】特開平１１−３４７９４６号公報  （第２−６頁、図１−図１０）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のブラスト加工装置にあっては、研磨材を加圧タンク内において加圧して吐出するために研磨材を加圧タンクに入れる必要がなく、又、微粉研磨材であっても配管系に研磨材が蓄積されることなく、連続噴射が可能となったが、エネルギーコストの削減が課題となっていた。
【０００６】
本発明は、この問題を解決するためになされたもので、エネルギーコストの低廉な且つ上記従来技術に対しても適用可能な、従って、伝統的な直圧式の問題点を除去し研磨材回収タンクないしはこれに連通する研磨材収容部から噴射ノズルへ定量の研磨材を安定した状態で、且つ連続的に供給し、噴射することができ、さらに研磨材の種類に応じて所望の研磨材供給・噴射量を容易に設定でき、微細加工、微少切削に対応し、且つ加工ラインの自動化が可能で、研磨材供給・噴射方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の研磨材供給・噴射方法は、噴射ノズルに研磨材回収タンクから研磨材を圧送する直圧式サンドブラスト方法において、前記噴射ノズルに研磨材を定量供給する射出空気及び該射出空気より低圧の前記研磨材を圧送する加圧空気を前記噴射ノズルを含む前記噴射ノズルに至る配管で合流し、前記研磨材噴射ノズルから研磨材を噴射することを特徴とする（請求項１）。そして、上記射出空気及び加圧空気は、前記噴射ノズルに前記研磨材を定量供給する圧縮機又は送風機からの射出空気を前記研磨材供給管に供給し、前記加圧空気を送風機から前記研磨材供給管に供給することを特徴とする（請求項２）。又、本発明方法は、研磨材供給盤を回転させ、この研磨材供給盤の外周もしくは側面の複数の研磨材供給孔で研磨材回収タンク内の研磨材を装填ないし捕集し、前記研磨材供給孔の回転軌跡に、前記研磨材供給孔及び該研磨材供給孔に臨む研磨材供給管に連通する空間を画成し、この空間に圧縮機又は、送風機からの射出空気を注入し、前記研磨材を噴射ノズルへ連通する前記研磨材供給管に供給すると共に、前記研磨材を圧送する加圧空気を送風機から前記研磨材供給管に供給することにより、前述特許文献２の直圧式サンドブラスト工程に対応できる（請求項３）。
【０００８】
又、本発明装置は、研磨材回収タンク下部に装填口を設け、該装填口に臨み複数の研磨材供給孔を形成した研磨材供給盤を回転駆動手段で回転自在に設けると共に、前記研磨材供給孔の回転軌跡に臨み、前記研磨材供給孔及び噴射ノズルへ連通する研磨材供給管に連通する空間を配置し、この空間に射出空気の導管を設けると共に、該導管を圧縮機又は、送風機から成る射出空気供給源に連通すると共に前記研磨材供給管に送風機から成る加圧空気供給源を連通したことを特徴とする（請求項４）。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下は、本願発明の実施形態である。
【００１０】
前記研磨材供給孔は、研磨材供給盤の外周に形成した複数列を成す研磨材供給孔もしくは側面に形成した複数列を成す、例えば、該研磨材供給盤の回転中心に対して同心円状に複数列を成す、例えば、同一の回転軌跡を描く環状に複数の研磨材供給孔を形成したものとし、これに加え又は噴射ノズルの射出口内径が大きく空気消費量が大きくなるときは、前記研磨材を射出空気により研磨材供給管に供給すると共に、前記研磨材を圧送する加圧空気を前記研磨材供給管に供給することが有効である。
【００１１】
前記研磨材供給盤を、前記研磨材回収タンク内で回転させて前記研磨材を、例えば、前記研磨材供給盤外周に形成した研磨材供給孔で捕集し、前記研磨材供給管を介して噴射ノズルへ供給することもできる。
【００１２】
前記研磨材の噴射量は、前記研磨材供給盤を設定回転数又は速度において回転し、あるいは、前記研磨材供給孔の数、密度、体積、容量、又は開口部の面積を変更し、任意設定量に調整できる。さらに、前記研磨材回収タンクに振動を加えるか、又は研磨材回収タンク内の研磨材を攪拌して、前記研磨材供給盤に落下する研磨材の設定量をより確実に一定に維持することもできる。
【００１３】
前記研磨材供給孔は、内径に対して深さが８倍以内が実験の結果好ましいことが判明した。
【００１４】
又、複数列条形成した研磨材供給孔の回転軌跡に臨み、それぞれ、研磨材供給管を設け、該研磨材供給管を介して複数の噴射ノズルに連通するよう設けることができ、加工効率を向上させることができる。
【００１５】
さらに、本発明の研磨材供給・噴射装置は、研磨材回収タンクあるいは、これに連通する研磨材収容部（２６）内に、外周に研磨材供給孔２４を有する研磨材供給盤２０を回転駆動手段で回転自在に設け、且つ、前記研磨材供給盤２０の前記研磨材供給孔２４の少なくとも一部を研磨材収容部（２６）内の研磨材３４内へ埋没させると共に、前記研磨材供給孔２４の回転軌跡に臨み、前記研磨材供給孔及び噴射ノズルへ連通する研磨材供給管に連通する空間３５を配置し、この空間３５に射出空気の導管２８を設けると共に、該導管を圧縮機又は、送風機から成る射出空気供給源に連通することができる。
【００１６】
前記研磨材供給孔２４は、平面矩形又は円形を成す多数の凹痕又は前記研磨材供給盤外周幅方向に至り形成された凹溝から形成することができる。
【００１７】
以下に図を参照して本発明の研磨材供給・噴射方法及び装置の実施の形態について説明する。
【００１８】
本発明の研磨材供給・噴射装置を設置するブラスト加工装置５０は、前記被加工物へ研磨材を噴射する噴射ノズル１１を備え、且つ被加工物を投入するキャビネット５１と噴射ノズル１１から噴射された研磨材から粉塵を分離して再使用可能な研磨材を回収し、貯溜する研磨材回収タンク２６と管を介して連通し、このようなブラスト加工装置にブロワないし送風機・排風機、圧縮機などの気流発生手段を連通して、気流をキャビネット５１から研磨材回収タンク２６へ発生させ、この気流に研磨材あるいは粉塵を乗せて移送する。前記研磨材回収タンク２６はそれ自体が所謂サイクロンであってもよく、あるいはサイクロン１３の下部に連通し、当該サイクロン１３の研磨材を単に貯溜するタンクであってもよい。
【００１９】
なお、本明細書において、各種研磨材噴射方式における噴射ノズルに研磨材供給管を介して研磨材を供給するタンクとして機能する研磨材収容部を総称して「研磨材回収タンク」という。
【００２０】
図１〜図３において、前記サイクロン１３の下部に連通する研磨材回収タンク２６は、下部に研磨材供給孔２４に連通する装填口２７を設け、前記研磨材回収タンク２６内に貯溜した研磨材３４が前記研磨材供給孔２４に落下して流入し、充填ないし装填されるようになっている。
【００２１】
好ましくは、前記研磨材回収タンク２６に図示せざるバイブレーターなどの振動発生手段又は圧縮空気などによるタンク内研磨材の攪拌手段を連結し、研磨材供給孔２４への研磨材３４の流入を確実にし、つまり、前記振動発生手段及び攪拌手段により、研磨材回収タンク２６内の研磨材３４のブリッジを防ぐことにより、研磨材供給孔２４への研磨材供給量が一定量となる。
【００２２】
前記研磨材供給孔２４を有する研磨材供給盤２０はモータ２１等の回転駆動手段の回転力で等速度に水平回転する好ましくは、例えば合成樹脂製の平板円盤状であり、前記装填口２７と前記研磨材供給孔２４が連通するように、前記装填口２７の下部に近接して設ける。なお、研磨材供給盤２０の厚さは、研磨材の供給・噴射量に対応して任意に設定でき、厚く形成すれば、研磨材供給孔２４の容積も大きく形成でき、多くの研磨材３４を効率よく供給できる。
【００２３】
又、前記研磨材供給孔２４は、前記研磨材供給盤２０の厚さ方向に穿設形成され、その形状は、装填ないし捕集された研磨材が研磨材供給孔２４を保持できるものである必要がある。つまり、研磨材供給孔２４に装填ないし捕集された研磨材が、研磨材供給管３０の端縁もしくはこの研磨材供給管３０を分岐した送受管２９の好ましくは金属製の送受口２２の下部に移送され、該部に画成される、前記研磨材供給孔及び該研磨材供給孔に臨む研磨材供給管に連通する空間３５において、研磨材を射出空気３１を成す、ここでは圧縮空気で射出され吹き上げることができればどのような形状でもよいが、例えば、紡錘形状の前記研磨材供給孔２４の（最大）内径を、３  ｍｍとし、深さ１５  ｍｍ程度に形成すれば、微粉研磨材でも、研磨材が落下せずに射出空気３１による前記空間内に発生する乱流で研磨材供給孔２４より前記送受管２９内の空間３５内へ舞い上げられ該空間３５から射出される。
【００２４】
研磨材供給孔２４は、内径に対して深さが８倍以内であることが好ましく、深さが上記範囲外では、研磨材が残留することがあった。
【００２５】
又、研磨材供給孔２４は、複数の挿孔をそれぞれ研磨材供給盤２０の回転中心に対して同心円状に配置された同一の回転軌跡を描く複数の、図１〜図３の第１実施例では、３本の環状に形成し、又、１又は２本以上の複数列条に形成することができる。なお、この際前記複数の環状の研磨材供給孔２４列は、内周側及び外周側の各列において研磨材供給盤２０の直径方向において互いに重ならない位置に設ければ、各複数の研磨材供給孔２４は、研磨材供給盤２０の回転中常に、前記研磨材供給管３０の端縁もしくはこの研磨材供給管３０を分岐した送受管２９の送受口２２の下部に移送され、送受管２９に画成される一端が閉鎖され他端が前記研磨材供給孔２４及び該研磨材供給孔に臨む研磨材供給管２９に連通する空間３５内に複数位置することとなり、前記送受口２２への研摩材３４の供給が途切れることがない。
【００２６】
噴射ノズル１１に連通する研磨材供給管３０は、これを分岐して送受管２９とし、この送受管２９の端部に形成した送受口２２は、前記複数列の研磨材供給孔２４の回転軌跡、実施例では、複数の前記研磨材供給孔２４のすべての回転軌跡に臨ませて形成されることになる。
【００２７】
前記空間３５は、図２、図３（Ａ）に示すように、前記送受管２９の外壁を２重構造とし、前記送受管２９内及び２重構造外壁内空間に画成される。
【００２８】
したがって、研磨材供給孔２４は、図示せざる圧縮機又は、送風機から成る射出空気供給源に、送受口２２、空間（３５）を成す送受管２９、送受管２９の２重構造外壁内空間３５そして導管２８を介して連通している。
【００２９】
図３（Ｂ）は、前記導管２８から空間３５を成す射出空気の通路を、送受管２９の中央に立設し、研磨材供給管３０上に突設して圧縮機又は、送風機から成る射出空気供給源に連通し、直接前記導管２８の先端が研磨材供給孔２４へ臨むように構成したもので、図３（Ａ）における空間３５を有しない構造となっている。
【００３０】
又、前記送受管２９に、圧縮機又は、送風機から成る射出空気供給源に連通する導管２８の端部に形成した送受口２２が研磨材供給盤２０が回転可能に可及的接近あるいは摺接して設けられている。
【００３１】
研磨材供給孔２４に装填ないし捕集された研磨材は、前記研磨材供給盤２０の回転により、前記送受口２２の下部に移送され、導管２８からの射出空気３１により前記送受管２９を含む空間３５において研磨材が吹き上げられて前記研磨材供給管３０に送られる。
【００３２】
送受管２９に送られた研磨材は、射出空気３１により研磨材供給管３０を経て噴射ノズル１１より噴射されるが、微粉研磨材、消費空気量が少ないときは、上記射出空気単独で研磨材の供給及びノズルからの噴射による加工が可能であるが、研磨材の材質、比重ないし粒径によっては、研磨材の研磨材供給孔２４からの射出は十分としても、この射出空気３１とは別に図示せざる送風機から成る加圧空気供給源からの加圧された空気を研磨材供給管３０に連結し、この加圧空気３２、ここでは、送風機からの０．０２  ＭＰａ〜０．０６  ＭＰａ好ましくは、約０．０５  ＭＰａの空気により研磨材を被加工物に噴射することにより、所望の圧力での噴射が可能となる。
【００３３】
同一条件で、研磨材供給孔の深さを２５  ｍｍとしたとき若干の研磨材の残留が認められた。
【００３４】
又、前記研磨材供給孔２４を複数列条に形成した場合、それぞれの研磨材供給孔２４の回転軌跡に臨ませて、複数の送受口２２を設け、該複数の送受口２２それぞれに対して連通した噴射ノズル１１を備えると、被加工物に複数の噴射ノズル１１から研磨材を安定して噴射することができる。
【００３５】
２０は研磨材供給盤で、本実施例では図１〜図３に示すように、研磨材供給盤２０の厚さ方向に、研磨材供給盤の回転中心に対して同心円状にすなわちそれぞれ同一回転軌跡で、その回転方向に連続する円形の孔である研磨材供給孔２４を３列平行に形成している。
【００３６】
一例として、前記供給孔２４内径を３  ｍｍ、深さ１５  ｍｍとした。深さ２５  ｍｍでは、若干の研磨材の残留が認められた。
【００３７】
研磨材供給盤２０は、モータ２１の回転駆動手段に連結されているが、回転駆動手段の回転速度は既知の手段により回転数が調整自在に構成されている。
【００３８】
なお、研磨材供給盤２０の回転速度を調整することにより回転数の増減を図り、噴射ノズル１１への研磨材供給量を調整することができる。例えば、研磨材供給盤２０の回転速度を速くすることにより研磨材が多く供給され、研磨材供給盤２０の回転速度を遅くすることにより研磨材が少なく供給される。なお、研磨材供給盤２０の回転速度を一定に維持することにより、常時安定した状態で一定量の研磨材が噴射ノズル１１へ供給され、定量の研磨材が噴射ノズル１１から連続して安定的に被加工物へ噴射される。したがって、他の研磨材供給孔２４の容積あるいは、送受口２２の開口面積などが一定のとき、研磨材供給盤２０の回転速度と研磨材供給量は相関関係にあるので、この関係式を求めて研磨材供給量を研磨材供給盤２０の回転速度でデジタル化することにより所望の研磨材供給量を容易に調整できる。
【００３９】
研磨材供給盤２０が回転駆動手段により等速度で回転すると、研磨材供給孔２４内に装填された研磨材が送受口２２下部に移送される。フットスイッチあるいはマイクロスイッチの作動により図示せざる電磁弁を開放して射出空気供給源から前記導管２８を介して射出空気３１を送ると、研磨材供給孔２４内の研磨材が送受口２２及び送受管２９を介して研磨材供給管３０内に射出され吹き上げられる。同時に、前記研磨材供給管３０は図示せざる送風機から成る加圧空気供給源に連通し、送受管２９を介して送られてきた研磨材を加圧空気３２もあいまって、高圧で噴射ノズル１１へ供給される。
【００４０】
さらに、前記研磨材回収タンク２６にバイブレイター又は撹拌手段を連結し、研磨材回収タンク２６に振動を与えるか又は研磨材回収タンク２６内の研磨材３４を撹拌することにより、研磨材３４が装填口２７より研磨材供給孔２４内に十分に装填され、研磨材供給孔２４に流入する研磨材の量は常時、定量になり、より一層安定した状態で一定量の研磨材が供給される。
【００４１】
キャビネット５１内で研磨材を噴射ノズル１１から被加工物へ噴射して被加工物をブラスト加工すると、研磨材は再使用可能な研磨材と、破損した再使用不可能な研磨材になり、これらの研磨材と被加工物が剥離して生じた粉塵等が共に導管５２を介して気流に乗ってサイクロン１３へ給送される。このサイクロン１３で再使用可能な研磨材から再使用不可能な研磨材と粉塵が分離され、再使用不可能な研磨材や粉塵はダストコレクタ５３へ給送され、ダストコレクタ５３内の下部に集積され、清浄な空気がダストコレクタ５３の排風機５４から外気へ放出される。一方、再使用可能な研磨材は研磨材回収タンク２６の底部へ貯溜した後、前述した動作が繰り返される。
【００４２】
上述の研磨材供給・噴射方法及び装置を用いて以下の加工条件にて、ブラスト加工した。
【００４３】
実施例
【表１】
2004154901.tif 000003
加工圧力は、ノズルにおける加工圧力（射出圧＋加圧空気圧）、射出空気３１圧力及び加圧圧縮空気３２圧力は機器の調整圧力、上記空気使用量は、ノズルにおける加工空気量（射出空気量＋加圧空気量）を示す。
【００４４】
上記実施例による加工で研磨材供給孔２４内に研磨材の残留はなく、ガラス基板に微細加工をしたところ、３０  ｃｍ２あたりの均一性（加工の強い部分と弱い部分の差）は、２％以内で加工できた。
【００４５】
次に、図３〜図６の実施態様について、上述実施態様と異なる点につき、説明する。
【００４６】
図３（Ａ）において、２６は研磨材回収タンクで、略直方体を成す好ましくは密閉型のタンクで、研磨材回収タンク２６内の下部に流入した研磨材で成る研磨材層１７が下方に形成され、当該研磨材層１７の上方に空気層１８が形成される。
【００４７】
２０は研磨材供給盤で、本実施例では図３（Ａ）及び図６に示すように、研磨材供給盤２０の円周面に円周方向に連続する一連の断面コ字状の条溝で成る研磨材供給孔２４を円周面幅方向に平行に複数形成している。研磨材供給盤２０は研磨材回収タンク２６内の研磨材層１７中で垂直方向に回転自在に回転軸２５で軸承され、研磨材供給盤２０の上部又は上部の一部分が空気層１８に露出する位置に設けている。
【００４８】
図３（Ｂ）は、前述したように、直接前記導管２８の先端が研磨材供給孔２４へ臨むように構成したもので、図３（Ａ）における空間３５を有しない構造である。
【００４９】
図４は、研磨材供給盤２０の外周面に円周方向に連続する一連の円筒状の凹部で成る研磨材供給孔２４を円周面幅方向に複数形成している。この際前記複数の環状の研磨材供給孔２４列は、研磨材供給盤２０の外周の幅方向の各列において互いに重ならない位置に設けたものである。
【００５０】
したがって、研磨材供給盤２０の円周のほぼ下半部全体は研磨材層１７内に確実に没し、且つ研磨材供給盤２０の円周の上半部の一部が空気層１８に露出している。研磨材供給盤２０が回転する時、研磨材供給盤２０の円周の上半部の一部分が研磨材層１７内に没しているので研磨材が研磨材供給孔２４内に入り込み易くなり、研磨材層１７の研磨材が確実に空気層１８へ移送される。
【００５１】
前記回転軸２５は研磨材回収タンク２６の外部で、軸受により軸支され、回転軸２５の軸端に図示せざるプーリを設け、このプーリにモータ２１等の回転駆動手段に回転力を伝達するＶベルトを介して連結する。なお、前記回転駆動手段の回転速度は既知の手段により容易に調整自在に構成されている。
【００５２】
研磨材供給盤２０が回転駆動手段により等速度で図３（Ａ）、（Ｂ）の紙面上時計回り方向に回転すると、研磨材供給盤２０の円周面の研磨材供給孔２４内に入り込んで補集された研磨材層１７の研磨材が空気層１８へ移送される。前記研磨材供給盤２０を等速度で回転し、研磨材供給盤２０の円周面で補集される研磨材の量は定量となるので、噴射ノズル１１へ供給される研磨材の量が定量になる。
【００５３】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、研磨材供給盤の研磨材供給孔に装填ないし捕集された研磨材を、圧縮機からの例えば約０．１  ＭＰａの射出空気にて研磨材供給管内に射出し、吹き上げ、さらに送風機からの例えば約０．０６  ＭＰａの加圧空気で研磨材を噴射ノズルへ供給して噴射するので、射出空気の供給量及び圧力は加圧空気供給量及び圧力に比べ小さく、したがって、一定量の所望の噴射密度及び圧力で噴射でき、さらに被加工物に対して均一なブラスト加工が可能となった。
【００５４】
上述実施形態に見るように、同一性能のノズルにより、上記構成で加工圧力（ノズル加圧空気圧力）例えば約０．０５  ＭＰａのとき空気使用量は、６．５  Ｎｍ３／ｍｉｎで、これを圧縮機のみで供給した場合の動力は４５Ｋｗ、圧縮機と送風機による場合は１１．５  Ｋｗとなり、７０  ％強のエネルギーコストの削減が可能である。
【００５５】
又、本発明（請求項３）は、たとえ微粉性質を示す研磨材に対しても一定量の研磨材を安定的に連続して噴射ノズルへ供給・噴射することができた。
【００５６】
さらに、本願発明の実施形態において、以下に記載されるような効果を奏する。
【００５７】
本発明は研磨材供給盤の回転速度を変化させて、回転数を増減させることにより研磨材供給量の増減を図ることができ、又研磨材供給盤の回転速度に応じて研磨材を連続して安定した状態で一定量に供給することができる。したがって、研磨材供給盤の回転速度を自在に調整することにより、研磨材の種類に応じて所望の研磨材供給量に確実且つ容易に調整できる。しかも、研磨材供給量に対応する研磨材供給盤の回転速度をデジタル化することにより所望の研磨材供給量、したがって、噴射量を容易に調整できる。
【００５８】
あるいは、前記研磨材供給孔の数、密度、体積、容量、開口部の面積又は前記送受口の開口面積を変更し、任意設定量の研磨材を供給し噴射することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用可能な研磨材供給・噴射装置を備えたブラスト加工装置の正面図である。
【図２】本発明が適用可能な研磨材供給・噴射装置の要部を示す斜視図である。
【図３】（Ａ）本発明が適用可能な研磨材供給・噴射装置の他の実施態様における要部断面図である。
（Ｂ）本発明が適用可能な研磨材供給・噴射装置のさらに他の実施態様における要部断面図である。
【図４】本発明が適用可能な研磨材供給・噴射装置のさらに他の実施態様における要部断面を示す要部斜視図である。
【図５】本発明が適用可能な研磨材供給・噴射装置のさらに他の実施態様における要部断面を示す要部斜視図である。
【図６】従来技術及び本発明が適用可能な図２の装置における要部断面図。
【符号の説明】
１１  噴射ノズル（ノズル本体）
１２  研磨材ホース
１３  サイクロン
１４  ノズルチップ
１７  研磨材層
１８  空気層
２０  研磨材供給盤
２１  回転モータ
２２  送受口
２４  研磨材供給孔
２５  回転軸
２６  研磨材回収タンク
２７  装填口
２８  導管
２９  送受管
３０  研磨材供給管
３１  射出（圧縮）空気
３２  加圧空気
３４  研磨材
３５  空間
５０  ブラスト加工装置
５１  キャビネット
５２  導管
５３  ダストコレクタ
５４  排風機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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