(57)【要約】【課題】破損したブレードの破片が操作者を傷つける危険性を大幅に低減することが可能なダイシング装置の開閉カバーを提供すること。【解決手段】ダイシング装置１における切削手段２０を覆うように構成されるダイシング装置１の開閉カバー１０において，少なくともダイシング装置を操作する操作者と切削手段との間に，ポリカーボネート面を介在させることを特徴とする，ダイシング装置の開閉カバーが提供される。かかる構成により，ポリカーボネート面となっている部分の開閉カバー１０の強度を大幅に高めることができる。このため，ブレードの破損片３０などの切削手段からの飛散物が，開閉カバー１０を突き破って操作者にまで至ることを好適に防止できる。【選択図】　図４
2004095856.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイシング装置における切削手段を覆うように構成されるダイシング装置の開閉カバーにおいて，
少なくとも前記ダイシング装置を操作する操作者と前記切削手段との間に，ポリカーボネート面を介在させることを特徴とする，ダイシング装置の開閉カバー。
【請求項２】
前記ポリカーボネート面は，少なくとも前記切削手段からの飛散物が略垂直に入射しない面を含むように構成されていることを特徴とする，請求項１に記載のダイシング装置の開閉カバー。
【請求項３】
前記ポリカーボネート面は，他材質の面の補強部材として構成されることを特徴とする，請求項１または２のいずれかに記載のダイシング装置の開閉カバー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，ダイシング装置の開閉カバーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ダイシング装置は，一般的に，半導体ウェハ等の被加工物を吸着保持するチャックテーブルと，切削用のブレードが装着された切削ユニットとを備えており，高速回転するブレードを被加工物に対して切り込ませて移動させることによって，被加工物を切削加工することができる。
【０００３】
このようなダイシング装置の切削加工においては，ブレードが破損してしまう場合がある。高速回転するブレードが破損すると，ブレードが破片となって周囲に飛散してしまうことになる。そこで，このようなブレードの破片の飛散を防止するために，切削ユニットにはブレードの外周を取り囲むようにしてホイールカバーが設けられている。しかし，かかるホイールカバーには，メンテナンス等の都合上，開口部が存在しており，この開口部を通ってブレードの破片が飛散してしまう場合もある。
【０００４】
このため，従来のダイシング装置では，切削ユニット全体を覆うようにして塩化ビニル等からなる開閉カバーが設けられており，ブレードの破片がホイールカバーの外側に飛散したとしても，かかる開閉カバーによって阻止するような構成となっている。さらに，従来のダイシング装置では，ホイールカバーの開口部が操作者側に向いていないため，ブレードの破片が操作者に危険を及ぼす可能性は少なかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来のダイシング装置の開閉カバーは，塩化ビニル等で形成されているため強度が不十分であるとともに，ホイールカバーから飛び出した破片が開閉カバーの面に対して略垂直に衝突するような構成であった。このため，破損したブレードの破片が，その大きさや速度によっては当該開閉カバーを突き破ってしまうことがあるという問題があった。
【０００６】
また，近年開発されたダイシング装置の中には２つのスピンドルが対峙するデュアルダイサーがあるが，このデュアルダイサーでは，操作者によるメンテナンスの簡易性の要請から，ホイールカバーの開口部が操作者側に向く構造となっている場合があった。このような構造のデュアルダイサーでは，特に，上記のようにして開閉カバーを突き破ったブレードの破片が操作者を傷つけてしまう危険性があり，安全性の面で非常に大きな問題となることが判明した。
【０００７】
本発明は，上記問題点に鑑みてなされたものであり，本発明の目的は，破損したブレードの破片が操作者を傷つける危険性を大幅に低減することが可能な，新規かつ改良されたダイシング装置の開閉カバーを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため，本発明の第１の観点によれば，ダイシング装置における切削手段を覆うように構成されるダイシング装置の開閉カバーにおいて，少なくともダイシング装置を操作する操作者と切削手段との間に，ポリカーボネート面を介在させることを特徴とする，ダイシング装置の開閉カバーが提供される。
【０００９】
かかる構成により，ポリカーボネート面となっている部分の開閉カバーの耐衝撃性を大幅に高めることができる。このため，ブレードの破損片などの切削手段からの飛散物が，開閉カバーを突き破って操作者にまで至ることを好適に防止できる。なお，ここでいうポリカーボネート面とは，開閉カバーの少なくとも一部の面として構成され，材質がポリカーボネートからなる面をいう。
【００１０】
また，上記ポリカーボネート面は，少なくとも切削手段からの飛散物が略垂直に入射しない面を含むように構成されているように構成すれば，切削手段からの飛散物がポリカーボネート面に対して斜め方向に入射するようになる。このため，ポリカーボネート面は当該飛散物を受け流すことができる（即ち，まともに受け止めない）ので，ポリカーボネート面に及ぼす当該飛散物の衝撃力を低減することができる。従って，当該飛散物がポリカーボネート面を突き破ってしまう危険性をより低減できる。
【００１１】
さらに，上記ポリカーボネート面は，切削手段からの飛散物の飛散方向に対して傾斜しているように構成すれば，上記切削手段からの飛散物が略垂直に入射しない面を好適に形成できる。さらに，ポリカーボネート面を略平面（傾斜面）とすることができるので，加工も容易である。
【００１２】
また，上記ポリカーボネート面は，曲面形状若しくは球面形状を有するように構成すれば，上記切削手段からの飛散物が略垂直に入射しない面を好適に形成できる。さらに，このポリカーボネート面の曲面形状若しくは球面形状を切削手段側に凸な形状とすることで，ポリカーボネート面の当該飛散物に対する強度をより高めることができる。
【００１３】
また，上記ポリカーボネート面は，他材質の面の補強部材として構成されるようにすれば，開閉カバーの少なくとも一部に，平板状若しくは曲面形状等の補強板を取り付けるだけで，上記ポリカーボネート面を容易に設けることができる。例えば，開閉カバーを従来の塩化ビニル等のような加工しやすい材質で形成し，この開閉カバーの操作者側の面に，加工が比較的困難なポリカーボネート材質の補強部材を取り付けるようにすれば，容易かつ低コストで当該飛散物に対応した開閉カバーを製造できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１５】
（第１の実施の形態）
以下に，本発明の第１の実施形態にかかるダイシング装置の開閉カバーについて説明する。
【００１６】
まず，図１および図２に基づいて，本実施形態にかかるダイシング装置（ダイシングソーまたはダイサーともいう。）の全体構成について説明する。なお，図１は，本実施形態にかかるダイシング装置１を背面からみた全体斜視図であり，図２は，図１のダイシング装置１が備える開閉カバー１０および内蔵されている切削ユニット２０を示す説明図である。
【００１７】
図１および図２に示すように，本実施形態にかかるダイシング装置１は，高速回転するブレード２２を用いて半導体ウェハなどの被加工物を切削して，ダイシング加工することが可能な装置である。このダイシング装置１は，図２に示すように，例えば，切削手段としてブレード２２を備えた切削ユニット（スピンドルユニットともいう。）２０を２つ具備しており，かかる２つの切削ユニット２０を対向配置させた対峙型のデュアルダイサーとして構成されている。即ち，第１の切削ユニット２０−１と第２の切削ユニット２０−２とが，ダイシング装置の正面に対して例えば水平左右方向（図２ではＸ方向）に向かい合うようにして配設されており，双方の切削ユニット２０を例えば同時に動作させて被加工物を高速かつ効率的にダイシングすることができる。
【００１８】
かかるダイシング装置１の操作者（オペレータ）は，通常時にはダイシング装置１の正面側からダイシング装置１を操作する。しかし，例えばブレード２２交換などのメンテナンス時には，操作者は，例えばダイシング装置１の背面側に回り込んで，メンテナンス作業を行うことになる。このため，ダイシング装置１の背面には，例えば手動で開閉可能な開閉カバー１０が設けられており，操作者は，かかる開閉カバー１０を開けて内部の切削ユニット２０等のメンテナンスを行うことができる。
【００１９】
このように，通常の運転状態では，開閉カバー１０付近に操作者はいないことになるが，ブレード２２交換後に行う確認動作でスピンドルを回転させたときや，カット状況，セットアップ状況およびドレス状況を透明な開閉カバー１０越しに目視確認するときなどに，操作者が開閉カバー１０の前に立つ場合がある。この場合，もしブレード２２が破損して，破損したブレード２２の破片（以下，破損片という場合もある。）が開閉カバー１０を突き破ってしまうと，操作者を傷つける危険性がある。従って，透明であるにもかかわらず強固な開閉カバー１０を設けて，操作者の安全性を確保する必要がある。
【００２０】
ここで，図３に基づいて，本実施形態にかかる切削ユニット２０およびこの切削ユニット２０から飛散する破損片３０の態様について詳細に説明する。図３は，本実施形態にかかる切削ユニット２０を示す斜視図である。なお，図３に示す切削ユニット２０は第１の切削ユニット２０−１を表しているものであるが，第２の切削ユニット２０−２は第１の切削ユニット２０−１と略対称に現れるので，その図示は省略する。
【００２１】
図３に示すように，切削ユニット２０は，例えばリング状の極薄の切断砥石であるブレード２２を用いて，被加工物を切削加工する機能を有する。即ち，切削ユニット２０は，スピンドル２６の回転駆動力によりブレード２２を高速回転（例えば３００００ｒｐｍ）させながら，かかるブレード２２を被加工物に切り込ませながら移動させて，極薄の切溝（カーフ）を形成することができる。
【００２２】
かかる切削ユニット２０の切削加工では，例えば，高速回転するブレード２２の回転力等により，切り屑や切削水，並びにブレード２２の破損時にはその破損片３０などの飛散物が，例えば遠心力によりブレード２２の周囲に高速で飛散してしまう。そこで，かかる飛散物の飛散を防止するために，加工点付近を除くブレード２２の周囲を取り囲むようにしてホイールカバー２４が設けられている。かかるホイールカバー２４により，大部分の飛散物の飛散を阻止することができる。
【００２３】
しかし，このホイールカバー２４は，例えばメンテナンス等の都合上，一部に開口部Ａ（図３の破線で囲った部分）が存在している。このため，ブレード２２から開口部Ａに向かう方向には，破損片３０などの飛散物が開口部Ａを通り抜けて高速で飛散してしまうことになる。本実施形態にかかるダイシング装置１では，この開口部Ａの方向が，例えば，ダイシング装置１の背面方向，即ち，開閉カバー１０の前面に向かう方向であり，かかる開口部Ａを通り抜けた破損片３０は開閉カバー１０の前面に衝突することとなる。
【００２４】
次に，図４に基づいて，本実施形態にかかる特徴である開閉カバー１０の構成について説明する。図４は，本実施形態にかかる開閉カバー１０を示す側面図である。なお，図４には，切削ユニット２０から飛散した破損片３０の軌跡も図示してある。
【００２５】
図４に示すように，開閉カバー１０は，操作者と対向する面である前面１２と，一端部がダイシング装置１本体に固定され他端部が前面１２と連結される面である上面１４と，操作者が開閉カバー１０を開ける際に掴む取っ手１６とからなる。以下に，本実施形態にかかる開閉カバー１０の特徴である▲１▼材質および▲２▼形状について説明する。
【００２６】
▲１▼開閉カバーの材質
まず，本実施形態にかかる開閉カバー１０の材質について説明する。開閉カバー１０は，例えば少なくともその前面１２の材質がポリカーボネートで形成されている。即ち，少なくとも前面１２がポリカーボネート面として構成されている。
【００２７】
ポリカーボネート（ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ，ポリ炭酸エステルともいう。）は，主鎖中に炭酸エステル結合（−Ｏ−Ｒ−Ｒ−ＣＯ−）を有する線状高分子の総称であり，その中で最も一般的なものは，ビスフェノールＡ（ＢＰＡ）を原料とした芳香族ポリカーボネートである。このポリカーボネートは，例えば，ビスフェノールＡと塩化カルボニルを原料として，双方を重合反応させてポリマーとすることで生成される。このポリカーボネート樹脂は，プラスチック類の中では耐衝撃性に非常に優れており，機械的強度も高く，さらに，透明性にも優れるという長所を有するため，エンジニアリングプラスチックとして普及している。具体的には，ポリカーボネート樹脂は，例えば従来の塩化ビニル樹脂と比べて，例えば２０倍の耐衝撃強度を有しており，また，その透明度はガラスの透明度に匹敵し，光線透過率では例えば９０％程度を有する。しかし，かかるポリカーボネート樹脂は，成形加工の際，温度が高すぎると熱分解を起こしたり，さらに水分があると加水分解を起こしたりするので，汎用プラスチックの中では成形加工が比較的困難な部材である。
【００２８】
上記のように高い耐衝撃性を有するポリカーボネート樹脂を用いて，開閉カバー１０の前面１２をポリカーボネート面として構成することで，当該前面１２は上記のようなホイールカバー２４の開口部Ａを通過して飛散してきた破損片３０の衝撃に十分に耐えることができる。例えば，本実施形態にかかる開閉カバー１０の前面１２は，従来の塩化ビニル製の開閉カバーと比較して，例えば約２０倍の衝撃力に耐えることもできる。従って，破損片３０が開閉カバー１０を突き破ってさらに飛散する可能性を大幅に低減できる。
【００２９】
なお，開閉カバー１０では，例えば，上記前面１２だけでなく上面１４等（例えば開閉カバー１０に側面を設ける場合には，当該側面も含む。）をもポリカーボネート面として構成することも可能であるが，加工の容易性を考慮すると，少なくとも前面１２をポリカーボネート面とすればよい。
【００３０】
▲２▼開閉カバーの形状
次に，本実施形態にかかる開閉カバー１０の形状について説明する。開閉カバー１０は，図４に示すように，その前面１２が例えば切削ユニット２０からの飛散物の飛散方向（例えば水平方向）に対して所定角度傾斜した構造となっている。即ち，図４では，前面１２は，例えば，水平面に対して所定角度傾斜した傾斜面構造を有している。このような構造により，切削ユニット２０から例えば略水平方向に飛散してくる飛散物（破損片３０等）が，ポリカーボネート面である前面１２に対して，略垂直に入射しないようにできる。
【００３１】
従来では，開閉カバーの前面が略垂直であり，上記破損片３０が前面に対して略垂直に入射してしまうという構成が一般的であった。しかし，この構成では，破損片３０の衝撃力がまともに開閉カバーの前面に作用するため，破損片３０が前面を突き破る可能性が高くなる。
【００３２】
これを防ぐため，本実施形態にかかる開閉カバー１０では，上記のように前面１２を当該破損片３０の飛散方向に対して傾斜させて，当該破損片３０が前面１２に対して斜めに入射するような構成を採用している。かかる構成により，開閉カバー１０の前面１２は，飛散してきた破損片３０を受け流すことができるので，前面１２に作用する破損片３０の衝撃力を低減することができる。従って，破損片３０が開閉カバー１０の前面１２を突き破る可能性をさらに低減できる。
【００３３】
上記のように，本実施形態にかかる開閉カバー１０は，その材質および形状が改良されているため，破損片３０の飛散を好適に阻止できるので，当該破損片３０によって操作者を傷つける危険性を大幅に低減することができる。さらに，作業者を保護するために十分な強度を有しながらも，透明性に優れるので，作業者が内部の切削ユニット２０等を用意に観察することができる。加えて，開閉カバー１０自体を軽量にすることができるとともに，メンテナンス性にも優れるため修理，交換等を容易かつ安価に行うことができる。
【００３４】
（第２の実施の形態）
次に，本発明の第２の実施形態にかかるダイシング装置１の開閉カバー１０について説明する。第２の実施形態にかかる開閉カバー１０は，第１の実施形態にかかる開閉カバー１０と比して，ポリカーボネート面が補強部材として構成される点で相違するのみであり，その他の機能構成は第１の実施形態にかかる開閉カバー１０と略同一であるので，その説明は省略する。
【００３５】
以下に，図５に基づいて，本実施形態にかかる開閉カバー１０の構成について説明する。なお，図５（ａ）および図５（ｂ）は，本実施形態にかかる開閉カバー１０を示す側面図および底面図である。
【００３６】
図５に示すように，本実施形態にかかる開閉カバー１０は，例えば，全体（即ち，前面１２および上面１４）が例えば塩化ビニル等の整形しやすい材質で構成されており，また，前面１２が上記のような傾斜面構造となっている。さらに，前面１２の例えば内側（切削ユニット２０側）には，例えば略方形の平板である補強板４０が取り付けられている。この補強板４０は，ポリカーボネートからなり，前面１２の補強部材として機能する。即ち，この補強板４０は，塩化ビニルなどの他材質からなり比較的強度が弱い開閉カバー１０の前面１２を補強するためのポリカーボネート面として構成されている。
【００３７】
かかる補強板４０を取り付けることにより，開閉カバー１０の前面１２に比較的強固なポリカーボネート面を設けることができるので，上記破損片３０に対する耐衝撃性が高まり，当該破損片３０が前面１２を突き破らないようにすることができる。さらに，前面１２自体は，破損片３０等の飛散物が略垂直に入射しないように，上記のような例えば傾斜面構造となっているので，この前面に取り付けられた補強板４０は，衝突する破損片３０の衝撃力を受け流すことができる。
【００３８】
また，上記のような補強板４０を用いて，補強が特に必要な前面１２部分にのみポリカーボネート面を構成することにより，開閉カバー１０の基体となる部分は，例えば，従来と同様に比較的成形加工が容易な塩化ビニル等を材質として構成できる。このため，開閉カバー１０の前面１２を例えば傾斜面構造とするための成形加工が容易になり，この前面１２内側に補強板４０を取り付けるだけで，ポリカーボネート面を有する開閉カバー１０を比較的に簡単に製造できる。従って，上記第１の実施形態のように開閉カバー１０の基体自体をポリカーボネート製とする場合には，成形加工が困難であるという問題があったが，本実施形態によれば，かかる問題を解決でき，より実現性の高い開閉カバー１０を提供することができる。
【００３９】
（第３の実施の形態）
次に，本発明の第３の実施形態にかかるダイシング装置１の開閉カバー１０について説明する。第３の実施形態にかかる開閉カバー１０は，第２の実施形態にかかる開閉カバー１０と比して，前面１２が傾斜面構造を有さない点および補強板４０が平板ではない点で相違するのみであり，その他の機能構成は第２の実施形態にかかる開閉カバー１０と略同一であるので，その説明は省略する。
【００４０】
以下に，図６に基づいて，本実施形態にかかる開閉カバー１０の構成について説明する。なお，図６（ａ）および図６（ｂ）は，本実施形態にかかる開閉カバー１０を示す側面図および底面図である。
【００４１】
図６に示すように，本実施形態にかかる開閉カバー１０は，例えば，前面１２が上記のような傾斜面構造を有さず，従来の開閉カバーと同様な略垂直面となっている。また，この前面１２の例えば内側（切削ユニット２０側）には，ポリカーボネートからなる補強板４０が取り付けられており，この補強板４０は，例えば，中央部が切削ユニット２０側に凸となったアーチ型の曲面形状を有することを特徴とする。
【００４２】
かかる補強板４０を設けてポリカーボネート面を構成することよって，開閉カバー１０の前面１２の耐衝撃性を向上させることができる。さらに，この補強板４０は，中央部分が盛り上がるように湾曲しているので，例えば切削ユニット２０から飛散してきた破損片３０の大部分は，曲面形状の補強板４０に対して略垂直に入射しない。よって，補強板４０は，衝突した破損片３０の衝撃力を受け流すことができるので，破損片３０が補強板４０を突き破る可能性を低減できる。このように，本実施形態にかかる開閉カバー１０は，上記第１および第２の実施形態にかかる開閉カバー１０のように前面１２を傾斜面構造にしなくとも，補強板４０を曲面形状することによって，破損片３０の衝撃力を弱めることができるので，破損片３０の飛散を好適に阻止することができる。なお，補強板４０の曲面形状は，図６の例に限定されず，例えば，切削ユニット側に凸となった球面形状を有するようにしてもよい。
【００４３】
（第４の実施の形態）
次に，本発明の第４の実施形態にかかるダイシング装置１の開閉カバー１０について説明する。第４の実施形態にかかる開閉カバー１０は，第３の実施形態にかかる開閉カバー１０と比して，前面１２が傾斜面構造を有する点で相違するのみであり，その他の機能構成は第３の実施形態にかかる開閉カバー１０と略同一であるので，その説明は省略する。
【００４４】
以下に，図７に基づいて，本実施形態にかかる開閉カバー１０の構成について説明する。なお，図７（ａ）および図７（ｂ）は，本実施形態にかかる開閉カバー１０を示す側面図および底面図である。
【００４５】
図７に示すように，本実施形態にかかる開閉カバー１０は，例えば，前面１２を上記第１および第２の実施形態にかかる開閉カバー１０のような傾斜面構造とし，さらに，この前面１２の内側に上記第３の実施形態のような曲面形状を有する補強板４０を取り付けてポリカーボネート面とした構成である。
【００４６】
かかる構成により，前面１２が傾斜していることと，補強板４０が曲面形状を有することの相乗効果により，切削ユニット２０から飛散してきた破損片３０が，ポリカーボネート面に対して，より垂直方向から外れるように入射する（即ち，入射角がより大きくなるように入射させる。）ようにできる。このため，第３の実施形態にかかる開閉カバー１０と比べて，より一層，衝突する破損片３０の衝撃力を低減することができる。従って，当該破損片３０がポリカーボネート面である補強板４０を突き破ってさらに飛散する危険性を十分に低減することができる。
【００４７】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００４８】
例えば，上記第１，２および４の実施形態では，開閉カバー１０の前面１２を傾斜面構造としたが，本発明はかかる例に限定されない。当該前面１２，即ち，操作者と切削手段との間に介在する面が，ポリカーボネート面として構成されていればよく，例えば，従来のような略垂直面とする，或いはドーム型若しくは球面等の曲面形状とするなど，任意の形状であってもよい。特に，第１の実施形態のように，補強板４０を取り付けないで開閉カバー１０の前面１２自体をポリカーボネート面とする場合には，例えば，当該前面１２を曲面形状などとして，切削ユニット２０からの飛散物が略垂直に入射しないようにすることが好ましい。
【００４９】
また，上記第２の実施形態では補強板４０として略方形の平板の例を示し，上記第３および４の実施形態では補強板４０として略方形の湾曲した板状部材の例を示したが，本発明にかかるポリカーボネート面を構成するための補強部材としては，上記形状の補強板４０の例に限定されない。補強部材は，例えば，開閉カバー１０の操作者と切削手段との間の面の形状に応じた任意の形状のポリカーボネート製の補強板を用いたり，２層，３層といったように複数のポリカーボネート製の補強板を積層したものを用いたり，ポリカーボネート製の補強板を組み合わせて立体的形状（例えば，中空の直方体等や，複数の立方体等の集合，ハニカム構造など）としたものを用いたりするなど，多様に変更可能である。
【００５０】
また，上記実施形態では，ダイシング装置１として対峙型のデュアルダイサーの例を挙げて説明したが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，ダイシング装置１は，並列型のデュアルダイサー，シングルダイサーなどであってもよい。また，開閉カバー１０が設けられる場所は，上記のようなダイシング装置１の背面に限定されず，例えば，前面，側面など，操作者と対向しうる任意の場所であってもよい。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように，本発明によれば，開閉カバーにポリカーボネート面を設けることによって，破損したブレードの破片に対する耐衝撃性を飛躍的に向上させることができる。さらに，開閉カバーの操作者側の面に，切削手段から飛散してきた破片が略垂直に入射しないようにすることで，衝突する破片の衝撃力を低減することができる。このため，当該破片が開閉カバーを突き破って操作者を傷つける危険性を大幅に低減して，操作者の安全性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は，第１の実施形態にかかるダイシング装置を背面からみた全体斜視図である。
【図２】図２は，図１のダイシング装置が備える開閉カバーおよび内蔵されている切削ユニットを示す説明図である。
【図３】図３は，第１の実施形態にかかる切削ユニットを示す斜視図である。
【図４】図４は，第１の実施形態にかかる開閉カバーを示す側面図である。
【図５】図５（ａ）は，第２の実施形態にかかる開閉カバーを示す側面図である。
図５（ｂ）は，第２の実施形態にかかる開閉カバーを示す底面図である。
【図６】図６（ａ）は，第３の実施形態にかかる開閉カバーを示す側面図である。
図６（ｂ）は，第３の実施形態にかかる開閉カバーを示す底面図である。
【図７】図７（ａ）は，第４の実施形態にかかる開閉カバーを示す側面図である。
図７（ｂ）は，第４の実施形態にかかる開閉カバーを示す底面図である。
【符号の説明】
１　：　ダイシング装置
１０　：　開閉カバー
１２　：　開閉カバーの前面
２０　：　切削ユニット
２２　：　ブレード
２４　：　ホイールカバー
３０　：　破損片
４０　：　補強板
Ａ　：　開口部
【図１】
2004095856.tif 000003
【図２】
2004095856.tif 000004
【図３】
2004095856.tif 000005
【図４】
2004095856.tif 000006
【図５】
2004095856.tif 000007
【図６】
2004095856.tif 000008
【図７】
2004095856.tif 000009