(57)【要約】【課題】長時間、大容量記録が可能であり、かつドロップアウトが少なく、出力特性に優れた磁気テープを効率的に製造するために好適な磁気記録媒体用支持体を提供する。【解決手段】ポリエステルフィルム及び強化膜からなる支持体において、支持体の総厚みの９０％以上がポリエステルフィルムであり、長手方向の曲げ剛性が５０μＮ／ｃｍ以上、幅方向の曲げ剛性が７０μＮ／ｃｍ以上であり、かつ、片側表面の表面粗さＲａが５ｎｍ未満である磁気記録媒体用支持体である。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリエステルフィルム及び強化膜からなる支持体において、支持体の総厚みの９０％以上がポリエステルフィルムであり、長手方向の曲げ剛性が５０μＮ／ｃｍ以上、幅方向の曲げ剛性が７０μＮ／ｃｍ以上であり、かつ、片側表面の表面粗さＲａが５ｎｍ未満であることを特徴とする磁気記録媒体用支持体。
【請求項２】
長手方向、幅方向の１００℃で３０分間熱処理した場合の収縮率が共に０．６％以下であることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体用支持体。
【請求項３】
強化膜が金属、半金属および合金ならびにこれらの酸化物および複合物から選ばれた材料からなるものであることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録媒体用支持体。
【請求項４】
ポリエステルフィルムの厚みが６．０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の磁気記録媒体用支持体。
【請求項５】
幅方向のヤング率が６０００ＭＰａ以上であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の磁気記録媒体用支持体。
【請求項６】
ポリエステルがポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、もしくはポリエチレン−２，６−ナフタレート（ＰＥＮ）であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の磁気記録媒体用支持体。
【請求項７】
強化膜の厚みが２０〜５００ｎｍであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の磁気記録媒体用支持体。
【請求項８】
デジタル記録方式の磁気記録媒体用に用いられることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の磁気記録媒体用支持体。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の支持体の、表面粗さＲａが５ｎｍ未満である表面上に強磁性金属薄膜層が設けられてなることを特徴とする磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気テープなどの磁気記録媒体に用いられる支持体と、該支持体を用いてなる磁気記録媒体に関する。特に、ＤＶＣなどの高性能ＶＴＲシステム、データ８ｍｍやＡＩＴといったデータストレージシステムなどの、大容量デジタル磁気記録媒体用に好適な支持体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、磁気記録の高密度化は著しく進んできており、そのためＤＶＣ（デジタルビデオカセット）を始めとする小型の高性能記録再生機器が普及してきている。
【０００３】
これらの高密度磁気記録媒体としては、ＣｏやＣｏ−ＮｉあるいはＣｏ−Ｃｒなどの強磁性金属を真空蒸着あるいはスパッタによりベースフィルムの片面に設けた磁気テープが好適であり、磁性層の形成条件を工夫することにより更に高密度化を図る検討が積極的になされている（例えば特許第２５９４３８０号公報）。
【０００４】
一方、高密度記録を達成する別の方法としては、磁気記録媒体の支持体を薄膜化し体積密度をアップする方法がある。通常、磁気記録媒体の支持体としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル系のプラスチックフィルムが用いられ、その厚みは、例えばＶＨＳ型のビデオテープでは１５μｍ程度、８ｍｍビデオテープでは９μｍ程度、ＤＶＣテープでは６μｍ程度であるが、さらなる高密度記録（小型化、大容量化）を達成するためにはより一層の支持体の薄膜化を進める必要がある。しかしながらテープを薄膜化すると一般に剛性が下がり、ヘッド当たりの悪化、エッジダメージが増えるなどの問題が生じるので、この観点より、支持体として剛性の高い芳香族ポリアミドフィルムが用いられているが、市販量がポリエステルフィルムに比べて少なく量的拡大には制約が多い。
【０００５】
そこで、ポリエステルフィルムの片面もしくは両面に金属系の薄膜を設けたものを支持体とすることにより、芳香族ポリアミドフィルムを用いた場合と同等の剛性を有し、出力特性に優れた磁気記録媒体が得られることが報告されている（例えば、特開平１１−４８４３４、１１−３３９２５１号公報など）。また、磁気記録媒体として、プラスチックフィルムに磁性層を付与した後に磁性層の裏面に金属ないし酸化物の補強膜を設けることも報告されている（例えば特開昭６１−２６７９２５号公報）。また、ポリエステルフィルムの両面に剛性の高いポリマー（アラミドなど）をコーティングし、乾燥、延伸することにより薄膜層を設け、ポリエステルフィルム単体と比較して曲げ剛性を高めることを提案しているものもある（例えば特開２００１−１３８４６０号公報）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の支持体を用いて、ＤＶＣ用などの高密度記録媒体を製造した場合、十分なヘッドタッチによる高出力が得られず、またオフトラックによる出力低下が発生しやすいという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、上記問題を解決し、磁気記録媒体のヘッドタッチを向上させオフトラックを抑制し、高出力を達成し、ドロップアウトを低減させるために好適な磁気記録媒体用支持体を提供することにある。そして、より長時間記録が可能なＤＶＣ−ＬＰテープや大容量のコンピューターデータ保存用テープであって出力特性に優れた磁気テープを効率的に製造するために好適な磁気記録媒体用支持体を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するための本発明は以下の通りである。
すなわち本発明の磁気記録媒体用支持体は、ポリエステルフィルム及び強化膜からなる支持体において、支持体の総厚みの９０％以上がポリエステルフィルムであり、長手方向の曲げ剛性が５０μＮ／ｃｍ以上、幅方向の曲げ剛性が７０μＮ／ｃｍ以上であり、かつ、片側表面の表面粗さＲａが５ｎｍ未満であることを特徴とするものである。
【０００９】
このように、ポリエステルフィルムに強化膜を設けた支持体においては、所定の厚み比率を満足するように強化膜を設け、かつ、長手方向、幅方向の曲げ剛性をそれぞれ所定の水準とすることが、本発明の目的を達成するために重要であり、また、特に金属薄膜型磁気記録媒体の高性能化を図るために重要である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に本発明の具体的形態について詳細に説明する。
【００１１】
本発明の支持体は、ベースとなるポリエステルフィルムとその少なくとも片面に設けられた強化膜とからなる。
【００１２】
このポリエステルフィルムに用いられるポリエステルとは分子配向により高強度フィルムとなるポリエステルであれば良いが、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレートが好ましい。その構成成分の８０％以上がエチレンテレフタレート、エチレンナフタレートであるポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレートである。エチレンテレフタレート、エチレンナフタレート以外のポリエステル共重合体成分が含まれていても良い。エチレンテレフタレート、エチレンナフタレート以外のポリエステル共重合体成分としては、例えばジエチレングリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、ポリエチレングリコール、ｐ−キシリレングリコール、１，４−シクロヘキサンジメタノールなどのジオール成分、アジピン酸、セバシン酸、フタル酸、イソフタル酸、５−ナトリウムスルホイソフタル酸などのジカルボン酸成分、トリメリット酸、ピロメリット酸などの多官能ジカルボン酸成分、ｐ−オキシエトキシ安息香酸などが挙げられる。
【００１３】
さらに、上記のポリエステルには、他に、ポリエステルと非反応性のスルホン酸のアルカリ金属塩誘導体、ポリエステルに実質的に不溶なポリアルキレングリコールなどの少なくとも一つを５重量％を越えない程度に混合してもよい。
【００１４】
本発明に用いられるポリエステルフィルムは二軸延伸されていることが必要である。未延伸フィルムまたは一軸延伸フィルムでは十分な強度が得られず、磁気記録媒体用としては不適切である。
【００１５】
このポリエステルフィルムの少なくとも片面にはポリエステル以外の成分からなる薄膜（強化膜）が形成されている。この薄膜の存在により、本発明の支持体はポリエステル単独では到達し得ないような高い曲げ剛性が得られる。この強化膜としては、ポリエステルよりも剛性が高いほど好ましく、アラミドなどのような高剛性のポリマー、あるいは金属、半金属および合金ならびにこれらの酸化物および複合物といった無機物などが材料として挙げられる。
【００１６】
ポリマー系の強化膜を設ける場合、方法としてはラミネート法、共押出し法、あるいはコーティング法など特に方法を問わないが、強化膜の厚みが支持体厚み全体の１０％以上となると、カールが大きくなったり、強化膜自体が脆性化してしまい、磁気記録媒体用支持体として特性の劣ったものとなる。従って、支持体中におけるフィルムの厚み割合は９０％以上が必要である。
【００１７】
本発明の場合は、薄い強化膜厚みでも所望水準の曲げ剛性改善効果が得られるために無機物系の強化膜を設けることが好ましい。
【００１８】
無機物系の強化膜を設ける場合の方法としては、蒸着、スパッタなどの真空薄膜形成法、または各種ＣＶＤなどの気相成長法、あるいはメッキ法などがあるが、本発明の場合は真空蒸着法が好ましい。また、無機物を高濃度に分散させた液体をコーティング、乾固させる方法もあるが、生産性の観点からは真空蒸着法が好ましい。強化膜の厚みとしては２０〜５００ｎｍとすることが好ましい。
【００１９】
特に本発明の支持体を金属薄膜型磁気記録媒体に用いる場合、強化膜表面は、電気絶縁性が高いことが望ましく強化膜の材料としては酸化物、窒化物などを用いることが特に好ましい。強化膜表面の抵抗値としては１×１０８Ω／ｓｑ以上であることが好ましい。
【００２０】
強化膜の材料としては具体的には、Ａｌ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｎなどの金属、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｃ、Ｓｂなどの半金属があげられる。これらの金属及び半金属の合金、それら複合物としては、Ｆｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ−Ｇｄ、Ｃｏ−Ｓｍ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｎｉ−Ｃｕ、Ｍｎ−Ｂｉ、Ｍｎ−Ｓｂ、Ｍｎ−Ａｌ、Ｆｅ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｏ、Ｓｉ−Ｃ、Ｓｉ−Ｎ、Ｃｕ−Ａｌ−Ｏ、Ｓｉ−Ｎ−Ｏ、Ｓｉ−Ｃ−Ｏなどが挙げられる。酸化物としては酸化アルミニウム、アルミナ、酸化ケイ素、二酸化ケイ素、酸化銅などが挙げられる。
【００２１】
本発明の支持体の厚さは、好ましくは２．０〜６．０μｍ、さらに好ましくは２．５〜５．０μｍである。厚さが６．０μｍを超えると、磁性層、バックコート層、保護膜層を加えたテープ厚さが７．０μｍ以上となるために、テープを長くして長時間記録用カセット（例えばＤＶＣの場合）を作成することが困難となり好ましくない。一方、支持体の厚さが２．０μｍを下回ると、支持体そのものの剛性が低すぎるために、テープと磁気ヘッドとの接触が弱くなり、電磁気変換特性、特に出力が低下するので好ましくない。
【００２２】
本発明の支持体の場合、総厚みの９０％以上がポリエステルフィルムよりなる必要がある。ポリエステルフィルムの厚み比率が９０％未満となると、カールが悪化して磁気テープとしての加工適性が悪化したり、記録／再生時の磁気ヘッドとの密着性が悪化して出力特性が低下したり、強化膜そのものが脆性化して、削れが発生することによりドロップアウトの低下を招く。
【００２３】
本発明の支持体の、長手方向の曲げ剛性は５０μＮ／ｃｍ以上、幅方向の曲げ剛性は、７０μＮ／ｃｍ以上である必要がある。長手方向の曲げ剛性は好ましくは６０μＮ／ｃｍ以上である。長手方向の曲げ剛性が５０μＮ／ｃｍ未満であると、テープの走行安定性が低下し、エッジ折れや片伸びなどのテープダメージが発生する。また幅方向の曲げ剛性は好ましくは８０μＮ／ｃｍ以上である。幅方向の曲げ剛性が７０μＮ／ｃｍ未満であると十分なヘッドタッチが得られず、テープの出力特性が劣ったものとなる。
【００２４】
曲げ剛性とは、フィルムまたはテープを折り曲げたときの反発力（所謂こしの強さ）であり、曲げ剛性が小さいと容易に座屈が起こり、テープ走行時の磁気ヘッドとの密着性が悪化（磁気ヘッドからテープが浮き上がる）するため、磁気テープの最重要特性である出力性能が大幅に損なわれる。
曲げ剛性を測定するためには、フィルムをループ状にして、ループの先端より荷重を掛けてループを直径方向に押しつぶし、そのときの荷重によって評価することができる。
【００２５】
本発明の支持体において、片側表面の表面粗さＲａは５ｎｍ未満である必要がある。この平坦な面に磁性層を設けて磁気記録媒体を製造するが、表面粗さが５ｎｍ以上となると、記録／再生時の磁気ヘッドとの密着性が悪化して出力特性が低下する。磁性層を設ける側の表面粗さは、好ましくは４ｎｍ未満、さらに好ましくは３ｎｍ未満である。
【００２６】
支持体の長手方向、幅方向の１００℃、３０分の熱収縮率は共に０．６％以下であることが好ましく、さらに好ましくはそれぞれ０．２〜０．５％である。長手方向、幅方向の熱収縮率が０．６％を超えると、温度管理していない室内で１年間以上保管した後に再生した場合、保管中に生じたＤＶＣテープの寸法変化により、記録時と再生時のテープ上の磁気記録トラックの位置がずれ、ＤＯが増大する。長手方向と横方向との熱収縮率の差は小さい方が望ましく、例えば±０．２％以内、より好ましくは±０．１％以内の差が好ましい。熱収縮率の差が大き過ぎると、記録トラックの進行方向とテープエッジとのなす角度がテープ保管中に大きく変わってくるので、再生時に磁気ヘッドがテープ表面を走行する方向と記録済みトラックの方向とが大きくずれる、からである。また、長手方向、幅方向の熱収縮率が０．２％を下まわるほどに小さ過ぎると、ＤＶＣテープ加工時の蒸着により発生するＤＶＣテープのカールを戻し、ＤＶＣテープの平面性を確保することが難しくなるので好ましくない。
【００２７】
ポリエステルフィルムの表面にポリエステルよりも剛性の高い薄膜（強化膜）が形成されていることにより、支持体の曲げ剛性が向上し、熱収縮率が低下する。
【００２８】
支持体の強化膜表面の粗さＲａは、５〜３０ｎｍであることが好ましい。Ｒａが５ｎｍ未満であると、強化膜表面が平滑過ぎて摩擦が大きくなり、磁気テープに加工の際に、強化膜がフィルムから剥離したり傷がついたりして、ドロップアウトの原因となる。また３０ｎｍよりも大きいと、反対面側に磁性層を蒸着で設ける際に、冷却キャンとの密着が不良となり熱負けが発生しやすくなり、ドロップアウトが増加したり、あるいはテープの作成そのものが困難になる場合がある。
【００２９】
本発明の場合、強化膜を設ける側のベースフィルムの表面粗さＲａを４〜２５ｎｍとしておくことが、望ましい強化膜の表面粗さを得る上で好ましい。
【００３０】
本発明の支持体において、強化膜表面の絶縁抵抗値が１×１０８Ω／ｓｑ以上であることが好ましい。１×１０８Ω／ｓｑ以上では、磁性層を真空蒸着させる際にキャンとの密着が良好となり、コバルトなどの磁性金属が均一に蒸着され、エラーレートの極めて小さい磁気テープが得られる。このような絶縁性の高い強化膜を設けるためには、蒸着により酸化金属被膜をベースフィルム表面に設ける際の酸化度を高くすることが重要である。酸化物（たとえば酸化アルミなど）からなる強化膜を真空蒸着により設ける際には、金属を蒸着する時に酸素を導入し、蒸着機内で酸化反応を起こさせ、酸化物粒子を蒸着する方法が一般に報告されている。本発明の目的に合致した強化膜を設けるためには、酸素の導入を、蒸着機内の冷却ドラムの入口側と出口側の両方から行い、酸化反応率を高めることが有効である。
【００３１】
本発明の支持体において、前述の通り磁性層を設ける側の表面は平坦であることが好ましく、かつ走行耐久性を向上させるために微細な突起を高密度に形成させることが好ましい。具体的には、高さ３０ｎｍ未満の微細突起が２００〜９０００万個／ｍｍ２、好ましくは５００〜７０００万個／ｍｍ２形成させることにより、良好な走行耐久性を付与することが可能である。
本発明の支持体は、幅方向のヤング率が６０００ＭＰａ以上であることが好ましい。
【００３２】
本発明の磁気記録媒体用支持体は、ＤＶＣテープやデータ保存用テープなどに適用されるデジタル記録方式の強磁性金属薄膜型記録媒体に好ましく用いられる。
【００３３】
次に本発明の磁気記録媒体用支持体及びこれを用いて製造される磁気記録媒体の製造方法を説明する。
【００３４】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムは、磁性層を設ける面側（表面Ａとする）の原料として含有粒子を可能な限り除いたポリエステルを用い、溶融、成形、二軸延伸、熱固定からなる通常のプラスチックフィルム製造工程によって、縦、横方向に９０〜１４０℃でそれぞれ２．７〜５．５倍、３．５〜７．０倍延伸し、１９０〜２２０℃の温度で熱固定を行うという条件で、下記操作を行うことにより製造することができる。
【００３５】
表面ＡのＲａ値および突起個数を調整するために、一方向に延伸後の平滑なポリエステルフィルムのＡ面側に、平均粒径が５〜３０ｎｍ好ましくは８〜２５ｎｍの微細粒子を０．５〜１２．０重量％好ましくは０．６〜１０．０重量％含む有機化合物からなる塗液を塗布して、表面Ａ側に被覆層を形成させ、表面Ａに微細表面突起を形成する。被覆層は連続皮膜形状、不連続皮膜形状のいずれであってもかまわない。被膜構成成分にその滑り性、耐久性向上のためにシリコーン、シランカップリング剤、チタンカップリング剤を少量添加してもよい。
【００３６】
また、磁性面の磁気ヘッドとの繰り返し走行耐久性を向上させるために、Ａ面側原料に微細粒子をごく少量含有させても良い。平均粒径が３０〜９０ｎｍ、好ましくは４０〜８０ｎｍの微細粒子をフィルムに対して０．２重量％以下含有させることが好ましい。微細粒子種としては、シリカ、炭酸カルシウム、アルミナ、ポリスチレンなどの有機粒子などを使用することができるが、特にこれらに限定されるものではない。
【００３７】
なお、前記したＡ面側原料（Ａ層用）と積極的により大きな微粒子を含有させた原料（Ｂ層用）を用い、共押出し技術によってＡ／Ｂ積層フィルムを溶融押出しし製膜することが本発明の支持体に用いられるポリエステルフィルムを得るために好ましい。また、前記したＡ面側原料からなる単層フィルムの表面Ａ側とは反対側の表面（Ｂ面側）に、滑剤を含む塗液を塗布しＢ面側を易滑処理した面としてもよい。Ｂ層内に含有させる微細粒子の種類、粒径、含有量の調整によりＢ面側のＲａ値を１０〜３０ｎｍに調整するのが好ましい。滑剤を含む塗液中に微細粒子を含有させ、その微細粒子の種類、粒径、含有量を調整することによっても調整可能である。微細粒子としてはシリカ、炭酸カルシウム、アルミナ、ポリアクリル酸球、ポリスチレン球等が使用できるが、これらに限定されない。また、本発明においてＢ層側の表面に強化膜を設ける場合にヘッドタッチの向上やオフトラックの低減といった効果がより顕著となるが、強化膜の耐久性をさらに向上させるためには、Ｂ層側のフィルム表面にシランカップリング剤、水溶性ポリエステルを含む水溶性皮膜を設けた上に、金属もしくは金属酸化物層の強化膜を設けることが極めて有効である。
【００３８】
支持体の長手方向、幅方向の１００℃、３０分の熱収縮率をともに０．６％以下とするには、前記のポリエステルフィルムを製造する際の延伸倍率と熱処理温度を調整し、ポリエステルフィルムの長手方向、幅方向の１００℃、３０分の熱収縮率をそれぞれ０．８％以下にすることが有効である。また、補強膜を蒸着により設ける場合、蒸着機内での搬送張力を５ｋｇ／ｍ以下とすること、および巻出し側の張力ＴＵＷと巻取り側の張力ＴＷの差を０．８ｋｇ／ｍ以下とすることが長手方向の熱収縮率を本発明範囲内とするために極めて有効である。
【００３９】
本発明では、Ａ層あるいは、またＢ層の表面上にポリエステル以外の成分からなる強化膜を設ける。強化膜としては前述のごとく、剛性の高いポリマー材料を塗布あるいはラミネートにより薄膜積層する方法、あるいはＡｌ、Ｃｕなどの金属、あるいは酸化物を蒸着、スパッタ、イオンプレーティングなどの方法で設けることが可能であるが、本発明においては金属酸化物を真空蒸着により設けることが最も好ましい。その蒸着手段としては誘導加熱法、抵抗加熱法、ＥＢ蒸着法のいずれでも良い。
【００４０】
強化膜の厚さは、支持体の長手方向の曲げ剛性値を５０μＮ／ｃｍ以上とし、幅方向の曲げ剛性値を７０μＮ／ｃｍ以上とすることができるように、強化膜材料の材質によって決めればよい。一般的には、２０〜５００ｎｍの厚さが好ましく、５０〜３００ｎｍの範囲がより有効である。２０ｎｍを下回ると強化の目的を達成しがたく、５００ｎｍを越えると強化膜がポリエステルフィルムより剥離しがちとなったり、強化膜そのものが脆くなるので好ましくない。
【００４１】
本発明では、強化膜表面が絶縁性（１×１０８Ω／ｓｑ以上、好ましくは１×１０１０Ω／ｓｑ以上）であることが好ましく、そのためには、金属酸化物皮膜の場合、酸化度を高めることが重要である。本発明の場合は、金属蒸着時に、冷却キャンの入口側と出口側より酸素を導入し、フィルム表面に金属粒子が蒸着される直前あるいは直後に酸化反応を起こして、酸化物皮膜を形成させるプロセスが好ましい。特に入口側の酸素供給量を出口側の酸素供給量よりも大きくすることが好ましく、さらに好ましくは、入口側の酸素供給量を出口側の酸素供給量の１．２倍〜３倍とすることが、本発明の有効な強度補強を達成するために極めて有効である。
【００４２】
また本発明において、強化膜を真空蒸着法により設ける場合、ベースフィルムを事前に減圧下（１×１０−２〜２ｔｏｒｒ）において、１回巻き直し処理を行うことが、強化膜を均一に形成させる上で有効である。
【００４３】
蒸着時の真空度は１×１０−２Ｐａ以下とすることが好ましい。金属の蒸発量とフィルムの搬送速度によって、フィルム表面に形成される強化膜の厚みが決まる。搬送速度は特に限定されないが、５０ｍ／分〜２００ｍ／分で行うことが望ましい。また、必要に応じて、複数回の蒸着を行うことも、本発明の支持体を得るために有効な手段である。また、一つの真空槽内に２つの冷却キャンを有する蒸着機にて連続で２層の蒸着膜を設ける（片面に２層）ことも有効な手段である。
【００４４】
本発明の磁気記録媒体の強磁性金属薄膜層に使用される強磁性金属は公知のものを使用でき、特に限定されないが、鉄、コバルト、ニッケル、またはそれらの合金の強磁性体からなるものが好ましい。
【００４５】
本発明の磁気記録媒体の磁性層は、前記支持体の片側表面Ａに、Ｃｏ等の強磁性金属の薄膜層を真空蒸着により膜厚み１００〜３００ｎｍで形成し、この金属薄膜層上に１０ｎｍ程度の厚みのダイヤモンド状カーボン膜をコーティングにより形成し、更にその上を潤滑剤処理することにより作成することができる。本発明の磁気記録媒体では、支持体表面Ｂをそのまま磁気テープの走行面側の面としてもよいし、更に表面Ｂ上に固体微粒子および結合剤からなり、必要に応じて各種添加剤を加えた溶液を塗布することによりバックコート層を形成してもよい。固体微粒子、結合剤、添加剤はカーボンブラック、ポリウレタン樹脂、シリコーン等、公知のものを使用でき、特に限定されない。バックコート層の厚さは０．３〜１．５μｍ程度である。
【００４６】
本発明の磁気記録媒体用支持体は、ＤＶＣ−ＬＰテープ作成用の支持体として使用すると優れた結果を得ることができ好適である。またＡＩＴシステム、データ８ｍｍ等のデータ保存用テープの支持体として使用しても優れた結果を得ることができる。
【００４７】
【実施例】
次に実施例に基づき、本発明を説明する。本実施例で用いた測定方法を下記に示す。
【００４８】
（１）Ｒａ値
磁気記録媒体用支持体の表面粗さＲａ値は、原子間力顕微鏡（走査型プローブ顕微鏡）を用いて測定した。セイコーインスツルメント社製の走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＩ３８００シリーズ）を用い、ダイナミックフォースモードでフィルムの表面を３０μｍ角の範囲で原子間力顕微鏡計測走査を行い、得られる表面のプロファイル曲線よりＪＩＳ・Ｂ０６０１・Ｒａに相当する算術平均粗さより求めた。面内方向の拡大倍率は１万〜５万倍、高さ方向の拡大倍率は１００万倍程度とした。
【００４９】
（２）ヤング率
通常の引張試験測定により得られる応力−ひずみ曲線におけるスタート点の立ち上がり勾配からＡＳＴＭ・Ｄ−８８２−６７に準じて測定し、単位はＭＰａで表した。このときのサンプル幅、実効長さは１０ｍｍ、１００ｍｍとし、引張速度は１００ｍｍ／ｍｉｎとした。
【００５０】
（３）１００℃、３０分の熱収縮率
幅１０ｍｍ、長さ１０〜３０ｃｍの支持体試料を１００℃のオーブン中で３ｇの荷重下、３０分、熱処理した。熱処理前の試料長をＬ１、熱処理後の試料長をＬ２とし、［（Ｌ１−Ｌ２）／Ｌ１］×１００（％）により求める値を熱収縮率とした。
【００５１】
（４）曲げ剛性
支持体より、長さ１００ｍｍ、幅２０ｍｍのリボン状の試験片を切り出す。東洋精機製作所（株）製ループスティフネステスタを用いて、ループ状の形にして置いた試験片に、ループの先端より荷重を掛けてループを直径方向に押しつぶし、そのときの荷重を測定し、曲げ応力Ｍ１（ｍｇ）とした。この時のループ長は５０ｍｍ、押しつぶし距離は２０ｍｍとした。
曲げ応力の測定値Ｍ１（ｍｇ）、試験片厚さｔ（μｍ）から下式を用いて曲げ剛性値Ｍ（μＮ／ｃｍ）を求めた。
Ｍ＝Ｍ１×９．８／２
【００５２】
（５）強化膜の厚み
支持体を超薄切片とし、透過型電子顕微鏡（日立製Ｈ−７１００ＦＡ型）を用い、×１００００から、×１０００００までの倍率で観察し、強化膜層の厚みを求めた。また、強化膜が金属あるいは金属酸化物からなるものの場合、オージェ電子分光法によっても求めることができる。
【００５３】
（６）磁気テープの出力特性
支持体のＡ層表面に、連続真空蒸着装置を用いて、微量の酸素の存在下にコバルト金属の厚み１８０ｎｍの蒸着層を設けた。次いで、蒸着層表面にＤＬＣ保護膜、反対面にバックコート層を通常の手段で形成させた後、６．３５ｍｍ幅にスリットし、磁気テープを作成した。
【００５４】
この磁気テープについて、ドラムテスターを用いて、記録密度１００ｋＢＰＩにおける出力レベルを測定した。この出力レベルを市販のＤＶＣ−ＬＰ用ビデオテープと比較して、次の基準で評価した。
＋２ｄＢ以上　：優
０〜＋２ｄＢ　：良
０ｄＢ未満　　：不良
【００５５】
（７）磁気テープのＤＯ特性（オフトラック特性）
上記の磁気テープの長さ２００ｍ分をカセットに組み込み、カセットテープとした。このカセットテープを５０℃，６０％ＲＨの環境下において７２時間保管し、保管前後のカセットテープについて市販のカメラ一体型デジタルビデオテープレコーダーのＬＰモードを用いて常温（２５℃）にて録画し、３０分間の再生をして画面にあらわれたブロック状のモザイク個数（ドロップアウト（ＤＯ）個数）を数えることによって、ＤＶＣテープのＤＯ特性（オフトラック特性）を評価した。保管後のＤＯ個数の増加がないものは優、増加が１〜２個／３０分間のものは良、増加が２個／３０分間以上のものは不良とした。
【００５６】
上記の本発明について実施例を挙げて、更に具体的に説明する。
【００５７】
実施例１
実質的に不活性粒子を含有しないポリエチレンテレフタレートに平均粒径６０ｎｍのシリカを０．０５重量％含有させた原料Ａと、実質的に不活性粒子を含有しないポリエチレンテレフタレートに平均粒径２００ｎｍの架橋ポリスチレン粒子を０．３０重量％含有させた原料Ｂとを厚み比５：１の割合で口金を通して、共押出しし冷却ドラムに密着させシート化し、ロール延伸法で１１０℃で３．２倍に縦延伸した。
【００５８】
縦延伸の後の工程で、Ａ層の外側に下記組成の水溶液を塗布濃度（固形分濃度）２０ｍｇ／ｍ２で塗布した。
Ａ層外側：メチルセルロース　　　　　　　　　　　０．１０重量％
水溶性ポリエステル　　　　　　　　　　０．３５重量％
平均粒径　１２ｎｍの極微細シリカ　　　０．０５重量％
【００５９】
その後、ステンターにて横方向に１１０℃で４．０倍に延伸し、２１５℃で熱処理し、厚さ４．４μｍのポリエステルフィルムを製造した。
【００６０】
このフィルムをスリッターを用いて幅６００ｍｍ、長さ１２０００ｍにスリットしフィルムロールとした。このフィルムロールのフィルムを用い、真空蒸着機を用いて、ベースフィルムのＢ層表面上に酸化アルミニウムの真空蒸着を行った。この場合の蒸発源はアルミニウムであり、アルミニウムの蒸発途中で酸素と反応し、酸化アルミニウムの被膜がＢ層表面上に形成されるようにした。蒸着時の酸素導入は、蒸着機内の冷却ドラムの入口側と出口側の両方から行い、入口側の酸素量を３０００ｍｌ／分、出口側の酸素量を１５００ｍｌ／分とした。蒸着速度５０ｍ／分にて蒸着膜厚１５０ｎｍの酸化アルミニウム強化膜を形成し、厚さ４．５５μｍの支持体を作成した。このときの蒸着におけるフィルムの搬送張力は、巻出し側が４．５ｋｇ／ｍ、巻取り側が３．９ｋｇ／ｍであった。この支持体の特性を表１に示す。
【００６１】
次に支持体の表面Ａに真空蒸着により、蒸着速度６０ｍ／分にて、厚み１７０ｎｍのコバルト−酸素薄膜を形成した。さらにコバルト−酸素薄膜層上に、ＣＶＤ法によりダイヤモンド状カーボン膜を１０ｎｍの厚みで形成させた。続いてフッ素含有脂肪酸エステル系潤滑剤を３ｎｍの厚さで塗布し、最後にカーボンブラック、ポリウレタン、シリコーンからなるバックコート層をメチルエチルケトン溶液を用いてフィルム表面Ｂ上に４００ｎｍの厚さで設け、スリッターにより幅６．３５ｍｍ幅にスリットしパンケーキとした。パンケーキよりリールに巻き取り磁気記録テープ（ＤＶＣテープ）を作成した。得られたＤＶＣテープの特性を表２に示す。
【００６２】
実施例２
実施例１と同様のポリエステルフィルムを用いて、このフィルム原反を一旦減圧下（１×１０−２ｔｏｒｒ）において巻直し処理を行った。その後、真空蒸着における蒸着速度を４０ｍ／分としたこと以外は実施例１と同様の方法にて、Ｂ層表面上に２００ｎｍの厚みの酸化アルミニウム強化膜を設け、厚さ４．６μｍの支持体を作製した。支持体の特性を表１に示す。さらに実施例１と同様にしてＤＶＣテープを作成した。得られたＤＶＣテープの特性を表２に示す。
【００６３】
実施例３
実施例１と同様のポリエステルフィルムを用いて、このフィルム原反を一旦減圧下（１×１０−２ｔｏｒｒ）において巻直し処理を行った。その後、真空蒸着における蒸着速度を４０ｍ／分とし、入口側の酸素量を６００ｍｌ／分、出口側の酸素量を５００ｍｌ／分としたこと以外は実施例１と同様の方法にて、Ｂ層表面上に２００ｎｍの厚みの酸化アルミニウム強化膜を設け、厚さ４．６μｍの支持体を作製した。支持体の特性を表１に示す。さらに実施例１と同様にしてＤＶＣテープの作成を試みたが、ＤＶＣテープ作成の蒸着時に、実施例１と同様の条件では熱負けが発生したので、条件変更し、蒸着速度１００ｍ／分にて１２０ｎｍの厚みのコバルト層を設けた。得られたＤＶＣテープの特性を表２に示す。
【００６４】
実施例４
実質的に不活性粒子を含有しないポリエチレンテレフタレートからなる原料Ａと、実質的に不活性粒子を含有しないポリエチレンテレフタレートに平均粒径３００ｎｍのポリジビニルベンゼンよりなる有機粒子を０．３０重量％含有させた原料Ｂとを厚み比５：１の割合で口金を通して、共押出しし冷却ドラムに密着させシート化し、ロール延伸法で１１０℃で３．３倍に縦延伸した。
【００６５】
縦延伸の後の工程で、Ａ層の外側に下記組成の水溶液を塗布濃度（固形分濃度）２０ｍｇ／ｍ２で塗布した。
Ａ層外側：メチルセルロース　　　　　　　　　　　０．１０重量％
水溶性ポリエステル　　　　　　　　　　０．３５重量％
平均粒径　１８ｎｍの極微細シリカ　　　０．０５重量％
【００６６】
その後、ステンターにて横方向に１１０℃で４．０倍に延伸し、２１５℃で熱処理し、厚さ４．５μｍのポリエステルフィルムを製造した。
【００６７】
このフィルムをスリッターを用いて幅６００ｍｍ、長さ１５０００ｍにスリットしフィルムロールとした。このフィルムロールのフィルムを用い、真空蒸着機を用いて、１×１０−２ｔｏｒｒの真空度下にて速度１００ｍ／分にて巻き直し処理を行った。その後ベースフィルムのＢ層表面上に酸化珪素／酸化アルミニウムの真空蒸着を行った。この場合の蒸発源は酸化珪素（ＳｉＯ）／アルミニウムであり、材料の蒸発途中で酸素と反応し、酸化珪素（ＳｉＯ２）／酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）の被膜がＢ層表面上に形成されるようにした。蒸着時の酸素導入は、蒸着機内の冷却ドラムの入口側と出口側の両方から行い、入口側の酸素量を２０００ｍｌ／分、出口側の酸素量を１０００ｍｌ／分とした。蒸着速度６０ｍ／分にて蒸着膜厚１５０ｎｍの酸化珪素（ＳｉＯ２）／酸化アルミニウム強化膜を形成し、厚さ４．６５μｍの支持体を作成した。このときの蒸着におけるフィルムの搬送張力は、巻出し側が４．８ｋｇ／ｍ、巻取り側が４．２ｋｇ／ｍであった。この支持体の特性を表１に示す。
【００６８】
次に支持体の表面Ａに真空蒸着により、蒸着速度６０ｍ／分にて、厚み１７０ｎｍのコバルト−酸素薄膜を形成した。さらにコバルト−酸素薄膜層上に、ＣＶＤ法によりダイヤモンド状カーボン膜を１０ｎｍの厚みで形成させた。続いてフッ素含有脂肪酸エステル系潤滑剤を３ｎｍの厚さで塗布し、最後にカーボンブラック、ポリウレタン、シリコーンからなるバックコート層をメチルエチルケトン溶液を用いてフィルム表面Ｂ上に４００ｎｍの厚さで設け、スリッターにより幅６．３５ｍｍ幅にスリットしパンケーキとした。パンケーキよりリールに巻き取り磁気記録テープ（ＤＶＣテープ）を作成した。得られたＤＶＣテープの特性を表２に示す。
【００６９】
実施例５
実質的に不活性粒子を含有しないポリエチレンナフタレートからなる原料Ａと、実質的に不活性粒子を含有しないポリエチレンナフタレートに平均粒径３００ｎｍのポリジビニルベンゼンよりなる有機粒子を０．３０重量％含有させた原料Ｂとを厚み比５：１の割合で口金を通して、共押出しし冷却ドラムに密着させシート化し、ロール延伸法で１２０℃で４．３倍に縦延伸した。
【００７０】
縦延伸の後の工程で、Ａ層の外側に下記組成の水溶液を塗布濃度（固形分濃度）１２ｍｇ／ｍ２で塗布した。
Ａ層外側：シランカップリング剤　　　　　　　　　０．０７重量％
水溶性ポリエステル　　　　　　　　　　０．３５重量％
平均粒径　１２ｎｍの極微細シリカ　　　０．０１重量％
【００７１】
その後、ステンターにて横方向に１２０℃で５．０倍に延伸し、２１５℃で熱処理し、厚さ４．０μｍのポリエステルフィルムを製造した。
【００７２】
このフィルムをスリッターを用いて幅６００ｍｍ、長さ１５０００ｍにスリットしフィルムロールとした。このフィルムロールのフィルムを用い、真空蒸着機を用いて、１×１０−２ｔｏｒｒの真空度下にて速度１００ｍ／分にて巻き直し処理を行った。その後ベースフィルムのＢ層表面上に酸化銅の真空蒸着を行った。この場合の蒸発源は銅であり、材料の蒸発途中で酸素と反応し、酸化銅（ＣｕＯ）の被膜がＢ層表面上に形成されるようにした。蒸着時の酸素導入は、蒸着機内の冷却ドラムの入口側と出口側の両方から行い、入口側の酸素量を３０００ｍｌ／分、出口側の酸素量を２０００ｍｌ／分とした。蒸着速度１４０ｍ／分にて蒸着膜厚７０ｎｍの酸化銅（ＣｕＯ）強化膜を形成した。このときの蒸着におけるフィルムの搬送張力は、巻出し側が４．２ｋｇ／ｍ、巻取り側が３．７ｋｇ／ｍであった。次に、得られたロールのフィルムを再度真空蒸着機を通し、Ａ層側表面に１回目と同様の条件で蒸着を行い蒸着膜厚７０ｎｍの酸化銅（ＣｕＯ）強化膜を形成した。その結果、ポリエステルフィルムの両面に計０．１４μｍの強化膜が形成された厚み４．１４μｍの支持体を作成した。この支持体の特性を表１に示す。この支持体においてＡ層表面側の高さ３０ｎｍ未満の微細突起の個数は１８０万個／ｍｍ２であった。
【００７３】
次に支持体の表面Ａに真空蒸着により、蒸着速度１２０ｍ／分にて、厚み７０ｎｍのコバルト−酸素薄膜を形成した。さらにコバルト−酸素薄膜層上に、ＣＶＤ法によりダイヤモンド状カーボン膜を１０ｎｍの厚みで形成させた。続いてフッ素含有脂肪酸エステル系潤滑剤を３ｎｍの厚さで塗布し、最後にカーボンブラック、ポリウレタン、シリコーンからなるバックコート層をメチルエチルケトン溶液を用いてフィルム表面Ｂ上に４００ｎｍの厚さで設け、スリッターにより幅６．３５ｍｍ幅にスリットしパンケーキとした。パンケーキよりリールに巻き取り磁気記録テープ（ＤＶＣテープ）を作成した。得られたＤＶＣテープの特性を表２に示す。
【００７４】
実施例６
実質的に不活性粒子を含有しないポリエチレンテレフタレートに平均粒径６０ｎｍのシリカを０．０５重量％含有させた原料Ａと、実質的に不活性粒子を含有しないポリエチレンテレフタレートに平均粒径２００ｎｍの架橋ポリスチレン粒子を０．３０重量％含有させた原料Ｂとを厚み比５：１の割合で口金を通して、共押出しし冷却ドラムに密着させシート化し、ロール延伸法で１１０℃で３．２倍に縦延伸した。
【００７５】
縦延伸の後の工程で、Ａ層の外側に下記組成の水溶液を塗布濃度（固形分濃度）２０ｍｇ／ｍ２で塗布した。
Ａ層外側：メチルセルロース　　　　　　　　　　　０．１０重量％
水溶性ポリエステル　　　　　　　　　　０．３５重量％
平均粒径　１２ｎｍの極微細シリカ　　　０．０５重量％
【００７６】
その後、ステンターにて横方向に１１０℃で４．０倍に延伸し、２１５℃で熱処理し、厚さ４．５μｍのポリエステルフィルムを製造した。
【００７７】
このフィルムをスリッターを用いて幅６００ｍｍ、長さ１２０００ｍにスリットしフィルムロールとした。このフィルムロールのフィルムを用い、グラビアコーターを用いて下記組成の有機溶剤系塗液をＢ層表面上に塗布した。
ポリメチルメタクリレート樹脂　　　　５重量％
メラミン樹脂　　　　　　　　　　　　１０重量％
溶剤：トルエン
【００７８】
塗布後、１４０℃で乾燥し、厚み０．４μｍの塗膜層を設け、厚さ４．９μｍの支持体を作製した。この支持体の特性を表１に示す。
【００７９】
次に支持体の表面Ａに真空蒸着により、蒸着速度６０ｍ／分にて、厚み１７０ｎｍのコバルト−酸素薄膜を形成した。さらにコバルト−酸素薄膜層上に、ＣＶＤ法によりダイヤモンド状カーボン膜を１０ｎｍの厚みで形成させた。続いてフッ素含有脂肪酸エステル系潤滑剤を３ｎｍの厚さで塗布し、最後にカーボンブラック、ポリウレタン、シリコーンからなるバックコート層をメチルエチルケトン溶液を用いてフィルム表面Ｂ上に４００ｎｍの厚さで設け、スリッターにより幅６．３５ｍｍ幅にスリットしパンケーキとした。パンケーキよりリールに巻き取り磁気記録テープ（ＤＶＣテープ）を作成した。得られたＤＶＣテープの特性を表２に示す。
【００８０】
比較例１
実施例１の支持体の製造において、ポリエステルフィルムのＢ面側に設けるアルミニウム強化膜の厚みを４０ｎｍに変更したこと以外は、実施例１と同様にして、支持体およびＤＶＣテープを作成した。それぞれの特性を表１、表２に示す。支持体の曲げ剛性の値が本発明の範囲を満たしておらず、ＤＶＣテープは特性としても劣るものとなった。
【００８１】
比較例２
実質的に不活性粒子を含有しないポリエチレンテレフタレートからなる原料Ａと、実質的に不活性粒子を含有しないポリエチレンテレフタレートに平均粒径３００ｎｍのポリジビニルベンゼンよりなる有機粒子を０．３０重量％含有させた原料Ｂとを厚み比５：１の割合で口金を通して、共押出しし冷却ドラムに密着させシート化し、ロール延伸法で１１０℃で３．６倍に縦延伸した。
【００８２】
縦延伸の後の工程で、Ａ層の外側に下記組成の水溶液を塗布濃度（固形分濃度）２０ｍｇ／ｍ２で塗布した。
Ａ層外側：メチルセルロース　　　　　　　　　　　０．１０重量％
水溶性ポリエステル　　　　　　　　　　０．３５重量％
平均粒径　１８ｎｍの極微細シリカ　　　０．０５重量％
【００８３】
その後、ステンターにて横方向に１１０℃で４．０倍に延伸し、２１５℃で熱処理し、厚さ４．５μｍのポリエステルフィルムを製造した。
【００８４】
このフィルムをスリッターを用いて幅６００ｍｍ、長さ１５０００ｍにスリットしフィルムロールとした。このフィルムロールのフィルムを用い、真空蒸着機を用いて、１×１０−２ｔｏｒｒの真空度下にて速度１００ｍ／分にて巻き直し処理を行った。その後ベースフィルムのＢ層表面上に酸化珪素／酸化アルミニウムの真空蒸着を行った。この場合の蒸発源は酸化珪素（ＳｉＯ）／アルミニウムであり、材料の蒸発途中で酸素と反応し、酸化珪素（ＳｉＯ２）／酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）の被膜がＢ層表面上に形成されるようにした。蒸着時の酸素導入は、蒸着機内の冷却ドラムの入口側と出口側の両方から行い、入口側の酸素量を２０００ｍｌ／分、出口側の酸素量を１０００ｍｌ／分とした。蒸着速度８０ｍ／分にて蒸着膜厚１３０ｎｍの酸化珪素（ＳｉＯ２）／酸化アルミニウム強化膜を形成し、厚さ４．６３μｍの支持体を作成した。このときの蒸着におけるフィルムの搬送張力は、巻出し側が５．８ｋｇ／ｍ、巻取り側が４．９ｋｇ／ｍであった。この支持体の特性を表１に示す。長手方向の曲げ剛性の値が本発明の範囲を満たさない結果となった。また、熱収縮率の値も０．８％と大きな値となった。
【００８５】
次に支持体の表面Ａに真空蒸着により、蒸着速度６０ｍ／分にて、厚み１７０ｎｍのコバルト−酸素薄膜を形成した。さらにコバルト−酸素薄膜層上に、ＣＶＤ法によりダイヤモンド状カーボン膜を１０ｎｍの厚みで形成させた。続いてフッ素含有脂肪酸エステル系潤滑剤を３ｎｍの厚さで塗布し、最後にカーボンブラック、ポリウレタン、シリコーンからなるバックコート層をメチルエチルケトン溶液を用いてフィルム表面Ｂ上に４００ｎｍの厚さで設け、スリッターにより幅６．３５ｍｍ幅にスリットしパンケーキとした。パンケーキよりリールに巻き取り磁気記録テープ（ＤＶＣテープ）を作成した。得られたＤＶＣテープの特性を表２に示す。オフトラック特性に劣る結果となった。
【００８６】
比較例３
実施例６の支持体の製造において、有機溶剤系塗液による皮膜の厚みを０．９μｍと変更したこと以外は実施例６と同様にして、支持体およびＤＶＣテープを作成した。支持体におけるポリエステルフィルムの厚み比率が本発明の範囲を満たしておらず、テープの幅方向のカールが大きく、出力特性に劣るものとなった。
【００８７】
比較例４
実施例１のフィルム製造におけるＢ層用原料のみを用いて、実施例１と同様の製膜条件にて、厚み４．４μｍの単層のポリエチレンテレフタレートフィルムを作成した。但し、その製膜工程途中の縦延伸の後の工程で、Ａ層の外側に塗布した水溶液は下記の組成に変更した。
【００８８】
Ａ層外側：メチルセルロース　　　　　　　　　　　０．１０重量％
水溶性ポリエステル　　　　　　　　　　０．３５重量％
平均粒径　１８ｎｍの極微細シリカ　　　０．０５重量％
このフィルムをスリッターを用いて幅６００ｍｍ、長さ１２０００ｍにスリットしフィルムロールとした。このフィルムロールのフィルムを用い、実施例１と同様にＢ層側表面に酸化アルミニウムの蒸着層（厚み０．１５μｍ）を設け、支持体を作製した。
【００８９】
次に支持体の表面Ａに真空蒸着により、蒸着速度６０ｍ／分にて、厚み１７０ｎｍのコバルト−酸素薄膜を形成した。さらにコバルト−酸素薄膜層上に、ＣＶＤ法によりダイヤモンド状カーボン膜を１０ｎｍの厚みで形成させた。続いてフッ素含有脂肪酸エステル系潤滑剤を３ｎｍの厚さで塗布し、最後にカーボンブラック、ポリウレタン、シリコーンからなるバックコート層をメチルエチルケトン溶液を用いてフィルム表面Ｂ上に４００ｎｍの厚さで設け、スリッターにより幅６．３５ｍｍ幅にスリットしパンケーキとした。パンケーキよりリールに巻き取り磁気記録テープ（ＤＶＣテープ）を作成した。得られたＤＶＣテープの特性を表２に示す。支持体の表面粗さ（Ｒａ）が本発明の範囲を外れており、出力特性に劣る結果となった。
【００９０】
【表１】
2004013958.tif 000002
【００９１】
【表２】
2004013958.tif 000003
【００９２】
【発明の効果】
本発明の磁気記録媒体用支持体を用いると、ヘッドタッチが向上しオフトラックを抑制でき、より長時間記録が可能なＤＶＣ−ＬＰテープや大容量のコンピューターデータ保存用テープを効率的に製造でき、磁気記録媒体の高性能化が可能となる。