(57)【要約】【課題】開閉動作の繰り返しにより、ダイアフラムを構成する円盤部の一部にのみ負荷がかかり劣化することがないとともに、該円盤部に大きな圧力が作用した場合であっても変形することを有効に防止することができる新規なバルブ装置を提供する。【解決手段】一方の管路２に開口１２を介して連通し内部に流体が流入するとともに他方の管路３に連通してなる流体流入室１０と、上記開口１２を開閉する軸部７ａとこの軸部７ａの中途部から放射状に広がり外周は上記流体流入室１０の壁に固定されてなることにより該流体流入室１０を仕切るとともに上記軸部７ａの中心側から外周方向に亘って波状に成形されてなる円盤部７ｂとを備えたダイアフラム７と、を備えたバルブ装置１であって、上記円盤部７ｂにより仕切られ流体が流入しない空間内には、上記軸部７ａによる上記開口１２の閉塞時及び開放時に該円盤部７ｂに当接し又は近接する変形規制部材１８，１９，２０，２１が配設されてなる。【選択図】　　　　図２
2004125115.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の管路に開口を介して連通し内部に流体が流入するとともに他方の管路に連通してなる流体流入室と、上記開口を開閉する軸部とこの軸部の中途部から放射状に広がり外周は上記流体流入室の壁に固定されてなることにより該流体流入室を仕切るとともに上記軸部の中心側から外周方向に亘って波状に成形されてなる円盤部とを備えたダイアフラムと、を備えたバルブ装置であって、
上記円盤部により仕切られ流体が流入しない空間内には、上記軸部による上記開口の閉塞時及び開放時に該円盤部に当接し又は近接する変形規制部材が配設されてなることを特徴とするバルブ装置。
【請求項２】
前記変形規制部材は、前記ダイアフラムを構成する軸部の外周に固定されリング状に成形された固定リングと、この固定リングの外側に配設された複数の移動リングとから構成され、
上記固定リングの外周には、係合部が形成され、
上記移動リングは、最も内側に配設された内側移動リングと、最も外側に配設された外側移動リングと、上記内側移動リングと外側移動リングとの間に配設された単数又は複数の中間移動リングとからなり、
上記内側移動リングには、上記固定リングの外周に形成された係合部に係合する内側係合部と、外側係合部とが形成され、
上記中間移動リングには、上記内側移動リング又は他の中間移動リングに形成された外側係合部に係合する内側係合部と、外側係合部とが形成され、
上記外側移動リングには、上記中間移動リングに形成された外側係合部に係合する内側係合部が形成され、
前記開口を閉塞する方向への軸部の移動に伴う固定リングの移動により、上記全ての移動リングの一端が前記円盤部に当接し又は近接するよう構成されてなることを特徴とする請求項１記載のバルブ装置。
【請求項３】
前記移動リングは全て同一の長さに成形されてなるとともに、該移動リングの他端側には、前記ダイアフラムを構成する軸部の中心側から外側にかけて、順番に開口側に近づく階段状の当接面が形成され、これらの各当接面に上記移動リングの他端面が当接するよう構成されてなることを特徴とする請求項２記載のバルブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、流体が流通する流路の途中に装着され、該流体の流通を停止し又はその停止状態を解除するために使用されるバルブ装置に関し、特に、ダイアフラムが構成要素とされているバルブ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、図６に示すように、内部にダイアフラム１０１が内蔵されたバルブ装置１００が製造されている。このバルブ装置１００は、それぞれ図示しない導管に接続される一方及び他方の管路１０２，１０３が形成されたボディー１０４を備えている。このボディー１０４の中心には、上記一方の管路１０２に開口１０５を介して連通してなるとともに、上記他方の管路１０３に連通してなる流体流入室１０６が形成され、この流体流入室１０６には、上記ダイアフラム１０１が配設されている。このダイアフラム１０１は、上記開口１０５を開閉する軸部１０１ａと、この軸部１０１ａと一体成形されてなるとともに該軸部１０１ａから放射状に広がった薄肉状の円盤部１０１ｂと、この円盤部１０１ｂの外周に形成されたリング状の厚肉部１０１ｃとから構成されている。なお、この円盤部１０１ｂは、上記軸部１０１ａから上記厚肉部１０１ｃに亘ってやや傾斜されている。
【０００３】
また、上記ボディー１０４には、ケース１０７が固定され、このケース１０７の中心には移動軸１０８が回動自在に取り付けられている。この移動軸１０８の上端には、該移動軸１０８を回動操作するために作業者が把持する操作ハンドル１０９が取り付けられ、また、下端面には、凹部１０９ａが形成されている。そして、上記ダイアフラム１０１を構成する軸部１０１ａは、基端側がこの凹部１０９ａに挿入されている。また、上記ボディー１０４の一端側内側と上記ケース１０７の他端側内側との間には、中心に上記移動軸１０８の一端側が挿通された挿通孔１１０ａが形成されてなるとともに、上記ダイアフラム１０１を構成する厚肉部１０１ｃをボディー１０４に形成された段差面１０４ａとにより挟持する押さえリング１１０が配設されている。また、上記ケース１０７の内周面には、一方のネジ１０７ａが形成されてなる一方、上記移動軸１０８の外周面には、この一方のネジ１０７ａに螺合する他方のネジ１０８ｂが形成されている。
【０００４】
したがって、このバルブ装置１００では、上記操作ハンドル１０９を把持し、上記移動軸１０８を（時計回り方向に）回動させると、この移動軸１０８は、図６に示す状態から下方に移動し、これによって上記ダイアフラム１０１を構成する軸部１０１ａが下降して上記開口１０５が閉塞される。こうした操作により、それまで一方の管路１０２から上記開口１０５を通って流体流入室１０６内に流入し、この流体流入室１０６から他方の管路１０３に流入していた流体の流通が阻止される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このように開閉される従来のバルブ装置１００において、上述した開閉動作がなされる際には、上記ダイアフラム１０１を構成する軸部１０１ａは移動させられる一方、上記厚肉部１０１ｃは固定されていることから、円盤部１０１ｂの一部（軸部１０１ａの外周部位）のみに負荷がかかることとなり、開閉動作が多数回繰り返されることによって、該負荷がかけられた部位のみが劣化し、最終的には亀裂し又は破断され流体がリークするおそれがある。そこで、こうした円盤部１０１ｂの劣化を防止するために、該円盤部１０１ｂを波状に成形する方法が考えられる。円盤部１０１ｂを、このように波状に成形することにより、軸部１０１ａの移動に伴う負荷は一部にのみかかることが防止され、耐久性が向上される。
【０００６】
しかしながら、このようにダイアフラム１０１の円盤部１０１ｂを波状に成形すると、該円盤部１０１ｂに流体の圧力が大きく作用した場合、特に、上記開口１０５を閉塞した場合における所謂ハンマー現象が生じた場合には、それまで波状となっていた円盤部１０１ｂが、図７に示すように、断面円弧状に変形してしまい、上述した開閉動作を繰り返しても元の形状に復帰することなく、結果的には、やはり開閉動作の際に一部にのみ負荷がかかり劣化することを避けられない。
【０００７】
そこで、本発明は、上述した従来のバルブ装置が有する課題を解決するために提案されたものであって、開閉動作の繰り返しにより、ダイアフラムを構成する円盤部の一部にのみ負荷がかかり劣化することがないとともに、該円盤部に大きな圧力が作用した場合であっても変形することを有効に防止することができる新規なバルブ装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであって、第１の発明（請求項１記載の発明）は、一方の管路に開口を介して連通し内部に流体が流入するとともに他方の管路に連通してなる流体流入室と、上記開口を開閉する軸部とこの軸部の中途部から放射状に広がり外周は上記流体流入室の壁に固定されてなることにより該流体流入室を仕切るとともに上記軸部の中心側から外周方向に亘って波状に成形されてなる円盤部とを備えたダイアフラムと、を備えたバルブ装置であって、上記円盤部により仕切られ流体が流入しない空間内には、上記軸部による上記開口の閉塞時及び開放時に該円盤部に当接し又は近接する変形規制部材が配設されてなることを特徴とするものである。
【０００９】
この第１の発明によれば、円盤部は、ダイアフラムの中心側から外周方向に亘って波状に成形されてなることから、該ダイアフラムが開閉動作を繰り返しても、該円盤部の一部のみに負荷がかけられることがなく、劣化し亀裂又は破断するおそれを防止することができるのみならず、開口の閉塞に伴いこの円盤部に高い圧力が作用した場合であっても、円盤部は上記変形規制部により変形が規制されることから、長期間に亘って当初の形状（波状）を維持することができる。また、この発明によれば、円盤部の肉厚をさらに薄いものとし、従来の撓み量よりも大きなものとすることも可能となる。
【００１０】
また、第２の発明（請求項２記載の発明）は、上記第１の発明において、前記変形規制部材は、前記ダイアフラムを構成する軸部の外周に固定されリング状に成形された固定リングと、この固定リングの外側に配設された複数の移動リングとから構成され、上記固定リングの外周には、係合部が形成され、上記移動リングは、最も内側に配設された内側移動リングと、最も外側に配設された外側移動リングと、上記内側移動リングと外側移動リングとの間に配設された単数又は複数の中間移動リングとからなり、上記内側移動リングには、上記固定リングの外周に形成された係合部に係合する内側係合部と、外側係合部とが形成され、上記中間移動リングには、上記内側移動リング又は他の中間移動リングに形成された外側係合部に係合する内側係合部と、外側係合部とが形成され、上記外側移動リングには、上記中間移動リングに形成された外側係合部に係合する内側係合部が形成され、前記開口を閉塞する方向への軸部の移動に伴う固定リングの移動により、上記全ての移動リングの一端が前記円盤部に当接し又は近接するよう構成されてなることを特徴とするものである。
【００１１】
この第２の発明によれば、開口を閉塞する方向へのダイアフラムの移動に伴う固定リングの移動により、上記全ての移動リングの一端が前記円盤部に当接し又は近接するよう構成されてなることから、円盤部に高い圧力が作用した場合であっても、円盤部は上記移動リングの一端により変形させられることがない。なお、この第２の発明においては、上記移動リングは、ダイアフラムを構成する軸部から外側にかけて順番に長いものとされているものであっても良い。
【００１２】
また、第３の発明（請求項３記載の発明）は、前記第２の発明において、前記移動リングは全て同一の長さに成形されてなるとともに、該移動リングの他端側には、前記ダイアフラムを構成する軸部の中心側から外側にかけて、順番に開口側に近づく階段状の当接面が形成され、これらの各当接面に上記移動リングの他端面が当接するよう構成されてなることを特徴とするものである。
【００１３】
この第３の発明によれば、移動リングは全て長さが同一とされているので、製造上簡易となり、またサイズが異なる場合でも複数の複数の移動リングの何れかを利用することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態に係るバルブ装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、この実施の形態は、本発明を、手動操作により開閉するバルブ装置に適用したものである。
【００１５】
この実施の形態に係るバルブ装置１は、全て図１に示すように、一方及び他方の管路２，３が形成されたボディー４と、このボディー４に固定されているケース５と、このケース５の中心に回動自在に配設されている移動軸６と、この移動軸６の一端（図１中下端）に固定されたダイアフラム７とを備えている。
【００１６】
上記ボディー４に形成された一方の管路２は、先端に図示しない一方の導管の端部が挿入固定される導管挿入部２ａが形成され、また、上記他方の管路３は、上記一方の管路２の長さ方向に、間に仕切り部４ａを介して形成され、先端には、図示しない他方の導管の端部が挿入固定される導管挿入部３ａが形成されている。また、このボディー４の側方（図１中、一方及び他方の管路２，３の上方）には、流体流入室１０が内部に形成された管部１１が設けられ、この流体流入室１０と、上記一方の管路２とは、後述するダイアフラム７を構成する軸部により開閉される開口１２により連通している。また、この流体流入室１０は、上記他方の管路３にも連通している。また、この管部１１の上端側内周には、下端側よりも大径となされた一方の大径凹部１１ａ（図２参照）が形成され、この一方の大径凹部１１ａの内周面には、ネジ（符号は省略する。）が形成されている。
【００１７】
また、上記ケース５は、中心に移動軸６の上端側中途部が挿通される挿通穴５ａと、この挿通穴５ａと同軸とされやや大径とされてなるとともに内周には、一方のネジ５ｂが形成されたネジ穴（符号は省略する。）が形成されている。また、このケース５の下面には、上記管部１１に形成された一方の大径凹部１１ａと同じ径となされた他方の大径凹部５ｃ（図２参照）が形成されている。なお、このケース５の上端側外周には、図１に示すように、ロックナット１３が固定されている。そして、上記ケース５には、下方から上端側が挿入され上記一方のネジ５ｂに螺合する移動軸６が回動可能に配設されている。この移動軸６は、上記ケース５に形成された挿通穴５ａに下方から挿通されさらに上方に突出された小径部６ａと、この小径部６ａの下方に形成された大径部６ｂとを備えている。そして、上記小径部６ａの上端には、この移動軸６を回動操作するために作業者により把持される操作ハンドル１４が固定されている。また、上記大径部６ｂの外周には、上記ケース５に形成された一方のネジ５ｂに螺合する他方のネジ６ｃが形成されている。また、この移動軸６の下端側は、上記管部１１に形成された上記流体流入室１０内に臨んでいるとともに、該移動軸６の下端面の中心には、凹部６ｄが形成され、さらにこの移動軸６の下端側外周には、図２に示すように、小径部６ｅが形成されている。
【００１８】
そして、上記移動軸６の下端には、図１に示すように、本発明を構成するダイアフラム７が固定されている。このダイアフラム７は、下端面で上記開口１２を開閉する軸部７ａと、この軸部７ａの中途部から放射状に広げられてなる円盤部７ｂと、この円盤部７ｂの外周に形成されたリング状の厚肉部７ｃとを備えている。そして、上記軸部７ａの上端には、上記凹部６ｄに挿入され該軸部７ａよりも小径となされた凸部７ｄが形成されている。また、上記円盤部７ｂは、基端が上記移動軸６に形成された小径部６ｅの下端近傍に位置してなるとともに、外側に亘って徐々に径が大となる波状（波紋状）に成形されており、上記流体流入室１０を、上下（流体が流入する空間と流入しない空間）に仕切っている。
【００１９】
また、この実施の形態に係るバルブ装置１では、内部に押さえリング１６が内蔵されている。この押さえリング１６は、上端側が上記ケース５に形成された他方の大径凹部５ｃに嵌め込まれ、その他は上記ボディー５の管部１１に形成された一方の大径凹部１１ａに螺合されており、下端面は、上記ダイアフラム７を構成する厚肉部７ｃを他方の大径凹部５ｃの底面との間で挟持している。また、上記押さえリング１６の上端側内周には、上面が上記ケース５の下面に当接し又は固定されてなり、下面には、後述する移動リングを構成する内側移動リング１９の上端面が当接する第１の当接面１７ａと、後述する中間移動リング２１の上端面が当接する第２の当接面１７ｂと、後述する外側移動リング２０の上端面が当接する第３の当接面１７ｃが形成された移動リング当接部材１７が配設されている。なお、上記第１の当接面１７ａは、上記第２の当接面１７ｂよりも図中上方に形成され、第３の当接面１７ｃは、該第２の当接面１７ｂよりも図中下方に形成されている。すなわち、上記移動リング当接部材１６の下面には、上記第１乃至第３の当接面１７ａ・・・１７ｃが階段状に形成されている。
【００２０】
また、上記ダイアフラム７を構成する円盤部７ｂの上方には、本発明を構成する変形規制部材（符号は省略する。）が配設されている。この変形規制部材は、全て同一の長さとされてなり、上記移動軸６に形成された小径部６ｅに固定されリング状に成形された固定リング１８と、この固定リング１８の外側に配設された移動リング（符号は省略する。）とから構成され、この移動リングは、最も内側に配設された内側移動リング１９と、最も外側に配設された外側移動リング２０と、上記内側移動リング１９と外側移動リング２０との間に配設された中間移動リング２１とから構成されている。そして、図３に示すように、上記固定リング１８の上端側外周には、やや大径となされた大径リング部１８ａが形成され、この大径リング部１８ａの下面は、第１の係合部１８ｂとされている。また、上記内側移動リング１９の上端側内周には、上記固定リング１８に形成された大径リング部１８ａの外径に対応した内径を有するリング状凹部１９ａが形成され、このリング状凹部１９ａは上記第１の係合部１８ｂに係合する第２の係合部１９ｂを有している。また、この内側移動リング１９の上端側外周には、該内側移動リング１９の下端側よりもやや大径となされた大径リング部１９ｃが形成され、この大径リング部１９ｃの下面は、第３の係合部１９ｄとされている。また、この内側移動リング１９の外側に配設された上記中間移動リング２１は、上記内側移動リング１９と同一の形状に成形され、上端側内周には、上記内側移動リング１９に形成された大径リング部１９ｃの外径に対応した内径を有するリング状凹部２１ａが形成され、このリング状凹部２１ａは上記第３の係合部１９ｄに係合する第４の係合部２１ｂを有している。また、この中間移動リング２１の上端側外周には、該中間移動リング２１の下端側よりもやや大径となされた大径リング部２１ｃが形成され、この大径リング部２１ｃの下面は、第５の係合部２１ｄとされている。また、上記中間移動リング２１の外側には、上記外側移動リング２０が配設され、この外側移動リング２１の上端側内周には、上記中間移動リング２１に形成された大径リング部２１ｃの外径に対応した内径を有するリング状凹部２０ａが形成され、このリング状凹部２０ａは上記第５の係合部２１ｄに係合する第６の係合部（内側係合部）２０ｂを有している。なお、上記内側移動リング１９に形成された第２の係合部１９ｂと、中間移動リング２１に形成された第４の係合部２１ｂと、外側移動リング２０に形成された第６の係合部２０ｂは、それぞれ本発明を構成する内側係合部であり、上記内側移動リング１９に形成された第３の係合部１９ｄと、中間移動リング２１に形成された第５の係合部２１ｄは、それぞれ本発明を構成する外側係合部である。
【００２１】
したがって、上述した構成に係るバルブ装置１によれば、ダイアフラム７を構成する軸部７ａが上昇し、前記開口１２が開放されている状態において、作業者が前記操作ハンドル１４を時計回り方向に回転操作すると、前記移動軸６も回転しながら徐々に下降する。こうした移動軸６の下降により、ダイアフラム７を構成する軸部７ａも下降し、やがて該軸部７ａの下面により上記開口１２が閉塞される。そして、このように軸部７ａが下降すると、この軸部７ａに固定された上記固定リング１８も下降するとともに、該固定リング１８の外周に形成された第１の係合部１８ｂは、上記内側移動リング１９の内周に形成された第２の係合部１９ｂに係合して、この内側移動リング１９も下降させられる。また、こうした内側移動リング１９の下降に伴い、該内側移動リング１９に形成された上記第３の係合部１９ｄと上記中間移動リング２１に形成された第４の係合部２１ｂとが係合して、この中間移動リング２１も下降させられる。そしてさらに、この中間移動リング２１の下降に伴い、該中間移動リング２１に形成された第５の係合部２１ｄと上記外側移動リング２０に形成された第６の係合部２０ｂとが係合して、この外側移動リング２０も下降させられ、最終的には、図１及び図２に示すように、前記固定リング１８及び全ての移動リングが下降し、波状に成形された上記円盤部７ｂの上面近傍に位置される。したがって、こうしたダイアフラム７により、上記開口１２が閉塞された場合において、所謂ハンマー現象が生じバック圧が円盤部７ｂに作用した場合であっても、該円盤部７ｂの上面近傍には、上記固定リング１８及び移動リングの下端が位置しているので、該バック圧により変形してしまうことがない。
【００２２】
また、このように、ダイアフラム７により開口１２が閉塞されている状態において、作業者により上記操作ハンドル１４が反時計回り方向に回転させられると、前記移動軸６は回転しながら上昇し、これに伴いダイアフラム７を構成する軸部７ａも上昇させられる。こうした、軸部７ａの上昇により、上記固定リング１８も上昇する。また、上記軸部７ａの上昇により、上記円盤部７ｂの中心側も上昇する。この結果、この円盤部７ｂの上面により上記内側移動リング１９，中間移動リング２１及び外側移動リング２０も上昇させられ、やがて、図１及び図２に示すように、該内側移動リング１９の上端面は、上記移動リング当接部材１６の下面に形成された第１の当接面１７ａに当接し、また、中間移動リング２１の上端面は上記第２の当接面１７ｂに当接し、さらに外側移動リング２０の上端面は、上記第３の当接面１７ｃに当接し、該固定リング１８，内側移動リング１９中間移動リング２１及び外側移動リング２０は、それ以上上昇しない。したがって、この実施の形態に係るバルブ装置１では、上記ダイアフラム７を構成する軸部７ａの上昇による開口１２の開放時において、上記円盤部７ｂに圧力が作用した場合であっても該円盤部７ｂが変形されない。
【００２３】
したがって、上述した実施の形態に係るバルブ装置１によれば、薄肉且つ波状に成形された円盤部７ｂを備えたダイアフラム７による開口１２の開閉動作の際に、該円盤部７ｂの一部にのみ繰り返し負荷がかかることが防止され、該円盤部７ｂに亀裂や破断が発生することを有効に回避することが可能となり、耐久性を大幅に向上することができるとともに、該円盤部７ｂに大きな圧力が作用した場合であっても、変形することを有効に防止することが可能となる。
【００２４】
特に、上記実施の形態に係るバルブ装置１では、本発明を構成する移動リングである内側移動リング１９，中間移動リング２１及び外側移動リングの他端側（上方）に、ダイアフラム７を構成する軸部７ａの中心側から外側にかけて、順番に開口１２側に近づく第１乃至第３の当接面１７ａ・・・１７ｃが階段状に形成され、これら第１乃至第３の当接面１７ａ・・・１７ｃに上記内側移動リング１９，中間移動リング２１及び外側移動リングの他端面（上面）が当接するよう構成されていることから、全ての移動リングを同一の長さに成形することができ、サイズの異なるバルブ装置を製造する場合には、これらの移動リングの何れかを利用することが可能となり製造コストを安価なものとすることができる。
【００２５】
なお、上述した実施の形態に係るバルブ装置１では、本発明を、手動操作により開閉するバルブ装置に適用したものであるが、本発明は、必ずしも手動操作によるものばかりではなく、例えば、エアーにより上記移動軸を昇降させダイアフラム７を動作させるものであっても良い。
【００２６】
また、上記実施の形態に係るバルブ装置１では、本発明を構成する中間移動リングを、内側移動リングと外側移動リングとの間に１つ配設したが、この中間移動リングは、１つだけではなく複数配設しても良い。
【００２７】
【発明の効果】
前述した本発明の一実施の形態の説明からも明らかなように、本発明によれば、円盤部は、ダイアフラムの中心側から外周方向に亘って波状に成形されてなることから、該ダイアフラムが開閉動作を繰り返しても、該円盤部の一部にみに負荷がかけられることがなく、劣化し亀裂又は破断するおそれを防止することができるのみならず、開口の閉塞に伴いこの円盤部に高い圧力が作用した場合であっても、円盤部は上記変形規制部により変形が規制されることから、長期間に亘って当初の形状（波状）を維持することができる。また、この発明によれば、円盤部の肉厚をさらに薄いものとし、従来の撓み量よりも大きなものとすることも可能となる。
【００２８】
特に、第２の発明（請求項２記載の発明）によれば、開口を閉塞する方向へのダイアフラムの移動に伴う固定リングの移動により、上記全ての移動リングの一端が前記円盤部に当接し又は近接するよう構成されてなることから、円盤部に高い圧力が作用した場合であっても、円盤部は上記移動リングの一端により変形させられることがない。
【００２９】
また、第３の発明（請求項３記載の発明）によれば、移動リングは全て長さが同一とされているので、製造上簡易となり、またサイズが異なる場合でも複数の複数の移動リングの何れかを利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るバルブ装置であって、ダイアフラムにより開口が閉塞された状態を示す断面図である。
【図２】図１に示すバルブ装置を構成するダイアフラム近傍の構成を拡大して示す断面図である。
【図３】固定リング，内側移動リング，中間移動リング，外側移動リングの形状を破断して示す分解斜視図である。
【図４】図１に示す状態からダイアフラムにより開口が閉塞された状態を示す断面図である。
【図５】図４に示すバルブ装置を構成するダイアフラム近傍の構成を拡大して示す断面図である。
【図６】従来のバルブ装置を示す断面図である。
【図７】ダイアフラムを構成する円盤部が変形した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１　　バルブ装置
２　　一方の管路
３　　他方の管路
７　　ダイアフラム
７ａ　　軸部
７ｂ　　円盤部
１０　　流体流入室
１２　　開口
１７ａ　　第１の当接面
１７ｂ　　第２の当接面
１７ｃ　　第３の当接面
１８　　固定リング部
１８ｂ　　第１の係合部
１９　　内側移動リング
１９ｂ　　第２の係合部
１９ｄ　　第３の係合部
２０　　外側移動リング
２０ｂ　　第６の係合部
２１　　中間移動リング
２１ｂ　　第４の係合部
２１ｄ　　第５の係合部
【図１】
2004125115.tif 000003
【図２】
2004125115.tif 000004
【図３】
2004125115.tif 000005
【図４】
2004125115.tif 000006
【図５】
2004125115.tif 000007
【図６】
2004125115.tif 000008
【図７】
2004125115.tif 000009