(57)【要約】【課題】簡易な手法を用いて効率良く製造できる多極子レンズの製造方法を提供する。【解決手段】被保持部２２ｃを有する複数の極子２３と、極子２３の被保持部２２ｃを保持するための貫通口２５ａが形成された環状の保持部材２５と、保持部材２５の外側に配置され、極子２３の基端部に磁気的に結合する環状のヨークとを有する多極子レンズの製造方法において、保持部材２５に形成された貫通口２５ａ内に連通する開口部３２を介して、保持部材２５の貫通口２５ａに樹脂２４を注入し、注入された樹脂２４を硬化させることにより、極子２３の被保持部２２ｃを貫通口２５ａ内において保持部材２５に固定する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被保持部を有する複数の極子と、極子の被保持部を保持するための貫通口が形成された環状の保持部材と、保持部材の外側に配置され、極子の基端部に磁気的に結合する環状のヨークとを有する多極子レンズの製造方法において、保持部材に形成された貫通口内に連通する開口部を介して、保持部材の貫通口に樹脂を注入し、注入された樹脂を硬化させることにより、極子の被保持部を貫通口内において保持部材に固定することを特徴とする多極子レンズの製造方法。
【請求項２】
被保持部を有する複数の極子と、極子の被保持部を保持するための貫通口が形成された環状の保持部材と、保持部材の外側に配置され、極子の基端部に磁気的に結合する環状のヨークとを有する多極子レンズの製造方法において、極子の被保持部を保持部材の貫通口に挿通させる工程と、保持部材に形成された貫通口内に連通する開口部に、樹脂が収容された樹脂注入手段の吐出口を接して配置する工程と、極子の被保持部が貫通口に挿通された状態で保持部材を樹脂注入手段とともに真空雰囲気内に配置し、真空雰囲気内において保持部材の貫通口内の気体が排気されて樹脂を当該貫通口内に注入する工程と、保持部材の貫通口に注入された樹脂を硬化させる工程とを有することを特徴とする多極子レンズの製造方法。
【請求項３】
保持部材の貫通口の両端部には、シール部材が設けられていることを特徴とする請求項１若しくは２記載の多極子レンズの製造方法。
【請求項４】
注入される樹脂は２液エポキシ系の樹脂であることを特徴とする請求項１乃至３何れかに記載の多極子レンズの製造方法。
【請求項５】
被保持部を有する複数の極子と、極子の被保持部が挿通され、樹脂により充填された貫通口を有する環状の保持部材と、保持部材の外側に配置され、極子の基端部に磁気的に結合する環状のヨークとを具備する多極子レンズにおいて、保持体の貫通口に連通して樹脂を当該貫通口内に樹脂を注入するための開口部が保持体に形成されていることを特徴とする多極子レンズ。
【請求項６】
保持体の貫通口の両端部には、シール部材が設けられていることを特徴とする請求項５記載の多極子レンズ。
【請求項７】
保持部材の貫通口に充填された樹脂は、２液エポキシ系の樹脂であることを特徴とする請求項５若しくは６記載の多極子レンズ。
【請求項８】
荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビームから放出された荷電粒子ビームを制御して試料に照射するための照射系レンズと、荷電粒子ビームが照射された試料の観察像を検出するための検出器と、荷電粒子ビームの収差を補正するための多極子レンズとを備えた観察装置において、当該多極子レンズが、被保持部を有する複数の極子と、極子の被保持部が挿通され、樹脂により充填された貫通口を有する環状の保持部材と、保持部材の外側に配置され、極子の基端部に磁気的に結合する環状のヨークとを具備し、多極子レンズにおける保持体の貫通口に連通して樹脂を当該貫通口内に樹脂を注入するための開口部が当該保持体に形成されていることを特徴とする多極子レンズを備えた観察装置。
【請求項９】
多極子レンズにおける保持体の貫通口の両端部には、シール部材が設けられていることを特徴とする請求項８記載の多極子レンズを備えた観察装置。
【請求項１０】
多極子レンズにおける保持部材の貫通口に充填された樹脂は、２液エポキシ系の樹脂であることを特徴とする請求項８若しくは９記載の多極子レンズを備えた観察装置。
【請求項１１】
荷電粒子ビームは電子ビームであることを特徴とする請求項８乃至１０何れかに記載の多極子レンズを備えた観察装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する分野】
本発明は、８極子や１２極子等の多極子を有する多極子レンズの製造方法及び多極子レンズ並びに多極子レンズを備えた観察装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
走査型電子顕微鏡等の観察装置において、荷電粒子ビームである電子ビームを試料に照射する際に、試料の観察像を適切に検出する目的で、電子ビームの収差を補正して試料に照射することが行われている。このような観察装置内で、電子ビームの収差を補正するために、収差補正器として多極子レンズを設けている。
【０００３】
この多極子レンズとして、８個や１２個等の複数個の極子を有し、これらの極子は、環状の保持部材と、この保持部材の外側に配置されたヨークとによって支持されている構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
以下、当該特許文献１に記載された多極子レンズ（多極素子）を参照しながら説明する。特許文献１における図１（ＦＩＧ１）に示された多極子レンズは、取付け棒と当該取付け棒の先端部に結合された磁極とからなる複数の極子と、これらの極子の取付け棒を通すための気密孔が設けられたビーム管と、このビーム管の外側に配置された環状のヨーク（リング状鉄回路）とを備えている。
【０００５】
極子は、取付け棒の先端部を磁極にねじ込んだり、両者を接着もしくは溶着して連結することにより構成される。ここで、極子を構成する取付け棒及び磁極は磁性材料から作られている。また、ビーム管は電気絶縁材料等により作られており、気密孔の周囲に金属被膜が設けられている。
そして、極子における取付け棒は、その基端部においてヨークと堅く連結されている。また、当該取付け棒は、ビーム管の気密孔内において、上記金属被膜を介した溶接により気密に固着され、これにより当該溶接部は真空密封体とされている。
【０００６】
取付け棒におけるビーム管とヨークとの間に位置する部分には、コイルが設けられている、そして、このコイルに電流を流すことにより、取付け棒の先端部に接合された磁極が励磁される。なお、取付け棒の基端部は、絶縁体を介してヨークの穴に配置され、それぞれに電気端子が接続されて電圧が供給されるようになっている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平２−２３０６４７号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような構成からなる多極子レンズの製造工程においては、極子を構成する取付け棒とビーム管の気密孔とを溶着により固着することとなる。このとき、極子は所望の位置に位置決めされた状態となっているが、少なくとも溶着される部分は加熱されることとなり、この溶着の際に加えられた熱は、ビーム管にも熱伝導により伝わるとともに、極子を構成する取付け棒及びその先端部の磁極にも伝わる。
【０００９】
このため、溶接の際に、極子及びビーム管が熱膨張を起こすこととなり、その後放熱されて常温に戻っても、極子及びビーム管が元の形状に完全に復帰しないことがある。この場合、極子は、予め位置決めされた状態から変形されていることとなるので、溶着工程の後、切削加工等により極子の形状を修正する必要があり、手間がかかり製造効率が良くなかった。
【００１０】
本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、簡易な方法で効率良く製造できる多極子レンズの製造方法を提供することを目的とするものであり、さらに、当該製造方法による多極子レンズ及び多極子レンズを備えた観察装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決する手段】
本発明に基く多極子レンズの製造方法は、被保持部を有する複数の極子と、極子の被保持部を保持するための貫通口が形成された環状の保持部材と、保持部材の外側に配置され、極子の基端部に磁気的に結合する環状のヨークとを有する多極子レンズの製造方法であって、保持部材に形成された貫通口内に連通する開口部を介して、保持部材の貫通口に樹脂を注入し、注入された樹脂を硬化させることにより、極子の被保持部を貫通口内において保持部材に固定することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に基く他の多極子レンズの製造方法は、被保持部を有する複数の極子と、極子の被保持部を保持するための貫通口が形成された環状の保持部材と、保持部材の外側に配置され、極子の基端部に磁気的に結合する環状のヨークとを有する多極子レンズの製造方法であって、極子の被保持部を保持部材の貫通口に挿通させる工程と、保持部材に形成された貫通口内に連通する開口部に、樹脂が収容された樹脂注入手段の吐出口を接して配置する工程と、極子の被保持部が貫通口に挿通された状態で保持部材を樹脂注入手段とともに真空雰囲気内に配置し、真空雰囲気内において保持部材の貫通口内の気体が排気されて樹脂を当該貫通口内に注入する工程と、保持部材の貫通口に注入された樹脂を硬化させる工程とを有することを特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明に基く多極子レンズは、被保持部を有する複数の極子と、極子の被保持部が挿通され、樹脂により充填された貫通口を有する環状の保持部材と、保持部材の外側に配置され、極子の基端部に磁気的に結合する環状のヨークとを具備する多極子レンズであって、保持体の貫通口に連通して樹脂を当該貫通口内に樹脂を注入するための開口部が保持体に形成されていることを特徴とする。
【００１４】
そして、本発明に基く観察装置は、荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビームから放出された荷電粒子ビームを制御して試料に照射するための照射系レンズと、荷電粒子ビームが照射された試料の観察像を検出するための検出器と、荷電粒子ビームの収差を補正するための多極子レンズとを備えた観察装置であって、当該多極子レンズが、被保持部を有する複数の極子と、極子の被保持部が挿通され、樹脂により充填された貫通口を有する環状の保持部材と、保持部材の外側に配置され、極子の基端部に磁気的に結合する環状のヨークとを具備し、多極子レンズにおける保持体の貫通口に連通して樹脂を当該貫通口内に樹脂を注入するための開口部が当該保持体に形成されていることを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本発明における多極子レンズを備えた観察装置を示す概略構成図であり、本実施の形態においては走査型電子顕微鏡の例である。同図において、１は走査型電子顕微鏡であり、当該走査型電子顕微鏡１は、荷電粒子ビーム源としての電子銃２と、集束レンズ３ａと、収差補正器４と、走査コイル５と、対物レンズ３ｂと、検出器８とを備えている。
【００１７】
この走査型電子顕微鏡１において、電子銃２から放出されて加速された電子ビーム（荷電粒子ビーム）９は、集束レンズ３ａ及び対物レンズ３ｂより構成される照射系レンズ３により制御されて細く集束されて試料７の被観察面７ａに照射される。その際に、電子ビーム９は、走査コイル５により適宜偏向され、試料７の被観察面７ａ上を走査される。
【００１８】
そして、電子ビーム９が照射された試料７の被観察面７ａから、当該被観察面７ａに応じて２次電子もしくは反射電子等の被検出電子１０が発生し、当該被検出電子１０は試料７の観察像として検出器８によって検出される。検出器８によって検出された被検出電子１０の検出信号（観察像信号）は、適宜増幅されて図示しない制御回路に送られ、当該制御回路を介してＣＲＴ（陰極線管）やＬＣＤ（液晶ディスプレイ）等の表示手段（図示せず）に送信されて観察像として画像表示される。
【００１９】
電子ビーム９が、照射系レンズ３により集束されて試料７の被観察面７ａに照射される際には、収差補正器４を通過する。この収差補正器４は電子ビーム９の収差を補正するためのものであり、本実施の形態においては、４段の多極子レンズ４ａから構成されている。
【００２０】
図２に、この収差補正器４を構成する１段分の多極子レンズ４ａの断面図を示す。この多極子レンズ４ａは、磁極２１及び支持棒２２からなる極子２３と、極子２３を保持するための環状の保持部材２５と、保持部材２５の外側に配置された環状のヨーク２９とを備えている。極子２３は、支持棒２２の先端部２２ａに取付けられた磁極２１から構成され、支持棒２２及び磁極２１はともにパーマロイや鉄等の磁性材料から形成されている。なお、支持棒２２への磁極２１の取付け方法は、ねじ込み、接着、溶着等の固定方法を用いることができる。
【００２１】
極子２３を構成する支持棒２２の被保持部２２ｃは、真鍮やリン青銅等の非磁性体からなる保持部材２５に形成された貫通口２５ａ内に挿通されており、この貫通口２５ａの両端部にはＯリング等のシール部材２６，２７が配置されている。そして、貫通口２５ａの内部において、支持棒２２の被保持部２２ｃの外周面と貫通口２５ａの内周面との間の空間には樹脂２４が充填されている。なお、当該樹脂２４は、貫通口２５ａ内部の当該空間内において硬化されている。よって、支持棒２２の被保持部２２ｃは硬化された樹脂２４を介して保持部材２５の貫通口２５ａ内に固着されており、これによって極子２３は当該被保持部２２ｃにおいて保持部材２５に位置決めされた状態で固定されている。
【００２２】
また、極子２３を構成する支持棒２２の基端部２２ｂは、パーマロイや鉄等の磁性体からなるヨーク２９に嵌合している。ここで、ヨーク２９には溝部２９ａが形成されており、支持棒２２の基端部２２ｂが当該溝部２９ａに挿通され、これにより極子２３の支持棒２２はヨーク２９と磁気的に結合している。なお、支持棒２２の基端部の端面には、所定の電圧を印加するための電源（図示せず）が接続されている。
【００２３】
極子２３の支持棒２２において、保持部材２５とヨーク２９との間に位置する領域には、極子２３を励磁するためのコイル３１が配置されている。そして、このコイル３１の位置を規制するために、コイル３１とヨーク２９との間に板バネ３０が配置されている。なお、支持棒２２の基端部２２ｂにおいて、ヨーク２９の溝部２９ａ、板バネ３０、及びコイル３１に面する外周面には、管状の絶縁体２８が設けられている。
【００２４】
保持部材２５には開口部３２が形成されており、この開口部３２は保持部材２５の貫通口２５ａに連通されている。そして、当該貫通口２５ａに充填される樹脂２４は、後述するように貫通口２５ａに連通された開口部３２を介して注入される。
【００２５】
ここで、図２におけるＡ−Ａ断面図を図３に示す。図３に示すように、極子２３は電子ビーム９の光軸を中心として放射状に配置されており、本実施の形態における極子レンズ４ａでは１２個の極子２３を備えている。保持部材２５には、極子２３における支持棒２２の被保持部２２ｃが挿通する貫通口２５ａが、各々の極子２３の支持棒２２に対応して形成されている。そして、各々の貫通口２５ａに対応してそれに連通する開口部３２が保持部材２５に設けられている。各々の貫通口２５ａには、樹脂２４が充填されている。
【００２６】
以下、図４〜図６を参照して、本発明における多極子レンズの製造方法について説明する。ここで、図４は樹脂の注入前の状態を示す概略断面図であり、図５は樹脂を注入している状態を示す概略断面図であり、図６は樹脂を注入後の状態を示す概略断面図である。
【００２７】
まず、図４に示すように、保持部材２５に形成された貫通口２５ａに、磁極２３を構成するための支持棒２２を挿通させる。そして、それぞれの支持棒２２の先端部２２ａに磁極２１を取付け、これにより支持棒２２及び磁極２１からなる極子２３が構成され、その後各々の極子２３の位置決めを行う。このとき、支持棒２２の所定箇所には予めＯリングからなる２個のシール部材２６，２７が通されている。これにより、貫通口２５ａの両端部には当該シール部材２６，２７が気密に配置される。なお、本実施の形態においては、磁極２３が１２個あるので、保持部材２５には、それぞれの磁極２３に対応して１２個の貫通口２５ａが形成されているとともに、それぞれの貫通口２５ａに対応して当該貫通口２５ａに連通する開口部３２も１２個形成されている。
【００２８】
各極子２３の位置決めが終了した後、同図のごとく、樹脂注入手段５０を保持部材２５の上面に配置する。樹脂注入手段５０の内部には、樹脂２４が収容されており、また当該樹脂２４を吐出するための吐出口５１が当該樹脂注入手段５０に設けられている。ここで、樹脂注入手段５０の内部に収容された樹脂２４は、一例として、２液エポキシ系の樹脂が用いられ、当該樹脂は所定時間の常温放置により硬化するもの（常温硬化型のもの）であり、このときの樹脂の粘度は、例えば１００００〜８００００ｍＰａ・ｓ程度にされている。そして、樹脂注入手段５０を保持部材２５の上面に配置する際には、保持部材２５における貫通口２５ａに連通する開口部３２に、樹脂注入手段５０の吐出口５１が接するように配置する。なお、保持部材２５に形成された１２個の貫通口２５ａ内に開口部３２を介して樹脂２４を同時に注入するため、樹脂注入手段５０も貫通口２５ａの個数と同じ１２個が用意される。そして、各々の樹脂注入手段５０の吐出口５１が、保持部材２５の対応する開口部３２に接するように、１２個の樹脂注入手段５０が配置される。
【００２９】
その後、このように保持部材２５の貫通口２５ａに極子２３の支持棒２２が挿通され、その上面に樹脂注入手段５０が配置された状態で、当該保持部材２５を樹脂注入手段５０とともに真空槽内（図示せず）に配置する。そして、当該真空槽内を所定の真空度（圧力）に真空引きする。このときの真空度は、例えば１３．３Ｐａ（約０．１Ｔｏｒｒ）程度以下の圧力とし、これにより上述の状態で保持部材２５が当該真空度の真空雰囲気に配置される。
【００３０】
このような状態で保持部材２５が所定の真空雰囲気に配置され、所定時間が経過すると、保持部材２５に形成された貫通口２５ａ内の気体（空気）が、開口部３２及びそれに接する樹脂注入手段５０の吐出口５１を介して排気される。その後、真空槽内の雰囲気を常圧（大気圧）に戻すと、樹脂注入手段５０内の樹脂２４に大気圧が加わり、樹脂２４の流動性により、図５に示すように、保持部材２５の貫通口２５内には開口部３２及びそれに接する吐出口５１を介して樹脂２４が注入される。この結果、保持部材２５の貫通口２５ａ内は樹脂２４により充填される。なお、上述のごとく、保持部材２５に形成された貫通口２５ａの両端部には、シール部材２６，２７が気密に配置されているので、樹脂２４が注入される工程において、貫通口２５ａ内に気体がその両端部から流入することはない。
【００３１】
このように保持部材２５の貫通口２５ａ内に樹脂２４が充填された後、樹脂注入手段５０が保持部材２５の上面に配置された状態のままで真空槽から保持部材２５を取り出す。
【００３２】
なお、上記の樹脂２４の注入工程は、上述のように、その上面に樹脂注入手段５０が配置された状態の保持部材２５を、真空槽内において真空雰囲気に配置して所定時間経過後、当該真空槽内を常圧よりも圧力が高い加圧雰囲気にして樹脂２４を注入するようにしてもよい。この場合、加圧雰囲気において樹脂２４の注入が終了した後、真空槽内を常圧に戻してから保持部材２５を取り出す。
【００３３】
この後、図６に示すように、保持部材２５の上面に配置された各々の樹脂注入手段５０を取り外す。そして、保持部材２５の上面から樹脂注入手段５０を取り外した状態で、常温にて所定時間放置する。保持部材２５の各々の貫通口２５ａに注入され、これにより充填された樹脂２４は常温硬化型の２液エポキシ系樹脂であるので、常温での所定時間放置後に樹脂２４は硬化される。この結果、極子２３は、その支持棒２における被保持部２２ｃが保持部材２５の貫通口２５ａ内において樹脂２４により固着（固定）されることにより、位置決めされた状態で固定されることとなる。
以上が本発明の多極子レンズの製造方法における極子２３と保持部材２５との固定方法である。
以下、図２に示すように、各極子２３を構成するそれぞれの支持棒２２の基端部２２ｂに管状の絶縁体２８を取付け、当該絶縁体の周囲にコイル３１と板バネ３０とを配置する。その後、環状の保持部材２５の外側に環状のヨーク２９を配置する。このとき、コイル３１及び板バネ３０は、保持部材２５とヨーク２９との間に位置することとなる。
【００３４】
このように本発明においては、保持部材に形成された上記貫通口に極子を構成する支持棒の被保持部を挿通させ、当該貫通口内に連通する開口部を介して樹脂を注入し、注入された樹脂を硬化させることにより極子の被保持部をこの貫通口内で固定するので、簡易な手法で極子を固定することができ、効率よく多極子レンズを製造することができる。そして、保持部材の貫通口に注入される樹脂として常温硬化型の２液系エポキシ樹脂を用いているので、硬化の際に加熱をする必要がなく、位置決めされた極子や保持部材が熱膨張することがない。よって、切削加工等を用いて極子の形状を修正する必要がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における多極子レンズを備えた観察装置を示す概略構成図である。
【図２】本発明における１段分の多極子レンズを示す断面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ断面を示す断面図である。
【図４】本発明の多極子レンズの製造方法において、樹脂の注入前の状態を示す概略断面図である。
【図５】本発明の多極子レンズの製造方法において、樹脂を注入している状態を示す概略断面図である。
【図６】本発明の多極子レンズの製造方法において、樹脂を注入後の状態を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１…走査型電子顕微鏡（観察装置）、２…電子銃（荷電粒子ビーム源）、
３…照射系レンズ、３ａ…集束レンズ、３ｂ…対物レンズ、４…収差補正器、
４ａ…多極子レンズ、５…走査コイル、７…試料、８…検出器、
９…電子ビーム（荷電粒子ビーム）、１０…被検出電子、
２１…磁極、２２…支持棒、２２ａ…先端部、２２ｂ…基端部、
２２ｃ…被保持部、２３…極子、２４…樹脂、２５…保持部材、２５ａ…貫通口、
２６，２７…シール部材、２９…ヨーク、３２…開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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