(57)【要約】【課題】ＴＦＴアレイ検査装置において２次電子フィルタの構成に起因する問題を解消し、２次電子の飛行に伴う検出効率の低下及び２次電子信号の応答速度の低下、幅広い電位測定における感度の低下及び２次電子信号の応答速度の低下を解消する。【解決手段】２次電子をエネルギー選別して検出することにより試料の電位情報を得る電子線検査装置において、エネルギー選別を行うエネルギーフィルタグリッド６と、２次電子を２次電子引き出しグリッド７に向けて加速する２次電子引き出しグリッド７と、両グリッド６，７を通過した２次電子を検出する２次電子検出器３とを備える。２次電子引き出しグリッドにより、２次電子の飛行を調整して検出効率の向上及び２次電子信号の応答速度の向上を図る。エネルギーフィルタグリッドの電位を可変とすることにより、幅広い電位測定における感度の向上及び２次電子信号の応答速度の向上を図る。【選択図】  図１
2004228431.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子線を試料に照射して得られる２次電子をエネルギー選別して検出することにより試料の電位情報を得る電子線検査装置において、
前記エネルギー選別を行うエネルギーフィルタグリッドと、試料からの２次電子を加速する２次電子引き出しグリッドと、前記両グリッドを通過した２次電子を検出する２次電子検出器とを備え、
前記２次電子引き出しグリッドを試料側に配置し、前記エネルギーフィルタグリッドを２次電子検出器側において試料面と平行に配置し、
前記２次電子引き出しグリッドの電位はエネルギーフィルタグリッドの電位及び試料の電位よりも高電位とし、
前記エネルギーフィルタグリッドはグリッドの電位を試料の電位に応じて可変とし、
前記２次電子検出器は前記エネルギーフィルタグリッドの複数の設定電位による複数の２次電子検出強度特性に基づいて２次電子を検出し、
前記複数の２次電子検出の組み合わせによりＴＦＴアレイ基板の広い電位範囲の電位情報を測定してＴＦＴアレイ基板を検査することを特徴とする、ＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項２】
電子線を試料に照射して得られる２次電子をエネルギー選別して検出することにより試料の電位情報を得る電子線検査装置において、
前記エネルギー選別を行うエネルギーフィルタグリッドと、２次電子引き出しグリッドと、前記両グリッドを通過した２次電子を検出する２次電子検出器とを備え、
前記２次電子引き出しグリッドは試料から放出された２次電子を２次電子引き出しグリッドに向けて加速し、
前記２次電子検出器の２次電子検出によりＴＦＴアレイ基板の電位を測定してＴＦＴアレイ基板を検査することを特徴とする、ＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項３】
前記２次電子引き出しグリッドを試料側に配置し、前記エネルギーフィルタグリッドを２次電子検出器側において試料面と平行に配置し、
２次電子引き出しグリッドの電位はエネルギーフィルタグリッドの電位及び試料の電位よりも高電位とすることを特徴とする、請求項２に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項４】
電子線を試料に照射して得られる２次電子をエネルギー選別して検出することにより試料の電位情報を得る電子線検査装置において、
前記エネルギー選別するエネルギーフィルタグリッドはグリッド電位を可変とし、
前記２次電子検出器は前記エネルギーフィルタグリッドの複数の設定電位による複数の２次電子検出強度特性に基づいて２次電子信号を検出し、
前記複数の２次電子検出強度特性と２次電子信号との組み合わせによりＴＦＴアレイ基板の広い電位範囲の電位情報を測定してＴＦＴアレイ基板を検査することを特徴とする、ＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項５】
前記エネルギーフィルタグリッドのグリッド電位は試料の電位に応じて変えることを特徴とする、請求項４に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子線を用い試料の電位を測定する電子線検査装置に関し、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスブレイなどに使われるＴＦＴアレイ基板の検査に使用するＴＦＴアレイ検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
非接触で試料の電位を測定する技術として電位コントラストを用いた検査方法が知られている。この電位コントラストによれば、試料に電子線を照射することにより試料表面から放出される２次電子のエネルギーを測定することにより試料の電位を測定することができる。
【０００３】
また、ＴＦＴアレイにおいて、ＴＦＴアレイ基板の欠陥セル等の検査をＴＦＴアレイ基板の電位を測定することにより行っている。このＴＦＴアレイ基板の検査において、機械的プローブをＴＦＴアレイに接触させて行う従来の電位測定に代えて、前記した電位コントラストを用いた検査方法と適用することにより非接触測定で検査を行うＴＦＴ検査装置が提案されている。
【０００４】
このＴＦＴアレイ検査装置では、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスブレイなどに使われるＴＦＴアレイ基板のＴＦＴセルに電子線を照射し、ＴＦＴセルから発生する２次電子を測定して得られる信号により当該ＴＦＴセルに所定の電圧が印加されているかを測定し、その測定結果に基づいて短絡等の欠陥セルの判別を行うことができる。このようなＴＦＴアレイ検査装置として、例えば、特許文献１，２が知られている。
【０００５】
上記の電子線によるＴＦＴアレイ検査装置では、試料から放出される２次電子を検出するために、試料と検出器との間に２次電子フィルタグリッドを設けた構成が用いられる。図５は従来のＴＦＴアレイ検査装置に用いられる検出部分の概略を説明するための図である。図５において、ＴＦＴアレイ検査装置は、試料９のＴＦＴ基板に電子線を照射する電子銃２と、試料９から放出される２次電子を検出する２次電子検出器３と、所定エネルギー以上の２次電子を通過させる２枚のフィルタからなる２次電子フィルタグリッド６と、２次電子検出器３による２次電子の捕集率を高める反跳２次電子抑制用グリッド５と、試料９及び前記グリッド５，６を内部に真空状態で収納する真空チャンバ４を備える。なお、反跳２次電子は、試料からの反射電子が壁面に衝突して発生する２次電子である。
【０００６】
ＴＦＴ基板から発生した２次電子は、２次電子フィルタグリッド６のエネルギーフィルタにより所定エネルギーでフィルタリングされ、２次電子検出器３で検出される。
【０００７】
ここで、ＴＦＴ基板から発生し２次電子フィルタグリッドに達する２次電子のエネルギーは、ＴＦＴ基板と２次電子フィルタグリッドとの電位差、及び２次電子の初速エネルギーに依存する。この関係は以下の式で表される。
２次電子がフィルタを通過する際のエネルギー
＝（フィルタ電位−試料電位）によるエネルギー＋２次電子の初速エネルギー
【０００８】
上記式の関係から、この２次電子がフィルタを通過する際のエネルギーが正（＞０）の時、２次電子はフィルタを通過できる。従って、試料（ＴＦＴセル）に印加する負の電位を増加していくと２次電子がエネルギーフィルターを通過できるようになり、ＴＦＴセルの電位を２次電子フィルタグリッドの電位よりも低電位となるほど、このフィルタを通過する２次電子の割合は高くなる。一方、試料（ＴＦＴセル）の電位が高くなって、ＴＦＴセルと２次電子フィルタグリッドとの電位差が小さくなると、フィルタを通過する２次電子は減少することになる。
【０００９】
図６は、試料（ＴＦＴセル）の電位と２次電子検出強度との関係を示している。なお、図示するＳ字状の特性は２次電子フィルタグリッドの電位（エネルギーフィルタの電位）を適当に設定したときの一例を示している。図示する試料電位と２次電子検出強度の関係（Ｓカーブ）において、試料電位が所定電位より低下すると２次電子検出強度が急激に増加する。
【００１０】
【特許文献１】
特開平１１−２６５６７８号公報（第２，２０図）
【特許文献２】
特開２０００−３１４２号公報（第１，５、２９図）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
従来の電子線方式のＴＦＴアレイ検査装置では、２次電子フィルタをフィルタグリッドのみで構成しているため、２次電子の飛行に伴う検出効率の低下及び２次電子信号の応答速度の低下という問題、幅広い電位測定における感度の低下及び２次電子信号の応答速度の低下という問題がある。
【００１２】
はじめに、２次電子の飛行に伴って生じる検出効率の低下及び２次電子信号の応答速度の低下について説明する。
【００１３】
ＴＦＴセルからの２次電子は、図７に示す２次電子分布のように、ｃｏｓθの分布で放出される。従って、基板に対して垂直な方向以外の斜め方向にも多くの２次電子が放出される。この放出角θ（基板の垂線からの角度）が大きいと、２次電子はフィルタ通過時に大きく横へそれてしまう。横へ大きくそれた場合、グリッド周辺部の電界はグリッド中心部のようにグリッドに平行ではないため、２次電子は大きく迂回した軌道を取って検出器に到達したり、また検出器に到達せずに別の電極に衝突して消滅したり、あるいはＴＦＴ基板に戻って消滅することが起こる。そのため、２次電子が消滅すると、当然２次電子の検出効率は低下することになる。
【００１４】
また、２次電子が大きく迂回して２次電子検出器に到達した場合には、グリッド中心部を通過して検出器に到達した２次電子に比べて飛行時間が長くなる。この飛行時間の差は、図８に示すように２次電子信号の応答速度の悪化を招くことになる。すなわち、仮に時間ｔ０に２次電子がパルス状に発生したとする（図８（ａ））。この２次電子を２次電子検出器で検出したとき、フィルタ部の飛行時間の差が小さい場合には鋭いパルス波形が検出できる（図８（ｂ））が、飛行時間の差が大きくなるとパルス波形は鈍ることになる（図８（ｃ））。
【００１５】
ＴＦＴアレイ検査では、各ＴＦＴセルのピクセル数が多いため（例えば１２８０×１０２４画素のＴＦＴパネルの場合、１２８０×１０２４×３＝３，９３２，１６０ピクセルになる）、できるだけ高速で個々の画素を検査する必要がある。これらの画素に電子線を走査して得られる２次電子を検出するとき、順次得られる２次電子の検出信号がすそ野が広がった鈍ったパルス信号である場合には、隣接する画素からの信号が大きく重なり合うため、正確な検査ができなくなる。信号の重なりを防ぐには走査速度を遅くする必要があるが、２次電子信号の応答速度が低下すると高速な検査を行うことができないという問題がある。
【００１６】
このため、高速でＴＦＴアレイを検査するためには鋭いパルス波形で２次電子信号の応答速度が高いことが必要となる。例えば、データ収集を１０ＭＨｚでサンプリングする場合、信号には５ＭＨｚの帯域が必要である。５ＭＨｚでの立ち上り時間は７０ｎＳに相当するので、少なくとも図８に示すパルスの立ち上り時間、立下り時間は７０ｎＳより短くすることが望ましい。
【００１７】
したがって、２次電子フィルタをフィルタグリッドのみで構成することにより、２次電子の飛行中の消滅による検出効率の低下、及び長い飛行時間による２次電子信号の応答速度の低下という問題が生じる。
【００１８】
次に、幅広い電位測定を行う際に生じる感度の低下及び２次電子信号の応答速度の低下について説明する。
【００１９】
試料電位の測定において、例えばＴＦＴアレイを検査するには幅広い電位測定が必要となる。これはＴＦＴアレイを実際に使用する際に、正、負のそれぞれの電位が印加されることがある。従って、ＴＦＴアレイ基板を検査するには、正・負それぞれの電圧をＴＦＴアレイ基板に印加し、それぞれ意図した電位が発生しているかを検査する必要がある。また、例えば、短絡や断線等に欠陥の種類に対応して、各ＴＦＴセルに正から負の電位の間で検査を行う必要がある。
【００２０】
図９は幅広い電位測定における感度及び応答速度の低下を説明するための２次電子検出強度の特性図である。図９において、試料電位が−１５Ｖ〜−５Ｖの領域においては、試料電位に対して２次電子検出強度が大きく変化する特性があるため、２次電子検出強度の変化から試料電位の情報を感度良く読み取ることができる。一方、試料電位が−５Ｖ〜＋１５Ｖの領域では２次電子検出強度が殆ど変化しない特性であるため、２次電子検出強度の変化から試料電位の情報を感度良く得ることは難しい。例えば＋１０Ｖの電圧が印加された時の欠陥を精度良く測定することは不可能である。
【００２１】
また、２次電子検出強度が弱い領域においては、２次電子信号の時間的応答特性（応答速度）が低下する。図９のＳカーブ特性を採用した時の、試料電位と応答速度を示すシグナルの立ち上り時間の関係を表１に示す。ここで、立ち上り時間は、図１０の信号図に示すように、ステップ状の２次電子に対して（図１０（ａ））、検出される２次電子検出信号の立ち上り時間（例えば、波高値が１０％〜９０％の値で変化するのに要する時間で定められる）である。
【表１】
2004228431.tif 000003
【００２２】
表１に示すように、試料電位が−１０Ｖの立ち上がり時間は８６ｎＳであるのに対して、試料電位が０Ｖの立ち上がり時間は１５２ｎＳであり、応答速度が著しく低下することが分かる。これは試料とフィルター間の電位差が小さいとき、フィルターを通過する際の２次電子の速度が大きく乱れる為と考えられる。
【００２３】
この応答特性が低下するとシグナル波形に鈍りが生じる。従って、ＳＮ比を下げない様にするためには、サンプリングの時間を長くする必要があり、その結果、検査時間が長期化するという問題が生じることになる。
【００２４】
したがって、上記したように、従来のＴＦＴアレイ検査装置は、２次電子フィルタをフィルタグリッドのみで構成しているため、２次電子の飛行に伴う検出効率の低下及び２次電子信号の応答速度の低下という問題、幅広い電位測定における感度の低下及び２次電子信号の応答速度の低下という問題がある。
【００２５】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、ＴＦＴアレイ検査装置において２次電子フィルタの構成に起因する問題を解消することを目的とし、詳細には、２次電子フィルタの構成による２次電子の飛行に伴う検出効率の低下及び２次電子信号の応答速度の低下を解消すること、また、幅広い電位測定における感度の低下及び２次電子信号の応答速度の低下を解消すること目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、２次電子フィルタの構成において、従来から備えるエネルギーフィルタグリッドに加えて２次電子引き出しグリッドを備えることにより、２次電子の飛行を調整して検出効率の向上及び２次電子信号の応答速度の向上を図り、また、２次電子フィルタの構成において、エネルギーフィルタグリッドの電位を可変とすることにより、複数の２次電子検出強度特性に基づいて２次電子を検出し、複数の２次電子検出を組み合わせることにより広い電位範囲の電位情報を得ることにより、幅広い電位測定における感度の向上及び２次電子信号の応答速度の向上を図る。
【００２７】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置は、電子線を試料に照射して得られる２次電子をエネルギー選別して検出することにより試料の電位情報を得る電子線検査装置において、エネルギー選別を行うエネルギーフィルタグリッドと、試料からの２次電子を２次電子引き出しグリッドに向けて加速する２次電子引き出しグリッドと、両グリッドを通過した２次電子を検出する２次電子検出器とを備えた構成とする。
【００２８】
これら各グリッドの配置は、２次電子引き出しグリッドを試料側に配置し、エネルギーフィルタグリッドを２次電子検出器側において試料面と平行とする。また、各グリッドに電位は、２次電子引き出しグリッドの電位をエネルギーフィルタグリッドの電位及び試料の電位よりも高電位とする。
【００２９】
この各グリッドの配置、及び電位とすることにより、試料から放出された２次電子は、２次電子引き出しグリッドにより２次電子引き出しグリッドに向けて加速され、試料の電位が変化した場合においてもエネルギーフィルタグリッドを通過する２次電子量の減少を抑制し、また、２次電子の分布特性による２次電子の横方向への広がりを抑制することにより、２次電子の検出効率を向上させることができる。さらに、２次電子の横方向への広がりを抑制することにより、２次電子の飛行時間の広がりを抑制して２次電子信号の応答速度を向上させることができる。また、エネルギーフィルタグリッドを試料面と平行とすることにより、試料の広い面積を測定するために要する装置の大きさを抑えることができる。
【００３０】
また、エネルギーフィルタグリッドはそのグリッド電位を試料の電位に応じて可変とする構成とする。２次電子検出器は、エネルギーフィルタグリッドに設定する複数の電位に応じた複数の２次電子検出強度特性に基づいて２次電子信号を検出する。２次電子検出強度特性において、エネルギーフィルタグリッドに印加する電位により、試料の電位情報を得ることができる試料電位の範囲が異なる。本発明は、エネルギーフィルタグリッドの電位を変化させて複数設定することにより複数の２次電子信号を求め、これらの２次電子信号と２次電子検出強度特性とを組み合わせることにより、試料の電位情報を得ることができる試料電位の範囲を広げる。
【００３１】
これにより、それぞれ測定感度が良い領域を組み合わせることにより幅広い電位測定における感度の向上を図り、また、２次電子検出強度特性において応答速度の速い領域を用いることにより、２次電子信号の応答速度の向上を図ることができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
【００３３】
図１は本発明のＴＦＴアレイ検査装置を説明するための概略図である。図１において、ＴＦＴアレイ検査装置１は、真空チャンバ４内に配置された試料９に対して１次電子を照射する電子銃２と、１次電子の照射により試料９から放出された２次電子を検出する２次電子検出器３を備え、試料９と２次電子検出器３との間には、試料９側から２次電子検出器３に向かって順に２次電子引き出しグリッド７及びエネルギーフィルタグリッド６が設けられる。エネルギーフィルタグリッド６は、試料面に対して平行となるよう形成される。また、２次電子引き出しグリッド７及びエネルギーフィルタグリッド６には、電子銃２と試料上の照射位置とを結ぶ線上に、電子銃２からの１次電子を試料９に照射するための開口部が形成されている。なお、２次電子検出強度３の前面には、検出器グリッド８が設けられている。
【００３４】
エネルギーフィルタグリッド６を試料面に対して平行となるよう形成することにより、試料の広い範囲での測定に適した構成とすることができる。
【００３５】
通常、試料上の微小な測定点について測定を行う場合には、エネルギーフィルタグリッド６の形状を測定点を中心とするような半球状（ドーム状）とする。これに対して、ＴＦＴアレイ基板の検査では、微小な測定点ではなく広い範囲についての測定が求められる。半球状（ドーム状）のエネルギーフィルタグリッドを用いて広範囲の測定を行うには半球の径を大きくする必要があり、装置が大型化する。これに対して、本発明のＴＦＴアレイ検査装置によれば、エネルギーフィルタグリッド６の形状を試料面に対して平板とすることにより、装置を大型化することなく、広範囲の測定に対応することができる。
【００３６】
また、エネルギーフィルタグリッド６は１枚あるいは複数枚のフィルタで構成することができる。これは、エネルギーフィルタグリッド６は１次電子を通過させるためにグリッド中心部に比較的大きな開口部を備え、この開口部中心でもフィルタリングを行うための電位を与えるためである。
【００３７】
また、エネルギーフィルタグリッド６、２次電子引き出しグリッド７、及び試料９にはそれぞれ電源１６，１７，１８が接続され、それぞれ所定電位となるように所定の電圧が印加される。なお、試料９に対する所定電圧の印加は、電源１８の他、外部信号を用いることもできる。
【００３８】
電源１６はエネルギーフィルタグリッド６に印加する電圧を調整して、エネルギーフィルタグリッド６の電位を可変とする。エネルギーフィルタグリッド６は、その電位によって試料９から放出されて２次電子を所定のエネルギー値でエネルギー選別し、通過した２次電子のみが２次電子検出器３により検出される。本発明のエネルギーフィルタグリッド６の電位は可変とすることができ、電位を変えることによって、２次電子検出器３で検出される２次電子信号の特性を変えることができる。図１の構成では、制御装置１０により電源１６を制御することにより、エネルギーフィルタグリッド６の電位を変えることができる。エネルギーフィルタグリッド６の電位は、試料の正常電位と欠陥電位との間の電位となるように設定される。エネルギーフィルタグリッド６の電位は、試料電位よりも高い場合もあれば、低い場合もある。例えば、試料電位＋１０Ｖ、フィルタ電位＋５Ｖに設定すると、試料でＧＮＤ電位になっている欠陥を検出することもできる。このように、エネルギーフィルタグリッド６の電位を、試料の正常電位と欠陥電位との間の電位に設定することにより、正常電位と欠陥電位の振り分けを行うことができる。
【００３９】
エネルギーフィルタグリッド６の電位は、試料９の電位に応じて変えることができる。２次電子検出器３で検出される２次電子検出強度特性は試料９の電位により異なるため、試料９において異なる電位を測定する場合その電位によって２次電子検出強度が異なり、測定が困難となることがある。
【００４０】
本発明は、２次電子検出強度特性がエネルギーフィルタグリッド６の電位によって変化することを利用し、エネルギーフィルタグリッドの電位を変えることにより、２次電子検出強度特性が試料の電位測定に良好となるように定める。この電位設定は制御装置１０により行うことができる。制御装置１０による制御は、例えば、電源１８が試料９に印加する電圧をモニタし、このモニタ値に基づいて電源１６を制御する他、制御装置１０により試料に印加する電圧の検査パターンを検出し、この検査パターンに従って電源１６及び電源１８を制御するようにすることもできる。
【００４１】
電源１７は２次電子引き出しグリッド７に所定電圧を印加する。２次電子引き出しグリッド７は、試料９から放出された２次電子を２次電子検出器３側に引き出すためのグリッドであり、試料９の電位及びエネルギーフィルタグリッド６の電位よりも高く設定される。１次電子の照射によって試料９から放出された２次電子は、この２次電子引き出しグリッド７により２次電子引き出しグリッド７に向けて加速される。加速された２次電子は、２次電子引き出しグリッド７を通過した後、エネルギーフィルタグリッド６に到達し、エネルギー選別される。
【００４２】
また、電源１８は試料に印加する電圧を可変とし、例えば、ＴＦＴアレイ基板の検査を行う場合には、検査用の電圧パターンを形成してＴＦＴアレイ基板に印加する。
【００４３】
所定電圧が印加されたＴＦＴアレイ基板に対して、電子銃２から１次電子を照射すると、ＴＦＴアレイ基板からは照射位置の電位に応じた強度の２次電子が放出される。放出された２次電子は、２次電子引き出しグリッド７により２次電子引き出しグリッド７に向けて加速され、エネルギーフィルタグリッド６に向かう。２次電子は、２次電子引き出しグリッド７により２次電子引き出しグリッド７に向けて加速されるため、横方向への広がりを抑制され、ＴＦＴアレイ基板等との衝突による消滅を防いで２次電子の減少を抑制し、検出効率を上げることができる。なお、２次電子引き出しグリッドを試料面と平行に構成した場合には、電子の加速方向はＴＦＴアレイ基板に対して垂直方向となる。
【００４４】
２次電子は、エネルギーフィルタグリッド６でエネルギー選別された後、２次電子検出器３により検出される。ＴＦＴアレイ基板において、測定部位の電位が変化した場合には、この電位に応じてエネルギーフィルタグリッド６の電位を変化させ、測定に適した２次電子検出強度特性による測定を行う。
【００４５】
また、真空チャンバ４内には、内周壁面に沿って内部空間を囲むように反跳２次電子抑制用グリッド５が設けられる。この反跳２次電子抑制用グリッド５は、横方向に進んだ２次電子を反跳させて、２次電子検出器３の捕集率を高めるものである。
【００４６】
図２は本発明のＴＦＴアレイ検査装置の２次電子の検出機構及び動作を説明するための図であり、図３は本発明のＴＦＴアレイ検査装置による２次電子の動作を説明するための図である。
【００４７】
図２に示す検出機構は真空チャンバ４中に設けられる。エネルギーフィルタグリッド６を構成する２枚のフィルタグリッド６ａ，６ｂ下側に、２次電子引き出しグリッド７を設置し、この２次電子引き出しグリッド７に試料電位より高い電位、例えば試料電位＋１０Ｖ〜＋１０００Ｖを印加する。一方、試料９には、例えば＋１０Ｖ〜−１０Ｖを印加し、フィルタグリッド６ａ，６ｂには＋１０〜−１０Ｖ程度を印加する。
【００４８】
以下、一例として、試料電位を−１０Ｖ、引き出し電位を０Ｖ、フィルタグリッド電位を−５Ｖとした場合について説明する。試料９から発生した２次電子は、２次電子引き出しグリッド７で１０Ｖに相当するエネルギーだけＺ方向に加速される。従って、２次電子は試料９と２次電子引き出しグリッド７の間で放物線軌道を描くことになる（図２及び図３（ａ）中の矢印）。図３（ａ）において、試料から放出された２次電子の初速方向が図中の破線で示す矢印方向である場合には、２次電子は２次電子引き出しグリッド７の方向に加速されて放物線軌道を描いて進み、２次電子引き出しグリッド７を通過した後は、２次電子引き出しグリッド７とフィルタグリッド６ａとの間の減速電界により逆の放物線軌道を描いて進む。フィルタグリッド６ａを通過した後、フィルタグリッド６ａとフィルタグリッド６ｂとの間はほぼ直線で進む。
【００４９】
このＺ方向（２次電子引き出しグリッド７の方向）への加速により、２次電子の横方向（図２のＸ、Ｙ方向）への広がりが抑えられる。このため、検出器へ到達するまでの２次電子の軌道の迂回を小さくすることができる。また、２次電子の試料方向への戻りなどによる２次電子のロスも減るため、２次電子の検出効率を高めることができる。
【００５０】
一方、２次電子引き出しグリッド７とフィルタグリッド６との間では減速電界がかかり２次電子は逆の放物線を描くことになるが（図３（ａ）中の矢印）、２次電子引き出しグリッド７がない場合に比べて横方向への広がりは抑えられる。従って、本発明では２次電子引き出しグリッドを備えない従来の構成と比較して、上側にあるフィルタグリッド６の通過時における２次電子の横方向の広がりを抑えることが可能になる。図３（ｂ）は、２次電子引き出しグリッドを備えない従来の構成における２次電子の軌道例を示している。この場合には、試料電位とフィルタグリッド６の電位がほぼ等しいと、２次電子の軌跡はほぼ直線となる。
図３（ａ）に示す本発明のグリッド構造と図３（ｂ）に示す従来グリッド構造とにおいて２次電子の横方向の広がりを比較すると、本発明のグリッド構造では２次電子引き出しグリッドに向けて加速することにより、２次電子の横方向の広がりを抑えることができる。
【００５１】
フィルタグリッド６を通過した後は、２次電子は検出器３の検出器グリッド８にかけられた正の高電位による電界によって検出器２の方向に加速され、検出器３に入射する。この検出器３からの電界は、検出器３からの距離が遠くなると弱くなるため、２次電子が横方向に広がると検出器３への収集が困難になったり、軌道の迂回が大きくなったりする。
【００５２】
このような横方向の広がりに対して、本発明では２次電子引き出しグリッドを設ける構成によって横方向への広がりを抑える。これによって、検出器３に到達する２次電子の数が増加し、さらに２次電子が検出器３に到達するまでの軌道の迂回も小さくなるため、２次電子信号の応答特性も改善される。
【００５３】
図３では、簡易な例として試料電位とフィルタ電位がほぼ等しいとして説明している、実際にはフィルタ電位が試料電位とは数〜２０Ｖ程度異なることがある。この場合には軌道の様子は若干異なることになるが、本発明による広がりを抑える効果は同じである。
【００５４】
なお、試料９と試料側の一番下の下側グリッド（従来技術では下側フィルタグリッド、本発明では２次電子引き出しグリッド）の間には、図示していないが、ＴＦＴ基板の回路にコンタクトを取るためのプローバが存在しており、この厚みのために試料と下側グリッドとの間にはある距離を開けておく必要がある。ＴＦＴ基板の大きさが大きくなれば、一般的にはプローバの厚みも大きくなるため、従来技術では横方向への広がりが大きくなる。これに対して、本発明ではこの部分で２次電子をＺ方向へ加速して広がりを抑えているため、プローバの厚みが大きくなっても２次電子のロスや飛行時間の広がりを抑制し、これによる検出効率の低下や応答速度の低下といった悪影響を減少させる効果もある。
【００５５】
次に、エネルギーフィルタグリッドの電位を変えることによる複数回の測定について説明する。以下、一例として、試料電位が−１０と＋１０Ｖの２点において、試料を検査したい場合について説明する。
【００５６】
エネルギーフィルタグリッドの電位による試料電位に対する２次電子検出強度は、例えば図４に示すようなＳカーブの特性を示す。Ｓカーブの特性は、エネルギーフィルタグリッドの電位により変化し、図４ではフィルタ電位が−１０Ｖと＋５ＶのＳカーブ特性を示している。
【００５７】
ここで、−１０Ｖの試料電位を測定する際には、フィルタグリッド６のフィルタ電位が−１０ＶのＳカーブ特性を用いる。このＳカーブ特性によれば、試料電位に対する２次電子検出強度は、試料電位が−１０Ｖ付近で大きく変化しているため、この領域を用いることにより試料電位の情報を感度良く高速で得ることができ、また、ＧＮＤ電位との区別も明瞭である。従って、試料電位が−１０Ｖ付近において１〜３Ｖ程度電位が小さく低下するような欠陥セルの検出も感度良く行うことができる。なお、このＳカーブ特性を用いたとき、−１０Ｖの試料電位における２次電子検出信号の立ち上り時間は約９０ｎＳである。
【００５８】
次に＋１０Ｖの試料電位を測定する際には、フィルタグリッド６のフィルタ電位が＋５ＶのＳカーブ特性を用いる。このＳカーブ特性を用いることにより、＋１０Ｖ付近の試料電位の情報が感度良く得られ、試料電位が＋１０Ｖより１〜３Ｖ程度の小さな電位差の欠陥検出が可能である。また＋１０ＶとＧＮＤ電位との区別も明瞭である。また、このＳカーブ特性を採用した時、０Ｖの試料電位において２次電子検出信号の立ち上り時間は約９０ｎＳである。これにより、前記表１に示したような試料電位によって応答速度が大きく異なるという問題は解消される。表２は、本発明による異なる試料電位での応答時間（立ち上がり時間）を示している。
【表２】
2004228431.tif 000004
【００５９】
前記した表１に示した応答時間（立ち上がり時間）を比較すると、表１に示すように、従来の測定では、試料電位が−１０Ｖの場合には８６ｎＳであるのに対して試料電位が０Ｖの場合には１５２ｎＳとなり応答速度が大きく異なるのに対して、本発明によれば、試料電位が−１０Ｖの場合には８６ｎＳ、０Ｖの場合には８８ｎＳとなり、試料電位が−１０Ｖと０Ｖとで異なる場合であっても応答時間をほぼ等しくすることができる。
【００６０】
上記の結果より本発明により、試料電位の測定範囲が広い場合、感度良く、応答速度を落とさずに２次電子検出強度の測定が可能となる。
【００６１】
上記のようにエネルギーフィルタグリッドの電位を変えることにより、同一試料において幅広い試料電位で、感度と応答速度の両方を向上させることができる。
【００６２】
本発明の態様によれば、２次電子の収集効率を高めることができ、２次電子の時間応答特性を改善することができる。また、プローバの厚みが大きくなっても、２次電子の収集効率の低下や時間応答特性の悪化を抑制することができる。
【００６３】
また、本発明の態様によれば、測定したい試料電位が広範囲に渡る場合、エネルギーフィルターの電位を柔軟に変えた複数のＳカーブ特性を用いることにより２次電子の検出を、効率良く応答速度を落とさずに行うことができる。
【００６４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ＴＦＴアレイ検査装置において２次電子フィルタの構成に起因する問題を解消することができる。また、２次電子フィルタの構成による２次電子の飛行に伴う検出効率の低下及び２次電子信号の応答速度の低下を解消することができ、また、幅広い電位測定における感度の低下及び２次電子信号の応答速度の低下を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＴＦＴアレイ検査装置を説明するための概略図である。
【図２】本発明のＴＦＴアレイ検査装置の２次電子の検出機構及び動作を説明するための図である。
【図３】本発明のＴＦＴアレイ検査装置による２次電子の動作を説明するための図である。
【図４】エネルギーフィルタグリッドの電位による試料電位に対する２次電子検出強度のＳカーブ特性を示す図である。
【図５】従来のＴＦＴアレイ検査装置に用いられる検出部分の概略を説明するための図である。
【図６】試料（ＴＦＴセル）の電位と２次電子検出強度との関係を示す図である。
【図７】試料からの放出される２次電子の分布を示す図である。
【図８】２次電子の飛行時間の特性を説明するための図である。
【図９】幅広い電位測定における感度及び応答速度の低下を説明するための２次電子検出強度の特性図である。
【図１０】２次電子及び２次電子検出信号の信号図である。
【符号の説明】
１…ＴＦＴアレイ検査装置、２…電子銃、３…検出器、４…真空チャンバ、５…反跳２次電子抑制用グリッド、６…エネルギーフィルタグリッド、６ａ，６ｂ…フィルタグリッド、７…２次電子引き出しグリッド、８…検出器グリッド、９…試料、１０…制御装置、１５，１６，１７，１８…電源、２０…開口部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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