(57)【要約】【課　　題】ワニス含浸性、表面平滑性に優れたプリント配線基板用ガラスクロスを提供すること。【解決手段】経糸および緯糸から構成されるガラスクロスの経糸間の隙間あるいは緯糸間の隙間Ｘが下式（イ）より得られ、得られた経糸間の隙間および緯糸間の隙間の両方またはどちらか一方の隙間Ｘが下式（ロ）で表される範囲を満たすことを特徴とするガラスクロス。Ｘ＝｛２５０００−（Ａ×Ｂ）｝／（Ｂ−１））・・・（イ）約１０≦Ｘ≦約５０　　・・・（ロ）ここで、Ｘ：織物の経糸間あるいは緯糸間の隙間（μｍ）、Ａ：糸幅（μｍ）、Ｂ：織物密度（本／２５ｍｍ）を表わす。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
経糸および緯糸から構成されるガラスクロスの経糸間の隙間あるいは緯糸間の隙間Ｘが下式（イ）より得られ、得られた経糸間の隙間および緯糸間の隙間の両方またはどちらか一方の隙間Ｘが下式（ロ）で表される範囲を満たすことを特徴とするガラスクロス。
Ｘ＝｛２５０００−（Ａ×Ｂ）｝／（Ｂ−１））・・・（イ）
１０≦Ｘ≦５０　　・・・（ロ）
ここで、Ｘ：織物の経糸間あるいは緯糸間の隙間（μｍ）、Ａ：糸幅（μｍ）、Ｂ：織物密度（本／２５ｍｍ）を表わす。
【請求項２】
ガラスクロスの厚さが１５０μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のガラスクロス。
【請求項３】
ガラスクロスの経糸または／および緯糸の繊維径が７μｍ以下であることを特徴とする請求項１または２記載のガラスクロス。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のガラスクロスを含むことを特徴とするプリント配線基板。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラスクロスに関するものであり、さらに詳しくは例えば電子機器、電気機器、コンピューター等の分野で好適に用いられる高密度プリント配線基板などのプリント配線基板製造に有用なガラスクロスに関するものである。又本発明は、かかるガラスクロスを含有するプリント配線基板に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プリント配線基板は、多層化、高密度実装化、薄板化の傾向が強まり、プリント配線基板を構成する積層板及びその基材であるガラスクロスにもそれに対応する特性が要求されている。特に、近年プリント配線基板を組み込んだ電子機器の高性能化、小型化が進み、この傾向に対応するためにプリント配線基板の高密度化が要望され、例えば配線密度の向上のためのビアホールの小径化が必須となっている。
【０００３】
しかし、従来より導通穴の加工方法として用いられてきたドリル加工方法による小径化では、加工面内壁の粗さ、加工穴の位置ずれ、後工程であるメッキ工程での加工穴壁面からのメッキ液染み込みによる絶縁不良等の問題を引き起こした。そこで、この問題を解決するために絶縁基材を構成するガラスクロス及びマトリックス樹脂に種々の改善が試みられた。例えば、ガラスクロスの表面処理剤によるマトリックス樹脂とガラスクロスとの接着性の向上、ガラスクロスの経糸および／あるいは緯糸を開繊処理しガラス単繊維の分布の均一化、マトリックス樹脂のＴｇ値を上げること等が挙げられる。
【０００４】
ところが、プリント配線基板のさらなる高密度化が進み、約０．２ｍｍφ以下の穴加工まで必要とされている。しかしながら、この場合小径ドリルは折損等による消耗が多大で、ドリル交換に多大な時間を要するため、生産性の低下という欠点が生じる。又さらに、プリント配線板の小型化のために絶縁基材の厚さが約０．１ｍｍ以下まで薄くなり、ドリル加工では穴の深さを約０．１ｍｍ以下の精度で制御することは難しく、このような薄い絶縁基材のブラインドビアホール形成は困難であった。
【０００５】
そのため、最近、約０．１ｍｍ以下の絶縁層と導体を逐次積み重ねて多層化する、ビルドアップ配線板と呼ばれる高密度多層プリント配線板が開発され、そのビア形成方法にレーザービームによる穴加工法が提案され、実施されている。このビルドアップ工法はガラスクロスがないために、穴あけ加工が容易で、高密度化、軽量化に有利である。しかしながら、このビルドアップ配線板は一般的に絶縁層にガラスクロスを含まないために、寸法安定性、機械的強度、耐熱性等が大幅に低下し、スルーホール接続信頼性が問題視されている。携帯機器に多く使用されているが、僅かな衝撃で導通不良等の問題が発生している。また、ビルドアップ工法は従来法より工程が増え大幅なコストアップをきたす不利がある。
【０００６】
そこで、絶縁層に約０．１ｍｍ以下のガラスクロスを含む多層プリント配線板のビア形成にレーザー穴加工方法が適用可能なガラスクロスの開発が望まれたが、一般にプリント配線基板の絶縁基材は有機材料であるマトリックス樹脂と無機材料であるガラスクロスとからなる複合材料であり、有機材料と無機材料が不均一に存在する材料であるため、レーザー穴加工ではそれぞれの材料の加工状態が異なり、穴内壁の粗さを引き起こし、メッキによる導体化の信頼性を損なう欠点が生じる。
【０００７】
これはレーザー光の吸収率、分解温度、熱拡散率などが互いに異なる有機材料であるマトリックス樹脂と無機材料であるガラスクロスの面方向での不均一な分布の絶縁基材では、各穴間での加工穴の均一性の達成が困難であることによる。
【０００８】
この面方向での不均一性を改良するために織物の密度を上げて、隙間のないガラスクロスを作成する検討が行われているが、各加工穴の均一性は改善されるものの、ガラス量の増加に伴い、加工性が低下し、またコストアップの要因となるため好ましくない。また、薄手のガラスクロス特に厚み約６０μｍ以下のガラスクロスの場合は、通常のガラスクロスよりも単繊維径を小さくするとともに単繊維の集束本数も減らして、番手を小さくしたガラスヤーンを経糸及び緯糸として用いているが、この場合は番手が小さくなるためガラスクロスに多くの空隙部が存在するという問題がある。
【０００９】
上記のようなガラスクロスの空隙部を減少させるために、通常ガラスクロスをウオータージェット（特許文献１）、バイブロウオッシャー（特許文献２）、超音波（特許文献３）等によって処理してガラスクロスを構成する経糸または／および緯糸を開繊することが盛んに行なわれている。ガラスクロスの開繊品はガラスクロスを構成する経糸および緯糸を開繊し扁平にすることで、ガラスクロス中に存在する経糸および緯糸間の隙間をなくし、ガラス繊維を均一分散し、レーザー加工時の樹脂部分のみにて発生する過度のエネルギーによる樹脂焼けを防ぎ、均一な穴加工を目的としている。
【００１０】
【特許文献１】
特公昭５７−２２６９２号公報（特許請求の範囲）
【特許文献２】
特開平２−２００８６１号公報（第２頁左欄下から３〜４行目）
【特許文献３】
特開昭６３−１６５４４１号公報（特許請求の範囲）
【００１１】
しかしながら、均一な穴加工を目的としてガラスクロスの経糸および／または緯糸の開繊性を高めることにより、ガラスクロスの空隙部がほとんど無くなる程度にまで進められると逆に種々の問題が発生する。
即ち、（１）成形用の樹脂ワニス含浸時のウエットスルー、即ちワニス含侵性が悪化し、得られたプレプレグにボイドが多く、成形後にもマイクロボイドが残存し絶縁信頼性が低下する、（２）開繊度が高すぎ、そのために一部隣り合う経糸および緯糸が重なる部分が出来て、その結果ガラスクロスの厚さ斑が発生し表面平滑性が劣り微細回路形成が難しくなり、従ってインピーダンス制御能が低下する、（３）開繊度を高めるために、ガラスクロスの密度が小さくなる。その結果、ガラスクロスの質量が低下し、そのために得られたプリント配線基板の曲げ弾性率が低下する、等の問題が発生する。
プリント配線基板に求められる特性は穴加工性だけでなく、ガラスクロスに樹脂ワニス含侵時のガラスクロスへの含侵性、表面平滑性、曲げ弾性率等の特性も強く要求されており、上記の問題点を勘案しつつ総合的にバランス良くプリント配線基板の性能を向上する必要がある。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、ワニス含浸性、表面平滑性に優れたガラスクロスおよび、該基材を用いた加工穴内壁面の粗さおよび曲げ弾性率に優れたプリント配線基板を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、経糸および緯糸から構成されるガラスクロスの経糸間の隙間あるいは緯糸間の隙間Ｘが下式（イ）より得られ、得られた経糸間の隙間および緯糸間の隙間の両方またはどちらか一方の隙間Ｘが下式（ロ）で表される範囲を満たすことを特徴とするガラスクロスが、従来均一性を追求するあまりガラスクロスの空隙部がほとんど無くなる程度にまで進められた結果、新たに弊害として生じた上記問題点を解決し得ることを見出してさらに検討を重ねて本発明を完成させるに至った。
Ｘ＝｛２５０００−（Ａ×Ｂ）｝／（Ｂ−１））・・・（イ）
約１０≦Ｘ≦約５０　　・・・（ロ）
ここで、Ｘ：織物の経糸間あるいは緯糸間の隙間（μｍ）、Ａ：糸幅（μｍ）、Ｂ：織物密度（本／２５ｍｍ）を表わす。
【００１４】
すなわち、本発明は、
（１）経糸および緯糸から構成されるガラスクロスの経糸間の隙間あるいは緯糸間の隙間Ｘが下式（イ）より得られ、得られた経糸間の隙間および緯糸間の隙間の両方またはどちらか一方の隙間Ｘが下式（ロ）で表される範囲を満たすことを特徴とするガラスクロス、
Ｘ＝｛２５０００−（Ａ×Ｂ）｝／（Ｂ−１））・・・（イ）
約１０≦Ｘ≦約５０　　・・・（ロ）
ここで、Ｘ：織物の経糸間あるいは緯糸間の隙間（μｍ）、Ａ：糸幅（μｍ）、Ｂ：織物密度（本／２５ｍｍ）を表わす。
（２）ガラスクロスの厚さが約１５０μｍ以下であることを特徴とする（１）記載のガラスクロス、
（３）ガラスクロスの経糸または／および緯糸の繊維径が約７μｍ以下であることを特徴とする（１）または（２）記載のガラスクロス、
（４）（１）〜（３）のいずれかに記載のガラスクロスを含むことを特徴とするプリント配線基板、
に関する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
本発明のガラスクロスを得るためには、上記した諸問題を解決するために経糸および緯糸ともに隣り合う糸同士が実質的に隙間なく配列されてガラスクロスの空隙部が全く無くなることを避けなければならない。即ち、本発明によって、織物の経糸間あるいは緯糸間の隙間Ｘ（μｍ）が、約１０≦Ｘ≦約５０、より好ましくは約２０≦Ｘ≦約４０を満足し、優れたワニス含侵性および表面平滑性を有するガラスクロスを得ることができる。
【００１６】
本発明のガラスクロスの製織に使用される経糸および緯糸としてはフィラメント径が約７μｍ以下、より好ましくは約５μｍ以下のモノフィラメントが約１００〜８００本程度集束したガラス糸を用いるのが好ましい。このようなガラス繊維として、例えば、Ｂ１８００，Ｃ１２００，Ｃ１８００，Ｄ４５０，Ｄ９００，Ｄ１８００，ＤＥ４５０，ＤＥ９００，ＤＥ１８００等と呼称されるものが挙げられる。プリント配線基板等に使用される積層板用ガラスクロスには通常Ｅガラス（無アルカリ）と呼ばれるガラスが使用されるが、例えばＥガラス（無アルカリ）のみならず、Ｄガラス（低誘電）、Ｔガラス（高強度）、Ｃガラス（アルカリ石灰）およびＨガラス（高誘電）等も使用できる。
【００１７】
また、本発明のガラスクロスに使用されるガラス糸については、例えばガラス糸の撚り（約０．７〜１．０回／インチ）を低撚化することにより、つまり、ガラス糸の撚り数を約０．５回／インチ以下、好ましくは約０．３〜０回／インチにすることにより、糸幅を扁平化し糸幅をより拡がり易くして、たて糸及びよこ糸ともに隣り合う糸同士が適切な程度の隙間で配列され易いようにするのが好ましい。
【００１８】
次いで、ガラスクロスの織製は、ガラス繊維を整経工程、糊付工程にかけた後、ジェット織機（エアージェット織機、ウオータージェット織機）、スルザー織機またはレピヤー織機等の自体公知の織機を用いる等、自体公知の方法に従って容易におこなうことができる。
上記糊付工程では、縦糸に対して集束剤（二次バンダー）を公知の方法に従って付与することが好ましい。かかる集束剤としては、例えば、でんぷん、界面活性剤、潤滑剤、合成油剤、ポバールまたはアクリル系ポリマーなどが挙げられる。
織製によるガラスクロスの織り組織としては平織り、朱子織、ななこ織、綾織等が挙げられるが、平織りが好ましい。
【００１９】
また、上記のガラス糸を使用してガラスクロスを織製後に、例えば水流の圧力による開繊、液体を媒体とした高周波の振動による開繊、ロールによる加圧での加工処理等を施すことにより、ガラスクロスを構成する糸幅を拡げ、たて糸及びよこ糸ともに隣り合う糸同士が最適に配列された構造を形成しやすくする。上記の処理により糸が扁平化し、糸自体の断面形状が楕円の形状から平板の形状に近づき、ガラスクロス中のガラス繊維の分布がより均一となり、上記した糸の低撚糸化と同様な効果が得られる。
【００２０】
本発明のガラスクロスの厚みは約１５０μｍ以下であることが好ましく、例えばプリント配線基板のさらなる多機能化に対応するために約８０μｍ以下であることがより好ましい。下限値は通常約２０μｍである。
【００２１】
開繊処理後、所望より、ガラスクロスを周知技術に従うヒートクリーニング処理などに付することにより上述した集束剤（二次バインダー）が除去される。
次いで、ガラスクロスは好ましくはシランカップリング剤で処理される。シランカップリング剤として具体的には、例えば、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アニリノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。これらのシランカップリング剤は、１種類を単独で用いてもよいし、複数種類を組み合わせて用いてもよい。中でも、Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）もしくはγ−アニリノプロピルトリメトキシシラン、またはこれらの混合物が好ましい。　例えば上記のようなカップリング剤の基材であるガラスクロスへの付着量は、約０．０１〜２重量％程度、好ましくは約０．０５〜０．５重量％程度が好適である。
【００２２】
ガラスクロスを開繊処理し、所望によりシランカップリング処理した後、公知の手段に従って、ガラスクロスを乾燥することにより、本発明のガラスクロスを得ることができる。
【００２３】
本発明のガラスクロスにマトリックス樹脂を含浸させて、１ｐｌｙ板や積層板を製造することができる。マトリックス樹脂は自体公知のものを用いてよい。具体的には、例えば、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂もしくはＢＴ樹脂などの熱硬化性樹脂、またはＰＰＯ樹脂、ポリエーテルイミド樹脂もしくはフッ素樹脂などの熱可塑性樹脂などが挙げられる。また、マトリックス樹脂には硬化剤など自体公知の添加物を含有させてもよい。また、例えば、本発明に係るガラスクロスに上記マトリックス樹脂を含浸させてプレプリグを作製し、該プリプレグを所定複数枚積層し、上下に銅箔を置くか又は内層コア板の上に積層して加熱加圧成形することによりプリント回路配線基板の基材である積層板を得ることができる。このための技術は従来充分に確立されていて、本発明においてはそのような公知の技術にしたがってよい。
【００２４】
本発明のガラスクロスを用いたプリント配線基板用積層板は、レーザー加工機による穴あけ作業において加工穴内壁面粗さの少ない優れたものが得られるものであるが、ここで用いられるレーザー加工機の種類については特に制限はなく、例えば炭酸ガスレーザー、ＹＡＧレーザー、エキシマレーザーなどいずれを用いてもよい。
【００２５】
本発明により得られたガラスクロスは、ワニス含侵性および表面平滑性に優れ、該ガラスクロスを用いて作成したプリント配線基板は加工穴内壁面粗さおよび曲げ弾性率において優れた数値を示した。
【００２６】
【実施例】
次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。実施例、比較例中の（１）ガラスクロスの一般物性測定方法、（２）ガラスクロスの経糸あるいは緯糸の幅およびガラスクロスの隣り合う経糸間あるいは隣り合う緯糸間の隙間の測定方法および（３）ガラスクロスのワニス含浸性の試験方法、（４）プリント配線基板用積層板の作成方法、プリント配線基板の加工性評価としての（５）表面平滑性の測定方法、（６）小径穴内壁粗さの測定方法および（７）曲げ弾性率の測定方法を以下に示す。
【００２７】
（１）ガラスクロスの一般物性測定方法：
ＪＩＳＲ３４２０に準じて測定した。
（２）ガラスクロスの経糸あるいは緯糸の糸幅およびガラスクロスの隣り合う経糸あるいは隣り合う緯糸間の隙間測定方法：
Ｘ−ＹプロッターＭＲＣ−２００ＰＳ（武藤工業製）を用いて、ガラスクロスの幅方向（両端部、中央部の３箇所）における１００箇所（１箇所の大きさ：たて２．０ｍｍ，よこ２．５ｍｍ）の地点の経糸および緯糸の糸幅、隣り合う経糸間および隣り合う緯糸間の隙間を各々測定し、各平均値を算出し経糸および緯糸の糸幅、隣り合う経糸間およびは隣り合う緯糸間の隙間の値とした。
【００２８】
（３）ガラスクロスのワニス含侵性の試験方法：
ガラスクロスにワニス（下記組成に基づき、粘度５００ＣＰＳ，温度２０℃に調製されたもの）を塗布し、ハロゲンランプを用いてガラスクロスの上部を照射し、ガラスクロスの下部に照度計を置き、ワニス塗布１分後に照度を測定し、下式に従ってワニス含浸性（％）を算出した。測定は５回行い、その平均値を算出しワニス含侵性の値とした。
2004124324.tif 000002
ワニス含浸性（％）
＝［（フィルム＋ガラスクロス）の照度／フィルムの照度］×１００
【００２９】
（４）プリント配線基板用積層板の作成方法：
内層コア板として３５μ銅箔０．４ｍｍ厚両面板を用いて、表層銅箔を前面黒化処理してコア板とした。次にガラスクロスに上記組成のエポキシ樹脂ワニスを含浸し、乾燥してプレプレグを得た。このプレプレグを該コア板の両層に一枚ずつ積層し、さらにその上に１８μの銅箔を載せ、真空プレス機を用いて１７０℃、３００Ｎ／ｃｍ２，７５分間の条件下にて加熱加圧して積層板を得た。
【００３０】
（５）表面平滑性の測定方法：
（４）に記載した方法に基づいて作成した積層板を用いて、表面粗さ測定機（東京精密（株）製、サーフコム５５０Ａ）にて表面平滑性を測定した。経糸と緯糸の斜め４５度方向の凸部と凹部の差の最大値を算出した。凸部と凹部を一対として５０回の測定を行い、凸部と凹部の差の最大値を表面平滑性の値とした。
【００３１】
（６）小径穴内壁粗さの測定方法：
（４）に記載した方法に基づいて作成した積層板の銅箔をエッチングして除去し、レーザー加工機（レーザージョブ（株）ＭＬ３）で表層のみの小径穴加工を行った。小径穴加工条件は、穴径２００μｍ、パルス幅１１μｍ、ショット数５回で行った。穴あけ後スルーホールメッキし、常温硬化型のエポキシ樹脂（ソマール（株）製、タイプ；エピフォームＲ２１００）で固め、これを小径穴内壁粗さ測定用試料とした。内壁の粗さは穴内壁の凸部と凹部の差で示し、凸部と凹部を一対として５０箇所の小径穴について測定し、その最大値を内壁粗さの値とした。
【００３２】
（７）曲げ弾性率の測定方法：
（４）に基づき作成した多層板の表層銅箔をエッチング後、オートグラフにてＪＩＳ−Ｃ６４８０（印刷回路用銅張り積層板通則）に従い、曲げ強度を測定し、曲げ弾性率を算出した。測定回数は１０回とし、その平均値を算出し曲げ弾性率の値とした。
【００３３】
［実施例１］
経糸および緯糸にＣ１２００　１／０　１Ｚを使用し、エアジェット方式の織機で経糸７０本／２５ｍｍ，緯糸７０本／２５ｍｍの織物密度、質量２４ｇ／ｃｍ２のガラスクロスを製織した。得られたガラスクロスにウオータージェット（水圧　３ＭＰａ）にて開繊処理を施した。次いで開繊処理したガラスクロスを４００℃、３０時間にて熱処理し、糊剤を除去した。続いて、表面処理としてシランカップリング剤（東レダウコーニング（株）社製、ＳＺ６０３２）を用いて処理液として、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１３０℃で２分間乾燥しシランカップリング剤付着量が０．１５重量％になるように調製して実施例１のガラスクロスを得た。このガラスクロスを用いて、上記の方法に従ってプリント配線基板用積層板を作成した。
【００３４】
［実施例２］
経糸および緯糸にＤ４５０　１／０　１Ｚを使用し、エアジェット方式の織機で径糸５４本／２５ｍｍ，緯糸５４本／２５ｍｍの織物密度、質量４８ｇ／ｃｍ２のガラスクロスを製織した。得られたガラスクロスにウオータージェット（水圧　４ＭＰａ）にて開繊処理を施した。次いで開繊処理したガラスクロスを４００℃、３０時間にて熱処理し、糊剤を除去した。続いて、表面処理としてシランカップリング剤（東レダウコーニング（株）社製、ＳＺ６０３２）を用いて処理液として、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１３０℃で２分間乾燥しシランカップリング剤付着量が０．１５重量％になるように調製して実施例２のガラスクロスを得た。このガラスクロスを用いて、上記の方法に従ってプリント配線基板用積層板を作成した。
【００３５】
［実施例３］
経糸および緯糸にＤ４５０　１／０　１Ｚを使用し、エアジェット方式の織機で経糸６０本／２５ｍｍ，緯糸６０本／２５ｍｍの織物密度、質量５４ｇ／ｃｍ２のガラスクロスを製織した。得られたガラスクロスにウオータージェット（水圧　４ＭＰａ）にて開繊処理を施した。次いで開繊処理したガラスクロスを４００℃、３０時間にて熱処理し、糊剤を除去した。続いて、表面処理としてシランカップリング剤（東レダウコーニング（株）社製、ＳＺ６０３２）を用いて処理液として、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１３０℃で２分間乾燥しシランカップリング剤付着量が０．１５重量％になるように調製して実施例３のガラスクロスを得た。このガラスクロスを用いて、上記の方法に従ってプリント配線基板用積層板を作成した。
【００３６】
［実施例４］
経糸および緯糸にＤＥ３００　１／０　１Ｚを使用し、エアジェット方式の織機で経糸６０本／２５ｍｍ，緯糸６２本／２５ｍｍの織物密度、質量８０ｇ／ｃｍ２のガラスクロスを製織した。得られたガラスクロスにウオータージェット（水圧　５ＭＰａ）にて開繊処理を施した。次いで開繊処理したガラスクロスを４００℃、３０時間にて熱処理し、糊剤を除去した。続いて、表面処理としてシランカップリング剤（東レダウコーニング（株）社製、ＳＺ６０３２）を用いて処理液として、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１３０℃で２分間乾燥しシランカップリング剤付着量が０．１５重量％になるように調製して実施例４のガラスクロスを得た。このガラスクロスを用いて、上記の方法に従ってプリント配線基板用積層板を作成した。
【００３７】
［比較例１］
経糸および緯糸にＣ１２００　１／０　１Ｚを使用し、エアジェット方式の織機で径糸７０本／２５ｍｍ，緯糸７０本／２５ｍｍの織物密度、質量２４ｇ／ｃｍ２のガラスクロスを製織した。得られたガラスクロスにウオータージェット（水圧　４ＭＰａ）にて開繊処理を施した。次いで開繊処理したガラスクロスを４００℃、３０時間にて熱処理し、糊剤を除去した。続いて、表面処理としてシランカップリング剤（東レダウコーニング（株）社製、ＳＺ６０３２）を用いて処理液として、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１３０℃で２分間乾燥しシランカップリング剤付着量が０．１５重量％になるように調製して比較例１のガラスクロスを得た。このガラスクロスを用いて、上記の方法に従ってプリント配線基板用積層板を作成した。
【００３８】
［比較例２］
経糸および緯糸にＤ４５０　１／０　１Ｚを使用し、エアジェット方式の織機で径糸５４本／２５ｍｍ，緯糸５４本／２５ｍｍの織物密度、質量４８ｇ／ｃｍ２のガラスクロスを製織した。得られたガラスクロスにウオータージェット（水圧　５ＭＰａ）にて開繊処理を施した。次いで開繊処理したガラスクロスを４００℃、３０時間にて熱処理し、糊剤を除去した。続いて、表面処理としてシランカップリング剤（東レダウコーニング（株）社製、ＳＺ６０３２）を用いて処理液として、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１３０℃で２分間乾燥しシランカップリング剤付着量が０．１５重量％になるように調製して比較例２のガラスクロスを得た。このガラスクロスを用いて、上記の方法に従ってプリント配線基板用積層板を作成した。
【００３９】
［比較例３］
経糸および緯糸にＤ４５０　１／０　１Ｚを使用し、エアジェット方式の織機で経糸５４本／２５ｍｍ，緯糸５４本／２５ｍｍの織物密度、質量４８ｇ／ｃｍ２のガラスクロスを製織した。得られたガラスクロスにウオータージェット（水圧　３．５ＭＰａ）にて開繊処理を施した。次いで開繊処理したガラスクロスを４００℃、３０時間にて熱処理し、糊剤を除去した。続いて、表面処理としてシランカップリング剤（東レダウコーニング（株）社製、ＳＺ６０３２）を用いて処理液として、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１３０℃で２分間乾燥しシランカップリング剤付着量が０．１５重量％になるように調製して比較例３のガラスクロスを得た。このガラスクロスを用いて、上記の方法に従ってプリント配線基板用積層板を作成した。
【００４０】
［比較例４］
経糸および緯糸にＤＥ３００　１／０　１Ｚを使用し、エアジェット方式の織機で経糸６０本／２５ｍｍ，緯糸６２本／２５ｍｍの織物密度、質量８０ｇ／ｃｍ２のガラスクロスを製織した。得られたガラスクロスにウオータージェット（水圧　５．５ＭＰａ）にて開繊処理を施した。次いで開繊処理したガラスクロスを４００℃、３０時間にて熱処理し、糊剤を除去した。続いて、表面処理としてシランカップリング剤（東レダウコーニング（株）社製、ＳＺ６０３２）を用いて処理液として、ガラスクロスを浸漬し、絞液後、１３０℃で２分間乾燥しシランカップリング剤付着量が０．１５重量％になるように調製して比較例４のガラスクロスを得た。このガラスクロスを用いて、上記の方法に従ってプリント配線基板用積層板を作成した。
【００４１】
【表１】
2004124324.tif 000003
【００４２】
【表２】
2004124324.tif 000004
【００４３】
【発明の効果】
本発明のガラスクロスはワニス含侵性、表面平滑性に優れたものであり、該ガラスクロスを用いることにより加工穴内壁面粗さおよび曲げ弾性率に優れた、特にレーザービーム加工による精密な小径穴加工を可能にするプリント配線基板を提供することができる。