(57)【要約】【課題】フラットパネルディスプレイを真空中で封着する際に冷却速度を向上させタクトタイムを短縮する。【解決手段】封着後、高温のパネルをより低温の冷却媒体に順次乗せ替え、冷却速度を向上させる。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面板と、前記前面板と平行に配置された後面板と、前記前面板と前記後面との間に配置された枠とを有する真空フラットパネルディスプレイの製造方法において、
前記枠と前記前面板及び前記後面板との間を真空中で封着固着する際に、フラットパネルディスプレイを温度差のある加熱または冷却媒体間を間欠的に移動させることを特徴とする真空フラットパネルディスプレイの製造方法。
【請求項２】
請求項１において、後面板が電子放出素子を有する電子源と、前記電子源より放出された電子を制御する電極とを有することを特徴とする真空フラットパネルディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電界放出型や表面伝導放出型等の冷陰極電子源を用いたフラットパネルディスプレイ等に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＣＲＴ管を用いたディスプレイから、液晶やプラズマ、蛍光表示管、エレクトロルミナンス、冷陰極型電子放出素子等を用いたフラットパネルディスプレイ（以下、ＦＰＤと称する）の開発が進んでいる。
【０００３】
ＦＰＤは、奥行きが小さく、軽量であるので、その需要は大きい。また、特に情報機器の中で、表示機器の薄型化や高性能化が進み、液晶表示パネルに続いて、微細な蛍光灯や電子放出素子、紫外線放出素子を平板上に多数並べて、表示機能を付与したＦＰＤが開発されている。
【０００４】
ここで、液晶表示パネル装置は、それ自体では発光せず、シャッターの役目を利用して、文字や記号等を表示するのに対し、これ以外のＦＰＤ装置は、それ自体が発光し、高輝度で高コントラストの性能特性上で優れているとされている。
【０００５】
特に、近年、電界放出型や表面伝導放出型、ＭＩＭ型等の冷陰極電子源を用いたフラットパネルディスプレイは自発光型でＣＲＴ管と同等の蛍光体を用いるので、高輝度で高コントラスト及び広視野角を備えているのでその期待度は高い。
【０００６】
これらのフラットパネルディスプレイは、真空パネルを形成した後に、画像表示・寿命に悪影響を及ぼすパネル内部のガスを除去する際に、恒温でベーキングを行い、特開平０６−２６７４２４号公報にあるような、低融点ガラスを使用しパネルを封着している。
【０００７】
従来、こうしたパネルを固着する方法として、特開平０８−２２７８５４号公報にあるように、パネル内の高真空を維持するために真空中でパネルを加熱し、パネルの封着を行うことが行われている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
真空中で加熱・冷却を行う場合、加熱・冷却媒体とパネルとの間の熱収支は、輻射と電熱のみであるために、冷却時にパネルの熱を真空系外へ速やかに逃がし、冷却速度を上げる必要がある。
【０００９】
即ち、３００〜４００℃でベーキングを行い、使用可能な低融点ガラスは、少なくともその熱特性温度である屈伏点が、ベーキング温度以上であることが求められる。従って、低融点ガラスを用いたパネルの封着温度は４００℃以上となる。
【００１０】
４００℃から冷却を行う場合、真空系内では、冷却に長時間要する。
【００１１】
本発明においては、真空気密性を有するフラットパネルディスプレイの封着後の冷却を速やかに行うことを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するもので、前面板と、前記前面板と平行に配置された後面板と、前記前面板と前記後面との間に配置された枠とを有する真空フラットパネルディスプレイにおいて、前記枠と前記前面板及び前記後面板との間を真空中で封着固着する際に、フラットパネルディスプレイを温度差のある加熱または冷却媒体間を間欠的に移動させることにより、フラットパネルディスプレイの封着後の冷却を速やかに行うことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明による実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１４】
（実施例１）
図１〜図１０に、本発明によるフラットパネルディスプレイの製造方法を示す。
【００１５】
図１は本発明によるフラットパネルディスプレイの製造装置の概念図である。
【００１６】
図２において、１は発光のための蛍光体パターンを有する前面板であり、２は内側の枠、２は電子放出素子を有する電子源と、前記電子源より放出された電子を制御する電極とを有する後面板、３は前記前面板と後面板に接する面において封着するための低融点ガラス４を両面に形成された枠である。
【００１７】
発光のための蛍光体パターンを有する前面板１と電子放出素子を有する電子源と、前記電子源より放出された電子を制御する電極とを有する後面板２は、枠４を挟んで、電子源と、電子源から放出された電子により発光する蛍光体の位置が所定のものとなるように、位置合わせを行い、固定治具５と固定板材８を低温硬化無機系接着剤６、７により仮固定する。（図２〜図７）
仮固定されたパネルの斜視図を図８に示す。
【００１８】
仮固定されたパネルは封着時に低融点ガラスが流動してＺ軸方向へは移動するが、Ｘ、Ｙ方向へ移動せず、封着の工程前後で、前面板と後面板のＸＹ方向の位置関係はそのまま保持される。
【００１９】
蛍光体パターンを有する前面板１或いは、電子放出素子を有する電子源と、前記電子源より放出された電子を制御する電極とを有する後面板２には、真空パネルを大気圧から支えるための隔壁を有している。（図示せず）
仮固定の完了したパネルを、図１に示す製造装置の投入する。仮固定の完了したパネルはロードロックを通り、前室に搬入され、予備真空排気を行う。１０−６Ｐａまで排気した後に、加熱ベーキング室に移し、１０−６Ｐａまで排気し、３８０℃へ加熱し、ベーキングを行う。
【００２０】
ベーキング完了後、仮固定パネルを、封着室へ移し、４００℃へ加熱し、低融点ガラスが流動した後に、加熱媒体であるホットプレート表面のピンで加圧し、封着する。前面板と後面板の厚さ方向（Ｚ軸方向）の距離が所定のものとなり、封着が完了した時点で、冷却を開始する。
【００２１】
封着室では、低融点ガラスが流動しなくなり、前面板と後面板が外力によりずれない温度まで、加圧したまま冷却する。（約３５０℃）
３５０℃まで封着室で冷却した後に加圧を解除し、冷却室１へ封着パネルを移す。
【００２２】
冷却室１の冷却媒体は１５０℃に設定した。ここで封着パネルの温度が１７０℃になった時点で、封着パネルを冷却室２へ移す。冷却室２の冷却媒体は１００℃に設定した。ここで封着パネルの温度が１２０℃になった時点で、封着パネルを冷却室３に移す。冷却室３の冷却媒体は５０℃に設定した。ここで封着パネルの温度が７０℃になった時点で、封着パネルを冷却室４に移す。冷却室４の冷却媒体は３０℃に設定した。ここで封着パネルの温度が５０℃になった時点で、封着パネルを取出し室に移し、真空をリークし、装置外部に封着パネルを取出す。
【００２３】
図９に、本製造装置内部でのパネルの移動方法について示す。
【００２４】
１組の回転体９により駆動されるピン１０が回転周期が１８０度異なる１１及び１２の２組がパネル１３を加熱及び冷却媒体１４ごしに支え、１回転につき１ピッチ毎、パネルを移動させる。
【００２５】
（実施例２）
実施例１では、製造装置は直線配置であったが、図１０に示す様に星型配置でも良い。
【００２６】
この配置の場合、ひとつの加熱或いは冷却室にパネルと加熱及びもしくは冷却媒体を交互に積層し、多数のパネルを同時に処理することも可能である。
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば、前面板と、前記前面板と平行に配置された後面板と、前記前面板と前記後面との間に配置された枠とを有する真空フラットパネルディスプレイにおいて、単独の加熱・冷却媒体で冷却を行った場合、４００℃から２００℃までは、冷却速度約１℃／分、２００℃から１５０℃までは、冷却速度は約０．４℃／分、１５０℃から１００℃までは、冷却速度は約０．２℃／分、１００℃から５０℃までは、冷却速度は約０．１℃／分と長時間を要していたが、本発明の方法によれば、４００℃から５０℃までの冷却速度は約１℃／分にすることが可能となり、大きな時間短縮が達成できた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態による製造装置の概念図である。
【図２】本発明の実施形態によるパネルの仮固定方法の図である。
【図３】本発明の実施形態によるパネルの仮固定方法の図である。
【図４】本発明の実施形態によるパネルの仮固定方法の図である。
【図５】本発明の実施形態によるパネルの仮固定方法の図である。
【図６】本発明の実施形態によるパネルの仮固定方法の図である。
【図７】本発明の実施形態によるパネルの仮固定方法の図である。
【図８】本発明の実施形態によるパネルの仮固定方法の図である。
【図９】本発明の実施形態による装置内のパネル移動方法を示す図である。
【図１０】本発明の他の実施形態による製造装置の概念図である。
【符号の説明】
１　発光のための蛍光体パターンを有する前面板
２　電子放出素子を有する電子源と、前記電子源より放出された電子を制御する電極とを有する後面板
３　枠
４　封着するための低融点ガラス
５　固定治具
６　低温硬化無機系接着剤
７　低温硬化無機系接着剤
８　固定板材
９　回転体
１０　ピン
１１　ピンと回転体の組
１２　ピンと回転体の組
１３　パネル
１４　加熱及び冷却媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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