(57)【要約】【課題】大口径非球面ガラスレンズなど光学部品を研磨加工する際、被研磨面の形状に倣う柔軟性を有し、前加工による凹凸部があっても、高精度かつ効率的に平滑化するラップ工具を提供する。【解決手段】ラップ工具１は、ドーム状の弾性体２と、弾性体２の一方の面上に形成されている接着剤３ｂとラップ材３ａとを含む研磨性を有するラップ層３と、ラップ層３に柔軟性を持たせるための、ラップ層３の表面から弾性体２の一方の面までにいたる亀裂８と、を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドーム状の弾性体と、
前記弾性体の一方の面上に形成されている接着剤とラップ材とを含む研磨性を有するラップ層と、
前記ラップ層に柔軟性を持たせるための、前記ラップ層の表面から前記弾性体の前記一方の面までにいたる亀裂と、
を備えたことを特徴とするラップ工具。
【請求項２】
前記接着剤は、熱硬化性樹脂材料から成る接着剤であることを特徴とする請求項１に記載のラップ工具。
【請求項３】
前記ラップ材は、平均粒径１ｍｍ以下に粉砕されたラップ材であることを特徴とする請求項１に記載のラップ工具。  
【請求項４】
ドーム状の弾性体を固定部材へ固定する工程と、
前記弾性体の表面と接着剤との密着性を上げるために前記弾性体の一方の面を粗面にする工程と、
前記一方の面に前記接着剤を塗布する工程と、
前記接着剤の全表面にラップ材を接着する工程と、
前記接着剤を乾燥させる工程と、
前記接着剤に柔軟性を持たせるための、前記接着剤の表面から前記弾性体の前記一方の面までにいたる亀裂を形成する工程と、
を含む工程であることを特徴とするラップ工具の製造方法。
【請求項５】
前記接着剤を塗布する工程は、
熱硬化性樹脂材料から成る接着剤を塗布する工程、
を含むことを特徴とする請求項４に記載のラップ工具の製造方法。
【請求項６】
前記ラップ材を接着する工程は、
平均粒径１ｍｍ以下に粉砕されたラップ材を接着する工程、
を含むことを特徴とする請求項４に記載のラップ工具の製造方法。
【請求項７】
前記亀裂を形成する工程は、
回転している前記ラップ層へ研磨液を供給しながら前記ラップ層に曲面形状を有する成形工具を押し当てる成形擦り工程、
を含むことを特徴とする請求項４に記載のラップ工具の製造方法。
【請求項８】
前記成形擦り工程は、
前記ラップ層の曲率半径と略等しいか或いはより小さい曲率半径の前記成形工具を用いる擦り工程、
を含むことを特徴とする請求項７に記載のラップ工具の製造方法。
【請求項９】
請求項１から３のいずれかに記載のラップ工具を用いる光学部品の研磨方法であって、
回転している前記ラップ工具の前記ラップ層へ研磨砥粒を含んだ加工液を供給しながら前記ラップ層へ前記光学部品の被研磨面を押し当てて前記被研磨面を磨く研磨工程、
を含むことを特徴とする光学部品の研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学レンズ等の光学部品を平滑化または鏡面化する際に用いるラップ工具とラップ工具の製造方法および光学部品の研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
工業分野の中で光学部品と呼ばれるものとしては、カメラレンズ、望遠鏡用レンズ、顕微鏡用レンズ、ステッパー用集光レンズ、眼鏡レンズ等に代表される光学レンズの他に、プリズム、カバーガラス、光学フィルター等を挙げることができる。これらの中でも特にカメラレンズは、数種の球面ガラスレンズおよび非球面ガラスレンズを組み合わせて使用される。しかし非球面ガラスレンズは加工が難しく高精度のものは非常に高価である。この非球面ガラスレンズを代表例として背景技術について説明する。
【０００３】
従来、非球面ガラスレンズの研磨方法は、所定形状に荒削りされた非球面ガラスレンズの表面を、数種の球面形状の砂掛け皿を用いて、砥粒を加工液中に分散させたスラリを供給しながら、部分的に砂掛け加工して全体形状を整え、さらに同様な方法で球面形状の研磨皿を用いて部分的に研磨加工しながら鏡面仕上げを行っている。
【０００４】
また、近年では特許文献1に示されているような弾性体でできた研磨皿に研磨部材を貼り付けた構成のポリシャ（以降、弾性ポリシャとする）によって鏡面仕上げをする方法も一部実施されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２０６９５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に示されているような弾性ポリシャを使用した場合下記の課題がある。
【０００７】
すなわち、非球面ガラスレンズを高精度に研削して研削面粗さを向上させ、砂掛けをせずに弾性ポリシャで研磨すると、研削面にうねりがある場合そのままの形状で研磨されてしまい連続した鏡面が得られない。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、非球面ガラスレンズ等に代表される光学部品を研磨加工する際に、前記光学部品の研削面のうねりを効率的に除去し、あわせて鏡面仕上げができるラップ工具とラップ工具の製造方法および光学部品の研磨方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のラップ工具は、ドーム状の弾性体と、弾性体の一方の面上に形成されている接着剤とラップ材とを含む研磨性を有するラップ層と、ラップ層に柔軟性を持たせるための、ラップ層の表面から弾性体の一方の面までにいたる亀裂と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、弾性体と比べて弾性の無いラップ層に亀裂を形成して、ラップ材を保持する微細な部分に分割することにより、ラップ層は、弾性体の撓みに柔軟に倣うことが可能となる。
【００１１】
この場合、接着剤は、熱硬化性樹脂材料から成る接着剤であり、ラップ材は、平均粒径１ｍｍ以下に粉砕されたラップ材であることが好ましい。ここで言うラップ材とは、一般に知られるような、鉱物質の結晶を破砕して得られ、研磨剤を保持することが可能な細孔を多数有する多孔質細粒であり、例えば鋳鉄、ダイヤモンド、アルミナ等の細粒が挙げられるが、これに限定されない。また、発砲ポリウレタン等の樹脂中に前記多孔質細粒が含有されるものについてもラップ材に含まれる。これらのラップ材は平均粒径１ｍｍ以下に粉砕されることにより、ラップ層の表面を平滑にし易くなるため研磨時に被加工物表面に傷つける事無く、且つ十分な研磨性を得ることができる。
【００１２】
この構成によれば、熱硬化性樹脂材料から成る接着剤を用いることにより、接着剤に亀裂が形成されても、ラップ材を保持しつつ、且つ弾性体との接着を維持することができる。また、ラップ材として、研削性のある平均粒径１ｍｍ以下のラップ材を用いて、ラップ工具の研削能力を向上させることができる。
【００１３】
本発明のラップ工具の製造方法は、ドーム状の弾性体を固定部材へ固定する工程と、弾性体の表面と接着剤との密着性を上げるために弾性体の一方の面を粗面にする工程と、一方の面に接着剤を塗布する工程と、接着剤の全表面にラップ材を接着する工程と、接着剤を乾燥させる工程と、接着剤に柔軟性を持たせるための、接着剤の表面から弾性体の一方の面までにいたる亀裂を形成する工程と、を含む工程であることを特徴とする。
【００１４】
このラップ工具の製造方法によれば、弾性体の面を粗面にして接着剤との密着性を向上させ、また、ラップ材を保持する接着剤に亀裂を形成し、弾性体の可撓性に追従して、ラップ材および接着剤が柔軟に撓むように構成したラップ工具を、効率的に製造することができる。
【００１５】
この場合、接着剤を塗布する工程は、熱硬化性樹脂材料から成る接着剤を塗布する工程、を含むことが好ましく、ラップ材を接着する工程は、平均粒径１ｍｍ以下に粉砕されたラップ材を接着する工程、を含むことが好ましい。
【００１６】
また、亀裂を形成する工程は、回転しているラップ層へ研磨液を供給しながらラップ層に曲面形状を有する成形工具を押し当てる成形擦り工程、を含むことが好ましく、さらに、成形擦り工程は、ラップ層の曲率半径と略等しいか或いはより小さい曲率半径の成形工具を用いる擦り工程、を含むことが好ましい。
【００１７】
これらの構成によれば、ラップ層に成形工具を押し当てて、弾性体およびラップ層を撓ませながら成形擦りすることにより、ラップ層の接着剤に容易に亀裂を生じさせる事ができる。また、同時に、接着された状態では、弾性体面からの高さが、個々に異なっているラップ層のラップ材を、弾性体形状に倣うようにそれぞれほぼ近似の高さに整形できる。これによってラップ層の表面を平滑にすることが可能となるため、被加工物を研磨する場合において該表面にラップ層によって傷をつける事無く研磨を施すことが可能である。さらに、成形工具の曲率半径をラップ層の曲率半径とほぼ同等、あるいは小さくすることで、ラップ層を波状に撓ませることができ、効果的に亀裂の形成ができる。
【００１８】
本発明の光学部品の研磨方法は、回転しているラップ工具のラップ層へ研磨砥粒を含んだ加工液を供給しながらラップ層へ光学部品の被研磨面を押し当てて被研磨面を磨く研磨工程、を含むことを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、ラップ層が、光学部品の被研磨面に対して、密着するように倣って研磨を行い、被研磨面のうねりなどを除去すると共に平滑化、鏡面化を同時に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明のラップ工具について説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。
【実施例】
【００２１】
図１（ａ）は、本発明のラップ工具の実施形態を示す断面図である。ラップ工具１は、ドーム状の弾性体２と、弾性体２の一方の面である凸面側に形成されているラップ層３と、弾性体２を固定する固定部材１０と、弾性体２の他方の面および固定部材１０によって形成される中空構造部７と、中空構造部７に充填されている圧力流体６と、から構成されている。また、固定部材１０は、ラップ工具１へ回転力を伝える回転軸１１と、回転軸１１と一体の円盤状の皿１２と、皿１２へ弾性体２を固定する弾性体止具１３と、中空構造部７へ圧力流体６を流入するための圧力流体流入経路４と、圧力流体流入経路４に備えられている一方向絞り弁５と、から構成されている。
【００２２】
この構成のラップ工具１は、ラップ工具１が取り付けられた装置から、回転軸１１を介して回転力を得て、皿１２、弾性体止具１３、弾性体２、ラップ層３が一体となって回転する。中空構造部７には圧力流体６が封入されており、圧力流体６の内部圧力を調節して、ラップ層３が形成されている弾性体２の弾性力を自在に変えることができる。圧力流体６の圧力調節は、一方向絞り弁５によってなされる。一方向絞り弁５は、圧力流体を一定圧力で圧力流体流入経路４から中空構造部７へ封入でき、さらに圧力流体６の内部圧力を一定圧力に調節し、且つ、維持することができる。
【００２３】
本発明の主要部であるラップ層３は、図１（ｂ）に示すように、弾性体２の表面に接着剤３ｂの層が形成され、接着剤３ｂにラップ材３ａが接着されたものである。ラップ層３は、ラップ層３の表面である接着剤３ｂの表面から弾性体２までにいたる微細な亀裂８を有し、ラップ層３が弾性体２の可撓性に対応して自在に撓むことのできる柔軟性を持たせる構成になっている。つまり、亀裂８で分割された接着剤３ｂの各部分は、それぞれラップ材３ａを保持して、弾性体２の撓みに個々に追従することができる。従って、ラップ層３に弾性体２までにいたる微細な亀裂８をもたせることにより、ラップ層３は、ラップ層３によって磨かれる被加工物の曲面形状に沿って、柔軟に倣う追従性が向上する。
【００２４】
なお、ラップ層３には、接着剤３ｂおよびラップ材３ａの他に、光沢剤や潤滑剤などを含ませることができる。このようなラップ層３の構成以外にも、亀裂８の形成によって柔軟性が付与された接着剤３ｂ、に相当する柔軟性を有する接着剤を用いることや、あるいは表面にラップ材または研磨砥粒を接着した接着層を有する弾性パットを弾性体２に貼り付けた構成、としても良い。
【００２５】
弾性体２は、所定の曲率半径を有する球の一部を切り出したドーム形状をしており、弾性素材としては、厚さ０．１〜１０ｍｍ、ＪＩＳ  Ａ硬さ（タイプＡデュロメ−タ）１０〜１００、ヤング率１０2〜１０3 Ｎ・ｃｍ-2、耐熱温度１００℃までの範囲の物性を有するニトリルゴムが望ましい。これら以外にも上記物性を示すものであれば、天然ゴム、スチレンゴム、ブタジエンゴム、シリコンゴム、フッ素ゴムや他の素材を用いても良い。実施例では、ＪＩＳ  Ａ硬さ（タイプＡデュロメータ）９０のニトリルゴムを用いた。図１には所定の曲率半径を有する球の一部を切り出した形状の弾性体２を例示したが、ワークの形状や材質に応じて、中空構造部７も弾性素材で構成された中実の弾性体も選択可能である。
【００２６】
ラップ層３に用いられる接着剤３ｂとしては２液硬化タイプの熱硬化性樹脂接着剤であるコニシ株式会社製ボンドＥセットを使用し、ラップ材３ａとしては、ＦＣ２０ネズミ鋳鉄の平均粒径１ｍｍ以下のものの中から、より好ましい０．０１ｍｍに粉砕したものを用いた。また、中空構造部に供給または封止する圧力流体としては空気、水等が例示できる。
【００２７】
次に、ラップ層３のラップ材３ａに鋳鉄粉を用いた場合のラップ工具１の製造方法について説明する。まず、既に説明した図１に示す固定部材１０に、ドーム状の弾性体２を固定した状態のラップ工具を作成する。以下、図３のラップ層形成のフロー図に示すように、弾性体２の表面処理、洗浄、乾燥、接着剤３ｂの塗布、ラップ材３ａの接着、乾燥、ラップ層３表面の成形擦り、洗浄、の各工程を経てラップ工具１が完成する。以下に、各工程について図を参照して説明する。
【００２８】
（弾性体表面処理・洗浄・乾燥）
弾性体２の表面処理は、図４（ａ）に示すように、弾性体２の凸側の表面２ａに微細な砂を吹き付けるサンドブラスト加工によって、弾性体２の表面２ａを粗面な状態にする。弾性体２の表面２ａを粗面にすることにより、後工程で塗布される接着剤３ｂとの接着強度を強くすることができる。サンドブラスト加工の加工条件は、砂の粒径が８０μｍ、砂を吹き付けるためのエアーの圧力が０．５Ｍｐａである。サンドブラスト加工後、洗浄を行い、洗浄は、圧力０．５Ｍｐａの圧縮エアーでサンドブラスト加工面を清浄にする。次いで、水を掛け流してブラシ等で洗い、異物や汚れなどをすべて除去する。水洗後、６０℃の温風によって乾燥させる。粗面にする方法は、サンドブラスト加工に限らず、サンドペーパーによる擦りや、荒砥石による研磨などの方法でも、同様な効果が得られる。
【００２９】
（接着剤塗布）        
乾燥させた弾性体２の表面２ａへの接着剤３ａの塗布は、図４（ｂ）に示すように、弾性体２の表面２ａに、接着剤３ｂを均一に薄く塗布する。接着剤３ｂは、粘性があり、そのままでは塗布しにくいため、加熱して粘性を少なくして、一定温度保持しながら塗布することが望ましい。
【００３０】
（ラップ材接着・乾燥）
次に、接着剤３ｂ上へラップ材３ａを接着する。接着剤３ｂの表面に、ラップ材３ａである鋳鉄粉を、接着剤３ｂの全面を覆うようにふり掛けて接着し、接着していないラップ材３ａは払い落とす。こうして図４（ｃ）に示すように、接着剤３ｂの表面にラップ材３ａが均一に接着される。接着剤３ｂを乾燥させると、接着剤３ｂが硬化して、ラップ材３ａは、接着剤３ｂを介して弾性体２と一体の状態となる。
【００３１】
（ラップ層表面の成形擦り・洗浄）
そして、接着剤３ｂに亀裂を形成するために、ラップ層３表面の成形擦りを行う。図５（ｄ）は、成形擦り工程を示す図であって、正回転３６および逆回転３７の動きをする固定部材１０と、固定部材１０へ取り付けられたラップ層３と、ラップ層３へ押し当てられている鋳鉄製の成形工具３０と、成形工具３０のピポット３１を介して成形工具３０への押圧３４を加減すると共に成形工具３０を楕円軌道３５に沿って移動させるかんざし３２と、ラップ層３および成形工具３０へ供給される研磨液３３と、からなる構成で成形擦りがなされる。
【００３２】
この状態で、固定部材１０は球面研磨機構を有する研磨機に装着されて、正逆両方向へ回転する。この時、図１（ａ）を参照に既に説明したように、固定部材１０の中空構造部７には、圧力流体流入経路４、一方向絞り弁５を経て圧縮空気が充填されている。一方向絞り弁５を操作して圧縮空気の圧力を調整し、圧縮空気を密閉することにより、弾性体２に所定の弾性力を保持させることができる。次いで、成形工具３０を、ラップ層３へ押し当てて、凸状のラップ層３と成形工具３０の凹面とを摺りあわせる。成形工具３０は、かんざし３２によってラップ層３へ押し付けられ、かんざし３２の上下移動でラップ層３への押圧３４が調整されている。さらに、かんざし３２は、固定部材１０の回転軸に対して楕円軌道を描くように、成形工具３０を移動させる。これらの作用により、成形工具３０は、ラップ層３の表面全体と均等に擦りあわさる。加工後、加工液３３や成形擦りで発生した残粉等を洗浄して除去する。
【００３３】
成形擦りによって、成形工具と摺りあうラップ層３の接着剤３ｂの層に、図５（ｅ）の断面図に示すような微細な亀裂８が発生し、硬化した接着剤３ｂの層が分割される。接着剤３ｂの層は、平面的にもラップ材３ａをそれぞれ保持する多数の微小部分に分割されている。分割された接着剤３ｂの各層は、弾性体２と接する部分では接着固定されており、弾性体２の変形に対応して弾性体２から離反することなく、柔軟に追従することが可能である。すなわち、弾性を持ったラップ層３を有するラップ工具１となる。
【００３４】
また、成形擦り工程によって、ラップ層３のラップ材３ａ表面は、成形工具３０と研磨液３３とにより研磨され、鋳鉄微粉の微小な平滑面となる。したがって、ラップ層３は、被加工物を磨いて単に鏡面化するだけでなく、鋳鉄による研削性も備えており、うねり等を除去した上に鏡面化が図れるものである。
【００３５】
なお、成形工具３０のラップ層３と擦りあう曲面は、ラップ層３の曲面の曲率半径とほぼ等しいか、或いはより小さい曲率半径である方が、ラップ層３を撓ませて効果的に亀裂８が形成できるため、好ましい。なお、成形工具３０とラップ層３とを擦り合わせる際の研磨液３３は、エメリー、酸化アルミナ、酸化セリュウム等を水でスラリー状にしたものを用いた。
【００３６】
このラップ工具１を用いれば、被加工物として大口径非球面ガラスレンズなどの光学部品を研磨加工する際、光学部品の被研磨面に前加工による凹凸部があっても、高精度かつ効率的に被研磨面を平滑化し、所望の平滑面あるいは鏡面を得ることができる。
【００３７】
さらに、本発明のラップ工具１を用いた一例として、光学ガラスレンズにおいて、光学ガラスレンズの凹面側を所望の曲面形状に研削加工した後に、ラップ工具１を用いて平滑面に研磨する場合について説明する。
【００３８】
研磨加工を行う場合の構成は、図２に示すように、固定部材１０とラップ層３が表面に形成されている弾性体２とから成るラップ工具１と、ラップ工具１を装着する図示されていない研磨機と、中空構造部７に封入されている圧力流体６と、光学ガラスレンズ（以降、ワーク２０と呼ぶ）を取り付けるワーク保持具２１と、ワーク２０をラップ工具１のラップ層３へ押し当てるためのラップ圧力２２を付与する機構と、ワーク２０およびラップ層３の間に研磨砥粒を含んだ加工液２３を供給する加工液供給部２４と、から成っている。
【００３９】
ワーク２０は、ラップ工具１による研磨前に、ワーク２０の凸面側を球面研削機および球面研磨機で仕上げた後、凸面側をワーク保持具２１に貼り付け、続いて、研削砥石などによって形状を創成する形状創成工程で、ワーク２０の凹面を所望の曲面形状に削り出されている。本実施例では、研削により、ワーク２０の凹面を曲率半径がおよそ１００ｍｍの曲面に創成した。
【００４０】
これらの構成のもと、ワーク２０を５０ｒｐｍ、ラップ工具１の回転軸１１を１００ｒｐｍで、加工液２３を供給しながらそれぞれ回転させる。このとき、弾性体２と弾性体２を取り付ける回転軸１１には、直接回転トルクが伝わらぬように、扁芯量１．５ｍｍのカムフォロワーを装着し、図示しない運動機構により、弾性体２のラップ層３とワーク２０とを相対的に揺動させ、約５分間研磨加工を行った。またラップ圧力２２は、３ｋｇｆを付加した。
【００４１】
形状創成工程の研削により曲面に創成されたワーク２０の凹面は、ほぼ所定の形状に仕上がっているが、研削力のある研削砥石などで研削されているため、わずかなうねり等が残っている場合がある。このまま既存の弾性ポリシャで平滑または鏡面に加工しただけでは、うねりを除去できずに、うねり形状のまま鏡面等に仕上がってしまう。弾性ポリシャに替えてラップ工具１を用いると、ワーク２０とラップ工具１のラップ層３とが共に反対方向に回転しながら、且つ、ラップ層３側が偏心揺動して、相互に擦り合ってワーク２０の研磨を行う。この研磨時に、ラップ材３ａの鋳鉄粉の研削力によりうねり形状が除去され、同時に加工液２３中の研磨砥粒によって鏡面に仕上げることができる。
【００４２】
ここで、ワーク２０の曲率半径はラップ層３の曲率半径より大きく、ラップ層３はワーク２０の凹面と部分的に接して、ワーク２０の接する部分を研磨する。さらに、ワーク２０とラップ層３とは互いに回転および揺動しているため、相互に接する部分がワーク２０全面に渡り均一に移動し、ワーク２０の凹面全面が平滑に加工される。相互に接する部分の面積は、ラップ圧力２２および圧力流体６の圧力を調節することにより最適に設定できる。このように、本発明のラップ工具１は、弾性ポリシャのような仕上げ性に加えて、鋳鉄粉による研削性も付加されており、わずかなうねりを除去した上で、さらに平滑面および鏡面に仕上げることができる工具である。
【００４３】
なお、ここで用いた弾性体２は、曲率半径４５ｍｍの球の一部を切り出した形状で厚さ１ｍｍ、ＪＩＳ  Ａ硬さ（タイプＡデュロメータ）９０のニトリルゴムを用いた。弾性体２と固定部材１０とで形成される中空構造部７には、圧力流体６として０．０３Ｍｐａの圧縮空気を充填し、一方向絞り弁５によって内部圧力を一定圧力に維持して使用した。また、研磨砥粒を分散させた加工液２３を加工液供給部２４によりワーク２０とラップ層３との間に供給した。研磨砥粒としては平均粒径３．６μｍの精密ラッピング用オプチカルエメリーＦＯ３０００＃を使用した。
【００４４】
以上述べたように、本発明のラップ工具１によれば、ラップ工具１の研磨部であるラップ層３に、柔軟性を持たせることで、被加工物の形状を確実に倣って追従し、被加工物の自由曲面の研磨加工精度を向上させることが可能となった。ラップ層３の柔軟性は、ラップ層３が形成される弾性体２の柔軟性と、ラップ層３が有する微細な亀裂８と、弾性体２および固定部材１０の間の中空構造部７に保持されている圧力流体６と、によって、もたらされるものである。特に、ラップ層３に微細な亀裂８を持たせることが、有効である。なお、被加工物としては、曲面を有する光学ガラスレンズだけでなく、各種部品用の金型も挙げられる。
【００４５】
また、本発明のラップ工具１の製造方法によれば、弾性体２に塗布され乾燥、硬化したラップ層３を、ラップ層３と近似形状の鋳鉄の成形工具で擦り合わせて、ラップ層３に微細な亀裂を形成することにより、柔軟性に富むラップ層３を形成することができる。特殊な工具および工程を必要とせずに、容易に、しかも確実に微細な亀裂８を形成できる製造方法である。このラップ層３を有するラップ工具１は、被加工物のいかなる自由曲面にも対応して研磨を行うことができる。
【００４６】
さらに、本発明の光学部品の研磨方法によれば、ラップ工具１を用いて光学ガラスレンズなどを研磨することにより、研削加工時に生じたうねりの除去を容易に、且つ、確実に行った上に、鏡面仕上げも同時に行うため、自由曲面形状を有する光学部品を高品質に、且つ安定的に加工することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】（ａ）本発明のラップ工具の一実施形態を示す断面図。  （ｂ）ラップ層の構成を示す断面図。
【図２】本発明のラップ工具を用いた研磨方法の一実施形態を示す概要図。
【図３】ラップ層形成のフロー図。
【図４】（ａ）（ｂ）（ｃ）ラップ層の形成工程を示す断面図。
【図５】（ｄ）成形擦り工程を示す概要図。  （ｅ）ラップ層の亀裂の形成状態を示す断面図。
【符号の説明】
【００４８】
１．ラップ工具                      ２．弾性体
３．ラップ層                        ３ａ．ラップ材
３ｂ．接着剤                          ８．亀裂
１０．固定部材                      ２０．ワーク
２３．加工液                        ３０．成形工具。
【図１】
2004237437.tif 000003
【図２】
2004237437.tif 000004
【図３】
2004237437.tif 000005
【図４】
2004237437.tif 000006
【図５】
2004237437.tif 000007