(57)【要約】　　　（修正有）【課題】多段に組み付けされるフォークの組み付け及びピッチ調整を容易に行うことが可能で、且つ、安価に製作することが可能で、一体型で大型のフォークに生じやすい捻れや加工歪みを解消することが可能なパッチ式ウエハ搬送装置を提供する。【解決手段】ウエハ把持部を左右対称のフォーク要素１と、該フォーク要素を取り付けた略水平方向に離れて配置されたベース２と、ベースが取り付けられるフレームより構成し、フレーム内に多段に配設した複数のベースが独立した状態で揺動することが可能となるように位置決めピンで支持し、フォークのピッチ調整完了後に固定ボルトにてベースをフレームに固定するものとした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略水平方向に離れた状態でフレームに配設されたベースと、ベースに固定される左右対称のフォーク要素より構成されるウエハ保持部を多段に配設したバッチ式ウエハ搬送装置において、フレーム内に多段に配設した複数のベースが独立した状態で揺動することが可能となるように位置決めピンで支持し、フォークのピッチ調整完了後に固定ボルトにてベースをフレームに固定するように構成したことを特長としたバッチ式ウエハ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【発明の属する分野】
本発明は、半導体の製造工程に於いて、複数枚のウエハを一度に搬送する際に用いられるバッチ式ウエハ搬送装置に関するものである。
【従来の技術】
半導体の製造工程に於いて、複数枚のウエハを一度に把持搬送を行うウエハ搬送装置には特開平６−３１０５８５号公報のようなウエハを保持するフォークを固定したブラケットを複数個積み重ね、ネジ止めをする方式のものが知られている。前記方式の装置は、フォークを取り付けたブラケットを位置決めピンにより位置決めを行い、積み重ねてネジ止めを行うように構成され、調整機構を持たない装置であるため、ブラケットの加工精度にばらつきが有った場合、フォークに傾きや、フォーク間ピッチがばらつき、ウエハカセット内にフォークが侵入する際にウエハに干渉する等の問題が発生してしまうため、非常に高精度に加工された部品が要求される。
また上記公報の他に、特開平７−１５３８１７号公報のように、フォークを調整しながら一段ずつ組み付け、複数段積み上げ取り付けを行う装置が知られている。前記構成の装置は、何らかの原因でフォークの調整にずれが生じ、再調整を必要とする場合、ずれが生じた段まで分解を行い分解した全ての段について再度一段ずつ調整をおこなわなければならず、再調整に非常に多くの工数を必要とし、簡単にメンテナンスする事が困難であった。
前記問題の他にフォークには、ウエハが複数枚収納されるウエハカセット内にウエハに干渉することなく侵入するために薄さが求められるうえに、昨今のウエハ製造技術の進歩によるウエハの大径化により、大径ウエハの保持が可能なフォークが求められ、フォークが大型且つ薄型なものとなるため、フォーク自体に捻れや加工による歪みが生じやすく、装置組み付け時の調整を非常に困難なものにしていた。
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、多段に組み付けされるフォークの組み付け及びピッチ調整を容易に行うことが可能なバッチ式ウエハ搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段及び作用】
本発明は、前記した課題を解決するための手段として、ウエハ把持部を左右対称のフォーク要素と、該フォーク要素を取り付けた略水平方向に離れて配置されたベースと、ベースが取り付けられるフレームより構成し、フレーム内に多段に配設した複数のベースが独立した状態で揺動することが可能となるように位置決めピンで支持し、フォークのピッチ調整完了後に固定ボルトにてベースをフレームに固定するものとした。
左右対称のフォーク要素が取り付けられた略水平方向に離れて配設されたベースを独立した状態で揺動することが可能な装置構成としたことで、組み付け後に各フォークの傾き調整を行うことが可能となった。
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
本実施例のバッチ式ウエハ搬送装置は、フレーム３とフレーム３内に多段に配設される略水平方向に離れて配設した状態でフレーム３に取り付けられたべース２と、各ベースに固定された左右対称のフォーク要素１より構成されている。
フレーム３は、サイドプレート５、トッププレート４、ベースプレート７、バックプレート６の組み合わせにより構成されている。サイドプレート５には、ベース２を固定するための固定ボルトを通す貫通孔と、位置決めピン８がフレーム３の内側に突出した状態で配設されている。
略水平方向に離れて配設した状態でフレーム３に取り付けられたベース２のサイドプレート５と接する面には、ベース２とサイドプレート５を固定する為のネジ穴と、位置決めピン用の穴が設けられ、フレーム３の内壁面に突出した状態に取り付けられた位置決めピン８が挿入され、ベース２が位置決めピン８を支点に揺動可能に支持された状態で、固定ボルト９によりフレーム３に固定されている。
略水平方向に離れて配設した状態で取り付けられたベース２にはウエハを支持するフォーク要素１がフレームより突出した状態に取り付けられている。
フォーク要素１の、ベース側にはウエハの受座１０が装着され、先端部にはウエハを把持するための固定爪１１が装着されている。
次にフォークの調整方法について述べる。
ベース２を固定しているフレーム側面の固定ボルト９を緩めると、フレーム３に設けられた固定ボルト９を通すための貫通孔の直径が、通常設けられる貫通孔の直径に較べ若干大きく設定されているため、フォーク要素１が取り付けられたベース２を位置決めピン８を支点として揺動させることが可能となり、貫通孔の直径と固定ボルト９の直径の差により生じるベース２の揺動範囲内においてフォークの傾き及びピッチ調整を行い、調整完了後に固定ボルト９を絞め再度ベースをフレーム３に固定し調整を完了する。
【発明の効果】
本発明のバッチ式ウエハ搬送装置は、ウエハ把持部を左右対称のフォーク要素と、該フォーク要素を取り付けた略水平方向に離れて配置されたベースと、ベースが取り付けられるフレームより構成し、フレーム内に多段に配設した複数のベースが独立した状態で揺動することができ、組み付け後にフォークの調整を可能としたことで一段づつ調整を行いながら多段に組み付けを行う従来方法と異なり組み付け時間を大幅に短縮する事が可能となった。また、各ベースを独立した状態で揺動させることが可能な装置構成であるため、中間位置に配設されたフォークの再調整が必要となった場合、ずれが生じた段まで分解し、分解した全ての段について再度一段ずつ調整を行わなければならない従来方式と異なり再調整の必要なフォークのみ調整すれば良く、メンテナンス性に優れた装置構成となっているうえに、独立した状態で揺動可能なベースを個々に調整しフレームに固定していく構成のため、ベースを積み重ねる従来方式と異なり高精度な加工を必要とせず、安価に製作することが可能となった。
更に、フォークをツーピース化し、各フォーク要素ごとに位置調整可能な装置構成としたことにより、一体型かつ大型のフォークに生じやすい捻れや加工歪みの問題を解消することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施例の側面図
【図２】トッププレートを外した状態の上面図
【図３】トッププレートとフォーク要素を取り外した状態の上面図
【図４】従来例を示す断面図
【符号の説明】
１フォーク要素
２ベース
３フレーム
４トッププレート
５サイドプレート
６バックプレート
７ベースプレート
８位置決めピン
９固定ボルト
１０受座
１１固定爪
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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