(57)【要約】【課題】マスキング部材の強度や圧電体の形状による制約を受けることなしに通過帯域幅の設定可能な範囲を拡張することができる圧電フィルタを提供する。【解決手段】入力電極２における出力電極３との対向縁２１に直交する側縁２２の出力電極３に近接する側の端部に補助入力電極２Ｂを一体形成する。出力電極３における入力電極２との対向縁３１に直交する側縁３２の入力電極２に近接する側の端部に補助出力電極３Ｂを一体形成する。共通電極４から引き出される引出電極４ａを、補助入力電極２Ｂ及び補助出力電極３Ｂに対し水晶基板１を挟んで重なり合う位置に形成する。これにより、アンティシンメトリモードの共振周波数Ｆａの低下量に比べて、シンメトリモードの共振周波数Ｆｓの低下量を大きくし通過帯域幅を拡大する。【選択図】      図１
2004228674.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体の一方の主面に、入力電極及び出力電極がギャップを存して対向形成されていると共にこれら入力電極及び出力電極から引き出される引出電極が形成されている一方、圧電体の他方の主面に、アース電極が上記入力電極及び出力電極に対応して形成されていると共にこのアース電極から引き出される引出電極が形成されている圧電フィルタにおいて、
上記入力電極における出力電極との対向縁に直交する側縁の出力電極に近接する側の端部には補助入力電極が一体形成されている一方、
上記出力電極における入力電極との対向縁に直交する側縁の入力電極に近接する側の端部には上記補助入力電極に対向する補助出力電極が一体形成されていることを特徴とする圧電フィルタ。
【請求項２】
請求項１記載の圧電フィルタにおいて、
アース電極から引き出される引出電極は、アース電極の一端縁から、入力電極と出力電極とが対向する方向に直交する方向に延びており、この引出電極は、補助入力電極及び補助出力電極に対し圧電体を挟んで重なり合う位置に形成されていることを特徴とする圧電フィルタ。
【請求項３】
請求項２記載の圧電フィルタにおいて、
アース電極から引き出される引出電極のうち、補助入力電極及び補助出力電極に対し圧電体を挟んで重なり合う部分の幅寸法は、補助入力電極の幅寸法と、補助出力電極の幅寸法と、これら補助入力電極及び補助出力電極の間隔寸法との和に略等しく設定されていることを特徴とする圧電フィルタ。
【請求項４】
請求項１、２または３記載の圧電フィルタにおいて、
アース電極には、補助入力電極及び補助出力電極に対し圧電体を挟んで重なり合う位置に補助アース電極が一体形成されていることを特徴とする圧電フィルタ。
【請求項５】
請求項４記載の圧電フィルタにおいて、
補助アース電極の幅寸法は、補助入力電極の幅寸法と、補助出力電極の幅寸法と、これら補助入力電極及び補助出力電極の間隔寸法との和に略等しく設定されていることを特徴とする圧電フィルタ。
【請求項６】
圧電体の一方の主面に、入力電極及び出力電極がギャップを存して対向形成されていると共にこれら入力電極及び出力電極から引き出される引出電極が形成されている一方、圧電体の他方の主面に、アース電極が上記入力電極及び出力電極に対応して形成されていると共にこのアース電極から引き出される引出電極が形成されている圧電フィルタにおいて、
上記入力電極における出力電極との対向縁に直交する側縁の出力電極から離間する側の端部には補助入力電極が一体形成されている一方、
上記出力電極における入力電極との対向縁に直交する側縁の入力電極から離間する側の端部には上記補助入力電極に対向する補助出力電極が一体形成されていることを特徴とする圧電フィルタ。
【請求項７】
請求項６記載の圧電フィルタにおいて、
アース電極から引き出される引出電極は、アース電極の一端縁から、入力電極と出力電極とが対向する方向に直交する方向に延びており、この引出電極は、補助入力電極及び補助出力電極に対し圧電体を挟んで重なり合う位置に形成されていることを特徴とする圧電フィルタ。
【請求項８】
請求項６または７記載の圧電フィルタにおいて、
アース電極には、補助入力電極及び補助出力電極に対し圧電体を挟んで重なり合う位置に補助アース電極が一体形成されていることを特徴とする圧電フィルタ。
【請求項９】
請求項６，７または８記載の圧電フィルタにおいて、
補助入力電極は入力電極の各側縁に形成されていると共に、補助出力電極は出力電極の各側縁に形成されていることを特徴とする圧電フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、通信機器等に用いられる水晶フィルタ（ＭＣＦ：モノリシック  クリスタル  フィルタ）に代表される圧電フィルタに係る。特に、本発明は、通過帯域幅の設定可能な範囲を拡張するための対策に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、圧電フィルタの一種として、例えば下記の特許文献１に開示されているＭＣＦが知られている。この種のＭＣＦは、図７に示すように、水晶基板ａの一主面に入力電極ｂ及び出力電極ｃが形成されると共に他主面にこれら入出力の各電極ｂ，ｃに対向する共通電極（アース電極）ｄが形成されている。また、各電極ｂ，ｃ，ｄには引出電極ｂ１，ｃ１，ｄ１が接続されている。尚、図７（ａ）は、ＭＣＦの表面側の平面図であって、水晶基板ａの表面に形成された入力電極ｂ及び出力電極ｃの配置状態を実線で示し、裏面に形成された共通電極ｄの配置状態を破線で示している。また、図７（ｂ）は、ＭＣＦの裏面側の平面図であって、水晶基板ａの裏面に形成された共通電極ｄの配置状態を実線で示し、表面に形成された入力電極ｂ及び出力電極ｃの配置状態を破線で示している。
【０００３】
このようなＭＣＦにおける周波数特性の一つとしてフィルタ通過帯域幅がある。この通過帯域幅は、上記入力電極ｂ及び出力電極ｃの形成位置によって設定することができる。具体的には、これら入力電極ｂと出力電極ｃとの間のギャップｅ（間隔）が小さいほど通過帯域幅は広くなり、逆に、このギャップｅが大きいほど通過帯域幅は狭くなる。つまり、この入力電極ｂと出力電極ｃとの間のギャップｅを適切に設定することにより所望のフィルタ通過帯域幅を得ることができる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−９８３５１号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したこれまでの通過帯域幅設定手法にあっては、通過帯域幅の設定範囲に限界があった。つまり、上記入出力電極の形成動作は、メタリック製のマスキング部材を使用し、このマスキング部材によって水晶基板上の一部をマスキングした状態で電極材料を蒸着している。つまり、このマスキング部材には、上記ギャップの形成位置に対応したギャップマスキング部が形成されており、このギャップマスキング部の幅寸法によってギャップの寸法が決定されるようになっている。
【０００６】
このため、通過帯域幅を広く得るべくギャップを小さく設定しようとする場合には、このギャップマスキング部の幅寸法を、形成しようとするギャップの寸法に一致するように小さく設定しておく必要がある。しかし、マスキング部材の強度上、このギャップマスキング部の幅寸法を小さくするには限界がある。つまり、ギャップを小さくすることはマスキング部材の強度の制約から限界があり、それに伴い通過帯域幅を広く得るにも限界があった。
【０００７】
逆に、通過帯域幅を狭く得るべくギャップを大きく設定しようとする場合、水晶基板の外形形状の制約から、ギャップの寸法を大きくするのにも限界がある。つまり、ギャップの寸法としては、水晶基板上に所定面積の入出力電極が形成された状態で、これら入出力電極の間に得ることが可能な寸法までしか大きくすることができない。このように、水晶基板の形状の制約によって通過帯域幅を狭くするにも限界があった。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、マスキング部材の強度や圧電体の形状による制約を受けることなしに通過帯域幅の設定可能な範囲を拡張することができる圧電フィルタを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
−発明の概要−
上記の目的を達成するために、本発明は、圧電体表面に形成される電極の形状を変更することにより、圧電フィルタの通過帯域幅を所望の幅に設定することができるようにしている。つまり、圧電体の一方の主面に形成される入力電極及び出力電極の側縁に補助電極を一体形成し、この補助電極の形成位置を適切に設定することで、上記ギャップの寸法に拘わりなく通過帯域幅の設定可能な範囲を拡張することができるようにしている。
【００１０】
−解決手段−
具体的には、圧電体の一方の主面に、入力電極及び出力電極がギャップを存して対向形成されていると共にこれら入力電極及び出力電極から引き出される引出電極が形成されている一方、圧電体の他方の主面に、アース電極が上記入力電極及び出力電極に対応して形成されていると共にこのアース電極から引き出される引出電極が形成されている圧電フィルタを前提とする。この圧電フィルタに対し、上記入力電極における出力電極との対向縁に直交する側縁の出力電極に近接する側の端部に、補助入力電極を一体形成する。一方、上記出力電極における入力電極との対向縁に直交する側縁の入力電極に近接する側の端部に、上記補助入力電極に対向する補助出力電極を一体形成する。
【００１１】
このように、入力電極に対して補助入力電極を、出力電極に対して補助出力電極をそれぞれ一体形成し、その形成位置を圧電体の中央側に設定したことで、アンティシンメトリモードの共振周波数Ｆａの低下量に比べて、シンメトリモードの共振周波数Ｆｓの低下量を大きくすることができ、その結果、これら共振周波数の差によって決まるフィルタ通過帯域幅を拡大することができる。これによって設定される通過帯域幅は、電極間のギャップの寸法に拘わりなく決定することができる。従来では、通過帯域幅を広く得るべくギャップを小さく設定しようとした場合、マスキング部材の強度の制約から限界があったが、本解決手段によればマスキング部材の形状に拘わりなく通過帯域幅を広くすることが可能であり、これまで設定が不可能であった広帯域の通過帯域幅を得ることが可能となる。
【００１２】
また、上記解決手段に加えて、上記アース電極から引き出される引出電極が、アース電極の一端縁から、入力電極と出力電極とが対向する方向に直交する方向に延びており、この引出電極を、上記補助入力電極及び補助出力電極に対し圧電体を挟んで重なり合う位置に形成している。より具体的には、アース電極から引き出される引出電極のうち、補助入力電極及び補助出力電極に対し圧電体を挟んで重なり合う部分の幅寸法を、補助入力電極の幅寸法と、補助出力電極の幅寸法と、これら補助入力電極及び補助出力電極の間隔寸法との和に略等しく設定している。
【００１３】
このようにアース電極から引き出される引出電極の形状を設定したことにより、この引出電極によっても、圧電体の中央側に重み付けができ、シンメトリモードの共振周波数Ｆｓをよりいっそう低下させることができて、通過帯域幅を更に広く設定することが可能となる。
【００１４】
尚、ここでいう電極（引出電極、補助入力電極、補助出力電極）の幅寸法とは、入力電極と出力電極とが対向する方向における寸法である。
【００１５】
更に、上記解決手段の構成に加えて、アース電極に、補助入力電極及び補助出力電極に対し圧電体を挟んで重なり合う位置に補助アース電極を一体形成している。より具体的には、補助アース電極の幅寸法を、補助入力電極の幅寸法と、補助出力電極の幅寸法と、これら補助入力電極及び補助出力電極の間隔寸法との和に略等しく設定している。
【００１６】
このように補助アース電極を一体形成したことによっても、圧電体の中央側に重み付けができ、シンメトリモードの共振周波数Ｆｓをよりいっそう低下させることができて、通過帯域幅を更に広く設定することが可能となる。尚、ここでいう電極（補助入力電極、補助出力電極、補助アース電極）の幅寸法とは、入力電極と出力電極とが対向する方向における寸法である。
【００１７】
また、他の解決手段として以下の構成が掲げられる。つまり、圧電体の一方の主面に、入力電極及び出力電極がギャップを存して対向形成されていると共にこれら入力電極及び出力電極から引き出される引出電極が形成されている一方、圧電体の他方の主面に、アース電極が上記入力電極及び出力電極に対応して形成されていると共にこのアース電極から引き出される引出電極が形成されている圧電フィルタを前提とする。この圧電フィルタに対し、上記入力電極における出力電極との対向縁に直交する側縁の出力電極から離間する側の端部に、補助入力電極を一体形成する。一方、上記出力電極における入力電極との対向縁に直交する側縁の入力電極から離間する側の端部に、上記補助入力電極に対向する補助出力電極を一体形成している。
【００１８】
このように、入力電極に対して補助入力電極を、出力電極に対して補助出力電極をそれぞれ一体形成し、その形成位置を圧電体の外縁側（入力電極と出力電極とが対向する方向の外側）に設定したことで、シンメトリモードの共振周波数Ｆｓの低下量に比べて、アンティシンメトリモードの共振周波数Ｆａの低下量を大きくすることができ、その結果、これら共振周波数の差によって決まるフィルタ通過帯域幅を縮小することができる。この場合にも、設定される通過帯域幅は、電極間のギャップの寸法に拘わりなく決定することができる。従来では、通過帯域幅を狭く得るべくギャップを大きく設定しようとした場合、圧電体の外形形状の制約から限界があったが、本解決手段によれば圧電体の形状に拘わりなく通過帯域幅を狭くすることが可能であり、これまで設定が不可能であった狭帯域の通過帯域幅を得ることが可能となる。
【００１９】
また、上記解決手段に加えて、上記アース電極から引き出される引出電極が、アース電極の一端縁から、入力電極と出力電極とが対向する方向に直交する方向に延びており、この引出電極を、上記補助入力電極及び補助出力電極に対し圧電体を挟んで重なり合う位置に形成している。
【００２０】
このようにアース電極から引き出される引出電極の形状を設定したことにより、アンティシンメトリモードの共振周波数Ｆａをよりいっそう低下させることができて、通過帯域幅を更に狭く設定することが可能となる。
【００２１】
更に、上記解決手段の構成に加えて、アース電極に、補助入力電極及び補助出力電極に対し圧電体を挟んで重なり合う位置に補助アース電極を一体形成している。
【００２２】
このように補助アース電極を一体形成したことによっても、アンティシンメトリモードの共振周波数Ｆａをよりいっそう低下させることができて、通過帯域幅を更に狭く設定することが可能となる。
【００２３】
また、上記解決手段において、補助入力電極を入力電極の各側縁に形成すると共に、補助出力電極を出力電極の各側縁に形成している。これによれば、アンティシンメトリモードの共振周波数Ｆａを更に低下させることができて、通過帯域幅を更に狭く設定することが可能となる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。以下の各実施形態では、本発明をＭＣＦに適用した場合について説明する。
【００２５】
（第１実施形態）
先ず、本発明の第１実施形態について説明する。図１は本形態に係るＭＣＦに備えられた水晶振動片を示す図である。図１（ａ）は、水晶振動片の表面側の平面図であって、水晶基板１の表面に形成された入力電極２及び出力電極３の配置状態を実線で示し、裏面に形成された共通電極（アース電極）４の配置状態を破線で示している。また、図１（ｂ）は、水晶振動片の裏面側の平面図であって、水晶基板１の裏面に形成された共通電極４の配置状態を実線で示し、表面に形成された入力電極２及び出力電極３の配置状態を破線で示している。
【００２６】
この水晶振動片を構成する水晶基板１としては、ＡＴカット水晶板が用いられており、矩形状に加工されている。この水晶基板１の一方の主面（表面）には、Ｘ軸（電気軸）方向（図中の左右方向）で所定のギャップＧを存した位置に入力電極２及び出力電極３が形成されている。
【００２７】
このようにＸ軸方向で対向するように入力電極２及び出力電極３を形成したことにより、水晶振動片はＴＳモードでの振動が行われるものとして構成される。このようにＴＳモードで振動を行うようにＭＣＦを構成した場合、Ｚ’軸方向で対向するように入力電極及び出力電極を形成する場合（ＴＴモードで振動を行うもの）に比べて、同一電極構造の場合における通過帯域幅を広くすることができることになる。
【００２８】
また、入力電極２及び出力電極３には、その長辺側の中央部から水晶基板１の短辺側に向かって（図中左右方向の外側に向かって）延びた後、この水晶基板１の隅角部に向かって（図中上下方向の外側に向かって）延びる引出電極２ａ，３ａがそれぞれ接続されている。
【００２９】
また、他方の主面（裏面）には、入力電極２及び出力電極３に対向する位置に矩形状の共通電極４が形成されている。この共通電極４には、その長辺側の中央位置から水晶基板１の長辺側に向かって（図中下方向に向かって）延びた後、この水晶基板１の短辺側（図１（ｂ）の右方向に向かって）延びる引出電極４ａが接続されている。
【００３０】
上記水晶基板１としては、例えば、１．５ｍｍ（Ｘ軸方向寸法）×１．０ｍｍ（Ｚ’軸方向寸法）のＡＴカット矩形水晶板であって、中心周波数を約１３０ＭＨｚに設定したものを用いている。この寸法及び中心周波数はこれに限るものではない。
【００３１】
尚、上記各電極２，３，４及び引出電極２ａ，３ａ，４ａは、例えば真空蒸着法によって薄膜形成されており、その材料としては例えば銀またはアルミニウムが採用されている。
【００３２】
そして、本形態の特徴とするところは、水晶基板１の一方の主面に形成されている入力電極２及び出力電極３の形状及び共通電極４に接続された引出電極４ａの形状にある。以下、これらの形状について説明する。
【００３３】
先ず、入力電極２としては、出力電極３との対向縁２１に直交する一方（図中下側）の側縁２２の出力電極３に近接する側（図１（ａ）の右側）の端部に補助入力電極２Ｂが一体形成されている。つまり、この入力電極２は、略矩形状に形成された入力電極本体部分２Ａと、この入力電極本体部分２Ａの図１（ａ）における右下隅角部に一体的に形成された小形矩形状の補助入力電極２Ｂとにより構成されている。
【００３４】
一方、出力電極３としては、入力電極２との対向縁３１に直交する一方（図中下側）の側縁３２の入力電極２に近接する側（図１（ａ）の左側）の端部に補助出力電極３Ｂが一体形成されている。つまり、この出力電極３は、略矩形状に形成された出力電極本体部分３Ａと、この出力電極本体部分３Ａの図１（ａ）における左下隅角部に一体的に形成された小形矩形状の補助出力電極３Ｂとにより構成されている。
【００３５】
そして、共通電極４から引き出される引出電極４ａは、上記補助入力電極２Ｂ及び補助出力電極３Ｂに対し水晶基板１を挟んで重なり合う位置に形成されている。より詳しくは、この共通電極４から引き出される引出電極４ａのうち、補助入力電極２Ｂ及び補助出力電極３Ｂに対し水晶基板１を挟んで重なり合う部分の幅寸法（図１（ｂ）における寸法Ｌ２）は、補助入力電極２Ｂの幅寸法と、補助出力電極３Ｂの幅寸法と、これら補助入力電極２Ｂ及び補助出力電極３Ｂの間隔寸法との和（図１（ａ）における寸法Ｌ１）に略等しく設定されている。
【００３６】
このように入力電極２、出力電極３、引出電極４ａが形成されていることにより、アンティシンメトリモードの共振周波数Ｆａの低下量に比べて、シンメトリモードの共振周波数Ｆｓの低下量を大きくすることができ、その結果、これら共振周波数（Ｆａ＞Ｆｓ）の差によって決まるフィルタ通過帯域幅を拡大することができる。これによって設定される通過帯域幅は、電極２，３間のギャップＧの寸法に拘わりなく決定することができる。従来では、通過帯域幅を広く得るべくギャップを小さく設定しようとする場合、マスキング部材の強度の制約から限界があったが、本実施形態によればマスキング部材の形状に拘わりなく通過帯域幅を広くすることが可能であり、これまで設定が不可能であった広帯域の通過帯域幅を得ることが可能となる。
【００３７】
また、引出電極４ａのうち、補助入力電極２Ｂ及び補助出力電極３Ｂに対し水晶基板１を挟んで重なり合う部分の幅寸法を、補助入力電極２Ｂの幅寸法と、補助出力電極３Ｂの幅寸法と、これら補助入力電極２Ｂ及び補助出力電極３Ｂの間隔寸法との和に略等しく設定したことによっても、水晶基板１の中央側に重み付けができ、シンメトリモードの共振周波数Ｆｓをよりいっそう低下させることができて、通過帯域幅を更に広く設定することが可能となる。
【００３８】
また、上述の如く通過帯域幅を所望の広い幅に設定することができるので、その後に行われるパーシャル調整によって通過帯域幅を調整する場合、パーシャル動作回数の大幅な削減を可能としながらも高精度で通過帯域幅を調整することが可能となり、通過帯域幅調整作業に要する時間の短縮化を図ることができる。
【００３９】
（変形例）
次に、第１実施形態の変形例について説明する。以下の各変形例は、補助電極の形成位置が上記第１実施形態のものと異なっている。従って、ここでは、第１実施形態との相違点についてのみ説明する。また、図１に示したものと同じ部材については各図に同じ符号を付している。
【００４０】
−第１変形例−
図２は第１変形例における図１に相当する図である。この図２に示すように、本例に係る水晶振動片に形成されている電極の形状は以下のとおりである。
【００４１】
先ず、入力電極２としては、出力電極３との対向縁２１に直交する一方（図中上側）の側縁２２の出力電極３に近接する側（図２（ａ）の右側）の端部に補助入力電極２Ｂが一体形成されている。つまり、この入力電極２は、略矩形状に形成された入力電極本体部分２Ａと、この入力電極本体部分２Ａの図２（ａ）における右上隅角部に一体的に形成された小形矩形状の補助入力電極２Ｂとにより構成されている。
【００４２】
一方、出力電極３としては、入力電極２との対向縁３１に直交する一方（図中上側）の側縁３２の入力電極２に近接する側（図２（ａ）の左側）の端部に補助出力電極３Ｂが一体形成されている。つまり、この出力電極３は、略矩形状に形成された出力電極本体部分３Ａと、この出力電極本体部分３Ａの図２（ａ）における左上隅角部に一体的に形成された小形矩形状の補助出力電極３Ｂとにより構成されている。
【００４３】
そして、共通電極４としては、上記入力電極２の入力電極本体部分２Ａ及び出力電極３の出力電極本体部分３Ａに対し水晶基板１を挟んで重なり合う位置に形成された共通電極本体部分４Ａと、上記補助入力電極２Ｂ及び補助出力電極３Ｂに対し水晶基板１を挟んで重なり合う位置に形成された補助共通電極４Ｂとを備えている。より詳しくは、この共通電極４に形成されている補助共通電極４Ｂの幅寸法は、補助入力電極２Ｂの幅寸法と、補助出力電極３Ｂの幅寸法と、これら補助入力電極２Ｂ及び補助出力電極３Ｂの間隔寸法との和に略等しく設定されている。
【００４４】
このように入力電極２、出力電極３、共通電極４が形成されていることによっても、アンティシンメトリモードの共振周波数Ｆａの低下量に比べて、シンメトリモードの共振周波数Ｆｓの低下量を大きくすることができ、その結果、これら共振周波数（Ｆａ＞Ｆｓ）の差によって決まるフィルタ通過帯域幅を拡大することができる。
【００４５】
−第２変形例−
図３は第２変形例における図１に相当する図である。この図３に示すように、本例に係る水晶振動片に形成されている電極の形状としては、上述した第１実施形態に係る入力電極２の形状、出力電極３の形状、引出電極４ａの形状と、上記第１変形例に係る各補助電極２Ｂ，３Ｂ，４Ａの形状とを兼ね備えた構成となっている。
【００４６】
この構成によれば、水晶基板１の中央側に更なる重み付けができ、シンメトリモードの共振周波数Ｆｓをよりいっそう低下させることができて、通過帯域幅を更に広く設定することが可能となる。
【００４７】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図４は本形態に係るＭＣＦに備えられた水晶振動片を示す図である。図４（ａ）は、水晶振動片の表面側の平面図であって、水晶基板１の表面に形成された入力電極２及び出力電極３の配置状態を実線で示し、裏面に形成された共通電極（アース電極）４の配置状態を破線で示している。また、図４（ｂ）は、水晶振動片の裏面側の平面図であって、水晶基板１の裏面に形成された共通電極４の配置状態を実線で示し、表面に形成された入力電極２及び出力電極３の配置状態を破線で示している。
【００４８】
本形態における水晶振動片を構成する水晶基板１も、ＡＴカット水晶板が用いられており、矩形状に加工されている。この水晶基板１の一方の主面には、Ｚ’軸（光軸）方向（図中の左右方向）で所定のギャップＧを存した位置に入力電極２及び出力電極３が形成されている。
【００４９】
このようにＺ’軸方向で対向するように入力電極２及び出力電極３を形成したことにより、水晶振動片はＴＴモードでの振動が行われるものとして構成される。このようにＴＴモードで振動を行うようにＭＣＦを構成した場合、Ｘ軸方向で対向するように入力電極及び出力電極を形成する場合（ＴＳモードで振動を行うもの）に比べて、同一電極構造の場合における通過帯域幅を狭くすることができることになる。
【００５０】
また、入力電極２及び出力電極３には、その長辺側の中央部から水晶基板１の短辺側に向かって（図中左右方向の外側に向かって）延びた後、この水晶基板１の隅角部に向かって（図中上下方向の外側に向かって）延びる引出電極２ａ，３ａがそれぞれ接続されている。
【００５１】
また、他方の主面には、入力電極２及び出力電極３に対向する位置に矩形状の共通電極４が形成されている。この共通電極４には、その長辺側の中央位置から水晶基板１の長辺側に向かって（図中下方向に向かって）延びた後、この水晶基板１の短辺側（図４（ｂ）の右方向に向かって）延びる引出電極４ａが接続されている。
【００５２】
本形態における水晶基板１は、例えば、１．５ｍｍ（Ｚ’軸方向寸法）×１．０ｍｍ（Ｘ軸方向寸法）のＡＴカット矩形水晶板であって、中心周波数を約１３０ＭＨｚに設定したものを用いている。この寸法及び中心周波数はこれに限るものではない。
【００５３】
尚、上記各電極２，３，４及び引出電極２ａ，３ａ，４ａは、例えば真空蒸着法によって薄膜形成されており、その材料としては例えば銀またはアルミニウムが採用されている。
【００５４】
そして、本形態の特徴とするところは、水晶基板１の一方の主面に形成されている入力電極２及び出力電極３の形状にある。以下、これらの形状について説明する。
【００５５】
先ず、入力電極２としては、出力電極３との対向縁２１に直交する各側縁２２，２２の出力電極３から離間する側（図４（ａ）の左側）の端部に補助入力電極２Ｃ，２Ｃが一体形成されている。つまり、この入力電極２は、略矩形状に形成された入力電極本体部分２Ａと、この入力電極本体部分２Ａの図中左下隅角部及び図中左上隅角部にそれぞれ一体的に形成された小形矩形状の補助入力電極２Ｃ，２Ｃとにより構成されている。
【００５６】
一方、出力電極３としては、入力電極２との対向縁３１に直交する各側縁３２，３２の入力電極２から離間する側（図４（ａ）の右側）の端部に補助出力電極３Ｃ，３Ｃが一体形成されている。つまり、この出力電極３は、略矩形状に形成された出力電極本体部分３Ａと、この出力電極本体部分３Ａの図中右下隅角部及び図中右上隅角部にそれぞれ一体的に形成された小形矩形状の補助出力電極３Ｃ，３Ｃとにより構成されている。
【００５７】
このように入力電極２、出力電極３が形成されていることにより、シンメトリモードの共振周波数Ｆｓの低下量に比べて、アンティシンメトリモードの共振周波数Ｆａの低下量を大きくすることができ、その結果、これら共振周波数（Ｆａ＞Ｆｓ）の差によって決まるフィルタ通過帯域幅を縮小することができる。本形態においても、設定される通過帯域幅は、電極２，３間のギャップの寸法に拘わりなく決定することができる。従来では、通過帯域幅を狭く得るべくギャップを大きく設定しようとする場合、水晶基板の外形形状の制約から限界があったが、本実施形態によれば水晶基板の形状に拘わりなく通過帯域幅を狭くすることが可能であり、これまで設定が不可能であった狭帯域の通過帯域幅を得ることが可能となる。
【００５８】
また、補助入力電極２Ｃ，２Ｃを入力電極２の各側縁２２，２２に形成すると共に、補助出力電極３Ｃ，３Ｃを出力電極３の各側縁３２，３２に形成したことにより、アンティシンメトリモードの共振周波数Ｆａをよりいっそう低下させることができて、通過帯域幅を更に狭く設定することが可能となる。
【００５９】
また、本形態の場合にも、パーシャル調整によって通過帯域幅を調整する場合、パーシャル動作回数の大幅な削減を可能としながらも高精度で通過帯域幅を調整することが可能となり、通過帯域幅調整作業に要する時間の短縮化を図ることができる。
【００６０】
（変形例）
次に、第２実施形態の変形例について説明する。以下の各変形例は、補助電極の形成位置が上記第２実施形態のものと異なっている。従って、ここでは、第２実施形態との相違点についてのみ説明する。また、図４に示したものと同じ部材については各図に同じ符号を付している。
【００６１】
−第１変形例−
図５は第１変形例における図４に相当する図である。この図５に示すように、本例に係る水晶振動片に形成されている電極の形状は以下のとおりである。
【００６２】
先ず、入力電極２としては、出力電極３との対向縁２１に直交する一方（図中上側）の側縁２２の出力電極３から離間する側（図５（ａ）の左側）の端部に補助入力電極２Ｃが一体形成されている。つまり、この入力電極２は、略矩形状に形成された入力電極本体部分２Ａと、この入力電極本体部分２Ａの図中左上隅角部に一体的に形成された小形矩形状の補助入力電極２Ｃとにより構成されている。
【００６３】
一方、出力電極３としては、入力電極２との対向縁３１に直交する一方（図中上側）の側縁３２の入力電極２から離間する側（図５（ａ）の右側）の端部に補助出力電極３Ｃが一体形成されている。つまり、この出力電極３は、略矩形状に形成された出力電極本体部分３Ａと、この出力電極本体部分３Ａの図中右上隅角部に一体的に形成された小形矩形状の補助出力電極３Ｃとにより構成されている。
【００６４】
そして、共通電極４としては、上記入力電極２の入力電極本体部分２Ａ及び出力電極３の出力電極本体部分３Ａに対し水晶基板１を挟んで重なり合う位置に形成された共通電極本体部分４Ａと、上記補助入力電極２Ｃ及び補助出力電極３Ｃに対し水晶基板１を挟んで重なり合う位置に形成された補助共通電極４Ｂ，４Ｂとを備えている。
【００６５】
このように入力電極２、出力電極３、共通電極４が形成されていることによっても、アンティシンメトリモードの共振周波数Ｆａをよりいっそう低下させることができて、通過帯域幅を更に狭く設定することが可能となる。
【００６６】
−第２変形例−
図６は第２変形例における図４に相当する図である。この図６に示すように、本例に係る水晶振動片に形成されている電極の形状は以下のとおりである。
【００６７】
先ず、入力電極２及び出力電極３の形状は上述した第２実施形態のものと同形状となっている。つまり、入力電極２の各側縁２２，２２及び出力電極３の各側縁３２，３２のそれぞれに補助電極２Ｃ，２Ｃ，３Ｃ，３Ｃが一体形成されている。
【００６８】
一方、共通電極４の形状は、上述した第１変形例のものと同形状となっている。
【００６９】
そして、この共通電極４から引き出される引出電極４ａの形状としては、図６において下側に位置している補助入力電極２Ｃ及び補助出力電極３Ｃに対し水晶基板１を挟んで重なり合う位置に形成されている。より詳しくは、この共通電極４から引き出される引出電極４ａは、共通電極４の２箇所に接続しており、一方は補助入力電極２Ｃに対応し、他方は補助出力電極３Ｃに対応する位置となって、これら補助入力電極２Ｃ及び補助出力電極３Ｃに対して水晶基板１を挟んで重なり合う位置から引き出されている。
【００７０】
このように入力電極２、出力電極３、引出電極４ａが形成されていることにより、アンティシンメトリモードの共振周波数Ｆａを更に低下させることができて、通過帯域幅を更に狭く設定することが可能となる。
【００７１】
−実験例−
次に、上述した各実施形態の効果を確認するために行った実験の結果について説明する。
【００７２】
先ず、上記第１実施形態の効果を確認するための実験として、中心周波数が１３０．０５０ＭＨｚのＭＣＦについて、従来構造のもの（図７に示すもの）と第１実施形態に係る構造のもの（図１に示すもの）とについて通過帯域幅を測定した。
【００７３】
その結果、従来構造のものでは、通過帯域幅が２４．８ｋＨｚであったのに対し、第１実施形態に係る構造のものでは、通過帯域幅が２６．８ｋＨｚであった。つまり、ギャップの寸法が同一であるも拘わらず、第１実施形態に係る構造のものでは通過帯域幅を拡大することが可能であることが確認された。
【００７４】
一方、上記第２実施形態の効果を確認するための実験として、中心周波数が１３０．０５０ＭＨｚのＭＣＦについて、従来構造のもの（図７に示すもの）と第２実施形態に係る構造のもの（図４に示すもの）とについて通過帯域幅を測定した。
【００７５】
その結果、従来構造のものでは、通過帯域幅が２４．８ｋＨｚであったのに対し、第２実施形態に係る構造のものでは、通過帯域幅が２１．８ｋＨｚであった。つまり、ギャップの寸法が同一であるも拘わらず、第２実施形態に係る構造のものでは通過帯域幅を縮小することが可能であることが確認された。
【００７６】
−その他の実施形態−
上記各実施形態及び変形例では、圧電材料として水晶を使用した場合について説明したが、その他、ニオブ酸リチウムやタンタル酸リチウムなどを使用した圧電フィルタに対しても本発明は適用可能である。
【００７７】
また、上記第１実施形態では、入力電極２の一方の側縁２２に補助入力電極２Ｂを一体形成し、出力電極３の一方の側縁３２に補助出力電極３Ｂを一体形成していた。本発明はこれに限らず、入力電極２の各側縁２２，２２に補助入力電極２Ｂ，２Ｂを一体形成し、出力電極３の各側縁３２，３２に補助出力電極３Ｂ，３Ｂを一体形成してもよい。また、上記第１実施形態及びその変形例では、入力電極２及び出力電極３の各補助電極２Ｂ，３Ｂと、共通電極４またはこの共通電極４から引き出される引出電極４ａとが互いに対向する（水晶基板１を挟んで対向する）位置となる構成としたが、これらを対向させない構成も本発明の技術的思想の範疇である。
【００７８】
また、上記第２実施形態では、入力電極２の各側縁２２，２２に補助入力電極２Ｃ，２Ｃを一体形成し、出力電極３の各側縁３２，３２に補助出力電極３Ｃ，３Ｃを一体形成していた。本発明はこれに限らず、入力電極２の一方の側縁２２に補助入力電極２Ｃを一体形成し、出力電極３の一方の側縁３２に補助出力電極３Ｃを一体形成してもよい。また、上記第２実施形態の第２変形例（図６）では、入力電極２及び出力電極３の各側縁２２，２２，３２，３２に補助電極２Ｃ，２Ｃ，３Ｃ，３Ｃを形成したが、図６において下側に位置している補助電極２Ｃ，３Ｃのみを形成し、この補助電極２Ｃ，３Ｃと共通電極４の引出電極４ａとを互いに対向させる（水晶基板１を挟んで対向させる）構成も本発明の技術的思想の範疇である。
【００７９】
尚、本発明は、入力電極２と出力電極３との間のギャップＧの調整による通過帯域幅の設定手法と組み合わせることも可能である。つまり、通過帯域幅を広く得ようとする場合、マスキング部材の強度が十分に確保できる範囲内でギャップＧをできるだけ小さく設定しておくと共に、上記第１実施形態またはその変形例に係る電極構成を採用するものである。また、通過帯域幅を狭く得ようとする場合、可能な限りギャップＧを大きく設定しておくと共に、上記第２実施形態またはその変形例に係る電極構成を採用するものである。
【００８０】
加えて、上記各実施形態及び変形例では、水晶基板１の裏面側のアース電極を共通電極４として構成したが、このアース電極を入力電極２及び出力電極３に対応した分割電極として構成してもよい。この場合、各アース電極からそれぞれ個別に引出電極が引き出されることになる。特に、上記第１実施形態（図１）、第１実施形態の第２変形例（図３）、第２実施形態の第２変形例（図６）にあっては、これら引出電極の形状を、入出力電極の補助電極に対向する形状に形成することになる。
【００８１】
【発明の効果】
以上のように、本発明では、圧電体の一方の主面に形成される入力電極及び出力電極の側縁に補助電極を一体形成し、この補助電極の形成位置を適切に設定することで、電極間のギャップ寸法に拘わりなく通過帯域幅の設定可能な範囲を拡張することができるようにしている。
【００８２】
つまり、入力電極における出力電極との対向縁に直交する側縁の出力電極に近接する側の端部に、補助入力電極を一体形成する一方、出力電極における入力電極との対向縁に直交する側縁の入力電極に近接する側の端部に、上記補助入力電極に対向する補助出力電極を一体形成することによって、これまで設定が不可能であった広帯域の通過帯域幅を得ることが可能となり、マスキング部材の強度による制約を受けることなしに通過帯域幅の広帯域化を図ることができる。
【００８３】
また、入力電極における出力電極との対向縁に直交する側縁の出力電極から離間する側の端部に、補助入力電極を一体形成する一方、出力電極における入力電極との対向縁に直交する側縁の入力電極から離間する側の端部に、上記補助入力電極に対向する補助出力電極を一体形成することによって、これまで設定が不可能であった狭帯域の通過帯域幅を得ることが可能となり、圧電体の形状による制約を受けることなしに通過帯域幅の狭帯域化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る水晶振動片を示し、（ａ）は表面側の平面図であり、（ｂ）は裏面側の平面図である。
【図２】第１実施形態の第１変形例に係る水晶振動片を示し、（ａ）は表面側の平面図であり、（ｂ）は裏面側の平面図である。
【図３】第１実施形態の第２変形例に係る水晶振動片を示し、（ａ）は表面側の平面図であり、（ｂ）は裏面側の平面図である。
【図４】第２実施形態に係る水晶振動片を示し、（ａ）は表面側の平面図であり、（ｂ）は裏面側の平面図である。
【図５】第２実施形態の第１変形例に係る水晶振動片を示し、（ａ）は表面側の平面図であり、（ｂ）は裏面側の平面図である。
【図６】第２実施形態の第２変形例に係る水晶振動片を示し、（ａ）は表面側の平面図であり、（ｂ）は裏面側の平面図である。
【図７】従来の水晶振動片を示し、（ａ）は表面側の平面図であり、（ｂ）は裏面側の平面図である。
【符号の説明】
１        水晶基板（圧電体）
２        入力電極
３        出力電極
４        共通電極
２ａ，３ａ，４ａ  引出電極
２１，３１  対向縁
２２，３２  側縁
２Ｂ      補助入力電極
３Ｂ      補助出力電極
Ｇ        ギャップ
【図１】
2004228674.tif 000003
【図２】
2004228674.tif 000004
【図３】
2004228674.tif 000005
【図４】
2004228674.tif 000006
【図５】
2004228674.tif 000007
【図６】
2004228674.tif 000008
【図７】
2004228674.tif 000009