(57)【要約】【課題】ガラス基板と搬送用ボックスを導電体で接続しガラス基板が帯電しないようにしたガラス基板搬送用ボックスを提供すること。【解決手段】ボックス本体２には複数のガラス基板Ｇの両側端Ｇ２とその下端を平行保持する複数の溝４２、４６が形成され、ボックス本体２の蓋となる蓋体側には、前記各溝４２、４６に保持されていないガラス基板Ｇの残りの上端縁Ｇ１を押圧保持する導電性のガラス基板当接パッド５８が設けられているので、ボックス本体２に蓋体を被せると、ガラス基板Ｇの破損防止と帯電防止を同時に図ることができる。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガラス基板を保持する保持用ボックス片と、該ボックス片と一体化してボックス体を構築する閉鎖用ボックス片から成るガラス基板搬送用ボックスであって、前記保持用ボックス片には前記複数のガラス基板の各２辺もしくは３辺を平行保持する複数の溝が形成され、前記閉鎖用ボックス片には前記溝に保持されていないガラス基板の残りの辺を押圧保持する導電性柔軟材が設けられていることを特徴とするガラス基板搬送用ボックス。
【請求項２】
前記導電性柔軟材はスポンジで構成されている請求項１に記載のガラス基板搬送用ボックス。
【請求項３】
前記ボックス体は、アルミ材で構築されている請求項１または２に記載のガラス基板搬送用ボックス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数のガラス基板を保持する保持用ボックス片と、該ボックス片と一体化してボックス体を構築する閉鎖用ボックス片から成るガラス基板搬送用ボックスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、素材ガラス、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ハイブリッドＩＣセラミック基板、ウェハなどの各種の基板、あるいはこれら基板を用いて製造した完成パネル等（以下単に「ガラス基板」という）を、例えばガラスメーカからデバイスメーカに移送する場合に用いられる搬送用ボックスとして、本出願人は図示すようなボックスを既に案出し特許出願（特願２００１−３３１５４６号）している。
【０００３】
図５は、このようなガラス基板搬送用ボックス部分断面図であり、図５において、０１はガラス基板搬送用ボックスであって、有底のガラス基板Ｇを支持するボックス本体部０２と蓋体０３とで構成され、ボックス本体部０２内には、ガラス基板支持用の溝０４ａを有した内装板０４が一対挿入されている。ガラス基板Ｇは、対向する内装板０４の溝０４ａ内に一枚ずつその側部Ｇ２が係合支持され、上部より蓋体０３をポリエチレン系発泡体から成る当接パッド０５を介してガラス基板Ｇの上辺Ｇ１を押圧して本体部０２上にかぶせて搬送に供するようにしていた。
【０００４】
そして、ボックス本体部０２、蓋体０３及び内装板０４とも樹脂発泡体であり、当接パッド０５も柔軟性のある発泡体であるから、クッション性があり、衝撃や振動が加わったときでも、衝撃力を吸収することができた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のガラス基板搬送用ボックス０１は、導電性を何ら考慮していないために、ガラス基板が帯電し静電気によりパーティクルを吸着してしまう恐れがあった。
【０００６】
本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、ガラス基板と搬送用ボックスを導電体で接続しガラス基板が帯電しないようにしたガラス基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のガラス基板搬送用ボックスは、複数のガラス基板を保持する保持用ボックス片と、該ボックス片と一体化してボックス体を構築する閉鎖用ボックス片から成るガラス基板搬送用ボックスであって、前記保持用ボックス片には前記複数のガラス基板の各２辺もしくは３辺を平行保持する複数の溝が形成され、前記閉鎖用ボックス片には前記溝に保持されていないガラス基板の残りの辺を押圧保持する導電性柔軟材が設けられていることを特徴としている。
この特徴によれば、クッション作用する導電性柔軟材により、ガラス基板の少なくとも一辺がボックス体と電気的に導通しているので、ガラス基板の破損防止と帯電防止を同時に図ることができる。
【０００８】
本発明のガラス基板搬送用ボックスは、前記導電性柔軟材はスポンジで構成されていることが好ましい。
このようにすれば、スポンジが有する軽さとより柔軟なクッション性を利用して確実で安全なガラス基板の搬送が行える。
【０００９】
本発明のガラス基板搬送用ボックスは、前記ボックス体は、アルミ材で構築されていることが好ましい。
このようにすれば、ガラス基板に帯電している静電子をアルミ材で構築されているボックス体の外表面まで誘導して空気中に自然放電させることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１１】
図１〜図４は、本発明の一実施形態を示すもので、図１の（ａ）は本発明に係るガラス基板搬送用ボックスの外観斜視図、（ｂ）は蓋体が開放された状態のガラス基板搬送用ボックスの外観斜視図、図２は保持用ボックス片内部に平行保持されたガラス基板の上端辺が閉鎖用ボックス片の導電性柔軟材で押圧保持されている状態を示す断面図、図３は同じく保持用ボックス片内部に平行保持されたガラス基板の上端辺が閉鎖用ボックス片の導電性柔軟材で押圧保持されている状態を示すボックス体角部の部分断面図であり、図４は保持用ボックス片の内部にガラス基板が整列状態で保持されている状態を示す部分斜視図である。
【００１２】
図１及び図２に示す符号１は、ガラス基板搬送用ボックスを示し、このガラス基板搬送用ボックス１は、複数のガラス基板としての薄板ガラスを、例えばガラスメーカからデバイスメーカに移送する際に用いられるものであって、横長直方体で上部が開口した有底の保持用ボックス片として構成されるボックス本体２と、閉鎖用ボックス片として構成される蓋体３とから成り、ボックス本体２は、底板４と４枚の側板６ａ、６ｂ及び８ａ、８ｂとを組み合わせて構築されている。
【００１３】
４枚の側板６ａ、６ｂ及び８ａ、８ｂは、長寸矩形状の横側板６ａ、６ｂと短寸矩形状の縦側板８ａ、８ｂとからなり、両側が発泡スチロール樹脂（例えば発泡ポリエチレン樹脂）を両側からアルミ複合板で挟んだ断面構造となっており、アルミ複合板の最外面と最内面は導電処理のためにポリエステル樹脂系の焼き付け塗料が塗布されている。
【００１４】
また、底板４も、上述した側板６ａ、６ｂ及び８ａ、８ｂと同様の構造で、アルミ複合板の最外面と最内面は導電処理のためにポリエステル樹脂系の焼き付け塗料が塗布されている。
【００１５】
更に底板４は、図２に示すように、４辺の外周端縁にそれぞれ硬質アルミ製の底枠１０が装着されており、底枠１０が交叉する角部は図示しない接合角枠によって連接結合されており、これら接合角枠には４本の硬質アルミ製の枠柱２０の下端が連接結合されて立設している。
【００１６】
尚、上記の底枠１０及び４本の枠柱２０ないし後述する上枠２２ａ、２２ｂ及び２４ａ、２４ｂの対向面には、底板４ないし側板６ａ、６ｂ及び８ａ、８ｂの各辺が嵌合可能な嵌合凹部が形成されている。
【００１７】
立設した４本の枠柱２０の嵌合凹部には、側板６ａ、６ｂ及び８ａ、８ｂが上方から差し込まれて装着されると、側板６ａ、６ｂ及び８ａ、８ｂの上端各辺に硬質アルミ製の上枠２２ａ、２２ｂ及び２４ａ、２４ｂが装着され、それらの角部は接合角枠によって４本の枠柱２０の上端と共に連接結合されて図１（ｂ）に示す有底のボックス本体２が構成される。
【００１８】
次に、有底のボックス本体２を構成する側板６ａ、６ｂ及び８ａ、８ｂによって形成される４面の側壁外周には、縦方向中間部位の上下に搬送時にフォークに係止保持する為のフランジ状のフォークガイド２６、２８が平行に取り付けられる。そして、両側板８ａ、８ｂ上方に取り付けられた短寸のフォークガイド２６上面にはそれぞれ一対の吊り揚げ用のアイボルト３０が止着されている。
【００１９】
一方、蓋体３は、重複する説明は省略するが、ボックス本体２と同様に側板と同一構成の矩形状の天板３２と、この天板３２外周縁の４辺に装着された側枠３４ａ、３４ｂ及び３６ａ、３６ｂと、これら側枠３４ａ、３４ｂ及び３６ａ、３６ｂの交叉する角部を接合する図示しない接合角枠とから構成されている。
【００２０】
更に蓋体３の下端周縁の４辺には、図１及び図２に示すように、ボックス本体２の開口端縁となる上枠２２ａ、２２ｂ及び２４ａ、２４ｂの上端部が挿嵌する嵌合凹部３８が形成されており、この嵌合凹部３８内にはパッキン４０が内装されている。
【００２１】
次に、上記のように構成されたボックス本体２の底板４上には、図２に示すように、例えばポリプロピレン系発泡体で所定厚みの直方体に形成された複数のガラス基板支持パッド４４が、ボックス本体２の長手方向に対し所定間隔毎に並設して貼着されている。そして、このガラス基板支持パッド４４の上面には、断面山形の平行溝４２が長寸矩形状の横側板６ａ、６ｂと平行に形成されている。
【００２２】
また、ボックス本体２の短寸側の対向する側板８ａ、８ｂの内面には、ほぼ全面に亘って断面山形の複数の平行溝４６を形成した側面パッド４８が接着剤を介して貼着されている。
【００２３】
ガラス基板支持パッド４４及び両側面パッド４８を貼着するに際し、ガラス基板支持パッド４４及び両側面パッド４８の複数の平行溝４２、４６は正確に対応するように設定される。
【００２４】
このように、ガラス基板支持パッド４４及び両側面パッド４８を貼着することにより、図２に示すようにガラス基板支持パッド４４の平行溝４２の溝底に複数の薄板ガラスＧの下端が支持され、側面パッド４８の平行溝４６には、図３に示すように薄板ガラスＧを挿入する際に、その両側端Ｇ２が直接触れることのないように平行溝４６の溝底４６ａが薄板ガラスＧの両側端Ｇ２に対し若干の隙間が形成されるようになっている。従って、この平行溝４６は、薄板ガラスＧをガラス基板支持パッド４４の平行溝４２に挿入し、あるいは搬出する際の案内として機能するものである。
【００２５】
また、図１（ｂ）に示すように、ボックス本体２の開口端部である長寸の上枠２４ａ、２４ｂ側面の両側には各一対の連結具５０が取り付けられ、これら連結具５０両外側の近接位置並びに短寸の上枠２２ａ、２２ｂ側面の両側には、蓋体３を開閉する際にその外周を案内するガイド部材５２が上方に突出するように取り付けられている。連結具５０は、図示しないコイルバネにより取付け面に対し付勢力が付与される状態で枢軸５０ａ（図２参照）に回動可能に枢着されている。
【００２６】
一方、蓋体３の外周には、図１に示すように長寸の両側枠３６ａ、３６ｂ側面の両側にボックス本体２の連結具５０に対応する位置関係で各一対の被連結具５４が取り付けられており、短寸の両側枠３４ａ、３４ｂの中央には把手５６が取り付けられている。
【００２７】
また、図２、図３に示すように、蓋体３の天板３２の裏面には、ガラス基板支持パッド４４よりは軟質の導電性柔軟材としてのスポンジにより、所定厚みで形成されたガラス基板当接パッド５８が貼着されている。
【００２８】
このガラス基板当接パッド５８は、蓋体３外周の側枠３４ａ、３４ｂ及び３６ａ、３６ｂの高さより厚く形成されて、側枠３４ａ、３４ｂ及び３６ａ、３６ｂから突出した平面がボックス本体２内に収容保持される薄板ガラスＧの上辺となる上端縁Ｇ１を押圧する押圧面５８ａとして構成されている。
【００２９】
次に、上記のように構成されたガラス基板搬送用ボックスの機能に付き説明する。
【００３０】
先ず、ガラス基板搬送用ボックス１の蓋体３が開放した状態が、図１（ｂ）及び図４に示されており、側板８ａ、８ｂの内面に貼着された両側面パッド４８の片側（側板６ａ側）の平行溝４６からから順次、側面パッド４８片側の空間を利用して図示しない特殊フォークにより垂直平行状態に支持された薄板ガラスＧの両側端縁が上方から平行溝４６に差し込まれ、その下端がガラス基板支持パッド４４の対応する平行溝４２の溝底に支持された状態で薄板ガラスＧの両側端縁は両平行溝４６に対し若干の隙間を形成した状態で平行に保持される（図４参照）。
【００３１】
図４に示すように、薄板ガラスＧが、ボックス本体２内部のガラス基板支持パッド４４上に所定間隔をもって平行状態で支持されると、ボックス本体２の開口端部が蓋体３によって閉塞される。
【００３２】
蓋体３の閉塞に際し、図４に示すように、ボックス本体２開口部の上枠（２４ｂのみ示されている）の上端部位に、蓋体３周囲の側枠（図１ｂに３６ｂのみ示されている）の嵌合凹部３８（図２参照）が挿嵌される。
【００３３】
この場合、蓋体３の閉塞により、蓋体３の側枠３４ａ、３４ｂ及び３６ａ、３６ｂの嵌合凹部３８内のパッキン４０は圧縮されると同時に、ガラス基板当接パッド５８の押圧面５８ａが、ガラス基板支持パッド４４の平行溝４２の溝底に支持された薄板ガラスＧの上端縁に当接する。
【００３４】
ここで、蓋体３を閉塞するに際し、蓋体３は図示しない搬送装置により支持された状態で、図１の（ｂ）に示すように、上方からガイド部材５２により４辺の外周がガイドされつつ蓋体３が下降移動する動作で両側の被連結具５４が、連結具５０を付勢力に抗して押し開かせながら再び付勢力の作用で連結具５０に係合保持される。
【００３５】
このように、蓋体３が連結具５０に係合保持されると、蓋体３の側枠３４ａ、３４ｂ及び３６ａ、３６ｂの嵌合凹部３８と上枠２２ａ、２２ｂ及び２４ａ、２４ｂの上端部位が挿嵌された状態でパッキン４０により密閉シールされ、同時に薄板ガラスＧの上下端部は、ガラス基板支持パッド４４の対応する平行溝４２の溝底と蓋体３のガラス基板当接パッド５８の押圧面５８ａとの間で挟持状態で保持される。
【００３６】
従って、本発明のガラス基板搬送用ボックスによれば、ボックス本体２には複数のガラス基板Ｇの３辺を平行保持する複数の溝４２、４６が形成され、ボックス本体２には、前記各溝４２、４６に保持されていないガラス基板Ｇの残りの一辺（本実施形態では薄板ガラスＧの上端縁）を押圧保持する導電性のガラス基板当接パッド５８が設けられているので、クッション作用するガラス基板当接パッド５８が、ガラス基板Ｇの破損防止と帯電防止の両作用を同時に図ることができる。
【００３７】
なお、ガラス基板Ｇを平行保持する複数の溝は、３辺でなく２辺であってもよく、その場合はガラス基板Ｇの残りの２辺あるいは１辺に当接パッド５８が当接するようになっている。
【００３８】
また、ガラス基板当接パッド５８がスポンジで構成されているので、スポンジが有する軽さとより柔軟なクッション性を利用することで、確実で安全なガラス基板Ｇの搬送を行うことができる。
【００３９】
更に、ボックス本体２は、外表面がアルミ複合板で構築されているので、ガラス基板Ｇに帯電している静電子を、アルミ複合板で構築されたボックス本体２の外表面まで誘導して空気中に自然放電させることができる。
【００４０】
尚、上記の実施形態では、ガラス基板支持パッド４４及び側面パッド４８の平行溝４２及び４６により、下端ないし両端が平行保持された薄板ガラスＧの一辺となる上端縁を、蓋体３の天板３２の裏面に貼着された導電性のガラス基板当接パッド５８で押圧保持した例として説明したが、薄板ガラスＧの連続する２辺を平行溝４２及び４６が形成されたガラス基板支持パッド４４及び側面パッド４８で平行保持し、残りの連続する２辺を導電性のガラス基板当接パッド５８で押圧保持することもできる。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば、次のような効果が得られる。
【００４２】
（ａ）請求項１に記載の発明によれば、クッション作用する導電性柔軟材により、ガラス基板の少なくとの一辺がボックス体と電気的に導通しているので、ガラス基板の破損防止と帯電防止を同時に図ることができる。
【００４３】
（ｂ）請求項２に記載の発明によれば、スポンジが有する軽さとより柔軟なクッション性を利用して確実で安全なガラス基板の搬送が行える。
【００４４】
（ｃ）請求項３に記載の発明によれば、ガラス基板に帯電している静電子をアルミ材で構築されているボックス体の外表面まで誘導して空気中に自然放電させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明に係るガラス基板搬送用ボックスの外観斜視図、（ｂ）は蓋体が開放された状態のガラス基板搬送用ボックスの外観斜視図である。
【図２】保持用ボックス片内部に平行保持されたガラス基板の上端辺が閉鎖用ボックス片の導電性柔軟材で押圧保持されている状態を示す断面図である。
【図３】同じく保持用ボックス片内部に平行保持されたガラス基板の上端辺が閉鎖用ボックス片の導電性柔軟材で押圧保持されている状態を示すボックス体角部の部分断面図である。
【図４】保持用ボックス片の内部にガラス基板が整列状態で保持されている状態を示す部分斜視図である。
【図５】従来のガラス基板搬送用ボックス部分断面図である。
【符号の説明】
１　　　　　　　　　ガラス基板搬送用ボックス
２　　　　　　　　　ボックス本体
３　　　　　　　　　蓋体
４　　　　　　　　　底板
６ａ、６ｂ　　　　　側板
８ａ、８ｂ　　　　　側板
１０　　　　　　　　底枠
２０　　　　　　　　枠柱
２２ａ、２２ｂ　　　上枠
２４ａ、２４ｂ　　　上枠
２６、２８　　　　　フォークガイド
３０　　　　　　　　アイボルト
３２　　　　　　　　天板
３４ａ、３４ｂ　　　側枠
３６ａ、３６ｂ　　　側枠
３８　　　　　　　　嵌合凹部
４０　　　　　　　　パッキン
４２、４６　　　　　平行溝
４４　　　　　　　　ガラス基板支持パッド
４６ａ　　　　　　　溝底
４８　　　　　　　　側面パッド
５０　　　　　　　　連結具
５０ａ　　　　　　　枢軸
５２　　　　　　　　ガイド部材
５４　　　　　　　　被連結具
５６　　　　　　　　把手
５８　　　　　　　　ガラス基板当接パッド
５８ａ　　　　　　　押圧面
Ｇ　　　　　　　　　ガラス基板（薄板ガラス）
Ｇ１　　　　　　　　上端縁
Ｇ２　　　　　　　　両側端
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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