(57)【要約】【課題】高度に加圧・精製された液体二酸化炭素を生成させる方法と装置を提供する。【解決手段】本発明の方法は、液体二酸化炭素供給物(10)から二酸化炭素蒸気を含んだ供給流れ(11)を留去する工程；二酸化炭素蒸気供給流れを少なくとも1つの精製用フィルター(13, 14)中に導入する工程；精製された供給流れを凝縮器(18)中で凝縮させて、中間液体二酸化炭素流れ(24)を形成させる工程；中間液体二酸化炭素流れ(24)を少なくとも1つの高圧アキュムレーションチャンバー(30)中に導入する工程；前記高圧アキュムレーションチャンバー(30)を加熱して、その中に収容されている液体二酸化炭素を供給圧力に加圧する工程；加圧された液体二酸化炭素流れ(43)を高圧アキュムレーションチャンバーから供給する工程；及び高圧アキュムレーションチャンバー(30)に補充するために、加圧された液体二酸化炭素流れ(43)の供給を中断する工程；を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体二酸化炭素供給物から二酸化炭素蒸気を含んだ供給流れを留去する工程；
二酸化炭素蒸気供給流れを少なくとも1つの精製用フィルター中に導入する工程；
精製された供給流れを凝縮器中で凝縮させて、中間液体二酸化炭素流れを形成させる工程；
中間液体二酸化炭素流れを少なくとも1つの高圧アキュムレーションチャンバー中に導入する工程；
前記高圧アキュムレーションチャンバーを加熱して、その中に収容されている液体二酸化炭素を供給圧力に加圧する工程；
加圧された液体二酸化炭素流れを高圧アキュムレーションチャンバーから供給する工程；及び
高圧アキュムレーションチャンバーに補充するために、加圧された液体二酸化炭素流れの供給を中断する工程；
を含む、加圧された液体二酸化炭素流れを生成させるためのバッチ式の方法。
【請求項２】
高圧アキュムレーションチャンバーから凝縮器へのガス抜きを行って、アキュムレーションチャンバー中への中間液体二酸化炭素流れの導入を容易にする工程をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】
加圧された液体二酸化炭素流れを、クリーニングプロセスに供給する前に粒子フィルターに通す工程をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記供給流れを、冷媒流れとの間接的な熱交換によって前記凝縮器中にて凝縮させる、請求項１記載の方法。
【請求項５】
中間液体二酸化炭素流れを、高圧アキュムレーションチャンバー中に導入する前に受け器に蓄積する工程をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項６】
凝縮器と受け器とが一体になっている、請求項５記載の方法。
【請求項７】
高圧アキュムレーションチャンバーが液体二酸化炭素の補充を必要とする時点を検出する工程をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項８】
高圧アキュムレーションチャンバーを電気的に加熱する、請求項１記載の方法。
【請求項９】
二酸化炭素蒸気供給流れを融合フィルター中に導入する、請求項１記載の方法。
【請求項１０】
二酸化炭素蒸気供給流れを粒子フィルター中に導入する、請求項１記載の方法。
【請求項１１】
二酸化炭素蒸気を含んだ供給流れを留去するためのバルク液体二酸化炭素供給タンク；
二酸化炭素蒸気供給流れを精製するための精製用フィルター；
二酸化炭素蒸気供給流れを中間液体二酸化炭素流れ中に凝縮させるための凝縮器；
中間液体二酸化炭素流れを蓄積するための受け器；
受け器から中間液体二酸化炭素流れを受け取るための高圧アキュムレーションチャンバー；
高圧アキュムレーションチャンバーを加熱して、その中に収容されている液体二酸化炭素を供給圧力に加圧するための加熱器；
高圧アキュムレーションチャンバーが液体二酸化炭素の補充を必要とする時点を検出するためのセンサー；及び
バルク供給タンク、凝縮器、受け器、及び高圧アキュムレーションチャンバーを連結する導管を有していて、加圧された液体二酸化炭素流れを排出するためのフローネットワーク；
を含む、精製・加圧された液体二酸化炭素流れを生成させるための装置であって、
このとき前記フローネットワークの導管が、高圧アキュムレーションチャンバー中への中間液体二酸化炭素流れの導入を容易にするための、高圧アキュムレーションチャンバーから凝縮器までのベントラインを含み；そして
前記フローネットワークが、装置の部材の遮断を可能にするための、前記導管と連結した弁を有する、前記装置。
【請求項１２】
加圧された液体二酸化炭素流れを濾過するための、フローネットワークに連結された粒子フィルターをさらに含む、請求項１１記載の装置。
【請求項１３】
凝縮器が、冷媒流れとの間接的な熱交換によって二酸化炭素蒸気供給流れを凝縮させるための熱交換器を有する外部冷却回路を含む、請求項１１記載の装置。
【請求項１４】
凝縮器と受け器とが一体になっている、請求項１１記載の装置。
【請求項１５】
加熱器が電熱器を含む、請求項１１記載の装置。
【請求項１６】
二酸化炭素蒸気供給流れに対する精製用フィルターが融合フィルターである、請求項１１記載の装置。
【請求項１７】
二酸化炭素蒸気供給流れに対する精製用フィルターが粒子フィルターである、請求項１１記載の装置。
【請求項１８】
センサーがレベルセンサーである、請求項１１記載の装置。
【請求項１９】
センサーがレベルセンサーである、請求項１１記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精製・加圧された液体二酸化炭素流れを生成させるための方法と装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高度に加圧・精製された液体二酸化炭素が、種々の工業プロセスにおいて必要とされている。このような高度に加圧された液体二酸化炭素は、約13〜23バール(1.3〜2.3MPa)にて得られる工業用グレードの液体二酸化炭素を精製し、精製した液体二酸化炭素を、約20〜約68バール(2〜6.8MPa)の圧力のどこかにポンプ移送することによって得られる。しかしながら、ポンプ移送の場合、粒状物や炭化水素等の不純物が、機械的なポンプ操作の副生物として生成物流れ中に導入されることがある、という問題が生じる。
【０００３】
米国特許第6,327,872号〔参照により本明細書に含める；本発明の譲受人であるBOCグループ社(BOC Group, Inc.)に譲渡〕は、高純度で加圧された液体二酸化炭素流れを生成させるための方法と装置に関し、該特許によれば、二酸化炭素蒸気で構成される供給流れを精製用フィルター中で精製し、次いで凝縮器中で凝縮させる。得られた液体を、第1と第2の二つの圧力アキュムレーションチャンバーから連続的に交互に導入・分与し、このとき第1と第2の圧力アキュムレーションチャンバーの一方が分与作用を果たし、その間に他方が充填される。
【０００４】
高純度CO2は、光学部材上に噴霧したときの、CO2の溶媒和効果と運動量移動効果を使用して光学部材を洗浄するのに使用することができる。これらの利点は、CO2の純度が極めて高く、CO2が高圧で供給される場合にのみ達成される。
【特許文献１】米国特許第6,327,872号明細書
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、精製・加圧された液体二酸化炭素流れを生成させるための方法と装置に関し、本発明によれば、二酸化炭素蒸気で構成される供給流れを凝縮させて液体とし、引き続きこの液体を、例えばチャンバー中で加熱することによって加圧する。
【０００６】
本発明によれば、
液体二酸化炭素供給物から二酸化炭素蒸気を含んだ供給流れを留去する工程；
二酸化炭素蒸気供給流れを少なくとも1つの精製用フィルター中に導入する工程；
精製された供給流れを凝縮器中で凝縮させて、中間液体二酸化炭素流れを形成させる工程；
中間液体二酸化炭素流れを少なくとも1つの高圧アキュムレーションチャンバー中に導入する工程；
前記高圧アキュムレーションチャンバーを加熱して、その中に収容されている液体二酸化炭素を供給圧力に加圧する工程；
加圧された液体二酸化炭素流れを高圧アキュムレーションチャンバーから供給する工程；及び
高圧アキュムレーションチャンバーに補充するために、加圧された液体二酸化炭素流れの供給を中断する工程；
を含む、加圧された液体二酸化炭素流れを生成させるためのバッチプロセスが提供される。
【０００７】
本発明のプロセスは、高圧アキュムレーションチャンバーから凝縮器へのガス抜きを行って、アキュムレーションチャンバー中への中間液体二酸化炭素流れの導入を容易にする工程を含んでよい。特定の実施態様においては、中間液体二酸化炭素流れが、高圧アキュムレーションチャンバー中に導入される前に受け器中に蓄積され、また特定の実施態様においては、凝縮器と受け器とが一体になっている。
【０００８】
ある実施態様においては、本発明のプロセスは、加圧された液体二酸化炭素流れを、クリーニングプロセスに供給する前に粒子フィルターに通す工程を含む。
本発明によれば、
二酸化炭素蒸気を含んだ供給流れを留去するためのバルク液体二酸化炭素供給タンク；
二酸化炭素蒸気供給流れを精製するための精製用フィルター；
二酸化炭素蒸気供給流れを中間液体二酸化炭素流れ中に凝縮させるための凝縮器；
中間液体二酸化炭素流れを蓄積するための受け器；
受け器から中間液体二酸化炭素流れを受け取るための高圧アキュムレーションチャンバー；
高圧アキュムレーションチャンバーを加熱して、その中に収容されている液体二酸化炭素を供給圧力に加圧するための加熱器；
高圧アキュムレーションチャンバーが液体二酸化炭素の補充を必要とする時点を検出するためのセンサー；及び
バルク供給タンク、凝縮器、受け器、及び高圧アキュムレーションチャンバーを連結する導管を有していて、加圧された液体二酸化炭素流れを排出するためのフローネットワーク；
を含む、精製・加圧された液体二酸化炭素流れを生成させるための装置が提供され、
このとき前記フローネットワークの導管が、高圧アキュムレーションチャンバー中への中間液体二酸化炭素流れの導入を容易にするための、高圧アキュムレーションチャンバーから凝縮器までのベントラインを含み；そして
前記フローネットワークが、装置の部材の遮断を可能にするための、前記導管と連結した弁を有する。
【０００９】
ある実施態様においては、加圧された液体二酸化炭素流れを濾過するために、フローネットワークに粒子フィルターが連結される。
特定の実施態様においては、凝縮器が、冷媒流れとの間接的な熱交換によって二酸化炭素蒸気供給流れを凝縮させるための熱交換器を有する外部冷却回路を含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
二酸化炭素蒸気を含んだ供給流れを精製用フィルター中に導入すること(例えば、気相精製を行うために)；精製されたCO2流れを凝縮させること(例えば、機械的な冷却又は低温冷媒を使用することによって)；高純度の液体CO2を単離すること；及び高純度液体CO2の一部を気化させて(例えば、ヒーターエレメントを使用することによって)目標圧力を達成すること；を含む装置とプロセスが提供される。
【００１１】
ある実施態様においては、本発明の装置とプロセス操作サイクルは、最大で約16時間にわたって高圧高純度液体二酸化炭素の連続的な供給が維持されるように(約8時間の時点でシステムがリセットされる)、すなわち供給に利用できる高純度液体二酸化炭素が補充されるように設計されている。操作サイクルと対応する“モード”の例、及びシステムのサイクルを制御するロジックを表1に示す。
【００１２】
例えば、ある実施態様においては、液体二酸化炭素のバルクタンクからガス状二酸化炭素を取り出し、このとき単段蒸留精製が行われ、凝縮可能な炭化水素の大部分を除去する。バルクタンクからのガス状二酸化炭素を融合フィルター(a coalescing filter)に通し、これにより第2のレベルの精製を行う。低圧のアキュムレータ中にてガス状二酸化炭素を再び凝縮させ、凝縮しない炭化水素を除去することによって第3のレベルの精製を行う。次いでこの低圧の液体二酸化炭素を高圧アキュムレータに移送する。充填されたら、電熱器によりアキュムレータを所望の圧力設定値に加圧する。圧力設定値に達すると、アキュムレータがレディ・モード(Ready mode)(表1におけるモード4)に入る。ある実施態様においては、本発明のプロセスは、高純度の液体二酸化炭素を最大約16時間にわたってユースポイント(the point of use)に保持する。液体二酸化炭素が消費された後、システムはモード1に戻って操作シーケンスを繰り返す。
【００１３】
図1を参照すると、二酸化炭素の精製・供給装置が概略的に示されている。液体二酸化炭素のバルク供給物10からの、二酸化炭素蒸気を含んだ供給流れ11を第1の精製段階において蒸留し、精製用粒子フィルター13と融合フィルター14(これらのフィルターは、第2の精製段階用として、どのような数の公知の市販フィルターであってもよい)中に導入する。精製用フィルター13と14を遮断するために、弁12と15が設けられている。バルク供給物は、約300psig(2.1MPa)および0°F(−18℃)に保持された液体CO2のタンクであってよい。二酸化炭素蒸気がバルク供給タンクから抜き取られると、バルクタンク中の液体二酸化炭素の一部を導管16を介して抜き取って圧力発生装置17(例えば、電気気化器やスチーム気化器など)に導入し、これによって二酸化炭素蒸気が取り除かれてもバルク供給タンク内の圧力を比較的一定に保持する。気化器は、供給タンクから液体CO2を受け取り、熱を使用して液体CO2を液相から気相に変化させる。生成したCO2ガスを、供給タンクのヘッドスペースに導入する。
【００１４】
供給流れ11は、第2の段階において精製した後、二酸化炭素蒸気を液体19に凝縮させるための、熱交換器21を備えた凝縮器18中に導入する。このような凝縮は、好ましくは管状設計の熱交換器を通して冷却流れを循環させる外部冷却回路22によって果たす。遮断弁28と29は、冷却ユニット22と、その冷媒供給ライン26及び戻りライン27とを遮断するように設けることができる。液体二酸化炭素19を、一時的に受け器20(すなわち低圧アキュムレータ)中に保存する。受け器20における液体のレベルは、制御器(図示せず)(例えばプログラマブル・ロジック・コンピュータ)を介して、レベルセンサー44(例えばレベル差動圧力変換器)と圧力センサー54(例えば圧力変換器))によって制御する。
【００１５】
高純度のCO2液体を含んだ中間液体流れ24を、受け器20から高圧アキュムレーションチャンバー30に導入する。高圧アキュムレーションチャンバー30を、例えば電熱器31によって加熱して、装置1によって生成させようとする加圧液体二酸化炭素流れの供給圧力になるよう液体を加圧する。
【００１６】
断熱ジャケット23(例えば、ポリウレタン又はその同等物で造られている)を、凝縮器18、液体CO2を移送するための導管19、高圧アキュムレーションチャンバー30、及び出口導管32の周りに配置することができ、液体CO2の所望の温度を保持するために弁と連結することができる。
【００１７】
弁のネットワークが装置1内の流れを制御する。この点において、充填制御弁25が、受け器20から高圧アキュムレーションチャンバー30への中間液体流れの流入を制御する。出口導管32を通しての高圧液体二酸化炭素の流れの制御は、生成物制御弁34によって行われる。必要に応じてサンプリンク又はガス抜きするために、出口導管32にドレン弁33も連結されている。ベントライン(導管)51を介して凝縮器18への高圧アキュムレーションチャンバー30のガス抜きは、制御弁52によって制御される。液体二酸化炭素19が受け器20に流入するときに、凝縮器18から受け器20への圧力解放弁55が、蒸気を受け器20から凝縮器18に送る。
【００１８】
所望の圧力の液体二酸化炭素を供給できるよう、液体二酸化炭素の一部を気化させるための加熱器31を制御するために、圧力センサー53(例えば圧力変換器)が圧力をモニターし、レベルセンサー45(例えばレベル差動圧力変換器)が高圧アキュムレーションチャンバー30中の液体二酸化炭素のレベルをモニターする。温度センサー(図示せず)により、加熱器31又はアキュムレーションチャンバー30中の液体二酸化炭素の温度をモニターすることができる。
【００１９】
本発明のプロセスは、高圧二酸化炭素アキュムレータ(AC-1)に対して6つの操作シーケンスもしくは操作モードを有する。サイクル・ロジック(cycle logic)が、これらのモードに従って弁、加熱器、及び冷却を制御する。表1に可能な操作モードを示す。
【００２０】
【表１】
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【００２１】
高圧アキュムレータからの高圧二酸化炭素が出口導管32を介して移動し、さらなる精製段階において、2つの粒子フィルター41と42の一方によって再度精製することができる。粒子フィルター41と42は、洗浄もしくは交換のために、一方のフィルターが作動状態にあるときに、他方のフィルターが個々の弁の閉止によって導管から遮断されるように、それぞれ弁35と36、及び弁37と38によって遮断することができる。高圧の精製液体二酸化炭素流れ43が、所望のプロセス(例えば、光学素子の清浄)において使用すべく、最終濾過段階から出ていく。
【００２２】
処理しようとする光学部材をクリーニングチャンバー中にて高純度CO2と直接接触させ、これにより汚染残留物を溶解して除去する。液体CO2は、クリーニングチャンバー中に約700psig〜約950psig(4.8MPa〜6.6MPa)又はそれ以上の圧力で供給することができる。
【００２３】
高圧アキュムレーションチャンバー30がほとんどからになると(レベルセンサー45及び/又は圧力センサー53によって感知)、ベント制御弁52が開いて高圧アキュムレーションチャンバーをガス抜きする。充填制御弁25が開くことにより、中間液体流れ24が高圧アキュムレーションチャンバー30を充填する。差動圧力センサーが充填の完了を指示すると、制御弁25と52が閉じ、液体二酸化炭素が電熱器31によって加熱されて、高圧アキュムレーションチャンバー30内の液体が再び加圧される。
【００２４】
安全のため、それぞれ高圧アキュムレーションチャンバー30、受け器20、及び凝縮器18と連結した状態で、圧力解放弁46、47、48を設けることができる。
本発明の装置の他の代表的な実施態様を図2に示す。図1に関して上記したエレメントに対応した図2のエレメントは、対応する参照番号で表示してある。特に明記しない限り、図2のエレメントは、図1のエレメントと同じ仕方で使用すべく示されている。
【００２５】
図2を参照すると、別の二酸化炭素精製・供給装置が概略的に示されている。液体二酸化炭素のバルク供給物10からの、二酸化炭素蒸気を含んだ供給流れ11を第1の精製段階において蒸留し、精製用粒子フィルター13と融合フィルター14(これらのフィルターは、第2の精製段階用として、どのような数の公知の市販フィルターであってもよい)中に導入する。精製用フィルター13と14を遮断するために、弁12と15が設けられている。
【００２６】
供給流れ11は、第2の段階において精製した後、二酸化炭素蒸気を液体に凝縮させるために、熱交換器21を備えた受け器20中に導入される。このような凝縮は、好ましくは管状設計の熱交換器を通して冷却流れを循環させる外部冷却ユニット22によって果たす。遮断弁28と29は、冷却ユニット22と、その冷媒供給ライン26及び戻りライン27とを遮断するように設けることができる。液体二酸化炭素を、一時的に受け器20(すなわち低圧アキュムレータ)中に保存する。
【００２７】
言うまでもないが、受け器20内で蒸気が凝縮するので、より揮発性の高い不純物が凝縮しない蒸気中に残り、より揮発性の低い不純物が凝縮して液体になる、という形で蒸気中に存在する不純物の分離を果たすことができる。図示していないけれども、受け器中の不純物濃度を下げるために、必要に応じて液体と蒸気をサンプリングして抜き取るためのサンプルラインを受け器20に連結することができる。
【００２８】
高純度液体24を含んだ中間液体流れを、第1の高圧アキュムレーションチャンバー30aと第2の高圧アキュムレーションチャンバー30b中に導入する。第1の高圧アキュムレーションチャンバー30aと第2の高圧アキュムレーションチャンバー30bを好ましくは電熱器31によって加熱して、液体を、装置2によって生成させようとする加圧液体二酸化炭素流れの供給圧力に加圧する。
【００２９】
弁のネットワークが装置内の流れを制御する。この点で、充填制御弁25が、受け器20から高圧アキュムレーションチャンバー30aと30bへの中間液体の流れを制御する。出口導管32を通る高圧液体二酸化炭素流れの制御は、生成物制御弁34によって果たすことができる。必要に応じてサンプリング又はガス抜きするためのドレン弁33が出口導管32に連結されている。ベントライン(導管)51を介して凝縮器18への高圧アキュムレーションチャンバー30のガス抜きは、ベント制御弁52によって制御される。
【００３０】
第1の高圧アキュムレーションチャンバー30aと第2の高圧アキュムレーションチャンバー30bは、間に遮断弁を介在させることなく導管39によって相互連結させることができ、従って両方が、より低いコストにて単一のユニットとして効果的に作動する。
【００３１】
液体二酸化炭素の一部を気化させるための加熱器31を制御するために、圧力センサー53(例えば圧力変換器)が圧力をモニターし、そしてレベルセンサー45(例えばレベル作動圧力変換器)が高圧アキュムレータ30aと30b中の液体二酸化炭素のレベルをモニターし、これによって所望の圧力の液体二酸化炭素を供給することができる。
【００３２】
高圧アキュムレータからの高圧二酸化炭素が出口導管32を介して移動し、さらなる精製段階において、2つの粒子フィルター41と42の一方によって再度精製される。粒子フィルター41と42は、洗浄もしくは交換のために、一方のフィルターが作動状態にあるときに、他方のフィルターが個々の弁の閉止によって導管から遮断されるように、それぞれ弁35と36、及び弁37と38によって遮断することができる。高圧の精製液体二酸化炭素流れ43が、前述のように所望のプロセスにおいて使用すべく、最終濾過段階から出ていく。精製二酸化炭素流れ43に対する要求がもはやなくなるか、あるいは精製二酸化炭素流れ43に対する要件をもはや満たすことができなくなると、装置は補充サイクルを開始する。すなわち、モード5が完了した後、システムは、表1に記載のように、逐次的なモード1、モード2、などに戻ることができる。
【００３３】
本発明の装置とプロセスのさらなる特徴は、完全に自動化されたマイクロプロセッサ制御器を含むことにある。マイクロプロセッサ制御器は、システムの動作を連続的にモニターし、これによって、オペレーターの関与を最小限に抑えつつ、故障の検知、圧力調節と弁の順序付け、及び清浄器の信頼性の確立を可能にする。例えば(これに限定されない)、
流量調節弁15、34、52、又は圧力解放弁46、47、48に対する支持を与えるために、レベルセンサー44と45、圧力センサー53と54、及び温度センサーが、制御器に対する情報を提供することができる。
【００３４】
本発明の装置は、システムの完全性を確実にするために、潜在的な危険(例えば、温度又は圧力の逸脱)を検知するためのシステムアラームを含んでよい。アラーム・警告条件は、オペレータ・インターフェースにて指示することができ、またアラーム・ポケットベルが伴っていてもよい。ヒューマン・マシン・インターフェースは、弁の操作、操作モード、警告とアラームの状況、シーケンス・タイマー(sequence timers)、システムの温度と圧力、加熱器の電力レベル、及びシステムのサイクルカウントを表示する。
【００３５】
簡単に説明すると、工業用グレードのCO2ガスを供給タンクのヘッドスペースから取り出すことができ、このとき供給タンクが単段蒸留塔(段階1)として作用する。より高い純度の気相が少なくとも融合フィルターを通過し、凝縮可能な炭化水素の濃度が減少し、この結果、より高いレベルの純度が得られる(段階2)。段階3は、気相から液相への相変化を起こさせるための機械的システム又は低温冷却システムを含む。このようにして、操作している液体二酸化炭素流れから、非凝縮性の全ての炭化水素と不純物が除去される。
【００３６】
本発明の装置とプロセスは、連続的な供給操作ではなくむしろプロセスの繰返し操作を可能にする。本発明の装置とプロセスはさらに、連続的又は複数バッチ操作から単一バッチ操作へと減少していることにより、より経済的な設計物(約半分ほど)となっている。本発明の装置とプロセスはさらに、ボイラーや凝縮器のような補助的装置がなくてもよいことから、従来技術のシステムより経済的な設計物となっている。装置の設置面積が少なくて済むことから、装置をよりユースポイントに近く配置することが可能となり、この結果、液体二酸化炭素の蒸発損がより少なくなる。
【００３７】
本明細書に記載の実施態様は単に代表的なものにすぎず、当業者が、本発明の要旨を逸脱しない範囲において多くの変更や改良を行ってよいのはもちろんである。このような改良や変更は全て、本明細書に記載の本発明の範囲内に含まれるものとする。言うまでもないが、前述の実施態様は、別々で機能するだけでなく、組み合わせることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の方法をある1つの実施態様に従って実施するための装置の概略図である。
【図２】本発明の方法を実施するための装置の、別の実施態様における概略図である。
【図１】
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【図２】
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【外国語明細書】
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