(57)【要約】【課題】いったん剥離した被着体を接着性物質に再密着させることなく、被着体を損傷させることなく、容易かつ確実に分離することができる被着体の分離方法及びこの方法を行うための被着体の分離装置を提供する。【解決手段】刺激により接着力が低下する接着性物質により接着された被着体を分離する方法であって、前記刺激を与え、前記被着体を接着性物質に押しつけることなく剥離した後、剥離した被着体を前記接着性物質に再び接触させることなく分離する被着体の剥離方法。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
刺激により接着力が低下する接着性物質により接着された被着体を分離する方法であって、
前記刺激を与え、前記被着体を接着性物質に押しつけることなく剥離した後、剥離した被着体を前記接着性物質に再び接触させることなく分離する
ことを特徴とする被着体の剥離方法。
【請求項２】
刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する接着性物質によって接着された接着体を分離する方法であって、
前記気体発生剤から気体を発生させる刺激を与え、前記被着体と接着性物質との界面に気体を排出させ前記被着体と接着性物質の接着面の少なくとも一部を剥離させ、前記被着体を接着性物質に押しつけることなく剥離した後、剥離した被着体を前記接着性物質に再び接触させることなく分離する
ことを特徴とする被着体の剥離方法。
【請求項３】
刺激により接着力が低下する接着性物質により接着された被着体を分離する方法であって、
前記刺激を与え、前記被着体を接着性物質から剥離した後、剥離した被着体を、剥離した被着体に直接接触しない位置に設置された吸引手段を有する部材を用いて吸引することにより分離する
ことを特徴とする被着体の分離方法。
【請求項４】
刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する接着性物質によって接着された接着体を分離する方法であって、
前記気体発生剤から気体を発生させる刺激を与え、前記被着体と接着性物質との界面に気体を排出させ前記被着体と接着性物質の接着面の少なくとも一部を剥離させ、前記被着体を接着性物質に押しつけることなく剥離した後、剥離した被着体を、剥離した被着体に直接接触しない位置に設置された吸引手段を有する部材を用いて吸引することにより分離する
ことを特徴とする被着体の剥離方法。
【請求項５】
吸引手段は、減圧による吸引であることを特徴とする請求項３又は４記載の被着体の分離方法。
【請求項６】
吸引手段は、磁力による吸引であることを特徴とする請求項３又は４記載の被着体の分離方法。
【請求項７】
請求項１、２、３、４、５又は６記載の被着体の分離方法を行うための被着体の分離装置であって、少なくとも、
接着性物質の接着力を低下させる刺激又は気体発生剤から気体を発生させる刺激を与える手段と、
吸引手段を有する部材と、
前記吸引手段を有する部材を駆動する手段とを有する
ことを特徴とする被着体の分離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被着体を損傷することなく容易に分離することができる被着体の分離方法及びこの方法を行うための被着体の分離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
今日接着性物質は、接着剤、シーリング剤、塗料、コーティング剤等のバインダー剤、粘着テープ又は自立テープ等の粘着剤等に広く用いられている。
これらの接着性物質に求められる性能はその用途により様々であるが、用途によっては、必要な間だけ接着性を示すがその後は容易に剥がせることが要求されることがある。
【０００３】
例えば、ＩＣチップの製造工程において、高純度なシリコン単結晶等から切り出した厚膜ウエハを所定の厚さにまで研磨して薄膜ウエハとする場合に、厚膜ウエハを支持板に接着して補強することにより、効率よく作業を進めることが提案されている。このとき厚膜ウエハと支持板とを接着するための接着性物質としては、研磨工程中には強固に接着する一方で、研磨工程終了後には得られた薄膜ウエハを損傷することなく支持板から剥がせることが求められる。
【０００４】
接着性物質を剥がす方法としては、例えば、物理的な力を加えて引き剥がすことが考えられる。しかしながら、この方法では被着体が脆弱な場合には重大な損傷を与えてしまうことがある。
また、接着性物質を溶解できる溶剤を用いて接着性物質を剥がす方法も考えられる。しかしながら、この方法も被着体が溶剤によって侵されるものである場合には用いることができない。
このように、いったん接着に用いた接着性物質は、接着力が強固であるほど、被着体を損傷することなく剥がすことが困難であるという問題点があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
これに対し、本発明者らは、鋭意検討の結果、刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する接着性物質を用いて接着を行い、刺激を与えて気体を発生させれば、発生した気体が接着面の少なくとも一部を剥がすことにより容易に被着体を剥離できることを見出した。この方法により剥離した被着体は、接着性物質からあたかも浮いたような状態にある。
しかしながら、このような状態にある剥離した被着体は、取り上げる前に被着体と接着性物質とが再び接すると、いったん剥離した被着体が接した点を起点に次々と接着性物質に再密着してしまい分離できなくなることがあった。とりわけ、通常のピックアップ装置を用いた場合には、極めて精密な駆動がなされないため被着体と剥離する過程で被着体が接着性物質に押しつけられることがあり、再密着することが多く、工業的に被着体の分離工程を行うことが困難であるという問題があった。
また、発泡剤が発泡することにより接着界面に凹凸を生じさせ接着力を低下させる接着性物質においても、時間とともに凸状の接着点を起点として次々と再び接着していき、再密着する場合があった。
従って、従来は、通常のピックアップ装置を用いる場合には、再密着を考慮して強く引き剥がすことにより対応していたが、被着体が薄く脆弱になるにつれ、このように強制的に剥離することは難しくなってきた。本発明者らの開発した、気体発生剤を含有する接着性物質の場合には、発生した気体を界面に排出させ接着面を剥離させることから、理想的には自己剥離が期待できる。このような自己剥離を前提にピックアップを行う場合には、被着体の再密着は特に大きな問題となっていた。
本発明は、上記現状に鑑み、いったん剥離した被着体を接着性物質に再密着させることなく、確実に分離することができる被着体の分離方法及びこの方法を行うための被着体の分離装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、刺激により接着力が低下する接着性物質により接着された被着体を分離する方法であって、前記刺激を与え、前記被着体を接着性物質に押しつけることなく剥離した後、剥離した被着体を前記接着性物質に再び接触させることなく分離する被着体の剥離方法である。
以下に本発明を詳述する。
【０００７】
本発明の被着体の分離方法は、刺激により接着力が低下する接着性物質により接着された被着体を分離する方法である。
【０００８】
上記刺激により接着力が低下する接着性物質としては特に限定されず、例えば、刺激により架橋して弾性率が上昇することにより接着力が低下する接着性物質；刺激により含有する発泡剤が発泡して発泡体となることにより接着力が低下する接着性物質；刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する接着性物質等が挙げられる。なかでも、刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する接着性物質により接着された被着体は、上記気体を発生させる刺激を与え、前記被着体と接着性物質との界面に気体を排出させ前記被着体と接着性物質の接着面の少なくとも一部を剥離させることにより、脆弱な被着体であっても破損させることなく剥離することができることから好適である。
刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する接着性物質によって接着された接着体を分離する方法であって、上記気体発生剤から気体を発生させる刺激を与え、上記被着体と接着性物質との界面に気体を排出させ上記被着体と接着性物質の接着面の少なくとも一部を剥離させ、上記被着体を接着性物質に押しつけることなく剥離した後、剥離した被着体を前記接着性物質に再び接触させることなく分離する被着体の剥離方法もまた、本発明の１つである。
【０００９】
上記気体発生剤から気体を発生させる刺激としては、例えば、光、熱、超音波による刺激が挙げられる。なかでも光又は熱による刺激が好ましい。上記光としては、例えば、紫外線、可視光線等が挙げられる。上記刺激として光による刺激を用いる場合には、上記気体発生剤を含有する接着性物質は、光が透過又は通過できるものであることが好ましい。
【００１０】
上記刺激により気体を発生する気体発生剤としては特に限定されないが、例えば、アゾ化合物、アジド化合物等が好適に用いられる。
上記アゾ化合物としては、例えば、２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［１，１−ビス（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［２−（１−ヒドロキシブチル）］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［２−（５−メチル−２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］ジサルフェイトジハイドロレート、２，２’−アゾビス［２−（３，４，５，６−テトラハイドロピリミジン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス｛２−［１−（２−ヒドロキシエチル）−２−イミダゾリン−２−イル］プロパン｝ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミジン）ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス（２−アミノプロパン）ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−カルボキシアシル）−２−メチル−プロピオンアミジン］、２，２’−アゾビス｛２−［Ｎ−（２−カルボキシエチル）アミジン］プロパン｝、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミドオキシム）、ジメチル２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、ジメチル２，２’−アゾビスイソブチレート、４，４’−アゾビス（４−シアンカルボニックアシッド）、４，４’−アゾビス（４−シアノペンタノイックアシッド）、２，２’−アゾビス（２，４，４−トリメチルペンタン）等が挙げられる。
これらのアゾ化合物は、光、熱等による刺激により窒素ガスを発生する。
【００１１】
上記アゾ化合物の中でも、１０時間半減期温度が８０℃以上であるものが好ましい。１０時間半減期温度が８０℃未満であると、上記接着性物質は、キャストにより成形して乾燥する際に発泡を生じてしまったり、経時的に分解反応を生じて分解残渣がブリードしてしまったり、経時的に気体を発生して貼り合わせた被着体との界面に浮きを生じさせてしまったりすることがある。１０時間半減期温度が８０℃以上であれば、耐熱性に優れていることから、高温での使用及び安定した貯蔵が可能である。
【００１２】
１０時間半減期温度が８０℃以上であるアゾ化合物としては、下記一般式（１）で表されるアゾアミド化合物等が挙げられる。下記一般式（１）で表されるアゾアミド化合物は、耐熱性に優れていることに加え、後述するアクリル酸アルキルエステルポリマー等の粘着性を有するポリマーへの溶解性にも優れ、接着性物質中に粒子として存在しないものとすることができる。
【００１３】
【化１】
2004269628.tif 000002
【００１４】
式（１）中、Ｒ１及びＲ２は、それぞれ低級アルキル基を表し、Ｒ３は、炭素数２以上の飽和アルキル基を表す。なお、Ｒ１とＲ２は、同一であっても、異なっていてもよい。
【００１５】
上記一般式（１）で表されるアゾアミド化合物としては、例えば、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルプロピル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルエチル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−プロピル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−エチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［１，１−ビス（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［２−（１−ヒドロキシブチル）］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］等が挙げられる。なかでも、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）及び２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］は、溶剤への溶解性に特に優れていることから好適に用いられる。
【００１６】
上記アジド化合物としては、例えば、３−アジドメチル−３−メチルオキセタン、テレフタルアジド、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルベンズアジド；３−アジドメチル−３−メチルオキセタンを開環重合することにより得られるグリシジルアジドポリマー等のアジド基を有するポリマー等が挙げられる。
これらのアジド化合物は、光、熱及び衝撃等による刺激により窒素ガスを発生する。
【００１７】
これらの気体発生剤のうち、上記アジド化合物は衝撃を与えることによっても容易に分解して窒素ガスを放出することから、取り扱いが困難であるという問題がある。更に、上記アジド化合物は、いったん分解が始まると連鎖反応を起こして爆発的に窒素ガスを放出しその制御ができないことから、爆発的に発生した窒素ガスによって被着体が損傷することがあるという問題もある。このような問題から上記アジド化合物の使用量は限定されるが、限定された使用量では充分な効果が得られないことがある。
【００１８】
一方、上記アゾ化合物は、アジド化合物とは異なり衝撃によっては気体を発生しないことから取り扱いが極めて容易である。また、連鎖反応を起こして爆発的に気体を発生することもないため被着体を損傷することもなく、光の照射を中断すれば気体の発生も中断できることから、用途に合わせた接着性の制御が可能であるという利点もある。従って、上記気体発生剤としては、アゾ化合物を用いることがより好ましい。
【００１９】
上記気体発生剤は、粒子として存在しないことが好ましい。なお、本明細書において、気体発生剤が粒子として存在しないとは、電子顕微鏡により上記接着性物質を観察したときに気体発生剤を確認することができないことを意味する。上記接着性物質中に気体発生剤が粒子として存在すると、気体を発生させる刺激として光を照射したときに粒子の界面で光が散乱して気体発生効率が低くなってしまったり、上記接着性物質を塗膜状にしたときの表面平滑性が悪くなったりすることがある。
【００２０】
上記気体発生剤を粒子として存在しないようにするには、通常、上記接着性物質中に溶解する気体発生剤を選択するが、上記接着性物質中に溶解しない気体発生剤を選択する場合には、例えば、分散機を用いたり、分散剤を併用したりすることにより上記接着性物質中に気体発生剤を微分散させる。上記接着性物質中に気体発生剤を微分散させるためには、気体発生剤は、微小な粒子であることが好ましく、更に、これらの微粒子は、例えば、分散機や混練装置等を用いて必要に応じてより細かい微粒子とすることが好ましい。すなわち、電子顕微鏡により上記接着性物質を観察したときに気体発生剤を確認することができない状態まで分散させることがより好ましい。
【００２１】
上記接着性物質では、上記気体発生剤から発生した気体は接着性物質外へ放出される。これにより、上記接着性物質を用いて接着を行った接着面に刺激を与えると気体発生剤から発生した気体が被着体から接着性物質の接着面の少なくとも一部を剥がし接着力を低下させるため、容易に被着体を剥離することができる。この際、気体発生剤から発生した気体の大部分は接着性物質外へ放出されることが好ましい。上記気体発生剤から発生した気体の大部分が接着性物質外へ放出されないと、接着性物質が気体発生剤から発生した気体により全体的に発泡してしまい、接着力を低下させる効果を充分に得ることができず、被着体にのり残りを生じさせてしまうことがある。なお、被着体に糊残りを生じさせない程度であれば、気体発生剤から発生した気体の一部が接着性物質中に溶け込んでいたり、気泡として接着性物質中に存在していたりしてもかまわない。
【００２２】
上記接着性物質は、刺激により架橋する架橋成分を含有することが好ましい。上記刺激により架橋する架橋成分としては、例えば、分子内にラジカル重合性の不飽和結合を有してなるアクリル酸アルキルエステル系及び／又はメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーとを主成分とし、必要に応じて光重合開始剤を含んでなる光硬化型接着性樹脂や、分子内にラジカル重合性の不飽和結合を有してなるアクリル酸アルキルエステル系及び／又はメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーとを主成分とし、熱重合開始剤を含んでなる熱硬化型接着性樹脂等からなるものが挙げられる。
【００２３】
上記重合性ポリマーは、例えば、分子内に官能基を持った（メタ）アクリル系ポリマー（以下、官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーという）をあらかじめ合成し、分子内に上記の官能基と反応する官能基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物（以下、官能基含有不飽和化合物という）と反応させることにより得ることができる。
【００２４】
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーは、常温で粘着性を有するポリマーとして、一般の（メタ）アクリル系ポリマーの場合と同様に、アルキル基の炭素数が通常２〜１８の範囲にあるアクリル酸アルキルエステル及び／又はメタクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし、これと官能基含有モノマーと、更に必要に応じてこれらと共重合可能な他の改質用モノマーとを常法により共重合させることにより得られるものである。上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの重量平均分子量は通常２０万〜２００万程度である。
【００２５】
上記官能基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等のカルボキシル基含有モノマー；アクリル酸ヒドロキシエチル、メタクリル酸ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマー；アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有モノマー；アクリル酸イソシアネートエチル、メタクリル酸イソシアネートエチル等のイソシアネート基含有モノマー；アクリル酸アミノエチル、メタクリル酸アミノエチル等のアミノ基含有モノマー等が挙げられる。
【００２６】
上記共重合可能な他の改質用モノマーとしては、例えば、酢酸ビニル、アクリロニトリル、スチレン等の一般の（メタ）アクリル系ポリマーに用いられている各種のモノマーが挙げられる。
【００２７】
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーに反応させる官能基含有不飽和化合物としては、上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの官能基に応じて上述した官能基含有モノマーと同様のものを使用できる。例えば、上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの官能基がカルボキシル基の場合はエポキシ基含有モノマーやイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がヒドロキシル基の場合はイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がエポキシ基の場合はカルボキシル基含有モノマーやアクリルアミド等のアミド基含有モノマーが用いられ、同官能基がアミノ基の場合はエポキシ基含有モノマーが用いられる。
【００２８】
上記多官能オリゴマー又はモノマーとしては、分子量が１万以下であるものが好ましく、より好ましくは光照射による粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、その分子量が５０００以下でかつ分子内のラジカル重合性の不飽和結合の数が２〜２０個のものである。このようなより好ましい多官能オリゴマー又はモノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。その他、１，４−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、市販のオリゴエステル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの多官能オリゴマー又はモノマーは、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００２９】
上記光重合開始剤としては、例えば、２５０〜８００ｎｍの波長の光を照射することにより活性化されるものが挙げられ、このような光重合開始剤としては、例えば、メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体化合物；ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等のケタール誘導体化合物；フォスフィンオキシド誘導体化合物；ビス（η５−シクロペンタジエニル）チタノセン誘導体化合物、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、クロロチオキサントン、トデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等の光ラジカル重合開始剤が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００３０】
上記熱重合開始剤としては、熱により分解し、重合硬化を開始する活性ラジカルを発生するものが挙げられ、具体的には例えば、ジクミルパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエール、ｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、パラメンタンハイドロパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等が挙げられる。なかでも、熱分解温度が高いことから、クメンハイドロパーオキサイド、パラメンタンハイドロパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等が好適である。これらの熱重合開始剤のうち市販されているものとしては特に限定されないが、例えば、パーブチルＤ、パーブチルＨ、パーブチルＰ、パーメンタＨ（以上いずれも日本油脂社製）等が好適である。これら熱重合開始剤は、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００３１】
上記光硬化型接着性樹脂又は熱硬化型接着性樹脂等の後硬化型接着性樹脂は、光又は熱による刺激により接着性樹脂の全体が均一にかつ速やかに重合架橋して一体化するため、重合硬化によるゴム状領域のｔａｎδの減少が著しくなり、粘着力が大きく低下する。更に、上記後硬化型接着性樹脂を含有する上記接着性物質に、光又は熱等による刺激を与えると、接着性物質全体のゴム状領域のｔａｎδが減少して硬化するため、気体発生剤から発生した気体が気泡として接着性物質中に留まりにくくなり、接着性物質外への放出が促進される。
【００３２】
本発明の被着体の分離方法は、上記刺激により接着力が低下する接着性物質により接着された被着体を分離する方法である。
図１に本発明の被着体の分離方法を実施するための装置と、この装置を用いて被着体を分離する手順を示す模式図を示した。図１に示した装置は、紫外線照射装置６と、吸引手段を有する部材７と、吸引手段を有する部材を駆動する手段８と、吸引手段を有する部材７が受けた衝撃を吸収する手段９とを有する。
なお、このような本発明の被着体の分離方法を行うための被着体の分離装置であって、少なくとも、接着性物質の接着力を低下させる刺激又は気体発生剤から気体を発生させる刺激を与える手段と、吸引手段を有する部材と、吸引手段を有する部材を駆動する手段とを有する被着体の分離装置もまた、本発明の１つである。
以下、この図を用いて本発明の被着体の分離方法を詳しく説明する。
【００３３】
図１では、被着体として、ウエハ１を上記接着性物質３を介して透明支持板２に接着したものを用いた。なお、ウエハ１の透明支持板に接着した側の面とは反対側の面にはダイシングテープ４が貼付されている（図１ａ）。
本発明の被着体の分離方法では、まず、上記気体発生剤から気体を発生させる刺激を与えて被着体を接着性物質から剥離させる。
このような被着体では、上述のように、刺激を与えることにより気体発生剤から気体が発生し、発生した気体が被着体から接着性物質の接着面の少なくとも一部を剥がし接着力を低下させるため、容易に被着体を剥離することができる。また、気体を短時間に大量に発生させれば、被着体を接着性物質から自発的に剥離させることもできる。
図１では作業台５上に透明支持板が上になるように静置した被着体に、紫外線照射装置６を用いて透明支持板２側から紫外線を照射することにより、接着性物質３中の気体発生剤から気体が発生し、接着性物質３とウエハ１とが剥離する。気体を短時間に大量に発生させれば、この時点で、接着性物質３が付着した透明支持板２はあたかもウエハ１上に浮いているような状態にある（図１ｂ）。
【００３４】
本発明の被着体の分離方法では、次いで、剥離した被着体を接着性物質に再び接触させることなく分離する。
上述のように刺激を与えることによりいったん剥離した被着体も、被着体を分離する際に接着性物質と接してしまうと、その点を起点として接着面が広がっていき、接着性物質に再び密着してしまい剥離できなくなることがある。特に被着体が平滑である場合にはこの傾向が顕著である。そこで本発明では、いったん剥離した被着体を接着性物質に再び接触させることなく分離する。ここで、被着体を接着性物質に再び接触させないとは、剥離するまでに接着していた位置を基準線としたときに（図１ａ）、被着体を基準線より押し込まずに剥離すること（図１ｂ）を意味する。
【００３５】
このようにいったん剥離した被着体を接着性物質に再び接触させることなく分離する方法としては、被着体を基準線より押し込まないようにピックアップ装置を極めて精密に操作して行う方法がある。また、別の方法としては、例えば、剥離した被着体を、剥離した被着体に直接接触しない位置に設置された吸引手段を有する部材を用いて吸引することにより分離する方法がある。この方法では、上記吸引手段を有する部材を用いて、離れた位置から被着体を吸引することから、被着体を接着性物質と再び密着させる方向に応力がかかることがないので、確実に被着体を分離することができ好適である。
【００３６】
上記吸引手段としては特に限定されないが、減圧による吸引が好適である。例えば、部材に吸引ポンプ等を接続して吸気することにより被着体を吸引することができる。この方法は、被着体の種類によらず行うことが可能である。
また、被着体が磁性を帯びる性質があるものである場合には、磁力による吸引も用いることができる。
なお、ピックアップ手段は、被着体を取り扱いやすいことから、被着体に直接接触させるか直接接触させないかによらず、吸引手段により行うことが好適である。上記吸引手段を有する部材は、被着体と接触させるときに、又は、万一接触してしまった場合であっても、被着体を押し込まないように衝撃を吸収する手段を備えていることが好ましい。このような衝撃を吸収する手段としては特に限定されないが、例えば、バネ等の弾性体を用いることができる。
【００３７】
図１に示した実施態様では、吸引手段を有する部材を駆動する手段８を操作して、吸引手段を有する部材７を剥離した透明支持板２に直接接触しない位置にまで下ろし、次いで吸引手段により透明支持板２を吸引手段を有する部材７に吸引する（図１ｃ）。このとき透明支持板２に付着した接着性物質３をウエハ１に再び密着させる方向に応力がかかることがない。また、吸引時の衝撃は、衝撃を吸収しる手段９により吸収される。
吸引手段を有する部材７としては特に限定されないが、例えば、吸引ポンプに接続された、メッシュ状の吸引口からなる開口部を有する部材等が挙げられる。
【００３８】
最後に吸引手段を有する部材を駆動する手段８を操作して吸引手段を有する部材７を引き上げれば、後にはダイシングテープ４を貼付したウエハ１が残される（図１ｄ）。
【００３９】
本発明の被着体の分離方法によれば、刺激により接着力が低下する接着性物質で接着された被着体に刺激を与えることにより、被着体に損傷を与えることなく容易に被着体を剥離でき、いったん剥離した被着体を接着性物質に再密着させることなく、確実に分離することができる。
【００４０】
【実施例】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
【００４１】
（実施例１）
＜接着性物質の調製＞
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量７０万のアクリル共重合体を得た。
得られたアクリル共重合体を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２−イソシアナトエチルメタクリレート３．５重量部を加えて反応させ、更に、反応後の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、ペンタエリスリトールトリアクリレート４０重量部、光重合開始剤（イルガキュア６５１）５重量部、ポリイソシアネート０．５重量部を混合し接着性物質（１）の酢酸エチル溶液を調製した。
ブチルアクリレート                ７９重量部
エチルアクリレート                １５重量部
アクリル酸                          １重量部
２−ヒドロキシエチルアクリレート    ５重量部
光重合開始剤                    ０．２重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン          ０．０１重量部
【００４２】
更に、接着性物質（１）の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）３０重量部、及び、２，４−ジエチルチオキサントン３．６重量部を混合して、気体発生剤を含有する接着性物質（２）を調製した。
【００４３】
＜被着体の作製＞
接着性物質（１）の酢酸エチル溶液を、両面にコロナ処理を施した厚さ１００μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの片面に乾燥皮膜の厚さが約１５μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、接着性物質（１）層の表面に離型処理を施したエンボスＰＥＴ（凸部間隔３０μｍ）を押しつけることにより、接着性物質（１）層の表面に凹凸模様を形成させた。その後、４０℃、３日間静置養生を行った。
【００４４】
接着性物質（２）の酢酸エチル溶液を、表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムの上に乾燥皮膜の厚さが約５０μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して溶剤を揮発させ塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、接着性物質（２）層の表面に離型処理を施したＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行った。
【００４５】
次いで、接着性物質（１）層を設けたＰＥＴフィルムの接着性物質（１）層のないコロナ処理を施した面と、接着性物質（２）層を設けたＰＥＴフィルムの接着性物質（２）層の面とを貼り合わせた。これにより両面に接着性物質層が設けられ、その表面が離型処理が施されたＰＥＴフィルムで保護された両面粘着テープを得た。両面粘着テープの接着性物質層はいずれも透明であった。
【００４６】
得られた両面粘着テープを用いて、両面粘着テープの接着性物質（２）層を保護するＰＥＴフィルムを剥がし、直径２０ｃｍ、厚さ約７５０μｍのシリコンウエハに貼り付けた後、シリコンウエハの大きさに合わせて両面粘着テープを切断した。次に、接着性物質（１）層を保護するＰＥＴフィルムを剥がし、直径２０．４ｃｍのガラス板を接着性物質層に貼り付けた。接着面は接着直後から強く接着していた。
【００４７】
次いで、ガラス板及び両面粘着テープで補強されたシリコンウエハを研磨装置に取りつけ、シリコンウエハの厚さが約５０μｍになるまで研磨した。
最後に、研磨装置からシリコンウエハを取り外し、ダイシングテープをシリコンウエハの上に貼り付けたものを被着体とした。
【００４８】
＜被着体の分離＞
図１に示した被着体の分離装置を用いて被着体の分離を行った。
被着体をガラス板を上にして静置した後、ガラス板側から超高圧水銀灯を用いて、３６５ｎｍの紫外線をガラス板表面への照射強度が４０ｍＷ／ｃｍ２となるよう照度を調節して２分間照射した。両面粘着テープは、発生した気体により押し上げられて浮き上がり、自ら剥離した。
次いで、吸引手段を有する部材を駆動する手段８により、剥離したガラス板に直接接触しない位置まで吸引手段を有する部材７を下ろし、ガラス板を吸引手段を有する部材７に吸いつけた。
最後に吸引手段を有する部材を駆動する手段８を操作して吸引手段を有する部材７を引き上げたところ、ウエハを破損することなくガラス板をウエハから分離することができた。
【００４９】
【発明の効果】
本発明によれば、いったん剥離した被着体を接着性物質に再密着させることなく、確実に分離することができる被着体の分離方法及びこの方法を行うための被着体の分離装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の被着体の分離方法を実施するための装置及びこの装置を用いて被着体を分離する手順を示す模式図である。
【符号の説明】
１  ウエハ
２  透明支持板
３  接着性物質
４  ダイシングテープ
５  作業台
６  紫外線照射装置
７  吸引手段を有する部材
８  吸引手段を有する部材を駆動する手段
９  吸引手段を有する部材が受けた衝撃を吸収する手段
【図１】
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