(57)【要約】【課題】新規形状または別寸法のマスク部を従来の露光機に取付可能にする。【解決手段】開口部が形成されている外周部を具備し、外周部の外形はマスク搬送用ハンドおよびチャックの形状に対応しており、さらに、円形マスク部の縁部に係合するために開口部と外周部との間に形成された段差部と、マスク部の縁部に形成された一つの係合部に係合するために段差部付近に設けられた一つの位置決め部材とを具備するマスク搬送用トレーが提供される。また、開口部が形成されている外周部を具備し、外周部の外形はマスク搬送用ハンドおよびチャックの形状に対応しており、さらに、マスクが内部に配置されている矩形マスク部の縁部に係合するために開口部と外周部との間に形成された段差部と、矩形マスク部の各辺に係合するために段差部付近に設けられた位置決め部材とを具備するマスク搬送用トレーが提供される。【選択図】　　　図１
2004095883.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部が形成されている外周部を具備し、該外周部の外形はマスク搬送用ハンドおよびチャックの形状に対応しており、
さらに、
円形マスク部の縁部に係合するために前記開口部と前記外周部との間に形成された段差部と、
前記マスク部の縁部に形成された一つの係合部に係合するために前記段差部付近に設けられた一つの位置決め部材とを具備するマスク搬送用トレー。
【請求項２】
開口部が形成されている外周部を具備し、該外周部の外形はマスク搬送用ハンドおよびチャックの形状に対応しており、
さらに、
矩形マスク部の縁部に係合するために前記開口部と前記外周部との間に形成された段差部と、
前記矩形マスク部の各辺に係合するために前記段差部付近に設けられた位置決め部材とを具備するマスク搬送用トレー。
【請求項３】
前記マスク搬送用トレーと前記マスク部とが係合しているときに、前記マスク部の上面が前記マスク搬送用トレーの上面よりも高い位置にあるようにした請求項１または２に記載のマスク搬送用トレー。
【請求項４】
前記マスク部のマスクホルダと同一材料から形成されている請求項１から３のいずれか一項に記載のマスク搬送用トレー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マスクを露光機まで搬送して露光機に取り付けるのに使用されるマスク搬送用トレーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置を製造する際に露光機が用いられている。露光作用前には、マスクまたはレチクルをマスク搬送用ハンドにより露光機まで搬送し、次いでチャック、例えば静電チャックによりマスクを露光機に設置している。このとき、マスク自体をチャックに直接的に取り付けるか、またはマスクに応じた開口部を有するマスクホルダ内にマスクを設置してマスクをマスクホルダと共にチャックに取り付けている。以下、本願明細書においてはマスク自体とマスクを含むマスクホルダとの両方を「マスク部」と呼ぶこととする。露光時には、別の搬送用ハンドによりウェハーを搬送し、露光用ステージにウェハーを位置決めした後に露光を行う。この場合、露光機のマスク搬送用ハンドおよびチャックの形状は使用されるマスク部の形状に応じて定まり、ほとんどの場合には、露光機には一種類のみのマスク搬送用ハンドおよびチャックが設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、複数形状のマスク部を単一の露光機において使用することが望まれる場合、例えば開発段階において新規形状のマスク部または別寸法のマスク部を採用する場合には、これらマスク部に応じた搬送用ハンドおよびチャックが必要とされる。このような場合に、マスク搬送用ハンドおよびチャックを新規形状のマスク部または別寸法のマスク部に応じて取り替えることは作業性が低下するので効率的でなく、さらに追加の費用が必要となるので経済的ではない。
【０００４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、従来の搬送用ハンドおよびチャックを変更することなしに、新規形状のマスク部または別寸法のマスク部を従来の露光機に取付可能にするマスク搬送用トレーを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために請求項１に記載の発明によれば、開口部が形成されている外周部を具備し、該外周部の外形はマスク搬送用ハンドおよびチャックの形状に対応しており、さらに、円形マスク部の縁部に係合するために前記開口部と前記外周部との間に形成された段差部と、前記マスク部の縁部に形成された一つの係合部に係合するために前記段差部付近に設けられた一つの位置決め部材とを具備するマスク搬送用トレーが提供される。
【０００６】
すなわち請求項１に記載の発明によって、別寸法のマスク部をマスク搬送用トレーに取り付けることにより、従来の搬送用ハンドおよびチャックを変更することなしに、別寸法のマスク部を従来の露光機に取り付けることができる。さらに、別寸法のマスク部をマスク搬送用トレー上に単に載せるのが好ましく、この場合には、マスク部をマスク搬送用トレーにネジ留めおよび接着することに伴うパーティクルの発生を妨げることができる。特に請求項１に記載の発明によって別寸法の円形マスク部をマスク搬送用トレー内に容易かつ迅速かつ正確に位置決めすることができる。また、請求項１に記載の発明においては、マスク部に形成される係合部が切欠部であってマスク搬送用トレーに形成される位置決め部材がピンであるのが好ましい。
【０００７】
請求項２に記載の発明によれば、開口部が形成されている外周部を具備し、該外周部の外形はマスク搬送用ハンドおよびチャックの形状に対応しており、さらに、矩形マスク部の縁部に係合するために前記開口部と前記外周部との間に形成された段差部と、前記矩形マスク部の各辺に係合するために前記段差部付近に設けられた位置決め部材とを具備するマスク搬送用トレーが提供される。
【０００８】
すなわち請求項２に記載の発明によって、新規形状のマスク部をマスク搬送用トレーに取り付けることにより、従来の搬送用ハンドおよびチャックを変更することなしに、新規形状のマスク部を従来の露光機に取り付けることができる。さらに、新規形状のマスク部をマスク搬送用トレー上に単に載せるのが好ましく、この場合には、マスク部をマスク搬送用トレーにネジ留めおよび接着することに伴うパーティクルの発生を妨げることができる。特に請求項２に記載の発明によって矩形、例えば正方形のマスク部をマスク搬送用トレー内に容易かつ迅速かつ正確に位置決めすることができる。
【０００９】
請求項３に記載の発明によれば、前記マスク搬送用トレーと前記マスク部とが係合しているときに、前記マスク部の上面が前記マスク搬送用トレーの上面よりも高い位置にあるようにした。
すなわち請求項３に記載の発明によって、マスク部の上面のチャックへの吸着時に、マスク搬送用トレーをチャックに接触させる必要がないので、マスク搬送用トレーの製造を容易に行うことができることができる。すなわち例えばマスク搬送用トレーの上面の表面粗さ等を厳密に管理する必要がない。
【００１０】
請求項４に記載の発明によれば、前記マスク部のマスクホルダと同一材料から形成されている。
すなわち請求項４に記載の発明によって、マスク部がマスクホルダを含んでいる場合に、マスク部をマスク搬送用トレーに取り付ける際の寸法精度を高めることができる。マスク部およびマスク搬送用トレーの材料は例えばＳｉＣまたはアルミニウムである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同一の部材には同一の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図１（ａ）は本発明の第一の実施形態に基づくマスク搬送用トレーの正面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）に示されるマスク搬送用トレーを露光機のチャックに吸着させる際の断面図である。図１（ａ）に示されるように、マスク搬送用トレー１０内にマスク部２０が設置されている。前述したように本発明における「マスク部」は新規形状および別寸法のマスク自体とマスクを含むマスクホルダとの両方を意味するものとする。マスク搬送用トレー１０はリング型部材であり、ＳｉＣまたはアルミニウムから形成されている。図１（ａ）および図１（ｂ）に示されるマスク搬送用トレー１０の外径は約２０１ｍｍ（８インチ）であってマスク部２０の外径は約１００ｍｍ（４インチ）を想定している。マスク搬送用トレー１０の外周部にはフランジ１９が設けられており、フランジ１９の下面が露光機（図示しない）のチャック５０から延びるフック５１に係合するように寸法決めされている。またマスク搬送用トレー１０内には開口部３０（図示しない）がマスク搬送用トレー１０の中心軸線上に形成されている。図１（ｂ）に示されるように開口部３０の縁部は段差部３１より形成されている。すなわち段差部３１はマスク搬送用トレー１０の外周と開口部３０との間に形成されている。この段差部３１はマスク部２０の縁部２９、例えばマスク部２０の段差部と係合するときに隙間がほとんど生じないように形成されている。
【００１２】
さらに、図１（ａ）に示されるように、マスク部２０の周囲部には切欠またはノッチ２５が形成されている。また位置決め部材１８がマスク搬送用トレー１０の開口部３０の内面付近に位置決めされている。この位置決め部材１８は例えば開口部３０の内壁に取り付けられたピンでありうる。図１（ａ）に示されるように、マスク部２０設置時には、マスク部２０のノッチ２５とマスク搬送用トレー１０の位置決め部材１８とを単に係合させることにより、マスク部２０をマスク搬送用トレー１０内に容易かつ迅速かつ正確に位置決めすることができる。このときマスク搬送用トレー１０の中心軸線とマスク部２０の中心軸線とが一致しうる。次いで、マスク部２０を備えたマスク搬送用トレー１０を露光機（図示しない）に設置する。このとき、フランジ１９の下面が露光機のチャック５０から延びるフック５１に係合する。次いで、このフック５１がマスク部２０と共にマスク搬送用トレー１０を上方（図１（ｂ）における矢印方向）に引き上げる。マスク部２０の上面がチャック（図示しない）に接触した後に、チャック５０、例えば静電チャックを駆動させてマスク部２０の上面をチャックに吸着させる。
【００１３】
本実施形態においては、別寸法のマスク部２０、例えば直径約１００ｍｍ（４インチ）の円形のマスク部２０を本実施形態のマスク搬送用トレー１０に取り付けることにより、従来の搬送用ハンドおよびチャックを変更することなしに、別寸法のマスク部２０を従来の露光機、例えば外径２０１ｍｍ（８インチ）のマスクを想定した露光機に取り付けることができる。さらに、別寸法のマスク部をマスク搬送用トレー１０上に単に載せるのが好ましく、この場合には、マスク部２０をマスク搬送用トレー１０にネジ留めおよび接着することに伴うパーティクルの発生を妨げることができる。特に本実施形態においては別寸法の円形マスク部をマスク搬送用トレー内に容易かつ迅速かつ正確に位置決めすることができる。
【００１４】
また、図１（ｂ）に示されるように、マスク部２０の係合時において、マスク部２０の上面がマスク搬送用トレー１０の上面よりも上方に位置するように、段差部３１を寸法を選択するのが好ましい。これにより、マスク部２０を備えたマスク搬送用トレー１０を露光機（図示しない）に取り付けるときに、露光機のチャック（図示しない）、例えば静電チャックにはマスク部２０の上面のみを吸着させることで足りる。この場合には、マスク搬送用トレー１０の上面をチャックに吸着させる必要がないので、マスク搬送用トレーを製造する際に例えばマスク搬送用トレーの上面の表面粗さ等を厳密に管理することなしに、マスク搬送用トレー１０を容易に形成することができる。
【００１５】
さらに、マスク部２０が前述したマスクホルダを含んでいる場合には、マスク搬送用トレー１０はマスクホルダと同一の材料、例えばＳｉＣまたはアルミニウムから形成されるのが好ましい。これにより、マスクホルダをマスク搬送用トレーに取り付ける際の寸法精度を高めることができる。
【００１６】
図２（ａ）は本発明の第二の実施形態に基づくマスク搬送用トレーの正面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）に示されるマスク搬送用トレーを露光機のチャックに吸着させる際の断面図である。これら図面に示されるマスク搬送用トレー１１の外径は前述したマスク搬送用トレー１０の外径と同一であり、前述したのと同様なフランジ１９がマスク搬送用トレー１１に設けられている。図２（ａ）においてはＳｉＣまたはアルミニウムから形成されるマスク搬送用トレー１１内にマスク部２１が設置されている。マスク搬送用トレー１１もリング型部材である。図２（ａ）および図２（ｂ）に示されるマスク部２１は一辺が約１５２ｍｍ（６インチ）の正方形を想定している。マスク搬送用トレー１１内には開口部３０（図示しない）がマスク搬送用トレー１１の中心軸線上に形成されている。図２（ｂ）に示されるように、開口部３０の縁部は段差部３１より形成されている。すなわち段差部３１はマスク搬送用トレー１０の外周と開口部３０との間に形成されている。この段差部３１はマスク部２０の縁部２９、例えばマスク部２０の段差部と係合するときに隙間がほとんど生じないように形成されている。
【００１７】
前述したようにマスク搬送用トレー１１の外径はマスク搬送用トレー１０の外径と等しく、またマスク搬送用トレー１１の厚さもマスク搬送用トレー１０の厚さに等しい。図２（ａ）に示されるようにマスク搬送用トレー１１の厚さ部分の一部は除去されており、これにより水平面に対して平行な表面１３とこの表面１３から上方に突出する四つの突出部１２が形成されている。これら突出部１２は互いに同一形状であって各突出部１２の断面は円弧部１２Ａと弦部１２Ｂとから形成されている。図２（ａ）に示されるように、各突出部１２のこれら弦部１２Ｂは隣接する弦部１２Ｂに対して垂直に配置されている。さらに各突出部１２の各弦部１２Ｂには位置決め部材４０が設けられている。
【００１８】
マスク部２１をマスク搬送用トレー１１上に設置する際には、始めにマスク部２１を回転させつつ四つの各突出部１２によってマスク部２１のおおよその位置合わせを行う。次いで、位置決め部材４０によって比較的精密な位置合わせを行いつつマスク部２１をマスク搬送用トレー１１の表面１３上に設置する。例えば、前述したように外径２０１ｍｍ（８インチ）のマスク搬送用トレー１１に対して一辺が１５２ｍｍ（６インチ）の正方形のマスク部２１を使用する場合には、マスク部２１の頂点付近がマスク搬送用トレー１１から突出する。このようにマスク部２１の一部のみがマスク搬送用トレー１１から突出する場合には、本実施形態のマスク搬送用トレー１１を使用するのに問題は生じない。このこととは反対に、マスク部２１の外周全体がマスク搬送用トレー１１から突出する場合には位置決め部材４０を設置できないので本実施形態のマスク搬送用トレー１１を使用することはできない。前述した実施形態と同様に、係合時にはマスク搬送用トレー１１の中心軸線とマスク部２１の中心軸線とが一致しうる。
【００１９】
次いで、マスク部２１を備えたマスク搬送用トレー１１を露光機（図示しない）に設置する。このとき、フランジ１９の下面が露光機のチャック５０から延びるフック５１に係合する。次いで、このフック５１がマスク部２１と共にマスク搬送用トレー１１を上方（図２（ｂ）における矢印方向）に引き上げる。マスク部２１の上面がチャック（図示しない）に接触した後に、チャック５０、例えば静電チャックを駆動させてマスク部２１の上面をチャックに吸着させる。
【００２０】
本実施形態においては、新規形状のマスク部２１、例えば一辺が１５２ｍｍ（６インチ）の正方形のマスク部２１をマスク搬送用トレー１１に取り付けることにより、従来の搬送用ハンドおよびチャックを変更することなしに、新規形状のマスク部２１を従来の露光機、例えば外径２０１ｍｍ（８インチ）のマスクを想定した露光機に取り付けることができる。さらに、新規形状のマスク部をマスク搬送用トレー１１上に単に載せるのが好ましく、この場合には、マスク部２１をマスク搬送用トレー１１にネジ留めおよび接着することに伴うパーティクルの発生を妨げることができる。特に本実施形態によって矩形、例えば正方形のマスク部をマスク搬送用トレー内に容易かつ迅速かつ正確に位置決めすることができる。
【００２１】
また前述した実施形態と同様に、図２（ｂ）に示されるように、マスク部２１の係合時において、マスク部２１の上面がマスク搬送用トレー１１の各突出部１２の上面よりも上方に位置するように、段差部３１の寸法を選択するのが好ましい。これにより、マスク部２１を備えたマスク搬送用トレー１１を露光機（図示しない）に取り付けるときに、露光機のチャック（図示しない）、例えば静電チャックにはマスク部２１の上面のみを吸着させることで足りる。この場合には、マスク搬送用トレー１１の上面をチャックに吸着させる必要がないので、マスク搬送用トレーを製造する際に例えばマスク搬送用トレーの上面の表面粗さ等を厳密に管理することなしに、マスク搬送用トレー１１を容易に形成することができる。
【００２２】
さらに、マスク部２１が前述したマスクホルダを含んでいる場合には、マスク搬送用トレー１１はマスクホルダと同一の材料、例えばＳｉＣまたはアルミニウムから形成されるのが好ましい。これにより、マスクホルダをマスク搬送用トレーに取り付ける際の寸法精度を高めることができる。
【００２３】
前述したマスク搬送用トレーはその外形が円形である場合を想定しているが、マスク搬送用トレーの形状が従来型の露光機のチャックなどに取付可能な他の形状の場合も本発明の範囲に含まれるのは明らかである。
【００２４】
【発明の効果】
各請求項に記載の発明によれば、従来の搬送用ハンドおよびチャックを変更することなしに、新規形状のマスク部または別寸法のマスク部を従来の露光機に取り付けることができるという共通の効果を奏しうる。
【００２５】
さらに、請求項１に記載の発明によれば、別寸法の円形マスク部をマスク搬送用トレー内に容易かつ迅速かつ正確に位置決めすることができるという効果を奏しうる。
さらに、請求項２に記載の発明によれば、矩形マスク部をマスク搬送用トレー内に容易かつ迅速かつ正確に位置決めすることができるという効果を奏しうる。さらに、請求項３に記載の発明によれば、マスク搬送用トレーの製造を容易に行うことができるという効果を奏しうる。
さらに、請求項４に記載の発明によれば、マスクホルダをマスク搬送用トレーに取り付ける際の寸法精度を高めることができるという効果を奏しうる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）本発明の第一の実施形態に基づくマスク搬送用トレーの正面図である。
（ｂ）図１（ａ）に示されるマスク搬送用トレーを露光機のチャックに吸着させる際の断面図である。
【図２】（ａ）本発明の第二の実施形態に基づくマスク搬送用トレーの正面図である。
（ｂ）図２（ａ）に示されるマスク搬送用トレーを露光機のチャックに吸着させる際の断面図である。
【符号の説明】
１０…マスク搬送用トレー
１１…マスク搬送用トレー
１２Ａ…円弧部
１２Ｂ…弦部
１２…突出部
１８…位置決め部材
１９…フランジ
２０…マスク部
２１…マスク部
２５…ノッチ
２９…縁部
３０…開口部
３１…段差部
４０…位置決め部材
【図１】
2004095883.tif 000003
【図２】
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