(57)【要約】【課題】対物レンズ調整装置に関し、位置調整作業の作業性を良好にし、かつ、調整精度を高めることを目的とする。【解決手段】対物レンズを構成する複数の単位レンズの光軸方向の相対位置を、基準となるコヒーレント光を照射した時の前記対物レンズの結像位置に配置した回折格子を有する反射媒体からの戻り光を観察することによって調整する対物レンズ調整装置であって、前記戻り光の回折光により対物レンズの反射媒体上への集焦を確認する回折光検出部と、前記反射媒体の光軸方向の変位を前記コヒーレント光の反射光によって媒体変位信号として検出する媒体変位検出部と、前記反射媒体を光軸方向に移動させる反射媒体移動手段とを有し、前記反射媒体移動手段が、前記回折光検出部における集焦確認時における媒体変位信号値を目標値としてフィードバック駆動され、単位レンズ間の位置調整により生じた焦点ずれが自動補正されるように構成する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズを構成する複数の単位レンズの光軸方向の相対位置を、基準となるコヒーレント光を照射した時の前記対物レンズの結像位置に配置した回折格子を有する反射媒体からの戻り光を観察することによって調整する対物レンズ調整装置であって、
前記戻り光の回折光により対物レンズの反射媒体上への集焦を確認する回折光検出部と、
前記反射媒体の光軸方向の変位を前記コヒーレント光の反射光によって媒体変位信号として検出する媒体変位検出部と、
前記反射媒体を光軸方向に移動させる反射媒体移動手段とを有し、
前記反射媒体移動手段が、前記回折光検出部における集焦確認時における媒体変位信号値を目標値としてフィードバック駆動され、単位レンズ間の位置調整により生じた焦点ずれが自動補正される対物レンズ調整装置。
【請求項２】
前記フィードバック制御は、前記回折光検出部が最大回折光量を検出した際の媒体変位検出部における媒体変位信号値を参照信号とする請求項１記載の対物レンズ調整装置。
【請求項３】
前記回折光検出部は、２分割フォトディテクタを用いたプッシュプル法によって対物レンズの反射媒体上への集焦を検出する請求項１または２記載の対物レンズ調整装置。
【請求項４】
前記媒体変位検出部における媒体変位信号には、フォーカスエラー信号が使用される請求項１、２または３記載の対物レンズ調整装置。
【請求項５】
前記反射媒体の回折格子の間隔Ｐ（μｍ）は、前記コヒーレント光の波長をλ（μｍ）、対物レンズの開口数をＮＡとしたときに
１×λ／ＮＡ＞Ｐ＞０．９×λ／ＮＡ
の関係を満たすことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の対物レンズ調整装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、対物レンズ調整装置に関し、特に、光学式記録再生装置で使用する、対物レンズを構成する２群以上のレンズ同士を極めて高精度に相対位置決めする対物レンズ調整装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年の光学式記録装置は記録密度を増加させるため、対物レンズの高ＮＡ化が急速に普及してきているが、一方で、光ディスク装置の種類によっては単晶レンズでの高ＮＡ化が困難になってきており、２群以上のレンズで構成される複合対物レンズが使用されるに至っている。
【０００３】
しかし、複合対物レンズにおいては、各レンズによって生じた収差が残留すると光学特性が劣化し、安定した記録再生が出来なくなる。このため各レンズ群の収差を除去するためにサブミクロンの精度を有する調整を行なう必要がある。
【０００４】
そして、このような調整を行って複数群のレンズを正しい位置関係に調整する対物レンズ調整装置としては、従来、図１２に示すものが使用されている。
【０００５】
この従来例において、調整装置は、レンズホルダ１ａ内に第１、第２レンズ２Ａ、２Ｂを相対位置可変に保持可能なレンズ位置調整手段８と、反射媒体移動手段６により上記レンズの光軸方向に移動可能な回折格子を有する反射媒体３を備え、対物レンズ１を構成する第１、第２レンズ２Ａ、２Ｂの位置調整は、基準となるコヒーレント光を発光源１２から対物レンズ１に照射し、対物レンズ１の結像位置に予め位置調整されて配置される反射媒体３からの反射回折光を撮像装置９を介して観察することにより行なわれる。
【０００６】
ところで、上記第１、第２レンズ２Ａ、２Ｂの相対位置を変化させると、対物レンズ１の結像位置が変化してしまうが、反射回折光を用いてレンズの収差を計測する場合には、反射媒体３の位置は常に対物レンズ１の結像位置でなければならないため、第１、第２レンズ２Ａ、２Ｂの相対位置を変化させた場合には、必ず反射媒体３の位置を調整する必要がある。
【０００７】
そして、この反射媒体３の位置調整は、従来、戻り光の平行度をモニタすることで行い、具体的には、光軸上にビームスプリッタ１０を設置し、分岐させた戻り光の一つをオートコリメータ１１を用いて検出し、この光点の大きさが最小になる点、すなわち戻り光が平行となる点をモニタすることにより行われる。なお、図１２において１４は撮像装置９からの出力に基づいてレンズ位置調整手段８を駆動する制御部を示す。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、オートコリメータ１１を使用して反射媒体３の位置をモニタする従来例においては、以下の問題がある。先ず、オートコリメータ１１により検出される光点が最小となる反射媒体３の位置を探索するためには、オートコリメータ１１からの出力を画像処理装置１２によって２値化などの画像処理によって計測し、これが最小となるように反射媒体３を移動させる必要がある。２値化による光点の最小点探索は、精度を高めるため、反射媒体３をある範囲で数ポイント移動させ、それぞれの位置での光点の画素を候補点として近似式を計算し、最適解を求めることにより実現されるが、この操作は、第１、第２レンズ２Ａ、２Ｂの相対位置を変える毎に行なう必要があり、実装タクトを延伸させる原因となる。また、２値化による画素の計測誤差によって、正確な平行度を検出することが出来ないという問題がある。
【０００９】
本発明は、以上の欠点を解消すべくなされたものであって、位置調整作業の作業性が良好で、かつ、調整精度の高い対物レンズ調整装置の提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
図１に本発明の原理説明図を示す。ここでは、説明のため、レンズ群の数を２個としている。
【００１１】
レンズ位置調整手段８によって支持されている第１レンズ２Ａおよびレンズホルダ１ａによって固定されている第２レンズ２Ｂによって構成されている対物レンズ１（図２参照）に対して発光源１２からコリメートレンズ１３を通してコヒーレント光を照射する。
【００１２】
コヒーレント光は対物レンズ１によって結像し、回折格子を有する反射媒体３によって結像光の一部あるいは全部が反射され、復路を形成する。復路中にはビームスプリッタ１５があって戻り光の一部を９０°反射させている。反射光の先には、ビームスプリッタ１６、１７があり、さらに光路を分岐している。ビームスプリッタ１７で分岐したそれぞれの光路上には回折光検出部４と、反射媒体３からの反射光によって反射媒体３光軸方向の変位を検出する媒体変位検出部５が設けられる。
【００１３】
また、ビームスプリッタ１６によって分岐した光路上には撮像装置９があって反射媒体３からの０次回折光と±１次回折光の干渉によって生ずる明暗パターンの映像を取得している。
【００１４】
レンズの位置決めは、第１レンズ２Ａに対する第２レンズ２Ｂの相対位置を調整して行なう。対物レンズ１の収差を除去する手順を以下に示す。まず、第１、第２レンズ２Ａ、２Ｂと反射媒体３を暫定的に位置決めした状態で、反射媒体３を格子に対して直角方向に揺動させる。次にコヒーレント光を対物レンズ１に照射すると、０次回折光と±１次回折光が生ずる。この０次回折光と±１次回折光が重なる領域には、レンズの収差があると、明暗の干渉縞が発生する。これを撮像装置９によって取得し、これを基に、０次回折光と１次回折光が干渉する領域が一様な強度分布になるように第１レンズ２Ａを支持しているレンズ位置調整手段８を用いて第１レンズ２Ａを移動させる。
【００１５】
この動作では第１レンズ２Ａおよび第２レンズ２Ｂの相対位置が変化するため、対物レンズ１の焦点位置が変化する。収差を補正する際は、反射媒体３の位置は対物レンズ１の焦点位置に設置する必要があるため、反射媒体３の位置補正を行なわなければならない。
【００１６】
反射媒体３を対物レンズ１の焦点位置に移動させる手段を以下に示す。反射媒体３が対物レンズ１の焦点位置に無い場合は、反射光量が低下するため、回折光検出部４での光量が減少する。回折光検出部４に後述するプッシュプル法を使用する図１においては、回折光検出部４における光量減少は、２分割フォトディテクタ７で検出されるプッシュプル信号の振幅の縮小として検出される。
【００１７】
したがってこの反射回折光量（プッシュプル波形の振幅）が最大になる位置に反射媒体３を調整すればよいが、第１レンズ２Ａおよび第２レンズ２Ｂの位置調整を行なう毎に反射回折光量の最大値を探索することは、調整時間が延伸する原因となるため、回折光検出部４での光量が最大となる位置を媒体変位信号として媒体変位検出部５において別途記憶する。非点収差法によるフォーカスエラー信号を媒体変位信号として使用する図１において、上記プッシュプル信号を検出し、この振幅が最大となる反射媒体３の位置が４分割フォトディテクタ１８で検出される。なお、図１において１９は円筒レンズを示す。
【００１８】
この結果、対物レンズ１を構成するレンズ群の相対位置を変化させ、対物レンズ１の焦点位置が変化しても、４分割フォトディテクタ１８による演算信号（フォーカスエラー信号）が、プッシュプル信号が最大となったときの値と一致するように、反射媒体３を移動させればよく、この動作を繰り返し行なうことで、収差のないレンズ群の相対位置を決定することができる。
【００１９】
したがってこの発明において、２群以上で構成される各レンズ群の光軸方向の相対位置を調整することで対物レンズ１の結像位置が変化しても、反射媒体３からの回折光の光量が最大となるように反射媒体移動手段６を用いて位置調整することができ、対物レンズ１の結像位置と反射媒体３の位置を一致させることができる。
【００２０】
また、媒体変位検出部５は、反射媒体３からの反射回折光が最大となった時の媒体変位信号を検出し、これを基準値とすることで、レンズ群の相対距離が変化した場合でも再度反射回折光の最大値を探索することなく、反射媒体３の位置と対物レンズ１の焦点位置を一致させることができる。さらに、この基準値をリファレンス信号としてフィードバック回路２３を経由して反射媒体移動手段６にフィードバックさせることで、レンズ群の相対位置が変化しても反射媒体３をその結像位置に自動追従させることが可能となる。
【００２１】
上記フィードバック制御での参照信号には、媒体変位検出部５が反射媒体３からの回折光が最大になる位置において検出した媒体変位信号を使用することができる。このように構成する利点の１つは、媒体変位検出部５の取り付け位置による検出信号の偏差（いわゆるフォーカスオフセット）の影響を受けることがない点にある。すなわち、反射媒体３からの反射による１次回折光が最大になる反射媒体３位置でのフォーカス信号を参照するため、これを予めオフセット量として前記フィードバック回路２３に注入すれば、偏差を除去するための媒体変位検出部５の厳密な取り付け精度を緩和することができる。
【００２２】
また、実装するレンズのロットが変わるなどして多少の特性変化が生じた結果オフセット量が変化するような場合においても、反射媒体３からの回折光が最大となるときのオフセット量をわずか１回計測することにより、対応できる。
【００２３】
一方、上記回折光検出部４における最大反射光量の検出は、２分割フォトディテクタ７を用いたプッシュプル法によって得られるプッシュプル波形の最大振幅を検出することにより達成できる。図３に示すように、プッシュプル波形は、反射媒体３を任意の周期で回折格子と直角方向に振動させて得られる連続した波形であり、ビームシフトや、反射媒体３の傾きなどによる直流オフセットを含むが、本発明においては、プッシュプル波形の最大振幅のみに着目される。この結果、オフセットを除去するためのディテクタの位置調整などは全く必要がなくなる上に、振幅の最大値探索は、市販の安価なＡ／Ｄ変換ボードにおいても容易に実現できる。
【００２４】
さらに、媒体変位検出部５における媒体変位検出信号には、フォーカスエラー信号が使用できる。フォーカスエラー信号の取得には、非点収差法、あるいはナイフエッジと２分割フォトディテクタ７を用いたナイフエッジ法、あるいはナイフエッジ法を２重に応用したウエッジプリズムと４分割フォトディテクタ１８が利用できる。
【００２５】
図１にも示した非点収差法による媒体変位検出信号の取得には、図４に示すような４分割フォトディテクタ１８を用い、円筒レンズ１９を含む光学素子を介して各ディテクタＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄに分割して入射させ、得られる信号を
Ｆｅｓ＝（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）
と演算することで、反射媒体３の焦点ずれを検出することができる。すなわち、反射媒体３が焦点位置にある場合には、図４（ｂ）に示すように、各ディテクタＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄには等しい光量の入射光が入射するために、Ｆｅｓは０となり、これに対して、図４（ａ）、（ｃ）に示すように、反射媒体３が焦点位置からずれている場合には、分割線の交点に対して上下の光量の和と左右の光量の和が相違するために、Ｆｅｓは０とならないために、Ｆｅｓの値により合焦が確認できる。反射媒体３が対物レンズ１の焦点位置にあるにもかかわらず、入射ビーム中心が、４分割フォトディテクタ１８中心にないときは、フォーカスオフセットが発生する。この場合においても、プッシュプル波形が最大となるときのＦｅｓを基準とすることで、対物レンズ１の焦点位置に反射媒体３を移動させることができる。
【００２６】
図５に、ナイフエッジ法による反射媒体位置検出の原理図を示す。光学素子２０によって、反射媒体３からの戻り光を集光し、その焦点位置に２分割フォトディテクタ７の分割線が一致するようにを設置している。さらに光学素子２０および２分割フォトディテクタ７の間にナイフエッジ２１を適切な位置に配置し、収束光の一部を隠蔽する。
【００２７】
反射媒体３が対物レンズ１の焦点位置にあるときは、図５（ｃ）に示すように、光学素子で収束された光のうち、ナイフエッジ２１で隠蔽されていない領域の光が２分割フォトディテクタ７上に結像するが、結像位置は、フォトディテクタ７の分割線上にあるため、各ディテクタＡの差すなわちＦｅｓ＝Ａ−Ｂの出力は０となる。また、図５（ｂ）に示すように、反射媒体３が対物レンズ１の焦点位置より近い場合、光学素子の焦点は、合焦時に比べて遠くなるため、ディテクタにのみ入射し、その結果、Ｆｅｓ出力は正となる。逆に、図５（ｄ）に示すように、反射媒体３位置が対物レンズ１の焦点位置より遠い場合、光学素子の焦点は、合焦時に比べて近くなるため、入射光はディテクタＢのみに入射し、その結果、Ｆｅｓ出力は負となる。従って、Ｆｅｓ出力の値から反射媒体３の位置を検出することができる。
【００２８】
図６に、ナイフエッジ法の原理を用いたウェッジプリズム及び４分割フォトディテクタ１８による反射媒体３の位置検出手段を示す。光学素子２０と４分割フォトディテクタ１８の間に、ウェッジを有する光学素子をそれぞれ対向する向きに張り合わせたウェッジプリズム２２を設置する。反射媒体３からの戻り光が光学素子２０によって集光し、このウェッジプリズム２２により２方向に分岐した各結像点に４分割フォトディテクタ１８の分割線がくるように、設置している。４分割フォトディテクタ１８、４個の検出部１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄで構成され、フォーカスエラー信号Ｆｅｓは、各ディテクタ出力Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを用いて
Ｆｅｓ＝（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）
と演算する。
【００２９】
図６（ｃ）に示すように、反射媒体３が、対物レンズ１の焦点位置にあるときは、ウェッジプリズム２２で分岐した戻り光は、分割線を中心に各検出部に均等に入射するため、得られるＦｅｓは０となる。また、図６（ｂ）（ｄ）に示すように、反射媒体３の位置が対物レンズ１の焦点位置にないときは、反射媒体３からの戻り光は、対角上に配置された２つの検出部に半円状に入射し、他方の検出部には入射しない。従ってこのときのＦｅｓは、正あるいは負になるため、反射媒体３が対物レンズ１の焦点位置にないことを検出できる。
【００３０】
さらに、回折格子の間隔Ｐは、±１次光同士の重なり具合に影響し、基準となるコヒーレント光を照射した時の前記対物レンズ１の結像位置に配置した回折格子を有する反射媒体３からの反射回折光を観察する場合には、＋１次回折光と±１次回折光が重なり過ぎると、回折光の強度分布を測定の際に±１次回折光の輪郭部分の解析精度が低下し、正確な計測ができなくなる。また±１次回折光が離れすぎると、０次回折光と±１次回折光の重なる領域が減少し、解析に必要な情報量が減少してしまう。
【００３１】
このため、良好な解析結果を得るためには、反射媒体３の回折格子の間隔Ｐ（μｍ）は、コヒーレント光の波長をλ（μｍ）、対物レンズ１の開口数をＮＡとしたときに
１×λ／ＮＡ＞Ｐ＞０．９×λ／ＮＡ
の関係を満たすように設定するのが望ましい。
【００３２】
【発明の実施の形態】
図７に本発明が適用されたレンズ実装機を示す。この実施の形態において、第１レンズ２Ａおよび第２レンズ２Ｂはそれぞれパレット２４ａ、２４ｂに収納されている。各レンズ２Ａ、２Ｂを把持するハンドはエアチャック２５ａ、２５ｂにより操作され、これらは５軸の自由度（ｘ、ｙ、ｚ、θｙ、θｚ）を有する自動ステージ群２６ａ、２６ｂに搭載されている。第１レンズ２Ａ用の自動ステージ群２６ａおよび第２レンズ２Ｂ用の自動ステージ群２６ｂは、エアーテーブル２７ａ、２７ｂの上に搭載され、図７に示す実装調整部と、エアチャック２５ａ、２５ｂがパレット２４ａ、２４ｂに正対するパレット搭載部との間を往復する。反射媒体３および反射媒体移動手段６は、エアスライダ２８に固定されており、通常は実装機下部に格納されている。
【００３３】
光源部２９は、ここでは図示していない発光素子（発光源１２）、コリメータレンズ１３、およびビームスプリッタ１５、１６、１７で構成されており、ビームスプリッタ１５、１６、１７によって光軸を９０°反射させた先に２分割フォトディテクタ７、円筒レンズを含む光学素子および４分割フォトディテクタ１８、撮像装置９がそれぞれ設置されている。
【００３４】
各レンズ２Ａ、２Ｂのチルトは、オートコリメータ１１によって検出し、自動ステージ群２６ａ、２６ｂで調整可能である。各レンズ２Ａ、２Ｂの光軸合わせは視覚認識によって行い、このための撮像機３０が、オートコリメータ１１とともに、エアテーブル３１の上に搭載され、随時切替出来るようになっている。
【００３５】
なお、図７において３３は制御部１４からの指令により駆動されて自動ステージ群２６ａ、２６ｂ等を制御するステージコントローラを、３４は画像処理装置を示す。
【００３６】
実装手順は、図８に示すように、前準備工程、基準フォーカスエラー信号取得工程、調整工程の順に行われる。まず、前準備工程において、図９に示すように、ユーザが第１レンズ２Ａおよび第２レンズ２Ｂを収納したパレット２４ａ、２４ｂを実装機にセットすることから開始される。次にエアテーブル２７ａ、２７ｂを操作し、各自動ステージ群２６ａ、２６ｂをパレット２４ａ、２４ｂ側へ移動させ、所望の位置にレンズ把持ハンドが来るように自動ステージ群２６ａ、２６ｂでハンドの位置調整を行なう。エアチャック２５ａ、２５ｂを操作し、各レンズ２Ａ、２Ｂを把持した後、エアテーブル２７ａ、２７ｂを操作し、レンズ実装調整部へ自動ステージ群２６ａ、２６ｂを移動させる。なお、以下の説明において、図９〜１１のフローチャートとの対比を取りやすくするために、フローチャート中で示した手順の適数を説明文中でかっこつきで示す。
【００３７】
各レンズ２Ａ、２Ｂは水平把持された状態から、ロータリアクチュエータ３２ａ、３２ｂによって、その光軸が基準光軸と同一の向きになるように姿勢変更される（第１レンズチルト調整）。このとき、第１レンズ２Ａには、ここでは図示していない紫外線硬化型の接着剤を適量塗布しておく。レンズの煽りは、予め光源部２９からの出射光軸を基準に調整されたオートコリメータ１１によって計測し、自動ステージ群２６ａ、２６ｂによって既定値以下の姿勢に補正する。この場合、レンズ外周の平坦部（通称コバ部）からの戻り光を参照するなどの手段を取る。第２レンズ２Ｂについても同様の手順により、チルト補正を行なう（第２レンズ２Ｂチルト調整）。
【００３８】
各レンズ２Ａ、２Ｂ同士の光軸合わせは、以下のように行なう。エアテーブル３１によってオートコリメータ１１と撮像機３０を交換する。最初、第１レンズ２Ａを把持するエアチャック２５ａの位置を自動ステージ群２６ａを操作して移動させ、第１レンズ２Ａを光源部２９と撮像機３０の軸上に設置する。光源部２９からコヒーレント光を照射すると、第１レンズ２Ａの焦点位置に結像する。この結像ポイントを撮像機３０によって認識する。撮像機３０は、結像光を光点として認識するが、これを２値化などの画像処理を行なって重心位置の座標を演算する（第１レンズ結像座標値取得）。次に第２レンズ２Ｂの位置を自動ステージ群２６ｂを操作して移動させ、第１レンズ２Ａと撮像機３０の間の所定位置に設置する。このとき、コヒーレント光は、第１レンズ２Ａおよび第２レンズ２Ｂを通して結像するので、この結像点を同様に撮像機３０で認識する（第２レンズ結像座標位置取得）。この結像ポイントが、第１レンズ２Ａのみで結像した座標と一致するように、第２レンズ２Ｂを移動させることによって、レンズ群を同一光軸上に位置決めすることができる（第２レンズ位置補正）。
【００３９】
上記前準備工程に続く基準フォーカスエラー信号取得工程は、以下の手順で行なう（図１０参照）。まず、レンズ２Ａ、２Ｂが暫定位置にある状態で反射媒体移動手段６を操作して、対物レンズ１の結像位置近傍に設置する（反射媒体暫定位置決め）。次に第１レンズ２Ａを光軸方向に移動させ、反射媒体３からの反射回折光をプッシュプルの信号して２分割フォトディテクタ７で捉える。さらにこのプッシュプル信号の振幅が最大となる位置に反射媒体３を移動させる。この状態は、反射媒体３の位置が対物レンズ１の焦点位置と一致している状態であるため、この時の反射媒体３の位置を円筒レンズを含む光学素子および４分割フォトディテクタ１８を用いた非点収差法で検出する（基準フォーカスエラー信号（Ｆｅｓ０）取得）。この非点収差法で演算されるフォーカスエラー信号が、プッシュプル振幅が最大点において０にならず、偏差が生じた場合においても、この偏差を基準値とすればよい。
【００４０】
次に調整工程は、図１１に示すように、第１レンズ２Ａの位置を調整しながら回折パターン解析の最適位置を探索することにより行われる。収差の調整において、レンズ２Ａ、２Ｂの間隔が変化し焦点位置が変わっても、上記フォーカスエラー信号が常に基準値となるように反射媒体３を移動させる（反射媒体位置補正）ことで、ジャストフォーカス点を維持することができる。従ってプッシュプル信号の最大値探索は、一度行なうだけでよく、以降はフォーカスエラー信号のみを参照すればよい。
【００４１】
また調整で使用する回折格子の格子間隔は、例えば対物レンズ１のＮＡを０．８５、コヒーレント光の波長λを０．４０５μｍとすると、０．４０５／０．８５＝０．４７６μｍの場合に光の位相が重なり、強度が最も強くなる。しかしレンズ群の間隔を調整した場合に、ＮＡが変動し、±１次回折光同士が重なってしまう場合がある。このとき撮像装置９１５で検出する回折光の強度分布の解析精度が低下するため、格子間隔は、０．４７６よりわずかに小さくしておき、ＮＡが多少変動しても、±１次回折光同士が重ならないようにしてある。
【００４２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、反射媒体から得られる反射回折光の映像を常に反射媒体が対物レンズの結像位置にあるときに得ることができるので、対物レンズを構成する複数群のレンズの相対位置によって焦点距離が変化しても、この変化に依存しない、極めて安定した映像を取得することができ、高精度なレンズ位置決め調整が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理を示す図である。
【図２】対物レンズを示す図で、（ａ）はレンズホルダの斜視図、（ｂ）は対物レンズの断面斜視図である。
【図３】プッシュプル信号を示す図である。
【図４】非点収差法の原理を示す図である。
【図５】ナイフエッジ法の原理を示す図である。
【図６】ウェッジプリズムと４分割フォトディテクタによる焦点検出法を示す説明図である。
【図７】レンズ実装機を示す図である。
【図８】レンズの調整手順を示すフローチャートである。
【図９】前準備工程のフローチャートである。
【図１０】基準フォーカスエラー信号取得工程のフローチャートである。
【図１１】調整工程のフローチャートである。
【図１２】従来例を示す図である。
【符号の説明】
１　　　　対物レンズ
２　　　　単位レンズ
３　　　　反射媒体
４　　　　回折光検出部
５　　　　媒体変位検出部
６　　　　反射媒体移動手段
７　　　　２分割フォトディテクタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2004095083.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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