(57)【要約】      （修正有）【課題】搬送通路の上下に配置したリングローラ等（以下、ローラという）でシート等の薄板（以下、薄板という）を挟み込んで搬送しながらエッチングの表面処理を行う場合に、均一なエッチングが可能となる表面処理装置の薄板搬送方法を提供する。【解決手段】薄板の両端を薄板の上下に配置した複数のローラで挟み込んで搬送することにより、薄板の中央製品部に表面処理装置のスプレー等をローラの位置を考慮せず配置することが可能となり均一なエッチングが可能になる。搬送通路の上下に配置した複数のローラは薄板に搬送力を与える材質にて構成し、上下ローラは薄板の中心に対し傾斜角を持ち、ローラ回転することにより薄板両端に張力を与えて薄板を搬送することが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート等の薄板（以下、薄板という）の両端を挟んで薄板を搬送する手段として、薄板搬送通路の上下にローラ軸を水平傾斜させたローラを複数配置し、薄板搬送時には上ローラが薄板厚みに追従して移動し、上ローラの負荷が薄板を介してローラに伝わり、上下ローラに挟まれた薄板両端には搬送方向の力と搬送方向に直角方向の力（張力）が作用し、薄板の反りや撓みを修正しつつ搬送することを特徴とする表面処理装置の薄板搬送方法。
【請求項２】
請求項１に記載した搬送方法において、傾斜ローラにて挟む薄板両端の片側に端面位置確認センサーを設けて、薄板の搬送方向を微調整できるようにローラの角度調整機構を設けたことを特徴とする搬送方法を用いた表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面処理装置内の薄板搬送手段に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
薄板は、薄板搬送通路の上下シャフトに等間隔に配置（例えば千鳥配置）されたローラに挟み込まれ、シャフトを駆動させることにより搬送される。
【０００３】
従来の搬送方法例を図５に示す。フレーム３０にローラ２８を等間隔に千鳥配置したシャフト２９が薄板搬送通路の上下に有り、上シャフトは薄板を挟み込み時に上へ移動のためフレーム３０に移動可能なブロック３１が組み込まれている。駆動は駆動シャフト３４に取り付けられたウォームギヤ３３から下シャフトに取り付けられたウォームギヤ３２Ａに駆動伝達され、上シャフトに取り付けられたウォームギヤ３２にも駆動伝達され、ローラ２８の回転により薄板が搬送される。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−３６２１７  公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、薄板を搬送しながら、例えばエッチングのような表面処理を行う場合、搬送用ローラの摩擦抵抗力により薄板製品部表面のレジスト等が剥がれたり、搬送用ローラが障害となりスプレー等による噴射液が薄板製品部表面に均一に当たらない等の問題点を解決した搬送方法を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、シート等の薄板（以下、薄板という）の両端を挟んで薄板を搬送する手段として、薄板搬送通路の上下にローラの軸を水平傾斜させたローラを複数配置し、薄板搬送時には上ローラが薄板厚みに追従して移動し、上ローラの負荷が薄板を介して下ローラに伝わり、上下ローラに挟まれた薄板両端には搬送方向の力と搬送方向に直角方向の力（張力）が作用し、薄板の反りや撓みを修正しつつ搬送すること、又搬送距離が長い場合には傾斜ローラにて挟む薄板両端の片側に端面位置確認センサーを設けて、薄板の搬送方向を微調整できるようにローラの角度調整機構を設けたこと、を特徴とする搬送方法である。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して説明する。図１は本発明の表面処理装置の薄板搬送装置を示し、（１）は平面図、（２）は正面図、（３）はＺ矢視図である。図２は図１の装置に薄板搬送方向を微調整する機構を追加した装置を示し、（１）は平面図、（２）は正面図、（３）は角度調整支点部詳細図である。図３は薄板搬送時に薄板に加わる力を示した平面図である。図４はローラの実施例（１）（２）の正面図，側面図である。
【０００８】
図１に示す搬送装置は、薄板搬送通路両側の上フレーム３，下フレーム１６と、上下フレームに取り付けた上ローラ１，下ローラ７と、モータからの駆動伝達軸１５より下ローラ７までの駆動伝達機構により構成される。以下に構成の詳細説明をする。
【０００９】
上ローラ１はフレーム３に配置されたスライドブロック６内の軸受２０に保持されたローラ軸２を介して取り付けられている。スライドブロック６内の軸受組み込み穴は装置中心側穴端面が薄板搬送方向に傾斜角度θを与えるように加工されローラ軸２が組み付けられるため、上ローラ１は薄板搬送方向に角度θ傾斜している。スライドブロック６は（３）のＺ矢視図に示すようにフレーム３の下面より加工された溝に組み込まれ、溝底に加工された穴に挿入された錘軸５と結合している。薄板搬送時に錘軸５とスライドブロックが組み込まれた溝がガイドとなり、上にスライドできる。ローラ軸２はスライドブロック６に取り付けられた軸受２０に保持され、軸方向の固定位置はスライドブロック６内の軸受端面と上ローラ１間のスペーサ１８と固定用ねじ付カラー１９の調整で決まる。この装置の上ローラ１は駆動伝達されずフリーローラであるが、下ローラ７が駆動回転し薄板１７とのすべりを発生させず、搬送できる錘４の負荷を掛けなければならない。また上ローラ１は搬送される薄板１７に対しすべりが発生しない静摩擦抵抗係数を持った材質でなければならない。
【００１０】
下ローラ７はフレーム１６内の軸受２０に保持されたローラ軸８を介して取り付けられている。フレーム１６内の軸受組み込み穴は上ローラ１と同様に装置中心側穴端面が薄板搬送方向に傾斜角度θを与えるように加工されローラ軸８が組み付けられるため、下ローラ７は薄板搬送方向に角度θ傾斜している。ローラ軸８はフレーム１６に取り付けられた軸受２０に保持され、軸方向の固定位置はフレーム１６内の軸受２０の端面と下ローラ７間のスペーサ１８と固定用ねじ付カラー１９の調整で決まる。下ローラ７は駆動シャフト１５からの駆動伝達で回転するが、薄板とのすべりが発生しない静摩擦抵抗係数を持った材質でなければならない。
【００１１】
下ローラ７への駆動は、駆動シャフト１５に取り付けたウォームギヤ１４から駆動伝達シャフト１３に取り付けられたウォームギヤ１２に駆動伝達され、駆動伝達シャフト１３に取り付けられたプーリ１１から丸ベルト１０を介して下ローラ７を取り付けたローラ軸８のプーリ９に駆動伝達される。
【００１２】
上ローラ１と下ローラ７は平面から見て同位置に配置し薄板１７の搬送方向中心線に対称な配置である。上ローラ１，下ローラ２は薄板搬送方向に薄板１７が搬送中に垂れによる不具合がないように等間隔に配置する。
【００１３】
図２に示す搬送装置は、図１の搬送装置に薄板１７の搬送方向に対し直角方向の薄板端面位置を確認する透過センサー２５を薄板搬送通路片側に一定間隔に設けて、薄板１７の位置修正が必要と判断した場合にフレーム１６Ａ側下ローラ７の傾斜角度θを調整する。傾斜角度調節プレート２１を移動させると支点ピン２２を介して図２（３）に示すようにフレーム１６Ａ内の位置決め押えプレート２４で位置決めされたローラ移動支点ブロック２３が支点となりローラ軸８Ａに取り付けられているローラ７が移動し傾斜角度が変わる。薄板１７は図２（１）にて、フレーム１６Ａ側の下ローラ７の傾斜角度θが、θより小さくなれば右側に移動し、θより大きくなれば左側に移動する。
【００１４】
図３は上ローラ１と下ローラ７との回転により薄板１７の搬送中に薄板１７に加わる力を示す。薄板１７と上ローラ１との静摩擦抵抗係数をμ１、薄板１７と下ローラ７との静摩擦抵抗係数をμ２とし上ローラ３の持つ負荷をＷとすると薄板１７搬送中に一箇所の上ローラ１と下ローラ７により薄板１７に加わる力Ｐは、上ローラ側Ｗ×μ１、下ローラ側Ｗ×μ２を加えた力となりＰ＝Ｗ（μ１＋μ２）となる。傾斜角度θのため薄板搬送方向の分力Ｐ１はＰ１＝Ｐｃｏｓθ、薄板搬送方向に直角方向の分力Ｐ２はＰ２＝Ｐｓｉｎθとなる。
【００１５】
本発明の搬送方法の最大のポイントは、薄板搬送方向に直角な方向への力Ｐ２、つまり薄板を両側に張りながら搬送することであり、上ローラ１，下ローラ７の薄板接触面の材質と、上ローラ３の持つ負荷Ｗと、傾斜角度θが重要なファクターとなる。傾斜角度θは、１°〜５°が望ましい。また上下ローラに同一の傾斜角度θを与えたのは薄板が無い状態に回転することによるローラの磨耗防止と薄板を両端に張る力Ｐ２を大きくする為である。
【００１６】
図４に上ローラ１，下ローラ７の実施例（１）（２）の正面図，側面図を示す。（１）はフッ素ゴム２６をローラコア２６Ａに一定厚み加工処理したローラ図面、（２）はフッ素Ｏリング２７をローラコア２７Ａに２個組み込み、上ローラ３の持つ負荷ＷによりＯリングが沈み上下のローラコア２７Ａが接触するようにしたローラ図面である。
【００１７】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果がある。
【００１８】
エッチング等の表面処理装置に組み込むことにより、スプレーのノズル等の配置設計にて、従来は搬送用ローラの考慮が必要であったが不要になり、均一な表面処理を得るため配置設計の自由度を増すことができる。
【００１９】
エッチング等の表面処理装置に組み込むことにより、ノズルより噴出した薬液が、従来はローラがあるため均一に薄板に当たらなかったが、薄板中央製品部のローラ除去のため均一に当てることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】表面処理装置の薄板搬送装置を示し、（１）は平面図、（２）は正面図、（３）はＺ矢視図である。
【図２】図１の薄板搬送装置部に薄板搬送方向を微調整する機構を追加した装置を示し、（１）は平面図、（２）は正面図、（３）は角度調整支点部詳細図である。
【図３】薄板搬送時に上下ローラにより薄板に加わる力を示した平面図である。
【図４】上ローラ，下ローラの実施例（１）（２）の正面図，側面図である。
【図５】従来の薄板搬送装置を示し、（１）は平面図、（２）は正面図である。
【符号の説明】
１      上ローラ
２      ローラ軸
３      フレーム
４      錘
５      錘軸
６      スライドブロック
７      下ローラ
８      ローラ軸
８Ａ    ローラ軸
９      プーリ
１０    丸ベルト
１１    プーリ
１２    ウォームギヤ
１３    駆動伝達シャフト
１４    ウォームギヤ
１５    駆動シャフト
１６    フレーム
１６Ａ  フレーム
１７    薄板
１８    スペーサ
１９    固定用ねじ付カラー
２０    軸受
２１    傾斜角度調節プレート
２２    支点ピン
２３    ローラ移動支点ブロック
２４    位置決め押えプレート
２５    透過センサー
２６    フッ素ゴム
２６Ａ  ローラコア
２７    フッ素Ｏリング
２７Ａ  ローラコア
２８    ローラ
２９    シャフト
３０    フレーム
３１    ブロック
３２    ウォームギヤ
３２Ａ  ウォームギヤ
３３    ウォームギヤ
３４    駆動シャフト
θ      傾斜角度
Ｗ      上ローラ３の持つ負荷
Ｐ      薄板１７に加わる力
Ｐ１    薄板搬送方向の分力
Ｐ２    薄板搬送方向に直角方向の分力
μ１    薄板１７と上ローラ１との静摩擦抵抗係数
μ２    薄板１７と下ローラ７との静摩擦抵抗係数
Ｚ      矢視記号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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