(57)【要約】【課題】不良の要因毎に分類した不良区分情報や特性データ情報を、材料バッジ情報、製造条件バッジ情報、製造工程バッジ情報と対応付け及び集計、解析し、不良の要因特定、及び特性変動の要因特定を容易に可能とする不良解析支援システムを提供すること。【解決手段】材料情報取得手段１５、製造工程情報取得手段１４、製造条件情報取得手段１３、不良区分情報取得手段１１、特性データ情報取得手段１２、及び不良解析データベース１６を有し、統合解析手段１７により、不良解析データベースに記憶されたデータを着目データ毎に、又はバッジ情報毎に、或いは生産バッジ毎に、対応付け及び集計、解析を行うこと。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワークを介して接続された製品製造装置と、検査装置と、各種特性測定装置と、上位系システムを有する製品製造ラインの製品不良解析支援システムにおいて、
１）製品の製造に必要な各種材料の情報を取得する材料情報取得手段と、製品を製造した装置群としての工程情報を取得する製造工程情報取得手段と、製品製造時における各種装置の製造条件の情報を取得する製造条件情報取得手段と、製造された製品及び途中製品の不良要因を不良区分毎に区分し、不良区分情報を取得する不良区分情報取得手段と、製造された製品及びその途中製品の各種特性データ情報を取得する特性データ情報取得手段とを有し、
２）前記不良区分情報取得手段より取得された不良区分データと、前記特性データ情報取得手段より取得された特性データと、前記製造条件情報取得手段より取得された製造条件データと、前記製造工程情報取得手段より取得された製造工程データと、前記材料情報取得手段より取得された材料データとを各データテーブルに集約的に記憶する不良解析データベースを有し、
前記不良解析データベースに記憶されたデータを着目データ毎に対応付け及び集計、解析を行う機能を有する統合解析手段により、前記不良区分情報取得手段により区分された不良区分の区分毎の不良の要因特定を容易に可能とすることを特徴とする製品不良解析支援システム。
【請求項２】
前記製造条件情報取得手段、前記製造工程情報取得手段、及び前記材料情報取得手段は、それぞれのバッジ情報を取得し、前記統合解析手段は、それぞれのバッジ情報単位で前記不良解析データベースに記憶されたデータを対応付け及び集計、解析し、さらに、それぞれのバッジ情報単位での当該バッジを構成するデータの変動と前記不良区分とを対応付け及び集計、解析を行うことにより、不良の要因特定を容易に可能とすることを特徴とする請求項１記載の製品不良解析支援システム。
【請求項３】
前記統合解析手段は、前記それぞれのバッジ情報単位で前記不良解析データベースに記憶された特性データを対応付け及び集計、解析を行うことにより、特性データ変動の要因特定を容易に可能とすることを特徴とする請求項２記載の製品不良解析支援システム。
【請求項４】
前記製造条件情報取得手段、前記製造工程情報取得手段、前記材料情報取得手段、前記不良区分情報取得手段、及び前記特性データ情報取得手段は、生産バッジを取得し、前記統合解析手段は、生産バッジ単位で前記不良解析データベースに記憶されたデータを対応付け及び集計、解析し、さらに、生産バッジ単位での当該バッジを構成するデータの変動と前記不良区分とを対応付け及び集計、解析を行うことにより、不良の要因特定を容易に可能とすることを特徴とする請求項１、又は請求項２記載の製品不良解析支援システム。
【請求項５】
前記統合解析手段は、前記生産バッジ単位で前記不良解析データベースに記憶された特性データを対応付け及び集計、解析を行うことにより、特性データ変動の要因特定を容易に可能とすることを特徴とする請求項４記載の製品不良解析支援システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製品の製造における不良データを解析するシステムに関するものであり、特に、各種不良データと各種製造情報を組み合わせることで、不良の要因特定、及び特性変動の要因特定の効率化を図る不良解析支援システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の不良解析システムとしては、半導体の製造工程において、例えば、異物等の欠陥を検査する外観自動検査装置の結果と、ウェハ等の材料、温度等の製造条件とを関連付け、半導体製造上の管理単位であるバッジ単位での集計、解析を行い、歩留まりの向上を支援する不良解析システムがある。
【０００３】
また、自動外観検査装置で検出された不良箇所の座標を基に、ＳＥＭなどの電子顕微鏡で観察を行う場合や、発光分析などの分析装置で不良箇所の成分を分析し、不良の要因を推定することも広く行われている。
さらに、自動外観検査装置で検出された不良箇所の座標をマップ上に集計表示し、ウェハ上の不良の位置的分布を得たり、不良数をリアルタイムで出力することで、不良の傾向管理を行っているシステムがある。
【０００４】
しかし、上記の従来技術においては、不良の区分が自動外観検査機による区分であり、不良の要因毎の不良分類が行われているわけではなく、不良の要因の区分による集計、解析を行うには人手により顕微鏡等で再度観察を行い、その不良区分に従い再集計、再解析する必要がある等問題があった。
【０００５】
また、データ集計の単位は製造上の管理単位であるバッジであり、材料のバッジ、同一の製造条件と言う意味での製造条件でのバッジ、製造上の装置群が同一であると言う意味での製造工程バッジとは１対１の関係にないため、材料のバッジ単位での変動や製造条件でのバッジ単位での不良区分の変動が把握しにくい、もしくは、材料バッジ単位、製造条件バッジ単位、製造工程バッジ単位での集計、解析を行うための作業が煩雑であると言う問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、不良の要因毎に分類した不良区分情報や特性データ情報を、材料バッジ情報、製造条件バッジ情報、製造工程バッジ情報と対応付け及び集計、解析し、不良の要因特定、及び特性変動の要因特定を容易に可能とする不良解析支援システムを提供することを課題とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ネットワークを介して接続された製品製造装置と、検査装置と、各種特性測定装置と、上位系システムを有する製品製造ラインの製品不良解析支援システムにおいて、
１）製品の製造に必要な各種材料の情報を取得する材料情報取得手段と、製品を製造した装置群としての工程情報を取得する製造工程情報取得手段と、製品製造時における各種装置の製造条件の情報を取得する製造条件情報取得手段と、製造された製品及び途中製品の不良要因を不良区分毎に区分し、不良区分情報を取得する不良区分情報取得手段と、製造された製品及びその途中製品の各種特性データ情報を取得する特性データ情報取得手段とを有し、
２）前記不良区分情報取得手段より取得された不良区分データと、前記特性データ情報取得手段より取得された特性データと、前記製造条件情報取得手段より取得された製造条件データと、前記製造工程情報取得手段より取得された製造工程データと、前記材料情報取得手段より取得された材料データとを各データテーブルに集約的に記憶する不良解析データベースを有し、
前記不良解析データベースに記憶されたデータを着目データ毎に対応付け及び集計、解析を行う機能を有する統合解析手段により、前記不良区分情報取得手段により区分された不良区分の区分毎の不良の要因特定を容易に可能とすることを特徴とする製品不良解析支援システムである。
【０００８】
また、本発明は、上記発明による製品不良解析支援システムにおいて、前記製造条件情報取得手段、前記製造工程情報取得手段、及び前記材料情報取得手段は、それぞれのバッジ情報を取得し、前記統合解析手段は、それぞれのバッジ情報単位で前記不良解析データベースに記憶されたデータを対応付け及び集計、解析し、さらに、それぞれのバッジ情報単位での当該バッジを構成するデータの変動と前記不良区分とを対応付け及び集計、解析を行うことにより、不良の要因特定を容易に可能とすることを特徴とする請求項１記載の製品不良解析支援システムである。
【０００９】
また、本発明は、上記発明による製品不良解析支援システムにおいて、前記統合解析手段は、前記それぞれのバッジ情報単位で前記不良解析データベースに記憶された特性データを対応付け及び集計、解析を行うことにより、特性データ変動の要因特定を容易に可能とすることを特徴とする請求項２記載の製品不良解析支援システムである。
【００１０】
また、本発明は、上記発明による製品不良解析支援システムにおいて、前記製造条件情報取得手段、前記製造工程情報取得手段、前記材料情報取得手段、前記不良区分情報取得手段、及び前記特性データ情報取得手段は、生産バッジを取得し、前記統合解析手段は、生産バッジ単位で前記不良解析データベースに記憶されたデータを対応付け及び集計、解析し、さらに、生産バッジ単位での当該バッジを構成するデータの変動と前記不良区分とを対応付け及び集計、解析を行うことにより、不良の要因特定を容易に可能とすることを特徴とする請求項１、又は請求項２記載の製品不良解析支援システムである。
【００１１】
また、本発明は、上記発明による製品不良解析支援システムにおいて、前記統合解析手段は、前記生産バッジ単位で前記不良解析データベースに記憶された特性データを対応付け及び集計、解析を行うことにより、特性データ変動の要因特定を容易に可能とすることを特徴とする請求項４記載の製品不良解析支援システムである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１は、本発明による製品不良解析支援システムの全体構成の説明図である。図１に示すように、製品不良解析支援システムは、材料情報取得手段、製造工程情報取得手段、製造条件情報取得手段、不良区分情報取得手段、特性データ情報取得手段、及び不良解析データベース、並びに統合解析手段で構成されるものである。
以降、カラーフィルタを製品例とした場合について説明するが、他にも半導体やフォトマスクなど本発明の構成に使用可能な情報が得られる製品であればかまわない。
【００１３】
図２は、不良区分情報取得部分の構成の説明図である。不良区分情報手段１１は、カラーフィルタの製造過程において、不良区分を行う各工程毎に設けられた不良区分情報手段１１１、不良区分情報手段１１２〜不良区分情報取得手段１１ｎにより構成され、それぞれの不良区分情報取得手段はレビュー装置２１１〜レビュー装置２１ｎとネットワークを介して接続されている。
不良区分情報手段はレビュー装置より不良位置情報、２次元コード情報を取得し、不良区分情報取得手段に入力された不良区分情報と紐付け、不良区分データ１６１として不良解析データベース１６へ登録する。
ここで、２次元コード情報とは、カラーフィルタの１シート毎を識別するために備えられた情報を意味する。以下、２次元コード情報は同様な内容を意味する。
【００１４】
図３は、特性データ情報取得部分の構成の説明図である。特性データ情報取得手段１２は、カラーフィルタの製造過程において測定を行う特性測定装置１〜特性測定装置ｎ毎に設けられた特性データ情報取得手段１２１〜特性データ情報取得手段１２ｎから構成され、特性データ情報取得手段と特性測定装置はネットワークを介して接続されている。
また、特性データ情報取得手段は、特性測定装置より色度、膜厚等の特性データ情報、２次元コード情報を取得し、特性データ１６２として不良解析データベース１６へ登録する。
【００１５】
図４は、製造条件情報取得部分の構成の説明図である。製造条件情報取得手段１３は、カラーフィルタの製造装置４１１〜４１ｎ毎に設けられた製造条件情報取得手段１４１〜製造条件情報取得手段１４ｎから構成され、製造装置と製造条件情報取得手段はネットワークを介して接続されている。
また、製造条件情報取得手段は、製造装置に設定されている温度、流量等の製造条件情報、２次元コード情報、及び製造条件バッジ情報を取得し、製造条件データ１６３として不良解析データベース１６へ登録する。
ここで、製造条件バッジ情報とは、例えば、同一の条件設定にて製造されたある集団をバッジとし、それぞれのバッジに対してバッジ番号を設けたものである。
【００１６】
図５は、製造工程情報取得部分の構成の説明図である。製造工程情報取得手段１４は、カラーフィルタの製造装置が群として構成される製造工程である製造工程１〜製造工程ｎ毎に設けられた製造工程情報取得手段１４１〜製造工程情報取得手段１４ｎから構成され、製造工程情報取得手段は製造工程を構成する製造装置とネットワークを介して接続され、この製造装置の集まりである工程として情報取得を行うものである。
また、製造工程情報取得手段は製造装置より取得した２次元コード情報を基に、製造工程バッジ情報を構成し、製造工程データ１６４として不良解析データベース１６へ登録する。
ここで、製造工程バッジとは、例えば、カラーフィルタが製造される過程において、通過する製造装置の群が全く同一である集団をバッジとし、それぞれのバッジに対してバッジ番号を設たものである。
【００１７】
図６は、材料情報取得部分の構成の説明図である。材料情報取得手段１５は、カラーフィルタの製造に使用される材料管理工程毎に設けられた材料情報取得手段１５１〜材料情報取得手段１５ｎから構成されている。
また、材料情報取得手段は、各材料管理工程で管理されている情報、例えば、ガラスの管理工程では材質、板厚等の情報と、各材料毎の材料バッジ情報を人手での入力により情報取得を行うものである。
ここで、材料バッジ情報とは、各材料、例えば、ガラスやカラーレジストが製造された際の製造管理単位の数量を意味し、材料それぞれによりその集団の規模は区々である。
【００１８】
上記のように、不良解析データベース１６は、各情報取得手段１１〜１５により登録された不良区分データ１６１と、特性データ１６２と、製造条件データ１６３と、製造工程データ１６４と、材料データ１６５とを集約的に記憶するものである。
【００１９】
ここで、不良区分データ１６１は、不良区分情報取得手段１１により取得された、不良要因に応じて区分された不良区分情報を２次元コードデータと１対１に紐付けられ、さらにカラーフィルタの製造過程にて共通して使用する生産バッジ単位にて集計し、データ登録されている。
【００２０】
ここで、生産バッジとは、カラーフィルタの製造過程にて共通して使用する管理単位、管理番号であり、最先の製造過程にて構成された生産バッジは、基本的に最終段の製造過程に至るまで、同一の管理番号、管理単位（数量）、カラーフィルタ基板（及びその途中基板）にて構成されるものである。
但し、途中工程にて不良となった場合、製造過程より取り除かれる等により、その管理単位（数量）、その管理単位を構成する構成メンバーたるカラーフィルタ基板は若干の変動があるものであり、最先過程から最終段過程まで全く同一であるわけではない。以下生産バッジは同様な内容を意味する。
【００２１】
特性データ１６２は、特性データ情報取得手段１２により取得された特性データ情報を２次元コードデータと１対１に紐付けられ、生産バッジ単位にて集計し、データ登録されている。
製造条件データ１６３は、製造条件情報取得手段１３により取得された、製造条件情報、製造条件バッジ情報を生産バッジ単位にて集計し、データ登録されている。
製造工程データ１６４は、製造工程情報取得手段１４により取得された製造工程情報、２次元コードデータにより、製造工程バッジ情報を構成し、生産バッジ単位にて集計してデータ登録されている。製造工程バッジ情報は、製造工程バッジの構成メンバー情報でああり、２次元コードデータで管理されている。
材料データ１６５は、材料情報取得手段１５により取得された材料情報と材料バッジ情報を生産バッジ単位にて集計し、データ登録されている。
【００２２】
つまり、不良解析データベースは、それぞれのデータを２次元コードデータ、生産バッジを基に対応付けが容易、高速に行え、さらに、それぞれのデータにて構成されたバッジ単位での集計が容易、高速に行えるようにデータを記憶するものである。
【００２３】
統合解析手段１７は、不良解析データベース１６とネットワークを介して接続され、不良解析データベース１６に登録された各データを、着目するバッジや不良区分毎に対応付け及び集計、解析を行うのもであり。集約、解析結果はグラフ、マップ等の人が認識しやすい形式でモニター等の出力装置への出力が可能となっている。
【００２４】
例えば、材料バッジ単位での不良区分データ集計を行い、材料バッジを横軸とする不良区分毎の不良発生数、又は不良率を時系列等でグラフ化することで、材料要因の不良区分の変動が容易に把握でき、材料要因の異常発生時に迅速な対応が図れるものである。
また、製造工程バッジの各々に対して、生産バッジ単位での不良区分データ集計を行い、生産バッジを横軸とする不良区分毎の不良発生数、又は不良率を時系列等でグラフ化し、製造工程バッジ毎のグラフを比較することで、異常が発生している製造工程が容易に把握できる。さらに、不良区分とその不良区分が発生した場合の原因となる装置との対応表などを用意しておくことで、製造工程内の装置の特定をし、異常原因の絞込みを図ることが可能となる。
【００２５】
【発明の効果】
本発明は、材料情報取得手段、製造工程情報取得手段、製造条件情報取得手段、不良区分情報取得手段、特性データ情報取得手段、及び不良解析データベースを有し、統合解析手段により、不良解析データベースに記憶されたデータを着目データ毎に、又はバッジ情報毎に、或いは生産バッジ毎に、対応付け及び集計、解析を行うので、不良の要因特定、及び特性変動の要因特定を容易に可能とする不良解析支援システムとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による製品不良解析支援システムの全体構成の説明図である。
【図２】不良区分情報取得部分の構成の説明図である。
【図３】特性データ情報取得部分の構成の説明図である。
【図４】製造条件情報取得部分の構成の説明図である。
【図５】製造工程情報取得部分の構成の説明図である。
【図６】材料情報取得部分の構成の説明図である。
【符号の説明】
１１・・不良区分情報取得手段
１１１・・不良区分情報取得手段１
１１２・・不良区分情報取得手段２
１１ｎ・・不良区分情報取得手段ｎ
１２・・特性データ情報取得手段
１２１・・特性データ情報取得手段１
１２２・・特性データ情報取得手段２
１２ｎ・・特性データ情報取得手段ｎ
１３・・製造条件情報取得手段
１３１・・製造条件情報取得手段１
１３２・・製造条件情報取得手段２
１３ｎ・・製造条件情報取得手段ｎ
１４・・製造工程情報取得手段
１４１・・製造工程情報取得手段１
１４２・・製造工程情報取得手段２
１４ｎ・・製造工程情報取得手段ｎ
１５・・材料情報取得手段
１５１・・材料情報取得手段１
１５２・・材料情報取得手段２
１５ｎ・・材料情報取得手段ｎ
１６・・不良解析データベース
１６１・・不良区分データ
１６２・・特性データ
１６３・・製造条件データ
１６４・・製造工程データ
１６５・・材料データ
１７・・統合解析手段
２１１・・レビュー装置１
２１２・・レビュー装置２
２１ｎ・・　レビュー装置ｎ
３１１・・特性測定装置１
３１２・・特性測定装置２
３１ｎ・・特性測定装置ｎ
４１１・・　製造装置１
４１２・・製造装置２
４１ｎ・・製造装置ｎ
５１１・・製造工程１
５１２・・製造工程２
５１ｎ・・製造工程ｎ
６１１・・　材料管理工程１
６１２・・材料管理工程２
６１ｎ・・材料管理工程ｎ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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