(57)【要約】【課題】　高い熱安定性及び記録密度を有する垂直磁気記録媒体を提供する。【解決手段】　垂直磁気記録層及びこれを支持する基板を具備し、前記前記垂直磁気記録層のそれぞれは相異なる物理的特性を有して他の垂直磁気記録層と互いに物理的特性を補完する物質で形成される二層以上の垂直磁気記録膜であって、垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を向上させるための層と、結晶粒を縮小するための層と、磁区を縮小するための層と、ＳＮＲを増加させるための層と、信号出力を向上させるための層と、ノイズを減らすための層と、結晶粒の大きさの均一度を向上させるための層と、磁区の大きさの均一度を向上させるための層のうち、少なくとも２つ以上の垂直磁気記録膜を含む垂直磁気記録媒体。【選択図】　　　図３
2004111040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　垂直磁気記録層及びこれを支持する基板を具備し、
　前記垂直磁気記録層は物理的／磁気的特性が相異なって相互補完的に物理的／磁気的特性を補完する物質で形成された、第１垂直磁気記録膜及び第２垂直磁気記録膜を少なくとも含むことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
【請求項２】
　垂直磁気記録層は、
　垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を向上させるための層と、結晶粒を縮小するための層と、磁区を縮小するための層と、ＳＮＲを増加させるための層と、信号出力を向上させるための層と、ノイズを減らすための層と、結晶粒の大きさの均一度を向上させるための層と、磁区の大きさの均一度を向上させるための層のうち、少なくとも２つ以上の垂直磁気記録膜を含むことを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項３】
　前記第１垂直磁気記録膜は第２垂直記録膜に比べて小さな結晶粒を有し、
　第２垂直磁気記録膜は第１垂直磁気記録膜に比べて大きい垂直異方性エネルギー（Ｋｕ）を有することを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項４】
　前記垂直磁気記録層の前記第１垂直磁気記録膜は、前記第２垂直磁気記録膜に比べて大きい垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を有し、
　前記第２垂直磁気記録膜は、ノイズを減らすための垂直磁気記録膜であることを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項５】
　前記垂直磁気記録層が、垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を向上させるための垂直磁気記録膜及び結晶粒を縮小するための垂直磁気記録膜を含むことを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項６】
　前記垂直磁気記録層が、垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を向上させるための垂直磁気記録膜及び磁区を縮小するための垂直磁気記録膜を含むことを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項７】
　前記垂直磁気記録層が、垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を向上させるための垂直磁気記録膜及び結晶粒の大きさの均一度を高めるための垂直磁気記録膜を含むことを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項８】
　前記第１垂直磁気記録層及び第２垂直磁気記録層のうちの一方は信号出力を向上させるために適用され、他方は媒体のノイズを減らすために適用されることを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項９】
　前記垂直磁気記録層の第１垂直磁気記録膜は、第２垂直磁気記録膜に比べて大きい垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を有することを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項１０】
　垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜が結晶構造を有することを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項１１】
　垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜が非晶質構造を有することを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項１２】
　垂直磁気記録層が、結晶構造の垂直磁気記録膜と非晶質構造の垂直記録膜とを組合わせて構成されたことを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項１３】
　垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜は、磁区が物理的に断絶された構造を有することを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項１４】
　垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜は、磁区が物理的に断絶されていない構造を有することを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項１５】
　垂直磁気記録層は、磁区が物理的に断絶された構造の垂直磁気記録膜と磁区が物理的に断絶されていない垂直磁気記録膜とを含むことを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項１６】
　垂直磁気記録層は、磁気粒子間の磁気的交換結合の弱い垂直磁気記録膜だけで構成されたことを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項１７】
　垂直磁気記録層は磁気粒子間の磁気的交換結合の弱い垂直磁気記録膜と磁気粒子間の磁気的交換結合の強い垂直磁気記録膜との組合わせで構成されたことを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項１８】
　垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜は、ＣｏＣｒ合金、ＮｉＦｅ合金、ＦｅＰｔ合金、Ｆｅ合金、Ｃｏ合金、Ｎｉ合金、Ｐｄ合金、Ｐｔ合金、並びに｛Ｎｄ、Ｐｄ、Ｒｕ、Ｂ、Ｎｂ｝のうちの少なくとも１種を含む合金から選ばれる少なくとも１種の合金で形成されることを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項１９】
　垂直磁気記録層と基板の間に少なくとも一つの下地膜が介設されていることを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項２０】
　前記下地膜は｛Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｂ、Ｎｂ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｔａ、Ｃ、Ｏｘｉｄｅ、Ｓｉ｝から選択された少なくとも一つまたは少なくとも二つの物質を含む合金により形成されることを特徴とする請求項１４に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項２１】
　前記垂直磁気記録層は、ＣｏＣｒＰｔ合金及びＣｏＣｒＰｔＸ（Ｘ＝Ｂ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｏ、Ｃ）合金のうちいずれか一つで形成される２つの垂直磁気記録膜を含み、第１の垂直磁気記録膜はＰｔ含量が１０％以上であり、第２の垂直磁気記録膜はＰｔ含量が１０％以下であることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項２２】
　前記垂直磁気記録層の第１垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＰｔ合金で形成され、第２垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＰｔＸ（Ｘ＝Ｂ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｏ、Ｃ）合金で形成されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項２３】
　前記垂直磁気記録層の第１垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＮｂＰｔ合金で形成され、第２垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＢＰｔ合金で形成されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項２４】
　前記垂直磁気記録層の第１垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＰｔ合金で形成され、第２垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＢＰｔ合金で形成されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項２５】
　前記垂直磁気記録層の第１垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＰｔ合金で形成され、第２垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＮｂＰｔ合金で形成されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項２６】
　前記垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜は組成の相異なるＣｏＣｒＰｔ合金の組合わせで形成されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項２７】
　前記垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜はＣｏ、Ｃｒ及びＰｔを含む合金で形成されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項２８】
　前記垂直磁気記録層のいずれか一つの垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＰｔＸ（Ｘ＝Ｂ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｏ、Ｃ）を含む合金で形成されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項２９】
　前記各垂直磁気記録膜の厚さは５０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項３０】
　前記垂直磁気記録層の総厚さは２００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項３１】
　前記第１の垂直磁気記録膜及び第２の垂直磁気記録膜は、共に格子整合構造を有することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項３２】
　前記第１の垂直磁気記録膜及び第２の垂直磁気記録膜のうちの一方は格子整合構造を有し、他方は格子不整合構造を有することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は垂直磁気記録媒体に係り、より詳細には高い熱的安定性及び高い記録密度を有する垂直磁気記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
　情報貯蔵装置として最も汎用性を有するＨＤＤ（Ｈａｒｄ　Ｄｉｓｋ　Ｄｒｉｖｅ）の容量拡大のために、既存の磁気記録方式に比べて記録密度を高めるのに有利な垂直磁気記録方式が採択された。垂直磁気記録方式は、磁化方向を媒体のフィルム平面に対して垂直方向に配向させて記録密度を高める方式である。垂直磁気記録方式の媒体の熱的安定性を高めて記録密度をさらに高めるためには１×１０6ｅｒｇ／ｃｃ以上の垂直磁気異方性エネルギー、平均的に小さな結晶粒の大きさ、結晶粒の均一な分布及びさらに小さな磁区を有する必要がある。
【０００３】
　従来の垂直磁気記録媒体の場合には、垂直磁気記録異方性エネルギーが大きくなるほど結晶粒や磁区が大きくなり、また結晶粒や磁区が小さくなるほど垂直磁気記録異方性エネルギーが小さくなる。
【０００４】
　図１は、従来の単一磁気層の垂直磁気記録媒体の積層構造を示し、図２は、二重磁気層の垂直磁気記録媒体の積層構造を示す。
【０００５】
　従来の垂直磁気記録媒体を図示する図１及び図２を参照すれば、従来の垂直磁気記録媒体は垂直異方性を向上させるために垂直磁気記録膜１０３、２０３の各下部に垂直配向下地膜１０２及び軟磁性膜２０２が設けられた構造を有する。
【０００６】
　具体的に、図１に図示されたように、従来の単一磁気層垂直磁気記録媒体において、基板１０１上に垂直配向下地膜１０２が設けられ、その垂直配向下地膜１０２の上に垂直磁気記録膜１０３が設けられている。垂直磁気記録膜１０３上にはこれを保護するための保護膜１０４が位置し、保護膜１０４上には情報記録／再生のためのヘッドスライダーの衝突を抑制して円滑な摺動を誘導して保護膜１０４及びその下部の記録膜１０３を保護する潤滑膜１０５が形成される。
【０００７】
　図２に図示された従来の二重磁気層垂直磁気記録媒体の場合には、図１に示す前記垂直配向下地膜１０２の代りに軟磁性膜２０２が設けられている。前記軟磁性膜２０２は基板２０１に形成され、軟磁性膜２０２上には前記のように垂直磁気記録膜２０３が設けられ、この垂直磁気記録膜２０３の上に保護膜２０４及び潤滑膜２０５が順次形成される。
【０００８】
　前記２つの従来の記録媒体は、共に垂直配向された一つの磁気記録層を有する。この場合、高密度記録で熱的安定性を確保するために垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）が大きい材料で磁気記録層が形成される。しかし、材料特性上、垂直磁気異方性エネルギーが大きい材料は結晶粒及び磁区の大きさ、そしてノイズが大きくて高密度記録を達成するのに限界がある。一方、高密度記録のために結晶粒及び磁区が小さな材料を使用する場合に超高密度記録ができ、かつ優秀なＳＮＲ（ｓｉｇｎａｌ　ｔｏ　ｎｏｉｓｅ　ｒａｔｉｏ：ＳＮ比）特性を得られるが、垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）が小さくて熱的安定性を確保できない短所がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
　本発明は、垂直磁気異方性エネルギーが大きく、かつ結晶粒及び磁区が小さくて超高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
　前記の目的を達成するために、本発明によれば、少なくとも２つの垂直磁気記録層と、これらの垂直磁気記録層を支持する基板とを具備する垂直磁気記録媒体が提供される。前記垂直磁気記録層のそれぞれは相異なる物理的／磁気的特性を有して他の垂直磁気記録層と互いに物理的／磁気的特性を補完する物質で形成される。
【００１１】
　前記本発明の垂直磁気記録媒体において、前記垂直磁気記録層は、垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を向上させるための層と、結晶粒を縮小するための層と、磁区を縮小するための層と、ＳＮＲを増加させるための層と、信号出力を向上させるための層と、ノイズを減らすための層と、結晶粒の大きさの均一度を向上させるための層と、磁区の大きさの均一度を向上させるための層のうち、少なくとも２つ以上の垂直磁気記録膜を含むことを特徴とする。
【００１２】
　かかる本発明は複数の垂直磁気記録膜を多数適用することによって、各層が相互補完的な機能を行うことによって、熱的安定性が高くかつ非常に高い情報記録密度を有することができる垂直磁気記録媒体を提供する。
【００１３】
　本発明の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層は、第１垂直磁気記録膜及び第２垂直磁気記録膜を含むが、第１垂直磁気記録膜は第２垂直記録膜に比べて小さな結晶粒を有し、第２垂直磁気記録膜は第１垂直磁気記録膜に比べて大きい垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を有する。
【００１４】
　他の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層は第１垂直磁気記録膜及び第２垂直磁気記録膜を含むが、前記第１垂直磁気記録膜は前記第２垂直磁気記録膜に比べて大きい垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を有し、前記第２垂直磁気記録膜はノイズを減らすための垂直磁気記録膜である。
【００１５】
　さらに他の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層が垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を向上させるための垂直磁気記録膜及び結晶粒を縮小するための垂直磁気記録膜を含むか、または前記垂直磁気記録層が垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を向上させるための垂直磁気記録膜及び磁区を縮小するための垂直磁気記録膜を含むか、または前記垂直磁気記録層が垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を向上させるための垂直磁気記録膜及び結晶粒の大きさの均一度を高めるための垂直磁気記録膜を含む。さらに一方には、前記垂直磁気記録層が信号出力を向上させるための垂直磁気記録膜及びノイズを減らすための垂直磁気記録膜を含むか、または前記垂直磁気記録層は第１垂直磁気記録膜及び第２垂直記録膜を含み、前記第１垂直磁気記録膜は第２垂直磁気記録膜に比べて大きい垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）を有する。
【００１６】
　前記本発明の垂直磁気記録媒体において、垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜は結晶構造または非晶質構造を有し、さらに一方には、結晶構造の垂直磁気記録膜及び非晶質構造の垂直記録膜をいずれも含んで構成され得る。また、第１垂直磁気記録層および第２垂直磁気記録層のうちの１つが結晶構造を有し、他方の垂直磁気記録層が非晶質構造を有する。
【００１７】
　垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜は、磁区が相互に物理的に断絶された構造または断絶されていない構造を有することができ、一方には垂直磁気記録層は磁区が物理的に断絶された構造の垂直磁気記録膜及び磁区が相互に物理的に断絶されていない垂直磁気記録膜を含むことができる。
【発明の効果】
【００１８】
　本発明の垂直磁気記録媒体は、従来の垂直磁気記録媒体に比べて優秀な熱的安定性及び高いＳＮＲを有し、超高密度記録に適している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
　以下、添付された図面を参照しながら本発明の望ましい実施形態について詳細に説明する。
　図３は、本発明の概念に基づいた具体的な実施形態として本発明の第１の実施形態における単一磁気層を備える垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す。
【００２０】
　図３を参照すれば、基板３０１上に垂直配向下地膜３０２が積層され、こ垂直配向下地膜３０２の上に連続的に第１垂直磁気記録膜３０３及び第２垂直磁気記録膜３０４が形成されている。第１垂直磁気記録膜３０３はノイズを減らす物質の蒸着により形成され、第２垂直磁気記録膜３０４は熱的安定性を向上させるための大きい垂直磁気異方性エネルギーを有する物質の蒸着により形成される。前記第２垂直磁気記録膜３０４上には、保護膜３０５及び潤滑膜３０６が形成されている。
【００２１】
　図４は、本発明の第１の実施形態による二重磁気層を備える垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す。
　図４を参照すれば、基板４０１上に軟磁性膜４０２が蒸着され、その軟磁性膜４０２の上に垂直配向下地膜４０３が形成され、この垂直配向下地膜４０３の上に連続的に第１垂直磁気記録膜４０４及び第２垂直磁気記録膜４０５が形成される。第１垂直磁気記録膜はノイズを減らす物質の蒸着により形成され、第２垂直磁気記録膜は熱的安定性を向上させるための大きい垂直磁気異方性エネルギーを有する物質の蒸着により形成される。第２垂直磁気記録膜４０５上には保護膜４０６及び潤滑層４０７が順次形成される。
【００２２】
　図５は本発明の第２の実施形態による単一磁気層を備える垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す。
　図５を参照すれば、基板５０１上に垂直配向下地膜５０２が積層され、この垂直配向下地膜５０２上に第１垂直磁気記録膜５０３及び第２垂直磁気記録膜５０５が配置される。そして、第１垂直磁気記録膜５０３と第２垂直磁気記録膜５０５の間に、第２垂直磁気記録膜５０５の特性を向上させるための中間膜５０４が介設されている。前記第２垂直磁気記録膜５０５上には保護膜３０５及び潤滑層３０６が形成される。
【００２３】
　図６は、本発明の第２の実施形態による二重磁気層を備える垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す。
　図６を参照すれば、基板６０１上に軟磁性膜６０２が蒸着され、その軟磁性膜６０２上に垂直配向下地膜６０３が積層され、この垂直配向下地膜６０３の上に連続的に第１垂直磁気記録膜６０４、中間膜６０５及び第２垂直磁気記録膜６０６が形成されている。前記中間膜６０５は、第２垂直磁気記録膜６０６の物理的／磁気的特性を向上させる物質で形成される。前記第２垂直磁気記録膜６０６上には連続的に保護膜６０７及び潤滑層６０８が形成される。
【００２４】
　図７は、図３に図示された本発明による垂直磁気記録媒体のさらに具体的な構造の実施形態を図示する。
　図７を参照すれば、基板７０１上にＴｉ垂直配向膜７０２が形成されて、その上に形成される第１垂直磁気記録層７０３および第２垂直磁気記録層７０４の配向性を向上させる。第１垂直磁気記録層７０３はＣｏＣｒＮｂＰｔの蒸着により形成され、第２垂直磁気記録層７０４はＣｏＣｒＢＰｔの蒸着により形成される。第２ＣｏＣｒＢＰｔ垂直磁気記録層７０４上に形成される保護膜７０５は、ダイアモンド状カーボン（ＤＬＣ：Ｄｉａｍｏｎｄ　Ｌｉｋｅ　Ｃａｒｂｏｎ）の蒸着により形成され、ＤＬＣ保護膜７０５上には潤滑層７０６が形成されている。
【００２５】
　図８は、図７の実施形態によって製作された本発明の垂直磁気記録媒体及び従来の垂直磁気記録媒体の磁気ヒステリシス曲線である。
　図８において、符号“１”は、“ＤＬＣ／ＣｏＣｒＮｂＰｔ／Ｔｉ／基板”の積層構造を有する従来の垂直磁気記録媒体の磁気ヒステリシス曲線を示し、符号“２”及び“３”は、共に“ＤＬＣ／ＣｏＣｒＢＰｔ／ＣｏＣｒＮｂＰｔ／Ｔｉ／Ｐｔ／基板”の積層構造を有する本発明による垂直磁気記録媒体の磁気ヒステリシス曲線を示す。従来の記録媒体とは異なり、本発明の記録媒体２及び記録媒体３は、それぞれＤＬＣ保護層とＣｏＣＲＮｂＰｔ垂直磁気記録膜の間にＣｏＣｒＢＰｔ膜を有する。本発明の記録媒体２と記録媒体３とは、第２ＣｏＣｒＢＰｔ垂直磁気記録膜と第１ＣｏＣｒＮｂＰｔ垂直磁気記録膜との厚さ比率が相異なる。（ここで両者の差異点はＤＬＣ保護層とＣｏＣｒＮｂＰｔ垂直磁気記録膜間のＣｏＣｒＢＰｔの有無にあり、本発明の記録媒体２と記録媒体３との差異点は各垂直磁気記録膜、すなわち、第２ＣｏＣｒＢＰｔ垂直磁気記録膜と第１ＣｏＣｒＮｂＰｔ垂直磁気記録膜との厚さ比率が相異なるということである。）
【００２６】
　図８によれば、同じＣｏＣｒＮｂＰｔの垂直磁気記録層にＣｏＣｒＢＰｔの垂直磁気異方性エネルギーが大きい垂直磁気記録膜を蒸着することによって磁気的特性である保磁力（Ｈｃ）及び角形比が飛躍的に増加することが分かる。
【００２７】
　図９は“ＤＬＣ／ＣｏＣｒＮｂＰｔ／Ｔｉ／基板”の積層構造を有する従来の垂直磁気記録媒体１、並びに図７の実施形態によって製作されたものであって、“ＤＬＣ／ＣｏＣｒＢＰｔ／ＣｏＣｒＮｂＰｔ／Ｔｉ／基板”の積層構造を有する本発明の垂直磁気記録媒体２、３のそれぞれの垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）及び保磁力（Ｈｃ）を示したグラフである。
【００２８】
　図９によれば、本発明による垂直磁気記録媒体２、３が、従来の垂直磁気記録媒体１に比べて垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）及び保磁力（Ｈｃ）において顕著に高い値を有し、したがって熱的安定性が顕著に向上したことが分かる。
【００２９】
　図１０及び図１１は、本発明による前記垂直磁気記録媒体２、３の記録密度（ｋＦＣＩ）に関するスペクトル分析結果を示す。図１０及び図１１によれば、９００ｋＦＣＩ以上でも記録ができ、かつ優秀な出力が得られることが分かる。
【００３０】
　図１２は、本発明の垂直磁気記録媒体１、２と、従来のＳＮＲ比が高い垂直磁気記録媒体３とのＳＮＲ値を比較して示したグラフである。図１２の結果によれば、５００ｋＦＣＩの記録密度以下でいずれも正のＳＮＲ値を示しており、本発明の垂直磁気記録媒体１，２は、ＳＮＲ特性も、低いノイズ特性を有する従来の記録媒体３と同等な水準を示していることが分かる。
【００３１】
　前記本発明の垂直磁気記録媒体の実施形態によれば、垂直磁気記録層の第１垂直磁気記録膜及び第２垂直磁気記録膜は、共にＣｏＣｒ合金、ＮｉＦｅ合金、ＦｅＰｔ合金、Ｆｅが添加された合金、Ｃｏが添加された合金、Ｎｉが添加された合金、Ｐｄが添加された合金、Ｐｔが添加された合金、並びに｛Ｎｄ、Ｐｄ、Ｒｕ、Ｂ及びＮｂ｝のうち少なくとも１種を含む合金から選ばれる少なくとも１種の合金で形成され、前記基板と一対の第１垂直磁気記録膜及び第２垂直磁気記録膜との間に一つ以上の下地膜が介設されている。前記下地膜は、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｂ、Ｎｂ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｔａ、Ｃ、Ｏｘｉｄｅ及びＳｉから選ばれる少なくとも１種または２種の物質を含む合金により形成される。
【００３２】
　本発明の他の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層は、共にＣｏＣｒＰｔ合金又はＣｏＣｒＰｔＸ（Ｘ＝Ｂ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｏ、Ｃ）合金のうちいずれか一つで形成される２個の垂直磁気記録膜を含み、第１の垂直磁気記録膜はＰｔ含量が１０％以上であり、第２の垂直磁気記録膜はＰｔ含量が１０％以下である。
【００３３】
　本発明のさらに他の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層の第１垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＰｔ合金で形成され、第２垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＰｔＸ（Ｘ＝Ｂ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｏ、Ｃ）合金で形成され、さらに他の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層の第１垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＮｂＰｔ合金で形成され、第２垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＢＰｔ合金で形成される。
【００３４】
　本発明のさらに他の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層の第１垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＰｔ合金で形成され、第２垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＢＰｔ合金で形成され、または前記垂直磁気記録層の第１垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＰｔ合金で形成され、第２垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＮｂＰｔ合金で形成される。
【００３５】
　前記垂直磁気記録層の第１垂直磁気記録膜及び第２垂直磁気記録膜はＣｏ、Ｃｒ及びＰｔ含む合金で形成され、または前記垂直磁気記録層のいずれか一つの垂直磁気記録膜はＣｏＣｒＰｔＸ（Ｘ＝Ｂ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｏ、Ｃ）を含む合金で形成される。前記第１垂直磁気記録膜及び第２垂直磁気記録膜は、それぞれ厚さが５０ｎｍ以下であり、前記垂直磁気記録層の総厚さが２００ｎｍ以下であることが望ましい。
【００３６】
　前記第１垂直磁気記録膜及び第２垂直磁気記録膜は、共に格子整合構造を有したり、また、第１垂直磁気記録膜及び第２垂直磁気記録膜のうちの一方が整合構造を有し、他方が不整合構造を有する。
【００３７】
　前述した実施形態において、一つの記録層を構成する第１垂直磁気記録膜上に第２垂直磁気記録膜が存在すると説明されたが、これと逆に第２垂直磁気記録膜上に第１垂直磁気記録膜が形成されることもあり、別途の但し書きのない限り、本発明の請求項で第１垂直磁気記録膜及び第２垂直磁気記録膜の積層順序を変えて解釈してもよい。
【００３８】
　いくつかの模範的な実施形態が説明されて添付した図面に図示されたが、このような実施形態は広範囲な発明を例示するだけであり、本発明は図示及び説明された構造及び配列に限定されず、当業者により多様な他の修正が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
　このような本発明は磁気膜を情報保存媒質として利用する情報保存装置、たとえば、汎用のＨＤＤなどに適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】単一磁気記録層を有する従来の垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図面である。
【図２】二重磁気記録層を有する従来の垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図面である。
【図３】単一磁気記録層を有する本発明の第１実施形態における垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図面である。
【図４】二重磁気記録層を有する本発明の第１実施形態における垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図面である。
【図５】単一磁気記録層を有する本発明の第２実施形態における垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図面である。
【図６】二重磁気記録層を有する本発明の第２実施形態における垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図面である。
【図７】各層が特定の材料で形成された図３の垂直磁気記録媒体の積層構造を示す図面である。
【図８】本発明による垂直磁気記録媒体２、３と従来の垂直磁気記録媒体１との磁気ヒステリシス曲線を比較して示す図面である。
【図９】本発明による垂直磁気記録媒体２、３と、従来の垂直磁気記録媒体１との間の垂直磁気異方性エネルギー（Ｋｕ）と保磁力（Ｈｃ）とを比較して示すグラフである。
【図１０】本発明による垂直磁気記録媒体２のスペクトル分析測定結果を示すグラフである。
【図１１】本発明による他の垂直磁気記録媒体３のスペクトル分析測定結果を示すグラフである。
【図１２】本発明による垂直磁気記録媒体のＳＮＲ測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４１】
　３０１　　　基板
　３０２　　　垂直配向下地膜
　３０３　　　第１垂直磁気記録膜
　３０４　　　第２垂直磁気記録膜
　３０５　　　保護膜
　３０６　　　潤滑膜
【図１】
2004111040.tif 000003
【図２】
2004111040.tif 000004
【図３】
2004111040.tif 000005
【図４】
2004111040.tif 000006
【図５】
2004111040.tif 000007
【図６】
2004111040.tif 000008
【図７】
2004111040.tif 000009
【図８】
2004111040.tif 000010
【図９】
2004111040.tif 000011
【図１０】
2004111040.tif 000012
【図１１】
2004111040.tif 000013
【図１２】
2004111040.tif 000014