(57)【要約】【課題】高周波数帯域の不規則な振動を低減できる気体シリンダ等を提供する。【解決手段】スライダ３０１の内部には、直方体状の圧力室３１３が掘り込まれるように形成されている。スライダ３０１には、ガイドバー３０２が嵌合している。ガイドバー３０２の内部には、気体流路３２３が形成されている。圧力室３１３内には、表面に消音材３４５を有するノーズコーン３０５が設けられている。気体流路３２３内には、表面に消音材３４６を有するノーズコーン３０６が設けられている。スライダ３０１の右側壁３１２及び左側壁３１３の内側にも、消音材３１３Ａ、３１３Ｂがそれぞれ貼り付けられている。これら消音材により、気体シリンダ３００内に導入された作動気体の衝撃波が吸収される。【選択図】　　　図１
2004125111.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダ内の圧力室内面及び／又はピストンの受圧面に、作動気体の衝撃波を吸収する消音材が貼り付けられていることを特徴とする気体シリンダ。
【請求項２】
前記シリンダの駆動軸と実質的に直交する前記圧力室内面及び／又はピストンの受圧面に、前記消音材が貼り付けられていることを特徴とする請求項１記載の気体シリンダ。
【請求項３】
前記シリンダ内の圧力室への気体導入部に、該気体の流れの方向を徐々に変化させる湾曲板（ノーズコーン）が設けられており、
該ノーズコーンの表面に前記消音材が貼り付けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の気体シリンダ。
【請求項４】
気体シリンダ内の圧力室への気体導入部に、該気体の流れの方向を徐々に変化させる湾曲板（ノーズコーン）が設けられていることを特徴とする気体シリンダ。
【請求項５】
前記作動気体が高音速媒体であることを特徴とする請求項１〜４いずれか１項記載の気体シリンダ。
【請求項６】
駆動用気体シリンダを含む駆動機構を備え、ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、
前記駆動用気体シリンダが、前記請求項１〜５いずれか１項記載の気体シリンダであることを特徴とするステージ装置。
【請求項７】
前記駆動用気体シリンダと、該気体シリンダの作動気体の供給・排出を制御するサーボ弁とが、減衰性を有する配管で接続されていることを特徴とする請求項６記載のステージ装置。
【請求項８】
感応基板上にエネルギ線を選択的に照射してパターン形成する露光装置であって、
感応基板ステージ又は原版ステージとして、請求項６又は７記載のステージ装置を備えることを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体シリンダ、気体シリンダを含む駆動機構を備えるステージ装置、及び、ステージ装置を備える露光装置に関する。特には、高周波数帯域の不規則な振動を低減できる気体シリンダや、そのような気体シリンダを備え、より精密な移動・位置決めを行うことができるステージ装置等に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特許文献１を例に採って従来の技術を説明する。
図５は、特許文献１に開示された気体シリンダの構成を示す側面断面図である。
図５に示す気体シリンダは、ステージ装置のＹ軸スライダ７と固定ガイド８で構成される。この例では、スライダ７がシリンダ室に対応し、固定ガイド８がピストンロッドに対応する。但し、この場合、ロッド（ガイド８）が固定側で、シリンダ（スライダ７）が移動側である。
【０００３】
スライダ７の摺動面の中央部には、気体室３３（３３ａ、３３ｂ）が掘り込まれるように形成されている。各気体室３３の側方の摺動面には、エアパッド５１が設けられている。エアパッド５１の周囲には、順に大気開放ガードリング５２、低真空排気ガードリング５３、高真空排気ガードリング５５が形成されている。
【０００４】
スライダ７には、固定ガイド８が嵌合している。気体室３３内において、固定ガイド８の中央部にはしきり板（ピストン）３１が設けられている。このしきり板３１は、図中矢印で示すＸＺ平面に拡がる板状をしており、気体室３３にある間隔をもって嵌合している。このしきり板３１によって、気体室３３内部は２つの気体室３３ａ、３３ｂに仕切られている。
【０００５】
固定ガイド８内には、Ｙ方向に長く延びる４本の気体通路３５が形成されている。これらの気体通路３５は、図中破線で示されている。各気体通路３５の一方の端部は、しきり板３１側部近傍において、スライダ７の気体室３３ａ、３３ｂに気体を供給する位置にそれぞれ開けられている。気体通路３５の他方の端部には、外部装置から気体が供給される。気体室３３ａ、３３ｂに供給する気体の圧力を調整することにより、スライダ７を固定ガイド８上で図中Ｙ方向に駆動することができる。なお、固定ガイド８内には、図示はしないが、エアパッド５１に気体を供給し、ガードリング５２、５３、５５から気体を回収・排気するための通路も形成されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−１７０７６５号公報（第４図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
前述の通り、図５の気体シリンダは、ステージ装置のＹ軸スライダ７と固定ガイド８から構成される。このステージ装置を高速度・高加速度で移動させる場合は、気体シリンダの狭いスプール開度部（スライダ７の気体室３３と固定ガイド８間の狭い隙間）に高速の気流を通すこととなり、これによって衝撃波が引き起こされる場合がある。そして、この衝撃波が圧力伝播となって気体室３３に到達すると、気体シリンダが脈動して気体室３３ａ、３３ｂ内に渦流が生じ、ステージ装置に高周波数（３００〜５００Ｈｚ程度）の振動が伝わるおそれがある。
【０００８】
ここで、ステージ装置に伝わる振動が、ステージの軸方向に伝播する規則的な振動である場合は、電気的な制御でキャンセルすることができる。ところが、図５のように、内部にエアパッド５１やガードリング５２、５３及び５５が形成された複雑な形状の気体シリンダは、高周波数の不規則な振動が生じやすい。そして、この種の不規則な振動は、電気的な制御ではキャンセルしにくいため、これを低減できる対応策が求められている。
【０００９】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであって、高周波数帯域の不規則な振動を低減できる気体シリンダを提供することを目的とする。また、そのような気体シリンダを備え、より精密な移動・位置決めを行うことができるステージ装置を提供することを目的とする。また、そのようなステージ装置を備え、露光精度を向上できる露光装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するため、本発明の第１の気体シリンダは、シリンダ内の圧力室内面及び／又はピストンの受圧面に、作動気体の衝撃波を吸収する消音材が貼り付けられていることを特徴とする。
本発明によれば、消音材で衝撃波を吸収できるので、電気的な制御ではキャンセルしにくい高周波数帯域の不規則な振動を低減できる。
【００１１】
本発明の第１の気体シリンダにおいては、前記シリンダの駆動軸と実質的に直交する前記圧力室内面及び／又はピストンの受圧面に、前記消音材が貼り付けられているものとすることができる。
前記受圧面に作動気体の衝撃波が作用すると、気体シリンダの駆動軸方向の振動が生じ、その軸の位置決め精度に影響を与える。そこで、シリンダの駆動軸と実質的に直交する受圧面に消音材を貼り付けることにより、その方向の振動を低減して位置決め精度の向上を図っている。
【００１２】
本発明の第１の気体シリンダにおいては、前記シリンダ内の圧力室への気体導入部に、該気体の流れの方向を徐々に変化させる湾曲板（ノーズコーン）が設けられており、　該ノーズコーンの表面に前記消音材が貼り付けられているものとすることができる。
この場合、湾曲板（ノーズコーン）により気体の流路断面積が均一的になり、気体の流路断面内での圧力勾配を極力低減できる。したがって、シリンダ内の圧力室への気体導入部における渦流の発生を低減できるとともに、ノーズコーン表面の消音材で衝撃波を吸収できる。
【００１３】
本発明の第２の気体シリンダは、気体シリンダ内の圧力室への気体導入部に、該気体の流れの方向を徐々に変化させる湾曲板（ノーズコーン）が設けられていることを特徴とする。
前記湾曲板（ノーズコーン）により、シリンダ内の圧力室への気体導入部における渦流の発生を低減できる。
【００１４】
本発明の気体シリンダにおいては、前記作動気体が高音速媒体であることが好ましい。
高音速媒体としては、空気（音速３００ｍ／ｓ程度）やヘリウム（音速１０００ｍ／ｓ程度）を挙げることができる。このような高音速媒体を用いることにより、シリンダの圧力室内部空間の振動モード数が低減される。
【００１５】
本発明のステージ装置は、駆動用気体シリンダを含む駆動機構を備え、ステージを移動・位置決めするステージ装置であって、　前記駆動用気体シリンダが、前記請求項１〜５いずれか１項記載の気体シリンダであることを特徴とする。
本発明のステージ装置によれば、駆動機構において高周波数帯域の不規則な振動を低減できるので、精密な移動・位置決めを行うことができる。
【００１６】
本発明のステージ装置においては、前記駆動用気体シリンダと、該気体シリンダの作動気体の供給・排出を制御するサーボ弁とが、減衰性を有する配管で接続されているものとすることができる。
この場合、サーボ弁からの作動気体の圧力伝播を配管で減衰することができる。そのため、ステージ装置の位置決め制御性が一層向上する。
【００１７】
本発明の露光装置は、感応基板上にエネルギ線を選択的に照射してパターン形成する露光装置であって、　感応基板ステージ又は原版ステージとして、請求項６又は７記載のステージ装置を備えることを特徴とする。
なお、パターンを転写するエネルギ線は特に限定されず、光、紫外線、Ｘ線（軟Ｘ線、ＥＵＶ等）、荷電粒子線（電子線、イオンビーム）等であってよい。また、露光方式も限定されず、縮小投影露光、近接等倍転写、直描式等に広く適用できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ説明する。
まず、図３を参照しつつ、本発明の一実施の形態に係る電子線露光装置について説明する。
図３は、本発明の一実施の形態に係る電子線露光装置の全体構成を示す図である。
図３には、電子線露光装置１００が模式的に示されている。電子線露光装置１００の上部には、光学鏡筒１０１が示されている。光学鏡筒１０１には真空ポンプ１０２が接続されており、光学鏡筒１０１内は真空排気されている。
【００１９】
光学鏡筒１０１の上部には、電子銃１０３が配置されており、下方に向けて電子線を放射する。電子銃１０３の下方には、順にコンデンサレンズ１０４、電子線偏向器１０５、レチクルＲが配置されている。電子銃１０３から放射された電子線は、コンデンサレンズ１０４によって収束される。続いて、偏向器１０５により順次走査され、光学系の視野内にあるレチクルＲの各小領域（サブフィールド）の照明が行われる。
【００２０】
レチクルＲは、レチクルステージ１１１の上部に設けられたチャック１１０に静電吸着等により固定されている。レチクルステージ１１１は、定盤（ベース）１１６に載置されている。
【００２１】
レチクルステージ１１１には、図の左方に示す駆動装置１１２が接続されている。駆動装置１１２は、ドライバ１１４を介して、制御装置１１５に接続されている。また、レチクルステージ１１１の側方（図の右方）にはレーザ干渉計１１３が設置されている。レーザ干渉計１１３は、制御装置１１５に接続されている。レーザ干渉計１１３で計測されたレチクルステージ１１１の正確な位置情報が制御装置１１５に入力される。それに基づき、制御装置１１５からドライバ１１４に指令が送出され、駆動装置１１２が駆動される。このようにして、レチクルステージ１１１の位置をリアルタイムで正確にフィードバック制御することができる。
【００２２】
定盤１１６の下方には、ウェハチャンバ１２１が示されている。ウェハチャンバ１２１の側方（図の右側）には、真空ポンプ１２２が設置されており、ウェハチャンバ１２１内を真空排気している。ウェハチャンバ１２１内には、上方からコンデンサレンズ１２４、偏向器１２５、ウェハＷが配置されている。レチクルＲを通過した電子線は、コンデンサレンズ１２４により収束される。コンデンサレンズ１２４を通過した電子線は、偏向器１２５により偏向され、ウェハＷ上の所定の位置にレチクルＲの像が結像される。
【００２３】
ウェハＷは、ウェハステージ１３１の上部に設けられたチャック１３０に静電吸着等により固定されている。ウェハステージ１３１は、定盤（ベース）１３６に載置されている。
【００２４】
ウェハステージ１３１には、図の左方に示したように駆動装置１３２が接続されている。駆動装置１３２は、ドライバ１３４を介して、制御装置１１５に接続されている。また、ウェハステージ１３１の図の右方にはレーザ干渉計１３３が設置されている。レーザ干渉計１３３は、制御装置１１５に接続されている。レーザ干渉計１３３で計測されたウェハステージ１３１の正確な位置情報が制御装置１１５に入力される。それに基づき、制御装置１１５からドライバ１３４に指令が送出され、駆動装置１３２が駆動される。このようにして、ウェハステージ１３１の位置をリアルタイムで正確にフィードバック制御することができる。
【００２５】
次に、図４を参照しつつ、本発明の一実施の形態に係るステージ装置について説明する。
図４は、本発明の一実施の形態に係るステージ装置を示す平面図である。
図４には、定盤１３６（図３参照）上に載置されたウェハステージ１３１（駆動装置内蔵）の例が示されている。なお、本形態では、ステージ装置を図３の電子線露光装置に適用するものとして説明するが、これに限らず様々な用途に使用できる。
【００２６】
図４に示すように、ステージ１３１の中央部には、ステージ部２１０が設けられている。ステージ部２１０は、下ステージ２１１と上ステージ２１７等で構成されている。下ステージ２１１と上ステージ２１７は、例えば、板バネ等で固定されている。上ステージ２１７上には、図示はしていないが、微動テーブルや静電チャック等のウェハ保持装置があり、ウェハＷを固定する。
【００２７】
下ステージ２１１には、図示せぬ気体軸受を介して、Ｘ軸方向に延びるＸ軸移動ガイド２０５が嵌合されている。Ｘ軸移動ガイド２０５の両端には、Ｙ方向にスライド可能なＹ軸スライダ（可動子）２０７が設けられている。各Ｙ軸スライダ２０７には、図示せぬ気体軸受を介して、Ｙ軸方向に延びるＹ軸固定ガイド（固定子）２０８が嵌合されている。詳しくは図１を参照しつつ後述するが、このＹ軸スライダ２０７及び固定ガイド２０８がスライダ駆動機構としての気体シリンダを構成している。
【００２８】
各固定ガイド２０８の両端部付近には、図示せぬ気体軸受を介して、ガイド固定部２０９、２１２が設けられている。各固定ガイド２０８は、ベース２０２（図３の定盤１３６に相当）にスライド可能に搭載されている。各ガイド固定部２１２の外側の端面には、ストローク補正用アクチュエータ２１３が設けられている。このアクチュエータ２１３は、スプール弁の制御により気体圧を調整して、固定ガイド２０８のＹ方向の位置（ストローク）を補正するためのものである。
【００２９】
上ステージ２１７には、図示せぬ気体軸受を介して、Ｙ軸方向に延びるＹ軸移動ガイド２０５′が嵌合されている。Ｙ軸移動ガイド２０５′の両端には、Ｘ方向にスライド可能なＸ軸スライダ（可動子）２０７′が設けられている。各Ｘ軸スライダ２０７′には、図示せぬ気体軸受を介して、Ｘ軸方向に延びるＸ軸固定ガイド（固定子）２０８′が嵌合されている。詳しくは図１を参照しつつ後述するが、このＸ軸スライダ２０７′及び固定ガイド２０８′がスライダ駆動機構としての気体シリンダを構成している。
【００３０】
各固定ガイド２０８′の両端部付近には、図示せぬ気体軸受を介して、ガイド固定部２０９′、２１２′が設けられている。各固定ガイド２０８′は、ベース２０２（図３の定盤１３６に相当）にスライド可能に搭載されている。各ガイド固定部２１２′の外側の端面には、前述と同様の役割を果たすストローク補正用アクチュエータ２１３′が設けられている。
【００３１】
次に、図１及び図２を参照しつつ、本発明の一実施の形態に係る気体シリンダ（ステージ装置）及びその給排気系統の構成について説明する。
図１（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る気体シリンダを示す一部断面図である。
図２は、図１の気体シリンダの給排気系統を示す構成図である。
【００３２】
図１には、一例として、前述のＹ軸スライダ２０７に相当するスライダ３０１と、前述の固定ガイド２０８に相当するガイドバー３０２とで構成される気体シリンダ３００の上半分が示されている。この上半分と対称的に、下半分にもスライダ及びガイドバーが存在する。この例では、スライダ３０１がシリンダ室に対応し、ガイドバー３０２がピストンロッドに対応する。但し、この場合、ロッド（ガイドバー３０２）が固定側で、シリンダ（スライダ３０１）が移動側である。なお、図示はしないが、スライダ３０１とガイドバー３０２との間には、複数の非接触気体軸受が設けられている。
【００３３】
図１に示すように、スライダ３０１の内部には、直方体状の圧力室３１３が掘り込まれるように形成されている。このスライダ３０１には、図中左右に延びるガイドバー３０２が嵌合している。このガイドバー３０２の内部には、気体流路３２３が形成されている。この気体流路３２３は、図２に示すチューブ３５１を介して気体供給部に繋がっている（詳しくは後述する）。ガイドバー３０２には、気体流路３２３とスライダ３０１の圧力室３１３とを連通させる気体導入口３０３ａ、３０３ｂが形成されている。
【００３４】
図１の中央に示すように、スライダ３０１とガイドバー３０２間の圧力室３１３内には、湾曲板（ノーズコーン）３０５が設けられている。このノーズコーン３０５は、固定端部３０５ａから延出端部３０５ｂに向けて断面がラッパ状に拡がる形状を有している。固定端部３０５ａは、ガイドバー３０２外面において、気体導入口３０３ａ、３０３ｂ間に固定されている。延出端部３０５ｂは、スライダ３０１の天井面３１１内側とは接触しておらず、両者間には若干の隙間が存在する。このノーズコーン３０５により、圧力室３１３内は、図中右側の右圧力室３１３Ａと、図中左側の左圧力室３１３Ｂとの２室に区画される。同ノーズコーン３０５は、気体シリンダ３００のピストンの役割を果たす。
【００３５】
さらに、ガイドバー３０２の気体流路３２３内には、湾曲板（ノーズコーン）３０６が設けられている。このノーズコーン３０６は、前述のノーズコーン３０５よりも扁平の断面ラッパ状に形成されている。このノーズコーン３０６の固定端部３０６ａは、ガイドバー３０２内面において、気体導入口３０３ａ、３０３ｂ間に固定されている。ノーズコーン３０６の延出端部３０６ｂは、これと対称に配置された下側のノーズコーンの延出端部（図示されず）と接合されて一体になっている。このノーズコーン３０６により、気体流路３２３内は、図中右側の右気体流路３２３Ａと、図中左側の左気体流路３２３Ｂとに区画される。
【００３６】
このような気体シリンダ３００において、スライダ３０１の右側壁３１２及び左側壁３１３の内側には、消音材３１３Ａ、３１３Ｂがそれぞれ貼り付けられている。さらに、前述のノーズコーン３０５、３０６の表面（圧力室３１３、気体流路３２３に露出した面）にも、例えば制振鋼板からなる消音材３４５、３４６が貼り付けられている。これら消音材は、気体シリンダ３００内に導入された作動気体の衝撃波を吸収する（詳しくは後述する）。
【００３７】
図１の気体シリンダ３００のガイドバー３０２には、図２に示すチューブ３５１を介してサーボ弁３５３が接続されている。チューブ３５１は、一例でテフロン（登録商標）製等の、減衰性を有する管からなる。このチューブ３５１により、サーボ弁３５３からの作動気体の圧力伝播が減衰される。サーボ弁３５３は、気体シリンダ３００の作動気体の供給・排出を制御する弁である。このサーボ弁３５３は、前述した図４のステージ１３１のガイド固定部２０９や２１２、あるいは、その先の配管に取り付けられている。
【００３８】
サーボ弁３５３は、シリンダ３５５及びロッド３５６を備えている。サーボ弁３５３のポート３５３ａには、気体シリンダ３００の作動気体の充填されたタンク３５７が接続されている。サーボ弁３５３のポート３５３ｂには、大気に繋がる排気配管３５８が接続されている。本実施の形態においては、タンク３５７内に充填されている気体（気体シリンダ３００の作動気体）として、空気（音速３００ｍ／ｓ程度）やヘリウム（音速１０００ｍ／ｓ程度）等の高音速媒体が用いられる。このような高音速媒体により、気体シリンダ３００の圧力室３１３内部空間の振動モード数が低減される。
【００３９】
サーボ弁３５３のロッド３５６が図２の状態にあるとき、タンク３５７内の作動気体は、チューブ３５１を介して気体シリンダ３００のガイドバー３０２の気体流路３２３内に供給される。
【００４０】
次に、前述の構成を有する気体シリンダ３００の作用について説明する。
（１）スライダ３０１を図１（Ａ）のＸ方向に移動させる場合。
図２に示すタンク３５７内の作動気体（空気やヘリウム等）が、サーボ弁３５３からチューブ３５１を介して、図１（Ａ）に示す気体シリンダ３００のガイドバー３０２内の右気体流路３２３Ａ内に導入される。すると、この作動気体は、図１（Ａ）の入側（右側）から左向きに流れ、ノーズコーン３０６表面の消音材３４６に当たって上向きに気流が変わり、気体導入口３０３ａからスライダ３０１内の右圧力室３１３Ａ内に導入される。
【００４１】
右圧力室３１３Ａ内に導入された作動気体は、ノーズコーン３０５表面の消音材３４５に当たって右向きに気流が変わり、スライダ３０１の右側壁３１２内側の消音材３４２に当たる。このようにして作動気体が導入されることにより、右圧力室３１３Ａ内の圧力が高くなり、スライダ３０１が図１（Ａ）の矢印Ｘ方向に押されて移動する。同時に、左圧力室３１３Ｂ内の気体が排気される。この左圧力室３１３Ｂ内の気体は、ノーズコーン３０５に当たって下向きに流れ、さらに気体導入口３０３ｂを通りノーズコーン３０６に当たって左向きに気流が変わり、左気体流路３２３Ｂを左向きに流れて排出される。
【００４２】
ここで、右気体流路３２３Ａ（左向きの気流）→ノーズコーン３０６（上向きの気流変化）→気体導入口３０３ａ→ノーズコーン３０５（右向きの気流変化）と流れる際、作動気体の流路断面積は両ノーズコーン３０６、３０５により均一的になる。そのため、気体の流路断面内での圧力勾配を極力低減でき、スライダ３０１の右圧力室３１３Ａへの気体導入部（気体導入口３０３ａ及びノーズコーン３０５近傍）における渦流の発生を低減できる。さらに、この際、作動気体は、両ノーズコーン３０６、３０５表面の消音材３４６、３４５で衝撃吸収されるため、高周波数帯域の不規則な振動が低減される。これによって、スライダ３０１は、Ｘ方向にスムーズに移動する。
【００４３】
右圧力室３１３Ａに導入された作動気体は、前述の通り、右向きに気流が変わってスライダ３０１の右側壁３１２内側の消音材３４２に当たる。この右側壁３１３は、スライダ３０１の駆動軸（矢印Ｘ方向）と実質的に直交する面である。この面に作動気体の衝撃波が作用すると、気体シリンダ３００の駆動軸方向の振動が生じ、その軸の位置決め精度に影響を与える。本実施の形態では、スライダ３０１の右側壁３１２内側の消音材３４２を貼り付けることにより、その方向の振動を低減して位置決め精度の向上を図っている。
【００４４】
ここで、スライダ３０１の圧力室内部の音場を音響学的に捉える場合、圧力室内部空間の振動モード数の増加傾向は、以下に述べる理由により、直方体空間内の周波数増加に伴う２次的な振動モードの増加傾向と類似しているといえる。
【００４５】
すなわち、作動気体の周波数をｆとし、ｆからｆ＋ｄｆに入る振動モード数をｄＮとする。すると、直方体空間においては、
ｄＮ／ｄｆ＝４πＶ（ｆ２／ｃ３）＋πＳ（ｆ／２ｃ２）＋Ｌ／８ｃ
が成立する。この式において、
ｃ：音速
Ｖ：空間（右圧力室３１３Ａ）の体積
Ｓ：空間（右圧力室３１３Ａ）の表面積
Ｌ：空間（右圧力室３１３Ａ）の辺長和（縦・横・高さの和）
である。
【００４６】
上式の右辺は、周波数ｆに関する２次の多項式として表現されている。これにより、直方体状に形成された圧力室内部空間の振動モード数の増加傾向は、直方体空間内の周波数増加に伴う２次的な振動モードの増加傾向と類似しているといえる。そのため、スライダ３０１の駆動軸（矢印Ｘ方向）と実質的に直交する右側壁３１２の内側に消音材３４２を貼り付けることで、音響学的な振動がより適切に低減される。
【００４７】
（２）スライダ３０１を図１（Ｂ）のＸ´方向に移動させる場合。
この場合、（１）で述べたＸ方向への移動とは逆に、作動気体が図１（Ｂ）に示す気体シリンダ３００のガイドバー３０２内の左気体流路３２３Ｂ内に導入される。すると、この作動気体は、前述とは逆に、図１（Ｂ）の入側（左側）から右向きに流れ、ノーズコーン３０６→気体導入口３０３ｂ→スライダ３０１内の左圧力室３１３Ｂ内→スライダ３０１の左側壁３１３内側に順に当たり、スライダ３０１が図１（Ｂ）のＸ´方向に押されて移動する。
【００４８】
この場合も前述と同様に、気流変化の際には両ノーズコーン３０６、３０５により、気体導入部（気体導入口３０３ｂ及びノーズコーン３０５近傍）における渦流の発生を低減できる。また、作動気体は、両ノーズコーン３０６、３０５表面の消音材３４６、３４５で衝撃吸収されるため、高周波数帯域の不規則な振動が低減される。さらに、スライダ３０１の左側壁３１３内側の消音材３４３によっても振動が低減され、スライダ３０１の位置決め精度の向上が図られる。
【００４９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、高周波数帯域の不規則な振動を低減できる気体シリンダ等を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る気体シリンダを示す一部断面図である。
【図２】図１の気体シリンダの給排気系統を示す構成図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る電子線露光装置の全体構成を示す図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係るステージ装置を示す平面図である。
【図５】特許文献１に開示された気体シリンダの構成を示す側面断面図である。
【符号の説明】
１１１　レチクルステージ　　　　　　　　　１３１　ウェハステージ
３００　気体シリンダ
３０１　スライダ　　　　　　　　　　　　　３０２　ガイドバー
３０３ａ、３０３ｂ　気体導入口
３０５、３０６　湾曲板（ノーズコーン）　　３１３　圧力室
３１３Ａ、３１３Ｂ、３４５、３４６　消音材
３２３　気体流路　　　　　　　　　　　　　３５１　チューブ
３５３　サーボ弁
【図１】
2004125111.tif 000003
【図２】
2004125111.tif 000004
【図３】
2004125111.tif 000005
【図４】
2004125111.tif 000006
【図５】
2004125111.tif 000007