(57)【要約】【課題】  本発明の課題は、合成繊維糸条の捲縮加工に於いて、捲縮付与装置内に付着物が堆積したり、該装置内を糸条が通過接触する部分の摩耗が生じることによって、捲縮糸の品質が低下したり、捲縮加工中の糸切れの発生を防止することにある。【解決手段】合成繊維糸条を捲縮加工する捲縮付与装置であって、前記捲縮付与装置を構成する糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部と捲縮加工された糸条の堆積部の表面の少なくとも一部が蒸着膜で形成されており、該蒸着膜の特性である蒸着膜と水との接触角が６５〜１１５゜、被膜硬度（常温ＨＶ）が１５００〜６０００である捲縮付与装置およびその製造方法ならびにそれを用いた捲縮糸の製造方法【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
合成繊維糸条を捲縮加工する捲縮付与装置であって、前記捲縮付与装置を構成する糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部と捲縮加工された糸条の堆積部とボディーの加熱流体通路の表面の少なくとも一部が蒸着膜で形成されており、該蒸着膜の、水との接触角が６５〜１１５゜、被膜硬度（常温ＨＶ）が１５００〜６０００であることを特徴とする捲縮付与装置。
【請求項２】
前記蒸着膜で形成された部分が合成繊維糸条の接触部または加熱流体との接触部であることを特徴とする請求項１の捲縮付与装置。
【請求項３】
前記蒸着膜の膜厚が０．５〜２０μｍであることを特徴とする請求項１または２に記載の捲縮付与装置。
【請求項４】
前記蒸着膜がＦＨＣ（フローリックハードコート）、ＣＦＣ（フッ化カーボンコート）、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、ＴｉＢＮ（窒化チタン硼素）、ＣｒＢＮ（窒化クロム硼素）、ＳｉＢＮ（窒化シリコン硼素）、ＣｒＮ（窒化クロム）から選ばれた少なくとも１種からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の捲縮付与装置。
【請求項５】
有機ガスを原料とする蒸着膜を蒸着する捲縮装置の製造方法に於いて、捲縮付与装置を構成する糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部と捲縮加工された糸条の堆積部とボディーの加熱流体通路の表面の少なくとも一部に、真空下で基材の加速電圧を−１００〜−３ｋＶの範囲にコントロールするとともに、ＣＦ系ガスまたはＣＨ系ガスの有機ガス成分をイオン化し、蒸着膜を形成することを特徴とする捲縮付与装置の製造方法。
【請求項６】
前記蒸着膜がＦＨＣ（フローリックハードコート）、ＣＦＣ（フッ化カーボンコート）、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）から選ばれるいずれか一種であることを特徴とする請求項５記載の捲縮付与装置の製造方法。
【請求項７】
前記ＦＨＣ（フローリックハードコート）もしくはＣＦＣ（フッ化カーボンコート）のフッ素添加量が２％以上であることを特徴とする請求項６記載の捲縮付与装置の製造方法。
【請求項８】
金属を原料とする蒸着膜を蒸着する捲縮付与装置の製造方法に於いて、溶融紡糸口金の吐出孔を含む口金表面の少なくとも一部に真空下で基材の加速電圧を−５０〜−２ｋＶの範囲にコントロールするとともに、Ｂ（硼素）、Ｔｉ（チタン）、Ｃｒ（クロム）、Ｓｉ（シリコン）から選ばれた少なくとも一種の金属成分をイオン化し、さらに窒素置換して、蒸着膜を形成することを特徴とする捲縮付与装置の製造方法。
【請求項９】
前記Ｂ（硼素）、Ｔｉ（チタン）、Ｃｒ（クロム）、Ｓｉ（シリコン）の不純物含有率が０．０１％以下であることを特徴とする請求項８記載の捲縮付与装置の製造方法。
【請求項１０】
前記蒸着膜が、ＴｉＢＮ（窒化チタン硼素）、ＣｒＢＮ（窒化クロム硼素）、ＳｉＢＮ（窒化シリコン硼素）、ＣｒＮ（窒化クロム）から選ばれた少なくとも１種からなることを特徴とする請求項８記載の捲縮付与装置の製造方法。
【請求項１１】
合成繊維からなる捲縮糸の製造方法であって、前記請求項１〜５のいずれか１項に記載の捲縮付与装置を用いることを特徴とする捲縮糸の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、合成繊維糸条を捲縮加工する際に使用する捲縮付与装置およびその製造方法ならびにそれを用いた捲縮糸の製造方法に関するものである。さらに詳しくは合成繊維糸条との離型性に優れ、かつ耐摩耗性に優れた高硬度の蒸着膜を施した捲縮付与装置およびその製造方法ならびにそれを用いた捲縮付与装置を用いた捲縮糸の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の高温蒸気を用いて合成繊維糸条を捲縮加工するための捲縮付与装置に於いて、糸条は加熱流体の噴射ノズル部からの加熱流体の噴射によって生ずる吸引力によって吸引され、かつ糸条は加熱流体の噴射ノズルから噴射される加熱流体によって、熱処理を受けながら激しく攪乱、交絡されて捲縮加工される。また、糸条を加熱する手段としては蒸気、加熱エアー等の加熱流体の他に電気式ヒーター等であってもなんら問題ない。
【０００３】
かかる捲縮加工用捲縮付与装置に於いては、糸条の導入ノズル部の加熱流体の噴射ノズル部で糸条が接触する部分に種々の付着物が堆積したり、捲縮付与装置の一部が擦過摩耗され易いと云う問題があった。捲縮付与装置に於いて、蒸気の噴射量は糸条の吸引力および糸条の捲縮加工の程度を決定する最も重要な要素の一つであるため、糸条の導入ノズル部、特に糸条が通過する部分のクリヤランスが常に一定となるよう精度よく加工し、かつ組立てることが行われている。しかるに、捲縮付与装置の糸条の導入ノズル部内およびあるいは糸条が接触して通過する部分、または糸条の導入ノズル部の近傍に付着物が堆積または析出したり、摩耗が生じたりすると、加熱流体の流量が変化したり、加熱流体の噴射方向が変化するため捲縮糸の品質が変化し、あるいは糸条が捲縮付与装置内をスムーズに通過せず、糸切れを生ずることになる。
【０００４】
捲縮付与装置の糸条が接触通過する部分に付着堆積する物質は、主に合成繊維糸条に付着している油剤およびその熱変成物、該糸条から析出したモノマーやオリゴマー、および該糸条から削り取られたポリマー等である。その他にも加熱流体が蒸気を用いた場合では、水に含まれる炭酸カルシウム等が加熱流体の噴射ノズル部の近傍に堆積し、加熱エアーを用いた場合はエアーに含まれるミクロンオーダーの汚れが堆積する。
【０００５】
また、捲縮付与装置に於いて、糸条の通過接触によって生ずる摩耗は、糸条成分ポリマー自身によっても生ずるが、特に該糸条に硬度が高い無機化合物が添加されている場合に顕著に起こる。例えば、艶消し剤として添加されている酸化チタン、カオリン、クレイ等、あるいは原着糸を製造するために添加されている顔料、例えば、カーボンブラック、酸化鉄、酸化マグネシウム等を含む繊維の場合に顕著である。
【０００６】
捲縮加工装置に於いて生ずる上記問題を解決するために、捲縮付与装置の糸条が通過する部分の表面に、離型性と耐熱性に優れた弗素系コーティング剤を塗布または噴霧する方法が有効であることが、特許文献１に開示されている（特許文献１参照）。
【０００７】
しかし特許文献１に記載の技術は、離型性がよいため捲縮付与装置内への付着物の堆積量は減少するものの、弗素系コーティング剤と捲縮付与装置の金属基材との密着性が劣り、合成繊維糸条を捲縮加工を継続していると、離型剤が剥離し易いと云う欠点があった。その効果は、捲縮付与装置の糸条の導入ノズル部に付着した堆積物を除去するための該糸条の導入ノズル部の洗浄周期によって評価可能であるが、従来技術で１日であった洗浄周期をたかだか２日に延長できる程度であった。すなわち、一応の効果は認められるのの、捲縮糸の生産を安定して継続するためには大幅な洗浄周期の延長が必要とされ、更なる改善が求められていた。即ち、捲縮付与装置の糸条の導入ノズル部の洗浄周期を大幅に延長できる装置の開発が必要とされ、その解決のためには、離型性効果を有し、かつ耐久性の良い捲縮付与装置を開発する必要があった。
【０００８】
また、捲縮付与装置に於いて、糸条が通過接触する部分の耐摩耗性の改善と云う観点からすれば、上記特許文献１の技術では殆ど改善が認められなかった。耐摩耗性改善のためには、捲縮付与装置の糸条が通過接触する部分の硬度を高めて改善する必要であるが、このことについては何ら言及されていない。
【０００９】
従って、従来の捲縮加工技術で問題であった、捲縮付与装置の糸条の導入ノズル部での付着物の堆積を防止して該糸条の導入ノズル部の洗浄周期を大幅に延長すること、および捲縮付与装置の糸条が通過接触する部分の耐摩耗を改善する技術の開発が求められていた。
【特許文献１】特開２０００−２１２８４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上述した従来技術に於ける問題点の解決を課題として検討した結果、達成されたものである。
【００１１】
従って、本発明の課題は、安定した品質の製品を低コストで得ることを目的とするものである。さらに詳しくは合成繊維糸条の捲縮加工に於いて、捲縮付与装置内に付着物が堆積したり、該装置内を糸条が通過接触する部分の摩耗が生じることによって、捲縮糸の品質が低下したり、捲縮加工中の糸切れが発生することを防止し長寿命化が図れる糸条の捲縮付与装置およびその製造方法ならびにそれを用いた捲縮糸の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決する本発明の捲縮付与装置は、合成繊維糸条を捲縮加工する捲縮付与装置であって、前記捲縮付与装置を構成する糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部と捲縮加工された糸条の堆積部とボディーの加熱流体通路の表面の少なくとも一部が蒸着膜で形成されており、該蒸着膜の特性が、蒸着膜と水との接触角が６５〜１１５゜、被膜硬度（常温ＨＶ）が１５００〜６０００であることを特徴とする捲縮付与装置。
【００１３】
そして、本発明の捲縮付与装置に於いては、次の（１）〜（３）がそれぞれ好ましい態様として挙げられる。
（１）前記蒸着膜で形成された部分が合成繊維糸条の接触部または加熱流体との接触部であること。
（２）前記蒸着膜の膜厚が０．５〜２０μｍであること。
（３）前記蒸着膜がＦＨＣ（フローリックハードコート）、ＣＦＣ（フッ化カーボンコート）、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、ＴｉＢＮ（窒化チタン硼素）、ＣｒＢＮ（窒化クロム硼素）、ＳｉＢＮ（窒化シリコン硼素）、ＣｒＮ（窒化クロム）から選ばれた少なくとも１種からなること。
【００１４】
また、本願発明の捲縮付与装置の製造方法は有機ガスを原料とする蒸着膜を蒸着する捲縮装置の製造方法において、捲縮付与装置を構成する糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部と捲縮加工された糸条の堆積部とボディーの加熱流体通路の表面の少なくとも一部に、真空下で基材の加速電圧を−１００〜−３ｋＶの範囲にコントロールするとともに、ＣＦ系ガスまたはＣＨ系ガスの有機ガス成分をイオン化し、蒸着膜を形成することを特徴とする。なお、次の（４）、（５）がそれぞれ好ましい態様として挙げられる。
（４）前記蒸着膜がＦＨＣ（フローリックハードコート）、ＣＦＣ（フッ化カーボンコート）、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）から選ばれるいずれか一種であること。
（５）  前記ＦＨＣ（フローリックハードコート）もしくはＣＦＣ（フッ化カーボンコート）のフッ素添加量が２％以上であること。
【００１５】
さらにもう一つの捲縮付与装置の製造方法は金属を原料とする蒸着膜を蒸着する捲縮付与装置の製造方法に於いて、溶融紡糸口金の吐出孔を含む口金表面の少なくとも一部に真空下で基材の加速電圧を−５０〜−２ｋＶの範囲にコントロールするとともに、Ｂ（硼素）、Ｔｉ（チタン）、Ｃｒ（クロム）、Ｓｉ（シリコン）から選ばれた少なくとも一種の金属成分をイオン化し、さらに窒素置換して、蒸着膜を形成することを特徴とする。
【００１６】
なお、次の（６）、（７）がそれぞれ好ましい態様として挙げられる
（６）前記Ｂ（硼素）、Ｔｉ（チタン）、Ｃｒ（クロム）、Ｓｉ（シリコン）の不純物含有率が０．０１％以下であること。
（７）前記蒸着膜が、ＴｉＢＮ（窒化チタン硼素）、ＣｒＢＮ（窒化クロム硼素）、ＳｉＢＮ（窒化シリコン硼素）、ＣｒＮ（窒化クロム）から選ばれた少なくとも１種からなること。
【００１７】
また、本発明の捲縮糸の製造方法は合成繊維からなる捲縮糸の製造方法であって、前記の捲縮付与装置を用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、合成繊維糸条との離型性に優れ、かつ耐摩耗性に優れた高硬度の蒸着膜を施した捲縮付与装置を使用することにより、糸条の擦過による捲縮糸の品質が低下または汚れの堆積による糸切れ発生の防止、および捲縮付与装置の長寿命化が図れ、安定した品質と収率良く捲縮糸を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の捲縮付与装置に供する合成繊維糸条は、合成繊維の糸条であれば特に限定されず、例えば、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン４６等のポリアミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリ乳酸等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリスルフィド、ポリイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルニトリル等、通常の熱可塑性ポリマーを用いて製糸された合成繊維糸条である。また、上記ポリマーを主成分とする共重合ポリマー、および上記２種以上のポリマーのブレンドまたは複合して得られる繊維等を含む。      
【００２０】
本発明の捲縮付与装置は、合成繊維糸条を捲縮加工する捲縮付与装置であって、前記捲縮付与装置を構成する糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部と捲縮加工された糸条の堆積部とボディーの加熱流体通路の表面の少なくとも一部が蒸着膜で形成されており、該蒸着膜の特性が、蒸着膜と水との接触角が６５〜１１５゜、被膜硬度（常温ＨＶ）が１５００〜６０００であることを特徴とする捲縮付与装置である。
【００２１】
図１は本発明の捲縮付与装置の一態様の断面図、図２イ〜ニはそれぞれ導入ノズル部、噴射ノズル部、堆積部およびボディー各部を示す断面図である。捲縮付与装置は通常、導入ノズル部、噴射ノズル部、堆積部およびボディーからなるが、本発明に於いて、捲縮付与装置を構成する糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部と捲縮加工された糸条の堆積部とボディーの加熱流体通路の表面とは、図１に示す太線部分を指し、合成繊維糸条が通過接触する捲縮付与装置の表面部分のことである。これらの各部の表面部分の少なくとも一部が蒸着膜で形成されている必要がある。
【００２２】
本発明の捲縮付与装置に形成される蒸着膜の特性の一つは、蒸着膜と水との接触角が６５〜１１５゜の範囲にあることである。好ましくは８０〜１０５°である。６５°未満では十分な離型性がないため、特に糸条の導入ノズル部および糸条が通過接触する部分に堆積物が堆積し、本発明の効果が得られない。捲縮付与装置の糸条が通過接触する部分に堆積する物質は、主に合成繊維糸条に付着している油剤およびその熱変成物、該糸条から析出したモノマーやオリゴマー、および該糸条から削り取られたポリマー等であるが、本発明のように離型性を有する蒸着膜が捲縮付与装置の表面に形成されている場合は長期間殆ど蓄積しない。なお、接触角が１１５°以上となるような表面が形成できればより好ましい離型性を得ることができると予想されるが、現在実用技術として達成することは困難である。
【００２３】
なお、接触角は蒸着膜の材質によって大半は決定される。好ましくは、ＦＨＣやＣＦＣのようにフッ化物からなる蒸着膜は非常に撥水性、離型性に優れる。さらに、当然のことながら蒸着方法や蒸着装置によっても得られる表面形態が異なる。例えば蒸着膜の原料は有機ガス等のガス系や単一金属や合金からなる金属系に大別できる。一般的にガス系をイオン化して蒸着させる方が基材表面の粗さが粗くなることなく基材表面の仕上げが反映される。なお、さらに蒸着後の蒸着膜表面の仕上がりを向上させるには、基材の加速電圧を−１００〜−３ｋＶの範囲にコントロールし、さらにフッ素添加量を２％以上に保つことがさらに好ましい条件である。
【００２４】
なお、本発明において蒸着膜のフッ素添加量は、例えば島津製作所製ＥＰＭＡ−８７０５型の電子線マイクロアナライザーによる定量分析を、分析条件が加速電圧８ｋＶ、試料電流５０ｎＡ、ビーム径φ１００μｍにて行うことにより測定することができる。
【００２５】
一方、金属系を蒸着させる際には、イオン化した金属を基材との強い電位エネルギーの差を利用して物理的に基材表面に衝突させものである。従ってこの衝撃エネルギーが強いほど蒸着膜と基材の密着力が上がることになる。よって得られた基材表面はガス系より比較的粗い表面に仕上がる。そこで表面粗さをガス系同様に仕上げるためにイオン化した金属の照射量や照射スピードをコントロールして改善している。なお、さらに蒸着後の蒸着膜表面の仕上がりを向上させるには、基材の加速電圧を−５０〜−２ｋＶの範囲にコントロールすることがさらに好ましい条件である。さらに得られた蒸着膜をラッピングして表面を仕上げることも工夫して行っている。
【００２６】
なお、いずれの方法にしても、蒸着表面は表面粗さＲａが０．５μm以下となるように、平滑にすることが好ましい。
【００２７】
捲縮付与装置内の、特に加熱流体の噴射ノズル部の近傍に付着物が蓄積すると、加熱流体の流量が変化し捲縮加工条件が変化するため、捲縮加工された捲縮糸の品質が変化する。通常、捲縮糸の捲縮特性が変化する。捲縮特性が異なる捲縮糸を用いてタフティングカーペットを製造すると、捲縮の異なる部分がスジ状に見え、所謂タテスジとなってカーペットの商品価値を著しく損なうことになるため、捲縮特性の変化は一定の幅に管理する必要がある。
【００２８】
通常、カーペット用の捲縮糸の製造に於いては、捲縮特性を製糸工程でオンライモニタリングすることか行われている。即ち、捲縮加工処理後の糸条に一定のストレッチを与えて捲縮を解きほぐし、そのときに発生する張力を測定し、該張力が一定範囲に入るよう工程管理することによって、安定な捲縮糸の生産を継続しているのである。特に糸条の導入ノズル部の近傍に付着物が堆積してくると、加熱流体の通過する体積が減少、または噴射方向が変化することで捲縮加工処理条件が経時変化し、捲縮加工糸の捲縮特性が変化し、上記ストレッチ張力が管理幅を外れる。その場合は、捲縮付与装置の糸条の導入ノズル部を取り外し、洗浄再生する。洗浄再生にあたっては、糸条の導入ノズル部を解体および組み立てることが必要なことから、できるだけ該ノズルの洗浄周期を延長できるようにすることが求められていたが、本発明の捲縮付与装置の適用によって、従来の１〜２日に対し、数倍以上、通常は１週間以上洗浄することなく継続して使用できるようになった。
【００２９】
また、本発明の捲縮付与装置の蒸着膜硬度（常温ＨＶ）は１５００〜６０００である。好ましくは２０００〜５０００である。１５００未満の場合は、長期間捲縮付与装置を使用した時、糸条が通過接触する部分が摩耗し、安定な捲縮加工ができなくなり、捲縮付与装置を交換しなければならなくなる。一方、蒸着膜強度が６０００以上では耐摩耗性は一層良好となるものの、現状の技術で実現することは困難である。なお、蒸着膜硬度は主に蒸着の製膜成分の種類で決定される。したがって、捲縮付与装置の蒸着膜形成部分の蒸着膜硬度を１５００〜６０００の範囲にするには、これに合った製膜成分の種類を選定することが重要である。
【００３０】
なお、蒸着槽を高真空にし１０−３Ｔｏｒｒ以上の環境でイオンクリーニングを実施し密着力を高めることが好ましく、基材にイオン注入することがさらに好ましい。そのためには基材の加速電圧を基材の材質に合わせて設定し、クリーンなプラズマを発生させ蒸着することが最も重要である。また、不純物含有率０．０１％以下の高純度の蒸着用金属原料を用いることがさらに好ましい条件である。
【００３１】
なお、本発明において金属原料の不純物含有率は、例えば島津製作所製ＥＰＭＡ−８７０５型の電子線マイクロアナライザーによる定量分析、分析条件が加速電圧８ｋＶ、試料電流５０ｎＡ、ビーム径φ１００μｍにて行うことにより測定できる。また、蒸着金属に微量に含まれる不純物としては、具体的にはＦｅ（鉄）、Ｋ（カリウム）、Ｃａ（カルシウム）、Ｎａ（ナトリウム）等が挙げられる。
【００３２】
本発明の捲縮付与装置の表面に、高硬度の蒸着膜を形成させる理由は次の通りである。すなわち、捲縮付与装置を糸条が通過接触する部分は、長期間に亘り糸条によって擦過摩耗され、特に該繊維糸条に硬度が高い無機化合物が添加されていると顕著に擦過摩耗が起こるが、その摩耗を防止するためである。摩耗を引き起こし易い添加材成分としては、例えば、艶消し剤として添加されている酸化チタン、カオリン、クレイ等、あるいは原着糸を製造するために添加されている顔料、例えば、カーボンブラック、酸化鉄、酸化マグネシウムである。さらに、従来の捲縮付与装置では、特に加熱流体の噴射ノズル部に付着物が堆積し、捲縮加工条件が生産管理範囲を外れると、捲縮付与装置を解体洗浄し、再度組み立てを行うが、その解体・組み立て時に糸条の導入ノズル部の表面を損傷し易いと云う問題があった。しかし、本発明の捲縮付与装置は表面に高硬度の蒸着膜を形成させているため、そのような問題を解消することができたものである。
【００３３】
本発明の捲縮付与装置の表面に形成する蒸着膜厚みは通常０．５〜２０μｍ、好ましくは１〜１５μｍである。０．５μｍ未満の厚みの蒸着は現時点では実用化が困難である。また打撲等機械的に損傷を受け易いと云う欠点もある。一方、２０μｍを越える厚みは、既に本発明が目的とする効果が飽和しており、蒸着コストが高くなるため不要である。なお、本発明の捲縮付与装置の表面に形成させる蒸着膜表面の特性は上記の通りであるが、具体的な蒸着膜成分および蒸着方法は以下の通りである。
【００３４】
本発明は捲縮付与装置の表面、少なくとも糸条が通過接触する部分に、特定の金属または特殊化合物を蒸着して蒸着膜を形成したものである。捲縮付与装置に用いられる基材は金属であれば特に限定されない。従来から用いられたステンレススチールや鉄やクロムモリブデン鋼等の金属が用いられるが、通常はステンレススチールが好ましい。
【００３５】
本発明の捲縮付与装置の表面に蒸着形成させる蒸着膜の成分はフロン系、フッ素系化合物のＦＨＣ（フローリックハードコート）、ＣＦＣ（フッ化カーボンコート）、カーボン系のＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、硼素系のＴｉＢＮ（窒化チタン硼素）、ＣｒＢＮ（窒化クロム硼素）、ＳｉＢＮ（窒化珪素硼素）、Ｃｒ系のＣｒＮ（窒化クロム）、チタン合金系のＴｉＣＮ（炭窒化チタン）、ＴｉＮ（窒化チタン）、ＴｉＡＬＮ（窒化チタンアルミ）、その他のＳｉＣ（炭化珪素）等から選ばれた金属加工物類およびセラミック化合物類である。
【００３６】
これらの蒸着膜は、熱可塑性ポリマーとの離型性に優れるとともに酸やアルカリ水溶液などの耐腐蝕性に優れている。特にフロン系、フッ素系化合物のＦＨＣ（フローリックハードコート）、ＣＦＣ（フッ化カーボンコート）、カーボン系のＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、硼素系のＴｉＢＮ（窒化チタン硼素）、ＣｒＢＮ（窒化クロム硼素）、ＳｉＢＮ（窒化珪素硼素）、Ｃｒ系のＣｒＮ（窒化クロム）は、より優れた耐腐蝕性を示す。
【００３７】
本発明に於いて、捲縮付与装置への蒸着は、ＰＶＤ法（Ｐｈｉｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｐｒｏｃｅｓｓ：物理的気相蒸着）またはＣＶＤ法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｓｉｏｎ  Ｐｒｏｃｅｓｓ：化学的気相蒸着）のいずれかの方法によって行うことができる。しかしながら、ＰＶＤ法（物理的気相蒸着）の方がＣＶＤ法に比べ蒸着時の処理温度が低いため、本発明の捲縮付与装置に蒸着する方法としては好ましい。しかし、ＣＶＤ法の中でもＰ−ＣＶＤ法（プラズマＣＶＤ）に於いてはＰＶＤ法と同等の低温環境下での蒸着が可能であるので、ＰＶＤ法同様に好ましい処理方法として用いられる。
【００３８】
本発明の捲縮付与装置に蒸着膜を形成する具体的な方法は、例えば以下の通りである。まず、蒸着に先立つ金属基材の前処理として、金属基材の表面に蒸着膜を形成し易くするために基材の洗浄を行う。基材の洗浄にはエタノール、シンナー等の溶剤を用い、その後に水中で超音波洗浄して細孔部等に入り込んでいる異物を除去する。さらに仕上げ洗浄水には純水や整水を用いる。
【００３９】
上記前処理を適正に実施すれば、蒸着膜の密着力を損なうようなことはないが、さらに好ましい基材洗浄方法としてイオンクリーニングを行うと良い。真空炉を用い、炉内の真空度を１０-2〜１０-7Ｔｏｒｒまで真空引きし、イオン源となるイオンガンや高周波（ＲＦ）またはＤＣ電圧で基材や電極に印加し、その後アルゴンガス（Ａｒ）を導入しプラズマを発生させる。アルゴンイオン（Ａｒ）を基材に電位差で衝突させ、その衝突エネルギーで基材表面の酸化膜や付着物を除去する。
【００４０】
次に、蒸着加工時に使用する真空炉内も充分に清掃する。以前に蒸着処理した金属や金属酸化物が真空炉内に付着していると、蒸着時にベーパー化し不純成分として基材に蒸着されてしまうからである。それを防止するため真空炉内面に薄い金属板を張り付け蒸着後に取り替えるか、または真空炉内面に離型剤をコーティングして酸化物の付着防止等を行うなど清掃することが好ましい。複雑形状でマスキング等ができない箇所にはサンドブラストでショットし物理的衝撃で前回の膜を除去する方法もある。
【００４１】
また、真空炉を真空引きする条件、即ち真空度に応じて真空ポンプタイプを選定しなければならない。真空度が高真空（１０-1Ｔｏｒｒ以上）の環境下で用いる際は、油回転ポンプなのどの潤滑オイルが真空により炉内に逆流しないようにターボ分子ポンプやクライオポンプを用いるとよい。ポンプの整備状態もコーティングの品質に対しては極めて大きなウエイトを持つので充分に整備する必要がある。
【００４２】
本発明の捲縮付与装置に形成する蒸着法について、ＰＶＤ法およびＣＶＤ法について以下に詳述する。
（１）ＰＶＤ法：主な装置としてイオン化蒸着装置、イオンプレーティング蒸着装置、スパッタリング装置、アークイオンプレーティング装置等を用いる。蒸着させたい金属基材に真空環境下でプラス電荷を帯びた原子をイオン状態にして、これを強い電位のエネルギーを利用してマイナス電圧を金属基材に印加し金属基材表面に高速でイオンを引き寄せ蒸着コーティングさせる。
【００４３】
ＰＶＤ法で用いる装置は、真空炉によって真空環境下で処理を行うものであり、その真空度は一旦１０-5〜１０-7Ｔｏｒｒに到達させて、Ｔｉ、窒素ガス、炭化水素系ガス（アセチレンガス）等の反応ガスもしくはキャリアガスとしてアルゴンガス等のガスを導入し、最終的には１０-2〜１０-4Ｔｏｒｒで処理する。処理温度は１００〜４００℃、好ましくは１００〜２８０℃である。この温度範囲で処理することにより、蒸着膜の機械的特性の劣化、熱変形、あるいは金属基材の複雑な形状部への応力集中による亀裂、破損などを防ぐことができる。また蒸着処理時間は蒸着の厚みにもよって変化させるが、通常は１〜５時間である。
（２）ＣＶＤ法：ＰＶＤ法と同じく真空炉を用い、例えば、熱ＣＶＤ装置または直流プラズマＣＶＤ装置、高周波プラズマＣＶＤ装置などが用いられる。蒸着させたい金属基材に常圧、減圧容器内で高温に加熱し金属基材に原料ガスを接触させて化学反応によって金属基材表面に蒸着コーティングさせる方法である。この時の真空度は、先ず１〜１０-5Ｔｏｒｒに到達させた後、反応ガスを導入し最終的には常圧〜１０-3Ｔｏｒｒで処理する。熱プラズマ装置での処理温度は５００〜１２００℃、好ましくは５００〜６００℃である。また、直流プラズマＣＶＤ装置、高周波プラズマＣＶＤ装置での処理温度は１００〜４００℃であり、ＰＶＤ装置と同等の低温成膜が可能である。蒸着処理時間は蒸着膜の厚みにもよって変化させるが、通常は１〜５時間である。
【００４４】
熱ＣＶＤ装置は高温環境下で成膜処理するため機械的特性の劣化、熱歪みによる変形、複雑な形状の場合は応力集中による亀裂、破損等が起こり易い。従って、比較的簡単な形状、あまり精度を要求しない用途に使われる方法である。なお、上記いずれの方法を用いるにしても、本発明の捲縮付与装置の糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部の内部に於いては、糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部の内部まで蒸着膜を形成させる場合もあり、ＣＶＤ法のように反応ガスから成膜させる方法が好ましい。ＰＶＤのスパッタなどのように、真空炉内で金属を溶融し、スパッタなどのようにイオンが直線的にしか進行できないため糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部の内部にまで到達することが困難である。そのため、蒸着原料をガス系のものを選択するか、金属系の原料を選ぶ際にはイオン源と金属基材の配置を工夫したり、ポリマー管により蒸着膜を形成させるため数回に亘り蒸着処理を行う。
【００４５】
次に本発明の捲縮付与装置の蒸着膜として好ましい７つの例について、その蒸着膜の製造方法を以下に示す。
（１）ＦＨＣ（フローリックハードコート）：ＰＶＤ法のイオンプレーティング装置で成膜処理する。真空炉の回転テーブルに捲縮付与装置をセットし３０〜１００ｒｐｍで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を１０-3〜１０-6Ｔｏｒｒにし、アルゴンガス（Ａｒ）を導入し、真空度を１０-2〜１０-3Ｔｏｒｒに制御しイオンクリーニングする。ＣＦ系ガス（ＣＦ4またはＣ3Ｆ8）を導入ノズルより真空炉内に導入する。熱フィラメントで電圧もしくは高周波をかけることでプラズマを発生させＣＦ系ガスをイオン化する。活発に運動する熱電子に正の電圧をかけることで陽イオンとなった蒸発粒子は、直流の負電圧にバイアスされた捲縮付与装置に向かって加速し衝突する。捲縮付与装置表面に到達した蒸発粒子は急速に冷却されて固化し成膜する。また、処理時の真空炉の温度は１００〜４００℃、好ましくは１００〜２５０℃で処理する。
【００４６】
（２）ＣＦＣ（フッ化カーボンコート）：ＣＶＤ法のＰ−ＣＶＤ装置で成膜処理する。真空炉の回転テーブルに捲縮付与装置をセットし３０〜１００ｒｐｍで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を１０-3〜１０-6Ｔｏｒｒにして、アルゴンガス（Ａｒ）を導入し、真空度を１０-2〜１０-3Ｔｏｒｒに制御しイオンクリーニングする。ＣＦ系ガス（ＣＦ4またはＣ3Ｆ8）とＣＨ系ガス（Ｃ6Ｈ6、Ｃ2Ｈ2またはＣＨ4）を導入ノズルより真空炉内に導入する。捲縮付与装置に１３．５６ＭＨｚまたは２７．１２ＭＨｚの高周波もしくはＤＣ電圧を印加し、あるいは、電極に高周波を印可し、さらに捲縮付与装置にＤＣ電圧を印可し捲縮付与装置の周辺にプラズマを発生させＣＦガスとＣＨ系ガスをイオン化する。ＣＦガスとＣＨ系ガスは直流の負電圧にバイアスされた捲縮付与装置に向かって電界加速され直進する。捲縮付与装置表面に到達した蒸発粒子は急速に冷却されて固化し成膜する。また、処理時の真空炉の温度は１００〜４００℃、好ましくは１００〜２５０℃で処理する。
（３）ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）：ＰＶＤ法のイオンプレーティング装置で成膜処理する方法とＣＶＤ法のＰ−ＣＶＤ装置で成膜する方法がある。まず該ＰＶＤ法のイオンプレーティング装置で成膜処理する。真空炉の回転テーブルに捲縮付与装置をセットし３０〜１００ｒｐｍで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を１０-3〜１０-6Ｔｏｒｒにし、アルゴンガス（Ａｒ）を導入し、真空度を１０-2〜１０-3Ｔｏｒｒに制御しイオンクリーニングする。ＣＨ系ガス（Ｃ6Ｈ6、Ｃ2Ｈ2またはＣＨ4）を導入ノズルより真空炉内に導入する。熱フィラメントで電圧もしくは高周波をかけることでプラズマを発生させＣＨ系ガスをイオン化する。活発に運動する熱電子に正の電圧をかけることで陽イオンとなった蒸発粒子は、直流の負電圧にバイアスされた捲縮付与装置に向かって加速し衝突する。捲縮付与装置表面に到達した蒸発粒子は急速に冷却されて固化し成膜する。また、処理時の真空炉の温度は１００〜４００℃、好ましくは１００〜２５０℃で処理する。  次にＣＶＤ法のＰ−ＣＶＤ装置で成膜する方法では、真空炉の回転テーブルに捲縮付与装置をセットし３０〜１００ｒｐｍで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を１０-3〜１０-6Ｔｏｒｒにして、アルゴンガス（Ａｒ）を導入し、真空度を１０-2〜１０-3Ｔｏｒｒに制御しイオンクリーニングする。ＣＨ系ガス（Ｃ6Ｈ6、Ｃ2Ｈ2またはＣＨ4）を導入ノズルより真空炉内に導入する。捲縮付与装置に１３．５６ＭＨｚまたは２７．１２ＭＨｚの高周波もしくはＤＣ電圧を印加し、あるいは、電極に高周波を印可し、さらに捲縮付与装置にＤＣ電圧を印可し捲縮付与装置の周辺にプラズマを発生させる。ＣＦガスとＣＨ系ガスは直流の負電圧にバイアスされた捲縮付与装置に向かって電界加速され直進する。捲縮付与装置表面に到達した蒸発粒子は急速に冷却されて固化し成膜する。また、処理時の真空炉の温度は１００〜４００℃、好ましくは１００〜２５０℃で処理する。
（４）ＴｉＢＮ（窒化チタン硼素）：ＰＶＤ法のアークイオンプレーティング蒸着装置（ＡＩＰ）またはスパッタリング蒸着装置で成膜処理する。真空炉の回転テーブルに捲縮付与装置をセットし３０〜１００ｒｐｍで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を１０-3〜１０-6Ｔｏｒｒにし、アルゴンガス（Ａｒ）を導入し、真空度を１０-2〜１０-3Ｔｏｒｒに制御しイオンクリーニングする。電極に電圧を加えるとグロー放電が起き、スパッタガスにはアルゴン（Ａｒ）を用い、硼素（Ｂ）と窒化チタン（ＴｉＮ）の金属をターゲットを用いるか、ＴｉＢ（チタン硼素）またはＴｉＢＮ（窒化チタン硼素）の金属ターゲットを用いる。前記金属ターゲット表面をプラズマが激しくスパッタすることで金属ターゲットの原子をはじき出し蒸着粒子がイオンとなる。そこに窒素ガスを導入する。真空炉の温度は２００〜４００℃、好ましくは２００〜２５０℃で処理する。これを強い電位のエネルギーを利用してマイナス電荷を捲縮付与装置に流し金属基材表面に高速で原子を引き寄せ、捲縮付与装置表面に成膜する。
（５）ＣｒＢＮ（窒化クロム硼素）：ＰＶＤ法のアークイオンプレーティング蒸着装置（ＡＩＰ）またはスパッタリング蒸着装置で成膜処理する。真空炉の回転テーブルに捲縮付与装置をセットし３０〜１００ｒｐｍで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を１０-3〜１０-6Ｔｏｒｒにし、アルゴンガス（Ａｒ）を導入し、真空度を１０-2〜１０-3Ｔｏｒｒに制御しイオンクリーニングする。電極に電圧を加えるとグロー放電が起き、スパッタガスにはアルゴン（Ａｒ）を用い、硼素（Ｂ）と窒化クロム（ＣｒＮ）の金属をターゲットを用いるか、ＣｒＢ（クロム硼素）またはＣｒＢＮ（窒化チタン硼素）の金属ターゲットを用いる。もしくは硼素（Ｂ）とクロム（Ｃｒ）ターゲットを用いる前記金属ターゲット表面をプラズマが激しくスパッタすることで金属ターゲットの原子をはじき出し蒸着粒子がイオンとなる。そこに窒素ガスを導入する。真空炉の温度は２００〜４００℃、好ましくは２００〜２５０℃で処理する。これを強い電位のエネルギーを利用してマイナス電荷を捲縮付与装置に流し金属基材表面に高速で原子を引き寄せ、捲縮付与装置表面に成膜する。
（６）ＳｉＢＮ（窒化シリコン硼素）：ＰＶＤ法のアークイオンプレーティング蒸着装置（ＡＩＰ）またはスパッタリング蒸着装置で成膜処理する。真空炉の回転テーブルに捲縮付与装置をセットし３０〜１００ｒｐｍで正逆転のいずれか一定方向に回転させる。真空ポンプにて真空引きし真空度を１０-3〜１０-6Ｔｏｒｒにし、アルゴンガス（Ａｒ）を導入し、真空度を１０-2〜１０-3Ｔｏｒｒに制御しイオンクリーニングする。電極に電圧を加えるとグロー放電が起き、スパッタガスにはアルゴン（Ａｒ）を用い、硼素（Ｂ）と窒化シリコン（ＳｉＮ）の金属をターゲットを用いるか、ＳｉＢ（クロム硼素）またはＳｉＢＮ（窒化シリコン硼素）の金属ターゲットを用いる。もしくは硼素（Ｂ）とシリコン（Ｓｉ）ターゲットを用いる前記金属ターゲット表面をプラズマが激しくスパッタすることで金属ターゲットの原子をはじき出し蒸着粒子がイオンとなる。そこに窒素ガスを導入する。真空炉の温度は２００〜４００℃、好ましくは２００〜２５０℃で処理する。これを強い電位のエネルギーを利用してマイナス電荷を捲縮付与装置に流し金属基材表面に高速で原子を引き寄せ、捲縮付与装置表面に成膜する。
（７）ＣｒＮ（窒化クロム）：ＰＶＤ法のアークイオンプレーティング蒸着装置で成膜処理する。真空炉の真空度を１０-6〜１０-7Ｔｏｒｒにし、そこに窒素ガスを導入する。真空炉の温度は２００〜４００℃、好ましくは２００〜２５０℃で処理する。真空炉内のセンターにクロムを配置しアーク電源にてＣｒを局部的に溶融する。溶融されたクロムは真空環境下でベーパー化し、プラス電荷を帯びたクロム原子をイオン状態にして、これを強い電位のエネルギーを利用してマイナス電荷を捲縮付与装置に流し金属基材表面に高速で原子を引き寄せ、捲縮付与装置表面に成膜する。
【００４７】
本発明の捲縮付与装置を用いた合成繊維捲縮糸の製造法の一例を以下に示す。
【００４８】
熱可塑性ポリマーを、エクストルーダー型紡糸機によって溶融し、ポリマー濾過用フィルターおよび多数の細孔を有する口金を通して紡糸する。口金から紡糸された糸条は、冷風によって冷却固化される。冷風は約８０〜３０℃以上の温風または３０℃〜１５℃の冷風が用いられる。ついで、糸条は界面活性剤を主成分とする油剤を付与された後引き取りローラーに捲回され、所定の引き取り速度で引き取られる。引き取り速度は３００〜２０００ｍ／ｍｉｎ、通常は５００〜１５００ｍ／ｍｉｎである。引取り糸条は一旦巻き取ることなく、順次高速で回転する複数の対ローラーに捲回させ、該対ローラーの速度差によって延伸する。通常は延伸倍率が２．０〜４．０で１段または２段で延伸したのち、引き続き捲縮付与装置に導き、捲縮加工処理する。捲縮付与装置は、例えば図１に示す装置からなり、それぞれ以下の機能を有する。蒸気噴出孔ノズルは、高温、通常は１００〜１６０℃の飽和水蒸気又は、１５０〜４００℃に加熱された過熱蒸気を噴き出すことによって熱可塑性合成繊維糸条を吸引すると共に、該蒸気によって交絡・捲縮加工処理を行う。要求される捲縮加工糸の特性によって、該蒸気噴出孔ノズルから蒸気と共に糸条を吹き出す方法、あるいは、該蒸気噴出孔ノズルに接続して設置された繊維を押し込む圧縮室、即ち、スタッフィングボックスで処理した後蒸気と共に糸条を吹き出す方法によって捲縮加工処理される。スタッフィングボックス内で捲縮糸条はさらに押し込み捲縮加工処理および熱固定処理を受け、加熱流体の噴射ノズル部又はスタッフィングボックス下に設置された繊維糸条を衝突させる多孔性部材、即ちロータリーフィルターまたは固定フィルタ−上に蒸気とともに吹き出される。繊維糸条を衝突させる多孔性部材は近年の捲縮加工処理速度のアップと共に、ロータリーフィルターが一般的に用いられている。
【００４９】
本発明の捲縮付与装置に於ける蒸着膜は、前記捲縮付与装置を構成する糸条の導入ノズル部と加熱流体の噴射ノズル部と捲縮加工された糸条の堆積部の表面の少なくとも一部に形成されることが必要であるが、その一部とは、糸条が通過接触する捲縮ノズル装置の一部を指し、図１で示す７の部分の全体又はその一部である。特に、付着物の堆積および摩耗の起こり易い糸条の導入ノズル部２と糸条の堆積部３への蒸着が最も効果的である。
【００５０】
上記ロータリーフィルター上で冷却された糸条は、所定のストレッチおよび伸長を行って捲縮を解きほぐすと共に、該ストレッチをかけた時の捲縮糸の張力（ストレッチ張力と云う）をモニタリングする。ストレッチは２対の速度の異なるローラーに捲縮糸を捲回して行い、該ローラー間に設置した連続張力測定器によってモニタリングする。一定品質の捲縮糸を生産するためには、該張力のモニタリングを行い、一定の張力範囲に入る捲縮糸を製品とすることが必要である。ストレッチ張力が管理範囲を外れる場合、その殆どは捲縮付与装置の汚れ又は摩耗による捲縮加工条件の変化に因るため、捲縮付与装置、通常は蒸気噴射孔ノズルの交換によって正常に回復する。交換した蒸気噴射孔ノズルは洗浄したのち摩耗していなければ再度利用することができる。
【００５１】
本発明捲縮付与装置を用いると、該蒸気噴射孔ノズルの取り外し洗浄周期は、従来の１〜２日から５日以上、通常は１週間以上に延長することができる。また、摩耗による糸条の導入ノズルの交換周期も、従来の３〜４ケ月から約１０ケ月以上、通常は１年以上連続使用可能である。
【００５２】
上記ストレッチ張力モニタリング部を通過した捲縮糸は、交絡付与装置によって交絡を付与され、集束されて巻取られる。
【実施例】
【００５３】
次に、実施例および比較例をあげて本発明を具体的に説明するが、以下の実施例に用いた各特性の評価方法を示す。
（１）蒸着膜厚：粗さ測定は触針走査式粗さ測定器を使用した。測定機種は（株）小坂研究所の”Ｓｕｒｆｃｏｒｄｅｒ”（ＳＥ１７００）蒸着真空炉に一部マスキングをしたテストピースを配置し、蒸着加工後にマスキングを除去する。マスキング部は蒸着されていないので蒸着部と段差が生じる。その段差を触針走査式粗さ測定器の断面曲線で測定した。
（２）水との接触角：捲縮付与部材もしくは捲縮付与装置と同材質で製作したテストピースに蒸着加工し、その後テストピース上に蒸留水２．５ｃｃを滴下して、その接触角を接触角自動測定器にて測定した。測定は温度２４±２℃、湿度６０±５％の環境下で行った。接触角自動測定器は、”ＡＣＴ−ＰＲＯＤＵＣＴＳ”（ＶＣＡ−ＯＰＴＩＭＡ装置）を用いた。
（３）蒸着膜硬度：蒸着膜形成部分をＪＩＳ−Ｂ７７３４のビッカース硬さ試験法で測定した。ビッカース硬さ試験機は（株）明石製作所製”ＭＶＫ−Ｅ”を用いた。
（４）糸条の導入ノズルの洗浄周期：図１の捲縮付与装置に於いて、捲縮加工された糸条に２〜７％のストレッチをかけた時の張力の範囲を１００〜１５０ｇｆに設定し、張力が下限値（１００ｇｆ）を下まわった時点で該蒸気噴射孔ノズルを取り外して洗浄した。張力が設定値の下限に達するまでの平均日数をもとめ、これを糸条の導入ノズルの洗浄周期とした。
【００５４】
なお、ここで使用した連続張力測定装置はエイコー測器（株）社製のＴＭＳ（テンション、モニタリング、システム）を使用した。
（５）摩耗寿命：糸条の導入ノズルの摩耗によって、（４）項と同様張力が下限値に達するまでの蒸気噴射ノズルの延べ使用日数を求めて、摩耗寿命とした。なお、張力が下限値に達して、該糸条の導入ノズルを洗浄して再度取り付けても張力が正常値に回復せず、かつ該糸条の導入ノズルを観察して摩耗を確認してた。なお、従来技術による比較例４の寿命を１として本発明の効果を相対的に示した。
（実施例１〜１０、比較例１〜４）
酸化チタン０．１重量％を含有する、硫酸相対粘度２．６のナイロン６ポリマーチップをエクストル−ダー型紡糸機を用いて溶融し、紡糸した。
【００５５】
紡糸温度は紡糸パック中のポリマー温度で２６０℃、口金はＹ型断面の５４孔を用い、１１５０ｄｔｅｘ−５４ｆｉｌの捲縮糸を製糸した。紡出糸条に２０℃の冷風を、紡出糸条の直角方向から３０ｍ／ｍｉｎの速度で吹き付け、冷却固化した。
【００５６】
次いで、糸条に油剤を付与した後、所定の速度で回転する引き取りローラーに捲巻して引き取った。該引き取り糸条は一旦巻き取ることなく連続して、順次速度をアップさせたセパレートタイプの対ローラーに捲回して１段延伸した。この１段延伸糸を連続して捲縮付与装置に導き、捲縮加工処理した。使用した捲縮付与装置は糸条の導入ノズル部、加熱流体の噴射ノズル部および゛捲縮加工された糸条の堆積部の糸条と接触する部分の全表面（図１中の７の部分）に蒸着膜を形成させた図１の捲縮付与装置であり、蒸気噴射孔ノズル、繊維糸条を押し込む圧縮室（スタッフィングボックス）および繊維糸条を衝突させる多孔性部材（ロータリーフィルター）からなる。蒸気噴射孔ノズルから２３０℃の過熱蒸気０．８ＭＰａを噴き出し、糸条の吸引、捲縮加工処理を行い、さらに該スタッフィングボックス内でスタッフィング処理と熱固定処理した後、スタッフィングボックスからスチームと共に捲縮糸条を下方に噴出させた。捲縮加工された糸条はスタッフィングボックスの下方に約５ｍｍの間隔を於いて設置され回転するロータリーフィルター上に蒸気と共に噴射して乗せられ、冷却されつつ回転移送された。
【００５７】
次に、捲縮糸条はロータリーフィルター上から引き出され、２対のセパレートローラー間で５％のストレッチをかけて捲縮を解きほぐすと同時に、ストレッチ張力測定器で張力を測定した。その後捲縮糸は交絡付与装置を通して、１５ヶ／ｍの交絡を付与した後、巻き取った。
【００５８】
本実施例に於いて、捲縮付与装置は従来のＳＵＳ６３０を基材として用い、該基材の表面に本発明で特定した蒸着膜形成処理を行い、その効果を評価した。  比較例３は、従来のＳＵＳ６３０未処理品のまま、実施例の蒸着膜形成部と同じ部分に弗素系コーティング剤を噴霧処理したもの、また比較例４は従来のＳＵＳ６３０未処理品のままを使用し、評価した。本発明蒸着膜を形成させた捲縮付与装置を用いた場合は、蒸気噴射孔ノズルの洗浄周期および摩耗のための交換周期が著しく延長できることが分かる。
【００５９】
【表１】
2004293025.tif 000002
【００６０】
【表２】
2004293025.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の捲縮付与装置の一例の断面を示す図である。
【図２】イ、ロ、ハ、ニは本発明の捲縮付与装置の各部品断面の蒸着例（太線部分）を示す図である。
【符号の説明】
【００６２】
１：糸条の導入ノズル部
２：加熱流体の噴射ノズル部
３：捲縮糸条の堆積部
４：ボディー
５：ビス（加熱流体の噴射ノズル取付け用）
６：ビス（堆積部取付け用）
７：蒸着膜
８：糸条導入口
９：糸条排出口
１０：加熱流体通路
【図１】
2004293025.tif 000004
【図２】
2004293025.tif 000005