(57)【要約】【課題】１画素を複数の小開孔と複数の小電子源の組合せで構成する構造の電界放射型表示装置で、制御電極への不要電子流の軽減と、電子源のカーボンナノチューブの耐熱性の向上とを図り、高性能の電子放出性能をもつ高品質、長寿命の表示装置を得る。【解決手段】制御電極４の小開孔４ａｎを介して電子源となるカーボンナノチューブに硼素（Ｂ）を付着させ、前記小開孔４ａｎと小電子源２ａｎの同軸性の確保と電子源面積を開孔面積以下とし、制御電極への不要電子流の軽減と、カーボンナノチューブの消失を抑制する。【選択図】　　　　図１
2004111292.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の陰極配線と、この複数の陰極配線のそれぞれに配置された複数の電子源と、前記陰極配線と対向して配置されて前記電子源からの電子の放出量を制御する制御電極及び前記陰極配線を保持する背面基板を有する背面パネルと、
陽極および蛍光体を有する前面パネルとを備えた表示装置であって、
前記制御電極は前記各電子源とそれぞれ対向する領域に前記電子源からの電子を前記前面パネル側に通過させる複数個の小開孔を有し、この複数個の小開孔のそれぞれに対応して前記各電子源はそれぞれ複数個の小電子源に分割されており、かつこの小電子源は硼素を含むことを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記硼素は前記制御電極側の表面に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記硼素は前記陰極配線側の表面に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項４】
前記硼素は複数の前記小電子源に共通に前記陰極配線表面に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項５】
前記小電子源は対応する前記小開孔の面積よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項６】
複数の陰極配線と、この複数の陰極配線のそれぞれに配置された複数の電子源と、前記陰極配線と対向して配置されて前記電子源からの電子の放出量を制御する制御電極及び前記陰極配線を保持する背面基板を有する背面パネルと、
陽極および蛍光体を有する前面パネルとを備えた表示装置であって、
前記制御電極は前記各電子源とそれぞれ対向する領域に前記電子源からの電子を前記前面パネル側に通過させる複数個の小開孔を有し、この複数個の小開孔のそれぞれに対応して前記各電子源はそれぞれ複数個の小電子源に分割されており、かつこの小電子源及び制御電極は硼素を有することを特徴とする表示装置。
【請求項７】
前記制御電極は金属材料からなることを特徴とする請求項６に記載の表示装置。
【請求項８】
複数の陰極配線と、この複数の陰極配線のそれぞれに配置された複数の電子源と、前記陰極配線と対向して配置されて前記電子源からの電子の放出量を制御する制御電極及び前記陰極配線を保持する背面基板を有する背面パネルと、
陽極および蛍光体を有する前面パネルとを備えた表示装置であって、
前記制御電極は前記各電子源とそれぞれ対向する領域に前記電子源からの電子を前記前面パネル側に通過させる複数個の小開孔及び前記陰極配線に対向する部分と異なる部分に前記背面基板側に伸びる凸部とを有し、前記各電子源は前記複数個の小開孔のそれぞれに対応してそれぞれ複数個の小電子源に分割されており、この小電子源の頂面と小開孔の底面との距離をａ、前記凸部内面とこの内面に最も近い小電子源の側面との距離をｂとしたとき、ｂ≧２ａであることを特徴とする表示装置。
【請求項９】
前記凸部の一端が前記背面基板と接していることを特徴とする請求項８に記載の表示装置。
【請求項１０】
複数の陰極配線と、この複数の陰極配線のそれぞれに配置された複数の電子源と、前記陰極配線と対向して配置されて前記電子源からの電子の放出量を制御する制御電極及び前記陰極配線を保持する背面基板を有する背面パネルと、陽極および蛍光体を有する前面パネルとを備え、前記電子源から放出された電子により前記蛍光体を発光させて表示を行う表示装置の製造方法であって、
前記背面基板に複数の陰極配線を形成する工程と、
各陰極配線上にそれぞれ複数個の電子源を形成する工程と、
前記各電子源に対応してそれぞれ複数個の小開口を持つマスクを介して前記各電子源に硼素を付着する工程と、
前記各電子源を加熱して前記硼素の付着した前記小開口に対応する部分を小電子源に形成する工程と、
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記マスクは制御電極であることを特徴とする請求項１０に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記電子源の加熱は、温度４５０°Ｃ以上で行うことを特徴とする請求項１０に記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空中への電子放出を利用した表示装置に係り、特に電子源の位置と大きさを制御すると共に、電子源の特性劣化を防止した高性能、高信頼性の表示装置及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
高輝度、高精細に優れたディスプレイデバイスとして従来からカラー陰極線管が広く用いられている。しかし、近年の情報処理装置やテレビ放送の高画質化に伴い、高輝度、高精細の特性をもつと共に軽量、省スペースの平板状ディスプレイ（パネルディスプレイ）の要求が高まっている。その典型例として液晶表示装置、プラズマ表示装置などが実用化されている。又、特に、高輝度化が可能なものとして、電子源から真空への電子放出を利用した表示装置（以下、電子放出型表示装置、または電界放出型表示装置と呼ばれる）や、低消費電力を特徴とする有機ＥＬディスプレイなど、種々の型式のパネル型表示装置の実用化も進んでいる。
【０００３】
このようなパネル型の表示装置のうち、上記電界放出型表示装置には、Ｃ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔらにより発案された電子放出構造をもつもの（例えば、米国特許第３４５３４７８号明細書、特開２０００−２１３０５号公報参照）、メタル−インシュレータ−メタル（ＭＩＭ）型の電子放出構造をもつもの、量子論的トンネル効果による電子放出現象を利用する電子放出構造（表面伝導型電子源とも呼ばれる特開２０００−２１３０５公報参照）をもつもの、さらにはダイアモンド膜やグラファイト膜、カーボンナノチューブの持つ電子放出現象を利用するもの、等が知られている。
【０００４】
図１１は既知の電界放出型の表示装置の一構成例を説明する断面図である。また、図１２は図１１に示した電界放出型の表示装置における１画素の電子放出源とその電子放出量を制御する制御電極の構成例の説明図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図ある。電界放出型の表示装置は、内面に電界放出型の電子源と制御電極を形成した背面パネル１００と、上記背面パネル１００と対向する内面に陽極と蛍光体層を備えた前面パネル２００の両者の内周縁に封止枠３００を介挿して封止し、当該背面パネル１００と前面パネル２００および封止枠３００で形成される内部を外界の気圧より低圧あるいは真空（以下、真空と言う）にして構成される。
【０００５】
背面パネル１００はガラスあるいはセラミックス等を好適とする背面基板１の一面上に電子源をもつ複数の陰極配線２と、絶縁層３を介して陰極配線２に交差して設けた制御電極４を有する。そして、陰極配線２と制御電極４との間の電位差で電子源からの電子の放出量（放出のオン・オフを含む）を制御する。また、前面パネル２００はガラス等の光透過性の材料で形成された前面基板５の一面上に陽極７と蛍光体６とを有する。封止枠３００は背面パネル１００と前面パネル２００との内周縁にフリットガラスなどの接着材で固着される。背面パネル１００と前面パネル２００および封止枠３００で形成される内部は、例えば１０−５〜１０−７Ｔｏｒｒの真空に排気される。背面パネル１００と前面パネル２００の間の間隙は間隙保持部材９により保持される。
【０００６】
背面パネル１００の背面基板１に設けられた陰極配線２と、この陰極配線２と交差する制御電極４の間には絶縁層３が介挿され、制御電極４の各交差部に開孔（グリッドホール）４ａを有している。一方、陰極配線２の上記交差部には電子源２ａを有し、制御電極４の開孔４ａに対応する部分では絶縁層３が除去されている。前記開孔４ａは電子源２ａから放出される電子を陽極側に通過させる。
【０００７】
上記電子源は、例えばカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）、あるいはダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、その他の電界放出カソードで構成される。なお、電子源として、ここではカーボンナノチューブ（以下ＣＮＴと云う）を用いたものとして示してある。この電子源２ａは、図１１に示したように、制御電極４の開孔４ａの直下に設けられている。図１１は電子源２ａが１画素あたり１つの場合であるが、これを複数個とすることもできる。
【０００８】
図１３は電子源を１画素あたり複数個形成した表示装置の図１２に対応する説明図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図ある。すなわち、図１３は１画素あたり複数個の小電子源と小開孔を有する構成で、ここでは、制御電極４に複数の小開孔４ａ１〜４ａＮを設けてあり、それぞれの小開孔に対応した陰極配線２上に複数の小電子源２ａ１〜２ａＮが配置されている。背面パネル１００から出射された電子は対向する前面パネル２００の蛍光体６に射突する。そして、蛍光体６の発光特性に応じた光は前面パネル２００の外部に出射し、表示装置として機能する。
【０００９】
図１４は既知の電界放出型の表示装置の他の構成例を説明する模式断面図である。１画素あたり１つの電子源と１つの開孔を備えたものである。また、図１５は図１４の矢印Ａで示した部分の拡大断面図である。図１４および図１５において、参照符号１００は背面パネル、２００は前面パネル、３００は封止枠を示す。背面パネル１００は、背面基板１の内面に、電子源２ａを有する陰極配線２と、この陰極配線２とは絶縁されて設けられた制御電極４を有している。この例では制御電極４の保持は前述した絶縁層３を介在させない構成となっている。また、前面パネル２００を構成する前面基板５の内面には、前述と同様に蛍光体６と陽極７が形成されている。
【００１０】
制御電極４は陰極配線２上に配置する電子源２ａからの電子放出（電子の引き出し）を制御する機能を有する。又、制御電極４に代えて、或いは追加して、電子を蛍光体６に収束させる電位を印加する他の電極を設ける構成も可能である。なお、図１４では、陽極７の上に蛍光体６を設けた構成としてあるが、蛍光体６を覆って陽極７を形成したものもある。また、隣接する蛍光体６の間に遮光層（ブラックマトリクス）を設けることも行われている。背面パネル１００と前面パネル２００とは、封止枠３００で貼り合わせてそれらの間が真空封止される。
【００１１】
図１５に示したように、背面パネル１００に設ける陰極配線２の上には電子源２ａが形成されている。この電子源２ａは陰極配線２と制御電極４の間に印加される電界で電子を効率よく発生する電子放出材料で構成される。導電性の材料は、一般的に電界中に露出する外側エッジが先鋭な形状であるほど電子放出性能が高い。したがって、ファイバ状（棒状）の導電材料を用いることで高効率の電子放出を実現することができる。この電子放出材料の一つとして、前述のようにＣＮＴがある。
【００１２】
ファイバ状の導電材料を電子源２ａとして用いる場合、陰極配線２上にこの導電性ファイバを固定する必要がある。ここでは、ファイバ状の導電材料としてＣＮＴを例として説明する。ＣＮＴは極めて細い針状の炭素化合物（厳密に言えば、炭素原子が６角形状に並んだグラフェンと呼ばれる平面構造が円筒状に配置されて閉じており、直径がナノメートルスケールの中空物質）であり、これを陰極配線に配置して電子源として用いることで効率のよい電子放出を得ることができる。ＣＮＴを陰極配線上に設置する際には、ＣＮＴを銀やニッケルなどの導電性フィラーと共に混練した電極ペーストを塗布して電子源層を形成し、これを焼成して陰極配線に固定する方法が知られている。　なお、この種の表示装置に関する従来技術を開示したものとしては、例えば特開平１１−１４４６５２号公報、特開２０００−３２３０７８号公報などを挙げることができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来の電界放出型の表示装置では、電子源２ａからの電子が開孔４ａを通過して陽極７の蛍光体６に射突し、これを励起、発光させて表示を行う型式で、高輝度、高精細の特性をもつと共に軽量、省スペースの平板状ディスプレイを可能とする優れた構成である。ところが、この様な優れた構成にかかわらず解決すべき課題を有している。すなわち、電子源２ａからの電子が制御電極４へ流入し、表示効率が低下する。更に制御電極４が金属材料の場合は表示効率の低下に加え放熱の解決が求められる。
【００１４】
又、電子源２ａとこれに対応する開孔４ａの同軸性の確保が困難で、前記の表示効率の低下を助長している。更に、製造工程中の加熱によりＣＮＴが変質して消失し、十分な電子放出量が得られなかったり、均一な電子放出の電子源を構成することが困難である等従来技術ではこれらの事項が表示装置として実用化するのに十分でなく、解決すべき課題となっていた。
【００１５】
本発明の目的は、上記した従来技術における課題を解決し、高性能の電子放出特性と電子源の特性劣化を防止した高性能、高信頼性、長寿命の表示装置を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明による表示装置は、１画素あたり複数個の小電子源と小開孔を有し、前記小電子源に硼素（Ｂ）を含む構成として小電子源と対応する小開口との同軸性の確保と、小電子源の面積と対応する小開口面積との相対関係の確保、更には製造工程中の加熱によるＣＮＴの消失を抑制したことを特徴とする。本発明の基本的な構成を列挙すれば、次のとおりである。
【００１７】
（１）、本発明の表示装置は、複数の陰極配線と、この複数の陰極配線のそれぞれに配置された複数の電子源と、陰極配線と対向して配置され電子源からの電子の放出量を制御する制御電極及び陰極配線を保持する背面基板を有する背面パネルと、陽極および蛍光体を有する前面パネルとを備える。制御電極には各電子源とそれぞれ対向する領域に電子源からの電子を前面パネル側に通過させる複数個の小開孔を有し、この複数個の小開孔のそれぞれに対応して各電子源をそれぞれ複数個の小電子源に分割し、かつこの小電子源に硼素（Ｂ）を含ませた。硼素（Ｂ）は、前記制御電極側の表面、または陰極配線側の表面に配置することができる。あるいは、硼素（Ｂ）を複数の小電子源に対して共通に、陰極配線表面に配置することもできる。
【００１８】
このように、制御電極の小開孔に対応して硼素（Ｂ）を含む小電子源を配置したことから、制御電極への電子の流入が軽減され、高性能の電子放出特性と電子源の特性劣化を防止した高精細で、高性能、高信頼性の表示装置を得ることができる。このとき、小電子源を、対応する小開孔の面積よりも小さくする。
【００１９】
この構成により、小電子源から放射される電子は陽極方向に無駄なく通過し、、低電力で高輝度の画像を得るとができると共に制御電極の放熱の問題も解決できる。
【００２０】
（２）、また、本発明の表示装置は、複数の陰極配線と、この複数の陰極配線のそれぞれに配置された複数の電子源と、陰極配線と対向して配置され、電子源からの電子の放出量を制御する制御電極及び陰極配線を保持する背面基板を有する背面パネルと、陽極および蛍光体を有する前面パネルとを備える。制御電極の各電子源とそれぞれ対向する領域に、電子源からの電子を前面パネル側に通過させる複数個の小開孔を有し、この複数個の小開孔のそれぞれに対応させて各電子源のそれぞれを複数個の小電子源に分割し、かつこの小電子源及び制御電極に硼素（Ｂ）を有するものとした。制御電極は金属材料から構成する。
【００２１】
この構成により、制御電極の表面が硼素（Ｂ）で覆われる事から当該表面からの不要な電子放出（グリットエミッション）が抑制されると共に、制御電極の放熱の問題も解決できる。
【００２２】
（３）、さらに、本発明の表示装置は、複数の陰極配線と、この複数の陰極配線のそれぞれに配置された複数の電子源と、陰極配線と対向して配置されて電子源からの電子の放出量を制御する制御電極及び陰極配線を保持する背面基板を有する背面パネルと、陽極および蛍光体を有する前面パネルとを備える。制御電極は各電子源とそれぞれ対向する領域に電子源からの電子を前面パネル側に通過させる複数個の小開孔及び陰極配線に対向する部分と異なる部分に背面基板側に伸びる凸部とを有する。各電子源は複数個の小開孔のそれぞれに対応してそれぞれ複数個の小電子源に分割し、この小電子源の頂面と小開孔の底面との距離をａ、凸部内面とこの内面に最も近い小電子源の側面との距離をｂとしたとき、ｂ≧２ａとした。凸部の一端を前記背面基板と接しさせる。
【００２３】
この構成により、耐電圧特性が向上すると共に制御電極へ流入する電子を抑制して表示効率を向上でき、凸部で制御電極を支えることで制御電極をさらに安定に支えることができる。
【００２４】
（４）、上記した本発明による表示装置の製造は、背面基板に複数の陰極配線を形成する工程と、各陰極配線上にそれぞれ複数個の電子源を形成する工程と、各電子源に対応してそれぞれ複数個の小開口を持つマスクを介して前記各電子源に硼素（Ｂ）を付着する工程と、前記各電子源を加熱して前記硼素（Ｂ）の付着した前記小開口に対応する部分を小電子源に形成する工程とを含む方法とした。
【００２５】
上記マスクとして制御電極を用いることができ、電子源の加熱は、温度４５０℃以上で行う。電子源となるＣＮＴのようなファイバ状の導電材料の消失を防止して十分な電子放出量が得られ、又均一な電子放出の電子源を構成することができると共に電子放出特性の劣化の無い長寿命の表示装置を得ることができる。また、小電子源と小開孔との同軸性の確保ができ、表示効率の向上を図ることができる。
【００２６】
この方法により、加熱作業が容易になり、電子源となるＣＮＴのようなファイバ状の導電材料の消失を防止して十分な電子放出量が得られ、均一な電子放出の電子源を構成することができると共に電子放出特性の劣化の無い長寿命の表示装置を得ることができる。
【００２７】
なお、本発明は、上記の構成および後述する実施例の構成に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱することなく種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明による電界放射型の表示装置の一実施例の構成を説明する要部展開斜視図であり、前述した図と同じ部分或は同一機能を有するものには同一記号を付してある。図１において、参照符号１は電子源側の背面基板、２は電子源を保持する陰極配線、２ａは電子源で、この電子源２ａは前記陰極配線２の表面に複数個所定の間隔を隔てて配置され、かつ前記各電子源２ａの夫れ夫れは複数の小電子源２ａｎの集合体から構成されている。この複数の小電子源２ａｎは、予め銀ペーストの印刷と焼成で形成された印刷配線２の表面に、銀（Ａｇ）とＣＮＴ及び硼素（Ｂ）を含有して構成されており、電子源に硼素（Ｂ）を含有している。
【００２９】
小電子源２ａｎは、例えばＡｇ−Ｂ−ＣＮＴペーストを用いて焼成して形成する方法或は硼素（Ｂ）を別途付着させる方法等により構成されている。又、参照符号４は金属板からなる制御電極（金属グリット）である。この制御電極４は前記陰極配線２と直交して複数枚所定の間隔を隔てて配置され、かつ各制御電極４は前記電子源２ａに夫れ夫れ対応する位置に複数の開孔４ａを穿孔配置している。そして前記開孔４ａの夫れ夫れは前記複数の小電子源２ａｎに相当する数の小開孔４ａｎの集合体から構成されている。この小開孔４ａｎの夫れ夫れは、対応する夫れ夫れの前記小電子源２ａｎの面積と略同一面積の開孔を有すると共に、両者は略同軸に配置されている。又この制御電極４の前面基板５側の表面は硼素（Ｂ）を含む層（図示せず）で覆われている。
【００３０】
更に、参照符号４ｂは凸部であり、この凸部４ｂは前記開孔４ａ相互間の略中心に位置して前記背面基枚１側に向かって突出し、その先端をガラスフリット等の接合剤（図示せず）を介して前記陰極配線２相互間で背面基枚１に接している。凸部４ｂによって小開孔４ａｎと小電子源２ａｎとの間隔が規定されており、この例では約２５μｍとなっている。又、制御電極４は鉄合金（例えば、４２％Ｎｉ−６％Ｃｒ−残Ｆｅ）が好適であるが、これに限定されるものではない。
【００３１】
上記小開孔４ａｎはエッチング加工による穿孔が精度の点から望ましく、又凸部４ｂの形成もエッチングを利用することも可能である。又両者、すなわち小開孔４ａｎと凸部４ｂとを両面から同時にエッチングして形成することも可能である。図１に示した実施例の構成では、１画素を複数の小電子源２ａｎと対応する複数の小開孔４ａｎとにより構成している。又、図１の構成では制御電極４は従来のスパッタ等により形成した制御電極と異なり、板部材を加工して形成されているため、別部材として製作できるという利点がある。又この制御電極４の前面基板５側の表面が硼素（Ｂ）を含む層（図示せず）で覆われている為、放電防止効果を有している。
【００３２】
図２は図１に示す本発明の表示装置の要部を拡大して示す摸式断面図で、図１と同じ部分には同一記号を付してある。図２において、小電子源２ａｎは陰極配線２上で小開孔４ａｎに対応する部分に夫れ夫れ独立に配置されており、この小電子源２ａｎ及び制御電極４の前面基板５側の表面は硼素（Ｂ）を含む層１０で覆われている。小電子源２ａｎの頂面１１と小開孔４ａｎの底面１２との距離ａは、制御電極４の凸部４ｂによって規定されており、前述の様にこの例では約２５μｍとなっている。又、凸部４ｂとこの凸部４ｂに最も近接する小電子源２ａｎとの距離ｂは、前記距離ａの２倍以上、すなわちｂ≧２ａの関係を保持する寸法となっている。
【００３３】
この距離ｂと距離ａとの関係を保持することで、不必要な電流が制御電極４に流れる事がなく、表示効率が向上する。又、この実施例では小電子源２ａｎの頂面１１の面積が、対応する小開孔４ａｎの開孔面積以下に形成されており、この両者の相対関係により、制御電極への電子の流入を軽減している。
【００３４】
図３は本発明による表示装置の実施例の小電子源２ａｎの構成例を説明するための拡大断面図である。図３（ａ）は図２に示したものを示し、図３（ｂ）は硼素（Ｂ）を含む層１０を陰極配線２側に設けたものを示す。これは陰極配線２表面の小電子源２ａｎが形成されるべき位置に、予め小電子源２ａｎと略同一面積の硼素（Ｂ）を含む層１０を形成し、その上に小電子源２ａｎを重畳して電子源となるＣＮＴのようなファイバ状の導電材料の消失を防止したものである。
【００３５】
図３（ｃ）は硼素（Ｂ）を含む層１０を小電子源２ａｎの表裏に設けたもので、前述の図３（ａ）、図３（ｂ）と同様に、導電材料の消失防止効果の他に、後述する製造方法を実施することで高精度の小電子源２ａｎの形成を容易にする効果も合わせ持っている。図３（ｄ）乃至図３（ｇ）は、予め硼素（Ｂ）を含む層１０を陰極配線２の表面に設け、その上に小電子源２ａｎを形成したもので、硼素（Ｂ）を含む層１０は陰極配線２自体の形成時にペ−ストに硼素（Ｂ）を混入させることでも形成できる。図３（ｅ）は、硼素（Ｂ）を含む層１０を小電子源２ａｎの表裏に設けたもので、前述の図３（ｃ）と同様な効果も合わせ持っている。更に、図３（ｆ）の構成では、導電材料を囲繞したことで導電材料の消失防止効果をより高める効果も合わせ持っている。
【００３６】
同様に、図３（ｇ）では、導電材料を囲繞すると共に、当該導電材料と硼素（Ｂ）を混合した事で、導電材料の消失防止効果をより高める効果も合わせ持っている。上記図３（ａ）〜（ｇ）に示す構成では、電子源となるＣＮＴのようなファイバ状の導電材料の消失を防止でき、十分な電子放出量と、均一な電子放出、更には電子放出特性の劣化を防止できる。
【００３７】
図４乃至図７は本発明による電界放射型の表示装置の製造方法を説明する為の表示装置の要部断面図である。先ず、図４に示したように、ガラス板からなる背面基板１上に銀（Ａｇ）ペ−ストを塗布し焼成して形成した印刷配線２上に、ＣＮＴと、銀（Ａｇ）等の導電性フィラ−を含む材料からなる電子源用ペ−ストを印刷し、３００〜３５０℃で加熱して電子源用ペ−スト中の有機バインダ−を分解させて電子源層１３を形成する。
【００３８】
上記の加熱は必須ではないが、以降の工程での硼素（Ｂ）付着効果を顕著にする為には表面を覆う有機バインダ−を分解させ除去することが望ましい。又、この工程では、ＣＮＴのみを含むペ−ストを印刷して電子源層１３を形成する事も可能である。次に、図５に示すように制御電極４をマスクとして背面基板１上にセットする。すなわち、制御電極４の複数の小開孔４ａｎが前記電子源層１３に対面するように位置決めし、かつ凸部４ｂの先端を背面基板１上に接してセットし、両者を仮固定する。
【００３９】
又、この工程では、前記両者を位置決め後、両者をフリットガラスを介して４００〜４５０℃程度に加熱して固定しても良い。ＣＮＴは金属との共存により前記加熱温度の４５０℃程度以上から酸化、焼失が始まるが、フリットガラスによる固定時間は１０分間程度で完了するため、電子放出特性の劣化は殆ど無視出来る程度の軽微なものである。電子放出特性の劣化を実用上問題の無いように回避するには両者の固着は窒素雰囲気等の非酸化性雰囲気で行うことも可能である。更に、この工程では、前記制御電極４に代えて他のマスクを用いる事も可能で、量産性を考慮すれば専用のマスクの使用も有効である。
【００４０】
一方、前述のように製品に組み込まれる制御電極４を用いることは、小開孔と対応する小電子源との整合性、すなわち同軸性、面積、形状等を整合させる事が容易となると云う特徴を有している。続いて、図６に示すように蒸着源１４から硼素（Ｂ）を飛散させる。飛散した硼素（Ｂ）材１４ａは、制御電極４の前記前面基板５側の表面、及び小開孔４ａｎを通過して前記電子源層１３上で小電子源２ａｎとなる表面部分に夫れ夫れ付着し、これらの表面に硼素を含む層１０を形成する。硼素（Ｂ）を飛散させる方法は従来公知の方法で良く、又硼素（Ｂ）は単体である必要はなく、酸化硼素、硼酸の状態等種々の状態で付着していても良い。更に、付着時に含まれる不純物はＣＮＴからの電子放射自体を著しく阻害しなければ特に除去しなくても良い。
【００４１】
次に、４５０℃、３０〜６０分間加熱する。この加熱処理により、電子源層１３の硼素を含む層１０で覆われた小電子源２ａｎ部分を除く残部のＣＮＴが除去される。すなわち、電子源層１３の硼素を含む層１０で覆われた小電子源２ａｎ部分は、付着された硼素自身が酸化することによりＣＮＴの酸化を抑制し、酸化硼素となってからＣＮＴの保護層を形成してＣＮＴが残存するが、硼素の層１０で覆われていない周囲の電子源層１３は加熱によって層全体或いは導電性フィラ−を除くＣＮＴが消失してしまい、図７に示すように円柱状の小電子源２ａｎを形成する。又、制御電極４に付着した硼素はその部分に固着される。なお、図７では小電子源２ａｎの周りに導電性フィラ−が残存する構成を図示している。
【００４２】
ここで、前記加熱温度は電子源層１３の組成等を考慮して決定すれば良いが、４５０℃以上であれば製造工程での加熱温度の制約は受けないことから、所望の電子放出効率を十分保持出来る。又、一度酸化硼素で保護されたＣＮＴは、その後の再度の大気加熱に対しても保護効果を持つ。再度前記接合温度の４５０°Ｃ以上で大気中加熱を行ってもＣＮＴはファイバ状に存在する。また、電子放出特性の劣化も回避可能である。このことは印刷ペーストの焼成工程だけでなく、その後の製造工程の熱プロセスにおいても耐性があり、パネル製造における歩留りや、製品信頼性の大幅な向上が見込め、表示装置の長寿命化が図れる。
【００４３】
上記した製造方法により、マスクを介して所望の位置で所望の面積に選択的に硼素を含む層１０を付着させることができ、これに硼素が持つＣＮＴの酸化抑制作用を組み合わせる事により、その効果が相俟って小開孔４ａｎと小電子源２ａｎとのセルフアライメントが可能となると共に、製造工程での所望の加熱温度の適用が可能となり、小開孔４ａｎと小電子源２ａｎとの同軸性の確保、電子放出効率の確保、更には制御電極への不要電子の流入の軽減等の優れた特徴を有している。更に、マスクとして制御電極４を用いれば、前記同軸性の確保はもとより、小電子源２ａｎの面積の制御が一層容易となる。
【００４４】
図８は本発明の電界放射型の表示装置の他の実施例の図２に相当する部分の図である。図８において、制御電極４は凸部４ｂの数を図２に比べて減らしたもので、この例では２個の陰極配線を跨いで設けたものである。この構成においても図２と同様に小電子源２ａｎの頂面１１と小開孔４ａｎの底面１２との距離ａは、制御電極４の凸部４ｂによって規定されており、前述の様にこの例では約２５μｍとなっている。又、凸部４ｂとこの凸部４ｂに最も近接する小電子源２ａｎとの距離ｂは、前記距離ａの２倍以上、すなわちｂ≧２ａの関係を保持する寸法となっている。この距離ｂと距離ａとの関係を保持することで、不必要な電流が制御電極４に流れる事がなく、表示効率が向上する。又、図８の例では凸部４ｂを２個の陰極配線を跨いで設けたものとしたが、表示の３原色の赤（Ｒ）緑（Ｇ）青（Ｂ）の３個の陰極配線を跨いで設れば、色差の軽減も期待できる。
【００４５】
図９は本発明の表示装置の電子源側の背面基板１と蛍光面側の前面基板５を所定の距離に保持する保持構造の一例を説明する概略斜視図である。上記の陰極配線２、電子源２ａ及び制御電極４を形成した電子源側の背面基板１と蛍光面側の前面基板５の間に隔壁（またはスペーサ）９を介在させ、両基板の周辺を枠ガラス（図示せず）ならびにガラスフリット（図示せず）にて封着した。この封着は大気中４３０°Ｃで行った。その後、３５０°Ｃで加熱しつつ両基板の間の排気を行い、真空に封止した。
【００４６】
図１０は本発明による表示装置の駆動方式の一例を説明する等価回路である。この表示装置は、ｙ方向に延在するｎ本の陰極配線（電子源配線）２がｘ方向に並設されている。また、ｘ方向に延在するｍ本の制御電極（金属グリッド）４がｙ方向に並設され、陰極配線２と共にｍ行×ｎ列のマトリクスを構成している。この表示装置を構成する電子源側の背面基板の周辺には走査回路６０と映像信号回路５０が配置されている。制御電極４のそれぞれは走査回路６０に制御電極端子４０（Ｙ１，Ｙ２，・・・・Ｙｍ）で接続されている。そして、陰極配線２のそれぞれには映像信号回路５０に陰極端子２０（Ｘ１，Ｘ２，・・・・Ｘｎ）で接続されている。
【００４７】
マトリクス配列された陰極配線２と制御電極４の交差部の画素毎に前記の実施例で説明した硼素を含有した複数の小電子源の集合体からなる電子源が設けられている。図中のＲ，Ｇ，Ｂはそれぞれカラーの一画素を形成する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の単色画素であり、それぞれの色に対応した光を蛍光体から放出する。走査回路６０と映像信号回路５０には、図示しないホストコンピュータから表示のための各種信号が印加される。走査回路６０には同期信号６１が入力される。走査回路６０は制御電極端子４０を介して制御電極４のマトリクスの行を選択して走査信号電圧を印加する。
【００４８】
一方、映像信号回路５０には映像信号５１が入力される。映像信号回路５０は陰極端子２０（Ｘ１，Ｘ２，・・・・Ｘｎ）を介して陰極配線２に接続され、マトリクスの列を選択して選択された陰極配線に映像信号５１に応じた電圧を印加する。これにより、制御電極４と陰極配線２とで順次選択された所定の画素が所定の色光で発光し、２次元の映像を表示する。本構成例によるＣＮＴを電子源とした表示装置により、比較的低電圧で高効率、かつ表示ムラのない明るい表示装置が実現出来る。
【００４９】
尚、本発明の実施例においては電子放射材料としてＣＮＴ（マルチウォールＣＮＴならびにシングルウォールＣＮＴ、広義にはカーボンナノファイバー）を用いて説明したが、電子放射材料としては無機質炭素材料であれば同様の効果がある。ＣＮＴ以外の無機質炭素材料としては、例えばダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン、黒鉛、無定型カーボンを用いることができるし、これらの混合物でもかまわない。又、本発明は上記の実施例の構成に限定されるものではなく、本発明の技術思想の範囲内で種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、１画素を複数の小開孔と複数の小電子源の組合せから構成する表示装置で、所望の領域に所望の面積の小電子源を形成出来て制御電極への電子の流入を軽減出来、又小電子源と小開孔の同軸性の確保が容易となり、更に高性能の電子放出特性の確保、電子源の特性劣化の防止等の特徴を備え、高精細、高性能、高信頼性の表示装置を実現できる。
【００５１】
又、カーボンナノチューブの耐熱性を向上させることができ、製造プロセスにおける電子源焼成工程や基板封着工程の加熱温度を所望の高温度とすることが可能となり、高性能の電子放出特性と電子源の特性劣化を防止でき長寿命の表示装置を実現できる。
【００５２】
更に、製造プロセスにおける加熱工程を一般的な加熱炉（あるいは焼成炉）を用いることが可能となり、製造コストの低減に資する。更に又、非酸化性雰囲気での加熱あるいは焼成を併用すれば、電子放出の均一性をより一層向上でき、高品質の表示装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による電界放射型の表示装置の一実施例の構成を説明する要部展開斜視図である。
【図２】図１の要部拡大断面図である。
【図３】図３（ａ）〜（ｇ）は本発明による電界放射型の表示装置の実施例の電子源の構成例を説明する要部拡大断面図である。
【図４】本発明による電界放射型の表示装置の製造方法を説明するための表示装置の要部断面図である。
【図５】本発明による電界放射型の表示装置の製造方法を説明するための表示装置の要部断面図である。
【図６】本発明による電界放射型の表示装置の製造方法を説明するための模式図である。
【図７】本発明による電界放射型の表示装置の製造方法を説明するための表示装置の要部断面図である。
【図８】本発明による電界放射型の表示装置の他の実施例の構成を説明する要部断面図である。
【図９】本発明による電界放射型の表示装置の背面基板と前面基板を所定の距離に保持する保持構造の一例を説明する概略斜視図である。
【図１０】本発明による表示装置の駆動方式の一例を説明する等価回路である。
【図１１】従来の電界放出型の表示装置の構成例を説明する断面図である。
【図１２】従来の電界放出型の表示装置の１画素の電子放出源とその電子放出量を制御する制御電極の構成例の説明図である。
【図１３】従来の電界放出型の表示装置の電子源を１画素あたり複数個形成した図１２に対応する説明図である。
【図１４】従来の電界放出型の表示装置の他の構成例を説明する模式断面図である。
【図１５】図１４の矢印Ａで示した部分の拡大断面図である。
【符号の説明】
１・・・・背面基板、２・・・・陰極配線、２ａ・・・・電子源、２ａ１〜２ａＮ・・・・小電子源。４・・・・制御電極、４ａ・・・・制御電極の開孔部、４ａ１〜４ａＮ・・・・制御電極の小開孔部、５・・・・前面基板、５・・・・蛍光体、７・・・・陽極、１０・・・・硼素（Ｂ）を含む層、１００・・・・背面パネル、２００・・・・前面パネル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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