(57)【要約】【課題】現場での組み立て作業が容易であるとともに、増設が簡単な真空チャンバ組立を提供する。【解決手段】少なくともスパッタ装置の一部を構成すると共に、床プレート、上プレート、前記床プレートに立設して前記上プレートを支える複数の支柱、および支柱間の側面開口部を閉塞する側面プレートを少なくとも有する真空チャンバ組立において、前記床プレートと前記支柱、および前記支柱と前記上プレートは、ボルト等のねじ固定手段によってお互いに固定されるとともに、それぞれの開口部周縁に形成された前記装着溝部に装着される側面閉塞部と、前記床プレートと前記支柱の接合部分、前記支柱と前記上プレートの接合部分を封止する接合密閉部とによって一体に構成されるガスケットを有し、前記側面プレートは、前記ガスケットの側面閉鎖部を介して前記側面開口部を閉塞するように前記側面開口部周縁に固定されることにある。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともスパッタ装置の一部を構成すると共に、床プレート、上プレート、前記床プレートに立設して前記上プレートを支える複数の支柱、および支柱間の側面開口部を閉塞する側面プレートを少なくとも有する真空チャンバ組立において、
前記床プレートと前記支柱、および前記支柱と前記上プレートは、ボルト等のねじ固定手段によってお互いに固定されるとともに、
前記開口部のそれぞれの周縁を形成する前記床プレート、前記支柱、及び前記上プレートの側面には装着用溝部が連設され、
それぞれの開口部周縁に形成された前記装着溝部に装着される側面閉塞部と、前記床プレートと前記支柱の接合部分、前記支柱と前記上プレートの接合部分を封止する接合密閉部とによって一体に構成されるガスケットを有し、
前記側面プレートは、前記ガスケットの側面閉鎖部を介して前記側面開口部を閉塞するように前記側面開口部周縁に固定されることを特徴とする真空チャンバ組立。
【請求項２】
前記床プレートと前記支柱の接合部分、及び前記支柱と前記上プレートの接合部分には該接合部分に沿って突出する凸条部が形成され、前記ガスケットの接合密閉部は、前記凸条部に嵌合する封止溝が形成されることを特徴とする請求項１記載の真空チャンバ組立。
【請求項３】
前記装着溝部には、前記装着溝部の側辺に沿って、前記側面プレートによって押圧されたガスケットの頂部を収容する収容空間が形成されることを特徴とする請求項１又は２記載の真空チャンバ組立。
【請求項４】
前記収容空間は、前記装着溝部の一方の側辺に沿って形成されることを特徴とする請求項３記載の真空チャンバ組立。
【請求項５】
前記収容空間は、前記装着溝部の両方の側辺に沿って形成されることを特徴とする請求項３記載の真空チャンバ組立。
【請求項６】
前記床プレートと前記支柱の接合部分、及び前記支柱と前記上プレートの接合部分は、該接合部分に沿って円弧状に曲設された前記ガスケットの接合密閉部の収容溝を有し、前記凸条部は、該収容溝内に突出して形成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の真空チャンバ組立。
【請求項７】
前記収容溝は、前記側面プレートによって押圧・変形した前記ガスケットの接合密閉部の頂部を収容可能な大きさに形成されることを特徴とする請求項６記載の真空チャンバ組立。
【請求項８】
前記側面プレートには、少なくとも窓用設備、吸排気用配管用設備、電気等のハーネス用設備が設けられることを特徴とする真空チャンバ組立。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体製造、フラットパネル製造などの製造において、スパッタ装置、ドライエッチ装置、ＣＶＤ装置、真空加熱炉等の一部を構成する真空チャンバ組立に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば特許文献１は、半導体製造システムに使用することのできる真空チャンバであって、消耗品を交換した後、あるいは定期的な整備を実施した後に真空引きを行うのに要する時間を低減する真空チャンバを開示する。
【０００３】
このような真空チャンバは、接合部分を溶接やロウ付けなどで接合させ、その接合処置後、接合作業による歪みを取り除き、気密性を向上させるために表面に切削加工や研磨加工を施す必要がある。また、切削加工や研磨加工時に発生する切り屑やフラックス等の汚染を取り除くため、洗浄作業を行う必要があった。
【０００４】
また、特許文献１に示すように、真空チャンバには、スパッタ装置、ドライエッチ装置、ＣＶＤ装置、真空加熱炉などの装置の一部を構成するが、従来は、真空チャンバの密閉性を維持するために、工場内において真空チャンバを含む上記装置を組み付けした後、所定の場所に輸送して配置する方法がとられていた。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−５０２２９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記装置の大型化に伴い、真空チャンバ自体も大型化するため、工場で上記装置を組み立てた後輸送して配置することが困難であり、直接現場にて上記装置を組み立てる必要性が生じていた。このため、真空チャンバ自体も配置現場で組み立てることが要望されるが、現場で溶接やロウ付けにより真空チャンバを組み立てた場合、その作業中に生じる歪みを補正することが非常に難しく、真空チャンバ自体の気密性に問題が生じるとともに、切り屑やフラックス等の汚染物質を洗浄する作業が非常に難しいという問題点が生じる。また、増設したい場合でも、装置自体を現場に搬入する作業が大変であり、実質的に増設を断念せざるを得ない状況となっている。
【０００７】
このため、この発明は、現場での組み立て作業が容易であるとともに、増設が簡単な真空チャンバ組立を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
したがって、この発明は、少なくともスパッタ装置の一部を構成すると共に、床プレート、上プレート、前記床プレートに立設して前記上プレートを支える複数の支柱、および支柱間の側面開口部を閉塞する側面プレートを少なくとも有する真空チャンバ組立において、前記床プレートと前記支柱、および前記支柱と前記上プレートは、ボルト等のねじ固定手段によってお互いに固定されるとともに、  それぞれの開口部周縁に形成された前記装着溝部に装着される側面閉塞部と、前記床プレートと前記支柱の接合部分、前記支柱と前記上プレートの接合部分を封止する接合密閉部とによって一体に構成されるガスケットを有し、前記側面プレートは、前記ガスケットの側面閉鎖部を介して前記側面開口部を閉塞するように前記側面開口部周縁に固定されることにある。
【０００９】
また、前記床プレートと前記支柱の接合部分、及び前記支柱と前記上プレートの接合部分には該接合部分に沿って突出する凸条部が形成され、前記ガスケットの接合密閉部は、前記凸条部に嵌合する封止溝が形成されることが望ましい。
【００１０】
さらに、前記装着溝部には、前記装着溝部の側辺に沿って、前記側面プレートによって押圧されたガスケットの頂部を収容する収容空間が形成されることが望ましい。また、前記収容空間は、前記装着溝部の一方の側辺に沿って形成されるものであっても、前記装着溝部の両方の側辺に沿って形成されるものであっても良い。
【００１１】
さらにまた、前記床プレートと前記支柱の接合部分、及び前記支柱と前記上プレートの接合部分は、該接合部分に沿って円弧状に曲設された前記ガスケットの接合密閉部の収容溝を有し、前記凸条部は、該収容溝内に突出して形成されることが望ましい。また、前記収容溝は、前記側面プレートによって押圧・変形した前記ガスケットの接合密閉部の頂部を収容可能な大きさに形成されることが望ましい。
【００１２】
また、前記側面プレートには、少なくとも窓用設備、吸排気用配管用設備、電気等のハーネス用設備が設けられるものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、図面により説明する。
【００１４】
本願発明の係る真空チャンバ組立１は、図示しないスパッタ装置、ドライエッチ装置、ＣＶＤ装置、真空加熱炉等の装置の一部を構成するもので、その内部には基板、ターゲット等からなるスパッタ機構が配設され、その外部には真空引き用のポンプ、コントロールユニット等が配設され、全体としてたとえばスパッタ装置が構成されるものである。
【００１５】
この真空チャンバ組立１において、最初に、図１で示すように、前記装置が設置される床プレート２と、この床プレート２に立設する複数（この実施の形態では４本）の支柱３と、この支柱３に支持される上プレート４とによって、前記装置が配される空間５０を囲むように枠組９が組み立てられる。
【００１６】
この枠組９の組み立ては、図４に示されるように、前記支柱３の端部に形成された突出部３１を、前記上プレート４に形成された凹部に嵌め込み、固定手段としてのボルトやネジ２０によって両者を固定することによって行われることが望ましい。また、前記床プレート２と前記支柱３の間も同様に固定されるものである。
【００１７】
また、図１に示されるように、前記枠組９には、ガスケット８が装着される装着部７が形成される。この装着部７は、支柱３の間に形成される開口部５の周縁を構成する床プレート２、支柱３及び上プレート４のそれぞれの側面に形成される装着溝部７１と、床プレート２と支柱３、及び上プレート４と支柱３の接合部分１２のそれぞれに、その接合部分に沿って形成される円弧状の収容溝部１０とによって構成され、それぞれの収容溝部１０によってそれぞれの側面に形成された装着溝部７１がお互いに接続される。
【００１８】
そして、図２に示されるように、ガスケット８が前記装着部７に装着される。このガスケット８は、それぞれの開口部５周縁に形成された前記装着溝部７１に装着される側面閉塞部８１と、図６で示されるように前記接合部分１２を封止する接合密閉部８２とによって一体に構成されるものである。
【００１９】
このようにして構成されたガスケット８が装着された枠組９に、図３で示すように、それぞれの開口部５を閉塞する側面プレート６を、前記ガスケット８を押圧するように固定することによって真空チャンバ組立１が組み立てられるものである。
【００２０】
尚、前記側面プレート６には、図３で示すようなのぞき窓３０が形成されており、また所定の位置には、図示しない吸排気用配管機構、及び図示しないコントロールユニットと内設されるスパッタ機構との間の電気用ハーネス機構が設けられるものである。
【００２１】
また、前記ガスケット８の側面閉塞部８１は、図７に示すように、前記装着溝部７１に嵌合するように断面が略方形の形状をしており、前記側面プレート６によって押圧された場合、先端部分が変形し、前記装着溝部７１の側辺に沿って形成された収容空間７３内に潰れ込むようになっている。これによって、側面プレート６との接触面が拡大するために、この部分でのシール性を向上させることができるものである。
【００２２】
さらに、図４及び図８で示すように、前記接合部分１２の前記収容溝部１０の部分には接合面に沿って突出する凸条部１１が形成され、これを覆うように図６でも示される前記接合密閉部８２が設けられる。具体的には、前記接合密閉部８２の内側には、前記凸条部１１を収容する収容凹部８３が形成され、ここに前記凸条部１１が嵌合するため、この部分での密閉性を向上させることができるものである。また、前記収容溝部１０は、前記接合密閉部８２の先端が側面プレート６によって押圧されて変形してもその変形分を収容可能な幅に形成されることが望ましい。これによってこの部分でも密閉性を向上させることができるものである。
【００２３】
また、図４及び図５に示すように、支柱３と上プレート４、又は支柱３と床プレート２とを固定する固定部分においては、固定するための前記ネジ２０の周囲に環状シール部材（Ｏリング等）２３を配するとともに、蓋部２１で蓋をしてネジ２２によって固定し、この固定部分からの漏洩を防止するものである。
【００２４】
このような構成とすることによって、真空チャンバを現場で組み立てることが可能となるとともに、溶接やロウ付け等にように熱を用いないことから、プレートや支柱の熱変形を防止できるため、研磨作業や洗浄作業を省略することができるものである。
【００２５】
また、図９で示す実施の形態は、前記側面閉塞部８１の先端の変形分を収容する収容空間７３を前記装着用溝部７１に沿って、その両側に形成するようにしたものである。これによって形成された収容空間７３Ａ，７３Ｂを設けることによって、前記ガスケット８の側面閉塞部８１が両側に均等に潰れて収容されることから、ガスケット８の偏りをなくすことができるという効果を有している。
【００２６】
さらに、図１０で示すように、上述した構成の真空チャンバ組立１（１Ａ）においては、側面プレート６の一つを排除するとともに、同様の真空チャンバ組立１Ｂを隣接させて固定することによって、一つの場合の内部空間５０をより大きな内部空間５０Ａとすることができるものである。また、真空チャンバ組立１Ａと真空チャンバ組立１Ｂとの間に、開口部周縁の形状と一致する枠体を配し、この枠体を介して両者を接合することが望ましい。このように、真空チャンバ組立１は複数連設が可能であるため、将来的に設備の増設する場合に大変有効である。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明したようにこの発明によれば、真空チャンバ組立をネジ等による組立方式としたことにより、部品の現場への搬送が容易であると共に、現場での組立も可能となり、従来現場で行っていた溶接やロウ付け等の加熱作業を行わないことから、熱変形等の後処理、洗浄作業等を省略することができるものである。このため、装置自体の大型化に対応可能であると共に、輸送作業の簡略化、組み立て作業の簡略化を達成することができ、コストダウンを達成できるものである。
【００２８】
また、側面を密閉する部分と、接合部分を密閉する部分を一体に成型したガスケットを用いることによって、接合部分での密閉性を向上させることができ、さらに接合部分では接合部分を覆う構造であることから、接合部分での密閉性を確実なものとすることができるものである。
【００２９】
さらに、組立により構成したことによって、密閉性を低下させることなく、簡単に増設が可能となるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の実施の形態に係る真空チャンバ組立の枠組の説明図である。
【図２】本願発明の実施の形態に係る真空チャンバ組立の枠組にガスケットを装着した状態を示した説明図である。
【図３】本願発明の実施の形態に係る真空チャンバ組立の完成状態を示した説明図である。
【図４】床プレートと支柱、又は支柱と上プレートの接合部分の部分拡大説明図である。
【図５】接合部分の一部拡大平面図である。
【図６】支柱の一部断面図である。
【図７】ガスケットの側面閉塞部及び装着用溝部の一部断面図である。
【図８】ガスケットの接合密閉部及び接合部分の一部断面図である。
【図９】ガスケットの側面閉塞部及び装着用溝部の別の実施の形態を示した一部断面図である。
【図１０】真空チャンバ組立を連設した状態を示した説明図である。
【符号の説明】
１，１Ａ，１Ｂ  真空チャンバ組立
２  床プレート
３  支柱
４  上プレート
５  開口部
６  側面プレート
７  装着部
８  ガスケット
９  枠組
１０  収容溝部
１１  凸条部
１２  接合部分
２０  ネジ
２１  蓋部
２２  ネジ
２３  環状シール部材
３０  のぞき窓
５０，５０Ａ  内部空間
６０  枠体
７１  装着溝部
７３，７３Ａ，７３Ｂ  収容空間
８１  側面閉塞部
８２  接合密閉部
８３  収容凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004292867.tif 000009
【図８】
2004292867.tif 000010
【図９】
2004292867.tif 000011
【図１０】
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