(57)【要約】【課題】真空炉における搬送機構を簡略化する。【解決手段】載置台Ｔに載置された処理対象物Ｘを加熱処理する加熱室Ｋと、冷却処理する冷却室Ｒを具備し、冷却室Ｒに設けられた搬入口Ｒ１から送入された処理対象物Ｘを冷却室Ｒを通過させて加熱室Ｋに搬送し、加熱室Ｋにおいて加熱処理された処理対象物Ｘを冷却室Ｒに搬送して冷却材Ｙ中に浸漬することによって冷却し、冷却室Ｒにおいて冷却処理された処理対象物Ｘを前記搬入口Ｒ１から送出される真空炉であって、所定形状の係合部２を具備し、該係合部２を載置台Ｔに当接させて押圧することによって冷却室Ｒ内の処理対象物Ｘを加熱室Ｋに搬送すると共に、前記係合部２を載置台Ｔに係合させて引くことによって加熱室Ｋ内の処理対象物Ｘを冷却室Ｒに搬送する搬送手段を具備する。【選択図】　　　　　　図１
2004125348.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置台（Ｔ）に載置された処理対象物（Ｘ）を加熱処理する加熱室（Ｋ）と、冷却処理する冷却室（Ｒ）を具備し、
冷却室（Ｒ）に設けられた搬入口（Ｒ１）から送入された処理対象物（Ｘ）を冷却室（Ｒ）を通過させて加熱室（Ｋ）に搬送し、加熱室（Ｋ）において加熱処理された処理対象物（Ｘ）を冷却室（Ｒ）に搬送して冷却材（Ｙ）中に浸漬することによって冷却し、冷却室（Ｒ）において冷却処理された処理対象物（Ｘ）を前記搬入口（Ｒ１）から送出される真空炉であって、
所定形状の係合部（２）を具備し、該係合部（２）を載置台（Ｔ）に当接させて押圧することによって冷却室（Ｒ）内の処理対象物（Ｘ）を加熱室（Ｋ）に搬送すると共に、前記係合部（２）を載置台（Ｔ）に係合させて引くことによって加熱室（Ｋ）内の処理対象物（Ｘ）を冷却室（Ｒ）に搬送する搬送手段を具備することを特徴とする真空炉。
【請求項２】
搬送手段は、
載置台（Ｔ）と共に昇降台（６）上に載置された処理対象物（Ｘ）を上下動させ、冷却室（Ｒ）に設置される垂直搬送手段（８）と、
前記係合部（２）を具備し、該係合部（２）を載置台（Ｔ）に当接させて押圧する、または係合させて引くことによって処理対象物（Ｘ）を載置台（Ｔ）と共に水平方向に移動させる水平搬送手段とから成り、
垂直搬送手段（８）によって昇降台（６）を加熱室（Ｋ）の入口（Ｋ１）の高さに一致する状態に設定し、この状態において水平搬送手段によって係合部（２）を載置台（Ｔ）に当接させて押圧することによって、処理対象物（Ｘ）を昇降台（６）上から加熱室（Ｋ）に搬送し、
垂直搬送手段（８）によって昇降台（６）を前記係合部（２）が載置台（Ｔ）より下方に位置するように下降させた状態で水平搬送手段によって係合部（２）を載置台（Ｔ）の下に挿入し、さらに昇降台（６）を上昇させて係合部（２）を載置台（Ｔ）に係合させた状態で引くことによって、処理対象物（Ｘ）を加熱室（Ｋ）から昇降台（６）上に搬送する
ことを特徴とする請求項１記載の真空炉。
【請求項３】
水平搬送手段は、
先端に係合部（２）が取り付けられた水平搬送棒（１）と、
搬入口（Ｒ１）の外部に固定配置され、水平搬送棒（１）を水平方向に摺動自在に支持する第１の支持部材（３）と、
昇降台（６）上に設けられ、前記水平搬送棒（１）を水平方向に摺動自在に支持する第２の支持部材（７）と、
搬入口（Ｒ１）の外部に固定配置され、前記水平搬送棒（１）を水平方向に移動させる水平駆動部（５）と、
該水平駆動部（５）と前記水平搬送棒（１）の後端との間に介挿され、水平搬送棒（１）を水平駆動部（５）に対して上下動自在に連結する連結部（４）とから成り、
係合部（２）を載置台（Ｔ）に当接させて押圧することによって、処理対象物（Ｘ）を昇降台（６）上から加熱室（Ｋ）に搬送する際及び係合部（２）を載置台（Ｔ）の下に挿入する際及び係合部（２）を載置台（Ｔ）に係合させた状態で引くことによって、処理対象物（Ｘ）を加熱室（Ｋ）から昇降台（６）上に搬送する際には、前記水平搬送棒（１）を第１の支持部材（３）及び／あるいは第２の支持部材（７）に係合させて支持し、
係合部（２）を載置台（Ｔ）より下方に位置するように下降させる際及び係合部（２）を載置台（Ｔ）と係合させるために上昇させる際には、前記水平搬送棒（１）を第２の支持部材（７）に係合させて支持する
ことを特徴とする請求項２記載の真空炉。
【請求項４】
水平搬送棒（１）は、前記第１の支持部材（３）及び第２の支持部材（７）と係合するローラ（１１）を具備し、
連結部（４）は、水平駆動部（５）と水平状態で連結される連結棒（４３）と、連結棒（４３）を上下動自在とする長穴（４２）を有した突出部（４１）とを具備し、
水平駆動部（５）は、連結棒（４３）の両端と各々連結されるベルト部材（５２）と、ベルト部材（５２）を回転搬送させる回転体（５１）とを具備する
ことを特徴とする請求項３記載の真空炉。
【請求項５】
ベルト部材（４２）は、チェーンであり、回転体（４１）はスプロケットであることを特徴とする請求項３または４記載の真空炉。
【請求項６】
載置台（Ｔ）に載置された処理対象物（Ｘ）を冷却室（Ｒ）に設けられた搬入口（Ｒ１）から送入され、冷却室（Ｒ）を通過させて加熱室（Ｋ）に搬送し、加熱室（Ｋ）において加熱処理された処理対象物（Ｘ）を冷却室（Ｒ）に搬送して冷却処理し、冷却室（Ｒ）において冷却処理された処理対象物（Ｘ）を前記搬入口（Ｒ１）から送出される真空炉における搬送方法であって、
所定形状の係合部（２）を載置台（Ｔ）に当接させて押圧することによって冷却室（Ｒ）内の処理対象物（Ｘ）を加熱室に搬送すると共に、前記係合部（２）を載置台（Ｔ）に係合させて引くことによって処理対象物（Ｘ）を加熱室（Ｋ）内の処理対象物（Ｘ）を冷却室（Ｒ）に搬送することを特徴とする真空炉における搬送方法。
【請求項７】
処理対象物（Ｘ）を冷却剤（Ｒ）に浸漬させるために冷却室（Ｒ）に予め設置された昇降台（６）を加熱室（Ｋ）の入口（Ｋ１）の高さに一致する状態に設定し、この状態において係合部（２）を載置台（Ｔ）に当接させて押圧することによって、処理対象物（Ｘ）を昇降台（６）上から加熱室（Ｋ）に搬送し、昇降台（６）を前記係合部（２）が載置台（Ｔ）より下方に位置するように下降させた状態で水平搬送手段によって係合部（２）を載置台（Ｔ）の下に挿入し、さらに昇降台（６）を上昇させて係合部（２）を載置台（Ｔ）に係合させた状態で引くことによって、処理対象物（Ｘ）を加熱室（Ｋ）から昇降台（６）上に搬送することを特徴とする請求項６記載の真空炉における搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空炉及び真空炉における搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
例えば、処理対象物を加熱室において加熱処理し、加熱処理した処理対象物を冷却室において冷却油に浸漬することによって冷却処理する真空炉は、冷却室に設けられた搬入口から処理対象物を搬入し、当該処理対象物を装入装置（例えばフォーク）によって加熱室に移送し、加熱処理した処理対象物を上記装入装置によって冷却室に設けられた昇降台に移載する。そして、真空炉は、昇降台を下降させることによって処理対象物を冷却油中に浸漬して冷却した後に、上記昇降台を上昇させる。
【０００３】
しかしながら、上記装入装置は、処理対象物を持ち上げることによって移送するため冷却室に搬入された処理対象物を上下及び水平方向に移送する機構を有している必要があり、故に真空炉の搬送機構が機械的にかなり複雑になるという問題点が生じる。
【０００４】
【特許文献１】
特開昭６３−１８３１２１号公報
【特許文献２】
特開平０８−０６７９０９号公報
【特許文献３】
特開平０８−１９３２１７号公報
【特許文献４】
特開平０８−３１９５１２号公報
【特許文献５】
特実平０３−０４１８３７号公報
【０００５】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、真空炉における搬送機構を簡略化することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、真空炉に係わる第１の手段として、載置台に載置された処理対象物を加熱処理する加熱室と、冷却処理する冷却室を具備し、冷却室に設けられた搬入口から送入された処理対象物を冷却室を通過させて加熱室に搬送し、加熱室において加熱処理された処理対象物を冷却室に搬送して冷却材中に浸漬することによって冷却し、冷却室において冷却処理された処理対象物を上記搬入口から送出される真空炉であって、所定形状の係合部を具備し、該係合部を載置台に当接させて押圧することによって冷却室内の処理対象物を加熱室に搬送すると共に、上記係合部を載置台に係合させて引くことによって加熱室内の処理対象物を冷却室に搬送する搬送手段を具備するという構成を採用する。
【０００７】
真空炉に係わる第２の手段として、上記第１の手段において、搬送手段は、載置台と共に昇降台上に設置された処理対象物を上下動させ、冷却室に載置される垂直搬送手段と、上記係合部を具備し、該係合部を載置台に当接させて押圧する、または係合させて引くことによって処理対象物を載置台と共に水平方向に移動させる水平搬送手段とから成り、垂直搬送手段によって昇降台を加熱室の入口の高さに一致する状態に設定し、この状態において水平搬送手段によって係合部を載置台に当接させて押圧することによって、処理対象物を昇降台上から加熱室に搬送し、垂直搬送手段によって昇降台を上記係合部が載置台より下方に位置するように下降させた状態で水平搬送手段によって係合部を載置台の下に挿入し、さらに昇降台を上昇させて係合部を載置台に係合させた状態で引くことによって、処理対象物を加熱室から昇降台上に搬送するという構成を採用する。
【０００８】
真空炉に係わる第３の手段として、上記第２の手段おいて、水平搬送手段は、先端に係合部が取り付けられた水平搬送棒と、搬入口の外部に固定配置され、水平搬送棒を水平方向に摺動自在に支持する第１の支持部材と、昇降台上に設けられ、上記水平搬送棒を水平方向に摺動自在に支持する第２の支持部材と、搬入口の外部に固定配置され、上記水平搬送棒を水平方向に移動させる水平駆動部と、該水平駆動部と上記水平搬送棒の後端との間に介挿され、水平搬送棒を水平駆動部に対して上下動自在に連結する連結部とから成り、係合部を載置台に当接させて押圧することによって、処理対象物を昇降台上から加熱室に搬送する際及び係合部を載置台の下に挿入する際及び係合部を載置台に係合させた状態で引くことによって、処理対象物を加熱室から昇降台上に搬送する際には、上記水平搬送棒を第１の支持部材及び／あるいは第２の支持部材に係合させて支持し、係合部を載置台より下方に位置するように下降させる際及び係合部を載置台と係合させるために上昇させる際には、上記水平搬送棒を第２の支持部材に係合させて支持するという構成を採用する。
【０００９】
真空炉に係わる第４の手段として、上記第３の手段において、水平搬送棒は、上記第１の支持部材及び第２の支持部材と係合するローラを具備し、連結部は、水平駆動部と水平状態で連結される連結棒と、連結棒を上下動自在とする長穴を有した突出部とを具備し、水平駆動部は、連結棒の両端と各々連結されるベルト部材と、ベルト部材を回転搬送させる回転体とを具備するという構成を採用する。
【００１０】
真空炉に係わる第５の手段として、上記第３または第４の手段において、ベルト部材は、チェーンであり、回転体はスプロケットであるという構成を採用する。
【００１１】
真空炉における搬送方法に係わる第１の手段として、載置台に載置された処理対象物を冷却室に設けられた搬入口から送入され、冷却室を通過させて加熱室に搬送し、加熱室において加熱処理された処理対象物を冷却室に搬送して冷却処理し、冷却室において冷却処理された処理対象物を上記搬入口から送出される真空炉における搬送方法であって、所定形状の係合部を載置台に当接させて押圧することによって冷却室内の処理対象物を加熱室に搬送すると共に、上記係合部を載置台に係合させて引くことによって処理対象物を加熱室内の処理対象物を冷却室に搬送するという構成を採用する。
【００１２】
真空炉における搬送方法に係わる第２の手段として、上記第１の手段において、処理対象物を冷却剤に浸漬させるために冷却室に予め設置された昇降台を加熱室の入口の高さに一致する状態に設定し、この状態において係合部を載置台に当接させて押圧することによって、処理対象物を昇降台上から加熱室に搬送し、昇降台を上記係合部が載置台より下方に位置するように下降させた状態で水平搬送手段によって係合部を載置台の下に挿入し、さらに昇降台を上昇させて係合部を載置台に係合させた状態で引くことによって、処理対象物を加熱室から昇降台上に搬送するという構成を採用する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係わる真空炉及び真空炉における搬送方法の一実施形態について説明する。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態に係わる真空炉の全体の縦断面図であり、また、図２は、図１におけるＡ−Ａ’矢視図である。これらの図において、符号Ｒは冷却室、Ｋは加熱室、Ｓは収納部、１は水平搬送棒、２は係合部、３は第１の支持部材、４は連結部、５は水平駆動部、６は昇降台、７は第２の支持部材、８は垂直駆動部、Ｔはトレー（載置台）、Ｘは金属材（処理対象物）、Ｙは冷却油（冷却剤）、Ｚは外部搬送台である。
【００１５】
このような各構成要素のうち、水平搬送棒１、係合部２、第１の支持部材３、連結部４、水平駆動部５、昇降台６、第２の支持部材７及び垂直駆動部８は、冷却室Ｒ及び加熱室Ｋとの間において金属材Ｘを搬送する搬送手段を構成している。また、このような搬送手段の構成要素のうち、水平搬送棒１、係合部２、第１の支持部材３、連結部４、水平駆動部５及び第２の支持部材７は本実施形態における水平搬送手段を構成する一方、昇降台６及び垂直駆動部８は本実施形態における垂直搬送手段を構成している。
【００１６】
冷却室Ｒは、金属材Ｘを油冷却処理する場所であり、中心軸が鉛直な略円筒形に形状設定されている。このような冷却室Ｒの側部には、中心軸が水平な略円筒形の加熱室Ｋが連設されている。加熱室Ｋの入口Ｋ１（加熱室搬入口）には、加熱室Ｋと冷却室Ｒとを隔離するクラッチ式の内部ドアＫ２が設けられている。また、冷却室Ｒにおいて上記加熱室搬入口Ｋ１に略対向する位置には、冷却室搬入口Ｒ１が形成されている。この冷却室搬入口Ｒ１には、冷却室用扉Ｒ２が設けられ、該冷却室用扉Ｒ２の外側には外部搬送台Ｚが設けられている。また、上記外部搬送台Ｚの下方には、第１の支持部材３及び水平駆動部５を収納する収納部Ｓが、冷却室Ｒに連結側を開放状態に設定されて連結されている。これに加え、加熱室Ｋ及び冷却室Ｒには、大気を排気し、減圧状態や不活性ガス雰囲気状態とする真空排気装置（図示せず）が設置されている。すなわち、上記冷却室用扉Ｒ２が閉鎖状態の場合には、冷却室Ｒ、加熱室Ｋ及び収納部Ｓの内部は、密閉状態となり、その内部は、減圧（真空）状態であると共に、不活性雰囲気に保たれる。
【００１７】
冷却室Ｒ及び加熱室Ｋについてさらに説明すると、冷却室Ｒの下部には冷却油Ｙを貯留する油槽Ｒ３が設けられ、その上部には、金属材Ｘの表面に附着した冷却油Ｙを不活性ガスを吹き付けることによって落とす脱油部Ｒ４が設けられている。ここで、垂直搬送手段を構成する昇降台６及び垂直駆動部８は、油槽Ｒ３内の冷却油Ｙに金属材Ｘを浸漬させたり、あるいは金属材Ｘを脱油部Ｒ４で脱油させるために、トレーＴ上に載置された状態で昇降台６上に載置された金属材Ｘを上下動させることを本来の役割とするものであるが、本実施形態では、後述するように昇降台６の上下動を水平搬送手段とリンクさせることにより、冷却室Ｒ及び加熱室Ｋ内における金属材Ｘの搬送を実現している。この金属材Ｘは、常にトレーＴに載置された状態で搬送され、トレーＴは、例えば格子形状に形成されている。すなわち、トレーＴは、係合部２が係合できる形状に形状設定されている。
【００１８】
なお、加熱室Ｋの下部には、トレーＴ上に載置状態とされた金属材Ｘを収容する加熱載置台Ｋ３が設けられている。この加熱載置台Ｋ３は、図２に示すように加熱室搬入口Ｋ１側に凹部Ｋ４が形成されている。この凹部Ｋ４は、加熱室Ｋ内に進入してくる係合部２の形状に合わせた大きさを持つ。また、上記加熱載置台Ｋ３は、上記外部搬送台Ｚの搬送面に対して、所定距離低い水平面内に設置されている。
【００１９】
続いて、上記搬送手段の構成について説明する。
第１の支持部材３は、コの字型形成された一対の受部材であり、上記収納部Ｓの側面を形成する内壁に沿って各々が対向するように水平状態で固定配置されている。この第１の支持部材３は、上記加熱載置台Ｋ３に金属材Ｘを水平搬送するために、加熱載置台Ｋ３と略同一水平面内に設置されている。
【００２０】
水平搬送棒１、係合部２及び連結部４の構成を表した図３及び図１におけるＢ−Ｂ’矢視図である図４に示すように、水平搬送棒１は、所定の長さに設置された棒状部材であり、上記第１の支持部材３によって摺動自在に支持される。すなわち、水平搬送棒１の両側には、複数のローラ１１が設けられており、この複数のローラ１１がコの字型の第１の支持部材３に係合することによって水平搬送棒１は、水平方向に摺動自在に支持される。また、水平搬送棒１の先端は、上方に突起した係合部２が設置されている。
【００２１】
連結部４は、上記チェーン５２の一部位と水平搬送棒１の後端との間に介挿され、水平搬送棒１をチェーン５２に対して上下動自在に連結するものである。すなわち、連結部４は、水平搬送棒１の後端から下方に突出した突出部４１と、該突出部４１に沿って設けられた長穴４２に水平状態で挿入され、両端がチェーン５２と連結された連結棒４３とから構成されている。
【００２２】
水平駆動部５は、上記第１の支持部材３の両端の下方に各々離間して設けられたスプロケット５１と、該スプロケット５１に各々に廻し掛けられた２本の無端のチェーン５２とから構成されている。
【００２３】
垂直駆動部８は、冷却室Ｒ内に設置され、上記水平搬送棒１及びトレーＴと共に昇降台６上に載置された金属材Ｘを上下動させるものである。上記昇降台６には、水平搬送棒１を水平方向に摺動自在に支持する第２の支持部材７が設けられる。当該第２の支持部材７は、上記第１の支持部材３と同一形状である一対のコの字型の受部材であり、昇降台６の内部に一端から他端に亘って、すなわち収納部Ｓと加熱室Ｋとを結ぶ直線上に設置されている。また、昇降台６の冷却室搬入口Ｒ１側の一辺には、上記加熱載置台Ｋ３と同形状の凹部６１が設けられている。なお、上記外部搬送台Ｚ、昇降台６及び加熱載置台Ｋ３には、金属材Ｘを載置したトレーＴを搬送しやすくするためにフリーローラが所定の間隔で複数設置される。
【００２４】
次に、このように構成された真空炉の動作及び真空炉における搬送方法について説明する。
【００２５】
図１に示すように金属材Ｘは、トレーＴに載置された状態で、外部搬送台Ｚ上を冷却室搬入口Ｒ１方向に搬送される。金属材Ｘが冷却室搬入口Ｒ１付近まで搬送されると冷却室用扉Ｒ２は開放状態となり、昇降台６は、垂直駆動部８によって外部搬送台Ｚと同じ高さに設定される。すなわち、金属材Ｘは、外部搬送台Ｚ上を搬送され、冷却室搬入口Ｒ１から冷却室Ｃ内に送入され、昇降台６上に移載される。昇降台６上に金属材Ｘが移載されると、冷却室用扉Ｒ２は閉鎖状態となり、昇降台６は、垂直駆動部８によって下降されることによって、図５に示すように加熱室搬入口Ｋ１の高さに一致する状態に設定される。この場合、水平搬送棒１の先端は、上記水平駆動部５によって垂直駆動部８及び昇降台６の凹部６１に入り込むように位置設定される。すなわち、昇降台６が垂直駆動部８によって加熱載置台Ｋ３と水平状態に位置設定されることによって、金属材Ｘは、加熱室搬入口Ｋ１の高さと一致する状態に搬送され、上記係合部２は、先端が昇降台６上に突出した状態となる。
【００２６】
金属材Ｘが加熱室搬入口Ｋ１の高さと一致する状態に搬送されると、内部ドアＫ２は開放状態となる。ここで、水平搬送部は、係合部２をトレーＴに当接させて押圧することによって、金属材Ｘを加熱室搬入口Ｋ１を通過させて加熱室Ｋに搬送する。すなわち、スプロケット５１を回転させ、チェーン５２を回転搬送させることによって、水平搬送棒１を駆動し、水平搬送棒１は、ローラ１１を第１の支持部材３に支持されることによって、第１の支持部材３に沿って摺動する。そして、水平搬送棒１は、係合部２をトレーＴに当接させて押圧することによって金属材Ｘを加熱室Ｋの加熱載置台Ｋ３上に移載する。ここで、水平搬送棒１は、金属材Ｘを昇降台６上から搬送開始直後は、第１の支持部材３のみによって支持されるが、搬送途中において、徐々に第２の支持部材７に支持され、加熱載置台Ｋ３上に搬送終了時には、第２の支持部材７のみによって支持される。すなわち、ローラ１１は、金属材Ｘを昇降台６上から搬送開始直後は、第１の支持部材３のみに係合するが、搬送途中において、徐々に第２の支持部材７に入り込み、加熱載置台Ｋ３上に搬送終了時には、第２の支持部材７のみに係合する。
【００２７】
金属材Ｘを加熱室Ｋに搬送すると、水平搬送棒１は、内部ドアＫ２が閉鎖できるように所定位置まで後退し、内部ドアＫ２は、閉鎖状態となる。ここで水平搬送棒１が後退する所定位置は、ローラ１１が第２の支持部材７のみに係合する位置である。そして金属材Ｘが加熱処理されている際に、昇降台６は、垂直駆動部８によって、係合部２がトレーＴの下方に位置するように下降される。すなわち、ローラ１１が第２の支持部材７のみに係合しているので、水平搬送棒１は、突出部４１に設けられた長穴４２内を連結棒４３が上下動できる範囲で上下動することができ、昇降台６の下降に伴って、図３の点線で示すように連結棒４３が長穴４２の最上部に移動することによって、係合部２がトレーＴの下方に位置するように位置設定される。
【００２８】
金属材Ｘの加熱処理が終了すると、内部ドアＫ２は開放状態となる。トレーＴは、加熱載置台Ｋ３に設けられた凹部Ｋ４上に一辺が露出するように載置されており、水平搬送棒１は、水平駆動部５の駆動に伴って、係合部２を凹部Ｋ４の下、すなわちトレーＴの下に挿入する。この状態であっても水平搬送棒１は、第２の支持部材７のみに支持されているので、昇降台５を加熱載置台Ｋ３の高さと同じ位置まで上昇させることによって、係合部２は、図６に図示するように格子形状のトレーＴの一辺に係合する。
【００２９】
水平搬送部は、係合部２をトレーＴに係合させた状態で引くことによって、金属材Ｘを加熱室Ｋから昇降台６上に搬送する。すなわち、スプロケット５１を逆回転させ、チェーン５２を逆回転搬送させることによって、水平搬送棒１を摺動することによって金属材Ｘを加熱載置台Ｋ３から昇降台６上に移載する。金属材Ｘが昇降台６上に移載された場合、水平搬送棒１は第１の支持部材３のみに支持され、先端が凹部６１に入り込んだ状態に位置設定される。そして、垂直駆動部８によって昇降台６を係合部２がトレーＴの下方に位置する場所まで上昇させた後、水平搬送棒１をさらにスプロケット５１を逆回転させることによってさらに移動させる。すなわち、係合部２はトレーＴの外部に位置するように位置設定される。
【００３０】
係合部２がトレーＴの外部に位置するように位置設定されると、昇降台６が垂直駆動部８によって降下されることによって金属材Ｘは、油槽Ｒ３の冷却油Ｙ中に浸漬され、冷却処理される。冷却処理終了後、昇降台６が垂直駆動部８によって上昇されることによって、金属材Ｘは、脱油部Ｒ３に搬送され、例えば不活性ガス（金属材Ｘが十分に冷えた状態においては圧縮空気）を噴射されることによって、附着した冷却油Ｙを落とされる。そして、昇降台６が垂直駆動部８によって搬送部Ｚと同じ高さに位置設置されると冷却室用扉Ｒ２が開放状態となり、金属材Ｘは、冷却室搬入口Ｒ１から外部搬送台Ｚ上に送出される。
【００３１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
（１）上記実施形態において、外部搬送台Ｚの搬送方向の直線上に加熱室Ｋを設けた。しかしながら、これに限定されるものではなく、水平搬送棒１の摺動方向の延長線上に加熱室Ｋが設置されていれば良い。この場合、収納部Ｓを外部搬送台Ｚの下方に設置する必要がないため、突出部４１に形成される長穴４２の形状を変更することによって、加熱載置台Ｋ３を外部搬送台Ｚと同じ高さあるいはそれよりも上方に設けても良い。
【００３２】
（２）上記実施形態において、コの字型に形成された一対の受部材である第１の支持部材３及び第２の支持部材７で水平搬送棒１のローラ１１を支持することによって上記水平搬送棒１を水平方向に摺動自在にした。しかしながら、水平搬送棒１を水平方向に摺動自在にできれば良く、第１の支持部材３及び第２の支持部材７としてスライドレールを設け、水平搬送棒１を当該スライドレールに係合させても良い。
【００３３】
（３）上記実施形態において、トレーＴを格子形状に形成した。しかしながら、係合部２が係合できる形状であれば良く、例えばフランジ構造を形成しても良い。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、載置台に載置された処理対象物を加熱処理する加熱室と、冷却処理する冷却室を具備し、搬入口から送入された処理対象物を冷却室に設けられた冷却室を通過させて加熱室に搬送し、加熱室において加熱処理された処理対象物を冷却室に搬送して冷却材中に浸漬することによって冷却し、冷却室において冷却処理された処理対象物を上記搬入口から送出される真空炉であって、所定形状の係合部を具備し、該係合部を載置台に当接させて押圧することによって冷却室内の処理対象物を加熱室に搬送すると共に、上記係合部を載置台に係合させて引くことによって加熱室内の処理対象物を冷却室に搬送する搬送手段を具備する。すなわち、上記１つの搬送手段によって処理対象物を冷却室から加熱室及び加熱室から冷却室に搬送することができるので、真空炉における搬送機構を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係わる真空炉の全体の縦断面図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ’矢視図である。
【図３】本発明の一実施形態に係わる真空炉における水平搬送棒１、係合部２及び連結部４の構成図である。
【図４】図１におけるＢ−Ｂ’の断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係わる真空炉の動作及び真空炉における搬送方法を説明するための図である。
【図６】本発明の一実施形態に係わる真空炉の動作及び真空炉における搬送方法を説明するための図である。
【符号の説明】
１……水平搬送棒（搬送手段，水平搬送手段）
１１……ローラ（搬送手段，水平搬送手段）
２……係合部（水平搬送手段）
３……第１の支持部材（搬送手段，水平搬送手段）
４……連結部（搬送手段，水平搬送手段）
４１……突出部（搬送手段，水平搬送手段）
４２……長穴（搬送手段，水平搬送手段）
４３……連結棒（搬送手段，水平搬送手段）
５……水平駆動部（搬送手段，水平搬送手段）
５１……スプロケット（搬送手段，水平搬送手段，回転体）
５２……チェーン（搬送手段，水平搬送手段，ベルト部材）
６……昇降台（搬送手段，垂直搬送手段）
６１……凹部
７……第２の支持部材（搬送手段，水平搬送手段）
８……垂直駆動部（搬送手段，垂直搬送手段）
Ｒ……冷却室
Ｒ１……冷却室搬入口（搬入口）
Ｒ２……冷却室用扉
Ｒ３……油槽
Ｒ４……脱油部
Ｋ……加熱室
Ｋ１……加熱室搬入口（加熱室の入口）
Ｋ２……内部ドア
Ｋ３……加熱載置台
Ｋ４……凹部
Ｓ……収納部
Ｔ……トレー（載置台）
Ｘ……金属材（処理対象物）
Ｙ……冷却油（冷却剤）
Ｚ……外部搬送台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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