(57)【要約】　　　（修正有）【課題】レーザビームの照射強度分布を容易に得ることができ、より精度の良いアブレーションを可能にする。【解決手段】加工対象物に対するレーザビームの照射領域を変える変更手段２１８と、切除データを入力する入力手段２０９ａと、切除データに基づいて変更手段を駆動制御する制御手段２５０とを備えるレーザ照射装置であって、レーザビームの照射により蛍光を発する蛍光ガラスに対して、加工対象物の加工時に必要とされるサイズの照射領域にレーザビームを照射したときに、その蛍光ガラスから発せられる蛍光強度を検出するエリアセンサを持つ蛍光検出光学系と、検出された蛍光強度に基づいて、加工時に必要とされる照射領域内に照射されたレーザビームの照射強度分布を得る照射強度検出手段と、検出された照射強度分布に基づいて前記変更手段の駆動情報を較正する較正手段２０９と、を備える。【選択図】　　　図２
2004065273.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザビームを加工対象物に導光する導光光学系と、加工対象物に対するレーザビームの照射領域を変える変更手段と、加工対象物を所期する形状にアブレーションするための切除データを入力する入力手段と、入力された切除データに基づいて前記変更手段を駆動制御する制御手段とを備えるレーザ照射装置であって、レーザビームの照射により蛍光を発する蛍光ガラスに対して、加工対象物の加工時に必要とされるサイズの照射領域にレーザビームを照射したときに、その蛍光ガラスから発せられる蛍光強度を検出するエリアセンサを持つ蛍光検出光学系と、前記エリアセンサにより検出された蛍光強度に基づいて、加工時に必要とされる照射領域内に照射されたレーザビームの照射強度分布を得る照射強度検出手段と、該検出された照射強度分布に基づいて前記変更手段の駆動情報を較正する較正手段と、を備えることを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項２】
請求項１の較正手段は、前記変更手段の駆動情報を決定するための前記切除データを補正する手段を含むことを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項３】
請求項１のレーザ照射装置は、角膜をアブレーションする角膜手術用のレーザ照射装置であり、前記蛍光ガラスは人眼の角膜形状に近似した凸曲面形状を持つことを特徴とするレーザ照射装置。
【請求項４】
請求項１のレーザ照射装置において、前記変更手段はレーザビームの照射領域の位置を移動する手段を含み、前記照射強度検出手段はレーザビームを移動したときに得られる蛍光強度を積算して加工時に必要とされる照射領域内における照射強度分布を検出することを特徴とするレーザ照射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザビームにより加工対象物をアブレーションするレーザ照射装置に関する。
【０００２】
【従来技術】
レーザビームは治療や加工用として様々な分野で用いられている。例えば、眼科分野では、エキシマレーザ光により角膜を切除（アブレーション）して角膜の曲率を変えることにより、眼の屈折異常を矯正するレーザ装置が知られている。この種の装置では、導光光学系の経年変化等により、照射領域内のレーザビームのエネルギ（照射強度）が変化し、結果的に切除形状がしばしば変化する。このため、レーザ照射装置の設置現場においても、その変化に対応させてレーザ照射を調整する必要がある。
【０００３】
レーザ照射を調整するために、本出願人は特開平６−２２６４７１号により一つの提案をしている。その方法は、既知のアブレーションレートを持つ透明平板（ＰＭＭＡ板）に、所期する屈折力を持つようにレーザ照射により曲面を形成した後、曲面部分の屈折力をレンズメータで測定し、その結果に基づいてアブレーションのための駆動情報を較正する、といものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記の方法により、照射強度の変化や切除深度の変化に対応して、容易にレーザ照射を調整することができるようになったが、さらにより精度の良いアブレーションを達成するための技術が望まれている。
【０００５】
本発明は、上記従来技術に鑑み、レーザビームの照射強度分布を容易に得ることができ、より精度の良いアブレーションを可能にするレーザ照射装置を提供することを技術課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。
（１）　レーザビームを加工対象物に導光する導光光学系と、加工対象物に対するレーザビームの照射領域を変える変更手段と、加工対象物を所期する形状にアブレーションするための切除データを入力する入力手段と、入力された切除データに基づいて前記変更手段を駆動制御する制御手段とを備えるレーザ照射装置であって、レーザビームの照射により蛍光を発する蛍光ガラスに対して、加工対象物の加工時に必要とされるサイズの照射領域にレーザビームを照射したときに、その蛍光ガラスから発せられる蛍光強度を検出するエリアセンサを持つ蛍光検出光学系と、前記エリアセンサにより検出された蛍光強度に基づいて、加工時に必要とされる照射領域内に照射されたレーザビームの照射強度分布を得る照射強度検出手段と、該検出された照射強度分布に基づいて前記変更手段の駆動情報を較正する較正手段と、を備えることを特徴とする。
（２）　（１）の較正手段は、前記変更手段の駆動情報を決定するための前記切除データを補正する手段を含むことを特徴とする。
（３）　（１）のレーザ照射装置は、角膜をアブレーションする角膜手術用のレーザ照射装置であり、前記蛍光ガラスは人眼の角膜形状に近似した凸曲面形状を持つことを特徴とする。
（４）　（１）のレーザ照射装置において、前記変更手段はレーザビームの照射領域の位置を移動する手段を含み、前記照射強度検出手段はレーザビームを移動したときに得られる蛍光強度を積算して加工時に必要とされる照射領域内における照射強度分布を検出することを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る眼科用のレーザ照射装置システムの概略構成図である。
２００は、エキシマレーザビームにより患者眼の角膜をアブレーションするレーザ照射装置である。レーザ照射装置２００の本体２０１の内部には、レーザ光源等が内蔵されている。レーザ光源からのレーザ光は、アーム部２０２及びその先端に取り付けられた先端部２０４に導かれ、患者眼の角膜に向けてレーザ照射される。本体２０１から先端部２０４の内部には、後述するレーザ導光光学系が配置されている。先端部２０４には、患者眼を観察するための双眼の顕微鏡部２０３が設けられている。アーム部２０２は、水平方向に移動可能であり、先端部２０４は上下方向に移動可能である。
【０００８】
１０は、レーザビームの照射強度の測定に使用する蛍光ガラスである。蛍光ガラス１０は、ＳｉＯ２やＢ２Ｏ３等のガラス成分と、Ｔｂ２Ｏ３やＥｕ２Ｏ３の希土類元素とから構成され、紫外光を照射することにより可視の蛍光を発光する。蛍光ガラス１０のレーザ照射面の形状は、平板形状であっても良いが、好ましくは、人眼の角膜形状に近似した曲率を持つ凸曲面形状とする。例えば、人眼の平均的な曲率半径Ｒ＝７．８ｍｍの半球面を持たせるようにする。この半球面の直径は１２ｍｍであり、１０ｍｍ以上が好ましい。蛍光ガラス１０のレーザ照射面を角膜に似せた凸曲面形状にすると、実際の角膜手術時におけるレーザビームのデフォーカス及び照射面の傾斜の影響によるパワー損失の影響を考慮した照射強度分布を評価できる。
【０００９】
１１は蛍光ガラス１０を保持する保持器であり、蛍光ガラス１０を安定して保持できればその形状は特に問わない。保持器１１の筐体は、好ましくは、外乱光の入射を軽減するための遮蔽筒とする。蛍光ガラス１０は保持器１１の遮蔽筒の内部に設置し、遮蔽筒の上部にはレーザビームを入射させると共に発光した蛍光を通過させる開口１０ａを設けておく。
【００１０】
図２は、レーザ照射装置２００のレーザ導光光学系及び制御系の構成を説明する図である。２１０は１９３ｎｍの波長を持つエキシマレーザを出射するレーザ光源である。レーザ光源２１０からは、図３に示すように、断面が矩形形状のレーザビームが生成され、出射される。ビームの水平方向の強度分布はほぼ均一であり、ビームの垂直方向の強度分布は、ガウシアン分布となっている。レーザ光源２１０から出射されたレーザビームは、ミラー２１１、２１２により反射され、平面ミラー２１３でさらに９０度方向に反射される。平面ミラー２１３はミラー駆動部２１４により図における矢印方向に移動可能であり、レーザビームをガウシアン分布方向に平行移動する。
【００１１】
２１５はイメージローテータであり、イメージローテータ駆動部２１６により中心光軸を中心にして回転駆動され、レーザビームを光軸周りに回転させる。２１７はミラーである。
【００１２】
２１８は照射領域を円形に制限する可変円形アパーチャであり、アパーチャ駆動部２１９によりその開口径が変えられる。２２０は照射領域をスリット状に制限する可変のスリットアパーチャであり、アパーチャ駆動部２２１により開口幅とスリット開口の方向が変えられる。２２２、２２３はビームの方向を変えるミラーである。２２４は円形アパーチャ２１８およびスリットアパーチャ２２０を患者眼の角膜上に投影するための投影レンズである。
【００１３】
また、スリットアパーチャ２２０とミラー２２２との間の光路には、分割アパーチャ板２６０が挿脱可能に配置され、分割アパーチャ板２６０は分割シャッタ２６５との組み合わせにより、レーザビームの照射領域を選択的に分割するようになっている。この分割アパーチャ板２６０と分割シャッタ２６５は、角膜の非対称成分をアブレーションするときに使用する。分割アパーチャ板２６０を光源２１０側から見ると、図４に示すように、同じ大きさの円形小アパーチャ２６１が６個並んでいる。これらの円形小アパーチャ２６１を分割シャッタ２６５が持つシャッタ板２６６によって選択的に開閉することにより、アブレーション領域をさらに制限してレーザ照射することができる。分割アパーチャ板２６０及び分割シャッタ２６５は、駆動部２６８により、中心光軸の垂直な平面内で移動可能となっている。
【００１４】
２２５は１９３ｎｍのエキシマレーザビームを反射して可視光を通過する特性を持つダイクロイックミラーであり、投影レンズ２２４を経たレーザビームはダイクロイックミラー２２５により９０°偏向されて角膜へと導光される。ダイクロイックミラー２２５の上方には固視灯２２６、対物レンズ２２７、顕微鏡部２０３が配置される。
【００１５】
２３０は顕微鏡部２０３の双眼光路の間（対物レンズ２２７の光軸上）に配置されたミラーであり、ミラー２３０の反射側光路には結像レンズ２３１、ミラー２３２、エリアセンサとしてのＣＣＤカメラ２３３が配置されている。ＣＣＤカメラ２３３の出力は、コンピュータ２０９に接続されている。対物レンズ２２７、ミラー２３０、ミラー２３２、ＣＣＤカメラ２３３は、蛍光ガラス１０から発した蛍光強度を検出する撮像光学系を構成する。この光学系は前眼部観察用の撮像光学系と兼用することでも良い。コンピュータ２０９には、術前の角膜形状データや矯正量データ等の手術データを入力する入力手段２０９ａ、モニタ２０９ｂが接続されている。コンピュータ２０９は、カメラ２３３からの検出画像データを記憶するメモリ２０９ｃを備え、切除データの演算処理やその較正処理等を行う。
【００１６】
２５０はレーザ光源２１０や各駆動部等を制御する制御部である。また、制御部２５０にはフットスイッチ２０８、各種の操作スイッチが配置されたコントローラ２０６が接続されている。
【００１７】
このレーザ照射装置２００におけるアブレーションは次のよう行われる。一定の深度を目的としてアブレーションする場合、平面ミラー２１３を図２中の矢印方向に平行移動させ、レーザ光源２１０からのレーザパルスの繰返し周波数を踏まえた速度で、矩形形状のレーザ光をガウシアン分布方向へ移動する。平面ミラー２１３はレーザパルスに同期させて移動する。ある移動位置で１パルス（又は数パルス照射後）に平面ミラー２１３を次の位置に移動させ、再び１パルス（又は数パルス照射後）に平面ミラー２１３を移動する。この動作をアパーチャ２１８で制限される照射領域の一端から他端まで繰り返し、レーザパルスを重ね合わせる。そして、１スキャン毎に所定角度ずつ走査方向を変える。なお、この対象物を均一にアブレーションする方法は、特開平４−２４２６４４号、特開平６−１１４０８３号に詳細に記載されているので、詳しくはこれを参照されたい。
【００１８】
近視矯正の回転対称な球面成分を取り除くべく中央部を深くアブレーションする場合は、次のようにする。円形アパーチャ２１８によりレーザビームを制限し、平面ミラー２１３を順次移動してレーザビームをガウシアン分布方向に移動する。そして、レーザビームが１面を移動し終わる（１スキャンする）ごとに、イメージローテータ２１５の回転によりレーザビームの移動方向を変更し、円形アパーチャ２１８により制限された領域をアブレーションする。これを円形アパーチャ２１８の開口領域の大きさを順次変えるごとに行うことにより、角膜の中央部を深く、周辺部を浅くした球面成分のアブレーションが行える。線対称な柱面成分を取り除く場合は、円形アパーチャ２１８の代わりにスリットアパーチャ２２０で同様な制御を行う。
【００１９】
また、非対称成分を取り除くべく部分的なアブレーションをするときは、分割アパーチャ板２６０を使用する。分割アパーチャ板２６０を光路に配置し、分割アパーチャ板２６０が持つ円形小アパーチャ２６１の位置を制御すると共に、分割シャッタ２６５の駆動により円形小アパーチャ２６１を選択的に開放・遮蔽する。平面ミラー２１３の移動によりレーザビームをスキャンさせることにより、開放された円形小アパーチャ２６１を通過する小領域のレーザビームが部分的に照射される。
【００２０】
以上のようなレーザ照射装置システムにおいて、レーザ照射強度を評価し、レーザビームの照射を較正する方法を説明する。まず、照射装置２００の照射光学系に対して、蛍光ガラス１０を所定の位置に配置する。コントローラ２０６のスイッチにより、装置の動作モードをレーザ照射強度の較正モードに設定した後、フットスイッチ２０８を押してレーザビームを出射させる。この較正モードでは、照射領域を角膜手術で必要とされる最大サイズとすべく、アパーチャ２１８の開口径が広げられ、対象物を一定の深度でアブレーションする場合と同じように、レーザ導光光学系の各駆動系が制御される。
【００２１】
レーザビームの照射により、蛍光ガラス１０からはそのレーザビームの照射強度に応じた強度を持つ蛍光が発せられる。蛍光ガラス１０から発せられたた蛍光は、カメラ２３３の撮像素子に受光される。カメラ２３３からの出力信号はコンピュータ２０９に入力され、受光された光強度を持つデジタル画像がメモリ２０９ｃに記憶される。
【００２２】
前述したように、アブレーション時には、レーザビームは平面ミラー２１３の移動によりガウシアン方向へ移動される。そのレーザビームはレーザパルスに同期して行われ、パルスのレーザビームを重ね合わせることにより、均一なアブレーションが達せされる（特開平５−２２０１８９号参照）。ここで、例えば、平面ミラー２１３の移動により、アパーチャ２１８で制限される領域の１面（１スキャン）のレーザ照射が１０パルスで達成されるものとする。また、レーザパルスの発振信号に対してカメラ２３３の画像取得信号を、図５のように同期させる。例えば、レーザパルスの発振周波数が５０Ｈｚのときは、カメラ２３３の１画像の取得も５０Ｈｚとし、画像取得の開始信号をレーザパルスの発振のタイミングに同期させる。これにより、１パルス毎に発する蛍光の画像がカメラ２３３により取得される。カメラ２３３により取得される画像信号は、図６（ａ）に示すように、各レーザパルス毎に輝度分布を持つ画像としてメモリ１０９ｃに記憶される。そして、１パルス目から１０パルス目の１０枚の画像を積算することにより、図６（ｂ）に示すごとく、アパーチャ２１８で制限される領域内での輝度分布が得られる。この輝度分布が、１スキャンにおけるレーザビームの照射強度（エネルギ密度）の分布を表す。
【００２３】
基本的には１スキャンのレーザ照射により目的とする照射領域内での照射強度分布の評価ができるが、本実施形態のレーザ照射装置では、スキャンの量ね合せの際に矩形形状のレーザビームのスキャン方向を変えて行う。例えば、６０度毎にスキャン方向を変える場合は、６スキャンで１周分となる。このため、蛍光ガラス１０へのレーザビームの照射もスキャン方向を変えて６スキャン分行い、各スキャンでの輝度分布をさらに積算して平均化することで、１スキャンの照射領域内での照射強度分布としても良い。
【００２４】
なお、蛍光画像を取得する上では、カメラ２３３が持つ各画素の感度補正をしておくことが好ましい。また、蛍光ガラス１０にレーザビームを照射する前の画像を予め得ておき、これと実際にレーザ照射して得た蛍光の画像とを差分処理することが好ましい。こうすれば、外乱光の影響を排除して、蛍光の輝度情報のみを得やすくなる。さらにまた、蛍光画像を得るときには、観察用の照明光等の不必要な照明は消灯しておく。また、得られる照射強度分布の位置基準はカメラ２３３の撮像位置で決まるものである。
【００２５】
レーザ照射領域におけるレーザビームの照射強度分布が得られたら、コンピュータ２０９はこれをレーザ照射の較正用の基礎データとする。エキシマレーザビームの１ショット（１パルス）当たりのエネルギ密度と切除深さ（本明細書では、これをアブレーションレートという）の関係については、１００〜４００ｍＪ／ｃｍ２の範囲においては、エネルギ密度の増加とともにほぼ直線的に切除深さも増加することが分かっている。角膜手術のエネルギ密度は、２００ｍＪ／ｃｍ２前後が使用される。レーザ照射装置２００には、レーザ光源２１０から出射するレーザエネルギの安定化のために、エネルギモニタを備え、１パルス当たりのトータルエネルギ量が一定になるように、制御部２５０に制御される。しかし、レーザビームは照射位置に至るまでの光学系内におけるエネルギ損失のため、照射位置でのエネルギ密度はムラがあり、また、経時的にも変化する。そこで、本実施形態ではエネルギ密度とアブレーションレートの関係を予め記憶しておき、これを基にレーザ照射を較正する。
【００２６】
レーザビームの照射強度分布に対するアブレーションレート（切除深さ／１ショット）の関係は、次のように求めることができる。例えば、中心部のエネルギ密度１５０ｍＪ／ｃｍ２のビームをＰＭＭＡ板に照射したとき、１００ショットで３０μの切除深さが得られたとすれば、エネルギ密度１５０ｍＪ／ｃｍ２のときのアブレーションレートは０．３μとなる。同様に、エネルギ密度が異なる値でのアブレーションレートを求めていけば、エネルギ密度に対するアブレーションレートの関係のテーブルが求められる。また、ＰＭＭＡ板のアブレーションレートに対する角膜のアブレーションレートの関係は、およそ２倍であることが経験的に分かっている。したがって、レーザビームの照射強度と角膜のアブレーションレートとの関係のテーブル（図９参照）をコンピュータ２０９の記憶手段に記憶しておけば、各部の照射強度に対するアブレーションレートが得られる。そして、目的加工物である角膜の３次元的切除形状を、レーザビームの照射強度分布から決定される各部のアブレーションレートで除せば、ショット数（本実施形態の装置ではスキャン数）の分布として得ることができる。較正は、照射強度分布のムラをショット数の加減として反映させることで行える。
【００２７】
いま、眼のある経線方向に対応させた任意の角度θにおけるレーザビームの照射強度分布が、アブレーションレートのプロファイルとして、図７（ａ）のようなデータ３００として得られたとする。ここで、角度θ、照射中心からの距離ｒの位置Ｐ（ｒ，θ）のアブレーションレートがＫ（ｒ，θ）であったとする。この値を用いて切除データを較正する。角度θにおける切除データが、図７（ｂ）のようなグラフ３０１で示される切除深度データで入力されたとし、位置Ｐ（ｒ，θ）の切除深度をｈとすると、補正後のショット数Ｓｈは、
Ｓｈ＝ｈ／Ｋ（ｒ，θ）
として求められる。これを切除領域の全域で計算すると、図７（ｃ）のグラフ３０２で示すショット数の分布データに補正される。図７（ｃ）のグラフ３０３は、照射中心のアブレーションレートＫ０が切除領域の全域において一定であるものとしたときのショット数の分布データを示す。
【００２８】
また、切除データの較正は、ショット数の分布データとして表す代わりに、次のように、切除深度の形式で表しても良い。図７（ａ）のアブレーションレートが最大値である中心のアブレーションレートをＫ０としたとき、これに対する位置Ｐ（ｒ，θ）のアブレーションレートの変化率は、Ｋ（ｒ，θ）／Ｋ０となる。図７（ｂ）と同じく、位置Ｐ（ｒ，θ）の切除深度をｈとすると、補正後の切除深度ｈ′は、
ｈ′＝ｈ／（Ｋ（ｒ，θ）／Ｋ０）
として求められる。これを切除領域の全域で計算すると、図８のグラフ３０４で示す切除深度データに補正される。
【００２９】
なお、切除データは、事前に測定した術前の角膜形状から目的の矯正量（自覚値又は他覚値のＳＰＨ，ＣＹＬ、Ａｘｉｓ、あるいは眼の収差を補正する矯正量）に相当するレンズ成分を取り除いた後の角膜形状を求め、術前と術後の角膜形状の差を計算することにより求められる。この切除データは、入力部２０９ａにより入力された術前の角膜形状と目的の矯正量のデータによりコンピュータ２０９が求めるが、別の解析装置で算出されたものをコンピュータ２０９に入力しても良い。
【００３０】
コンピュータ２０９は、補正後のショット数の分布データ（又は補正後の切除除深度データ）を基に、レーザ照射領域（照射位置の変化も含む）を変化させる各駆動部２１４，２１６，２１９，２２１，２６８等の駆動情報を較正する。ショット数の分布データ（又は切除深度データ）は、球面で代表される回転対称成分と、柱面で代表される線対称成分と、これら以外の非対称成分とに分けられる。回転対称成分については１スキャン毎の円形アパーチャ２１８の開口径を演算する。同様に、線対称成分については１スキャン毎のスリットアパーチャ２２０の開口幅を演算する。非対称成分については、１スキャン毎の分割アパーチャ板２６０の移動位置と分割シャッタ２６５の開閉の有無を演算する。実際の術眼のアブレーション時には、コンピュータ２０９により求められた演算結果の制御データに基づいて、各駆動部が制御部２５０により制御される。
【００３１】
以上のレーザ照射装置は、レーザビームの並進スキャンとアパーチャ２１８等の制御によりレーザ照射領域を変える構成で説明したが、０．１〜１ｍｍ程の小スポットに形成されたレーザビームをＸＹ方向にスキャニングする光学系（２つのガルバノミラーにより構成できる）により、レーザビームのスポット位置（照射領域の位置）を変えるタイプの装置であっても良い。このタイプの装置においても、較正モードでは角膜手術で必要とされる照射領域内で、一定の深度でアブレーションすべくレーザビームがスキャンされ、レーザパルスの発振信号に同期してカメラ２３３の画像が取得される。そして、その取得された画像が積算されて、照射領域の１スキャン（１面）におけるレーザビームの照射強度分布が検出される。レーザ照射の較正は、照射強度分布から求められるアブレーションレートの分布の変化から、前述と同様に各位置でのショット数のデータを補正することにより行うことができる。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、レーザビームの照射強度分布を容易に評価でき、より精度の良いアブレーションを可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る眼科用のレーザ照射装置システムの概略構成図である。
【図２】レーザ照射装置のレーザ導光光学系及び制御系の構成を説明する図である。
【図３】エキシマレーザビームの代表的な形状を示す図である。
【図４】分割アパーチャ板及び分割シャッタの概略構成図である。
【図５】画像取得の開始とレーザパルスの発振との同期を説明する図である。
【図６】カメラにより取得される画像の積算を説明する図である。
【図７】切除データの較正方法を説明する図である。
【図８】切除データの較正方法において、切除深度の形式で表して場合の図である。
【図９】レーザビームの照射強度と角膜のアブレーションレートとの関係を示す図である。
【符号の説明】
１０　蛍光ガラス
２００　レーザ照射装置
２０９　コンピュータ
２１０　レーザ光源
２１３　平面ミラー
２１８　円形アパーチャ
２１９　スリットアパーチャ
２３３　ＣＣＤカメラ
２５０　制御部
２６０　分割アパーチャ板
【図１】
2004065273.tif 000003
【図２】
2004065273.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004065273.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004065273.tif 000008
【図７】
2004065273.tif 000009
【図８】
2004065273.tif 000010
【図９】
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