(57)【要約】【課題】複数の電子銃を備える基板検出装置において、真空保持のための構成や微小電流検出のための構成の個数を減少させ、装置の信頼性を高める。【解決手段】真空チャンバ５内に配置する基板２２電子ビームの照射により検査する基板検査装置１において、個別の動作制御を自在とする複数の電子銃２と、各電子銃の電子ビーム照射を個別に受ける複数のターゲット７と、全てのターゲットを電気的に接続する配線８とを備える。真空チャンバ５は単一のフィールドスルー１０を有し、この単一のフィールドスルー１０を通して、配線８の一部、又は配線８と電気的に接続する単一の引き出し線９を真空チャンバ５外に引き出す。引き出された配線８又は引き出し線９を介して電子銃２のビーム電流を個別に測定する。【選択図】　図１
2004125564.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ内に配置する基板を電子ビームの照射により検査する基板検査装置であって、
個別の動作制御を自在とする複数の電子銃と、
各電子銃の電子ビーム照射を個別に受ける複数のターゲットと、
前記全てのターゲットを電気的に接続する配線とを備え、
前記真空チャンバは、前記配線の一部、又は前記配線と電気的に接続する単一の引き出し線を真空チャンバ外に引き出す単一のフィールドスルーを有し、当該フィールドスルーを通して引き出された配線又は引き出し線を介して得られるビーム電流を、電子銃の個別動作制御に基づいて個別に測定することを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記各電子銃の動作を個別に制御する制御手段と、
前記単一のフィールドスルーを通して取得されたビーム電流を測定する微小電流測定手段とを備え、
前記微小電流測定手段は、制御手段による電子銃の動作制御と同期してビーム電流を測定することを特徴とする、請求項１に記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板検査装置に関し、複数の電子銃から照射される電子ビームを用いて対象物を検査する基板検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
真空チャンバ内に設けた基板等の検査対象物に対して、電子銃から電子ビームを照射し、基板から放出されるＸ線や二次電子や反射電子を検出することにより、基板の検査を行う基板検査装置が知られている。
【０００３】
このような基板検査装置では、複数の電子銃を用いることにより、複数の基板、あるいは一つの大型の基板中の複数箇所を検査する構成のものが知られている。
【０００４】
検出信号強度は、電子銃から照射される電子ビーム量に依存するため、このような複数の電子銃を備える基板検査装置では、各検出器から得られる検出値を揃えるために、電子銃を制御して照射する電子ビーム量を調整する必要がある。また、各電子銃についても、経年変化等による電子ビーム量の変動を調整する必要がある。また、複数の電子銃の動作確認も必要である。
【０００５】
そのため、各電子銃の動作を確認したり調整を行うために、複数の電子銃から射出される電子ビーム量（ビーム電流）を測定する必要があるが、従来、このような複数の電子銃の動作確認や調整を行う基板検査装置は知られていない。
【０００６】
一般に、電子ビーム量を測定するには、各電子銃から照射された電子ビームを各電子銃に対応して設けられたターゲットに当て、得られるビーム電流を測定することが行われる。各電子ビームを照射されたターゲットからは、そのターゲットに当たった電子ビームのビーム量に応じた微小電流が生じる。この微小電流の電流量を測定することにより、各電子銃の電子ビーム量を検出することができる。
【０００７】
基板検査装置において、各電子銃の電子ビーム量を検出するために、各電子銃に対してターゲットを設け、各ターゲットから得られる微小電流を測定するために、微小電流測定手段を真空チャンバ外に備え、真空チャンバ内のターゲットと微小電流測定手段との電気的に接続することにより、ターゲットから得られるビーム電流を測定する構成が考えられる。この構成では、この真空チャンバ内外での電気的な接続を行うために、真空チャンバの壁面に各ターゲットに対応して複数のフィールドスルーを設ける必要がある。
【０００８】
また、微小電流測定手段は、複数のターゲットに対応してそれぞれ設ける構成、あるいは、複数のターゲットからの電流をスイッチ回路を介して選択的に接続する構成が考えられるが、微小電流測定手段を各ターゲット毎に設ける構成では、多数の微小電流測定手段が必要であるという問題がある。
【０００９】
図６は、複数のターゲットと微小電流測定手段とスイッチ手段により選択的に接続する例であり、従来の一般的技術に基づいて考えられる構成例である。
【００１０】
基板検査装置１１は、真空チャンバ１５内に電子銃１２ａ〜１２ｃと、各電子銃に対応して設けられる検出器１６ａ〜１６ｃ、及びターゲット１７ａ〜１７ｃを備える。電子銃１２ａ〜１２ｃは、それぞれ電子銃駆動手段１３ａ〜１３ｃにより駆動されて電子ビームを照射する。ターゲット１７ａ〜１７ｃは、各電子銃１２ａ〜１２ｃから照射される電子ビーム量を測定するために真空チャンバ１５内に固定される。電子ビームがターゲットに衝突すると、その電子ビームに対応したビーム電流が、個々に接続された引き出し線１９ａ〜１９ｃを介して、真空チャンバ１５の外部に設けられた微小電流検出手段２１で測定される。各引き出し線１９ａ〜１９ｃは、真空チャンバ１５に設けた複数のフィールドスルー２０ａ〜２０ｃを通すことにより、真空チャンバ１５内の真空度を保持している。
【００１１】
フィールドスルー２０ａ〜２０ｃを通して引き出された複数の引き出し線１９ａ〜１９ｃと単一の微小電流検出手段２１との間には、接続を切り替えるスイッチ手段１８が設けられ、スイッチ制御手段１４により切り替え制御が行われる。
【００１２】
図６（ａ）は、電子銃の動作を確認したり調整を行うために、複数の電子銃から射出される電子ビーム量（ビーム電流）を測定する状態を示し、図６（ｂ）は、電子銃の動作調整を行った後、電子銃から基板２２に電子ビームを照射し、基板２２からの放出されるＸ線や電子を検出器１６ａ〜１６ｃで検出することにより基板２２の検査を行う状態を示している。
【００１３】
図７は考えられる基板検査装置において電子ビームの測定動作を説明するためのフローチャートであり、図８は電子ビームの測定動作時の信号を説明するための図である。
【００１４】
複数の電子銃（電子銃ａ〜電子銃ｃ）に電圧を印加し（図８（ａ）〜図８（ｃ））（ステップＳ１０１）、各電子銃から対応するターゲットに電子ビームを照射する（ステップＳ１０２）。この電子ビームの照射により、ターゲットから、照射された電子ビーム強度に応じたビーム電流が生じる。図８（ｄ）〜図８（ｅ）は、それぞれ電子銃ａ〜電子銃ｃに対応するビーム電流を示している。
【００１５】
ここで、スイッチ手段により微小電流検出手段と接続するターゲットを切り替える。図８（ｇ）は、時刻ｔ１とｔ２の間は電子銃ａに接続し、時刻ｔ２とｔ３の間は電子銃ｂに接続し、時刻ｔ３とｔ４の間は電子銃ｃに接続する例を示している（ステップＳ１０３）。この切り替えにより、図８（ｈ）に示すように、微小電流検出手段は各ターゲットからのビーム電流を各時間帯毎に測定する（ステップＳ１０４、１０５）。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
前記の基板検査装置は、複数の電子銃を備える構成では、各電子銃に対応して設けられたターゲットと微少電流検出手段との間を電気的に接続する必要があり、このためには、真空チャンバに複数のフィールドスルーを設ける構成が考えられる。フィールドスルーを複数備え得る構成では、部品故障の頻度が高まり、また、真空チャンバ内の真空度を低下させる要因が増えるため、高い真空度保持の障害要因となるという問題がある。
【００１７】
また、各ターゲットに対応して複数の微小電流検出手段を備える構成では、コストが増加するという問題があり、複数のターゲットに対して単一の微小電流検出手段をスイッチ手段を介して切り替える構成では、スイッチ手段が複雑となる他、電流漏洩の可能性もあるため、測定値の信頼性を低下させる原因となるという問題もある。
【００１８】
そこで、本発明は前記した前記問題点を解決し、複数の電子銃を備える基板検出装置において、真空保持のための構成や、微小電流検出のための構成の個数を減少させ、装置の信頼性を高めることを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、一つフィールドスルー及び一つの微小電流検出手段により、複数のターゲットからのビーム電流を識別可能に測定することにより、真空保持のための構成や、微小電流検出のための構成の個数を減少させる。
【００２０】
本発明の基板検査装置は、真空チャンバ内に配置する基板を電子ビームの照射により検査する基板検査装置において、個別の動作制御を自在とする複数の電子銃と、各電子銃の電子ビーム照射を個別に受ける複数のターゲットと、全てのターゲットを電気的に接続する配線とを備えた構成とする。真空チャンバは単一のフィールドスルーを有し、この単一のフィールドスルーを通して、配線の一部、又は配線と電気的に接続する単一の引き出し線を真空チャンバ外に引き出す。この引き出された配線又は引き出し線を介して電子銃のビーム電流を個別に測定する。単一のフィールドスルーを通る単一線を介して得られるビーム電流は、個別の動作制御される複数の電子銃と関連させることで、一つのフィールドスルー及び一つの微小電流検出手段により、複数のターゲットからのビーム電流を識別可能に測定する。
【００２１】
さらに、本発明の基板検査装置は、各電子銃の個別動作を個別に制御する制御手段と、単一のフィールドスルーを通して取得されたビーム電流を測定する微小電流測定手段とを備えた構成とする。微小電流測定手段は、制御手段による電子銃の動作制御と同期してビーム電流を測定することにより、複数のターゲットからのビーム電流を識別可能に測定する。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。　図１は本発明の基板検査装置を説明するための概略ブロック図であり、図２は本発明の基板検査装置を説明するための概略斜視図である。なお、図１（ａ），図２（ａ）は、電子ビームをターゲットに照射してビーム電流を測定する状態を示し、図１（ｂ），図２（ｂ）は、電子ビームを基板に照射して基板検査を行う状態を示している。
【００２３】
基板検査装置１は、真空チャンバ５内に電子銃２ａ〜２ｃと、各電子銃に対応して設けられる検出器６ａ〜６ｃ、及びターゲット７ａ〜７ｃを備える。電子銃２ａ〜２ｃは、それぞれ電子銃駆動手段３ａ〜３ｃにより駆動されて電子ビームを照射する。ターゲット７ａ〜７ｃは、各電子銃２ａ〜２ｃから照射される電子ビーム量を測定するために真空チャンバ５内に固定されている。
【００２４】
ターゲット７ａ〜７ｃは、図２に示すように、開口部３２を有したグリッド３１に設けられて真空チャンバ５内に固定される。各電子銃２からの電子ビームは、開口部３２を通って測定対象である基板２２の測定領域４１を照射する。電子ビームの照射により測定領域４１から放出されたＸ線や二次電子や反射電子は、グリッド３１を通って検出器６で検出される。なお、グリッド３１には、所定の正電圧を印加しておくことにより、検出器６での電子の検出効率の低下を防止する。
【００２５】
また、ターゲット７ａ〜７ｃは、電子銃２からの電子ビームの主たる経路からずれた位置に配置する。ターゲット７ａ〜７ｃは、電子ビームの広がり部分を測定する他、図示しない偏向手段により電子ビームをターゲット側に偏向させることで測定することができる。
【００２６】
各ターゲット７ａ〜７ｃは、配線８あるいは配線８ａ，８ｂ（図中の破線）により互いに電気的に接続される。配線８は、各ターゲット７ａ〜７ｃを接続する接続線と共に、真空チャンバ５外に引き出す引き出し線を兼ねており、真空チャンバ５の壁面に設けた単一のフィールドスルー１０を通して、真空チャンバ５の外部に引き出され、微小電流測定手段２１に接続される。
【００２７】
また、配線８ａ，８ｂ（図中の破線）は、各ターゲット７ａ〜７ｃを接続し、単一の引き出し線９（図中の破線）に電気的に接続される。引き出し線９（図中の破線）は、真空チャンバ５の壁面に設けた単一のフィールドスルー１０を通して、真空チャンバ５の外部に引き出され、微小電流測定手段２１に接続される。
【００２８】
電子ビームがターゲット７に衝突すると、その電子ビームに対応したビーム電流は、配線８、あるいは配線８ａ，８ｂ（図中の破線）、及び引き出し線９（図中の破線）を介し、単一のフィールドスルー１０を通って真空チャンバ５の外部に引き出され、真空チャンバ５の外部に設けられた微小電流検出手段２１で測定される。
【００２９】
各配線８あるいは引き出し線９（図中の破線）は、真空チャンバ５に設けた単一のフィールドスルー１０を通すことにより、真空チャンバ５内の真空度を保持している。
【００３０】
単一のフィールドスルー１０を通る配線８又は引き出し線９（図中の破線）は単一線であり、微小電流検出手段２１は、各ターゲット７ａ〜７ｃで得られたビーム電流の総和を検出することになる。
【００３１】
各ターゲット７ａ〜７ｃのビーム電流を個別に検出するために、電子銃２ａが照射する電子ビームを個別に制御する。この電子銃２ａの個別制御は、各電子銃駆動手段３ａ〜３ｃを制御手段４により行うことができる。微小電流検出手段２１は、制御手段４の制御状態によってどの電子銃が動作しているかを知り、検出したビーム電流がどの電子銃によるものであるかを識別することができる。例えば、微小電流検出手段２１による検出と、制御手段４による電子銃制御とを同期させることで、ビーム電流の識別を行うことができる。
【００３２】
なお、図１，２では、説明の便宜上から、電子銃、電子銃駆動手段、検出器、ターゲットをそれぞれ３つ備える構成を示しているが、設置する個数は、３個に限らず任意に複数個とすることができる。
【００３３】
図１（ａ），図２（ａ）に示すように、ビーム電流をターゲットで検出し、各電子銃を調整した後、図１（ｂ），図２（ｂ）に示すように、電子ビームを基板に照射して基板検査を行う。
【００３４】
基板検査では、電子銃２から真空チャンバ５内に搬入した基板２２に電子ビームを照射し、電子ビーム照射により基板から得られるＸ線や電子線を検出器６で検出することで基板検査を行う。
【００３５】
図３は、本発明の基板検査装置による基板検査の手順を説明すためのフローチャートであり、図４，５は本発明の基板検査装置による電子ビームの測定動作時の信号を説明するための図である。
【００３６】
本発明の基板検査装置１は、真空チャンバ５が備えるゲート（図示していない）を開いて（ステップＳ１）、基板２２を真空チャンバ５内に搬入し（ステップＳ２）、ゲートを閉じた後（ステップＳ３）、真空チャンバ５内を図示しない排気手段により真空排気する（ステップＳ４）。
【００３７】
制御手段４は、各電子銃駆動手段３を制御し、電子銃２に印加する電圧を制御する。この電圧制御において、複数の電子銃２の内でどの電子銃あるいはどの組み合わせの電子銃の電圧を印加するかにより、電子ビームを出射させる電子銃を定める（ステップＳ５）。
【００３８】
電子銃２から発せられた電子ビームはターゲット７を照射し、この電子ビームの照射により各ターゲットからは照射された電子ビームの強度に対応したビーム電流をが生じる（ステップＳ６）。各ターゲット７は、配線８、あるいは８ａ，８ｂにより接続されているため、各ターゲット７で生じたビーム電流は加算され、配線８（８ａ，８ｂ）あるいは引き出し線９には、各ターゲット７に発生したビーム電流を総和した電流が流れる。真空チャンバ５の外部に設けられた微小電流検出手段２１は、単一のフィールドスルー１０を通る配線８あるいは引き出し線９を介してこの総和したビーム電流を検出する（ステップＳ７）。
【００３９】
以下、図４及び図５を用いて、各電子銃の電子ビームにより生じるビーム電流を個別に検出する態様を説明する。
【００４０】
図４は、第１の態様を説明するための図であり、ビーム電流の測定及び検出信号の検出の動作状態を示している。ここでは、時刻ｔ１〜ｔ４の間にビーム電流を測定し、時刻ｔ４〜ｔ５の間に検出信号の検出する例を示している。
【００４１】
図４（ａ）〜（ｃ）は各電子銃に印加する電圧を示している。ここで、電子銃２ａは時刻ｔ１〜ｔ５の間に電圧を印加位置し、電子銃２ｂは時刻ｔ２〜ｔ５の間に電圧を印加位置し、電子銃２ｃは時刻ｔ３〜ｔ５の間に電圧を印加する。この電圧印加の態様とすることにより、時刻ｔ１〜ｔ２の間は電子銃２ａのみに電圧が印加され、時刻ｔ２〜ｔ３の間は電子銃２ａと電子銃２ｂに電圧が印加され、、時刻ｔ３〜ｔ４の間及び時刻ｔ４〜ｔ５の間は電子銃２ａと電子銃２ｂと電子銃２ｃに電圧が印加される。
【００４２】
ここで、電子銃２ａ，電子銃２ｂ，及び電子銃２ｃから照射される各電子ビームにより各ターゲットから生じるビーム電流をそれぞれｉ１，ｉ２，ｉ３とすると、上記した電圧印加の態様とすることにより、微小電流測定手段で測定されるビーム電流は図４（ｄ）に示すビーム電流測定波形となる。図４（ｄ）に示すビーム電流測定波形では、時刻ｔ１〜ｔ２の間ではビーム電流ｉ１のみが測定され、時刻ｔ２〜ｔ３の間ではビーム電流ｉ１とビーム電流ｉ２が加算された電流（ｉ１＋ｉ２）が測定され、時刻３１〜ｔ４の間ではビーム電流ｉ１とビーム電流ｉ２とビーム電流ｉ３が加算された電流（ｉ１＋ｉ２＋ｉ３）が測定される。
【００４３】
これにより、ビーム電流ｉ１は時刻ｔ１〜ｔ２の間で測定される電流により取得することができる。また、ビーム電流ｉ２は時刻ｔ２〜ｔ３の間で測定される電流（ｉ１＋ｉ２）から時刻ｔ１〜ｔ２の間で測定される電流ｉ１を差し引くことにより取得することができ、ビーム電流ｉ３は時刻ｔ３〜ｔ４の間で測定される電流（ｉ１＋ｉ２＋ｉ３から時刻ｔ２〜ｔ３の間で測定される電流（ｉ１＋ｉ２）を差し引くことにより取得することができる。
【００４４】
この第１の態様は、複数の電子銃のうち、時間軸上で電子ビームの射出及び停止を一電子銃に相当する分だけ変化させ、この一電子銃の変化を測定する。
【００４５】
各時刻ｔ１〜ｔ４は各電子銃の駆動時刻であって制御手段４の制御で定められる。したがって、微小電流測定手段２１は、制御手段４から各電子銃の駆動時刻の情報を取得し制御動作と同期することで、各ビーム電流を電子銃毎に識別して測定することができる。
【００４６】
ステップＳ５〜ステップＳ７の動作は、全ビーム電流の測定が終了するまで繰り返される。全ビーム電流の測定の終了は、制御手段４からの制御信号で判断することができる。
【００４７】
図５は、第２の態様を説明するための図であり、ビーム電流の測定及び検出信号の検出の動作状態を示している。ここでは、第１の態様と同様に、時刻ｔ１〜ｔ４の間にビーム電流を測定し、時刻ｔ４〜ｔ５の間に検出信号の検出する例を示している。
【００４８】
図５（ａ）〜（ｃ）は各電子銃に印加する電圧を示している。ここで、電子銃２ａは時刻ｔ１〜ｔ２の間、及び時刻ｔ４〜ｔ５の間に電圧を印加位置し、電子銃２ｂは時刻ｔ２〜ｔ３の間、及び時刻ｔ４〜ｔ５の間に電圧を印加位置し、電子銃２ｃは時刻ｔ３〜ｔ５の間に電圧を印加する。この電圧印加の態様とすることにより、時刻ｔ１〜ｔ２の間は電子銃２ａのみに電圧が印加され、時刻ｔ２〜ｔ３の間は電子銃２ｂのみに電圧が印加され、時刻ｔ３〜ｔ４の間は電子銃２ｃのみに電圧が印加され、時刻ｔ４〜ｔ５の間は電子銃２ａと電子銃２ｂと電子銃２ｃに電圧が印加される。
【００４９】
ここで、電子銃２ａ，電子銃２ｂ，及び電子銃２ｃから照射される各電子ビームにより各ターゲットから生じるビーム電流をそれぞれｉ１，ｉ２，ｉ３とすると、上記した電圧印加の態様とすることにより、微小電流測定手段で測定されるビーム電流は図５（ｄ）に示すビーム電流測定波形となる。図５（ｄ）に示すビーム電流測定波形では、時刻ｔ１〜ｔ２の間ではビーム電流ｉ１のみが測定され、時刻ｔ２〜ｔ３の間ではビーム電流ｉ２のみが測定され、時刻３１〜ｔ４の間ではビーム電流ｉ３のみが測定される。
【００５０】
これにより、ビーム電流ｉ１，ｉ２，ｉ３は、時刻ｔ１〜ｔ２の間，時刻ｔ２〜ｔ３の間，時刻ｔ３〜ｔ４の間の各時刻間で測定される電流により取得することができる。
【００５１】
第１の態様と同様に、各時刻ｔ１〜ｔ４は各電子銃の駆動時刻であって制御手段４の制御で定められる。したがって、微小電流測定手段２１は、制御手段４から各電子銃の駆動時刻の情報を取得し制御動作と同期することで、各ビーム電流を電子銃毎に識別して測定することができる。
【００５２】
ステップＳ５〜ステップＳ７の動作は、上記した第１，第２の態様で示されるように、全ビーム電流の測定が終了するまで行われる。全ビーム電流の測定終了は、制御手段４からの制御信号で判断することができる（ステップＳ８）。
【００５３】
制御手段４は、微小電流測定手段２１で測定した各電子銃２のビーム電流に基づいて各電子銃駆動制御手段３を制御し、電子ビームを調整する（ステップＳ９）。
【００５４】
電子ビームを調整した後、基板２２に照射される電子ビームによって基板から放出されるＸ線や電子を各検出器６で検出し、基板測定を行う。図４，図５では、時刻ｔ４〜ｔ５の間において検出器６ａ〜６ｃにより検出信号ｓａ，ｓｂ，ｓｃを検出する（ステップＳ１０）。
【００５５】
基板測定が終了した後、電子銃への電圧印加を停止し（ステップＳ１１）、真空チャンバ５内に吸気した後（ステップＳ１２）、ゲート（図示していない）を開き（ステップＳ１３）、真空チャンバ５内から基板２２を搬出する（ステップＳ１４）。
【００５６】
さらに、別の基板を測定する場合には、ステップＳ１に戻って繰り返す。なお、このとき、ステップＳ５〜ステップＳ８のビーム電流測定の行程、電子銃調整の行程は所定の期間毎に行うようにして、各基板測定毎の処理は省略するようにしてもよい。
【００５７】
なお、電子銃の駆動波形、は前記した第１の態様、及び第２の態様に示す波形に限らず、時間軸上において一つの電子銃に対応するビーム電流値を得ることができる任意の波形とすることができる。
【００５８】
本発明の基板検査装置は、液晶基板等の基板に適用することができ、複数の電子銃及び検出器を備えることにより、大型の基板の各測定領域や、複数の基板を同時に測定することができる。
【００５９】
本発明の形態によれば、真空チャンバ内の各ターゲット間の配線を簡易にすることができる。
【００６０】
また、フィールドスルーの個数や、微小電流測定手段の個数を一個とすることができ、故障の発生の頻度を下げることができる。
【００６１】
また、本発明の形態では、電子銃の個数を増加させた場合であっても、ビーム電流の測定を行うための構成を変えることなく、既に配設している配線にターゲットを単に接続するだけでビーム電流を測定することができるため、拡張性や信頼性を高めることができる。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の基板検査装置によれば、複数の電子銃を備える基板検出装置において、真空保持のための構成や、微小電流検出のための構成の個数を減少させ、装置の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板検査装置を説明するための概略図である。
【図２】本発明の基板検査装置を説明するための概略斜視図である。
【図３】本発明の基板検査装置による基板検査の手順を説明するためのフローチャートである。
【図４】本発明の基板検査装置による電子ビームの測定動作時の信号を説明するための図である。
【図５】本発明の基板検査装置による電子ビームの測定動作時の信号を説明するための図である。
【図６】基板検査装置を説明するための概略図である。
【図７】基板検査装置において電子ビームの測定動作を説明するためのフローチャートである。
【図８】電子ビームの測定動作時の信号を説明するための図である。
【符号の説明】
１…基板検査装置、２，２ａ，２ｂ，２ｃ…電子銃、３，３ａ，３ｂ，３ｃ…電子銃駆動手段、４…制御手段、５…真空チャンバ、６，６ａ，６ｂ，６ｃ…検出器、７，７ａ，７ｂ，７ｃ…ターゲット、８，８ａ，８ｂ…配線、９…引き出し線、１０…フィールドスルー、１１…基板検査装置、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ…電子銃、１３ａ，１３ｂ，１３ｃ…電子銃駆動手段、１６ａ，１６ｂ，１６ｃ…検出器、１７ａ，１７ｂ，１７ｃ…ターゲット、１８…スイッチ手段、１９ａ，１９ｂ，１６９ｃ…引き出し線、２０…フィールドスルー、２１…微小電流測定手段、２２…基板、３１…グリッド、３２…開口部、４１…測定領域。
【図１】
2004125564.tif 000003
【図２】
2004125564.tif 000004
【図３】
2004125564.tif 000005
【図４】
2004125564.tif 000006
【図５】
2004125564.tif 000007
【図６】
2004125564.tif 000008
【図７】
2004125564.tif 000009
【図８】
2004125564.tif 000010