(57)【要約】【課題】電子部品が測定端子にぶつかるのを防止して電子部品や測定端子にダメージを与えるのを防止できる電子部品の特性検査装置を提供する。【解決手段】電子部品Ｗを挟んで互いに対向するように配設された一対の測定端子６，７により上記電子部品Ｗの電気的特性を測定するようにした電子部品の特性検査装置において、下側の測定端子７を上記電子部品Ｗが載置される固定ベース２４内に出没可能にかつ没入させて配置し、上側の測定端子６を測定方向に移動可能に配設された移動部材２８内に没入させて配置し、上記下側の測定端子７を上記固定ベースから突出させて電子部品Ｗを突き上げるとともに、さらに上記移動部材２８を押し上げることにより上記電子部品Ｗを上側の測定端子６に当接させ、この状態で電気的特性を測定する。【選択図】　　　図７
2004053443.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を挟んで互いに対向するように配設された一対の測定端子により上記電子部品の電気的特性を測定するようにした電子部品の特性検査装置において、上記一方の測定端子を上記電子部品が載置される固定ベース内に出没可能にかつ没入させて配置し、上記他方の測定端子を測定方向に移動可能に配設された移動部材内に没入させて配置し、上記一方の測定端子を上記固定ベースから突出させて電子部品を移動させるとともにさらに上記移動部材を移動させることにより上記電子部品を上記他方の測定端子に当接させ、この状態で電気的特性を測定するようにしたことを特徴とする電子部品の特性検査装置。
【請求項２】
請求項１において、上記各測定端子は、それぞればねにより上記電子部品を測定位置に停止させるように相互に付勢されていることを特徴とする電子部品の特性検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、上記移動部材は、ばねにより電子部品側に付勢されていることを特徴とする電子部品の特性検査装置。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れかにおいて、上記各測定端子は、それぞれ独立したばねにより弾性支持された一対のピン端子により構成されていることを特徴とする電子部品の特性検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品の電気的特性を検査するための特性検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の電気的特性を検査して良品を選別するようにした特性検査装置では、例えば、ターンテーブルにより測定部に搬送された電子部品を下側に配設したピンで押し上げ、上側に固定配置した各測定端子に当接させることにより電気的特性を測定するようにしたものが一般的である（特開平９−３０４４６４号公報，特開平１０−７３６２６号公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来の特性検査装置では、測定端子が測定部に突き出た構造であるので、搬送中に何らかの原因で電子部品が測定端子に衝突する場合があり、測定端子を破損したり，電子部品を傷つけたりするという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされたもので、電子部品が測定端子に衝突するのを防止して電子部品や測定端子にダメージを与えるのを防止できる電子部品の特性検査装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、電子部品を挟んで互いに対向するように配設された一対の測定端子により上記電子部品の電気的特性を測定するようにした電子部品の特性検査装置において、上記一方の測定端子を上記電子部品が載置される固定ベース内に出没可能にかつ没入させて配置し、上記他方の測定端子を測定方向に移動可能に配設された移動部材内に没入させて配置し、上記一方の測定端子を上記固定ベースから突出させて電子部品を移動させるとともにさらに上記移動部材を移動させることにより上記電子部品を上記他方の測定端子に当接させ、この状態で電気的特性を測定するようにしたことを特徴としている。
【０００６】
請求項２の発明は、請求項１において、上記各測定端子は、それぞればねにより上記電子部品を測定位置に停止させるように相互に付勢されていることを特徴としている。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項１又は２において、上記移動部材は、ばねにより電子部品側に付勢されていることを特徴としている。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項１ないし３の何れかにおいて、上記各測定端子は、それぞれ独立したばねにより弾性支持された一対のピン端子により構成されていることを特徴としている。
【０００９】
【発明の作用効果】
請求項１の発明にかかる特性検査装置によれば、一方の測定端子を固定ベース内に没入させて配置し、他方の測定端子を測定方向に移動可能に配設された移動部材内に没入させて配置したので、各測定端子は固定ベース及び移動部材内に隠れて露出していないことから電子部品が衝突することはなく、破損したり、傷付けたりするのを防止できる。
【００１０】
また上記一方の測定端子を固定ベースから突出させて電子部品を移動させるとともに、さらに移動部材を移動させることにより上記電子部品を他方の測定端子に当接させたので、各測定端子と電子部品との電気的接触を確実に行なうことができ、安定した測定を行なうことができる。
【００１１】
請求項２の発明では、各測定端子をばねにより電子部品を測定位置に停止するように相互に付勢したので、従来の電子部品を何らかの固定部材に押し当てて測定する場合に比べて電子部品にダメージを与えるのを防止できる。
【００１２】
請求項３の発明では、移動部材をばねにより電子部品側に付勢したので、電子部品が移動部材に当接する際の衝撃を吸収することとなり、測定端子や電子部品にダメージを与えるのを防止できる。
【００１３】
請求項４の発明では、各測定端子をそれぞれ独立したばねにより弾性支持された一対のピン端子により構成したので、４端子測定に対応でき、これにより接触検出やケルビン測定を行なうことが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１ないし図８は、本発明の一実施形態による電子部品の特性検査装置を説明するための図であり、図１は特性検査装置の概略平面図、図２，図３は特性検査装置のチップ部品収納孔の平面図、図４はチップ部品収納孔の断面図（図２のＩＶ−ＩＶ　線断面図）、図５，図６はチップ部品の吸引保持状態を示す断面図、図７，図８は特性検査装置の測定部の断面図（図１のＶＩＩ−ＶＩＩ　線断面図，ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ　線断面図）、図９は吸引通路の平面図、図１０は吸引通路の断面図（図９のＸ−Ｘ線断面図）、図１１は吸引通路の断面図（図９のＸＩ−ＸＩ　線断面図）、図１２，図１３は吸引通路の斜視図（図９ＸＩＩ，ＸＩＩＩ矢視図）、図１４はターンテーブル及び固定テーブルの分解斜視図である。
【００１６】
図において、１はチップ型電子部品（以下、チップ部品と略記する）Ｗの電気的特性を４個ずつ同時に測定できるように構成された特性検査装置を示している。この特性検査装置１は、円板状のターンテーブル２を部品供給部３，測定部４，部品取出し部５の順に通るように間歇的に回転駆動し、上記ターンテーブル２に収納配置された各チップ部品Ｗに上記測定部４の上側に配置された上側測定部４ａの上側測定端子（他方の測定端子）６と、下側測定部４ｂの下側測定端子（一方の測定端子）７とを接触させ、各測定端子６，７に接続された計測器８によって上記チップ部品Ｗの電気的特性を測定し、良品の選別を行なうようになっている。
【００１７】
ここで、本実施形態においては、便宜上上側測定端子，下側測定端子としているが、これはターンテーブルの回転軸が鉛直方向となるように構成されている場合の相対的な位置関係を示すものであって、各構成の絶対的な位置関係を示すものではない（装置構成が変わった場合、必ずしも上下関係とはならない）。例えば、ターンテーブルの回転軸が斜め方向や水平方向を向くように構成してもよく、例えばターンテーブルの回転軸が水平方向を向いている場合には右側測定端子，左側測定端子となる。
【００１８】
上記ターンテーブル２は固定テーブル１０上に回転可能に搭載され、不図示の駆動モータで間歇的に回転駆動される。このターンテーブル２には所定の角度間隔毎の各半径線上に４つの収納孔２ａが貫通形成されており、該収納孔２ａと上記固定テーブル１０に形成された搬送面１０ａとで形成された収容空間内に上記各チップ部品Ｗが収納されている。このチップ部品Ｗは直方体状の部品素子１１の両端面に外部接続用電極１２ａ，１２ｂを形成した構造のもので、該電極１２ａ，１２ｂが上下方向に向くように縦置きに配置されている。
【００１９】
上記各収納孔２ａは平面視で矩形状のもので、該各収納孔２ａの搬送方向上流側でかつテーブル中心側に位置する左側角部には吸引通路１５が連通接続されている。この吸引通路１５に作用する負圧によって各チップ部品Ｗは各収納孔２ａの左側角部の隣合う２面に位置決め保持されている。
【００２０】
上記各吸引通路１５はターンテーブル２の半径方向に放射状に延びており、固定テーブル１０に形成された共通の環状通路１６に連通接続されている。この環状通路１６は周方向の各収納孔２ａ毎に同心円をなすように形成されており、各環状通路１６には不図示の真空発生源が接続されている。
【００２１】
そして上記吸引通路１５は、ターンテーブル２の底面に凹設され、上記チップ部品Ｗを主として搬送位置Ｘに位置決め保持する第１吸引通路１５ａと、該第１吸引通路１５ａに続いて形成され、上記チップ部品Ｗを突き上げて電気的特性を測定する測定位置（移動位置）Ｙに主として位置決め保持する第２吸引通路１５ｂとから構成されている。
【００２２】
上記第２吸引通路１５ｂの上記突き上げ方向（移動方向）における通路高さＢ２は第１吸引通路１５ａの通路高さＡ２より高く設定されており、また上記第１吸引通路１５ａの上記突き上げ方向と直交する方向における通路幅Ａ１は第２吸引通路１５ｂの通路幅Ｂ１より広く設定されている。これにより吸引通路１５は横断面視で凸形状をなしている。
【００２３】
上記測定部４の下側測定部４ｂは固定テーブル１０の下方に配設されており、各下側測定端子７が装着されたホルダ２１を共通の支持部材２２により支持し、該支持部材２２に昇降シリンダ機構２３を接続固定した構造のものである。この昇降シリンタ機構２３は高圧空気により上記４組の下側測定端子７を同時に測定位置と待機位置との間で昇降駆動するように構成されている。
【００２４】
上記固定テーブル１０の各下側測定端子７に臨む部分には絶縁性部材からなる固定ベース２４が配置固定されており、該固定ベース２４の上面２４ａは搬送面１０ａと面一となっている。この固定ベース２４には上下方向に一対の検測孔２４ｂ，２４ｂが貫通形成されている。なお、上記固定ベース２４を固定テーブル１０と一体に形成してもよい。
【００２５】
上記下側測定端子７は一対のピン端子７ａ，７ｂにより構成されており、各ピン端子７ａ，７ｂはそれぞれ独立して配設されたばね２５ａ，２５ｂを介して上記ホルダ２１により弾性支持されている。そして上記各ピン端子７ａ，７ｂの先端部は上記固定ベース２４の検測孔２４ｂ内に挿入されており、非測定時には固定ベース２４の上面２４ａより下方に没入する待機位置に位置している。上記各ピン端子７ａ，７ｂの径はチップ部品Ｗの大きさと比べると極めて細く形成されており、従って上記検測孔２４ｂも微小径となっている。このため検測孔２４ｂがチップ部品Ｗの搬送の妨げとなることはない。
【００２６】
昇降シリンダ機構２３が各ホルダ２１を上昇させると、各ピン端子７ａ，７ｂが固定ベース２４の上面２４ａから突出する測定位置に移動してチップ部品Ｗの電極１２ｂに当接するとともに該チップ部品Ｗを上方に突き上げるようになっている。
【００２７】
一方、上記上側測定部４ａはターンテーブル２の上方に配設されており、各上側測定端子６が装着された固定ホルダ２７を測定部４に固定した構造のものである。
【００２８】
上記各固定ホルダ２７の下面には軸方向に延びる有底筒状の凹部２７ａが形成されている。この各凹部２７ａ内には円板状の移動部材２８が上下方向（測定方向）に移動可能に配設されており、該移動部材２８には一対のピン孔２８ａ，２８ａが貫通形成されている。
【００２９】
上記移動部材２８は該移動部材２８と凹部２７ａの底壁との間に配設されたばね２９により吊懸支持されており、かつチップ部品Ｗ側に付勢されている。
【００３０】
上記上側測定端子６は一対のピン端子６ａ，６ｂにより構成されており、各ピン端子６ａ，６ｂはそれぞれ独立して配設されたばね３０ａ，３０ｂを介して上記固定ホルダ２７により弾性支持されている。そして上記各ピン端子６ａ，６ｂの先端部は上記移動部材２８のピン孔２８ａ内に挿入されており、非測定時には移動部材２８の下面２８ｂより上方に没入している。
【００３１】
上記各ピン端子６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂのばね２５ａ，２５ｂ，３０ａ，３０ｂのばね定数はチップ部品Ｗを上方に突き上げたときに測定位置に釣り合った状態で停止可能な値に設定されている。また上記移動部材２８のばね２９のばね定数は上記各ばね２５ａ，２５ｂ，３０ａ，３０ｂのばね定数より小さい値に設定されている。
【００３２】
本実施形態の特性検査装置１では、部品供給部３にてターンテーブル２の各収納孔２ａ内にチップ部品Ｗが供給配置される。するとチップ部品Ｗは、第１吸引通路１５ａの真空吸引力によって収納孔２ａの左角部の搬送位置Ｘに位置決め保持され、この状態でターンテーブル２が図１の矢印ａ方向に間歇的に回転駆動し、測定部４に搬送される。
【００３３】
チップ部品Ｗが測定部４に回転割り出し位置決めされると、昇降シリンダ機構２３が下側の各ピン端子７ａ，７ｂを押し上げ、固定ベース２４から突出させ、チップ部品Ｗの電極１２ｂに当接させるとともに、該チップ部品Ｗを上方に突き上げる。これに伴って移動部材２８が押し上げられ、チップ部品Ｗの電極１２ａが上側の各ピン端子６ａ，６ｂに当接する。このようにしてチップ部品Ｗは下側，上側の各ピン端子７ａ，７ｂと６ａ，６ｂとで測定位置Ｙに釣り合った状態で挟持される。この状態で測定器８によりチップ部品Ｗの電気的特性が測定され、良品を選別した後、部品取出し部５に搬送され、外部に排出する。
【００３４】
上記測定部４にて、上記チップ部品Ｗが各ピン端子７ａ，７ｂにより突き上げられると、チップ部品Ｗは第２吸引通路１５ｂの吸引力により測定位置Ｙに位置決め保持される。そして各ピン端子７ａ，７ｂが下降すると、これに伴ってチップ部品Ｗが下降し、第１吸引通路１５ａにより元の搬送位置Ｘに位置決め保持される。
【００３５】
このように本実施形態によれば、非測定時には、下側の測定端子７を固定ベース２４の検測孔２４ｂ内に没入させ、上側の測定端子６を上下方向に移動可能に配設された移動部材２８のピン孔２８ａ内に没入させたので、各測定端子６，７は移動部材２８及び固定ベース２４内に隠れて露出していないことからチップ部品Ｗが搬送中に測定端子６，７に衝突することはなく、破損したり、傷付けたりするのを防止できる。
【００３６】
また上記下側の測定端子７を押し上げて固定ベース２４から突出させてチップ部品Ｗに当接させるとともに該チップ部品Ｗを突き上げ、該チップ部品Ｗにより移動部材２８を押し上げて上記チップ部品Ｗを上側の測定端子６に当接させたので、各測定端子６，７とチップ部品Ｗとの電気的接触を確実に行なうことができ、安定した測定を行なうことができる。
【００３７】
本実施形態では、上記各測定端子６，７をばね３０ａ，３０ｂ，２５ａ，２５ｂにより上記チップ部品Ｗを測定位置にて釣り合って停止するように相互に付勢したので、従来のチップ部品を固定部材に押し当てて測定する場合に比べてチップ部品Ｗへのダメージ（傷，割れ等）の発生を防止できる。
【００３８】
また上記移動部材２８をばね２９により吊懸支持するとともにチップ部品Ｗ側に付勢したので、チップ部品Ｗが移動部材２８に当接する際の衝撃を吸収することができ、測定端子６やチップ部品Ｗへのダメージの発生を防止できる。
【００３９】
本実施形態では、上記各測定端子６，７をそれぞれ独立して配設したばね３０ａ，３０ｂ，２５ａ，２５ｂにより弾性支持された一対のピン端子６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂにより構成したので、４端子測定による接触検出やケルビン測定を行なうことが可能となる。
【００４０】
本実施形態の測定検査装置によれば、各収納孔２ａに連通する吸引通路１５を、チップ部品Ｗを搬送位置Ｘに位置決め保持する第１吸引通路１５ａと、該チップ部品Ｗを突き上げたときに測定位置Ｙに位置決め保持する第２吸引通路１５ｂとから構成したので、上記チップ部品Ｗを突き上げた際にはこれを測定位置Ｙに位置決め保持することができ、チップ部品Ｗを搬送位置Ｘから突き上げて電気的特性を測定する場合の位置ずれや倒れを防止でき、測定ミスを防止できる。
【００４１】
また上記チップ部品Ｗを元の搬送位置Ｘにそのままの姿勢で戻すことができるので、搬送中に天井面の凹凸部に引っ掛かったりするのを防止でき、チップ部品Ｗの傷付きや損傷を防止できる。
【００４２】
そして本実施形態では、上記第２吸引通路１５ｂの上記突き上げ方向における通路高さＢ２を第１吸引通路１５ａの通路高さＡ２より高くしたので、チップ部品Ｗを上方の測定位置Ｙに突き上げた際には、上記通路高さの高い第２吸引通路１５ｂによる吸引力がチップ部品Ｗの上部をより確実に吸引することから、該チップ部品Ｗを測定位置Ｙに確実に位置決め保持することができる。
【００４３】
また第１吸引通路１５ａの通路幅Ａ１を第２吸引通路１５ｂの通路幅Ｂ１より広くしたので、チップ部品Ｗを測定位置Ｙから元の搬送位置Ｘに戻す場合には、チップ部品Ｗに作用する下側への吸引力が大きいことから、下側の測定端子７が下降するとチップ部品Ｗも直ちに下降することとなり、元の搬送位置Ｘに確実に戻すことができ、かつ該搬送位置Ｘに確実に位置決め保持することができる。
【００４４】
本実施形態では、各収納孔２ａをターンテーブル２の半径方向に４列をなし、かつ周方向に所定角度間隔毎に形成したので、多数のチップ部品Ｗを同時にかつ連続させて搬送することができ、特性検査の処理能力を高めることができる。
【００４５】
上記各収納孔２ａの第１，第２吸引通路１５ａ，１５ｂを共通の環状通路１６に連通接続したので、該環状通路１６に真空発生源を接続することにより多数の吸引通路１５を同時に真空吸引することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による特性検査装置の概略平面図である。
【図２】上記特性検査装置のチップ部品収納孔の平面図である。
【図３】上記チップ部品収納孔の吸引通路の断面平面図である。
【図４】上記チップ部品収納孔の吸引通路の断面図（図２のＩＩＩ−ＩＩＩ　線断面図）である。
【図５】上記チップ部品の吸引保持状態を示す断面図である。
【図６】上記チップ部品の吸引保持状態を示す断面図である。
【図７】上記特性検査装置の測定部の断面図（図１のＶＩＩ−ＶＩＩ　線断面図）である。
【図８】上記特性検査装置の測定部の断面図（図１のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ　線断面図）である。
【図９】上記吸引通路の平面図である。
【図１０】上記吸引通路の断面図（図９のＸ−Ｘ線断面図）である。
【図１１】上記吸引通路の断面図（図９のＸＩ−ＸＩ線断面図）である。
【図１２】上記吸引通路の斜視図（図９のＸＩＩ矢視図）である。
【図１３】上記吸引通路の斜視図（図９のＸＩＩＩ矢視図）である。
【図１４】上記特性検査装置のターンテーブル及び固定テーブルの分解斜視図である。
【符号の説明】
１　　　　　　　特性検査装置
６　　　　　　　上側の測定端子（他方の測定端子）
６ａ，６ｂ　　　ピン端子
７　　　　　　　下側の測定端子（一方の測定端子）
７ａ，７ｂ　　　ピン端子
２４　　　　　　固定ベース
２５ａ，２５ｂ　ばね
２８　　　　　　移動部材
２９　　　　　　ばね
３０ａ，３０ｂ　ばね
Ｗ　　　　　　　チップ部品（電子部品）
【図１】
2004053443.tif 000003
【図２】
2004053443.tif 000004
【図３】
2004053443.tif 000005
【図４】
2004053443.tif 000006
【図５】
2004053443.tif 000007
【図６】
2004053443.tif 000008
【図７】
2004053443.tif 000009
【図８】
2004053443.tif 000010
【図９】
2004053443.tif 000011
【図１０】
2004053443.tif 000012
【図１１】
2004053443.tif 000013
【図１２】
2004053443.tif 000014
【図１３】
2004053443.tif 000015
【図１４】
2004053443.tif 000016