(57)【要約】      （修正有）【課題】チャック台に吸着保持された基板上の感光材に対して精度良く露光作業を行なうこと。【解決手段】チャック台１３からピンを突出させ、このピン上に基板を載置し、ピンをチャック台１３から引込めてチャック台１３上に基板を当接させる。チャック台１３により基板の中央部のみを吸着し、チャック台１３を上昇させて露光位置までもってくる。チャック台１３による基板の吸着を解除して基板の歪を解放する。その後基板の全面をチャック台１３により吸着し、光源２０ａからマスク１６を介して基板上の感光材を露光する。【選択図】  図１
2004288970.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に移動自在となっており、感光材が塗布された基板が載置されるチャック台と、チャック台に設けられ、チャック台上から進退するピンと、チャック台の上方に配置されたマスクおよび光源とを備えた露光装置の運転方法において、
載置位置にあるチャック台からピンを上方に突出させて、このピン上に基板を載置する工程と、
ピンをチャック台から引込めて、チャック台上に基板を当接させるとともに、チャック台により基板を部分的に吸着する工程と、
基板を部分的に吸着したチャック台を露光位置まで上昇させる工程と、
チャック台により基板を全面的に吸着する工程と、
光源からマスクを通る光により基板上の感光材を露光する工程と、
を備えたことを特徴とする露光装置の運転方法。
【請求項２】
基板を部分的に吸着したチャック台を露光位置まで上昇させた後、チャック台による基板の部分的吸着を解除する工程を更に備えたことを特徴とする請求項１記載の露光装置の運転方法。
【請求項３】
ピンをチャック台から引込めて、チャック台上に基板を当接させる際、チャック台により基板の中央部のみを部分的に吸着することを特徴とする請求項１記載の露光装置の運転方法。
【請求項４】
ピンをチャック台から引込めて、チャック台上に基板を当接させる際、チャック台により基板の周縁部のみを部分的に吸着することを特徴とする請求項１記載の露光装置の運転方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は露光装置の運転方法に係り、とりわけチャック台の歪により生じる基板の歪を防止することができる露光装置の運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、チャック台と、チャック台から進退するピンと、チャック台上に配置されたマスクおよび光源とを有する露光装置が知られている。
【０００３】
このような露光装置において、予め感光材が塗布された基板は、載置位置にあるチャック台上のピンに載置される。その後、基板の全面がチャック台上に吸着され、次にチャック台は露光位置まで上昇する。その後、光源からの光により基板上の感光材が露光される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、載置位置において基板を全面吸着したチャック台は、その後露光位置まで上昇する。
【０００５】
しかしながら、この上昇中にチャック台が歪変形することがあり、この場合、チャック台が基板を全面吸着していると、チャック台の歪変形に伴って基板に伸縮が生じる。この場合は、露光装置により基板上の感光材を露光する際、精度良く露光作業を行なうことができない。
【０００６】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、露光装置による露光作業を精度良く行なうことができる露光装置の運転方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上下方向に移動自在となっており、感光材が塗布された基板が載置されるチャック台と、チャック台に設けられ、チャック台上から進退するピンと、チャック台の上方に配置されたマスクおよび光源とを備えた露光装置の運転方法において、載置位置にあるチャック台からピンを上方に突出させて、このピン上に基板を載置する工程と、ピンをチャック台から引込めて、チャック台上に基板を当接させるとともに、チャック台により基板を部分的に吸着する工程と、基板を部分的に吸着したチャック台を露光位置まで上昇させる工程と、チャック台による基板の部分的吸着を解除する工程と、チャック台により基板を全面的に吸着する工程と、光源からマスクを通る光により基板上の感光材を露光する工程と、を備えたことを特徴とする露光装置の運転方法である。
【０００８】
本発明は、基板を部分的に吸着したチャック台を露光位置まで上昇させた後、チャック台による基板の部分的吸着を解除する工程を更に備えたことを特徴とする露光装置の運転方法である。
【０００９】
本発明は、ピンをチャック台から引込めて、チャック台上に基板を当接させる際、チャック台により基板の中央部のみを部分的に吸着することを特徴とする露光装置の運転方法である。
【００１０】
本発明は、ピンをチャック台から引込めて、チャック台上に基板を当接させる際、チャック台により基板の周縁部のみを部分的に吸着することを特徴とする露光装置の運転方法である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１２】
図１乃至図５は、本発明による露光装置の運転方法の一実施の形態を示す図である。
【００１３】
まず、図１により露光装置の概略について説明する。図１に示すように、露光装置１０はフレーム１１と、フレーム１１に設置されたステージ駆動機構１５と、ステージ駆動機構１５上に固定されたステージ１２と、ステージ１２上に保持されたチャック台１３とを備えている。
【００１４】
またチャック台１３上には、フレーム１１に保持されたマスク１６が設けられ、さらにマスク１６の上方には光源機構２０が配置されている。
【００１５】
すなわち、光源機構２０は超高圧水銀灯（光源）２０ａと、この水銀灯２０ａの背部に設けられ、水銀灯２０ａからの光を集光するパラボラミラー２１と、パラボラミラー２１からの光を反射するコールドミラー２２と、コールドミラー２２からの光を反射する球面鏡２３とを有している。またコールドミラー２２と球面鏡２３との間に、シャッタ２４およびインテグレータレンズ２６とが設けられている。
【００１６】
またステージ１２を固定するステージ駆動機構１５は、Ｘ方向、Ｙ方向およびθ方向へ移動自在となって、ステージ１２を水平面上で任意に駆動できるようになっている。
【００１７】
次にチャック台１３について詳述する。図４に示すように、チャック台１３は上面に感光材３０ａが塗布された基板３０を載置して固定するものであり、このチャック台１３はステージ１２上に保持されている。またチャック台１３にはチャック台１３上から進退するピン１７が設けられており、このピン１７上に基板３０が載置されるようになっている。
【００１８】
また、チャック台１３は中央部１３ａを含めて、その全域に真空吸引孔（図示せず）が設けられ、チャック台１３は基板３０の全面を吸着することができる。
【００１９】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００２０】
まずステージ駆動機構１５上のステージ１２が、上昇機構１４により降下してチャック台１３が載置位置にくる。次にチャック台１３からピン１７が上方へ突出し、この状態においてピン１７上に基板３０が載置される。
【００２１】
この場合、基板３０には予めその上面に感光材３０ａが塗布され、この感光材３０ａは乾燥された状態となっている。
【００２２】
次にピン１７が降下し、チャック台１３に基板３０が当接する。同時にチャック台１３の中央部１３ａに設けられた真空吸引孔によって、基板３０の中央部のみを部分的に吸着する。チャック台１３はその後、上昇機構１４によって上昇して、露光位置に達する。
【００２３】
次に、この露光位置において、チャック台１３の中央部１３ａによる基板３０の中央部の吸着が解除され、このようにしてチャック台１３の上昇中に基板３０に生じる歪が解放される。
【００２４】
その後、チャック台１３の全域に設けられた真空吸引孔によって基板３０の全面がチャック台１３により吸着保持される。次に基板３０上に設けられた感光材３０ａが水銀灯２０ａから発光されマスク１６を通過する光により露光される。
【００２５】
ところで、上昇機構１４によりチャック台１３が上昇する際チャック台１３は変形して変形歪を生じさせる。
【００２６】
本実施の形態によれば、チャック台１３がこのように変形歪を生じさせた場合でも、基板３０に対する伸びを抑え、基板３０上の感光材３０ａに対して精度良く露光を行なうことができる。
【００２７】
すなわち、図２（ｂ）に示すように、チャック台１３により基板３０の全面を吸着保持した状態でチャック台１３を露光位置まで上昇させた場合、チャック台１３の変形歪に伴なって基板３０がわずかに伸びる。この場合は、基板３０上の感光材３０ａに対して精度良く露光作業を行なうことができない。
【００２８】
これに対して本発明によれば、図２（ａ）に示すように、チャック台１３により基板３０の中央部のみを部分的に吸着し、この状態でチャック台１３を露光位置まで上昇させるので、チャック台１３に変形歪が生じても、チャック台１３の変形歪に伴なって基板３０が伸びることはない。
【００２９】
すなわち図２（ａ）に示すように、基板３０の両端部において、長さＬ分の伸びを防止することができる。また図２（ａ）に示すように、露光位置において、チャック台１３による基板３０の吸着を解除するので、基板３０にわずかに生じる歪をより確実に取除くことができる。その後チャック台１３により基板３０の全面を吸着することにより、基板３０にチャック台１３の変形歪に伴う伸びを生じさせることなく、基板３０の感光材３０ａに対して精度良く露光作業を行なうことができる。
【００３０】
次に本発明による作用効果について、図５（ａ）（ｂ）により説明する。
【００３１】
このうち図５（ａ）は本発明による露光装置の運転方法を示している。すなわち図５（ａ）において、基板３０をチャック台１３により部分的に吸着して露光位置まで上昇させ、露光位置においてチャック台１３による吸着を解除する。その後チャック台１３により、基板３０の全面を吸着している。
【００３２】
一方、図５（ｂ）は、基板３０の全面をチャック台１３により吸着して露光位置まで上昇させた状態を比較例として示す図である。
【００３３】
図５（ａ）に示すように、本発明によれば、基板３０上の測定点は、設定点に近接している。これに対して図５（ｂ）に示す比較例によれば、基板３０上の測定点は設定点から大きく離れていることがわかる。
【００３４】
なお、上記実施の形態において、チャック台１３を露光位置まで上昇させ、この露光位置において、チャック台１３の中央部１３ａによる基板３０の中央部の吸着を解除する例を示した。しかしながらこれに限らず、チャック台１３を露光位置まで上昇させた後、そのままチャック台１３の中央部１３ａにより基板３０の中央部を吸着し続け、その後チャック台１３の全域に設けられた真空吸引孔によって基板３０の全面を吸着保持してもよい。
【００３５】
また、チャック台１３が載置位置にある場合、チャック台１３の中央部１３ａに設けられた真空吸引孔によって基板３０の中央部のみを部分的に吸着する例を示したが、これに限らず載置位置において、チャック台１３の周縁部１３ｂに設けられた真空吸引孔によって基板３０の周縁部のみを部分的に吸着してもよい。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、基板を吸着保持するチャック台を露光位置まで上昇させた場合、チャック台の歪により基板が伸縮することはない。このためチャック台に吸着保持された基板上の感光材に対して、精度良く露光作業を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】露光装置の全体を示す側面図。
【図２】チャック上に吸着保持された基板を示す図。
【図３】チャック台を示す平面図。
【図４】チャック台を示す拡大図。
【図５】本発明による露光装置の運転方法の作用効果を示す図。
【符号の説明】
１０  露光装置
１１  フレーム
１２  ステージ
１３  チャック台
１４  上昇機構
１５  ステージ駆動機構
１６  マスク
１７  ピン
２０  光源機構
２０ａ  光源
２１  パラボラミラー
２２  コールドミラー
２３  球面鏡
２４  シャッタ
２６  インテグレータレンズ
３０  基板
３０ａ  感光材
【図１】
2004288970.tif 000003
【図２】
2004288970.tif 000004
【図３】
2004288970.tif 000005
【図４】
2004288970.tif 000006
【図５】
2004288970.tif 000007