(57)【要約】【課題】ホットエアー、光ビーム、加熱炉等を用いて接着しようとする部品を加熱すると、部品が膨張し、部品相互の位置がずれてしまう。【解決手段】リアプレート２７３に所要数のスぺーサ７４を仮固定し、これらの部品の接合個所に接着剤を塗布する。次いで、真空環境に放置し水分を蒸発させて接着剤を仮硬化させ、その後、部品の接合箇所を加熱し、この加熱によって接着剤を本硬化させる。これにより、部品のずれがなく、部品の位置精度を向上できる。【選択図】          図１
2004162875.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接合すべき部品同士を仮固定する工程、前記部品の接合個所に接着剤を塗布する工程、真空環境に放置し水分を蒸発させて前記接着剤を仮硬化させる工程、前記部品の接合箇所を加熱し、前記接着剤を本硬化させる工程を含むことを特徴とする部品固定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品同士を接着剤を用いて固定する方法、特に、フラットパネルディスプレイ等において部品相互を加熱硬化型無機接着剤で接合するのに好適な部品固定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、フラットパネルディスプレイにおいては、これを構成するガラス部品相互を加熱硬化型無機接着剤で接合することにより一体的に組み付ける場合がある。例えば、２枚のガラス基板の間を真空にするため、そのガラス基板が耐気圧構造を形成するための支柱をガラス基板間に位置固定する等の場合である。
【０００３】
加熱硬化型無機接着剤としては、アルミナ、シリカ、マグネシア、ジルコニア等の金属酸化物を主成分とし、これをバインダーとしての水に懸濁したものが用いられる。このような接着作業においては、接着剤が硬化しないと所定の接着強度が得られないが、接着剤の自然乾燥を待っていると待機時間が長くなり、能率が低下する。そこで、接着剤を強制乾燥することにより接着作業の能率向上を図っている。
【０００４】
このような強制乾燥方法としては、例えば、部品相互の接着個所に接着剤を塗布し、これにホットエアーを吹きかけたり、光ビームを照射したり、或いは電気炉等に送り込んで外部から加熱したり、更には、マイクロ波の照射による加熱によって接着剤中に含まれている水分を乾燥・蒸発させて硬化させる方法が用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のようにホットエアー、光ビーム、或いは電気炉等を用いて加熱する場合には、接着固定しようとするガラス部品それぞれが加熱されることにより膨張してしまう。特に、フラットパネルディスプレイ用の大型のガラス基板にタクト短縮のために複数のガラス部品を同時に全数組み付け接着する場合には、その膨張が積算され、予め複数の部品相互の位置を規制する治具によって相対位置を出した部品位置が大きくずれてしまうことがある。治具がその膨張に追従するようにするには、精密な設計や複雑で高価な機構が必要になるという問題があった。
【０００６】
また、上述のフラットパネルディスプレイ用の基板の場合、基板に設けられた電子デバイス、特に電子源は、熱プロセスに対して敏感なため、接合工程において、熱プロセスによる各電子源ごとの温度履歴の差を極力減らすことが望まれており、上述の熱を伴う工程の改善が求められていた。
【０００７】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたもので、その目的は、部品位置がずれることがなく、部品同士を正確な位置精度で接合可能な部品固定方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため、接合すべき部品同士を仮固定する工程、前記部品の接合個所に接着剤を塗布する工程、真空環境に放置し水分を蒸発させて前記接着剤を仮硬化させる工程、前記部品の接着箇所を加熱し、前記接着剤を本硬化させる工程を含むことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。まず、本実施形態では、本発明による部品固定方法を用いて画像表示装置を組み立てる場合を例として説明する。
【００１０】
（画像表示装置の説明）
本実施形態における組み立て対象の画像表示装置は電子源を用いた装置であり、リアプレートに形成された電子放出素子から電子線を発生させ、フェースプレートに形成された蛍光体にその電子線を当てることにより発光させて画像の表示を行う。フェースとリアプレートの間には真空の空間が形成され、フェースとリアプレートにかかる大気圧を支えるスペーサが必要である。本実施形態では、本発明による部品固定方法を用いて、このリアプレートに複数のスペーサを固定する場合を例として説明する。
【００１１】
図２はこれらの部品の分解斜視図である。図中２７１はガラスフェースプレートであり、蛍光体２７１ｃとブラックマトリックスが形成されている。２７１ａ、２７１ｂはアライメントマークである。また、２７２は枠体、２７２ａ、２７２ｂはガラスフリットである。７５はスペーサユニットであり、大気圧支持スペーサ７４の両端にコマ７４ａが予めセラミックス接着剤で接合されている。
【００１２】
２７３はガラスリアプレートであり、電子放出素子２７３ｃがマトリックスに形成されている。２７３ｅはスペーサ７４を接合する位置を示すマークであり、両端に形成されている。２７３ａ、２７３ｂはアライメントマーク２７１ａ、２７１ｂとの位置合わせを行うアイメントマークである。
【００１３】
図３は組立後の完成品を示す斜視図、図４は図３のＡ−Ａ線における断面である。ガラスフェースプレート２７１とガラスリアプレート２７３の間に複数のスペーサ７４が固定され、このスぺーサ７４によって大気圧を支える構造となっている。
【００１４】
（スペーサの組み付け説明）
次に、スペーサ７４の組み付けについて説明する。図５はスペーサユニット７５を示す。ガラススペーサ７４は厚さが０．２ｍｍ、高さが２ｍｍの長いガラスの帯状形状である。両端にはコマ７４ａが予めスペーサ７４にセラミックス接着剤で接合されている。なお、７４ｂは後述するように接着剤を塗布するための接着剤穴である。
【００１５】
図６は複数のスペーサユニット７５がリアプレート２７３に接合された状態を示す斜視図である。各々のスペーサユニット７５は、それぞれリアプレート２７３の両端におけるアライメントマーク２７３ｅを結ぶ線上に、スペーサ７４の厚さの中心が一致するように配置され、画像表示面外にてコマ７４ａによってリアプレート２７３上にセラミックス接着剤にて接合する。接合に際してはスペーサ７４を真っ直ぐにするため、スペーサ７４に張力がかけられる。
【００１６】
（組み付け装置の説明）
図１は本実施形態で用いるリアプレートへのスペーサの組み付け装置を示す斜視図である。図中１はスペーサ組み付け装置、２は架台で直線ガイド３が左右に取り付けられている。４はガイド３上を移動するコラムで、サーボモータ８、ボールねじにてＮＣ駆動される。コラム４にはスペーサを把持、位置決め、組み付けを行うハンド部（図示せず）が複数取り付けられている。
【００１７】
９はスペーサのマガジンであり、スペーサユニット７５が１パネルに必要な数収納されている。５はＸＹθテーブルであり、不図示の画像処理カメラにてとらえられたスペーサアライメントマーク２７３ｅにて移動が制御される。６はリアプレート治具で、リアプレート２７３が載せられている。７はスペーサのメカ押さえである。
【００１８】
（装置の動作）
次に、図１の組み付け装置の動作について簡単に説明する。まず、リアプレート治具６は取り外してあり、装置外で治具６上にリアプレート２７３を載置する。その後、装置１のＸＹθテーブル５上にリアプレート治具６を搭載する。スペーサマガジン９には予めスペーサーユニット７５が必要数収納され、このマガジン９を装置１の所定位置にセットする。ここまでは作業者が行う。
【００１９】
この後は装置１の自動運転で行う。まず、コラム４がモータ８の駆動によりマガジン９上のスペーサユニット７５の所定の位置に移動し、コラム４に設けられた複数の把持ハンド部により複数同時にスペーサの両端を把持する。次いで、リアプレート２７３上に移動し、スペーサ７４に張力を印加する。また、コラム４にある画像カメラでリアプレート２７３のスペーサアライメントマーク２７３ｅをとらえ、それに基づいてＸＹθテーブル５で位置合わせを行う。その後、複数のハンド部が下降し、リアプレート２７３上にスペーサ７４の下面が接地する。複数ハンド部の構成は後述する。
【００２０】
その後、スペーサ押さえ７でスペーサ７４をメカ的に位置がずれないように、また、張力がなくならないように両端を押さえる。スペーサ押さえについても後述する。これらの作業を繰り返し行い、リアプレートに所定数のスペーサを組み付けた後、リアプレート治具６を取り出す。
【００２１】
次いで、不図示の接着剤転写装置を用いてセラミックス接着剤を複数の転写針にて図５示す接着剤穴７４ｂに塗布する。更に、リアプレート治具６を真空チャンバーに入れ、セラミック接着剤を真空乾燥して固める。接着剤の真空乾燥についても詳しく後述する。次いで、リアプレート治具６を真空チャンバーより取り出し、更にリアプレート治具６からリアプレート（スペーサが接合されている）を取り出して次工程に送る。
【００２２】
（把持ハンド部の説明）
画像表示装置には総数２０本のスペーサを５本ずつ組み付け、４回繰り返して２０本全てを組み付け、スペーサ押さえ７で固定する。コラム４における把持ハンド部は、詳しく後述するように固定側ハンド部と張力印加側ハンド部から成っている。なお、装置１における把持ハンド部はリアプレートに所要数のスペーサを組み付けるのであるが、本発明の主要部を構成するものではないため、簡単に説明する。
【００２３】
固定側ハンドの説明
図７は把持ハンド部の全体の正面図である。また、図８はそのうちの固定側ハンド部の断面図を示す。図中４は図１に示す移動コラムで、４ａのハンド爪の部分の穴が空いている。１１は固定されたハンド側の支柱でコラム４に取り付けられている。固定側プレート１２は直線ガイド１３により垂直方向にガイドされている。固定側プレート１２の先には把持ハンドの固定側爪１４が取り付けられている。
【００２４】
１５は可動爪で、固定側プレート１２に取り付けられた回転支持部１６にピン１７により揺動可能になっている。１８はエアーシリンダーであり、可動爪１５の開閉を行う。スペーサの把持力は約３ｋｇである。１９はワイアーで、滑車２０を介して錘２１によりハンドの自重を軽減している。ハンド部の重さは数ｋｇであるが、数百ｇになっている。
【００２５】
張力印加側ハンドの説明
図９は張力印加側ハンド部の断面図、図１０は張力印加手段の詳細図を示す。把持爪の構成は固定側ハンドと同様で、違いは支柱３１が直線ガイド３０を介してコラム４に取り付けられ、ハンド部全体がスペーサ７４の長手方向に移動可能となっている点である。図１０はその詳細を示す。
【００２６】
支柱３１はガイド３０によりガイドされ、支柱３１には引っ張りコイルバネ４２が取り付けられ、エアーシリンダー４３にて数百ｇのバネ力を印加できるようになっている。４４はストッパーで、エアーシリンダー４５で支柱３１をストッパー４４に押し付けて位置決めしている。これらのハンド部は５組取り付けられており、図８において爪１４が、図９において爪３４がピッチ精度２μｍという高精度なピッチに組み付けられている。
【００２７】
なお、図９の把持爪の構成は固定側ハンド部と同様であると説明したが、図７、図９の張力印加側ハンド部における３２は固定側プレート、３３は上下ガイド、３４は固定爪、３５は可動爪、３６は回転支持部、３７はピン、３８はエアーシリンダー、３９はワイアー、４０は滑車、４１は錘を示す。これらの機能は固定側ハンド部のものと同様である。
【００２８】
図７に戻る。２２はハンド上下バーであり、１２ａ、３２ａの部分が接地しているが、上方向には移動可能である。２４はコラム４に取り付けられたアングルで、垂直ガイド２５とハンド上下バー２２に取り付けられたプレート２６をガイドするものである。２３はハンド上下バー２２の上下動用のエアーシリンダーである。
【００２９】
また、４６，４７は画像処理用のＣＣＤカメラであり、５組あるハンド部の中央のハンド部に設置されている。ここで、両端のスペーサアライメントマーク２７３ｅを結ぶ直線とスペーサ７４の厚さの中心を合わせるので、中央の固定爪１４，３４のスペーサ把持面を通る直線は、０．１ｍｍアライメントマークを結ぶ直線から離れる方向に位置しなければならない。これは、ＸＹθテーブル５によってアライメント位置調整を行う。
【００３０】
ハンド部の動作説明
スペーサー把持前の状態は、シリンダー２３で上端に位置、可動爪１５，３５は開、シリンダー４５により支柱３１はストッパー４４に押し付けられ、引っ張りコイルバネ４２はシリンダーロッド４３が前進端にあるため張力を印加していない。この状態から以下の動作を行う。以下の一連の動作は図１の装置１内の図示しない制御部により制御される。
【００３１】
（１）コラム４がスペーサマガジン９上の５本のスペーサ上に移動し、シリンダー２３の下降端までハンド部全てが下降する。
【００３２】
（２）エアーシリンダー１８、３８のロッドを伸ばし、可動爪１５，３５でスペーサ７４の両端を把持し上昇する。
【００３３】
（３）コラム４がリアプレート２７３のスペーサ接合位置（５本分の上）に移動する。
【００３４】
（４）図１０のエアーシリンンダー４５が後退する。
【００３５】
（５）シリンダー４３が後退し、引っ張りコイルバネ４２にてスペーサ７４に張力を印加する。
【００３６】
（６）スぺーサ７４をシリンダー２３によりスペーサ押え爪（後述する図１３、図１４における爪３０４）の横側でリアプレートに当たらない高さまで降ろす。その状態で、コラム４が移動してスペーサ押え爪の下にスペーサ７４を移動させる（これは、図１４（ａ）の矢印で示す動作）。
【００３７】
（７）画像処理カメラ４６、４７でアライメントマーク２７３ｅをとらえ、ＸＹθテーブル５により両端のアライメントマークを結ぶ直線とスペーサ７４の厚さの中心が一致するように位置合を行う。
【００３８】
（８）シリンダー２３によりハンド部が下降する。図１１（ａ）〜（ｃ）はその様子を示す。まず、リアプレート２７３の表面（スペーサ接地部分）はガラス板の厚さ精度、そこに形成された物の厚さ精度により厚みばらつきがある。図１１（ａ）はスペーサ７４の下面がリアプレート面への接地前の状態を示す。図１１（ｂ）はハンド上下バー２２の下降により一方（左）のスぺーサが接地した状態で、接地したスぺーサを把持しているハンド部の上下方向の移動が止まっている状態を示す。
【００３９】
図１１（ｃ）は更にハンド上下バー２２が下降し、右側のハンド部が把持しているスぺーサが接地した状態を示す。これらの動作により、リアプレート２７３の厚みばらつきに合わせ、確実にスペーサ７４の下面がリアプレート２７３の表面に接地する。
【００４０】
（９）スペーサ押さえ爪によりスぺーサを押さえる。これについては詳しく後述する。
【００４１】
（１０）シリンダーロッド４３が前進し、スぺーサに印加されていた張力を抜く。
【００４２】
（１１）エアシリンダーロッド１８、３８を縮め、可動爪１５、３５を開いてスぺーサ７４の両端の把持を解除する。
【００４３】
（１２）ハンド部を上昇させる。
【００４４】
（１３）シリンダーロッド４５が前進し、支柱３１をストッパー４４に押し付ける。
【００４５】
（１）から（１３）を全部で４回繰り返し行う。以上により、スペーサ７４が精度よくリアプレート２７３上にスペーサ押さえ７により固定される。
【００４６】
（スペーサ押さえの説明）
図１２はリアプレート治具６を示す斜視図、図１３はスペーサ押さえ７を示す斜視図である。まず、図１２に示すようにほぼリアプレート２７３の外形と近似したリアプレート治具６ステージ上面には、リアプレート２７３を配置位置決めする基準３００や固定のための吸着機構３０１等が設けられ、リアプレート２７３が平滑に歪み無く固定される。また、リアプレート治具６には図１の装置１に対して位置決めする高さ方向の受け面３０２と位置決め基準面３０３が設けられていて、リアプレート２７３を交換可能になっている。
【００４７】
このリアプレート治具６のステージ外側の対向する二辺には、スペーサ７４を接着固定する両端部分に対応してスペーサ７４を押さえる構造のスペーサ押さえ７が少なくともスペーサの本数以上配置されている。
【００４８】
このスペーサ押さえ７はスペーサ７４を把持して張力を保持した状態で搬送されてきたハンド部の爪両端部外側に露出しているスペーサ７４自身をリアプレート２７３へ固定するもので、図１３に示すようにスペーサ両端露出部分の上面を上から下に向けて押さえる爪部分３０４と、その爪３０４が取り付けられて上下動作を行うガイド部分３０５がリアプレート治具６ステージの側面に配置されている。
【００４９】
このガイド部分３０５はスペーサ７４の高さ寸法やスぺーサが接地固定される場所のリアプレート面の高さにバラツキがある場合が常に考えられるので、複数のスペーサ７４を同時に押さえる場合には、スペーサ毎に爪３０４の先端が個々に高さ上下方向に追従動作可能となって前述のようなバラツキに対応する構造になっている。
【００５０】
爪３０４は長尺スペーサ７４が一直線状に姿勢を保ち自立させるために印加している張力に抗する摩擦力が、スペーサ７４の下面とリアプレート上面の間で発生する力で押し付けを行うようになっている。また、爪部分３０４のスペーサ７４に当接する面はリアプレート上面と平行になっていて、押し付けた時にスペーサ７４が倒れる方向のベクトルが生じないようになっている。爪部分３０４は小さな力でスペーサ７４に接し、その後、張力を保持する押し力まで段階的に大きくするように動作する。
【００５１】
本実施形態では、押さえ力の発生にバネを用いた例を示す。ガイド部分３０５に取り付けられた押さえ爪３０４は第１の引張りバネ３０６で押さえ力Ｆ１を得るために付勢されている。この押さえ爪３０４には、図１３に示すように第２の圧縮バネ３０７が取り付けられ、接合装置１に取り付けられた押さえ解除棒３０８が当たることで第１の引張りバネ３０６での出力を打ち消す方向に力Ｆ２が作用する。
【００５２】
ここで、図１４（ａ）に示すように装置１に取り付けられた押さえ解除棒３０８が当接している時、即ち、押さえ爪３０４が解除されている状態である時はリアプレート２７３上面と押さえ爪３０４とのスキマ量はスペーサ７４が横方向から挿入可能な状態にある。その時、爪３０４に生じている押さえ力Ｆ１は最小になるように第１の引張りバネ３０６と第２の圧縮バネ３０７の関係が設定されている。その後、図１４（ｂ）に示すように押さえ解除棒３０８が下降してスペーサ７４に爪３０４が接し、徐々に力Ｆ１が最高になり張力を保持するように作用する。
【００５３】
これによって、ハンド部で搬送され、リアプレート２７３に接地されたスペーサ７４に押さえが小さな力で当接することができ、アライメントした位置がずれるのを防止している。また、爪３０４にはスペーサ７４をリアプレート２７３に押さえて接合装置１から取り出した後に接着剤を塗布するため、接着剤塗布穴３０９が設けられている。
【００５４】
（接着剤塗布の説明）
以上、リアプレート治具６によりリアプレート２７３に対して全てのスペーサ７４が位置決め固定され、接着剤塗布工程に搬送される。本工程ではスペーサユニット７５の両端に位置する接着剤穴７４ｂに接着剤を塗布する。塗布方法は転写方式を採用している。
【００５５】
転写方式を採用する理由を説明する。まず、接着剤は骨材として直径が数μｍから百μｍ程度の粒子であり、これが溶剤としての水の中に分散している状態である。一般に、接着剤の塗布にはディスペンサ方式が多く用いられているが、今回の接着剤のように粒子が大きなものを安定して塗布するためには当然、径の大きなニードル（φ１．４以上）が必要になってくる。
【００５６】
径の大きなニードルでは必然的に１ショットで吐出出来る最低量もそれなりに多くなってしまう。しかし、接着で必要な強度を確保するには２〜３ｍｇという微量の接着剤で十分である。この量を安定的に吐出することはディスペンサ方式では不可能である。ましてや、塗布後の接着剤形状を薄くことは出来ない。薄くすることは、接着剤の乾燥時間に大きくかかわってくる。接着剤は外気との境界表面から水分を蒸発させて硬化するので、硬化した厚みが増えれば増えるほど乾燥時間がかかることになるから、薄く塗らなければならなくなる。そのため、転写方式を採用している。
【００５７】
（真空乾燥炉の説明）
まず、前述のように接着剤穴７４ｂに接着剤が塗布されたリアプレート２７３をリアプレート治具６にセットした状態のまま、その接着剤の乾燥硬化のために真空乾燥炉に搬送する。
【００５８】
図１５は本実施形態で用いる真空乾燥炉全景を示す。図中５０１は真空乾燥炉を形作る筐体である。５０２はリアプレート２７３が載ったリアプレート治具６を出し入れする蓋であり、筐体５０１と蓋５０２の間には密閉度を保つためのＯリング５０３が設けられている。筐体５０１の外部には、リブ５０４が立設されており、真空引きした時に筐体内外の圧力差によって筐体形状が崩れないようになっている。
【００５９】
筐体５０１の材料としては、金属（例えばステンレス、アルミニウム）、アクリルである。金属の場合の結合方法は溶接、接着、Ｏリング接合があるが、アクリルの場合は接着或いはＯリング接合である。真空乾燥炉には図示していないが真空引きするための真空源が接続されている。
【００６０】
本実施形態による真空乾燥炉は、室温程度（２２〜２４℃）の接着剤に含まれている水分を蒸発させるためのものなので、到達真空度としては４〜２０Ｔｏｒｒである。また、水分蒸発の効率を上げるために真空度を上げても０．１Ｔｏｒｒ程度である。この真空度レベルはスクロールポンプで十分に達成できる真空度であり、真空源が安価で済む。真空保持時間は８分から１２分である。
【００６１】
この真空到達度と真空保持時間において、後の搬送やスペーサ押さえ７の取り外し時の機械的外力がかかった時でもリアプレート２７３上のスペーサ７４がずれたり剥離したりしない必要最低限の接着強度（＝仮固定）を達成することが出来るプロセス条件である。
【００６２】
図１６は真空乾燥炉内部を示す。５０１筐体は図１５の筐体と同一である。その内部には、５１１ａ〜５１１ｃまでのリアプレート治具支柱の上にリアプレート治具６が位置決めされ、そのリアプレート治具６上にリアプレート２７３が載せられている。リアプレート治具６から出ているスペーサ押さえ７によってリアプレート２７３とスペーサ７４との位置が規定されている。
【００６３】
また、筐体５０１からリアプレート２７３に向かって容積占有塊５１２が突起している。この容積占有塊５１２の目的は、筐体５０１内の気体容積を極力小さくするためのものである。即ち、スクロールポンプで筐体内を真空引きするのに短時間で排気するためである。
【００６４】
また、リアプレート治具支柱は前述のように５１１ａ〜５１１ｃのように分割されているが、これは、リアプレート治具６を搬送するツールとして専用のハンドリング台車があるが、このハンドリング台車のフォーク部分が筐体５０１内に入り込んで、ハンドリング台車と真空乾燥炉内とでリアプレート治具６の受け渡しを出来るようにするためである。
【００６５】
（本システムで真空乾燥が必要な理由）
本実施形態では、リアプレート２７３上にスペーサ７４を２０本全数位置決めし、リアプレート治具６から出ているスペーサ押さえ７でその位置を規制している。リアプレート２７３上のスペーサ７４の位置精度は数μｍ程度が必要とされている。更に、リアプレート２７３のサイズは１０００ｍｍ×６００ｍｍ程度、スペーサ長は８００ｍｍ程度と非常に大きい。
【００６６】
接着剤を硬化させるために加熱を行うと、接着剤だけを加熱することは不可能で、接着剤周辺のリアプレート２７３やスペーサ７４までも温度が上昇してしまう。リアプレート２７３の温度が上昇すると、熱膨張してリアプレート２７３自体が大きくなる。
【００６７】
この大きさはリアプレート２７３の温度が１℃上昇することで約４μｍであるので、接着剤が本硬化するのに必要な温度２００℃の加熱をしてしまうと、数十μｍ簡単に加熱前の位置とはずれる。更に、加熱によるガラスの変形は不均一である。しかし、その熱膨張に対してリアプレート治具６やスペーサ押さえ７の方をリアプレートの個々の場所毎の膨張変化に追従させることは不可能であるので、リアプレート２７３とスペーサ７４の相対位置の精度±１０μｍに到底達成できない。よって、複数本のスペーサが一度に固定された治具毎に固定するのに過熱することは出来ない。そこで、本実施形態では、加熱に代わる接着剤を乾燥させるプロセスとして真空乾燥が必要になったのである。
【００６８】
（本硬化の説明）
まず、上記工程で仮固定されたものをリアプレート治具取り外し工程へ運び、治具の取り外しを行う。リアプレート治具取り外し工程は加熱によりリアプレート２７３、スペーサ７４が膨張してリアプレート治具６との間に位置ズレが発生し、それによって生じる応力がその破壊限界値を超えてスペーサ７４が破壊されるのを防ぐために行う。リアプレート治具６が取り外されたリアプレート２７３を加熱工程へ運ぶ。
【００６９】
加熱工程では、接着剤を本硬化するための加熱を行う。この加熱手段としてはホットエアーを接着剤に吹きかけたり、光ビームをスポット的に直接接着剤に照射するものでもよいし、電気炉を用いて全体的に加熱することによって接着剤を加熱硬化させても良い。この加熱によって接着剤の接着強度が増し、その後の搬送及び後工程中にもその位置を維持する接着強度を達成することが出来る。以上の工程でスペーサの組立工程を全て終了する。
【００７０】
なお、以上の実施形態では、リアプレートとスぺーサのガラス部品同士を接着剤を用いて固定する例を示したが、本発明の固定方法は、これに限ることなく、例えば、金属等の他の材料の部品を固定する場合にも使用できることは言うまでもない。
【００７１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、接合すべき部品同士を仮固定した後、真空環境に放置し水分を蒸発させて仮硬化させ、その後、加熱により本硬化させるため、部品の膨張によるずれを防止でき、部品同士を高い位置精度で接合することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の固定方法に用いるスペーサ組み付け装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態において組立対象となる画像表示装置の部品を示す分解斜視図である。
【図３】画像表示装置の組立後の斜視図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線における断面図である。
【図５】本発明の一実施形態において組立対象部品のスペサーユニットを示す斜視図である。
【図６】リアプレートにスペーサを接合した状態を示す斜視図である。
【図７】図１の装置のハンド部を示す正面図である。
【図８】図７の固定側把持ハンド部を示す断面図である。
【図９】図７の張力印加側把持ハンド部を示す断面図である。
【図１０】図７の張力印加機構を示す図である。
【図１１】把持ハンド部のリアプレートへの接地状態を説明する図である。
【図１２】図１の装置に搭載するリアプレート治具を示す斜視図である。
【図１３】スペーサ押さえを示す斜視図である。
【図１４】スペーサ押さえによるスペーサの押さえ状態を示す図である。
【図１５】本発明の一実施形態に用いる真空乾燥炉を示す斜視図である。
【図１６】図１５の真空乾燥炉の内部を示す図である。
【符号の説明】
１  組み付け装置
２  架台
３  コラムガイド
４  移動コラム
５  ＸＹθテーブル
６  リアプレート治具
７  スペーサ押さえ
８  サーボモータ
９  スペーサマガジン
１１，３１  固定側支柱
１２，３２  固定側プレート
１３，３３  上下ガイド
１４，３４  固定爪
１５，３５  可動爪
１６，３６  回転支持部
１７，３７  ピン
１８，３８  把持シリンダー
１９、３９  ワイアー
２０，４０  滑車
２１，４１  錘
２２  ハンド上下バー
４２  引っ張りコイルバネ
４３  張力印加シリンダー
４４  ストッパー
４５  ストッパーシリンダー
４６，４７  ＣＣＤカメラ
７４  スペーサ
７５  スペーサユニット
２７１  フェースプレート
２７２  枠
２７３  リアプレート
３００  リアプレート位置決め基準
３０１  吸着穴
３０２  高さ受け面
３０３  治具位置決め基準
３０４  押さえ爪
３０５  ガイド
３０６  第１の引張りバネ
３０７  第２の圧縮バネ
３０８  押さえ解除棒
３０９  接着剤塗布穴
５０１  筐体
５０２  蓋
５０３  Ｏリング
５０４  リブ
５１１ａ〜５１１ｃ  リアプレート治具支柱
５１２  容積占有塊
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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