(57)【要約】【課題】機種切り替え時の立ち上げ時間を短縮することができる光学部品の固定装置を提供する。【解決手段】光学部品固定装置１００は、樹脂によって形成された収容部品５の内壁６に沿って収容された凸レンズ８を内壁６に固定するための光学部品固定装置であって、凸レンズ８が収容された収容部品５を保持する保持部材９と、内壁６を構成する樹脂が局部的に熱溶融して粘性流動状態となり、その熱溶融時に発生する重力の作用によって凸レンズ８と内壁６との間のすきまに樹脂が押し込められるように、内壁６へレーザ１１を照射するために設けられたレーザ照射装置１とを具備する。【選択図】  図１
2004333946.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂によって形成され収容部品の内壁に沿って収容された光学部品を前記内壁に固定する光学部品ユニットの製造方法であって、
前記収容部品の内壁に沿って前記光学部品を収容する工程と、
前記樹脂を局部的に熱溶融させて粘性流動状態とし、前記光学部品と前記内壁との間に前記樹脂が押し込められるように、前記内壁にレーザを照射する工程とを包含することを特徴とする光学部品ユニットの製造方法。
【請求項２】
前記レーザを照射する工程は、不活性ガスが前記レーザが照射される側の前記光学部品の面の中心から端へ向かって流れるように前記光学部品に供給する、請求項１記載の光学部品ユニットの製造方法。
【請求項３】
前記光学部品は、ガラスによって構成されたレンズである、請求項１または２記載の光学部品ユニットの製造方法。
【請求項４】
前記レンズは、凸レンズである、請求項３記載の光学部品ユニットの製造方法。
【請求項５】
前記光学部品は、ガラスによって構成されたミラーである、請求項１記載の光学部品ユニットの製造方法。
【請求項６】
前記ミラーは、板状形状である、請求項５記載の光学部品ユニットの製造方法。
【請求項７】
前記収容部品は、円筒形状である、請求項１記載の光学部品ユニットの製造方法。
【請求項８】
樹脂によって形成され収容部品の内壁に沿って収容された光学部品を前記内壁に固定する光学部品固定装置であって、
前記光学部品が収容された収容部品を保持する保持部材と、
前記樹脂を局部的に熱溶融させて粘性流動状態とし、前記光学部品と前記内壁との間に前記樹脂が押し込められるように、前記内壁にレーザを照射するために設けられたレーザ照射手段とを具備することを特徴とする光学部品固定装置。
【請求項９】
前記レーザ照射手段は、前記レーザを出射するために設けられたレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射した前記レーザを前記収容部品の内壁へ集光するために設けられた集光光学系とを含んでいる、請求項８記載の光学部品固定装置。
【請求項１０】
前記レーザ照射手段からの前記レーザが照射する前記内壁の位置を移動させるために設けられた照射位置移動装置をさらに具備する、請求項８記載の光学部品固定装置。
【請求項１１】
照射位置移動装置は、前記レーザ照射手段からの前記レーザが照射する前記内壁の位置を移動させるために、前記収容部品を回転させる、請求項８記載の光学部品固定装置。
【請求項１２】
不活性ガスが前記レーザが照射される側の前記光学部品の面の中心から端へ向かって流れるように前記光学部品に供給するために設けられたノズルユニットをさらに具備する、請求項８記載の光学部品固定装置。
【請求項１３】
前記不活性ガスは、窒素ガスである、請求項１２記載の光学部品固定装置。
【請求項１４】
前記光学部品は、ガラスによって構成されたレンズである、請求項８記載の光学部品固定装置。
【請求項１５】
前記レンズは、凸レンズである、請求項８記載の光学部品固定装置。
【請求項１６】
前記光学部品は、ガラスによって構成されたミラーである、請求項８記載の光学部品固定装置。
【請求項１７】
前記ミラーは、板状形状である、請求項８記載の光学部品固定装置。
【請求項１８】
前記収容部品は、円筒形状である、請求項８記載の光学部品固定装置。
【請求項１９】
樹脂によって形成された収容部品と、
前記収容部品の内壁に沿って固定された光学部品とを具備する光学部品ユニットであって、
前記収容部品の内壁には、前記樹脂を局部的に熱溶融させて粘性流動状態とし、前記光学部品と前記内壁との間に前記樹脂が押し込められるように、前記内壁に照射されたレーザのレーザ照射痕が形成されていることを特徴とする光学部品ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、樹脂によって形成された収容部品の内壁に沿って収容された光学部品を内壁に固定するための光学部品ユニットの製造方法、光学部品固定装置および光学部品ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
熱可塑性樹脂製の光学部品を収める機構を有する部品Ａに光学部品を固定する従来の方法としては、カシメしろを設けた部品Ａを受け治具に固定し、アンビルと呼ばれるものでカシメしろに熱と圧力とを加えて変形させて、光学部品を固定する熱カシメを用いた方法と、紫外線硬化性の接着剤を用いて紫外線を弱く照射し、光学部品の位置を調整し、その後、接着剤が硬化するまで紫外線を照射し、部品Ａに光学部品を接着する方法とが知られている。一般に精度があまり必要でない場合には熱カシメを用いた方法を、精度が必要な場合には紫外線硬化性の接着剤を用いる方法を採用する場合が多い。
【０００３】
また、従来のレーザ溶接の方法によるガラスと樹脂との接合は、非常に難しいものと考えられてきた。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−１１１１５５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前述した熱カシメを用いた固定方法では、光学部品および部品Ａに対して専用のアンビルおよび受け治具が必要である。そのため、機種の変更により、アンビルおよび受け治具の作り直し、および位置調整が必要となる。
【０００６】
従って、従来の技術では、現状のミクロンオーダーの精度が必要で、かつ多機種を有するあるいは、機種の切り替えサイクルが短いものに対しては、機種切り替え時の立ち上げ時間が長くかかるために、生産性が低下するという問題がある。
【０００７】
一方、前述した紫外線硬化性の接着剤を用いる方法では、紫外線を弱く照射し、光学部品の位置を調整し、その後、接着剤が硬化するまで紫外線を照射するまでに、数十秒の時間がかかるため、タクトが遅くなる。このため、現在のように垂直に生産を立ち上げ、大量に生産する場合には、生産性が低下する原因の一つになるという問題がある。さらに、ミクロンオーダーの精度が必要な現行の商品には、固定する光学部品、および光学部品を収める機構を有する部品の材料やサイズに応じて、接着剤を落とす位置および量を精密に決定する必要がある。しかし、このような条件を決定するためには、経験に基づくところが大きいため、機種切り替え時の立ち上げ時間が長くかかり、生産性が低下することも起こり得る。
【０００８】
また、従来のレーザ溶接の方法において、ガラスと樹脂との接合は非常に難しいものと考えられてきた。その理由としては、レーザ溶接が主に用いられる場合は、原子間の結合および化学的な結合が可能であるということが大きな前提としてあった。金属同士を接合する場合は原子間の結合が接合強度を左右し、樹脂同士を接合する場合は化学的な結合が接合強度を左右することが多い。
【０００９】
しかし、ガラスと樹脂とを接合する場合には、アンカー効果のような物理的な結合によってしか接合することができないので、原子間の結合および化学的な結合に比べると、接合強度が２桁程度小さくなる。そのため、ガラスと樹脂とを接合する場合には接合面積を広くしなければならない。接合面積を広くする為には、樹脂とガラスとの接合部となり得るところに、樹脂を出きる限り充填しなければならない。しかし、粘性流動状態にある樹脂は、毛細管現象によって移動する等の性質に乏しいため、樹脂とガラスとの接合部となり得るところに十分に樹脂を充填することができない。
【００１０】
本発明の目的は、機種切り替え時の立ち上げ時間を短縮することができる光学部品ユニットの製造方法、光学部品固定装置および光学部品ユニットを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光学部品ユニットの製造方法は、樹脂によって形成され収容部品の内壁に沿って収容された光学部品を前記内壁に固定する光学部品ユニットの製造方法であって、前記収容部品の内壁に沿って前記光学部品を収容する工程と、前記樹脂を局部的に熱溶融させて粘性流動状態とし、前記光学部品と前記内壁との間に前記樹脂が押し込められるように、前記内壁にレーザを照射する工程とを包含することを特徴とする。
【００１２】
本発明に係る光学部品固定装置は、樹脂によって形成され収容部品の内壁に沿って収容された光学部品を前記内壁に固定する光学部品固定装置であって、前記光学部品が収容された収容部品を保持する保持部材と、前記樹脂を局部的に熱溶融させて粘性流動状態とし、前記光学部品と前記内壁との間に前記樹脂が押し込められるように、前記内壁にレーザを照射するために設けられたレーザ照射手段とを具備することを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る光学部品ユニットは、樹脂によって形成された収容部品と、前記収容部品の内壁に沿って固定された光学部品とを具備する光学部品ユニットであって、前記収容部品の内壁には、前記樹脂を局部的に熱溶融させて粘性流動状態とし、前記光学部品と前記内壁との間に前記樹脂が押し込められるように、前記内壁に照射されたレーザのレーザ照射痕が形成されていることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本実施の形態に係る光学部品ユニットの製造方法においては、内壁を構成する樹脂を局部的に熱溶融させて粘性流動状態とし、熱溶融した樹脂に対する重力の作用によって光学部品と内壁との間のすきまに前記樹脂が押し込められるように、前記内壁へレーザが照射される。このため、専用冶具を使用することなく収容部品の内壁に沿って光学部品を固定することができる。その結果、機種切替時の立ち上げ時間を短縮することができる。
【００１５】
前記レーザを照射する工程は、不活性ガスが前記レーザが照射される側の前記光学部品の面の中心から端へ向かって流れるように前記光学部品に供給することが好ましい。
【００１６】
前記光学部品は、ガラスによって構成されたレンズであることが好ましい。
【００１７】
前記レンズは、凸レンズであることが好ましい。
【００１８】
前記光学部品は、ガラスによって構成されたミラーであることが好ましい。
【００１９】
前記ミラーは、板状形状であることが好ましい。
【００２０】
前記収容部品は、円筒形状であることが好ましい。
【００２１】
本実施の形態に係る光学部品固定装置においては、内壁を構成する樹脂を局部的に熱溶融させて粘性流動状態とし、その熱溶融時に発生する重力の作用によって光学部品と内壁との間のすきまに樹脂が押し込められるように、内壁へレーザを照射するために設けられたレーザ照射手段を備えている。このため、専用冶具を使用することなく収容部品の内壁に沿って光学部品を固定することができる。その結果、機種切替時の立ち上げ時間を短縮することができる。
【００２２】
前記レーザ照射手段は、前記レーザを出射するために設けられたレーザ光源と、前記レーザ光源から出射した前記レーザを前記収容部品の内壁へ集光するために設けられた集光光学系とを含んでいることが好ましい。
【００２３】
前記レーザ照射手段からの前記レーザが照射する前記内壁の位置を移動させるために設けられた照射位置移動装置をさらに具備することが好ましい。
【００２４】
照射位置移動装置は、前記レーザ照射手段からの前記レーザが照射する前記内壁の位置を移動させるために、前記収容部品を回転させることが好ましい。
【００２５】
不活性ガスが前記レーザが照射される側の前記光学部品の面の中心から端へ向かって流れるように前記光学部品に供給するために設けられたノズルユニットをさらに具備することが好ましい。
【００２６】
前記不活性ガスは、窒素ガスであることが好ましい。
【００２７】
前記光学部品は、ガラスによって構成されたレンズであることが好ましい。
【００２８】
前記レンズは、凸レンズであることが好ましい。
【００２９】
前記光学部品は、ガラスによって構成されたミラーであることが好ましい。
【００３０】
前記ミラーは、板状形状であることが好ましい。
【００３１】
前記収容部品は、円筒形状であることが好ましい。
【００３２】
本実施の形態に係る光学部品ユニットにおいては、前記収容部品の内壁には、前記内壁を構成する樹脂を局部的に熱溶融させて粘性流動状態とし、その熱溶融時に発生する重力の作用によって前記光学部品と前記内壁との間のすきまに前記樹脂が押し込められるように、前記内壁へ照射されたレーザのレーザ照射痕が形成されている。従って、本実施の形態に係る光学部品ユニットは本実施の形態に係る光学部品固定装置によって製造される。このため、専用冶具を使用することなく収容部品の内壁に沿って光学部品を固定することができる。その結果、機種切替時の立ち上げ時間を短縮することができる。
【００３３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００３４】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係る光学部品固定装置１００の構成を示す模式図である。光学部品固定装置１００は、凸レンズ８が収容された収容部品５を保持する保持部材９を備えている。収容部品５は、内面６が形成された円筒形状をしており、ポリカーボネイトにカーボンブラックを混入させた材料によって構成されている。凸レンズ８は収容部品５に形成された内面６に沿って保持されている。
【００３５】
光学部品固定装置１００には、レーザ照射装置１が設けられている。レーザ照射装置１は、レーザ光源３を有している。レーザ光源３は、収容部品５に形成された内面６を構成する樹脂を粘性流動状態にし、かつ局所的に分解が起こる状態にすることができる波長８１０ナノメータ（ｎｍ）、５０Ｗのレーザ１１を照射する。
【００３６】
レーザ照射装置１には、集光光学系２が設けられている。集光光学系２は、レーザ光源３から出射したレーザ１１を収容部品５の内壁６へスポット径φ０．６ミリメータ（ｍｍ）に集光するために設けられている。
【００３７】
光学部品固定装置１００は、集光光学系駆動装置１０を備えている。集光光学系駆動装置１０は、集光光学系２をｘｙｚ方向と２方向にあおることによって集光光学系２の位置および傾きを調整するために設けられている。
【００３８】
光学部品固定装置１００には、照射位置移動装置４が設けられている。照射位置移動装置４は、レーザ照射光源３からのレーザ１１が照射する内壁５の位置を、凸レンズ８の周囲全体に対してレーザが照射されるように、移動させるために設けられており、収容部品５に収容された凸レンズ８の軸の周りに収容部品５を回転させる。
【００３９】
このように構成された光学部品固定装置１００の動作を説明する。図２は、実施の形態１に係る光学部品固定装置１００によって凸レンズ８を収容部品５の内壁６に固定する方法を説明するための断面図である。
【００４０】
まず、収容部品５を保持部材９に固定する。そして、凸レンズ８を保持部材９の内壁６に嵌め込む。次に、レーザ光源３はレーザ１１を出射する。レーザ光源３から出射されたレーザ１１は、集光光学系２を透過して収容部品５の内壁６に照射される。
【００４１】
図２に示すように、レーザ１１が照射された収容部品５の内壁６は照射されたレーザ１１によって加熱される。次に、加熱された内壁６は軟化・溶解する。そして、軟化・溶解した内壁６は局所的に分解をはじめる。この分解時に発生する反力１２によって、収容部品５の内壁６において粘性流動状態にある樹脂に重力の作用方向に向かう力が加わる。このため、内壁６において粘性流動状態にある樹脂は、凸レンズ８と収容部品５の内壁６との間の数十マイクロメータ（μｍ）の隙間に押し込められる。その結果、収容部品５に凸レンズ８が固定される。さらに、照射位置移動装置４が回転することにより、凸レンズ８の周縁全体に渡って、数秒で固定を行う。収容部品５の内壁６には、内壁６へ照射されたレーザ１１のレーザ照射痕が形成される。
【００４２】
実施の形態１に係る固定方法では、収容部品５および凸レンズ８の形状が機種変更によって変わっても、レーザ焦点位置およびレーザ照射位置を、集光光学系２を集光光学系駆動装置１０によって動かして変更することで対応することができるため、機種切り替え時の立ち上げ時間を短縮することができる。
【００４３】
このように実施の形態１によれば、レーザを照射することによってカシメ・溶着を行い、凸レンズ８を収容部品５に固定する。このため、多機種を有するあるいは、その切り替えサイクルが短いものに対して、その機種切り替え立ち上げ時間が短縮され、生産性が向上する。
【００４４】
以上のように実施の形態１によれば、内壁６を構成する樹脂が局部的に熱溶融して粘性流動状態となり、その熱溶融時に発生する反力１２の作用によって凸レンズ８と内壁６との間のすきまに樹脂が押し込められるように、内壁６へレーザ１１が照射される。このため、専用冶具を使用することなく収容部品５の内壁６に沿って凸レンズ８を固定することができる。その結果、機種切替時の立ち上げ時間を短縮することができる。
【００４５】
（実施の形態２）
図３は、実施の形態２に係る光学部品固定装置１００Ａの構成を示す模式図である。図１を参照して前述した光学部品固定装置１００の構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付している。従って、これらの構成要素の詳細な説明は省略する。
【００４６】
光学部品固定装置１００Ａは、ミラー８Ａが収容された収容部品５Ａを保持する保持部材９Ａを備えている。ミラー８Ａは、２０ミリメートル（ｍｍ）×２０ミリメートル（ｍｍ）×５ミリメートル（ｍｍ）厚の直方体形状をしており、ガラスによって構成され、誘電体多層膜によってコートされている。
【００４７】
収容部品は、ミラー８Ａを保持するための内壁６Ａを有しており、ポリ塩化ビニルにカーボンブラックを混入させた材料によって構成されている。
【００４８】
光学部品固定装置１００Ａは、レーザ照射装置１Ａを備えている。レーザ照射装置１Ａは、集光光学系２Ａを有している。集光光学系２Ａは、０．６ミリメートル（ｍｍ）×２０ミリメートル（ｍｍ）のライン状に、レーザ光源３から出射したレーザを集光する。
【００４９】
光学部品固定装置１００Ａには、ノズルユニット１３が設けられている。ノズルユニット１３は、レーザが照射されるミラー８Ａの面の中心から端へ向かって窒素ガスが流れるように窒素ガスを９ｌ／ｍｉｎでミラー８Ａに吹き付けるために設けられている。
【００５０】
レーザ光源３からのレーザの焦点位置が収容部品５Ａの内壁６Ａになるように、集光光学系駆動装置１０Ａによって集光光学系２Ａの焦点位置を調整している。また、レーザ照射中は、加工点とは別に、窒素ガスがミラー８Ａの中央から端に向かって流れるように、ノズルユニット１３の位置を調整してある。これにより、ミラー８Ａの表面に樹脂が流れ込んでくることを防ぐ働きをする。
【００５１】
このように構成された光学部品固定装置１００Ａの動作を説明する。
【００５２】
まず、収容部品５Ａを保持部材９Ａに固定する。そして、ミラー８Ａを保持部材９Ａの内壁６Ａに嵌め込む。次に、レーザ光源３はレーザを出射する。レーザ光源３から出射されたレーザは、集光光学系２Ａを透過して収容部品５Ａの内壁６Ａに照射される。ノズルユニット１３は、ミラー８Ａの面の中心から端へ向かって窒素ガスが流れるように窒素ガスを９ｌ／ｍｉｎでミラー８Ａに吹き付ける。
【００５３】
そして、レーザが照射された収容部品５Ａの内壁６Ａは照射されたレーザによって加熱される。次に、加熱された内壁６Ａは軟化・溶解する。そして、軟化・溶解した内壁６Ａは局所的に分解をはじめる。この分解時に発生する反力によって、収容部品５Ａの内壁６Ａにおいて粘性流動状態にある樹脂に重力の作用方向に向かう力が加わる。このため、内壁６Ａにおいて粘性流動状態にある樹脂は、ミラー８Ａと収容部品５Ａの内壁６Ａとの間の数十マイクロメータ（μｍ）の隙間に押し込められる。その結果、収容部品５Ａにミラー８Ａが固定される。さらに、照射位置移動装置４が１８０度回転することにより、ミラー８Ａの反対側も固定する。収容部品５Ａの内壁６Ａには、内壁６Ａへ照射されたレーザのレーザ照射痕が形成される。
【００５４】
このように実施の形態２によれば、ミラー８Ａの中央部から端に向かって窒素ガスが流れるようにすることで、ミラー８Ａの表面に樹脂が流れ込んでくることを防ぎながら、カシメ・溶着を行う。このため、直方体のミラー８Ａなどの形状であっても、高速に固定することができる。
【００５５】
（実施の形態３）
図４は、実施の形態３に係る光学部品固定装置１００Ｂの構成を示す模式図である。図１および図３を参照して前述した光学部品固定装置１００および１００Ａの構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付している。従って、これらの構成要素の詳細な説明は省略する。
【００５６】
光学部品固定装置１００Ｂは、チャック機構１４を備えている。チャック機構１４は、収容部品５に対する凸レンズ８の位置を数ミクロンオーダーの精度によって調整する。
【００５７】
照射位置移動装置４は、凸レンズ８の周囲の２／３に対してレーザが照射されるように保持部材９を回転させる。
【００５８】
このように構成された光学部品固定装置１００Ｂの動作を説明する。
【００５９】
まず、収容部品５を保持部材９に固定する。そして、凸レンズ８を保持部材９の内壁６に嵌め込む。次に、レーザ光源３および３Ａはレーザをそれぞれ出射する。レーザ光源３および３Ａからそれぞれ出射されたレーザは、集光光学系２および２Ａを透過して収容部品５の内壁６にそれぞれ照射される。ノズルユニット１３は、凸レンズ８の面の中心から端へ向かって窒素ガスが流れるように窒素ガスを９ｌ／ｍｉｎで凸レンズ８に吹き付ける。
【００６０】
そして、レーザが照射された収容部品５の内壁６は照射されたレーザによって加熱される。次に、加熱された内壁６は軟化・溶解する。そして、軟化・溶解した内壁６は局所的に分解をはじめる。この分解時に発生する反力によって、収容部品５の内壁６において粘性流動状態にある樹脂に重力の作用方向に向かう力が加わる。このため、内壁６において粘性流動状態にある樹脂は、凸レンズ８と収容部品５の内壁６との間の数十マイクロメータ（μｍ）の隙間に押し込められる。その結果、収容部品５に凸レンズ８が固定される。さらに、照射位置移動装置４によって保持部材９を１２０度回転させることにより、凸レンズ８の周囲の２／３に渡って、数秒で固定を行う。
【００６１】
実施の形態３では、凸レンズ８の中心からの対称位置２箇所を同時にレーザ照射するため、熱変形に伴う位置ずれおよび残留応力を緩和することができる。このため、精度の高いレンズ固定を実現することができる。また、２箇所同時にレーザを照射するため、加工タクトを半分にすることができる。さらに、窒素ガスを中央部から端に向かって流れるようにすることで、凸レンズ８に樹脂が流れ込んでくることを防ぎながら加工することが可能である。
【００６２】
以上説明したように、実施の形態３によれば、凸レンズ８の中心からの対称位置２箇所を同時にレーザ照射して、カシメ・溶着を行うため、高精度、高速かつ、レンズをクリーンに保ってレンズを固定することができる。
【００６３】
以上のように実施の形態１ないし３では、樹脂の一部を分解させ、分解時に発する反力を利用し、粘性流動状態にある樹脂に圧力をかけ、光学部品と熱可塑性樹脂製の光学部品を収める機構を有する部品との隙間に押し込め、あるいは、樹脂で光学部品を覆わすことにより、光学部品を部品に固定することができる。
【００６４】
このように、樹脂を溶解させるレーザ光を、集光レンズにより、固定しようとするレンズ周囲のおよび熱可塑性樹脂によって作られた鏡筒のカシメ部に照射することで、カシメ部を軟化・溶解させてカシメの形成および溶着により、レンズを鏡筒に固定する。このため、熱カシメに対しては、機種切り替え時の立ち上げ時間が短縮され、生産性が向上する。紫外線硬化性の接着剤を用いる場合においては数十秒かかっていたタクトタイムを数秒にすることができるので、タクトアップを図ることができる。接着剤を落とす位置および接着剤の量を精密に決定する必要がなく、条件の決定のために、経験に基づくところが減るため、機種切り替え時の立ち上げ時間がかかり、生産性が低下することを防ぐことができる。
【００６５】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、機種切り替え時の立ち上げ時間を短縮することができる光学部品ユニットの製造方法、光学部品固定装置および光学部品ユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１に係る光学部品固定装置の構成を示す模式図
【図２】実施の形態１に係る光学部品固定装置によって光学部品を収容部品の内壁に固定する方法を説明するための断面図
【図３】実施の形態２に係る光学部品固定装置の構成を示す模式図
【図４】実施の形態３に係る光学部品固定装置の構成を示す模式図
【符号の説明】
１  レーザ照射装置
２  集光光学系
３  レーザ光源
４  照射位置移動装置
５  収容部品
６  内壁
７  樹脂
８  凸レンズ
９  保持部材
１０  集光光学系駆動装置
１１  レーザ
１２  反力
１３  ノズルユニット
１４  チャック機構
１００  光学部品固定装置
【図１】
2004333946.tif 000003
【図２】
2004333946.tif 000004
【図３】
2004333946.tif 000005
【図４】
2004333946.tif 000006