(57)【要約】【課題】カーボンナノチューブ、ダイヤモンド、フラーレンに代表されるナノカーボン材料を安価に製造する。【解決手段】鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテルから選択される一種類以上の原料に、メタノール、エタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水、過酸化水素、酸素、亜酸化窒素から選択される一種類以上の酸素含有化合物を混合し、３００〜８００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で超臨界流体又は亜臨界流体と共存させる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテルからなる群Ａから選択される一種類以上の炭素元素と水素元素からなる化合物に、メタノール、エタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水、過酸化水素、酸素、亜酸化窒素からなる群Ｂから選択される酸素元素含有物質を一種類以上混合し、
３００〜８００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で超臨界流体又は亜臨界流体と共存させる工程を含むことを特徴とするナノカーボン材料の製造方法。
【請求項２】
前記ナノカーボン材料が、フラーレン、カーボンナノチューブ、ダイヤモンドから選択される、ナノカーボン材料であることを特徴とする請求項１項記載のナノカーボン材料の製造方法。
【請求項３】
鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテルからなる群から選択される一種類以上の炭素元素と水素元素からなる化合物に、メタノール、エタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水、過酸化水素、酸素、亜酸化窒素からなる群から選択される酸素元素含有物質を一種類以上混合し、
遷移金属、もしくは遷移金属化合物の共存下、
３００〜８００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で超臨界流体又は亜臨界流体と共存させる工程を含み、カーボンナノチューブを製造することを特徴とするナノカーボン材料の製造方法。
【請求項４】
鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテルからなる群から選択される一種類以上の炭素元素と水素元素からなる化合物に、メタノール、エタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水過酸化水素、酸素、亜酸化窒素からなる群から選択される、酸素元素含有物質を一種類以上混合し、
ケイ素、炭化ケイ素、立方晶窒化ホウ素、ゲルマニウム、閃亜鉛鉱構造化合物、黄銅鉱構造化合物、ウルツ鉱構造化合物、モリブデン、タングステン、銅からなる群から選択される物質の共存下、
４００〜８００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で超臨界流体又は亜臨界流体と共存させる工程を含み、ダイヤモンドを製造することを特徴とするナノカーボン材料の製造方法。
【請求項５】
鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテルからなる群から選択される一種類以上の炭素元素と水素元素からなる化合物に、メタノール、エタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水、過酸化水素、酸素、亜酸化窒素からなる群から選択される酸素元素含有物質を一種類以上混合し、
３００〜６００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で超臨界流体又は亜臨界流体と共存させる工程を含み、フラーレンを製造することを特徴とするナノカーボン材料の製造方法。
【請求項６】
前記超臨界流体又は亜臨界流体を形成する物質が、鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテル、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水、過酸化水素、酸素、亜酸化窒素、ヘリウム、アルゴン、窒素、水素、一酸化炭素、二酸化炭素、の内から選択される少なくとも一種以上で、前記温度及び圧力範囲で超臨界流体又は亜臨界流体あることを特徴とする請求項１もしくは請求項３〜５のいずれか一項に記載のナノカーボン材料の製造方法。
【請求項７】
前記原料と超臨界流体又は亜臨界流体との接触を、４ＭＰａ〜４０ＭＰａの圧力の下で行うことを特徴とする請求項１もしくは請求項３〜５のいずれか一項に記載のナノカーボン材料の製造方法。
【請求項８】
前記遷移金属化合物が、遷移金属硫化物、遷移金属炭化物、有機遷移金属化合物、遷移金属窒化物、遷移金属塩及び遷移金属酸化物から選択される少なくとも一種以上であることを特徴とする請求項３に記載のナノカーボン材料の製造方法。
【請求項９】
前記遷移金属もしくは遷移金属化合物の遷移金属元素が、ニッケル、コバルト、鉄、銅、銀、クロム、タングステン、モリブデン、チタン、ルテニウム、ロジウム及びパラジウムから選択される一種類以上の元素であることを特徴とする請求項８に記載のナノカーボン材料の製造方法。
【請求項１０】
前記群Ａから選択される化合物に対する前記群Ｂから選択される物質のモル比率が、０．１〜６．０の範囲であることを特徴とする請求項１もしくは請求項３〜５のいずれか一項に記載のナノカーボン材料の製造方法。
【請求項１１】
ナノカーボン合成反応中の監視する気体の濃度が一定の範囲になるように制御することを特徴とする請求項１もしくは請求項３〜５のいずれか一項に記載のナノカーボン材料の製造方法。
【請求項１２】
前記群Ａから選択される化合物と前記群Ｂから選択される物質の混合物中の、炭素元素に対する酸素元素の比率が０．１〜１．０の範囲であることを特徴とする請求項１もしくは請求項３〜５のいずれか一項に記載のナノカーボン材料の製造方法。
【請求項１３】
ナノカーボン合成反応中の全気体中の炭素元素に対する酸素元素の比率が０．１〜１．０の範囲となるように制御することを特徴とする請求項１もしくは請求項３〜５のいずれか一項に記載のナノカーボン材料の製造方法。
【請求項１４】
前記カーボンナノチューブが単層のカーボンナノチューブであることを特徴とする請求項３に記載のナノカーボン材料の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ナノカーボン材料の製造方法に関する。より詳しくは、安価な原料と簡単な製造装置を用いて、ナノカーボン材料の代表的な例であるフラーレン、カーボンナノチューブ、ダイヤモンドを量産することが可能な製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
１９８５年に炭素原子６０個から成るサッカーボール状分子のフラーレンがＨ．Ｗ．Ｋｒｏｔｏ，Ｒ．Ｅ．Ｓｍａｌｌｒｙ，Ｒ．Ｆ．Ｃｕｒｌによって発見され、また、１９９１年に飯島によりグラフェンシートが捲かれてチューブ状になったカーボンナノチューブが発見されて以来、数々のナノカーボン材料の合成方法の研究及び応用研究が活発になされて来ている。
【０００３】
上記カーボンナノチューブは、電界放出の性能に優れていること、電気化学反応でリチウムを貯蔵放出すること、電界放出の性能に優れていること、水素吸蔵能にすぐれていることから、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）などの表示デバイスの電極材料、リチウム二次電池の電極材料、水素吸蔵システムの水素貯蔵材料などへの応用が研究されている。
【０００４】
従来、カーボンナノチューブの製造方法としては、炭化水素などの炭素原料を含むガス雰囲気下でのアーク放電による方法、黒鉛をターゲットにレーザーを照射させて蒸発させて形成するレーザー蒸発法による方法、コバルト金属もしくはニッケル金属の触媒を配した基板上でアセチレンなどの炭素原料となるガスを熱分解することによる方法などが知られている。
【０００５】
例えば特開平６−１５７０１６号公報や特開２０００−９５５０９号公報ではアーク放電による製造方法が、特開平９−１８８５０９号公報では高周波プラズマによる製造方法が、特開平１０−２７３３０８号公報ではレーザー蒸発法による製造方法が、特開２０００−８６２１７号公報では熱分解による製造方法が、それぞれ提案されている。
【０００６】
しかしながら、上記従来のカーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー等に代表されるナノカーボン材料の製造方法では、原料及び製造装置のコストが高いため、ナノカーボン材料の製造コストが高く、また大量に合成することが困難であるという問題点がある。
【０００７】
また、Ｃａｒｂｏｎ  Ｖｏｌ．３６，Ｎｏ．７−８，ｐｐ．９３７−９４２，１９９８には、パラホルムアルデヒドを原料に、７００℃，１００ＭＰａ、１５０時間という水熱合成反応でフィラメント状のカーボンが生成されると報告されている。Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｒｅｓｅａｒｃｈ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  Ｖｏｌ．１５，Ｎｏ．１２，ｐｐ．２５９１−２５９４，２０００では、ポリエチレンを原料に、Ｎｉの存在下で７００〜８００℃，６０〜１００ＭＰａ、という水熱反応条件で多層のカーボンナノチューブが得られることが報告されている。Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ａｍｅｒｉｃａｎ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  Ｖｏｌ．１２３，Ｎｏ．４，ｐｐ．７４１−７４２，２００１では、非晶質カーボンを原料に、８００℃，１００ＭＰａ、４８時間という水熱反応の条件で多層のカーボンナノチューブが得られることが報告されている。
【０００８】
しかしながら、上記３文献とも金のカプセル中で反応を起こしたものであり、また、上記３文献のいずれにも、９０ＭＰａ以下の条件でナノカーボン材料が生成されることは、報告されていない。
【０００９】
そこで、ナノカーボン材料を多量により安価に製造するためには、より低い温度とより低い圧力下の条件で、より安価な原料を用いて合成される方法が望まれている。
【００１０】
Ｃａｒｂｏｎ  Ｖｏｌ．４０，ｐｐ．２９６１−２９７３，２００２では、原料としてのベンゼンと触媒としてのニッケル−鉄合金をオートクレーブにいれ、温度４８０℃、１５ＭＰａの圧力で反応させ、多層構造のカーボンナノチューブが得られている。
【００１１】
しかしながら、１２時間の反応での触媒重量に対するナノカーボン材料の生成重量の比が４．２と少なく、生成に長時間を要している。また、得られたナノカーボン材料のラマンスペクトル測定の結果では、炭素原子の六員環ネットワーク内の格子振動に起因する１５９０ｃｍ−１付近のＧバンドと呼ばれるピークと１３５０ｃｍ−１付近の炭素の格子欠陥に起因するＤバンドと呼ばれるピークの相対的強度は、１３５０ｃｍ−１付近のピーク強度が強く、格子欠陥の多いものである。従って、合成反応時間も短く、格子欠陥の少ない良質なナノカーボン材料が合成される方法が望まれている。
【００１２】
工業材料，（２００３），５１巻，１号，３８〜４１ページには、ＣＶＤ法にて、エタノールを原料にＦｅ−Ｃｏ系触媒上で、６００〜９００℃の温度で、単層のカーボンナノチューブが得られることが報告されている。この手法では、収量が少なく、高純度のカーボンナノチューブが得られるのは８００℃以上が必要であり、８００℃の温度であっても供給するエタノールの量が多くなると、非晶質の炭素の成長が増加する問題もあるようである。そのため、高純度のカーボンナノチューブが高収量で得られる製造方法がさらに望まれる。
【００１３】
ナノカーボン材料は、前記のように、二次電池の電極材料、ＦＥＤなどのデバイスの電界電子放出源、燃料電池の触媒担持用炭素材料、水素吸蔵システムの水素貯蔵材料などとしての幅広い応用が期待されているもので、このナノカーボン材料を安価に製造する技術の開発への期待が大きい。
【００１４】
ダイヤモンドは、宝石としての価値のみならず、硬度が高いことで研削材等の工業価値が非常に高く、各種の合成方法が試みられてきた。
【００１５】
Ｎａｔｕｒｅ，１７６，５１（１９５５）には、１９５５年に３万気圧、２０００℃という高温・高圧の条件下で、黒鉛と金属触媒を用いて粉末ダイヤモンドが合成されたことが記載されている。米国特許３０３０１８７及び３０３０１８８には、気相からダイヤモンドを合成する方法が提起されている。Ｊ．Ｃｒｙｓｔ．Ｇｒｏｗｔｈ，５２，２１９（１９８１）では、メタンの分解によるＣＶＤ法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）でダイヤモンドがダイヤモンド以外の基体に成長することが見出された。また、Ｊａｐ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，２１，Ｌ１８３（１９８２）では、メタンと水素の混合ガスを熱フィラメントでダイヤモンド薄膜が形成されることが見出された。上記発見以降、メタン以外の原料、分解方法もＲＦ（ラジオ波）、マイクロ波、ＤＣ（直流）による放電でのプラズマ分解方法が研究されている。
【００１６】
しかしながら、前記高温高圧下でのダイヤモンド合成法は、大掛かりな装置が必要である。また、上記気相分解方法は大気圧以下、好ましくは減圧下の圧力で分解反応を行なうためダイヤモンド薄膜合成には適しているが、工業的に利用価値の高いダイヤモンド粉末を製造する方法には不向きである。
【００１７】
そのため、安価にダイヤモンド粉末を合成する方法の開発が望まれていた。
【００１８】
フラーレンはＣ６０が発見されてから、炭素原子７０個のＣ７０、炭素原子の７６個のＣ７６、炭素原子７８個のＣ７８、炭素原子８２個のＣ８２、炭素原子８４個のＣ８４、炭素原子の８６個のＣ８６、炭素原子８８個のＣ８８、炭素原子９０個のＣ９０、炭素原子９４個のＣ９４、炭素原子９６個のＣ９６などが相次いで発見され、さらに金属元素を内包したフラーレンも発見されており、機能デバイスや医薬品などへの各種の応用研究が活発になされている。
【００１９】
フラーレンの製造方法としては、１２００℃程度の高温に加熱したアルゴンガスあるいはヘリウムガス流の中で黒鉛にレーザーを照射して得られるススから抽出する加熱フローガス中レーザー蒸発法、ヘリウムガス中で黒鉛棒を通電加熱して得られるススから抽出する抵抗加熱法、２本の黒鉛電極間でアーク放電を起こし得られた炭素媒から抽出するアーク放電法、高周波誘導により原料黒鉛に渦電流を流し加熱蒸発させて得られるススから抽出する高周波誘導加熱法、ベンゼンと酸素の混合ガスをアルゴンガスで希釈し得燃焼させて得られるススから抽出する燃焼法、などが開発されている。
【００２０】
特開平５−１８６８６５号公報には、不活性ガスで充填された容器の中に配置された炭素棒と金属棒からなる一対の電極にアーク放電または抵抗加熱して炭素クラスターを製造する方法が提案されている。特開平６−５６４１４号公報や特開平６−３２６０６号公報には、発生した熱プラズマ中に芳香族化合物を供給して得られる固形分からフラーレンを分離する製造方法が提案されている。
【００２１】
しかしながら、上記従来のフラーレンの製造方法では、収量が低く、不純物を多く含むため、高純度のフラーレンが得られる製造方法の開発が望まれていた。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、各種産業分野での応用が期待されているカーボンナノチューブ、ダイヤモンド、フラーレン等のナノカーボン材料を安価に製造することができるようにすることを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明の第一の特徴は、ナノカーボンの製造方法が、鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテルからなる群Ａから選択される一種類以上の炭素元素と水素元素からなる化合物に、メタノール、エタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水、過酸化水素、酸素、亜酸化窒素からなる群Ｂから選択される酸素元素含有物質を一種類以上混合し、３００〜８００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で超臨界流体又は亜臨界流体と共存させる工程を含む点にある。
【００２４】
上記製造方法は、さらに遷移金属、もしくは遷移金属化合物の共存下、３００〜８００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で、カーボンナノチューブを製造することも特徴である。
【００２５】
上記製造方法は、さらに遷ケイ素、炭化ケイ素、立方晶窒化ホウ素、ゲルマニウム、閃亜鉛鉱構造化合物、黄銅鉱構造化合物、ウルツ鉱構造化合物、モリブデン、タングステン、銅からなる群から選択される物質の共存下、４００〜８００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で、ダイヤモンドを製造することも特徴である。
【００２６】
上記製造方法は、３００〜６００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で、フラーレンを製造することも特徴である。
【００２７】
前記製造方法では、前記超臨界流体又は亜臨界流体を形成する物質が、鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテル、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水、過酸化水素、亜酸化窒素、ヘリウム、アルゴン、窒素、水素、一酸化炭素、二酸化炭素、の内から選択される少なくとも一種以上で、前記温度及び圧力範囲で超臨界流体又は亜臨界流体あることを特徴とする。
【００２８】
本発明での前記遷移金属化合物が、遷移金属硫化物、遷移金属炭化物、有機遷移金属化合物、遷移金属窒化物、遷移金属塩及び遷移金属酸化物から選択される少なくとも一種以上であることを特徴とし、前記遷移金属もしくは遷移金属化合物の遷移金属元素が、ニッケル、コバルト、鉄、銅、銀、クロム、タングステン、モリブデン、チタン、ルテニウム、ロジウム及びパラジウムから選択される一種類以上の元素であることを特徴とする。
【００２９】
本発明の他の特徴としては、ナノカーボン合成反応中の監視する気体の濃度が一定の範囲になるように制御する点である。
【００３０】
また、前記群Ａから選択される化合物と前記群Ｂから選択される物質の混合物中の、炭素元素に対する酸素元素の比率が０．１〜１．０の範囲であることを特徴とする。
【００３１】
【発明の実施の形態】
従来のＣＶＤ法によるダイヤモンド、フラーレン、カーボンナノチューブ等のナノカーボン材料の合成では、以下の理由から、選択的に所望の種類のナノカーボン材料を多量に得ることができなかった。
【００３２】
例えば、上記ナノカーボンの製法として、レーザー蒸発法、アーク放電法、高周波放電法、燃焼法等がある。レーザー蒸着法、アーク放電法、高周波放電法、によるフラーレンの合成方法では、減圧下で、炭素を蒸発させて、あるいは炭素の原料となる炭化水素を分解させて、原子状炭素もしくはプラズマ状炭化水素となったガス状反応中間体が飛行して、反応容器内壁あるいは反応容器内に設けられた基板に衝突してススを堆積し、そのスス中にフラーレンが生成される。上記原子状炭素もしくはプラズマ化した炭化水素となった反応中間体の持つエネルギーは均一ではなく、あるエネルギー範囲を有する分布をもつ。また、プラズマ化した炭化水素の反応中間体としては、炭素数に伴い多くの種類の活性種が生成される。例えば、ＣＨ４の分解からは、ＣＨ３、ＣＨ２、ＣＨ、Ｈ、Ｃが生成される。
【００３３】
さらに、上記反応中間体はその雰囲気の圧力によって平均自由行程が変わり、反応容器内壁あるいは基板に衝突するまでの間に、互いに衝突することで、さらに各種の反応中間体が生成される。したがって、反応中間体の種類とそれぞれの持っているエネルギー、密度、及び飛行距離、さらには堆積時の温度によって、堆積物中の生成物の種類とその量は異なってくる。
【００３４】
燃焼法でのフラーレンの合成方法では、原料とするベンゼン等の化合物と酸素との混合ガスの不完全燃焼によって得られるスス中に、フラーレンが生成される。上記燃焼反応は瞬時で完了するが、燃焼時には発熱があり、反応温度を均一に制御することはできない。このため、反応温度の分布によって異なる種類の生成物が混合した状態で得られる。
【００３５】
ＣＶＤ法による、カーボンナノチューブ合成においてもダイヤモンド合成においても、上述したフラーレンと同様の理由から、得られる堆積物の純度が高くないという問題があった。
【００３６】
本発明者らは、上記問題を解決するために、密閉した反応容器内で、反応容器内に超臨界流体を存在させ、温度を制御することで、反応容器内の原料及び原料から発生する反応中間体などの温度を均一にすることができ、純度の高いナノカーボン材料を合成できることを見出した。また、原料が超臨界状態になる条件では、原料は活性な状態になるが、従来のプラズマＣＶＤ法にて生成される反応中間体の活性種ほど、活性でなく、また多くの種類も生成されない。そのことが高純度のナノカーボン材料が得られる理由であると推察される。
【００３７】
また、反応容器内の内容物を一部抜き取って成分をモニタリングして、反応容器内の監視成分濃度を一定にするように供給と排出を制御することによって、平衡反応をナノカーボンの析出方向にずらすことができることも見出した。
【００３８】
さらには、生成されるナノカーボン材料の強い炭素−炭素結合を残し、弱い炭素−炭素結合を切断するような反応を起こす、酸素、原子状酸素、原子状水素を発生するようなメタノール等の化合物を混合して反応させることによって、所望のナノカーボン材料を得ることができることを見出した。加えて、所望の炭素−炭素結合が生き残るように、温度条件、圧力条件、及び酸素元素，水素元素と原料となる化合物との比率等を設定することで、所望の、フラーレン、カーボンナノチューブ、ダイヤモンドが高純度で合成できることも見出した。
【００３９】
本発明は、鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテル、からなる群Ａから選択される一種類以上の炭素元素と水素元素からなる化合物に、メタノール、エタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水過酸化水素、酸素、亜酸化窒素からなる群Ｂから選択される酸素元素含有物質を一種類以上混合し、３００〜８００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で超臨界流体又は亜臨界流体と共存させる工程を含んでいる点に特徴を有するナノカーボン材料の製造方法である。
【００４０】
本発明の一例に係る製造方法のフローチャートを図１に示す。図１におけるステップ１は、原料と酸素元素含有化合物を混合し、必要に応じて、触媒、ナノカーボン結晶の成長の核となる物質（核形成物質）、（反応を助長する媒体の）反応促進媒体を、耐圧反応容器に入れる準備工程である。耐圧反応容器は、必要に応じて、真空に排気して脱酸素を行なうのが望ましい。ステップ２は、耐圧反応容器内でこれらを加熱・加圧し、原料及び／又は酸素元素含有化合物、反応促進媒体を超臨界流体あるいは亜臨界流体にして、原料を所定時間反応させる工程、ステップ３は、ステップ２を経て、さらに未反応の原料を分離してナノカーボン材料を得る工程である。この後、必要に応じて、ステップ３で得られたナノカーボン材料を不活性ガス雰囲気下で４００〜２０００℃に加熱処理する、あるいは、残留触媒等を除去して精製してもよい。
【００４１】
前記原料とは、鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテルからなる群Ａから選択される一種類以上の少なくとも炭素元素と水素元素からなる化合物である。上記原料のうち、アルコール、エーテル類は、分子中に酸素元素を有しているので、ナノカーボン合成反応中にこの酸素元素が、弱い炭素−炭素結合を切って二酸化炭素等を生成することで、選択的にナノカーボン材料を形成しやすい点では望ましい原料ではあるが、反面収量は高くない原料である。また、酸素元素含有化合物とは、メタノール、エタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水、過酸化水素、酸素、亜酸化窒素からなる群Ｂから選択される物質であり、所望のナノカーボンの炭素−炭素結合を選択的に成長させ、副生する非晶質炭素等の不純物を二酸化炭素あるいは炭化水素として除去する役割を担っている。
【００４２】
また、前記反応を促進あるいは均一にする反応促進媒体として、ヘリウム、アルゴン、窒素、水素、一酸化炭素、二酸化炭素、の内から選択される少なくとも一種以上を使用することができる。上記酸素元素含有化合物及び反応促進媒体によっては、ナノカーボン材料の原料の一部となる場合もある。合成するナノカーボン材料がカーボンナノチューブである場合、触媒には遷移金属、あるいは遷移金属化合物を使用する。また、合成するナノカーボン材料が、ダイヤモンドである場合には、ダイヤモンド結晶の核を形成する核形成物質としてシリコン等を用いる。加熱する温度としては、合成するナノカーボン材料が、フラーレンの場合は３００〜６００℃の範囲、カーボンナノチューブの場合は３００〜８００℃の範囲、ダイヤモンドの場合は４００〜８００℃の範囲、が好ましい。より好ましい加熱温度範囲としては、合成するナノカーボン材料が、フラーレンの場合は３００〜５００℃の範囲、カーボンナノチューブの場合は４００〜８００℃の範囲、ダイヤモンドの場合は６００〜８００℃の範囲である。また、原料及び酸素元素含有化合物、反応温度、反応圧力、反応分圧、合成するナノカーボン材料等によって、最適条件が異なるが、上記原料と酸素元素含有化合物の混合物中の炭素元素に対する酸素元素の比率が０．１〜１．０の範囲に、もしくは原料に対する酸素元素含有化合物のモル比が０．１から６．０の範囲にあることが好ましい。
【００４３】
上記製造方法によりナノカーボン材料を調製する反応装置の一例としては、図２に示されるように、圧力計２０６、加熱装置２０３、安全弁２０７を備えた高温高圧反応容器２００が用いられる。図２において、２０１は原料と酸素元素含有化合物または加えて二酸化炭素等の反応促進媒体、２０２は触媒もしくは核形成物質、２０４は原料貯蔵容器、２０５は酸素元素含有化合物貯蔵容器、２０６は、２０７は、２０８は排気装置、２０９は原料あるいは酸素元素含有化合物の供給管、２１０は排気管、２１１は攪拌機構である。
【００４４】
少なくとも高温高圧反応容器２００の内壁の材質は、好ましくはステンレス、より好ましくは、Ｎｉ−Ｍｏ合金から成っているのが耐食性の点で望ましい。また、原料からの収率を上げるために、未反応原料を含む反応生成物から所望の反応生成物（ナノカーボン材料）を分離し、再び、原料を反応容器に戻す循環型の反応装置（不図示）を用いるのがより好ましい。
【００４５】
本発明では、排気装置２０８により触媒もしくは核形成物質２０２を入れた高温高圧反応容器２００内を排気して脱酸素を行い、原料２０１と酸素元素含有化合物をそれぞれ原料貯蔵容器２０４と酸素含有化合物貯蔵容器２０５から、高温高圧反応容器に所定量供給し、また、必要に応じて反応促進媒体貯蔵容器（不図示）から所定量の二酸化炭素等の反応促進媒体を供給する。その後、原料もしくは酸素元素含有化合物または反応促進媒体が超臨界流体となる臨界点を超える所定温度、所定圧力まで、加熱装置２０３で加熱し、必要に応じて触媒もしくは核形成物質の存在下で、攪拌機構２１１を機能させて原料２０１と触媒もしくは核形成物質２０２を均一に接触させ、原料からナノカーボン材料を合成する。
【００４６】
図３は、本発明の方法にて連続的にナノカーボン材料の製造するための製造装置の概略を示した一例である。図３において、３００は高温高圧反応器、３０１は生成物（生成したナノカーボン材料）分離器、３０２は原料回収精製塔、３０３はコンプレッサー、３０４は供給原料、３０５は供給触媒もしくは核形成物質、３０６は供給される酸素元素含有化合物、３０７は生成物のナノカーボン材料、３０８は反応容器内のガス組成のモニターである。本発明では、先ず、十分に脱酸素された高温高圧反応器３００に、原料３０４、酸素元素含有化合物３０６、触媒もしくは核形成物質３０５、必要に応じて二酸化炭素等の反応促進媒体（不図示）を供給し、原料もしくは酸素元素含有化合物または反応促進媒体が超臨界流体を形成する温度と圧力下で所定時間反応させた後、生成物と未反応原料との混合物を生成物分離器に送り、生成物のナノカーボン材料３０７と未反応の原料３０４とを分離し、未反応の原料は原料回収精製塔３０２に送り、回収された未反応原料３０４はコンプレッサー３０３を通して、高温高圧反応器３００に送られる。引き続き、反応器内のガス組成をモニター３０８で監視し、原料３０４、触媒もしくは核形成物質３０５、酸素元素含有化合物３０６、必要に応じて二酸化炭素等の反応促進媒体の供給を調整し、所定条件で反応させて、ナノカーボン材料が製造される。
【００４７】
〔原料としての炭化水素〕
上記本発明において、好ましい具体的な鎖状飽和炭化水素としては、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペンタデカン、ヘキサデカン、ヘプタデカン、オクタデカン、ノナデカン、エイコサン、イソブタン、イソペンタン、ジメチルブタン、トリメチルペンタン、メチルオクタン、メチルヘプタン、及びメチルペンタンから選ばれる一種又は二種以上の混合物であることが好ましい。これらの中でも、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペンタデカン、ヘキサデカン、ヘプタデカン、オクタデカン、ノナデカンは液状あるいは固体であり、取り扱いが容易である点でより好ましい原料である。安価という点ではｎ−ヘキサンが好ましい原料である。
【００４８】
前記好ましい具体的な鎖状不飽和炭化水素としては、エチレン、プロペン、ブテン、ペンテン、ヘキセン、ヘプテン、オクテン、ノネン、デセン、メチルプロペン、シクロヘキセン、シクロペンテン、ブタジエン、プロパジエン、アセチレン、プロピンが挙げられる。
【００４９】
前記好ましい具体的な鎖状不飽和炭化水素としては、安価でナノカーボン材料への転化率が高いことから、プロピレン、エチレン、ブタジエンが挙げられる。前記好ましい具体的な環状飽和炭化水素としては、シクロプロパン、シクロブタン、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン、シクロノナン、シクロデカン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロペンタン、ジメチルシクロペンタン、デカリンが挙げられる。
【００５０】
メタンを主成分とし、エタン，プロパン，ブタン，窒素，炭酸ガス，硫黄化合物を含む天然ガス（Ｌｉｑｕｅｆｉｅｄ  ｎａｔｕｒａｌ  ｇａｓ）、あるいはプロパン，プロピレン，ノルマルブタン，イソブタン，ブチレン，イソブチレンなどの混合物である液化石油ガス（Ｌｉｑｕｅｆｉｅｄ  ｐｅｔｒｏｌｅｕｍ  ｇａｓ）もナノカーボン材料の原料として、安価である点で好ましい材料である。
【００５１】
〔原料としてのアルコール〕
前記好ましい具体的なアルコールとしては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、ヘプタノール、オクタノール、ノナノール、デカノール、ウンデカノール、ドデカノール、トリデカノール、テトラデカノール、ペンタデカノール、ヘキサデカノール、ヘプタデカノール、オクタデカノール、イソブチルアルコール、ｔ−ブタノール、メチルブタノール、シクロヘキサノール、アリルアルコールが挙げられる。上記アルコールは、含有酸素に対する含有炭素の原子比率が２．０以上であることが収量が高い点でより好ましい。安価でナノカーボン材料への転化率が高いアルコールの例としてはブタノールが挙げられる。
【００５２】
〔原料としての芳香族化合物〕
前記好ましい芳香族化合物のより具体例としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、ベンゼン、エチルベンゼン、ブチルベンゼン、トルエン、キシレン、スチレン、ビフェニル、フェニルアセチレン、フェノール、エチルフェノール、ピッチ、ピッチコークス、石油コークス、コールタール、フルオランテン、ピレン、クリセン、フェナントレン、アントラセン、ナフタレン、メチルナフタレン、フルオレン、ビフェニル及びアセナフテンが挙げられる。これらの中でも、ベンゼン、トルエン、ナフタレン、メチルナフタレン、ピッチ、ピッチコークス、石油コークス、コールタールは安価である点でより好ましい原料である。ピッチ、ピッチコークス、石油コークス、コールタールは混合物であるため、高純度のナノカーボン材料を得るには好ましくない。
【００５３】
〔原料としてのエーテル〕
前記好ましいエーテルとしては、脂肪族エーテル、脂肪族不飽和エーテル、芳香族エーテル、環状エーテルが挙げられ、具体的なエーテルとしては、ジメチルエーテル、ジエチルエーテル、ジｎ−プロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジｎ−ブチルエーテル、ジ−ｔ−ブチルエーテル、メチルエチルエーテル、エチル−ｎ−ブチルエーテル、メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、ジビニルエーテル、ジアリルエーテル、アニソール、フェネトール、ジフェニルエーテル、ジα−ナフチルエーテル、酸化エチレン、酸化プロピレン、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサンなどが挙げられる。
【００５４】
ナノカーボン材料への転換率が高い点で、上記各種原料のうち、不飽和炭化水素、特に鎖状不飽和炭化水素が最も好ましい。不飽和炭化水素はもともと重合反応が進行しやすく、ナノカーボンの炭素炭素結合を形成しやすいと推察される。取扱が容易、生成物と未反応原料との分離が容易であるという点では、上記原料の形態は、常温常圧下で液体あるいは気体であることがより好ましい。
【００５５】
上記原料は、二種類以上を組み合わせて使用することも好ましい。
【００５６】
上記原料としては、３００〜８００℃の温度範囲で、かつ大気圧より高い２ＭＰａ〜６０Ｐａの圧力下で超臨界流体又は亜臨界流体となるものが好ましい。
【００５７】
〔酸素元素含有化合物〕
本発明のナノカーボンの製造方法に用いる酸素元素含有化合物の具体例としては、メタノール、エタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水、過酸化水素、酸素、亜酸化窒素が挙げられる。より好ましくは、メタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒドである。
【００５８】
上記酸素元素含有化合物は、本発明の製造方法の高温高圧反応中に、酸素、水素、ハイドロオキサイド、一酸化炭素等を生成し、反応で生成される弱い炭素−炭素結合を切断し、強い炭素−炭素結合を生き残らせて、結果的にフラーレン、カーボンナノチューブ、ダイヤモンド等のナノカーボン材料を選択的に成長させる役割を担う。また、メタノール、エタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒドは、ナノカーボン材料の一部を形成する原料にもなり得る。
【００５９】
〔反応促進媒体〕
本発明のナノカーボンの製造方法に用いる反応促進媒体の具体例としては、ヘリウム、アルゴン、窒素、水素、一酸化炭素、二酸化炭素、が挙げられる。上記反応促進媒体は、反応系内の温度を均一にする、前記原料の分子同士の衝突確率を低下させて副反応が起きるのを抑制する、原料を均一に分指させて反応を均一に起こさせる、等の役割を担う。また、一酸化炭素、二酸化炭素は、ナノカーボン材料の原料の一部にもなり得、平衡反応をナノカーボン材料の析出反応の方向にずらす役割も担う。水素ガスは、その還元作用とエッチング作用から、触媒表面を活性な状態に保ち、構造的に不安定な非晶質カーボン等の生成の副反応を抑制すると共に、ナノカーボンの強固な安定な結合のみの成長を促す効果があると推察される。水素ガスは、上記原料の分解反応からも生成される。
【００６０】
〔臨界温度と臨界圧力〕
上記飽和炭化水素の例としてのヘキサンの超臨界流体となる臨界温度と臨界圧力は２３４．４℃、２．９７ＭＰａである。
【００６１】
上記不飽和炭化水素の例としてのエチレンの臨界温度と臨界圧力は９．６５℃、５．０７６ＭＰａで、プロピレンの臨界温度と臨界圧力は９２℃、４．６２ＭＰａで、アセチレンの臨界温度と臨界圧力は３５．３３℃、６．１３９ＭＰａである。
【００６２】
アルコールの例として１−ブタノールの臨界温度と臨界圧力は２８９．９３℃、４．４１３ＭＰａである。
【００６３】
酸素元素含有化合物の代表例としてメタノールの臨界温度と臨界圧力は、２３９．５８℃、８．１０ＭＰａである。
【００６４】
反応促進媒体の代表例として二酸化炭素の臨界温度と臨界圧力は、３１．２℃、７．３８ＭＰａである。
【００６５】
また、本発明において、超臨界流体とは、気体と液体が共存できる限界の温度・圧力（臨界点）を超えた温度・圧力状態にある、液体の性質と気体の性質とを併せ持った流体をいい、亜臨界流体とは、超臨界流体に準ずる流体で、具体的には、上記臨界点における温度（臨界温度）と圧力（臨界圧力）をＴ０（絶対温度）とＰ０（ＭＰａ）としたときに、下記式を満たす温度Ｔ（絶対温度）と圧力Ｐ（ＭＰａ）で臨界点を超えない状態にある流体をいう。
【００６６】
Ｔ≧０．８Ｔ０
Ｐ≧０．８Ｐ０
【００６７】
本発明における前記原料と超臨界流体又は亜臨界流体との共存下での反応は、原料と酸素元素含有化合物、必要に応じて触媒あるいは核形成物質、さらに必要に応じて反応促進媒体を耐圧密閉容器に入れ、超臨界流体又は亜臨界流体が形成される温度と圧力に加熱・加圧し、超臨界流体又は亜臨界流体を形成し、耐圧密閉容器内で原料と触媒と超臨界流体又は亜臨界流体を共存状態におくことで行うことができる。もちろん、このとき前記原料自体及び又は酸素元素含有化合物が超臨界流体又は亜臨界流体を形成してもよく、その時は、原料、酸素元素含有化合物以外に超臨界流体又は亜臨界流体を形成する物質を反応中に共存させることは必ずしも必要ではない。上記加熱温度と加圧圧力は、超臨界流体又は亜臨界流体を形成する物質によっても相違するが、反応の容易さ、使用装置のコスト抑制と、運転エネルギーの節減などの観点から、３００℃〜８００℃の温度で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力の範囲で行うことが好ましい。ナノカーボン材料の収量、装置コスト、装置運転コストの観点からは、３００℃〜８００℃の温度で、２ＭＰａ〜４０ＭＰａの圧力の範囲で行うことが、ナノカーボン材料の収量、装置コスト、装置運転コストの観点からより好ましい。上記ナノカーボン材料の原料は反応条件下で超臨界流体状態になっていると合成反応の反応速度が高まる点で好ましい。本発明での超臨界流体又は亜臨界流体を形成する物質は、３００〜８００℃の温度範囲、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力で超臨界流体となる物質であることが好ましい。
【００６８】
〔フラーレンの合成〕
炭素元素のみから成るフラーレンは、炭素原子の五員環と六員環から成る三次元の閉じた球形分子である。フラーレンの、炭素原子から成る多面体の頂点の数をＶ、辺の数をＥ、面の数をＦとすると、Ｅｕｌｅｒの定理のＥ＋２＝Ｖ＋Ｆと、さらに２Ｅ＝３Ｖの関係が成り立つ。上記フラーレンとしては、炭素原子６０個のＣ６０、炭素原子７０個のＣ７０、炭素原子の７６個のＣ７６、炭素原子７８個のＣ７８、炭素原子８２個のＣ８２、炭素原子８４個のＣ８４、炭素原子の８６個のＣ８６、炭素原子８８個のＣ８８、炭素原子９０個のＣ９０、炭素原子９４個のＣ９４、炭素原子９６個のＣ９６等が挙げられる。
【００６９】
本発明でのフラーレンの合成は、鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテルからなる群から選択される一種類以上の炭素元素と水素元素からなる化合物を原料に、メタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水、過酸化水素、酸素、亜酸化窒素からなる群から選択される酸素元素含有物質を一種類以上混合し、３００〜６００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で超臨界流体又は亜臨界流体と共存させることによって行なうことができる。より好ましい上記反応温度と圧力は、３００〜５００℃、２ＭＰａ〜４０ＭＰａである。原料と酸素元素含有化合物の混合物中の炭素元素に対する酸素元素の比率が０．１〜１．０の範囲に、もしくは原料に対する酸素元素含有化合物のモル比を０．１から６．０の範囲に設定することで、原料からの脱水素反応を促進し、フラーレンを形成するとともに、副反応で形成される非晶質炭素をエッチング除去し、純度よくフラーレンを形成できる。
【００７０】
フラーレンの分離、分析
フラーレンの抽出は、溶媒に本発明による反応生成物を分散させ、溶解成分を抽出した後の固形分の分離は、濾過又は遠心分離によって行うことができる。また、分離後のさらなる溶媒の除去は、加熱又は減圧下で残留する溶媒を蒸発除去することで行うことができる。この分離精製には、高速液体クロマトグラフィーを用いることも有用である。上記フラーレンの溶媒としては、トルエン、キシレン、ベンゼン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、１，２，４−トリクロロベンゼン、１−メチルナフタレン、１−クロロナフタレン、テトラリン、アニソール、１，１，２，２−テトラクロロエタン、デカリン、２−メチルチオフェン、二硫化炭素及びシクロヘキセンから選択される少なくとも一種類以上の無極性溶媒を用いることが好ましい。
【００７１】
フラーレンは、レーザー蒸発クラスター分子線・質量分析（Ｌａｓｅｒ−ｖａｐｏｒｉｚａｔｉｏｎ  ｃｌｕｓｔｅｒ  ｂｅａｍ  ｍａｓｓ  ｓｐｅｃｔｒｕｍ）、赤外吸収スペクトル分析、可視紫外吸収スペクトル分析、高速液体クロマトグラフィー分析、ラマン散乱スペクトル分析、１３Ｃ−ＮＭＲスペクトル分析、電子線回折分析、Ｘ線回折分析、中性子線回折分析などの分析によって同定することができる。
【００７２】
〔カーボンナノチューブの合成〕
本発明でのカーボンナノチューブの合成は、鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテルからなる群から選択される一種類以上の炭素元素と水素元素からなる化合物に、メタノール、エタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水、過酸化水素、酸素、亜酸化窒素からなる群から選択される酸素元素含有物質を一種類以上混合し、遷移金属、もしくは遷移金属化合物の共存下、３００〜８００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で超臨界流体又は亜臨界流体と共存させることによって、行なうことができる。より好ましい上記反応温度と圧力は、４００〜８００℃、２ＭＰａ〜４０ＭＰａである。上記反応条件下で、遷移金属元素表面で、グラフェンシート（グラファイトの単一層）が形成され、グラフェンシートが巻かれてできるチューブ構造が成長する。また、同時にチューブの遷移軸に垂直な方向にグラフェンシートの多層化が起こり、多層チューブ構造にも成長すると推察される。ここで、グラフェンシート内の炭素−炭素結合より、多層構造のグラフェンシート間の結合の方が弱いために、原料と酸素元素含有化合物の混合物中の炭素元素に対する酸素元素の比率が０．１〜１．０の範囲に、もしくは原料に対する酸素元素含有化合物のモル比を０．１から６．０の範囲に設定することで、多層構造の成長を抑制し、チューブの遷移軸方向（長手方向）の成長を進行させることができる。これにより、多層構造の成長を抑える条件を設定することで、単層のカーボンナノチューブを形成することができる。上記単層のカーボンナノチューブの形成条件は、原料の種類、酸素元素含有化合物の種類、反応促進媒体の種類、それぞれの分圧、全反応圧力、反応温度、触媒の種類等によって、最適条件は異なる。
【００７３】
カーボンナノチューブ材は、その用途によっては、ナノカーボン材料を構成するユニット内部もしくは先端部に、前記触媒由来の残留物を有しているのが好ましい場合もある。このような場合、酸（例えば硝酸、塩酸、硫酸、フッ酸など）又はアルカリ（例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなど）による精製はことさら施す必要はない。しかし、前記触媒由来の遷移金属、遷移金属化合物、の残留が悪影響を及ぼす恐れのある用途に用いる場合には上記精製工程を施すことが好ましい。
【００７４】
カーボンナノチューブの合成のための触媒
上記カーボンナノチューブの合成反応では、遷移金属や遷移金属化合物を基点に原料からナノカーボン材料が形成され、成長する。これは、遷移金属や遷移金属化合物が触媒的な作用をなすためと推測される。
【００７５】
カーボンナノチューブの合成で、遷移金属触媒を使用する場合、遷移金属表面は空気中での取り扱い等、反応容器に含まれる酸素等でその表面に遷移金属酸化物が形成され易いので、反応中に発生する水素または一酸化炭素で還元されてフレッシュな遷移金属表面が露出することが必要で、酸化ニッケル、酸化コバルト、酸化鉄の還元開始温度が、２００℃前後からであるので、３００℃以上の温度でナノカーボン合成の反応を行うのが好ましい。
【００７６】
合成されるナノカーボン材料のサイズが前記触媒粒子のサイズに大きく依存し、均一なナノカーボン材料を得るためには、前記触媒粒子を微細化すると共に、均一に前記原料と接触させる必要がある。遷移金属元素を比表面積の大きいシリカ，ゼオライト，アルミナ，チタニア（酸化チタン），マグネシア《酸化マグネシウム》のような酸化物あるいは活性炭に担持して微細化して、上記触媒として使用してもよい。
【００７７】
上記触媒は、前記原料と酸素元素含有化合物を超臨界流体又は亜臨界流体を形成する物質と共に耐圧密閉容器に入れられ、前記原料と酸素元素含有化合物、超臨界流体又は亜臨界流体が触媒と接触する状態におかれるが、この触媒の遷移金属や遷移金属化合物は、外添したものだけではなく、前記原料中に当初から含まれているものや、原料と超臨界流体又は亜臨界流体との接触によって生成されたものであっても良い。また、反応容器を構成する材料が触媒となってもよい。前記触媒には複数の種類の触媒を使用してもよい。上記担持される遷移金属元素は二種類以上であってもよい。
【００７８】
上記遷移金属、遷移金属化合物を構成する遷移金属元素としては、Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ａｇ，Ｔａ，Ｗ，Ｐｔ，Ａｕが挙げられる。中でも、Ｎｉ，Ｃｏ，Ｆｅ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｗ，Ｍｏ，Ｔｉ，Ｖ，Ｍｎ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ａｇがより好ましい元素で、Ｎｉ，Ｃｏ，Ｆｅ，Ｃｒ，Ｗ，Ｍｏ，Ｔｉが最も好ましい元素である。
【００７９】
上記遷移金属化合物としては、遷移金属酸化物、遷移金属水酸化物、有機遷移金属化合物、遷移金属硫化物、遷移金属炭化物、遷移金属窒化物、遷移金属の塩、であることが好ましい。中でも、有機遷移金属化合物は容易に分解して比表面積の大きな微小遷移金属粉末を形成しやすく、高価であることを除けば触媒として好ましい。上記遷移金属酸化物、遷移金属水酸化物、あるいは遷移金属塩は、高温高圧下の前記原料の分解反応で発生する水素により還元され、微小遷移金属粉末に変化することによって、触媒として機能する。上記遷移金属の塩は、本発明の製造方法の反応で、還元あるいは酸化して、遷移金属または遷移金属酸化物と成るので、酸で溶解して遷移金属の塩として回収できるので、触媒として再利用できるので、好ましい。ただし、上記遷移金属の塩として、硝酸塩、硫酸塩、酸素を発生しやすいので、単独で用いるのは好ましくない。
【００８０】
上記有機遷移金属化合物の好ましい例としては、フェロセン、ニッケロセン、ギ酸ニッケル、シュウ酸ニッケル、ナフテン酸ニッケル、ニッケルフタロシアニン、コバルトフタロシアニン、銅フタロシアニン、ニッケルアセチルアセトナート、コバルトアセチルアセトナート、鉄アセチルアセトナート、銅アセチルアセトナート、ニッケルカルボニル、コバルトカルボニル、鉄カルボニル、ビス（トリフェニルホスフィン）ジカルボニルニッケル、ジブロモビス（トリフェニルホスフィン）ニッケル及びクロロトリス（トリフェニルホスフィン）ロジウムが挙げられる。なお、上記有機遷移金属化合物に含まれる炭素元素は、合成反応中に使用され生成されるナノカーボン材料の一部に転換される場合もある。
【００８１】
カーボンナノチューブの分析
上記カーボンナノチューブ材の形状は走査型電子顕微鏡で、微細構造は透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察で確認することができる。高分解能の透過電子顕微鏡観察で、単層のカーボンナノチューブであるか、多層のカーボンナノチューブであるかも確認することができる。
【００８２】
ナノカーボン材料に含まれる非晶質分の含まれる割合は、Ｘ線回折、レーザーラマン分析の分析手法で解析できる。カーボンナノチューブのラマン散乱スペクトルでは、１５２８〜１６０６ｃｍ−１付近に、さらに１３５３ｃｍ−１付近にもラマン線が観察される。Ｘ線回折ピークは、純度が高ければシャープで、非晶質が多く含まれればブロードとなる。また、非晶質炭素が多く含まれていれば、ラマンスペクトルの１３５３ｃｍ−１付近のピークが大きく観察される。したがって、ナノカーボン材料の純度は、主に走査顕微鏡による形状確認により評価され、その他に、ＴＥＭ観察、Ｘ線回折ピークの半価幅、ラマンスペクトルの１５２８〜１６０６ｃｍ−１付近のピーク強度に対する１３５３ｃｍ−１付近のピーク強度比などで評価することができる。
【００８３】
〔ダイヤモンドの合成〕
本発明のダイヤモンドの合成は、鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテルからなる群から選択される一種類以上の炭素元素と水素元素からなる化合物に、メタノール、エタノール、アセトン、アセトアルデヒド、エチレンオキサイド、エチレングリコール、ホルムアルデヒド、水過酸化水素、酸素、亜酸化窒素からなる群から選択される、酸素元素含有物質を一種類以上混合し、ケイ素、炭化ケイ素、立方晶窒化ホウ素、ゲルマニウム、閃亜鉛鉱構造化合物、黄銅鉱構造化合物、ウルツ鉱構造化合物、モリブデン、タングステン、銅からなる群から選択される物質の共存下、４００〜８００℃の温度範囲で、かつ２ＭＰａ〜６０ＭＰａの圧力下で超臨界流体又は亜臨界流体と共存させることによって行なうことができる。より好ましい上記反応温度と圧力は、６００〜８００℃、２ＭＰａ〜４０ＭＰａである。上記温度及び圧力条件下で、原料と酸素元素含有化合物の混合物中の炭素元素に対する酸素元素の比率が０．１〜１．０の範囲に、もしくは原料に対する酸素元素含有化合物のモル比を０．１から６．０の範囲に設定することで、原料からの脱水素反応を促進し、ダイヤモンドを形成するとともに、副反応で形成される非晶質炭素をエッチング除去し、純度よくダイヤモンドを形成できる。
【００８４】
核形成物質
本発明のダイヤモンドを合成において、ダイヤモンド成長の核とする物質としては、ダイヤモンド構造もしくはダイヤモンド類似構造またはダイヤモンドと格子定数の近い物質が好ましい。本発明で使用できる上記ダイヤモンド構造を有する物質としては、ケイ素、炭化ケイ素、立方晶窒化ホウ素、ゲルマニウム、が好ましい。上記ダイヤモンド類似構造を有する物質としては、閃亜鉛鉱構造化合物、黄銅鉱構造化合物、ウルツ鉱構造化合物、が好ましい。閃亜鉛鉱構造化合物としては、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、ガリウム砒素（ＧａＳ）、が挙げられる。黄銅鉱構造化合物としては、ＣｕＧａＳ２が挙げられる。上記格子定数の近い物質としては、体心立方格子構造のモリブデン、タングステン、面心立方格子構造の銅が上げられる。上記核形成物質としては、シリコン、立方晶窒化ホウ素、がもっとも好ましい材料である。核形成物質の形状としては、板状、あるいは粉末状が使用できる。
【００８５】
ダイヤモンドの分析
ダイヤモンドの結晶形態は、走査電子顕微鏡で確認することができる。結晶性の評価は、電子線回折、Ｘ線回折、ラマン散乱スペクトル分析、Ｘ線光電子分光（ＸＰＳ）で行なうことができる。ダイヤモンドのラマンスペクトルは、１３３２ｃｍ−１にピークが観察される。
【００８６】
【実施例】
以下、実施例に基づき本発明を詳細に説明する。なお、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００８７】
実施例１
図２に示されたような反応装置を用いて、ナノカーボンの合成を行った。
【００８８】
まず、内容積９５ｍｌのハステロイ（Ｎｉ−Ｍｏ合金）製高温高圧反応容器内に、ニッケル金属を７０重量％担持したシリカ粉末を触媒として０．２ｇ挿入して、排気装置で反応容器内を真空に排気した後、反応容器内に原料としてのプロピレンを４．２ｇと酸素元素含有化合物としてのメタノールを３．２ｇ導入した。
【００８９】
次に、反応容器を８００℃まで加熱し、反応容器内の圧力を２５ＭＰａにして、３時間反応させた。ついで、室温まで冷却して、反応容器を開封し、固形分を取り出し乾燥して、反応生成物を得た。
【００９０】
前記ニッケル金属担持シリカ粉末中のニッケル担持量は７０重量％で、一次粒子径が０．０１〜０．０２μｍで二次粒径が約２０μｍで、比表面積は３０〜４０ｍ２／ｇであった。
【００９１】
実施例２
実施例１において、プロピレン４．２ｇを１−ペンテン４．２ｇ、メタノール３．２ｇをアセトン５．２ｇにそれぞれ替えて、実施例１と同様の操作で、カーボン材料の合成を試みた。
【００９２】
実施例３
実施例１において、プロピレン４．２ｇをｎ−へキサン４．２ｇ、メタノール３．２ｇをエチレンオキサイド４．７ｇにそれぞれ替えて、実施例１と同様の操作で、カーボン材料の合成を試みた。
【００９３】
上記操作で得られた実施例１〜３の反応生成物を、走査電子顕微鏡、透過電子顕微鏡で観察し、ラマンスペクトル測定を行った。
【００９４】
実施例１〜３の生成物の透過電子顕微鏡観察では、いずれにおいても単層のカーボンナノチューブが確認された。直径は、０．７ｎｍから１０ｎｍであった。原料の添加率はいずれも４０％を超える高いもので、高収率が得られることがわかった。
【００９５】
上記生成物のラマンスペクトル測定からは、１５９０ｃｍ−１付近のＧバンドと呼ばれるピークが観察されたが、１３５０ｃｍ−１付近のＤバンドと呼ばれるピークはほとんど観測されなかった。
【００９６】
実施例４
実施例１において、プロピレン４．２ｇをエタノール２．０ｇ、メタノール３．２ｇをメタノール１．４ｇにそれぞれ替えて、ドライアイスを１０ｇ加え、さらに反応温度を６００℃、圧力１９ＭＰａにして、その他は実施例１と同様の操作で、カーボン材料の合成を試みた。
【００９７】
得られた生成物は、透過電子顕微鏡観察の結果から、単層のカーボンナノチューブが観察されたが、実施例１、２、３と比較して得られた生成物の重量は低く、収率は低かった。
【００９８】
参考例１
実施例４において、メタノールを添加しないで、その他は実施例４と同様の操作にて、カーボン材料の合成反応を試みた。
【００９９】
得られた生成物は、透過電子顕微鏡観察の結果から、単層のカーボンナノチューブが観察された。
【０１００】
比較例１
ニッケル金属を７０重量％担持したシリカ粉末を０．２ｇ入れた石英ボートを石英ガラス製の反応容器内に挿入した後、系内を真空に排気しアルゴンガスを流し、６００℃に加熱した。ついで、エタノール２．０ｇにアルゴンガスをバブリングして、反応容器内に２００ｓｃｃｍの流量でエタノールを導入して、カーボン材料の合成反応を試みた。
【０１０１】
得られた生成物は、透過電子顕微鏡観察の結果から、単層のカーボンナノチューブが観察された。
【０１０２】
実施例４、参考例１、比較例１で得られたカーボン材料をラマンスペクトル測定によって比較したところ、１５９０ｃｍ−１付近のＧバンドと呼ばれるピーク強度に対する１３５０ｃｍ−１付近のＤバンドと呼ばれるピーク強度の比は、比較例１＞参考例１＞実施例４の順で大きかった。この結果から、実施例４で得られたカーボンの方がカーボンナノチューブの純度が高いことがわかった。
【０１０３】
また、収量は、メタノールがカーボン材料にすべて添加したと計算しても、実施例４の方が比較例１より、得られたカーボン材料の重量が大きく、収率が高いことがわかった。
【０１０４】
実施例５
図２に示されたような反応装置を用いて、ナノカーボンの合成を行った。
【０１０５】
内容積９５ｍｌのハステロイ（Ｎｉ−Ｍｏ合金）製耐圧容器に、４．６ｇのｎトルエン、１．６ｇのメタノール、を混合させた後、３０ｇのドライアイスを添加して密封し、室温下で気化した二酸化炭素を少し排出し圧力を調整し、温度５００℃、圧力２０ＭＰａで３時間反応させた。ついで、室温まで冷却して、反応容器を開封し、生成物を取り出し蒸発固化して、反応生成物を得た。
【０１０６】
ついで、得られた反応生成物をトルエンに溶解し、高速液体クロマトグラフィー分析した結果、フラーレンに相当するピーク位置の保持時間にピークを観察した。
【０１０７】
また、得られた反応生成物の赤外吸収スペクトル分析、可視紫外吸収スペクトル分析の結果、既存のフラーレンに基づく吸収ピークが観測された。
【０１０８】
実施例６
図２に示されたような反応装置を用いて、ナノカーボンの合成を行った。
【０１０９】
まず、内容積９５ｍｌのハステロイ（Ｎｉ−Ｍｏ合金）製高温高圧反応容器内に、ダイヤモンドペンで表面に傷をつけたシリコンウェハーを核形成物質として挿入して、排気装置で反応容器内を真空に排気した後、反応容器内に原料としての第３ブチルアルコールを２．０ｇと酸素元素含有化合物としてのメタノールを２．３ｇ導入した。次に、反応容器を８００℃まで加熱し、反応容器内の圧力を２５ＭＰａにして、３時間反応させた。ついで、室温まで冷却して、反応容器を開封し、固形分を取り出し乾燥して、反応生成物を得た。
【０１１０】
実施例７
実施例６において、第３ブチルアルコール２．０ｇをジイソプロピルエーテル４．０ｇ、メタノール２．３ｇを３５重量％過酸化水素水１．１ｇ、にそれぞれ替えて、実施例と同様の操作で、カーボン材料の合成を試みた。
【０１１１】
実施例８
実施例６において、第３ブチルアルコール２．０ｇをメタン２．０ｇ、メタノール２．３ｇを４．０ｇ、にそれぞれ替えて、実施例と同様の操作で、カーボン材料の合成を試みた。
【０１１２】
上記実施例６〜８での操作で得られた反応生成物を、走査電子顕微鏡による観察、ラマンスペクトル測定、電子線回折像観察、Ｘ線回折分析とを行った。
【０１１３】
ラマンスペクトル分析では、いずれの生成物も１３３２ｃｍ−１にピークが認められ、電子線回折パターンはダイヤモンドと同じパターンを示し、Ｘ線回折では２Θ＝４５．１°付近に主ピークを有しダイヤモンドの回折パターンと一致した。走査電子顕微鏡観察では、粒状物質が、シリコンウェハーの傷部分を中心に観察された。
【０１１４】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、カーボンナノチューブ、フラーレン、ダイヤモンド等のナノカーボン材料を、安価な原料から製造でき、大量合成のスケールアップも容易である製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のナノカーボン材料の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図２】本発明のナノカーボン材料の製造に用いる製造装置の概略図の一例である。
【図３】本発明のナノカーボン材料の製造に用いる連続式製造装置の概略図の一例である。
【符号の説明】
２００  高温高圧反応容器
２０１  原料と酸素含有化合物
２０２  触媒もしくは核形成物質
２０３  加熱装置
２０４  原料貯蔵容器
２０５  酸素含有化合物貯蔵容器
２０６  圧力計
２０７  安全弁
２０８  排気装置
２０９  原料あるいは酸素含有化合物の供給管
２１０  排気管
２１１  攪拌機構
３００  高温高圧反応器
３０１  生成物分離器
３０２  原料回収精製塔
３０３  コンプレッサー
３０４  原料
３０５  触媒あるいは核形成物質
３０６  酸素元素含有化合物
３０７  生成物（ナノカーボン）
３０８  ガス組成モニター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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