(57)【要約】【課題】センサーや吸着器など、特に吸着式ヒートポンプ及び吸着式デシカント空調システムに適用できる、比表面積が８００ｍ２／ｇ以上の、均一な大きさのメソ孔を有する耐水性多孔質シリカの製造方法を提供する。【解決手段】耐水性多孔質シリカは、シリカ前駆体を界面活性剤が存在する溶液中で縮重合させて有機無機複合体を形成させ、得られた有機無機複合体を濾別後、水で洗浄濾過し、ウエット状態のまま、飽和水蒸気雰囲気下で加熱処理して界面活性剤を抽出することによって製造されることを特徴とする。【選択図】　　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリカ前駆体を界面活性剤が存在する溶液中で縮重合させて有機無機複合体を形成させ、得られた有機無機複合体を濾別後、水で洗浄濾過し、ウエット状態のまま、飽和水蒸気雰囲気下で加熱処理して界面活性剤を抽出することを特徴とする耐水性多孔質シリカの製造方法。
【請求項２】
前記飽和水蒸気雰囲気下での加熱処理を、５０〜１２０℃の温度範囲で３０分〜７２時間行うことを特徴とする請求項１に記載の耐水性多孔質シリカの製造方法。
【請求項３】
前記シリカ前駆体が一般式　（ＺＯ）４−ｎＳｉＲｎ（式中、ｎ＝０〜２の整数、Ｚはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基を示し、Ｒはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、フェニル基、フェネチル基、フッ素原子、（ＣＨ２）ａ（ＣＦ２）ｂ（Ｏ（ＣＦ２）ｃ）ｄＸ（式中、Ｘはフッ素原子、ＯＣＦ３、ＯＣＦ（ＣＦ３）２、ＯＣ（ＣＦ３）３を示し、ａ＝０〜３の整数、ｂ＝０〜３の整数、ｃ＝１〜３の整数、ｄ＝０〜３の整数である。）、Ｃ６ＨｅＦ（５−ｅ）（式中、ｅ＝０〜４の整数である。））で表されるアルコキシシラン類の少なくとも１種であることを特徴とする請求項１または２に記載の耐水性多孔質シリカの製造方法。
【請求項４】
前記界面活性剤が一般式ＹＮＨ２（式中、ＹはＣｍＨ２ｍ＋１で示され、ｍ＝５〜２０までの整数）で表されるアルキルアミン類であることを特徴とする請求項１〜３に記載の耐水性多孔質シリカの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の製造方法によって製造された、比表面積が８００ｍ２／ｇ以上で均一な細孔を有することを特徴とする耐水性多孔質シリカ。
【請求項６】
請求項５に記載の耐水性多孔質シリカからなる吸着式ヒートポンプの吸着材。
【請求項７】
請求項５に記載の耐水性多孔質シリカからなる吸着式デシカント空調システムの固体吸湿剤。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、センサーや吸着器などに適用できる耐水性多孔質シリカの製造方法と用途に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、大気中の水分を吸着、又は脱離する吸着材としてはシリカゲル、活性炭などが知られている。しかしながらこれらの吸着材は、空隙が不均一であり、また細孔容積はあまり大きくないため、吸着脱離は比較的容易であるが、単位重量あたりの吸着量は多くできなかった。一方、ゼオライトは均一な細孔を持つ材料であるが、細孔が小さく、また細孔表面に酸点があるため、水の吸着熱が大きく、吸着した水分を脱離するためには高温、高熱量が必要であった。
【０００３】
ところで、近年、有機化合物と無機化合物の自己組織化を利用することで合成される均一なメソ細孔を持つ多孔質材料が、従来のゼオライト等の多孔質材料物に比べ細孔容積が大きく、表面積も大きいため注目されている。
【０００４】
この有機化合物と無機化合物の自己組織化を利用した均一なメソ細孔を持つ多孔質材料の製造方法としては、例えば国際公開第９１／１１３９０号明細書には、シリカゲルと界面活性剤などを密封した耐熱性容器内で水熱合成することにより製造する方法が開示されている。また、Ｂｕｌｌ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．Ｊｐ．誌，１９９０年，６３巻，９８８頁には、層状ケイ酸塩の一種であるカネマイトと界面活性剤とのイオン交換により製造する方法が記載されている。
【０００５】
この多孔質材料は、一般にはメソポーラスシリカと呼ばれ、ラメラ、ヘキサゴナル、キュービックなどの規則的配列をしているか、または規則的配列をしていなくても、均一なメソ細孔を持つことが特徴であり、大きな細孔容積を持っており、細孔壁表面には水酸基を多く持つため水の吸着量が多く、水の吸着剤としての用途展開や、分離吸着剤、センサー、触媒担体、燃料電池への応用が検討されている。
【０００６】
一方、シリカゲルは細孔の均一性が低く、このように高い比表面積、大きい細孔容積を持つものは知られていない。
【０００７】
そこで、このようなメソ細孔を持つ多孔質材料は、その特長を生かすために今までに多くの研究がなされその応用が試みられてきた。しかし、多くの場合、シリカ源にアルコキシシランを用いること、テンプレートとなる界面活性剤にはアルキル４級アンモニウム塩や、アルキルアミンなどを使用するため、製造コストは原料費だけでも非常に大きくなり、実用化の妨げとなっていた。特にテンプレートとなる界面活性剤は、最終生成物である多孔質材料には基本的に残らない。そのためコスト低減の方法として、この界面活性剤を回収リサイクルすることが原料費の軽減に大きく寄与する。
【０００８】
界面活性剤を回収リサイクルする方法としては、一般には溶媒抽出がよく知られている。たとえば、シリカ源を安価な珪酸ナトリウムなどとし、溶媒抽出によって界面活性剤を回収する安価な製造方法が開示されている（特許文献１、特許文献２参照）。また、界面活性剤を抽出によって除去後、焼成すると規則性が高くなることが知られている（非特許文献１参照）。
【０００９】
このように、界面活性剤の抽出は回収リサイクルの方法として有効であるが、シリカ骨格構造が不安定な状態で抽出を行うと骨格の崩壊を引き起こすため、水の吸着材などに利用する場合にはその安定性が問題となる。また、骨格強化のために有機無機複合体を形成後、熟成を行うこともなされてはいる（特許文献３参照）が、これだけでは骨格の形成を十分行うには至っていない。
【００１０】
【特許文献１】
特開平１０−３６１０９号公報
【特許文献２】
特開２００１−２６１３２６号公報
【特許文献３】
米国特許５７９５５５９号明細書（第８欄）
【非特許文献１】
Ｃｈｅｍ．Ｍａｔｅｒ．，１９９６，８，ｐ．２０６８−２０７９
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
規則的配列の均一なメソ細孔を持つ多孔質材料の製造において、現状では、界面活性剤の除去方法として有機無機複合体の焼成による方法が、骨格崩壊による表面積の低下が小さく望ましいが、この場合界面活性剤はリサイクルされないため、コスト的には不利となる。このため、界面活性剤をリサイクルでき、かつ製造された多孔質材料の比表面積が大きいまま維持され、水の吸着材などへの利用ができる耐水性多孔質シリカの製造方法の開発が望まれている。
【００１２】
本発明の目的は、センサーや吸着器など、特に吸着式ヒートポンプ及び吸着式デシカント空調システムに適用できる、比表面積が８００ｍ２／ｇ以上の、均一な大きさのメソ孔を有する耐水性多孔質シリカの製造方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、比表面積が大きく、均一な大きさのメソ孔を有する多孔質シリカを製造する際に、生成した有機無機複合体を水で洗浄濾過後、ウエット状態のままで加熱処理することにより、抽出操作においてシリカ骨格が崩壊せず、また得られる多孔質シリカは耐水性試験後も高表面積が維持されることを見出し、本発明に至った。
【００１４】
すなわち、本発明による耐水性多孔質シリカは、シリカ前駆体を界面活性剤が存在する溶液中で縮重合させて有機無機複合体を形成させ、得られた有機無機複合体を濾別後、水で洗浄濾過し、ウエット状態のまま、飽和水蒸気雰囲気下で加熱処理して界面活性剤を抽出することによって製造されることを特徴とする。
【００１５】
前記飽和水蒸気雰囲気下での加熱処理を、５０〜１２０℃の温度範囲で３０分〜７２時間行うことは、本発明の好ましい態様である。
【００１６】
前記シリカ前駆体が一般式　（ＺＯ）４−ｎＳｉＲｎ（式中、ｎ＝０〜２の整数、Ｚはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基を示し、Ｒはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、フェニル基、フェネチル基、フッ素原子、（ＣＨ２）ａ（ＣＦ２）ｂ（Ｏ（ＣＦ２）ｃ）ｄＸ（式中、Ｘはフッ素原子、ＯＣＦ３、ＯＣＦ（ＣＦ３）２、ＯＣ（ＣＦ３）３を示し、ａ＝０〜３の整数、ｂ＝０〜３の整数、ｃ＝１〜３の整数、ｄ＝０〜３の整数である。）、Ｃ６ＨｅＦ（５−ｅ）（式中、ｅ＝０〜４の整数である。））で表されるアルコキシシラン類の少なくとも１種であることは、本発明の好ましい態様である。
【００１７】
前記界面活性剤が一般式ＹＮＨ２（式中、ＹはＣｍＨ２ｍ＋１で示され、ｍ＝５〜２０までの整数）で表されるアルキルアミン類であることは、本発明の好ましい態様である。
【００１８】
本発明の製造方法により、比表面積が８００ｍ２／ｇ以上で均一な細孔を有する耐水性多孔質シリカが製造される。
【００１９】
本発明により、前記耐水性多孔質シリカからなる吸着式ヒートポンプの吸着材が提供される。
【００２０】
また、本発明により、前記耐水性多孔質シリカからなる吸着式デシカント空調システムの固体吸湿剤が提供される。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る耐水性多孔質シリカの製造方法について具体的に説明する。
【００２２】
本発明による耐水性多孔質シリカは水蒸気雰囲気下において構造崩壊しにくく、比表面積が８００ｍ２／ｇ以上の均一な細孔を有するものである。
【００２３】
この耐水性多孔質シリカを製造するためには、まず、界面活性剤と水の混合溶液を調製する。界面活性剤としては、例えば、一般式　ＹＮＨ２（式中、ＹはＣｍＨ２ｍ＋１で示され、ｍ＝５〜２０までの整数）で表されるアルキルアミン類、一般式　ＣｎＨ２ｎ＋１Ｎ（ＣＨ３）３Ｘ（式中、ｎは８〜２４の整数であり、Ｘはハロゲン化物イオン、ＨＳＯ４−または有機アニオンである。）で表されるアルキルアンモニウム塩、また、ポリエチレンオキシド構造、ポリプロピレンオキシド構造、ポリテトラメチレンオキシド構造、ポリブチレンオキシド構造などのポリアルキレンオキサイド構造を有する化合物が使用できる。これらの中では、特にアルキルアミン類の使用が好ましい。界面活性剤は１種単独、又は２種以上を用いることができる。
【００２４】
界面活性剤にアルキルアミン類を用いる場合、界面活性剤と水との混合比は、水を界面活性剤１モルに対して２０〜８０モル、好ましくは３５〜６０モルにする。この範囲内であれば、ミセルを形成するには十分であり、濃度が薄すぎるためにミセルが形成できないことはない。また、このときのｐＨは特に限定されないが、ｐＨは９から１２の範囲が好ましく、そのために例えば、塩酸などのｐＨ調整剤を添加してもかまわない。
【００２５】
アルキルアミン類以外の界面活性剤を使用する場合には、ミセルを形成できる濃度であれば水の添加量は特に制限はないが、シリカ前駆体の重縮合を促進させるための触媒（酸、又は塩基）を添加する必要がある。
【００２６】
界面活性剤を添加した後、界面活性剤と水が均一に混合するように攪拌を行う。攪拌は混合溶液が均一になれば良く、通常は１０分から１時間程度行う。この混合溶液の温度は、好ましくは１０〜５０℃、より好ましくは２０℃〜４０℃にしておく。次いでシリカ前駆体を攪拌している混合溶液中に添加する。
【００２７】
シリカ前駆体としては、縮重合できるもので有ればよく、例えば、一般式　（ＺＯ）４−ｎＳｉＲｎ（式中、ｎ＝０〜２の整数、Ｚはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基を示し、Ｒはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、フェニル基、フェネチル基、フッ素原子、（ＣＨ２）ａ（ＣＦ２）ｂ（Ｏ（ＣＦ２）ｃ）ｄＸ（式中、Ｘはフッ素原子、ＯＣＦ３、ＯＣＦ（ＣＦ３）２、ＯＣ（ＣＦ３）３を示し、ａ＝０〜３の整数、ｂ＝０〜３の整数、ｃ＝１〜３の整数、ｄ＝０〜３の整数である。）、Ｃ６ＨｅＦ（５−ｅ）（式中、ｅ＝０〜４の整数である。））で表されるアルコキシシラン類、珪酸ナトリウム溶液や、珪酸ナトリウム中のナトリウムをイオン交換などによって除去したポリ珪酸などが用いられる。これらの中では、アルコキシシラン類の少なくとも１種の使用が好ましく、特にテトラエトキシシランの使用が好ましい。
【００２８】
珪酸ナトリウム溶液をシリカ前駆体として用いる場合には、ｐＨを中性付近に調整する方が、有機無機複合体が形成しやすい。
【００２９】
また、シリカ前駆体には、最終的にシリカ含有率が８０〜１００重量％の範囲内にあれば、他の金属源を共存させることも可能である。
【００３０】
これらのシリカ前駆体は水の存在下で縮重合してシリカを形成するが、このとき、必要に応じて溶媒に希釈して使用することもできる。使用可能な溶媒としては、メタノール、エタノール、１−プロパノール等の一級アルコール、２−プロパノール、２−ブタノール等の二級アルコール、ターシャリーブチルアルコール等の三級アルコール、アセトン、アセトニトリル等が挙げられる。溶媒は１種単独でまたは２種以上の組み合わせで使用できる。シリカ前駆体にアルコキシシラン類を用いる場合には希釈することによって、シリカ前駆体の急激な縮重合反応を制御できるため、通常はこれらの溶媒をシリカ前駆体のケイ素１モルに対して５〜２０モルの範囲で使用する。
【００３１】
シリカ前駆体と界面活性剤との混合比は、例えば、界面活性剤がアルキルアミン類のときには、シリカ前駆体のケイ素１モルに対してアルキルアミン類が０．０５〜１．５モルの範囲であることが好ましい。この範囲内で有れば、アルキルアミン類が少ないためにミセルが形成できないと言うことはない。アルキルアミン類が多すぎることは、溶液が均一になれば特に問題はないが、処理量が増えることになるため好ましくはない。
【００３２】
アルキルアミン類の添加により水溶液のｐＨは高くなるが、ｐＨが９以上となるような添加量であれば、熟成後に均一な複合体が形成され、アルキルアミン類を除去すると均一な大きさのメソ孔を有する多孔質シリカを得ることができる。アルコキシシラン類をアルキルアミンと水の混合溶液中に添加することにより、縮重合反応が起こり、沈殿が生成する。このときのアルコキシシラン類の添加方法は特に制限されない。
【００３３】
沈殿生成後は構造形成を進めるため熟成工程をもうけることが望ましい。熟成は攪拌しながら、２５〜５０℃の温度範囲で、１８〜７２時間行う。この熟成により、シリカの縮重合体と界面活性剤との有機無機複合体がより規則的構造に形成されていく。ここで、この熟成を温度が高い状態で行うと、逆に規則的構造が崩壊していくため注意しなければならない。おそらく、有機無機複合体中の界面活性剤が抜け出すか、あるいは、縮重合が完全ではない不安定なシリカが、結合の再配列により安定な結合状態に転移するためと思われる。すなわち、この状態において形成された有機無機複合体の安定性は未だ不十分である。
【００３４】
熟成終了後、このようにして得られた有機無機複合体は濾過して水で十分に洗浄する。この水で十分に洗浄することが、後の加熱処理の際に重要となる。このようにして生成した有機無機複合体から界面活性剤を取り除くと、界面活性剤の部分が空孔となった多孔質シリカが形成される。
【００３５】
界面活性剤を取り除く方法としては、大きく分けて、焼成と抽出の２通りがある。
焼成の場合、界面活性剤が分解あるいは焼成によって除去できる条件であれば特に制限はなく、通常、３００℃〜８００℃で１〜１０時間、好ましくは３〜１０時間行われる。ただし、これでは、界面活性剤を焼失することになり、特にアルキルアミン類などの高価な界面活性剤を使用する場合にはコストの面からは望ましくない。
【００３６】
そのため、界面活性剤の回収再利用を目的として、もう一つの方法である溶媒による界面活性剤の抽出を行うことが望ましい。しかしながら、抽出を行うと得られた多孔質シリカの耐水性が低くなるため、水の吸着剤などへの使用には好ましくない。特に表面積が大きい場合この傾向は大きくなる。抽出操作によって、多孔質シリカの耐水性が低下しないようにできれば、界面活性剤はリサイクルできるのでコスト削減にもつながる。
【００３７】
本研究においては、この耐水性を向上させるため、鋭意検討を重ねた結果、濾別した有機無機複合物を水で洗浄濾過後、ウエットのまま加熱処理を行うと、耐水性が大きく改善され、表面積の減少を抑えることができることを見出した。一方、生成した有機無機複合物を濾別せずにそのままで加熱処理を行うと比表面積は急激に減少する。また、水洗浄後に濾過せずに水中で加熱処理を行っても耐水性向上の効果をみることはできなかった。
【００３８】
上記の操作により耐水性が改善する理由としては次のようなことが推察される。
すなわち、洗浄を水で行うことによって、界面活性剤の溶出は大幅に抑制され、アルキルアミンは複合体中に残留する。また、ｐＨは中性であるためシリカの溶出もなく複合体の構造が変化しない。そして、水洗濾過した有機無機複合体を、乾燥しないでウエットな状態で加熱処理を行うことにより、シリカの縮重合は進むが、複合体の内部の水は蒸発せず空隙ができるのを防ぐため、シリカ骨格は収縮を起こさない。その結果、耐水性のみが向上する。
【００３９】
この加熱処理は次のようにして行う。初めに、有機無機複合体の濾過洗浄を母液と水が置換できるまで十分に行う。必要以上の洗浄は無駄であり、通常は、有機無機複合体の体積の２〜５０倍、好ましくは５〜２０倍の水で行う。濾過は一般的な沈殿濾過や吸引濾過でよいが、１気圧を越える加圧濾過は水が切れすぎて、あとの加熱処理で十分な水蒸気雰囲気下が得られない場合があるため行わないことが好ましい。この濾過によって不要の水は取り除かれるので加熱処理の容器を小さくできる利点も有する。
【００４０】
加熱処理の容器は有機無機複合体がウエットの状態で行うために密閉できるものでなければならない。加熱温度は、好ましくは５０℃〜１２０℃、より好ましくは５０℃〜１００℃、さらに好ましくは７０℃〜１００℃の範囲であり、処理時間は、好ましくは３０分間〜７２時間、より好ましくは１時間〜１８時間、さらに好ましくは１時間〜８時間である。この範囲であれば、シリカの縮重合は起こらず、結合が強固になり、また、温度が高すぎる場合に見られる、ケイ素骨格が移行して構造が乱れるということもない。このときの雰囲気は飽和水蒸気存在下であればよく、特に窒素などで加圧することを行っても耐水性には影響しない。
【００４１】
この製造方法によってシリカはより安定に縮重合を進めることができるため、界面活性剤を抽出によって回収しても耐水性が低いシリカになることはない。
抽出の条件は特に制限はないが、一般的には、３０〜８０℃の温度のアルコール溶媒中に有機無機複合体を添加して１０分間〜３時間程度攪拌し、処理した液を濾過することによって行われる。また、ソックスレー抽出などを行っても良い。
【００４２】
得られた多孔質シリカをそのまま乾燥することによって耐水性の効果は得られるが、十分な耐水性を発揮させるためには、このあと焼成することが望ましい。通常、この焼成は３００℃〜８００℃で１〜１０時間行われる。
【００４３】
得られた多孔質シリカは比表面積（窒素吸着法）が８００ｍ２／ｇ以上の均一な細孔を持ち、耐水性が高く、吸着材としてこのまま使用しても優れた性能を発揮する。また、バインダーを添加して基材上に塗布して膜として使用することも可能である。ここで、均一な細孔を有するとは、Ｘ線回折法により規則的配列を示すピークが認められることをいう。
【００４４】
基材に塗布する際のバインダーとしては、有機系、無機系いずれも使用できる。たとえば、有機系では、酢酸ビニル、メチルセルロース、ポリビニルアルコール、エポキシ樹脂、ポリアルキレンオキサイド、ポリアルキレングルコールなどがあげられ、無機系では、シリカ系、アルミナ系のほかセメントなども使用できる。バインダーの添加量は特に制限はないが、十分に接着力があり、かつ吸着材の吸水量を下げない程度に添加するのがよく、通常は、多孔質シリカ１００重量部に対して０．５〜２０重量部である。
【００４５】
基材としては、一般的に用いられるものであれば何れのものも使用できる。例えば、銅やアルミニウムなどの金属、セラミックス、金属酸化物、ガラス、ステンレスなどの合金が挙げられる。また、基材の形状はハニカム状、円筒状、板状、皿状、あるいはフィンのついた複雑な形状等の何れであってもよい。
【００４６】
基材に塗布するための塗布液はバインダーを分散させた溶媒中に吸着材を添加混合するなどして調製し、基材に塗布する方法としては、例えば、吹き付け法、スピンコート法、キャスティング法、ディップコート法等の一般的な方法が挙げられる。
吸着膜の膜厚は特に限定されず、吸着性能が効果的に発揮できる厚さであれば良く、通常は１μｍ〜２ｍｍ程度である。
【００４７】
このようにして得られた多孔質シリカ膜は比表面積が８００ｍ２／ｇ以上の均一な細孔を持ち、吸着式ヒートポンプの吸着材や吸着式デシカント空調システムの吸着材として非常に優れた性能を有する。
【００４８】
【実施例】
以下、実施例を用いてさらに本発明を詳細に説明する。
（実施例１）
オクチルアミン（Ｃ８Ｈ１７ＮＨ２）１０．０ｇ、と水５０．６ｇを混合攪拌し、均一な溶液とした。この混合溶液を３５℃にした後、エタノール（Ｃ２Ｈ５ＯＨ）２３．４ｇに希釈したテトラエトキシシラン（Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４）１６．２ｇをこの混合溶液に流し込み、攪拌しながら３５℃で１８時間、熟成（縮重合）を行った。熟成後、有機無機複合体の白色沈殿が生成した溶液を吸引濾過器で濾過し、さらに沈殿物を水で洗浄した。得られたウエット状態の有機無機複合体を乾燥しないようにして密閉容器に移し替えた後、１００℃で３時間加熱処理を行った。処理後、有機無機複合体を密閉容器から取り出し、４５℃の温度で、有機無機複合体１ｇに対して２０ｍｌの割合でエタノールを添加し３０分間攪拌（抽出）し濾過した。この操作を２回繰り返したのち、得られた多孔質シリカを６００℃、３時間焼成を行った。焼成後の粉体はＸ線回折法により規則的配列を表すピークが存在した。この多孔質シリカの比表面積を窒素吸着法により測定した結果、１２５０ｍ２／ｇであった。次いで、この多孔質シリカを８０℃の飽和水蒸気中で５時間保持し加湿試験を行った。加湿試験後の比表面積を測定したところ、１１４０ｍ２／ｇであり、比表面積の減少は９％であった。
【００４９】
（比較例１）
実施例１においてウエット状態での加熱処理を行わなかった以外は同様の操作を行った。得られた多孔質シリカの比表面積は１２３５ｍ２／ｇであった。８０℃の飽和水蒸気中で５時間の加湿試験後の比表面積は１０４０ｍ２／ｇであり、比表面積の減少は１６％であった。
【００５０】
（比較例２）
実施例１においてウエット状態での加熱処理及びエタノールによる抽出を行わなわない以外は同様な操作を行い、６００℃、３時間焼成を行った。得られた多孔質シリカの比表面積は１１８０ｍ２／ｇであった。８０℃の飽和水蒸気中で５時間の加湿試験後の比表面積は１０３０ｍ２／ｇであり、比表面積の減少は１３％であった。
【００５１】
（実施例２）
実施例１と同様の操作で製造された多孔質シリカ２．０ｇを、メチルセルロース０．１ｇを溶解させた水４４．０ｇ中に分散させた。この攪拌したスラリー状の溶液の中にハニカム状に形成されたガラス繊維からなる担体を浸した。２分間後、溶液から引き出し、８０℃で乾燥した。この操作を２回行ったところ、多孔質シリカの担持量は担体（１００重量％）に対して９５重量％となった。担持後の多孔質シリカの比表面積を測定した結果１２３０ｍ２／ｇあった。この担持後の多孔質シリカを８０℃の飽和水蒸気中で５時間の加湿試験をおこなった。試験後の比表面積は１１２０ｍ２／ｇあり、比表面積の減少は９％であった。
【００５２】
【発明の効果】
本発明により、センサーや吸着器など、特に吸着式ヒートポンプ、及び吸着式デシカント空調システムに好適に適用できる耐水性多孔質シリカを提供することができる。