(57)【要約】【課題】共振器長を短くすることができ、安定したレーザ共振器を構成することが可能な光共振器、並びに安定したレーザ共振器を有し、小型でかつ簡便な構成のレーザ発振器を提供する。【解決手段】第１の基板及び第２の基板を対向して配置し、第１の基板の平面とされた主面に反射鏡を設け、第２の基板の主面に、凹面部及びその周囲の平面部を形成し、この凹面部に反射鏡を設け、第１の基板の主面と第２の基板の平面部とが接合可能な構成とされている光共振器を構成する。少なくとも固体レーザ媒体１５と基板１２とを接合し、固体レーザ媒体１５の主面側に第１の反射鏡１３を設け、基板１２の主面に、凹面部１２Ａ及びその周囲に平面部１２Ｂを形成し、凹面部１２Ａに第２の反射鏡１４を設け、第１の反射鏡１３と第２の反射鏡１４とによりレーザ共振器を構成してレーザ発振器１０を構成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板及び第２の基板が対向して配置され、
前記第１の基板は、前記第２の基板側の主面が平面とされ、その表面に反射鏡が形成され、
前記第２の基板は、前記第１の基板側の主面において、凹面部とその周囲に平面部が形成され、少なくとも前記凹面部の表面に反射鏡が形成され、
前記第１の基板の前記主面と、前記第２の基板の前記平面部とが、接合可能な構成とされている
ことを特徴とする光共振器。
【請求項２】
少なくとも固体レーザ媒体と基板とが接合されて成り、
前記固体レーザ媒体の前記基板とは反対の主面側に、第１の反射鏡が設けられ、
前記基板は、前記固体レーザ媒体側の主面において、凹面部とその周囲に平面部が形成され、前記凹面部の表面に第２の反射鏡が設けられ、
前記第１の反射鏡と前記第２の反射鏡とにより、レーザ共振器が構成されている
ことを特徴とするレーザ発振器。
【請求項３】
前記固体レーザ媒体の前記主面の表面に前記第１の反射鏡が設けられていることを特徴とする請求項２に記載のレーザ発振器。
【請求項４】
前記固体レーザ媒体の前記主面に、前記第１の反射鏡が表面に形成された基板が接合されていることを特徴とする請求項２に記載のレーザ発振器。
【請求項５】
前記レーザ共振器のフリースペクトラルレンジの大きさΔλＦＳＲが、前記固体レーザ媒体の発光スペクトルの半値半幅Δλよりも大きい構成とされていることを特徴とする請求項２記載のレーザ発振器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光共振器、及び固体レーザ媒体及びレーザ共振器を備えたレーザ発振器に係わり、特に、マイクロチップレーザに適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、固体レーザは、半導体レーザによる励起方法の発展により、従来の放電管励起に比べ、小型化・高効率化・長寿命化が進んできている。
【０００３】
特に、固体レーザ媒体を薄く形成したマイクロチップレーザは、低次の縦モード発振が得られ、かつ良好なビーム形状が得られる小型のレーザ発振器として、開発が進んできている（例えば非特許文献１参照）。
【０００４】
このようなマイクロチップレーザのレーザ共振器は、従来は固定レーザ媒体の結晶を薄く研磨加工して、その両側の主面を鏡面とすることにより、平行平面鏡型のレーザ共振器を構成することが多かった。
【０００５】
【非特許文献１】
平等拓範著「レーザー研究」ｐ．８４８，２６，（１９９８）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、平行平面型のレーザ共振器は基本的に不安定な共振器であるため、レーザ発振を行うためには、共振器の鏡面の平行度、即ち固体レーザ媒体の結晶端面の平行度を、極力平行に近づける必要があった。
【０００７】
また、平行平面型のレーザ共振器では、集光された励起光により固体レーザ媒体に温度分布による屈折率分布が生じる、いわゆる熱レンズ効果を用いてレーザ発振を行うことになる。
しかしながら、たとえ励起強度を上げることにより熱レンズ効果を高めて、レーザビームを収束することにより、レーザ共振器をレーザ発振が可能となるような平行度にしても、共振器の両鏡面がわずかに傾いているとビーム形状が劣化してしまう。
一方、励起強度が低いと熱レンズ効果が低くなり、平行度が充分でなくなるため、レーザ発振が不安定になる。
【０００８】
これに対して、レーザ共振器が安定共振器となり得るように、凹面鏡を用いた共振器を作製することが考えられる。
即ち、一方の端面（鏡面）に凹面鏡を配置して、レーザ共振器を構成する。
例えば、薄く加工した固体レーザ媒体の結晶の一主面を平面鏡として用い、対する端面は共振する光を透過させ、透過した光が凹面鏡で共振するような構成が考えられる。
【０００９】
ただし、凹面鏡をそのまま配置して使用すると、凹面鏡の中央部が周縁部と比較して平面鏡から見て遠くなり、凹面鏡と固体レーザ媒体のそれぞれを配置する部品が増えるため、その分共振器長が長くなってしまう。
また、凹面鏡と、固体レーザ媒体とを、簡便にアライメントできるようにすることが望ましい。
【００１０】
上述した問題に対して、本発明においては、共振器長を短くすることができ、安定したレーザ共振器を構成することが可能な光共振器を提供するものである。また、本発明においては、安定したレーザ共振器を有し、小型でかつ簡便な構成のレーザ発振器を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の光共振器は、第１の基板及び第２の基板が対向して配置され、第１の基板は、第２の基板側の主面が平面とされ、その表面に反射鏡が形成され、第２の基板は、第１の基板側の主面において、凹面部とその周囲に平面部が形成され、少なくとも凹面部の表面に反射鏡が形成され、第１の基板の主面と第２の基板の平面部とが接合可能な構成とされているものである。
【００１２】
本発明のレーザ発振器は、少なくとも固体レーザ媒体と基板とが接合されて成り、固体レーザ媒体の基板とは反対の主面側に第１の反射鏡が設けられ、基板は、固体レーザ媒体側の主面において、凹面部とその周囲に平面部が形成され、凹面部の表面に第２の反射鏡が設けられ、第１の反射鏡と第２の反射鏡とにより、レーザ共振器が構成されているものである。
【００１３】
上述の本発明の光共振器の構成によれば、第２の基板の第１の基板側の主面に、凹面部とその周囲に平面部が形成され、凹面部に反射鏡が形成されていることにより、第２の基板の凹面部に形成された反射鏡により凹面鏡を構成することができ、共振する光の光路に対する反射鏡のアライメント調整を容易にする。
第２の基板の反射鏡が形成された主面が凹面部と平面部を有しているため、主面を全て凹面とした場合と比較して、凹面の深さを小さく（浅く）することができる。
さらに、第２の基板の平面部は第１の基板の反射鏡が形成された主面と接合可能な構成とされていることにより、第１の基板と第２の基板とを接合することができ、このように接合した場合に、第１の基板の反射鏡と第２の基板の反射鏡の距離間隔を短くすることが可能になる。
【００１４】
上述の本発明のレーザ発振器の構成によれば、基板の固体レーザ媒体側の主面に、凹面部とその周囲に平面部が形成され、凹面部に第２の反射鏡が形成されていることにより、この第２の反射鏡により凹面鏡を構成することができ、共振するレーザ光の光路に対する反射鏡のアライメント調整を容易にする。
第２の反射鏡が形成された基板の主面が凹面部と平面部を有しているため、主面を全て凹面とした場合と比較して、凹面の深さを小さく（浅く）することができる。そして、第１の反射鏡と第２の反射鏡によりレーザ共振器が構成されていることにより、第１の基板の反射鏡と第２の基板の反射鏡の距離間隔を短くして、レーザ共振器の共振器長を短くすることが可能になる。また、凹面の曲率半径と直径を選ぶことにより、共振器長を所望の長さに設計することが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明は、第１の基板及び第２の基板が対向して配置され、第１の基板は、第２の基板側の主面が平面とされ、その表面に反射鏡が形成され、第２の基板は、第１の基板側の主面において、凹面部とその周囲に平面部が形成され、少なくとも凹面部の表面に反射鏡が形成され、第１の基板の主面と第２の基板の平面部とが接合可能な構成とされている光共振器である。
【００１６】
本発明は、少なくとも固体レーザ媒体と基板とが接合されて成り、固体レーザ媒体の基板とは反対の主面側に第１の反射鏡が設けられ、基板は、固体レーザ媒体側の主面において、凹面部とその周囲に平面部が形成され、凹面部の表面に第２の反射鏡が設けられ、第１の反射鏡と第２の反射鏡とにより、レーザ共振器が構成されているレーザ発振器である。
【００１７】
また本発明は、上記レーザ発振器において、固体レーザ媒体の主面の表面に第１の反射鏡が設けられている構成とする。
【００１８】
また本発明は、上記レーザ発振器において、固体レーザ媒体の主面に、第１の反射鏡が表面に形成された基板が接合されている構成とする。
【００１９】
また本発明は、上記レーザ発振器において、レーザ共振器のフリースペクトラルレンジの大きさΔλＦＳＲが、固体レーザ媒体の発光スペクトルの半値半幅Δλよりも大きい構成とする。
【００２０】
まず、図３を参照して、本発明の光共振器の構造について説明する。
図３（図３Ａ及び図３Ｂ）は、レーザ媒体がなく、光共振器のみの概略構造図を示している。
【００２１】
図３Ａに示すように、第１の基板１１及び第２の基板１２の２つの基板により、光共振器１が構成されている。
第１の基板１１は、その一主面１１Ａが平面に研磨された平面部となっており、その表面に反射鏡１３が形成されている。
第２の基板１２は、その一主面の中央部に凹面部１２Ａが形成され、凹面部１２Ａの周囲に平面部１２Ｂが形成されている。凹面部１２Ａの表面に反射鏡１４が形成され、凹面鏡が構成されている。
そして、第１の基板１１と第２の基板１２のそれぞれ反射鏡１３及び反射鏡１４が形成されている側の主面を対向させることにより、第１の基板１１及び第２の基板１２から成る光共振器１を構成することができる。
【００２２】
また、この光共振器１においては、反射鏡１３が形成された第１の基板１１と、第２の基板１２の平面部１２Ｂとを、図３Ｂに示すように、互いに接合することが可能な構成とする。
このように接合することにより、共振器長の短い光共振器１を構成することができる。
特に、第２の基板１２の光が共振する中央部付近のみを凹面部１２Ａにして、外側を平面部１２Ｂとしたことにより、第２の基板１２の主面を全て凹面とした場合と比較すると、共振器長、即ち反射鏡１３及び１４の間隔を小さくし、凹面部１２Ａの曲率半径と直径を選ぶことにより、所望の共振器長を得ることができる。
【００２３】
第１の基板１１及び第２の基板１２の材料としては、一般的に光学レンズ等で用いられるガラス材（ＢＫ７、合成石英）や、結晶材（ＣａＦ２、ＳｉＯ２、サファイア基板）等が挙げられる。
反射鏡１３，１４は、例えば誘電体膜や金属膜等により形成することができ、所望の反射率を有するように膜構造を設定する。第１の基板１１側の反射鏡１３には、光が一部透過してレーザ光が出射するように、例えばＳｉＯ２，ＴｉＯ２，ＭｇＦ２，Ｔａ２Ｏ５等の誘電体積層膜等を用いる。
【００２４】
第２の基板１２の凹面部１２Ａの曲率や直径は、所望の光共振器１の共振器長や、閉じ込める光のビーム径に応じて選定される。
例えば凹面部１２Ａの曲率を曲率半径Ｒ＝１００ｍｍ・直径１０ｍｍにすることにより、図３Ｂに示した第１の基板１１及び第２の基板１２を接合した状態で、１２５μｍ程度の共振器長を得ることができる。
【００２５】
上述した共振器１の構造では、一方の反射鏡１４が凹面鏡になっていることにより、２つの平行平面鏡から成る光共振器と比較して、共振器１を構成する各反射鏡１３，１４同士のアライメントや、閉じこめる光の光路とのアライメントが容易になる。
この共振器１では、第１の基板１１側の反射鏡１３に対する法線と垂直に交わる点が、凹面鏡１４に存在する。
従って、図３Ｂに示したように、単に第１の基板１１と第２の基板１２とを接合するだけで、安定して光を共振させることができる光共振器１を構成することができる。
【００２６】
なお、実際にレーザ発振器を構成する場合には、この光共振器１の２つの基板１１，１２の間にレーザ媒体を配置する必要がある。
そのため、レーザ媒体を介して２つの基板１１及び１２を接合する、或いは、接合前の基板にレーザ媒体を取り付ける等、レーザ媒体と光共振器１との組立が必要になる。
【００２７】
続いて、上述した光共振器１の構成を利用した、本発明のレーザ発振器の実施の形態を説明する。
図１は、本発明のレーザ発振器の一実施の形態として、レーザ発振器の概略構成図を示す。
このレーザ発振器１０は、図３Ａ及び図３Ｂに示したと同様の第１の基板１１と第２の基板１２との間に、固体レーザ媒体１５が配置され、これら第１の基板１１、固体レーザ媒体１５、第２の基板１２が接合されて構成されている。
即ち、第１の基板１１は、その一主面１１Ａが平面に研磨された平面部となっており、その表面に反射鏡１３が形成されている。また、第２の基板は、その一主面の中央部に凹面部１２Ａが形成され、凹面部１２Ａの周囲に平面部１２Ｂが形成されている。凹面部１２Ａの表面に反射鏡１４が形成され、凹面鏡が構成されている。
【００２８】
また、固体レーザ媒体１５は、薄く平板状に研磨され、縦シングルモードで発振するようにしている。
【００２９】
第１の基板１１及び第２の基板１２の材料としては、前述したように、一般的に光学レンズ等で用いられるガラス材（ＢＫ７、合成石英）や、結晶材（ＣａＦ２、ＳｉＯ２、サファイア基板）等が挙げられる。
反射鏡１３，１４は、例えば誘電体膜や金属膜等により形成することができ、所望の反射率を有するように膜構造を設定する。
また、第２の基板の凹面部１２Ａの曲率や直径は、所望の光共振器１の共振器長や、閉じ込める光のビーム径に応じて選定される。
【００３０】
固体レーザ媒体１５の材料としては、例えば例えばＮｄ：ＹＡＧ（Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２）、Ｎｄ：ＹＶＯ４、Ｎｄ：ＧｄＶＯ４、Ｎｄ：ＹＬＦ（ＹＬｉＦ４）等の固体レーザ結晶や、Ｎｄをドープしたガラス等のガラスレーザ媒体を用いることができる。
【００３１】
第２の基板１２の凹面部１２Ａの曲率及び直径と、固体レーザ媒体１５の厚さは、所望とする共振器長に応じて、それぞれの値を選定する。
【００３２】
ここで、共振器の光路長Ｌとレーザ共振器のフリースペクトラルレンジ（Ｆｒｅｅ  Ｓｐｅｃｔｒａｌ  Ｒａｎｇｅ  ；ＦＳＲ（自由分光領域））の大きさ、即ち縦モード間隔ΔλＦＳＲは、以下の式（１）で示される関係によって結ばれている。
ΔλＦＳＲ  ＝  λ２／２Ｌ  （１）
式（１）中、λはレーザ共振器中で発振する光の波長である。例えば、Ｎｄ：ＹＡＧレーザでは発振する波長は１０６４ｎｍである。
ここで、Ｌ＝１ｍｍの共振器を作成した場合、その縦モード間隔ΔλＦＳＲは、０．５７ｎｍとなる。
【００３３】
一般的に、この縦モード間隔ΔλＦＳＲが、固体レーザ媒体１５の発光スペクトル幅の数分の１〜数倍程度であれば、縦シングルモード発振が可能となる。
より好ましくは、固体レーザ媒体１５の発光スペクトル幅の半値半幅Δλよりも、縦モード間隔ΔλＦＳＲの方が大きくなるようにする。これにより、容易に縦シングルモードの発振を行うことができる。
従って、この条件を満たすように共振器長を設定すればよく、その共振器長に応じて、第２の基板１２の凹面部１２Ａの曲率及び直径と、固体レーザ媒体１５の厚さとを設定する。
【００３４】
Ｎｄ：ＹＡＧの発光スペクトル幅としては、前述した非特許文献１に０．６７ｎｍという報告があり、前述した共振器光路長（Ｌ＝１ｍｍ）であれば、縦シングルモード発振が可能になり、さらに共振器長を小さくして縦モード間隔を大きくすれば、より容易に縦シングルモード発振が可能になる。
【００３５】
例えば厚さ２００μｍにまで薄く研磨したＮｄ：ＹＶＯ４から成る固体レーザ媒体１５と、凹面部１２Ａを曲率半径Ｒ＝１００ｍｍ・直径１０ｍｍとした第２の基板１２とを用いると、固体レーザ媒体１５の結晶の屈折率を考慮した共振器の光路長は約５５０μｍとなり、この場合の縦モード間隔は１．０４ｎｍとなる。そして、Ｎｄ：ＹＶＯ４の発光スペクトル幅は前述した非特許文献１に０．９６ｎｍという報告があり、発光スペクトル幅よりも大きい縦モード間隔とすることができる。
従って、縦シングルモード発振が容易となる。
【００３６】
本実施の形態のレーザ発振器１０を組み立てる際には、薄く加工された固体レーザ媒体１５を、それぞれ第１の基板１１と第２の基板１２とに接合する。
例えば透明接着剤を使用することにより、固体レーザ媒体１５を第１の基板１１と第２の基板１２とに接合することができる。この透明接着剤としては、紫外線硬化樹脂から成る接着剤や、いわゆる光学接着剤を用いることができる。
【００３７】
具体的には、例えば、まず固体レーザ媒体１５の一主面を第１の基板１１表面の反射鏡１３に透明接着剤で接合し、その後固体レーザ媒体１５の他の主面を第２の基板１２の凹面鏡が形成された主面に透明接着剤で接合する。
【００３８】
固体レーザ媒体１５は、予め両主面を研磨してから第１の基板１１表面の反射鏡１３に接合してもよく、一主面を研磨してから第１の基板１１表面の反射鏡１３に接合し、その状態で他の主面を研磨して、その後第２の基板１２に接合するようにしてもよい。
【００３９】
そして、固体レーザ媒体１５には、場所により欠陥が生じていることがあるため、固体レーザ媒体１５と第２の基板１２とを接合する際に、欠陥を避けることが望ましい。
そこで、例えば、次のような方法を用いるとよい。
固体レーザ媒体１５と第２の基板１２とを接合する際に、接着剤で接着する前に、まず固体レーザ媒体１５と第２の基板１２とを接触させて、擦り合わせ可能な状態にする。この状態で、励起光源から励起光を入射させて、固体レーザ媒体１５からレーザ光を発振させる。そして、出力されるレーザ光をモニタすることにより、レーザ光が固体レーザ媒体１５の欠陥部を通っているかどうかがわかるため、図４Ａに矢印で示すように、固体レーザ媒体１５を第２の基板１２に対して並進移動させて、欠陥部を避けるようにする。
これにより、欠陥部の少ない位置を選んで、共振器を接合することが可能となる。
【００４０】
このとき、例えば図４Ｂに示す治具を利用することができる。
固体レーザ媒体１５の側面の一方に突状体３１、他方に弾性体３２が当接するようにアクチュエータを構成し、このアクチュエータを図中左右方向と、図中上下方向との２組設ける。また、第２の基板１２は、固体レーザ媒体１５と擦り合わせ可能な状態で、図示しない固定手段によって固定する。
そして、出力されるレーザ光の状態をモニタしながら、アクチュエータを動作させて、図４Ａに示すように固体レーザ媒体１５を並進移動させて、固体レーザ媒体１５の欠陥部を避けて、凹面鏡１４とのレーザ光の共振がなされるようにする。固体レーザ媒体１５の欠陥部を避けてレーザ光が共振する光路が形成された箇所で並進移動を停止して、その位置関係において固体レーザ媒体１５と第２の基板とを接着する。
【００４１】
ここで、研磨した固体レーザ媒体１５の平行度の精度が低く、くさび形状になっている場合の光路について考える。
このようなくさび形の形状は、第１の基板１１に固体レーザ媒体１５を接着剤等で接合する際に、接着剤の厚みムラにより傾斜して接着され、その状態で固体レーザ媒体１５の他の主面（第２の基板１２に接合する側の面）を研磨する際に生じることが多い。
共振器中で光が共振するためには、共振器を構成する反射鏡に垂直に光が入射する必要がある。ここで、第１の基板１１側の反射膜１３で反射された光は、固体レーザ媒体１５を透過して、固体レーザ媒体１５の反対側の端面（他の主面）に入射する。くさび形の固体レーザ媒体１５の場合、この光が固体レーザ媒体１５の端面に対して斜めに入射することになり、この端面で屈折してしまう。
【００４２】
従って、共振器を構成するもう一方の反射鏡が平面鏡である場合（平行平板型共振器の場合）には、レーザ発振ができるようにするために、このような屈折した光に対して垂直に入射するようにアライメントをしなければならず、アライメント調整が難しくなる。
【００４３】
これに対して、本実施の形態のように、もう一方の反射鏡１４が凹面鏡である場合は、凹面鏡１４内に、屈折した光が垂直に入射する箇所が存在することになり、中央の凹面部１２Ａに凹面鏡１４が形成された第２の基板１２を、単に固体レーザ媒体１５と接合させることにより、共振器構造を得ることができる。
さらに、凹面鏡を用いることにより、平面鏡と比較して、ビームの形状を良好にすることができ、縦・横両モードの品質を向上させることができる。
【００４４】
また、凹面部１２Ａの曲率及び直径を加工の際に制御すること、並びに固体レーザ媒体１５の厚みを研磨により制御することにより、共振器長を制御することができるので、マイクロチップレーザの主要なパラメータである共振器長を一定に作製することが容易になる。
【００４５】
また、マイクロチップレーザでは、わずかな共振器長の波長オーダーの変化により、共振する波長のゲインが変化し出力が変動する。
この問題に対しては、まず、共振器全体を温度調整することにより、共振器を膨張或いは収縮させて、所望の共振器長になるように調整することができる。
さらに、固体レーザ媒体１５へ励起光が入射する位置をわずかに変更することにより、共振器の励起する位置を微小変化させることができ、凹面鏡１４の凹面が傾きを有するため、共振器長を微小変化させることができる。これにより、共振波長のゲインが最大となる共振器長へ制御することが可能となる。
【００４６】
上述の本実施の形態のレーザ発振器１０によれば、第２の基板１２の一主面の中央部に凹面部１２Ａが形成され、この凹面部１２Ａの表面に形成された凹面鏡１４により、レーザ発振器１０のレーザ共振器の一方の反射鏡が構成されていることにより、固体レーザ媒体１５からのレーザ光が第２の基板１２に対して斜めに入射しても、凹面鏡１４にこの斜めに入射した光に対して垂直な面となる箇所が存在するため、レーザ共振器が構成されてレーザ発振ができるように配置することが可能になる。
これにより、第２の基板１２の一主面を全て平面とした場合（平行平板型共振器とした場合）と比較して、固体レーザ媒体１５と第２の基板とのアライメント調整を容易にする。
【００４７】
また、凹面部１２Ａは、第２の基板１２の一主面の中央部のみに形成されていて、周縁部は平面部１２Ｂとなっているため、凹面部１２Ａの曲率を大きくしても、凹面部１２Ａの深さを比較的浅くすることができると共に、平面部１２Ｂによって、固体レーザ媒体１５に接合することが可能になる。
これにより、第２の基板１２の一主面を全て凹面とした場合と比較して、固体レーザ媒体１５と第２の基板１２との接合面から凹面鏡１４までの距離を短くすることができ、レーザ共振器の共振器長が短いレーザ発振器を構成することができる。
【００４８】
そして、凹面部１２Ａの曲率及び直径と、固体レーザ媒体１５の厚さを調整することにより、マイクロチップレーザで主要なパラメータとなる共振器長を、所望の値になるように調整することができる。
【００４９】
さらに、固体レーザ媒体１５と第２の基板１２とのアライメントを行う際に、固体レーザ媒体１５の欠陥を避けて、レーザ共振器を構成することができるため、固体レーザ媒体１５の欠陥を避けて良好なレーザ発振を行うことができるレーザ発振器を容易に製造することが可能になる。
【００５０】
従って、小型であり、かつビーム形状の良好なマイクロチップレーザを簡便に作製することができる。
【００５１】
図１に示した実施の形態のレーザ発振器では、第１の基板１１側に反射鏡１３を形成していたが、固体レーザ媒体１５側に反射鏡を形成してもよい。その場合を次に示す。
本発明のレーザ発振器の他の実施の形態の概略構成図を図２に示す。
このレーザ発振器２０では、特に、固体レーザ媒体１５の第１の基板１１側の主面１５Ａに反射鏡１３が形成されている。
そして、この固体レーザ１５表面の反射鏡１３の側に、平面研磨された第１の基板１１が接合されている。
この場合も、反射鏡１３には、例えばＳｉＯ２，ＴｉＯ２，ＭｇＦ２，Ｔａ２Ｏ５等の誘電体積層膜等を用いることができる。
その他の構成は、図１に示した先の実施の形態のレーザ発振器１０と同様であるため、同一符号を付して重複説明を省略する。
【００５２】
なお、本実施の形態の構成では、固体レーザ媒体１５に反射鏡１３が形成されているため、固体レーザ媒体１５の剛性が充分な強度のものであれば、第１の基板１１を省略することも可能である。
【００５３】
本実施の形態のレーザ発振器２０によれば、先の実施の形態のレーザ発振器１０と同様に、固体レーザ媒体１５と第２の基板とのアライメント調整を容易にすることができ、レーザ共振器の共振器長が短いレーザ発振器を構成することができる。
また、共振器長を所望の値になるように調整することができ、固体レーザ媒体１５の欠陥を避けて良好なレーザ発振を行うことができるレーザ発振器を容易に製造することが可能になる。
これにより、小型であり、かつビーム形状の良好なマイクロチップレーザを簡便に作製することができる。
【００５４】
なお、上述の各実施の形態のレーザ発振器では、第１の基板１１を平板状にして、その主面に固体レーザ媒体１５を接合しているが、本発明において、第１の基板の構成はその他の構成も可能である。
【００５５】
なお、本発明において、光共振器、並びにレーザ発振器のレーザ共振器に用いる反射鏡は、誘電体膜に限らず、例えば半導体ブラッグ反射ミラーや、可飽和吸収ミラーでも構わない。
【００５６】
本発明は、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
【００５７】
【発明の効果】
上述の本発明の光共振器によれば、反射鏡のアライメント調整が容易で、共振器長が短い光共振器を構成することが可能になる。
【００５８】
上述の本発明のレーザ発振器によれば、固体レーザ媒体とレーザ共振器の反射鏡とのアライメント調整が容易になる。固体レーザ媒体の欠陥を避けてレーザ共振器を作製することも容易となる。
また、マイクロチップレーザで主要なパラメータとなる共振器長を、所望の値にすることができると共に、共振器長を短くすることが容易となる。
共振器長を短くすることにより、容易に縦シングルモード発振をさせることができる。
従って、小型でビーム品質の良好なマイクロチップレーザを実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のレーザ発振器の概略構成図である。
【図２】本発明の他の実施の形態のレーザ発振器の概略構成図である。
【図３】Ａ、Ｂ  本発明の光共振器の概略構成を説明する図である。
【図４】Ａ  第２の基板に対して固体レーザ媒体を並進移動させることを説明する図である。
Ｂ  固体レーザ媒体を並進移動させるための治具の模式平面図である。
【符号の説明】
１  光共振器、１０，２０  レーザ発振器、１１  第１の基板、１２  第２の基板、１２Ａ  凹面部、１２Ｂ  平面部、１３，１４  反射鏡（鏡面）、１５  固体レーザ媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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