(57)【要約】      （修正有）【課題】液晶パネルやプラズマフラットパネルなどのガラス基板の洗浄後の乾燥作業に関し、効率的でかつ高品質の乾燥作業を実施できる新しいガラス基板表面乾燥装置を提供する。【解決手段】ガラス基板４を載置して搬送する搬送装置１１を筺体１０内に設置し、前記搬送装置１１の上下にガラス基板４に向かうエアーノズル６を対向して設け、該エアーノズル６のエアー導入口１２にクリーンエアー供給パイプ１３を接続すると共に、前記筐体１０の壁面にあけられた筐体内エアー抽出口１４に接続し、筐体１０内から抽出された使用済みエアーを除湿、加熱、ろ過して該クリーンエアー供給パイプ１３の管路途中でクリーンエアと混合させるエアー乾留パイプ１５を設け、その混合エアを、エアーノズル６からガラス基板４表面に向って噴射し、表面の水切りと乾燥とを同時に行う様にした。【選択図】  図２
2004293843.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物であるガラス基板４を載置して水平方向に搬送する搬送装置１１を筺体１０内に設置すると共に、前記搬送装置１１の上下にガラス基板４方向を向いたエアーノズル６を対向して設け、該エアーノズル６のエアー導入口１２にクリーンエアー供給パイプ１３の末端を接続し、該クリーンエアー供給パイプ１３の管路途中に、除湿回路１６、ブロア１７、加熱回路１８、濾過回路１９がそれぞれ管路中に介装されたエアー環流パイプ１５の末端を接続し、該エアー環流パイプ１５の始端を前記筺体１０の壁面にあけられた筺体内エアー抽出口１４に接続し、筺体１０内から抽出された使用済みエアーを除湿、加熱、濾過し、クリーンエアー供給パイプ１３から供給されるクリーンエアーと混合して、エアーノズル６からガラス基板４表面に向って噴射し、ガラス基板４表面の水切りと乾燥とを同時に行う様にしたことを特徴とするガラス基板表面乾燥装置。
【請求項２】
搬送装置１１がローラーコンベア５によって構成されていることを特徴とする請求項１記載のガラス基板表面乾燥装置。
【請求項３】
筺体１０内から抽出された使用済みエアーを常温から２００℃の範囲の任意の温度に加熱して再利用することを特徴とする請求項１記載のガラス基板表面乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、ガラス基板表面乾燥装置、詳しくは、液晶パネルやプラズマフラットパネル用ガラス基板などの製造の際の洗浄乾燥工程において、液切りと乾燥とが同時に実施でき、高品質の処理作業が可能であると共に、省スペース化も実現できるガラス基板表面乾燥装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネルやプラズマフラットパネルなどに用いるガラス基板の製造の際には、その表面を洗浄した後、乾燥させて水分を除去する作業が必要である。図１は、このガラス基板の乾燥作業に用いる従来装置の一例を示したものであり、従来においては、この乾燥作業は液切りユニット１と乾燥ユニット２とを用いて実施していた。
【０００３】
即ち、液切りユニット１には、図示の通り、筺体３の中にガラス基板４を載置して水平方向に搬送するローラーコンベア５が設置されており、このローラーコンベア５の上下にはガラス基板４方向を向いたエアーノズル６，６が対向して設けられていた。そして、このエアーノズル６にはクリーンエアー供給パイプ７が接続されており、図示せざるクリーンエアー供給源から加圧されたクリーンエアーが供給される様になっていた。一方、乾燥ユニット２は、前記液切りユニット１におけるガラス基板４の送り方向下流側に設置されるものであり、その筺体８内には、ガラス基板４を載置して水平方向に搬送するローラーコンベア５が設置されており、このローラーコンベア５の上下には、セラミックヒーターなどの加熱装置９が設けられていた。
【０００４】
この液切りユニット１と乾燥ユニット２とを用いた従来の乾燥作業においては、ローラーコンベア５上にガラス基板４を載置し、筺体３の入口側（図１において左側）から出口側（図１における右側）に移動させつつ、エアーノズル６からガラス基板４の表面に向って加圧されたクリーンエアーを勢い良く噴射し、これによってその表面に付着している水分を吹き飛ばして液切りを行い、ローラーコンベア５の連続的な駆動により、液切りの終ったガラス基板４を乾燥ユニット２のローラーコンベア５上に引き渡し、乾燥ユニット２内においてガラス基板４をその出口方向（図１において右側）に移動させつつ、その上下から加熱装置９によって加熱し、熱エネルギーによりガラス基板４表面に残留している水分を蒸発させて一連の乾燥作業を完了させていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
この様に、従来においては、液切りと乾燥とを別々のユニットで行っていた為、これらユニットの設置スペースが別々に必要であると共に、液切りと乾燥とを別々に行う為、ガラス基板４のベルトコンベア５上の移動距離が長くなり、作業効率向上の妨げとなっていた。又、エアーノズル６による液切りが不十分な場合、加熱乾燥によってガラス基板４上にシミが残ってしまうことがあり、歩止りを悪くする大きな原因ともなっていた。
【０００６】
特に、大面積の大型ガラス基板の場合、エアーノズル６による液切りの際に、薄い水膜や水滴が残留しやすく、シミが残らない様に乾燥処理を行うのは、大変むずかしかった。
【０００７】
近年は、ガラス基板乾燥作業の高速化に対する要求や大面積のガラス基板を高品質で処理することへの要求が益々高まりつつあり、従来の液切りユニット１と乾燥ユニット２による乾燥作業では、これら要求に十分に応えられなくなっていた。
【０００８】
本発明者は、液晶パネルやプラズマフラットパネルなどのガラス基板の洗浄後の乾燥作業に関する上記従来の問題点を解決すべく鋭意研究を行った結果、効率的でかつ高品質の乾燥作業を実施できる新しいガラス基板表面乾燥装置を開発することに成功し、本発明としてここに提案するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
被処理物であるガラス基板４を載置して水平方向に搬送する搬送装置１１を筺体１０内に設置すると共に、前記搬送装置１１の上下にガラス基板４方向を向いたエアーノズル６を対向して設け、該エアーノズル６のエアー導入口１２にクリーンエアー供給パイプ１３の末端を接続し、該クリーンエアー供給パイプ１３の管路途中に、除湿回路１６、ブロア１７、加熱回路１８、濾過回路１９がそれぞれ管路中に介装されたエアー環流パイプ１５の末端を接続し、該エアー環流パイプ１５の始端を前記筺体１０の壁面にあけられた筺体内エアー抽出口１４に接続し、筺体１０内から抽出された使用済みエアーを除湿、加熱、濾過し、クリーンエアー供給パイプ１３から供給されるクリーンエアーと混合して、エアーノズル６からガラス基板４表面に向って噴射し、ガラス基板４表面の水切りと乾燥とを同時に行うことにより上記課題を解決せんとするものである。
【００１０】
【実施の形態】
図２は発明に係るガラス基板乾燥装置の一実施形態の説明図である。
【００１１】
図中１０は筺体であり、内部にはガラス基板４を載置して水平方向に搬送するローラーコンベア５からなる搬送装置１１が設置されている。そして、この搬送装置１１の上下には、ガラス基板４の方向を向いた一対のエアーノズル６が対向して設けられている。このエアーノズル６のエアー導入口１２にはクリーンエアー供給パイプ１３の末端が接続されており、図示を省略したクリーンエアー供給源から加圧されたクリーンエアーが供給される様になっている。
【００１２】
一方、１４は筺体１０の側壁にあけられた筺体内エアー抽出口であり、この筺体内エアー抽出口１４にはエアー環流パイプ１５の始端が接続されており、このエアー環流パイプ１５の末端はクリーンエアー供給パイプ１３の管路途中に接続され、これに合流する様になっている。
【００１３】
更に、このエアー環流パイプ１５の管路中には除湿回路１６、ブロアー１７、加熱回路１８、濾過回路１９が直列状に介装されている。なお、除湿回路１６は、クーラーの冷却作用によって通過気体中から水分を除去するものであり、加熱回路１８はダクトヒーターによって通過気体を常温から２００℃の範囲で任意の温度に加熱する装置である。
【００１４】
この実施の形態は上記の通りの構成を有するものであり、搬送装置であるローラーコンベア５上に被処理物であるガラス基板４を載置して自動搬送させながら、ガラス基板４の表裏にエアーノズル６から除湿及び除塵された清浄な加圧温風を勢い良く吹き付け、その風圧によってガラス基板４に付着している水分を吹き飛ばして液切りを行う。この際、吹き付けられる加圧温風は除湿されていると共に、常温から２００℃の範囲で加熱されているので、その熱エネルギーによって付着している水分の蒸発も促進され、液切りと蒸発とがほぼ同時に行われる。
【００１５】
エアーノズル６から噴射されたエアーはガラス基板４に衝突した後、一旦筺体１０内に滞留するが、筺体内エアー抽出口１４からエアー環流パイプ１５に流入し、除湿回路１６によって除湿された後、ブロアー１７によって加熱され、加熱回路１８によって常温から２００℃の範囲で任意の温度に加熱され、濾過回路１９によって濾過除塵された後、クリーンエアー供給パイプ７に送られ、図示せざるクリーンエアー供給源から供給される加圧クリーンエアーと合流し、エアーノズル６からガラス基板４に向って噴射される。なお、この様に筺体８内からエアーを抽出して再利用しているので、別途クリーンエアー供給パイプ７にクリーンエアー供給源から供給されるクリーンエアーの消費量は従来装置のほぼ１／３に低減した。
【００１６】
【発明の効果】
以上述べた通り、この発明に係るガラス基板表面乾燥装置においては、ローラーコンベア５上に自動搬送されているガラス基板４に向って除湿及び加熱されたクリーンエアーを噴射し、ガラス基板４表面に付着している水分の液切りと熱エネルギーによる蒸発とをほぼ同時に行っているので、従来のものに比べ液切り性能が高く、ガラス基板４表面にシミが残ることがなく、高品質の乾燥を実施することが出来る。
【００１７】
又、従来のものの様に、液切りユニットと乾燥ユニットの２つの装置を用いることなく、１つの装置で足りるので、より小さなスペースに設置可能であると共に、ガラス基板４の搬送移動距離が短くなり、より高速で効率的な乾燥作業が実施できる。更に、エアーノズル６から噴射された使用済みエアーは除湿、加熱、除塵された後、再利用されるので、従来の装置に比べ、クリーンエアーの消費量を削減することが可能で、省ユーティリティ化に貢献できる。更に又、エアーノズル６から温風を噴射する乾燥方式であるので、除湿及び加熱ツールの多様化、マルチ化も容易であり、装置自体の省フットプリント化も可能である、など多くの利点を有しており、大型ガラス基板の高速搬送処理にも十分に対応でき、極めて高い実用的価値を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】ガラス基板の液切り乾燥作業に用いる液切りユニットと乾燥ユニットの従来例の説明図。
【図２】この発明に係るガラス基板表面乾燥装置の一実施形態の説明図。
【符号の説明】
１    液切りユニット
２    乾燥ユニット
３    筺体
４    ガラス基板
５    ローラーコンベア
６    エアーノズル
７    クリーンエアー供給パイプ
８    筺体
９    加熱装置
１０    筺体
１１    搬送装置
１２    エアー導入口
１３    クリーンエアー供給パイプ
１４    筺体内エアー抽出口
１５    エアー環流パイプ
１６    除湿回路
１７    ブロアー
１８    加熱回路
１９    濾過回路
【図１】
2004293843.tif 000003
【図２】
2004293843.tif 000004