(57)【要約】【課題】強酸等に対する耐腐食性に強く、摺動抵抗を減少させることができ、それ程温度を高くしなくても、不必要な部分に反応副生成物が付着することを抑制することができる真空排気系を提供する。【解決手段】真空処理室Ｔからの排気ガスを排出する排気路２と、排気ガス中の排気物を捕捉することが可能なトラップ装置１と、トラップ装置を通過した排気ガス中の有害物質を無害化する除害装置Ｅと、を有する真空排気系において、真空処理室とトラップ装置との間の排気路の内面及びトラップ装置内の排気ガスと接する面に、フッ素系樹脂層３０，３２，３４，３６，３８，４０がコーティングする。これにより、強酸等に対する耐腐食性に強く、摺動抵抗を減少させることができ、それ程温度を高くしなくても、不必要な部分に反応副生成物が付着することを抑制する。【選択図】　図６
2004111834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空処理室からの排気ガスを排出する排気路と、
前記排気ガス中の排気物を捕捉することが可能なトラップ装置と、
前記トラップ装置を通過した排気ガス中の有害物質を無害化する除害装置と、を有する真空排気系において、
前記真空処理室と前記トラップ装置との間の前記排気路の内面及び前記トラップ装置内の前記排気ガスと接する面には、フッ素系樹脂層がコーティングされていることを特徴とする真空排気系。
【請求項２】
前記トラップ装置と前記除害装置との間の前記排気路の内面には、前記フッ素系樹脂層がコーティングされていることを特徴とする請求項１記載の真空排気系。
【請求項３】
前記トラップ装置は、全体が筐体により囲まれており、前記筐体の内部が融壁により複数に区画されていると共に、トラップ室と再生室とに切り替え可能になされた切替式トラップ装置であり、前記筐体の内面と前記融壁の表面には前記フッ素系樹脂層がコーティングされていることを特徴とする請求項１または２記載の真空排気系。
【請求項４】
前記トラップ装置の内部には、フィンが設けられており、前記フィンは必要に応じて回転可能になされていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の真空排気系。
【請求項５】
排気路に連通させて設けた外側筐体と、
前記外側筐体に挿通された回転軸にその軸回り方向に沿って係合離脱可能に設けられて上方が開口された複数の内側筐体と、
前記各内側筐体に収容されたトラップ手段と、
前記各内側筐体の上端開口を着脱可能に覆う蓋体と、
前記蓋体の内の１つの蓋体と前記外側筐体の排気路の取付部とを連通する伸縮可能になされた第１のベローズ手段と、
前記他の蓋体と前記外側筐体の洗浄液導入口とを連通する第２のベローズ手段と、
を備えたことを特徴とする切替式トラップ装置。
【請求項６】
前記回転軸は、昇降可能になされており、前記回転軸を上昇させた時に前記各内側筐体と係合されることを特徴とする請求項５記載の切替式トラップ装置。
【請求項７】
前記外側筐体には、前記内側筐体内を通過した排気ガスを排出するガス排出口が設けられると共に、前記外側筐体には、前記内側筐体内を通過した洗浄液を排出する液排出口が設けられることを特徴とする請求項５または６記載の切替式トラップ装置。
【請求項８】
前記内側筐体の各蓋体は、一体的に成形されて共通蓋体になされていることを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに記載の切替式トラップ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体製造装置の真空処理室から排気ガスを排出する真空排気系及びこの排気ガス中のの排気物を捕捉、再生するトラップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、トラップ装置１は、例えば図１７に模式的に示すように、半導体ウエハ等に成膜処理を行うためのＣＶＤ装置等の真空処理室Ｔと真空ポンプＰから延びる排気路２に介在されており、真空ポンプＰの前段側に配置される。そして、このトラップ装置１は、真空処理室Ｔから排気された排気ガス中の反応副生成物等の排気物をトラップ装置１内のトラップ手段（図示せず）で捕捉、再生する機能を有し、真空ポンプＰの前段で排気物を捕捉するようにしている。尚、ここではトラップ装置として、捕捉と再生の切り替えが可能な切替式トラップ装置を例にとって説明する。具体的には、切替式トラップ装置１はトラップ手段の移動でトラップ室１Ａと再生室１Ｂを交互に切り替え、トラップ室内で捕捉した排気物を再生室１Ｂ内で気化、洗浄等の方法により再生してトラップ手段から除去した後、酸排水等を外部の処理装置（図示せず）で処理するようにしている。上記排気路２の下流側には、真空ポンプＰからの処理ガスを無害化する除害装置Ｅが介設されている。また、この排気路２には、例えばテープヒータ２Ａが巻回されてこれを１７０℃程度に加熱して反応副生成物が内面に付着しないようにしている。更にこの排気路２には安全のために断熱材（図示せず）も巻き付けられている。
【０００３】
次に、従来の切替式トラップ装置１について図１８〜図２０を参照しながら詳述する。従来の切替式トラップ装置１は、例えば図１８に示すように、排気路２に連通させて配置された筐体３と、この筐体３内で排気路２に対して交差方向に同一軸芯を持って移動可能な左右一対の軸体４、４と、これらの軸体４、４の先端部にそれぞれ設けられたトラップ手段５、５と、これらのトラップ手段５、５を区画してそれぞれの区画室を形成し且つ各軸体４、４に固定された第１隔壁６、６及び第２隔壁７、７と、中央の第１隔壁６、６同士を左右方向に微動可能に連結する環状連結部材８と、第１隔壁６、６の両側の第２隔壁７、７に対してそれぞれ連結され且つ各軸体４、４を左右方向に移動させて筐体３内でトラップ手段５、５の各区画室をトラップ室及び再生室として交互に切り替える左右一対のエアシリンダ９、９とを備えている。
【０００４】
図１８中では、右側のトラップ手段５がトラップ室１Ａに位置し、左側のトラップ手段５が左側の再生室１Ｂ内に位置している場合を示す。尚、トラップ手段５がトラップ室にある時には軸体４に設けられた冷却手段（図示せず）が作動して排気物を捕捉し、再生室にある時には筐体３に設けられたポート３Ｃにより水を注入し洗浄再生する。また、筐体３、第１隔壁６，第２隔壁７には加熱手段が設けられ、これらの表面に副生成物付着するのを防止している。
【０００５】
上記各軸体４、４は、図１８に示すように、筐体３の左右開口から中心軸に沿って挿入されている。軸体４は、先端側の小径部４Ａと、基端側の大径部４Ｂと、これら両者４Ａ、４Ｂ間の中径部４Ｃとを有し、小径部４Ａにトラップ手段５が設けられている。小径部４Ａ先端には第１隔壁６が固定され、中径部４Ｃには第２隔壁７が固定され、第１、第２隔壁６、７でトラップ手段５を区画している。左右の軸体４、４にそれぞれ固定された第１隔壁６、６は互いに構造を異にするが、第２隔壁７、７は同一の構造である。そこで、右側の軸体４に固定された第１隔壁と左側の軸体４に固定された第１隔壁を区別するために、以下では必要に応じて前者を第１右隔壁、後者を第１左隔壁と称す。
【０００６】
エアシリンダ９は、図１８に示すように、シリンダ９Ａ及びピストン９Ｂを有し、シリンダ９Ａの先端のフランジ部９Ｃを介して筐体３に連結され、筐体３を封止している。フランジ部９Ｃにはポート９Ｄ、９Ｅが形成され、ポート９Ｄはエアシリンダ９を作動させる際にシリンダ９Ａ内に加圧空気を供給するための孔であり、ポート９Ｅは後述するように筐体３内に窒素ガスを供給するための孔である。
【０００７】
而して、左右の軸体４、４は、図１８、図１９の（ａ）に示すように、第１隔壁６、６を介して互いに連結され、エアシリンダ９、９を介して一体的に駆動する。即ち、図１９の（ａ）に拡大して示すように、第１右隔壁６及び第１左隔壁６の先端側外周は基端側外周より縮小し、それぞれの縮小部の外周面に沿って溝６Ａ、６Ａが形成されている。そして、これらの溝６Ａ、６Ａの内周面に溝８Ａを有する上記環状連結部材８が嵌合して第１右隔壁６と第１左隔壁６とを連結し、これらの第１隔壁６、６が溝８Ａ内で左右方向に僅かに移動でき、ひいては軸体４、４が左右方向に僅かに移動できるようになっている。そして、環状連結部材８の両側にはＯリング１０、１０が装着され、これらのＯリング１０、１０は第１隔壁６、６の微動で圧縮、弛緩して筐体３の内周面と弾力的に接触する。また、第１右隔壁６の端面には溝６Ａから径方向中心寄りに配置した環状突起６Ｂが形成され、この環状突起６Ｂが第１左隔壁６に形成された環状嵌入溝６Ｃに微動可能に嵌入している。第１左隔壁６の端面には溝６Ａから径方向中心寄りに配置した筒状突起６Ｄが形成され、この筒状突起６Ｄは、第１右隔壁６の端面に形成された環状嵌入溝６Ｅに左右方向で微動可能に嵌入し、左右の第１隔壁６、６の中心を整合するためのガイドの役割を果たしている。更に、環状突起６Ｂの内周面には全周に渡って溝６Ｆが形成され、この溝６Ｆ内にＯリング１１が装着されて筒状突起６Ｄに密着している。
【０００８】
また、図１８、図１９の（ｂ）に示すように軸体４の大径部４Ｂと中径部４Ｃの境界にフランジ部４Ｄが形成され、このフランジ部４Ｄの外周面にシールリング１２が装着されている。このシールリング１２は軸体４の第２隔壁７に連結され、以下で説明するようにフランジ部４Ｄの外周面において左右方向に僅かに移動できるようになっている。即ち、図８の（ｂ）に拡大して示すように、第２隔壁７及びシールリング１２の外周面にはそれぞれ第１隔壁６と同様の溝７Ａ、１２Ａが形成され、これらの溝７Ａ、１２Ａに第２環状連結部材１３が嵌合して両者７、１２を連結している。そして、第２環状連結部材１３の両側にはＯリング１４、１４が装着され、これらのＯリング１４、１４は筐体３の内周面に接触している。
【０００９】
また、第２隔壁７の端面には溝７Ａから径方向中心寄りに配置した筒状突起７Ｂが形成され、この筒状突起７Ｂはシールリング１２の端面に形成された環状嵌入溝１２Ｂ内に嵌入している。また、環状嵌入溝１２Ｂから径方向中心側の周壁面には全周に渡って溝１２Ｃが形成され、この溝１２ＣにＯリング１５が装着されている。更に、第２隔壁７の端面には筒状突起７Ｂから径方向中心寄りに配置した複数の凹部７Ｃが周方向に等間隔を空けて形成され、これらの凹部７Ｃ内に例えばコイルスプリング１６が装着され、これらのコイルスプリング１６を介してシールリング１２を第２隔壁７から引き離すように付勢している。尚、１７はシールリング１２と軸体４のフランジ部４Ｄ間の気密を保持するＯリングである。また、図１９の（ａ）、（ｂ）において、３Ａ、３Ｂは排気物のトラップ、再生時にシール部を真空引きしてシール部のシール漏れを検出するための孔である。
【００１０】
次に、動作について説明する。図１８に示すように軸体４、４が左方の移動端にあってトラップ、再生が終了したら孔３Ｃ、３Ｂ、３Ａから筐体３内を真空排気すると、トラップ室の真空度に近づき、シールリング１２と第２隔壁７の間がスプリングコイル１６の付勢力を得て僅かに拡がり、Ｏリング１４と筐体３の内周面との密着性を緩め、引き続いて起こる軸体４の移動準備が完了する。
【００１１】
次いで、右側のエアシリンダ９のポート９Ｄから加圧空気を供給する一方、左側のエアシリンダ９のポート９Ｄを開放すると、右側のピストン９Ｂはシリンダ９Ａ内の加圧空気の作用で軸体４、４を牽引し右方へ移動し始める。そして、加圧空気の働きで軸体４、４が図２０に示すように右端に到達する。ピストン９Ｂがシリンダ９Ａ内で右端に到達した瞬間には左側の第２隔壁７はシールリング１２を右方に牽引している状態で両者７、１２はコイルスプリング１６の働きで最も離間した状態にあるが、加圧窒素ガスを孔３Ｃから供給することによりシールリング１２がコイルスプリング１６の付勢力に抗して第２隔壁７に近づき両者７、１２間のＯリング１４、１４を押し潰し、Ｏリング１４が筐体３の内周面に密着してトラップ室を加圧窒素ガス空間から封止する。この一連の動作で、排気物が除去されたトラップ手段５が再生室からトラップ室に切り替えられ、排気物を捕捉したトラップ手段５がトラップ室から再生室に切り替えられる。
【００１２】
ところで、従来の切替式トラップ装置１の場合にはトラップ室を封止するシール機構としてシールリング１２及びコイルスプリング１６を使用すると共に筐体３内に供給した加圧窒素ガスを用いてシールリング１２を押圧してシールリング１２のＯリング１４、１４を押し潰してトラップ室（真空空間）を封止するため、シール構造が複雑であるという課題があった。しかも、シール構造が複雑な割には軸体４、４が右端に達した瞬間の加圧窒素ガスによるシールリング１２のシール応答性が悪く、左側のシールリング１２がコイルスプリング１６の付勢力に抗して第２隔壁７に接近してＯリング１４、１４を押し潰すまでに時間が掛かるため、この間Ｏリング１４、１４がシール機構として十分に働かず、加圧窒素ガス空間とトラップ室間の気密が悪く、加圧窒素ガス空間からトラップ室内へ加圧窒素ガスが一気に流れ込み、真空ポンプに大きな負荷を掛けるという課題があった。
そこで、本出願人は、先の出願（特願２００１−５８９６５号）において上記課題を解決するためのトラップ装置を提案した。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この種の切替式トラップ装置にあっては、前述したように捕獲機能の再生のためにトラップした捕獲物を洗浄水等で洗い落とすが、この時に洗浄によって発生する排水は、トラップした捕獲物の種類にもよるが、強酸性を示す場合がある。この場合、このトラップ装置が耐腐食性に優れたステンレススチール等により形成されているとはいえ、長期間の使用により、次第に腐食されてくることは避けられない、という問題があった。
また、捕獲と再生の切り替えのために各隔壁６、７が筐体３の内周面に沿って摺動するが、長期間の使用により、この摺動部の摩擦抵抗がかなり増大してしまう、といった問題もあった。
【００１４】
また、排気路２を形成する配管類は、この内壁に反応副生成物等が付着することを防止するために例えばテープヒータ等が巻回されて、例えば１７０℃程度まで加熱されており、しかも、安全性のために断熱材によって周囲が覆われており、装置コストが増大する、といった問題もあった。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、強酸等に対する耐腐食性に強く、しかも、摺動抵抗を減少させることができるのみならず、それ程温度を高くしなくても、例えば１７０℃より低い温度で、不必要な部分に反応副生成物が付着することを抑制することができる真空排気系及びトラップ装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、真空処理室の稼働率を向上させて、排気ガス中から反応副生成物等を効率的に捕獲することが可能な切替式トラップ装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、真空処理室からの排気ガスを排出する排気路と、前記排気ガス中の排気物を捕捉することが可能なトラップ装置と、前記トラップ装置を通過した排気ガス中の有害物質を無害化する除害装置と、を有する真空排気系において、前記真空処理室と前記トラップ装置との間の前記排気路の内面及び前記トラップ装置内の前記排気ガスと接する面には、フッ素系樹脂層がコーティングされていることを特徴とする真空排気系である。
このように、排気路の内面及びトラップ装置内の排気ガスと接する面、すなわち排気ガスに晒される面にフッ素系樹脂層をコーティングするようにしたので、排気路の内面には温度が低くても反応副生成物等が付着し難くなり、また、トラップ装置の内面に関しては強酸等に対する耐腐食性を向上させ、可動部の摺動抵抗も抑制することが可能となる。
【００１６】
この場合、例えば請求項２に規定するように、前記トラップ装置と前記除害装置との間の前記排気路の内面には、前記フッ素系樹脂層がコーティングされている。
また、例えば請求項３に規定するように、前記トラップ装置は、全体が筐体により囲まれており、前記筐体の内部が融壁により複数に区画されていると共に、トラップ室と再生室とに切り替え可能になされた切替式トラップ装置であり、前記筐体の内面と前記融壁の表面には前記フッ素系樹脂層がコーティングされている。
また、例えば請求項４に規定するように、前記トラップ装置の内部には、フィンが設けられており、前記フィンは必要に応じて回転可能になされている。
このように、トラップ手段のフィンを回転可能としたので、捕獲物の付着が多い部分と少ない部分が発生した時に、フィンを適宜角度だけ回転することによりその位置を移動させてフィン全体に亘って捕獲物を付着させるようにでき、これによってトラップ効率を向上させることが可能となる。
【００１７】
請求項５に係る発明は、排気路に連通させて設けた外側筐体と、前記外側筐体に挿通された回転軸にその軸回り方向に沿って係合離脱可能に設けられて上方が開口された複数の内側筐体と、前記各内側筐体に収容されたトラップ手段と、前記各内側筐体の上端開口を着脱可能に覆う蓋体と、前記蓋体の内の１つの蓋体と前記外側筐体の排気路の取付部とを連通する伸縮可能になされた第１のベローズ手段と、前記他の蓋体と前記外側筐体の洗浄液導入口とを連通する第２のベローズ手段と、を備えたことを特徴とする切替式トラップ装置である。
このように、外側筐体内に、複数の内側筐体を回転軸の周囲に沿って設け、各内側筐体内にそれぞれトラップ手段を収容して、回転軸を回転することによって排気ガスと接触して反応副生成物等をトラップするトラップ手段と、捕獲物を洗浄によって除去して機能を回復させるトラップ手段とを簡単に入れ替えることができるので真空処理室の稼働を停止させる必要が無く、従って、この稼働率を向上できるのみならず、トラップ効率を向上させることが可能となる。
【００１８】
この場合、例えば請求項６に規定するように、前記回転軸は、昇降可能になされており、前記回転軸を上昇させた時に前記各内側筐体と係合される。
また、例えば請求項７に規定するように、前記外側筐体には、前記内側筐体内を通過した排気ガスを排出するガス排出口が設けられると共に、前記外側筐体には、前記内側筐体内を通過した洗浄液を排出する液排出口が設けられる。
また、例えば請求項８に規定するように、前記内側筐体の各蓋体は、一体的に成形されて共通蓋体になされている。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る真空排気系及び切替式トラップ装置の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。
＜第１の発明＞
まず、第１の発明について説明する。
図１は第１の発明の切替式トラップ装置の一例を示す断面図、図２は図１の切替式トラップ装置の要部を示す部分拡大図、図３は切替式トラップ装置のトラップ室と再生室の切替初期の状態を示す断面図、図４は図３に示す状態に続くトラップ室と再生室の切替時の初期の状態を示す断面図、図５は図１に示す切替式トラップ装置のトラップ室と再生室の切替終了直前の状態を示す断面図、図６は図１に示す切替式トラップ装置の内面にフッ素系樹脂層をコーティングした状態を示す模式図、図７は図１に示す切替式トラップ装置のトラップ手段を平面的に示す模式図、図８は図１に示す切替式トラップ装置を設けた本発明の真空排気系を示す構成図である。
【００２０】
まず、図１乃至図５を参照して切替式トラップ装置の構成及びその動作について説明する。尚、従来装置と同一または相当部分には同一符号を付して本発明を説明する。
この切替式トラップ装置１は、例えば図１に示すように、真空排気路２に連通させて配置された筐体３と、この筐体３内で真空排気路２に対して交差方向に同一軸芯を持って移動可能な左右一対の軸体４、４と、これらの軸体４、４の先端部にそれぞれ設けられたトラップ手段５、５と、これらのトラップ手段５、５を区画してそれぞれの区画室を形成し且つ各軸体４、４に固定された第１隔壁６、６及び第２隔壁７、７と、中央の第１隔壁６、６同士を左右方向に微動可能に連結する環状連結部材８と、第１隔壁６、６両側の第２隔壁７、７に対してそれぞれ連結され且つ各軸体４、４を左右方向に移動させて筐体３内でトラップ手段５、５の各区画室をトラップ室及び再生室として交互に切り替える左右一対の複動式エアシリンダ９、９とを備えている。
【００２１】
上記筐体３の中央部分の上下には、筐体３内に連通するフランジ部３ａ、３ａが設けられており、このフランジ部３ａ、３ａで上記排気路２に接続されている例えば一端が真空処理室Ｔの排気口側へ、他端が真空ポンプＰ側へ接続されている。そして、このフランジ部３ａ、３ａ内の筐体側壁には、実際にガスが流れるガス口３ｂ、３ｂが形成されている。図１において、４Ｅは軸体４、４を同一軸線に保持すると共に、両小径部４Ａ、４Ａを軸方向に僅かに接近離間できるように微動可能とする軸心保持部材である。
【００２２】
上記各軸体４、４は筐体３の左右開口から中心軸に沿って挿入されている。軸体４は、先端側の小径部４Ａと、基端側の大径部４Ｂと、これら両者４Ａ、４Ｂ間の中径部４Ｃとを有し、小径部４Ａにトラップ手段５が設けられている。小径部４Ａ先端には第１隔壁６が固定され、中径部４Ｃには第２隔壁７が固定されている。左右の軸体４、４にそれぞれ固定された第１隔壁６、６は互いに構造を異にするが、第２隔壁７、７は同一の構造である。左右の軸体４、４は、図１、図２の（ａ）に示すように、従来と同一構造の第１隔壁６、６を介して互いに連結され、エアシリンダ９、９を介して一体的に駆動する。即ち、図２の（ａ）に拡大して示すように、第１右隔壁６及び第１左隔壁６の先端側外周は基端側外周より縮小し、それぞれの縮小部の外周面に沿って溝６Ａ、６Ａが形成されている。そして、これらの溝６Ａ、６Ａに内周面に溝８Ａを有する上記環状連結部材８が嵌合して第１右隔壁６と第１左隔壁６とを連結している。左右の第１隔壁６、６は従来と同一構造であるため、従来と同一部分には同一符号を附してその説明は省略する。
【００２３】
また、複動式エアシリンダ９は、図１に示すように、シリンダ９Ａと、このシリンダ９Ａ内を左右方向に往復移動するリング状のピストン９Ｂと、このピストン９Ｂの中央孔を貫通し且つシリンダ９Ａと軸芯を共有する案内筒９Ｆとを有し、シリンダ９Ａ先端のフランジ部９Ｃを介して筐体３に連結され、筐体３内を封止している。フランジ部９Ｃにはポート９Ｄが形成され、これはエアシリンダ９を作動させる際にシリンダ９Ａ内に加圧空気、又は加圧窒素等の加圧不活性ガスを供給するための孔である。また、シリンダ９Ａの基端は案内筒９Ｆの基端からフランジ状に延設された蓋９Ｈで閉じられ、この蓋に形成されたポート９Ｇから例えば加圧空気を供給するようになっている。従って、複動式エアシリンダ９は、ポート９Ｄから加圧空気を供給してピストン９Ｂを案内する、蓋体９Ｈを兼ねる案内筒９Ｆに従ってシリンダ９Ａの先端側から基端側へ移動させ、ポート９Ｇから加圧空気を供給してピストン９Ｂを案内筒９Ｆに従ってシリンダ９Ａの基端側から先端側へ移動させる複動式シリンダ機構として構成されている。尚、図１において、ポート９Ｅは本実施形態では使用しないため閉塞した状態となっている。
図中右側に示しているポート９Ｅについて説明する。図中ではトラップ手段５が左側に移動した状態を示しており、また移動前に筐体３内を真空引きしているので、移動後図１中のＶＣで示す空間部分は真空状態となっている。そして孔３Ｂから供給されたＮ２　ガスが空間部分ＶＣ側へ矢印Ｘ１で示すように流入しないようにするため、孔３ＢへＮ２　ガスを供給する前に、ポート９Ｅより事前にＮ２　ガスを供給するようなシステムになっている。ここで上記Ｎ２　ガスは孔３Ｂへ供給するＮ２　ガスと同圧に設定されている。
【００２４】
複動式エアシリンダ９のピストン９Ｂには筒体１８が案内筒９Ｆと同軸状に連結され、この筒体１８がピストン９Ｂを介して案内筒９Ｆに従ってその外側で左右方向に往復移動する。筒体１８の基端部内周面にはＯリング１９が装着され、シリンダ９Ａ内と筐体３との間の気密を保持している。筒体１８の先端にはフランジ部１８Ａが形成され、このフランジ部１８Ａを介して第２隔壁７に対して左右方向に微動可能に連結されている。
【００２５】
そこで、フランジ部１８Ａと第２隔壁７との連結シール構造について図２の（ｂ）を参照しながら更に詳述する。図２の（ｂ）は図１中の左側の第２隔壁７の部分を示す。図１、図２の（ｂ）に示すように、第２隔壁７の外周面のフランジ部１８Ａ側の小径部には溝７Ａが形成され、また、フランジ部１８Ａの外周縁部の第２隔壁７側端面には径方向外側から内側に向けて第１、第２環状突起１８Ｂ、１８Ｃが順次形成されている。第１、第２環状突起１８Ｂ、１８Ｃの間には環状溝１８Ｄが形成されている。この環状溝１８Ｄには第２隔壁７の形成された筒状突起７Ｂが嵌入している。また、第１環状突起１８Ｂの外周面には第１、第２溝１８Ｅ、１８Ｆが全周に渡って隣り合わせて形成されている、ピストン９Ｂ側の第１溝１８Ｅにはキャップシール２０がシール部材として装着されており、これは筐体３と軸体４の同芯を得るガイドの役割も兼ねている。
【００２６】
このキャップシール２０は、例えば通常のＯリング（例えばバイトン）の表面にテフロン（登録商標）を施して形成されており、摺動に対しても高いシール性を保持できるものである。第２溝１８Ｆは筐体３との間で空間を形成し、この空間内には筐体３に形成されたポート３Ａから例えば加圧窒素ガスを供給して後述のシール部材からの漏れを、例えば圧力計や流量計で検出するようにしてある。更に、環状突起１８Ｂの内周面には第３溝１８Ｇが全周に渡って形成され、この第３溝１８Ｇの端壁部と第２隔壁７の溝７Ａが左右方向に微動可能な状態で噛み合っている。また、第２隔壁７の外周縁部端面及び第１環状突起１８Ｂの端面にはそれぞれ上昇傾斜するテーパ面７Ｄ、１８Ｈが形成されて断面形状が略Ｖ字状の空間が形成され、この空間にＯリング２１がシール部材として装着され、テーパ面７Ｄの装着面７Ｅに接触している。このＯリング２１は動作時に最適なシール特性を発揮する径寸法（例えばカルレッツ等よりなるＯリング２１の材質、太さ等によっても異なるが、その動作時の伸長率が２〜５％）になるように設定され、従って従来よりも太く、径寸法を小さに形成されている。このためＯリング２１は耐久性が高くなり、延命化された。この結果、従来はＯリングの径寸法は、非動作時（常温時）に最適なシール特性を発揮する径寸法に設定していたため、動作時にはＯリング２１が動作時の熱により伸び、Ｏリング２１の装着面７Ｅに対するシール特性が低下し、しかも筐体３の内周面と強く接触して短命化する虞があったが、本実施形態では動作時にこのようにシール特性が低下することがない。また、第２環状突起１８Ｃの外周面には溝１８Ｉが形成され、この溝１８ＩにＯリング１５が装着されている。このＯリング１５は第２隔壁７の筒状突起７Ｂの内周面に弾接し、筒体１８の気密を保持している。
【００２７】
尚、図示されないが、上記軸体４を介して第１、第２隔壁６、７には冷却水が循環されてトラップ手段５を例えば５０℃以下に、好ましくは２０〜４０℃程度まで冷却しており、このトラップ手段５で排気ガス中の反応副生成物や未反応ガス等を冷却して捕獲（トラップ）し得るようになっている。
【００２８】
次に、動作について説明する。
図１に示すように左側の複動式エアシリンダ９のピストン９Ｂが最も後退し、右側の複動式エアシリンダ９のピストン９Ｂが最も進出した状態で左側のトラップ手段５が第１、第２隔壁６、７で形成された再生室内で排気物を再生し、右側のトラップ手段５が第１、第２隔壁６、７で形成されたトラップ室内で排気物を捕捉する。捕捉、再生が終了した後、筐体３内をポート３Ｃ、３Ｂ、３Ａから真空引きし、右側の複動式エアシリンダ９のポート９Ｄから加圧空気を供給する一方、反対側のポート９Ｇを開放すると共に左側の複動式エアシリンダ９のポート９Ｄを開放する。
【００２９】
すると、まず図１に示すように右側のピストン９Ｂが斜線入り筒体１８を牽引し、筒体１８が右方へ僅かに移動する。引き続きこのピストン９Ｂが右方へ移動すると、図３に示すように筒体１８が第２隔壁７を牽引し、右側の軸体４及びその斜線入り第１隔壁６が右方へ僅かに移動して左側の軸体４の第１隔壁６から僅かに離間する。更に、右側のピストン９Ｂが右方へ移動すると、今度は斜線入り第１隔壁６が環状連結部材８を介して他方の第１隔壁６を介して左側の軸体４を右方へ牽引する。これにより図４に示すように左側の軸体４の斜線入り第２隔壁７が左側の筒体１８から僅かに離間する。従って、この時点では右側のピストン９Ｂは僅かに移動するが、左側のピストン９Ｂは静止している。
【００３０】
更に、右側のシリンダ９Ａ内に引き続き加圧空気を供給すると複動式エアシリンダ９、９が駆動し、それぞれのピストン９Ｂ、９Ｂが同時に右方へ移動し軸体４、４が右方へ移動し、図５に示すように筐体３内で軸体４、４が右端に到達する。軸体４、４が筐体３内の右端に達した瞬間は、右側の軸体４が左側の軸体４を牽引した状態で両者４、４は最も離間した状態である。
【００３１】
その後左側の複動式エアシリンダ９のポート９Ｇから加圧空気を供給すると、そのピストン９Ｂ及び筒体１８が図５に示す状態から僅かに右方へ移動し、筒体１８のフランジ部１８Ａと左側の軸体４に属する第２隔壁７の外周縁部間に装着されたキャップシール２０及びＯリング２１を第２隔壁７側へ押圧し、Ｏリング２１を押し潰すと共に左右の軸体４、４を最も近づけて第１隔壁６、６間のＯリング１０、１０を押し潰す。同様な作用が右側のフランジ部と右側の第２隔壁７の外周縁部間に装着されたキャップシール２０及びＯリング２１にも働き、これにより筒体１８と第２隔壁７間のＯリング２１が筐体３の内周面に密着すると共に左右の軸体４、４の第１隔壁６、６間のＯリング１０、１０が筐体３の内周面に密着してトラップ室及び再生室を確実にシールすることができる。このようにしてトラップ室と再生室の切り替えが終了すると、筐体３の三箇所のポート３Ａ、３Ｂから第１隔壁６、６間のＯリング１０、１０で囲まれた空間内及び左右の筒体１８と第２隔壁７、７間のキャップシール２０、Ｏリング２１で囲まれた空間内に例えば加圧窒素を供給して各空間を加圧する。
【００３２】
万一、Ｏリング１０、１０間あるいはキャップシール２０、Ｏリング２１のシール性が低下すれば、加圧窒素の圧力が低下したり、その流量が増加するため、圧力計または流量計を介してシール性の低下を瞬時に知ることができる。更に、上記加圧窒素は再生室に注入する水や気体の供給圧力よりも高い圧力に設定されている。従って、再生室からトラップ室、排気路への水や気体の漏れを防止することができる。
【００３３】
このように、トラップ室と再生室を切り替える駆動機構として複動式エアシリンダ９を用い、更に、複動式エアシリンダ９のピストン９Ｂに筒体１８を基端で連結すると共にこれらの筒体１８をそれぞれの先端に形成されたフランジ部１８Ａを介して第２隔壁７に対して左右方向に微動可能に連結し、しかも、フランジ部１８Ａの外周縁部と第２隔壁７の外周縁部の間にキャップシール２０、Ｏリング２１を介在させ、排気物の捕捉、再生の切替時にピストン９Ｂを介して筒体１８を第２隔壁７に押し付けてフランジ部１８Ａと第２隔壁７を互いに接近させ、これら両者１８Ａ、７でＯリング２１を圧縮してトラップ室を外部から封止するようにしたため、従来のようにトラップ室のシール機構を働かせるための加圧窒素ガスを使う必要がなく、しかも複動式エアシリンダ９の働きでシール応答性を高めることができ、ひいては切替動作時のシール性を高めることができる。しかも、第２隔壁７に対しては複動式エアシリンダ９で作動する筒体１８を微動可能に連結する構造で、従来のようにコイルスプリングや環状連結部材等を使用しないため、シール構造を簡素化することができる。
【００３４】
また、排気物の捕捉、再生時に筒体１８のフランジ部１８Ａ、第２隔壁７及び筐体３間に形成される空間に加圧窒素ガスを供給するポート３Ａを筐体３に設け、空間内の加圧窒素ガスの圧力または流量に基づいてキャップシール２０、Ｏリング２１のシール性を検出するようにしたため、シール性が低下すれば瞬時に知ることができる。
また、Ｏリング１０、２１は動作時に最適なシール特性を発揮する径寸法（例えば、動作時の伸長率が２〜５％）になるように設定されているため、動作時に筐体３、第１隔壁６、第２隔壁７からの熱により膨張した時のＯリング１０、２１の径寸法はそれぞれこれらの部材６、７の装着周面の径寸法より２〜５％伸びて最適なシール特性を発揮し、Ｏリング１０、２１が筐体３の内周面に無理な力が働かず余計に摩耗したり材料疲労することがなく、その耐久性を高め、延命化することができる。
尚、成膜処理の一例として、アンモニアとＴｉＣｌ４　を用いてチタンナイトライド膜を成膜する場合には、塩酸や塩化アンモニウム等が反応副生成物として発生する。
【００３５】
さて、本発明では、上述のような動作を行う切替式トラップ装置内の排気ガスと接する面及び排気路２の内面に本発明の特徴とするフッ素系樹脂層がコーティングされることになる。
具体的には、まず、切替式トラップ装置１側から説明すると、図６及び図７の模式図に示すように、円筒状の筐体３の内周面の全面及びこの筐体３の上下に接続されるフランジ部３ａの内周面の全面に亘ってフッ素系樹脂層３０がコーティングされている。この筐体３内の内周面に形成したフッ素系樹脂層３０は、排気ガスと接触するのみならず、この表面に接触して第１及び第２隔壁６、７が移動するので摺動面としても機能することになる。
【００３６】
また、筐体３のガス口３ｂを区画する区画壁には、その両面に亘って排気ガスが接触するので、この両面にフッ素系樹脂層３２がコーティングされる。
更に、両第１隔壁６及び第２隔壁７のトラップ手段５に対向する面にもフッ素系樹脂層３４が全面的にコーティングされている。また両第１隔壁６及び第２隔壁７のトラップ手段５に対向する面とは反対側の面（裏面）にもフッ素系樹脂層３４Ａが全面的にコーティングされている。また更に、トラップ手段５は、図７に示すように排気ガスと接触するように設けられた多数のフィン２９よりなり、これらのフィン２９は第１及び第２隔壁６、７に固定される。このようにして、トラップ手段５の表面を除き、トラップ装置１内の排気ガスに晒される全ての面にはフッ素系樹脂層が全てコーティングされている。
【００３７】
上記フッ素系樹脂としては、例えば四フッ化エチレン樹脂を用いることができる。このフッ素系樹脂は、耐熱性、滑り特性に優れることから、摩擦係数が少なくなり、しかも強酸等に対する耐腐食性も高く、更には、反応副生成物の付着量も低減させることができる。
従って、筐体３の内周面に沿って第１及び第２隔壁６、７が摺動する際に、この移動を円滑に行うことができる。従って、Ｏリング１０、２１等のシール部材も筐体３の内周面で円滑に摺動することができ、ひいてはシール部材を延命化することができると共に筐体３内周面への副生成物の付着を低減することができる。
【００３８】
また、トラップ手段５から捕獲物を洗浄液によって除去する際に、強酸性の溶液が発生するが、上記したフッ素系樹脂層は耐食性に優れることから、筐体３、第１、第２隔壁６、７及び軸体４の小径部４Ａが腐食することを防止でき、これらの部材の寿命を長くすることができる。
また、上記フッ素系樹脂層は、トラップ装置１内のみならず、図８に示すように排気路２の内面にも形成されている。具体的には、真空処理室Ｔとトラップ装置１との間の排気路２の内面全面及びこのトラップ装置１と除害装置Ｅとの間の排気路２の内面全面に、それぞれフッ素系樹脂層３８、４０がコーティングされている。尚、トラップ装置１よりも下流側のフッ素系樹脂層４０は、トラップ効率が１００％の場合には設ける必要がないが、実際にはトラップ効率は１００％ではないので、この下流側の排気路２の内面にもフッ素系樹脂層４０を設けるのが好ましい。
【００３９】
また、真空処理室Ｔと除害装置Ｅとの間の排気路２にはテープヒータ等よりなる加熱ヒータ４２が設けられており、排気路２の内面に反応副生成物が付着しないような温度、例えば１７０℃以下、好ましくは１００〜１６０℃の範囲に加熱される。
このように、排気路２の内面にもフッ素系樹脂層３８、４０をコーティングしたので、この部分に反応副生成物や未反応物が付着することを効率的に防止することができる。この場合、従来の排気ガス系にあっては、何らコーティング処理が施されていなかったので、反応副生成物等が付着し易かったことから、例えば１６０℃程度まで排気路を加熱しなければならなかったが、本発明のようにフッ素系樹脂層３８、４０のコーティング処理を行ったところ、反応副生成物等が付着し難くなったので、実験の結果、例えば１６０℃以下、好ましくは１００〜１４０℃の範囲の低い加熱温度でも反応副生成物の付着を防止することができた。
【００４０】
また、排気路２の加熱温度を１７０℃以下、好ましくは１００〜１６０℃と低くすることができるので、従来よりも電力量を削減することができる。
尚、上記実施例では、軸体４は、トラップ手段５をトラップ室１Ａと再生室１Ｂとの間で切り替えるために水平方向へスライド移動可能としているのが、これに加え、この軸体４を回転できるように構成してもよい。
図９はこのような切替式トラップ装置の変形例を示す断面図である。尚、図１に示す構成部分と同一構成部分には同一符号を付してその説明を省略している。
【００４１】
図９に示す装置例では、中心に位置する両軸体５の大径部４Ｂから水平方向外側に向けてそれぞれ回転軸４６を延在させて設けている。この回転軸４６は案内筒９Ｆを通ってその先端が外側に常に飛び出した状態となっている。そして、この回転軸４６の先端には、回転歯軸４８が設けられる。そして、図示しない回転モータ等によって、この回転軸４６を必要に応じて所定の角度ずつ、例えば間欠的に回転できるようになっている。尚、両回転軸４６は図示例のように、独立的に回転できるようにしてもよいし、或いは一体的に回転できるようにしてもよい。
この装置例の場合には、この回転軸４６を回転させることにより、これに一体的に取り付けられている軸体４、トラップ手段５であるフィン２９及び第１、第２隔壁６、７も一体的に回転することになる。
【００４２】
従って、排気ガスの流れの上流側に位置するトラップ手段５に捕獲物が多く付着し、逆に下流側に位置するトラップ手段５に捕獲物が少なく付着する傾向にあるが、プロセス途中においてこの回転軸４６を例えば１８０度回転させて上下のトラップ手段５を逆にすれば、全てのトラップ手段に対して略均一に捕獲物を付着させることができるので、トラップ効率を向上させることができるのみならず、トラップ手段５を有効に利用でき、しかもトラップ手段５の捕獲と再生のインターバルを長くすることができる。また、トラップ手段５を連続的に回転しながらトラップしてもトラップ効率を向上できる。
この場合、各シール部材としては摺動に対して耐久性の高い、例えばキャップシールを用いるのが好ましい。また、上記回転軸４６の駆動形態は上記実施例に特に限定されるものではない。
【００４３】
次に、切替式トラップ装置の他の変形例について説明する。図１０は切替式トラップ装置の他の変形例を示す概略断面図である。尚、図９に示す部分と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。また、図１０において図９中で示した細かな部分の記載は省略している。
図９に示す装置例の場合には、トラップ手段５に対して回転移動と左右方向へのスライド移動を付与するために、装置自体の側部へ大きく突出する回転用歯車４８付きの回転軸４６を設けたが、この図１０に示す装置例にあっては、回転軸４６の突出をなくすような構成としている。
【００４４】
すなわち、本実施例では、案内筒９Ｆをシリンダ９Ａに固定するのではなく、案内筒９Ｆの外周縁に形成したフランジ部９Ｆａを支持部材１００を介して保持することにより、この案内筒９Ｆを回転可能に支持している。このフランジ部９Ｆａと上記シリンダ９Ａの端面との間には、気密性を維持するためのＯリング等のシール部材１０２が介在されている。また、この案内筒９Ｆの内周面には、一対のキー溝１０４がその長手方向に沿って形成されている。
【００４５】
一方、トラップ手段５を保持する軸体４に連結される回転軸４６は、図９に示す場合よりもその長さが半分程度に短くなされており、その全体は上記案内筒９Ｆ内へスライド移動して収容可能になされている。そして、この案内筒９Ｆの先端側には凸状になされた一対のキー１０６が設けられており、このキー１０６を上記案内筒９Ｆの内面に形成されているキー溝１０４に嵌合されて、上記軸体４６の案内溝９Ｆ内へのスライド移動を許容すると共に、回転方向に関してはその自由回転は規制しており、上記案内筒９Ｆと一体的に回転し得るようになっている。
ここで上記案内筒９Ｆの先端の外周部には、その周方向に沿ってギア部１０８が設けられており、このギア部１０８に、駆動歯車１１０を歯合させて、上記案内筒９Ｆを任意の方向に回転し得るようになっている。
また、左右の両軸体４は、キー付きの軸心保持部材４Ｅａで連結されており、両軸体４が一体的に回転し得るようになっている。従って、上記駆動歯車１１０やギア部１０８は、両側の案内筒９Ｆに設ける必要はなく、図示例では右側の一方の案内筒９Ｆに設けている。
【００４６】
これによれば、駆動歯車１１０を回転することにより、案内筒９Ｆが回転し、これにより左右の両軸体４６及び左右の両トラップ手段５が一体的に回転することになる。
また、この実施例では、トラップ手段５が左右方向に移動しても、軸体４６の長さが短いので、このシリンダ９Ａの側部より外側へ飛び出ることもない。
また、ここではトラップ手段５を回転させるために、駆動歯車１１０とこれに歯合されるギア部１０８を設けたが、これに限定されず、他の手法を用いてもよい。
【００４７】
図１１は、圧縮気体、例えば圧縮空気を用いてトラップ手段を回転させる時のシリンダと案内筒の部分の概略図を示している。ここではシリンダ９Ａ内を仕切壁１１２Ａ〜１１２Ｄによって４つの空間１１４Ａ〜１１４Ｄで仕切り、各部屋１１４Ａ〜１１４Ｄに圧縮気体、例えば圧縮空気の給排ライン１１６Ａ〜１１６Ｄを設ける。そして、これらの給排ライン１１６Ａ〜１１６Ｄへの圧縮空気の給排を制御することにより軸体４６を正逆回転させるようにする。
また、本実施例においても、先に説明したと同様に排気路２の内面及びトラップ装置５０の内面の排気ガスに晒される部分を全て、フッ素系樹脂層でコーティングするようにしてもよい。
【００４８】
＜第２の発明＞
次に、第２の発明について説明する。
図１２は第２の発明の切替式トラップ装置の一例を示す斜視図、図１３は図１２に示すトラップ装置の断面図、図１４は図１３中のＡ−Ａ線矢視断面図、図１５及び図１６は図１２に示すトラップ装置の動作を説明するための断面図である。
図１に示す第１の発明のトラップ装置は、トラップ手段５を水平方向に交互に移動させて、捕獲と再生を入れ替えていたが、この第２の発明ではトラップ手段を軸の回りに回転移動させることで、捕獲と再生を入れ替えるようにしている。
【００４９】
すなわち、図１２乃至図１４に示すように、このトラップ装置５０は、例えばアルミニウムやステンレススチール等よりなる大口径の円筒体状の外側筐体５２を有しており、これに排気路２を連通させている。
この排気路２は、円筒状の外側筐体５２の中心部と周縁部との間の略中間位置に接続されている。また、この外側筐体５２の中心部には、上下方向に回転軸５４が挿通されている。この回転軸５４は、上下の支持部５６、５８により回転可能に支持されると共に、上記外側筐体５２に対して上下方向へ摺動可能に支持されている。
【００５０】
特に下流の支持部５８及び上流の支持部５６はそれぞれシリンダ状に成形されて、このシリンダ状の支持部５８及び支持部５６に上記回転軸５４の下端部及び上端部をピストンとしてそれぞれ嵌装させている。そして、この支持部５８の下端部には圧縮空気の導入口６０が形成されており、これに圧縮空気を吸入及び排出することにより、上記回転軸５４を所定のストロークだけ昇降できるようになっている。また、支持部５６には圧縮空気の導入口６１が形成されており、上昇した回転軸５４を下方向へ降下させ、蓋体６６を下方へ押圧するようになっている。尚、この導入口６１へ圧縮空気を供給することに代え、或いはこれと併用するようにして、蓋体６６と外側筐体５２の天井部との間にコイルスプリングのような弾発部材６７を介在させて上記蓋体６６に対して下方向への押圧力を常時付勢するようにしてもよい。
また、この回転軸５４の上端部には歯車６２が設けられており、これに図示しない回転モータを取り付けて、上記回転軸５４を所定の角度ずつ、間欠的に回転し得るようになっている。また、この回転軸５４の長さ方向の略中央部には、後述するように内側筐体を回転移動する際に、これと係合する円形の係合キー６３が取り付け固定されている。
【００５１】
そして、この外側筐体５２内には、上記回転軸５４の軸回り方向に沿って複数、図示例では４つの小口径の円筒体状の内側筐体６４Ａ、６４Ｂ、６４Ｃ、６４Ｄが配置されている。そして、各内側筐体６４Ａ〜６４Ｄ内には、フィン等よりなるトラップ手段６５がそれぞれ設けられる。この内側筐体６４Ａ〜６４Ｄは、例えば耐腐食性に優れるステンレススチール等により成形され、その上端及び下端が開口されている。
そして、この各内側筐体６４Ａ〜６４Ｄの上端開口を密閉状態で覆うように蓋体６６が設けられる。この蓋体６６は大きな円板状に成形されており、その中心部には、軸受６８を介して上記回転軸５４が挿通させて設けられている。そして、この蓋体６６は、上記回転軸５４に設けた係合凸起７０と係合しており、上記回転軸５４の昇降移動と一体的に上下移動できるようになっている。そして、上記蓋体６６と上記各内側筐体６４Ａ〜６４Ｄの上端の接合部には、例えばＯリング等のシール部材７２が介設されており、内側筐体６４Ａ〜６４Ｄ内を密閉できるようになっている。
【００５２】
また、この蓋体６６には、上記回転軸５４を中心として対称的に配置して大口径のガス入口７４と小口径の洗浄液入口７６とが設けられる。そして、この大口径のガス入口７４と上記外側筐体５２の天井部に対する排気路２の取付部との間には伸縮可能になされた大口径の第１のベローズ手段７８が介設されると共に、上記小口径の洗浄液入口７６と上記外側筐体５２の天井部に設けた洗浄液導入口８０との間には小口径の第２のベローズ手段８２が介設されている。尚、上記洗浄液導入口８０には、洗浄液を導入する洗浄液通路８３が接続されている。
また、各内側筐体６４Ａ〜６４Ｄの上記回転軸５４に対向する部分には、上記回転軸５４の係合キー６３を収容して所定のストロークだけ回転軸５４が上昇した時にこれと係合する係合段部８４が設けられており、上記回転軸５４が上昇した時に、所定のストローク量だけ上昇した時に上記係合キー６３と係合段部８４とが係合し、その後に上記各内側筐体６４Ａ〜６４Ｄも、回転軸５４と共に一体的に上昇できるようになっている。尚、各内側筐体６４Ａ〜６４Ｄは図示されないバインダ等により互いに一体的に保持されている。
【００５３】
そして、上記蓋体６６に設けたガス入口７４及び洗浄液入口７６に対向する外側筐体５２の底部にはガス排出口８６及び洗浄液出口８８がそれぞれ設けられている。そして、ガス排出口８６には、排気側の排気路２が接続されると共に、上記洗浄液出口８８には排出側の洗浄液通路８３が接続されている。
また、上記各内側筐体６４Ａ〜６４Ｄの下端部と外側筐体５２の底部との接触部には、例えばＯリング等よりなるシール部材９０がそれぞれ介設されており、各内側筐体６４Ａ〜６４Ｄ内を密閉状態にし得るようになっている。尚、上記トラップ手段５に冷却水が流通されているのは、先の第１の発明の場合と同様である。
【００５４】
次に、上記装置例の動作について説明する。
図１３においては、内側筐体６４Ａ中に排気ガスが流されてこの中でトラップ手段５が排気ガス中の反応副生成物等を捕獲している。他方、この内側筐体６４Ａと装置中心に対して対称位置に配置されている内側筐体６４Ｃ中には洗浄液（洗浄水）が流通されて、内部のトラップ手段５に付着していた捕獲物が洗い流されて、機能再生が行われている。
尚、他の内側筐体の内のいずれか一方、例えば内側筐体６４Ｂはすでに内部に捕獲物が詰まって洗浄待ちをしており、他方の内側筐体６４Ｄは内部が完全に洗浄されて次のトラップ操作のために待機している。
【００５５】
さて、このような状態において、内側筐体６４Ａ内のトラップ手段５の捕獲物の量が規定値に達すると、プロセスのアイドリング中に、まず、圧縮空気をシリンダ−ピストン状態になっている回転軸５４の下部の支持部５８内に導入する。これにより、回転軸５４は次第に上昇し、この時、各内側筐体６４Ａ〜６４Ｄを上端開口を密閉する蓋体６６も一体的に上昇する。そして、回転軸５４がある程度上昇すると、この回転軸５４の中央部に設けた係合キー６３が各内側筐体６４Ａ〜６４Ｄの係合段部８４と係合することになる。この時の状態は図１５に示されている。
そして、更に回転軸５４を上昇させると、今度は各内側筐体６４Ａ〜６４Ｄも回転軸５４と一体的に上昇することになる。この時の状態を図１６に示している。
【００５６】
このようにして、回転軸５４が最上端に達したならば、この回転軸５４を、図示しない駆動モータを回転させるとによって上端の歯車６２を介して９０度だけ回転する。すると、図１４において矢印９４に示す方向に各内側筐体は９０度回転することになり、今度はトラップを行う内側筐体は内側筐体６４Ｄとなり、洗浄を行う内側筐体は内側筐体６４Ｂとなる。そして、上記とは逆の操作を行って回転軸５４を最下端まで降下させることによって、蓋体６６等も降下して各内側筐体６４Ａ〜６４Ｄ内を完全に密閉状態にする。これにより、次のトラップ操作と洗浄再生操作が行われることになる。
【００５７】
以上のようにして、所定回数のプロセス処理が終了する毎に、回転軸５４を９０度ずつ回転して、トラップ操作と洗浄再生操作を間欠的に行うようにする。
これにより、真空処理室でのプロセス長期間中断することなく連続して行うことができるので、この稼働率を高く維持することが可能となる。
図示例では４つの内側筐体６４Ａ〜６４Ｄを設けたが、数量は２つ以上であればよく、上記数量に限定されない。
また、本実施例においても、第１の発明と同様に排気路２の内面及びトラップ装置５０の内面の排気ガスに晒される部分を全て、フッ素系樹脂層でコーティングするようにしてもよい。
【００５８】
尚、上記各実施例においては、真空処理室として枚葉式の処理室を例にとって説明したが、これに限定されず、一度に複数枚の半導体ウエハを処理することが可能なバッチ式の処理室に対しても、本発明を適用することができる。
また、本発明は、被処理体としては半導体ウエハに限定されず、ガラス基板、ＬＣＤ基板等に対しても適用することができる。
【００５９】
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の発明の切替式トラップ装置の一例を示す断面図である。
【図２】図１の切替式トラップ装置の要部を示す部分拡大図である。
【図３】切替式トラップ装置のトラップ室と再生室の切替初期の状態を示す断面図である。
【図４】図３に示す状態に続くトラップ室と再生室の切替時の初期の状態を示す断面図である。
【図５】図１に示す切替式トラップ装置のトラップ室と再生室の切替終了直前の状態を示す断面図である。
【図６】図１に示す切替式トラップ装置の内面にフッ素系樹脂層をコーティングした状態を示す模式図である。
【図７】図１に示す切替式トラップ装置のトラップ手段を平面的に示す模式図である。
【図８】図１に示す切替式トラップ装置を設けた本発明の真空排気系を示す構成図である。
【図９】切替式トラップ装置の変形例を示す断面図である。
【図１０】切替式トラップ装置の他の変形例を示す概略断面図である。
【図１１】圧縮気体を用いてトラップ手段を回転させる時のシリンダと案内筒の部分を示す概略図である。
【図１２】第２の発明の切替式トラップ装置の一例を示す斜視図である。
【図１３】図１２に示すトラップ装置の断面図である。
【図１４】図１３中のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図１５】図１２に示すトラップ装置の動作を説明するための断面図である。
【図１６】図１２に示すトラップ装置の動作を説明するための断面図である。
【図１７】従来の切替式トラップ装置を適用した真空排気ラインを概念的に示す構成図である。
【図１８】従来の切替式トラップ装置を示す断面図である。
【図１９】図１８に示す切替式トラップ装置の要部を拡大して示す部分断面図である。
【図２０】図１８に示す切替式トラップ装置のトラップ室と再生室の切替終了直前の状態を示す図である。
【符号の説明】
１　トラップ装置
２　排気路
３　筐体
４　軸体
５　トラップ手段
６　第１隔壁
７　第２隔壁
９　複動式エアシリンダ（複動式シリンダ機構）
３０，３２，３４，３６，３８，４０　フッ素系樹脂層
５０　トラップ装置
５２　外側筐体
５４　回転軸
６４Ａ〜６４Ｄ　内側筐体
６６　蓋体
６５　トラップ手段
７８　第１のベローズ手段
８２　第２のベローズ手段
８６　ガス排出口
８８　洗浄液出口
Ｅ　除害装置
Ｔ　真空処理室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2004111834.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2004111834.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2004111834.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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