(57)【要約】【解決課題】電流を流しても、前述した銀の凝集に由来すると考えられる点状の欠陥を生じない、有機エレクトロルミネッセンス素子等の表示素子に用いる透明電極として実用的なものを提供することにある。【解決方法】水素原子を１．０×１０２０〜１．０×１０２３（ａｔ／ｃｍ３）の割合で含有する高屈折率透明薄膜層（ａ）及び金属薄膜層（ｂ）を透明基体（Ａ）上に積層してなることを特徴とする透明電極を使用する。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
水素原子を１．０×１０２０〜１．０×１０２３（ａｔ／ｃｍ３）の割合で含有する高屈折率透明薄膜層（ａ）及び金属薄膜層（ｂ）を透明基体（Ａ）上に積層してなることを特徴とする透明電極。
【請求項２】
水素原子を１．０×１０２０〜１．０×１０２３（ａｔ／ｃｍ３）の割合で含有する高屈折率透明薄膜層（ａ）、金属薄膜層（ｂ）、透明基体（Ａ）をＡ／ｂ／ａ、Ａ／ａ／ｂ／ａ、Ａ／ｂ／ａ／ｂ／ａ又はＡ／ａ／ｂ／ａ／ｂ／ａの順に積層してなる請求項１に記載の透明電極。
【請求項３】
透明酸化物層（ａ）が、酸化インジウム、酸化スズ又は酸化チタンを主成分とすることを特徴とする請求項１又は２に記載の透明電極。
【請求項４】
金属薄膜層（ｂ）が銀又は銀合金からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の透明電極。
【請求項５】
請求項１〜４いずれかに記載の透明電極をもちいることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【従来の技術】
透明導電性薄膜は、透明であるにもかかわらず導電性を有する薄膜であり、その代表例は、インジウムとスズとの酸化物（ＩＴＯ）からなる薄膜である。その用途は幅広い。主な用途は、表示パネルの透明電極用や電磁波遮断用である。
表示パネルの透明電極用途としては、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）ディスプレイ、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等に現在、広く用いられている。
【０００２】
最近、表示パネルの大型化及び小型携帯化ニーズが非常に高まっている。これを実現するためには、表示素子の低消費電力化が必要である。この目的のためには、可視光線透過率を維持しつつ、抵抗値が低い透明導電性薄膜の開発が有効である。特に最近開発されつつある、有機エレクトロルミネッセンス素子に関しては、自発光タイプであり、小型携帯端末向けに有用であるが、電流駆動で消費電力が大きいため、透明導電性薄膜の低抵抗化への期待は大きい。また、現在、市場に広まりつつあるプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）や次世代のディスプレイとして開発されつつあるフィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）に関しても、それらが高消費電力な構造であるため、低抵抗透明導電性薄膜開発に対する期待は大きい。
【０００３】
低抵抗透明導電性薄膜の開発にあたっては、金属薄膜層、特に純物質中で最も比抵抗が小さい銀を用いた金属薄膜層の利用が有効である。さらに透過率上昇及び金属薄膜層の安定性向上の目的で、金属薄膜層を透明高屈折率薄膜層で挟み込み透明導電性薄膜積層体を形成することが非常に効果的である。この透明導電性薄膜積層体は、各薄膜層の材料や膜厚を選ぶことによって、用途に応じて最適な光学特性及び電気特性を持つように設計することができる。
金属薄膜層材料としてその比抵抗の低さ故に好適に用いられる銀は、反面原子の凝集を生じやすいという面を持つ。銀薄膜中の銀原子が凝集すると銀白色の点を生じ、本来持つ高透明性や、低抵抗性を失ってしまう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
電流を流しても、前述した銀の凝集に由来すると考えられる点状の欠陥を生じない、有機エレクトロルミネッセンス素子等の表示素子に用いる透明電極として実用的なものを提供することにある。
【０００５】
【発明を解決するための手段】
本発明者らは上記の課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、透明導電性薄膜積層体の透明酸化物層に水素を含有させることにより、課題の解決に到ることを見出し、本発明に到った。
【０００６】
本発明は、以下の事項によって特定される。
（１）　水素原子を１．０×１０２０〜１．０×１０２３（ａｔ／ｃｍ３）の割合で含有する高屈折率透明薄膜層（ａ）及び金属薄膜層（ｂ）を透明基体（Ａ）上に積層してなることを特徴とする透明電極。
（２）　水素原子を１．０×１０２０〜１．０×１０２３（ａｔ／ｃｍ３）の割合で含有する高屈折率透明薄膜層（ａ）、金属薄膜層（ｂ）、透明基体（Ａ）をＡ／ｂ／ａ、Ａ／ａ／ｂ／ａ、Ａ／ｂ／ａ／ｂ／ａ又はＡ／ａ／ｂ／ａ／ｂ／ａの順に積層してなる（１）に記載の透明電極。
（３）透明酸化物層（ａ）が、酸化インジウム、酸化スズ又は酸化チタンを主成分とすることを特徴とする（１）又は（２）に記載の透明電極。
（４）　　金属薄膜層（ｂ）が銀又は銀合金からなることを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の透明電極。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明における透明導電性薄膜積層体は、透明酸化物層に水素原子を含有することを特徴とするするものであり、それを透明電極として用いた有機エレクトロルミネッセンス素子に代表される表示素子は良好な発光特性を示す。
（構成）
本発明における、透明導電性薄膜積層体の構成は、透明基体（Ａ）、透明高屈折率薄膜層（ａ）、銀または銀合金からなる金属薄膜層（ｂ）とすると、Ａ／ｂ／ａ、Ａ／ａ／ｂ／ａ、Ａ／ｂ／ａ／ｂ／ａ、Ａ／ａ／ｂ／ａ／ｂ／ａ、Ａ／ｂ／ａ／ｂ／ａ／ｂ／ａ、Ａ／ａ／ｂ／ａ／ｂ／ａ／ｂ／の中から選ばれるいずれかである構成が好ましい。
【０００８】
なお、各層の間には、様々な機能層を含んでいても構わない。機能層としては密着層、ガスバリヤー層、耐環境性向上のための層等が挙げられる。
（透明基体Ａ）
本発明における透明基体（Ａ）としては、ガラス板及び高分子成形体を用いることができる。
【０００９】
本発明に用いられる透明高分子成形基体としては、主にフィルム状態及び板の状態のものが使用され、透明性に優れ、用途に応じた十分な機械的強度を持つものであることが好ましい。ここで、透明性に優れるとは、使用される状態での厚さにおいて、視感透過率が、４０％以上であることを指す。また、透明高分子成形基体の主面と反対面には、反射防止層や防眩層が形成されていても構わない。
【００１０】
フィルム状態の透明基体としては、高分子フィルムが好適に用いられる。具体的に例示すると、ポリイミド、ポリスルフォン（ＰＳＦ）、ポリエーテルスルフォン（ＰＥＳ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリメチレンメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）等が挙げられる。中でもポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルスルフォン（ＰＥＳ）、ポリイミドは、特に好適に用いられる。
フィルムの厚さに特に制限はない。通常は、２０〜５００μｍ程度である。
【００１１】
板状の透明基体としては、高分子成形体及びガラス成形体等が挙げられる。透明高分子成形体は、ガラスに比較して、軽い、割れにくい等の理由でより好適に用いられる。好ましい材料を例示すれば、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）を始めとするアクリル樹脂、ポリカーボネイト樹脂等が挙げられるが、これらの樹脂に特定されるわけではない。中でもＰＭＭＡは、その広い波長領域での高透明性と機械的強度の高さから好適に使用することができる。
透明高分子成形体には、表面の硬度または密着性を増す等の理由でハードコート層が設けられることが多い。
【００１２】
ガラス成形体としては、表面の反り、傷などがほとんどなく、熱安定性に優れるものが一般的に使われている。アクティブマトリックス駆動方式向けでは、ガラスからのアルカリ溶出があるとアクティブ素子性能に大きく影響する懸念があるので、無アルカリガラス（白板ガラス）が用いられている。単純マトリクス駆動方式向けでは、安価なソーダライムのガラス（青板ガラス）を用いることができる。ガラス板の製造方法は、フロート法、ダウンロード法、フュージョン法などがある。無アルカリガラスは、ダウンロード法またはフュージョン法を用いて作製され、ソーダライムガラスは、フロート法を用いて作製される。
板状透明基体の厚さに特に制限はなく、十分な機械的強度と、たわまずに平面性を維持する剛性が得られれば良い。通常は、０．３〜１０ｍｍ程度である。
【００１３】
また、透明基体の表面にはガスバリヤー性を向上させるための層や耐溶剤性を向上させるための層が形成されていても構わない。ガスバリヤー性を向上させる目的では、無機材料として、シリコン系酸化物、シリコン系窒化物、有機材料としてエチレンビニル酢酸化合物（ＥＶＡ）、ポリビニル酢酸化合物（ＰＶＡ）などが一般的に使用されているが、これに限定されるわけではない。耐溶剤性を向上させる目的では、一般的なハードコート層を用いることが多い。また、透明基体の表面には反射防止層や防眩層が形成されていても構わない。
（透明高屈折率薄膜層ａ）
透明高屈折率薄膜層（ａ）に用いられる材料としては、できるだけ透明性に優れたものであることが好ましい。ここで透明性に優れるとは、膜厚１００ｎｍ程度の薄膜を形成したときに、その薄膜の視感透過率が６０％以上であることを指す。また、高屈折率材料とは、５５０ｎｍの光に対する屈折率が、１．４以上の材料である。これらには、用途に応じて不純物を混入させても良い。
【００１４】
透明高屈折率薄膜層用に好適に用いることができる材料を例示すると、インジウムとスズとの酸化物（ＩＴＯ）、カドミウムとスズとの酸化物（ＣＴＯ）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化亜鉛（ＺｎＯ３）、亜鉛とアルミニウムとの酸化物（ＡＺＯ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化トリウム（ＴｈＯ２）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、酸化ランタン（ＬａＯ２）、酸化シリコン（ＳｉＯ２）、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）、酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ３）、酸化アンチモン（Ｓｂ２Ｏ３）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化セシウム（ＣｅＯ２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化ビスマス（Ｂｉ２Ｏ３）等である。
また、透明高屈折率硫化物を用いても良い。具体的に例示すると、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、硫化カドミウム（ＣｄＳ）、硫化アンチモン（Ｓｂ２Ｓ３）等があげられる。
【００１５】
透明高屈折率薄膜材料としては、ＩＴＯが特に好ましい。ＩＴＯは、導電性を持つ上に、可視領域における屈折率が、２．０程度と高く、さらに可視領域にほとんど吸収を持たない。
用いるＩＴＯ中に含まれるスズの割合に特に制限はない。通常は、０〜５０重量％である。
【００１６】
本発明における透明電極には、少なくとも二つの透明高屈折率薄膜層（ａ）が存在するのが好ましく、最表面に位置する透明高屈折率薄膜層（ａ）は、素子を作製した時、例えば有機エレクトロルミネッセンス素子を作製した時は、直接有機層と接しているため、その電気抵抗の大きさが、発光輝度を左右する。このため、最表面に位置する透明高屈折率薄膜層（ａ）に用いられる材料は、比抵抗が低いものが好ましい。通常はＩＴＯが好適に用いられる。この最表面に位置する透明高屈折率薄膜層（ａ）の好ましい比抵抗は１×１０−６（Ω・ｃｍ）以上、１×１０−３（Ω・ｃｍ）以下である。またより好ましくは１××１０−６（Ω・ｃｍ）以上、１×１０−４（Ω・ｃｍ）以下、さらにより好ましくは１×１０−６（Ω・ｃｍ）以上、１×１０−５（Ω・ｃｍ）以下である。
【００１７】
透明高屈折率薄膜層の厚さに関しては、透明電極全体の透過性及び電気伝導性を考慮して決定される。通常は、０．５〜１００ｎｍ程度である。
本発明において少なくとも一つの透明高屈折率薄膜層（ａ）は、水素原子を含有する。
本発明者らは、透明高屈折率薄膜層（ａ）に水素原子を含有させることによって、透明導電性薄膜積層体の電流に対する耐久性を大幅に向上させることができることを見出した。
複数の透明高屈折率薄膜層（ａ）を有する透明導電性薄膜積層体の場合、製法上、後に該透明高屈折率薄膜層上に金属薄膜層（ｂ）が形成されるような透明高屈折率薄膜層（ａ）が水素原子を含有するものであることが効果的である。
例えば断面の構成が、透明基体（Ａ）／透明高屈折率薄膜層（ａ１）／金属薄膜層（ｂ）／透明高屈折率薄膜層（ａ２）である透明導電性薄膜積層体の場合、まず透明基体（Ａ）上に透明高屈折率薄膜層（ａ１）を積層し、その上に金属薄膜層（ｂ）、さらにその上に透明高屈折率薄膜層（ａ２）を積層する。この場合、いずれか一つの透明高屈折率薄膜層のみに水素原子を含有させる場合は、透明高屈折率薄膜層（ａ１）を選択することが好ましい。
但し、金属薄膜層（ｂ）上に後から形成される透明導電性薄膜積層体（ａ２）に水素原子を含有させることによっても電流に対する耐久性は向上する。すなわち透明高屈折率薄膜層（ａ２）に水素原子を含有させてもよい。また、その上に後に金属薄膜層（ｂ）を形成する透明高屈折率薄膜層（ａ１）及び金属薄膜層（ｂ）上に形成する透明高屈折率薄膜層（ａ２）両者に水素原子を含有させても良い。この場合、各透明高屈折率薄膜層に水素原子を含有させた効果が相乗効果を生み出すので、電流に対する耐久性を向上させる上で最も効果的である。
【００１８】
透明高屈折率薄膜層に水素原子を含有させる手法に特に制限はない。
通常は適当な水素ガス雰囲気中において該透明高屈折率薄膜層を成膜することにより、水素原子を含有した透明高屈折率薄膜層を形成することができる。
例えば、スパッタリング法によって透明高屈折率薄膜層を形成する場合は、成膜ガスとしてアルゴン、また必要に応じて反応性ガス雰囲気中において成膜が行われるが、このガスに適当な量の水素原子を混合することによって、水素原子を含有する透明高屈折率薄膜層を形成することができる。例えば、水素原子を含有するインジウムとスズとの酸化物薄膜を形成する場合は、ターゲットとしてインジウムとスズとの酸化物を用い、アルゴン、酸素、水素混合ガス雰囲気中でスパッタリングを実施すればよい。
【００１９】
透明高屈折率薄膜層（ａ）における水素原子含有割合は、高すぎると透明導電性薄膜積層体の透過率の低下を引き起こす場合がある。その一方で低すぎると透明導電性薄膜積層体の電流に対する耐久性を向上させる効果が十分に現れない場合がある。
透明高屈折率薄膜層（ａ）の水素原子含有割合は、透明導電性薄膜積層体の透過率及び必要な電流に対する耐久性を考慮した上で決定される。水素原子含有割合が高すぎると作成する透明導電性薄膜積層体の透過率が低くなり好ましくない場合がある。また低すぎると電流に対する耐久性を十分に得ることができないため好ましくない場合がある。
透明高屈折率薄膜層（ａ）の水素原子含有割合は、通常は１．０×１０１９〜１．０×１０２４（ａｔ／ｃｍ３）である。
好ましくは　１．０×１０２０〜１．０×１０２３（ａｔ／ｃｍ３）　、さらに好ましくは　　　１．０×１０２１〜１．０×１０２２（ａｔ／ｃｍ３）である。
なお、透明高屈折率薄膜層（ａ）の水素含有量は以下の手法によって決定する。水素原子を含有した透明高屈折薄膜の標準試料を用意する。標準試料は水素原子含有量がことなるものを複数用意する。各標準試料の水素原子含有量を昇温脱離ガス質量分析法を用いて測定する。また各標準試料をＳＩＭＳ分析し、水素原子によるピーク強度を調べる。
上記の結果を元にＳＩＭＳ測定により得られる強度と水素原子含有量との相関式を得る。
続いて測定サンプルをＳＩＭＳ測定し、水素原子ピーク強度を調べる。その後、標準試料を用いて作成した、ＳＩＭＳ強度と水素原子含有量の相関式より、サンプル中の水素原子含有量を読み取る。
【００２０】
（金属薄膜層ｂ）
本発明における金属薄膜層ｂとしては、銀または銀合金からなる金属薄膜層が好適に用いられる。銀は、比抵抗が、１．５９×１０−６（Ω・ｃｍ）であり、あらゆる材料の中で最も電気伝導性に優れる上に、薄膜の可視光線透過率が優れるために本発明において好適に用いられる。但し、銀は、薄膜とした時に安定性を欠き、凝集するという問題を持っている。銀を用いて本発明における透明導電性薄膜積層体を作製し、さらにそれを用いて有機エレクトロルミネッセンス素子を作製し、発光試験を実施すると、発光部分において、透明電極の劣化が原因と推定される、点状の非発光部分が容易に生じてしまう。
この為、安定性を増すために、銀の合金が用いられる場合が多い。銀の合金に用いられる銀以外の金属を具体的に例示すると金、銅、パラジウム、白金、インジウム、ネオジウム等である。中でも銀と金の合金及び銀とパラジウムと銅の合金及び銀とネオジウムと金の合金が好適に用いられる。合金中の銀以外の金属の量は、用途に応じて決定される。少なすぎると安定性の効果が得られず、多すぎると光学特性、電気特性が低下するので好ましくない傾向にある。
【００２１】
例えば、銀と金の合金における好ましい金含有量は、３〜２０重量％であり、好ましく５．５〜１５重量％、さらにより好ましくは１０〜１５重量％である。銀とパラジウムと銅の合金におけるパラジウム及び銅の好ましい含有量は０．３〜２重量％であり、より好ましくは０．５〜２重量％、さらにより好ましくは１．０〜１．５重量％である。
さらに銀とネオジムウと金の合金におけるネオジムウと金の好ましい含有量は、ネオジムウが０．１ａｔ％以上、１．０ａｔ％以下、金が０．３ａｔ％以上、２ａｔ％以下である。なお、さらに好ましくはネオジウムが０．４ａｔ％以上、１．０ａｔ％以下、金が０．３ａｔ％以上、０．９ａｔ％以下である。さらにより好ましいネオジウムと金の含有量はネオジウムが０．４ａｔ％以上、０．７ａｔ％以下であり、金が０．３ａｔ％以上、０．６ａｔ％以下である。
これらの銀合金を用いて透明導電性薄膜積層体を作製し、それを透明電極として有機エレクトロルミネッセンス素子とし、発光試験を実施すると、純銀を用いた場合に比較して、非発光部分が生じにくくなる。
【００２２】
銀または銀合金からなる金属薄膜層の厚さに関しては、用いる材料、用途に応じて、透明電極全体の電流を流した場合の耐久性、光透過性及び電気伝導性を考慮して決定される。例えば、金を５重量％含有する銀合金を材料とし、有機エレクトロルミネッセンス素子の透明電極として用いる場合は、電流を流した場合の耐久性を充分に得るためには、その銀合金金属薄膜層の厚みは、少なくとも９〜２０ｎｍであり、より好ましくは１０〜２０ｎｍ、さらに好ましくは１１〜２０ｎｍである。前述の厚み以下では、有機エレクトロルミネッセンス素子を作製し、発光試験を実施すると、発光部分において、透明電極の劣化が原因と推定される、点状の非発光部分が生じてしまう場合がある。それに対して、本発明の厚みの範囲内においては、前述のような問題が生じることなく、実用的な透明電極が得られる。
（薄膜形成方法）
透明高屈折率薄膜層、銀または銀合金薄膜層の形成には、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の従来公知の手法によればよい。
透明高屈折率薄膜層の形成には、イオンプレーディング法またはスパッタリング法が好適に用いられる。イオンプレーティング法では、反応ガスプラズマ中で所望の金属または焼結体を抵抗加熱したり、電子ビームにより加熱したりすることにより真空蒸着を行う。スパッタリング法では、ターゲットに所望の金属または焼結体を使用し、スパッタリングガスにアルゴン、ネオン等の不活性ガスを用い、反応に必要なガスを加えて、スパッタリングを行う。例えば、ＩＴＯ薄膜を形成する場合には、スパッタリングターゲットにインジウムとスズとの酸化物を用いて、酸素ガス中で直流マグネトロンスパッタリングを行う。
【００２３】
金属薄膜層には、真空蒸着法またはスパッタリング法が、好適に用いられる。真空蒸着法では、所望の金属を蒸着源として使用し、抵抗加熱、電子ビーム加熱等により、加熱蒸着させることで、簡便に金属薄膜を形成することができる。また、スパッタリング法を用いる場合は、ターゲットに所望の金属材料を用いて、スパッタリングガスにアルゴン、ネオン等の不活性ガスを使用し、直流スパッタリング法や高周波スパッタリング法を用いて金属薄膜を形成することができる。成膜速度を上昇させるために、直流マグネトロンスパッタリング法や高周波マグネトロンスパッタリング法が用いられることも多い。
【００２４】
（構成、組成の評価）
上記の方法により作製した、透明導電性薄膜積層体の薄膜層表面の原子組成は、オージェ電子分光法（ＡＥＳ）、蛍光Ｘ線法（ＸＲＦ）、Ｘ線マイクロアナライシス法（ＸＭＡ）、荷電粒子励起Ｘ線分析法（ＲＢＳ）、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）、真空紫外光電子分光法（ＵＰＳ）、赤外吸収分光法（ＩＲ）、ラマン分光法、２次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）、低エネルギーイオン散乱分光法（ＩＳＳ）等により測定できる。また、膜中の原子組成及び膜厚は、オージェ電子分光法（ＡＥＳ）や２次イオン質量分析（ＳＩＭＳ）を深さ方向に実施することによって調べることができる。
【００２５】
（耐電流試験）
本発明における耐電流試験は、以下に述べる手法で実施される。
寸法５０ｍｍ×５０ｍｍの透明基体（Ａ）を用意する。透明基体（Ａ）面上に１つの辺と平行になるように幅３ｍｍの、透明導電性薄膜積層体を形成する。透明導電性薄膜積層体は、長辺５０ｍｍ、短辺３ｍｍの長方形となる。透明導電性薄膜上、２短辺付近、端部から３ｍｍ離れた部分までを覆うように導箔テープを貼りつけ、２つの外部取りだし電極とする。
２つの外部取り出し電極間に直流電圧を印加し、所望の電流を１分間流す。その後、透明導電性薄膜の様子を光学顕微鏡によって観察する。観察倍率は３０００倍とする。観察の結果、表面に直径０．１μｍ以上の点状模様が観察される場合がある。該透明導電性薄膜積層体を有機エレクトロルミネッセンス素子の透明電極として用い、通電発光させる場合に、前述の点状模様が、非発光部分の発生と相関関係がある。すなわち該試験を実施した結果、流す電流が小さいにもかかわらず、通電後、表面に模様が観察される透明導電性薄膜積層体は、有機エレクトロルミネッセンス素子は、通電発光させた場合に容易に非発光部分を生じてしまい、実用的なものではない。それに対して、該試験において流す電流値が大きくても、通電後に表面に模様が観察されることのない透明導電性薄膜積層体は、有機エレクトロルミネッセンス素子の透明電極として用いた場合に、非発光部分を生じにくく、実用的なものである。試験に用いる好適な電流値は．０．２Ａである。また対象とする有機エレクトロルミネッセンス素子が、より大きな電流を流して用いられると想定される場合は、より高い電流値で判定を行うことが好ましい。例えば、０．２５Ａを閾値にすればよい。さらに高い電流値を閾値にすることが好ましい場合は、例えば０．３Ａを閾値にすればよい。
なお、前述した閾値が、高ければ高いほど、その透明導電性薄膜は、耐電流特性に優れ、素子にし、発光させた時に発光不良欠陥を生じにくいものとなる。
【００２６】
（素子評価）
透明電極の発光特性評価を行うためには、実際にその透明電極を用いて発光素子を作成し、調べればよい。
有機エレクトロルミネッセンス用に用いる透明電極の発光特性評価を行うためには、評価したい透明電極を用いて有機エレクトロルミネッセンス素子を作成し、評価を行えばよい。
有機エレクトロルミネッセンス素子の作成手法は、透明電極の透明導電性薄膜上に正孔輸送層、発光層及び陰極を透明電極／正孔輸送層／発光層／陰極の構成で積層して得られる。
【００２７】
正孔輸送層に用いられる材料は、例えば、ジアミン系の有機化合物が正孔輸送能に優れるため好適に用いられる。中でも特にＮ，Ｎ‘−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−（３−メチルフェニル）−１，１‘−ビフェニル−４，４’−ジアミン（略称ＴＰＤ）が正孔輸送能に優れ、広く正孔輸送材として使われている。
発光層に用いられる材料は、例えば、４―（ジシアノメチレン）―２―メチル−６―（４―ジメチルアミノスチリル）―４Ｈ―ピラン（略称：ＤＣＭ１）のような赤色発光色素を含有した、Ｎ―ビニルカルバゾール（略称：ＰＶＫ）、アルミニウムキノリノール錯体（８―ハイドロキシキノリン　アルミニウム）（略称Ａｌｑ３）、１，２，３，４，５−ペンタフェニル−１，３−シクロペンタジエン（略称：ＰＰＣＰ）、２−（４−ビフェニリル−）−５−（４−ｔ−ブチルフェニイル）−１，３，４−オキサジアゾール（略称ＰＢＤ）、Ｎ、Ｎ‘−ビス（２，５−ｔ−ブチルフェニル）−３，４，９，１０−ペリレンジカルボキシイミド（略称ＢＰＰＣ）等である。
【００２８】
これら正孔輸送層、発光層の形成には、従来公知の真空蒸着法やイオン化蒸着法等の物理気相成長法や、適当な溶媒に所望の材料を分散させ、スピンコート等の手法で塗布した後、乾燥させる湿式法等によればよい。
正孔輸送層及び発光層の厚さは、それぞれ通常３０〜２００ｎｍである。
陰極に用いられる材料は、マグネシウムと銀の合金、マグネシウムとアルミニウムの合金等である。
これら陰極の形成には、従来公知の真空蒸着法やスパッタリング法等の物理成膜法を用いればよい。
陰極の厚さは、通常５〜５００ｎｍ程度である。
また、発光効率をさらに向上させるために発光層と陰極との間に適当な電子輸送層を挿入してもよい。
上記の手法により作製した有機エレクトロルミネッセンス素子を発光させ、その発光状態により合否を判断する。１０Ｖの電圧をかけて駆動し、発光状態を肉眼で観察する。非発光部分が観察される場合は不合格であり、観察されない場合は合格である。
【００２９】
【実施例】
（実施例１）
（透明導電性薄膜積層体の作製）
透明基体（Ａ）としてガラス板［コーニング社製、型番７０５９、大きさ５０ｍｍ×５０ｍｍ、厚さ１．１ｍｍ］を用意した。
マスクとしてカプトンテープを用い、透明基体（Ａ）の一辺に平行になるように幅３ｍｍ、長さ５０ｍｍの透明導電性薄膜を形成した。試料は同条件で複数用意し、耐電流試験、および有機エレクトロルミネッセンス評価試験用にそれぞれ別の試料を用いた。成膜は、下記に示した条件で実施した。
直流マグネトロンスパッタリング法を用いて、透明高分子成形基体（Ａ）上に、インジウムとスズとの酸化物からなる薄膜層（ａ）、銀と金の合金薄膜層（ｂ）をＡ／ａ［厚さ４０ｎｍ］／ｂ［厚さ１０ｎｍ］／ａ［厚さ４０ｎｍ］なる順に積層し、透明電極を形成した。インジウムとスズとの酸化物からなる薄膜層は、透明高屈折率薄膜層を、銀と金の合金薄膜層は、金属薄膜層を構成する。インジウムとスズとの酸化物からなる薄膜層の形成には、ターゲットとして、酸化インジウムー酸化スズ焼結体［Ｉｎ２Ｏ３：ＳｎＯ２＝９０：１０（重量比）］、スパッタリングガスとしてアルゴン・酸素・水素混合ガス（全圧２６６ｍＰａ、酸素分圧８ｍＰａ、水素分圧１ｍＰａ）を用いた。また、銀と金の合金薄膜層の形成には、ターゲットとして銀と金の合金［Ａｇ：Ａｕ＝９５：５（重量比）］を用い、スパッタガスにはアルゴンガス（全圧２６６ｍＰａ）を用いた。形成した透明導電性薄膜の断面図を図１に示した。
なお、本実施例において記載されている薄膜層の膜厚は、その薄膜を同条件で成膜した試料において、触針膜厚計を用いて測定した値より、得られる値である。ところで触針膜厚計では４０ｎｍ以下の膜厚に関しては、装置の精度限界に達し、正確に膜厚を評価することができない。このため、通常は４０ｎｍ以上の膜厚、好ましくは１００ｎｍ以上の膜厚になるように成膜し、その値を正確に読み取る。膜厚は、成膜時間と比例関係にあるので、この正確に求めた膜厚と時間を元に、試料中の各薄膜の膜厚を決定する。
以上により作製されたものを試料▲１▼とした。
続いて、インジウムとスズとの酸化物からなる薄膜層（ａ）のスパッタリングガス中の水素ガス分圧を変化させた試料を用意した。
水素ガス分圧が２ｍＰａのものを試料▲２▼、５ｍＰａのものを試料▲３▼、７ｍＰａのものを試料▲４▼、１０ｍＰａのものを試料▲５▼、１００ｍＰａのものを試料▲６▼、１０５ｍＰａのもの試料▲７▼とした。
【００３０】
（特性評価）
得られたサンプルの電気特性及び光学特性は以下の通りであった。
有機エレクトロルミネッセンス素子の透明電極の特性としては、面抵抗１０Ω／□以下、視感平均透過率８０％以上であることが望ましいとされている。本実施例において作製された試料▲１▼〜▲６▼は、この条件を満たしているものであることが確認された。
【００３１】
（耐電流試験）
先に作製した試料▲１▼を用いた。
透明導電性薄膜上、２短辺付近、端部から３ｍｍ離れた部分までを覆うように導箔テープを貼りつけ、２つの外部取りだし電極とする。
２つの外部取り出し電極間に直流電圧を印加し、所望の電流を１分間流す。その後、透明導電性薄膜の様子を光学顕微鏡によって観察する。観察倍率は３０００倍とする。流す電流の大きさを変化させて再評価したい場合は、電流値を変化させ、１分間流す。
なお、合否判定のための電流値の閾値は、０．２Ａとし、通電後に直径０．１μｍ以上の点状の模様を生じた場合は不合格、生じなかった場合は合格とした。
なお、流す電流の大きさは０．１５Ａ、０．２Ａ、０．２５Ａ、０．３Ａと変化させ、どの電流値の場合に点状模様が生じるかどうか調べた。
【００３２】
（有機エレクトロルミネッセンス素子評価試験）
続いて、得られた透明電極を用いて、有機エレクトロルミネッセンス素子を作製し、発光試験を実施した。
透明電極上に５ｍｍ×５ｍｍの寸法で正方形状に有機薄膜層を形成し、その後透明電極と直交するように幅３ｍｍの陰極を形成した。透明電極、有機薄膜層、陰極の位置関係は図２に記載した通りである。
有機薄膜層及び陰極は、以下の通り形成した。　まず、透明電極の透明導電性薄膜上に真空加熱蒸着法を用いて、正孔輸送層としてＮ，Ｎ‘−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−（３−メチルフェニル）−１，１‘−ビフェニル−４，４’−ジアミン（略称：ＴＰＤ）層［５０ｎｍ］を形成した。続いてその上に真空加熱蒸着法を用いて発光層として８−ハイドロキシキノリンアルミニウム（略称：Ａｌｑ３）層［５０ｎｍ］を形成した。さらにその上に真空加熱蒸着法を用いて、陰極としてマグネシウム層［２ｎｍ］を形成した。形成した有機エレクトロルミネッセンス素子の断面図を図３に示した。
有機エレクトロルミネッセンス素子の陽極と陰極との間に１０Ｖの直流電圧を印加し、点灯させ、発光の様子を肉眼で観察した。
結果を表２に示した。
インジウムとスズとの酸化物層の水素原子含有割合が、１．０×１０１９（ａｔ／ｃｍ３）である透明導電性薄膜層は、耐電流試験に合格するものではないが、１．０×１０２０（ａｔ／ｃｍ３）以上の場合は、合格するものであった。さらにインジウムとスズとの酸化物層の水素ガス含有割合が１．０×１０２０（ａｔ／ｃｍ３）以上である透明導電性薄膜を透明電極として、有機エレクトロルミネッセンス試験を実施すると、この試験に合格するものであった。
【００３３】
【表１】
2004095240.tif 000002
【００３４】
【表２】
2004095240.tif 000003
【００３５】
【発明の効果】
本発明は、高屈折率薄膜層の水素原子含有割合を制限することによって、透明導電性薄膜積層体の電流に対する耐久性を向上させることができ、さらには有機エレクトロルミネッセンス素子として用いた時に、非発光不要を生じることがない実用的な有機エレクトロルミネセンス素子が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】透明導電性薄膜積層体の一例を示す断面図
【図２】有機エレクトロルミネッセンス素子の一例を示す平面図
【図３】有機エレクトロルミネッセンス素子の一例を示す断面図
【符号の説明】
１０　　　透明基体
２０　　　高屈折率薄膜層
３０　　　銀または銀合金薄膜層
４０　　　透明導電性薄膜層
５０　　　有機薄膜層
６０　　　陰極
７０　　　正孔輸送層
８０　　　発光層
【図１】
2004095240.tif 000004
【図２】
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【図３】
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