(57)【要約】　【課題】　品質が均一で、信頼性の高いジルコニア系成形体を製造するに好適なジルコニア系粉体、およびこれを用いて得られるジルコニア系成形体を提供する。【解決手段】　平均粒子径が０．５μｍを超え０．８μｍ以下、９０体積％の粒子径が１μｍを超え２μｍ以下であり、９０体積％の粒子径が平均粒子径の１．５〜２．５倍の範囲にあるジルコニア系粉体を用いる。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー回折式粒度分布計を用いて測定した、平均粒子径が０．５μｍを超え０．８μｍ以下、９０体積％の粒子径が１μｍを超え２μｍ以下であり、９０体積％の粒子径が平均粒子径の１．５〜２．５倍の範囲にあるジルコニア系粉体。
【請求項２】
請求項１記載のジルコニア系粉体を用いて得られるジルコニア系成形体。
【請求項３】
請求項２記載のジルコニア系成形体であって、１０を下回らないワイブル係数（ｍ）値を有するジルコニア系成形体。
【請求項４】
１２を下回らないワイブル係数（ｍ）値を有するジルコニア系成形体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明はジルコニア系粉体およびジルコニア系成形体に関する。詳しくは、本発明は均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体を製造するに適したジルコニア系粉体、およびこの粉体を用いて得られる均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体に関する。
【背景技術】
【０００２】
　セラミックスは、耐熱性および耐摩耗性などの機械的性質に加えて、電気的、磁気的特性、更には生体適合性などに優れていることから、多くの分野で広く活用されている。なかでも、ジルコニアを主体とするセラミックシートは、優れた酸素イオン伝導性、耐熱性および耐腐食性を有しているので、センサー部品、燃料電池用の電解質膜、または焼成用セッターなどとして有効に活用することができる。
【０００３】
　上記のジルコニア系セラミックシートは、通常、ジルコニア系粉体、有機バインダーおよび溶媒からなるスラリーを用い、ドクターブレード法、カレンダーロール法または押出し法などによってシート状に成形し、これを乾燥して溶剤を揮発させることによりグリーンシートを作製し、このグリーンシートを切断、パンチングなどによって適当な大きさにした後、セッターに載せて焼成して有機バインダーを分解除去し、さらにセラミックスを焼結させることによって製造されている。
【０００４】
　上記のジルコニア系粉体については、その製造法やそれを用いて得られるセラミックスの物理的特性などについて数多くの報告がなされている。しかし、その多くは原料粉体の粒子径のみが記載されているにすぎず、粒子径の分布をも考慮して、粒子径と粒子径分布とを同時に記載したものは限られている。
【０００５】
　例えば、特許文献１には、０．１〜０．５μｍの１次粒径を有し、好ましくは９０体積％が０．１〜１μｍの粒度分布を有する原料粉体を使用することが記載されている。
【０００６】
　特許文献２には、遠心沈降法によって測定した粒子径が平均１．３〜３．０μｍの範囲にあり、１〜２０μｍの範囲にある粒子の割合が全質量基準で４５〜７５質量％の範囲にある原料粉体を使用することが記載されている。
【０００７】
　特許文献３には、（１）平均粒径２．０５〜２．１２μｍ、粒径範囲１．００〜３．００μｍのものが８７〜９０％、粒度分布幅０．６０〜４．００μｍ、（２）平均粒径２．１８〜２．２２μｍ、粒径範囲１．００〜３．００μｍのものが８２〜８５％、粒度分布幅０．８０〜４．００μｍ、（３）平均粒径２．００〜２．０４μｍ、粒径範囲１．００〜３．００μｍのものが８６〜９０％、粒度分布幅０．８８〜４．００μｍのジルコニア微粉体が製造できたとされている。
【０００８】
　また、特許文献４には、平均粒子径が０．１〜０．５μｍであり、かつ９０体積％以上が１μｍ以下の粒子径を有する原料粉体を用いてセラミックスシートを製造することが記載されている。
【０００９】
【特許文献１】特開平１−１５３５３０号公報
【特許文献２】特開平４−１３００１８号公報
【特許文献３】特開平４−２０２０１６号公報
【特許文献４】特開平８−１５１２７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
　しかし、前記のような粒子径および粒子径分布を有する従来の粉体を用いては、得られるセラミックスシートはその表面部位によって機械的強度などにばらつきがあり、その表面全体にわたり均一な品質を有するセラミックシートを製造することは困難であった。
【００１１】
　かくして、本発明の目的は、均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体を製造するに好適なジルコニア系粉体を提供することにある。特に、ドクターブレード法、カレンダーロール法などの常圧で成形し、常圧で焼結させる方法によって均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体を製造するに好適なジルコニア系粉体を提供することにある。
【００１２】
　また、他の目的は、上記粉体を用いて得られる、均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
　本発明者らの研究によれば、特定の粒子径および粒子径分布を有するジルコニア系粉体を用いることにより上記目的が達成でいることがわかった。本発明はこの知見に基づいて完成されたものである。すなわち、本発明は次のとおりのものである。
（１）レーザー回折式粒度分布計を用いて測定した、平均粒子径が０．５μｍを超え０．８μｍ以下、９０体積％の粒子径が１μｍを超え２μｍ以下であり、９０体積％の粒子径が平均粒子径の１．５〜２．５倍の範囲にあるジルコニア系粉体。
（２）上記（１）のジルコニア系粉体を用いて得られるジルコニア系成形体。
（３）上記（２）のジルコニア系成形体であって、１０を下回らないワイブル係数（ｍ）値を有するジルコニア系成形体。
（４）１２を下回らないワイブル係数（ｍ）値を有するジルコニア系成形体。
【発明の効果】
【００１４】
　本発明のジルコニア系粉体を用いることにより品質が均一で、信頼性の高いジルコニア系成形体を得ることができる。特に、ドクターブレード法、カレンダーロール法などにより常圧で成形し、さらに常圧で焼結させることによりジルコニア系成形体を製造する場合に、均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体を得ることができる。
【００１５】
　本発明のジルコニア系成形体は品質が均一であり、信頼性の高いものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
　本発明の「ジルコニア系成形体」とは、任意の形状の成形体およびこの成形体を焼成して得られるセラミックス成形体を意味する。上記形状の代表例としては、シート状、板状などの二次元形状、球状、円柱状、長方体状などの三次元形状、およびこれら形状に穴加工などを施した形状を挙げることができる。また、二次元形状の、いわゆるグリーンシートを更に加工して、例えば円筒状にした三次元形状も包含される。
【００１７】
　本発明の「粒子径」とは、２次粒子の粒径を意味する。一般に、ジルコニア系粉体の場合、結晶子（１次粒子）が微小なためファンデルワールス力などによって凝集して２次粒子を形成するが、この２次粒子は解砕などによって実質的に結晶子（１次粒子）に解膠することができる。
【００１８】
　本発明のジルコニア系粉体とは、ジルコニアを主成分とする、具体的にはジルコニアを６０質量％以上、好ましくは８０質量％以上含有する粉体を意味する。その他の代表的な成分としては、イットリウム（Ｙ）、セリウム（Ｃｅ）、カルシウム（Ｃａ）、マグネシウム（Ｍｇ）、チタン（Ｔｉ）、ケイ素（Ｓｉ）およびアルミニウム（Ａｌ）から選ばれる少なくとも一種の酸化物を挙げることができる。
【００１９】
　上記ジルコニア系粉体のなかでも、酸化イットリウム、酸化セリウムおよび酸化カルシウムから選ばれる少なくとも一種を含有するジルコニア系粉体が好適である。このジルコニア系粉体における、酸化イットリウム、酸化セリウムおよび酸化カルシウムから選ばれる少なくとも一種の含有量は１〜２０質量％の範囲にあるのが好適である。なかでも、酸化イットリウム５〜１８質量％およびジルコニア８２〜９５質量％からなるジルコニア系粉体が好適に用いられる。
【００２０】
　本発明のジルコニア系粉体は平均粒子径が０．５μｍを超え０．８μｍ以下、９０体積％の粒子径が１μｍを超え２μｍ以下の範囲にあり、好ましくは平均粒子径が０．５μｍを超え０．８μｍ以下、９０体積％の粒子径が１μｍを超え１．５μｍ以下、更に好ましくは平均粒子径が０．５５〜０．７５μｍ、９０体積％の粒子径が１μｍを超え１．５μｍ以下の範囲にある。また、９０体積％の粒子径は平均粒子径の１．５〜２．５倍であり、好ましくは１．５〜２倍である。
【００２１】
　本発明のジルコニア系粉体の最大粒子径は１０μｍ、好ましくは８μｍ、特に好ましくは５μｍである。
【００２２】
　したがって、本発明のジルコニア系粉体は、２μｍを超える粗大粒子が少なく、かつシャープな粒度分布を有する点に特徴を有する。
【００２３】
　本発明のジルコニア系粉体は、例えば、平均粒子径が０．８μｍを超え、９０体積％の粒子径が２μｍを超えるジルコニア系粉体を微粉砕することにより調製することができる。平均粒子径が０．８μｍを超え、９０体積％の粒子径が２μｍを超えるジルコニア系粉体は工業的に容易に入手することができ、例えばＯＺＣ−８ＹＣ（商品名、住友大阪セメント（株）製）、ＴＺ−８Ｙ（商品名、東ソー（株）製）などを挙げることができる。
【００２４】
　上記微粉砕に使用する装置については特に制限はなく、上記のような平均粒子径が０．８μｍを超え、９０体積％の粒子径が２μｍを超えるジルコニア系粉体を平均粒子径が０．５μｍを超え０．８μｍ以下、９０体積％の粒子径が１μｍを超え２μｍ以下、また９０体積％の粒子径が平均粒子径の１．５〜２．５倍である粉体にまで微粉砕し得るものであればいずれも使用することができる。このような粉砕機としては、例えばボールメディアを用いた湿式粉砕機を挙げることができる。このような湿式粉砕機は市販されており、例えばケムコ・アぺックスミル・Ｖ型（商品名、コトブキ技研工業（株）製）などを挙げることができる。
【００２５】
　例えば、アペックスミルＡＭＶ−１型の場合、その仕様は、有効粉砕室容積１リットル、粉砕室直径８０ｍｍ、粉砕室高さ２４０ｍｍ、ローター先端周速度ｍａｘ６．０３ｍ／秒（５０Ｈｚ）および回転数４８０〜１９２０ｒｐｍ（５０Ｈｚ）である。なお、この場合、ボールメディアとしては、直径が０．３〜３ｍｍの範囲のものを用いるのがよい。
【００２６】
　上記湿式粉砕に際しては、処理すべき原料ジルコニア系粉体を溶媒と混合してスラリーを調製し、このスラリーを粉砕機に導入する。
【００２７】
　上記溶媒としては、微粉砕を阻害しないものであればいずれも使用することができる。代表例としては、水；メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノールなどの炭素数９以下のアルコール類；トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類；酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル類；メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブなどのセロソルブ類などを挙げることができる。これらは単独でも、あるいは２種以上組み合わせて使用することができる。混合溶媒の代表例としては、トルエン／エタノール、酢酸エチル／イソプロパノール、トルエン／ブチルセロソルブなどの非水溶性溶媒と水溶性溶媒との混合物を挙げることができる。
【００２８】
　上記スラリー中の原料ジルコニア系粉体の濃度は通常３０〜７０質量％であり、好ましくは３０〜５０質量％である。濃度が高すぎると粉砕操作が困難となる。なお、原料ジルコニア系粉体の分散をよくするために、分散剤を添加することができる。分散剤を使用することにより、スラリー中の原料ジルコニア系粉体の濃度を４０〜７０質量％、特に４５〜５５質量％との高い範囲に設定しても微粉砕を効率よく行うことができる。これにより生産性を一段と高めることができる。
【００２９】
　上記分散剤としては、ギ酸、クエン酸、酒石酸などの有機酸類；ポリアクリル酸、ポリアクリル酸アンモニウムなどの高分子電解質；多鎖型高分子量非イオン界面活性剤、カルボン酸型界面活性剤、β−ナフタレンスルホン酸アンモニウム塩、高分子界面活性剤、非イオン界面活性剤などの界面活性剤（例えば、ディスコール類（商品名）第一工業製薬（株）製、ホモゲノール類（商品名）花王（株）製）；ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルーエーテルなどのエーテル類（例えば、イオネット類（商品名）三洋化成工業（株）製）；ジカルボン酸の部分エステル類またはカルボン酸の部分エステル類の共重合体（例えば、ブンサンＧ−２００（商品名）共栄社化学（株）製、フローレンＧ−７００（商品名）共栄社化学（株）製）；アクリル酸エステル系、マレイン酸エステル系などの分散剤（オリコックス類（商品名）共栄社化学（株）製）；グリセリン、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸ジエステルなどを挙げることができる。
【００３０】
　これらのなかでも、酸価を有する界面活性剤でジカルボン酸の部分エステル類またはカルボン酸の部分エステル類の共重合体が特に好適に用いられる。
【００３１】
　分散剤の添加量は、原料ジルコニア系粉体の０．０１〜５質量％、好ましくは０．３〜２質量％である。
【００３２】
　したがって、原料ジルコニア系粉体を分散剤の存在下に溶剤に分散させて、スラリー中の原料ジルコニア系粉体の濃度が４０〜７０質量％のスラリーを調製し、このスラリーをボールメディアを用いた湿式粉砕に供するのがよい。
【００３３】
　なお、上記スラリーは、原料ジルコニア系粉体、溶媒および分散剤を粉砕機に導入して、調製しても、あるいは予めこれらを混合してスラリーを調製した後に粉砕機に導入してもよい。湿式粉砕はバッチ式でも連続式でもよい。
【００３４】
　上記のようにして得られる平均粒子径が０．５μｍを超え０．８μｍ以下、９０体積％の粒子径が１μｍを超え２μｍ以下、また９０体積％の粒子径が平均粒子径の１．５〜２．５倍のジルコニア系粉体を含むスラリーは減圧乾燥などの操作を施してジルコニア系粉体としても、またはそのまま、あるいは必要なバインダーおよび可塑剤を所定量添加した後、グリーン体としてもよい。
【００３５】
　上記減圧乾燥などの操作には、ロータリーエバポレーター、振動流動乾燥機（例えば、中央加工機（株）製のＶＵ−６０（商品名））などを用いることができる。
【００３６】
　上記の湿式粉砕により得られるジルコニア系粉体の平均粒子径および９０体積％の粒子径は、島津製作所（株）製のレーザー回折式粒度分布計ＳＡＬＤ−１１００を用いて測定した。
【００３７】
　本発明のジルコニア系成形体は、粉体として本発明のジルコニア系粉体を使用する点を除けば、常法にしたがって調製することができる。以下、本発明のジルコニア系成形体の代表例としてのグリーンシートを例に挙げて説明する。
【００３８】
　本発明のジルコニア系粉体にバインダーおよび溶剤、更に必要に応じて分散剤、可塑剤などを配合し、通常のボールミル法などの手段によりスラリー化し、このスラリーを用いてドクターブレード法、カレンダーロール法などによりシート状に成形してグリーンシートとする。
【００３９】
　上記バインダーとしては特に制限はなく、一般に使用されている有機または無機のバインダーから適宜選択して使用することができる。有機バインダーの例としては、エチレン系共重合体、スチレン系共重合体、アクリレートおよびメタクリレート系共重合体、酢酸ビニル系共重合体、マレイン酸系共重合体、ビニルブチラール樹脂、ビニルアセタール樹脂、ビニルホルマール樹脂、ビニルアルコール樹脂、ワックス類、エチルセルロースなどのセルロース類などを挙げることができる。また、無機バインダーの例としては、ジルコニアゾル、シリカゾル、アルミナゾル、チタニアゾルなどを挙げることができる。
【００４０】
　バインダーの使用量は、グリーンシートの強度、柔軟性などのほかに、スラリーの粘度調整などを考慮して適宜決定することができる。例えば、本発明のジルコニア系粉体１００質量部に対し、１０〜３０質量部の割合で用いる。
【００４１】
　上記溶媒についても特に制限はなく、一般に使用されている水および有機溶剤から適宜選択して使用される。有機溶剤の代表例としては、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−ブタノール、１−ヘキサノールなどのアルコール類；アセトン、２−ブタノールなどのケトン類；ペンタン、ヘキサン、ヘプタンなどの脂肪族炭化水素類；ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類；酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの酢酸エステル類などを挙げることができる。
【００４２】
　溶剤の使用量は、スラリーの粘度との関係において適宜決定することができる。例えば、スラリーの粘度が２０〜２００ポイズとなるような割合で使用すればよい。
このようにして得られたスラリーは、通常の塗布方法、例えばドクターブレード法、カレンダーロール法などによりポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの高分子フィルム上にキャスティングした後、乾燥してグリーンシートとする。このグリーンシートの厚さは通常０．１〜２ｍｍである。
【００４３】
　このようにして得られたグリーンシートは汎用の焼成用敷板、例えば多孔質アルミナ板上に置いて、常圧で、１２００〜１７００℃の温度で焼成することによりジルコニア系セラミックシートとすることができる。
【００４４】
　本発明のジルコニア系粉体は、その成形に際しては、射出成形、プレス成形、鋳込み成形、押出し成形、シート成形などの各種成形方法が採用できるが、前記のドクターブレード法、カレンダーロール法などにより、特に常圧で成形してジルコニア系成形体を製造する際に、さらにこれを常圧で焼結させることによりジルコニア系セラミックス成形体を製造する際に特に好適に用いられる。すなわち、このような方法により、ジルコニア系成形体を製造する際に、本発明のジルコニア系粉体を使用すると均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体を製造することができる。
【００４５】
　本発明のジルコニア系成形体のうちの特にジルコニア系セラミックス成形体に関しては、その品質の均一性、ひいては信頼性を示す目安として、一般に、ワイブル係数（ｍ）値が使われている。これは機械的強度などのばらつきを統計的な理論により表したものであり、ワイブル係数（ｍ）値が高いほど機械的強度のばらつきが少なく実用上好ましいものである。本発明によれば、ワイブル係数（ｍ）値が１０より高いジルコニア系成形体を得ることができる。
【実施例】
【００４６】
　以下、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。
実施例１
　平均粒子径０．８４μｍ、９０体積％の粒子径が２．６５μｍである市販のジルコニア系粉体ＯＺＣ−８ＹＣ（商品名、住友大阪セメント（株）製）４ｋｇを純水６ｋｇとともにアペックスミルＡＭ−１（商品名、コトブキ技研工業（株）製、ミル粉砕室直径８ｃｍ）に入れて次の条件下に粉砕を行った。
ボールメディア：０．５ｍｍ径のジルコニアボール（４ｋｇ）
ローター先端周速度：７ｍ／秒（ミルモーター動力を調整して設定）
粉砕時間：１時間
　上記湿式粉砕により得られたスラリーを１０リットルのロータリーエバポレーターに入れ、更に等量のオクタノールを入れて、加熱減圧しながら水を留出させてオクタノール置換スラリーを得た。このスラリーを更に加熱減圧してオクタノールを留出させた後、減圧乾燥して粉砕微粉体（Ａ）を得た。
【００４７】
　この粉体（Ａ）を島津製作所（株）製の粒度分布計ＳＡＬＤ−１１００を用い測定したところ、平均粒子径は０．６６μｍ、９０体積％の粒子径は１．３μｍであった。また、最大粒子径は３．７μｍであった。
実施例２
　平均粒子径０．８４μｍ、９０体積％の粒子径が２．６５μｍである市販のジルコニア系粉体ＯＺＣ−８ＹＣ（商品名、住友大阪セメント（株）製）５．５ｋｇと分散剤としてギ酸４４ｇを添加した純水４．５４４ｋｇとをアペックスミルＡＭ−１（商品名、コトブキ技研工業（株）製、ミル粉砕室直径８ｃｍ）に入れて次の条件下に粉砕を行った。
ボールメディア：０．５ｍｍ径のジルコニアボール（４ｋｇ）
ローター先端周速度：５ｍ／秒（ミルモーター動力を調整して設定）
粉砕時間：１０分
　以下、実施例１と同様にして粉砕微粉体（Ｂ）を得、その平均粒子径と９０体積％の粒子径とを測定した。この粉体（Ｂ）の平均粒子径は０．６μｍ、９０体積％の粒子径は１．１２μｍであった。また、最大粒子径は３．７μｍであった。
実施例３
　それぞれ実施例１および実施例３で調製したジルコニア系粉体（Ａ）および（Ｂ）１００質量部に、メタクリル酸共重合体１５質量部を溶解したトルエン／酢酸エチル（１／１質量比）５０質量部および可塑剤としてのジブチルフタレート２質量部を添加し、ボールミルにより混合してから粘度を調整した後、ドクターブレード法により０．２５ｍｍ厚のグリーンシートを作製した。
【００４８】
　このグリーンシートを１４５０℃で２時間焼成して０．２ｍｍ厚のジルコニア系セラミックスシートを得た。このシートのワイブル係数（ｍ）値を下記方法により求めた。結果を表１に示す。
＜ワイブル係数（ｍ）値＞
　４ｍｍ（幅）×０．２ｍｍ（厚さ）×４０ｍｍ（長さ）のシート状試験片２０本を作製した。これら試験片について、その表面粗さの調整、面取りなどはせずに、ＪＩＳ　Ｒ１６０１の方法に準じて３点曲げ強度を測定した。
【００４９】
　次に、「耐火物」３９−４８９、１９８７−Ｎｏ．９の尾崎義治「セラミックスの強度と信頼性予測」１１頁右欄に記載の式（２）
【００５０】
【数１】
2004035403.tif 000002
【００５１】
（式中、Ｐｆは破壊確率であり、Ｐｆ＝ｎ／（Ｎ＋１）で定義される（ここで、Ｎはサンプル個数、ｎはｎ番目のサンプルである）、σｆは破壊曲げ強度、ｍはワイブル係数、σ０は規格化因子、またσｕはこの破壊曲げ強度以下では０となる応力値である）に基づき、σｆは上記の３点曲げ強度の測定値とし、縦軸にＩｎＩｎ｛１／（１−Ｐｆ）｝を、横軸にＩｎ（σｆ−σｕ）をとってグラフを書いた。なお、−ｍＩｎσ０はグラフの切片となる。この傾きからｍを最小自乗法により求めた。
実施例４
　それぞれ実施例１および実施例２で調製したジルコニア系粉体（Ａ）および（Ｂ）をゴム袋に入れた後、２０００ｋｇ／ｃｍ２で１０分間静水圧加圧を行い３０ｍｍ×６ｍｍ×１００ｍｍのバルク体を得た。次いで、このバルク体を４ｍｍ×４ｍｍ×４０ｍｍに切り出し、表面を研磨した後、１５００℃で２時間焼成してジルコニア系試験片を得た。
【００５２】
　この試験片を用いて、実施例３と同様にして、ワイブル係数（ｍ）値を求めた。結果を表２に示す。
比較例１
　実施例３において、実施例１で調製したジルコニア系成形体（Ａ）の代わりに、その原料粉体である市販の平均粒子径０．８４μｍ、９０体積％の粒子径が２．６５μｍのジルコニア系粉体を用いた以外は実施例３と同様にしてジルコニア系セラミックスシートを作製し、そのワイブル係数（ｍ）値を求めた。結果を表１に示した。
比較例２
　実施例４において、実施例１で調製したジルコニア系粉体（Ａ）の代わりに、その原料粉体である市販の平均粒子径０．８４μｍ、９０体積％の粒子径が２．６５μｍのジルコニア系粉体を用いた以外は実施例４と同様にしてジルコニア系バルク体を作製し、そのワイブル係数（ｍ）値を求めた。結果を表２に示した。
【００５３】
【表１】
2004035403.tif 000003
【００５４】
【表２】
2004035403.tif 000004
【００５５】
　上記表１および表２の結果から、本発明のジルコニア系成形体は、ワイブル係数が高く、品質が均一で、信頼性が高いものであることがわかる。
【産業上の利用分野】
【００５６】
　本発明のジルコニア系成形体は、優れた酸素イオン伝導性、耐熱性および耐腐食性を有しているので、センサー部品、燃料電池用の電解質膜、または焼成用セッターなどとして有効に活用することができる。