(57)【要約】【課題】搬送時のガラス基板の静電気障害を抑制する。【解決手段】スペーサパッド１５ａ，１５ｂを、発泡ポリエチレンを用いて形成し、底蓋部１１に２列で形成されている溝１１ａによって下部を支持されているガラス基板の下端部が一部押し当てられるように、ガラス基板搬送用ボックスに配置する。ガラス基板は、溝１１ａによってその下部を支持されるとともに、その下端部の一部がスペーサパッド１５ａ，１５ｂに当接する。この状態から上蓋部が閉じられると、ガラス基板には、その下端部をスペーサパッド１５ａ，１５ｂに押し当てる力が加わり、ガラス基板搬送用ボックス内でガラス基板が固定されるようになる。これにより、ガラス基板の振動が抑えられて静電気の発生が抑制され、ガラス基板の静電気障害が抑制される。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にガラス基板が挿入される溝を有し、前記ガラス基板の縁部を前記溝によって支持して前記ガラス基板を搬送するためのガラス基板搬送用ボックスにおいて、
樹脂発泡体を用いて形成されて、前記ガラス基板が前記縁部を前記溝によって支持されるときに前記ガラス基板の端部の少なくとも一部が押し当てられるように配置されたスペーサパッドを有することを特徴とするガラス基板搬送用ボックス。
【請求項２】
前記ガラス基板の下部を支持する底蓋部と、前記ガラス基板の上部を支持する上蓋部と、前記ガラス基板の側部を支持する側壁溝部と、前記ガラス基板の面側を保護する側壁部と、を有することを特徴とする請求項１記載のガラス基板搬送用ボックス。
【請求項３】
前記スペーサパッドは、前記溝によって前記ガラス基板の下部を支持する底蓋部に、前記ガラス基板の下端部の少なくとも一部が押し当てられる面が、前記底蓋部の前記溝の底よりも、前記ガラス基板を内部に収納できる範囲で、高くなるように配置されていることを特徴とする請求項１記載のガラス基板搬送用ボックス。
【請求項４】
前記スペーサパッドは、発泡倍率が３倍から３０倍の発泡ポリエチレンを用いて形成されていることを特徴とする請求項１記載のガラス基板搬送用ボックス。
【請求項５】
前記溝が形成されている部分が別体で着脱可能に形成された溝分割部を有することを特徴とする請求項１記載のガラス基板搬送用ボックス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス基板搬送用ボックスに関し、特に液晶パネル完成体や薄膜トランジスタ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ，ＴＦＴ）形成済み基板などのガラス基板を搬送するためのガラス基板搬送用ボックスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネル完成体やＴＦＴ形成済みの基板など、主にガラスの基板に半導体をはじめとする各種電子部品が配置されているもの（以下「ガラス基板」という。）は、梱包時や搬送時に、衝撃によって破損したり、静電気や埃の付着によって障害が生じたりする場合がある。このような破損や障害の発生を防ぐため、ガラス基板の梱包方法あるいは搬送方法に関しては、これまで種々の提案がなされている。（例えば、特許文献１，２，３参照。）。
【０００３】
最近では、ガラス基板の搬送に用いられるガラス基板搬送用ボックスとして、主に、底蓋、上蓋、側壁の各部材を組み立てて使用するものが用いられている。このようなガラス基板搬送用ボックスは、ガラス基板の下部ならびに上部をそれぞれ支持する底蓋部ならびに上蓋部、ガラス基板の側部を支持する側壁溝部、およびガラス基板の面側を保護する側壁部の各部材から構成されている。これらのうち、底蓋部、上蓋部および側壁溝部には、ガラス基板を支持するための複数の溝が各部材に一体に形成されている。組み立て後のガラス基板搬送用ボックスにおいては、各溝にガラス基板を挿入してこれを支持することで、搬送中のガラス基板同士の接触および位置ずれを抑制し、ガラス基板を衝撃から守るようにしている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平７−１３２９８６号公報
【特許文献２】
特開平１０−２３０９７５号公報
【特許文献３】
特開平１０−２１１９３８号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のガラス基板搬送用ボックスは、部材が分割されていてそれぞれの形成精度に誤差が生じることから、ある程度のマージンを持った設計となっており、溝とガラス基板との間に隙間が生じるために、搬送中にガラス基板が振動することがあるという問題点があった。ガラス基板搬送用ボックスによる搬送中にガラス基板が振動すると、ガラス基板と溝との摩擦によって静電気が発生し、ガラス基板に静電気障害が発生する可能性がある。
【０００６】
また、このようなガラス基板搬送用ボックスを用いてガラス基板を輸送する際には、ガラス基板搬送用ボックス内の温度・湿度が適切にコントロールされていないと、水分の浸入によってガラス基板が結露し、ガラス基板の品質に影響を及ぼす場合がある。
【０００７】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、搬送中のガラス基板の振動を抑え、ガラス基板に静電気障害が発生するのを抑制することのできるガラス基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。
【０００８】
また、本発明は、ガラス基板の搬送時における水分の侵入を抑制することのできるガラス基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明では上記課題を解決するために、図１に例示する構成で実現可能なガラス基板搬送用ボックスが提供される。本発明のガラス基板搬送用ボックスは、内部にガラス基板が挿入される溝を有し、前記ガラス基板の縁部を前記溝によって支持して前記ガラス基板を搬送するためのガラス基板搬送用ボックスにおいて、樹脂発泡体を用いて形成されて、前記ガラス基板が前記縁部を前記溝によって支持されるときに前記ガラス基板の端部の少なくとも一部が押し当てられるように配置されたスペーサパッドを有することを特徴とする。
【００１０】
このようなガラス基板搬送用ボックスによれば、これを構成する要素のひとつである例えば図１に示すような底蓋部１１の溝１１ａにガラス基板が挿入されると、ガラス基板は、その下端部の一部が、溝１１ａに隣接して形成されているスペーサパッド１５ａ，１５ｂに当接する。この状態で、例えばガラス基板の上部を支持するための上蓋部が閉じられ、溝によってガラス基板の縁部が支持されると、ガラス基板は、その下端部をスペーサパッド１５ａ，１５ｂに押し当てられ、ガラス基板搬送用ボックス内に固定されるようになる。このように、縁部が溝１１ａによって支持されるガラス基板の端部の少なくとも一部がスペーサパッド１５ａ，１５ｂに押し当てられることで、ガラス基板は、ガラス基板搬送用ボックス内で固定され、その振動が抑制されるようになる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
まず、第１の実施の形態について説明する。
【００１２】
図２は第１の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの外観図である。ただし、図２では、ガラス基板搬送用ボックスの上蓋部が外されている状態を示している。
【００１３】
ガラス基板搬送用ボックス１０は、組み立てられた状態でこれに収納されるガラス基板の下部ならびに上部をそれぞれ支持する底蓋部１１ならびに上蓋部１２、ガラス基板の側部を支持する側壁溝部１３、およびガラス基板の面側を保護する側壁部１４の各部材を用いて組み立てられる。
【００１４】
底蓋部１１および上蓋部１２には、図示しないが、ガラス基板の下部および上部をそれぞれ支持するための複数の溝が所定の位置に一体に形成されている。同様に、側壁溝部１３には、ガラス基板の側部を支持するための複数の溝が所定の領域に一体に形成されている。
【００１５】
このガラス基板搬送用ボックス１０の各部材は、発泡倍率が３〜３０倍の樹脂発泡体を用いて形成されている。このような樹脂発泡体としては、例えば発泡ポリプロピレンを用いることができる。樹脂発泡体の発泡倍率は、３倍よりも小さい場合には部材が硬くなりすぎるため、一方、３０倍よりも大きくなる場合には部材が柔らかくなりすぎるため、３倍〜３０倍の発泡倍率とする。さらに、樹脂発泡体の選択においては、ガラス基板搬送用ボックス１０全体としての強度が充分に確保されるようにすることを考慮する。また、各部材の表面抵抗率は、静電気の発生および蓄積を抑制するため、１×１０３〜１×１０１２Ω・ｃｍとなるようにする。
【００１６】
このような部材を組み立ててなるガラス基板搬送用ボックス１０は、後述の連結方法によって各部材を連結して組み立てた後、最終的には底蓋部１１および上蓋部１２をバンドなどを用いて固定し、各部材同士が外れないようにされる。これにより、中に収納されるガラス基板が、その下部、上部および側部を溝によってそれぞれ確実に支持されるようになる。
【００１７】
図１は第１の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの底蓋部の概略図であって、（ａ）底蓋部の平面図、（ｂ）側壁溝部が配置される側から見た底蓋部の中央縦断面図、（ｃ）側壁部が配置される側から見た底蓋部の中央縦断面図である。
【００１８】
底蓋部１１には、前述のように、ガラス基板の下部を支持するための複数の溝１１ａが形成されている。溝１１ａは、所定の幅および所定の間隔で底蓋部１１に一体に、２列で配置されている。各列１１ｂ，１１ｃにおいては、形成されている溝１１ａの幅および間隔は両者で同じになるように形成されている。各列１１ｂ，１１ｃ同士の間隔、および各列１１ｂ，１１ｃと底蓋部１１の側壁との間隔は、支持すべきガラス基板のサイズに応じて、所定の値に設定される。
【００１９】
さらに、底蓋部１１には、各列１１ｂ，１１ｃと底蓋部１１の側壁との間に、それぞれスペーサパッド１５ａ，１５ｂが配置されるようになっている。このスペーサパッド１５ａ，１５ｂは、底蓋部１１などの各部材を形成している樹脂発泡体よりも柔らかくかつ発塵性が少ない、発泡倍率が３〜３０倍の樹脂発泡体を用いて形成されている。スペーサパッド１５ａ，１５ｂを形成するための樹脂発泡体としては、例えば発泡ポリエチレンを用いることができる。発泡倍率を３〜３０倍とするのは、底蓋部１１本体などの各部材に用いる樹脂発泡体の場合におけるのと同様に、スペーサパッド１５ａ，１５ｂの硬さおよび柔らかさを考慮することによる。
【００２０】
スペーサパッド１５ａ，１５ｂに柔らかくて発塵性の少ない樹脂発泡体を用いるのは、後述するように、収納されるガラス基板の下端がスペーサパッド１５ａ，１５ｂに直接接触するようになるためである。発泡ポリエチレンのような樹脂発泡体を用いることで、ガラス基板の振動を抑えて摩擦による静電気の発生を抑制するとともに、樹脂発泡体が削れてガラス基板に付着するのを抑制する。なお、このスペーサパッド１５ａ，１５ｂは、その全部を発泡ポリエチレンのような樹脂発泡体で形成したものであっても、あるいはそのような樹脂発泡体がガラス基板の下端が接触する側に形成された積層体としたものであってもよい。
【００２１】
上蓋部１２は、底蓋部１１と同様の構成で形成されている。すなわち、２列で形成された複数の溝を有し、その溝の幅ならびに間隔、列同士の間隔、および各列と上蓋部１２の側壁との間隔は、底蓋部１１と同じに設計されている。なお、この第１の実施の形態においては、上蓋部１２にスペーサパッドは配置しない構成とするが、もちろん、底蓋部１１と同様に、各列と上蓋部１２の側壁との間に、スペーサパッドを配置する構成としてもよい。
【００２２】
側壁溝部１３は、図２に示したガラス基板搬送用ボックス１０の内側になる面の側に、図１に示した底蓋部１１あるいは上蓋部１２と同様の溝が形成されている。側壁溝部１３には、所定の領域において、上蓋部１２が配置される側から底蓋部１１が配置される側に向かう溝が複数形成されており、溝同士の間隔は底蓋部１１の溝１１ａおよび上蓋部１２の溝と同じになるように設計されている。
【００２３】
これらの底蓋部１１、上蓋部１２、側壁溝部１３および側壁部１４の各部材を連結することにより、ガラス基板搬送用ボックス１０の基本構造が組み立てられる。ここで、ガラス基板搬送用ボックス１０を構成する各部材の連結方法について説明する。
【００２４】
図３は側壁溝部と側壁部との連結方法の説明図である。また、図４は底蓋部と側壁溝部および側壁部との連結方法の説明図であって、（ａ）底蓋部の側壁部が配置される側から見た中央縦断面図、（ｂ）側壁溝部および側壁部が連結された底蓋部を上から見た図である。
【００２５】
まず、側壁溝部１３と側壁部１４との連結について、図３を参照して説明する。側壁溝部１３には、その側端部に、一定の間隔を設けて配置された一組の突起部１３ａが複数形成されている。一方、側壁部１４には、側壁溝部１３と連結されるべき側縁部に、突起部１３ａが挿入可能な径で開口された開口部１４ａが複数形成されている。側壁溝部１３と側壁部１４とを連結する場合には、まず、突起部１３ａを開口部１４ａに挿入する。そして、突起部１３ａに設けられている隙間に、カギ１６を側壁部１４の外側から嵌挿する。これにより、側壁溝部１３と側壁部１４とが連結されるようになる。
【００２６】
続いて、底蓋部１１と側壁溝部１３および側壁部１４との連結について、図４を参照して説明する。底蓋部１１には、図４（ａ）に示すように、その側壁内側に、凹部１１ｄが形成されている。一方、側壁溝部１３および側壁部１４には、それぞれの下端近傍に、外側へ突出する凸部が形成されている。底蓋部１１と側壁溝部１３および側壁部１４とを連結する場合には、凸部をそれぞれ凹部１１ｄに嵌め込む。なお、側壁溝部１３の側縁部近傍には、その向きを規定するための突起１３ｂが設けられており、側壁溝部１３の連結においては突起１３ｂを目印にして、その嵌め込む向きを考慮するようにする。
【００２７】
上蓋部１２と側壁溝部１３および側壁部１４との連結も、底蓋部１１と側壁溝部１３および側壁部１４との連結と同様に行われるようになっている。
なお、図１、および図１２から図１５において示す底蓋部１１、上蓋部１２および側壁溝部１３では、図３または図４に示した凹部１１ｄ、突起部１３ａ、突起１３ｂ、開口部１４ａおよびカギ１６については、その図示を省略する。
【００２８】
以上のような構成のガラス基板搬送用ボックス１０において、底蓋部１１、上蓋部１２および側壁溝部１３に形成されている溝は、ガラス基板を支持する目的であって、これらの溝のみでガラス基板を固定することを目的としたものではない。ガラス基板搬送用ボックス１０は、これにガラス基板が収納されているときには、溝によってガラス基板の縁部（上部、下部および側部）を支持し、さらに、スペーサパッド１５ａ，１５ｂによってガラス基板を固定するようにしている。
【００２９】
ここで、ガラス基板搬送用ボックスの設計について、図５から図１１、および表１を参照して、詳細に説明する。ただし、ここでは、１５インチ、１６インチ、１９インチ、２０インチのガラス基板を搬送するのに用いるガラス基板搬送用ボックスの設計を例にして説明する。
【００３０】
図５は底蓋部または上蓋部の平面模式図、図６は底蓋部または上蓋部に形成される溝の側面模式図、図７は底蓋部または上蓋部の断面模式図、図８は側壁溝部の平面模式図、図９は側壁溝部に形成される溝の側面模式図、図１０は側壁部の平面模式図、図１１はガラス基板搬送用ボックス全体の模式図である。ただし、図５から図１０では各部材の厚みを除いて図示し、図１１では各部材の厚みを含めて図示している。また、表１には図５から図１１に示した各部材の設計値を例示する。
【００３１】
【表１】
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【００３２】
底蓋部または上蓋部については、図５に示すように、ガラス基板を収納可能な空間の底面サイズを、長さＡ，幅Ｂで規定する。長さＡについては、表１に示すように、ガラス基板のサイズが１５，１６，１９，２０インチと異なる場合であっても同じ値（３４０ｍｍ）とする。一方、幅Ｂについては、１９，２０インチの比較的大きなガラス基板の場合には同じ値（３２４ｍｍ）とし、１５，１６インチの比較的小さなガラス基板の場合には、そのサイズに応じてそれぞれ適切な値（２４２ｍｍ，２７０ｍｍ）を設定する。
【００３３】
この底蓋部または上蓋部の一方の側壁からＣだけ離れた位置に、幅Ｄの溝が複数形成された列をその側壁と平行に形成する。さらに、この列からＥだけ離れた位置に、幅Ｆの溝が複数形成されたもう１つの列を形成する。この列と底蓋部または上蓋部の他方の側壁との間隔をＧとし、Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇの和が幅Ｂになるようにする。通常、ＣとＧの長さ、ＤとＦの長さは、それぞれ等しくなるよう設計する。
【００３４】
この底蓋部または上蓋部において、長さＣ，Ｇは、表１に示すように、１９，２０インチのガラス基板の場合には同じ値（６２ｍｍ）とし、１５，１６インチの場合にはそのサイズに応じてそれぞれ適切な値（３６ｍｍ，５０ｍｍ）とする。また、長さＥは、１９，２０インチの場合には同じ値（１００ｍｍ）とし、１５，１６インチの場合には１９，２０インチの場合よりも小さな値であって同じ値（７０ｍｍ）とする。幅Ｄ，Ｆについては、ガラス基板のサイズに依らず一定の値（５０ｍｍ）とする。
【００３５】
幅Ｄ，Ｆで形成される列には、図５および図６に示すように、側壁からそれぞれ長さＨ，Ｉだけ離れた領域に複数の溝を形成し、底蓋部または上蓋部の底面から高さＪの位置が底になる深さＫの溝を形成する。この溝は、溝を形成している隣り合う突出部同士の間隔をＬで、溝の幅をＭで形成する。突出部の先端部分は幅Ｎで形成する。この突出部は、先端部分から底面側に向かって広がるように形成し、隣り合う突出部の間に、幅Ｍの溝が形成されるようにする。
【００３６】
このような溝が形成される底面からの高さＪの値は、表１に示すように、１５，１６，１９，２０インチのガラス基板のサイズに応じてそれぞれ適切な値（１２ｍｍ，５ｍｍ，２０ｍｍ，５ｍｍ）に設定する。Ｈ，Ｉ，Ｋ，Ｌ，Ｍ，Ｎの各値は、ガラス基板のサイズによらずそれぞれ一定の値（４０ｍｍ，１０ｍｍ，１０ｍｍ，１４ｍｍ，５ｍｍ，５ｍｍ）とする。
【００３７】
底蓋部または上蓋部自体の底面からの高さは、図７に示すように、Ｏ，Ｐの和となる。このうち長さＰの部分で、組み立て時に側壁溝部または側壁部と重なり合って連結されるようにする。組み立て時に底蓋部または上蓋部として有効な空間の高さはＱであり、すなわち、底面からの高さＯと収納されるガラス基板の下部が支持される高さＪとの差になる。
【００３８】
底面からの高さＯについては、表１に示すように、１９，２０インチの場合と１５，１６インチの場合でそれぞれ同じ値（７０ｍｍ，２５ｍｍ）とする。したがって、高さＱの値は、ガラス基板が１５，１６，１９，２０インチの場合の高さＪの値に応じた値（１３ｍｍ，２０ｍｍ，５０ｍｍ，６５ｍｍ）に設定されることになる。
【００３９】
ガラス基板搬送用ボックスの底蓋部または上蓋部に配置されるスペーサパッドは、その大きさを長さＡ，幅Ｃで規定し、その高さをＪ＋αで規定する。すなわち、スペーサパッドは、図７に示したように、ガラス基板の下部が支持される高さＪの位置よりもαだけ高くなるように形成される。そのため、ガラス基板が溝に挿入されると、ガラス基板の下端部は、高さＪの位置よりも高くなっているαの部分に当接するようになる。ガラス基板は、底蓋部と上蓋部とで挟まれることで、その下端部がスペーサパッドに押し当てられ、固定されるようになる。スペーサパッドのガラス基板搬送用ボックス内で固定するマージンであるαは、１〜４ｍｍ程度となるようにするのが好ましい。
【００４０】
側壁溝部については、図８に示すように、ガラス基板の収納に寄与する空間サイズを、長さＡ，高さＲで規定する。高さＲの値は、長さＡと同様、表１に示すように、ガラス基板のサイズが１５，１６，１９，２０インチと異なる場合であっても同じ値（２９４ｍｍ）とする。
【００４１】
この側壁溝部には、底蓋部または上蓋部における場合と同じく、両側端からそれぞれ長さＨ，Ｉだけ離れた領域の上端から下端に向かう溝を複数形成する。この溝は、図９に示すように、側壁溝部の底面から高さＪの位置に、深さＳ、溝を形成している隣り合う突出部同士の間隔Ｌ、溝の幅Ｍ、突出部の先端部分の幅Ｎで、形成する。側壁溝部における溝の深さＳは、ガラス基板のサイズによらず一定の値（１５ｍｍ）とする。ガラス基板は、対向配置される２つの側壁溝部によって、その両側縁部を支持される。これら２つの側壁溝部は共に同一の設計とする。
【００４２】
側壁部については、図１０に示すように、ガラス基板の収納に寄与する空間サイズを、長さＢ，高さＲで規定する。ガラス基板の面側を保護するための２つの対向配置される側壁部は、共に同一の設計とする。
【００４３】
これらの底蓋部、上蓋部、側壁溝部、側壁部を組み立てた場合の各部材の厚み（板厚３０ｍｍ）を含んだガラス基板搬送用ボックス全体のサイズは、図１１に示すように、高さＴ、長さＵ、幅Ｖで規定される。このうち、長さＵについては、表１に示すように、ガラス基板のサイズによらず一定の値（４３５ｍｍ）とする。一方、高さＴについては、１９，２０インチの場合と１５，１６インチの場合でそれぞれ同じ値（４９５ｍｍ，４０５ｍｍ）とする。幅Ｖについても同様に、１９，２０インチの場合と１５，１６インチの場合でそれぞれ同じ値（４１０ｍｍ，３５５ｍｍ）とする。表面に露出している底蓋部および上蓋部の高さＷは、１９，２０インチの場合と１５，１６インチの場合でそれぞれ同じ値（１２０ｍｍ，７５ｍｍ）となる。表面に露出している側壁溝部ならびに側壁部の高さＸは、ガラス基板のサイズによらず一定の値（２５５ｍｍ）である。
【００４４】
ガラス基板搬送用ボックスを表１の例に基づいて設計した場合の空間サイズとガラス基板サイズおよび両者の差を表２に示す。
【００４５】
【表２】
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【００４６】
１５，１６，１９，２０インチの各ガラス基板の収納用に設計したガラス基板搬送用ボックスにおいては、実際にガラス基板の収納に用いることのできる空間サイズが、それぞれ表２に示した値となる。すなわち、空間サイズの幅は、表１に示した幅Ｂの値になり、空間サイズの高さは（Ｑ×２＋Ｒ）の値になる。
【００４７】
１５，１６，１９，２０インチのガラス基板のサイズは、それぞれ、実際にはこの表２に示した値となる。したがって、ガラス基板は、その下部・上部および側部ともわずかな隙間が保たれた状態で、底蓋部、上蓋部および側壁溝部に形成されている溝によって支持されるようになる。
【００４８】
このようなガラス基板搬送用ボックスにガラス基板を収納する場合には、通常、ガラス基板を、表面抵抗率が１×１０９〜１×１０１２Ω・ｃｍの静電袋で梱包した状態で、底蓋部、上蓋部および側壁溝部の溝に挿入する。これにより、前述のように、ガラス基板の縁部（下部、上部および側部）が、底蓋部、上蓋部および側壁溝部の溝によって支持されるようになる。
【００４９】
そして、ガラス基板搬送用ボックスをバンドなどによって固定することで、ガラス基板が底蓋部と上蓋部とに挟まれ、縁部を支持されているガラス基板に対し、その下端部をスペーサパッドに押し当てる力が加わる。その際、スペーサパッドは、押し当てられたガラス基板の下端部において若干変形する。その結果、ガラス基板は、底蓋部、上蓋部および側壁溝部の溝に支持された状態で、スペーサパッドによってガラス基板搬送用ボックス内に固定される。
【００５０】
このようなガラス基板搬送用ボックスによれば、スペーサパッドがガラス基板への衝撃を緩衝するとともに、ガラス基板が振動するのを抑制することができる。従来の梱包形態で搬送した場合には、その振動によって静電気障害が１０％程度発生する場合があったのに対し、搬送時の静電気障害発生率を１％以下に低減することができるようになる。
【００５１】
また、このガラス基板搬送用ボックスでは、大きく分けて、１５，１６インチの比較的小さなものと１９，２０インチの比較的大きなものとの２種類のガラス基板サイズに対応することができる。すなわち、１５，１６インチのガラス基板に対しては、ガラス基板搬送用ボックスの外観サイズ（Ｔ，Ｕ，Ｖ，Ｗ，Ｘ）は同じで、底蓋部および上蓋部の一部の寸法（Ｂ，Ｃ，Ｇ，Ｊ，Ｑ）を変えることで対応することができる。１９，２０インチのガラス基板に対しても同様に、ガラス基板搬送用ボックスの外観サイズ（Ｔ，Ｕ，Ｖ，Ｗ，Ｘ）は同じで、底蓋部および上蓋部の一部の寸法（Ｊ，Ｑ）を変えることで対応することができる。底蓋部および上蓋部のこのような寸法変化に応じて、スペーサパッドも、固定するマージン（α）を含め、適当なサイズとし、ガラス基板を適切に固定できるように調整する。
【００５２】
このように、ガラス基板サイズを大きく２種類に分けた上で、特定の部材の一部について寸法を変化させるだけでサイズの異なるガラス基板を収納することができるようにすることで、様々な種類のガラス基板の搬送に適用することが可能になる。そのため、サイズの異なるガラス基板を収納するときには、寸法変化を伴う部材のみ変更すればよく、ガラス基板ごとにガラス基板搬送用ボックス全体を作製する必要がない。
【００５３】
なお、ガラス基板には半導体部品が組み込まれており、通常、温度・湿度が一定に保たれたクリーンルーム内で梱包される。したがって、冬季の輸送や航空機輸送による急激な温度の低下、船によるコンテナ輸送における水分の侵入などによって、ガラス基板が結露する可能性がある。ガラス基板搬送用ボックスをクリーンルーム外へ搬送するときには、クリーンルーム内で、ガラス基板搬送用ボックスをアルミがコーティングされたアルミコートポリエチレン袋、例えば内側からポリエチレン（７０μｍ）／アルミ（９μｍ）／ポリエチレン（１５μｍ）／ナイロン（１５μｍ）の層構成としたアルミコートポリエチレン袋で包み、これを排気後に熱シールして梱包するようにする。これにより、外部からの水分の侵入を抑えることが可能になる。
【００５４】
また、このようなガラス基板搬送用ボックスへのガラス基板の収納を、ロボットなどを用いて自動で行う場合には、ガラス基板を上記の静電袋には梱包せず、直接ガラス基板搬送用ボックスに梱包することも可能である。その場合は、ガラス基板搬送用ボックスに、ロボットのつかみしろ部分のスペースを空けるなど、適当に設計変更を行うようにする。
【００５５】
次に、第２の実施の形態について説明する。
図１２は第２の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの底蓋部の概略図であって、（ａ）底蓋部の平面図、（ｂ）側壁溝部が配置される側から見た底蓋部の中央縦断面図、（ｃ）側壁部が配置される側から見た底蓋部の中央縦断面図である。ただし、図１２では、図１に示した要素と同一の要素については同一の符号を付し、その説明の詳細は省略する。
【００５６】
第２の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスは、底蓋部２０の底面に、シリカゲルなどの乾燥剤２１が配置されている点で第１の実施の形態のガラス基板搬送用ボックス１０と相違する。その他の点については、第１の実施の形態と同様である。
【００５７】
クリーンルーム内で梱包されたガラス基板２２は、輸送時のガラス基板搬送用ボックスへの水分の侵入による結露を抑制する目的で、図１２（ａ），（ｃ）に示したように、底蓋部２０の底面に乾燥剤２１を配置する。
【００５８】
この乾燥剤２１は、図１２（ａ）に示したように、底蓋部２０の列１１ｂ，１１ｃの間の２箇所に配置されている。さらに、乾燥剤２１は、図１２（ｃ）に示したように、ガラス基板２２の下端部がスペーサパッド１５ａ，１５ｂに当接している場合でも、ガラス基板２２に触れないように配置されている。
【００５９】
この第２の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスをクリーンルーム外へ搬送するときには、クリーンルーム内で、ガラス基板搬送用ボックスをアルミコートポリエチレン袋で包み、排気後、熱シールして梱包する。これにより、外部からの水分の侵入を抑え、かつ、乾燥剤２１によりガラス基板搬送用ボックス内を一定湿度にコントロールすることが可能になる。ガラス基板搬送用ボックス内の体積に応じて乾燥剤２１の量（重量あるいは個数）を調整すれば、内部湿度の調整が可能である。
【００６０】
次に、第３の実施の形態について説明する。
図１３は第３の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの上蓋部の概略図であって、（ａ）上蓋部の平面図、（ｂ）側壁溝部が配置される側から見た上蓋部の中央縦断面図、（ｃ）側壁部が配置される側から見た上蓋部の中央縦断面図である。
【００６１】
第３の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスは、上蓋部３０にガス吸入口３１が設けられている点で第１の実施の形態のガラス基板搬送用ボックス１０と相違する。その他の点については、第１の実施の形態と同様である。
【００６２】
この第３の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスによれば、クリーンルーム外へ搬送するときには、まず、クリーンルーム内で、ガス吸入口３１から窒素ガスまたは不活性ガスを導入してガラス基板搬送用ボックス内のガスを置換する。そして、置換後のガラス基板搬送用ボックスを、アルミコートポリエチレン袋で包み、これを排気後に熱シールして梱包する。これにより、外部からの水分の侵入を抑え、ガラス基板が結露するのを抑制することができる。
【００６３】
次に、第４の実施の形態について説明する。
第４の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスは、各部材の表面に界面活性剤を塗布し、あるいは一般的に界面活性剤として用いられている物質を樹脂発泡体に練り込んで各部材を形成した構成とする。これにより、ガラス基板搬送用ボックス自体の抵抗を下げることができ、ガラス基板の振動を抑えるとともに、静電気の発生をいっそう抑えることが可能になる。
【００６４】
さらに、樹脂発泡体に界面活性剤を練り込む場合に、カーボンブラックなどを用いてカーボンを練り込むようにすれば、よりいっそうガラス基板搬送用ボックス自体の抵抗を下げることができる。
【００６５】
次に、第５の実施の形態について説明する。
第５の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスは、スペーサパッドに、底蓋部と同様の溝を形成した構成とする。これにより、ガラス基板は、底蓋部、上蓋部および側壁溝部の溝でその縁部を支持されるとともに、スペーサパッドに形成された溝によってその下端部を確実に固定されるようになる。この場合、スペーサパッドがガラス基板の振動を抑えられるように、その溝の深さおよびガラス基板の固定に必要となるマージン（α）を、適当に設定するようにする。
【００６６】
次に、第６の実施の形態について説明する。
図１４は第６の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの側壁溝部の概略図であって、（ａ）平面図、（ｂ）正面図、（ｃ）下面図である。
【００６７】
第６の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの側壁溝部４０は、溝の部分を別体で形成した溝分割部４１を、外壁部４２に着脱可能とした構造を有している。ここで、図示しないが、溝分割部４１には、その溝が形成されていない背面側に凸部が形成されており、一方、外壁部４２には、溝分割部４１が配置される側に凹部が形成されている。溝分割部４１は、その凸部を外壁部４２の凹部に嵌め込むことで、外壁部４２に取り付けることができるようになっている。溝分割部４１を取り外す際には、その凸部を外壁部の凹部から引き抜くようにすればよい。
【００６８】
溝分割部４１は、発泡ポリエチレンなどの樹脂発泡体で形成され、外壁部４２を形成している樹脂発泡体よりも柔らかくなるように形成されている。このように、溝分割部４１を着脱可能な構成とすることで、この部分を外壁部４２と異なる材質で形成することが可能である。すなわち、外壁部４２はガラス基板搬送用ボックスの強度などを考慮して形成し、溝分割部４１は、ガラス基板の振動抑制に適した発泡倍率や原材料を選択して形成することが可能になる。
【００６９】
さらに、この第６の実施の形態では、底蓋部５０の溝の部分についても、図１４に示した側壁溝部４０と同様の構造とする。
図１５は第６の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの底蓋部の概略図であって、（ａ）底蓋部の平面図、（ｂ）側壁溝部が配置される側から見た底蓋部の中央縦断面図、（ｃ）側壁部が配置される側から見た底蓋部の中央縦断面図である。
【００７０】
底蓋部５０では、複数の溝が形成されている列の部分を別体で形成した溝分割部５１を、外壁部５２の所定の位置に着脱可能としている。図示しないが、溝分割部５１に凸部が形成され、外壁部５２に凹部が形成されている点は、上記の側壁溝部４０と同じである。溝分割部５１についても、その材質は発泡ポリエチレンなどの樹脂発泡体とし、外壁部５２を形成している樹脂発泡体よりも柔らかくなるようにすることができる。すなわち、溝分割部５１と外壁部５２とを異なる材質で形成することが可能である。
【００７１】
このように、側壁溝部４０および底蓋部５０の溝を、それぞれ溝分割部４１，５１として別体で形成することで、溝の寸法が異なる溝分割部４１，５１を共通の外壁部４２，５２に取り付けて用いることができる。したがって、溝分割部４１，５１の溝の寸法を調整することによって複数種のサイズのガラス基板の収納に対応したり、ひとつのガラス基板搬送用ボックスで搬送することのできるガラス基板の枚数変更に対応したりすることが可能になる。
【００７２】
なお、上記の第２から第６の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスには、本発明に係るスペーサパッドを備えたもののほか、スペーサパッドを備えていない従来のガラス基板搬送用ボックスについても適用可能である。
【００７３】
（付記１）  内部にガラス基板が挿入される溝を有し、前記ガラス基板の縁部を前記溝によって支持して前記ガラス基板を搬送するためのガラス基板搬送用ボックスにおいて、
樹脂発泡体を用いて形成されて、前記ガラス基板が前記縁部を前記溝によって支持されるときに前記ガラス基板の端部の少なくとも一部が押し当てられるように配置されたスペーサパッドを有することを特徴とするガラス基板搬送用ボックス。
【００７４】
（付記２）  前記ガラス基板の下部を支持する底蓋部と、前記ガラス基板の上部を支持する上蓋部と、前記ガラス基板の側部を支持する側壁溝部と、前記ガラス基板の面側を保護する側壁部と、を有することを特徴とする付記１記載のガラス基板搬送用ボックス。
【００７５】
（付記３）  前記スペーサパッドは、前記溝によって前記ガラス基板の下部を支持する底蓋部に、前記ガラス基板の下端部の少なくとも一部が押し当てられる面が、前記底蓋部の前記溝の底よりも、前記ガラス基板を内部に収納できる範囲で、高くなるように配置されていることを特徴とする付記１記載のガラス基板搬送用ボックス。
【００７６】
（付記４）  前記スペーサパッドは、発泡倍率が３倍から３０倍の発泡ポリエチレンを用いて形成されていることを特徴とする付記１記載のガラス基板搬送用ボックス。
【００７７】
（付記５）  発泡倍率が３倍から３０倍の樹脂発泡体を用いて形成されて、表面抵抗率が１×１０３から１×１０１２Ω・ｃｍの範囲であることを特徴とする付記１記載のガラス基板搬送用ボックス。
【００７８】
（付記６）  前記溝が形成されている部分が別体で着脱可能に形成された溝分割部を有することを特徴とする付記１記載のガラス基板搬送用ボックス。
（付記７）  表面に界面活性剤が塗布されまたは形成している材料の組成に前記界面活性剤を含んでいることを特徴とする付記１記載のガラス基板搬送用ボックス。
【００７９】
（付記８）  形成している材料の組成にカーボンを含んでいることを特徴とする付記１記載のガラス基板搬送用ボックス。
（付記９）  内部にガラス基板が挿入される溝を有するガラス基板搬送用ボックスによって、前記ガラス基板の縁部を前記溝によって支持して前記ガラス基板を搬送するガラス基板搬送方法において、
前記ガラス基板を静電袋に梱包し、
前記静電袋に梱包された状態で前記ガラス基板を前記溝に挿入し、
前記ガラス基板搬送用ボックスの組み立てを完了したときに、前記溝に挿入された前記ガラス基板の端部の少なくとも一部をスペーサパッドに押し当てて前記ガラス基板を固定することを特徴とするガラス基板搬送方法。
【００８０】
（付記１０）  内部にガラス基板が挿入される溝を有するガラス基板搬送用ボックスによって、前記ガラス基板の縁部を前記溝によって支持して前記ガラス基板を搬送するガラス基板搬送方法において、
前記ガラス基板を前記溝に挿入し、
前記ガラス基板搬送用ボックスの組み立てを完了したときに、前記溝に挿入された前記ガラス基板の端部の少なくとも一部をスペーサパッドに押し当てて前記ガラス基板を固定し、
前記ガラス基板が固定されている前記ガラス基板搬送ボックスをアルミコートポリエチレン袋で包み、
前記アルミコートポリエチレン袋内のガスを排気し、
前記アルミコートポリエチレン袋を熱シールすることを特徴とするガラス基板搬送方法。
【００８１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明では、スペーサパッドを、樹脂発泡体を用いて形成し、ガラス基板がその縁部を溝で支持されるときにガラス基板の端部の少なくとも一部が押し当てられるように、ガラス基板搬送用ボックスに配置する。これにより、ガラス基板の振動を抑えて静電気の発生を抑制し、ガラス基板の静電気障害を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの底蓋部の概略図であって、（ａ）底蓋部の平面図、（ｂ）側壁溝部が配置される側から見た底蓋部の中央縦断面図、（ｃ）側壁部が配置される側から見た底蓋部の中央縦断面図である。
【図２】第１の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの外観図である。
【図３】側壁溝部と側壁部との連結方法の説明図である。
【図４】底蓋部と側壁溝部および側壁部との連結方法の説明図であって、（ａ）底蓋部の側壁部が配置される側から見た中央縦断面図、（ｂ）側壁溝部および側壁部が連結された底蓋部を上から見た図である。
【図５】底蓋部または上蓋部の平面模式図である。
【図６】底蓋部または上蓋部に形成される溝の側面模式図である。
【図７】底蓋部または上蓋部の断面模式図である。
【図８】側壁溝部の平面模式図である。
【図９】側壁溝部に形成される溝の側面模式図である。
【図１０】側壁部の平面模式図である。
【図１１】ガラス基板搬送用ボックス全体の模式図である。
【図１２】第２の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの底蓋部の概略図であって、（ａ）底蓋部の平面図、（ｂ）側壁溝部が配置される側から見た底蓋部の中央縦断面図、（ｃ）側壁部が配置される側から見た底蓋部の中央縦断面図である。
【図１３】第３の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの上蓋部の概略図であって、（ａ）上蓋部の平面図、（ｂ）側壁溝部が配置される側から見た上蓋部の中央縦断面図、（ｃ）側壁部が配置される側から見た上蓋部の中央縦断面図である。
【図１４】第６の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの側壁溝部の概略図であって、（ａ）平面図、（ｂ）正面図、（ｃ）下面図である。
【図１５】第６の実施の形態のガラス基板搬送用ボックスの底蓋部の概略図であって、（ａ）底蓋部の平面図、（ｂ）側壁溝部が配置される側から見た底蓋部の中央縦断面図、（ｃ）側壁部が配置される側から見た底蓋部の中央縦断面図である。
【符号の説明】
１０  ガラス基板搬送用ボックス
１１，２０，５０  底蓋部
１１ａ  溝
１１ｂ，１１ｃ  列
１１ｄ  凹部
１２，３０  上蓋部
１３，４０  側壁溝部
１３ａ  突起部
１３ｂ  突起
１４  側壁部
１４ａ  開口部
１５ａ，１５ｂ  スペーサパッド
１６  カギ
２１  乾燥剤
２２  ガラス基板
３１  ガス吸入口
４１，５１  溝分割部
４２，５２  外壁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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