(57)【要約】【課題】被検査体の外観形状やパターンが複雑であっても、不合格箇所の見落としがなく目視検査が行なえ検査精度を向上させることができる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置を提供する。【解決手段】本二重表示手段を用いた被検査体の検査装置は、透過可能な前方表示画面と、この前方表示画面に離間して重ね合わされた後方表示画面を有する二重表示手段を備え、一方の表示画面に撮像手段により撮影された被検査体映像、他の表示画面に被検査体基準図映像を離間して重ね合わせて表示し、視野角をずらして両方を同時に見比べることを可能にして、両方を見比べ比較検査を行なえるようにした。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透過可能な前方表示画面と、この前方表示画面に離間して重ね合わされた後方表示画面を有する二重表示手段を備え、一方の表示画面に撮像手段により撮影された被検査体映像、他の表示画面に被検査体基準図映像を離間して重ね合わせて表示し、視野角をずらして両方を同時に見比べることを可能にして、両方を見比べ比較検査を行なえるようにしたことを特徴とする二重表示手段を用いた被検査体の検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の二重表示手段を用いた被検査体の検査装置において、前記被検査体に設定した位置調整ポイントおよび前記被検査体基準図に設定した位置調整ポイントを関連付けることにより撮像手段により撮影した被検査体映像と被検査体基準図映像を正確に重ね合わせることを可能にしたことを特徴とする二重表示手段を用いた被検査体の検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の二重表示手段を用いた被検査体の検査装置において、前記被検査体に設けられた取付穴および前記被検査体基準図の取付穴を関連付けることにより撮像手段により撮影した被検査体映像と被検査体基準図映像を正確に重ね合わせることを可能にしたことを特徴とする二重表示手段を用いた被検査体の検査装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の二重表示手段を用いた被検査体の検査装置において、前記被検査体映像の表示倍率の変更と位置を連動して被検査体基準図映像を同様の表示倍率および位置で表示可能としたことを特徴とする二重表示手段を用いた被検査体の検査装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の二重表示手段を用いた被検査体の検査装置において、前記後方表示画面に表示される被検査体映像あるいは被検査体基準図映像のパターンもしくはその一部を明るい色にして表示し、背景あるいは基部を暗い色とすることで被検査体映像あるいは被検査体基準図映像を明るく表示し、前方表示画面の被検査体映像もしくは被検査体基準図映像の一部もしくは全体を暗い色にし、基部もしくは背景を明るい色とし、被検査体映像あるいは被検査体基準図映像との比較を容易にすることを特徴とする二重表示手段を用いた被検査体の検査装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の二重表示手段を用いた被検査体の検査装置において、前記被検査体基準図は、被検査体の設計上の被検査体のパターンが用いられることを特徴とする二重表示手段を用いた被検査体の検査装置。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の二重表示手段を用いた被検査体の検査装置において、前記被検査体基準図映像は、被検査体と同種の検査済合格被検査体映像が用いられることを特徴とする二重表示手段を用いた被検査体の検査装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の二重表示手段を用いた被検査体の検査装置において、前方表示画面と後方表示画面との離間距離は、５〜１５ｍｍであることを特徴とする二重表示手段を用いた被検査体の検査装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の二重表示手段を用いた被検査体の検査装置において、前記被検査体は、プリント基板であることを特徴とする二重表示手段を用いた被検査体の検査装置。
【請求項１０】
透過可能な前方表示画面に離間して重ね合わされた後方表示画面の一方の表示画面に撮像手段により撮影された被検査体映像、他の表示画面に被検査体基準図映像を離間して重ね合わせて表示し、視野角をずらして両方を同時に見比べ比較検査を行うことを特徴とする二重表示手段を用いた被検査体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、二重表示手段を用いた被検査体の検査装置及びこれを用いた検査方法に係わり、特に被検査体映像と被検査体基準図映像を離間して重ね合わせて表示する二重表示手段を用いた被検査体の検査装置及びこれを用いた検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のプリント基板の製造工程における品質管理において、図１１に示すように、被検査体としてのプリント基板の配線パターンが記載されたパターンｐｔと、検査対象となるプリント基板ｐｂとを目視により比較し、配線パターンを検査している。このため、検査者Ｍはパターンｐｔとプリント基板ｐｂを視線を移動しながら見比べる必要がある。また、画像処理システムによりプリント基板の配線パターンを検査するシステムも用いられているが、非常に高価であり、注文生産による小規模な生産ラインにおいては採用することはコスト面で困難であった。さらに、画像処理による品質管理を行っていても、最終確認については目視による検査を行っている場合がある。従来の検査方法では、プリント基板とパターンを見比べながら検査するため、細部にわたる検査には時間と手間がかかるとともに熟練した検査者が必要であった。
【０００３】
このような従来の問題を解決するために、設計上の配線パターン情報と配線工程が完了した半導体装置の実画像情報を、同一画面内に同時に表示し、検査作業者は画面上で半導体装置の実画像と設計上の配線パターンとを目視で対比しながら配線の状態を確認することができ、誤配線であるか否かを視覚的に容易に認識し、さらに、前記設計上の配線パターン情報と前記配線工程が完了した半導体装置の実画像情報とを重ねて表示して誤配線の有無を判定するものである（特許文献１）。しかし、この特許文献１に記載の検査装置は、同一画面、同一平面に単に重ね合せて表示するものであり、複雑な配線の場合には誤配線の判定が困難であり、さらに、重ね合せて表示された配線図のうち、後方表示画面に表示される配線図の配線が、前方表示画面に表示される対応する配線よりも細くあるいは短い場合には、重ね合った状態で見るだけでは、見落としが発生し、検査精度が低下する。
【０００４】
なお、透明なスクリーンの複数の層を組み合わせることにより、奥行きを持つ改良された表示装置についての提案がある（特許文献２）。この特許文献２に記載の表示装置は、一つの題材の風景などを立体的に表示するものであり、一方の表示画面に被検査体映像、他の表示画面に被検査体基準図映像を離間して重ね合わせて表示し、視野角をずらして両方を同時に見比べることを可能にして、両方を見比べ比較検査するものではない。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−２３２３８４号公報（段落番号［００１３］、［００３４］、図３）
【０００６】
【特許文献２】
特表２００２−５０４７６４号公報（段落番号［００２３］、第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、被検査体の外観形状やパターンが複雑であっても、不合格箇所の見落としがなく目視検査が行なえ検査精度を向上させることができる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置及びこれを用いた検査方法を提供することを目的とする。
【０００８】
本発明者らは上記問題に鑑み、鋭意研究し、一方の表示画面に被検査体映像、他の表示画面に被検査体基準図映像を離間して重ね合わせて表示し、視野角をずらして両方を同時に見比べることにより、不合格箇所の発見が容易かつ確実に行なえることを見出し、上記問題を解決するに至った。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の１つの態様によれば、透過可能な前方表示画面と、この前方表示画面に離間して重ね合わされた後方表示画面を有する二重表示手段を備え、一方の表示画面に撮像手段により撮影された被検査体映像、他の表示画面に被検査体基準図映像を離間して重ね合わせて表示し、視野角をずらして両方を同時に見比べることを可能にして、両方を見比べ比較検査を行なえるようにしたことを特徴とする二重表示手段を用いた被検査体の検査装置が提供される。これにより、被検査体の外観形状やパターンが複雑であっても、不合格箇所の見落としがなく目視検査が行なえ検査精度を向上させることができる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置が実現される。
【００１０】
好適な一例では、前記被検査体に設定した位置調整ポイントおよび前記被検査体基準図に設定した位置調整ポイントを関連付けることにより撮像手段により撮影した被検査体映像と被検査体基準図映像を正確に重ね合わせることを可能にした。これにより、被検査体映像と被検査体基準図映像を正確に重ね合わせて表示することが可能となる。
【００１１】
また、他の好適な一例では、前記被検査体に設けられた取付穴および前記被検査体基準図の取付穴を関連付けることにより撮像手段により撮影した被検査体映像と被検査体基準図映像を正確に重ね合わせることを可能にした。これにより、新たに位置調整ポイントを被検査体に設ける必要がなくなり、従来の被検査体に新たな工程を加えることなく検査可能となる。
【００１２】
また、他の好適な一例では、前記被検査体映像の表示倍率の変更と位置を連動して被検査体基準図映像を同様の表示倍率および位置で表示可能とした。これにより、両表示画面の映像を同時に拡大縮小が可能となり、見比べが容易になる。
【００１３】
また、他の好適な一例では、前記後方表示画面に表示される被検査体映像あるいは被検査体基準図映像のパターンもしくはその一部を明るい色にして表示し、背景あるいは基部を暗い色とすることで被検査体映像あるいは被検査体基準図映像を明るく表示し、前方表示画面の被検査体映像もしくは被検査体基準図映像の一部もしくは全体を暗い色にし、基部もしくは背景を明るい色とし、被検査体映像あるいは被検査体基準図映像との比較を容易にする。これにより、被検査体の不具合のみが明るく表示されることになり、検査時の被検査体の不具合の発見が容易になる。
【００１４】
また、他の好適な一例では、前記被検査体基準図は、被検査体の設計上の被検査体のパターンが用いられる。これにより、被検査体基準図が容易に得られる。
【００１５】
また、他の好適な一例では、前記被検査体基準図映像は、被検査体と同種の検査済合格被検査体映像が用いられる。これにより、被検査体基準図映像として、現物である検査済合格被検査体映像を用いるので、被検査体と前記被検査体基準図との差異がより明確になり、検査の精度がより向上する。
【００１６】
また、他の好適な一例では、前方表示画面と後方表示画面との離間距離は、５〜１５ｍｍである。これにより、被検査体映像と被検査体基準図映像が適度に離間するので、視野角をずらして、確実に分離、離間した両者の映像を同時に見比べて検査することができる。
【００１７】
また、他の好適な一例では、前記被検査体は、プリント基板である。
【００１８】
また、本発明の１つの態様によれば、透過可能な前方表示画面に離間して重ね合わされた後方表示画面の一方の表示画面に撮像手段により撮影された被検査体映像、他の表示画面に被検査体基準図映像を離間して重ね合わせて表示し、視野角をずらして両方を同時に見比べ比較検査を行うことを特徴とする二重表示手段を用いた被検査体の検査方法が提供される。これにより、被検査体の外観形状やパターンが複雑であっても、不合格箇所の見落としがなく目視検査が行なえ検査精度を向上させることができる二重表示手段を用いた被検査体の検査方法が実現される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置の第１実施形態について添付図面を参照して説明する。
【００２０】
図１及び図２は本発明の第１実施形態としての二重表示手段を用いたプリント基板の検査装置の概念図である。
【００２１】
図１及び図２に示すように、第１実施形態の二重表示手段を用いたプリント基板の検査装置１は、透過可能な前方表示画面２ｆと、この前方表示画面２ｆに離間して重ね合わされた後方表示画面２ｒを有する二重表示手段２を備えており、この二重表示手段２は、画像処理手段３を介して、ＣＰＵ４ａ、記憶装置４ｂを有し入力手段が接続された制御手段４に接続され、さらに、撮像手段５に接続されている。
【００２２】
二重表示手段２の前方表示画面２ｆは透過型のＬＣＤであり、また、後方表示画面２ｒもＬＣＤであり、両者は間隔Ｌを有するように離間し、重ね合されて配置されている。間隔Ｌは５〜１５ｍｍであるのが好ましい。これにより、被検査体映像と被検査体基準図映像が適度に離間するので、視野角をずらして、確実に分離、離間した両者の映像を同時に見比べて検査することができる。離間距離が５ｍｍより小さいと、視野角をつけて二重表示手段を見たとき、前方表示画面の表示と後方表示画面の表示を十分にずらして見ることができず、１５ｍｍを超えると二重表示手段が大型になってしまい、また、両映像が離れ過ぎて対比検査が行い難い。
【００２３】
制御手段４は、装置全体を制御するもので、ＣＰＵ４ａがＲＯＭ及びＲＡＭとデータのやりとりを行いながらＲＯＭに記憶されている制御プログラムを実行することによってその制御が実現される。また、制御手段４の記憶装置４ｂには、被検査体としてのプリント基板ＰＢの設計時に作製されたプリント基板ＰＢのパターン（被検査体基準図）のデータが収納されている。
【００２４】
撮像手段５はＣＣＤカメラからなり、検査されるプリント基板ＰＢの表面を撮像し、デジタル信号に変換されたプリント基板画像信号を画像処理手段に取り込んで画像データに生成し、二重表示手段２に送信するようになっている。
【００２５】
図３に示すように、プリント基板の検査装置１は、プリント基板ＰＢに設定した位置調整ポイントＰＢ１およびパターン図ＰＴに設定した位置調整ポイントＰＴ１を画像処理し、ＣＰＵ４ａによって演算して関連付ける（一致させる）ようになっている。例えば、プリント基板ＰＢを撮像手段５で撮影したプリント基板映像ＰＢａの位置調整ポイントＰＢ１の後方表示画面２ｒにおける位置情報を取得し、一方、プリント基板ＰＢの配線パターン情報を収めたパターンデータベースよりパターン映像ＰＴａを前方表示画面２ｆに表示する場合にプリント基板映像ＰＢａの位置調整ポイントＰＢ１の後方表示画面２ｒにおける位置情報と同等の前方表示画面２ｆの位置にパターン映像ＰＴａの位置調整ポイントＰＴ１を表示する。これにより、プリント基板映像ＰＢａとパターン映像ＰＴａを正確に重ね合わせて表示することが可能となる。
【００２６】
また、図４に示すようにプリント基板ＰＢおよびパターン映像ＰＴａの共通の部品、形状等例えばプリント基板映像ＰＢａおよびパターン映像ＰＴａ上のプリント基板取付穴ＰＢｈ、ＰＴｈを位置調整ポイントとして設定する。プリント基板ＰＢを撮像手段５で撮影したプリント基板映像ＰＢａのプリント基板取付穴ＰＢｈの後方表示画面２ｒにおける位置情報を取得し、一方、配線パターンデータ情報を収納したパターンデータベースよりパターン映像ＰＴａを前方表示画面２ｆに表示する場合にプリント基板映像ＰＢａのプリント基板取付穴ＰＢｈの後方表示画面２ｒにおける位置情報と同等の前方表示画面２ｆの位置にパターン映像ＰＴａのプリント基板取付穴ＰＴｈを表示する。これにより、プリント基板映像ＰＢａとパターン映像ＰＴａを正確に重ね合わせて表示することが可能となり、また、新たに位置調整ポイントをプリント基板上に設ける必要がなくなり、従来のプリント基板がそのまま対応可能となる。
【００２７】
また、図５に示すように、プリント基板の検査装置１は、入力手段４ｃから入力される制御手段４により、プリント基板ＰＢの映像の表示倍率の変更に連動してパターン映像ＰＴａを同様の表示倍率で表示することができるようになっている。これにより、最適な状態で両者を見比べて検査ができる。例えば、二重表示手段２に表示中の画像に対して、表示倍率を変更例えば一部分を拡大する場合、前方表示画面２ｆに表示されたパターン映像ＰＴａにおける拡大するエリアの中心位置をポインター６等により表示倍率変更中心Ｃとして設定する。設定された表示倍率変更中心Ｃを中心に任意の表示倍率に合せてパターン映像ＰＴａを拡大しパターンの拡大図ＰＴｅを前方表示画面２ｆに表示する。併せて、前方表示画面２ｆ上のパターン映像ＰＴａに設定された表示倍率変更中心Ｃの位置情報を読み込み、二重表示手段２の後方表示画面２ｒに表示されたプリント基板映像ＰＢａ上の同様の位置に表示倍率変更中心Ｃを設定し、設定した表示倍率変更中心Ｃを中心に前方表示画面２ｆのパターン映像ＰＴａの表示倍率と連動してパターン映像ＰＴａの表示倍率と同様の表示倍率で後方表示画面２ｒにプリント基板映像ＰＢａの拡大図ＰＢｅを表示する。これにより、前方表示画面２ｆに表示されたパターン映像ＰＴａと後方表示画面２ｒに表示されたプリント基板映像ＰＢａを同様に拡大縮小が可能となり、拡大縮小した場合においても前方表示画面２ｒに表示されたパターン映像ＰＴａと後方表示画面２ｒに表示されたプリント基板映像ＢＰａを関連付けて重ね合せが可能となり、表示倍率を変更した場合でもパターン映像ＰＴａとプリント基板映像ＰＢａの比較が可能となる。なお、前方表示画面２ｆのパターン映像ＰＴａから表示倍率変更中心Ｃおよび表示倍率を設定しているが、後方表示画面２ｒのプリント基板映像ＰＢａから表示倍率変更中心Ｃおよび表示倍率を設定することもできる。
【００２８】
さらに、図６に示すように、プリント基板の検査装置１は、一部分を拡大する場合、前方表示画面２ｆに表示されたパターン映像ＰＴａに拡大表示する表示エリアＰＴｄを設定する。設定された表示エリアＰＴｄを前方表示画面２ｆに拡大表示する。例えば、画面サイズに合せて全面に表示し、併せて、前方表示画面２ｆ上のパターン映像ＰＴａに設定された表示エリアＰＴｄの位置情報を読み込み、後方表示画面２ｒに表示されたプリント基板映像ＰＢａ上の同様の表示エリアＰＢｄを設定し、設定した表示エリアＰＢｄを後方表示画面２ｒに合せて全面にプリント基板映像ＰＢａの拡大図ＰＢｅを表示する。これにより、前方表示画面２ｆに表示されたパターン映像ＰＴａと後方表示画面２ｒに表示されたプリント基板映像ＰＢａのエリア表示が可能となり、拡大した場合においても前方表示画面２ｆに表示されたパターン映像ＰＴａと後方表示画面２ｒに表示されたプリント基板映像ＰＢａを関連付けて重ね合せが可能となり、表示エリアＰＢｄを変更した場合でもパターン映像ＰＴａとプリント基板映像ＰＢａの比較が可能となる。
【００２９】
また、図７に示すように、プリント基板の検査装置１は、プリント基板ＰＢを撮像手段５で撮影したプリント基板映像ＰＢａを画像処理手段３によりプリント基板ＰＢの部分を明るい色、例えば白（二重表示手段２上では透明の表示となり、後方表示画面２ｒが見える）とした画像処理プリント基板映像ＰＢｂを前方表示画面２ｆに表示し、一方、プリント基板ＰＢの配線パターンを収めたパターンデータベースより読み込み、パターン映像ＰＴａを画像処理手段３により配線パターンの部分を明るい色、例えば白（多重表示手段２上では透明の表示となり、バックライトの光が見える）とし、背景部分を暗い色とした画像処理パターン映像ＰＴｂを後方表示画面２ｒに表示することで、前方表示画面２ｆに表示された画像処理プリント基板映像ＰＢｂを透して後方表示画面２ｒに表示された画像処理パターン映像ＰＴｂを重ね合わせて表示することが可能となる。これにより、図８に示すように、後方表示画面２ｒに配線部分が明るく表示されたパターン映像ＰＴｂの前面の前方表示画面２ｆに基板部分が明るく表示された画像処理プリント基板映像ＰＢｂが重ねられることにより、画像処理パターン映像ＰＴｂのパターンに対して画像処理プリント基板映像ＰＢｂにおける配線パターンが同じ部分は前方表示画面２ｆに表示された画像処理プリント基板映像ＰＢｂの配線パターンと画像処理プリント基板映像ＰＢｂの明るく表示された配線パターンが重なって表示されるため、画像処理プリント基板映像ＰＢｂの配線パターンは見えない。一方、画像処理パターン映像ＰＴｂの配線パターンに対して画像処理プリント基板映像ＰＢｂにおける配線パターンの異なる部分、すなわちプリント基板ＰＢの不具合Ｂにおいては、画像処理プリント基板映像ＰＢｂの基板部分の明るい色、例えば白（二重表示手段２上では透明の表示となり、後方表示画面２ｒが見える）を透して後方表示画面２ｒに表示された画像処理パターン映像ＰＴｂにおいて暗い色で表示された背景部分あるいは基部と合せて、画像処理パターン映像ＰＴｂの配線パターンに対して画像処理プリント基板映像ＰＢｂにおける配線パターンの異なる部分が明るく表示されることにより、プリント基板ＰＢの不具合Ｂのみが明るく表示されることになり、検査時のプリント基板ＰＢの不具合Ｂの発見が容易になる。
【００３０】
次に本発明の第１実施形態の二重表示手段を用いた被検査体の検査装置を使用したプリント基板の検査方法について説明する。
【００３１】
図２に示すように、検査すべきプリント基板ＰＢを用意し、撮像手段５によりプリント基板ＰＢを撮影し、画像処理されたプリント基板映像ＰＢａを後方表示画面２ｒに表示し、さらに、記憶装置４ｂからプリント基板ＰＢの設計時に作製されたプリント基板のパターン（被検査体基準図）ＰＴのデータを読み込み、パターン映像ＰＴａとして、前方表示画面２ｆに表示する。これにより、被検査体基準図映像としてのパターン映像が容易に得られる。
【００３２】
しかる後、前方表示画面２ｆに表示されたパターン映像ＰＴａと所定距離離間して後方表示画面２ｒに表示されたプリント基板映像ＰＢａが、図１０（ａ）に示すように、完全に重ね合った状態で見て、一次的に誤配線をチェックし、さらに図１０（ｂ）及び図１の二重表示手段２に示すようなパターン映像ＰＴａとプリント基板映像ＰＢａがずれた状態で両方を見比べて比較検査を行う。なお、被検査体のパターン状態によっては、直接被検査体基準図映像と被検査体映像ずらして見比べる比較検査を行ってもよい。
【００３３】
上記検査過程において、図３に示すように、プリント基板映像ＰＢａの位置調整ポイントＰ１の位置情報とプリント基板映像ＰＢａの位置調整ポイントＰ１を用いて、プリント基板映像ＰＢａとパターン映像ＰＴａを正確に重ね合わせて、また、必要に応じて、図５に示すように、プリント基板ＰＢの映像の表示倍率の変更に連動してパターン映像ＰＴａを同様の表示倍率で表示して見比べやすくし、さらに、必要に応じて、図６に示すように、任意に拡大エリアを設定して、プリント基板映像ＰＢａ及びプリント基板ＰＢの一部を拡大して表示して所望のエリアを見比べやすくし、また、必要に応じて、図７に示すように、パターン映像ＰＴａの配線パターンの部分を明るい色の白として、二重表示手段２上では透明の表示となってバックライトの光が見えるようにし、背景部分を暗い色とした画像処理パターン映像ＰＴｂを後方表示画面２ｒに表示することで、検査時のプリント基板ＰＢの不具合Ｂの発見を容易にすることが可能となる。
【００３４】
上述のように本第１実施形態の二重表示手段を用いた被検査体の検査装置を使用した検査方法によれば、パターン基板の外観形状やパターンが複雑であっても、不合格箇所の見落としがなく目視検査の検査精度を向上させることができる。
【００３５】
また、本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置の第２実施形態について説明する。
【００３６】
本第２実施形態は、上記第１実施形態が被検査体基準図映像としてプリント基板の設計時に作製されたデータを用いてパターン映像を表示するのに対して、検査済合格プリント基板映像を用いるものである。
【００３７】
例えば、図９に示すように、検査対象のプリント基板ＰＢＡを撮像手段５Ａで撮影したプリント基板映像ＰＢＡａを二重表示手段２Ａの前方表示画面２Ａｆに表示し、一方、検査対象のプリント基板ＰＢＡと同種の先に検査されて異常なしと判断された検査済合格プリント基板ＰＢＡｃを撮像手段５Ａで撮影した検査済プリント基板基準映像ＰＢＡｃａを後方表示画面２Ａｒに表示する。従って、被検査体基準図映像として、現物である検査済合格プリント基板映像を用いるので、被検査体と基準図との差異がより明確になり、検査の精度がより向上する。なお、検査済合格プリント基板像の二重表示手段への表示は、撮像手段が撮影したものを直接二重表示手段に表示しても、一旦検査済合格プリント基板像データとして記憶装置に収納されたものを、必要な時点で読み込み、二重表示手段に表示するようにしてもよい。他の構成は図１に示す二重表示手段を用いた被検査体の検査装置と異ならないので、同一符号を付して説明は省略する。
【００３８】
なお、上記第１実施形態及び第２実施形態において、前方表示画面に被検査体基準図映像としてのパターン映像を、後方表示画面に被検査体映像としてのプリント基板映像を各々表示したが、本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置及びこれを用いた検査方法は、これとは逆に前方表示画面に被検査体映像を、後方表示画面に被検査体基準図映像を各々表示しても、同様の作用効果を奏する。
【００３９】
【発明の効果】
本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置及びこれを用いた検査方法によれば、被検査体の外観形状やパターンが複雑であっても、不合格箇所の見落としがなく目視検査が行なえ検査精度を向上させることができる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置及びこれを用いた検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置の第１実施形態の概念図。
【図２】本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置の第１実施形態の概念図。
【図３】本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置の第１実施形態の使用状態図。
【図４】本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置の第１実施形態の使用状態図。
【図５】本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置の第１実施形態の使用状態図。
【図６】本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置の第１実施形態の使用状態図。
【図７】本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置の第１実施形態の使用状態図。
【図８】本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置の第１実施形態の使用状態図。
【図９】本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査装置の第２実施形態の使用状態図。
【図１０】（ａ）重ね合わせて見、（ｂ）は視野角をずらして見比べた状態を示す本発明に係わる二重表示手段を用いた被検査体の検査方法を示す説明図。
【図１１】従来の被検査体の検査方法を示す概念図。
【符号の説明】
１  二重表示手段を用いたプリント基板の検査装置
２  二重表示手段
２ｆ  前方表示画面
２ｒ  後方表示画面
３  画像処理手段
４  制御手段
５  撮像手段
６  ポインタ
ＰＢ  プリント基板
ＰＢ１  位置調整ポイント
ＰＢａ  プリント基板映像
ＰＢｈ  位置調整ポイント（プリント基板取付穴）
ＰＴ１  位置調整ポイント
ＰＴａ  パターン映像（被検査体基準図映像）
ＰＴｈ  位置調整ポイント（プリント基板取付穴）
【図１】
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【図２】
2004333288.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2004333288.tif 000007
【図６】
2004333288.tif 000008
【図７】
2004333288.tif 000009
【図８】
2004333288.tif 000010
【図９】
2004333288.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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