(57)【要約】【課題】ガス放出速度を安定して小さくするとともに、皮膜形成時の処理液が残留せず、真空環境を汚染することのない真空用モータを得る。【解決手段】本発明の真空用モータのステータは、フレーム１と、ステータコア２に巻回されたコイル３と、コイルをモールドしたモールド樹脂４とからなり、フレーム１の内側にモールド樹脂を接触させた状態で配置したもので、モールド樹脂とフレームとの接触面の外周に沿って弾性体６を設けたものである。この弾性体をＯリングとしてもよく、また、弾性体をシール用の樹脂でモールドしてもよい。また、シール用の樹脂の真空雰囲気にさらされる面を金属皮膜で被覆してもよい。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、ステータコアに巻回されたコイルと、前記コイルをモールドしたモールド樹脂とからなり、前記フレームの内側にモールド樹脂を接触させた状態で配置した真空用モータのステータにおいて、
前記モールド樹脂と前記フレームとの接触面の外周に沿って弾性体を設けたことを特徴とする真空用モータのステータ。
【請求項２】
前記弾性体が、Ｏリングであることを特徴とする請求項１記載の真空用モータのステータ。
【請求項３】
前記弾性体が、シール用の樹脂でモールドされていることを特徴とする請求項１または２記載の真空用モータのステータ。
【請求項４】
前記シール用の樹脂の真空雰囲気にさらされる面が金属皮膜で被覆されていることを特徴とする請求項３記載の真空用モータのステータ。
【請求項５】
前記金属皮膜がめっきにより形成されていることを特徴とする請求項４記載の真空用モータのステータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置内におけるウエハ搬送等の真空環境で使用される真空用モータのステータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
真空環境で使用される機器には、ガス放出が少ないことが要求される。真空中でのガスの放出は、材料表面に吸着された物質の離脱や、材料内部に吸蔵されるガスの拡散により生ずる。そこで、真空環境で使用される機器は、ガス放出が少ない材料で構成される。
このような真空用モータのステータとして、ガラス布をエポキシ樹脂で固めて構成された構造を有するものが提案されている。樹脂の露出した構成のモータでは、モールドした樹脂からのガス放出速度が多く、到達圧力が高くなるため、高真空領域の用途では目標とする真空度が得られない。さらに、モールドした樹脂からは有機系ガスが放出され、真空環境を汚染するといった問題がある。そこで、ガス放出速度を低減するため、樹脂を低ガス放出の金属皮膜で被覆することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２７２０８６号公報（第３頁、第２図）
【０００４】
図５は、従来の真空用モータのステータを示す側断面図を示している。図５において、１は真空用モータのステータの筐体となるフレーム、２はフレーム１に固定されたステータコア、３はステータコア２に巻き付けられたコイル、４はコイル３をモールドするためのモールド樹脂、５はモールド樹脂４を被覆するための皮膜である。モールド樹脂４の真空雰囲気にさらされている面を、低ガス放出の皮膜５で被覆することでガス放出速度を低減し、到達真空度を高めている。皮膜５には、めっき法による金属皮膜、ゾルゲル法によるセラミックス皮膜、イオンプレーティング法やスパッタ法などのドライプロセスによる無機薄膜などがあるが、作業のしやすさなどから、めっき法が最も良く用いられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、モールド樹脂とフレームとが完全に密着していないと、モールド樹脂内部のガスが、モールド樹脂とフレームとの接触面を通り抜けて真空雰囲気に放出されるため、目的の真空度に到達しないといった問題や、完全に密着している時と密着していない時とで、ばらつきが大きいといった問題がある。
また、モールド樹脂とフレームとが完全に密着していないと、その隙間に皮膜形成時の処理液が残留し、真空雰囲気に放出され、真空環境を汚染するといった問題がある。
そこで、本発明は、これらの問題に鑑みてなされたものであり、モールド樹脂とフレームとの密着性に関わらず接触面からのガス放出を抑制して、ガス放出速度を安定して小さくできるとともに、皮膜形成時の処理液が残留せず、真空環境を汚染することのない真空用モータを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したものである。
請求項１に記載の発明は、フレームと、ステータコアに巻回されたコイルと、前記コイルをモールドしたモールド樹脂とからなり、前記フレームの内側にモールド樹脂を接触させた状態で配置した真空用モータのステータにおいて、前記モールド樹脂と前記フレームとの接触面の外周に沿って弾性体を設けたものである。
このようになっているため、モールド樹脂とフレームとの密着性に関わらず接触面からのガス放出を抑制することができ、ガス放出速度のばらつきを小さくすることができる。
また、請求項２に記載の発明は、前記弾性体をＯリングとしたものである。
このようになっているため、容易にシールすることができ、ガス放出速度を低減することができる。
また、請求項３に記載の発明は、前記弾性体がシール用の樹脂でモールドされたものである。
このようになっているため、弾性体からのガス放出を抑制することができる。また、皮膜形成時も弾性体が処理液に触れることがないので、処理液が残留することがなく、真空環境が汚染されることがない。
また、請求項４に記載の発明は、前記シール用の樹脂の真空雰囲気にさらされる面が金属皮膜で被覆されていることを特徴とするものである。
このようになっているため、モールド樹脂とフレームとの密着性に関わらず安定してガス放出速度の小さい真空用モータが得られる。
また、請求項５に記載の発明は、前記金属皮膜がめっきにより形成されていることを特徴とするものである。
このようになっているため、モールド樹脂を容易に金属皮膜で被覆することができ、モールド樹脂とフレームとの密着性に関わらず安定してガス放出速度の小さい真空用モータが得られる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的実施例を図に基づいて説明する。
（第１実施例）
図１は、本発明の真空用モータのステータの側断面図である。図において、６は弾性体、６１は弾性体のＯリングである。他の符号は従来技術で述べたものと同じであるため説明を省略する。
モールド樹脂４は、上下に環状の溝を設けている。ステンレスからなるフレーム１にステータコア２を焼きばめした後、コイル３を巻き付けた。モールド樹脂４を注型するための金型を取り付けた後、エポキシ樹脂を注型し、１２０℃で３時間加熱し硬化させた。金型を取り外した後、モールド樹脂４の上下の溝に弾性体であるＯリングをはめ込んだ。
弾性体６をはめ込むことにより、モールド樹脂４とフレーム１との接触面からのガス放出を抑制することができ、ガス放出速度のばらつきを小さくすることができる。
【０００８】
（第２実施例）
図２は第２実施例の真空用モータのステータの側断面図である。図において、７はＯリング６１をモールドするためのシール材である。
第１実施例と同様にモールド樹脂４を注型し、２ヶ所の溝にＯリング６１をはめ込んだ後、Ｏリング６１の上からエポキシ樹脂のシール材７を流し込み、１２０℃で３時間加熱硬化した。なお、シール材７には、モールド樹脂４と同一のエポキシ樹脂を用いても良いし、より粘度の低いエポキシ樹脂を用いても良い。
第２実施例の真空用モータのステータを室温で排気し、残留ガスを質量分析したところ、Ｏリング６１から放出されると予測される有機ガスは検出しなかった。
このように、Ｏリング６１を取り付けた後、シール材７でモールドしているので、Ｏリング６１からのガス放出を抑制することができる。また、皮膜形成時もＯリング６１が処理液に触れることがないので、処理液が残留することがなく真空環境が汚染されることがない。
【０００９】
（第３実施例）
図３は第３実施例の真空用モータのステータの側断面図である。図において、５１は、モールド樹脂４ならびにシール材７の表面を被覆するための金属皮膜である。
第２実施例と同様に、Ｏリング６１の上からエポキシ樹脂のシール材７を流し込み、１２０℃で３時間加熱硬化した後、金属皮膜５１として無電解ニッケルめっきを０．０１ｍｍ被覆した。金属皮膜５１の厚さは、薄すぎるとピンホールなど下地のモールド樹脂４と貫通した欠陥が発生する原因となり、貫通した欠陥部からのガス放出が起こるので良くない。また、厚すぎると割れや剥離を生じやすくなったりするので良くない。したがって、皮膜厚さは０．０００５ｍｍから０．０５ｍｍの範囲が適切である。なお、本実施例の金属皮膜５１は無電解ニッケルめっきとしたが、電気めっきでも良い。また、皮膜形成方法としてゾルゲル法や、イオンプレーティング法やスパッタ法などのドライプロセスによる方法もあるが、本実施例のめっき法による金属皮膜が最も効果が大きい。
図４は、第３実施例による真空用モータのステータと、従来例の真空用モータのステータとを組み込んだ真空装置において、室温で排気したときの排気時間と圧力との関係を示した特性図である。第３実施例による真空用モータのステータを組み込んだ場合の圧力は、従来例よりも１／２桁程度低くなっている。また、排気後の残留ガスを質量分析したところ、めっき処理液に起因するガスは検出されなかった。
このように、Ｏリング、シール材、金属皮膜をあわせることで、モールド樹脂４とフレーム１との密着性に関わらず安定してガス放出速度の小さい真空用モータのステータを提供することができる。
【００１０】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の真空用モータのステータによれば、モールド樹脂とフレームとの接触面の外周に沿って弾性体を有することによって、モールド樹脂とフレームとの密着性に関わらず接触面からのガス放出を抑制することができ、ガス放出速度のばらつきを小さくすることができるという効果がある。
また、請求項２に記載の真空用モータのステータによれば、弾性体にＯリングを用いることにより、容易にシールすることができ、ガス放出速度を低減することができるという効果がある。
また、請求項３に記載の真空用モータのステータによれば、弾性体がシール用の樹脂でモールドされていることにより、弾性体からのガス放出を抑制することができるとともに、皮膜形成時も弾性体が処理液に触れることがないので、処理液が残留することがなく、真空環境が汚染されることがないという効果がある。
また、請求項４に記載の真空用モータのステータによれば、シール用の樹脂の真空雰囲気にさらされる面が金属皮膜で被覆されていることにより、モールド樹脂とフレームとの密着性に関わらず、安定してガス放出速度の小さい真空用モータを提供することができるという効果がある。
また、請求項５に記載の真空用モータのステータによれば、金属皮膜がめっきにより形成されていることにより、容易に金属皮膜で被覆することができ、モールド樹脂とフレームとの密着性に関わらず安定してガス放出速度の小さい真空用モータを提供することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す真空用モータのステータの側断面図
【図２】本発明の第２実施例を示す真空用モータのステータの側断面図
【図３】本発明の第３実施例を示す真空用モータのステータの側断面図
【図４】本発明の第３実施例の効果を示す排気特性の特性図
【図５】従来の真空用モータのステータを示す側断面図
【符号の説明】
１  フレーム
２  ステータコア
３  コイル
４  モールド樹脂
５  皮膜
５１  金属皮膜
６  弾性体
６１  Ｏリング
７  シール材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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