(57)【要約】【課題】　エアフィルタの性能の安定化及び寿命の延長が図れる清浄空気供給装置及び処理装置を提供する。【解決手段】　送風機１６と、該送風機１６の下流に設けられ、気体中のパーティクルを除去するＵＬＰＡフィルタ１７ｂまたはＨＥＰＡフィルタと、前記送風機１６の上流または下流に位置するように設けられ、送風機１６による面内不均一な風速分布を面内均一な風速分布に補償するための整流部材１８とを備え、前記整流部材１８は面内不均一な開口率を有し、該整流部材の開口率の低い領域が前記送風機１６の風速の高い領域に対応している。【選択図】　　　　　図３
2004116987.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　送風機と、該送風機の下流に設けられ、気体中のパーティクルを除去するＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタと、前記送風機の上流または下流に位置するように設けられ、送風機による面内不均一な風速分布を面内均一な風速分布に補償するための整流部材とを備え、前記整流部材は面内不均一な開口率を有し、該整流部材の開口率の低い領域が前記送風機の風速の高い領域に対応していることを特徴とする空気清浄装置。
【請求項２】
　前記送風機はプロペラファンからなることを特徴とする請求項１記載の空気清浄装置。
【請求項３】
　前記送風機、整流部材及びＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタは筒状のハウジング内に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の空気清浄装置。
【請求項４】
　前記整流部材は多数の孔を有する平板と、該平板上に前記風速分布における風速の高い領域に対応する孔を覆うべく設けられた環状の邪魔板とからなることを特徴とする請求項１記載の空気清浄装置。
【請求項５】
　前記送風機の上流に、気体中のケミカル汚染物質を除去するケミカルフィルタを更に具備し、該ケミカルフィルタと前記送風機との間に前記整流部材が配設されていることを特徴とする請求項１記載の空気清浄装置。
【請求項６】
　前記ＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタの下流に、補助整流部材を更に具備し、該補助整流部材は面内均一な開口率を有することを特徴とする請求項１記載の空気清浄装置。
【請求項７】
　被処理体の搬送等を行う常圧の作業室を有する処理装置において、前記作業室の天上部には作業室内に清浄空気を供給するために請求項１〜６の何れかに記載の空気清浄装置が設けられていることを特徴とする処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、空気清浄装置及び処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
　半導体装置の製造においては、被処理体例えば半導体ウエハに例えば成膜処理やエッチング処理等の各種の処理を行う工程があり、これらの工程を実行する装置として真空処理装置等の処理装置が用いられている。この種の処理装置においては、例えばウエハに対して真空雰囲気下で処理を行う場合には、先ずカセット等の運搬容器に収容されたウエハを常圧（大気圧）の搬送室内に取り込み、このウエハを位置合わせ等した後、ロードロック室内に搬入してこの中を真空雰囲気にし、このロードロック室や真空雰囲気下の搬送室を更に経由してウエハを真空雰囲気下で処理を行う処理室内に搬入し、このウエハに所定の処理を施すようになっている。
【０００３】
　このような処理装置においては、ウエハに対して歩留りの低下を招くパーティクル等が付着することを可能な限り阻止しなければならない。そこで、例えば常圧雰囲気下でウエハの搬送等を行う作業室例えば清浄室や搬送室等においては、その室の上方に送風機を設け、その下流にエアフィルタを設けることにより、室内にクリーン度の高い清浄空気のダウンフローを形成し、搬送途中のウエハの表面にパーティクル等が極力付着しないようにしている（例えば、特開平１１−６３６０４号公報、特願２００２−１３７６４４号）。
【０００４】
　例えば、図８に示すように、送風機４０と、この送風機４０の下流に設けられたエアフィルタ４１とを備えた清浄空気供給構造を構成し、これを例えば搬送室等の作業室４２の上部に設けている。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−６３６０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
　しかしながら、前記清浄空気供給構造ないしこの清浄空気供給構造を作業室に備えた処理装置においては、図８に示すように前記送風機４０によってその下流に矢印で示すような面内不均一な風速分布が発生し、このように送風路の断面における面内不均一な風速分布は特に送風機４０がプロペラファンである場合に顕著に現れる傾向がある。このプロペラファンの場合、回転羽根の形状等によっても異なるが、回転羽根の羽根部に対応する領域部分の風速が最も強く、回転羽根中央部に対応する領域部分の風速がやや弱く、回転羽根の周囲に対応する領域部分の風速が更に弱い。
【０００７】
　このため、前記面内不均一な風速分布で空気がエアフィルタ４１を通過することにより、例えばエアフィルタがＵＬＰＡ（Ultra　Low　Penetration　Air）フィルタである場合、図９に示すように流速の速い部分において、パーティクルＰが局所的に堆積して目詰りを発生し易く、エアフィルタとしての性能が不安定で寿命が短く、早期の交換を余儀なくされる問題がある。また、エアフィルタ４１の下方の風速が不均一になるため、作業室４２の気流に乱れが起き、パーティクルＰの巻き上がりによる作業室４２内の清浄度の低下が発生するという問題がある。
【０００８】
　また、エアフィルタがケミカルフィルタである場合、流速の速い部分において有機ガス等のケミカル汚染物質を多く吸着するため、その吸着許容量を超えるとケミカル汚染物質の通過を生じる恐れがあり、エアフィルタとしての性能が不安定で寿命が短く、早期の交換を余儀なくされる問題がある。
【０００９】
　本発明は、前記事情を考慮してなされたもので、エアフィルタの性能の安定化及び寿命の延長が図れる空気清浄装置及び処理装置を提供することを目的とする。
【００１０】
　本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
　本発明のうち、請求項１の発明は、送風機と、該送風機の下流に設けられ、気体中のパーティクルを除去するＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタと、前記送風機の上流または下流に位置するように設けられ、送風機による面内不均一な風速分布を面内均一な風速分布に補償するための整流部材とを備え、前記整流部材は面内不均一な開口率を有し、該整流部材の開口率の低い領域が前記送風機の風速の高い領域に対応していることを特徴とする。
【００１２】
　請求項２の発明は、請求項１記載の空気清浄装置において、前記送風機がプロペラファンからなることを特徴とする。
【００１３】
　請求項３の発明は、請求項１又は２記載の空気清浄装置において、前記送風機、整流部材及びＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタが筒状のハウジング内に設けられていることを特徴とする。
【００１４】
　請求項４の発明は、請求項１記載の空気清浄装置において、前記整流部材が多数の孔を有する平板と、該平板上に前記風速分布における風速の高い領域に対応する孔を覆うべく設けられた環状の邪魔板とからなることを特徴とする。
【００１５】
　請求項５の発明は、請求項１記載の空気清浄装置において、前記送風機の上流に、気体中のケミカル汚染物質を除去するケミカルフィルタを更に具備し、該ケミカルフィルタと前記送風機との間に前記整流部材が配設されていることを特徴とする。
【００１６】
　請求項６の発明は、請求項１記載の空気清浄装置において、前記ＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタの下流に、補助整流部材を更に具備し、該補助整流部材が面内均一な開口率を有することを特徴とする。
【００１７】
　請求項７の発明は、被処理体の搬送等を行う常圧の作業室を有する処理装置において、前記作業室の天上部には作業室内に清浄空気を供給するために請求項１〜６の何れかに記載の空気清浄装置が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
　請求項１の発明によれば、送風機と、該送風機の下流に設けられ、気体中のパーティクルを除去するＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタと、前記送風機の上流または下流に位置するように設けられ、送風機による面内不均一な風速分布を面内均一な風速分布に補償するための整流部材とを備え、前記整流部材は面内不均一な開口率を有し、該整流部材の開口率の低い領域が前記送風機の風速の高い領域に対応しているため、ＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタの局所的な目詰りを防止することができ、ＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタの性能の安定化及び寿命の延長が図れる。
【００１９】
　請求項２の発明によれば、前記送風機がプロペラファンからなるため、遠心ファン等の他のファンと異なり構造の簡素化及び装置のコンパクト化が図れると共に、プロペラファンに生じ易い面内不均一な風速分布の問題を解消することができる。
【００２０】
　請求項３の発明によれば、前記送風機、整流部材及びＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタが筒状のハウジング内に設けられているため、装置のユニット化及びコンパクト化が図れ、作業室例えば清浄室や搬送室等への取付性の向上が図れる。
【００２１】
　請求項４の発明によれば、前記整流部材は多数の孔を有する平板と、この平板上に前記風速分布における風速の高い領域に対応する孔を覆うべく設けられた環状の邪魔板とからなるため、簡単な構造で面内不均一な風速分布を面内均一な風速分布に容易に変えることができる。
【００２２】
　請求項５の発明によれば、前記送風機の上流に、気体中のケミカル汚染物質を除去するケミカルフィルタを更に具備し、該ケミカルフィルタと前記送風機との間に前記整流部材が配設されているため、ケミカルフィルタを通過する空気流を面内均一にしてケミカルフィルタの目詰りを抑制することができる。
【００２３】
　請求項６の発明によれば、前記ＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタの下流に、補助整流部材を更に具備し、該補助整流部材が面内均一な開口率を有するため、エアフィルタが異種のフィルタの組み合わせた多段構成でなく１段構成であっても送風機により送出された空気流をエアフィルタ内に捕捉してエアフィルタの下流に面内均一のダウンフローを形成することができる。
【００２４】
　請求項７の発明によれば、被処理体の搬送等を行う常圧の作業室を有する処理装置において、前記作業室の天上部には作業室内に清浄空気を供給するために請求項１〜６の何れかに記載の空気清浄装置が設けられているため、作業室内にクリーン度の高い清浄空気のダウンフローを安定して形成することができ、被処理体の処理装置内でのパーティクル等の付着を防止して歩留まりの向上が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
　以下に、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を基に詳述する。図１は本発明を真空処理装置に適用した一例を示す概略構成図、図２は搬送室を示す概略斜視図、図３は搬送室に設けられた空気清浄装置の断面図、図４は整流部材の一例を示す概略平面図である。
【００２６】
　図１において、１は処理装置の一例として示した、いわゆるマルチチャンバ型の真空処理装置で、被処理体例えば半導体ウエハｗを一枚ずつ収容して所定の処理例えば成膜処理、エッチング処理等を行う真空可能な複数例えば４つの処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄと、これらに共通の真空可能な搬送室３と、ロードロック機能を有する真空可能なロードロック室４ａ，４ｂと、常圧（大気圧）側の作業室である搬送室５とを主に備えている。
【００２７】
　前記真空可能な搬送室３は平面略六角形に形成されており、その外周の４つの面に処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄがそれぞれゲートバルブＧ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４を介して接続されている。搬送室５の外周の他の２つの面には搬入用もしくは搬出用としての２つのロードロック室４ａ，４ｂがそれぞれゲートバルブＧ５，Ｇ６を介して接続されている。また、両ロードロック室４ａ，４ｂには共通の常圧側の搬送室（作業室）５がゲートバルブＧ７，Ｇ８を介して接続されている。前記真空可能な搬送室３内には、各ロードロック室４ａ，４ｂ及び各処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄにウエハｗを搬送する屈伸、昇降及び旋回可能な搬送アーム機構６が設けられている。
【００２８】
　前記常圧側の搬送室５は、例えばステンレス等の金属製の横長箱状の筐体７により区画形成されており、その前面部には、図２にも示すように、ウエハｗを搬入搬出するための１つ又は複数、図示例では３つの搬入出口８ａ，８ｂ，８ｃが設けられている。また、搬送室５の前面部には、各搬入出口８ａ，８ｂ，８ｃに対応して、複数枚のウエハを多段に収納した運搬容器であるキャリア（カセットともいう）９を載置するための載置台１０ａ，１０ｂ，１０ｃが設けられている。なお、キャリア９は、例えば直径３００ｍｍのウエハを上下方向に所定間隔で１３枚もしくは２５枚程度収納可能なプラスチック製の蓋付き運搬容器、いわゆるクローズ型キャリアであっても良い。前記搬入出口８ａ，８ｂ，８ｃには開閉ドアや、クローズ型キャリアの蓋を脱着する蓋脱着機構等が設けられていても良い。
【００２９】
　前記搬送室５内にはウエハｗを搬送する搬送機構１１が設けられている。この搬送機構１１は、搬送室５が横長であるため、搬送室５内の中心部を長手方向（左右方向）に設けたガイドレール１２に沿って移動可能に設けられている。搬送室５の一端にはウエハｗの位置合わせを行う位置合わせ機構であるオリエンタ１３が設けられている。前記搬送機構１１は、ウエハｗを前記載置台１０ａ，１０ｂ，１０ｃ上のキャリア９、オリエンタ１３及びロードロック室４ａ，４ｂに搬送する搬送アーム機構１４を有している。
【００３０】
　前記搬送室５の上部には、搬送室５内にクリーン度の高い清浄空気を供給して清浄空気のダウンフローを形成するための空気清浄装置１５が１つ又は複数、図示例では３つ設けられている。この空気清浄装置１５は、図３に示すように送風機１６と、この送風機１６の下流に設けられたエアフィルタ１７とを備えており、ファン・フィルタユニットとして構成されている。そして、前記送風機１６とエアフィルタ１７の間には、送風機１６による面内不均一な風速分布を面内略均一な風速分布にするための整流部材１８が設けられている。この整流部材１８はエアフィルタ１７の上流に設けられ、送風機１６からの面内不均一な風速分布の風（空気流）を面内均一な風速分布に改善してエアフィルタ１７に通過させる。送風機１６と整流部材１８の間には隙間ないし空間Ｓａが設けられているが、エアフィルタ１７と整流部材１８の間にも少なくとも１ｍｍ程度の隙間Ｓｂが設けられていることが風速ないし風速分布の面内均一化を図る上で好ましい。
【００３１】
　前記空気清浄装置１５は、筒状例えば角筒状のハウジング１９を有し、このハウジング１９内の上部、好ましくは上部の中央部に送風機１６が取付けられている。前記ハウジング１９の天上部には中央に円形の通風口２０が設けられ、ハウジング１９内の天上部にはその通風口２０と略同じ開口径の円筒状のファンケース２１が通風口２０と連通するように設けられている。前記送風機１６は、回転羽根２２と、この回転羽根２２を回転駆動する電動モータ２３とから主に構成され、その電動モータ２３が前記ファンケース２１内の略中央部に複数本の支持ロッド２４を介して取付けられている。
【００３２】
　前記エアフィルタ１７としては、気体中の有機物等のケミカル汚染物質を除去するケミカルフィルタ１７ａや気体中の微粒子（パーティクル）を除去するＵＬＰＡフィルタ１７ｂまたはＨＥＰＡフィルタが用いられる。ケミカルフィルタ１７ａとＵＬＰＡフィルタ１７ｂは送風方向に順に配置されていることが好ましい。ケミカルフィルタ１７ａは、例えば活性炭等の吸着剤を担持させた無機繊維紙をハニカム状に成形してなるフィルタ本体２５と、このフィルタ本体２５を保持する例えば金属製の方形の枠体２６とから主に構成されている。
【００３３】
　ＵＬＰＡフィルタ１７ｂは、例えば無機繊維紙を蛇腹状に成形したフィルタ本体２７と、このフィルタ本体２７を保持する例えば金属製の方形の枠体２８とから主に構成されている。前記ケミカルフィルタ１７ａの枠体２６及びＵＬＰＡフィルタ１７ｂの枠体２８は前記ハウジング１９と略同口径に形成されており、ハウジング１９の一部を構成している。ＵＬＰＡフィルタ１７ｂの枠体２８の上にケミカルフィルタ１７ａの枠体２６が載置されてネジ２９で連結されている。前記ハウジング１９の下部開口端にはケミカルフィルタ１７ａの枠体２６上に載置されるフランジ部３０が形成され、ケミカルフィルタ１７ａの枠体２６上にハウジング１９のフランジ部３０が載置されてネジ３１で連結されるようになっている。この場合、ケミカルフィルタ１７ａの枠体２６とハウジング１９のフランジ部３０との間に前記整流部材１８の周縁部が介在されて挟持されている。空気清浄装置１５は、送風機１６、整流部材１８及びエアフィルタ１７を筒状のハウジング１９内に設けたように構成されている。
【００３４】
　前記整流部材１８は、図４に示すように複数の開口例えば孔３２を有する平板３３からなり、送風機１６による面内不均一な風速分布を面内略均一な風速分布に改善するために面内不均一な風速分布に対応して開口率が変えられている。換言すれば、整流部材１８は、面内不均一な開口率を有し、該整流部材１８の面内不均一な開口率の低い位置が送風機１６の風速の高い位置に対応している。整流部材１８としては、金属製の平板に複数の孔を開けたパンチングメタルからなっていることが好ましいが、樹脂製の平板に複数の孔を開けたものであっても良い。前記整流部材１８は整流板と称しても良い。
【００３５】
　具体的には、前記ケーシング１９内において送風機１６の下流には、一般に、回転羽根の羽根部に対応する領域部分の風速が最も強く（高く）、回転羽根の中央部に対応する領域部分の風速がやや弱く（低く）、回転羽根の周囲に対応する領域部分の風速が更に弱いという面内不均一な風速分布が生じるため、平板３３には回転羽根の羽根部に対応する領域に口径の小さい孔すなわち小孔３２ａが複数設けられ、回転羽根の中央部に対応する領域に口径のやや大きい孔すなわち中孔３２ｂが複数設けられ、回転羽根の周囲に対応する領域に口径の大きい孔すなわち大孔３２ｃが複数設けられている。これにより、エアフィルタ１７には図３に矢印で示すように面内均一な風速分布で空気が通過するようになり、このため、エアフィルタ１７の局所的な目詰りが防止され、エアフィルタ１７の性能の安定化及び寿命の延長（耐久性の向上）が図れるようになっている。
【００３６】
　前記搬送室５の天上部には清浄空気を導入するための開口部３４が設けられ、この開口部３４と空気清浄装置１５のハウジング１９の内部とが連通するように、搬送室５の天上部に空気清浄装置１５が設置される。この場合、空気清浄装置１５におけるＵＬＰＡフィルタ１７ｂの枠体２８が搬送室５の天上部に載置されてネジ３５で取付け固定される。
【００３７】
　以上の構成からなる空気清浄装置１５によれば、送風機１６と、この送風機１６の下流に設けられたエアフィルタ１７とを備え、前記送風機１６とエアフィルタ１７の間に、送風機１６による面内不均一な風速分布を面内略均一な風速分布にするための整流部材１８を設けているため、エアフィルタ１７の局所的な目詰りを防止することができ、エアフィルタ１７の性能の安定化及び寿命の延長が図れる。換言すれば、送風機１６と、該送風機１６の下流に設けられ、気体中のパーティクルを除去するＵＬＰＡフィルタ１７ｂまたはＨＥＰＡフィルタと、前記送風機１６の上流または下流に位置するように設けられ、送風機１６による面内不均一な風速分布を面内均一な風速分布に補償するための整流部材１８とを備え、前記整流部材１８は面内不均一な開口率を有し、該整流部材１８の開口率の低い領域が前記送風機１６の風速の高い領域に対応しているため、ＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタの局所的な目詰りを防止することができ、ＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタの性能の安定化及び寿命の延長が図れる。
【００３８】
　エアフィルタ１７はケミカルフィルタとＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタの組合せであることが好ましいが、何れか一つであっても良い。例えばエアフィルタがＵＬＰＡフィルタである場合、初期にパーティクルの通過を生じることは無く、パーティクルが局所的に堆積して目詰りを発生することも無く、エアフィルタとしての性能が安定して寿命が延び、交換時期の延長が図れる。エアフィルタがケミカルフィルタである場合、有機ガス等のケミカル汚染物質が分散して吸着されるので、吸着許容量を超えてケミカル汚染物質の通過を生じる恐れが無く、エアフィルタとしての性能が安定して寿命が延び、交換時期の延長が図れる。
【００３９】
　前記送風機１６がプロペラファンからなるため、遠心ファン等の他のファンと異なり構造の簡素化及び装置のコンパクト化が図れると共に、プロペラファンに生じ易い面内不均一な風速分布の問題を本発明によって解消することができる。前記送風機１６、整流部材１８及びエアフィルタ（ケミカルフィルタ、ＵＬＰＡフィルタまたはＨＥＰＡフィルタ）１７が筒状のハウジング１９内に設けられているため、装置のユニット化及びコンパクト化が図れ、作業室例えば清浄室や搬送室５等への取付性の向上が図れる。前記整流部材１８が複数の開口例えば孔３２を有する平板からなり、前記風速分布に対応して開口率を変えてなるため、簡単な構造で面内不均一な風速分布を面内略均一な風速分布に容易に変えることができる。
【００４０】
　エアフィルタ１７としては、異種のフィルタを組み合わせて多段に積層することが好ましい。図３の実施例のようにケミカルフィルタとＵＬＰＡフィルタとは、濾材の材質や形状が異なり、各フィルタ内の（濾材面における）空気流（コンダクタンス）は互いに相違しているので、エアフィルタ内に空気溜りを適度に形成して、フィルタ下流に面ない均一の空気流を形成することができる。
【００４１】
　前記エアフィルタ１７がケミカルフィルタ１７ａとＵＬＰＡフィルタ１７ｂを送風方向に順に配置して構成されているため、空気中に浮遊するケミカル汚染物質やパーティクルを除去してクリーン度を上げることができ、特にケミカルフィルタ１７ａを通過したパーティクルをＵＬＰＡフィルタ１７ｂで捕捉することができる。なお、ＵＬＰＡフィルタ１７ｂと同様な機能および構造のＨＥＰＡフィルタ等のパーティクル除去フィルタを用いることもできる。また、ウエハｗの搬送等を行う常圧の作業室例えば搬送室５を有する処理装置例えば真空処理装置１において、前記搬送室５の天上部には空気清浄装置１５が設けられているため、搬送室５内にクリーン度の高い清浄空気のダウンフローを安定して形成することができ、ウエハｗの真空処理装置１内でのパーティクル等の付着を防止して歩留まりの向上が図れる。
【００４２】
　図５は整流部材の他の例を示す図で、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は断面図である。この整流部材１８は多数の孔３２を有する平板３３と、この平板３３上に前記風速分布における風速の高い領域に対応する孔３２を覆うべく設けられた環状の邪魔板３６とからなっている。前記平板３３には、例えば直径２ｍｍの孔３２が３．５ｍｍピッチで多数設けられている。この平板３２上に内径が１３０ｍｍで外径が１８０ｍｍの円環状の邪魔板３６が点溶接等で取付けられている。このように構成された整流部材１８よれば、簡単な構造で面内不均一な風速分布を面内均一な風速分布に容易に変えることができる。また、前記整流部材１８を有する空気清浄装置１５が搬送室５の天上部に設けられた処理装置例えば真空処理装置１によれば、搬送室５内にクリーン度の高い清浄空気のダウンフローを安定して形成することができ、ウエハｗの処理装置内でのパーティクル等の付着を防止して歩留まりの向上が図れる。
【００４３】
　図６は空気清浄装置の他の例を示す概略断面図である。本実施例において、前記実施例と同一部分は同一符号を付して説明を省略する。この空気清浄装置１５においては、送風機１６と、この送風機１６の上流に設けられた第１のエアフィルタであるケミカルフィルタ１７ａと、前記送風機１６の下流に設けられた第２のエアフィルタであるＵＬＰＡフィルタ１７ｂまたはＨＥＰＡフィルタとを備え、前記送風機１６と第１のエアフィルタであるケミカルフィルタ１７ａとの間には、送風機１６による面内不均一な風速分布を面内略均一な風速分布にするための図４ないし図５に示すような整流部材１８が設けられている。この位置に整流部材１８を設けることにより、第１のエアフィルタであるケミカルフィルタ１７ａを通過する空気流を面内均一にして、第１のエアフィルタであるケミカルフィルタ１７ａの目詰りを抑制することができる。
【００４４】
　図７は空気清浄装置の他の例を示す概略断面図である。本実施例において、前記実施例と同一部分は同一符号を付して説明を省略する。この空気清浄装置１５においては、送風機１６と、この送風機１６の下流に設けられたエアフィルタ例えばＵＬＰＡフィルタ１７またはＨＥＰＡフィルタとを備え、前記送風機とエアフィルタ例えばＵＬＰＡフィルタ１７との間には図４または図５の実施例のように開口率を面内で相違させた整流部材１８が設けられ、前記エアフィルタ例えばＵＬＰＡフィルタ１７の下流にはパンチングメタル（多数の孔を有する平板）のように開口率を面内で均一にした補助整流部材３８が設けられている。エアフィルタ１７としては、異種のフィルタを組み合わせて多段に構成することが好ましいが、図７の実施例のようにフィルタが１段構成であって、フィルタ内で空気を滞留させる効果を期待できない場合には、エアフィルタ例えばＵＬＰＡフィルタ１７の下流にパンチングメタルからなる補助整流部材３８を配置することにより、送風機１６によって送出された空気流をエアフィルタ例えばＵＬＰＡフィルタ１７内に捕捉して、エアフィルタ例えばＵＬＰＡフィルタ１７の下流に面内均一のダウンフローを形成することができる。
【００４５】
　以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。本発明に係る処理装置は、常圧処理装置であっても良い。本発明に係る空気清浄装置は、被処理体の検査を行う検査装置ないし検査室（作業室）にも適用可能である。また、被処理体としては、半導体ウエハ以外に、ＬＣＤ基板やガラス基板等であっても良い。整流部材としては、平板に複数の孔（開口）を設けたものが好ましいが、送風機の風速分布に対応して網目の開口率を変えたメッシュからなっていても良い。また、本発明の空気清浄装置は、清浄度が要求される搬送室などに清浄空気を供給する清浄空気供給装置として適用されるだけでなく、汚れた空気を外部に排出する経路にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明を真空処理装置に適用した一例を示す概略構成図である。
【図２】搬送室を示す概略斜視図である。
【図３】搬送室に設けられた空気清浄装置の断面図である。
【図４】整流部材の一例を示す概略平面図である。
【図５】整流部材の他の例を示す図で、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は断面図である。
【図６】空気清浄装置の他の例を示す概略断面図である。
【図７】空気清浄装置の他の例を示す概略断面図である。
【図８】従来の清浄空気供給構造の一例を示す概略断面図である。
【図９】エアフィルタの集塵状態を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
　１　真空処理装置（処理装置）
　ｗ　半導体ウエハ（被処理体）
　５　搬送室（作業室）
　１５　空気清浄装置
　１６　送風機
　１７　エアフィルタ
　１７ａ　ケミカルフィルタ
　１７ｂ　ＵＬＰＡフィルタ
　１８　整流部材
　１９　ハウジング
　３２　孔（開口）
　３３　平板
　３６　邪魔板
　３８　補助整流部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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