(57)【要約】【課題】排気が容易な構造を備えた平板型表示装置を提供する。【解決手段】前面板１６および背面板１８の間に設けられるシート部材２０が周期的に変化する厚みを有するものであることから、シート部材２０と前面板１６および背面板１８との間の密着面積が少なくなるので、背面板１８に貫通して形成された排気孔６２を通して排気されるとき、格子状のシート部材２０により区画された各放電空間からの排気が容易となり、能率良く排気作業を行っても、排気が十分となり、ＰＤＰ（平板型表示装置）１０の品質が損なわれない。【選択図】  図５
2004288401.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な前面板、および該前面板から所定距離隔てて平行に配置された背面板と、前面板および背面板間においてそれらに平行に配置され、所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成る格子状のシート部材と、前記シート部材に設けられ、該シート部材によって複数に区画された放電空間の各々においてその放電空間を隔てて対向する複数対の放電電極と、前記シート部材の格子の一方向に沿って互いに平行に伸びるように該シート部材内に埋設された複数本の厚膜導体と、前記背面板上において、前記シート部材の格子の他方向に平行に伸びるように配設された書込電極とを、備えたＡＣ型放電表示装置であって、
前記厚膜導体が埋設されたシート部材は、前記格子の他方向において周期的に変化する厚みを有するものであることを特徴とする平板型表示装置。
【請求項２】
前記シート部材の厚みは、該シート部材の格子の周期と同等以下の周期で変化するものである請求項１の平板型表示装置。
【請求項３】
前記シート部材の厚みは、該シート部材に埋設された厚膜導体の方向に対して直交する方向において周期的に変化するものである請求項１または２の平板型表示装置。
【請求項４】
前記背面板は、前記格子状のシート部材の交差部分に対応する位置にそれぞれ形成された複数個の排気孔が貫通して形成されたものである請求項１乃至３のいずれかの平板型表示装置。
【請求項５】
前記背面板の裏面に連結され、該背面板に形成された複数個の排気孔に連通する単一の排気管を含むものである請求項１乃至４のいずれかの平板型表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平板型表示装置の封着方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、少なくとも一方が透光性を有する一対の平板を重ね合わせて気密に封着し、その気密空間内で発生させられたガス放電により発光させ、またはそのガス放電により発生した紫外線、或いはその気密空間内に備えられた陰極から発生させられた電子線でその気密空間内に設けられた蛍光体層を励起して発光させることにより、所望の画像を表示する形式の平板型表示装置、例えば、プラズマ・ディスプレイ・パネル（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ  ：ＰＤＰ）  や電界放射ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ  ：ＦＥＤ）  等が知られている（  例えば、非特許文献１参照）  。
【０００３】
【非特許文献１】
谷千束著「ディスプレイ先端技術」初版第１刷、共立出版、１９９８年１２月２８日、ｐ．８２−８４  、１０１−１０６
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような平板型表示装置は、単独で一つの画像を表示するために用いられる他、複数個を面方向に密接して配置すると共に全体として一つの画像を表示することにより大画面を構成した所謂タイル型表示装置としても用いられる。このようなタイル型表示装置においては、前面板および背面板の間の気密な空間が格子状のシート部材により区画され、その区画された空間毎に表示画素を発光表示させるための放電が制御されるように構成されるとともに、高い表示品質を得るために、表示装置の有効表示領域相互の間隔が可及的に小さく、画像の連続性の高いことが望まれる。
【０００５】
このため、表示装置には外形寸法を小さく留めつつ可及的に大きな表示面積を確保することが望まれることから、高真空とするための排気や、低圧ガスを封入するための封止は、背面板に貫通して形成された排気孔を通して行われるのが一般的である。しかしながら、このように背面板に貫通して形成された排気孔を通して排気やガス封止を行うとき、前記のように格子状のシート部材により区画されたすべての放電空間を速やかに排気することが比較的困難であり、能率良く排気作業を行おうとすると、排気が不十分となり、平板型表示装置の品質が損なわれるおそれがあった。
【０００６】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的は、排気が容易な構造を備えた平板型表示装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
斯かる目的を達成するための本発明の要旨とするところは、透明な前面板、およびその前面板から所定距離隔てて平行に配置された背面板と、前面板および背面板間においてそれらに平行に配置され、所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成る格子状のシート部材と、前記シート部材に設けられ、該シート部材によって複数に区画された放電空間の各々においてその放電空間を隔てて対向する複数対の放電電極と、前記シート部材の格子の一方向に沿って互いに平行に伸びるように該シート部材内に埋設された複数本の厚膜導体と、前記背面板上において、前記シート部材の格子の他方向に平行に伸びるように配設された書込電極とを、備えたＡＣ型放電表示装置であって、前記厚膜導体が埋設されたシート部材は、周期的に変化する厚みを有するものであることにある。
【０００８】
【発明の効果】
このようにすれば、前面板および背面板の間に設けられるシート部材が周期的に変化する厚みを有するものであることから、シート部材と前面板および背面板との間の密着面積が少なくなるので、背面板に貫通して形成された排気孔を通して排気されるとき、格子状のシート部材により区画された各放電空間からの排気が容易となり、能率良く排気作業を行っても、排気が十分となり、平板型表示装置の品質が損なわれない。
【０００９】
【発明の他の態様】
ここで、好適には、前記シート部材の厚みは、そのシート部材の格子の周期と同等以下の周期で変化するものである。このようにすれば、格子状のシート部材により区画された各放電空間が用域排気孔へ連通させられる利点がある。
【００１０】
また、好適には、前記シート部材の厚みは、そのシート部材に埋設された厚膜導体の方向に対して直交する方向において周期的に変化するものである。このようにすれば、シート部材をそれに埋設される厚膜導体よりも焼成収縮率が小さい材料から構成することにより、周期的厚み変化をシート部材に対して容易に設けることができる。
【００１１】
また、好適には、前記背面板は、前記格子状のシート部材の交差部分に対応する位置にそれぞれ形成された複数個の排気孔が貫通して形成されたものである。このようにすれば、排気孔の位置が画像を表示する画素を構成する格子状のシート部材の開口からは容易に見えない位置となるので、表示品質が向上させられる。
【００１２】
また、好適には、前記背面板の裏面に連結され、その背面板に形成された複数個の排気孔に連通する単一の排気管を含むものである。このようにすれば、単一の排気管を用いて排気することにより、複数個の排気孔を通して前面板および背面板の間の放電空間からの排気が行われるので、排気効率が高められる。
【００１３】
【発明の好適な実施の形態】
以下、本発明の一適用例を図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明に用いる図面では理解を容易とするために縦、横、厚みなどの寸法比は適宜変更されている。
【００１４】
図１は、本発明の一実施例の平板型表示装置であるＡＣ（交流駆動）型ＰＤＰ（  プラズマディスプレーパネル：以下ＰＤＰという）  １０の全体を示す斜視図である。図において、ＰＤＰ１０は、タイル状すなわち矩形板状を成し、例えば多数の同様なパネルを面方向に密接して配置することによって大画面を形成するタイル型表示装置を構成するためのものであって、互いに平行に配置された一対の前面板１６および背面板１８が数百ミクロン程度の僅かな距離を隔ててその外周縁部において相互に気密に接合されると共に、その４辺から成る外周縁の端面にたとえば低融点封着ガラスから成る封着剤５４が固着されている。図において、ＰＤＰ１０は、対角２０インチ（４００×３００（ｍｍ））程度の表示領域寸法を備え、複数枚が縦横に密接して並べられることにより大画面を構成する所謂タイル型表示装置の素子として用いられる。
【００１５】
図２は、上記のＰＤＰ１０の一部を切り欠いてその内部構造を説明する図である。このＰＤＰ１０には、それぞれの略平坦な一面１２，１４が対向するようにたとえば数百ミクロン程度の僅かな間隔を隔てて互いに平行に配置された前面板（  第１平板）  １６および背面板（  第２平板）  １８が備えられている。それら前面板１６および背面板１８は、格子状のシート部材２０（  厚膜シート電極）  を介してその周縁部において気密に封着されており、これによりＰＤＰ１０の内部に気密空間が形成されている。これら前面板１６および背面板１８は、何れも４５０  ×３５０（ｍｍ）  程度の大きさと１．１  〜３（ｍｍ）  程度の均一な厚さ寸法とを備えると共に透光性を有し且つ軟化点が７００（℃）  程度の相互に同様なソーダライム・ガラス等から成るものである。本実施例においては、上記の前面板１６が第１平板に、背面板１８が第２平板にそれぞれ相当する。
【００１６】
上記の背面板１８上には、一方向に沿って伸び且つ互いに平行な複数本の長手状の隔壁２２が０．２  〜３（ｍｍ）  の範囲内、例えば１．０（ｍｍ）  程度の一定の中心間隔で備えられており、前面板１６および背面板１８間の気密空間が複数本の放電空間２４に区分されている。この隔壁２２は、例えば、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＴｉＯ２系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラスを主成分とする厚膜材料から成り、幅寸法が６０（  μｍ）〜１．０（ｍｍ）  程度の範囲内、例えば２００（μｍ）程度、高さ寸法が５  〜３００（μｍ）程度の範囲内、例えば５０（  μｍ）程度の大きさを備えたものである。また、隔壁２２には、例えばアルミナ等の無機充填材（  フィラー）  やその他の無機顔料等が適宜添加されることにより、膜の緻密度や強度、保形性等が調節されている。前記のシート部材２０は、その一方向に沿って伸びる部分がこの隔壁２２の頂部上に重なる位置関係にある。
【００１７】
また、背面板１８上には、その内面１４の略全面を覆う低アルカリ・ガラス或いは無アルカリ・ガラス等から成るアンダ・コート２６が設けられ、その上に厚膜銀等から成る複数本の書込電極２８が前記複数の隔壁２２の長手方向に沿ってそれらの間の位置に、低軟化点ガラスおよび白色の酸化チタン等の無機フィラー等から成るオーバ・コート３０に覆われて設けられている。上記の隔壁２２は、このオーバ・コート３０上に突設されている。
【００１８】
また、オーバ・コート３０の表面および隔壁２２の側面には、放電空間２４毎に塗り分けられた蛍光体層３２が例えば１０〜２０（  μｍ）程度の範囲で色毎に定められた厚みで設けられている。蛍光体層３２は、例えば紫外線励起により発光させられるＲ（  赤）  ，Ｇ（  緑）  ，Ｂ（  青）  等の発光色に対応する３色の蛍光体の何れかから成るものであり、隣接する放電空間２４相互に異なる発光色となるように設けられている。なお、前記のアンダ・コート２６およびオーバ・コート３０は、厚膜銀から成る書込電極２８と背面板１８との反応および上記の蛍光体層３２の汚染を防止する目的で設けられたものである。
【００１９】
一方、前記の前面板１６の内面１２には、たとえば黒色顔料を含むの厚膜から成る隔壁３４が前記隔壁２２に対向する位置にストライプ状に設けられている。この隔壁３４は、例えば隔壁２２と同じ材料から成り、例えば５  〜３００（μｍ）程度の範囲内、例えば５０（  μｍ）程度の高さ寸法（  厚さ寸法）  で設けられたものである。前面板内面１２のこの隔壁３４相互間には、蛍光体層３６が例えば３  〜５０（  μｍ）程度の範囲内例えば５（μｍ）程度の厚さ寸法でストライプ状に設けられている。この蛍光体層３６は、放電空間２４毎に単一の発光色が得られるように、背面板１８上に設けられた蛍光体層３２と同じ発光色のものが設けられている。上記隔壁３４の高さ寸法は、シート部材２０が蛍光体層３６に接することを防止するために、その表面が蛍光体層３６の表面よりも高くなるように定められている。
【００２０】
図３は、前記のシート部材２０の構成の要部を、その一部を切り欠いて示す図である。図３において、シート部材２０は、格子状を成し、例えば５０〜５００（μｍ）の範囲内好適には１００  〜３００（μｍ）程度の範囲内で周期的に変化する厚み寸法を備えたものであり、シート部材２０の一部であって前記書込電極２８と直交する方向に延びる部分に埋設された厚膜導体５２と、全体を覆って設けられた誘電体皮膜４８と、その誘電体皮膜４８を更に覆って設けられ且つシート部材２０の表層部を構成する保護膜５０とから構成されている。上記シート部材２０の厚みは、厚膜導体５２の長手方向においては略一定であるが、その厚膜導体５２に直交する方向においては、格子の開口間で最大厚みとなり且つ開口の中央部において最小厚みとなるような、格子の開口周期に同期した周期で変化させられている。
【００２１】
上記格子状のシート部材２０は、誘電体、例えばＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＴｉＯ２系或いはこれらを組み合わせた系、例えばＡｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＰｂＯ等の低軟化点ガラスおよびアルミナ等のセラミック・フィラー等の厚膜誘電体材料で構成されている。上記シート部材２０の格子を構成する縦横に沿ってそれぞれ伸びる部分は、隔壁２２に沿った方向においては、その隔壁２２の幅寸法と同程度かアライメント・マージンを考慮してそれよりも若干広く、例えば７０（  μｍ）〜１．１（ｍｍ）  の範囲内、例えば３００（μｍ）程度の幅寸法を備え、隔壁２２と同じ１．０（ｍｍ）  程度の中心間隔で設けられている。また、隔壁２２に直交する方向においては、それよりも十分に小さい例えば６０（  μｍ）〜１．０（ｍｍ）  の範囲内、例えば１５０（μｍ）程度の幅寸法を備え、２００（μｍ）〜１．０（ｍｍ）  の範囲内、例えば５００（μｍ）程度の中心間隔で設けられている。このため、格子の開口４２の大きさは、例えば７００  ×３５０（μｍ）程度である。
【００２２】
また、上記厚膜導体５２は、例えばアルミニウム（Ａｌ）等を導電成分として含む例えば３０（％）  程度の気孔率を有する比較的多孔質な厚膜導体であって、例えば１０〜５０（  μｍ）の範囲内、例えば３０（  μｍ）程度の厚さ寸法を有するものである。この導体層４４は、誘電体層３８，４０の格子の一方向すなわち前記の隔壁２２に直交する方向に沿って複数本配設されている。この厚膜導体５２は、例えばシート部材２０の幅寸法よりも小さい幅寸法を備えて格子の中心間隔に等しい例えば３００（μｍ）程度の中心間隔を以て、前記の隔壁２２の長手方向に垂直な方向すなわち書込電極２８の長手方向と垂直を成す向きに沿って伸びるものである。なお、帯状厚膜導体５２は、前記隔壁２２の長手方向において、共通の配線に接続されたものと、各々独立の配線に接続されたものとが交互に設けられている。
【００２３】
前記の誘電体皮膜４８は、例えば１０〜３０（  μｍ）程度の範囲内、例えば２０（  μｍ）程度の厚さ寸法を備え、例えばＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＴｉＯ２系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラス等から成る厚膜である。この誘電体皮膜４８は、表面に電荷を蓄えることにより後述するように交流放電をさせるために設けられたものであるが、同時に、厚膜材料で構成される導体層４４を露出させないことによって、これらからのアウト・ガスによる放電空間２４内の雰囲気変化を抑制する役割も有する。
【００２４】
また、上記誘電体皮膜４８を被覆する保護膜５０は、例えば０．５（μｍ）程度の厚さ寸法を備え、ＭｇＯ  等を主成分とする薄膜或いは厚膜である。保護膜５０は、放電ガス・イオンによる誘電体皮膜４８のスパッタリングを防止するものであるが、二次電子放出係数の高い誘電体で構成されていることから、相対向する部分間で一対の放電電極として実質的に機能する。
【００２５】
以上のように電極構造が構成されたＰＤＰ１０は、以下のように作動させられる。すなわち、先ず、厚膜導体５２のうち個々に独立させられている一方に所定の交流パルスが印加されて順次走査されると共に、その走査のタイミングに同期して書込電極２８のうちのデータに対応する所望のもの（  すなわち発光させる区画として選択されたものに対応する書込電極）  に所定の交流パルスが印加されると、図４に矢印Ａで示すように、それらの間で書込放電が発生させられ、保護膜５０上に電荷が蓄積される。このようにして走査電極として機能させられる全ての帯状厚膜導体５２が走査された後、全ての帯状厚膜導体５２，５２間に所定の交流パルスが印加されると、電荷が蓄積された発光区画では印加電圧にその蓄積電荷による電位が重畳されて放電開始電圧を越えるため、図４に他の矢印で示すように放電面５６，５６間で放電が発生させられ、且つ保護膜５０上に改めて発生させられた壁電荷等により予め定められた所定時間だけ維持される。これにより、ガス放電で発生した紫外線で選択された区画内の蛍光体層３２、３６が励起発光させられ、その光が前面板１６を通して射出されることにより、一画像が表示される。そして、走査側電極の１周期毎に、交流パルスを印加されるデータ側電極（  書込電極２８）  が変化させられることにより、所望の画像が連続的に表示されることとなる。なお、図４は、ＰＤＰ１０の前記の隔壁２２の長手方向に沿った断面すなわち厚膜導体５２の長手方向に垂直な断面を示す図である。
【００２６】
維持放電は上記厚膜導体５２，５２間で発生させられるが、放電空間２４は隔壁２２の長手方向に沿って連続しているため、その放電により発生させられた紫外線はその方向において帯状厚膜導体５２，５２の外側に広がる。そのため、その外側に位置する蛍光体層３２，３６もその紫外線が及ぶ範囲では発光させられることとなる。ＰＤＰ１０における発光単位（  セル）  の区切りは、隔壁２２に垂直な方向すなわち図４における左右方向ではその隔壁２２によって区切られ、隔壁２２の長手方向すなわち図４における上下方向では実質的にはこの紫外線の及ぶ範囲によって画定される。本実施例においては、隔壁２２の長手方向における発光区画の区切りすなわちセル・ピッチは例えば１００（μｍ）〜３．０（ｍｍ）  の範囲内、例えば３．０（ｍｍ）  程度であり、前記シート部材２０の格子の中心間隔の６倍に相当する。すなわち、本実施例においては１セル内にシート部材２０の格子の開口４２が６つ設けられており、それら６つの開口４２に面する３対の放電面５６間で維持放電させることとなる。なお、前述したように隔壁２２の中心間隔は１．０（ｍｍ）  程度であり、ＲＧＢ３色で１画素（  ピクセル）  が構成されるので、画素ピッチは格子の２方向の何れにおいても３．０（ｍｍ）  程度、１画素の大きさは３．０  ×３．０（ｍｍ）  程度となる。すなわち、ＰＤＰ１０において、シート部材２０の格子の開口４２により構成された放電空間の１つ或いは複数個の集合が最小発光単位の画素に対応し、表示画像の画素を構成している。たとえばモノクロ表示であれば１または適数数個の放電空間が１画素に対応し、カラー表示であれば、たとえば発光色がそれぞれＲ、Ｇ、Ｂである３またはその倍数個の放電空間が１画素を構成する。本実施例において、上記放電空間、或いは画素が発光部に対応している。
【００２７】
図５は、ＰＤＰ１０内の放電空間を真空に排気し且つ低圧ガスを封入するためにＰＤＰ１０の裏面に設けられた排気管６０を示すために、隔壁２２と平行な方向に切断した要部断面図である。図５において、背面板１８において、前記格子状のシート部材２０の交点に対応する位置には、複数個の排気孔６２が貫通して設けられており、その複数個の排気孔６２を覆うように、ガラス製の排気管６０の一端に形成されたカップ状端部がガラス溶着され、複数個の排気孔６２が一本の排気管６０に連通させられている。
【００２８】
図６は上記ＰＤＰ１０の封着工程を含む製造工程の要部を説明する図であり、図７はシート部材２０の製造工程の要部を示す図である。
【００２９】
図６において、背面板１８の処理工程においては、先ず、アンダ・コート形成工程Ｐ１では、予め用意された平坦な背面板１８の内面１４に厚膜絶縁体ペーストを塗布して焼成することによりアンダ・コート２６が形成される。次いで、書込電極形成工程Ｐ２では、そのアンダ・コート２６上に例えば厚膜スクリーン印刷法やリフトオフ法等を用いて厚膜銀ペースト等の厚膜導電材料ペーストで前記書込電極２８が形成される。続くオーバ・コート形成工程Ｐ３では、書込電極２８上から低軟化点ガラスおよび無機フィラーを含む厚膜絶縁ペーストをアンダ・コート２６の略全面を覆って繰り返し塗布して焼成することによりオーバ・コート３０が形成される。隔壁形成工程Ｐ４では、例えば低軟化点ガラスおよび無機フィラー等を主成分とする厚膜絶縁ペーストを印刷などにより塗着し、乾燥後、例えば５００  〜６５０（℃）  程度の温度で焼成処理を施すことにより、隔壁２２が形成される。なお、一回の印刷で隔壁２２の所望の高さ寸法を確保できない場合には、印刷および乾燥が必要な回数だけ繰り返される。上述したアンダ・コート形成工程Ｐ１乃至オーバ・コート形成工程Ｐ３も同様である。そして、蛍光体層形成工程Ｐ５においては、ＲＧＢ３色に対応する３種の蛍光体ペーストを隔壁２２相互間であって色毎に定められた所定位置に厚膜スクリーン印刷法等によって或いは流し込みによって塗布し、例えば４５０（℃）  程度の温度で焼成処理を施すことにより、蛍光体層３２が設けられる。
【００３０】
一方、前面板１６の処理工程においては、先ず、隔壁形成工程Ｐ６において、上記工程Ｐ４と同様に、例えば低軟化点ガラスおよび無機フィラー等を主成分とする厚膜絶縁ペーストを厚膜スクリーン印刷法等の厚膜形成技術を用いて内面１２上に繰り返し塗布、乾燥して、更に厚膜絶縁ペーストの種類に応じて定められる例えば５００  〜６５０（℃）  程度の範囲内の熱処理温度で焼成することにより、隔壁３４が形成される。次いで、蛍光体層形成工程Ｐ７において、ＲＧＢ３色に対応する３種の蛍光体ペーストを隔壁３４相互間であって色毎に定められた所定位置に、隔壁３４上から厚膜スクリーン印刷或いは落とし込み印刷等の手法で塗布し、例えば４５０（℃）  程度の温度で焼成処理を施すことにより、蛍光体層３６が設けられる。
【００３１】
そして、シート部材作製工程Ｐ８において作製されたシート部材２０を介して前面板１６および背面板１８を重ね合わせ、封着工程Ｐ９において加熱処理を施すことにより、それらの界面に予め塗布されたシールガラス等の封着剤５４でこれらが気密に封着される。なお、封着に先立ち、必要に応じてシート部材２０が前面板１６および背面板１８の何れかにガラスフリット等を用いて固着される。そして、排気・ガス封入工程Ｐ１０において、前面板１６および背面板１８により形成された気密容器内から排気管６０を介して排気され且つ所定の放電ガスが封入されことにより、ＰＤＰ１０が得られる。
【００３２】
上記の製造工程において、シート部材作製工程Ｐ８は、よく知られた厚膜印刷技術を応用した工程例えば図７に示される示す工程に従って実施される。すなわち、基板を用意する工程ＰＡ１では、厚膜印刷を施す基板８０が用意され、次いで剥離層形成工程ＰＡ２では、たとえば高軟化点ガラスフリットおよびシリカ、アルミナやジルコニア等のセラミック・フィラーを含む高融点粒子が樹脂で結合させられた剥離層が上記基板の表面８２に例えば５  〜５０（  μｍ）程度の範囲内、好適には１０〜２０（  μｍ）程度の厚さ寸法で設けられる。続く厚膜ペースト層形成工程ＰＡ３では、シート部材２０の本体である誘電体層を形成するための厚膜誘電体ペーストと厚膜導体５２を形成するための厚膜導体ペーストを、スクリーン印刷法等を利用して剥離層上に所定のパターンで順次に塗布・乾燥する。これにより、これにより、一方向に並列する多数本の厚膜導体５２が埋設された格子状のシート部材２０の未焼成品が形成される。焼成工程ＰＡ４において、上記基板が例えば５８５（℃）  程度の焼成温度で加熱処理された後、剥離工程ＰＡ５において、焼結させられた厚膜材料から成るシート部材２０が剥離層から剥離される。次いで、誘電体ペースト塗布工程ＰＡ６においては、剥離したシート部材２０をディッピング槽内に蓄えられた誘電体ペースト中にディッピングすることにより、例えばＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＴｉＯ２系或いはこれらを組み合わせた系等のガラス粉末およびＰＶＡ等の樹脂が水等の溶剤中に分散させられた誘電体ペーストが全外周面に塗布される。次に、焼成工程ＰＡ７において例えば５５０  〜５８０（℃）  程度の所定温度で焼成処理が施されるた後、保護膜形成工程ＰＡ８において、上記の誘電体皮膜４８の表面に例えばディッピング処理および焼成処理により、或いは電子ビーム法やスパッタ等の薄膜プロセスにより、保護膜５０が所望の厚さ寸法で略全面に設けられることにより、前記シート部材２０が得られる。
【００３３】
上記の製造工程において、シート部材２０の本体を構成するための厚膜誘電体ペーストの焼結時の焼成収縮率は、厚膜導体５２を構成するための厚膜導体ペーストよりも大きいことから、焼成後のシート部材２０は、前述のように、周期的に変化する厚み寸法を備えるようになる。このため、シート部材２０が前面板１６と背面板１８との間に挟持されたＰＤＰ１０の構造において、図５に示すようにシート部材２０が背面板１８の隔壁２２や前面板１６の隔壁３４と密着せず、シート部材２０の周期的な厚みの変化に由来する隙間Ｓが隔壁２２や３４との間に形成されるので、シート部材２０の開口４２内の放電空間の排気抵抗が小さくなり、排気工程Ｐ１０における排気効率が高く、短時間の排気によって十分な真空度が得られるようになっている。
【００３４】
上述のように、本実施例によれば、前面板１６および背面板１８の間に設けられるシート部材２０が周期的に変化する厚みを有するものであることから、シート部材２０と前面板１６および背面板１８との間の密着面積が少なくなるので、背面板１８に貫通して形成された排気孔６２を通して排気されるとき、格子状のシート部材２０により区画された各放電空間からの排気が容易となり、能率良く排気作業を行っても、排気が十分となり、ＰＤＰ（平板型表示装置）１０の品質が損なわれない。
【００３５】
また、本実施例によれば、シート部材２０の厚みは、そのシート部材２０の格子の周期と同等の周期で変化するものであることから、格子状のシート部材２０により区画された各放電空間が容易に排気孔６２および排気管６０へ連通させられる利点がある。
【００３６】
また、本実施例によれば、シート部材２０の厚みは、そのシート部材２０に埋設された厚膜導体５２の方向に対して直交する方向において周期的に変化するものであることから、シート部材２０をそれに埋設される厚膜導体５２よりも焼成収縮率が大きい材料から構成することにより、周期的厚み変化をシート部材２０に対して容易に設けることができる。
【００３７】
また、本実施例によれば、シート部材２０の厚みは、両面の凹凸により周期的に厚みが変化させられていたが、片面の凹凸によって周期的に厚みが変化させられていてもよい。また、シート部材２０の厚みの周期的変化とは、必ずしも一定の周期ではなく、排気抵抗を低下させる隙間Ｓが形成されるようにある程度の異なる周期の凹凸によってシート部材２０の厚みが変化させられてもよい。
【００３８】
また、本実施例によれば、背面板１８は、格子状のシート部材２０の交差部分に対応する位置にそれぞれ形成された複数個の排気孔６２が貫通して形成されたものであることから、排気孔６２の位置が画像を表示する画素を構成する格子状のシート部材２０の開口からすなわちＰＤＰ１０の前面からは容易に見えない位置となるので、表示品質が向上させられる。
【００３９】
また、本実施例によれば、背面板１８の裏面に連結され、その背面板１８に形成された複数個の排気孔６２に連通する単一の排気管６０を含むものであることから、その単一の排気管６０を用いて排気することにより、複数個の排気孔６２を通して前面板１６および背面板１８の間の放電空間からの排気が行われるので、排気効率が高められる。
【００４０】
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施できる。
【００４１】
例えば、前述の実施例において、シート部材２０の格子の周期と同等の周期で厚みが変化するものであったが、その周期は格子の周期よりも長くても或いは短くても差し支えない。好適には、焼結品であるシート部材２０の強度を考慮すると、シート部材２０の厚みはその格子の周期と同等以下の周期で変化するものであることが望ましい。
【００４２】
また、前述の実施例のシート部材２０は、その本体を構成するための厚膜誘電体ペーストの焼成収縮率を、厚膜導体５２を構成するための厚膜導体ペースト焼成収縮率よりも大きくすることによって、焼成後に周期的に変化する厚みを持たせていたが、機械加工、エッチング処理などを用いて、厚み変化させるようにしてもよい。
【００４３】
また、実施例においては、カラー表示用のＡＣ型ＰＤＰ１０およびその封着方法に本発明が適用された場合について説明したが、本発明は、外周端部における封止構造が必要な平板型表示装置であれば、内部の電極構成等は特に問われず、モノクロ表示用のＡＣ型ＰＤＰはもちろんのこと、他の形式の表示装置、例えば、ＬＣＤ、ＦＥＤやＳＥＤ等にも同様に適用される。すなわち、シート部材２０を備えたものに限られず、従来の３電極面放電構造のＰＤＰ等にも適用されうる。
【００４４】
また、実施例のＰＤＰ１０は、３色の蛍光体層３２、３６を備えてフルカラー表示をさせる形式のものであったが、本発明は、１色或いは２色の蛍光体層を備えた表示装置にも同様に適用される。また、前面板１２および背面板１４の何れか一方の内面のみに蛍光体層を設ける構造にも同様に適用される。
【００４５】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の平板型表示装置（ＰＤＰ）の全体を示す斜視図である。
【図２】図１のＰＤＰの一部を切り欠いてその内部構造を説明する図である。
【図３】図１のＰＤＰ内部に備えられている厚膜シート部材の構造を一部を切り欠いて説明する図である。
【図４】図１のＰＤＰの動作を説明するための断面図である。
【図５】図１のＰＤＰの裏面に備えられた排気管およびそれに連通するように背面板に形成された複数本の排気孔を説明する要部断面図である。
【図６】図１のＰＤＰの製造工程の要部を説明する工程図である。
【図７】図６のシート部材作成工程を詳しく説明する図である。
【符号の説明】
１０：ＰＤＰ
１２：前面板
１４：背面板
２０：シート部材
２４：放電空間（気密空間）
２８：書込電極
３４：隔壁
４２：シート部材の開口
５２：厚膜導体
６０：排気管
６２：排気孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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