(57)【要約】【課題】一定な蒸気圧のベーパを蒸着部へ供給できる化学気相蒸着工程の原料物質供給装置を提供せんとするものである。【解決手段】化学気相蒸着工程の原料物質供給装置は、液相の原料物質を気化させて蒸着部へ供給するバブラーと、バブラへ供給される液相の原料物質を予め貯蔵して予熱し多数の中空型細管を通じてバブラへ供給する原料タンクと、を備え、バブラ内部の原料物質が徐々に気化されるにつれて原料タンクの内部圧を増加させ、バブラへ供給される原料物質の量を調節することにより、バブラ内部で相変化する原料物質の量及び蒸気圧を調節することができる。したがって、バブラへの持続的な原料物質供給が容易になり、原料物質の相変化速度を一定に維持することができ、光ファイバ母材蒸着条件に合わせてバブラー内の蒸気圧の調節も容易になる。【選択図】　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学気相蒸着工程の原料物質供給装置において、前記原料物質供給装置は、
液相の原料物質を気化させて蒸着部へ供給するバブラと、
前記バブラへ供給される液相の原料物質を予め貯蔵して予熱し多数の中空型細管を通じて前記バブラへ供給する原料タンクと、を備え、
前記バブラ内部の原料物質が気化されるにつれて前記原料タンクの内部圧を増加させ、前記バブラ内部の原料物質の量と蒸気圧を一定に維持することを特徴とする化学気相蒸着工程の原料物質供給装置。
【請求項２】
前記バブラ内部の蒸気圧を測定するために前記バブラに設けられる第１圧力測定器と、
前記原料タンクの内部圧を測定するために前記原料タンクに設けられる第２圧力測定器と、をさらに備え、
前記バブラ内部の蒸気圧が一定の範囲を維持するように前記原料タンクの内部圧が調節される請求項１記載の化学気相蒸着工程の原料物質供給装置。
【請求項３】
前記原料タンクの内部圧と前記バブラ内部の蒸気圧との差が所定の圧力差以上に大きくなると、前記原料タンクに原料物質を補充する請求項２記載の化学気相蒸着工程の原料物質供給装置。
【請求項４】
前記原料タンクへ不活性ガスを供給することにより、前記原料タンクの内部圧を徐々に増加させる請求項１記載の化学気相蒸着工程の原料物質供給装置。
【請求項５】
前記原料タンクへ供給される不活性ガスは窒素ガスである請求項４記載の化学気相蒸着工程の原料物質供給装置。
【請求項６】
前記原料タンクには、原料物質の液位を測定するための多数のレベルセンサが設けられて、前記原料タンク内部の原料物質の液位が所定の高さ以下に低くなると、前記原料タンクに原料物質を補充する請求項１記載の化学気相蒸着工程の原料物質供給装置。
【請求項７】
前記原料タンクには、原料物質の重量を測定するための多数のロードセルが設けらてれ、前記原料タンク内部の原料物質の重量が所定の重量以下に低くなると、前記原料タンクに原料物質を補充する請求項１記載の化学気相蒸着工程の原料物質供給装置。
【請求項８】
前記バブラで原料物質の相変化が行われている間、周期的に前記原料タンクに原料物質を補充する請求項１記載の化学気相蒸着工程の原料物質供給装置。
【請求項９】
前記中空型細管は、前記バブラへ供給される原料物質内の異物質を濾過するフィルタリング機能を行う請求項１記載の化学気相蒸着工程の原料物質供給装置。
【請求項１０】
前記原料タンク、中空型細管及びバブラは一つの恒温槽内に収容されて原料物質の温度を均一に維持させる請求項１記載の化学気相蒸着工程の原料物質供給装置。
【請求項１１】
前記原料タンクの内部圧が過圧状態になると圧力を低めるベントラインをさらに備える請求項１記載の化学気相蒸着工程の原料物質供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光ファイバ母材に係り、特に、化学気相蒸着工程の原料物質供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信は一般的な同軸ケーブルを用いる電気的な通信方式より莫大な量の情報を迅速に伝送することができる。さらに、電波又は磁界などの干渉を受けないため、より優れた高品質の通信が可能である。
【０００３】
このような光通信では光信号伝送路として光ファイバを利用する。光ファイバは母材から所定直径の光ファイバに引き出される。光ファイバ母材の製造方法にはゾル・ゲル（ｓｏｌ−ｇｅｌ）工法と気相蒸着法（ｖａｐｏｒ−ｐｈａｓｅ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）などがある。
【０００４】
ゾル・ゲル工法は、液体状態の原料物質を型に入れゲル状態にした後、これを焼結しシリカガラスを製造する工法であって、全プロセスが低温で行われコストが低く、光ファイバの組成調節が比較的容易である。
【０００５】
気相蒸着法には内付け化学気相蒸着法（ｍｏｄｉｆｉｅｄ　ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｖａｐｏｒ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＭＣＶＤ）、気相軸付け蒸着法（ｖａｐｏｒ　ｐｈａｓｅ　ａｘｉａｌ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＶＡＤ）及び外付け気相蒸着法（ｏｕｔｓｉｄｅ　ｖａｐｏｒ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＯＶＤ）などの方法がある。気相蒸着法は、所定のターゲットロッド（ｔａｒｇｅｔ　ｒｏｄ）又はガラス材質のチューブを加熱するとともに、気体状態の原料物質を供給してターゲットロッド又はチューブ上にスーツを生成することにより、光ファイバ母材を完成する。気相蒸着法では最初の液相原料物質が所定の原料物質供給装置で気体状態に相変化されて光ファイバ母材蒸着部へ供給される。
【０００６】
図１は従来の一実施形態による化学気相蒸着工程の原料物質供給装置１００を説明するための構成図である。図１に示した装置はバブラ（ｂｕｂｂｌｅｒ）内部にある原料物質の液位を検知するレベルセンサを備え、これにより原料物質の供給又は遮断可否を検知する方式である。同図に示したように、化学気相蒸着工程の原料物質供給装置１００はバブラ１１０内部の原料物質にキャリアガス（ｃａｒｒｉｅｒ　ｇａｓ）Ｂを供給し液相の原料物質を気体状態Ｃのベーパ（ｖａｐｏｒ）に相変化させてベーパを蒸着部（ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ　ｕｎｉｔ）へ供給する。バブラ１１０内部の液相の原料物質が相変化して蒸着部へ供給されるにつれてバブラ１１０に原料物質が補充される。したがって、バブラ１１０は、原料物質Ａを供給する供給用パイプ１２０、キャリアガスＢを供給するガスパイプ１３０及び相変化された原料物質Ｃを蒸着部へ供給するベーパパイプ１４０を備えている。また、バブラ１１０内部の原料物質の温度を一定に維持するために熱検知センサ１１３と加熱器１１５を備え、さらに、バブラ１１０内部の原料物質の量を一定の範囲内で維持するためのレベルセンサ１１１を備えている。
【０００７】
バブラ１００内部に実装されたレベルセンサ１１１はバブラ１１０内部の原料物質の液位を一定の範囲内に維持する。バブラ１１０内部の原料物質が徐々に消耗されて量が減少すると、レベルセンサ１１１は原料物質の供給又は遮断可否を制御するための信号を発生する。
【０００８】
しかし、上述したようにレベルセンサを用いてバブラ内部の原料物質の量を検知して原料物質を供給する方式の場合、原料供給時又は原料物質の相変化進行時に、バブラ内部の原料物質の流動によりレベルセンサの誤動作を引き起こすこともある。さらに、原料物質供給装置は、原料物質を供給する間は蒸着工程を行えないため、作業効率が低下する。
【０００９】
その上、レベルセンサを利用する原料物質供給装置は原料物質が一定量以下になると、バブラに原料物質を補充するので、バブラ内部の原料物質の量を一定に維持することが困難である。これは気体状態に相変化する原料物質の量が不均一で、蒸気圧を一定に維持することが困難であり、蒸着部へ供給されるベーパ量も不均一だからである。その結果、これらの要因を経ると蒸着される光ファイバ母材の品質が均一でないという問題が発生する。
【００１０】
図２は従来の他の実施形態による化学気相蒸着工程の原料物質供給装置２００を説明するための構成図である。図２に示した装置はバブラ内部の原料物質の重量に応じて開閉するバルブを利用する機械的な方法である。同図に示したように、原料物質供給装置２００は、外部バブラ２１０ａと内部バブラ２１０ｂを備えており、内部バブラ２１０ｂ内部の原料物質にキャリアガスＢ’を供給し液相の原料物質を気体状態Ｃ’に相変化させて蒸着部へ供給する。外部バブラ２１０ａ及び内部バブラ２１０ｂ内部の液相の原料物質が相変化して蒸着部へ供給されるにつれてバブラ２１０ａ，２１０ｂには原料物質が補充される。したがって、バブラ２１０ａ，２１０ｂは、原料物質Ａ’を供給する供給用パイプ２２０、キャリアガスＢ’を供給するガスパイプ２３０及び相変化された原料物質Ｃ’を蒸着部へ供給するベーパパイプ２４０を備えている。さらに、バブラ２１０ａ，２１０ｂ内部の原料物質の温度を一定に維持させるための熱検知センサ２１３と加熱器２１５を備えている。上述した原料物質供給装置２００は原料物質が消耗されるにつれて供給用パイプ２２０の内部圧により内部バブラ２１０ｂが徐々に浮上して圧力式バルブ２２５が開放される。これより、原料物質がバブラ２１０ａ，２１０ｂへ供給される。このような原料物質供給装置は米国特許第５，９３８，９８５号に詳細に開示されている。
【００１１】
しかし、圧力式バルブを利用する原料物質供給装置では、供給用パイプに一定の圧力を継続してかけなければならないので、配管破損のおそれがある。さらに、圧力式バルブと供給用パイプの流入口との間における機械的な摩擦により汚染物質が発生するおそれも高い。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、上記問題点を解決するための本発明の目的は、一定な蒸気圧のベーパを蒸着部へ供給できる化学気相蒸着工程の原料物質供給装置を提供することにある。
【００１３】
本発明の他の目的は、バブラに安定した原料物質供給を行える化学気相蒸着工程の原料物質供給装置を提供することにある。
【００１４】
本発明のさらなる他の目的は、蒸着部へ供給されるベーパの蒸気圧調節が容易な化学気相蒸着工程の原料物質供給装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するための本発明の化学気相蒸着工程の原料物質供給装置は、液相の原料物質を気化させて蒸着部へ供給するバブラと、バブラへ供給される液相の原料物質を予め貯蔵して予熱し多数の中空型細管を通じてバブラへ供給する原料タンクと、を備え、バブラ内部の原料物質が徐々に気化されるにつれて原料タンクの内部圧を増加させ、バブラへ連続的に原料物質を供給することにより、バブラ内部の原料物質の量と蒸気圧を一定に維持することを特徴とする。
【００１６】
本発明では、バブラ内部の蒸気圧を測定するためにバブラに設けられる第１圧力測定器と、原料タンクの内部圧を測定するために原料タンクに設けられる第２圧力測定器と、をさらに備え、バブラ内部の蒸気圧が一定の範囲を維持するように原料タンクの内部圧が調節されると好ましい。
【００１７】
また、本発明では、原料タンクの内部圧とバブラ内部の蒸気圧との差が所定の圧力差以上に大きくなると、原料タンクに原料物質を補充すると良い。
【００１８】
さらに、本発明では、原料タンクへ不活性ガスを供給することにより、原料タンクの内部圧を徐々に増加させることもできる。
【００１９】
またさらに、原料タンクへ供給される不活性ガスは窒素ガスであると好ましい。
【００２０】
この原料物質供給装置の原料タンクには、原料物質の液位を測定するための多数のレベルセンサが設けられて、原料タンク内部の原料物質の液位が所定の高さ以下に低くなると、原料タンクに原料物質を補充すると好ましい。
【００２１】
また、本発明の原料タンクには、原料物質の重量を測定するための多数のロードセルが設けらて、原料タンク内部の原料物質の重量が所定の重量以下に低くなると、原料タンクに原料物質を補充すると良い。
【００２２】
この本発明では、バブラで原料物質の相変化が行われる間、周期的に原料タンクに原料物質を補充するとなお良い。
【００２３】
本発明の中空型細管は、バブラへ供給される原料物質内の異物質を濾過するフィルタリング機能を行うとなお好ましい。
【００２４】
また、本発明の原料タンク、中空型細管及びバブラは一つの恒温槽内に収容されて原料物質の温度を均一に維持させると良い。
【００２５】
さらにまた、本発明では、原料タンクの内部圧が過圧状態になると、圧力を低めるためのベントラインをさらに備えると好ましい。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な一実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。下記の説明において、本発明の要旨のみを明瞭にする目的で、関連した公知技術又は構成に関する具体的な説明は省略する。
【００２７】
図３は本発明の好ましい一実施形態による化学気相蒸着工程の原料物質供給装置３００を説明するための構成図である。図３に示したように、化学気相蒸着工程の原料物質供給装置３００は、バブラ３１０、原料タンク３２０、多数の配管及びセンサなどで構成される。バブラ３１０は原料タンク３２０における所定の配管を通じて補充される液相の原料物質（Ｃ・Ｉ）をベーパ（Ｖ・Ｏ）に相変化させる装置である。バブラ３１０内部のベーパ（Ｖ・Ｏ）は光ファイバ母材蒸着部へ供給される。バブラ３１０は内部バブラ３１１と外部バブラ３１３を備えている。内部バブラ３１１は外部からキャリアガス（Ｃ・Ｇ）が供給されて液相の原料物質（Ｃ・Ｉ）を気体状態に相変化させる。一方、原料物質供給装置３００のバブラ３１０へ供給される原料物質は、バブラ３１０内部の原料物質と温度条件などが同じ状態に変化されて供給されるが、各種の外部条件や原料物質の状態変化と完全に同じ状態に組成することは難しい。したがって、外部バブラ３１３は外部から補充される原料物質と内部バブラ３１１内部の原料物質との温度差など、原料物質の状態条件差を緩衝する。
【００２８】
原料タンク３２０は外部から供給される原料物質（Ｃ・Ｉ）を予熱してバブラ３１０へ供給する装置であって、流入部３２１と流出部３２３に分けられる。流入部３２１には外部から供給される原料物質（Ｃ・Ｉ）が貯蔵され、流出部３２３にはバブラ３１０へ供給される原料物質が貯蔵される。これはバブラ３１０に内部バブラ３１１と外部バブラ３１３を設けたのと同様に、外部から供給された原料物質（Ｃ・Ｉ）と原料タンク３２０内部で予熱された後にバブラ３１０へ供給される原料物質とをある程度分離する。これにより、バブラ３１０へ供給される原料物質の状態条件をバブラ３１０内部の原料物質の状態条件に最も近接させる。
【００２９】
バブラ３１０と原料タンク３２０は中空型細管３４０を介して接続されている。中空型細管３４０はバブラ３１０へ供給される原料物質内の異物質を濾過するフィルタリング機能を行う。一方、原料タンク３２０からバブラ３１０までの原料物質の供給経路を最小化するためにバブラ３１０と原料タンク３２０は一体型として製作されることが好ましく、中空型細管３４０はバブラ３１０の下部に設けることが好ましい。
【００３０】
バブラ３１０、原料タンク３２０及び中空型細管３４０は原料物質の状態条件を均一に維持させるために一つの恒温槽３３０内に設けられ、恒温槽３３０には必要に応じて加熱を行うように加熱装置（図示せず）が備えられる。
【００３１】
原料物質は外部から原料タンク３２０へ供給され原料タンク３２０内部で予熱された後、中空型細管３４０を介してバブラ３１０へ供給される。原料タンク３２０内部の原料物質とバブラ３１０内部の原料物質との温度差は原料タンク３２０内部で原料物質を予熱することにより補償される。バブラ３１０で行われる原料物質の相変化は原料物質の温度条件に応じて異なるので、上述したように原料タンク３２０で予熱するか、恒温槽３３０などを設ける。
【００３２】
一方、光ファイバ母材の蒸着状態はバブラ３１０から蒸着部へ供給されるベーパ（Ｖ・Ｏ）の蒸気圧条件により変化するので、バブラ３１０内部の蒸気圧を一定に維持することが光ファイバ母材の品質を左右する主要因となる。したがって、バブラ３１０内部では一定の速度で持続的な原料物質の相変化が進行され蒸気圧が一定に維持されることが好ましい。バブラ３１０内部で一定の速度で持続的な原料物質の相変化を進行させるためには、バブラ３１０内部の原料物質が消耗されるにつれて持続的に原料物質を供給すべきである。すなわち、不活性ガス又は新たな原料物質を原料タンク３２０内部へさらに供給することにより、バブラ３２０内部の原料物質を補充する。これは原料物質の温度条件のみならず、原料物質とキャリアガス（Ｃ・Ｇ）の接触時間に応じて変化するからである。さらに、このような接触時間は原料物質の液位に応じて変わる。
【００３３】
バブラ３１０内部の蒸気圧を一定に維持するために、バブラ３１０は蒸気圧を検知するための第１圧力センサ３５１を備え、蒸気圧を調節するための手段として原料タンク３２０へ／から不活性ガス（Ｇ・Ｉ）を供給／排出する方法を利用する。すなわち、バブラ３１０内部の蒸気圧が低くなる場合、原料タンク３２０へ不活性ガス（Ｇ・Ｉ）を供給することにより、バブラ３１０への原料物質供給を促進させてバブラ３１０内部の原料物質の量を増加させると同時に、原料物質の相変化を促進させる。同様に、バブラ３１０内部の蒸気圧が高くなる場合、ベントライン（ｖｅｎｔ　ｌｉｎｅ）３２５を通じて原料タンク３２０内部の不活性ガスを排出させてバブラ３１０内部の蒸気圧がそれ以上高くなることを防止する。原料タンク３２０へ供給される不活性ガス（Ｇ・Ｉ）としては窒素ガスが好ましい。
【００３４】
このように原料タンク３２０の圧力を調節してバブラ３１０内部の原料物質の量を持続的に一定に維持することにより、原料物質の相変化を一定の速度で進行させ、バブラ内部の蒸気圧も一定に維持される。
【００３５】
さらに、上述したように不活性ガスを供給又は排出する方法を用いて原料タンク３２０の内部圧を調節することにより、バブラ３１０内部の蒸気圧を調節することができる。したがって、光ファイバ母材の蒸着速度を調節して製造しようとする光ファイバに応じて適宜な光ファイバ母材蒸着条件を組成することができる。
【００３６】
一方、蒸着工程の進行によって原料タンク３２０内部の原料物質の量は持続的に減少するので、これを検知して原料物質補充可否を決定すべきである。原料タンク３２０内部の原料物質の量を検知する手段としては第２圧力センサ３５３、レベルセンサ３５５及びロードセル（ｌｏａｄ　ｃｅｌｌ）３５７などを選択的に使用することができる。
【００３７】
例えば、第２圧力センサ３５３を使用する方法は第１圧力センサ３５１との圧力差を算出することにより、原料タンク３２０内部の原料物質の量を検知することができる。これはベルヌーイの定理（Ｂｅｒｎｏｕｌｌｉ’ｓ　ｔｈｅｏｒｅｍ）から誘導された次の数式１から説明することができる。
【００３８】
【数１】
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【００３９】
ここで、Ｐｐは原料タンク３２０の内部圧、Ｐｂはバブラ３１０内部の蒸気圧、ｈｐは原料タンク３２０内部の原料物質の液位、ｈｂはバブラ３１０内部の原料物質の液位を示し、ρは原料物質の密度、ｇは重力を示す。この場合、原料物質の密度ρと重力ｇは同じなので、バブラ３１０と原料タンク３１０との圧力差はバブラ３１０と原料タンク３２０内部の原料物質の液位差として現れる。一方、バブラ３１０内部の原料物質の量と蒸気圧は一定に維持されているので、原料タンク３２０の圧力により原料タンク３２０の液位が変化する。従って、第２圧力センサ３５３から測定される原料タンク３２０の圧力により原料物質補充可否が決定される。
【００４０】
原料タンク３２０の液位が一定の高さ以下に低くなると、外部から原料物質（Ｃ・Ｉ）を補充する。この際、原料物質（Ｃ・Ｉ）の補充が行われる間に原料タンク３２０内部の不活性ガスを排出（Ｇ・Ｏ）させて内部圧を徐々に減らすべきである。原料タンク３２０に原料物質を補充する間にもバブラ３１０内部では持続的に原料物質の相変化が行われる。さらに、蒸着工程を持続的に進行させながら、原料タンク３２０に補充された原料物質を予熱するための充分な時間を確保するためには、原料タンク３２０の液位が低すぎる状態で多量の原料物質を一挙に補充することは好ましくない。
【００４１】
レベルセンサ３５５は光センサ、超音波センサ及び放射線液位系などを利用することができる。これは原料タンク３２０内部の原料物質液位の最低許容レベルを予め設定して液位が最低許容レベルに至ると、原料物質を補充する。レベルセンサ３５５を使用する場合も、原料物質が補充される間に原料タンク３１０内部の不活性ガスを排出（Ｇ・Ｏ）させて圧力を徐々に減らすべきである。一方、レベルセンサを使用する方法は原料物質の流動に応じてレベルセンサが原料物質の液位を誤検知することに注意する必要がある。
【００４２】
ロードセル３５７を使用する方法では原料タンク３２０内部の原料物質の重量を検知して原料物質補充可否を決定する。ロードセル３５７は重量に応じて発生する物理的な変形を電気信号に変換する装置であって、ひずみゲージを金属棒又は金属板などに取り付けたものである。ひずみゲージは重量による金属棒又は金属板の変形から電気的な抵抗の変化を検出する素子である。すなわち、ロードセル３５７を使用する方法とは電気的な抵抗の変化を用いて原料物質の重量変化を算出することである。ロードセル３５７を使用する方法はレベルセンサ３５５を使用する方法のように、原料タンク３２０内部の原料物質の最低許容重量を予め設定しておき原料物質の重量が最低許容重量に至ると、原料物質を補充する。ロードセル３５７を使用する場合も、原料物質が補充される間に原料タンク３２０内部の不活性ガスを排出（Ｇ・Ｏ）させて圧力を徐々に減らすようにする。
【００４３】
一方、上述したように原料物質の量を検知する手段無しに周期的に原料物質を補充する方法がある。これはバブラ３１０で消耗される原料物質が時間に応じて変動無しに一定の速度で消耗されるので、相変化進行時に一定の周期で補充することもできる。
【００４４】
上述したように、従来のバブラの液位を検知して原料物質を供給する方式とは異なり、本発明は原料タンク３２０内部の原料物質の量と内部圧を調節することで、バブラ３１０内部の原料物質の量と蒸気圧を一定に維持する。したがって、外部から原料物質が補充される間にもバブラ３１０は何の影響も受けず、光ファイバ母材蒸着のための原料物質の相変化を連続的に実行させることができる。
【００４５】
以上、本発明の詳細な説明では具体的な一実施形態について説明したが、本発明の範囲を逸脱しない限り、各種の変形が当該技術分野における通常の知識を持つ者により可能なのは明らかである。
【００４６】
【発明の効果】
上述したように、本発明の原料物質供給装置は、例えば、原料タンクの内部圧を調節することにより、バブラへの持続的な原料物質供給が容易になる。したがって、バブラ内部の原料物質の量を一定に維持することができ、相変化速度も一定になる。その結果、バブラへ新たに供給される原料物質の状態条件差を最小化することができる。さらに、原料物質供給装置内で機械的な摩擦を最小化すると同時に中空型細管を用いてフィルタリング機能を行うことにより、原料物質の汚染を防止する。その上、光ファイバ母材蒸着条件に合わせて窒素などの不活性ガスを用いて原料タンクの圧力を調節することにより、バブラの蒸気圧調節が容易になる。したがって、本発明は原料物質を補充する間にも蒸着工程を連続的に実行させると共に生産性も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の実施形態による化学気相蒸着工程の原料物質供給装置を説明するための構成図。
【図２】従来の他の実施形態による化学気相蒸着工程の原料物質供給装置を説明するための構成図。
【図３】本発明の好ましい一実施形態による化学気相蒸着工程の原料物質供給装置を説明するための構成図。
【符号の説明】
３１０　バブラ
３１１　内部バブラ
３１３　外部バブラ
３２０　原料タンク
３２１　流入部
３２３　流出部
３２５　ベントライン
３３０　恒温槽
３４０　中空型細管
３５１　第１圧力センサ
３５３　第２圧力センサ
３５５　レベルセンサ
３５７　ロードセル
Ｃ．Ｇ　キャリアガス
Ｃ．Ｉ　原料物質
Ｇ．Ｉ　不活性ガス
Ｇ．Ｏ　排出
Ｖ．Ｏ　ベーパ
【図１】
2004027365.tif 000004
【図２】
2004027365.tif 000005
【図３】
2004027365.tif 000006