(57)【要約】【課題】導電ペーストを用いた電気めっきでは得られない、均一な結晶構造を有する金属被膜を、無電解めっきによって、任意の微細な形状に形成するための無電解めっき用ペーストと、それを用いた金属構造体および微細金属部品の製造方法とを提供する。【解決手段】無電解めっき用ペースト１′は、触媒金属、または触媒金属と置換し得る金属にてその表面を形成した微細な触媒粉末１１を、結着剤１０とともにペースト化した。金属構造体の製造方法は、前駆体の表面に上記のペーストを塗布して下地層を形成した後、この下地層上に、無電解めっきによって金属被膜を成長させる。微細金属部品の製造方法は、その形状に対応する通孔を有する型体を、ペーストを介して基板上に接着、固定した後、通孔の底で露出した下地層上に、無電解めっきによって金属被膜を成長させる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）    無電解めっきの下地としての触媒機能を有する触媒金属、または
（２）    触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって触媒金属と置換し得る金属、
にて少なくともその表面を形成した微細な触媒粉末と、結着剤とを含有することを特徴とする無電解めっき用ペースト。
【請求項２】
（１）の触媒金属としてＰｄ、Ａｇ、Ａｕ、およびＰｔからなる群より選ばれた少なくとも１種を用いることを特徴とする請求項１記載の無電解めっき用ペースト。
【請求項３】
（２）の金属としてＳｎおよびＺｎからなる群より選ばれた少なくと１種を用いることを特徴とする請求項１記載の無電解めっき用ペースト。
【請求項４】
金属、樹脂またはセラミックスにて触媒粉末の核を形成して、その表面に（１）の触媒金属または（２）の金属を被覆したことを特徴とする請求項１記載の無電解めっき用ペースト。
【請求項５】
触媒粉末の核を、微細な金属粒が多数、鎖状に繋がった形状を有する金属粉末にて形成したことを特徴とする請求項４記載の無電解めっき用ペースト。
【請求項６】
さらに導電成分として、微細な金属粒が多数、鎖状に繋がった形状を有する金属粉末を含有することを特徴とする請求項１記載の無電解めっき用ペースト。
【請求項７】
金属構造体のもとになる、立体形状を有する前駆体の表面に、請求項１記載の無電解めっき用ペーストを塗布して下地膜を形成する工程と、
下地膜の表面に露出した触媒粉末の触媒機能を利用して、無電解めっきにより、当該下地膜の表面に金属被膜を成長させる工程と、
を含むことを特徴とする金属構造体の製造方法。
【請求項８】
（２）の金属で表面を形成した触媒粉末を用いるとともに、当該触媒粉末の、下地膜の表面に露出した部分の（２）の金属を、（１）の触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって、部分的に触媒金属と置換して触媒機能を付与する工程を含むことを特徴とする請求項７記載の金属構造体の製造方法。
【請求項９】
無電解めっきによって成長させた金属被膜を電極とする電気めっきにより、金属被膜をさらに成長させる工程を含むことを特徴とする請求項７記載の金属構造体の製造方法。
【請求項１０】
請求項１記載の無電解めっき用ペーストを基板上に塗布したのち、その上に、微細金属部品の形状に対応した通孔パターンを有する型体を重ねた状態でペーストを固化させることで、下地膜を形成するとともに、基板と型体とを固定して型を作製する工程と、
下地膜の表面に露出した触媒粉末の触媒機能を利用して、無電解めっきにより、型の、通孔パターンの部分で露出した下地膜の表面に選択的に、当該通孔パターンの形状に対応した金属被膜を成長させる工程と、
を含むことを特徴とする微細金属部品の製造方法。
【請求項１１】
（２）の金属で表面を形成した触媒粉末を用いるとともに、当該触媒粉末の、下地膜の表面に露出した部分の（２）の金属を、（１）の触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって、部分的に触媒金属と置換して触媒機能を付与する工程を含むことを特徴とする請求項１０記載の微細金属部品の製造方法。
【請求項１２】
無電解めっきによって成長させた金属被膜を電極とする電気めっきにより、金属被膜をさらに成長させる工程を含むことを特徴とする請求項１０記載の微細金属部品の製造方法。
【請求項１３】
請求項１記載の無電解めっき用ペーストを用いて、基板上に、微細金属部品の形状に対応した下地膜をパターン形成する工程と、
下地膜の表面に露出した触媒粉末の触媒機能を利用して、無電解めっきにより、基板上の、下地膜の表面に選択的に、当該下地膜の形状に対応した金属被膜を成長させる工程と、
を含むことを特徴とする微細金属部品の製造方法。
【請求項１４】
（２）の金属で表面を形成した触媒粉末を用いるとともに、当該触媒粉末の、下地膜の表面に露出した部分の（２）の金属を、（１）の触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって、部分的に触媒金属と置換して触媒機能を付与する工程を含むことを特徴とする請求項１３記載の微細金属部品の製造方法。
【請求項１５】
無電解めっきによって成長させた金属被膜を電極とする電気めっきにより、金属被膜をさらに成長させる工程を含むことを特徴とする請求項１３記載の微細金属部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、新規な無電解めっき用のペーストと、それを用いた、無電解めっきによる金属構造体および微細金属部品の製造方法とに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、導電成分としての微細な金属粉末を、樹脂等の結着剤とともに溶剤中に分散した導電ペーストを用いて任意形状の導電膜を形成し、この導電膜を電極として、電気めっきによって金属被膜を成長させる技術がある（例えば特許文献１など）。
かかる技術を応用して、上述した金属構造体や微細金属部品などを製造することが検討される。
【０００３】
例えば電池用の極板等に好適な金属多孔質体などの、複雑でかつ微細な立体形状を有する金属構造体は、ウレタンフォームなどの樹脂製の多孔質体を前駆体として、その表面に、導電ペーストを塗布して導電膜を形成し、この導電膜を電極とする電気めっきによって金属被膜を成長させた後、さらに必要に応じて、熱処理によって前駆体や導電膜中の樹脂分などを焼成、除去することによって製造することが考えられる。
【０００４】
また、例えばＬＳＩをはじめとする半導体チップの機能部品や、あるいはマイクロマシンの部品などとして用いられる、厚みが１００μｍ超程度で、かつサブミクロンオーダーの精度を有する、微細な立体形状を備えた微細金属部品を、上記導電ペーストを用いて製造するためには、例えば下記の方法などが考えられる。
すなわち金属板などの、導電性の基板の表面にまず導電ペーストを塗布したのち、その上に、微細金属部品の形状に対応した通孔パターンを有する樹脂等の、絶縁性の型体を重ねた状態で、導電ペーストを固化させて導電膜を形成するとともに、基板と型体とを固定して型を形成する。
【０００５】
次にこの型の、通孔パターンの部分で露出した導電膜の表面に選択的に、当該導電膜を電極とする電気めっきによって、通孔パターンの形状に対応した金属被膜を成長させる。
そして型を形成する基板、型体および導電膜を除去することによって、微細金属部品を製造する。
また、微細金属部品の他の製造方法としては、絶縁性の基板の表面に、印刷法などによって導電ペーストをパターン形成して、微細金属部品の形状に対応した導電膜を作製し、この導電膜を電極とする電気めっきによって、基板上の、導電膜の表面に選択的に、当該導電膜の形状に対応した金属被膜を成長させた後、基板と導電膜とを除去する方法も考えられる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平９−３１６８４号公報（第０００７欄〜第００１２欄）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の導電ペーストに導電成分として含まれる金属粉末の平均粒径は１μｍ以上であって、金属構造体や微細金属部品に含まれる微細な立体形状などと比較してもあまり小さくない。
このため、従来の導電ペーストを用いて形成した導電膜の表面を、これら微細な形状のレベルで微視的に見ると、金属粉末が露出した導電部分と、その間の絶縁部分とが、金属粉末の大きさにあわせて不規則な斑状に分布した状態となっており、電気的に均一でない。また導電膜の表面は、上述した金属粉末の大きさに対応した、微細な立体形状や平面形状に比べてあまり小さくない凹凸を有しており、平坦でもない。
【０００８】
電気めっきによる金属被膜の結晶構造は下地の影響を受けやすく、上記のようにその表面が電気的に均一でない上、平坦でもない導電膜を下地として金属被膜を成長させた際には、特に成膜初期の段階で生成する結晶粒の粒径が、例えば平坦な金属表面に金属被膜を成長させた際に得られる本来の粒径よりもかなり大きくなる傾向を示す。
そして膜の成長が進み、その表面が平坦な金属面に近づいた段階で、はじめて、平坦な金属表面に成長させた場合と同等の本来の粒径を有する結晶粒が生成するようになり、その後はこの粒径で膜が成長する。
【０００９】
このため、導電膜上に電気めっきによって成長させた金属被膜は、その厚み方向の全体にわたって均一な結晶構造を有するものとはならず、金属の結晶粒の粒径が、厚み方向で不連続に変化した分布を有するものとなる。
つまり金属の結晶粒の粒径が本来の粒径よりも大きい領域と、その上の、本来の粒径である領域との２層構造に形成される。
そして下側の、金属の結晶粒の粒径が本来の粒径よりも大きい領域では、所期の物理的、機械的あるいは電気的特性が得られないため、金属被膜の全体として見たときにも、物理的、機械的あるいは電気的特性が、目的とする値に達し得ないという問題を生じる。
【００１０】
また金属被膜は、上記のように物理的、機械的特性が相違する部分を内包するため、温度変化等の外的条件の変化によって歪みを生じたり、場合によっては破損したりするおそれもある。
この発明の第１の目的は、導電ペーストを用いた電気めっきでは得られない、均一な結晶構造を有する金属被膜を、無電解めっきによって、任意の微細な形状に形成するための、新規な無電解めっき用ペーストを提供することにある。
【００１１】
またこの発明の第２の目的は、かかる無電解めっき用ペーストを用いた、金属構造体および微細金属部品の製造方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
請求項１記載の発明は、
（１）    無電解めっきの下地としての触媒機能を有する触媒金属、または
（２）    触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって触媒金属と置換し得る金属、
にて少なくともその表面を形成した微細な触媒粉末と、結着剤とを含有することを特徴とする無電解めっき用ペーストである。
【００１３】
請求項１の構成によれば、当該無電解めっき用ペーストを用いて下地膜を形成したのち、無電解めっき液と接触させると、下地膜の表面に露出した触媒粉末の触媒機能により、当該下地膜の表面に、無電解めっきによって金属被膜を成長させることができる。
しかもこの金属被膜は、電気めっきによるもののように下地に影響されず、析出初期から既に、結晶粒が、金属本来の粒径に形成される。このため、厚み方向の全体にわたって結晶粒が金属本来の粒径に形成された、均一な結晶構造を有し、金属本来の持つ所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮し得る金属被膜を形成することができる。
【００１４】
さらに無電解めっき用ペーストは、従来の、電気めっき用の導電ペーストと同様の使い方をすることができる。すなわち無電解めっき用ペーストを、立体形状を有する下地上に塗布することで、任意の立体形状を有する下地膜を形成したり、あるいは印刷法などによってパターン形成することで、任意の平面形状を有する下地膜を形成したりできる。このため形成した下地膜上に、無電解めっきによって金属被膜を成長させることによって、当該金属被膜に任意の、微細な立体形状や平面形状を付与することができる。
【００１５】
したがって請求項１の構成によれば、導電ペーストを用いた電気めっきでは得られない、均一な結晶構造を有する金属被膜を、無電解めっきによって、任意の微細な形状に形成することが可能となる。
請求項２記載の発明は、（１）の触媒金属としてＰｄ、Ａｇ、Ａｕ、およびＰｔからなる群より選ばれた少なくとも１種を用いることを特徴とする請求項１記載の無電解めっき用ペーストである。
【００１６】
請求項２の構成によれば、これらの触媒金属が、無電解めっきの下地として特に良好な触媒機能を有するため、下地膜の表面に、より一層、均一でかつ緻密な金属被膜を形成することが可能となる。
請求項３記載の発明は、（２）の金属としてＳｎおよびＺｎからなる群より選ばれた少なくとも１種を用いることを特徴とする請求項１記載の無電解めっき用ペーストである。
【００１７】
請求項３の構成によれば、上記ＳｎやＺｎが、（１）の触媒金属のイオンを含む溶液と接触させた際に、より速やかに、かつ効率よく、触媒金属と置換するため、下地膜の表面に、より効率よく触媒機能を付与することができる。
しかもＳｎやＺｎは、（１）の触媒金属よりも安価であるため、高価な触媒金属の使用量を必要最小限に抑えて、無電解めっき用ペーストの、ひいては、かかる無電解めっき用ペーストを用いて製造する金属構造体や微細金属部品の製造コストを大幅に低減することができる。
【００１８】
請求項４記載の発明は、金属、樹脂またはセラミックスにて触媒粉末の核を形成して、その表面に（１）の触媒金属または（２）の金属を被覆したことを特徴とする請求項１記載の無電解めっき用ペーストである。
請求項４の構成によれば、触媒粉末の全体を（１）の触媒金属にて形成する場合に比べて、やはり高価な触媒金属の使用量を必要最小限に抑えて、無電解めっき用ペーストの、ひいては、かかる無電解めっき用ペーストを用いて製造する金属構造体や微細金属部品の製造コストを大幅に低減することができる。
【００１９】
請求項５記載の発明は、触媒粉末の核を、微細な金属粒が多数、鎖状に繋がった形状を有する金属粉末にて形成したことを特徴とする請求項４記載の無電解めっき用ペーストである。
請求項５の構成によれば、かかる鎖状の金属粉末を核とする鎖状の触媒粉末が、粒状などのその他の形状を有する触媒粉末に比べて、結着剤に対する分散性に優れるため、当該触媒粉末を、下地膜の表面の全面に、より均一に分散させることができる。したがって無電解めっきによって、下地膜の表面の全面で、金属被膜をほぼ同時かつ均一に成長させて、厚みや結晶構造の均一な金属被膜を形成することができる。
【００２０】
また鎖状の触媒粉末は、鎖の長さと径との比がおよそ１０〜１００程度と大きい上、適度に枝分かれした構造を有する場合もあり、下地膜中で互いに接続して良好な導電ネットワークを形成しやすいため、当該下地膜の導電性を向上することもできる。このため、例えば後述するように、下地膜の上に形成した金属被膜を電極として、電気めっきにより、金属被膜をさらに成長させる際に、当該下地膜を、電極としての金属被膜への給電部として利用できるという利点もある。
【００２１】
請求項６記載の発明は、さらに導電成分として、微細な金属粒が多数、鎖状に繋がった形状を有する金属粉末を含有することを特徴とする請求項１記載の無電解めっき用ペーストである。
請求項６の構成によれば、鎖状の金属粉末が、上記と同様に鎖の長さと径との比がおよそ１０〜１００程度と大きい上、適度に枝分かれした構造を有する場合もあり、下地膜中で互いに接続して良好な導電ネットワークを形成しやすいため、やはり下地膜の導電性を向上することができる。したがって下地膜を、先の場合と同様に、電極としての金属被膜への給電部として利用できるという利点がある。なおこの場合、触媒粉末は鎖状でもよいし、粒状その他の形状でも良い。
【００２２】
請求項７記載の発明は、金属構造体のもとになる、立体形状を有する前駆体の表面に、請求項１記載の無電解めっき用ペーストを塗布して下地膜を形成する工程と、
下地膜の表面に露出した触媒粉末の触媒機能を利用して、無電解めっきにより、当該下地膜の表面に金属被膜を成長させる工程と、
を含むことを特徴とする金属構造体の製造方法である。
【００２３】
請求項７の構成によれば、前述した触媒金属の触媒機能を利用した無電解めっきの効果によって、前駆体の表面に、厚み方向の全体にわたって結晶粒が金属本来の粒径に形成された、均一な結晶構造を有する金属被膜を形成することができる。したがって金属本来の持つ、所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮し得る、良好な特性を有する金属構造体を製造することができる。
請求項８記載の発明は、（２）の金属で表面を形成した触媒粉末を用いるとともに、当該触媒粉末の、下地膜の表面に露出した部分の（２）の金属を、（１）の触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって、部分的に触媒金属と置換して触媒機能を付与する工程を含むことを特徴とする請求項７記載の金属構造体の製造方法である。
【００２４】
請求項８の構成によれば、触媒粉末の、下地膜の表面に露出した、触媒として機能させるのに必要最小限の範囲の表面においてのみ、部分的に、当該表面を覆う（２）の金属を、（１）の触媒金属に置換して触媒機能を付与している。このため高価な触媒金属の使用量を必要最小限に抑えて、金属構造体の製造コストを大幅に低減することができる。
請求項９記載の発明は、無電解めっきによって成長させた金属被膜を電極とする電気めっきにより、金属被膜をさらに成長させる工程を含むことを特徴とする請求項７記載の金属構造体の製造方法である。
【００２５】
請求項９の構成によれば、電気めっきを加えることによって、無電解めっきだけでは形成が困難な、肉厚の金属被膜を有する金属構造体を製造することができる。
しかも、このようにして形成した金属被膜は、無電解めっきによって形成した部分と、当該部分の表面に電気めっきによって成長させた部分とが、厚み方向の全体にわたって連続した、均一な結晶構造を呈する。このため金属本来の持つ、所期の物理的、機械的、電気的な特性を損なうことなく、良好な特性を有する金属構造体を製造することができる。
【００２６】
請求項１０記載の発明は、請求項１記載の無電解めっき用ペーストを基板上に塗布したのち、その上に、微細金属部品の形状に対応した通孔パターンを有する型体を重ねた状態でペーストを固化させることで、下地膜を形成するとともに、基板と型体とを固定して型を作製する工程と、
下地膜の表面に露出した触媒粉末の触媒機能を利用して、無電解めっきにより、型の、通孔パターンの部分で露出した下地膜の表面に選択的に、当該通孔パターンの形状に対応した金属被膜を成長させる工程と、
を含むことを特徴とする微細金属部品の製造方法である。
【００２７】
請求項１０の構成によれば、前述した触媒金属の触媒機能を利用した無電解めっきの効果によって、型の、通孔パターンの部分で露出した下地膜の表面に選択的に、前記と同様に均一な結晶構造を有する金属被膜を形成することができる。したがって良好な特性を有する微細金属部品を製造することができる。
請求項１１記載の発明は、（２）の金属で表面を形成した触媒粉末を用いるとともに、当該触媒粉末の、下地膜の表面に露出した部分の（２）の金属を、（１）の触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって、部分的に触媒金属と置換して触媒機能を付与する工程を含むことを特徴とする請求項１０記載の微細金属部品の製造方法である。
【００２８】
請求項１１の構成によれば、前記と同様に高価な触媒金属の使用量を必要最小限に抑えて、微細金属部品の製造コストを大幅に低減することができる。
請求項１２記載の発明は、無電解めっきによって成長させた金属被膜を電極とする電気めっきにより、金属被膜をさらに成長させる工程を含むことを特徴とする請求項１０記載の微細金属部品の製造方法である。
請求項１２の構成によれば、前記と同様に電気めっきを加えることによって、無電解めっきだけでは形成が困難な肉厚の金属被膜を有する微細金属部品を製造できる。
【００２９】
しかも形成した金属被膜は、無電解めっきによって形成した部分と電気めっきによって成長させた部分とが、連続した均一な結晶構造を呈するため、金属本来の持つ、所期の物理的、機械的、電気的な特性を損なうことなく、良好な特性を有する微細金属部品を製造することができる。
請求項１３記載の発明は、請求項１記載の無電解めっき用ペーストを用いて、基板上に、微細金属部品の形状に対応した下地膜をパターン形成する工程と、
下地膜の表面に露出した触媒粉末の触媒機能を利用して、無電解めっきにより、基板上の、下地膜の表面に選択的に、当該下地膜の形状に対応した金属被膜を成長させる工程と、
を含むことを特徴とする微細金属部品の製造方法である。
【００３０】
請求項１３の構成によれば、前述した触媒金属の触媒機能を利用した無電解めっきの効果によって、基板上にパターン形成した下地膜の表面に選択的に、前記と同様に均一な結晶構造を有する金属被膜を形成して、良好な特性を有する微細金属部品を製造することができる。
請求項１４記載の発明は、（２）の金属で表面を形成した触媒粉末を用いるとともに、当該触媒粉末の、下地膜の表面に露出した部分の（２）の金属を、（１）の触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって、部分的に触媒金属と置換して触媒機能を付与する工程を含むことを特徴とする請求項１３記載の微細金属部品の製造方法である。
【００３１】
請求項１４の構成によれば、前記と同様に高価な触媒金属の使用量を必要最小限に抑えて、微細金属部品の製造コストを大幅に低減することができる。
請求項１５記載の発明は、無電解めっきによって成長させた金属被膜を電極とする電気めっきにより、金属被膜をさらに成長させる工程を含むことを特徴とする請求項１３記載の微細金属部品の製造方法である。
請求項１５の構成によれば、電気めっきを加えることによって、無電解めっきだけでは形成が困難な肉厚の金属被膜を有する微細金属部品を製造できる。
【００３２】
しかも形成した金属被膜は、やはりその厚み方向の全体にわたって連続した均一な結晶構造を呈するため、金属本来の持つ、所期の物理的、機械的、電気的な特性を損なうことなく、良好な特性を有する微細金属部品を製造することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明を説明する。
〈無電解めっき用ペースト〉
この発明の無電解めっき用ペーストは、前記のように
（１）    無電解めっきの下地としての触媒機能を有する触媒金属、または
（２）    触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって触媒金属と置換し得る金属、
にて少なくともその表面を形成した微細な触媒粉末と、結着剤とを含有するものである。
【００３４】
上記のうち（１）の触媒金属としては、Ｐｄ、Ａｇ、Ａｕ、およびＰｔからなる群より選ばれた少なくとも１種を挙げることができる。また、（２）の金属としてはＳｎまたはＺｎを挙げることができる。
また触媒粉末は、金属、樹脂またはセラミックスにて触媒粉末の核を形成して、その表面に（１）の触媒金属または（２）の金属を被覆して形成するのが好ましく、かかる核としては、微細な金属粒が多数、鎖状に繋がった形状を有する鎖状の金属粉末が好ましい。
【００３５】
また無電解めっき用ペーストには、上記の各成分に加えて、さらに鎖状の金属粉末を、導電成分として配合しても良い。その場合、触媒粉末は鎖状でもよいし、粒状その他の形状でも良い。
これらの理由は先に述べたとおりである。
（鎖状の金属粉末）
触媒粉末の核として使用したり、あるいは導電成分として配合したりする鎖状の金属粉末としては、気相法、液相法等の種々の方法で製造される、鎖状構造を有する種々の金属粉末が、いずれも使用可能である。
【００３６】
鎖状の金属粉末を形成する個々の金属粒の粒径はサブミクロンオーダー、特に４００ｎｍ以下であるのが好ましい。また鎖の径は１μｍ以下であるのが好ましい。
触媒粉末の核としての、鎖状の金属粉末を構成する個々の金属粒の粒径、および鎖の径が上記の範囲内であれば、結着剤に対する分散性を向上させて、下地膜の表面に、触媒粉末をより均一に分散させることができる。したがって無電解めっきによって、下地膜の表面の全面で、金属被膜をほぼ同時かつ均一に成長させて、厚みや結晶構造の均一な金属被膜を形成する効果をより一層、向上することができる。
【００３７】
また下地膜中で、触媒粉末による良好な導電ネットワークを形成して、当該下地膜に、電気めっき時の給電部として使用するための良好な導電性を付与することもできる。
また、鎖状の金属粉末を導電成分として使用する場合に、当該金属粉末を構成する個々の金属粒の粒径、および鎖の径を前記の範囲内とすれば、やはり結着剤に対する分散性を向上させて、下地膜中で、金属粉末による良好な導電ネットワークを形成して、当該下地膜に良好な導電性を付与することができる。
【００３８】
なお金属粒の粒径は、結着剤への分散性をさらに向上することを考慮すると、上記の範囲内でも特に２００ｎｍ以下であるのがさらに好ましい。ただし粒径があまりに小さすぎると、鎖状に繋がれた金属粉末自体のサイズが小さくなりすぎて、前述したように下地膜中で、良好な導電ネットワークを形成する効果が十分に得られないおそれがある。したがって金属粒の粒径は１０ｎｍ以上であるのが好ましい。
【００３９】
また鎖の径は、これも結着剤への分散性をさらに向上することを考慮すると、上記の範囲内でも特に４００ｎｍ以下であるのがさらに好ましい。ただし鎖の径があまりに小さすぎると、無電解めっき用ペーストを製造する際や塗布する際の応力程度で、鎖が簡単に切れてしまうおそれがある。したがって鎖の径は１０ｎｍ以上であるのが好ましい。
上記鎖状の金属粉末としては、当該金属粉末、またはこの金属粉末を形成する個々の金属粒を、常磁性を有する金属単体、常磁性を有する２種以上の金属の合金、常磁性を有する金属と他の金属との合金、もしくは常磁性を有する金属を含む複合体にて形成したものが好ましい。
【００４０】
後述する還元析出法などによって、常磁性を有する金属を含む、サブミクロンオーダーの微細な金属粒を析出させると、当該金属粒が、単結晶構造か、もしくはそれに近い構造に形成されるため、単純に２極に分極する。そして多数個が互いに鎖状に繋がることで、鎖状の金属粉末が自動的に形成される。
したがって鎖状の金属粉末の製造が容易であり、無電解めっき用ペーストの生産効率の向上やコストダウンなどが可能となる。
【００４１】
また上記金属粉末としては、次に述べるように多数の微細な金属粒が単に磁力によって鎖状に繋がったものから、繋がった金属粒の周囲にさらに金属層が析出して金属粒間が強固に結合されたものまで種々の構造を有するものが含まれるが、このいずれのものにおいても、基本的に金属粒は磁力を保持している。
このため、例えば無電解めっき用ペーストを製造する際や塗布する際の応力程度では鎖が簡単に切れたりしない上、もし切れた場合でも、応力が加わらなくなった時点で鎖の再結合等を生じやすい。しかも塗布後の塗膜中では、複数の触媒粉末、または金属粉末が、金属粒の磁力に基づいて互いに接触して導電ネットワークを形成しやすい。よって下地膜に、さらに良好な導電性を付与することも可能である。
【００４２】
かかる、常磁性を有する金属を含む金属粉末の具体例としては、下記（ａ）〜（ｆ）のいずれか１種、もしくは２種以上の混合物などが挙げられる。
（ａ）    図１（ａ）に一部を拡大して示すように、常磁性を有する金属単体、常磁性を有する２種以上の金属の合金、または常磁性を有する金属と他の金属との合金から形成したサブミクロンオーダーの金属粒ｍ１を、自身の磁性によって多数個、鎖状に繋がらせた金属粉末１１Ａ。
（ｂ）    図１（ｂ）に一部を拡大して示すように、上記（ａ）の金属粉末１１Ａの表面にさらに、常磁性を有する金属単体、常磁性を有する２種以上の金属の合金、または常磁性を有する金属と他の金属との合金からなる金属層ｍ２を析出させて、金属粒間を強固に結合した金属粉末１１Ｂ。
（ｃ）    図１（ｃ）に一部を拡大して示すように、上記（ａ）の金属粉末１１Ａの表面にさらに、他の金属や合金からなる金属層ｍ３を析出させて、金属粒間を強固に結合した金属粉末１１Ｃ。
（ｄ）    図１（ｄ）に一部を拡大して示すように、上記（ｂ）の金属粉末１１Ｂの表面にさらに、他の金属や合金からなる金属層ｍ４を析出させて、金属粒間を強固に結合した金属粉末１１Ｄ。
（ｅ）    図１（ｅ）に一部を拡大して示すように、常磁性を有する金属単体、常磁性を有する２種以上の金属の合金、または常磁性を有する金属と他の金属との合金から形成した粒状の芯材ｍ５ａの表面を、他の金属や合金からなる被覆層ｍ５ｂで被覆して複合体ｍ５を得、この複合体ｍ５を金属粒として、芯材ｍ５ａの磁性によって多数個、鎖状に繋がらせた金属粉末１１Ｅ。
（ｆ）    図１（ｆ）に一部を拡大して示すように、上記（ｅ）の金属粉末１１Ｅの表面にさらに、他の金属や合金からなる金属層ｍ６を析出させて、金属粒間を強固に結合した金属粉末１１Ｆ。
【００４３】
なお図では、金属層ｍ２、ｍ３、ｍ４およびｍ６や、被覆層ｍ５を単層として記載しているが、各層はいずれも、同一または異なる金属材料からなる２層以上の積層構造を有していてもよい。
上記のうち常磁性を有する金属単体、常磁性を有する２種以上の金属の合金、または常磁性を有する金属と他の金属との合金によって形成される金属粉末または金属粒の全体、もしくは
常磁性を有する金属を含む複合体によって形成される金属粉末または金属粒のうち、常磁性を有する金属を含む部分は、
前述したように還元析出法によって、その形成材料である常磁性を有する金属のイオンを含む溶液に還元剤を加えることで、液中に析出させて形成するのが好ましい。
【００４４】
還元析出法に用いる還元剤としては、３価のチタンイオン（Ｔｉ３＋）が好ましい。
還元剤として３価のチタンイオンを用いた場合には、金属粉末を形成した後の、チタンイオンが４価に酸化した水溶液を電解再生して、チタンイオンを再び３価に還元することによって繰り返し、金属粉末の製造に利用可能な状態に再生できるという利点がある。
【００４５】
また還元剤として３価のチタンイオンを用いた還元析出法としては、四塩化チタンなどの、４価のチタン化合物の水溶液を電解して、４価のチタンイオンの一部を３価に還元して還元剤水溶液を調製した後、この還元剤水溶液と、金属粉末のもとになる金属のイオンを含む水溶液（反応液）とを混合して、３価のチタンイオンが４価に酸化する際の還元作用によって金属のイオンを還元、析出させて金属粉末を製造する方法が好ましい。
【００４６】
この方法においては、還元析出時に、あらかじめ系中に存在する４価のチタンイオンが、金属粒の成長を抑制する成長抑制剤として機能する。
また還元剤水溶液中で、３価のチタンイオンと４価のチタンイオンとは、複数個ずつがクラスターを構成して、全体として水和および錯体化した状態で存在する。
このため１つのクラスター中で、３価のチタンイオンによる、金属粒を成長させる機能と、４価のチタンイオンによる、金属粒の成長を抑制する機能とが、１つの同じ金属粒に作用しながら、金属粒と、それが多数繋がった金属粉末とが形成される。
【００４７】
したがって前述した、平均粒径が４００ｎｍ以下という微細な金属粒を、容易に製造することができる。
しかもこの製造方法では、電解条件を調整して、還元剤水溶液中における、３価のチタンイオンと４価のチタンイオンとの存在比率を調整することによって、上述した、クラスター中での両イオンの、相反する機能の割合を制御できるため、金属粒の粒径を任意に制御することも可能である。
【００４８】
また、このあとさらに析出を続けると、上記金属粉末の表面にさらに金属層が析出して、金属粒同士を強固に結合する。
つまり前記（ａ）（ｂ）などの金属粉末１１Ａ、１１Ｂや、その元になる金属粒ｍ１、あるいは前記（ｅ）（ｆ）の金属粉末１１Ｅ、１１Ｆの元になる複合体ｍ５のうち芯材ｍ５ａなどが、上記の方法によって製造される。
また上記金属粒ｍ１や芯材ｍ５ａは個々の粒径が揃っており、粒度分布がシャープである。これは、還元反応が系中で均一に進行するためである。
【００４９】
したがって、かかる金属粒ｍ１や芯材ｍ５ａから製造される金属粉末１１Ａ〜１１Ｆや、当該金属粉末１１Ａ〜１１Ｆを核とする触媒粉末は、結着剤への分散性に優れている。
金属粒や芯材等を析出させた後の還元剤溶液は、前記のように電解再生を行うことで、何度でも繰り返し、還元析出法による鎖状の金属粉末の製造に利用することができる。すなわち、金属粒や芯材等を析出させた後の還元剤溶液を電解槽に入れるなどして電圧を印加することで、４価のチタンイオンを３価に還元してやれば、再び電解析出用の還元剤溶液として使用することができる。これは、電解析出時にチタンイオンが殆ど消費されない、つまり析出させる金属とともに析出されないためである。
【００５０】
金属粒や芯材等を形成する、常磁性を有する金属または合金としては、例えばＮｉ、Ｆｅ、Ｃｏおよびこれらのうち２種以上の合金等を挙げることができ、特にＮｉ単体やＣｏ単体、あるいはＮｉ−Ｆｅ合金（パーマロイ）等が好適に使用される。かかる金属や合金にて形成した、特に金属粒は、鎖状に繋がる際の磁気的な相互作用が強いため、金属粒間の接触抵抗を低減する効果に優れている。
また上記の、常磁性を有する金属や合金とともに、前記（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）の複合体を形成する他の金属としてはＡｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、Ｒｈなどの、イオン化ポテンシャルが基体金属より大きいものを挙げることができる。
【００５１】
複合体のうち、上記他の金属で形成される部分は、例えば無電解めっき法、電気めっき法、還元析出法、真空状着法などの種々の成膜方法によって形成できる。
（触媒粉末その１）
鎖状の金属粉末を核とする触媒粉末は、例えば上記（ａ）〜（ｆ）の鎖状の金属粉末１１Ａ〜１１Ｆの、いずれかの表面にさらに、前記（１）の触媒金属、または（２）の金属を被覆して形成する。
【００５２】
あるいはまた、前記（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）の複合体を形成する他の金属として、（１）の触媒金属、もしくは（２）の金属を用いたものも、触媒粉末として使用可能である。
（１）の触媒金属や（２）の金属を鎖状の金属粉末の表面に被覆する方法としては、上記と同様に無電解めっき法、電気めっき法、還元析出法、真空状着法などの種々の成膜方法を採用することができる。
【００５３】
触媒粉末の平均粒径は、３μｍ以下であるのが好ましい。
平均粒径をこの範囲内とすることで、触媒粉末の、結着剤への分散性を向上して、下地膜の表面に、触媒粉末をより均一に分散させることができる。したがって無電解めっきによって、下地膜の表面の全面で、金属被膜をほぼ同時かつ均一に成長させて、厚みや結晶構造の均一な金属被膜を形成する効果をより一層、向上することができる。
【００５４】
また、下地膜中で良好な導電ネットワークを形成して、当該下地膜に、電気めっき時の給電部として使用するための良好な導電性を付与することもできる。
かかる鎖状の触媒粉末は、単独で使用しても良いし、導電成分としての鎖状の金属粉末と併用しても良い。併用系では、触媒粉末と金属粉末とによって、さらに良好な導電ネットワークを形成することができる。
（触媒粉末その２）
粒状等の、鎖状以外の形状を有する触媒粉末としては、例えば
（ｉ）    前記（１）の触媒金属、または（２）の金属のみで形成した単一構造を有するもの、および
（ｉｉ）  金属、樹脂またはセラミックスにて粒状等に形成した触媒粉末の核を、（１）の触媒金属、または（２）の金属で被覆した複合構造を有するもの、
のうちの少なくとも一方を挙げることができる。
【００５５】
このうち（ｉ）の触媒粉末は、（１）の触媒金属、または（２）の金属を原料として、機械的粉砕法、アトマイズ法、気相還元法、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法、電解析出法、還元析出法などの種々の方法によって製造することができる。
また（ｉｉ）の触媒粉末は、従来公知の種々の方法で製造した核を、先に述べた無電解めっき法、電気めっき法、還元析出法、真空状着法などの種々の成膜方法によって、（１）の触媒金属、または（２）の金属で被覆して製造することができる。
【００５６】
かかる触媒粉末は単独で使用しても良いが、下地膜を、電気めっき時の給電部として使用することなどを考慮すると、鎖状の触媒粉末や、あるいは導電成分としての鎖状の金属粉末と併用するのが好ましい。
これらの併用系に用いる粒状等の触媒粉末は、鎖状の触媒粉末や金属粉末よりも粒径が小さいことが好ましく、特に平均粒径が４００ｎｍ以下であるのが好ましい。
【００５７】
粒径がこの範囲内である粒状等の触媒粉末は、下地膜の表面で、鎖状の触媒粉末や金属粉末の隙間を埋めて均一に分散する。したがって無電解めっきによって、下地膜の表面の全面で、金属被膜をほぼ同時かつ均一に成長させて、厚みや結晶構造の均一な金属被膜を形成する効果をより一層、向上することができる。
（結着剤）
上記触媒粉末などとともに無電解めっき用ペーストを形成する結着剤としては、従来の、導電ペースト用の結着剤として公知の種々の化合物がいずれも使用可能である。かかる結着剤としては、例えば熱可塑性樹脂や硬化性樹脂、液状硬化性樹脂などを挙げることができ、特にアクリル系樹脂、フッ素系樹脂、フェノール系樹脂等が好ましい。
【００５８】
（無電解めっき用ペースト）
無電解めっき用ペーストは、触媒粉末と結着剤と、さらに必要に応じて導電成分としての金属粉末とを、適当な溶媒とともに所定の割合で配合して製造する。また、液状硬化性樹脂等の液状の結着剤を用いて溶媒を省略してもよい。
上記各成分の割合は特に限定されないが、固形分、すなわち触媒粉末と結着剤との総量に対する触媒粉末の割合は、５〜９５重量％とするのが好ましい。
【００５９】
触媒粉末の割合が５重量％未満では、当該触媒粉末を、下地膜の表面に、十分な密度でもって均一に分散できないため、その表面に、無電解めっきによって良好な金属被膜を形成できないおそれがある。また９５重量％を超える場合には、相対的に結着剤の割合が不足するため、十分な強度を有する下地膜を形成できないおそれがある。
ここで言う触媒粉末の割合は、鎖状のもの、あるいは鎖状以外の粒状等のものをそれぞれ単独で用いる場合は、その該当する触媒粉末の割合である。また、２種以上の異なる形状の触媒粉末を併用する場合は、両者の合計量の、固形分の総量に対する割合である。
【００６０】
また触媒粉末と、導電成分としての金属粉末とを併用する場合は、両者の合計量の、固形分、すなわち触媒粉末、金属粉末および結着剤の総量に対する割合を前記と同じ５〜９５重量％とし、なおかつ触媒粉末を、当該触媒粉末と金属粉末との総量に対して５．３〜５０重量％の割合で配合するのが好ましい。
この範囲より触媒粉末の割合が少ない場合には、当該触媒粉末を、下地膜の表面に、十分な密度でもって均一に分散できないため、その表面に、無電解めっきによって良好な金属被膜を形成できないおそれがある。また、上記の範囲より触媒粉末の割合を多くしても触媒効果にそれほどの改善が見られない上、金属粉末を配合して触媒粉末を少なくすることによる、コストダウンの効果が低下するおそれがある。
【００６１】
〈金属構造体の製造方法〉
（無電解めっき）
この発明の金属構造体の製造方法においては、まず金属構造体のもとになる、立体形状を有する前駆体の表面に、上記の無電解めっき用ペーストを塗布する。そして塗布した無電解めっき用ペーストを乾燥固化させるか、または結着剤が硬化性樹脂である場合はこれを硬化させることによって、図２（ａ）に示すように、固化または硬化した結着剤１０中に多数の触媒粉末１１が分散した状態の下地膜１を形成する。
【００６２】
そうすると、図では鎖状の金属粉末を核とする鎖状の触媒粉末１１を用いているので、そのいくつかの鎖の末端１１ａが下地膜１の表面に露出した状態となる。
触媒粉末１１が、上記核の表面を（１）の触媒金属で被覆したものである場合は、この状態で既に、下地膜１の表面に露出した触媒粉末１１の末端１１ａが触媒機能を有するので、次工程である無電解めっきに進む。
【００６３】
一方、触媒粉末１１が、上記核の表面をＳｎやＺｎ等の（２）の金属で被覆したものである場合は、次に下地膜１の表面を、例えば塩化パラジウム溶液等の、（１）の触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって、下地膜１の表面に露出した部分の（２）の金属を、部分的に触媒金属と置換して触媒機能を付与する。この方法では工程が１工程増えるものの、前述したように、高価な触媒金属の使用量を必要最小限に抑えることができるため、コストの面で極めて有利である。
【００６４】
次に下地膜１を、任意の処方に調製した無電解めっき液に浸漬するなどして、当該下地膜１の表面に露出した触媒粉末の触媒機能を利用して、無電解めっきにより、図２（ｂ）（ｃ）に示すように、その表面に金属被膜２を成長させる。
金属被膜２は最初、図２（ｂ）に示すように、下地膜１の表面に露出した多数の、触媒粉末１１の末端１１ａの部分で別々に成長を始める。そしてそれが、図２（ｃ）に示すようにやがて一つに繋がって、下地膜１の表面を覆う一つの金属被膜２が形成される。
【００６５】
（電気めっき）
特に金属被膜が肉厚であることが要求される場合などにおいては、図示していないが、上記無電解めっき工程で形成した金属被膜２を電極とする電気めっきを行う。すなわち金属被膜２を陰極とし、めっきしようとする金属または白金などを陽極として、任意の処方に調製した電気めっき液中に浸漬して電圧をかけることによって、金属被膜をさらに成長させることもできる。
【００６６】
この際、図のように鎖状の触媒粉末１１を用いた下地膜１や、あるいは鎖状の金属粉末を導電成分として併用した下地膜は良好な導電性を有する。つまり下地膜１中に分散した鎖状の触媒粉末１１などが互いに接触して良好な導電ネットワークを形成するため、上記金属被膜２に、電源からの電圧を供給する給電部として利用することができる。
また、図示していないものの、前駆体の表面に、まず鎖状の金属粉末を含む導電膜を形成したのち、その上に上記下地膜１を形成して、導電膜と下地膜とを給電部として利用しながら電気めっきを行っても良い。
【００６７】
（熱処理）
金属構造体が、電池用の極板等に好適に使用される金属多孔質体である場合には、先に述べたように、電気めっき後に熱処理して、前駆体としての多孔質体と、下地膜１中の結着剤１０とを除去してもよい。熱処理の条件は特に限定されず、除去すべき部分の熱分解温度以上で、かつ金属多孔質体を構成する金属の溶融温度未満であればよい。
【００６８】
（金属構造体）
かくして製造される金属構造体としては、電池用の極板等に好適に使用できる金属多孔質体を挙げることができる。その他、例えば直径が不連続であったり、途中に分岐があったりする複雑な金属パイプを、シームレスで一体物として製造することも可能である。すなわち所定の金属パイプの形状に対応した樹脂製の前駆体の表面に、本発明の構成によって金属被膜を成長させたのち、熱処理して前駆体を除去すれば、これまでは製造することが不可能であった上記の複雑な形状を有する金属パイプを、シームレスで一体物として製造できる。
【００６９】
〈微細金属部品の製造方法その１〉
（型Ｍの作製）
この発明の、微細金属部品の製造方法においては、まず図３（ｄ）に示すように、微細金属部品の形状に対応した微細な通孔パターン３ａを有する型体４を形成する。
型体４は、無電解めっきによって形成した金属被膜を電極として、さらに電気めっきによって金属被膜を成長させる場合、電気めっき時のマスクとして機能させるために、樹脂等の絶縁性の材料にて形成するのが好ましい。
【００７０】
樹脂等の絶縁材料からなる型体４は、特にＬＩＧＡプロセス〔放射光ＳＲ（Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ  Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）のＸ線ディープリソグラフィーと電鋳とを組み合わせた微細加工技術〕によって作製した親金型を用いた、射出成形あるいは反応性射出成形等によって形成するのが好ましい。
まずＸ線ディープリソグラフィーと電鋳とを利用して、図３（ａ）に示すように、微細金属部品のもとになる親金型ＭＭ１を、導電性基板ＭＭ２上に形成したのち、射出成形あるいは反応性射出成形によって、上記親金型ＭＭ１の形状に対応した、通孔パターン４ａの元になる微細な凹部４ｂを有する型体４の前駆体４′を得る〔図３（ｂ）（ｃ）〕。
【００７１】
そしてこの前駆体４′を研磨して凹部４ｂを貫通させると、図３（ｄ）に示すように、親金型ＭＭ１の形状に対応した通孔パターン４ａを有する型体４が形成される。
この方法によれば、１つの親金型ＭＭ１を何回でも使用して、型体４を大量に形成できるため、結果的に微細金属部品の製造コストをこれまでよりも大幅に引き下げることができる。
【００７２】
次にこの発明では、図４（ａ）（ｂ）に示すように、基板３の全面に、前記の無電解めっき用ペースト１′を塗布したのち、その上に型体４を重ねる。そしてペースト１′を乾燥、固化させ、また結着剤が硬化性樹脂である場合はこれを硬化させることで下地膜１を形成するとともに、型体４を基板３上に固定することで型Ｍを作製する。
あるいはまた図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、基板３の全面に無電解めっき用ペースト１′を塗布したのち、その上に、前記図３（ｃ）で得た型体４の前駆体４′を、凹部４ｂを下側にして重ねる。そしてペースト１′を乾燥、固化させ、また結着剤が硬化性樹脂である場合はこれを硬化させることで下地膜１を形成するとともに、前駆体４′を基板３上に固定したのち、研磨して凹部４ｂを貫通させることによっても、同様の型Ｍを作製できる。
【００７３】
上記いずれかの方法によって型Ｍを作製する際の、無電解めっき用ペースト１′の塗布厚みは０．５〜７０μｍとするのが好ましい。
塗布厚みが０．５μｍ未満では、無電解めっき用ペースト１′による、型体４を基板３上に固定する効果が十分に得られず、無電解めっき時などに型のずれなどを生じやすくなって、微細金属部品の形状の再現性が低下するおそれがある。また逆に７０μｍを超えた場合には、型体４を基板３上に重ねた際に、その重ねる際の応力や型体４の重みなどで押し出された過剰の無電解めっき用ペーストが、通孔パターン４ａ内に多量にはみ出して波うったり液滴状に盛り上がったりするおそれがある。そしてその結果、めっき開始面が異形となって均一な結晶構造を有するめっき被膜を形成できなくなったり、無電解めっき用ペーストが盛り上がった分、めっき被膜が薄くなって、所定の厚みを有する微細金属部品を製造できなくなったりする場合がある。
【００７４】
基板３としては、種々の材料からなるものを用いることができるが、無電解めっきによって形成した金属被膜２を電極として、さらに電気めっきによって金属被膜を成長させる場合は、通孔パターン４ａ内の金属被膜２に給電するために、基板３を、例えばステンレス鋼、アルミニウム、銅などの金属系の板体や、あるいはＳｉ、ガラス、セラミックス、プラスチックなどの表面に、スパッタリング法などによって導電層を積層形成した複合体などが好ましい。
【００７５】
また型体４を形成する絶縁材料としては、前記のように射出成形、反応性射出成形などが可能な樹脂が好ましい。かかる樹脂としては、例えばポリメチルメタクリレート、ポリプロピレン、ポリカーボネート、エポキシ樹脂などを挙げることができる。
（無電解めっき）
上記のようにして作製した型Ｍの、通孔パターン３ａの部分で露出した下地膜１の表面付近は、やはり前記図２（ａ）に示した状態となる。すなわち、固化または硬化した結着剤１０中に、図では鎖状の金属粉末を核とする鎖状の触媒粉末１１が多数、分散しているとともに、そのいくつかの鎖の末端１１ａが、下地膜１の表面に露出した状態となる。また下地膜１中では、多数の触媒粉末１１が互いに接触して良好な導電ネットワークを形成する。
【００７６】
触媒粉末１１が、上記核の表面を（１）の触媒金属で被覆したものである場合は、この状態で既に、下地膜１の表面に露出した触媒粉末１１の末端１１ａが触媒機能を有するので、次工程である無電解めっきに進む。
一方、触媒粉末１１が、上記核の表面をＳｎやＺｎ等の（２）の金属で被覆したものである場合は、次に下地膜１の表面を、例えば塩化パラジウム溶液等の、（１）の触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって、下地膜１の表面に露出した部分の（２）の金属を、部分的に触媒金属と置換して触媒機能を付与する。これにより、高価な触媒金属の使用量を必要最小限に抑えて、微細金属部品の製造コストを著しく低減することができる。
【００７７】
そして型Ｍを、任意の処方に調製した無電解めっき液に浸漬するなどして、図６（ａ）に示すように通孔パターン４ａの部分で露出させた下地膜１の表面に、選択的に金属被膜２を成長させる。詳しくは、前記図２（ｂ）（ｃ）に示すように、下地膜１の表面に露出した触媒粉末１１の末端１１ａの触媒機能を利用して、無電解めっきにより、その表面に金属被膜２を成長させる。
（電気めっき）
金属被膜２は、図６（ｂ）に示すように型体４の通孔パターン４ａを全て充てんする厚みに形成した後、型体４とともに研磨もしくは研削などして所定の高さに揃える。これにより、所定の厚みを有する微細金属部品を製造することができる。
【００７８】
また図示していないが、金属被膜２の成長を、型体４の通孔パターン４ａの途中の、微細金属部品の所定の厚みまでで停止して、上記の研磨工程を省略することもできる。
かかる所定の厚みを有する金属被膜２を、全て無電解めっきによって成長させるには長時間を要するので、無電解めっき工程である程度の厚みまで成長させた金属被膜２を電極として、次に電気めっきを行って、金属被膜２を所定の厚みまで成長させるのが好ましい。すなわち金属被膜２を陰極とし、めっきしようとする金属または白金などを陽極として、任意の処方に調製した電気めっき液中に浸漬して電圧をかけることによって、金属被膜をさらに成長させる。
【００７９】
この際、図のように鎖状の触媒粉末１１を用いた下地膜１や、あるいは鎖状の金属粉末を導電成分として併用した下地膜は良好な導電性を有する。つまり下地膜１中に分散した鎖状の触媒粉末１１などが互いに接触して良好な導電ネットワークを形成するため、上記金属被膜２に、電源から導電性の基板３を介して電圧を供給する給電部として利用することができる。
また、図示していないものの、基板３の表面に、まず鎖状の金属粉末を含む導電膜を形成したのち、その上に上記下地膜１を形成して、導電膜と下地膜とを給電部として利用しながら電気めっきを行っても良い。
【００８０】
次に型体４を除去する〔図６（ｃ）〕。
型体４を除去する方法としては、金属被膜２に無理な応力を加えて変形させたりしないために、例えば酸素プラズマを用いたアッシングや、あるいはＸ線、紫外線の照射による分解などの、非接触で行える方法が好ましい。
そして最後に、下地膜１と基板３とを除去すると、通孔パターン４ａの形状に対応した微細な立体形状を有する微細金属部品２０が完成する〔図６（ｄ）〕。
【００８１】
下地膜１と基板３とを除去する方法としては、下地膜１を、適当な溶媒を用いて溶解するか、またはドライエッチングなどして分解除去する方法が好ましい。これにより下地膜１を消滅させたのち、残った基板３を取り去ればよい。
〈微細金属部品の製造方法その２〉
特に微細金属部品の厚みがあまり大きくない場合、あるいは平面形状に対して厚みが十分に小さい場合は、この第２の製造方法が有効である。
【００８２】
まず基板３上に、前記の無電解めっき用ペーストを用いて、微細金属部品の形状に対応した下地膜１をパターン形成する〔図７（ａ）〕。
下地膜１をパターン形成する方法としては、例えばスクリーン印刷法やオフセット印刷法などの印刷法が好ましい。これらの印刷法によれば、より簡単かつ少ない工程で、微細金属部品の形状に対応した下地膜１をパターン形成することができる。
【００８３】
パターン形成した下地膜１の表面付近は、この場合も図２（ａ）に示した状態となる。すなわち、固化または硬化した結着剤１０中に、図では鎖状の金属粉末を核とする鎖状の触媒粉末１１が多数、分散しているとともに、そのいくつかの鎖の末端１１ａが、下地膜１の表面に露出した状態となる。また下地膜１中では、多数の触媒粉末１１が互いに接触して良好な導電ネットワークを形成する。
触媒粉末１１が、上記核の表面を（１）の触媒金属で被覆したものである場合は、この状態で既に、下地膜１の表面に露出した触媒粉末１１の末端１１ａが触媒機能を有するので、次工程である無電解めっきに進む。
【００８４】
一方、触媒粉末１１が、上記核の表面をＳｎやＺｎ等の（２）の金属で被覆したものである場合は、次に下地膜１の表面を、例えば塩化パラジウム溶液等の、（１）の触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって、下地膜１の表面に露出した部分の（２）の金属を、部分的に触媒金属と置換して触媒機能を付与する。
そして基板３を、任意の処方に調製した無電解めっき液に浸漬するなどして、図７（ｂ）に示すように、パターン形成した下地膜１の表面に、選択的に金属被膜２を成長させる。詳しくは、前記図２（ｂ）（ｃ）に示すように、下地膜１の表面に露出した触媒粉末１１の末端１１ａの触媒機能を利用して、無電解めっきにより、その表面に金属被膜２を成長させる。
【００８５】
前記のように、微細金属部品の厚みがあまり大きくない場合は無電解めっきだけでも十分であるが、必要に応じて電気めっきを行ってさらに金属被膜２を成長させても良い。
すなわち、無電解めっきで形成した金属被膜２に直接に給電するか、あるいは基板３、および下地膜１を介して給電しながら電気めっきを行うと、金属被膜２をさらに成長させることができる。
【００８６】
下地膜１と基板３とを介して給電する際には、基板３として、前述した金属系の板体や複合体などを用いる。また下地膜１としては、上記のように鎖状の触媒粉末を含有するか、または鎖状の金属粉末を配合した、良好な導電性を有するものを用いる。
また、図示していないものの、基板３の表面に、まず鎖状の金属粉末を含む導電膜を形成したのち、その上に上記下地膜１を形成して、導電膜と下地膜とを給電部として利用しながら電気めっきを行っても良い。
【００８７】
上記のように無電解めっき、もしくは無電解めっき＋電気めっきによって金属被膜２を所定の厚みまで成長させたのち、下地膜１を、適当な溶媒を用いて溶解するか、またはドライエッチングなどして分解除去するとともに、基板３を取り去れば、図７（ｃ）に示すように、パターン形成した下地膜１の形状に対応した微細な立体形状を有する微細金属部品２０が完成する。
かかる方法によれば、より簡便に、微細金属部品を製造できる。
【００８８】
なお、この発明の無電解めっき用ペーストを使用すれば、上記金属構造体や微細金属部品の他にも種々の形状、構造を有する金属製品を無電解めっき、もしくは無電解めっき＋電気めっきによって製造することが可能である。
かかる他の金属製品の具体例としては、例えば絶縁基板上に所定の形状に形成した導体回路などを挙げることができる。
〈導体回路の製造方法〉
この発明の無電解めっき用ペーストを用いた導体回路の製造方法においては、まず絶縁基板５上に、前記の無電解めっき用ペーストを用いて、導体回路の形状に対応した下地膜１をパターン形成する〔図８（ａ）〕。
下地膜１をパターン形成する方法としては、やはりスクリーン印刷法やオフセット印刷法などの印刷法が好ましい。
【００８９】
パターン形成した下地膜１の表面付近は、この場合も図２（ａ）に示した状態となる。すなわち、固化または硬化した結着剤１０中に、図では鎖状の金属粉末を核とする鎖状の触媒粉末１１が多数、分散しているとともに、そのいくつかの鎖の末端１１ａが、下地膜１の表面に露出した状態となる。また下地膜１中では、多数の触媒粉末１１が互いに接触して良好な導電ネットワークを形成する。
触媒粉末１１が、上記核の表面を（１）の触媒金属で被覆したものである場合は、次工程である無電解めっきに進む。
【００９０】
一方、触媒粉末１１が、上記核の表面をＳｎやＺｎ等の（２）の金属で被覆したものである場合は、次に下地膜１の表面を、例えば塩化パラジウム溶液等の、（１）の触媒金属のイオンを含む溶液と接触させることによって、下地膜１の表面に露出した部分の（２）の金属を、部分的に触媒金属と置換して触媒機能を付与する。
そして絶縁基板５を、任意の処方に調製した無電解めっき液に浸漬するなどして、図８（ｂ）に示すように、パターン形成した下地膜１の表面に、選択的に金属被膜２を成長させる。詳しくは、前記図２（ｂ）（ｃ）に示すように、下地膜１の表面に露出した触媒粉末１１の末端１１ａの触媒機能を利用して、無電解めっきにより、その表面に金属被膜２を成長させると、当該金属被膜２からなる導体回路２ａが形成される。
【００９１】
なおこの場合も、必要に応じて、金属被膜２を電極とする電気めっきを行って、金属被膜２をさらに成長させても良い。その際には、基板が絶縁性であるため、金属被膜２に直接に給電するか、あるいは下地膜１を介して給電すればよい。また図示していないが、基板３の表面に、まず鎖状の金属粉末を含む導電膜を形成したのち、その上に上記下地膜１を形成して、導電膜と下地膜とを介して給電しても良い。
【００９２】
【実施例】
以下にこの発明を、実施例、比較例に基づいて説明する。
〈無電解めっき用ペースト〉
実施例１
（触媒粉末の作製）
微細な金属粒が多数、鎖状に繋がった形状を有し、かつ金属粒の粒径が１００ｎｍ、鎖の径が２００ｎｍであるＮｉ粉末を、触媒粉末の核として用いた。
【００９３】
そしてこのＮｉ粉末の表面に、無電解めっきによって、触媒金属としてのＰｄを被覆して触媒粉末を作製した。触媒粉末の平均粒径は１μｍであった。
（無電解めっき用ペーストの調製）
上記で作製した触媒粉末２０重量部と、結着剤としての、液状硬化性樹脂である熱硬化型アクリルシロップ８０重量部とを混合して無電解めっき用ペーストを調製した。
【００９４】
両者の総量に対する触媒粉末の割合は２０重量％であった。
実施例２
実施例１で使用したのと同じＮｉ粉末を触媒粉末の核として、その表面をＳｎコロイド分散液で処理してＳｎを吸着させることで、Ｎｉ粉末の表面をＳｎで被覆した触媒粉末を作製した。触媒粉末の平均粒径は１μｍであった。
そして、この触媒粉末を用いたこと以外は実施例１と同様にして無電解めっき用ペーストを調製した。
【００９５】
両者の総量に対する触媒粉末の割合は２０重量％であった。
比較例１
実施例１で使用したのと同じＮｉ粉末をそのままで、何も被覆処理せずに用いたこと以外は実施例１と同様にして、無電解めっき用ペーストを調製した。
両者の総量に対するＮｉ粉末の割合は２０重量％であった。またＮｉ粉末の平均粒径は１μｍであった。
【００９６】
〈金属構造体の製造方法〉
実施例３
（下地膜の形成）
前駆体としては、厚み１．８ｍｍ、平均口径０．４５ｍｍ、空隙率９８％の、連続気孔構造を有するウレタンフォームを用いた。
そしてこのウレタンフォームに、前記実施例１で調製した無電解めっき用ペーストを塗布した後、１００℃で４時間、乾燥するとともに樹脂を硬化させて、無電解めっき用の下地膜を形成した。
【００９７】
（金属被膜の形成）
上記のウレタンフォームを、まず下記処方の無電解Ｎｉめっき浴に浸漬して、触媒粉末の、下地膜の表面に露出した部分のＰｄによる触媒機能を利用した無電解めっきにより、当該下地膜の表面にＮｉ被膜を成長させた。Ｎｉ被膜の膜厚は０．２〜０．５μｍであった。
無電解Ｎｉめっき浴（ｐＨ７．５〜９．５）
（成  分）              （濃  度）
硫酸ニッケル            ３０ｇ／Ｌ
次亜リン酸ソーダ        ２０ｇ／Ｌ
クエン酸アンモン        ５０ｇ／Ｌ
【００９８】
次に、このウレタンフォームのＮｉ被膜に導電端子を取り付けて給電部とした状態で、下記処方の電気Ｎｉめっき浴に浸漬して、電流密度１００〜１５０ｍＡ／ｃｍ２、液温４０〜６０℃の条件で３０分間の電気めっきを行った。
電気Ｎｉめっき浴（ｐＨ３．５〜４．５）
（成  分）              （濃  度）
スルファミン酸ニッケル  ４５０ｇ／Ｌ
ほう酸                    ３０ｇ／Ｌ
電気めっきによって、下地膜上のＮｉ被膜の厚みは１０〜５０μｍとなった。また、Ｎｉ被膜の体積固有抵抗を測定したところ８×１０−６Ω・ｃｍであった。
【００９９】
電気めっき後、形成されたＮｉ被膜の断面を金属顕微鏡で観察して、厚み方向の上下それぞれ５％の位置の、結晶粒の大きさを測定した。そして下地膜側の結晶粒の大きさφ１と被膜表面側の結晶粒の大きさφ２とから、式（１）：
Ｒφ＝φ１／φ２      （１）
により、結晶粒の大きさの比率Ｒφを求めたところ１．１であって、結晶粒の大きさに殆どばらつきはなく、Ｎｉ被膜は、厚み方向の全体にわたって均一な結晶構造を有することが確認された。
【０１００】
（熱処理）
上記の測定後、電気炉中で、水素還元雰囲気下、１０００℃に加熱して３０分間、熱処理することでウレタンフォームを熱分解除去して、金属多孔質体を製造した。
この金属多孔質体を直径３０ｍｍφの丸棒にあてがって１８０°に曲げたところ、破壊されずにきれいに曲げることができた。
【０１０１】
実施例４
（下地膜の形成）
実施例３で使用したのと同じウレタンフォームに、前記実施例２で調製した無電解めっき用ペーストを塗布した後、１００℃で４時間、乾燥するとともに樹脂を硬化させて、無電解めっき用の下地膜を形成した。
（金属被膜の形成）
上記のウレタンフォームを、まず０．２ｇ／Ｌの濃度の塩化パラジウム溶液に浸漬して、触媒金属の、下地膜の表面に露出した部分のＳｎをＰｄと置換させて触媒機能を付与した。
【０１０２】
そしてそれ以降は実施例３と同様にして無電解Ｎｉめっきと電気Ｎｉめっきとを行って、下地膜上に、厚み１０〜５０μｍのＮｉ被膜を形成した。Ｎｉ被膜の体積固有抵抗を測定したところ、８×１０−６Ω・ｃｍであった。
電気めっき後、形成されたＮｉ被膜の断面を金属顕微鏡で観察して、厚み方向の上下それぞれ５％の位置の、結晶粒の大きさを測定した。そして下地膜側の結晶粒の大きさφ１と被膜表面側の結晶粒の大きさφ２とから、前記式（１）により、結晶粒の大きさの比率Ｒφを求めたところ１．１であって、結晶粒の大きさに殆どばらつきはなく、Ｎｉ被膜は、厚み方向の全体にわたって均一な結晶構造を有することが確認された。
【０１０３】
（熱処理）
上記の測定後、実施例３と同条件で熱処理することでウレタンフォームを熱分解除去して、金属多孔質体を製造した。
この金属多孔質体を直径３０ｍｍφの丸棒にあてがって１８０°に曲げたところ、破壊されずにきれいに曲げることができた。
比較例２
（下地膜の形成）
実施例３で使用したのと同じウレタンフォームに、前記比較例１で調製した無電解めっき用ペーストを塗布した後、１００℃で４時間、乾燥するとともに樹脂を硬化させて、無電解めっき用の下地膜を形成した。
【０１０４】
（金属被膜の形成）
上記のウレタンフォームに対し、実施例３と同様にして無電解Ｎｉめっきと電気Ｎｉめっきとを行って、下地膜上に、厚み１０〜５０μｍのＮｉ被膜を形成した。Ｎｉ被膜の体積固有抵抗を測定したところ、８×１０−６Ω・ｃｍであった。
電気めっき後、形成されたＮｉ被膜の断面を金属顕微鏡で観察して、厚み方向の上下それぞれ５％の位置の、結晶粒の大きさを測定した。そして下地膜側の結晶粒の大きさφ１と被膜表面側の結晶粒の大きさφ２とから、前記式（１）により、結晶粒の大きさの比率Ｒφを求めたところ２．０であって、下地膜側の結晶粒が大きく、かつ密度が粗であるとともに、被膜表面側の結晶粒が小さく、かつ密度が密である、不連続な結晶構造を有することが確認された。
【０１０５】
（熱処理）
上記の測定後、実施例３と同条件で熱処理することでウレタンフォームを熱分解除去して、金属多孔質体を製造した。
この金属多孔質体を直径３０ｍｍφの丸棒にあてがって１８０°に曲げたところ、きれいに曲げることができず、曲げの内側の構造が破壊されてしまった。
〈微細金属部品の製造方法その１〉
実施例５
（型の作製）
ＬＩＧＡプロセスにより、微細金属部品の形状に対応した、パターン幅１０ｍｍ、パターン長５０ｍｍの通孔パターン４ａを有する、厚み０．２μｍの型体４を得た〔図４（ａ）〕。
【０１０６】
次に、表面にＴｉスパッタ膜を形成した金属製の基板３上に、同図に示すように、実施例１で調製した無電解めっき用ペースト１′を、ブレードコータを用いて厚み５μｍとなるように塗布した後、上記の型体４を重ね合わせて、０．１ＭＰａの圧接力で圧接しながら１００℃で４時間、加熱して樹脂を硬化させることによって下地膜１を形成するとともに、型体４を基板３上に固定して型Ｍを作製した〔図４（ｂ）〕。
【０１０７】
（微細金属部品の製造）
上記型Ｍを、まず実施例３で使用したのと同じ無電解Ｎｉめっき浴に浸漬して、触媒粉末の、下地膜１の表面に露出した部分のＰｄによる触媒機能を利用した無電解めっきにより、当該下地膜１のうち、通孔パターン４ａの部分で露出した表面に選択的に、Ｎｉ被膜２を成長させた。Ｎｉ被膜２の膜厚は０．２〜０．５μｍであった。
【０１０８】
次に、基板３に導電端子を取り付けて給電部とし、実施例３で使用したのと同じ電気Ｎｉめっき浴に浸漬して、電流密度１０〜１５０ｍＡ／ｃｍ２、液温４０〜６０℃の条件で電気めっきを行った。
そして、通孔パターン４ａのおよそ半分の高さがＮｉ被膜２で埋められるまで電気めっきを続けた後、めっき浴から取り出して十分に水洗した。
次に、酸素プラズマによってアッシングして型体４を分解除去した後、ウエットエッチングによってＴｉスパッタ膜を溶解、除去して基板３を取り去って、通孔パターン３ａの形状に対応した、幅１０ｍｍ、長さ５０ｍｍで、かつ厚み１００μｍの微細金属部品２０を製造した〔以上、図６（ａ）〜（ｄ）〕。
【０１０９】
製造した微細金属部品２０を幅５ｍｍの短冊状に打ち抜いて引っ張り試験したところ、抗張力は１０００ＭＰａであった。この値は、Ｎｉ製のバルク品のそれと大差ないものであった。
そしてこのことから、実施例５で製造した微細金属部品２０は、成膜初期の段階から、本来の粒径を有する結晶粒が生成しており、その全体にわたって均一な結晶構造を有するため、所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮しうる単一の層構造を備えた、良好な特性を有するものであることが確認された。
【０１１０】
実施例６
（型の作製）
実施例５で使用したのと同じ、表面にＴｉスパッタ膜を形成した金属製の基板３上に、前記実施例２で調製した無電解めっき用ペーストを同条件で塗布した後、実施例５で使用したのと同じ型体４を重ね合わせて、同条件で圧接しながら１００℃で４時間、加熱して樹脂を硬化させることによって下地膜１を形成するとともに、型体４を基板３上に固定して型Ｍを作製した〔図４（ｂ）〕。
【０１１１】
（微細金属部品の製造）
上記型Ｍを、まず０．２ｇ／Ｌの濃度の塩化パラジウム溶液に浸漬して、触媒金属の、下地膜の表面に露出した部分のＳｎをＰｄと置換させて触媒機能を付与した。
そしてそれ以降は実施例５と同様にして無電解Ｎｉめっきと電気Ｎｉめっきとを行って、同形状、同寸法の微細金属部品２０を製造した〔図６（ａ）〜（ｄ）〕。
【０１１２】
製造した微細金属部品２０を幅５ｍｍの短冊状に打ち抜いて引っ張り試験したところ、抗張力は１０００ＭＰａであった。この値は、Ｎｉ製のバルク品のそれと大差ないものであった。
そしてこのことから、実施例６で製造した微細金属部品２０も、成膜初期の段階から、本来の粒径を有する結晶粒が生成しており、その全体にわたって均一な結晶構造を有するため、所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮しうる単一の層構造を備えた、良好な特性を有するものであることが確認された。
【０１１３】
比較例３
（型の作製）
実施例５で使用したのと同じ、表面にＴｉスパッタ膜を形成した金属製の基板３上に、前記比較例１で調製した無電解めっき用ペーストを同条件で塗布した後、実施例５で使用したのと同じ型体４を重ね合わせて、同条件で圧接しながら１００℃で４時間、加熱して樹脂を硬化させることによって下地膜１を形成するとともに、型体４を基板３上に固定して型Ｍを作製した〔図４（ｂ）〕。
【０１１４】
（微細金属部品の製造）
上記型Ｍを用いて、実施例５と同様にして無電解Ｎｉめっきと電気Ｎｉめっきとを行って、同形状、同寸法の微細金属部品２０を製造した〔図６（ａ）〜（ｄ）〕。製造した微細金属部品２０を幅５ｍｍの短冊状に打ち抜いて引っ張り試験したところ、抗張力は６００ＭＰａであった。この値は、Ｎｉ製のバルク品のそれと比べて極端に小さいものであった。
【０１１５】
そしてこのことから、比較例３で製造した微細金属部品２０は、成膜初期の段階では、本来の粒径を有する結晶粒が生成しておらず、その結晶構造が厚み方向に不連続であるため、所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮できないことが確認された。
〈微細金属部品の製造方法その２〉
実施例７
（下地膜のパターン形成）
表面にＴｉスパッタ膜を形成したＳｉ製の基板３上に、実施例１で調製した無電解めっき用ペースト１′を、スクリーン印刷法によって印刷した後、１００℃で４時間、加熱して樹脂を硬化させることによって、幅１０ｍｍ、長さ５０ｍｍ、厚み１μｍの下地膜１をパターン形成した〔図７（ａ）〕。
【０１１６】
（微細金属部品の製造）
上記基板３を、まず実施例３で使用したのと同じ無電解Ｎｉめっき浴に浸漬して、触媒粉末の、下地膜１の表面に露出した部分のＰｄによる触媒機能を利用した無電解めっきにより、当該下地膜１の表面に選択的に、Ｎｉ被膜２を成長させた。Ｎｉ被膜２の膜厚は０．２〜０．５μｍであった。
次に、基板３のＴｉスパッタ膜に導電端子を取り付けて給電部とし、実施例３で使用したのと同じ電気Ｎｉめっき浴に浸漬して、電流密度１０〜１５０ｍＡ／ｃｍ２、液温４０〜６０℃の条件で電気めっきを行った。
【０１１７】
そして、Ｎｉ被膜２の厚みが１００μｍになるまで電気めっきを続けた後、めっき浴から取り出して十分に水洗した。
次に、ウエットエッチングによってＴｉスパッタ膜を溶解、除去して基板３を取り去って、下地膜１のパターン形状に対応した、幅１０ｍｍ、長さ５０ｍｍで、かつ厚み１００μｍの微細金属部品２０を製造した〔以上、図７（ａ）〜（ｃ）〕。製造した微細金属部品２０を幅５ｍｍの短冊状に打ち抜いて引っ張り試験したところ、抗張力は１０００ＭＰａであった。この値は、Ｎｉ製のバルク品のそれと大差ないものであった。
【０１１８】
そしてこのことから、実施例７で製造した微細金属部品２０は、成膜初期の段階から、本来の粒径を有する結晶粒が生成しており、その全体にわたって均一な結晶構造を有するため、所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮しうる単一の層構造を備えた、良好な特性を有するものであることが確認された。
実施例８
（下地膜のパターン形成）
実施例７で使用したのと同じ、表面にＴｉスパッタ膜を形成したＳｉ製の基板３上に、実施例２で調製した無電解めっき用ペースト１′を、スクリーン印刷法によって印刷した後、１００℃で４時間、加熱して樹脂を硬化させることによって、幅１０ｍｍ、長さ５０ｍｍ、厚み１μｍの下地膜１をパターン形成した〔図７（ａ）〕。
【０１１９】
（微細金属部品の製造）
上記基板３を、まず０．２ｇ／Ｌの濃度の塩化パラジウム溶液に浸漬して、触媒金属の、下地膜の表面に露出した部分のＳｎをＰｄと置換させて触媒機能を付与した。
そしてそれ以降は実施例７と同様にして無電解Ｎｉめっきと電気Ｎｉめっきとを行って、同形状、同寸法の微細金属部品２０を製造した〔図７（ａ）〜（ｃ）〕。
【０１２０】
製造した微細金属部品２０を幅５ｍｍの短冊状に打ち抜いて引っ張り試験したところ、抗張力は１０００ＭＰａであった。この値は、Ｎｉ製のバルク品のそれと大差ないものであった。
そしてこのことから、実施例８で製造した微細金属部品２０も、成膜初期の段階から、本来の粒径を有する結晶粒が生成しており、その全体にわたって均一な結晶構造を有するため、所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮しうる単一の層構造を備えた、良好な特性を有するものであることが確認された。
【０１２１】
比較例４
（下地膜のパターン形成）
実施例７で使用したのと同じ、表面にＴｉスパッタ膜を形成したＳｉ製の基板３上に、比較例１で調製した無電解めっき用ペースト１′を、スクリーン印刷法によって印刷した後、１００℃で４時間、加熱して樹脂を硬化させることによって、幅１０ｍｍ、長さ５０ｍｍ、厚み１μｍの下地膜１をパターン形成した〔図７（ａ）〕。
【０１２２】
（微細金属部品の製造）
上記基板３を用いて、実施例７と同様にして無電解Ｎｉめっきと電気Ｎｉめっきとを行って、同形状、同寸法の微細金属部品２０を製造した〔図７（ａ）〜（ｃ）〕。
製造した微細金属部品２０を幅５ｍｍの短冊状に打ち抜いて引っ張り試験したところ、抗張力は６００ＭＰａであった。この値は、Ｎｉ製のバルク品のそれと比べて極端に小さいものであった。
【０１２３】
そしてこのことから、比較例４で製造した微細金属部品２０は、成膜初期の段階では、本来の粒径を有する結晶粒が生成しておらず、その結晶構造が厚み方向に不連続であるため、所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮できないことが確認された。
〈導体回路の製造方法〉
実施例９
（下地膜のパターン形成）
十分に洗浄したガラス基板５の表面に、実施例１で調製した無電解めっき用ペースト１′を、スクリーン印刷法によって印刷した後、１００℃で４時間、加熱して樹脂を硬化させることによって、アドレス電極の形状に対応した厚み１μｍの下地膜１をパターン形成した〔図８（ａ）〕。
【０１２４】
（導体回路の形成）
上記基板５を、まず実施例３で使用したのと同じ無電解Ｎｉめっき浴に浸漬して、触媒粉末の、下地膜１の表面に露出した部分のＰｄによる触媒機能を利用した無電解めっきにより、当該下地膜１の表面に選択的に、Ｎｉ被膜２を成長させた。Ｎｉ被膜２の膜厚は０．２〜０．５μｍであった。
次に、このＮｉ被膜２に導電端子を取り付けて給電部とし、実施例３で使用したのと同じ電気Ｎｉめっき浴に浸漬して、電流密度１０〜１５０ｍＡ／ｃｍ２、液温４０〜６０℃の条件で電気めっきを行った。
【０１２５】
そして、Ｎｉ被膜２の厚みが１０μｍになるまで電気めっきを続けた後、めっき浴から取り出して十分に水洗し、乾燥して導体回路２ａを得た〔以上、図８（ａ）（ｂ）〕。
得られた導体回路２ａの体積固有抵抗を測定したところ、８×１０−６Ω・ｃｍであった。また、パターンには断線等も見られなかった。また、導体回路２ａを形成するＮｉ被膜２の断面を観察したところ密度が密で、しかも凹凸のないきれいな形状であった。さらにその表面粗さを、光学式干渉計（ＺＹＧＯ社製）を用いて計測して、その結果から中心線平均粗さＲａを求めたところ０．０１μｍ未満であって、その表面はきわめて平滑であることが確認された。
【０１２６】
実施例１０
（下地膜のパターン形成）
十分に洗浄したガラス基板５の表面に、実施例２で調製した無電解めっき用ペースト１′を、スクリーン印刷法によって印刷した後、１００℃で４時間、加熱して樹脂を硬化させることによって、アドレス電極の形状に対応した厚み１μｍの下地膜１をパターン形成した〔図８（ａ）〕。
【０１２７】
（導体回路の形成）
上記基板５を、まず０．２ｇ／Ｌの濃度の塩化パラジウム溶液に浸漬して、触媒金属の、下地膜の表面に露出した部分のＳｎをＰｄと置換させて触媒機能を付与した。
そしてそれ以降は実施例９と同様にして無電解Ｎｉめっきと電気Ｎｉめっきとを行って、同形状、同寸法の導体回路２ａを得た〔図８（ａ）（ｂ）〕。
【０１２８】
得られた導体回路２ａの体積固有抵抗を測定したところ、８×１０−６Ω・ｃｍであった。また、パターンには断線等も見られなかった。また、導体回路２ａを形成するＮｉ被膜２の断面を観察したところ密度が密で、しかも凹凸のないきれいな形状であった。さらにその表面粗さを、光学式干渉計（ＺＹＧＯ社製）を用いて計測して、その結果から中心線平均粗さＲａを求めたところ０．０１μｍ未満であって、その表面はきわめて平滑であることが確認された。
【０１２９】
比較例５
（下地膜のパターン形成）
十分に洗浄したガラス基板５の表面に、比較例１で調製した無電解めっき用ペースト１′を、スクリーン印刷法によって印刷した後、１００℃で４時間、加熱して樹脂を硬化させることによって、アドレス電極の形状に対応した厚み１μｍの下地膜１をパターン形成した〔図８（ａ）〕。
【０１３０】
（導体回路の形成）
上記基板５に対して、実施例９と同様にして無電解Ｎｉめっきと電気Ｎｉめっきとを行って、同形状、同寸法の導体回路２ａを得た〔図８（ａ）（ｂ）〕。
得られた導体回路２ａの体積固有抵抗を測定したところ、２×１０−５Ω・ｃｍであった。また、パターンには断線等は見られなかったが、導体回路２ａを形成するＮｉ被膜２の断面を観察したところ、密度が粗であった。さらにその表面粗さを、光学式干渉計（ＺＹＧＯ社製）を用いて計測して、その結果から中心線平均粗さＲａを求めたところ２．０μｍ未満であって、その表面にかなりの凹凸があることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【図１】同図（ａ）〜（ｆ）は、それぞれこの発明の無電解めっき用ペーストに含有させる触媒粉末の芯材として用いる鎖状の金属粉末の一例の、一部を拡大して示す断面図である。
【図２】同図（ａ）は、上記鎖状の金属粉末を芯材とする触媒粉末を含むペーストを用いて形成した下地膜の、表面付近の状態を示す拡大断面図、同図（ｂ）（ｃ）は、上記下地膜の表面に、無電解めっきによって金属被膜を成長させる状態を示す拡大断面図である。
【図３】同図（ａ）〜（ｄ）は、この発明の微細金属部品の製造方法において使用する型体を形成する工程の一例を示す断面図である。
【図４】同図（ａ）（ｂ）は、上記型体を用いて型を形成する工程の一例を示す断面図である。
【図５】同図（ａ）〜（ｃ）は、型を形成する工程の他の例を示す断面図である。
【図６】同図（ａ）〜（ｄ）は、上記型を用いて、この発明の製造方法によって微細金属部品を製造する工程の一例を示す断面図である。
【図７】同図（ａ）〜（ｃ）は、この発明の他の製造方法によって微細金属部品を製造する工程の一例を示す断面図である。
【図８】同図（ａ）（ｂ）は、この発明の無電解めっき用ペーストを用いて導体回路を製造する工程の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
１  下地膜
１０  結着剤
１１  触媒粉末
２  金属被膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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