(57)【要約】      （修正有）【課題】移送テーブルに一定の負荷が印加される時に発生される回転関節のモーメント負荷を既存に比べて相対的に減らすことができる。【解決手段】支持部２０と；前記支持部２０に支持されて回転する第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂと；前記第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂにそれぞれ設けられる駆動リンク４０ａ，４０ｂと；前記駆動リンク４０ａ，４０ｂと回転できるように連結される伝達リンク５０ａ，５０ｂと；前記伝達リンク５０ａ，５０ｂと回転関節により連結され、前記駆動リンク４０ａ，４０ｂ及び前記伝達リンク５０ａ，５０ｂの相互作用により直線運動する移送テーブル７０ａと；を含む移送装置において、前記第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂが前記移送テーブル７０ａの移送方向に配置されることを特徴とする。【選択図】図１
2004237436.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部と；前記支持部に支持されて回転する第１駆動軸及び第２駆動軸と；前記第１駆動軸及び第２駆動軸にそれぞれ設けられる駆動リンクと；前記駆動リンクと回転できるように連結される伝達リンクと；前記伝達リンクと回転関節により連結され、前記駆動リンク及び前記伝達リンクの相互作用により直線運動する移送テーブルと；を含む移送装置において、
前記第１駆動軸及び第２駆動軸が前記移送テーブルの移送方向に配置されることを特徴とする移送装置。 
【請求項２】
前記第１駆動軸は前記支持部の中心に配置され、前記第１駆動軸は前記第１駆動軸と一定の距離をおいて前記移送テーブルの移送方向に後方に配置されることを特徴とする請求項１に記載の移送装置。
【請求項３】
前記伝達リンクと前記移送テーブルとを連結するそれぞれの回転関節が前記移送テーブルの移送方向に配置されることを特徴とする請求項１に記載の移送装置。
【請求項４】
前記第１駆動軸及び第２駆動軸は、相互に反対方向に回転されるように回転を拘束する駆動軸拘束装置を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の移送装置。
【請求項５】
前記駆動リンクには、前記第１駆動軸及び第２駆動軸と回転干渉を起こさないように屈曲部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の移送装置。
【請求項６】
前記駆動リンクの両端には相互に対称となるように作動される２対の伝達リンクが設けられ、前記伝達リンクには前記駆動リンクの駆動により接近及び離隔されながら移動する二つの移送テーブルが設けられることを特徴とする請求項１に記載の移送装置。
【請求項７】
前記駆動リンクは、上下の高さがそれぞれ異なるように配置された二つの移送テーブルを同一の方向に直線運動させることができるように３段に構成されることを特徴とする請求項１に記載の移送装置。
【請求項８】
前記駆動リンクは、前記第１駆動軸に対称に設けられる第１駆動リンク及び第３駆動リンクと；前記第２駆動軸に設けられ、前記第１駆動リンクと干渉しないように前記第１駆動リンク及び第３駆動リンクの上下部にそれぞれ位置する第２及び第４駆動リンクと；を含むことを特徴とする請求項７に記載の移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移送装置にかかり、さらに詳しくは、複数のリンクを備えた二つの駆動機具が相互に作用することにより、半導体部品等を簡便に移送することができる移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体製造設備には、作業ラインの無人自動化により作業の効率性を高めるために半導体ウェーハ、ＬＣＤ基板等のような半導体部品を自動に移送するための移送装置が備わる。このような移送装置は、ＳＣＡＲＡ形が主に使用されたが、最近、ＳＣＡＲＡ形移送装置に比べてその構造が単純で真空環境で有利に使用されることができる並列形移送装置の使用がますます増えている。
【０００３】
従来の並列形移送装置としては、多くのリンクからなる二つの駆動機具が相互に並列に連結されて運動することにより、半導体部品を移送する構造を有したものがある（例えば、特許文献１参照）。前記の移送装置は、同芯軸の外径上にリンクで連結されて回転運動をしながら特定方向に移送テーブルが往復運動することができるように構成されている。この他、様々な形態の移送装置が提案されている（例えば、特許文献２，３参照）。
【特許文献１】米国特許第6,189,404号明細書
【特許文献２】米国特許第5,180,276号明細書
【特許文献３】米国特許第5,647,724号明細書
【０００４】
しかし、従来の移送装置は、駆動リンクを駆動するための駆動軸が左右対称または同芯軸に配置され、移送テーブルと連結される伝達リンクが長形の移送テーブルの後方の両側に形成されている構造を有している。
【０００５】
したがって、移送テーブルを固定する回転関節は、小さい負荷に対して大きいモーメントを受けて応力が集中されることにより、半導体部品の移送による限界があり、このため、大きい負荷にも耐えることができるベアリングのような部品を使用しなければならない。
【０００６】
また、同一の方向に上下の高さを異なるようにして二つの移送テーブルが配置されるＸ字形の移送装置は、駆動リンクが相互に高さの差異を有するために駆動リンクを四段に構成したり、２軸の動力を伝達するために、三つの同芯軸を使用する等、その構造が複雑するだけでなく、これによる移送装置の製造コストがアップされる問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、移送テーブルにかかる負荷を相対的に減らすと共に、複数の移送テーブルの設置時に駆動リンクの構造を単純化することができる移送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明は、支持部と；前記支持部に支持されて回転する第１駆動軸及び第２駆動軸と；前記第１駆動軸及び第２駆動軸にそれぞれ設けられる駆動リンクと；前記駆動リンクと回転できるように連結される伝達リンクと；前記伝達リンクと回転関節により連結され、前記駆動リンク及び前記伝達リンクの相互作用により直線運動する移送テーブルと；を含む移送装置において、前記第１駆動軸及び第２駆動軸が前記移送テーブルの移送方向に配置されることを特徴とする移送装置が提供される。
【０００９】
前記第１駆動軸は前記支持部の中心に配置され、前記第１駆動軸は前記第１駆動軸と一定の距離をおいて前記移送テーブルの移送方向に後方に配置されることが好ましい。
【００１０】
前記伝達リンクと前記移送テーブルとを連結するそれぞれの回転関節が前記移送テーブルの移送方向に配置されることが好ましい。
【００１１】
前記第１駆動軸及び第２駆動軸は、相互に反対方向に回転されるように回転を拘束する駆動軸拘束装置を含むことが好ましい。
【００１２】
前記駆動リンクには、前記第１駆動軸及び第２駆動軸と回転干渉を起こさないように屈曲部が形成されている。
【００１３】
前記駆動リンクの両端には相互に対称となるように作動される２対の伝達リンクが設けられ、前記伝達リンクには前記駆動リンクの駆動により接近及び離隔されながら移動する二つの移送テーブルが設けられる。
【００１４】
前記駆動リンクは、上下の高さがそれぞれ異なるように配置された二つの移送テーブルを同一の方向に直線運動させることができるように３段に構成される。前記駆動リンクは、前記第１駆動軸に対称に設けられる第１駆動リンク及び第３駆動リンクと；前記第２駆動軸に設けられ、前記第１駆動リンクと干渉しないように前記第１駆動リンク及び第３駆動リンクの上下部にそれぞれ位置する第２及び第４駆動リンクと；を含む。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によると、移送装置の第１駆動軸及び第２駆動軸が移送テーブルの移送方向に前後に配置されることにより、移送テーブルに一定の負荷が印加される時に発生される回転関節のモーメント負荷を既存に比べて相対的に減らすことができる。
これにより、移送テーブルの垂れを防止する等、同一の負荷に対して移送装置の性能をさらに向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付の図面を参照して本発明を詳細に説明する。
図１乃至図３に示すように、本発明の第１実施形態による移送装置は、支持部２０と；支持部２０に支持されて回転する第１駆動軸３０ａ及び２駆動軸３０ｂと；第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂにそれぞれ設けられる第１駆動リンク４０ａ及び第２駆動リンク４０ｂと；第１駆動リンク４０ａ及び第２駆動リンク４０ｂと回転できるように連結される伝達リンク５０ａ，５０ｂと；伝達リンク５０ａ，５０ｂと回転関節６０により連結され、第１駆動リンク４０ａ及び第２駆動リンク４０ｂ及び伝達リンク５０ａ，５０ｂの相互作用により直線運動をする移送テーブル７０ａと；を含む。
【００１７】
第１駆動軸３０ａ及び２駆動軸３０ｂは、移送テーブル７０ａの移送方向に配置されることにより、第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂが左右対称に配置されたり、同芯軸に配置される既存の移送装置の駆動軸の配置構造に比べて相対的に伝達リンク５０ａ，５０ｂと移送テーブル７０ａとを連結する回転関節６０に印加されるモーメント負荷を減少させることができる。また、第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂは、作動時に第１駆動リンク４０ａ及び第２駆動リンク４０ｂの干渉を防止するためにその高さが異なるように形成される。
【００１８】
第１駆動軸３０ａは、支持部２０の中心に配置され、第２駆動軸３０ｂは第１駆動軸３０ａと一定の距離をおいて離隔されて移送テーブル７０ａの移送方向に配置されることが好ましいが、必要に応じてその配置形態を多様に変更することができる。
【００１９】
伝達リンク５０ａ，５０ｂと移送テーブル７０ａとを連結するそれぞれの回転関節６０は、第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂのように移送テーブル７０ａの移送方向、即ち移送テーブル７０ａの長手方向に配置される。
【００２０】
回転関節６０は、公知である形態の様々な種類のことを選択的に適用することができ、相互に反対方向に一定の角度だけ連動されて回転するようになっている。
【００２１】
第１駆動リンク４０ａ及び第２駆動リンク４０ｂは、第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂの回転により同一の方向に対称となるように作動され、第１駆動リンク４０ａには、±９０度の回転角度に対して第２駆動軸３０ｂと干渉しないように屈曲部４２が形成される。また、伝達リンク５０ａ，５０ｂの中のいずれか一つにも回転角に対して干渉が起こらないように屈曲部５２が形成されていることが好ましい。
【００２２】
一方、図面の参照番号６０’は、第１駆動リンク４０ａ及び第２駆動リンク４０ｂと伝達リンク５０ａ，５０ｂとを連結する回転関節を示している。
【００２３】
以上で説明した移送装置の作動状態を簡単に説明すると下記の通りである。
駆動部の作動により第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂが回転されると共に、第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂと連動されるように設けられた駆動リンク４０ａ，４０ｂ及び伝達リンク５０ａ，５０ｂが相互に作用することにより移送テーブル７０ａが前後方向に直線運動をする。
【００２４】
図４は本発明の第２実施形態による移送装置を示した斜視図であり、図５は図４の移送装置の平面図である。
図４及び図５に示すように、第２実施形態による移送装置は、上述した第１実施形態による移送装置の伝達リンク５０ａ，５０ｂ及び移送テーブル７０ａと対称されるように位置する別途の伝達リンク５０ｃ，５０ｄ及び移送テーブル７０ｂを追加に含んでいる。
【００２５】
第１駆動リンク４０ａ及び第２駆動リンク４０ｂの両端には、相互に対称されるように作動される２対の伝達リンク５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄが設けられ、伝達リンク５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄには駆動リンク４０ａ，４０ｂの駆動により接近及び離隔しながら移動する二つの移動テーブル７０ａ，７０ｂが設けられる。
【００２６】
このような構造を有する移送装置は、同一の自由度の駆動に対して二つの移送テーブル７０ａ，７０ｂが交代に接近及び離隔しながら移動されるので、さらに高い移送効率を得ることができる。
【００２７】
一方、図面の参照符号４０ａ，４０ｂは第１駆動リンク及び第２駆動リンクをそれぞれ示している。
【００２８】
図６は本発明の第３実施形態による移送装置を示した斜視図であり、図７は本発明による図６の平面図である。
図６及び図７に示すように、移送装置の移送テーブル７０ａ，７０ｂが同一の方向に二つ設けられている。複数の伝達リンク５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄと移送テーブル７０ａ，７０ｂを連結する複数の回転関節６０が移送テーブル７０ａ，７０ｂの移送方向に前後に配置されており、第１乃至第４駆動リンク４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄが上下の高さが異なるように配置された移送テーブル７０ａ，７０ｂを同一の方向に直線運動させることができるように３段に構成されている。
【００２９】
一体形に形成された第１駆動リンク４０ａ及び第３駆動リンク４０ｃは、第１駆動軸３０ａに対して対称に設けられる。第２駆動リンク４０ｂ及び第４駆動リンク４０ｄは、第２駆動軸３０ｂに設けられ、第１駆動リンク４０ａ及び第３駆動リンク４０ｃと相互に干渉しないように第１駆動リンク４０ａ及び第３駆動リンク４０ｃの上部及び下部にそれぞれ位置する。
【００３０】
第１乃至第４駆動リンク４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄの端部には、伝達リンク５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄがそれぞれ連結され、伝達リンク５０ｂ，５０ｃ及び伝達リンク５０ａ，５０ｄに移送テーブル７０ａ，７０ｂがそれぞれ連結される。この時、移送テーブル７０ａ，７０ｂは、相互に干渉されないように高さの差があるように上下に配置され、第１駆動リンク４０ａ、第３駆動リンク４０ｃ、第４駆動リンク４０ｄには、リンク間の干渉を避けるために屈曲部４２が形成される。
【００３１】
このような移送装置は、第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂが同芯軸ではないので、駆動リンク４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄの構成を３段に構成することが可能であり、移送装置をスリムに形成することができる。
【００３２】
前記で説明した第３実施形態による移送装置の作動状態を簡単に説明すると下記の通りである。
駆動部の作動により支持部２０に設けられた第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂが回転されるとともに、第１乃至第４駆動リンク４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ及び伝達リンク５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄが相互に作用することにより、それぞれの移送テーブル７０ａ，７０ｂが同一の方向に前進及び後進に運動する。この時、二つの移送テーブル７０ａ，７０ｂは、交代に前進及び後進するので一つの自由度により二つの移送テーブル７０ａ，７０ｂが前進及び後進に運動をすることができる。
【００３３】
図８は本発明による移送装置の駆動部を示した構成図である。
図面に示すように、移送装置の駆動部は、第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂを回転運動させる第１モータ８２と；第１駆動軸３０ａ、第２駆動軸３０ｂ及び第１モータ８２と連動されるように設けられた支持部２０の支持部回転軸８３を回転運動させる第２モータ８４と；支持部回転軸８３及び第２モータ８４を上下に運動させる第３モータ８６と；を含む。
【００３４】
第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂの外周面には、第１モータ８２の回転により第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂが相互に反対方向に回転することができる駆動軸拘束装置３２が備わる。駆動軸拘束装置３２は、ギヤ等のような様々な形態を選択的に適用することができる。
【００３５】
第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂは、間接駆動方式により回転されることが好ましい。
【００３６】
支持部回転軸８３は、第１駆動軸３０ａ及び第２駆動軸３０ｂの中のいずれか一つと同芯軸をなすことが好ましい。
【００３７】
駆動部には真空と大気との間を密閉させるために通常的に使用するフィードスルー（feed through）８７及びベローズ（bellows）８８が備わり、その駆動方式は様々な方式を選択的に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の第１実施形態による移送装置を示した斜視図である。
【図２】図１の移送装置の平面図である。
【図３Ａ】図１の移送装置の作動状態図である。
【図３Ｂ】図１の移送装置の作動状態図である。
【図３Ｃ】図１の移送装置の作動状態図である。
【図４】本発明の第２実施形態による移送装置を示した斜視図である。
【図５】図４の移送装置の平面図である。
【図６】本発明の第３実施形態による移送装置を示した斜視図である。
【図７】図６の移送装置の平面図である。
【図８】本発明による移送装置の駆動部を示した概略図である。
【符号の説明】
【００３９】
２０    支持部
３０ａ  第１駆動軸
３０ｂ  第２駆動軸
３２    駆動軸、拘束装置
４０ａ  第１駆動リンク
４０ｂ  第２駆動リンク
４２    屈曲部
５０ａ  伝達リンク
５０ｂ  伝達リンク
５０ｃ  伝達リンク
５０ｄ  伝達リンク
６０    回転関節
７０ａ  移送テーブル
７０ｂ  移送テーブル
８２    第１モータ
８４    第２モータ
８６    第３モータ
８７    ベローズ
８８    フィードスルー
【図１】
2004237436.tif 000003
【図２】
2004237436.tif 000004
【図３Ａ】
2004237436.tif 000005
【図３Ｂ】
2004237436.tif 000006
【図３Ｃ】
2004237436.tif 000007
【図４】
2004237436.tif 000008
【図５】
2004237436.tif 000009
【図６】
2004237436.tif 000010
【図７】
2004237436.tif 000011
【図８】
2004237436.tif 000012