(57)【要約】【目的】円筒状基体の端部の変形を補正することができ、長手方向の画像濃度ムラを無くすことができる電子写真感光体の製造方法を提供すること。【構成】減圧可能な真空容器を用いて円筒状基体上に機能性堆積膜を形成する電子写真感光体の製造方法において、前記機能性堆積膜を形成する前の前記円筒状基体の外径が最端部に向かって連続的に大きくなっている領域を有することを特徴とする。この場合、前記円筒状基体の端部領域の内面がインロー加工されると共に、前記円筒状基体の端部領域の内径及び外径が何れも最端部に向かって連続的に大きくなっており、且つ、前記内径の連続的に大きくなる度合いが外径の度合いより大きくなっている。【選択図】      図３
2004333928.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧可能な真空容器を用いて円筒状基体上に機能性堆積膜を形成する電子写真感光体の製造方法において、
前記機能性堆積膜を形成する前の前記円筒状基体の外径が最端部に向かって連続的に大きくなっている領域を有することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
【請求項２】
前記円筒状基体の端部領域の内面がインロー加工されると共に、前記円筒状基体の端部領域の内径及び外径が何れも最端部に向かって連続的に大きくなっており、且つ、前記内径の連続的に大きくなる度合いが外径の度合いより大きくなっていることを特徴とする請求項１記載の電子写真感光体の製造方法。
【請求項３】
前記円筒状基体端部領域の内径と外径の最端部に向かって連続的に大きくなっている形状が異なることを特徴とする請求項１又は２記載の電子写真感光体の製造方法。
【請求項４】
前記機能性堆積膜形成後には前記円筒状基体の外径はフラットになるように形成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の電子写真感光体の製造方法。
【請求項５】
前記機能性堆積膜形成後には前記円筒状基体の端部領域の内径の少なくとも一部が変形しないように形成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の電子写真感光体の製造方法。
【請求項６】
前記円筒状基体の少なくとも中央部の肉厚が３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の電子写真感光体の製造方法。
【請求項７】
中央部の肉厚が３ｍｍ以下である円筒状基体上にアモルファスシリコンを主成分とする機能性堆積膜が形成された電子写真感光体であって、外径がフラットであり、且つ、端部領域にインロー加工が形成された内径の少なくとも一部がフラットであることを特徴とする電子写真感光体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光（ここでは、広義の光であって、紫外線、可視光線、赤外線、Ｘ線等を意味する）のような電磁波に対して感受性のある光受容部材、特に電子写真用感光体の製造方法及び電子写真感光体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体デバイス、電子写真用感光体、画像入力用ラインセンサー、撮像デバイス、光起電力デバイス、その他各種エレクトロニクス素子、光学素子等に用いられる素子部材として、アモルファスシリコン、例えば水素又は／及びハロゲン（例えば、フッ素、塩素等）で補償されたアモルファスシリコンのような非単結晶の堆積膜又はダイヤモンド薄膜のような結晶の堆積膜が提案され、その中には実用に供されているものもある。こうした堆積膜は、プラズマＣＶＤ法、即ち、原料ガスを直流または高周波、或はマイクロ波によるグロー放電によって分解し、ガラス、石英、耐熱性合成樹脂フィルム、ステンレス、アルミニウム等の支持体上に堆積膜を形成する方法により形成される。そして、そのための装置も各種提案されている。
【０００３】
例えば、図１は高周波プラズマＣＶＤ法（以後、「ＰＣＶＤ」と略記する）による電子写真用感光体の製造装置の一例を示す模式的な構成図である。図１に示す製造装置の構成は以下の通りである。
【０００４】
図１において、１１００は堆積装置、１２００は原料ガスの供給装置、１１１１は反応容器、１１１２は円筒状基体、１１１３はヒーター、１１１４は原料ガス導入管、１１１５は高周波マッチングボックス、１１１６は原料ガス配管、１１１７はリークバルブ、１１１８はメインバルブ、１１１９は真空計、１２１１〜１２１５はそれぞれマスフローコントローラー、１２２１〜１２２５はそれぞれ原料ガスのボンベ、１２３１〜１２３５はそれぞれボンベのバルブ、１２４１〜１２４６はそれぞれ流入バルブ、１２５１〜１２５５はそれぞれ流出バルブ、１２６０は補助バルブ、１２６１〜１２６５はそれぞれ圧力調整器である。
【０００５】
こうした製造装置を用いた機能性堆積膜の形成は、例えば以下のように行われる。
【０００６】
不図示の排気装置（例えば、真空ポンプ）により反応容器１１１１内を排気し、円筒状基体１１１２を設置する。基体加熱用ヒーター１１１３より所望温度に円筒状基体１１１２が達した時点で原料ガスの供給装置１２００より所望のガス流量が堆積装置１１００に導かれ、反応容器１１１１内を不図示の排気装置（例えば、真空ポンプ）により所望圧力に調整する。次に、高周波電源（不図示）から反応容器１１１１に投入し、所望の電力を供給してグロー放電を生起させる。この放電エネルギーにより原料ガスが分解され円筒状基体１１１２の表面に堆積膜を形成することができる。
【０００７】
このようにして作られた電子写真感光体は、例えば図２のような電子写真装置に組み込むことができる。図２は電子写真装置の画像形成プロセスの一例を説明するための装置の概略構成略図である。
【０００８】
図２において、１０２は円筒状の感光体であり、矢印Ａ方向に所定の周速度（プロセススピード）にて回転駆動されるドラム型の電子写真感光体である。１０１は感光体１０２を均一帯電せしめるための帯電手段である。該感光体１０２は、帯電手段１０１で一様に帯電された後、画像信号光１０３にて潜像が形成され、次の現像手段１０４にて該潜像に応じた顕像（トナー像）が形成される。尚、現像手段１０４は、第１の色の現像剤を現像する第１現像器１０４（ａ）、第２の色の現像剤を現像する第２現像器１０４（ｂ）、第３現像器１０４（ｃ）、第４現像器１０４（ｄ）（各々異なる各色のトナーを収容している）を有している。
【０００９】
トナー像は、別途駆動系１２１により駆動される中間転写体１２２へ転写された後に紙等から成る記録材Ｐに転写される。中間転写体１２２は、その後中間転写体用クリーニングブレード１２４等から成る中間転写体クリーニング手段１２３によってクリーニングされ、次回の転写工程に寄与する。
【００１０】
このような電子写真装置を用いての画像形成は次のように行われる。
【００１１】
即ち、原稿台１１４に載置された原稿１１３に光源１１５からの照射光をスキャナ１１６に反射させることにより、形成すべき画像をスキャナ１１６に記憶する。又は原稿からではなく、外部のコンピュータ等の信号を直接記憶する。記憶信号に応じて、レーザー等から成る画像信号光源１１７が走査、強度変調され、ミラー１１８等の反射手段を介して画像信号光１０３を感光体へ照射する。多色、つまり２色以上の画像形成時には、上記の工程をトナーの色に応じて必要回数繰り返すことで画像形成がなされ、上記の例では中間転写材に複数層のトナー像を形成して記録材への転写工程を経た後、定着工程を経て画像が出力される。
【００１２】
しかしながら、アモルファスシリコン膜は優れた電子写真特性を有する反面、その特性をより優れたものとするために、製造時における円筒状基体の温度は加熱により室温より高い温度、通常は１５０℃〜程度以上の高温で作製されるため、円筒状基体とアモルファスシリコン膜の熱膨張係数差が大きくなる。
【００１３】
又、アモルファスシリコン光導電層の膜厚を厚くする必要があるため、膜の応力が大きくなる。この結果、円筒状基体の端部を変形させるという問題があった。これは、前記熱膨張係数差と膜の応力により、円筒状基体の両端部が収縮して、円筒状基体端部に向かって円筒状基体の直径が減少する方向に変形するものであった。
【００１４】
これらの問題に対し、従来これらの問題に対する対策としては、基体端部の最小肉厚と基体中央部の最大肉厚の比を特定の値にすることで、端部の変形の補正する方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【００１５】
又、基体外面端部を２段階のテーパー加工とし、端部の変形を補正し、外周面を平滑化することで、電子写真装置での現像器のコロの接触精度を向上及び膜剥がれによる画像欠陥の改善する方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【００１６】
更には、基体端部の変形を補正し、電子写真装置に装着するための治具（フランジ）の嵌め合い精度の向上を図り、電子写真装置での円筒状基体の偏心を抑え、帯電器との距離を常に一定にし、画像濃度ムラを改善する方法がある（例えば、特許文献３参照）。
【００１７】
【特許文献１】
特公平６−２７９４８号公報
【特許文献２】
特開平６−３３７５３４号公報
【特許文献３】
特開平９−２９７５００号公報
【発明が解決しようとする課題】
前述した技術により、円筒状基体の端部の変形は或る程度改善され、現像部分に対する対応は取られてきたものの未だ充分とは言えない。特に、アモルファスシリコン系感光体の更なる課題として、画像濃度ムラをなくした高画質感光体の確立及び円筒状基体の薄肉化によるコストダウンを行うことが挙げられる。特に、電子写真装置のカラー化に伴い画像領域全体での微妙な画像濃度ムラに関して更に改善の余地が残されている。これは前述した現像部分によるものだけではなく、電子写真装置でのドラムと帯電器の距離変化やドラムと現像器に距離の変化に起因する静電潜像部分のムラを改善しなければならない。
【００１８】
そのためには、円筒状基体の端部の変形を更に補正する技術を確立し、電子写真装置での電子写真感光体と帯電器及び現像器との距離を電子写真感光体の長手方向でのバラツキを抑え画像濃度ムラを抑えていかなければならないという課題が完全に解決されてはいない。
【００１９】
本発明の主たる目的は、円筒状基体の端部の変形を補正することができ、長手方向の画像濃度ムラを無くすことができる電子写真感光体の製造方法及び電子写真感光体を提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、減圧可能な真空容器を用いて円筒状基体上に機能性堆積膜を形成する電子写真感光体の製造方法において、前記機能性堆積膜を形成する前の前記円筒状基体の外径が最端部に向かって連続的に大きくなっていることを特徴としている。
【００２１】
本発明は、前記円筒状基体の端部領域の内面がインロー加工されると共に、前記円筒状基体の端部領域の内径及び外径が何れも最端部に向かって連続的に大きくなっていることを特徴としている。
【００２２】
本発明は、前記円筒状基体端部領域の内径と外径の最端部に向かって連続的に大きくなっている形状が異なることを特徴としている。
【００２３】
本発明は、前記円筒状基体の内面及び外面の端部に向かって連続的に大きくなっている形状が、前記機能性堆積膜形成後には前記円筒状基体の外径はフラットになるように形成されていることを特徴としている。
【００２４】
本発明は、前記円筒状基体の内面及び外面の端部に向かって連続的に大きくなっている形状が、前記機能性堆積膜形成後には前記円筒状基体の端部領域の内径の少なくとも一部はフラットになるように形成されていることを特徴としている。
【００２５】
本発明は、前記円筒状基体の中央部の肉厚が３ｍｍ以下であることを特徴としている。
【００２６】
本発明は、中央部の肉厚が３ｍｍ以下である円筒状基体上にアモルファスシリコンを主成分とする機能性堆積膜が形成された電子写真感光体において、前記電子写真感光体の外径がフラットであり、且つ、電子写真感光体の端部領域にインロー加工が形成された内径の少なくとも一部がフラットであることを特徴とする。
【００２７】
本発明者等は、従来の堆積膜形成方法における前述の問題を克服して前述の本発明の目的を達成すべく鋭意研究を重ね、本発明を成すに至った。
【００２８】
一般に、ドラムの端部は、アモルファスシリコン膜を堆積させて電子写真感光体を製造する際に製造装置内に円筒状基体を固定するための、或は電子写真感光体として電子写真装置内に装着する治具（フランジ）を固定するため図４（ａ）に示すようなインロー加工が施されている。通常、このインロー加工は、円筒状基体の端部の内面を中央部の内径より大きく形成し段加工切削することにより実施されるため、円筒状基体の中央部と比較するとその肉厚が薄くなっている。
【００２９】
これらのことから、堆積膜形成後は、電子写真感光体の端部は図４（ｂ）のように変形を生じ易く、そのため、電子写真装置に固定する治具（フランジ）が、電子写真感光体端部の直径が小さいことにより装着できない場合があるという問題が生じることがあった。又、このとき、電子写真感光体の表面部、つまり外径も同時に変形してしまうこともあった。
【００３０】
この場合、インロー部の寸法精度が出ていないとガタツキが生じ円筒状基体の偏心により画像濃度ムラを招いてしまうことがある。外径部に関しても外径の変形により画像形成時に現像器との距離が部分的に異なり、その部分だけ濃度が異なる画像が形成されてしまう等の問題があった。特に、現像器と電子写真感光体間のギャップを一定に保つための治具（コロ等）を用いない画像形成を行うときには更に顕著になってくる。
【００３１】
円筒状基体の肉厚が５ｍｍの場合の変形量は小さいが、特に円筒状基体の肉厚をより薄く、３ｍｍ以下にした場合は、より顕著に起こるものであった。
【００３２】
又、端部領域で堆積膜形成後の変形により堆積膜が形成された端部領域で膜剥がれの発生という問題もあった。特に、堆積膜の膜厚が厚くなると膜応力も強くなることより顕著になってくる。
【００３３】
更には、前述のようにカラー化に伴い画像濃度ムラに関して更なる改善が求められる中、端部領域の変形により電子写真装置に搭載したときに帯電器とのギャップが端部領域で変化することにより電子写真感光体上で端部領域に帯電ムラが生じ、結果的に現像時に画像濃度ムラが発生ることも確認された。
【００３４】
このことから、電子写真感光体用の円筒状基体の端部領域での外径及び内径を最端部に向かって連続的に大きくする加工を施すことで、円筒状基体の端部変形を補正し、電子写真感光体を複写装置に固定するための治具（フランジ）をインロー部へ装着する際の装着性の向上と電子写真感光体の外径面のフラット化も同時に行うことで画像濃度ムラの画像欠陥を防止することができることを見出した。
【００３５】
この場合、外径面のフラット化とは端部領域の外径の寸法（Ｄ）が円筒状基体の中央部の外径寸法（Ｍ）に対して−８μｍ≦Ｍ−Ｄ≦８μｍ以下の範囲のことを言う。
【００３６】
更に、本発明者等は、電子写真感光体を複写装置に固定するための治具（フランジ）をインロー部へ装着する際、前記電子写真感光体を保持する固定用治具（フランジ）が嵌め合い精度を維持できる面が少なくとも一部形成されていなければならない。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００３８】
図３（ａ），（ｂ）に本発明のテーパー面を形成した円筒状基体の端部形状の一例を示す。図３（ａ）は堆積膜形成前の円筒状基体の端部形状を示し、図３（ｂ）は堆積膜形成後の電子写真感光体の端部形状の一例を模式的断面図として示す。
【００３９】
本発明においては、予め円筒状基体を図３（ａ）に示すように形成する。具体的には、堆積膜の膜応力により変形することを前提に最端部に向かって連続的に広がる形状をしているａ部及びｂ部と、堆積膜の膜応力を受けても変形しないｃ部から構成されている。ｃ部は電子写真感光体を複写装置に固定するための治具（フランジ）をインロー部へ装着する際、前記電子写真感光体を保持する固定用治具（フランジ）が嵌め合い精度を維持できる面である。ｂ部は堆積膜の膜応力を受け変形しても該固定用治具（フランジ）がｃ部に装着できるように予め変形量よりも大きな広がり形状を成している。
【００４０】
端部領域の外径ａ部は最端部に向かって連続的に広がる形状を施す。又、インローの内径部においては最端部の膜応力が最大となるインロー最端部領域ｂ部分に関しては、インロー内径部ｃの平面部分に固定用部材（フランジ）が挿入されるためため、ｃ面の内径より大きくなるように最端部に向かって連続的に広がる形状を施している。この部分は変形分以上にテーパーとしているため、インロー最端部領域ｂ以外のインロー部分と比較して、堆積膜形成後においても寸法は大きくなっている。
【００４１】
このように、加工された円筒状基体上に堆積膜形成後の電子写真感光体の端部領域の形状は図３（ｂ）に示すように、端部領域の外径ａ及びｂは堆積膜の膜応力によりそれぞれａ’，ｂ’となる。このとき、ｂはｂ’のようにアモルファスシリコン堆積膜形成後でも連続的に広がる形状をしている。これは前述のように電子写真感光体の内径であるインロー最端部領域ｂはアモルファスシリコン堆積膜の膜応力により内径が小さくなる方向ではあるが、固定用部材（フランジ）が挿入されるため、ｃ面の内径より内側に入らないような形状とすることが必要であるため、アモルファスシリコン膜形成後においても連続的に広がる形状をしているものである。インロー内径部ｃは堆積膜による膜応力による変形を受けないので、ｃのままの形状を維持している。
【００４２】
この結果、電子写真装置に搭載した場合でも、画像濃度ムラを抑制し優れた画像品質を得ることができた。これは円筒状基体端部領域の変形は最端部に向かって連続的に広がった形状にすることで補正され、アモルファスシリコン膜堆積後の電子写真感光体と固定治具（フランジ）の取り付け精度を向上した形で電子写真装置に装着できると共に、アモルファスシリコン膜が堆積した外径部の形状もフラットになることにより画像濃度ムラを抑制し優れた画像品質を得ることができた。
【００４３】
本発明において端部領域と言うのは円筒状基体の端部切断面から中央部に向かってインロー加工の形成されている内径及び外径の領域のことを示す。
【００４４】
本発明において端部領域の外径領域ａ及び内径領域ｂ、インロー部内径領域ｃの寸法又は形状は、円筒状基体の肉厚、堆積膜の膜厚及び堆積膜の組成により円筒状基体の変形量が異なるので、製造条件により、堆積膜形成後、外径がフラットになるよう適宜決定される。
【００４５】
本発明において、端部領域の内径と外径の最端部に向かう変化の仕方は、連続的に大きくなって、且つ、堆積膜形成後、外径がフラットになれば、特に制限はなく、直線状でも曲線状でも良く、製造条件により適宜決定される。
【００４６】
本発明において、端部領域の内径と外径の最端部に向かって、大きくなっている形状は、堆積膜形成後、外径がフラットであれば特に制限はなく、外径と内径が同じ形状でも異なる形状でも良い。
【００４７】
しかし、外径に比べ、内径が最端部に向かって大きくなっている変化量を、大きくする方が、堆積膜形成後も内径が最端部に向かって大きくできるので、治具組の組み易さの面で好ましい。
【００４８】
本発明において使用される円筒状基体の材質としては、アルミニウム又はアルミニウム合金を使用するのが望ましい。前記材質を用いた場合、比較的真円性、表面平滑性等の加工面で精度の良いものが得られ、製造時の温度制御が容易であり、且つ、経済性の面からも好ましい。具体的には、Ａｌ−Ｍｇ系合金、Ａｌ−Ｍｎ系合金等が適している。特に、加工のし易さ等の面から考えてＡｌ−Ｍｇ系合金が本発明には適している。
【００４９】
又、Ａｌの純度に関しては不純物が多いと、加工面の面粗の悪化に繋がる。又、アモルファスシリコン堆積膜形成時に加工形成不良箇所が異常成長膜の原因となり、画像欠陥を引き起こす結果ともなる。よって、Ａｌの純度は９９％以上が本発明では有効である。
【００５０】
本発明において使用される円筒状基体の形状は平滑表面或は凹凸表面の円筒状であり、その表面性は、所望通りの電子写真用感光体を形成し得るように適宜決定される。
【００５１】
特に、レーザー光等の可干渉性光を用いて像記録を行う場合には、可視画像において現われる、所謂干渉縞模様による画像不良をより効果的に解消するために、支持体の表面に凹凸を設けても良い。
【００５２】
又、レーザー光等の可干渉光を用いた場合の干渉縞模様による画像不良をより効果的に解消する別の方法として、支持体の表面に複数の球状痕跡窪みによる凹凸形状を設けても良い。即ち、支持体の表面が電子写真用感光体に要求される解像力よりも微少な凹凸を有し、しかも、該凹凸は、複数の球状痕跡窪みによるものであることが望ましい。
【００５３】
［実施例］
以下、本発明について、実施例と比較例により更に詳しく説明するが、本発明はこれらにより限定されるものではない。
【００５４】
［実施例１］
長さ３５８ｍｍ、中央部の外径φ８０ｍｍの鏡面加工を施したＡｌ製円筒状基体を載置したＡｌ製ホルダー（長さ１０００ｍｍ）を用い、図１に示した装置を用いて該基体上に電荷注入阻止層、光導電層及び表面層から成るアモルファスシリコン電子写真感光体を表１に示す作製条件により作製した。
【００５５】
本実施例では、アモルファスシリコン堆積膜を形成する前の円筒状基体に関しては  図３（ａ）に示すように円筒状基体の端部領域を加工したものを用いた。
【００５６】
尚、評価方法は以下の通りである。
【００５７】
▲１▼［画像濃度ムラ評価］：作製した電子写真感光体を電子写真装置（キヤノン製ｉＲ６０００ベースに実験用として図２に示す構成のカラー機に改造した機械）に搭載し、キヤノン製中間調チャート（ＦＹ９−９０４２）を使用し画像評価（濃度ムラ）を行った。この様にして得られた画像について、マクベス濃度計（Ｇｒｅｔａｇ製  商品名：Ｍａｃｂｅｔｈ  ＲＤ９１４）を用い、画像上濃い部分と淡い部分とを測定し下記の基準で判別した。画像の濃淡ムラが１０％未満を◎、１０％以上〜１５％未満を○、１５％以上〜３０％未満を△（実用上問題なし）、３０％以上を×（実用上問題あり）とした４段階評価を行った。評価結果を表２に示す。
【００５８】
▲２▼［端部剥がれ評価］：目視にて端部外径面の膜剥がれ状態を評価し、剥がれがなく良好なものを○、膜剥がれが１ｍｍ以下（実用上問題なし）のものを△、膜剥がれが１ｍｍ以上（実用上問題がある場合あり）のものを×とした３段階評価を行った。
【００５９】
▲３▼［総合評価］：画像濃度ムラ評価、端部剥がれ評価に、治具（フランジ）装着性評価を加えて、◎（特に良好）、○（良好）、△（実用上問題なし）、×（実用上問題のある場合あり）とした、４段階の総合評価を行った。
【００６０】
【表１】
2004333928.tif 000003
＊ＳｉＨ４  流量に対するＢ２  Ｈ６
の設定流量
＜比較例１＞
外径形状が図４（ｂ）に示す直線的な形状であること以外は実施例１と同様の条件にてアモルファスシリコン堆積膜の形成を行い、実施例１と同様の手段にて評価を行った。その結果を同じく表２に示す。
【００６１】
【表２】
2004333928.tif 000004
表２の結果より、本発明の形状で加工された円筒状基体を用いて、アモルファスシリコン堆積膜を形成した電子写真感光体は画像濃度ムラの少ない良好な結果が得られた。
【００６２】
【発明の効果】
本発明によれば、円筒状基体の端部領域の外径及び内径が最短部に向かって連続的に広がった形状をすることで補正され、電子写真感光体として使用する場合の外径面の形状をフラットにすることが可能となり、電子写真装置に搭載した場合でも、画像濃度ムラを抑制した優れた画像品質を得ることができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＣＶＤ法を利用した成膜装置の一例を説明するための概略構成図である。
【図２】電子写真装置の一例を説明するための概略構成図である。
【図３】本発明の円筒状基体の加工方法を用いて形成された円筒状基体の概略図である。
【図４】従来の円筒状基体の加工方法を用いて形成された円筒状基体の概略図である。
【符号の説明】
１０１    帯電手段
１０２    感光体
１０３      画像信号光
１０４      現像手段
１０４（ａ）  第１現像器
１０４（ｂ）  第２現像器
１０４（ｃ）  第３現像器
１０４（ｄ）  第４現像器
１０５      給紙系
１０６（ａ）  転写手段
１０６（ｂ）  分離手段
１０７      クリーニング手段（クリーナー）
１０８      除電手段
１０９      内部電位計
１１０      搬送系
１１１      定着手段
１１２      定着ローラー
１１３      原稿
１１４      原稿台
１１５      光源
１１６      スキャナ
１１７      画像信号光源
１１８      ミラー
１１９      給紙経路
１２０      レジスタローラー
１２１      駆動系
１２２    中間転写体
１２３      中間転写体クリーニング手段
１２４      中間転写体用クリーニングブレード
Ａ        感光体表面の進行方向
Ｐ        記録材（紙）
３０１，４０１  堆積膜
３１００      堆積装置
３１１１      反応容器
３１１２，３０２，４０２  円筒状基体
３１１３      加熱用ヒータ
３１１４      原料ガス導入管
３１１５      マッチングボックス
２１１６      原料ガス配管
３１１７      反応容器リークバルブ
３１１８      メイン排気バルブ
３１１９      真空計
３２００      原料ガス供給装置
３２１１〜３２１５    マスフローコントローラー
３２２１〜２２２５    原料ガスボンベ
３２３１〜２２３５    原料ガスボンベバルブ
３２４１〜２２４５    ガス流入バルブ
３２５１〜２２５５    ガス流出バルブ
３２６１〜２２６５    圧力調整器
【図１】
2004333928.tif 000005
【図２】
2004333928.tif 000006
【図３】
2004333928.tif 000007
【図４】
2004333928.tif 000008