(57)【要約】【課題】高密度化の要求に答えることのできる新規な磁気記録媒体を提供する。【解決手段】Ｆｅ微粒子を含む遷移元素グラニュラー薄膜及びＰｔ微粒子を含む白金族元素グラニュラー薄膜の少なくとも一方を含む積層体を形成し、前記積層体を形成する際、又は前記積層体を形成した後に、前記積層体を所定温度に加熱して、前記積層体を構成する膜間でＦｅ及びＰｔを相互拡散させるとともに合金化させて、平均直径が１０ｎｍ以下のＦｅＰｔ微粒子を含むグラニュラー構造の磁気記録媒体を作製する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
　Ｆｅ及びＰｔの合金からなる、平均直径が１０ｎｍ以下の微粒子を含むグラニュラー構造を呈することを特徴とする、磁気記録媒体。
【請求項２】
　前記微粒子の平均直径は３ｎｍ〜１０ｎｍであることを特徴とする、請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
　前記微粒子は、前記グラニュラー構造中において互いに孤立していることを特徴とする、請求項１又は２に記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
　抗磁力が５ＫＯｅ以上であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一に記載の磁気記録媒体。
【請求項５】
　前記グラニュラー構造はＭｇＯからなる母材を含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一に記載の磁気記録媒体。
【請求項６】
　前記微粒子を含む前記グラニュラー構造は、Ｆｅ微粒子を含む遷移元素グラニュラー薄膜と、Ｐｔ微粒子を含む白金族元素グラニュラー薄膜とを積層させて積層体を形成し、前記積層体を形成する際、又は前記積層体を形成した後に、前記積層体を所定温度に加熱して、前記遷移元素グラニュラー薄膜及び白金族元素グラニュラー薄膜間で相互拡散を生じさせ、Ｆｅ及びＰｔを合金化させて形成することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一に記載の磁気記録媒体。
【請求項７】
　前記遷移元素グラニュラー薄膜の厚さが１．０〜２．５ｎｍであり、前記白金族元素グラニュラー薄膜の厚さが１．０〜２．５ｎｍであることを特徴とする、請求項６に記載の磁気記録媒体。
【請求項８】
　前記遷移元素グラニュラー薄膜中における前記Ｆｅ微粒子の含有量が５０〜８０体積％であり、前記白金族元素グラニュラー薄膜中における前記Ｐｔ微粒子の含有量が５０〜８０体積％であることを特徴とする、請求項６又は７に記載の磁気記録媒体。
【請求項９】
　前記微粒子を含む前記グラニュラー構造は、Ｆｅ微粒子を含む遷移元素グラニュラー薄膜と、Ｐｔ薄膜とを積層させて積層体を形成し、前記積層体を形成する際、又は前記積層体を形成した後に、前記積層体を所定温度に加熱して、前記遷移元素グラニュラー薄膜及び前記Ｐｔ薄膜間で相互拡散を生じさせ、Ｆｅ及びＰｔを合金化させて形成することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一に記載の磁気記録媒体。
【請求項１０】
　前記微粒子を含む前記グラニュラー構造は、Ｆｅ薄膜と、Ｐｔ微粒子を含む白金族元素グラニュラー薄膜とを積層させて積層体を形成し、前記積層体を形成する際、又は前記積層体を形成した後に、前記積層体を所定温度に加熱して、前記Ｆｅ薄膜及び前記白金族元素グラニュラー薄膜間で相互拡散を生じさせ、Ｆｅ及びＰｔを合金化させて形成することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一に記載の磁気記録媒体。
【請求項１１】
　前記Ｆｅ薄膜の厚さが１．０〜２．５ｎｍであり、前記白金族元素グラニュラー薄膜の厚さが１．０〜５ｎｍであることを特徴とする、請求項１０に記載の磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、磁気記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
　ＩＴ技術の発展に伴い、情報を大量に記録する技術の高密度化が切望されている。特に、ビット単価が安く、高信頼性かつ大容量記録が可能な磁気記録においては、高密度化を実現することのできる記録媒体の開発が強く要求されている。
【０００３】
　現在、この要求に対応することのできる媒体材料としてはＣｏ−Ｃｒ系合金を例示することができる。このＣｏ−Ｃｒ系合金は、Ｃｏが主成分であるＣｏ−Ｃｒの強磁性体微粒子が、Ｃｏ含有量の少ない非磁性のＣｏ−Ｃｒ中に析出した構造を有する。したがって、１ビットの記録単位が多くの微粒子によって構成され、記録分解能の向上とビット間の境界が明確になることに起因した記録ノイズの低減が実現されている。
【０００４】
　しかしながら、上述した高密度記録の要求に答えるためには、高い分解能と低記録ノイズとを保持したまま、Ｃｏ−Ｃｒ系強磁性微粒子の粒子サイズをさらに小さくする必要がある。また、各微粒子間の磁気的結合を完全に遮断しなければならない。
【０００５】
　現状のＣｏ−Ｃｒ系強磁性微粒子においては、その粒子サイズが１０〜２０ｎｍ程度になると、熱振動エネルギーが各微粒子の有する磁気エネルギーよりも大きくなってしまい、その強磁性特性を消失してしまう（超常磁性現象）という問題があった。したがって、Ｃｏ−Ｃｒ系合金に代わる新たな高磁気異方性材料を見出し、これを微粒子化する数多くの試みがなされてきた。
【０００６】
　この結果、高磁気異方性材料として、（Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ）−（Ｐｔ，Ｐｄ）合金が見出されるに至った。この合金は規則相（Ｌ１０相）を有する場合において、上述したＣｏ−Ｃｒ系合金に比べて約１桁高い磁気異方性エネルギーを有する。規則相の（Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ）−（Ｐｔ，Ｐｄ）合金を得るには、（Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ）−（Ｐｔ，Ｐｄ）合金を蒸着法又はスパッタリング法などによって薄膜状に作製した後、６００〜７００℃で熱処理することが必要である。
【０００７】
　しかしながら、上述のような高温熱処理を行なった場合においては、（Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ）−（Ｐｔ，Ｐｄ）合金の結晶粒成長が生じて粒子サイズが増大してしまい、その結果、高密度記録を実現することができないでいた。また、前記薄膜を支持する基板の変形を引き起こし、その後の製品作製工程において数々の支障をもたらしていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
　本発明は、高密度化の要求に答えることのできる新規な磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
　上記目的を達成すべく、本発明は、
　Ｆｅ及びＰｔの合金からなる、平均直径が１０ｎｍ以下の微粒子を含むグラニュラー構造を呈することを特徴とする、磁気記録媒体に関する。
【００１０】
　本発明の磁気記録媒体は、平均直径が１０ｎｍ以下のＦｅＰｔ合金微粒子を含み、この合金微粒子は強磁性を呈するので、高密度記録を可能ならしめることができる。
【００１１】
　なお、前記微粒子の平均直径は３ｎｍ以上であることが好ましい。前記微粒子の平均直径が３ｎｍよりも小さくなると超常磁性を呈し、磁気記録媒体として機能しなくなる場合がある。
【００１２】
　また、本発明の磁気記録媒体は１０ｎｍ以下の平均直径を有するＦｅＰｔ合金微粒子を有するので、その抗磁力は５ＫＯｅ以上まで増大する。したがって、記録した情報を長期間に亘って安定的に保持することができるようになる。結果として、高密度かつ長期安定性に優れた磁気記録媒体を提供することができる。
【発明の効果】
【００１３】
　以上説明したように、本発明によれば、高密度化の要求に答えることのできる新規な磁気記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
　以下、本発明の詳細、並びにその他の特徴及び利点について詳述する。
　本発明の磁気記録媒体は、以下に示す３つの方法で作製することができる。第１の作製方法としては、最初にＦｅ微粒子を含む遷移元素グラニュラー薄膜と、Ｐｔ微粒子を含む白金族元素グラニュラー薄膜とを積層させて積層体を形成し、前記積層体を形成する際、又は前記積層体を形成した後に、前記積層体を所定温度に加熱して、前記遷移元素グラニュラー薄膜及び白金族元素グラニュラー薄膜間で相互拡散を生じさせ、Ｆｅ及びＰｔを合金化させて、前述したＦｅＰｔ微粒子を含むグラニュラー構造を形成する。
【００１５】
　前記第１の作製方法においては、前記遷移元素グラニュラー薄膜の厚さが１．０〜２０ｎｍであることが好ましく、さらには１．０〜２．５ｎｍであることが好ましい。同様に、前記白金族元素グラニュラー薄膜の厚さが１．０〜２０ｎｍであることが好ましく、さらには１．０〜２．５ｎｍであることが好ましい。
【００１６】
　これによって、前記遷移元素グラニュラー薄膜及びＰｔ微粒子を含む白金族元素グラニュラー薄膜からなる積層体を加熱して相互拡散を生じさせ、合金化させてＦｅ−Ｐｔ合金微粒子を作製した際の、その微粒子径を１０ｎｍ以下にまで十分に小さくすることができ、る。その結果、高密度な記録を実現することができる。また、作製した磁気記録媒体の抗磁力を５ＫＯｅ以上にまで十分高めることができ、記録した情報を長期に亘って安定して保持することができる。
【００１７】
　また、前記遷移元素グラニュラー薄膜中における前記Ｆｅ微粒子の含有率は、２０〜９０体積％であることが好ましく、さらには４０〜８０体積％であることが好ましく、特には５０〜８０体積％であることが好ましい。同様に、前記白金族元素グラニュラー薄膜中における前記Ｐｔ微粒子の含有率は、２０〜９０体積％であることが好ましく、さらには４０〜８０体積％であることが好ましく、特には５０〜８０体積％であることが好ましい。
【００１８】
　これによって、加熱処理による合金化処理を通じて得た磁気記録媒体中において、Ｆｅ−Ｐｔ合金を互いに十分に孤立させた微粒子として存在させることができるとともに、十分な大きさの抗磁力を付与することができる。したがって、高密度記録をより簡易に実現することができるとともに、長期信頼性に富む磁気記録媒体を提供することができる。
【００１９】
　また、前記遷移元素グラニュラー薄膜中における前記Ｆｅ微粒子の平均直径は１．０〜１０ｎｍであることが好ましく、さらには３〜５ｎｍであることが好ましく、特には１．０ｎｍであることが好ましい。同様に、前記白金族元素グラニュラー薄膜中における前記Ｐｔ微粒子の平均直径は１．０〜１０ｎｍであることが好ましく、さらには３〜５ｎｍであることが好ましく、特には１．０ｎｍであることが好ましい。
【００２０】
　これによって、合金化して得た規則相Ｆｅ−Ｐｔ合金微粒子の大きさを十分小さく保持することができるとともに、この合金微粒子を含む磁気記録媒体の抗磁力を十分に高くすることができる。したがって、より高密度な記録を可能とするとともに、記録した情報を長期に亘って保持することができる。
【００２１】
　本発明の磁気記録媒体に対する第２の作製方法は、Ｆｅ微粒子を含む遷移元素グラニュラー薄膜と、Ｐｔ薄膜とを積層させて積層体を形成し、前記積層体を形成する際、又は前記積層体を形成した後に、前記積層体を所定温度に加熱して、前記遷移元素グラニュラー薄膜及び前記Ｐｔ薄膜間で相互拡散を生じさせ、Ｆｅ及びＰｔを合金化させて前記ＦｅＰｔ微粒子を含むグラニュラー構造を形成する。
【００２２】
　前記第２の作製方法においては、Ｆｅ微粒子を含む遷移元素グラニュラー薄膜及びＰｔ薄膜を用いて磁気記録媒体を作製する場合、前記遷移元素グラニュラー薄膜の厚さが１．０〜２０ｎｍであることが好ましく、さらには１．０〜２．５ｎｍであることが好ましい。
【００２３】
　同様に、前記白金族元素薄膜の厚さは０．２〜１８ｎｍであることが好ましく、さらには０．５〜４．５ｎｍであることが好ましく、特には１．０ｎｍであることが好ましい。これによって、作製した磁気記録媒体中に規則相Ｆｅ−Ｐｔ合金を互いに十分に孤立させた微粒子として存在させることができるとともに、高い抗磁力を付与することができる。したがって、高密度記録をより簡易に実現することができるとともに、長期信頼性に富む磁気記録媒体を提供することができる。
【００２４】
　また、前記遷移元素グラニュラー薄膜中における前記遷移元素微粒子の含有率は、２０〜９０体積％であることが好ましく、さらには４０〜８０体積％であることが好ましく、特には５０体積％であることが好ましい。これによって、加熱処理による合金化処理を通じて得た磁気記録媒体中において、Ｆｅ−Ｐｔ合金を互いに十分に孤立させた微粒子として存在させることができるとともに、十分な大きさの抗磁力を付与することができる。したがって、高密度記録をより簡易に実現することができるとともに、長期信頼性に富む磁気記録媒体を提供することができる。
【００２５】
　さらに、前記遷移元素グラニュラー薄膜中における前記遷移元素微粒子の平均直径は１．０〜１０ｎｍであることが好ましく、さらには２．５〜５ｎｍであることが好ましく、特には５ｎｍであることが好ましい。これによって、合金化して得た規則相Ｆｅ−Ｐｔ合金微粒子の大きさを十分小さく保持することができるとともに、この合金微粒子を含む磁気記録媒体の抗磁力を十分に高くすることができる。したがって、より高密度な記録を可能とするとともに、記録した情報を長期に亘って保持することができる。
【００２６】
　本発明の磁気記録媒体に対する第３の作製方法は、Ｆｅ薄膜と、Ｐｔ微粒子を含む白金族元素グラニュラー薄膜とを積層させて積層体を形成し、前記積層体を形成する際、又は前記積層体を形成した後に、前記積層体を所定温度に加熱して、前記Ｆｅ薄膜及び前記白金族元素グラニュラー薄膜間で相互拡散を生じさせ、Ｆｅ及びＰｔを合金化させて前記ＦｅＰｔ微粒子を含むグラニュラー構造を形成する。
【００２７】
　前記第３の作製方法において、前記白金族元素グラニュラー薄膜の厚さが１．０〜２０ｎｍであることが好ましく、さらには１．０〜５．０ｎｍであることが好ましい。同様に、前記遷移元素薄膜の厚さは０．２〜１８ｎｍであることが好ましく、さらには０．５〜４．５ｎｍであることが好ましく、特には１．０〜２．５ｎｍであることが好ましい。これによって、作製した磁気記録媒体中に規則相Ｆｅ−Ｐｔ合金を互いに十分に孤立させた微粒子として存在させることができるとともに、高い抗磁力を付与することができる。したがって、高密度記録をより簡易に実現することができるとともに、長期信頼性に富む磁気記録媒体を提供することができる。
【００２８】
　また、前記白金族元素グラニュラー薄膜中における前記白金族元素微粒子の含有率は、２０〜９０体積％であることが好ましく、さらには４０〜８０体積％であることが好ましく、特には５０体積％であることが好ましい。これによって、加熱処理による合金化処理を通じて得た磁気記録媒体中において、Ｆｅ−Ｐｔ合金を互いに十分に孤立させた微粒子として存在させることができるとともに、十分な大きさの抗磁力を付与することができる。したがって、高密度記録をより簡易に実現することができるとともに、長期信頼性に富む磁気記録媒体を提供することができる。
【００２９】
　さらに、前記白金族元素グラニュラー薄膜中における前記白金族元素微粒子の平均直径は１．０〜１０ｎｍであることが好ましく、さらには３〜５ｎｍであることが好ましく、特には５ｎｍであることが好ましい。これによって、合金化して得た規則相Ｆｅ−Ｐｔ合金微粒子の大きさを十分小さく保持することができるとともに、この合金微粒子を含む磁気記録媒体の抗磁力を十分に高くすることができる。したがって、より高密度な記録を可能とするとともに、記録した情報を長期に亘って保持することができる。
【００３０】
　上述したいずれの態様においても、前記積層体は、前記Ｆｅ薄膜及び前記Ｐｔ薄膜を１層づつ積層させて形成することもできるが、交互に２層以上積層させて形成することもできる。
【００３１】
　また、上述したいずれの態様においても、グラニュラー薄膜中にＡｇ粒子を含有させることが好ましい。これによって、上記規則相Ｆｅ−Ｐｔ合金を形成するための加熱温度をより低減することができる。
【００３２】
　Ａｇ粒子は、好ましくは前記グラニュラー薄膜中に５〜８０体積％、さらに好ましくは１０〜２０体積％含有させる。また、その大きさは平均直径で５〜２０ｎｍであることが好ましく、さらには５〜１０ｎｍであることが好ましい。さらに、遷移元素グラニュラー薄膜及び白金族元素グラニュラー薄膜を用いる場合は、少なくとも一方に含有させる。
【００３３】
　本発明においては、積層体を好ましくは３００〜５００℃で加熱すれば、上述した規則相Ｆｅ−Ｐｔ合金を作製することができ、特にグラニュラー薄膜中にＡｇ粒子を含有させた場合においては、２００〜４００℃で加熱すれば、規則相Ｆｅ−Ｐｔ合金を作製することができる。
【００３４】
　なお、加熱処理時間は、前記Ｆｅ薄膜及び前記Ｐｔ薄膜の厚さなどを考慮して適宜決定されるが、好ましくは０．５〜２時間である。
【００３５】
　なお、グラニュラー薄膜の母材を構成する酸化物としては、Ｍｇ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｉｎ、Ｂ、及び希土類元素から選ばれる少なくとも一つの元素含む酸化物を例示することができる。同様に、グラニュラー薄膜の母材を構成する窒化物並びにフッ化物としては、Ｍｇ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｉｎ、Ｂ、及び希土類元素から選ばれる少なくとも一つの元素を含む窒化物及びフッ化物を例示することができる。特に前記母材としてＭｇＯを用いることが好ましい。
【００３６】
　さらに、グラニュラー薄膜の母材をＡｇから構成することもできる。この場合においても、規則相Ｆｅ−Ｐｔ合金を形成するための加熱温度をより低減することができる。具体的には、Ａｇ粒子を添加した場合と同様に、２００〜４００℃まで低減することができる。
【００３７】
　なお、上述したＦｅ薄膜にはＣｏ及びＮｉの少なくとも一方を加えることができ、上述したＰｔ薄膜にはＰｄを含有させることができる。前記Ｆｅ薄膜が遷移元素グラニュラー薄膜である場合には、所定の母材中にＣｏ微粒子及びＮｉ微粒子として予め含有させる。前記Ｐｔ薄膜が白金族元素グラニュラー薄膜である場合には、所定の母材中にＰｄ微粒子として予め含有させる。
【実施例】
【００３８】
　本発明の具体例を以下の実施例において示す。
（実施例１）
　ＭｇＯ母材中にＦｅ微粒子が分散してなるＦｅグラニュラー薄膜と、ＭｇＯ母材中にＰｔ微粒子が分散してなるＰｔグラニュラー薄膜とを、交互に各２層積層させて積層体を作製した後、１時間加熱処理を行い、磁気記録媒体を作製した。
【００３９】
　なお、加熱処理温度は３５０℃及び４００℃の２種類を設定した。また、前記Ｆｅグラニュラー薄膜中の前記Ｆｅ微粒子の体積含有率及び前記Ｐｔグラニュラー薄膜中の前記Ｐｔ微粒子の体積含有率をＰとし、前記Ｆｅグラニュラー薄膜の厚さ及び前記Ｐｔグラニュラー薄膜の厚さをｄとした。また、前記Ｆｅ微粒子及び前記Ｐｔ微粒子の平均直径は、５ｎｍで一定とした。
【００４０】
　そして、加熱処理温度、体積含有率Ｐ、及び厚さｄを変化させて得た磁気記録媒体毎に、その内部に含まれる合金微粒子の大きさを測定するとともに、その抗磁力及び抵抗率を測定した。結果を表１に示す。なお、いずれの磁気記録媒体においても、加熱処理中におけるマイクロＥＤＸ観察の結果、前記Ｆｅ微粒子と前記Ｐｔ微粒子との間に相互拡散が生じ、合金化していることが確認された。
【００４１】
【表１】
2004111050.tif 000002
【００４２】
　表１から明らかなように、作製された磁気記録媒体中におけるＦｅＰｔ合金微粒子の平均直径Ｄは１０ｎｍ以下であり、十分に微粒子化されていることが分かる。また、いずれの磁気記録媒体も高い抵抗率を示し、各磁気記録媒体中の前記ＦｅＰｔ合金微粒子は互いに孤立して存在していることが分かる。さらに、各磁気記録媒体は、５ＫＯｅ以上の高い抗磁力Ｈｃを示し、前記ＦｅＰｔ合金微粒子はＦｅＰｔ合金の規則相から構成されていることが分かる。また、この規則相の形成は、同様の条件でＳｉ基板上にクロム下地層を介して形成した磁気記録媒体のＸ線回折によって確認された。
【００４３】
　本実施例によって得られた磁気記録媒体は、１０ｎｍ以下の平均直径を有するＦｅＰｔ合金微粒子を有し、５ＫＯｅ以上の高い抗磁力を有するため、十分な高密度記録が可能であるとともに、記録した情報を長期に亘って保持することができる。
【００４４】
（実施例２）
　ＭｇＯ母材中にＦｅ微粒子が分散してなるＦｅグラニュラー薄膜と、Ｐｔ薄膜とを、交互に各２層積層させて積層体を作製した後、１時間加熱処理を行い、磁気記録媒体を作製した。なお、加熱処理温度は３５０℃及び４００℃の２種類を設定した。また、前記Ｆｅグラニュラー薄膜中の前記Ｆｅ微粒子の体積含有率Ｐを０．５とし、前記Ｆｅグラニュラー薄膜の厚さｄｇを２．０ｎｍとし、前記Ｐｔ薄膜の厚さをｄｐを１．０ｎｍとした。また、前記Ｆｅ微粒子の平均直径は、５ｎｍとした。結果を表２に示す。
【００４５】
　なお、この場合においても、加熱処理中におけるマイクロＥＤＸ観察の結果、前記Ｆｅ微粒子と前記Ｐｔ微粒子との間に相互拡散が生じ、合金化していることが確認された。
【００４６】
【表２】
2004111050.tif 000003
【００４７】
　表２から明らかなように、作製された磁気記録媒体中におけるＦｅＰｔ合金微粒子の平均直径Ｄは１０ｎｍ以下であり、十分に微粒子化されていることが分かる。また、いずれの磁気記録媒体も高い抵抗率を示し、各磁気記録媒体中の前記ＦｅＰｔ合金微粒子は互いに孤立して存在していることが分かる。さらに、各磁気記録媒体は、５ＫＯｅ以上の高い抗磁力Ｈｃを示し、前記ＦｅＰｔ合金微粒子はＦｅＰｔ合金の規則相から構成されていることが分かる。また、この規則相の形成は、同様の条件でＳｉ基板上にクロム下地層を介して形成した磁気記録媒体のＸ線回折によって確認された。
【００４８】
　本実施例によって得られた磁気記録媒体は、１０ｎｍ以下の平均直径を有するＦｅＰｔ合金微粒子を有し、５ＫＯｅ以上の高い抗磁力を有するため、十分な高密度記録が可能であるとともに、記録した情報を長期に亘って保持することができる。
【００４９】
（実施例３）
　ＭｇＯ母材中にＰｔ微粒子が分散してなるＰｔグラニュラー薄膜と、Ｆｅ薄膜とを、交互に各２層積層させて積層体を作製した後、１時間加熱処理を行い、磁気記録媒体を作製した。なお、加熱処理温度は３５０℃及び４００℃の２種類を設定した。また、前記Ｐｔグラニュラー薄膜中の前記Ｐｔ微粒子の体積含有率Ｐを０．５及び０．８とし、前記Ｐｔグラニュラー薄膜の厚さｄｇは５.０ｎｍ，２．０ｎｍ及び３.１ｎｍの３種類を設定し、前記Ｆｅ薄膜の厚さｄｐは２．５ｎｍ及び１．０ｎｍの２種類を設定した。また、前記Ｐｔ微粒子の平均直径は５ｎｍで一定とした。結果を表３に示す。
【００５０】
　なお、この場合においても、加熱処理中におけるマイクロＥＤＸ観察の結果、前記Ｆｅ微粒子と前記Ｐｔ微粒子との間に相互拡散が生じ、合金化していることが確認された。
【００５１】
【表３】
2004111050.tif 000004
【００５２】
　表３から明らかなように、作製された磁気記録媒体中におけるＦｅＰｔ合金微粒子の平均直径Ｄは１０ｎｍ以下の大きさを呈し、十分に微粒子化されていることが分かる。また、いずれの磁気記録媒体も高い抵抗率を示し、各磁気記録媒体中の前記ＦｅＰｔ合金微粒子は互いに孤立して存在していることが分かる。さらに、各磁気記録媒体は、５ＫＯｅ以上の高い抗磁力Ｈｃを示し、前記ＦｅＰｔ合金微粒子はＦｅＰｔ合金の規則相から構成されていることが分かる。また、この規則相の形成は、同様の条件でＳｉ基板上にクロム下地層を介して形成した磁気記録媒体のＸ線回折によって確認された。
【００５３】
　本実施例によって得られた磁気記録媒体は、１０ｎｍ以下の平均直径を有するＦｅＰｔ合金微粒子を有し、おおよそ５ＫＯｅ以上の高い抗磁力を有するため、十分な高密度記録が可能であるとともに、記録した情報を長期に亘って保持することができる。
【００５４】
　以上、具体例を挙げながら発明の実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能である。