(57)【要約】【課題】本発明は、試験装置に関し、例えば基準信号を各種分周比で分周して得られる各種動作基準の信号で動作する集積回路の試験装置に適用して、周波数を測定する信号が複数存在する場合でも、簡易かつ短い時間で測定することができるようにする。【解決手段】本発明は、各測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎに周波数カウンタ２０を設け、各測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎで応答信号Ｓ２の周波数を測定可能とする。【選択図】　　　　図１
2004053285.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ測定対象にテスト信号を印加して得られる応答信号を入力して判定する複数の測定ユニットと、
前記測定ユニットの動作を制御するマスタユニットとを有する試験装置において、
前記各測定ユニットは、
それぞれ前記応答信号の周波数を測定する周波数カウンタを有する
ことを特徴とする試験装置。
【請求項２】
前記測定ユニットは、
パターンメモリに記録したテスト波形生成用のデータにより前記テスト信号を生成するフォーマット発生器と、
前記応答信号を波形整形回路で波形整形した後、前記パターンメモリに記録した前記判定用データとの比較により前記応答信号を判定する論理比較器とを有し、
前記周波数カウンタは、
前記波形整形回路の出力信号を入力して周波数を測定することにより、前記応答信号の周波数を測定する
ことを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記フォーマット発生器及び又は前記論理比較器は、
タイミングジェネレータにより基準信号から任意のタイミングで動作し、
前記測定ユニットは、
前記タイミングジェネレータの調整モードにおいて、
前記タイミングジェネレータの出力信号を前記タイミングジェネレータに帰還して、前記タイミングジェネレータの遅延時間に応じた周波数により前記タイミングジェネレータを発振させ、
前記周波数カウンタの入力を切り換えて、前記タイミングジェネレータの発振周波数を測定する
ことを特徴とする請求項２に記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試験装置に関し、例えば基準信号を各種分周比で分周して得られる各種動作基準の信号で動作する集積回路の試験装置に適用することができる。本発明は、各測定ユニットに周波数カウンタを設け、各測定ユニットでそれぞれ応答信号の周波数を測定可能とすることにより、周波数を測定する信号が複数存在する場合でも、簡易かつ短い時間で測定することができるようにする。
【０００２】
【従来の技術】
従来、集積回路においては、主の基準信号であるマスタークロックを種々の分周比で分周して各種動作基準の基準信号を生成し、これら各種の基準信号により動作するようになされたものがある。このためこの種の集積回路の動作を試験する試験装置においては、これら各種基準信号についてそれぞれ周波数を測定して動作を確認するようになされている。
【０００３】
すなわち図３は、従来構成によるこの種の試験装置を示すブロック図である。この種の試験装置１においては、全体の動作を制御するメインユニット２に対して、この試験装置１の設置目的に応じた測定ユニット３Ａ〜３Ｎが接続されて構成される。各測定ユニットは、例えば周波数を測定する測定ユニット３Ａ、駆動信号を印加して応答を測定する測定ユニット３Ｂ〜３Ｎ等により構成される。
【０００４】
これにより集積回路における各種信号の周波数を測定する場合、試験装置１においては、後段のリレーユニットであるテストヘッドの接続の切り換えにより、測定対象の各端子に順次周波数を測定する周波数測定ユニット３Ａを接続し、各端子毎に応答信号の順次周波数を測定するようになされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところでこのような１つの測定ユニット３Ａにより複数の信号の周波数を測定する場合、テストヘッドの接続を切り換えて測定対象の各端子に順次周波数測定ユニット３Ａを接続することが必要なことにより、その分、従来の試験装置１においては、集積回路の動作試験が煩雑になり、また測定時間が長くなる問題がある。
【０００６】
これに対してこの種の試験装置においては、簡易かつ短い時間で試験することが求められることにより、このように複数の信号について周波数を測定する試験装置においても、短い時間で簡易に測定することが求められる。
【０００７】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、周波数を測定する信号が複数存在する場合でも、簡易かつ短い時間で測定することができる試験装置を提案しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため請求項１の発明においては、それぞれ測定対象にテスト信号を印加して得られる応答信号を入力して判定する複数の測定ユニットと、測定ユニットの動作を制御するマスタユニットとを有する試験装置において、各測定ユニットは、それぞれ応答信号の周波数を測定する周波数カウンタを有するようにする。
【０００９】
また請求項２の発明においては、請求項１の構成において、測定ユニットは、パターンメモリに記録したテスト波形生成用のデータによりテスト信号を生成するフォーマット発生器と、応答信号を波形整形回路で波形整形した後、パターンメモリに記録した判定用データとの比較により応答信号を判定する論理比較器とを有し、周波数カウンタは、波形整形回路の出力信号を入力して周波数を測定することにより、応答信号の周波数を測定する。
【００１０】
また請求項３の発明においては、請求項２の構成において、フォーマット発生器及び又は論理比較器は、タイミングジェネレータにより基準信号から任意のタイミングで動作し、測定ユニットは、タイミングジェネレータの調整モードにおいて、タイミングジェネレータの出力信号をタイミングジェネレータに帰還して、タイミングジェネレータの遅延時間に応じた周波数によりタイミングジェネレータを発振させ、周波数カウンタの入力を切り換えて、タイミングジェネレータの発振周波数を測定する。
【００１１】
請求項１の構成によれば、それぞれ測定対象にテスト信号を印加して得られる応答信号を入力して判定する複数の測定ユニットと、測定ユニットの動作を制御するマスタユニットとを有する試験装置において、各測定ユニットは、それぞれ応答信号の周波数を測定する周波数カウンタを有することにより、各測定ユニットで同時並列的に各応答信号の周波数を測定することができ、これにより簡易かつ短い時間で測定する試験対象を試験することができる。
【００１２】
また請求項２の構成によれば、請求項１の構成において、測定ユニットは、パターンメモリに記録したテスト波形生成用のデータによりテスト信号を生成するフォーマット発生器と、応答信号を波形整形回路で波形整形した後、パターンメモリに記録した判定用データとの比較により応答信号を判定する論理比較器とを有し、周波数カウンタは、波形整形回路の出力信号を入力して周波数を測定することにより、応答信号の周波数を測定することにより、論理比較器の一部構成を有効に利用して、応答信号を波形整形して周波数を測定することができ、その分、簡易な構成により測定精度を向上することができる。
【００１３】
また請求項３の構成によれば、請求項２の構成において、フォーマット発生器及び又は論理比較器は、タイミングジェネレータにより基準信号から任意のタイミングで動作し、測定ユニットは、タイミングジェネレータの調整モードにおいて、タイミングジェネレータの出力信号をタイミングジェネレータに帰還して、タイミングジェネレータの遅延時間に応じた周波数によりタイミングジェネレータを発振させ、周波数カウンタの入力を切り換えて、タイミングジェネレータの発振周波数を測定することにより、タイミングジェネレータの調整に使用する周波数カウンタを応答信号の周波数測定に兼用することができ、これにより既存の構成を有効に利用して応答信号の周波数を測定することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、適宜図面を参照しながら本発明の実施の形態を詳述する。
【００１５】
（１）実施の形態の構成
図１は、本発明の実施の形態に係る試験装置を示すブロック図である。この試験装置１１では、全体動作を制御するマスタユニット１２Ａにそれぞれ測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎが接続され、これら測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎが試験対象の各端子に接続される。
【００１６】
ここでマスタユニット１２は、各測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎを制御するコントローラであり、内蔵の基準オシレータ（基準ＯＳＣ）１２により各測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎの動作基準であるクロックＣＫを出力するようになされている。
【００１７】
これに対して測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎは、マスタユニット１２の制御により、テスト信号を生成して対応する試験対象の端子に印加し、またこのテスト信号を印加して得られる試験対象の応答である応答信号を判定し、判定結果をマスタユニット１２に出力する。これによりこの試験装置１１では、各測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎによる応答信号の判定結果に基づいて、試験対象の動作を試験することができるようになされている。なお測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎは、同一に構成されることにより、以下においては、測定ユニット１３Ａについてのみ構成を説明し、他の測定ユニット１３Ｂ〜１３Ｎについては、説明を省略する。
【００１８】
すなわち測定ユニット１３Ａにおいて、パターンメモリ１４は、これらテスト信号の生成基準であるテスト信号生成用データ、応答信号の判定基準である判定データを保持し、クロックＣＫを基準にして保持したデータを順次出力する。タイミングジェネレータ（ＴＧ）１５は、マスタユニット１２から出力されるクロックＣＫを遅延させて出力し、フォーマット発生器１６は、このタイミングジェネレータ１５から出力されるクロックＣＫを基準にしてテスト信号生成用データを順次処理することにより、テスト信号Ｓ１を生成して出力する。ここでタイミングジェネレータ１５においては、マスタユニット１２の制御により遅延時間を可変するように構成され、これによりこの試験装置１１では、タイミングジェネレータ１５の遅延時間を可変して、テスト信号Ｓ１のタイミングを種々に可変できるようになされている。
【００１９】
論理比較器１７は、テスト信号Ｓ１を試験対象に印加して得られる応答信号Ｓ２を入力し、波形整形回路１７Ａで波形整形して２値化する。さらにパターンメモリ１４より得られる判定データをタイミングジェネレータ（ＴＧ）１５から出力されるクロックＣＫを基準にして順次データ処理し、このデータ処理結果の論理値を基準にして応答信号Ｓ２を２値化して得られる２値化信号Ｓ３の信号レベルを判定する。これにより論理比較器１７は、応答信号Ｓ２を判定し、判定結果をマスタユニット１２に出力する。かくするにつき論理比較器１７においても、マスタユニット１２によるタイミングジェネレータ１５の遅延時間の制御により、このようにして得られる応答信号Ｓ２に対して判定のタイミングを種々に可変できるようになされている。
【００２０】
さらに測定ユニット１３Ａにおいて、スイッチ回路１９は、タイミングジェネレータ１５の調整モードにおいて、タイミングジェネレータ１５の出力信号をタイミングジェネレータ１５の入力に帰還するようになされている。これにより測定ユニット１３Ａにおいては、タイミングジェネレータ１５の調整モードにおいて、タイミングジェネレータ１５の出力信号をタイミングジェネレータ１５に帰還し、タイミングジェネレータ１５の遅延時間に応じた周波数によりタイミングジェネレータ１５を発振させるようになされている。
【００２１】
周波数カウンタ２０は、このタイミングジェネレータ１５の調整モードにおいて、選択回路２２を介してこのタイミングジェネレータ１５の入力信号Ｓ４を入力し、この入力信号Ｓ４の周波数を計測してマスタユニット１２に通知する。これによりこの試験装置１１では、タイミングジェネレータ１５の試験モードにおいて、タイミングジェネレータ１５の遅延時間を種々に可変して周波数カウンタ２０による周波数計測結果をマスタユニット１２で判定することにより、タイミングジェネレータ１５における遅延時間を計測できるようになされ、この計測結果によりタイミングジェネレータ１５の遅延時間を設定して高い精度でテスト信号Ｓ１を生成し、さらには応答信号Ｓ２を判定できるようになされている。
【００２２】
これに対して周波数カウンタ２０は、この測定ユニット１３Ａにより応答信号Ｓ２の周波数を測定する場合、選択回路２２を介して、波形整形回路１７Ａから出力される２値化信号Ｓ３を入力し、この２値化信号Ｓ３の周波数を測定してマスタユニット１２に通知する。かくするにつき選択回路２２は、マスタユニットの制御によりタイミングジェネレータ１５の試験モードと、このような応答信号Ｓ２の周波数測定モードとで動作を切り換えるようになされている。
【００２３】
図２は、これら波形整形回路１７Ａ及び周波数カウンタ２０の詳細構成を示す接続図である。波形整形回路１７Ａは、セレクタ２３Ｈに複数の判定基準値ＶＯＨ１〜ＶＯＨｎが入力され、マスタユニット１２によるセレクタ２３Ｈの制御により、これら判定基準値ＶＯＨ１〜ＶＯＨｎを選択して比較回路２４Ｈの正側入力端に入力する。また波形整形回路１７Ａは、セレクタ２３Ｈに複数の判定基準値ＶＯＬ１〜ＶＯＬｎが入力され、マスタユニット１２によるセレクタ２３Ｌの制御により、これら判定基準値ＶＯＬ１〜ＶＯＬｎを選択して比較回路２４Ｌの負側入力端に入力する。
【００２４】
比較回路２４Ｈ及び２４Ｌは、マスタユニット１２の制御により動作を切り換えるスイッチ回路２５を介して、それぞれ残る入力端に応答信号Ｓ２を入力する。これにより波形整形回路１７Ａは、比較回路２４Ｈ及び２４Ｌにおいてそれぞれ２種類の判定基準値ＶＯＨ１〜ＶＯＨｎ、ＶＯＬ１〜ＶＯＬｎにより応答信号Ｓ２を２値化して２系統の２値化信号Ｓ３、Ｓ５を生成するようになされている。
【００２５】
周波数カウンタ２０は、これら２系統の２値化信号Ｓ３、Ｓ５のうち、１系統の２値化信号Ｓ３を選択回路２２より入力する。周波数カウンタ２０において、ゲート時間制御回路２６は、周期が任意の時間に設定されてなる複数種類のゲート信号を入力し、これらのゲート信号を選択して出力する。カウンタ２７は、このゲート時間制御回路２６から出力されるゲート信号により、ゲート回路２８で選択回路２２の出力信号をゲートして入力し、この出力信号の周波数をカウントすると共に、カウント結果をマスタユニット１２に出力する。これにより測定ユニット１３Ａは、タイミングジェネレータ１５の試験に供する周波数カウンタ２０を利用して、応答信号Ｓ２の周波数を計測できるようになされ、またゲート時間制御回路２６の切り換えにより周波数の測定期間を種々に設定できるようになされている。
【００２６】
（２）実施の形態の動作
以上の構成において、この試験装置１１においては、例えば論理回路による集積回路の動作を試験する場合、各測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎが後段のテストヘッドを介して測定対象の各端子に接続される。またマスタユニット１２の制御によりパターンメモリ１４から順次テスト信号生成用データ、判定データが出力され、このうちのテスト信号生成用データに基づいてフォーマット発生器１６でテスト信号Ｓ１が生成され、このテスト信号Ｓ１が試験対象に印加される。またこのようにしてテスト信号Ｓ１を印加して得られる試験対象からの応答信号Ｓ２が論理比較器１７に入力され、波形整形回路１７Ａにより２値化信号Ｓ３、Ｓ５に変換され、判定データを基準にしてこの２値化信号Ｓ３、Ｓ５を判定することにより、正しい応答信号Ｓ２が得えられているか否かの判定結果が得られ、この判定結果がマスタユニット１２に出力される。これによりこの試験装置１１では、このような集積回路の動作を試験することができる。
【００２７】
試験装置１１では、このようにしてテスト信号Ｓ１を生成するフォーマット発生器１６、応答信号Ｓ２を判定する論理比較器１７がクロックＣＫを基準にして動作するように構成され、このクロックＣＫがタイミングジェネレータ１５により遅延されるようになされ、またこのタイミングジェネレータ１５の遅延時間がマスタユニット１２により設定される。これにより試験装置１１では、テスト信号Ｓ１のタイミング、応答信号Ｓ２を判定するタイミングが、タイミングジェネレータ１５の調整により試験に適するように設定される。
【００２８】
これに対してこのようなタイミングジェネレータ１５によるタイミング設定の前提として、タイミングジェネレータ１５の試験モードにおいては、タイミングジェネレータ１５の出力信号がタイミングジェネレータ１５の入力に帰還され、遅延時間により決まる周波数で発振するようにタイミングジェネレータ１５が設定される。またこのようにしてこのタイミングジェネレータ１５の発振周波数が周波数カウンタ２０で計測され、これによりタイミングジェネレータ１５の遅延時間を種々に変化させて周波数カウンタ２０による計測結果を判定することにより、タイミングジェネレータ１５が試験され、遅延時間が校正される。試験装置１１では、これにより高い精度でテスト信号Ｓ１を生成し、また応答信号Ｓ２を判定できるようになされている。
【００２９】
これに対して特定の応答信号Ｓ２について、応答信号Ｓ２の周波数を測定する場合、この試験装置１１では、対応する測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎにおいて、選択回路２２の接点が切り換えられ、周波数カウンタ２０に２値化信号Ｓ３が入力される。これによりこの試験装置１１においては、タイミングジェネレータ１５の試験用の周波数カウンタ２０を有効に利用して、各測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎで応答信号Ｓ２の周波数を測定することができるようになされている。またこの周波数の測定においては、必要に応じて論理比較器１７による応答信号Ｓ２の判定と同時並列的に実行できるようになされている。また論理比較器１７に設けられた波形整形回路１７Ａの出力信号Ｓ３を用いて応答信号Ｓ２の周波数をそれぞれ測定することにより、論理比較器１７の構成を有効に利用して、測定精度を向上するようになされている。
【００３０】
かくするにつき、このようにして各測定ユニット１３Ａ〜１３Ｎで応答信号Ｓ２の周波数を測定できるように構成すると、試験装置１１においては、各種の応答信号Ｓ２について論理比較器１７により判定しながら、複数系統の応答信号Ｓ２について周波数を同時並列的に測定することができる。従って従来のように、後段のテストヘッドを切り換えてなくてもよいことにより、簡易に周波数を測定することができる。また同時並列的に複数系統で周波数を測定できることにより、さらには論理比較器１７による応答信号Ｓ２の判定と同時並列的に周波数を測定できることにより、測定に要する時間も短くすることができる。
【００３１】
（３）実施の形態の効果
以上の構成によれば、各測定ユニットに周波数カウンタを設け、各測定ユニットで応答信号の周波数を測定可能とすることにより、周波数を測定する信号が複数存在する場合でも、簡易かつ短い時間で測定することができる。
【００３２】
また論理比較器で波形整形した出力信号を用いて応答信号の周波数を測定することにより、既存の構成を有効に利用して、測定精度を向上することができる。
【００３３】
またタイミングジェネレータを発振させて周波数を計測する周波数カウンタを用いて、応答信号の周波数を測定することにより、既存の構成を有効に利用して各測定ユニットで周波数を測定することができ、その分、全体構成を簡略化することができる。
【００３４】
（４）他の実施の形態
なお上述の実施の形態においては、フォーマット発生器と論理比較器とを一体化して測定ユニットを構成する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、フォーマット発生器と論理比較器とでそれぞれ測定ユニットを構成する場合等にも広く適用することができる。
【００３５】
また上述の実施の形態においては、応答信号の周波数を測定する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、このようにして検出した周波数により応答信号の周期を測定する場合にも広く適用することができる。
【００３６】
【発明の効果】
上述のように本発明によれば、各測定ユニットに周波数カウンタを設け、各測定ユニットで応答信号の周波数を測定可能とすることにより、周波数を測定する信号が複数存在する場合でも、簡易かつ短い時間で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る試験装置を示すブロック図である。
【図２】図１の試験装置における波形整形回路と周波数カウンタとを詳細に示す接続図である。
【図３】従来の試験装置を示すブロック図である。
【符号の説明】
１、１１……試験装置、２、１２……マスタユニット、３Ａ〜３Ｎ、１３Ａ〜１３Ｎ……測定ユニット、１５……タイミングジェネレータ、１６……フォーマット発生器、１７……論理比較器、１７Ａ……波形整形回路、２０……周波数カウンタ
【図１】
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【図２】
2004053285.tif 000004
【図３】
2004053285.tif 000005