(57)【要約】【課題】球状セラミックス粉末と有機樹脂材料とを含む複合部材の新規でかつ有用な用途を提供する。【解決手段】加熱下で押圧されることにより所定の凹凸パターンを有する試験用基板４に対して接合される複合部材３であって、１〜５０μｍの平均粒径を有し、かつ０．８以上の球形度を有するセラミックス粉末と、有機樹脂材料との混合物からなる。この複合部材３は、電解銅箔２上に固着されることにより金属箔塗工物１を構成する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱下で押圧されることにより所定の凹凸パターンを有する部材に対して接合される複合部材であって、１〜５０μｍの平均粒径を有し、かつ０．８以上の球形度を有するセラミックス粉末と、有機樹脂材料との混合物からなることを特徴とする複合部材。
【請求項２】
前記複合部材は、金属箔の表面上に固着されたものであることを特徴とする請求項１に記載の複合部材。
【請求項３】
前記金属箔の表裏いずれか一方の面に粗面化処理が施され、粗面化処理された面に固着されたものであることを特徴とする請求項２に記載の複合部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、球状のセラミックス粉末と有機樹脂材料との混合物からなる複合部材に関するものであり、特に所定のパターンが形成された部材の表面に加熱下で押圧して接合される複合部材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
微細なセラミックス粉末は、原料を混合し、乾燥後、焼成した後、気流粉砕装置等の粉砕機によって粉砕し、さらにスプレードライヤー等の乾燥装置によって乾燥後、気流粉砕装置等の粉砕機によって微粉砕して得ることができる。これらセラミックス粉末は、粉末単体として利用に供される場合もあるが、有機樹脂材料と混合した複合部材として利用に供されることもある。複合部材として用いられるセラミックス粉末には、有機樹脂材料に対する分散性、充填性が要求される。有機樹脂材料に対する分散性、充填性を確保するための一つの要素として、粉末の粒径がある。例えば、セラミックス粉末は上記方法のほかに例えば共沈法のように液相から製造することもできるが、この粉末は粒径が微細すぎて有機樹脂材料に対する分散性、充填性を確保することができない。また、前述した方法により得られたセラミックス粉末は、粉砕により得られるものであるため粉末の形態が不定形となり、有機樹脂材料に対する分散性、充填性を確保することができない。
【０００３】
これまで球状のセラミックス粉末を製造する技術が種々提案されている。例えば、特開平１１−２０９１０６号公報、特開２０００−１０７５８５号公報、特開平８−４８５６０号公報、特開平５−１０５５０２号公報である。特開平１１−２０９１０６号公報は、可燃性ガスに無機粉末を坦持させ火炎中に噴射して無機質粉末を加熱球状化する方法において、バーナーノズル先端における無機質粉末の噴射速度を７０〜１２００ｍ／ｓｅｃとする球状粒子の製造方法を開示している。具体的に開示された実施例において、平均粒径０．５〜３０μｍのシリカ（ＳｉＯ２）粉末を得ている。また、特開２０００−１０７５８５号公報は、生体吸収性を有するセラミックスに適当なバインダを混練してスラリー状にし、これを高温加熱体に滴下する球状セラミックス粉末の製造方法を開示している。また、特開平８−４８５６０号公報は、攪拌造粒法によって得られたセラミックス粉末を成形してセラミックス微小成形球体を製造するにあたり、噴霧乾燥法によって得られたセラミックス粉末の顆粒を核として用いるセラミックス微小成形球体の製造方法を開示している。さらに、特開平５−１０５５０２号公報は、平均粒径７μｍ以下のセラミックス球状粉末とバインダ樹脂とを含有する射出成形材料を開示している。
【０００４】
前述した特開平１１−２０９１０６号公報に開示された方法は、可燃性のガスを直接吹き付けるため、雰囲気の制御および温度の制御が難しい。そのため、複合酸化物のような多成分のセラミックス粉末を得ることが容易でない。特開２０００−１０７５８５号公報の製造方法は、得られた粉末は球状であるものの直径が０．３〜１．２ｍｍ（３００〜１２００μｍ）と大きく、有機樹脂材料との複合化には適さない。特開平８−４８５６０号公報に開示された方法も、０．０２〜０．４ｍｍ（２０〜４００μｍ）と有機樹脂材料との複合化には適さないサイズの粉末を得ることを目的としている。特開平５−１０５５０２号公報は、平均粒径７μｍ以下のセラミックス球状粉末とバインダ樹脂とを含有する射出成形材料を開示しているが、セラミックス球状粉末を得るための具体的な手法は開示していない。
【０００５】
以上の通りであり、従来は有機樹脂材料との複合化に適切な粒径をもつ球状粉末を得ることが困難であった。特に、複合酸化物のような多成分系のセラミックスを得るための手法は見出されていない。
【０００６】
ところが、本発明者等は先に特開２００２−３５５５４４号公報において、セラミックス成分からなる原料粉体を含むスラリーをスプレー・ノズルにより噴霧して液滴を形成しかつ液体成分を乾燥することによりセラミックス顆粒粉を得る噴霧乾燥工程と、得られた前記セラミックス顆粒粉を焼結する焼結工程と、を備えることを特徴とする球状セラミックス粉末の製造方法により、平均粒径１〜５０μｍ、球形度０．８以上の樹脂材料との複合化に適する粒径と形状とを有することにより、樹脂に対する分散性、充填性に優れた粉末を提供した。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１１−２０９１０６号公報
【特許文献２】
特開２０００−１０７５８５号公報
【特許文献３】
特開平８−４８５６０号公報
【特許文献４】
特開平５−１０５５０２号公報
【特許文献５】
特開２００２−３５５５４４号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、球状セラミックス粉末と有機樹脂材料とを含む混合物からなる複合部材の新規でかつ有用な用途を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、本発明者等が先に提案した球状セラミックス粉末と樹脂とを含む混合物からなる複合部材は、所定の温度域に加熱した状態での流動性が優れており、所定の凹凸パターンを有する部材に対して加熱下で押圧して接合する用途に適していることを知見した。
本発明は以上の知見に基づくものであり、加熱下で押圧されることにより所定の凹凸パターンを有する部材に対してパターンを充填し、接合される複合部材であって、１〜５０μｍの平均粒径を有し、かつ０．８以上の球形度を有するセラミックス粉末と、有機樹脂材料との混合物からなることを特徴とする複合部材である。
【００１０】
本発明の複合部材は、金属箔の表面上に混合物が固着された形態とすることができる。この際、金属箔の表裏いずれか一方の面に粗面化処理が施され、粗面化処理された面に混合物を固着することが望ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
＜セラミックス粉末材質＞
本発明におけるセラミックス成分とは、セラミックスとして認識される酸化物、窒化物、炭化物等の化合物を包含している。また、単一のセラミックスのみならず、複数のセラミックスの混合体、複合酸化物、複合窒化物等の複合化合物をも包含している。セラミックス成分の具体例として、誘電体材料がある。具体的には、チタン酸バリウム−ネオジウム系セラミックス、チタン酸バリウム−錫系セラミックス、鉛−カルシウム系セラミックス、二酸化チタン系セラミックス、チタン酸バリウム系セラミックス、チタン酸鉛系セラミックス、チタン酸ストロンチウム系セラミックス、チタン酸カルシウム系セラミックス、チタン酸ビスマス系セラミックス、チタン酸マグネシウム系セラミックス等が挙げられる。さらに、ＣａＷＯ４系セラミックス、Ｂａ（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ３系セラミックス、Ｂａ（Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ３系セラミックス、Ｂａ（Ｃｏ，Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ３系セラミックス、Ｂａ（Ｃｏ，Ｍｇ，Ｔａ）Ｏ３系セラミックスも挙げられる。これらは、単独で用いても良いし、２種類以上混合しても良い。なお、二酸化チタン系セラミックスとは、組成的に二酸化チタンのみからなる系、または二酸化チタンに他の少量の添加物を含む系のいずれかであって二酸化チタンの結晶構造が保持されているものをいう。他の系のセラミックスについても同様のことが言える。二酸化チタンはＴｉＯ２で示される物質であって、種々の結晶構造を示すが、誘電体セラミックスとして使用されるのはその中のルチル構造のものである。これら誘電体材料は、後述する有機樹脂材料よりも誘電率が高い。
磁性材料としては、磁性を持つ複合酸化物を使用する。例えば、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライト、Ｎｉ−Ｚｎ系フェライト、Ｍｎ−Ｍｇ−Ｚｎ系フェライト、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト等を挙げることができる。また、Ｆｅ２Ｏ３やＦｅ３Ｏ４等の酸化鉄であってもよい。
【００１２】
＜球形度＞
本発明で用いる球状セラミックス粉末は、０．８以上、望ましくは０．９以上、さらに望ましくは０．９５以上の球形度を有している。つまり、本発明における球状とは、表面が平滑な真球のみならず、真球に近い多面体を含む概念である。ここで「球形度」とは、Ｒ：粒子の投影面積に等しい円の直径、ｒ：粒子の投影像に外接する最小円の直径、とすると、ｒ／Ｒとして定義される。球形度が０．８以上であると、セラミックス粉末を有機樹脂材料と混合した複合部材として利用するとき、セラミックス粉末が有機樹脂材料に対して均一に分散しやすくなり、さらに成形時において不均一性に起因したクラックが生成しづらい。また、このような球系度のセラミックス粉末を用いると、加熱下における複合部材の流動性が優れる。したがって、所定の凹凸パターンを表面に有する部材に加熱下で押圧して接合する際に、凹凸の段差にも複合部材を空隙を形成することなく充填させることができる。
【００１３】
＜粉末の製造方法＞
本発明で用いる球状セラミックス粉末の製造方法は、セラミックス成分からなる原料粉体を含むスラリをスプレー・ノズルにより噴霧して液滴を形成しかつ液体成分を乾燥することによりセラミックス顆粒粉を得る噴霧乾燥工程と、得られた前記セラミックス顆粒粉を焼結することにより球状セラミックス粉末を得る焼結工程とを備えている。
【００１４】
上記製造方法において、セラミックス成分からなる原料粉体とは、粉末、顆粒粉等、その形態に拘わらず粒子から構成される種々の形態を包含している。原料粉体の粒径は、最終的に得られる粉末の粒径を左右する。本発明の目的を達成するためには、３μｍ以下、望ましくは１μｍ以下とする。なお、原料粉体を得る手段も特に限定されない。以上の原料粉体をスプレー・ノズルから噴霧するためのスラリを作成する。スラリは、原料粉体を溶媒に適量添加した後に、ボールミル等の混合機を用いて混合することにより得ることができる。溶媒としては水を用いることができるが、原料粉体の分散性を向上するために分散剤を添加することが推奨される。原料粉体同士を機械的に結合するための結合剤、例えばＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を添加することもできる。
【００１５】
本発明に用いられる球状セラミックス粉末からなる原料粉体を含むスラリをスプレー・ノズルにより噴霧して液滴を形成する。ここで、スプレー・ノズルは、上記のスラリと圧縮気体とを噴霧するためのものであり、２流体ノズル、あるいは４流体ノズルを用いることができる。圧縮気体とともにスプレー・ノズルから吐出されたスラリは微粒化されて噴霧を形成する。
噴霧中の液滴の粒径は、スラリと圧縮気体との比率により制御することができる。液滴の粒径を制御することにより、最終的に得られる粉体の粒径を制御することができる。噴霧状態のスラリが自由落下する過程で水分を乾燥するための熱を与えることにより、液体成分が乾燥、除去された粉末を得ることができる。この熱は、スプレー・ノズルから吐出する気体を加熱気体とする、あるいは噴霧雰囲気に加熱気体を供給することにより与えることができる。乾燥のためには、１００℃以上の加熱気体を用いればよい。スプレー・ノズルによる噴霧および乾燥の工程は、所定のチャンバー内で行われる。スプレー・ノズルを用いた噴霧乾燥法により得られる粉体は、通常、顆粒粉である。この顆粒粉の粒径は、前述のように、スラリと圧縮気体との比率によって制御することができる。スラリ同士を衝突させることにより小さな液滴を作成することもできる。
【００１６】
スプレー・ノズルを用いた噴霧乾燥法により得た顆粒粉を焼結することにより、球状のセラミックス粉末を得る。ここで、例えば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）粉末を最終的に得ようとする場合、顆粒粉は、ＢａＴｉＯ３粒子のみから構成される場合の他、ＴｉＯ２粒子およびＢａＯ粒子の混合物から構成される場合がある。焼結の条件、特に温度および時間はセラミックスの組成によって適宜定めればよいが、本発明に用いられるセラミックス粉末は、スプレー・ノズルにより得られる顆粒粉が球状に近い形状を有しているために、焼結後の粉末はより球形度が１に近い粉末となる。また、顆粒粉の粒径を容易に制御することができるため、焼結後に得られる粉末もその粒径を制御することができる。特に、スプレー・ノズルによれば１〜１０μｍ程度の微細な顆粒粉を得ることができる。そして、この顆粒粉を焼結すると粒径は若干縮小するものの、ほぼ１〜１０μｍの粒径となる。
【００１７】
以上のようにして得られる本発明の球状セラミックス粉末は、複数のセラミックス成分が焼結により複合化した粉末であって、セラミックス粉末の平均粒径が１〜５０μｍ、０．８以上の球形度を備えることを特徴とする。本発明の球状セラミックス粉末は、複数のセラミックス成分が焼結により反応もしくは複合化している。前述したように、本発明は、スプレー・ノズルを用いて顆粒粉を作成する。スプレー・ノズルで噴霧するスラリには、複数のセラミックス成分を混合することができるため、得られる顆粒粉も複数のセラミックス成分（粒子）の混合体として構成される。このセラミックス成分（粒子）の混合体としての顆粒粉を焼結することにより、複数のセラミックス成分が焼結により複合化した粉末を得ることができる。
【００１８】
本発明で用いられる球状セラミックス粉末の平均粒径は、１〜５０μｍである。平均粒径が５０μｍより大きいと有機樹脂材料との混合物からなる複合部材により回路基板を形成した場合に、基板表面が粗くなり回路形成が難しくなるためである。一方、１μｍより小さいと有機樹脂材料との混練性や分散性が低下するためである。より望ましい平均粒径は１〜２０μｍ、さらに望ましい平均粒径は１〜１０μｍである。
【００１９】
本発明で用いられる球状セラミックス粉末は、粒径が小さく、且つ球状である。このようなセラミックス粉末は凝集性が低く、分散性と充填性に優れたものとなる。したがって、得られたセラミックス粉末を、このセラミックス粉末と混合して複合部材を形成するのに好適である。この場合、複合部材中に２０〜６５ｖｏｌ％の範囲でセラミックス粉末を含有させることができる。２０ｖｏｌ％未満では得られる複合部材の電気的特性が十分でなく、また、６５ｖｏｌ％を超えると本発明によるセラミックス粉末であっても十分に分散性、流動性が得られなくなるからである。望ましい含有量は３５〜５５ｖｏｌ％である。
【００２０】
＜有機樹脂材料＞
本発明による複合部材をセラミックス粉末とともに構成する有機樹脂材料としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂の双方が利用可能であり、具体的にはエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂、メラミン樹脂、シアネートエステル系樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリビニルベンジルエーテル化合物樹脂、液晶ポリマー、フッ素系樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、エチルセルロース樹脂、ニトロセルロース樹脂、アクリル樹脂のうち少なくとも一種類以上含んだ樹脂を用いることができる。
【００２１】
＜金属箔塗工物＞
本発明の複合部材は、金属箔塗工物に用いることができる。本発明における金属箔塗工物とは、金属箔上に本発明の複合部材が固着された形態を有している。この金属箔塗工物は、上記有機樹脂材料と上記セラミックス粉末との混合物をスラリ状にして金属箔上に塗布後に乾燥することによって得ることができる。
用いる金属箔に制限はなく、適用する製品に応じて適宜選択することができる。金属箔の厚さについても同様である。なお、金属箔を積層部品の電極として用いる用途においては、電解銅箔を用いるのが望ましい。また、金属箔の複合部材が固着される面は、表面粗さがＲａとして２〜１０μｍの範囲に粗面化することが望ましい。複合部材の固着強度確保のためである。
【００２２】
図１に本発明による金属箔塗工物の製造に好適な製造ライン１０の概要を示す。
図１において、ロール状金属箔Ｒ１から巻き出し部１１において金属箔を巻き出す。巻き出された金属箔Ｆは複数のロールから構成されるテンション調整部１２を通過して塗工部１３に到達する。塗工部１３において金属箔Ｆの片面に本発明によるセラミックス粉末と有機樹脂材料との混合物からなるスラリＳを塗布する。スラリＳが塗布された金属箔Ｆは乾燥部１４を通過する。乾燥部１４は、種々の形態で乾燥を行なうことができる。例えば、熱媒ユニットを設け、乾燥部１４を通過する金属箔Ｆとの間で熱交換する、あるいは高温気流を導入する等である。乾燥部１４を通過する過程でスラリＳから溶媒が排出され複合部材が固化する。したがって、金属箔Ｆ上にセラミックス粉末と有機樹脂材料とからなる複合部材が固着される。複合部材が固着された金属箔Ｆは、複数のロールから構成されるテンション調整部１６を通過して巻き取り部１７で巻き取られる。巻き取られたロール状金属箔Ｒ２は、所定の寸法に切断された後に、次工程に供される。
【００２３】
図２に示すように、塗工部１３は、ロール１９、コータ２０およびトレー２１によってスラリＳを貯留できるようになっている。ロール１９とコータ２０との間には、金属箔Ｆ上に所定厚さのスラリＳを塗布できる程度のギャップが設けてある。ロール１９の回転に伴って金属箔Ｆが図中の矢印方向に走行すると、貯留されているスラリＳがロール１９とコータ２０との間のギャップから引き出され、金属箔Ｆ上に塗布される。
なお、以上説明した製造ライン１０はあくまで一例であり、他の如何なる手法を用いてもよいことはいうまでもない。
【００２４】
以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説明する。
（実施例１、２）
酸化バリウム（ＢａＯ）粉末、酸化チタン（ＴｉＯ２）粉末、酸化ネオジウム（Ｎｄ２Ｏ３）粉末および酸化マンガン（ＭｎＯ）粉末を、１３．８：５４．７：３１．４：０．１の重量比にて秤量したものに水を加えてボールミルにて１２時間混合することにより、スラリ（以下、第１のスラリ）を得た。なお、混合に先立って、分散剤（東亞合成社製Ａ−３０ＳＬ）を粉末の重量に対して１％の割合で添加した。第１のスラリを噴霧乾燥機にて乾燥、顆粒化を行った。この際の噴霧、乾燥条件は特に限定されるものではないが、顆粒粉の粒径が２００μｍ以下となるような条件を設定するのが望ましい。
【００２５】
得られた顆粒粉を１２５０℃の温度で１時間焼結することにより、複合酸化物焼結体を得た。この焼結体に水を加えかつ分散剤（東亞合成社製Ａ−３０ＳＬ）を焼結体の重量に対して１％の割合で添加した後ボールミルにて４８時間粉砕することにより、平均粒径０．５μｍの粉末を含むスラリ（以下、第２のスラリ）を作成した。この第２のスラリに対して、１０ｗｔ％濃度に希釈されたＰＶＡ（ポリビニルアルコール）溶液を粉末の総重量に対して２ｗｔ％添加し、さらに第２のスラリ中の粉末が４０ｗｔ％になるように調整を行った。ＰＶＡは結合剤として機能する。
【００２６】
第２のスラリに噴霧乾燥法を適用して顆粒粉を作成した。使用した噴霧乾燥機は藤崎電機（株）製のＭＤＬ−０５０であり、４流体方式のノズルを用い、送液量を４０ｃｃ／ｍｉｎ、ノズルエア量を１６０Ｌ／ｍｉｎ．（ｎｏｒｍａｌ）、給気温度を１９０℃の条件とした。得られた顆粒粉の平均粒径は９．７μｍである。この顆粒粉を１３００℃で１時間焼結した。得られた焼結粉は平均粒径が９μｍの球状粉末であった。また、得られた粉末は球形度０．９３の誘電体材料であるチタン酸バリウム−ネオジウム系セラミックス粉末である。
【００２７】
得られたチタン酸バリウム−ネオジウム系セラミックス粉末をエポキシ樹脂に対して４０ｖｏｌ％となるようにトルエンとメチルエチルケトン溶媒にてスラリを作成した。エポキシ樹脂としては、多官能エポキシ樹脂として、エピビス型エポキシ樹脂である油化シェルエポキシ社製エピコート１００１及びエピコート１００７をそれぞれ２６．９ｗｔ％ずつ含有させ、また、特殊骨格を持つエポキシ樹脂として、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂である油化シェルエポキシ社製エピコート１０３１Ｓを２３．１ｗｔ％をそれぞれ含むものを主成分とし、硬化剤としてビスフェノールＡ型ノボラック樹脂（油化シェルエポキシ社製ＹＬＨ１２９Ｂ６５）と硬化促進剤としてイミダゾール化合物（四国化成工業社製２Ｅ４ＭＺ）とを加えたものを使用した。
得られたスラリをドクターブレード法により１８μｍの電解銅箔上へ塗工・乾燥後、Ｂステージ状態の金属箔塗工物とした。なお、この電解銅箔の一方の面の面粗さはＲａで０．３μｍであるのに対して、他方の面は表面粗さがＲａで７μｍに粗面化されており、この粗面化された面にスラリを塗布した。以上で得られた金属箔塗工物を実施例１とする。
実施例１で得られた、チタン酸バリウム−ネオジウム系セラミックス粉末（球形度０．９３）をポットに入れて、回転し、球形度０．８２及び０．７６の２種類のセラミックス粉末を作製した。このセラミックス粉末を用いて、以上と同様にして金属箔塗工物を得た。なお、球形度０．８２のセラミックス粉末を用いた金属箔塗工物を実施例２とし、球形度０．７６のセラミックス粉末を用いた金属箔塗工物を比較例１とする。
さらに、破砕法による不定形粉末（平均粒径９μｍ）を用いた以外は、実施例１と同様にして金属箔塗工物を得た。これを比較例２とする。
【００２８】
（実施例３）
酸化鉄（Ｆｅ２Ｏ３）粉末、酸化ニッケル（ＮｉＯ）粉末、酸化亜鉛（ＺｎＯ）粉末を、４９：２３：２８のモル比にて秤量した後に実施例１と同様の方法で顆粒粉を得た。この顆粒粉を１３００℃で１時間焼結することにより、平均粒径が８．５μｍの球状粉末を得た。また、この粉末は球形度０．９１のフェライト粉末である。
このフェライト粉末を用いて実施例１と同様にして金属箔塗工物を得た。
【００２９】
（加熱押圧試験）
以上のようにして得られた金属箔塗工物（実施例１〜３、比較例１、２）を用いて、表面に所定の凹凸パターンを有する部材に対する加熱接合試験を行なった。この試験は、図３に示すように、金属箔塗工物１を試験用基板４に対して１８０℃の温度で４ＭＰａの圧力で押圧するものである。金属箔塗工物１は、電解銅箔２の一方の面にセラミックス粉末と有機樹脂材料の混合物からなる複合部材３が固着された形態を有している。実施例１及び２、比較例１及び２による金属箔塗工物１はセラミックス粉末が前述した誘電体粉末、実施例３による金属箔塗工物１は、セラミックス粉末が前述したフェライト粉末である。
【００３０】
所定時間（１８０℃で１時間保持）押圧した後に、図４のＣで示す部分への複合部材の充填状態を観察した。その結果、実施例１〜３ともに、複合部材が図４のＣ部に十分充填されていることを確認した。一方、比較例１及び２について、同様の試験を行なったところ、いずれもＣ部に空隙が観察された。
【００３１】
（実施例４）
実施例１で用いた球状のチタン酸バリウム−ネオジウム系セラミックス粉末とエポキシ樹脂との混合物の溶融粘度特性を測定した。また、上記比較例２における破砕粉末と樹脂との混合物の溶融粘度特性を測定した。その結果を図５に示すが、球状粉末と樹脂材料との混合物のほうが破砕粉末と樹脂との混合物よりも粘度が低いことがわかる。このように球状粉末を用いた樹脂との混合物は流動性が向上し、そのために凹凸が形成された面への充填性が向上するものと考えられる。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、所定の温度に加熱した状態での流動性が優れており、所定の凹凸パターンを有する部材に対して加熱、加圧して接合する用途に適した複合部材が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】金属箔塗工物の製造に好適な製造ライン概要を示す図である。
【図２】図１に示した製造ラインにおける塗工部の拡大図である。
【図３】実施例１〜３及び比較例１、２により得られた金属箔塗工物を用いた押圧試験の概要を示す図である。
【図４】実施例１〜３及び比較例１、２により得られた金属箔塗工物を用いた押圧試験の概要を示す図である。
【図５】実施例４で測定された、球状粉末と樹脂との混合物及び破砕粉末と樹脂との混合物の溶融粘度特性を示すグラフである。
【符号の説明】
１…金属箔塗工物、２…電解銅箔、３…複合部材、４…試験用基板、１０…製造ライン、１１…巻き出し部、１２，１６…テンション調整部、１３…塗工部、１４…乾燥部、１７…巻き取り部、１９…ロール、２０…コータ、２１…トレー、Ｒ１，Ｒ２…ロール状金属箔、Ｆ…金属箔、Ｓ…スラリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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