(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイの背面板の蛍光体層を隔壁の側面に所望する厚さで形成すること。従来の方法では、形成される蛍光体層の厚さはなりゆき任せの面が強かった。【解決手段】少なくとも前記蛍光体層が感光性蛍光体層用ペーストを使用し、隔壁間に前記感光性蛍光体層用ペーストを注入した後、光を照射してペーストの粘度を増し、隔壁の側面に付着しやすい様にし、基板を傾斜させ、場合によっては隔壁頂部が下側になるまで傾けしたりして、蛍光体層用ペーストを側壁に付着させ、観察していて希望する形状になった時点で光を照射して流動性を消失させる。粘度が温度変化と共に流動性から非流動性状態まで変化する蛍光体層用ペーストを使用し、温度変化で流動性を消失させる方法もある。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法において、所定の隔壁間部分に流動性のある蛍光体層用ペーストを入れ込み、蛍光体層用ペーストを隔壁の側面に好ましい形状で付着させるための整形操作を行い、隔壁の側面の蛍光体層用ペーストの流動性を消失させることを特徴とするプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法。
【請求項２】
前記隔壁側面に蛍光体層用ペーストを付着させる整形操作を、前記蛍光体層用ペーストを入れ込み中に行うことを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法。
【請求項３】
前記隔壁の側面に形成した蛍光体層ペーストの流動性を減少、または消失させる操作を、前記蛍光体層用ペーストの整形操作中、または整形操作後に行うことを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法。
【請求項４】
入れ込んだ蛍光体層用ペーストの形状を観察しながら、蛍光体層用ペーストの流動整形操作と、蛍光体層用ペーストの流動性の低下とを行うことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法。
【請求項５】
蛍光体層用ペーストの付着状態の調整を、各蛍光色毎に行うことによって３蛍光色の色バランスを調整することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法。
【請求項６】
蛍光体層用ペーストを隔壁の側面に流動整形する方法が、傾斜回転板に蛍光体層用ペーストを充填した基板を置き、所定の傾斜角度と回転速度で回転して、隔壁の側面に該蛍光体層用ペーストを付着させる方法であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法。
【請求項７】
前記隔壁の側面に形成した蛍光体層の流動性の減少、または消失させる操作を、放射線硬化、冷却硬化、加熱硬化のいずれかの手段を用いて行うことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法。
【請求項８】
基板に対して斜め方向から放射線を照射して隔壁頂部付近の側面の蛍光体層用ペーストの流動性を選択的に低下、消失させることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかに記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法により蛍光体層を形成したことを特徴とするプラズマディスプレイ背面板。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は蛍光体層を隔壁の側面と隔壁間の溝底部に形成したプラズマディスプレイ背面板（ＰＤＰ）および前記蛍光体層の形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在主流となっているＡＣ駆動、面放電、背面反射型のカラーＰＤＰの構造例を図１に示す。
図１において、カラーＰＤＰは前面側の基板（１１，１７，１８、４１Ｘ，４１Ｙ，４２）と背面側の基板（２１，２２，２４，２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ，２９，Ａ）がフリットシールによって真空封止された構造となっている。
背面側の基板面上にはアドレス放電発生用の複数のアドレス電極（Ａ）が形成され、必要に応じてその電極を覆うように誘電体層２４が形成される。さらに、該アドレス電極Ａを挟むように放電を物理的に区分するためのストライプ状の隔壁２９が多数設けられていて、隔壁２９間の細長い溝内には蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）が形成されている。
【０００３】
蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）は背面板の隔壁２９の側面と隔壁２９間の溝底部に形成される。この蛍光体層は、主放電によって放出されるキセノンの紫外線発光を受けて溝毎に別々に３原色の可視光の蛍光を発光し、前面側から見るとカラー表示となる。可視光を発光するのは、実際に紫外線が当たった表面だけである。
【０００４】
前記蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）を形成する蛍光体の粒子の径は、通常５〜１０μｍである。この蛍光体粒子で形成される蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）の厚さは、密に充填されている場合には原理的には粒子径の２倍あればよい。紫外線が当たらない場所にある蛍光体は発光しないので基本的には無駄となる。また、蛍光体は高価なので使用量をできるだけ低減した蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）を形成することが好ましい。ただし、蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）の裏面に抜ける発光光を反射するためには、この蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）は厚い方がよい。しかし、蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）の裏面に蛍光発光した波長を反射する物質がある場合は、蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）の厚さは粒子径の２〜３倍あればよい。また、蛍光体の表面に紫外線を吸収する物質があると、その分だけ発光効率が低下する。そのための蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）は蛍光体粒子だけの層としている。
【０００５】
ここで、隔壁２９は放電領域を分離するためのものであり、材質はプラズマ放電に耐えられることが必要なので、無機物で構成する。具体的には、結着剤であるガラス成分と形状を維持するための融点が高い無機物の粒子よりなる。隔壁２９の基本構造として、ストライプ状のものを図２（ａ）に、格子状のものを図２（ｂ）に、その他の形状の例を図２（ｃ）に示す。隔壁２９のサイズは幅が３０〜７０μｍ、高さが１００〜２００μｍ、ピッチが１００〜５００μｍの範囲が一般的である。
【０００６】
蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）は背面基板の隔壁２９間の底面部分だけでなく、隔壁の側面まで形成される。その理由は、底面の発光だけでは輝度が不足するので、発光面積を増加するためである。なお、隔壁２９の上面に蛍光体が付着することは、好ましくなく、付着した場合には研磨等の方法で除去する。
図２（ａ）の構造よりも発光面積を増加することを主目的として、図２（ｂ）、（ｃ）に示した構造の隔壁２９が提案され、一部実用化されている。
【０００７】
いずれの場合においても、通常の場合、蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）は厚い方がその部分での発光輝度が増加する。ただし、厚くなるにつれて発光輝度の増加率は低下する。一方、あまり厚くすれば発光面積が減少する傾向がある。従って、最適な厚さがある。また一般に、隔壁２９の上面に近いほど紫外線発生部に近く、発光輝度が高い。この点でも、蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）の形成方法としては、蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）の厚さを細かく制御することができる形成方法が好ましい。さらに、蛍光体は比較的高価なので、無駄が少ない形成方法が好ましい。
蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）の従来の製法は、蛍光体とペースト状にするためのビヒクル分と呼ばれる有機物と溶剤分からなる蛍光体層用ペーストを隔壁２９の間に入れ込んで、所要部分に付着するようにした後、溶剤分を蒸発させ、次に焼成して有機物を除去して形成する方法である。
【０００８】
所定の隔壁２９間へ所定量の蛍光体層用のペーストを入れ込むための従来の方法は、スクリーン印刷法やディスペンサー法である。そして、蛍光体層用ペーストを入れ込む工程の途中、または入れ込んだ後に、隔壁２９の側面に付着させる操作を行い、できるだけ所望の形状を得るようにしている。
一例をもう少し詳しく記すと、まず、流動性のある蛍光体層用ペーストを所定の部分にスクリーン印刷法やディスペンサー法で所定量注入し、つぎに基板を傾斜させて隔壁２９の側面にも蛍光体層用のペーストが広がるようにする。この操作を蛍光体層用のペーストの溶剤が揮散して、ペーストの粘度が徐々に高くなり、流動性がなくなるまで続けることによって、所要部分に所望の厚さの蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）をうることができる。なお、基板を傾斜させるだけでなく、微少振動、超音波振動等を基板に印加することによって蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）がより均一になる場合がある。また、蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）の厚さを必要かつ最小の厚さにするには、注入する蛍光体層用のペーストの量を調整する。
【０００９】
以上の従来の方法の問題点は、隔壁２９の側面に所望する厚さで蛍光体層（２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ）が形成されない点であった。蛍光体層２８の厚さは、図３に示すように、隔壁２９の側面の上部では所定厚さより薄く、底面付近部分では所定厚さより厚くなりがちであった。また、底面部分の蛍光体層２８が厚くなるとアドレス放電開始電圧（アドレス電極と前面板上の主電極対（図１の４１Ｘ，４１Ｙ）の片方の電極との間で放電を発生させるための電圧）が上昇して、映像を表現するために必要なダイナミッック駆動マージンを確保することが難しくなる、という問題点もあった。これらの問題点は、図２（ａ）（ｂ）（ｃ）のいずれの隔壁構造においても発生していた。その主な原因は、隔壁２９の側面に対する蛍光体層用ペーストの付着力が不足するためであった。
【００１０】
この問題点ついて、以下に示す対策が提案されている。第１に、図４に示す特開２０００−２６０３３０号では、各溝にスクリーン印刷法やディスペンサー法で蛍光体層用ペースト２８ａを充填した後、隔壁２９が基板２１よりも下にあるようにした状態で蛍光体層用のペースト２８ａを乾燥させる方法を開示している。すなわち、スクリーン印刷法、ディスペンサー法で蛍光体層用ペースト２８ａを入れ込むためには粘度が低いほうが容易であることもあり、これらの方法で入れ込んだだけでは該ペースト２８ａの大部分が隔壁２９の間の底部にある蛍光体層２８が形成され、図５（ａ）（ｂ）に示すように隔壁２９の側面にはほとんど付着しない。
蛍光体層用ペースト２８ａの流動整形操作として、図４に示したように隔壁２９部を下向きにすれば、ペーストが隔壁２９側面で垂れ下がり、時間の経過とともに溶剤が蒸発して流動性が減少し、最後には流動性がなくなることを利用している。
なお、前述の特開２０００−２６０３３０号では望ましい蛍光体層形状について、厚さを規定していて、▲１▼隔壁２９側面に形成した蛍光体層２８の厚さを隔壁２９間の溝底部に形成した蛍光体層２８の厚さの１／２以上、さらには▲２▼両者がほぼ同等の厚さとすることが記載されている。また、隔壁２９の頂部に近い方が紫外線源であるプラズマに近いので紫外線の照度が高いので、隔壁２９の頂部に近い蛍光体層２８の厚さを厚くすれば紫外線を効果的に利用することができると、述べている。この点からも、蛍光体の厚さを細かく制御する方法が求められている。
【００１１】
さらに前述の特開２０００−２６０３３０号では、実際の蛍光体層２８の厚さとして、隔壁２９間の溝部では１０〜２０μｍが適当であるとしている。また、蛍光体層２８が反射層として充分な効果を示すのは厚さ１０μｍ以上であるとしている。
【００１２】
望ましい蛍光体層の形状については、特開平１１−２９７２１３号にも記載されている。すなわち、基板と両側の隔壁および隔壁の上面隔壁開口の始端、末端で区画される放電空間容積を１００とした場合に、蛍光体層によって占有される容積を除いた実質放電空間容積が５０〜８５％であり、かつ底部蛍光体層の厚さが隔壁高さの１０〜２５％、隔壁頂部から隔壁高さの２０％下降位置での隔壁側面蛍光体層の厚さが隔壁高さの１０〜２５％である蛍光面と記載されている。また、その構造を得る手段として当該隔壁間の溝を埋め尽くすように蛍光体層用ペーストを充填し、乾燥させて体積を減少させる方法を開示している。実際の蛍光体層厚さは、１０〜４０μｍがよいとしている。１０μｍ以下の厚さでは裏面に抜ける発光分が多くて輝度が低く、４０μｍ以上ではそれ以上明るくならないとしている。この方法で上記の形状が得られるようにするため、ペーストの粘度・流動性についての限定条件も示されている。しかし、この方法は、ペーストの粘度・流動性を規定しただけでは不十分であり、実際には、隔壁の頂部に近い側面での蛍光体層の厚さは１０μｍ以下になりがちであった。また、隔壁間底部の蛍光体層の厚さは必要以上に厚くなりがちであった。
この問題点について、特開２０００−２０８０５７号では、特開平１１−２９７２１３号に記載された構造の蛍光体層を得る方法として、隔壁間の溝状部分へ蛍光体層用ペーストを２回以上、塗布し乾燥するという一連の工程を行う方法を開示している。しかし、この方法でも所望の形状を有する蛍光体層を得ることは、難しいものであった。
【００１３】
隔壁の側面であれ、隔壁間の溝の底部であれ蛍光体層を一定の厚さにする方法として、全く別の方法が提案されている。その方法は、別の転写用支持体の上に均一な厚さに形成した蛍光体層用ペースト層を隔壁の凹凸にそって埋め込み、転写してしまう方法である。しかし、この方法は隔壁間の溝状部分の高さが高くなり、幅が狭くなるほど難しくなる。また。溝状でなく、格子状の窪みに蛍光体層を形成することはこの方法では困難である。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
蛍光体層形成方法として、従来の流動性のある蛍光体層用ペーストを隔壁間に入れ込み、流動整形する方法での問題点であった、蛍光体層用ペーストの隔壁側面への付着形状が不十分となるのを改良し、所望の形状の蛍光体層の形状に制御することができる方法を提案することである。また、隔壁の頂部に近い側面の蛍光体層の厚さを所望の厚さに制御することができる方法、材料等を提供することである。すなわち、公知の方法の問題点である蛍光体層を所望の形状を確実に得ることが難しい点を解消した形成方法を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、プラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法において、所定の隔壁間部分に流動性のある蛍光体層用ペーストを入れ込み、蛍光体層用ペーストを隔壁の側面に好ましい形状で付着させるための整形操作を行い、隔壁の側面の蛍光体層用ペーストの流動性を消失させることを特徴とするプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法である。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、前記隔壁側面に蛍光体層用ペーストを付着させる整形操作を、前記蛍光体層用ペーストを入れ込み中に行うことを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法である。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、前記隔壁の側面に形成した蛍光体層ペーストの流動性を減少、または消失させる操作を、前記蛍光体層用ペーストの整形操作中、または整形操作後に行うことを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法である。
【００１８】
請求項４に記載の発明は、入れ込んだ蛍光体層用ペーストの形状を観察しながら、蛍光体層用ペーストの流動整形操作と、蛍光体層用ペーストの流動性の低下とを行うことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法である。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、蛍光体層用ペーストの付着状態の調整を、各蛍光色毎に行うことによって３蛍光色の色バランスを調整することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法である。
【００２０】
請求項６に記載の発明は、蛍光体層用ペーストを隔壁の側面に流動整形する方法が、傾斜回転板に蛍光体層用ペーストを充填した基板を置き、所定の傾斜角度と回転速度で回転して、隔壁の側面に該蛍光体層用ペーストを付着させる方法であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法である。
【００２１】
請求項７に記載の発明は、前記隔壁の側面に形成した蛍光体層の流動性の減少、または消失させる操作を、放射線硬化、冷却硬化、加熱硬化のいずれかの手段を用いて行うことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法である。
【００２２】
請求項８に記載の発明は、基板に対して斜め方向から放射線を照射して隔壁頂部付近の側面の蛍光体層用ペーストの流動性を選択的に低下、消失させることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法である。
【００２３】
請求項９に記載の発明は、請求項１乃至８のいずれかに記載のプラズマディスプレイ背面板の蛍光体層の形成方法により蛍光体層を形成したことを特徴とするプラズマディスプレイ背面板である。
【００２４】
【発明の実施の形態】
本明細書において、「プラズマディスプレイ背面板」と記載した場合、プラズマディスプレイパネルの「背面板」を指している。当然、この「背面板」と従来公知の「前面板」とをはりあわせてパネル全体とすれば、パネル全体を作成することが可能である。
【００２５】
以下に、本発明の実施の形態を説明する。
隔壁の側面に蛍光体層用ペーストを好ましい形状で付着させるために該ペーストを流動させる公知の整形操作としては、基板を傾斜させる方法と、図４のように隔壁の上面を下側にしてしまう方法と、これらを組み合せた方法があり、本発明においても使用することができる。さらに、補助手段として振動・超音波振動を使用してもよい。
【００２６】
蛍光体層用ペーストの流動性が高すぎて、流動整形操作を行い難い場合には、粘度を高くする必要がある。放射線硬化蛍光体層用ペーストの場合には放射線を少量照射することで達成できる。粘度が温度によって変化する蛍光体層用ペーストでは温度を低下させることにより達成できる。
【００２７】
蛍光体層用ペーストの形状の観察は、通常の顕微鏡、ＣＣＤ顕微鏡を使用して観察するのが好ましい。この場合、斜めから照明するなど工夫して、形状が観察しやすいようにする。また、深さ方向の情報を得ることが可能な共焦点顕微鏡等の３次元像の認識装置を使用すると好都合である。
【００２８】
基板を傾斜させる方法としては、隔壁がストライプ状の場合には、単純に左右に傾ける方法がある。隔壁が井桁構造である場合には、４方向へ順次傾ける方法があるが、さらに好ましい方法として図６に示したように、傾斜した回転台５１にガラス基板２１を載置した状態で回転させる方法がある。この場合、傾斜角度や回転速度を変えることによって、隔壁２９への付着状態を変化させることができる。また、ストライプ状の隔壁２９にもこの方法を使用することができる。一回転内の回転速度を変えることにより、周囲の隔壁２９に不均一に付着させることもできる。
【００２９】
放射線照射によって流動性が低下・消失するタイプのペーストを使用した場合、所望する場所の蛍光体層用ペーストの流動性を低下させたり、無くしたりする方法としては、放射線を斜め方向から照射する方法がある。この方法については、後に詳しく述べる。その他の方法としては、作用距離の短い放射線を使用する方法がある。例えば、電子線照射では、加速電圧によって作用距離が大きく変化し、また照射装置と被照射物の間の窒素等によっても吸収され、硬化作用が減少するので、例えば隔壁の頂部付近５０μｍまで流動性を消失させることができる。また、短波長紫外線を使用する方法がある。この場合にも、中間の空気で吸収されるので、作用距離を調節することができる。
【００３０】
また、特開２０００−２０８０５７号のようにスクリーン印刷法を使用して、蛍光体層用ペーストが隔壁の側面を流下させる方法を使用する場合には、隔壁の側面部分だけ硬化するように放射線を斜め方向から照射する方法を使用して、隔壁側面に蛍光体層用ペーストを付着させることができる。
【００３１】
一般的には、ペーストの入れ込み量は、所定の厚さに蛍光体層を形成しうる量であることが必要である。所定量からずれると、発光輝度がずれて、３色のバランスが悪くなる。この現象は部分的にも、全体的にも発生する。一つの隙間、すなわち隔壁がストライプ状の場合には、一本の溝であり、隔壁がマトリックス状（井桁状）の場合には、一つの桝（椀）状部分であるが、その中に入れ込む蛍光体層用ペーストの量を、できるだけ均一にすることが必要である。
しかし、本発明もその一つである流動性のある蛍光体層用ペーストを入れ込んで整形操作を行う方法では、部分的なムラについては、整形操作で均一にすることができる。したがって、各隔壁の隙間、または桝について、所定量の蛍光体層用ペーストを入れ込む必要がある。
しかし、本発明の方法では、蛍光体層の断面形状をかなり正確に希望する形状にすることができるので、発光輝度を以下のように調整することができる。そのため、蛍光体層用ペーストの入れ込み量が所定量から多少ずれたとしても、発光輝度を所定値にすることが可能である。その方法は、発光輝度が隔壁の頂部付近では高く、底部では低い事実を利用する。すなわち、所定量より多めの蛍光体層用ペーストが入った場合には、隔壁頂部付近の蛍光体層を薄くする。一方、蛍光体層用ペーストの入れ込み量が所定量よりも少なかった場合には、隔壁の頂部に近い側面上の蛍光体層の厚さを所定値より増す。このような整形制御が可能であることも本発明の利点である。
【００３２】
整形操作は原則として、３色の蛍光体を別々に行う。ただし、３色のペースト粘度を同一にして、３色同時に整形することもできる。隔壁の間隔が不等間隔の場合にも各色の蛍光体層用ペーストの粘度を調整して、３色を同時に整形することができる。粘度の調整方法には、放射線照射を各色毎に調整する方法がある。この場合、マスクを使用して照射不要の部分を照射しないようにする。
【００３３】
放射線を照射することにより流動性のある状態から流動性がない状態へ変化することを特徴とするペーストとしては、基本的には感光性蛍光体層用ペーストとして公知のものを使用することができる。
蛍光体層用ペーストの流動性を低下、消失させる作用がある放射線には、可視光、紫外線、電子線がある。ほとんどの場合、可視光や紫外線で硬化するペーストは電子線で硬化することが可能である。また、電子線硬化の場合には、ほとんどの場合重合開始剤が不要である
【００３４】
感光性蛍光体層用ペーストは、少なくとも蛍光体と感光性成分からなり、公知のものとしては、例えば、特開平１０−９０８８９号、特開平１０−２８３９２７号、特開平１１−６５０８６号、特開平１１−２９７２１３号、特開２０００−２０８０５７号に記載されている。いずれも本発明の放射線硬化性の蛍光体層用ペーストとして使用することができる。本発明においては、流動性がある状態で光を照射し、実質的に流動性がない状態にする。一方、上記２件の公知資料やその他通常の使用方法では、所望の場所に塗布した後、乾燥し、その後露光して硬化している。この場合の「硬化」は、すでに固体状態であるものに、光を照射して、溶剤への溶解性を低下させたり、サンドブラスト耐性を向上させている。
【００３５】
放射線硬化の場合、重合開始剤の種類によっては、酸素障害が発生し、表面が硬化しないことがある。しかし、ほとんどの組成の場合、流動性が消失する程度には硬化する。万一、酸素障害が発生して困る場合には、重合開始剤として酸素障害のない種類のものを使用すればよい。また電子線硬化の場合にも、酸素障害が発生するので、通常、電子線照射室は窒素置換される。しかし、酸素障害が発生しても流動性が消失する程度には硬化するので、窒素置換は不要である。
【００３６】
上記のペーストは、一般的には、少なくとも焼成用の感光性ペーストに使用される多官能または２官能のモノマー、オリゴマー、ポリマーと光反応開始剤よりなる。さらに、流動性を調整するためのポリマーや溶剤、また保存安定剤を含んでいてもよい。具体的には、多官能または２官能のモノマー、オリゴマー、ポリマーとして実際に好ましい材料としては、アクリル系のものである。
【００３７】
なお、放射線を照射して流動性がなくなればよく、硬化する必要はないので、光重合開始剤の量を光硬化型のペーストと比較して、少なくすることができる。また、単官能ポリマーや、２官能ポリマー・オリゴマーの量を増やしてもよい。ただし、無機成分の含有量をできだけ増やすことが、一般的には好ましい。また、蛍光体がペースト中で沈殿してまわないようにするために、ペーストの粘度は比較的高いほうが良い。
粘度を調整するために、溶剤やポリマーや分散剤を添加する。適切な粘度は、リブ間に充填する方法、隔壁の側面に広げる方法によって異なる。流動性が非常に高いと、例えばスクリーン印刷法で充填することは難しくなるが、ディスペンサーで供給することは容易になる。また、隔壁の側面へ広げる際にも基板を傾斜させるだけで容易に広げることができる。ただし、場合によって蛍光体と感光性成分が分離しやすくなったり、多量に充填する必要が出てくる。
【００３８】
光を斜め方向から照射して、隔壁の頂部に近い部分（領域）の蛍光体層用ペースト２８の流動性を調整する一手段を図７に示す。この場合、隣接する隔壁２９が遮光物となって、不要部分へは照射されない。また、図７の場合には、基板２１を傾斜させたまま光を照射して、流動性をなくしているが、水平に戻してから光を照射してもかまわない。
さらに詳しく述べると、例えば、蛍光体層用ペーストを隔壁２９の側面に付着、固定する。すなわち、▲１▼ある方向に斜めに傾けて、ある一つの側面に蛍光体層用ペーストを付着させる。そして、水平に戻して隔壁２９上の蛍光体層用ペーストが下に落ちるのを観察して、丁度よい厚さになった時に、斜めに光を照射して隔壁２９上の蛍光体層用ペーストの流動性をなくす。▲２▼次に、反対側に傾けて反対側の隔壁２９の側面に付着させ、基板２１を水平に戻して、斜めに光を照射して隔壁２９上の蛍光体層用ペーストの流動性をなくす。▲３▼垂直に光を照射して隔壁２９間の底部の蛍光体層用ペーストの流動性をなくす。ただし、実際には▲１▼▲２▼▲３▼を完全に別個の工程で行うと、流動性が無くなる部分の境界で段差が発生するので、光を照射中に照射角度連続的に変化させたり、連続的に基板の傾斜を変えながら光を照射したり、光の強度を連続的に加減する。
【００３９】
別の方法として、基板２１を斜めにして蛍光体層用ペーストを隔壁２９の側面に流動させ、その状態で所要部分（隔壁２９頂部に近い側面）の蛍光体層用ペーストの流動性を無くす方法がある。この方法において、蛍光体層用ペーストの粘度が低すぎると、図５（ａ）（ｂ）に示したように、頂部に近い部分の蛍光体層用ペースト層は薄いか、あるいはほとんどない。しかし、蛍光体層用ペーストの粘度が高くなると、頂部に近い部分も厚くなる。従って、蛍光体層用ペーストの粘度をこの状態が得られるように調整する。粘度の調整方法は、放射線重合型では放射線照射であり、加熱流動型では温度調節である。
【００４０】
なお、光の波長は隔壁２９の頂部に近い部分だけ蛍光体層用ペーストの流動性を無くす場合には空気中での吸収が大きい短波長の紫外線を使用する。例えば、キセノンの１４７ｎｍ、ＡｒＦの１９３ｎｍのエキシマーレーザ等を使用する。隔壁２９の高さは１００μｍ〜２００μｍなので、隔壁２９の頂部に近い感光性蛍光体層用ペーストだけが流動性を失う。
【００４１】
冷却非流動化型の蛍光体層用ペーストでは、溶剤がない状態では、焼成時に温度をあげても流動化せず固化した状態のままであることが必要である。そのためのビヒクル材としては、加熱した際に融解せず昇華あるいは分解する材料であることが必要である。実際の材料としては、焼成用ペーストに使用される樹脂、たとえばセルロース系の樹脂、アクリル系の樹脂、がある。この型のペーストを使用した場合には、冷却して必要な形状が得られた状態で溶剤を蒸発させる必要があり、放置する以外に減圧する方法が有効である。セルロース系の樹脂は焼成用のペーストに一番使用されている。しかし、感光性を賦与することが難しい場合が多い。この場合には、冷却して非流動化する方法が好ましい。
【００４２】
基板基部と隔壁の上面近くの温度差を利用する方法もある。すなわち、加熱した基板の隔壁間のペーストは流動性があるが、隔壁の上面付近の温度ではペーストが流動性が無くなるように雰囲気を調整する方法である。加熱板上に置き、加熱した基板の隔壁間に加熱したペーストを３色分を（３回のスクリーン印刷で）全部充填し、次に基板を傾斜させ、隔壁の側面に沿って蛍光体層用ペーストを流動させる。ここで該ペーストは隔壁の頂部に近づくにつれて、温度が低下し、流動性が低下し、隔壁の頂部近くで流動性が無くなる。次に、反対側に傾けて同様に隔壁の側面に該ペーストを固着させる。基板の傾斜を順次少なくしながら、基板の温度を低下させると、該ペーストの流動性が順次なくなり、希望する形状を得ることができる。つぎに、ペーストの溶剤を真空、または放置乾燥する。すると、加熱しても流動化しない状態になる。
【００４３】
なお、溶剤は良溶剤と貧溶媒を組み合わせる方法がある。両溶媒が蒸発するにつれてゲル状になり流動性がなくなる。また、粘度を調整することが一般的には容易になる。
蛍光体層用ペーストに溶剤が使用されている場合には、焼成前に溶剤を除去する。方法は、真空（減圧）乾燥、加熱乾燥、自然乾燥のいずれでもよい。ただし、あまり急速に溶剤を除去すると、ヒビ割れが発生することがある。冷却非流動化型の場合には、冷却した状態で溶剤を除去する。その場合、真空（減圧）乾燥が好ましい。
【００４４】
また、蛍光体層用ペーストとして、硬化剤添加（混合）により、硬化するペーストを使用することもできる。これに適した樹脂としては、焼成すると消失するタイプの樹脂でなければならず、アクリル系の樹脂を使用することができる。
【００４５】
また、蛍光体層用ペーストとして、加熱すると硬化するタイプのものも使用可能である。加熱硬化タイプのものは、放射線硬化ほどは短時間（瞬時〜数秒）では硬化（実質的に流動性がなくなる。）しないが、遠赤外線加熱であれば、１０秒程度で硬化するタイプのものがあり、適宜使用できる。
【発明の効果】
プラズマディスプレイ背面板の蛍光体層を隔壁の側面に所望する厚さで形成することができるようになり、発光に対する蛍光体の利用効率が増加させることができる。発光効率も増加させることができる。さらに、従来方法では難しかった形状の蛍光体層を形成することができるようになり、発光輝度を調整することが可能になり、色バランスを向上させることが従来より容易とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＰＤＰの内部構造の例を示す説明図。
【図２】隔壁の形状例を示す説明図。
【図３】蛍光体層の厚さを説明する断面図。
【図４】従来のＰＤＰの蛍光体層の形成の際の乾燥方法の例を示す説明図。
【図５】従来の方法で蛍光体層用ペーストを隔壁間に入れ込んだ状態を示す説明図。
【図６】格子状の隔壁（穴状の発光部）の隔壁への蛍光体層用形成方法を示す説明図。
【図７】斜め方向から放射線を照射することによって、隔壁の上面近くの蛍光体層用ペーストの流動性を、選択的に低下させる方法を示す説明図。
【符号の説明】
１…ＡＣ型３電極面放電構造のＰＤＰ
１１…前面側のガラス基板
１７…誘電体層
１８…保護層
２１…背面側のガラス基板
２２…下地層
２４…誘電体層
２８，２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ…蛍光体層
２９，２９ｂ…隔壁
３０…放電空間
４１…透明導電膜
４２…金属膜（バス電極）
５１…回転台
Ａ…アドレス電極
Ｄ…蛍光体層用ペーストの流れる方向
Ｈ…放射線
Ｌ…行
Ｘ，Ｙ…サステイン電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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