(57)【要約】【課題】セパレータの表面に異方性導電膜を接着させた異方性導電膜テープを可撓性基板に貼り付け、セパレータのみを分離して異方性導電膜を可撓性基板に貼り付ける異方性導電膜貼付装置であって、可撓性基板に貼り付けられた異方性導電膜テープのセパレータ裏面に当接し、可撓性基板と平行に移動するセパレータ裏面当接手段と、セパレータの表面に当接し、可撓性基板と平行に移動する表面当接手段と前記表面当接手段と前記裏面当接手段とともに移動し、前記裏面当接手段の移動方向後方側で前記可撓性基板を押圧する押圧手段を具備することを特徴とする異方性導電膜貼付装置。【選択図】図１
2004296944.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セパレータの表面に異方性導電膜を接着させた異方性導電膜テープを可撓性基板に貼り付け、セパレータのみを分離して異方性導電膜を可撓性基板に貼り付ける異方性導電膜貼付装置であって、可撓性基板に貼り付けられた異方性導電膜テープのセパレータ裏面に当接し、可撓性基板と平行に移動するセパレータ裏面当接手段と、セパレータの表面に当接し、可撓性基板と平行に移動する表面当接手段と前記表面当接手段と前記裏面当接手段とともに移動し、前記裏面当接手段の移動方向後方側で前記可撓性基板を押圧する押圧手段を具備することを特徴とする異方性導電膜貼付装置。
【請求項２】
前記押圧手段は回転ローラーからなり、バネもしくはシリンダを用いて前記可撓性基板を押圧することを特徴とする請求項１記載の異方性導電膜貼付装置。
【請求項３】
前記回転ローラーの外周面に、前記可撓性基板上の異方性導電膜が接触しないように溝を形成したことを特徴とする請求項１および２記載の異方性導電膜貼付装置。
【請求項４】
少なくとも、前記回転ローラーの外周面をシリコンもしくはバイトンからなるゴム材で形成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか記載の異方性導電膜貼付装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか記載の異方性導電膜貼付装置によって可撓性基板に貼り付けられた異方性導電膜上にＩＣを実装することを特徴とする部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可撓性基板（以下、ＦＰＣと略す）等の配線基板に異方性導電膜を転着するための異方性導電膜貼付装置、及びこれを用いてＩＣ等のチップ部品を接続するための部品実装装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ガラス基板等のリジット基板に異方性導電膜を貼り付けて、この基板上にＩＣなどの部品を実装する装置が知られている。例えば、液晶ガラス基板に異方性導電膜テープを貼り付け、異方性導電膜テープのセパレータを剥離した後、ＩＣの位置合わせし、熱圧着することで、液晶ガラス基板にＩＣを実装する部品実装装置がある（特許文献１参照）。
【０００３】
図８は、従来の部品実装装置の一例を示す図である。本図に示す部品実装装置は、液晶ガラス基板１にＩＣ２を実装する装置である。異方性導電膜貼付ユニット３によって、液晶ガラス基板１に異方性導電膜テープ４が貼り付けられ、異方性導電膜テープ４からセパレータ５が剥離される。以後、ＩＣ仮圧着ユニット６、及びＩＣ本圧着ユニット７を経て、液晶ガラス基板１にＩＣ２が実装される。
【０００４】
ユニット間に存在する吸着ハンド８は、液晶ガラス基板１を搬送するためのものである。基板ローダー（図示せず）から吸着ハンド８に受け渡された液晶ガラス基板１は、異方性導電膜貼付ユニット３のステージ９上に搬送され、作業が完了すると、次の吸着ハンド８に受け渡され、次工程へ搬送されていく。
【０００５】
図９は、従来の異方性導電膜貼付装置を示している。液晶ガラス基板１には異方性導電膜テープ４が転着されており、送り側は異方性導電膜テープ４がローラー１０で、巻き取り側はセパレータ５がローラー１１で支持されている。異方性導電膜テープ４のセパレータ５は、剥離ユニット１２が矢印方向に移動することにより異方性導電膜テープ４から剥離される仕組みとなっている。
【０００６】
この剥離の際、異方性導電膜材とセパレータ５の接着力が抵抗力となる。この接着抵抗力に対して基板を保持するため、液晶ガラス基板１はステージ９上の数箇所で吸着固定されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００１−２９４３６１号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の異方性導電膜貼付装置では、対象基板がＦＰＣの場合、セパレータ剥離によって生ずる抵抗力によって基板が容易に変形するため、その基板の変形より基板とステージの間に吸着リークが起こり、剥離ユニットが移動するのに引っ張られて基板の固定位置がずれてしまったり、基板がセパレータごと、剥離ローラーに巻き込まれてしまったりするという問題があった。
【０００９】
したがって、本発明は上記事情に鑑みて完成されたものであり、その目的はＦＰＣに貼り付けられた異方性導電膜テープからセパレータを剥離するのにおいて、異方性導電膜テープからセパレータを安定して剥離することができる異方性導電膜貼付装置を提供することにある。
【００１０】
また、本発明の他の目的は、前記異方性導電膜貼付装置を用いた部品実装装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の異方性導電膜貼付装置は、セパレータの表面に異方性導電膜を接着させた異方性導電膜テープを可撓性基板に貼り付け、セパレータのみを分離して異方性導電膜を可撓性基板に貼り付ける異方性導電膜貼付装置であって、可撓性基板に貼り付けられた異方性導電膜テープのセパレータ裏面に当接し、可撓性基板と平行に移動するセパレータ裏面当接手段と、セパレータの表面に当接し、可撓性基板と平行に移動する表面当接手段と前記表面当接手段と前記裏面当接手段とともに移動し、前記裏面当接手段の移動方向後方側で前記可撓性基板を押圧する押圧手段を具備することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の他の異方性導電膜貼付装置は、前記押圧手段は回転ローラーからなり、バネもしくはシリンダを用いて前記可撓性基板を押圧することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の他の異方性導電膜貼付装置は、前記回転ローラーの外周面に、前記可撓性基板上の異方性導電膜が接触しないように溝を形成したことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の他の異方性導電膜貼付装置は、少なくとも、前記回転ローラーの外周面をシリコンもしくはバイトンからなるゴム材で形成したことを特徴とする。
【００１５】
さらに、本発明の部品実装装置は、前記異方性導電膜貼付装置によって貼り付けられた異方性導電膜上にＩＣを実装することを特徴とする。
【００１６】
【作用】
本発明の異方性導電膜貼付装置によれば、上記構成のように、セパレータ剥離時に異方性導電膜材とセパレータの接着抵抗力がＦＰＣに働き、ＦＰＣが剥離ローラーに巻き上げられそうになっても、ＦＰＣに圧力を加える押圧する回転ローラーが存在するためＦＰＣが巻き上げられる力をうち消すことができる。このため、セパレータを剥離する際におけるＦＰＣの位置ずれや剥離ローラーへの巻き込みを防止することができ、安定した生産が可能となる。
【００１７】
また、回転ローラーに異方性導電膜材の幅以上の切り欠きが形成されているので、異方性導電膜材に接触することなく、ＦＰＣのみを押えることができる。このため、異方性導電膜材が回転ローラーに付着して剥がれてしまったり、回転ローラーで汚染されたりすることを防止できる。
【００１８】
また、回転ローラーの外周面に設けられたゴム材が、クッション材としての役目を果たすため、ＦＰＣとの接触面積を大きくすることができる。したがって、ＦＰＣを傷を付けることなく確実に押え込むことができる。
【００１９】
また、回転ローラーはバネやシリンダーに支持されているため、基板に一定の圧力を加えながら押しつけることが可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る異方性導電膜貼付装置を図面により詳述する。
【００２１】
図１は本発明の異方性導電膜貼付装置の正面概略図であり、図６は本発明の回転ローラーの要部側面図であり、図７はバネに支持された回転ローラーの正面概略図である。
【００２２】
図１に示す異方性導電膜貼付装置において、異方性導電膜テープ４は送り側ローラー１０と巻き取り側ローラー１１によって支持されており、送り側ローラー１０が支持している異方性導電膜テープ４は、異方性導電膜材にセパレータ５が付いた状態であり、巻き取り側ローラー１１は異方性導電膜テープ４から剥離されたセパレータ５のみを支持している。
【００２３】
送り側ローラー１０と巻き取り側ローラー１１との間には、剥離ユニット１２が設けられている。剥離ユニット１２に、ＦＰＣ１上に貼り付けられた異方性導電膜テープのセパレータ面側に当接するセパレータ裏面当接手段であるローラー１３とセパレータの異方性導電膜との接着面側に当接するセパレータ表面当接手段であるローラー１４とを設けるとともに、剥離ユニット１２上に設けられているローラー１３の後方側にＦＰＣ１に圧力を加える押圧手段を設けている。すなわち、剥離ユニット１２上に取り付けられたローラー１３の位置を基準にして、剥離ユニット１２が異方性導電膜テープ４のセパレータ５を剥離するときに進行する方向と逆方向側の剥離ユニット１２の部位に押圧手段を設けていることを意味する。また、図７に示すように、押圧手段はバネ２５（又はシリンダー）に支持された回転ローラー１５によって構成されている。
【００２４】
回転ローラー１５について、図６に示すように、その外周面に、回転ローラー１５の軸と直交する方向に異方性導電膜テープ４幅より大きい幅の切り欠き２３が形成されている。また、回転ローラー１５の外周面２４はシリコンやバイトンといったゴム材で構成されている。
【００２５】
剥離ユニット１２は、移動手段により異方性導電膜テープ４の長手方向に移動可能であり、この剥離ユニット１２を異方性導電膜テープ４の供給側へ移動することにより、異方性導電膜テープ４からセパレータ５の剥離が可能になる。
【００２６】
セパレータ５剥離時に異方性導電膜テープ４（異方性導電膜テープ４からセパレータ５を除いた部分）とセパレータ５の接着抵抗力がＦＰＣ１に働き、ＦＰＣ１が巻き上げられそうになっても、ローラー１３の後方側にＦＰＣ１に一定の圧力を加えられるバネ（又はシリンダー）によって支持されている回転ローラー１５が存在するため、ＦＰＣ１を巻き上げる力をうち消すことができる。回転ローラー１５を設けたことで、セパレータ５を剥離する際におけるＦＰＣ１の位置ずれや剥離ローラーへの巻き込みを防止することができ、安定した生産が可能となる。
【００２７】
また、回転ローラー１５に異方性導電膜テープ４の幅以上の切り欠き２３が形成されているので、異方性導電膜テープ４に接触することなく、ＦＰＣ１のみを押えることができる。このため、異方性導電膜テープ４が回転ローラー１５に付着して剥がれてしまったり、回転ローラーで汚染されたりすることを防止できる。
【００２８】
さらに、回転ローラー１５の外周面２４に設けられたゴム材が、クッション材としての役目を果たすため、ＦＰＣ１との接触面積を大きくすることができる。したがって、ＦＰＣ１に傷を付けることなく確実に押え込むことができる。
【００２９】
上述した異方性導電膜貼付装置を用いてＩＣなどの部品をＦＰＣ１上に貼り付けられた異方性導電膜テープ４上に実装するとき、ＩＣの位置合わせし、熱圧着することで、液晶ガラス基板にＩＣを実装する装置は本発明の部品実装装置となる。
【００３０】
以下に本発明の異方性導電膜貼付装置の各構成をより詳細に述べる。
【００３１】
図２は異方性導電膜のハーフカット工程を示している。まず、異方性導電膜テープ４を所定量だけフィードする。フィードするには、送り側移動ストッパ１６を閉じて異方性導電膜テープ４を保持し、巻き取り側移動ストッパ１７を閉じてセパレータ５保持した後、固定ストッパ１８を開く。この状態で、各移動ストッパ１６、１７を矢印方向に所定量だけ移動させることによっておこなう。フィード後、固定ストッパ１８を閉じて、各移動ストッパ１６、１７を開いて待機位置まで戻す。
【００３２】
そこで、カッターユニット１９が装置の奥側から異方性導電膜テープ４位置まで移動してくる。異方性導電膜テープ４は、カット部（図示せず）に挟み込まれて、カッター刃２０によりカットされる。このとき、カッター刃２０は異方性導電膜材だけに切り込み、セパレータ５をカットしない。カットした後、カッターユニット１９は装置の奥側に移動して元の位置に戻る。
【００３３】
次に、図３は本発明の異方性導電膜の加圧工程を示す。まず、吸着ハンド（図示せず）によって搬送されてきたＦＰＣ１はステージ９上に載置され、吸着固定される。その後、各ローラー及び剥離ユニット１２の取り付けられたユニット全体が下降し、異方性導電膜テープ４はＦＰＣ１上にまで下がってくる。
【００３４】
そして、加圧ヘッド２１が下降し、シリンダーにより異方性導電膜テープ４が加圧される。このとき、加圧ヘッド２１は異方性導電膜テープ４に加圧すると同時に加熱することで、より異方性導電膜材とＦＰＣ１との密着性を高めている。加圧後、加圧ヘッド２１は上昇し、元の位置に戻る。
【００３５】
最後に、図４のセパレータ剥離工程である。固定ストッパ１８が異方性導電膜テープ４を保持したまま、剥離ユニット１２が巻き取り側から送り側へ移動するので、セパレータ５は異方性導電膜テープ４から剥離することになる。
【００３６】
図５は本発明のセパレータ剥離の模式図を示す。図５に示したように、剥離ユニット１２が通過しセパレータ５が剥離される際、異方性導電膜材とセパレータ５と接着抵抗力により、ＦＰＣ１がセパレータ５とともに下ローラー１３に巻き上げられる力が働くが、剥離ユニット１２の後方側から回転ローラー１５がＦＰＣ１を押え込むため、ステージ９の吸着固定と回転ローラー１５による押え付けで、ＦＰＣ１の位置ズレや巻き込みが防止される。剥離ユニット１２の移動が進み、下ローラー１３がハーフカット位置２２を通過するとセパレータ剥離が完了することになる。
【００３７】
このとき、回転ローラー１５は下ローラー１３によってセパレータ剥離された後の異方性導電膜材上を通過することになる。しかし、図６に示した回転ローラー側面図のとおり、回転ローラー１５は異方性導電膜テープ４幅より大きい幅の切り欠き２３が形成されており、なおかつ少なくとも外周面２４がシリコンやバイトンといったゴム材で形成されているので、異方性導電膜材には直接触れず、基板１だけを確実に押えることができる構造となっている。
【００３８】
また、回転ローラー１５は図７に示したようにバネ２５等によって支持されているため、ＦＰＣ１に圧力を加えながら通過する。したがって、より確実にＦＰＣ１を押えつけることができる。
【００３９】
剥離完了後、剥離ユニット１２は元の位置へ戻る。
【００４０】
このような工程を経て、ＦＰＣ１に異方性導電膜材が貼り付けられた後は、ＩＣ仮圧着及びＩＣ本圧着を経て、ＩＣが実装される。
【００４１】
また、本実施例では異方性導電膜の例で説明したが、これに限らずセパレータの付いた粘着テープであれば同様の効果が得られる。
【００４２】
尚、本発明は上述の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【００４３】
【発明の効果】
本発明は以上に説明したように、異方性導電膜テープからセパレータを剥離する際、異方性導電膜材との接着抵抗力に対して、ＦＰＣを押圧する回転ローラーがＦＰＣを機械的に押えることができる。このため、ＦＰＣの位置ずれや剥離ローラーへの巻き込みを防止することができ、安定してセパレータ剥離をおこなうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る異方性導電膜貼付装置の正面概略図である。
【図２】本発明に係る異方性導電膜のハーフカット工程を示す。
【図３】本発明に係る異方性導電膜の加圧工程を示す。
【図４】本発明に係る異方性導電膜のセパレータ剥離工程を示す。
【図５】本発明に係るセパレータ剥離を示す模式図である。
【図６】本発明に係る回転ローラーの要部側面図である。
【図７】本発明に係るバネに支持された回転ローラーの正面概略図である。
【図８】従来技術における部品実装装置の正面概略図である。
【図９】従来技術における異方性導電膜貼付装置の正面概略図である。
【符号の説明】
１・・・基板
２・・・ＩＣ
３・・・異方性導電膜貼付ユニット
４・・・異方性導電膜テープ
５・・・セパレータ、
６・・・ＩＣ仮圧着ユニット
７・・・ＩＣ本圧着ユニット
８・・・吸着ハンド
９・・・ステージ
１０・・・送りローラー
１１・・・巻き取りローラー
１２・・・剥離ユニット
１３・・・下ローラー
１４・・・上ローラー
１５・・・回転ローラー、
１６・・・送り側移動ストッパ
１７・・・巻き取り側移動ストッパ
１８・・・固定ストッパ、
１９・・・カッターユニット
２０・・・カッター刃
２１・・・加圧ヘッド
２２・・・ハーフカット位置、
２３・・・切り欠き部
２４・・・外周面
２５・・・バネ。
【図１】
2004296944.tif 000003
【図２】
2004296944.tif 000004
【図３】
2004296944.tif 000005
【図４】
2004296944.tif 000006
【図５】
2004296944.tif 000007
【図６】
2004296944.tif 000008
【図７】
2004296944.tif 000009
【図８】
2004296944.tif 000010
【図９】
2004296944.tif 000011