(57)【要約】 【課題】  液状体の無駄によるコストアップを防止し、液状体の微細化に伴うノズル径や流路の微細化にも対応して吐出ヘッドから気泡の除去を容易に行えるようにした、液状体の吐出装置と液状体の吐出方法、電気光学装置とその製造方法、電子機器を提供する。【解決手段】  吐出ヘッド３４と、この吐出ヘッド３４に液状体を供給するための液状体を貯留する液状体タンク３５とを有した液状体の吐出装置である。ノズルを覆う第１の吸引部材５０と、第１の吸引部材５０に接続し、第１の吸引部材５０を介して吐出ヘッド３４内を減圧する第１の減圧手段５１と、ノズルを覆う第２の吸引部材３８と、第２の吸引部材３８に接続し、第２の吸引部材３８を介して吐出ヘッド３４内を減圧するとともに、液状体タンク３５内に連通してこの液状体タンク３５内を減圧する第２の減圧手段４０とを備えている。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を貯留するキャビティと該キャビティに連通するノズルと前記キャビティ内に貯留された液状体を前記ノズルより吐出させるための吐出手段とを有した吐出ヘッドと、該吐出ヘッドに液状体を供給するための液状体を貯留する液状体タンクと、を有してなる液状体の吐出装置であって、
前記ノズルを覆う第１の吸引部材と、
該第１の吸引部材に接続し、該第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する第１の減圧手段と、
前記ノズルを覆う第２の吸引部材と、
該第２の吸引部材に接続し、該第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧するとともに、前記液状体タンク内に連通して該液状体タンク内を減圧する第２の減圧手段と、を備えてなることを特徴とする液状体の吐出装置。
【請求項２】
前記第１の吸引部材の吐出ヘッドと反対の側に、前記ノズルから流出した液状体を検知する液状体センサが設けられていることを特徴とする請求項１記載の液状体の吐出装置。
【請求項３】
前記液状体タンクに、貯留している液状体を加熱するヒータが設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の液状体の吐出装置。
【請求項４】
前記第２の吸引部材が、少なくとも前記吐出ヘッドを収容するチャンバーであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液状体の吐出装置。
【請求項５】
前記第２の減圧手段は、前記第２の吸引部材となるチャンバー内と前記液状体タンク内とを同じ圧に減圧するよう構成されてなることを特徴とする請求項４記載の吐出装置。
【請求項６】
前記第１の吸引部材と第２の吸引部材とが同一の吸引部材によって構成され、前記第１の減圧手段と第２の減圧手段とが同一の減圧手段によって構成されてなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液状体の吐出装置。
【請求項７】
液状体を貯留するキャビティと該キャビティに連通するノズルと前記キャビティ内に貯留された液状体を前記ノズルより吐出させるための吐出手段とを有した吐出ヘッドと、該吐出ヘッドに液状体を供給するための液状体を貯留する液状体タンクと、を有し、
前記吐出ヘッドにおけるノズル形成面の少なくともノズルを気密に覆う第１の吸引部材と、該第１の吸引部材に接続し、該第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する第１の減圧手段と、前記吐出ヘッドにおけるノズル形成面の少なくともノズルを気密に覆う第２の吸引部材と、該第２の吸引部材に接続し、該第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧するとともに、前記液状体タンク内に連通して該液状体タンク内を減圧する第２の減圧手段と、を備えた吐出装置により液状体を吐出する方法であって、
前記吐出ヘッドのノズル形成面をそのノズルを覆った状態で前記第１の吸引部材で覆う工程と、
第１の減圧手段によって前記第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧し、該吐出ヘッド内に液状体を充填する工程と、
前記吐出ヘッド内に液状体を充填した後、前記吐出ヘッドのノズル形成面をそのノズルを覆った状態で前記第２の吸引部材で覆う工程と、
第２の減圧手段によって前記液状体タンク内を減圧するとともに、前記第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する工程と、
吐出ヘッド内を減圧した後、該吐出ヘッドから液状体を吐出する工程と、
を備えたことを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項８】
液状体を貯留するキャビティと該キャビティに連通するノズルと前記キャビティ内に貯留された液状体を前記ノズルより吐出させるための吐出手段とを有した吐出ヘッドと、該吐出ヘッドに液状体を供給するための液状体を貯留する液状体タンクと、を有してなり、前記吐出ヘッドにおけるノズル形成面の少なくともノズルを気密に覆う第１の吸引部材と、該第１の吸引部材に接続し、該第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する第１の減圧手段と、前記吐出ヘッドにおけるノズル形成面の少なくともノズルを気密に覆う第２の吸引部材と、該第２の吸引部材に接続し、該第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧するとともに、前記液状体タンク内に連通して該液状体タンク内を減圧する第２の減圧手段と、を備えてなる液状体の吐出装置により、構成要素の少なくとも一部が形成されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
液状体を貯留するキャビティと該キャビティに連通するノズルと前記キャビティ内に貯留された液状体を前記ノズルより吐出させるための吐出手段とを有した吐出ヘッドと、該吐出ヘッドに液状体を供給するための液状体を貯留する液状体タンクと、を有し、前記吐出ヘッドにおけるノズル形成面の少なくともノズルを気密に覆う第１の吸引部材と、該第１の吸引部材に接続し、該第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する第１の減圧手段と、前記吐出ヘッドにおけるノズル形成面の少なくともノズルを気密に覆う第２の吸引部材と、該第２の吸引部材に接続し、該第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧するとともに、前記液状体タンク内に連通して該液状体タンク内を減圧する第２の減圧手段と、を備えた吐出装置を用いて電気光学装置の構成要素の少なくとも一部を形成する電気光学装置の製造方法であって、
前記吐出ヘッドのノズル形成面をそのノズルを覆った状態で前記第１の吸引部材で覆う工程と、
第１の減圧手段によって前記第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧し、該吐出ヘッド内に液状体を充填する工程と、
前記吐出ヘッド内に液状体を充填した後、前記吐出ヘッドのノズル形成面をそのノズルを覆った状態で前記第２の吸引部材で覆う工程と、
第２の減圧手段によって前記液状体タンク内を減圧するとともに、前記第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する工程と、
吐出ヘッド内を減圧した後、該吐出ヘッドから液状体を吐出する工程と、を備えたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜６のいずれかに記載の液状体の吐出装置、あるいは請求項７記載の液状体の吐出方法によって構成要素の一部が形成されてなることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出装置に係り、詳しくは吐出ヘッドへの液状体の充填と充填した液状体からの気泡の除去とを良好に行うことのできる液状体の吐出装置、液状体の吐出方法、及び電気光学装置とその製造方法、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液状体材料を吐出する吐出ヘッドを備えた吐出装置として、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタが知られている。
インクジェットプリンタに備えられるインクジェットヘッドは、通常、液状体を貯留するキャビティと、該キャビティに連通するノズルと、前記キャビティ内に貯留された液状体を前記ノズルより吐出させるための吐出手段とを有して構成されている。また、このような吐出ヘッドには液状体を貯留する液状体タンクが接続されており、これから吐出ヘッドに液状体が供給されるようになっている。
【０００３】
また、前記のインクジェットヘッドは、近年では吐出ヘッドとして、民生用のインクジェットプリンタだけでなく工業用の吐出装置、すなわち各種デバイスの構成要素を形成するための装置としても使用されるようになってきている。例えば、有機ＥＬ装置における発光層や正孔注入層、液晶装置などにおけるカラーフィルタ、さらには各種デバイスの金属配線、マイクロレンズなどについても、その形成のために吐出ヘッドが用いられるようになってきている。
【０００４】
ところで、前記のインクジェットヘッドでは、例えば使用開始時における液状体の充填方法として、以下のような充填方法がなされている（例えば、特許文献１参照）。
まず、可撓性材料からなる覆い部材をヘッドのノズル形成面に押しつけ、ノズル形成面を気密に覆う。次に、覆い部材に接続した減圧手段を作動させて覆い部材とノズル形成面との間を減圧する。
【０００５】
すると、インクジェットヘッド内は減圧されることにより、これに接続した液状体タンクからインクジェットヘッド内に液状体が供給され、インクジェットヘッド内には液状体が充填される。そして、さらに前記の減圧を続け、充填した液状体を吸引することによってインクジェットヘッドから覆い部材側に排出させ、これと同時に、このヘッド内の空気やさらには流路中に残留していた気泡も覆い部材側に吸引・排出させる。
ここで、ヘッド内に残留している気泡は、液状体吐出の際に吐出圧を吸収することなどにより、液状体の流動やノズルからの吐出に悪影響を及ぼし、ヘッドの吐出性能の劣化や不安定化をもたらす大きな要因となっている。
【特許文献１】特開２０００−１０８３８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、吐出装置を前述したように工業用として用いる場合、用途の多様化に伴い、吐出する液状体として高価なものや希少なもの、あるいは高粘度のものを用いることがある。例えば、近年では遺伝子構造の解析などにも、その被検査体の作製に前記の吐出装置（インクジェットプリンタ）の技術を応用することが考えられているが、このような被検査体の作製に用いられる試薬や検体などは高価であり、また希少であるものが多い。また、有機ＥＬ装置における発光層形成用の液状体などでは、高粘度のものも使用されている。
【０００７】
しかしながら、使用開始時に液状体を充填する際、前述したように気泡の除去を目的としてヘッド内に充填した液状体をヘッド外に排出させると、液状体が高価である場合には無駄が多いため大幅なコストアップになってしまい、また、液状体が希少である場合には目的とする吐出が少量しか行えないといった不都合がある。
また、高粘度の液状体の場合には、液状体内で気泡が流動しにくく、また液状体自体の移動もしにくいことから、吸引による液状体の排出を多量に行う必要があり、やはり液状体の無駄によるコストアップを招いている。
【０００８】
さらに、近年では吐出の高精度化などの要求から、吐出する液状体の微細化が進められており、これに伴ってノズル径や液状体の流路も益々微細化している。しかして、このような微細化が進められると、毛細管力が高くなり、減圧・吸引による気泡の排出が困難になる。
【０００９】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、液状体の無駄によるコストアップを防止し、しかも液状体の微細化に伴うノズル径や流路の微細化にも対応して吐出ヘッドから気泡の除去を容易に行えるようにした、液状体の吐出装置と液状体の吐出方法、及び電気光学装置とその製造方法、電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するため本発明の液状体の吐出装置では、液状体を貯留するキャビティと該キャビティに連通するノズルと前記キャビティ内に貯留された液状体を前記ノズルより吐出させるための吐出手段とを有した吐出ヘッドと、該吐出ヘッドに液状体を供給するための液状体を貯留する液状体タンクと、を有してなる液状体の吐出装置であって、前記ノズルを覆う第１の吸引部材と、該第１の吸引部材に接続し、該第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する第１の減圧手段と、前記ノズルを覆う第２の吸引部材と、該第２の吸引部材に接続し、該第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧するとともに、前記液状体タンク内に連通して該液状体タンク内を減圧する第２の減圧手段と、を備えてなることを特徴としている。
【００１１】
この液状体の吐出装置によれば、例えば使用開始時における液状体の充填を以下のようにして行う。
まず、前記吐出ヘッドのノズル形成面を、そのノズルを覆った状態で前記第１の吸引部材で覆う。そして、前記第１の減圧手段により前記第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧し、該吐出ヘッド内に液状体を充填する。
このようにして前記吐出ヘッド内に液状体を充填したら、第１の吸引部材を吐出ヘッドから外し、続いてこの吐出ヘッドのノズル形成面を、そのノズルを覆った状態で前記第２の吸引部材で覆う。そして、第２の減圧手段により前記液状体タンク内を減圧するとともに、前記第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する。
すると、液状体タンク内と吐出ヘッド内とをともに減圧するので、これら液状体タンク内と吐出ヘッド内との間でほとんど圧力差が生じず、これにより液状体タンク内からの吐出ヘッド内への液状体の流入や吐出ヘッドからの液状体の流出が起こらず、したがって特に吐出ヘッド内に残留した気泡や液状体内に溶存する気体のみが選択的に吸引されて第２の減圧手段側に除去される。よって、吐出ヘッドから液状体を無駄に流出させることなく、気泡等の除去を容易にかつ確実に行うことができ、これによりコストダウンを図ることができる。
また、このようにして気泡等の除去が確実になされた後、吐出ヘッドから液状体を吐出すれば、この吐出による各種構成要素の形成などを良好に行うことができる。
【００１２】
また、前記液状体の吐出装置においては、前記第１の吸引部材の吐出ヘッドと反対の側に、前記ノズルから流出した液状体を検知する液状体センサが設けられているのが好ましい。
このようにすれば、第１の減圧手段により第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧し、該吐出ヘッド内に液状体を充填した際、余剰の液状体が吐出ヘッドのノズルより流出する。このとき、流出した液状体を液状体検知センサで検知することにより、吐出ヘッド内に液状体が十分充填されたことを検知することができる。したがって、検知後第１の減圧手段による減圧を停止することにより、吐出ヘッドから液状体が過剰に流出するのを防止することができる。
【００１３】
また、前記液状体の吐出装置においては、前記液状体タンクに、貯留している液状体を加熱するヒータが設けられているのが好ましい。
このようにすれば、液状体を加熱することによってその粘度を低くすることができ、したがって液状体タンクから吐出ヘッドへの液状体の流入を容易にすることができる。また、液状体中に溶存している気体の気化を促進し、第２の減圧手段によって減圧したときの気泡等の除去を容易にすることができる。
【００１４】
また、前記液状体の吐出装置においては、前記第２の吸引部材が、少なくとも前記吐出ヘッドを収容するチャンバーであってもよい。また、その場合に、前記第２の減圧手段は、前記第２の吸引部材となるチャンバー内と前記液状体タンク内とを同じ圧に減圧するよう構成されてなるのが好ましい。
このようにすれば、吐出ヘッドを単にチャンバー内に位置させ、チャンバーに接続した第２の減圧手段を作動させることにより、吐出ヘッド内に残留した気泡や液状体内に溶存する気体を容易に吸引除去することができる。すなわち、チャンバー内と液状体タンク内とが同じ圧に減圧されることにより、液状体タンク内と吐出ヘッド内との間でほとんど圧力差が生じず、これにより液状体タンク内からの吐出ヘッド内への液状体の流入や吐出ヘッドからの液状体の流出が起こらないようになる。
【００１５】
また、前記液状体の吐出装置においては、前記第１の吸引部材と第２の吸引部材とが同一の吸引部材によって構成され、前記第１の減圧手段と第２の減圧手段とが同一の減圧手段によって構成されていてもよい。
このようにすれば、液状体タンク内と減圧手段とを連通させ、この連通状態を開閉弁等の切り換え手段によって開閉可能に構成しておくことにより、この切り換え手段によって第１の減圧手段による減圧から第２の減圧手段による減圧に切り換えることができ、したがって装置構成を簡易にすることができる。
【００１６】
本発明の液状体の吐出方法では、液状体を貯留するキャビティと該キャビティに連通するノズルと前記キャビティ内に貯留された液状体を前記ノズルより吐出させるための吐出手段とを有した吐出ヘッドと、該吐出ヘッドに液状体を供給するための液状体を貯留する液状体タンクと、を有し、前記吐出ヘッドにおけるノズル形成面の少なくともノズルを気密に覆う第１の吸引部材と、該第１の吸引部材に接続し、該第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する第１の減圧手段と、前記吐出ヘッドにおけるノズル形成面の少なくともノズルを気密に覆う第２の吸引部材と、該第２の吸引部材に接続し、該第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧するとともに、前記液状体タンク内に連通して該液状体タンク内を減圧する第２の減圧手段と、を備えた吐出装置により液状体を吐出する方法であって、前記吐出ヘッドのノズル形成面をそのノズルを覆った状態で前記第１の吸引部材で覆う工程と、第１の減圧手段によって前記第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧し、該吐出ヘッド内に液状体を充填する工程と、前記吐出ヘッド内に液状体を充填した後、前記吐出ヘッドのノズル形成面をそのノズルを覆った状態で前記第２の吸引部材で覆う工程と、第２の減圧手段によって前記液状体タンク内を減圧するとともに、前記第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する工程と、吐出ヘッド内を減圧した後、該吐出ヘッドから液状体を吐出する工程と、を備えたことを特徴としている。
【００１７】
この液状体の吐出方法によれば、第２の減圧手段によって前記液状体タンク内を減圧するとともに、第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧すると、液状体タンク内と吐出ヘッド内とをともに減圧するので、これら液状体タンク内と吐出ヘッド内との間でほとんど圧力差が生じず、これにより液状体タンク内からの吐出ヘッド内への液状体の流入や吐出ヘッドからの液状体の流出が起こらず、したがって特に吐出ヘッド内に残留した気泡や液状体内に溶存する気体のみが選択的に吸引されて第２の減圧手段側に除去される。よって、吐出ヘッドから液状体を無駄に流出させることなく、気泡等の除去を容易にかつ確実に行うことができ、これによりコストダウンを図ることができる。また、このようにして気泡等の除去が確実になされた後、吐出ヘッドから液状体を吐出するので、この吐出による各種構成要素の形成などを良好に行うことができる。
【００１８】
本発明の電気光学装置は、液状体を貯留するキャビティと該キャビティに連通するノズルと前記キャビティ内に貯留された液状体を前記ノズルより吐出させるための吐出手段とを有した吐出ヘッドと、該吐出ヘッドに液状体を供給するための液状体を貯留する液状体タンクと、を有してなり、前記吐出ヘッドにおけるノズル形成面の少なくともノズルを気密に覆う第１の吸引部材と、該第１の吸引部材に接続し、該第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する第１の減圧手段と、前記吐出ヘッドにおけるノズル形成面の少なくともノズルを気密に覆う第２の吸引部材と、該第２の吸引部材に接続し、該第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧するとともに、前記液状体タンク内に連通して該液状体タンク内を減圧する第２の減圧手段と、を備えてなる液状体の吐出装置により、構成要素の少なくとも一部が形成されたことを特徴としている。
この電気光学装置によれば、前述したように各種構成要素の形成などを良好に行うことのできる吐出装置によってその構成要素の少なくとも一部が形成されているので、信頼性の高い良好なものとなり、また液状体が無駄に流出されないことによりコストダウンが図られたものとなる。
【００１９】
本発明の電気光学装置の製造方法は、液状体を貯留するキャビティと該キャビティに連通するノズルと前記キャビティ内に貯留された液状体を前記ノズルより吐出させるための吐出手段とを有した吐出ヘッドと、該吐出ヘッドに液状体を供給するための液状体を貯留する液状体タンクと、を有し、前記吐出ヘッドにおけるノズル形成面の少なくともノズルを気密に覆う第１の吸引部材と、該第１の吸引部材に接続し、該第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する第１の減圧手段と、前記吐出ヘッドにおけるノズル形成面の少なくともノズルを気密に覆う第２の吸引部材と、該第２の吸引部材に接続し、該第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧するとともに、前記液状体タンク内に連通して該液状体タンク内を減圧する第２の減圧手段と、を備えた吐出装置を用いて電気光学装置の構成要素の少なくとも一部を形成する電気光学装置の製造方法であって、前記吐出ヘッドのノズル形成面をそのノズルを覆った状態で前記第１の吸引部材で覆う工程と、第１の減圧手段によって前記第１の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧し、該吐出ヘッド内に液状体を充填する工程と、前記吐出ヘッド内に液状体を充填した後、前記吐出ヘッドのノズル形成面をそのノズルを覆った状態で前記第２の吸引部材で覆う工程と、第２の減圧手段によって前記液状体タンク内を減圧するとともに、前記第２の吸引部材を介して吐出ヘッド内を減圧する工程と、吐出ヘッド内を減圧した後、該吐出ヘッドから液状体を吐出する工程と、を備えたことを特徴としている。
この電気光学装置の製造方法によれば、前述したように各種構成要素の形成などを良好に行うことのできる吐出方法でその構成要素の少なくとも一部を形成するようにしたので、信頼性の高い良好な電気光学装置を製造することができ、また液状体が無駄に流出されないことによりコストダウンを図ることが可能になる。
【００２０】
本発明の電子機器では、前記の液状体の吐出装置、あるいは前記の液状体の吐出方法によって構成要素の一部が形成されてなることを特徴としている。
この電子機器によれば、各種構成要素の形成などを良好に行うことのできる吐出装置、あるいは吐出方法でその構成要素の一部が形成されているので、信頼性の高い良好なものとなり、また液状体が無駄に流出されないことによりコストダウンが図られたものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、本発明の液状体の吐出装置（以下、吐出装置と記す）の第１の実施形態を示す図であり、図１において符号３０は吐出装置である。この吐出装置３０は、ベース３１、基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３、吐出ヘッド３４、液状体タンク３５、チャンバー３８等を有して構成されたものである。
ベース３１は、その上に前記基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３を設置したものである。
【００２２】
基板移動手段３２は、ベース３１上に設けられたもので、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール３６を有したものである。この基板移動手段３２は、例えばリニアモータにより、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるよう構成されたものである。スライダ３７には、θ軸用のモータ（図示せず）が備えられている。このモータは、例えばダイレクトドライブモータからなるものであり、これのロータ（図示せず）はテーブル３９に固定されている。このような構成のもとに、モータに通電するとロータおよびテーブル３９は、θ方向に沿って回転し、テーブル３９をインデックス（回転割り出し）するようになっている。
【００２３】
テーブル３９は、基板Ｓを位置決めし、保持するものである。すなわち、このテーブル３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをテーブル３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、テーブル３９の位置決めピン（図示せず）により、テーブル３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。テーブル３９には、吐出ヘッド３４がインクを捨打ちあるいは試し打ちするための捨打ちエリア４１が設けられている。この捨打ちエリア４１は、Ｘ軸方向に延びて形成されたもので、テーブル３９の後端部側に設けられたものである。
【００２４】
ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、該走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向に吐出ヘッド３４を保持させるスライダ４２を移動可能に保持したものである。スライダ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これにより吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。
【００２５】
吐出ヘッド３４には、揺動位置決め手段としてのモータ４３、４４、４５、４６が接続されている。そして、モータ４３を作動させると、吐出ヘッド３４はＺ軸に沿って上下動し、Ｚ軸上での位置決めが可能になっている。なお、このＺ軸は、前記のＸ軸、Ｙ軸に対しそれぞれに直交する方向（上下方向）である。また、モータ４４を作動させると、吐出ヘッド３４は図１中のβ方向に沿って揺動し、位置決め可能になり、モータ４５を作動させると、吐出ヘッド３４はγ方向に揺動し、位置決め可能になり、モータ４６を作動させると、吐出ヘッド３４はα方向に揺動し、位置決め可能になる。
【００２６】
このように吐出ヘッド３４は、スライダ４２上において、Ｚ軸方向に直線移動して位置決め可能となり、かつ、α、β、γに沿って揺動し、位置決め可能となっている。したがって、吐出ヘッド３４のインク吐出面を、テーブル３９側の基板Ｓに対する位置あるいは姿勢を、正確にコントロールすることができるようになっている。
ここで、吐出ヘッド２は、図２（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数のキャビティ１５…とリザーバ１６とが形成されており、これらキャビティ１５…とリザーバ１６とは流路１７を介して連通している。
【００２７】
各キャビティ１５とリザーバ１６の内部とは液状体で満たされるようになっており、これらの間の流路１７はリザーバ１６からキャビティ１５に液状体を供給する供給口として機能するようになっている。また、ノズルプレート１２には、キャビティ１５から液状体を噴射するための孔状のノズル１８が縦横に整列した状態で複数形成されている。一方、振動板１３には、リザーバ１６内に開口する孔１９が形成されており、この孔１９には液状体タンク３５がチューブ２４（図１（ａ）参照）を介して接続されている。
【００２８】
また、振動板１３のキャビティ１５に向く面と反対の側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１、２１間に挟持され、通電により外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたもので、本発明における吐出手段として機能するものである。
【００２９】
このような構成のもとに圧電素子２０が接合された振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲し、これによりキャビティ１５の容積を増大させる。すると、キャビティ１５内とリザーバ１６内とが連通しており、リザーバ１６内に液状体が充填されている場合には、キャビティ１５内に増大した容積分に相当する液状体が、リザーバ１６から流路１７を介して流入する。
そして、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。よって、キャビティ１５も元の容積に戻ることから、キャビティ１５内部の液状体の圧力が上昇し、ノズル１８から液状体の液滴２２が吐出される。
【００３０】
なお、吐出ヘッドの吐出手段としては、前記の圧電素子（ピエゾ素子）２０を用いた電気機械変換体以外でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式や、帯電制御型、加圧振動型といった連続方式、静電吸引方式、さらにはレーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用で液状体を吐出させる方式を採用することもできる。
【００３１】
液状体タンク３５は、前記架台３３ａ、３３ａの一方の上に配置されたもので、その内部が配管（図示せず）を介して真空ポンプ４０に接続されたものである。また、この液状体タンク３５には、その内部、あるいはその外側にヒータ（図示せず）が設けられている。このヒータは、貯留している液状体を加熱するためのもので、特に液状体が高粘性のものの場合などに、加熱することで粘度を低くし、液状体タンク３５から吐出ヘッド３４への液状体の流入を容易にできるようにしたものである。また、液状体中に溶存している気体の気化を促進し、後述する第２の減圧手段による減圧の際、気泡等の除去を容易にすることもできる。
【００３２】
なお、架台３３ａは走行路３３ｂを支持するものとなっていることから、この走行路３３ｂ上を走行する吐出ヘッド３４に十分近い位置となっている。したがって、液状体タンク３５から吐出ヘッド３４に液状体を送るためのチューブ２４は、従来のものに比べ十分に短いもの、すなわち走行路３３ｂの長さにほぼ等しい長さとなっている。
【００３３】
また、前記架台３３ａ、３３ａの他方の上には、前記チャンバー３８が配置されている。このチャンバー３８は、本発明における第２の吸引部材となるもので、後述するようにこの内部に吐出ヘッド３４を気密に収容することにより、吐出ヘッド３４のノズル１８を気密に覆うものとなっている。また、このチャンバー３８には前記真空ポンプ４０が接続されており、この真空ポンプ４０は本発明における第２の減圧手段となっている。すなわち、この真空ポンプ４０は、前述したように配管（図示せず）を介して液状体タンク３５とも接続したもので、このような構成のもとに、チャンバー３８内と液状体タンク３５内とを同時にかつ同じ圧に減圧することができるようになっている。
【００３４】
なお、チャンバー３８には扉（図示せず）が設けられており、前記吐出ヘッド３４がヘッド移動手段３３によりＸ軸方向に走行してチャンバー３８側に移動することにより、この扉からチャンバー３８内に入るようになっている。また、扉が閉められることにより、吐出ヘッド３４はこのチャンバー３８内に気密に収容されるようになっている。
【００３５】
このチャンバー３８内には、図３に示すように吐出ヘッド３４のノズル１８を形成した面（ノズル形成面）３４ａを気密に覆う吸引パッド５０と、この吸引パッド５０に接続した吸引ポンプ５１と、この吸引ポンプ５１に接続された廃液タンク５２とが設けられている。吸引パッド５０は、本発明における第１の吸引部材として機能するもので、吐出ヘッド３４のノズル形成面３４ａに当接してこれを覆うパッドと、このパッドに形成された孔部（図示せず）に連通するフレキシブル配管（図示せず）と、吐出ヘッド３４に対しパッドを移動させてこれに当接させ、さらにこれから離間させるための移動機構とを備えて構成されたものである。なお、パッドはゴムや軟質の合成樹脂などによって形成されている。
【００３６】
吸引ポンプ５１は、本発明における第１の減圧手段として機能するもので、前記吸引パッド５０のパッドが吐出ヘッド３４のノズル形成面３４ａに当接した後減圧動作を行い、吸引パッド５０を介して吐出ヘッド３４内を減圧するものである。
なお、この吸引ポンプ５１と前記吸引パッド５０との間には、液状体を検知する液状体センサ５３が設けられている。この液状体センサ５３としては、液状体の種類に応じて従来公知のセンサが適宜選択されて用いられる。例えば、液状体が非透光性である場合、発光素子と受光素子とを備えて構成されるセンサを用いることができる。
【００３７】
すなわち、吸引ポンプ５１と前記吸引パッド５０との間を接続する配管中に透明部分を設けておき、この透明部分の両側に前記発光素子と受光素子とを配置しておく。このようにすれば、透明部分を液状体が通らない場合には発光素子からの光が受光素子で受光されることにより、液状体が検知されず、透明部分を液状体が通った際には、発光素子からの光が液状体に遮られ、受光素子で受光ができないことにより液状体が検知される。
【００３８】
廃液タンク５２は、前記吸引ポンプ５１によって吸引パッド５０を介して吐出ヘッド３４内を減圧した際、吐出ヘッド３４から余剰の液状体が流れ出たのを貯留するためのものである。ここで、本実施形態では前述したように吸引パッド５０と吸引ポンプ５１との間に液状体センサ５３を設けたが、液状体の種類によっては、この廃液タンク５２内に液状体センサを設けるようにしてもよい。その場合、例えば廃液タンク５２に貯留された液状体の液面をレベルセンサで検出することにより、吐出ヘッド３４から余剰の液状体として一定量が流れ出たのを検知するようにしてもよい。
また、前記吸引パッド５０、吸引ポンプ５１、液状体検知センサ５３、真空ポンプ４０はそれぞれ制御装置５４に接続されており、この制御装置５４によってそれぞれその動作が制御されるようになっている。
【００３９】
次に、このような構成の吐出装置３０の動作を基に、本発明の液状体の吐出方法の一例を説明する。なお、この説明においては、液状体の種類として特に限定することなく、任意のものを用いるものとする。
まず、基板Ｓへの液状体の吐出に先立ち、吐出ヘッド３４に液状体を充填するとともに、内部に残留する気泡等を除去するべく、吐出ヘッド３４を移動させてチャンバー３８内に収容する。
【００４０】
次に、制御装置５４を制御することによって吸引パッド５０を移動させ、そのパッドを吐出ヘッド３４のノズル形成面３４ａに当接させ、これを気密に覆う。続いて、吸引ポンプ５１を作動させ、前記吸引パッド５０を介して吐出ヘッド３４内を減圧する。すると、このときには前記真空ポンプ４０は作動しておらず、したがって液状体タンク３５内は大気圧になっていることから、この液状体タンク３５内と吸引パッド５０に接続した吐出ヘッド３４内とでは圧力差が生じ、これにより液状体タンク３５内の液状体が吐出ヘッド３４内に流入し、吐出ヘッド３４に液状体が充填される。なお、吸引ポンプ５１の作動に先立ち、液状体タンク３５に設けたヒータ（図示せず）に通電して貯留する液状体を加熱しておいてもよい。
【００４１】
そして、吸引ポンプ５１による吐出ヘッド３４内への液状体の充填を続けると、吐出ヘッド３４内が十分液状体で満たされた後に、余剰の液状体が吐出ヘッド３４のノズル１８より流出する。すると、この流出した液状体が液状体検知センサ５３で検知されることにより、吐出ヘッド３４内に液状体が十分充填されたことが検知される。そして、この検知信号が制御装置５４に送られると、この信号を受けた制御装置５４は吸引ポンプ５１の作動を停止させ、液状体タンク３５側から吐出ヘッド３４側への液状体の流入を停止させる。
【００４２】
このようにして吐出ヘッド３４内に液状体を充填し、さらに吐出ヘッド３４から液状体が流出したことを確認したら、チャンバー３８内の気密を確認した後、制御装置５４によって真空ポンプ４０を作動させる。
すると、吐出ヘッド３４はチャンバー３８内に収容されていることにより、結果としてそのノズル形成面３４ａがチャンバー３８、すなわち本発明における第２の吸引部材に気密に覆われることになり、したがってこのチャンバー３８（第２の吸引部材）を介して真空ポンプ４０に吸引・減圧されることになる。
また、チャンバー３８内と液状体タンク３５内とが同時にかつ同じ圧に減圧されるため、これら液状体タンク３５内と前記吐出ヘッド３４内との間でほとんど圧力差が生じず、これにより液状体タンク３５内からの吐出ヘッド３４内への液状体の流入や吐出ヘッド３４からの液状体の流出が起こらない。したがって、特に吐出ヘッド３４内に残留した気泡や液状体内に溶存する気体のみが選択的に吸引されてチャンバー３８側に除去される。
【００４３】
このようにして吐出ヘッド３４内に残留した気泡や液状体内に溶存する気体を選択的に除去したら、制御装置５４によって真空ポンプ４０の作動を停止するとともに、チャンバー３８に設けられている大気弁（図示せず）を開放し、チャンバー３８内および液状体タンク３５内を大気圧に戻す。
ここで、真空ポンプ４０によるチャンバー３８内および液状体タンク３５内の減圧については、特に限定されないものの、生産性の点から、その減圧処理時間を１分〜３分程度とするのが好ましい。また、このような範囲の時間の処理で効果的に気泡等を除去するためには、液状体の種類によっても異なるものの、減圧度（真空度）を０．１Ｐａ〜０．５Ｐａ程度するのが好ましい。０．５Ｐａより高い圧では前記の時間内で十分に気泡等を除去するのが難しいからであり、また、０．１Ｐａより低い圧にしても、気泡等の除去効果の向上があまり期待できないからである。
その後、吐出ヘッド３４をチャンバー３８内から出し、吐出のための正規の位置に戻し、基板Ｓ上に液状体の吐出を行う。
【００４４】
このような吐出装置３０による液状体の吐出方法にあっては、吐出ヘッド３４内に液状体を充填した後、真空ポンプ４０によって液状体タンク３５内と吐出ヘッド３４内とをともに減圧するので、液状体タンク３５内からの吐出ヘッド３４内への液状体の流入や吐出ヘッド３４からの液状体の流出を起こすことなく、吐出ヘッド３４内に残留した気泡等を除去することができる。よって、吐出ヘッド３４から液状体を無駄に流出させることなく、気泡等の除去を容易にかつ確実に行うことができ、これによりコストダウンを図ることができる。また、このようにして気泡等の除去が確実になされた後、吐出ヘッドから液状体を吐出するので、この吐出による各種構成要素の形成などを良好に行うことができる。
【００４５】
次に、本発明の吐出装置の第２の実施形態を説明する。この第２の実施形態が前記第１の実施形態と異なるところは、第１の吸引部材（吸引パッド５０）と第２の吸引部材（チャンバー３８）とを別にすることなく、同一の吸引部材によって構成し、さらに、第１の減圧手段（吸引ポンプ５１）と第２の減圧手段（真空ポンプ４０）とを別にすることなく、同一の減圧手段によって構成した点にある。
【００４６】
すなわち、この第２の実施形態では、前記のチャンバー３８を設けることなく、これを配設した位置に、図４に示すように吸引パッド６０を配設しており、さらにこの吸引パッド６０には、配管６１、分岐管６２を介して真空ポンプ６３が接続されている。吸引パッド６０は、本発明における第１の吸引部材と第２の吸引部材とを兼ねるもので、前記の第１の実施形態における吸引パッド５０と同じものである。すなわち、前述したように吐出ヘッド３４のノズル形成面３４ａに当接してこれを覆うパッドと、このパッドに形成された孔部（図示せず）に連通するフレキシブル配管（図示せず）と、吐出ヘッド３４に対しパッドを移動させてこれに当接させ、さらにこれから離間させるための移動機構とを備えて構成されたものである。
【００４７】
また、真空ポンプ６３は、第１の減圧手段と第２の減圧手段とを兼ねるもので、前記の第１の実施形態における真空ポンプ４０と同じものである。すなわち、前記吸引パッド６０に接続されるとともに、配管６４を介して液状体タンク３５とも接続したものである。
この真空ポンプ６３と前記吸引パッド６０とを接続する配管６１には、液状体検知センサ５３と廃液タンク５２とが設けられている。これら液状体検知センサ５３、廃液タンク５２は、第１の実施形態におけるものと同様のものであり、このような構成のもとに、吐出ヘッド３４から余剰の液状体が流れ出ると、液状体検知センサ５３がこれを検知するようになっている。
【００４８】
また、この配管６１にはその経路中に三方弁６５が設けられており、これによって配管６１は、三方弁６５の位置から吸引パッド６０までの間、分岐管６２に分岐されるようになっている。
一方、真空ポンプ６３と液状体タンク３５とを接続する配管６４にも、その経路中に三方弁６６が設けられており、これによって液状体タンク３５は、真空ポンプ６３に接続した状態から、大気中に開放された分岐管６７に切り換えられて大気中に開放されるようになっている。
なお、前記吸引パッド６０、真空ポンプ６３、液状体検知センサ５３、三方弁６５、三方弁６６はそれぞれ制御装置６８に接続されており、この制御装置６８によってそれぞれその動作が制御されるようになっている。
【００４９】
次に、このような構成の吐出装置の動作を基に、本発明の液状体の吐出方法の他の一例を説明する。なお、この説明においても、液状体の種類として特に限定することなく、任意のものを用いるものとする。
まず、基板Ｓへの液状体の吐出に先立ち、吐出ヘッド３４に液状体を充填するとともに、内部に残留する気泡等を除去するべく、吐出ヘッド３４を吸引パッド６０側に移動させる。
また、制御装置６８により、吸引パッド６０と真空ポンプ６３とを結ぶ経路が液状体検知センサ５３を通る経路となるように三方弁６５を制御し、さらに液状体タンク３５が分岐管６７に連通して大気中に開放されるように三方弁６６を制御しておく。
【００５０】
次に、制御装置６８を制御することによって吸引パッド６０を移動させ、そのパッドを吐出ヘッド３４のノズル形成面３４ａに当接させ、これを気密に覆う。続いて、真空ポンプ６３を作動させ、前記吸引パッド６０を介して吐出ヘッド３４内を減圧する。すると、このときには前記液状体タンク３５内は大気圧になっていることから、この液状体タンク３５内と吸引パッド６０に接続した吐出ヘッド３４内とでは圧力差が生じ、これにより液状体タンク３５内の液状体が吐出ヘッド３４内に流入し、吐出ヘッド３４に液状体が充填される。
【００５１】
そして、真空ポンプ６３による吐出ヘッド３４内への液状体の充填を続けると、吐出ヘッド３４内が十分液状体で満たされた後に、余剰の液状体が吐出ヘッド３４のノズル１８より流出する。すると、この流出した液状体が液状体検知センサ５３で検知されることにより、吐出ヘッド３４内に液状体が十分充填されたことが検知される。そして、この検知信号が制御装置６８に送られると、この信号を受けた制御装置６８は三方弁６５、６６をそれぞれ切り換え、吸引パッド６０と真空ポンプ６３とを結ぶ経路は分岐管６２を通るように、また、液状体タンク３５は真空ポンプ６３に連通するようにする。
【００５２】
このようにして三方弁６５、６６を切り換えると、吐出ヘッド３４内と液状体タンク３５内とは同一の真空ポンプ６３によって同じ圧に減圧されるため、これら吐出ヘッド３４内と液状体タンク３５内との間にほとんど圧力差が生じず、これにより液状体タンク３５内からの吐出ヘッド３４内への液状体の流入や吐出ヘッド３４からの液状体の流出が起こらない。したがって、第１の実施形態と同様に、特に吐出ヘッド３４内に残留した気泡や液状体内に溶存する気体のみが選択的に吸引され、吸引パッド６０を介して真空ポンプ６３側に除去される。
【００５３】
このようにして吐出ヘッド３４内に残留した気泡や液状体内に溶存する気体を選択的に除去したら、制御装置６８によって真空ポンプ６３の作動を停止するとともに、吸引パッド６０を吐出ヘッド３４から離間させる。
ここで、真空ポンプ６３による吐出ヘッド３４内および液状体タンク３５内の減圧については、前記の第１の実施形態の場合と同様の処理時間、処理圧力とする。
その後、吐出ヘッド３４を吐出のための正規の位置に戻し、基板Ｓ上に液状体の吐出を行う。
【００５４】
このような液状体の吐出方法にあっても、吐出ヘッド３４内に液状体を充填した後、真空ポンプ６３によって液状体タンク３５内と吐出ヘッド３４内とをともに減圧するので、液状体タンク３５内からの吐出ヘッド３４内への液状体の流入や吐出ヘッド３４からの液状体の流出を起こすことなく、吐出ヘッド３４内に残留した気泡等を除去することができる。よって、吐出ヘッド３４から液状体を無駄に流出させることなく、気泡等の除去を容易にかつ確実に行うことができ、これによりコストダウンを図ることができる。また、このようにして気泡等の除去が確実になされた後、吐出ヘッドから液状体を吐出するので、この吐出による各種構成要素の形成などを良好に行うことができる。
【００５５】
なお、本発明は前記の実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない限り種々の変更が可能である。例えば、前記の第１の実施形態においては、液状体タンク３５をチャンバー３８内に配置し、さらにこの液状体タンク３５をチャンバー３８内に開放しておくようにしてもよい。このようにすれば、真空ポンプ４０を作動させた際、チャンバー３８を介して吐出ヘッド３４内と液状体タンク３５内とを同じ圧に減圧することができる。また、吐出ヘッド３４をチャンバー３８内に出し入れ可能に収容するのでなく、大きなチャンバー内に吐出装置全体を収容するようにしてもよい。
【００５６】
また、第２の実施形態においても、例えば第１の吸引部材となる吸引パッドと第２の吸引部材となる吸引パッドとをそれぞれ用意し、及び／又は、第１の減圧手段となる真空ポンプと第２の減圧手段となる真空ポンプとをそれぞれ用意し、これらを切り換えることにより、液状体の充填と気泡等の除去とを別に行うようにしてもよい。
【００５７】
また、いずれの実施形態においても、液状検知センサ５３を設けることなく吐出装置を構成するようにしてもよい。その場合には、第１の吸引部材で吐出ヘッド３４内に液状体を十分に充填することのできる時間等の条件を、予め実験等によって求めておき、その条件のもとで第１の吸引部材による減圧・吸引を行い、その後、第２の吸引部材で減圧を行うようにする。
【００５８】
また、前記吐出装置では、液状体を適宜選択することにより、電気光学装置の任意の構成要素を形成することができる。例えば、有機ＥＬ素子の形成材料や金属配線の材料となる金属コロイド、さらにはマイクロレンズ材料やカラーフィルタ材料、液晶材料など各種の材料を液状体として用いることにより、電気光学装置を構成する種々の要素を形成することができる。また、ＳＥＤ（Suface-Conduction Electron-Emitter Display）の構成要素の形成においても、前記吐出装置を用いることができる。
【００５９】
次に、本発明の電気光学装置の製造方法を説明する。
まず、電気光学装置の構成要素の形成例として、有機ＥＬ装置の製造方法について説明する。
図５は、前記吐出装置により一部の構成要素が製造された有機ＥＬ装置の側断面図であり、まずこの有機ＥＬ装置の概略構成を説明する。なお、ここで形成される有機ＥＬ装置は、本発明における電気光学装置の一実施形態となるものである。
図５に示すようにこの有機ＥＬ装置３０１は、基板３１１、回路素子部３２１、画素電極３３１、バンク部３４１、発光素子３５１、陰極３６１（対向電極）、および封止基板３７１から構成された有機ＥＬ素子３０２に、フレキシブル基板（図示略）の配線および駆動ＩＣ（図示略）を接続したものである。回路素子部３２１は基板３１１上に形成され、複数の画素電極３３１が回路素子部３２１上に整列している。そして、各画素電極３３１間にはバンク部３４１が格子状に形成されており、バンク部３４１により生じた凹部開口３４４に、発光素子３５１が形成されている。陰極３６１は、バンク部３４１および発光素子３５１の上部全面に形成され、陰極３６１の上には封止用基板３７１が積層されている。
【００６０】
有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置３０１の製造プロセスは、バンク部３４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子３５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子３５１を形成する発光素子形成工程と、陰極３６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板３７１を陰極３６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
【００６１】
発光素子形成工程は、凹部開口３４４、すなわち画素電極３３１上に正孔注入層３５２および発光層３５３を形成することにより発光素子３５１を形成するもので、正孔注入層形成工程と発光層形成工程とを具備している。そして、正孔注入層形成工程は、正孔注入層３５２を形成するための第１組成物（液状体）を各画素電極３３１上に吐出する第１吐出工程と、吐出された第１組成物を乾燥させて正孔注入層３５２を形成する第１乾燥工程とを有し、発光層形成工程は、発光層３５３を形成するための第２組成物（液状体）を正孔注入層３５２の上に吐出する第２吐出工程と、吐出された第２組成物を乾燥させて発光層３５３を形成する第２乾燥工程とを有している。
【００６２】
この発光素子形成工程において、正孔注入層形成工程における第１吐出工程と、発光層形成工程における第２吐出工程とで前記の吐出装置を用いている。
この有機ＥＬ装置３０１の製造においても、各構成要素形成のための吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておくことにより、吐出ヘッド３４から正孔注入層の形成材料、発光層の形成材料をそれぞれ良好に吐出することができ、したがって得られる有機ＥＬ装置３０１の信頼性を高めることができる。
【００６３】
次に、前記構成要素の形成例として、プラズマディスプレイの製造方法について説明する。
図６は、前記吐出装置により一部の構成要素、すなわちアドレス電極５１１とバス電極５１２ａとが製造されたプラズマディスプレイを示す分解斜視図であり、図６中符号５００はプラズマディスプレイである。このプラズマディスプレイ５００は、互いに対向して配置されたガラス基板５０１とガラス基板５０２と、これらの間に形成された放電表示部５１０とから概略構成されている。
【００６４】
放電表示部５１０は、複数の放電室５１６が集合されてなり、複数の放電室５１６のうち、赤色放電室５１６（Ｒ）、緑色放電室５１６（Ｇ）、青色放電室５１６（Ｂ）の３つの放電室５１６が対になって１画素を構成するように配置されている。
前記（ガラス）基板５０１の上面には所定の間隔でストライプ状にアドレス電極５１１が形成され、それらアドレス電極５１１と基板５０１の上面とを覆うように誘電体層５１９が形成され、さらに誘電体層５１９上においてアドレス電極５１１、５１１間に位置して各アドレス電極５１１に沿うように隔壁５１５が形成されている。なお、隔壁５１５においてはその長手方向の所定位置においてアドレス電極５１１と直交する方向にも所定の間隔で仕切られており（図示略）、基本的にはアドレス電極５１１の幅方向左右両側に隣接する隔壁と、アドレス電極５１１と直交する方向に延設された隔壁により仕切られる長方形状の領域が形成され、これら長方形状の領域に対応するように放電室５１６が形成され、これら長方形状の領域が３つ対になって１画素が構成される。また、隔壁５１５で区画される長方形状の領域の内側には蛍光体５１７が配置されている。蛍光体５１７は、赤、緑、青の何れかの蛍光を発光するもので、赤色放電室５１６（Ｒ）の底部には赤色蛍光体５１７（Ｒ）が、緑色放電室５１６（Ｇ）の底部には緑色蛍光体５１７（Ｇ）が、青色放電室５１６（Ｂ）の底部には青色蛍光体５１７（Ｂ）が各々配置されている。
【００６５】
次に、前記ガラス基板５０２側には、先のアドレス電極５１１と直交する方向に複数のＩＴＯからなる透明表示電極５１２がストライプ状に所定の間隔で形成されるとともに、高抵抗のＩＴＯを補うために金属からなるバス電極５１２ａが形成されている。また、これらを覆って誘電体層５１３が形成され、さらにＭｇＯなどからなる保護膜５１４が形成されている。
そして、前記基板５０１とガラス基板５０２の基板２が、前記アドレス電極５１１…と表示電極５１２…を互いに直交させるように対向させて相互に貼り合わされ、基板５０１と隔壁５１５とガラス基板５０２側に形成されている保護膜５１４とで囲まれる空間部分を排気して希ガスを封入することで放電室５１６が形成されている。なお、ガラス基板５０２側に形成される表示電極５１２は各放電室５１６に対して２本ずつ配置されるように形成されている。
前記アドレス電極５１１と表示電極５１２は図示略の交流電源に接続され、各電極に通電することで必要な位置の放電表示部５１０において蛍光体５１７を励起発光させて、カラー表示ができるようになっている。
【００６６】
そして、本例では、特に前記アドレス電極５１１とバス電極５１２ａ、及び蛍光体５１７について、それぞれ前記の吐出装置３０を用いて形成している。すなわち、これらアドレス電極５１１やバス電極５１２ａについては、特にそのパターニングに有利なことから、金属コロイド材料（例えば金コロイドや銀コロイド）や導電性微粒子（例えば金属微粒子）を分散させてなる液状材料（液状体）を吐出し、乾燥・焼結することによって形成している。また、蛍光体５１７についても、蛍光体材料を溶媒に溶解させあるいは分散媒に分散させた液状材料（液状体）を吐出し、乾燥・焼結することによって形成している。
【００６７】
このプラズマディスプレイ５００の製造においても、アドレス電極５１１、バス電極５１２ａの形成、及び蛍光体５１７形成のための吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておくことにより、吐出ヘッド３４から各電極５１１、５１２ａの形成材料（液状材料）、蛍光体５１７の形成材料（液状材料）をそれぞれ良好に吐出することができ、したがって得られるプラズマディスプレイ５００の信頼性を高めることができる。
【００６８】
次に、前記構成要素の形成例として、液状表示装置等に用いられるカラーフィルの製造方法について説明する。
前記の吐出装置３０により、基板Ｓにインクを吐出してカラーフィルタを製造するには、まず、基板Ｓをテーブル３９上の所定位置に設置する。ここで、基板Ｓとしては、適度の機械的強度を有すると共に、光透過性が高い透明基板が用いられる。具体的には、透明ガラス基板、アクリルガラス、プラスチック基板、プラスチックフィルム及びこれらの表面処理品等が用いられる。
【００６９】
また、本例では、例えば長方形形状の基板Ｓ上に、生産性をあげる観点から複数個のカラーフィルター領域をマトリックス状に形成する。これらのカラーフィルター領域は、後で基板Ｓを切断することにより、液晶表示装置に適合するカラーフィルターとして用いることができる。なお、カラーフィルター領域としては、Ｒのインク、Ｇのインク、およびＢのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェアー型等としてもよい。
【００７０】
このようなカラーフィルター領域を形成するには、まず、図７（ａ）に示すように透明の基板Ｓの一方の面に対し、ブラックマトリックス５２を形成する。このブラックマトリックス５２の形成方法としては、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色）を、スピンコート等の方法で所定の厚さ（例えば２μｍ程度）に塗布することで行う。このブラックマトリックス５２の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルターエレメント５３については、例えばＸ軸方向の巾を３０μｍ、Ｙ軸方向の長さを１００μｍ程度とする。
【００７１】
次に、図７（ｂ）に示すように、前記のインクジェットヘッド３４からインク滴（液滴）５４を吐出し、これをフィルターエレメント５３に着弾させる。吐出するインク滴５４の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。
このようにして基板Ｓ上のすべてのフィルターエレメント５３にインク滴５４を充填したら、ヒータを用いて基板Ｓが所定の温度（例えば７０℃程度）となるように加熱処理する。この加熱処理により、インクの溶媒が蒸発してインクの体積が減少する。この体積減少の激しい場合には、カラーフィルターとして十分なインク膜の厚みが得られるまで、インク吐出工程と加熱工程とを繰り返す。この処理により、インクに含まれる溶媒が蒸発して、最終的にインクに含まれる固形分のみが残留して膜化し、図７（ｃ）に示すようにカラーフィルタ５５となる。
【００７２】
次いで、基板Ｓを平坦化し、かつカラーフィルタ５５を保護するため、図７（ｄ）に示すようにカラーフィルタ５５やブラックマトリックス５２を覆って基板Ｓ上に保護膜５６を形成する。この保護膜５６の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することもできるが、カラーフィルタ５５の場合と同様に、図１に示した吐出装置３０を用いて行うこともできる。
次いで、図７（ｅ）に示すようにこの保護膜５６の全面に、スパッタ法や真空蒸着法等によって透明導電膜５７を形成する。その後、透明導電膜５７をパターニングし、画素電極５８を前記フィルターエレメント５３に対応させてパターニングする。
【００７３】
このような吐出装置３０によるカラーフィルタの製造にあっても、各カラーフィルタ５５形成のための吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておくことにより、吐出ヘッド３４から各カラーフィルタ５５の形成材料（インク滴５４）を良好に吐出することができ、したがって得られるカラーフィルタの信頼性を高めることができる。
【００７４】
次に、前記構成要素の形成例として、導電膜配線パターン（金属配線パターン）の形成方法について説明する。図８は導電膜配線パターンの形成方法の一例を示すフローチャート図である。
【００７５】
図８において、本例に係るパターンの形成方法は、液体材料の液滴が配置される基板を所定の溶媒等を用いて洗浄する工程（ステップＳ１）と、基板の表面処理工程の一部を構成する撥液化処理工程（ステップＳ２）と、撥液化処理された基板表面の撥液性を調整する表面処理工程の一部を構成する撥液性制御処理工程（ステップＳ３）と、表面処理された基板上に液滴吐出法に基づいて導電膜配線形成用材料を含む液体材料の液滴を配置して膜パターンを描画（形成）する材料配置工程（ステップＳ４）と、基板上に配置された液体材料の溶媒成分の少なくとも一部を除去する熱・光処理を含む中間乾燥処理工程（ステップＳ５）と、所定のパターンが描画された基板を焼成する焼成工程（ステップＳ７）とを有している。なお、中間乾燥処理工程の後、所定のパターン描画が終了したかどうかが判断され（ステップＳ６）、パターン描画が終了したら焼成工程が行われ、一方、パターン描画が終了していなかったら材料配置工程が行われる。
【００７６】
次に、前記吐出装置３０による液滴吐出法に基づく材料配置工程（ステップＳ４）について説明する。
本例の材料配置工程は、導電膜配線形成用材料を含む液体材料の液滴を前記吐出装置３０の液滴吐出ヘッド３４より基板Ｓ上に配置することにより基板Ｓ上に複数の線状の膜パターン（配線パターン）を並べて形成する工程である。液体材料は導電膜配線形成用材料である金属等の導電性微粒子を分散媒に分散した液状体である。以下の説明では、基板Ｓ上に３つの第１、第２、及び第３の膜パターン（線状パターン）Ｗ１、Ｗ２、及びＷ３を形成する場合について説明する。
【００７７】
図９、図１０、及び図１１は本例における基板Ｓ上に液滴を配置する順序の一例を説明するための図である。これらの図において、基板Ｓ上には液体材料の液滴が配置される格子状の複数の単位領域であるピクセルを有するビットマップが設定されている。ここで、１つのピクセルは正方形に設定されている。そして、これら複数のピクセルのうち所定のピクセルに対応するように、第１、第２、第３の膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３を形成する第１、第２、第３パターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３が設定されている。これら複数のパターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３はＸ軸方向に並んで設定されている。なお、図９〜図１１において、パターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は、斜線を引いた領域である。
【００７８】
また、基板Ｓ上の第１パターン形成領域Ｒ１には液滴吐出装置の吐出ヘッド３４に設けられた複数の吐出ノズルのうち第１の吐出ノズル３４Ａより吐出された液体材料の液滴が配置されるように設定されている。同様に、基板Ｓ上の第２、第３パターン形成領域Ｒ２、Ｒ３には、液滴吐出装置の吐出ヘッド１０に設けられた複数の吐出ノズルのうち第２、第３の吐出ノズル３４Ｂ、３４Ｃより吐出された液体材料の液滴が配置されるように設定されている。すなわち、第１、第２、第３パターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３のそれぞれに対応するように、吐出ノズル（吐出部）３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃが設けられているのである。そして、吐出ヘッド３４は、設定した複数のパターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３のそれぞれの複数のピクセル位置に、複数の液滴を順次配置するようになっている。
【００７９】
さらに、第１、第２、第３パターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３のそれぞれでは、これらパターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３に形成すべき第１、第２、第３の膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３を、線幅方向における一方の側（−Ｘ側）である第１側部パターンＷａから形成し、次いで他方の側（＋Ｘ側）である第２側部パターンＷｂを形成し、この第１、第２側部パターンＷａ、Ｗｂを形成した後に線幅方向中央部である中央パターンＷｃを形成するように設定されている。
【００８０】
本例では、各膜パターン（線状パターン）Ｗ１〜Ｗ３のそれぞれ、ひいては各パターン形成領域Ｒ１〜Ｒ３のそれぞれは同じ線幅Ｌを有し、この線幅Ｌは３つのピクセル分の大きさに設定されている。また、各パターン間のスペース部のそれぞれも同じ幅Ｓに設定されており、この幅Ｓも３つのピクセル分の大きさに設定されている。そして、吐出ノズル３４Ａ〜３４Ｃどうしの間隔であるノズルピッチは６つのピクセル分に設定されている。
【００８１】
以下の説明において、吐出ノズル３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃを有する吐出ヘッド３４は基板Ｓに対してＹ軸方向に走査しながら液滴を吐出するものとする。そして、図９〜図１１を用いた説明において、１回目の走査時に配置された液滴には「１」を付し、２回目、３回目、…、ｎ回目の走査時に配置された液滴には「２」、「３」…、「ｎ」を付す。
【００８２】
図９（ａ）に示すように、１回目の走査時において、第１、第２、第３パターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３のそれぞれについて第１側部パターンＷａを形成するために第１側部パターン形成予定領域に１つ分のピクセルをあけつつ第１、第２、第３の吐出ノズル３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃより液滴が同時に配置される。なお、各吐出ノズル３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃから液滴を吐出するに際しては、その吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておく。ここで、基板Ｓに対して配置された液滴は、基板Ｓに着弾することによって基板Ｓ上で濡れ拡がる。つまり、図９（ａ）に円で示すように、基板Ｓに着弾した液滴は１つのピクセルの大きさより大きい直径Ｃを有するように濡れ拡がる。液滴はＹ軸方向において所定間隔（１つ分のピクセル）をあけて配置されているので、基板Ｓ上に配置された液滴どうしは重ならないように設定されている。こうすることによりＹ軸方向において基板Ｓ上に液体材料が過剰に設けられることを防ぎ、バルジの発生を防止することができる。
【００８３】
なお、図９（ａ）では基板Ｓに配置された際の液滴どうしは重ならないように配置されているが、僅かに重なるように液滴が配置されてもよい。また、ここでは１つ分のピクセルをあけて液滴が配置されているが、２つ以上の任意の数のピクセル分だけ間隔をあけて液滴を配置してもよい。この場合、基板Ｓに対する吐出ヘッド３４の走査動作及び配置動作（吐出動作）を増やして基板上の液滴どうしの間を補間すればよい。
【００８４】
また、基板Ｓの表面はステップＳ２及びＳ３により所望の撥液性に予め加工されているので、基板Ｓ上に配置した液滴の過剰な拡がりが抑制される。そのため、パターン形状を良好な状態に確実に制御できるとともに厚膜化も容易である。
【００８５】
図９（ｂ）は２回目の走査により吐出ヘッド３４から基板Ｓに液滴を配置した際の模式図である。なお、図９（ｂ）において、２回目の走査時で配置された液滴には「２」を付している。２回目の走査時では、１回目の走査時で配置された液滴「１」の間を補間するように各吐出ノズル３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃより液滴が同時に配置される。そして、１回目及び２回目の走査及び配置動作で液滴どうしが連続し、第１、第２、第３パターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３のそれぞれにおいて第１側部パターンＷａが形成される。ここで、液滴「２」も基板Ｓに着弾することで濡れ拡がり、液滴「２」の一部と先に基板Ｓに配置されている液滴「１」の一部とが重なり合う。具体的には、液滴「１」の上に液滴「２」の一部が重なり合う。なお、この２回目の走査においても、各吐出ノズル３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃから液滴を吐出するに際しては、その吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておく。
【００８６】
ここで、基板Ｓ上に第１側部パターンＷａを形成するための液滴を配置した後、分散媒の除去を行うために必要に応じて中間乾燥処理（ステップＳ５）を行うことができる。中間乾燥処理は、例えばホットプレート、電気炉、及び熱風発生機等の加熱装置を用いた一般的な熱処理の他にランプアニールを用いた光処理であってもよい。
【００８７】
次に、吐出ヘッド３４と基板Ｓとが２つのピクセルの大きさ分だけＸ軸方向に相対移動する。ここでは吐出ヘッド３４が基板Ｓに対して＋Ｘ方向に２つのピクセル分だけステップ移動する。これに伴って吐出ノズル３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃも移動する。そして、吐出ヘッド３４は３回目の走査を行う。これにより、図１０（ａ）に示すように、膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３それぞれの一部を構成する第２側部パターンＷｂを形成するための液滴「３」が各吐出ノズル３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃより第１側部パターンＷａに対してＸ軸方向に間隔をあけて基板Ｓ上に同時に配置される。ここでも、液滴「３」はＹ軸方向に１つ分のピクセルをあけて配置される。なお、この３回目の走査においても、各吐出ノズル３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃから液滴を吐出するに際しては、その吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておく。
【００８８】
図１０（ｂ）は４回目の走査により吐出ヘッド３４から基板Ｓに液滴を配置した際の模式図である。なお、図１０（ｂ）において、４回目の走査時で配置された液滴には「４」を付している。４回目の走査時では、３回目の走査時で配置された液滴「３」の間を補間するように各吐出ノズル３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃより液滴が同時に配置される。そして、３回目及び４回目の走査及び配置動作で液滴どうしが連続し、パターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３のそれぞれにおいて第２側部パターンＷｂが形成される。ここでは、液滴「４」の一部と先に基板Ｓに配置されている液滴「３」の一部とが重なり合う。具体的には、液滴「３」の上に液滴「４」の一部が重なり合う。なお、この４回目の走査においても、各吐出ノズル３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃから液滴を吐出するに際しては、その吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておく。
ここでも基板Ｓ上に第２側部パターンＷｂを形成するための液滴を配置した後、分散媒の除去を行うために必要に応じて中間乾燥処理を行うことができる。
【００８９】
次に、吐出ヘッド３４が基板に対して−Ｘ方向に１つのピクセル分だけステップ移動し、これに伴って吐出ノズル１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃも−Ｘ方向に１つのピクセル分だけ移動する。そして、吐出ヘッド３４は５回目の走査を行う。これにより、図１０（ａ）に示すように、膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３それぞれの一部を構成する中央パターンＷｃを形成するための液滴「５」が基板上に同時に配置される。ここでも、液滴「５」はＹ軸方向に１つ分のピクセルをあけて配置される。ここで、液滴「５」の一部と先に基板Ｓに配置されている液滴「１」、「３」の一部とが重なり合う。具体的には、液滴「１」、「３」の上に液滴「５」の一部が重なり合う。なお、この５回目の走査においても、各吐出ノズル３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃから液滴を吐出するに際しては、その吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておく。
【００９０】
図１０（ｂ）は６回目の走査により吐出ヘッド３４から基板Ｓに液滴を配置した際の模式図である。なお、図１０（ｂ）において、６回目の走査時で配置された液滴には「６」を付している。６回目の走査時では、５回目の走査時で配置された液滴「５」の間を補間するように各吐出ノズル１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃより液滴が同時に配置される。そして、５回目及び６回目の走査及び配置動作で液滴どうしが連続し、パターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３のそれぞれにおいて中央パターンＷｃが形成される。ここでは、液滴「６」の一部と先に基板Ｓに配置されている液滴「５」の一部とが重なり合う。具体的には、液滴「５」の上に液滴「６」の一部が重なり合う。さらに、先に基板Ｓに配置されている液滴「２」、「４」の上に液滴「６」の一部が重なり合う。なお、この６回目の走査においても、各吐出ノズル３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃから液滴を吐出するに際しては、その吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておく。
以上により、各パターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３のそれぞれに膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３が形成される。
【００９１】
以上説明したように、パターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３に複数の液滴を順次配置して互いにほぼ同一形状の膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３を形成する際、各パターン形成領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３のそれぞれの複数のピクセルに対して液滴を配置する配置順序を同じに設定したので、各液滴「１」〜「６」のそれぞれがその一部を重ね合わせるように配置された場合であっても、その重なり形態は各膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３で同一なので、各膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３の外観を同じにすることができる。したがって、各膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３どうしの間での外観上のムラの発生を抑制することができる。
【００９２】
そして、液滴の配置順序を各膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３のそれぞれについて同じにしたので、各膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３のそれぞれについての液滴の配置（液滴どうしの重なり形態）が同じとなるので、外観上のムラの発生を抑えることができる。
【００９３】
さらに、膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３それぞれにおける液滴どうしの重なり状態が同じに設定されているので、膜パターンそれぞれの膜厚分布を略同一にすることができる。したがって、この膜パターンが基板の面方向において繰り返される繰り返しパターンである場合、具体的には例えば表示装置の画素に対応して複数設けられているパターンである場合、各画素のそれぞれは同じ膜厚分布を有することになる。したがって、基板の面方向の各位置において同一の機能を発揮することができる。
【００９４】
また、第１、第２側部パターンＷａ、Ｗｂを形成してからその間を埋めるように中央パターンＷｃを形成するための液滴「５」、「６」を配置するようにしたので、各膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３の線幅をほぼ均一に形成できる。すなわち、中央パターンＷｃを基板Ｓ上に形成してから側部パターンＷａ、Ｗｂを形成するための液滴「１」、「２」、「３」、「４」を配置した場合、これら液滴が先に基板Ｓに形成されている中央パターンＷｃに引き寄せられる現象が生じるため、各膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３の線幅制御が困難になる場合があるが、本実施形態のように、先に側部パターンＷａ、Ｗｂを基板Ｓに形成してからその間を埋めるように中央パターンＷｃを形成するための液滴「５」、「６」を配置するようにしたので、各膜パターンＷ１、Ｗ２、Ｗ３の線幅制御を精度良く行うことができる。
【００９５】
なお、中央パターンＷｃを形成してから側部パターンＷａ、Ｗｂを形成してもよい。この場合、各膜パターンＷ１〜Ｗ３のそれぞれについて同じ液滴配置順序とすることにより、各パターンどうしの間での外観上のムラの発生を抑えることができる。
【００９６】
このような導電膜配線パターン（金属配線パターン）の形成にあっても、吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておくことにより、液滴を良好に吐出することができ、したがって得られる導電膜配線パターンの信頼性を高めることができる。
【００９７】
次に、前記構成要素の形成例として、マイクロレンズの製造方法について説明する。
本例ではまず、図１２（ａ）に示すように、前記吐出装置３０の吐出ヘッド３４より基板Ｓ上に光透過性樹脂からなる液滴２２ａを吐出し、これを塗布する。なお、各吐出ヘッド３４から液滴２２ａを吐出するに際しては、その吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておく。
【００９８】
基板Ｓとしては、得られるマイクロレンズを例えばスクリーン用の光学膜に適用する場合、酢酸セルロースやプロピルセルロース等のセルロース系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステルなどの透明樹脂（光透過性樹脂）からなる光透過性シートあるいは光透過性フィルムが用いられる。また、基板として、ガラス、ポリカーボネイト、ポリアリレート、ポリエーテルサルフォン、アモルファスポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリメチルメタクリレートなどの透明材料（光透過性材料）からなる基板も使用可能となる。
【００９９】
光透過性樹脂としては、ポリメチルメタクリレート、ポリヒドロキシエチルメタクリレート、ポリシクロヘキシルメタクリレートなどのアクリル系樹脂、ポリジエチレングリコールビスアリルカーボネート、ポリカーボネートなどのアリル系樹脂、メタクリル樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、セルロース系樹脂、ポリアミド系樹脂、フッ素系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリスチレン系樹脂などの熱可塑性または熱硬化性の樹脂が挙げられ、これらのうちの一種が用いられ、あるいは複数種が混合されて用いられる。
【０１００】
ただし、本例では、特に光透過性樹脂として放射線照射硬化型のものが用いられる。この放射線照射硬化型のものは、前記の光透過性樹脂にビイミダゾール系化合物などの光重合開始剤が配合されてなるものであり、このような光重合開始剤が配合されたことにより、放射線照射硬化性が付与されたものである。放射線とは可視光線、紫外線、遠紫外線、Ｘ線、電子線等の総称であり、特に紫外線が一般的に用いられる。
【０１０１】
このような放射線照射硬化型の光透過性樹脂の液滴２２ａを、所望する単一のマイクロレンズの大きさに応じて基板Ｓ上に１個あるいは複数個吐出する。すると、この液滴２２からなる光透過性樹脂２３は、その表面張力によって図１２（ａ）に示すような凸形状（略半球状）のものとなる。このようにして、形成すべき単一のマイクロレンズに対して所定量の光透過性樹脂を吐出塗布し、さらにこの塗布処理を所望するマイクロレンズの個数分行ったら、これら光透過性樹脂２３に紫外線等の放射線を照射し、図１２（ｂ）に示すようにこれを硬化させて硬化体２３ａとする。なお、吐出ヘッド３４から吐出される液滴２２ａの一滴当たりの容量は、吐出ヘッド３４や吐出するインク材料によっても異なるものの、通常は１ｐＬ〜２０ｐＬ程度とされる。
【０１０２】
次いで、図１２（ｃ）に示すように吐出ヘッド３４から、これら硬化体２３ａのそれぞれの上に多数の光拡散性微粒子２６を分散させた液滴２２ｂを所望個数吐出し、硬化体２３ａの表面に付着させる。光拡散性微粒子２６としては、シリカ、アルミナ、チタニア、炭酸カルシウム、水酸化アルミニウム、アクリル樹脂、有機シリコーン樹脂、ポリスチレン、尿素樹脂、ホルムアルデヒド縮合物などの微粒子が挙げられ、これらのうちの一種が用いられ、あるいは複数種が混合されて用いられる。ただし、光拡散性微粒子２６が十分な光拡散性を発揮するためには、この微粒子が光透過性である場合、その屈折率が前記光透過性樹脂の屈折率と十分に差がある必要がある。したがって、光拡散性微粒子２６が光透過性である場合には、このような条件を満たすよう、使用する光透過性樹脂に応じて適宜に選定され用いられる。
【０１０３】
このような光拡散性微粒子２６は、予め適宜な溶剤（例えば光透過性樹脂に用いられている溶剤）に分散させられることにより、吐出ヘッド３４から吐出可能なインクに調整されている。その際、光拡散性微粒子２６の表面を界面活性剤で被覆処理したり、あるいは溶融樹脂で覆う処理を行うことによって光拡散性微粒子２６の溶剤への分散性を高めておくのが好ましく、このような処理を行うことにより、吐出ヘッド３４からの吐出が良好となる流動性を、光拡散性微粒子２６に付加することができる。なお、表面処理を行うための界面活性剤としては、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素樹脂系などのものが、光拡散微粒子２４の種類に応じて適宜に選択され用いられる。
【０１０４】
また、このような光拡散性微粒子２６としては、その粒径が２００ｎｍ以上、５００ｎｍ以下のものを用いるのが好ましい。このような範囲にすれば、粒径が２００ｎｍ以上であることによってその光拡散性が良好に確保され、また５００ｎｍ以下であることによって吐出ヘッド３４のノズルから良好に吐出できるようになるからである。
【０１０５】
なお、光拡散性微粒子２６を分散させた液滴２２ｂの吐出については、光透過性樹脂の液滴２２ａを吐出した吐出ヘッド３４と同じものを用いても良く、別のものを用いてもよい。同じものを用いた場合には、吐出ヘッド３４を含む装置構成を簡略化することができる。一方、別のものを用いた場合には、各インク（光透過性樹脂からなるインクと光拡散性微粒子２４からなるインク）毎に専用のヘッドとすることができることから、塗布するインクの切り換えの際にヘッドの洗浄等を行う必要がなくなり、生産性を向上することができる。
【０１０６】
その後、加熱処理、減圧処理、または加熱減圧処理を行うことにより、光拡散性微粒子２４を分散させた液滴２２ｂ中の溶剤を蒸発させる。すると、硬化体２３ａの表面は液滴２２ｂの溶剤によって軟化してここに光拡散性微粒子２６が付着していることにより、溶剤が蒸発し硬化体２３ａの表面が再硬化するのに伴い、光拡散性微粒子２４は光透過性樹脂の硬化体２３ａ表面に固定される。そして、このように光拡散性微粒子２４を硬化体２３ａ表面に固定することにより、図１２（ｄ）に示すようにその表面部に光拡散性微粒子２４を分散させてなる、本発明のマイクロレンズ２５が得られる。
【０１０７】
このようなマイクロレンズ２５の製造方法にあっても、吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておくことにより、液滴２２ａ、２２ｂを良好に吐出することができ、したがって得られるマイクロレンズ２５の信頼性を高めることができる。
また、インクジェット法を用いて光透過性樹脂２３と光拡散性微粒子２４とからなる凸形状（略半球状）のマイクロレンズ２５を形成するので、金型成形法や射出成形法を用いた場合のように成形金型を必要とすることがなく、また材料のロスもほとんどなくなる。したがって、製造コストの低減化を図ることができる。また、得られるマイクロレンズ２５が凸形状（略半球状）のものとなるので、このマイクロレンズを例えば３６０°といった広い角度範囲（方向）に亘ってほぼ均一に光拡散させるものとすることができ、しかも光拡散性微粒子２６を複合化していることにより、得られるマイクロレンズに高い拡散性能を付与することができる。
【０１０８】
次に、前記構成要素の形成例として、電子放出素子を備えた画像表示装置の製造方法について説明する。
図１３（ａ）および（ｂ）に示す基体７０Ａは、前記吐出装置３０による処理により、構成要素の一部が形成された画像表示装置の電子源基板７０Ｂとなる基板である。基体７０Ａは、マトリクス状に配置された複数の被吐出部７８を有する。
【０１０９】
具体的には、基体７０Ａは、基板７２と、基板７２上に位置するナトリウム拡散防止層７４と、ナトリウム拡散防止層７４上に位置する複数の素子電極７６Ａ、７６Ｂと、複数の素子電極７６Ａ上に位置する複数の金属配線７９Ａと、複数の素子電極７６Ｂ上に位置する複数の金属配線７９Ｂと、を備えている。複数の金属配線７９ＡのそれぞれはＹ軸方向に延びる形状を有する。複数の金属配線７９ＡのそれぞれはＸ軸方向に延びる形状を有する。金属配線７９Ａと金属配線７９Ｂとの間には絶縁膜７５が形成されているので、金属配線７９Ａと金属配線７９Ｂとは電気的に絶縁されている。
【０１１０】
１対の素子電極７６Ａおよび素子電極７６Ｂを含む部分は１つの画素領域に対応する。１対の素子電極７６Ａおよび素子電極７６Ｂは、互いに所定の間隔だけ離れてナトリウム拡散防止層７４上で対向している。ある画素領域に対応する素子電極７６Ａは、対応する金属配線７９Ａと電気的に接続されている。また、その画素領域に対応する素子電極７６Ｂは、対応する金属配線７９Ｂと電気的に接続されている。なお、本明細書では、基板７２とナトリウム拡散防止層７４とを合わせた部分を支持基板と表記することもある。
【０１１１】
基体７０Ａのそれぞれの画素領域において、素子電極７６Ａの一部と、素子電極７６Ｂの一部と、素子電極７６Ａと素子電極７６Ｂとの間で露出したナトリウム拡散防止層７４とが、被吐出部７８に対応する。より具体的には、被吐出部７８は、導電性薄膜４１１Ｆ（図１４（ｂ）参照）が形成されるべき領域であり、導電性薄膜４１１Ｆは、素子電極７６Ａの一部と、素子電極７６Ｂの一部と、素子電極７６Ａ，７６Ｂの間のギャップと、を覆うように形成される。図１３（ｂ）において破線で示すように、本例における被吐出部７８の形状は円形である。
【０１１２】
図１３（ｂ）に示す基体７０Ａは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向で規定される仮想平面と平行に位置している。そして、複数の被吐出部７８が形成するマトリクスの行方向および列方向は、それぞれＸ軸方向およびＹ軸方向と平行である。基体７０Ａにおいて、被吐出部７８は、Ｘ軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。さらに、被吐出部７８はＹ軸方向に所定の間隔をおいて１列に並んでいる。
被吐出部７８同士のＸ軸方向に沿った間隔ＬＲＸは、ほぼ１９０μｍである。被吐出部７８同士の上記間隔および被吐出部の上記大きさは、４０インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、画素領域同士の間隔に対応する。
前記の吐出装置３０は、図１３（ａ）、（ｂ）の基体７０Ａの被吐出部７８のそれぞれに対し、液状材料（液状体）としての導電性薄膜材料４１１を吐出するものとなっている。この導電性薄膜材料４１１としては、例えば有機パラジウム溶液が用いられる。
【０１１３】
吐出装置３０を用いて画像表示装置の製造するには、まず、ソーダガラスなどから形成された基板７２上に、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を主成分とするナトリウム拡散防止層７４を形成する。具体的には、スパッタ法を用いて基板７２上に厚さ１μｍのＳｉＯ２膜を形成することによってナトリウム拡散防止層７４を得る。次に、ナトリウム拡散防止層７４上に、スパッタ法または真空蒸着法によって厚さ５ｎｍのチタニウム層を形成する。そして、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、そのチタニウム層から、互いに所定の距離だけ離れて位置する１対の素子電極７６Ａおよび素子電極７６Ｂを複数対形成する。その後、スクリーン印刷技術を用いて、ナトリウム拡散防止層７４上および複数の素子電極７６Ａ上に銀（Ａｇ）ペーストを塗布して焼成することで、Ｙ軸方向に延びる複数の金属配線７９Ａを形成する。次に、スクリーン印刷技術を用いて、各金属配線７９Ａの一部分にガラスペーストを塗布して焼成することで、絶縁膜７５を形成する。そして、スクリーン印刷技術を用いて、ナトリウム拡散防止層７４および複数の素子電極７６Ｂ上にＡｇペーストを塗布して焼成することで、Ｘ軸方向に延びる複数の金属配線７９Ｂを形成する。なお、金属配線７９Ｂを作製する場合には、金属配線７９Ｂが絶縁膜７５を介して金属配線７９Ａと交差するようにＡｇペーストを塗布する。以上のような工程によって、図１３（ａ）、（ｂ）に示した基体７０Ａを得る。
【０１１４】
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって基体７０Ａを親液化する。この処理により、素子電極７６Ａの表面の一部と、素子電極７６Ｂの表面の一部と、素子電極７６Ａと素子電極７６Ｂとの間で露出した支持基板の表面とが親液化される。そして、これらの表面が被吐出部７８となる。なお、材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、素子電極７６Ａの表面の一部と、素子電極７６Ｂの表面の一部と、素子電極７６Ａと素子電極７６Ｂとの間で露出したナトリウム拡散防止層７４の表面とは、被吐出部７８となる。
【０１１５】
被吐出部７８が形成された基体７０Ａは、搬送装置４７０によって、吐出装置３０のステージ１０６に運ばれる。そして、図１４（ａ）に示すように、吐出装置３０は、被吐出部７８のすべてに導電性薄膜４１１Ｆが形成されるように、吐出ヘッド３４から導電性薄膜材料４１１を吐出する。なお、この導電性薄膜材料４１１を吐出するに際しては、その吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておく。
本例では、被吐出部７８上に着弾した導電性薄膜材料４１１の液滴の直径が６０μｍから８０μｍの範囲となるように、吐出ヘッド３４より吐出を行う。基体７０Ａの被吐出部７８のすべてに導電性薄膜材料４１１の層が形成された場合には、搬送装置４７０が基体７０Ａを乾燥装置４５０内に位置させる。そして、被吐出部７８上の導電性薄膜材料４１１を完全に乾燥させることで、被吐出部７８上に酸化パラジウムを主成分とする導電性薄膜４１１Ｆを得る。このように、それぞれの画素領域において、素子電極７６Ａの一部と、素子電極７６Ｂの一部と、素子電極７６Ａと素子電極７６Ｂとの間に露出したナトリウム拡散防止層７４と、を覆う導電性薄膜４１１Ｆが形成される。
【０１１６】
次に素子電極７６Ａおよび素子電極７６Ｂとの間に、パルス状の所定の電圧を印加することで、導電性薄膜４１１Ｆの一部分に電子放出部４１１Ｄを形成する。なお、素子電極７６Ａおよび素子電極７６Ｂとの間の電圧の印加を、有機物雰囲気下および真空条件下でもそれぞれ行うことが好ましい。そうすれば、電子放出部４１１Ｄからの電子放出効率がより高くなるからである。素子電極７６Ａと、対応する素子電極７６Ｂと、電子放出部４１１Ｄが設けられた導電性薄膜４１１Ｆと、は電子放出素子である。また、それぞれの電子放出素子は、それぞれの画素領域に対応する。
【０１１７】
以上の工程によって、図１４（ｂ）に示すように、基体７０Ａは電子源基板７０Ｂとなる。
次に図１４（ｃ）に示すように、電子源基板７０Ｂと、前面基板７０Ｃと、を公知の方法によって貼り合わせることで、電子放出素子を備えた画像表装置７０が得られる。前面基板７０Ｃは、ガラス基板８２と、ガラス基板８２上にマトリクス状に位置する複数の蛍光部８４と、複数の蛍光部８４を覆うメタルプレート８６と、を有する。メタルプレート８６は、電子放出部４１１Ｄからの電子ビームを加速するための電極として機能する。電子源基板７０Ｂと前面基板７０Ｃとは、複数の電子放出素子のそれぞれが、複数の蛍光部８４のそれぞれに対向するように、位置合わせされている。また、電子源基板７０Ｂと、前面基板７０Ｃとの間は、真空状態に保たれている。
【０１１８】
このような電子放出素子を備えた画像表示装置の製造方法にあっても、吐出に先立ち、予め吐出ヘッド３４内から気泡等を除去しておくことにより、導電性薄膜材料４１１を良好に吐出することができ、したがって得られる画像表示装置の信頼性を高めることができる。
【０１１９】
次に、前記吐出装置によって一部の構成要素を形成した電子機器の一例を説明する。
図１５は、このような電子機器の一例としての携帯電話を示す斜視図である。図１５において符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は前記の有機ＥＬ素子（有機ＥＬ装置３０１）を用いた表示部を示している。
図１５に示した電子機器（携帯電話）は、前記の有機ＥＬ素子からなる表示部１００１を備えているので、コストダウンが図られたものとなり、また、表示部１００１の構成要素が良好に形成されたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【０１２０】
【図１】本発明の吐出装置の概略構成図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は吐出ヘッドの概略構成図である。
【図３】図１に示した吐出装置の要部を説明するための図である。
【図４】他の吐出装置の要部を説明するための図である。
【図５】有機ＥＬ装置の側断面図である。
【図６】プラズマディスプレイの分解斜視図である。
【図７】（ａ）〜（ｆ）はカラーフィルターの形成方法説明図である。
【図８】パターンの形成方法を説明するためのフローチャート図である。
【図９】パターンの形成方法の一例を示す模式図である。
【図１０】パターンの形成方法の一例を示す模式図である。
【図１１】パターンの形成方法の一例を示す模式図である。
【図１２】（ａ）〜（ｄ）はマイクロレンズの製造方法の工程説明図である。
【図１３】（ａ）、（ｂ）は画像表示装置の電子源基板の模式図である。
【図１４】（ａ）〜（ｃ）は画像表示装置の製造工程説明図である。
【図１５】電子機器の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１２１】
３０…吐出装置、３４…吐出ヘッド、３４ａ…ノズル形成面、
３５…液状体タンク、３８…チャンバー（第２の吸引部材）、
４０…真空ポンプ（第２の減圧手段）、
５０…吸引パッド（第１の吸引部材）、
５１…吸引ポンプ（第１の減圧手段）、
５３…液状体検知センサ、６０…吸引パッド、６３…真空ポンプ、
１０００…携帯電話本体、１００１…表示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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