(57)【要約】【課題】窓箔冷却用の冷却風がビームキャッチャーから跳ね返ることによって被照射物がメッシュコンベアから浮き上がる現象を防止する。【解決手段】この電子線照射装置は、電子線加速器１０から取り出された電子線１２を受け止めるものであって、冷媒流路４０に流される冷媒によって冷却される構造のビームキャッチャー３８ａを備えている。しかもこのビームキャッチャー３８ａは、照射窓２２の中央桟２８に対向する位置に、中央桟２８に沿ってＹ方向に延びていて中央桟２８側が尖った断面山形の尾根状部４４を有している。この尾根状部４４によって、窓箔２６冷却用の冷却風３４の下降流を横方向に逃がすことができる。【選択図】　図１
2004053509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金網を有していてその上にシート状の被照射物を載せてＸ方向に搬送するメッシュコンベアと、このメッシュコンベア上の被照射物に加速された電子線を照射する電子線加速器と、この電子線加速器の電子線取り出し部に設けられていて電子線を透過させる窓箔を有すると共に電子線取り出し口が中央桟によって前記Ｘ方向に２分割された照射窓と、この照射窓の各電子線取り出し口の窓箔にそれを冷却する冷却風を前記Ｘ方向の相対向する位置から内向きにそれぞれ吹き付ける一対のノズルと、前記照射窓に対向する位置に前記メッシュコンベアを挟んで設けられていて前記電子線加速器から取り出された電子線を受け止めるものであって冷媒によって冷却される構造のビームキャッチャーとを備える電子線照射装置において、
前記ビームキャッチャー上であって前記照射窓の中央桟に対向する位置に、当該中央桟に沿って延びていて中央桟側が尖った尾根状部を設けたことを特徴とする電子線照射装置。
【請求項２】
金網を有していてその上にシート状の被照射物を載せてＸ方向に搬送するメッシュコンベアと、このメッシュコンベア上の被照射物に加速された電子線を照射する電子線加速器と、この電子線加速器の電子線取り出し部に設けられていて電子線を透過させる窓箔を有すると共に電子線取り出し口が中央桟によって前記Ｘ方向に２分割された照射窓と、この照射窓の各電子線取り出し口の窓箔にそれを冷却する冷却風を前記Ｘ方向の相対向する位置から内向きにそれぞれ吹き付ける一対のノズルと、前記照射窓に対向する位置に前記メッシュコンベアを挟んで設けられていて前記電子線加速器から取り出された電子線を受け止めるものであって冷媒によって冷却される構造のビームキャッチャーとを備える電子線照射装置において、
前記ビームキャッチャーと前記メッシュコンベアとの間に配置されていて、前記電子線加速器から取り出された電子線を受け止めるものであって冷媒によって冷却される構造をしており、かつ前記照射窓の中央桟に対向する位置に当該中央桟に沿って延びた開口部を有している上部ビームキャッチャーを更に備えていることを特徴とする電子線照射装置。
【請求項３】
前記上部ビームキャッチャーは第１および第２の上部ビームキャッチャーから成り、両者間の隙間が前記開口部である請求項２記載の電子線照射装置。
【請求項４】
金網を有していてその上にシート状の被照射物を載せてＸ方向に搬送するメッシュコンベアと、このメッシュコンベア上の被照射物に加速された電子線を照射する電子線加速器と、この電子線加速器の電子線取り出し部に設けられていて電子線を透過させる窓箔を有すると共に電子線取り出し口が中央桟によって前記Ｘ方向に２分割された照射窓と、この照射窓の各電子線取り出し口の窓箔にそれを冷却する冷却風を前記Ｘ方向の相対向する位置から内向きにそれぞれ吹き付ける一対のノズルと、前記照射窓に対向する位置に前記メッシュコンベアを挟んで設けられていて前記電子線加速器から取り出された電子線を受け止めるものであって冷媒によって冷却される構造のビームキャッチャーとを備える電子線照射装置において、
前記ビームキャッチャーと前記メッシュコンベアとの間に設けられていて、前記照射窓の中央桟に対向する位置に当該中央桟に沿って延びる隙間を互いの間に形成するように配置された２枚の防風板と、この２枚の防風板を駆動して前記隙間の幅を前記照射窓の幅程度以上にする開状態と、当該開状態よりも前記隙間の幅を小さくする中間状態とに切り換える防風板駆動部と、前記被照射物の先端が前記照射窓の入口端部の手前の所定位置に来たことを検出して先端検出を表す信号を出力する被照射物検出手段と、前記電子線加速器から電子線が出力されていることを検出して電子線出力中を表す信号を出力する電子線出力検出手段と、前記メッシュコンベアによる被照射物の搬送速度を検出して当該搬送速度を表す信号を出力する搬送速度検出手段と、前記被照射物検出手段、電子線出力検出手段および搬送速度検出手段からの信号に応答して前記防風板駆動部を制御する制御装置とを備えており、
かつこの制御装置は、前記先端検出を表す信号に基づいて、かつ前記被照射物検出手段と前記照射窓の入口端部との間の距離および前記搬送速度に基づいて、前記被照射物の先端が照射窓の入口端部に来る到来タイミングを求める第１の機能と、この到来タイミングに基づいて、かつ前記照射窓の入口端部と出口端部との間の幅および前記搬送速度に基づいて、前記被照射物の先端が照射窓の出口端部に来る通過タイミングを求める第２の機能と、前記電子線出力中を表す信号が出力されている期間中であって、前記到来タイミングと通過タイミングとの間の期間中は前記防風板を前記中間状態に維持し、その前後の期間中は当該防風板を前記開状態に維持する第３の機能とを有している、ことを特徴とする電子線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、メッシュコンベア上のシート状の被照射物に電子線を照射して、当該被照射物の架橋、改質、硬化、殺菌等の処理に用いられる電子線照射装置に関し、より具体的には、窓箔冷却用の冷却風がビームキャッチャーから跳ね返ることによって被照射物がメッシュコンベアから浮き上がる現象を防止する手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の電子線照射装置の従来例を図８に示す。図９に、図８中の照射窓周りの一例を下方の被照射物と共に示す。この電子線照射装置は、金網６を有していてその上にシート状の被照射物２を載せて一定方向（ここではＸ方向）に搬送するメッシュコンベア４と、このメッシュコンベア４上の被照射物２に加速された電子線１２を照射して被照射物２に架橋、改質、硬化、殺菌等の処理を施す電子線加速器１０とを備えている。シート状の被照射物２には、薄板状やフィルム状のものも含む。
【０００３】
メッシュコンベア４のより具体例は、金網ベルトコンベアまたは金網チェーンコンベアである。このメッシュコンベア４（より具体的にはその金網６）は、この例では駆動ローラ８によって前記Ｘ方向に駆動される。
【０００４】
電子線加速器１０は、この例では、電子源１４で発生させた電子線１２を、加速管１６で加速し、走査器１８で前記Ｘ方向に直交するＹ方向に往復走査し、末広がりの走査管２０の先端部（即ち電子線取り出し部）に設けた照射窓２２を通して、照射雰囲気中（例えば大気中）に取り出す（出力する）構成をしている。
【０００５】
照射窓２２は、電子線加速器１０の内外の雰囲気（内部は真空、外部は例えば大気）を分離するものであって電子線１２を透過させる窓箔２６と、それを保持する枠体２４とを有している。この枠体２４の開口部が電子線取り出し口２７になっている。
【０００６】
電子線加速器１０は、この例では、前記Ｘ方向の幅が比較的広い電子線１２を取り出すものであり、それに応じて、照射窓２２の電子線取り出し口２７のＸ方向の幅も比較的広い。そのために、照射窓２２のＸ方向の中央部に、窓箔２６を支持するものであってＹ方向に延びる中央桟２８を設けている。従ってこの中央桟２８によって、電子線取り出し口２７はＸ方向に２分割されている。このような照射窓２２は、ダブルウィンドウとも呼ばれる。中央桟２８は、電子線１２が当たって温度が上昇するので、それを抑制するために、通常はこの例のように、冷媒流路３０を有していて、そこに流される冷媒（例えば冷却水。以下同じ）によって冷却される。
【０００７】
窓箔２６は、電子線１２の透過損失によって発熱する。この窓箔２６は、通常、枠体２４内に設けられた冷媒流路（図示省略）および中央桟２８内に設けられた冷媒流路３０に流される冷媒によって冷却されるけれども、それでは冷却が十分ではない。そこでこの例では、照射窓２２の２分割された（即ち二つの）各電子線取り出し口２７の窓箔２６にそれを冷却する冷却風３４をＸ方向の相対向する位置から内向きにそれぞれ吹き付ける一対のノズル３２を設けて、窓箔２６をより効果的に冷却するようにしている。両ノズル３２は、図９にも示すように、各電子線取り出し口２７のＹ方向の長さに対応するようにＹ方向に延びると共に、照射窓２２を挟んで相対向するように内向きに配置されている。各ノズル３２には、それに接続された冷却風ダクト３６を通して、図示しないブロワ等から、冷却風３４（例えば圧縮空気）が供給される。
【０００８】
照射窓２２に対向する位置には、メッシュコンベア４（より具体的にはその金網６）を挟んで、ビームキャッチャー３８が設けられている。このビームキャッチャー３８は、被照射物２が照射窓２２の下方にないときに、電子線加速器１０からの電子線１２を受け止めて、電子線１２が不所望な場所に当たるのを防止するためのものである。従来のビームキャッチャー３８は平板状をしており、メッシュコンベア４に沿って（例えば平行に）配置されている。このビームキャッチャー３８は、電子線１２が当たって温度が上昇するので、それを抑制するために、冷媒によって冷却される構造をしている。この例では、ビームキャッチャー３８は冷媒流路４０を有していて、そこに流される冷媒によって冷却される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記電子線照射装置においては、両ノズル３２から内向きに吹き付けられた冷却風３４は、照射窓２２の中央付近、即ち中央桟２８の下方で互いにぶつかり合って、中央桟２８の下方に図示例のような下降流を形成する。この下降流は、被照射物２がそこに存在しないときは、メッシュコンベア４（より具体的にはその金網６）を通してビームキャッチャー３８に当たって再び上方に跳ね返る。メッシュコンベア４は網状をしているから冷却風３４を良く通す。
【００１０】
このような状態で、シート状の被照射物２がメッシュコンベア４によって照射窓２２の下方に搬送されて来ると、跳ね返った冷却風３４によって、即ち下からの冷却風３４によって、例えば図８に示す例のように、被照射物２の先端２ａ付近がメッシュコンベア４から持ち上げられてしまう。シート状の被照射物２は、冷却風３４を受け止めやすい上に通常は軽いので、先端２ａ付近が持ち上げられやすい。
【００１１】
このようにして被照射物２の先端２ａ付近が下からの冷却風３４によって持ち上げられると、被照射物２の電子線照射処理および搬送に悪影響が生じる。例えば、（１）被照射物２と照射窓２２との間の距離が変化して、被照射物２に対する電子線照射量が目的のものから変化する。これによって、被照射物２に対する正常な処理ができなくなる。（２）被照射物２が大きく浮き上がった場合は、被照射物２がメッシュコンベア４から逸脱したり、被照射物２の搬送が止まったりして、被照射物２の正常な搬送ができなくなる。
【００１２】
なお、被照射物２の先端２ａが照射窓２２の中央付近を通過してしまうと、上からの冷却風３４の下降流は被照射物２自身によって遮られるので、下降流がビームキャッチャー３８に当たって跳ね返るという現象は生じなくなる。しかも被照射物２は下降流によってメッシュコンベア４に押し付けられるので、被照射物２がメッシュコンベア４から浮き上がることはない。
【００１３】
そこでこの発明は、上記のような窓箔冷却用の冷却風がビームキャッチャーから跳ね返ることによって被照射物がメッシュコンベアから浮き上がる現象を防止することを主たる目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る第１の電子線照射装置は、前記ビームキャッチャー上であって前記照射窓の中央桟に対向する位置に、当該中央桟に沿って延びていて中央桟側が尖った尾根状部を設けたことを特徴としている（請求項１）。
【００１５】
この第１の電子線照射装置によれば、一対のノズルから吹き付けられて照射窓の中央桟の下方で互いにぶつかり合って形成された冷却風の下降流は、メッシュコンベアを通して、ビームキャッチャーの尾根状部に当たり、その斜面に沿って流れることによって、斜め横方向ないし横方向に逃がされる。従って、冷却風の下降流がビームキャッチャーに当たって再び上方に跳ね返るのを防止することができる。その結果、冷却風の跳ね返りによって被照射物がメッシュコンベアから浮き上がる現象を防止することができる。
【００１６】
この発明に係る第２の電子線照射装置は、前記ビームキャッチャーと前記メッシュコンベアとの間に配置されていて、前記電子線加速器から取り出された電子線を受け止めるものであって冷媒によって冷却される構造をしており、かつ前記照射窓の中央桟に対向する位置に当該中央桟に沿って延びた開口部を有している上部ビームキャッチャーを更に備えていることを特徴としている（請求項２）。
【００１７】
この第２の電子線照射装置によれば、一対のノズルから吹き付けられて照射窓の中央桟の下方で互いにぶつかり合って形成された冷却風の下降流は、メッシュコンベアを通して、更に上部ビームキャッチャーの開口部を通して、その下のビームキャッチャーに達する。下降流がこのビームキャッチャーで跳ね返るとしても、必ず元の下降流よりも広がる方向に跳ね返るので、跳ね返った冷却風は、上部ビームキャッチャーに当たって上方への流れが阻止され、上部ビームキャッチャーとその下のビームキャッチャーとの間を両ビームキャッチャーに沿って横方向に逃げる。その結果、冷却風の跳ね返りによって被照射物がメッシュコンベアから浮き上がる現象を防止することができる。
【００１８】
この発明に係る第３の電子線照射装置は、前記ビームキャッチャーと前記メッシュコンベアとの間に設けられていて、前記照射窓の中央桟に対向する位置に当該中央桟に沿って延びる隙間を互いの間に形成するように配置された２枚の防風板と、この２枚の防風板を駆動して前記隙間の幅を前記照射窓の幅程度以上にする開状態と、当該開状態よりも前記隙間の幅を小さくする中間状態とに切り換える防風板駆動部と、前記被照射物の先端が前記照射窓の入口端部の手前の所定位置に来たことを検出して先端検出を表す信号を出力する被照射物検出手段と、前記電子線加速器から電子線が出力されていることを検出して電子線出力中を表す信号を出力する電子線出力検出手段と、前記メッシュコンベアによる被照射物の搬送速度を検出して当該搬送速度を表す信号を出力する搬送速度検出手段と、前記被照射物検出手段、電子線出力検出手段および搬送速度検出手段からの信号に応答して前記防風板駆動部を制御する制御装置とを備えており、
かつこの制御装置は、前記先端検出を表す信号に基づいて、かつ前記被照射物検出手段と前記照射窓の入口端部との間の距離および前記搬送速度に基づいて、前記被照射物の先端が照射窓の入口端部に来る到来タイミングを求める第１の機能と、この到来タイミングに基づいて、かつ前記照射窓の入口端部と出口端部との間の幅および前記搬送速度に基づいて、前記被照射物の先端が照射窓の出口端部に来る通過タイミングを求める第２の機能と、前記電子線出力中を表す信号が出力されている期間中であって、前記到来タイミングと通過タイミングとの間の期間中は前記防風板を前記中間状態に維持し、その前後の期間中は当該防風板を前記開状態に維持する第３の機能とを有している、ことを特徴としている（請求項４）。
【００１９】
この第３の電子線照射装置によれば、一対のノズルから吹き付けられて照射窓の中央桟の下方で互いにぶつかり合って形成された冷却風の下降流は、メッシュコンベアを通して、更に２枚の防風板間の隙間を通して、その下のビームキャッチャーに達する。
【００２０】
この２枚の防風板は、防風板駆動部によって、前記隙間の幅が照射窓の幅程度以上の開状態と、それよりも隙間の幅が小さい中間状態とに切り換えられる。この切り換えは、制御装置による制御によって自動で行われる。
【００２１】
即ち、前記電子線出力中を表す信号が出力されている期間中（即ち電子線加速器から電子線が出力されている期間中）であって、前記到来タイミングと通過タイミングとの間の期間中（即ち被照射物の先端が照射窓の入口端部から出口端部までを移動している期間中）は防風板は中間状態に維持され、その前後の期間中は開状態に維持される。
【００２２】
このような制御によって、被照射物の先端が照射窓の下を通るときは、防風板は中間状態に維持されるので、前記冷却風の下降流は、この中間状態の防風板間の隙間を通して、その下のビームキャッチャーに達する。下降流がこのビームキャッチャーで跳ね返るとしても、必ず元の下降流よりも広がる方向に跳ね返るので、跳ね返った冷却風は、中間状態の防風板に当たって上方への流れが阻止され、中間状態の防風板とその下のビームキャッチャーとの間を両者に沿って横方向に逃げる。その結果、冷却風の跳ね返りによって被照射物がメッシュコンベアから浮き上がる現象を防止することができる。
【００２３】
しかも、被照射物の先端が照射窓の下を移動している期間の前後の期間中は、即ち冷却風の下降流による被照射物の先端付近の浮き上がりが問題にならない期間中は、防風板は開状態に維持されるので、電子線加速器から出力されている電子線は、この開状態の防風板の隙間を通してその下のビームキャッチャーに当たる。即ち、電子線加速器から出力された電子線が防風板に当たることが防止されるので、防風板の過熱を防止することができる。その結果、防風板の構造を、例えば単なる板のような単純なものにすることができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明に係る電子線照射装置の一例を示す図である。図２は、図１中のビームキャッチャーの一例を示す斜視図である。図８および図９に示した従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該従来例との相違点を主に説明する。
【００２５】
この電子線照射装置は、図８で説明したビームキャッチャー３８に代わるものとして、即ち電子線加速器１０から取り出された電子線１２を受け止めるものとして、次のような構造のビームキャッチャー３８ａを備えている。即ち、このビームキャッチャー３８ａは、平板部４２の例えば中央部上であって、照射窓２２の中央桟２８に対向する位置に、中央桟２８に沿って前記Ｙ方向に延びていて中央桟２８側が尖った断面山形の尾根状部４４を設けた構造をしている。
【００２６】
なお、図２では、冷媒流路４０の図示を省略しているけれども、このビームキャッチャー３８ａも、前記ビームキャッチャー３８と同様、冷媒流路４０に流される冷媒によって冷却される構造をしている。
【００２７】
尾根状部４４の基部の前記Ｘ方向の幅Ｗ１　は、照射窓２２からの冷却風３４の下降流が、当該尾根状部４４の二つの斜面４４ａに当たる程度のものにしている。
【００２８】
このビームキャッチャー３８ａは、従来のビームキャッチャー３８と同様、電子線加速器１０から出力された電子線１２を平板部４２および尾根状部４４によって受け止めて、電子線１２が不所望な場所に当たるのを防止する作用を奏する。
【００２９】
しかも、被照射物２の先端２ａが照射窓２２の中央桟２８の下方に搬送されて来る前の状態では、前記一対のノズル３２から吹き付けられて照射窓２２の中央桟２８の下方で互いにぶつかり合って形成された冷却風３４の下降流は、図示例のように、メッシュコンベア４を通して、ビームキャッチャー３８ａの尾根状部４４に当たり、その二つの斜面４４ａに沿って流れることによって、斜め横方向ひいては横方向に逃がされる。従って、冷却風３４の下降流がビームキャッチャー３８ａに当たって再び上方に跳ね返るのを防止することができる。その結果、冷却風３４の跳ね返りによって被照射物２の先端２ａ付近が持ち上げられて被照射物２がメッシュコンベア４から浮き上がる現象を防止することができる。これによって、前述したような、被照射物２の電子線照射処理および搬送に悪影響が生じることを防止することができる。
【００３０】
図３に示す電子線照射装置では、図８で説明した平板状のビームキャッチャー３８とメッシュコンベア４との間に、両者に沿って（例えば平行に）、上部ビームキャッチャー４６を配置している。この上部ビームキャッチャー４６も、被照射物２が照射窓２２の下方にないときに、電子線加速器１０からの電子線１２を受け止めるものであり、冷媒によって冷却される構造をしている。この例では、上部ビームキャッチャー４６は冷媒流路５０を有していて、そこに流される冷媒によって冷却される。
【００３１】
しかもこの上部ビームキャッチャー４６は、図４も参照して、照射窓２２の中央桟２８に対向する位置に当該中央桟２８に沿って前記Ｙ方向に延びた開口部４８を有している。この開口部４８の下方は、前記ビームキャッチャー３８によって覆われている。
【００３２】
この上部ビームキャッチャー４６の開口部４８の前記Ｘ方向の幅Ｗ２　は、照射窓２２からの冷却風３４の下降流が当該開口部４８を通り抜ける程度にしている。より好ましくは、下降流が通り抜けることのできる最小限度の幅にするのが良い。
【００３３】
この上部ビームキャッチャー４６は、その下のビームキャッチャー３８と協働して、電子線加速器１０から出力された電子線１２を受け止めて、電子線１２が不所望な場所に当たるのを防止する作用を奏する。
【００３４】
しかも、被照射物２の先端２ａが照射窓２２の中央桟２８の下方に搬送されて来る前の状態では、前記一対のノズル３２から吹き付けられて照射窓２２の中央桟２８の下方で互いにぶつかり合って形成された冷却風３４の下降流は、図示例のように、メッシュコンベア４を通して、更に上部ビームキャッチャー４６の開口部４８を通して、その下のビームキャッチャー３８に達する。下降流がこのビームキャッチャー３８で跳ね返るとしても、必ず元の下降流よりも広がる方向に跳ね返るので、跳ね返った冷却風３４は、上部ビームキャッチャー４６に当たって上方への流れが阻止され、上部ビームキャッチャー４６とその下のビームキャッチャー３８との間を両ビームキャッチャー４６、３８に沿って横方向に逃げる。その結果、冷却風３４の跳ね返りによって被照射物２の先端２ａ付近が持ち上げられて被照射物２がメッシュコンベア４から浮き上がる現象を防止することができる。これによって、前述したような、被照射物２の電子線照射処理および搬送に悪影響が生じることを防止することができる。
【００３５】
前記上部ビームキャッチャー４６は、図５に示す例のように、互いの間に隙間をあけて前記Ｘ方向に分割（分離）された第１の上部ビームキャッチャー４６ａおよび第２の上部ビームキャッチャー４６ｂで構成しても良い。この二つの上部ビームキャッチャー４６ａおよび４６ｂは互いに同一平面上に配置されており、両者４６ａ、４６ｂ間の隙間が前記開口部４８となっている。その他は前記上部ビームキャッチャー４６と同様であるので、ここでは重複説明を省略する。
【００３６】
図６に示す電子線照射装置は、図８で説明した平板状のビームキャッチャー３８とメッシュコンベア４との間に、両者に沿って（例えば平行に）配置された２枚の防風板５２を備えている。２枚の防風板５２は、図７も参照して、照射窓２２の中央桟２８に対向する位置に当該中央桟２８に沿って前記Ｙ方向に延びる隙間５４を互いの間に形成するように、互いに同一平面上に配置されている。この隙間５４の前記Ｘ方向における幅Ｗ３　は、下記の手段によって可変である。
【００３７】
即ち、この電子線照射装置は、上記２枚の防風板５２を矢印Ｂ（図７参照）に示すように前記Ｘ方向における前後方向に駆動して、前記隙間５４の幅Ｗ３　を照射窓２２の幅Ｗ４　程度以上にする開状態と、当該開状態よりも隙間５４の幅Ｗ３　を小さくする中間状態とに切り換える防風板駆動部５６を備えている。防風板駆動部５６は、この例では各防風板５２に１台ずつ設けているが、２枚の防風板５２を上記のように駆動するものを１台設けても良い。防風板駆動部５６は、例えばエアシリンダである。
【００３８】
上記のように、開状態における隙間５４の幅Ｗ３　を照射窓２２の幅Ｗ４　程度以上にすると、照射窓２２から出力された電子線１２は、その広がりを無視すれば、開状態の防風板５２には殆ど当たらなくなる。
【００３９】
中間状態における隙間５４の幅Ｗ３　は、前述した上部ビームキャッチャー４６の開口部４８の幅Ｗ２　の場合と同様、照射窓２２からの冷却風３４の下降流が当該隙間５４を通り抜ける程度にしている。より好ましくは、下降流が通り抜けることのできる最小限度の幅にするのが良い。
【００４０】
この図６に示す電子線照射装置は、更に、次のような検出手段を備えている。
【００４１】
即ち、メッシュコンベア４上の被照射物２の先端２ａが、照射窓２２の入口端部２２ａの手前（上流側）の所定位置に来たことを検出して先端検出を表す信号Ｓ１　を出力する被照射物検出手段の一例として、光電スイッチ５８を備えている。この光電スイッチ５８は、メッシュコンベア４によって搬送される被照射物２の先端２ａによって遮光されることによって、当該先端２ａの到来を検出することができる。この光電スイッチ５８と照射窓２２の入口端部２２ａとの間の距離Ｌは、例えば数十ｃｍ〜数ｍというように大きくても良いし、数ｃｍ〜数十ｃｍというように小さくても良い。ほぼ０でも良い。上記被照射物検出手段は、光電スイッチ５８以外のもの、例えばマイクロスイッチ等でも良い。
【００４２】
電子線加速器１０から電子線１２が出力されていることを検出して電子線出力中を表す信号Ｓ２　を出力する電子線出力検出手段の一例として、加速電源６０に流れる電子線電流Ｉ１　を計測する電流計測器６２を備えている。前記加速管１６には加速電源６０から電子線１２の加速用に直流の加速電圧が印加され、電子線１２が照射窓２２を通して取り出されて被照射物２やビームキャッチャー３８等に照射されると、アースを経由して、この加速電源６０に電子線電流Ｉ１　が流れる。電流計測器６２はこの電子線電流Ｉ１　が流れていることを計測するものであり、この電子線電流Ｉ１　が所定値（例えば０）以上であるということによって、電子線１２の出力中を検出することができる。但し上記電子線出力検出手段は、電流計測器６２以外のもの、例えば照射窓２２から取り出される電子線１２を受けて電子線１２を検出する検出器等でも良い。
【００４３】
メッシュコンベア４による被照射物２の搬送速度ｖを検出して当該搬送速度ｖを表す信号Ｓ３　を出力する搬送速度検出手段の一例として、メッシュコンベア４の駆動ローラ８を駆動するエンコーダ付モータ６４を備えている。このモータ６４の回転速度とメッシュコンベア４の搬送速度ｖとの間には一定の関係があるので、モータ６４の回転速度によってメッシュコンベア４による被照射物２の搬送速度ｖを検出することができる。但し上記搬送速度検出手段は、エンコーダ付モータ６４以外のもの、例えばメッシュコンベア４を構成する駆動ローラ８あるいはその他のローラの回転速度を検出する回転速度計等でも良い。
【００４４】
この図６に示す電子線照射装置は、更に、上記信号Ｓ１　、Ｓ２　およびＳ３　に応答して上記防風板駆動部５６を制御する制御装置６６を備えている。この制御装置６６は、少なくとも、以下に示す第１ないし第３の機能を有している。
【００４５】
（１）第１の機能
これは、上記先端検出を表す信号Ｓ１　に基づいて、かつ光電スイッチ５８と照射窓２２の入口端部２２ａとの間の距離Ｌおよび被照射物２の搬送速度ｖに基づいて、被照射物２の先端２ａが照射窓２２の入口端部２２ａに来る到来タイミングｔ１　を演算して求める機能である。より具体的には、光電スイッチ５８による先端検出のタイミングをｔ０　とすると、到来タイミングｔ１　は次式によって求めることができる。
【００４６】
【数１】
ｔ１　＝ｔ０　＋Ｌ／ｖ
【００４７】
その場合、上記信号Ｓ３　が搬送速度ｖを直接表している場合は、当該信号Ｓ３　をそのまま上記演算に用いれば良いし、直接表していない場合は、信号Ｓ３　の内容を搬送速度ｖに換算する処理を施して上記演算に用いれば良い（次の第２の機能においても同様）。
【００４８】
（２）第２の機能
これは、上記到来タイミングｔ１　に基づいて、かつ照射窓２２の入口端部２２ａと出口端部２２ｂとの間の幅Ｗ４　および被照射物２の搬送速度ｖに基づいて、被照射物２の先端２ａが照射窓２２の出口端部２２ｂに来る通過タイミングｔ２　を演算して求める機能である。より具体的には、通過タイミングｔ２　は次式によって求めることができる。
【００４９】
【数２】
ｔ２　＝ｔ１　＋Ｗ４　／ｖ
【００５０】
（３）第３の機能
これは、上記電子線出力中を表す信号Ｓ２　が出力されている期間中であって、上記到来タイミングｔ１　と通過タイミングｔ２　との間の期間中は防風板５２を上記中間状態に維持し、その前後の期間中は当該防風板５２を上記開状態に維持する機能である。この制御機能を実行するために、制御装置６６は防風板駆動部５６を制御する。
【００５１】
この第３の機能は、換言すれば、電子線加速器１０から電子線１２が出力されている期間中であって、被照射物２の先端２ａが照射窓２２の入口端部２２ａから出口端部２２ｂまでを移動している期間中は防風板５２を中間状態に維持し、その前後の期間中、即ち被照射物２の先端２ａが照射窓２２の入口端部２２ａに来る前および出口端部２２ｂの通過後は防風板５２を開状態に維持することである。
【００５２】
なお、電子線加速器１０から電子線１２が出力されていない期間中は、被照射物２に対する電子線照射処理が行われていないので、防風板５２を中間状態に維持しておいても良いし、開状態に維持しておいても良く、任意である。
【００５３】
この図６に示す電子線照射装置においては、制御装置６６による上記のような制御によって、被照射物２の先端２ａが照射窓２２の下を通るときは、防風板５２は中間状態に維持されるので、前記冷却風３４の下降流は、この中間状態の防風板５２間の隙間５４を通して、その下のビームキャッチャー３８に達する。下降流がこのビームキャッチャー３８で跳ね返るとしても、必ず元の下降流よりも広がる方向に跳ね返るので、跳ね返った冷却風３４は、中間状態の防風板５２に当たって上方への流れが阻止され、中間状態の防風板５２とその下のビームキャッチャー３８との間を両者５２、３８に沿って横方向に逃げる。その結果、冷却風３４の跳ね返りによって被照射物２の先端２ａ付近が持ち上げられて被照射物２がメッシュコンベア４から浮き上がる現象を防止することができる。これによって、前述したような、被照射物２の電子線照射処理および搬送に悪影響が生じることを防止することができる。
【００５４】
しかも、被照射物２の先端２ａが照射窓２２の下を移動している期間の前後の期間中は、即ち冷却風３４の下降流による被照射物２の先端２ａ付近の浮き上がりが問題にならない期間中は、防風板５２は開状態に維持されるので、電子線加速器１０から出力される電子線１２は、この開状態の防風板５２の隙間５４を通してその下のビームキャッチャー３８に当たる。即ち、電子線加速器１０から出力された電子線１２が防風板５２に当たることが防止されるので、防風板５２の過熱を防止することができる。その結果、防風板５２の構造を、例えば単なる板のような単純なものにすることができる。
【００５５】
なお、電子線加速器１０は、以上では電子線１２を走査する走査形のものを例に説明したけれども、必ずしもそれに限定されるものではなく、電子線１２を走査しない非走査形のものでも良い。
【００５６】
【発明の効果】
この発明は、上記のとおり構成されているので、次のような効果を奏する。
【００５７】
請求項１記載の発明によれば、ビームキャッチャーに設けた尾根状部によって、窓箔冷却用の冷却風の下降流を斜め横方向ないし横方向に逃がして、冷却風の下降流がビームキャッチャーに当たって再び上方に跳ね返るのを防止することができるので、冷却風の跳ね返りによって被照射物がメッシュコンベアから浮き上がる現象を防止することができる。
【００５８】
請求項２または３に記載の発明によれば、上記のような開口部を有する上部ビームキャッチャーを備えていて、窓箔冷却用の冷却風の下降流を、上部ビームキャッチャーとその下のビームキャッチャーとの間で両ビームキャッチャーに沿って横方向に逃がすことができるので、冷却風の跳ね返りによって被照射物がメッシュコンベアから浮き上がる現象を防止することができる。
【００５９】
請求項４記載の発明によれば、上記のような防風板、防風板駆動部、検出手段および制御装置を備えていて、被照射物の先端が照射窓の下を通るときは防風板は中間状態に維持されるので、窓箔冷却用の冷却風の下降流を、中間状態の防風板とその下のビームキャッチャーとの間で両者に沿って横方向に逃がすことができる。その結果、冷却風の跳ね返りによって被照射物がメッシュコンベアから浮き上がる現象を防止することができる。
【００６０】
しかも、被照射物の先端が照射窓の下を移動している期間の前後の期間中は、即ち冷却風の下降流による被照射物の先端付近の浮き上がりが問題にならない期間中は、防風板は開状態に維持されるので、電子線加速器から出力された電子線が防風板に当たって防風板が過熱されるのを防止することができる。その結果、防風板の構造を、例えば単なる板のような単純なものにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る電子線照射装置の一例を示す図である。
【図２】図１中のビームキャッチャーの一例を示す斜視図である。
【図３】この発明に係る電子線照射装置の他の例を示す図である。
【図４】図３中の上部ビームキャッチャー周りの一例を示す平面図である。
【図５】図３中の上部ビームキャッチャー周りの他の例を示す平面図である。
【図６】この発明に係る電子線照射装置の更に他の例を示す図である。
【図７】図６中の防風板周りの一例を示す平面図である。
【図８】従来の電子線照射装置の一例を示す図である。
【図９】図８中の照射窓周りの一例を下方の被照射物と共に示す平面図である。
【符号の説明】
２　被照射物
２ａ　先端
４　メッシュコンベア
１０　電子線加速器
１２　電子線
２２　照射窓
２６　窓箔
２７　電子線取り出し口
２８　中央桟
３２　ノズル
３４　冷却風
３８、３８ａ　ビームキャッチャー
４４　尾根状部
４６　上部ビームキャッチャー
４８　開口部
５２　防風板
５４　隙間
５６　防風板駆動部
６６　制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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