(57)【要約】    【課題】  ソフトエンジニアの膨大な作業工数を低減することができる基板処理システム、基板処理方法、及び該方法を実行するプログラムを提供する。    【解決手段】  基板処理システム１００は、基板処理装置１０１と、該基板処理装置１０１を制御する基板処理制御装置１０２と、各デバイスの動作を定義する命令文であるコマンドを記憶するサーバ１０３とを備え、基板処理制御装置１０２は、基板処理から分割された各工程に対応するマクロファイルを作成し、または、その内容を変更するためのワークスペースであるＲＡＭ１０５を含むマクロファイル編集部１０７と、該作成されたマクロファイルが組み合わされたプロセスシーケンスマクロを実行するＣＰＵ等から成るエクスキュータ１０８とを有し、ユーザが、マクロファイル編集部１０７において、記憶されたコマンドを列挙することによって各工程におけるシーケンス動作を示すマクロファイルを生成、または、その内容を変更する。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置が有する複数のデバイスの動作によって基板に複数の工程からなる処理を施す基板処理システムにおいて、
前記デバイスの所定の動作を表すコマンドを記憶する記憶部と、前記複数の工程の各々に対応して前記記憶されたコマンドからマクロファイルを生成すると共に前記生成されたマクロファイルが組み合わされたプロセスシーケンスマクロを生成する生成部と、前記プロセスシーケンスマクロを実行する実行部とを備えることを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】
前記生成部は、ユーザーインターフェイスを備えることを特徴とする請求項１記載の基板処理システム。
【請求項３】
前記コマンドは、ハードコードに変換されていることを特徴とする請求項１又は２記載の基板処理システム。
【請求項４】
前記生成されたマクロファイルを記憶する他の記憶部を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板処理システム。
【請求項５】
前記他の記憶部は、前記記憶部と同じであることを特徴とする請求項４記載の基板処理システム。
【請求項６】
前記マクロファイルを外部機器に送出し、且つ前記外部機器から前記マクロファイルを受領する通信部を備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の基板処理システム。
【請求項７】
前記マクロファイルにおけるシーケンスが正常であるか否かを検証する検証部を備えることを特徴とする請求項６記載の基板処理システム。
【請求項８】
前記記憶部は、更に、前記マクロファイルに対応した前記デバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶し、前記生成部は前記データファイルを生成し、前記実行部は前記生成されたデータファイルに基づいて前記デバイスの所定の動作の制御を実行することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の基板処理システム。
【請求項９】
前記記憶部は、前記マクロファイルに対応した前記デバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶する更に他の記憶部を備えることを特徴とする請求項８記載の基板処理システム。
【請求項１０】
前記データファイルは、更に、前記デバイスの所定の動作の制御が実行されたことを警告する警告動作と、前記デバイスの所定の動作の制御に関連した他のデバイスの動作の制御とを定義することを特徴とする請求項８又は９記載の基板処理システム。
【請求項１１】
基板処理装置が有する複数のデバイスの動作によって基板に複数の工程からなる処理を施す基板処理方法において、
前記デバイスの所定の動作を表すコマンドを記憶する記憶ステップと、前記複数の工程の各々に対応して前記記憶されたコマンドからマクロファイルを生成すると共に前記生成されたマクロファイルが組み合わされたプロセスシーケンスマクロを生成する生成ステップと、前記プロセスシーケンスマクロを実行する実行ステップとを有することを特徴とする基板処理方法。
【請求項１２】
前記記憶ステップは、更に、前記マクロファイルに対応した前記デバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶し、前記生成ステップは前記データファイルを生成し、前記実行ステップは前記生成されたデータファイルに基づいて前記デバイスの所定の動作の制御を実行することを特徴とする請求項１１記載の基板処理方法。
【請求項１３】
前記記憶ステップは、前記マクロファイルに対応した前記デバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶する更に他の記憶ステップを備えることを特徴とする請求項１２記載の基板処理方法。
【請求項１４】
前記データファイルは、更に、前記デバイスの所定の動作の制御が実行されたことを警告する警告動作と、前記デバイスの所定の動作の制御に関連した他のデバイスの動作の制御とを定義することを特徴とする請求項１２又は１３記載の基板処理方法。
【請求項１５】
基板処理装置が有する複数のデバイスの動作によって基板に複数の工程からなる処理を施す基板処理方法を実行するプログラムにおいて、
前記デバイスの所定の動作を表すコマンドを記憶する記憶モジュールと、前記複数の工程の各々に対応して前記記憶されたコマンドからマクロファイルを生成すると共に前記生成されたマクロファイルが組み合わされたプロセスシーケンスマクロを生成する生成モジュールと、前記プロセスシーケンスマクロを実行する実行モジュールとをコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１６】
前記コマンドは、ハードコードに変換されていることを特徴とする請求項１５記載のプログラム。
【請求項１７】
前記生成されたマクロファイルを記憶する他の記憶モジュールをコンピュータに実行させることを特徴とする請求項１５又は１６記載のプログラム。
【請求項１８】
前記マクロファイルを外部機器に送出する送出モジュールと、前記外部機器から前記マクロファイルを受領する受領モジュールとをコンピュータに実行させることを特徴とする請求項１５乃至１７のいずれか１項に記載のプログラム。
【請求項１９】
前記マクロファイルにおけるシーケンスが正常であるか否かを検証する検証モジュールをコンピュータに実行させることを特徴とする請求項１８記載のプログラム。
【請求項２０】
前記記憶モジュールは、更に、前記マクロファイルに対応した前記デバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶し、前記生成モジュールは前記データファイルを生成し、前記実行モジュールは前記生成されたデータファイルに基づいて前記デバイスの所定の動作の制御を実行することを特徴とする請求項１５乃至１９のいずれか１項に記載のプログラム。
【請求項２１】
前記記憶モジュールは、前記マクロファイルに対応した前記デバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶する更に他の記憶モジュールを備えることを特徴とする請求項２０記載のプログラム。
【請求項２２】
前記データファイルは、更に、前記デバイスの所定の動作の制御が実行されたことを警告する警告動作と、前記デバイスの所定の動作の制御に関連した他のデバイスの動作の制御とを定義することを特徴とする請求項２０又は２１記載のプログラム。
【請求項２３】
基板処理装置と、該基板処理装置の動作を制御するべくユーザの操作が入力される操作入力部を有する制御装置と、該基板処理装置から離れて配設され且つユーザの操作が入力される他の操作入力部を有する遠隔端末とを備える基板処理システムによって基板に所定の処理を施す基板処理方法を実行するプログラムにおいて、
前記操作入力部の動作を制御する操作制御モジュールと、前記操作制御モジュールと同じ内容から成り且つ前記他の操作入力部の動作を制御する他の操作制御モジュールとをコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項２４】
前記操作制御モジュールは、前記操作入力部及び前記他の操作入力部のいずれか一方における操作の入力を制限する入力制限モジュールを有することを特徴とする請求項２３記載のプログラム。
【請求項２５】
前記操作制御モジュールは、ユーザの操作が入力されたとき、該操作の入力元を判別する入力元判別モジュールを有することを特徴とする請求項２３又は２４記載のプログラム。
【請求項２６】
基板処理装置と、該基板処理装置の動作を制御するべくユーザの操作が入力される操作入力部を有する制御装置と、該基板処理装置から離れて配設され且つユーザの操作が入力される他の操作入力部を有する遠隔端末とを備える基板処理システムによって基板に所定の処理を施す基板処理方法を実行するプログラムにおいて、
前記操作入力部に入力可能な操作項目を表示する表示モジュールと、前記操作項目を前記他の入力操作部に表示させ且つ前記他の入力操作部への入力を前記入力操作部への入力とみなす遠隔入力モジュールとをコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置が有する複数のデバイスを操作して、基板に所定の処理を施す基板処理システム、基板処理方法、及び該方法を実行するプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板としての半導体ウエハＷを処理する基板処理装置として図１０に示すマグネトロン方式平行平板基板処理装置が知られている。
【０００３】
このマグネトロン方式平行平板基板処理装置５００は、円筒状の処理室容器５０１を有し、該処理室容器５０１は、その頂部に、上部電極５１３を有し、その下部に、半導体ウエハＷを静電チャックするＥＳＣ５０２や該ＥＳＣ５０２を囲うように配設されたフォーカスリング５０３を頂部に備えた円筒状の下部電極５０４を有すると共に、下部電極５０４の頂部近傍に、該処理室容器５０１内部を処理領域５０５と排気領域５０６とに隔離する隔離板５０７を有し、その下部に、排気領域５０６を介して処理領域５０５を減圧排気するための排気口５０８を有し、更に、処理領域５０５に対向する壁部に、半導体ウエハＷの搬出入口５０９を有する。
【０００４】
また、上部電極５１３は接地されているのに対して、下部電極５０４には整合回路５１０を介して少なくとも１つの高周波電源５１１が接続されており、処理室容器５０１の上部の回りには環状の永久磁石５１２が配されている。
【０００５】
この基板処理装置５００において、上部電極５１３に設けられたガス導入孔を介して処理ガスが導入された処理領域５０５が、減圧排気されて所定圧力に制御される。更に、高周波電源５１１は上部電極５１３及び下部電極５０４間において処理領域５０５で高周波電界を励起し、永久磁石５１２はこの高周波電界と直交する平行磁界を発生して、これら直交した高周波電界及び平行磁界により処理ガスから高密度のプラズマが生成され、当該プラズマは半導体ウエハＷに所望の処理を施す。
【０００６】
この基板処理装置５００では、フォーカスリング５０３等の消耗品のメンテナンスが重要であり、メンテナンス時の確認項目の１つである動作テストを実行するメンテナンス用プログラムの作成に要する工数を削減するために、フォーカスリング５０３等の部品の動作を予め登録し、登録した単動作を任意に組み合わせて、シーケンス動作および／またはパラレル動作としてメンテナンスマクロファイルを作成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００７】
一方、この基板処理装置５００では、該基板処理装置５００が備えるＣＰＵ等からなる処理実行部（不図示）が、各種処理のシーケンスを所定のプログラミング言語で記述したソースコードからコンパイル作業を経て生成されたプログラムに基づいて、上述した上部電極５１３等の各種デバイスを操作することにより、半導体ウエハＷの搬出入シーケンスや、基板処理（プロセス）の制御パラメータ（温度、圧力、ガスの種類及びガス流量、時間などの制御目標値）に関する基板処理装置に個別の処理プログラムであるレシピの実行制御シーケンスを実行する。しかし、近年、半導体ウエハＷにおけるエッチングパターンの微細化等に伴い、プロセスにおいて正確な再現性が求められるため、パラメータ項目がより詳細に規定され、且つ個別の基板処理装置に適合されたレシピの実行が求められている。
【０００８】
それ故、プロセスにおけるレシピを基板処理装置５００に適合したものとするために、基板処理装置５００においてプロセス実験を繰り返し行う必要があるが、上述したように、当該レシピではパラメータ項目がより詳細に規定されるため、プロセス実験において試行されるレシピの種類は膨大なものとなり、これに伴い、試行されるレシピを含むシーケンスの内容変更が頻繁に行われるようになった。尚、ここでいうシーケンスの内容変更とは、デバイスの動作順番、動作内容、待機時間等の変更をいう。
【０００９】
また、ソースコードには、上記のようなレシピの実行制御シーケンスに加えて、基板処理装置５００の運用に関するインターロック及び該インターロックに関連するリカバリ処理のシーケンスが記述されている。
【００１０】
このインターロック及びそのリカバリ処理のシーケンスでは、半導体ウエハＷの搬出入シーケンスやレシピの実行制御シーケンスが実行される際、所定の条件に基づいて基板処理装置５００の各デバイスの操作が制御され、また、該所定の条件に基づいて各デバイスの操作が制御されたときは、アラーム等を発報してユーザに警告する。そして、近年、試行されるレシピを含むシーケンスの頻繁な内容変更に伴い、インターロック及び該インターロックに関連するリカバリ処理のシーケンスの内容変更も頻繁に行われている。
【００１１】
また、通常、マグネトロン方式平行平板基板処理装置等の基板処理装置は、半導体ウエハＷへの異物付着を防止するために、クリーンルームに配設されている。この基板処理装置は操作パネルを備え、該操作パネルは複数の操作項目から成るリストを表示する。そして、ユーザは操作パネルにおいてリストから所望の操作項目を選択することによって基板処理装置を操作するため、基板処理装置の操作の際、ユーザがクリーンルームまで出向く必要がある。従って、ユーザは基板処理装置を目視しながら操作できる。
【００１２】
ところが、例えば、軽度のトラブルによる停止の解除等、操作の内容によってはユーザが基板処理装置を目視する必要がないものがあり、このような操作のためにユーザがクリーンルームまで出向くのは、作業効率の観点から好ましくない。そこで、ユーザがクリーンルームまで出向くことなく、例えば、事務所等、基板処理装置から離れた場所から基板処理装置を遠隔操作可能な基板処理システム（以下、「遠隔操作システム」という。）が提案されている。
【００１３】
このような遠隔操作システムとして、基板処理装置と、該基板処理装置から離れた場所に設けられた遠隔端末とを有し、該遠隔端末が、ディスプレイと、該ディスプレイにおいて基板処理装置の操作パネルの表示内容と似た内容を表示するソフトウエアとを有する基板処理システムが知られており、具体的には、図１１に示す、工場７００と、該工場７００の遠隔地に位置するベンダ８００と、工場７００及びベンダ８００を接続するデータ通信ネットワーク９００とから成る産業用機器の管理システムが知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【００１４】
この管理システムにおいて、工場７００は、産業用機器７１０と、該産業用機器を管理する管理装置７２０と、該管理装置７２０を介して該産業用機器７１０を操作する工場側操作装置７３０とを有する一方、ベンダ８００は、ベンダ側操作装置８１０を有する。
【００１５】
管理装置７２０は、本管理システムを制御する管理プログラム７２２を有し、工場側操作装置７３０は、該工場側操作装置７３０の動作を制御する操作プログラム７３３を有し、ベンダ側操作装置８１０は、ベンダ側操作装置８１０の動作を制御する操作プログラム８１３を有する。
【００１６】
管理プログラム７２２は、工場側操作装置７３０及びベンダ側操作装置８１０に対して選択的に産業用機器７１０の操作権限を与える。該操作権限がベンダ側操作装置８１０に与えられた際、ベンダ側操作装置８１０は、管理装置７２０を介して産業用機器７１０を遠隔的に操作することができる。したがって、ベンダ８００は、産業用機器７１０のパラメータを最適化したり、産業用機器７１０のトラブルの症状を解決したりすることができる。
【００１７】
このように、従来の遠隔操作システムでは、基板処理装置及び遠隔端末の各々が、対応する装置の動作を制御する動作制御ソフトウエアを有し、これらのソフトウエア間で通信を行うことによって基板処理装置の遠隔操作を可能としている。
【特許文献１】特開２００２−４３２９０号公報（第３図）
【特許文献２】特開２００２−１６３０１６号公報（第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかしながら、特許文献１におけるシーケンスの内容変更の際には、その都度、ソフトエンジニア以外には困難なソースコードの書き換えを行う必要があり、且つ当該ソースコードの書き換え後、シーケンスを実行するにはソースコードからコンパイル作業を経て生成されたプログラムにリンク作業を行って実行可能なソフトウエアを作成する必要がある。従って、頻繁なシーケンスの内容変更は、ソフトエンジニアの膨大な作業工数を必要とするという問題がある。また、該シーケンスの内容変更に伴ったインターロック及びリカバリ処理のシーケンスの内容変更は、その変更される箇所以外に広く影響する場合があり、ソフトエンジニアの膨大な作業工数を更に増大させるという問題がある。それ故、上述したメンテナンス用プログラムと同様、シーケンスに係るプログラムの作成に要する工数を削減することが求められている。
【００１９】
更に、特許文献２の遠隔操作システムでは、互いに仕様の異なる２種類の動作制御ソフトウエアが存在するため、ソフトウエアを作成するための作業工数が膨大なものとなり、また、一方のソフトウエアをバージョンアップすると、他方のソフトウエアをバージョンアップする必要があるため、ソフトウエアの管理工数も膨大なものとなるという問題がある。
【００２０】
本発明の目的は、ソフトエンジニアの膨大な作業工数を低減することができる基板処理システム、基板処理方法、及び該方法を実行するプログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記目的を達成するために、請求項１記載の基板処理システムは、基板処理装置が有する複数のデバイスの動作によって基板に複数の工程からなる処理を施す基板処理システムにおいて、前記デバイスの所定の動作を表すコマンドを記憶する記憶部と、前記複数の工程の各々に対応して前記記憶されたコマンドからマクロファイルを生成すると共に前記生成されたマクロファイルが組み合わされたプロセスシーケンスマクロを生成する生成部と、前記プロセスシーケンスマクロを実行する実行部とを備えることを特徴とする。
【００２２】
請求項２の基板処理システムは、請求項１記載の基板処理システムにおいて、前記生成部は、ユーザーインターフェイスを備えることを特徴とする。
【００２３】
請求項３の基板処理システムは、請求項１又は２記載の基板処理システムにおいて、前記コマンドは、ハードコードに変換されていることを特徴とする。
【００２４】
請求項４の基板処理システムは、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板処理システムにおいて、前記生成されたマクロファイルを記憶する他の記憶部を備えることを特徴とする。
【００２５】
請求項５の基板処理システムは、請求項４記載の基板処理システムにおいて、前記他の記憶部は、前記記憶部と同じであることを特徴とする。
【００２６】
請求項６の基板処理システムは、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の基板処理システムにおいて、前記マクロファイルを外部機器に送出し、且つ前記外部機器から前記マクロファイルを受領する通信部を備えることを特徴とする。
【００２７】
請求項７の基板処理システムは、請求項６記載の基板処理システムにおいて、前記マクロファイルにおけるシーケンスが正常であるか否かを検証する検証部を備えることを特徴とする。
【００２８】
請求項８の基板処理システムは、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の基板処理システムにおいて、前記記憶部は、更に、前記マクロファイルに対応した前記デバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶し、前記生成部は前記データファイルを生成し、前記実行部は前記生成されたデータファイルに基づいて前記デバイスの所定の動作の制御を実行することを特徴とする。
【００２９】
請求項９の基板処理システムは、請求項８記載の基板処理システムにおいて、前記記憶部は、前記マクロファイルに対応した前記デバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶する更に他の記憶部を備えることを特徴とする。
【００３０】
請求項１０の基板処理システムは、請求項８又は９記載の基板処理システムにおいて、前記データファイルは、更に、前記デバイスの所定の動作の制御が実行されたことを警告する警告動作と、前記デバイスの所定の動作の制御に関連した他のデバイスの動作の制御とを定義することを特徴とする。
【００３１】
上記目的を達成するために、請求項１１記載の基板処理方法は、基板処理装置が有する複数のデバイスの動作によって基板に複数の工程からなる処理を施す基板処理方法において、前記デバイスの所定の動作を表すコマンドを記憶する記憶ステップと、前記複数の工程の各々に対応して前記記憶されたコマンドからマクロファイルを生成すると共に前記生成されたマクロファイルが組み合わされたプロセスシーケンスマクロを生成する生成ステップと、前記プロセスシーケンスマクロを実行する実行ステップとを有することを特徴とする。
【００３２】
請求項１２記載の基板処理方法は、請求項１１記載の基板処理方法において、前記記憶ステップは、更に、前記マクロファイルに対応した前記デバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶し、前記生成ステップは前記データファイルを生成し、前記実行ステップは前記生成されたデータファイルに基づいて前記デバイスの所定の動作の制御を実行することを特徴とする。
【００３３】
請求項１３記載の基板処理方法は、請求項１２記載の基板処理方法において、前記記憶ステップは、前記マクロファイルに対応した前記デバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶する更に他の記憶ステップを備えることを特徴とする。
【００３４】
請求項１４記載の基板処理方法は、請求項１２又は１３記載の基板処理方法において、前記データファイルは、更に、前記デバイスの所定の動作の制御が実行されたことを警告する警告動作と、前記デバイスの所定の動作の制御に関連した他のデバイスの動作の制御とを定義することを特徴とする。
【００３５】
上記目的を達成するために、請求項１５記載のプログラムは、基板処理装置が有する複数のデバイスの動作によって基板に複数の工程からなる処理を施す基板処理方法を実行するプログラムにおいて、前記デバイスの所定の動作を表すコマンドを記憶する記憶モジュールと、前記複数の工程の各々に対応して前記記憶されたコマンドからマクロファイルを生成すると共に前記生成されたマクロファイルが組み合わされたプロセスシーケンスマクロを生成する生成モジュールと、前記プロセスシーケンスマクロを実行する実行モジュールとをコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００３６】
請求項１６記載のプログラムは、請求項１５記載のプログラムにおいて、前記コマンドは、ハードコードに変換されていることを特徴とする。
【００３７】
請求項１７記載のプログラムは、請求項１５又は１６記載のプログラムにおいて、前記生成されたマクロファイルを記憶する他の記憶モジュールをコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００３８】
請求項１８記載のプログラムは、請求項１５乃至１７のいずれか１項に記載のプログラムにおいて、前記マクロファイルを外部機器に送出する送出モジュールと、前記外部機器から前記マクロファイルを受領する受領モジュールとをコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００３９】
請求項１９記載のプログラムは、請求項１８記載のプログラムにおいて、前記マクロファイルにおけるシーケンスが正常であるか否かを検証する検証モジュールをコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００４０】
請求項２０記載のプログラムは、請求項１５乃至１９のいずれか１項に記載のプログラムにおいて、前記記憶モジュールは、更に、前記マクロファイルに対応した前記デバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶し、前記生成モジュールは前記データファイルを生成し、前記実行モジュールは前記生成されたデータファイルに基づいて前記デバイスの所定の動作の制御を実行することを特徴とする。
【００４１】
請求項２１記載のプログラムは、請求項２０記載のプログラムにおいて、前記記憶モジュールは、前記マクロファイルに対応した前記デバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶する更に他の記憶モジュールを備えることを特徴とする。
【００４２】
請求項２２記載のプログラムは、請求項２０又は２１記載のプログラムにおいて、前記データファイルは、更に、前記デバイスの所定の動作の制御が実行されたことを警告する警告動作と、前記デバイスの所定の動作の制御に関連した他のデバイスの動作の制御とを定義することを特徴とする。
【００４３】
請求項２３記載のプログラムは、基板処理装置と、該基板処理装置の動作を制御するべくユーザの操作が入力される操作入力部を有する制御装置と、該基板処理装置から離れて配設され且つユーザの操作が入力される他の操作入力部を有する遠隔端末とを備える基板処理システムによって基板に所定の処理を施す基板処理方法を実行するプログラムにおいて、前記操作入力部の動作を制御する操作制御モジュールと、前記操作制御モジュールと同じ内容から成り且つ前記他の操作入力部の動作を制御する他の操作制御モジュールとをコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００４４】
請求項２４記載のプログラムは、請求項２３記載のプログラムにおいて、前記操作制御モジュールは、前記操作入力部及び前記他の操作入力部のいずれか一方における操作の入力を制限する入力制限モジュールを有することを特徴とする。
【００４５】
請求項２５記載のプログラムは、請求項２３又は２４記載のプログラムにおいて、前記操作制御モジュールは、ユーザの操作が入力されたとき、該操作の入力元を判別する入力元判別モジュールを有することを特徴とする。
【００４６】
請求項２６記載のプログラムは、基板処理装置と、該基板処理装置の動作を制御するべくユーザの操作が入力される操作入力部を有する制御装置と、該基板処理装置から離れて配設され且つユーザの操作が入力される他の操作入力部を有する遠隔端末とを備える基板処理システムによって基板に所定の処理を施す基板処理方法を実行するプログラムにおいて、前記操作入力部に入力可能な操作項目を表示する表示モジュールと、前記操作項目を前記他の入力操作部に表示させ且つ前記他の入力操作部への入力を前記入力操作部への入力とみなす遠隔入力モジュールとをコンピュータに実行させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００４７】
以上詳細に説明したように、請求項１記載の基板処理システム、請求項１１記載の基板処理方法、及び請求項１５記載のプログラムによれば、デバイスの所定の動作を表すコマンドが記憶され、複数の工程の各々に対応して記憶されたコマンドからマクロファイルが生成されると共に生成されたマクロファイルが組み合わされたプロセスシーケンスマクロが生成され、この生成されたプロセスシーケンスマクロが実行されるので、ユーザが、直接ソースコードの書き換えを行うことなく、記憶されたコマンドを使用してマクロファイルの内容を変更することによってシーケンスの内容変更を行うことができ、もってソフトエンジニアの膨大な作業工数を低減することができ、加えて、ソフトエンジニアの膨大な作業工数を必要とせずにプロセスのシーケンスの頻繁な内容変更を行うことができる。
【００４８】
請求項２記載の基板処理システムによれば、生成部はユーザーインターフェイスを備えるので、ユーザはマクロファイルの内容を容易に変更することができる。
【００４９】
請求項３記載の基板処理システム及び請求項１６記載のプログラムによれば、コマンドはハードコードに変換されているので、コマンドから生成されたマクロファイルが組み合わされたプロセスシーケンスマクロが実行される際に、コンパイル作業及びリンク作業を行う必要をなくすことができ、もって、ユーザの作業工数を確実に低減することができる。
【００５０】
請求項４記載の基板処理システム及び請求項１７記載のプログラムによれば、生成されたマクロファイルが記憶されるので、シーケンスの内容変更の際に、ユーザは既に生成されたマクロファイルを再使用でき、もって、ユーザの作業工数をより確実に低減することができる。
【００５１】
請求項５記載の基板処理システムによれば、他の記憶部は記憶部と同じであるので、当該基板処理システムの構成を簡素化できる。
【００５２】
請求項６記載の基板処理システム及び請求項１８記載のプログラムによれば、マクロファイルが外部機器に送出され、外部機器からマクロファイルが受領されるので、ユーザは外部機器においてマクロファイルの生成、又はその内容の変更を行うことができ、もってユーザの利便性を向上することができる。
【００５３】
請求項７記載の基板処理システム及び請求項１９記載のプログラムによれば、マクロファイルにおけるシーケンスが正常であるか否かが検証されるので、当該マクロファイルを有するプロセスシーケンスマクロを実行する際に、プロセスエラーの発生を未然に防止することができ、もって作業効率の向上を図ることができる。
【００５４】
請求項８記載の基板処理システム、請求項１２記載の基板処理方法、及び請求項２０記載のプログラムによれば、マクロファイルに対応したデバイスの所定の動作の制御を定義するデータファイルを記憶し、データファイルを生成し、生成されたデータファイルに基づいて前記デバイスの所定の動作の制御を実行するので、ユーザが、直接ソースコードの書き換えを行うことなく、データファイルを使用して該デバイスの所定の動作の制御内容を変更することができる。
【００５５】
請求項１０記載の基板処理システム、請求項１４記載の基板処理方法、及び請求項２２記載のプログラムによれば、データファイルは、更に、デバイスの所定の動作の制御が実行されたことを警告する警告動作と、デバイスの所定の動作の制御に関連した他のデバイスの動作の制御とを定義するので、ユーザが、直接ソースコードの書き換えを行うことなく、データファイルを使用して、該デバイスの所定の動作の制御に対応した警告内容と、該デバイスの所定の動作の制御に応じた他のデバイスの動作の制御内容とを変更することができる。
【００５６】
請求項２３記載のプログラムによれば、操作制御モジュールにより操作入力部の動作を制御し、該操作制御モジュールと同じ内容から成り且つ他の操作制御モジュールにより他の操作入力部の動作を制御するので、操作入力部及び他の操作入力部の動作を同じ内容のソフトウエアで制御することができ、もってソフトエンジニアの膨大な作業工数を低減することができ、加えて、基板処理装置及び遠隔端末の動作を制御するソフトウエアの作成工数及び管理工数を低減することができる。
【００５７】
請求項２４記載のプログラムによれば、入力制限モジュールにより操作入力部及び他の操作入力部のいずれか一方における操作の入力を制限するので、操作入力部における操作の入力と他の操作入力部における操作の入力との重畳を防止することができ、もって基板処理装置の操作を円滑に行うことができる。
【００５８】
請求項２５記載のプログラムによれば、入力元判別モジュールにより、ユーザの操作が入力されたときに該操作の入力元を判別するので、基板処理装置の目視を必要とする操作の他の操作入力部における入力を防止でき、基板処理システムにおける基板処理の安全性を高めることができる。
【００５９】
請求項２６記載のプログラムによれば、表示モジュールにより操作入力部に入力可能な操作項目を表示し、遠隔入力モジュールにより、操作項目を他の入力操作部に表示させ且つ他の入力操作部への入力を入力操作部への入力とみなすので、遠隔端末の動作を制御するソフトウエアを廃止することができ、もって基板処理装置及び遠隔端末の動作を制御するソフトウエアの作成工数及び管理工数を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６０】
以下、本発明の実施の形態に係る基板処理システムについて詳述する。
【００６１】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。
【００６２】
図１において、基板処理システム１００は、従来のマグネトロン方式平行平板基板処理装置と同様の構成を有する基板処理装置１０１と、該基板処理装置１０１を制御する基板処理制御装置１０２と、後述するコマンドや基板処理装置１０１のインターロックに関連するデータファイルを記憶するサーバ１０３（記憶部）と、キーボードやマウスなどの入力デバイスを有するパーソナルコンピュータ（以下「ＰＣ」という。）１０４（外部機器）とを備え、基板処理制御装置１０２は、基板処理装置１０１、サーバ１０３及びＰＣ１０４の各々と有線又は無線によって接続されている。
【００６３】
基板処理制御装置１０２は、サーバ１０３に記憶されたコマンドから後述するマクロファイルを作成したり、サーバ１０３に記憶されたデータファイルを作成するためのワーキングエリアであるＲＡＭ１０５及びタッチパネルセンサ機能を有するモニタ等のユーザーインターフェイス１０６から成るマクロファイル編集部１０７（生成部）と、該マクロファイル編集部１０７で作成されたマクロファイルが組み合わされた後述するプロセスシーケンスマクロ、及びデータファイルを実行するＣＰＵ等から成るエクスキュータ（executor）１０８（実行部）と、ＴＣＰ／ＩＰ等によってサーバ１０３とのデータ通信を行うサーバ通信部１０９と、ＰＣ１０４と同様にＴＣＰ／ＩＰ等によってデータ通信を行うＰＣ通信部１１０とを備える。尚、基板処理装置１０１の構成は、基板処理装置５００の構成と同じであるので、その詳細な説明は省略する。
【００６４】
次に、サーバ１０３に記憶されるコマンド、コマンドから作成されるマクロファイル及び該マクロファイルが組み合わされたプロセスシーケンスマクロについて説明する。
【００６５】
一般に、基板処理装置における半導体ウエハＷのエッチング処理は複数の工程に分割（プロファイル化）することができる。
【００６６】
図２は、図１の基板処理システムにおける基板のエッチング処理を複数の工程に分割した例を示す図である。
【００６７】
図２において、半導体ウエハＷのエッチング処理は、順に、搬入準備工程、搬入工程、プロセス準備工程、プロセス第１安定化工程、プロセス第１維持工程、プロセス第２安定化工程、プロセス第２維持工程、プロセス終点工程、プロセス終了工程、第１ポストプロセス工程、第２ポストプロセス工程、後処理工程、搬出工程、及び静電除去工程の１４工程に分割される。
【００６８】
搬入準備工程は、半導体ウエハＷの搬入準備開始から搬入開始までの間における処理を実行する工程であり、搬入工程は、半導体ウエハＷを搬出入口から基板処理装置内へ搬入してＥＳＣ上に載置する工程であり、プロセス準備工程は、半導体ウエハＷのＥＳＣ上への載置から所望のエッチング処理に対応したレシピの実行開始までの間における処理を実行する工程である。プロセス第１安定化工程は、基板処理装置内の温度、圧力、ガス流量等をエッチング処理可能な状態に安定化させる工程であり、プロセス第１維持工程は、安定化された基板処理装置内の温度、圧力、ガス流量等を維持して半導体ウエハＷにエッチング処理を施す工程である。プロセス第２安定化工程は、複数のエッチング処理工程が存在する場合に、プロセス第２維持工程に備え、基板処理装置内の温度、圧力、ガス流量等をエッチング処理可能な状態に安定化させる工程であり、プロセス第２維持工程は、複数のエッチング処理工程が存在する場合に、安定化された基板処理装置内の温度、圧力、ガス流量等を維持して半導体ウエハＷにエッチング処理を施す工程である。プロセス終点工程は、半導体ウエハＷのエッチング処理状況からプロセスの終了を検知する工程であり、プロセス終了工程は、レシピの実行を終了する工程である。第１ポストプロセス工程は、半導体ウエハＷの裏面を真空引きする工程であり、第２ポストプロセス工程は、ＥＳＣをオフにして半導体ウエハＷの静電チャックをＯＦＦにする工程であり、後処理工程は、静電チャックの解除後、半導体ウエハＷの基板処理装置内からの搬出までの間における処理を実行する工程である。搬出工程は、半導体ウエハＷを基板処理装置内から搬出する工程であり、静電除去工程は、ＥＳＣの静電除去開始からエッチング処理終了までの間における処理を実行する工程である。
【００６９】
マクロファイルは、プロセス終了工程を除く１３の工程の各々について１つずつ設定される。各マクロファイルは、各工程におけるシーケンス動作を示し、その内容はソースコードではなく、後述するようにコマンドを使用して簡潔に記述されている。ここで、マクロファイルとは、実行されるコマンドが羅列して入力されているテキストファイルのことであり、一般的には、単純データ構造体の表示プロセスを自動化するときに使用される。
【００７０】
また、コマンドとは、各デバイスの動作を定義する命令文であって、例えば、ハードコードに変換されたシーケンス動作のソースコードのうち、当該デバイスの動作に該当する部分であり、シーケンス動作のソースコードから外出しされた部分である。例えば、ＥＳＣの静電チャックをＯＮにする操作や下部電極への高周波電流の供給をＯＮにする操作等に該当するソースコードであり、各デバイス毎に、当該デバイス所定の動作がコマンドとして定義される。
【００７１】
そして、搬入準備工程に対応してPre−Wafer（ＰＷ）マクロファイルが設定され、搬入工程に対応して搬入用（ＴＩ）マクロファイルが設定される。また、プロセス準備工程に対応してPre-Process（ＰＲ）マクロファイルが設定され、プロセス第１安定化工程、プロセス第１維持工程、プロセス第２安定化工程、プロセス第２維持工程及びプロセス終点工程の各々に対応してStep（ＳＰ１〜ＳＰ５）マクロファイルが設定される。更に、第１ポストプロセス工程に対応してウエハ真空引き（Ｔ１）マクロファイルが設定され、第２ポストプロセス工程に対応してチャックOFF（Ｔ２）マクロファイルが設定される。また、後処理工程に対応して後処理（ＰＯ）マクロファイルが設定され、搬出工程に対応して搬出用マクロ（ＴＯ）マクロファイルが設定され、静電除去工程に対応してAfter−Wafer−Process（ＡＰ）マクロファイルが設定される。
【００７２】
図３は、図１の基板処理システムにおけるプロセスシーケンスマクロの一部を示す図である。
【００７３】
図３に示すように、プロセスシーケンスマクロの一部であるＴＩマクロファイルでは、「<Command Name = "A" Category = "B" Target = "C" Type = "D"/>」等で表されるコマンドが複数列挙されている。このコマンドにおける「Name」ではコマンドの名前が定義され、「Target」では制御されるデバイスが指定され、「Category」では「Target」で指定されたデバイスの動作が指定され、「Type」では当該コマンドの処理内容の属性が指定される。例えば、「<Command Name = "HeGasVacuumStart" Category = "PREPROCESS-VACUUM" Target = "HeGas" Type = "Device"/>」は、処理ガスであるヘリウム（He）ガスを基板処理装置内から吸引する動作であって、「HeGasVacuumStart」という名前の動作を実行するコマンドを表す。
【００７４】
従属コマンドである「<Follow Name = "E">/」は、従属先のコマンドの実行タイミングを指定する。例えば、「<Follow Name = "HeGasVacuumStart">/」は、従属先のコマンドを、名前が「HeGasVacuumStart」であるコマンドの後に実行することを表す。
【００７５】
また、他の従属コマンドである「<Argument Name = "F" Type = "G">/」は、従属先のコマンドで指定されたデバイス動作内容のパラメータを設定する。例えば、「<Argument Name = "Wafer backside pumping time before pressure control" Type = "ChamberParameter">/」は、パラメータの名前を「Wafer backside
pumping time before pressure control」とし、その内容を「ChamberParameter」を使用して設定することを表す。ここでは、パラメータの他にレシピ等も設定可能である。
【００７６】
そして、図３のＴＩマクロファイルは、複数列挙されたコマンドによって搬入工程におけるシーケンス動作を規定する。従って、マクロファイルにおけるコマンドを変更すれば、容易にシーケンス動作の内容変更を行うことができる。
【００７７】
また、上述したように、マクロファイルは、半導体ウエハＷのエッチング処理から分割された各工程について１つずつ設定されるため、ＰＷマクロファイル、ＴＩマクロファイル、ＰＲマクロファイル、Stepマクロファイル、Ｔ１マクロファイル、Ｔ２マクロファイル、ＰＯマクロファイル、ＴＯマクロファイル及びＡＰマクロファイルの順に組み合わされたマクロファイル群（マクロ）を実行することによって半導体ウエハＷのエッチング処理を実行することができる。このとき、当該組み合わされたマクロがプロセスシーケンスマクロとなる。
【００７８】
図１に戻り、基板処理システム１００では、サーバ１０３が、複数のコマンドを予め記憶し、サーバ通信部１０９が、マクロファイルの作成やその内容の変更の際に、ユーザによって指定されたコマンドをサーバ１０３からＲＡＭ１０５へ送信する。また、マクロファイル編集部１０７のＲＡＭ１０５により、ユーザーインターフェイス１０６を介して入力されたユーザの指示に従って、半導体ウエハＷのエッチング処理の各工程毎に複数のコマンドが列挙されたマクロファイルが生成される。
【００７９】
更に、ＲＡＭ１０５において、複数のコマンドが列挙されたマクロファイルが生成されると同時に、作成された複数のマクロファイルが統合されることにより、上位のマクロファイルとしてのプロセスシーケンスマクロが生成される。このプロセスシーケンスマクロは、ユーザーインターフェイス１０６を介して、後述する図６のタッチパネル（６２１,６３１）に表示される操作メニューリストに対応しており、ユーザが指でタッチパネル上の操作メニューリストを選択することにより実行される。このように、マクロファイルを階層化することで、単一で安定したインターフェイスを提供することができ、また、このインターフェイスにより配下のコマンドの様々なプロパティにもアクセス可能となる。さらに、複数のマクロファイルを統合することにより、マクロファイルの軽量化や、異なるシーケンス動作を示すマクロファイルを一括して実施することが可能となる。
【００８０】
エクスキュータ１０８は、作成されたプロセスシーケンスマクロを実行して基板処理装置１０１の各デバイスの動作を制御して半導体ウエハＷのエッチング処理を実行する。尚、作成されたプロセスシーケンスマクロもサーバ１０３等に記憶保持可能である。
【００８１】
ユーザーインターフェイス１０６は、そのモニタにおいてエッチング処理における複数の工程を選択的に表示し、更に、特定の工程が選択されたとき、特定の工程で使用可能なコマンドや特定の工程に対応したサーバ１０３等に記憶済みの既存のマクロファイルを選択的に表示する。そして、ユーザは、表示された工程やコマンドを選択することによってマクロファイルを生成し、または既存のマクロファイルを選択してその内容を変更し、これにより、シーケンス動作の内容変更を行う。
【００８２】
サーバ通信部１０９は、ＲＡＭ１０５においてマクロファイルが生成され、またはその内容が変更された後に、当該マクロファイルをサーバ１０３に送信し、また、マクロファイルの作成やその内容の変更の際に、サーバ１０３に記憶されたマクロファイルをＲＡＭ１０５へ送信する。
【００８３】
更に、ＰＣ通信部１１０は、マクロファイルの作成やその内容の変更の際に、ＲＡＭ１０５に存在するコマンドやマクロファイルをＰＣ１０４に送信し、また、ＰＣ１０４に存在するマクロファイルをＲＡＭ１０５に送信する。
【００８４】
また、エクスキュータ１０８（検証部）は、サーバ通信部１０９やＰＣ通信部１１０によってＲＡＭ１０５にマクロファイルが送信され、または、ＲＡＭ１０５においてマクロファイルが作成、若しくはその内容が変更されたとき、当該マクロファイルがエクスキュータ１０８によって実行可能か否かを検証する。
【００８５】
次に、図１の基板処理システムが実行する基板処理について説明する。
【００８６】
図４は、図１の基板処理システムが実行する基板処理のフローチャートである。
【００８７】
図４において、まず、ユーザーインターフェイス１０６は、そのモニタにおいてエッチング処理における複数の工程を選択的に表示し（ステップＳ４０１）、ユーザは、シーケンスの内容変更の対象となる工程を選択する（ステップＳ４０２）。
【００８８】
次いで、ユーザーインターフェイス１０６は、マクロファイルを新たに生成するか否かの選択肢をモニタに表示し、ユーザがマクロファイルを新たに生成する選択肢を選択したか否かを判別する（ステップＳ４０３）。
【００８９】
ステップＳ４０３の判別の結果、ユーザがマクロファイルを新たに生成する選択肢を選択したとき（ステップＳ４０３でＹＥＳ）、ユーザーインターフェイス１０６は、選択された工程において使用可能なコマンドをモニタに表示し（ステップＳ４０４）、ユーザは表示されたコマンドを選択し、且つ選択したコマンドを列挙することによってマクロファイルを生成する（ステップＳ４０５）。このとき、ユーザは、選択したコマンドの各々において、その名前を定義し、制御するデバイス、該デバイスの動作及び当該コマンドの処理内容の属性を指定し、必要に応じて当該コマンドに従属するコマンドを指定する。また、サーバ通信部１０９は、ハードコードに変換されたコマンドが予め記憶されているサーバ１０３からユーザが選択したコマンドをＲＡＭ１０５へ送信する。
【００９０】
ステップＳ４０３の判別の結果、ユーザがマクロファイルを新たに生成しない選択肢を選択したとき（ステップＳ４０３でＮＯ）、ユーザーインターフェイス１０６は、選択された工程に対応したサーバ１０３等に記憶済みの既存のマクロファイルを選択的に表示し（ステップＳ４０６）、ユーザは表示されたマクロファイルから所望のものを選択し（ステップＳ４０７）、選択したマクロファイルに列挙されたコマンドを変更することにより、マクロファイルの内容を変更する（ステップＳ４０８）。このときも、サーバ通信部１０９は、サーバ１０３からユーザが指定したコマンドをＲＡＭ１０５へ送信する。
【００９１】
次いで、サーバ通信部１０９は、ステップＳ４０５で生成されたマクロファイルやステップＳ４０８でその内容が変更されたマクロファイルをサーバ１０３等へ送信する（ステップＳ４０９）と共に、ユーザーインターフェイス１０６は、更にシーケンスの内容変更を継続するか否かの選択肢を表示し、ユーザが継続する旨の選択肢を選択したか否かを判別する（ステップＳ４１０）。
【００９２】
ステップＳ４１０の判別の結果、ユーザが継続する旨を選択したとき（ステップＳ４１０でＹＥＳ）、ステップＳ４０１に戻り、ユーザが継続しない旨を選択したとき（ステップＳ４１０でＮＯ）、エクスキュータ１０８は、ＲＡＭ１０５に存在する全てのマクロファイルが実行可能か否かを判別する（ステップＳ４１１）。
【００９３】
ステップＳ４１１の判別の結果、いずれかのマクロファイルが実行可能でないとき（ステップＳ４１１でＮＯ）、エクスキュータ１０８は、ユーザーインターフェイス１０６に実行不可能なマクロファイルをモニタに表示させ（ステップＳ４１２）、本処理を終了する。
【００９４】
ステップＳ４１１の判別の結果、全てのマクロファイルが実行可能なとき（ステップＳ４１１でＹＥＳ）、マクロファイルを対応する工程順に組み合わせてプロセスシーケンスマクロが作成され（ステップＳ４１３）、エクスキュータ１０８が、作成されたプロセスシーケンスマクロを実行して基板処理装置１０１の各デバイスの動作を制御して半導体ウエハＷのエッチング処理を実行し（ステップＳ４１４）、その後、本処理を終了する。
【００９５】
次に、エクスキュータ１０８によって実行される基板処理装置１０１のインターロック処理について説明する。尚、ここでいうインターロックとは、各行程間の動作を調整し、あるデバイスが適正な状態である場合にのみ他のデバイスを動作させる制御である。
【００９６】
上記所定のマクロファイルに対応したデバイスの所定の動作の制御（以下、「インターロックという」）が定義されたデータファイルは、ソースコードではなく、所定のデータ形式、例えば、Excel形式でＩＤ（識別子）を用いて簡潔に記述されており、サーバ１０３に記憶されている。このＩＤは、各デバイスのインターロックを定義する命令文又は条件文であって、例えば、ハードコードに変換されたシーケンス動作のソースコードのうち、当該デバイスの所定の動作の制御に該当する部分であり、上述したコマンドと同様、シーケンス動作のソースコードから外出しにされる。このデータファイルに基づいて、基板処理装置１０１の各デバイスの所定の動作に対するインターロックが定義される。
【００９７】
データファイルでは、更に、ＩＤを用いて、該デバイスのインターロックが実行されたことを警告する警告動作（以下、「アラーム」という）と、該デバイスのインターロックに関連した他のデバイスの動作の制御（以下、「リカバリ処理」という）とが定義される。
【００９８】
このデータファイルは、上記所定のマクロファイルに対応した複数のデバイスに対して夫々記述され、また、該複数のデバイスのうち、所定のデバイスの複数の動作に対して夫々記述される。このデータファイルに基づいて、基板処理装置１０１の各デバイスの所定の動作に対するインターロック処理としてのインターロック、警報動作、及びリカバリ処理が定義される。
【００９９】
基板処理システム１００では、サーバ１０３が複数のデータファイルを予め記憶し、サーバ通信部１０９が、データファイルの作成やその内容の変更の際に、ユーザによって指定されたデータファイルをサーバ１０３からＲＡＭ１０５へ送信する。また、ＲＡＭ１０５において、ユーザーインターフェイス１０６を介して入力されたユーザの指示に従って、上述のマクロファイル内の所定のデバイス毎にデータファイルが作成される。
【０１００】
ユーザーインターフェイス１０６は、ユーザによって指定された所定のデバイスに対応したデータファイルを表示する。ユーザは、ユーザーインターフェイス１０６に表示されたデータファイル内のＩＤを変更することによりシーケンスの内容変更を行う。
【０１０１】
マクロファイル編集部１０７は、ＲＡＭ１０５及びユーザーインターフェイス１０６によってデータファイルを生成し、エクスキュータ１０８がマクロファイル編集部１０７で生成された該データファイルを実行することにより、基板処理装置１０１のインターロック処理が実行される。
【０１０２】
図５は、図１のサーバ１０３に記憶されたデータファイルの一例を概略的に示す図である。ここでは、処理ガスであるヘリウム（He）ガスを基板処理装置１０１内から吸引するべく基板処理装置１０１に設けられた不図示の排気バルブ（以下、「BPC OUT バルブ（G82）」という）の動作に対するインターロック処理を例にとって説明する。
【０１０３】
図５において、まず、データファイルとしてのExcelシートの最左欄「抽象テーブル」は所定のデバイスの動作を示す列であり、ＩＤ「NMS＿ILT＿BPC＿OUT＿VLV2」はBPC OUTバルブ（G82）を開にすることを示す。続く「チェック項目」は、どのような条件が満たされたときに所定のデバイスの動作を実行するか、すなわち、インターロックを示す列であり、ＩＤ「BPC OUT バルブ(G82)オープン  インターロック、ウエハ有り＋ESC HV OFF, NMF＿ILF＿ESC＿HV＿OFF＿WAHER、ウエハ有り＋ESC VOLTAGE ZERO, NMS＿ILF＿ESC＿VOLT＿ZERO＿WAHER」は、半導体ウエハＷが下部電極に載置されており且つ高周波電源がＯＦＦであること、更に、半導体ウエハＷが下部電極に載置されており且つ高周波電源による電圧印加によって流れた電流が０であることを示す。
【０１０４】
続く「要因リスト」は、上述の「チェック項目」に入力されたＩＤに関連するインターロック、すなわち、リカバリ処理を示す列であり、例えば、半導体ウエハＷが下部電極に載置されるための条件や、高周波電源がＯＦＦであるための条件を示すＩＤが入力される。ここでは、説明を簡略化するために、チェック項目に関連するインターロックのＩＤは入力されていないものとする。
【０１０５】
更に、「エラーコード１」〜「エラーコード４」は、「抽象テーブル」に入力されたＩＤで示された所定のデバイスの動作が実行されなかった場合に警告する警告動作、すなわち、アラームを示す列であり、例えば、「エラーコード１」に入力されたＩＤ「NMS＿ERR＿BPC＿OUT＿VLV2」は、BPC OUTバルブ（G82）が開にならなかった場合にこの旨を通知することを示す。「エラーコード２」〜「エラーコード４」に入力された「TXT＿ERR＿BPC」、「TXT＿ERR＿OT＿VLV」、及び「TXT＿ERR＿OPEN」は、夫々、「エラーコード１」のテキストに埋め込むためのテキストのＩＤを示す。このように、実際の文字列をプログラムが認識できるＩＤで定義することにより警報動作が実行される。
【０１０６】
上記のように構成されたExcelシートに記述されたＩＤは、データファイルの保存フォーマットとしてのＣＳＶファイルに変換され、更に、ＣＳＶファイルからパラメータファイルに変換される。エクスキュータ１０８は、このパラメータファイルを読み込むことにより、BPC OUT バルブ（G82）を開にする際のインターロック処理を実行する。
【０１０７】
本実施の形態によれば、デバイスの動作を定義する命令であるコマンドを記憶し、エッチング処理から分割された複数の工程の各々に対応して、記憶されたコマンドからマクロファイルを生成すると共にマクロファイルが組み合わされたプロセスシーケンスマクロを生成し、生成されたマクロファイルが工程順に組み合わされたプロセスシーケンスマクロを実行するので、ユーザが、直接ソースコードの書き換えを行うことなく、コマンドを使用してマクロファイルの内容を変更することによってシーケンスの内容変更を行うことができ、もって、ソフトエンジニアの膨大な作業工数を必要とせずにプロセスのシーケンスの頻繁な内容変更を行うことができる。特に、マクロファイルの記述方法さえ取得できれば、ユーザはシーケンスの内容変更を行うことができるため、ユーザの利便性を向上できる。
【０１０８】
上述した基板処理システム１００では、マクロファイル編集部１０７がユーザーインターフェイス１０６を備えるので、ユーザは、マクロファイルの内容を容易に変更することができ、更に、コマンドはハードコードに変換されたシーケンス動作のソースコードであるので、エクスキュータ１０８がプロセスシーケンスマクロが実行される際に、コンパイル作業及びリンク作業を行う必要をなくすことができ、もって、ユーザの作業工数を確実に低減することができる。
【０１０９】
また、上述した基板処理システム１００では、マクロファイル編集部１０７において生成されたマクロファイルがサーバ１０３によって記憶されるので、シーケンスの内容変更の際に、ユーザは既に生成されたマクロファイルを再使用でき、もって、ユーザの作業工数をより確実に低減することができる。
【０１１０】
また、上述した基板処理システム１００では、ＰＣ１０４から受領したマクロファイルを含むＲＡＭ１０５に存在する全てのマクロファイルが実行可能であるか否かを検証（判別）するので、当該マクロファイルを有するプロセスシーケンスマクロを実行する際に、プロセスエラーの発生を未然に防止することができ、もって作業効率の向上を図ることができる。
【０１１１】
また、本実施の形態によれば、サーバ１０３がマクロファイルに対応したデバイスのインターロックを定義するデータファイルを記憶し、マクロファイル編集部１０７がデータファイルを生成し、エクスキュータ１０８が生成されたデータファイルに基づいてデバイスのインターロックを実行するので、ユーザが、直接ソースコードの書き換えを行うことなく、所定のデータ形式のデータファイルを使用してインターロックに関するシーケンスの変更を行うことができる。特に、新規デバイスの評価や、新規デバイスの基板処理装置１０１への不適合性をチェックする際に、ユーザは、データファイルの記述方法さえ習得すれば、インターロックの頻繁な内容変更を行うことができる。
【０１１２】
本実施の形態によれば、データファイルは、更に、デバイスのインターロックが実行されたことを警告するアラームと、該デバイスのインターロックに関連したリカバリ処理とを定義するので、ユーザが、直接ソースコードの書き換えを行うことなく、所定のデータ形式のデータファイルを使用して、デバイスのインターロックが実行されたことを警告するアラーム及び該デバイスのインターロックに関連したリカバリ処理の内容を変更することができる。また、これにより、ユーザが、直接ソースコードを解読することなく、デバイスのどのインターロックが実行されたときにどの警告が出されたかを容易に把握することができる。
【０１１３】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る基板処理システムについて詳述する。
【０１１４】
図６は、本発明の第２の実施の形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。
【０１１５】
図６において、基板処理システム６００は、半導体ウエハＷにエッチング処理を施すプラズマ処理装置６１０と、該プラズマ処理装置６１０の近傍に配設され且つプラズマ処理装置６１０を制御する制御装置６２０と、プラズマ処理装置６１０から隔離されて配設され且つ制御装置６２０を介してプラズマ処理装置６１０を遠隔操作する遠隔端末６３０と、制御装置６２０及び遠隔端末６３０を接続するイーサネット（登録商標）等のＬＡＮ（Local Area Network）６４０とから成る。
【０１１６】
制御装置６２０は、ユーザが所望の操作を入力するタッチパネル（操作入力部）６２１と、エッチング処理に使用するレシピや制御パラメータ（温度、圧力、ガスの種類及びガス流量、時間などの制御目標値）を格納する記憶部としてのＨＤＤ（Hard Disk Drive）６２２と、エッチング処理を制御する装置ソフトウエア（Equipment Software）６２３とを有し、該装置ソフトウエア６２３は、タッチパネル６２１の動作を制御するユーザインターフェース（User Interface）６２４と、後述するユーザの操作の入力元を判別する入力判別部（Facade）６２５（入力制限部、入力元判別部）と、ＨＤＤ６２２から読み出されたレシピや制御パラメータ、若しくは後述するユーザが選択した操作項目に基づいてプラズマ処理装置６１０を構成する複数のデバイスを作動させる機器コントローラ６２６とから成り、ユーザインターフェース６２４は、タッチパネル６２１及び入力判別部６２５と接続され、入力判別部６２５は、ＬＡＮ６４０を介して後述するリモートユーザインターフェイス６３２と接続され、更に、機器コントローラ６２６は、入力判別部６２５、ＨＤＤ６２２及びプラズマ処理装置６１０と接続される。
【０１１７】
ユーザインターフェイス６２４は、タッチパネル６２１に複数の操作項目から成る操作メニューリストを表示し、ユーザが、表示された操作メニューリストにおいて所望の操作項目を指等で触れたとき、該触れられた操作項目をユーザが選択した操作項目として入力判別部６２５を介して機器コントローラ６２６に送信する。
【０１１８】
ここで、タッチパネル６２１に表示される操作項目は、例えば、エッチング処理に使用するレシピ、制御パラメータの選択、内容編集、又は、軽度のトラブルによるプラズマ処理装置６１０の停止（アラーム）の解除等である。
【０１１９】
遠隔端末６３０は、ユーザが所望の操作を入力するタッチパネル（他の操作入力部）６３１と、タッチパネル６３１の動作を制御するリモートユーザインターフェイス６３２（他のソフトウエア）とを有し、リモートユーザインターフェイス６３２は、タッチパネル６３１に複数の操作項目から成る操作メニューリストを表示し、ユーザが、表示された操作メニューリストにおいて所望の操作項目を指等で触れたとき、該触れられた操作項目をユーザが選択した操作項目としてＬＡＮ６４０及び入力判別部６２５を介して機器コントローラ６２６に送信する。なお、遠隔端末６３０は市販のパーソナルコンピュータに置き換えることも可能である。
【０１２０】
入力判別部６２５は、ユーザが選択した操作項目を受信したとき、該受信した操作項目がユーザインターフェース６２４及びリモートユーザインターフェイス６３２のどちらによって送信されたかを判別し、ユーザによるプラズマ処理装置６１０の目視確認が必要な操作項目を受信した場合において、当該受信した操作項目がリモートユーザインターフェイス６３２から送信されたと判別すると、当該送信された操作項目を機器コントローラ６２６へ送信せず、ユーザインターフェース１２４から送信されたと判別すると、当該送信された操作項目を機器コントローラ６２６へ送信する。
【０１２１】
ここで、ユーザによるプラズマ処理装置６１０の目視確認が必要な操作項目とは、例えば、重度のトラブルに起因するプラズマ処理装置６１０の停止の解除や、大気中で行われる半導体ウエハＷの搬送処理に関するレシピの選択、若しくは内容編集が該当する。
【０１２２】
また、入力判別部６２５は、所定の場合、例えば、タッチパネル６２１及びタッチパネル６３１のいずれか一方において他のユーザがレシピを編集している場合、他方のタッチパネルにおいてユーザが当該レシピを編集するのを禁止する。
【０１２３】
ここで、リモートユーザインターフェイス６３２及びユーザインターフェース６２４は、開発ツール及び内容（コンテンツ）が共通である。すなわち、リモートユーザインターフェイス６３２及びユーザインターフェース６２４のソースコードは夫々、例えばＪａｖａ（登録商標）で記述され、夫々のソースコードの内容は同じである。このとき、制御装置６２０の及び遠隔端末６３０は、共にインタープリタ（例えば、Java（登録商標） Virtual Machine）を有することが必要である。また、ユーザインターフェース６２４やリモートユーザインターフェイス６３２が作動するＯＳ（Operation System）は、それらのソースコードがＪａｖａ（登録商標）で記述されているときは、特に制限されないが、例えば、ウィンドウス（登録商標）等の汎用性があるＯＳが使用されるのが好ましい。
【０１２４】
以上より、ユーザインターフェース６２４及びリモートユーザインターフェイス６３２は、開発ツール及び内容が共通であるので、タッチパネル６３１の表示パネルに表示される操作メニューリストは、タッチパネル６２１の表示パネルに表示される操作メニューリストと同じである。
【０１２５】
次に、図６における制御装置６２０が実行するプラズマ処理装置６１０の操作処理について説明する。
【０１２６】
図７は、図６における制御装置６２０が実行するプラズマ処理装置６１０の操作処理のフローチャートである。
【０１２７】
図７において、ユーザが、制御装置６２０や遠隔端末６３０に備えられるプラズマ処理装置操作開始スイッチ（不図示）をオンにすると、ユーザインターフェース６２４及びリモートユーザインターフェイス６３２が、タッチパネル６２１及びタッチパネル６３１に操作メニューリストを表示する（ステップＳ２０１）。
【０１２８】
次いで、ユーザが、タッチパネル６２１又はタッチパネル６３１において所望の操作項目を指で触れることによって選択すると、ユーザインターフェース６２４又はリモートユーザインターフェイス６３２は、ユーザが選択した操作項目を入力判別部６２５へ送信する（ステップＳ２０２）。
【０１２９】
そして、入力判別部６２５は、操作項目がリモートユーザインターフェイス６３２によって送信されたか否かを判別する（ステップＳ２０３）。
【０１３０】
ステップＳ２０３の判別の結果、操作項目がリモートユーザインターフェイス６３２によって送信されたと判別した場合（ステップＳ２０３でＹＥＳ）、入力判別部６２５は、更に、操作項目が、ユーザによるプラズマ処理装置６１０の目視確認が必要な操作項目か否かを判別する（ステップＳ２０４）。
【０１３１】
ステップＳ２０４の判別の結果、目視確認が必要な操作項目である場合（ステップＳ２０４でＹＥＳ）、本処理を終了し、目視確認が必要な操作項目でない場合（ステップＳ２０４でＮＯ）、入力判別部６２５は、操作項目を受信した時点において他のユーザがタッチパネル６２１を使用してプラズマ処理装置６１０を操作しているか否かを判別する（ステップＳ２０５）。
【０１３２】
ステップＳ２０５の判別の結果、他のユーザがプラズマ処理装置６１０を操作している場合（ステップＳ２０５でＹＥＳ）、入力判別部６２５はリモートユーザインターフェイス６３２に受信した操作項目が実行不可である旨を連絡し、リモートユーザインターフェイス６３２はタッチパネル６３１にプラズマ処理装置６１０の操作が不可である旨を表示した（ステップＳ２０６）後、本処理を終了する。
【０１３３】
ステップＳ２０３の判別の結果、操作項目がリモートユーザインターフェイス６３２によって送信されていないと判別した場合（ステップＳ２０３でＮＯ）、入力判別部６２５は、操作項目を受信した時点において他のユーザがタッチパネル６３１を使用してプラズマ処理装置６１０を操作しているか否かを判別する（ステップＳ２０７）。
【０１３４】
ステップＳ２０７の判別の結果、他のユーザがプラズマ処理装置６１０を操作している場合（ステップＳ２０７でＹＥＳ）、入力判別部６２５はユーザインターフェース６２４に受信した操作項目が実行不可である旨を連絡し、ユーザインターフェース６２４はタッチパネル６２１にプラズマ処理装置６１０の操作が不可である旨を表示した（ステップＳ２０８）後、本処理を終了する。
【０１３５】
ステップＳ２０５の判別、若しくは、ステップＳ２０７の判別の結果、他のユーザがプラズマ処理装置６１０を操作していない場合（ステップＳ２０５でＮＯ、若しくは、ステップＳ２０７でＮＯ）、入力判別部６２５は、受信した操作項目を機器コントローラ６２６に送信し（ステップＳ２０９）、機器コントローラ６２６は、受信した操作項目に基づいてプラズマ処理装置６１０を構成する複数のデバイスを作動させ（ステップＳ２１０）、その後、本処理を終了する。
【０１３６】
本実施の形態によれば、ユーザインターフェース６２４がタッチパネル６２１の動作を制御し、ユーザインターフェース６２４とソースコードが同じ内容から成るリモートユーザインターフェイス６３２がタッチパネル６３１の動作を制御するので、タッチパネル６２１及びタッチパネル６３１の動作を同じ内容のソフトウエアで制御することができ、もってソフトエンジニアの膨大な作業工数を低減することができ、加えて、プラズマ処理装置６１０及び遠隔端末６３０の動作を制御するソフトウエアの作成工数及び管理工数を低減することができる。
【０１３７】
上述した基板処理システム６００において、入力判別部６２５がタッチパネル６２１及びタッチパネル６３１のいずれか一方における操作の入力を制限するので、プラズマ処理装置６１０の操作、例えば、基板処理（プロセス）のレシピの編集の際、タッチパネル６２１における操作の入力と、タッチパネル６３１における操作の入力との重畳を防止することができ、もってプラズマ処理装置６１０の操作を円滑に行うことができる。
【０１３８】
また、入力判別部６２５が、ユーザの操作が入力されたときに該操作の入力元を判別するので、目視を必要とする操作のタッチパネル６３１における入力を防止でき、基板処理システム６００における基板処理の安全性を高めることができる。
【０１３９】
更に、入力判別部６２５とリモートユーザインターフェイス６３２とが、ＬＡＮ６４０によって接続されているので、制御装置６２０と遠隔端末６３０は、汎用プロトコル、例えば、ＴＣＰ／ＩＰによって通信することができ、もって、当該基板処理システム６００の構築を容易にすることができる。
【０１４０】
また、リモートユーザインターフェイス６３２が作動するＯＳには汎用性があるので、遠隔端末６３０の負担を軽減でき、もってユーザの操作の入力における利便性を向上することができると共に、遠隔端末６３０のユーザにおける新たな設備投資を防止することができる。
【０１４１】
また、タッチパネル６２１及びタッチパネル６３１に表示される操作メニューリストは共通なので、ユーザは、いずれのタッチパネルにおいて所望の操作を円滑に入力することができる。
【０１４２】
更に、ユーザインターフェース６２４及びリモートユーザインターフェイス６３２は、いずれか一方がバージョンアップされた際に、その旨を他方に送信してもよく、これにより、プラズマ処理装置６１０及び遠隔端末６３０の動作を制御するソフトウエアの管理工数を更に低減することができる。
【０１４３】
次に、本発明の第３の実施の形態に係る基板処理システムについて詳述する。
【０１４４】
図８は、本発明の第３の実施の形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。尚、本実施の形態に係る基板処理システムは、その構成、作用が上述した本第２の実施の形態に係る基板処理システムと基本的に同じであるので、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
【０１４５】
図８において、基板処理システム３００は、プラズマ処理装置６１０、制御装置６２０、遠隔端末６３０及びＬＡＮ６４０から成り、制御装置６２０は、装置ソフトウエア６２３に代わって他の装置ソフトウエア３２０を有し、該他の装置ソフトウエア３２０は、タッチパネル６２１の動作を制御するユーザインターフェース３２１と、後述するユーザの操作の入力元を判別する入力判別部（Facade）３２２と、後述するユーザが選択した操作項目等に基づいてプラズマ処理装置６１０を構成する複数のデバイスを作動させる機器コントローラ６２６と、後述するタッチパネル３３０における操作の入力をタッチパネル６２１における操作の入力とみなすリモートディスプレイ（Remote Display）３２３とから成り、ユーザインターフェース３２１は、タッチパネル６２１、入力判別部３２２及びリモートディスプレイ３２３と接続され、リモートディスプレイ３２３は、ＬＡＮ６４０を介してタッチパネル３３０と接続され、更に、機器コントローラ６２６は、入力判別部３２２、ＨＤＤ６２２及びプラズマ処理装置６１０と接続される。
【０１４６】
ユーザインターフェース３２１は、タッチパネル６２１に複数の操作項目から成る操作メニューリストを表示し、ユーザが、表示された操作メニューリストにおいて所望の操作項目を指等で触れたとき、該触れられた操作項目をユーザが選択した操作項目として入力判別部３２２を介して機器コントローラ６２６に送信する。ここで、ユーザインターフェース３２１がタッチパネル６２１に表示する操作メニューリストは、ユーザインターフェース６２４が表示するものと同じである。
【０１４７】
また、遠隔端末６３０は、ユーザが所望の操作を入力するタッチパネル３３０を有する。なお、遠隔端末６３０は市販のパーソナルコンピュータに置き換えることも可能である。
【０１４８】
リモートディスプレイ３２３は、ＶＮＣ（Virtual Network Computing）を実行可能なソフトウエアであり、タッチパネル３３０における所定の領域（不図示）をタッチパネル６２１とみなし、ユーザインターフェース３２１がタッチパネル６２１に表示する内容をそのままタッチパネル３３０における所定の領域に表示し、該所定の領域への入力をタッチパネル６２１への入力とみなす。
【０１４９】
従って、リモートディスプレイ３２３は、上記所定の領域にタッチパネル６２１に表示される操作メニューリストをそのまま表示し、ユーザが、上記所定の領域に表示された操作メニューリストにおいて所望の操作項目を指等で触れたとき、該触れられた操作項目をユーザが選択した操作項目としてユーザインターフェース３２１に送信する。このとき、ユーザインターフェース３２１は、受信した操作項目をユーザが選択した操作項目として入力判別部３２２を介して機器コントローラ６２６に送信する。
【０１５０】
また、入力判別部３２２は、ユーザが選択した操作項目が送信されたとき、該送信された操作項目がタッチパネル６２１及びタッチパネル３３０における所定の領域のどちらにおいて入力されたかを判別し、ユーザによるプラズマ処理装置６１０の目視確認が必要な操作項目が送信された場合において、当該送信された操作項目が所定の領域において入力されたと判別すると、当該送信された操作項目を機器コントローラ６２６へ送信せず、タッチパネル６２１において入力されたと判別すると、当該送信された操作項目を機器コントローラ６２６へ送信する。
【０１５１】
また、入力判別部３２２は、所定の場合、例えば、タッチパネル６２１及びタッチパネル３３０における所定の領域のいずれか一方においてユーザがレシピを編集している場合、他方のタッチパネルにおいて他のユーザが当該レシピを編集するのを禁止する。
【０１５２】
次に、図８における制御装置６２０が実行するプラズマ処理装置６１０の操作処理について説明する。
【０１５３】
図９は、図８における制御装置６２０が実行するプラズマ処理装置６１０の操作処理のフローチャートである。
【０１５４】
図９において、ユーザが、制御装置６２０や遠隔端末６３０に備えられるプラズマ処理装置操作開始スイッチ（不図示）をオンにすると、ユーザインターフェース３２１がタッチパネル６２１に操作メニューリストを表示し、リモートディスプレイ３２３がタッチパネル３３０における所定の領域に同じ操作メニューリストを表示する（ステップＳ９０１）。
【０１５５】
次いで、ユーザが、タッチパネル６２１において所望の操作項目を指で触れることによって選択すると、ユーザインターフェース３２１は、ユーザが選択した操作項目を入力判別部３２２へ送信する一方、ユーザが、タッチパネル３３０における所定の領域において所望の操作項目を指で触れることによって選択すると、リモートディスプレイ３２３は、ユーザが選択した操作項目をユーザインターフェース３２１へ送信し、且つユーザインターフェース３２１は受信した操作項目を入力判別部３２２へ送信する（ステップＳ９０２）。
【０１５６】
そして、入力判別部３２２は、操作項目がタッチパネル６２１において入力されたか否かを判別する（ステップＳ９０３）。
【０１５７】
ステップＳ９０３の判別の結果、操作項目がタッチパネル６２１において入力されていないと判別した場合（ステップＳ９０３でＮＯ）、入力判別部３２２は、更に、操作項目がユーザによるプラズマ処理装置６１０の目視確認が必要な操作項目か否かを判別する（ステップＳ９０４）。
【０１５８】
ステップＳ９０４の判別の結果、目視確認が必要な操作項目である場合（ステップＳ９０４でＹＥＳ）、本処理を終了し、目視確認が必要な操作項目でない場合（ステップＳ９０４でＮＯ）、入力判別部３２２は、送信された操作項目を受信した時点において他のユーザがタッチパネル６２１を使用してプラズマ処理装置６１０を操作しているか否かを判別する（ステップＳ９０５）。
【０１５９】
ステップＳ９０５の判別の結果、他のユーザがプラズマ処理装置６１０を操作している場合（ステップＳ９０５でＹＥＳ）、入力判別部３２２は、リモートディスプレイ３２３に受信した操作項目が実行不可である旨を連絡し、リモートディスプレイ３２３は所定の領域にプラズマ処理装置６１０の操作が不可である旨を表示した（ステップＳ９０６）後、本処理を終了する。
【０１６０】
ステップＳ９０３の判別の結果、操作項目がタッチパネル６２１において入力されていると判別した場合（ステップＳ９０３でＹＥＳ）、入力判別部３２２は、操作項目を受信した時点において他のユーザがタッチパネル３３０における所定の領域を使用してプラズマ処理装置６１０を操作しているか否かを判別する（ステップＳ９０７）。
【０１６１】
ステップＳ９０７の判別の結果、他のユーザがプラズマ処理装置６１０を操作している場合（ステップＳ９０７でＹＥＳ）、入力判別部３２２はユーザインターフェース３２１に受信した操作項目が実行不可である旨を連絡し、ユーザインターフェース３２１はタッチパネル６２１にプラズマ処理装置６１０の操作が不可である旨を表示した（ステップＳ９０８）後、本処理を終了する。
【０１６２】
ステップＳ９０５の判別、若しくは、ステップＳ９０７の判別の結果、他のユーザがプラズマ処理装置６１０を操作していない場合（ステップＳ９０５でＮＯ、若しくは、ステップＳ９０７でＮＯ）、入力判別部３２２は、操作項目を機器コントローラ６２６に送信し（ステップＳ９０９）、機器コントローラ６２６は、受信した操作項目に基づいてプラズマ処理装置６１０を構成する複数のデバイスを作動させ（ステップＳ９１０）、その後、本処理を終了する。
【０１６３】
本実施の形態によれば、ユーザインターフェース３２１がタッチパネル６２１に入力可能な操作項目をタッチパネル３３０に表示し、リモートディスプレイ３２３が、該操作項目をタッチパネル６２１に表示させ且つタッチパネル３３０への入力をタッチパネル６２１への入力とみなすので、タッチパネル３３０の動作を制御するソフトウエアを廃止することができ、もってプラズマ処理装置６１０及び遠隔端末６３０の動作を制御するソフトウエアの作成工数及び管理工数を低減することができる。
【０１６４】
上述した基板処理システム６００及び基板処理システム３００では、プラズマ処理装置６１０が半導体ウエハＷにエッチング処理を施すので、ユーザは遠隔端末６３０を使用して半導体ウエハＷにエッチング処理を施すことができる。
【０１６５】
本第１の実施の形態では、基板処理システム１００として、マクロファイルの作成やその内容の変更は全てＲＡＭ１０５で行われる例について説明したが、マクロファイルの作成やその内容の変更が行われる場所はＲＡＭ１０５に限定されない。例えば、ＰＣ通信部１１０は、マクロファイルの作成やその内容の変更の際に、ＲＡＭ１０５に存在するコマンドやマクロファイルをＰＣ１０４に送信し、ユーザは、ＰＣ１０４のキーボードやマウスを使用して、ＰＣ１０４においてマクロファイルを作成し、またはその内容を変更し、ＰＣ通信部１１０は、ＰＣ１０４で作成、若しくはその内容が変更されたマクロファイルをＲＡＭ１０５に送信する。これにより、ユーザはＰＣ１０４においてマクロファイルの生成、又はその内容の変更を行うことができ、もってユーザの利便性を向上することができる。また、ユーザは、データファイルの生成又はその内容の変更をＰＣ１０４で行うことができるのはいうまでもない。
【０１６６】
また、上述した基板処理システム１００では、コマンド、マクロファイル及びプロセスシーケンスマクロがサーバ１０３に記憶される例について説明したが、コマンド、マクロファイル及びプロセスシーケンスマクロは全てサーバ１０３に記憶される必要はなく、例えば、コマンドはサーバ１０３に記憶されると共に、マクロファイル及びプロセスシーケンスマクロはサーバ１０３とは別の外付けのＨＤＤ等（他の記憶部）に記憶されてもよい。また、データファイルはサーバ１０３とは別の外付けのＨＤＤ等（更に他の記憶部）に記憶されてもよい。これにより、システムの故障等に起因するデータ消去のリスクを分散することができる。但し、基板処理システム１００の構成における簡素化の観点からはコマンド、マクロファイル、プロセスシーケンスマクロ、及びデータファイルが全てサーバ１０３に記憶されるのがよい。
【０１６７】
更に、各工程に対応するマクロファイルは夫々１つだけ記憶されるのではなく、１つの工程に対応するマクロファイルが複数記憶されていてもよい。これにより、ユーザは、既存のマクロファイルの内容変更を行う際、記憶された複数のマクロファイルから所望のシーケンス動作に最も類似したマクロファイルを選択し、選択したマクロファイルのコマンドを変更することができ、もってユーザの作業効率を向上することができる。
【０１６８】
また、本第１の実施の形態では、半導体ウエハＷのエッチング処理の各工程毎に複数のコマンドが列挙されたマクロファイルが生成されると同時に、作成された複数のマクロファイルが統合されることにより、上位のマクロファイルとしてのプロセスシーケンスマクロが生成されるが、これに限るものではなく、複数のコマンドが列挙されたマクロファイルが生成され、更に、作成された複数のマクロファイルが処理順にソートされることにより、上位のマクロファイルとしてのプロセスシーケンスマクロが生成されてもよい。このように、マクロファイルを階層化することで、単一で安定したインターフェイスを提供することができ、また、このインターフェイスにより配下のコマンドの様々なプロパティにもアクセス可能となる。更に、複数のマクロファイルを処理順にソートすることにより、マクロファイルのソートや組み合わせを容易に行うことができる。
【０１６９】
また、上述した基板処理システム１００では、基板処理装置１０１と基板処理制御装置１０２とが別体である例について説明したが、基板処理装置１０１と基板処理制御装置１０２とは別体である必要なく、例えば、基板処理装置１０１が基板処理制御装置１０２に相当する構成を備えていてもよい。
【０１７０】
基板処理システム１００で作成されるマクロファイルは、汎用の観点からＸＭＬ形式のファイルであるのがよいが、これに限られるものでなく、コマンドの列挙によって記載可能な形式であればいかなる形式でもよい。
【０１７１】
基板処理システム１００で作成されるデータファイルは、Excel形式でＩＤを用いて簡潔に記述されているが、これに限るものではなく、一般的なＰＣソフトウェアで閲覧可能なデータフォーマットであってもよい。これにより、外部のコンピュータや他の基板処理装置で編集したデータファイルを装置内に取り込むことができ、加えて、定型のフォーマットの仕様書、例えば、基板処理装置１０１のインターロックが記載された仕様書を、データファイルを用いて容易に作成することができる。
【０１７２】
また、本第２の実施の形態及び本第３の実施の形態において、上述した基板処理システム６００及び基板処理システム３００では、入力判別部６２５，３２２は、選択した操作項目の目視確認の必要性や他のユーザの存在に基づいてユーザの操作の入力を制限したが、ユーザの操作スキルや職位に基づいて入力を制限してもよく、これにより、基板処理システムのセキュリティーを向上できると共に、誤操作による事故の未然防止ができる。
【０１７３】
更に、上述した基板処理システム６００及び基板処理システム３００では、プラズマ処理装置６１０と制御装置６２０とが別体であるが、これらは一体化されてもよく、これにより、基板処理システムの規模をコンパクトにすることができる。
【０１７４】
また、リモートユーザインターフェイス６３２やリモートディスプレイ３２３によってプラズマ処理装置６１０の状況を遠隔端末６３０の操作パネルにリアルタイムで表示することができるため、ユーザはプラズマ処理装置６１０から隔離された場所においてプラズマ処理装置６１０のトラブルシューティングが可能となる。
【０１７５】
上述した基板処理システム６００及び基板処理システム３００では、操作パネルに表示される操作メニューリストを指で触れて操作項目を選択する例について説明したが、操作項目は他の方法、例えば、マウス等のポインティングデバイスのポインティングによって選択してもよく、また、所望のレシピ名や制御パラメータの名前をキーボードによって入力することによって選択してもよい。また、スタイラス等の電子ペンを用いて、該電子ペンを操作パネルにペンダウンすることにより操作項目を選択してもよい。
【０１７６】
また、上述した基板処理システム６００及び基板処理システム３００では、１つの制御装置６２０に１つの遠隔端末６３０が接続される例について説明したが、制御装置６２０に接続される遠隔端末６３０の数に特に制限はなく、例えば、複数の制御装置６２０と複数の遠隔端末６３０とがインターネット等の公衆網によって接続されてもよく、これにより、例えば、ユーザは１箇所の遠隔端末６３０から複数のプラズマ処理装置６１０を操作することができる。
【０１７７】
また、上述したプラズマ処理装置６１０はエッチング処理装置であるが、この他、露光装置、ＣＶＤ装置、エッチング装置、ＣＭＰ装置、レジスト塗布装置、現像装置、アッシング装置及び検査装置等の半導体製造装置であってもよい。
【０１７８】
また、本発明の目的は、上述した本発明の実施の形態における機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを、基板処理システム１００や基板処理システム６００、若しくは基板処理制御装置１０２や制御装置６２０における演算部（ＣＰＵやＭＰＵ等）が実行することによっても達成される。この場合、プログラムコード自体が本発明を構成することになる。
【０１７９】
当該プログラムコードを演算部に供給するための記憶媒体としては、例えば、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭ等を用いることができる。
【０１８０】
また、演算部がプログラムコードを実行することにより、上記実施の形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施の形態における機能が実現される場合も含まれる。
【０１８１】
更に、サーバ１０３とＰＣ１０４とが一体化される場合、若しくは、ＰＣ１０４がサーバ１０３を兼用している場合も含まれる。
【０１８２】
また、基板処理システム１００及び基板処理システム６００で実行される基板処理として、エッチング処理を行う例について説明したが、基板処理システム１００及び基板処理システム６００で実行される基板処理はエッチング処理に限られず、ＣＶＤ処理、アッシング処理、イオンドープ処理、若しくは、スパッタ処理等であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１８３】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。
【図２】図１の基板処理システムにおける基板のエッチング処理を複数の工程に分割した例を示す図である。
【図３】図１の基板処理システムにおけるプロセスシーケンスマクロの一部を示す図である。
【図４】図１の基板処理システムが実行する基板処理のフローチャートである。
【図５】図１のサーバに記憶されたデータファイルの一例を概略的に示す図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。
【図７】図６における制御装置が実行するプラズマ処理装置の操作処理のフローチャートである。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。
【図９】図８における制御装置が実行するプラズマ処理装置の操作処理のフローチャートである。
【図１０】従来の基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図１１】従来の遠隔操作システムの概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【０１８４】
１００  基板処理システム
１０１  基板処理装置
１０２  基板処理制御装置
１０３  サーバ
１０４  ＰＣ
１０６  ユーザーインターフェイス
１０７  マクロファイル編集部
１０８  エクスキュータ
１０９  サーバ通信部
１１０  ＰＣ通信部
【図１】
2004336024.tif 000003
【図２】
2004336024.tif 000004
【図３】
2004336024.tif 000005
【図４】
2004336024.tif 000006
【図５】
2004336024.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004336024.tif 000009
【図８】
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【図９】
2004336024.tif 000011
【図１０】
2004336024.tif 000012
【図１１】
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