(57)【要約】【課題】密閉弁の気密度を常時確認でき、気密度の担保がなされていない場合の認識が迅速かつ容易にできる気密度管理システムおよび気密度管理方法を提供する。【解決手段】気体流通路を気密ダンパ１の羽根１４ａ，１４ｂにより密閉するともに密閉空間１９を形成する。密閉空間１９には真空ポンプ３を接続し、密閉空間を一定の負圧状態に維持する。そして、密閉空間１９に真空スイッチ４を介して真空異常ランプ７および真空ゲージ５を接続し、密閉空間１９内の圧力状態により密閉空間１９の密閉状態を検知し、気密度を管理する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
空間の間の気体流通路を密閉する気密室を備えた気密弁と、上記気密室を一定の圧力に調整維持する圧力調整手段と、上記気密室の圧力の変化を検知し気密室からの気体の漏洩有無を表示する圧力検知表示手段とを備えたことを特徴とする気密度管理システム。
【請求項２】
複数の空間をつなぐ複数の気体流通路にそれぞれ配置され各気体流通路を独立的に密閉する気密室を備えた複数の密閉弁と、上記気密室内を一定の圧力に調整維持する圧力調整手段と、上記各気密室の圧力の変化を個別に検知し各気密室からの気体の漏洩有無を個別に表示するそれぞれの圧力検知表示手段とを備えたことを特徴とする気密度管理システム。
【請求項３】
上記気密弁は、気体の流通開口部を挟んで対向配置可能な２枚の密閉部材を回動可能に設け、この２枚の密閉部材により流通開口部を密閉し、密閉部材間で上記気密室を形成することを特徴とする請求項１または２記載の気密度管理システム。
【請求項４】
上記気密弁は、気体の流通開口部の個数に対応させて回動可能な密閉部材を備え、各流通開口部に設けたガスケットにそれぞれ密閉部材を密着させてガスケットに有する空間部を上記気密室に形成することを特徴とする請求項１または２記載の気密度管理システム。
【請求項５】
空間の間の気体流通路に所定間隔を有して２個配置され上記気体流通路を密閉して間に気密室を形成する気密弁と、上記気密室内を一定の圧力に調整維持する圧力調整手段と、上記気密室の圧力の変化を検知し気密室からの気体の漏洩有無を表示する圧力検知表示手段とを備えたことを特徴とする気密度管理システム。
【請求項６】
上記圧力調整手段は、上記気密室内の圧力を負圧状態に維持する吸引手段を備えたことを特徴とする請求項１，２，５のいずれかに記載の気密度管理システム。
【請求項７】
上記圧力調整手段は、上記気密室内の圧力を加圧状態に維持する加圧手段を備えたことを特徴とする請求項１，２，５のいずれかに記載の気密度管理システム。
【請求項８】
上記圧力検知表示手段は、上記気密室内の圧力変化を表示するゲージと、圧力変化により作動するスイッチと、このスイッチにより作動される表示手段を備えたことを特徴とする請求項１，２，５のいずれかに記載の気密度管理システム。
【請求項９】
空間の間の気体流通路を気密弁により密閉すると同時に上記気密弁に気密室を形成し、上記気密室内を圧力調整手段により一定の負圧または加圧状態に維持した後、上記圧力の変化の有無を圧力検知表示手段により検知して気密度を管理することを特徴とする気密度管理方法。
【請求項１０】
空間の間の気体流通路に所定間隔を有して２個設けた気密弁により上記気体流通路を密閉して上記気密弁の間に気密室を形成し、上記気密室内を圧力調整手段により一定の負圧または加圧状態に維持した後、上記圧力の変化の有無を圧力検知表示手段により検知して気密度を管理する気密度管理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、密閉弁の気密度を常時確認でき、気密度の担保がなされていない場合の認識が迅速かつ容易にできる気密度管理システムおよび気密度管理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
生産設備や研究設備等で室内空間を一定雰囲気にするために換気用吸気・排気を行う場合、気流を制御する弁やダンパ類の密閉度が完全に漏洩量０を必要とする場合がある。例えば、殺虫や殺菌用のガス雰囲気で空間を満たす等、空間と外部間で気体の流通を完全にシャットアウトする必要がある。水用のバタフライバルブは漏洩量０が保証されており、通過媒体が気体であってもその気密性は保証されている。
【０００３】
一方、生産設備や研究設備は構造が複雑であったり巨大であったして、設備を構成している機器、部品類が常に正常に機能を保っているか、相互動作に不具合がないか常時チェックすることは相当に手間がかかり、各機器や各部品に自己機能が正常か否かの確認機能が求められる。
【０００４】
従来、気密室に設けられた高気密性のダクト用ダンパがあり、ダクト用ダンパは、開口部を有する枠型弁座をダンパ本体に取り付け、枠型弁座を介してダクトに取り付けられている。気密室側となる枠型弁座の内側面には全周に亘って連続溝が設けられるとともに、連続溝に連通する連通孔が枠型弁座の外周面に開口させて設けられており、シートパッキンを介在させて弁板を枠型弁座に密着させ開口部を密閉し、気密室の密閉を保持するとともに、連通孔に圧力測定器を接続し、気密室と連続溝の圧力差を測定してダンパの漏れを検知している（例えば、特許文献１）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−１２４４０１号公報（第３頁右欄−第４頁左欄、図１）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術にあっては、圧力測定器で測定した圧力が気密室内の圧力と異なることでダンパの漏れを検知し、または気密室と外気との圧力差を測定してダンパの漏れを検知するため、気密室内の圧力を予め測定しておく必要がある。また、連続溝内は弁板を枠型弁座に密着した際にも外気圧と同じであり、密着室側と外部側との密着が解除された際には、連続溝内の圧力変化が生じなかったり、僅かであったりして圧力測定器で検知しづらく、直ちにダンパの漏れを検知できない問題点があった。また、密着室内の圧力が外圧より高い場合、ダンパの漏れが生じた際には密着室内の気体が外部に流れ出し、例えば、環境に悪影響を及ぼす気体が放出される問題があった。
【０００７】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、室内（空間）の圧力変化の如何に関わらず密閉弁の気密性を検知し、しかも密閉弁の作動中に気密性を常時確認でき、気体の漏洩が発生した際には直ちにその状態を検知して表示するとともに、漏洩した気体を外部に放出させない気密管理システムおよび気密度管理方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、第１の発明は、空間の間の流体流通路を密閉する気密室を備えた気密弁と、上記気密室を一定の圧力に調整維持する圧力調整手段と、上記気密室の圧力の変化を検知し気密室からの気体の漏洩有無を表示する圧力検知表示手段とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
第２の発明は、複数の空間をつなぐ複数の流体流通路にそれぞれ配置され各流体流通路を独立的に密閉する気密室を備えた複数の密閉弁と、上記気密室内を一定の圧力に調整維持する圧力調整手段と、上記各気密室の圧力の変化を個別に検知し各気密室からの気体の漏洩有無を個別に表示するそれぞれの圧力検知表示手段とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
第３の発明は、第１の発明または第２の発明において、上記気密弁は、流通開口部を挟んで対向配置可能な２枚の密閉部材を回動可能に設け、この２枚の密閉部材により流通開口部を密閉し、密閉部材間で上記気密室を形成することを特徴とする。
【００１１】
第４の発明は、第１の発明または第２の発明において、上記気密弁は、流通開口部の個数に対応させて回動可能な密閉部材を備え、各流通開口部に設けたガスケットにそれぞれ密閉部材を密着させてガスケットに有する空間部を上記気密室に形成することを特徴とする。
【００１２】
第５の発明は、空間の間の気体流通路に所定間隔を有して２個配置され上記気体流通路を密閉して間に気密室を形成する気密弁と、上記気密室内を一定の圧力に調整維持する圧力調整手段と、上記気密室の圧力の変化を検知し気密室からの気体の漏洩有無を表示する圧力検知表示手段とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
第６の発明は、第１，２，５の発明において、上記圧力調整手段は、上記気密室内の圧力を負圧状態に維持するにする吸引手段を備えたことを特徴とする。
【００１４】
第７の発明は、第１，２，５の発明において、上記調整手段は、上記気密室内の圧力を加圧状態に維持する加圧手段を備えたことを特徴とする。
【００１５】
第８の発明は、第１，２，５の発明において、上記圧力検知表示手段は、上記気密室内の圧力変化を表示するゲージと、圧力変化により作動するスイッチと、このスイッチにより作動される表示手段を備えたことを特徴とする。
【００１６】
第９の発明は、空間の間の気体流通路を気密弁により密閉すると同時に上記気密弁に気密室を形成し、上記気密室内を圧力調整手段により一定の負圧または加圧状態に維持した後、上記圧力の変化の有無を圧力検知表示手段により検知して気密度を管理することを特徴とする。
【００１７】
第１０の発明は、空間の間の気体流通路に所定間隔を有して２個設けた気密弁により上記気体流通路を密閉して上記気密弁の間に気密室を形成し、上記気密室内を圧力調整手段により一定の負圧または加圧状態に維持した後、上記圧力の変化の有無を圧力検知表示手段により検知して気密度を管理することを特徴とする。
【００１８】
上記発明にあっては、気体流通路を気密弁で密閉すると気密室が形成される。この気密室内の圧力を圧力調整手段により一定に維持すると、その後に圧力状態に変化が生じない限り気密室からの気体の漏洩がなく、気体流通路の密閉が確保されていることになる。一方、圧力状態に変化が生じた場合には気密室から気体の漏洩が起きており、気体流通路の密閉がなされていないことになる。圧力状態は圧力検知表示手段により容易に認識でき、気密度の管理を容易かつ長期間に亘ってチェックし、密閉されていない場合には迅速な対応が可能になる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１を図１〜３に基づいて説明する。図１は気密度管理システムを示す系統図、図２および図３は気密度管理システムに備えた気密ダンパを示す断面図および正面図である。
【００２０】
図１に示すように、本実施の形態の気密度管理システムは、気密弁としての気密ダンパ１と、この気密ダンパ１に真空タンク（ＶＴ）２を介在させて接続した真空ポンプ（ＶＰ）３と、気密ダンパ１と真空タンク２の間に設置した真空スイッチ（ＶＳ）４、真空ゲージ（ＶＳ）５およびオリフィス（ＯＦ）６と、真空スイッチ４に接続した気密異常ランプ（Ｌ）７などで構成されており、吸引手段としての真空タンク２と真空ポンプ３により圧力調整手段が構成されるとともに、真空スイッチ４、真空ゲージ５、オリフィス６および表示手段としての気密異常ランプ７により圧力調整手段が構成されている。なお、気密ダンパ１は３台配置されている場合を示したが、１台あるいは４台以上備えて構成することができる。
【００２１】
気密ダンパ１は、図２および図３に示すように、中空状の枠体８の両端部に設けた接続部１ａを介してダクト９と連結可能になっている。枠体８の内部には、枠体８の外部に取り付けた２台のエアポンプ１０ａ，１０ｂによりそれぞれ回動される作動軸１１ａ，１１ｂが枠体８の上下壁面と平行かつオフセット状態で枠体８の中心軸に関して対称位置で上下に配置されており、この作動軸１１ａ，１１ｂにはアーム１２ａ，１２ｂがそれぞれ取り付けられている。アーム１２ａ，１２ｂは、その一端側に作動軸１１ａ，１１ｂが挿入され、図示を省略したキーにより相対的に回転かつ移動しないように一定位置に固定されている。アーム１２ａ，１２ｂの他端側には軸１３ａ，１３ｂが固定され、軸１３ａ，１３ｂの先端側にはそれぞれ羽根１４ａ，１４ｂの外面に取り付けた取付部材１５ａ、１５ｂを回動可能に支持する接続部１６ａ，１６ｂが設けられている。取付部材１５ａ，１５ｂは羽根１４ａ，１４ｂの上下方向の長さより短い板状の略正三角形状に形成され、その頂部において上記接続部１６ａ，１６ｂと接続されている。２枚の羽根１４ａ，１４ｂは流通開口部を密閉する密閉部材として機能し、枠体８内で作動軸１１ａ，１１ｂにより矢印方向に回動可能になっており、枠体８と相似的な外形にした板状に形成されている。
【００２２】
枠体８の内壁には、気体の流通開口部を有するパッキン保持部材１７ａ，１７ｂが所定の間隔を有して周設されており、その開口部の端部には羽根１４ａ，１４ｂの内面とそれぞれ当接可能にゴムパッキン１８ａ，１８ｂがパッキン保持部材１７ａ，１７ｂに形成した溝に埋め込んで周設されている。このゴムパッキン１８ａ，１８ｂに作動軸１１ａ，１１ｂの回動により羽根１４ａ，１４ｂの内面を密着させると、２枚の羽根１４ａ，１４ｂは間隔を有して平行になり、羽根１４ａ，１４ｂ、ゴムパッキン１８ａ，１８ｂ、パッキン保持部材１７ａ，１７ｂおよび枠体８の内壁により密閉空間１９が形成され、気密ダンパ１における気体の流通路が密閉されるようになっている。
【００２３】
枠体８には、密閉空間１９と連通する開口部２０が形成されており、この開口部２０には、上記真空タンク２に連結された可撓性を有するパイプ２１が開口部２０に設けたパイプ連結部材２２を介して取り付けられている。パイプ２１にはパイプ連結部材２２側から真空スイッチ４、真空ゲージ５およびオリフィス６が連結されており、密閉空間１９の気体漏れを検知し得るようになっている。真空スイッチ４には気密異常ランプ７が接続されており、気密異常ランプ７の点灯を目視して密閉空間１９での気体漏れを認識可能になっている。なお、気密異常ランプ７と併用してブザー等の音声で認識させてもよい。真空タンク２には真空スイッチ（ＶＳ）２３が設置され、真空ポンプ３のモータ（Ｍ）２４を作動させ、密閉空間１９を負圧状態にし得るようになっている。
【００２４】
次に、上記構成からなる気密度検知システムの作用を説明する。
ダクト９内を気体が流通をしている際には、２枚の羽根１４ａ，１４ｂは二点鎖線で示すように気流方向と平行状態になるように寝かせた状態となっており、気密ダンパ１の気体流通路が開放され気体の流通が確保されている。ダクト９を介して連通されている空間（例えば部屋）を一定の雰囲気に維持する際には、エアポンプ１０ａ，１０ｂを駆動してアーム１２ａ，１２ｂを立ち上げるように作動軸１１ａ，１１ｂを回動し、羽根１４ａ，１４ｂの内面をゴムパッキン１８ａ，１８ｂに押し付けて密着させ、気密ダンパ１の気体流通路を密閉するとともに気密ダンパ１内で羽根１４ａ，１４ｂの対抗面間に密閉空間１９を形成する。この時、ゴムパッキン１８ａ，１８ｂは羽根１４ａ，１４ｂの駆動力で押され、パッキン保持部材１７ａ，１７ｂの溝内に押し込まれて溝面と確実に密着するので、ゴムパッキン１８ａ，１８ｂと溝面との間で気体のリークが生ずることはない。
【００２５】
気密ダンパ１に密閉空間１９が形成されると、真空スイッチ２３を操作して真空ポンプ３を駆動し密閉空間１９を一定の負圧状態にする。この時、真空ポンプ３には真空タンク２が接続されており、真空スイッチ２３の操作により真空タンク２を開放することで密閉空間１９の気体は吸引され、密閉空間１９は速やかに負圧状態となるとともにその状態が安定して維持される。この時、エアポンプ１０ａ，１０ｂの駆動力により羽根１４ａ，１４ｂとゴムパッキン１８ａ，１８ｂとの気密性は十分に確保されているが、密閉空間１９の負圧により羽根１４ａ，１４ｂはゴムパッキン１８ａ，１８ｂ方向に引き寄せられ、ゴムパッキン１８ａ，１８ｂとの密着が強化される。
【００２６】
密閉空間１９を一定の負圧状態に維持している途中で密閉空間１９の圧力が上昇すると、その変化は真空ゲージ５に現れるとともに、任意の負圧力に設定されている真空スイッチ４により気密異常ランプ７が点灯され、密閉空間１９内の圧力変化が知らされる。この密閉空間１９の圧力変化は、羽根１４ａ，１４ｂとゴムパッキン１８ａ，１８ｂの一方あるいは両方の間で気体漏れが生じて密閉空間１９内に気体を吸い込んで生じるの、気密ダンパ１による気密性に故障が生じたことが確認されるとともに、密閉空間１９に侵入した気体は真空ポンプ２に吸引される。
【００２７】
本実施の形態よれば、気密ダンパ１により密閉した際、密閉空間１９の圧力変化がない場合には、密閉空間１９からの気体漏洩量０の状態となっており、その状態は常時刻一刻、例えば２４時間、３６５日およびそれ以上の長期間に亘って容易に確認することができる。また、気密ダンパ１による気密性に故障が生じた際には真空ゲージ５や真空異常ランプ７により速やかに認識することができ、迅速に対処することができる。さらに、気密性に故障が生じ密閉空間１９に気体が侵入しても、その気体は真空タンク２側に吸い込まれるので他の部屋や外部に流失するのを防ぐことができる。また、気密ダンパ１により密閉する際には２枚の羽根１４ａ，１４ｂを対向させるので、気体の流れ方向に左右されることがなくなる。
【００２８】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２を図４に基づいて説明する。図４は本実施の形態の気密度管理システムを示す系統図である。
【００２９】
図４に示すように、本実施の形態の気密度管理システムは、気密弁としての気密ダンパ１と、この気密ダンパ１に圧力タンク（ＡＴ）２ａを介在させて接続した加圧ポンプ（ＡＰ）３ａと、気密ダンパ１と圧力タンク２ａの間に設置した圧力スイッチ（ＰＳ）４ａ、加圧ゲージ（ＰＧ）５ａおよびオリフィス（ＯＦ）６と、圧力スイッチ４ａに接続した真空異常ランプ（Ｌ）７などで構成されており、加圧手段としての圧力タンク２ａと加圧ポンプ３ａにより圧力調整手段が構成されるとともに、圧力スイッチ４ａ、圧力ゲージ５ａ、オリフィス６および表示手段としての真空異常ランプ７により圧力検知表示手段が構成されている。圧力タンク２ａには圧力スイッチ（ＰＳ）２３ａが設置され、加圧ポンプ３ａのモータ（Ｍ）２４を作動させ、気密ダンパ１の密閉空間１９を加圧状態にし得るようになっている。なお、気密ダンパ１は、実施の形態１に備えた気密ダンパ１と同様に構成されており、その説明を省略する。また、気密ダンパ１は３台配置されている場合を示したが、１台あるいは４台以上備えて構成することができる。
【００３０】
本実施の形態にあっては、密閉空間１９を一定の加圧状態に維持している途中で密閉空間１９の圧力が下降すると、その変化は圧力ゲージ５ａに現れるとともに、任意の加圧力に設定されている圧力スイッチ４ａにより気密異常ランプ７が点灯され、密閉空間１９内の圧力変化が知らされる。この密閉空間１９の圧力変化は、羽根１４ａ，１４ｂとゴムパッキン１８ａ，１８ｂの一方あるいは両方の間で気体漏れが生じて密閉空間１９内から気体が流出することで生じるの、気密ダンパ１による気密性に故障が生じたことが確認されるとともに、密閉空間１９には侵入しない。。
【００３１】
本実施の形態によれば、気密ダンパ１の密閉空間１９を加圧状態にし、その圧力が一定であることで気密ダンパ１による気密が正常であることを確認することができ、また密閉空間１９の圧力が下降することで密閉状態に故障が生じたことを確認することができる。さらに、密閉が開放された際には、密閉空間１９から気体が流出するので、気密ダンパ１により密閉されていた空間の気体が他の部屋や外部に流出することはない。なお、密閉空間１９への加圧は作動軸１１ａ，１１ｂによる羽根１４ａ，１４ｂのゴムパッキン１８ａ，１８ｂに対する圧力より小さく、羽根１４ａ，１４ｂとゴムパッキン１８ａ，１８ｂとの密着（密閉）が損なわれることはない。
【００３２】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３を図５および図６に基づいて説明する。図５は気密ダンパを示す断面図、図６は図５のＡ−Ａ線断面図である。
【００３３】
本実施の形態の気密度管理システムは、実施の形態１（図１参照）または実施の形態２（図４参照）と同様に構成されているが、このシステムに配備した気密弁としての気密ダンパ３１の構成が異なるので、以下には気密ダンパ３１について説明し、実施の形態１における気密ダンパ１と同種の部位には同一符号を付すとともに、羽根１４ａ（１４ｂ）およびそれに付属する取付部材１５ａ（１５ｂ）、接続部１６ａ（１６ｂ）および駆動手段の作動軸１１ａ（１１ｂ）にはａ，ｂの添字を省略して数字のみで示し、その説明を省略する。
【００３４】
図５に示すように、気密ダンパ３１は枠体８により箱形に形成され、内部に１枚の羽根１４が備えられるとともに、その両端面には流通路の開口部が大きさを異ならせて形成されている。大形開口部３１ｂを形成した気密ダンパ３１の端面部にはダクト９との接続部３１ａが設けられるとともに、小形開口部３１ｃを形成した端面にはダクト９との接続部３２ａを設けた中空状の中間部材３２が固定され、気密ダンパ３１は上記接続部３１ａ，３２ａによりダクト９，９との接続が可能になっている。
【００３５】
小形開口部３１ｃを形成した気密ダクト３１の端面には、枠体８の内部に位置するようにガスケット３３が固定されている。ガスケット３３は、同じ長さを有する中空の方形状に形成された小形部材３３ａと大形部材３３ｂからなっており、図６にも示すように、小形部材３３ａの外側は大形部材３３ｂの内側より小さく形成されている。小形部材３３ａの内側は小形開口部３１ｃと略同じ大きさに形成され、小型部材３３ａはその内側端面を小形開口部３１ｃに沿わせて気密ダンパ３１の端面に固定されるとともに、大形部材３３ｂは小形部材３３ａを囲むように上記端面に固定され、両端面が同一平面に位置する小形部材３３ａと大形部材３３ｂの間に空間部３４が形成されるようになっている。
【００３６】
ガスケット３３の両端面には、羽根１４の内面が密着し、気体流通路が密閉されダクト９に連結される空間が密閉されるとともに、空間部３４が密閉空間１９を形成するようになっている。この場合、密閉する空間は、気密ダクト３１の大型開口部３１ｂ側であっても、小型開口部３１ｃ側であっても構わない。
【００３７】
上記気密ダンパ３１が実施の形態１の気密度管理システムに設けられた場合、空間部３４には、真空スイッチ２３を装備した真空タンク２を備えた真空ポンプ３がパイプ２１を介して接続されるとともに、パイプ２１には真空スイッチ４，真空ゲージ５およびオリフィス６が配置され、真空スイッチ４には気密異常ランプ７が接続されている。または、上記気密ダンパ３１が実施の形態２の気密度管理システムに設けられた場合、空間部３４には、圧力スイッチ２３ａを装備した圧力タンク２ａを備えた加圧ポンプ３ａがパイプ２１を介して接続されるとともに、パイプ２１には「ＰＳ］４ａ、圧力ゲージ５ａおよびオリフィス６が配置され、圧力スイッチ４ａには気密異常ランプ７が接続されている。
【００３８】
本実施の形態にあっては、羽根１４とガスケット３３との密着により気密ダンパ３１の気体流通路の密閉がなされるとともに、空間部３４の密閉がなされ密閉空間１９が形成される。その他の作用は実施の形態１と同様である。
【００３９】
本実施の形態によれば、１枚の羽根１４を備えて構成しているので、その駆動手段および付属部材を少なくすることができるので、より安価に構成することができる。その他の効果は実施の形態１，２と同様である。
【００４０】
（実施の形態４）
本発明の実施の形態４を図７および図８に基づいて説明する。図７は気密ダンパを示す断面図、図８は図７のＢ−Ｂ線断面図である。
【００４１】
本実施の形態の気密度管理システムは、実施の形態１または実施の形態２と同様に構成されており、このシステムに配備した気密弁としての気密ダンパ４１の構成が異なるので、以下には気密ダンパ４１について説明し、実施の形態３における気密ダンパ３１と同種の部位には同一符号を付しその省略する。
【００４２】
本実施の形態に備えた気密ダンパ４１は、実施の形態３の気密ダンパ３１より大型に形成されており、内部に２枚の羽根１４が備えられている。気密ダンパ４１の一方の端面部にはダクト９との接続部４１ａが設けられるとともに、他方の開口部４１ｃにはダクト９との接続部４２ａを設けた中空状の中間部材４２が固定されて２個の開口部４２ｂからなる気体の流通経路が形成されており、気密ダンパ４１は上記接続部４１ａ，４２ａによりダクト９，９との接続が可能になっている。
【００４３】
中間部材４２の開口部４２ｂは同じ大きさの長方形状に形成されており、各開口部４２ｂの端面には、枠体８の内部に位置するようにガスケット４３がそれぞれ固定されている。ガスケット４３は、同じ長さを有する中空の長方形状に形成された小形部材４３ａと大形部材４３ｂからなっており、図８にも示すように、小形部材４３ａの外側は大形部材４３ｂの内側より小さく形成されている。小形部材４３ａの内側は開口部４２ｂと略同じ大きさに形成され、その内側を開口部４２ｂに沿わせて気密ダンパ４１の端面に固定されるとともに、大形部材４３ｂは小形部材４３ａを囲むように上記端面に固定され、両端面が同一平面に位置する小形部材４３ａと大形部材４３ｂの間に空間部４４が形成されるようになっている。
【００４４】
各ガスケット４３の端面には、羽根１４の内面がそれぞれ密着し、それぞれの空間部４４が密閉空間１９に形成されるようになっている。羽根１４は密閉する空間側に位置しても、その反対側に位置しても構わない。
【００４５】
上記気密ダンパ４１が実施の形態１の気密度管理システムに設けられた場合、空間部３４には、真空スイッチ２３を装備した真空タンク２を備えた真空ポンプ３がパイプ２１を介して接続されるとともに、パイプ２１には真空スイッチ４，真空ゲージ５およびオリフィス６が配置され、真空スイッチ４には気密異常ランプ７が接続されている。また、上記気密ダンパ４１が実施の形態２の気密度管理システムに設けられた場合、空間部３４には、圧力スイッチ２３ａを装備した圧力タンク２ａを備えた加圧ポンプ３ａがパイプ２１を介して接続されるとともに、パイプ２１には「ＰＳ］４ａ、圧力ゲージ５ａおよびオリフィス６が配置され、圧力スイッチ４ａには気密異常ランプ７が接続されている。
【００４６】
本実施の形態にあっては、羽根１４とガスケット４３との密着により２個の空間部４４より形成される密閉空間１９の気密がそれぞれ維持され、大型の気密ダンパ４１の気体流通路の密閉がなされる。その他の作用は実施の形態１，２と同様である。
【００４７】
本実施の形態によれば、気体流通路が大口径であっても確実に密閉することができる。その他の効果は実施の形態１，２と同様である。
【００４８】
（実施の形態５）
本発明の実施の形態５を図９に基づいて説明する。図９は気密ダンパを示す正面図である。
【００４９】
本実施の形態の気密度管理システムは、実施の形態１または実施の形態２と同様に構成されているが、このシステムに配備した気密弁としての気密ダンパ５１の構成が異なるの、以下に気密ダンパ５１について説明する。
【００５０】
本実施の形態に備えた気密ダンパ５１は、従来型の気密弁（気密ダンパ）５１ａ，５１ｂを中間部材５２を介在させ直列に接続配置して構成されている。それぞれの気密ダンパ５１ａ，５１ｂは、図５に示す気密ダンパ３１と略同様に形成されているが、作動軸１１により回動される羽根１４と密着するガスケット３３に替えてゴムパッキン５３が小型開口部３１ｃの開口部に周設されている点が異なり、密閉空間５４は、気密ダンパ５１ａ，５１ｂの羽根１４，１４をゴムパッキン５３，５３にそれぞれ密着させることで羽根１４，１４と中間部材５２により形成されるようになっている。
【００５１】
上記気密ダンパ５１が実施の形態１の気密度管理システムに設けられた場合、密閉空間５４を形成する中間部材５２の壁面には、真空スイッチ２３を装備した真空タンク２を備えた真空ポンプ３がパイプ２１を介して接続されるとともに、パイプ２１には真空スイッチ４，真空ゲージ５およびオリフィス６が配置され、真空スイッチ４には気密異常ランプ７が接続されている。また、上記気密ダンパ５１が実施の形態２の気密度管理システムに設けられた場合、中間部材５２の壁面には、圧力スイッチ２３ａを装備した圧力タンク２ａを備えた加圧ポンプ３ａがパイプ２１を介して接続されるとともに、パイプ２１には「ＰＳ］４ａ、圧力ゲージ５ａおよびオリフィス６が配置され、圧力スイッチ４ａには気密異常ランプ７が接続されている。
【００５２】
本実施の形態によれば、２個の気密ダンパ５１ａ，５１ｂを直列に接続配置し、気密ダンパ５１ａ，５１ｂの中間に密閉空間５４を形成することができる。そのため、気密室のない従来型の気密ダンパを用いて密閉空間５４を形成し、気密度を管理することができる。その他の作用、効果は実施の形態１，２と同様である。
【００５３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の気密度管理システムおよび気密度管理方法によれば、気密室内の圧力が一定に維持されていることが圧力調整手段により認識でき、流体流通路が気密弁により確実に密閉されていることを長期間容易に確認することができる。また、流体流通路と気密弁と間で気体の漏洩が生じた際に生じる気密室の圧力変化が圧力検知表示手段により告知され、気体の漏洩の状態が容易に認識でき、迅速に対応することができる。さらに、気体の漏洩が生じた場合にあっても、圧力調整手段の圧力により漏洩気体が外部に放出されるのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１の気密度管理システムを示す系統図である。
【図２】本実施の形態１の気密度管理システムに備えた気密ダンパの断面図である。
【図３】気密ダンパの正面図である。
【図４】本発明の実施の形態２の気密度管理システムを示す系統図である。
【図５】本発明の実施の形態３の気密度管理システムに備えた気密ダンパの断面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ線断面図である。
【図７】本発明の実施の形態４の気密度管理システムに備えた気密ダンパの断面図である。
【図８】図７のＢ−Ｂ線断面図である。
【図９】本発明の実施の形態５の気密度管理システムに備えた気密ダンパの断面図である。
【符号の説明】
１，３１，４１，５１  気密ダンパ
２  真空タンク
２ａ  圧力タンク
３  真空ポンプ
３ａ  加圧ポンプ
４，２３  真空スイッチ
４ａ，２３ａ  圧力スイッチ
５  真空ゲージ
５ａ  圧力ゲージ
６  オリフィス
７  気密異常ランプ
１０ａ，１０ｂ  エアポンプ
１１ａ，１１ｂ  作動軸
１４ａ，１４ｂ  羽根
１７ａ，１７ｂ  パッキン保持部材
１８ａ，１８ｂ，５３  ゴムパッキン
１９，５４  密閉空間
３２，５２  中間部材
３３，４３  ガスケット
３４，４４  空間部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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