(57)【要約】【課題】簡単な構造で部品点数が少なく、Ｏリングやポッティング材等を用いる必要がなく、組付けの作業性に優れ、確実にシールすることができるようにしたセンサを有する回路基板の気密構造を提供する。【解決手段】前端側に通気孔７を有し後端側にケーブル導出口８を有する保護管１の内部前方側をセンサ４，５を収納する第１の収納室１５とし、後方側を回路基板２を収納する第２の収納室１６とし、これら両収納室１５，１６を第１のシール部材１１によって気密に仕切る。第１のシール部材１１は回路基板２を保持する基板保持孔を有し、その内周面には回路基板２に圧接する環状の第１のシール突起２１が一体に突設され、また第１のシール部材１１の外周面には保護管１の内周面に圧接する環状の第２のシール突起２２が一体に突設されている。ケーブル導出口８は、第２のシール部材１２とエンドキャップ１３によって気密にシールする。【選択図】        図１
2004221262.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象となる雰囲気の物理量を測定するセンサが電気的に接続された回路基板を保護管内に気密に封止するセンサを有する回路基板の気密構造であって、
前記保護管の内部に、外部と連通する通気孔を有し前記センサを収納する第１の収納室と、ケーブル導出口を有し前記回路基板を収納する第２の収納室とを形成し、前記第１と第２の収納室を第１のシール部材によって気密に仕切り、前記ケーブル導出口を第２のシール部材によって気密に封止してなり、
前記第１のシール部材は、弾性材料によって形成され、前記回路基板を保持する基板保持孔と、この基板保持孔の内周面に一体に突設され前記回路基板に圧接する環状の第１のシール突起と、外周面に一体に突設され前記保護管の内周面に圧接する環状の第２のシール突起とを有し、かつ前記基板保持孔を第１のシール部材の側方に開放可能に構成したことを特徴とするセンサを有する回路基板の気密構造。
【請求項２】
測定対象となる雰囲気の物理量を測定するセンサが電気的に接続された回路基板を保護管内に気密に封止するセンサを有する回路基板の気密構造であって、
前記保護管の内部に、外部と連通する通気孔を有し前記センサを収納する第１の収納室と、ケーブル導出口を有し前記回路基板を収納する第２の収納室とを形成し、前記第１と第２の収納室を第１のシール部材によって気密に仕切り、前記ケーブル導出口を第２のシール部材とエンドキャップとによって気密に封止してなり、
前記第２のシール部材は、弾性材料によって形成され、前記保護管の前記ケーブル導出口に嵌合する筒部と、この筒部の後端側に一体に延設された円錐部と、前記筒部の外周に一体に突設され前記保護管のケーブル導出口側開口端面に密接するフランジと、ケーブルが貫通するケーブル用孔を有し、
前記エンドキャップは、前記第２のシール部材の円錐部が嵌合するテーパ孔を有し前記保護管のケーブル導出口側開口端部に固定されることにより、前記テーパ孔の内面で前記第２のシール部材の円錐部を前記ケーブルに押し付け、前記フランジを前記保護管の前記ケーブル導出口側開口端面に押し付けることを特徴とするセンサを有する回路基板の気密構造。
【請求項３】
請求項２記載のセンサを有する回路基板の気密構造において、
前記エンドキャップは、保護管に圧入または螺合によって固定されていることを特徴とするセンサを有する回路基板の気密構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、保護管内にセンサとともに収納される回路基板の気密構造に関し、特に測定対象となる雰囲気の物理量（例えば、温度、湿度など）を測定する温度センサ、湿度センサ等に用いて好適なセンサを有する回路基板の気密構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、半導体製造装置などにおいては、内部の環境を一定な状態に保つ必要があることから、保護管内に小型のセンサとその回路基板を収納し、測定対象となる雰囲気の物理量（例えば、温度、湿度など）をセンサによって常時測定している。このようなセンサは、検出素子による検知信号を外部に出力するための電子回路を回路基板に搭載しているが、回路基板は保護管外部の雰囲気に晒されていると、雰囲気中の水分（湿度）の影響を受けて回路基板に実装されているＩＣ等の電子部品の電気的特性が変化したり回路基板上の配線の抵抗値が変化したり、あるいは錆が生じて断線するなどしてセンサの測定精度、信頼性、耐久性等を低下させるため、回路基板に防水防湿処理を施すか、または回路基板を気密構造として外気から完全に遮断することが求められている。
【０００３】
回路基板に防水防湿処理を施す方法としては、例えば熱収縮絶縁体を用いて回路基板を封止する方法が考えられる。
【０００４】
回路基板の気密構造としては、例えばＯリングを用いてシールしたり、あるいは図７に示す気密構造が考えられる。
図７に示す回路基板の気密構造は、保護管１内に回路基板２を収納してポッティング材（熱硬化性樹脂等）３により気密に封止するようにしたものである。４は温度センサ、５は湿度センサ、６は回路基板２に接続されたケーブル、７は保護管１の前端部に形成された通気孔、８は保護管１の後端面に形成されたケーブル導出口、９は回路基板２と温度センサ４、湿度センサ５を接続するリード線である。回路基板２には、前記温度センサ４と湿度センサ５による検知信号を外部に出力するための配線パターンおよび電子回路が搭載されており、その大部分が前記ポッティング材３によって覆われている。温度センサ４と湿度センサ５は、回路基板２よりも前方に位置して保護管１内に収納されており、前記通気孔７より流入する外気に晒されている。
【０００５】
また、他の気密構造としては、円錐体とキャップを用いてセンサの接続部を気密構造としたものも知られている（例えば、特許文献１参照）。なお、出願人は本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に密接に関連する先行技術文献を出願時までに発見するには至らなかった。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−２７５２４５号公報（第３頁、段落「００１６」〜「００２１」、図１）
【０００７】
特開２００１−２７５２４５号公報に記載されたセンサの接続部構造は、ケーブル外被を円錐体に被せてキャップのテーパ内面に押し付けることにより、キャップのテーパ孔のシール効果と、ケーブルの抜け止め効果とケーブル芯線の保護効果を同時に達成するようにしたものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した熱収縮絶縁体による回路基板の防水防湿処理は、熱収縮絶縁体内に回路基板を収納した後、加熱手段によって熱収縮絶縁体を加熱して軟化させる必要があるため、組付け作業の煩わしさが伴う。
【０００９】
Ｏリングによる気密構造は、対象物を締め付けるための手段ないし部材を必要とするため、部品点数が増加する。また、圧接部分の接触面積が小さいため、シールの信頼性も低い。
【００１０】
図７に示した回路基板の気密構造は、保護管１内に加熱溶融したポッティング材３を注入して固化させる必要があるため、注入時に空気が混入しないように注意しなければならず、特に保護管１が長い場合は空気の抜けが悪くなるために細心の注意を払わなければならず作業性が劣る。また、ポッティング材３が固化するまでの時間を要するため、組込み作業時間が長くなり生産性が低下する。さらに、回路基板２やセンサ４，５を交換する必要が生じた場合は、ポッティング材３を加熱溶融または軟化させて保護管１から抜き出さなければならないために、交換作業が煩わしく事実上再使用することができない。
【００１１】
特開２００１−２７５２４５号公報に記載されたセンサの接続部構造は、ケーブル外被を広げて円錐体に被せる必要があるために、組付け作業が煩わしいという問題がある。
【００１２】
本発明は上記した従来の問題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、簡単な構造で部品点数が少なく組付けの作業性に優れ、確実にシールすることができるようにしたセンサを有する回路基板の気密構造を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために第１の発明は、測定対象となる雰囲気の物理量を測定するセンサが電気的に接続された回路基板を保護管内に気密に封止するセンサを有する回路基板の気密構造であって、前記保護管の内部に、外部と連通する通気孔を有し前記センサを収納する第１の収納室と、ケーブル導出口を有し前記回路基板を収納する第２の収納室とを形成し、前記第１と第２の収納室を第１のシール部材によって気密に仕切り、前記ケーブル導出口を第２のシール部材によって気密に封止してなり、前記第１のシール部材は、弾性材料によって形成され、前記回路基板を保持する基板保持孔と、この基板保持孔の内周面に一体に突設され前記回路基板に圧接する環状の第１のシール突起と、外周面に一体に突設され前記保護管の内周面に圧接する環状の第２のシール突起とを有し、かつ前記基板保持孔を第１のシール部材の側方に開放可能に構成したものである。
【００１４】
第１の発明においては、第１のシール部材を回路基板に装着すると、第１のシール突起が回路基板に圧接し、保護管に圧入することにより第２のシール突起が保護管の内周面に圧接する。この圧入によって第１のシール部材は小径化する方向に圧縮するため、第１のシール突起が回路基板をさらに圧接する。また、基板保持孔を開放させる部分もより強く密接し、その結果として第１、第２の収納室間を気密状態を維持するように仕切る。したがって、ポッティング材やＯリングを使用する必要がなく、最小限の部品点数で第２の収納室内をシールすることができる。また、第１のシール部材を保護管に圧入するだけでよいため、組付け作業性が良好で短時間に回路基板を組込むことができる。
【００１５】
第１のシール部材の基板保持孔は開放可能に構成されているため、シール部材の弾性変形によって基板保持孔を開放させることにより、第１のシール部材を回路基板の側方から簡単に装着することができる。基板保持孔が開放可能な構造としては二通り考えられる。その一つは、一端が基板保持孔に連通し他端が第１のシール部材の側方（外周）に開放する切り込み（スリット）を第１のシール部材に形成する方法で、他の一つは２つに分割して形成した半割構造の分割片によって第１のシール部材を構成する方法である。この場合は、２つの分割片の接合面に位置ずれを防止するための係合部を設けておくことが望ましい。
【００１６】
第２の発明は、測定対象となる雰囲気の物理量を測定するセンサが電気的に接続された回路基板を保護管内に気密に封止するセンサを有する回路基板の気密構造であって、前記保護管の内部に、外部と連通する通気孔を有し前記センサを収納する第１の収納室と、ケーブル導出口を有し前記回路基板を収納する第２の収納室とを形成し、前記第１と第２の収納室を第１のシール部材によって気密に仕切り、前記ケーブル導出口を第２のシール部材とエンドキャップとによって気密に封止してなり、前記第２のシール部材は、弾性材料によって形成され、前記保護管の前記ケーブル導出口に嵌合する筒部と、この筒部の後端側に一体に延設された円錐部と、前記筒部の外周に一体に突設され前記保護管のケーブル導出口側開口端面に密接するフランジと、ケーブルが貫通するケーブル用孔を有し、前記エンドキャップは、前記第２のシール部材の円錐部が嵌合するテーパ孔を有し前記保護管のケーブル導出口側開口端部に固定されることにより、前記テーパ孔の内面で前記第２のシール部材の円錐部を前記ケーブルに押し付け、前記フランジを前記保護管の前記ケーブル導出口側開口端面に押し付けるものである。
【００１７】
第２の発明においては、ケーブルを第２のシール部材とエンドキャップの孔に挿通し、第２のシール部材を保護管のケーブル導出口に嵌合し、エンドキャップにより第２のシール部材の円錐部とフランジを押圧すると、円錐部がケーブルの外周に押し付けられてケーブルと第２のシール部材のケーブル用孔との隙間をシールし、フランジが保護管のケーブル導出口側開口端面に押し付けられてケーブル導出口をシールする。また、円錐部とテーパ孔は互いに密接すいることで第２のシール部材とエンドキャップ間の隙間を気密にシールする。
【００１８】
第３の発明は、上記第２の発明において、前記エンドキャップは、保護管に圧入または螺合によって固定されているものである。
【００１９】
第３の発明においては、圧入も螺合もエンドキャップの着脱が容易で、回路基板の取り出しを可能にする。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明に係るセンサを有する回路基板の気密構造の一実施の形態を示す断面図、図２は第１のシール部材によって回路基板をシールした状態を示す断面図、図３は回路基板の平面図、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は第１のシール部材の正面図、側面図およびＡ−Ａ線断面図、図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は第２のシール部材の正面図、側面図およびＢ−Ｂ線断面図である。本実施の形態は、温湿度センサを有する回路基板に適用した例を示す。
【００２１】
これらの図において、全体を符号１０で示す温湿度センサは、保護管１と、この保護管１内に収納された回路基板２と、この回路基板２の前端側にリード線９を介して接続された従来周知の温度センサ４および湿度センサ５と、前記回路基板２の後端側に接続されたケーブル６と、前記保護管１とともに前記回路基板２の気密構造を構成する第１、第２のシール部材１１，１２およびエンドキャップ１３等で構成されている。
【００２２】
前記保護管１は、前端側が閉塞し後端側が開放したパイプからなり、前端部周面に複数個の通気孔７が形成され、後端側開口部が前記ケーブル６を外部に導くためのケーブル導出口８を形成している。保護管１の内部は、前記第１のシール部材１１によって前後２つの収納室、すなわち前記温度センサ４および湿度センサ５を収納し前記通気孔７を介して外部と連通する第１の収納室１５と、前記ケーブル導出口８を有し前記回路基板２を収納する第２の収納室１６に気密に仕切られており、前記ケーブル導出口８を前記第２のシール部材１２とエンドキャップ１３とによって気密にシールしている。
【００２３】
ここで、本実施の形態においては、ステンレス等によって形成された第１、第２の金属製パイプ１Ａ，１Ｂによって保護管１を構成し、第１の金属製パイプ１Ａに通気孔７を設けて内部に温度センサ４および湿度センサ５を収納し、第２の金属製パイプ１Ｂに回路基板２を収納した例を示したが、これに限らず１本の金属製パイプによって保護管１を形成してもよいことは勿論である。
【００２４】
前記回路基板２は、矩形で前記保護管１内に収納可能な長さと幅を有し、その表裏面に前記温度センサ４と湿度センサ５による検知信号をケーブル６を介して外部に出力するための図示しない電子回路が形成され、また前端部寄りの両側面には前記第１のシール部材１１を位置決めし前後方向の位置ずれを防止する矩形の凹部１７（図３）がそれぞれ形成されている。凹部１７の長さは、前記第１のシール部材１１の軸線方向の長さより僅かに大きい。
【００２５】
前記温度センサ４としては、例えばセラミック等の絶縁基板上に白金等の金属薄膜抵抗体を形成したものが用いられる。同じく湿度センサとしては、例えば絶縁基板上に対向する白金等からなる一対の櫛歯形対向電極を形成し、これらの櫛歯形電極を感湿抵抗体で覆い導通させたものが用いられる。
【００２６】
図４において、前記保護管１の第１の収納室１５と第２の収納室１６を気密に仕切る前記第１のシール部材１１は、例えばフッ素ゴム、ネオプレンゴム等の弾性材料によって前記保護管１の内径より小さい外径を有する筒状体に形成されており、略中央に前後面に開口し前記回路基板２の前端部を保持する基板保持孔２０が形成され、またこの基板保持孔２０の内周面とシール部材１１の外周面には連続した環状体からなる第１、第２のシール突起２１，２２が一体に突設されている。なお、第１のシール部材１１をフッ素ゴムによって製作すると滑り易いために、保護管１への圧入を容易に行うことができる。
【００２７】
前記基板保持孔２０は、前記回路基板２の凹部１７が形成されている部位における断面形状と略同寸法の矩形の貫通孔からなり、内部中央に前記第１のシール突起２１が一体に突設されている。第１のシール突起２１は、断面形状が三角形の突条体からなり、その頂部によって取り囲まれた空間が前記回路基板２の前記凹部１７における断面形状よりやや小さくなるように形成されている。このため、第１のシール部材１１を回路基板２の凹部１７部分に嵌着すると、第１のシール突起２１は回路基板２に圧接し、回路基板２と基板保持孔２０との隙間を気密にシールする。
【００２８】
前記第２のシール突起２２は、同じく断面形状が三角形の突条体からなり、外径（頂部径）が前記保護管１の内径よりもやや大きく設定されている。したがって、第１のシール部材１１を前記回路基板２２とともに保護管１内に圧入すると、第２のシール突起２２が保護管１の内周面に圧接し、保護管１と第１のシール部材１１との隙間を気密にシールする。
【００２９】
また、前記第１のシール部材１１には、前記基板保持孔２０を第１のシール部材１１の外周（側方）に開放する垂直な切り込み２４と、回路基板２への装着時および保護管１内への圧入時の弾性変形を容易にする肉盗み部２５が形成されている。切り込み２４は、図４（ａ）に示すように基板保持孔２０の底面の幅方向中央より第１のシール部材１１の下面にまで達するように形成されている。ただし、これに限らず二点鎖線で示すように基板保持孔２０の一側面から第１のシール部材１１の一側面にまで達するように水平に形成される切り込み２４’であってもよい。このような切り込み２４または２４’を形成しておくと、第１のシール部材１１の弾性変形によって基板保持孔２０を第１のシール部材１の側方に開放させることができるため、回路基板２にセンサ４，５および各種電子部品を実装した後であっても第１のシール部材１１を回路基板２の側方から凹部１７部分に容易に装着することが可能である。
【００３０】
前記肉盗み部２５は、第１のシール部材１１の前後面に前記基板保持孔２０の上下に位置してそれぞれ円弧状に形成されている。
【００３１】
図５において、前記第２のシール部材１２は、第１のシール部材１１と同様に、例えばフッ素ゴム、ネオプレンゴム等の弾性材料によって形成され、前記保護管１の後方側開口端である前記ケーブル導出口８に嵌合または圧入される筒部１２Ａと、この筒部１２Ａの後端側に一体に延設された円錐部１２Ｂと、前記筒部１２Ａの外周に一体に突設され前記保護管１のケーブル導出口側開口端面に密接する環状のフランジ１２Ｃとからなり、中心に前記ケーブル６が貫通するケーブル用孔３０が形成されている。ケーブル用孔３０は、筒部１２Ａ側の孔径が円錐部１２Ｂ側の孔径よりも大きい異径孔に形成されている。これは、ケーブル６の回路基板２側端部を第２のシール部材１２の前方に引き出すとき、径方向外方に屈曲させて図１に示すよう回路基板２の後端部と重なり合うようにするためである。
【００３２】
図１において、前記エンドキャップ１３は、前記第２のシール部材１２の円錐部１２Ｂが嵌合するテーパ孔３１と、第２のシール部材１２のフランジ１２Ｃを押圧する押圧面３２とを有している。テーパ孔３１は、内面の傾斜角度が前記円錐部１２Ｂの傾斜角度と略等しく、最大孔径が円錐部１２Ｂの最大外径と略等しく、最小孔径が前記ケーブル６の外径より若干大きく設定されている。前記押圧面３２は、テーパ孔３１の最大孔径側開口部を取り囲む環状の面で、前記フランジ１２Ｃの後面を押圧する。
【００３３】
回路基板２を保護管１に組込む際には、予め第１のシール部材１１を回路基板２の凹部１７部分に装着し、第２のシール部材１２とエンドキャップ１３をケーブル６に嵌着しておく。第１のシール部材１１を回路基板２の凹部１７部分に装着するときは、上記した通り第１のシール部材１１の切り込み２４を左右に開いて基板保持孔２０を第１のシール部材１１の下方に開放させる。そして、この開放部分より回路基板２の凹部１７部分を基板保持孔２０に差し込むと、センサ４，５を基板保持孔２０に挿通することなく回路基板２に第１のシール部材１１を装着することができる。
【００３４】
次に、回路基板２を第１のシール部材１１とともに保護管１内に挿入する。このとき、第１のシール部材１１は第２のシール突起２２の外径が保護管１の内径より大きいため圧入され、第２のシール突起２２を保護管１の内周面に圧接させる。また、この圧入によって第１のシール部材１１は小径化する方向に弾性変形するため、第１のシール突起２１を回路基板２に強く圧接するとともに、切り込み２４を挟んで対向する２つの面を強く密着させる。その結果として、回路基板２と第１のシール部材１１の基板保持孔２０との隙間、保護管１と第１のシール部材１１との隙間および第１のシール部材１１の切り込み２４が形成される部分が気密にシールされ、第１、第２の収納室１５，１６間を気密状態を維持するように仕切る。
【００３５】
次に、第２のシール部材１２の筒部１２Ａを保護管１のケーブル導出口８に嵌合するとともに、フランジ１２Ｃを保護管１のケーブル導出口側開口端面に密接する。さらに、エンドキャップ１３をケーブル６に沿って前方に移動させて第２のシール部材１２に被せ、保護管１に圧入によって固定する。すると、エンドキャップ１３の押圧面３２が第２のシール部材１２のフランジ１２Ｃを後方から押圧して保護管１のケーブル導出口側開口端面に圧接し、テーパ孔３１の内面が第２のシール部材１２の円錐部１２Ｂを押圧してケーブル用孔３０の小径部内周面をケーブル６の外被に圧接する。したがって、ケーブル導出口８が気密にシールされ、またケーブル６と第２のシール部材１２、エンドキャップ１３との隙間が気密にシールされ、もって回路基板２の密閉構造が完成する。
【００３６】
保護管１に対するエンドキャップ１３の取付構造としては、圧入に限らず図６に示すように雄ねじ３４と雌ねじ３５の螺合によって固定するものであってもよい。
【００３７】
このような温湿度センサ１０を有する回路基板１の気密構造によれば、基板保持孔２０を有する第１のシール部材１１を弾性材料によって形成し、基板保持孔２０の内周面と第１のシール部材１１の外周面に第１、第２のシール突起２１，２２をそれぞれ一体に突設し、さらに基板保持孔２０を切り込み２４によって開放可能に構成しているため、第１のシール部材１１を回路基板２の側方から容易に装着することができる。また、第１のシール部材１１を保護管１に圧入すると、第１、第２のシール突起２１，２２を回路基板２と保護管１にそれぞれ圧接することができ、また同時に切り込み２４部分も密着させることができるため、保護管１内の第１の収納室１５と第２の収納室１６とを気密状態を維持しながら良好に仕切ることができる。したがって、ポッティング材を用いたりＯリングを用いる必要がなく、構造簡易にして部品点数が少なく、シール性能の優れた気密構造を提供することができる。
また、第１のシール部材１１を保護管１内に回路基板２とともに圧入するだけでよいから、回路基板２の組込み作業も容易で短時間に行うことができる。
【００３８】
また、保護管１のケーブル導出口８の気密保持については、ケーブル６に第２のシール部材１２とエンドキャップ１３を装着し、第２のシール部材１２の筒部１２Ａを保護管１のケーブル導出口８に嵌合してフランジ１２Ｃを保護管１のケーブル導出口側開口端面に密接し、エンドキャップ１３のテーパ孔３１を第２のシール部材１２の円錐部１２Ｂに押し付けてフランジ１２Ｃを保護管１のケーブル導出口側開口端面に押付けるだけでよいから、第２のシール部材１２、エンドキャップ１３の組付け作業も容易で、短時間に組み付けることができる。また、ポッティング材やＯリングを使用する必要がなく、ケーブル導出口８を確実にシールすることができる。また、第２のシール部材１２とエンドキャップ１３は、円錐部１２Ｂとテーパ孔３１との圧接によりこの圧接部分の接触面積を大きくすることができるため、ケーブル６と第２のシール部材１２、エンドキャップ１３との隙間も確実にシールすることができる。それ故、防水耐湿性に優れた気密構造を提供することができる。
【００３９】
なお、上記した実施の形態においては、第１のシール部材１１の基板保持孔２０を切り込み２４によって開放可能に構成したが、本発明における基板保持孔２０の開放可能な構造は、これに何ら限定されるものではなく、第１のシール部材１１を軸線を通る面またはこれと平行で基板保持孔２０を通る面で分割して形成した半割構造からなる２つの分割片で構成し、その互いに密接する接合面間に基板保持孔となる凹部を形成したものであってもよい。また、この場合は、接合面に位置決め用の係合部を形成しておくことが望ましい。
【００４０】
また、上記した実施の形態は温湿度センサ１０に用いられる回路基板２に適用した例を示したが、圧力センサ等のセンサを有する回路基板にも適用することができる。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように第１の発明に係るセンサを有する回路基板の気密構造によれば、回路基板への第１のシール部材の組付け作業が容易で短時間に組み付けることができ、また保護管の内部を第１のシール部材によって第１の収納室と第２の収納室に気密状態を維持しながら仕切ることができ、水、湿気等が第１の収納室を通って第２の収納室に浸入するのを確実に防止することができる。また、ポッティング材やＯリングを使用する必要がなく、最小部品点数でシール性の高い気密構造を提供することができる。
【００４２】
第２の発明に係るセンサを有する回路基板の気密構造によれば、ケーブル導出口を気密にシールすることができ、ポッティング材やＯリングを使用する必要がなく、また第２シール部材およびエンドキャップの組付け作業も容易で短時間に組み付けることができる。また、エンドキャップによって第２のシール部材の円錐部をケーブルに押し付けるようにしているため、接触面積が大きくケーブルと第２のシール部材、エンドキャップとの隙間を良好にシールすることができる。
【００４３】
第３の発明に係るセンサを有する回路基板の気密構造によれば、エンドキャップを着脱することが可能で、回路基板やセンサを交換する必要が生じたとき、保護管から簡単に取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るセンサを有する回路基板の気密構造の一実施の形態を示す断面図である。
【図２】第１のシール部材によって回路基板をシールした状態を示す断面図である。
【図３】回路基板の平面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は第１のシール部材の正面図、側面図およびＡ−Ａ線断面図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は第２のシール部材の正面図、側面図およびＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】本発明の他の実施の形態を示す要部の断面図である。
【図７】従来の回路基板の気密構造を示す断面図である。
【符号の説明】
１…保護管、２…回路基板、４…温度センサ、５…湿度センサ、６…ケーブル、７…通気孔、８…ケーブル導出口、１０…温湿度センサ、１１…第１のシール部材、１２…第２のシール部材、１２Ａ…筒部、１２Ｂ…円錐部、１２Ｃ…フランジ、１３…エンドキャップ、１５…第１の収納室、１６…第２の収納室、２０…基板保持孔、２１…第１のシール突起、２２…第２のシール突起、２４…切り込み、３０…ケーブル用孔、３１…テーパ孔。
【図１】
2004221262.tif 000003
【図２】
2004221262.tif 000004
【図３】
2004221262.tif 000005
【図４】
2004221262.tif 000006
【図５】
2004221262.tif 000007
【図６】
2004221262.tif 000008
【図７】
2004221262.tif 000009