(57)【要約】【課題】有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体の洗浄剤を使用しての洗浄において、洗浄室である高圧セル内へのメタルマスクの供給時、メタルマスクが低温の状態で搬送されていたので、洗浄に適する温度に昇温された超臨界流体又は亜臨界流体が高圧セル内に送られ、供給直後の低温のメタルマスクが急激に昇温され、熱歪を受けるなどの障害を受け、メタルマスクの再利用を難しくしていた。【解決手段】上記洗浄作業をするにあたり、メタルマスクを洗浄する温度に加熱した状態で洗浄室である高圧セル内へ搬入するようにしてある。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄方法において、前記被処理メタルマスクを洗浄する温度に加熱した状態で洗浄室に搬入することを特徴とするメタルマスクの洗浄方法。
【請求項２】
有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄装置において、前記被処理メタルマスクを搬送する搬送用チャンバに加熱手段及び温度コントローラを備えたことを特徴とするメタルマスクの洗浄装置。
【請求項３】
有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄装置において、前記被処理メタルマスクのストッカ及び被処理メタルマスクを搬送する搬送用チャンバに、加熱手段及び温度コントローラを備えたことを特徴とするメタルマスクの洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は発光材料である有機エレクトロルミネッセンス（以下有機ＥＬと言う）材料を用いたディスプレイの製造工程であるメタルマスクを使用した蒸着工程において、余剰の有機ＥＬ材料が付着したメタルマスクを洗浄して有機ＥＬ材料を除去するメタルマスクの洗浄方法及び洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、有機ＥＬ基板を製造する場合は、有機ＥＬ基板となる電極が形成されたガラス基板等の基板の裏面に磁石を配置し、該基板の表面側にメタルマスクを配してメタルマスクは磁石によって該基板に吸着させる。
【０００３】
この状態で、有機発光層の主要を占めるホスト材料であるアルミノキノール錯体（Ａｌｑ３）、ベンゾキノリールベリリュウム錯体（Ｂｅｂｑ２）、アルミノベンゾキノリノール誘導体（Ａｌｐｈ３）、オキサジアゾール誘導体（ＥＭ２）、ピラゾロキノリン（ＰＺ１０）、シロール誘導体（２ＰＳＰ）等の複数の発光材料である有機ＥＬを個々の蒸気圧に合わせて所定の電極部に真空蒸着によって付着させている。
【０００４】
該真空蒸着操作によって所定の電極部に発光層が形成されるが、同時にメタルマスクの対応電極部以外の箇所にも有機ＥＬ材料が付着する。
【０００５】
このメタルマスクに付着した有機ＥＬ材料の洗浄作業は有機溶剤を用いて人手によりなされている。
【０００６】
該洗浄作業は人手によって行っているため、多量の有機溶剤が使用され、その洗浄に使用された有機溶剤は有機ＥＬ材料と共に廃棄されている。
【０００７】
上述のメタルマスクはＮｉおよびその合金又はステンレス等を使用し、高精度に加工された薄板形状であるため、人手による洗浄では、メタルマスクを損傷することが多発している。また、メタルマスクの細孔部等に付着した有機ＥＬ材料を洗浄するのは非常に困難である。さらに、有機溶剤を使用し、人手によって洗浄するため、洗浄剤としての有機溶剤が多量に使用され、その有機溶剤を処理するのが大変である。
【０００８】
これ等の問題点を解決するため、特願２００２−３５６６７３号公報に記載されているような有機ＥＬ材料が蒸着したメタルマスクを洗浄室内において溶媒を超臨界流体又は亜臨界流体状にした洗浄剤、あるいは溶媒にモディファイアが添加されたものを超臨界流体又は亜臨界流体状にした洗浄剤を使用して洗浄する洗浄方法及び洗浄装置を発明した。
【０００９】
上述の洗浄方法及び洗浄装置では、使用する超臨界流体又は亜臨界流体、それに添加されるモディファイア及び有機物である有機ＥＬ材料の回収が容易で且つ再使用が可能なことから、環境汚染物質を排出することなくメタルマスクの洗浄作業を効率よく行うことができた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上述の洗浄装置においては被処理メタルマスクの洗浄室に対する供給操作後、洗浄に適する温度に昇温された超臨界流体又は亜臨界流体臨界流体状の洗浄剤が高圧セル内に送られ、供給直後の低温の被処理メタルマスクが急激に昇温される状態になっていた。
【００１１】
当該被処理メタルマスクは薄膜に微細加工が施されたもので、急激な温度変化を与えることにより、熱ひずみを生じるなど障害を受け、再利用できなる場合が多くあった。
【００１２】
本発明のメタルマスクの洗浄方法及び洗浄装置は洗浄操作時間を短縮すること及び被処理メタルマスクの障害を無くすことを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のメタルマスクの洗浄方法は請求項１に記載のように、有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄方法において、前記被処理メタルマスクを洗浄する温度に加熱した状態で洗浄室に搬入するようにしてある。
【００１４】
本発明のメタルマスクの洗浄装置は、請求項２に記載の様に有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄装置において、前記被処理メタルマスクを搬送する搬送用チャンバに加熱手段及び温度コントローラを備えた構成にしてある。
【００１５】
また、本発明のメタルマスクの洗浄装置は、請求項３に記載の様に有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄装置において、前記被処理メタルマスクのストッカ及び被処理メタルマスクを搬送する搬送用チャンバに、加熱手段及び温度コントローラを備えた構成にしてある。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１は本発明のメタルマスクの洗浄装置の１実施形態を示す概略図であって、洗浄装置は洗浄用の溶媒とモディファイアを供給する洗浄剤供給機構１と、メタルマスク１１０に有機ＥＬ材料１２０が付着した被処理メタルマスク１００を収納して該有機ＥＬ材料１２０を洗浄する洗浄機構２と、被処理メタルマスク１００を洗浄機構２に搬入し、処理済みメタルマスク１０１を取り出してメタルマスク載置部（図示せず）に搬送する搬送機構３とにより構成されている。
【００１７】
洗浄剤供給機構１は洗浄剤供給ライン５と、洗浄ライン６とにより構成されている。
【００１８】
洗浄剤供給ライン５は溶媒である液体状の二酸化炭素を貯留する溶媒タンク１０と、バルブ１２、溶媒供給用のポンプ１３、背圧弁１５を有する供給圧力調節用の戻り管１４、、圧力計を有し、一端が該溶媒タンク１０に連結され、他端がバルブ１６に連結された送液管１１と、バルブ１８と圧力計を有し、戻り管１４の送液管１１と連結部とバルブ１６との間の送液管１１に連結されたベント管１７と、モディファイアを貯留するモディファイアタンク１９と、ポンプ２１、バルブ２２、圧力計を有し、一端がモディファイアタンク１９に連結され、他端が混合器２６に連結された送液管２０と、背圧弁２４を有し、一端が送液管２０のポンプ２１の出口部に連結され、他端がモディファイア内に位置するようにモディファイアタンク１９に連結された供給圧力調節用の戻り管２３と、静止型の混合器２６を有し、一端がバルブ１６に連結され、他端が洗浄機構２に連結された送液管２５とにより構成されている。
【００１９】
洗浄ライン６は調圧バルブ３１を有し、一端が洗浄機構２に連結され、他端がトラップビーカ３２に連結された送液管３０と、流量計３５、ポンプ３６を有し、一端がトラップビーカ３２に連結され、他端が混合液タンク３７に連結された送液管３４と、ポンプ３９、背圧弁４２を有する供給圧力調節用の戻り管４１、バルブ４０、圧力計を有し、一端が混合液の底部に位置するよう混合液タンク３７に連結され、他端が送液管２５の混合器２６入口部に連結された送液管３８とにより構成されている。
【００２０】
トラップビーカ３２はヒータ３３によって加熱されるようになっている。
【００２１】
洗浄機構２は耐圧性、耐熱性、耐腐食性を有す形状の高圧セル５０により構成されている。
【００２２】
該高圧セル５０は、一端が開口し、洗浄室５０ａに被処理メタルマスク１００をメタルマスク１１０に付着した有機ＥＬ材料１２０の全面が洗浄剤に接触するように支持する支持部材を備えた胴部５１と、被処理メタルマスク１００の搬入、処理済みメタルマスク１０１の取り出しのために開口位置と閉止位置とに移動可能なように胴部５１の開口部に取り付けられた蓋部材５２と、洗浄室５０ａ内の洗浄剤を所定の温度に加熱するヒータ５３と、バルブ５５を有し、端部が洗浄室５０ａに連通するよう胴部５１に取り付けられたベント管５４と、胴部５１に設置された蓋部材５２の移動手段（図示せず）とにより構成されている。
【００２３】
蓋部材５２は胴部５１の支持部における摺接面部にシール部材を配設し、該蓋部材が開口位置、閉止位置に移動した状態あるいは移動途中の状態において気密が維持できる構成にしてある。
【００２４】
該蓋部材５２は胴部５１の開口端面に摺設した状態で垂直方向または水平方向に移動することによって開閉するようになっている。
【００２５】
高圧セル５０の胴部５１に対する送液管２５、３０の取り付け位置は、モディファイアが超臨界状態又は亜臨界状態の溶媒よりも軽いものを使用した場合には送液管２５が下側、送液管３０が上側になるようにし、モディファイアが超臨界状態又は亜臨界状態の溶媒よりも重いものを使用した場合には送液管２５が上側、送液管３０が下側になるようにするのが好ましい。モディファイアと超臨界状態又は亜臨界状態の溶媒との比重がほぼ同一の場合には送液管２５、３０が上側又は下側のどちらかにすることができる。胴部５１内に回転羽根、スクリュー等の攪拌手段を設置して超臨界状態又は亜臨界状態の流体を攪拌することは可能である。
【００２６】
溶媒とモディファイアの混合液をヒータ５３によって加熱して超臨界状態又は亜臨界状態の流体にしたが、高圧セル５０の胴部５１に入る前に送液管等を加熱して超臨界状態又は亜臨界状態の流体にすることは可能である。
【００２７】
搬送機構３は複数枚の被処理メタルマスク１００を貯留するストッカ６０と、該ストッカ６０から被処理メタルマスク１００を一枚取り出して洗浄機構２の高高圧セル５０に搬送して胴部５１内に挿入し、有機ＥＬ材料１２０が洗浄された処理済みメタルマスク１０１を該胴部５１から取り出してメタルマスク載置部（図示せず）に搬送する搬送用チャンバ６１とにより構成されている。
【００２８】
ストッカ６０は複数枚の被処理メタルマスク１００を一枚毎に取り出すことができるように積層した状態で貯留するようになっており、該積層部が一箇所又は複数箇所設けられている。
【００２９】
該ストッカ６０は被処理メタルマスク１００を洗浄時に最適な温度に低速で昇温し且つ保つ為にヒータ７０ａと温度コントローラ７１ａが備えられている。
【００３０】
また、搬送用チャンバ６１にも被処理メタルマスク１００を洗浄時に最適な温度に低速で昇温し且つ保つ為にヒータ７０ｂと温度コントローラ７１ｂが備えられている。
【００３１】
搬送用チャンバ６１は、搬送機構３のストッカ６０と洗浄機構２の高圧セル５０とメタルマスク載置部（図示せず）との前方に設置されたガイド部材６５と、一端が開口し、被処理メタルマスク１００を一枚ずつストッカ６０から取り出して保持室６６ａ内に取り込操作、保持室６６ａ内の被処理メタルマスク１００を洗浄機構２における高圧セル５０の胴部５１内へ搬入する操作、該胴部５１内の処理済みメタルマスク１０１を取り出して保持室６６ａ内に取り込操作、保持室６６ａ内の処理済みメタルマスク１０１をメタルマスク載置部（図示せず）に積み替える操作を行う移載手段（図示せず）を備え、該ガイド部材６５に沿って移動するチャンバ本体６６と、上記操作の度に開口位置と閉止位置とに移動可能なように該チャンバ本体６６の開口部に取り付けられた蓋部材６７と、チャンバ本体６６を所定の位置に移動させる駆動手段（図示せず）と、チャンバ本体６６に設置された蓋部材６７の移動手段（図示せず）とにより構成されている。
【００３２】
搬送用チャンバ６１は、チャンバ本体６６に備えられたヒータ７０ｂ及び温度コントローラ７１ｂにより被処理メタルマスク１００が洗浄機構２に搬入された場合に急激な昇温を受けない様に、洗浄時の最適温度に低速の昇温あるいは温度保持するようになっている。
【００３３】
該搬送用チャンバ６１による高圧セル５０の胴部５１への被処理メタルマスク１００の挿入操作、該胴部５１の処理済みメタルマスク１０１の取り出し、取り込み操作においては被処理メタルマスク１００の洗浄に最適な温度を維持できるようにシール部材によって気密を保持する構成になっている。
【００３４】
ストッカ６０が空気の殆ど無い状態にする構成の場合は搬送用チャンバ６１によるストッカ６０からの被処理メタルマスク１００の取り出し、取り込み操作においては被処理メタルマスク１００の洗浄に最適な温度を維持できるようにシール部材によって気密を保持する構成になっている。
【００３５】
上述の洗浄装置による被処理メタルマスク１００の洗浄操作は次のような順序で行うことができる。
【００３６】
先ず、バルブ１２、１６を開栓の状態にしてポンプ１３を作動させると、液体状の溶媒が溶媒タンク１０より送出されて混合器２６に供給される。この時、背圧弁１５によって溶媒の圧力が予め設定された圧力に調節される。
【００３７】
該供給動作と同時のバルブ２２を開栓の状態にしてポンプ２１を作動させると、液体状のモディファイアがモディファイアタンク１９から送出されて混合器２６の供給される。この時、背圧弁１５によってモディファイアの圧力が予め設定された圧力に調節される。
【００３８】
該溶媒とモディファイアは混合器２６内で混合されて高圧セル５０の胴部５１内に供給され、ヒータ５３によって胴部５１を介して該混合液が加熱されると、超臨界流体又は亜臨界流体の状態となる。
【００３９】
そして、超臨界流体又は亜臨界流体が胴部５１内に充満し、バルブ４０を開栓の状態にしてポンプ３６、３９を作動させると、該超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤が調圧バルブ３１を通ってトラップビーカ３２に入る。該超圧バルブ３１の減圧により溶媒もしくはモディファイアまたは両者ともが液化する。
【００４０】
該洗浄剤が液化した場合には、その溶媒及びモディファイアはヒータ３３によって加熱されて気化して流量計３５を通ってポンプ３６で加圧されて溶媒とモディファイアは液化して混合液タンク３７に送られる。
【００４１】
該混合液タンク３７に必要量の混合液が溜まった状態になると、洗浄剤供給ライン５のバルブ１２、１６、２２を閉栓の状態にすると共にポンプ１３、２１を停止させると共に洗浄ライン６のバルブ４０を閉栓の状態とすると共にポンプ３６、３９を停止させる。
【００４２】
上述の操作中にストッカ６０に被処理メタルマスク１００を供給すると共にヒータ７０ａ温度コントローラ７１ａが設置されている場合は、作動させてストッカ６０内を温度コントロールする。
【００４３】
上述の操作で洗浄操作が可能になると、搬送機構３の駆動機構（図示せず）を作動させて搬送チャンバー６１をストッカ６０の被処理メタルマスク１００の取り出し位置に移動させる。
【００４４】
該搬送チャンバー６１にヒータ７０ｂ、温度コントローラ７１ｂが備えられている場合は移動動作中に温度コントロールする。
【００４５】
該搬送チャンバー６１がストッカ６０の被処理メタルマスク１００の取り出し位置に移動すると、該搬送チャンバー６１とストッカ６０とを気密を保持する状態に連結させてストッカ６０の蓋部材（図示せず）と搬送チャンバー６１の蓋部材６７を開口位置に移動させる。
【００４６】
そして、移載手段（図示せず）を作動させてストッカ６０内の被処理メタルマスク１００を取り出して保持室６６ａ内に取り込むと、ストッカ６０の蓋部材（図示せず）と搬送チャンバー６１の蓋部材６７を閉止位置に移動させる。
【００４７】
被処理メタルマスク１００が搬送チャンバー６１に取り込まれると、駆動手段（図示せず）を作動させて搬送チャンバー６１が高圧セル５０の被処理メタルマスク１００の挿入位置に移動させる。
【００４８】
すると、該搬送チャンバー６１が高圧セル５０とを気密を保持する状態に連結させて高圧セル５０の蓋部材５２と搬送チャンバー６１の蓋部材６７を開口位置に移動させる。
【００４９】
そして、移載手段（図示せず）を作動させて保持室６６ａ内の被処理メタルマスク１００を取り出して高圧セル５０の胴部５１内に有機ＥＬ材料１２０が下方に位置するように支持部材（図示せず）に支持させると、高圧セル５０の蓋部材５２と搬送チャンバー６１の蓋部材６７を閉止位置に移動させる。
【００５０】
該蓋部材５２、６７が閉止され、搬送チャンバー６１と高圧セル５０が切り離されると、洗浄ライン６のバルブ４０を開栓の状態にすると共にポンプ３６、３９を作動させて超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を循環させて被処理メタルマスク１００の有機ＥＬ材料１２０を溶解させて洗浄する。
【００５１】
超臨界流体又は亜臨界流体状態の洗浄剤に溶解された有機ＥＬ材料１２０は該洗浄剤と共に調圧バルブ３１を通ってトラップビーカ３２に入る。該調圧バルブ３１の減圧によりエタノールは液化し、超臨界状態又は亜臨界状態を解かれた二酸化炭素は気化する。この時、洗浄された有機ＥＬ材料１２０も析出する。
【００５２】
液化したエタノールはヒータ３３により加熱されて気化し、減圧により気化した二酸化炭素と加熱により気化したエタノールは加圧ポンプ３６によって加圧されて二酸化炭素とエタノールに液化されて混合液タンク３７内に入る。二酸化炭素とエタノールが気化することでトラップビーカ３２には有機ＥＬ材料１２０のみが残る。
【００５３】
該混合液タンク３７内の二酸化炭素とエタノールの混合液は有機ＥＬ材料１２０及び付着物を含まない混合液である。
【００５４】
該混合液タンク３７内の混合液がポンプ３９により送られて高圧セル５０の胴部５１内（洗浄室５０ａ内）に入り、洗浄剤となって再び被処理メタルマスク１００に付着している有機ＥＬ材料１２０を溶解させて洗浄する。
【００５５】
そして、有機ＥＬ材料１２０の洗浄が完了すると、バルブ４０を閉栓の状態にすると共にポンプ３６、３９を停止させ、搬送チャンバー６１が高圧セル５０とを気密を保持する状態に連結させて高圧セル５０の蓋部材５２と搬送チャンバー６１の蓋部材６７を開口位置に移動させる。
【００５６】
該蓋部材５２、６７が開口されると、移載手段（図示せず）を作動させて処理済みメタルマスク１０１を保持室６６ａに取り出して高圧セル５０の蓋部材５２と搬送チャンバー６１の蓋部材６７を閉止位置に移動させると、搬送チャンバー６１と高圧セル５０とを切り離して該搬送チャンバー６１をメタルマスク移載手段位置に搬送する。
【００５７】
該蓋部材６７が閉止動作後あるいは搬送用チャンバ６１の移動動作中にチャンバ本体６６内の二酸化炭素が溶媒排出用管（図示せず）から排出され、該二酸化炭素の排出に伴って空気がチャンバ本体６６の保持室６６ａ内に流入し、洗浄装置が設置されている室内と同一の状態になる。
【００５８】
そして、搬送用チャンバ６１がメタルマスク移載手段（図示せず）位置に移動すると、蓋部材６７が開口されて処理済みメタルマスク１０１が保持室６６ａ内からメタルマスク移載手段（図示せず）に積み替えられて洗浄操作を終了する。
【００５９】
上述の操作を繰り返してスタッカ６０にある被処理メタルマスク１００の洗浄を行う。
【００６０】
上述の搬送用チャンバ６１による被処理メタルマスク１００、処理済みメタルマスク１０１の搬送、洗浄機構２の高圧セル５０による被処理メタルマスク１００の洗浄処理は一枚ずつ行ったが、同時に二枚あるいは三枚等同時に複数枚の搬送、洗浄処理を行う構成にできることは言うまでもない。
【００６１】
上述の溶媒としては二酸化炭素を使用し、モディファイアとしてはエタノール、メタノール、アセトン、アセトニトリル、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセドアミド、ジクロロメタン、トルエン、キシレン、エチレングリコール、塩酸、硝酸、硫酸、エーテル、代替えフロン等を使用することができる。
【００６２】
【実施例１】
実施例１として、洗浄剤としての超臨界流体又は亜臨界流体には二酸化炭素を用い、モディファイアとしてはエタノールを用いた。洗浄時の条件は、溶媒タンク１０の圧力６ＭＰａ、モディファイアタンクは常温・常圧に設定した。二酸化炭素の供給量６．８ｇ／ｍｉｎ、モディファイア供給量０．４ｇ／ｍｉｎとした。ここで超臨界流体又は亜臨界流体及びモディファイアの流量は相により体積が異なる為単位をｇ／ｍｉｎで表している。洗浄機構２の高圧セル５０内圧力は２５ＭＰａに設定して洗浄した。
【００６３】
ここで、あらかじめ、搬送チャンバー６１内で被処理メタルマスク１００を洗浄温度の６０℃に低速で昇温した後搬送機構３を通じて、高圧セル５０へ搬入するまで当該温度を維持し高圧セル５０に搬入した後上記条件にて洗浄した。処理済メタルマスク１０１は歪無く再び蒸着に使用できた。
【００６４】
【実施例２】
実施例２として、洗浄剤としての超臨界流体又は亜臨界流体には二酸化炭素を用い、モディファイアとしてはエタノールを用いた。洗浄時の条件は、溶媒タンク１０の圧力６ＭＰａ、モディファイアタンクは常温・常圧に設定した。二酸化炭素の供給量６．８ｇ／ｍｉｎ、モディファイア供給量０．４ｇ／ｍｉｎとした。ここで超臨界流体又は亜臨界流体及びモディファイアの流量は相により体積が異なる為単位をｇ／ｍｉｎで表している。洗浄機構２の高圧セル５０内圧力は２５ＭＰａに設定して洗浄した。
【００６５】
ここで、あらかじめ、ストッカ６０内で被処理メタルマスク１００を洗浄温度の６０℃に低速で昇温し、搬送チャンバー６１内でも同様６０℃を維持し、搬送機構３を通じて、高圧セル５０へ搬入した後上記条件にて洗浄した。処理済メタルマスク１０１は歪無く再び蒸着に使用できた。
【００６６】
【発明の効果】
上記目的を達成するため、本発明のメタルマスクの洗浄方法は請求項１に記載のように、有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄方法において、前記被処理メタルマスクを洗浄する温度に加熱した状態で洗浄室に搬入するようにしてあるため、被処理メタルマスクに洗浄開始後すぐに最適な洗浄環境となり洗浄操作時間を短縮することができる。また、急激な温度変化を被処理メタルマスクが受けないため被処理メタルマスクの障害を無くすることができる。
【００６７】
本発明のメタルマスクの洗浄装置は、請求項２に記載の様に有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄装置において、前記被処理メタルマスクを搬送する搬送用チャンバに加熱手段及び温度コントローラを備えた構成にしてあるため、コントロールされた昇温時間で、あらかじめ被処理メタルマスクを洗浄に最適な温度に昇温し保つことができる。
【００６８】
また、本発明のメタルマスクの洗浄装置は、請求項３に記載の様に有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄装置において、前記被処理メタルマスクのストッカ及び被処理メタルマスクを搬送する搬送用チャンバに、加熱手段及び温度コントローラを備えた構成にしてあるため、コントロールされた昇温時間で、あらかじめ被処理メタルマスクを洗浄に最適な温度に昇温し保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のメタルマスクの洗浄装置の１実施形態を示す概略図である。
【図２】本発明の洗浄装置における搬送機構の１実施形態を示す概略図である。
【符号の説明】
１  洗浄剤供給機構
２  洗浄機構
３  搬送機構
５  洗剤供給ライン
６  洗浄ライン
１０  溶媒タンク
１１、２０、２５、３０、３４、３８  送液管
１２、１８、２２、４０、４４  バルブ
１３、２１、３６、３９  ポンプ
１４、２３、４１  戻り管
１５，２４、４２  背圧弁
１７、４３、５４  ベント管
１９  モディファイアタンク
２６  混合器
３１  調圧弁
３２  トラップビーカ
３３、５３  ヒータ
３５  流量計
３７  混合タンク
５０  高圧セル
５１  胴部
５２、６７  蓋部材
６０  ストッカ
６１  搬送用チャンバ
６５  ガイド部材
６６  チャンバ本体
１００  被処理メタルマスク
１０１  処理済みメタルマスク
１１０  メタルマスク
１２０  有機ＥＬ材料
５０ａ  洗浄室
６６ａ  保持室
７０ａ、７０ｂ  ヒータ
７１ａ、７１ｂ  温度コントローラ
【図１】
2004228040.tif 000003
【図２】
2004228040.tif 000004