(57)【要約】【課題】任意の空孔径、及び空隙率の多孔体を容易に安定して製造することができる製造方法を提供する。【解決手段】無機充填材を樹脂中に分散させた後、無機充填材を含んだ樹脂組成物を成形し、その後、その樹脂成形物を抽出液に浸積し、無機微粒体を溶解、除去することにより、樹脂組成物内に空孔を形成せしめることを特徴とする多孔体の製造方法。無機微粒体はシリカ、抽出液がフッ酸であることが望ましい。本発明によれば、多孔体は、無機充填材を溶融樹脂中に分散させた後、無機充填材を含んだ樹脂組成物を成形後、その樹脂成形物を抽出液に浸積させ、無機微粒体を溶解、除去することにより得られ、樹脂組成物内の空孔の径及び空隙率は無機微粒体の径および充填率となるため、任意に制御することができる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機充填材を樹脂中に分散させた後、無機充填材を含んだ樹脂組成物を成形し、その後、その樹脂成形物を抽出液に浸積し、無機微粒体を溶解、除去することにより、樹脂組成物内に空孔を形成せしめることを特徴とする多孔体の製造方法。
【請求項２】
前記無機微粒体がシリカである請求項１記載の製造方法。
【請求項３】
前記抽出液がフッ酸である請求項１または２記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空孔の径、及び空隙率の制御が容易な多孔体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、多孔体の製造方法としては、熱分解型発泡剤を樹脂中に練り込み、発泡剤の分解温度以上に加熱することにより発泡させる化学発泡法と、溶融状態の樹脂に対して、樹脂の融点以下の融点を有するブタン、ペンタン、フロン等の揮発性発泡剤、あるいは、炭酸ガス、窒素ガス等の無機ガス等の発泡剤を高温高圧下で圧入した後、減圧域に放出して発泡させる物理的発泡法が知られている。
【０００３】
化学発泡法を用いることにより、微細な独立気泡を有する多孔体を得ることができるが、空孔径の制御が困難であり、また、多孔体中に発泡剤の分解残留物が残存するため、多孔体の変色、臭気の発生等をもたらすという問題があり、このようなことから、空隙率の高い多孔体を得ることは困難である。
【０００４】
物理的発泡法については、例えば特許文献１に記載のように、空隙率の高い多孔体を得ることはできるが、多孔体内の気泡は径が大きく、不均一であるという問題があった。
【０００５】
特開昭６０−３１５３８号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、各空孔の大きさ、分布、及び空隙率を任意に制御できる多孔体の製造方法を提供するためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、前記従来の問題点を鑑み、鋭意検討を重ねた結果、以下の手段により、本発明を完成するに至った。
【０００７】
すなわち本発明は、無機充填材を樹脂中に分散させた後、無機充填材を含んだ樹脂組成物を成形し、その後、その樹脂成形物を抽出液に浸積し、無機微粒体を溶解、除去することにより、容易に樹脂組成物内に任意の空孔径、及び空隙率の空孔を形成せしめることを特徴とする多孔体の製造方法である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明においては、添加する無機充填材の粒径によって、多孔体内の空孔の平均径を任意に制御でき、また無機充填材の添加量によって多孔体内の空隙率を任意に制御できる。
【０００９】
従来の多孔体の製造方法は、多孔体内の空孔の平均径及び空隙率を制御できるものではなかった。
【００１０】
本発明の樹脂は抽出液に溶解しないものであれば特に限定しないが、ポリウレタン、ポリスチレン、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレン、ナイロン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリブテン、ポリアセタール、ポリフェニレンオキシド、ポリビニルアルコール、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレート、芳香族系ポリサルホン、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、フッ素樹脂、エチレン−プロピレン樹脂、エチレン−エチルアクリレート樹脂、アクリル樹脂、ノルボルネン系樹脂、例えば、ビニルポリイソプレン−スチレン共重合体、ブタジエン−スチレン共重合体、アクリロニトリル−スチレン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体等に代表されるスチレン共重合体、あるいは天然ゴム、合成ゴム等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、混合あるいは共重合させてもよい。また、上記樹脂を有機溶剤で希釈して用いても構わない。
【００１１】
本発明に使用される無機充填材は、抽出液に溶解するものであれば特に限定はしないが、溶融球状シリカ、結晶シリカ等のシリカ、窒化珪素などが挙げられる。これらは単独で用いても、混合して用いても構わない。
【００１２】
本発明に使用される抽出液は、無機充填材を溶解させ、樹脂を溶解させないものであれば特に限定しないが、酸やアルカリ、例えばフッ酸などが挙げられる。
【００１３】
本発明によれば、多孔体は、無機充填材を溶融樹脂中に分散させた後、無機充填材を含んだ樹脂組成物を成形し、その後、その樹脂成形物を抽出液に浸積させ、無機微粒体を溶解、除去することにより得られ、樹脂組成物内の空孔の径及び空隙率は無機微粒体の径および充填率となるため、任意に制御することができる。
【００１４】
樹脂中に添加する無機充填材にナノサイズのものを用いれば、層間絶縁膜への適用も期待できる。
【００１５】
具体的には、あらかじめ高温下あるいは有機溶剤で溶融させておいた樹脂に任意の粒径、量の無機充填材を混合し、樹脂中に無機充填材を分散させ、該樹脂組成物を任意の形状に成形した後、その樹脂成形物を抽出液に浸積させ、無機微粒体を溶解、除去することにより多孔体が得られる。この方法により、任意の径の空孔、及び空隙率の多孔体が得られるわけである。
【００１６】
樹脂と無機充填材を混合する設備は特に限定しないが、単軸押出機、二軸押出機、連続ニーダ、バンバリーミキサー、ヘンシェルミキサー、湿式ビーズミル、高圧衝突型分散機などが使用できる。
【実施例】
以下に、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明は、実施例の内容になんら限定されるものではない。
【００１７】
（実施例１）
９，９−ビス（（４−アミノ−３−ヒドロキシ）フェニル）フルオレンと３、３’−ジアミノ−４，４’−ジヒドロキシビフェニルを、Ｎ−メチル−２−ピロリドン中で反応させて得られた固形分８０％のポリベンゾオキサゾール前駆体樹脂溶液１００ｇに、平均粒子径１３ｎｍのシリカ含有率１３％Ｎ−メチル−２−ピロリドン溶液（扶桑化学製：ＰＬ−１）を６１５ｇ添加し、湿式ビーズミルで混合した。このシリカを含む樹脂溶液をスピンコーターを用いてアルミニウム板上に塗布した。この際熱処理後の膜厚が約１０μｍとなるようにスピンコーターの回転数と時間を設定した。塗布後、加熱処理を施すことによって、ポリベンゾオキサゾール樹脂の皮膜を得た。この皮膜をフッ酸に常温で２時間浸積させた後、蒸留水で洗浄し、多孔体を得た。この皮膜について断面をＳＥＭにより観察したところ、得られた空孔は１３ｎｍであり、空隙率は約３９％であることが確認できた。
【００１８】
【発明の効果】
本発明の、無機充填材を樹脂中に分散させた後、無機充填材を含んだ樹脂組成物を成形し、その後、その樹脂成形物を抽出液に浸積し、無機微粒体を溶解、除去することにより、樹脂組成物内に空孔を形成せしめることを特徴とする多孔体の製造方法を用いれば、任意の空孔径、及び空隙率の多孔体を容易に安定して製造することができる。