(57)【要約】【課題】搬送車の移動時に隣接する床パネルに段差を生じさせないようにしたクリーンルームの床構造を提供することにある。【解決手段】所定の間隔で平行に設置される複数のＨ型鋼と、隣接するＨ型鋼上に対向する最外周縁部を載置して敷設される複数の床パネルと、前記隣接するＨ型鋼間で隣接する床パネルの最外周縁部の中央部と前記隣接するＨ型鋼の各下部とを連結する床パネル支持装置とで構成されたことを特徴とする。前記床パネル支持装置は、前記隣接するＨ型鋼間で隣接する床パネルの最外周縁部の中央部を受ける受け部材と、この受け部材の両端部に回動自在に取り付けられるとともに前記Ｈ型鋼の各下部に当接される伸縮自在な支持部材とで構成されていることを特徴とする。【選択図】　　　図１
2004027514.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隔で平行に設置される複数のＨ型鋼と、
隣接するＨ型鋼上に対向する最外周縁部を載置して敷設される複数の床パネルと、
前記隣接するＨ型鋼間で隣接する床パネルの最外周縁部の中央部と前記隣接するＨ型鋼の各下部とを連結する床パネル支持装置と
で構成されたことを特徴とするクリーンルームの床構造。
【請求項２】
請求項１記載のクリーンルームの床構造において、
前記床パネル支持装置は、
前記隣接するＨ型鋼間で隣接する床パネルの最外周縁部の中央部を受ける受け部材と、
この受け部材の両端部に回動自在に取り付けられるとともに前記Ｈ型鋼の各下部に当接される伸縮自在な支持部材と
で構成されていることを特徴とするクリーンルームの床構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、床パネルを敷設して成るクリーンルームの床構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、クリーンルームの床構造は、例えば、図９に示すように、Ｈ型鋼２をパネル幅で平行に設置し、その上に例えば６００ｍｍ×６００ｍｍ×４５ｍｍの床パネル３を敷き込んでいる。Ｈ型鋼２の上部フランジ２ａにはパネル固定用台座５が載置され、各床パネル３の隅部を支持している。
このように構成されたクリーンルームの床構造１では、搬送車４が走行し得るように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
最近、液晶パネルや半導体ウエハーの大型化に伴い搬送車４の大型化が進み、その総重量が非常に重くなってきた。
それに連れて、搬送車４の移動に伴う床パネル３の撓みによる振動や床パネル３の表面材の周囲の破損が問題となっている。
例えば、図１０において、搬送車４を矢印方向に移動させると、床パネル３相互が接する下にはＨ型鋼２があり、そこにパネル固定用台座５の厚さに等しいスペーサ７を挿入することにより、床パネル３の撓みを打ち消すことができ、二枚の床パネル３間に段差は生じない。
【０００４】
しかし、図１１に示すように、搬送車４が矢印方向に移動する場合には、図１２、図１３に示すように、合致する二枚の床パネル３下には搬送車４の車輪４ａに掛かる荷重を受けるものがないため、車輪４ａが床パネル３の縁部３ａ１に乗り掛かると、荷重を受けている方の床パネル３の縁部３ａ１に大きな撓みが生じ、隣り合う床パネル３との間に大きな段差６を生じる。そして、車輪４ａがその段差６を乗り越えるときに、まだ荷重の掛かっていない方の床パネル３の縁部３ａ２に大きな衝撃が生じ、床パネル３の縁部３ａ２の表面貼材に損傷や剥離を生じ、振動も伴うなどの問題があった。
【０００５】
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為されたもので、その目的は、搬送車の移動時に隣接する床パネルに段差を生じさせないようにしたクリーンルームの床構造を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、所定の間隔で平行に設置される複数のＨ型鋼と、隣接するＨ型鋼上に対向する最外周縁部を載置して敷設される複数の床パネルと、前記隣接するＨ型鋼間で隣接する床パネルの最外周縁部の中央部と前記隣接するＨ型鋼の各下部とを連結する床パネル支持装置とで構成されたことを特徴とする。
請求項２に係る発明は、請求項１記載のクリーンルームの床構造において、前記床パネル支持装置は、前記隣接するＨ型鋼間で隣接する床パネルの最外周縁部の中央部を受ける受け部材と、この受け部材の両端部に回動自在に取り付けられるとともに前記Ｈ型鋼の各下部に当接される伸縮自在な支持部材とで構成されていることを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施形態に基づいて説明する。
図１ないし図３は、本発明の一実施形態に係るクリーンルームの床構造１０を示す（請求項１，２に対応する）。
本発明の一実施形態に係るクリーンルームの床構造１０では、先ず、従来のクリーンルームの床と同様に、床パネル１６の幅（所定の間隔）で複数のＨ型鋼１１を平行に設置する。
【０００８】
ここで、Ｈ型鋼１１は、クリーンルームＣを形成する部屋の床Ｃ１上に常法に従って設置される。
次に、隣接するＨ型鋼１１，１１の上部フランジ１２，１２上に対向する最外周縁部１６ａ，１６ｂを載置して複数の床パネル１６を敷設する。
ここで、Ｈ型鋼１１の上部フランジ１２，１２には、床パネル１６の最外周縁部１６ａ，１６ｂを載置する箇所に、パネル固定用台座１７およびスペーサ１８が設置されている。
【０００９】
以上により、従来のクリーンルームの床と同様に床が構築される。
次に、隣接するＨ型鋼１１，１１間で隣接する床パネル１６，１６の最外周縁部１６ｃ，１６ｄの中央部１６ｃ１，１６ｄ１と、隣接するＨ型鋼１１，１１の各ウエーブ１４，１４と各下部フランジ１３，１３との連結部１５，１５とを床パネル支持装置２０で連結する。
【００１０】
ここで、床パネル支持装置２０は、隣接するＨ型鋼１１，１１間で隣接する床パネル１６，１６の最外周縁部１６ｃ，１６ｄの中央部１６ｃ１，１６ｄ１を受ける受け部材２１と、この受け部材２１の両端部に回動自在に取り付けられるとともにＨ型鋼１１，１１の各ウエーブ１４，１４と各下部フランジ１３，１３との連結部１５，１５に当接される伸縮自在な支持部材２５，２５とで構成されている。
【００１１】
受け部材２１は、図４ないし図６に示すように、一端部がＬ字型に折り曲げられた一対の金属板２２，２２をスポット溶接により接合して一端部に凹部状の受け部２３を形成している。
また、受け部材２１は、受け部２３の反対側の壁面の両側部側に貫通孔２４，２４を設けている。
【００１２】
支持部材２５，２５は、受け部材２１の両側部側に設けた貫通孔２４，２４にボルトナット２９を介して回動自在に取り付けられるヘッド部２６，２６と、このヘッド部２６，２６に連結する伸縮自在な連結軸部材３０，３０と、この連結軸部材３０，３０の下部に取り付けられる座部３４，３４とで構成されている。
ヘッド部２６，２６は、受け部材２１の両側から貫通孔２４，２４にボルトナット２９，２９を介してそれぞれ連絡する軸孔２８を設けた本体部２７ａ，２７ａと、この本体部２７ａ，２７ａより細幅の軸部２７ｂ，２７ｂとから成る一対の連結板部材２７，２７で構成されている。
【００１３】
連結軸部材３０，３０は、端部に平行ネジ３１ａを設けた第一連結パイプ３１，３１と、内壁面にネジ部３２ａを設けたソケット３２と、端部に平行ネジ３３ａを設けた第二連結パイプ３３，３３とで構成されている。
第一連結パイプ３１は、ヘッド部２６を構成する一対の連結板部材２７の軸部２７ｂを挿入する穴部３１ｂを有する。そして、穴部３１ｂ内に軸部２７ｂを挿入したときに、本体部２７ａの下端部２７ｃが端部３１ｃに当接するようになっている。
【００１４】
第二連結パイプ３３は、座部３４の軸部３４ｂを挿入する穴部３３ｂを有する。そして、穴部３３ｂ内に軸部３４ｂを挿入したときに、座部本体３４ａの肩部３４ｃに当接するようになっている。
第一連結パイプ３１と第二連結パイプ３３とは、ソケット３２を回転することにより図２の矢印方向に移動するようになっている。
【００１５】
座部３４は、Ｈ型鋼１１のウエーブ１４と下部フランジ１３との連結部１５に当接する台形形状の座部本体３４ａと、第二連結パイプ３３の穴部３３ｂ内に挿入される軸部３４ｂとで構成された板部材である。
ここで、座部３４は、連結軸部材３０の転倒を防止し、直線性と直角性を保たせやすくするために、座部本体３４ａの底部を長くしている。
【００１６】
次に、斯くして構成された床パネル支持装置２０の組付について説明する。
先ず、図４ないし図６に示す受け部材２１の両側から一対の連結板部材２７，２７を宛い、各軸孔２８，２８と２つの貫通孔２４，２４とをボルトナット２８により回動自在に連結し、受け部材２１を挟み込んだ状態で受け部材２１の両側にヘッド部２６，２６を回動自在に取り付ける。
【００１７】
次に、連結軸部材３０，３０の第二連結パイプ３３，３３の下部にそれぞれ座部３４，３４を取り付ける。
次に、座部３４，３４をＨ型鋼１１，１１の各ウエーブ１４，１４と各下部フランジ１３，１３との連結部１５，１５上に座部３４，３４を置いた状態で連結軸部材３０，３０を起こし、ヘッド部２６，２６の軸部２７ｂ，２７ｂを第一連結パイプ３１，３１の穴部３１ｂ，３１ｂ内に挿入する。
【００１８】
次に、さらに連結軸部材３０，３０を起こすとともに、ソケット３２，３２を回転して第一連結パイプ３１，３１と第二連結パイプ３３，３３とを引き離しながら床パネル装置２０の高さを調整する。
これによって、受け部材２１の受け部２３内に、隣接するＨ型鋼１１，１１間で隣接する床パネル１６，１６の最外周縁部１６ｃ，１６ｄの中央部１６ｃ１，１６ｄ１の下端部が当接する。
【００１９】
この時点で、床パネル支持装置２０は、受け部材２１と座部３４，３４との間に位置する連結軸部材３０，３０が筋交いとなり、強固に固定される。
同時に、ヘッド部２６，２６と連結軸部材３０，３０とは、ヘッド部２６，２６の軸部２７ｂ，２７ｂが第一連結パイプ３１，３１の穴部３１ｂ，３１ｂ内に填り込むとともに本体部２７ａ，２７ａの下端部２７ｃ，２７ｃを第一連結パイプ３１，３１の端部３１ｃ，３１ｃで受け止めることにより、ヘッド部２６，２６と第一連結パイプ３１，３１とが一直線上に並ぶこととなる。
【００２０】
また、第一連結パイプ３１，３１と第二連結パイプ３３，３３とは、それぞれの端部に設けた平行ネジ３１ａ，３３ａを介してソケット３２，３２で移動可能に連結しているので、第一連結パイプ３１，３１と第二連結パイプ３３，３３ともまた、同様に一直線上に並ぶこととなる。
さらに、座部３４，３４と第二連結パイプ３３，３３とは、座部３４，３４の軸部３４ｂ，３４ｂが第二連結パイプ３３，３３の穴部３３ｂ，３３ｂ内に填り込むとともに座部本体３４ａ，３４ａの肩部３４ｃ，３４ｃで第二連結パイプ３３，３３の端部３３ｃ，３３ｃを受け止めることにより、第二連結パイプ３３，３３と座部３４，３４とが一直線上に並ぶこととなる。
【００２１】
そして、受け部材２１に掛かる荷重は、ヘッド部２６，２６を介して連結軸部材３０，３０に伝えられ、座部３４，３４を介してＨ型鋼１１，１１の各ウエーブ１４，１４と各下部フランジ１３，１３との連結部１５，１５で受け止められる。
従って、Ｈ型鋼１１，１１上に載置されていない各床パネル１６の最外周縁部１６ｃ，１６ｄに搬送車４０の車輪４０ａが来ても、従来のように段差を生じることがないので、各床パネル１６の縁部に大きな衝撃を生じることがなくなり、各床パネル１６の縁部の表面貼材に損傷や剥離を生じることもなくなるとともに、振動を生じるという問題もなくなる。
【００２２】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、搬送車の移動時に隣接する床パネルに段差が生じなくなるので、搬送車の移動に伴う床パネルの撓みによる振動や床パネル表面材の周縁部の破損が防止できるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るクリーンルームの床構造を示す平面図である。
【図２】図１のイ−イ線に沿った断面図である。
【図３】図１のロ−ロ線に沿った断面図である。
【図４】図１に使用する受け部材の側面図である。
【図５】図１に使用する受け部材の正面図である。
【図６】図１に使用する受け部材の平面図である。
【図７】図１に使用するヘッド部の正面図である。
【図８】図１に使用する座部の正面図である。
【図９】従来のクリーンルームの床構造を示す平面図である。
【図１０】図９のハ−ハ線に沿った断面図である。
【図１１】図９のニ−ニ線に沿った断面図である。
【図１２】図１１の拡大図である。
【図１３】床パネルに生じる段差を示す説明図である。
【符号の説明】
１０　クリーンルームの床構造
１１　Ｈ型鋼
１２　上部フランジ
１３　下部フランジ
１４　ウエーブ
１５　連結部
１６　床パネル
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ　最外周縁部
１６ｃ１，１６ｄ１　中央部
１７　パネル固定用台座
１８　スペーサ
２０　床パネル支持装置
２１　受け部材
２２　金属板
２３　受け部
２４　貫通孔
２５　支持部材
２６　ヘッド部
２７　連結板部材
２７ａ　本体部
２７ｂ　軸部
２８　軸孔
２９　ボルトナット
３０　連結軸部材
３４　座部
３１　第一連結パイプ
３１ａ，３３ａ　平行ネジ
３２　ソケット
３３　第二連結パイプ
４０　搬送車
４０ａ　車輪
Ｃ　クリーンルーム
Ｃ１　床
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004027514.tif 000009
【図８】
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【図９】
2004027514.tif 000011
【図１０】
2004027514.tif 000012
【図１１】
2004027514.tif 000013
【図１２】
2004027514.tif 000014
【図１３】
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