(57)【要約】【課題】  応答性がよく、比較的小さい印加磁場で変位量及び発生力が大きく、精密制御が可能なアクチュエータを提供する。【解決手段】  本発明のアクチュエータは、双晶構造を有する物質からなる磁性形状記憶弾性部材と、磁場発生体とを有し、前記磁性形状記憶弾性部材の少なくとも一部は前記磁場発生体から発生する傾斜磁場中に配置されており、前記磁場により前記双晶構造が再配向し、もって前記形状記憶弾性部材が駆動されることを特徴とする。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
双晶構造を有する物質からなる磁性形状記憶弾性部材と、磁場発生体とを有し、前記磁性形状記憶弾性部材の少なくとも一部は前記磁場発生体から発生する傾斜磁場中に配置されており、前記磁場により前記双晶構造が再配向し、もって前記形状記憶弾性部材が駆動されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータにおいて、前記傾斜磁場中で発生する応力により前記双晶構造が再配向することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項1又は２に記載のアクチュエータにおいて、前記磁性形状記憶弾性部材が磁場勾配の最も大きい位置に配置されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のアクチュエータにおいて、前記形状記憶弾性部材がコイルバネ又は板バネであることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のアクチュエータにおいて、前記磁場が20 kOe以下であることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のアクチュエータにおいて、前記双晶構造を有する物質がFe-Pd合金であることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のアクチュエータにおいて、前記双晶構造を有する物質のマルテンサイト変態開始温度Ms付近で駆動されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のアクチュエータにおいて、前記磁場発生体が前記磁性形状記憶弾性部材の両端部に配置されていることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バネ等の磁性形状記憶合金部材が比較的小さな磁場で駆動され、大きなストローク及び出力を与えるアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
ロボット、工作機械、自動車等の電磁モータを利用する分野では、駆動システムの軽量化が求められている。しかし電磁モータの出力密度はモータの重量に依存するため、電磁モータを利用したアクチュエータの軽量化には限界がある。そのため、小型軽量化と大出力化が可能なアクチュエータが望まれている。
【０００３】
アクチュエータに要求される条件としては、駆動力により可動部は所望の位置に変位し、非動作状態になると可動部は必ず基準位置に戻り、かつ大きな負荷があっても可動部を駆動し得るように大きな出力が得られること等が挙げられる。非動作状態になると可動部が必ず基準位置に戻るためには、可動部の偏圧部材としてバネを使用する必要があるが、バネの反発力が大きいと、バネ力に逆らって可動部を駆動するのに大きな力が必要となる。そのため、僅かな力で変位するバネが望まれる。
【０００４】
形状記憶合金は約５％にも及ぶ大きな変位（形状回復歪み）が得られるため、アクチュエータ材料として特に注目されている。ある温度で塑性変形した形状記憶合金は、合金変態温度以上の温度に加熱すると元の形状に戻る。すなわち、高温相のオーステナイト相で形状を拘束し、熱処理することにより合金に形状を記憶させると、低温相であるマルテンサイト相で変形した後でも、加熱により逆変態機構により元の形状に戻る。この現象をアクチュエータに利用する。しかしながら、温度変化によって形状記憶現象を発現させるには加熱冷却が必要であり、特に冷却時の熱拡散が律速になって応答性が低いという問題がある。
【０００５】
このため、相転移構造（双晶構造）を有する磁性形状記憶合金を用いたアクチュエータが提案されている（特許文献１及び２）。このアクチュエータの駆動は、マルテンサイト状態における定磁場の印加によりマルテンサイト単位セル（セル内の磁化ベクトル）が磁場方向へ再配向することに伴う変形を利用するものである。
【０００６】
Fe-Pd合金等の加工性に優れた磁性形状記憶合金の薄帯（特許文献３）や薄膜（特許文献４）では、１〜２kOeの比較的小さな定磁場で歪みが生じるが、バネのようなバルク部材に歪み（変形）を生じさせるには非常に大きな定磁場が必要となる。例えば、Fe-Ni-Co-Ti合金のバルク部材を変形させるのに400 kOeの磁場を要し、Fe-Pd合金のバネの歪みは20 kOeの磁場まで０である。このため、比較的小さな磁場で、大きなストローク及び出力を与える磁性形状記憶合金部材を有するアクチュエータが望まれている。
【０００７】
【特許文献１】特表平11-509368号公報
【特許文献２】特表2001-525159号公報
【特許文献３】特開平11-269611号公報
【特許文献４】特開2001-329347号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従って本発明の目的は、応答性がよく、比較的小さい印加磁場で変位量及び発生力が大きく、精密制御が可能なアクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的に鑑み鋭意研究の結果、本発明者らは、双晶構造を有する磁性形状記憶合金に磁場を作用させたときに生じる応力は磁場の勾配に比例し、この応力はマルテンサイト単位セルの再配向による変形を生じさせることから、アクチュエータの磁性形状記憶合金を勾配を有する磁場（傾斜磁場）中に配置することにより、アクチュエータを駆動できることを発見し、本発明に想到した。
【００１０】
すなわち、本発明のアクチュエータは、双晶構造を有する物質からなる磁性形状記憶弾性部材と、磁場発生体とを有し、前記磁性形状記憶弾性部材の少なくとも一部は前記磁場発生体から発生する傾斜磁場中に配置されており、前記磁場により前記双晶構造が再配向し、もって前記形状記憶弾性部材が駆動されることを特徴とする。
【００１１】
アクチュエータは、磁場を印加したときの傾斜磁場中で発生する応力により双晶構造が再配向し、駆動される。前記磁性形状記憶弾性部材は、磁場勾配の最も大きい位置に配置されているのが好ましい。磁場勾配の最も大きい位置では磁性形状記憶弾性部材に作用する応力が最大になるため、低磁場においても磁性形状記憶弾性部材の双晶構造の再配向を誘起することが可能になる。
【００１２】
アクチュエータの磁性形状記憶弾性部材をコイルバネ又は板バネとすることができる。磁場発生体から発生する磁場は20 kOe以下であるのが好ましく、双晶構造を有する物質は、加工性の観点からFe-Pd合金であるのが好ましい。従って、磁性形状記憶弾性部材を傾斜磁場中に置くことにより、20 kOe以下の低磁場であってもコイルバネ又は板バネに変位を与えることができる。
【００１３】
アクチュエータは、双晶構造を有する物質のマルテンサイト変態開始温度Ms付近で駆動されるのが好ましい。磁場発生体を磁性形状記憶弾性部材の両端部に配置することにより、より大きな磁場勾配を得ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
上記の通り、本発明のアクチュエータでは、双晶構造を有する物質からなる磁性形状記憶弾性部材は傾斜磁場中に配置されているので、低磁場でも双晶構造の再配向により駆動される。このため、本発明のアクチュエータは応答性が良く、変位量及び発生力が大きく、精密制御が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明のアクチュエータは磁性形状記憶弾性部材及び磁場発生体を有し、磁性形状記憶弾性部材はその少なくとも一部が磁場発生体から発生する傾斜磁場中に配置されており、磁場発生体が発生する磁場によって駆動される。
【００１６】
磁性形状記憶弾性部材は、外部磁場が作用する領域において双晶構造が再配向することにより形状変化する。マルテンサイト相に相変態した磁性形状記憶合金に磁場を作用させると、マルテンサイト双晶（バリアント）界面が外部磁場方向に移動して再配向が起きる。図１(a)に示すように外部磁場がない状態では磁化ベクトルの異なる２つの変態相を有するが、図２(b)に示すように外部磁場により双晶構造が回転し、磁場方向に配向している変態相がもう一方の相に代わって拡大成長する。このように磁場の方向に双晶界面が移動して磁性形状記憶合金に変位が生じる。このような変位は、温度や外部応力によっても誘起される。
【００１７】
本発明のアクチュエータの原理を図２〜４を参照して説明する。図２はコイル状の磁性形状記憶弾性部材１とそれに作用させる磁場を発生する磁場発生体２を示す。磁場発生体２は一対の対向する磁極を有し、磁性形状記憶弾性部材１の部位Aはその磁極の外側に配置され、部位Bは対向する磁極の間に配置されている。図３はこのように配置された状態で、20℃で磁場発生体２へ通電し磁場を発生させたときの、磁場の強さHと変位との関係を示す。磁性形状記憶弾性部材１の部位Aでは、図３に示すように磁場の強さHの増大に伴い変位が大きくなる。これに対し磁性形状記憶弾性部材１の部位Bでは図３に示すように20 kOeまで変位が発生しない。
【００１８】
これは、部位Aが傾斜磁場中に配置され、式：F = grad M・H =ρm(dH/dx)
（式中、Fは電磁力を表し、Mは磁気モーメントを表し、Hは磁場の強さを表し、ｍは磁化率を表し、ρは材料密度を表し、ｘは距離を表し、dH/dxは磁場勾配を表す。）に示すように、磁場による応力を受けるためである。これに対し、部位Bは勾配が０の定磁場に配置されているため、応力が発生せず、変位を生じない。応力（Ｆ）は磁場勾配（dH/dx）に比例するため、磁性形状記憶弾性部材を磁場勾配が最大になる位置に配置することにより、磁場から受ける応力を最大にすることができる。
【００１９】
図４は磁性形状記憶弾性部材１としてコイル状のFe-Pd合金を用い、磁性形状記憶弾性部材１を磁場発生体２から発生する傾斜磁場中に配置し、磁性形状記憶弾性部材１に磁場を作用させたときの磁場の強さHに対する歪み量（変位）の変化を示す。図４に示すように、磁性形状記憶弾性部材１の温度を-30〜25℃に設定し、磁性形状記憶弾性部材１に磁場を作用させると、いずれの場合も磁場（H）が強くなるに伴い応力による変位が発生する。ところが、マルテンサイト相に相変態しない温度（−30℃、＋25℃）では、１kOe付近の低磁場では25 ppm以下の変位しか発生しないのに対し、Fe-Pd合金を0℃付近に冷却し、Fe-Pd合金をマルテンサイト相に相変態した場合には、１kOe付近の磁場で80 ppm程度の変位が発生する。これはマルテンサイト相変態した磁性形状記憶弾性部材の双晶構造が再配向（相転移）することによる。すなわち、マルテンサイト相の磁性形状記憶弾性部材１を傾斜磁場中に配置し、磁場を作用させると磁性形状記憶弾性部材１に応力が働き、この応力により双晶構造の再配向が誘起され、変位が発生する。双晶構造の再配向に要する応力は、磁性形状記憶弾性部材１に変位を発生させる応力よりもわずかで足りるため、１kOe付近の低磁場であっても比較的大きな変位を発生させることが可能になる。
【００２０】
このように本発明のアクチュエータは、磁性形状記憶弾性部材の双晶構造が再配向することにより、ほとんど歪みが生じない吸引力しか発生しないような低磁場でも駆動することができる。また、磁性形状記憶弾性部材を傾斜磁場中に配置することにより、定磁場においては双晶構造の再配向が起きないような低磁場であっても双晶構造の再配向が誘起され、アクチュエータを駆動することができる。
【００２１】
アクチュエータの磁性形状記憶弾性部材としては、板材、丸材、線材、薄膜等を用いることができる。磁性形状記憶弾性部材は大きなストローク及び負荷を与えるコイルバネ又は板バネとすることができる。アクチュエータを小型軽量化する観点からは、コイルバネ又は板バネからなる磁性形状記憶弾性部材をできるだけ低磁場で駆動するのが好ましい。本発明のアクチュエータでは、磁性形状記憶弾性部材に作用させる磁場は20 kOe以下が好ましく、５kOe以下がより好ましく、１〜２kOeがさらに好ましい。
【００２２】
本発明のアクチュエータは、磁性形状記憶弾性部材を磁場勾配の最も大きい位置に、また変形が最も大きく生じる方向に配置するのが好ましい。このように配置することにより相転移に要するエネルギーに占める応力場エネルギーの寄与率が高くなり、アクチュエータをより低磁場で駆動することができる。
【００２３】
形状記憶合金を示差熱分析計、示差走査熱量計等で測定しながらオーステナイト相から徐々に冷却すると、順にマルテンサイト変態開始温度Ms及びマルテンサイト変態終了温度Mfが記録される。逆にマルテンサイト変態開始温度Msから徐々に加熱すると、順にオーステナイト変態開始温度As及びオーステナイト変態終了温度が記録される。アクチュエータは通常温度による影響が小さいオーステナイト変態開始温度As以下で使用し得るが、マルテンサイト相の温度域では初透磁率が低いため、マルテンサイト変態開始温度Ms付近で使用するのが好ましい。
【００２４】
磁性形状記憶合金としては、上記Fe-Pd合金の他、Fe-Pt合金、Ni2-Mn-Ga合金等を用いることができる。なかでもFe-Pd合金が加工性に優れるため好ましい。
【００２５】
以上のように本発明のアクチュエータは、磁場により双晶構造の再配向を誘起して形状記憶弾性部材を駆動する。アクチュエータは、磁場による応力以外に、駆動部に補助応力を印加する構成としてもよい。補助応力を印加する方法は特に限定されないが、例えばアクチュエータの磁性形状記憶弾性部材に磁性体を取り付け、その荷重による応力を印加する等の方法を用いることができる。
【００２６】
図５は本発明のアクチュエータの一例を示す。このアクチュエータは、コイルバネ状の磁性形状記憶弾性部材１と異なる磁極が対向するように配置された一対の磁場発生体２を有し、磁性形状記憶弾性部材１の一端部１aは基体５に支持されている。図５(a)に示す例では、磁性形状記憶弾性部材１の一端部１aは上側に位置し、磁性形状記憶弾性部材１の下側に磁性形状記憶弾性部材１の軸線と垂直に一対の磁場発生体２が配置されている。図５(b)に示す例では、磁性形状記憶弾性部材１の一端部１aは下側に位置し、磁性形状記憶弾性部材１の一端部１a側に磁性形状記憶弾性部材１の軸線と垂直に一対の磁場発生体２が配置されている。
【００２７】
図５(a)の場合、磁性形状記憶弾性部材１は引張りコイルバネであり、磁場発生体２への通電により発生した磁場により相転移（双晶構造の再配向）が誘起され、磁性形状記憶弾性部材１は下方に駆動される。図５(b)の場合、磁性形状記憶弾性部材１は圧縮コイルバネであり、磁場発生体２への通電により発生した磁場により相転移が誘起され、磁性形状記憶弾性部材１は下方に駆動される。いずれの場合も磁場発生体２への通電を停止すると、磁場が消失するので、コイルバネは元の状態に戻る。このように、磁場発生体２への通電をオンオフすることにより、矢印で示す方向に磁性形状記憶弾性部材１を駆動することができる。
【００２８】
上記の例において、アクチュエータを構成する磁性形状記憶弾性部材１は、相転移による動作方向に応じて予めマルテンサイト相で塑性変形を生じさせておく。例えば、磁性形状記憶弾性部材１が引張りコイルバネであり、引張り方向の応力を発生させる場合には、予めコイルバネを圧縮変形させておく。また、磁性形状記憶弾性部材１が圧縮コイルバネであり、圧縮方向に応力を発生させる場合には、予めマルテンサイト相でコイルバネを引張り変形させておく。磁場発生体２としては通常の電磁コイルでよい。磁場発生体２は図５に示すように異なる磁極が対向するように配置されている場合に限られず、同じ磁極が対向するように配置されていてもよい。
【００２９】
磁性形状記憶弾性部材１はコイルバネに限られず、例えば図６に示すような板バネであってもよい。図６の例は、板バネ状の磁性形状記憶弾性部材１を片持ち梁状に基体５に取り付け、磁場発生体２を磁性形状記憶弾性部材１の近辺でその変位方向のいずれかの側に配置した構成を有する。磁場発生体２への通電により発生した磁場により磁性形状記憶弾性部材１に相転移が起こり、変位が発生する。
【００３０】
図７は、磁性形状記憶弾性部材１の一端部1bに軟磁性体３が取り付けられた以外図５(b)と同じ例を示す。軟磁性体３は磁場発生体２に吸引又は反発するとともに、それ自身の荷重は磁性形状記憶弾性部材１に補助応力として作用する。補助応力を用いることにより、より低磁場でアクチュエータを駆動することが可能になる。
【００３１】
図８及び図９は本発明のアクチュエータのさらに別の具体例を示す断面図である。図８のアクチュエータはコイルバネ状の磁性形状記憶弾性部材１と、磁性形状記憶弾性部材１の両端部1a，1bに固定された一対の電磁コイル等の磁場発生体2a，2bと、各磁場発生体の外側に固定された出力取り出しロッド19，19と、これらを覆う円筒形カバー８とを有する。
【００３２】
磁場発生体2a，2bは電磁コイル30a，30bと、電磁コイル30a，30bを支持するボビン20とを有する。ボビン20はプラスチック等の非磁性材からなり、ボビン20の一端にはストッパー23が設けられており、ボビン20のフランジ21とフランジ22の間に電磁コイルが巻かれている。ボビン20のストッパー23側に支持部材24が設けられており、磁性形状記憶弾性部材1の端部1a，1bは支持部材24の内面に固定され、支持部材24の外面には出力取り出しロッド19，19が固定されている。磁場発生体2a，2bはベアリング14，14により円筒形カバー８の環状突出部に移動自在に支持される。
【００３３】
図９のアクチュエータの磁性形状記憶弾性部材１は、鉄製シャフト110とその両端に設けられた磁性形状記憶合金からなるコイルバネ112を具備する。シャフト110の両端は支持部材111に固定されており、支持部材111の反対側の面にコイルバネ112の一端112bが固定されている。コイルバネ112の他の一端112aは支持部材24に固定されている。磁性形状記憶弾性部材１以外の部分は図８のアクチュエータと同じであるので説明を省略する。
【００３４】
図８の場合、磁性形状記憶弾性部材１は引張りコイルバネであっても圧縮コイルバネであってもよい。例えば、磁性形状記憶弾性部材１として引張りコイルバネを用いると磁場の発生により磁性形状記憶弾性部材１は全体として引張り方向に駆動し、磁性形状記憶弾性部材１として圧縮コイルバネを用いると磁場の発生により全体として圧縮方向に駆動する。
【００３５】
図９の場合、磁性形状記憶弾性部材１に用いるバネは引張りコイルバネであっても圧縮コイルバネであってもよく、両端で異なるコイルバネを用いてもよい。このように取り付けるコイルバネの種類を変えることにより駆動する方向を任意に設定することができる。例えば、両端に引張りコイルバネを用いると磁性形状記憶弾性部材１は磁場の発生により全体として引張り方向に駆動し、両端に圧縮コイルバネを用いると磁場の発生により全体として圧縮方向に駆動する。また両端に引張りコイルバネと圧縮コイルバネの異なるバネを用いると磁性形状記憶弾性部材１を全体としてどちらか一方の方向に駆動することができる。
【００３６】
アクチュエータの双晶構造の再配向は３次元的に起こるため、上記の例に限られず、引張り、曲げ、ねじり等の複雑な変化を与えることができる。また、磁場の強度を周期的に変えることにより磁性形状記憶弾性部材に一定の形状変化を発生させることができ、磁場の方向を変えることによりアクチュエータの運動軌跡を制御することができる。本発明のアクチュエータは低磁場で大きなストローク及び負荷を与えるバネ等を駆動できるため、ロボット、精密工具等を小型軽量化することが可能である。
【実施例】
【００３７】
本発明を以下の実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はそれらに限定されるものではない。
【００３８】
実施例１
Fe-Pd合金（Pd30原子％）からなる線径1.17 mmの線材を作製し、この線材を治具に巻き付けて磁性形状記憶コイルバネとした。この磁性形状記憶コイルバネを真空の石英管に封入（10-5Torr）し、電気炉で1200℃で24時間加熱した後、０℃まで油冷して磁性形状記憶コイルバネをマルテンサイト相に変態させ、圧縮変形処理を行った。バネの諸元は以下の通りである。
コイルバネの線径：1.17 mm
バネの外径：6.83 mm
自由長さ：20 mm
ピッチ：5.05 mm
【００３９】
上記磁性形状記憶コイルバネ１を図５(a)に示すように磁場発生体としての電磁コイル２の傾斜磁場中に配置した。磁性形状記憶コイルバネ１を０℃に冷却し、電磁コイル２から発生する静磁場を１kOeとしたとき、磁性形状記憶コイルバネ１は下方に変位した。このとき磁性形状記憶コイルバネ１の駆動部分における磁場の勾配は1.4×106 Oe/mであった。−30℃、０℃及び＋25℃の各温度で静磁場を１〜５kOeまで変化させたときの磁性形状記憶コイルバネ１の変位を図４に示す。
【００４０】
図４に示すように磁性形状記憶コイルバネ１の温度を０℃に設定したとき、約１kOeの磁場で相転移による変位は約80 ppmであった。また磁性形状記憶コイルバネ１の温度を−30℃及び＋25℃に設定した場合、約１kOeの磁場で磁性形状記憶コイルバネ１の変位は25 ppm以下であった。
【００４１】
実施例２
実施例１と同様に２つの磁性形状記憶コイルバネを作製した。また線径0.5 mmのワイヤをボビンに巻いて、外径13 mm、長さ５mm、厚さ２mmの筒状の電磁コイル２を作製した。第一の磁性形状記憶コイルバネ１を１つの電磁コイル２に通し、電磁コイル２を第一の磁性形状記憶コイルバネ１の中央に位置決めすることにより、アクチュエータAを作製した。また２個の電磁コイル２に第二の磁性形状記憶コイルバネ１を通し、各電磁コイル２を磁性形状記憶コイルバネ１の両端部に位置決めすることにより、アクチュエータBを作製した。いずれの場合も、電磁コイル２と磁性形状記憶コイルバネ１の間隔を１mmとした。
【００４２】
アクチュエータA及びアクチュエータBの電磁コイル２に通電したときに発生する磁場勾配を調べた。図10(a)はアクチュエータAにおける磁場勾配のプロファイルを示し、図10(b)はアクチュエータBにおける磁場勾配のプロファイルを示す。アクチュエータAの電磁コイル２における磁場勾配は3.2×106 Oe/mであるのに対して、アクチュエータBの両端部の電磁コイル２における磁場勾配は6.4×106 Oe/mと２倍であった。このように電磁コイルを磁性形状記憶コイルバネの両端部に配置した場合、大きな磁場勾配が得られるので、アクチュエータをより低磁場で駆動できることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】磁場によるマルテンサイト双晶再配列の機構を示す模式図である。
【図２】コイル状の磁性形状記憶弾性部材に磁場を作用させた状態を示す図である。
【図３】磁性形状記憶弾性部材に磁場を作用させたときの磁場の強さHと歪み量（変位）との関係を示すグラフである。
【図４】−30℃、０℃及び＋25℃の各温度に設定した磁性形状記憶弾性部材に磁場を作用させたときの磁場の強さHと歪み量（変位）との関係を示すグラフである。
【図５】本発明のアクチュエータの一例を示す概略図であり、(a)は磁性形状記憶弾性部材の上端が基体に支持されている場合を示し、(b)は磁性形状記憶弾性部材の下端が基体に支持されている場合を示す。
【図６】本発明のアクチュエータの別の例を示す概略図であり、磁性形状記憶弾性部材が片持ち梁状に支持されている場合を示す。
【図７】本発明のアクチュエータのさらに別の例を示す概略図であり、磁性形状記憶弾性部材に補助応力を印加する場合を示す。
【図８】本発明のアクチュエータのさらに別の例を示す概略断面図であり、コイルバネ状の磁性形状記憶弾性部材の周囲に一対の電磁コイルを設けた場合を示す。
【図９】本発明のアクチュエータのさらに別の例を示す概略断面図であり、シャフトの両端に電磁コイルに包囲されたコイルバネ状の磁性形状記憶弾性部材を取り付けた場合を示す。
【図１０】本発明のアクチュエータＡ及びＢにおける磁場勾配のプロファイルを示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１・・・磁性形状記憶弾性部材（磁性形状記憶コイルバネ）
２，２a，２b・・・磁場発生体（電磁コイル）
３・・・軟磁性体
19・・・ロッド
20・・・ボビン
21a・・・フランジ
22a・・・フランジ
23・・・ストッパー
24・・・支持部材
５・・・基体
14・・・ベアリング
110・・・シャフト
111・・・支持部材
112・・・磁性形状記憶合金
【図１】
2004162703.tif 000002
【図２】
2004162703.tif 000003
【図３】
2004162703.tif 000004
【図４】
2004162703.tif 000005
【図５】
2004162703.tif 000006
【図６】
2004162703.tif 000007
【図７】
2004162703.tif 000008
【図８】
2004162703.tif 000009
【図９】
2004162703.tif 000010
【図１０】
2004162703.tif 000011