(57)【要約】【課題】薬液などの処理液の使用量を低減できる基板処理装置を提供する。【解決手段】この基板処理装置は、ウエハＷをほぼ水平に保持して回転するスピンチャック３０と、平面視においてスピンチャック３０を取り囲むように配されたスプラッシュガード３とを含んでいる。スプラッシュガード３の内方には、中心側に向かって開いた回収ポート１１ａ〜１１ｃが上下方向に積層するように配されている。最下部の回収ポート１１ｃの下方には、スプラッシュガード３の中心側に向かって開いた断面がほぼコの字形の案内部３ａが設けられている。回収ポート１１ａ〜１１ｃにより、スピンチャック３０から側方に飛ばされた薬液を受けて回収することができ、案内部３ａにより、スピンチャック３０から側方に飛ばされた洗浄液を受けて回収することができる。【選択図】　　　　図２
2004111487.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板をほぼ水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部を回転させるための回転駆動機構と、
上記基板保持部に向けて洗浄液を吐出する洗浄液吐出手段と、
上記基板保持部の側方を取り囲むように配置可能で、上記回転駆動機構による上記基板保持部の回転に伴って側方へ飛ばされる洗浄液を受けて回収するための洗浄液回収部とを含み、
上記洗浄液吐出手段が上記洗浄液回収部内に設けられた吐出口を有することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
上記基板保持部に保持された基板に向けて処理液を吐出する処理液ノズルをさらに含み、
上記洗浄液回収部が、上記処理液ノズルから吐出され上記回転駆動機構による遠心力により側方へ飛ばされた処理液を受けるためのスプラッシュガードに形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
上記スプラッシュガードが、処理液を回収するための処理液回収部を含むことを特徴とする請求項２記載の基板処理装置。
【請求項４】
上記処理液回収部が、上下方向に複数個積層されて設けられていることを特徴とする請求項３記載の基板処理装置。
【請求項５】
上記洗浄液回収部が、最下部の上記処理液回収部より低い高さ位置に設けられていることを特徴とする請求項３または４記載の基板処理装置。
【請求項６】
上記洗浄液回収部に、上記回転駆動機構の回転中心に向かって開いた開口が形成されており、
上記洗浄液吐出手段が、先端に上記吐出口を有する洗浄ノズルを含み、
この洗浄ノズルの吐出口が、上記開口の内部に配置されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項７】
上記基板保持部に保持された基板に近接して対向配置可能な遮断板をさらに含むことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板などの基板を保持する基板保持部を洗浄液で洗浄できる基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図４は、従来の基板処理装置の構成を示す図解的な断面図である。この基板処理装置は、半導体基板の一例である半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）Ｗの下面に処理液を供給して処理することができる。
この基板処理装置は、筒状のチャンバ５１と、その内部に配されウエハＷをほぼ水平に保持して回転するスピンチャック７０と、平面視においてスピンチャック７０を取り囲むように配されたスプラッシュガード５３とを含んでいる。
【０００３】
スピンチャック７０は、円板状でほぼ水平に配されたスピンベース５２と、スピンベース５２の下面中心部に、スピンベース５２にほぼ垂直に取り付けられた回転軸５７とを備えている。スピンベース５２の上面５２ａはほぼ水平な面となっており、上面５２ａの周縁部には複数のチャックピン５６が周方向に間隔をあけて立設されている。チャックピン５６は、ウエハＷの下面周縁部を支持する支持部５６ａと、ウエハＷの端面（周面）を挟持する挟持部５６ｂとを有している。
【０００４】
回転軸５７には、回転軸５７をその軸のまわりに回転させるための回転駆動機構５８が結合されており、スピンベース５２に保持されたウエハＷを回転させることができるようになっている。
回転軸５７は管状であり、回転軸５７の内部には、処理液を流すための処理液供給路５９を内部に有する処理液配管６４が挿通されている。処理液配管６４の上端は、スピンベース５２の上面５２ａからわずかに突出している。
【０００５】
処理液配管６４の上端は、処理液供給路５９に連通した吐出口を有する処理液ノズル６３となっている。処理液供給路５９には、薬液とウエハ用洗浄液（たとえば、純水）とを切り換えて導入可能であり、処理液ノズル６３から、薬液またはウエハ用洗浄液を選択的に吐出できるようになっている。これにより、スピンチャック７０に保持されたウエハＷの下面に、薬液またはウエハ用洗浄液を供給して、薬液処理や洗浄ができるようになっている。
【０００６】
スプラッシュガード５３は、上下方向に配された２つの回収ポート６１ａ，６１ｂを含んでいる。回収ポート６１ａ，６１ｂは、いずれも、スプラッシュガード５３の全周に渡って設けられており、スプラッシュガード５３の中心部に向かって開口している。回収ポート６１ａは、回収ポート６１ｂより高い位置に配されている。回収ポート６１ｂの下には、スプラッシュガード５３の中心部に向かって開口した断面がほぼコの字形の案内部６１ｄが、スプラッシュガード５３の全周に渡って設けられている。
【０００７】
回収ポート６１ａの上には、洗浄ノズル６２がほぼ水平に取り付けられている。洗浄ノズル６２は吐出口を有しており、吐出口はスプラッシュガード５３の中心部に向けられている。洗浄ノズル６２には、純水などのチャック用洗浄液を導入可能であり、吐出口からチャックピン５６やスピンベース５２の上面５２ａに向けてチャック用洗浄液を吐出できるようになっている。これにより、チャックピン５６や上面５２ａを洗浄可能である。
【０００８】
スプラッシュガード５３には昇降機構６０が結合されており、スプラッシュガード５３および洗浄ノズル６２を同時に昇降できるようになっている。
処理液ノズル６３から薬液を吐出させてウエハＷの処理をするときは、昇降機構６０により、上面５２ａの側方に、たとえば、回収ポート６１ａが位置するようにされる。この場合、回転するウエハＷの遠心力により振り切られた薬液は、回収ポート６１ａを介して回収される。回収された薬液は、処理能力が低下していない場合には再利用される。
【０００９】
上記の薬液と異なる種類の薬液を用いてウエハＷの下面を処理するときは、スピンベース５２の上面５２ａと回収ポート６１ｂとがほぼ同じ高さになるようにされ、回収ポート６１ｂを介して薬液を回収できる。回収ポート６１ｂを用いることにより、回収ポート６１ａを介して回収された薬液と分別して、薬液を回収できる。
また、処理液ノズル６３からウエハ用洗浄液を吐出させてウエハＷの洗浄をするときは、昇降機構６０により、上面５２ａの側方に案内部６１ｄが位置するようにされる。この場合、回転するウエハＷの遠心力により振り切られたウエハ用洗浄液は、案内部６１ｄで受けられ下方に流れ落ちて回収された後、廃棄される。
【００１０】
ウエハＷを薬液で処理する際、スピンベース５２の上面５２ａやチャックピン５６も、薬液で汚れる。これらの薬液は、ウエハＷをウエハ用洗浄液で洗浄する際には、完全に除去できない。そこで、スピンベース５２の側方に配された洗浄ノズル６２により、上面５２ａやチャックピン５６が洗浄される。
この際、昇降機構６０により、スプラッシュガード５３が下降されて、洗浄ノズル６２とチャックピン５６とがほぼ同じ高さになるようにされる。この状態で、スピンベース５２の上面５２ａは、スプラッシュガード５３の上端よりわずかに高くなっている。
【００１１】
続いて、洗浄ノズル６２からチャック用洗浄液が吐出される。洗浄ノズル６２から吐出されたチャック用洗浄液は、主として、スピンベース５２の上面５２ａを流れ、回転するスピンベース５２の遠心力により振り切られて、チャンバ５１の内壁に当たる（図４に矢印Ｂ１，Ｂ２で示す。）。このようなチャック用洗浄液は、さらに、チャンバ５１とスプラッシュガード５３との間を流れ落ちて下方で回収されて廃棄される。
【００１２】
以上のように、ウエハＷ処理時に使用される薬液、ウエハ用洗浄液、およびチャック用洗浄液を分別回収できるようになっている。
図５は、従来の基板処理装置の他の構成を示す図解的な断面図である。図４の基板処理装置の構成要素に対応する構成要素には、図５中に図４の場合と同一符号を付して説明を省略する。
この基板処理装置では、スプラッシュガード５３の代わりにスプラッシュガード７３が設けられている。スプラッシュガード７３は、平面視において環状であり、スプラッシュガード７３の内面上部には、断面がほぼコの字形でスプラッシュガード７３の中心に向かって開口した溝状の第１案内部７３ａが形成されている。また、スプラッシュガード７３の下方には、スプラッシュガード７３の中心側および下方に開いた断面４分の１円弧状の第２案内部７３ｂと、第２案内部７３ｂの内方に鉛直方向に刻設され円環状の溝７３ｃとが形成されている。
【００１３】
溝７３ｃの下方には、ほぼ鉛直方向に配された筒状の仕切部材７５が配されている。溝７３ｃは、スプラッシュガード７３が下降されているときには、仕切部材７５の上部に遊嵌し、スプラッシュガード７３が上昇されているときには、仕切部材７５から離れる。
スプラッシュガード７３の上には、洗浄ノズル７４が取り付けられている。洗浄ノズル７４は、チャック用洗浄液Ｓを鉛直方向に広角に拡がるように吐出することができる。これにより、鉛直方向に延びるチャックピン５６に均一にチャック用洗浄液Ｓが当てられるから、チャックピン５６を効率的に洗浄できる。
【００１４】
ウエハＷの下面を薬液で処理するときには、昇降機構６０によりスプラッシュガード７３が移動されて、スピンベース５２の上面５２ａの側方に第２案内部７３ｂが位置するようにされる。ウエハＷの遠心力により振り切られた薬液は、第２案内部７３ｂに当たり、スプラッシュガード７３を伝って下方へと流れ落ちて回収される。回収された薬液は、処理能力が低下していない場合には再利用される。
【００１５】
ウエハＷの下面をウエハ用洗浄液で洗浄するときは、昇降機構６０によりスプラッシュガード７３が移動されて、スピンベース５２の上面５２ａの側方に第１案内部７３ａが位置するようにされる。ウエハＷの遠心力により側方に振り切られたウエハ用洗浄液は、第１案内部７３ａに当たり、下方へ流れ落ちて回収され廃棄される。ウエハ用洗浄液と薬液とは、仕切部材７５により分別して回収可能である。
【００１６】
また、洗浄ノズル７４からチャック用洗浄液を吐出して、チャックピン５６やスピンベース５２の上面５２ａを洗浄するときは、図５に示すように、昇降機構６０によりスプラッシュガード７３が移動されて、上面５２ａとスプラッシュガード７３の上端とがほぼ同じ高さになるようにされる。この場合、回転するスピンベース５２の遠心力により振り切られたりチャックピン５６に跳ね返されたりしたチャック用洗浄液は、チャンバ５１の内壁に当たって（図５に矢印Ｃ１で示す。）下方へと流れ落ちて回収され廃棄される。
【００１７】
【特許文献１】
特開２０００−１８５２６４号公報
【特許文献２】
特開平１０−１９９８５２号公報
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、洗浄ノズル６２，７４から吐出されたすべてのチャック用洗浄液がスプラッシュガード５３，７３とチャンバ５１との間を流れて回収されるわけではない。チャック用洗浄液の一部は、たとえば、図４の基板処理装置において、斜め下方に飛んで回収ポート６１ａや回収ポート６１ｂに入り込む（それぞれ、矢印Ｂ３，Ｂ４で示す。）。特に、スピンベース５２が低速で回転している場合には、チャック用洗浄液には十分大きな遠心力が与えられず、下方へと落下しながら側方へと飛ばされるから、回収ポート６１ａ，６１ｂにチャック用洗浄液が混入しやすい。
【００１９】
その結果、回収ポート６１ａ，６１ｂを介して回収された薬液に、チャック用洗浄液が混入することになる。回収された薬液は、後にウエハＷの薬液処理を行う際に再利用されるので、チャック用洗浄液の混入により回収された薬液の組成が変化すると、薬液の処理能力が落ち再利用に適さなくなる。すなわち、薬液を再利用できる回数が少なくなり、薬液使用量（消費量）は多くなる。
また、図４および図５に示す基板処理装置において、スピンベース５２の回転数を上げ、スピンベース５２上のチャック用洗浄液を遠心力により効率的に側方へ振り切り、チャンバ５１とスプラッシュガード５３，７３との間に入るようにすることも考えられる。しかし、この場合、チャック用洗浄液は、スピンベース５２やチャックピン５６に対して相対的に大きな速度でぶつかるため、ミスト（霧）となって上方に飛散しやすくなる。
【００２０】
特に、図５に示す基板処理装置では、チャック用洗浄液が洗浄ノズル７４から広い角度で吐出されるために、チャックピン５６により跳ね返されるチャック用洗浄液も、広い角度で飛散しやすい。このため、上方に飛散するチャック用洗浄液の量も多くなる。
その結果、チャック用洗浄液は、チャンバ５１の内壁などの構造物に付着する（図４および図５に、矢印Ｂ５，Ｂ６で示す。）。このようなチャック用洗浄液は薬液を溶解しているので、乾燥すると薬液成分が結晶化するからパーティクルの原因となる。特に、チャンバ５１内を自動的に洗浄（セルフクリーニング）できない構造の基板処理装置では、一旦、チャンバ５１内の構造物に付着したパーティクルは、容易に除去できず蓄積汚染となる。
【００２１】
さらに、ミスト状のチャック用洗浄液は、基板の上方で滞留した後に、たとえば、洗浄後にウエハＷを高速回転して乾燥させる際などに、ウエハＷに付着し、乾燥によりパーティクルとなってウエハＷを汚染するおそれもある。
そこで、この発明の目的は、薬液などの処理液の使用量を低減できる基板処理装置を提供することである。
この発明の他の目的は、蓄積汚染を低減できる基板処理装置を提供することである。
【００２２】
この発明のさらに他の目的は、処理対象の基板がパーティクルに汚染されにくい基板処理装置を提供することである。
【００２３】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記の課題を解決するための請求項１記載の発明は、基板（Ｗ）をほぼ水平に保持する基板保持部（３０）と、この基板保持部を回転させるための回転駆動機構（８）と、上記基板保持部に向けて洗浄液を吐出する洗浄液吐出手段（１２，１８，１８Ａ，４０，４１，４１Ａ）と、上記基板保持部の側方を取り囲むように配置可能で、上記回転駆動機構による上記基板保持部の回転に伴って側方へ飛ばされる洗浄液を受けて回収するための洗浄液回収部（３ａ，３８ａ）とを含み、上記洗浄液吐出手段が上記洗浄液回収部内に設けられた吐出口（１２ｔ，４０ｔ）を有することを特徴とする基板処理装置である。
【００２４】
なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
この基板処理装置は、たとえば、基板保持部に保持された基板に薬液を供給して基板の処理を行うものであってもよい。この場合、基板保持部は、薬液により汚れる。この発明によれば、洗浄液吐出手段により、このように汚れた基板保持部に洗浄液を吐出して洗浄できる。
【００２５】
洗浄液吐出手段の吐出口は、洗浄液回収部に設けられているので、基板保持部の側方に洗浄液吐出手段の吐出口を配した場合、基板保持部の側方には洗浄液回収部が存在している。この状態で、回転駆動機構により基板保持部を回転させながら、洗浄液吐出手段から基板保持部に向けて洗浄液を吐出すると、洗浄液は測方へと飛ばされる。基板保持部の側方には、洗浄液回収部が存在しているので、このような洗浄液は洗浄液回収部に受けられる（トラップされる。）。
【００２６】
これにより、たとえば、基板保持部が収容されたチャンバの内壁などに、薬液を含んだ洗浄液が付着することを抑制できる。したがって、チャンバ内壁などの構造物の表面でこのような薬液が乾燥して生じるパーティクル、すなわち、蓄積汚染を低減できる。
洗浄液回収部は、たとえば、溝状の凹所として形成されていてもよく、この場合、一旦凹所で受けられた洗浄液は、さらに下方へと流れ落ちて回収されるように構成されていてもよい。
【００２７】
請求項２記載の発明は、上記基板保持部に保持された基板に向けて処理液を吐出する処理液ノズル（１３，３４）をさらに含み、上記洗浄液回収部が、上記処理液ノズルから吐出され上記回転駆動機構による遠心力により側方へ飛ばされた処理液を受けるためのスプラッシュガード（３，３８）に形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置である。
処理液ノズルは、たとえば、基板保持部に保持された基板の下面または／および上面中心部に向けて、薬液や洗浄液などの処理液を吐出可能なものであってもよい。この場合、回転駆動機構により、基板保持部に保持された基板を回転させることにより、基板中心部に吐出された処理液を遠心力により、基板の下面または／および上面に沿って外方に向かって流れるようにすることができる。これにより、基板の下面または／および上面が処理液により処理される。
【００２８】
基板周縁部に至った処理液は、側方へと振り切られて、スプラッシュガードに受けられる。
洗浄液吐出手段から吐出された洗浄液を受けるための洗浄液回収手段は、スプラッシュガードに形成されているので、スプラッシュガードを利用して、洗浄液を受けることもできる。したがって、装置の構造を簡単にすることができる。
請求項３記載の発明は、上記スプラッシュガードが、処理液を回収するための処理液回収部（１１ａ，１１ｃ，１１ｃ，３８ｂ）を含むことを特徴とする請求項２記載の基板処理装置である。
【００２９】
この発明によれば、処理液回収部により、処理液ノズルから吐出され側方に飛ばされた処理液を回収できる。これにより、回収された処理液が薬液である場合など、この薬液を再利用することができる。再利用する処理液は、たとえば、エッチング液などの薬液とすることができる。
請求項４記載の発明は、上記処理液回収部が、上下方向に複数個積層されて設けられていることを特徴とする請求項３記載の基板処理装置である。
【００３０】
この発明によれば、基板保持部に対する処理液回収部の高さ位置を変えることにより、使用される処理液の種類ごとに異なる処理液回収部を用いて、分別回収できる。
請求項５記載の発明は、上記洗浄液回収部が、最下部の上記処理液回収部（１１ｃ）より低い高さ位置に設けられていることを特徴とする請求項３または４記載の基板処理装置である。
【００３１】
この発明によれば、洗浄液回収部より低い高さ位置には、処理液回収部は設けられていない。このため、洗浄液が洗浄液回収部で受けられた後、下方へ流れ落ちて回収される場合や、洗浄液が基板保持部から斜め下方に飛び出し、洗浄液回収部より低い高さ位置でスプラッシュガードに当たった場合でも、洗浄液が処理液回収部に入ることはない。
このため、回収された処理液の有効成分の濃度が薄くなるなどの事態を回避することができる。すなわち、この基板処理装置によれば、処理液の処理能力が低下することを抑制できるから、処理液の再利用可能な回数を増やすことができ、処理液の使用量（消費量）を低減できる。
【００３２】
請求項６記載の発明は、上記洗浄液回収部に、上記回転駆動機構の回転中心に向かって開いた開口（３ａ，３８ａ）が形成されており、上記洗浄液吐出手段が、先端に上記吐出口を有する洗浄ノズル（１２，４０）を含み、この洗浄ノズルの吐出口が、上記開口の内部に配置されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の基板処理装置である。
この発明によれば、吐出口、すなわち、洗浄ノズルの先端は開口内に配されているので、洗浄ノズルの先端が他の部材と干渉することはない。
【００３３】
洗浄ノズルは、たとえば、１本であってもよく、この場合、回転駆動機構により基板保持部を回転させることにより、洗浄液が基板保持部に当たる領域を、基板保持部の周方向に移動させて、基板保持部を良好に洗浄できる。洗浄ノズルは、複数本備えられていてもよい。
請求項７記載の発明は、上記基板保持部に保持された基板に近接して対向配置可能な遮断板（２７）をさらに含むことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の基板処理装置である。
【００３４】
この発明によれば、遮断板により、基板保持部で跳ね返され、たとえば、ミストとなって上方に飛散する洗浄液の量を低減できる。これにより、洗浄液が基板の上方で滞留した後、基板に付着してパーティクルとなることや、チャンバ内壁などの構造物の表面に生じる蓄積汚染を抑制できる。
遮断板は、基板より大きいことが好ましい。これにより、基板の上方に飛散する洗浄液の量を効率的に低減できる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下では、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置の全体構成を示す図解的な断面図である。この基板処理装置は、半導体基板の一例である半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）Ｗの下面に薬液を供給して処理することができる。
【００３６】
この基板処理装置は、ほぼ鉛直方向に沿った中心軸を有する円筒状のチャンバ１と、その内部に配されウエハＷをほぼ水平に保持してウエハＷのほぼ中心を通る鉛直軸線まわりに回転するスピンチャック３０と、平面視においてスピンチャック３０を取り囲むように配されたスプラッシュガード３とを含んでいる。
スプラッシュガード３は、チャンバ１と同心状に外方から内方に向かって配された４つの円筒部材４８ａ〜４８ｄを含んでいる。４つの円筒部材４８ａ〜４８ｄは、最外部の円筒部材４８ａから最内部の円筒部材４８ｄに向かって、順に高さが低くなるようになっている。円筒部材４８ａ〜４８ｄの上端からは、中心側（スピンベース２側）に向かって斜め上方に突出部４９ａ〜４９ｄがそれぞれ突出している。突出部４９ａ〜４９ｄの先端は、ほぼ鉛直な面にのる。
【００３７】
突出部４９ａと突出部４９ｂとにより、回収ポート１１ａが形成されており、突出部４９ｂと突出部４９ｃとにより、回収ポート１１ｂが形成されており、突出部４９ｃと突出部４９ｄとにより、回収ポート１１ｃが形成されている。回収ポート１１ａ〜１１ｃは、上下方向に積層されている。
円筒部材４８ｂの下部は、同心状の２つの円筒体４８ｅ，４８ｆとなっている。円筒体４８ｅは円筒体４８ｆより外側にある。同様に、円筒部材４８ｃの下部は、同心状の２つの円筒体４８ｇ，４８ｈとなっている。円筒体４８ｇは円筒体４８ｈより外側にある。円筒部材４８ｃの下部は、同心状の２つの円筒体４８ｉ，４８ｊとなっている。円筒体４８ｉは円筒体４８ｊより外側にある。
【００３８】
円筒体４８ｊは、円筒部材４８ｄから中心側斜め下方に延びる傾斜部４８ｋの先端に下方に延びるように設けられている。突出部４９ｄ、円筒部材４８ｄ、および傾斜部４８ｋにより、スプラッシュガード３の中心部に向かって開口した断面がほぼコの字形の案内部３ａが形成されている。案内部３ａは、回収ポート１１ｃの下方に位置している。
スプラッシュガード３の下方には、チャンバ１の下部を塞ぐように底板３５がほぼ水平に配されている。底板３５からは、円筒状の５つの分離壁２５ａ〜２５ｅが立設されている。分離壁２５ａ〜２５ｅは同心状に、外方から内方に向かって、分離壁２５ａ、分離壁２５ｂ、分離壁２５ｃ、分離壁２５ｄ、分離壁２５ｅの順で配されている。平面視において、分離壁２５ｅの径はスピンベース２の径よりわずかに小さい。
【００３９】
分離壁２５ａおよび分離壁２５ｂを側壁として、第１薬液回収槽２１が形成されており、分離壁２５ｂおよび分離壁２５ｃを側壁として、第２薬液回収槽２２が形成されており分離壁２５ｃおよび分離壁２５ｄを側壁として、第３薬液回収槽２３が形成されており、分離壁２５ｄおよび分離壁２５ｅを側壁として、洗浄液回収槽２６が形成されている。また、チャンバ１および分離壁２５ａを側壁として、洗浄液回収槽２４が形成されている。
【００４０】
スプラッシュガード３には、昇降機構１０が結合されている。昇降機構１０は、スプラッシュガード３に結合された結合部材１０ａ、結合部材１０ａに結合されほぼ鉛直方向に沿う昇降軸１０ｂ、および昇降軸１０ｂに結合され昇降軸１０ｂを昇降可能な昇降駆動部１０ｃを含んでいる。分離壁２５ａには、案内部材１０ｄが結合されており、昇降軸１０ｂは案内部材１０ｄに挿通されている。昇降駆動部１０ｃにより昇降軸１０ｃを昇降させて、スプラッシュガード３をほぼ鉛直方向に昇降できるようになっている。
【００４１】
スプラッシュガード３が下降されると、円筒部材４８ａの下部および円筒体４８ｅが、分離壁２５ａと分離壁２５ｂとの間に挿入され、円筒体４８ｆ，４８ｇが、分離壁２５ｂと分離壁２５ｃとの間に挿入され、円筒体４８ｈ，４８ｉが、分離壁２５ｃと分離壁２５ｄとの間に挿入され、円筒体４８ｊが分離壁２５ｄと分離壁２５ｅとの間に挿入される。
図２は、図１の基板処理装置の構造および制御を説明するための図解的な断面図である。
【００４２】
チャンバ１の上端を塞ぐようにフィルタ４が取り付けられている。チャンバ１の下部を貫通して排液／排気配管５が設けられている。排液／排気配管５は、チャンバ１の外で、図示しない気液分離部を介して排気用のポンプＰに接続されている。ポンプＰを作動させることにより、チャンバ１外の空気は、フィルタ４で異物が除去されてチャンバ１内に導かれ、ポンプＰからチャンバ１外に排出されるようになっている。
【００４３】
スピンチャック３０は、円板状でほぼ水平に配されたスピンベース２と、スピンベース２の中心下部に鉛直方向に沿って取り付けられた回転軸７とを含んでいる。スピンベース２の上面２ａはほぼ水平な面となっており、上面２ａの周縁部には複数のチャックピン６が周方向に間隔をあけて立設されている。チャックピン６は、ウエハＷの下面周縁部を支持する支持部６ａと、この支持部６ａよりもスピンベース２の半径方向外方側において鉛直に立ち上がり、ウエハＷの端面（周面）に当接し、他のチャックピン６と協働してウエハＷを挟持する挟持部６ｂとを有している。
【００４４】
回転軸７には、回転軸７をその軸のまわりに回転させる回転駆動機構８が結合されている。以上の構成により、回転駆動機構８により、スピンベース２に保持されたウエハＷを回転させることが可能である。
回転軸７は管状であり、回転軸７の内部には、処理液配管１４が挿通されている。処理液配管１４の内部は処理液供給路９となっている。処理液配管１４の上端は、スピンベース２の上面２ａからわずかに突出しており、処理液供給路９に連通した開口を有して処理液を吐出する下ノズル１３となっている。下ノズル１３の先端には、回転半径方向外方側へと張り出した鍔部が形成されている。
【００４５】
処理液配管１４の下端は、第１薬液配管１６、第２薬液配管１９、第３薬液配管２０、および洗浄液配管１７に分岐している。第１薬液配管１６は第１の薬液が収容された第１の薬液供給源に接続されており、第２薬液配管１９は第２の薬液が収容された第２の薬液供給源に接続されており、第３薬液配管２０は第３の薬液が収容された第３の薬液供給源に接続されている。洗浄液配管１７は純水などのウエハ用洗浄液が収容されたウエハ用洗浄液供給源に接続されている。第１ないし第３の薬液は、たとえば、エッチング液であってもよく、互いに種類が異なるものとすることができる。
【００４６】
第１薬液配管１６にはバルブ１６Ａが介装されており、第２薬液配管１９にはバルブ１９Ａが介装されており、第３薬液配管２０にはバルブ２０Ａが介装されており、洗浄液配管１７にはバルブ１７Ａが介装されている。
バルブ１９Ａ，２０Ａ，１７Ａを閉じバルブ１６Ａを開くことにより、第１の薬液を処理液供給路９に導入することができる。バルブ１６Ａ，２０Ａ，１７Ａを閉じバルブ１９Ａを開くことにより、第２の薬液を処理液供給路９に導入することができる。バルブ１６Ａ，１９Ａ，１７Ａを閉じバルブ２０Ａを開くことにより、第３の薬液を処理液供給路９に導入することができる。そして、バルブ１６Ａ，１９Ａ，２０Ａを閉じバルブ１７Ａを開くことにより、ウエハ用洗浄液を処理液供給路９に導入することができる。したがって、バルブ１６Ａ，１９Ａ，２０Ａ，１７Ａの開閉により、第１ないし第３の薬液、およびウエハ用洗浄液を切り換えて下ノズル１３からウエハＷの下面中央に向けて吐出できる。
【００４７】
スピンチャック３０の上方には、円板状の遮断板２７が配されている。遮断板２７の径は、ウエハＷの径より大きい。遮断板２７の中心上部には、回転軸２８が取り付けられており、回転軸２８には、回転軸２８をその軸のまわりに回転させる回転駆動機構２９が結合されている。回転駆動機構２９により、遮断板２７を、たとえば、スピンベース２と同一方向に同じ回転数で同期回転させることが可能である。
【００４８】
回転軸２８は管状であり、回転軸２８の内部には、処理液配管３１が挿通されている。処理液配管３１の内部は、処理液を流すための処理液供給路３２となっている。処理液配管３１の下端は、処理液供給路３２に連通した開口を有し、ウエハＷの上面中央に向けて処理液を吐出する上ノズル３４となっている。処理液供給路３２には、図示しない処理液供給源から、薬液や洗浄液などの処理液を導入できるようになっている。
【００４９】
上ノズル３４からは、処理液として、たとえば、ウエハ用洗浄液のみを吐出可能に構成されていてもよく、下ノズル１３と同様、第１ないし第３の薬液、およびウエハ用洗浄液を切り換えて吐出可能に構成されていてもよい。
回転軸２８には昇降機構３３が結合されており、回転軸２８に結合された遮断板２７を昇降できるようになっている。
スプラッシュガード３を貫通して、洗浄ノズル１２がほぼ水平に取り付けられている。洗浄ノズル１２は、円筒部材４８ｄを貫通して案内部３ａ内に突出しており、その先端には吐出口１２ｔが形成されている。吐出口１２ｔは、たとえば、円形のものとすることができ、この場合、吐出口１２ｔの直径は８ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００５０】
この吐出口１２ｔは、案内部３ａの内壁（円筒部材４８ｄ）からわずかに突出した位置にあり、案内部３ａの内部（好ましくは、奥まった位置）に配置され、この位置から、スピンチャック３０の回転半径方向内方へ向けて、ほぼ水平にチャック用洗浄液を吐出する。このような吐出口１２ｔの配置により、スプラッシュガード３が昇降されても、洗浄ノズル１２の先端がスピンベース２などの他の部材と干渉することはない。
【００５１】
洗浄ノズル１２は、洗浄液配管１８を介して純水などのチャック用洗浄液が収容されたチャック用洗浄液供給源に接続されている。ウエハ用洗浄液とチャック用洗浄液とが同種のもの（たとえば、純水）である場合、ウエハ用洗浄液供給源とチャック用洗浄液供給源とは同じものであってもよい。
洗浄液配管１８にはバルブ１８Ａが介装されており、バルブ１８Ａを開くことにより、洗浄ノズル１２からチャックピン６やスピンベース２の上面２ａに向けてチャック用洗浄液を棒状に吐出できるようになっている。
【００５２】
バルブ１６Ａ〜２０Ａの開閉や、回転駆動機構８，２９および昇降機構１０，３３の動作は、制御部１５により制御される。
この基板処理装置でウエハＷの処理をするときは、先ず、制御部１５の制御によりすべてのバルブ１６Ａ〜２０Ａが閉じた状態とされる。また、制御部１５により昇降機構３３が制御されて、遮断板２７がスピンチャック３０に保持されたウエハＷ上方に近接して対向配置される。そして、制御部１５により、回転駆動機構８，２９が制御されて、スピンチャック３０に保持されたウエハＷおよび遮断板２７が回転される。
【００５３】
その後、制御部１５により昇降機構１０が制御されて、スピンベース２の上面２ａと回収ポート１１ａとがほぼ同じ高さになるように、スプラッシュガード３が移動される。
この状態で、制御部１５の制御により、バルブ１６Ａが開かれて第１の薬液が下ノズル１３から吐出される。第１の薬液は、ウエハＷの遠心力により、ウエハＷの下面に沿って外方に向かって流れる。これにより、ウエハＷの下面が処理される。第１の薬液がエッチング液であるときは、この工程は、ウエハＷの上面周縁部に第１の薬液を回り込ませてエッチングまたは洗浄する、いわゆる、ベベルエッチングまたはベベル洗浄であってもよい。
【００５４】
ウエハＷの外周部に達した第１の薬液は、回転しているウエハＷの遠心力により側方に振り切られ、回収ポート１１ａに入って、円筒部材４８ａと円筒部材４８ｂとの間を通り、第１薬液回収槽２１に回収される。一定時間、第１の薬液によるウエハＷの処理が継続された後、制御部１５の制御によりバルブ１６Ａが閉じられ、第１の薬液の吐出が停止される。
処理対象のウエハＷの種類によっては、第１の薬液の代わりに、第２の薬液によりウエハＷの下面が処理される。その場合は、先ず、制御部１５により昇降機構１０が制御されて、スピンベース２の上面２ａと回収ポート１１ｂとがほぼ同じ高さになるように、スプラッシュガード３が移動される。この状態で、制御部１５の制御によりバルブ１９Ａが開かれて、第２の薬液が下ノズル１３から吐出される。第２の薬液はウエハＷの下面に沿って外方に向かって流れる。これにより、ウエハＷの下面が第２の薬液により処理される。この工程も、ベベルエッチングまたはベベル洗浄であってもよい。
【００５５】
回転しているウエハＷの遠心力により側方に振り切られた第２の薬液は、回収ポート１１ｂに入り、円筒部材４８ｂと円筒部材４８ｃとの間を通り、第２薬液回収槽２２に回収される。一定時間、このような操作が継続された後、制御部１５の制御によりバルブ１９Ａが閉じられる。
さらに、処理対象のウエハＷの種類によっては、第１または第２の薬液の代わりに、第３の薬液によりウエハＷの下面が処理される。その場合は、先ず、制御部１５により昇降機構１０が制御されて、スピンベース２の上面２ａと回収ポート１１ｃとがほぼ同じ高さになるように、スプラッシュガード３が移動される。この状態で、制御部１５の制御によりバルブ２０Ａが開かれて、第３の薬液が下ノズル１３から吐出される。第３の薬液はウエハＷの下面に沿って外方に向かって流れる。これにより、ウエハＷの下面が第３の薬液により処理される。この工程も、ベベルエッチングまたはベベル洗浄であってもよい。
【００５６】
回転しているウエハＷの遠心力により側方に振り切られた第３の薬液は、回収ポート１１ｃに入り、円筒部材４８ｃと円筒部材４８ｄとの間を通り、第３薬液回収槽２３に回収される。一定時間、このような操作が継続された後、制御部１５の制御によりバルブ２０Ａが閉じられる。
ウエハＷが第１、第２、または第３の薬液により処理される際、第１、第２、または第３の薬液の一部はスピンベース２の上面２ａに落ちる。したがって、第１、第２、または第３の薬液による処理が終了した後、スピンベース２の上面２ａおよびチャックピン６は、第１、第２、または第３の薬液により汚れた状態となっている。
【００５７】
その後、制御部１５により昇降機構１０が制御されて、スプラッシュガード３が移動され、スピンベース２の上面２ａと案内部３ａとがほぼ同じ高さになるようにされる。この状態で、遮断板２７と突出部４９ｄの先端（案内部３ａの上端）とはほぼ同じ高さ位置になり近接する。回転駆動機構８，２７によるウエハＷおよび遮断板２７の回転は維持される。
そして、制御部１５の制御によりバルブ１７Ａが開かれて、ウエハ用洗浄液が下ノズル１３から吐出される。同様に、上ノズル３４からもウエハ用洗浄液が吐出される。ウエハ用洗浄液は、ウエハＷの遠心力により、ウエハＷの下面および上面に沿って外方に向かって流れる。これにより、ウエハＷの下面および上面が洗浄される。ウエハＷの周縁部に至ったウエハ用洗浄液は、側方へと振り切られて、スプラッシュガード３の案内部３ａに受けられ（トラップされ）、さらに、下方へと流れて洗浄液回収槽２６に回収される。
【００５８】
続いて、制御部１５により回転駆動機構８，２９が制御されて、スピンチャック３０および遮断板２７の回転数が小さくされる。その結果、下ノズル１３から吐出されたウエハ用洗浄液は、ウエハＷにより十分大きな遠心力が与えられなくなり、下ノズル１３に向かって落ちるようになる。これにより、下ノズル１３がウエハ用洗浄液で洗浄される。
スピンチャック３０が低速回転されることにより、スピンベース２の上面２ａやウエハＷの上面を流れるウエハ用洗浄液には大きな遠心力が働かなくなる。このため、スピンベース２やウエハＷから振り切られるウエハ用洗浄液は、十分大きな速度で側方へと飛び出すことができず、図１に矢印Ａ１で示すように、案内部３ａに届かずに下方へと落下する。しかし、回収ポート１１ａ〜１１ｃは、案内部３ａより低い高さ位置には配されていないので、ウエハ用洗浄液が第１、第２、または第３の薬液に混入することはない。
【００５９】
以上の工程により、チャックピン６やスピンベース２の上面２ａの大部分も、ウエハ用洗浄液により洗浄されるが、上面２ａの中心部から見て、チャックピン６の反対側の部分およびその近傍の上面２ａなどは、十分洗浄されずに第１、第２、または第３の薬液が残った状態となる。
チャックピン６やスピンベース２の上面に残った第１、第２、または第３の薬液が乾燥すると、薬液成分が結晶化してパーティクルとなり汚染の原因となるので、次に、チャックピン６やスピンベース２の上面２ａのうち第１、第２、または第３の薬液が残った部分が洗浄される。
【００６０】
先ず、制御部１５により回転駆動機構８，２９が制御されて、ウエハＷおよび遮断板２７の回転数が、ウエハＷ洗浄時の回転数に戻される。そして、制御部１５の制御によりバルブ１８Ａが開かれ、洗浄ノズル１２からチャック用洗浄液が吐出される。洗浄ノズル１２から吐出されるチャック用洗浄液の流量は、３リットル／分以下とされることが好ましい。
回転駆動機構８，２９によるスピンベース２および遮断板２７の回転、ならびに下ノズル１３および上ノズル３４からのウエハ用洗浄液の吐出は継続される。洗浄ノズル１２が、たとえば、１本のみ設けられていた場合でも、スピンベース２が回転することにより、すべてのチャックピン６およびその近傍の上面２ａにチャック用洗浄液が当てられる。これにより、スピンベース２の上面２ａおよびチャックピン６において、第１、第２、または第３の薬液が残っている部分が洗浄される。
【００６１】
この際、遠心力によりスピンベース２から側方に振り切られたりチャックピン６に当たって洗浄ノズル１２側に跳ね返されたチャック用洗浄液は、案内部３ａ内の洗浄ノズル１２近傍で受けられ（トラップされ；図１に矢印Ａ２〜Ａ４で示す。）た後、下方へと流れ落ちて洗浄液回収槽２６に回収される。また、チャックピン６で跳ね返り、ミストとなって上方へと飛散しようとするチャック用洗浄液も、遮断板２７の下面で受けられ（トラップされ；図１に矢印Ａ５で示す。）、側方へ振り切られて、案内部３ａを経て洗浄液回収槽２６に回収される。遮断板２７の径はウエハＷの径より大きいので、チャックピン６から斜め上方に飛散したチャック用洗浄液も効率的に受けることができる。
【００６２】
このように、この基板処理装置は第１ないし第３の薬液および洗浄液（ウエハ用洗浄液、チャック用洗浄液）を個別に回収できるようになっている。また、チャック用洗浄液を受けるための案内部３ａが、第１ないし第３の薬液およびウエハ用洗浄液を受けるためのスプラッシュガードに設けられていることにより、この基板処理装置は構造が単純になっている。
また、回収ポート１１ａ〜１１ｃは、案内部３ａより低い高さ位置には配されていないので、チャック用洗浄液が回収ポート１１ａ〜１１ｃに入ることはほとんどない。したがって、第１ないし第３薬液回収槽２１〜２３に回収された第１ないし第３の薬液に、チャック用洗浄液が混入しないから、第１ないし第３の薬液の有効成分の濃度が薄くなるなどの事態を回避することができる。すなわち、この基板処理装置によれば、第１ないし第３の薬液の再利用可能な回数を増やすことにより、第１ないし第３の薬液の使用量を低減できる。
【００６３】
また、第１、第２、または第３の薬液を溶解したチャック用洗浄液が、チャンバ１の内壁やフィルタ４下面などの構造物に付着し、乾燥して薬液成分の結晶を生じることもほとんどない。これにより、蓄積汚染の量も低減できる。
一定時間、チャック用洗浄液によるチャックピン６や上面２ａの洗浄が続けられた後、制御部１５の制御によりバルブ１８Ａが閉じられて、チャック用洗浄液の吐出が停止される。そして、一定時間、下ノズル１３および上ノズル３４からのウエハ用洗浄液の吐出が継続された後、制御部１５の制御によりバルブ１７Ａが閉じられて、下ノズル１３からのウエハ用洗浄液の吐出が停止される。同様に、上ノズル３４からのウエハ用洗浄液の吐出も停止される。
【００６４】
その後、制御部１５により昇降機構１０が制御されて、スプラッシュガード３が下降され、スプラッシュガード３の上端がスピンベース２の上面２ａより低い位置にされる。この状態で、制御部１５により回転駆動機構８，２９が制御され、スピンチャック３０に保持されたウエハＷおよび遮断板２７が、一定時間高速回転されて振り切り乾燥される。回転するウエハＷやスピンベース２の遠心力によって側方に振り切られたウエハ用洗浄液やチャック用洗浄液は、チャンバ１の内壁に当たり、チャンバ１とスプラッシュガード３との間の空間と通って下方へと流れ落ち、洗浄液回収槽２４に回収される。
【００６５】
ウエハＷ、上面２ａ、チャックピン６などの洗浄時に生じたウエハ用洗浄液およびチャック用洗浄液のミストは、遮断板２７に遮られるため、遮断板２７の上方にはほとんど滞留していない。これらのミストは、主にスプラッシュガード３の内部に存在している。このため、上述のようにスプラッシュガード３の上端より高い位置で乾燥を行うと、ウエハ用洗浄液やチャック用洗浄液のミストがウエハＷに付着することはない。したがって、ウエハＷ上でウエハ用洗浄液やチャック用洗浄液が乾燥することにより、薬液成分の結晶によるパーティクルが発生することはない。
【００６６】
以上で、１枚のウエハＷの処理が終了する。
図３は、本発明の第２の実施形態に係る基板処理装置の構成を示す図解的な断面図である。図１および図２の基板処理装置の構成要素に対応する構成要素には、図３に図１および図２の場合と同一符号を付して説明を省略する。
この実施形態の基板処理装置は、スプラッシュガード３の代わりにスプラッシュガード３８が設けられている。図３では、スピンチャック３０およびスプラッシュガード３８に関係する部分のみ示すが、これら以外の部分は第１の実施形態の基板処理装置と同様である。
【００６７】
スプラッシュガード３８は平面視において環状の形状を有している。スプラッシュガード３８の内面上部には、断面がほぼコの字形で内方に開いた溝状の第１案内部３８ａが全周に渡って形成されている。第１案内部３８ａの内面は、ほぼ鉛直方向に沿う内壁面３８ｄ、内壁面３８ｄの上端からスプラッシュガード３８の中心側に向かって斜め上方に延びる天井３８ｅ、および内壁面３８ｄの下端からスプラッシュガード３８の中心側に向かって斜め下方に延びる底面３８ｆを含んでいる。
【００６８】
また、スプラッシュガード３８の下部には、内方および下方に開いた断面がほぼ４分の１円弧状の第２案内部３８ｂと、第２案内部３８ｂの内方に鉛直方向に刻設され円環状の溝３８ｃとが形成されている。
平面視において、スプラッシュガード３８の内縁近傍には、円筒状の仕切部材３９ａがほぼ鉛直方向に沿って立設されている。仕切部材３９ａの内側には、円筒状で仕切部材３９ａと同心状の仕切部材３９ｂがほぼ鉛直方向に沿って立設されている。また、仕切部材３９ａの外側には、円筒状で仕切部材３９ａと同心状の仕切部材３９ｃがほぼ鉛直方向に沿って立設されている。仕切部材３９ｃは、平面視においてスプラッシュガード３８の外側に位置している。仕切部材３９ａおよび仕切部材３９ｃを側壁として、薬液回収槽４２が形成されており、仕切部材３９ａおよび仕切部材３９ｂを側壁として、洗浄液回収槽４３が形成されている。
【００６９】
スプラッシュガード３８には昇降機構１０が結合されており、昇降自在とされている。スプラッシュガード３８が下降されているときには、溝３８ｃは仕切部材３９の上部に遊嵌する。
スプラッシュガード３８を貫通し第１案内部３８ａの天井２８ｅから突出するように、ほぼ水平に第１洗浄ノズル４０が設けられている。第１洗浄ノズル４０の先端には、直径が８ｍｍ以下の円形の吐出口４０ｔが形成されている。この吐出口４０ｔは、天井３８ｅからわずかに突出した位置にあり、第１案内部３８ａの内部に配置され、この位置から、スピンチャック３０の回転半径方向内方へ向けて、ほぼ水平にチャック用洗浄液を吐出する。
【００７０】
第１洗浄ノズル４０は、洗浄液配管４１を介して純水などのチャック用洗浄液が収容されたチャック用洗浄液供給源に接続されている。洗浄液配管４１にはバルブ４１Ａが介装されており、バルブ４１Ａを開くことにより、第１洗浄ノズル４０の吐出口４０ｔからスピンベース２の上面２ａやチャックピン６に向けてチャック用洗浄液を棒状に吐出できるようになっている。
回転軸７の周囲には、処理液などから回転軸７等を保護するための保護部材４５が設けられている。
【００７１】
この基板処理装置は、さらに、遮断板２７の上方に配置可能で、遮断板２７の上面にセルフクリーニング用洗浄液を供給するための第２洗浄ノズル４６を備えている。第２洗浄ノズル４６には、洗浄液配管４７を介してセルフクリーニング用洗浄液供給源が接続されている。セルフクリーニング用洗浄液供給源には、純水などのセルフクリーニング用洗浄液が収容されている。洗浄液配管４７には、バルブ４７Ａが介装されており、バルブ４７Ａを開くことにより、第２洗浄ノズル４６から、セルフクリーニング用洗浄液を吐出することが可能である。バルブ４１Ａ，４７Ａの開閉は、制御部１５により制御される。
【００７２】
この基板処理装置でウエハＷの処理をするときは、先ず、制御部１５の制御により、遮断板２７がスピンチャック３０に保持されたウエハＷ上方に近接して対向配置される。そして、制御部１５の制御により、スピンチャック３０に保持されたウエハＷおよび遮断板２７が回転される。
その後、制御部１５により昇降機構１０が制御されて、スピンベース２の上面２ａと第２案内部３８ｂとがほぼ同じ高さになるように、スプラッシュガード３８が移動される。仕切部材３９の高さ位置は変わらないので、この状態で、上面２ａと第２案内部３８ｂとの間には、仕切部材３９は存在しない。
【００７３】
続いて、制御部１５の制御により、下ノズル１３および上ノズル３４から薬液が吐出される。ウエハＷの遠心力により、薬液はウエハＷの下面および上面に沿って外方に向かって流れる。これにより、ウエハＷの下面および上面が処理される。
ウエハＷの外周部に達した薬液は、回転しているウエハＷの遠心力により側方に振り切られてスプラッシュガード３８の第２案内部３８ｂに受けられ（トラップされ）た後、下方に流れ落ち薬液回収槽４２に回収される。一定時間、ウエハＷ上下面の薬液処理が継続された後、制御部１５の制御により、下ノズル１３および上ノズル３４からの薬液の吐出は停止される。
【００７４】
ウエハＷが薬液により処理される際、薬液の一部はスピンベース２の上面２ａに落ちる。したがって、薬液による処理が終了した後、スピンベース２の上面２ａおよびチャックピン６は、薬液により汚れた状態となっている。
その後、制御部１５により昇降機構１０が制御されて、スプラッシュガード３が下降され、チャックピン６と第１洗浄ノズル４０とがほぼ同じ高さになるようにされる。この状態で、スピンベース２の上面２ａの側方には、第１案内部３８ａが存在しており、仕切部材３９は溝３８ｃに遊嵌する。また、遮断板２７は、第１案内部３８ａの上端に近接し、遮断板２７の上面とスプラッシュガード３８の上端とは、ほぼ同じ高さになる。ウエハＷおよび遮断板２７の回転は維持される。
【００７５】
そして、制御部１５の制御により、下ノズル１３および上ノズル３４から、ウエハ用洗浄液が吐出される。ウエハ用洗浄液は、ウエハＷの遠心力により、ウエハＷの下面および上面に沿って外方に向かって流れる。これにより、ウエハＷの下面および上面が洗浄される。ウエハＷの周縁部に至ったウエハ用洗浄液は、側方へと振り切られて、スプラッシュガード３８の第１案内部３８ａに受けられ、さらに、下方へと流れて洗浄液回収槽４３に回収される。洗浄液は、薬液を回収するのに用いられる第２案内部３８ｂより高い位置に配された第１案内部３８ａに案内されて回収されるが、仕切部材３９により、薬液回収槽４２に回収された薬液に洗浄液が混入しないようにされている。
【００７６】
続いて、制御部１５の制御により、スピンチャック３０および遮断板２７の回転数が小さくされる。その結果、下ノズル１３から吐出されたウエハ用洗浄液は、ウエハＷにより十分大きな遠心力が与えられなくなり、下ノズル１３に向かって落ちるようになる。これにより、下ノズル１３がウエハ用洗浄液で洗浄される。このときも、ウエハ用洗浄液は洗浄液回収槽４３に回収される。
次に、制御部１５の制御により、ウエハＷおよび遮断板２７の回転数が、ウエハＷ洗浄時の回転数に戻される。そして、制御部１５の制御によりバルブ４１Ａが開かれ、第１洗浄ノズル４０からチャック用洗浄液が吐出される。第１洗浄ノズル４０から吐出されるチャック用洗浄液の流量は、３リットル／分以下とされることが好ましい。スピンベース２および遮断板２７の回転、ならびに下ノズル１３および上ノズル３４からのウエハ用洗浄液の吐出は継続される。これにより、スピンベース２の上面２ａおよびチャックピン６において、薬液が残っている部分が洗浄される。
【００７７】
この際、チャックピン６に当たって洗浄ノズル４０側に跳ね返されたチャック用洗浄液は、第１案内部３８ａ内で受けられ（トラップされ；図３に矢印Ｄ１〜Ｄ４で示す。）た後、下方へと流れ落ちて洗浄液回収槽４３に回収される。また、チャックピン６で跳ね返り、ミストとなって上方へと飛散しようとするチャック用洗浄液も、遮断板２７の下面で受けられ（トラップされ；図３に矢印Ｄ５で示す。）、側方へ振り切られて、第１案内部３８ａを経て洗浄液回収槽４３に回収される。
【００７８】
このように、この基板処理装置は１種類の薬液と、洗浄液（ウエハ用洗浄液、チャック用洗浄液）とを個別に回収できるようになっている。また、チャック用洗浄液は薬液回収槽４２に回収された薬液に混入することはないから、回収された薬液の組成が変化することを回避することができる。したがって、この実施形態の基板処理装置によっても、再利用可能な薬液の量を増やすことができるから、薬液の使用量（消費量）を低減できる。
【００７９】
また、薬液を溶解したチャック用洗浄液は、チャンバ１の内壁などの構造物に付着し、乾燥して薬液成分の結晶を生じることもほとんどない。これにより、蓄積汚染の量も低減できる。
スピンベース２の上面２ａやチャックピン６がチャック用洗浄液により洗浄された後、制御部１５の制御によりバルブ４１Ａが閉じられて、チャック用洗浄液の吐出が停止される。そして、一定時間、下ノズル１３および上ノズル３４からのウエハ用洗浄液の吐出が継続された後、制御部１５の制御により、ウエハ用洗浄液の吐出が停止される。
【００８０】
次に、制御部１５の制御により、スピンチャック３０に保持されたウエハＷおよび遮断板２７が、一定時間高速回転されて振り切り乾燥される。回転するウエハＷやスピンベース２の遠心力によって側方に振り切られたウエハ用洗浄液やチャック用洗浄液は、第１案内部３８ａに受けられ、下方へと流れ落ちて洗浄液回収槽４３に回収される。
以上で、１枚のウエハＷの処理が終了する。
【００８１】
上述のように、この基板処理装置によれば蓄積汚染を低減できるが、この基板処理装置は、チャンバ１内壁等を洗浄して蓄積汚染を除去するセルフクリーニングも可能である。セルフクリーニングは、スピンチャック３０にウエハＷは保持されていない状態で行われる。
先ず、制御部１５の制御により、スピンチャック３０および遮断板２７が回転され、スプラッシュガード３８が、ウエハＷ洗浄時と同じ高さ位置に、すなわち、スピンベース２の上面２ａと第１案内部３８ａとがほぼ同じ高さ位置になるようにされる。続いて、制御部１５の制御により、遮断板２７がスピンベース２に近接される。これにより、遮断板２７の上面とスプラッシュガード３８の上端とがほぼ同じ高さ位置にされる。
【００８２】
次に、制御部１５の制御により、バルブ４７Ａが開かれて、第２洗浄ノズル４６から遮断板２７の上面に向けて、セルフクリーニング用洗浄液が吐出される。また、下ノズル１３および上ノズル３４からのウエハ用洗浄液の吐出、ならびに第１洗浄ノズル４０からのチャック用洗浄液の吐出も開始される。
セルフクリーニング用洗浄液は、遮断板２７の遠心力により側方へと振り切られて、チャンバ１の内壁に当たり（図３に、矢印Ｅで示す。）、下方へと流れ落ちる。これにより、チャンバ１の内壁が洗浄される。スピンベース２の上面２ａやチャックピン６などの表面は、ウエハ用洗浄液やチャック用洗浄液に覆われているので、セルフクリーニング用洗浄液のミスト等が付着することはない。
【００８３】
一定時間、このような処理が行われた後、制御部１５の制御により、第２洗浄ノズル４６からのセルフクリーニング用洗浄液の吐出、下ノズル１３および上ノズル３４からのウエハ用洗浄液の吐出、ならびに、第１洗浄ノズル４０からのチャック用洗浄液の吐出が停止される。続いて、制御部１５の制御により、スピンチャック３０および遮断板２７が、一定時間高速回転されて振り切り乾燥される。
【００８４】
スピンベース２の上面２ａやチャックピン６の洗浄は、ウエハＷを１枚処理するごとに行われるが、セルフクリーニングは、ウエハＷが所定枚数処理されるごとに行うものとすることができる。
本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、たとえば、第１の実施形態において、回収ポート１１ａ〜１１ｃの数は、使用する薬液の種類の数に応じて、任意に構成することができる。この場合でも、案内部３ａを最も低い位置にある回収ポート１１ｃより低い位置に設けることにより、回収ポート１１ａ〜１１ｃを経て回収された薬液に洗浄液が混入することを防止できる。
【００８５】
洗浄液が、常に十分大きな初速度で側方に飛び出すようにされる場合は、洗浄液は、回収ポート１１ａ〜１１ｃのいずれかを介して回収されるものとしてもよい。
第１および第２の実施形態において、スプラッシュガード３，３８が固定されており、スピンチャック３０が昇降するように構成されていてもよい。また、スプラッシュガード３，３８およびスピンチャック３０の双方が昇降可能に構成されていてもよい。
【００８６】
洗浄ノズル１２および第１洗浄ノズル４０は、案内部３ａ内や第１案内部３８ａ内に、複数本備えられていてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置の全体構成を示す図解的な断面図である。
【図２】図１の基板処理装置の構造および制御を説明するための図解的な断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る基板処理装置の構成を示す図解的な断面図である。
【図４】従来の基板処理装置の構成を示す図解的な断面図である。
【図５】従来の基板処理装置の他の構成を示す図解的な断面図である。
【符号の説明】
２　　スピンベース
３，３８　　スプラッシュガード
３ａ　　案内部
６　　チャックピン
８　　回転駆動機構
１１ａ〜１１ｃ　　回収ポート
１２　　洗浄ノズル
１２ｔ，４０ｔ　　吐出口
１３　　下ノズル
１５　　制御部
２７　　遮断板
３０　　スピンチャック
３４　　上ノズル
３８ａ　　第１案内部
３８ｂ　　第２案内部
４０　　第１洗浄ノズル
Ｗ　　ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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