(57)【要約】【課題】部材同士を貼り合わせる際に、部材の摩耗屑あるいは欠け等の発生を抑制するとともに、部材同士の貼り合わせのずれを小さくする等の部材貼り合わせ装置、及び部材貼り合わせ方法を得ることを目的とする。【解決手段】部材貼り合わせ装置１は、太陽電池セル２を吸着するセル吸着面３を有するセル吸着台４と、カバーガラス５を吸着するガラス吸着面６を有するガラス吸着台７と、押し付けピン２３及び基準ピン２４の挟み付けにより太陽電池セル２及びカバーガラス５を位置決めする位置決め機構８と、ガラス吸着台７を反転させて太陽電池セル２にカバーガラス５を対向配置させてカバーガラス５を太陽電池セル２に重ねる移動機構９と、セル吸着台４、ガラス吸着台７、位置決め機構８及び移動機構９の動作を制御する制御部１０とを備えている。太陽電池セル２及びカバーガラス５は、吸着されてから位置決めされる。【選択図】　　　　図１
2004095628.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材を吸着保持する第１吸着面を有する第１吸着台と、
第２部材を吸着保持する第２吸着面を有する第２吸着台と、
変位可能な変位部を有し、前記変位部が前記第１部材及び前記第２部材に接触して変位することにより前記第１部材及び前記第２部材をそれぞれ前記第１吸着面及び前記第２吸着面に沿って摺動させて位置決めする位置決め機構と、
前記第２吸着台を移動させて前記第２部材を前記第１部材に重ねる移動機構と、
前記第１吸着台、前記第２吸着台、前記位置決め機構及び前記移動機構を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記第１部材及び前記第２部材をそれぞれ前記第１吸着面及び前記第２吸着面に吸着させている状態で、前記変位部を変位させるようになっていることを特徴とする部材貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記位置決め機構は、前記第１部材を位置決めするとともに、前記移動機構により前記第１部材に対向配置された前記第２部材を位置決めするようになっていることを特徴とする請求項１に記載の部材貼り合わせ装置。
【請求項３】
前記位置決め機構は、前記第１部材及び前記第２部材が当接する基準当接部を有し、
前記変位部は、前記第１部材及び前記第２部材を前記基準当接部に押し付けるようになっていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の部材貼り合わせ装置。
【請求項４】
前記基準当接部は、前記第１部材が当接する第１基準面と前記第２部材が当接する第２基準面とを有し、
前記第１基準面及び前記第２基準面の位置が前記第１部材及び前記第２部材の摺動方向にずれていることを特徴とする請求項３に記載の部材貼り合わせ装置。
【請求項５】
前記第１吸着面及び前記第２吸着面は、低摩擦材料で形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の部材貼り合わせ装置。
【請求項６】
第１吸着台の第１吸着面に第１部材を吸着保持させるとともに、第２吸着台の第２吸着面に第２部材を吸着保持させる吸着工程と、
変位可能な変位部を前記第１部材及び前記第２部材に接触させて変位させることにより、前記第１吸着面に吸着された前記第１部材を前記第１吸着面に沿って摺動させて位置決めするとともに、前記第２吸着面に吸着された前記第２部材を前記第２吸着面に沿って摺動させて位置決めする位置決め工程と、
位置決め工程の後に、前記第２吸着台を移動させて前記第２部材を前記第１部材に重ねて貼り合わせる貼り合わせ工程と
を備えた部材貼り合わせ方法。
【請求項７】
前記位置決め工程は、
前記第１部材を位置決めする第１位置決め工程と、
前記第１位置決め工程の後に、前記第２吸着台を移動させて前記第２部材を前記第１部材に対向配置させる配置工程と、
前記配置工程の後に、前記第２部材を位置決めする第２位置決め工程と
を備えていることを特徴とする請求項６に記載の部材貼り合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、部材同士、例えば人工衛星に用いられる太陽電池の太陽電池セルとカバーガラスとを貼り合わせるための部材貼り合わせ装置、及び部材貼り合わせ方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
通常、太陽電池の太陽電池セルにはカバーガラスが被せられている。このカバーガラスは、部材貼り合わせ装置によって太陽電池セルに貼り合わせられる。図１５は、特開２００１−１４８４８８号公報に開示されたものと同様の従来の部材貼り合わせ装置を示す斜視図である。図１５において、従来の部材貼り合わせ装置１０１は、太陽電池セル１０２を真空吸引して吸着保持するセル吸着面１０３ａを有するセル吸着台１０３と、カバーガラス１０４を真空吸引して吸着保持するガラス吸着面１０５ａを有するガラス吸着台１０５と、ガラス吸着台１０５を移動させてこのガラス吸着台１０５に吸着されているカバーガラス１０４をセル吸着台１０３に吸着されている太陽電池セル１０２に対向配置させて押し付ける移動機構１０６とを備えている。
【０００３】
移動機構１０６は、水平軸線１０７を中心にガラス吸着台１０５を反転させる反転部１０８と、ガラス吸着台１０５を鉛直方向に沿って移動させる直線移動部１０９とを有している。
【０００４】
図１６は、セル吸着台１０３及びその周囲の上面図である。図１６において、セル吸着台１０３の周囲には、太陽電池セル１０２をセル吸着台１０３の所望の位置に配置するためのセル位置決め機構１１０が設けられている。セル位置決め機構１１０は、太陽電池セル１０２の長辺方向あるいは短辺方向に移動して太陽電池セル１０２を押し付ける押し付けローラ１１１と、押し付けローラ１１１によって押し付けられる太陽電池セル１０２を基準位置で受けるセル位置決めブロック１１２とを有している。セル位置決め機構１１０は、この押し付けローラ１１１及びセル位置決めブロック１１２が太陽電池セル１０２をその周囲から挟むことにより、太陽電池セル１０２の位置決めを行うようになっている。なお、図１６における１１４は、真空吸引するための真空引き穴である。
また、図示しないが、カバーガラス１０４の位置決めをするガラス位置決め機構も同様に複数の押し付けローラとカバー位置決めブロックとを有している。このガラス位置決め機構は、部材貼り合わせ装置１０１の上部に取り付けられており、ガラス吸着台１０５が鉛直方向にガラス位置決め機構の位置まで上昇して、その位置でカバーガラス１０４の位置決めが行われるようになっている。
【０００５】
なお、セル吸着台１０３、ガラス吸着台１０５、移動機構１０６、セル位置決め機構１１０、及びガラス位置決め機構は、真空チャンバ１１３に収納されており、ほぼ真空環境下で太陽電池セル１０２及びカバーガラス１０４の貼り合わせが行われるようになっている。
【０００６】
このような従来の部材貼り合わせ装置１０１は、以下のようにして太陽電池セル１０２とカバーガラス１０４との貼り合わせを行う。即ち、ガラス吸着台１０５は、あらかじめそのガラス吸着面１０５ａが鉛直方向上向きになるように配置されている。まず、太陽電池セル１０２がセル吸着面１０３ａに載せられ、あらかじめ接着剤が塗布されたカバーガラス１０４がガラス吸着面１０５ａに載せられる。次に、真空チャンバ１１３の内部がほぼ真空状態にされた後に、太陽電池セル１０２は、セル吸着面１０３ａ上で複数の押し付けローラ１１１及びセル位置決めブロック１１２によって周囲から挟まれ位置決めされる。一方、カバーガラス１０４は、ガラス吸着台１０５に載せられたまま上方に搬送され、ガラス位置決め機構の配置位置で押し付けローラ及びガラス位置決めブロックによって周囲から挟まれ位置決めされる。その後、太陽電池セル１０２及びカバーガラス１０４は、押し付けローラ及び位置決めブロックで挟まれた状態で真空吸引され、それぞれセル吸着面１０３ａ及びガラス吸着面１０５ａに吸着される。
【０００７】
その後、ガラス吸着台１０５は、移動機構１０６により反転可能な位置まで下降してから反転し、カバーガラス１０４が接着剤を塗布した面を太陽電池セル１０２に向けて配置される。そして、ガラス吸着台１０５が下降し、カバーガラス１０４は太陽電池セル１０２に押し付けられて貼り合わせられる。
貼り合わせられると、セル吸着面１０３ａ及びガラス吸着面１０５ａの真空吸引が停止され、ガラス吸着台１０５が移動機構１０６により上昇するとともに、真空チャンバ１１３内の真空状態も解除される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、太陽電池セル１０２及びカバーガラス１０４は、薄い板状部材であるので、反っている場合がある。この反りは、太陽電池セル１０２とカバーガラス１０４とを貼り合わせる上で、不都合となる。従って、部材貼り合わせ装置１０１において、太陽電池セル１０２がセル吸着面１０３ａに吸着され、カバーガラス１０４がガラス吸着面１０５ａに吸着されて、このような反りが強制的に修正されるようになっている。
【０００９】
図１７は、太陽電池セル１０２が位置決めされた状態で真空吸引されるときの動作を説明する模式図である。図１７に示すように、太陽電池セル１０２は、複数の押し付けローラ１１１及びセル位置決めブロック１１２により挟まれている状態で真空吸引されることから、この真空吸引に伴って太陽電池セル１０２の周縁部が押し付けローラ１１１及びセル位置決めブロック１１２の接触部分でこすれて太陽電池セル１０２の摩耗屑あるいは欠けが発生するという問題点があった。また、この摩耗屑あるいは欠けは、カバーガラス１０４においても同様に発生するという問題点もあった。
【００１０】
また、セル吸着面１０３ａに太陽電池セル１０２が吸着される前に、複数の押し付けローラ１１１及びセル位置決めブロック１１２により挟まれるので、その挟み付け力により太陽電池セル１０２の反りがさらに大きくなる、あるいは太陽電池セル１０２が割れてしまうという問題点があった。カバーガラス１０４も同様の問題点があった。
【００１１】
また、太陽電池セル１０２の摩耗屑あるいは欠けの発生を防止するために、押し付けローラ１１１及びセル位置決めブロック１１２の挟み付けを解除してからセル吸着面１０３ａに吸着する方法を採ったとしても、この吸着をする際には太陽電池セル１０２がその位置で保持されているわけではないので、吸着の際に再び位置がずれてしまうという問題点もあった。カバーガラス１０４についても同様な問題点があった。
【００１２】
また、セル位置決め機構１１０はセル吸着台１０３の周囲に設けられ、ガラス位置決め機構は部材貼り合わせ装置１０１の上部に設けられていることから、カバーガラス１０４がガラス吸着面１０５ａに位置決めされ吸着されてからセル吸着面１０３ａ上の太陽電池セル１０２に貼り合わせられるまでに、ガラス吸着台１０５は移動機構１０６により長い距離を移動せざるを得ない。カバーガラス１０４は、ガラス位置決め機構で位置決めされた後に再び位置決めされることはないので、移動機構１０６に構造的なガタによる誤差があるとその影響をそのまま受けやすい。即ち、カバーガラス１０４は、位置決め後に移動及び反転することによりその太陽電池セル１０２に対する相対的な位置がばらつき、太陽電池セル１０２に貼り合わせられる際にずれが発生するという問題点もあった。
【００１３】
そこでこの発明は、上記のような問題点を解決することを課題とするもので、部材同士を貼り合わせる際に、部材の摩耗屑あるいは欠け等の発生を防止し、また部材同士の貼り合わせのずれを小さくすることができる部材貼り合わせ装置、及び部材貼り合わせ方法を得ることを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る部材貼り合わせ装置は、第１部材を吸着保持する第１吸着面を有する第１吸着台と、第２部材を吸着保持する第２吸着面を有する第２吸着台と、変位可能な変位部を有し、この変位部が第１部材及び第２部材に接触して変位することにより第１部材及び第２部材をそれぞれ第１吸着面及び第２吸着面に沿って摺動させて位置決めする位置決め機構と、第２吸着台を移動させて第２部材を第１部材に重ねる移動機構と、第１吸着台、第２吸着台、位置決め機構及び移動機構を制御する制御部とを備え、制御部は、第１部材及び第２部材をそれぞれ第１吸着面及び第２吸着面に吸着させている状態で、変位部を変位させるようになっている。
【００１５】
また、位置決め機構は、第１部材を位置決めするとともに、移動機構により第１部材に対向配置された第２部材を位置決めするようになっている。
【００１６】
また、位置決め機構は、第１部材及び第２部材が当接する基準当接部を有し、変位部は、第１部材及び第２部材を基準当接部に押し付けるようになっている。
【００１７】
また、基準当接部は、第１部材が当接する第１基準面と第２部材が当接する第２基準面とを有し、第１基準面及び第２基準面の位置が第１部材及び第２部材の摺動方向にずれている。
【００１８】
また、第１吸着面及び第２吸着面は、低摩擦材料で形成されている。
【００１９】
また、この発明に係る部材貼り合わせ方向は、第１吸着台の第１吸着面に第１部材を吸着保持させるとともに、第２吸着台の第２吸着面に第２部材を吸着保持させる吸着工程と、変位可能な変位部を第１部材及び第２部材に接触させて変位させることにより、第１吸着面に吸着された第１部材を第１吸着面に沿って摺動させて位置決めするとともに、第２吸着面に吸着された第２部材を第２吸着面に沿って摺動させて位置決めする位置決め工程と、位置決め工程の後に、第２吸着台を移動させて第２部材を第１部材に重ねて貼り合わせる貼り合わせ工程とを備えている。
【００２０】
また、位置決め工程は、第１部材を位置決めする第１位置決め工程と、第１位置決め工程の後に、第２吸着台を移動させて第２部材を第１部材に対向配置させる配置工程と、この配置工程の後に、第２部材を位置決めする第２位置決め工程とを備えている。
【００２１】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１に係る部材貼り合わせ装置の上面図である。また、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った部分断面図であり、図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った部分断面図である。図１乃至図３において、部材貼り合わせ装置１は、第１部材である平板状の太陽電池セル２を吸引により吸着保持するセル吸着面３（第１吸着面）を有するセル吸着台４（第１吸着台）と、第２部材である平板状のカバーガラス５を吸引により吸着保持するガラス吸着面６（第２吸着面）を有するガラス吸着台７（第２吸着台）と、セル吸着台４側に配置され、太陽電池セル２及びカバーガラス５をそれぞれ位置決めする位置決め機構８と、ガラス吸着台７を移動させてカバーガラス５を太陽電池セル２に重ねる移動機構９と、セル吸着台４、ガラス吸着台６、位置決め機構８及び移動機構９を制御する制御部１０とを備えている。
【００２２】
セル吸着台４は、セル吸着面３を鉛直方向上向きにして配置されている。セル吸着面３には、複数のセル吸着穴１３が設けられている。このセル吸着穴１３は、図示しない吸引ポンプにチューブ１４を介して気密に接続されている。また、セル吸着面３は、低摩擦材料であるジュラコン（登録商標）で形成されている。
【００２３】
ガラス吸着台７は、ガラス吸着面６を鉛直方向上向きにして配置されている。ガラス吸着面６には、複数のガラス吸着穴１８が設けられている。このガラス吸着穴１８は、図示しない吸引ポンプにチューブ１４を介して機密に接続されている。また、ガラス吸着面６もセル吸着面３と同様にジュラコンにより形成されている。
【００２４】
位置決め機構８は、セル吸着台４の下方に設けられセル吸着面３に沿って変位可能な４つの爪部２１を有するエアチャック２２と、爪部２１に取り付けられた変位部である金属製の押し付けピン２３及び基準当て部である金属製の基準ピン２４とを有している。４つの爪部２１は、エアチャック２２の動作により、セル吸着面３の中心に近づく向きにあるいは中心から離れる向きに同時に変位するようになっている。
【００２５】
４つの爪部２１のうち２つの爪部２１は、セル吸着面３の短辺に垂直な方向に互いに異なる向きに往復変位するようになっており、一方の爪部２１ａに押し付けピン２３がガイド２５を介して取り付けられ、他方の爪部２１ｂに基準ピン２４が取り付けられている。残りの２つの爪部２１は、セル吸着面３の長辺に垂直な方向に互いに異なる向きに往復変位するようになっており、同様に一方の爪部２１ａに押し付けピン２３がガイド２５を介して取り付けられ、他方の爪部２１ｂに基準ピン２４が取り付けられている。なお、図１において、長辺に垂直な方向に変位する爪部２１ｂは分岐しており、２つの基準ピン２４が分岐したそれぞれの部分に固定されている。
【００２６】
押し付けピン２３は、ガイド２５により爪部２１ａの動作方向に沿って往復変位可能とされている。この往復変位は、爪部２１ａに対して相対的な変位である。また、押し付けピン２３と爪部２１ａとの間には、押し付けピン２３の変位により弾性変形するばね２７が接続されている。従って、押し付けピン２３及びガイド２５は、ばね２７の接続によって爪部２１ａの変位に伴って変位可能とされている。
【００２７】
また、爪部２１ａには、押し付けピン２３の変位方向に沿って往復動作をするシリンダシャフトを有するピンシリンダ２６が固定されている。ピンシリンダ２６は、シリンダシャフトがセル吸着面３の中心から離れる向きに前進され、セル吸着面３の中心に近づく向きに後退されるように配置されている。さらに、ピンシリンダ２６は、シリンダシャフトの前進が完了するまでにシリンダシャフトがガイド２５に当接されるように、ガイド２５の近傍に配置されている。即ち、シリンダシャフトは、前進されてガイド２５に当接された後も、さらに前進されてガイド２５をセル吸着面３から離れる向きに変位させるようになっている。従って、ばね２７は、このガイド２５の変位により弾性圧縮されるようになっている。
【００２８】
押し付けピン２３及び基準ピン２４は、図２及び図３に示すようにセル吸着台４の周囲にセル吸着面３の高さよりも上方に突出して配置されており、それぞれが取り付けられている爪部２１の変位に伴って変位されるようになっている。
【００２９】
移動機構９は、ガラス吸着台７に接続されたアーム部３２と、このアーム部３２を移動させる駆動部３３とを有している。駆動部３３は、図２に示すように、軸線３４を中心にアーム部３２を回動させる回動駆動部３３ａと、回動駆動部３３ａに取り付けられ、回動駆動部３３ａを鉛直方向に移動させる直動駆動部３３ｂとを有している。直動駆動部３３ｂは、鉛直方向に伸縮する突起部３３ｃを有している。突起部３３ｃは、回動駆動部３３ａの重さを受けながら固定部材に当接されている。従って、アーム部３２は、回動駆動部３３ａの駆動により軸線３４を中心に反転され、直動駆動部３３ｂの突起部３３ｃの伸縮により鉛直方向に回動駆動部３３ａとともに平行移動される。また、ガラス吸着台７は、アーム部３２の移動により、鉛直方向の平行移動及び軸線３４を中心とした反転移動が組み合わされて、セル吸着面３に押圧されるようになっている。
【００３０】
回動駆動部３３ａには、ばね３６を含むバッファ機構３７が設けられている。ばね３６は、一端部が回動駆動部３３ａ近傍の固定部材に図示しない調整機構を介して接続され、他端部が回動駆動部３３ａに接続されている。回動駆動部３３ａは、固定部材にばね３６を介して吊り下げられており、自重がほぼキャンセルされるようになっている。従って、ガラス吸着台７は、回転駆動部３３ａの自重からばね３６の弾性力を引いた微小な圧力で押圧されるようになっている。押圧力は、図示しない調整機構によりばね３６の固定端位置をずらすことで調整するが、例えば４Ｎ程度になるように設定するとよい。
【００３１】
また、移動機構９は、エアチャック２２を支持する支持台２８に取り付けられたガイド付きエアシリンダ２９を有している。このガイド付きエアシリンダ２９は、鉛直方向に延びた支持ガイド３５を有しており、支持台２８を支持ガイド３５に沿って往復移動させるようになっている。また、セル吸着台４及び位置決め機構８は、互いに連結されている。従って、セル吸着台４及び位置決め機構８は、ガイド付きエアシリンダ２９の動作によりともに鉛直方向に移動するようになっている。
【００３２】
制御部１０は、図示しない吸引ポンプ、位置決め機構８及び移動機構９に電気的に接続されて、セル吸着台４及びガラス吸着台７における吸引、位置決め機構８及び移動機構９の動作を制御している。
【００３３】
セル吸着台４の周囲には、開口部１２を有する略額縁形状のセルトレイ１１が配置されている。セル吸着台４は、開口部１２に隙間を介して配置されている。セルトレイ１１は、支持棒３０により支持されている。この支持棒３０は、セルトレイ１１の四隅に配置されている。従って、セルトレイ１１は、セル吸着台４及び位置決め機構８と異なり移動しないように固定されている。また、セルトレイ１１は、内周側に外周側よりも高さの低いセル低段領域１５を有している。このセル低段領域１５で太陽電池セル２の周縁部を支持することにより、セルトレイ１１は太陽電池セル２を支持するようになっている。
【００３４】
ガラス吸着台７の周囲には、開口部１７を有する略額縁形状のガラストレイ１６が配置されている。ガラス吸着台７は、開口部１７に隙間を介して配置されている。ガラストレイ１６は、支持棒３１により支持されている。この支持棒３１は、ガラストレイ１６の四隅に配置されている。従って、ガラストレイ１６は、ガラス吸着台７と異なり移動しないようになっている。また、ガラストレイ１６は、内周側に外周側よりも高さの低いガラス低段領域１９を有している。このガラス低段領域１９でカバーガラス５の周縁部を支持することにより、ガラストレイ１６はカバーガラス５を支持するようになっている。なお、ガラストレイ１６は、途切れ部２０の存在により完全にはガラス吸着台７を囲んではおらず、開口部１７はこの途切れ部２０を介して外部と連通している。この途切れ部２０は、移動機構９のアーム部３２の回動経路に配置されている。
【００３５】
カバーガラス５は、太陽電池セル２の全体を覆うことができるように、通常、太陽電池セル２よりも各辺が少し大きめに作られている。この実施の形態の場合、太陽電池セル２のサイズ及びカバーガラス５のサイズは、ともに短辺長さが約３５ｍｍ、長辺長さが約７０ｍｍ、厚さが約０．１ｍｍであり、カバーガラス５の各辺の長さは、太陽電池セル２の各辺の長さよりも約０．１ｍｍだけ大きくされている。
【００３６】
セル吸着台４、ガラス吸着台７、位置決め機構８及び移動機構９は、真空容器の中に収納されており、図示しない真空ポンプによってほぼ真空状態で太陽電池セル２とカバーガラス５とが貼り合わされるようになっている。この真空ポンプも制御部１０が制御するようになっている。
【００３７】
真空容器内の圧力は、真空ポンプによって約５３２０〜７９８０Ｐａ（約４０〜６０Ｔｏｒｒ）にされるように設定されている。セル吸着穴１３及びガラス吸着穴１８での吸引圧力は、吸引ポンプによって約１３３０〜３９９０Ｐａ（約１０〜３０Ｔｏｒｒ）にされるように設定されている。即ち、真空ポンプによる真空容器内の圧力と吸引ポンプによる吸引圧力との差圧は、約３９９０Ｐａ（約３０Ｔｏｒｒ）程度に設定されている。この差圧は、減圧環境下で安定して作業できる圧力である。
【００３８】
即ち、この差圧により、セル吸着面３及びガラス吸着面６が太陽電池セル２及びカバーガラス５をそれぞれ吸着保持する各吸着力は、セル吸着面３及びガラス吸着面６が鉛直下向きにされてもそれぞれ太陽電池セル２及びカバーガラス５の保持が維持される程度の大きさに設定され、しかも吸着された太陽電池セル２及びカバーガラス５がそれぞれ破損せずに押し付けピン２３及び基準ピン２４の接触によって摺動される程度の大きさに設定される。ここでは、約１４７×１０−３〜１９６×１０−３Ｎ（約１５〜２０ｇｆ）に設定されている。
【００３９】
ここで、セル吸着面３の吸着力は、真空容器内の圧力とセル吸着穴１３での吸引圧力との差圧にセル吸着面３上のセル吸着穴１３の総面積を乗じた大きさである。また、ガラス吸着面６の吸着力は、真空容器内の圧力とガラス吸着穴１８での吸引圧力との差圧にガラス吸着面６上のガラス吸着穴１８の総面積を乗じた大きさである。従って、セル吸着穴１３の総面積及びガラス吸着穴１８の総面積は、セル吸着面３及びガラス吸着面６の各吸着力が適切になるように、真空ポンプによる真空容器内の圧力と吸引ポンプによる吸引圧力との差圧の設定に関連させて設定されている。
【００４０】
なお、真空容器、操作スイッチ等は図示を省略している。
【００４１】
このように構成された部材貼り合わせ装置１により、太陽電池セル２とカバーガラス５とは、以下のようにして貼り合わされる。図４は、部材貼り合わせ装置１によって太陽電池セル２とカバーガラス５とを貼り合わせる手順を示すフローチャートである。図４に示すように、まず、太陽電池セル２がセルトレイ１１に載せられる（Ｓ１）。また、カバーガラス５は、接着剤が塗布され（Ｓ２）、その塗布された面を上にしてガラストレイ１６に載せられる（Ｓ３）。このとき、太陽電池セル２はその周縁部がセル低段領域１５に支持されるように配置され、カバーガラス５はその周縁部がガラス低段領域１９に支持されるように配置される。また、このとき押し付けピン２３及び基準ピン２４は、セル低段領域１５よりも外側に配置されている。従って、太陽電池セル２は押し付けピン２３及び基準ピン２４の間に配置される。
【００４２】
次に、制御部１０からの命令により、ガイド付きシリンダ２９が動作してセル吸着台４及び位置決め機構８がともに上昇する。また、制御部１０からの命令で直動駆動部３３ｂの突起部３３ｃが伸びることにより、アーム部３２が平行移動されてガラス吸着台７が上昇する。このとき、セルトレイ１１及びガラストレイ１６に支持されていた太陽電池セル２及びカバーガラス５は、それぞれセル吸着台４及びガラス吸着台７に載り移される（Ｓ４，Ｓ５）。
その後、真空ポンプが作動して真空容器の中が約５３２０〜７９８０Ｐａ（約４０〜６０Ｔｏｒｒ）のほぼ真空状態にされる（Ｓ６）。
【００４３】
その後、制御部１０からの命令により吸引ポンプが作動し、太陽電池セル２がセル吸着面３に吸着され、カバーガラス５がガラス吸着面６に吸着される（Ｓ７，Ｓ８、吸着工程）。このとき、吸引ポンプの吸引圧力は約１３３０〜３９９０Ｐａ（約１０〜３０Ｔｏｒｒ）にされ、吸着力は約１４７×１０−３〜１９６×１０−３Ｎ（約１５〜２０ｇｆ）にされる。
【００４４】
その後、太陽電池セル２及びカバーガラス５が吸着された状態で、制御部１０からの命令により、エアチャック２２が動作される。この動作により４つの爪部２１は同時にセル吸着面３の中心に向かって変位される。これに伴って押し付けピン２３及び基準ピン２４も変位され、基準ピン２４は太陽電池セル２に接触する。このとき、ピンシリンダ２６は、シリンダシャフトが前進した状態、即ち伸びきった状態となっている。従って、押し付けピン２３は、伸びきったピンシリンダ２６に当接されて太陽電池セル２に接触する前に停止される。そして、爪部２１がさらに変位されることにより、ばね２７は弾性圧縮される。
【００４５】
その後、ピンシリンダ２６が動作されて、シリンダシャフトが後退される。このシリンダシャフトの後退に伴い、押し付けピン２３は、ばね２７の復元力によって太陽電池セル２に向かって移動され、太陽電池セル２に押し付けられる。これにより、太陽電池セル２は、セル吸着面３に吸着されたままセル吸着面３に沿って摺動されて位置決めされる。即ち、太陽電池セル２は、押し付けピン２３によって基準ピン２４に弾力的に押し付けられ、基準ピン２４の位置を基準として位置決めされる（Ｓ９、第１位置決め工程）。
【００４６】
太陽電池セル２の位置決め後、ピンシリンダ２６が動作され、シリンダシャフトが前進される。これにより、押し付けピン２３は、太陽電池セル２から開離される。その後、エアチャック２２が動作して４つの爪部２１はセル吸着面３の中心から離れる向きに変位される。即ち、押し付けピン２３がさらに後退され、また基準ピン２４が後退されて太陽電池セル２から開離される。
【００４７】
従って、押し付けピン２３が太陽電池セル２から開離されて押し付けピン２３による押圧力が太陽電池セル２から取り除かれた後に、基準ピン２４が太陽電池セル２から開離されるので、太陽電池セル２の位置ずれが基準ピン２４の開離に伴って発生することはない。
【００４８】
押し付けピン２３及び基準ピン２４が後退した後、制御部１０の駆動部３３への命令により、回動駆動部３３ａはアーム部３２を軸線３４周りに回動させる。この動作によりガラス吸着台７は反転され、ガラス吸着面６はセル吸着面３に隙間を介して対向配置される。このとき、セル吸着面３及びガラス吸着面６にはそれぞれ太陽電池セル２及びカバーガラス５が吸着されていることから、太陽電池セル２及びカバーガラス５は、互いに約１ｍｍの隙間を介して対向配置される。また、このとき押し付けピン２３及び基準ピン２４が後退されていることから、カバーガラス５は押し付けピン２３及び基準ピン２４によって干渉されずに太陽電池セル２に対向配置される。さらに、カバーガラス５の配置高さは、押し付けピン２３及び基準ピン２４が変位により接触できる程度の高さになっている（Ｓ１０、配置工程）。
【００４９】
配置工程の後、制御部１０の命令により、再びエアチャック２２が動作し、第１位置決め工程と同様に４つの爪部２１が同時にセル吸着面３の中心に向かって変位される。この爪部２１の変位に伴って押し付けピン２３及び基準ピン２４もセル吸着面３の中心に向かって変位される。カバーガラス５は、太陽電池セル２よりも各辺が少し大きめに作られているので、太陽電池セル２よりも先に押し付けピン２３及び基準ピン２４に接触する。このときも、第１位置決め工程と同様に、押し付けピン２３は伸びきったピンシリンダ２６に当接されて停止され、基準ピン２４がカバーガラス５に接触した後、ピンシリンダ２６のシリンダシャフトの後退により押し付けピン２３がカバーガラス５に接触する。押し付けピン２３及び基準ピン２４の接触により、カバーガラス５はガラス吸着面６に沿って摺動される。即ち、第１位置決め工程と同様に、カバーガラス５は、押し付けピン２３によって基準ピン２４に弾力的に押し付けられ、基準ピン２４の位置を基準として位置決めされる（Ｓ１１、第２位置決め工程）。
【００５０】
その後、太陽電池セル２の場合と同様に、ピンシリンダ２６が動作した後にエアチャック２２が動作し、押し付けピン２３及び基準ピン２４が後退されてカバーガラス５から開離される。
【００５１】
太陽電池セル２及びカバーガラス５が位置決めされ、押し付けピン２３及び基準ピン２４が後退した後、制御部１０の駆動部３３への命令により、直動駆動部３３ｂの駆動でアーム部３２が鉛直方向下向きに移動される。即ち、図２に示す突起部３３ｃが縮むことにより回動駆動部３３ａ全体がアーム部３２とともに鉛直方向下向きに移動される。押し付けピン２３及び基準ピン２４が太陽電池セル２及びカバーガラス５に対して開離されていることから、カバーガラス５は、この移動により、押し付けピン２３及び基準ピン２４に接触して割れたり、押し付けピン２３及び基準ピン２４と擦れて異物を発生させたりすることはない。この移動により、カバーガラス５は太陽電池セル２に重ねられて押し付けられる。
【００５２】
このとき、アーム部３２は、駆動部３３の突起部３３ｃが縮むことにより約２ｍｍ程度移動するように駆動されるが、太陽電池セル２とカバーガラス５との隙間が約１ｍｍであるので、カバーガラス５が太陽電池セル２に接触した後も、突起部３３ｃが更に縮むことになる。すると、突起部３３ｃの先端が固定部材から浮くようになる。このとき、カバーガラス５が太陽電池セル２に押し付けられる力は、回転駆動部３３ａの自重からばね３６の弾性力を引いた微小な圧力であり、４Ｎ程度しかかからない。これにより、カバーガラス５は、破損されずに太陽電池セル２に押圧され、しかもカバーガラス５に塗布された接着剤が、はみ出さないで太陽電池セル２になじむようになる。即ち、カバーガラス５は、接着剤を介して太陽電池セル２に貼り合わせられる（Ｓ１２、貼り合わせ工程）。
【００５３】
その後、制御部１０の命令により、吸引ポンプが停止して太陽電池セル２及びカバーガラス５の吸着状態が解除される。それから、ガラス吸着台７は、駆動部３３により元の状態、即ちガラストレイ１６の開口部１７に配置された状態に戻される。また、セル吸着台４は、ガイド付きエアシリンダ２９の動作により下降移動される。このとき、貼り合わせられたカバーガラス５及び太陽電池セル２は、セルトレイ１１の低段領域１５に載せられて移される。最後に、真空ポンプが停止して、真空容器内の真空状態が解除される（Ｓ１３）。この解除により、接着剤内に存在するボイドは、大気圧によりつぶされて目立たなくなる。
【００５４】
従って、太陽電池セル２及びカバーガラス５は、それぞれセル吸着面３及びガラス吸着面６に吸着されてそれぞれの反りが修正されてから、押し付けピン２３及び基準ピン２４の接触によりセル吸着面３及びガラス吸着面６に沿って摺動するようになっているので、太陽電池セル２の反り及びカバーガラス５の反りが修正される際に、太陽電池セル２及びカバーガラス５が押し付けピン２３及び基準ピン２４とこすれることが防止される。このことから、太陽電池セル２及びカバーガラス５の摩耗屑あるいは破損の発生等を防止することができる。また、太陽電池セル２及びカバーガラス５が吸着される際に生じる位置ずれも、その後の位置決めにより修正されるので、全く影響なく太陽電池セル２とカバーガラス５との貼り合わせがなされるようにすることができる。
【００５５】
また、位置決めの際に、太陽電池セル２及びカバーガラス５は、それぞれセル吸着面３及びガラス吸着面６に吸着されているので、押し付けピン２３により基準ピン２４に押し付けられることで反りが大きくなることはほとんどない。従って、太陽電池セル２及びカバーガラス５を破損させにくくすることができ、位置決め精度も向上させることができる。
【００５６】
また、カバーガラス５は、位置決めされた太陽電池セル２に対向配置されてから位置決めされるので、位置決めされてからの移動距離が小さくなる。このことにより、移動機構９の構造的なガタ等による誤差がカバーガラス５の位置決め精度に与える悪影響を小さくできる。
【００５７】
また、位置決め機構８は、太陽電池セル２及びカバーガラス５の両方を位置決めするようになっているので、太陽電池セル２及びカバーガラス５が共通の基準ピン２４に対して位置決めされ、太陽電池セル２とカバーガラス５との相対的な位置決めを容易に精度良く行うことができる。
【００５８】
なお、セル吸着面３の面積及びガラス吸着面６の面積は、それぞれ太陽電池セル２の面積及びカバーガラス５の面積よりも大きくても構わない。このようにすると、全面に渡って太陽電池セル２及びカバーガラス５の反りを修正することができる。この場合、押し付けピン２３及び基準ピン２４の変位を確保するためにセル吸着台４及びガラス吸着台７に押し付けピン２３あるいは基準ピン２４が変位する切り欠きが設けられる。
【００５９】
また、第１位置決め工程及び第２位置決め工程において、押し付けピン２３によって太陽電池セル２及びカバーガラス５がそれぞれ基準ピン２４に押し付けられる回数は、１回である必要はなく、複数回であっても構わない。この場合、ピンシリンダ２６が複数回動作することによって押し付けピン２３が複数回往復移動するようになっている。
【００６０】
また、太陽電池セル２及びカバーガラス５は、セル吸着面３の長辺に垂直な方向及び短辺に垂直な方向の２方向で位置決めされるが、位置決め時に変位する押し付けピン２３及び基準ピン２４は、各方向でそれぞれ独立して変位されるようになっていても構わない。
【００６１】
また、爪部２１ａに取り付けられる押し付けピン２３の数は、１つである必要はなく、爪部２１ａを分岐させて複数取り付けても構わない。
【００６２】
また、真空容器内の圧力が低下されると吸引ポンプの吸引圧力との差圧が小さくなるので、所望の吸着力が得られにくくなる。従って、太陽電池セル２及びカバーガラス５を保持するために静電チャックを用いても構わない。
【００６３】
実施の形態２．
図５は、この発明の実施の形態２に係る部材貼り合わせ装置のセル吸着面３を上方から鉛直下向きに視た模式図であり、図６は、図５の側面図である。図５及び図６において、実施の形態２に係る部材貼り合わせ装置４１は、階段状の基準当接部である基準ピン４２を有する位置決め機構８を備えている。基準ピン４２は、太陽電池セル２の位置決めの際に側面が太陽電池セル２に当接する第１基準面４３ａを含む大径部４３と、カバーガラス５の位置決めの際に側面がカバーガラス５に当接する第２基準面４４ａを含む小径部４４とを有している。大径部４３及び小径部４４は、同軸でその第１基準面４３ａの位置と第２基準面４４ａの位置とがセル吸着面３に沿った方向にずれて設けられている。他の構成及び動作は実施の形態１と同様である。
【００６４】
ここで、太陽電池セル２及びカバーガラス５は、通常それぞれ１枚のウエハ及び１枚のガラス板からハーフカットあるいはフルカットにより複数切り出されて作製される。従って、太陽電池セル２及びカバーガラス５ともに完全な長方形ではなく、各辺に凹凸も存在する。このように、太陽電池セル２の形状とカバーガラス５の形状が異なると、太陽電池セル２よりも大きな面積を有するカバーガラス５であっても完全に太陽電池セル２を覆うことができない場合がある。
【００６５】
図７は、異なる形状の太陽電池セル２及びカバーガラス５が実施の形態１の基準ピン２４を基準として位置決めされた状態をセル吸着台４の上方から鉛直下向きに視た模式図である。図７に示すように、基準ピン２４の側面は、セル吸着面３に垂直で凹凸のない一様な面となっている。例えばほぼ長方形のカバーガラス５と平行四辺形の太陽電池セル２とがこの基準ピン２４に当接して位置決めされる場合、太陽電池セル２の一辺及びカバーガラス５の一辺は、基準ピン２４に当接する箇所では共通位置となっているが、一辺同士の角度が異なるためカバーガラス５に覆われない太陽電池セル２の露出部分２ａが発生する。
【００６６】
これに対し、大径部４３及び小径部４４を有する基準ピン４２によって、太陽電池セル２が大径部４３の第１基準面４３ａに当接して位置決めされ、カバーガラス５が小径部４４の第２基準面４４ａに当接して位置決めされると、図５に示すように、太陽電池セル２がカバーガラス５の内側に納まるように配置され、図７の露出部分２ａの発生を抑制することができる。この大径部４３及び小径部４４は、太陽電池セル２及びカバーガラス５の各辺同士の角度あるいは各辺の長さ等を製品公差や実測データに基づいて最適な大きさに設定される。例えば、太陽電池セルの短辺長さに対する直角度が２０μｍ、カバーガラスが完全な直角で、基準ピン４２の各基準面が太陽電池セル２及びカバーガラス５の各短辺の中央に当接するとした場合、他の誤差要因を５μｍとすると、第１基準面４３ａの位置と第２基準面４４ａとのずれは、２５μｍに設定される。
【００６７】
従って、部材貼り合わせ装置４１によれば、実施の形態１と同様の効果を奏するとともに、階段状の基準ピン４２によって、異なる形状の太陽電池セル２及びカバーガラス５であっても、太陽電池セル２をより確実にカバーガラス５で覆うように配置できる。
【００６８】
なお、基準ピンは、太陽電池セル２が当接する第１基準面の位置とカバーガラス５が当接する第２基準面の位置とがセル吸着面３に沿った方向にずれていればよいので、側面が階段状に限定されることなく、例えば側面がテーパ状となっていても構わない。
また、基準ピンは、大径部４３及び小径部４４が偏芯していても構わない。この基準ピンがこの偏芯した一方の軸線を中心に回転できるように設けられていれば、回転により第１基準面と第２基準面とのずれの大きさを調整することもできる。
【００６９】
実施の形態３．
図８は、この発明の実施の形態３に係る部材貼り合わせ装置のセル吸着台及び位置決め機構をセル吸着台の上方から鉛直方向下向きに視た模式図である。また、図９は、図８のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った断面図であり、図１０は、図８のＩＸ−ＩＸ線に沿った断面図である。図８乃至図１０において、部材貼り合わせ装置５１は、セル吸着台４側に配置された位置決め機構５２を備えている。位置決め機構５２は、セル吸着台４の周囲に配置された４つのエアシリンダ５３と、各エアシリンダ５３に取り付けられて往復変位する変位部である押し付けピン５４及び実施の形態２と同様の基準ピン４２とを有している。４つのエアシリンダ５３は、セル吸着面３の中心に近づく向きにあるいは中心から離れる向きにそれぞれ押し付けピン５４あるいは基準ピン４２を変位させるようになっている。また、２つのエアシリンダ５３は、セル吸着面３の長辺方向に沿って押し付けピン５４及び基準ピン４２をそれぞれ変位させるようになっており、残りの２つのエアシリンダ５３は、セル吸着面３の短辺方向に沿って押し付けピン５４及び基準ピン４２をそれぞれ変位させるようになっている。
【００７０】
押し付けピン５４は、太陽電池セル２に接触して押圧するセル押し付けピン５４ａと、カバーガラス５に接触して押圧するガラス押し付けピン５４ｂとを有している。セル押し付けピン５４ａ及びガラス押し付けピン５４ｂは、それぞれガイド部材５５ａ及び５５ｂに取り付けられている。また、ガイド部材５５ａ及び５５ｂは、それぞればね５６ａ及び５６ｂを介して１つのシリンダ５３に取り付けられている。従って、セル押し付けピン５４ａに力を与えるとばね５６ａが弾性変形し、ガラス押し付けピン５４ｂに力を与えるとばね５６ｂが弾性変形するようになっている。
【００７１】
基準ピン４２は、押し付けピン５４と同様に、基準ピン４２を案内するガイド部材５７に取り付けられている。ガイド部材５７は、押し付けピン５４とは異なりばねを介さずにシリンダ５３に取り付けられている。なお、位置決め機構５２は、長辺方向に沿って変位する基準ピン４２を１つ、短辺方向に沿って変位する基準ピン４２を２つ有している。
他の構成は実施の形態１と同様である。
【００７２】
図１１は、部材貼り合わせ装置５１によって太陽電池セル２とカバーガラス５とを貼り合わせる手順を示すフローチャートである。図１１に示すように、部材貼り合わせ装置５１によって以下のようにして太陽電池セル２及びカバーガラス５が貼り合わせられる。即ち、まず、実施の形態１と同様の吸着工程（Ｓ７，Ｓ８）の後、太陽電池セル２が位置決めされる前に、実施の形態１と同様の配置工程（Ｓ１０）が行われる。
【００７３】
その後、位置決め機構５２のエアシリンダ５３が制御部１０の命令によりそれぞれ動作し、基準ピン４２がセル吸着面３の中心に向かって変位された後、押し付けピン５４がセル吸着面３の中心に向かって変位される。このとき、太陽電池セル２は、セル押し付けピン５４ａに接触して基準ピン４２の第１基準面４３ａに押し付けられる。また、カバーガラス５は、ガラス押し付けピン５４ｂに接触して基準ピン４２の第２基準面４４ａに押し付けられる。太陽電池セル２及びカバーガラス５は大きさが異なっているので、太陽電池セル２が押し付けられるセル押し付けピン５４ａの接触位置とカバーガラス５が押し付けられるガラス押し付けピン５４ｂの接触位置とは異なるが、セル押し付けピン５４ａ及びガラス押し付けピン５４ｂは、それぞれ独立したばね５６ａ及び５６ｂの弾性変形によってある程度個別に変位するようになっていることから、太陽電池セル２及びカバーガラス５は、それぞれ変形することなく１回のエアシリンダ５３の動作でともに基準ピン４２に押し付けられる。即ち、実施の形態１における第１位置決め工程（Ｓ９）及び第２位置決め工程（Ｓ１１）がまとめて行われる（Ｓ１５）（位置決め工程）。
なお、位置決め工程は、実施の形態１における配置工程、第１位置決め工程及び第２位置決め工程の総括工程である。
【００７４】
押し付けピン５４が後退してから基準ピン４２が後退した後、実施の形態１と同様の貼り合わせ工程（Ｓ１２）を経て、実施の形態１と同様にして太陽電池セル２とカバーガラス５とが貼り合わされる。
【００７５】
このような構成の部材貼り合わせ装置５１は、実施の形態２と同様の効果を奏するとともに、太陽電池セル２の大きさとカバーガラス５の大きさとが異なる場合でも、太陽電池セル２及びカバーガラス５がともにエアシリンダ５３の１回の動作で基準ピン４２に押し付けされるので、太陽電池セル２及びカバーガラス５の位置決め時間を短縮できる。
【００７６】
また、位置決め工程において、基準ピン４２は何度も変位されないので、基準ピン４２の変位の再現誤差を小さくすることができる。
【００７７】
なお、押し付けピン５４における１組のセル押し付けピン５４ａ及びガラス押し付けピン５４ｂは、１つのエアシリンダ５３に接続されているが、それぞれ個別のエアシリンダに接続されていても構わない。
【００７８】
また、位置決め工程において、押し付けピン５４の押し付け動作を複数繰り返しても構わない。
【００７９】
また、上記各実施の形態において、押し付けピン及び基準ピンは、例えばサーボモータ等により変位するようになっていても構わない。
【００８０】
また、上記各実施の形態において、セル吸着面３及びガラス吸着面６は、ジュラコンにより形成されているが、太陽電池セル２及びカバーガラス５が押し付けピン及び基準ピンの接触によりそれぞれセル吸着面３及びガラス吸着面６に沿って破損せずに摺動できる程度の摩擦係数を有する材料で形成されていればよいので、例えばテフロン（登録商標）で形成されていてもよいし、金属材料にテフロン（登録商標）コーティングを施したものであっても構わない。
【００８１】
また、上記各実施の形態において、移動機構は、カバーガラス５を太陽電池セル２に対向配置させて押し付けるようにガラス吸着台７を移動させるものであればよいので、例えば図１２及び図１３に示すように、鉛直方向にガラス吸着台７を移動させる鉛直方向ガイド６０と、水平軸を中心にガラス吸着台７を反転させる反転機構６１とを有していても構わない。また、図１４に示すように、水平方向にガラス吸着台７を移動させる水平方向ガイド６２と、水平軸を中心にガラス吸着台７を反転させる反転機構６１とを有していても構わない。なお、図１２乃至図１４における位置決め機構は、実施の形態３の位置決め機構５２が示されている。
【００８２】
また、上記各実施の形態において、押し付けピン及び基準ピンは、例えば板状あるいはローラとなっていても構わない。また、押し付けピン及び基準ピンの材質は、例えば樹脂あるいはゴムであっても構わない。
【００８３】
また、上記各実施の形態において、セル吸着台４及びガラス吸着台７の形状及び材質、真空容器内の圧力設定は、任意に設定しても構わない。また、太陽電池セルとカバーガラスとが大気圧の環境下で貼り合わせられるようになっていても、接着剤内に残留ボイドが存在していても問題ない場合であれば、構わない。
【００８４】
また、上記各実施の形態において、この発明に係る部材貼り合わせ装置により作製された太陽電池は、人工衛星だけでなく太陽電池を用いるあらゆる装置に適用できる。さらに、太陽電池に限定されることもない。
【００８５】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、この発明に係る部材貼り合わせ装置は、第１部材を吸着保持する第１吸着面を有する第１吸着台と、第２部材を吸着保持する第２吸着面を有する第２吸着台と、変位可能な変位部を有し、この変位部が第１部材及び第２部材に接触して変位することにより第１部材及び第２部材をそれぞれ第１吸着面及び第２吸着面に沿って摺動させて位置決めする位置決め機構と、第２吸着台を移動させて第２部材を第１部材に重ねる移動機構と、第１吸着台、第２吸着台、位置決め機構及び移動機構を制御する制御部とを備え、制御部は、第１部材及び第２部材をそれぞれ第１吸着面及び第２吸着面に吸着させている状態で、変位部を変位させるようになっているので、第１部材及び第２部材の反りが修正されてから変位部が接触することから、第１部材及び第２部材は反りの戻りによって変位部とこすれることを抑制することができる。従って、第１部材及び第２部材の摩耗屑の発生及び破損の可能性も小さくできる。また、位置決め精度も向上させることができる。
【００８６】
また、位置決め機構は、第１部材を位置決めするとともに、移動機構により第１部材に対向配置された第２部材を位置決めするようになっているので、位置決め機構の部品点数を少なくでき、また第１部材と第２部材とが近接した状態で位置決めできることから、移動機構の構造上のガタつきによる誤差の影響も小さくできる。
【００８７】
また、位置決め機構は、第１部材及び第２部材が当接する基準当接部を有し、変位部は、第１部材及び第２部材を基準当接部に押し付けるようになっているので、第１部材及び第２部材の位置決め位置をさらに確実にすることができる。
【００８８】
また、基準当接部は、第１部材が当接する第１基準面と第２部材が当接する第２基準面とを有し、第１基準面及び第２基準面の位置が第１部材及び第２部材の摺動方向にずれているので、第１部材及び第２部材の大きさが異なった場合でも、第１部材及び第２部材の縁部の基準位置を所望の量ずらして位置決めすることができる。
【００８９】
また、第１吸着面及び第２吸着面は、低摩擦材料で形成されているので、第１部材及び第２部材の摺動が容易になり、第１部材及び第２部材の破損等の発生をさらに抑制することができる。
【００９０】
また、この発明に係る部材貼り合わせ方向は、第１吸着台の第１吸着面に第１部材を吸着保持させるとともに、第２吸着台の第２吸着面に第２部材を吸着保持させる吸着工程と、変位可能な変位部を第１部材及び第２部材に接触させて変位させることにより、第１吸着面に吸着された第１部材を第１吸着面に沿って摺動させて位置決めするとともに、第２吸着面に吸着された第２部材を第２吸着面に沿って摺動させて位置決めする位置決め工程と、位置決め工程の後に、第２吸着台を移動させて第２部材を第１部材に重ねて貼り合わせる貼り合わせ工程とを備えているので、第１部材及び第２部材の反りが修正されてから変位部が接触し、第１部材及び第２部材は反りの戻りによって変位部とこすれることを抑制することができる。従って、第１部材及び第２部材の摩耗屑の発生及び破損の可能性も小さくできる。また、位置決め精度も向上させることができる。
【００９１】
また、位置決め工程は、第１部材を位置決めする第１位置決め工程と、第１位置決め工程の後に、第２吸着台を移動させて第２部材を第１部材に対向配置させる配置工程と、この配置工程の後に、第２部材を位置決めする第２位置決め工程とを備えているので、第１部材及び第２部材の位置決めを共通の変位部により行うことができ、第１部材と第２部材との相対的な位置決めをさらに容易に精度良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１に係る部材貼り合わせ装置の模式的な上面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った部分断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った部分断面図である。
【図４】実施の形態１に係る部材貼り合わせ装置によって第１部材と第２部材とを貼り合わせる手順を示すフローチャートである。
【図５】この発明の実施の形態２に係る部材貼り合わせ装置のセル吸着面の上方から鉛直下向きに視た模式図である。
【図６】図５の側面図である。
【図７】異なる形状の第１部材及び第２部材が実施の形態１の基準ピンを基準として位置決めされた状態をセル吸着台の上方から鉛直下向きに視た模式図である。
【図８】この発明の実施の形態３に係る部材貼り合わせ装置のセル吸着台及び位置決め機構をセル吸着台の上方から鉛直方向下向きに視た模式図である。
【図９】図８のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図１０】図８のＩＸ−ＩＸ線に沿った断面図である。
【図１１】実施の形態３に係る部材貼り合わせ装置によって第１部材と第２部材とを貼り合わせる手順を示すフローチャートである。
【図１２】鉛直方向ガイドと反転機構とを有する移動機構を備えたこの発明に係る部材貼り合わせ装置の正面図であって、そのガラス吸着台がカバーガラスを吸着したままガラス吸着面を鉛直上向きに向けて配置されている状態を示す図である。
【図１３】鉛直方向ガイドと反転機構とを有する移動機構を備えたこの発明に係る部材貼り合わせ装置の正面図であって、そのガラス吸着台がカバーガラスを吸着したままガラス吸着面を鉛直下向きに向けて配置されている状態を示す図である。
【図１４】水平方向ガイドと反転機構とを有する移動機構を備えたこの発明に係る部材貼り合わせ装置の正面図であって、そのガラス吸着台がカバーガラスを吸着したままガラス吸着面を鉛直上向きに向けて配置されている状態を示す図である。
【図１５】従来の部材貼り合わせ装置を示す斜視図である。
【図１６】図１５のセル吸着台及びその周囲の上面図である。
【図１７】従来の太陽電池セルが位置決めされた状態で真空吸引されるときの動作を説明する模式図である。
【符号の説明】
１，４１，５１　部材貼り合わせ装置、２　太陽電池セル（第１部材）、３　セル吸着面（第１吸着面）、４　セル吸着台（第１吸着台）、５　カバーガラス（第２部材）、６　ガラス吸着面（第２吸着面）、７　ガラス吸着台（第２吸着台）、８，５２　位置決め機構、９　移動機構、１０　制御部、２３，５４　押し付けピン（変位部）、２４，４２　基準ピン（基準当接部）、４３ａ　第１基準面、４４ａ　第２基準面。
【図１】
2004095628.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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