(57)【要約】【課題】バックプレートとフェースプレートの間にメッシュ状のグリッドを配置して平板ディスプレイ装置を構成する時、前記グリッドに変形を招かずその装着作業性を容易にすることができる平板ディスプレイ装置を提供する。【解決手段】任意の間隔をおいて対向配置されて真空容器を構成するフェースプレート及びバックプレートと、前記真空容器内に提供されて任意の画像を実現する発光手段と、前記真空容器内に前記バックプレートとフェースプレートの間に配置されるメッシュ形態のグリッドと、前記グリッドの一側に結合されて前記バックプレートに支持される下部スペーサ及び前記グリッドの一側に対向した前記グリッドの他側に結合されて前記フェースプレートに支持される上部スペーサを含み、前記グリッド、下部スペーサ及び上部スペーサを一体に形成して一つの構造体を形成する。【選択図】　図１
2004022536.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
間隔をおいて対向配置されて真空容器を構成するフェースプレート及びバックプレートと、
前記真空容器内に提供されて任意の画像を実現する発光手段と、
前記真空容器内に前記バックプレートとフェースプレートの間に配置されるメッシュ状のグリッドと、
前記グリッドの一側に結合されて前記バックプレートに支持される下部スペーサと、
前記グリッドの一側に対向した前記グリッドの他側に結合されて前記フェースプレートに支持される上部スペーサと、を含み、
前記グリッド、下部スペーサ及び上部スペーサが一体に形成されて一つの構造体を構成する平板ディスプレイ装置。
【請求項２】
前記グリッドには、その両端に前記上部スペーサを支持するためのホルダー部が形成されている、請求項１に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項３】
前記ホルダー部が前記グリッドの両端で前記フェースプレートに向かって曲げ形成され、この曲げ部位に前記上部スペーサの両端が挿入される挿入溝を任意の間隔をおいて多数形成して構成される、請求項２に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項４】
前記ホルダー部が前記グリッドの本体に対して垂直な状態で曲げ形成される、請求項３に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項５】
前記ホルダー部が前記グリッドの本体に対して垂直ではない状態で曲げ形成される、請求項３に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項６】
前記グリッドが全体的な形状を長辺と短辺を有する形状で構成し、前記上部スペーサが前記グリッドの長辺方向に沿って配置されて前記グリッドに結合される、請求項３に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項７】
前記グリッドが全体的な形状を長辺と短辺を有する形状で構成し、前記上部スペーサが前記グリッドの短辺方向に沿って配置されて前記グリッドに結合される、請求項３に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項８】
前記上部スペーサが棒状に形成される、請求項６に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項９】
前記上部スペーサが棒状に形成される、請求項７に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１０】
前記グリッドが全体的な形状を長辺と短辺を有する形状からなり、前記上部スペーサが前記グリッドの長辺及び短辺方向に沿って配置されて前記グリッドに結合される、請求項３に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１１】
前記上部スペーサが格子状に形成される、請求項１０に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１２】
前記下部スペーサが、
各隅部を形成する縁部、及び
この縁部内に任意の間隔をおいて配置されながらこの縁部に一体に形成されて前記グリッドを支持する複数の支持部を含む、請求項１に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１３】
前記下部スペーサが前記縁部及び支持部を金属フレームで形成し、このフレームの表面に任意の厚さを有する絶縁層を提供して形成される、請求項１２に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１４】
前記下部スペーサが前記縁部及び支持部をガラスで形成する、請求項１２に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１５】
前記下部スペーサが前記縁部及び支持部をセラミックで形成する、請求項１２に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１６】
前記上部スペーサが前記支持部と同一な方向に配置されて前記グリッド上に設置される、請求項１２に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１７】
前記上部スペーサが前記支持部と同一な線上に配置される、請求項１６に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１８】
前記上部スペーサが前記支持部と交差した位置に配置される、請求項１６に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１９】
前記上部スペーサが前記支持部と直交する方向に配置されて前記グリッド上に設置される、請求項１２に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項２０】
前記ホルダー部の一側に外部電源の印加を受けるための電源印加端子が一体に形成される、請求項２に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項２１】
前記電源印加端子が前記グリッドの本体に対して垂直方向に曲げて形成される、請求項２０に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項２２】
前記グリッドがその一側部位にゲッター拡散防止膜を一体に形成している、請求項１に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項２３】
前記発光手段が、
前記バックプレート上に形成されるカソード電極と、
このカソード電極上にこのカソード電極と直交する方向に配置されて形成されるゲート電極と、
前記カソード電極とゲート電極の間に介される絶縁層と、
前記ゲート電極と絶縁層に貫通形成されるホール内に配置されて前記カソード電極上に接触されて配置される電子放出源と、
前記フェースプレート上に形成されるアノード電極と、
前記アノード電極上に形成される蛍光層と、
を含む請求項１に記載の平板ディスプレイ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は平板ディスプレイ装置に関し、より詳しくはカソード電極とアノード電極の間にメッシュ状のグリッドを配置している平板ディスプレイ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に平板ディスプレイ装置（ＦＰＤ、Ｆｌａｔ　Ｐａｎｅｌ　Ｄｉｓｐｌａｙ）は、任意の間隔をおいて実質的に平行に配置されるフェースプレート（ｆａｃｅ　ｐｌａｔｅ）とバックプレート（ｂａｃｋ　ｐｌａｔｅ）の間に側壁（ｓｉｄｅ　ｗａｌｌ）を配置し、これを組み合わせることによって密閉容器を構成し、この容器の内部を高真空状態に維持して外郭を形成する。
【０００３】
前記平板ディスプレイ装置において通常は前記両プレートの間に形成される内部圧力と外部大気圧との圧力差によって前記容器が破損することを防止し、また、前記両プレートの間の間隔（以下、セルギャップ（ｃｅｌｌ　ｇａｐ）という）を均一に維持するために容器内部に少なくとも一つ以上のスペーサを配置する。ここで、スペーサとは、容器内部に配置されてその両端が前記両プレートにそれぞれ接触し、両プレートがスペーサによって支えられて、外圧により押しつぶされないようにする構造部材を指す。
【０００４】
このような平板ディスプレイ装置がいわゆる高電圧用として構成される場合、前記両プレートの間の間隔は大略１ｍｍ以上に大きくなるが、この時には電子放出源から放出された電子が該当ピクセル蛍光体によく伝達されず、周辺の他ピクセル蛍光体を打撃して発光させる場合がある。これにより、従来の高電圧用平板ディスプレイ装置においては前記現象を未然に防止するために、前記電子放出源から放出された電子の流れを制御するフォーカシング電極として、メッシュ状のグリッド（以下、便宜上メッシュグリッドとする）を前記平板ディスプレイ装置のカソード電極とアノード電極の間に配置している。
【０００５】
これと関連した先行技術としては、米国特許６，０３４，６５８がある。
【０００６】
一方、平板ディスプレイ装置において、メッシュグリッドが平板ディスプレイ装置の構成要素として設けられる時には、このメッシュグリッドとスペーサとの結合関係が何より重要であるが、これは、メッシュグリッドは平板ディスプレイ装置の表示領域全域に亙って良好な状態に配置されなければならず、スペーサは先に言及したセルギャップ維持などの本来の任務を遂行しながらメッシュグリッドもまた良好な状態に維持しなければならないためである。もちろん、メッシュグリッドの支持のために前記スペーサを利用せず別途のスペーサを平板ディスプレイ装置に提供することができるが、このような場合には部品数の増加による付随的な問題を伴うために平板ディスプレイ装置の業界では一つのスペーサを利用してセルギャップ維持及びメッシュグリッドの支持を同時に実現しようとする努力をしている。
【０００７】
このような点を勘案する時、前記米国特許６，０３４，６５８では、その明細書で開示している第２グリッド（前記メッシュグリッドに対応する）を支持するためのスペーサに対して具体的に開示していないため、当該平板ディスプレイ装置が大型化される場合、前記第２グリッドの垂れ下がり現象が起こって良好な作用を妨害するおそれが高い。
【０００８】
もちろん、既存の平板ディスプレイ装置に採用されているスペーサを使用して前記メッシュグリッドを支持することもできるが、この場合には前記メッシュグリッドを基板上に位置合わせさせた状態で複数のスペーサを一つ一つメッシュグリッドの開孔部を通じて挿入しこれを基板上に設置しなければならないので、その作業が難しくメッシュグリッドが変形する可能性が多い　。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明は前記問題点が解決できる平板ディスプレイ装置を提供することが目的である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明による平板ディスプレイ装置は、任意の間隔をおいて対向配置されて真空容器を構成するフェースプレート及びバックプレートと、前記真空容器内に提供されて任意の画像を実現する発光手段と、前記真空容器内に前記バックプレートとフェースプレートの間に配置されるメッシュ状のグリッドと、前記グリッドの一側に結合されて前記バックプレートに支持される下部スペーサ及び前記グリッドの一側に対向した前記グリッドの他側に結合されて前記フェースプレートに支持される上部スペーサを含み、前記グリッド、下部スペーサ及び上部スペーサを一体に形成して一つの構造体を構成する。
【００１１】前記でグリッドはその両端に前記上部スペーサを支持するためのホルダー部を形成しているが、このホルダー部は前記グリッドの両端で前記フェースプレートに向かって曲げ形成され、この曲げ部位に前記上部スペーサの両端を挿入する挿入溝が任意の間隔をおいて複数形成されて構成される。
【００１２】
前記ホルダー部は前記グリッドの本体に対して垂直な状態または垂直ではない状態で曲げ形成することができる。
【００１３】
前記グリッドは、全体的な形状を長辺と短辺を有する形状で構成され、前記上部スペーサを前記グリッドの長辺方向に沿って配置して前記グリッドに結合することができる。また、前記グリッドは全体的な形状を長辺と短辺を有する形状で構成され、前記上部スペーサを前記グリッドの短辺方向に沿って配置して前記グリッドに結合することができる。この時、上部スペーサを棒状に形成するのが好ましい。
【００１４】
また、前記グリッドは全体的な形状を長辺と短辺を有する形状で構成され、前記上部スペーサは前記グリッドの長辺及び短辺方向に沿って配置されて前記グリッドに結合されることができる。この時、前記上部スペーサは格子（ｌａｔｔｉｃｅ）状に形成されるのが好ましい。
【００１５】
一方、前記下部スペーサは、各隅部を形成する縁部及びこの縁部内に任意の間隔をおいて配置されながら、この縁部に一体に形成されて前記グリッドを支持する複数の支持部を含んで形成される。
【００１６】
前記で下部スペーサは前記縁部及び支持部を金属フレームで形成し、このフレームの表面に任意の厚さを有する絶縁層を提供して形成されることができる。
【００１７】
一方、前記下部スペーサは前記縁部及び支持部をガラスで形成してもよい。
【００１８】
他方、前記下部スペーサは前記縁部及び支持部をセラミックで形成してもよい。
【００１９】
前記で上部スペーサは前記支持部と同一な方向に配置されて前記グリッド上に設置され得るが、この時、前記上部スペーサは前記支持部と同一な線上に配置されたり交差した位置に配置されてもよい。
【００２０】
他方、前記で上部スペーサは前記支持部と直交する方向に配置されて前記グリッド上に設置され得る。
【００２１】
前記平板ディスプレイ装置は、前記発光手段に前記バックプレート上に形成されるカソード電極と、このカソード電極上にこのカソード電極と直交する方向に配置されて形成されるゲート電極と、前記カソード電極とゲート電極の間に介される絶縁層と、前記ゲート電極と絶縁層に貫通形成されるホール内に配置されて前記カソード電極上に接触されて配置される電子放出源と、前記フェースプレート上に形成されるアノード電極及び前記アノード電極上に形成される蛍光層とを含む電界放出表示装置として構成される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。
【００２３】
図１は本発明の実施例による平板ディスプレイ装置を示した分解斜視図であって、この平板ディスプレイ装置は電界放出表示装置（ＦＥＤ：Ｆｉｅｌｄ　Ｅｍｉｓｓｉｏｎ　Ｄｉｓｐｌａｙ）の構成で形成されたものである。
【００２４】
図示したように、平板ディスプレイ装置は、任意の間隔をおいて実質的に平行に配置されるバックプレート及びフェースプレート１２、１４と接合手段とで真空容器を形成しながら、この真空容器内に所定の画像を実現させるための発光手段を提供している。この発光手段は前記バックプレート１２の一面に提供されるライン形態のカソード電極１６と、絶縁層１８を介在して前記カソード電極１６と垂直に交差形成されるライン形状のゲート電極２０と、前記絶縁層１８及びゲート電極２０に貫通されて形成されたホール１８ａ、２０ａ内に配置されながら前記カソード電極１６に接触されてその上に配置される電子放出源２４と、前記フェースプレート１４の一面に前記カソード電極１６にアノード電極２２と、このアノード電極２２上に提供される蛍光層２６を含む。
【００２５】
前記電子放出源２４は面タイプのカーボン系物質、特にカーボンナノチューブ（ｃａｒｂｏｎ　ｎａｎｏ　ｔｕｂｅ）からなるが、これは必ずしもこれに限られるわけではない。さらに前記発光手段もやはり本実施例では電界放出表示装置の一般的な構成を例とするだけであり、これに限られるわけではない。
【００２６】
このような構成の平板ディスプレイ装置において、前記真空容器内に前記バックプレート１２とフェースプレート４の間には本発明による構造体２８が設置される。
【００２７】
前記構造体２８は前記電子放出源２４から放出されて生成された電子ビームを集束するためのメッシュ状のグリッド３０と、このグリッド３０を支持するためのスペーサ３２、３４を含む。
【００２８】
前記グリッド３０は図２からわかるように、複数の開孔部３０ａを保有しながら長辺と短辺を有する四角形状の部材からなり、前記スペース３２、３４は、前記バックプレート１２と前記グリッド３０の間に配置されてこれらの間隔を一定に維持する下部スペーサ３２と、前記グリッド３０と前記フェースプレート１４の間に配置されてこれらの間の間隔を一定に維持する上部スペーサ３４に区分される。
【００２９】
前記スペーサ３２、３４の構造と前記構造体２８の構成間の結合関係を具体的に説明すれば、まず、前記下部スペーサ３２は各隅部を形成する縁部３２ａと、この縁部３２ａ内に任意の間隔をおいて複数配置されながら前記縁部３２ａに一体に形成される支持部３２ｂを含んで構成される。
【００３０】
このような構成の下部スペーサ３２は図３ａ乃至３ｃに示したように一定の厚さの金属フレーム３６をエッチングして前記縁部３２ａ及び長さ方向支持部３２ｂを形成し、前記金属フレーム３６の表面に絶縁性物質、例えば、ＳｉＯ２をディッピング（ｄｉｐｐｉｎｇ）またはＣＶＤ工法でコーティングしたり、絶縁物質のペーストをスクリーン印刷法で印刷した後、乾燥、焼成して絶縁層３８を形成して製造することができる。この時、前記絶縁層３８は図３ａに示したように前記金属フレーム３６の表面全体に形成したりまたは図３ｂ及び図３ｃに示したように前記金属フレーム３６の一部に形成することができる。このような絶縁層３８は実質的に前記下部スペーサ３２が前記位置に配置される時前記金属フレーム３６が前記ゲート電極２０とグリッド３０を電気的に短絡することを防止する作用をする。
【００３１】
一方、前記下部スペーサ３２を形成するためには、図４に示したように一定の厚さを有するガラスまたはセラミック材質のフレーム４０をエッチングして形成することもでき、他方、図５に示したように前記グリッド３０の底面に絶縁層４２だけを印刷して形成することもできる。
【００３２】
このように形成される下部スペーサ３２と前記グリッド３０は、位置合わせマーク（図示せず）などにより位置合わせし一体に形成される。ここで前記下部スペーサ３２と前記グリッド３０を一体に形成する方法としては、レーザーや抵抗溶接などがあり、他方、フリット（ｆｒｉｔ）や接着樹脂を利用した接着方法などがある。
【００３３】
一方、前記グリッド３０は前記上部スペーサ３４を固定するためにその両端部（本実施例では前記グリッドの短辺側両端）にホルダー部３０ｂを備えているが、本実施例でこのホルダー部３０ｂは前記グリッド３０の本体に対して垂直方向、つまり、前記フェースプレート１４に向かった方向に曲げられながら、前記上部スペーサ３４の両端部部位を挿入して固定できる挿入溝３０ｂ´を備える。
【００３４】
前記ホルダー部３０ｂの曲げ形態は前述した形態の他にも図６に示したように、前記グリッド３０の本体に対して非垂直方向、つまり、任意の角度で折り曲げて形成することも可能である。
【００３５】
また、前記ホルダー部３０ｂには外部電源を前記グリッド３０に印加するための電源印加端子３０ｃが一体に備えられるが、本実施例でこの電源印加端子３０ｃは前記グリッド３０の本体から前記フェースプレート１４に向かった方向に曲げ形成されて前記平板ディスプレイ装置の製作過程時に前記フェードプレート１４に形成された電源印加用電極上にその端部を接触させる。
【００３６】
さらに、前記グリッド３０には前記真空容器内部の真空度を向上させてこれを維持するためのゲッター（図示せず）を前記グリッド３０に固定するためのゲッター固定端子（図示せず）を一体に形成することができ、また、ゲッター活性化作業の時に拡散されたゲッター膜が前記蛍光層２６に浸透することを防止するためのゲッター拡散防止膜３０ｄを一体に形成することができる。
【００３７】
以上では前記グリッド３０に前記ホルダー部３０ｂ、電源印加端子３０ｃ及びゲッター拡散防止膜３０ｄが一体に製造されることを例えて説明したが、これらホルダー部３０ｂ、電源印加端子３０ｃ及びゲッター拡散防止膜３０ｄは別途に製作された後、前記グリッド３０に抵抗溶接、好ましくは前記グリッド３０の変形を誘発しないレーザー溶接などにより固定することも可能である。
【００３８】
本実施例で前記ホルダー部３０ｂに固定される上部スペーサ３４は棒状に形成され、この上部スペーサ３４の端部はフリットまたは接着性樹脂によってホルダー部３０ｂの挿入溝３０ｂ´に堅固に固定する。
【００３９】
一方、本発明で前記構造体２８は前記上部及び下部スペーサ３４、３２の形状、そしてホルダー部３０ｂの位置によって様々な形態で組合わせて構成することが可能である。
【００４０】
以下、本発明の他の実施例らによるスペーサ構造体を説明する。
【００４１】
図７ａ及び図７ｂは本発明の他の実施例による下部スペーサを示した平面図であって、示されているように下部スペーサ３２’は前述した例とは異なって、その四角縁部３２ａ内に支持部３２ｃを前記グリッドの短辺方向に対応して配置しながら形成されることができ（図７ａ参照）、さらに下部スペーサ３２’’はその四角縁部３２ａに支持部３２ｂ、３２ｃを前記グリッドの長辺及び短辺方向全てに対応して配置しながら形成されることができる。このような場合前記支持部３２ｂ、３２ｃは格子状を有すると言える（図７ｂ参照）。
【００４２】
前記構成の下部スペーサ３２、３２’、３２’’は図８ａ乃至８ｄに示したように、前記グリッド及び上部スペーサと共に様々な形態で組合わせられて一体化した構造体を形成することができる。
【００４３】
まず、図８ａ及び図８ｂは前記上部スペーサ３４が前記下部スペーサ３２の支持部３２ｂと同一な方向に配置された状態を示した図面で、図８ａは上部スペーサ３４が前記支持部３２ｂと同一線上に配置された場合であり、図８ｂは前記上部スペーサ３４が前記支持部３２ｂと外れた位置に配置された場合である。この図８ｂの場合、前記上部スペーサ３４はその配置状態によって前記グリッド３０の一つの開孔部３０ａをこの開孔部３０ａの長さ方向に対して２等分した状態で作る。
【００４４】
同時に、図８ｃは上部スペーサ３４が下部スペーサ３２に支持部３２ｂに対して直交する方向に配置された場合を示した図面であって、図８ｄは上部スペーサ３４´が格子状（ｌａｔｔｉｃｅ　ｔｙｐｅ）に形成されて図７ｂのような形態の下部スペーサ３２”の支持部３２ｂ、３２ｃに対応して配置されたことを示した図面である。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明した前記構造体２８は前記グリッド３０に形成された位置合わせマーク（図示せず）を通じて前記バックプレート及びフェースプレートと組立てられて前記平板ディスプレイ装置を構成し、当該平板ディスプレイ装置の作用時、前記電子放出源２４から放出されて生成された電子ビームが該当蛍光層２６に照射される時、前記電源印加端子３０ｃを通じて別途の電圧の印加を受ける前記グリッド３０の作用で前記電子ビームの集束状態を強化させる。
【００４６】
この時、前記グリッド３０はその上下部で全体的に支持し、前記上下部スペーサの支持力をその全域にかけて均等に受けながらその形状を変形せず前記作用を良好に行うことができる。
【００４７】
つまり、本発明における前記グリッド３０はその荷重による垂れ現象を起こさず作用することができ、さらに、前記アノード電極に印加された高電圧によって装置の駆動時に誘発される熱変形を防止することができる。
【００４８】
また、前記構造体２８は前記下部スペーサ３２が前記グリッド３０に一体に結合されており、前記グリッド３０が上部スペーサ３４の端部が挿入される挿入溝を一体に備えているので、その自体組立及び前記プレート１２、１４との組立工程を容易にすることができ、そのホルダー部３０ｂに電源印加端子３０ｃを一体に備えていて、この電源印加端子をアノード電極に連結するための工程を単純化することができる。
【００４９】
以上、発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれに限定されず、特許請求の範囲と発明の詳細な説明及び添付した図面の範囲内で多様に変形して実施するのが可能であり、これも本発明の範囲に属するのは当然のことである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例による平板ディスプレイ装置を示した部分分解斜視図である。
【図２】本発明の実施例によるグリッド及び上下部スペーサの構造体を示した分解斜視図である。
【図３ａ】本発明に実施例による下部スペーサを説明するために示した断面図である。
【図３ｂ】本発明に実施例による下部スペーサを説明するために示した断面図である。
【図３ｃ】本発明に実施例による下部スペーサを説明するために示した断面図である。
【図４】本発明の変形例による下部スペーサを説明するために示した断面図である。
【図５】本発明の他の変形例による下部スペーサを説明するために示した断面図である。
【図６】本発明によるグリッドを説明するために示した斜視図である。
【図７ａ】本発明の他の実施例による下部スペーサを説明するために示した平面図である。
【図７ｂ】本発明の他の実施例による下部スペーサを説明するために示した平面図である。
【図８ａ】本発明の他の実施例によるグリッドと上下部スペーサ間の配置関係を説明するために示した部分切開平断面図である。
【図８ｂ】本発明の他の実施例によるグリッドと上下部スペーサ間の配置関係を説明するために示した部分切開平断面図である。
【図８ｃ】本発明の他の実施例によるグリッドと上下部スペーサ間の配置関係を説明するために示した部分切開平断面図である。
【図８ｄ】本発明の他の実施例によるグリッドと上下部スペーサ間の配置関係を説明するために示した部分切開平断面図である。
【符号の説明】
１２　バックプレート
１４　フェースプレート
１６　カソード電極
１８　絶縁層
１８ａ、２０ａ　ホール
２０　ゲート電極
２２　アノード電極
２４　電子放出源
２６　蛍光層
２８　構造体
３０　グリッド
３０ａ　開孔部
３０ｂ　ホルダー部
３０ｃ　電源印加端子
３０ｄ　ゲッター拡散防止膜
３２　下部スペーサ
３２ａ　縁部
３２ｂ　支持部
３２ｃ　支持部
３４　上部スペーサ
３６　金属フレーム
３８　絶縁層
【図１】
2004022536.tif 000003
【図２】
2004022536.tif 000004
【図３ａ】
2004022536.tif 000005
【図３ｂ】
2004022536.tif 000006
【図３ｃ】
2004022536.tif 000007
【図４】
2004022536.tif 000008
【図５】
2004022536.tif 000009
【図６】
2004022536.tif 000010
【図７ａ】
2004022536.tif 000011
【図７ｂ】
2004022536.tif 000012
【図８ａ】
2004022536.tif 000013
【図８ｂ】
2004022536.tif 000014
【図８ｃ】
2004022536.tif 000015
【図８ｄ】
2004022536.tif 000016