(57)【要約】【課題】液晶表示板のバックライトに用いる導光板製造用金型の溝切りを温度変化の影響を受けないで短時間で加工することができる切削装置の提供。【解決手段】切削装置１に取り付けられたバイトを用いて導光板ワ−クに溝を切削加工する際の温度制御管理において、恒温室１００の床に据え付けられた切削装置１の全体を、更に透明な作業用窓２０３を備える壁２０１および天井材２０２で囲繞２００したことを特徴とする、導光板ワ−ク切削装置の温度制御管理機構。さらに、恒温室の床１０１と、切削装置全体を囲繞する壁との間の床に切削装置を囲むように防振溝３０１を設けることにより、恒温室床の振動の影響を小さくする。【選択図】          図１
2004237372.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切削装置に取り付けられたバイトを用いて導光板ワ−クに溝を切削加工する際の温度制御管理において、恒温室の床に据え付けられた切削装置の全体を、更に透明な作業用窓を備える壁および天井材で囲繞したことを特徴とする、導光板ワ−ク切削装置の温度制御管理機構。
【請求項２】
恒温室の床と、切削装置全体を囲繞する壁との間の床に切削装置を囲むように防振溝を設けたことを特徴とする、請求項１に記載の導光板ワ−ク切削装置の温度制御管理機構。
【請求項３】
恒温室の床に据え付けられ、更に透明な作業用窓を備える壁および天井材で囲繞された切削装置を用い、切削装置の左右方向に移動可能なテ−ブル上にワ−クを載置し、鉛直方向に昇降可能で、かつ、前後方向に移動可能に設けたダイヤモンドバイトを用いてワ−クとダイヤモンドバイトの相対的な動きによりワ−ク表面に一方向の溝を多数切削加工するワ−クの溝切方法であって、ワ−クを載置するテ−ブルを左右方向に移動する駆動はサ−ボドライブリニアモ−タを用い、テ−ブルの左右往復移動時の往移動時または復移動時にワ−ク表面にダイヤモンドバイトを下降させて指定量だけワ−クへの切り込み・切削を行い、ワ−クへの切り込み・切削が行われたテ−ブル移動方向とは反対方向へのテ−ブル移動時は、ダイヤモンドバイトをワ−クに接触しない高さに上昇させてワ−クの切り込み・研削を行わないようにするとともに、切り込み・切削が行われない時のテ−ブルの移動速度を、切り込み・切削が行われる時のテ−ブルの移動速度の２倍以上とすることを特徴とする、ワ−クの溝切方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示板のバックライト、あるいはフロントライトに用いる溝切導光板の製造に用いる金型（ワ−ク）に溝を多数切削する際の温度変化が加工ワ−クへ与える影響を極力小さくする、導光板ワ−ク切削装置の温度制御管理機構および、電鋳により導光板製造用金型を製造するに用いる金属蒸着した樹脂板に溝を施した電極を製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ワ−クに精密加工を施す際の作業温度を出きる限り一定にするために、切削装置、研削装置を恒温室内に据え付けてワ−クを機械加工することが提案されている（例えば、特許文献１および特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平６−２７００３８号公報（第３頁）
【特許文献２】
特開平１１−２９４９２７号公報（第７頁、図１）
【０００４】
また、液晶表示板のバックライト、フロントライトに用いる溝切導光板は知られており、ノ−トパソコン、携帯電話、カ−ナビゲ−ション等の液晶表示装置の光拡散板として実用化されている。図５に溝切導光板を用いたバックライト構造の一例を示す。図中、ＡはＬＥＤまたはランプ、Ｂは反射シ−ト、Ｃは導光板、Ｄは拡散反射処理面、Ｅは拡散シ−ト、Ｆはレンズシ−トである。
【０００５】
一般的なＬＥＤバックライトの構造では、サイドまたは下に置かれたＬＥＤ光が導光板に入射し、その導光板下面に作りこまれた溝状の拡散体により拡散されて液晶へ入射する。
【０００６】
この光拡散板は、ダイヤモンドバイト（刃先）や超硬合金（タングステン炭素）刃先を有するＶ字状切刃を用いてマスタ−の金型ブロック材にＶ字状溝をバイト（切削）加工し、この溝切り加工された金型ブロック材を一部として組み立てた射出成形金型のキャビティ内に溶融したポリメチルメタクリレ−ト樹脂（所謂、ＰＭＭＡ）を射出成形することにより得られる。
【０００７】
一般に、導光板の溝深さは、３〜１２μｍで、ピッチ幅は、０．０２〜０．５ｍｍであり、ピッチ幅は同一であっても、等差級数的に暫時減少させてもよい。例えば、Ｐｎ＋１＝Ｐｎ−０．０１３（Ｐ０＝０．４ｍｍ）である。さらに、面粗度２ｎｍＲａを要求するユ−ザ−もある。
【０００８】
また、銀を１２〜３０ｎｍの厚み蒸着したポリメチルメタクリレ−ト樹脂板（厚み２〜４ｍｍ）の銀蒸着面側をダイヤモンドバイトを用いて溝切り加工したものを電極として用い、鉄鋼を電鋳して金型ブロック材を製造し、この金型ブロック材を一部として組み立てた射出成形金型のキャビティ内に溶融したポリメチルメタクリレ−ト樹脂を射出成形することにより得られる。
【０００９】
プラズマディスプレイやテレビ液晶表示板の大型化により、この溝を切る加工時間も大幅に長くなり、５インチ角で１２時間、１４インチ角では１５６時間以上要する。３０インチ角となればもっと長時間、切削加工に要する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ワ−クの切削加工中、恒温室に出入りする作業者もあり、恒温室内の温度が微妙に変化する。また、ダクトからの風が切削装置の一部に当り、その部分に温度変化を生じる。この温度変化は０．１〜０．５℃位の微小であるが、前記精密寸法が要求される導光板用金型であると不良品に結び付くこともある。せっかく１５６時間要して切削加工して製造した金型が不良品では泣くに泣けない。従って、加工作業中は、出きる限り恒温室を出入りしないことが要求される。
また、切削加工中に地震があって、バイト、ワ−クが揺れて不良品となることもありうる。
【００１１】
本発明の第１の目的は、恒温室のダクトの風や、作業者の出入りの影響を受けない導光板ワ−ク切削装置の温度制御管理機構を提供することにある。本発明の別の目的は、地震の影響を極力小さくした切削環境の提供にある。更に、本発明の他の目的は、切削時間を大幅に短縮できる導光板ワ−クの溝切方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、切削装置に取り付けられたバイトを用いて導光板ワ−クに溝を切削加工する際の温度制御管理において、恒温室の床に据え付けられた切削装置の全体を、更に透明な作業用窓を備える壁および天井材で囲繞したことを特徴とする、導光板ワ−ク切削装置の温度制御管理機構を提供するものである。
【００１３】
導光板ワ−ク切削装置を透明な作業用窓を備える壁および天井材で囲繞することにより、切削装置は恒温室のダクトの風や、作業者の出入りの温度変化の影響を受けない。透明窓よりワ−クの加工状況を観察できる。
【００１４】
請求項２の発明は、前記導光板ワ−ク切削装置の温度制御管理機構において、恒温室の床と、切削装置全体を囲繞する壁との間の床に切削装置を囲むように防振溝を設けたことを特徴とする。
【００１５】
恒温室への作業者の出入りの振動や、恒温室外部の振動が恒温室の床に伝わる振動の影響が、切削装置を据え付けている床に設けられた防振溝の存在により、伝わりにくい。
【００１６】
請求項３の発明は、恒温室の床に据え付けられ、更に透明な作業用窓を備える壁および天井材で囲繞された切削装置を用い、切削装置の左右方向に移動可能なテ−ブル上にワ−クを載置し、鉛直方向に昇降可能で、かつ、前後方向に移動可能に設けたダイヤモンドバイトを用いてワ−クとダイヤモンドバイトの相対的な動きによりワ−ク表面に一方向の溝を多数切削加工するワ−クの溝切方法であって、ワ−クを載置するテ−ブルを左右方向に移動する駆動はサ−ボドライブリニアモ−タを用い、テ−ブルの左右往復移動時の往移動時または復移動時にワ−ク表面にダイヤモンドバイトを下降させて指定量だけワ−クへの切り込み・切削を行い、ワ−クへの切り込み・切削が行われたテ−ブル移動方向とは反対方向へのテ−ブル移動時は、ダイヤモンドバイトをワ−クに接触しない高さに上昇させてワ−クの切り込み・研削を行わないようにするとともに、切り込み・切削が行われない時のテ−ブルの移動速度を、切り込み・切削が行われる時のテ−ブルの移動速度の２倍以上とすることを特徴とする、ワ−クの溝切方法を提供する。
【００１７】
従来の切削装置のボ−ルネジ駆動によるバイトまたはワ−クの移動による振動が、リニアモ−タ駆動では少ないので、面粗度のより小さい加工ワ−クが得られる。リニアモ−タ駆動により高速で移動できるので、従来の切削装置の１／５の時間で溝加工できる。溝加工時間が短いことは、同じ個数だけ生産した際の製品の不良率率が減少することである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図を用いて本発明をさらに詳細に説明する。
図１は本発明の導光板ワ−ク切削装置の温度制御管理機構を示す斜視図、図２は床に設けられた防振溝の断面図、図３は切削装置の斜視図および図４は切削装置のリニアモ−タ駆動送りのテ−ブル断面図である。
【００１９】
図１において、１は切削装置、１００は恒温室、１０１は恒温室ドア、１０２は恒温室床、２００は切削装置を恒温フルカバ−する室で、４個の壁２０１と天井材２０２で構成され、その壁の少なくとも１つには切削装置が透視できる透明な窓２０３が備え付けられている。２０４は切削装置を据え付けている床である。３００は、恒温室の床と、切削装置全体を囲繞する壁との間の床に切削装置を囲むように設けられた防振溝である。
【００２０】
図２に示すように、切削装置１を据え付けた鉄筋コンクリ−ト床３０３は、恒温室防水床１０２上に割グリ石３０５を敷設して設けられ、恒温室防水床１０２の下面には玉砂利３０６、割グリ石３０７が敷設されている。床防振溝３００は、その溝３０１内にスポンジやゴム、アスファルトを充填してもよい。また、その溝上部に踏み板３０２を敷設してもよい。床防振溝３００の幅は２５〜１００ｍｍで充分である。深さは、１００〜１０００ｍｍで充分である。
【００２１】
図３に示す切削装置において、１は切削装置、２はワ−ク、３はチャック、４は左右の水平方向（Ｘ軸方向）に往復移動可能なテ−ブル、５は作業台ユニット、６は前後方向（Ｚ軸方向）に往復移動可能なサドル、７はコラム、８はシャンク支持ブロック材、９はシャンク、１０はダイヤモンドバイト（刃先）、１１はシャンク保護部材、１２は固定ボルト、１３はノズル、１４はシャンク支持ブロック材８を上下方向に移動させる昇降機構、１５は操作盤、１７はタンク、１８はフィルタ、２０はベッド、Ｐはポンプである。
【００２２】
昇降機構１４は、ボ−ルネジ１４ａ、ガイドレ−ル１４ｂ、スライダ−（螺合体）１４ｃ、アクチュエ−タ（またはサ−ボモ−タ）１４ｄ、前記コラム７に取り付けられた取付板１４ｅよりなり、アクチュエ−タ１４ｄの回転駆動をボ−ルネジ１４ａが受けて固定具１３が備え付けられたスライダ−（螺合体）１４ｃが鉛直方向に延びる一対のガイドレ−ル１４ｂ上を滑走することにより、シャンク支持ブロック材８に設けられたシャンク９下面に接着されたダイヤモンドバイト１０を昇降させる。
【００２３】
ベッド１６は前記サドル６を載せ、図示されていない油圧アクチュエ−タ機構で前後方向に移動可能である。サドル６の後部にはコラム７が立架され、前述したようにコラム７前面に取付板１４ｅが固定されている。サドル６がテ−ブル４に対し前後移動することによりコラム７に取り付けられたダイヤモンドバイト（刃先ｂ）１０がワ−クに対し、前後方向にピッチ幅移動する。
【００２４】
ダイヤモンドバイト１０の刃先形状は、先丸状、六角錐状またはＶ状であり、刃先の高さは２〜５ｍｍが一般である。
【００２５】
ワ−ク２としては、銀、金、銅、錫等の金属蒸着樹脂板よりなる電極材料、Ｎｉメッキ鋼、銅メッキ鋼等の金型材料が用いられる。ワ−ク厚みは、１〜５ｍｍが一般である。ワ−ク寸法は、導光板が用いられる用途、例えば携帯電話、ノ−トパソコン、モバイル端末、液晶テレビ等の液晶表示板により異なるが、例えば３５ｍｍ角、６０ｍｍ角、５インチ、１４インチ、１７インチ、２４インチ、３０インチ画面寸法である。
【００２６】
シャンク９素材としては、炭素鋼３〜炭素鋼５が用いられる。
下面にダイヤモンドバイト（刃先）１０が接着されたシャンク９は、昇降機構１４の前面に垂下して設けられたシャンク支持ブロック材８に断面コ状のシャンク保護部材１１を固定し、この保護部材１１のコ状空間部にシャンク９は挿入され、固定ボルト１２で固定される。
【００２７】
ノズル１３は、シャンク９下面に接着されたダイヤモンドバイト（刃先）１０の背面にその吹出口が位置するように設けられる。ノズル１３素材としては、銅管、ポリ（テトラフルオロエチレン）樹脂管が使用される。ノズル１３より噴出される流体は、切削油、圧力空気、オイルミスト等であり、ワ−クとダイヤモンドバイトが接触する加工点に流体は吹き付けられてワ−クの切り込み・切削が行われる。
オイルミストは切削油と冷却空気の混合物であるが、ノズルを２本独立して支持ア−ム８に設け、それぞれのノズルより潤滑油、冷却空気を噴出させてノズルより噴出され、両者が交わったところでミストを形成するようにしてもよい。
【００２８】
切削装置１のテ−ブル４の駆動は、リニアモ−タ利用のサ−ボドライブ方式であり、例えば図４に示す構造を取る。
図４において、テ−ブル４はスライダ４０を介してＶ字型案内レ−ル３０上をリニアモ−タにより往復線形移動可能な構造となっている。なお、図４において、左側のＶ字型案内レ−ルおよびスライダは板６４により隠蔽されている。
案内レ−ル３０，３０は、Ｖ−Ｖの組み合わせ、Ｖ−平の組み合わせ、平−平の組み合わせのいずれであってもよい。
案内レ−ル３０，３０は、断面凹状の側壁を有するベッド２０を構成するフレ−ムの側壁２０ａ，２０ｂの上面に設けられる。
【００２９】
前記テ−ブル４の下面中央部には前記ベッド２０の側壁凹部に垂下した突起部２３がボルト２３ａによりテ−ブル４に固定して設けられる。リニアモ−タは磁石２４，２４とコイル２７，２７とからなり、ベッドの凹部側壁と平行な前記突起部２３の両側壁面に磁石２４，２４が設けられ、フレ−ムの凹部内側壁面の両面にはコイル２７，２７が設けられる。この２組の一対の磁石とコイルでリニアモ−タを構成し、該リニアモ−タの稼動でテ−ブル４は案内レ−ル３０，３０上を線形移動可能となっている。
【００３０】
前記断面凹状のベッド側壁２０ａ，２０ｂには冷却媒体通路を有する取付板２７ａ，２７ａを介してコイル２７，２７が取り付けられており、冷却媒体通路には管２７ｂ，２７ｂが接続され、冷却媒体通路に冷却媒体を図示されていないポンプにより供給する。冷却媒体はコイル２７，２７より発生する熱を冷却する。板６４には、ダンパ−６３が設けられ、コイル２７への電線ケ−ブルを収納している。６５はリミットスイッチである。
【００３１】
前記断面凹状の側壁２０ａ，２０ｂの案内レ−ル３０，３０近傍には、案内レ−ル冷却媒体通路が設けられ、管６２により側壁２０ａ，２０ｂ面に冷却媒体を供給する。
これらコイル２７，２７に対面してベッドの凹部側壁と平行な前記突起部２３の両側壁面に磁石２４，２４がわずかな隙間をコイル間に設けて固定される。磁石は、永久磁石であっても、コイルを使用した電磁石であってもよい。
【００３２】
この図４に示すリニアモ−タ駆動のテ−ブル送り装置において、案内レ−ル３０に負荷する荷重を減らすため、前記テ−ブル４の下面中央部にフレ−ム２０の側壁凹部内に垂下した突起部２３底面に永久磁石１６を、この永久磁石１６に相対向し、この永久磁石の往復移動距離に相当する長さの永久磁石１６’をベッド２０の中央部１９ａに設ける。
【００３３】
永久磁石１６，１６’は、相対向する面の永久磁石の極が同一極、Ｎ極−Ｎ極、またはＳ極−Ｓ極となるように設ける。これら永久磁石１６，１６’表面間の距離は、０．１〜２ｍｍ、好ましくは、０．３〜１．０ｍｍである。
【００３４】
テ−ブル４の下面に設けられた突起部底面に設けられた永久磁石はスペ−サを介してテ−ブルの下面中央部には垂下した断面凸状の突起部底面に設けられ、この突起部の凸状部の上面にまでベッド２０の側壁面より水平方向に延びた停止板１９ｂ，１９ｂによりテ−ブルの上方への浮き上がりが制限される構造となっている。
【００３５】
かかる切削装置１を用い、ワ−ク２に直線状に平行に並んだ複数のＶ字状溝を切削加工するには、先ず、左右（Ｘ軸）方向に移動可能なテ−ブル４上にワ−ク２を載置し、操作盤１５より加工プログラムとして溝切削加工プログラムを選択し、ついで、表示板に表示された指令に基づいて基準点、工具切り込み開始位置、工具反転位置、１回の切り込み深さα、エア−カット量β、取り代量γ、テ−ブル往移動速度、テ−ブル復移動速度、移動ピッチ幅等の加工条件を入力する。
１本の溝をワ−クに切削するのに、ダイヤモンド切刃１０がワ−クにγ／α回切り込みを掛けることを制御装置の計算部が算出する。
【００３６】
ついで、操作盤１５の始動ボタンを押し、テ−ブル４、サドル６を移動させてダイヤモンドバイト１０を工具切り込み開始位置に位置させ、次いで、開始ボタンを押して切削切り込み開始点にダイヤモンドバイト１０を下降（−Ｙ軸方向）させ、リニアモ−タでテ−ブル４を左右方向に移動させることにより、テ−ブル５が左方向から右方向（＋Ｘ）に移動する際は金型材のワ−ク２に対して深さα量切り込み・溝切削が行われ、テ−ブル４が右方向から左方向（−Ｘ）に移動する際は、ダイヤモンドバイト１０を支持する昇降機構１４がサ−ボドライブ方式のモ−タ駆動によりダイヤモンドバイト１０切刃がワ−ク２に接触しない高さ（α＋β）に上昇（＋Ｙ軸方向）し、ワ−ク右端の開始点位置まで移動する。
【００３７】
このワ−ク表面に一方向溝を切削加工する際、ダイヤモンドバイト１０切刃とワ−ク２とが接触する加工点に向けて複数のノズル１３より冷却流体を吹き付ける。
【００３８】
ダイヤモンドバイト１０がワ−ク右端の開始点位置まで戻されると、２回目の切削が開始される。すなわち、ダイヤモンドバイト１０を（２α＋β）量下降させ、テ−ブル４をリニアモ−タ駆動により左方向から右方向に移動させることによりワ−ク２に対してダイヤモンドバイト１０は深さα量切り込み・溝切削を行う。
テ−ブル４が反転し、右方向から左方向へ移動する際、ダイヤモンドバイト１０がワ−クに接触しない高さ（α＋β）分上昇させられ、ワ−クの切削を行わないようにしてテ−ブル４を反転させ、ワ−ク右端の開始点位置まで移動する。
【００３９】
以下、切削回数がγ／α回となるまで、ダイヤモンドバイト１０を（２α＋β）量下降させ、テ−ブル４をリニアモ−タ駆動により左方向から右方向に移動させる深さα量切り込み・溝切削と、ダイヤモンドバイト１０がワ−クに接触しない高さ（α＋β）に上昇させ、ワ−ク右端の開始点位置まで直線的に移動する銅さを繰り返し、一本の溝の切削加工を完成する。
【００４０】
ダイヤモンドバイトによりワ−クへの切り込み・切削が行われるときのテ−ブル４の移動速度は、０．１〜３０ｍ／分、切り込み・切削が行われないときのテ−ブル４の移動速度は５０〜３００ｍ／分であることが好ましい。
バイト１０によるワ−ク２への切り込み・切削が行われないときのテ−ブルの移動速度を、切り込み・切削が行われるときのテ−ブル移動速度の２倍以上とすることにより、従来の切削装置よりも切削時間を大幅に短縮できる。
【００４１】
テ−ブル４一往復時の１回の切削量αは、０．００１〜０．０１ｍｍ、エヤ−カット高さβは、０．１〜２ｍｍが一般である。
【００４２】
ワ−クへの１本の溝切りが完成したら、アクチエ−タの駆動によりボ−ルネジを駆動させてサドル５を前方向（＋Ｚ）へ、溝のピッチ量だけ移動させ、ついで、ワ−クへの２本目の溝加工が前記と同様にして行なわれる。
【００４３】
以下、所望の本数ｎ本の溝がワ−ク２に切削加工されるまで、アクチエ−タの駆動によりボ−ルネジを駆動させてサドル５を前方向へ、溝のピッチ量だけ移動させ、ついで、ワ−クへのｎｉ本目の溝加工を前記と同様にして行う。
ｎ本の溝の切削加工が終了したら、加工ワ−クを洗浄し、乾燥させる。
【００４４】
上記加工作業は、制御装置のメモリ−（ＲＯＭ）に記憶された加工プログラムに則って、テ−ブル４駆動のリニアモ−タ、ダイヤモンドバイト１０上下機構１４のボ−ルネジ駆動のサ−ボモ−タ、バイト１０の前後移動を司るサドル５駆動の液圧アクチュエ−タのサ−ボドライブが行われる。
【００４５】
【実施例】
実施例１
１５０ｘ９６ｘ４８ｍｍの６．５インチ角の無電解ニッケルメッキワ−クに、９０度Ｖダイヤモンドバイトを用い、溝角度９０度、ピッチ５０μｍ、溝深さ２５μｍのＶ溝を左右方向に切削し、ついで、ワ−クを９０℃回転させ、同様にしてＶ溝を切削加工して正四角錘ピラミッド突起を複数有する９０度交形微細プリズム型を製造した。切削加工時間は３９時間であった。交形微細プリズム型の面粗度は２ｎｍＲａで、隣接ピッチ幅の振れ幅はプラスマイナス０．３μｍ以内、溝深さの振れ幅もプラスマイナス０．３μｍ以内であった。
【００４６】
実施例２
１１０ｘ８６ｘ３０ｍｍの５インチ角の無電解ニッケルメッキワ−クに、１３４度３６分ダイヤモンドバイトを用い、溝角度１３４．３６度、ピッチ１５０μｍ、溝深さ６μｍの溝を左右方向に切削加工して１３４．３６度の溝を複数有するフロントライト型を製造した。切削加工時間は２．５時間であった。フロントライト型の面粗度は２ｎｍＲａで、隣接ピッチ幅の振れ幅はプラスマイナス０．３μｍ以内、溝深さの振れ幅もプラスマイナス０．３μｍ以内であった。
【００４７】
【発明の効果】
本発明の恒温室内の床に据え付けた切削装置を更に恒温フルカバ−で囲繞することにより、導光板型ワ−クを切削加工したワ−クは、温度変化が小さく、寸法精度の良好な導光板型を与える。また、切削装置のワ−クを載置するテ−ブル駆動をリニアモ−タ駆動とし、ワ−クの一方向溝切削する方法は、加工されたワ−クに毛羽立ちがなく、光沢が高く、真直ぐな溝を有する加工ワ−クを短時間で得られる。よって、これを転写して得られた導光板の反射も均一となり、高い輝度の液晶表示板を与える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の導光板ワ−ク切削装置の温度制御管理機構を示す斜視図である。
【図２】床に設けられた防振溝の断面図である。
【図３】切削装置の斜視図である。
【図４】切削装置のリニアモ−タ駆動送りのテ−ブル断面図である。
【図５】液晶表示板のバックライト構造の斜視図である。（公知）
【符号の説明】
１        切削装置
２        ワ−ク
３        チャック
４        テ−ブル
６        サドル
７        コラム
８        シャンク支持ブロック材
９        シャンク
１０        ダイヤモンドバイト
１３        流体供給ノズル
１４        昇降機構
１００        恒温室
１０２        恒温室防水床
２００        恒温フルカバ−
３００        床防振溝
【図１】
2004237372.tif 000003
【図２】
2004237372.tif 000004
【図３】
2004237372.tif 000005
【図４】
2004237372.tif 000006
【図５】
2004237372.tif 000007