(57)【要約】【課題】低コストで生産性の高い方法により、拡散転写法で形成された金属銀を無電解めっきする方法を提供する。【解決手段】（１）拡散転写法により形成させた金属銀に、貴金属を含有する活性化液を接触させたのち、無電解めっきを施す方法。（２）拡散転写法により形成させた金属銀を、貴金属を含有する活性化液に浸せきし、浸せき中にめっきを施す金属銀に負電位を与えることを特徴とする無電解めっきを施す方法。【選択図】  なし。【特許請求の範囲】
【請求項１】
拡散転写法により形成させた金属銀に、貴金属を含有する活性化液を接触させたのち、無電解めっきを施す方法。
【請求項２】
拡散転写法により形成させた金属銀を、貴金属を含有する活性化液に浸せきし、浸せき中にめっきを施す金属銀に負電位を与えることを特徴とする無電解めっきを施す方法。
【請求項３】
活性化液中に別の補助電極を設置し、外部電源により該補助電極に対し金属銀に負電位を与えることを特徴とする請求項２の無電解めっきを施す方法。
【請求項４】
活性化液中で、めっきを施す金属銀と、銀より卑な金属とを電気的に接触させ、負電位を与えることを特徴とする請求項２の無電解めっきを施す方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性回路、電磁波シールドフィルム、タッチパネル等の用途に用いることができる、めっきされた銀膜、特に透明支持体上にパタン化された銀膜を有する透明導電性フィルムの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、情報化社会が急速に発達するに伴って、情報関連機器に関する技術が急速に進歩し普及してきた。この中で、ディスプレイ装置は、テレビジョン用、パーソナルコンピューター用、駅や空港などの案内表示用、その他各種情報提供用に用いられている。特に、近年プラズマディスプレイが注目されている。
【０００３】
このような情報化社会の中にあって、これらのディスプレイ装置から放射される電磁波の影響が心配されている。例えば、周辺の電子機器への影響や人体への影響が考えられている。特に、人体の健康に及ぼす影響は無視することができないものになっており、人体に照射される電磁界の強度の低減が求められ、このような要求に対して様々の透明導電性フィルム（電磁波シールドフィルム）が開発されている。例えば、特開平９−５３０３０号、同平１１−１２６０２４号、特開２０００−２９４９８０号、同２０００−３５７４１４号、同２０００−３２９９３４号、同２００１−３８８４３号、同２００１−４７５４９号、同２００１−５１６１０号、同２００１−５７１１０号、同２００１−６０４１６号公報等に開示されている。
【０００４】
これらの透明導電性フィルムの製造方法としては、銀、銅、ニッケル、インジウム等の導電性金属をスパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、真空蒸着法、湿式塗工法によって透明樹脂フィルム上に金属薄膜を形成させる方法が一般的に用いられている。近年、透明導電性フィルムの需要が拡大する中にあって、低コストで生産性が高い製造方法が求められている。
【０００５】
また、透明導電性フィルムに求められる性能として導電性と光透過率があるが、導電性を高くするにはある程度の厚みの金属薄膜が必要であり、それによって透過率が低下するという問題がある。従って、導電性が高くかつ光透過率が高い導電性フィルムが求められている。
【０００６】
本発明が対象とする銀薄膜の形成方法は、特公昭４２−２３７４５号公報にその基本的な技術が記載されている（特許文献１）。さらに近年の透明導電性フィルムに要求される導電性と透過率を同時に満足させること、及び反射フィルムに要求される高い金属光沢を満足させるために、特願２００１−２６１２０３号には、改良された銀薄膜形成フィルムの製造方法に関する技術が記載されている（特許文献２）。
【０００７】
しかしながら透明電磁波シールドフィルムのような高い導電性が求められる用途に対しては、上記特許公報に記載された方法では不十分であった。さらなる改善のためには特願２００２−２０３６３８号（特許文献３）に記載されたように、前記公報に記載された技術により形成された透明支持体上の細線パタンを金属めっきすることにより導電性を大幅に高めることが有効である。
【０００８】
特に生産性を考慮すると、電気めっきが好ましいが、めっき速度の向上や、大判のめっきを行う際の均一性を高めるため、さらには細線パタンの開口率を上げるなどの目的から、細線パタンの導電性をさらに向上させることが強く求められている。
【０００９】
このような要求から細線パタンの導電性の向上のため、電気めっきの前にあらかじめ無電解めっきを施すことにより、銀の細線パタンのみでは電気めっきができないような開口率の高いパタンでも効率よく電気めっきすることができる。さらには導電性回路のような応用において、孤立した部分を有するパタンの作成においては電気めっきができないため、無電解めっきがめっきを施す唯一の方法である。
【００１０】
しかしながら銀は、ニッケル−リンや銅の無電解めっきに対して触媒活性が低く、とりわけ本発明の方法で形成された銀パタンの活性化は時間がかかり、生産性が上がらない大きな要因となっていた。
【００１１】
【特許文献１】
特公昭４２−２３７４５号公報（第１頁〜第３頁）
【特許文献２】
特願２００１−２６１２０３号（第４頁〜第５頁）
【特許文献３】
特願２００２−２０３６３８号（第３頁）
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、低コストで生産性の高い方法により、拡散転写法で形成された金属銀を無電解めっきする方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記目的は、以下の発明によって基本的に達成された。
（１）拡散転写法により形成させた金属銀に、貴金属を含有する活性化液を接触させたのち、無電解めっきを施す方法。
（２）拡散転写法により形成させた金属銀を、貴金属を含有する活性化液に浸せきして接触させ、浸せき中に、めっきを施す金属銀に負電位を与えることを特徴とする無電解めっきを施す方法。
（３）上記（２）の活性化液中に、別の補助電極を設置し、外部電源により該補助電極に対し金属銀に負電位を与えることを特徴とする無電解めっきを施す方法。
（４）上記（２）の活性化液中で、めっきを施す金属銀と、銀より卑な金属とを電気的に接触させ、負電位を与えることを特徴とする無電解めっきを施す方法。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。本発明における無電解めっきの活性化液は貴金属を含有する。特にパラジウムを主成分とするものが好ましい。具体的には塩化パラジウムのような塩を酸性下で水に溶解させたものが用いられる。パラジウム濃度としては１０〜１０００ｐｐｍ、さらに好ましくは５０〜３００ｐｐｍである。また銅合金等への触媒付与剤として市販されている活性化液を使用しても良い。
【００１５】
本発明においては、拡散転写法により形成させた金属銀、特にパタン化された銀膜に負電位を与えて活性化処理したのち無電解めっきを施すが、電気的につながったパタンの場合、活性化液中に別の補助電極を設置し、外部電源により該補助電極に対し銀パタンに負電位を与えることができる。この場合の補助電極としては、黒鉛や白金のような不活性電極が好ましく用いられる。この補助電極に対して与える負電位は、電気めっきの場合のように、定常電流が流れるまでは必要なく、活性化する銀パタンの大きさや導電性に応じて、実質上電流が流れない範囲で選ぶことができる。外部電源との接続は、枚葉で処理する場合は、パタンに直接電極を取り付けて活性化浴に浸せきすればよいし、またロール状態で処理する場合は、給電ロール等を用いて行うことができる。
【００１６】
本発明における、負電位を与える別の方法は、銀より卑な金属と銀パタンを電気的接触をさせることにより形成される局部電池により与える方法で、銀より卑な金属と銀パタンを活性化浴にともに浸せきし、電気的に接続すればよい。この接続は配線を使っても良いし、単純に接触させるだけでも良い。特に後者の方法によれば、電気的に孤立したパタンを活性化することができる。具体的には銀より卑な金属と銀パタンを活性化浴にともに浸せきしたのち重ね合わせる、あるいはロール状態で処理する場合は卑な金属でできたロールを銀パタンに接触させるなどの方法がある。用いられる金属は、銀より卑なものであり、具体的には銅、鉄、ニッケル、クロム、亜鉛、スズ、アルミニウム、およびそれらの合金などがあげられる。本発明の効果は、活性化浴の酸化還元電位、金属の水素過電圧等により変化するため、使用する金属は実験的に選ばれる。
【００１７】
外部電源による方法であれ、局部電池を利用する方法であれ、活性化の時間は短いほど好ましく、通常の浸せきの場合、３〜１０分であるものが、本発明においては３分以下さらに好ましくは２分以下である。活性化浴の液温は、活性化にあまり影響を与えず、室温〜３５℃程度が選ばれる。
【００１８】
本発明では、このように活性化された金属銀を無電解めっきする。無電解めっき技術に関しては「無電解めっき」電気鍍金研究会編、日刊工業新聞社（１９９４年）に記載されている。本発明の無電解めっきは、ニッケルや銅などの金属イオンが還元剤によって還元析出し、この析出反応が連続的に進行しめっき膜が形成される、いわゆる自己触媒型化学還元めっきである。今日工業的に多く使用されているのはニッケル−リンや銅メッキであり、本発明はいずれのものにも効果があるが、前者は内部応力や体積電気伝導率が低いこともあり、本発明で特に好ましいのは無電解銅めっきである。
【００１９】
無電解銅めっきには、プリント基板のスルーホールめっきに用いられる薄付け用のめっき浴や、フルアディティブ法のための厚付けのめっき浴などがある。前者は、めっき膜厚は０．１〜０．３μｍと薄いが、浴温度が低く安定であり、電気的につながったパタンでその後に電気めっきを行う場合などに適している。一方後者は高温浴で、めっき膜厚は１０μｍ以上にもなり、孤立パタンのめっきなどに適している。本発明ではいずれの方法も可能である。めっき浴は自身で調製しても良いが、メルテックス（株）や奥野製薬工業（株）などから市販されているものが安定に用いられる。
【００２０】
本発明の金属銀は、拡散転写法により形成される。これは前述の特許文献１、２および３に記載されているように、支持体上にあらかじめ物理現像核層を設け、その物理現像核層上に、ハロゲン化銀を可溶性銀錯塩形成剤で溶解して得られた銀錯体をハイドロキノン等の還元剤の存在下で還元し、銀膜として析出させたもので、ハロゲン化銀の感光性を利用することで、精密な像様のパタンの銀膜を形成させることが可能である。すなわちハロゲン化銀乳剤層を像様露光し、可溶性銀錯塩形成剤と還元剤の存在下で、上記物理現像核層と接触させながらアルカリ液中で処理することにより、未露光部のハロゲン化銀が溶解されて銀錯体となり、物理現像核層上に拡散し還元されて金属銀膜を形成する。
【００２１】
本発明における物理現像核層の物理現像核としては、重金属あるいはその硫化物からなる微粒子（粒子サイズは１〜数十ｎｍ程度）が用いられる。例えば、金、銀等のコロイド、パラジウム、亜鉛等の水溶性塩と硫化物を混合した金属流化物等が挙げられる。この物理現像核層には、親水性バインダーを含有してもよい。親水性バインダー量は物理現像核に対して１０〜５００質量％程度が好ましい。親水性バインダーとしては、ゼラチン、アラビアゴム、セルロース、アルブミン、カゼイン、アルギン酸ナトリウム、各種デンプン、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、アクリルアミドとビニルイミダゾールの共重合体等を用いることができる。好ましい親水性バインダーは、ゼラチン、アルブミン、カゼイン等のタンパク質である。
【００２２】
本発明においては、物理現像核層と支持体の間にタンパク質からなるベース層（タンパク質含有ベース層；以降、単にベース層と云う）を有することは好ましい。支持体とベース層の間には、更に塩化ビニリデンやポリウレタン等の易接着層を有することは好ましい。ベース層に用いられるタンパク質としては、ゼラチン、アルブミン、カゼインあるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。
【００２３】
本発明において物理現像核層には、架橋剤（硬膜剤）の一種もしくは二種以上を含有することは好ましい。これらの架橋剤の中でも、好ましくは、グリオキザール、グルタルアルデヒド、３−メチルグルタルアルデヒド、サクシンアルデヒド、アジポアルデヒド等のジアルデヒド類である。
【００２４】
物理現像核層やベース層の塗布には、例えばディップコーティング、スライドコーティング、カーテンコーティング、バーコーティング、エアーナイフコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティング、スプレーコーティングなどの塗布方式で塗布することができる。
【００２５】
本発明において、ハロゲン化銀乳剤層は、上記物理現像核層の上に直接あるいは中間層を介して塗設してもよいし、あるいは物理現像核層が塗布されたものとは別の支持体上に塗布してもよい。しかしコストおよび生産効率の面からは、前者のように物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層を一体的に設けた銀膜前駆体を形成するのが好ましい。
【００２６】
本発明において、ハロゲン化銀乳剤層に用いられるハロゲン化銀乳剤粒子の形成には、順混合、逆混合、同時混合等の、当業界では周知の方法が用いられる。なかでも同時混合法の１種で、粒子形成される液相中のｐＡｇを一定に保ついわゆるコントロールドダブルジェット法を用いることが、粒径のそろったハロゲン化銀乳剤粒子が得られる点において好ましい。本発明においては、好ましいハロゲン化銀乳剤粒子の平均粒径は０．２５μｍ以下、特に好ましくは０．０５〜０．２μｍである。本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤のハロゲン化物組成には好ましい範囲が存在し、塩化物を８０モル％以上含有するのが好ましく、特に９０モル％以上が塩化物であることが特に好ましい。
【００２７】
本発明で用いられるハロゲン化銀乳剤は、必要に応じて粒子の形成あるいは物理熟成の過程において、亜硫酸塩、鉛塩、タリウム塩、ロジウム塩もしくはその錯塩、イリジウム塩もしくはその錯塩を共存させても良い。また、種々の化学増感剤によって増感することができ、イオウ増感法、セレン増感法、貴金属増感法など当業界で一般的な方法を、単独、あるいは組み合わせて用いることができる。さらに必要に応じて露光する光の波長に合わせて分光増感をさせてもよく、分光増感色素としては当業界で公知のいずれのものも使用できる。
【００２８】
さらに上記ハロゲン化銀乳剤層の感光波長域に吸収極大を有する非分光増感性の染料あるいは顔料を、画質向上のためのハレーション、あるいはイラジエーション防止剤として用いることは好ましい。ハレーション防止剤としては、好ましくは上記したベース層あるいは物理現像核層、あるいは物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層の間に必要に応じて設けられる中間層、または支持体を挟んで設けられる裏塗り層に含有させることができる。イラジエーション防止剤としては、ハロゲン化銀乳剤層に含有させるのがよい。
【００２９】
本発明において銀膜前駆体には、さらに種々の目的のために、公知の写真用添加剤を用いることができる。これらは、Ｒｅｓｅａｒｃｈ  Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ  Ｉｔｅｍ  １７６４３（１９７８年１２月）および１８７１６（１９７９年１１月）３０８１１９（１９８９年１２月）に記載、あるいは引用された文献に記載されている。
【００３０】
この銀膜前駆体を用いてパタン化された銀膜を作製する場合は、網目状パタンのような任意の形状パタンの透過原稿と上記前駆体を密着して露光、あるいは、任意の形状パタンのデジタル画像を各種レーザー光の出力機で上記前駆体に走査露光した後、可溶性銀錯塩形成剤と還元剤の存在下でアルカリ液中で処理することにより銀錯塩拡散転写現像が起こり、未露光部のハロゲン化銀が溶解されて銀錯塩となり、物理現像核上で還元されて金属銀が析出して形状パターンの銀薄膜を得ることができる。銀錯塩拡散転写現像後のハロゲン化銀乳剤層等の物理現像核層の上に設けられた層は、スクラビングローラ等を用いて温水シャワーを噴射しながら除去する方法や温水をノズル等でジェット噴射しながら水の勢いで除去する方法などにより除去される。
【００３１】
本発明に用いられる可溶性銀錯塩形成剤としては、チオ硫酸アンモニウム及びチオ硫酸ナトリウムのようなチオ硫酸塩、チオシアン酸ナトリウムやチオシアン酸アンモニウムのようなチオシアン酸塩、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸水素カリウムのような亜硫酸塩、オキサドリドン類、２−メルカプト安息香酸及びその誘導体、ウラシルのような環状イミド類、アルカノールアミン、ジアミン、特開平９−１７１２５７号公報に記載のメソイオン性化合物、ＵＳＰ５，２００，２９４に記載のようなチオエーテル類、５，５−ジアルキルヒダントイン類、アルキルスルホン類、他に、Ｔ．Ｈ．ジェームス編のザ・セオリー・オブ・ザ・フォトグラフィック・プロセス４版の４７４〜４７５項（１９７７年）に記載されている化合物が挙げられる。特にチオ硫酸塩、アルカノールアミンが好ましい。アルカノールアミンとしては、例えば２−（２−アミノエチルアミノ）エタノールアミン、ジエタノールアミン、Ｎ−メチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ−エチルジエタノールアミン、ジイソプロパノールアミン、エタノールアミン、４−アミノブタノール、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン、３−アミノプロパノール、Ｎ，Ｎ−エチル−２、２’−イミノジエタノール、２−メチルアミノエタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール等が挙げられる。
【００３２】
還元剤は写真現像の分野で公知の現像主薬を用いることができる。例えば、ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、クロルハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類、アスコルビン酸及びその誘導体、１−フェニル−４，４−ジメチル−３−ピラゾリドン、１−フェニル−３ピラゾリドン、１−フェニル−４−メチル−４−ヒドロキシメチル−３−ピラゾリドン等の３−ピラゾリドン類、パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン、パラフェニレンジアミン等が挙げられる。
【００３３】
アルカリ液中への可溶性銀錯塩形成剤の含有量は、現像液１リットル当たり、０．１〜５モルの範囲で用いるのが適当であり、還元剤は現像液１リットル当たり０．０５〜１モルの範囲で用いるのが適当である。アルカリ液のｐＨは１０以上が好ましく、１１〜１４がより好ましい。銀錯塩拡散転写現像を行うためのアルカリ液の適用は、浸漬方式であっても塗布方式であってもよい。
【００３４】
本発明に用いられる支持体としては、写真感光材料で一般的に用いられる支持体を用いることができる。具体的にはポリエチレンあるいはポリプロピレン被覆紙、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリイミド樹脂、セロハン、セルロイド等が挙げられる。
【００３５】
【実施例】
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明する。
実施例１
本発明で用いる銀膜前駆体を以下のように作成した。
厚み１００μｍの、塩化ビニリデンを含有する下引き層を有するポリエチレンテレフタレートフィルムにゼラチンが５０ｍｇ／ｍ２のベース層を塗布したのち、下記の硫化パラジウムゾルを含む物理現像核層を、硫化パラジウムが固形分で０．４ｍｇ／ｍ２になるように塗布した。
【００３６】
2004269992.tif 000002
Ａ液とＢ液を撹拌しながら混合し、３０分後にイオン交換樹脂の充填されたカラムに通し硫化パラジウムゾルを得た。
【００３７】
＜物理現像核層塗液の調製＞
前記硫化パラジウムゾル                      ５０ｍｌ
２質量％のグルタルアルデヒド溶液            ２０ｍｌ
界面活性剤（Ｓ−１）                          １ｇ
水を加えて全量を２０００ｍｌとする。
【００３８】
【化１】
2004269992.tif 000003
【００３９】
続いて、上記物理現像核層を塗布した側と反対側に下記組成の裏塗り層を塗布した。
＜裏塗り層組成／１ｍ２あたり＞
ゼラチン                                      ２ｇ
不定形シリカマット剤（平均粒径５μｍ）        ２０ｍｇ
染料１                                    ２００ｍｇ
界面活性剤（Ｓ−１）                      ４００ｍｇ
界面活性剤（Ｓ−２）                          ５ｍｇ
【００４０】
【化２】
2004269992.tif 000004
【００４１】
続いて、下記組成のハロゲン化銀乳剤層および、保護層塗液を調製した。ハロゲン化銀乳剤は、写真用ハロゲン化銀乳剤の一般的なダブルジェット混合法で製造した。このハロゲン化銀乳剤は、塩化銀９５モル％と臭化銀５モル％で、平均粒径が０．１μｍになるように調製した。このようにして得られたハロゲン化銀乳剤を定法に従いチオ硫酸ナトリウムと塩化金酸を用い金イオウ増感を施した。こうして得られたハロゲン化銀乳剤は銀１ｇあたり０．５ｇのゼラチンを含む。
【００４２】
＜ハロゲン化銀乳剤層塗液＞
ゼラチン                                    ５０ｇ
ハロゲン化銀乳剤                          ３００ｇ銀相当
１−フェニル−５−メルカプトテトラゾール  ０．３ｇ
界面活性剤（Ｓ−１）                          ３ｇ
【００４３】
＜非感光性層塗液＞
ゼラチン                                  １００ｇ
不定形シリカマット剤（平均粒径３．５μｍ）    １ｇ
界面活性剤（Ｓ−１）                          １ｇ
界面活性剤（Ｓ−２）                        １０ｍｇ
【００４４】
このようにして調製した塗液を物理現像核層の上に同時スライド塗布した。得られた写真感光材料は１ｍ２あたりの銀量が３．０ｇ、ゼラチン量が保護層１．０ｇを含む合計３．０ｇであった。
【００４５】
このようにして得た銀膜前駆体を、水銀灯を光源とする密着プリンターで、４００ｎｍ以下の光をカットする樹脂フィルターを介し、細線幅１２μｍで格子間隔２００μｍの網目パタンの透過原稿を密着させて露光し、続いて、下記のアルカリ液（銀錯塩拡散転写用現像液）中に２５℃で４０秒間浸漬した後、続いてハロゲン化銀乳剤層および非感光性層を温水水洗除去して、網目パタンの銀薄膜を形成させた。
【００４６】
＜アルカリ液＞
水酸化ナトリウム                            ２０ｇ
ハイドロキノン                              ２０ｇ
１−フェニル−３−ピラゾリドン                ２ｇ
亜硫酸ナトリウム                            ３０ｇ
モノメチルエタノールアミン                  １０ｇ
全量を水で１０００ｍｌ
ｐＨ＝１３に調整する。
【００４７】
上記のようにして得られた網目パタン銀を１０Ｘ２０ｃｍにカットし、表１に記載のように活性化し、続いて無電解銅メッキを行った。活性化浴は、メルテックス（株）製、アクチベーター３５０をパラジウムが１００ｐｐｍとなるよう希釈して２５℃とした。銀パタンへの加電は白金電極を補助電極とし、定電圧電源で、補助電極に対して表１に記載の電圧を与えた。無電解銅めっきは、同社製薄付無電解銅めっき、メルプレートＣＵ−３９０を標準希釈で建浴し、２５℃で５分間行った。得られたパタンの表面抵抗率は、（株）ダイアインスツルメンツ製、ロレスタ−ＧＰ／ＥＳＰプローブを用いて、ＪＩＳ  Ｋ  ７１９４に従い測定した。また、めっきのつきまわりを目視で５段階評価した。得られた結果は表１にまとめた。
【００４８】
【表１】
2004269992.tif 000005
【００４９】
表中、めっきのつきまわりは、５：全体に均一なめっき、４：全体についているがムラがある、３：一部についていないところがある、２：一部にしかめっきされていない、１：全くめっきできない、という基準で判定した。上記結果から明らかなように、本発明の方法により、格子パタン銀膜の無電解銅メッキが可能となり、特に負電位を与えた場合、短い活性化時間でも均一なめっき膜が得られた。さらに得られた試料に硫酸銅電気めっきを行ったところ、本発明の試料３〜８のみで均一銅格子パタンが得られた。
【００５０】
実施例２
実施例１と同様にして得られた網目パタン銀を１０Ｘ２０ｃｍにカットし、表２に記載の金属とともに活性化浴に浸せきし、導線により両者を短絡した。そのまま１分間活性化したのち実施例１と同様の無電解銅メッキを行った。得られた試料の表面抵抗率と化学銅のつきまわりを表２にまとめた。
【００５１】
【表２】
2004269992.tif 000006
【００５２】
表２より明らかなように、本発明の活性化方法により、短い活性化時間でも導電性に優れ均一なめっき膜が得られた。
【００５３】
【発明の効果】
本発明により、拡散転写法で形成された金属銀を、低コストで生産性の高い方法で無電解めっきすることができた。