(57)【要約】【課題】潤滑剤の膜厚の測定をリアルタイムで容易に行え、更にその膜厚を常に最適な膜厚とするためにインラインフィードバックできる磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置を提供する。【解決手段】基板層１１の一方の面に形成された磁性体薄膜（Ｍａｇ層１２）の表面に潤滑剤層１４を塗布して構成した磁気記録媒体１０において、前記潤滑剤層１４の表面にセンサーヘッド３１から紫外線光３３を照射し、該紫外線光の照射により磁性体薄膜（Ｍａｇ層１２）表面から放出される光電子３４の量をセンサーヘッド３１で計測し、前記電子量は潤滑剤層１４内で減衰することから、該計測した光電子量が潤滑剤層１４の膜厚と相関関係にあることを利用して、潤滑剤層１４の膜厚をアンプ３２および計測データ処理部４０によって求める。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性支持体の一方の面に形成された磁性体薄膜の表面に潤滑剤を塗布して構成された磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法において、
前記潤滑剤表面に紫外線光を照射する照射段階と、
前記紫外線光の照射により前記磁性体薄膜表面から放出される光電子量を計測する計測段階と、
前記計測された光電子量データに基づいて前記潤滑剤の膜厚を求めるデータ処理段階と
を備えたことを特徴とする磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項２】
前記潤滑剤はフッ素系の潤滑剤であることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項３】
前記磁性体薄膜は、斜め蒸着によって形成されることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項４】
前記磁性体薄膜は、斜め蒸着によって形成されることを特徴とする請求項２に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項５】
前記磁性体薄膜は、酸素雰囲気中で蒸着させた強磁性金属蒸着膜であることを特徴とする請求項３に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項６】
前記磁性体薄膜は、酸素雰囲気中で蒸着させた強磁性金属蒸着膜であることを特徴とする請求項４に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項７】
前記磁性体薄膜と前記潤滑剤との間には非磁性体膜が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項８】
前記磁性体薄膜と前記潤滑剤との間には非磁性体膜が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項９】
前記磁性体薄膜と前記潤滑剤との間には非磁性体膜が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項１０】
前記磁性体薄膜と前記潤滑剤との間には非磁性体膜が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項１１】
前記磁性体薄膜と前記潤滑剤との間には非磁性体膜が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項１２】
前記磁性体薄膜と前記潤滑剤との間には非磁性体膜が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項１３】
前記磁気記録媒体は製造ラインに沿って移動され、前記潤滑剤は製造ラインにおける塗布工程時に塗布され、前記紫外線光の照射は乾燥工程後に実行されることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項１４】
前記データ処理段階で求められた膜厚によりリアルタイムフィードバックを行うフィードバック段階を備えたことを特徴とする請求項１３に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法。
【請求項１５】
非磁性支持体の一方の面に形成された磁性体薄膜の表面に潤滑剤を塗布して構成された磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置において、
前記潤滑剤表面に紫外線光を照射する照射手段と、
前記紫外線光の照射により前記磁性体薄膜表面から放出される光電子量を計測する計測手段と、
前記計測された光電子量データに基づいて前記潤滑剤の膜厚を求めるデータ処理手段と
を備えたことを特徴とする磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置。
【請求項１６】
前記磁気記録媒体は製造ラインに沿って移動され、前記潤滑剤は製造ラインにおける塗布工程時に塗布され、前記紫外線光の照射は乾燥工程後に実行されることを特徴とする請求項１５に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置。
【請求項１７】
前記データ処理手段で求められた膜厚によりリアルタイムフィードバックを行うフィードバック手段を備えたことを特徴とする請求項１６に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置。
【請求項１８】
前記照射手段および計測手段は一体に構成されるとともに、前記潤滑剤の幅方向に移動する機構を有していることを特徴とする請求項１６に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置。
【請求項１９】
前記照射手段および計測手段は一体に構成されるとともに、前記潤滑剤の幅方向に移動する機構を有していることを特徴とする請求項１７に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置。
【請求項２０】
前記照射手段および計測手段は、種類の異なる複数の磁気記録媒体に対応して設けられていることを特徴とする請求項１５に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置。
【請求項２１】
前記照射手段および計測手段は、種類の異なる複数の磁気記録媒体に対応して設けられていることを特徴とする請求項１６に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置。
【請求項２２】
前記照射手段および計測手段は、種類の異なる複数の磁気記録媒体に対応して設けられていることを特徴とする請求項１７に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置。
【請求項２３】
前記照射手段および計測手段は、種類の異なる複数の磁気記録媒体に対応して設けられていることを特徴とする請求項１８に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置。
【請求項２４】
前記照射手段および計測手段は、種類の異なる複数の磁気記録媒体に対応して設けられていることを特徴とする請求項１９に記載の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、非磁性支持体の一方の面に形成された磁性体薄膜の表面に潤滑剤を塗布して構成された磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法および潤滑剤膜厚測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気記録媒体の１つである蒸着テープは、基板上に、コバルトなどの金属で成る磁性体薄膜を蒸着により付着、堆積させたものであり、バインダなどの接着剤がないため、ノイズが少なく、また基板と磁性体薄膜とを薄膜化することができるので、高密度記録に適するという利点がある。
【０００３】
しかしながら、この蒸着テープの磁性体薄膜は、主に強磁性金属材料により構成されるが、この強磁性金属材料は表面活性が高く大気中で酸化されやすいものである。そして酸化が進行することによって、磁化量の低下や場合によっては抗磁力の低下が起こり、強磁性金属材料が本来有する特性を損なうことになる。
【０００４】
このため、蒸着テープ型の磁気記録媒体においては、酸化によって経時的な磁気特性の劣化を起こさないように、非磁性支持体上に磁性体薄膜を蒸着して蒸着テープとした後、金属磁性薄膜表面を防錆効果を有する化合物により表面処理することが行われている。
【０００５】
この防錆効果を強化するには表面の潤滑剤膜厚を厚くすれば良いが、塗布量が多すぎると磁性体薄膜上に浸出してきて、磁気ヘッドの目詰まりなどの弊害を発生させる原因となる。
公知として、潤滑剤としてはフッ素系（例えば、パーフルオロポリエーテル系）が使用されており、このような潤滑剤を塗布することにより良好な潤滑効果が得られている。
【０００６】
これら潤滑剤は、例えば公知であるグラビア法、リバース法、あるいはダイ塗工方式の塗布装置により磁性薄膜上に塗布される。
【０００７】
潤滑剤を適正な量にする為に、潤滑剤の膜厚の管理を行っているが、公知であるエリプソメータを用いた膜厚測定法、フーリエ変換赤外分光高度計ＦＴ−ＩＲ（Ｆｏｕｒｉｅｒ　Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ　Ｉｎｆｒａｒｅｄ　Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ；フーリエ変換赤外分光分析）を用いた膜厚測定法やＥＳＣＡ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ　ｆｏｒ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ａｎａｌｙｓｉｓ；Ｘ線光電子分光分析）を用いた膜厚測定法により測定が行われている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記「エリプソメータ」、「ＦＴ−ＩＲ」、「ＥＳＣＡ」による潤滑剤の膜厚測定は、測定用のサンプル片を作製しなければならないとともに、真空中での測定や専用の検査ステージにセットする等の必要がある。
【０００９】
また、設定、測定にかなりの熟練を要し、多くの測定時間が必要であった。そのため、潤滑剤の膜厚を測定し、得られた膜厚に基づいて、潤滑剤の濃度や塗布量を調節して、より最適な膜厚にするというフィードバックは、リアルタイムに行うことはなされていなかった。
【００１０】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものでその目的は、潤滑剤の膜厚の測定をリアルタイムで容易に行え、更にその膜厚を常に最適な膜厚とするためにインライフィードバックできる磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法および潤滑剤膜厚測定装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
（１）上記課題は、基板の一方の面に形成された磁性体薄膜の表面に潤滑剤を塗布した磁気記録媒体の前記潤滑剤表面に光を照射し、前記磁性体薄膜表面に励起された光電子が潤滑剤を透過・減衰し、前記潤滑剤膜厚の量に応じた光電子量を測定することによって解決される。
【００１２】
前記光が有するエネルギーにより励起される光電子量は、磁性体薄膜材料の仕事関数から得られるものであり、磁性体薄膜を飛び出した光電子は潤滑剤層の膜厚により減衰する。
【００１３】
この光電子量を測定することで、膜厚測定を容易に行うことができ、測定サンプルの作製等が不要となり、熟練者以外の者でも容易に測定ができる。また、その測定時間も短いので、その測定結果から直ちに潤滑剤の濃度や塗布量を調節して潤滑剤を最適な厚さとすることが可能である。従って、潤滑剤を常に最適な膜厚とすることができるので、磁気記録媒体の信頼性が向上し、製品の品質管理が容易になる。
（２）すなわち上記の課題を解決するための本発明の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法は、非磁性支持体の一方の面に形成された磁性体薄膜の表面に潤滑剤を塗布して構成された磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定方法において、前記潤滑剤表面に紫外線光を照射する照射段階と、前記紫外線光の照射により前記磁性体薄膜表面から放出される光電子量を計測する計測段階と、前記計測された光電子量データに基づいて前記潤滑剤の膜厚を求めるデータ処理段階とを備えたことを特徴としている。
【００１４】
また前記潤滑剤はフッ素系の潤滑剤であることを特徴としている。
【００１５】
また前記磁性体薄膜は、斜め蒸着によって形成されることを特徴としている。
【００１６】
また前記磁性体薄膜は、酸素雰囲気中で蒸着させた強磁性金属蒸着膜であることを特徴としている。
【００１７】
また前記磁性体薄膜と前記潤滑剤との間には非磁性体膜が形成されていることを特徴としている。
【００１８】
また前記磁気記録媒体は製造ラインに沿って移動され、前記潤滑剤は製造ラインにおける塗布工程時に塗布され、前記紫外線光の照射は乾燥工程後に実行されることを特徴としている。
【００１９】
また前記データ処理段階で求められた膜厚によりリアルタイムフィードバックを行うフィードバック段階を備えたことを特徴としている。
（３）また上記の課題を解決するための本発明の磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置は、非磁性支持体の一方の面に形成された磁性体薄膜の表面に潤滑剤を塗布して構成された磁気記録媒体の潤滑剤膜厚測定装置において、前記潤滑剤表面に紫外線光を照射する照射手段と、前記紫外線光の照射により前記磁性体薄膜表面から放出される光電子量を計測する計測手段と、前記計測された光電子量データに基づいて前記潤滑剤の膜厚を求めるデータ処理手段とを備えたことを特徴としている。
【００２０】
また前記磁気記録媒体は製造ラインに沿って移動され、前記潤滑剤は製造ラインにおける塗布工程時に塗布され、前記紫外線光の照射は乾燥工程後に実行されることを特徴としている。
【００２１】
また前記データ処理手段で求められた膜厚によりリアルタイムフィードバックを行うフィードバック手段を備えたことを特徴としている。
【００２２】
また前記照射手段および計測手段は一体に構成されるとともに、前記潤滑剤の幅方向に移動する機構を有していることを特徴としている。
【００２３】
また前記照射手段および計測手段は、種類の異なる複数の磁気記録媒体に対応して設けられていることを特徴としている。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照しながら本発明の実施形態例を説明する。本発明において用いられる磁気記録媒体は例えば図１のように構成されるが、この磁気記録媒体１は一般的な蒸着テープの例である。
【００２５】
すなわち、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等で成る基板２上（一方の面側）に、磁性体薄膜であるコバルト・ニッケル合金蒸着薄膜３（以下、Ｃｏ−Ｎｉ薄膜と記載する）が、酸素雰囲気中で斜め蒸着によって蒸着されている。Ｃｏ−Ｎｉ薄膜３の上には、Ｃｏ−Ｎｉ薄膜３の特性改善（耐久性等）の為に非磁性体薄膜４（例えばＤＬＣ（ダイヤモンド状炭素膜））が形成されている。
【００２６】
更に、非磁性体薄膜４の上面には、芳香族ヒドロキシ化合物等から成る防錆剤５をエタノールなどの溶媒に溶解させ、公知の方法で塗布している。更にフッ素系（例えばパーフルオロポリエーテル系）の潤滑剤６が形成されているが、これは、例えばアルコール類などの溶媒に混ぜた状態で公知の方法で塗布されている。
【００２７】
フッ素系の潤滑剤６は、磁気記録媒体１の走行時の摩擦を減らす潤滑剤としての作用だけでなくＣｏ−Ｎｉ薄膜３、すなわち磁性体薄膜の表面を保護する作用も有している。
【００２８】
尚、基板２の下方（他方の面側）には、帯電防止やベースのキズ、ゴミによるドロップアウト等を防止する為に、バックコート膜７（これは、例えばカーボンなどの導電性、潤滑性のある粒子とバインダから成る）が形成されている。
【００２９】
図２に本発明の膜厚測定方法を実行するためのシステムの一例を示す。図２において、製造ラインにおける磁気記録媒体１０が、潤滑剤を塗布する装置内の検査ステージ２０（例えばガイドロール）上に載置されている。
【００３０】
磁気記録媒体１０は、基板層１１の一方の面上に形成されたＭａｇ層１２（例えば図１のＣｏ−Ｎｉ薄膜３および非磁性体薄膜４）と、Ｍａｇ層１２上に形成されたＤＬＣ層１３と、ＤＬＣ層１３上に形成された潤滑剤層１４と、基板層１１の他方の面に形成されたＢａｃｋ層１５とを有している。この磁気記録媒体１０は潤滑剤乾燥装置により乾燥した状態で検査ステージ２０上に載置されている。
【００３１】
３０はセンサーヘッド３１およびアンプ３２を有した光電子量計測器であり、本実施形態例では米国ＰＥＴ社製の「ＳＱＭ−１００」を使用している。センサーヘッド３１は、検査ステージ２０の垂直方向上方に配設され、磁気記録媒体１０の潤滑剤層１４およびＭａｇ層１２、ＤＬＣ層１３に紫外線光３３を照射する（例えば１８５ｎｍ、２５４ｎｍの光源として働く）とともに、Ｍａｇ層１２の表面から励起される光電子３４を測定（カウント）し電気的に計測する。
【００３２】
センサーヘッド３１で計測された信号は、アンプ３２によって増幅されアナログ信号で計測データ処理部４０のデータ処理部４１に出力される。
【００３３】
データ処理部４１は、アンプ３２からのアナログ信号（光電子カウント信号）をデジタルに変換し、該デジタルデータはデータ表示部４２に表示され、またデータ保存部４３に保存される。
【００３４】
前記計測データ処理部４０で得られたデータにより、磁気記録媒体１０の潤滑剤層の膜厚が相対的に測定される。
【００３５】
尚、図２の装置では、測定された膜厚によって図示省略のフィードバック制御部（フィードバック手段）が潤滑剤の塗布量をフィードバック制御するように構成されている。
【００３６】
ここで、前記Ｍａｇ層１２の表面から励起される光電子３４をカウントすることにより潤滑剤層の膜厚を測定することができる理由を図３とともに述べる。
【００３７】
サンプル（例えば図２の磁気記録媒体１０）表面に紫外線光（ＵＶ光）を照射したときに放出される光電子数は、図３（ａ）に示すように紫外線光のエネルギーに依存して変化する。すなわち紫外線光エネルギーが仕事関数を超えると（図示Ａ点）、サンプル表面から光電子が放出される。
【００３８】
例えば図３（ｂ）に示すように、潤滑剤などの表面皮膜が無い場合、下地（図２のＭａｇ層１２、ＤＬＣ層１３）から出る表面電子３４は多い。これに対して図３（ｃ）に示すように、潤滑剤層１４などの表面皮膜が有る場合、下地からでる表面電子は、表面皮膜内で減衰する為、膜厚が厚いほど放出される（カウントされる）電子数は減っていく。通常、下地である非磁性体薄膜（ＤＬＣ）の方が潤滑剤よりも表面エネルギーが小さいため、下地から放出される電子をカウントできる。
【００３９】
この現象を利用することにより、表面皮膜（潤滑剤）の厚さを測定するものである。
【００４０】
上記のようにして得られた計測値（ｃｐｓ）（ＯＳＥＥ：ＯｐｔｉｃａｌｌｙＳｔｉｍｕｌａｔｅｄ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｅｍｉｓｓｉｏｎ；光刺激エキソ電子放射、光電子カウント値）と、この潤滑剤の塗布膜厚を従来方法で測定したＥＳＣＡ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ　ｆｏｒ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ａｎａｌｙｓｉｓ；Ｘ線光電子分光分析）値（ｃｐｓ）は図４のような関係となる。
【００４１】
すなわち、本発明の測定方法により得られた膜厚（光電子カウント値による膜厚）と、従来のＥＳＣＡ値との間には、直線により示されるような比例関係が得られた。尚図４においてｙは相関係数、Ｒ２は寄与率を表し、寄与率Ｒ２が１に近いほど相関性が良いことを示している。
【００４２】
したがって本発明の方法により潤滑剤膜厚を計測し管理することによって、最適な潤滑剤量を提供することができる。
【００４３】
本実施形態例は、潤滑剤乾燥装置により乾燥した状態でサンプル（測定専用のサンプルではなく製品としてのサンプル）を作成し、従来方法では更に３０分程度の計測時間を要していたものを、リアルタイムで計測することにより、塗布装置への迅速なフィードバックが可能となり、潤滑剤の塗布量を調節して最適な膜厚にすることが可能となる。
【００４４】
また本発明においては、乾燥後の潤滑剤量を測定することから、製品状態での量を管理することが可能であり、製品状態に合わせた潤滑剤膜厚のフィードバックを行うことができる。
【００４５】
以上、本発明の一実施形態例について説明したが、勿論本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思考に基づいて様々な変形が可能である。例えば前記実施形態例においては１系統の計測器を用いて測定したが、これを２系統又は３系統以上の計測器を設置し測定するように構成すれば、多品種計測を可能とすることができる。
【００４６】
また前記実施形態例においてはセンサーヘッド３１の位置や光調節を固定としたがこれを自動的に調節するように構成しても良い。
【００４７】
すなわち例えばセンサーヘッド３１をライン設置する際に、潤滑剤層１３の幅方向に移動できるようにトラバース機構を持たせ、幅方向計測を可能とする。
【００４８】
また前記実施形態例においては、米国ＰＥＴ社製の「ＳＱＭ−１００」を用いたが、前記と同様の作用をする計測器であればこれに限定される必要は全く無い。
【００４９】
また前記実施形態例では、磁性体薄膜３上に、磁性体薄膜３の特性改善の為の非磁性薄膜４を設けて構成しているが、これは設けなくても良い。
【００５０】
また前記実施形態例では、酸素雰囲気中で形成されたＣｏ−Ｎｉ合金蒸着膜としたが、その他の蒸着膜、例えばＦｅ−Ｃｏ合金蒸着膜などでも良い。
【００５１】
また前記実施形態例では、斜め蒸着によって磁性体薄膜を形成したが、勿論この蒸着方法に限定される必要はない。
【００５２】
更に前記実施形態例では、フッ素系の潤滑剤を用いているが、磁性体薄膜からの光電子量を潤滑剤を通過して計測できるのであれば、他の潤滑剤を用いても計測可能である。
【００５３】
【発明の効果】
（１）請求項１〜１４に記載の発明によれば、潤滑剤の膜厚を従来方法よりも容易に且つ短時間で測定することができる。特に従来のように膜厚測定専用のサンプルを作製する必要がないので、製造上のサンプルでのバラツキ、測定者間でのバラツキ等が解決できるとともに、熟練者以外の測定者でも容易に測定することができる。
【００５４】
また測定時間が短くて済むので、その測定結果から直ちに潤滑剤の濃度や塗布量を調節して潤滑剤を最適な厚さとすることが可能である。従って、潤滑剤を常に最適な膜厚とすることができるので、磁気記録媒体の信頼性が向上し、製品の品質管理が容易になる。
【００５５】
また、本発明により得られた膜厚は、従来の方法で用いていたフッ素面積強度値、光電子カウント量と相関関係が有るので、従来の方法で潤滑剤を測定していた磁気記録媒体の潤滑剤膜厚を、測定専用のサンプルにて再び計測する必要は無くなる。
（２）また請求項１３、１４に記載の発明によれば、製造ラインに沿って移動する磁気記録媒体において、容易に短時間で乾燥後の膜厚を測定できるので、潤滑剤溶液の塗布量を調節して、より適正な乾燥後膜厚の潤滑剤とすることができる。そのため、スティックスリップが起きず、磁性体薄膜の保護も十分にできる。したがって、磁気記録媒体の信頼性を向上し、その製造上の品質管理を容易とすることができる。
【００５６】
また乾燥後の潤滑剤の膜厚は非常に薄い量であり、従来はＥＳＣＡ等の解析装置にて製品から抽出したサンプルを用いて膜厚を管理していた為、時間的に大きなズレがあったが、本発明によればリアルタイムに潤滑剤の量を管理できることから、良品生産への管理を行うことができる。
【００５７】
さらに本発明においては、乾燥後の潤滑剤量を測定することから、製品状態での量を管理することが可能であり、製品状態に合わせた潤滑剤膜厚のフィードバックを行うことができる。
（３）また請求項１５〜２４に記載の発明によれば、潤滑剤の膜厚を従来の測定装置よりも容易に且つ短時間で測定することができる装置を提供することができる。特に従来のように膜厚測定専用のサンプルを作製する必要がないので、製造上のサンプルでのバラツキ、測定者間でのバラツキ等が解決できるとともに、熟練者以外の測定者でも容易に測定することができる。
【００５８】
また測定時間が短くて済むので、その測定結果から直ちに潤滑剤の濃度や塗布量を調節して潤滑剤を最適な厚さとすることが可能である。従って、潤滑剤を常に最適な膜厚とすることができるので、磁気記録媒体の信頼性が向上し、製品の品質管理が容易になる。
【００５９】
また、本発明により得られた膜厚は、従来の方法で用いていたフッ素面積強度値、光電子カウント量と相関関係が有るので、従来の方法で潤滑剤を測定していた磁気記録媒体の潤滑剤膜厚を、測定専用のサンプルにて再び計測する必要は無くなる。
（４）また請求項１６、１７に記載の発明によれば、製造ラインに沿って移動する磁気記録媒体において、容易に短時間で乾燥後の膜厚を測定できる装置が得られるので、潤滑剤溶液の塗布量を調節して、より適正な乾燥後膜厚の潤滑剤とすることができる。そのため、製品を再生・録画する際に固定ガイド上でのスティックスリップが起こらない厚さの範囲にできるため、磁性体薄膜の保護も十分にできる。したがって、磁気記録媒体の信頼性を向上し、その製造上の品質管理を容易とすることができる。
【００６０】
また乾燥後の潤滑剤の膜厚は非常に薄い量であり、従来はＥＳＣＡ等の解析装置にて製品から抽出したサンプルを用いて膜厚を管理していた為、時間的に大きなズレがあったが、本発明によればリアルタイムに潤滑剤の量を管理できることから、良品生産への管理を行うことができる。
【００６１】
さらに本発明においては、乾燥後の潤滑剤量を測定することから、製品状態での量を管理することが可能であり、製品状態に合わせた潤滑剤膜厚のフィードバックを行うことができる。
（５）また請求項１８、１９に記載の発明によれば、前記潤滑剤の膜厚を幅方向で容易に計測することができる。
（６）また請求項２０〜２４に記載の発明によれば、潤滑剤の膜厚を測定するに際して、多品種に対応できるシステムを構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用される蒸着テープの一例を示す構成図。
【図２】本発明の一実施形態例を示すシステム模式図。
【図３】本発明の原理を示す説明図。
【図４】本発明の方法による測定値と従来方法によるフッ素面積強度値の関係を示すグラフ。
【符号の説明】
１０…磁気記録媒体、１１…基板層、１２…Ｍａｇ層、１３…ＤＬＣ層、１４…潤滑剤層、１５…Ｂａｃｋ層、２０…検査ステージ、３０…光電子量計測器、３１…センサーヘッド、３２…アンプ、３３…紫外線光、３４…光電子、４０…計測データ処理部、４１…データ処理部、４２…データ表示部、４３…データ保存部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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