(57)【要約】【課題】光学系最終面からの主光線の射出角が、光軸からの像高の増加に伴い一律に単調増加しない撮像光学系に対して、シェーディングの補正が可能な撮像装置を得る。【解決手段】撮像光学系に対応して、固体撮像装置のマイクロレンズのピッチを、中心から周辺の所定位置までの少なくとも一部は減少させ、所定位置を越える周辺部の少なくとも一部は所定位置でのピッチより増加させる、又は略同一とする。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の受光素子と、該複数の受光素子の各々に対応した複数の集光性のマイクロレンズを有する固体撮像装置において、
該複数のマイクロレンズの配列ピッチを、中心から周辺の所定位置までの少なくとも一部は減少させるよう形成し、該所定位置を越える周辺部の少なくとも一部は該所定位置での配列ピッチより増加させたことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記複数の受光素子の各々に対応したカラーフィルタを有し、
該カラーフィルタの配列ピッチを、中心から周辺の所定位置までの少なくとも一部は減少させるよう形成し、該所定位置を越える周辺部の少なくとも一部は該所定位置での配列ピッチより増加させたことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
複数の受光素子と、該複数の受光素子の各々に対応した複数の集光性のマイクロレンズを有する固体撮像装置において、
該複数のマイクロレンズの配列ピッチを、中心から周辺の所定位置までの少なくとも一部は減少させるよう形成し、該所定位置を越える周辺部の少なくとも一部は、該所定位置での配列ピッチと略同一としたことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項４】
前記複数の受光素子の各々に対応したカラーフィルタを有し、
該カラーフィルタの配列ピッチを、中心から周辺の所定位置までの少なくとも一部は減少させるよう形成し、該所定位置を越える周辺部の少なくとも一部は、該所定位置での配列ピッチと略同一としたことを特徴とする請求項３に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
撮像光学系と、請求項１〜４のいずれか１項に記載の固体撮像装置を有することを特徴とする光学機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＣＣＤ型イメージセンサ或いはＣＭＯＳ型イメージセンサ等の固体撮像素子に関し、特にマイクロレンズの使用により、シェーディング補正の可能な固体撮像素子及びそれを用いた光学機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、ビデオカメラ、電子スチルカメラ、カメラ内蔵携帯端末等の光学機器において、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅｄ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）型イメージセンサやＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ−ＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）型イメージセンサ等の固体撮像装置が広く使用されている。これらの固体撮像装置は光検出効率を高めるために、複数の受光素子の光入射面側に受光素子の各々に対応して集光性のマイクロレンズが配設されているのが一般的である。このマイクロレンズにより、固体撮像装置の小型化及び多画素化に伴う受光素子面積の縮小に起因する検出感度の低下を防止している。
【０００３】
一方、固体撮像装置の前方に配置される撮像光学系の射出瞳位置は、撮像光学系の小型化に伴い有限距離となり、この有限距離の射出瞳位置に対応して集光性のマイクロレンズの配列ピッチを、中心より遠ざかるに従って受光素子のピッチより順次小さく配設し、周辺部のシェーディングを補正するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、マイクロレンズの屈折力を異ならせ、中心部に比べて周辺部で強くしたものや、受光素子の配列周期を中心部に比べ周辺部で長くし、マイクロレンズは同一周期として周辺部のシェーディングを補正するものも知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特許第２６００２５０号公報
【０００６】
【特許文献２】
特許第３１７０８４７号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述の特許文献１及び２に記載の固体撮像装置は、撮像光学系の小型化に伴う射出瞳位置の有限距離化に対応し、その撮像光学系最終面からの光束の射出角度が像高の増加に伴って連続的に増加する場合には効果的である。しかしその固体撮像装置が対応する主光線の射出角度は、画像周辺部で最大１０度程度が通常であった。
【０００８】
一方で、撮像光学系は極度に薄型化することが可能となり、カメラ外観部の厚みにして１０数ｍｍ程度の中に内蔵できるものや、携帯端末の厚み方向に内蔵可能なものが実用化され、市販されるようになった。この薄型化された撮像光学系は、光学系最終面からの光束の射出角度は大きくなり、且つ従来の連続的に増加するものと比べその特性は異なるものとなっている。
【０００９】
図９は、従来の光学系と薄型化された撮像光学系の光学系最終面からの光束の射出角度を比較した概略図である。横軸を像高、縦軸を主光線の射出角度（光軸とのなす角）で表したもので、従来の光学系の場合を実線で示し、薄型化された光学系の場合を破線で示してある。
【００１０】
なお主光線とは、ある点に結像する光束の内の中心光束である。また像高とは像面上での光軸からの距離を言い、受光部の半対角長に対する割合で表示される。
【００１１】
同図の破線で示すように、薄型化された光学系は従来よりも、像高の増加に伴い射出角が非常に大きくなる。更に、光軸からある像高（同図においては８割像高付近）までは増加し、この像高を過ぎると減少するように変化する。また、光軸からある像高までは増加し、この像高を過ぎると一点鎖線で示すように、ほぼ一定値をとるようになるものもある。
【００１２】
このような薄型化された撮像光学系を、従来のマイクロレンズの配列ピッチを像高が高くなるに伴い周辺部で順次小さく形成した撮像装置と組み合わせると、以下の問題が発生する。
【００１３】
図１０は、図９の破線で示すような主光線の射出角に従来の撮像装置を組み合わせた場合の受光素子出力を示した図である。図１０（ａ）、（ｃ）は、マイクロレンズの配列ピッチの設定を示す図であり、図１０（ｂ）、（ｄ）はそれぞれの設定時の低照度で全白撮像時の受光素子出力を示したものである。
【００１４】
図１０（ａ）は、マイクロレンズの配列ピッチの設定を有効画素部の中心から像高Ｑの位置まで主光線の射出角に対応するように設定した場合の図である。この場合、受光素子出力は図１０（ｂ）に示すように、像高Ｑまでは一様な出力が得られるが、像高Ｑを過ぎると急激にシェーディングが生じ素子出力が急激に低下する。図１０（ｃ）は、マイクロレンズの配列ピッチを主光線の射出角との差の最大値を最少にするよう設定した場合の図である。この場合、受光素子出力は図１０（ｄ）に示すように、なだらかに出力は低下し、像高Ｐの位置周辺で中心の素子出力に略一致するよう増加し、像高Ｐを越えると再度出力は低下する。
【００１５】
即ち、マイクロレンズの配列ピッチを中心から周辺にゆくに伴い順次小さく形成した撮像装置では、主光線の射出角が光軸からある像高までは増加し、この像高を過ぎると減少したり、或いは略等しくなるような撮像光学系には適さないということである。
【００１６】
本発明は上記問題に鑑み、光学系最終面からの主光線の射出角が従来と異なる特性を有する撮像光学系を使用した場合にも、シェーディングの補正が可能な撮像装置を得るとともに、これを使用した光学機器を得ることを目的とするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的は、
１）  複数の受光素子と、該複数の受光素子の各々に対応した複数の集光性のマイクロレンズを有する固体撮像装置において、該複数のマイクロレンズの配列ピッチを、中心から周辺の所定位置までの少なくとも一部は減少させるよう形成し、該所定位置を越える周辺部の少なくとも一部は該所定位置での配列ピッチより増加させたことを特徴とする固体撮像装置、
とすることで達成され、最終面からの主光線の射出角が、光軸からある像高までは増加し、この像高を過ぎると減少するように変化する撮像光学系に対して、適切なシェーディングの補正が可能となる。
【００１８】
２）  複数の受光素子の各々に対応したカラーフィルタを有し、該カラーフィルタの配列ピッチを、中心から周辺の所定位置までの少なくとも一部は減少させるよう形成し、該所定位置を越える周辺部の少なくとも一部は該所定位置での配列ピッチより増加させたことを特徴とする１）の固体撮像装置、
とすることで、シェーディングの補正に加え、周辺部での色ズレを解消できる。
【００１９】
３）  複数の受光素子と、該複数の受光素子の各々に対応した複数の集光性のマイクロレンズを有する固体撮像装置において、該複数のマイクロレンズの配列ピッチを、中心から周辺の所定位置までの少なくとも一部は減少させるよう形成し、該所定位置を越える周辺部の少なくとも一部は、該所定位置での配列ピッチと略同一としたことを特徴とする固体撮像装置、
とすることでも達成され、最終面からの主光線の射出角が、光軸からある像高までは増加し、この像高を過ぎると変化せず、ほぼ同角度となる撮像光学系に対して、適切なシェーディングの補正が可能となる。
【００２０】
４）  複数の受光素子の各々に対応したカラーフィルタを有し、該カラーフィルタの配列ピッチを、中心から周辺の所定位置までの少なくとも一部は減少させるよう形成し、該所定位置を越える周辺部の少なくとも一部は、該所定位置での配列ピッチと略同一としたことを特徴とする３）の固体撮像装置、
とすることで、シェーディングの補正に加え、周辺部での色ズレを解消できる。
【００２１】
５）  撮像光学系と、１）〜４）のいずれかの固体撮像装置を有することを特徴とする光学機器、
とすることで、上記１）〜４）の固体撮像装置を用いた光学機器が得られる。
【００２２】
即ち、本発明者は、近年実用化されている薄型の撮像光学系が、光学系最終面からの主光線の射出角が従来の光学系と異なる特性を持つのに対し、画像周辺部でシェーディング及び色ズレの出ない撮像装置を見出し、本発明に至ったものである。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態により本発明を詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２４】
図１は、カラー固体撮像装置の構造を説明するための要部断面図である。図１において、半導体基板１１面上に複数の受光素子１２（１２ａ、１２ｂ〜）と各受光素子に発生蓄積した電荷を転送するための複数の転送部１３（１３ａ、１３ｂ〜）を設けている。さらに各受光素子１２の光入射側にゼラチン又はカゼイン等の赤色Ｒ、緑色Ｇ、青色Ｂに染色したカラーフィルタ１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂ・・・を形成した後、各々のカラーフィルタの光入射側に複数のマイクロレンズ１５（１５ａ、１５ｂ、〜）が設けられている。このマイクロレンズは、公知の透明な樹脂を材料としフォトリソグラフィ技術と樹脂の熱流動性を利用した技術の併用で形成されるが、イオン交換による分布屈折率レンズ等で形成したものでもよい。
【００２５】
なお図１は受光素子部のうち有効画素部の中心付近の断面を示したものである。また撮像光学系の光軸は、この有効画素部の中心と所定の誤差内に収まるよう設定される。このため以下の実施の形態においては、この有効画素部の中心と撮像光学系の光軸は略一致しているものとして説明する。
【００２６】
（第一の実施の形態）
まず第一の発明について、説明する。
【００２７】
図２は、主光線の射出角が例えば７割像高で最大となり、その後増加から減少に変化する撮像光学系と、これに適合するマイクロレンズ配列ピッチの設定概略図である。
【００２８】
図２（ａ）は、撮像光学系の最終面からの主光線の射出角を示しており、７割像高付近を境にして増加から減少に転ずるような光学系を示している。図２（ｂ）は、このような撮像光学系に適合するマイクロレンズの配列ピッチを示しており、光軸から７割像高まではそのピッチは減少し、７割像高を越えると７割像高位置でのピッチに対し増加するように、図２（ａ）に示した撮像光学系に対応し設定される。
【００２９】
本発明に適用される撮像装置は、周知のアスペクト比が４：３、３：２或いは１６：９の撮像装置であり、その受光素子の配列ピッチは水平垂直方向に等間隔でマトリクス状に配置されているものである。即ち、例えばアスペクト比４：３で１９２万画素であれば、１６００×１２００ピクセルの受光素子が水平垂直方向に等間隔にマトリクス状に配置されているものである。
【００３０】
図３は、図２（ｂ）のように配列ピッチが設定された撮像装置の要部概略図である。同図は、アスペクト比４：３の撮像装置を例にとり、水平垂直方向に等間隔でマトリクス状に配置された受光素子部（有効画素部）の内の第一象限の部分である。また同図は、中心（光軸ＯＡ）及び短辺方向Ｖ、長辺方向Ｈ、対角方向Ｄと１割〜１０割像高（一点鎖線で示す）との交点に最も近い受光素子（正方形で示す）とマイクロレンズ（円形で示す）を抜き出し、拡大し誇張して概念的に図示したものである。
【００３１】
図３に示すように、中心（光軸ＯＡ）では受光素子とマイクロレンズの芯は一致して形成される。中心（光軸ＯＡ）から像高７割の位置までは、受光素子の位置に対しマイクロレンズの中心位置は、像高の増加に伴い徐々に光軸に近づく方向にズレ量を拡大しつつ形成され、即ちマイクロレンズの配列ピッチは徐々に減少し、そのズレ量は７割像高で最大ｄｍａｘとなるよう形成される。
【００３２】
更に、７割像高から１０割像高では、像高の増加に伴い７割像高でのズレ量ｄｍａｘから徐々にそのズレ量を減少させ、即ちマイクロレンズの配列ピッチは徐々に増加するよう形成される。
【００３３】
このように、光学特性に合うようマイクロレンズの配列ピッチを形成することにより、撮像光学系最終面からの主光線の射出角が、光軸からある所定の像高までは増加し、所定の像高を過ぎると減少するように変化する撮像光学系に対し、適切なシェーディングの補正を可能とした固体撮像装置を得ることができる。
【００３４】
なおこの第一の発明では、光軸から離れるに従いマイクロレンズの配列ピッチが連続的に変化する例で説明したが、以下のようなものも本発明を逸脱するものではない。
【００３５】
図４は、最終面からの主光線の射出角が図２（ａ）のような撮像光学系に対応する、撮像装置のマイクロレンズの配列ピッチの他の例を示した図である。
【００３６】
図４（ａ）に示すように許容できる誤差の範囲内で、中心からその近傍の像高Ａまでは、受光素子とマイクロレンズの芯を一致させて形成し、周辺の像高Ａ〜Ｂの間は受光素子の位置に対しマイクロレンズの中心位置は、像高の増加に従い徐々に光軸に近づく方向にズレ量を拡大しつつ形成されてマイクロレンズと受光素子の中心のズレ量が０〜ｄｍａｘに変化し、像高Ｂ〜Ｃの間は前述の７割像高でのズレ量ｄｍａｘで形成され、像高Ｃ以降はｄｍａｘから徐々にそのズレ量を減少させるよう形成してもよい。
【００３７】
また図４（ｂ）に示すように許容できる誤差の範囲内で、階段状にマイクロレンズの配列ピッチを変化させるようにしてもよい。
【００３８】
なおこの第一の発明では、例として７割像高で主光線の射出角特性が変化する光学系、即ち周辺の所定位置が７割像高の位置となるもので説明したが、これに限るものでないのは言うまでもない。
【００３９】
（第二の実施の形態）
次に第二の発明について、説明する。
【００４０】
図５は、主光線の射出角が例えば７割像高まで増加し、その後は略同角度となる光学系と、これに適合するマイクロレンズ配列ピッチの設定概略図である。
【００４１】
図５（ａ）は、撮像光学系の最終面からの主光線の射出角を示しており、７割像高付近まで増加し、その後、略同角度になる光学系を示している。図５（ｂ）は、このような撮像光学系に適合するマイクロレンズの配列ピッチを示しており、光軸から７割像高まではそのピッチは減少し、７割像高を越えると７割像高位置でのピッチと略同一になるように、図５（ａ）に示した撮像光学系に対応し設定される。
【００４２】
本発明に適用される撮像装置は、周知のアスペクト比が４：３、３：２或いは１６：９の撮像装置であり、その受光素子の配列ピッチは水平垂直方向に等間隔でマトリクス状に配置されているものである。即ち、例えばアスペクト比４：３で１９２万画素であれば、１６００×１２００ピクセルの受光素子が水平垂直方向に等間隔にマトリクス状に配置されているものである。
【００４３】
図６は、図５（ｂ）のように配列ピッチが設定された撮像装置の要部概略図である。同図は、アスペクト比４：３の撮像装置を例にとり、水平垂直方向に等間隔でマトリクス状に配置された受光素子部（有効画素部）の内の第一象限の部分である。また同図は、中心（光軸ＯＡ）及び短辺方向Ｖ、長辺方向Ｈ、対角方向Ｄと１割〜１０割像高（一点鎖線で示す）との交点に最も近い受光素子（正方形で示す）とマイクロレンズ（円形で示す）を抜き出し、拡大し誇張して概念的に図示したものである。
【００４４】
図６に示すように、中心（光軸ＯＡ）では受光素子とマイクロレンズの芯は一致して形成される。中心（光軸ＯＡ）から像高７割の位置までは、受光素子の位置に対しマイクロレンズの中心位置は、像高の増加に伴い徐々に光軸に近づく方向にズレ量を拡大しつつ形成され、即ちマイクロレンズの配列ピッチは徐々に減少し、そのズレ量は７割像高で最大ｄｍａｘとなるよう形成される。
【００４５】
更に、７割像高から１０割像高では、７割像高でのズレ量ｄｍａｘで形成される。即ちマイクロレンズの配列ピッチは７割像高でのピッチと同じで形成される。
【００４６】
このようにすることで、最終面からの主光線の射出角が、光軸からある所定の像高までは増加し、この所定の像高を過ぎると略同角度となる撮像光学系に対して、適切なシェーディングの補正を可能とした固体撮像装置を得ることができる。
【００４７】
なおこの第二の発明では、光軸から所定の像高まで離れるに従いマイクロレンズの配列ピッチが連続的に変化する例で説明したが、以下のようなものも本発明を逸脱するものではない。
【００４８】
図７は、最終面からの主光線の射出角が図５（ａ）のような撮像光学系に対応する、撮像装置のマイクロレンズの配列ピッチの他の例を示した図である。
【００４９】
図７（ａ）に示すように許容できる誤差の範囲内で、光軸から像高Ｊまでは、受光素子とマイクロレンズの芯を一致させて形成し、像高Ｊ〜Ｋの間は受光素子の位置に対しマイクロレンズの中心位置は、像高の増加に伴い徐々に光軸に近づく方向にズレ量を拡大しつつ形成されてマイクロレンズと受光素子の中心のズレ量が０〜ｄｍａｘに変化し、像高Ｋ以降は７割像高でのズレ量ｄｍａｘで形成されるようにしてもよい。
【００５０】
また図７（ｂ）に示すように許容できる誤差の範囲内で、階段状にマイクロレンズのピッチを変化させるようにしてもよい。
【００５１】
なおこの第二の発明でも、例として７割像高で主光線の射出角特性が変化する光学系、即ち周辺の所定位置が７割像高の位置となるもので説明したが、これに限るものでないのは言うまでもない。
【００５２】
更に上述の第一及び第二の発明に加え、マイクロレンズの配列ピッチと同様に、受光素子の各々に対応して配置されているカラーフィルタの配列ピッチをマイクロレンズの配列ピッチの減少増加に合わせ、変化させることで、シェーディングの補正だけでなく、色ズレの問題の解消も可能となる。
【００５３】
図８は、周辺部のマイクロレンズ、カラーフィルタ、受光部の断面を示した図である。同図において左側が撮像光学系光軸のある方向であり、マイクロレンズ１５の光軸１５Ａ、カラーフィルタ１４の中心を１４Ａ、受光素子１２の中心を１２Ａで示してある。図示のように、受光素子の中心１２Ａとカラーフィルタの中心１４Ａとマイクロレンズの光軸１５Ａは、それぞれＭ、Ｎだけずれて形成される。この時、Ｍ≧Ｎで形成されることが望ましい。
【００５４】
またマイクロレンズ１５と受光素子１２の距離をＥ、カラーフィルタ１４と受光素子１２の距離をＦとすると、カラーフィルタ１４のの中心１２Ａのズレ量Ｎは、
Ｎ＝Ｆ・Ｍ／Ｅ
で形成されることが望ましい。
【００５５】
Ｍ＝Ｎの時は、カラーフィルタがマイクロレンズと接している場合即ちＦ＝Ｅの場合であり、マイクロレンズと略同一の配列ピッチで形成してよい。またこのカラーフィルタの配列ピッチについても、図４及び図７で説明したのと同様の配列ピッチの変化のさせ方でもよいのは勿論である。
【００５６】
図１１は、本発明の固体撮像装置を搭載した光学機器の一例であるカメラの外観図である。図１１（ａ）はカメラ前面図、図１１（ｂ）はカメラ背面図である。
【００５７】
同図の前面図において、２１は撮影光学系でありこの後方に本発明の固体撮像装置が配置される。更にメイン電源釦２２、レリーズ釦２３、ファインダ対物レンズ２４が適宜配置されている。背面にはファインダ接眼レンズ２５および表示ランプ２６、ＬＣＤ等の画像表示モニタ２７、モード切替スイッチ２８、その他各種の操作ボタン２９が配置されている。
【００５８】
このように本発明の薄型撮影光学系の特性に対応した固体撮像装置を搭載することにより、適切なシェーディングの補正および色ズレの解消された高品質な画像を薄型の光学系でも得ることができ、薄型カメラの画像品質を向上させることが可能となる。なお、カメラのその他の構成要素は、周知のものであるため、説明を省略する。
【００５９】
また、光学機器の例としてカメラで説明したが、本発明はカメラより更に薄型である携帯端末にも適用可能なのは、言うまでもない。
【００６０】
【発明の効果】
光学系最終面からの主光線の射出角に応じてマイクロレンズの配列ピッチを周辺部で減少から増加又は略一定に保つようにすることで、近年増加しつつある極薄型の撮像光学系に対して、画面全体にわたって均一な受光光量が得られ、シェーディングのない良好な画像の得られる固体撮像装置及びこれを用いた光学機器を得ることができるようになった。
【００６１】
さらにマイクロレンズの配列ピッチの増減に合わせ、カラーフィルタの配列ピッチも増減させることで上記の効果に加え周辺部での色ズレのない画像の得られる固体撮像装置及びこれを用いた光学機器を得ることができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】カラー固体撮像装置の構造を説明するための要部断面図である。
【図２】主光線の射出角が例えば７割像高で最大となり、その後増加から減少に変化する光学系と、これに適合するマイクロレンズ配列ピッチの設定概略図である。
【図３】図２（ｂ）のように配列ピッチが設定された撮像装置の要部概略図である。
【図４】最終面からの主光線の射出角が図２（ａ）のような撮像光学系に対応する、撮像装置のマイクロレンズの配列ピッチの他の例を示した図である。
【図５】主光線の射出角が例えば７割像高まで増加し、その後は略同角度となる光学系と、これに適合するマイクロレンズ配列ピッチの設定概略図である。
【図６】図５（ｂ）のように配列ピッチが設定された撮像装置の要部概略図である。
【図７】最終面からの主光線の射出角が図５（ａ）のような撮像光学系に対応する、撮像装置のマイクロレンズの配列ピッチの他の例を示した図である。
【図８】周辺部のマイクロレンズ、カラーフィルタ、受光部の断面を示した図である。
【図９】従来の光学系と薄型化された撮像光学系の光学系最終面からの光束の射出角度を比較した概略図である。
【図１０】図９の破線で示すような主光線の射出角に従来の撮像装置を組み合わせた場合の受光素子出力を示した図である。
【図１１】本発明の固体撮像装置を搭載した光学機器の一例であるカメラの外観図である。
【符号の説明】
１１  半導体基板
１２  受光素子
１３  転送部
１４  カラーフィルタ
１５  マイクロレンズ
２１  撮影光学系
２２  メイン電源釦
２３  レリーズ釦
２４  ファインダ対物レンズ
２５  ファインダ接眼レンズ
２６  表示ランプ
２７  画像表示モニタ
２８  モード切り替えスイッチ
【図１】
2004228645.tif 000003
【図２】
2004228645.tif 000004
【図３】
2004228645.tif 000005
【図４】
2004228645.tif 000006
【図５】
2004228645.tif 000007
【図６】
2004228645.tif 000008
【図７】
2004228645.tif 000009
【図８】
2004228645.tif 000010
【図９】
2004228645.tif 000011
【図１０】
2004228645.tif 000012
【図１１】
2004228645.tif 000013