(57)【要約】【課題】ベルト案内面に摩耗を生じにくく、ベルト案内面に形成した皮膜の損傷を生じにくい樹脂製プーリを提供すること。【解決手段】転がり軸受１２と樹脂部２４とからなる樹脂製プーリ１０であって、樹脂部２４の外周に形成されたベルト案内面３０に、カーボンミキシング傾斜層３８を形成し、カーボンミキシング傾斜層３８の上に膜厚Ｔ１が０．５〜１０μｍである硬質炭素皮膜３６を形成して樹脂製プーリ１０を構成する。【選択図】　図３
2004125102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転がり軸受と、この転がり軸受の外周に設けられた樹脂部とからなる樹脂製プーリであって、前記樹脂部の外周に形成されて駆動ベルトと接触し、且つこの駆動ベルトを案内するベルト案内面上に、硬質炭素皮膜を形成したことを特徴とする樹脂製プーリ。
【請求項２】
請求項１に記載の樹脂製プーリであって、前記硬質炭素皮膜の膜厚を０．５〜１０μｍとしたことを特徴とする樹脂製プーリ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の樹脂製プーリであって、前記硬質炭素皮膜の下にカーボンミキシング傾斜層を形成してあり、このカーボンミキシング傾斜層を介して前記硬質炭素皮膜を前記ベルト案内面に密着させていることを特徴とする樹脂製プーリ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内径側に転がり軸受を一体に備える樹脂製プーリに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、自動車に搭載される補機類を駆動するベルトを案内するために樹脂製プーリが一般に使用されている。この樹脂製プーリは、転がり軸受と樹脂部とからなり、樹脂部は転がり軸受の外輪の外周に一体成形されている。この樹脂部は、内周側にある内径円筒部分、外周側にある外径円筒部分、内径円筒部分と外径円筒部分との間をつなぐ円板部分、円板部分上に形成された複数のリブとを有している。そして、外径円筒部分の外周面がベルト案内面となっており、このベルト案内面に補機類を駆動するゴム製のベルトが架けられて案内されている。
【０００３】
この樹脂製プーリを使用する自動車が走行している最中に、砂塵などの異物がベルトとベルト案内面との間に挟まることがあり、樹脂製プーリに摩耗等を生じて損傷することがあった。このような損傷は自動車が悪路を連続走行する場合に特に発生しやすい。この問題を対処するために、ＳｉＯ２及びＡｌ２Ｏ３を主体とするセラミックス皮膜をベルト案内面に溶射して形成することがなされている（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００４】
また、ガラス繊維やマイカ粉等の充填材を添加した合成樹脂組成物により樹脂製プーリの樹脂部を形成し、樹脂部の耐摩耗性を向上させることも行われている（例えば、特許文献２を参照。）。
さらに、樹脂製プーリには、外径円筒部分の成形精度、ベルトの張力に耐え得る強度、連続負荷使用時に発生する熱に対する耐熱性が求められ、耐塩化カルシウム性等も要求されている。そこで、かかる成形精度、強度、耐熱性及び耐塩化カルシウム性の向上を目的として、樹脂製プーリの樹脂部を形成する合成樹脂組成物を、ガラス繊維等の充填材を１５〜４０質量％程度充填したポリアミド６６、ポリアミド６１０、ポリアミド６１２、あるいはポニフェニレンサルファイドとミネラルの複合材料とすることが提案されている（例えば、特許文献３を参照。）。また、ガラス繊維の充填材を４３質量％充填したポリアミド６、ポリアミド６６、ポリアミド１１、ポリアミド１２等のポリアミド樹脂からなる合成樹脂組成物も提案されている（例えば、特許文献４を参照。）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平７―１２２０６号公報（第２頁）
【特許文献２】
特開平８―１４５１４８号公報（第２〜３頁）
【特許文献３】
特開平７―６３２４９号公報（第２頁の段落番号［０００４］）
【特許文献４】
特開平８―４８８３号公報（第７頁の段落番号［００４３］）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ベルト案内面にセラミックス皮膜を溶射して形成すると、以下の不具合を生じるものと想定される。すなわち、セラミックス皮膜は耐摩耗性に優れはするものの、セラミックス皮膜の厚さが５０〜１００μｍと比較的厚い。このため、冷熱サイクルによってセラミックス皮膜中の内部応力が大きくなりやすい。したがって、樹脂製プーリが稼動するとセラミックス皮膜に亀裂や剥離を発生しやすいと考えられる。
【０００７】
また、ガラス繊維等の充填材を添加した合成樹脂組成物によって樹脂製プーリの樹脂部を形成した場合、以下に述べる過程によりベルト案内面の摩耗が進行し、最終的に樹脂製プーリからベルトが外れてしまう不具合が想定される。すなわち、ベルトとベルト案内面の間に挟まった砂塵等の異物によって、ベルト案内面の充填材以外の部分において摩耗が進行し、充填材が比較的多く存在する部分がベルト案内面上の凸部として残り、ベルト案内面が荒れてしまう。その後、残った凸部も摩耗していき、結果的にベルト案内面の外径が小さくなり、ベルトが緩んでしまい、樹脂製プーリを交換しなくてはならなくなる。
【０００８】
本発明は、上記した従来の技術の問題点を除くためになされたものであり、その目的とするところは、ベルトとベルト案内面との間に異物が挟まってもベルト案内面に摩耗を生じにくく、ベルト案内面に形成した皮膜の損傷を生じにくい樹脂製プーリを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、その課題を解決するために以下のような構成をとる。請求項１の発明は、転がり軸受と、この転がり軸受の外周に設けられた樹脂部とからなる樹脂製プーリであって、前記樹脂部の外周に形成されて駆動ベルトと接触し、且つこの駆動ベルトを案内するベルト案内面上に、硬質炭素皮膜を形成した樹脂製プーリである。
【００１０】
請求項１の発明によると、ベルト案内面に形成した硬質炭素皮膜は硬度が非常に高く、耐摩耗性に優れるので、ベルト案内面の耐摩耗性は非常に大きい。
また、硬質炭素皮膜としては、たとえばＨｖ１０００〜５０００の硬度を有するダイヤモンドライクカーボンを挙げることができる。そして、硬質炭素皮膜を形成する方法としてはプラズマＣＶＤ法、イオンビーム蒸着法、プラズマイオン注入法等の方法を挙げることができる。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１に記載の樹脂製プーリであって、前記硬質炭素皮膜の膜厚を０．５〜１０μｍとした樹脂製プーリである。
硬質炭素皮膜の膜厚が０．５μｍよりも薄くなると、すべてのベルト案内面を硬質炭素皮膜によって覆うことが困難となり、ベルト案内面上で部分的に樹脂部が露出し、ベルト案内面の耐摩耗性が低下し、ベルト案内面で充分な耐摩耗性を発揮させることができない。また、膜厚が１０μｍよりも厚くなると、硬質炭素皮膜の中に大きな内部応力がたまりやすくなり、この内部応力によって硬質炭素皮膜に亀裂や剥離等を生じて自己破壊を起こしやすくなり、耐摩耗性を長期間に亙って発揮することが困難となる。したがって、硬質炭素皮膜の膜厚は０．５〜１０μｍとすることが望ましい。
【００１２】
また、すべてのベルト案内面を硬質炭素皮膜によって確実に覆い、硬質炭素皮膜の自己破壊を一層確実に防止し、硬質炭素皮膜による耐摩耗性を安定して長期間に亙り発揮させる観点からは、硬質炭素皮膜の膜厚を１〜５μｍとすることがより望ましい。そして、硬質炭素皮膜の形成時間や形成条件をコントロール等することを併せて考慮すると、硬質炭素皮膜の膜厚を１〜３μｍとすることがより一層望ましい。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の樹脂製プーリであって、前記硬質炭素皮膜の下にカーボンミキシング傾斜層を形成してあり、このカーボンミキシング傾斜層を介して前記硬質炭素皮膜を前記ベルト案内面に密着させている樹脂製プーリである。
ベルト案内面の基底部をなす樹脂部の合成樹脂組成物と、ベルト案内面の表面に形成される硬質炭素皮膜との間にカーボンミキシング傾斜層が形成され、このカーボンミキシング傾斜層が合成樹脂組成物と硬質炭素皮膜との密着性を高める。したがって、硬質炭素皮膜の剥離等が防止され、硬質炭素皮膜は長期間に亙って安定してベルト案内面に存在する。
【００１４】
なお、カーボンミキシング傾斜層を形成する方法として、プラズマイオン注入法を挙げることができる。プラズマイオン注入法を用いて硬質炭素皮膜を形成すると、カーボンミキシング傾斜層がベルト案内面の基底部をなす樹脂部の合成樹脂組成物とベルト案内面の表面の硬質炭素皮膜との間に形成される。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
まず、図１ないし図３を参照して本実施の形態の構成を説明する。
図１及び図２に示すように、樹脂製プーリ１０は、転がり軸受１２と樹脂部２４とからなる。転がり軸受１２は、外輪１４、内輪１８、転動体２０、保持器２１及び接触ゴムシール２２とからなる深溝玉軸受である。転動体２０は外輪１４と内輪１８との間の空間に転動自在に保持器２１によって保持されており、外輪１４の外周面上には周方向に連続する凹溝１６が環状に形成されている。
【００１６】
外輪１４、内輪１８との間の前記空間は接触ゴムシール２２によって外部から独立した空間となっており、この空間内にはグリースが充填されている。接触ゴムシール２２を形成するゴム材として、ニトリルゴム、水素添加ニトリルゴム、アクリルゴム等を原料ゴムとし、各種充填材を添加したものを使用することが可能である。また、前記空間内に充填されるグリースとしては、ポリαオレフィン油、アルキルジフェニルエーテル油等を基油とし、ジウレア等を増ちょう剤とし、酸化防止剤や摩耗防止剤等を添加剤として加えたものを使用することが可能である。
【００１７】
また、外輪１４の外周上に、樹脂部２４が後述の合成樹脂組成物から射出成形により一体形成されている。転がり軸受１２の単体を図示しない金型のキャビティ内に配置し、このキャビティのゲートから溶融した合成樹脂組成物を流し入れて、樹脂部２４は形成される。
樹脂部２４は内径円筒部分２６、外径円筒部分２８、円板部分３２及びリブ３４とからなる。内径円筒部分２６は樹脂部２４の内径側に形成されており、内径円筒部分２６の内周側には外輪１４の凹溝１６と対応して周方向に連続する突起が形成されており、この突起が外輪１４の凹溝１６に係合して樹脂部２４は外輪１４の外周上に固着されている。また、外径円筒部分２８は樹脂部２４の外径側に形成されており、円板部分３２が内径円筒部分２６の外周側と外径円筒部分２８の内周側とをつないでいる。さらに、円板部分３２には、内径円筒部分２６の外周側と外径円筒部分２８の内周側をつないで複数のリブ３４が形成されている。
【００１８】
樹脂部２４を形成する合成樹脂組成物として、ガラス繊維等の強化繊維を充填材として１５〜４０質量％添加したポリアミド６６やポリアミド４６等を用いることができる。また、樹脂部２４の成形時に生じる成形収縮の異方性を制御するとともに、機械的強度を保持するために、充填材としてガラス繊維等の繊維系充填材とシリカ等の粒子状充填材とを併用することも可能である。さらに、樹脂部２４に耐塩化カルシウム性を付与するために、ポリアミド６６やポリアミド４６のポリアミドと低吸水ポリアミドとをポリマーアロイとし、このポリマーアロイに充填材を添加した合成樹脂組成物を用いることが可能である。低吸水ポリアミドとして、ポリアミド６１２、ポリアミド６１０、ポリアミド１２、ポリアミド１１等が挙げられる。また、直鎖状あるいは分岐状ポリフェニレンサルファイド等に充填材を添加した合成樹脂組成物を用いることも可能である。
【００１９】
また、外径円筒部分２８の外周面を軸方向から見るとほぼ真円をなし、この外周面がベルト案内面３０をなす。ベルト案内面３０は凹凸のない平坦な面が周方向に連続したフラット形状となっている。図３に示すように、ベルト案内面３０にはダイヤモンドライクカーボンからなる硬質炭素皮膜３６がプラズマイオン注入法によって形成されている。硬質炭素皮膜３６の膜厚Ｔ１は１〜３μｍであり、硬質炭素皮膜３６とベルト案内面３０をなす合成樹脂組成物との間には、後述するカーボンミキシング傾斜層３８が存在する。このカーボンミキシング傾斜層３８が合成樹脂組成物と硬質炭素皮膜との密着性を高めており、硬質炭素皮膜３６はベルト案内面３０の表面に強固に一体化して存在している。
【００２０】
次に、この硬質炭素皮膜３６をプラズマイオン注入法によってベルト案内面３０に形成するプロセスについて説明する。
硬質炭素皮膜３６を形成するプロセスは、クリーニングステージ、注入ステージ及び成膜ステージとからなる。最初のクリーニングステージでは、図示しないプラズマイオン注入装置の真空容器内に、未だベルト案内面３０に硬質炭素皮膜３６を形成していない樹脂製プーリ１０をセットし、アルゴンとメタンの混合ガスプラズマ内において−５ｋＶから−３５ｋＶのパルス電圧を樹脂製プーリ１０に印加し、ベルト案内面３０をスパッダリングによりクリーニングする。ベルト案内面３０のクリーニングを終えたら、注入ステージに移る。この注入ステージで、−１５ｋＶから−３５ｋＶのパルス電圧を樹脂製プーリ１０に印加し、ベルト案内面３０にメタンガスプラズマによるイオン注入を行う。このイオン注入によって０．１μｍ程度の層厚Ｔ２を有するカーボンミキシング傾斜層３８をベルト案内面３０に形成する。そして、−１５ｋＶから−３５ｋＶのパルス電圧を樹脂製プーリ１０に再び印加し、既に注入したカーボンの単原子とアセチレンガス等の直鎖状炭化水素とのバインディングを行う。その後、成膜ステージにおいて、−２ｋＶから−５ｋＶのパルス電圧を樹脂製プーリ１０に印加するとともに、プラズマガス圧を０．５〜２Ｐａとし、パルスの繰り返し数を毎秒２０００〜１００００パルスとして、ベルト案内面３０にイオン注入を行い、カーボンミキシング傾斜層３８の上に硬質炭素皮膜３６を形成する。そして、必要に応じて、窒素やカーボン等のイオン注入、アルゴンによる硬質炭素皮膜３６の表面トリートメントを施す。
【００２１】
本実施の形態に係る樹脂製プーリ１０は、上記のように形成されて構成されており、次にその作用について説明する。
樹脂製プーリ１０のベルト案内面３０には、図示しない平ベルトが架けられて案内されている。この平ベルトとベルト案内面３０との間に砂塵等の異物が挟まっても、この異物がベルト案内面３０を覆って形成された硬質炭素皮膜３６と接触するだけであり、ベルト案内面３０を形成する合成樹脂組成物と直接接触することは防止されている。硬質炭素皮膜３６をなすダイヤモンドライクカーボンはＨｖ１０００〜５０００の非常に高い硬度を有するので、前記異物によって硬質炭素皮膜３６が摩耗することは殆どなく、ベルト案内面３０を形成する合成樹脂組成物に損傷を生じることは防止されている。このため、樹脂製プーリ１０の外径が変化しにくくなり、樹脂製プーリ１０の外径が摩耗により縮小することは防止され、前記平ベルトがベルト案内面３０から外れることも防止される。
【００２２】
また、硬質炭素皮膜３６の膜厚Ｔ１を１〜３μｍとしているので、冷熱サイクルによって硬質炭素皮膜３６中に大きな内部応力が生じることは防止されており、硬質炭素皮膜３６に亀裂や剥離が生じることも防止されている。したがって、硬質炭素皮膜３６は長期間に亙ってベルト案内面３０を覆って存在し続けることが可能となり、ベルト案内面３０の耐摩耗性が維持される。
【００２３】
さらに、ベルト案内面３０をなす合成樹脂組成物と硬質炭素皮膜３６との間にはカーボンミキシング傾斜層３８が形成されており、この合成樹脂組成物と硬質炭素皮膜３６とは互いにカーボンミキシング傾斜層３８を介して密着しているので、硬質炭素皮膜３６がベルト案内面３０から剥離等することは防止されている。
【００２４】
また、樹脂部２４を形成する合成樹脂組成物に、繊維系充填材と粒子状充填材を添加している場合は、樹脂部２４の機械的強度が高くなる。したがって、ベルト案内面３０に架けられるベルトの張力に対して、樹脂部２４が変形したりすることが防止される。さらに、樹脂部２４を射出成形する時に生じる成形収縮の異方性を制御することができ、ベルト案内面３０の真円度を高めることができる。ベルト案内面３０の真円度を高めることにより、ベルト案内面３０に案内される平ベルトの振れが防止され、騒音も低減される。
【００２５】
また、樹脂部２４を形成する合成樹脂組成物に、ポリアミド６６やポリアミド４６のポリアミドと低吸水ポリアミドとからなるポリマーアロイを用いた場合は、樹脂性プーリ１０は耐塩化カルシウム性に優れる。
また、転がり軸受１２中に充填されるグリースとして、ポリαオレフィン油、アルキルジフェニルエーテル油等を基油とし、ジウレア等を増ちょう剤とし、酸化防止剤や摩耗防止剤等を添加剤として加えたものを使用すると、自動車の補機類について樹脂製プーリ１０を使用する条件下で、転がり軸受１２に焼きつき等を生じることが防止される。
【００２６】
なお、本実施の形態において硬質炭素皮膜３６をベルト案内面３０に形成することとしたが、ベルト案内面３０とともに、ベルト案内面３０以外の樹脂部２４の表面にも硬質炭素皮膜３６を形成することが可能であることは勿論である。
また、本実施の形態において、ベルト案内面３０は平坦なフラット形状であるとしたが、図４の変形例に示すように、Ｖの字状の断面を有する溝４０が周方向に連続するＶリブ形状とすることによりベルト案内面３０を形成し、Ｖベルトを架けられるようにすることもできる。
【００２７】
さらに、本実施の形態において、転がり軸受１２を深溝玉軸受としたが、深溝玉軸受に限定されるものでないことは勿論であり、アンギュラ玉軸受等とすることが可能である。また、転がり軸受１２の転動体２０が玉に限定されるものではなく、ころによって転動体２０を構成することが可能であることは勿論である。
次に、本実施の形態に係る樹脂製プーリの耐摩耗性能試験結果を示す。
【００２８】
本耐摩耗性試験で使用した本実施の形態に係る樹脂製プーリ（以下、「本発明例の樹脂製プーリ」という）は、前述の本実施の形態において説明した樹脂製プーリ１０と同様の構成を有する。本発明例の樹脂製プーリの樹脂部を形成する合成樹脂組成物の組成は以下のものとした。すなわち、ガラス繊維を３３質量％添加したポリアミド６６と、やはりガラス繊維を３３質量％添加したポリアミド６１２とを質量比４：１の割合で混合して合成樹脂組成物とした。なお、ガラス繊維を３３質量％添加したポリアミド６６にはデュポンジャパン株式会社製のザイテル７０Ｇ−３３Ｌを使用し、ガラス繊維を３３質量％添加したポリアミド６１２にはデュポンジャパン株式会社製のザイテル７７Ｇ−３３Ｌを使用した。
【００２９】
そして、この合成樹脂組成物を２８０〜３００℃で溶融し、７５〜８５℃とした金型のキャビティ内に流し入れ、９０〜１２０ＭＰａの射出圧力で樹脂部を転がり軸受の周りに一体成形し、ベルト案内面には未だ硬質炭素皮膜を形成していない樹脂製プーリを形成した。
そして、この樹脂製プーリの転がり軸受部分にマスキングを施した後、プラズマイオン注入装置によってベルト案内面に３μｍの膜厚Ｔ１を有する硬質炭素皮膜を形成する処理を行った。なお、プラズマイオン注入装置には、株式会社栗田製作所製の３Ｄプラズマパック表面処理装置を使用した。まず、窒素を用いたスパッダリングによりベルト案内面のクリーニングを行い、クリーニング後にカーボンイオンの注入を行って０．１μｍの層厚Ｔ２を有するカーボンミキシング傾斜層をベルト案内面に形成した。その後、カーボンミキシング傾斜層の上に硬質炭素皮膜を形成させて、本発明例の樹脂製プーリを得た。
【００３０】
一方、本発明例の樹脂製プーリと耐摩耗性を比較するために、従来ある樹脂製プーリ（以下、「比較例の樹脂製プーリ」という）についても耐久試験を行った。比較例の樹脂製プーリの構成は、ベルト案内面に硬質炭素皮膜を形成しておらず、合成樹脂組成物が露出している点を除いて、本発明例の樹脂製プーリと同様である。
【００３１】
また、本耐摩耗性試験で使用した耐摩耗性試験機の構成を図５に示す。耐摩耗性試験機４２は駆動モータにつながった駆動輪４４と従動輪４６とを備え、駆動輪４４と従動輪４６とはベルト４８が架け渡されて連結されている。そして、駆動輪４４と従動輪４６との間で、ベルト４８に試験対象の樹脂製プーリ１１のベルト案内面３０を接触させて取り付け可能になっている。
【００３２】
なお、この樹脂製プーリ１１の転がり軸受には下方向きに１００ｋｇｆの荷重がかけられており、この荷重によって樹脂製プーリ１１のベルト案内面３１はベルト４８に押し付けられている。そして、駆動輪４４が回転するとベルト４８が回転し、従動輪４６も回転し、ベルト４８に押し付けられたベルト案内面３０も回転する。
【００３３】
さらに、耐摩耗性試験機４２は恒温槽５０中に収納されており、恒温槽５０中の雰囲気は１２０℃に維持されている。また、この雰囲気中には、関東ローム粉ＪＩＳ＃８が空間容積で０．０５％の条件を満足するようにファンによって漂わせてある。この恒温槽５０中の雰囲気は、悪路を走行中の自動車に補機類に使用された樹脂製プーリが置かれる雰囲気を再現したものである。
【００３４】
そして、本発明例の樹脂製プーリを耐摩耗性試験機４２に取り付け、本発明例の樹脂製プーリを８０００ｍｉｎ−１で回転させた。回転時間が１０時間経過するごとに、耐摩耗性試験機４２を停止し、本発明例の樹脂製プーリを室温まで冷却し、本発明例の樹脂製プーリのベルト案内面の半径方向の寸法の累計摩耗量を測定した。そして、累計回転時間が１００時間になるまで耐摩耗性試験を続けて行った。
【００３５】
また、比較例の樹脂製プーリについても、本発明例の樹脂製プーリと同様の条件で耐摩耗性試験機４２によって耐摩耗性試験を行った。
本耐摩耗性試験の試験結果を図６に示す。累計回転時間が１００時間となった時点で、比較例の樹脂製プーリのベルト案内面の半径方向の累計摩耗量は約３５０μｍであった。これに対して、本発明例の樹脂製プーリのベルト案内面の半径方向の累計摩耗量は約１．４μｍであり、ほとんど摩耗の進行が認められなかった。
【００３６】
したがって、本発明例の樹脂製プーリは耐摩耗性に優れ、悪路を走行する自動車に使用されるような場合に優れた耐久性を発揮できることが確認された。
【００３７】
【発明の効果】
本発明は、上記のような樹脂製プーリであるので、ベルトとベルト案内面との間に異物が挟まってもベルト案内面に摩耗を生じにくく、ベルト案内面に形成した皮膜の損傷を生じにくい樹脂製プーリを提供できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る樹脂製プーリの正面図である。
【図２】図１の樹脂製プーリのＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るベルト案内面の構成図である。
【図４】本実施の形態の変形例に係る樹脂製プーリの断面図である。
【図５】耐摩耗性試験機の構成図である。
【図６】耐摩耗性試験の試験結果の説明図である。
【符号の説明】
１０、１１　樹脂製プーリ
１２　転がり軸受
１４　外輪
１６　凹溝
１８　内輪
２０　転動体
２１　保持器
２２　接触ゴムシール
２４　樹脂部
２６　内径円筒部分
２８　外径円筒部分
３０、３１　ベルト案内面
３２　円板部分
３４　リブ
３６　硬質炭素皮膜
３８　カーボンミキシング傾斜層
Ｔ１　硬質炭素皮膜の膜厚
Ｔ２　カーボンミキシング傾斜層の層厚
４０　溝
４２　耐摩耗性試験機
４４　駆動輪
４６　従動輪
４８　ベルト
５０　恒温槽
【図１】
2004125102.tif 000003
【図２】
2004125102.tif 000004
【図３】
2004125102.tif 000005
【図４】
2004125102.tif 000006
【図５】
2004125102.tif 000007
【図６】
2004125102.tif 000008