(57)【要約】【課題】静粛性が向上し、腐食や信頼性等の問題も解消されたプラズマ反応器を提供すること。【解決手段】プラズマ反応器１００の回転部材１０を、空気軸受によって支持部材２０に軸受支持した。従って、回転部材１０が回転しても、回転による騒音が非常に小さく、従って、高回転としても騒音を抑制することができ、静粛性を向上させることができる。さらに、軸受機構としてボールベアリングを使用していないため、腐食の問題も、信頼性の問題も発生しない。よって静粛性が向上し、腐食や信頼性等の問題が解消されたプラズマ反応器とすることができる。【選択図】      図１
2004296109.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の軸を軸心として回転する回転部材と、該回転部材を回転可能に支持する支持部材と、前記回転部材が回転しているときの該回転部材の側周面に取り付けられた第１の電極と、該第１の電極に対向して設けられた第２の電極とを具備し、前記回転部材を回転させた状態で前記第１の電極と前記第２の電極との間に電圧を印加することによって前記第１の電極と前記第２の電極との間の処理空間にプラズマを生じさせるとともに前記処理空間に導入された被処理ガスを発生したプラズマによって処理するプラズマ反応器であって、
前記回転部材は、非接触なラジアル軸受手段によって前記支持部材に軸受支持されてなることを特徴とするプラズマ反応器。
【請求項２】
請求項１において、
前記非接触なラジアル軸受手段は、空気軸受であることを特徴とするプラズマ反応器。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記回転部材と前記支持部材とのスラスト方向の対面空間に磁力による反発力が発生するように前記回転部材及び前記支持部材に磁石が配設されてなることを特徴とするプラズマ反応器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この出願の発明は、プラズマの存在下で反応を生じさせるプラズマ反応器に関するものであり、特に、プラズマ反応器の静粛性の向上に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマ反応器は、２つの電極間でプラズマを発生させ、プラズマ発生領域に被処理ガスを流すことによって被処理ガスを処理するものであり、Ｎｏｘ等の有害ガスを処理して無害なガスにするなどの用途に用いられる。
【０００３】
このようなプラズマ反応器において、一方の固定電極に対して他方の電極を回転させた状態で両電極間にプラズマを発生させるプラズマ反応器が提案されている（例えば特許文献１、２参照）。このようなプラズマ反応器は、一方の電極を回転させることにより、両電極間のリング状の空間中に略均一にプラズマを発生させることができ、被処理ガスがプラズマ発生領域に遭遇する確率が増加することで、処理効率が向上することが期待されるものである。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−１５６１８５号公報
【０００５】
【特許文献２】
特開２００１−２１２４２６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
一方の電極を回転させる場合、その回転軸はラジアル軸受（ジャーナル軸受）部材により軸受支持される必要があり、一般的にラジラル軸受部材としては、転がり軸受であるボールベアリングが利用される。しかしながら、ボールベアリングをラジアル軸受部材にすると、回転による音の発生が騒音の原因となる。特に、プラズマの発生をより均一にするためには回転速度を上げる必要があるが、回転速度を上げれば上げる程騒音も大きくなってしまうので、騒音を一定レベルに抑えるために回転速度を落さざるを得ず、反応効率を十分向上することができないという不具合がある。
【０００７】
また、ボールベアリングとして通常の金属製のボールベアリングを採用した場合、ボールベアリングの腐食の問題が発生する。即ち、ラジアル軸受部材は被処理ガスの通過領域に配設されるため、被処理ガスの影響によりボールベアリングが腐食され、電極の回転に支障を来たしてしまうということである。
【０００８】
腐食の問題を解消するために、腐食の起こらないセラミックス製のボールベアリングも提案されている（特許文献１参照）が、セラミックス製のボールベアリングは脆く、割れやすい。従って、上記問題に加え、信頼性に欠けるという問題がある。
【０００９】
ゆえに、本発明は、上記実情に鑑みて成されたものであり、静粛性が向上し、腐食や信頼性等の問題も解消されたプラズマ反応器を提供することを、技術的課題とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記技術的課題を解決するためになされた請求項１の発明は、
所定の軸を軸心として回転する回転部材と、該回転部材を回転可能に支持する支持部材と、前記回転部材が回転しているときの該回転部材の側周面に取り付けられた第１の電極と、該第１の電極に対向して設けられた第２の電極とを具備し、前記回転部材を回転させた状態で前記第１の電極と前記第２の電極との間に電圧を印加することによって前記第１の電極と前記第２の電極との間の処理空間にプラズマを生じさせるとともに前記処理空間に導入された被処理ガスを発生したプラズマによって処理するプラズマ反応器であって、
前記回転部材は、非接触なラジアル軸受手段によって前記支持部材に軸受支持されてなることを特徴とするプラズマ反応器とすることである。
【００１１】
上記請求項１の発明によれば、第１の電極がとりつけられた回転部材は、非接触なラジアル軸受手段によって支持部材に軸受支持されているため、回転部材が回転しても、回転による騒音が非常に小さい。従って、高回転としても騒音を抑制することができ、静粛性を向上させることができる。さらに、ボールベアリングを使用していないため、腐食の問題も、信頼性の問題も発生しない。よって静粛性が向上し、腐食や信頼性等の問題が解消されたプラズマ反応器を提供することができる。
【００１２】
上記「回転部材」は、所定の軸を軸心として回転するものであればよく、公転であると自転であるとを問わない。ただし、一般的には自転するもの、特に円柱形状でその中心軸を軸心として回転するものが、装置の設計上好ましい。また、筒形状、特に円筒形状で、その中心軸を軸心として回転するものも、回転部材の好適な例として挙げることができる。
【００１３】
上記「支持部材」は、回転部材を回転可能に支持するものであれば良く、回転部材の回転軸方向の両端を支持するものでも、一方端を支持するものでも良い。ただし、回転部材には該回転部材を回転させるための回転駆動手段（モータ等）がその一方端に連結されている場合が多いため、通常は、支持部材は回転部材の軸方向の一方端を支持するものとなる。また、支持部材の支持形態については、特に限定されないが、回転部材の軸受支持部分が円柱状の場合には、その軸受支持部分を外周側から軸受支持するものが考えられ、回転部材の軸受支持部分が円筒状の場合には、その軸受支持部分を内周側又は外周側から支持するものが考えられる。
【００１４】
上記「第１の電極」は、回転部材の側周面に取り付けられているが、この「側周面」とは、回転部材が軸を中心として回転して回転体を形成しているときの、外周側の面又は内周側の面を形成する部分を言う。
【００１５】
上記「第２の電極」は、第１の電極に対向して設けられており、一般的にはハウジングなどの固定部材に固定されているが、必ずしも位置的に固定されていなければならないわけではない。例えば、第２の電極が第１の電極とは逆方向に回転していても良い。
【００１６】
上記「非接触なラジアル軸受手段」は、回転部材や支持部材自体に形成されているものでもよく、また、回転部材や支持部材とは別に、これらの間に配設されたものであっても良い。
【００１７】
また、請求項２の発明は、請求項１において、
前記非接触なラジアル軸受手段は、空気軸受であることを特徴としている。
【００１８】
空気軸受を採用することにより、余分な部材を付加せずとも非接触なラジアル軸受が実現できる。従って、コンパクトな構成のまま、静粛性を向上させ、かつ腐食や信頼性等の問題をも解消することができる。
【００１９】
また、請求項３の発明は、請求項１又は２において、
前記回転部材と前記支持部材とのスラスト方向の対面空間に磁力による反発力が発生するように前記回転部材及び前記支持部材に磁石が配設されてなることを特徴としている。
【００２０】
請求項３の発明によれば、回転部材と支持部材とのスラスト方向の対面空間に磁力による反発力が発生すると、回転部材が支持部材に対してスラスト方向に浮遊する。このため、回転部材は、支持部材に対してラジアル方向にもスラスト方向にも非接触で回転する構造を実現でき、より静粛性の向上に寄与する。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施の形態により具体的に説明する。
【００２２】
図１は、本例におけるプラズマ反応器の断面図である。図において、プラズマ反応器１００は、回転部材１０と、支持部材２０と、第１の電極としての回転電極３０と、固定部材としてのハウジング４０と、第２の電極としての固定電極５０と、駆動手段としてのモータ６０とを備えて構成されている。
【００２３】
ハウジング４０は、筒部４１と、前蓋部４２と、後蓋部４３とを有している。筒部４１は、本例においては外周形状が矩形形状とされた角柱状であり、その内部が中空とされている。筒部４１の中空内壁は、断面円形で、軸方向に段差を持った円筒形状とされており、図に示すように、径の小さい小径部４１ａ、径の大きい大径部４１ｂ、及び小径部４１ａと大径部４１ｂとの間に形成されたテーパー部４１ｃとから成る。そして、小径部４１ａにはモータ固定部材４４が内壁に沿って配置されている。このモータ固定部材４４は円筒形状に形成され、径方向に所定ピッチ間隔で、複数個のネジ孔４４ａが、軸方向に沿って形成されている。
【００２４】
前蓋部４２は、その外形が筒部４１の外周形状と同一の矩形形状とされ、その中央部が円筒状に開口した外形矩形状のリング形状に形成されている。また、その図示左側端面には、径方向に所定ピッチ間隔で、複数のネジ穴４２ａが、軸方向に沿って形成されている。尚、このネジ孔４２ａは、モータ固定部材４４に形成されたネジ穴４４ａとその位置が一致するように形成されている。そして、前端部４２のネジ孔４２ａとモータ固定部材４４のネジ孔４４ａとの位置を合わせ、これらの孔にネジ４５を通して締結することにより両者が締結される。尚、モータ固定部材４４は、図１の左側から見て内周側に複数の手４４ｂが延びており、この手４４ｂによってモータ６０が固定されている。従って、モータ６０は、モータ固定部材４４及びネジ４５を介してハウジング４０に固定されていることになる。尚、前端部４２は図示せぬネジで筒部４１に締結固定されている。
【００２５】
筒部４１の大径部４１ｂの内壁に沿って、固定電極５０が取り付けられている。この固定電極５０は、大径部４１ｂの内壁を覆うように円筒状に形成されている。なお、固定電極５０の表面上には、発生させるべきプラズマの種類によって、誘電体を適宜配設する構成としても良い。
【００２６】
大径部４１ｂの内部には、支持部材２０が配設されている。支持部材２０は、フランジ部２１、軸部２２、外周軸受部２３を有する。フランジ部２１は、矩形平板状に形成されており、その縁部分が図に示すように筒部４１の図示右側端に当接して配置される。このフランジ部２１の図示右側には後蓋部４３が配置されており、後蓋部４３と筒部４１とでフランジ部２１を挟持した状態で、ネジ４６によってこれらを締結している。また、フランジ部２１には、図に示すように一端面側から他端面側にかけて貫通した被処理ガス通過孔２１ａが複数個形成され、さらに、外壁側から内壁側にかけて貫通した第１リード線通過孔２１ｂ及び第２リード線通過孔２１ｃが、それぞれ形成されている。
【００２７】
軸部２２は、フランジ部２１の略中央から図１において左側方向に延びて形成されている。この軸部２２は、軸方向に沿って基部２２１及び先端部２２２が形成されている。基部２２１も先端部２２２も共に円柱状を呈しており、基部２２１の径の方が先端部２２２の径よりも大きく形成され、図に示すようにこれらの間には段差２２３が形成されている。なお、フランジ部２１及び軸部２２は、絶縁性の樹脂材料で形成されている。
【００２８】
外周軸受部２３は、円筒状に形成され、先端部２２２の外周側に、該外周部２２２と同軸的に配置されている。外周軸受部２３と先端部２２２との間の空間２２２ｃには、図に示すように、樹脂部材７２が配設されており、この樹脂部材７２によって外周軸受部２３が先端部２２２に固定的に取り付けられた状態とされている。なお、外周軸受部２３は、金属材料で形成されている。
【００２９】
軸部２２の外周には、リング状の固定マグネット７１が該軸部２２に圧入状態で取り付けられている。この固定マグネット７１は、図に示すように、樹脂部材７２によってモールドされ、図示左端面が露出するようにされている。
【００３０】
モータ６０は、リード線６１によって通電されるようになっており、通電されると、出力軸６２が回転するようにされている。この出力軸６２の先端には、カップリング部材８０が取り付けられている。このカップリング部材８０は、出力軸６２の先端部分に一体回転可能に連結した円筒状の回転伝達部材８１と、該回転伝達部材８１の外周に一端が取り付けられたスプリング８２とを備えて構成される。そして、スプリング８２の他端は、回転部材１０に取り付けられている。
【００３１】
回転部材１０は、底部１１及び周部１２を備え、一端側から内部がくり抜かれて開口した有底円筒状に形成されている。そして、開口した側から内部に支持部材２０の先端部２２２が収容されるような向きに配置されている。
【００３２】
回転部材１０の底部１１の外側端面の略中央には、突起１１ａが形成されている。この突起１１ａは、回転伝達部材８１に対面しており、前述のスプリング８２の他端はこの突起１１ａに固定されている。また、底部１１の内側端面の略中央には、窪み１１ｂが形成され、この窪み１１ｂの端面が面取りされている。この面取り部分で、後述の給電ボール９４を受けている。さらに、底部１１の内側端面には、リング状の回転マグネット７３が取り付けられている。この回転マグネット７３は、図からわかるように、図に示す方向から見て固定マグネット７１と対面する位置に配置される。固定マグネット７１と回転マグネット７３は、両者が対面する空間に磁力による反発力を生じるように配置され、かつ、図１に示す静止状態で、両者の隙間が０．０１ｍｍ〜１ｍｍ程度となるように設定される。
【００３３】
回転部材１０の周部１２には、第１の電極としての回転電極３０が取り付けられている。この回転電極３０は、ピン状の形状を呈しており、周部１２の外側表面から内部に埋め込まれるようにして取り付けられ、その一端側が周部１２の外側表面から露出した状態とされている。そして、回転電極３０の露出部分と、固定電極５０とが対向する状態とされている。
【００３４】
支持部材２０の軸部２２の先端部２２２には、その中心を軸方向に貫通する貫通孔２２２ａが形成されており、この貫通孔２２２ａ内には、ピン部材９１が挿入されている。ピン部材９１の先端（図示左端）にはスプリング９２が取り付けられており、さらにその先に導電部材９３が、さらに導電部材９３の先に給電ボール９４が、上記貫通孔２２２ａ内に配設されている。そして、給電ボール９４は、上述したように回転部材１０の底部１１の内側端面の略中央に形成された窪み部１１ｂの面取り部分で受けられている。ピン部材９１は、ネジ止め若しくは締結手段などで、軸方向への押し込み量が調整可能に固定されており、スプリング９２は、図に示す状態で常に伸長力を発している。従って、給電ボール９４は、スプリング９２の伸長力を受けて、常に回転部材１０に形成された窪み部１１ｂの面取り部分に当接した状態で付勢されている。
【００３５】
また、ピン部材９１の後端部分には、第１のリード線６２が電気的に接続されている。この第１のリード線６２は、図に示すようにフランジ部２１に形成された通過孔２１ｄ、第１のリード線通過孔２１ｂを通過して外部に連絡しており、外部にて電圧供給装置（図示せず）に接続されている。一方、固定電極５０には、第２のリード線６３が電気的に接続されている。この第２のリード線６３は、第２のリード線通過孔２１ｃを通って外部に連絡しており、外部にて上記電圧供給装置（図示せず）に接続されている。
【００３６】
図に示すように、支持部材２０の外周軸受部２３の外周側面２３ａは、回転部材１０の周部１２の内周側面１２ａと対面している。この両面で、非接触なラジアル軸受手段としての空気軸受が形成されている。即ち、外周側面２３ａがインナ軸受として作用し、内周側面１２ａがアウタ軸受として作用し、このインナ軸受とアウタ軸受で空気軸受としての真円軸受を形成する。インナ軸受とアウタ軸受との間隔は、回転数、重量などにより設定されるものであるが、本例においてはこの隙間を５〜１０μｍとした。インナ軸受及びアウタ軸受の材質は鉄又はステンレス鋼など用途に合わせて用いるが、いずれの場合においても、低回転時の接触によるカジリや焼き付きを防止するため、硬度を高くすること、及び面粗度を上げることが必要になる。本例においては、硬度をビッカース硬度２０００〜２５００Ｈｖ、面粗度を１．６ｚとしたが、特に規定するものではなく、軸受の寸法、重量などにより最適な硬度、面粗度を決定すれば良い。なお、これらの空気軸受を形成するインナ軸受及びアウタ軸受は、回転部材や支持部材とは独立して別個の構成として取り付けても良い。
【００３７】
上記構成において、リード線６１に電流を供給すると、リード線６１に電気的に接続されたモータ６０が駆動する。モータ６０の駆動により出力軸６２が回転すると、該出力軸６２に連結したカップリング８０の回転伝達部材８１が回転する。この回転伝達部材８１は、スプリング８２を介して該スプリング８２に連結した回転部材１０に伝達され、回転部材１０が回転する。このようにして、モータ６０の回転が回転部材１０に伝達され、回転部材１０はその中心軸（軸Ｌ）を軸心として回転する。
【００３８】
回転部材１０の回転が始まると同時に、又は回転開始以前に、図示せぬ電圧供給装置によって、第１のリード線６２と第２のリード線６３との間に電圧を印加する。第１のリード線６２は、上述のようにピン部材９１に接続されているが、このピン部材９１は、スプリング９２、導電部材９３を介して給電ボール９４に電気的に接続されている。そして、この給電ボール９４は、回転部材１０の底部１１に形成された窪み部１１ｂの面取り部分によって受けられているので、この部分で電気的に接触する。さらに回転部材１０の周部１２には回転電極３０が表面を露出させた状態で埋設されている。このように、第１のリード線６２は、ピン部材９１、スプリング９２、導電部材９３、給電ボール９４、回転部材１０を介して回転電極３０に電気的に導通している。また、第２のリード線６３は、第２のリード線通過孔２１ｃを通って固定電極５０に電気的に接続されている。よって、図示せぬ電圧供給装置によって第１のリード線６２と第２のリード線６３間に所定の電圧を印加すると、上述した接続経路によって、回転電極３０と固定電極５０との間に所定の電圧が印加される。
【００３９】
上記電圧の印加によって、回転電極３０と固定電極５０との間の空間（処理空間）にプラズマが発生する。この場合において、回転部材１０が回転しているので、回転部材１０に埋設された回転電極３０も回転する。この回転により、プラズマの発生領域が回転の周方向に均一となる。
【００４０】
また、図示せぬファンが回転することにより、被処理ガスが、例えば図１において左側からプラズマ反応器１００内に侵入する。被処理ガスは、筒部４１の小径部４１ａ、テーパ部４１ｃを経由して大径部４１ｂに侵入するが、この大径部４１ｂにおいては、回転電極３０と固定電極５０との間の空間（処理空間）を通過することになる。この処理空間は、上述したようにプラズマが発生しており、かつ周方向に均一にプラズマが発生するため、この領域で被処理ガスがプラズマに接触し、処理される。処理されたガスは、大径部４１ｂを通り抜けてプラズマ反応器１００の図示右側から排出される。
【００４１】
上記作用を奏するプラズマ反応器１００において、被処理ガスの処理中は、回転部材１０がモータ６０の回転に伴って、その中心軸Ｌを軸心として回転する。この回転中は、回転部材１０の周部１２の内周側面１２ａと、支持部材２０の外周軸受部２３の外周側面２３ａとの間で、上述したように非接触なラジアル軸受手段としての空気軸受が形成され、斯かる空気軸受によって回転部材１０が支持部材２０に軸受支持されている。本例ではこの空気軸受として、真円軸受を採用している。真円軸受とは、回転部材の回転により回転部材の偏心に伴って回転部材と軸受の隙間が回転方向に狭くなり、その隙間の空気がその粘性により引きずられて押し込められることによって圧力を生じ、この圧力によって軸を浮かせるものである。このような動圧軸受機能を維持するための回転数は、軸受仕様により異なるが、一般的には１００００ｒｐｍ以上を必要とする。本例における回転数は、被処理ガスの効率の良いプラズマ化及び動圧軸受機能の維持を考慮して１２０００ｒｐｍとした。
【００４２】
このようにして、回転部材１０は、真円軸受によって支持部材２０に対して非接触状態で滑らかに回転する。非接触であるので、軸受にボールベアリング等を用いる場合と違って回転中の騒音が極めて小さい。よって、高回転としても騒音を抑制することができ、静粛性を向上させることができる。さらに、ボールベアリングを使用していないため、腐食の問題も、信頼性の問題も発生しない。よって、腐食や信頼性等の問題も解消される。
【００４３】
なお、上述したように、回転部材１０は、非接触なラジアル軸受手段としての空気軸受を介して支持部材２０に支持されているため、回転方向には安定した回転動作を得ることができるが、空気軸受であるため、軸方向（図示軸Ｌ方向）には回転部材１０の移動を規制するものがなく、従って、軸方向移動可能となる。この場合において、図示左方向に回転部材１０が移動すると、回転部材１０が支持部材２０から抜けるおそれがあるが、この方向への移動は、スプリング８２の伸縮力により規制される。一方、図示右方向に回転部材１０が移動すると、回転部材１０と支持部材２０とが接触する虞があるが、この方向への移動は、固定マグネット７１と回転マグネット７３との間で発生する反発力により規制される。即ち、回転部材１０の底部１１には回転マグネット７３が埋設され、支持部材２０の軸部２２の外周には固定マグネット７１が圧入されており、両マグネット７１、７３は対面し、回転部材１０が図示右方向に移動するほど両マグネット７１、７３の距離は近づく。この場合において、両マグネット７１、７３は、回転部材１０と支持部材２０とのスラスト方向（軸方向）の対面空間に磁力による反発力が発生するような状態で配設されているため、両部材１０、２０が近づけば近づく程この反発力が大きくなり、両部材１０、２０の接触を妨げる。このようにして、回転部材１０は、軸方向にも位置が規制されるが、この軸方向の位置規制も、マグネットによる反発力を利用して回転部材１０を浮遊させるようにし、回転部材１０と支持部材２０との接触を防止している。従って、回転部材１０は、支持部材２０に軸支されていながらも、給電経路を除き、回転方向（ラジアル方向）にも軸方向（スラスト方向）にも支持部材２０と非接触な構成を実現しているため、非常に静粛性に優れ、かつ信頼性も高いプラズマ反応器とすることができる。
【００４４】
非接触軸受の効果を確認するため、一般の球軸受（ボールベアリング軸受）を用いた場合と上記本例の場合とで、それぞれの騒音を測定した。回転数は、両者ともに１２０００ｒｐｍとした。その結果、球軸受の場合の騒音は４８ｄＢ（Ａ）であるのに対し、本例の場合は３９ｄＢ（Ａ）であった。この比較結果から見ても、本例のプラズマ反応器は静粛性に優れることがわかる。
【００４５】
以上のように、本例によれば、所定の軸（軸Ｌ）を軸心として回転する回転部材１０と、該回転部材１０を回転可能に支持する支持部材２０と、回転部材１０が回転しているときの該回転部材１０の側周面（周部１２の外側表面）に取り付けられた回転電極３０と、該回転電極３０に対向して設けられた固定電極５０とを具備し、回転部材１０を回転させた状態で回転電極３０と固定電極５０との間に電圧を印加することによって回転電極３０と固定電極５０との間の処理空間にプラズマを生じさせるとともに処理空間に導入された被処理ガスを発生したプラズマによって処理するプラズマ反応器１００であって、回転部材１０は、非接触なラジアル軸受手段によって支持部材２０に軸受支持されてなることを特徴とするプラズマ反応器１００としたので、回転部材１０が回転しても、回転による騒音が非常に小さく、従って、高回転としても騒音を抑制することができ、静粛性を向上させることができる。さらに、ボールベアリングを使用していないため、腐食の問題も、信頼性の問題も発生しない。よって静粛性が向上し、腐食や信頼性等の問題が解消されたプラズマ反応器とすることができる。
【００４６】
また、非接触なラジアル軸受手段として空気軸受を採用しているので、コンパクトな構成のまま、静粛性を向上させ、かつ腐食や信頼性等の問題をも解消することができる。なお、本例においては、空気軸受として、真円軸受を採用したが、本発明は空気軸受としてこのような真円軸受に限定する必要はない。その他、例えば、ヘリングボーン溝付軸受、ティルティングパット軸受、フォイル軸受等が挙げられる。また、本例においては、支持部材が回転部材の内側（内周側）を軸支する例を示したが、これに限定されることはなく、回転部材の外側（外周側）を支持部材が軸支しても良い。
【００４７】
また、回転部材１０と支持部材２０とのスラスト方向（軸方向）の対面空間に磁力による反発力が発生するように回転部材１０及び支持部材２０に固定マグネット７１、回転マグネット７３が配設されているため、回転部材１０と支持部材２０とのスラスト方向の対面空間に磁力による反発力が発生し、回転部材１０が支持部材２０に対してスラスト方向に浮遊する。このため、回転部材１０は、支持部材２０に対してラジアル方向にもスラスト方向にも非接触で回転する構造を実現でき、より静粛性の向上に寄与する。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、静粛性が向上し、腐食や信頼性等の問題も解消されたプラズマ反応器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態例におけるプラズマ反応器の断面図である。
【符号の説明】
１０：回転部材
１１：底部、  １２：周部
１２ａ：内周側面（空気軸受）
２０：支持部材
２１：フランジ部、  ２２：軸部
２２１：基部、  ２２２：先端部
２３：外周軸受部
２３ａ：外周側面（空気軸受）
３０：回転電極（第１の電極）
４０：ハウジング（固定部材）
４１：筒部、  ４２：前蓋部、  ４３：後蓋部
５０：固定電極（第２の電極）
６０：モータ（駆動手段）
７１：固定マグネット（磁石）
７３：回転マグネット（磁石）
１００：プラズマ反応器
【図１】
2004296109.tif 000003