(57)【要約】【課題】基板に損傷を与える事なく、フィルムの少なくとも一部を剥離することができるフィルム剥離装置を提供することである。【解決手段】基板に貼り付けたフィルムの端部を粘着テープで剥離するフィルム剥離装置であり、ローラ本体の中央外周に突起，円盤状歯もしくは丸鋸状歯を有するローラと、ローラを基板に貼り付けたフィルムの端部に押圧して回転させる手段とを設けた。【選択図】　図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に貼り付けたフィルムの端部を粘着テープで剥離するフィルム剥離装置において、
ローラ本体の中央外周に該突起，円盤状歯，丸鋸状歯もしくは鋸状歯を有するローラと、該ローラを基板に貼り付けた該フィルムの端部に押圧して回転させる手段とを設けたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
上記請求項１に記載のフィルム剥離装置において、該ローラは該突起，円盤状歯もしくは丸鋸状歯の両側の外周に弾力材を有することを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３】
上記請求項１に記載のフィルム剥離装置において、該ローラは該粘着テープを介して該突起，円盤状歯もしくは丸鋸状歯を該フィルムの端部に押圧して回転するようにしていることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項４】
上記請求項３に記載のフィルム剥離装置において、該ローラは該基板の移動に合わせて回転するようにしていることを特徴とするフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板に貼り付けたフィルムの端部を粘着テープで剥離するフィルム剥離装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プリント配線基板などの製造工程には、基板母材（以下、基板と略記する）の金属薄膜にカバーフィルムで覆ったレジストフィルムを貼り付けておき、処理中にカバーフィルムを剥離することがある。このカバーフィルムの剥離を行うものとして、フィルム剥離装置があり、数多くの提案がある。
【０００３】
特許第１８００３０７号公報に示されたものは、カバーフィルムとレジストフィルムの間にカッタ−でフィルムの先端部に裂目を入れ、そこに粘着テ−プを押圧してフィルム剥離を行うものである。特開昭６２−１５３０７２号公報に示されたものは、窄孔針によってカバーフィルムの隅部に微小孔をあけて両面テ−プで隅部でカバーフィルムをレジストフィルムから引き離し、フィンガ−によってカバーフィルムを把持して剥離を行うものである。
特許第２７０００８３号公報のものは、粘着テ−プによりカバーフィルムをレジストフィルム面から浮き上がらせた後に、フィルムクランパ−でカバーフィルムを把持して剥離を行うものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
特許第１８００３０７号公報に示されたものは、カッタ−の使用によって基板母材に傷が付きやすく、傷の大きさをコントロ−ル出来ないと言う問題がある。特開昭６２−１５３０７２号公報に示されたものも、窄孔針で基板母材を傷つけると言う欠点を有している。特許第２７０００８３号公報のものでは粘着テ−プの粘着力が弱いとカバーフィルムが持ち上がらず、逆に粘着力が強すぎるとフィルムクランパ−によってカバーフィルムを把んでも粘着テ−プがカバーフィルムから剥がれないという問題がある。
【０００５】
それゆえ本発明の目的は、基板に損傷を与える事なく、フィルムの少なくとも一部を剥離することができるフィルム剥離装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の特徴とするところは、基板に貼り付けたフィルムの端部を粘着テープで剥離するフィルム剥離装置において、ローラ本体の中央外周に該突起，円盤状歯，丸鋸状歯もしくは鋸状歯を有するローラと、該ローラを基板に貼り付けた該フィルムの端部に押圧して回転させる手段とを設けたことにある。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、図に示した一実施形態について説明する。
図１において、１００はフィルム剥離装置のハウジング、２は複数の搬送ローラ３で構成する搬送路、４は方形の基板である。基板４は、図１の左方から右方に向けて各搬送ローラ３の回転により搬送路２上を移動する。基板４の上下各面には、レジストフィルムとカバーフィルムを順次貼り付けてある。５は搬送路２の上下に基板の幅方向左右各側に設けてあり、基板４の各面に貼り付けてあるカバーフィルムの左右各端部を剥離するカバーフィルム剥離ユニットである。６は搬送路２の上下に基板の幅方向左右各側に設けてあり、各カバーフィルム剥離ユニット５で剥離したカバーフィルムを受け取ってさらに剥離しつつ排出するカバーフィルムコンベアである。７は各カバーフィルムコンベア６が排出する剥離したカバーフィルムを回収する廃棄函である。
【０００８】
上下左右にあるカバーフィルム剥離ユニット５とカバーフィルムコンベア６は同じ機能を持ち類似した構成であるので、図の簡略化のために上下左右のうち一方について細部に引用符号をつけている。
【０００９】
カバーフィルム剥離ユニット５とカバーフィルムコンベア６は基板４の幅寸法に合うように、搬送路２の搬送中心に中心を合わせて幅方向に移動できるようにしてある。カバーフィルム剥離ユニット５は、粘着テープ５ａの繰り出しロール５ｂと巻き取りロール５ｃ、それらの駆動用モータ５ｄ，５ｅ、水平アクチュエータ５ｆ、垂直アクチュエータ５ｇ、剥離ローラ５ｈおよび移動板５ｊを備えている。この移動板５ｊを搬送路２の搬送中心に中心を合わせて幅方向に移動できるようにしてある。
【００１０】
繰り出しロール５ｂ〜駆動用モータ５ｅは移動板５ｊに設けてある。水平アクチュエータ５ｆはカバーフィルム剥離ユニット５の移動板５ｊに固定してあり、垂直アクチュエータ５ｇは水平アクチュエータ５ｆの出力軸に固定してあり、剥離ローラ５ｈは垂直アクチュエータ５ｇの出力軸に回転可能に固定してある。従って、剥離ローラ５ｈはＸ（基板４の搬送方向），Ｙ（図１の垂直方向）及びＺ（図１の上下方向）の３次元方向に移動できる。繰り出しロール５ｂから繰り出した粘着テープ５ａはテンション付加ローラ（引用符号は省略）や剥離ローラ５ｈを経て巻き取りロール５ｃに戻る。
【００１１】
カバーフィルムコンベア６は図示を省略した駆動用モータで回転方向を背中合わせに逆とした形の無端コンベア６ａ、６ｂを有し、両無端コンベア６ａ、６ｂで基板４に貼り付けたフィルム（カバーフィルム）４ｂを剥離し排出する。
【００１２】
搬送路２上を複数の基板４が適宜な間隔で移動してくると、図示していないセンサが基板４を検出し、図２に示すように、搬送路２を構成している搬送ローラ３は基板４における進行方向の先端が剥離ローラ５ｈの位置に至ったところで、基板４の移動を止めて、幅寄せ機構８が、基板４の搬送方向における中心と搬送路２の搬送方向における中心を一致させる。すると、剥離ローラ５ｈは基板４における進行方向の左右各先端に並ぶ。
【００１３】
剥離ローラ５ｈは、図３に示すように、中央部外周に多数の突起５ｈａを設けてある。剥離ローラ５ｈには、各突起５ｈａがある中央部外周の両側の外周に弾力材５ｈｂを設けてある。
【００１４】
図４に示すように、剥離ローラ５ｈは粘着テープ５ａを介して基板４に貼り付けてあるレジストフィルム４ａ上のカバーフィルム４ｂ押付ける。この時、弾力材５ｈｂは押圧力でへこむが、各突起５ｈａは粘着テープ５ａとカバーフィルム４ｂを貫通して、レジストフィルム４ａに僅か食い込む程度の高さにしてある。
【００１５】
垂直アクチュエータ５ｇで図４に示すように剥離ローラ５ｈを粘着テープ５ａを介してカバーフィルム４ｂに押付け、搬送ローラ３で基板４をゆっくり下流に移動させる。この時、水平アクチュエータ５ｆは垂直アクチュエータ５ｇを介して剥離ローラ５ｈを同期して下流に移動させ、粘着テープ５ａも繰り出すと、剥離ローラ５ｈは、基板４の移動に合わせて回転し、各突起５ｈａはカバーフィルム４ｂに孔を開けつつ、図４のようにカバーフィルム４ｂの先端部は粘着テープ５ａで捲りあがり、カバーフィルム４ｂの剥離が起こる。
【００１６】
カバーフィルム４ｂとレジストフィルム４ａの粘着性は各突起５ｈａが作る貫通孔の存在により低下するため、粘着テープ５ａとしては、強い粘着性のものでなくてもよい。
【００１７】
カバーフィルム４ｂの先端を剥離したら、垂直アクチュエータ５ｇで剥離したカバーフィルム４ｂを基板４からさらに引き離し、カバーフィルムコンベア６に渡して、カバーフィルムコンベア６により基板４の下流方向への移動に合わせて剥離と排出を同時に行う。粘着テープ５ａとして強い粘着性のものを用いていないので、粘着テープ５ａからカバーフィルムコンベア６への受け渡しは円滑である。
【００１８】
各突起５ｈａがカバーフィルム４ｂに貫通孔を形成する領域はカバーフィルム４ｂの僅かな先端部で良く、レジストフィルム４ａにかすかな痕跡は残っても、基板４に対し痕跡を残さない。
【００１９】
カバーフィルム４ｂとレジストフィルム４ａの粘着性を弱め剥離を容易にする突起５ｈａに代わるものとして、図５に示す円盤状歯もしくは丸鋸状歯５ｈｃがある。円盤状歯は粘着テープ５ａを長手方向に切断するが幅方向に切断しないから、粘着テープ５ａによるカバーフィルム４ｂの剥離に支障はない。
丸鋸状歯は粘着テープ５ａをミシン目に切断するだけである。ミシン目を形成する鋸状歯を剥離ローラ５ｈの軸方向に沿って中央部外周に設けてあっても良い。この場合も粘着テープ５ａは、幅方向に切断されることは無い。
【００２０】
図１の実施形態では、粘着テープ５ａを介して剥離ローラ５ｈを基板４上のフィルムに押し付けているが、粘着テープ５ａと剥離ローラ５ｈは分離し、上記のような各種の剥離ローラ５ｈでカバーフィルム４ｂに貫通孔や切れ目を設けておいてから、突起５ｈａなどを有しないローラなどにより粘着テープ５ａを貫通孔や切れ目を設けたカバーフィルム４ｂに押し付けて、剥離をしても良い。そして、先行する基板において粘着テープ５ａを貫通孔や切れ目を設けたカバーフィルム４ｂに押し付けて剥離しているときに、後続の基板において剥離ローラ５ｈでカバーフィルム４ｂに貫通孔や切れ目を設けることを並行して行なうようにしても良い。
【００２１】
粘着テープ５ａでカバーフィルム４ｂの全てを剥離してもよいが、粘着テープ５ａの消耗を招くので、粘着テープ５ａによるカバーフィルム４ｂの剥離は端部の一部に留め、残りの剥離は図１の実施形態のように、カバーフィルムの排出も行う図１のようにカバーフィルムコンベア６に委ねるのが良い。
【００２２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明フィルム剥離装置によれば、基板に損傷を与える事なく、フィルムの少なくとも一部を剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態になるフィルム剥離装置を示す概略図である。
【図２】図１に示したフィルム剥離装置で基板の搬送状況を示す概略平面図である。
【図３】図１に示したフィルム剥離装置でフィルムの剥離に用いるローラを示す斜視図である。
【図４】図１に示したフィルム剥離装置でフィルムを剥離している状況を示す概略斜視図である。
【図５】図１に示したフィルム剥離装置でフィルムの剥離に用いるローラの他の実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
２‥搬送路
３‥搬送ローラ
４‥基板
４ａ‥レジストフィルム
４ｂ‥カバーフィルム
５‥カバーフィルム剥離ユニット
５ａ‥粘着テ−プ
５ｂ‥繰り出しロール
５ｃ‥巻き取りロール
５ｄ，５ｅ‥駆動用モータ
５ｆ‥水平アクチュエータ
５ｇ‥垂直アクチュエータ
５ｈ‥剥離ローラ
５ｈａ‥突起
５ｈｂ‥弾力材
５ｈｃ‥円盤状歯もしくは丸鋸状歯
５ｊ‥移動板
６‥カバーフィルムコンベア
６ａ，６ｂ‥無端コンベア
７‥廃棄函
８‥幅寄せ機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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