(57)【要約】【課題】トラッキング制御が簡単な光スイッチを提供する。【解決手段】光スイッチ１０において、光信号をコリメートするマイクロレンズ２ａと、コリメートされた光信号の偏向角度を変える光偏向素子部３と、光信号を伝播するスラブ導波路４と、スラブ導波路４を介して入力される光信号の偏向角度を変える光偏向素子部５と、出力側のチャネル導波路７ａとを備える複数のチャネルを設け、チャネル導波路７ａを、軸がマイクロレンズ２ａの光軸に対して傾けられ、入力口がマイクロレンズ２ａの光軸上から外れるように配置する。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光信号の切り替えを行う光スイッチにおいて、
光信号をコリメートする第１のマイクロレンズと、
コリメートされた前記光信号の偏向角度を変える第１の光偏向素子と、
前記光信号を伝播するスラブ導波路と、
前記スラブ導波路を介して入力される前記光信号の偏向角度を変える第２の光偏向素子と、
前記光信号を集光する第２のマイクロレンズと、
軸が前記第１のマイクロレンズの光軸に対して傾けられ、入力口が前記光軸上から外れて配置される導波部と、
を備える複数のチャネルからなることを特徴とする光スイッチ。
【請求項２】
前記第２のマイクロレンズは、前記導波部と同軸上に配置されることを特徴とする請求項１記載の光スイッチ。
【請求項３】
前記第２の光偏向素子は、電圧印加により、入力された前記光信号をそれぞれ異なる方向に偏向する少なくとも２つのプリズム型電極を有し、トラッキング制御時には、１つの前記プリズム型電極が電圧調整を行うことを特徴とする請求項１記載の光スイッチ。
【請求項４】
アライメント用に、前記第１のマイクロレンズの光軸と一致する軸を有する前記導波部を有することを特徴とする請求項１記載の光スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、交換機に用いられる光スイッチに関し、特に、ネットワーク網のクロスポイントに配置する光信号の交換機に使用される光スイッチに関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信における伝送帯域は近年増大の一途を辿り、波長多重化技術の進展とあいまって、高速・大容量化が進んでいる。
【０００３】
基幹通信ネットワークにおける光ファイバ網のハードウェア・インフラを構築するためには、光信号の行き先を切り替える、光信号の交換機が必要とされている。以下、この光信号の交換機に用いられる光スイッチについて説明する。
【０００４】
図１１は、従来の光スイッチの構成図である。
ここでは、４×４の光スイッチ８０を説明する。
光スイッチ８０は、４つの入力チャネルｉｎ１、ｉｎ２、ｉｎ３、ｉｎ４と、４つの出力チャネルｏｕｔ１、ｏｕｔ２、ｏｕｔ３、ｏｕｔ４との間で、光パスの切り替えを行うものであり、入力チャネルｉｎ１、ｉｎ２、ｉｎ３、ｉｎ４と接続されたチャネル導波路８１ａからなるチャネル導波路部８１と、光を平行光にする（以下コリメートという）マイクロレンズ８２ａからなるコリメート部８２と、電圧印加時に、光の偏向方向を変える光偏向素子部８３と、光信号を伝播するスラブ導波路８４と、出力側の光偏向素子部８５と、光を集光するマイクロレンズ８６ａからなる集光部８６と、出力チャネルｏｕｔ１、ｏｕｔ２、ｏｕｔ３、ｏｕｔ４と接続されたチャネル導波路８７ａからなるチャネル導波路部８７とから構成される。
【０００５】
なお、図１１では、煩雑になるため、１チャネルについての構成要素のみ符号を記した。なお、他のチャンネルも同様の符号であるとする。
光偏向素子部８３と、光偏向素子部８５は、チャネルごとにそれぞれ２つのプリズム型電極８３ａ、８３ｂ、８５ａ、８５ｂを有する。これらプリズム型電極８３ａ、８３ｂまたは８５ａ、８５ｂの対に、それぞれ電圧を印加することによって、図示しない電気光学効果を有する素子による屈折率変化で、入力された光信号をそれぞれ異なる方向に偏向する。
【０００６】
このプリズム型電極８３ａ、８３ｂ、８５ａ、８５ｂを用いることで、マトリクス光スイッチを構成するために必要なレーザの偏向角度が得られ、偏向状態では、未偏向成分がなく、また散乱光もきわめて少ないために挿入損失やクロストークの問題が解決できることが特願２００１−３３２１６９に開示されている。
【０００７】
図１１において、入力チャネルｉｎ１から出力チャネルｏｕｔ２に光パスの切り替えを行う場合について、光スイッチ８０の動作を説明する。
光信号が入力チャネルｉｎ１に接続されているチャネル導波路８１ａに入力されると、光信号は、マイクロレンズ８２ａにより、コリメートされて光偏向素子部８３に入力される。入力チャネルｉｎ１から、出力チャネルｏｕｔ２に切り替える場合は、光偏向素子部８３では、プリズム型電極８３ａ、８３ｂのうち、駆動電圧をプリズム型電極８３ａに印加することにより、電気光学効果による屈折率変化で、図８のように偏向方向を変えることができる。続いて、光信号はスラブ導波路８４に入力されて、光偏向素子部８５に入力される。ここでは、出力チャネルｏｕｔ２に光信号を出力するために、プリズム型電極８５ａ、８５ｂのうち、所定の駆動電圧をプリズム型電極８５ｂに印加することにより、図１１のように光信号をマイクロレンズ８６ａに入力する。さらに、マイクロレンズ８６ａでは、光を集光して、チャネル導波路８７ａに入力する。このようにして光スイッチ８０では、光パスを切り替えることができる。
【０００８】
しかし、実際は、出力側の光偏向素子部８５の駆動電圧を所定の値にしても、光スイッチ８０を構成する材料、要素部分の寸法誤差、温度変化などによって、出力側のチャネル導波路８７ａへの結合が安定しない。
【０００９】
そこで、出力側から光信号の一部を取り出し、その光の強度が最大となるように、電圧をフィードバック制御するトラッキング制御が一般的に行われている。
図１２は、トラッキング制御の様子を示す模式図である。
【００１０】
光は上方に配置されたプリズム型電極８５ａの電圧を増大することで、マイナス方向に偏向し、下方に配置されたプリズム型電極８５ｂの電圧を増大することで、プラス方向に偏向する。つまり、チャネル導波路８７ａに安定に光信号を集光して結合するためのトラッキング制御において、この２つのプリズム型電極８５ａ、８５ｂに印加する電圧を微調整することによって、チャネル導波路８７ａに安定に光を結合させる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のように従来のトラッキング制御においては、チャネル導波路８７ａに光信号を結合するため、２つのプリズム型電極８５ａ、８５ｂの制御が必要になり、電圧を変化させるプリズム型電極８５ａ、８５ｂを切り替えて微調整するなど、複雑な制御が必要であるという問題があった。
【００１２】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、トラッキング制御が簡単な光スイッチを提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明では上記課題を解決するために、図１に示す光スイッチ１０において、光信号をコリメートするマイクロレンズ２ａと、コリメートされた光信号の偏向角度を変える光偏向素子部３と、光信号を伝播するスラブ導波路４と、スラブ導波路４を介して入力される光信号の偏向角度を変える光偏向素子部５と、光信号を集光するマイクロレンズ６ａと、軸がマイクロレンズ２ａの光軸に対して傾けられ、入力口が光軸上から外れて配置されるチャネル導波路７ａと、を備える複数のチャネルからなることを特徴とする光スイッチ１０が提供される。
【００１４】
上記構成によれば、光偏向素子部５に電圧を印加しない限り、チャネル導波路７ａには光信号が入力されない。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の第１の実施の形態の光スイッチの構成図である。
【００１６】
ここでは、４×４の光スイッチ１０を用いて説明する。
光スイッチ１０は、４つ入力チャネルｉｎ１、ｉｎ２、ｉｎ３、ｉｎ４と、４つの出力チャネルｏｕｔ１、ｏｕｔ２、ｏｕｔ３、ｏｕｔ４との間で、光パスの切り替えを行うものであり、入力チャネルｉｎ１、ｉｎ２、ｉｎ３、ｉｎ４と接続されたチャネル導波路１ａからなるチャネル導波路部１と、光をコリメートするマイクロレンズ２ａからなるコリメート部２と、電圧印加時に光の偏向方向を変える光偏向素子部３と、光を伝播するスラブ導波路４と、電圧印加時に光の偏向方向を変える出力側の光偏向素子部５と、光を集光するマイクロレンズ６ａからなる集光部６と、出力チャネルｏｕｔ１、ｏｕｔ２、ｏｕｔ３、ｏｕｔ４と接続されたチャネル導波路７ａからなるチャネル導波路部７とから構成される。
【００１７】
なお、図１では、煩雑になるため、１つのチャネルについての構成要素のみ符号を記した。なお、他のチャネルも同様の符号であるとする。
光偏向素子部３と、光偏向素子部５は、チャネルごとにそれぞれ２つのプリズム型電極３ａ、３ｂ、５ａ、５ｂを有する。これらプリズム型電極３ａ、３ｂまたは５ａ、５ｂの対に、それぞれ電圧を印加することによって、図示しない電気光学効果を有する素子による屈折率変化で、入力された光信号をそれぞれ異なる方向に偏向する。
【００１８】
図２は、第１の実施の形態の光スイッチの出力側の一部を拡大した図である。本発明の第１の実施の形態の光スイッチ１０は、従来と異なり、出力側のチャネル導波路７ａの軸が、入力側のマイクロレンズ２ａの光軸に対して傾くように配置されており、さらに、入力口が光軸上から上方に外れるように配置されている。これにより、光偏向素子部５のプリズム型電極５ａまたは５ｂに電圧が印加されていない場合は、チャネル導波路７ａには光信号が入力されない。電圧印加の際、プリズム型電極５ａに電圧を印加することで、光信号はプラス方向に偏向し、プリズム型電極５ｂに電圧を印加すると、光信号はマイナス方向に偏向する。チャネル導波路７ａに集光する光の強度が最大、または所定のレベルになるようにするトラッキング制御の際、チャネル導波路７ａの軸が、入力側のマイクロレンズ２ａの光軸に対して上方に傾いているため、制御するのはプリズム型電極５ａのみでよい。
【００１９】
以下、光スイッチ１０の動作の詳細を説明する。
ここでは、入力チャネルｉｎ１、ｉｎ２、ｉｎ３、ｉｎ４のいずれかから、出力チャネルｏｕｔ２へ光パスを切り替える場合について説明する。
【００２０】
入力側からの光信号は、チャネル導波路１ａを伝播し、コリメート部２のマイクロレンズ２ａでコリメートされ、光偏向素子部３でプリズム型電極３ａまたは３ｂに所定の電圧を印加することにより出力チャネルｏｕｔ２方向に偏向される。
【００２１】
図３は、第１の実施の形態の光スイッチにおける、出力側の光偏向素子部に電圧印加をしない場合の光信号の進行方向を示す図である。
入力側の光偏向素子部３から出力側の光偏向素子部５に向かって偏向された光信号は、プリズム型電極５ａ、５ｂに電圧を印加しない場合、チャネルごとに矢印ａ１、ａ２、ａ３、ａ４のように直進し、マイクロレンズ６ａを介した光信号は出力チャネルｏｕｔ２のチャネル導波路７ａに集光しない。そこで、チャネル導波路７ａに光信号を入力するために、光偏向素子部５の、出力チャネルｏｕｔ２側のプリズム型電極５ａまたは５ｂに、所定の電圧を印加する必要がある。
【００２２】
図４は、電圧印加による光信号の切り替えを示す図である。
光スイッチ１０の出力チャネルｏｕｔ２には、主信号とモニタ光を分離するビームスプリッタ２０が接続され、モニタ光を入力して、光偏向素子部５のプリズム型電極５ａ、５ｂの電圧印加を制御する制御部３０を有する。
【００２３】
図５は、制御部の構成図である。
制御部３０は、ビームスプリッタ２０から入力されるモニタ光を検出する光検出部３１と、トラッキング制御のためのトラッキング電圧を制御するトラッキング電圧制御部３２と、光信号を偏向させるための駆動電圧を制御する駆動電圧制御部３３と、トラッキング電圧制御部３２の信号を合成して出力する加算器３４とから構成される。
【００２４】
以下、図４及び図５を用いて、電圧印加による光信号の切り替え動作を説明する。
図４のように、入力チャネルｉｎ１から出力チャネルｏｕｔ２へ、光信号を切り替える場合、光偏向素子部３で、所定の電圧を印加され偏向された光信号は、スラブ導波路４を介して、出力チャネルｏｕｔ２に対応した光偏向素子部５に入力される。ここで、図５における駆動電圧制御部３３により、プリズム型電極５ｂに所定の電圧を印加し、電気光学効果による屈折率変化で、マイクロレンズ６ａに入力し、集光させて、チャネル導波路７ａに入力する。チャネル導波路７ａに入力された光信号は、ビームスプリッタ２０で、例えば、光信号の光強度の９５パーセントを主信号、５パーセントをモニタ光として取り出す。モニタ光は、例えば、光ファイバで、制御部３０に伝播され、光検出部３１で電気信号に変換される。トラッキング電圧制御部３２では、この電気信号が最大、もしくは、所定のレベルになるようにトラッキング電圧を変化させる。この過程で、電圧調整の方向は、トラッキング電圧を微少量変動させて増減の方向を調べる制御法などを用いることができる。トラッキング電圧制御部３２で得られたトラッキング電圧は、加算器３４にて、駆動電圧と加算されて、プリズム型電極５ｂに印加される。
【００２５】
以上の動作の場合、プリズム型電極５ａはオフ状態となって、電圧は印加されないが、例えば、入力チャネルｉｎ４から入力された光信号の場合、駆動電圧制御部３３により生成された駆動電圧は、プリズム型電極５ａに入力されてチャネル導波路７ａに光信号を入力可能なように偏向する。このとき、プリズム型電極５ｂには、駆動電圧は印加されずトラッキング電圧のみが印加される。つまり、トラッキング制御を常に、プラズマ型電極５ｂで行う。
【００２６】
上記のようにすることにより、光信号のスイッチ時のトラッキング制御を単一のプラズマ型電極５ｂの電圧制御で行うことができる。
なお、上記では、出力側のチャネルｏｕｔ２についての説明を行なったが、他の出力側のチャネルｏｕｔ１、ｏｕｔ３、ｏｕｔ４、についても同様で、上記のようなトラッキング制御のための系はそれぞれ存在する。
【００２７】
また、上記では入力側のマイクロレンズ２ａの光軸の上方に位置するように、出力側のチャネル導波路７ａを配置したが、これに限定されることはなく下方に位置するように配置してもよい。その場合、上方に配置されたプリズム型電極５ａのみでトラッキング制御を行うようにしてもよい。
【００２８】
また、上記の説明では、光信号を、マイクロレンズ２ａに入力するため、及び、マイクロレンズ６ａから出力される光信号を入力するために、チャネル導波路１ａ、７ａを用いたが、これに限定されることはなく、例えば光ファイバを用いてもよい。
【００２９】
次に本発明の第２の実施の形態を説明する。
図６は、本発明の第２の実施の形態の光スイッチの構成図である。
光スイッチ５０は、４つの入力チャネルｉｎ１、ｉｎ２、ｉｎ３、ｉｎ４と、４つの出力チャネルｏｕｔ１、ｏｕｔ２、ｏｕｔ３、ｏｕｔ４との間で、光パスの切り替えを行う４×４の光スイッチであり、入力チャネルｉｎ１、ｉｎ２、ｉｎ３、ｉｎ４と接続されたチャネル導波路５１ａからなるチャネル導波路部５１と、光をコリメートするマイクロレンズ５２ａからなるコリメート部５２と、電圧印加時に光の偏向方向を変える光偏向素子部５３と、光を伝播するスラブ導波路５４と、電圧印加時に光の偏向方向を変える出力側の光偏向素子部５５と、光を集光するマイクロレンズ５６ａからなる集光部５６と、出力チャネルｏｕｔ１、ｏｕｔ２、ｏｕｔ３、ｏｕｔ４と接続されたチャネル導波路５７ａからなるチャネル導波路部５７とから構成される。
【００３０】
なお、図６では、煩雑になるため、１つのチャネルについての構成要素のみ符号を記した。なお、他のチャンネルも同様の符号であるとする。
第２の実施の形態の光スイッチ５０は、図１で示した第１の実施の形態の光スイッチ１０と異なり、出力側のチャネル導波路５７ａの軸は、出力側のマイクロレンズ５６ａの光軸と一致している。また、マイクロレンズ５６ａの光軸は、入力側のマイクロレンズ５２ａの光軸に対して上方に傾くように配置されている。
【００３１】
また光スイッチ５０には、光学系アライメント実装のための、補助光学系として、両サイドにチャネル導波路５１ｂ、５７ｂと、マイクロレンズ５２ｂ、５６ｂとを組み合わせた結像系を設けてあり、チャネル導波路５１ｂの軸と、マイクロレンズ５２ｂ、５６ｂの光軸、チャネル導波路５７ｂの軸は、一致するように配置されている。
【００３２】
図７は、第２の実施の形態の光スイッチの出力側の一部を拡大した図である。第１の実施の形態の光スイッチ１０と同様に、出力側のチャネル導波路５７ａの軸が、図６のように入力側のマイクロレンズ５２ａの光軸に対して傾いて配置されており、さらに、入力口が光軸上から上方に外れるように配置されている。これにより、光偏向素子部５５のプリズム型電極５５ａまたは５５ｂに電圧が印加されていない場合は、チャネル導波路５７ａには光信号が入力されない。
【００３３】
図７において、プリズム型電極５５ａに電圧を印加することで、光はマイナス方向に偏向し、プリズム型電極５５ｂに電圧を印加すると、光はプラス方向に偏向する。チャネル導波路５７ａに集光する光の強度が最大、または所定のレベルになるようにするトラッキング制御の際、チャネル導波路５７ａの軸が、入力側のマイクロレンズ５２ａの光軸に対して上方に傾いているため、制御するのはプリズム型電極５５ｂのみでよい。さらに、第２の実施の形態の光スイッチ５０は、出力側のマイクロレンズ５６ａの光軸を、チャネル導波路５７ａの軸と一致するように配置したので、収差が少なくなり、より効率のよい、光の集光が可能となる。
【００３４】
さらに、アライメント用のチャネル導波路５１ｂ、５７ｂと、マイクロレンズ５２ｂ、５７ｂと、を組み合わせた結合系を設けたため、光学系の位置合わせが容易になる。
【００３５】
なお、上記では入力側のマイクロレンズ５２ａの光軸の上方に位置するように、出力側のチャネル導波路５７ａを配置したが、これに限定されることはなく下方に位置するように配置してもよい。その場合、上方に配置されたプリズム型電極５５ａのみでトラッキング制御を行うようにしてもよい。
【００３６】
また、上記の説明では、光をマイクロレンズ５２ａに入力するため、及びマイクロレンズ５６ａから出力される光信号を入力するために、チャネル導波路５１ａ、５７ａを用いたが、これに限定されることはなく、例えば光ファイバを用いてもよい。
【００３７】
次に、第１の実施の形態の光スイッチ１０を適用した光スイッチについて、特に構造部分について詳細に説明する。
図８は、光スイッチの構成を示す平面図である。
【００３８】
また、図９は、図８で示す光スイッチの断面図である。
光スイッチ６０は、４つの入力チャネルｉｎ１、ｉｎ２、ｉｎ３、ｉｎ４と、４つの出力チャネルｏｕｔ１、ｏｕｔ２、ｏｕｔ３、ｏｕｔ４との間で、光パスの切り替えを行うものであり、入力チャネルｉｎ１、ｉｎ２、ｉｎ３、ｉｎ４と接続されたチャネル導波路６１ａからなるチャネル導波路部６１と、コリメートのための導波路レンズ６２ａからなる導波路レンズ部６２と、電圧印加時に光の偏向方向を変える光偏向素子部６３と、光を伝播するスラブ導波路６４と、出力側の光偏向素子部６５と、光を集光する導波路レンズ６６ａからなる導波路レンズ部６６と、出力チャネルｏｕｔ１、ｏｕｔ２、ｏｕｔ３、ｏｕｔ４と接続されたチャネル導波路６７ａからなるチャネル導波路部６７と、から構成される。
【００３９】
なお、図８では、煩雑になるため、１つのチャネルについての構成要素のみ符号を記した。なお、他のチャンネルも同様の符号であるとする。
光偏向素子部６３、６５は、チャネルごとにプリズム型電極６３ａ、６３ｂ、６５ａ、６５ｂを有する。
【００４０】
また、光スイッチ６０は、主に、基板６８上に形成されたクラッド層６９ａ、コア層６９ｂ、クラッド層６９ｃとからなる導波路６９により構成されており、光の偏向を変える部分である光偏向素子部６３、６５が、光学接着剤７０を用いて埋め込まれている構成からなる。また、導波路レンズ部６２、６６は、レンズ状の導波路部分以外が、低屈折率の媒体７１で満たされている。
【００４１】
以下に光偏向素子部６３の詳細を説明する。
図１０は、光偏向素子の構成を示す図であり、（ａ）が上面図であり、（ｂ）が側面図である。
【００４２】
なお、図１０では、光偏向素子部６３の１つのチャネル部分について図示した。
図のように、光偏向素子部６３は、導電性を有する単結晶基板６３ｃ上に、クラッド層６３ｄ、電気光学効果を有するコア層６３ｅ、クラッド層６３ｆからなる導波路層が形成され、その上部にプリズム型電極６３ａ、６３ｂが形成されている構造からなる。
【００４３】
なお、光偏向素子部６５については、光偏向素子部６３と同様の構成であるので説明を省略する。
また、図９において、プリズム型電極６３ａ、６３ｂ、６５ａ、６５ｂが、基板６８に埋め込まれた形に記述されているが、実装形態はこれに限らず、導波路構造を有する、チャネル導波路６１、導波路レンズ部６２、光偏向素子部６３、スラブ導波路６４、光偏向素子部６５、導波路レンズ部６６、チャネル導波路部６７が光接続状態に構成されていればよい。
【００４４】
以下、光スイッチ６０の動作を説明する。
入力チャネルｉｎ１から、出力チャネルｏｕｔ２への光信号を切り替える場合、光信号が入力チャネルｉｎ１からチャネル導波路６１ａに入力されると、光信号は、導波路レンズ６２ａによりコリメートされて、光偏向素子部６３に入力される。光偏向素子部６３では、駆動電圧をプリズム型電極６３ａと単結晶基板６３ｃ間に印加することにより、電気光学効果による屈折率変化で、光の進行方向が図１のように変化する。光はスラブ導波路６４に入力されて、光偏向素子部６５に入力される。ここでも、所定の駆動電圧を印加することにより、光信号を導波路レンズ６６ａに入力する。さらに、導波路レンズ６６ａでは、光を集光して、チャネル導波路６７ａに入力する。
【００４５】
上記の構成による効果は、第１の実施の形態の光スイッチ１０と同様であり、チャネル導波路６７ａの軸が、入力側の導波路レンズ６２ａの光軸に対して上方に傾いているため、トラッキング制御の際に、電圧制御するのはプリズム型電極６５ｂのみでよく、簡単にトラッキング制御が可能である。
【００４６】
また、上記の説明では、第１の実施の形態の光スイッチ１０及び第２の実施の形態の光スイッチ５０は４×４の光スイッチとして説明したが、これに限定されない。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明では、出力側の導波部の軸を、入力側のマイクロレンズの光軸に対して傾けるように配置し、さらに、導波部の入力口を入力側のマイクロレンズの光軸上から外すように配置したので、出力側の光偏向素子部に電圧を印加しない限り、導波部に光が入力されることはない。これにより、電圧印加により、入力された光信号をそれぞれ異なる方向に偏向する少なくとも２つのプリズム型電極を有する光偏向素子において、トラッキング制御時には、単一のプリズム型電極を制御すればよく、制御が簡単になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の光スイッチの構成図である。
【図２】第１の実施の形態の光スイッチの出力側の一部を拡大した図である。
【図３】第１の実施の形態の光スイッチにおける、出力側の光偏向素子部に電圧印加をしない場合の光信号の進行方向を示す図である。
【図４】電圧印加による光信号の切り替えを示す図である。
【図５】制御部の構成図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態の光スイッチの構成図である。
【図７】第２の実施の形態の光スイッチの出力側の一部を拡大した図である。
【図８】光スイッチの構成を示す平面図である。
【図９】図８で示す光スイッチの断面図である。
【図１０】光偏向素子の構成を示す図であり、（ａ）が上面図であり、（ｂ）が側面図である。
【図１１】従来の光スイッチの構成図である。
【図１２】トラッキング制御の様子を示す模式図である。
【符号の説明】
１、７　チャネル導波路部
１、７ａ　チャネル導波路
２　コリメート部
２ａ、６ａ　マイクロレンズ
３、５　光偏向素子部
３ａ、３ｂ、５ａ、５ｂ　プリズム型電極
４　スラブ導波路
１０　光スイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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