(57)【要約】【課題】製造過程におけるフラットディスプレイパネルと排気ヘッドとの熱膨張による位置ずれを防止することが出来る製造装置を提供する。【解決手段】ベーク炉内において製造過程のフラットディスプレイパネルＰに排気ヘッド２３を接続してこのフラットディスプレイパネルＰの内部空間から排気を行う製造装置であって、このベーク炉内の所定位置にフラットディスプレイパネルＰを支持する支持梁２１Ｂに、フラットディスプレイパネルＰを形成する材料とほぼ等しい熱膨張係数を有するセラミックス等の材料によって形成された拘束プレート２４を取り付けて、支持梁２１Ｂの支持状態のフラットディスプレイパネルＰと平行な方向における熱膨張を規制する。【選択図】　　図３
2004095215.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱チャンバ内の所定位置に支持された製造過程のフラットディスプレイパネルに排気ヘッドを接続してこのフラットディスプレイパネルの内部空間から排気を行う製造装置であって、
前記加熱チャンバ内において、フラットディスプレイパネルが、このフラットディスプレイパネルを形成する材料とほぼ等しい熱膨張係数を有する材料によって形成された第１支持部材によって支持されていることを特徴とするフラットディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２】
前記第１支持部材がセラミックスによって形成されている請求項１に記載のフラットディスプレイパネルの製造装置。
【請求項３】
前記加熱チャンバ内において、排気ヘッドが、フラットディスプレイパネルを形成する材料とほぼ等しい熱膨張係数を有する材料によって形成された第２支持部材によって支持されている請求項１に記載のフラットディスプレイパネルの製造装置。
【請求項４】
前記第２支持部材がセラミックスによって形成されている請求項３に記載のフラットディスプレイパネルの製造装置。
【請求項５】
加熱チャンバ内の所定位置に支持された製造過程のフラットディスプレイパネルに排気ヘッドを接続してこのフラットディスプレイパネルの内部空間から排気を行う製造装置であって、
前記加熱チャンバ内においてフラットディスプレイパネルを所定位置に支持する第１支持部材に、フラットディスプレイパネルを形成する材料とほぼ等しい熱膨張係数を有する材料によって形成されて第１支持部材のこの第１支持部材によって支持されたフラットディスプレイパネルと平行な方向における熱膨張を規制する熱膨脹規制部材が取り付けられていることを特徴とするフラットディスプレイパネルの製造装置。
【請求項６】
前記熱膨脹規制部材がセラミックスによって形成されている請求項５に記載のフラットディスプレイパネルの製造装置。
【請求項７】
前記第１支持部材が、支持するフラットディスプレイパネルに対して平行に延びる梁部材とこの梁部材から上方に突出してフラットディスプレイパネルを下方から支持する複数の突起部材を有し、熱膨脹規制部材が各突起部材に嵌合されて隣接する突起部材同士を連結した状態で梁部材に取り付けられている請求項５に記載のフラットディスプレイパネルの製造装置。
【請求項８】
前記熱膨脹規制部材が、第１支持部材に対してこの第１支持部材が支持するフラットディスプレイパネルと平行に延びる方向に固定されている請求項５に記載のフラットディスプレイパネルの製造装置。
【請求項９】
前記加熱チャンバ内において、排気ヘッドが、フラットディスプレイパネルを形成する材料とほぼ等しい熱膨張係数を有する材料によって形成された第２支持部材によって支持されている請求項５に記載のフラットディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１０】
前記第２支持部材がセラミックスによって形成されている請求項９に記載のフラットディスプレイパネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、フラットディスプレイパネルの製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）やフィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）などのフラットディスプレイパネルは、二枚のガラス基板が互いに対向するように配置され、この二枚の基板の間の外縁部がフリットペースト等によって形成される封止層によって封止されて、内部が密閉状態に保持されている。
【０００３】
このようなフラットディスプレイパネルは、その製造工程における二枚の基板の間の空間を封止する封止層の焼成および二枚の基板の間の空間内を真空にするための排気管の封着を行う封着剤の焼成が、ベーク炉と呼ばれる加熱チャンバ内において行われる。
【０００４】
図１は、このようなフラットディスプレイパネルの従来の製造装置を示す側面図である。
【０００５】
この図１において、加熱チャンバ内に入れられた製造過程のフラットディスプレイパネルＰは、ＳＵＳ３０４等に代表される鉄系の金属でできた支柱１Ａおよび支持梁１Ｂ，サポート１Ｃ等で構成されたフレーム１によって支持される。
【０００６】
そして、このフレーム１によって支持されたフラットディスプレイパネルＰに対して、フレーム１の支柱１Ａに取り付けられている排気ヘッド支持台２によって支持された排気ヘッド３から延びる排気管３Ａが接続される。
【０００７】
この状態で、フラットディスプレイパネルＰの二枚の基板の間に形成された封止層の焼成および基板と排気管３Ａとを封着する封着剤の焼成が行われた後、排気ヘッド３によって、排気管３Ａから、フラットディスプレイパネルＰの二枚の基板の間に形成された空間を真空にするための排気が行われる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来のフラットディスプレイパネルの製造装置においては、フラットディスプレイパネルＰとこのフラットディスプレイパネルＰや排気ヘッド３を支持しているフレーム１および排気ヘッド支持台２の熱膨張係数が異なっているために、フラットディスプレイパネルＰの封止層や排気管３Ａの封着剤の焼成時に、フレーム１によって支持されているフラットディスプレイパネルＰが、このフレーム１の膨張や収縮に引きずられて、排気ヘッド３に対する相対的位置が変化してしまう。
【０００９】
これが、排気管３Ａの位置ずれや破損の原因になっている。
【００１０】
また、製造工程の自動化のために、加熱チャンバ内へのフラットディスプレイパネルＰのセッティングやこのフラットディスプレイパネルＰへの排気ヘッド３の接続を自動で行う場合に、排気ヘッドが排気ヘッド支持台２に対して固定されている必要があるが、この場合には、上記したような各々の間の熱膨張係数が異なることによって、フラットディスプレイパネルＰとこのフラットディスプレイパネルＰに接続された排気ヘッド３との間にストレスが発生するのを防止することが出来なくなる。
【００１１】
このため、このフラットディスプレイパネルＰの排気ヘッド３に対する相対的移動が、製造工程を自動化する際の阻害要因になっている。
【００１２】
この発明は、上記のような従来のフラットディスプレイパネルの製造装置における問題点を解決するために為されたものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
第１の発明（請求項１に記載の発明）によるフラットディスプレイパネルの製造装置は、上記目的を達成するために、加熱チャンバ内の所定位置に支持された製造過程のフラットディスプレイパネルに排気ヘッドを接続してこのフラットディスプレイパネルの内部空間から排気を行う製造装置であって、前記加熱チャンバ内において、フラットディスプレイパネルが、このフラットディスプレイパネルを形成する材料とほぼ等しい熱膨張係数を有する材料によって形成された第１支持部材によって支持されていることを特徴としている。
【００１４】
さらに、第２の発明（請求項５に記載の発明）によるフラットディスプレイパネルの製造装置は、上記目的を達成するために、加熱チャンバ内の所定位置に支持された製造過程のフラットディスプレイパネルに排気ヘッドを接続してこのフラットディスプレイパネルの内部空間から排気を行う製造装置であって、前記加熱チャンバ内においてフラットディスプレイパネルを所定位置に支持する第１支持部材に、フラットディスプレイパネルを形成する材料とほぼ等しい熱膨張係数を有する材料によって形成されて第１支持部材のこの第１支持部材によって支持されたフラットディスプレイパネルと平行な方向における熱膨張を規制する熱膨脹規制部材が取り付けられていることを特徴としている。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の最も好適と思われる実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明を行う。
【００１６】
図２は、この発明によるフラットディスプレイパネルの製造装置の実施形態における第１の例を示す側面図である。
【００１７】
この図２において、フラットディスプレイパネルの製造装置１０は、その構造的構成は図１の製造装置とほぼ同一であり、フラットディスプレイパネルＰを支持するフレーム１１が、支柱１１Ａと、この支柱１１Ａ間に架け渡された支持梁１１Ｂと、この支持梁１１Ｂ上においてフラットディスプレイパネルＰを支持するサポート１１Ｃによって構成され、排気ヘッド１３を支持する排気ヘッド支持台１２が、支柱１１Ａに取り付けられている。
【００１８】
そして、このフレーム１１の支持梁１１Ｂが、フラットディスプレイパネルＰを構成するガラス基板の熱膨脹係数（８．３×１０−６／℃）とほぼ等しい材料、例えばセラミックス等で形成されている。
【００１９】
これによって、この製造装置１０によれば、支持梁１１Ｂとこの支持梁１１Ｂによって支持されたフラットディスプレイパネルＰの熱膨脹率がほぼ等しくなり、熱膨脹によるフラットディスプレイパネルＰと排気ヘッド１３との間の相対的位置のずれがほとんど無くなって、フラットディスプレイパネルＰの製造工程時において排気管１３Ａの位置ずれや破損が発生するのを防止することが出来るようになる。
【００２０】
さらに、この製造装置１０によれば、排気ヘッド１３が排気ヘッド支持台１２に対して固定されている場合でも、支持梁１１Ｂ上に支持されたフラットディスプレイパネルＰとこのフラットディスプレイパネルＰに接続された排気ヘッド３との間にストレスが発生するのを防止することが出来るので、製造工程の自動化に貢献することが出来るようになる。
【００２１】
上記の例において、排気ヘッド支持台１２を、さらに、フラットディスプレイパネルＰを構成するガラス基板の熱膨脹係数とほぼ等しい、例えばセラミックス等の材料によって形成しても良い。
【００２２】
これによって、熱膨脹によるフラットディスプレイパネルＰと排気ヘッド支持台１２によって支持されている排気ヘッド１３との間の相対的位置のずれを、さらに小さくすることが出来るようになり、フラットディスプレイパネルＰの製造工程時における排気管１３Ａの位置ずれや破損の発生をさらに防止することが出来るようになるとともに、製造工程の自動化にもさらに貢献することが出来るようになる。
【００２３】
図３は、この発明によるフラットディスプレイパネルの製造装置の実施形態における第２の例を示す側面図である。
【００２４】
この図３において、フラットディスプレイパネルの製造装置２０は、フレーム２１を構成する支柱２１Ａおよび支持梁２１Ｂ，サポート２１Ｃと排気ヘッド２３を支持する排気ヘッド支持台２２が、ステンレス等の金属によって形成されている。
【００２５】
そして、このフレーム２１の支持梁２１Ｂ上に、フラットディスプレイパネルＰを構成するガラス基板の熱膨脹係数（８．３×１０−６／℃）とほぼ等しい例えばセラミックス等の材料で形成された拘束プレート２４が載置された状態で取り付けられており、図４に示されるように、ボルト２５によって支持梁２１Ｂに固定されている。
【００２６】
そして、フレーム２１の各サポート２１Ｃは、拘束プレート２４を貫通してその上端部が拘束プレート２４の上方に突出した状態で、拘束プレート２４に係合されている。
【００２７】
図５は、この拘束プレート２４とフレーム２１のサポート２１Ｃとの嵌合部の構成の一例を示す側断面図である。
【００２８】
この図５において、拘束プレート２４には、フレーム２１の支持梁２１Ｂ上に配設されているサポート２１Ｃの各位置に対応する位置に、サポート２１Ｃの外径とほぼ同じ内径を有する嵌合孔２４ａがそれぞれ形成されていて、この各嵌合孔２４ａが対応するサポート２１Ｃにそれぞれ嵌合されることによって、拘束プレート２４が支持梁２１Ｂ上に取り付けられている。
【００２９】
このように、拘束プレート２４の嵌合孔２４ａ内にサポート２１Ｃが嵌合されることによって、支持梁２１Ｂの拘束プレート２４と平行な平面内における熱膨脹および収縮が、サポート２１Ｃと拘束プレート２４との係合によって規制される。
【００３０】
図６は、拘束プレート２４とフレーム２１のサポート２１Ｃとの嵌合部の構成の他の例を示す側断面図である。
【００３１】
この図６において、サポート２１Ｃの下端部外周面に、フランジ２１Ｃａが一体的に形成されている。
【００３２】
そして、拘束プレート２４のフレーム２１の支持梁２１Ｂ上に配設されているサポート２１Ｃの各位置に対応する位置において、支持梁２１Ｂに面する側に、サポート２１Ｃの外径とほぼ同じ内径を有する嵌合孔２４ｂが形成され、反対側の面に、サポート２１Ｃのフランジ２１Ｃａの外径とほぼ同じな内径を有する嵌合孔２４ｃが形成されており、この拘束プレート２４の嵌合孔２４ｂにサポート２１Ｃの本体部が嵌合され、嵌合孔２４ｃにサポート２１Ｃのフランジ２１Ｃａが嵌合されることによって、拘束プレート２４が支持梁２１Ｂに対して係合状態で取り付けられている。
【００３３】
なお、図６中、２６は、フランジ２１Ｃａを嵌合孔２４ｃ内に固定するための固定プレートである。
【００３４】
この例における拘束プレート２４の支持梁２１Ｂへの取り付けは、サポート２１Ｃを支持梁２１Ｂから取り外した状態で、拘束プレート２４を支持梁２１Ｂに重ね合わせ、この後に、サポート２１Ｃを拘束プレート２４の嵌合孔２４ｂおよび２４ｃに挿入して支持梁２１Ｂに固定するようにしてもよく、また、フランジ２１Ｃａをサポート２１Ｃの本体部から取り外した状態で、このサポート２１Ｃの本体部を拘束プレート２４の嵌合孔２４ｂおよび２４ｃ内に嵌合させ、この後に、フランジ２１Ｃａをサポート２１Ｃの本体部に固定するようにしても良い。
【００３５】
このように、拘束プレート２４の嵌合孔２４ｂおよび２４ｃ内にサポート２１Ｃおよびそのフランジ２１Ｃａが嵌合されることによって、支持梁２１Ｂの拘束プレート２４と平行な平面内における熱膨脹および収縮が、サポート２１Ｃおよびフランジ２１Ｃａと拘束プレート２４との係合によって規制される。
【００３６】
以上のように、この例における製造装置も、第１の例の場合と同様に、支持梁２１Ｂの膨張および収縮によるサポート２１Ｃの移動が、このサポート２１Ｃに係合されている拘束プレート２４によって拘束されることによって、サポート２１Ｃ上に支持されたフラットディスプレイパネルＰが、支持梁２１Ｂの膨張および収縮に引きずられて、排気ヘッド２３に対して相対的に移動するのが規制される。
【００３７】
図７ないし９は、この発明によるフラットディスプレイパネルの製造装置の実施形態における第３の例を示す側面図である。
【００３８】
この図７ないし９において、フラットディスプレイパネルの製造装置３０は、フレーム３１の互いに平行に延びる一対の支持梁３１Ｂ間に、フラットディスプレイパネルＰを構成するガラス基板の熱膨脹係数（８．３×１０−６／℃）とほぼ等しい例えばセラミックス等の材料で形成された少なくとも一対のパネル支持プレート３７を、支持梁３１Ｂと直角向きに架け渡し、このパネル支持プレート３７に形成された嵌合孔３７ａ内に支持梁３１Ｂ上に立設されたサポート３１Ｃを嵌合させることによって、支持梁３１Ｂに取り付けられている。
【００３９】
そして、支持梁３１Ｂの外側面に、それぞれ、パネル支持プレート３７と同じくフラットディスプレイパネルＰを構成するガラス基板の熱膨脹係数とほぼ等しい例えばセラミックス等の材料で形成された拘束プレート３４が、ボルト３８によって固定されており、この拘束プレート３４にパネル支持プレート３７の両端部が拘束ピン３９によって連結されている。
【００４０】
これによって、この例における製造装置３０も、第１および２の例の場合と同様に、支持梁３１Ｂの膨張および収縮によるサポート３１Ｃの移動が、このサポート３１Ｃが係合されているパネル支持プレート３７および拘束プレート３４によって拘束されることによって、サポート３１Ｃ上に支持されたフラットディスプレイパネルＰが、支持梁３１Ｂの膨張および収縮に引きずられて、排気ヘッドに対して相対的に移動するのが規制される。
【００４１】
そして、この例における製造装置３０は、第１および２の例の製造装置と比べて、拘束プレート３４が最小限の大きさで使用されているので、その支持荷重を確保したまま安価に製作することが出来る。
【００４２】
なお、上記の第２および３の例において、排気ヘッド支持台をそれぞれセラミックス等のフラットディスプレイパネルを構成するガラス基板の熱膨脹係数とほぼ等しい材料で形成するようにしても良い。
【００４３】
これによって、フラットディスプレイパネルと排気ヘッドの間の熱膨張によって生じる相対的位置のずれをさらに小さくすることが出来る。
【００４４】
上記のこの発明によるフラットディスプレイパネルの製造装置の第１の例における実施形態は、加熱チャンバ内の所定位置に支持された製造過程のフラットディスプレイパネルに排気ヘッドを接続してこのフラットディスプレイパネルの内部空間から排気を行う製造装置であって、前記加熱チャンバ内において、フラットディスプレイパネルが、このフラットディスプレイパネルを形成する材料とほぼ等しい熱膨張係数を有する材料によって形成された第１支持部材によって支持されているフラットディスプレイパネルの製造装置の実施形態を、その上位概念とするものである。
【００４５】
この実施形態におけるフラットディスプレイパネルの製造装置は、第１支持部材とこの第１支持部材によって支持されたフラットディスプレイパネルの熱膨脹率がほぼ等しいことによって、熱膨脹によるフラットディスプレイパネルとこのフラットディスプレイパネルに接続された排気ヘッドとの間に生じる相対的位置のずれが小さくなり、これによって、フラットディスプレイパネルの製造工程時において排気ヘッドの位置ずれや破損が発生するのを防止することが出来るようになる。
【００４６】
さらに、この製造装置によれば、排気ヘッドがこの排気ヘッドを支持する支持部材に対して固定されている場合でも、第１支持部材上に支持されたフラットディスプレイパネルとこのフラットディスプレイパネルに接続された排気ヘッドとの間にストレスが発生するのを防止することが出来るので、製造工程の自動化に貢献することが出来るようになる。
【００４７】
なお、この製造装置において、排気ヘッドを支持する支持部材を、さらに、フラットディスプレイパネルを構成するガラス基板の熱膨脹係数とほぼ等しい、例えばセラミックス等の材料によって形成するようにすれば、熱膨脹によるフラットディスプレイパネルと排気ヘッドとの間の相対的位置のずれを、さらに小さくすることが出来るようになり、これによって、フラットディスプレイパネルの製造工程時における排気ヘッドの位置ずれや破損の発生をさらに防止することが出来るようになるとともに、製造工程の自動化にもさらに貢献することが出来るようになる。
【００４８】
上記のこの発明によるフラットディスプレイパネルの製造装置の第２および３の例における実施形態は、加熱チャンバ内の所定位置に支持された製造過程のフラットディスプレイパネルに排気ヘッドを接続してこのフラットディスプレイパネルの内部空間から排気を行う製造装置であって、前記加熱チャンバ内においてフラットディスプレイパネルを所定位置に支持する第１支持部材に、フラットディスプレイパネルを形成する材料とほぼ等しい熱膨張係数を有する材料によって形成されて支持部材のこの支持部材によって支持されたフラットディスプレイパネルと平行な方向における熱膨張を規制する熱膨脹規制部材が取り付けられているフラットディスプレイパネルの製造装置の実施形態を、その上位概念とするものである。
【００４９】
この実施形態におけるフラットディスプレイパネルの製造装置は、フラットディスプレイパネルを支持している第１支持部材のフラットディスプレイパネルと平行な方向における熱膨張が、この第１支持部材に取り付けられた熱膨脹規制部材によって拘束されることによって、第１支持部材上に支持されたフラットディスプレイパネルが、第１支持部材の膨張や収縮に引きずられて、排気ヘッドに対して相対的に移動するのが規制される。
【００５０】
これによって、フラットディスプレイパネルの製造工程時において排気ヘッドの位置ずれや破損が発生するのを防止することが出来るようになり、さらに、排気ヘッドがこの排気ヘッドを支持する支持部材に対して固定されている場合でも、第１支持部材上に支持されたフラットディスプレイパネルとこのフラットディスプレイパネルに接続された排気ヘッドとの間にストレスが発生するのを防止することが出来るので、製造工程の自動化に貢献することが出来るようになる。
【００５１】
なお、この製造装置において、排気ヘッドを支持する支持部材を、さらに、フラットディスプレイパネルを構成するガラス基板の熱膨脹係数とほぼ等しい、例えばセラミックス等の材料によって形成するようにすれば、熱膨脹によるフラットディスプレイパネルと排気ヘッドとの間の相対的位置のずれを、さらに小さくすることが出来るようになり、これによって、フラットディスプレイパネルの製造工程時における排気ヘッドの位置ずれや破損の発生をさらに防止することが出来るようになるとともに、製造工程の自動化にもさらに貢献することが出来るようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来例を一部を断面して示す側面図である。
【図２】この発明の実施形態における第１の例を一部を断面して示す側面図である。
【図３】この発明の実施形態における第２の例を示す側面図である。
【図４】同例における拘束プレートの取り付け状態を示す側面図である。
【図５】同例における拘束プレートとサポートとの嵌合部の構成の一例を示す側断面図である。
【図６】同例における拘束プレートとサポートとの嵌合部の構成の他の例を示す側断面図である。
【図７】この発明の実施形態における第３の例を示す平面図である。
【図８】同例を部分的に拡大して示す側面図である。
【図９】同例を部分的に拡大して示す平面図である。
【符号の説明】
１０，２０，３０　　　　　…製造装置
１１，２１，３１　　　　　…フレーム
１１Ａ，２１Ａ，３１Ａ　　…支柱
１１Ｂ，２１Ｂ，３１Ｂ　　…支持梁（第１支持部材）
１１Ｃ，２１Ｃ，３１Ｃ　　…サポート（第１支持部材）
１２，２２　　　　　　　　…排気ヘッド支持台（第２支持部材）
１３，２３　　　　　　　　…排気ヘッド
２４，３４　　　　　　　　…拘束プレート（熱膨脹規制部材）
３７　　　　　　　　　　　…パネル支持プレート
【図１】
2004095215.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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