(57)【要約】【課題】処理ガスの処理空間からの漏れや処理空間への外気侵入を確実に阻止できる常圧プラズマ処理装置を提供する。【解決手段】常圧プラズマ処理装置の電極１１のホルダ３０Ｓには、不活性ガスを吹出すことにより処理空間１ａの周縁部に第１ガスカーテンＣ１を形成する第１吹出し手段（路３０ｆ）と、この路３０ｆより上記処理空間１ａとは逆側において不活性ガスを吹出すことにより第２ガスカーテンＣ２を形成する第２吹出し手段（路３０ｇ）とが形成されている。これら路３０ｆ，３０ｇは、処理空間１ａの厚さ方向に対して他方の逆側に傾いている。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略常圧の処理空間においてプラズマ化した処理ガスにより被処理物のプラズマ表面処理を行なう装置であって、
不活性ガスを吹出すことにより上記処理空間の周縁部に第１ガスカーテンを形成する第１吹出し手段と、この第１吹出し手段より上記処理空間とは逆側において不活性ガスを吹出すことにより第２ガスカーテンを形成する第２吹出し手段とを備え、これら吹出し手段のうち少なくとも一方の吹出し方向が、上記処理空間の厚さ方向に対して他方の吹出し手段とは逆側に傾けられていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
上記他方の吹出し手段の吹出し方向が、上記処理空間の厚さ方向に沿っているか、または上記処理空間の厚さ方向に対して上記一方の吹出し手段とは逆側に傾けられていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
上記処理空間の周縁部に沿って延び、この延び方向に不活性ガスを拡げる不活性ガス拡げ手段を備え、この不活性ガス拡げ手段の略全長域から上記第１、第２吹出し手段が分岐して延びていることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
上記第１、第２吹出し手段の吹出し方向どうしが、上記不活性ガス拡げ手段の延び方向と直交する仮想面に沿う断面視「ハ」字状をなしていることを特徴とする請求項３に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
間に上記処理空間を画成し、この空間に導入された処理ガスを電界印加によってプラズマ化する一対の電極と、各電極の周縁部に設けられたホルダとを備え、一方の電極ホルダに上記第１、第２吹出し手段が設けられ、他方の電極ホルダが、これら吹出し手段の吹出し方向の先に配置されていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のプラズマ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、略常圧下において処理ガスをプラズマ化して被処理物の表面改質、洗浄、成膜、エッチング、アッシングなどのプラズマ表面処理を行なう常圧プラズマ処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、特許文献１には、一対の電極間に処理空間を画成し、略常圧下においてこの処理空間に処理ガスを導入するとともに電極への電界印加によってプラズマ化させ、被処理物のプラズマ表面処理を行なう装置が記載されている。
特許文献２には、一対の電極を収容したノズルヘッドと被処理物との間に処理空間を画成し、ノズルヘッドからプラズマ化された処理ガスを処理空間に吹出し、被処理物のプラズマ表面処理を行なう装置が記載されている。更に、同文献２には、処理空間を囲むようにして不活性ガスの吹出し孔を多数設け、ガスカーテンを形成することが記載されている。各吹出し孔からの吹出し方向は、処理空間の厚さ方向に沿うようにまっすぐ下に向いている。これによって、処理ガスが処理空間から漏れたり外気が処理空間へ侵入したりするのを低減できる。
【０００３】
【特許文献１】
特開３０４０３５８号公報（第８図、第７頁）
【特許文献２】
特開２００２−１７６０５０号公報（第２図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記のガスカーテン機構において、処理ガスの漏れや外気侵入の低減度を一層高め、確実に阻止することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記問題点を解決するために提案されたものであり、略常圧の処理空間においてプラズマ化した処理ガスにより被処理物のプラズマ表面処理を行なう装置であって、不活性ガスを吹出すことにより上記処理空間の周縁部に第１ガスカーテンを形成する第１吹出し手段と、この第１吹出し手段より上記処理空間とは逆側において不活性ガスを吹出すことにより第２ガスカーテンを形成する第２吹出し手段とを備え、これら吹出し手段のうち少なくとも一方の吹出し方向が、上記処理空間の厚さ方向に対して他方の吹出し手段とは逆側に傾けられていることを特徴とする。
【０００６】
上記特徴構成によれば、処理空間の周縁にガスカーテンを二重に形成でき、処理ガスが処理空間から漏れたり外気が処理空間へ侵入したりするのを低減できる。しかも、第１吹出し手段の吹出し方向ひいては第１ガスカーテンを、第２吹出し手段とは逆側すなわち処理空間側へ傾けることにより、処理ガスが処理空間から漏れるのを確実に阻止することができる。一方、第２吹出し手段を、第１吹出し手段すなわち処理空間とは逆側へ傾けることにより、外気が処理空間へ侵入するのを確実に阻止することができる。
【０００７】
上記他方の吹出し手段の吹出し方向は、上記処理空間の厚さ方向に沿っているか、または上記処理空間の厚さ方向に対して上記一方の吹出し手段とは逆側に傾けられていることが望ましい。すなわち、一方の吹出し手段として第１吹出し手段の吹出し方向が上記処理空間の側へ傾けられているときは、第２吹出し手段の吹出し方向は、上記処理空間の厚さ方向に沿っているか、または上記処理空間の逆側に傾けられていることが望ましい。これによって、処理ガスの漏れを確実に阻止できるととともに、外気侵入を確実に低減ないしは阻止することができる。また、一方の吹出し手段として第２吹出し手段の吹出し方向が上記処理空間の逆側へ傾けられているときは、第１吹出し手段の吹出し方向は、上記処理空間の厚さ方向に沿っているか、または上記処理空間の側に傾けられていることが望ましい。これによって、外気侵入を確実に阻止できるととともに、処理ガスの漏れを確実に低減ないしは阻止することができる。
【０００８】
上記処理空間の周縁部に沿って延び、この延び方向に不活性ガスを拡げる不活性ガス拡げ手段を備え、この不活性ガス拡げ手段の略全長域から上記第１、第２吹出し手段が分岐して延びていることが望ましい。これによって、単一の不活性ガス拡げ手段によって第１、第２の何れの吹出し手段にも対応することができる。しかも、第１、第２ガスカーテンを処理空間の周縁に沿って延びるように形成でき、処理ガスの漏れや外気侵入を一層確実に阻止することができる。
【０００９】
上記第１、第２吹出し手段の吹出し方向どうしが、上記不活性ガス拡げ手段の延び方向と直交する仮想面に沿う断面視「ハ」字状をなしていることが望ましい。これによって、処理ガスの漏れをより一層確実に阻止できるとともに、外気侵入をより一層確実に阻止することができる。
【００１０】
更に、間に上記処理空間を画成し、この空間に導入された処理ガスを電界印加によってプラズマ化する一対の電極と、各電極の周縁部に設けられたホルダとを備え、一方の電極ホルダに上記第１、第２吹出し手段が設けられ、他方の電極ホルダが、これら吹出し手段の吹出し方向の先に配置されていることが望ましい。これによって、２つの吹出し手段を１つの電極ホルダに組み込むことができ、構成を簡素化できる。また、一対の電極ホルダの間にガスカーテンを形成することができ、処理ガスの漏れや外気侵入を確実に阻止することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
図１および図２に示すように、この実施形態に係る常圧プラズマ処理装置Ｍ１は、上下一対の電極ユニット１０，２０を備えている。これら電極ユニット１０，２０の後記電極１１，２１間に形成された処理空間１ａに薄板状のワークＷ（被処理物）が配置（具体的には下側電極ユニット２０の上面に載置）され、常圧下においてこのワークＷの上面が洗浄（表面処理）されるようになっている。
【００１２】
下側のアース電極ユニット２０は、平面視四角形の厚板状をなすアース電極２１と、このアース電極２１の四隅に装着された樹脂製の電極ホルダ２２とを有し、図示しない装置本体に支持されている。アース電極２１は、接地線４２を介して接地されている。アース電極２１の上面および側面には、例えばアルミナからなる固体誘電体の溶射膜２３が形成されている。アース電極２１の内部には、冷媒通路２１ａが形成されている。この冷媒通路２１ａに冷媒が通されることにより、アース電極２１が冷却または加温（温度調節）されるようになっている。
【００１３】
上側のホット電極ユニット１０は、平面視左右に長い四角形のホット電極１１と、このホット電極１１の四隅に装着された電極ホルダ３０Ｆ，３０Ｒ，３０Ｓとを有している。ホット電極１１は、アース電極２１と対向する下側に配された対向側電極部材１２と、アース電極２１とは逆の上側に配された背向側電極部材１３とに分割され、これらが分離可能に接合されている。
【００１４】
背向側電極部材１３は、導電金属、好ましくは軽量なアルミニウムによって厚肉の板状に形成されている。詳細な図示は省略するが、背向側電極部材１３は、懸架ブラケット１９を介して上記装置本体に前後スライド可能に懸架、支持されている。これによって、ホット電極ユニット１０が、アース電極ユニット２０の真上に対向するセット位置（図１の状態）と、後方（図１において左方）に退避してアース電極ユニット２０の上面を露出させる退避位置（図示省略）との間で水平移動可能になっている。セット位置において、上下の電極ユニット１０，２０間（後記樹脂シート７６（図３）と溶射膜２３との間）には、例えば１〜２ｍｍ程度の厚さの隙間すなわち上記処理空間１ａが形成されるようになっている。
【００１５】
また、図１に示すように、背向側電極部材１３は、給電線４１を介してパルス電源４０（電界印加手段）に接続されている。パルス電源４０は、所定高さのパルス状の電圧を所定周期でホット電極１１に供給するようになっている。
【００１６】
さらに、図１および図２に示すように、背向側電極部材１３の内部には、冷媒通路１３ａが形成されている。冷媒通路１３ａは、平面視Ｕ字状をなして左右に延びるとともに、両端が背向側電極部材１３の上面に開口されている。冷媒通路１３ａの上流端には、フレキシブルチューブからなる冷媒導入管６１が連ねられ、下流端には、フレキシブルチューブからなる冷媒導出管６２が連ねられている。導入管６１からの冷水や温水などの冷媒が、冷媒通路１３ａに通されることにより、ホット電極１１が冷却または加温（温度調節）されるようになっている。その後、冷媒は、導出管６２を経て排出されるようになっている。
【００１７】
ホット電極１１の対向側電極部材１２は、背向側電極部材１３と同様に、導電金属、好ましくは軽量なアルミニウムによって構成され、背向側電極部材１３と同一の平面形状で、かつ、背向側電極部材１３より薄い板状をなしている。対向側電極部材１２の下面の隅部は、全周にわたってＲ取りされている。
【００１８】
ホット電極１１の２つの分割部材１２，１３どうしの接合構造について説明する。
背向側電極部材１３には、上面から下面へ貫通する挿通孔１３ｂが適宜な間隔を置いて複数形成されている。対向側電極部材１２の上記挿通孔１３ｂに対応する位置には、内周面に雌ネジを有するボルト孔１２ａが形成されている。ボルト孔１２ａは、対向側電極部材１２の上面から厚さ方向の中程まで形成され、対向側電極部材１２の下面へは達していない。（したがって、対向側電極部材１２の下面は、ボルト孔１２ａの配置箇所においても滑らかな状態になっており、ひいては下面全体が滑らかになっている。）そして、ボルト１４が、挿通孔１３ｂを通してボルト孔１２ａにねじこまれている。このボルト１４によって、対向側電極部材１２が、背向側電極部材１３に引き付けられ、押し当てられている。
【００１９】
ホット電極１１において、対向側電極部材１２の下面（アース電極２１との対向面）には、誘電体板７１が設けられている。誘電体板７１は、薄く（例えば厚さ１ｍｍ程度）透明な石英ガラスで構成され、ホット電極１１に対する固体誘電体としての役割を担っている。勿論、この誘電体板７１は、ホット電極１１の背向側電極部材１３とは別体物である。
【００２０】
図３に示すように、誘電体板７１の下面には、薄い樹脂シート７６が接着されている。このシート７６は、フッ素を含有する樹脂、例えばテトラフルオロエチレンで構成されている。
【００２１】
対向側電極部材１２と誘電体板７１とは、紫外線硬化接着剤７４（光硬化接着剤）によって接着されている。この接着剤７４は、加水分解性官能基（例えばアルコキシ基）を有する珪素系の化合物と、紫外線（光）照射により上記珪素系化合物の反応、重合、または架橋を促進させる化合物（例えばカルボン酸無水物、カルボン酸イミド、ジアシルホスフィンオキサイドなど）とを含有しており、誘電体板７１と対向側電極部材１２が熱で相対的に膨張・収縮するとき、両者の接着状態を維持しつつその熱膨縮の差を吸収する程度の伸縮性を有している。
【００２２】
なお、硬化前の接着剤７４は、粘度が低い。この低粘度の接着剤７４を対向側電極部材１２と誘電体板７１の間に塗布した後、誘電体板７１を小さく揺する。これにより、接着剤７４内から気泡を確実に除去することができる。その後、接着剤７４に紫外線を当てて硬化させる。誘電体板７１は透明な石英ガラスで構成されているので、紫外線を十分に透過させることができる。
【００２３】
図１および図２に示すように、上記誘電体板７１の周縁部は、対向側電極部材１２の周縁部より突出している。この誘電体板７１の周縁突出部分の上面と対向側電極部材１２の周側面とに、角材状をなす上記添え部材７３が宛がわれている。添え部材７３は、誘電体の樹脂で構成されている。添え部材７３は、対向側電極部材１２の４つの縁に合わせて４つに分割されているが、一体に連なって枠状をなしていてもよい。添え部材７３は、水平なボルト７５によって対向側電極部材１２の周側面に固定されている。このボルト７５は、誘電体の樹脂によって形成されている。
【００２４】
次に、ホット電極ユニット１０の電極ホルダについて説明する。
図１に示すように、前側の電極ホルダ３０Ｆは、逆Ｌ字状をなしてホット電極１１に直接宛がわれた内ホルダ部材３１と、その前方外側に設けられた外ホルダ部材３２と、これらホルダ部材３１，３２の上側に設けられた上板３３と、ホルダ部材３２の下側に設けられた下板３４とを有し、ホット電極１１の前端部に沿って左右（図１の紙面と直交する方向）に細長く延びている。
【００２５】
前側ホルダ３０Ｆには、処理ガス源５０と協働する処理ガス導入機構が組み込まれている。すなわち、前側ホルダ３０Ｆの外ホルダ部材３２には、処理ガスの導入路３２ａが形成されている。導入路３２ａは、受容れ路３２ｂと、チャンバー３２ｃと、スリット３２ｄとを上流側から順次連ねることによって構成されている。受容れ路３２ｂの上流端は、フレキシブルチューブからなる処理ガス供給管５１を介して処理ガス源５０に連ねられている。処理ガス源５０には、洗浄用処理ガスとして例えばＮ２やＯ２などが貯えられている。
【００２６】
チャンバー３２ｃは、大容積を有して外ホルダ部材３２の略全長にわたって延び、受容れ路３２ｂからの処理ガスを左右長手方向に均一化できるようになっている。スリット３２ｄは、チャンバー３２ｃの全長域からホット電極１１へ近づくように斜め下に延びている。このスリット３２ｄの全長域に吹出し路３０ａが連なっている。吹出し路３０ａは、内ホルダ部材３１のＲ取りされた下端部と、下板３４の曲面加工された端縁とによって形成され、図１の紙面と直交する左右に延びている。吹出し路３０ａは、後方すなわち電極ユニット１０の内側へ向けて斜め下に開口されている。
【００２７】
なお、下板３４をホルダ部材３２にボルト締めするボルト孔３４ａは、前後方向に長い長孔になっている。これにより、下板３４の前後位置を調節でき、ひいては吹出し路３０ａの幅を拡縮することができるようになっている。また、下板３４には、チャンバー３２ｃに連なる他の吹出し路３４ｂが形成されている。吹出し路３４ｂは、吹出し路３０ａより前側に位置し、前方へ向けて斜め下に開口している。
【００２８】
ホット電極１１の後側のホルダ３０Ｒは、前側ホルダ３０Ｆを前後に反転させた構造をなしている。すなわち、電極ホルダ３０Ｒは、内外のホルダ部材３５，３６と、上下の板３７，３８を有している。後側ホルダ３０Ｒには、真空ポンプ５３（排気手段）と協働する排気機構が組み込まれている。すなわち、内ホルダ部材３５と下板３８とによって、吸込み路３０ｂが形成されている。下板３８のボルト孔３８ａが長孔になることによって、下板３８の前後位置を調節でき、吸込み路３０ｂを拡縮できるようになっている。外ホルダ部材３６には、排気路３６ａが形成されている。排気路３６ａは、吸込み路３０ｂから延びるスリット３６ｄと、このスリット３６ｄに連なるチャンバー３６ｃと、このチャンバー３６ｃに連なる導出路３６ｂとを有している。導出路３６ｂの下流端は、フレキシブルチューブからなる排気管５２を介して真空ポンプ５３に連なっている。
【００２９】
本発明の特徴部分について説明する。
図２に示すように、ホット電極１１の左右両側のホルダ３０Ｓは、正面視逆Ｌ字状をなして前後方向に長く延び、ホット電極１１の左右側部に宛がわれている。これらホルダ３０Ｓには、カーテンガス源５４と協働するガスカーテン機構が組み込まれている。
【００３０】
すなわち、図２および図４に示すように、各ホルダ３０Ｓには、カーテンガスの導入路３０ｃが形成されている。導入路３０ｃは、垂直路３０ｄと、水平路（不活性ガス拡げ手段）３０ｅと、複数の第１、第２吹出し路（第１、第２吹出し手段）３０ｆ，３０ｇとを有している。垂直路３０ｄは、ホルダ３０Ｓの長手方向中央において上面から垂直下方に延びている。図２に示すように、垂直路３０ｄの上端には、フレキシブルチューブからなるカーテンガス供給管５５を介してカーテンガス源５４に接続されている。カーテンガス源５４には、カーテンガスとして例えばＮ２などの不活性ガスが貯えられている。なお、上記処理ガスがカーテンガスと同一物質の場合には、処理ガス源５０をカーテンガス源として兼用させてもよい。
【００３１】
図４（ａ）、（ｂ）に示すように、水平路３０ｅは、垂直路３０ｄの下端部に連なるとともにホルダ３０Ｓの全長にわたって前後方向すなわち処理空間１ａの前後の縁に沿うように延びている。水平路３０ｅの両端開口は、プラグ３０Ｐによって塞がれている。
【００３２】
水平路３０ｅの底部に複数の吹出し路３０ｆ，３０ｇが連なっている。各吹出し路３０ｆ，３０ｇは、小径（例えば１ｍｍφ）の細孔状をなしている。複数の第１吹出し路３０ｆは、水平路３０ｅの全長域にわたるように前後に一定の間隔を置いて配置されている。同様に、複数の第２吹出し路３０ｇも、水平路３０ｅの全長域にわたるように前後に一定の間隔を置いて配置されている。なお、これら第１、第２吹出し路３０ｆ，３０ｇは、互いに同一の前後方向位置に配置されているが、互い違いに配置してもよい。
【００３３】
図４（ｂ）および図５に示すように、第１吹出し路３０ｆは、内側（処理空間１ａの側）寄りに配され、第２吹出し路３０ｇは、外側（処理空間１ａとは逆）寄りに配されている。図５に示すように、これら吹出し路３０ｆ，３０ｇは、処理空間１ａの厚さ方向すなわち上下方向に対して他方の吹出し路３０ｇ，３０ｆとは逆側に傾けられ、互いに側面視（水平路３０ｅの延び方向と直交する仮想面に沿う断面視）「ハ」字状をなしている。
【００３４】
すなわち、第１吹出し路３０ｆは、水平路３０ｅの底部から内側（処理空間１ａの側）へ向けて斜め下へ延び、ホルダ３０Ｓの下端面に開口している。一方、第２吹出し路３０ｇは、水平路３０ｅの底部から外側（処理空間１ａとは逆側）へ向けて斜め下へ延び、ホルダ３０Ｓの下端面に開口している。この実施形態では、処理空間１ａの厚さ方向（上下方向）に対して、第１吹出し路３０ｆは、内側へ約４５度傾き、第２吹出し路３０ｇは、外側へ約３０度傾いている。これら吹出し路３０ｆ，３０ｇの先（下方）には、アース電極ホルダ２２が配置されている。
【００３５】
なお、ホルダ３０Ｓの下端面には、断面三角形状をなして前後方向に延びる２条の溝３０ｈ，３０ｉが並んで形成されている。内側（処理空間１ａの側）の第１溝３０ｈに第１吹出し路３０ｆが連なり、外側（処理空間１ａとは逆側）の第２溝３０ｉに第２吹出し路３０ｇが連なっている。
【００３６】
上記のように構成された常圧プラズマ処理装置Ｍ１を用いてワークＷの洗浄処理を行なう手順を説明する。
ホット電極ユニット１０を退避位置に位置させ、アース電極ユニット２０の上面に処理対象のワークＷを載せる。そして、ホット電極ユニット１０を前進させてセット位置に位置させる。
【００３７】
次いで、処理ガスを、処理ガス源５０から供給管５１を経て受容れ路３２ｂに導入する。この処理ガスが、チャンバー３２ｃで均一化された後、スリット３２ｄを経て吹出し路３０ａから電極ユニット１０，２０間の処理空間１ａへ吹出される。
【００３８】
なお、処理ガスとして例えばＮ２を用いるときは、吹出し路３０ａの前方の吹出し路３４ｂを開けておき、そこからもＮ２が吹出されるようにするとよい。これにより、吹出し路３０ａからの吹出し流を外部から遮断でき、外の空気が処理空間１ａに取り込まれるのを防止することができる。この場合、吹出し路３０ａは、本発明の「第１吹出し手段」に対応し、吹出し路３４ｂは、本発明の「第２吹出し手段」を構成することになる。
【００３９】
また、パルス電源４０をオンする。これにより、ホット電極１１の背向側電極部材１３にパルス電圧が印加される。ホット電極１１の２つの分割部材１２，１３どうしは互いに押し付けられ、良好な導通状態になっているので、対向側電極部材１２にも、上記のパルス電圧がロスなく確実に印加されることになる。これによって、上下の電極１１，２１間の処理空間１ａに電界が形成される。この電界は、ボルト１４やボルト孔１２ａからなる着脱機構の影響を受けることがない。よって、処理空間１ａ内にアークを発生させることなく均一なグロー放電を形成することができる。このグロー放電によって上記処理空間１ａを流れる処理ガスをプラズマ化できる。更に、シート７６の含有フッ素をプラズマ化して空間１ａ内に飛び出させ、上記プラズマ化した処理ガスに混ぜることができる。これによって、ワークＷの上面を良好にプラズマ洗浄することができる。シート７６からフッ素を出すことができるので、処理ガスにフッ素を含ませておく必要がなく、処理ガス供給構成を簡素化できる。
【００４０】
併行して、カーテンガスを、カーテンガス源５４から供給管５５を経て左右の導入路３０ｃに導入する。このカーテンガスは、路３０ｃの垂直路３０ｄを経て水平路３０ｅに沿って前後方向に均一に拡げられる。そして、水平路３０ｅの全長域から吹出し路３０ｆ，３０ｇを経て、これら吹出し路３０ｆ，３０ｇの孔軸の延長方向へ吹出される。
【００４１】
これによって、図５に示すように、ホルダ３０Ｓ，２２間の隙間に、第１吹出し路３０ｆからのカーテンガスによって第１ガスカーテンＣ１が形成され、第２吹出し路３０ｇからのカーテンガスによって第２ガスカーテンＣ２が形成される。すなわち、処理空間１ａの周縁にガスカーテンＣ１，Ｃ２を二重に形成でき、これにより、処理ガスが処理空間から漏れたり外気が処理空間へ侵入したりするのを低減できる。しかも、これら第１、第２ガスカーテンＣ１，Ｃ２は、互いに側面視「ハ」字状をなすことになる。すなわち、第１ガスカーテンＣ１は、下方へ向かうにしたがって内側（処理空間１ａの側）に傾斜される。この内側傾斜の第１ガスカーテンＣ１によって、上記処理ガスが処理空間１ａから漏れるのを確実に阻止することができる。一方、第２ガスカーテンＣ２は、下方へ向かうにしたがって外側（処理空間１ａとは逆側）に傾斜される。この外側傾斜の第２ガスカーテンＣ２によって、外の空気が処理空間１ａ内に取り込まれるのを確実に阻止することができる。
【００４２】
使用済みの処理ガスおよびカーテンガスは、後側ホルダ３０Ｒの吸込み路３０ｂに吸い込まれ、排気路３６ａおよび排気管５２を経て真空ポンプ５３に吸込まれ排気される。
処理終了後は、処理ガスおよびカーテンガスの投入を停止するとともに電源を停止する。そして、ホット電極ユニット１０を押して退避位置に位置させ、アース電極ユニット２０上の洗浄済みワークＷを取り出す。
【００４３】
この実施形態の常圧プラズマ処理装置Ｍ１によれば、誘電体板７１を、電極１１の一部すなわち電極部材１３に対して着脱可能に、しかも安定的に設置できる。この着脱のための機構からは、アークが発生したりプラズマの均一性が損なわれたりすることはない。そして、誘電体板７１が傷んだり汚れたりしたときは、ボルト１４を外すことにより、電極１１の一部すなわち背向側電極部材１３とは別途に容易に交換することができる。すなわち、電極１１全体を交換する必要がない。したがって、電極１１の背向側電極部材１３に繋がっている給電線４１や冷媒用の配管６１，６２を脱着したり、背向側電極部材１３を懸架ブラケット１９から外したりする必要がない。
【００４４】
なお、対向側電極部材１２を、例えばアルミ箔のような膜状ないしは薄板状に形成し、背向側電極部材１３には、対向側電極部材との分割面に開口する吸引孔を形成し、この吸引孔に吸引手段を連ね、この吸引手段によって対向側電極部材が吸引孔に吸い付けられるようにしてもよい。
【００４５】
また、接着剤７４が硬化前に十分に脱泡され、対向側電極部材１２と誘電体板７１との間が気泡の殆ど無い接着剤７４で充填されているので、これら部材１２，７１の間でアークが発生するのを確実に防止できる。
更に、誘電体の添え部材７３によって対向側電極部材１２の周側面からのアークを防止でき、ひいてはアークが誘電体板７１の周縁部を回り込むようにして伝わりアース電極２１に落ちるのを防止できる。しかも、ボルト７５が誘電体樹脂で形成されているので、対向側電極部材１２の周側面からのアークを一層確実に防止できる。なお、背向側電極部材１３の周側部とホルダ３５，３０Ｓを止めるボルト３９についてもアーク防止のために誘電体樹脂で構成するのが好ましい。
【００４６】
電圧印加によって対向側電極部材１２と誘電体板７１が互いに異なる度合いで熱膨張したときは、ＵＶ硬化型接着剤７４が両部材１２，７１の接着状態を維持しながら伸縮することによって、これら部材１２，７１の膨張差を吸収でき、これら部材１２，７１に熱応力が生じるのを防止することができる。
【００４７】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の改変が可能である。
例えば、第１、第２吹出し手段の何れか一方の吹出し方向が、処理空間の厚さ方向に沿ってまっすぐ延びていてもよい。
第１、第２吹出し手段は、不活性ガス拡げ手段の略全長域にわたるスリット状の吹出し路で構成されていてもよい。
第１、第２吹出し手段どうしが、処理空間の厚さ方向の互いに逆側に配置されていてもよい。（第１、第２吹出し路３０ｆ，３０ｇの何れか一方が下側の電極ホルダ２２に設けられていてもよい。）
上記実施形態のプラズマ処理装置は、一対の電極間に被処理物を配置し、そこを処理空間とする所謂ダイレクト式であったが、電極間の外に処理空間を設定してそこに被処理物を配置しこれにプラズマ化した処理ガスを吹出す所謂リモート式のプラズマ処理装置にも適用できる。
本発明は、グロー放電に限らず、コロナ放電によるプラズマ処理にも適用でき、洗浄に限らず、成膜、表面改質（親水化、撥水化、官能基付与など）、エッチング、アッシングなどの種々の放電プラズマ処理にあまねく適用できる。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、処理ガスの処理空間からの漏れを確実に阻止したり、あるいは処理空間への外気侵入を確実に阻止したりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る常圧プラズマ処理装置を前後方向に沿って切断した断面図である。
【図２】上記常圧プラズマ処理装置を左右方向に沿って切断した断面図である。
【図３】上記常圧プラズマ処理装置の電極対向部を拡大して示す断面図である。
【図４】（ａ）上記常圧プラズマ処理装置のホット電極ユニットの左右の電極ホルダの側面図である。
（ｂ）上記電極ホルダの底面図である。
【図５】上記常圧プラズマ処理装置の要部の拡大断面図である。
【符号の説明】
Ｍ１  常圧プラズマ処理装置
Ｗ  ワーク（被処理物）
Ｃ１  第１ガスカーテン
Ｃ２  第２ガスカーテン
１ａ  処理空間
１０  ホット電極ユニット
１１  ホット電極
２０  アース電極ユニット
２１  アース電極
２２  アース電極ホルダ（他方の電極ホルダ）
３０Ｓ  ホット電極のホルダ（一方の電極ホルダ）
３０ｅ  水平路（不活性ガス拡げ手段）
３０ｆ  第１吹出し路（第１吹出し手段）
３０ｇ  第２吹出し路（第２吹出し手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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