(57)【要約】【課題】レンズアレイ成形型及びセラミックス泥漿を用いて寸法精度良好なマイクロレンズアレイを短期間に低コストで製作する。【解決手段】成形板ホルダ１０の凹部１０Ａ内に成形板１２、１８を対向配置すると共に成形板１２、１８間にスペーサ２６を閉ループ状に介在配置してレンズアレイ成形空間１０ａを画定する。成形板１２は、ガイドピンＧ１，Ｇ２を挿通するための孔Ｎ１１，Ｎ１２を有する。成形板１８は、レンズ成形部Ｌ１〜Ｌ４を有すると共に、ガイドピンＧ１、Ｇ２を挿通するための孔Ｎ２１，Ｎ２２を有する。成形板１２，１８は、選択メッキ処理等を含む薄膜プロセスにより寸法精度良く形成される。成形空間１０ａにシリカ泥漿（セラミックス泥漿）を充填した後、シリカ泥漿を自己硬化させてセラミックスグリーン板とする。成形空間１０ａから取出したセラミックスグリーン板を焼成して石英製マイクロレンズアレイを得る。【選択図】        図２
2004237701.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズ成形部を一方の主面に有する第１の成形板と、この第１の成形板に対向配置されるべき第２の成形板とをいずれも薄膜プロセスにより作成する工程と、
前記第１の成形板の一方の主面と前記第２の成形板の一方の主面とが向き合うようにして前記第１及び第２の成形板を対向配置すると共に前記第１及び第２の成形板の間に閉ループ状にスペーサを介在配置することにより前記第１及び第２の成形板の間にレンズアレイ成形空間を画定する工程と、
硬化及び焼成後に透光性を有する自己硬化性のセラミックス泥漿を前記レンズアレイ成形空間に充填した後該セラミックス泥漿を自己硬化させることにより前記レンズ成形部に対応するレンズ形状を有するセラミックスグリーン板を作成する工程と、
前記セラミックスグリーン板を前記レンズアレイ成形空間から取出した後前記セラミックスグリーン板を焼成することにより前記セラミックスグリーン板の焼成体からなるマイクロレンズアレイを得る工程と
を含むマイクロレンズアレイの製法。
【請求項２】
前記第１及び第２の成形板を作成する工程では、前記第１の成形板において一方の主面から他方の主面に貫通するように複数のガイドピン挿通孔を形成すると共に、前記第２の成形板において前記第１の成形板の複数のガイドピン挿通孔にそれぞれ対応する位置に一方の主面から他方の主面に貫通するように複数のガイドピン挿通孔を形成し、前記レンズアレイ成形空間を画定する工程では、前記第１及び第２の成形板において位置にて対応する２つのガイドピン挿通孔毎にガイドピンを挿通して前記第１及び第２の成形板を位置合せし、前記セラミックスグリーン板を作成する工程では、各ガイドピンに対応するガイドピン孔を有するように前記セラミックスグリーン板を作成し、前記セラミックスグリーン板を焼成する工程では、焼成前に前記セラミックスグリーン板から各ガイドピンを抜去する請求項１記載のマイクロレンズアレイの製法。
【請求項３】
前記第１及び第２の成形板を作成する工程では、前記第１の成形板の複数のガイドピン挿通孔をいずれも前記第１の成形板の他方の主面に近づくにつれてサイズが増大するように形成すると共に、前記第２の成形板の複数のガイドピン挿通孔をいずれも前記第２の成形板の一方の主面に近づくにつれてサイズが増大するように形成する請求項２記載のマイクロレンズアレイの製法。
【請求項４】
前記第２の成形板を作成する工程では、前記第２の成形板の一方の主面において前記第１の成形板のレンズ成形部に対応する位置にレンズ成形部を形成し、前記セラミックスグリーン板を作成する工程では、前記第２の成形板のレンズ成形部に対応するレンズ形状を有するように前記セラミックスグリーン板を作成する請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロレンズアレイの製法。
【請求項５】
前記第２の成形板を形成する工程では、前記第２の成形板の一方の主面において前記第１の成形板のレンズ成形部に対応する位置に傾斜面成形部を形成し、前記セラミックスグリーン板を作成する工程では、前記第２の成形板の傾斜面成形部に対応する傾斜面形状を有するように前記セラミックスグリーン板を作成する請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロレンズアレイの製法。
【請求項６】
レンズアレイ成形空間を画定する際に他の成形板に対向配置して使用される成形板であって、
前記他の成形板に対向する一方の主面にレンズ成形部を有する成形板。
【請求項７】
レンズアレイ成形空間を画定する際に一方の主面にレンズ成形部を有する他の成形板に対向配置して使用される成形板であって、
前記他の成形板の一方の主面に対向する一方の主面に平面成形部又は傾斜面成形部を有する成形板。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光通信等に用いられるマイクロレンズアレイの製法に関し、更に詳しくはレンズアレイ成形型及びセラミックス泥漿を用いるマイクロレンズアレイの製法と、この製法に用いる成形板とに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、成形型及びセラミックス泥漿を用いて光通信用のジルコニアフェルール等を製作する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この方法では、金属またはテフロン（登録商標）等の樹脂に切削等の機械加工を施して母型を作成した後、この母型及び熱可塑性樹脂を用いるプラスチック成形法により母型の反転形状を有する成形型を作成し、この成形型にセラミックス泥漿を注入・充填し、自己硬化させてセラミックスグリーンを作成し、このセラミックスグリーンを焼成してフェルール等を得ている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−４２６１９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来技術を用いてマイクロレンズアレイを製作する場合、次のような問題点がある。
【０００５】
（１）母型を機械加工で作成しているため、レンズアレイで要求されるような高い配置精度を得るのが困難であり、例えばレンズ中心間ピッチでサブミクロンの精度が得られない。
【０００６】
（２）自己硬化性セラミックス泥漿を用いる成形では、成形型の表面粗さに対するトレーサビリティが良好である。このため、逆に成形型の表面粗さが悪いと、レンズアレイで要求されるような高い面精度を得るのが困難である。母型を機械加工で作成すると、成形型の表面粗さが良好でなく、例えば１００オングストロームｒｍｓ程度の光学表面が得られない。
【０００７】
（３）母型にはサブミクロンレベルの高い配置精度及び孔径精度で貫通孔を形成することが要求される場合がある。機械加工では、数μｍ（２〜３μｍ）の加工精度であり、かような要望に応えることができない。
【０００８】
（４）各々５００μｍ以下の小さい開口径を有する多数のレンズを二次元的に配置したマイクロレンズアレイを製作するための母型を機械加工で作成することを想定すると、非常にコスト高になると共に納期が長くなり、加工精度においても上記（１），（２）で述べたように不十分である。
【０００９】
この発明の目的は、寸法精度良好なマイクロレンズアレイを短期間に低コストで製作できる新規なマクロレンズアレイの製法と、この製法に用いる成形板とを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るマイクロレンズアレイの製法は、
レンズ成形部を一方の主面に有する第１の成形板と、この第１の成形板に対向配置されるべき第２の成形板とをいずれも薄膜プロセスにより作成する工程と、
前記第１の成形板の一方の主面と前記第２の成形板の一方の主面とが向き合うようにして前記第１及び第２の成形板を対向配置すると共に前記第１及び第２の成形板の間に閉ループ状にスペーサを介在配置することにより前記第１及び第２の成形板の間にレンズアレイ成形空間を画定する工程と、
硬化及び焼成後に透光性を有する自己硬化性のセラミックス泥漿を前記レンズアレイ成形空間に充填した後該セラミックス泥漿を自己硬化させることにより前記レンズ成形部に対応するレンズ形状を有するセラミックスグリーン板を作成する工程と、
前記セラミックスグリーン板を前記レンズアレイ成形空間から取出した後前記セラミックスグリーン板を焼成することにより前記セラミックスグリーン板の焼成体からなるマイクロレンズアレイを得る工程と
を含むものである。
【００１１】
この発明のマイクロレンズアレイの製法によれば、第１及び第２の成形板を薄膜プロセスにより作成するので、レンズ配置精度等の寸法精度が向上し、レンズ中心間ピッチでサブミクロンの精度が得られる。また、第１及び第２の成形板の面粗さは、数十オングストロームｒｍｓ程度であり、セラミックスグリーン板の焼成体も同等の面精度を有するため、そのまま光学製品（マイクロレンズアレイ）として用いることができる。
【００１２】
この発明のマイクロレンズアレイの製法において、前記第１及び第２の成形板を作成する工程では、前記第１の成形板において一方の主面から他方の主面に貫通するように複数のガイドピン挿通孔を形成すると共に、前記第２の成形板において前記第１の成形板の複数のガイドピン挿通孔にそれぞれ対応する位置に一方の主面から他方の主面に貫通するように複数のガイドピン挿通孔を形成し、前記レンズアレイ成形空間を画定する工程では、前記第１及び第２の成形板において位置にて対応する２つのガイドピン挿通孔毎にガイドピンを挿通して前記第１及び第２の成形板を位置合せし、前記セラミックスグリーン板を作成する工程では、各ガイドピンに対応するガイドピン孔を有するように前記セラミックスグリーン板を作成し、前記セラミックスグリーン板を焼成する工程では、焼成前に前記セラミックスグリーン板から各ガイドピンを抜去するようにしてもよい。
【００１３】
このようにすると、第１及び第２の成形板において各ガイドピン挿通孔を配置精度及び孔径精度のいずれについてもサブミクロンの精度で形成することができる。このため、第１及び第２のレンズ成形板において位置にて対応する２つのガイドピン挿通孔毎にガイドピンを挿通することで第１及び第２のレンズ成形板を高精度で位置合せすることができ、レンズアレイ成形空間の寸法精度、ひいてはマイクロレンズアレイの寸法精度が一層向上する。また、マイクロレンズアレイは、各ガイドピンに対応するガイドピン孔を有するので、マイクロレンズアレイを光ファイバアレイ等の光部品に装着する際にガイドピン孔にガイドピンを挿入することで位置精度良く装着することができる。
【００１４】
第１の成形板の複数のガイドピン挿通孔は、いずれも第１の成形板の他方の主面に近づくにつれてサイズが増大するように形成してもよく、第２の成形板の複数のガイドピン挿通孔は、いずれも第２のレンズ成形板の一方の主面に近づくにつれてサイズが増大するように形成してもよい。このようにすると、第１及び第２の成形板において位置にて対応する２つのガイドピン挿通孔毎に大サイズ端側からガイドピンを挿通することができ、挿通作業が容易となる。
【００１５】
この発明のマイクロレンズアレイの製法において、前記第２の成形板を作成する工程では、前記第２の成形板の一方の主面において前記第１の成形板のレンズ成形部に対応する位置にレンズ成形部を形成し、前記セラミックスグリーン板を作成する工程では、前記第２の成形板のレンズ成形部に対応するレンズ形状を有するように前記セラミックスグリーン板を作成するようにしてもよい。このようにすると、片凸片凹型式または両凸型式等のマイクロレンズアレイを製作することができる。
【００１６】
この発明のマイクロレンズアレイの製法において、前記第２の成形板を形成する工程では、前記第２の成形板の一方の主面において前記第１の成形板のレンズ成形部に対応する位置に傾斜面成形部を形成し、前記セラミックスグリーン板を作成する工程では、前記第２の成形板の傾斜面成形部に対応する傾斜面形状を有するように前記セラミックスグリーン板を作成するようにしてもよい。このようにすると、反射戻り光抑制用の傾斜面を有するマイクロレンズアレイを製作することができる。
【００１７】
この発明によれば、
（ａ）レンズアレイ成形空間を画定する際に他の成形板に対向配置して使用される成形板であって、前記他の成形板に対向する一方の主面にレンズ成形部を有する成形板と、
（ｂ）レンズアレイ成形空間を画定する際に一方の主面にレンズ成形部を有する他の成形板に対向配置して使用される成形板であって、前記他の成形板の一方の主面に対向する一方の主面に平面成形部又は傾斜面成形部を有する成形板と
が提供される。（ａ）の成形板は、セラミックスグリーン板にレンズ形状を付与することができ、（ｂ）の成形板は、セラミックスグリーン板に平面形状又は傾斜面形状を付与することができる。傾斜面形状は、マイクロレンズアレイにおいて、例えば光ファイバから光を入射した際に反射により光ファイバへ戻る光を抑制するのに役立つ。（ａ），（ｂ）の成形板は、いずれも板状であるため、薄膜プロセスにより寸法精度良く且つ簡単に製作可能である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の一実施形態に係るマイクロレンズアレイの製法に用いられるレンズアレイ成形型を示すもので、図２には、図１のＡ−Ａ’線に沿う断面を示す。
【００１９】
成形板ホルダ１０は、四辺形状の平面形状を有する凹部１０Ａを有するもので、凹部１０Ａの周辺部には、上蓋取付け用のねじ孔Ｎ１，Ｎ２が設けられている。上蓋取付け用のねじ孔としては、孔Ｎ１の他に孔Ｎ１と一列をなすように３個の孔が設けられると共に、孔Ｎ２の他に孔Ｎ２と一列をなすように３個の孔が設けられている。
【００２０】
平面成形板１２は、図１８〜２０を参照して後述するように薄膜プロセスにより作成されたもので、成形板ホルダ１０の凹部１０Ａの平面形状に適合した四辺形状の平面形状を有し、一方の主面（図２では上面）に平面をなす平面成形部を有する。成形板１２は、１００μｍ程度の厚さしかないため、補強対策として石英からなる四辺形状の固定板１６が接着層１４により成形板１２の他方の主面に固着されている。接着層１４としては、紫外線硬化性を有するＵＶ接着剤からなるものを用いることができる。成形板１２において、固定板１６の周辺部には、ガイドピン挿通孔Ｎ１１，Ｎ１２が設けられている。ガイドピン挿通孔としては、孔Ｎ１１の他に孔Ｎ１１と一列をなすように３個の孔が設けられると共に、孔Ｎ１２の他に孔Ｎ１２と一列をなすように３個の孔が設けられている。
【００２１】
レンズ成形板１８は、図１２〜１７を参照して後述するように薄膜プロセスにより作成されたもので、成形板ホルダ１０の凹部１０Ａの平面形状に適合した四辺形状の平面形状を有し、一方の主面（図２では下面）にレンズ成形部Ｌ１〜Ｌ４が設けられている。レンズ成形部としては、成形部Ｌ１〜Ｌ４の他に成形部Ｌ１〜Ｌ４と共に行列状配置（二次元配置）をなすように１２個の成形部が設けられている。Ｌ１等の各レンズ成形部は、後述するセラミックスグリーン板に凸レンズ形状を付与するためのものである。
【００２２】
成形板１８は、１００μｍ程度の厚さしかないため、補強対策として石英からなる四辺形状の固定板２４が接着層２２により成形板１８の他方の主面に固着されている。接着層２２としては、ＵＶ接着剤からなるものを用いることができる。成形板１８において、固定板２４の周辺部には、ガイドピン挿通孔Ｎ２１，Ｎ２２が設けられている。ガイドピン挿通孔としては、孔Ｎ２１の他に孔Ｎ２１と一列をなすように３個の孔が設けられると共に、孔Ｎ２２の他に孔Ｎ２２と一列をなすように３個の孔が設けられている。
【００２３】
スペーサ２６は、成形板ホルダ１０の凹部１０Ａの平面形状に適合した四辺形状の平面形状を有するもので、平面成形板１２及びレンズ成形板１８を互いに対向配置したときにこれらの成形板１２，１８の間に閉ループ状に介在配置されて使用される。スペーサ２６において、一方の側壁にはセラミックス泥漿注入用の注入孔ｍ１が設けられると共に、他方の側壁には空気抜き孔ｍ２が設けられている。注入孔としては、孔ｍ１の他に図４に示すように孔ｍ１と一列をなすように２個の孔が設けられており、空気抜き孔としては、孔ｍ２の他に孔ｍ２と一列をなすように２個の孔が設けられている。
【００２４】
成形板ホルダ１０において、凹部１０Ａの一方の側壁にはスペーサ２６のｍ１等の３個の注入孔にそれぞれ対応してＭ１等の３個のセラミックス泥漿注入用の注入孔が設けられており、凹部１０Ａの他方の側壁にはスペーサ２６のｍ２等の３個の空気抜き孔にそれぞれ対応してＭ２等の３個の空気抜き孔が設けられている。
【００２５】
スペーサ２６は、成形板ホルダ１０に一体化又は固定化するようにしてもよい。このようにした場合、ホルダ１０の底部に下蓋を着脱自在又は開閉自在に設け、平面成形板１２を出し入れ可能とすればよい。
【００２６】
上蓋２８は、成形板ホルダ１０の凹部１０Ａを覆うようにホルダ１０に装着されるもので、Ｎ１等の４個のねじ孔にそれぞれ対応するＳ１等の４本のねじと、Ｎ２等の４個のねじ孔にそれぞれ対応するＳ２等の４本のねじとを用いてホルダ１０に取付けられる。上蓋２８は、着脱自在としたが、開閉自在にしてもよい。
【００２７】
レンズアレイ成形型の組立ては、次のようにして行なわれる。すなわち、成形板ホルダ１０の凹部１０Ａ内には、平面成形板１２、スペーサ２６及びレンズ成形板１８がこの記載の順に重ねて配置される。成形板１２は固定板１６が凹部１０Ａの底面に接触するように配置され、成形板１８は、固定板２４が凹部１０Ａの開口端と同じ側に位置するように配置される。この結果、成形板１２の一方の主面と成形板１８の一方の主面とが向き合うようにして成形板１２、１８が対向配置されると共に、成形板１２，１８の間にスペーサ２６が介在配置された状態となる。また、スペーサ２６は、ｍ１等の３個の注入孔がホルダ１０のＭ１等の３個の注入孔にそれぞれ連通すると共に、ｍ２等の３個の空気抜き孔がホルダ１０のＭ２等の３個の空気抜き孔にそれぞれ連通する状態となる。
【００２８】
次に、ガイドピンＧ１を成形板１８のガイドピン挿通孔Ｎ２１から成形板１２のガイドピン挿通孔Ｎ１１に挿通すると共に、ガイドピンＧ２を成形板１８のガイドピン挿通孔Ｎ２２から成形板１２のガイドピン挿通孔Ｎ１２に挿通する。同様にして成形板１２，１８において対応する２つのガイドピン挿通孔毎にガイドピンを挿通する。この結果、成形板１２，１８は、合計８本のガイドピンにより精密に位置合せされた状態となり、成形板１２，１８及びスペーサ２６により寸法精度良好なレンズアレイ成形空間１０ａが画定される。
【００２９】
この後、上蓋２８を成形板ホルダ１０の凹部１０Ａにかぶせ、Ｓ１等の８本のねじをＮ１等の対応するねじ孔にそれぞれ取付けることにより上蓋２８をホルダ１０に装着する。この結果、上蓋２８の下面がＧ１等の各ガイドピンの上端部と、固定板２４の上面とに接触する状態となり、成形板１２，１８が確実に固定される。
【００３０】
上記のようにして構成されるレンズアレイ成形型について寸法例を示すと、次の通りである。レンズ成形板１８において、Ｌ１等の各レンズ成形部の直径Ｗ及び深さＤ（レンズ突出高さに相当）はそれぞれ０．４９及び０．０６ｍｍ、Ｌ１，Ｌ２等の隣り合うレンズ成形部の中心間距離（レンズピッチに相当）Ｐは０．５ｍｍとすることができる。スペーサ２６の上下面間の距離ａは１．２５ｍｍ、ホルダ１０の上面とスペーサ２６の上面との間の距離ｂは１．４ｍｍ、スペーサ２６の下面と凹部１０Ａの底面との間の距離ｃは、１．３５ｍｍ、ホルダ１０の上下面間の距離ｄは６ｍｍ、Ｇ１，Ｇ２等の対向するガイドピンの中心間距離ｅは４．６ｍｍ、凹部１０Ａの対向する側壁面間の距離ｆは６ｍｍ、ホルダ１０の一方及び他方の側面間の距離ｇは１０ｍｍとすることができる。Ｇ１等の各ガイドピンの直径は、０．７ｍｍ、Ｇ１又はＧ２側の隣り合うガイドピンの中心間の距離Ｕ（図４参照）は１．２ｍｍとすることができる。なお、レンズ成形型を構成する部品の寸法は、所望のマイクロレンズアレイの寸法に後述するセラミックグリーン板の収縮を加味して決定される。
【００３１】
成形処理を行なう際には、注入孔Ｍ１，ｍ１を介してレンズアレイ成形空間１０ａに加温したセラミックス泥漿を注入し、充填する。このとき、成形空間１０ａ内の空気は、空気抜き孔ｍ２，Ｍ２から排出される。セラミックス泥漿としては、硬化及び焼成後に透光性を有する自己硬化性のものを用い、一例としてシリカ泥漿（シリカ粉、硬化性樹脂、硬化剤、分散剤、溶剤等の混合物）を用いる。
【００３２】
成形空間１０ａにセラミックス泥漿を充填した後、遠心分離装置を用いてレンズ成形板１８が外側になるようにして約５００Ｇ相当の遠心力をセラミックス泥漿に加えることによりセラミックス泥漿内の気泡の除去（脱泡）を行なう。そして、セラミックス泥漿を室温で１２時間程度放置して自己硬化（冷却固化）させる。
【００３３】
次に、Ｓ１等の８本のねじを取外してホルダ１０から上蓋２８を除去した後、凹部１０Ａから成形板１２，１８，スペーサ２６、Ｇ１等の８本のガイドピン及び成形空間１０ａ内のセラミックスグリーン板を含む結合体を取出す。そして、この結合体からＧ１等の８本のガイドピン、成形板１２，１８及びスペーサ２６を除去して成形空間１０ａに対応した形状を有するセラミックスグリーン板を得る。
【００３４】
得られたセラミックスグリーン板は、成形板１８のＬ１等の１６個のレンズ成形部にそれぞれ対応する１６個のレンズ形状を一方の主面に有すると共に、Ｇ１等の８本のガイドピンにそれぞれ対応する８個のガイドピン孔を有し、他方の主面が成形板１２の一方の主面の平面成形部に対応して平面をなしている。このようなセラミックスグリーン板には、必要に応じて乾燥処理を施した後、１５００℃程度の温度で焼成処理を施す。この結果、図７，８に示すような石英製マイクロレンズアレイＭＬが得られる。図８は、図７のＸ−Ｘ’線に沿う断面を示す。
【００３５】
図７，８に示すマイクロレンズアレイＭＬにおいて、Ｓ１１〜Ｓ４４は、レンズ成形板１８のＬ１等の１６個のレンズ成形部にそれぞれ対応して一方の主面に行列状に配置された１６個の凸状のレンズである。レンズＳ１１〜Ｓ４４を含むレンズ配置領域の一方側及び他方側には、ガイドピン孔Ｐ１１〜Ｐ１４及びガイドピン孔Ｐ２１〜Ｐ２４がそれぞれ設けられている。ガイドピン孔Ｐ１１〜Ｐ１４は、Ｇ１側の４本のガイドピンにそれぞれ対応し、ガイドピンＰ２１〜Ｐ２４は、Ｇ２側の４本のガイドピンにそれぞれ対応する。マイクロレンズアレイＭＬの他方の主面は、平面成形板１２の一方の主面の平面成形部に対応して平面をなしている。マイクロレンズアレイＭＬは、片凸レンズ（平凸レンズ）型式のマイクロレンズアレイである。
【００３６】
マイクロレンズアレイＭＬを光ファイバアレイ等の光部品に装着する際には、ガイドピン孔Ｐ１１〜Ｐ１４のうちの少なくとも１つの孔と、ガイドピンＰ２１〜Ｐ２４のうちの少なくとも１つの孔とに対応する複数のガイドピン孔を光部品に設けておき、マイクロレンズアレイＭＬ及び光部品において対応する２つのガイドピン孔毎にＧ１と同様のガイドピンを挿通することにより光部品に対してマイクロレンズアレイを高精度に位置合せして装着することができる。
【００３７】
図３，４は、レンズアレイ成形型の他の例を示すもので、図１，２と同様の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。図４には、図３のＢ−Ｂ’線に沿う断面を示すが、簡単のため、接着層１４，２２及び固定板１６，２４の図示は省略した。
【００３８】
図３，４に示すレンズアレイ成形型は、図１，２に示したレンズアレイ成形型において、平面成形板１２の代りに傾斜面成形板３０を用いたものに相当する。傾斜面成形板３０は、図２１〜２７に関して後述すると同様にして薄膜プロセスにより作成されたもので、成形板ホルダ１０の凹部１０Ａの平面形状に適合した四辺形状の平面形状を有し、一方の主面（図３，４では上面）に傾斜面成形部Ｒがレンズ成形部Ｌ１〜Ｌ４の列に対向して延長するように設けられている。傾斜面成形部としては、成形部Ｒの他に図４に示すように３列のレンズ成形部にそれぞれ対向して延長する３つの傾斜面成形部が設けられている。Ｒ等の各傾斜面成形部は、セラミックスグリーン板に傾斜角５〜１５度程度の傾斜面を付与するためのもので、各傾斜面成形部の段差の高さｒは、０．２ｍｍとすることができる。
【００３９】
成形板ホルダ１０の凹部１０Ａ内においてスペーサ２６の下に傾斜面成形板３０を配置したことによりセラミックスグリーン板に傾斜面を付与可能なレンズアレイ成形空間１０ｂが画定される。成形空間１０ｂを用いるセラミックスグリーン板の作成方法は、成形空間１０ａに関して前述したセラミックスグリーン板の作成方法と同様である。成形空間１０ｂに対応した形状を有するセラミックスグリーン板に乾燥及び焼成処理を施すことにより図７，９に示すような石英製マイクロレンズアレイＭＬが得られる。図９は、図７のＹ−Ｙ’線に沿う断面を示す。
【００４０】
図７，９に示すマイクロレンズアレイＭＬにおいて、一方の主面におけるレンズＳ１１〜Ｓ４４の配置及びガイドピン孔Ｐ１１〜Ｐ１４，Ｐ２１〜Ｐ２４の配置は、図７，８について前述したと同様である。図７，９に示すマイクロレンズアレイＭＬの他方の主面には、傾斜面成形板３０のＲ等の４つの傾斜面成形部にそれぞれ対応して傾斜面Ｒ０１〜Ｒ０４が形成されている。傾斜面Ｒ０１，Ｒ０２，Ｒ０３，Ｒ０４は、レンズＲ１４，Ｒ２４，Ｒ３４，Ｒ４４をそれぞれ含む４つのレンズ列にそれぞれ対向して延長するように形成されている。Ｒ０１等の各傾斜面は、例えば光ファイバから光を入射する際に反射により光ファイバに戻る光を抑制するのに役立つものである。
【００４１】
図５は、レンズアレイ成形型の更に他の例を示すもので、図１、２と同様の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００４２】
図５に示すレンズアレイ成形型は、図１，２に示したレンズアレイ成形型において、平面成形板１２の代りにレンズ成形板３２を用いたものに相当する。レンズ成形板３２は、図１２〜１７に関して後述するように薄膜プロセスにより作成されたもので、成形板ホルダ１０の凹部１０Ａの平面形状に適合した四辺形状の平面形状を有し、一方の主面（図５では上面）にレンズ成形部Ｌ１１〜Ｌ１４がレンズ成形部Ｌ１〜Ｌ４にそれぞれ対向するように設けられている。レンズ成形部としては、成形部Ｌ１１〜Ｌ１４の他に成形部Ｌ１１〜Ｌ１４と共に行列状配置をなすように１２個の成形部が設けられている。Ｌ１１等の各レンズ成形部は、セラミックスグリーン板に凸レンズ形状を付与するためのものである。Ｌ１１等の各レンズ成形部の深さ（レンズ突出高さに相当）ｋは、０．０４ｍｍとすることができる。
【００４３】
レンズ成形板３２は、他方の主面が接着層３４により固定板１６に固定された状態で成形板ホルダ１０の凹部１０Ａ内に配置されている。凹部１０Ａ内においてスペーサ２６の下にレンズ成形板３２を配置したことによりセラミックスグリーン板に凸レンズ形状を付与可能なレンズアレイ成形空間１０ｃが画定される。成形空間１０ｃを用いるセラミックスグリーン板の作成方法は、成形空間１０ａに関して前述したセラミックスグリーン板の作成方法と同様である。成形空間１０ｃに対応した形状を有するセラミックスグリーン板に乾燥及び焼成処理を施すことにより図７，１０に示すような石英製マイクロレンズアレイＭＬが得られる。図１０は、図７のＸ−Ｘ’線に沿う断面を示す。
【００４４】
図７，１０に示すマイクロレンズアレイＭＬにおいて、一方の主面におけるレンズＳ１１〜Ｓ４４の配置及びガイドピン孔Ｐ１１〜Ｐ１４，Ｐ２１〜Ｐ２４の配置は、図７，８について前述したと同様である。図７，１０に示すマイクロレンズアレイＭＬの他方の主面には、レンズ成形板３２のＬ１１等の１６個のレンズ成形部にそれぞれ対応して行列状配置をなすようにＳ５１〜Ｓ５４等の１６個の凸状のレンズが形成されている。レンズＳ５１〜Ｓ５４は、レンズＳ４１〜Ｓ４４にそれぞれ対向して形成されたものである。図７，１０に示すマイクロレンズアレイＭＬは、両凸型式のマイクロレンズアレイである。
【００４５】
図６は、レンズアレイ成形型の更に他の例を示すもので、図１、２と同様の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００４６】
図６に示すレンズアレイ成形型は、図１，２に示したレンズアレイ成形型において、平面成形板１２の代りにレンズ成形板３６を用いたものに相当する。レンズ成形板３６は、図１２〜１７に関して後述するように薄膜プロセスにより作成されたもので、成形板ホルダ１０の凹部１０Ａの平面形状に適合した四辺形状の平面形状を有し、一方の主面（図６では上面）にレンズ成形部Ｌ２１〜Ｌ２４がレンズ成形部Ｌ１〜Ｌ４にそれぞれ対向するように設けられている。レンズ成形部としては、成形部Ｌ２１〜Ｌ２４の他に成形部Ｌ２１〜Ｌ２４と共に行列状配置をなすように１２個の成形部が設けられている。Ｌ２１等の各レンズ成形部は、セラミックスグリーン板に凹レンズ形状を付与するためのものである。Ｌ２１等の各レンズ成形部の高さ（レンズ凹部の深さに相当）ｑは、０．０１ｍｍとすることができる。
【００４７】
レンズ成形板３６は、他方の主面が接着層３８により固定板１６に固定された状態で成形板ホルダ１０の凹部１０Ａ内に配置されている。凹部１０Ａ内においてスペーサ２６の下にレンズ成形板３６を配置したことによりセラミックスグリーン板に凹レンズ形状を付与可能なレンズアレイ成形空間１０ｄが画定される。成形空間１０ｄを用いるセラミックスグリーン板の作成方法は、成形空間１０ａに関して前述したセラミックスグリーン板の作成方法と同様である。成形空間１０ｄに対応した形状を有するセラミックスグリーン板に乾燥及び焼成処理を施すことにより図７，１１に示すような石英製マイクロレンズアレイＭＬが得られる。図１１は、図７のＸ−Ｘ’線に沿う断面を示す。
【００４８】
図７，１１に示すマイクロレンズアレイＭＬにおいて、一方の主面におけるレンズＳ１１〜Ｓ４４の配置及びガイドピン孔Ｐ１１〜Ｐ１４，Ｐ２１〜Ｐ２４の配置は、図７，８について前述したと同様である。図７，１１に示すマイクロレンズアレイＭＬの他方の主面には、レンズ成形板３６のＬ２１等の１６個のレンズ成形部にそれぞれ対応して行列状配置をなすようにＳ６１〜Ｓ６４等の１６個の凹状のレンズが形成されている。レンズＳ６１〜Ｓ６４は、レンズＳ４１〜Ｓ４４にそれぞれ対向して形成されたものである。図７，１１に示すマイクロレンズアレイＭＬは、片凸片凹型式のマイクロレンズアレイである。
【００４９】
図１２〜１７は、この発明に係るレンズ成形板の製法の一例を示すものである。
【００５０】
図１２の工程では、石英基板４０の一方の主面に位置合せマーク４２を形成する。このためには、基板４０の一方の主面に位置合せマーク４２に対応する孔を有するレジスト層をホトリソグラフィ処理により形成した後、基板上面にレジスト層を覆ってＣｒ層をスパッタ法により形成し、レジスト層をその上のＣｒ層と共に除去（リフトオフ）して残存するＣｒ層からなる位置合せマーク４２を得る方法を用いることができる。
【００５１】
次に、基板４０の一方の主面に所望のレンズ成形部に対応するレジスト層Ｋ１〜Ｋ４をホトリソグラフィ処理により形成する。このときのホトリソグラフィ処理では、位置合せマーク４２を基準としてレジスト層Ｋ１〜Ｋ４を形成する。
【００５２】
図１３の工程では、レジスト層Ｋ１〜Ｋ４に加熱リフロー処理を施して各レジスト層に凸レンズ形状（球面状凸形状）を付与する。
【００５３】
図１４の工程では、基板４０の一方の主面に位置合せマーク４２及びレジスト層Ｋ１〜Ｋ４を覆ってＣｒ層及びＣｕ層を順次にスパッタ法で堆積してＣｕ／Ｃｒ積層（Ｃｒ層にＣｕ層を重ねた積層）４４を形成する。Ｃｕ／Ｃｒ積層４４は、メッキ下地層として用いられるもので、Ｃｒ層及びＣｕ層の厚さは、それぞれ３０ｎｍ及び３００ｎｍとすることができる。
【００５４】
図１５の工程では、所望のガイドピン挿通孔に対応するレジスト層ｔ１，ｔ２をＣｕ／Ｃｒ積層４４の上にホトリソグラフィ処理により形成する。このときのホトリソグラフィ処理では、位置合せマーク４２を基準としてレジスト層ｔ１，ｔ２を形成する。レジスト層ｔ１及びｔ２は、レジスト層Ｋ１〜Ｋ４を含むレジスト配置領域の一方側及び他方側にそれぞれ形成する。レジスト層ｔ１，ｔ２は、いずれもガイドピン挿通孔を開口端に向けてサイズが増大する形状にするためのもので、ガイドピン挿通孔より若干大きなサイズで形成する。
【００５５】
次に、ホトリソグラフィ処理によりレジスト層４６，Ｔ１，Ｔ２を形成する。このときのホトリソグラフィ処理では、位置合せマーク４２を基準としてレジスト層４６，Ｔ１，Ｔ２を形成する。レジスト層４６は、所望のレンズ成形板の外形に対応した平面形状を有し且つレジスト層Ｔ１，Ｔ２を露呈する孔４６ａを有するように形成する。レジスト層Ｔ１，Ｔ２は、それぞれレジスト層ｔ１，ｔ２に重なるように形成し、いずれもガイドピン挿通孔に相当するサイズで形成する。一例として、ガイドピン挿通孔は、直径０．７ｍｍの円形孔とすることができる。
【００５６】
図１６の工程では、レジスト層４６，Ｔ１，Ｔ２，ｔ１，ｔ２をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金の選択メッキ処理によりＣｕ／Ｃｒ積層４４の上にＮｉ−Ｆｅ合金からなるレンズ成形板４８を形成する。レンズ成形板４８には、レジスト層Ｔ１，Ｔ２にそれぞれ対応してガイドピン挿通孔Ｎ３１，Ｎ３２が形成される。ガイドピン挿通孔Ｎ３１，Ｎ３２は、それぞれレジスト層ｔ１，ｔ２によりメッキの成長が遅れるため、いずれも上方の開口端に近づくにつれてサイズが増大するように形成される。
【００５７】
図１７の工程では、Ｃｕ／Ｃｒ積層４４のうちのＣｕ層をエッチング処理により除去してレンズ成形板４８を基板４０から分離する。Ｃｒ層４４ａ及び位置合せマーク４２を有する基板４０は、図１２の工程に戻って再使用することができる。レンズ成形板４８は、一方の主面にレジスト層Ｋ１〜Ｋ４にそれぞれ対応してレンズ成形部Ｌ１〜Ｌ４を有すると共に、レジスト層ｔ１，Ｔ１に対応するガイドピン挿通孔Ｎ３１と、レジスト層ｔ２，Ｔ２に対応するガイドピン挿通孔Ｎ３２とを有する。ガイドピン挿通孔Ｎ３１，Ｎ３２は、いずれもレンズ成形板４８の他方の主面に近づくにつれてサイズが大きくなっているので、大サイズ端側から容易にガイドピンを挿通することができる。
【００５８】
上記したレンズ成形板の製法によれば、レンズ成形板４８をレンズ寸法精度、レンズ配置精度、孔径精度のいずれについてもサブミクロンの精度で簡単に製作することができる。また、レンズ成形板４８は、レンズ成形部Ｌ１〜Ｌ４が一次元配置のものであるが、図１，２又は図６に示した二次元配置のレンズ成形部を有するレンズ成形板１８又は３６も上記したと同様にして製作することができる。
【００５９】
図５に示したレンズ成形板３２としては、上記した製法により作成したものを使用することができる。すなわち、二次元配置のレンズ成形部を有するレンズ成形板を上記した製法により作成し、このレンズ成形板をレンズ成形部がレンズ成形板１８に対向するようにして（図１７の例ではＬ１等のレンズ作成部がレンズ成形板１８に対向するようにして）使用すればよい。この場合、図１５のホトリソグラフィ処理においてＴ１等の各レジスト層の下部をｔ１等の各レジスト層に近づくにつれて太くすることによりＮ３１等の各ガイドピン挿通孔を図１６にて下方の開口端に近づくにつれて徐々にサイズが増大するように形成してもよい。このようにすると、図５のレンズアレイ成形型において、Ｎ３１等の各ガイドピン挿通孔にガイドピンをスムーズに挿通することができる。
【００６０】
図１８〜２０は、この発明に係る平面成形板の製法の一例を示すものである。
【００６１】
図１８の工程では、図１２に関して前述したと同様にして石英基板５０の一方の主面に位置合せマーク５２を形成する。そして、図１４に関して前述したと同様にして基板５０の一方の主面に位置合せマーク５２を覆ってＣｕ／Ｃｒ積層５４を形成する。
【００６２】
次に、所望のガイドピン挿通孔に対応するレジスト層ｔ１１，ｔ１２をＣｕ／Ｃｒ積層５４の上にホトリソグラフィ処理により形成する。このときのホトリソグラフィ処理では、位置合せマーク５２を基準としてレジスト層ｔ１１，ｔ１２を形成する。レジスト層ｔ１１，ｔ１２は、いずれもガイドピン挿通孔を開口端に向けてサイズが増大する形状にするためのもので、ガイドピン挿通孔よりも若干大きなサイズで形成する。
【００６３】
この後、ホトリソグラフィ処理によりレジスト層５６，Ｔ１，Ｔ２を形成する。このときのホトリソグラフィ処理では、位置合せマーク５２を基準としてレジスト層５６，Ｔ１，Ｔ２を形成する。レジスト層５６は、所望の平面成形板の外形に対応した平面形状を有し且つレジスト層Ｔ１１，Ｔ１２を露呈する孔５６ａを有するように形成する。レジスト層Ｔ１１，Ｔ１２は、それぞれレジスト層ｔ１１，ｔ１２に重なるように形成し、いずれもガイドピン挿通孔に相当するサイズで形成する。一例として、ガイドピン挿通孔は、直径０．７ｍｍの円形孔とすることができる。
【００６４】
図１９の工程では、レジスト層５６，Ｔ１１，Ｔ１２，ｔ１１，ｔ１２をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金の選択メッキ処理によりＣｕ／Ｃｒ積層５４の上にＮｉ−Ｆｅ合金からなるレンズ成形板５８を形成する。レンズ成形板５８には、レジスト層Ｔ１１，Ｔ１２にそれぞれ対応してガイドピン挿通孔Ｎ４１，Ｎ４２が形成される。ガイドピン挿通孔Ｎ４１，Ｎ４２は、それぞれレジスト層ｔ１１，ｔ１２によりメッキの成長が遅れるため、いずれも上方の開口端に近づくにつれてサイズが増大するように形成される。
【００６５】
図２０の工程では、Ｃｕ／Ｃｒ積層５４のうちのＣｕ層をエッチング処理により除去してレンズ成形板５８を基板５０から分離する。Ｃｒ層５４ａ及び位置合せマーク５２を有する基板５０は、図１８の工程に戻って再使用することができる。平面成形板５８は、一方の主面（図２０では上面）に平面をなす平面成形部を有すると共に、レジスト層ｔ１１，Ｔ１１に対応するガイドピン挿通孔Ｎ４１と、レジスト層ｔ１２，Ｔ１２に対応するガイドピン挿通孔Ｎ４２とを有する。ガイドピン挿通孔Ｎ４１，Ｎ４２は、いずれも平面成形板５８の一方の主面に近づくにつれてサイズが大きくなっているので、大サイズ端側から容易にガイドピンを挿通することができる。
【００６６】
上記した平面成形板の製法によれば、平面成形板５８をサブミクロンの寸法精度で簡単に製作することができる。平面成形板５８は、図１，２に示したレンズアレイ成形型において、平面成形板１２として用いることができる。
【００６７】
図２１〜２６は、この発明に係る傾斜面成形板の製法の一例を示すものである。
【００６８】
図２１の工程では、レジスト層をマスクとする選択メッキ処理等を含む薄膜プロセスによりＮｉ−Ｆｅ合金からなるバー並置板６２ａを作成する。バー並置板６２ａは、一例として細長い長方形状のもので、長さ方向の一辺に沿って傾斜面Ｒ１〜Ｒ７が鋸歯状に連なるように設けられている。バー並置板６２ａにおいて、長さＬは６０ｍｍ、厚さＴ（図２７参照）は５０〜１００μｍ、傾斜面の傾斜角θは５〜１５度（好ましくは８度）とすることができる。傾斜角θを有するバー並置板６２ａは、薄膜プロセスにおいて縮小投影露光装置を用いてレジストパターンを決定するため、縮小投影露光装置の精度に等しい０．１〜０．２μｍの精度で形成することができる。
【００６９】
図２１の工程では、バー並置板６２ａと同様の構成を有するバー並置板６２ｂ，６２ｃ（図２７参照）が薄膜プロセスにより作成される。この実施形態では、３枚のバー並置板６２ａ〜６２ｃを用いるが、バー並置板の使用枚数は、２枚でも、３枚以上でもよい。
【００７０】
図２２の工程では、図２７に示すような並置板保持具６０において一方の主面に並設された並置板挿入溝６０ａ，６０ｂ，６０ｃにバー並置板６２ａ，６２ｂ，６２ｃを各傾斜面が上向きとなるようにそれぞれ挿入する。このとき、バー並置板６２ａ〜６２ｃは、バー並置板の長さ方向に直交する方向に傾斜面位置が揃うように並べて保持された状態となる。挿入溝６０ａ，６０ｂ間の間隔及び挿入溝６０ｂ，６０ｃ間の間隔は、並置板６２ａ〜６２ｃが石英バーＢ１〜Ｂ７を保持できるように石英バーの長さに対応して予め設定されている。
【００７１】
石英バーＢ１〜Ｂ７は、例えば石英板をダイシングするなどして作成されたもので、いずれも角柱状（長さ方向に直交する断面が四辺形状）のものである。Ｂ１等の各石英バーにおいて、長さ方向に直交する断面の一辺の長さｈ及びその隣辺の長さｉはそれぞれ１．２ｍｍ及び１．５ｍｍ、長さｊは７６ｍｍとすることができる。
【００７２】
図２７に示すように並置板保持具６０上に並列的に保持されたバー並置板６２ａ〜６２ｃの上部には、位置が揃った１組の傾斜面毎に石英バーを配置することにより石英バーＢ１〜Ｂ７を並置する。図２２に示す断面は、図２７に示すバー並置板６２ａの長さ方向に沿い且つ傾斜面Ｒ１〜Ｒ７を通るように切断したときの断面に相当する。並置板６２ａの上部において、石英バーＢ１〜Ｂ７は、傾斜面Ｒ１〜Ｒ７によりそれぞれ保持されており、並置板６２ｂ，６２ｃにおいても同様にして石英バーＢ１〜Ｂ７が保持される。並置板６２ａ〜６２ｃが薄膜プロセスにより寸法精度良く形成されているため、石英バーＢ１〜Ｂ７を精度良く並置することができる。
【００７３】
図２３の工程では、バー並置板６２ａ〜６２ｃの上部に石英バーＢ１〜Ｂ７が並置された状態において、石英バーＢ１〜Ｂ７を並置板側とは反対側にて接着層６６により固定基板６４に接着・固定する。固定基板６４としては、２ｍｍ程度の厚さを有する石英基板を用いることができる。接着層６６を構成する接着剤としては、紫外線硬化性のＵＶ接着剤を用いることができる。この場合、基板６４の一方の主面にＵＶ接着剤を塗布して流動性又は柔軟性がある状態で基板６４の一方の主面を接着層６６を介して石英バーＢ１〜Ｂ７に押し当て、この状態で接着層６６に紫外線を照射して接着層６６を硬化させることで固定を達成する。
【００７４】
図２４の工程では、基板６４に固定された石英バーＢ１〜Ｂ７を固定状態のままバー並置板６２ａ〜６２ｃの上部から分離する。この結果、石英バーＢ１〜Ｂ７は、固定側とは反対側にて複数の傾斜面Ｒ１１〜Ｒ１７を鋸歯状に連ねた傾斜面連鎖パターンを露呈する状態となる。
【００７５】
次に、傾斜面成形板用の基板６８Ａを用意する。基板６８Ａとしては、図２０の工程で得られた平面成形板５８を用いることができる。図２４では、簡単のため、ガイドピン挿通孔Ｎ４１，Ｎ４２に相当する孔の図示を省略した。基板６８Ａの一方の主面（図２０の平面形成板５８では上面）には、レプリカ材層７０を塗布法等により形成する。レプリカ材層７０としては、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂又はレジスト等の樹脂を用いることができる。レプリカ材層７０は、後工程でエッチングマスクとして用いられるもので、０．１〜０．２ｍｍ程度の厚さで形成することができる。
【００７６】
図２５の工程では、図２４に示すように基板６８Ａ上のレプリカ材層７０に対して固定基板６４に固定された石英バーＢ１〜Ｂ７の固定側とは反対側を押し当てることにより図２５に示すように石英バーＢ１〜Ｂ７の傾斜面連鎖パターンをレプリカ材層７０に転写する。転写後に石英バーＢ１〜Ｂ７がレプリカ材層７０から離れ易くするため、転写前に石英バーＢ１〜Ｂ７の固定側とは反対側に離型剤を塗布しておくとよい。図２５において、Ｒ２１〜Ｒ２７は、石英バーＢ１〜Ｂ７の傾斜面Ｒ１１〜Ｒ１７にそれぞれ対応して形成された傾斜面を示し、レプリカ材層７０は、傾斜面Ｒ２１〜Ｒ２７が鋸歯状に連なる傾斜面連鎖パターンを有する状態となる。
【００７７】
図２６の工程では、傾斜面Ｒ２１〜Ｒ２７が鋸歯状に連なる傾斜面連鎖パターンを有するレプリカ材層７０をエッチングマスクとするドライエッチング処理を基板６８Ａの一方の主面に施すことによりレプリカ材層７０の傾斜面連鎖パターンを基板６８Ａの一方の主面に転写する。この結果、傾斜面Ｒ２１〜Ｒ２７にそれぞれ対応して傾斜面成形部Ｒ３１〜Ｒ３７が一方の主面に形成された基板６８Ａからなる傾斜面成形板６８が得られる。
【００７８】
図２５に示したような傾斜面連鎖パターンを作成するための他の方法としては、Ｒ２１等の各傾斜面に対応する透光領域内で光学密度が傾斜的に変化する露光マスクを用いてポジレジスト層を露光し、現像する方法を用いてもよい。この場合、例えば傾斜面Ｒ２１は、図２５にて右方向に進むにつれて露光量が漸増するために生ずるもので、このことは、他の傾斜面Ｒ２２〜Ｒ２７についても同様である。ポジレジスト層において図２５に示すような傾斜面連鎖パターンを形成した後は、図２６に関して前述したと同様にしてドライエッチング処理を行なうことにより傾斜面Ｒ２１〜Ｒ２７にそれぞれ対応する傾斜面成形部Ｒ３１〜Ｒ３７を一方の主面に有する傾斜面成形板６８を作成する。
【００７９】
上記した傾斜面成形板の製法によれば、傾斜面成形板６８をサブミクロンの寸法精度で簡単に製作することができる。
【００８０】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、薄膜プロセスにより作成したレンズ成形板、平面成形板、傾斜面成形板等を用いてレンズアレイ成形空間を画定するようにしたので、寸法精度良好なマイクロレンズアレイを短期間に低コストで製作できる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態に係るマイクロレンズアレイの製法に用いられるレンズアレイ成形型を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。
【図３】レンズアレイ成形型の他の例を示す断面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。
【図５】レンズアレイ成形型の更に他の例を示す断面図である。
【図６】レンズアレイ成形型の更に他の例を示す断面図である。
【図７】図１，２のレンズアレイ成形型を用いて製作されたマクロレンズアレイを示す平面図である。
【図８】図７のＸ−Ｘ’線に沿う断面図である。
【図９】図３，４のレンズアレイ成形型を用いて製作されたマクロレンズアレイを示す断面図である。
【図１０】図５のレンズアレイ成形型を用いて製作されたマクロレンズアレイを示す断面図である。
【図１１】図６のレンズアレイ成形型を用いて製作されたマクロレンズアレイを示す断面図である。
【図１２】この発明に係るレンズ成形板の製法の一例におけるレジスト層形成工程を示す断面図である。
【図１３】図１２の工程に続く加熱リフロー工程を示す断面図である。
【図１４】図１３の工程に続くＣｕ／Ｃｒ積層形成工程を示す断面図である。
【図１５】図１４の工程に続くレジスト層形成工程を示す断面図である。
【図１６】図１５の工程に続く選択メッキ工程を示す断面図である。
【図１７】図１６の工程に続く成形板分離工程を示す断面図である。
【図１８】この発明に係る平面成形板の製法の一例におけるレジスト層形成工程を示す断面図である。
【図１９】図１８の工程に続く選択メッキ工程を示す断面図である。
【図２０】図１９の工程に続く成形板分離工程を示す断面図である。
【図２１】この発明に係る傾斜面成形板の製法の一例におけるバー並置板作成工程を示す断面図である。
【図２２】図２１の工程に続く石英バー並置工程を示す断面図である。
【図２３】図２２の工程に続く石英バー固定工程を示す断面図である。
【図２４】図２３の工程に続くレプリカ材層形成工程を示す断面図である。
【図２５】図２４の工程に続く傾斜面連鎖パターン転写工程を示す断面図である。
【図２６】レプリカ材層の傾斜面連鎖パターンを基板に転写するためのエッチング工程を示す断面図である。
【図２７】図２２の石英バー並置工程を詳細に示す斜視図である。
【符号の説明】
１０：成形板ホルダ、１０Ａ：凹部、１０ａ〜１０ｄ：レンズアレイ成形空間、１２，５８：平面成形板、１８，３２，３６，４８：レンズ成形板、３０，６８：傾斜面成形板、１４，２２，３４，３８，６６：接着層、１６，２４：固定板、２６：スペーサ、２８：上蓋、４０，５０：石英基板、４２，５２：位置合せマーク、４４，５４：Ｃｕ／Ｃｒ積層、６０：並置板保持具、６０ａ〜６０ｃ：並置板挿入溝、６２ａ〜６２ｃ：バー並置板、６４：固定基板、７０：レプリカ材層、Ｇ１，Ｇ２：ガイドピン、Ｌ１〜Ｌ４，Ｌ１１〜Ｌ１４，Ｌ２１〜Ｌ２４：レンズ成形部、Ｎ１１，Ｎ１２，Ｎ２１，Ｎ２２，Ｎ３１，Ｎ３２，Ｎ４１，Ｎ４２：ガイドピン挿通孔、ＭＬ：マイクロレンズアレイ、Ｓ１１〜Ｓ４４，Ｓ５１〜Ｓ５４，Ｓ６１〜Ｓ６４：レンズ、Ｐ１１〜Ｐ１４，Ｐ２１〜Ｐ２４：ガイドピン孔、Ｒ，Ｒ３１〜Ｒ３７：傾斜面成形部、Ｒ０１〜Ｒ０４，Ｒ１〜Ｒ７，Ｒ１１〜Ｒ１７、Ｒ２１〜Ｒ２７：傾斜面、Ｋ１〜Ｋ４、ｔ１，ｔ２，４６，Ｔ１，Ｔ２，ｔ１１，ｔ１２，５６、Ｔ１１，Ｔ１２：レジスト層。
【図１】
2004237701.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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