(57)【要約】【課題】従来の磁気ヘッドでは、狭トラックのヘッドにおいて、高い再生出力を得ることが難しくトラックピッチを狭くする上で障害となっていた。【解決手段】金属磁性膜を摺動面に対して傾斜した斜面に形成し、トラックを形成する溝の溝底面が一方の磁気コア半体の側から他方の磁気コア半体側にかけて次第に深くなる傾斜面を有する構成とする。【選択図】　　　　図１
2004013941.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主面に溝を有する磁性材で形成され、前記溝の少なくとも一方の壁面が前記主面に対して鋭角の斜面である磁気コア半体基材、
前記溝の斜面に形成した非磁性体の保護膜、
前記保護膜の上に形成した軟磁性体の膜、及び
前記軟磁性体の膜の、前記主面に露出する面に形成した磁気ギャップ部形成用の非磁性膜、
を有する磁気コア半体の２つのものを前記主面で接合した磁気コア、及び接合した２つの磁気コア半体の溝により形成される空間を通って巻回したコイルを備え、
前記磁気コアの磁気記録媒体に接する磁気ギャップ部が、前記磁気ギャップ部の両端部領域を切削することによって所定のトラック幅に形成され、前記切削部の片側が一方の磁気コア半体から他方の磁気コア半体にかけて次第に深くなる傾斜面を有し、磁気ギャップ部を挟んで反対側の前記切削部が前記他方の磁気コア半体から一方の磁気コア半体にかけて次第に深くなる傾斜面を有することを特徴とする
磁気ヘッド。
【請求項２】
前記保護膜が、酸化アルミニウムの膜である請求項１記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
前記軟磁性体の膜が、ＦｅＴａＮ及びＦｅＴａＳｉＮのいずれか一方の膜である請求項１記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
前記軟磁性体の膜が、非磁性の電気的絶縁膜と金属磁性膜とを交互に積層した多層膜であることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
【請求項５】
前記軟磁性体の膜の磁化容易軸の方向が、前記主面近傍の磁性膜を形成する面内で、磁気ギャップに平行であることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
【請求項６】
磁性材の磁気コア半体基材の主面に、少なくとも一方の壁面が前記主面に対して鋭角の斜面を有する溝を形成するステップ、
前記溝の斜面に非磁性体の保護膜を形成するステップ、
前記保護膜の上にスパッタリングにより軟磁性体の膜を形成するステップ、
前記軟磁性体の膜の、前記主面に露出する面に磁気ギャップ形成用の非磁性膜を形成するステップ、
前記の各ステップで形成した磁気コア半体の２つのものを前記主面で接合して磁気コアを形成するステップ、
前記磁気コアに、磁気記録媒体に接する磁気ギャップ部が、磁気ギャップ部の両端部領域を切削することによって所定のトラック幅に形成されるように、前記切削部のうち片側に、一方の磁気コア半体から他方の磁気コア半体にかけて次第に深くなる傾斜面を形成し、前記ギャップ部を挟んで反対側が、他方の磁気コア半体から一方の磁気コア半体にかけて次第に深くなる傾斜面を形成するステップ、及び
前記２つの磁気コア半体の溝により形成される空間を通ってコイルを巻回するステップ、
を有する磁気ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記軟磁性体の膜をスパッタリングにより成膜するステップにおいて、前記主面に対する鋭角の斜面を、スパッタリングターゲットの表面にほぼ平行に配置することを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、狭いトラック幅で磁気記録を行なう高密度磁気記録用の磁気ヘッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図８及び図９は、それぞれ従来から知られているヘッドコア（コイルを巻いていない状態のもので磁気コアともいう）の、斜視図およびＩＸ−ＩＸ断面図である。図を見易くするため断面にハッチを施していない。これらのヘッドコアにコイルを巻いた完成品の磁気ヘッドは、ビデオテープレコーダ等の回転ドラムに搭載され、回転ドラムの外周に沿って走行する磁気テープに情報を記録再生する。
【０００３】
図８に示すヘッドコア５０は、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の磁性体で作られた２つのヘッドコア半体５１Ａ、５１Ｂを接合して構成されている。接合前の個々のヘッドコア半体５１Ａ、５１Ｂに、接合したとき巻き線用の窓５５となる溝５６Ａ、５６Ｂをそれぞれ形成する。磁気ヘッドになったとき磁気ギャップを形成するギャップ面５２に平行になされた前記ヘッドコアの面５３Ａ、５３Ｂを含む全面に、それぞれスパッタリングにより金属磁性膜５４Ａ、５４Ｂを形成する。前記金属磁性膜５４Ａ、５４Ｂの上の磁気ギャップを形成するためのギャップ面５２に非磁性の薄膜をそれぞれ形成した後、２つの磁気コア半体５１Ａ、５１Ｂを溶融ガラス等で接着する。接着した磁気コアのギャップ面５に垂直な両側面を切削して、磁気記録媒体に接触するトラック形成部６０の幅Ｗ１０を所定の寸法にする。最後に前記切削部に溶融ガラスを流し込んで切削部を埋め、ヘッドコア５０が完成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
近年、磁気記録の記録密度の向上に対する要求が高まり、記録媒体のトラックピッチが益々狭くなされるとともに、前記面６０の幅Ｗ１０にほぼ等しいトラック幅も約１０μｍ以下と狭くなされている。そこでこのような狭いトラック幅の磁気記録媒体に信号を記録し高い再生出力が得られる磁気ヘッドが求められている。
【０００５】
磁気ヘッドの再生出力は、トラック幅が狭くなると共に低下していく。図８に示したような従来の構成の磁気ヘッドにおいては、トラック幅が約１０μｍ以下になると、十分大きな再生出力が得られず、トラックピッチを狭くする上で障害となる。トラック幅が狭くても十分な再生出力を得るためには、磁気ヘッドの磁気効率を向上させる必要がある。
本発明は、狭トラック幅の磁気記録において、再生時に高い再生出力が得られる磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気ヘッドは、主面に溝を有する磁性材で形成され、前記溝の少なくとも一方の壁面が前記主面に対して鋭角の斜面である磁気コア半体基材、前記溝の斜面に形成した非磁性体の保護膜、前記保護膜の上に形成した軟磁性体の膜、及び前記軟磁性体の膜の、前記主面に露出する面に形成した磁気ギャップ部形成用の非磁性膜を有する磁気コア半体の２つのものを前記主面で接合した磁気コア、及び接合した２つの磁気コア半体の溝により形成される空間を通って巻回したコイルを備え、前記磁気コアの磁気記録媒体に接する部が、前記磁気ギャップ部の両端部領域を切削することによって所定のトラック幅に形成され、前記切削部の片側が一方の磁気コア半体から他方の磁気コア半体にかけて次第に深くなる傾斜面を有し、磁気ギャップ部を挟んで反対側の前記切削部が前記他方の磁気コア半体から一方の磁気コア半体にかけて次第に深くなる傾斜面を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の磁気ヘッドの製造方法は、磁性材の磁気コア半体基材の主面に、少なくとも一方の壁面が前記主面に対して鋭角の斜面を有する溝を形成するステップ、
前記溝の斜面に非磁性体の保護膜を形成するステップ、前記保護膜の上にスパッタリングにより軟磁性体の膜を形成するステップ、前記軟磁性体の膜の、前記主面に露出する面に磁気ギャップ形成用の非磁性膜を形成するステップ、前記の各ステップで形成した磁気コア半体の２つのものを前記主面で接合して磁気コアを形成するステップ、前記磁気コアに、磁気記録媒体に接する磁気ギャップ部が、磁気ギャップ部の両端部領域を切削することによって所定のトラック幅に形成されるように、前記切削部のうち片側に、一方の磁気コア半体から他方の磁気コア半体にかけて次第に深くなる傾斜面を形成し、前記ギャップ部を挟んで反対側が、他方の磁気コア半体から一方の磁気コア半体にかけて次第に深くなる傾斜面を形成するステップ、及び前記２つの磁気コア半体の溝により形成される空間を通ってコイルを巻回するステップを有する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の好適な実施例について図１から図６を参照して説明する。
《第１実施例》
図１は本発明の第１実施例の磁気コア１０の完成品の斜視図、図２は図１のＩＩ−ＩＩ断面図である。図を見易くするため断面にハッチを施していない。図１及び図２において、単結晶フェライト等で作られた２つの磁気コア半体１Ａ、１Ｂが接着ガラス３ではり合わされ、磁気コア１０が形成される。磁気コア１０は、巻線用の窓５を有している。窓５の内壁面５Ａ、５Ｂには、それぞれ、金属磁性膜２Ａ、２Ｂが形成されている。窓５は、略５角形であり、金属磁性膜２Ａ、２Ｂは窓５の内壁面にほぼ均一な厚みで形成されている。金属磁性膜２Ａ、２Ｂは、磁気記録媒体に按する部分であるトラック形成部１６において、磁気ギャップ１５を保つため所定の厚さのギャップ材を介して接している。トラック形成部１６の幅Ｗｌ（以下、トラック幅Ｗｌという）が所定の寸法になるように、トラック形成部１６の両側部を削り取ることにより切り欠き部４Ａ、４Ｂが形成される。磁気ギャップ１５の長手方向は、磁気コア１０の側面に対して、アジマス角θの分だけ傾けられている。
【０００９】
図３の（ａ）から（ｃ）の斜投影図を参照して、図１の磁気コア半体１Ａ、１Ｂの製造方法の工程（ステップ）について説明する。磁気コア半体１Ａと１Ｂは全く同じ形状であるので、以後磁気コア半体１Ａについて説明する。図３の（ａ）において、複数個の磁気コアを一度に作るための、図の右上に向かって長い単結晶フェライトの板状部材２１に、磁気コア１０の完成時に巻線用の窓となる溝２２を砥石による研削加工で形成する。溝２２の図において左側面２２Ａは斜面になされている。底面２２Ｂは板状部材２１の主面である上面２１Ａとほぼ平行になされている。
図３の（ｂ）において、板状部材２１の上面２１Ａ、及び２１Ｂ、溝２２の左側面２２Ａ及び底面２２Ｂに、厚さ７ｎｍのＡｌ２Ｏ３の保護膜２３を形成する。次に、アルゴンガス（Ａｒ）と窒素ガス（Ｎ２）との混合ガス雰囲気中で、Ｆｅ−Ｔａをターゲットとして用いるスパッタリングにより、保護膜２３の上に厚さ１８μｍのＦｅＴａＮの金属磁性膜２４を形成する。成膜の際、板状部材２１を支持する基板ホルダー（図示省略）とターゲットとの間に高周波バイアス用の高周波電圧を印加し、その高周波電圧を調節することにより、磁気異方性の向きを制御する。本実施例では前記の金属磁性膜２４を、面内での磁気異方性が小さくほぼ等方性を有するように成膜する。
【００１０】
図３の（ｃ）において、ラッピングにより、面２１Ａ及び２１Ｂの保護膜２３及び金属磁性膜２４を除去し、溝２２の左側面２２Ａ及び底面２２Ｂにのみ金属磁性膜２４を残す。このとき、図３の（ｄ）に示すように、底面２２Ｂの金属磁性膜２４及び保護膜２３を除去し、左側面２２ＡにのみＦｅＴａＮ膜を残した構造にしてもよい。この構成では、底面２２Ｂの保護膜２３及び金属磁性膜２４の除去工程が増えるが、保護膜２３及び金属磁性膜２４の厚み分だけ窓が広くなるのでコイルの巻回数を増やすことができ、その分再生感度を高くすることができる。図３の（ｃ）の金属磁性膜２４は、図１の金属磁性膜２Ａ又は２Ｂに相当する。
図３の（ｃ）の板状部材２１の上面２１Ｂに非磁性膜のギャップ材１５Ａを形成して長尺の磁気コア半体２６が得られる。
【００１１】
図４の（ａ）は２つの磁気コア半体２６を組み合わせたヘッドブロック３０の斜視図であり、同（ｂ）は上面図である。図４の（ａ）の斜視図に示すように、２つの磁気コア半体２６を、上面２１Ｂが接するように組み合わせ、溝２２によって形成される巻線窓５の一部に接着ガラス３を流し込んで２つの磁気コア半体２６を接着する。次に切削工具を用いて切込３１及び３２を入れる。最後に前記切込３１及び３２に溶融ガラスを流し込み切込３１、３２をガラスで埋めてヘッドブロック３０を形成する。図４の（ｂ）はヘッドブロック３０の上面図である。図４の（ｂ）において、ヘッドブロック３０を、点線３５及び点線３６で示す位置で切断して分離することにより、図５の（ａ）に上面図で示す磁気コア３９が複数個得られる。図５の（ａ）の磁気コア３９の上下の斜めの部分３７を長辺４０に直角な切断線Ｌ１で切断すると、図５の（ｂ）に上面図で示す磁気コア１０が得られる。更に、図６の（ａ）の側面図に示すように曲線切断線Ｌ２及び直線切断線Ｌ３で切断して磁気コア１０の完成品が得られる。図６の上面のトラック形成部１６が磁気記録媒体に対向する面である。
【００１２】
本実施例による磁気コア１０は、２つの磁気コア半体２６を接着してから切込３１及び３２を入れることによって、所定のトラック幅Ｗｌを有する、磁気記録媒体に対向する磁気ギャップ部を形成する。最後に磁気コア１０の巻線窓５にコイルを巻いて磁気ヘッドが完成する。図１及び図２に示す本実施例の磁気コア１０は、図８及び図９に示す従来の磁気コア５０と以下の点で異なっている。
従来の磁気コア５０は、図９に示すように、ヘッドギャップを形成する面５２に平行なヘッドコア面５３Ａ、５３Ｂに金属磁性膜５４Ａ、５４Ｂがそれぞれ形成されている。またヘッドコア５０の図において下部の領域５０Ａにおいて、ヘッドコア半体５１Ａ、５１Ｂの対向面にそれぞれ金属磁性膜５４Ｃ、５４Ｄが形成されている。
これに対して、本実施例の磁気コア１０では、図２に示すように、磁気コア半体１Ａ、１Ｂは、トラック形成部１６の近傍において磁気ギャップ１５を形成する面１５Ｆに平行ではなく鋭角の斜面になされている。またヘッドコア１０の図において下部の領域１０Ａにおいて、ヘッドコア半体１Ａ、１Ｂの対向面に金属磁性膜が設けられていない。この２つの構成上の特徴により、以下に詳細に説明するように再生出力レベルが高くなる。
図１の磁気コア１０において、記録媒体（図示省略）に対向するトラック幅Ｗ１が１５μｍ、１０μｍ及び７μｍの３種の磁気ヘッドを作り、実際に信号を記録再生してその特性を調べた。比較の対象として、磁気ギャップ面５２の両側に厚さ１８μｍのＦｅＴａＮの金属磁性膜５４Ａ、５４Ｂを形成した図８に示す従来の構造の試験用の磁気ヘッドを用いる。この試験用磁気ヘッドのトラック幅Ｗ１０も１５μｍ、１０μｍ、７μｍの３種類である。試験用磁気ヘッドと本実施例の図３及び図４に示す工程で作った磁気コア１０を用いた磁気ヘッドについて、それぞれ磁気テープに２０ＭＨｚの正弦波の同一レベルの信号を記録再生して、再生出力レベルを測定した。その結果、トラック幅Ｗｌが１５μｍの磁気ヘッドでは、本実施例の磁気ヘッドと試験用の磁気ヘッドとでは再生出力レベルにほとんど差がなかった。トラック幅Ｗ１が１０μｍの磁気ヘッドでは、再生出力レベルは本実施例の磁気ヘッドの方が０．５ｄＢ高かった。またトラック幅Ｗ１が７μｍのものでは本実施例のものの方が１ｄＢ高かった。以上の比較試験の結果から、本実施例の工程で製作した磁気ヘッドは、磁気ギャップ１５の近傍において、磁気コア半体１Ａ、１Ｂを磁気ギャップ１５を形成する面１５Ｆに平行でなく鋭角の斜面にしたことにより、トラック幅が小さくなるに従って、従来の磁気ヘッドよりも記録再生時の再生出力レベルが高くなることがわかった。
【００１３】
《第２実施例》
本発明の第２実施例の磁気ヘッドについて以下に説明する。第２実施例の磁気ヘッドの磁気コアは前記の第１実施例の、図３から図６に示す工程と実質的に同様の工程で作られる。本実施例の磁気コアと前記第１実施例の磁気コア１０との違いは、本実施例では、図３の（ａ）における溝２２の左側面２２Ａを回転砥石で研磨し、面の粗さを原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）による測定値でＲａ約３０ｎｍ以下にする。前記第１実施例では左側面２２Ａの面の粗さはＲａ約６０ｎｍ以上であった。図３の（ｂ）に示す、板状部材２１の上面２１Ａ及び２１Ｂ、溝２２の左側面２２Ａ及び底面２２Ｂに、厚さ５ｎｍのＡ１２０３の保護膜２３を形成する。次にアルゴンガスと窒素ガスとの混合ガス中において、Ｆｅ−Ｔａ−Ｓｉをターゲットとして用いるスバッタリングにより、厚さ１８μｍのＦｅＴａＳｉＮの金属磁性膜２４を形成した。ＦｅＴａＳｉＮ膜２４は、形成された面内での磁気異方性が小さくほば等方性を有するように条件を定めて成膜した。それ以後の工程は前記図３から図６の第１実施例のものと同様である。なおトラック幅Ｗ１は７μｍのもの１種のみを作った。
【００１４】
第２実施例の磁気ヘッドにより、２０ＭＨｚの正弦波を磁気テープに記録再生して、再生出力レベルを調べた。その結果、前記第１実施例のトラック幅Ｗ１が７μｍの磁気ヘッドの場合に比べて再生出力レベルが約１ｄＢ高かった。
本実施例の磁気ヘッドでは、巻線窓となる溝２２の左側面２２Ａの粗さを小さくすることにより、左側面２２Ａの上に形成される金属磁性膜であるＦｅＴａＳｉＮの金属磁性膜２４の微視的な膜構造の乱れが少なくなる。そのため磁気ギャップ１５から金属磁性膜２４に流入する磁束の密度が高くなり、再生出力レベルが上昇する。
【００１５】
《第３実施例》
本発明の第３実施例の磁気ヘッドについて以下に説明する。第３実施例の磁気コアは、前記第１実施例の図３から図６に示す工程と類似の工程で作られ外観上は同様の構成を有する。本実施例の磁気コアと前記第１実施例の磁気コア１０との違いは、本実施例では、第２実施例と同様に、図３の（ａ）における溝２２の左側面２２Ａを回転砥石で研磨し、面の粗さを原子問力顕微鏡（ＡＦＭ）による測定値でＲａ約３０ｎｍ以下にする。次に図３の（ｂ）に示す、板状部材２１の上面２１Ａ及び２１Ｂ、溝２２の左側面２２Ａ及び底面２２Ｂに、厚さ５ｎｍのＡｌ２Ｏ３の保護膜２３を形成する。保護膜２３の上に、アルゴンガスと窒素ガスとの混合ガス中においてＦｅ−Ｔａ−Ｓｉをターゲットとして用いるスパッタリングにより、厚さ３μｍのＦｅＴａＳｉＮの金属磁性膜２４を形成する。厚さ３μｍの金属磁性膜２４と厚さ１５ｎｍのＡｌ２Ｏ３絶縁膜を交互に形成して、ＦｅＴａＳｉＮの膜とＡｌ２Ｏ３の膜の組を６組積層し総厚を約２０μｍにする。金属磁性膜２４は形成された面内での磁気異方性が小さくほぼ等方性を有するように条件を定めて成膜する。それ以後の工程は前記図３から図６の第１実施例のものと同様である。なおトラック幅Ｗ１が７μｍのもの１種のみを作った。
【００１６】
第３実施例の磁気ヘッドにより、２０ＭＨｚの正弦波を磁気テープに記録再生して、再生出力レベルを調べたところ、前記第２実施例のトラック幅７μｍの磁気ヘッドの、ＦｅＴａＳｉＮ膜を厚さ１８μｍの１層の膜にしたものに比ベて、再生出力レベルが約０．５ｄＢ高かった。また４０ＭＨｚの正弦波信号を記録再生して調べたところ、前記第２実施例の磁気ヘッドで同じ４０ＭＨｚの正弦波信号を記録再生した場合に比べて再生出力レベルが１．５ｄＢ高かった。
【００１７】
本実施例の磁気ヘッドでは、巻線窓となる溝２２の左側面２２Ａの粗さを小さくすることにより、左側面２２Ａの上に形成される金属磁性膜であるＦｅＴａＳｉＮ膜２４の微視的な膜構造の乱れが少なくなる。そのため磁気ギャップ１５からＦｅＴａＳｉＮ膜２４に流入する磁束の密度が高くなり再生出力のレベルの増加につながる。更に、ＦｅＴａＳｉＮ膜とＡｌ２Ｏ３膜とを交互に積層することにより、高い周波数におけるＦｅＴａＳｉＮ膜の表皮効果による磁束密度の偏りが改善される。その結果特に高い周波数における再生出力レベルが高くなる。
【００１８】
《第４実施例》
本発明の第４実施例の磁気ヘッドについて以下に説明する。第４実施例の磁気ヘッドの磁気コアは、前記第３実施例の磁気コアと実質的に同様の工程で作られ、同様の構成を有する。本実施例では、第３実施例のＦｅＴａＳｉＮ膜２４の代わりにＦｅＴａＮ膜を用いている。本実施例においては、Ａｌ２Ｏ３膜とＦｅＴａＮ膜をスパックリングで成膜して積層するとき、図３の（ａ）に示す単結晶フエライトの板状部材２１とターゲット間に高周波バイアス電圧を印加する。そして高周波バイアス電圧をコントロールして、磁化容易軸が左側面２２Ａの面内で磁気ギャップ１５（図１）を形成する面とほぼ平行になるように条件を定めて成膜する。
【００１９】
本実施例の磁気ヘッドのトラック幅Ｗ１が７μｍのものを作り、第１実施例のトラック幅Ｗ１が７μｍの磁気ヘッドとを比較した。その結果、本実施例のものでは、第１実施例のものに比べて２０ＭＨｚの正弦波信号の記録再生で平均０．５ｄＢ、４０ＭＨｚの正弦波信号の記録再生では１ｄＢ高い再生出力レベルが得られた。
【００２０】
《第５実施例》
本発明の第５実施例の磁気ヘッドについて図７を参照して説明する。第５実施例の磁気コア１０は、前記第３実施例の磁気コア１０と実質的に同様の工程で作られ、同様の構成を有する。本実施例では、第３実施例の金属磁性膜２４にＦｅＴａＳｉＮ膜の代わりにＦｅＴａＮ膜を用いている。
本実施例においては、図７に示すように、Ａ１２０３膜とＦｅＴａＮ膜をスパッタリングで成膜して積層するとき、単結晶フェライトの板状部材２１の左側面２２Ａと、ターゲットであるＦｅ−Ｔａ板４０の面４１とを平行にする。本実施例の磁気ヘッドのトラック幅Ｗ１が７μｍのものと、左側面２２ＡとＦｅ−Ｔａ板４０の面４１とを平行にせずに成膜した磁気ヘッドとを、それぞれ２０ＭＨｚの正弦波信号の記録再生をして比較した。その結果、本実施例のものは約１ｄＢだけ再生出力レベルが高かった。
【００２１】
【発明の効果】
以上の各実施例で詳細に説明したように、本発明によれば、狭トラック幅の磁気ヘッドにおいて、磁気コア半体１Ａ、１Ｂを、磁気ギャップの近傍において、磁気ギャップを形成するレベル面に平行でない鋭角の斜面にしたことにより、特に高い周波数の信号の記録再生における再生出力レベルが従来の磁気ヘッドよりも高くなる。また、鋭角の斜面の面の粗さを小さくすることにより、特に高い周波数の信号の再生出力レベルを更に大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の各実施例に共通の磁気コアの完成品の斜視図
【図２】図１の磁気コアのＩＩ−ＩＩ断面図
【図３】（ａ）から（ｃ）は、本発明の各実施例の磁気コア半体の製造工程を示す斜投影図
（ｄ）は他の例の磁気コア半体の斜投影図
【図４】（ａ）は本発明の各実施例の磁気コア半体を組み立てて切込みを入れた状態を示す斜視図
（ｂ）は同上面図
【図５】（ａ）は図３の（ｂ）の磁気コアブロックを切り分けた１つの磁気コアの上面図
（ｂ）は前記１つの磁気コアの両端部を切断した磁気コアの上面図
【図６】（ａ）は磁気コアの切断線を示す側面図
（ｂ）は（ａ）の左側面を示す側面図
【図７】本発明の第５実施例における、スバッタリングのターゲットと磁気コア半体２１との位置関係を示す側面図
【図８】従来例の磁気コアの斜投影図
【図９】従来例の磁気コアのＩＸ−ＩＸ断面図
【符号の説明】
１Ａ、１Ｂ　　　　磁性コア半体
２Ａ、２Ｂ　　　　金属磁性膜
３　　　　　　　　接着ガラス
４Ａ、４Ｂ　　　　切り欠き部
５　　　　　　　　巻線用の窓
１０、５０　　　　磁気コア
１５　　　　　　　磁気ギャップ
１６　　　　　　　トラック形成部
２１　　　　　　　板状部材
２１Ａ、２１Ｂ　　上面
２２　　　　　　　溝
２２Ａ　　　　　　左側面
２２Ｂ　　　　　　底面
２３　　　　　　　保護膜
２４　　　　　　　金属磁性膜
２６　　　　　　　磁気コア半体
３０　　　　　　　ヘッドブロック
３１、３２　　　　切込
３５、３６　　　　切断線
Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３　切断線
Ｗ１、Ｗ１０　　　トラック幅
６０　　　　　　　トラック形成部
【図１】
2004013941.tif 000003
【図２】
2004013941.tif 000004
【図３】
2004013941.tif 000005
【図４】
2004013941.tif 000006
【図５】
2004013941.tif 000007
【図６】
2004013941.tif 000008
【図７】
2004013941.tif 000009
【図８】
2004013941.tif 000010
【図９】
2004013941.tif 000011