(57)【要約】      （修正有）【課題】基板昇降機の昇降に伴って生じてしまう気流を抑制して、搬送されている基板に異物が付着してしまうことを防ぐことができる基板搬送システムを提供する。【解決手段】基板搬送システムは、昇降路形成体５と、昇降路形成体５の内部に設けられた基板昇降機７とを備えている。昇降路形成体５には、上方基板搬送ライン１１ａおよび下方基板搬送ライン１１ｂが接続されており、基板昇降機７に対して基板５０を出し入れするようになっている。昇降路形成体５には、当該昇降路形成体５の内部と外部との間で通気を行う通気部１７ａ、１７ｂが形成されている。基板昇降機７は、基板載置部２１と、基板載置部２１に載置された基板５０に対してクリーン・エアーを吹き付けるクリーン・エアー噴出装置２３とを有している。【選択図】  図１
2004288823.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周部を有し内部に昇降路を形成する昇降路形成体と、
搬入された基板を載置するための基板載置部と当該基板載置部に載置された基板に対してクリーン・エアーを吹き付けるクリーン・エアー噴出装置とを有し、前記昇降路形成体の内部に設けられ、前記昇降路形成体によって形成された昇降路を昇降可能な基板昇降機と、
前記昇降路形成体に接続され、前記基板昇降機に基板を出し入れする上方基板搬送ラインと、
前記昇降路形成体のうち前記昇降路形成体に対する前記上方基板搬送ラインの接続位置よりも下方の位置に接続され、前記基板昇降機に基板を出し入れする下方基板搬送ラインと、を備え、
前記昇降路形成体には、前記基板昇降機の昇降に伴って前記昇降路形成体の内部と外部との間で通気可能な通気部が形成されていることを特徴とする基板搬送システム。
【請求項２】
前記通気部は、前記昇降路形成体のうち前記昇降路形成体に対する前記上方基板搬送ラインの接続位置よりも下方の位置に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
【請求項３】
前記通気部は、前記昇降路形成体のうち前記昇降路形成体に対する前記下方基板搬送ラインの接続位置よりも下方の位置に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬送システム。
【請求項４】
前記基板昇降機と前記昇降路形成体の外周部との間には、昇降路形成体の内部と外部との間で通気可能な開口部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板搬送システム。
【請求項５】
前記クリーン・エアー噴出装置は、前記基板昇降機の外部のエアーをクリーン・エアーに浄化するエアー浄化部を有し、
前記基板載置部に載置された基板に対して吹き付けられるクリーン・エアーは、当該エアー浄化部によって浄化されたクリーン・エアーであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板昇降機。
【請求項６】
前記基板昇降機は、前記基板載置部を覆うようにして設けられた昇降機用カバーを更に有していることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の基板昇降機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板を昇降搬送する基板昇降機を備えた基板搬送システムに関し、例えばＲＧＢカラーフィルター等に用いられる基板を好適に昇降搬送することができる基板昇降機を備えた基板搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＲＧＢカラーフィルター等の基板を効率良く製造するために、このような基板を各種の処理ラインに適切に搬送する必要がある。各種の処理ラインは必ずしも同一平面上に設けられておらず、同一平面上に設けられていない処理ライン間において基板を搬送する場合には、基板を鉛直方向へ移動させる手段が必要となる。基板５０を鉛直方向へ移動させる手段として、図３および図４に示されているような基板昇降機７を備えた基板搬送システム１が従来から広く用いられている。
【０００３】
図３および図４に示されている基板搬送システム１は、昇降路３を形成する昇降路形成体５と、昇降路３を昇降する基板昇降機７と、基板昇降機７の前段に設けられた上方基板搬送ライン１１ａと、基板昇降機７の後段に設けられた下方基板搬送ライン１１ｂと、を備えている。これらの基板昇降機７、上方基板搬送ライン１１ａ、および下方基板搬送ライン１１ｂはそれぞれ、外部から基板５０を搬入するための搬入口３１および外部へ基板５０を搬出するための搬出口３３を有するとともに、搬入口３１および搬出口３３以外の箇所がカバー１５で覆われており、略密閉した構造を有している。また、昇降路形成体５、上方基板搬送ライン１１ａおよび下方基板搬送ライン１１ｂのカバー１５には、外気を浄化して内部に吹き込むフィルタ装置（クリーン・エアー噴出装置）２３が取り付けられており、外気から異物を除去した清浄なエアー（クリーン・エアー）を内部に吹き込むようになっている。
【０００４】
このような基板搬送システム１では、上方基板搬送ライン１１ａを経て送られてきた基板５０が、基板昇降機７内の基板昇降機７に搬入されて基板載置部２１に載置される（図３参照）。そして当該基板５０は、基板昇降機７と共に下方基板搬送ライン１１ｂの高さまで下降して、下方基板搬送ライン１１ｂに搬出される。そして、当該基板５０は下方基板搬送ライン１１ｂを経て後段に送られる。一方、基板昇降機７は再び上方基板搬送ライン１１ａの高さまで上昇して基板昇降機７に搬入されてくる新たな基板５０に対して準備することとなる（図４参照）。このような基板搬送システム１を用いることによって、基板５０をスムーズに鉛直方向へ移動させることができ、上方に設けられた上方基板搬送ライン１１ａから下方に設けられた下方基板搬送ライン１１ｂに基板５０を連続的に搬送することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の基板昇降機７の内部では、基板昇降機７の昇降に伴って、図３および図４に示す上昇流（アップフロー）あるいは下降流（ダウンフロー）のような気流が発生してしまう。特に、基板５０が載置された状態で基板昇降機７が昇降するような場合や、基板昇降機７の昇降を比較的高速で行うような場合には、このような気流が発生しやすい。そして、当該基板昇降機７が上述のような構成を有している場合には、基板昇降機７の昇降に伴って生じた気流の影響が、搬入口３１や搬出口３３を介して上方基板搬送ライン１１ａや下方基板搬送ライン１１ｂにまで及んでしまう。このような気流の影響により、上方基板搬送ライン１１ａおよび下方基板搬送ライン１１ｂを搬送されている基板５０や基板昇降機７の基板載置部２１に載置された基板５０には、エアーが吹き付けられて、当該エアー中の異物が付着してしまうことがある。
【０００６】
すなわち、基板昇降機７の昇降時において、基板昇降機７の上方および下方や上方基板搬送ライン１１ａおよび下方基板搬送ライン１１ｂの内部では、気圧が変動して気流が生じやすい。例えば、基板昇降機７の上昇時（ｕｐ時）には基板載置部２１の下方や下方基板搬送ライン１１ｂの内部が負圧になり、一方、基板昇降機７の下降時（ｄｏｗｎ時）には基板載置部２１の上方や上方基板搬送ライン１１ａの内部が負圧になる。このような負圧が形成された箇所には、異物を混入する汚い外気が、各搬入口３１、搬出口３３、或いはカバー１５や昇降路形成体５に形成された微少な間隙等を介して侵入してしまうことがある。従って、基板昇降機７の基板載置部２１に載置されている基板５０や、各搬送ライン１１ａ、１１ｂを搬送されている基板５０には、基板昇降機７の昇降に伴って生じた気流の影響により、異物を混入する外気が吹き付けられてしまうことがある。このような場合には、上方基板搬送ライン１１ａや下方基板搬送ライン１１ｂにおける基板５０に異物が付着してしまい、最終的には、当該基板５０に形成される最終製品（ＲＧＢカラーフィルター等）の歩留まりを悪化させてしまうこととなる。
【０００７】
本発明は上述の事項を考慮してなされたものであり、基板昇降機の昇降に伴って生じてしまう気流を抑制して、搬送されている基板に異物が付着してしまうことを防ぐことができる基板搬送システムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、外周部を有し内部に昇降路を形成する昇降路形成体と、搬入された基板を載置するための基板載置部と当該基板載置部に載置された基板に対してクリーン・エアーを吹き付けるクリーン・エアー噴出装置とを有し、前記昇降路形成体の内部に設けられ、前記昇降路形成体によって形成された昇降路を昇降可能な基板昇降機と、前記昇降路形成体に接続され、前記基板昇降機に基板を出し入れする上方基板搬送ラインと、前記昇降路形成体のうち前記昇降路形成体に対する前記上方基板搬送ラインの接続位置よりも下方の位置に接続され、前記基板昇降機に基板を出し入れする下方基板搬送ラインと、を備え、前記昇降路形成体には、前記基板昇降機の昇降に伴って前記昇降路形成体の内部と外部との間で通気可能な通気部が形成されていることを特徴とする基板搬送システムである。
【０００９】
本発明によれば、基板昇降機の昇降の際には通気部を介して通気が行われるので基板昇降機の下方において発生する気流の勢いは抑制され、当該気流の影響が上方基板搬送ラインおよび下方基板搬送ラインに及びにくくなると共に、クリーン・エアー噴出装置によって吹き付けられているクリーン・エアーによって基板載置部に載置されている基板に異物を混入するエアーが吹き付けられるのを防ぐことができる。
【００１０】
前記通気部は、前記昇降路形成体のうち前記昇降路形成体に対する前記上方基板搬送ラインの接続位置よりも下方の位置に形成されていることが好ましい。また、前記通気部は、前記昇降路形成体のうち前記昇降路形成体に対する前記下方基板搬送ラインの接続位置よりも下方の位置に形成されていることが好ましい。本発明では、このような通気部を昇降路形成体の外周部等に設けうるようになっている。
【００１１】
前記基板昇降機と前記昇降路形成体の外周部との間には、昇降路形成体の内部と外部との間で通気可能な開口部が形成されていることが好ましい。
【００１２】
前記クリーン・エアー噴出装置は、前記基板昇降機の外部のエアーをクリーン・エアーに浄化するエアー浄化部を有し、前記基板載置部に載置された基板に対して吹き付けられるクリーン・エアーは、当該エアー浄化部によって浄化されたクリーン・エアーであることが好ましい。
【００１３】
前記基板昇降機と前記昇降路形成体の外周部との間には、昇降路形成体の内部と外部との間で通気可能な開口部が形成されていることが好ましい。
【００１４】
前記クリーン・エアー噴出装置は、前記基板昇降機の外部のエアーをクリーン・エアーに浄化するエアー浄化部を有し、当該エアー浄化部によって浄化されたクリーン・エアーを前記基板載置部に載置された基板に対して吹き付けるようになっていることが好ましい。
【００１５】
前記基板昇降機は、前記基板載置部を覆うようにして設けられた昇降機用カバーを更に有していることが好ましい。この昇降機用カバーは、例えば基板載置部の上方側および／または下方側を覆うようにして設けることができる。当該昇降機用カバーによって、クリーン・エアー以外のエアー（空気）が基板載置部に載置されている基板に対して吹き付けられてしまうことを防ぐことができる。また、昇降機用カバーが通気可能な開口部を有する場合には、クリーン・エアー噴出装置から基板載置部の基板に吹き付けられたクリーン・エアーが、当該開口部から外部に向けて噴出されうることとなる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図１および図２を参照して本発明の一実施の形態を説明する。
【００１７】
本実施の形態の基板搬送システム１は、図１に示すように、昇降路３を形成する昇降路形成体５と、昇降路形成体５の内部に設けられた基板昇降機７と、昇降路形成体５に接続された上方基板搬送ライン１１ａおよび下方基板搬送ライン１１ｂと、を備えている。
【００１８】
上方基板搬送ライン１１ａは下方基板搬送ライン１１ｂよりも上方に位置し、上方基板搬送ライン１１ａおよび下方基板搬送ライン１１ｂはいずれも略水平面上に配置されている。従って、下方基板搬送ライン１１ｂは、昇降路形成体５のうち昇降路形成体５に対する上方基板搬送ライン１１ａの接続位置よりも下方の位置に接続されている。このため、昇降路形成体５に対する接続位置を比較した場合、上方基板搬送ライン１１ａは昇降路形成体５のうち上方位置に接続され、下方基板搬送ライン１１ｂは昇降路形成体５のうち下方位置に接続されている（図１参照）。
【００１９】
このような上方基板搬送ライン１１ａおよび下方基板搬送ライン１１ｂは、図１に示すように、基板５０を搬送するための搬送コンベア１３ａ、１３ｂと、当該搬送コンベア１３ａ、１３ｂの周囲を覆うようにして設けられた外気遮断カバー１５ａ、１５ｂとを有している。搬送コンベア１３ａ、１３ｂは、複数のローラが組み合わされて構成されており、供給された基板５０を自動的に水平方向へ搬送することができるようになっている。外気遮断カバー１５ａ、１５ｂは、上方基板搬送ライン１１ａ或いは下方基板搬送ライン１１ｂの内部に外気が侵入してしまうことを防いでおり、搬送コンベア１３ａ、１３ｂ上で搬送される基板５０に対して外気が吹き付けられてしまうことを防ぐようになっている。このような構成を有する上方基板搬送ライン１１ａは、本基板搬送システム１の外部から供給された基板５０を基板昇降機７に搬入するようになっている。一方、下方基板搬送ライン１１ｂは、基板昇降機７から搬出された基板５０を本基板搬送システム１の後段に搬送するようになっている。
【００２０】
昇降路形成体５は、底部５ａと、当該底部５ａの上方を囲むようにして設けられた外周部５ｂとを有している。昇降路形成体５の当該底部５ａおよび当該外周部５ｂは一体的に設けられており、その内部において鉛直方向へ延びる昇降路３が区画形成されている。
【００２１】
昇降路形成体５の外周部５ｂには通気部１７ａ、１７ｂが形成されており、当該通気部１７ａ、１７ｂを介して、昇降路形成体５の内部と外部との間で通気が可能となっている。本実施の形態では、昇降路形成体５の外周部５ｂのうち、昇降路形成体５に対する上方基板搬送ライン１１ａの接続位置よりも下方の位置であって、且つ、昇降路形成体５に対する下方基板搬送ライン１１ｂの接続位置よりも上方の位置に、パンチング板のようなメッシュ状に形成されたメッシュ状通気部１７ａが形成されている。また、昇降路形成体５の外周部５ｂのうち昇降路形成体５に対する下方基板搬送ライン１１ｂの接続位置よりも下方の位置に、スリット状に形成されたスリット状通気部１７ｂが形成されている。そして、このようなメッシュ状通気部１７ａおよびスリット状通気部１７ｂを介し、昇降路形成体５の内部と外部との間で自由に通気させることができるようになっている。
【００２２】
基板昇降機７は、上方基板搬送ライン１１ａから搬入された基板５０を載置するための基板載置部２１と、当該基板載置部２１に載置された基板５０に対して清浄なエアー（クリーン・エアー）を吹き付けるフィルタ装置（クリーン・エアー噴出装置）２３と、当該基板載置部２１を覆うようにして設けられた昇降機用カバー２７ａ、２７ｂと、を有している。このような基板載置部２１、フィルタ装置２３および昇降機用カバー２７ａ、２７ｂを有する基板昇降機７は、昇降路形成体５の内部に形成された昇降路３を鉛直方向へ昇降することができるように構成されている。
【００２３】
基板載置部２１は、複数のローラが組み合わされたコンベア構造を有しており、外部（上方基板搬送ライン１１ａあるいは下方基板搬送ライン１１ｂ）から搬入された基板５０を自動的に適切な位置に載置すると共に、載置されている基板５０を自動的に外部（上方基板搬送ライン１１ａあるいは下方基板搬送ライン１１ｂ）に搬出することができるようになっている。フィルタ装置２３は、基板昇降機７の外部のエアー（外気）を清浄なエアー（クリーン・エアー）に浄化するエアー浄化部２４を有しており、エアー浄化部２４によって浄化したクリーン・エアーを基板載置部２１に載置された基板５０に対して吹き付けるようになっている。昇降機用カバー２７ａ、２７ｂは、基板載置部２１の上方側および下方側を覆うようにして設けられており、基板載置部２１の上方側を覆う昇降機用カバー２７ａは開口部を有さない平板状に形成され、基板載置部２１の下方側を覆う昇降機用カバー２７ｂは開口部を有するパンチング板状に形成されている。このような構成を有する昇降機用カバー２７ａ、２７ｂは、フィルタ装置２３からのクリーン・エアー以外のエアー（空気）が基板載置部２１に載置された基板５０に対し吹き付けられてしまうことを防ぐようになっている。
【００２４】
また、基板昇降機７の有するフィルタ装置２３と同様のフィルタ装置２３ａ、２３ｂが、上方基板搬送ライン１１ａおよび下方基板搬送ライン１１ｂの外気遮断カバー１５ａ、１５ｂに取り付けられている。これらのフィルタ装置２３ａ、２３ｂは、エアー浄化部２４ａ、２４ｂによって浄化したクリーン・エアーを、上方基板搬送ライン１１ａあるいは下方基板搬送ライン１１ｂの外気遮断カバー１５ａ、１５ｂの内部に吹き込むようにようになっている。従って、上方基板搬送ライン１１ａの外気遮断カバー１５ａ内および下方基板搬送ライン１１ｂの外気遮断カバー１５ｂ内は、フィルタ装置２３ａ、２３ｂにより吹き込まれたクリーン・エアーによって略満たされた状態が保たれている。
【００２５】
一方、基板昇降機７と昇降路形成体５の外周部５ｂとの間には、昇降路形成体５の内部と外部との間で通気可能な開口部２５が形成されている。基板昇降機７は鉛直方向に延設された昇降路３を鉛直方向へ昇降するので、当該開口部２５は、基板昇降機７の昇降時においても開口状態が維持され、自由な通気が可能となっている。
【００２６】
次に、このような構成を有する本実施の形態の基板搬送システム１の作用について説明する。
【００２７】
本実施の形態の基板搬送システム１では、まず、基板載置部２１と上方基板搬送ライン１１ａとが略同じ高さとなるような位置（上方搬送位置）に基板昇降機７が配置され、上方基板搬送ライン１１ａを経て送られてくる基板５０に対して準備する。そして、基板５０が上方基板搬送ライン１１ａを経て基板昇降機７に搬入され、当該基板５０は基板昇降機７の基板載置部２１に載置される（図１参照）。そして、図１に示すように、基板載置部２１に基板５０を載置した基板昇降機７は、昇降路３を下降する。
【００２８】
この時、基板載置部２１に載置された基板５０にはフィルタ装置２３からクリーン・エアーが連続的に吹き付けられる。このようにして基板５０に対しクリーン・エアーを吹き付けることにより、基板載置部２１の周囲のエアーが当該基板５０に吹き付けられてしまうことを防止して、当該エアーに混入している異物が当該基板５０に付着してしまうことを効果的に防いでいる。
【００２９】
一方、基板昇降機７の下降時には、通気部（メッシュ状通気部１７ａ、スリット状通気部１７ｂ）や開口部２５を介して昇降路形成体５の内部と外部との間で通気が適宜行われて、昇降路形成体５の底部５ａおよび外周部５ｂと基板昇降機７とによって区画される空間Ｓ内の気圧を略一定（本実施の形態では大気圧）に安定的に保つことができる。これにより、基板昇降機７の下降に伴って基板昇降機７の下方で生じる気流の勢いを効果的に抑制することができ、当該気流の影響が上方基板搬送ライン１１ａや下方基板搬送ライン１１ｂにまで及んでしまうことを防ぐことができる。
【００３０】
また、昇降機用カバー２７ａ、２７ｂによって、フィルタ装置２３からのクリーン・エアー以外のエアーが基板載置部２１に載置されている基板５０に吹き付けられてしまうことを防ぐことができる。このように、基板昇降機７の下降に伴って生じた気流の影響により異物を混入するエアーが基板載置部２１に載置された基板５０に吹き付けられてしまうことを昇降機用カバー２７ａ、２７ｂによって防止することができる。
【００３１】
そして、基板昇降機７は、基板載置部２１と下方基板搬送ライン１１ｂとが略同じ高さとなるような位置（下方搬送位置）にまで下降して、停止する。そして、基板昇降機７の基板載置部２１に載置されている基板５０は、下方基板搬送ライン１１ｂに搬出され、当該下方基板搬送ライン１１ｂを経て本基板搬送システム１の後段へ送られる。一方、基板載置部２１から基板５０が搬出された基板昇降機７は、昇降路３を上昇して上方搬送位置に配置され、上方基板搬送ライン１１ａを経て送られてくる新たな基板５０に対して準備する。そして、上方基板搬送ライン１１ａから基板昇降機７に対し基板５０が搬入されると、基板昇降機７は上述したのと同様にして当該基板５０を下方基板搬送ライン１１ｂに搬送する。このようにして、上方基板搬送ライン１１ａを経て連続的に送られてくる基板５０は、基板昇降機７を介し連続的に下方基板搬送ライン１１ｂに送られることとなる。
【００３２】
なお、上方基板搬送ライン１１ａ、基板昇降機７および下方基板搬送ライン１１ｂを構成する各種機器類は図示しない制御装置によって適宜制御されており、基板５０は、基板昇降機７の昇降搬送を介して上方基板搬送ライン１１ａから下方基板搬送ライン１１ｂへ適切に搬送されるようになっている。
【００３３】
上述の内容は、上方基板搬送ライン１１ａから下方基板搬送ライン１１ｂに基板５０を搬送する場合について説明したものであるが、下方基板搬送ライン１１ｂから上方基板搬送ライン１１ａに基板５０を搬送する場合（図２参照）にも、基板搬送システム１の各種機器類は略同様に機能する。
【００３４】
すなわち、このような場合には、下方搬送位置に配置されている基板昇降機７に下方基板搬送ライン１１ｂから基板５０が搬入され、当該基板５０が基板載置部２１に載置される。そして、基板昇降機７は昇降路３を上昇する（図２参照）。基板昇降機７が上昇している間、基板載置部２１に載置されている基板５０に対してフィルタ装置２３からクリーン・エアーが連続的に吹き付けられ、基板載置部２１の周囲のエアーおよび当該エアーに混入している異物が当該基板５０に吹き付けられないようになっている。一方、昇降路形成体５の内部と外部との間では、通気部（メッシュ状通気部１７ａ、スリット状通気部１７ｂ）や開口部２５を介して通気が行われ、昇降路形成体５の底部５ａおよび外周部５ｂと基板昇降機７とによって区画される空間Ｓ内の気圧は安定的に略一定に保たれる。これにより、基板昇降機７の上昇に伴い基板昇降機７の下方で生じる気流の勢いは抑制され、当該気流の影響が上方基板搬送ライン１１ａや下方基板搬送ライン１１ｂにまで及んでしまうことを防いでいる。また、基板昇降機７の上昇に伴い生じる気流の影響によって異物を混入するエアーが基板載置部２１に載置された基板５０に吹き付けられてしまうことを、昇降機用カバー２７ａ、２７ｂにより防止することができる。そして、基板昇降機７は、上方搬送位置にまで上昇して停止し、基板載置部２１に載置されている基板５０は、上方基板搬送ライン１１ａに搬出され、当該上方基板搬送ライン１１ａを経て本基板搬送システム１の後段へと送られる。一方、基板載置部２１から基板５０が搬出された基板昇降機７は、昇降路３を下降して下方搬送位置に配置され、下方基板搬送ライン１１ｂを経て送られてくる新たな基板５０に対して準備する。このようにして、下方基板搬送ライン１１ｂを経て連続的に送られてくる基板５０は、基板昇降機７を介し連続的に上方基板搬送ライン１１ａに送られることとなる。
【００３５】
以上説明したように本実施の形態によれば、通気部１７ａ、１７ｂや開口部２５を介して昇降路形成体５の内部と外部との間で通気が行われ、基板昇降機７の昇降によって生じる気流の勢いが抑制される。これにより、当該気流の影響が上方基板搬送ライン１１ａあるいは下方基板搬送ライン１１ｂに及びにくくなっており、基板昇降機７が昇降路３を昇降するような場合であっても、上方基板搬送ライン１１ａあるいは下方基板搬送ライン１１ｂにおける基板５０にエアーが吹き付けられにくくなっている。このため、当該エアーに混入している異物が、上方基板搬送ライン１１ａあるいは下方基板搬送ライン１１ｂにおける基板５０に吹き付けられて付着してしまうことを効果的に防止することができる。
【００３６】
また、基板昇降機７の昇降時には、フィルタ装置２３から基板載置部２１に載置された基板５０に対し清浄なクリーン・エアーが吹き付けられている。これにより、基板載置部２１の周囲のエアーが当該基板５０に対して吹き付けられてしまうことを防いで、当該基板５０に異物が付着してしまうことを未然に防止することができる。
【００３７】
また、昇降路形成体５の外周部５ｂのうち昇降路形成体５に対する上方基板搬送ライン１１ａの接続位置よりも下方の位置に、通気部（メッシュ状通気部１７ａ、スリット状通気部１７ｂ）が形成されている。このため、基板昇降機７が上方搬送位置から下降するような場合には、当該通気部１７ａ、１７ｂを介して昇降路形成体５の内部（昇降路形成体の底部および外周部と基板昇降機とにより区画形成される空間Ｓ）と外部との間でスムーズな通気を行うことができる。一方、昇降路形成体５の外周部５ｂのうち昇降路形成体５に対する下方基板搬送ライン１１ｂの接続位置よりも下方の位置に、通気部（スリット状通気部１７ｂ）が形成されている。このため、基板昇降機７が下方搬送位置から上昇するような場合には、当該通気部１７ｂを介して昇降路形成体５の内部（昇降路形成体の底部および外周部と基板昇降機とにより区画形成される空間Ｓ）と外部との間でスムーズな通気を行うことができる。このように、基板昇降機７の昇降時には、通気部１７ａ、１７ｂを介して昇降路形成体５の外部と内部との間で適切な通気が行われる。このため、昇降路形成体５の底部５ａおよび外周部５ｂと基板昇降機７とによって区画形成される空間Ｓ内の気圧は効率良く安定的に保たれ、基板昇降機７の昇降によって発生する気流の勢いを効果的に抑制することができる。なお、基板昇降機７が下方搬送位置から上昇するような場合には、基板昇降機７の上昇に伴ってメッシュ状通気部１７ａが徐々に基板昇降機７の下方に位置するようになり、このような基板昇降機７の下方に位置するメッシュ状通気部１７ａにおいても昇降路形成体５の内部と外部との間でスムーズな通気が行われることとなる。
【００３８】
また、基板昇降機７の昇降時には、基板昇降機７と昇降路形成体５の外周部５ｂとの間に形成された開口部２５においても、昇降路形成体５の内部と外部との間で通気が行われる。このため、昇降路形成体５の底部５ａおよび外周部５ｂと基板昇降機７とによって区画形成される空間Ｓ内の気圧は更に安定に保たれ、基板昇降機７の昇降によって発生する気流の勢いを更に効果的に抑制することができる。
【００３９】
また、エアー浄化部２４を有するフィルタ装置２３を利用することにより、基板昇降機７の外部のエアーを有効に活用することができる。
【００４０】
また、昇降機用カバー２７ａ、２７ｂによって、基板昇降機７の昇降に伴って生じる気流の影響により異物を混入したエアーが基板載置部２１に載置された基板５０に対して吹き付けられてしまうことを防ぐことができる。これにより、基板載置部２１に載置された基板５０に対しエアー中の異物が付着してしまうことを防ぐことができる。特に、開口部を有する昇降機用カバー２７ａによって基板載置部２１を覆うことにより、フィルタ装置２３からのクリーン・エアーが当該開口部を介して基板昇降機７の外部に向けて噴出し、基板昇降機７の外部のエアーが基板載置部２１に載置された基板５０に吹き付けられてしまうことを更に効果的に防止しうるようになっている。
【００４１】
なお、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて各種の設計変更等を加えることも可能である。
【００４２】
例えば、上述の実施の形態では上下方向（鉛直方向）に配設された２つの搬送ライン間（上方基板搬送ライン１１ａおよび下方基板搬送ライン１１ｂの間）で基板５０を昇降搬送する場合について説明したが、上下方向に配設された３つ以上の搬送ライン間で基板５０を昇降搬送する場合にも本発明を好適に適用することができる。すなわち、上述の実施の形態において上方基板搬送ライン１１ａと下方基板搬送ライン１１ｂとの間にセンター搬送ライン（図示せず）が設けられ、「上方基板搬送ライン１１ａと下方基板搬送ライン１１ｂとの間」に加えて「上方基板搬送ライン１１ａとセンター搬送ラインとの間」あるいは「下方基板搬送ライン１１ｂとセンター搬送ラインとの間」で基板５０を昇降搬送するような場合にも、本発明を適用することができ、上述の実施の形態と略同一の作用、効果を期待することができる。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の基板搬送システムによれば、昇降路形成体の内部と外部との間では通気部を介した通気が行われるので、基板昇降機の昇降に伴って基板昇降機の下方において発生する気流の勢いは効果的に抑制される。これにより当該気流の影響が上方基板搬送ラインおよび下方基板搬送ラインに及びにくくなり、異物を混入したエアーが上方基板搬送ラインおよび下方基板搬送ラインの基板に対して吹き付けられてしまうことを防ぐことができる。また、基板載置部に載置されている基板にはクリーン・エアー噴出装置によってクリーン・エアーが吹き付けられているので、異物を混入したエアーが当該基板に対して吹き付けられてしまうことを防ぐことができる。このようにして、基板昇降機を介して上方基板搬送ラインと下方基板搬送ラインとの間で搬送される基板に対し異物の混入したエアーが吹き付けられてしまうことを防ぐことにより、当該基板に異物が付着してしまうことを効果的に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づく基板搬送システムの概略構成を示す図であって、基板を上方基板搬送ラインから下方基板搬送ラインへ搬送する基板搬送システムを示す図である。
【図２】本発明に基づく基板搬送システムの概略構成を示す図であって、基板を下方基板搬送ラインから上方基板搬送ラインへ搬送する基板搬送システムを示す図である。
【図３】従来の基板搬送システムの概略構成を示す図である。
【図４】従来の基板搬送システムの概略構成を示す図である。
【符号の説明】
１  基板搬送システム
３  昇降路
５  昇降路形成体
７  基板昇降機
１１ａ  上方基板搬送ライン
１１ｂ  下方基板搬送ライン
１５ａ、１５ｂ  外気遮断カバー
５ａ  昇降路形成体の底部
５ｂ  昇降路形成体の外周部
１７ａ、１７ｂ  通気部
２１  基板載置部
２３  フィルタ装置
２４  エアー浄化部
２５  開口部
２７ａ、２７ｂ  昇降機用カバー
５０  基板
【図１】
2004288823.tif 000003
【図２】
2004288823.tif 000004
【図３】
2004288823.tif 000005
【図４】
2004288823.tif 000006