(57)【要約】【課題】中心部分でスリット状の照明光を反射するレンズを使用しても観察物に対してオートフォーカス制御を可能とするスリット投影式オートフォーカス装置を提供する。【解決手段】ＬＥＤ光源２１からの照明光をスリット板２２を通してスリット状にして第１対物レンズ１２を通してステージ１１上の標本に集光照射し、その反射光を第１対物レンズ１２を通してオートフォーカス用ＣＣＤ３０で結像し、第１対物レンズ１２のフォーカス位置に標本を位置決めするスリット投影式オートフォーカス装置において、コレクタレンズ３２と第１瞳制限マスク２４の間に遮光フィルタ３２を配設し、スリット状の照明光の中心部分を遮光することにより、第１対物レンズ１２での前記照明光の反射を抑え、オートフォーカス制御が正常に動作するようにする。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
スリットが形成されたスリット板と、
前記光源からの光を前記スリットを通過させた後、対物レンズを通して対象物に照射して前記スリットの像を前記対象物上に結像させるフォーカス用照明光学系と、
前記対象物からの前記スリットの像の反射光を前記対物レンズを通して受けて前記スリットの像の反射像を結像させるフォーカス用結像光学系と、
前記フォーカス用結像光学系による前記反射像の結像位置に設けられて前記反射像を検出する光電変換器と、
前記光電変換器で得られた前記反射像の信号に基づいてフォーカスアクチュエータの作動を制御する信号を出力する信号出力手段と、
前記対物レンズの中央部分で反射して前記スリットの像を形成する光を遮光する遮光手段と
を有することを特徴とするスリット投影式オートフォーカス装置。
【請求項２】
前記遮光手段が、
前記対物レンズの中央部分で反射して前記スリットの像を形成する光を遮光する遮光板で構成されることを特徴とする請求項１に記載のスリット投影式オートフォーカス装置。
【請求項３】
前記遮光板が、
前記フォーカス用照明光学系に配設されて構成されることを特徴とする請求項２に記載のスリット投影式オートフォーカス装置。
【請求項４】
前記遮光板が、
前記フォーカス用結像光学系に配設されて構成されることを特徴とする請求項２に記載のスリット投影式オートフォーカス装置。
【請求項５】
前記遮光板を着脱する遮光板着脱手段を有することを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載のスリット投影式オートフォーカス装置。
【請求項６】
前記遮光板と、
前記対物レンズの種類を検出する検出手段とを有し、
前記検出手段で検出した前記対物レンズの種類に応じて前記遮光板を着脱する遮光板着脱手段を有することを特徴とする請求項２から５のいずれかに記載のスリット投影式オートフォーカス装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料（標本）の観察に用いられる顕微鏡用のスリット投影式オートフォーカス装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
顕微鏡用のオートフォーカス（自動焦点合わせ）装置として、スリット投影方式が知られている。スリット投影方式とは、スリット状の照明を標本に照射して、その反射光を利用して対物レンズの焦点に標本を合わせる手法である。具体的には以下に示す方法で焦点合わせを行うものである。ＬＥＤ（発光ダイオード）等を補助光源としてして使用し、その光をスリットに通してスリット状の照明光を作り、そのスリット状の照明光を光軸から長手方向に延びる中心線に沿って二分し、一方を遮光し、残った他方の照明光を対物レンズを通して標本に集光照射する。標本に集光照射された照明光は標本で反射し、対物レンズを通ってＣＣＤセンサ等の光電変換器に結像されて検出され、その像から焦点情報（対物レンズの合焦位置からの相対的距離）が計算される。この焦点情報から例えばステージを光軸方向位置へ移動する制御を行い、対物レンズと標本の距離を調整し、合焦位置へ制御を行う。
【０００３】
一方、主に照明光を透過させて標本の像を観察する生物用の顕微鏡では、標本像のコントラストを検出し、そのコントラストが最大となる位置を見つけて焦点を合わせる画像コントラスト式のオートフォーカス装置が使われていたが、この方式では色の薄い標本等ではコントラストの抽出に時間がかかる等の問題があり、スリット投影方式のオートフォーカス装置が実用化されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したように生物用の顕微鏡では標本に対して照明光を透過させてその光線を対物レンズを通して利用するという方式であるため、対物レンズにおける光の反射を考慮した設計が成されていなかった。そのため、上記のスリット照明光を対物レンズを通して標本に照射した場合、使用する対物レンズ（例えば透過照明用高倍レンズ、特に液浸タイプ）によっては、対物レンズの中心部分で、上記のスリット状の照明光の反射が大きく、標本からの反射光と混在するため、標本からの反射光のみを検出できず、正確なオートフォーカス制御ができない場合があった。
【０００５】
この対物レンズの反射によるスリット投影式オートフォーカス装置におけるオートフォーカス制御妨害の問題は、対物レンズの設計によって、中心部分の反射を少なくすることで対策可能であるが、そのために対物レンズの他の光学的性能が低下する場合も発生する。また、既にこのような対物レンズが使用されている場合に、対物レンズで対策をしようとすると、新たに対策を施した対物レンズを用意する必要があり、コスト的負担が大きくなるという問題もあった。
【０００６】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、スリット状の照明光の中心部分を遮光する手段を備え、スリット状の照明光を中心部分で反射するレンズを使用しても観察物に対してオートフォーカス制御を可能とするスリット投影式オートフォーカス装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明に係るスリット投影式オートフォーカス装置は、光源と、スリットが形成されたスリット板と、前記光源からの光を前記スリット板を通過させた後、対物レンズを通して対象物に照射して前記スリットの像を前記対象物上に結像させるフォーカス用照明光学系と、前記対象物からの前記スリットの像の反射光を前記対物レンズを通して受けて前記スリット像の反射像を結像させるフォーカス用結像光学系と、前記フォーカス用結像光学系による前記反射像の結像位置に設けられて前記反射像を検出する光電変換器と、前記光電変換器で得られた前記反射像の信号に基づいてフォーカスアクチュエータの作動を制御する信号を出力する信号出力手段と、前記対物レンズの中央部分で反射して前記スリットの像を形成する光を遮光する遮光する手段とを有して構成される。
【０００８】
なお、前記遮光する手段は、前記対物レンズの中央部分で反射して前記スリットの像を形成する光を遮光する遮光板で構成されることが好ましい。
【０００９】
このとき、前記遮光板は、前記フォーカス用照明光学系に配設され、前記スリットの像の中央部分を形成する光を遮光するように構成されるか、あるいは、前記遮光板は、前記フォーカス用結像光学系に配設され、前記反射像の中心部分を形成する光を遮光するように構成されることが好ましい。
【００１０】
これは、対物レンズ、フォーカス用照明光学系及びフォーカス用結像光学系の中心が光軸に合うように配設されているため、対物レンズの中心部分で反射して前記スリットの像を形成する光を遮光するために、前記スリットの像または前記反射像の中央部分を形成する光を遮光するものである。
【００１１】
また、前記遮光板を着脱する遮光板着脱手段を有して構成されることが好ましい。
【００１２】
さらに、前記遮光板と、前記対象物レンズの種類を検出する検出手段を有し、前記検出手段で検出した前記対物レンズの種類に応じて前記遮光板を着脱する遮光板着脱手段を有して構成されることが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。まず、本発明に係るスリット投影式オートフォーカス装置を説明する前に、このスリット投影式オートフォーカス装置を搭載した顕微鏡について説明を行う。この顕微鏡は、観察の対象物である標本の拡大像を形成して観察に使用するものである。標本（図示せず）はカバーガラス１４およびスライドガラス１５に挟まれステージ１１上に載置されている。
【００１４】
まず、顕微鏡の光学系について説明する。顕微鏡の光学系は、標本の上部に配置されている観察光学系３と、その側方に配置されているフォーカス用照明光学系５およびフォーカス用結像光学系７により構成されている。
【００１５】
フォーカス用照明光学系５は、その光軸上に順に、ＬＥＤ光源２１、スリット板２２、コレクタレンズ２３、第１瞳制限マスク２４および第１のハーフミラー２５が配設されて構成されている。スリット板２２の中央部には図２（ａ）に示すように長方形の細長いスリット開孔２２ａが形成されており、スリット板２２は、図２（ｂ）に示すように、スリット開孔２２ａの長手方向が図１において紙面に垂直方向に延びるように光軸を中心に配設されている。ＬＥＤ光源２１から射出された赤外光はスリット板２２に入射し、スリット板２２のスリット開孔２２ａを通り、コレクタレンズ２３で平行光に変換され、第１瞳制限マスク２４に照射される。第１瞳制限マスク２４は、瞳の半分を遮光するものであり、図２（ｃ）に示すように、光軸を中心にスリット状の照明光の長手方向の中心線にそって半分が遮光されるように配設されており、第１瞳制限マスク２４を通過したスリット状の照明光の形状は２２ｂのようになる。第１瞳制限マスク２４を通過した赤外光Ｌａは、第１のハーフミラー２５を透過する。なお、第１のハーフミラー２５は、フォーカス用照明光学系５とフォーカス用結像光学系７の光軸が交差する点に配設されており、赤外光の一部を反射して、他の一部を透過するものであり、後述するように、フォーカス用結像光学系７でも共用されている。フォーカス用照明光学系５と観察光学系３の光軸が交差する点には、ダイクロイックミラー１６が配設されており、後述するように観察光学系３でも共用されている。ダイクロイックミラー１６は、観察光学系３の観察光路上のアフォーカル系に配設され、赤外光を反射して可視光を透過する作用をする。第１のハーフミラー２５を透過した赤外光Ｌａはダイクロイックミラー１６に当たって下方に反射され（赤外光Ｌｂ）、第１対物レンズ１２を経て標本に集光照射される。なお、第１対物レンズ１２は、後述するように、観察光学系３でも共用されている。
【００１６】
観察光学系３は、標本に近い方から順に、第１対物レンズ１２、ダイクロイックミラー１６、第２のハーフミラー１７および接眼用第２対物レンズ１３が配設されて構成されており、さらに接眼用第２対物レンズ１３の先には図示しないが接眼レンズが配設されて構成されている。また、図示しないが、顕微鏡には、ステージ１１上に載置された標本を照明する照明装置が設けられている。この照明装置は、透過型または落射型であり、透過型の照明装置の場合はステージ１１の下方に配置され、落射型の照明装置の場合はステージ１１の上方に配置される。照明装置から照射された可視光は標本を透過し、第１対物レンズ１２で平行光に変換され、ダイクロイックミラー１６を透過し、第２のハーフミラー１７に入射する。第２のハーフミラー１７は、可視光の一部を反射して、他の一部を透過するものであり、第２のハーフミラー１７に入射した可視光は、一部が反射され接眼用第２対物レンズ１３及び接眼レンズで標本の観察像が結像され、観察に供せれる。なお、第２のハーフミラー１７を透過した一部の可視光を、カメラ用第２対物レンズ３６とリレーレンズ３７を通し、カメラ用ＣＣＤ３８の撮像面に結像させ、カメラ用信号処理部３９で処理して標本の画像をモニタ（図示せず）に投影する等に利用することも可能である。
【００１７】
ステージ１１上の標本はカバーガラス１４によって覆われているため、第１対物レンズ１２で結像された赤外光Ｌｃは、図３に示す通り、例えばカバーガラス１４の表面で反射する（赤外光Ｌｄ）。カバーガラス１４の表面で反射した赤外光Ｌｄは、第１対物レンズ１２で平行光に変換され（赤外光Ｌｅ）、ダイクロイックミラー１６に当たって側方に反射され（赤外光Ｌｆ）、さらに第１のハーフミラー２５に入射する。
【００１８】
第１のハーフミラー２５に入射した赤外光Ｌｆは、上方に一部が反射されフォーカス用結像光学系７に入る。フォーカス用結像光学系７は、光軸に沿って、第１のハーフミラー２５、オートフォーカス用第２対物レンズ２６、オートフォーカス用リレーレンズ２７、第２瞳制限マスク２８、オートフォーカス用リレーレンズ２７、シリンドリカルレンズ２９およびオートフォーカス用ＣＣＤセンサ３０が配設されて構成されている。第１のハーフミラー２５で反射された赤外光Ｌｆは、オートフォーカス用第２対物レンズ２６で集光して結像光に変換されスリット像を結像する。オートフォーカス用リレーレンズ２７，２７は、オートフォーカス用第２対物レンズ２６によって結像されたスリット像（赤外光Ｌｇ）をリレーし、シリンドリカルレンズ２９を経て、オートフォーカス用ＣＣＤセンサ３０の撮像面にスリット像を再結像する。なお、第２瞳制限マスク２８は、瞳の半分を遮光するように配設されており、遮光される領域は、上記に述べた第１瞳制限マスク２４によって遮光される領域に対応している。また、シリンドリカルレンズ２９は、所定方向のみに屈折作用を持つレンズであり、赤外光Ｌｇを図１において紙面に垂直方向（スリット像の長手方向）に圧縮して、オートフォーカス用ＣＣＤセンサ３０の撮像面に結像させる作用をする。また、オートフォーカス用ＣＣＤセンサ３０は、複数の受光部が１次元に配列されたラインセンサ、または、２次元に配列されたエリアセンサで構成することが可能である。
【００１９】
次に顕微鏡の制御系について説明する。顕微鏡の制御系は、フォーカス位置検出のためのオートフォーカス用信号処理部３１、ステージ１１を光軸に沿って上下動させるステージ駆動部３４、第１対物レンズを交換するための電動レボルバを駆動する電動レボルバ駆動部３５およびそれらを制御するためのＣＰＵ４１、メモリ４２、入力部４３で構成されている。
【００２０】
まず、スリット投影式オートフォーカス制御の手順であるが、オートフォーカス用ＣＣＤセンサ３０において検出したスリット像の信号は、オートフォーカス用信号処理部３１に出力され、ＣＰＵ４１で処理され、第１対物レンズに対する標本のフォーカス位置が検出される。このフォーカス位置に関する信号は、ＣＰＵ４１によりステージ駆動部３４に送られ、ステージ１１を光軸方向に沿って位置を上下することにより第１対物レンズ１２と標本の距離を調整し、フォーカス位置に位置決めする。なお、オートフォーカス用ＣＣＤセンサ３０の撮像面の中でスリット像が形成される位置は、ステージ１１の上下動によって、標本やカバーガラス１４の位置が変わると、それに合わせて、スリット像の短手方向に移動する。
【００２１】
ステージ駆動部３４には、図示しないがステージ１１に取り付けられたＤＣモータと、ＣＰＵ４１からの上下動制御信号と速度制御信号に基づいてＤＣモータを回転させるモータドライバと、ＤＣモータの回転角を検出するロータリエンコーダと、ロータリエンコーダの検出結果に基づいてステージ１１の上下動をカウントするアップ／ダウンカウンタとが設けられている。アップ／ダウンカウンタのカウント結果は、上下動位置信号としてＣＰＵ４１に出力される。ステージ１１はＤＣモータが回転すると、その回転角に応じて上下動する。そして、ステージ１１に載置された標本もカバーガラス１４、スライドガラス１５とともに上下動し、標本と第１対物レンズ１２との位置関係が調整される。また、ステージ駆動部３４には、図示しないがリミットセンサが設けられている。リミットセンサは、ステージ１１の上下動の限界点を検出するセンサであり、第１対物レンズ１２とカバーガラス１４との接触を回避するために設けたものである。
【００２２】
図１には１本の第１対物レンズ１２のみを示したが、本実施形態の顕微鏡は、倍率が異なる複数の第１対物レンズ１２によって構成可能である。複数の第１対物レンズ１２は、図示しないが電動レボルバに装着されており、電動レボルバはこれを回転駆動する電動レボルバ駆動部３５に接続される。電動レボルバ駆動部３５には、図示しないが電動レボルバに取り付けられたＤＣモータと、ＣＰＵ４１からの回転制御信号に基づいてＤＣモータを回転させるモータドライバとが設けられている。電動レボルバは、上記したＤＣモータの回転に応じて回転する。そして、電動レボルバに装着された複数の第１対物レンズ１２もともに回転し、いずれか１つの第１対物レンズ１２が顕微鏡１０の観察光路上に位置決めされる。電動レボルバ駆動部３５には、電動レボルバのレボルバ穴（例えば６個）のうち、顕微鏡の観察光路上に位置決めされたレボルバ穴の番号（１〜６）を検知するセンサ（図示せず）が設けられている。
【００２３】
最後に入力部４３について説明する。入力部４３には、図示しないが、キーボードと、対物レンズ切り替えスイッチと、オートフォーカス制御開始スイッチと合焦位置記憶スイッチとアップ／ダウン微調整スイッチが設けられている。
【００２４】
本実施形態の顕微鏡において、キーボードは、第１対物レンズ１２の情報を入力する時に使用される。キーボードから入力された第１対物レンズ１２に関するデータは、メモリ４２に記憶される。また、合焦位置記憶スイッチによって記憶された合焦位置情報もメモリ４２に記憶される。
【００２５】
対物レンズ切り替えスイッチは、顕微鏡の観察光路上に位置決めされた第１対物レンズ１２を別の第１対物レンズ１２に切り替えるときに使用される。ＣＰＵ４１は、対物レンズ切り替えスイッチから入力された切り替え信号に基づいて電動レボルバ駆動部３５を制御し、切り替え信号によって指定されたレボルバ穴を観察光学系３の観察光路上に位置決めする。
【００２６】
オートフォーカス制御開始スイッチは、顕微鏡におけるオートフォーカス制御の開始を指示する時に使用される。ＣＰＵ４１は、オートフォーカス制御開始スイッチが操作されると、既に説明したスリット投影式オートフォーカス制御の実行を開始し、標本が第１対物レンズ１２のフォーカス位置に位置決めされて、スリット投影式オートフォーカス制御が終了する。
【００２７】
アップ／ダウン微調整スイッチは、手動操作によってステージ１１の上下動を微調整する時に使用される。ＣＰＵ４１は、アップ／ダウン微調整スイッチから入力された微調整信号に基づいてステージ１１を位置決めする。なお、アップ／ダウン微調整スイッチの操作は、操作者が接眼用第２対物レンズ１３および接眼レンズを介して標本の像を観察しながら行うものである。そして操作者にとってコントラストの高い像が良好に観察できた時点で、アップ／ダウン微調整スイッチの操作を終了し、ステージ１１が位置決めされる。この時、本実施形態の顕微鏡では、標本の中の任意の面が第１対物レンズ１２の焦点面に一致する。
【００２８】
次に、本実施例で使用する遮光フィルタ３２について図４を用いて説明する。前記の説明では、スリット状の照明光は、第１対物レンズ１２を透過して、標本に照射されるとしたが、図３で示すように、第１対物レンズ１２上の中心部分で一部が反射され、第１対物レンズ１２の種類によってはその反射率が非常に大きい材質が使われているものもある。この反射光Ｌ０は、前記で説明した標本で反射されたスリット状の照明光と同じ経路を通りオートフォーカス用ＣＣＤセンサ３０上に結像されるため、標本での反射光に比べて第１対物レンズ１２での反射光Ｌ０が大きいと、オートフォーカス制御が正しく実行できなくなる。
【００２９】
本実施例では、反射光Ｌ０を抑えるために、図４で示すような遮光フィルタ３２をフォーカス用照明光学系５のコレクタレンズ２３と第１瞳制限マスク２４の間に挿入可能なように構成している。ＣＰＵ４１は、レボルバ穴の番号を検知するセンサーから、観察光学系３の観察光路上に配設されている第１対物レンズ１２を検知し、メモリ４２に記憶されている第１対物レンズに関する情報から、スリット状の照明光の中心部分を遮光する必要があるか判断し、遮光フィルタ３２の着脱を決定し、遮光フィルタ駆動部３３に対して制御信号を出力する。制御信号を受けた遮光フィルタ駆動部３３は、制御信号の内容に合わせて、遮光フィルタ３２の着脱を行う。遮光フィルタ３２は、第１対物レンズ１２の中心部分での反射光を考慮し、図４に示すように、スリット照明光の中心部分のみ遮光するように設計する。その結果、遮光フィルタ３２がフォーカス用照明光学系５に挿入された状態では、標本に照射されるスリット状の照明光は２２ｃに示される形状となる。この遮光フィルタ３２により、標本に照射されるスリット状の照明光は、図５に示すように、斜線で示した部分以外の光が入射されるため、光軸付近の光は第１対物レンズ１２に入射されない。その結果、第１対物レンズ１２で反射していたＬ０は、入射する光を無くしたことにより無くなり、フォーカス用結像光学系７に影響を及ぼすことは無くなる。
【００３０】
このような構成によれば、使用する第１対物レンズ１２の種類により中心部分のスリット光を強く反射するレンズであっても遮光フィルタ３２を挿入し中心部分のスリット状の照明光を遮光することでオートフォーカス制御を可能とし、また、中心部分の反射が少ないレンズの時は遮光フィルタ３２を取り外すことによりスリット状の照明光を有効に使えるようにすることができる。さらに使用する対物レンズ１２の種類により自動的に遮光フィルタ３２を着脱可能であるため、観察者は遮光フィルタの着脱を意識することなく観察することができる。
【００３１】
なお、本発明は上記実施形態に限定するものではない。本発明の実施例では中心部分の照明光を遮光する遮光フィルタ３２をコレクタレンズ２３と第１瞳制限マスク２４の間に着脱可能に構成したが、同様の形状の遮光フィルタ３２をオートフォーカス用リレーレンズ２７，２７の間に着脱可能に構成しても同様の効果を得ることが可能である。このような構成によれば、顕微鏡の構造を考慮して遮光フィルタ３２の挿入位置を選択可能であるため、顕微鏡の設計が容易となる。
【００３２】
また、本発明の実施例では、レボルバ穴の番号を検知するセンサーの情報から、観察光学系３の観察光路上に配設されている第１対物レンズ１２の情報を得て、遮光フィルタ３２の着脱を自動的に実施していたが、遮光フィルタ駆動部３３を無くし、手動で遮光フィルタ３２を着脱しても構わない。また、着脱する手段を無くし、常に挿入された状態で構成しても構わない。
【００３３】
さらに、遮光フィルタ３２と第１瞳制限マスク２４を一体に成型し、ＬＥＤ光源２１の光軸付近の照明光を遮光しても同様の効果が期待できる。図６には、第１瞳制限マスク２４の形状を変更し、遮光フィルタ３２の機能を合わ持たせた場合の実施例を示している。図６（ａ）の２２ｄは、第１瞳制限マスク２４をスリット開孔２２ａの短手方向に若干大きく形成し、光軸を中心にスリット状の照明光の長手方向に延びる中心線を含むように遮光して構成した場合を示している。また、図６（ｂ）の２２ｅは、第１瞳制限マスク２４の光軸に重なる部分に半円の突出部を形成しスリット状の照明光の中心部分を遮光して構成した場合を示している。このように、遮光フィルタ駆動部３３を除いた構成にすると、構造が簡単になり小型化できるとともに、制御系も簡単にすることが可能であり、コストを低くすることができる。
【００３４】
なお、上記実施例では第１対物レンズ１２の焦点に標本１８を合焦させるために、ステージ１１を光軸に沿って上下に移動していたが、ステージ１１は固定し、対物レンズ１２を含む観察光学系３を光軸に沿って上下に移動するような構成とすることも可能である。
【００３５】
【発明の効果】
本発明に係るスリット投影式オートフォーカス装置によれば、スリット状の照明光の中心部分を遮光する手段を備え、中心部分でスリット状の照明光を反射するレンズを使用しても観察物に対してオートフォーカス制御をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態に係る顕微鏡の光学系および制御系の構成を模式的に示す図である。
【図２】スリット板と第１瞳制限マスクを組み合わせた場合の構成を示す図である。
【図３】標本に入射するスリット状の照明光の光路を示す図である。
【図４】スリット状の照明光の光軸付近を遮光板の形状を示す図である。
【図５】スリット状の照明光の光軸付近を遮光した場合の、標本入射するスリット状の照明光の状態を表した図である。
【図６】第一瞳制限マスクと遮光板を一体に成型した場合の形状を示す図である。
【符号の説明】
５　フォーカス用照明光学系
７　フォーカス用結合光学系
１２　第１対物レンズ
２１　ＬＥＤ光源
２２　スリット板
３０　オートフォーカス用ＣＣＤセンサ
３１　オートフォーカス用信号処理部
３２　遮光フィルタ
３３　遮光フィルタ駆動部
３４　ステージ駆動部
３５　電動レボルバ駆動部
４１　ＣＰＵ
【図１】
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【図２】
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【図３】
2004013071.tif 000005
【図４】
2004013071.tif 000006
【図５】
2004013071.tif 000007
【図６】
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