(57)【要約】【課題】隔壁の間に蛍光体インキをノズルから吐出して蛍光体層を形成する工程において、隔壁がノズルの走査方向と交差する部分を有するものであっても、その部分を除いて蛍光体層を形成することを可能とすることで、良好な画像表示を行えるＰＤＰの製造方法を実現することを目的とする。【解決手段】ノズルの走査方向に対して交差する部分の隔壁に塗着した蛍光体層をフォトリソグラフィーによって除去する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法である。これにより、隔壁がノズルの走査方向と交差する部分を有するものであっても、その部分を除いて蛍光体層を形成することが可能となる。【選択図】　図１
2004111179.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電空間を複数の隔壁により区画して形成した放電セル内に、蛍光体インキをノズルから吐出して蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記隔壁は、ノズルの走査方向に対して交差する部分を有し、ノズルの走査方向と交差する部分の隔壁に塗着した蛍光体層をフォトリソグラフィーによって除去する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
放電空間を複数の隔壁により区画して形成した放電セル内に、反射材インキをノズルから吐出して反射層を形成し、その反射層の上に、蛍光体インキをノズルから吐出して蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記隔壁は、ノズルの走査方向に対して交差する部分を有し、ノズルの走査方向と交差する部分の隔壁に塗着した反射層と蛍光体層をフォトリソグラフィーによって除去する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
少なくとも蛍光体層が、感光性を有する請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記蛍光体インキが、平均粒径０．５μｍから７μｍの蛍光体粉体と、１重量％以上、２０重量％以下の感光性化合物を含む水溶性樹脂成分と、２０重量％以上、４５重量％以下の水に対して可溶性を有する多価アルコール誘導体と、４重量％以上、６重量％以下の光重合開始剤と、０．０１重量％以上、０．０５重量％以下の重合禁止剤を備える請求項１から３のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
前記反射材インキが、平均粒径０．０５μｍから２μｍの白色顔料と、１重量％以上、２０重量％以下の感光性化合物を含む水溶性樹脂成分と、２０重量％以上、４５重量％以下の水に対して可溶性を有する多価アルコール誘導体と、４重量％以上、６重量％以下の光重合開始剤と、０．０１重量％以上、０．０５重量％以下の重合禁止剤を備える請求項２または３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
前記反射材インキが、平均粒径０．０５μｍから２μｍの白色顔料と、１重量％以上、２０重量％以下の水溶性樹脂成分と、２０重量％以上、４５重量％以下の水に対して可溶性を有する多価アルコール誘導体とを備える請求項２または３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
白色顔料は、酸化チタン、窒化バリウム、酸化アルミナ、蛍光体の中から選ばれる少なくとも１つである請求項５または６に記載の反射層インキ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テレビなどの画像表示に用いられるプラズマディスプレイパネルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、コンピュータやテレビなどの画像表示に用いられているカラー表示デバイスにおいて、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）は、大型で薄型軽量を実現することのできるカラー表示デバイスとして注目されている。
【０００３】
図５は、このＰＤＰの一部を断面で示す斜視図である。
【０００４】
ＰＤＰ１００は、前面ガラス基板１０１の一主面上に表示電極１０３ａと表示スキャン電極１０３ｂとからなる表示対電極１０４を複数有する前面板と、背面ガラス基板１０２の一主面上にアドレス電極１０７、誘電体ガラス層１０８、隔壁１０９、および蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂが配設された背面板とが貼り合わされ、前面板と背面板との間に形成される放電空間１１１内に放電ガスが封入され、放電セル１１２が形成された構成となっており、放電セル１１２内でのガス放電により発生する紫外線により蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂを励起させ発光させることで、画像表示を行う。
【０００５】
そして、上述の構成における蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂの形成方法としては、隔壁１０９の間の凹部形状内に精度良く塗布する必要性から、ノズルを用いて蛍光体インキを隔壁１０９間に連続的に吐出することで形成するという方法が挙げられる（例えば、特許文献１）。
【０００６】
ここで、上述の構造のＰＤＰに対しては、高精細への要求が高まっており、これに対応するには放電セル１１２の配列ピッチを狭くする必要があるが、そのような狭ピッチで配列された放電セル１１２においては、特に隔壁１０９の長手方向（図５中のＹ方向）に隣り合う放電セル１１２間で誤放電が発生するという問題の発生が見られた。
【０００７】
そこで、このような誤放電の問題を抑制するために、例えば図６にその一部分を示すように、隔壁１０９の長手方向をさらに仕切る補助隔壁１０９ａを設けた構成がある（例えば、特許文献２）。この補助隔壁１０９ａにより放電セル１１２は四方を物理的に仕切られることとなり、上下左右のいずれに隣接する放電セル１１２に対しても誤放電などの問題の発生を抑制することができる。
【０００８】
ここで、補助隔壁１０９ａと隔壁１０９とを同じ高さにしてしまうと、前面板と背面板とを対向配置した際、放電セル１１２の放電空間１１１が閉空間となってしまい、放電セル１１２内の排気および放電ガスの封入に支障をきたすため、補助隔壁１０９ａの高さを隔壁１０９より低くすることで、「通気孔」の役目を持たせている。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１１−９６９１１号公報
【特許文献２】
特開２００１−１８９１３５号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図６に示すような隔壁１０９および補助隔壁１０９ａを有する背面板に対して、放電セル１１２内に蛍光体インキをノズルから吐出することで蛍光体層を形成しようとすると、補助隔壁１０９ａの頂部にも蛍光体層を形成してしまうことになる。
【００１１】
ここで、補助隔壁１０９ａの頂部の蛍光体層は、補助隔壁１０９ａを低くすることで形成した「通気孔」の部分を狭く、最悪は塞いだ状態としてしまい放電セル１１２内の排気および放電ガスの封入に支障を与えたり、補助隔壁１０９ａから欠落してＰＤＰ内部でのダストの原因となったりする等、ＰＤＰの信頼性に悪影響を与える原因となる。
【００１２】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、隔壁の間に蛍光体インキをノズルから吐出して蛍光体層を形成する工程において、隔壁がノズルの走査方向と交差する部分を有するものであっても、その部分を除いて蛍光体層を形成することを可能とすることで、良好な画像表示を行えるＰＤＰの製造方法を実現することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、放電空間を複数の隔壁により区画して形成した放電セル内に、蛍光体インキをノズルから吐出して蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記隔壁は、ノズルの走査方向に対して交差する部分を有し、ノズルの走査方向と交差する部分の隔壁に塗着した蛍光体層をフォトリソグラフィーによって除去する工程を有するものである。
【００１４】
また、上記課題を解決するために本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、放電空間を複数の隔壁により区画して形成した放電セル内に、反射材インキをノズルから吐出して反射層を形成し、その反射層の上に、蛍光体インキをノズルから吐出して蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記隔壁は、ノズルの走査方向に対して交差する部分を有し、ノズルの走査方向と交差する部分の隔壁に塗着した反射層と蛍光体層をフォトリソグラフィーによって除去する工程を有するものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の請求項１に記載の発明は、放電空間を複数の隔壁により区画して形成した放電セル内に、蛍光体インキをノズルから吐出して蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記隔壁は、ノズルの走査方向に対して交差する部分を有し、ノズルの走査方向と交差する部分の隔壁に塗着した蛍光体層をフォトリソグラフィーによって除去する工程を有するプラズマディスプレイパネルである。
【００１６】
また、請求項２に記載の発明は、放電空間を複数の隔壁により区画して形成した放電セル内に、反射材インキをノズルから吐出して反射層を形成し、その反射層の上に、蛍光体インキをノズルから吐出して蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記隔壁は、ノズルの走査方向に対して交差する部分を有し、ノズルの走査方向と交差する部分の隔壁に塗着した反射層と蛍光体層をフォトリソグラフィーによって除去する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００１７】
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、少なくとも蛍光体層が、感光性を有するというものである。
【００１８】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の発明において、前記蛍光体インキが、平均粒径０．５μｍから７μｍの蛍光体粉体と、１重量％以上、２０重量％以下の感光性化合物を含む水溶性樹脂成分と、２０重量％以上、４５重量％以下の水に対して可溶性を有する多価アルコール誘導体と、４重量％以上、６重量％以下の光重合開始剤と、０．０１重量％以上、０．０５重量％以下の重合禁止剤を備えるものである。
【００１９】
また、請求項５に記載の発明は、請求項２または３に記載の発明において、　前記反射材インキが、前記平均粒径０．０５μｍから２μｍの白色顔料と、１重量％以上、２０重量％以下の感光性化合物を含む水溶性樹脂成分と、２０重量％以上、４５重量％以下の水に対して可溶性を有する多価アルコール誘導体と、４重量％以上、６重量％以下の光重合開始剤と、０．０１重量％以上、０．０５重量％以下の重合禁止剤を備えるものである。
【００２０】
また、請求項６に記載の発明は、請求項２または３に記載の発明において、前記反射材インキが、平均粒径０．０５μｍから２μｍの白色顔料と、１重量％以上、２０重量％以下の水溶性樹脂成分と、２０重量％以上、４５重量％以下の水に対して可溶性を有する多価アルコール誘導体とを備えるものである。
【００２１】
また、請求項７に記載の発明は、請求項５または６に記載の発明において、白色顔料は、酸化チタン、窒化バリウム、酸化アルミナ、蛍光体の中から選ばれる少なくとも１つであるというものである。
【００２２】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照にしながら説明する。
【００２３】
（実施の形態１）
図１は、本発明の一実施の形態のＰＤＰの製造方法により製造されるＰＤＰの概略構造を示す断面斜視図である。図５および図６に示す従来のＰＤＰと同じ構成部品には同じ番号を付している。
【００２４】
ＰＤＰ１００は、前面ガラス基板１０１の一主面上に表示電極１０３ａと表示スキャン電極１０３ｂとからなる表示対電極１０４、誘電体ガラス層１０５、ＭｇＯ保護層１０６を形成した前面板と、背面ガラス基板１０２の一主面上にアドレス電極１０７、誘電体ガラス層１０８、隔壁１０９、および隔壁の一部としての補助隔壁１０９ａ（隔壁１０９と補助隔壁１０９ａとは、つながっていても、独立していても、どちらでも構わない）、蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂが配設された背面板とを貼り合わせ、前面板と背面板との間に形成される放電空間１１１内に放電ガスを封入することで、放電セル１１２（単位発光領域）を形成した構成としており、放電セル１１２内でのガス放電により発生する紫外線により蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂを励起させ発光させることで、画像表示を行う。
【００２５】
ここで、放電セル１１２は、隔壁１０９および補助隔壁１０９ａにより四方を物理的に仕切った構成としていることから、ＰＤＰの高精細化により、放電セル１１２のピッチを狭くする必要が生じても、上下左右のいずれに隣接する放電セル１１２に対しても誤放電などの問題の発生を抑制することができる。
【００２６】
さらに、放電セル１１２の放電空間１１１が、前面板と背面板とを対向配置した際に閉空間とならないように、補助隔壁１０９ａは、その高さを隔壁１０９より低くし、且つその頂部には蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂが形成されない構成であるので、前面板と補助隔壁１０９ａの頂部との間には隙間が形成され、その隙間が「通気孔」として機能するため、放電セル１１２内の排気や、放電ガスの封入を支障なく行うことが可能となっている。
【００２７】
そして上述の構造のＰＤＰ１００は、図２に示すプラズマディスプレイパネル駆動装置１５０と接続されることでプラズマディスプレイ装置１６０を構成している。
【００２８】
プラズマディスプレイパネル駆動装置１５０は、コントローラ１５１、表示ドライバ回路１５２、表示スキャンドライバ回路１５３、アドレスドライバ回路１５４を備え、表示ドライバ回路１５２はＰＤＰ１００の表示電極１０３ａと、表示スキャンドライバ回路１５３はＰＤＰ１００の表示スキャン電極１０３ｂと、アドレスドライバ回路１５４はＰＤＰ１００のアドレス電極１０７と接続され、コントローラ１５１による制御に従い、点灯させようとする放電セル１１２の表示スキャン電極１０３ｂとアドレス電極１０７に印加することにより、その間でアドレス放電を行った後に、表示電極１０３ａ、表示スキャン電極１０３ｂ間にパルス電圧を印加して維持放電を行う。この維持放電により、当該放電セル１１２において紫外線が発生し、この紫外線により励起された蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂが発光することで放電セル１１２が点灯し、各色放電セル１１２の点灯、非点灯の組み合わせによって画像を表示する。
【００２９】
次に、図１に示すＰＤＰの製造方法について述べる。
【００３０】
まず前面板は、前面ガラス基板１０１上にまず、各Ｎ本の表示電極１０３ａおよび表示スキャン電極１０３ｂを交互かつ平行にストライプ状に形成した後、その上を誘電体ガラス層１０５で被覆し、さらに誘電体ガラス層の表面にＭｇＯ保護層１０６を形成することによって作製する。
【００３１】
ここで、表示電極１０３ａおよび表示スキャン電極１０３ｂは、銀からなる電極であって、電極用の銀ペーストをスクリーン印刷により塗布した後、焼成することによって形成する。
【００３２】
また、誘電体ガラス層１０５は、鉛系のガラス材料を含むペーストをスクリーン印刷で塗布した後、所定温度、所定時間（例えば５６０℃で２０分）焼成することによって、所定の層の厚み（約２０μｍ）となるように形成する。上記鉛系のガラス材料を含むペーストとしては、例えば、ＰｂＯ（７０ｗｔ％）、Ｂ２Ｏ３（１５ｗｔ％）、ＳｉＯ２（１０ｗｔ％）、およびＡｌ２Ｏ３（５ｗｔ％）と有機バインダ（α−ターピネオールに１０％のエチルセルローズを溶解したもの）との混合物が使用される。ここで、有機バインダとは樹脂を有機溶媒に溶解したものであり、エチルセルローズ以外に樹脂としてアクリル樹脂、有機溶媒としてブチルカービトールなども使用することができる。さらに、こうした有機バインダに分散剤（例えば、グリセルトリオレエート）を混入させてもよい。
【００３３】
また、ＭｇＯ保護層１０６は、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）から成るものであり、例えばスパッタリング法やＣＶＤ法（化学蒸着法）によって層が所定の厚み（約０．５μｍ）となるように形成する。
【００３４】
次に背面板は、背面ガラス基板１０２上にまず、各Ｍ本のアドレス電極１０７をストライプ状に形成した後、その上を誘電体ガラス層１０８で被覆し、そして、アドレス電極１０７間に、同じくストライプ状に隔壁１０９と、隔壁１０９間に隔壁１０９の一部である補助隔壁１０９ａを形成し、隔壁１０９と補助隔壁１０９ａとで仕切られた放電セル１１２内に蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂを形成することによって作製する。
【００３５】
ここで、アドレス電極１０７は、銀ペーストをスクリーン印刷し、その後、焼成することによって形成する。
【００３６】
また、誘電体ガラス層１０８は、鉛系のガラス材料を含むペーストをスクリーン印刷法で塗布した後、焼成することで形成する。
【００３７】
また、隔壁１０９、および隔壁１０９の一部としての補助隔壁１０９ａは、誘電体ガラス層１０８と同じく、鉛系のガラス材料を含むペーストをスクリーン印刷法により所定のピッチで繰り返し塗布した後、焼成することによって形成する。補助隔壁１０９ａを形成するための塗布の繰り返し数を、隔壁１０９を形成するための塗布の繰り返し数より少なくすることで、補助隔壁１０９ａの高さを隔壁１０９より低くなる様に形成する。これにより放電空間１１１は、四方を隔壁１０９および補助隔壁１０９ａで仕切られた放電セル１１２毎に区画される。
【００３８】
また、蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂは、例えば、蛍光体インキとして、平均粒径０．５μｍから７μｍの蛍光体粉体と、１重量％以上、２０重量％以下の感光性化合物を含む水溶性樹脂成分と、２０重量％以上、４５重量％以下の水に対して可溶性を有する多価アルコール誘導体と、４重量％以上、６重量％以下の光重合開始剤と、０．０１重量％以上、０．０５重量％以下の重合禁止剤を備えるものを用い、隔壁１０９間にノズルから連続的に吐出させながら走査することで蛍光体層を形成した後、ノズルの走査方向に対して交差する部分の隔壁１０９である補助隔壁１０９ａの頂部に形成された蛍光体層を、パターン露光、現像という、いわゆるフォトリソグラフィーによるパターニングによって除去することにより形成する。つまり、蛍光体インキの感光性がネガタイプであるかポジタイプであるかに応じてマスクパターンを設計し、パターン露光、現像することで、補助隔壁１０９ａの頂部に形成された蛍光体層を除去する。これにより、隔壁１０９間に連続的に蛍光体インキを吐出して塗布しても、補助隔壁１０９ａ頂部には蛍光体インキが塗着されなくなることから、補助隔壁１０９ａを隔壁１０９に比べて低く設けることで形成した「通気孔」の部分を確実に確保できる。
【００３９】
ここで、蛍光体層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂのアドレス電極１０７上における積層方向の厚みは、各色蛍光体粒子の平均粒径のおよそ８〜２５倍程度に形成することが望ましい。すなわち、蛍光体層に一定の紫外線を照射したときの輝度（発光効率）を確保するために、蛍光体層は、放電空間において発生した紫外線を透過させることなく吸収するために蛍光体粒子が最低でも８層、好ましくは２０層程度積層された厚みを保持することが望ましく、それ以上の厚みとなれば蛍光体層の発光効率はほとんどサチュレートしてしまうとともに、２０層程度積層された厚みを超えると放電空間１１１の大きさを十分に確保できなくなるからである。
【００４０】
ここで、上述した蛍光体インキの塗布方法について説明する。
【００４１】
図３は、蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂ等を形成する際に用いるインキ塗布装置２００の概略構成図を示す断面図である。図３に示すように、インキ塗布装置２００は、サーバ２１０、加圧ポンプ２２０、ヘッダ２３０などを備え、蛍光体インキを蓄えるサーバ２１０から供給される蛍光体インキは、加圧ポンプ２２０によりヘッダ２３０に加圧されて供給される。ヘッダ２３０にはインキ室２３０ａおよびノズル２４０が設けられており、加圧されてインキ室２３０ａに供給された蛍光体インキは、ノズル２４０から連続的に吐出されるようになっている。このノズル２４０の口径Ｄは、ノズルの目詰まり防止のため３０μｍ以上、かつ塗布の際の隔壁からのはみ出し防止のため隔壁１０９間の間隔Ｗ（３２インチから５０インチのＨＤ−ＴＶで１３０μｍ〜２４０μｍ程度）以下にすることが望ましく、通常３０μｍ〜１３０μｍに設定される。
【００４２】
ヘッダ２３０は、図示しないヘッダ走査機構によって直線的に駆動されるように構成されており、ヘッダ２３０を走査させる（図３においては、紙面と垂直方向）とともに、ノズル２４０から蛍光体インキ２５０を連続的に吐出することにより、背面ガラス基板１０２上の隔壁１０９間の凹部に蛍光体インキを均一に塗布する。ここで、使用する蛍光体インキの粘度は２５℃において、１５００〜５００００ＣＰの範囲に保つことが好ましい。
【００４３】
なお、上記サーバ２１０には図示しない攪拌装置が備えられており、その攪拌により蛍光体インキ中の粒子の沈殿が防止される。
【００４４】
また、塗布装置のヘッダ２３０は、インキ室２３０ａやノズル２４０の部分も含めて一体成形されたものであり、金属材料を機器加工ならびに放電加工することによって作製されたものである。
【００４５】
次に、蛍光体インキおよび蛍光体について説明する。
【００４６】
上述の蛍光体インキは、感光性化合物を含む有機成分を必須成分としている。感光性化合物を含む有機成分としては、感光性ポリマー、感光性モノマー、感光性オリゴマーのうち、少なくとも１種類から選ばれる感光性成分を含有し、さらに、光重合開始剤、重合禁止剤を加えたものを指す。
【００４７】
ここで、感光性化合物を含む有機成分量は、１０〜４０重量％であることが望ましい。１０重量％未満では感光不足のためパターン性が劣化し、４０重量％を超えると、過露光によるパターン性の劣化と焼成時の脱バインダー性が悪化してしまうためである。
【００４８】
また、感光性成分としては、光不溶化型と光可溶化型のものがあるが、本発明では、どちらでも使用可能である。それに対応したパターニングマスクとすれば良い。
【００４９】
また、実際に使用可能な感光性モノマーとしては、エチルアクリレート、メチルアクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、イソプロピルアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ペンチルアクリレート、ベンジルアクリレート、シクロヘキルアクリレート、グリセロールアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−メトキシエチルアクリレート、メトキシエチレングルコールアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、トリグリセロールジアクリレート、アクリルアミド、ポリプロピレングリコールジアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、アクリルアミド、トリフロロエチルアクリレートなどが挙げられる。本発明では、これらを１種あるいは２種以上使用することが可能である。
【００５０】
また、バインダーとしては、平均分子量３万から９０万のヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、エチルヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリビニルエーテル、カルボキシメチルセルロースのいずれか１つ以上を用いることができる。
【００５１】
また、光重合開始剤としては、４，４−ジクロロベゾフェノン、チオキサントン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、２−メチル−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノ−１−プロパノン、１−フェニル−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−３−エトキシ−プロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイル）オキシム、２，２−ジメチル−２−フェニルアセトフェノン、キノリンスルホニルクロライドが使用できる。本発明では、これらの１種または２種以上使用することができる。
【００５２】
また、光重合開始剤の添加量は、感光性成分に対し、５０重量％から８０重量％、より好ましくは、６０重量％から７０重量％に設定する。光重合開始剤の量が少なすぎると感度が鈍くなり、光重合開始剤の量が多すぎるとパターン性を劣化させる恐れがある。
【００５３】
また、一般に感光性インキに重合禁止剤を添加し、ポットライフを向上させることも行われている。例えば、メチルハイドロキノンのようなキノリン系染料、その他、アゾ系染料、アミノケトン系染料が有効である。
【００５４】
また、本発明では、蛍光体インキの粘度を調整したい場合、水に対して自由混合する多価アルコール誘導体としては、エチレングリコール、エチレングリコールモノアセタート、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセタート、３−メトキシ−３−メチルブタノールのいずれか１種あるいは２種以上を用いることができる。
【００５５】
また、蛍光体インキを隔壁の底部と側壁に均一に付着させるため、インキに流動性を持たせる必要があり、可塑剤の添加が有効である。可塑剤としては、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジブチル、フタル酸ジヘプチル、フタル酸ジ−ｎ−オクチル、フタル酸ジ−２−エチルヘキシル、フタル酸オクチルデシル、フタル酸ジイソデシル、フタル酸ブチルベンジルの１種あるいは２種以上を用いることができる。
【００５６】
なお、可塑剤の添加量は、インキ総量に対し０．１重量％以上、３重量％以下に設定する。可塑剤の添加量が０．１重量％未満では、流動性改善効果が得られない。また、添加量が３重量％を超えると粒子とバインダあるいはアクリレートの分散状態が悪化し、凝集が発生する。
【００５７】
蛍光体インキは、各色蛍光体粒子、バインダ、感光性化合物、溶媒とが混合され、粘度が１５００〜５００００センチポアズ（ＣＰ）となるように調合されたものであり、必要に応じて、可塑剤等を添加してもよい。
【００５８】
この蛍光体インキに調合される赤色蛍光体としては、（Ｙ、Ｇｄ）１−ＸＢＯ３：ＥｕＸ、またはＹ２−ＸＯ３：ＥｕＸで表される化合物が用いられる。これらは、その母体材料を構成するＹ元素の一部がＥｕに置換された化合物である。ここで、Ｙ元素に対するＥｕ元素の置換量Ｘは、０．０５≦Ｘ≦０．２０の範囲となることが好ましい。これ以上の置換量とすると、輝度は高くなるものの輝度劣化が著しくなることから実用上使用できにくくなると考えられる。一方、この置換量以下である場合には、発光中心であるＥｕの組成比率が低下し、輝度が低下して蛍光体として使用できなくなるためである。
【００５９】
緑色蛍光体としては、表面が正に帯電した（Ｚｎ１−Ｘ、ＭｎＸ）２ＳｉＯ４で表される化合物が用いられる。（Ｚｎ１−Ｘ、ＭｎＸ）２ＳｉＯ４は、その母体材料を構成するＺｎ元素の一部がＭｎに置換された化合物である。ここで、Ｚｎ元素に対するＭｎ元素の置換量Ｘは、０．０１≦Ｘ≦０．２０の範囲となることが好ましい。
【００６０】
青色蛍光体としては、Ｂａ１−ＸＭｇＡｌ１０Ｏ１７：ＥｕＸ、またはＢａ１−Ｘ−ＹＳｒＹＭｇＡｌ１０Ｏ１７：ＥｕＸで表される化合物が用いられる。Ｂａ１−ＸＭｇＡｌ１０Ｏ１７：ＥｕＸ、Ｂａ１−Ｘ−ＹＳｒＹＭｇＡｌ１０Ｏ１７：ＥｕＸは、その母体材料を構成するＢａ元素の一部がＥｕあるいはＳｒに置換された化合物である。ここで、Ｂａ元素に対するＥｕ元素の置換量Ｘは、上記と同様の理由により、前者の青色蛍光体は０．０３≦Ｘ≦０．２０，０．１≦Ｙ≦０．５の範囲となることが好ましい。
【００６１】
各色蛍光体インキは、調合後、３本ローラや混練機で均一になるまで混合分散して作製する。
【００６２】
次に、補助隔壁１０９ａの頂部に形成された蛍光体層を除去する工程について説明する。これは、通常のいわゆるフォトリソグラフィーによるものであり、パターン露光、現像の各工程からなるものである。
【００６３】
まず、前述した方法で蛍光体インキを塗布し、１００℃から１２０℃で５分から３０分乾燥し、常温まで冷却した後、通常のフォトリフォグラフィーで行われるように、フォトマスクを用いて露光する。ここで、フォトマスクは、蛍光体インキの感光性がネガタイプであるかポジタイプであるかに応じてマスクパターンを設計し、露光および現像により、補助隔壁１０９ａの頂部に形成された蛍光体層が除去されるようにする。露光装置としては、プロキシミティ露光、ミラープロジェクション露光、ステッパー露光や、レーザ光を用いた描画を利用することができる。そして露光後、現像液により現像を行う。この場合、浸漬法、スプレー法、ブラシ法を用いることができる。また、ポリマー、溶剤を水に対して可溶性の材料を用いると、現像液として、純水や水を用いることができる。また、現像液の温度は、２０℃から５０℃で行うことが、工程管理上、望ましい。
【００６４】
次に、以上のようにして、補助隔壁１０９ａの頂部を除いた隔壁１０９の間の領域に形成した蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂを焼成する。この焼成は、焼成炉にて行う。焼成雰囲気や、温度はインキや基板の種類によって異なるが、空気中で焼成することが望ましい。焼成温度は４００℃〜５８０℃で行う。焼成炉としてはバッチ式焼成炉、ベルト式焼成炉を用いることができる。
【００６５】
また、焼成工程中に２００℃から３８０℃に加熱過程を設け、熱分解などの予備反応を促進することができる。
【００６６】
以上のようにして作製した前面板と背面板とを、前面板の各電極と背面板のアドレス電極とが直交するように重ね合わせるとともに、パネル周縁に封着用ガラスを介挿し、これを例えば４５０℃程度で１０〜２０分間焼成して気密シール層を形成することにより封着する（いわゆる、封着工程）。そして、一旦、放電空間１２２内を加熱しながら高真空（例えば、１．１×１０−４Ｐａ）に排気した後（いわゆる、排気ベーキング工程）、放電ガス（例えば、Ｈｅ−Ｘｅ系、Ｎｅ−Ｘｅ系の不活性ガス）を所定の圧力で封入することによってＰＤＰ１００が完成する。
【００６７】
（実施の形態２）
次に、本発明の他の実施の形態のＰＤＰの製造方法について述べる。本実施の形態と実施の形態１との違いは、図４にＰＤＰの一部断面図を示すように、背面板における誘電体ガラス層１０８と蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂとの間に反射層１１０Ｚを形成する工程が加わることである。
【００６８】
ここで、反射層１１０Ｚを蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂの下に形成することによる効果を説明する。蛍光体粒子は、紫外線により励起されて可視光を照射する働きと、その可視光を反射させる働きを有している。そのため、積層された蛍光体層数が増えるほど、背面板の裏面に進んだ可視光をパネルに使用することが可能となり、輝度が向上する。
【００６９】
しかし、蛍光体の平均粒子径は２μｍ近くあるため、積層する層数を増やすことができない。そこで、蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂの背面に反射層１１０Ｚを設けることで、可視光を有効に取り出すことが可能になる。
【００７０】
ここで、反射層１１０Ｚは、例えば、反射材インキとして、平均粒径０．０５μｍから２μｍの白色顔料と、１重量％以上、２０重量％以下の感光性化合物を含む水溶性樹脂成分と、２０重量％以上、４５重量％以下の水に対して可溶性を有する多価アルコール誘導体と、４重量％以上、６重量％以下の光重合開始剤と、０．０１重量％以上、０．０５重量％以下の重合禁止剤を備えるものを用い、隔壁１０９間にノズルから連続的に吐出させながら走査することで反射層を形成した後、十分に乾燥させ、その後、実施の形態１と同様の方法で蛍光体層を塗布した後、隔壁１０９の、ノズルの走査方向に対して交差する部分である補助隔壁１０９ａの頂部に形成された反射層および蛍光体層を、パターン露光、現像という、いわゆるフォトリソグラフィーによるパターニングで除去する。
【００７１】
反射材インキの塗布方法については、実施の形態１で述べた、蛍光体インキの塗布方法と同様である。ただし、形成した反射層１１０Ｚ、その上に形成する蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂとが混ざることがないように、反射層インキを塗布後、例えば１００℃から１２０℃で５分から３０分、十分に乾燥させた後、蛍光体インキを塗布することが必要である。
【００７２】
次に、反射材インキおよび反射材について説明する。
【００７３】
本実施の形態の場合、反射材インキと蛍光体インキのうち、少なくとも蛍光体インキが感光性インキであれば足りる。これは、反射層１１０Ｚと蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂとは、蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂの方が露出した積層関係であるため、パターン露光の際の露光が、蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂの方に効果的に作用するためである。
【００７４】
そこで、反射材インキとして感光性を有するものを用いる場合には、実施の形態１における蛍光体インキと同様、感光性化合物を含む有機成分を必須成分とし、感光性化合物を含む有機成分としては、感光性ポリマー、感光性モノマー、感光性オリゴマーのうち、少なくとも１種類から選ばれる感光性成分を含有し、さらに、光重合開始剤、重合禁止剤を加えたものであり、感光性化合物を含む有機成分の量、感光性成分の種類、感光性モノマーの具体例、バインダーの具体例、光重合開始剤の具体例、光重合開始剤の添加量、重合禁止材、多価アルコール誘導体、可塑剤の種類および添加量、および粘度の値など、蛍光体インキの場合と同様である。
【００７５】
また、反射材インキとして非感光性のものを用いる場合には、例えば、平均粒径０．０５μｍから２μｍの白色顔料と、１重量％以上、２０重量％以下の水溶性樹脂成分と、２０重量％以上、４５重量％以下の水に対して可溶性を有する多価アルコール誘導体とを備えるものとすれば良い。
【００７６】
また、反射材インキに調合される反射材としての白色顔料は、酸化チタン、窒化バリウム、アルミナ、蛍光体の中から選ばれる少なくとも一つを用いることができる。
【００７７】
次に、補助隔壁１０９ａの頂部に形成された反射層および蛍光体層を除去する工程について説明する。これは、通常のいわゆるフォトリソグラフィーによるものであり、パターン露光、現像の各工程からなるものである。
【００７８】
以下の例では、先にも述べたように、少なくとも蛍光体インキが感光性インキであれば足りる。
【００７９】
まず、前述した方法で反射層インキを塗布し、１００℃から１２０℃で５分から３０分乾燥し、常温まで冷却する。続いて、実施の形態１で述べた方法で蛍光体インキを塗布し、１００℃から１２０℃で５分から３０分乾燥し、常温まで冷却した後、通常のフォトリフォグラフィーで行われるように、フォトマスクを用いて露光する。ここで、フォトマスクは、蛍光体インキの感光性がネガタイプであるかポジタイプであるかに応じてマスクパターンを設計し、露光および現像により、補助隔壁１０９ａの頂部に形成された反射層および蛍光体層が除去されるようにする。露光装置としては、プロキシミティ露光、ミラープロジェクション露光、ステッパー露光や、レーザ光を用いた描画を利用することができる。そして露光後、現像液により現像を行う。この場合、浸漬法、スプレー法、ブラシ法を用いることができる。また、ポリマー、溶剤を水に対して可溶性の材料を用いると、現像液として、純水や水を用いることができる。また、現像液の温度は、２０℃から５０℃で行うことが、工程管理上、望ましい。
【００８０】
以上のようにして作製した背面板と、実施の形態１と同様の方法で作製された前面板とを重ねあわせてＰＤＰを作製し、そのＰＤＰと駆動装置とを接続してプラズマディスプレイ表示装置を作製する工程については、実施の形態１と同様である。
【００８１】
以下に、本発明の効果を確認するために、実際にＰＤＰを作製して評価した結果を示す。
【００８２】
（実施例１）
反射層インキとして、白色顔料としては平均粒径０．２５μｍのルチル型酸化チタンを４５重量％、ポリマーとしては分子量３５万のヒドロキシプロピルセルロースを３．５重量％、感光性化合物として２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレートを１０重量％、溶剤として３−メトキシ−３−メチルブタノールを４１．５重量％となるように混合し、３本ローラで均一になるまで混練した。
【００８３】
蛍光体については、表１に示すように混合し、３本ローラで均一になるまで混練した。
【００８４】
【表１】
2004111179.tif 000003
【００８５】
次に、高さ１２０μｍ、幅３０μｍの隔壁１０９および高さ８０μｍ、幅３０μｍの補助隔壁１０９ａが形成された背面ガラス基板の隔壁の間に反射材インキを図３に示す装置で塗布した後、１００℃で１５分乾燥し、室温まで冷却した。続いて、同様に、赤色蛍光体インキを図３に示す装置で塗布した後、１００℃で１５分乾燥し、室温まで冷却した。続いて、緑色蛍光体インキを図３に示す装置で塗布した後、１００℃で１０分乾燥し、室温まで冷却した。続いて、青色蛍光体インキを図３に示す装置で塗布した後、１００℃で１０分乾燥し、室温まで冷却した。
【００８６】
次に、フォトマスクを用いて、１２０ｍＪ／ｃｍ２で露光し、４０℃の純水で現像することで、補助隔壁１０９ａの頂部を除く隔壁１０９間にストライプ状に赤、緑、青の蛍光体層１１０Ｒ、Ｇ、Ｂを下に反射層１１０Ｚを設けた状態で形成することができた。さらに、得られたガラス基板を５２０℃で２０分間焼成した。
【００８７】
以上のＰＤＰの製造工程においては、放電セル内の排気および放電ガスの封入が支障なく行われることが確認でき、作製されたＰＤＰは良好な画像表示特性を有することを確認した。
【００８８】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、隔壁の間に蛍光体インキをノズルから吐出して蛍光体層を形成する工程において、隔壁がノズルの走査方向と交差する部分を有するものであっても、その部分を除いて蛍光体層を形成することが可能となり、良好な画像表示を行えるＰＤＰの製造方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネルの製造方法により製造されるプラズマディスプレイパネルの概略構造を示す断面斜視図
【図２】プラズマディスプレイパネルの駆動装置のブロック図
【図３】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造において用いるインキ塗布装置の概略構成を示す断面図
【図４】本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネルの製造方法により製造されるプラズマディスプレイパネルの一部断面図
【図５】従来のプラズマディスプレイパネルの一部を断面で示す斜視図
【図６】従来のプラズマディスプレイパネルにおける隔壁および補助隔壁の概略構成を示す斜視図
【符号の説明】
１００　ＰＤＰ
１０１　前面ガラス基板
１０３ａ　表示電極
１０３ｂ　表示スキャン電極
１０５　誘電体ガラス層
１０６　ＭｇＯ保護層
１０７　アドレス電極
１０８　誘電体ガラス層
１０９　隔壁
１０９ａ　補助隔壁
１１０Ｒ　蛍光体層（赤）
１１０Ｇ　蛍光体層（緑）
１１０Ｂ　蛍光体層（青）
１１０Ｚ　反射層
１１１　放電空間
１１２　放電セル
【図１】
2004111179.tif 000004
【図２】
2004111179.tif 000005
【図３】
2004111179.tif 000006
【図４】
2004111179.tif 000007
【図５】
2004111179.tif 000008
【図６】
2004111179.tif 000009