(57)【要約】【課題】任意の入射角とグリッド回転角の場合の平面波に対する反射・透過特性を厳密に計算しながら、ワイヤ間隔の不規則性が及ぼす影響を適切に計算して、高精度な反射・透過特性の評価を行うことができる評価方法及び評価装置を提供すること。【解決手段】ワイヤグリッドと入射波に関するいくつかのパラメータを入力データ１０として入力１１し、散乱波振幅計算ステップ１２においてワイヤ間隔の不規則性をの影響を近似的に計算し、平面波の反射・透過特性計算ステップ１４において特性計算を行い、得られた特性を出力１５する。【選択図】  図１
2004228938.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミリ波帯又はサブミリ波帯で用いるワイヤグリッドの反射・透過特性を評価する方法であって、
ワイヤ間隔のノミナル位置からの誤差の標準偏差を入力する入力ステップと、
該標準偏差の値を用い、該誤差値を零平均のランダムな確率変数と仮定し、ワイヤ間隔の不規則性を近似的に表しながら、任意方向から入射する平面波の散乱振幅を計算する散乱波振幅計算ステップと、
該散乱波振幅計算結果を記憶装置に記憶する散乱波振幅記憶ステップと、
該散乱波振幅を用い、反射波及び透過波の、各ＴＭ成分（入射磁界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）及び／又は各ＴＥ成分（入射電界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）を計算する反射・透過特性計算ステップと、
該反射・透過特性の計算結果を出力する特性出力ステップと
を有することを特徴とするワイヤグリッドの反射・透過特性の評価方法。
【請求項２】
ミリ波帯又はサブミリ波帯で用いるワイヤグリッドの反射・透過特性を評価する方法であって、
評価を行うワイヤグリッドのワイヤ間隔のノミナル位置からの誤差値を測定する誤差測定ステップと、
該誤差値の標準偏差を計算する標準偏差計算ステップと、
該標準偏差を記憶するワイヤ間隔標準偏差記憶ステップと、
該標準偏差の値を用い、該誤差値を零平均のランダムな確率変数と仮定し、ワイヤ間隔の不規則性を近似的に表しながら、任意方向から入射する平面波の散乱振幅を計算する散乱波振幅計算ステップと、
該散乱波振幅計算結果を記憶装置に記憶する散乱波振幅記憶ステップと、
該散乱波振幅を用い、反射波及び透過波の、各ＴＭ成分（入射磁界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）及び／又は各ＴＥ成分（入射電界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）を計算する反射・透過特性計算ステップと、
該反射・透過特性の計算結果を出力する特性出力ステップと
を有することを特徴とするワイヤグリッドの反射・透過特性の評価方法。
【請求項３】
前記反射・透過特性計算ステップは、散乱を周期的Ｇｒｅｅｎ関数としてその厳密解を求めるに際し、その格子和（ｌａｔｔｉｃｅ  ｓｕｍ）をＦｏｕｒｉｅｒ積分表現を用いて計算することを特徴とする請求項１又は２に記載のワイヤグリッドの反射・透過特性の評価方法。
【請求項４】
ミリ波帯又はサブミリ波帯で用いるワイヤグリッドの反射・透過特性を評価する装置であって、
ワイヤ間隔のノミナル位置からの誤差の標準偏差を入力する入力手段と、
該標準偏差の値を用い、該誤差値を零平均のランダムな確率変数と仮定し、ワイヤ間隔の不規則性を近似的に表しながら、任意方向から入射する平面波の散乱振幅を計算する散乱波振幅計算手段と、
該散乱波振幅計算結果を記憶する散乱波振幅記憶手段と、
該散乱波振幅を用い、反射波及び透過波の、各ＴＭ成分（入射磁界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）及び／又は各ＴＥ成分（入射電界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）を計算する反射・透過特性計算手段と、
該反射・透過特性の計算結果を出力する特性出力手段と
を備えることを特徴とするワイヤグリッドの反射・透過特性評価装置。
【請求項５】
ミリ波帯又はサブミリ波帯で用いるワイヤグリッドの反射・透過特性を評価する装置であって、
評価を行うワイヤグリッドのワイヤ間隔のノミナル位置からの誤差値を入力する誤差入力手段と、
該誤差値の標準偏差を計算する標準偏差計算手段と、
該標準偏差を記憶するワイヤ間隔標準偏差記憶手段と、
該標準偏差の値を用い、前記誤差値を零平均のランダムな確率変数と仮定し、ワイヤ間隔の不規則性を近似的に表しながら、任意方向から入射する平面波の散乱振幅を計算する散乱波振幅計算手段と、
該散乱波振幅計算結果を記憶する散乱波振幅記憶手段と、
該散乱波振幅を用い、反射波及び透過波の、各ＴＭ成分（入射磁界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）及び／又は各ＴＥ成分（入射電界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）を計算する反射・透過特性計算手段と、
該反射・透過特性の計算結果を出力する特性出力手段と
を備えることを特徴とするワイヤグリッドの反射・透過特性評価装置。
【請求項６】
前記反射・透過特性計算手段は、散乱を周期的Ｇｒｅｅｎ関数としてその厳密解を求めるに際し、その格子和（ｌａｔｔｉｃｅ  ｓｕｍ）をＦｏｕｒｉｅｒ積分表現を用いて計算することを特徴とする請求項４又は５に記載のワイヤグリッドの反射・透過特性評価装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ミリ波・サブミリ波帯の偏波器等に広く用いられるワイヤグリッドの反射・透過特性の評価方法及びその評価装置に関し、より詳しくはワイヤ間隔に誤差のあるワイヤグリッドの特性を評価する技術に係わる。
【０００２】
【従来の技術】
多数の導体ワイヤを平行に配列したワイヤグリッドは、前世紀末のＨｅｒｔｚによる電波黎明期の実験で用いられて以来、低損失で高分離度の偏波器として広く用いられている。例えば、特許文献１に見るようなアンテナ前面に配置されて電磁波の偏波面の傾きを変えるポラライザ  に用いる例や、本発明とは異なるが特許文献２に見るような主に可視光を対象としたワイヤグリッド偏光子で用いる例が知られている。
【０００３】
【特許文献１】特開平０６−０３７５３８号公報
【特許文献２】特開２００２−３２８２３４号公報
【０００４】
特に、ミリ波・サブミリ波帯の準光学系においては、偏波分離器や合成器としてのみならず各種の干渉計や準光学的フィルタ、アイソレータ等の構成要素として不可欠の準光学素子である。
このようなワイヤグリッドの反射・透過特性の理論的計算法については古くから研究がなされてきたが（例えば非特許文献１を参照。）その殆どはＷａｉｔの理論に代表されるようにグリッドを構成するワイヤの直径が波長およびワイヤ間隔に比べて十分小さい場合の近似的理論であった。
【０００５】
【非特許文献１】
Ｔ．  Ｌａｒｓｅｎ、  ”Ａ  Ｓｕｒｖａｙ  ｏｆ  ｔｈｅ  Ｔｈｅｏｒｙ  ｏｆ  Ｗｉｒｅ  Ｇｒｉｄｓ、”  ＩＲＥ  Ｔｒａｎｓ．  Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ  Ｔｈｅｏｒｙ  Ｔｅｃｈ．、  ｖｏｌ．  １０、  ｐｐ．  １９１−２０１、  １９６２．
【０００６】
一方、このような周期的に円筒が無限に配列したワイヤグリッドによる散乱の問題を、周期的Ｇｒｅｅｎ  関数の問題として厳密に解くことを考えた場合その収束の絶望的遅さが問題となっていたが、近年、これらを効率的に解くいくつかの解法がＣｈａｍｂｅｒｓ等（非特許文献２）や安元等（非特許文献３）によって開発された。
【０００７】
【非特許文献２】
Ｗ．  Ｇ．  Ｃｈａｍｂｅｒｓ，  Ｃ．  Ｌ．  Ｍｏｋ，  ａｎｄ  Ｔ．  Ｊ．  Ｐａｒｋｅｒ，  ”Ｔｈｅｏｒｙ  ｏｆ  ｔｈｅ  ｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ  ｏｆ  ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ  ｗａｖｅｓ  ｂｙ  ｒｅｇｕｌａｒ  ｇｒｉｄ  ｏｆ  ｐａｒａｌｌｅｌ  ｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌ  ｗｉｒｅｓ  ｗｉｔｈ  ｃｉｒｃｕｌａｒ  ｃｒｏｓｓ  ｓｅｃｔｉｏｎ，”  Ｊ．  Ｐｈｙｓ．  Ａ：  Ｍａｔｈ．  Ｇｅｎ．，  ｖｏｌ．  １３，  ｐｐ．  １４３３−１４４１，  １９８０．
【非特許文献３】
Ｋ．  Ｋｕｓｈｔａ  ａｎｄ  Ｋ．  Ｙａｓｕｍｏｔｏ，  ”Ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ  ｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ  ｆｒｏｍ  ｐｅｒｉｏｄｉｃａｒｒａｙｓ  ｏｆ  ｔｗｏ  ｃｉｒｃｕｌａｒ  ｃｙｌｉｎｄｅｒｓ  ｐｅｒ  ｕｎｉｔ  ｃｅｌｌ，”  Ｐｒｏｇｒｅｓｓ  ｉｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃｓ  Ｒｅｓｅａｒｃｈ  ＰＩＥＲＳ，  ｖｏｌ．  ２９，  ｐｐ．  ６９？８５，  ２０００．
【０００８】
しかしながら、これらの厳密な計算法はいずれも、グリッドを構成するワイヤが入射面に直交した場合を取り扱ったものでありグリッドに対して任意の方向から入射波が到来する一般的な場合に適用したものではなかった。
そのため、従来では任意方向からの入射波に対するワイヤグリッドの特性を評価することができなかった。
【０００９】
さらに、従来からの上記理論によれば、ワイヤ間隔が完全に周期的（等間隔）であると仮定して平面波に対する反射・透過係数を厳密に計算することができるが、ミリ波・サブミリ波帯で現実に用いるワイヤグリッドは、製造工程でグリッドを構成するワイヤの間隔に若干の不規則性が生じることが避けられず、この若干の不規則性がグリッドの反射・透過特性に無視し得ない影響を及ぼす場合がある。（非特許文献４ないし６を参照。）
【００１０】
【非特許文献４】
Ｗ．  Ｇ．  Ｃｈａｍｂｅｒｓ，  Ｔ．  Ｊ．  Ｐａｒｋｅｒ，  Ａ．  Ｅ．  Ｃｏｓｔｌｅｙ，  ”Ｆｒｅｅｓｔａｎｄｉｎｇ  ｆｉｎｅ−ｗｉｒｅ  ｇｒｉｄｓ  ｆｏｒ  ｕｓｅ  ｉｎ  ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ  ａｎｄ  ｓｕｂｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ−ｗａｖｅ  ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ，”  ｉｎ  Ｉｎｆｒａｒｅｄ  ａｎｄ  Ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ  Ｗａｖｅｓ，  ｖｏｌ．  １６，  ｅｄ．  ｂｙ  Ｋ．  Ｊ．  Ｂｕｔｔｏｎ，  ｐｐ．  ７７−１０６，  Ａｃａｄｅｍｉｃ  Ｐｒｅｓｓ，  Ｎｅｗ  Ｙｏｒｋ，  １９８６．
【非特許文献５】
Ｊ．  Ｂ．  Ｓｈａｐｉｒｏ  ａｎｄ  Ｅ．  Ｅ．  Ｂｌｏｅｍｈｏｆ，  ”Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ  ｏｆ  ｗｉｒｅ−ｇｒｉｄ  ｐｏｌａｒｉｚｅｒｓ  ａｎｄ  ｄｅｐｅｎｄｅｎｃｅ  ｏｆ  ｓｕｂｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ−ｗａｖｅ  ｏｐｔｉｃａｌ  ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ  ｏｎ  ｐｉｔｃｈ    ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ，”Ｉｎｔ．  Ｊ．  Ｉｎｆｒａｒｅｄ  Ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ  Ｗａｖｅｓ，  ｖｏｌ．  １１，  ｎｏ．  ８，  ｐｐ．  ９７３−９８０，  Ａｕｇ．  １９９０．
【非特許文献６】
Ｊ．  Ｌａｈｔｉｎｅｎ  ａｎｄ  Ｍ．  Ｈａｌｌｉｋａｉｎｅｎ，  ”Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ  ａｎｄ  ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ  ｏｆ  ｌａｒｇｅ  ｆｒｅｅ−ｓｔａｎｄｉｎｇ  ｐｏｌａｒｉｚｅｒ  ｇｒｉｄｓ  ｆｏｒ  ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ  ｗａｖｅｓ，”  Ｉｎｔ．  Ｊ．  ＩｎｆｒａｒｅｄＭｉｌｌｉｍｅｔｅｒ  Ｗａｖｅｓ，  ｖｏｌ  ２０，  ｎｏ．  １，  Ｊａｎ．  １９９９．
【００１１】
このようなグリッドの不規則性の影響については理論的にはこれまでＨｏｕｄｅ  等（非特許文献７を参照）による若干の検討を除いて殆ど検討されていない一方で、実際にはワイヤグリッドの反射透過特性に影響を及ぼすため、高精度にワイヤグリッドの特性を評価することができなかった。
【００１２】
【非特許文献７】
Ｍ．  Ｈｏｕｄｅ，  Ｒ．  Ｌ．  Ａｋｅｓｏｎ，  Ｊ．  Ｅ．  Ｃａｒｌｓｔｒｏｍ，  Ｊ．  Ｗ．  Ｌａｍｂ，  Ｄ．  Ａ．  Ｓｃｈｌｅｕｎｉｎｇ，  ａｎｄ  Ｄ．  Ｐ．  Ｗｏｏｄｙ，  ”Ｐｏｌａｒｉｚｉｎｇ  ｇｒｉｄｓ，  ｔｈｅｉｒ  ａｓｓｅｍｂｌｉｅｓ  ａｎｄ  ｂｅａｍｓ  ｏｆ  ｒａｄｉａｔｉｏｎ，”  Ｐｕｂｌ．  Ａｓｔｒｏｎ．  Ｓｏｃ．  Ｐａｃｉｆｉｃ．，  ｖｏｌ．  １１３，  ｐｐ．  ６２２−６３８，  Ｍａｙ，  ２００１．
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来技術の有する問題点に鑑みて創出されたものであり、任意の入射角とグリッド回転角の場合の平面波に対する反射・透過特性を厳密に計算しながら、ワイヤ間隔の不規則性が及ぼす影響を適切に計算して、高精度な反射・透過特性の評価を行うことができる評価方法及び評価装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明のワイヤグリッドの反射・透過特性の評価方法は、以下の特徴を有する。
すなわち、本発明はミリ波帯又はサブミリ波帯で用いるワイヤグリッドの反射・透過特性を評価する方法であって、ワイヤ間隔のノミナル位置からの誤差の標準偏差を入力する入力ステップと、該標準偏差の値を用い、前記誤差値を零平均のランダムな確率変数と仮定し、ワイヤ間隔の不規則性を近似的に表しながら、任意方向から入射する平面波の散乱振幅を計算する散乱波振幅計算ステップにより、散乱波の振幅を求める。
【００１５】
さらに、該散乱波振幅計算結果を記憶装置に記憶する散乱波振幅記憶ステップと、該散乱波振幅を用い、反射波及び透過波の、各ＴＭ成分（入射磁界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）及び／又は各ＴＥ成分（入射電界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）を計算する反射・透過特性計算ステップと、該反射・透過特性の計算結果を出力する特性出力ステップとを有する。
本発明は、予めワイヤグリッドのワイヤ間隔の標準偏差が与えられている場合や、標準偏差を適当に与えて、逆にワイヤグリッドの設計に用いる際に有効な評価方法である。
【００１６】
また、ミリ波帯又はサブミリ波帯で用いるワイヤグリッドの反射・透過特性を評価する方法であって、前記評価を行うワイヤグリッドのワイヤ間隔のノミナル位置からの誤差値を測定する誤差測定ステップと、該誤差値の標準偏差を計算する標準偏差計算ステップと、該標準偏差を記憶するワイヤ間隔標準偏差記憶ステップとを備える評価方法を提供することもできる。
この場合、ワイヤグリッドの測定を実際に行うことで、対象物の特性評価に用いることができる。
【００１７】
本方法においても、標準偏差の値を得た後には、その値を用い、前記誤差値を零平均のランダムな確率変数と仮定し、ワイヤ間隔の不規則性を近似的に表しながら、任意方向から入射する平面波の散乱振幅を計算する散乱波振幅計算ステップと、該散乱波振幅計算結果を記憶装置に記憶する散乱波振幅記憶ステップと、該散乱波振幅を用い、反射波及び透過波の、各ＴＭ成分（入射磁界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）及び／又は各ＴＥ成分（入射電界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）を計算する反射・透過特性計算ステップと、該反射・透過特性の計算結果を出力する特性出力ステップとを有する。
【００１８】
さらに、従来の周期的Ｇｒｅｅｎ関数の収束問題の解決を図るため、前記反射・透過特性計算ステップは、その散乱を周期的Ｇｒｅｅｎ関数としてその厳密解を求めるに際し、その格子和（ｌａｔｔｉｃｅ  ｓｕｍ）をＦｏｕｒｉｅｒ積分表現を用いて計算することができる。
【００１９】
本発明は、次のようなミリ波帯又はサブミリ波帯で用いるワイヤグリッドの反射・透過特性を評価する装置を提供することもできる。
すなわち、該装置は、ワイヤ間隔のノミナル位置からの誤差の標準偏差を入力する入力手段と、該標準偏差の値を用い、前記誤差値を零平均のランダムな確率変数と仮定し、ワイヤ間隔の不規則性を近似的に表しながら、任意方向から入射する平面波の散乱振幅を計算する散乱波振幅計算手段と、該散乱波振幅計算結果を記憶する散乱波振幅記憶手段と、該散乱波振幅を用い、反射波及び透過波の、各ＴＭ成分（入射磁界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）及び／又は各ＴＥ成分（入射電界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）を計算する反射・透過特性計算手段と、該反射・透過特性の計算結果を出力する特性出力手段とを備える。
【００２０】
また、次のような装置でもよい。すなわち、評価を行うワイヤグリッドのワイヤ間隔のノミナル位置からの誤差値を入力する誤差入力手段と、該誤差値の標準偏差を計算する標準偏差計算手段と、該標準偏差を記憶するワイヤ間隔標準偏差記憶手段と、該標準偏差の値を用い、前記誤差値を零平均のランダムな確率変数と仮定し、ワイヤ間隔の不規則性を近似的に表しながら、任意方向から入射する平面波の散乱振幅を計算する散乱波振幅計算手段と、該散乱波振幅計算結果を記憶する散乱波振幅記憶手段と、該散乱波振幅を用い、反射波及び透過波の、各ＴＭ成分（入射磁界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）及び／又は各ＴＥ成分（入射電界ベクトルがワイヤ方向と直交する面内における成分）を計算する反射・透過特性計算手段と、該反射・透過特性の計算結果を出力する特性出力手段と備える。
【００２１】
ここで、本装置の反射・透過特性計算手段は、その散乱を周期的Ｇｒｅｅｎ関数としてその厳密解を求めるに際し、その格子和（ｌａｔｔｉｃｅ  ｓｕｍ）をＦｏｕｒｉｅｒ積分表現を用いて計算することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態を図面に示した実施例に基づいて説明する。なお、実施形態は、本発明の主旨から逸脱しないかぎり適宜変更可能なものである。
図１に本発明にかかる平面波の反射・透過特性評価方法のフローチャートを示す。また、図２には同じく本発明に係る平面波の反射・透過特性評価装置の構成図である。
図３には別実施例におけるワイヤグリッドの反射・透過特性評価方法のフローチャートを、図４には同反射・透過特性評価装置の構成図を示す。
以下に、図１及び図２に示す評価方法と評価装置について、本発明が採用する計算理論を示しながら説述する。
【００２３】
まず、本文でワイヤグリッドおよび入射到来波を記述するために座標系を図５のように定義する。すなわち、ワイヤグリッド（５０）（５０）・・はｘ（５１）−ｚ（５２）平面内にあり、各ワイヤ（５０）（５０）・・は無限長の円筒で、ｚ（５２）に平行に配置しているものとする。
ｘ（５１）―ｙ（５３）面をｙ軸のまわりにφｇ回転してできるＸ（５１’）―Ｙ（５３’）面（Ｙ  ＝  ｙ）  を入射面とする。従って、入射波、反射波、透過波の波数ベクトルはすべてこのＸ―Ｙ面内にある。以下、このφｇをグリッド回転角と呼ぶことにする。
【００２４】
入射波の波数ベクトルｋ０は，Ｘ―Ｙ  面内でｋ０＝−ｉＸｋ０ｓｉｎχ−ｉＹｋ０ｃｏｓχで表される。すなわちグリッドに対する入射角はχ。また、グリッドワイヤの半径をａとし、グリッドのワイヤ間隔をｈとする。
このとき、入射波の波数ベクトルｋ０  が、（ｘ，ｙ，ｚ）  座標系で、
【００２５】
【数式１】
2004228938.tif 000003
で表せるとする。（すなわち、ｋ０とワイヤ方向（ｚ軸）  のなす角をθｉｎ，  ｋ０とｚ軸を含む面とワイヤグリッド面のなす角をφｉｎとする。）  と、
【数式２】
2004228938.tif 000004
【数式３】
2004228938.tif 000005
が成り立つ。
【００２６】
このような座標系を用いて、図５の座標原点（５４）を通る孤立した１  本の無限長円筒による平面波の散乱を考える。ここでは、不完全導体や誘電体を含めた一般的な円筒を取り扱えるようにするために、ワイヤ材質を複素比誘電率εｒの損失誘電体と仮定し、ワイヤが抵抗率ρの不完全導体の場合には，εｒ  ＝  １  ＋  ｊ（１／２πｆρε０）  とする。（ここでは電磁界の時間依存性はｅ−ｊ２πｆｔを仮定し、式中では省略する。）
【００２７】
ＴＭ波入射（入射磁界ベクトルがワイヤ方向ｚと直交する面内にある場合）の場合、入射電磁界は数式４で与えられるｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｈｅｒｔｚ  ｖｅｃｔｏｒ  によって表すことができる。
【数式４】
2004228938.tif 000006
但し、Ｐ０  ＝  ［Ｊｍ（ｋ０ρ０  ｓｉｎθｉｎ）ｅｊｍφ０］および  ａｉｎ  ＝  Ａｉ［（−ｊ）ｍｅ−ｊｍφｉｎ  ］とし、
Ａｉは入射振幅であり、入射電界をＥ０とすると数式５で与えられる。
【数式５】
2004228938.tif 000007
【００２８】
一方、ＴＥ波入射（入射電界ベクトルがワイヤ方向ｚと直交する面内にある場合）  の場合には、入射波は数式６で与えられるｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｈｅｒｔｚ  ｖｅｃｔｏｒ  により数式４と同様に次のように表現される。
【数式６】
2004228938.tif 000008
但し、ｂｉｎは入射電界をＥ０、自由空間のインピーダンスを
2004228938.tif 000009
としたとき
【数式７】
2004228938.tif 000010
で与えられる入射振幅Ｂｉを用いて、
2004228938.tif 000011
で与えられる。
【００２９】
ＴＭ波散乱波のｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｈｅｒｔｚ  ｖｅｃｔｏｒを
【数式８】
2004228938.tif 000012
ＴＥ波散乱波のｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｈｅｒｔｚ  ｖｅｃｔｏｒを
【数式９】
2004228938.tif 000013
と表す。但し、
2004228938.tif 000014
とする。
【００３０】
ワイヤ内のＴＭ透過波のｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｈｅｒｔｚ  ｖｅｃｔｏｒは、
【数式１０】
2004228938.tif 000015
一方、ＴＥ波透過波のｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｈｅｒｔｚ  ｖｅｃｔｏｒ  は、
【数式１１】
2004228938.tif 000016
と表せる。ここで
2004228938.tif 000017
とし、
2004228938.tif 000018
である。
【００３１】
孤立した単一のワイヤへの入射波と散乱波，ワイヤ内への透過波の間にはワイヤの円筒表面での境界条件により数式１２のような関係がある。
【数式１２】
2004228938.tif 000019
ここで、４×４行列Ｍ（ｍ）、および４×２行列Ｎ（ｍ）の各要素は以下のように与えられる。
2004228938.tif 000020
【００３２】
入射波とｍ次のモードの散乱波の関係を表すＴ−ｍａｔｒｉｘを
【数式１３】
2004228938.tif 000021
のように定義すると、数式１２の境界条件から、Ｔ−ｍａｔｒｉｘは次の数式１４で得られる。
【数式１４】
2004228938.tif 000022
但し、
【数式１５】
2004228938.tif 000023
【数式１６】
2004228938.tif 000024
とする。
なお、Ｔ−ｍａｔｒｉｘに関しては非特許文献８に記載されている。
【００３３】
【非特許文献８】Ａ．  Ｉｓｈｉｍａｒｕ，  ｉｂｉｄ，  Ｃｈａｐ．  １２．
【００３４】
ここで、全体の入射波ベクトルと散乱波ベクトルを
【数式１７】
2004228938.tif 000025
と定義し、これらの関係を表すＴ−ｍａｔｒｉｘ、Υを
【数式１８】
2004228938.tif 000026
【数式１９】
2004228938.tif 000027
で定義すると、このΥの各要素は、数式１４で与えられたｍ次のモードのＴ−ｍａｔｒｉｘの要素から
【数式２０】
2004228938.tif 000028
【数式２１】
2004228938.tif 000029
で与えられる。
数式１４より分かるように、円筒が完全導体でない場合には、θｉｎ≠π／２の場合ＴＭ成分とＴＥ成分の間のカップリングが生じる。
【００３５】
次に、以上の単一円筒ワイヤにおける入射波ベクトルと散乱波ベクトルの関係を用いて、図５のように、周期ｈ（５５）でワイヤが規則的に配列した完全に規則的なグリッドを考える。この場合、散乱波
【数式２２】
2004228938.tif 000030
のｘ，ｙ依存性ΨＳＣ（ｘ，ｙ）は、Ｆｌｏｑｕｅｔの定理により
【数式２３】
2004228938.tif 000031
と置くと、数式２４のように表すことができる。
【数式２４】
2004228938.tif 000032
と表せる。ここで、Ｂｅｓｓｅｌ関数に関するＧｅｇｅｎｂａｕｅｒの加法定理（これについては非特許文献９を参照）により、
【数式２５】
2004228938.tif 000033
であるので、
2004228938.tif 000034
とおくと、Ｑｌは次の数式２６のように表せる。
【数式２６】
2004228938.tif 000035
【００３６】
【非特許文献９】
Ｍ．  Ａｂｒａｍｏｗｉｔｚ  ａｎｄ  Ｉ．  Ａ．  Ｓｔｅｇｕｎ，  Ｈａｎｄｂｏｏｋ  ｏｆ  Ｍａｔｈｅｍａｔｉｃａｌ  Ｆｕｎｃｔｉｏｎｓ，  Ｃｈａｐ．  ９，  Ｄｏｖｅｒ，  Ｎｅｗ  Ｙｏｒｋ，  １９７０．
【００３７】
また、グリッド周辺の界Ψ（ｘ，ｙ，ｚ）  ＝  Ψ（ｘ，ｙ）ｅｊｋ０ｚ  ｃｏｓθｉｎは、
【数式２７】
2004228938.tif 000036
で与えられる。ここで数式２７の右辺の第１項は第２項をそれぞれ０番目のワイヤへの入射波と反射波と考えると、散乱波振幅α０ＳＣは単一ワイヤのＴ−ｍａｔｒｉｘΥを用いて数式２８で与えられる。
【数式２８】
2004228938.tif 000037
【００３８】
但し、数式２８のαｉｎ，α０ｓｃ，Λ，Υは数式１３で表されるＴＭ波とＴＥ波のカップリングを考慮して、
【数式２９】
2004228938.tif 000038
ここでＬの各要素
【数式３０】
2004228938.tif 000039
は、格子和（ｌａｔｔｉｃｅ  ｓｕｍ）と呼ばれる数式３１で与えられる。
【数式３１】
2004228938.tif 000040
また、数式２８より、散乱波振幅は次の数式３２で得られる。
【数式３２】
2004228938.tif 000041
【００３９】
ところで、数式３１の右辺の無限級数和は、周期的Ｇｒｅｅｎ  関数の問題で知られているように、絶望的に収束が遅い。非特許文献１０に開示されている安元等はこのｌａｔｔｉｃｅ  ｓｕｍ  のＦｏｕｒｉｅｒ  積分表現を用いることにより、収束の遅さを克服し非常に効率良く計算する手法を提案している。
【００４０】
【非特許文献１０】
Ｋ．  Ｙａｓｕｍｏｔｏ  ａｎｄ  Ｋ．  Ｙｏｓｈｉｔｏｍｉ，  ”Ｅｆｆｉｃｉｅｎｔ  ｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎ  ｏｆ  ｌａｔｔｉｃｅ  ｓｕｍｓ  ｆｏｒｆｒｅｅ−ｓｐａｃｅ  ｐｅｒｉｏｄｉｃ  Ｇｒｅｅｎ’ｓ  ｆｕｎｃｔｉｏｎ，”  ＩＥＥＥ  Ｔｒａｎｓ．  Ａｎｔｅｎｎａｓ  Ｐｒｏｐａｇａｔ．，  ｖｏｌ．  ４７，  ｎｏ．  ６，  ｐｐ．  １０５０−１０５５，  Ｊｕｎｅ，  １９９９．
【００４１】
本発明では、同様の手法を任意到来方向から入射する平面波に適用できるように拡張した数式３３を用いる。
【数式３３】
2004228938.tif 000042
これにより、上記のグリッドを構成するワイヤが入射面に直交した場合と同様にｌａｔｔｉｃｅ  ｓｕｍを効率的に計算することが出来る。但し、数式３３において
2004228938.tif 000043
である。
【００４２】
以上のようにして得られた散乱振幅α０ＳＣから、反射波Ψｒおよび透過波ΨｔのＴＭ成分はそれぞれ、
【数式３４】
2004228938.tif 000044
および
【数式３５】
2004228938.tif 000045
により得られる。但し、ｐνおよびｑνは
【数式３６】
2004228938.tif 000046
及び
【数式３７】
2004228938.tif 000047
で与えられ、ｋｘν，ｋｙνは、
【数式３８】
2004228938.tif 000048
【数式３９】
2004228938.tif 000049
とする。
【００４３】
反射波および透過波のＴＥ成分についても同様に、数式３４及び数式３５のα０ＳＣをβ０ＳＣに置き換えることによって得られる。ここで、ｈ｜ｓｉｎθｉｎ｜（１＋ｃｏｓ  φｉｎ）  ＜λの場合、ν＝０のモードの正規反射・透過波のみが伝搬し、ν≠０のモードは伝搬しない。
【００４４】
以上の前提に基づいて、本発明では次のようにワイヤ位置のランダムな不均一性を考慮したワイヤグリッドの反射透過特性の理論を用いることができる。
すなわち、ここまではワイヤグリッドを一定の間隔ｈで完全に周期的に配列した平行な無限長円筒の配列と仮定した。しかしながら、現実のワイヤグリッドでは、製造工程で各ワイヤの規則的な位置からの若干のズレによる不規則性が生じることを避けることが出来ない。
【００４５】
特に、１００  ＧＨｚ  以上の高い周波数帯においては、ワイヤ直径およびワイヤ間隔が数μｍから数十μｍ程度のグリッドが用いられるが、このようなグリッドを完全に規則的にグリッドとすることは技術的に困難であり、ワイヤ間隔のばらつきを数％以内に抑えることは困難である。
このようにグリッドのワイヤ間隔に若干の不規則性がある場合、グリッドの反射・透過特性に影響が現われることがしられている（上記非特許文献５と６を参照）が、従来ワイヤグリッドの不規則性の反射・透過特性への影響については殆ど理論的な検討がなされていなかった。
【００４６】
そこで本発明では、ワイヤグリッドの不規則性として、図６のように、各ワイヤが同一平面内で互いの平行性を保ったまま、面内での各ワイヤの位置が周期的なグリッドのノミナルな位置（図中、点線で示される位置）から僅かにランダムにずれている場合（図中、実線で示される位置）を考える。
なお、図６のようにワイヤ間隔の不均一性に着目するのは、金属フレームにワイヤを巻いて製造するワイヤにおいてはワイヤ間隔の不均一性が最も大きく、反射・透過特性への影響も大きいと考えられるので本発明の評価において特に有効と考えられるからである。
【００４７】
図６のようにｌ番目のワイヤの正規の位置（ｘ  ＝  ｌｈ）  からのｘ方向の微小な
ズレをηｌとし、η＝  （・・・，η−１，η０  ，η１，・・・，ηｌ，・・・）Ｔとすると、上記数式３２の散乱波振幅は形式的に
【数式４０】
2004228938.tif 000050
と表すことができる。ここで各ワイヤの位置ズレは微小量でありηｌ＜＜  ｈ  （ｌ  ＝・・・−１，０，１，・・・）  とし、ηの２次の項までで近似すると、α０ＳＣ（η）は、
【数式４１】
2004228938.tif 000051
となる。
【００４８】
数式４１の右辺のα０ＳＣ（η）の微係数は、数式４０を用いて、
【数式４２】
2004228938.tif 000052
【数式４３】
2004228938.tif 000053
と置き換えられる。
【００４９】
ここで、微小変位  （・・・，η−１，η０  ，η１，・・・，ηｌ，・・・）はワイヤ間で相関の無い零平均の統計的にランダムな確率変数とし、
【数式４４】
2004228938.tif 000054
【数式４５】
2004228938.tif 000055
【数式４６】
2004228938.tif 000056
と仮定し、α０ＳＣ（０）≡α０ＳＣ（η＝０）と置くと、数式４１は、
【数式４７】
2004228938.tif 000057
となり、更に、この右辺に数式４３を代入すると
【数式４８】
2004228938.tif 000058
となる
【００５０】
ここで数式４８において、Λ（η）は
【数式４９】
2004228938.tif 000059
で与えられる行列であり、式中のＬ（η）は、
【数式５０】
2004228938.tif 000060
である。なお、数式４８の右辺の偏微分はη＝０での値を採る。
【００５１】
ここで、数式４８の右辺のｌａｔｔｉｃｅ  ｓｕｍの微係数は、Ｈａｎｋｅｌ関数のＦｏｕｒｉｅｒ積分表現を用いることにより、
【数式５１】
2004228938.tif 000061
および
【数式５２】
2004228938.tif 000062
但し、ｋｘ＝−ｋ０ｓｉｎθｉｎｃｏｓφｉｎであり，
【数式５３】
2004228938.tif 000063
と表すことができ、規則的なグリッドの場合のｌａｔｔｉｃｅ  ｓｕｍと同様に効率的に計算することができる。
【００５２】
本発明は以上の理論を用いて、散乱波振幅計算ステップ及び、平面波の反射・透過特性計算を行うことを特徴とする。すなわち、図１に示すように、まず入射波周波数ｆ、入射角χ、グリッド回転角φｇ、グリッドワイヤ半径ａ、ワイヤ間隔ｈを入力データ（１０）として入力ステップ（１１）で入力する。
【００５３】
入力ステップ（１１）を実現するために、図２に示した本発明の反射・透過特性評価装置（２０）では、入力手段（２１）から入力する。本装置（２０）はたとえば公知のパーソナルコンピュータなどによって構成することが容易であり、この場合、入力手段（２１）はＣＰＵ（２２）に接続されたキーボードなどで構成することができる。
また、入力手段（２１）としてはフレキシブルディスクや光磁気ディスクなどの記憶媒体の読み取り装置などでもよく、その場合、該ディスク類に入力データを記憶させておくことにより入力できる。
【００５４】
入力データ（１０）は、それぞれ上述の変数に対応しており、散乱波振幅計算ステップ（１２）では、特に本発明の特徴である任意到来方向から入射する平面波に適用できる数式３３を基礎とし、さらにワイヤ位置にランダムな不均一性があるときの散乱波振幅計算を行う数式４８を用いる。数式４８の計算において、数式５１、数式５２が用いられることは上述の通りである。
計算処理は本装置（２０）のＣＰＵ（２２）の演算機能を用いた散乱波振幅計算手段（２３）により公知の技術で実行することができる。
【００５５】
散乱波振幅計算手段（２３）で得られた散乱波振幅計算結果は、散乱波振幅記憶ステップ（１３）の処理に進み、本装置（２０）の記憶手段（２４）に記憶される。記憶手段（２４）としては、ハードディスクなどの磁気記憶媒体や、ＲＡＭなどのメモリが公知である。記憶された散乱波振幅の計算結果は次の反射・透過特性計算ステップ（１４）において用い、該ステップ（１４）において読み出し処理される。
【００５６】
平面波の反射・透過特性計算ステップ（１４）は、ＣＰＵ（２２）の反射・透過特性計算手段（２５）により実行される。本計算には上記数式３４及び数式３５を用いて、反射波・透過波のＴＭ成分を求めることができる。また、上述の通り、ＴＥ成分についても同様に求めることができる。
【００５７】
得られた反射波・透過波のＴＭ・ＴＥ成分は特性出力ステップ（１５）の処理により、出力手段（２６）から出力される。本発明の特性評価は反射・透過係数（１６）にＣＰＵ（２２）を用いて変換して出力してもよい。
出力手段は、パーソナルコンピュータにおけるモニタや、プリンタなどを用いることができる。また、出力手段を記憶手段（２４）と同一にして、記憶手段に記憶させる構成でもよい。
【００５８】
本発明は以上の構成の通りであるが、図３のフローチャート、図４の構成図のように既存のワイヤグリッド（３０）を電子顕微鏡などで実測して、平面波の反射・透過特性を評価する構成をとることもできる。
本構成において入力データ（３１）とするのは、入射波周波数ｆ、入射角χ、グリッドワイヤ半径ａ、ワイヤ間隔ｈである。これらは図４における反射・透過特性評価装置（４０）の入力手段（２１）（以下、図２と同指示符号のものは同一である）から入力する。
【００５９】
また、ワイヤグリッド（３０）は誤差測定ステップ（３２）によりワイヤ間隔の誤差を測定し、入力手段（２１）から入力する。そして、ＣＰＵ（４２）の標準偏差計算手段（４３）によって標準偏差計算ステップ（３３）を実行し、標準偏差を計算するとともに、記憶手段（２４）に該標準偏差を記憶する。（標準偏差記憶ステップ（３４））
以下、本実施例の各処理（１２ないし１５）及び、各手段（２３，２５）は前記実施例と同様であるので説明を省略する。
【００６０】
最後に、本発明が用いた理論を検証するため、図７および図９に示すワイヤの不規則性の異なった２種類のワイヤグリッドについてミリ波サブミリ波帯において測定した結果と比較する。
計算および測定の条件は、以下の通りである。ワイヤ材質：タングステン（ρ  ＝５．５×１０−８Ωｍ）、ワイヤ直径：２ａ  ＝  １０μｍ、ワイヤ間隔：ｈ  ＝  ２５μｍ、入射角：χ＝４５°、グリッド回転角：  入射面に直交（Ｇｐｅｒｐ）  φｇ  ＝  ０°、および平行（Ｇｐａｒａ）φｇ＝  ９０°、入射偏波：入射面に直交（Ｅｐｅｒｐ）、および平行（Ｅｐａｒａ）。
【００６１】
測定はｍワイヤの不規則性の比較的小さいＧｒｉｄ  ＃１（図７）と不規則性の少し大きいＧｒｉｄ  ＃２（図８）について行なった。図７・図９は、各グリッドの顕微鏡による観察イメージであり、図８、図１０は、各グリッドのワイヤの位置のノミナル位置からのズレをワイヤの番号の関数をしてプロットしたものである。
【００６２】
ワイヤ位置のノミナル位置からのズレの標準偏差
2004228938.tif 000064
は、Ｇｒｉｄ  ＃１ではグリッド間隔（ｈ  ＝  ２５μｍ）  の２２．７  ％、Ｇｒｉｄ  ＃２では５２  ％であった。
図１１及び図１２は、ＴＥ波入射の場合（入射波の電界がグリッドワイヤ方向と入射波数ベクトル（ｋ０）  のなす面と直交している場合）、図１３及び図１４は、ＴＭ波入射の場合（入射波の電界がグリッドワイヤ方向と入射波数ベクトル（ｋ０）のなす面に平行な場合）  の計算結果と実験結果を示したものである。実線が、ワイヤ位置ズレの無い理想的なグリッドの場合、破線、１  点鎖線、点線が、それぞれワイヤのｘ方向の位置ずれの標準偏差
2004228938.tif 000065
が、ワイヤ間隔の２０％  （標準偏差＝０．２０ｈ）、４０％（標準偏差＝０．４０ｈ）、５０％（標準偏差＝０．５０ｈ）であると仮定した場合の計算結果を示す。
【００６３】
図中で、ＧｐｅｒｐおよびＧｐａｒａはそれぞれグリッドのワイヤの方向が入射面に垂直な場合および平行な場合を示し、ＥｐｅｒｐおよびＥｐａｒａはそれぞれ、入射面に垂直な電界成分および入射面に平行な電界成分の反射・透過係数を表す。
図１１ないし１４の比較により、ＴＭ波入射の場合（図１３・１４）  は反射透過特性がグリッドの不規則性に大きく依存するのに対して，ＴＥ波入射の場合（図１１・１２）  は不規則性に殆ど依存しないことがわかる。
【００６４】
図１５、図１６は、周波数が６２５  ＧＨｚ  の場合のワイヤグリッドの反射・透過係数のグリッドの不規則性（標準偏差）  に対する依存性の計算結果を実験結果と比較して示したものであるが、これらの図からもＴＭ波入射［（Ｅｐａｒａ，Ｇｐａｒａ）および（Ｅｐｅｒｐ，Ｇｐｅｒｐ）］の場合は反射透過特性がグリッドの不規則性に大きく依存するのに対して、ＴＥ波入射［（Ｅｐｅｒｐ，Ｇｐａｒａ）および（Ｅｐａｒａ，Ｇｐｅｒｐ）］の場合は不規則性に殆ど依存しないことがわかる。これは、ＴＭ波入射の場合は、入射電界がワイヤと平行成分を持っているため大きな電流がグリッドに誘起されるのに対して、ＴＥ波入射の場合は、入射電界がワイヤと直交しているためグリッドに誘起される電流が非常に小さく入射電磁界とグリッドの相互作用が小さいため、不規則性の影響も受けにくいということから定性的に説明できる現象である。
【００６５】
計算結果と実測結果を比較してみると，ワイヤ位置ズレの標準偏差
2004228938.tif 000066
の測定値がワイヤ間隔の２２．７％であったＧｒｉｄ  ＃１（標準偏差＝０．２２７ｈ）の測定結果は、標準偏差を２０％と仮定した上記理論計算結果と良く一致していることが分かる。これにより、本発明の評価方法が高精度に特性評価を行えることが示された。
【００６６】
一方、ワイヤ位置ズレの標準偏差の測定値がワイヤ間隔の５２％であったＧｒｉｄ  ＃２（標準偏差＝０．５２ｈ）  の測定結果は、理論計算結果からかなりずれている。Ｇｒｉｄ  ＃２  の場合の理論との定量的不一致は，ワイヤ位置ズレの標準偏差がワイヤ間隔の５０％にも達するため、理論におけるワイヤ位置ズレが微小であるという仮定が成立たなくなってくるためと考えられる。従って、本発明の実施においては、概ね標準偏差が３０％以下のワイヤグリッドの特性評価に適している。
一般に６００ＧＨｚ以上の帯域で用いられるようなワイヤグリッドであっても、２０％以下の標準偏差とする加工は十分に可能であり、本発明は十分に実用域で利用可能な評価方法であることが分かる。
【００６７】
なお、上記数値計算と実験結果との比較はワイヤが有限導電率の導体の円筒である場合を示したが、本発明の実施においては、円筒内へ侵入する透過波も厳密に取り扱っているため、導体のみならず誘電体を含めた一般的な円筒の配列からなるグリッドに適用することもできる。
【００６８】
【発明の効果】
本発明は、上述の構成を備えるので、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明では円筒の配列からなるワイヤグリッドに任意到来方向から入射する平面波の反射・透過特性について、グリッドを構成するワイヤの間隔が一定で規則的なグリッドの場合の厳密解を導出して用いている。
さらに、導出した規則的なグリッドに関する理論にグリッドの不規則性を微小な摂動として導入することにより、グリッドのワイヤ間隔に僅かな不規則性のある場合の不規則性の影響を近似的に計算する手法を用いることができる。
【００６９】
これにより請求項１ないし３のワイヤグリッドの反射・透過特性の評価方法、請求項４ないし６のワイヤグリッドの反射・透過特性評価装置では、加工誤差の避けられないワイヤグリッドの不規則性をも考慮し、高精度な特性評価を行うことができるようになった。
【００７０】
本発明によれば、ワイヤ間隔に若干の不規則性のある現実的なワイヤグリッドに任意方向から到来波が入射する場合の反射・透過の偏波特性を精度良く評価できるため、ワイヤグリッドを用いた偏波器やＭａｒｔｉｎ  Ｐｕｐｌｅｔｔ型干渉計等の詳細な設計や特性の解析に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるワイヤグリッドの反射・透過特性の評価方法のフローチャート。
【図２】本発明によるワイヤグリッドの反射・透過特性評価装置の構成図。
【図３】本発明の別実施例によるワイヤグリッドの反射・透過特性の評価方法のフローチャート。
【図４】本発明の別実施例によるワイヤグリッドの反射・透過特性評価装置の構成図。
【図５】本発明に係る座標定義の説明図。
【図６】本発明に係るワイヤグリッドの不規則性の説明図。
【図７】ワイヤの不規則性の異なった２種類のワイヤグリッド（＃１）
【図８】ワイヤグリッド（＃１）におけるワイヤの位置のノミナル位置からのズレのプロット。
【図９】ワイヤの不規則性の異なった２種類のワイヤグリッド（＃２）
【図１０】ワイヤグリッド（＃２）におけるワイヤの位置のノミナル位置からのズレのプロット。
【図１１】ＴＥ波入射の場合の規則的、不規則的なワイヤグリッドの反射・透過特性のグラフ。
【図１２】ＴＥ波入射の場合の規則的、不規則的なワイヤグリッドの反射・透過特性のグラフ。
【図１３】ＴＭ波入射の場合の規則的、不規則的なワイヤグリッドの反射・透過特性のグラフ。
【図１４】ＴＭ波入射の場合の規則的、不規則的なワイヤグリッドの反射・透過特性のグラフ。
【図１５】ワイヤグリッドの反射・透過特性のグリッド不規則性依存性を示すグラフ。
【図１６】ワイヤグリッドの反射・透過特性のグリッド不規則性依存性を示すグラフ。
【符号の説明】
１０    入力データ
１１    入力ステップ
１２    散乱波振幅計算ステップ
１３    散乱波振幅記憶ステップ
１４    反射・透過特性計算ステップ
１５    特性出力ステップ
１６    反射・透過係数
２４    記憶手段
【図１】
2004228938.tif 000067
【図２】
2004228938.tif 000068
【図３】
2004228938.tif 000069
【図４】
2004228938.tif 000070
【図５】
2004228938.tif 000071
【図６】
2004228938.tif 000072
【図７】
2004228938.tif 000073
【図８】
2004228938.tif 000074
【図９】
2004228938.tif 000075
【図１０】
2004228938.tif 000076
【図１１】
2004228938.tif 000077
【図１２】
2004228938.tif 000078
【図１３】
2004228938.tif 000079
【図１４】
2004228938.tif 000080
【図１５】
2004228938.tif 000081
【図１６】
2004228938.tif 000082