(57)【要約】【課題】冷凍機を組み合わされる装置が極低温状態のままでしかもシールドユニット無しで簡便にメンテナンス作業を行うことができるようにする。【解決手段】真空容器に、該真空容器内の真空領域と隔絶した状態で第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２を収容するためのスリーブであって該真空容器の壁に近い箇所に開口を持つスリーブ２を設ける。第１段、第２段冷却シリンダは、それらの一部がスリーブと面接触している。第１段冷却シリンダには、スリーブの開口に対応する箇所に、ディスプレーサを挿通した状態にてモータ駆動部Ｍが取り付けられると共にスリーブ内の空間を封止すべくスリーブ内に挿通される筒状部４１−２を持つフランジ４１を設ける。筒状部とこれに対向するスリーブの内壁との間をＯ−リング４２でシールし、第１段、第２段冷却シリンダを残してモータ駆動部とディスプレーサとを取り外して新たなディスプレーサと交換可能にした。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被冷却物が収容される真空容器に挿入されて冷却を行う冷凍機であって、モータ駆動部と該モータ駆動部に組み付けられて該モータ駆動部により駆動されるディスプレーサと該ディスプレーサを往復動可能に収容しているシリンダとを含む冷凍機を前記真空容器に装着するための装着構造において、
前記真空容器には、該真空容器内の真空領域と隔絶した状態で前記シリンダを収容するためのスリーブであって該真空容器の壁に近い箇所に開口を持つスリーブを設け、
前記シリンダは、その一部が前記スリーブと面接触しており、
前記シリンダには、前記スリーブの開口に対応する箇所に、前記ディスプレーサを挿通した状態にて前記モータ駆動部が取り付けられると共に前記スリーブ内の空間を封止すべく前記スリーブ内に挿通される筒状部を持つ第１のフランジを設け、
前記筒状部とこれに対向する前記スリーブの内壁との間をＯ−リングでシールするようにし、
前記シリンダを残して前記モータ駆動部と前記ディスプレーサとを取り外して新たなディスプレーサと交換可能にしたことを特徴とする冷凍機の装着構造。
【請求項２】
請求項１に記載の冷凍機の装着構造において、前記スリーブの前記開口部には前記第１のフランジの外周縁部と対向する第２のフランジを設けて、前記第１のフランジと前記第２のフランジとの間をボルトで締め付けするようにし、しかも前記第１のフランジと前記第２のフランジにはそれぞれ、前記筒状部が前記スリーブへ挿入される時に前記シリンダの傾きを規制するためのガイドピンが少なくとも１本設けられていることを特徴とする冷凍機の装着構造。
【請求項３】
請求項２に記載の冷凍機の装着構造において、前記ボルトは前記第２のフランジを遊嵌状態で貫通しており、該ボルトの頭部と該頭部が対向する前記第２のフランジとの間に、バネ座金を介在させていることを特徴とする冷凍機の装着構造。
【請求項４】
請求項１に記載の冷凍機の装着構造による冷凍機のメンテナンス方法であって、
前記シリンダの一部と前記スリーブとの面接触は、前記シリンダの延在方向に関して直角な面において行われており、
前記モータ駆動部を前記第１のフランジから取り外して前記ディスプレーサと共に前記シリンダから引き抜くようにし、かつこの引き抜きの際に、前記第１のフランジと前記第２のフランジとの締め付けを緩めて前記筒状部を数ｍｍ程度引き出すようにすることにより、前記面接触を解除し、
新たなモータ駆動部とディスプレーサとの組み合わせ体を前記第１のフランジを通して前記シリンダ内に挿入した後、前記筒状部を元の位置に押し戻して前記シリンダの一部と前記スリーブとを面接触させることを特徴とする冷凍機のメンテナンス方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷凍機冷却型クライオスタットにおける冷凍機の真空容器への装着構造及び冷凍機のメンテナンス方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
クライオスタット（極低温真空容器）の冷却手段として近年、液体ヘリウムに代わって図５に示すようなＧＭ冷凍機Ｒが使用されている。ＧＭ冷凍機Ｒの構造は大別してモータ駆動部Ｍと、複数段（ここでは２段）の冷却シリンダＣ１、Ｃ２と、蓄熱体を内蔵しモータ駆動部ＭによりシリンダＣ１、Ｃ２内を往復動するディスプレーサＤ１、Ｄ２とから構成されている。第１段冷却シリンダＣ１の下端部には第１段コールドヘッドＨ１、第２段冷却シリンダＣ２の下端部には第２段コールドヘッドＨ２がそれぞれ形成されている。第１段冷却シリンダＣ１の上部開口周縁には、モータ駆動部Ｍを取り付けるため及び後述される真空容器への取り付けのためのフランジ４が設けられている。ディスプレーサＤ１、Ｄ２はフランジ４の開口を通して第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２内に挿入される。
【０００３】
上記２段のコールドヘッドＨ１、Ｈ２を有するＧＭ冷凍機Ｒにあっては、第１段コールドヘッドＨ１で７０〜４０Ｋに、第２段コールドヘッドＨ２で２０〜４Ｋまで極低温にすることが可能であり、各段のコールドヘッドにより被冷却物が所定温度まで冷却される。
【０００４】
ＧＭ冷凍機Ｒを超電導マグネットあるいは一般のクライオスタット等の冷却に長時間（稼働約１万時間）使用する場合は必ずＧＭ冷凍機Ｒのメンテナンスが必要である。通常のメンテナンスは、常に運動している部分の部品交換と点検である。このメンテナンス作業を行なう場合は、モータ駆動部Ｍとそれに連結されているディスプレ一サＤ１、Ｄ２を第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２から引抜き、取り外すことが必要である。
【０００５】
しかし、低温に冷却されているディスプレーサＤ１、Ｄ２を大気中で第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２から引き抜くと、瞬時に第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２の内面に空気中の水分が付着し氷結膜となって第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２の内面を覆う。付着した氷結膜はドライヤ等で一時的には除去できる。しかし、第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２は極低温の真空容器中にあって冷却され続けるので、再び第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２の内面に氷結膜が生じてしまい、結局、メンテナンス作業が不可能となる。
【０００６】
そこで、装置を停止して装置全体を常温に戻してから作業を行なわねばならなかった。装置を停止した後、装置が常温に戻るまでの必要時間は、被冷却物の熱容量によって左右されるが、早いもので１日、長いもので６日程度かかり、その間装置は停止したままで遊休状態である。一方、冷凍機のメンテナンスに要する時間は１台当り３時間程度である。
【０００７】
生産設備等に組込まれて稼働しているＧＭ冷凍機のメンテナンスの場合、長時間生産ラインを停止させることは好ましくない。そこで、メンテナンスの必要のあるＧＭ冷凍機は部品交換作業を行なうことをせずに、第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２を含むＧＭ冷凍機一式をメンテナンス済みのものとそっくり交換することが考えられ、図６に示す構造のものが提案されている。
【０００８】
すなわち、真空容器１の天板１１に、真空容器１内の真空領域と隔絶するための、上方に開口部を有するスリーブ２を設置する。そして、スリーブ２の上方開口部からＧＭ冷凍機Ｒの第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２を挿入し、第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２を真空容器１内の真空領域と隔絶した状態でＧＭ冷凍機Ｒを設置する。
【０００９】
スリーブ２は、下端に第１段冷却フランジＦ１を設けている第１段スリーブ２ａと、第１段冷却フランジＦ１に上端が接続され下端部に第２段冷却フランジＦ２が設けられている第２段スリーブ２ｂとを有する。第１段スリーブ２ａの開口部周縁には真空容器１の天板１１に気密にボルト付けするためのフランジＦ３が溶接されている。前述したように、フランジ４もまた真空容器１の天板１１にボルト付けされる。第１段冷却フランジＦ１には熱シールド容器６の天板部が伝熱可能に取り付けられている。また、第２段冷却フランジＦ２には超電導マグネット等の被冷却材が伝熱的に接触している。
【００１０】
なお、図６において、ＧＭ冷凍機Ｒの第１段コールドヘッドＨ１と第１段冷却フランジＦ１との接触面及び、第２段コールドヘッドＨ２と第２段冷却フランジＦ２との接触面には、これらの接触面の熱接触を高めるため、それぞれ約０．５〜１ｍｍ厚のインジウムシート３ａ、３ｂが挿入されている。以下では、これらの接触面を熱接触界面と呼ぶ。
【００１１】
図６では、スリーブ２はその肉厚を無視して１本の線で描かれており、スリーブ２の内面と第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２の外面との間には熱接触界面を除いてスペースが存在する。熱接触界面は、第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２の延在方向に直角な面である。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のようなスリーブ２を使用することで、装置を常温に戻さずにＧＭ冷凍機一式をそっくり交換することができる。しかしながら、スリーブ２から第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２を含むＧＭ冷凍機一式を引き抜いてそっくり交換する際には、どうしても大気暴露が必要となる。この場合、極低温になっているスリーブ２内に空気が混入してしまい、新たに挿入されるＧＭ冷凍機のコールドヘッドとスリーブ２の熱接触界面に空気などによって形成される氷結膜ができ、熱接触（熱伝導性能）が低下してしまう。
【００１３】
上記のスリーブ２を使用したメンテナンス方法の問題点をあげると、以下の通りである。
【００１４】
▲１▼交換時に空気などの混入を防ぐシールドユニットが必要である。
【００１５】
▲２▼交換はそのシールドユニット内での作業となる。
【００１６】
▲３▼熱接触界面に介在するインジウムシートが急冷却されて硬化し、コールドヘッド接触時の柔軟性が無くなる。
【００１７】
▲４▼交換時にＧＭ冷凍機の第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２が傾いて挿入、固定されると、熱接触界面の接触面積が減少してしまう。
【００１８】
▲５▼交換不良の場合でもやり直しがきかない。
【００１９】
▲６▼交換作業手順が多いことと、作業熟練度が必要である。
【００２０】
そこで、本発明の課題は、冷凍機を組み合わされる装置が極低温状態のままでしかもシールドユニット無しで簡便にメンテナンス作業を行うことができるようにすることにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、被冷却物が収容される真空容器に挿入されて冷却を行う冷凍機であって、モータ駆動部と該モータ駆動部に組み付けられて該モータ駆動部により駆動されるディスプレーサと該ディスプレーサを往復動可能に収容しているシリンダとを含む冷凍機を前記真空容器に装着するための装着構造であり、前記真空容器には、該真空容器内の真空領域と隔絶した状態で前記シリンダを収容するためのスリーブであって該真空容器の壁に近い箇所に開口を持つスリーブを設け、前記シリンダは、その一部が前記スリーブと面接触しており、前記シリンダには、前記スリーブの開口に対応する箇所に、前記ディスプレーサを挿通した状態にて前記モータ駆動部が取り付けられると共に前記スリーブ内の空間を封止すべく前記スリーブ内に挿通される筒状部を持つ第１のフランジを設け、前記筒状部とこれに対向する前記スリーブの内壁との間をＯ−リングでシールするようにし、前記シリンダを残して前記モータ駆動部と前記ディスプレーサとを取り外して新たなディスプレーサと交換可能にしたことを特徴とする。
【００２２】
本装着構造においては、前記スリーブの前記開口部には前記第１のフランジの外周縁部と対向する第２のフランジを設けて、前記第１のフランジと前記第２のフランジとの間をボルトで締め付けするようにし、しかも前記第１のフランジと前記第２のフランジにはそれぞれ、前記筒状部が前記スリーブへ挿入される時に前記シリンダの傾きを規制するためのガイドピンが少なくとも１本設けられていることを特徴とする。
【００２３】
本装着構造においてはまた、前記ボルトは前記第２のフランジを遊嵌状態で貫通しており、該ボルトの頭部と該頭部が対向する前記第２のフランジとの間に、バネ座金を介在させていることを特徴とする。
【００２４】
本発明によればまた、上記に記載の冷凍機の装着構造による冷凍機のメンテナンス方法であって、前記シリンダの一部と前記スリーブとの面接触は、前記シリンダの延在方向に関して直角な面において行われており、前記モータ駆動部を前記第１のフランジから取り外して前記ディスプレーサと共に前記シリンダから引き抜くようにし、かつこの引き抜きの際に、前記第１のフランジと前記第２のフランジとの締め付けを緩めて前記筒状部を数ｍｍ程度引き出すようにすることにより、前記面接触を解除し、新たなモータ駆動部とディスプレーサとの組み合わせ体を前記第１のフランジを通して前記シリンダ内に挿入した後、前記筒状部を元の位置に押し戻して前記シリンダの一部と前記スリーブとを面接触させることを特徴とする冷凍機のメンテナンス方法が提供される。
【００２５】
【発明の実施の形態】
図１を参照して、本発明による冷凍機の装着構造の実施の形態について説明する。本実施の形態はＧＭ冷凍機に適用した場合である。本実施の形態の特徴は、スリーブ２の開口部におけるフランジ２１（第２のフランジ）と、これに対応する箇所の第１段冷却シリンダＣ１の上部開口周縁に設けられたフランジ４１（第１のフランジ）、及びこれらの周辺構造にある。他の部分の構造は、図５、図６で説明したのと実質上同じであり、それゆえ同じ部分には同じ参照番号を付している。
【００２６】
ＧＭ冷凍機は、前に説明したように、被冷却物が収容される真空容器（図示せず）に挿入されて冷却を行うものであり、モータ駆動部Ｍと、モータ駆動部Ｍに組み付けられてモータ駆動部Ｍより駆動されるディスプレーサ（図示せず）と、このディスプレーサを往復動可能に収容しているシリンダとを含む。シリンダは、第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２から成る。
【００２７】
第１段冷却シリンダＣ１の下端部には第１段コールドヘッドＨ１が、第２段冷却シリンダＣ２の下端部には第２段コールドヘッドＨ２がそれぞれ形成されている。第１段冷却シリンダＣ１の上部開口周縁には、モータ駆動部Ｍを取り付けると共に真空容器への取り付け、厳密に言えばフランジ２１を介しての真空容器への取り付けのためのフランジ４１が設けられている。ディスプレーサはフランジ４１の開口を通して第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２内に挿入される。
【００２８】
スリーブ２は、下端に第１段冷却フランジＦ１を設けている第１段スリーブ２ａと、第１段冷却フランジＦ１に上端が接続され下端部に第２段冷却フランジＦ２が設けられている第２段スリーブ２ｂとを有する。第１段スリーブ２ａの開口部周縁には真空容器の天板への取り付けのためのフランジ２１が設けられている。
【００２９】
なお、本形態においても、ＧＭ冷凍機Ｒの第１段コールドヘッドＨ１と第１段冷却フランジＦ１との熱接触界面及び、第２段コールドヘッドＨ２と第２段冷却フランジＦ２との熱接触界面には、これらの接触面の熱接触を高めるため、それぞれ約０．５〜１ｍｍ厚のインジウムシート３ａ、３ｂが設けられている。
【００３０】
本ＧＭ冷凍機Ｒにおいても、第１段コールドヘッドＨ１で７０〜４０Ｋに、第２段コールドヘッドＨ２で２０〜４Ｋまで極低温にすることが可能であり、各段のコールドヘッドにより被冷却物が所定温度まで冷却される。つまり、図６で説明したように、第１段冷却フランジＦ１には真空容器内に配置される熱シールド容器の天板部が伝熱可能に取り付けられ、第２段冷却フランジＦ２には超電導マグネット装置等の被冷却材が伝熱的に接触するようにされる。
【００３１】
図１でも、スリーブ２はその肉厚を無視して１本の線で描かれており、スリーブ２の内面と第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２の外面との間には熱接触界面を除いてスペースが存在する。熱接触界面は、第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２の延在方向に直角な面である。
【００３２】
スリーブ２のフランジ２１に対応する箇所、すなわち第１段冷却シリンダＣ１の上部開口周縁に設けられたフランジ４１は、ディスプレーサを挿通した状態にてモータ駆動部Ｍを取り付けるための環状の板部材４１−１と、この板部材４１−１と共にスリーブ２内の空間を封止すべくスリーブ２の上部に挿通される筒状部４１−２とを有する。板部材４１−１と筒状部４１−２はボルト（図示せず）等により一体化され、これらの接合部にはシール用のＯ−リング４１−３が設けられている。このようにして、第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２は、真空容器内の真空領域と隔絶した状態でスリーブ２に収容される。
【００３３】
なお、筒状部４１−２とこれに対向するスリーブ２の内壁との間をゴム製のＯ−リング４２でシールするようにしている。これは、後で説明されるように、筒状部４１−２はスリーブ２に対して上下動可能にされているため、スリーブ２の内面と筒状部４１−２の外面との間にはわずかな隙間があり、この隙間を通しての封止漏れを防ぐためである。
【００３４】
フランジ４１とフランジ２１との間は、等角度間隔をおいて設けられる複数のボルト４３で、フランジ２１の下側から締め付けするようにしている。なお、後述する理由により、ボルト４３はフランジ２１には遊嵌状態で挿通されている。加えて、フランジ４１とフランジ２１にはそれぞれ、筒状部４１−２がスリーブ２へ挿入される時に第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２の傾きを規制するためのガイドピン４４が少なくとも１本、ここでは９０度の等角度間隔をおいて４本設けられている。ガイドピン４４はフランジ２１に立設され、これに対応する筒状部４１−２及び板部材４１−１に貫通穴が設けられている。
【００３５】
更に、複数のボルト４３のうち、何本かのボルト４３の頭部とこの頭部が対向するフランジ２１との間には、バネ座金４５を介在させている。バネ座金４５は、ボルト４３を介してフランジ４１を図中下側に引き込もうとする付勢力を発生する。つまり、最初の冷却開始時に第１段冷却シリンダＣ１が冷却されることにより、第１段冷却シリンダＣ１は収縮する。これにより、第１段コールドヘッドＨ１が第１段冷却フランジＦ１から離れようとするが、バネ座金４５によって第１段冷却シリンダＣ１が押しさげられることにより、第１段コールドヘッドＨ１と第１段冷却フランジＦ１との間の面接触が維持される。４６は、スリーブ２と第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２との間の空間の真空引きを行うために真空ポンプ等の減圧手段が接続されるコネクタである。
【００３６】
本ＧＭ冷凍機は、メンテナンスの際には、第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２を残し、モータ駆動部Ｍとディスプレーサとを新たなモータ駆動部及びディスプレーサと交換する。
【００３７】
この交換作業を図２〜図４をも参照して説明する。
【００３８】
交換作業に際しては、シリンダ２１とシリンダ４１との間の締め付けを緩め、スリーブ２からＧＭ冷凍機Ｒをすべて引き抜かず（つまり、スリーブ２内を大気に暴露しない）に、Ｏ−リング４２によるシールができる範囲でＧＭ冷凍機Ｒを引き上げる。この引上げ量は数ｍｍ、例えば２〜３ｍｍ程度である。この操作によりＧＭ冷凍機Ｒはスリーブ２から離れ、つまりスリーブ２と第１段、第２段コールドヘッドＨ１、Ｈ２との面接触が無くなり、各熱接触界面における伝熱は行われなくなる。
【００３９】
次に、極低温状態にてＧＭ冷凍機Ｒの第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２はそのまま固定でディスプレーサをモータ駆動部Ｍと共に引き抜き、新たなディスプレーサをモータ駆動部と共に装着する。
【００４０】
図２は、モータ駆動部ＭがディスプレーサＤ１、Ｄ２と共に引き抜かれ、スリーブ２と第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２との面接触、厳密に言えば、第１段スリーブ２ａと第１段コールドヘッドＨ１との間の面接触、及び第２段スリーブ２ｂと第２段コールドヘッドＨ２との間の面接触が解除されている状態を示す。
【００４１】
図２の状態において、新たなモータ駆動部及びディスプレーサを第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２内に装着する前に、抜け殼となっている大気暴露された第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２の内部は低温であるため、氷結膜と霜で覆われている。そこで、図３に示すように、第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２の内部を加熱装置（ドライヤなど）５０を挿入して昇温させ、氷結膜や霜を除去及びクリ−ニングする。昇温温度は約２０〜４０℃で良い。昇温の目的は前述の他に、第１段、第２段コールドヘッドＨ１、Ｈ２の下端面に取り付けられているインジウムシート（図１の３ａ、３ｂ）を軟化させることも含まれる。
【００４２】
いずれにしても、スリーブ２と第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２との間にはＯ−リング４２により封止された真空空間が存在し、スリーブ２と第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２との面接触が遮断されているので、真空容器側の低温により第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２が直接的に冷却されることは無くなる。逆に、大気露出されている第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２を通しての真空容器側への熱侵入も防止できるので、真空容器側の温度上昇も最小限にすることができる。
【００４３】
モータ駆動部及びディスプレーサの交換が済んだら、第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２を数ｍｍ引き上げた状態を元に戻すため、図４に示すように、油圧あるいは機械的に押し付け力を発生する設備６０を使用してＧＭ冷凍機全体を押し下げる。この場合、ガイドピン４４により第１段、第２段冷却シリンダＣ１、Ｃ２の傾きが抑制され、ほぼ元の位置に戻る。また、インジウムシートが軟化されていることから僅かな傾きがあったとしても柔軟に面接触が可能になる。
【００４４】
以上のような作用により、第１段、第２段コールドヘッドＨ１、Ｈ２の伝熱性能は交換前と同等の性能を確保できる。
【００４５】
以上、本発明の実施の形態を、ＧＭ冷凍機の場合について説明したが、本発明が適用される冷凍機は、単結晶引上げ装置に供する超電導磁石装置あるいは他の用途の超電導磁石装置に組み合わされて使用されるのに適している。
【００４６】
【発明の効果】
本発明によれば、以下のような効果が得られる。
【００４７】
１）メンテナンスにて冷凍機を交換した場合の性能劣化が極めて少なく、交換不良が認められた時でもやり直しを行うことができる。
【００４８】
２）交換作業は非常に簡便で短時間で実施できる。
【００４９】
３）メンテナンス費用が安価で済む。
【００５０】
４）メンテナンス作業のもたらす顧客装置の稼動損を最小限にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態をＧＭ冷凍機について示した構造図である。
【図２】図１に示されたＧＭ冷凍機におけるモータ駆動部及びディスプレーサを交換のために取り外した状態を示した図である。
【図３】図２に示されたモータ駆動部及びディスプレーサの取出し後に、冷却シリンダに対して行われる氷結膜や霜の除去作業を説明するための図である。
【図４】図３に示された氷結膜や霜の除去作業の後に、新たなモータ駆動部及びディスプレーサを装着する作業を説明するための図である。
【図５】従来のＧＭ冷凍機の構造を説明するための図である。
【図６】図５のＧＭ冷凍機を真空容器に装着した状態を説明するための図である。
【符号の説明】
Ｃ１、Ｃ２　　第１段、第２段冷却シリンダ
Ｄ１、Ｄ２　　ディスプレーサ
Ｆ１、Ｆ２　　第１段、第２段冷却フランジ
Ｈ１、Ｈ２　　第１段、第２段コールドヘッド
Ｍ　　モータ駆動部
Ｒ　　ＧＭ冷凍機
１　　真空容器
２　　スリーブ
３ａ、３ｂ　　インジウムシート
４、２１、４１、　　フランジ
６　　熱シールド容器
４１−１　　板部材
４１−２　　筒状部
４１−３、４２　　Ｏ−リング
４４　　ガイドピン
４５　　バネ座金
４６　　コネクタ
【図１】
2004053068.tif 000003
【図２】
2004053068.tif 000004
【図３】
2004053068.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2004053068.tif 000008