(57)【要約】【課題】レーザ光ＬＢの出力を下げた状態の下でガスレーザ発振装置１の保守・点検を行う際に、電極外放電の他に、一対の主放電電極５，７間のアーク放電等を検出すると共に、レーザ加工を行う際には、センサ電極２１の電極外放電を誘引する作用を抑制する。【解決手段】前記チャンバーに設けられたセンサ電極２１は、主放電電極５，７に近接した近接位置と主放電電極５，７に離反した離反位置との間で位置調節可能に構成されていること。【選択図】      図１
2004221401.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ加工に用いられ、かつレーザ光を発振状態にして出力するガスレーザ発振装置において、
レーザガスを充填するチャンバーと、
前記チャンバー内に対向して設けられ、レーザガスを放電励起する一対の主放電電極と、
前記一対の主放電電極の間に形成される放電励起空間に対してレーザガスを循環供給するブロアと、
前記チャンバーに設けられ、放電励起によって放出されたレーザ光を共振させる光共振器と、
前記チャンバーに設けられ、前記主放電電極に近接した近接位置と前記主放電電極に離反した離反位置との間で位置調節可能に構成されたセンサ電極と、
前記センサ電極に電気的に接続され、前記センサ電極の電位の変化又は前記センサ電極に流れる電流の変化を検出する検出器と、
を具備してなることを特徴とするガスレーザ発振装置。
【請求項２】
レーザ加工に用いられ、かつレーザ光を発振状態にして出力するガスレーザ発振装置において、
レーザガスを充填するチャンバーと、
前記チャンバー内に対向して設けられ、レーザガスを放電励起する一対の主放電電極と、
前記一対の主放電電極の間に形成される放電励起空間に対してレーザガスを循環供給するブロアと、
前記チャンバーに設けられ、放電励起によって放出されたレーザ光を共振させる光共振器と、
前記チャンバーにおける前記主放電電極に近接した近接位置に設けられた電極支持部材に支持され、取り外し可能なセンサ電極と、
前記センサ電極に電気的に接続され、前記センサ電極の電位の変化又は前記センサ電極に流れる電流の変化を検出する検出器と、
を具備してなることを特徴とするガスレーザ発振装置。
【請求項３】
レーザ加工に用いられ、かつレーザ光を発振状態にして出力するガスレーザ発振装置において、
レーザガスを充填するチャンバーと、
前記チャンバー内に対向して設けられ、レーザガスを放電励起する一対の主放電電極と、
前記一対の主放電電極の間に形成される放電励起空間に対してレーザガスを循環供給するブロアと、
前記チャンバーに設けられ、放電励起によって放出されたレーザ光を共振させる光共振器と、
前記チャンバーにおける前記主放電電極に近接した近接位置に設けられ、絶縁物により覆われたセンサ電極と、
前記センサ電極の電位の変化又は前記センサ電極に流れる電流の変化を検出する検出器と、
前記センサ電極と前記検出器の間に電気的に接続され、前記センサ電極から接地へ電流が流れる接地接続状態・前記センサ電極から接地へ電流が流れない接地遮断状態に切り替えるスイッチ手段と、
を具備してなることを特徴とするガスレーザ発振装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばレーザ加工に用いられ、かつレーザ光を発振状態にして出力するガスレーザ発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本発明に関連する先行技術として、特許文献１に示すガスレーザ発振装置があり、この先行技術について簡単に説明すると、次のようになる。
【０００３】
即ち、ガスレーザ発振装置はレーザガスを充填するチャンバーをベースとして備えており、このチャンバー内にはレーザガスを放電励起する一対の主放電電極が対向して設けられてあって、一対の主放電電極の間には放電励起空間が形成されている。また、前記チャンバー内には前記放電励起空間に対してレーザガスを循環供給するブロアが設けられている。更に、前記チャンバーには、放電励起によって放出されたレーザ光を共振させる光共振器が設けられている。そして、前記チャンバーにはセンサ電極が設けられており、前記センサ電極には前記センサ電極の電位の変化を検出する検出器が電気的に接続されている。
【０００４】
従って、前記ブロアにより前記放電励起空間に対してレーザガスを循環供給しつつ、前記一対の主放電電極によりレーザガスを放電励起して、レーザ光を放出させる。そして、前記光共振器により放出されたレーザ光を共振させる。これによって、レーザ光を発振状態にして出力する。
【０００５】
ここで、前記一対の主放電電極間の外で電極外放電（異常放電の１つ）が生じると、前記検出器によって前記センサ電極の電位の変化を検出する。換言すれば、前記検出器と前記センサ電極によって電極外放電を検出することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記センサ電極は前記検出器と共に電極外放電を検出するのに必要であるものの、前記センサ電極自体が電極外放電を誘引する作用を有し、前記センサ電極によって却って電極外放電が生じる結果になる。そのため、前記一対の主放電電極間で正常な放電を維持できるように、前記一対の主放電電極間の電圧の上限値を通常の上限値よりも下げる必要が生じ、高出力によるレーザ加工を行うことが容易でないという問題がある。
【０００７】
また、同じ理由により、前記センサ電極を前記主放電電極に近接させることができず、レーザ光の出力を下げた状態の下で前記ガスレーザ発振装置の保守、点検（製造過程の点検を含む）を行う際に、前記一対の主放電電極間で生じるアーク放電（異常放電の１つ）等を検出することができないという問題がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明にあっては、レーザ加工に用いられ、かつレーザ光を発振状態にして出力するガスレーザ発振装置において、
レーザガスを充填するチャンバーと、
前記チャンバー内に対向して設けられ、レーザガスを放電励起する一対の主放電電極と、
前記一対の主放電電極の間に形成される放電励起空間に対してレーザガスを循環供給するブロアと、
前記チャンバーに設けられ、放電励起によって放出されたレーザ光を共振させる光共振器と、
前記チャンバーに設けられ、前記主放電電極に近接した近接位置と前記主放電電極に離反した離反位置との間で位置調節可能に構成されたセンサ電極と、
前記センサ電極に電気的に接続され、前記センサ電極の電位の変化又は前記センサ電極に流れる電流の変化を検出する検出器と、
を具備してなることを特徴とする。
【０００９】
請求項１に記載の発明特定事項によると、前記ブロアにより前記放電励起空間に対してレーザガスを循環供給しつつ、前記一対の主放電電極によりレーザガスを放電励起して、レーザ光を放出させる。そして、前記光共振器により放出されたレーザ光を共振させる。これによって、レーザ光を発振状態にして出力することができる。
【００１０】
ここで、レーザ光の出力を下げた状態の下で前記ガスレーザ発振装置の保守・点検を行う際には、前記センサ電極を前記近接位置に位置させておくことにより、前記センサ電極の感度を高くする。これによって、電極外放電等の異常放電が生じると、前記検出器によって前記センサ電極の電位の変化又は前記センサ電極に流れる電流の変化を検出する。換言すれば、前記検出器と前記センサ電極によって異常放電を検出することができる。
【００１１】
また、前記ガスレーザ発振装置を用いてレーザ加工を行う際には、前記センサ電極を前記離反位置に位置させておくことにより、前記センサ電極の感度を低くする。これによって、前記センサ電極の電極外放電を誘引する作用を抑制できる。なお、この場合には、レーザ光の出力レベルの異常等によって異常放電を検出することが望ましい。
【００１２】
請求項２に記載の発明にあっては、レーザ加工に用いられ、かつレーザ光を発振状態にして出力するガスレーザ発振装置において、
レーザガスを充填するチャンバーと、
前記チャンバー内に対向して設けられ、レーザガスを放電励起する一対の主放電電極と、
前記一対の主放電電極の間に形成される放電励起空間に対してレーザガスを循環供給するブロアと、
前記チャンバーに設けられ、放電励起によって放出されたレーザ光を共振させる光共振器と、
前記チャンバーにおける前記主放電電極に近接した近接位置に設けられた電極支持部材に支持され、取り外し可能なセンサ電極と、
前記センサ電極に電気的に接続され、前記センサ電極の電位の変化又は前記センサ電極に流れる電流の変化を検出する検出器と、
を具備してなることを特徴とする。
【００１３】
請求項２に記載の発明特定事項によると、前記ブロアにより前記放電励起空間に対してレーザガスを循環供給しつつ、前記一対の主放電電極によりレーザガスを放電励起して、レーザ光を放出させる。そして、前記光共振器により放出されたレーザ光を共振させる。これによって、レーザ光を発振状態にして出力する。
【００１４】
ここで、前記ガスレーザ発振装置の保守・点検を行う際には、前記センサ電極を前記電極支持部材に支持させておくことにより、前記センサ電極を感度の高い状態で機能させる。これによって、電極外放電等の異常放電が生じると、前記検出器によって前記センサ電極の電位の変化又は前記センサ電極に流れる電流の変化を検出する。換言すれば、前記検出器と前記センサ電極によって異常放電を検出することができる。
【００１５】
また、前記ガスレーザ発振装置を用いてレーザ加工を行う際には、前記センサ電極を前記電極支持部材から取り外すことにより、前記センサ電極の機能を停止する。これによって、前記センサ電極の電極外放電を誘引する作用を解除できる。なお、この場合には、レーザ光の出力レベルの異常等によって異常放電を検出する。
【００１６】
請求項３に記載の発明にあっては、レーザ加工に用いられ、かつレーザ光を発振状態にして出力するガスレーザ発振装置において、
レーザガスを充填するチャンバーと、
前記チャンバー内に対向して設けられ、レーザガスを放電励起する一対の主放電電極と、
前記一対の主放電電極の間に形成される放電励起空間に対してレーザガスを循環供給するブロアと、
前記チャンバーに設けられ、放電励起によって放出されたレーザ光を共振させる光共振器と、
前記チャンバーにおける前記主放電電極に近接した近接位置に設けられ、絶縁物により覆われたセンサ電極と、
前記センサ電極の電位の変化又は前記センサ電極に流れる電流の変化を検出する検出器と、
前記センサ電極と前記検出器の間に電気的に接続され、前記センサ電極から接地へ電流が流れる接地接続状態・前記センサ電極から接地へ電流が流れない接地遮断状態に切り替えるスイッチ手段と、
を具備してなることを特徴とする。
【００１７】
請求項３に記載の発明特定事項によると、前記ブロアにより前記放電励起空間に対してレーザガスを循環供給しつつ、前記一対の主放電電極によりレーザガスを放電励起して、レーザ光を放出させる。そして、前記光共振器により放出されたレーザ光を共振させる。これによって、レーザ光を発振状態にして出力する。
【００１８】
ここで、前記ガスレーザ発振装置の保守・点検を行う際には、前記スイッチ手段により前記接地接続状態に切り替えることにより、前記センサ電極を感度の高い状態で機能させる。これによって、電極外放電等の異常放電が生じると、前記検出器によって前記センサ電極の電位の変化又は前記センサ電極に流れる電流の変化を検出する。換言すれば、前記検出器と前記センサ電極によって異常放電を検出することができる。
【００１９】
また、前記ガスレーザ発振装置を用いてレーザ加工を行う際には、前記スイッチ手段により前記接地遮断状態に切り替えることにより、前記センサ電極の機能を停止させる。これによって、前記センサ電極の電極外放電を誘引する作用を解除できる。なお、この場合には、レーザ光の出力レベルの異常等によって異常放電を検出することが望ましい。
【００２０】
【発明の実施の形態】
第１の発明の実施の形態について図１から図４を参照して説明する。
【００２１】
図１及び図４は、図３におけるＩ−Ｉ線に沿った図であって、図２は、第１の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置の横断面図であって、図３は、第１の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置の縦断面図である。
【００２２】
図１から図３に示すように、第１の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置１は、レーザ加工に用いられ、かつレーザ光ＬＢを発振状態にして出力する装置であって、ＣＯ２等のレーザガスを充填するチャンバー３をベースとして備えている。ここで、チャンバー３は適宜に接地されている。
【００２３】
チャンバー３内の上部には一対の主放電電極５，７が上下に対向して設けられており、一対の主放電電極５，７の間には放電励起空間ＥＳが形成されている。一対の主放電電極５，７には交流電源９が電気的に接続されてあって、下側の主放電電極７及び交流電源９の一方の端子は適宜に接地されている。
【００２４】
チャンバー３内における下部には放電励起空間ＥＳに対してレーザガスを循環させるブロア１１が設けられており、チャンバー３内におけるブロア１１の近傍には、放電励起によって高温になったレーザガスを冷却する熱交換器１３が設けられている。
【００２５】
チャンバー３内の上部には、放電励起によって放出されたレーザ光ＬＢを共振させる光共振器１５が設けられており、この光共振器１５は、詳細な構成は省略するが、出力ミラー１７とリアミラー１９を備えている。
【００２６】
チャンバー３には主放電電極５，７に対して略平行な方向へ延びたセンサ電極２１が設けられており、このセンサ電極２１は主放電電極５，７に近接した近接位置と主放電電極５，７に離反した離反位置との間で位置調節可能に構成されている。
【００２７】
即ち、チャンバー３の後部には一対の取付穴３ｈが左右に離隔して形成されてており（図２参照）、各取付穴３ｈには、それぞれ、センサ電極２１の端部を保持する保持アーム２３がＯリング等の真空シール部材２５を介して設けられている。ここで、各保持アーム２３は、それぞれ、絶縁材料からなるものであって、公知の移動調節機構によって前後方向へ移動可能に構成されている。
【００２８】
センサ電極２１には検出器２７が電気的に接続されており、この検出器２７は、センサ電極２１の電位の変化を検出するものであって、インピーダンス２９と電圧計３１を並列的に備えている。ここで、インピーダンス２９の一方の端子及び電圧計３１の一方の端子はそれぞれ適宜に接地されている。
【００２９】
また、図１に示す検出器２７の代わりに、図４に示す検出器３３がセンサ電極２１に電気的に接続されるようにしてもよい。この検出器３３は、センサ電極２１に流れる電流の変化を検出するものであって、抵抗３５と電流計３７を直列的に備えている。ここで、電流計３７の一方の端子は適宜に接地されている。なお、センサ電極２１から保持アーム２３及びチャンバー３を介して交流電源９側へ流れる電流を検出するように構成した場合にあっては、保持アーム２３を導電材料からなるようにする。
【００３０】
前述の発明特定事項に基づいて第１の発明の実施の形態の作用について説明する。
【００３１】
ブロア１１により放電励起空間ＥＳに対してレーザガスを循環供給しつつ、一対の主放電電極５，７によりレーザガスを放電励起して、レーザ光ＬＢを放出させる。そして、放出されたレーザ光ＬＢをリアミラー１９と出力ミラー１７との間で共振させる。これによって、レーザ光ＬＢを発振状態にして出力ミラー１７から出力することができる。なお、放電励起によって高温になったレーザガスは、熱交換器１３により冷却されて、再び放電励起空間ＥＳに循環供給される。
【００３２】
ここで、レーザ光ＬＢの出力を下げた状態の下でガスレーザ発振装置１の保守・点検を行う際には、一対の保持アーム２３を後方向へ移動させて、センサ電極２１を前記近接位置に位置させておくことにより、センサ電極２１の感度を高くする。これによって、電極外放電等の異常放電が生じると、検出器２７（又は３３）によってセンサ電極２１の電位の変化（又はセンサ電極２１に流れる電流の変化）を検出する。換言すれば、検出器２７（又は３３）とセンサ電極２１によって異常放電を検出することができる。
【００３３】
また、ガスレーザ発振装置１を用いてレーザ加工を行う際には、一対の保持アーム２３を前方向へ移動させて、センサ電極２１を前記離反位置に位置させておくことにより、センサ電極２１の感度を低くする。これによって、センサ電極２１の電極外放電を誘引する作用を抑制できる。なお、この場合には、レーザ光ＬＢの出力レベルの異常等によって異常放電を検出することが望ましい。
【００３４】
以上の如き、第１の発明の実施の形態によれば、レーザ光ＬＢの出力を下げた状態の下でガスレーザ発振装置１の保守・点検を行う際には、センサ電極２１を前記近接位置に位置させておくことにより、センサ電極２１の感度を高くできるため、電極外放電の他に、一対の主放電電極５，７間のアーク放電等を検出することができる。
【００３５】
また、レーザ加工を行う際には、センサ電極２１を前記離反位置に位置させておくことにより、センサ電極２１の電極外放電を誘引する作用を抑制できるため、一対の主放電電極５，７間の電圧の上限値を通常の上限値よりも下げる必要がなくなり、高出力によるレーザ加工を容易に行うことができる。
【００３６】
次に、第２の発明の実施の形態について図５を参照して説明する。
【００３７】
図５は、第２の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置の横断面図である。
【００３８】
図５に示すように、第２の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置３９は、詳細は省略するが、第１の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置と同様に、チャンバー３と、一対の主放電電極５，７と、ブロア１１（図１参照）と、熱交換器１３（図１参照）と、光共振器１５（図１参照）、検出器２７（又は検出器３３（図４参照））とを備えている。
【００３９】
そして、チャンバー３内における主放電電極５，７に近接した近接位置には、センサ電極４１を取り外し可能に支持する電極支持部材としてのガラス管４３が設けられており、ガラス管４３は主放電電極５，７に対して略平行な方向へ延びている。また、センサ電極４１には検出器２７（又は３３）が電気的に接続されている。ここで、センサ電極４１をガラス管４３の所定位置に支持させると、センサ電極４１が検出器２７（又は３３）に電気的に接続されるように構成してもよい。
【００４０】
従って、第２の発明の実施の形態の作用にあっても、第１の発明の実施の形態の作用と同様に、レーザ光ＬＢ（図１参照）を発振状態にして光共振器１５における出力ミラー１７（図１参照）から出力する他に、次のような特有の作用を奏する。
【００４１】
即ち、ガスレーザ発振装置３９の保守・点検を行う際には、センサ電極４１をガラス管４３の所定位置に支持させておくことにより、センサ電極４１を感度の高い状態で機能させる。これによって、電極外放電等の異常放電が生じると、検出器２７（又は３３）によってセンサ電極４１の電位の変化（又はセンサ電極４１に流れる電流の変化）を検出する。換言すれば、検出器２７（又は３３）とセンサ電極４１によって異常放電を検出することができる。
【００４２】
また、ガスレーザ発振装置３９を用いてレーザ加工を行う際には、センサ電極４１をガラス管４３から取り外すことにより、センサ電極４１の機能を停止する。これによって、センサ電極４１の電極外放電を誘引する作用を解除できる。なお、この場合には、レーザ光ＬＢの出力レベルの異常等によって異常放電を検出する。
【００４３】
以上の如き、第２の発明の実施の形態によれば、レーザ光ＬＢの出力を下げた状態の下でガスレーザ発振装置３９の保守・点検を行う際には、センサ電極４１をガラス管４３の所定位置に支持させておくことにより、センサ電極４１を感度の高い状態で機能させることができるため、電極外放電の他に、一対の主放電電極５，７間のアーク放電等を検出することができる。
【００４４】
また、レーザ加工を行う際には、センサ電極４１をガラス管４３から取り外すことにより、センサ電極４１の電極外放電を誘引する作用を解除できるため、一対の主放電電極５，７間の電圧の上限値を通常の上限値よりも下げる必要がなくなり、高出力によるレーザ加工を容易に行うことができる。
【００４５】
次に、第３の発明の実施の形態について図６を参照して説明する。
【００４６】
図６は、第３の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置の横断面図である。
【００４７】
図６に示すように、第３の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置４５は、詳細は省略するが、第１及び第２の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置１，３９と同様に、チャンバー３と、一対の主放電電極５，７と、ブロア１１（図１参照）と、熱交換器１３（図１参照）と、光共振器１５（図１参照）、検出器２７（又は検出器３３（図４参照））とを備えている。
【００４８】
そして、チャンバー３における主放電電極５，７に近接した近接位置には、絶縁物４７により覆われたセンサ電極４９が碍子等の絶縁取付部材５１を介して設けられており、センサ電極４９は主放電電極５，７に対して略平行に延びている。ここで、第３の発明の実施の形態にあっては、絶縁物４７はテフロン（登録商標）電線等の電線のシース部であって、センサ電極４９は前記電線の導体部である。
【００４９】
更に、センサ電極４９と検出器２７（又は３３）の間にはスイッチ５３が電気的に接続されており、このスイッチ５３は、センサ電極４９から接地へ電流が流れる接地接続状態・センサ電極４９から接地へ電流が流れない接地遮断状態に切り替えるものである。
【００５０】
従って、第３の発明の実施の形態の作用にあっても、第１の発明の実施の形態の作用と同様に、レーザ光ＬＢ（図１参照）を発振状態にして光共振器１５における出力ミラー１７（図１参照）から出力する他に、次のような特有の作用を奏する。
【００５１】
即ち、ガスレーザ発振装置４５の保守・点検を行う際には、スイッチ５３により前記接地接続状態に切り替えることにより、センサ電極４９を感度の高い状態で機能させる。これによって、電極外放電等の異常放電が生じると、検出器２７（又は３３）によってセンサ電極４９の電位の変化（又は前記センサ電極４９に流れる電流の変化）を検出する。換言すれば、検出器２７（又は３３）とセンサ電極４９によって異常放電を検出することができる。
【００５２】
また、ガスレーザ発振装置４５を用いてレーザ加工を行う際には、スイッチ５３により前記接地遮断状態に切り替えることにより、センサ電極４９の機能を停止させる。これによって、センサ電極４９の電極外放電を誘引する作用を解除できる。なお、この場合には、レーザ光ＬＢの出力レベルの異常等によって異常放電を検出することが望ましい。
【００５３】
以上の如き、第３の発明の実施の形態によれば、レーザ光ＬＢの出力を下げた状態の下でガスレーザ発振装置４５の保守・点検を行う際には、スイッチ５３により前記接地接続状態に切り替えることにより、センサ電極４９を感度の高い状態で機能させることができるため、電極外放電の他に、一対の主放電電極５，７間のアーク放電等を検出することができる。
【００５４】
また、レーザ加工を行う際には、スイッチ５３により前記接地接続状態に切り替えることにより、センサ電極４９の電極外放電を誘引する作用を解除できるため、一対の主放電電極５，７間の電圧の上限値を通常の上限値よりも下げる必要がなくなり、高出力によるレーザ加工を容易に行うことができる。
【００５５】
なお、本発明は、前述の発明の実施の形態の説明に限るものではなく、適宜の変更を行うことにより、その他種々の態様で実施可能である。
【００５６】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、レーザ光の出力を下げた状態の下で前記ガスレーザ発振装置の保守・点検を行う際には、前記センサ電極を前記近接位置に位置させておくことにより、前記センサ電極の感度を高くできるため、電極外放電の他に、前記一対の主放電電極間のアーク放電等を検出することができる。
【００５７】
また、レーザ加工を行う際には、前記センサ電極を前記離反位置に位置させておくことにより、前記センサ電極の電極外放電を誘引する作用を抑制できるため、前記一対の主放電電極間の電圧の上限値を通常の上限値よりも下げる必要がなくなり、高出力によるレーザ加工を容易に行うことができる。
【００５８】
請求項２に記載の発明によれば、レーザ光の出力を下げた状態の下で前記ガスレーザ発振装置の保守・点検を行う際には、前記センサ電極を前記電極支持部材に支持させておくことにより、前記センサ電極を感度の高い状態で機能させることができるため、電極外放電の他に、前記一対の主放電電極間のアーク放電等を検出することができる。
【００５９】
また、レーザ加工を行う際には、前記センサ電極を前記電極支持部材から取り外すことにより、前記センサ電極の電極外放電を誘引する作用を解除できるため、前記一対の主放電電極間の電圧の上限値を通常の上限値よりも下げる必要がなくなり、高出力によるレーザ加工を容易に行うことができる。
【００６０】
請求項３に記載の発明によれば、レーザ光の出力を下げた状態の下で前記ガスレーザ発振装置の保守・点検を行う際には、前記スイッチ手段により前記接地接続状態に切り替えることにより、前記センサ電極を感度の高い状態で機能させることができるため、電極外放電の他に、前記一対の主放電電極間のアーク放電等を検出することができる。
【００６１】
また、レーザ加工を行う際には、前記スイッチ手段により前記接地接続状態に切り替えることにより、前記センサ電極の電極外放電を誘引する作用を解除できるため、前記一対の主放電電極間の電圧の上限値を通常の上限値よりも下げる必要がなくなり、高出力によるレーザ加工を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図３におけるＩ−Ｉ線に沿った図であって、第１の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置を示している。
【図２】第１の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置の横断面図である。
【図３】第１の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置の縦断面図である。
【図４】図３におけるＩ−Ｉ線に沿った図であって、別態様の検出器を具備した第１の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置を示している。
【図５】第２の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置の横断面図である。
【図６】第３の発明の実施の形態に係わるガスレーザ発振装置の横断面図である。
【符号の説明】
ＥＳ…放電励起空間
ＬＢ…レーザ光
１…ガスレーザ発振装置
３…チャンバー
５，７…主放電電極
９…交流電源
１１…ブロア
１３…熱交換器
１５…光共振器
２１…センサ電極
２７…検出器
３３…検出器
３９…ガスレーザ発振装置
４１…センサ電極
４３…ガラス管
４５…ガスレーザ発振装置
４７…絶縁物
４９…センサ電極
５１…碍子
５３…スイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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