(57)【要約】【課題】ホーニング加工によりワーク表面に形成される螺旋状痕の形成状況をより正確に監視し、前記形成状況に応じて加工補正条件をより高精度に指示する【解決手段】求められた第１象限の相関係数Ｒ１と第２象限の相関係数Ｒ２のデータを演算手段２８によりＲ１×Ｒ２  と演算し、相関係数積Ｙｆ値を求める（Ｓ５）。パターン作製手段４０は相関係数積Ｙｆ値と抽出数Ｎのデータを受け取るとその関係をプロットする（Ｓ６）。十分なプロットの数を得ることができ、面性状パターンを作製できた場合はその面性状パターンのデータを補正指示手段４２に送る（Ｓ６）。面性状パターンのデータを受け取った補正指示手段４２は、記憶手段４４からその面性状パターンに対応する加工条件補正値を読み出し（Ｓ９）、ホーニング加工装置のＮＣにその加工条件補正値の指示を送る（Ｓ１０）。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホーニング加工によりワーク表面に形成される螺旋状痕の形成状況を監視し、前記形成状況に応じて加工補正条件をホーニング加工装置に指示するホーニング加工補正装置において、
前記螺旋状痕の画像輝度値を取得する画像輝度値取得手段と、
取得された画像輝度値を２次元フーリエ変換して、パワースペクトル群を取得するフーリエ変換手段と、
前記パワースペクトル群のうち第１象限または第３象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から所定の数Ｎのパワースペクトルを抽出する第１の抽出手段と、
前記パワースペクトル群のうち第２象限または第４象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から所定の数Ｎのパワースペクトルを抽出する第２の抽出手段と、
第１の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第１の相関係数を取得する第１の相関係数取得手段と、
第２の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第２の相関係数を取得する第２の相関係数取得手段と、
前記第１の相関係数と前記第２の相関係数との積である相関係数積を求める相関係数積取得手段と、
前記相関係数積に基づいて前記螺旋状痕の形成状況を把握する把握手段と、を有し、
前記形成状況の把握に応じてその後形成される螺旋状痕を改善させるように加工補正条件を求め、前記加工補正条件をホーニング加工装置に指示すること、
を特徴とするホーニング加工補正装置。
【請求項２】
請求項１に記載されるホーニング加工補正装置において、
前記把握手段が、前記相関係数積と抽出されるパワースペクトルの所定の数Ｎとの面性状パターンに基づいて、前記螺旋状痕の形成状況を把握する把握手段であること、
を特徴とするホーニング加工補正装置。
【請求項３】
ホーニング加工によりワーク表面に形成される螺旋状痕の形成状況を監視し、前記形成状況に応じて加工補正条件をホーニング加工装置に指示するホーニング加工補正方法において、
前記螺旋状痕の画像輝度値を取得する画像輝度値取得手段と、
取得された画像輝度値を２次元フーリエ変換して、パワースペクトル群を取得するフーリエ変換手段と、
前記パワースペクトル群のうち第１象限または第３象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から所定の数Ｎのパワースペクトルを抽出する第１の抽出手段と、
前記パワースペクトル群のうち第２象限または第４象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から所定の数Ｎのパワースペクトルを抽出する第２の抽出手段と、
第１の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第１の相関係数を取得する第１の相関係数取得手段と、
第２の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第２の相関係数を取得する第２の相関係数取得手段と、
前記第１の相関係数と前記第２の相関係数との積である相関係数積を求める相関係数積取得手段と、
前記相関係数積に基づいて前記螺旋状痕の形成状況を把握する把握手段と、を有し、
前記形成状況の把握に応じてその後形成される螺旋状痕を改善させるように加工補正条件を求め、前記加工補正条件をホーニング加工装置に指示すること、
を特徴とするホーニング加工補正方法。
【請求項４】
請求項３に記載されるホーニング加工補正方法において、
前記把握手段が、前記相関係数積と抽出されるパワースペクトルの所定の数Ｎとの面性状パターンに基づいて、前記螺旋状痕の形成状況を把握する把握手段であること、
を特徴とするホーニング加工補正方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はホーニング加工補正装置および方法、特にホーニング加工によりワーク表面に形成される螺旋状痕の形成状況を監視し、前記形成状況に応じて加工補正条件をホーニング加工装置に指示するホーニング加工補正装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から螺旋状痕（クロスハッチ）を表面に有するワークにおいて、そのワークの表面の螺旋状痕の形成の良否がワークの表面物性上などで重要となることが知られている。例えば、ホーニング加工によってエンジンボアの内側表面では、螺旋状痕が形成される。螺旋状痕が形成されたエンジンボアにおいては、この螺旋状痕がエンジンボア表面にエンジンオイルのオイル溜まりを作るという作用を奏する。オイル溜まりはエンジンボアとピストンの間の潤滑性を高める性質を持つ。しかし、螺旋状痕の形成状況が悪いとオイル溜まりとしての機能が悪くなる。さらに、螺旋状痕の形成が悪いとエンジン駆動時に燃焼室へエンジンオイルが流出しやすくなり、オイル消費量が大きくなってしまうことにもなる。
【０００３】
図１２は形成された螺旋状痕１０の模式図である。螺旋状痕１０は、右上がりの斜線溝（以下、右斜線溝という）１０ａと左上がりの斜線溝（以下、左斜線溝という）１０ｂとで四角形が形成されている。螺旋状痕１０の形成状況の良否の判断基準の重要なものとして、この四角形の形成状況がある。斜線溝１０ａ同士と左斜線溝１０ｂ同士ともに平行に近いものであり、螺旋状痕１０が平行四辺形に近いマトリックスとして形成されているほど、その形成は良好であると言える。このような螺旋状痕であれば、オイル溜まりとしての機能向上やオイル消費量の抑制等が効果的であることが知られている。
このような観点からホーニング加工の際には、螺旋状痕を形成するマトリックスが平行四辺形にどれほど近いかという形成状況（本願では単に形成状況という）を監視することが重要となる。特開平１０−５８３０４号公報では、エンジンボアのホーニング加工時の螺旋状痕の形成が良好である場合、ホーニング加工の際の切削抵抗値の振幅が一定幅内で収束するという特徴を利用し、その切削抵抗値を間接的に監視する方法が記載されている。
なお、上記以外の従来技術としては、トヨタ技術公開集「エンジンボアのホーニング品質定量評価方法」（トヨタ自動車株式会社発行：発行日２００２年４月２６日：発行番号１３４１１）がある。該公報では、ワーク表面に形成される螺旋状痕の画像輝度値を取得し、取得した画像輝度値を２次元フーリエ変換してパワースペクトル群を求め、その第１象限（または第３象限）のパワースペクトル群の第１の相関係数Ｒ１と第２象限（または第４象限）のパワースペクトル群の相関係数Ｒ２との比である相関係数比（Ｒ１／Ｒ２）に基づいて螺旋状痕の形成状況の良否を判定する方法が記載されている。また、特開平８−１２８９６０号公報には、２次元フーリエ変換を用いて、エンジンボアの螺旋状痕と傷とを区別する方法が記載されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−５８３０４号公報
【特許文献２】
特開平８−１２８９６０号公報
【非特許文献１】
トヨタ技術公開集、発行番号１３４１１、トヨタ自動車株式会社発行
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特開平１０−５８３０４号公報に記載される切削抵抗値により螺旋状痕の形成を判定する方法では、加工条件を管理しているだけである。したがって、螺旋状痕の形成状況を直接監視することはできない。このため、螺旋状痕の形成状況を正確に把握できない場合がある。
【０００６】
また、該公報はホーニング加工工具とワークのホーニング加工面との間に異物（砥石から加工により剥離した砥粒、切り粉等）が混入した場合に切削抵抗値が変化し、形成状況が良好のであるのに良好ではないと判定したり、その逆に、良好ではないのに良好であると判定したりすることがある。
【０００７】
本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、ホーニング加工によりワーク表面に形成される螺旋状痕の形成状況をより正確に監視し、前記形成状況に応じて加工補正条件をホーニング加工装置にに指示することがより高精度にできるホーニング加工補正装置および方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明のホーニング加工補正装置は、ホーニング加工によりワーク表面に形成される螺旋状痕の形成状況を監視し、前記形成状況に応じて加工補正条件をホーニング加工装置に指示するホーニング加工補正装置において、前記螺旋状痕の画像輝度値を取得する画像輝度値取得手段と、取得された画像輝度値を２次元フーリエ変換して、パワースペクトル群を取得するフーリエ変換手段と、前記パワースペクトル群のうち第１象限または第３象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から所定の数Ｎのパワースペクトルを抽出する第１の抽出手段と、前記パワースペクトル群のうち第２象限または第４象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から所定の数Ｎのパワースペクトルを抽出する第２の抽出手段と、第１の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第１の相関係数を取得する第１の相関係数取得手段と、第２の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第２の相関係数を取得する第２の相関係数取得手段と、前記第１の相関係数と前記第２の相関係数との積である相関係数積を求める相関係数積取得手段と、前記相関係数積に基づいて前記螺旋状痕の形成状況を把握する把握手段と、を有し、前記形成状況の把握に応じてその後形成される螺旋状痕を改善させるように加工補正条件を求め、前記加工補正条件をホーニング加工装置に指示する指示することを特徴とする。
【０００９】
上記ホーニング加工補正装置において、前記把握手段が、前記相関係数積と抽出されるパワースペクトルの所定の数Ｎとの面性状パターンに基づいて、前記螺旋状痕の形成状況を把握する把握手段であってもよい。
【００１０】
上記課題を解決するために本発明のホーニング加工補正方法は、ホーニング加工によりワーク表面に形成される螺旋状痕の形成状況を監視し、前記形成状況に応じて加工補正条件をホーニング加工装置に指示するホーニング加工補正方法において、前記螺旋状痕の画像輝度値を取得する画像輝度値取得手段と、取得された画像輝度値を２次元フーリエ変換して、パワースペクトル群を取得するフーリエ変換手段と、前記パワースペクトル群のうち第１象限または第３象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から所定の数Ｎのパワースペクトルを抽出する第１の抽出手段と、前記パワースペクトル群のうち第２象限または第４象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から所定の数Ｎのパワースペクトルを抽出する第２の抽出手段と、第１の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第１の相関係数を取得する第１の相関係数取得手段と、第２の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第２の相関係数を取得する第２の相関係数取得手段と、前記第１の相関係数と前記第２の相関係数との積である相関係数積を求める相関係数積取得手段と、前記相関係数積に基づいて前記螺旋状痕の形成状況を把握する把握手段と、を有し、前記形成状況の把握に応じてその後形成される螺旋状痕を改善させるように加工補正条件を求め、前記加工補正条件をホーニング加工装置に指示することを特徴とする。
【００１１】
上記本発明のホーニング加工補正方法において、前記把握手段が、前記相関係数積と抽出されるパワースペクトルの所定の数Ｎとの面性状パターンに基づいて、前記螺旋状痕の形成状況を把握する把握手段であってもよい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のホーニング加工補正装置を用いて、ホーニング加工によってワークであるエンジンボアの内側表面に形成された螺旋状痕の形成状況を検査し、求めた相関係数積Ｙｆと抽出されるパワースペクトルの所定の数Ｎとの面性状パターンを作製し、前記面性状パターンに基づいて、前記螺旋状痕の形成状況を改善させるように加工補正条件を求め、前記加工補正条件をホーニング加工装置に指示する実施形態について説明する。なお、本発明の実施形態は、本発明の実施に関しての好ましい一例であって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。
【００１３】
図１は本実施形態の加工条件補正装置のブロック図である。画像輝度値取得手段であるＣＣＤカメラ２０は、エンジンボアの内側表面の画像輝度値を取得する。ＣＣＤカメラ２０は、２次元ＦＦＴ手段２２と接続されている。２次元ＦＦＴ手段２２は画像輝度値を２次元ＦＦＴ（高速フーリエ変換）処理して、パワースペクトル群の画像に変換する。２次元ＦＦＴ手段２２は、第１象限のパワースペクトル群のうち、強度が大きいものから所定の数Ｎ（抽出数Ｎ）個を抽出する抽出手段２４ａと第２象限のパワースペクトル群のうち、強度が大きいものから所定の数Ｎを抽出する抽出手段２４ｂとに接続されている。この抽出手段２４ａおよび２４ｂはそれぞれ相関係数Ｒ１取得手段２６ａおよび相関係数Ｒ２取得手段２６ｂに接続されている。相関係数Ｒ１取得手段２６ａおよび相関係数Ｒ２取得手段２６ｂは抽出されたＮ個のパワースペクトルの１次回帰分析を行い相関係数Ｒ１および相関係数Ｒ２をそれぞれ取得する（本願では相関係数の値は絶対値で示す）。相関係数Ｒ１取得手段２６ａおよび相関係数Ｒ２取得手段２６ｂは演算手段２８に接続されている。演算手段２８は相関係数Ｒ１および相関係数Ｒ２の積である相関係数積Ｙｆを求める。演算手段２８は面性状作製手段４０に接続されている。パターン作製手段４０は送られてきた抽出数Ｎと相関係数積Ｙｆのデータから面性状パターン（後述）を作製する。パターン作製手段４０は補正指示手段４２に接続されている。補正指示手段４２は記憶手段４４に接続されている。ここで記憶手段４４には予め様々な面性状のパターンが記憶されており、どの面性状の時にはどのような補正をホーニング加工装置に指示すれば、その後改螺旋状痕の形成状況を改善させることができるかという加工条件補正値も記憶されている。パターン作製手段４０は面性状パターンがデータとして送られてきた場合には、記憶手段４４からその面性状に関しての加工条件補正値を読み出し、ホーニング加工装置に加工条件補正値を与え、その後のホーニング加工を改善させることができる。なお、これら２４〜３２の手段は通常１つのコンピュータにより構成される。
【００１４】
次に、図１のホーニング加工補正装置を用いた本実施形態を図２のフローチャートを用いて説明する。ホーニング加工装置（図示せず）によりホーニング加工を終え、その内側表面に螺旋状痕が形成されたエンジンボアがある。ＣＣＤカメラ２０によりその内側表面の画像輝度値を測定する（Ｓ１）。ここで図３はＣＣＤカメラ２０によって撮像された螺旋状痕の様子を示す模式図である。螺旋状痕１０は、右斜線溝１０ａと左斜線溝１０ｂにより形成されているが、これらの溝は大きいほど画像輝度値が低くなるため、画像輝度値によって溝の大きさがわかる。
【００１５】
ＣＣＤカメラ２０から送られた画像輝度値のデータは２次元ＦＦＴ手段２２によりパワースペクトル群の画像データ（図４）に変換される（Ｓ２）。図４において、パワースペクトルの強度はそれに対応する溝（低輝度値）と溝が形成されていない部分（高輝度値）との画像輝度値の差に対応する。したがって、低輝度値である溝（大きな溝）に対応するパワースペクトルほど画像輝度値の差が大きく、パワースペクトル強度は大きいものとなる。ところで図４では、２次元フーリエ変換の特徴から第１象限（ｉ）と第３象限（ｉｉｉ）に現れるパワースペクトル２０、および第２象限（ｉｉ）と第４象限（ｉｖ）に現れるパワースペクトルは、Ｘ字状となり原点に対して点対称に現れていることがわかる。それぞれどちらかの象限のパワースペクトルを解析すれば本発明では足りることとなるので、以下、第１象限（ｉ）と第２象限（ｉｉ）に現れるパワースペクトルを用いて説明する。
【００１６】
２次元ＦＦＴ手段２２により得られたパワースペクトル群の画像データは抽出手段２４ａおよび２４ｂに送られ、第１象限（ｉ）と第２象限（ｉｉ）に現れるパワースペクトルのうち強度が大きいものから抽出数Ｎだけそれぞれ抽出される（図５では説明の便宜上Ｎは５としている）（Ｓ３）。大きい溝から形成される螺旋状痕の形成状況がオイル溜まりの形成やオイル消費等の螺旋状痕の効果の寄与率として大きなものになるからである。
【００１７】
第１象限（ｉ）と第２象限（ｉｉ）、それぞれ抽出数Ｎだけ抽出されたパワースペクトルのデータを相関係数Ｒ１取得手段２６ａおよび相関係数Ｒ２取得手段２６ｂにより第１象限の相関係数Ｒ１と第２象限の相関係数Ｒ２を求める（Ｓ４）。
【００１８】
求められた第１象限の相関係数Ｒ１と第２象限の相関係数Ｒ２のデータを演算手段２８によりＲ１×Ｒ２  と演算し、相関係数積Ｙｆ値を求める（Ｓ５）。
【００１９】
ここで相関係数Ｒ１と相関係数Ｒ２およびその積である相関係数積Ｙｆについて説明する。図６（ａ）には相関係数Ｒ１が１よりもかなり小さい場合、図６（ｂ）には１に近似している場合の螺旋状痕を形成する右斜線溝１０ａの形成される様子がそれぞれ示される。相関係数Ｒ１の値は１に近いほど形成される右斜線溝１０ｂ（Ｒ２に対する左斜線溝１０ｂも同様）同士は平行に近いものとなる。したがって、第１象限の相関係数Ｒ１と第２象限の相関係数Ｒ２が共に１に近いとき、溝１０ａと溝１０ｂで形成される螺旋状痕１０は平行四辺形となり、優れた形成状況となる（図６（ｃ））。しかし、第１象限の相関係数Ｒ１と第２象限の相関係数Ｒ２の少なくとも一方が１よりもかなり小さい値である場合は図６（ｄ）に示されるように平行四辺形とならずに良好な形成状況とすることができない。したがって、相関係数Ｒ１と相関係数Ｒ２は共に１に近い場合でなければ形成状況は良好であるということはできない。そのため、相関係数Ｒ１と相関係数Ｒ２を一度に判断するパラメータが必要となる。そのパラメータとして相関係数積Ｙｆを求め、Ｙｆが１に近いほど形成状況が良好であると判定することができる。
【００２０】
例えば、図７（ａ）にはＲ１＝０．１０３４、Ｒ２＝０．１０５０である螺旋状痕１０の模式図が、図７（ｂ）にはＲ１＝０．９６４７、Ｒ２＝０．９９８５でとなる螺旋状痕１０の模式図が示される。相関係数積Ｙｆ（Ｙｆ＝Ｒ１×Ｒ２）を求めると、図７（ａ）でＲ１×Ｒ２＝０．０１０９であり、図７（ｂ）でＲ１×Ｒ２＝０．９６３３となり、図７（ａ）は図７（ｂ）と比較して著しく形成状況が悪いと判定することができる。したがって相関係数積Ｙｆを求めるとその値に応じて形成状況を判定することが可能となる。
【００２１】
パターン作製手段４０は相関係数積Ｙｆ値と抽出数Ｎのデータを受け取るとその関係をプロットする（Ｓ６）。後述の面性状パターンを作製するのに十分なプロットがされていない場合には（Ｓ７）、抽出数Ｎを変化させて（Ｓ８）、新たな抽出数Ｎで新たな相関係数積Ｙｆを求め続ける。十分なプロットの数を得ることができ、面性状パターンを作製できた場合はその面性状パターンのデータを補正指示手段４２に送る（Ｓ７）。面性状パターンのデータを受け取った補正指示手段４２は、記憶手段４４からその面性状パターンに対応する加工条件補正値を読み出し（Ｓ９）、ホーニング加工装置のＮＣ（Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）にその加工条件補正値の指示を送る（Ｓ１０）。ホーニング加工装置のＮＣは加工条件補正値の指示を受けた場合、その指示に従ってホーニング加工する。このようにすることで螺旋状痕の形成状況を改善することができる。
【００２２】
ここで面性状パターンについて説明する。面性状パターンは上述の通り、抽出数Ｎを変化させ対応する相関係数積Ｙｆをプロットすることで得られる。本願では、その面性状パターンにより螺旋状痕の形成状況を判断できることを見出すことができた。図８〜図１１は面性状パターンの一例を示したものである。図８は溝がかなり大きいものでの形成状況はよいが、それ以外の溝での形成状況が悪い場合、図９は溝の大きさに係わらず形成状況が良い（良いと判断されるＹｆの下限値である）場合、図１０は溝がかなり大きいものでの形成状況は悪いが、それ以外の溝での形成状況は良い場合（図８の逆パターン）、そして図１１は、すべての溝での形成状況が理想的である場合の面性状パターンである。このように面性状パターンは螺旋状痕の形成状況を示すパラメータとなる。
【００２３】
図８〜１０を参照すると、相関係数積Ｙｆは抽出数Ｎに応じて変化することがあることがわかる。これは、抽出数Ｎが小さい場合にはパワースペクトル強度が大きい（溝が大きい）もののみを対象とするが、抽出数Ｎが増大するにつれて徐々にパワースペクトル強度が小さい（溝が浅い）ものまで勘案することになるからである。ここで、より好ましくは抽出数Ｎは３０〜５０である。抽出数Ｎが増大するとパワースペクトル強度が小さい斜線溝もＹｆ値に加味されることになる。しかし、パワースペクトル強度が小さい溝は微細な溝である。したがってそのような微細な溝ではオイル溜まりの形成やオイル消費の抑制等といった効果に対する寄与率は小さく、無視できることが多い。そのような微細な溝を必要以上に考慮することは実情に照らしてもＹｆ値による判定精度を低下させてしまうおそれがあり、好ましくない場合がありうる。
【００２４】
図８〜１０を参照すると、特に抽出数Ｎが３０以下において、その螺旋状痕の形成状況に応じて特有な面性状パターンを観察できることがわかる。したがって様々な形成状況の螺旋状痕の面性状パターンを十分に収集しておき、さらに、各面性状パターンについて、そのホーニング加工装置を用いることで理想的な面性状パターンである図１１とするにはどのような加工補正条件を与えればよいかを求めておけば、ある面性状パターンが得られたときにどのような加工補正条件をホーニング加工装置に与えれば、その後の螺旋状痕の形成状況を改善できるのかが直ちにわかることとなる。
【００２５】
以上説明した面性状パターンを用いると、従来に比べ螺旋状痕の形成状況をより確実に把握することが可能となる。したがって、従来からの目視での判定結果とその一致をさせることもより確実となる。ただし、本発明においてこの把握する手段は面性状パターンには限られない。相関係数積Ｙｆに基づいて螺旋状痕の形成状況を把握し、その把握に応じてその後形成される螺旋状痕を改善させるように加工補正条件を求め、前記加工補正条件をホーニング加工装置に指示することができる把握手段であれば何であってもよい。
【００２６】
【発明の効果】
本発明の加工条件補正装置および方法を用いることにより、ホーニング加工によりワーク表面に形成される螺旋状痕の形成状況をより正確に監視し、前記形成状況に応じて加工補正条件をホーニング加工装置に対してより高精度に指示することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の表面判定装置を示す図である。
【図２】本実施形態のフローチャートである。
【図３】撮像された螺旋状痕の様子を示す図である。
【図４】パワースペクトル群の画像データを示す図である。
【図５】抽出されたパワースペクトルから相関係数を求める説明図である。
【図６】螺旋状痕と相関係数の関係の説明図である。
【図７】螺旋状痕と相関係数の関係の説明図である。
【図８】面性状パターンの一例を示す図である。
【図９】面性状パターンの一例を示す図である。
【図１０】面性状パターンの一例を示す図である。
【図１１】面性状パターンの一例を示す図である。
【図１２】螺旋状痕の説明図である。
【符号の説明】
１０  螺旋状痕（クロスハッチ）、１０ａ  右斜線溝、１０ｂ  左斜線溝、２０  ＣＣＤカメラ、２２  ２次元ＦＦＴ手段、２４ａ，２４ｂ  抽出手段、２６ａ，２６ｂ  相関係数取得手段、２８  演算手段、４０  パターン作製手段、４２  補正指示手段、４４  記憶手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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