(57)【要約】【課題】放電センサの取付けが、専用の開口や、専用の圧力隔壁並びに専用の弾性体を必要とせずにできるようにする。【解決手段】マグネトロンから発生したマイクロ波をチャンバ８の開口２１を通じてチャンバ８内に導く導波管１９と、マイクロ波が通過すると共にチャンバ８内の放電光が透過する材料から成り、開口２１を気密に閉塞した圧力隔壁２５と、放電を検知する放電センサ３４とを具備し、チャンバ８内を減圧する行程と復圧する行程とを交互に実行しつつ、チャンバ８内にマイクロ波を照射して被解凍物の解凍を行うものにおいて、放電センサ３４をチャンバ８外の、圧力隔壁２５と対向する位置に配設することにより、放電センサ３４によるチャンバ８内の放電光の検知が、導波管１９用の開口２１と圧力隔壁２５を利用してチャンバ８内の減圧の悪影響を受けないようにしつつ、できるようにした。【選択図】　図１
2004111316.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被解凍物を収容するチャンバと、
このチャンバ内を減圧する減圧手段と、
前記チャンバ内を復圧する復圧手段と、
マイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、
このマイクロ波発生器が発生したマイクロ波を前記チャンバに形成した開口を通じてチャンバ内に導く導波管と、
マイクロ波が通過すると共に前記チャンバ内の放電光が透過する材料から成り、チャンバの前記開口を気密に閉塞した圧力隔壁と、
放電を検知する放電センサとを具備し、
前記チャンバ内を減圧する行程とチャンバ内を復圧する行程とを交互に実行しつつ、チャンバ内にマイクロ波を照射して前記被解凍物の解凍を行うものにおいて、
前記放電センサを、前記チャンバ外の前記圧力隔壁と対向する位置に配設したことを特徴とする真空マイクロ波解凍機。
【請求項２】
放電センサを導波管に取付けたことを特徴とする請求項１記載の真空マイクロ波解凍機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、減圧状態でマイクロ波を照射することにより冷凍食品等の被解凍物を解凍する真空マイクロ波解凍機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、真空マイクロ波解凍機においては、被解凍物を収容するチャンバが具えられると共に、そのチャンバ内を減圧する真空ポンプと、チャンバ内を復圧する復圧弁、及びチャンバ内に導波管を通じてマイクロ波を照射するマイクロ波発生器が具えられ、これらによって、チャンバ内を減圧する行程とチャンバ内を復圧する行程とを交互に実行しつつ、チャンバ内にマイクロ波を照射することにより、被解凍物の解凍が行われるようになっている。
【０００３】
このように被解凍物の解凍を行う真空マイクロ波解凍機の長所は、減圧によって被解凍物の表面部分の昇華（固体から気体へ）が促進されることにより、該被解凍物の表面部分の水分（液体）にマイクロ波が及ぶことによる昇温が抑えられ、もって被解凍物の表面部分が昇温し過ぎることなく内部と均一に解凍できる点にある。
【０００４】
しかしながら、このものの場合、減圧状態でマイクロ波が照射されることにより、チャンバ内で放電が発生しやすい。この放電は、被解凍物に発生するものと、チャンバに発生するものとがある。そのうち、特にチャンバに発生した放電は、チャンバに損傷を与えるおそれがある。
【０００５】
そこで、本出願人においては、チャンバの周壁中、例えば後壁に開口を形成し、この開口にチャンバ内の放電光を検知する放電センサを取付け、この放電センサによってチャンバ内での放電の発生が検知されたときに、マイクロ波の照射を停止し、もしくは解凍運転を全面的に停止するものを考え出した。
【０００６】
しかして、このものの場合、チャンバ内を減圧したときには、それ（負圧）による悪影響が放電センサに及ぶことが考えられる。このため、放電センサは、その悪影響が及ぶことのないように取付ける必要がある。
そこで、更に本出願人においては、前記チャンバに形成した開口にチャンバ内の放電光を透過する材料から成る圧力隔壁を弾性体を介して気密に取付けるものを考え出し、出願した（特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特願２００２−１６８５６
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上述のものによれば、チャンバ内の放電光が圧力隔壁を透過して放電センサにより検知される。そして、その圧力隔壁及びこれを気密に取付けた弾性体によって、チャンバ内の減圧の悪影響が放電センサに及ぶことが避けられる。
しかしながら、このものの場合、放電センサの取付けのために、チャンバに専用の開口を形成しなければならず、そして、その開口には専用の圧力隔壁を専用の弾性体を介して気密に取付けなければならない。
【０００９】
本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、従ってその目的は、放電センサの取付けが、専用の開口や、専用の圧力隔壁並びに専用の弾性体等を必要とせずにできる真空マイクロ波解凍機を提供するにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の真空マイクロ波解凍機は、被解凍物を収容するチャンバと、このチャンバ内を減圧する減圧手段と、前記チャンバ内を復圧する復圧手段と、マイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、このマイクロ波発生器が発生したマイクロ波を前記チャンバに形成した開口を通じてチャンバ内に導く導波管と、マイクロ波が通過すると共に前記チャンバ内の放電光が透過する材料から成り、チャンバの前記開口を気密に閉塞した圧力隔壁と、放電を検知する放電センサとを具備し、前記チャンバ内を減圧する行程とチャンバ内を復圧する行程とを交互に実行しつつ、チャンバ内にマイクロ波を照射して前記被解凍物の解凍を行うものにおいて、前記放電センサを、前記チャンバ外の前記圧力隔壁と対向する位置に配設したことを特徴とする（請求項１の発明）。
【００１１】
このものにおいて、チャンバの開口は、マイクロ波発生器から導波管に導かれたマイクロ波をチャンバ内に照射するためのものであり、この開口を気密に閉塞した圧力隔壁は、チャンバ内の減圧の悪影響が導波管内、ひいてはマイクロ波発生器に及ばないようにするためのものであって、いずれも、本来、導波管及びマイクロ波発生器用のものである。
【００１２】
これに対して、放電センサは、チャンバ内に放電が発生したとき、その放電光がチャンバの開口から圧力隔壁を透過して、圧力隔壁と対向する位置にある放電センサに達することにより、チャンバ内における放電を検知する。又、このように機能する放電センサに対して、チャンバの開口を気密に閉塞した圧力隔壁は、チャンバ内の減圧の悪影響が放電センサに及ばないようにする働きをする。
【００１３】
従って、上記構成のものでは、チャンバ内の放電光の検知が、導波管及びマイクロ波発生器用の開口と圧力隔壁を利用してチャンバ内の減圧の悪影響を受けないようにしつつ、できるもので、要するに、放電センサの取付けが、専用の開口や、専用の圧力隔壁並びに専用の弾性体等を必要とせずにできる。
この場合、放電センサは導波管に取付けると良い（請求項２の発明）。
このものでは、放電センサの取付けが導波管を利用してできる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１実施例につき、図１ないし図５を参照して説明する。
まず、図２には、真空マイクロ波解凍機の全体を正面形で示しており、キャビネット１が、下部に機械収納部２を有し、この機械収納部２上方の前面上部に、把手３を有するドア４を有し、その更に上方部に操作部５と表示部６とを有している。
【００１５】
操作部５は、使用者が真空マイクロ波解凍機の運転に係る各種の操作をするためのもので、多数の操作キー５ａを有している。表示部６は、真空マイクロ波解凍機の運転に係る各種の表示をするもので、この場合、デジタル表示をする表示器６ａと、各種の表示ランプ６ｂとを有している。
又、キャビネット１の底部の外下面には複数個のキャスタ７を設けている。
【００１６】
次いで、図３には、上記キャビネット１の内部の上部に配設したチャンバ８を示しており、これは金属製の耐圧容器から成っていて、その内壁はマイクロ波を反射し得る構造となっている。又、このチャンバ８は前面部が開放し、その開放口を上記ドア４が開閉するようになっている。なお、ドア４は、詳しくは図示しないが、裏面の周縁部にパッキンを有しており、閉鎖状態では、このパッキンをチャンバ８の上記開放口の周縁部に圧接させて該開放口を気密に封鎖するようになっている。
【００１７】
チャンバ８の内底部には、ターンテーブル９を設けている。このターンテーブル９は、支軸１０の上端部に着脱可能に取付けており、支軸１０はチャンバ８の底壁を上下に貫通して軸受１１により回転可能に支承され、下端部を減速機付きのモータ１２の出力軸１２ａに接続している。従って、ターンテーブル９は、モータ１２により、支軸１０を介して回転駆動される。
【００１８】
一方、チャンバ８の上方部には、真空圧力センサ１３と、大気開放弁１４、並びに調圧弁１５を設けている。これらは、いずれもチャンバ８内に連通しており、その構造で、真空圧力センサ１３はチャンバ８内の真空圧力を検知する圧力検知手段として機能し、大気開放弁１４はチャンバ８内を大気に開放させる大気開放手段、調圧弁１５はチャンバ８内の真空圧力を調整、特には後述のごとく減圧した該チャンバ８内を復圧させる復圧手段としてそれぞれ機能するようになっている。
【００１９】
チャンバ８の背部には、下部に、逆止弁１６ａを有する減圧管路１６を介して、真空ポンプ１７を接続している。この真空ポンプ１７はチャンバ８内を減圧する減圧手段として機能するもので、モータ１８により駆動されるようになっている。なお、この真空ポンプ１７とモータ１８、及び前記ターンテーブル９駆動用のモータ１２等を前記機械収納部２に収納している。
【００２０】
チャンバ８の背部には又、中央部に導波管１９を接続している。この導波管１９は後方から下方へ屈曲するＬ字形を成すもので、その下端部の前側に、マイクロ波を発生するマイクロ波発生器たるマグネトロン２０を設けている。
【００２１】
ここで、図１は、チャンバ８の背部に対する導波管１９の接続部分を詳細に示している。この図１で明らかなように、チャンバ８の背部の中央部には例えば矩形の開口２１を形成しており、この開口２１は導波管１９の長手方向とは直角の方向の断面形より大きいもので、該開口２１の周縁部の背面に、同じく矩形の取付枠２２を例えばその外周の溶接２３により取付けている。取付枠２２は、チャンバ８側の内周に、内縁が開口２１の周縁とほゞ合致する受け部２２ａを有しており、全体の複数箇所に後方に開放するねじ穴２４を形成している。
【００２２】
取付枠２２の内部には、圧力隔壁２５を挿填している。この圧力隔壁２５は、チャンバ８内の後述する真空圧力に耐え得る大きな機械的強度を有し、且つ、マイクロ波が通過すると共に放電光を透過すべく光透過性の良い無機質材料、例えば耐熱ガラスや、石英ガラス、ほう珪酸ガラス等から成っており、前記チャンバ８の開口２１よりやゝ大きな矩形を成している。
【００２３】
そして又、この圧力隔壁２５の周囲部には、弾性体２６を装着している。この弾性体２６は、例えばシリコンゴムや、テフロンゴム等の、電気絶縁性を有すると共に、柔軟性が高くて密着性の良い材質により形成したもので、その各辺部の断面形はコ字状を成している。この構造で、弾性体２６を、圧力隔壁２５の周囲部の上下面と前面及び背面に確実に密着させており、前記取付枠２２の内部には、圧力隔壁２５をこの弾性体２６と共に挿填している。
【００２４】
しかして、前記チャンバ８の背部に対する導波管１９の接続端部には、外周に、複数の取付孔２７を有する取付板２８を溶接２９によってフランジ状に取付けており、この取付板２８を上記弾性体２６及び取付枠２２の背面に押し当て、その上で、取付孔２７から前記ねじ穴２４へそれぞれボルト３０を螺挿して締め付けている。
【００２５】
この結果、取付板２８が取付枠２２に取付けられると共に、取付板２８と取付枠２２の前記受け部２２ａとにより弾性体２６が狭圧されて圧力隔壁２５が固定され、かくして、チャンバ８の開口２１を圧力隔壁２５と弾性体２６とで気密に閉塞し（減圧領域であるチャンバ８内に対して、導波管１９内を隔絶して非減圧領域とし）、しかも、それを、チャンバ８に対する導波管１９の取付けと併せて行うようにしている。
【００２６】
以上に対して、３１は放電センサユニットを示している。この放電センサユニット３１はケース３２を外殻としている。このケース３２はアルミニウムや鉄等の導電性材料から成っており、導電性部材である。又、このケース３２は、この場合、下面部が開放した直方体状を成しており、その他の面部、この場合、対向する前面部と後面部とにそれぞれ内部冷却のための例えば直径が３〔ｍｍ〕程度の通気孔３３を多数ずつ有している。
【００２７】
ケース３２内には、放電センサ３４と、トランス３５、及びランプ３６等を実装した１枚の回路基板３７を収納して、複数のスペーサ３８を介し、複数のねじ３９によって取付けている。このうち、放電センサ３４は、チャンバ８内の放電を検知する放電検知手段たるものであり、この場合、放電光でもって放電を検知する光センサ、特には放電光の検知がより確実にできる紫外線センサから成っている。ランプ３６は、該放電センサ３４の作動を確認するための光源として、放電センサ３４の近傍に位置している。
【００２８】
スペーサ３８は、プラスチック等の非磁性体から成っており、その長さで、回路基板３７の実装部品のリードの先端がケース３２に接触するのを防ぐ絶縁距離を確保するようになっている。
そして、ケース３２の下面部の周縁部（四辺部）には、フランジ３２ａを折曲形成している。
【００２９】
さて、以上の放電センサユニット３１に対して、導波管１９の、前記圧力隔壁２５と対向する部位（この場合、背部の上部）には、例えば直径が３．５〔ｍｍ〕程度の放電光透過孔である小孔４０を例えばパンチングにより幾つか形成しており、この小孔４０の径は放電光を透過するも、マイクロ波を遮断する大きさとしている。
【００３０】
又、導波管１９の小孔４０よりやゝ下方の部位には、ユニット取付板４１を例えば溶接により取付けており、このユニット取付板４１に上記放電センサユニット３１におけるケース３２のフランジ３２ａを載置して複数のねじ４２により取付け、これによって、放電センサ３４を、チャンバ８外の、前記圧力隔壁２５と対向する位置、この場合、前記ケース３２の通気孔３３及び導波管１９の小孔４０を介して対向する位置に配設し、そして特には、導波管１９に取付けている。
【００３１】
図４には、真空マイクロ波解凍機の運転全般を制御する制御手段たる制御装置４３を示している。この制御装置４３は、マイクロコンピュータ等により構成したもので、前記操作部５から操作入力回路４４を介して操作信号が入力されると共に、放電センサ３４から検知入力回路４５を介して放電検知信号が入力され、更に、真空圧力センサ１３から検知入力回路４６を介して圧力検知信号が入力されると共に、前記ドア４の開閉を検知するように設けたドア開閉センサ４７（詳しくは図示せず）から検知入力回路４８を介して開閉検知信号が入力されるようになっている。
【００３２】
そして、制御装置４３は、それらの入力とＲＯＭ４３ａにあらかじめ記憶した制御プログラムに基づいて、前記表示部６の作動を表示制御回路４９を介して制御すると共に、前記ランプ３６の作動を点灯制御回路５０を介して制御し、更に、前記ターンテーブル駆動用のモータ１２を駆動制御回路５１を介して制御すると共に、前記真空ポンプ駆動用モータ１８を駆動制御回路５２を介して制御し、前記マグネトロン２０を駆動制御回路５３を介して制御し、そして、大気開放弁１４を開閉制御回路５４を介して制御し、調圧弁１５を開閉制御回路５５を介して制御するようになっている。
【００３３】
次に、上記構成のものの作用を述べる。
上記構成のもので、被解凍物を解凍するには、まず、ドア４を開け、チャンバ８内のターンテーブル９上に被解凍物を載置することにより、チャンバ８が被解凍物を収容する状態として、その後にドア４を閉じる。そして、操作部５を操作することにより、解凍運転を開始させる。
【００３４】
すると、制御装置４３は、大気開放弁１４と調圧弁１５とを閉鎖させた状態で、真空ポンプ駆動用モータ１８を作動させることにより、真空ポンプ１７を駆動させ、駆動された真空ポンプ１７は、減圧管路１６を介してチャンバ８内の空気を吸引し、該チャンバ８内の減圧をする。
【００３５】
従って、チャンバ８内の気圧は、図５にＥで示すように、大気圧の約１０１〔ｋＰａ〕（参考値：７６０〔Ｔｏｒｒ〕）から減じられるもので、このチャンバ８内の気圧Ｅが減圧平衡域Ｆに達するまで、真空ポンプ１７を駆動させ続けて、減圧行程を実行する。この減圧行程により、被解凍物の予備解凍が行われる。又、このとき、チャンバ８内の減圧の悪影響が導波管１９内、ひいてはマグネトロン２０及び放電センサ３４に及ぶことは、チャンバ８の開口２１を気密に閉塞した圧力隔壁２５によって避けられる。
【００３６】
なお、減圧平衡域とは、単位時間当たりの減圧量がきわめて小さくなる領域であり、この減圧平衡域における平衡圧力はチャンバ８内の飽和蒸気圧によって上下するが、この減圧平衡域に達したか否かの判断は、制御装置４３が真空圧力センサ１３からの圧力検知信号に基づき演算して行う。
【００３７】
その後、制御装置４３は、真空ポンプ１７を停止させた状態で、調圧弁１５を所定の開度で開放させる。これにより、チャンバ８内の気圧は、図５にＧで示すように、減圧平衡域Ｆから上昇し復されるもので、このチャンバ８内の気圧Ｇが復圧上限値Ｈ｛例えば約６．７〔ｋＰａ〕（参考値：５０〔Ｔｏｒｒ〕）｝に達するまで、調圧弁１５を開放させ続けて、復圧行程を実行する。
【００３８】
又、この復圧行程におけるチャンバ８内の気圧Ｇが一般的に真空放電を起こさない下限値Ｐ１　（例えば約１．３〔ｋＰａ〕（参考値：１０〔Ｔｏｒｒ〕）を越えた後のＩ点からは、マグネトロン２０にマイクロ波を発生させる。この発生されたマイクロ波は、導波管１９に導かれて前記圧力隔壁２５を通過し、開口２１からチャンバ８内に照射される。
上記復圧上限値Ｈに達したか否かの判断も、制御装置４３が真空圧力センサ１３からの圧力検知信号に基づき演算して行う。
【００３９】
この後、制御装置４３は、調圧弁１５を閉鎖させた状態で、再び真空ポンプ駆動用モータ１８を作動させることにより、真空ポンプ１７を駆動させて、減圧行程を実行する。そして、それにより、チャンバ８内の気圧Ｅ´が上述の一般的に真空放電を起こさない下限値Ｐ１　に達する手前のＪ点に達するまで、上記マグネトロン２０からチャンバ８内へのマイクロ波の照射を継続することにより、被解凍物を加熱する。
【００４０】
更にその後、制御装置４３は、チャンバ８内の気圧Ｅ´が減圧平衡域Ｆ´に達した後、上述同様の復圧行程、減圧行程を、上述同様のマイクロ波の照射を伴って繰り返し実行する。すると、被解凍物の温度が上昇するのに伴い、チャンバ８内の飽和蒸気圧が上昇するので、減圧平衡域Ｆ、Ｆ´…における減圧値は漸次上昇し、この減圧平衡域Ｆ、Ｆ´…の減圧値が所定の値に達したと判断されたときに、大気開放弁１４を開放させて解凍運転を終了する。
【００４１】
このように、本構成のものでは、減圧状態で（チャンバ８内の気圧が復圧上限値Ｈ未満の状態にあるとき）マイクロ波を照射することにより被解凍物の解凍を行うもので、その解凍中、チャンバ８内に放電が発生すれば、その放電光が、チャンバ８の開口２１から圧力隔壁２５を透過し、更に導波管１９の小孔４０及び放電センサユニット３１におけるケース３２の通気孔３３を透過して、圧力隔壁２５と対向する位置にある放電センサ３４に達する。これにより、放電センサ３４はチャンバ８内における放電を検知し、放電検知信号を出力する。よって、それに基づき、制御装置４３は、マイクロ波の照射を停止し、もしくは解凍運転を全面的に停止する。
【００４２】
又、このように機能する放電センサ３４に対して、チャンバ８の開口２１を弾性体２６によって気密に閉塞した圧力隔壁２５は、前述のように、チャンバ８内の減圧の悪影響が放電センサ３４に及ばないようにする働きをする。
【００４３】
ここで又、上記チャンバ８の開口２１は、本来、マグネトロン２０から導波管１９に導かれたマイクロ波をチャンバ８内に照射するためのものであり、この開口２１を弾性体２６によって気密に閉塞した圧力隔壁２５は、チャンバ８内の減圧の悪影響が導波管１９内及びマグネトロン２０に及ばないようにするためのものであって、いずれも、本来、導波管１９及びマグネトロン２０用のものである。
【００４４】
従って、本構成のものでは、チャンバ８内の放電光の検知が、導波管１９及びマグネトロン２０用の開口２１と圧力隔壁２５並びに弾性体２６を利用してチャンバ８内の減圧の悪影響を受けないようにしつつ、できるもので、要するに、放電センサ３４の取付けが、専用の開口や、専用の圧力隔壁並びに専用の弾性体を必要とせずにできる。これにより、開口の形成作業や、圧力隔壁並びに弾性体の取付作業を余計に要せず、使用部品点数も少なく留め得るもので、コスト安にできる。
【００４５】
又、その場合、放電センサ３４（放電センサユニット３１）は導波管１９以外のもの、例えばキャビネット１の内面から延設した取付板等に取付けるようにしても良いが、上記構成のものでは導波管１９に取付けている。これにより、放電センサ３４の取付けが導波管１９を利用してできる長所をも有している。
【００４６】
以上に対して、図６は本発明の第２実施例を示すもので、上記第１実施例と同一の部分には同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ述べる。
このものの場合、放電センサユニット３１を導波管１９の上面に取付けている。詳細には、導波管１９の上面にユニット取付板６１を例えば溶接により取付け、このユニット取付板６１に放電センサユニット３１における前述のケース３２のフランジ３２ａを載置して複数のねじ６２により取付けている。
【００４７】
又、この場合、導波管１９の取付板２８には、上部に孔６３を形成している。この孔６３は上記放電センサユニット３１におけるケース３２の通気孔３３の一つ一つよりも充分に大きなものであり、チャンバ８内の放電光を圧力隔壁２５を介して透過する放電光透過孔として機能するようになっている（孔６３を透過した放電光は、更にケース３２の通気孔３３を透過して放電センサ３４に達する）。
【００４８】
かくして又、放電センサ３４は、放電センサユニット３１におけるケース３２の通気孔３３及び導波管１９の取付板２８の孔６３を介して圧力隔壁２５と対向するものであり、従って、この場合も、放電センサ３４を、チャンバ８外の、圧力隔壁２５と対向する位置に配設し、そして特には、導波管１９に取付けている。
【００４９】
このようにしたものでも、チャンバ８内の放電光の検知が、導波管１９用の開口２１と圧力隔壁２５並びに弾性体２６を利用してチャンバ８内の減圧の悪影響を受けないようにしつつ、できるもので、更に、放電センサ３４の取付けが導波管１９を利用してできることから、前述同様の作用効果を奏する。
なお、本発明は上記し且つ図面に示した各実施例にのみ限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得る。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の真空マイクロ波解凍機によれば、放電センサの取付けが、専用の開口や、専用の圧力隔壁並びに専用の弾性体等を必要とせずにできて、開口の形成作業や、圧力隔壁並びに弾性体の取付作業を余計に要せず、使用部品点数も少なく留め得ることにより、コスト安にできるという著効を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す主要部分の縦断側面図
【図２】全体の正面図
【図３】内部構成の概略縦断側面図
【図４】電気的構成のブロック図
【図５】解凍運転の説明図
【図６】本発明の第２実施例を示す図１相当図
【符号の説明】
８はチャンバ、１５は調圧弁（復圧手段）、１７は真空ポンプ（減圧手段）、１９は導波管、２０はマグネトロン（マイクロ波発生器）、２１は開口、２５は圧力隔壁、２６は弾性体、３４は放電センサを示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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