(57)【要約】【課題】圧電振動片の振動腕が屈曲振動する際の歪みが大きくなる領域に、振動のためのエネルギーを適切に供給することで、ＣＩ値を抑制することができる圧電振動片と、この圧電振動片をパッケージに収容した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話と電子機器を提供すること。【解決手段】全体が圧電材料により形成され、基部５１と、この基部から平行に延びる複数の振動腕３４，３５とを備え、前記振動腕の主面である表面と裏面にそれぞれ駆動用の電極が形成された圧電振動片３２であって、前記駆動用の電極６３，６４が、前記複数の振動腕の屈曲振動の際の歪みが大きくなる領域に対応して形成されている。【選択図】    図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
全体が圧電材料により形成され、基部と、この基部から平行に延びる複数の振動腕とを備え、前記振動腕の主面である表面と裏面にそれぞれ駆動用の電極が形成された圧電振動片であって、
前記駆動用の電極が、前記複数の振動腕の屈曲振動の際の歪みが大きくなる領域に対応して形成されている
ことを特徴とする、圧電振動片。
【請求項２】
前記複数の振動腕の間となる股部に近接して、この股部を回り込むように、前記基部の領域まで前記駆動用の電極を形成したことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記駆動用の電極は、前記振動腕の主面に形成された表面電極および裏面電極と、この表面および裏面電極と対となるように前記振動腕の側面に形成された側面電極とを備えており、前記表面および裏面電極が基部の領域まで延長されて形成された基部駆動電極と、前記股部の側面電極との間隔が、前記振動腕に形成された表面または裏面電極と側面電極との間隔に近似する程度に狭く設定されていることを特徴とする請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記複数の振動腕の表面および裏面に、長さ方向に延びる溝部が形成されており、前記駆動用の電極である表面電極および裏面電極が、各溝部の内側に形成されていることを特徴とする請求項２または３のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項５】
ケースまたはパッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、
前記圧電振動片が、
全体が圧電材料により形成され、基部と、この基部から平行に延びる複数の振動腕とを備え、前記振動腕の主面である表面と裏面にそれぞれ駆動用の電極が形成されており、
前記駆動用の電極が、前記複数の振動腕の屈曲振動の際の歪みが大きくなる領域に対応して形成されている
ことを特徴とする、圧電デバイス。
【請求項６】
パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、
前記圧電振動片が、
全体が圧電材料により形成され、基部と、この基部から平行に延びる複数の振動腕とを備え、前記振動腕の主面である表面と裏面にそれぞれ駆動用の電極が形成されており、
前記駆動用の電極が、前記複数の振動腕の屈曲振動の際の歪みが大きくなる領域に対応して形成されている圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにしたことを特徴とする、携帯電話装置。
【請求項７】
パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した電子機器であって、
前記圧電振動片が、
全体が圧電材料により形成され、基部と、この基部から平行に延びる複数の振動腕とを備え、前記振動腕の主面である表面と裏面にそれぞれ駆動用の電極が形成されており、
前記駆動用の電極が、前記複数の振動腕の屈曲振動の際の歪みが大きくなる領域に対応して形成されている圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにしたことを特徴とする、電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動片と、この圧電振動片をパッケージに収容した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話と電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器において、パッケージ内に圧電振動片を収容した水晶振動子や水晶発振器等の圧電デバイスが広く使用されている。
図８は、このような圧電デバイスに使用される圧電振動片の公知の構成例を示す概略平面図である（特許文献１参照）。
【０００３】
図において、圧電振動片１は、例えば水晶の単結晶からなる水晶ウエハからエッチングにより図示するような音叉型に加工されて形成されている。
すなわち、圧電振動片１は、基部５と、この基部５から平行に延びる一対の振動腕６，７を備える音叉型水晶片で構成されている。
【０００４】
圧電振動片１の基部５は、図示しないパッケージ側の電極部に対して固定されるようになっている。振動腕６，７の主面には、駆動用の励振電極３，４がそれぞれ形成されている。振動腕６，７の主面とは図示された表面と、その裏側となる裏面である。この励振電極３，４は互いに異極となるように対とされた電極である。振動腕６の主面には、励振電極３が形成され、この振動腕６の側面には、励振電極４が形成されている。一方、振動腕７の主面には、励振電極４が形成され、この振動腕７の側面には、励振電極３が形成されている。このような電極配置は圧電振動片１の表裏で同一となっている。
【０００５】
また、基部５の幅方向両端部には、引出し電極３ａ，４ａが形成されている。引出し電極３ａは励振電極３と、引出し電極４ａは励振電極４と、それぞれ細い接続電極３ｂ，４ｂを引き回すことで接続されている。
そして、パッケージ側の電極（図示せず）に対して、各引出し電極３ａ，４ａが、導電性接着剤等により固定されることによって、パッケージ側から各引出し電極３ａ，４ａおよび接続電極３ｂ，４ｂを介して、励振電極３，４に駆動電圧が印加されるようになっている。
これにより、振動腕６，７はその先端側６ａ，７ａを互いに接近、離間させるようにして矢印に示すように屈曲振動する。このような振動に基づく振動周波数を取り出すことにより、制御用のクロック信号等の各種信号に利用されるようになっている。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−２５６８６８
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような構造の圧電振動片１が図８の矢印に示すように屈曲振動すると、基部５の各振動腕６，７の間にあり各振動腕６，７の根元の領域である股部２に大きな歪みが生じる。ところが、このような歪みが分布する領域には、図８の構造から理解されるように、励振電極が配置されていない。
このことから、圧電振動片１は、屈曲振動の際に最も歪む領域に励振のためのエネルギーがほとんど供給されておらず、これが原因となってＣＩ（クリスタルインピーダンス）値が高くなる構造であるという欠点があった。
【０００８】
本発明は、圧電振動片の振動腕が屈曲振動する際の歪みが大きくなる領域に、振動のためのエネルギーを適切に供給することで、ＣＩ値を抑制することができる圧電振動片と、この圧電振動片をパッケージに収容した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話と電子機器を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述の目的は、第１の発明によれば、全体が圧電材料により形成され、基部と、この基部から平行に延びる複数の振動腕とを備え、前記振動腕の主面である表面と裏面にそれぞれ駆動用の電極が形成された圧電振動片であって、前記駆動用の電極が、前記複数の振動腕の屈曲振動の際の歪みが大きくなる領域に対応して形成されている、圧電振動片により、達成される。
第１の発明の構成によれば、圧電振動片の複数の振動腕が屈曲振動する際に歪みが大きくなる領域に対応して駆動用の電極を形成したので、この歪みの大きくなる領域に振動のためのエネルギーを積極的に供給できる。このため、振動腕の屈曲振動をより大きくすることができ、あるいは従来と同様に振動させるためには、少ない駆動電圧で済むことになる。
かくして、本発明によれば、圧電振動片の振動腕が屈曲振動する際の歪みが大きくなる領域に、振動のためのエネルギーを適切に供給することで、ＣＩ値を抑制することができるという効果を発揮することができる。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記複数の振動腕の間となる股部に近接して、この股部を回り込むように、前記基部の領域まで前記駆動用の電極を形成したことを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、前記複数の振動腕の間となる股部は、振動腕が屈曲振動する際の歪みが大きくなる領域であり、特に、従来、駆動電極が形成されることがなかった基部の領域において、前記股部に近接させて駆動用の電極を形成することで、従来利用されていなかった領域を利用しつつ、歪みの大きくなる領域に効率良く振動のためのエネルギーを供給することが可能となる。
【００１１】
第３の発明は、第２の発明の構成において、前記駆動用の電極は、前記振動腕の主面に形成された表面電極および裏面電極と、この表面および裏面電極と対となるように前記振動腕の側面に形成された側面電極とを備えており、前記表面および裏面電極が基部の領域まで延長されて形成された基部駆動電極と、前記股部の側面電極との間隔が、前記振動腕に形成された表面または裏面電極と側面電極との間隔に近似する程度に狭く設定されていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、駆動用の表面および裏面電極と、これと対となる側面電極の間隔を狭く設定し、特に、振動腕が屈曲振動する際の歪みが大きくなる領域である前記股部の側面電極に対して、振動腕の電極の間隔と近似するような狭い間隔で、表面および裏面電極を配置するようにしているので、歪みの大きくなる領域に効率良く振動のためのエネルギーを供給するためのきわめて有利な構成を実現できる。
【００１２】
第４の発明は、第２または３のいずれかの発明の構成において、前記複数の振動腕の表面および裏面に、長さ方向に延びる溝部が形成されており、前記駆動用の電極である表面電極および裏面電極が、各溝部の内側に形成されていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、前記駆動用の電極である表面電極および裏面電極が、各溝部の内側に形成されることにより、溝部に形成した電極と対となる側面電極との間が溝の壁部を隔てるだけの近い距離となることで、圧電材料内部に効率的に電界を形成することができる。
【００１３】
また、上述の目的は、第５の発明によれば、ケースまたはパッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、前記圧電振動片が、全体が圧電材料により形成され、基部と、この基部から平行に延びる複数の振動腕とを備え、前記振動腕の主面である表面と裏面にそれぞれ駆動用の電極が形成されており、前記駆動用の電極が、前記複数の振動腕の屈曲振動の際の歪みが大きくなる領域に対応して形成されている、圧電デバイスにより、達成される。
第５の発明の構成によれば、ケースまたはパッケージに収容される圧電振動片に関して、その複数の振動腕が屈曲振動する際に歪みが大きくなる領域に対応して駆動用の電極を形成したので、この歪みの大きくなる領域に振動のためのエネルギーを積極的に供給できる。このため、振動腕の屈曲振動をより大きくすることができ、あるいは従来と同様に振動させるためには、少ない駆動電圧で済むから、ＣＩ値の低い圧電デバイスを実現できる。
【００１４】
また、上述の目的は、第６の発明によれば、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、前記圧電振動片が、全体が圧電材料により形成され、基部と、この基部から平行に延びる複数の振動腕とを備え、前記振動腕の主面である表面と裏面にそれぞれ駆動用の電極が形成されており、前記駆動用の電極が、前記複数の振動腕の屈曲振動の際の歪みが大きくなる領域に対応して形成されている圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした、携帯電話装置により、達成される。
【００１５】
さらにまた、上述の目的は、第７の発明によれば、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した電子機器であって、前記圧電振動片が、全体が圧電材料により形成され、基部と、この基部から平行に延びる複数の振動腕とを備え、前記振動腕の主面である表面と裏面にそれぞれ駆動用の電極が形成されており、前記駆動用の電極が、前記複数の振動腕の屈曲振動の際の歪みが大きくなる領域に対応して形成されている圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした、電子機器により、達成される。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１ないし図３は、本発明の圧電デバイスの実施の形態を示しており、図１はその概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線概略断面図、図３は図１のＢ−Ｂ線切断端面図である。
図１および図２において、圧電デバイス３０は、水晶振動子を構成した例を示しており、この圧電デバイス３０は、パッケージ３６内に圧電振動片３２を収容している。パッケージ３６は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して形成される複数の基板を積層した後、焼結して形成されている。複数の各基板は、その内側に所定の孔を形成することで、積層した場合に内側に所定の内部空間Ｓ２を形成するようにされている。
この内部空間Ｓ２が圧電振動片を収容するための収容空間である。
すなわち、図２に示されているように、この実施形態では、パッケージ３６は、例えば、下から第１の積層基板５２、第２の積層基板５３を重ねて形成されている。
【００１７】
パッケージ３６の内部空間Ｓ２内の図において左端部付近において、内部空間Ｓ２に露出して内側底部を構成する第１の積層基板５２には、例えば、タングステンメタライズ上にニッケルメッキおよび金メッキで形成した電極部３１，３１が設けられている。
この電極部３１，３１は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するものである。この各電極部３１，３１の上に導電性接着剤４３，４３が塗布され、この導電性接着剤４３，４３の上に圧電振動片３２の基部５１が載置されて、導電性接着剤４３，４３が硬化されるようになっている。尚、導電性接着剤４３，４３としては、接合力を発揮する接着剤成分としての合成樹脂剤に、銀製の細粒等の導電性の粒子を含有させたものが使用でき、シリコーン系、エポキシ系またはポリイミド系導電性接着剤等を利用することができる。
【００１８】
パッケージ３６の開放された上端には、ロウ材３３を用いて蓋体３９が接合されることにより、封止されている。蓋体３９は、好ましくは、パッケージ３６に封止固定した後で、図２に示すように、外部からレーザ光Ｌ２を圧電振動片３２の金属被覆部（図示せず）に照射して、質量削減方式により周波数調整を行うために、光を透過する材料，特に、薄板ガラスにより形成されている。
蓋体３９として適するガラス材料としては、例えば、ダウンドロー法により製造される薄板ガラスとして、例えば、硼珪酸ガラスが使用される。
【００１９】
圧電振動片３２は、水晶をエッチングして形成されており、本実施形態の場合、圧電振動片３２は、小型に形成して、必要な性能を得るために、特に図１で示す形状とされている。
すなわち、圧電振動片３２は、図１に示すＸ軸が電気軸、Ｙ’軸が機械軸およびＺ’軸が光軸となるように水晶の単結晶から切り出された水晶ウエハをウエットエッチングして形成されている。圧電振動片３２は、パッケージ３６側と後述するようにして固定される基部５１と、この基部５１を基端として、図において右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕３４，３５を備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片が利用されている。
【００２０】
図１に示すように、圧電振動片３２の各振動腕３４，３５の表面および裏面には、それぞれ長さ方向に延びる溝部５６と溝部５７が設けられている。
図３に示されているように、振動腕３４には、その主面である表面と裏面にそれぞれ溝部５６，５６が設けられており、振動腕３５には、その主面である表面と裏面にそれぞれ溝部５７，５７が設けられている。これらの溝部は、例えば、水晶ウエハをエッチングして圧電振動片３２の外形を形成した後で、振動腕の部分をハーフエッチングすることにより形成することができる。
【００２１】
さらに、図１において、圧電振動片３２の基部５１の幅方向両端付近には、引出し電極５８，５９が形成されている。各引出し電極５８，５９は、圧電振動片３２の基部５１の裏面にも同様に形成されている。
これらの各引出し電極５８，５９は、上述したように図１に示されているパッケージ側の電極部３１，３１と導電性接着剤４３，４３により接続される部分である。そして、各引出し電極５８，５９は、各振動腕３４，３５の溝部５６，５７内等に設けた駆動用の電極である励振電極と接続されている。
【００２２】
すなわち、図１および図３に示すように、各振動腕３４，３５の溝部５６，５７内には、電極が形成されている。具体的には、振動腕３４の溝部５６，５６には、励振電極６３，６３が、振動腕３４の両側面には、これと対となる励振電極６４，６４とが形成されている。一方、振動腕３５の溝部５７，５７には、励振電極６４，６４が、振動腕３５の両側面には、これと対となる励振電極６３，６３とが形成されている（側面電極）。これにより、溝部に形成した電極と対となる側面電極との間が溝の壁部を隔てるだけの近い距離となることで、圧電材料内部に効率的に電界を形成することができる。
【００２３】
ここで、これら電極の構造は、各振動腕３４，３５の主面である表面と裏面、すなわち、図３において上面と下面とで同じ構造である。図３の上面の励振電極６３，６４が表面電極であり、下面の励振電極６３，６４が裏面電極である。
図４に示すように、本実施形態では、駆動用の電極である各励振電極は、各振動腕３４，３５の各溝部５６，５７から、主面に沿って長さ方向に延長されて、圧電振動片３２の基部５１まで引き回されている。この延長された駆動用の電極が、図４の基部駆動電極６３ａ，６４ａである。
【００２４】
特に、各基部駆動電極６３ａ，６４ａは、振動腕３４と振動腕３５との間の股部３８の周囲を回り込むように配置されている。これは次の理由による。
図６は、圧電振動片３２について、振動腕３４，３５が、その各先端３４ａ，３５ａを矢印に示すように接近・離間させるように屈曲振動する場合に、歪みが生じる領域の分布状態をシュミレーションした図であり、符号ａ、ｂ、ｃの順に歪みが大きい方からその領域が示されている。つまり、領域ａが一番歪みが大きく、領域ｃは歪みが最も小さい。
図６によると、股部３８の部分には、最も歪みが大きな領域ａが位置しており、また、振動腕３４，３５の付け根の近傍の箇所にあたる基部５１の振動腕側の先端付近にも、二番目に歪みが大きな領域ｂが分布している。
【００２５】
そこで、図４に示されているように、基部駆動電極６３ａ，６４ａは、その外縁が曲線状の股部３８に近接するように回り込んで形成されるとともに、図６で示す基部５１の領域ｂの箇所を覆うような形状とされている。
さらに、図４のＣ−Ｃ線切断端面図である図５に示すように、基部駆動電極６４ａの外縁と股部３８に位置する側面電極６３との間隔Ｇ１が、図４における振動腕３５の主面に設けた励振電極６４と側面電極６３との間隔Ｇ２とほぼ一致する程度に狭くなるようにされている。この間隔Ｇ２は、例えば１０μｍないし１５μｍ程度である。
これにより、対となる電極が近接して配置されることで、図５に矢印で示すように、効率よく電界が形成される。
尚、図５からも明らかなように、基部駆動電極は圧電振動片の主面である表面および裏面に同様の形状で形成されている。
【００２６】
さらに、基部駆動電極６３ａ，６４ａは、図４に示されているように、それぞれ対応する引出し電極５９，５８に接続されている。そして、図３に示されているように、振動腕３４においては、その主面に形成した励振電極６３と側面電極６４、振動腕３５においては、その主面に形成した励振電極６４と側面電極６３は、各溝部５６，５６，５７，５７の各壁部を構成する水晶材料を挟んで対向するように形成されている。
したがって、圧電振動片３２においては、引出し電極５８，５９を介して印加された駆動電圧の作用で励振電極（側面電極）６３と励振電極（側面電極）６４に挟まれた水晶材料に電界を生じることができ、これにより、効率的に振動腕３５の屈曲振動を生じるようにされている。
【００２７】
本実施形態は以上のように構成されており、図４及び図６で説明したように圧電振動片３２の振動腕３４，３５が屈曲振動する際に歪みが大きくなる領域に対応して基部駆動電極６３ａ，６４ａを設けるようにしたので、この歪みの大きくなる領域に振動のためのエネルギーを積極的に供給できる。このため、振動腕３４，３５の屈曲振動をより大きくすることができ、あるいは従来と同様に振動させるためには、少ない駆動電圧で済むことになる。そして、圧電振動片３２の振動腕３４，３５が屈曲振動する際の歪みが大きくなる領域に、振動のためのエネルギーを適切に供給することで、従来と比較して１５パーセントないし２０パーセント程度ＣＩ値を抑制することができる。
具体的には、従来、３７ｋΩないし４０ｋΩであったＣＩ値が、本実施形態によれば、３０ｋΩないし３２ｋΩになることが、発明者により確認された。
【００２８】
しかも基部駆動電極６３ａ，６４ａは股部３８に近接して、この股部３８を回り込むように、基部５１の領域まで形成されている。このため従来、駆動電極が形成されることがなかった基部５１の領域において、利用されていなかった領域を利用しつつ、歪みの大きくなる領域に効率良く振動のためのエネルギーを供給することが可能となる。
【００２９】
特に、股部３８において、基部駆動電極６３ａの外縁は、図５で説明したように側面電極６３との間隔Ｇ１が、振動腕３５に形成された励振電極６４と側面電極６３との間隔Ｇ２に近似する程度に狭く設定されている。このため、歪みの大きくなる領域に効率良く振動のためのエネルギーを供給するためのきわめて有利な構成を実現できる。
【００３０】
図７は、本発明の上述した実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図である。
図において、送信者の音声を受信するマイクロフォン３０８および受信内容を音声出力とするためのスピーカ３０９を備えており、さらに、送受信信号の変調および復調部に接続された制御部としての集積回路等でなるコントローラ（ＣＰＵ）３０１を備えている。
コントローラ３０１は、送受信信号の変調および復調の他に画像表示部としてのＬＣＤや情報入力のための操作キー等でなる情報の入出力部３０２や、ＲＡＭ，ＲＯＭ等でなる情報記憶手段であるメモリ３０３の制御を行うようになっている。このため、コントローラ３０１には、圧電デバイス３０が取り付けられて、その出力周波数をコントローラ３０１に内蔵された所定の分周回路（図示せず）等により、制御内容に適合したクロック信号として利用するようにされている。このコントローラ３０１に取付けられる圧電デバイス３０は、圧電デバイス３０単体でなくても、圧電デバイス３０と、所定の分周回路等とを組み合わせた発振器であってもよい。
【００３１】
コントローラ３０１は、さらに、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）３０５と接続され、温度補償水晶発振器３０５は、送信部３０７と受信部３０６に接続されている。これにより、コントローラ３０１からの基本クロックが、環境温度が変化した場合に変動しても、温度補償水晶発振器３０５により修正されて、送信部３０７および受信部３０６に与えられるようになっている。
このように、デジタル式携帯電話装置３００のような電子機器に、上述した実施形態に係る圧電デバイス３０を利用することにより、ＣＩ値を抑制することができ信頼性の高いデジタル式携帯電話装置３００を得ることができる。
【００３２】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
また、この発明は、パッケージ内に圧電振動片を収容するものであれば、水晶振動子、水晶発振器等の名称にかかわらず、全ての圧電デバイスに適用することができる。
さらに、上述の実施形態では、パッケージに水晶材料を使用した箱状のものを利用しているが、このような形態に限らず、金属やセラミックのシリンダー状のケースに圧電振動片を収容するもの等、いかなるパッケージやケースを伴うものについても本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の圧電デバイスの実施形態を示す概略平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線概略断面図。
【図３】図１のＢ−Ｂ線切断端面図。
【図４】図１の圧電デバイスに収容される圧電振動片の基部付近を拡大して示す概略平面図。
【図５】図４のＣ−Ｃ線切断端面図。
【図６】図１の圧電振動片の屈曲振動における歪み領域の分布を示す図。
【図７】本発明の実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図。
【図８】従来の圧電振動片を示す図。
【符号の説明】
３０・・・圧電デバイス、３２・・・圧電振動片、３４，３５・・・振動腕、３８・・・股部、５６，５７・・・溝部、６３，６４・・・励振電極（駆動用の電極）、６３ａ，６４ａ・・・基部駆動電極
【図１】
2004336207.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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