(57)【要約】【課題】プローブが細径化でき、製造及び組立工程が簡略化可能で、かつ温度特性の優れた走査型共焦点プローブを提供する。【解決手段】体腔内の生体組織に光源から照射される光束を走査する走査ミラーを有する走査型共焦点プローブであって、光束の光路中に、走査ミラーを実装するための実装基板を有する。そして、その実装基板は、光源から照射される光束を透過する光学材料から構成される。【選択図】      図１
2004154257.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
体腔内の生体組織に光源から照射される光束を走査する走査ミラーを有する走査型共焦点プローブであって、
前記走査型共焦点プローブは、前記光束の光路中に、前記走査ミラーを実装するための実装基板を有し、
前記実装基板は、前記光束を透過する光学材料から構成されること、を特徴とする走査型共焦点プローブ。
【請求項２】
前記走査ミラーには、前記光束を所定の方向に走査する第１の走査ミラーと、
前記第１の走査ミラーと直交する方向に前記光束を走査する第２の走査ミラーと、が含まれ、
前記第１の走査ミラーと前記第２の走査ミラーは、同一の前記実装基板に実装されること、を特徴とする請求項１に記載の走査型共焦点プローブ。
【請求項３】
前記走査型共焦点プローブは、前記光束を前記生体組織に集光する対物光学系を有し、
前記対物光学系と前記実装基板は、同一の材料から構成されること、を特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の走査型共焦点プローブ。
【請求項４】
前記走査型共焦点プローブは、前記生体組織で反射した反射光のうち、前記対物光学系の物体側焦点面からの反射光以外の反射光を除去するよう配設されたピンホールを有し、
前記ピンホールは、前記対物光学系の物体側焦点位置からの光束が入射するシングルモード光ファイバの端面であること、を特徴とする請求項３に記載の走査型共焦点プローブ。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の走査型共焦点プローブと、
生体組織を照射する光源と、
前記走査型共焦点プローブから導光される前記生体組織の反射光に基づいて画像信号を生成する画像信号生成部と、を有すること、を特徴とする走査型共焦点プローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、体腔内の生体組織の断層像を高倍率で観察することができる走査型共焦点プローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、精密診断検査で生体組織の検査を行う際には、その生体組織の内部を検査するため、切断用の鉗子などの処置具を用いてその検査を行う生体組織の一部を切り取り、体外に出して検査を行っていた。そのため、診断時間が長くなり、患者に対して迅速に治療を行うことができなかった。
【０００３】
近年、生体組織の断層像を観察することができる共焦点プローブが広く普及している。この共焦点プローブは、共焦点顕微鏡で利用されているマイクロ機械加工された小型の共焦点用の装置を備えたプローブである。この共焦点用の装置は走査ミラーを備えており、この走査ミラーによってレーザ光を観察対象で走査させ、２次元または３次元の観察画像を得ることができる（例えば、特許文献１または２参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特許第３０３２７２０号公報（第３〜５項、第１〜５図）
【特許文献２】
特許第３０５２１５０号公報（第３、４項、第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述の共焦点用の装置で使用される走査ミラーは、シリコン基板などの半導体材料に実装されている。そしてこの走査ミラーを実装した基板は、筐体の内壁に設けられた基板取付部などによって装置内に取り付けられている。しかしながらこの基板取付部は、光軸に対して走査ミラーより外側に設けられているため、装置が大型化し、プローブ径が太くなり易いという欠点を有している。また、走査方向の異なる各走査ミラーを別々のシリコン基板に実装しているため、製造及び組立工程が複雑化し、コストアップしてしまう問題もある。
【０００６】
また、各光学系に用いられるＢＫ７や合成石英などの光学材料の膨張率とシリコン基板の膨張率とを比較すると、シリコン基板の膨張率は数十倍大きい。このため、共焦点用の装置が受ける温度変化が大きければ大きいほど、この膨張率の差による各光学系と走査ミラーとの位置関係のズレ量が増大してしまい、観察対象を走査するレーザ光の光路が光軸から外れ易くなってしまう。すなわち温度特性が悪いため、プローブ周辺が高温となる条件下で観察を行う場合に、正確な観察画像を得ることが困難となっている。
【０００７】
そこで、本発明は上記の事情に鑑み、プローブが細径化でき、製造及び組立工程が簡略化可能で、かつ温度特性の優れた走査型共焦点プローブを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明の一態様に係る走査型共焦点プローブは、体腔内の生体組織に光源から照射される光束を走査する走査ミラーを有する走査型共焦点プローブであって、光束の光路中に、走査ミラーを実装するための実装基板を有する。そして、その実装基板は、光源から照射される光束を透過する光学材料から構成される。すなわち、走査ミラーを光学材料（例えばＢＫ７、合成石英）から構成された基板に実装することによって、プローブ内に配設された各光学素子と走査ミラーを実装した基板との膨張率の差が減少する。その結果、プローブが受ける温度変化が大きい場合でも、膨張率の差による各光学素子と走査ミラーとの位置関係のズレ量を抑えることが可能であるため、温度特性が向上する。さらに、走査ミラーを実装する基板を光源から照射される光束の光路中に配設することによって、光路として使用するスペースとこの実装基板を配設するスペースとを兼用できるため、プローブの外形状である筐体を小さくすることができ、プローブの細径化を行うことが可能となる。
【０００９】
また、上記走査型共焦点プローブにおいて、走査ミラーには、光源から照射される光束を所定の方向に走査する第１の走査ミラーと、第１の走査ミラーと直交する方向に光束を走査する第２の走査ミラーとが含まれる。そして、各走査ミラーは同一の光学素子基板に実装されている。すなわち、走査ミラーを実装する基板の数を減少することができるため、製造及び組立工程の簡略化を図ることができる。
【００１０】
また、上記走査型共焦点プローブは、光源から照射される光束を生体組織に集光する対物光学系を有し、その対物光学系と実装基板とが同一の材料から構成されている。すなわち、プローブ内に配設された各光学素子と走査ミラーを実装した基板との膨張率の差がなくなるため、温度特性が向上する。
【００１１】
また、上記走査型共焦点プローブは、生体組織で反射した反射光のうち、対物光学系の物体側焦点面からの反射光以外の反射光を除去するよう配設されたピンホールを有する。そしてこのピンホールは、対物光学系の物体側焦点位置からの光束が入射するシングルモード光ファイバの端面であることを特徴とする。すなわち、コア径の小さいシングルモード光ファイバの端面を対物光学系の物体側焦点位置と共役の位置に配設することによって、この光ファイバは、共焦点光学系に用いられるピンホールの機能と共焦点光学系によって得られた観察像をプロセッサなどの外部装置に伝送する機能とを兼ね備えることが可能となる。
【００１２】
また、上記いずれかに記載の走査型共焦点プローブを備えた共焦点内視鏡装置は、生体組織を照射する光源と、走査型共焦点プローブから導光される被検体の反射光に基づいて画像信号を生成する画像信号生成部とから構成されることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の第１の実施形態の走査型共焦点プローブ装置５００の構成を示すブロック図である。走査型共焦点プローブ装置５００は、走査型共焦点プローブ１００と、プロセッサ３００と、モニタ４００から構成される。
【００１４】
操作者は、走査型共焦点プローブ１００を図示しない内視鏡の鉗子チャンネルなどに挿通し、このプローブを介して体腔内の観察像を得ることができる。プローブによって得られた観察像は、プロセッサ３００によって画像処理が施され、モニタ４００に表示される。
【００１５】
プロセッサ３００は、レーザ光源３１０と、カップラ３２０と、受光素子３３０と、ＣＰＵ３４０と、画像処理回路３５０と、操作パネル３６０から構成される。
【００１６】
レーザ光源３１０は、発振波長６３２ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザを発振する。なお、共焦点光学系に使用するレーザ光源は波長が短いほど高い分解能を得ることができる。すなわちレーザ光源３１０は、Ｈｅ−Ｎｅレーザに限定されることなく、例えば短波長のＡｒ＋レーザでもよい。
【００１７】
レーザ光源３１０より発振した光束は、光分岐器であるカップラ３２０を介して、走査型共焦点プローブ１００に導光される。
【００１８】
走査型共焦点プローブ１００は、光ファイバ１１０と、ＧＲＩＮレンズ１２０と、ガラス基板１３０と、マイクロミラー１４０、１５０と、対物レンズ１７０から構成される。
【００１９】
光ファイバ１１０は、単一のモードを伝送するシングルモードファイバである。この光ファイバ１１０は、プロセッサ３００から出力された光束をＧＲＩＮレンズ１２０に向けて伝送する。
【００２０】
ＧＲＩＮレンズ１２０は、屈折率がその媒体の内部で勾配を有する光学材料から成形されたレンズである。光ファイバ１１０から射出した光束は、このＧＲＩＮレンズ１２０に入射し、平行光束となって、ガラス基板１３０に向けて射出される。
【００２１】
ガラス基板１３０は、マイクロミラーを実装するための基板であり、マイクロミラー１４０を実装する実装面１３０ａとマイクロミラー１５０を実装する実装面１３０ｂとを有する。このガラス基板１３０は、光学素子に用いられるＢＫ７や合成石英などの硝材によって成形されており、ＧＲＩＮレンズ１２０から射出された平行光束の光路中に、これらの実装面が光軸に対して４５度傾くように配設されている。なお、マイクロミラー実装面と光軸がなす角度は、４５度に限定することなく、ガラス基板１３０の屈折率、プローブ内のスペースなど、種々の条件によって適宜変更するものである。
【００２２】
ＧＲＩＮレンズ１２０から射出された平行光束は、ガラス基板１３０の実装面１３０ｂに入射し、屈折して、実装面１３０ａに実装されているマイクロミラー１４０に導かれる。
【００２３】
図２は、マイクロミラー１４０、１５０の構成を示す図である。マイクロミラー１４０、１５０は、シリコン板からエッチングによって一体形成されたプレート１６１、トーションバー１６２、及び指示枠１６３を有する。またプレート１６１は、その中央部に反射膜（例えば、アルミニウム、金、誘電体多層膜等）を蒸着して形成したミラー１６４を有する。さらに、プレート１６１、トーションバー１６２、及び指示枠１６３上には、銅薄膜で構成される平面コイル１６５が設けられている。また、永久磁石とヨークから構成されるヨーク部１６６が、トーションバー１６２の長手方向と平行に配設されている。
【００２４】
ヨーク部１６６は、プレート１６１と略平行、かつトーションバー１６２の長手方向と略垂直な方向（図２におけるＸ’方向）の磁界を発生する。図示しない電源から駆動電流が平面コイル１６５に供給されると、トーションバー１６２と平行なプレート１６１の２辺において、フレミングの左手の法則によりＺ’方向で互いに向きの異なる駆動力、すなわちトルクが発生する。なお、このとき発生するトルクは、平面コイル１６５に供給される駆動電流の増大に比例して増大する。
【００２５】
この発生したトルクに応じてプレート１６１は、図中の矢印Ａの方向に揺動する。その際、プレート１６１とトーションバー１６２は一体形成されているため、トーションバー１６２は捻られ、ばね反力を発生する。その結果、このトルクとばね反力とが平衡する角度までプレート１６１は回動する。そして互いの力が平衡する角度にプレート１６１が到達すると、その角度でプレート１６１は停止する。
【００２６】
マイクロミラー１４０とマイクロミラー１５０は、互いのトーションバーが直交するように配設されている。マイクロミラー１４０のプレートが回動すると、レーザ光は被観察部位１０に対してＸ方向に走査され、マイクロミラー１５０のプレートが回動すると、レーザ光は被観察部位１０に対してＹ方向に走査される。なお、ここでいうＸ、Ｙ方向とは、光軸と直交する方向であり、被観察部位１０に対する平面方向を示す。
【００２７】
また、マイクロミラー１４０、１５０は、プレート１６１における平面コイル１６５が設けられた面の反対側に図示しない２つの検出コイルを有する。平面コイル１６５に流される駆動電流には、プレート１６１の変位角検出用の検出電流が重畳して流されている。この検出電流に基づいて、平面コイル１６５とそれぞれの検出コイルとの間の相互インダクタンスによる誘導電圧がそれぞれの検出コイルに発生する。
【００２８】
２つの検出コイルは、平面コイル１６５からそれぞれ等距離に配設されている。すなわち、プレート１６１が水平状態（トルクが発生していない状態）の場合は、誘導電圧の差は０である。しかしながら、プレート１６１が揺動すると、一方の検出コイルは平面コイル１６５と接近し、他方の検出コイルは平面コイル１６５から離れるため、互いの検出コイルに発生する誘導電圧に差が生じる。つまり、この誘導電圧の変化を検出することによって、マイクロミラーの変位角を検出することができる。
【００２９】
マイクロミラー１４０に導かれた平行光束は、実装面１３０ａを射出し、マイクロミラー１４０によって反射され、再び実装面１３０ａに入射し、マイクロミラー１５０に導かれる。そして、マイクロミラー１５０によって反射された平行光束は、実装面１３０ａを射出し、対物レンズ１７０に導かれる。
【００３０】
対物レンズ１７０は、ガラス基板１３０と同一の光学材料、例えばＢＫ７や合成石英などの硝材によって成形されている。実装面１３０ａから射出した平行光束は、この対物レンズ１７０を介して被観察部位１０の表面部または断層部において焦点を結ぶ。
【００３１】
被観察部位１０に射出された光束は、被観察部位１０において反射し、対物レンズ１７０に入射する。そして対物レンズ１７０によって平行光束となり、上述と同様の光路を経て、ＧＲＩＮレンズ１２０に入射する。
【００３２】
光ファイバ１１０は上述したようにシングルモードファイバであるため、そのコア径は３〜９μｍ程度であり（使用波長によって異なる）、非常に小さい。また、この光ファイバ１１０の端面１１０ａは、対物レンズ１７０の物体側焦点位置と共役の位置に配設されている。すなわちＧＲＩＮレンズ１２０に入射した光束のうち、被観察部位１０において焦点を結んだ光束の反射光が、端面１１０ａにおいて焦点を結ぶ。端面１１０ａにおいて焦点を結んだ光束は、光ファイバ１１０に入射し、カップラ３２０を介して受光素子３３０に受光される。
【００３３】
しかしながら、対物レンズ１７０の物体側焦点面からの反射光以外の被観察部位１０の反射光は、端面１１０ａにおいて焦点を結ばず、光ファイバ１１０に入射しないため、プロセッサ３００に伝送されない。つまり、光ファイバ１１０は、対物レンズ１７０の焦点面における被観察部位１０の反射光のみをプロセッサ３００に伝送する。すなわち、本実施形態において光ファイバ１１０の端面１１０ａは、対物レンズ１７０の物体側焦点面からの反射光以外の光を遮断するピンホールの機能と走査型共焦点プローブ１００が有する光学系によって得られた観察像をプロセッサ３００に伝送する機能とを兼ね備えている。
【００３４】
また、ＧＲＩＮレンズ１２０の焦点面にピンホール、すなわち開口絞りが設けられているため、プローブ内の光学系は、テレセントリック光学系となっており、光量の損失が極めて少なくなっている。
【００３５】
受光素子３３０によって受光された光束は、光電変換されて画像信号となり、画像処理回路３５０に出力される。画像処理回路３５０は、この画像信号に所定の画像処理を行い、コンポジットビデオ信号や、ＲＧＢ信号、Ｓビデオ信号など、種々のビデオ信号に変換する。そして、これらのビデオ信号がモニタ４００に出力されると、モニタ上に、走査型共焦点プローブ１００によって生成された対物レンズ１７０の焦点面における被観察部位１０の観察画像が表示される。
【００３６】
操作者は、プロセッサ３００が備える操作パネル３６０を操作することで、走査型共焦点プローブ１００によって得られる画像を選択的に観察することができる。
【００３７】
操作者によって操作パネル３６０に入力された情報は、ＣＰＵ３５０に送信される。ＣＰＵ３５０は、送信された情報に基づき、マイクロミラー１４０とマイクロミラー１５０を駆動させる。マイクロミラー１４０またはマイクロミラー１５０が駆動すると、上述したようにレーザ光は、被観察部位１０に対してＸ方向またはＹ方向（すなわち平面方向）に走査する。そして走査された部位の反射光が観察像としてプロセッサ３００に送信される。
【００３８】
さらに、マイクロミラーの走査角度（すなわち、被観察部位１０において走査されるレーザ光の範囲）を変えることによって、容易にその観察画像の視野を変えることができる。走査角度が小さい場合は小さい領域の観察画像となり、走査角度が大きい場合は大きな領域の観察画像となる。
【００３９】
図３は、本発明の第２の実施形態の走査型共焦点プローブ装置５００ｙの構成を示すブロック図である。なお、走査型共焦点プローブ装置５００ｙにおいて、図１で示す第１の実施形態の走査型共焦点プローブ装置５００と同一の構成には、同一の符号を付してここでの詳細な説明は省略する。走査型共焦点プローブ装置５００ｙは、走査型共焦点プローブ１００ｙと、プロセッサ３００と、モニタ４００から構成される。
【００４０】
この実施形態においては、１つのマイクロミラーを用いて、生体組織の２次元画像を得るように構成されている。すなわち、第１の形態のマイクロミラー１５０を、２軸走査型のマイクロミラー（すなわちＸ方向及びＹ方向に対して同時に動作するもの）１５０ｙに置き換えて構成している。また、このとき、第１の形態のマイクロミラー１４０を、ミラー（例えば、金属単層膜や、誘電体多層膜など）１４０ｙに置き換えて構成する。
【００４１】
レーザ光源３１０から照射された光束は、光ファイバ１１０、ＧＲＩＮレンズ１２０を介し、ガラス基板１３０に入射する。ガラス基板１３０の実装面１３０ａには、ミラー１４０が接着されており、実装面１３０ｂには、マイクロミラー１５０ｙが実装されている。ガラス基板１３０に入射した光束は、ミラー１４０ｙで反射し、マイクロミラー１５０ｙに導かれる。そして、この光束は、マイクロミラー１５０ｙによって、被観察部位１０に対してＸ方向及びＹ方向に走査される。被観察部位１０からの反射光は、第１の実施形態と同様にプロセッサ３００によって画像処理が施され、モニタ４００に被観察部位１０の２次元画像が表示される。なお、第２の実施形態において、実装面１３０ａ側にミラーを接着し、実装面１３０ｂ側にマイクロミラーを実装しているが、実装面１３０ａ側にマイクロミラーを実装し、実装面１３０ｂ側にミラーを接着してもよい。
【００４２】
図４は、本発明の第３の実施形態の走査型共焦点プローブ装置５００ｚの構成を示すブロック図である。なお、走査型共焦点プローブ装置５００ｚにおいて、図１で示す第１の実施形態の走査型共焦点プローブ装置５００と同一の構成には、同一の符号を付してここでの詳細な説明は省略する。走査型共焦点プローブ装置５００ｚは、走査型共焦点プローブ１００ｚと、プロセッサ３００ｚと、モニタ４００から構成される。
【００４３】
プロセッサ３００ｚは、ブリュスター窓を有するレーザ光源３１０ｚを有しており、その近傍には図示しない偏光分離膜が配置されている。このブリュスター窓と偏光分離膜は、レーザ光源３１０ｚから発振される光束が偏光分離膜に対してｓ偏光の光束となるように配置されている。そのため、このレーザ光源３１０ｚから射出する光束は、ｓ偏光を有する光束に変換される。
【００４４】
レーザ光源３１０ｚから射出した光束は、カップラ３２０を介し、走査型共焦点プローブ１００ｚ内の光ファイバ１１０に入射する。そして、光ファイバ１１０から射出した光束は、ＧＲＩＮレンズ１２０によって平行光束となり、偏光ビームスプリッタキューブ１８０に導かれる。
【００４５】
偏光ビームスプリッタキューブ１８０は偏光膜１８１を有し、この偏光膜１８１が光軸に対して４５度の角度を成すように配設されている。この偏光膜１８１は、直線偏光のうちｓ偏光の光束を反射させて、ｐ偏光を透過させる特性を有する。
【００４６】
また、光軸方向と平行な方向に位置する偏光ビームスプリッタキューブ１８０の各面にλ／４波長板１９０とλ／４波長板１９１とがそれぞれ貼り付けられている。λ／４波長板１９０、１９１は、直線偏光の光束を円偏光の光束に変換し、円偏光の光束を直線偏光の光束に変換する。
【００４７】
偏光ビームスプリッタキューブ１８０に導かれたｓ偏光の平行光束は、偏光膜１８１によって９０度折り曲げられ、λ／４波長板１９０に導かれる。そしてこの平行光束は、λ／４波長板１９０を通過し、このλ／４波長板１９０によって円偏光状態の平行光束とされ、マイクロミラー１４０に導かれる。
【００４８】
マイクロミラー１４０に導かれた円偏光の平行光束は、マイクロミラー１４０のミラーによって反射され、再びλ／４波長板１９０を通過し、ｐ偏光状態の平行光束となる。偏光膜１８１は、前述したようにｐ偏光を透過させる特性を有するため、このｐ偏光の平行光束は、偏光膜１８１を透過し、λ／４波長板１９１に導かれる。
【００４９】
λ／４波長板１９１に導かれたｐ偏光の平行光束は、λ／４波長板１９１を通過し、このλ／４波長板１９１によって円偏光状態の平行光束とされ、マイクロミラー１５０に導かれる。そして、この円偏光の平行光束は、マイクロミラー１５０のミラーによって反射され、再びλ／４波長板１９１を通過し、ｓ偏光状態の平行光束となる。
【００５０】
ｓ偏光の平行光束は、偏光膜１８１によって９０度折り曲げられ、対物レンズ１７０に導かれる。そしてこの平行光束は、対物レンズ１７０を介して被観察部位１０の表面部または断層部において焦点を結ぶ。
【００５１】
そして第１の実施形態と同様に、被観察部位１０に射出された光束は、被観察部位１０において反射し、対物レンズ１７０に入射する。そして対物レンズ１７０によって平行光束となり、上述と同様の光路を経て、ＧＲＩＮレンズ１２０に入射し、光ファイバ１１０の端面１１０ａにおいて、対物レンズ１７０の焦点面の反射光のみがプロセッサ３００ｚに伝送される。そして、プロセッサ３００ｚ内で所定の画像処理が行われ、被観察部位１０の焦点の合った部位のみのピンボケやフレアのない画像がモニタ４００において表示される。
【００５２】
なお、第１の実施形態においてλ／４波長板を用いることなく、少ない部品点数で本発明の構成を実現することができるため、この共焦点プローブを低コストに抑えることができる。
【００５３】
また、第３の実施形態において実装基板（偏光ビームスプリッタキューブ１８０）が位置ズレを起こした場合でも、ＧＲＩＮレンズ１２０と対物レンズ１７０との光軸のズレが発生しないため、装置の信頼性が向上する。
【００５４】
以上が本発明の実施形態である。本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく様々な範囲で変形が可能である。
【００５５】
なお、本実施形態において共焦点の光学系によって得られる被観察部位１０の観察画像は、レーザ光をＸＹ方向に走査するマイクロミラーを用いて得られる２次元画像であるが、レーザ光を被観察部位１０の深さ方向に走査するマイクロミラーを追加して３次元画像を得られるよう構成してもよい。
【００５６】
また、本実施形態において被観察部位１０を照射する光源にはＨｅ−Ｎｅレーザを使用しているが、近紫外線を含む短波長の光を照射する超高圧水銀ランプを光源に使用してもよい。この場合、被観察部位１０より発せられる蛍光を観察することが可能となる。
【００５７】
【発明の効果】
以上のように本発明の走査型共焦点プローブ及び走査型共焦点プローブ装置は、光束を透過する光学材料から構成されたマイクロミラーを実装する光学素子基板を有している。そのため、プローブ内に配設された各光学素子とマイクロミラーを実装した基板との膨張率の差が減少する。その結果、プローブが受ける温度変化が大きい場合でも、膨張率の差による各光学素子とマイクロミラーとの位置関係のズレ量を抑えることが可能であるため、温度特性が向上する。
【００５８】
また、この光学素子基板は、光源から照射される光束の光路中に配設されている。そのため、光路として使用するスペースとこの実装基板を配設するスペースとを兼用することが可能となり、省スペース化を図ることができる。その結果、プローブの外形状である筐体を小さくすることができ、プローブの細径化を容易に行うことが可能となる。
【００５９】
また、複数のマイクロミラーを共通の基板に実装することが可能であるため、部品点数の減少や、組立工程数の減少、組立時間の短縮などを図ることが可能となり、コスト削減に繋がる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態の走査型共焦点プローブ装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施形態に用いられるマイクロミラーの構成を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施形態の走査型共焦点プローブ装置の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の第３の実施形態の走査型共焦点プローブ装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１００  走査型共焦点プローブ
３００  プロセッサ
５００  走査型共焦点プローブ装置
【図１】
2004154257.tif 000003
【図２】
2004154257.tif 000004
【図３】
2004154257.tif 000005
【図４】
2004154257.tif 000006