(57)【要約】【課題】装置の視野領域内における被検マークの位置決め地点に拘わらず、基板上の原点に対する被検マークの位置を再現性よく検出する。【解決手段】対象基板を照明する照明手段（１３〜１９）と、対象基板からの反射光に基づく像を撮像して画像信号を出力する撮像手段（１９２４）と、対象基板として反射特性が既知の基準基板を用いたときに撮像手段から取り込んだ第１の画像信号に基づいて、当該装置の固定パターンノイズを測定する測定手段２５と、固定パターンノイズを記憶する記憶手段２６と、対象基板として被検マークが形成された被検基板１１を用いたときに撮像手段から取り込んだ第２の画像信号と記憶手段に記憶された固定パターンノイズとに基づいて、被検マークの位置を算出する算出手段２５とを備える。【選択図】　　　図１
2004022797.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象基板を照明する照明手段と、
前記対象基板からの反射光に基づく像を撮像して画像信号を出力する撮像手段と、
前記対象基板として反射特性が既知の基準基板を用いたときに前記撮像手段から取り込んだ第１の画像信号に基づいて、当該装置の固定パターンノイズを測定する測定手段と、
前記固定パターンノイズを記憶する記憶手段と、
前記対象基板として被検マークが形成された被検基板を用いたときに前記撮像手段から取り込んだ第２の画像信号と前記記憶手段に記憶された前記固定パターンノイズとに基づいて、前記被検マークの位置を算出する算出手段とを備えた
ことを特徴とするマーク位置検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載のマーク位置検出装置において、
前記算出手段は、前記撮像手段から取り込んだ前記第２の画像信号に対して、前記固定パターンノイズによる補正を行い、補正後の画像信号における輝度分布のエッジ情報に基づいて、前記被検マークの位置を算出する
ことを特徴とするマーク位置検出装置。
【請求項３】
対象基板を照明する照明手段と、前記対象基板からの反射光に基づく像を撮像して画像信号を出力する撮像手段と、を備えた装置におけるマーク位置検出方法であって、
前記対象基板として反射特性が既知の基準基板を用いたときに前記撮像手段から第１の画像信号を取り込み、該第１の画像信号に基づいて、前記装置の固定パターンノイズを測定する測定工程と、
前記固定パターンノイズを記憶する記憶工程と、
前記対象基板として被検マークが形成された被検基板を用いたときに前記撮像手段から第２の画像信号を取り込み、該第２の画像信号と記憶された前記固定パターンノイズとに基づいて、前記被検マークの位置を算出する算出工程とを備えた
ことを特徴とするマーク位置検出方法。
【請求項４】
請求項３に記載のマーク位置検出方法において、
前記算出工程では、前記撮像手段から取り込んだ前記第２の画像信号に対して、前記固定パターンノイズによる補正を行い、補正後の画像信号における輝度分布のエッジ情報に基づいて、前記被検マークの位置を算出する
ことを特徴とするマーク位置検出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板上の被検マークの位置を検出するマーク位置検出装置およびマーク位置検出方法に関し、特に、半導体素子などの製造工程における高精度な位置検出に好適なマーク位置検出装置およびマーク位置検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、半導体素子や液晶表示素子の製造工程では、マスク（レチクル）に形成された回路パターンをレジスト膜に焼き付ける露光工程と、レジスト膜の露光部分または未露光部分を溶解する現像工程とを経て、レジスト膜に回路パターン（レジストパターン）が転写され、このレジストパターンをマスクとしてエッチングや蒸着などを行うことにより（加工工程）、レジスト膜の直下に隣接している所定の材料膜に回路パターンが転写される（パターン形成工程）。
【０００３】
次いで、上記所定の材料膜に形成された回路パターンの上に別の回路パターンを形成するには、同様のパターン形成工程が繰り返される。パターン形成工程を何回も繰り返し実行することにより、様々な材料膜の回路パターンが基板（半導体ウエハや液晶基板）の上に積層され、半導体素子や液晶表示素子の回路が形成される。
【０００４】
ところで、上記の製造工程では、様々な材料膜の回路パターンを精度よく重ね合わせるため、各々のパターン形成工程のうち露光工程の前に、マスクと基板とのアライメントを行い、さらに、現像工程の後でかつ加工工程の前に、基板上のレジストパターンの重ね合わせ状態の検査を行い、製品の歩留まり向上を図っている。
【０００５】
ちなみに、マスクと基板とのアライメント（露光工程の前）は、マスク上の回路パターンと、１つ前のパターン形成工程で基板上に形成された回路パターンとのアライメントであり、各々の回路パターンの基準位置を示すアライメントマークを用いて行われる。
また、基板上のレジストパターンの重ね合わせ状態の検査（加工工程の前）は、１つ前のパターン形成工程で形成された回路パターン（以下「下地パターン」という）に対するレジストパターンの重ね合わせ検査であり、下地パターンとレジストパターンの各々の基準位置を示す重ね合わせマークを用いて行われる。
【０００６】
そして、これらのアライメントマークや重ね合わせマーク（総じて「被検マーク」という）の位置検出は、この被検マークを装置の視野領域内に位置決めし、ＣＣＤカメラなどの撮像素子を用いて被検マークの反射像を撮像し、得られた画像信号の輝度分布に基づいて行われる。画像信号の輝度分布とは、撮像素子の撮像面おける各画素ごとの輝度情報からなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来技術では、撮像素子から得られる画像信号の輝度分布に基づいて被検マークの位置検出を行い、さらに重ね合わせ測定値を計測すると、装置の視野領域内における被検マークの位置決め地点によって、位置検出の結果および重ね合わせ測定値の計測結果が変動してしまうという低再現性の問題があった。これは、画像信号に光学系や撮像素子の固定パターンノイズが残存しているためと考えられる。この問題は、近年の被検マークの低段差化に伴って顕著になってきている。被検マークが低段差化すると、画像信号の輝度分布のコントラストが低下し、固定パターンノイズの影響を受けやすいためである。
【０００８】
本発明の目的は、装置の視野領域内における被検マークの位置決め地点に拘わらず、基板上の原点に対する被検マークの位置や重ね合わせ測定値を再現性よく検出できるマーク位置検出装置、およびマーク位置検出方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のマーク位置検出装置は、対象基板を照明する照明手段と、前記対象基板からの反射光に基づく像を撮像して画像信号を出力する撮像手段と、前記対象基板として反射特性が既知の基準基板を用いたときに前記撮像手段から取り込んだ第１の画像信号に基づいて、当該装置の固定パターンノイズを測定する測定手段と、前記固定パターンノイズを記憶する記憶手段と、前記対象基板として被検マークが形成された被検基板を用いたときに前記撮像手段から取り込んだ第２の画像信号と前記記憶手段に記憶された前記固定パターンノイズとに基づいて、前記被検マークの位置を算出する算出手段とを備えたものである。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のマーク位置検出装置において、前記算出手段は、前記撮像手段から取り込んだ前記第２の画像信号に対して、前記固定パターンノイズによる補正を行い、補正後の画像信号における輝度分布のエッジ情報に基づいて、前記被検マークの位置を算出するものである。
請求項３に記載の発明は、対象基板を照明する照明手段と、前記対象基板からの反射光に基づく像を撮像して画像信号を出力する撮像手段と、を備えた装置におけるマーク位置検出方法であって、前記対象基板として反射特性が既知の基準基板を用いたときに前記撮像手段から第１の画像信号を取り込み、該第１の画像信号に基づいて、前記装置の固定パターンノイズを測定する測定工程と、前記固定パターンノイズを記憶する記憶工程と、前記対象基板として被検マークが形成された被検基板を用いたときに前記撮像手段から第２の画像信号を取り込み、該第２の画像信号と記憶された前記固定パターンノイズとに基づいて、前記被検マークの位置を算出する算出工程とを備えたものである。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のマーク位置検出方法において、前記算出工程では、前記撮像手段から取り込んだ前記第２の画像信号に対して、前記固定パターンノイズによる補正を行い、補正後の画像信号における輝度分布のエッジ情報に基づいて、前記被検マークの位置を算出するものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１３】
本発明の実施形態は、請求項１〜請求項４に対応する。
ここでは、本実施形態のマーク位置検出装置について、図１に示す重ね合わせ測定装置１０を例に説明する。
重ね合わせ測定装置１０は、図１（ａ）に示すように、製品ウエハ１１（または図示省略の鏡面ウエハ）を支持する検査ステージ１２と、検査ステージ１２上の製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）に対する照明光Ｌ１を射出する照明光学系（１３〜１８）と、照明光Ｌ１によって照明された製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）の像を形成する結像光学系（１９〜２３）と、ＣＣＤ撮像素子２４と、画像処理装置２５と、記憶装置２６と、焦点検出装置（４１〜４８）と、ステージ制御装置４９とで構成されている。
【００１４】
この重ね合わせ測定装置１０について具体的に説明する前に、製品ウエハ１１および鏡面ウエハの説明を行う。製品ウエハ１１は請求項の「被検基板」、鏡面ウエハは「基準基板」に対応する。
製品ウエハ１１には、複数の回路パターン（何れも不図示）が表面上に積層されている。最上層の回路パターンは、レジスト膜に転写されたレジストパターンである。つまり、製品ウエハ１１は、１つ前のパターン形成工程で形成された下地パターンの上に別の回路パターンを形成する工程の途中（レジスト膜に対する露光・現像後で且つ材料膜に対するエッチング加工前）の状態にある。
【００１５】
そして、製品ウエハ１１の下地パターンに対するレジストパターンの重ね合わせ状態が重ね合わせ測定装置１０によって検査される。このため、製品ウエハ１１の表面には、重ね合わせ状態の検査に用いられる重ね合わせマーク３０（図２）が形成されている。図２（ａ）は重ね合わせマーク３０の平面図、図２（ｂ）は断面図である。
【００１６】
重ね合わせマーク３０は、図２（ａ），（ｂ）に示すように、大きさが異なる矩形状の下地マーク３１とレジストマーク３２とからなる。下地マーク３１は、下地パターンと同時に形成され、下地パターンの基準位置を示す。レジストマーク３２は、レジストパターンと同時に形成され、レジストパターンの基準位置を示す。ここでは、下地マーク３１が外マーク、レジストマーク３２が内マークの例を図示した。下地マーク３１，レジストマーク３２は、各々、請求項の「被検マーク」に対応する。
【００１７】
なお、図示省略したが、レジストマーク３２およびレジストパターンと、下地マーク３１および下地パターンとの間には、加工対象となる材料膜が形成されている。この材料膜は、重ね合わせ測定装置１０による重ね合わせ状態の検査後、レジストマーク３２が下地マーク３１に対して正確に重ね合わされ、レジストパターンが下地パターンに対して正確に重ね合わされている場合に、レジストパターンを介して実際に加工される。
【００１８】
一方、鏡面ウエハは、表面の反射特性が既知のウエハであり、上記した製品ウエハ１１のような回路パターンや重ね合わせマーク３０（図２）などの凹凸構造が表面に形成されていない。本実施形態では、鏡面ウエハとして、表面の反射率分布が均一で、ゴミや汚れの付着がないものを用いる。この鏡面ウエハは、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズ（詳細は後述）を測定する際に用いられる。
【００１９】
さて次に、重ね合わせ測定装置１０（図１）の具体的な構成説明を行う。
検査ステージ１２は、図示省略したが、製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）を水平状態に保って支持するホルダと、このホルダを水平方向（ＸＹ方向）に駆動するＸＹ駆動部と、ホルダを鉛直方向（Ｚ方向）に駆動するＺ駆動部とで構成されている。そして、ＸＹ駆動部とＺ駆動部は、後述するステージ制御装置４９に接続されている。
【００２０】
なお、この検査ステージ１２のホルダには、製品ウエハ１１の重ね合わせ検査（下地パターンに対するレジストパターンの重ね合わせ状態の検査）時、製品ウエハ１１が載置される。また、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズ（詳細は後述）の測定時、製品ウエハ１１に代えて鏡面ウエハが載置される。
照明光学系（１３〜１８）は、光軸Ｏ１に沿って順に配置された光源１３と照明開口絞り１４とコンデンサーレンズ１５と視野絞り１６と照明リレーレンズ１７とビームスプリッタ１８とで構成されている。ビームスプリッタ１８は、反射透過面１８ａが光軸Ｏ１に対して略４５°傾けられ、結像光学系（１９〜２３）の光軸Ｏ２上にも配置されている。照明光学系（１３〜１８）の光軸Ｏ１は、結像光学系（１９〜２３）の光軸Ｏ２に垂直である。
【００２１】
また、光源１３は、波長帯域の広い光（例えば白色光）を射出する。照明開口絞り１４は、光源１３から射出された光の径を特定の径に制限する。コンデンサーレンズ１５は、照明開口絞り１４からの光を集光する。視野絞り１６は、重ね合わせ測定装置１０の視野領域を制限する光学素子であり、図１（ｂ）に示すように、矩形状の開口である１つのスリット１６ａを有する。照明リレーレンズ１７は、視野絞り１６のスリット１６ａからの光をコリメートする。
【００２２】
上記の照明光学系（１３〜１８）において、光源１３から射出された光は、照明開口絞り１４とコンデンサーレンズ１５を介して、視野絞り１６を均一に照明する。そして、視野絞り１６のスリット１６ａを通過した光は、照明リレーレンズ１７を介してビームスプリッタ１８に導かれ、その反射透過面１８ａで反射した後（照明光Ｌ１）、結像光学系（１９〜２３）の光軸Ｏ２上に導かれる。
【００２３】
結像光学系（１９〜２３）は、光軸Ｏ２に沿って順に配置された第１対物レンズ１９と第２対物レンズ２０と第１リレーレンズ２１と結像開口絞り２２と第２リレーレンズ２３とで構成されている。結像光学系（１９〜２３）の光軸Ｏ２は、Ｚ方向に平行である。
なお、第１対物レンズ１９と第２対物レンズ２０との間には、照明光学系（１３〜１８）のビームスプリッタ１８が配置され、第２対物レンズ２０と第１リレーレンズ２１との間には、後述する焦点検出装置（４１〜４８）のビームスプリッタ４１が配置されている。
【００２４】
結像光学系（１９〜２３）の第１対物レンズ１９は、照明光学系（１３〜１８）のビームスプリッタ１８からの照明光Ｌ１を入射して集光する。これにより、検査ステージ１２上の製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）は、第１対物レンズ１９を透過した照明光Ｌ１によって垂直に照明される。
なお、製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）に入射するときの照明光Ｌ１の入射角度範囲は、照明光学系（１３〜１８）の照明開口絞り１４の絞り径によって決まる。照明開口絞り１４は、第１対物レンズ１９の瞳に共役な面に配置されているからである。
【００２５】
また、視野絞り１６と製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）とは共役な位置関係にあるため、製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）の表面のうち、視野絞り１６のスリット１６ａに対応する領域が照明光Ｌ１によって照明される。つまり、製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）の表面には、照明リレーレンズ１７と第１対物レンズ１９の作用によって、スリット１６ａの像が投影される。
【００２６】
そして、上記の照明光Ｌ１が照射された製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）の領域からは、反射光Ｌ２が発生する。この反射光Ｌ２は、第１対物レンズ１９に導かれる。
第１対物レンズ１９は、製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）からの反射光Ｌ２をコリメートする。第１対物レンズ１９でコリメートされた反射光Ｌ２は、上記のビームスプリッタ１８を透過して第２対物レンズ２０に入射する。第２対物レンズ２０は、ビームスプリッタ１８からの反射光Ｌ２を１次結像面１０ａ上に集光する。
【００２７】
１次結像面１０ａの後段に配置された焦点検出装置（４１〜４８）のビームスプリッタ４１は、第２対物レンズ２０からの反射光Ｌ２の一部（Ｌ３）を透過すると共に、残りの一部（Ｌ４）を反射する。ビームスプリッタ４１を透過した光Ｌ３は、結像光学系（１９〜２３）の第１リレーレンズ２１に導かれる。
第１リレーレンズ２１は、ビームスプリッタ４１からの光Ｌ３をコリメートする。結像開口絞り２２は、第１リレーレンズ２１からの光の径を特定の径に制限する。第２リレーレンズ２３は、結像開口絞り２２からの光をＣＣＤ撮像素子２４の撮像面（２次結像面）上に再結像する。
【００２８】
つまり、照明光Ｌ１が照射された製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）からの反射光Ｌ２は、第１対物レンズ１９とビームスプリッタ１８とを介して第２対物レンズ２０に導かれ、第１対物レンズ１９と第２対物レンズ２０の作用によって１次結像面１０ａに結像される。
また、第２対物レンズ２０からの光は、ビームスプリッタ４１と第１リレーレンズ２１と結像開口絞り２２とを介して第２リレーレンズ２３に導かれ、第１リレーレンズ２１と第２リレーレンズ２３の作用によってＣＣＤ撮像素子２４の撮像面上に再結像される。
【００２９】
ＣＣＤ撮像素子２４は、複数の画素が２次元配列されたエリアセンサであり、製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）からの反射光Ｌ２に基づく像（反射像）を撮像して、画像信号を画像処理装置２５に出力する。画像信号は、ＣＣＤ撮像素子２４の撮像面における各画素ごとの輝度値に関する分布（輝度分布）を表している。
【００３０】
ここで、ＣＣＤ撮像素子２４から画像処理装置２５に出力される画像信号の輝度分布について説明する。理想的には、製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）の全域のうち、重ね合わせ測定装置１０の視野領域（５０μｍ程度）内に含まれる部分領域の凹凸状態を表したものが、画像信号の輝度分布となる筈である。しかし、実際に得られる画像信号の輝度分布には、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズが重畳してしまう。
【００３１】
重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズの主な原因としては、照明光学系（１３〜１８）からの照明光Ｌ１による照度ムラ、結像光学系（１９〜２３）の収差ムラ、ＣＣＤ撮像素子２４の各画素ごとの感度ムラなどが考えられる。つまり、これらの様々なムラ（視野領域内での不均一性）が複合して、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズとなっている。
【００３２】
そして、このような固定パターンノイズが重畳している画像信号の輝度分布は、製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）の視野領域内に含まれる部分領域の状態を正確に表したものとはならない。このため、本実施形態では、ＣＣＤ撮像素子２４から画像処理装置２５に出力される画像信号に対して、固定パターンノイズによる補正を行う。
【００３３】
つまり、画像処理装置２５は、詳細は後述するように、検査ステージ１２上に製品ウエハ１１が載置されているとき、ＣＣＤ撮像素子２４から得られる画像信号を取り込み、この画像信号に対して固定パターンノイズによる補正を行い、補正後の画像信号における輝度分布に基づいて、製品ウエハ１１の重ね合わせ検査（下地パターンに対するレジストパターンの重ね合わせ状態の検査）を行う。
【００３４】
さらに、画像処理装置２５は、詳細は後述するように、検査ステージ１２上に鏡面ウエハが載置されているとき、ＣＣＤ撮像素子２４から得られる画像信号の輝度分布に基づいて、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズを測定する。そして、測定結果である固定パターンノイズを装置定数として記憶装置２６に記憶させる。
【００３５】
上記した照明光学系（１３〜１８）および第１対物レンズ１９は、請求項の「照明手段」に対応する。また、結像光学系（１９〜２３）およびＣＣＤ撮像素子２４は、請求項の「撮像手段」に対応する。画像処理装置２５は、請求項の「測定手段」，「算出手段」に対応する。記憶装置２６は「記憶手段」に対応する。
次に、重ね合わせ測定装置１０の焦点検出装置（４１〜４８）について、簡単に説明する。焦点検出装置（４１〜４８）は、検査ステージ１２上の製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）がＣＣＤ撮像素子２４の撮像面に対して合焦状態にあるか否かを検出するものである。
【００３６】
焦点検出装置（４１〜４８）は、光軸Ｏ３に沿って順に配置されたビームスプリッタ４１とＡＦ第１リレーレンズ４２と平行平面板４３と瞳分割ミラー４４とＡＦ第２リレーレンズ４５とシリンドリカルレンズ４６とＡＦセンサ４７と信号処理部４８とで構成されている。
ビームスプリッタ４１は、反射透過面が光軸Ｏ３に対して略４５°傾けられ、結像光学系（１９〜２３）の光軸Ｏ２上にも配置されている。光軸Ｏ３は、光軸Ｏ２に垂直である。ＡＦセンサ４７はラインセンサであり、その撮像面４７ａには複数の画素が１次元配列されている。シリンドリカルレンズ４６は、ＡＦセンサ４７の撮像面４７ａにおける画素の配列方向（図中Ａ方向）に対して垂直な方向の屈折力を持つ。
【００３７】
ビームスプリッタ４１で反射した光Ｌ４（以下「ＡＦ光」という）は、ＡＦ第１リレーレンズ４２によってコリメートされ、平行平面板４３を透過して、瞳分割ミラー４４に入射する。瞳分割ミラー４４上には、照明光学系（１３〜１８）の照明開口絞り１４の像が形成される。平行平面板４３は、照明開口絞り１４の像を瞳分割ミラー４４の中心に位置調整するための光学素子であり、チルト調整が可能な機構になっている。
【００３８】
瞳分割ミラー４４に入射したＡＦ光は、そこで２方向の光に分離された後、ＡＦ第２リレーレンズ４５とシリンドリカルレンズ４６を介して、ＡＦセンサ４７の撮像面４７ａの近傍に集光される。このとき、撮像面４７ａには、画素の配列方向（図中Ａ方向）に沿って離れた位置に、２つの光源像が形成される。
そして、ＡＦセンサ４７は、撮像面４７ａに形成された２つの光源像の結像中心Ｐ１，Ｐ２（図３（ａ）〜（ｃ））に関する情報を検出信号として信号処理部４８に出力する。図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は、各々、検査ステージ１２上の製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）のＣＣＤ撮像素子２４に対する前ピン状態，合焦状態，後ピン状態を示している。
【００３９】
図３（ａ）〜（ｃ）から分かるように、２つの光源像の結像中心Ｐ１，Ｐ２は、前ピン状態（合焦状態よりも下方）ほど互いに接近し、後ピン状態（合焦位置よりも上方）ほど互いに離れる。つまり、検査ステージ１２をＺ方向に上下させることで、撮像面４７ａの画素の配列方向（図中Ａ方向）に沿って、近づいたり離れたりする。
【００４０】
信号処理部４８は、ＡＦセンサ４７からの検出信号に基づいて、２つの光源像の結像中心Ｐ１，Ｐ２間の距離を算出する。この信号処理部４８には、合焦状態における結像中心Ｐ１，Ｐ２間の距離が、予め記憶されている。このため、信号処理部４８は、算出した結像中心Ｐ１，Ｐ２間の距離を合焦状態での距離と比較し、両者の差を計算して、得られる焦点位置信号をステージ制御装置４９に出力する。
【００４１】
構成説明の最後に、ステージ制御装置４９について説明する。
ステージ制御装置４９は、焦点検出装置（４１〜４８）からの焦点位置信号に基づいて検査ステージ１２のＺ駆動部を制御し、ホルダと共に製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）をＺ方向に上下移動させる（自動焦点合わせ）。その結果、製品ウエハ１１（または鏡面ウエハ）をＣＣＤ撮像素子２４に対して合焦させることができる。
【００４２】
また、ステージ制御装置４９は、製品ウエハ１１の重ね合わせ検査（下地パターンに対するレジストパターンの重ね合わせ状態の検査）時、検査ステージ１２のＸＹ駆動部を制御して、ホルダ（製品ウエハ１１）をＸＹ方向に移動させ、製品ウエハ１１上の重ね合わせマーク３０（図２）を重ね合わせ測定装置１０の視野領域内に位置決めする。
【００４３】
さらに、ステージ制御装置４９は、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズの測定時、上記と同様に検査ステージ１２のＸＹ駆動部を制御して、ホルダ（鏡面ウエハ）をＸＹ方向に移動させ、鏡面ウエハの任意の部分領域を重ね合わせ測定装置１０の視野領域内に位置決めする。
次に、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズの測定と、製品ウエハ１１の重ね合わせ検査とについて、順に説明する。
【００４４】
固定パターンノイズの測定は、重ね合わせ測定装置１０の検査ステージ１２上に鏡面ウエハを載置させた状態で行う。このとき、ステージ制御装置４９が検査ステージ１２のＸＹ駆動部を上記のように制御すると、重ね合わせ測定装置１０の視野領域の全域に、鏡面ウエハの部分領域が含まれることになる。
そして、この状態で、画像処理装置２５は、ＣＣＤ撮像素子２４から得られる画像信号を取り込み、画像信号の輝度分布に基づいて、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズを測定する。鏡面ウエハを用いて取り込まれた画像信号の輝度分布は、例えば図４に示すようになる。
【００４５】
画像信号の輝度分布とは、ＣＣＤ撮像素子２４の撮像面における各画素ごとの輝度値に関する離散的な分布であるが、図４では、便宜上、連続的な曲線として図示した。また、実際にはＸＹ方向の２次元画像情報として得られるが、説明を簡略化するために、Ｘ方向の１次元画像情報のみを図４に示した。図４の横軸は各々の画素の位置Ｘｉを表し、縦軸は輝度値Ｎ（Ｘｉ）を表している。
【００４６】
既に説明したように、鏡面ウエハは表面に凹凸構造を持たず、均一な反射率を有するため、理想的には、画素の位置Ｘｉに拘わらず一定の輝度値Ｎ（Ｘｉ）を示す輝度分布が得られる筈である。しかし、実際に得られる画像信号の輝度分布は、図４に例示したように、画素の位置Ｘｉによって輝度値Ｎ（Ｘｉ）が変動している。これは、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズが重畳しているからである。
【００４７】
したがって、鏡面ウエハを用いて画像処理装置２５に取り込まれた画像信号の輝度分布（例えば図４）の変動成分そのものが、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズを表していると考えることができる。そして、画像処理装置２５は、測定結果である固定パターンノイズを装置定数として記憶装置２６に記憶させる。
【００４８】
さらに、画像処理装置２５は、次に説明する製品ウエハ１１の重ね合わせ検査時に、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズを用いた補正を行うため、次の式（１）に基づいて、補正輝度データＡ（Ｘｉ）を算出する。
Ａ（Ｘｉ）＝Ｎａｖｅ−Ｎ（Ｘｉ）　　…（１）
この補正輝度データＡ（Ｘｉ）は、全画素の輝度値Ｎ（Ｘｉ）から求めた平均輝度値Ｎａｖｅと、各画素の輝度値Ｎ（Ｘｉ）との差に相当する。この差は、画素の輝度階調が例えば２５６階調の場合、１〜２階調程度である。そして、画像処理装置２５は、算出した補正輝度データＡ（Ｘｉ）も、装置定数として記憶装置２６に記憶させる。
【００４９】
そして、製品ウエハ１１の重ね合わせ検査は、記憶装置２６内の補正輝度データＡ（Ｘｉ）を用い、次のようにして行われる。この重ね合わせ検査時、検査ステージ１２上には製品ウエハ１１が載置され、重ね合わせ測定装置１０の視野領域内に製品ウエハ１１上の重ね合わせマーク３０（図２）が位置決めされる。
このとき、視野領域内の任意の地点に位置決めされた重ね合わせマーク３０が照明光Ｌ１によって照明され、ＣＣＤ撮像素子２４の撮像面上には重ね合わせマーク３０の像が形成される。そして、この状態で、画像処理装置２５は、ＣＣＤ撮像素子２４から得られる画像信号を取り込む。
【００５０】
この場合、画像信号の輝度分布は、重ね合わせマーク３０の構造に応じた輝度分布に対して、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズ（例えば図４の変動成分）が重畳した分布となっている。つまり、重ね合わせマーク３０の構造を正確に表したものではない。そして、重ね合わせ測定装置１０の視野領域内における重ね合わせマーク３０の位置決め地点が移動すると、輝度分布の形状そのものが固定パターンノイズの影響で変化してしまう。
【００５１】
したがって、画像処理装置２５は、重ね合わせマーク３０の像に関わる画像信号をＣＣＤ撮像素子２４から取り込むと、この画像信号に対して固定パターンノイズによる補正を行う。具体的には、記憶装置２６内の補正輝度データＡ（Ｘｉ）と、重ね合わせマーク３０の像に関わる画像信号の輝度値とを、画素単位で１つずつ加算していく。
【００５２】
その結果、画像処理装置２５では、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズ成分が除去され、重ね合わせマーク３０（図２）の構造のみを正確に反映した輝度分布の画像信号を生成することができる。
その後、画像処理装置２５は、補正後の画像信号における輝度分布のエッジ情報を抽出する。輝度分布のエッジ情報とは、重ね合わせマーク３０の構造に対応して画像信号に現れた明暗情報であり、輝度分布の中で輝度値が急激に変化する箇所である。エッジ情報には、重ね合わせマーク３０の構造に応じて、複数のエッジが含まれる。エッジ情報の抽出に際しては、離散的な輝度分布がスプライン補間される。
【００５３】
さらに、画像処理装置２５は、画像信号（補正後）の輝度分布から抽出したエッジ情報に基づいて、重ね合わせマーク３０を構成する下地マーク３１，レジストマーク３２（図２）の中心位置Ｃ１，Ｃ２を各々算出する。これら中心位置Ｃ１，Ｃ２の算出に際しては、例えば相関法が用いられる。ちなみに、算出された中心位置Ｃ１，Ｃ２とは、重ね合わせ測定装置１０の視野領域に設定された座標系の原点に対する位置である。
【００５４】
本実施形態では、重ね合わせマーク３０の構造のみを正確に反映した輝度分布（補正後の画像信号）に基づいてエッジ情報を抽出し、このエッジ情報に基づいて上記の中心位置Ｃ１，Ｃ２を算出するため、次の効果を奏する。
すなわち、重ね合わせ測定装置１０の視野領域内における下地マーク３１，レジストマーク３２の位置決め地点に拘わらず、中心位置Ｃ１，Ｃ２を再現性よく検出することができる。これは、視野領域内における下地マーク３１，レジストマーク３２の位置決め地点が移動しても、位置検出の結果が変動しないことを意味する。
【００５５】
また、本実施形態の重ね合わせ測定装置１０では、画像処理装置２５において、製品ウエハ１１の重ね合わせ検査（下地パターンに対するレジストパターンの重ね合わせ状態の検査）が行われる。つまり、画像処理装置２５は、下地マーク３１，レジストマーク３２の中心位置Ｃ１，Ｃ２の差（ずれ量）に基づいて、重ね合わせ測定値Ｒ（図２）を算出する。重ね合わせ測定値Ｒは、製品ウエハ１１の表面の２次元ベクトルとして表される。
【００５６】
このようにして算出された重ね合わせ測定値Ｒも、上記の中心位置Ｃ１，Ｃ２と同様、重ね合わせ測定装置１０の視野領域内における下地マーク３１，レジストマーク３２の位置決め地点に拘わらず、同じ値を示すことになる。つまり、本実施形態によれば、製品ウエハ１１の重ね合わせ測定値Ｒも、固定パターンノイズの影響を受けることなく、再現性よく検出することができる。したがって、製品ウエハ１１の重ね合わせ検査に対する信頼性が向上する。
【００５７】
近年、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）処理などの導入によって、下地マーク３１の低段差化が進み、画像処理装置２５に取り込まれる画像信号の輝度分布のコントラストが低下する傾向にあるが、本実施形態によれば、このようなマークの低段差化にも十分対応することができる。
つまり、低段差マークを検出対象とする場合であっても、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズの影響を受けることなく、その中心位置Ｃ１，Ｃ２や重ね合わせ測定値Ｒを再現性よく検出することができる。
【００５８】
なお、上記した実施形態では、式（１）の補正輝度データＡ（Ｘｉ）を用いて固定パターンノイズを補正し、下地マーク３１，レジストマーク３２の中心位置Ｃ１，Ｃ２や重ね合わせ測定値Ｒを検出したが、本発明はこれに限定されない。例えば、次の式（２）に基づいて算出した補正輝度データＢ（Ｘｉ）を用いることもできる。
Ｂ（Ｘｉ）＝Ｎａｖｅ／Ｎ（Ｘｉ）　　…（２）
この補正輝度データＢ（Ｘｉ）は、全画素の輝度値Ｎ（Ｘｉ）から求めた平均輝度値Ｎａｖｅと、各画素の輝度値Ｎ（Ｘｉ）との比に相当する。そして、この補正輝度データＢ（Ｘｉ）も、装置定数として記憶装置２６に記憶され、製品ウエハ１１の重ね合わせ検査時に参照される。
【００５９】
補正輝度データＢ（Ｘｉ）による固定パターンノイズの補正は、重ね合わせマーク３０の像に関わる画像信号の輝度値に対して、記憶装置２６内の補正輝度データＢ（Ｘｉ）を、画素単位で１つずつ乗算していく処理となる。この場合でも、上記の補正輝度データＡ（Ｘｉ）を用いた場合と同様、下地マーク３１，レジストマーク３２の中心位置Ｃ１，Ｃ２や重ね合わせ測定値Ｒを再現性よく検出できる。
【００６０】
また、補正輝度データＡ（Ｘｉ）や補正輝度データＢ（Ｘｉ）を組み合わせたり、予め複数種類の補正輝度データを用意し、製品ウエハ１１を用いて取り込んだ画像信号の平均輝度値に応じて補正輝度データを使い分けたりしてもよい。
さらに、重ね合わせ測定装置１０の固定パターンノイズの補正方法は、上記した２つの例に限らない。鏡面ウエハを用いて画像処理装置２５に取り込まれた画像信号の輝度分布（Ｎ（Ｘｉ））そのものを用い、画素単位で１つずつ、輝度値の固定パターンノイズを補正してもよい。
【００６１】
また、上記した実施形態では、製品ウエハ１１を用いたときの画像信号に対して固定パターンノイズの補正を行い、補正後の画像信号からエッジ情報を抽出したが、本発明はこの手順に限定されない。固定パターンノイズの補正は、他の任意のタイミングで行ってもよい。製品ウエハ１１を用いたときの画像信号と固定パターンノイズとに基づいて、上記の中心位置Ｃ１，Ｃ２や重ね合わせ測定値Ｒを検出することにより、同様の再現性向上を図ることができる。
【００６２】
さらに、上記した実施形態では、重ね合わせ測定装置１０内の画像処理装置２５によって、固定パターンノイズの補正や重ね合わせ測定値Ｒの検出などを行ったが、重ね合わせ測定装置１０に接続された外部のコンピュータを用いた場合でも、同様の効果を得ることができる。
また、上記した実施形態では、重ね合わせ測定装置１０を例に説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、マスクに形成された回路パターンをレジスト膜に焼き付ける露光工程の前に、マスクと製品ウエハ１１とのアライメントを行う装置（露光装置のアライメント系）にも適用できる。この場合には、製品ウエハ１１上に形成されたアライメントマークの位置を再現性よく検出することができる。また、単一の被検マークとカメラの基準位置との光学的位置ずれを検出する装置にも、本発明は適用できる。
【００６３】
さらに、上記した実施形態では、鏡面ウエハを用いて装置の固定パターンノイズを測定したが、鏡面ウエハに代えて反射鏡を用いることもできる。また、表面の反射率分布が均一でなくても、反射特性が既知であれば、同様の固定パターンノイズの測定を行うことができる。さらに、鏡面ウエハや反射鏡などの表面にゴミや汚れが付着してしまった場合には、ゴミや汚れの付着がない部分領域を目視などで探し、その場所で固定パターンノイズ測定用の画像信号を取り込むことが好ましい。
【００６４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、装置の視野領域内における被検マークの位置決め地点に拘わらず、基板上の原点に対する被検マークの位置や重ね合わせ測定値を再現性よく検出できるため、半導体製造工程における重ね合わせ検査やアライメントを高精度に行うことができ、製品の歩留まりが確実に向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】重ね合わせ測定装置１０の全体構成を示す図である。
【図２】製品ウエハ１１に形成された重ね合わせマーク３０の平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。
【図３】重ね合わせ測定装置１０の自動焦点合わせ機構を説明する図である。
【図４】鏡面ウエハを用いて画像処理装置２５に取り込まれた画像信号の輝度分布（つまり固定パターンノイズ）を説明する図である。
【符号の説明】
１０　重ね合わせ測定装置
１１　製品ウエハ
１２　検査ステージ
１３　光源
１４　照明開口絞り
１５　コンデンサーレンズ
１６　視野絞り
１７　照明リレーレンズ
１８　ビームスプリッタ
１９　第１対物レンズ
２０　第２対物レンズ
２１　第１リレーレンズ
２２　結像開口絞り
２３　第２リレーレンズ
２４　ＣＣＤ撮像素子
２５　画像処理装置
２６　記憶装置
３０　重ね合わせマーク
４９　ステージ制御装置
【図１】
2004022797.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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