(57)【要約】【課題】　プラズマディスプレイパネルにおけるデータ電極を高精細化させることが可能な感光性導電ペーストを提供する。【解決手段】　導電性金属微粒子と感光性有機成分からなる感光性導電ペーストであって、Ｒｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｃｕのうちの少なくとも一種の金属微粒子又はその酸化物を０．１重量％乃至１．０重量％含有するか、或いは、前記金属微粒子と前記酸化物とを合わせて０．１重量％乃至１．０重量％含有する。【選択図】　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
　導電性金属微粒子と感光性有機成分からなる感光性導電ペーストであって、
　Ｒｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｃｕのうちの少なくとも一種の金属微粒子又はその酸化物を０．１重量％乃至１．０重量％含有するか、或いは、前記金属微粒子と前記酸化物とを合わせて０．１重量％乃至１．０重量％含有する感光性導電ペースト。
【請求項２】
　導電性金属微粒子と感光性有機成分からなる感光性導電ペーストであって、
　Ｒｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｃｕのうちの少なくとも一種の金属微粒子又はその酸化物を０．１重量％乃至０．５重量％含有するか、或いは、前記金属微粒子と前記酸化物とを合わせて０．１重量％乃至０．５重量％含有する感光性導電ペースト。
【請求項３】
　前記導電性金属微粒子としてＡｇ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ａｌの少なくとも一つを含有することを特徴とする請求項１または２に記載の感光性導電ペースト。
【請求項４】
　前記導電性金属微粒子としてＡｇを含有しており、前記Ａｇの粒子は０．１乃至１０μｍの範囲内の粒径を有しており、平均粒径は１乃至５μｍであることを特徴とする請求項１または２に記載の感光性導電ペースト。
【請求項５】
　プラズマディスプレイパネル用電極の形成方法であって、
　基板上に請求項１乃至４の何れか一項に記載の感光性導電ペーストを塗布する過程と、
　前記感光性導電ペーストを所定のパターンに露光し、現像する過程と、
　前記感光性導電ペーストを焼成し、厚さが１０μｍ以下である電極を形成する過程と、
　を備えるプラズマディスプレイパネル用電極の形成方法。
【請求項６】
　前記電極はデータ電極であることを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル用電極の形成方法。
【請求項７】
　請求項１乃至４の何れか一項に記載の感光性導電ペーストから形成された電極を有するプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
　前記電極はデータ電極であることを特徴とする請求項７に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
　プラズマディスプレイパネルを製造する方法であって、
　基板上に請求項１乃至４の何れか一項に記載の感光性導電ペーストを塗布する過程と、
　前記感光性導電ペーストを所定のパターンに露光し、現像する過程と、
　前記感光性導電ペーストを焼成し、厚さが１０μｍ以下である電極を形成する過程と、
　を備えるプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
　前記電極はデータ電極であることを特徴とする請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】
プラズマディスプレイパネルと、このプラズマディスプレイパネルを駆動するための駆動回路と、を備えるプラズマ表示装置を製造する方法であって、
　前記プラズマディスプレイパネルを製造する工程には、
　基板上に請求項１乃至４の何れか一項に記載の感光性導電ペーストを塗布する過程と、
　前記感光性導電ペーストを所定のパターンに露光し、現像する過程と、
　前記感光性導電ペーストを焼成し、厚さが１０μｍ以下である電極を形成する過程と、
　が含まれているプラズマ表示装置の製造方法。
【請求項１２】
　前記電極はデータ電極であることを特徴とする請求項１１に記載のプラズマ表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、感光性導電ペースト、プラズマディスプレイパネル用電極の形成方法、プラズマディスプレイパネル、その製造方法及びプラズマ表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
　近年、表示装置や導体回路は小型化、高精細化及び高密度化の要求が高まっており、これに伴って、パターン加工技術の向上が望まれている。特に、導体回路におけるパターンの微細化は小型化及び高密度化には不可欠な要求として様々な方法が提案されている。
【０００３】
　プラズマディスプレイパネル（以下、単に「ＰＤＰ」と呼ぶ）は液晶パネルと比較して高速表示が可能であり、さらに、容易に大型化できることから、多くの電子機器に、その表示部として用いられている。
【０００４】
　このようなＰＤＰの使用の拡大に伴い、多数の表示セルを有するカラーＰＤＰが注目されている。カラーＰＤＰは、気体放電により発生した紫外線により、放電セル内面に塗布された赤、緑及び青に発光する蛍光体を励起させ、三原色発光を得ることにより、カラー表示を実現するものである。
【０００５】
　図１１は、従来のＡＣ面放電型のカラープラズマディスプレイパネルの構造を示す斜視図である。
【０００６】
　このカラープラズマディスプレイパネル１００は表示側の第一基板１１０と、第一基板１１０と対向して配置された第二基板１２０とからなる。
【０００７】
　第一基板１１０は、第一ガラス基板１１１と、第一ガラス基板１１１上において相互に平行に形成された複数のライン状の面放電電極１１２と、第一ガラス基板１１１及び面放電電極１１２を覆って形成された透明グレーズ層１１３と、透明グレーズ層１１３に形成されたブラックマトリクス１１４と、から構成されている。
【０００８】
　面放電電極１１２は金属のバス電極が積層された透明導電膜からなる。
【０００９】
　透明グレーズ層１１３の表面には酸化マグネシウム膜が付着している。
【００１０】
　ブラックマトリクス１１４は格子状に形成されており、各格子が一つの画素を画定している。
【００１１】
　第二基板１２０は、第二ガラス基板１２１と、第二ガラス基板１２１上において相互に隔置して形成された複数のデータ電極１２２と、第二ガラス基板１２１及びデータ電極１２２を覆って形成されたグレーズ層１２３と、グレーズ層１２３上においてデータ電極１２２の間に形成された複数のストライプ状の白色の隔壁１２４と、相互に隣接する隔壁１２４の間においてグレーズ層１２３及び隔壁１２４の側面を覆って形成された白色微粒子からなる無機材料層１２５と、無機材料層１２５を覆って形成された蛍光体層１２６と、から構成されている。
【００１２】
　蛍光体層１２６は放電セルを形成する隔壁１２４の側面及びグレーズ層１２３の表面に形成されており、赤、緑及び青の各蛍光体がこの順番に塗り分けられている。
【００１３】
　第一基板１１０と第二基板１２０との間には放電ガスが封入される。
【００１４】
　走査電極（図示せず）には走査パルスが順次印加され、それに同期して選択されたデータ電極１２２にデータパルスが印加される。
【００１５】
　このような走査がパネルの全面にわたって行われた後、パネル全面で維持放電を行い、カラー発光が得られる。
【００１６】
　このような動作を、６０分の１秒のフィールド期間内に、ディジタル化された階調データに対応した所定の発光回数を有する複数のサブフィールドで行い、例えば、カラーテレビなどの表示が行われる。
【００１７】
　図１２は、データ電極１２２を形成する方法における各過程を示す第二基板１２０の断面図である。
【００１８】
　先ず、図１２（Ａ）に示すように、第二ガラス基板１２１を用意する。
【００１９】
　次いで、図１２（Ｂ）に示すように、第二ガラス基板１２１の表面上に感光性銀ペースト１２７を塗布する。
【００２０】
　次いで、図１２（Ｃ）に示すように、感光性銀ペースト１２７上に所定のパターンを有するガラスマスク１２８を配置し、その後、ガラスマスク１２８を介して感光性銀ペースト１２７に光を照射する。
【００２１】
　次いで、ガラスマスク１２８を取り外した後、図１２（Ｄ）に示すように、露光した感光性銀ペースト１２７を現像する。
【００２２】
　この後、感光性銀ペースト１２７の溶解液に浸すことにより、図１２（Ｅ）に示すように、感光性銀ペースト１２７の露光した領域のみが残り、感光性銀ペースト１２７の露光しなかった領域は除去される。感光性銀ペースト１２７の残った領域は焼成される。
【００２３】
　このようにして、ガラスマスク１２８のパターンに従ったデータ電極１２２が形成される。
【００２４】
　前述のように、近年、ＰＤＰには高精細化が要求されるようになっているが、ＰＤＰを高精細化させるためには、その前提として、データ電極１２２を高精細化させることが必要である。しかしながら、以下の理由により、データ電極１２２の高精細化は実現が困難であった。
【００２５】
　現在使用されている感光性銀ペーストに含まれている銀粒子はその粒子径が大きいため、感光性銀ペーストを焼成することにより得られるデータ電極のラインの直線性は極めて悪かった。すなわち、データ電極の長さ方向のエッジが直線状ではなく、多数の凹凸が存在する曲線状になっていた。
【００２６】
　一般的には、電極を高精細化するためには、電極を薄膜化することが有効であるが、電極を薄くすると、抵抗値の上昇あるいは断線発生率の上昇などの様々な不具合が発生する。
【００２７】
　データ電極のラインの直線性を改善し、あるいは、データ電極の抵抗値の上昇を抑制するための方法の一つとして、感光性ペーストに含有させる導電性粒子の粒度を小さくする方法がある。
【００２８】
　しかしながら、導電性粒子は光を反射させやすいため、露光工程（図１２（Ｃ））において感光性ペーストに対して照射される光を乱反射させてしまう。このため、感光性ペーストの下層領域まで光が届きにくくなり、感光性ペースト内における架橋反応を十分に進行させることができないという事態を招く。
【００２９】
　このような事態を回避させる方法の一つとして、感光性ペーストの感光性能を上げる方法がある。
【００３０】
　しかしながら、感光性能を上げると、電極の表面で乱反射された光によってガラスマスクにより覆われた領域までも露光されやすくなり、その結果、形成された電極は設計値よりも大きい幅を有し、さらに、電極の直線性が悪化する。
【００３１】
　このように、電極を薄膜化したとしても、その反面、高精細なパターンの形成は困難になる。
【００３２】
　また、焼成工程（図１２（Ｅ））においては、導電性粒子同士は焼結しやすく、相互に凝集する力が発生する。このため、導電性粒子が移動した後には空間が残り、この空間がピンホール欠陥となる。この現象が極端に進行すると、電極の断線を引き起こす。
【００３３】
　以上のような電極の形成における問題を解決するため、これまでに様々な提案がなされている。
【００３４】
　例えば、導電性金属微粒子と感光性有機成分とを含む感光性導電ペーストであって、このペースト中にＲｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｃｕから選ばれた少なくとも一種の金属微粒子及び／またはその酸化物を導電性金属微粒に対して５−２０重量％含む感光性導電ペーストが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【００３５】
　また、導電性金属微粒子と感光性有機成分とを含む感光性導電ペーストであって、このペースト中にＲｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｃｕから選ばれた少なくとも一種の金属微粒子及び／またはその酸化物を感光性導電ペーストに対して０．５−５重量％含む感光性導電ペーストが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２０００−４８６４５号公報
【特許文献２】特開平１０−３３３３２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３６】
　しかしながら、上記の特許文献１、２に記載の感光性導電ペーストは、いずれも第一基板１１０の面放電電極１１２を形成するためのものであり、表示の色味及びコントラストの改善を図るために提案されたものである。
【００３７】
　このため、これらの感光性導電ペーストはデータ電極を高精細化するために用いることは不可能である。
【００３８】
　本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、プラズマディスプレイパネルにおけるデータ電極を高精細化させることが可能な感光性導電ペースト、プラズマディスプレイパネル用電極の形成方法、プラズマディスプレイパネル、その製造方法及びプラズマ表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３９】
　上記課題を解決するため、本発明は、導電性金属微粒子と感光性有機成分からなる感光性導電ペーストであって、Ｒｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｃｕのうちの少なくとも一種の金属微粒子又はその酸化物を０．１重量％乃至１．０重量％含有するか、或いは、前記金属微粒子と前記酸化物とを合わせて０．１重量％乃至１．０重量％含有する感光性導電ペーストを提供する。
【００４０】
　また、本発明は、導電性金属微粒子と感光性有機成分からなる感光性導電ペーストであって、Ｒｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｃｕのうちの少なくとも一種の金属微粒子又はその酸化物を０．１重量％乃至０．５重量％含有するか、或いは、前記金属微粒子と前記酸化物とを合わせて０．１重量％乃至０．５重量％含有する感光性導電ペーストを提供する。
【００４１】
　本感光性導電ペーストは、上記の導電性金属微粒子の他に、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ａｌの少なくとも一つを含有することができる。
【００４２】
　前記導電性金属微粒子としてＡｇを含有する場合には、前記Ａｇの粒子は０．１乃至１０μｍの範囲内の粒径を有しており、平均粒径は１乃至５μｍであることが好ましい。
【００４３】
　本発明は、プラズマディスプレイパネル用電極の形成方法であって、基板上に請求項１乃至３の何れか一項に記載の感光性導電ペーストを塗布する過程と、前記感光性導電ペーストを所定のパターンに露光し、現像する過程と、前記感光性導電ペーストを焼成し、厚さが１０μｍ以下である電極を形成する過程と、を備えるプラズマディスプレイパネル用電極の形成方法を提供する。
【００４４】
　また、本発明は、上記の感光性導電ペーストから形成された電極、例えば、データ電極を有するプラズマディスプレイパネルを提供する。
【００４５】
　本発明は、プラズマディスプレイパネルを製造する方法であって、基板上に請求項１乃至３の何れか一項に記載の感光性導電ペーストを塗布する過程と、前記感光性導電ペーストを所定のパターンに露光し、現像する過程と、前記感光性導電ペーストを焼成し、厚さが１０μｍ以下である電極を形成する過程と、を備えるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。
【００４６】
　本発明は、プラズマディスプレイパネルと、このプラズマディスプレイパネルを駆動するための駆動回路と、を備えるプラズマ表示装置を製造する方法であって、前記プラズマディスプレイパネルを製造する工程には、基板上に請求項１乃至３の何れか一項に記載の感光性導電ペーストを塗布する過程と、前記感光性導電ペーストを所定のパターンに露光し、現像する過程と、前記感光性導電ペーストを焼成し、厚さが１０μｍ以下である電極を形成する過程と、が含まれているプラズマ表示装置の製造方法を提供する。
【００４７】
　前記電極は、例えば、データ電極である。
【発明の効果】
【００４８】
　本発明によれば、以下のような効果を得ることができる。
【００４９】
　第一に、露光工程において照射される露出光が乱反射することにより生じる現像後の電極のエッジの凹凸（電極の輪郭におけるぎざぎざ）を改善することができる。
【００５０】
　第二に、導電性金属微粒子の焼結現象を抑制し、焼成後の焼き縮みによる線幅の収縮を抑えることができる。
【００５１】
　第三に、電極の膜密度を均一にすることができ、ピンホールや断線を抑制することができる。
【００５２】
　このような効果に起因して、プラズマディスプレイパネルにおけるデータ電極を高精細化することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５３】
　本実施形態では、本発明に係る感光性導電ペースト、プラズマディスプレイパネル用電極の形成方法、プラズマディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマ表示装置の製造方法の適例について説明する。
【００５４】
　本実施形態に係る感光性導電ペーストは導電性金属微粒子と感光性有機成分からなる。
【００５５】
　導電性金属微粒子としては、Ｒｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｃｕのうちの一つまたは二つ以上を選択することができる。これらの導電性金属微粒子は黒色顔料として機能するものである。
【００５６】
　また、導電性金属微粒子としては、これらの金属の酸化物を選択してもよく、あるいは、これらの金属とこれらの金属の酸化物との双方を選択することもできる。
【００５７】
　本実施形態に係る感光性導電ペーストは上記の金属微粒子の重量比、その酸化物の重量比、或いは、金属微粒子とその酸化物とを合わせた重量比が、０．１重量％乃至１．０重量％、好ましくは、０．１重量％乃至０．５重量％とされている。
【００５８】
　また、本実施形態に係る感光性導電ペーストは、導電性金属微粒子として、上記の金属の他にＡｇを含有している。このＡｇの粒子は０．１乃至１０μｍの範囲内の粒径を有しており、平均粒径は１乃至５μｍである。
【００５９】
　なお、本実施形態に係る感光性導電ペーストは、Ａｇに代えて、あるいは、Ａｇとともに、Ａｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ａｌのうちの一つまたは二つ以上を含有するように構成することもできる。
【００６０】
　本実施形態に係る感光性導電ペーストにおいては、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量の下限値は０．１重量％である。
【００６１】
　本発明者の実験によれば、感光性導電ペーストは黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子をたとえ少量でも含むことにより、その含有量に応じて、データ電極のラインの直線性の悪化を改善することができ、さらには、導電性金属微粒子の焼結現象を抑制することもできた。
【００６２】
　このように、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量は０でなければよく、従って、導電性金属微粒子の含有量が０．１重量％もしくはそれ以上であれば、十分に上記のような効果を実現することができる。
【００６３】
　また、本実施形態に係る感光性導電ペーストにおいては、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量の上限値は１．０重量％であり、特に好ましくは０．５重量％である。
【００６４】
　図１乃至図３は、それぞれ感光性導電ペーストのシート抵抗値（図１）、線幅焼成収縮率（図２）、線幅バラツキ（図３）を示すグラフであり、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が０重量％、０．００１重量％、０．００３重量％、０．００５重量％、０．１重量％、０．５重量％、１．０重量％、２．０重量％のときの計８点のサンプル点での計測結果に基づくものである。ただし、これらのサンプル点のうち０．００１重量％、０．００３重量％、０．００５重量％の測定結果のサンプル点は重なるためグラフでは省略してある。
【００６５】
　ここでのシート抵抗値は、膜厚が５μｍのときの単位面積当たりの抵抗値であり、単位はｍΩ／□である。線幅焼成収縮率とは、現像（図８（Ｄ）；後述）後に行う焼成（図８（Ｅ）；後述）により電極の線幅が収縮した割合を指し、単位は％である。線幅バラツキとは、焼成後における電極の線幅の平均値に対するＰＤＰ基板内の線幅のバラツキの割合を指し、単位は％である。
【００６６】
　図１に示すように、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が０重量％、０．００１重量％、０．００３重量％、０．００５重量％、０．１重量％、０．５重量％、１．０重量％、２．０重量％のときの感光性導電ペーストのシート抵抗値はそれぞれ５．７、５．７、５．８、５．９、６．０、６．４、８．３、１８．０である。
【００６７】
　一般的に、プラズマディスプレイパネルにおけるデータ電極その他の電極のシート抵抗値は１０以下であることが望ましいとされている。従って、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が１．０重量％以下であれば十分に低いシート抵抗値を得ることができ、さらには、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が０．５重量％以下であればさらに低いシート抵抗値を得ることができる。
【００６８】
　図２に示すように、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が０重量％、０．００１重量％、０．００３重量％、０．００５重量％、０．１重量％、０．５重量％、１．０重量％、２．０重量％のときの感光性導電ペーストの線幅焼成収縮率はそれぞれ１６．３、１５．７、１５．５、１４．３、１２．９、９．８、８．５、８．６である。
【００６９】
　一般に、線幅焼成収縮率は低いほど好ましい。実用的には、線幅焼成収縮率は、バラツキにおける最大値を含めても１５％以下であることが好ましいとされている。従って、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が０．１重量％乃至１．０重量％の何れの範囲であっても、十分に好ましい線幅焼成収縮率を得ることができる。
【００７０】
　図３に示すように、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が０重量％、０．００１重量％、０．００３重量％、０．００５重量％、０．１重量％、０．５重量％、１．０重量％、２．０重量％のときの感光性導電ペーストの線幅バラツキはそれぞれ９．２、９．１、８．９、８．６、７．５、６．２、６．０、５．９である。
【００７１】
　一般に、線幅バラツキは低いほど好ましいが、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が０．１重量％乃至１．０重量％の何れの範囲であっても、十分に好ましい線幅バラツキを得ることができる。
【００７２】
　参考として、本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いて形成した電極の構造の顕微鏡写真を図４乃至図７に示す。
【００７３】
　図４は、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が０重量％の場合の感光性導電ペーストの現像後におけるレーザー顕微鏡による写真である。
【００７４】
　図５は、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が０重量％の場合の感光性導電ペーストの焼成後におけるレーザー顕微鏡による写真である。
【００７５】
　図６は、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が１．０重量％の場合の感光性導電ペーストの現像後におけるレーザー顕微鏡による写真である。
【００７６】
　図７は、黒色顔料としての上記の導電性金属微粒子の含有量が１．０重量％の場合の感光性導電ペーストの焼成後におけるレーザー顕微鏡による写真である。
【００７７】
　図８は、本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いて電極を形成する方法の各過程を示す断面図である。以下、図８を参照して、本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いてデータ電極を形成する方法（プラズマディスプレイパネル用電極の形成方法）を説明する。
【００７８】
　先ず、図８（Ａ）に示すように、ガラス基板１１を用意する。
【００７９】
　次いで、図８（Ｂ）に示すように、ガラス基板１１の表面上に、本実施形態に係る感光性導電ペースト１７を塗布する。
【００８０】
　次いで、図８（Ｃ）に示すように、感光性導電ペースト１７上に所定のパターンを有するガラスマスク１８を配置し、その後、ガラスマスク１８を介して感光性導電ペースト１７に光を照射する。
【００８１】
　次いで、ガラスマスク１８を取り外した後、図８（Ｄ）に示すように、露光した感光性導電ペースト１７を現像する。
【００８２】
　この後、感光性導電ペースト１７の溶解液に浸すことにより、図８（Ｅ）に示すように、感光性導電ペースト１７の露光した領域のみが残り、感光性導電ペースト１７の露光しなかった領域は除去される。感光性導電ペースト１７の残った領域は焼成される。
【００８３】
　このようにして、ガラスマスク１８のパターンに従ったデータ電極１２が形成される。
【００８４】
　本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いてデータ電極１２を形成することにより、厚さＴが１０μｍ以下であるデータ電極１２を形成することができる。図１２に示した従来のカラープラズマディスプレイパネル１００におけるデータ電極１２２は厚さが１０μｍ以上のものであったが、本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いることにより、厚さＴを薄くしたデータ電極１２を形成することが可能である。
【００８５】
　本実施形態に係る感光性導電ペーストによれば、次のような効果を得ることができる。
【００８６】
　第一に、露光工程において照射される露出光が乱反射することにより生じる現像後の電極（データ電極１２）のエッジの凹凸（電極の輪郭におけるぎざぎざ）を改善することができる。
【００８７】
　電極における細い断線を検知するためには検査の感度を上げることが必要であるが、逆に、検査の感度を上げると、電極の輪郭におけるぎざぎざを断線と誤認するおそれも大きくなる。
【００８８】
　例えば、黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が０重量％の場合の感光性導電ペーストの焼成後における顕微鏡写真（図５）には、多数の大きな孔（直径が１０乃至３０μｍ）があいていることがわかる。これに対して、黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が０．５重量％または１．０重量％の場合の感光性導電ペーストの焼成後における顕微鏡写真（図７）には、そのよう大きな孔はほとんど見られない。加えて、電極の輪郭におけるぎざぎざも改善されている。このため、検査の感度を上げても、電極の輪郭におけるぎざぎざを断線と誤認するおそれは極めて小さくなる。
【００８９】
　このように、本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いて電極を形成することにより、電極の輪郭におけるぎざぎざを改善することができ、ひいては、検査感度あるいは解像度を上げることができる。
【００９０】
　第二に、導電性金属微粒子の焼結現象を抑制し、焼成後の焼き縮みによる線幅の収縮を抑えることができる。
【００９１】
　図２に示したように、黒色顔料としての導電性金属微粒子を含有していない感光性導電ペーストを焼成した場合の焼成収縮率は１５．５％であるが、導電性金属微粒子の含有量が０．５重量％または１．０重量％である場合には、焼成収縮率はそれぞれ９．８％、８．５％であり、焼成収縮率を低下させることが可能である。
【００９２】
　第三に、電極の膜密度を均一にすることができ、ピンホールや断線を抑制することができる。この結果、背面から光を照射することにより行う画像検査において、欠陥レベルにはないピンホールや断線を欠陥レベルのものとして誤検出することを防止することができる。
【００９３】
　なお、図１に示したように、感光性導電ペーストに黒色顔料としての導電性金属微粒子を０．５重量％または１．０重量％含有させた場合、シート抵抗値が若干上昇するが、データ電極１２には第一基板１１０における面放電電極（バス電極）１１２ほど大きな電流は流れないので、プラズマディスプレイパネルの作動にとって大きな支障は生じない。
【００９４】
　図１１に示した従来のカラープラズマディスプレイパネル１００においては、データ電極１２２の線幅は約６０μｍであった。この従来のカラープラズマディスプレイパネル１００においては、データ電極１２２の焼成時に線幅が約１０乃至２０μｍの熱膨張を生じていた。このため、隣接するデータ電極間のピッチは線幅の約２倍、すなわち、約１２０μｍに設定されていた。
【００９５】
　これに対して、本実施形態に係る感光性導電ペーストを用いることにより、線幅が約４０μｍのデータ電極を形成することが可能になり、また、データ電極１２２の焼成時における線幅の熱膨張は約１０μｍ以下に抑制することが可能になったため、隣接するデータ電極間のピッチは線幅の約２倍、すなわち、約８０μｍに設定することが可能である。
【００９６】
　図９は、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルを示す斜視図である。以下、図９を参照して、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルについて説明する。
【００９７】
　本実施形態では、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの好適な一例としてのＡＣ面放電型のカラープラズマディスプレイパネルについて説明する。
【００９８】
　本実施形態に係るプラズマディスプレイパネル５０は、そのデータ電極１２が、従来のプラズマディスプレイパネル１００におけるデータ電極１２２と異なる他は、該プラズマディスプレイパネル１００と同様の構成をなしている。従って、図９においては、プラズマディスプレイパネル５０の各構成要素のうち、従来のプラズマディスプレイパネル１００と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００９９】
　すなわち、図９に示すプラズマディスプレイパネル５０において、データ電極１２は、図８に示す各過程を経て、第二ガラス基板（従来のプラズマディスプレイパネル１００における第二ガラス基板１２１に相当する）としてのガラス基板１１上に形成されるものである。
【０１００】
　次に、プラズマディスプレイパネル５０（図９）の製造方法について説明する。
【０１０１】
　先ず、表示側の第一基板１１０を構成する。
【０１０２】
　すなわち、第一ガラス基板１１１上に、相互に平行に形成された複数のライン状の面放電電極１１２と、第一ガラス基板１１１及び面放電電極１１２を覆って形成された透明グレーズ層１１３と、透明グレーズ層１１３に形成されたブラックマトリクス１１４と、を形成する。
【０１０３】
　このうち、面放電電極１１２は金属のバス電極が積層された透明導電膜からなる。
【０１０４】
　また、透明グレーズ層１１３の表面には酸化マグネシウム膜が付着している。
【０１０５】
　また、ブラックマトリクス１１４は格子状に形成されており、各格子が一つの画素を画定している。
【０１０６】
　一方、第一基板１１０と対向して配置される第二基板１２０を構成する。
【０１０７】
　すなわち、第二ガラス基板（ガラス基板１１）上に、相互に隔置して形成された複数のデータ電極１２と、第二ガラス基板１１及びデータ電極１２２を覆って形成されたグレーズ層１２３と、グレーズ層１２３上においてデータ電極１２２の間に形成された複数のストライプ状の白色の隔壁１２４と、相互に隣接する隔壁１２４の間においてグレーズ層１２３及び隔壁１２４の側面を覆って形成された白色微粒子からなる無機材料層１２５と、無機材料層１２５を覆って形成された蛍光体層１２６と、を形成する。
【０１０８】
　ここで、データ電極１２を形成する方法は、図８を参照して上記に説明した通りである。
【０１０９】
　また、蛍光体層１２６は、放電セルを形成する隔壁１２４の側面及びグレーズ層１２３の表面に形成されており、赤、緑及び青の各蛍光体がこの順番に塗り分けられている。
【０１１０】
　次に、第一基板１１０と第二基板１２０とを相互に対向させて位置合わせし、相互に溶着する。
【０１１１】
　次に、第一基板１１０及び第二基板１２０の相互間の間隔に形成される放電ガス空間内を真空に排気した後に、該放電ガス空間内に放電ガスを封入する。
【０１１２】
　これにて、放電ガス空間内に放電ガスが封入されたプラズマディスプレイパネル５０を得ることができる。
【０１１３】
　このプラズマディスプレイパネル５０は、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネル用電極の形成方法により形成されたデータ電極１２を備えているため、データ電極１２を高精細化することが可能となり、容易に解像度の高いものとすることができる。
【０１１４】
　次に、図１０のブロック図を参照して、以上のようにして得られたプラズマディスプレイパネル５０を備えるプラズマ表示装置６０の構成について説明する。
【０１１５】
　図１０に示すように、プラズマ表示装置６０は、モジュール構造を有するものとして設計されており、具体的には、アナログインターフェース２０とプラズマディスプレイパネルモジュール３０（後述するように、プラズマディスプレイパネル５０と、このプラズマディスプレイパネル５０を駆動するための駆動回路としてのディジタル信号処理・制御回路３１と、を備える）と構成されている。
【０１１６】
　アナログインターフェース２０は、クロマ・デコーダを備えるＹ／Ｃ分離回路２１と、Ａ／Ｄ変換回路２２と、ＰＬＬ回路を備える同期信号制御回路２３と、画像フォーマット変換回路２４と、逆γ（ガンマ）変換回路２５と、システム・コントロール回路２６と、ＰＬＥ制御回路２７と、から構成されている。
【０１１７】
　概略的には、アナログインターフェース２０は、受信したアナログ映像信号をディジタル映像信号に変換した後、そのディジタル映像信号をプラズマディスプレイパネルモジュール３０に供給する。
【０１１８】
　例えば、テレビチューナーから発信されたアナログ映像信号はＹ／Ｃ分離回路２１においてＲＧＢの各色の輝度信号に分解された後、Ａ／Ｄ変換回路２２においてディジタル信号に変換される。
【０１１９】
　その後、プラズマディスプレイパネルモジュール３０の画素構成と映像信号の画素構成が異なる場合には、画像フォーマット変換回路２４において必要な画像フォーマットの変換が行われる。
【０１２０】
　プラズマディスプレイパネルの入力信号に対する表示輝度の特性は線形的に比例するが、通常の映像信号はＣＲＴの特性に合わせて、予め補正（γ変換）されている。このため、Ａ／Ｄ変換回路２２において映像信号のＡ／Ｄ変換を行った後、逆γ変換回路２５において、映像信号に対して逆γ変換を施し、線形特性に復元されたディジタル映像信号を生成する。このディジタル映像信号はＲＧＢ映像信号としてプラズマディスプレイパネルモジュール３０に出力される。
【０１２１】
　アナログ映像信号には、Ａ／Ｄ変換用のサンプリングクロック及びデータクロック信号が含まれていないため、同期信号制御回路２３に内蔵されているＰＬＬ回路が、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック及びデータクロック信号を生成し、プラズマディスプレイパネルモジュール３０に出力する。
【０１２２】
　アナログインターフェース２０のＰＬＥ制御回路２７は輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を超える場合には表示輝度を低下させる。
【０１２３】
　システム・コントロール回路２６は、各種制御信号をプラズマディスプレイパネルモジュール３０に対して出力する。
【０１２４】
　プラズマディスプレイパネルモジュール３０は、さらに、ディジタル信号処理・制御回路３１と、パネル部３２と、ＤＣ／ＤＣコンバータを内蔵するモジュール内電源回路３３と、から構成されている。
【０１２５】
　ディジタル信号処理・制御回路３１は、入力インターフェース信号処理回路３４と、フレームメモリ３５と、メモリ制御回路３６と、ドライバ制御回路３７と、から構成されている。
【０１２６】
　入力インターフェース信号処理回路３４は、システム・コントロール回路２６から発信される各種制御信号、逆γ変換回路２５から発信されるＲＧＢ映像信号、同期信号制御回路２３から発信される同期信号、ＰＬＬ回路から発信されるデータクロック信号を受信する。
【０１２７】
　例えば、入力インターフェース信号処理回路３４に入力された映像信号の平均輝度レベルは入力インターフェース信号処理回路３４内の入力信号平均輝度レベル演算回路（図示略）により計算され、例えば、５ビットデータとして出力される。また、ＰＬＥ制御回路２７は、平均輝度レベルに応じてＰＬＥ制御データを設定し、入力インターフェース信号処理回路３４内の輝度レベル制御回路（図示略）に入力する。
【０１２８】
　ディジタル信号処理・制御回路３１は、入力インターフェース信号処理回路３４において、これらの各種信号を処理した後、制御信号をパネル部３２に送信する。同時に、メモリ制御回路３６及びドライバ制御回路３７はメモリ制御信号及びドライバ制御信号をパネル部３２に送信する。
【０１２９】
　パネル部３２は、上記の製造方法により製造されたプラズマディスプレイパネル５０と、走査電極を駆動する走査ドライバ３８と、データ電極を駆動するデータドライバ３９と、プラズマディスプレイパネル５０及び走査ドライバ３８にパルス電圧を供給する高圧パルス回路４０と、高圧パルス回路４０からの余剰電力を回収する電力回収回路４１と、から構成されている。
【０１３０】
　プラズマディスプレイパネル５０は、例えば１３６５個×７６８個に配列された画素を有するものとして構成されている。プラズマディスプレイパネル５０においては、走査ドライバ３８が走査電極を制御し、データドライバ３９がデータ電極を制御することにより、これらの画素のうちの所定の画素の点灯または非点灯が制御され、所望の表示が行われる。
【０１３１】
　なお、ロジック用電源がディジタル信号処理・制御回路３１及びパネル部３２にロジック用電力を供給している。さらに、モジュール内電源回路３３は、表示用電源から直流電力を供給され、この直流電力の電圧を所定の電圧に変換した後、パネル部３２に供給している。
【０１３２】
　次に、プラズマ表示装置６０の製造方法を説明する。
【０１３３】
　先ず、プラズマディスプレイパネル５０と、走査ドライバ３８と、データドライバ３９と、高圧パルス回路４０と、電力回収回路４１とを一基板上に配置し、パネル部３２を形成する。
【０１３４】
　さらに、パネル部３２とは別個にディジタル信号処理・制御回路（駆動回路）３１を形成する。
【０１３５】
　このようにして形成されたパネル部３２及びディジタル信号処理・制御回路３１とモジュール内電源回路３３とを一つのモジュールとして組み立て、プラズマディスプレイパネルモジュール３０を形成する。
【０１３６】
　さらに、プラズマディスプレイパネルモジュール３０とは別個にアナログインターフェース２０を形成する。
【０１３７】
　このように、プラズマディスプレイパネルモジュール３０とアナログインターフェース２０とをそれぞれ別個に形成した後、双方を電気的に接続することにより、図１０に示したプラズマ表示装置６０を得ることができる。
【０１３８】
　以上のように、本実施形態によれば、露光工程において照射される露出光が乱反射することにより生じる現像後の電極のエッジの凹凸（電極の輪郭におけるぎざぎざ）を改善することができる。
【０１３９】
　また、導電性金属微粒子の焼結現象を抑制し、焼成後の焼き縮みによる線幅の収縮を抑えることができる。
【０１４０】
　さらに、電極（データ電極１２）の膜密度を均一にすることができ、ピンホールや断線を抑制することができる。
【０１４１】
　このような効果に起因して、プラズマディスプレイパネル５０におけるデータ電極１２を高精細化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１４２】
【図１】黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が０〜２．０重量％のときの感光性導電ペーストのシート抵抗値を示すグラフである。
【図２】黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が０〜２．０重量％のときの感光性導電ペーストの線幅焼成収縮率を示すグラフである。
【図３】黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が０〜２．０重量％のときの感光性導電ペーストの線幅バラツキを示すグラフである。
【図４】黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が０重量％の場合の感光性導電ペーストの現像後におけるレーザー顕微鏡による写真である。
【図５】黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が０重量％の場合の感光性導電ペーストの焼成後におけるレーザー顕微鏡による写真である。
【図６】黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が１．０重量％の場合の感光性導電ペーストの現像後におけるレーザー顕微鏡による写真である。
【図７】黒色顔料としての導電性金属微粒子の含有量が１．０重量％の場合の感光性導電ペーストの焼成後におけるレーザー顕微鏡による写真である。
【図８】本発明の一実施形態に係る感光性導電ペーストを用いて電極を形成する方法の各過程を示す断面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係るプラズマディスプレイパネルを示す斜視図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係るプラズマ表示装置を示すブロック図である。
【図１１】従来のプラズマディスプレイパネルを示す斜視図である。
【図１２】図１１に示した従来のカラープラズマディスプレイパネルにおけるデータ電極を形成する方法における各過程を示す第二基板の断面図である。
【符号の説明】
【０１４３】
１１　ガラス基板
１２　データ電極
１７　感光性導電ペースト
１８　ガラスマスク
５０　プラズマディスプレイパネル
３１　ディジタル信号処理・制御回路（駆動回路）
６０　プラズマ表示装置
【図１】
2004111382.tif 000002
【図２】
2004111382.tif 000003
【図３】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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