(57)【要約】【課題】簡便な構成により、一括して広い視野での測定が可能な形状測定装置を提供する。【解決手段】被測定物６にスリット状の光を照射する照射手段と、照射された光が被測定物６で反射する反射光Ｌ０から平行光Ｌ０を形成するコリメートレンズ４１と、この平行光Ｌ０を複数に分岐するとともに重合するビームスプリッタ４２と、この分岐された光Ｌ１，Ｌ２の光軸に対して少なくともいずれかが傾いて配置された複数のミラー４３Ａ・４３Ｂと、ビームスプリッタ４２により重合された複数の光Ｌ１・Ｌ２が互いにシフトした状態で入射する結像レンズ４４と、シフトした状態で撮像面５１に入射結像する複数の収斂光から被測定物６を撮像する撮像手段５とを備えた。【選択図】  図１
2004333153.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物にスリット状の光を照射する照射手段と、
前記照射された光が前記被測定物の物体面で反射する反射光から平行光を形成するコリメートレンズと、
前記平行光を複数に分岐するとともに、前記分岐された光をその後に重合するビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタにより分岐された光をそれぞれ反射するとともに、前記分岐された光の光軸に対して少なくともいずれかが傾いて配置された複数のミラーと、
前記ビームスプリッタにより分岐され前記複数のミラーにより反射された後、再び前記ビームスプリッタにより重合された前記複数の光がそれぞれ互いにシフトされた状態で入射する結像レンズと、
前記結像レンズにより互いにシフトされた状態で撮像面に入射結像する前記複数の収斂光から前記被測定物を撮像する撮像手段と
を備えたことを特徴とする形状測定装置。
【請求項２】
被測定物にスリット状の光を照射する照射手段と、
前記照射された光が前記被測定物の物体面で反射する反射光から平行光を形成するコリメートレンズと、
前記平行光から複数に分割した収斂光を形成するレンズアレイと、
前記レンズアレイにより分岐され互いにシフトされた状態で撮像面に入射結像する前記複数の収斂光から被測定物を撮像する撮像手段と
を備えたことを特徴とする形状測定装置。
【請求項３】
被測定物にスリット状の光を照射する照射手段と、
前記照射された光が前記被測定物の物体面で反射する反射光から平行光を形成するコリメートレンズと、
前記平行光を、直進透過する透過光及び複数の回折光に分割する回折格子と、
前記回折光及び前記直進透過光から複数の収斂光を形成する結像レンズと、
前記結像レンズにより互いにシフトされた状態で撮像面に入射結像する前記複数の収斂光から被測定物を撮像する撮像手段と
を備えたことを特徴とする形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学的に被測定物の形状計測を行う形状測定装置に係り、特に光切断法により被測定物の形状を測定する形状測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
被測定物の形状を測定するために、光切断法を用いた測定方法が知られている。
この光切断法による被測定物の３次元形状測定では、通常、例えば、ラインジェネレータなどにより１本の線状に形成されたスリット状のライン光が被測定物の表面に照射されて反射され、ＣＣＤ（固体撮像素子）により検出されるようになっている。そして、光源と、ＣＣＤと、被測定物上のライン光との幾何学的な位置関係に基づいて、被測定物の表面におけるライン光の形状、即ち、ライン光に沿った被測定物の位置座標が計測される（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
ライン光は、その長手方向に垂直な方向に沿って走査され、複数の位置毎に、ライン光に沿った被測定物の位置座標が計測されて、被測定物の画像が求められる。例えば、測定光のビームをガルバノメータスキャナで水平方向に走査することにより、被測定物の形状測定を行っている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−２６６５２３号公報（第２頁、右欄中段、［０００３］、図１）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような従来の光切断法では、撮像素子の分解能を十分に確保しようとすると、視野が狭くなる一方、広い視野を確保するためには、検査対象若しくは測定系を順次移動して測定を行うか、測定系を複数設置して測定することが必要であった。
【０００６】
例えば、図８に示すように、図示外のラインジェネレータにより１本の幅広線状に形成したライン光を被測定物１０１に照射させ、この被測定物１０１での反射光をコリメータレンズ１０２で平行光束とした後、ハーフミラー１０３で２つに分岐させ、それぞれ結像レンズ１０４Ａ、１０４Ｂを介して２台のカメラ１０５Ａ、１０５Ｂで測定するといった方法が採られている。
【０００７】
このような構成の測定装置では、例えば図９に示すように、被測定物１０１の光切断像Ａ，Ｂを得るためには、一方のカメラ１０５Ａで光切断像Ａを撮像するとともに、他方のカメラで光切断像１０５Ｂを撮像して測定することが必要であった。
【０００８】
このように、光切断法を用いた従来の測定装置では、検査対象である被測定物自身若しくは測定系側を順次移動して測定を行うか、検査対象である被測定物は静置した状態にするとともに、測定系を静置した状態で複数設置して測定するといったことが必要であった。その結果、前者のような方法では測定時間が長くなり、後者の方法では装置の製造コストが嵩むといった問題を生じている。
【０００９】
この発明は、上記した事情に鑑み、簡便な構成により、一括して広い視野での測定が可能な形状測定装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の形状測定装置は、被測定物にスリット状の光を照射する照射手段と、前記照射された光が前記被測定物の物体面で反射する反射光から平行光を形成するコリメートレンズと、
前記平行光を複数に分岐するとともに、前記分岐された光をその後に重合するビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタにより分岐された光をそれぞれ反射するとともに、前記分岐された光の光軸に対して少なくともいずれかが傾いて配置された複数のミラーと、
前記ビームスプリッタにより分岐され前記複数のミラーにより反射された後、再び前記ビームスプリッタにより重合された前記複数の光がそれぞれ互いにシフトされた状態で入射する結像レンズと、
前記結像レンズにより互いにシフトされた状態で撮像面に入射結像する前記複数の収斂光から前記被測定物を撮像する撮像手段と
を備えたことを特徴としている。
【００１１】
これにより、ビームスプリッタで光線を分岐したのち、このビームスプリッタを透過した一方の光線束は垂直ミラーで垂直反射させてから、この反射光束をさらにビームスプリッタで反射させてカメラなどの撮像手段の撮像面上に結像させる。また、ビームスプリッタで反射した他方の光線束は、傾斜ミラーで反射され、ビームスプリッタを透過してカメラなどの撮像手段の撮像面上にずれて結像する。これにより、この両者が重ねて結像されることにより、１台のカメラなどの撮像手段で２台分の視野の光切断像を得ることができる。
【００１２】
また、本発明の形状測定装置は、被測定物にスリット状の光を照射する照射手段と、
前記照射された光が前記被測定物の物体面で反射する反射光から平行光を形成するコリメートレンズと、
前記平行光から複数に分割した収斂光を形成するレンズアレイと、
前記レンズアレイにより分岐され互いにシフトされた状態で撮像面に入射結像する前記複数の収斂光から被測定物を撮像する撮像手段と
を備えたことを特徴としている。
【００１３】
これにより、光切断像を第１レンズであるコリメートレンズで平行光線束とし、例えば、第２レンズであるレンズアレイを構成する２枚のレンズをずらして配置することにより、カメラなどの撮像手段の撮像面上に２つの像をずらせて結像させる。これにより、１台のカメラなどの撮像手段で２台分の視野の光切断像を得ることができる。
【００１４】
また、本発明の形状測定装置は、被測定物にスリット状の光を照射する照射手段と、
前記照射された光が前記被測定物の物体面で反射する反射光から平行光を形成するコリメートレンズと、
前記平行光を、直進透過する透過光及び複数の回折光に分割する回折格子と、
前記回折光及び前記直進透過光から複数の収斂光を形成する結像レンズと、
前記結像レンズにより互いにシフトされた状態で撮像面に入射結像する前記複数の収斂光から被測定物を撮像する撮像手段と
を備えたことを特徴としている。
【００１５】
これにより、光切断像を第１レンズであるコリメートレンズで平行光線とし、第２レンズである結像レンズとの間に設置された回折格子により、平行光線を例えば３方向に分散させる。その結果、カメラなどの撮像手段の撮像面上に３つの像がずれた状態で結像され、１台のカメラで３台分の視野の光切断像を得ることができる。
このようにして、１台のカメラなどの撮像手段で複数台分の長視野の光切断像を得ることにより、同時に広い領域の測定が実現できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明に係る実施の形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
［第１の実施形態］
図１及び図２は、この発明の第１の実施形態に係る光切断法を用いた形状測定装置１を示すものであり、この形状測定装置１は、図示外の光源からの出射光を直線状のスリット光に成形するスリット光源２（図２参照）と、このスリット光源２からのスリット光を薄板略矩形状を有する被測定物６に投光・走査する走査手段３（図２参照）と、結像光学系４及びカメラを構成する撮像手段５とを備えている。
【００１７】
スリット光源２は、本実施の形態では、公知の手段、例えばシリンドリカルレンズなどを用いたラインジェネレータで構成しており、形成したスリット光を被測定物６の短手方向の全面に亙って投光するようにしている。
また、このスリット光源２としては、スポット状のビーム光をポリゴンミラー等により高速に走査させて結果的にスリット状の光を投光する構成であってもよい。
【００１８】
走査手段３には、図示外の駆動モータにより強制的に回転駆動する略６角柱状などのポリゴンミラーを用いており、被測定物６の長手方向の物体面６１の全面に亙って投光するように構成されている。なお、本実施の形態のような走査手段３を設けずに、被測定物６を長手方向に機械的に移動させるような搬送機構を付設する構成などとしてもよい。
【００１９】
結像光学系４には、コリメータレンズ４１と、ビームスプリッタ４２と、複数のミラー４３と、結像レンズ４４などとを備えている。
【００２０】
コリメータレンズ４１は、被測定物６の物体面からの光をコリメート（平行光束）してコリメート光Ｌ０を形成するものであり、その後、このコリメート光はビームスプリッタ４２へ向けて進行してそこに入射するように配置されている。
【００２１】
ビームスプリッタ４２は、コリメート光Ｌ０を２つに分岐・分割するものであり、例えば、本実施の形態ではその後の進行光路が互いに直交する２本のコリメート光、即ち、第１コリメート光Ｌ１と第２コリメート光Ｌ２とに分岐・分割するように構成されている。
なお、本実施の形態では、コリメート光Ｌ０の分岐・分割手段として、ビームスプリッタを用いているが、光源からの光がコヒーレント（可干渉性）なレーザ光などであれば、偏光を利用して分岐・分割させるために、ビームスプリッタの代わりに、偏光子や偏光ビームスプリッタなどを適宜組み合わせた構成などとしてもよい。
【００２２】
ミラー４３は、ビームスプリッタ３２により分岐した後の２本のコリメート光Ｌ１、Ｌ２をそれぞれ反射する傾きの異なる複数のミラー（本実施の形態では、垂直ミラーを構成する第１ミラー４３Ａ及び傾斜ミラーを構成する第２ミラー４３Ｂ）で構成されている。
【００２３】
即ち、図１に示すように、第１ミラー４３Ａは、第１コリメート光Ｌ１の光路に対してこれに垂直な位置関係で配置させており、垂直反射させるように構成されている。
【００２４】
一方、第２ミラー４３Ｂは、ビームスプリッタ３２により折曲されて分岐し、第２コリメート光Ｌ２の光路に対して、第２コリメート光Ｌ２の光路を角度θだけ変位させるためのものである。換言すれば、第２ミラー４３Ｂは、第１コリメート光Ｌ１と第２コリメート光Ｌ２との重合の際に、第２ミラー４３Ｂを反射後の第２コリメート光Ｌ２の光路を、第１コリメート光Ｌ１の光路と合致させずに僅かにシフトさせるためのものであり、所定の角度（光梃子の原理から、この角度は（１／２）・θとなる）だけ傾いている。
【００２５】
結像レンズ４４は、ビームスプリッタ４２により分岐され、ミラー４３により反射された後、再びビームスプリッタ４２により重合された前述の複数のコリメート光Ｌ１，Ｌ２を撮像手段５に結像するものであり、この重合された前述の複数のコリメート光Ｌ１，Ｌ２は結像レンズ４４に対してそれぞれ平行光であるので、この結像レンズ４４の焦平面状に撮像手段５の撮像面５１を配置させるようになっている。
【００２６】
撮像手段５は、重合された前述のコリメート光Ｌ１，Ｌ２を、結像レンズ４４で結像された状態で受光するようになっており、本実施の形態では、ＣＣＤ（固体撮像素子）が用いられている。この撮像手段５は、前述したようにこの撮像面５１と結像レンズ４４との間の距離が結像レンズ４４の焦点距離になるように配置されており、撮像面５１には、被測定物６の反射像が図３（Ｂ）に示すような状態で撮像されるようになっている。即ち、被測定物６に投射されたスリット光反射像に被測定物６表面に凹凸があると、光切断線は折曲した像となり、所謂、光切断法により、被測定物６の縦断面形状を検出することができる。
【００２７】
被測定物６は、例えば本実施の形態では、薄板略矩形状を有する構成のものであり、本実施の形態では、説明を分かりやすくするため、図３（Ａ）に示すような２種類の情報（Ａ・Ｂ）がスリット光の反射面（図１で右側面）上に形成されているものとする。
【００２８】
次に、本実施の形態の作用について説明する。
スリット光源２から被測定物６の被検査面へ投光されて被測定物６で反射する反射光Ｌ０は、コリメータレンズ４１により平行光束化され、ビームスプリッタ４２に入射すると、このビームスプリッタ４２をそのまま透過するコリメート光Ｌ１と、ビームスプリッタ２により光路がコリメート光Ｌ１の光路とは直角（Ｚ）方向に折曲されて反射されるコリメート光Ｌ２との２つに分岐される。
【００２９】
このうち、コリメート光Ｌ１は、第１ミラー４３Ａにて垂直反射されてもとの光路を逆行し、再びビームスプリッタ４２に入射する。そして、このコリメート光Ｌ１は、ビームスプリッタ４２において９０度折曲されて反射され、その後、結像レンズ４４に入射して撮像手段５の撮像面５１上に結像される。
【００３０】
一方、コリメート光Ｌ２は、ビームスプリッタ４２で９０度折曲された状態で反射された後、傾斜ミラー４３Ｂにより傾斜角θをもって反射される。そして、このコリメート光Ｌ２は、ビームスプリッタ４２を透過して結像レンズ５に入射するが、コリメート光Ｌ１の像よりも所定距離Ｄだけ離間して結像する。
なお、このときの離間距離Ｄは、図３（Ｂ）において、撮像手段５の視野分ＤＸだけ取り、両切断像が受像面上に入り、かつ、重ならない程度ＤＹに取れば良い。
【００３１】
そして、スリット光源２と撮像手段５のＣＣＤと被測定物６上のスリット光との幾何学的な位置関係に基づいて、被測定物６の表面におけるスリット光の形状、即ちスリット光に沿った被測定物６の位置座標が計測される。スリット光は、その長手方向に垂直な方向に沿って走査され、複数の位置毎に、スリット光に沿った被測定物６の位置座標が計測されて、被測定物６の３次元座標が求められる。
【００３２】
上記のようにして、コリメート光Ｌ１，Ｌ２の光切断像が撮像面５１上に重ねて結象されることにより、１台のカメラで２台分の視野の光切断像を得ることができる。また、両光切断像の撮像面５１上での結像位置は、ミラー４３Ａ及び４３Ｂの傾斜角によって調整することが可能である。
【００３３】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態について、図４を用いて説明する。なお，本実施形態において、第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して重複説明を避ける。
本実施の形態では、図１で説明した第１の実施形態と異なるのは、結像光学系７の部分のみで他の部分は第１の実施形態と同様の構成であり、本実施形態の結合光学系７には、コリメータレンズ７１と、レンズアレイ７２とを備えている。
【００３４】
このうち、コリメータレンズ７１は、第１の実施形態での結像光学系４に用いたコリメートレンズ４１と同様のもので構成されている。
一方、レンズアレイ７２には、２枚の結像レンズ７２Ａ、７２Ｂが、図５に示すように、所定距離ＳＸ、ＳＹだけ離間して配置されている。即ち、２枚の結像レンズ７２Ａ、７２Ｂの離間距離ＳＸ、ＳＹは、図３に示すように、撮像手段５の視野分だけ確保するとともに、両切断像Ａ，Ｂが受像面上に入り、かつ、両切断像Ａ，Ｂが重ならない程度に設定すれば良い。
【００３５】
次に、本実施形態の作用について、図４を参照しながら説明する。
第１の実施形態のスリット光源２と同様に、図示外のスリット光源からスリット光が被測定物６へ投光されると、この被測定物６の物体面で反射する反射光Ｌ０は、コリメータレンズ７１により平行光束化されたコリメート光Ｌ０となり、レンズアレイ７２に入射する。
【００３６】
ここで、このレンズアレイ７２は、前述したように、２枚の結像レンズ７２Ａ、７２Ｂで構成されており、これら結像レンズ７２Ａ、７２ＢがＸ方向とＹ方向とに所定距離だけ離間して配置されている。従って、コリメート光Ｌ０は、レンズアレイ７２を構成する結像レンズ７２Ａ、７２Ｂにより、収斂光Ｌ３、Ｌ４に２分岐され、撮像手段５の撮像面５１上に所定距離ＳＸ、ＳＹだけ離間して結像される。
【００３７】
上記のようにして、２光線束である収斂光Ｌ３、Ｌ４の光切断像Ａ，Ｂ（図３（Ａ）参照）が、図３（Ｂ）に示すように撮像面５１上に重ねて結像されることにより、１台のカメラでカメラ２台分の視野の光切断像Ａ，Ｂを得ることができる。
【００３８】
従って、本実施形態でも、前述したように、収斂光Ｌ３、Ｌ４の光切断像が受像面５上に重ねて結像されることにより、１台のカメラでカメラ２台分の視野の光切断像を得ることができる。
また、本実施形態によれば、第１の実施の形態のように、ビームスプリッタやミラーを用いることなく、コリメータレンズ７１とレンズアレイ７２のみで構成可能な簡便な結像光学系で済むので、装置としての製造コストも低く抑えることができる。
【００３９】
［第３の実施形態］
次に、本発明の第３実施の形態について、図６を用いて説明する。なお、本実施形態において、第１の実施形態と同一部分には同一符号を付して重複説明を避ける。
本実施形態では、図１で説明した第１の実施形態と異なるのは、結像光学系８の部分が異なるのみで、他の部分は第１の実施形態と同様の構成であり、本実施の形態の結合光学系８には、コリメータレンズ８１と、回折格子８２と、結像レンズ８３とを備えている。
【００４０】
このうち、コリメータレンズ８１は、第１の実施形態での結像光学系４に用いたコリメートレンズ４１と同様のもので構成されている。
【００４１】
一方、回折格子８２は、一定ピッチでスリット又は溝を設けた透過型のものが用いられており、ここを透過するコリメート光は、それぞれ所定の回折角度で回折されて多数の回折光が生成される。特に、本実施形態では、これらの回折光のうち、０次光Ｌ５、±１次光Ｌ６，Ｌ７の都合３本の透過・回折光Ｌ５〜Ｌ７を利用するように構成されている。
【００４２】
即ち、０次光Ｌ５は、回折格子８２を直進透過する回折角度がゼロの透過光であり、＋１次光Ｌ６は、この０次光Ｌ５に最も隣接して回折する回折光である。また、−１次光Ｌ７は、０次光Ｌ５を中心として＋１次光Ｌ６とは反対側から０次光Ｌ５に最も隣接して回折する回折光である。この±１次光Ｌ６，Ｌ７の回折角度は、回折方向が異なるのみで回折角度が同一であり、最も回折角度が小さいものであるが、これらの回折光Ｌ６，Ｌ７は他の下位の次数の回折光、即ち、±２次光，±３次光，・・・などに比べて測定光として光量（光強度）が多いので、被測定物６の表面形状を観測する際に表面画像を確実に撮像することができるものである。
【００４３】
結像レンズ８３は、０次光Ｌ５、±１次光Ｌ６，Ｌ７の都合３本の透過・回折光を受像面上に結像させるものであるが、このときの３本の透過・回折光の結像位置、即ち両側の回折光（±１次光Ｌ６，Ｌ７）の離間距離は、図７（Ｂ）に示すように、撮像手段の視野分だけ確保するとともに、全ての光切断像が撮像面５１上に入り、かつ、重ならない程度に確保すれば良い。
【００４４】
次に、本実施形態の作用について図６を参照しながら説明する。
第１の実施形態のスリット光源２と同様に、図示外のスリット光源からスリット光が被測定物６へ投光されると、この被測定物６の物体面で反射する反射光Ｌ０は、コリメータレンズ８１により平行光束化されたコリメート光Ｌ０となり、回折格子８２に入射する。
【００４５】
そして、平行光束化されて透過型回折格子８２に入射したコリメート光Ｌ０は、０次透過光Ｌ５、＋１次回折光Ｌ６、−１次回折光Ｌ７の３平行光線に分岐される。そして、これら３本の平行光Ｌ５〜Ｌ７は、結像レンズ８３に入射し、撮像手段５の撮像面５１上に、所定距離だけ離間して結像される。
【００４６】
このようにして、３光線Ｌ５〜Ｌ７の光切断像Ａ〜Ｃ（図７（Ａ）参照）が、図７（Ｂ）に示すように受像面５１上に重ねて結像されることにより、１台のカメラでカメラ３台分の視野の光切断像を得ることができる。
【００４７】
従って、本実施形態によれば、３光線Ｌ５〜Ｌ７の光切断像が受像面５１上に一部シフトした状態で重ねて結像されることにより、１台のカメラでカメラ３台分の視野の光切断像を得ることができる。
また、本実施形態では、第１の実施形態のように、ビームスプリッタやミラーを用いることなく、コリメータレンズ８１と回折格子８２および結像レンズ８３のみで構成可能な簡便な結像光学系であり、装置の製造コストを低く抑えることができる。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、簡便な構成により、光切断法で一括して広い視野での形状測定が高速で実現可能な形状測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る形状測定装置の要部構成及び光路を示す説明図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る形状測定装置においてスリット光を形成する光学系などを示す概略斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る形状測定装置における光切断像を示す説明図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る形状測定装置の要部構成及び光路を示す説明図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る形状測定装置のレンズアレイの配置構成を示す説明図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る形状測定装置の要部構成及び光路を示す説明図である。
【図７】本発明の第３の実施形態に係る形状測定装置における光切断像を示す説明図である。
【図８】従来の形状測定装置の要部構成及び光路を示す説明図である。
【図９】従来の形状測定装置における光切断像を示す説明図である。
【符号の説明】
１      形状測定装置
２      スリット光源
３      走査手段
４      結像光学系
４１    コリメータレンズ
４２    ビームスプリッタ（ＢＳ）
４３Ａ  第１ミラー（垂直ミラー）
４３Ｂ  第２ミラー（傾斜ミラー）
４４    結像レンズ
５      撮像手段（撮像素子；ＣＣＤ）
５１    撮像面（受像面又は受光面；視野）
６      被測定物
６１    物体面
７      結合光学系
７１    コリメータレンズ
７２    レンズアレイ
７２Ａ  結像レンズ
７２Ｂ  結像レンズ
８      結合光学系
８１    コリメータレンズ
８２    回折格子（グレーティング）
８３    コリメータレンズ
Ｌ０    スリット光（反射光）
Ｌ１    第１コリメート光（平行光束）
Ｌ２    第２コリメート光（平行光束）
Ｌ３    収斂光
Ｌ４    収斂光
Ａ〜Ｃ光切断像
【図１】
2004333153.tif 000003
【図２】
2004333153.tif 000004
【図３】
2004333153.tif 000005
【図４】
2004333153.tif 000006
【図５】
2004333153.tif 000007
【図６】
2004333153.tif 000008
【図７】
2004333153.tif 000009
【図８】
2004333153.tif 000010
【図９】
2004333153.tif 000011