(57)【要約】【課題】トレンチを有する半導体装置の製造方法において、トレンチのコーナー部分に、他の部分よりも厚く、応力において小さい酸化膜を形成する方法を提供する。【解決手段】半導体基板に形成されたトレンチを酸化する際、ジクロロエチレンを所定の重量％で含む酸素雰囲気中で、酸化することにより、トレンチのコーナー部分における厚さが他の部分の厚さよりも厚い酸化膜を形成することができ、これによって、絶縁破壊特性を改善した半導体装置を得ることができる。【選択図】  図９
2004228457.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体領域にエッチングによりトレンチを形成し、当該トレンチ内に絶縁物を充填したＳＴＩ領域を有する半導体装置の製造方法において、ジクロロエチレン（ＤＣＥ）を用意する工程と、前記トレンチ内を前記ジクロロエチレンによりハロゲン酸化し、当該ハロゲン酸化により前記トレンチの開口上端部に隣接する半導体領域のコーナー部の角度を、ハロゲン酸化される前に比較して丸める工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、前記ジクロロエチレンによるハロゲン酸化により、前記トレンチ内には、前記トレンチの開口上端部から前記トレンチの底部まで、漸次薄くなるような絶縁膜が形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、酸素雰囲気中の前記ジクロロエチレンの濃度は、重量％で、０．４５％から１．９７％の範囲にあることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、前記ハロゲン酸化後、前記トレンチ内に、絶縁物を充填する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
半導体領域にエッチングによりトレンチを形成し、当該トレンチ内に絶縁物を充填したＳＴＩ領域を有する半導体基板の酸化方法において、ジクロロエチレン（ＤＣＥ）を用意する工程と、前記トレンチ内を前記ジクロロエチレンによりハロゲン酸化し、当該ハロゲン酸化により前記トレンチの開口上端部に隣接する半導体領域のコーナー部における酸化膜の厚さを他のトレンチ内酸化膜の厚さよりも厚くする工程とを有することを特徴とする半導体基板の酸化方法。
【請求項６】
請求項５において、キャリャガスとして窒素を使用し、当該窒素によりバブリングすることによって前記ジクロロエチレンを気化させた後、酸素と共に、前記トレンチを形成した半導体基板を収容した炉内に導入する工程を有し、前記炉内酸素雰囲気中の前記ジクロロエチレンの含有量は前記炉内に導入される酸素の重量と、前記バブリングにより炉内に導入されるＤＣＥとの間の重量％によって決定されることを特徴とする半導体基板の酸化方法。
【請求項７】
請求項６において、前記窒素の流量に対する前記酸素の流量の割合を示す前記重量％は、０．４５〜１．９７％の範囲にあることを特徴とする半導体基板の酸化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＳＴＩ（ｓｈａｌｌｏｗ  Ｔｒｅｎｃｈ  Ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）エッジを備えた半導体装置の製造方法に関し、更に、半導体基板内に形成されたトレンチを酸化する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＤＲＡＭ等の半導体装置では、シリコン基板の一表面に、ＳＴＩ技術を使用して、絶縁物を充填されたトレンチによって囲まれた素子領域を形成し、当該素子領域内に、ソース及びドレイン領域を有するＭＯＳトランジスタが形成されると共に、これら素子領域上に、ゲート電極、キャパシタ、配線層が形成されている。このような半導体装置を製造する場合、シリコン基板に形成されたトレンチに絶縁物を充填することによってＳＴＩ領域を形成した後、トレンチ近傍のシリコン基板上に残っている絶縁膜を除去し、トレンチ近傍の半導体基板上にゲート酸化膜及びゲート電極が形成される。このような半導体装置は、トレンチに充填された絶縁膜上に、隣接する領域から、ゲート電極が延在するパターンを有する構成を有している。
【０００３】
前述した半導体装置は、ＳＴＩ領域のエッジがゲート絶縁膜及びゲート電極に隣接した構成となる。このような構成の半導体装置のＴＺＤＢ（Ｔｉｍｅ  Ｚｅｒｏ  Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｂｒｅａｋｄｏｗｎ）特性を評価すると、６ｎｍの厚さを有するゲート絶縁膜では、８Ｖ以下の電圧（即ち、１３．３ＭＶ／ｃｍ以下の電界強度）で絶縁破壊が多々生じることが判明した。一方、ＳＴＩエッジを有していないパターンでは、上記した電圧を印加しても、ＴＺＤＢ特性の絶縁破壊が発生しないことから、絶縁破壊はＳＴＩエッジに起因しているものと推測された。
【０００４】
この推測の下に、ＳＴＩエッジを鋭意観測すると、トレンチ内に残されている絶縁膜のうち、トレンチのエッジを形成する部分が絶縁膜の他の部分に比較して薄くなっていることが観測された。
【０００５】
そこで、トレンチ及び絶縁膜の形成方法について検討を行った。この場合、トレンチはシリコン基板をＳＴＩドライエッチによってエッチングすることによって形成され、また、トレンチ内に埋設される絶縁物は、上記エッチング及び洗浄工程後、水素と酸素を燃焼させて生成した水分によってトレンチ内部を酸化すること、及び、ＣＶＤ酸化膜によって形成されていた。
【０００６】
一方、特開２０００−２６９４９９（以下、引用文献１と呼ぶ）では、ＰチャネルパワーＭＯＳＦＥＴのトレンチ上部コーナーに被着されたゲート酸化膜が、平坦部またはトレンチ側壁における厚さよりも薄くなることが指摘されている。更に、薄くなったコーナー部の酸化膜に対して、電界が集中してゲート絶縁膜の絶縁破壊が生じることも指摘されている。
【０００７】
このようなゲート絶縁膜の絶縁破壊を防止するために、引用文献１は、トレンチのコーナー部に位置するゲート絶縁膜の膜厚をトレンチの他の部分の膜厚よりも厚くしたＭＯＳＦＥＴを提案している。また、引用文献１は、コーナー部に膜厚の厚いゲート絶縁膜を形成するために、トレンチのコーナー部に隣接するシリコン基板領域における不純物濃度を他の部分に於ける不純物濃度よりも局部的に高濃度にすることを開示している。このように、高濃度の不純物を含む領域をＲＩＥ（Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｉｏｎ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）によりエッチングし、トレンチを形成し、当該トレンチを塩酸希釈酸化法によりゲート酸化膜を形成した場合、高濃度に不純物を含む領域には、約２倍程度の厚さを有する酸化膜が形成されることを指摘している（００３１段落）。
【０００８】
次に、特開平６−２６７９３８号公報（以下、引用文献２と呼ぶ）には、シリコン基板に高品質のシリコン酸化膜を形成するために、酸化性雰囲気に、２〜８重量％のトランス１，２ジクロロエチレンを添加する酸化膜形成方法が記載されている。この方法では、トランス１，２ジクロロエチレンを添加することにより、重金属及びアルカリイオン等の不純物をゲッタリングできることが示されている。
【０００９】
更に、特開昭６３−３１６４４０号公報（以下、引用文献３と呼ぶ）には、シリコン基板にリアクティブイオンエッチングによってトレンチを形成する際、エッチングガスとして、塩素と酸素の混合ガスを使用することによって、四塩化炭素等のように、炭素を含むガスによるエッチングにおいて、炭素の析出によって生じていたトレンチの底荒れ、側壁荒れ等を防止できることが開示されている。
【００１０】
また、特開平１１−２７４２８８号公報（以下、引用文献４と呼ぶ）には、トレンチに隣接した活性領域に生じる角部に対する電界集中を防止するために、活性領域の端部を丸めること（０００６段落）が記載されている。更に、引用文献４は、活性領域、及び、トレンチに隣接した酸化膜領域の鋭角形状部分を無くすために、活性領域端の角部を丸めると共に、多結晶シリコン膜側への這い上がりを持たせるために熱酸化を行うことを提案している。この場合、トレンチ及び活性領域には、バーズビーク状に突出した突出部分を有するシリコン酸化膜が形成され、この突出部分の下側に活性領域の角部が位置付けられ、その上面側において角部より内側に後退する丸くえぐられた凹部が形成されている（００２２段落）。また、引用文献４は、トレンチ及び活性領域上にバーズビーク状のシリコン酸化膜を形成する方法として、１１００℃のドライ酸化を用いること、及び、１０００℃以上、例えば、１１００℃のＨＣｌ酸化を使用できることも開示している（００２３段落）。
【００１１】
【特許文献１】
特開２０００−２６９４９９号公報（００３１段落）
【００１２】
【特許文献２】
特開平６−２６７９３８号公報
【００１３】
【特許文献３】
特開昭６３−３１６４４０号公報
【００１４】
【特許文献４】
特開平１１−２７４２８８号公報
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、引用文献１〜４を更に検討すると、引用文献１は、ＰチャネルパワーＭＯＳＦＥＴを製造する方法を開示しているだけで、深さの浅いＳＴＩ領域を有するＭＯＳトランジスタについては何等検討されていない。即ち、引用文献１は、深いトレンチを備えたＭＯＳＦＥＴにおいて、トレンチのコーナー部に近い領域だけに高濃度の不純物領域を形成した後、この高濃度不純物領域上に厚いゲート酸化膜を塩酸希釈酸化法によって形成し、これによって、トレンチのコーナー部に厚い酸化膜を形成できることを明らかにしている。換言すれば、引用文献１はトレンチコーナー部の不純物濃度と塩酸希釈酸化法との組み合わせによって、コーナー部に厚い酸化膜を設ける方法を開示している。
【００１６】
このことからも明らかな通り、引用文献１は、高濃度不純物領域を形成できない程度に、トレンチの深さが浅い場合の酸化膜形成方法及び不純物濃度の高い領域を使用しないで、局部的に厚い酸化膜を形成する方法について、何等示唆していない。
【００１７】
更に、引用文献２は、トランス１，２ジクロロエチレンを使用した酸化膜形成方法を開示しているだけで、トレンチを形成した場合、酸化膜の一部のみを局部的に厚くする方法については、何等、指摘していない。また、引用文献２では、０．５〜１．４ｎｍの膜厚を有する自然酸化膜を除去し、更に、高品質のシリコン酸化膜を形成するために、酸化雰囲気中のジクロロエチレンの含有量を２．０〜１４重量％にすることが提案されているが、トレンチ内部に形成された酸化膜については、何等、検討されていない。
【００１８】
また、引用文献３は、炭素を含むガスによるエッチングでトレンチを形成した場合の欠点を除去するために、炭素を含むガスの代わりに、塩素及び酸素ガスによってエッチングすることによってトレンチを形成する方法を開示している。このエッチングの際、トレンチ側壁には、二酸化シリコンを主成分とする堆積物が堆積され、当該堆積物はフッ酸により除去されている（第３頁、上段右欄及び下段左欄）。しかし、引用文献３は、塩素及び酸素ガスによってトレンチを形成し、堆積物を除去した後における処理について言及していない。特に、引用文献３は、炭素を含むガスの代わりに、塩素及び酸素ガスによる酸化膜形成を提案しており、例えば、ジクロロエチレン（ＤＣＥ）等のように、炭素を含む場合における解決法については全く開示していない。
【００１９】
次に、引用文献４は素子領域の上部位置における角部を酸化によって丸くすること、及び、トレンチ内に熱酸化によって素子領域表面よりも突出したシリコン酸化膜を埋込むことを提案している。しかしながら、引用文献４は、一回の酸化膜の形成によって局部的に厚さの異なる酸化膜を形成する方法及びＳＴＩ領域内部における酸化膜の膜厚の変化について指摘されていないし、また、ＨＣｌ酸化の濃度等、酸化膜形成に必要な条件については、何等、記載されていない。
【００２０】
本発明の目的は、一回の酸化によって意図的に局部的に厚さの異なる酸化膜を形成する半導体装置の製造方法を提供することである。
【００２１】
本発明の具体的な目的は、ＳＴＩ領域を備えた構成の半導体装置に適用して、当該ＳＴＩ領域の存在によって生じるＴＺＤＢ特性の劣化の原因を究明し、ＴＺＤＢ特性を改善できる半導体装置の製造方法を提供することである。
【００２２】
本発明の他の目的は、ゲート絶縁膜に１５ＭＶ／ｃｍ以上の電界強度の電界が印加されても絶縁破壊の生じないＳＴＩ領域を備えた半導体装置の製造方法を提供することである。
【００２３】
本発明の更に他の目的は、トレンチ内壁に酸化膜を形成した場合、トレンチ上部のコーナー部における酸化膜の角度をなだらかにし、この結果、半導体領域のコーナー部を丸くすることができる半導体基板の酸化方法を提供することである。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本発明の一態様によれば、半導体領域にエッチングによりトレンチを形成し、当該トレンチ内に絶縁物を充填したＳＴＩ領域を有する半導体装置の製造方法において、ジクロロエチレン（ＤＣＥ）を用意する工程と、前記トレンチ内を前記ジクロロエチレンによりハロゲン酸化し、当該ハロゲン酸化により前記トレンチの開口上端部に隣接する半導体領域のコーナー部の角度を、ハロゲン酸化される前に比較して丸める工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法が得られる。
【００２５】
本発明の別の態様によれば、前記ジクロロエチレンによるハロゲン酸化により、前記トレンチ内には、前記トレンチの開口上端部から前記トレンチの底部まで、漸次薄くなるような絶縁膜が形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法が得られる。
【００２６】
本発明の更に他の態様によれば、前記ジクロロエチレンの酸素雰囲気中における濃度は、重量％で０．４５％から１．９７％の範囲にあることを特徴とする半導体装置の製造方法が得られる。
【００２７】
本発明の別の態様によれば、前記ハロゲン酸化後、前記トレンチ内に、絶縁物を充填する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法が得られる。
【００２８】
本発明の更に他の態様によれば、半導体領域にエッチングによりトレンチを形成し、当該トレンチ内に絶縁物を充填したＳＴＩ領域を有する半導体基板の酸化方法において、ジクロロエチレン（ＤＣＥ）を用意する工程と、前記トレンチ内を前記ジクロロエチレンによりハロゲン酸化し、当該ハロゲン酸化により前記トレンチの開口上端部（即ち、開口エッジ）に隣接する半導体領域のコーナー部における酸化膜の厚さをトレンチ内の他の部分の酸化膜の厚さよりも厚くする工程とを有することを特徴とする半導体基板の酸化方法が得られる。
【００２９】
更に、本発明の態様によれば、キャリャガスとして窒素を使用し、当該窒素によりバブリングすることによって前記ジクロロエチレン（ＤＣＥ）を気化させた後、酸素と共に、前記トレンチを形成した半導体基板を収容した炉内に導入する工程を有し、前記炉内酸素雰囲気中の前記ジクロロエチレンの含有量は前記炉内に導入される酸素の重量と、前記バブリングにより炉内に導入されるＤＣＥの重量との間の重量％によって決定されることを特徴とする半導体基板の酸化方法が得られる。この場合、前記酸素の重量と前記ＤＣＥの重量との割合を示す前記重量％は、０．４５％〜１．９７％の範囲にあることが好ましい。
【００３０】
【発明の実施の形態】
図１乃至図７を参照して、本発明の一実施の形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に説明する。ここでは、半導体装置としてＤＲＡＭを製造する場合を例にとって説明する。図１を参照すると、シリコン基板２０上に、シリコン酸化膜２１及びシリコン窒化膜２２が順次、通常の手法により形成されている。
【００３１】
次に、図２に示されているように、これらシリコン窒化膜２２及び酸化膜２２は、トレンチを形成すべき領域をマスク（図示せず）によって被覆した後、ホトリソグラフィー技術及びドライエッチング技術を用いて選択的にエッチングされ、素子領域上のシリコン窒化膜２２及びシリコン酸化膜２１だけがシリコン基板２０上に残され、シリコン基板２０の表面は、素子領域とトレンチを形成する領域とに区分される。
【００３２】
この状態で、図３に示すように、シリコン基板２０表面のシリコン酸化膜２１及びシリコン窒化膜２２をマスクとして、シリコン基板２０が、例えば、２５０ｎｍの深さだけ、例えば、ドライエッチによりエッチングされ、トレンチ形成領域にトレンチ３０が形成され、洗浄を行う。図示されているように、トレンチ３０は、底部３０ａと当該底部を挟む側壁部３０ｂとを有している。
【００３３】
続いて、図４に示すように、トレンチ３０の底部３０ａ及び側壁部３０ｂには、本発明に係る酸化膜形成法によって、シリコン酸化膜３１が形成される。本発明に係る酸化膜形成法については、後述する。
【００３４】
以下、図５に示されているように、露出したシリコン酸化膜３１及びシリコン窒化膜２２の全面に、ＣＶＤにより、例えば、８００ｎｍの厚さのシリコン酸化膜（プラズマ酸化膜）３２が形成され、続いて、図６に示すように、化学機械的研磨（ＣＭＰ）によりシリコン窒化膜２２が露出するまで、プラズマ酸化膜３２を研磨し、次に、図７に示されているように、シリコン窒化膜２２を除去する。プラズマ酸化膜３２及びシリコン酸化膜３１はＳＴＩ領域を形成しており、これによって、素子絶縁領域が形成されることになる。
【００３５】
以後、通常の手法により、素子領域上のシリコン酸化膜２１を除去して、当該素子領域内に、ゲート絶縁膜、ソース領域、ドレイン領域等を形成すると共に、ゲート電極、ワード線、キャパシタ等を形成して、ＤＲＡＭを形成する。
【００３６】
ここで、図４に示された工程において、従来の酸化方法が使用された場合について説明する。従来の酸化方法として、例えば、水素と酸素とを燃焼させて生成された水分による酸化方法が使用された場合、ウェット雰囲気で、図８に示すように、シリコン酸化膜３１ａが形成された。ウェット雰囲気で形成されたシリコン酸化膜３１ａは、図８に示すように、トレンチ３０の側壁部３０ｂの中央部において厚く、トレンチ３０の側壁部３０ｂの上端に位置する上部コーナー部３１ｂにおいて薄くなることが判明した。言い換えると、シリコン酸化膜３１ａは、トレンチ３０の上端に位置する上部コーナー部分３１ｂにおいて、シリコン基板２０の表面に対して略垂直な角度を有している。このような形状を有するシリコン酸化膜３１ａの応力を測定すると、上部コーナー部３１ｂにおける応力が大きいことが分かった。
【００３７】
更に、図８に示すように、略垂直な角度を有するシリコン酸化膜３１ａを形成した状態で、図５〜図７と同様な工程を経て、厚さ６ｎｍのゲート酸化膜を有するトランジスタを製作した。このようにして製作されたトランジスタのＴＺＤＢ特性を測定すると、８Ｖ以下の電圧（即ち、１３．３ＭＶ／ｃｍの電界強度）から絶縁破壊が発生した。これは、シリコン酸化膜３１ａ（図８）の上部コーナー部分３１ｂにおける応力が大きくなると、以後に形成されるゲート酸化膜が均一に形成できず、この結果、不良率が上昇するためであると推測される。
【００３８】
一方、ＳＴＩ領域におけるエッジを有しないパターンの場合、６ｎｍの厚さのゲート酸化膜に対して９Ｖ以上の電圧を印加したとき、即ち、電界強度１５ＭＶ／ｃｍの電界を印加したとき、絶縁破壊が発生することから、本発明はＳＴＩ領域エッジの無いパターンと同じ程度のＴＺＤＢ特性を実現できるＤＲＡＭを製作することを企図している。まず、絶縁電圧の低下は、ＳＴＩ領域のコーナー部分に重金属汚染によって生じるものと仮定して、種々の酸化法を試行した。その結果、ジクロロエチレン（ＤＣＥ）によるハロゲン酸化によるトレンチ３０内壁酸化が最も特性を改善できた。しかしながら、重金属汚染を評価したところ、ハロゲン酸化を行う前の段階で、重金属汚染は既に低レベルになっており、ハロゲン酸化では、重金属の除去は実際には行われないことが判明した。言い換えれば、上記特性の改善は、ハロゲン酸化の重金属除去効果によるものではなく、ハロゲン酸化による別の効果によるものであることを意味している。
【００３９】
この点を考慮して、更に検討を加えた結果、ＤＣＥによるハロゲン酸化をトレンチ３０内壁に適用した場合、ハロゲン酸化によってトレンチ３０内壁に形成されたシリコン酸化膜３１は、図４〜図７に概略的に示された断面を持ち、図８に示されたシリコン酸化膜３１ａとは明らかに異なる断面を有していることが判明した。
【００４０】
更に、図９を用いて、シリコン酸化膜３１の断面を具体的に説明すると、ジクロロエチレン（ＤＣＥ）によるハロゲン酸化で形成されたシリコン酸化膜３１は、トレンチ３０内壁３０ｂの上部コーナー部分３６において厚く、トレンチ３０の底部３０ｂに行く程薄くなっていることが分かった。このような構造のシリコン酸化膜３０を形成した場合、シリコン酸化膜３１の上部コーナー部分３６に対応するシリコン基板２０のエッジ部分は、その表面に対し９０°より大きい角度（鈍角）を有し、この結果、シリコン基板２０のエッジ部分の角度は丸くなっていることが判明した。即ち、ハロゲン酸化を施した場合、トレンチ３０の上部コーナー部分３６において、局部的にシリコン酸化膜３１を厚くすることができることが分かった。例えば、半導体基板２０のコーナー部分（エッジ部分）におけるシリコン基板２０の角度は、９５°〜９８°の範囲になり、ハロゲン酸化を行う前に比較して、角度が丸められていることが確認された。
【００４１】
更に、前述した断面形状を備えたシリコン酸化膜３０は、トレンチ３０の上部コーナー部分３６においても、水素と酸素とを燃焼させて生成したシリコン酸化膜３１ａ（図８）に比較して低い応力を有していた。
【００４２】
これらの実験結果から、ＳＴＩ領域コーナー部分におけるシリコン酸化膜の絶縁破壊特性は、シリコン酸化膜３１の応力が局部的に高くなる部分で劣化するものと推測される。本発明は、ハロゲン酸化を行った場合、小さい応力を有し、形状的にも応力を低減できる形状を有するシリコン酸化膜３１を形成できると言う知見に基づいている。この結果、ゲート酸化を行った場合、ＳＴＩ領域の上部コーナー部まで均一で欠陥のできないゲート酸化膜が形成できた。
【００４３】
図１０を参照すると、本発明の一実施形態に係る製造方法に使用されるシステムが示されている。図示されているように、当該システムは、反応炉４１及びバブラー４２とを備え、バブラー４２内には、液体のジクロロエチレン（ＤＣＥ）（Ｃ２Ｈ２Ｃｌ２）が充填されている。バブラー４２は、実際には図示されない恒温槽内に設置されており、キャリアガスとして窒素ガス（Ｎ２）が当該バブラー４２内に供給される一方、反応炉４１には、複数のシリコン基板が挿入されている。図示された反応炉４１内には、複数のシリコン基板が水平且つ平行に配置されている。
【００４４】
当該反応炉４１内には、酸素ガス（Ｏ２）が導入されると共に、キャリアガスによるバブリングによって気化されたＤＣＥがバブラー４２から供給されている。図示された例では、酸素ガス及び気化されたＤＣＥは、反応炉４１の直前で混合され、反応炉４１内に導入されている。
【００４５】
次に、図示された例における反応炉４１内で行われるハロゲン酸化について説明する。図１０からも明らかなように、反応炉４１には、直接酸素が導入されると共に、バブラー４２において窒素によるバブリングによって気化されたＤＣＥが導入されている。この状態で、反応炉４１内において以下の反応が生じる。
【００４６】
３Ｃ２Ｈ２Ｃｌ２＋（１３／２）Ｏ２  ＝  ４ＨＣｌ＋６ＣＯ２＋Ｈ２Ｏ＋Ｃｌ２
この反応において、右辺の酸化種（Ｈ２Ｏ）によりシリコンの酸化が生じる。本発明は、上式で示されるハロゲン酸化をトレンチ３０の内壁酸化に適用して、低い応力を有すると共に、トレンチ３０のコーナー部分３６において局部的に厚いシリコン酸化膜を形成できることを確認した。ここで、本発明の一実施形態におけるハロゲン酸化を更に詳細に説明する。まず、反応炉４１内は、８５０℃〜９５０℃の温度範囲内に加熱され、加熱された反応炉４１内に、酸素及びバブラー４２によって気化されたＤＣＥが導入される。上式からも明らかなように、反応炉４１では、酸素の存在下でＤＣＥとの反応によりハロゲン酸化が行われる。
【００４７】
次に、上記した特性及び形状を有するシリコン酸化膜３１を得るために必要なハロゲン酸化の条件を説明する。ハロゲン酸化によって形成されるシリコン酸化膜は、酸素雰囲気中におけるＤＣＥ濃度によって変化する。本発明者等の実験では、反応炉４１に導入される酸素の重量と、ＤＣＥをバブリングにより反応炉４１内に導入されるＤＣＥの重量とから得られるＤＣＥの重量％とを制御因子として使用した。実験では、酸素の流量が２０ｓｌｍの時、酸素の重量は、２８．５７ｇであり、バブリング用の窒素を２００ｓｃｃｍの流量で流したときに、反応炉４１内には、４３３ｍｇのＤＣＥが導入され、この時、好ましい特性及び形状を有するシリコン酸化膜を得ることができた。この場合におけるＤＣＥの重量％は、０．４４３／２８．５７（＝０．０１５）となり、１．５％であった。尚、上記した条件をバブリング用の窒素と酸素との関係を流量％であらわすと、０．２／２０（＝０．０１）となり、１％であった。
【００４８】
更に、酸素及び窒素の流量を変化させることによりＤＣＥ濃度の重量％と不良率（％）との関係、及び、ＤＣＥ濃度の重量％と上部コーナー部での応力（ＭＰａ）との関係を調べ、ＤＣＥ濃度の適正な範囲を求めた。
【００４９】
図１１を参照すると、ＤＣＥ濃度（重量％）と、１５ＭＶ／ｃｍでＴＺＤＢを行った場合における不良率（％）との関係が示されている。図からも明らかな通り、ＤＣＥ濃度が重量％で０．１５〜０．３７５％の範囲では、不良率が２０〜１８％と高く、０．４５％になると不良率が５％以下になっている。このことから、ＤＣＥ濃度を重量％で０．４５％以上にすることが必要であることが分かる。
【００５０】
他方、図１２を参照すると、ＤＣＥ濃度（重量％）と上部コーナー部における応力との関係が示されており、図１１と同様に、ＤＣＥ濃度が重量で０．３７５％以下の場合、応力が１５０ＭＰａ以上と非常に高く、０．３７５％を越えると、応力は急激に低下して５０ＭＰａ以下になっていることが分かる。これらの図からも、ＤＣＥ濃度を重量で０．４５％以上にすることが必要であることが分かる。
【００５１】
一方、ＤＲＡＭを構成する電界効果トランジスタの特性を考慮すると、良好なトランジスタ特性を達成するためには、ゲート閾値電圧（Ｖｔｈ）とドレイン電流（Ｉｄ）との関係をあらわす特性にハンプが生じないようにすることが要求される。ハンプは閾値電圧により評価することができる。この場合、例えば、２Ｖ以上の閾値電圧を有するトランジスタが良好なトランジスタであると言える。
【００５２】
図１３を参照すると、閾値電圧（Ｖｔｈ）とＤＣＥ濃度（重量％）との関係が示されている。図からも明らかな通り、ＤＣＥ濃度が１．９７重量％を越えると、閾値電圧（Ｖｔｈ）は急激に低下して、１．５Ｖより低くなる。この結果から、ＤＣＥ濃度は、１．９７重量％を越えないことが望ましい。換言すると、ＤＣＥ濃度が１．９７重量％を越えると、ハンプが現われることを意味している。これは、１．９７重量％よりＤＣＥ濃度が高くなると、ＳＴＩ内壁の酸化膜中に塩素が残留し、この塩素が電荷として作用するためであると推測される。
【００５３】
図１１乃至１３からも明らかな通り、ＤＣＥ濃度が、重量％で０．４５％〜１．９７％の範囲において所望の特性及び形状を備えた本発明に係るシリコン酸化膜が得られることが分かる。即ち、ＤＣＥ濃度が重量％で０．４５％より低下した状態で形成されたシリコン酸化膜は、１５ＭＶ／ｃｍでＴＺＤＢ特性を測定した場合における不良率が１０％を越えてしまうと共に、上部コーナー部における応力が１００ＭＰａ以上となってしまい、当該シリコン酸化膜を用いたＤＲＡＭの不良率が高くなってしまう。他方、ＤＣＥ濃度が重量％で１．９７％を越えると、所望の閾値電圧を有するトランジスタが得られなくなってしまうことが確認された。
【００５４】
以上説明した実施形態では、本発明をシリコン酸化膜の形成に適用した場合について説明したが、本発明は何等これに限定されることなく、他の半導体材料に形成されたトレンチの内壁に酸化膜を形成する場合にも適用でき、ＤＲＡＭ以外の半導体装置を製造する場合にも同様に適用できる。
【００５５】
【発明の効果】
本発明によれば、ＤＣＥ濃度を適切に選択した酸素雰囲気中でハロゲン酸化によって、酸化膜を形成することにより、トレンチ内壁のコーナー部における応力が小さく、且つ、このコーナー部における膜厚も、他の部分の膜厚よりも厚い酸化膜を形成できる。このような酸化膜を形成した場合、半導体装置のＴＺＤＢ特性を改善できると共に、半導体装置の不良率を低下することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するために使用される断面図であり、ここでは、製造工程のうちの一工程が示されている。
【図２】図１に続く工程を説明するための断面図である。
【図３】図３の工程の後に行われるトレンチ作成工程を説明する断面図である。
【図４】図３の工程で作成されたトレンチ内部にシリコン酸化膜を形成する工程を説明する断面図である。
【図５】図４の工程以後に行われる工程を説明する断面図である。
【図６】図５に示された工程後に行われる工程を説明する断面図である。
【図７】図６に示された工程の後に行われる工程を説明する断面図である。
【図８】従来の酸化法によって形成された酸化膜を説明する図である。
【図９】本発明の酸化法によって形成された酸化膜を説明する図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造方法に使用されるシステムを説明する概略構成図である。
【図１１】本発明に係る酸化法による効果を説明するグラフであり、ここでは、ＤＣＥ濃度（重量％）と不良率（％）との関係を示している。
【図１２】本発明に係る酸化法による効果を説明するもう一つのグラフであり、ここでは、ＤＣＥ濃度（重量％）と応力との関係を示している。
【図１３】本発明に係る酸化法による効果を説明するグラフであり、ここでは、閾値電圧（Ｖｔｈ）とＤＣＥ濃度（重量％）との関係を示している。
【符号の説明】
２０                    シリコン基板
２１                    シリコン酸化膜
２２                    シリコン窒化膜
３０                    トレンチ
３０ａ                  トレンチ底部
３０ｂ                  トレンチ側壁
３１                    シリコン酸化膜
３２                    プラズマ酸化膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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