(57)【要約】【課題】光検出器からの迷光によるミラー角度検出特性の非線形性を無くして、安定したミラー角度制御を可能にするミラー角度検出装置を提供する。【解決手段】光源であるＬＤ１と、少なくともミラー６を有する可動部と、前記可動部からの反射光の光路を変更するビームスプリッタ３と、前記可動部からの反射光を受光してミラー６の傾斜量を検出する光検出器７と、光検出器７および前記可動部の間に設けられた少なくとも１つの集光レンズ５とから成るミラー角度検出装置には、光検出器７または周辺部材または光学部材エッジ部からの迷光が光検出器７に到達することを防止する遮光板４が集光レンズ５およびビームスプリッタ３間に配置されており、遮光板４の中央部には光を透過させる開口４ａが形成され開口４ａ以外の部分は光を遮光する形状であり、開口４ａの形状はミラー６の可変角度範囲に対応する形状になっている。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、少なくともミラーを有する可動部と、前記可動部からの反射光の光路を変更するビームスプリッタと、前記可動部からの反射光を受光して前記ミラーの傾斜量を検出する光検出器と、前記光検出器および前記可動部の間に設けられた少なくとも１つの集光レンズとから成るミラー角度検出装置において、
前記光検出器または周辺部材または光学部材エッジ部からの迷光が前記光検出器に到達することを防止する遮光板を配置して成ることを特徴とするミラー角度検出装置。
【請求項２】
前記遮光板は前記集光レンズおよび前記ビームスプリッタの間に配置することを特徴とする請求項１記載のミラー角度検出装置。
【請求項３】
前記遮光板は中央部に光を透過させる開口が形成されるとともに前記開口以外の部分は光を遮光する形状であり、前記開口の形状は前記ミラーの可変角度範囲に対応する形状であることを特徴とする請求項１または２記載のミラー角度検出装置。
【請求項４】
前記遮光板は前記ビームスプリッタの周囲を覆うように配置する遮光性部材と一体形成することを特徴とする請求項２または３記載のミラー角度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、所定可変角度範囲で傾動可能なミラーの角度を検出するミラー角度検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の角度検出装置は、両面ミラーの一方のミラー面を用いて光学的に前記ミラーの傾斜角度を検出する検出手段を有している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−２６４６６３号公報（第２頁、第５頁、第４図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の角度検出装置は、光源であるレーザダイオードから光ビームを両面ミラーの一方のミラー面に照射したときの前記ミラー面で反射された光ビームを２次元の位置検出器で受光することにより前記ミラーの傾斜角度を光学的に検出するように構成されているため、前記位置検出器の受光面からの迷光が前記ミラー面で反射してから光源側の光学部材で反射した後に再度前記ミラー面を経て前記位置検出器に到達する光路が存在する。そのため、前記迷光は、前記位置検出器で受光される際に位置検出信号をオフセットさせるため光ビームの位置検出精度を低下させる外乱光となり、特に、装置の小型化を図るために前記ミラーの可変角度範囲が大きくなるよう構成すればするほど前記位置検出器上での本来検出すべき主ビームと迷光ビームとの間の距離が大きくなるため、位置検出精度への影響が大きくなってしまう。
【０００５】
本発明は、光検出器からの迷光によるミラー角度検出特性の非線形性を無くすことにより、安定したミラー角度制御を可能にするミラー角度検出装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の第１発明は、光源と、少なくともミラーを有する可動部と、前記可動部からの反射光の光路を変更するビームスプリッタと、前記可動部からの反射光を受光して前記ミラーの傾斜量を検出する光検出器と、前記光検出器および前記可動部の間に設けられた少なくとも１つの集光レンズとから成るミラー角度検出装置において、前記光検出器または周辺部材または光学部材エッジ部からの迷光が前記光検出器に到達することを防止する遮光板を配置して成ることを特徴とする。
【０００７】
第１発明では、光源から出射して集光レンズで可動部のミラーに集光され、前記ミラーで反射された反射光は、ビームスプリッタによってその光路を変更された後に光検出器で受光されて前記ミラーの傾斜量の検出に供されるが、その際に前記光検出器で反射された迷光は、該迷光が前記光検出器に到達することを防止する機能を有する遮光板が配置されているため、再び前記光検出器に入射することはなく、前記光検出器は本来検出すべき主ビームのみを検出することになる。したがって、光検出器からの迷光によるミラー角度検出特性の非線形性が無くなり、ミラー可変角度範囲の全域に亘って良好なミラー角度検出信号を得られるので、位置検出精度が向上し、安定したミラー角度制御を可能にするミラー角度検出装置を提供することが可能になる。
【０００８】
請求項２に記載の第２発明は、前記遮光板は前記集光レンズおよび前記ビームスプリッタの間に配置することを特徴とする。
【０００９】
第２発明では、前記遮光板は前記集光レンズおよび前記ビームスプリッタの間に配置されており、前記集光レンズおよび前記ビームスプリッタの間は前記主ビームと前記迷光とが最も空間的に離れる位置であるから、所望の通り記光検出器からの迷光のみを遮光することができる。
【００１０】
請求項３に記載の第３発明は、前記遮光板は中央部に光を透過させる開口が形成されるとともに前記開口以外の部分は光を遮光する形状であり、前記開口の形状は前記ミラーの可変角度範囲に対応する形状であることを特徴とする。
【００１１】
第３発明では、前記遮光板は中央部に光を透過させる開口が形成されるとともに前記開口以外の部分は光を遮光する形状であり、前記開口の形状は前記ミラーの可変角度範囲に対応する形状であるから、前記ミラーを前記可変角度範囲で傾動させることにより前記迷光の光路が変化した場合に、その迷光を確実に遮光することができる。
【００１２】
請求項４に記載の第４発明は、前記遮光板は前記ビームスプリッタの周囲を覆うように配置する遮光性部材と一体形成することを特徴とする。
【００１３】
第４発明では、前記遮光板は前記ビームスプリッタの周囲を覆うように配置する遮光性部材と一体形成されるから、上記迷光に加えて前記ビームスプリッタの周囲に発生する迷光成分も遮光することが可能になるとともに、装置を小型化することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。図１（ａ）は本発明の第１実施形態のミラー角度検出装置の概略構成を示す図であり、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ断面図である。本実施形態のミラー角度検出装置は、図１（ａ）に示すように、点光源であるレーザダイオード（ＬＤ）１と、絞り２と、ビームスプリッタ３と、遮光板４と、集光レンズ５と、ミラー６と、光検出器７とを具備して成る。上記ミラー６は、互いに直交する２軸方向の可変角度範囲内でそれぞれ傾動し得るように、図示しない可動部に支持されている。なお、上記ビームスプリッタ３としては、例えばＴｐ＝Ｒｓ＝１００％となるような偏光ビームスプリッタを用い、上記ミラー６としては、例えばガルバノミラーを用い、上記光検出器７としては、例えば、受光面が４ｍｍ角の２次元位置検出器（ＰＳＤ）」を用いるものとする。
【００１５】
本実施形態のミラー角度検出装置においては、点光源であるＬＤ１から出射したほぼ紙面に平行な直線偏光の光ビーム（往路光）は、その中央部の強度分布が比較的フラットな範囲の光線を取り出すために設けられた絞り２を通過し、ビームスプリッタ３をほぼ１００％透過する際に、ビームスプリッタ３の図示右端部に接合された１／４波長板３ａを通過することにより直線偏光から円偏光に変換され、遮光板４の開口４ａを通過して、集光レンズ５でほぼ平行光に変換された後に、ミラー６に照射される。ミラー６の傾斜角度に応じて反射され円偏光の方向が逆になった光ビーム（復路光）は、再度集光レンズ５を透過した後に遮光板４の開口４ａを通過してビームスプリッタ３に入射し、１／４波長板３ａを通過することにより紙面に垂直な直線偏光のＳ偏光に変換されるので、Ｔｐ＝Ｒｓ＝１００％のビームスプリッタ３の反射面でほぼ１００％反射されて、光検出器７に入射し、例えば図１（ｂ）に示すようなスポット８となる。このとき、光検出器７から、照射位置および照射光量に応じた電気信号が出力される。
【００１６】
次に、本実施形態のミラー角度検出装置に用いる遮光板４について詳細に説明する。本実施形態の遮光板４は、往路光の入射方向から見た図である図２（ａ）および図２（ａ）のＩＩ−ＩＩ断面図である図２（ｂ）に示すように、中央部に光を透過させる開口４ａが形成されるとともに、開口４ａ以外の部分（遮光部）は光を遮光する形状であり、開口４ａの形状は、ミラー６の可変角度範囲に対応する四角形状（すなわち、ミラー６を互いに直交する２軸方向の可変角度範囲内でそれぞれ傾動させた場合にミラー６で反射される光ビームの全てが通過し得るようなアパーチャ形状）になっている。このように開口４ａを上記アパーチャ形状にした理由は、ミラー６の可変角度範囲が３次元的な断面四角状の可変範囲であることを前提とし、かつ、光検出器７からの迷光（反射迷光）がミラー６の可変角度範囲内での傾動時と同様な振れ角の軌跡を描くからであり、上記アパーチャ形状にしたことにより、ミラー６を可変角度範囲で傾動させることに起因して迷光の光路が変化した場合に、その迷光を確実に遮光することができるようになる。なお、開口形状を可変範囲と異なる形状にした場合には、迷光の遮光効果がミラー６の可変角度範囲と同期しなくなって不連続な位置検出信号となることを考慮して、例えばミラー６の可変角度範囲が３次元的な断面円状の可変範囲である場合には、遮光板４の開口形状を前記可変範囲に合わせて円形状にする必要がある。
【００１７】
上記遮光板４としては、以下に示すものを用いることが好ましい。すなわち、遮光板４の遮光部４ｂは、透過率０％かつ低反射率の遮光性材料で構成するのが好ましい。具体的には、遮光板４として、表面にサンドブラスト加工が施され、表面粗さ３〜６μｍ前後、ＪＩＳ−Ｚ−８７４１で規定される光沢度が１％以下のものを用いることが望ましい。上記好適条件に対して遮光板の表面粗さが低くなったり、光沢度が高くなったりした場合、上記好適条件から外れるにつれて遮光効果は低下し、光検出器の位置検出信号の線形性が低下する。なお、遮光板４の表面に、反射防止コーティングを加えると、さらに効果的に遮光を行うことが可能になる。
【００１８】
本実施形態では、上記遮光板４を、図１（ａ）に示すように、集光レンズ３およびビームスプリッタ３の間に配置している。この位置に配置する理由は、図１（ａ）に示した光ビームは、実際には図４に示すように拡がりを持った光束であり、その光束径は集光レンズ５およびミラー６間で最大となり、集光レンズ５から遠ざかるほど小さくなるので、上記遮光板４によって本来検出すべき主ビームは遮光せずに迷光のみを遮光するためには、上記遮光板４を挿入する位置としては、図４から明らかなように主ビームおよび迷光が最も空間的に離れる位置である集光レンズ５およびビームスプリッタ３の間が好ましく、図４の構成の場合は、ビームスプリッタ３の１／４波長板３ａの集光レンズ側の表面が好ましいからである。そのため、本実施形態のミラー角度検出装置は、図８に示す変形例のように、ビームスプリッタ３と１／４波長板３ａとを分離して、両者の間に遮光板４を配置する構成としてもよい。なお、仮に、上記遮光板４を集光レンズ５およびミラー６間に挿入した場合には、上記主ビームおよび迷光の径が空間的に拡大してしまうため、両者を空間的に分離することは困難になる。
【００１９】
次に、本実施形態のミラー角度検出装置に用いる光検出器７についてさらに詳細に説明する。本実施形態では、上記光検出器７として位置検出器（ＰＳＤ）を用いている。この位置検出器（ＰＳＤ）７は、図３（ａ），（ｂ）に示すように、セラミック材料製のパッケージ７ａの内部に、例えばシリコン材料製の受光部７ｂと、配線部７ｃと、信号伝達部７ｄとを備えるシリコン基板７ｅを実装して成り、受光部７ｂに図３（ｂ）に示すように光ビームが照射されてスポット８が形成されると、スポット８の２次元的な位置に応じて出力される４つの信号を図示しない外部回路で演算処理することにより、２次元位置信号を生成することができる。
上記ＰＳＤ７のパッケージ７ａの上面（図３（ｂ）では手前側の面）には、配線部７ｃを構成するボンディングワイヤの保護等のために樹脂７ｆが充填されている。そのため、上記光ビームの照射時には、図３（ｂ）に示すように、樹脂７ｆの表面および樹脂７ｆと受光部７ｂとの境界面で、屈折率差に応じた反射率で迷光（反射迷光）９が発生することになる。
【００２０】
次に、本実施形態のミラー角度検出装置の遮光作用を理解し易くするために、まず、本実施形態のミラー角度検出装置に遮光板を設けない構成とした場合の迷光について、図１４（ａ），（ｂ）を用いて以下に説明する。
【００２１】
図１４（ａ）は上記第１実施形態のミラー角度検出装置から遮光板４を取り除いた構成を示す図である。この構成の場合、ＬＤ１→絞り２→ビームスプリッタ３→集光レンズ５→ミラー６→集光レンズ５→ビームスプリッタ３→光検出器７という光路で、ミラー６で反射された復路光（主ビーム）が光検出器７に入射する。
【００２２】
ここで、例えば、光検出器７としてシリコンフォトダイオード製のＰＳＤであって、波長７８０ｎｍでの屈折率約３．７のシリコン層の受光部と、受光部のシリコン層の保護のために表面に設ける屈折率約１．５の樹脂層とを有するものを用いた場合を想定すると、空気との境界条件に従い、樹脂層表面および受光部表面の反射率は、概略以下のようになる。
（１．５−１）２　／（１．５＋１）２　＋（３．７−１．５）２　／（３．７＋１．５）２　＝０．０４＋０．１８＝０．２２
【００２３】
上記のようにしてミラー６で反射されて光検出器７に入射した復路光（主ビーム）は、その一部が上記反射率０．２２で反射されて迷光（反射迷光）９となり、この迷光９は、反射の際の位相差に応じて楕円偏光になる。迷光９のほぼ半分程度の光量であるＳ偏光成分は、ほぼ１００％の反射率でビームスプリッタ３の反射面で反射されて、集光レンズ５→ミラー６→集光レンズ５→ビームスプリッタ３→光検出器７という光路で再度光検出器７に入射して受光されるため、図１４（ｂ）に示すように、光検出器７の受光面の主ビームのスポット８の右側の距離が離れた位置に、迷光のスポット８が形成されることになる。
【００２４】
この場合、上記反射率０．２２で反射された迷光（反射迷光）９の内、ビームスプリッタ３を経由して再度光検出器７で受光されるのはＳ偏光成分のみであるため、光量は上記反射率が半分になった場合に相当する。したがって、主ビームの光量を１としたときの迷光（反射迷光）の光量は、
０．１１／（１−０．２２）＝０．１４
により求められ、主ビームの光量の約１４％になる。
【００２５】
上記のような主ビームの光量の約１４％になる迷光は、光検出器７で受光される際に位置検出信号をオフセットさせるため主ビームの位置検出精度を低下させる外乱光となる。この位置検出信号のオフセットにより、ミラー６の傾斜角度に対する検出信号の感度特性が低下し、この感度特性の低下によりミラー角度制御が不安定になる。特に、装置の小型化を図るためにミラー６の可変角度範囲が大きくなるよう構成すればするほど光検出器７上での主ビームと迷光ビームとの間の距離が大きくなるため、位置検出精度への影響が大きくなり、光光検出器７の位置検出信号が非線形性を有するようになる。
【００２６】
一方、本実施形態のミラー角度検出装置の場合には、以下に詳述するように、本来光検出器７で検出すべき主ビームは遮光せずに確実に受光し、迷光のみを遮光するよう構成されているため、上記不具合は解消されている。すなわち、まず、ミラー６の傾斜角度が比較的小さい状態（往路光に対しミラー６がほぼ垂直になる角度の場合）においては、図５（ａ）に示すように、復路光（主ビーム）および迷光の両方が遮光板４の開口４ａを透過して光検出器７に入射する。それにより、図５（ｂ）に示すように、光検出器７の受光面には、主ビームのスポット８が形成されるとともに、その右側の近距離の位置に、迷光のスポット８が形成される。この場合、主ビームのスポット８の位置と迷光のスポット８の位置とが近接しているため、光検出器７における主ビームの検出信号への影響はほとんど無い。
【００２７】
上記図５（ａ）の状態からミラー６の傾斜角度が大きくなるにつれて主ビームのスポット８から迷光のスポット８が遠ざかるため、両スポットの間隔が次第に拡大され、位置検出信号に与える影響も増大する。すなわち、ミラー６の傾斜角度が比較的大きい状態（可変角度範囲の最大値に近い角度の場合）においては、ミラー６が時計方向に傾動した場合の迷光は図６に示すようになり、ミラー６が反時計方向に傾動した場合の迷光は図７に示すようになる。図６のミラー角度状態の場合も図７のミラー角度状態の場合も同様に、光検出器７からの迷光（反射迷光）９は、ビームスプリッタ３の反射面で反射され、ビームスプリッタ３の内面で反射された後にビームスプリッタ３および集光レンズ５の間に設けられた遮光板に入射して、そこで効果的に遮光される。したがって、光検出器７は、主ビームのみを受光することになり、位置検出信号への迷光の影響はなくなる。
【００２８】
本実施形態のミラー角度検出装置によれば、上述したように迷光を効果的に遮光する構成としたため、光検出器７からの迷光によるミラー角度検出特性の非線形性が無くなり、ミラー可変角度範囲の全域に亘って良好なミラー角度検出信号を得られるので、位置検出精度が向上し、安定したミラー角度制御を可能にするミラー角度検出装置を提供することが可能になる。
【００２９】
ところで、上記第１実施形態のミラー角度検出装置においては、迷光９以外に存在する、問題になる迷光として、光学部品を保持するための周辺部材の表面からの反射光が挙げられる。具体的には、図９に示すように、ＬＤ１から出射した光ビームの一部がビームスプリッタ３の反射面で反射されてビームスプリッタ３の下部に位置する周辺部材１０に照射されて図示のように反射散乱した場合、周辺部材１０の表面からの反射光は迷光成分となる。その際、周辺部材１０の表面からの反射光の一部（図示例では、絞り２の右端面およびビームスプリッタ３の左端面間で複数回反射されて光検出器７に到達する反射光および、ビームスプリッタ３の１／４波長板３ａ内に透過して反射されて光検出器７に到達する反射光）は直接的に光検出器７に入射するため、位置検出信号への影響が大きい。この場合、光源であるＬＤ１は、その偏光比に従って例えば光ビーム全体に対するＳ偏光成分が５％の場合にはビームスプリッタ３の反射率Ｒｓがほぼ１００％であるため５％の光ビームが反射により迷光成分となる。
【００３０】
さらに、ＬＤ１の組立上の公差により、特に光軸周りの回転公差に応じて、例えば５度の回転ずれがある場合は、Ｓｉｎ５＝８．７％の光量の光ビームが迷光成分となる。この迷光成分は、ビームスプリッタ３を透過または反射して光検出器７に入射して、主ビームの位置検出信号に対する外乱要素となるので、主ビームの位置検出信号に誤差が発生することになる。
上述したような迷光成分を遮断する対策を施したものを以下に説明する。
【００３１】
図１０は本発明の第２実施形態のミラー角度検出装置の概略構成を示す図である。本実施形態のミラー角度検出装置は、図１（ａ）に示す第１実施形態のミラー角度検出装置に対し、ビームスプリッタ３の周囲を覆うように配置する遮光性部材１１，１２を追加したものであり、それ以外の部分は上記第１実施形態と同様に構成する。
【００３２】
すなわち、本実施形態のミラー角度検出装置においては、ビームスプリッタ３の下端部近傍および右端部近傍にはそれぞれ、図１０に示すように、遮光性部材１１，１２が設けられており、遮光性部材１２には絞り２と同一形状（すなわち、ＬＤ１の光量分布に応じた円形状または楕円形状）の開口が形成されている。
【００３３】
本実施形態のミラー角度検出装置によれば、上記のように遮光性部材１１，１２を追加したため、周辺部材１０からの反射に起因する迷光成分およびＬＤ１の組立上の公差（特に光軸周りの回転公差）に起因する迷光成分の位置検出信号への影響が確実に除去された、高精度の位置検出信号を得ることが可能になる。
【００３４】
図１１は本発明の第３実施形態のミラー角度検出装置の概略構成を示す図である。本実施形態のミラー角度検出装置は、図１０に示す第２実施形態のミラー角度検出装置に対し、ビームスプリッタ３の周囲を覆う部材である遮光板４および遮光性部材１１，１２を設ける代わりにこれら３部材を一体化したものとほぼ同一形状の遮光性部材１３を設けたものであり、それ以外の部分は上記第２実施形態と同様に構成する。
【００３５】
本実施形態のミラー角度検出装置によれば、上記のようにビームスプリッタ３の周囲を覆う一体化した遮光性部材１３を用いるようにしたため、周辺部材１０からの反射に起因する迷光成分およびＬＤ１の組立上の公差（特に光軸周りの回転公差）に起因する迷光成分の位置検出信号への影響が確実に除去された、高精度の位置検出信号を得ることが可能になるとともに、より確実に迷光を遮光することができる上に、装置を小型化することができる。
【００３６】
図１２は本発明の第４実施形態のミラー角度検出装置の概略構成を示す図である。本実施形態のミラー角度検出装置は、図１１に示す第３実施形態のミラー角度検出装置で用いた遮光性部材１３の代わりに、遮光性部材１３の図示左右上端部の部分をそれぞれ折り返すように延長して、ビームスプリッタ３の上面左右端部および１／４波長板３ａの上面も覆うように変更した遮光性部材１４を用いるようにしたものであり、それ以外の部分は上記第３実施形態と同様に構成する。
【００３７】
図１３に示すように、ビームスプリッタ３のエッジ部１５や１／４波長板３ａのエッジ部１５には、実際には製造過程で生じるカケやバリが存在するため、光検出器７からの迷光（反射迷光）または主ビームがカケやバリが存在する部分に照射された場合には散乱または屈折して光検出器７に到達することにより迷光となり、位置検出信号に誤差を生じさせることになる。
【００３８】
そこで、上記のようなエッジ部１５のカケやバリに起因する迷光成分を遮光するため、本実施形態では、ビームスプリッタ３のエッジ部１５や１／４波長板３ａのエッジ部１５を覆うような遮光性部材１４を用いている。この遮光性部材１４は、図１２に示すように、光検出器７の受光エリア、ＬＤ１からの光ビームの有効絞り系および集光レンズ５側への有効径の３個所のみを開口としたボックス型の遮光性部材となっており、光検出器７側およびミラー６側の開口は図２（ａ）の開口４ａと同様にミラー６の可変角度範囲に対応する四角形状であり、また、ＬＤ１側の開口は絞り２の開口と同一形状（すなわち、ＬＤ１の光量分布に応じた円形状または楕円形状）になっている。
【００３９】
本実施形態のミラー角度検出装置によれば、上記のようにビームスプリッタ３の周囲を覆う一体化した遮光性部材１４を用いるようにしたため、周辺部材１０からの反射に起因する迷光成分およびＬＤ１の組立上の公差（特に光軸周りの回転公差）に起因する迷光成分の位置検出信号への影響が確実に除去された、高精度の位置検出信号を得ることが可能になるとともに、より確実に迷光を遮光することができる上に、部品点数を削減して装置を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の第１実施形態のミラー角度検出装置の概略構成を示す図であり、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ断面図である。
【図２】（ａ）は第１実施形態の遮光板を往路光の入射方向から見た図であり、（ｂ）は（ａ）のＩＩ−ＩＩ断面図である。
【図３】（ａ），（ｂ）はそれぞれ、第１実施形態のミラー角度検出装置に用いる光検出器の平面図および側面図である。
【図４】図１（ａ）に示した光ビームの分布状態を詳細に説明するための図である。
【図５】（ａ）は第１実施形態のミラー角度検出装置においてミラー傾斜角度が比較的小さい状態での主ビームおよび迷光を説明するための図であり、（ｂ）は主ビームおよび迷光により光検出器上に形成されるスポットを説明するための図である。
【図６】第１実施形態のミラー角度検出装置においてミラー傾斜角度が比較的大きい状態での迷光の遮光作用を説明するための図である。
【図７】第１実施形態のミラー角度検出装置においてミラー傾斜角度が比較的大きい状態での迷光の遮光作用を説明するための図である。
【図８】本発明の第１実施形態の変形例のミラー角度検出装置の概略構成を示す図である。
【図９】第１実施形態のミラー角度検出装置における光学部品を保持するための周辺部材の表面からの反射光による迷光成分を説明するための図である。
【図１０】本発明の第２実施形態のミラー角度検出装置の概略構成を示す図である。
【図１１】本発明の第３実施形態のミラー角度検出装置の概略構成を示す図である。
【図１２】本発明の第４実施形態のミラー角度検出装置の概略構成を示す図である。
【図１３】ミラー角度検出装置のビームスプリッタのエッジや１／４波長板のエッジ部に存在するカケやバリを説明するための図である。
【図１４】（ａ），（ｂ）は第１本実施形態のミラー角度検出装置に遮光板を設けない構成とした場合の迷光を説明するための図である。
【符号の説明】
１　レーザダイオード（ＬＤ）
２　絞り
３　ビームスプリッタ
３ａ　１／４波長板
４　遮光板
４ａ　開口
５　集光レンズ
６　ミラー
７　光検出器（ＰＳＤ）
８　スポット
９　迷光（反射迷光）
１０周辺部材
１１、１，１３，１４　遮光性部材
１５　エッジ部
【図１】
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【図２】
2004125554.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004125554.tif 000006
【図５】
2004125554.tif 000007
【図６】
2004125554.tif 000008
【図７】
2004125554.tif 000009
【図８】
2004125554.tif 000010
【図９】
2004125554.tif 000011
【図１０】
2004125554.tif 000012
【図１１】
2004125554.tif 000013
【図１２】
2004125554.tif 000014
【図１３】
2004125554.tif 000015
【図１４】
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