(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体ウエハーなどの物品を包装するための改良された方法であって、物品の運搬または輸送中に物品を損傷から保護する方法。【解決手段】プラットフォーム４０が、調節可能な厚さｔを有する剛性の本体を有し、半導体ウェハ２２などの物品を包装するために用いられる容器２０内のどのような残存空間をも選択的に満たす。一例において、プラットフォーム４０は、第１部分４２および第２部分４４を有する。第１の部分および第２の部分４２，４４の位置を互いに対して調節することにより、プラットフォーム４０の厚さｔを選択的に変化させて所望の厚さを得る。【選択図】図１
2004269056.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハなどの物品の包装に用いるための包装用プラットフォームであって、
選択的に変化し得る厚さを有する剛性の本体を含むプラットフォーム。
【請求項２】
剛性の本体が、第１の部分と、第１部分に対して選択的に配置され、それによりプラットフォームの厚さを選択的に変える第２の部分と、を含む請求項１に記載のプラットフォーム。
【請求項３】
第１部分が少なくとも部分的に第２部分に受け入れられる請求項２に記載のプラットフォーム。
【請求項４】
第１部分と第２部分の相対位置を選択的に確立する調節具を含む請求項２に記載のプラットフォーム。
【請求項５】
調節具が、第１部分および第２部分の各々に支持される少なくとも１つの面を含み、前記面が複数の位置において互いに係合し、これらの位置の各々がプラットフォームの選択された厚さに対応している請求項４に記載のプラットフォーム。
【請求項６】
第１部分および第２部分が少なくとも部分的に円柱状であり、プラットフォームの厚さが第１部分と第２部分との相対回転を用いて選択的に変えられる請求項５に記載のプラットフォーム。
【請求項７】
第１部分と第２部分との少なくとも１つの方向における相対移動を防止する、前記面に沿った複数の移動止めを含む請求項５に記載のプラットフォーム。
【請求項８】
剛性の本体が２つの部分を含み、これらの部分の各々が、端壁および堅固な側壁部を有し、各側壁部は係合面を有し、係合面が前記端壁の各々を、互いに対して選択された距離に維持する請求項１に記載のプラットフォーム。
【請求項９】
剛性の本体がプラスチックを含む請求項１に記載のプラットフォーム。
【請求項１０】
ウェハなどの物品を保持するための容器であって、
第１の端壁と、
第２の端壁と、
第１端壁と第２端壁の間に少なくとも部分的に延在するウェハ拘束部と、
ウェハ拘束部内に少なくとも部分的に受け入れられる非圧縮性のプラットフォームであって、容器内の選択された距離にわたって延在するように選択的に変化し得る厚さを有するプラットフォームと、
を含む容器。
【請求項１１】
プラットフォームが２つの部分を含み、前記２つの部分の各々が、端面と、位置決め面を支持する堅固な側壁部を有し、前記位置決め面は、他方の部分の位置決め面と協働して、端面が互いに接近することを防止し、かつ、第１端壁と第２端壁が協働して、プラットフォームの端面が互いに離れることを防止する請求項１０に記載の容器。
【請求項１２】
プラットフォームが第１の部分および第２の部分を含み、第２部分が第１部分に対して選択的に配置され、それによりプラットフォームの厚さを選択的に変える請求項１０に記載の容器。
【請求項１３】
第１部分と第２部分の相対位置を選択的に確立する調節具を含む請求項１２に記載の容器。
【請求項１４】
調節具が、第１部分および第２部分の各々に支持された少なくとも１つの面を含み、前記面が複数の位置において互いに係合し、これらの位置の各々がプラットフォームの選択された厚さに対応している請求項１３に記載の容器。
【請求項１５】
第１部分が少なくとも部分的に第２部分に受け入れられる請求項１４に記載の容器。
【請求項１６】
第１部分および第２部分が少なくとも部分的に円柱状であり、プラットフォームの厚さが、第１部分または第２部分の少なくとも一方を他方に対して回転させることにより選択可能である請求項１５に記載の容器。
【請求項１７】
第１部分と第２部分との少なくとも１つの方向における相対移動を防止する、角度付き面に沿った複数の移動止めを含む請求項１４に記載の容器。
【請求項１８】
プラットフォームがプラスチックを含む請求項１に記載の容器。
【請求項１９】
少なくとも１つのウェハを、２つの端壁、および、端壁間の空間の少なくとも一部にわたって延在するウェハ拘束部を有する容器内に包装する方法であって、
少なくとも１つのウェハをウェハ拘束部内に配置するステップと、
端壁間の残存空間を、非圧縮性プラットフォームを用いて、残存空間に対応するようにプラットフォームの厚さを選択的に調節することにより満たすステップと、
を含む方法。
【請求項２０】
プラットフォームが第１部分および第２部分を含み、前記方法が、第１部分を第２部分に対して回転させ、それによりプラットフォームの厚さを調節することを含む請求項１９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概して、半導体ウェハなどの繊細な物品を包装するのに用いる充填材に関する。特に、本発明は、容器内の空間を満たすために選択的に変化し得る厚さを有するプラットフォームに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハなどの物品を包装するために種々の容器が用いられている。このような物品の繊細な性質により、取扱いには最大の注意が必要である。半導体ウェハの場合、シリコン構造物が非常に破損しやすい。このようなパッケージ内で半導体ウェハの完全性を保証するために種々の方法が用いられてきた。
【０００３】
典型的なパッケージまたは容器は、選択的に固定され合う上部と底部を有する。例えば輸送および運搬中にウェハを内部に保持するウェハ拘束部が上部と底部の間に延在している。典型的に互いに隣接して配置される個々のウェハは、知られているように、適切なシート材料により分離される。慣用の方法は、ウェハのスタックの端部にフォーム（発泡）ディスクパッドを用いて、容器内のウェハにクッションを設けることである。スタック内のウェハの間にフォームディスクパッドを挿入することもある。
【０００４】
フォームおよびインサートは緩衝をもたらすが、これらを用いることの欠点や不利点がある。ウェハがパッケージ内に確実に保持されないときに問題が生じる。ウェハ拘束部は、典型的に、ウェハの外寸よりも大きい内寸を有する。したがって、運搬または輸送中にウェハが互いに対して横方向に移動する可能性がある。このような横方向移動はウェハを損傷し、またウェハ上の回路を不能にすることが多くある。
【０００５】
多くの典型的な容器組立体内でウェハが横方向移動する可能性が増えており、このような場合に、複数のフォームディスクインサートがウェハのスタックの一端に、所望の数のウェハを容器に挿入した後の容器内の残存空間を満たすために用いられる。追加のフォーム層をウェハスタックの片側に用いることにより、ウェハスタックの両側のクッション配備が不均等になる。不均等なクッションは、ウェハのさらなる横方向移動およびウェハの損傷を生じる可能性を有する。
【０００６】
半導体ウェハなどの物品を包装するための改良された方法であって、物品の運搬または輸送中に物品を損傷から保護する方法が必要である。本発明は、この需要に、所望の数の物品を容器内に配置した後の容器内のどのような残存空間をも選択的に満たすための独特のプラットフォームを提供することにより対応する。
【０００７】
（発明の開示）
概して、本発明は、半導体ウェハなどの物品の包装に用いるプラットフォームである。プラットフォームは、選択的に変化し得る厚さを有する剛性の本体を有する。プラットフォームの厚さを変えることにより、所望の数の物品を容器内に配置した後に容器内に残るどのような空間も正確かつ確実に満たされ、これにより、容器内での物品のあらゆる横方向移動が最小化される。本発明のプラットフォームは、容器内のウェハスタックの両側のクッション配備を均等にすることを可能にするという重要な利点を有する。
【０００８】
一例において、プラットフォームの剛性の本体は、第１の部分および第２の部分を含む。第１部分を第２部分に対して選択的に位置決めすることにより、プラットフォームの厚さが、容器内の所望の量の空間を満たすように設定される。
【０００９】
一例において、第１部分および第２部分は概して円柱状であり、調節具が、第１部分を第２部分に対して選択的に位置決めすることを可能にする。一例において、第１部分および第２部分の位置決め面上の複数の移動止め（デテント）が協働して、第１部分と第２部分が互いに対して少なくとも一方向に移動することを防止する。一例において、位置決め面上の移動止めは、一旦所望の厚さが設定されたならば第１部分が第２部分に向って移動することを防止する。プラットフォームが内部に配置される容器の端壁が協働して、第１部分と第２部分が互いに離れることを防止する。
【００１０】
本発明の種々の特徴および利点は、現在好ましい実施形態に関する以下の詳細な説明から当業者に明らかになるであろう。詳細な説明に伴う図面の簡単な説明を後に記載する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は、半導体ウェハなどの物品２２を包装するための容器２０を概略的に示す。容器２０は、端壁２６および側壁２８を有する上部２４を含む。容器２０は、また、端壁３２および側壁３４を有する底部３０を含む。側壁２８と側壁３４は端壁２６と端壁３２の間に容器のウェハ拘束部を確立する。上部２４と底部３０は慣用の方法で互いに固定されて、運搬または輸送用にウェハ２２を保持するための容器をもたらす。
【００１２】
例示された実施形態において、容器２０内のウェハ２２への衝撃を和らげるために複数のクッション部材３６が設けられている。少なくとも１つのクッション部材３６がウェハ２２のスタックの各端部に配置される。示された例において、クッション部材３６はウェハ２２のスタック内の中間位置に配置されている。
【００１３】
容器２０は、ウェハ２２の多数のスタックを、クッション部材３６と組み合わせても超える容量を有して設計される。本発明の装置は、クッション部材３６と組み合わされたウェハ２２のスタックと、容器２０内の端壁２６および３２との間のどのような残存空間をも満たすための調節可能な厚さｔを有するプラットフォーム４０を含む。換言すれば、端壁２６と端壁３２の距離は、ウェハ２２のスタックおよびクッション部材３６による全厚さよりも大きくてよい。プラットフォーム４０は、端壁２６と端壁３２の距離と、組み合わされたウェハ２２のスタックおよびクッション部材３６との間に生じるどれだけの差にも延在する。
【００１４】
本発明のプラットフォーム４０は、非圧縮性で、かつ、ウェハ２２の輸送および運搬中に容器２０に加えられると予測される典型的な力に耐えるように剛性を有することが好ましい。プラットフォーム４０が剛性で、かつ調節可能な厚さｔを有することにより、容器２０内のどのような残存空間でもプラットフォーム４０により、容器２０内のウェハ２２の横方向移動を排除するように、完全かつ確実に埋め合わされる。
【００１５】
剛性のプラットフォーム４０を有する別の重要な利点は、ウェハ２２のスタックの両端に同数のクッション部材３６を配置する（残存空間を、スタックの一方の側にクッション部材３６を追加することにより満たすのでない）ことを可能にすることである。プラットフォーム４０が剛性を有するため、ウェハスタックの両側に均等なクッションを配置することが可能である。容器内の残存空間を満たすために複数のクッション部材をスタックの一方の端部に用いる先行技術の配置では、ウェハスタックの両端のクッションが均等でなくなる。このように不均等なクッションにより、例えば輸送および運搬中にウェハが好ましくない移動や破損をする可能性がある。
【００１６】
示された実施形態において、プラットフォーム４０は第１の部分４２および第２の部分４４を有する。第１の部分４２と第２の部分４４の相対位置を調節することにより、厚さｔは、プラットフォーム４０が容器２０内の所望の量の空間を占めるように選択的に調節される。
【００１７】
図２は、本発明に従って設計されたプラットフォーム４０の例示的な一実施形態を概略的に示す。この例において、第１部分４２は少なくとも部分的に円柱状であり、側壁４６を有する。この例において、側壁４６の端部４８は、容器上部２４の端壁２６の内面と係合するように適合されている。
【００１８】
この例において、第２部分４４は少なくとも部分的に円柱状であり、側壁５０および端面５２を有する。この例において、端面５２は、ウェハスタックの最も外側のクッション部材３６に受けられるように適合されている。
【００１９】
一例において、第１部分４２および第２部分４４は、側壁４６および５０が剛性でかつ非圧縮性であるようにプラスチック材料からつくられる。示された例において、ウェブ補強部５４が第１部分４２および第２部分４４の各々に設けられて、プラットフォーム４０の本体にさらなる剛性をもたらしている。
【００２０】
一例において、ウェハ２２に有害に作用する可能性のある容器２０内の静電気を最小にするために、電気的に不活性のプラスチックが用いられる。
【００２１】
調節具６０が、第１部分４２を第２部分４４に対して選択的に配置することを可能にするため、端面４８と端面５２の距離は、プラットフォーム４０の所望の厚さｔを得るように調節されることができる。この例において、調節具６０は、第１部分４２と第２部分４４の各々に角度付きの位置決め面を含む。第１部分４２は、複数の移動止め（戻り止め）６４を有する位置決め面６２を含む。これに対応して角度が付けられた第２部分４４上の位置決め面６６は複数の移動止め６８を含む。移動止め６４と６８は協働して、第１部分４２と第２部分４４が、プラットフォーム４０の厚さを変化させる方向に相対移動することを防止する。この例において、移動止め６４と６８は協働して、第１部分４２と第２部分４４の、プラットフォーム４０の厚さｔを減じるであろう方向の相対移動を防止する。プラットフォーム４０は閉じられた容器２０内に固定されているため、端壁２６と３２は協働して、プラットフォーム４０の第１部分と第２部分が分離することを防止する（すなわち、厚さｔが増大することを防止する）。
【００２２】
示された例において、位置決め面６２および６６は、例えば第２部分４４の端面５２の平面に対して約１２度の角度を有する。各移動止め６４または６８は、図から理解されるように、角度付き面および止め面を含む。一例において、角度付き面は、角度付きの位置決め面に対して約１１．５度である。止め面は、移動止めの角度付き面に対して約８４度である。
【００２３】
位置決め面６２および６６は、好ましくは、第１部分４２および第２部分４４の外周の少なくとも一部に延在する。この例において、第１部分４２は第２部分４４内に少なくとも部分的に受けられる。第１部分を第２部分に対して選択的に回転させることにより厚さｔを調節することができる
図４に示されているように、厚さｔ１は、第１部分４２の第２部分４４に対する第１の相対位置に対応する。この位置から、図５に矢印８０により概略的に示されているように第１部分を第２部分に対して回転させると、より小さい厚さｔ２が得られる。移動止め６４と６８は協働して第１部分４２を第２部分４４に対して所望の位置に保持し、これにより望ましい厚さを確立する。
【００２４】
本発明のプラットフォームの１つの使用法に従って、容器２０に所望の数のウェハ２２およびクッション部材３６を装填する。次いで、プラットフォーム４０を容器２０内のウェハのスタックおよびクッション部材の上に配置する。次いで、第１部分４２と第２部分４４との相対位置を調節して、プラットフォーム４０の望ましい厚さｔを確立する。選択された厚さは、好ましくは、ウェハのスタックおよびクッション部材が適切な位置に配置された後の容器２０内の残存空間を横切って延在する。上部２４が底部３０に固定されたならば、プラットフォーム４０はウェハ２２のスタックの位置を容器２０内の適切な位置に確実に配置し、それによりウェハ２２の横方向または軸方向の移動が最小化される。さらに、プラットフォーム４０は、ウェハスタックの両側に同量のクッション部材３６が設けられるときにウェハスタックの両端の均等なクッション配備を確立する。
【００２５】
本発明のプラットフォームにより、半導体ウェハなどの物品が容器内に、より確実に格納される。調節可能な厚さを有する剛性のプラットフォーム本体は、上記の利点を、効率的かつ経済的に様々な容器の様式に適応するようにもたらす。
【００２６】
上記の説明は、本質的に例示的であり、限定的なものではない。当業者には、開示された実施例の変更および修正を、本発明の本質から逸脱せずに行えることが明らかになるであろう。本発明に与えられる法的な保護範囲は、特許請求の範囲を考察することによってのみ決定されることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、本発明に従って設計されたプラットフォームを含む容器を概略的に示す分解斜視図である。
【図２】図２は、本発明に従って設計されたプラットフォームの例示的な実施形態の分解斜視図である。
【図３】図３は、図２の実施形態の選択された部分の、第１の部分が第２の部分から分離された状態を概略的に示す。
【図４】図４は、図３の実施形態の、第１部分と第２部分が第１の厚さｔ１を得るように調節された状態を概略的に示す。
【図５】図５は、図３の実施形態の、第１部分と第２部分が第２の厚さｔ２を得るように調節された状態を概略的に示す。
【図１】
2004269056.tif 000003
【図２】
2004269056.tif 000004
【図３】
2004269056.tif 000005
【図４】
2004269056.tif 000006
【図５】
2004269056.tif 000007
【外国語明細書】
2004269056.tif 000008
2004269056.tif 000009
2004269056.tif 000010
2004269056.tif 000011
2004269056.tif 000012
2004269056.tif 000013
2004269056.tif 000014
2004269056.tif 000015
2004269056.tif 000016
2004269056.tif 000017
2004269056.tif 000018
2004269056.tif 000019
2004269056.tif 000020
2004269056.tif 000021
2004269056.tif 000022