(57)【要約】【課題】樹脂封止において、停止しているフィルムに加えられる張力を適正な張力に維持できる樹脂封止用のフィルム供給装置及び供給方法を提供する。【解決手段】フィルム１からなる送出し側ロール２と、基準ローラ３と、巻取り側ロール４と、送出し側ロール２が嵌装される送出し側回転軸５と、送出し側回転軸５に接続された送出し側サーボモータ６と、送出し側サーボモータ６に取り付けられた送出し側エンコーダ７と、基準ローラ軸８に取り付けられた基準エンコーダ９と、巻取り側ロール４が嵌装される巻取り側回転軸１０と、巻取り側回転軸１０に接続された巻取り側サーボモータ１１と、巻取り側サーボモータ１１に取り付けられた巻取り側エンコーダ１２と、各エンコーダ７，９，１２からのパルス信号Ｓｆ，Ｓｓ，Ｓｗに基づいてフィルム１に加えられる張力が所定の最適な張力になるように各サーボモータ６，１１を制御する制御部１３とを備える。【選択図】    図１
2004296691.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対向する金型を使用して電子部品を樹脂封止する際に使用され、予め巻かれているフィルムからなり所定の初期半径を有する送出し側ロールと、前記送出し側ロールから供給され前記金型の間を通過して巻き取られたフィルムからなり所定の最大巻取り半径をとり得る巻取り側ロールと、少なくとも前記巻取り側ロールを回転させることにより前記金型の間に前記フィルムを供給するモータとを有する樹脂封止用のフィルム供給装置であって、
前記送出し側ロールと前記巻取り側ロールとの間に設けられ前記供給されたフィルムによって回転し所定の基準半径を有する基準ローラと、
前記基準ローラの回転量に応じた基準回転信号を生成する基準センサと、
前記送出し側ロールと前記巻取り側ロールとを各々回転させる回転軸のうち少なくとも一方の回転軸に取り付けられ前記送出し側ロール又は前記巻取り側ロールの回転量に応じたロール回転信号を生成するロール回転センサと、
前記基準回転信号と前記ロール回転信号とに基づいて前記ロール回転センサが取り付けられた回転軸における前記送出し側ロール又は前記巻取り側ロールの実際のロール半径を算出するとともに、前記ロール半径と前記初期半径又は前記最大巻取り半径とに基づいて、前記金型の間に供給されたフィルムが停止している状態における前記フィルムに加えられている張力が所定の適正な張力になるように前記モータを制御する制御部とを備えたことを特徴とする樹脂封止用のフィルム供給装置。
【請求項２】
請求項１記載の樹脂封止用のフィルム供給装置において、
前記基準センサと前記ロール回転センサとは各々エンコーダからなり、
前記基準回転信号は前記基準センサが前記基準ローラの回転量に応じて生成する基準回転パルス信号からなり、
前記ロール回転信号は前記ロール回転センサが前記送出し側ロール又は前記巻取り側ロールの回転量に応じて生成するロール回転パルス信号からなり、
前記適正な張力は、前記送出し側ロールが前記初期半径を有する場合、又は前記巻取り側ロールが前記最大巻取り半径を有する場合において予め定められており、
前記制御部は、前記初期半径又は前記最大巻取り半径と前記適正な張力とを記憶し、前記基準回転パルス信号と前記ロール回転パルス信号とのパルス数を各々計測し、該各々計測されたパルス数に基づいて前記送出し側ロール又は前記巻取り側ロールのロール半径を算出し、該算出されたロール半径と前記初期半径又は前記最大巻取り半径とに基づいて前記フィルムに加えられている張力が前記適正な張力になるように前記モータを制御することを特徴とする樹脂封止用のフィルム供給装置。
【請求項３】
相対向する金型を使用して電子部品を樹脂封止する際において、予め巻かれているフィルムからなり所定の初期半径を有する送出し側ロールと、前記送出し側ロールから供給され前記金型の間を通過して巻き取られたフィルムからなり所定の最大巻取り半径をとり得る巻取り側ロールと、少なくとも前記巻取り側ロールを回転させることにより前記金型の間に前記フィルムを供給するモータとを使用する樹脂封止用のフィルム供給方法であって、
前記初期半径又は前記最大巻取り半径を記憶する工程と、
前記送出し側ロールが前記初期半径を有する場合、又は前記巻取り側ロールが前記最大巻取り半径を有する場合において、前記金型の間に供給されたフィルムが停止している状態における前記フィルムの適正な張力を決定して記憶する工程と、
前記モータを回転させることにより前記金型の間に前記フィルムを供給する工程と、
前記送出し側ロールと前記巻取り側ロールとの間に設けられ前記供給されたフィルムによって回転し所定の基準半径を有する基準ローラの単位時間当たりの基準回転数を計測する工程と、
前記送出し側ロール又は前記巻取り側ロールの単位時間当たりのロール回転数を計測する工程と、
前記基準半径と各々計測された前記基準回転数と前記ロール回転数とに基づいて前記送出し側ロール又は前記巻取り側ロールの実際のロール半径を算出する工程と、
前記算出されたロール半径と記憶された前記前記初期半径又は前記最大巻取り半径とに基づいて、前記金型の間に供給されたフィルムに加えられている張力が前記適正な張力になるように前記モータを制御する工程とを備えたことを特徴とする樹脂封止用のフィルム供給方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に装着された半導体チップ等の電子部品を樹脂封止する際に、相対向する金型とそれらの金型間に供給されるフィルムとを使用する場合において、そのフィルムを供給する樹脂封止用のフィルム供給装置及び供給方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のフィルム供給装置を、図５を使用して説明する。図５は、従来のフィルム供給装置の構造を示す部分断面図である。相対向する金型、すなわち下型２０と上型２１とが設けられ、下型２０の凹部２２には、半導体チップ等の電子部品（図示なし）が装着されたリードフレームやプリント基板等の基板２３が載置される。ここで、金型が型締めした状態で、上型２１に設けられた樹脂流路（図示なし）を経由してキャビティ２４に溶融樹脂が注入され、その溶融樹脂が硬化する。これにより、基板２３上に硬化樹脂２５が形成されて、最終製品であるパッケージを含む成形品が完成する。下型２０と上型２１との間には、フィルム２６が張設される。このフィルム２６は、送出し側ロール２７から供給され、テンションローラ２８，２９を順次経由して巻取り側ロール３０により巻き取られる。送出し側ロール２７及び巻取り側ロール３０は、それぞれモータ（図示なし）によって駆動される。そして、各モータに印加される電圧や送信される信号等をオン又はオフすることにより、金型間において一定の距離（送出し量）だけフィルム２６が送り出される。したがって、送り出されたフィルム２６をはさんで下型２０と上型２１とが型締めした状態で、樹脂封止が行われることになる。
【０００３】
フィルム２６は、次のような目的で使用される。第１に、フィルム２６は、キャビティ２４と硬化樹脂２５との間の離型性を確保する目的で、リリースフィルムとして使用される場合がある。この場合には、フィルム２６は、例えば、ふっ素樹脂から構成される。第２に、フィルム２６は、硬化樹脂２５に所定のパターン（ロゴタイプや製品名等）を転写する目的で、転写用フィルムとして使用される場合がある。この場合には、図５におけるフィルム２６の下側の面に予め形成されたパターンが、硬化樹脂２５に転写される。第３に、フィルム２６は、基板２３を仮固定するとともに、基板２３の開口（図示なし）を経由して基板２３の下面に溶融樹脂（図示なし）が漏れ出さないようにする目的で、粘着フィルム及びシール部材として使用される場合がある。この場合には、フィルム２６は、図５とは異なり、基板２３と下型２０との間に張設され、基板２３の下面に対向する側の面に粘着層を有している。
【０００４】
ところで、フィルム２６はこれらの目的及び機能を有するので、フィルム２６にしわやたるみ等が発生すると、硬化樹脂２５の表面に凹凸が生じることによる外観品位及び寸法精度の低下、転写されたパターンの不明瞭化による外観品位の低下、基板２３の下面における樹脂ばりの発生等の問題が発生する。そこで、連続的に供給され走行しているフィルム２６に加えられる張力を一定に保つための機構が提案されている（例えば、特許文献１参照）。これによれば、巻き出しロール・巻き取りロール間（上述の送出し側ロール・巻取り側ロール間に相当）において一定の張力を加えながら、連続的に封止テープ（上述のフィルムに相当）の巻き出しと巻き取りとを行うことが可能に構成されている。したがって、この場合には、巻き出しロール・巻き取りロール間で封止テープに一定の張力を加えながら、連続的に封止テープを走行させることになる。また、巻き出しロール・巻き取りロール間に外方への引っ張り力を加えることで、封止テープに適正な張力を与える構成もある（例えば、特許文献１参照）。更に、巻き出しロール・巻き取りロール間に中間ローラを設け、これに張力検出用のセンサ（例えば、ロードセル）を設置して、フィルムの張力を直接測定する構成も可能である。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−２７４１９４号公報（第１頁、第７頁、第１０頁、
第９図、第１７図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の技術によれば、次のような問題がある。第１に、フィルムが使用されるにつれて巻き出しロールの径が減少するとともに巻き取りロールの径が増加するので、巻き出しロールと巻き取りロールとの間においてフィルムに加えられる張力が変動する。これにより、連続的に供給され走行しているフィルムに一定の張力を加えようとしても、型締めする直前にフィルムが停止した状態において適正な張力を維持することが困難になる。したがって、フィルムが使用されるにつれて、フィルムが停止した状態でしわやたるみ等が発生するおそれがある。第２に、各ロール間に外方への引っ張り力を加える場合には、回転軸を移動させる必要があるので、機構が複雑になる。したがって、装置の大型化を招くおそれがあるとともに、コストの増大が避けられない。第３に、中間ローラと張力検出用のセンサとを使用する場合には、センサの設置場所が必要になるので装置の小型化が困難になるとともに、コストの増大が避けられない。
【０００７】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、樹脂封止用のフィルムが使用される場合において、停止しているフィルムに加えられる張力を適正な張力に維持することができる樹脂封止用のフィルム供給装置及び供給方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の技術的課題を解決するために、本発明に係る樹脂封止用のフィルム供給装置は、相対向する金型を使用して電子部品を樹脂封止する際に使用され、予め巻かれているフィルムからなり所定の初期半径を有する送出し側ロールと、送出し側ロールから供給され金型の間を通過して巻き取られたフィルムからなり所定の最大巻取り半径をとり得る巻取り側ロールと、少なくとも巻取り側ロールを回転させることにより金型の間にフィルムを供給するモータとを有する樹脂封止用のフィルム供給装置であって、送出し側ロールと巻取り側ロールとの間に設けられ供給されたフィルムによって回転し所定の基準半径を有する基準ローラと、基準ローラの回転量に応じた基準回転信号を生成する基準センサと、送出し側ロールと巻取り側ロールとを各々回転させる回転軸のうち少なくとも一方の回転軸に取り付けられ送出し側ロール又は巻取り側ロールの回転量に応じたロール回転信号を生成するロール回転センサと、基準回転信号とロール回転信号とに基づいてロール回転センサが取り付けられた回転軸における送出し側ロール又は巻取り側ロールの実際のロール半径を算出するとともに、ロール半径と初期半径又は最大巻取り半径とに基づいて、金型の間に供給されたフィルムが停止している状態におけるフィルムに加えられている張力が所定の適正な張力になるようにモータを制御する制御部とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
これによれば、所定の基準半径を有する基準ローラの回転量と、送出し側ロール又は巻取り側ロールの回転量とに基づいて、実際のロール半径が正確に算出される。そして、そのロール半径と送出し側ロールの初期半径又は巻取り側ロールの最大巻取り半径とに基づいて、停止しているフィルムに加えられている張力が所定の適正な張力になるように、モータが制御される。これにより、フィルムが使用されるにつれて送出し側ロールの径が減少するとともに巻取り側ロールの径が増加した場合において、実際のロール半径に基づいて、フィルムの張力が適正な張力になるように制御される。したがって、フィルムが使用されるにつれて実際のロール半径が変動した場合であっても、フィルムに加えられる張力が適正な張力に維持される。
【００１０】
また、本発明に係る樹脂封止用のフィルム供給装置は、上述したフィルム供給装置において、基準センサとロール回転センサとは各々エンコーダからなり、基準回転信号は基準センサが基準ローラの回転量に応じて生成する基準回転パルス信号からなり、ロール回転信号はロール回転センサが送出し側ロール又は巻取り側ロールの回転量に応じて生成するロール回転パルス信号からなり、適正な張力は、送出し側ロールが初期半径を有する場合、又は巻取り側ロールが最大巻取り半径を有する場合において予め定められており、制御部は、初期半径又は最大巻取り半径と適正な張力とを記憶し、基準回転パルス信号とロール回転パルス信号とのパルス数を各々計測し、該各々計測されたパルス数に基づいて送出し側ロール又は巻取り側ロールのロール半径を算出し、該算出されたロール半径と初期半径又は最大巻取り半径とに基づいてフィルムに加えられている張力が適正な張力になるようにモータを制御することを特徴とする。
【００１１】
これによれば、所定の基準半径を有する基準ローラの回転量と、送出し側ロール又は巻取り側ロールの回転量とが、エンコーダによって生成されたパルスに基づいて算出される。したがって、送出し側ロール又は巻取り側ロールにおける実際のロール半径が正確に算出されるので、フィルムが使用されるにつれて実際のロール半径が変動した場合であっても、フィルムに加えられる張力が適正な張力に維持される。
【００１２】
また、本発明に係る樹脂封止用のフィルム供給方法は、相対向する金型を使用して電子部品を樹脂封止する際において、予め巻かれているフィルムからなり所定の初期半径を有する送出し側ロールと、送出し側ロールから供給され金型の間を通過して巻き取られたフィルムからなり所定の最大巻取り半径をとり得る巻取り側ロールと、少なくとも巻取り側ロールを回転させることにより金型の間にフィルムを供給するモータとを使用する樹脂封止用のフィルム供給方法であって、初期半径又は最大巻取り半径を記憶する工程と、送出し側ロールが初期半径を有する場合、又は巻取り側ロールが最大巻取り半径を有する場合において、金型の間に供給されたフィルムが停止している状態におけるフィルムの適正な張力を決定して記憶する工程と、モータを回転させることにより金型の間にフィルムを供給する工程と、送出し側ロールと巻取り側ロールとの間に設けられ供給されたフィルムによって回転し所定の基準半径を有する基準ローラの単位時間当たりの基準回転数を計測する工程と、送出し側ロール又は巻取り側ロールの単位時間当たりのロール回転数を計測する工程と、基準半径と各々計測された基準回転数とロール回転数とに基づいて送出し側ロール又は巻取り側ロールの実際のロール半径を算出する工程と、算出されたロール半径と記憶された初期半径又は最大巻取り半径とに基づいて、金型の間に供給されたフィルムに加えられている張力が適正な張力になるようにモータを制御する工程とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
これによれば、所定の基準半径を有する基準ローラの基準回転数と、送出し側ロール又は巻取り側ロールのロール回転数とに基づいて、実際のロール半径を正確に算出する。そして、そのロール半径と送出し側ロールの初期半径又は巻取り側ロールの最大巻取り半径とに基づいて、停止しているフィルムに加えられている張力が所定の適正な張力になるように、モータを制御する。これにより、フィルムが使用されるにつれて送出し側ロールの径が減少するとともに巻取り側ロールの径が増加した場合において、実際のロール半径に基づいて、フィルムの張力が適正な張力になるようにモータを制御する。したがって、フィルムを使用するにつれて実際のロール半径が変動した場合であっても、フィルムに加えられる張力を適正な張力に維持することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
本発明に係る樹脂封止用のフィルム供給装置の第１の実施形態を、図１を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る樹脂封止用のフィルム供給装置について、その構造を示す概略斜視図である。図１に示されている樹脂封止用のフィルム１は、例えば、リリースフィルム、転写用フィルム、粘着フィルム（及びシール部材）等として使用される、プラスチック製のフィルムである。このフィルム１は、予め巻かれており未使用の状態で所定の初期半径Ｒｉを有する送出し側ロール２から供給され、所定の基準半径Ｒｓを有する基準ローラ３を経由して巻取り側ロール４に巻き取られる。また、フィルム１は、基準ローラ３に密着して接触するとともにこれを回転させながら走行する。また、基準ローラ３と巻取り側ロール４との間において、上型と下型とからなる樹脂封止用の金型（図示なし）が、上型と下型とがフィルム１をはさむようにして設けられている。これらの金型は、金型間に基板（図示なし）が載置されフィルム１が停止している状態で、型締めを行う。
【００１５】
送出し側ロール２は送出し側回転軸５に嵌装され、送出し側回転軸５は送出し側サーボモータ６に接続されている。この送出し側サーボモータ６には、送出し側エンコーダ７が取り付けられている。送出し側エンコーダ７は、送出し側回転軸５が１回転する際にＰｆ（個）のパルスを生成するとともに、送出し側ロール２の回転量に応じたロール回転信号として送出し側パルス信号Ｓｆを生成する。また、基準ローラ３が有する基準ローラ軸８には、基準エンコーダ９が取り付けられている。基準エンコーダ９は、基準ローラ軸８が１回転する際にＰｓ（個）のパルスを生成するとともに、基準ローラ３の回転量に応じた基準回転信号として基準回転パルス信号Ｓｓを生成する。
【００１６】
巻取り側ロール４は巻取り側回転軸１０に嵌装され、巻取り側回転軸１０は巻取り側サーボモータ１１に接続されている。巻取り側サーボモータ１１には、巻取り側エンコーダ１２が取り付けられている。巻取り側エンコーダ１２は、巻取り側回転軸１０が１回転する際にＰｗ（個）のパルスを生成するとともに、巻取り側ロール４の回転量に応じたロール回転信号として巻取り側パルス信号Ｓｗを生成する。そして、各エンコーダ７，９，１２からそれぞれ受け取った送出し側パルス信号Ｓｆ，基準回転パルス信号Ｓｓ，巻取り側パルス信号Ｓｗに基づいて送出し側サーボモータ６又は巻取り側サーボモータ１１を制御する制御部１３が設けられている。
【００１７】
本実施形態に係る樹脂封止用のフィルム供給装置の動作を説明する。まず、フィルム１について送出し側ロール２が初期半径Ｒｉを有する場合に、すなわち送出し側ロール２が未使用の状態である場合において、制御部１３から送出し側サーボモータ６と巻取り側サーボモータ１１とにそれぞれ電圧を印加する。これにより、図１に示すように、巻取り側サーボモータ１１は反時計回りの方向（実線の矢印の回転方向）に、送出し側サーボモータ６は時計回りの方向（破線の矢印の回転方向）に、それぞれ回転しようとする。ここで、各サーボモータ６，１１に印加する電圧を様々に変化させることにより、停止しているフィルム１に様々な張力を加えることができる。ここでは、送出し側回転軸５をロックさせるように送出し側サーボモータ６に電圧を印加して、停止しているフィルム１に様々な張力を加えることとする。そして、停止しているフィルム１にしわやたるみ等が発生しないような適正な張力を見出して、その適正な張力とこれを実現する電圧の組合せ（印加条件）と初期半径Ｒｉとを、制御部１３に記憶する。なお、フィルム１は、材質の相違、厚さの相違、製造ロットのばらつき等により、しわやたるみ等の発生のしやすさがまちまちなので、適正な張力とこれを実現する印加条件とを、予め実験的に見出しておくことが好ましい。
【００１８】
次に、金型（図示なし）の間にフィルム１を供給して停止させる。その後に、制御部１３から送出し側サーボモータ６と巻取り側サーボモータ１１とに印加条件に従ってそれぞれ電圧を印加して、フィルム１に所定の適正な張力を加える。そして、その状態で樹脂封止を開始する。樹脂封止を行いフィルム１が使用されて巻き取られて行くにつれて、送出し側ロール２のロール半径が減少するとともに巻取り側ロール４のロール半径が増加する。これにより、フィルム１に加えられる張力が、当初加えられていた適正な張力から徐々に変化していく。具体的には、送出し側ロール２から送り出されるフィルム１に送出し側サーボモータ６によって加えられる張力が徐々に減少するとともに、巻取り側ロール４に巻き取られるフィルム１に巻取り側サーボモータ１１によって加えられる張力が徐々に増加する。この状態を放置すれば、フィルム１に加えられる張力の均衡が崩れて、しわやたるみ等が発生するおそれがある。
【００１９】
そこで、次に、制御部１３は、その時点における送出し側ロール２の実際のロール半径Ｒｆを、次の手順によって算出する。まず、所定の単位時間だけフィルム１を送り出して、その後に停止させる。この単位時間において、基準エンコーダ９を使用して基準ローラ３の回転量に応じた基準回転パルス数Ｎｓ（個）を計測し、送出し側エンコーダ７を使用して送出し側ロール２の回転量に応じたロール回転パルス数Ｎｆ（個）を計測する。
【００２０】
ところで、基準ローラ３と送出し側ロール２とについて、フィルム１の実際の走行距離Ｌを算出すると、次式が得られる。
Ｌ＝２π・Ｒｓ・（Ｎｓ／Ｐｓ）＝２π・Ｒｆ・（Ｎｆ／Ｐｆ）
ここで、各符号の意味をまとめると、以下のようになる。
Ｐｓ：基準ローラ軸８の１回転に対して基準エンコーダ９が生成するパルス数
Ｐｆ：送出し側回転軸５の１回転に対して送出し側エンコーダ７が生成するパルス数
Ｒｓ：基準ローラ軸８の基準半径
Ｎｆ：単位時間において計測されたロール回転パルス数
Ｎｓ：単位時間において計測された基準回転パルス数
Ｒｆ：その時点における送出し側ロール２の実際のロール半径
そして、上述の式を変形すると、その時点における送出し側ロール２の実際のロール半径Ｒｆが、次式で表される。
Ｒｆ＝（Ｎｓ／Ｐｓ）・（Ｐｆ／Ｎｆ）・Ｒｓ
制御部１３は、上述した符号によって表される値（既知）をこの式に代入することにより、その時点における送出し側ロール２の実際のロール半径Ｒｆを算出する。
【００２１】
次に、制御部１３は、算出された実際のロール半径Ｒｆと記憶されていた初期半径Ｒｉとを比較して、送出し側ロール２が初期半径Ｒｉを有する場合における適正な張力に対して、比例計算を行う。これにより、制御部１３は、記憶されていた適正な張力のうち、実際のロール半径Ｒｆに対応して送出し側サーボモータ６がフィルム１に加えるべき張力を算出する。更に、制御部１３は、案分計算を行って、適正な張力のうち、巻取り側サーボモータ１１がフィルム１に加えるべき張力を算出する。
【００２２】
次に、制御部１３は、送出し側サーボモータ６と巻取り側サーボモータ１１とに対して、算出された張力が実現するためのトルクを発生させるように、それぞれ電圧を印加する。これにより、送出し側ロール２が実際のロール半径Ｒｆを有する場合において、そのロール半径Ｒｆに対応した、しわやたるみ等が発生しにくい張力が、送出し側サーボモータ６と巻取り側サーボモータ１１とによってフィルム１に加えられる。
【００２３】
以上説明したように、本実施形態によれば、フィルム１が巻き取られて行くにつれて、送出し側ロール２のロール半径が減少するとともに巻取り側ロール４のロール半径が増加した場合において、ある時点における送出し側ロール２の実際のロール半径Ｒｆを算出する。そして、算出された実際のロール半径Ｒｆに基づいて、停止した状態にあるフィルム１に適正な張力が加えられるように、送出し側サーボモータ６と巻取り側サーボモータ１１とを制御する。これにより、当初設定した適正な張力、すなわちしわやたるみ等が発生しにくい張力を、停止した状態にあるフィルム１に加えるとともに、フィルム１を使いきるまでそのように張力を加えることを維持する。したがって、樹脂封止において、フィルム１にしわやたるみ等が発生することを防止することができる。また、各樹脂封止動作の前後に送出し側ロール２の実際のロール半径Ｒｆを算出することができるので、残量を正確に知ることが可能になる。したがって、フィルム１を残すことなく、送出し側ロール２を有効に使いきることができる。更に、フィルム供給装置の大型化を避けることができる。
【００２４】
なお、ここまでの説明では、送出し側ロール２の初期半径Ｒｉを記憶して、送出し側サーボモータ６と巻取り側サーボモータ１１とを制御することとした。これに代えて、巻取り側ロール４がとり得る最大巻取り半径Ｒｍを記憶して、送出し側サーボモータ６と巻取り側サーボモータ１１とを制御してもよい。この場合には、フィルム１が巻き取られる際に、空気の巻き込み等により、通常、最大巻取り半径Ｒｍが初期半径Ｒｉよりも大きくなる。そこで、巻取り側ロール４が最大巻取り半径Ｒｍを有する場合に、すなわちフィルム１のほぼ全量が巻取り側ロール４に巻き取られた状態で、停止しているフィルム１にしわやたるみ等が発生しないような適正な張力を、実験的に見出す。そして、最大巻取り半径Ｒｍと、最大巻取り半径Ｒｍを有する場合に見出された適正な張力及びこれを実現する印加条件とを、制御部１３に記憶する。更に、制御部１３は、最大巻取り半径Ｒｍと、見出された適正な張力及び印加条件と、その時点において算出された巻取り側ロール４の実際のロール半径とに基づいて、送出し側サーボモータ６と巻取り側サーボモータ１１とに電圧を印加する。また、この場合には、最大巻取り半径Ｒｍと実際のロール半径とを比較することにより、送出し側ロール２の残量を把握することができる。
【００２５】
また、制御部１３により、初期半径Ｒｉと最大巻取り半径Ｒｍとを記憶して、フィルム１が停止した状態で、それらの双方を使用して送出し側サーボモータ６と巻取り側サーボモータ１１とに電圧を印加してもよい。この場合には、制御部１３は、その時点における送出し側ロール２と巻取り側ロール４との実際のロール半径を、それぞれ算出することになる。
【００２６】
また、フィルム１が停止した状態で、送出し側サーボモータ６と巻取り側サーボモータ１１との双方を回転させようとした。これに限らず、送出し側回転軸５をロックさせるように、送出し側サーボモータ６に電圧を印加してもよい。この場合には、巻取り側サーボモータ１１を制御して適正なトルクを発生させることにより、フィルム１に適正な張力を加えることになる。また、逆に、巻取り側回転軸１０をロックさせるように巻取り側サーボモータ１１に電圧を印加し、図１に示された破線の矢印の方向に回転しようとするように送出し側サーボモータ６を制御して、適正なトルクを発生させることとしてもよい。
【００２７】
また、本実施形態においては図２に示されているような変形例も可能である。図２は、図１の樹脂封止用のフィルム供給装置の変形例について、その構造を示す概略斜視図である。本変形例においては、基準ローラ３と巻取り側ロール４との間にガイドローラ１４を設けて、フィルム１のスムーズな走行を可能にしている。本変形例によれば、樹脂封止装置の構成において、図１に示された場合よりも、構成要素を配置する際の自由度が増すことになる。また、ガイドローラ軸１５にエンコーダを取り付けてこれを基準エンコーダとして、ガイドローラ１４に基準ローラとしての機能を持たせることもできる。この場合には、図２に示された基準ローラ３とガイドローラ１４とが位置を入れ換えた構成になる。
【００２８】
（第２の実施形態）
本発明に係る樹脂封止用のフィルム供給装置の第２の実施形態を、図３を参照して説明する。図３は、本実施形態に係る樹脂封止用のフィルム供給装置について、その構造を示す概略斜視図である。本実施形態は、巻取り側サーボモータ１１だけを使用する点と、送出し側回転軸５の一端には送出し側サーボモータ及び送出し側エンコーダに代えて電磁ブレーキ１６を接続している点とで、第１の実施形態（図１参照）と相違する。そして、送出し側ロール２の実際のロール半径Ｒｆを算出することに代えて、巻取り側ロール４の実際のロール半径Ｒｗを算出し、これを最大巻取り半径Ｒｍと比較して適正な張力を算出する。
【００２９】
本実施形態に係る樹脂封止用のフィルム供給装置の動作は、次のようになる。まず、巻取り側ロール４が最大巻取り半径Ｒｍを有する場合に、制御部１３は、電磁ブレーキ１６に電圧を印加して送出し側回転軸５をロックさせ、巻取り側サーボモータ１１に電圧を印加する。そして、第１の実施形態と同様に、停止しているフィルム１にしわやたるみ等が発生しないような適正な張力を見出して、その適正な張力とこれを実現する電圧の組合せ（印加条件）と最大巻取り半径Ｒｍとを、制御部１３に記憶する。
【００３０】
次に、実際に使用する送出し側ロール２を送出し側回転軸５に嵌装し、送出し側回転軸５のロックを解除して、樹脂封止を開始する。フィルム１が使用されて巻き取られて行くにつれて、送出し側ロール２のロール半径が減少するとともに巻取り側ロール４のロール半径が増加する。そこで、制御部１３は、第１の実施形態と同様に、所定の単位時間だけフィルム１を送り出す。そして、制御部１３は、基準エンコーダ９と巻取り側エンコーダ１２とを使用して、基準回転パルス数Ｎｓ（個）と巻取り側ロール４の回転によるロール回転パルス数Ｎｗ（個）とを、それぞれ計測する。更に、制御部１３は、第１の実施形態と同様の手順により、これらのパルス数に基づいてその時点における巻取り側ロール４の実際のロール半径Ｒｗを算出する。
【００３１】
次に、制御部１３は、第１の実施形態と同様に、算出された実際のロール半径Ｒｗと記憶されていた最大巻取り半径Ｒｍとを比較して、巻取り側ロール４が最大巻取り半径Ｒｍを有する場合における適正な張力に対して、比例計算を行う。これにより、制御部１３は、巻取り側ロール４の実際のロール半径Ｒｗに対応して巻取り側サーボモータ１１がフィルム１に加えるべき張力を算出する。
【００３２】
次に、制御部１３は、フィルム１が停止している状態で、電磁ブレーキ１６に電圧を印加して送出し側回転軸５をロックさせる。そして、制御部１３は、巻取り側サーボモータ１１に対して、算出された張力が実現するためのトルクを発生させるように電圧を印加する。これにより、巻取り側ロール４が実際のロール半径Ｒｗを有する場合において、そのロール半径Ｒｗに対応した、しわやたるみ等が発生しにくい張力が、巻取り側サーボモータ１１によってフィルム１に加えられる。
【００３３】
以上説明したように、本実施形態によれば、電磁ブレーキ１６と巻取り側サーボモータ１１とによって、巻取り側ロール４の実際のロール半径Ｒｗに対応したしわやたるみ等が発生しにくい張力を、フィルム１に加えることができる。そして、フィルム１を使いきるまで、そのように張力を加えることを維持する。したがって、第１の実施形態と同様に、樹脂封止において、フィルム１にしわやたるみ等が発生することを防止することができる。
【００３４】
なお、本実施形態の変形例として、図４に示すような構成をとることも可能である。図４は、図３の樹脂封止用のフィルム供給装置の変形例について、その構造を示す概略斜視図である。この変形例では、巻取り側回転軸１０の一端に、巻取り側サーボモータに代えて巻取り側トルクモータ１７が設けられ、巻取り側回転軸１０の他端に、巻取り側エンコーダ１８が接続されている。また、送出し側回転軸５の他端には、送出し側ロール２の残量検出用の送出し側エンコーダ１９が接続されている。この場合には、安価なトルクモータを使用して、図３に示された実施形態と同様の効果が得られる。また、残量検出用の送出し側エンコーダ１９により、送出し側ロール２の半径を知ることができるので、送出し側ロール２の残量が正確に検出される。
【００３５】
また、本発明は、上述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。
【００３６】
【発明の効果】
本発明によれば、フィルムが巻き取られて行くにつれて、送出し側ロール及び取り側ロールのロール半径が変動した場合において、算出された実際のロール半径に基づいて、停止した状態にあるフィルムに適正な張力が加えられるようにモータが制御される。これにより、樹脂封止において、所定の適正な張力、すなわちしわやたるみ等が発生しにくい張力を、停止した状態にあるフィルムに加えるとともに、フィルムを使いきるまでそのように張力を加えることを維持する。したがって、樹脂封止を行う際に、フィルムにしわやたるみ等が発生することを防止することができる。これにより、本発明は、樹脂封止において、停止しているフィルムに加えられる張力を適正な張力に維持する樹脂封止用のフィルム供給装置及び供給方法を提供することができるという、優れた実用的な効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る樹脂封止用のフィルム供給装置について、その構造を示す概略斜視図である。
【図２】図１の樹脂封止用のフィルム供給装置の変形例について、その構造を示す概略斜視図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る樹脂封止用のフィルム供給装置について、その構造を示す概略斜視図である。
【図４】図３の樹脂封止用のフィルム供給装置の変形例について、その構造を示す概略斜視図である。
【図５】従来のフィルム供給装置の構造を示す部分断面図である。
【符号の説明】
１  フィルム
２  送出し側ロール
３  基準ローラ
４  巻取り側ロール
５  送出し側回転軸
６  送出し側サーボモータ（モータ）
７，１９  送出し側エンコーダ
８  基準ローラ軸
９  基準エンコーダ（基準センサ）
１０  巻取り側回転軸
１１  巻取り側サーボモータ（モータ）
１２，１８  巻取り側エンコーダ
１３  制御部
１４  ガイドローラ
１５  ガイドローラ軸
１６  電磁ブレーキ
１７  巻取り側トルクモータ（モータ）
【図１】
2004296691.tif 000003
【図２】
2004296691.tif 000004
【図３】
2004296691.tif 000005
【図４】
2004296691.tif 000006
【図５】
2004296691.tif 000007