(57)【要約】　　　（修正有）【課題】吸着パッドの数を減らし、最終溝とケース側面の幅が狭いケースにおいても、ガラス基板の移載が可能なエアバランス式ガラス基板移載装置を提供する。【解決手段】ガラス基板を吸着保持する少なくとも一つの吸着パッド４と、吸着パッド４を支持するアーム３と、アーム３の先端に連結する撓み防止手段５とを設けて、水平姿勢で搬送したガラス基板を垂直姿勢に変更し、溝付き梱包ケースへ移載する。【選択図】　図１
2004099210.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平姿勢で搬送したガラス基板を垂直姿勢に変更し、溝付き梱包ケースへ移載するハンドリング用のエアバランス式移載装置であって、
ガラス基板を吸着保持する少なくとも一つの吸着パッドと、
前記吸着パッドを支持するアームと、
前記アームの先端に連結する撓み防止手段と、
を備えることを特徴とするエアバランス式ガラス基板移載装置。
【請求項２】
請求項１記載のエアバランス式ガラス基板移載装置であって、
ガラス基板を水平姿勢で吸着し垂直姿勢にする姿勢変更手段、
を備えることを特徴とするエアバランス式ガラス基板移載装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のエアバランス式ガラス基板移載装置であって、
前記吸着パッドが、
ガラス基板を１タッチで吸着可能な厚みのリップと、
ガラス基板の姿勢を保持可能な吸着を可能にする大きさのパッド径と、
を備えることを特徴とするエアバランス式ガラス基板移載装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のエアバランス式ガラス基板移載装置であって、
前記吸着パッドが、
ガラス基板に吸着痕を残さない吸着痕防止手段、
を備えることを特徴とするエアバランス式ガラス基板移載装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のエアバランス式ガラス基板移載装置であって、
前記吸着パッドが、
ガラス基板をケースに収納する際に、ガラス基板先端部を吸着可能で、ケースに接触しないアームの途中位置に連結されている、
ことを特徴とするエアバランス式ガラス基板移載装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載のエアバランス式ガラス基板移載装置であって、
前記撓み防止手段が、
ガラス基板の長辺方向にガラス基板を支持する少なくとも１本の撓み防止バーと、
前記撓み防止バーの先端に連結したガラス基板と接してガラス基板を支持する支持部品と、
を備えることを特徴とするエアバランス式ガラス基板移載装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載のエアバランス式ガラス基板移載装置であって、
前記撓み防止バーが、
ケース側壁と前記撓み防止バーが接触する際の摩擦による粉塵を防止する粉塵防止手段、
を備えることを特徴とするエアバランス式ガラス基板移載装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載のエアバランス式ガラス基板移載装置であって、
前記粉塵防止手段が、
前記撓み防止バーの表面に施したテフロンコート、
であることを特徴とするエアバランス式ガラス基板移載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板の移載装置に関し、更に詳しくは、水平姿勢で搬送したガラス基板を垂直姿勢に変更し、溝付き梱包ケースへ移載するハンドリング用のエアバランス式移載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
製品出荷などの際に、プラズマディスプレイパネルなどの大型のガラス基板をケースに収納する場合、１ケースに収納するガラス基板の数を増やし、輸送効率を上げるために、溝間のピッチが狭いケースを用いる。
【０００３】
係るガラス基板のケースへの収納は、吸着パッドおよび姿勢調整手段を備えたロボットによる移載装置を用いて、ガラス基板の姿勢を変更しながら行っている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
係るエアバランス式移載装置においては、支持アーム、ガラス基板、吸着パッドの三つの厚みが合算されるため、ケースの最終溝とケース側壁の間の幅が狭いケースでは、収納が困難であるであるという問題がある。
【０００５】
また、ケースの最終溝とケース側壁の間において作業可能にするためには、厚みを減らす必要があり、この場合、小型および薄型の吸着パッドを使用する。しかしながら、小型および薄型の吸着パッドは、大型および厚い吸着パッドと比較して吸着力が弱いため、同型の複数の吸着パッドを均等に配置したものを使用することになる。
【０００６】
係る複数の吸着パッドを使用したエアバランス式移載装置においては、複数のパッドのメンテナンスに時間がかかる。また、ランニングコストが高くなるという問題がある。
【０００７】
また、手動のエアバランス式移載装置においては、吸着時に精度良く複数の吸着パッドの位置決めを行うことは困難であり、係る問題を解決するためにロボットハンド部分において、吸着穴を有する樹脂を支持材部材に設けた爪部材に固定しているものがある（例えば、特許文献２参照。）。
【０００８】
係る装置においても、最終溝とケース側壁の間の幅が狭いケースにおいては、ガラス基板の移載が困難であるという問題がある。
【０００９】
【特許文献１】
特開２０００−７１４７号公報
【特許文献２】
特開２００１−１７９６７２号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
係る問題を解決するために、本発明は、吸着パッドの数を減らしながら、最終溝とケース側壁の間の幅が狭いケースにおいても、ガラス基板の移載が可能なエアバランス式ガラス基板移載装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様は、水平姿勢で搬送したガラス基板を垂直姿勢に変更し溝付き梱包ケースへ移載するハンドリング用のエアバランス式移載装置において、ガラス基板を吸着保持する少なくとも一つの吸着パッドと、前記吸着パッドを支持するアームと、前記アームの先端に連結する撓み防止手段とを設けたものである。
【００１２】
本発明の第２の態様は、上述の第１の態様に係わるエアバランス式ガラス基板移載装置において、ガラス基板を水平姿勢で吸着し垂直姿勢にする姿勢変更手段を設けたものである。
【００１３】
本発明の第３の態様は、上述の第１または２の態様に係るエアバランス式ガラス基板移載装置において、前記吸着パッドが、ガラス基板を１タッチで吸着可能な厚みのリップと、ガラス基板の姿勢を保持可能な吸着を可能にする大きさのパッド径とを備えるようにしたものである。
【００１４】
本発明の第４の態様は、上述の第１から３の態様に係わるエアバランス式ガラス基板移載装置において、前記吸着パッドに、ガラス基板に吸着痕を残さない吸着痕防止手段を設けたものである。
【００１５】
本発明の第５の態様は、上述の第１から４の態様に係わるエアバランス式ガラス基板移載装置において、前記吸着パッドが、ガラス基板をケースに収納する際に、ガラス基板先端部を吸着可能でケースに接触しないアームの途中位置に連結されているように構成したものである。
【００１６】
本発明の第６の態様は、上述の第１から５の態様に係わるエアバランス式ガラス基板移載装置において、前記撓み防止手段に、ガラス基板の長辺方向にガラス基板を支持する少なくとも１本の撓み防止バーと、前記撓み防止バーの先端に連結したガラス基板と接してガラス基板を支持する支持部品とを設けたものである。
【００１７】
本発明の第７の態様は、上述の第１から６の態様に係るエアバランス式ガラス基板移載装置において、前記撓み防止バーに、ケース側壁と前記撓み防止バーが接触する際の摩擦による粉塵を防止する粉塵防止手段を設けたものである。
【００１８】
本発明の第８の態様は、上述の第１から７の態様に係るエアバランス式ガラス基板移載装置において、前記粉塵防止手段を、前記撓み防止バーの表面に施したテフロンコート
から成るようにしたものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示する実施例に基づき説明する。図１は、本発明のエアバランス式ガラス基板移載装置の構成図である。
【００２０】
エアバランス式ガラス基板移載装置は、ハンドル１、姿勢変更手段２、アーム３、吸着パッド４、撓み防止バー５、支持部品６を備えており、水平姿勢で搬送されたガラス基板を垂直姿勢に変更し、溝付き梱包ケース７に収納するものである。
【００２１】
ハンドル１は、エアバランスにより少ない力で可動し、手動で操作して、ガラス基板の移載を行うものである。本実施例でいうガラス基板は、プラズマディスプレイパネルなどを製造する際に使用する、例えば１４６０ｍｍ×１０３０ｍｍなどの大型のガラス基板である。
【００２２】
姿勢変更手段２は、水平方向から垂直方向へ９０度旋回し、水平姿勢で搬送されたガラス基板を、吸着した後、垂直姿勢に変更するものである。
【００２３】
アーム３は、姿勢変更手段２、吸着パッド４、および撓み防止バー５と連結しており、ガラス基板を溝付き梱包ケース７に収納する際、溝付き梱包ケース７の側壁の上辺に接触しない長さのものである。
【００２４】
吸着パッド４は、吸着しやすく、少数でも十分な吸着力を有する直径が大きく、リップが厚いものを、溝付き梱包ケース７の側壁の上辺などに接触しない位置において、アーム３の途中に連結したものである。
【００２５】
本発明における吸着パッド４は、上述のように直径が大きく、リップが厚いパッドを用いるため、ガラス基板の表面に吸着痕が付かないように、例えば、吸着パッド４の表面に対して、１）ハロゲン処理、２）フッ素ゴムの使用、３）テフロンコート、４）ＥＢ照射などを行った吸着痕防止手段を備えている。
【００２６】
撓み防止バー５は、アームの先端に連結されたステンレスなどの棒であり、ガラス基板の長辺方向にガラス基板を支持するものである。撓み防止バー５の材質は、剛性が確保できるのであれば、ステンレスに限定されるものではなく、カーボンやアルミなどを用いてもよい。
【００２７】
また、撓み防止バー５は、溝付き梱包ケース７の側壁と接触する際の摩擦により発生する粉塵を防止するために、撓み防止バー５の表面を、例えばテフロン（登録商標）でコーティングした粉塵防止手段を備えるものである。
【００２８】
溝付き梱包ケース７の構造や材質などにより、撓みバー５と溝付き梱包ケース７の側壁が擦れても粉塵が生じない場合は、ベアリングやコロなどをガイドとして取り付けることも可能である。
【００２９】
支持部品６は、撓み防止バー５の先端に連結されており、緩衝材としてガラス基板を支持するものである。
【００３０】
溝付き梱包ケース７は、ケース内部にガラス基板を収納する複数の溝を狭い間隔で形成したものであり、通常は、ケースを製作する際に溝を同時に作成した溝一体成形ケースを用いる。
【００３１】
図２は、本発明のエアバランス式ガラス基板移載装置の動作を示す模式図である。図２（ａ）は、水平姿勢のガラス基板の受け取りを上方および側面から見た図であり、図２（ｂ）は、溝付き梱包ケース６の最終溝にガラス基板を収納したところを側面から見た図である。
【００３２】
図２において、吸着パッド４は、例えば、直径１５０ｍｍ、リップ厚２５ｍｍの吸着パッドを２個使用し、ガラス基板を十分に吸着可能なものとする。対象ガラス基板を吸着して移載可能であれば、吸着パッド４の数、パッドの径、パッドの大きさは、何ら限定されるものではない。
【００３３】
また、撓み防止バー５の厚みは１５ｍｍとし、撓み防止バー５、支持部品６、ガラス基板を合わせた厚みは２０ｍｍ以内とする。
【００３４】
また、溝付き梱包ケース７は、垂直方向に溝が一体成形されており、第１溝または最終溝とケース側壁の間の幅は２５ｍｍ程度として、以下の説明を行う。
【００３５】
まず、コンベアなどを通り水平姿勢で搬送されてきたガラス基板に対し、ハンドル１を操作することにより、図２（ａ）に示すように、エアバランス式ガラス基板移載装置が下方向から接近し、吸着パッド４によりガラス基板を吸着し、撓み防止バー５および支持部品６によりガラス基板の撓みを防止し、ガラス基板を受け取る。
【００３６】
次に、姿勢変更手段２により、アーム３を水平位置から下方向に９０度旋回させ、ガラス基板を垂直姿勢にする。
【００３７】
ガラス基板を垂直姿勢のまま、溝付き梱包ケース７の任意の空いている溝に、ガラス基板を収納する。図２（ｂ）に、最終溝にガラス基板を収納した直後の状態を示す。
【００３８】
図２（ｂ）において示すように、吸着パッド４は、溝付き梱包ケース７の上部と接触しない位置に連結されており、２５ｍｍのリップ厚を有する吸着パッドを用いても、２０ｍｍ以内の撓み防止バー５、支持部品６、ガラス基板しか最終溝とケース側壁の幅に入らないため、ガラス基板を溝付き梱包ケース７へ収納することができる。
【００３９】
最後に、吸着パッド４をガラス基板から外し、収納が完了する。吸着パッド４の径が大きく、また基板との接触面積が多くても、吸着痕防止手段を設けているため、ガラス基板上に吸着痕が残ることを防止できる。
【００４０】
【発明の効果】
以上の通りであるから、本発明に係るエアバランス式ガラス基板移載装置によれば、吸着パッドの数が少なく、最終溝とケース側壁の間の幅が狭いケースにおいても、ガラス基板の移載が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエアバランス式ガラス基板移載装置の構成図である。
【図２】本発明のエアバランス式ガラス基板移載装置の動作を示す模式図である。
【符号の説明】
１　ハンドル
２　姿勢変更手段
３　アーム
４　吸着パッド
５　撓み防止バー
６　支持部品
７　溝付き梱包ケース
【図１】
2004099210.tif 000003
【図２】
2004099210.tif 000004