(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイ装置の製造方法において、工程管理を簡潔かつ正確に行なうことにより、製造工程能力を向上させ、製品の品質を向上させることを目的とする。【解決手段】前面側基板１上に表示電極４形成時に寸法管理パターン２１を形成し、そのパターンの変化により各工程における構成要素の形成状況を把握するものである。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置するとともに、前記放電空間を複数に仕切るための隔壁を背面側の基板に配置し、かつ前記隔壁により仕切られた放電空間で放電が発生するように前面側基板に表示電極を配置するとともに、背面側基板に前記表示電極と交差する方向にデータ電極を配置して構成したプラズマディスプレイ装置の製造方法において、基板上に各構成要素を形成する複数の工程を有し、かつ前記基板上に前記各工程での構成要素の形成状況を管理するための所定形状の工程管理用パターンを形成し、そのパターンの変化により各工程における構成要素の形成状況を把握することを特徴とするプラズマディスプレイ装置の製造方法。
【請求項２】
工程管理用パターンは、各構成要素を形成したときの寸法を管理するためのものである請求項１に記載のプラズマディスプレイ装置の製造方法。
【請求項３】
工程管理用パターンは、各構成要素を形成したときの各構成要素の重ね合わせ精度を管理するためのものである請求項１に記載のプラズマディスプレイ装置の製造方法。
【請求項４】
工程管理用パターンは、各構成要素を形成したときの各構成要素の収縮や膨張などの製造工程における寸法変動を管理するためのものである請求項１に記載のプラズマディスプレイ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大画面で、薄型、軽量のディスプレイ装置として知られているプラズマディスプレイ装置の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プラズマディスプレイ装置は、視認性に優れた表示パネル（薄型表示デバイス）として注目されており、高精細化及び大画面化が進められている。
【０００３】
このプラズマディスプレイ装置には、大別して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大画面化及び製造の簡便性から、現状では、ＡＣ型で面放電型のプラズマディスプレイ装置が主流を占めるようになってきている。
【０００４】
図５にプラズマディスプレイ装置におけるパネル構造の一例を示し、図６に図５のＡ−Ａ線で切断した断面を示し、図７に図５のＢ−Ｂ線で切断した断面を示している。図に示すように、ガラス基板などの透明な前面側の基板１上には、走査電極２と維持電極３とで対をなすストライプ状の表示電極４が複数対形成され、そして基板１上の隣り合う表示電極４間には遮光層５が配置形成されている。この走査電極２及び維持電極３は、それぞれ透明電極２ａ、３ａ上に、銀等の電極ペーストを印刷し焼成してなる母線２ｂ、３ｂを重ね合わせて形成することにより構成されている。また、前記前面側の基板１には、前記複数対の電極群を覆うように誘電体層６が形成され、その誘電体層６上には保護膜７が形成されている。
【０００５】
また、前記前面側の基板１に対向配置される背面側の基板８上には、走査電極２及び維持電極３の表示電極４と直交する方向に、絶縁体層９で覆われた複数のストライプ状のデータ電極１０が形成されている。このデータ電極１０間の絶縁体層９上には、データ電極１０と平行にストライプ状の複数の隔壁１１が配置され、この隔壁１１間の側面１１ａ及び絶縁体層９の表面に蛍光体層１２が設けられている。
【０００６】
これらの基板１と基板８とは、走査電極２及び維持電極３とデータ電極１０とが直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、周囲が封止され、そして前記放電空間には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうちの一種または混合ガスが放電ガスとして封入されている。また、放電空間は、隔壁１１によって複数の区画に仕切ることにより、表示電極４とデータ電極１０との交点が位置する複数の放電セル１３が設けられ、その各放電セル１３には、赤色、緑色及び青色となるように蛍光体層１２が一色ずつ順次配置されている。
【０００７】
このパネル本体の電極配列は、図８に示すように、Ｍ行×Ｎ列の放電セルからなるマトリックス構成であり、行方向にはＭ行の走査電極ＳＣＮ１〜ＳＣＮＭ及び維持電極ＳＵＳ１〜ＳＵＳＭが配列され、列方向にはＮ列のデータ電極Ｄ１〜ＤＮが配列されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このようなプラズマディスプレイ装置においては、前面側及び背面側の基板上に電極や隔壁などの各構成要素を所定のパターン、所定の寸法で精度よく形成することが安定したパネル特性を得る上で必要である。特に、放電開始電圧や輝度などのパネル特性は、前記前面側の基板１上の透明電極２ａと透明電極３ａ間のギャップ幅や銀等の母線２ｂ、３ｂの線幅に大きく依存する。これらの寸法管理は製造工程中に行なうが、従来はこれらの電極そのものを測定することにより行なっている。
【０００９】
しかし従来の方法では、寸法管理に関しては、電極そのものの寸法を測長機で直接測定する必要があり、寸法値に異常があっても、仕上がり寸法だけでは異常発生原因の特定が困難である。
【００１０】
また、透明電極２ａ、３ａの上層に母線２ｂ、３ｂを形成するとき、母線は透明電極を基準にして写真製版を行なうが、従来はその重ね合わせ精度の管理は行なっていないが、万一のトラブルに備えて定期的に正確な重ね合わせ精度を測定しておくことが求められるようになってきている。
【００１１】
本発明はこのような課題を解決するもので、工程管理を簡潔かつ正確に行なうことにより、製造工程能力を向上させ、製品の品質を向上させることを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明のプラズマディスプレイ装置の製造方法は、基板上に各構成要素を形成する複数の工程を有し、かつ前記基板上に前記各工程での構成要素の形成状況を管理するための所定形状の工程管理用パターンを形成し、そのパターンの変化により各工程における構成要素の形成状況を把握するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の請求項１に記載の発明は、少なくとも前面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置するとともに、前記放電空間を複数に仕切るための隔壁を背面側の基板に配置し、かつ前記隔壁により仕切られた放電空間で放電が発生するように前面側基板に表示電極を配置するとともに、背面側基板に前記表示電極と交差する方向にデータ電極を配置して構成したプラズマディスプレイ装置の製造方法において、基板上に各構成要素を形成する複数の工程を有し、かつ前記基板上に前記各工程での構成要素の形成状況を管理するための所定形状の工程管理用パターンを形成し、そのパターンの変化により各工程における構成要素の形成状況を把握することを特徴とする。
【００１４】
また、工程管理用パターンは、各構成要素を形成したときの寸法を管理したり、各構成要素の重ね合わせ精度を管理したり、各構成要素の収縮や膨張などの製造工程における寸法変動を管理するためのものである。例えば、所定形状のパターンを基板の４角等に形成しておき、前面側基板上に表示電極を形成する時に、透明電極のギャップ幅や母線の線幅等の寸法、写真製版時の重ね合わせ精度、電極ペーストの焼成前後の収縮や膨張などの製造工程における寸法変動を管理するものである。
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイ装置の製造方法について、前面側の基板上に表示電極を形成する工程を例にとって説明するが、本発明は背面側の基板上にデータ電極と隔壁を形成する工程においても適用可能である。
【００１６】
本発明においては、前面側基板１上に表示電極４を構成する透明電極２ａ、３ａ及び母線２ｂ、３ｂを形成する複数の工程を有し、前記前面側基板１上に前記各工程での構成要素の形成状況を管理するための所定形状の工程管理用パターンを形成し、そのパターンの変化により各工程における構成要素の形成状況を把握するものである。図１〜図４にその工程管理用パターンの例を示している。
【００１７】
図１（ａ）、（ｂ）に示す例は、寸法を管理するためのパターンを示すものであり、前面側基板１上に表示電極４の透明電極２ａ、３ａを形成するときに、前面側基板１の４角に、図１（ａ）に示すような形状で、Ｌ／Ｓが１０μｍ、２０μｍ、３０μｍの３種類の寸法管理パターン２１を形成する。これらの寸法管理パターン２１は実際に測長機で線幅寸法を測定することもできるが、測長機で測定を行なわなくても、図１（ｂ）に示すように、寸法管理パターン２１のパターン部２１ａの幅、及びパターンギャップ２１ｂを直視することにより、直感的に何μｍまでパターン形成ができているかがわかるようになっている。
【００１８】
すなわち、これらの寸法管理パターン２１と表示電極４の透明電極２ａ、３ａのギャップ幅との相関をとることにより、製造工程における測長時間の短縮が可能となる。これらのパターンは母線や遮光層等に対しても同様に適用することができる。
【００１９】
また、図２（ａ）、（ｂ）に示す例は、重ね合わせ精度を管理するためのパターンを示すものであり、前面側基板１上に表示電極４を形成するときに、前面側基板１の４角に、図２（ａ）に示すように、幅１５０μｍ、長さ２ｍｍの十字型パターン２２を形成するものである。
【００２０】
すなわち、図２（ｂ）に示すように、前面側基板１上に表示電極４の透明電極２ａ、３ａを形成するときに十字型パターン２２ａ、２２ｂを形成し、表示電極４の母線２ｂ、３ｂを形成するときに十字型パターン２２ｃ、２２ｄを、前記透明電極２ａ、３ａで形成した十字型パターン２２ａ、２２ｂと一定距離をおいて形成する。以下の写真製版においても同様に十字型パターンを形成するもので、これらの十字型パターン２２ａ〜２２ｄの距離を測長機で測定することにより、各層の重ね合わせ精度を正確に測定することができる。
【００２１】
また、図３（ａ）、（ｂ）に示す例は、重ね合わせ精度を管理するためのパターンを示すものであり、前面側基板１上に表示電極４の透明電極２ａ、３ａを形成するときに、前面側基板１の４角に、図３（ａ）に示すように、幅５０μｍ、長さ５００μｍの線パターン２３を１００μｍピッチで１１本形成し、次に前面側基板１上に表示電極４の母線２ｂ、３ｂを形成するときに、線パターン２３に重なるように、５０μｍ角のドットパターン２４を１１０μｍピッチで形成するものである。
【００２２】
すなわち、図３（ｂ）に示すようにこれらの線パターン２３とドットパターン２４とが完全に一致している箇所を読むことにより、簡易的に重ね合わせ精度を測定することができる。
【００２３】
また、図４（ａ）、（ｂ）に示す例は、電極材料の収縮や膨張など製造工程における寸法変動を管理するためのパターンを示すものであり、図４（ａ）に示すように、前面側基板１上の表示電極４の透明電極２ａ、３ａを形成するときに、前面側基板１の４角に、幅１００μｍ角の正方形パターン２５ａで、その正方形パターン２５ａをエッジの重なる量を増やしながら交互に配置した形状の寸法変動管理パターン２５を形成するものである。なお、母線２ｂ、３ｂ形成時にも同様に形成する。
【００２４】
すなわち、表示電極４のパターン形成時に図４（ａ）に示す寸法変動管理パターン２５を形成しておき、表示電極４の焼成後の図４（ｂ）に示す寸法変動管理パターン２５において、正方形パターン２５ａのエッジが完全に一致する箇所を読むことにより、簡易的に製造工程における寸法変動を測定することができる。
【００２５】
以上説明したように、所定形状のパターンを基板の４角等に形成しておき、前面側基板上に表示電極を形成する時に、透明電極のギャップ幅や母線の線幅等の寸法、写真製版時の重ね合わせ精度、電極ペーストの焼成前後の収縮や膨張などの製造工程における寸法変動を管理するものであり、パターンの変化により各工程における構成要素の形成状況を把握することができる。
【００２６】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、基板に工程管理用のパターンを形成するものであり、これらのパターンによりプラズマディスプレイ装置を構成する構成要素の寸法管理、重ね合わせ精度管理、製造工程における寸法変動の管理等を簡易的かつ正確に行なうことができ、製造工程において、万一の異常発生時においても早期の発見と原因特定を行なうことができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイ装置の製造方法における工程管理用パターンの一例を示す説明図
【図２】（ａ）、（ｂ）は同じく工程管理用パターンの他の例を示す説明図
【図３】（ａ）、（ｂ）は同じく工程管理用パターンの他の例を示す説明図
【図４】（ａ）、（ｂ）は同じく工程管理用パターンの他の例を示す説明図
【図５】プラズマディスプレイ装置のパネルの一部を切り欠いて示す斜視図
【図６】図５のＡ−Ａ線で切断した断面図
【図７】図５のＢ−Ｂ線で切断した断面図
【図８】同装置の電極配列を示す配線図
【符号の説明】
１、８　基板
２　走査電極
３　維持電極
２ａ、３ａ　透明電極
２ｂ、３ｂ　母線
４　表示電極
５　遮光層
６　誘電体層
７　保護膜
９　絶縁体層
１０　データ電極
１１　隔壁
１２　蛍光体層
１３　放電セル
２１　寸法管理パターン
２２　十字型パターン
２３　線パターン
２４　ドットパターン
２５　寸法変動管理パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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