(57)【要約】【課題】アンテナ３を形成するモジュール構造体の材質を改良することにより、アンテナの長さを短くできるようにすることを課題とする。【解決手段】シリコン基板１上に強誘電体層２を形成し、該強誘電体層上に導体膜から成るアンテナ３を形成した。また、シリコン基板１にスルーホール９を形成し、或いはシリコン基板１上にキャパシタ７又はＳＡＷフィルタ８、インダクタンス６等の電子素子を組み込んでモジュール構造とした。【選択図】　　　図１
2004022667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン基板上に強誘電体層を形成し、該強誘電体層上に導体膜から成るアンテナを形成したことを特徴とする半導体モジュール構造。
【請求項２】
強誘電体層として、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を用いたことを特徴とする請求項１に記載の半導体モジュール構造。
【請求項３】
前記シリコン基板上にキャパシタ又はＳＡＷフィルタ、インダクタンス等の電子素子を形成し、前記モジュールに組み込んだことを特徴とする請求項１に記載の半導体モジュール構造。
【請求項４】
前記シリコン基板にスルーホールを形成し、該スルーホールの壁面に絶縁層を介して導体層を形成し、該導体層をシリコン基板の表裏面の導体パターンに接続したことを特徴とする請求項１に記載の半導体モジュール構造。
【請求項５】
前記スルーホールの壁面の下層に第一の絶縁層を介してグランド層を形成すると共に、該グランド層の上面に第二の絶縁層を介して信号層を形成し、これらのグランド層及び信号層をシリコン基板の表裏面のグランド層及び信号パターンとそれぞれ接続したことを特徴とする請求項４に記載の半導体モジュール構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインターポーザーとして機能することのできる半導体モジュールの構造及びその製造方法に関する。特に、本発明は、インターポーザーを用いたマルチチップモジュールの製造に適用することができる。
【０００２】
【従来の技術】
従来、無線通信などに用いられているアンテナは、通常、導体もしくはセラミックと導体を用いて作製されているが、無線周波数によってそのアンテナ構造に制約を受ける。例えば、通常のガラスエポキシから成るプリント基板（比誘電率４．５程度）上に形成したアンテナを用いて、２．５ＧＨｚ帯の無線通信を行なう場合、１８ｍｍのアンテナ長さが必要になる。それに対しセラミックから成る基板（比誘電率１０）上にアンテナを形成する場合は、アンテナ長さは１３ｍｍ程度必要となる。
【０００３】
アンテナを形成するセラミックやプリント基板に高い誘電率のもった材質のものを適用しようとしても、一般にこれらに使用される材質が比誘電率が１００を超えることは稀である。
【０００４】
従来技術としては、特開平８−５６１１３号公報には、ミリ波用検波器が開示されている。この従来技術は、シリコン又はガリウム砒素による半導体基板上に接地導体膜と誘電体膜を積層し、この誘電体膜上に、平面アンテナとこの平面アンテナに給電を行なうためのマイクロストリップ線路とを形成し、信号を検波する回路または信号を発生する回路を設けたガリウム砒素からなる第２の半導体基板をマイクロストリップ線路上にフリップチップにより実装した構造を有する。
【０００５】
また、この従来技術には、平面アンテナを半導体基板上の前記誘電体膜上に形成する代わりに、誘電体基板を使用し、その基板上に形成した平面アンテナへの給電をスルーホールを介して基板の裏面に設けた端子にて行う構造も示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、プリント基板上に無線通信を行うためのアンテナを形成する場合において、従来は、アンテナの長さをある程度必要とするため、例えば、シリコンチップ内にアンテナを組み込んで形成することはアンテナのための形成領域を十分確保することが出来ないため不可能なことであった。
【０００７】
そこで、本発明では、アンテナを形成するモジュール構造の材質を改良することにより、アンテナの長さを短くできるようにし、もって、例えば、シリコンチップ内にアンテナを形成できるようにした、半導体モジュール構造を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を達成するために、本発明によれば、シリコン基板上に強誘電体層を形成し、該強誘電体層上にアンテナを形成したことを特徴とする半導体モジュールが提供される。このようにシリコン基板上の強誘電体層上にアンテナを形成することで、アンテナ長さを１．２ｍｍ以下と短くすることが可能となる。
【０００９】
ここで用いる強誘電体としては、例えばチタン酸ジルコニウム酸塩（ＰＺＴ）が適当である。ＰＺＴは、チタン酸ジルコン酸鉛、Ｐｂ（ＺｒｘＴｉ１　−ｘ）Ｏ３　の混合セラミックであり、比誘電率は１２００程度である。したがって、シリコン基板自体の比誘電率が１０程度であっても、その上に強誘電体層を形成してアンテナを形成することで、アンテナ長さ１．２ｍｍ以下と極めて短くすることができる。
【００１０】
また、アンテナを形成した前記シリコン基板上にキャパシタ又はＳＡＷフィルタ、インダクタンス等の電子素子を形成し、上記のモジュールに組み込んだことを特徴とする。これにより、１つのモジュール構造体の中にアンテナ機能の他に、各種の機能をもった電子部品を実装することができる。
【００１１】
また、アンテナを形成した前記シリコン基板にスルーホールを形成し、該スルーホールの壁面に絶縁層を介して導体層を形成し、該導体層をシリコン基板の表裏面の導体パターンに接続したことを特徴とする。このように、シリコン基板自体に表裏面を貫通するスルーホールを設けることにより、基板表裏面間のパターンの導通を図ることができる。
【００１２】
また、この場合において、前記スルーホールの壁面の下層に第一の絶縁層を介してグランド層を形成すると共に、該グランド層の上面に第二の絶縁層を介して信号層を形成し、これらのグランド層及び信号層をシリコン基板の表裏面のグランド層及び信号パターンとそれぞれ接続したことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１４】
図１は本発明の第１の実施形態に係るインターポーザーとして使用することのできる半導体モジュールの斜視図である。半導体基板１の平坦な矩形の平板状のもので、平坦性、耐熱性に優れている必要があり、またＩＣチップ等の電子部品の搭載性に優れている必要があることから、本発明ではシリコン基板を用いる。シリコン基板１自体の比誘電率は１０程度である。
【００１５】
このシリコン基板１表面上の一部の領域、即ち図１において矩形状の基板１の右側の短辺側に沿った縦長の矩形状の領域に強誘電体層２が形成され、この強誘電体層２上に導体膜から成るアンテナ３が形成される。
【００１６】
強誘電体層２としては、例えばＰＺＴを使用している。ＰＺＴは、チタン酸ジルコン酸鉛Ｐｂ（ＺｒｘＴｉ１　−ｘ）Ｏ３　の混合セラミックであり、比誘電率は１２００程度である。
【００１７】
アンテナ３はその平面形状がＦ形状であり、アンテナ長さＬは１．２ｍｍ以下と短く、また幅Ｗも１ｍｍ以下と短い。このアンテナ３への給電は、この基板１及び強誘電体層２上に形成された電源パターン４を通じて行われる。
【００１８】
基板１の強誘電体層２の形成されている領域以外の領域には、複数個の半導体シリコンチップ５、インダクタンス６、キャパシタ７、ＳＡＷフィルタ８等の電子回路部品が形成されており、これらの電子部品がシリコン基板１と一体的に組み込まれていて、１つのマルチチップモジュール（ＭＣＭ）を構成している。例えば、インダクタンス６のような電子回路部品については、従来は、部品としてのインダクタンスを基板上に実装するものが主流であったが、本実施形態では、シリコン基板１の表面に一体的に作り込む形態をとっている。
【００１９】
シリコン基板１にはその表裏面を貫通するスルーホール９が多数形成されている。スルーホール９は、図では見えないが、多数のチップ５の下面にも形成されている。スルーホール９は、シリコン基板１上に形成されたアンテナ３や半導体シリコンチップ５、インダクタンス６、キャパシタ７、ＳＡＷフィルタ８等の電子回路部品に接続されている回路パターン１０に接続され、図示しない基板裏面の回路パターンとの間で電気的の導通をとり、電源用、接地用或いは信号用配線の引き回しの便宜を図っている。
【００２０】
図２は図１に示した半導体モジュールのスルーホール部分の断面図を示す。シリコン基板１にはレーザ加工、ドリル加工等により予め多数のスルーホール９が基板１の表裏面を貫通するように形成されている。シリコン基板１の表裏面及びスルーホール９の壁面には、例えばシリコン基板を熱酸化することにより形成した酸化シリコン（ＳｉＯ２）等からなる絶縁膜１１が形成されている。そして、この絶縁膜１１上に必要な導体パッド１２、導体パターン１０等が形成されている。シリコン基板１の表裏面及びスルーホール９内壁の絶縁層上で導体層や導体パターンを形成するには、例えば、化学蒸着（ＣＶＤ）、無電解めっき等によって形成したニッケル上に銅の電解めっき等を施すことにより形成することができる。
【００２１】
図２に示すスルーホール９では、絶縁膜１０の上に、下層配線であるグランド層１２が形成され、その上に更に酸化シリコン（ＳｉＯ２）等からなる絶縁膜１３が形成され、その絶縁膜１３上に表層としての信号層１４が形成されている。そして、これらのスルーホール９内のグランド層１２や信号層１４はシリコン基板１の表裏面に形成されているグランドパターン（下層配線）１５や信号パターン１６にそれぞれ接続されている。
【００２２】
外部接続のための端子としては、例えば導体パッド１７上に半田バンプ１８が形成されている。導体パッド１７は、図２に示すように、例えばシリコン基板１の表裏面の信号パターン１６に接続され、スルーホールの信号層１４を介して基板１の反対面の信号パターンに接続される。このように、本実施形態では、例えばワイヤボンディング等のシールドワイヤを使用せずに、スルーホール等により導体間の接続を行なっているので、アンテナに対してノイズ等の影響を与えることがなくなる。
【００２３】
図３は図１に示した半導体モジュールのシリコン基板１上に作り込むインダクタンスの一例を平面図で示したものである。このようなコイル状のインダクタンス６は例えば銅等の導体膜を化学エッチングすることにより形成することができる。
【００２４】
図４は本発明の第２の実施形態に係る半導体モジュールを示すもので、図１で説明したような基板をインターポーザーとして使用するに適したものである。図４において、電子部品として例えばチップコンデンサー（デカップリングコンデンサー）を搭載する場合について説明している。チップコンデンサー３０は、別のチップコンデンサー又はインターポーザー３１上にフリップチップ接合により搭載されている。このチップコンデンサー又はインターポーザー３１は上述したようなスルーホール３５を有する。このシリコンチップ又はインターポーザー３１は更に別のチップコンデンサー又はインターポーザー３２上にフリップチップ接合により搭載されている。このチップコンデンサー又はインターポーザー３２にもまた上述したようなスルーホールが設けられている。そしてチップコンデンサー又はインターポーザー３２はプリント基板又はパッケージ３３上に同様にフリップチップ接合により搭載されている。図４において、３６はフリップチップ接合用の導体パッドであり、３７は再配線である。
【００２５】
図５は本発明の第３の実施形態に係る半導体モジュールを示すもので、図４に示した第２の実施形態の場合と同様、基板をインターポーザーとして使用したものである。図４と異なる点は、中間にあるシリコンチップまたはインターポーザー３１を省略し、電子部品としてのチップコンデンサー（デカップリングコンデンサー）３０を別のシリコンチップ３２上にフリップチップ接合により搭載した点である。このシリコンチップ３２にもまた上述したようなスルーホールが設けられている。そしてシリコンチップ３２はプリント基板又はパッケージ３３上に前述と同様にフリップチップ接合により搭載されている。
【００２６】
以上添付図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の精神ないし範囲内において種々の形態、変形、修正等が可能であることは言うまでもない。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、アンテナをコンパクトにし、またシリコンチップ（シリコンインターボーザー）に作り込むため、通信装置を非常に小さくすることができる。また、キャパシタ又はＳＡＷフィルタ、インダクタンス等の電子部品をアンテナの形成と同時にインターポーザー上に形成することができ、低価格なマルチチップモジュール（ＭＣＭ）を作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るインターポーザーとして使用することのできる半導体モジュールの斜視図である。
【図２】図１に示した半導体モジュールのスルーホール部分の断面図を示す。
【図３】本発明の半導体モジュール上に形成することの出来る電子部品の一例としてインダクタンスの平面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る半導体モジュールの断面図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る半導体モジュールの断面図である。
【符号の説明】
１…シリコン基板
２…強誘電体膜
３…アンテナ
４…電源用配線
５…シリコンチップ
６…インダクタンス
７…キャパシタ
８…ＳＡＷフィルタ
９…スルーホール
１０…導体パターン
１１、１３…絶縁膜
１２…グランド配線
１６…信号配線
１７…パッド
１８…半田バンプ
【図１】
2004022667.tif 000003
【図２】
2004022667.tif 000004
【図３】
2004022667.tif 000005
【図４】
2004022667.tif 000006
【図５】
2004022667.tif 000007