(57)【要約】【課題】入出力端子の平板部上面に高密度に複数の線路導体を設ける際に、端部線路導体と側面のメタライズ層との間で放電や電磁波の漏れが発生することを有効に防止し、また端部線路導体が枠体に電気的に短絡するのを防止すること。【解決手段】入出力端子３の平板部３ａの上面に形成される複数の線路導体３ａ−Ａのうち端部線路導体Ａは、メタライズ層側の側辺を平板部３ａ上面の辺部に合わせて形成されているとともに平板部３ａおよび立壁部３ｂの側面における境界線Ｂを囲むように中央部が境界線Ｂに略平行な導体非形成部５が形成されており、入出力端子３の側面のメタライズ層は、立壁部３ｂの側面の略全面に形成されているとともに平板部３ａでの幅が立壁部３ｂでの幅よりも大きく導体非形成部５の長さよりも小さくなっている。【選択図】　図２
2004022891.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上側主面に半導体素子が載置される載置部を有する基体と、該基体の前記上側主面に前記載置部を囲繞するように取着された金属製の枠体と、該枠体の側部に形成された貫通孔または切欠き部から成る入出力端子の取付部と、上面に一辺から対向する他辺にかけて複数の線路導体が形成された略四角形の誘電体から成る平板部および該平板部の上面に前記複数の線路導体の一部を間に挟んで接合された誘電体から成る立壁部を有し、かつ前記平板部および前記立壁部の前記線路導体に略平行な側面にメタライズ層が連続して形成されて前記取付部に嵌着された前記入出力端子とを具備しており、前記複数の線路導体のうち端に位置する端部線路導体は、前記メタライズ層側の側辺を前記平板部上面の辺に合わせて形成されているとともに前記平板部と前記立壁部との前記側面における境界線を囲むように中央部が前記境界線に略平行な導体非形成部が形成されており、前記メタライズ層は、前記立壁部の前記側面の略全面に形成されているとともに前記平板部での幅が前記立壁部での幅よりも大きく前記導体非形成部の長さよりも小さいことを特徴とする半導体素子収納用パッケージ。
【請求項２】
前記導体非形成部は、その前記端部線路導体の幅方向における幅をｂとし、前記端部線路導体の幅をｃとしたときに、ｃ／４≦ｂ≦２ｃ／３であることを特徴とする請求項１記載の半導体素子収納用パッケージ。
【請求項３】
前記導体非形成部は、両端部が前記端部線路導体側に凸の曲線状とされていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の半導体素子収納用パッケージ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の半導体素子収納用パッケージと、前記載置部に載置固定されるとともに前記入出力端子に電気的に接続された半導体素子と、前記枠体の上面に接合された蓋体とを具備したことを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＦＥＴ等の半導体素子を収納するための半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、マイクロ波帯域やミリ波帯域の高周波信号により作動するＦＥＴ（Ｆｉｅｌｄ　Ｅｆｆｅｃｔ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：電界効果型トランジスター）等の半導体素子を収納するための半導体素子収納用パッケージ（以下、半導体パッケージともいう）には、大電力を入力したり、半導体素子と外部電気回路との高周波信号の入出力を行うための入出力端子が設けられている。この半導体パッケージについて、図４に斜視図を示し、図５に半導体パッケージに用いられる入出力端子の拡大斜視図を示す。
【０００３】
入出力端子１０３は、略長方形の平板部１０３ａの上面に略直方体の立壁部１０３ｂが積層されて成り、一般的にセラミックグリーンシート積層法によって多数個取りの手法を用いて作製され、半導体素子１０９と外部電気回路（図示せず）との高周波信号の入出力を行う機能を有するとともに、半導体パッケージの内外を遮断する機能を有する。
【０００４】
この平板部１０３ａは、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３），窒化アルミニウム（ＡｌＮ），ムライト（３Ａｌ２Ｏ３・２ＳｉＯ２）等のセラミックスから成り、その上面に、一長辺から対向する他の長辺にかけて、タングステン（Ｗ），モリブデン（Ｍｏ）−マンガン（Ｍｎ）等のメタライズ層から成る複数の線路導体１０３ａ−Ａが形成される。平板部１０３ａの下面には、その全面に線路導体１０３ａ−Ａと同様のメタライズ層から成る下部接地導体１０３ａ−Ｃが形成され、また線路導体１０３ａ−Ａと略平行な側面には、その中央部に線路導体１０３ａ−Ａと同様のメタライズ層から成る側部接地導体１０３ａ−Ｂが形成される。
【０００５】
メタライズ層から成る線路導体１０３ａ−Ａ，側部接地導体１０３ａ−Ｂ，下部接地導体１０３ａ−Ｃは、Ｗ，Ｍｏ−Ｍｎ等で形成されている。例えば、Ｗから成る場合、Ｗを主成分とする粉末に有機溶剤、溶媒を添加混合して得た金属ペーストを、平板部１０３ａ用のセラミックグリーンシートに予め従来周知のスクリーン印刷法により所定パターンに印刷塗布しておき、これを焼成することにより形成される。
【０００６】
一方、立壁部１０３ｂは、平板部１０３ａと同様のセラミックスから成り、その上面の全面に線路導体１０３ａ−Ａと同様のメタライズ層から成る上部接地導体１０３ｂ−Ａが形成される。また、平板部１０３ａの線路導体１０３ａ−Ａと略平行な側面に略面一な立壁部１０３ｂの側面（端面）には、その全面に線路導体１０３ａ−Ａと同様のメタライズ層から成る側部接地導体１０３ｂ−Ｂが形成される。
【０００７】
メタライズ層から成る上部接地導体１０３ｂ−Ａ，側部接地導体１０３ｂ−Ｂは、平板部１０３ａに形成される線路導体１０３ａ−Ａ，側部接地導体１０３ａ−Ｂ，下部接地導体１０３ａ−Ｃと同様の方法によりセラミックグリーンシートの積層体に所定パターンで印刷塗布しておき、焼成することにより形成される。
【０００８】
この半導体パッケージは、基体１０１と、その上面に接合された枠体１０２と、この枠体１０２の側部に嵌着された入出力端子１０３と、枠体１０２上面に接合されたシールリング１０６とを具備している。基体１０１は、半導体素子１０９を載置する載置部１０１ａを有し、半導体素子１０９の作動時に発する熱を外部に効率よく放散する機能を有する銅（Ｃｕ）、銅（Ｃｕ）−タングステン（Ｗ）等の複合金属材料から成る。枠体１０２は、基体１０１上面に載置部１０１ａを囲繞するように銀ロウ等のロウ材で接合され、側部に入出力端子１０３を嵌着する取付部１０２ａが形成されたものであり、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金やＦｅ−Ｎｉ合金等の金属から成る。
【０００９】
入出力端子１０３の側面のメタライズ層は、立壁部１０３ｂの側部接地導体１０３ｂ−Ｂの全面と平板部１０３ａの側部の中央部の側部接地導体１０３ａ−Ｂとから成り、この側面のメタライズ層が側面の中央部に形成されているとともに、端に位置する線路導体１０３ａ−Ａと側面のメタライズ層との距離が離れているため、線路導体１０３ａ−Ａに及ぼす影響は少なくなり両者間に発生する浮遊容量は小さくなる（実開平２−８８２４２号参照）。
【００１０】
また、リード端子１０４は、入出力端子１０３の線路導体１０３ａ−Ａに銀ロウ等のロウ材を介して接合され、外部電気回路と入出力端子１０３との高周波信号の入出力を行うものであり、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等の金属から成る。シールリング１０６は、枠体１０２上面に銀ロウ等のロウ材で接合され入出力端子１０３を枠体１０２とともに挟持し、その上面に蓋体（図示せず）をシーム溶接等により接合するための接合媒体として機能する。
【００１１】
このような半導体パッケージに、半導体素子１０９を載置部１０１ａに錫（Ｓｎ）−鉛（Ｐｂ）半田等の低融点ロウ材で載置固定するとともに、線路導体１０３ａ−Ａと半導体素子１０９とをボンディングワイヤ（図示せず）で電気的に接続し、シールリング１０６上面に蓋体（図示せず）をシーム溶接等により接合することにより、製品としての半導体装置となる。この半導体装置は、例えば半導体素子１０９がＦＥＴであれば、外部電気回路から供給される電力により半導体素子１０９を作動させて外部から入力される大容量の情報を高速で処理し外部に出力するものであり、通信分野に多用されている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の半導体パッケージにおいては、近年、小型化および高密度化が進み、それに伴って入出力端子１０３の幅を小さくすることが行われている。そのため、複数の線路導体１０３ａ−Ａのうち端に位置するものを平板部１０３ａ上面の辺部に形成し、これにより平板部１０３ａの面積を小さくした状態で平板部１０３ａの上面を有効に利用することができる。しかしこの場合、図６に示すように、平板部１０３ａ上面の辺部に辺に近接して形成された端部線路導体１０３ａ−Ａ’と側面のメタライズ層とが、立壁部１０３ｂおよび平板部１０３ａの側面での境界線Ｂの両端Ｃで接近し、端部線路導体１０３ａ−Ａ’が電流供給用であれば放電する場合があり、また端部線路導体１０３ａ−Ａ’が信号伝送用であれば側面のメタライズ層に電磁波が漏れるという不具合が発生し易いものであった。
【００１３】
また、端部線路導体１０３ａ−Ａ’を平板部１０３ａ上面の辺に近接して形成する場合、端部線路導体１０３ａ−Ａ’や側面のメタライズ層となる金属ペーストを印刷塗布する際のニジミにより、端部線路導体１０３ａ−Ａ’が側面のメタライズ層に繋がって短絡し、さらには枠体１０２に短絡してしまうという不具合が発生する場合があった。
【００１４】
従って、本発明は上記従来の問題点に鑑み完成されたものであり、その目的は、入出力端子の平板部上に高密度に複数の線路導体を設ける際に、端部線路導体と側面のメタライズ層との間で放電や電磁波の漏れが発生することを有効に防止し、また、線路導体となる金属ペーストにニジミが発生したとしても端部線路導体が枠体に電気的に短絡することを防止し、その結果、大電力を入力することを可能にするとともに高周波信号の伝送特性を良好なものとして、内部に収納する半導体素子を長期にわたり正常かつ安定的に作動させることである。また、小型の入出力端子に高密度に複数の線路導体を形成可能とすることにより、半導体パッケージを小型化することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体素子収納用パッケージは、上側主面に半導体素子が載置される載置部を有する基体と、該基体の前記上側主面に前記載置部を囲繞するように取着された金属製の枠体と、該枠体の側部に形成された貫通孔または切欠き部から成る入出力端子の取付部と、上面に一辺から対向する他辺にかけて複数の線路導体が形成された略四角形の誘電体から成る平板部および該平板部の上面に前記複数の線路導体の一部を間に挟んで接合された誘電体から成る立壁部を有し、かつ前記平板部および前記立壁部の前記線路導体に略平行な側面にメタライズ層が連続して形成されて前記取付部に嵌着された前記入出力端子とを具備しており、前記複数の線路導体のうち端に位置する端部線路導体は、前記メタライズ層側の側辺を前記平板部上面の辺に合わせて形成されているとともに前記平板部と前記立壁部との前記側面における境界線を囲むように中央部が前記境界線に略平行な導体非形成部が形成されており、前記メタライズ層は、前記立壁部の前記側面の略全面に形成されているとともに前記平板部での幅が前記立壁部での幅よりも大きく前記導体非形成部の長さよりも小さいことを特徴とする。
【００１６】
本発明の半導体素子収納用パッケージは、複数の線路導体の端に位置する端部線路導体は、メタライズ層側の側辺を平板部上面の辺に合わせて形成されているとともに平板部と立壁部との側面における境界線を囲むように中央部が境界線に略平行な導体非形成部が形成されていることから、端部線路導体と平板部および立壁部の側面の接地導体との間で放電の発生や電磁波の漏れ等を解消することができ、また、端部線路導体となる金属ペーストの印刷塗布層にニジミが発生したとしても、端部線路導体が金属製の枠体に接触して電気的に短絡することがない。
【００１７】
また、メタライズ層は立壁部の側面の略全面に形成されているとともに平板部での幅が立壁部での幅よりも大きく導体非形成部の長さよりも小さいことから、入出力端子を枠体にロウ材等で接合する際に、ロウ材が立壁部側よりも幅広とされた平板部側のメタライズ層に広がるため、ロウ材が端部線路導体側に侵入するのを防ぐことができる。また、枠体の取付部内面と平板部のメタライズ層の端部との間でロウ材の良好なメニスカスが形成されるため、入出力端子の接合性および気密性が向上する。その結果、内部に収容する半導体素子を長期にわたり正常かつ安定に作動させることができる。
【００１８】
本発明の半導体素子収納用パッケージにおいて、好ましくは、前記導体非形成部は、その前記端部線路導体の幅方向における幅をｂとし、前記端部線路導体の幅をｃとしたときに、ｃ／４≦ｂ≦２ｃ／３であることを特徴とする。
【００１９】
本発明の半導体素子収納用パッケージは、端部線路導体がｃ／４≦ｂ≦２ｃ／３であることから、端部線路導体となる金属ペーストが枠体に接触して短絡するのを有効に防ぐとともに、端部線路導体の幅が小さくならないようにして抵抗の増大による高周波信号の伝送損失および大電流による発熱を防ぐことができる。
【００２０】
本発明の半導体素子収納用パッケージにおいて、好ましくは、前記導体非形成部は両端部が前記端部線路導体側に凸の曲線状とされていることを特徴とする。
【００２１】
本発明の半導体素子収納用パッケージは、導体非形成部の両端部が端部線路導体側に凸の曲線状とされていることから、高周波信号が伝送される場合に導体非形成部の両端部で反射等の損失が発生するのを有効に防ぐことができる。
【００２２】
本発明の半導体装置は、本発明の半導体素子収納用パッケージと、前記載置部に載置固定されるとともに前記入出力端子に電気的に接続された半導体素子と、前記枠体の上面に接合された蓋体とを具備したことを特徴とする。
【００２３】
本発明の半導体装置は、上記の構成により、半導体素子が長期に亘って安定的に作動する信頼性の高いものとなる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
本発明の半導体素子収納用パッケージを以下に詳細に説明する。図１は本発明の半導体パッケージについて実施の形態を示す斜視図、図２は図１の入出力端子の拡大斜視図、図２の（ａ）は入出力端子の斜視図、（ｂ）は入出力端子の上面視における部分拡大図である。
【００２５】
図１，図２において、１は基体、１ａは載置部、２は枠体、２ａは入出力端子３の取付部、３は入出力端子、３ａは入出力端子３の平板部、３ａ−Ａは線路導体、３ａ−Ｂは側部接地導体、Ａは端部線路導体、３ｂは立壁部、３ｂ−Ｂは側部接地導体、４はリード端子、５は導体非形成部、５ａは導体非形成部５の両端部、６はシールリング、Ｂは入出力端子３の側面における境界線、Ｃは境界線Ｂの両端である。これら基体１と枠体２と入出力端子３とシールリング６とで、内部にＦＥＴ等の半導体素子９を収納するための半導体パッケージが基本的に構成される。また、半導体パッケージ内に半導体素子９を収容してシールリング６の上面に蓋体（図示せず）を取着することにより半導体装置となる。
【００２６】
本発明の半導体パッケージは、上側主面に半導体素子９が載置される載置部１ａを有する基体１と、基体１の上側主面に載置部１ａを囲繞するように取着された金属製の枠体２と、枠体２の側部に形成された貫通孔または切欠き部から成る入出力端子３の取付部２ａと、上面に一辺から対向する他辺にかけて複数の線路導体３ａ−Ａが形成された略四角形の誘電体から成る平板部３ａおよび平板部３ａの上面に複数の線路導体３ａ−Ａの一部を間に挟んで接合された誘電体から成る立壁部３ｂを有し、かつ平板部３ａおよび立壁部３ｂの線路導体３ａ−Ａに略平行な側面にメタライズ層が連続して形成されて取付部２ａに嵌着された入出力端子３とを具備した基本構成である。
【００２７】
本発明の基体１は、上側主面に半導体素子９を載置する載置部１ａを有し、半導体素子９を支持する支持部材として機能するとともに、半導体素子９の熱を外部に効率良く放散する機能を有する。この基体１は、その形状は略直方体または略長方形であり、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金やＣｕ−Ｗ等の金属や、アルミナ，窒化アルミニウム，ムライト等のセラミックスから成り、金属から成る場合、例えば、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金のインゴット（塊）に圧延加工や打ち抜き加工等の従来周知の金属加工法を施すことによって所定形状に製作される。セラミックスから成る場合、その原料粉末に適当な有機バインダや溶剤等を添加混合しスラリー状と成し、このスラリーをドクターブレード法やカレンダーロール法などの成形法によってセラミックグリーンシートと成し、しかる後、セラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施し、これを複数枚積層し焼成することによって作製される。
【００２８】
なお、基体１が金属からなる場合、その表面に耐蝕性に優れかつロウ材との濡れ性に優れる金属、具体的には厚さ０．５〜９μｍのＮｉ層と、厚さ０．５〜５μｍのＡｕ層を順次メッキ法により被着させておくのがよく、基体１が酸化腐蝕するのを有効に防止できるとともに、基体１の載置部１ａに半導体素子９を強固に接着固定させることができる。また、基体１がセラミックスから成る場合、載置部１ａに耐蝕性に優れかつロウ材との濡れ性に優れる金属、具体的には厚さ０．５〜９μｍのＮｉ層と厚さ０．５〜５μｍのＡｕ層を順次メッキ法により被着させておくのがよく、基体１の上側主面の載置部１ａに半導体素子９を強固に接着固定させることができる。
【００２９】
また、基体１の上側主面には、載置部１ａを囲繞するように、側部に入出力端子４を嵌着するための貫通孔または切欠き部から成る取付部２ａが形成された枠体２が銀ロウ等のロウ材で接合されており、枠体２の内側に半導体素子９を収納するための空所が形成される。この枠体２は、基体１と同様の金属から成り箱状体の側壁を成すものであり、その製作は基体１と同様の加工法により、側部に取付部２ａを有するような形状に加工される。
【００３０】
なお、枠体２の基体１への接合は、基体１の上側主面と枠体２の下面とを、基体１の上側主面に敷設した適度なボリュームを有するプリフォームとされた銀ロウ等のロウ材を介して接合される。さらに、枠体２の表面には、基体１と同様に０．５〜９μｍのＮｉ層や厚さ０．５〜５μｍのＡｕ層等の金属層をメッキ法により被着させておくと良い。
【００３１】
また、枠体２の取付部２ａには、半導体素子９と外部電気回路との高周波信号の入出力を行う機能を有するとともに半導体パッケージの内外を遮断する機能を有する入出力端子３が、これに設けられているメタライズ層を介して銀ロウ等のロウ材で接合される。この入出力端子３は、略長方形等の略四角形の平板部３ａの上面に、横倒しにされた四角柱状の立壁部３ｂが積層されて成る。
【００３２】
入出力端子３の平板部３ａおよび立壁部３ｂは、アルミナ，窒化アルミニウム，ムライト等のセラミックスから成る。そして、平板部３ａの上面には、長辺の１辺から対向する他辺にかけて、Ｗ，Ｍｏ−Ｍｎ等のメタライズ層から成る複数の線路導体３ａ−Ａが形成される。複数の線路導体３ａ−Ａにおいては、平板部３ａの上面の辺部（短辺部）に端部線路導体Ａが一方の辺部または両方の辺部に形成される。
【００３３】
また、平板部３ａの下面には、全面に線路導体３ａ−Ａと同様のメタライズ層から成る下部接地導体３ａ−Ｃが形成される。
【００３４】
平板部３ａの線路導体３ａ−Ａ、側部接地導体３ａ−Ｂおよび下部接地導体３ａ−Ｃは、Ｗ，Ｍｏ，Ｍｎ等のメタライズ層から成り、例えばＷ等の粉末に有機溶剤、溶媒を添加混合して得た金属ペーストを、平板部３ａ形成用のセラミックグリーンシートに、予め従来周知のスクリーン印刷法により所定パターンに印刷塗布しておき、焼成することによって形成される。
【００３５】
また、平板部３ａの上面には立壁部３ｂが積層される。この立壁部３ｂは、平板部３ａと同様のセラミックスから成り、その上面の全面に線路導体３ａ−Ａと同様のメタライズ層から成る上部接地導体３ｂ−Ａが形成され、また側面には側部接地導体３ａ−Ｂが形成される。立壁部３ｂの上部接地導体３ｂ−Ａ、側部接地導体３ｂ−Ｂは、平板部３ａに形成される線路導体３ａ−Ａ、側部接地導体３ａ−Ｂおよび下部接地導体３ａ−Ｃと同様の方法により所定パターンに印刷塗布しておき、焼成することにより形成される。
【００３６】
本発明において、図２（ａ）に示すように、平板部３ａの線路導体３ａ−Ａに略平行な側面からその側面に略面一な立壁部３ｂの側面（端面）にかけて、立壁部３ｂの側面と略同じ幅のメタライズ層（側部接地導体３ａ−Ｂ，側部接地導体３ｂ−Ｂ）が形成される。
【００３７】
そして本発明では、端部線路導体Ａが、メタライズ層側の側辺を平板部３ａの上面の辺に合わせて形成されているとともに平板部３ａおよび立壁部３ｂの側面における境界線Ｂを囲むように中央部が境界部Ｂに略平行な導体非形成部５が形成されており、メタライズ層は、立壁部３ｂの側面の略全面に形成されているとともに平板部３ａでの幅が立壁部３ｂでの幅よりも大きく導体非形成部５の長さよりも短くなっている。従って、端部線路導体Ａの幅は、導体非形成部５の部位でその残部よりも狭くなっている。
【００３８】
この構成により、側部接地導体層３ａ−Ｂおよび側部接地導体３ｂ−Ｂと端部線路導体Ａとの間隔を充分なものとすることができ、側部接地導体層３ａ−Ｂおよび側部接地導体３ｂ−Ｂと端部線路導体Ａとの間で放電や高周波信号の漏れ等が発生するのを有効に防止できる。また、製造工程において端部線路導体Ａとなる金属ペーストの印刷層にニジミが発生しても、導体非形成部５が設けられていることから、金属ペーストが側部接地導体層３ａ−Ｂおよび側部接地導体３ｂ−Ｂに接触して枠体に短絡することが解消される。
【００３９】
また、入出力端子３を枠体２にロウ材等で接合する際に、ロウ材が立壁部３ｂ側よりも幅広とされた平板部３ａ側の側部接地導体層３ａ−Ｂに広がるため、ロウ材が端部線路導体Ａ側に侵入するのを防ぐことができる。また、枠体２の取付部２ａ内面と平板部３ａの側部接地導体層３ａ−Ｂの端部（辺部）との間でロウ材の良好なメニスカスが形成されるため、入出力端子３の接合性および気密性が向上する。
【００４０】
本発明では、側部接地導体層３ａ−Ｂの幅が側部接地導体３ｂ−Ｂよりも幅広になっているが、それらの幅の差は片側で０．０５ｍｍ以上あればよく、０．０５ｍｍ未満では、ロウ材が端部線路導体Ａ側に侵入し易くなる。また、側部接地導体層３ａ−Ｂは、少なくとも片側で平板部３ａの線路導体３ａ−Ａに直交する側面側の近傍まで形成してもよいが、導体非形成部５が長くなりすぎて伝送損失等が増大するため、立壁部３ｂからの距離が幅広部の幅に加えて０．２５〜０．３ｍｍ長い距離程度以下までの領域内に形成するのがよい。
【００４１】
本発明において、図２（ｂ）に示すように、導体非形成部５は、その端部線路導体Ａの幅方向における幅をｂ（ｍｍ）とし、端部線路導体Ａの幅をｃ（ｍｍ）としたときに、ｃ／４≦ｂ≦２ｃ／３であることが好ましい。ｂ＜ｃ／４であると、端部線路導体Ａとなる金属ペーストをセラミックグリーンシートに印刷する際に発生するニジミにより、枠体２に短絡してしまう場合があるため、半導体パッケージの電気特性を正常に保持することが困難となる。ｂ＞２ｃ／３となると、端部線路導体Ａの幅が小さくなり過ぎて抵抗が増大し、高周波信号を伝送する伝送線路として用いた場合に伝送遅延や反射が発生し、また大電流の入力用として用いた場合には発熱する場合がある。
【００４２】
例えば、端部線路導体Ａの幅ｃが０．６ｍｍである場合、導体非形成部５の幅ｂは０．１５〜０．４ｍｍであれば良く、この範囲であれば入出力端子３を正常に作動させることができる。
【００４３】
また、図３に示すように、導体非形成部５の露出した両端部５ａの長さがそれぞれｂ以上であることが好ましい。この場合、側部接地導体３ａ−Ｂの幅が立壁部３ｂの側面の幅に近似した場合とする。端部線路導体Ａの露出した端部５ａの長さがｂ未満の場合、端部線路導体Ａとなる金属ペーストをセラミックグリーンシートに印刷する際に発生するニジミにより、枠体２に短絡してしまう場合がある。また、端部線路導体Ａの導体非形成部５における放電や伝送遅延等の不具合の発生を有効に抑えることができる。
【００４４】
さらに、図２，図３のように導体非形成部５は両端部が端部線路導体Ａ側に凸の曲線状とされていることが好ましい。これにより、導体非形成部５は両端部で高周波信号の反射が発生しにくくなり、また端部線路導体Ａの抵抗がなめらかに変化するものとなり、高周波信号の伝送損失を低減することができる。具体的には、円弧状、部分楕円状、２次曲線状（放物線状）、双曲線状等とすることができる。
【００４５】
このような半導体パッケージに、半導体素子９を載置部１ａにＳｎ−Ｐｂ半田等の低融点ロウ材で載置固定するとともに、線路導体３ａ−Ａと半導体素子９とをボンディングワイヤで電気的に接続し、シールリング６上面に蓋体（図示せず）をシーム溶接等により接合することにより、製品としての半導体装置となる。この半導体装置は、例えば外部電気回路から供給される高周波信号等の駆動信号によって半導体素子９を作動させ、大容量の情報を高速に伝送する、通信基地局などの通信装置等に用いられる。
【００４６】
【実施例】
本発明の実施例を以下に説明する。図２の入出力端子３を以下のように構成した。アルミナ質焼結体から成る平板部３ａの上面に、厚さ１５μｍのＭｏ−Ｍｎのメタライズ層から成る複数の線路導体３ａ−Ａを形成し、複数の線路導体３ａ−Ａの一部を間に挟んでアルミナ質焼結体から成る立壁部３ｂをロウ付けして接合した。平板部３ａの大きさを縦１．５ｍｍ、横４ｍｍ、厚さ０．６ｍｍとし、また、幅０．５ｍｍ、高さ０．５ｍｍの立壁部を平板部３ａの上面に厚さ１５μｍの端部線路導体Ａを挟んでロウ付けしたサンプルを作製した。このとき、端部線路導体Ａの幅ｃを０．４，０．５，０．６，０．７，０．８，１（ｍｍ）として、それぞれの幅に対して導体非形成部５の幅ｂがｂ＜ｃ／４の場合、ｃ／４≦ｂ≦２ｃ／３の場合、２ｃ／３＜ｂの場合の５種の場合について、サンプルを各５個で計２５個作製し、総数で１５０個作製した。
【００４７】
なお、これらのサンプルにおいて側部接地導体層３ａ−Ｂの幅は側部接地導体層３ｂ−Ｂよりも片側で０．１ｍｍ幅広になるようにした。
【００４８】
そして、これらのサンプルについて、端部線路導体Ａに１０ＧＨｚの高周波信号を伝送させたときの伝送特性を評価し、また端部線路導体Ａに別途１０Ａ（アンペア）の電流を入力して短絡の有無を評価した。その結果を表１に示す。
【００４９】
【表１】
2004022891.tif 000003
【００５０】
表１より、端部線路導体Ａに導体非形成部５をｃ／４≦ｂ≦２ｃ／３となるように設けることにより、高周波信号の伝送特性が良好であり、また電流を流した際の短絡が効果的に防止されることが明らかになった。
【００５１】
また、端部線路導体Ａの幅ｃを０．６ｍｍ、導体非形成部５の幅ｂを０．３ｍｍとした場合に、側部接地導体層３ａ−Ｂの幅と側部接地導体層３ｂ−Ｂの幅が同じである入出力端子３をサンプルＳ１、側部接地導体層３ａ−Ｂの幅が側部接地導体層３ｂ−Ｂよりも片側で０．０３ｍｍ大きい入出力端子３をサンプルＳ２、側部接地導体層３ａ−Ｂの幅が側部接地導体層３ｂ−Ｂよりも片側で０．０５ｍｍ大きい入出力端子３をサンプルＳ３、側部接地導体層３ａ−Ｂの幅が側部接地導体層３ｂ−Ｂよりも片側で０．０７ｍｍ大きい入出力端子３をサンプルＳ４とした。
【００５２】
これらのサンプルＳ１〜Ｓ４を各５個作製し、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金から成る枠体２の取付部２ａにＡｇロウでロウ付けした際の、Ａｇロウが端部線路導体Ａ側へ侵入して接触していないか観察した。サンプルＳ１では、５個中３個においてＡｇロウが端部線路導体Ａに接触した。サンプルＳ２では、５個中１個においてＡｇロウが端部線路導体Ａに接触した。サンプルＳ３，Ｓ４では、５個全てにおいてＡｇロウが端部線路導体Ａに接触することはなかった。
【００５３】
従って、側部接地導体層３ａ−Ｂの幅が側部接地導体層３ｂ−Ｂよりも幅広であり、好ましくは側部接地導体層３ａ−Ｂの幅が側部接地導体層３ｂ−Ｂよりも片側で０．０５ｍｍ大きいことがよいことが判った。
【００５４】
さらに、端部線路導体Ａの幅ｃを０．６ｍｍ、導体非形成部５の幅ｂを０．３ｍｍとした場合に、導体非形成部５の両端部が端部線路導体Ａ側に凸の円弧状とされている入出力端子３をサンプルＳ５とし、導体非形成部５の両端部が傾斜した直線状とされている入出力端子３をサンプルＳ６とし、これらのサンプルＳ５，Ｓ６の各端部線路導体Ａに１０ＧＨｚの高周波信号を伝送させたときのそれぞれの伝送特性を評価した。その結果、サンプルＳ６ではサンプルＳ５に比べて伝送損失が発生した。これは、導体非形成部５の両端部で高周波信号の反射が生じたためと考えられる。
【００５５】
なお、本発明は上記実施の形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更を施すことは何等差し支えない。例えば、半導体素子９が半導体レーザ（ＬＤ），フォトダイオード（ＰＤ）等の光半導体素子である場合においても本発明の効果は同様であり、その場合は枠体２に光ファイバ取着用の貫通孔を設ければ良い。
【００５６】
【発明の効果】
本発明の半導体素子収納用パッケージは、上側主面に半導体素子が載置される載置部を有する基体と、基体の上側主面に載置部を囲繞するように取着された金属製の枠体と、枠体の側部に形成された貫通孔または切欠き部から成る入出力端子の取付部と、上面に一辺から対向する他辺にかけて複数の線路導体が形成された略四角形の誘電体から成る平板部および平板部の上面に複数の線路導体の一部を間に挟んで接合された誘電体から成る立壁部を有し、かつ平板部および立壁部の線路導体に略平行な側面にメタライズ層が連続して形成されて取付部に嵌着された入出力端子とを具備し、複数の線路導体のうち端に位置する端部線路導体は、メタライズ層側の側辺を平板部上面の辺に合わせて形成されているとともに平板部と立壁部との側面における境界線を囲むように中央部が境界線に略平行な導体非形成部が形成されており、メタライズ層は、立壁部の側面の略全面に形成されているとともに平板部での幅が立壁部での幅よりも大きく導体非形成部の長さよりも小さいことにより、端部線路導体と平板部および立壁部の側面の接地導体との間で放電の発生や電磁波の漏れ等を解消することができ、また、端部線路導体となる金属ペーストの印刷塗布層にニジミが発生したとしても、端部線路導体が金属製の枠体に接触して電気的に短絡することがない。
【００５７】
また、入出力端子を枠体にロウ材等で接合する際に、ロウ材が立壁部側よりも幅広とされた平板部側のメタライズ層に広がるため、ロウ材が端部線路導体側に侵入するのを防ぐことができる。また、枠体の取付部内面と平板部のメタライズ層の端部との間でロウ材の良好なメニスカスが形成されるため、入出力端子の接合性および気密性が向上する。その結果、内部に収容する半導体素子を長期にわたり正常かつ安定に作動させることができる。
【００５８】
本発明の半導体素子収納用パッケージは、好ましくは、導体非形成部は、その端部線路導体の幅方向における幅をｂとし、端部線路導体の幅をｃとしたときに、ｃ／４≦ｂ≦２ｃ／３であることにより、端部線路導体となる金属ペーストが枠体に接触して短絡するのを有効に防ぐとともに、端部線路導体の幅が小さくならないようにして抵抗の増大による高周波信号の伝送損失および大電流による発熱を防ぐことができる。
【００５９】
また本発明の半導体素子収納用パッケージは、好ましくは、導体非形成部は両端部が端部線路導体側に凸の曲線状とされていることにより、高周波信号が伝送される場合に導体非形成部の両端部で反射等の損失が発生するのを有効に防ぐことができる。
【００６０】
本発明の半導体装置は、本発明の半導体素子収納用パッケージと、載置部に載置固定されるとともに入出力端子に電気的に接続された半導体素子と、枠体の上面に接合された蓋体とを具備したことにより、半導体素子が長期に亘って安定的に作動する信頼性の高いものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の半導体素子収納用パッケージについて実施の形態の例を示す斜視図である。
【図２】図１の半導体素子収納用パッケージにおける入出力端子の実施の形態の例を示し、（ａ）は入出力端子の斜視図、（ｂ）は入出力端子の端部線路導体の導体非形成部を示す部分拡大平面図である。
【図３】本発明の半導体素子収納用パッケージにおける入出力端子について実施の形態の他の例を示し、端部線路導体の導体非形成部の部分拡大平面図である。
【図４】従来の半導体素子収納用パッケージの斜視図である。
【図５】図４の半導体素子収納用パッケージに用いられる入出力端子の斜視図である。
【図６】従来の半導体素子収納用パッケージに用いられる入出力端子の他の例の斜視図である。
【符号の説明】
１：基体
１ａ：載置部
２：枠体
２ａ：取付部
３：入出力端子
３ａ：平板部
３ａ−Ａ：線路導体
３ｂ：立壁部
５：導体非形成部
９：半導体素子
Ａ：端部線路導体
Ｂ：境界線
【図１】
2004022891.tif 000004
【図２】
2004022891.tif 000005
【図３】
2004022891.tif 000006
【図４】
2004022891.tif 000007
【図５】
2004022891.tif 000008
【図６】
2004022891.tif 000009