(57)【要約】【課題】真空容器本体部と窓部材との接合部に段差が生じてその段差で放電が発生をするのを防ぐことができ、また段差をなくすための研磨の作業性が向上して効率的に製造できる真空容器および電子顕微鏡を提供すること。【解決手段】本発明の真空容器１は、上端が開かれた有底円筒状の金属製の真空容器本体部１ａと、真空容器本体部１ａの上端面に下面４ｃの外周部が全周にわたって接合された円板状の窓部材４とを具備し、窓部材４は、上面４ｄと側面４ａとの間が全周にわたって曲面状の面取り部４ｄ−Ａとされており、真空容器本体部１ａは、上端部１ｂが外周側に向かって厚みが厚くなっているとともに上端部１ｂから下方に向かって外周面が傾斜面３ａとされており、窓部材４の側面４ａと上端部１ｂの外周面とが略面一とされている。【選択図】  図１
2004221012.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端が開かれた有底円筒状の金属製の真空容器本体部と、該真空容器本体部の上端面に下面の外周部が全周にわたって接合された円板状の窓部材とを具備しており、該窓部材は、上面と側面との間が全周にわたって曲面状の面取り部とされており、前記真空容器本体部は、上端部が外周側に向かって厚みが厚くなっているとともに前記上端部から下方に向かって外周面が傾斜面とされており、前記窓部材の側面と前記上端部の外周面とが略面一とされていることを特徴とする真空容器。
【請求項２】
前記傾斜面と前記上端部の外周面との間が全周にわたって曲面とされていることを特徴とする請求項１記載の真空容器。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の真空容器と、前記真空容器本体部の内側の上方に前記真空容器本体部に略同軸状に設置された、電子を加速する加速電圧を印加するための鏡筒と、該鏡筒の内周面に設けられた電子レンズと、前記鏡筒の上端に設けられた２次電子増倍管および蛍光板と、前記真空容器本体部の内側の前記鏡筒の下方に設けられた試料の載置台と、前記真空容器本体部の前記鏡筒と前記載置台との間に対応する部位に設けられた、前記試料に紫外線を照射するための紫外線照射装置とを具備したことを特徴とする電子顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子顕微鏡等に用いられる真空容器に関するものであり、特に内部を観察するための窓部材を有する真空容器およびそれを用いた電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、試料の表面から放出された電子によって試料を拡大して観察する電子顕微鏡としては、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡、エミッション顕微鏡等が知られている。そして、これらの電子顕微鏡の中でもエミッション顕微鏡は、図４に示すように、真空容器１１内に配置された鏡筒１２に例えば２０ｋＶ程度の正の加速電圧を印加し、試料と対物レンズ間に生成した一様の電界により試料表面から放出された電子（熱電子、光電子等）を一定の加速電圧まで加速し、これを電子レンズ系Ａを用いて拡大して、２次電子増倍管Ｃ上に結像させ、これを増幅して蛍光板Ｄ上に像を表示させて、表示された像を例えばサファイアからなる窓部材１４を介して観察することにより、試料の表面状態を分析するために用いられる。特に、試料の表面における表面拡散や電子放出現象などを分析するものとしてエミッション顕微鏡は優れている。
【０００３】
このエミッション顕微鏡には結像型と走査型の２種類があり、このエミッション顕微鏡は図４に示すように、内部が高真空に保持された真空容器１１の側部に設けられた紫外線照射装置Ｂから試料の表面に照射された紫外線により、試料の表面から電子を放出させ、この電子を鏡筒１２内を通過させることによって加速、および電子像の拡大のための方向制御が行われ、次いで２次電子増倍管Ｃで増幅し、最後に真空容器１１の上端部に付設された蛍光板Ｄに結像させて、窓部材１４を介して試料の表面を拡大して観察することを可能にしている。
【０００４】
真空容器１１内の鏡筒１２には数十ｋＶの高電圧が印加され、試料から放出された電子はこの高電圧によって加速され、次に鏡筒１２の内周面の対物レンズなどの複数のレンズからなる電子レンズ系Ａにより電子像が２次電子増倍管Ｃ上に拡大されて結像され、この電子像が２次電子増倍管Ｃによって多数の２次電子として増幅され、最後に蛍光板Ｄに試料の拡大像として結像される。このようにして得られた拡大像を窓部材１４を介して観察、分析することができる。
【０００５】
この窓部材１４は、真空容器１１の真空容器本体部１１ａの上端面と内周面との間に形成された段差１１ｂにロウ材を介して取着されており、一般にサファイアや石英ガラスからなり、試料の表面から放出された電子によって生じた蛍光を効率よく透過させるためのものである。
【０００６】
このようなエミッション顕微鏡の分解能は走査型のエミッション顕微鏡には及ばないが、光学顕微鏡よりも大きな拡大率を有し、また試料の形状に影響されずに試料を観察することができる。さらに、エミッション顕微鏡は、紫外線を試料の表面に照射して試料表面の仕事関数の変化を放出される電子の量の差で捉えることができるため、試料表面の化学的な状態の変化を蛍光板Ｄにおいてコントラストの差で捉えることができるという特徴を有している。
【０００７】
また、鏡筒１２は、電子レンズ系Ａおよび２次電子増倍管Ｃを作動させるために、加速電圧印加部としての高電圧印加部とは絶縁されて１〜数ｋＶ程度の電圧も印加されている。また、窓部材１４の外周部に被着されているロウ付け用のメタライズ層は、真空容器本体部１１ａの上端に電気的に導通しているため、その上端と同電位の数十ｋＶ程度の電圧が常に印加された状態となっている。
【０００８】
〔特許文献１〕
特開２０００−３４０１５８号公報（第４頁、図１）
〔特許文献２〕
米国特許第５２６６８０９号明細書（第７頁、ＦＩＧＵＲＥ３）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、窓部材１４を真空容器本体部１１ａの上端の段差１１ｂにロウ付けするに際して、窓部材１４の厚みが真空容器本体部１１ａの上端の段差１１ｂの深さと僅かでも異なっていると、真空容器本体部１１ａの上端面と窓部材１４の上面との間に段差が生じ、この段差から外部に放電することがあった。その結果、電子の加速電圧が安定せず、また電子レンズ系Ａや２次電子増倍管Ｃの作動電圧の変動を誘発させ、よって蛍光板Ｄでの像が乱れるという不具合を招来していた。
【００１０】
そこで、窓部材１４の側面と真空容器本体部１１ａの上端部の外周面とを面一として窓部材１４を接合することが考えられるが、この場合窓部材１４の側面と真空容器本体部１１ａの上端部の外周面とを全くずれのないようにして接合することは困難であり、また、ずれた部分を研摩してずれを無くそうとしても研摩部分と未研摩部分との境界に段差が生じ、この段差が放電を誘発させてしまうため、真空容器本体部１１ａの全外周面を研摩する必要が生じてしまい、多大の作業時間を必要としていた。
【００１１】
従って、本発明は上記従来の問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、真空容器本体部と窓部材との接合部に段差が生じてその段差で放電が発生をするのを防ぐことができ、また段差をなくすための研磨の作業性が向上して効率的に製造できる真空容器およびそれを用いた電子顕微鏡を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の真空容器は、上端が開かれた有底円筒状の金属製の真空容器本体部と、該真空容器本体部の上端面に下面の外周部が全周にわたって接合された円板状の窓部材とを具備しており、該窓部材は、上面と側面との間が全周にわたって曲面状の面取り部とされており、前記真空容器本体部は、上端部が外周側に向かって厚みが厚くなっているとともに前記上端部から下方に向かって外周面が傾斜面とされており、前記窓部材の側面と前記上端部の外周面とが略面一とされていることを特徴とする。
【００１３】
本発明の真空容器は、窓部材は上面と側面との間が全周にわたって曲面状の面取り部とされていることから、窓部材と真空容器本体部との間および窓部材と外部装置との間で放電が発生するのを抑えることができる。
【００１４】
また、真空容器本体部は、上端部が外周側に向かって厚みが厚くなっているとともに上端部から下方に向かって外周面が傾斜面とされていることから、窓部材の側面と真空容器本体部の上端部の外周面とを同時に研摩する際に、研磨部と非研磨部との間に放電が発生するような新たな段差が生じないようにして、窓部材の側面と真空容器本体部の上端部の外周面との間の段差を除去することができる。
【００１５】
さらに、窓部材の側面と真空容器本体部の上端部の外周面とが略面一とされていることから、窓部材の側面と真空容器本体部の上端部の外周面との間の段差で放電が発生することがなくなる。
【００１６】
本発明の真空容器において、好ましくは、前記傾斜面と前記上端部の外周面との間が全周にわたって曲面とされていることを特徴とする。
【００１７】
本発明の真空容器は、上記の構成により、真空容器本体部の上端部の外周面と傾斜面との間の部位と、真空容器本体部の周囲の装置や部品との間で放電が発生するのをより有効に抑制することができる。その結果、傾斜面の角度が２０度以上に大きくなっても放電が発生し難くなり、真空容器本体部の加工精度がばらついた場合や軽量化等の目的で傾斜面の角度を大きくした場合においても安定して性能を維持できる。
【００１８】
本発明の電子顕微鏡は、上記本発明の真空容器と、前記真空容器本体部の内側の上方に前記真空容器本体部に略同軸状に設置された、電子を加速する加速電圧を印加するための鏡筒と、該鏡筒の内周面に設けられた電子レンズと、前記鏡筒の上端に設けられた２次電子増倍管および蛍光板と、前記真空容器本体部の内側の前記鏡筒の下方に設けられた試料の載置台と、前記真空容器本体部の前記鏡筒と前記載置台との間に対応する部位に設けられた、前記試料に紫外線を照射するための紫外線照射装置とを具備したことを特徴とする。
【００１９】
本発明の電子顕微鏡は、上記の構成により、上記本発明の真空容器を用いた、放電の発生が大幅に抑制されて安定的に動作する信頼性の高いものとなる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明の真空容器および電子顕微鏡について以下に詳細に説明する。図１は本発明の真空容器について実施の形態の例を示す断面図、図２は図１の真空容器の上端部の拡大断面図である。
【００２１】
図１，図２，図３において、１は真空容器、１ａは真空容器本体部、１ｂは真空容器の上端部、２は鏡筒、３は大径部、３ａは傾斜面、３ｂは傾斜面の角度、４は円板状の窓部材、４ａは窓部材４の側面、４ｃは窓部材４の下面、４ｄは窓部材４の上面、４ｄ−Ａは窓部材４の上面４ｄと側面４ａとの間の稜部（面取り部）、３ｃは傾斜面３ａと上端部１ｂの外周面との間の稜部（曲面）、Ａは電子レンズ系、Ｂは紫外線照射装置、Ｃは２次電子増倍管、Ｄは蛍光板である。これら真空容器１、鏡筒２、電子レンズ系Ａ、紫外線照射装置Ｂ、２次電子増倍管Ｃ、蛍光板Ｄとで電子顕微鏡が基本的に構成される。
【００２２】
本発明の真空容器１は、上端が開かれた有底円筒状の金属製の真空容器本体部１ａと、真空容器本体部１ａの上端面に下面４ｃの外周部が全周にわたって接合された円板状の窓部材４とを具備し、窓部材４は、上面４ｄと側面４ａとの間が全周にわたって曲面状の面取り部４ｄ−Ａとされており、真空容器本体部１ａは、上端部１ｂが外周側に向かって厚みが厚くなっているとともに上端部１ｂから下方に向かって外周面が傾斜面３ａとされており、窓部材４の側面４ａと上端部１ｂの外周面とが略面一とされている。
【００２３】
本発明の電子顕微鏡は、真空容器１の内部が真空に保持され、載置台上に載置された試料の表面に紫外線照射装置Ｂの紫外線が照射されることにより試料表面から電子が放出され、この電子が鏡筒２に印加されている加速電圧によって加速され、さらに電子レンズ系Ａにより電子像が拡大されるように個々の電子が所定方向に偏向されて２次電子増倍管Ｃに結像し、この結像した電子像が２次電子増倍管Ｃで増幅されて蛍光板Ｄ上に光学的に結像することによって、試料の拡大像をリアルタイムで観察できるものである。
【００２４】
本発明の真空容器本体部１ａは、鉄（Ｆｅ）−ニッケル（Ｎｉ）−コバルト（Ｃｏ）合金などの金属からなり、厚みが厚くなっている上端部１ｂ（大径部３）の上下方向の幅は窓部材４の厚さの１〜３倍であることが好ましい。１倍未満では、窓部材４の側面４ａを面取り部４ｄ−Ａが形成されるまで研摩するに伴なって大径部３の側面が大きく研摩されてしまい、放電を誘発する段差が形成されてしまう。３倍を超えると、大径部３の側面の研摩に時間がかかり過ぎてしまう。
【００２５】
大径部３の厚さと残部（傾斜面３ａを除く）の厚さとの差は０．２５〜０．５ｍｍがよく、０．２５ｍｍ未満では、研摩に必要な研摩代が不足し易くなる。０．５ｍｍを超えると、真空容器本体部１ａの厚さを薄くせざるを得なくなり強度が不足し易くなる。
【００２６】
真空容器本体部１ａの上端部１ｂとその残部との間には傾斜面３ａが形成されているが、これにより傾斜面３ａの上端が放電を誘起するような角を形成せず、したがって上端部１ｂに近接して配置されている２次電子増倍管Ｃに放電に起因したノイズが発生せず、その機能が放電によって損なわれない。また、放電による真空容器１の加速電圧の低下も解消される。その結果、極めて信頼性の高い真空容器１を得ることができる。
【００２７】
また、傾斜面３ａと上端部１ｂの外周面との間が全周にわたって曲面３ｃとされていることが好ましい。これにより、真空容器本体部１ａの上端部１ｂの外周面と傾斜面３ａとの間の部位と、真空容器本体部１ａの周囲の装置や部品との間で放電が発生するのをより有効に抑制することができる。その結果、傾斜面３ａの角度３ｂが２０度以上に大きくなっても放電が発生し難くなり、真空容器本体部１ａの加工精度がばらついた場合や軽量化等の目的で傾斜面３ａの角度３ｂを大きくした場合においても安定して性能を維持できる。
【００２８】
曲面３ｃは、真空容器本体部１ａの表面を研摩することによって加工される。曲面３ｃは上端部１ｂの外周面と傾斜面３ａとが滑らかに連続しているのがよく、その曲率半径は、０．５〜５ｍｍであるのがよい。０．５ｍｍ未満であると傾斜面３ａと上端部１ｂの外周面との間を起点とする放電を防止する効果が小さくなる。また、５ｍｍを超えると真空容器が大型化する。
【００２９】
また、傾斜面３ａの角度３ｂは５〜３０度であるのがよい。傾斜面３ａの角度３ｂが５度未満では、砥石等による研摩加工が困難であり、製造歩留りが低下し易くなる。３０度を超えると、真空容器本体部１ａが高電圧が印加されている鏡筒２と電気的に連続しているため、傾斜面３ａと上端部１ｂの外周面との間を起点とする放電が発生し易くなる。
【００３０】
本発明の鏡筒２は、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金から成る円筒状のものであり、真空容器本体部１ａの内部に真空容器本体部１ａに同軸状に配置される。また、窓部材４はサファイア，石英ガラス等から成る円板状の透明なものである。
【００３１】
窓部材４と上端部１ｂとは、窓部材４の下面４ｃの外周部に形成されたメタライズ層を上端部１ｂの上面にロウ付けすることによって接合される。または、より強固に接合するためやより気密性をよくするために円環状の金属部材を介して窓部材４と上端部１ｂの上面とを接合してもよい。金属部材は、例えば、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等から成り、その主面には、あらかじめＮｉメッキ、金（Ａｕ）メッキが被着されていてもよく、ロウ付けのための下地金属層となる。
【００３２】
このメタライズ層は、モリブデン（Ｍｏ）−マンガン（Ｍｎ）等からなる金属ペーストを塗布焼成して成り、厚さ約１０μｍのものである。そして、Ａｇロウ（ＢＡｇ−８：ＪＩＳ  Ｚ  ３２６１）等のロウ材を介して上端部１ｂの上端面に窓部材４の下面４ｃの外周部を接合した後、窓部材４の上面４ｄの稜部４ｄ−Ａが、例えば曲率半径Ｒが０．３ｍｍ程度の滑らかな円弧状の曲面となるように加工されて、面取り部４ｄ−Ａとされる。
【００３３】
これにより、窓部材４は放電を誘起するような角が無い形状とされる。このとき、上端部１ｂの外周面が研摩されるのと同時に窓部材４の側面４ａが研摩される。また、同時に上端部１ｂの外周面と傾斜面３ａとの間の稜部３ｃも滑らかな円弧状の曲面となるように研磨され曲面３ｃが形成される。上端部１ｂの研摩される外周面の幅は、好ましくは窓部材４の厚さの１〜３倍であることから、窓部材４の側面４ａと上端部１ｂの外周面とを研摩するに際して、極めて小さい面積を研摩するだけで良い。よって、真空容器本体部１ａの外周面の全面を研摩しなくとも段差のない上端部１ｂが得られ、短時間で研摩面を得ることができ、信頼性の高い真空容器１および電子顕微鏡を効率的に製造できる。
【００３４】
なお、面取り部４ｄ−Ａの曲率半径Ｒは、０．２〜５ｍｍであるのがよい。０．２ｍｍ未満であると窓部材４の上面４ｄと側面４ａとの間を起点とする放電を防止する効果が小さくなる。また、５ｍｍを超えると窓部材４が大きくなって真空容器が大型化する。
【００３５】
また、上記の研磨を行う前には、窓部材４の側面４ａが真空容器本体部１ａの上端部１ｂの外周面よりも直径が若干大きいほうが良い。これは、金属製の真空容器本体部１ａを例えばダイアモンド砥石などで研磨すると砥石に金属が目詰まりしてしまい、窓部材４の研摩が困難となってしまうからである。したがって、まず窓部材４の側面４ａを研磨して真空容器本体部１ａの上端部１ｂの外周面に概略合わせ込み、さらに側面４ａおよび上端部１ｂの外周面を同時に薄く研磨することによって、より正確に側面４ａと上端部１ｂの外周面とを面一にすることができる。
【００３６】
なお、本発明では窓部材４の側面４ａと真空容器本体部１ａの上端部１ｂの外周面とが略面一とされている。側面４ａと上端部１ｂの外周面とは段差がないことが好ましいが、研摩仕上がり状態によって１０μｍ以下の高さの段差となっていてもよい。ここで生じる段差は研磨によって角張ったものとはならないために、上記の範囲であると、段差部を起点とする放電を有効に防止することができる。このような段差は、側面４ａが上端部１ｂの外周面よりも外側に突出しているものであってもよく、上端部１ｂの外周面が側面４ｂよりも外側に突出しているものであってもよい。
【００３７】
本発明の電子顕微鏡は、本発明の真空容器１と、真空容器本体部１ａの内側の上方に真空容器本体部１ａに略同軸状に設置された、電子を加速する加速電圧を印加するための鏡筒２と、鏡筒２の内周面に設けられた電子レンズと、鏡筒２の上端に設けられた２次電子増倍管Ｃおよび蛍光板Ｄと、真空容器本体部１ａの内側の鏡筒２の下方に設けられた試料の載置台と、真空容器本体部１ａの鏡筒２と載置台との間に対応する部位に設けられた、試料に紫外線を照射するための紫外線照射装置Ｂとを具備したものである。
【００３８】
本発明の電子顕微鏡は、紫外線照射装置Ｂから試料に照射された紫外線により試料の表面から熱電子や光電子等の電子が放出され、放出された電子が鏡筒２の下端の開口を介して鏡筒２内部に導かれ、鏡筒２に印加されている高電圧によって加速されながら対物レンズ，中間レンズ，投影レンズからなる電子レンズ系Ａによって偏向され、電子像が拡大されて２次電子増倍管Ｃ上に像を形成する。次に、２次電子増倍管Ｃによって電子は２次電子として増倍され、増幅された電子像を蛍光板Ｄ上に結像し、その結果、試料の表面状態を光学的な像として窓部材４を介して観察することを可能とする。
【００３９】
本発明の電子レンズ径Ａとしては、具体的には、例えば静電レンズからなる対物レンズ、偏向コイルからなる中間レンズ（磁界レンズ）、および静電レンズからなる投影レンズから構成される電子光学系が使用される。また、紫外線照射装置Ｂは、高圧水銀灯等の紫外線ランプを用いたものである。
【００４０】
【実施例】
本発明の実施例について以下に説明する。
【００４１】
内径が３ｍｍ、大径部３の外径が７ｍｍ、大径部３以外の部位の外径が５ｍｍの円筒状の真空容器本体部１ａの上端部１ｂ（大径部３）の上下方向の幅を、直径７ｍｍ、厚さ１ｍｍの円板状のサファイアからなる窓部材４の厚さの０．５〜３．５倍の６種の値（表１参照）とし、上端部１ｂの上端面に銅（Ｃｕ）から成る円環状の金属部材を介して窓部材４をＡｇロウ（ＢＡｇ−８：ＪＩＳ  Ｚ  ３２６１）でロウ付けした６種のサンプルを５個ずつ作製した。このとき、窓部材４の下面４ｃの外周部には、ロウ付けのためのＭｏ−Ｍｎのメタライズ層を被着した。
【００４２】
次に、ダイアモンド砥石で窓部材４の稜部４ｄ−Ａを曲率半径０．３ｍｍの円弧状の滑らかな曲面となるように研摩し、また、窓部材４の側面４ａと上端部１ｂの外周面とを同時に研摩して、窓部材４の側面４ａと上端部１ｂの外周面との境界に段差の無いサンプルを計３０個（６種×５個＝３０個）作製した。このとき、傾斜面３ａの角度３ｂは全てのサンプルにおいて１０度とした。
【００４３】
得られたサンプルについて、研磨の困難性および研磨時間を調べるとともに、電子顕微鏡が作動する際に印加する電圧２０ｋＶを上端部１ｂ以外の真空容器本体部１ａに、また３ｋＶを上端部１ｂに印加して、放電の発生の有無を調査した。研磨の困難性は、研磨時間が２分を超えた場合を困難性大、１分以下の場合を困難性小（研磨性良好）とした。放電については、真空容器１内部を１．３３×１０−５Ｐａの圧力に保持して、各サンプルについてそれぞれ１０回ずつ電圧を印加し、放電の有無を調査した。１０回の電圧印加で放電が１回でも発生したサンプルについては放電有りとした。その結果を表１に示す。
【００４４】
【表１】
2004221012.tif 000003
【００４５】
表１により、真空容器本体部１ａの上端部１ｂの外周面の上下方向の幅を窓部材４の厚さの１〜３倍とすることにより、窓部材４の側面４ａおよび上端部１ｂの外周面の研摩性が良好であり、また放電が発生しないことが確認できた。
【００４６】
次に、傾斜面３ａの角度３ｂを８種（表２参照）とし、真空容器本体部１ａの上端部１ｂの外周面の上下方向の幅を窓部材４の厚さの２倍（２ｍｍ）としたサンプルを、各角度３ｂについて５個ずつ計４０個（８種×５個＝４０個）作製した。得られたサンプルについて、上記と同様の条件で電圧を印加し、放電の発生の有無を調査した。その結果を表２に示す。
【００４７】
【表２】
2004221012.tif 000004
【００４８】
表２より、傾斜面３ａの角度３ｂを５〜２０度とした真空容器１では、放電の発生が皆無であり、信頼性の高いものとなることが判明した。
【００４９】
次に、傾斜面３ａの角度３ｂを２０〜３０度として、研摩により上端部１ｂと傾斜面３ａとの間に曲率半径が３ｍｍの曲面３ｃを形成すること以外は表２のサンプルと同様に作成し、上記と同様の条件で電圧を印加し、放電の発生の有無を調査した。その結果を表３に示す。
【００５０】
【表３】
2004221012.tif 000005
【００５１】
表３より、上端部１ｂと傾斜面３ａとの間に曲面３ｃを形成することにより、傾斜面３ａの角度３ｂを２０〜３０度と大きくしても真空容器１に放電が発生することはなく、より信頼性の高いものとなることが判明した。
【００５２】
なお、本発明は上記実施の形態および実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を施すことは何等差し支えない。例えば、上記実施例では、サファイアからなる窓部材４を用いたが、石英ガラスを用いても良く、また、窓部材４の厚さを１ｍｍとしたが、この厚さは窓部材４として適正な範囲（０．５〜１．５ｍｍ程度）で変化しても本発明の効果が発揮されることは勿論である。
【００５３】
【発明の効果】
本発明の真空容器は、上端が開かれた有底円筒状の金属製の真空容器本体部と、真空容器本体部の上端面に下面の外周部が全周にわたって接合された円板状の窓部材とを具備し、窓部材は、上面と側面との間が全周にわたって曲面状の面取り部とされており、真空容器本体部は、上端部が外周側に向かって厚みが厚くなっているとともに上端部から下方に向かって外周面が傾斜面とされており、窓部材の側面と上端部の外周面とが略面一とされていることにより、窓部材と真空容器本体部との間および窓部材と外部装置との間で放電が発生するのを抑えることができ、また、窓部材の側面と真空容器本体部の上端部の外周面とを同時に研摩する際に研磨部と非研磨部との間に放電が発生するような新たな段差が生じないようにして、窓部材の側面と真空容器本体部の上端部の外周面との間の段差を除去することができ、さらに、窓部材の側面と真空容器本体部の上端部の外周面との間の段差で放電が発生することがなくなる。
【００５４】
本発明の真空容器は、傾斜面と上端部の外周面との間が全周にわたって曲面とされていることにより、真空容器本体部の上端部の外周面と傾斜面との間の部位と、真空容器本体部の周囲の装置や部品との間で放電が発生するのをより有効に抑制することができる。その結果、傾斜面の角度が２０度以上に大きくなっても放電が発生し難くなり、真空容器本体部の加工精度がばらついた場合や軽量化等の目的で傾斜面の角度を大きくした場合においても安定して性能を維持できる。
【００５５】
本発明の電子顕微鏡は、本発明の真空容器と、真空容器本体部の内側の上方に真空容器本体部に略同軸状に設置された、電子を加速する加速電圧を印加するための鏡筒と、鏡筒の内周面に設けられた電子レンズと、鏡筒の上端に設けられた２次電子増倍管および蛍光板と、真空容器本体部の内側の鏡筒の下方に設けられた試料の載置台と、真空容器本体部の鏡筒と載置台との間に対応する部位に設けられた、試料に紫外線を照射するための紫外線照射装置とを具備したことにより、上記本発明の真空容器を用いた、放電の発生が大幅に抑制されて安定的に動作する信頼性の高いものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の真空容器について実施の形態の一例を示す断面図である。
【図２】本発明の真空容器における窓部材の接合部を示す部分拡大断面図である。
【図３】本発明の真空容器における窓部材の接合部について実施の形態の他の例を示す部分拡大断面図である。
【図４】従来の真空容器の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
１：真空容器
１ａ：真空容器本体部
１ｂ：真空容器本体部の上端部
２：鏡筒
３：大径部
３ａ：傾斜面
３ｃ：曲面
４：窓部材
４ａ：窓部材の側面
４ｃ：窓部材の下面
４ｄ：窓部材の上面
４ｄ−Ａ：面取り部
【図１】
2004221012.tif 000006
【図２】
2004221012.tif 000007
【図３】
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【図４】
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