(57)【要約】【課題】シール部からのペーストの漏出を防止することができるペースト吐出装置を提供することを目的とする。【解決手段】粘性体とフィラー成分とを混合したスラリー状のペーストを吐出するペースト吐出装置において、固定されたシール部材３６と回転するプランジャブロック３３とのシール面の外周側に、閉囲された円環状空間のハウジング部４０を設け、このハウジング部４０に略リング形状の外部シール部材３７を装着し、この外部シール部位の近傍においてこのプランジャブロック３３の径方向への回転振れ変位を保持部材３５によって拘束する。これにより、シール面から漏出したペーストのハウジング部外への漏出を外部シール部材３７によって防止する際のシール性を向上させるとともに、外部シール部材３７の摩耗を低減することができる。【選択図】  図２
2004293462.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘性体とフィラー成分とを混合したスラリー状のペーストを吐出するペースト吐出装置であって、回転駆動手段によって回転軸廻りに回転しこの回転軸と直交する摺動面を介して固定されたシール部材のシール面と摺接するシリンダブロックと、このシリンダブロックの回転軸方向に設けられ前記摺動面の回転軸心を中心とする同一円周上の等配位置に開孔した開孔部を有する複数のシリンダ孔と、それぞれのシリンダ孔に挿入されたプランジャと、このプランジャを前記シリンダブロックの回転と同期して往復動させるプランジャ駆動手段と、前記シール面に設けられ前記シリンダブロックの所定回転位置において前記シリンダ孔の開孔部と連通する第１の連通ポートおよび第２の連通ポートと、前記シール部材を介して前記第１の連通ポートおよび第２の連通ポートとそれぞれ連通する第１の外部ポート及び第２の外部ポートと、前記シール面の外周側に位置し前記シール部材とシリンダブロックとによって閉囲された略円環状空間のハウジング部と、このハウジング部内に装着された略リング形状の外部シール部材と、この外部シール部材が前記シリンダブロックと摺接する外部シール部位の近傍においてこのシリンダブロックの径方向への回転振れ変位を拘束する回転振れ拘束手段とを備えたことを特徴とするペースト吐出装置。
【請求項２】
前記ハウジング部は、前記シール部材に設けられた外周面と前記シリンダブロックから軸方向に延出して設けられた内周面とを対向させて形成され、前記外部シール部材の内面側を前記シール部材の外周面に嵌着し、前記外部シール部材の外面側を前記シリンダブロックの内周面に摺接させることを特徴とする請求項１記載のペースト吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性ペーストなどの粘性体とフィラー成分とを混合したスラリー状のペーストを吐出するペースト吐出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体チップなどの電子部品をプリント基板やリードフレームなどに接合する方法として、樹脂接着剤が多用される。樹脂接着剤の種類として樹脂中に金属粉など導電性の成分を添加して接合部に導電性を持たせた導電ペーストが知られている。導電ペーストは、接着剤としての機能を有するとともに、接合部を電気的に導通させることができる。
【０００３】
この導電ペーストは、主剤としてのエポキシ樹脂、エポキシ樹脂を硬化させる硬化剤および硬化促進剤などの樹脂接着剤としての成分に、導電性を有する金属粉を混入させたものである。金属粉としては銀粉が多用され、導電性を向上させるために粒状やフレーク状などの各種形状の銀粉を混ぜ合わせたスラリー状で供給される。
【０００４】
この導電性ペーストを塗布する塗布装置には、導電性ペーストを吐出する吐出装置が備えられており、従来よりプランジャの往復動によってシリンダ室内に導電性ペーストを吸入し吐出するプランジャ式の吐出装置が知られている。そしてプランジャの往復動による吐出は間欠的にしか行えないことから、吐出を間断なく行って高能率のペースト塗布を行う必用がある場合には、一般に複数のプランジャを備えた多連プランジャ型のペースト吐出装置が用いられる（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
このような多連プランジャ型のペースト吐出装置は、それぞれのプランジャから順次吐出されるペーストを１つの固定された吐出ポートから吐出させる必要があることから、ポート切り替え機能を備えている。一般にこのポート切換に際しては、プランジャ孔が設けられたシリンダブロックの開孔面を吐出ポートが設けられた固定ブロックに対して摺接させ、各プランジャの開孔部を吐出ポートに順次連通させるようにしている。この方式においては、シリンダブロックの開孔面と固定ブロックの摺接面は２つの部材の間からのペーストの漏出を防止するシール部として機能する。このため、この摺接面は隙間が生じないように部品加工において高精度の面仕上げを行い、動作時には所定の面圧を加える機構を用いるなどのペースト漏出防止措置を講じている。
【０００６】
【特許文献１】
実開平２−７８７７３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、導電性ペーストは金属粉などのフィラー成分や固形粒子を多量に含んだスラリー状であることから、従来のペースト吐出装置では、ペーストの成分構成によっては上記シール部の摺動隙間に挟まれた固形粒子が摺動面に付着しやすく、摺動面の密着性が阻害されてシール部から外部へのペーストの漏出が避けられなかった。
【０００８】
そこで本発明は、シール部からのペーストの漏出を防止することができるペースト吐出装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のペースト吐出装置は、粘性体とフィラー成分とを混合したスラリー状のペーストを吐出するペースト吐出装置であって、回転駆動手段によって回転軸廻りに回転しこの回転軸と直交する摺動面を介して固定されたシール部材のシール面と摺接するシリンダブロックと、このシリンダブロックの回転軸方向に設けられ前記摺動面の回転軸心を中心とする同一円周上の等配位置に開孔した開孔部を有する複数のシリンダ孔と、それぞれのシリンダ孔に挿入されたプランジャと、このプランジャを前記シリンダブロックの回転と同期して往復動させるプランジャ駆動手段と、前記シール面に設けられ前記シリンダブロックの所定回転位置において前記シリンダ孔の開孔部と連通する第１の連通ポートおよび第２の連通ポートと、前記シール部材を介して前記第１の連通ポートおよび第２の連通ポートとそれぞれ連通する第１の外部ポート及び第２の外部ポートと、前記シール面の外周側に位置し前記シール部材とシリンダブロックとによって閉囲された略円環状空間のハウジング部と、このハウジング部内に装着された略リング形状の外部シール部材と、この外部シール部材が前記シリンダブロックと摺接する外部シール部位の近傍においてこのシリンダブロックの径方向への回転振れ変位を拘束する回転振れ拘束手段とを備えた。
【００１０】
請求項２記載のペースト吐出装置は、請求項１記載のペースト吐出装置であって、前記ハウジング部は、前記シール部材に設けられた外周面と前記シリンダブロックから軸方向に延出して設けられた内周面とを対向させて形成され、前記外部シール部材の内面側を前記シール部材の外周面に嵌着し、前記外部シール部材の外面側を前記シリンダブロックの内周面に摺接させる。
【００１１】
本発明によれば、固定されたシール部材と回転するシリンダブロックとのシール面の外周側に、シール部材とシリンダブロックとによって閉囲された円環状空間のハウジング部を設け、このハウジング部に略リング形状の外部シール部材を装着し、この外部シール部位の近傍においてこのシリンダブロックの径方向への回転振れ変位を拘束する構成を採用することにより、シール面から漏出したペーストのハウジング部外への漏出を外部シール部材によって防止する際のシール性を向上させるとともに、外部シール部材の摩耗を低減することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のダイボンディング装置の斜視図、図２は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置の断面図、図３は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のカム部の斜視図、図４は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のカム部の断面図、図５は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のプランジャディスクの斜視図、図６は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のシールディスクの斜視図、図７は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置の外部シールの装着状態の説明図、図８は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置の動作説明図である。
【００１３】
まず図１を参照してダイボンディング装置の構造を説明する。図１においてチップ供給部１にはウェハシート２が図示しない保持テーブルによって保持されている。ウェハシート２には多数の半導体素子であるチップ３が貼着されている。チップ供給部１の側方には搬送路５が配設されており、搬送路５は基板であるリードフレーム６を搬送し、ペースト塗布位置およびボンディング位置にリードフレーム６を位置決めする。チップ供給部１の上方にはボンディングヘッド４が配設されており、ボンディングヘッド４は図示しない移動機構により水平移動および上下動する。
【００１４】
搬送路５の側方にはペースト塗布部９が配設されている。ペースト塗布部９は移動テーブル１０にＬ型のブラケット１５を介して塗布ノズル１８を装着して構成されている。塗布ノズル１８は、不動のプレート１６ａ上に固定配置されたペースト吐出装置１６と可撓性の管部材であるチューブ１７によって連結されている。
【００１５】
ペースト吐出装置１６は、さらにチューブ２０を介してシリンジ１９と連結されている。シリンジ１９内にはエポキシ樹脂などの粘性体と銀粉などの導電性のフィラー成分とを混合した導電性ペースト（以下、単に「ペースト」と略記する。）が貯溜されており、ペースト吐出装置１６を駆動することにより、シリンジ１９内のペーストはペースト吐出装置１６によって吸入・吐出され、チューブ１７を介して塗布ノズル１８へ圧送される。そして塗布ノズル１８の下端部に設けられた塗布口より吐出されてリードフレーム６の塗布エリア６ａに塗布される。
【００１６】
移動テーブル１０は、Ｙ軸テーブル１１上にＸ軸テーブル１２を段積みし、さらにその上にＬ型のブラケット１３を介してＺ軸テーブル１４を垂直方向に結合して構成されている。Ｙ軸テーブル１１、Ｘ軸テーブル１２、Ｚ軸テーブル１４は、それぞれＹ軸モータ１１ａ、Ｘ軸モータ１２ａ、Ｚ軸モータ１４ａを備えている。Ｘ軸モータ１２ａ、Ｙ軸モータ１１ａおよびＺ軸モータ１４ａを駆動することにより、塗布ノズル１８はリードフレーム６上で水平方向および上下方向に移動する。したがって、移動テーブル１０は塗布ノズル１８をリードフレーム６に対して相対的に移動させる移動手段となっている。
【００１７】
リードフレーム６上面のチップ３の搭載位置は、ペースト７が塗布される塗布エリア６ａとなっている。塗布ノズル１８を塗布エリア６ａ内に位置させ、塗布ノズル１８からペースト７を吐出させながら塗布ノズル１８を移動させることにより、塗布エリア６ａ内には所定の描画パターンでチップボンディング用のペースト７が描画塗布される。
【００１８】
このペースト塗布後、リードフレーム６は搬送路５上をボンディング位置８に送られ、位置決めされる。、そして塗布エリア６ａ内に塗布されたペースト７上に、ボンディングヘッド４のノズル４ａによってチップ供給部１からピックアップされたチップ３がボンディングされる。
【００１９】
次に図２を参照してペースト吐出装置１６の構造について説明する。図２において、ペースト吐出装置１６は外筒部２１に回転駆動手段としてのモータ２２によって駆動される軸型の多連プランジャポンプを内蔵した構成となっている。モータ２２の出力軸２３には、円筒状の回転体２８が回転軸Ａを一致させて結合されている。回転体２８は軸受け２９に軸支されて回転自在となっており、回転体２８の内径部２８ａには、プランジャホルダ３１が装着されている。プランジャホルダ３１は回転体２８に対して回転軸Ａ方向の摺動が許容され、かつ回転体２８からの回転が伝達される。
【００２０】
プランジャホルダ３１には、回転軸Ａ方向に複数のプランジャ孔３１ｂが３等配位置に設けられており、各プランジャ孔３１ｂには、スライドベアリング３１ｃが装着されている。プランジャホルダ３１の先端部には、円板状のカラープレート３２を介してプランジャディスク３３が固着されている。カラープレート３２にはプランジャ孔３１ｂの位置に対応して複数の貫通孔３２ａが設けられており、さらにプランジャディスク３３には貫通孔３２ａの位置に対応して複数のシリンダ孔３３ｂが設けられている。プランジャディスク３３の外周面は、円筒状の保持部材３５によって摺動自在に保持されている。保持部材３５は、樹脂や含油メタルなどの自己潤滑性を有する材質より成る。
【００２１】
スライドベアリング３１ｃ、貫通孔３２ａおよびシリンダ孔３３ｂには、プランジャ２６が回転軸Ａ方向の移動が許容された状態で挿通しており、シリンダ孔３３ｂの上側にはシール部材３４が装着されている。プランジャ２６はこのシール部材３４を介してシリンダ孔３３ｂ内に挿通しており、プランジャ２６の下端部がシリンダ孔３３ｂ内で往復動することにより、後述するペースト吸入・吐出が行われる。プランジャホルダ３１、カラープレート３２およびプランジャディスク３３は、複数のシリンダ孔３３ｂが設けられたシリンダブロックを構成する。
【００２２】
それぞれのプランジャ２６の上側の端部は、回転体２８の基部に装着されたスライドベアリング２８ｂを介して上方へ突出して連結ブロック２６ａに結合されており、連結ブロック２６ａにはカムフォロア２５が装着されている。各カムフォロア２５は、以下に説明するカム部２４によって回転軸Ａ方向に往復動する。
【００２３】
回転体２８の上方、すなわち上述のシリンダブロックのモータ２２側にはカム部２４が配設されている。カム部２４は、回転軸Ａ方向のカム面２４ａ（図３参照）を有する２つの端面カム（第１の端面カム２４Ａ、第２の端面カム２４Ｂ）を、カム面２４ａを対向させた姿勢で組み合わせ、スペーサ部材２７によって位置合わせして固定した構成となっている。
【００２４】
図３に示すように、第１の端面カム２４Ａ、第２の端面カム２４Ｂはいずれも略円筒形状であり、内部にはプランジャホルダ３１を挿通した３つのプランジャ２６の駆動端部側が進入可能な円筒状凹部２４ｂが設けられている。第１の端面カム２４Ａ、第２の端面カム２４Ｂを対向させて組み合わせた状態においては、円筒状凹部２４ｂの内面には前述の２つのカム面２４ａに挟まれたカム溝が形成される。プランジャホルダ３１を挿通した３つのプランジャ２６の駆動端部は、図４に示すように、回転軸Ａを中心とした３等配の配置で円筒状凹部２４ｂ内に進入し、連結ブロック２６ａに結合されたカムフォロア２５は上述のカム溝に嵌合する。
【００２５】
この状態でモータ２２を回転駆動することにより、回転体２８を介してプランジャホルダ３１，カラープレート３２およびプランジャディスク３３より成るシリンダブロックが回転し、これにより各プランジャ２６は回転軸Ａを中心にしてカム部２４に対して相対的に回転（公転）する。この相対回転運動により、カム溝に嵌合したカムフォロア２５はカム溝内をカム面２４ａにならって転動し、カム面２４ａのカム特性に従って回転軸Ａ方向の往復動を行う。そしてカムフォロア２５がこの往復動を連結ブロック２６ａを介してプランジャ２６に伝達することにより、プランジャ２６は回転軸Ａ廻りに回転しながらこの回転に同期して回転軸Ａ方向に往復動する。
【００２６】
すなわち、円筒状凹部２４ｂの内面に形成されたカム溝は、シリンダブロックのカム部２４に対する相対回転運動をプランジャ２６の回転軸Ａ方向の往復動変位に変換する。そしてモータ２２およびカム部２４は、プランジャ２６をシリンダブロックの回転と同期して往復動させるプランジャ駆動手段となっている。カム部２４に設けられたカム溝のカム形状は、３つのプランジャ２６を所定順序・タイミングで往復動させるような形状となっており、これにより後述するペーストの吸入・吐出動作が連続して行われる。
【００２７】
上記構成において、プランジャ２６は往動および復動のいずれの場合もカム部２４によって駆動される。したがって、プランジャ駆動手段として上述の構成を採用することにより、粘性が高くしかも金属粉を含むスラリー状の液体を吐出対象とし、高摺動抵抗条件下においてプランジャの往復動を行う必要がある場合においても、プランジャに確実に駆動力を伝達することができる。
【００２８】
これにより、従来の一般的なカム機構を採用した同種装置における問題点、すなわち、戻り動作をスプリングなどの付勢力によって行うカム機構によって駆動されるプランジャの往復動において、高摺動抵抗に起因して発生する動作不安定が解消され、安定した吸入・吐出動作を行わせることができる。また高摺動抵抗が許容されることから、シール部材３４などの摺動シール部に高シール性能のものを用いることができ、稼働時のペーストの漏出を低減することが可能となっている。
【００２９】
さらに本実施の形態では、３つのプランジャ２６を駆動するカム部２４として、内部に各プランジャ２６の駆動端部側が進入可能な円筒状凹部２４ｂが設けられ、さらに円筒状凹部２４ｂの内面にカム溝が形成された構成とすることにより、図４に示すように３つのプランジャ２６を回転軸Ａの周囲に近接させて配置することが可能となっている。これにより、高シール性を確保するとともに、径方向の寸法を極力小さくした小型・コンパクトなペースト吐出装置が実現されている。
【００３０】
そしてこのようなカム部２４の構成は、第１の端面カム２４Ａ、第２の端面カム２４Ｂの２つの端面カムを対向させることによって容易に実現されている。すなわち、通常用いられる一体のカム部材によって上述のカム部２４を構成しようとすれば、円筒状凹部の内面に機械加工によってカム溝を形成する必要があり、工作難度から部品コストが増大するとともに工作上の制約から部品サイズの増大が避けられなかった。これに対し、２つの端面カムを対向させて組み合わせた構成では、部品サイズの小型化とコスト低減を図ることができる。
【００３１】
図５を参照して、プランジャディスク３３について説明する。プランジャディスク３３は、アルミナなどの硬質のセラミックや超硬合金などの硬質材より成り、ディスク本体部の外縁部から軸方向に筒状部３３ｄが延出して設けられた形状となっている。ディスク本体部には回転軸方向に複数のシリンダ孔３３ｂが設けられている。ディスク本体部の上面は、回転軸と直交する摺動面３３ａとなっており、外筒部２１に固定されたシール部材であるシールディスク３６のシール面３６ａに摺接する。そしてシリンダ孔３３ｂは、摺接面３３ａの回転軸心を中心とする同一円周上の等配位置に開孔している。筒状部３３ｄの内周面３３ｅには、後述する外部シール部材３７が摺接する。
【００３２】
シリンダ孔３３ｂの開孔部の周囲には、掻き取り溝３３ｃが形成されている。掻き取り溝３３ｃは、プランジャディスク３３がシールディスク３６に対して回転することによりペーストの吸入・吐出を行うポンピング動作時において、シール面３６ａ（図６参照）に付着するペースト中の粒子成分を掻き取ることにより、プランジャディスク３３とシールディスク３６との摺接面からのペーストの過剰な漏出を防止することを目的とするものである。
【００３３】
図６を参照して、シールディスク３６の形状について説明する。シールディスク３６は、プランジャディスクと同様の硬質材より成り、上面側が段付き形状に加工された段付き凸部を有するディスク部材である。段付き凸部の上面は、プランジャディスク３３に摺接するシール面３６ａとなっており、シール面３６ａには２つの円弧溝状の凹部３６ｂ、３６ｃが設けられている。シールディスク３６には、シリンダ孔３６ｂの径方向位置に対応した円周上の２等配位置に、貫通孔３８ａ，３８ｂが設けられており、貫通孔３８ａ，３８ｂは凹部３６ｂ、３６ｃにそれぞれ連通している。
【００３４】
プランジャディスク３３の摺動面３３ａがシールディスク３６のシール面３６ａに摺接した状態でプランジャディスク３３が回転すると、プランジャディスク３３の所定回転位置において、凹部３６ｂ、３６ｃはシリンダ孔３３ｂの開孔部と連通する。したがって、凹部３６ｂ、３６ｃは、シール面３６ａに設けられシリンダブロックの所定回転位置においてシリンダ孔３３ｂの開孔部と連通する第１の連通ポート及び第２の連通ポートとなっている。
【００３５】
段付き凸部の外周面３６ｅは、後述する外部シール部材３７が嵌着する嵌着面となっており、段付き面３６ｆは、外部シール部材３７の端面に接触して軸方向位置を保持するシール保持面となっている。また、シール面３６ａの外周エッジ３６ｄは、面取り加工が施されていないシャープエッジ形状のままとなっており、後述するようにシール面３６ａが摺接面３３ａに摺接した状態で、シール隙間の口開きを生じないようになっている。
【００３６】
図２において、プランジャホルダ３１には径方向に突出した鍔部３１ａが設けられており、鍔部３１ａと回転体２８の端面との間には皿バネ３０が装着されている。皿バネ３０は、プランジャホルダ３１を下方に押圧することによりプランジャディスク３３の摺動面３３ａをシールディスク３６のシール面３６ａに対して所定面圧で押圧する。この面圧により、摺動面３３ａとシール面３６ａとの密着が確保される。
【００３７】
プランジャディスク３３をシールディスク３６に摺接させた状態では、シール面３６ａの外周側には、シールディスク３６に設けられた外周面３６ｅと、プランジャディスク３３から軸方向に延出して設けられた筒状部３３ｄの内周面３３ｅとが対向した略円環状空間のハウジング部４０（図７参照）が形成される。ハウジング部４０内には、外部シール部材３７が装着される。
【００３８】
外部シール部材３７は、Ｖ字状断面を有する略リング状のシール部材であり、外部シール部材３７がハウジング部４０に装着された状態では、図７に示すように、外部シール部材３７は内周側がシールディスク３６の外周面３６ｅに嵌着し、外周側は、プランジャブロック３３の内周面３３ｅに摺接する。そして一方側の軸方向端面が段付き面３６ｆ（図６参照）に当接し軸方向位置が保たれる。
【００３９】
そしてシリンダブロックを回転させてプランジャ２６を往復動させるペースト吐出装置１６の稼動状態においては、シール面３６ａと摺動面３３ａとのシール隙間から、ペーストがハウジング部４０内にわずかに漏出する。そしてこれらのペーストのハウジング部４０外への漏出は、外部シール部材３７によって防止される。このとき、ハウジング部４０内に溜まったペーストは、外部シール３７を外周面３６ｅ、内周面３３ｅに対して押し付けるように作用し、外部シール部材３７によるペーストのシール性能を向上させる。また前述のようにシール面３６ａの外周エッジ３６ｄがシャープエッジ形状となっていることから、ハウジング部４０内のペーストがシール隙間内に進入しにくくなっており、シール隙間が増大する口開きを防止するという効果を有する。
【００４０】
上述の外部シール部材３７によるペーストのシールにおいて、前述のようにプランジャディスク３３から軸方向に延出して設けられた筒状部３３ｄの外周側は、外筒部２１内に嵌着された円筒状の保持部材３５によって摺動自在に保持されている。このため、プランジャディスク３３の回転時の径方向の振れが保持部材３５によって拘束される。すなわち、保持部材３５は、シリンダブロックを構成するプランジャディスク３３と外部シール部材３７が摺接する外部シール部位の近傍においてこのプランジャディスク３３の径方向への回転振れ変位を拘束する回転振れ拘束手段となっている。
【００４１】
これにより、プランジャディスク３３の回転に伴う外部シール３７と内周面３３ｅとの摺動において、安定した摺接状態が保たれ、ペーストの外部への漏出を防止するシール性が向上するとともに、摺接部における外部シール部材３７の摩耗が低減され、部品寿命を延長することができる。
【００４２】
図２において、シールディスク３６の貫通孔３８ａ、３８ｂは、外筒部２１の端面に設けられた第１の外部ポート３９ａ、第２の外部ポート３９ｂにそれぞれ連通している。第１の外部ポート３９ａは、チューブ２０を介してシリンジ１９（図１）と接続されており、第２の外部ポート３９ｂはチューブ１７を介して塗布ノズル１８（図１）と接続されている。
【００４３】
貫通孔３８ａが凹部３６ｂを介してシリンダ孔３３ｂと連通した状態において、プランジャ２６が引き込み方向（図２において上方）へ移動することにより、シリンダ孔３３ｂ内にはシリンジ１９に貯溜されていたペーストがチューブ２０を介して供給される。第１の外部ポート３９ａは、シリンジ１９から供給されるペーストを導入する供給ポートとなっている。
【００４４】
そしてペーストを吸入したシリンダ孔３３ｂが凹部３６ｃを介して貫通孔３
ｂと連通した状態においてプランジャ２６が押し出し方向（図２において下方）に移動することにより、シリンダ孔３３ｂ内のペーストが第２の外部ポート３９ｂから吐出される。第２の外部ポート３９ｂは、ペーストを外部に吐出する吐出ポートとなっている。
【００４５】
次に図８を参照して、ペースト吐出装置１６によるペーストの吸引、吐出動作時における凹部３６ｂ、３６ｃと、シリンダ孔３３ｂとの位置関係について説明する。本実施の形態では、３つのプランジャ２６を、連通ポートである凹部３６ｂ、３６ｃを介して２つの外部ポート３９ａ、３９ｂに交互に連通させるポート切り換えにより、ペーストの吐出を連続して行うようにしている。
【００４６】
図８（ａ）は、３つのシリンダ孔３３ｂ−Ａ、３３ｂ−Ｂ、３３ｂ−Ｃが矢印方向へ回転移動する過程において、シリンダ孔３３ｂ−Ａが貫通孔３８ａの位置と一致し、シリンダ孔３３ｂ−Ａへのペーストの供給が行われている状態を示している。このとき、シリンダ孔３３ｂ−Ｃはペーストの吐出を終えて凹部３６ｃから外れるタイミングにあり、シリンダ孔３３ｂ−Ｂが凹部３６ｃの端部に到達して新たにペーストの吐出を開始するタイミングを示している。そして図８（ａ）から図８（ｂ）までの間に、シリンダ孔３３ｂ−Ａへのペーストの供給、シリンダ孔３３ｂ−Ｂからのペーストの吐出が継続して行われる。
【００４７】
この後図８（ｃ）のタイミングにおいて、シリンダ孔３３ｂ−Ａは凹部３６ｃの端部に到達して新たにペーストの吐出を開始する。このとき、シリンダ孔３３ｂ−Ｂは凹部３６ｃからはずれペーストの吐出を終了する。このように、３つのシリンダ孔３３ｂのうち、いずれかが常にペーストを吐出する状態にあり、これにより外部ポート３９ｂ（吐出ポート）からは間断なくペーストが吐出される。
【００４８】
このペースト吐出動作において、フィラー成分や固形粒子を多量に含んだスラリー状のペーストを使用する場合においても、前述のようにシールディスク３６とプランジャディスク３３とのシール隙間から漏出したペーストは、外部シール部材３７によって外部への漏出が防止されることから、ペースト吐出動作におけるペースト漏出を最小限に抑制することができ、漏出したペーストが装置内を汚損する不具合を防止することができる。
【００４９】
【発明の効果】
本発明によれば、固定されたシール部材と回転するシリンダブロックとのシール面の外周側に、シール部材とシリンダブロックとによって閉囲された円環状空間のハウジング部を設け、このハウジング部に略リング形状の外部シール部材を装着し、この外部シール部位の近傍においてこのシリンダブロックの径方向への回転振れ変位を拘束する構成を採用したので、シール面から漏出したペーストのハウジング部外への漏出を外部シール部材によって防止する際のシール性を向上させるとともに、外部シール部材の摩耗を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のダイボンディング装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態のペースト吐出装置の断面図
【図３】本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のカム部の斜視図
【図４】本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のカム部の断面図
【図５】本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のプランジャディスクの斜視図
【図６】本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のシールディスクの斜視図
【図７】本発明の一実施の形態のペースト吐出装置の外部シールの装着状態の説明図
【図８】本発明の一実施の形態のペースト吐出装置の動作説明図
【符号の説明】
１６  ペースト吐出装置
２２  モータ
２４  カム部
２４Ａ  第１の端面カム
２４Ｂ  第２の端面カム
２４ａ  カム面
２４ｂ  円筒状凹部
２５  カムフォロア
２６  プランジャ
２８  回転体
３３  プランジャディスク
３３ａ  摺動面
３３ｂ  シリンダ孔
３６  シールディスク
３６ａ  シール面
３７  外部シール部材
３９ａ  第１の外部ポート
３９ｂ  第２の外部ポート
４０  ハウジング部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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