(57)【要約】【課題】固体レーザ媒質を高エネルギ密度で励起することができる固体レーザ装置を提供する。【解決手段】励起光源２２を多数の半導体レーザ素子２２ａの集合体として構成するとともに、固体レーザ媒質１の励起面１ａが均一に励起されるよう、各半導体レーザ素子２２ａの発光面２２ｂを固体レーザ媒質１の軸方向に沿う円弧上に配設したものである。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体レーザ媒質と、この固体レーザ媒質から隔離して配設するとともに、この固体レーザ媒質の長手方向の側面に励起光を照射する励起光源とを有し、この励起光源で前記固体レーザ媒質に励起光を照射して前記固体レーザ媒質内でその軸方向を光軸とするレーザ発振を生起させるように構成した固体レーザ装置において、
前記励起光源を多数の半導体レーザ素子の集合体として構成するとともに、前記固体レーザ媒質の励起面が均一に励起されるよう、各半導体レーザ素子の発光面を円弧上に配設するとともに、
各半導体レーザが照射する励起光を、前記固体レーザ媒質の励起面に導く導波手段を前記励起光源と前記固体レーザ媒質との間に配設して構成したことを特徴とする固体レーザ装置。
【請求項２】
〔請求項１〕に記載する固体レーザ装置において、
励起光源の各半導体レーザ素子は、その各発光面が、固体レーザ媒質の軸を含む面に含まれる円弧に沿うように配設したものであることを特徴とする固体レーザ装置。
【請求項３】
〔請求項１〕に記載する固体レーザ装置において、
励起光源の各半導体レーザ素子は、その各発光面が、固体レーザ媒質の軸と直行する軸を含む面に含まれる円弧に沿うように配設したものであることを特徴とする固体レーザ装置。
【請求項４】
〔請求項１〕に記載する固体レーザ装置において、
励起光源の各半導体レーザ素子は、その各発光面が、固体レーザ媒質の軸を含む面に含まれる円弧と、前記固体レーザ媒質の軸と直行する軸を含む面に含まれる円弧とを含む球面に沿うように配設したものであることを特徴とする固体レーザ装置。
【請求項５】
〔請求項１〕乃至〔請求項４〕の何れか一つに記載する固体レーザ装置において、
各半導体レーザ素子は、これが照射する励起光の光軸方向を微調整できるよう各発光面の方向を回動可能に構成したことを特徴とする固体レーザ装置。
【請求項６】
〔請求項１〕乃至〔請求項５〕の何れか一つに記載する固体レーザ装置において、
各半導体レーザ素子の発光面が位置する円弧は、その円弧角２　θが、
２　θ＝２　ａｒｃｔａｎ｛（ｂ１　−ａ１）／２ｈ｝又は　２θ＝２　ａｒｃｔａｎ｛（ｂ２　−ａ２）／２ｈ｝
（ここで、ａ１　は固体レーザ媒質の励起長、ａ２　はこれと直交する方向の長さ、ｂ１　は各半導体レーザ素子を前記固体レーザ媒質の励起長方向の長さ、ｂ２　はこれと直交する方向に直線的に並べた場合のその長さ、ｈは固体レーザ媒質と中央の半導体レーザ素子の発光面との間の距離である。）
となるようにしたものであることを特徴とする固体レーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は固体レーザ装置に関し、特に半導体レーザ素子を励起光源とするとともに、低繰り返し（数Ｈｚ）・高エネルギーピークのパルス光を発振する固体レーザ発振器に適用して有用なものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は従来技術に係る半導体レーザ励起−Ｎｄ：ＹＡＧレーザ装置を示す構造図で、（ａ）はこれを正面から見た図、（ｂ）はこれを側面から見た図である。また、図７は従来技術に係る半導体レーザ励起−固体レーザ装置を示す構造図で、（ａ）はこれを正面から見た図、（ｂ）はこれを側面から見た図である。
【０００３】
図６に示すように、このＮｄ：ＹＡＧレーザ装置は、スラブ型の固体レーザ媒質１と、この固体レーザ媒質１の長手方向の側面に励起光を照射する励起光源２とを有し、励起光源２で固体レーザ媒質１に励起光を照射してこの固体レーザ媒質１内でその軸方向を光軸とするレーザ発振を生起させるように構成したものである。ここで、励起光源２は、各発光面２ｂが固体レーザ媒質１の軸方向に平行な直線上に配設された多数の半導体レーザ素子２ａの集合体として構成するとともに、固体レーザ媒質１から隔離して配設してある。各半導体レーザ素子２ａから照射した照射光３は、透明部材で形成して固体レーザ媒質１の励起面１ａの近傍に配設した透過窓４を透過して励起面１ａに照射される。また、固体レーザ媒質１の励起面１ａ（図中の斜線範囲）は高温になるので、これを冷却すべく、励起面１ａと透過窓４との間に、固体レーザ媒質１の軸方向に伸びる通路５を形成し、この通路５に冷却水を流通させるようになっている。このことにより、固体レーザ媒質１を一定温度に保持し、固体レーザ媒質１を構成するスラブの熱膨張、熱破砕又は発熱による熱レンズ効果を防止している。
【０００４】
かかるＮｄ：ＹＡＧレーザ装置においては、固体レーザ媒質１の励起面１ａに対して励起光源２の全発光面２ｂの面積（各発光面２ｂを集積した面積）は、それ程大きくはない。
【０００５】
図７に示すように、この固体レーザ装置は、励起系の構成が若干異なるだけで、図６に示すＮｄ：ＹＡＧレーザ装置と殆ど同様の構成である。そこで、図７中、図６と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
【０００６】
図７に示す固体レーザ装置の励起光源１２も、各発光面１２ｂが固体レーザ媒質１の軸方向に平行な直線上に配設された多数の半導体レーザ素子１２ａの集合体として構成するとともに、固体レーザ媒質１から隔離して配設してある。このとき、半導体レーザ素子１２ａの発光面１２ｂの軸方向長さは、固体レーザ媒質１の励起面１ａの軸方向長さに較べ長く構成してある。すなわち、固体レーザ媒質１の励起面１ａの面積に対し、励起光源１２の全発光面１２ｂの面積（各発光面１２ｂを集積した面積）が大きくなっている。この傾向は、低繰り返し（数Ｈｚ）・高エネルギーピークのパルス光を発振する固体レーザ装置において顕著になる。そこで、各半導体レーザ１２ａが照射する励起光を、固体レーザ媒質１の励起面１ａに導く導波手段１３を有している。この導波手段１３は具体的には各半導体レーザ１２ａの発光面１２ｂと固体レーザ媒質１の励起面１ａとの間の空間を囲繞する反射板で形成してある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ＹＡＧレーザ等のＣＷ光（連続光）及び高繰り返し（数ｋＨｚ）のパルス光を発振するレーザ発振器及び増幅器においては、固体レーザ装置の熱的な問題から固体レーザ媒質１の励起面１ａの面積に対して励起光源２の発光面積は高々１．２倍程度で、極端に励起光源２の発光面積が大きくなることはなかったが、低繰り返し（数Ｈｚ）・高エネルギーピークのパルス光を発振する固体レーザ装置においては、固体レーザ媒質１の励起面１ａの面積に対して励起光源１２の発光面積が２倍以上大きくなる場合もあり、励起光の効率的な集光方法が問題となる。
【０００８】
すなわち、上述の如き従来技術に係る固体レーザ装置においては、励起光の効率的な集光方法が問題となる場合があった。
【０００９】
本発明は、上記従来技術に鑑み、固体レーザ媒質を高エネルギ密度で励起することができる固体レーザ装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の構成は次の点を特徴とする。
【００１１】
１）　固体レーザ媒質と、この固体レーザ媒質から隔離して配設するとともに、この固体レーザ媒質の長手方向の側面に励起光を照射する励起光源とを有し、この励起光源で前記固体レーザ媒質に励起光を照射して前記固体レーザ媒質内でその軸方向を光軸とするレーザ発振を生起させるように構成した固体レーザ装置において、
前記励起光源を多数の半導体レーザ素子の集合体として構成するとともに、前記固体レーザ媒質の励起面が均一に励起されるよう、各半導体レーザ素子の発光面を円弧上に配設するとともに、
各半導体レーザが照射する励起光を、前記固体レーザ媒質の励起面に導く導波手段を前記励起光源と前記固体レーザ媒質との間に配設して構成したこと。
【００１２】
２）　上記１）に記載する固体レーザ装置において、
励起光源の各半導体レーザ素子は、その各発光面が、固体レーザ媒質の軸を含む面に含まれる円弧に沿うように配設したものであること。
【００１３】
３）　上記１）に記載する固体レーザ装置において、
励起光源の各半導体レーザ素子は、その各発光面が、固体レーザ媒質の軸と直行する軸を含む面に含まれる円弧に沿うように配設したものであること。
【００１４】
４）　上記１）に記載する固体レーザ装置において、
励起光源の各半導体レーザ素子は、その各発光面が、固体レーザ媒質の軸を含む面に含まれる円弧と、前記固体レーザ媒質の軸と直行する軸を含む面に含まれる円弧とを含む球面に沿うように配設したものであること。
【００１５】
５）　上記１）乃至４）の何れか一つに記載する固体レーザ装置において、
各半導体レーザ素子は、これが照射する励起光の光軸方向を微調整できるよう各発光面の方向を回動可能に構成したこと。
【００１６】
６）　上記１）乃至５）の何れか一つに記載する固体レーザ装置において、
各半導体レーザ素子の発光面が位置する円弧は、その円弧角２　θが、
２　θ＝２　ａｒｃｔａｎ｛（ｂ１　−ａ１）／２ｈ｝又は　２θ＝２　ａｒｃｔａｎ｛（ｂ２　−ａ２）／２ｈ｝
（ここで、ａ１　は固体レーザ媒質の励起長、ａ２　はこれと直交する方向の長さ、ｂ１　は各半導体レーザ素子を前記固体レーザ媒質の励起長方向の長さ、ｂ２　はこれと直交する方向に直線的に並べた場合のその長さ、ｈは固体レーザ媒質と中央の半導体レーザ素子の発光面との間の距離である。）
となるようにしたものであること。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
【００１８】
＜第１の実施の形態＞
図１は本発明の第１の実施の形態に係る固体レーザ装置を示す構造図で、（ａ）はこれを正面から見た図、（ｂ）はこれを側面から見た図である。同図に示すように、本形態に係る固体レーザ装は、図７に示す固体レーザ装置に対し、励起光源の構成及びこれに伴う励起系の構成を変えたものである。そこで、図７と同一部分には同一番号を付す。
【００１９】
本形態に係る固体レーザ装置は、スラブ型の固体レーザ媒質１と、この固体レーザ媒質１の長手方向の側面に励起光を照射する励起光源２２とを有し、励起光源２２で固体レーザ媒質１に励起光を照射してこの固体レーザ媒質１内でその軸方向を光軸とするレーザ発振を生起させるように構成したものである。
【００２０】
ここで、励起光源２２は、多数の半導体レーザ素子２２ａの集合体として構成するとともに、前記固体レーザ媒質１の励起面１ａが均一に励起されるよう、各半導体レーザ素子２２ａの各発光面２２ｂを所定の円弧上に配設してある。この円弧は、固体レーザ媒質１の軸を含む面に含まれる。この結果、励起光源２２の各半導体レーザ素子２２ａは、その各発光面２２ｂが、固体レーザ媒質１の軸を含む面に含まれる円弧に沿うように配設される。かかる円弧の曲率の決定に当たっては、固体レーザ媒質１の励起面１ａが均一に励起されるように解析的に最適なものを決定する。具体的には、例えば次のような手法による。
【００２１】
図７に示す従来技術における各半導体レーザ素子１２ａの配置の模式図は、図２（ａ）のようになる。同図中、ａはＺ軸方向の固体レーザ媒質１の励起長、ｂは各半導体レーザ素子１２ａをＺ軸方向に直線的に並べた場合のその長さ、ｈは固体レーザ媒質１と中央の半導体レーザ素子１２ａの発光面１２ｂとの間の距離である。また、前記励起長ａの垂直二等分線と前記長さｂの垂直二等分線とは同一直線上になるに配置している。この配置を踏まえて半導体レーザ素子１２ａを円弧状に配列する場合には円弧角として２θが適当である。すなわち、θは次式（１）で表される。
ｔａｎ　θ＝｛（ｂ１　−ａ１）／２　｝／ｈ
したがって、θ＝ａｒｃｔａｎ｛（ｂ１　−ａ１）／２ｈ｝
したがって、２　θ＝２　ａｒｃｔａｎ｛（ｂ１　−ａ１）／２ｈ｝　　　・・・・・（１）
となる。すなわち、図２（ｂ）に示すように、上式に基づき円弧角２　θを求め、この円弧角２　θを有する任意の円弧ｂ１　’上に図１に示す各半導体レーザ素子２２ａの発光面２２ｂが位置するように配置すれば良い。このことにより、全ての発光面２２ｂを当該円弧の中心点Ｏから等距離に位置させることができる。
【００２２】
一方、各半導体レーザ素子２２ａを配設すべき最適な円弧の曲率は、光学解析のソフトを用いた情報処理により決定することもできる。
【００２３】
導波手段２３は、各半導体レーザ２２ａが照射する励起光を、固体レーザ媒質１の励起面１ａに導くもので、例えば各半導体レーザ２２ａの発光面２２ｂと固体レーザ媒質１の励起面１ａとの間の空間を囲繞する反射板で形成してある。このとき反射板の反射面には反射率の入射角度依存性の低い金コートを施しても良い。導波手段２３は、他にシリンドリカルレンズを用いて構成することもできる。この場合には、固体レーザ媒質１の励起の波長（約８００ｎｍ）の透過効率の高い、合成石英、ＢＫ７等の光学ガラスを用い、その入出射面にはＡＲ（無反射）コートを施こすことも可能である。
【００２４】
また、固体レーザ媒質１の励起面１ａの近傍に配設した透透明部材の透過窓４には、合成石英、ＢＫ７等の光学ガラスが適用される。また、その励起光の入射面にＡＲ（無反射）コートを施した合成石英、ＢＫ７等の光学ガラスを適用することも可能である。
【００２５】
かかる本形態によれば、半導体レーザ素子２２ａを円弧状に配設したので、導波手段に対する励起光の入射角を小さくして戻り光を可及的に低減し得る。
【００２６】
＜第２の実施の形態＞
図３は本発明の第２の実施の形態に係る固体レーザ装置を示す構造図で、（ａ）はこれを正面から見た図、（ｂ）はこれを側面から見た図である。同図に示すように、本形態に係る固体レーザ装は、図１に示す固体レーザ装置に対し、励起光源３２の構成が異なる。すなわち、当該励起光源３２の各半導体レーザ素子２２ａは、これが照射する励起光の光軸方向を微調整できるよう各発光面２２ｂの方向を回動可能に構成してある。すなわち、図中のｚ軸回りに回動可能に構成してある。他の構成は、図１と全く同様であるので、図１と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
【００２７】
かかる本形態によれば、半導体レーザ素子２２ａの光軸方向を微調整することができ、組み立て誤差等を吸収して最適な方向に前記光軸が向くよう容易に調整し得、その分高密度励起を行うことができる。
【００２８】
＜第３の実施の形態＞
図４は本発明の第３の実施の形態に係る固体レーザ装置を示す構造図で、（ａ）はこれを側面から見た図、（ｂ）はこれを正面から見た図である。同図に示すように、本形態に係る固体レーザ装は、図１に示す固体レーザ装置に対し、励起光源を形成する半導体レーザ素子の配設方法を変えたものである。そこで、図１と同一部分には同一番号を付し重複する説明は省略する。
【００２９】
本形態における励起光源４２は、図１に示す第１の実施の形態と同様に、多数の半導体レーザ素子４２ａの集合体として構成するとともに、前記固体レーザ媒質１の励起面１ａが均一に励起されるよう、各半導体レーザ素子４２ａの各発光面４２ｂを所定の円弧上に配設してあるが、この円弧は、固体レーザ媒質１の軸に直交する軸を含む面に含まれる。すなわち、励起光源４２の各半導体レーザ素子４２ａは、その各発光面４２ｂが、固体レーザ媒質１の軸と直交する軸を含む面に含まれる円弧に沿うように配設されている。図１が固体レーザ媒質１の長手方向方向に沿う円弧であるのに対し、本形態に係る円弧は固体レーザ媒質１の幅方向に沿う円弧である点が異なる。
【００３０】
なお、上記円弧の最適曲率に決定に当たっては、図１に示す第１の実施の形態の場合の決定手法に準じて決定することができる。この場合、前式（１）におけるａ１　を、Ｙ軸方向の固体レーザ媒質１の長さ（幅）ａ２　、ｂ１　を、各半導体レーザ素子４２ａをＹ軸方向に直線的に並べた場合のその長さｂ２　とすれば良い。
【００３１】
また、本形態においても、光学解析のソフトを用いた情報処理により上記円弧の曲率を決定しても良い。
【００３２】
導波手段４３は、各半導体レーザ４２ａが照射する励起光を、固体レーザ媒質１の励起面１ａに導くもので、例えば各半導体レーザ４２ａの発光面４２ｂと固体レーザ媒質１の励起面１ａとの間の空間を囲繞する反射板で形成してある。このとき反射板の反射面には反射率の入射角度依存性の低い金コートを施しても良い。導波手段４３は、他にシリンドリカルレンズを用いて構成することもできる。この場合には、固体レーザ媒質１の励起の波長（約８００ｎｍ）の透過効率の高い、合成石英、ＢＫ７等の光学ガラスを用い、その入出射面にはＡＲ（無反射）コートを施こすことも可能である。
【００３３】
かかる本形態によれば、半導体レーザ素子４２ａを円弧状に配設したので、導波手段に対する励起光の入射角を小さくして戻り光を可及的に低減し得、その分高密度励起を行うことができる。さらに本形態では、固体レーザ媒質１の幅方向の温度分布を均一にすることができるので、この温度分布と比例関係にある固体レーザ媒質１の屈折率の分布も均一にすることができる。
【００３４】
＜第４の実施の形態＞
図５は本発明の第４の実施の形態に係る固体レーザ装置を示す構造図で、（ａ）はこれを正面から見た図、（ｂ）はこれを側面から見た図である。同図に示すように、本形態に係る固体レーザ装は、図１に示す固体レーザ装置に対し、励起光源５２の構成が異なる。すなわち、当該励起光源５２の各半導体レーザ素子４２ａは、これが照射する励起光の光軸方向を微調整できるよう各発光面４２ｂの方向を回動可能に構成してある。すなわち、図中のｙ軸回りに回動可能に構成してある。他の構成は、図１と全く同様であるので、図４と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
【００３５】
かかる本形態によれば、半導体レーザ素子４２ａの光軸方向を微調整することができ、組み立て誤差等を吸収して最適な方向に前記光軸が向よう容易に調整し得、その分高密度励起を行うことができる。
【００３６】
上記実施の形態では、励起光源２２、３２、４２、５２を構成する半導体レーザ素子２２ａ、４２ａを配設する円弧は、固体レーザ媒質１の長手方向又は幅方向の何れか一方に沿うものとしたが、両方向に沿うもの、すなわち固体レーザ媒質１の軸を含む面に含まれる円弧と、前記軸と直行する軸を含む面に含まれる円弧とを含む球面に沿うように配設しても良い。この場合には、第１及び第３の実施の形態、又は第２及び第４の実施の形態の作用・効果を兼備するものとなる。
【００３７】
【発明の効果】
以上実施の形態とともに詳細に説明した通り、〔請求項１〕に記載する発明は、固体レーザ媒質と、この固体レーザ媒質から隔離して配設するとともに、この固体レーザ媒質の長手方向の側面に励起光を照射する励起光源とを有し、この励起光源で前記固体レーザ媒質に励起光を照射して前記固体レーザ媒質内でその軸方向を光軸とするレーザ発振を生起させるように構成した固体レーザ装置において、前記励起光源を多数の半導体レーザ素子の集合体として構成するとともに、前記固体レーザ媒質の励起面が均一に励起されるよう、各半導体レーザ素子の発光面を円弧上に配設するとともに、各半導体レーザが照射する励起光を、前記固体レーザ媒質の励起面に導く導波手段を前記励起光源と前記固体レーザ媒質との間に配設して構成したので、
半導体レーザ素子から照射する励起光の導波手段に対する入射角を小さくして戻り光を可及的に低減し得る。この結果、高密度励起を行うことができるという効果を得ることができ、装置の小型化等に資することができる。
【００３８】
〔請求項２〕に記載する発明は、〔請求項１〕に記載する固体レーザ装置において、励起光源の各半導体レーザ素子は、その各発光面が、固体レーザ媒質の軸を含む面に含まれる円弧に沿うように配設したものであるので、
固体レーザ媒質の軸方向において、高密度励起を行うことができるという効果を奏する。
【００３９】
〔請求項３〕に記載する発明は、〔請求項１〕に記載する固体レーザ装置において、励起光源の各半導体レーザ素子は、その各発光面が、固体レーザ媒質の軸と直行する軸を含む面に含まれる円弧に沿うように配設したものであるので、
固体レーザ媒質の幅方向において、高密度励起を行うことができるという効果を奏する。さらに固体レーザ媒質の幅方向の温度分布を均一にすることができるので、この温度分布と比例関係にある固体レーザ媒質の屈折率の分布も均一にすることができる。この結果、光質の良い発振レーザ光を得ることができるという効果も奏する。
【００４０】
〔請求項４〕に記載する発明は、〔請求項１〕に記載する固体レーザ装置において、励起光源の各半導体レーザ素子は、その各発光面が、固体レーザ媒質の軸を含む面に含まれる円弧と、前記固体レーザ媒質の軸と直行する軸を含む面に含まれる円弧とを含む球面に沿うように配設したものであるので、
半導体レーザ素子の光軸方向を微調整することができ、組み立て誤差等を吸収して最適な方向に前記光軸が向くよう容易に調整し得、その分高密度励起を行うことができるという効果も奏する。
【００４１】
〔請求項５〕に記載する発明は、〔請求項１〕乃至〔請求項４〕の何れか一つに記載する固体レーザ装置において、各半導体レーザ素子は、これが照射する励起光の光軸方向を微調整できるよう各発光面の方向を回動可能に構成したので、〔請求項１〕乃至〔請求項４〕の作用・効果を兼備するものとなる。すなわち、高密度励起を行うと同時に、発振レーザ光の光質の向上も実現し得る。
【００４２】
〔請求項６〕に記載する発明は、〔請求項１〕乃至〔請求項５〕の何れか一つに記載する固体レーザ装置において、各半導体レーザ素子の発光面が位置する円弧は、その円弧角２　θが、
２　θ＝２　ａｒｃｔａｎ｛（ｂ１　−ａ１）／２ｈ｝又は　２θ＝２　ａｒｃｔａｎ｛（ｂ２　−ａ２）／２ｈ｝
（ここで、ａ１　は固体レーザ媒質の励起長、ａ２　はこれと直交する方向の長さ、ｂ１　は各半導体レーザ素子を前記固体レーザ媒質の励起長方向の長さ、ｂ２　はこれと直交する方向に直線的に並べた場合のその長さ、ｈは固体レーザ媒質と中央の半導体レーザ素子の発光面との間の距離である。）
となるようにしたものであるので、
半導体レーザ素子の発光面を最も効率の良い円弧上に占位させる場合のこの円弧を具体的に特定し得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る固体レーザ装置を示す構造図で、（ａ）はこれを正面から見た図、（ｂ）はこれを側面から見た図である。
【図２】図１に示す実施の形態における半導体レーザ素子の発光面が占位する最適な円弧の決定手法を説明するための説明図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る固体レーザ装置を示す構造図で、（ａ）はこれを正面から見た図、（ｂ）はこれを側面から見た図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態に係る固体レーザ装置を示す構造図で、（ａ）はこれを側面から見た図、（ｂ）はこれを正面から見た図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る固体レーザ装置を示す構造図で、（ａ）はこれを側面から見た図、（ｂ）はこれを正面から見た図である。
【図６】従来技術に係る半導体レーザ励起−Ｎｄ：ＹＡＧレーザ装置を示す構造図で、（ａ）はこれを正面から見た図、（ｂ）はこれを側面から見た図である。
【図７】従来技術に係る半導体レーザ励起−固体レーザ装置を示す構造図で、（ａ）はこれを正面から見た図、（ｂ）はこれを側面から見た図である。
【符号の説明】
１　　　　固体レーザ媒質
２２、３２、４２、５２　　　　励起光源
２２ａ、４２ａ　　　　　半導体レーザ素子
２２ｂ、４２ｂ　　　　　発光面
２３、４３　　　　導波手段
【図１】
2004095713.tif 000003
【図２】
2004095713.tif 000004
【図３】
2004095713.tif 000005
【図４】
2004095713.tif 000006
【図５】
2004095713.tif 000007
【図６】
2004095713.tif 000008
【図７】
2004095713.tif 000009