(57)【要約】【課題】蛍光層を構成する蛍光体粒子間の電気的伝導が良好なアノード基板を有し、蛍光体の表面に蓄積された電荷を除去するための導電層が簡単な方法によって形成された平板ディスプレイ装置を提供する。【解決手段】第１基板と、この第１基板上に形成される電子放出部と、前記第１基板と任意の間隔をおいて配置されて前記第１基板と共に真空容器を形成する第２基板及び前記第２基板上に形成されて前記電子放出部から放出された電子によって発光する発光部を有し、前記発光部が、前記第１基板と対向する前記第２基板の一面に形成されるアノード電極と、前記アノード電極上に任意のパターンで形成される蛍光層及びカーボン系物質からなり、前記蛍光層の表面に形成される導電層を含むようにして形成される。【選択図】    図２
2004228066.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、
この第１基板上に形成される電子放出部と、
前記第１基板と間隔をおいて配置され、前記第１基板と共働して真空容器を形成する第２基板と、
前記第２基板上に形成されて前記電子放出部から放出された電子によって発光する発光部とを含み、
前記発光部が、
前記第１基板と対向する前記第２基板の一方の面に形成されるアノード電極と、
前記アノード電極上に任意のパターンを有して形成される蛍光層と、
カーボン系物質を主成分として前記蛍光層の表面に形成される導電層とを含む平板ディスプレイ装置。
【請求項２】
前記カーボン系物質がカーボンナノチューブからなる、請求項１に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項３】
前記導電層が電気泳動法によって形成された、請求項１に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項４】
前記アノード電極がストライプパターンを有して前記第２基板上に任意の間隔をおいて複数配置される、請求項１に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項５】
前記アノード電極間にこのアノード電極とは接触しないブラックマトリックスが形成されている、請求項４に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項６】
前記アノード電極間にこのアノード電極と接触するブラックマトリックスが形成されている、請求項４に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項７】
前記ブラックマトリックスが導電性を有し、前記導電層が前記ブラックマトリックスに接触する、請求項５に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項８】
前記ブラックマトリックスが導電性を有し、前記導電層が前記ブラックマトリックスに接触する、請求項６に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項９】
前記アノード電極がＩＴＯからなる、請求項１に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１０】
前記アノード電極が、
第２基板上の全面に形成される、請求項１に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１１】
前記電子放出部は、
前記第２基板と対向する第１基板の一方の面に形成されるカソード電極と、
このカソード電極上に形成される絶縁層と、
前記絶縁層上に形成されるゲート電極と、
前記カソード電極上面からゲート電極上面までを貫通する孔内の前記カソード電極上面に形成される電子放出源とを含む、請求項１に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１２】
前記電子放出源が、炭素ナノチューブ、Ｃ６０、ダイアモンド、ＤＬＣ、グラファイトのうちのいずれか一つまたはこれらの組み合わせからなる、請求項１１に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１３】
前記電子放出源が平坦な形態で形成される、請求項１２に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１４】
前記電子放出部は、
前記第２基板と対向する第１基板の一方の面に形成されるゲート電極と、
このゲート電極上に形成される絶縁層と、
前記絶縁層上に形成されるカソード電極と、
前記カソード電極上に形成される電子放出源とを含む、請求項１に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１５】
前記電子放出源が、炭素ナノチューブ、Ｃ６０、ダイアモンド、ＤＬＣ、グラファイトのうちのいずれか一つまたはこれらの組み合わせからなる、請求項１４に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１６】
前記電子放出源が平坦な形態で形成される、請求項１５に記載の平板ディスプレイ装置。
【請求項１７】
基板上にアノード電極を形成し、
前記アノード電極上に蛍光層を形成し、
炭素系物質が分散された溶液を用意し、
前記溶液内に前記蛍光層が形成された基板を設置して電気泳動法で前記蛍光層の表面に前記炭素系物質を沈着させ、
前記炭素系物質が沈着された前記基板を洗浄し、そして
前記基板を乾燥させる段階を含む平板ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項１８】
前記炭素系物質が炭素ナノチューブからなる、請求項１７に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項１９】
前記溶液を超音波処理する段階をさらに含む、請求項１７に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項２０】
前記平板ディスプレイ装置が電界放出表示装置である、請求項１７に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
【請求項２１】
長さ５μｍ以下のカーボンナノチューブを選別採集する段階と、
透明基板上に透明電極を形成する段階と、
透明電極上に蛍光体粒子を電気泳動法により沈着させて蛍光層を形成する段階と、
蛍光層上に前記選別採集されたカーボンナノチューブを電気泳動法により前記蛍光層に沈着させる段階と、
前記カーボンナノチューブを沈着させた蛍光層の表面を洗浄する段階と、
を含むアノード基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は平板ディスプレイ装置に関し、より詳しくは電界放出表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に平板ディスプレイ装置は、電子を放出できるカソード部と前記電子によって発光するアノード部をそれぞれ配置した第１及び第２の基板を用いて任意の画像を実現することができるように構成される。
【０００３】
このような平板ディスプレイ装置の一つである電界放出表示装置（ＦＥＤ、ＦｉｅｌｄＥｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）もやはり、２枚の基板のうちの一つの基板であるカソード基板上に電子放出源である冷陰極電子源を配置し、他の基板であるアノード基板上には電子ビームの打撃によって励起され、各種の色を実現する蛍光層を配置して構成される。
【０００４】
前記構成によって電界放出表示装置は、前記電子放出源から放出された電子によって前記蛍光層が発光して種々の画像を実現するが、この時、前記蛍光層を構成する蛍光体は通常非電導性粒子からなるので前記電界放出表示装置の作用時、前記蛍光層が発光する過程で前記蛍光体の表面に電荷が蓄積される確率が高い。
【０００５】
これにより、従来の電界放出表示装置では前記蓄積電荷に影響されて電子ビームが蛍光層に到達する過程に問題（任意の蛍光体を電子ビームで走査する時、この電子ビームが前記蛍光体に的確に到達できないように、蛍光体に蓄積された電荷が妨害をすること）が発生し、その結果、所望の輝度特性を得ることが難しかった。
【０００６】
又、それだけでなく、不安定な状態の前記蓄積電荷は、瞬間的な放電現象を起こしてディスプレイ駆動時にアーク放電の原因になることがあった。
【０００７】
また、前記電界放出表示装置をはじめとしたディスプレイ装置が所望の輝度を得るためには一定量の電子を必要とするが、前記のように蛍光層の表面に電子が蓄積されれば、この蓄積された電荷分の電荷量を有する電子ビームを走査しなければならないが、この場合には前記電子ビームの走査のために必要な印加電圧を高くしなければならないという問題点がある。
【０００８】
このような問題点を解決するために、従来から提案されている電界放出表示装置は、蛍光層の表面に導電層をコーティングしてこの導電層によって蓄積電荷を放出させ、電子ビームによる蛍光体の発光効率を高め、それに基づいて輝度向上を図るようにする努力をしている。
【０００９】
これと関連した先行技術としては、米国特許５，５９３，５６２及び５，８３０，５２７に開示された電界放出ディスプレイ装置用アノード基板の製造方法（共に米國  Ｔｅｘａｓ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ  社）がある。
【００１０】
前記米国特許では、透明なアノード電極の上に電気泳動法で形成される蛍光体の粒子間に導電性物質（例えば、アルミニウム金属膜）が形成されるようにし、導電性物質によって蛍光体表面に蓄積された電荷を除去する技術を提供している。
【００１１】
前記米国特許に開示された導電性物質の最終加工は、アノード電極上に蛍光体を形成し、この蛍光体上に導電性物質を形成した後、スパッタリング、エッチングまたはイオンミリングのような除去方法で蛍光体の一部分（蛍光体の粒子表面に形成される不活性表面層）及びこの蛍光体に塗布された導電性物質の一部分を除去することによってなされる。
【００１２】
しかし、前記のように導電性物質を蛍光体上に塗布してこれを部分的に除去する時には、その除去作業に対する制御が容易ではないために最終的に蛍光体の粒子間に導電性物質を良好な状態で残すことが難しいというのが現実である。
【００１３】
したがって、前記米国特許によって製造された導電性物質は蛍光体と蛍光体を互いに導電的に連結するのが実質的に難しくなって、前記蛍光体表面に蓄積された電荷を除去する役割を果たすのが困難となる。
【００１４】
さらに、前記米国特許の開示に従えば、導電性物質を蛍光体上に塗布する時、高価な装備を使用しなければならず、電界放出表示装置の製造費が上昇する一つの原因となる。
【００１５】
それ以外にも、前記のように蛍光体表面に金属膜をコーティングして輝度を向上させようとする場合には、当該装置を低電圧（アノード電極に印加される電圧が数ｋＶである場合を言う）で駆動し、電子放出源から放出された電子が所望の蛍光体に到達する時、蛍光体上に形成されている金属膜を通過して効率よく蛍光体を発光させるのが難しい。もちろん、この場合でも、アノード電圧を高めれば電子が金属膜を透過して蛍光体を発光させることができるが、この時には消費電力が増加する新たな問題が生じる。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明は前記のような問題点を勘案して案出されたものであって、本発明の目的は、平板ディスプレイ装置に用いるアノード基板の蛍光層を構成する蛍光体粒子間の電気的伝導を良好にすると共に良好な発光効率を維持できるアノード基板製造方法と、この方法により製造されたアノード基板及び、このアノード基板用いた平板ディスプレイ装置を提供することにある。
【００１７】
本発明の他の目的は、蛍光体の表面に蓄積された電荷を除去するための導電層が簡単な方法によって形成された平板ディスプレイ装置を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
これに本発明による電界放出表示装置は、第１基板と、この第１基板上に形成される電子放出部と、前記第１基板と任意の間隔をおいて配置されて前記第１基板と共に真空容器を形成する第２基板と、前記第２基板上に形成されて前記電子放出部から放出された電子によって発光する発光部を有し、前記発光部が、前記第１基板と対向する前記第２基板の一面に形成されるアノード電極と、前記アノード電極上に任意のパターンを有して形成される蛍光層及びカーボン系物質からなって前記蛍光層の表面に形成される導電層を含むようにして形成される。
【００１９】
前記で導電層はカーボンナノチューブからなるのが好ましく、この導電層は電気泳動法によって形成されるのが好ましい。
【００２０】
また、前記でアノード電極はストライプパターンを有して前記第２基板上に任意の間隔をおいて複数配置され、このアノード電極の間にはこのアノード電極と非接触されるブラックマトリックスが形成され得る。一方、前記ブラックマトリックスは、前記アノード電極の間にこのアノード電極と接触されるように形成されることもできる。この時、前記ブラックマトリックスは電導性を有し、前記導電層は前記ブラックマトリックスに接触される。
【００２１】
また、前記でアノード電極はまるごと全面電極で前記第２基板上に配置され、前記アノード電極上に蛍光層及びブラックマトリックスが形成されることができるが、この時、この蛍光層とブラックマトリックスは前述したように接触、非接触形態で形成されることが全て可能である。
【００２２】
本発明において、前記平板ディスプレイ装置は、前記電子放出部を、前記第２基板と対向する第１基板の一面に形成されるカソード電極と、このカソード電極上に形成される絶縁層と、前記絶縁層上に形成されるゲート電極及び前記カソード電極とゲート電極を貫通する孔内に配置されながら前記カソード電極上に形成される電子放出源を含んで形成している電界放出表示装置で構成することができる。
【００２３】
この時、前記電子放出部は、前記第２基板と対向する第１基板の一面に形成されるゲート電極と、このゲート電極上に形成される絶縁層と、前記絶縁層上に形成されるカソード電極及び前記カソード電極上に形成される電子放出源を含んで形成することができる。
【００２４】
このような電子放出部において、前記電子放出源は炭素ナノチューブ、Ｃ６０（Ｆｕｌｌｅｒｅｎ）、ダイアモンド、ＤＬＣ（ｄｉａｍｏｎｄ  ｌｉｋｅ  ｃａｒｂｏｎ、ダイアモンド状カーボン）、グラファイトのうちのいずれか一つまたはこれらの組み合わせからなることができ、その形状は平坦である。一方、前記電子放出源はモリブデンのような金属材質で円錘形の形状で形成され得る。
【００２５】
また、本発明による平板ディスプレイ装置の製造方法は、基板上にアノード電極を形成し、前記アノード電極上に蛍光層を形成し、炭素系物質が分散された溶液を用意し、前記溶液内に前記蛍光層が形成された基板を設置して電気泳動法で前記蛍光層の表面に前記炭素系物質を沈着させ、前記炭素系物質が沈着された前記基板を洗浄し、そして前記基板を乾燥させる段階を含む。また、更に好ましい製造方法は、長さ５μｍ以下のカーボンナノチューブを選別採集する段階と、絶縁基板上に透明電極を形成する段階と、透明電極上に蛍光体粒子を電気泳動法により沈着させて蛍光層を形成する段階と、蛍光層上に前記選別採集されたカーボンナノチューブを電気泳動法により前記蛍光層に沈着させる段階と、前記カーボンナノチューブを沈着させた蛍光層の表面を洗浄する段階と、を含んで製造されたアノード基板を用いて平板ディスプレイ装置を製造する段階を含む。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を明確にするための好ましい実施例を添付した図面を参照してより詳細に説明する。
【００２７】
図１は本発明の実施例による平板ディスプレイ装置を示した断面図であって、本実施例では電界放出表示装置を平板ディスプレイ装置の例としているが、本発明がこの電界放出表示装置に限られるわけではない。
【００２８】
図示のように、電界放出表示装置は任意のサイズを有する第１基板（またはカソード基板）２と第２基板（またはアノード基板）４を内部空間部が形成されるように所定の間隔をおいて実質的に平行に配置し、これらを互いに結合させて装置の外観である真空容器６を形成している。
【００２９】
真空容器６内では、第１基板２上に構成された電子放出部と、第２基板４上に構成された発光部とが形成され、電子放出部から放出された電子によって発光し所定のイメージを実現することができる。その構成例を以下に記す。
【００３０】
図１に示すように、電子放出部の構成要素には、第１基板２上に形成されるカソード電極８、カソード電極８上に形成される絶縁層１０、絶縁層１０上に形成されるゲート電極１２、絶縁層１０及びゲート電極１２を貫通して形成された孔１０ａ（絶縁層部分）及び孔１２ａ（ゲート電極部分）並びに孔１０ａ内のカソード電極８上に配置形成される電子放出源１４が含まれる。
【００３１】
ここでカソード電極８は所定のパターン、たとえば、ストライプ形状であって、第１基板２上に形成され、絶縁層１０はカソード電極８を覆いながら第１基板２上に全体的に形成された後パターニングされる。
【００３２】
また、絶縁層１０上には、絶縁層１０の貫通孔１０ａに連続する貫通孔１２ａを有するゲート電極１２が複数形成されるが、このゲート電極１２はカソード電極８と直交する方向に任意の間隔をおいてストライプ形状を維持して形成される。
【００３３】
ここで、電子放出源１４は孔１０ａ、１２ａ内のカソード電極８上に平坦な形状で形成され、その材質は炭素系物質、つまり、炭素ナノチューブ、Ｃ６０、ダイアモンド、ＤＬＣ、グラファイトのうちのいずれか一つまたはこれらの組み合わせから選択されるが、本実施例では炭素ナノチューブを用いる。
【００３４】
もちろん、電子放出源の材質や形状は前記の例に限定されるものではなく、他の例としてモリブデンのような金属材質の円錘形に形成できる。つまり、本発明においては、電子放出源１４の材質や形状を特定する必要はない。
【００３５】
前記のように構成される電子放出部は、真空容器６の外部からカソード電極８及びゲート電極１２に各々印加される電圧によってカソード電極８とゲート電極１２の間に好ましい電界分布を形成し、これによって電子放出源１４から電子を放出する。
【００３６】
一方、発光部の構成要素には、第２基板４の一方の面（第１基板と対向する面）に形成されるアノード電極１６、アノード電極１６上に形成されるＲ、Ｇ、Ｂ蛍光層１８及び蛍光層１８上に形成される導電層２０が含まれている。
【００３７】
アノード電極１６はＩＴＯ（インジウム錫複合酸化物）のような透明な材質からなり、カソード電極８の長さ方向と平行に長く配置されるストライプパターンを維持して、第２基板４上に任意の間隔をおいて複数形成され、蛍光層１８は  アノード電極１６上に電気泳動法などの製造方法によって形成される。
【００３８】
また、蛍光層１８の表面付近に形成される導電層２０は、蛍光層１８の蛍光体粒子の間に電気的流れを誘導し、電界放出表示装置を作用する時、蛍光層１８上に電荷が容易に蓄積されることを防止するが、本発明で導電層２０はカーボン系物質で形成される。
【００３９】
一例として、導電層２０は図２からさらに分かるように、蛍光層１８の蛍光体各表面上に沈着されるカーボンナノチューブで形成してもよい。
【００４０】
この導電層２０の製造は、本発明における電気泳動法で行うことができるが、以下に導電層２０の製造方法について説明する。
【００４１】
まず、第２基板４上にアノード電極１６と蛍光層１８が以前の工程によって製造完了されれば、第２基板４は図３に示したように、カーボンナノチューブが分散された溶液が収容されている容器３０内の溶液に浸漬されて設置される。
【００４２】
容器３０内に収容された溶液は、有機溶媒または純水に金属塩及び分散剤とともに、未精製または精製されたカーボンナノチューブを分散させて作られたものであって、  カーボンナノチューブの分散状態を良くするために別途の超音波容器内に収容するか、超音波振動体を容器３０内の溶液に浸漬して、一定時間超音波処理し均一に分散させるのが好ましい。
【００４３】
第２基板４が容器３０内に設置される時、この第２基板４は外部電源３２と電気的に連結された電極板３４と一定の間隔をおき、第２基板４に予め形成されたアノード電極１６は電源３２と電気的に接続される。
【００４４】
このような状態で電極板３４とアノード電極１６に電源３２から任意に調整されたバイアス電圧が１秒〜数分間印加されると、この時、前記溶液内に分散されたカーボンナノチューブが第２基板４側に集まって蛍光層１８の蛍光体表面につき、この過程が終われば第２基板４を容器３０の外に取り出して有機溶媒または純水による洗浄及び乾燥工程を経て、導電層２０の製造を完成することができる。
【００４５】
参考として、導電層２０の製造過程中、前記溶液内に分散されるカーボンナノチューブが精製される時、このカーボンナノチューブは長さを、平均的な蛍光体粒子径である５μｍ以下に制限することが好ましく、前記溶液内に含まれる分散剤は前記溶液内に分散される初期にカーボンナノチューブ粒子の凝集を誘発することがあるので、これを防止するために希釈処理して極少量添加するか、全く添加しないのが好ましい。
【００４６】
このようにして電子放出部と発光部をそれぞれ形成した第１基板２と第２基板４は、電子放出部と発光部が互いに対向するように任意の間隔をおいて配置、位置合わせされ、その周囲に塗布されるシーリング物質（接合部材：図示せず）によって接合されて一体となる。この時、両基板２、４の間の非画素領域には両基板間の間隔を維持させるためのスペーサ２２が配置される。
【００４７】
前記のように構成される電界発光表示装置は、炭素ナノチューブからなる導電層２０を有しない従来の電界発光表示装置に比べて優れた蛍光層の蓄積電荷除去及び輝度特性を有するが、図４はこれに関するＩ−Ｖグラフである。
【００４８】
つまり、図４に示す実験結果から、本発明の実施例による電界放出表示装置は従来の電界放出表示装置（比較例）に比べて同じ電場の強さで高い電流密度値を示していることが分かる。このような結果は本実施例の電界放出表示装置が、その動作時に、電子放出源１４から放出された電子で蛍光層１８を走査し、これを打撃する時、電子が蛍光層１８の表面に一時的に留まるとしても、まもなく導電層２０に沿って流れ出て、電荷量を減らすように真空容器６外に抜け出たであろうことを意味する。一方、前記結果は、電子が蛍光層１８を打撃し、これの発光程度を高めることができることを意味しており、本発明の発明者らが実質的に実施例に対する輝度を測定した結果、その値が比較例に比べて７％程度向上したことが分かった。
【００４９】
実施例の電界放出表示装置は、電気泳動法によって第２基板４上に蛍光層１８を形成した後、精製されたカーボンナノチューブ（０．５ｇ）と金属塩（例：Ｍｇの塩）を純水（２ｌ）に分散させて溶液を組成し（ここでこの溶液は前記カーボンナノチューブの分散程度を向上させるために大略６０分程度超音波処理した）、この溶液内に第２基板４を浸漬した後、電源３２を通じて２０Ｖに調整されたバイアス電圧を電極板３４及びアノード電極１６に２０秒間印加し、前記溶液内に分散されたカーボンナノチューブを蛍光層１８に沈着させ、第２基板４を前記溶液から取り出して、乾燥しない間に、直ちに１０秒間洗浄し、１００℃の温度雰囲気で６０分間乾燥させて導電層２０を形成した。
【００５０】
これに反し比較例の電界放出表示装置は、本実施例と同じ条件で形成しており、単に本実施例の導電層を有しない点のみ異なる電界放出表示装置である。
【００５１】
一方、本発明による電界放出表示装置では、第２基板４上の蛍光層１８のパターン間に製品のコントラスト向上のために図５及び図６に示したようにブラックマトリックス２４を形成することができる。
【００５２】
この時、ブラックマトリックス２４は電導性のある材質からなり、その形状は図５に示すように、  隣接するアノード電極１６の間にこのアノード電極１６とは接触しないように配置されながら、導電層２０とは接触するように形成してもよく、  一方、図６に示したように、  アノード電極１６の間にこのアノード電極１６と接触される形態でも形成してもよい。もちろん、この時にもこのブラックマトリックス２４は導電層２０と接触される。
【００５３】
前記の場合において、ブラックマトリックス２４が前記アノード電極１６と非接触の形態で形成される場合には、当該ディスプレイ装置をアノード駆動方式で駆動することが可能であり、また、蛍光層１８の形成を電気泳動法以外にもスラリー、スクリーン印刷法など様々な方法で実施することが可能である。
【００５４】
これに反し、ブラックマトリックス２４がアノード電極１６と接触する形態で形成される場合には、蛍光層１８の形成に限定（この場合には電気泳動法の使用が不可能である）がつくが、前記ブラックマトリックス２４が有する通電効果を極大化させることができる効果が発生する。
【００５５】
【発明の効果】
このように本発明による平板ディスプレイ装置は、蛍光層上に形成される導電層の改善によって、電子放出部から放出された電子が前記蛍光層を打撃する時、蛍光層の表面に電荷が蓄積されず、これらが真空容器の外部に伝導される程度を向上させることができる。
【００５６】
以上の結果により本発明の平板ディスプレイ装置は、製品の輝度向上はもちろん、蛍光膜の寿命向上に伴って、製品としても延命する効果を期待できる。
【００５７】
また、本発明の平板ディスプレイ装置は、低電圧駆動時にも蛍光層表面に蓄積される電荷を効果的に除去できるので、従来技術では蛍光層表面に蓄積された電荷により惹起されたアーク放電をも、本発明により未然に防止することができる。
【００５８】
さらに、本発明における導電層がカーボンナノチューブからなる場合、このカーボンナノチューブの固有特性によって、カーボンナノチューブが真空容器内に生成される不純ガス（Ｏ２、ＣＯ２、Ｎ２など）を吸着し、装置の真空度向上の利点がある。
【００５９】
さらに、本発明では比較的に製造工程が簡単な電気泳動法を使用して前記導電層を形成するので、製造工程の単純化による製造費節減の効果もある。
【００６０】
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、、本発明はこれに限定されず、特許請求の範囲と発明の詳細な説明及び添付した図面の範囲内で多様に変形して実施することが可能であり、これもまた本発明の範囲に属するのは当然のことである。
【００６１】
たとえば、本発明における前記電子放出部は図７に示したように、電子放出部を構成するカソード電極、絶縁層ゲート電極及び電子放出源の積層配列を異ならせて構成することができる。つまり、第１基板２上にゲート電極１２が先に形成され、このゲート電極１２上に絶縁層１０が形成された後、再びこの絶縁層１０上にカソード電極８が形成されて、このカソード電極８上に電子放出源１４が配置されることによって前記電子放出部が構成される。ここで、前記ゲート電極１２とカソード電極８の形状（ストライプパターン）及び配列関係（直交状態）は前述した例のように構成することができ、前記電子放出源１４も同じ材質からなることができる。
【００６２】
それだけでなく、本発明における前記アノード電極は前述したようにストライプパターンを維持することに限定されず、図８に示したように前記第２基板４の一面全体に形成される全面電極からなることができる。もちろん、この場合のアノード電極１６上に形成される蛍光層１８、導電層２０及びブラックマトリックス（図示せず）は前述した例のように適用できるのは当然のことである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例による平板ディスプレイ装置を示した部分断面図である。
【図２】本発明の実施例による平板ディスプレイ装置のアノード基板を示した部分断面図である。
【図３】本発明の実施例による導電層の製造方法を説明するために示した概略図である。
【図４】本発明の本発明の実施例と比較例を比較説明するために示したＩ−Ｖグラフである。
【図５】本発明の変形例による平板ディスプレイ装置のアノード基板を示した部分断面図である。
【図６】本発明の変形例による平板ディスプレイ装置のアノード基板を示した部分断面図である。
【図７】本発明の他の実施例による平板ディスプレイ装置を示した断面図である。
【図８】本発明の他の実施例による平板ディスプレイ装置のアノード電極を説明するために示した斜視図である。
【符号の説明】
２  第１基板
４  第２基板
６  真空容器
８  カソード電極
１０  絶縁層
１０ａ、１２ａ  孔
１２  ゲート電極
１４  電子放出源
１６  アノード電極
１８  Ｒ，Ｇ，Ｂ蛍光層
２０  導電層
３０  電気泳動用容器
３２  外部電源
３４  電極板
【図１】
2004228066.tif 000003
【図２】
2004228066.tif 000004
【図３】
2004228066.tif 000005
【図４】
2004228066.tif 000006
【図５】
2004228066.tif 000007
【図６】
2004228066.tif 000008
【図７】
2004228066.tif 000009
【図８】
2004228066.tif 000010