(57)【要約】【課題】簡単な機構で内部の気密保持能力が優れ、大型化とともに軽量化を図りやすく、低コストで高クリーン度の状態を保ってキャリアを搬送する。【解決手段】キャリアボックスは、扉４の閉状態でボックス本体２の内部を清浄度の高い気密状態に保持するように形成され、キャリアを収容した状態で、清浄度の低い一般環境を挟んで設けられた複数のクリーンルーム間で搬送されるようになっている。扉４には、ボックス本体２と扉４との間をシールする弾性を有するパッキンゴム部２１と、ラバーマグネット２２とを備えるマグネットパッキン２０が取付けられている。ラバーマグネット２２はパッキンゴム部２１内に埋め込まれている。ボックス本体２にはラバーマグネット２２と対向する位置に鉄板２７が設けられている。パッキンゴム部２１と、ラバーマグネット２２とは扉４に対して垂直方向で重なるように配置されている。【選択図】　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
扉の閉状態でボックス本体の内部を清浄度の高い気密状態に保持し、キャリアを収容した状態で、清浄度の低い一般環境を挟んで設けられた複数のクリーンルーム間で搬送されるキャリアボックスであって、
前記ボックス本体及び前記扉の少なくとも一方に、前記ボックス本体と前記扉との間をシールする弾性を有するシール部材を設け、前記ボックス本体及び前記扉の一方にマグネットを設けるとともに、他方には前記マグネットと対向する位置に磁性体又はマグネットからなる吸着部材を設け、前記扉に対して垂直方向で前記シール部材と、前記マグネット又は前記吸着部材とが重なるように配置したキャリアボックス。
【請求項２】
前記シール部材の内部には空洞が設けられている請求項１に記載のキャリアボックス。
【請求項３】
前記扉の閉状態で前記扉を前記ボックス本体側に押圧するクランプが備えられている請求項１又は請求項２に記載のキャリアボックス。
【請求項４】
前記扉と前記ボックス本体とには、前記扉の閉動作をガイドする扉ガイドが設けられ、前記扉の前記扉ガイドと、前記ボックス本体の前記扉ガイドとには、前記ボックス本体に対して垂れ下がった前記扉をずり上げて、前記ボックス本体の所定位置に前記扉を位置決めするために互いに摺動される案内面と、前記ボックス本体側の前記扉ガイドの上に前記扉側の前記扉ガイドが載った状態で保持する保持部とが備えられている請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のキャリアボックス。
【請求項５】
前記ボックス本体は、前記ボックス本体内に収容された前記キャリアが手動台車のフォークにより搬入及び搬出可能に形成されている請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のキャリアボックス。
【請求項６】
前記ボックス本体には、前記キャリアをその下方に隙間が存在する状態で支承するキャリア受けが設けられ、前記ボックス本体及び前記キャリア受けは、前記キャリアを前記フォークの昇降動作によって搬入又は搬出する際に、前記フォークを下げたときに、前記フォークと前記ボックス本体の底部との間に所定の大きさの隙間が存在し、前記フォークを上げたときに、前記キャリアと前記ボックス本体の天井部との間に所定の大きさの隙間が存在する寸法に形成されている請求項５に記載のキャリアボックス。
【請求項７】
前記キャリアボックスの下面には、保護部材が取り外し可能に設けられている請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載のキャリアボックス。
【請求項８】
前記ボックス本体は、その下部に、搬送用の棒状の治具を挿入可能に形成されている請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載のキャリアボックス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、キャリアボックスに関する。詳しくは清浄度の低い一般環境を挟んで設けられた複数のクリーンルーム間で搬送される例えば液晶用ガラス基板を収容したキャリアを収容し、清浄度の高い気密状態に保持するのに好適なキャリアボックスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶装置や半導体装置を製造する場合、全ての作業がクリーンルーム内で行われる。しかし、工場における製造工程の増設を図る際に、製造工程を複数の離れた室に分けざるを得ない場合がある。その際、各室をクリーンルームと同じ清浄度の通路で連結すれば問題はない。しかし、両室の距離が離れている場合、通路全体をクリーンルームと同じ清浄度に保つには、増設のコストが大きくなる。そこで、清浄環境下で取り扱われるべき搬送対象物をあるクリーンルームから他のクリーンルームに、一般環境を通過して運ぶことが要求される。この際、搬送途中のクリーンルーム外でもキャリアの環境をクリーンに保持可能な、キャリア搬送用の密閉容器（キャリアボックス）が必要になる（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１に開示された保管庫は、扉においてヒンジから遠い側の端部に磁性材が取付けられ、扉と保管庫本体の開口部との間をシールするパッキンは、扉において磁性材とヒンジとの間に取付けられている。保管庫本体には、扉の前記磁性材と対向する箇所に永久磁石が取付けられている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平７−１５３８２６号公報（［００１２］〜［００１４］、図１）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、特許文献１に開示された保管庫では、扉の磁性材が取付けられた箇所にはパッキンが取付けられず、パッキンがヒンジ側に取付けられているため、保管庫本体の開口部は、扉のヒンジから遠い側の端部と対向する箇所まで形成できず、開口部が小さくなるという問題がある。特に、近年、液晶基板の製造に使用するガラス基板が大型化しており、四角形状のガラス基板の一辺が１ｍのものもあってガラス基板を収納するキャリアも大型化しているが、特許文献１の保管庫では、保管庫本体を大型化しても、その開口部を大きくしにくいという問題がある。
【０００６】
また、キャリアボックスは、大型化しても、運搬しやすいように軽量化が必要であるが、大型化とともに軽量化するとフレームが華奢になって変形しやすくなり、ボックス本体への扉の密着性が弱くなるという問題がある。キャリアボックスはこれらの要求に応えるため、例えば冷蔵庫や、コンテナ等のように清浄度があまり必要とされず軽量化も求められないボックスとは異なるものが求められる。
【０００７】
また、キャリアボックスにはクリーン化用のファン装置を備えるものがあるが、ファン装置を備えると高コストになるという問題がある。
また、例えばキャリアボックス全体をエアーシャワー室で所定時間エアーシャワー洗浄を行う場合、エアーシャワーに必要なエアー消費量が多くなるとともに、エアーシャワーの時間も長くかかるという問題がある。特に近年の大型化したガラス基板では、ガラス基板を収納するキャリア及びキャリアボックスも大型化しており、前記の問題がより顕著になる。このため、局所的にクリーン化する簡易ＳＭＩＦとよばれる技術が近年採用されており、この簡易ＳＭＩＦに使用できるキャリアボックスが望まれている。
【０００８】
本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、簡単な機構で内部の気密保持能力が優れ、大型化とともに軽量化を図りやすく、一般環境において低コストで高クリーン度の状態を保ってキャリアを搬送できるキャリアボックスを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明では、扉の閉状態でボックス本体の内部を清浄度の高い気密状態に保持し、キャリアを収容した状態で、清浄度の低い一般環境を挟んで設けられた複数のクリーンルーム間で搬送される。前記ボックス本体及び前記扉の少なくとも一方に、前記ボックス本体と前記扉との間をシールする弾性を有するシール部材を設け、前記ボックス本体及び前記扉の一方にマグネットを設けるとともに、他方には前記マグネットと対向する位置に磁性体又はマグネットからなる吸着部材を設けている。前記扉に対して垂直方向で前記シール部材と、前記マグネット又は前記吸着部材とが重なるように配置している。
【００１０】
この発明では、シール部材と、マグネット又は吸着部材とが扉に対して垂直方向で重なるように配置されている。このため、例えばパッキンがヒンジと、扉のヒンジから遠い側の端部の磁性材との間に取付けられた場合に比べて、ボックス本体の開口部を大きくできる。特に大型の液晶用等のキャリアボックスに関して、内部を気密に保った状態で、大型化とともに軽量化することに有効である。ここで、シール部材と、マグネット又は吸着部材とが重なることには、シール部材内にマグネット又は吸着部材を収容することも含む。
【００１１】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記シール部材の内部には空洞が設けられている。この発明では、シール部材が充実体である場合に比べて、例えばクランプ等によって扉がボックス本体側に押圧された状態でシール部材がつぶれやすく、気密をより確保しやすい。
【００１２】
請求項３に記載の発明では、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記扉の閉状態で前記扉を前記ボックス本体側に押圧するクランプが備えられている。この発明では、扉は、マグネットによる磁力だけで閉じられるのではなく、クランプによってボックス本体側に押圧されるため、多少の衝撃を受けても開かず、キャリアボックス内の気密を保持できる。
【００１３】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記扉と前記ボックス本体とには、前記扉の閉動作をガイドする扉ガイドが設けられている。前記扉の前記扉ガイドと、前記ボックス本体の前記扉ガイドとには、前記ボックス本体に対して垂れ下がった前記扉をずり上げて、前記ボックス本体の所定位置に前記扉を位置決めするために互いに摺動される案内面と、前記ボックス本体側の前記扉ガイドの上に前記扉側の前記扉ガイドが載った状態で保持する保持部とが備えられている。扉の一辺が約１ｍと比較的大きい場合、長期間の使用により、扉は、扉自体の重みによって多少垂れ下がる虞がある。しかし、この発明では、扉が垂れ下がっても、扉を閉じる際に扉とボックス本体との両扉ガイドが互いの斜面部で摺動されることにより、扉はスムースに所定位置に位置決めされ、保持部によって保持された状態で閉じられる。従って、キャリアボックスの気密性低下を防止できる。
【００１４】
請求項５に記載の発明では、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明において、前記ボックス本体は、前記ボックス本体内に収容された前記キャリアが手動台車のフォークにより搬入及び搬出可能に形成されている。この発明では、扉の開放状態でキャリアは、手動台車のフォークによって搬入及び搬出できるため、キャリアを搬入及び搬出しやすい。
【００１５】
請求項６に記載の発明では、請求項５に記載の発明において、前記ボックス本体には、前記キャリアをその下方に隙間が存在する状態で支承するキャリア受けが設けられている。前記ボックス本体及び前記キャリア受けは、前記キャリアを前記フォークの昇降動作によって搬入又は搬出する際に、前記フォークを下げたときに、前記フォークと前記ボックス本体の底部との間に所定の大きさの隙間が存在し、前記フォークを上げたときに、前記キャリアと前記ボックス本体の天井部との間に所定の大きさの隙間が存在する寸法に形成されている。この発明では、キャリアは、フォークの昇降だけで搬入及び搬出されるため、例えばキャリアを横から挟まなくてよく、容易に搬入及び搬出できる。
【００１６】
請求項７に記載の発明では、請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の発明において、前記キャリアボックスの下面には、保護部材が取り外し可能に設けられている。この発明では、キャリアボックスは、搬送される際のローラ等を備えるコンベヤとの接触部である下面が保護部材で保護される。そして、摩耗した保護部材を取り外し、別の新しい保護部材を設けることにより、キャリアボックスの下面の摩耗を防止できる。
【００１７】
請求項８に記載の発明では、請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の発明において、前記ボックス本体は、その下部に、搬送用の棒状の治具を挿入可能に形成されている。キャリアボックスは、通常は無人搬送車で搬送されるが、例えばキャリアボックスのメンテナンスの際などに、人が直接キャリアボックスを運搬する場合がある。この発明では、ボックス本体の下部に棒状の治具が挿入され、その治具を人が持つことによってキャリアボックが運搬される。従って、棒状の治具を挿入するだけで、人が直接キャリアボックスを運搬する際の作業性を向上できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を液晶用のガラス基板の運搬に使用されるキャリアを収容するキャリアボックスに具体化した一実施の形態を図１〜図４に従って説明する。
【００１９】
図１（ａ）はキャリアボックスの模式正面図であり、図１（ｂ）は模式側面図である。
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、キャリアボックス１は、ボックス本体２と、ボックス本体２の開口部３を開閉可能な扉４とを備えている。キャリアボックス１は四角箱状で、図１に示すように、直方体が立てられたような状態になっている。扉４は蝶番５によりボックス本体２に対して回動可能に支持されている。蝶番５は複数個（この実施の形態では３個）備えられている。
【００２０】
図１及び図２（ｂ）に示すように、ボックス本体２は、架台１１と、架台１１の上に直方体状に組み立てられたフレーム１２と、フレーム１２に取付けられてボックス本体２の面部を構成する板部材１３とを備えている。フレーム１２は、計１２本の直線状の管材１２ａが、ボックス本体２の角部に対応して配置されたコーナー部材１４により組付けられて形成されている。フレーム１２は金属製で、板部材１３は樹脂製である。この実施の形態では、フレーム１２はアルミ製であり、板部材１３はポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）製である。フレーム１２と板部材１３との間はコーキングされている。この実施の形態では、常温硬化性のシリコーンゴムによりフレーム１２と板部材１３との間はコーキングされている。
【００２１】
扉４は四角枠状のフレーム１５と、一枚の板部材１６とを備えている。フレーム１５は、計４本の直線状の管材１５ａがコーナー部材１７によって組付けられて形成されている。フレーム１５は金属製で、板部材１６は樹脂製であり、この実施の形態ではフレーム１５はアルミ製で、板部材１６はポリアクリロニトリル製である。フレーム１５と板部材１６との間はコーキングされており、この実施の形態では常温硬化性のシリコーンゴムによりコーキングされている。なお、図２（ａ）では管材１５ａ及び板部材１６は２点鎖線で示している。
【００２２】
板部材１３，１６は、ポリアクリロニトリルに帯電防止剤が含有されて形成されており、帯電防止性を備えている。また、板部材１３，１６は紫外線遮光性を備えるように形成されており、紫外線透過率２％以下に形成されている。
【００２３】
扉４には、ボックス本体２と対向する側の縁部に、四角環状のマグネットパッキン２０が取付けられている。図２（ａ）に示すように、マグネットパッキン２０は、シール部材としてのパッキンゴム部２１と、マグネットとしてのラバーマグネット２２とを備えている。
【００２４】
マグネットパッキン２０は、扉４から外れにくいように扉４のフレーム１５への差し込み構造となっており、パッキンゴム部２１には差し込み部２４が形成され、扉４のフレーム１５には差し込み部２４に対応する位置に差し込み溝２５が形成されている。そして、差し込み部２４が差し込み溝２５に差し込まれることによってパッキンゴム部２１はフレーム１５に取付けられている。パッキンゴム部２１は、その内部に空洞２６を備えた形状になっている。空洞２６は複数形成されている。ラバーマグネット２２は、パッキンゴム部２１のボックス本体２と対向する箇所に埋め込まれており、パッキンゴム部２１内に収容されている。パッキンゴム部２１とラバーマグネット２２とは、扉４に対して垂直方向に重なるように配置されている。
【００２５】
ボックス本体２のフレーム１２には、ラバーマグネット２２と対向する部分に、磁性体からなる吸着部材としての鉄板２７が備えられている。ラバーマグネット２２がその磁力によって鉄板２７に吸着されることにより、マグネットパッキン２０による扉４とボックス本体２との間の気密保持がなされるようになっている。この実施の形態では、ラバーマグネット２２は、フェライトマグネット粉末とニトリルブタジエンラバー（ＮＢＲ）とを練り込み、圧延したものである。また、パッキンゴム部２１はニトリルブタジエンラバー製である。
【００２６】
図１及び図２（ｄ）に示すように、扉４の蝶番５が取付けられた側と反対側の端部には、扉４をボックス本体２に密着した状態でロックするクランプとしてのコーナーキャッチクリップ３０が取付けられている。コーナーキャッチクリップ３０は複数個（ここでは２個）取付けられている。コーナーキャッチクリップ３０は、ばね３１を備えたばね構造のいわゆるパッチン錠である。コーナーキャッチクリップ３０は、それが施錠された状態では、マグネットパッキン２０の扉４から鉄板２７までの厚さを所定厚さ（この実施の形態では４ｍｍ以下）に保持するようになっている。なお、図２（ｂ）ではコーナーキャッチクリップ３０の図示は省略している。
【００２７】
図１及び図２（ｃ）に示すように、扉４のコーナーキャッチクリップ３０が取付けられた側と同じ端部には扉ガイド３５が取付けられ、ボックス本体２の扉ガイド３５と対応する部分には、扉ガイド３５の直ぐ下に位置するように扉ガイド３６が取付けられている。扉ガイド３５，３６の対は複数対（ここでは３対）取付けられている。扉ガイド３５，３６は、長方形状の一部を切り欠いた形状（５角形）になっており、互いに対応する案内面としての斜面部３７，３８を備えている。また、扉ガイド３５，３６は、ボックス本体２側の扉ガイド３５の上に扉４側の扉ガイド３６が載った状態で保持されるように、斜面部３７，３８に続いて水平方向に延びる保持部としての平面部３９，４０を備えている。扉ガイド３５，３６は、摩擦による塵埃を出しにくい材料で形成されている。この実施の形態では、超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷ−ＰＥ）により扉ガイド３５，３６は形成されている。
【００２８】
扉４の上辺及び下辺には、フレーム１５の上辺と左辺との補強部材としての扉用補強部材４１が取付けられている。扉用補強部材４１は、それぞれフレーム１５の上辺又は左辺の全長に渡って延びるとともに、一部がフレーム１５の左辺及び右辺に跨るように形成されている。
【００２９】
図１（ｂ）に示すように、架台１１は角状のパイプ４２によって形成されており、架台１１の図１（ｂ）中の左右端部には、紙面と直交する方向に延びる挿入孔４２ａが備えられている。挿入孔４２ａには、ボックス本体２を突き抜ける治具としての搬送用バー４３を挿入可能になっている。各挿入孔４２ａにそれぞれ搬送用バー４３を挿入して、ボックス本体２を２本の搬送用バー４３で貫いた状態にすることにより、キャリアボックス１は、メンテナンスの際などに機械を使わなくとも人が搬送用バー４３の端部を持つことにより運搬可能になっており、２人で運搬可能である。なお、キャリアボックス１は、通常は後述する無人搬送車７１により搬送される。
【００３０】
また、架台１１の下面には、下面の摩耗を防止するための保護部材としての保護板４４が取付けられている。保護板４４は架台１１の下面から取り外し可能に取付けられている。保護板４４は、架台１１の下面の構成部材より硬い材料で形成されている。この実施の形態では、アルミが架台１１の下面の構成部材であり、保護板４４はアルミより硬い材料、ここではＳＵＳで形成されている。
【００３１】
ボックス本体２の内部には、キャリア受け４５が設けられている。キャリア受け４５はボックス本体２の４隅に設けられており、ボックス本体２の底部２ａから所定の高さに、略立方体状のキャリア４６を載置するようになっている。なお、キャリア４６は図１（ａ）、（ｂ）及び図２（ｂ）では２点鎖線で示している。
【００３２】
キャリア受け４５は、ボックス本体２の底部２ａから上方に向かって延びる内部フレーム４７の上端部に設けられた平板状のキャリアベース４８，４９を備えている。キャリアベース４９は摩擦による塵埃を出しにくい材料で形成され、金属製のキャリアベース４８の上面を覆っている。図１及び図２（ｂ）に示すように、各キャリアベース４９の上面には、キャリア４６の角部を位置決めするＬ字状のキャリア受けブロック５０が形成されている。キャリア受けブロック５０も摩擦による塵埃を出しにくい材料で形成されている。この実施の形態では、ＵＨＭＷ−ＰＥによりキャリアベース４９及びキャリア受けブロック５０が形成されている。
【００３３】
ボックス本体２は、ボックス本体２内に収容されたキャリア４６が手動台車（ＭＧＶ）５２（図３に図示）のフォーク５３により搬入及び搬出可能に形成されている。ボックス本体２及びキャリア受け４５は、フォーク５３の昇降動作によってキャリア４６をキャリア受け４５に載せたり取り出す際に支障なく作業を行える寸法に形成されている。ボックス本体２やキャリア受け４５は、フォーク５３を下げたときに、フォーク５３と、ボックス本体２の底部２ａとの間に所定の大きさの隙間が確保できる寸法に形成されている。また、フォーク５３を上げたときに、キャリア４６とボックス本体２の天井部２ｂとの間に所定の大きさの隙間が確保できる寸法になるようにボックス本体２やキャリア受け４５は形成されている。この実施の形態では、前記所定の大きさの隙間が１０ｍｍ以上になるようにボックス本体２やキャリア受け４５は形成されている。
【００３４】
ボックス本体２には、扉４が配設された側の外周部に、後述する壁６２に押圧されてボックス本体２の外周部とクリーンルームとの間を密閉するための鍔部５５が設けられている。鍔部５５は金属製で、ここではアルミ製である。また、キャリア受け４５は、種々の補強材５６により補強された状態でボックス本体２の底部２ａに支持されている。ボックス本体２自体も、種々の補強材により補強されている。
【００３５】
図１（ｂ）に示すように、ボックス本体２の側面には、ボックス本体２の内側に凹む凹部５８が形成されている。キャリア４６には、キャリアボックス１に収容された状態で凹部５８と対応する位置に、運搬するガラス基板の情報等が記録されたバーコードが設けられている。一般環境での作業者は、バーコード読み取り用のセンサをボックス本体２の外から凹部５８に入れて前記バーコードに近づけてバーコードを読み取ることにより、運搬中のガラス基板の情報を知ることができる。バーコードの読み取りは、例えば一般環境の搬送通路の分岐点で、ガラス基板の搬送先を選択する際などに行なわれる。
【００３６】
この実施の形態では、キャリアボックス１は、クリーン度クラス１０の環境で扉４が閉じられて密閉された状態で、内部がクラス１０００以下のクリーン度を４８時間以上維持するように形成されている。ここで、クラス１０００のクリーン度とは、一立方フィート中に、０．３μｍ以上の粒子が１０００個存在することに相当し、クラス１０とは１０個存在することに相当する。また、扉４は約１０００ｍｍ×約８００ｍｍの寸法に形成されている。キャリアボックス１の重量は５０ｋｇ以下、ここでは４６ｋｇで、３４ｋｇのキャリア４６を収容可能になっている。
【００３７】
次に、キャリアボックス１を使用してキャリア４６を一般環境からクリーンルームに搬入する際の手順を説明する。なお、以下に説明するクリーン化の方法は、キャリアボックス１を局所的にクリーン化するいわゆる簡易ＳＭＩＦである。
【００３８】
図３及び図４に示すように、クリーンルーム６１は壁６２により一般環境６３側と区画され、壁６２には開口部６５ａ，６５ｂが形成されている。壁６２のクリーンルーム６１側には、各開口部６５ａ，６５ｂのクリーンルーム６１側の開口端をそれぞれ密閉可能な四角環状のパッキン６６ａと、クリーンルーム６１側から開閉可能なスライドドア６６とが設けられている。
【００３９】
スライドドア６６により開口部６５ａ，６５ｂのクリーンルーム６１側開口端が密閉された状態で、キャリアボックス１は、キャリア４６を収容した状態で無人搬送車７１の荷台７１ａに搭載されて一般環境６３中を搬送される。搬送中はキャリアボックス１の扉４がマグネットパッキン２０により密閉されているため、キャリア４６は一般環境に晒されずに一般環境中を搬送される。そして、図３に示すように、無人搬送車７１が昇降装置７２と対応する位置で停止すると、作業者Ｗ１は、荷台７１ａ上のキャリアボックス１を、下降位置に配置された昇降装置７２の載置部７３上に移動させる。このとき、キャリアボックス１は荷台７１ａ上のローラ７１ｂ及び載置部７３上のローラ７３ａ上を移動するため、荷台７１ａ上から載置部７３上に簡単に移載される。
【００４０】
次に昇降装置７２が駆動されて載置部７３が上昇位置へ移動され、キャリアボックス１は扉４が開口部６５ａと対向する状態となる。次に作業者Ｗ１により、壁６２に回動可能に設けられたフック７７（図４に図示）に連結された図示しないエアシリンダを駆動させるスイッチが押圧操作されると、フック７７が待機位置から作用位置へ回動されてフック７７と係合し、鍔部５５は所定の押圧力で壁６２側へ付勢された状態に保持される。壁６２には、鍔部５５と対向する箇所に四角環状のパッキン７８が設けられており、このパッキン７８が壁６２と鍔部５５との間に挟持されて開口部６５ａの一般環境側開口端がキャリアボックス１により密閉される。
【００４１】
次に、開口部６５ａの周縁部に設けられた噴射ノズル７９が作動され、クリーンエアが開口部６５ａの一般環境側開口端に向かって所定時間噴射され、開口部６５ａ内に配置されたキャリアボックス１の表面から、一般環境下でその表面に付着した塵埃等が洗浄される。洗浄後のエアはファン装置８０の作用により、図示しない窓から一般環境６３へ排気される。
【００４２】
クリーンルーム６１内の作業者Ｗ２は、噴射ノズル７９の作動の終了を受けて点灯する壁６２のクリーンルーム６１側のランプ８１の点灯を視認すると、スライドドア６６及び扉４を順次開き、その後に手動台車５２を開口部６５ａの近くへ移動させる。そして、手動台車５２のフォーク５３により、キャリアボックス１内からキャリア４６を引き出す。
【００４３】
フォーク５３は、キャリア４６が搬送する搬送対象物に応じて、所定の間隔でキャリア４６の下に差し込まれる。そして、フォーク５３を上昇させてキャリア４６をフォーク５３に載せ、フォーク５３をキャリア受け４５の上面４５ａより所定の間隔だけ上昇させて、フォーク５３を引き出すことによりキャリア４６をキャリアボックス１内から引き出す。
【００４４】
キャリア４６の搬送対象物がＴＦＴを形成したガラス基板の場合、フォーク５３はキャリア受け４５の上面４５ａより２０ｍｍ下に差し込む。そして、フォーク５３を上面４５ａより５０ｍｍ上まで上げて引き出す。また、キャリア４６の搬送対象物がセル（画素）を形成したガラス基板の場合、上面４５ａより５０ｍｍ下にフォーク５３を差し込み、上面４５ａより５０ｍｍ上まで上げて引き出す。これらの場合で、フォーク５３を下げた状態で、フォーク５３と、ボックス本体２の底部２ａとの間には１０ｍｍ以上隙間がある。また、フォーク５３を上げた状態で、キャリア４６とボックス本体２の天井部２ｂとの間にも１０ｍｍ以上隙間があるため、キャリア４６は支障なくキャリアボックス１から取り出される。
【００４５】
作業者Ｗ２は、キャリア４６をクリーンルーム６１側に引き出した後、扉４及びスライドドア６６を順次閉鎖し、図示しない閉鎖確認スイッチを操作した後、手動台車５２によりキャリア４６をクリーンルーム６１内の所定位置へ搬送する。
【００４６】
また、クリーンルーム６１からキャリア４６を搬出する際、空のキャリアボックス１を開口部６５ｂの一般環境側開口端に近接した位置に配置した後、作業者Ｗ１が前記エアシリンダを駆動させるスイッチを操作する。これにより、前記と同様に、キャリアボックス１の鍔部５５がフック７７により壁６２に押圧付勢されて開口端が密閉されるとともに、クリーンエアの噴射が行われる。
【００４７】
作業者Ｗ２は、前記と同様にスライドドア６６及び扉４を順次開いた後、キャリア４６をフォーク５３上に載置した手動台車５２を開口部６５ｂの近くへ移動させる。そして、フォーク５３上のキャリア４６を開口部６５ｂからキャリアボックス１内へ押し入れる。次に扉４及びスライドドア６６を順次閉じた後、図示しない閉鎖確認スイッチを操作し、開口部６５ｂに対応するランプ８２を点灯させる。一般環境６３側の作業者Ｗ１は、ランプ８２の点灯を確認すると、前記と同様にして、キャリアボックス１を無人搬送車７１の荷台７１ａ上に搭載した後、無人搬送車７１を発進させる。
【００４８】
次に、上記のように構成されたキャリアボックス１の作用を説明する。
キャリアボックス１が閉じられる際は、先ず、扉４が扉ガイド３５，３６によってガイドされた状態で、ボックス本体２側に近づけられ、ラバーマグネット２２が、その磁力により鉄板２７に密着される。扉４と鉄板２７との間はパッキンゴム部２１によってシールされる。その後、コーナーキャッチクリップ３０が施錠されることにより、パッキンゴム部２１の空洞２６がつぶされてパッキンゴム部２１が変形され、扉４とボックス本体２との間で４ｍｍ以下に保持される。つぶされたパッキンゴム部２１によるシールにより、キャリアボックス１の気密性が高められる。
【００４９】
キャリアボックス１は、パッキンゴム部２１とラバーマグネット２２とを扉４に対して垂直方向に重なるように配置されている。このため、例えば特許文献１のようにパッキンがヒンジと、扉のヒンジから遠い側の端部に取付けられた磁性材との間に取付けられる場合に比べて、ボックス本体２の開口部３が大きく形成される。特に、大型の液晶用等のキャリアボックスに関して、大型化とともに軽量化するように形成しやすい。
【００５０】
この実施の形態によれば、以下のような効果を有する。
（１）　キャリアボックス１はマグネットパッキン２０を備え、パッキンゴム部２１とラバーマグネット２２とを扉４に対して垂直方向に重なるように配置されている。従って、ボックス本体２の開口部３を大きくしやすく、キャリアボックス１の内部を気密に保った状態で、大型化及び軽量化を図りやすい。
【００５１】
（２）　マグネットパッキン２０は弾性ある構造で、ラバーマグネット２２を使用しているため、相手側である鉄板２７の形状に倣いやすく、気密を確保しやすい。
【００５２】
（３）　パッキンゴム部２１が空洞２６を備えている。従って、パッキンゴム部２１が充実体である場合に比べて、コーナーキャッチクリップ３０が施錠されて扉４がボックス本体２側に押圧された状態でパッキンゴム部２１がつぶれやすく、気密をより確保しやすい。
【００５３】
（４）　扉４、ボックス本体２には扉ガイド３５，３６が取付けられている。扉４は比較的大きい（約１０００ｍｍ×約８００ｍｍ）ため、長期間の使用により、扉４自体の重みによって多少垂れ下がる虞がある。しかし、扉４が垂れ下がっても、扉４を閉じる際に扉ガイド３５，３６が斜面部３７，３８で摺動することにより扉４はガイドされてスムースに位置決めされ、ボックス本体２側の扉ガイド３６の平面部４０上に扉４側の扉ガイド３５の平面部３９が載って保持された状態で扉４が閉じられる。従って、キャリアボックス１の気密性低下を防止できる。
【００５４】
（５）　扉４の上辺及び下辺には、扉用補強部材４１が取付けられている。扉４は、その幅が約８００ｍｍと長く、アルミフレーム構造のため、扉４のフレーム１５が撓み、幅方向の中間部において扉４とボックス本体２との間で隙間が生じる虞がある。しかし、扉４のフレーム１５の上辺及び下辺が扉用補強部材４１によって補強されることにより、フレーム１５の撓みによる気密性低下を防止できる。
【００５５】
（６）　扉４には、コーナーキャッチクリップ３０が取付けられている。従って、扉４は、ラバーマグネット２２による磁力だけで閉じらているのではなく、コーナーキャッチクリップ３０によってボックス本体２側に押圧されているため、多少の衝撃を受けても開かず、キャリアボックス１内の気密を保持できる。
【００５６】
（７）　ボックス本体２や扉４のフレームはアルミ製、そして、面部は樹脂のポリアクリロニトリル製である。従って、キャリアボックス１は比較的大きくても軽量（例えば５０ｋｇ以下、ここでは４６ｋｇ）に作製でき、昇降装置７２やフォーク５３による昇降や運搬を行ないやすい。
【００５７】
（８）　ボックス本体２や扉４の面部は紫外線遮光性を備えるように形成され、紫外線透過率２％以下となっている。従って、例えばガラス基板に設けられたカラーフィルタ等への紫外線の影響を抑制できる。
【００５８】
（９）　ボックス本体２や扉４の面部は帯電防止性を備えるように形成されている。従って、例えばガラス基板に設けられたＴＦＴ等への静電気の影響を抑制できる。
【００５９】
（１０）　キャリアボックス１は鍔部５５が設けられているため、壁６２との間で密閉しやすく、局所的にクリーン化する簡易ＳＭＩＦに使用しやすい。
（１１）　キャリア受け４５は種々の補強材５６で補強されて剛性を備えており、キャリア４６の荷重（最大で３４ｋｇ）に十分耐えることができる。
【００６０】
（１２）　キャリアボックス１の寸法は、手動台車５２のフォーク５３の昇降動作に対応してキャリアボックス１内で所定の大きさの隙間（１０ｍｍ以上）が確保できる寸法に形成されている。従って、キャリア４６は、フォーク５３の昇降だけで搬入及び搬出されるため、例えばキャリア４６を横から挟まなくてよく、容易に搬入及び搬出できる。
【００６１】
（１３）　架台１１の下面に保護板４４が取り外し可能に取付けられている。従って、キャリアボックス１は、ローラ７１ｂ，７３ａ等を備えるコンベヤとの接触部が保護板４４で保護され、摩耗した保護板４４を取り替えることにより、キャリアボックス１の下面の摩耗を防止できる。
【００６２】
（１４）　キャリアボックス１には挿入孔４２ａが形成されている。従って、挿入孔４２ａに搬送用バー４３が挿入されることにより、キャリアボックス１のメンテナンスの際等の２人での運搬時の作業性を良好にすることができる。
【００６３】
（１５）　キャリアボックス１は、クリーン度クラス１０の環境で扉４が閉じられて密閉された状態で、内部がクラス１０００以下のクリーン度を４８時間以上維持するように形成されている。クリーンルーム間を移動するうえでは、４８時間より短い時間、例えば数時間だけこのような高クリーン度を維持するボックスであっても十分である。しかし、例えばクリーンルームに異常が発生して、キャリア４６を収容したキャリアボックス１を一般環境で長時間保存する必要がある場合等に、長時間前記の高クリーン度を保つことにより支障なく対応できる。
【００６４】
なお、実施の形態は上記実施の形態に限定されるものではなく、例えば以下のように変更してもよい。
○　パッキンゴム部２１内に鉄板を収容し、ラバーマグネット２２をボックス本体２側に備えてもよい。
【００６５】
○　ボックス本体２にマグネットパッキン２０を設け、扉４に鉄板２７を設けてもよい。
○　搬送用バーを短くするとともに本数を倍にして、挿入孔４２ａの両端部からそれぞれ搬送用バーを挿入孔４２ａ内に差し込んで収容しておき、人がキャリアボックス１を搬送する場合は、搬送用バー４３を挿入孔４２ａから引き出すようにしてもよい。
【００６６】
○　パッキン７８は鍔部５５に設けてもよい。
○　磁性体は鉄に限らない。
〇　無人搬送車７１を設けずに手動台車でキャリアボックス１を搬送してもよい。
【００６７】
○　扉ガイド３５，３６の案内面は斜面部３７，３８に限らず、例えば円弧状であってもよい。
○　保護板４４は架台１１の下面の構成部材より軟らかくてもよい。
【００６８】
○　パッキンゴム部２１はスポンジ状であってもよい。
○　パッキンゴム部２１内にラバーマグネット２２又は鉄板を収容する構成に限らず、パッキンゴム部２１と、ラバーマグネット２２又は鉄板とが扉４に対して垂直方向で重なるように配置するのであれば、例えばパッキンゴム部２１の外側にラバーマグネット２２又は鉄板を取付けてもよい。しかし、シール性を高めるためにパッキンゴム部２１内にラバーマグネット２２又は鉄板２７を収容する構成が好ましい。
【００６９】
〇　キャリア４６はガラス基板以外の物体の搬送に使用してもよい。
上記各実施の形態から把握できる発明（技術的思想）について、以下に追記する。
【００７０】
（１）　請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の発明において、前記マグネットはラバーマグネットである。
（２）　請求項１〜請求項８及び前記技術的思想（１）のいずれか一つに記載の発明において、前記扉のフレームの上辺及び下辺には、それぞれの全長にわたって延びるとともに、前記フレームの左辺及び右辺に一部が跨る補強部材が取付けられている。
【００７１】
【発明の効果】
以上詳述したように請求項１〜請求項８に記載の発明によれば、簡単な機構で内部の気密保持能力が優れ、大型化とともに軽量化を図りやすく、一般環境において低コストで高クリーン度の状態を保ってキャリアを搬送できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）はキャリアボックスの模式正面図、（ｂ）は模式側面図。
【図２】（ａ）はマグネットパッキンとボックス本体との模式拡大断面図、（ｂ）はキャリアボックスの部分模式平断面図、（ｃ）は扉ガイド部材の模式側面図、（ｄ）はキャッチクリップの模式図。
【図３】キャリア搬入搬出部の付近の模式断面図。
【図４】一般環境側の模式斜視図。
【符号の説明】
１…キャリアボックス、２…ボックス本体、２ａ…ボックス本体の底部、２ｂ…ボックス本体の天井部、４…扉、２１…シール部材としてのパッキンゴム部、２２…マグネットとしてのラバーマグネット、２６…空洞、２７…磁性体からなる吸着部材としての鉄板、３０…クランプとしてのコーナーキャッチクリップ、３５，３６…扉ガイド、３７，３８…案内面としての斜面部、３９，４０…保持部としての平面部、４１…扉のフレームの補強部材としての扉用補強部材、４４…保護部材としての保護板、４５…キャリア受け。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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