(57)【要約】【課題】ＬＢ膜や自己組織化膜からなる有機分子薄膜のパターンを容易に形成する方法を提供する。【解決手段】基板１１表面に酸化チタン膜１２を形成し、酸化チタン膜１２上にＬＢ膜や自己組織化膜からなる有機分子薄膜１３を形成する。マスクを用い、酸化チタン膜１２の表面にまで達するように、紫外線を有機分子薄膜１３の表面に照射することによって、紫外線が照射した領域１３ｄにある有機分子薄膜１３の有機分子を分解する。【選択図】　図１
2004013042.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面上に酸化チタン膜を形成する工程と、
前記酸化チタン膜の表面に有機分子からなる有機分子薄膜を形成する工程と、
前記有機分子薄膜と接している前記酸化チタン膜の表面に所定の露光領域が形成されるように基板に対して紫外線を選択的に照射し、前記酸化チタン膜の露光領域に接している前記有機分子薄膜の前記有機分子を分解する工程と、
を包含する薄膜パターンの形成方法。
【請求項２】
前記有機分子薄膜が、前記有機分子の単分子膜または前記単分子膜が複数積層された累積膜により形成されている請求項１に記載の薄膜パターンの形成方法。
【請求項３】
前記単分子膜において、前記有機分子は、ファン・デル・ワールス力によって相互に結合することにより、二次元的に配向が制御されている請求項２に記載の薄膜パターンの形成方法。
【請求項４】
前記単分子膜は、ラングミュアーブロジェット膜または自己組織化膜である請求項３に記載の薄膜パターンの形成方法。
【請求項５】
前記有機分子は、直鎖状有機シラン化合物である請求項４に記載の薄膜パターンの形成方法。
【請求項６】
前記直鎖状有機シラン化合物は、疎水性を有する官能基を末端基として備えている請求項５に記載の薄膜パターンの形成方法。
【請求項７】
前記紫外線は２００ｎｍから４００ｎｍの波長を有している請求項１に記載の薄膜パターンの形成方法。
【請求項８】
前記基板は、前記紫外線に対して透明であり、前記紫外線を前記基板の裏面から照射する請求項１に記載の薄膜パターンの形成方法。
【請求項９】
前記有機分子薄膜の表面は疎水性を備えている請求項１に記載の薄膜パターンの形成方法。
【請求項１０】
前記有機分子を分解する工程後、前記基板を無電解めっき用の触媒を含む水溶液に浸漬し、前記紫外線が照射された領域において、前記酸化チタン膜が露出するように前記分解した有機分子を除去し、前記無電解めっき用の触媒を前記酸化チタン膜上に堆積する工程を更に包含する請求項９に記載の薄膜パターンの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜パターンの形成方法に関し、特に、半導体分野などにおいてフォトリソグラフィ工程として用いられる薄膜パターンの形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、フォトレジストを紫外線によって選択的に露光し、現像することによって所望のパターンを有するレジストを形成する技術が半導体分野をはじめ、さまざまな分野で用いられている。この工程は一般にフォトリソグラフィと呼ばれる。
【０００３】
近年、フォトレジストを用いたフォトリソグラフィに加えて、有機単分子膜あるいは単分子膜を積層した累積膜（多層膜）をフォトレジストに代えて用いる方法が研究されている。有機単分子膜あるいは累積膜としては、ラングミュアーブロジェット膜（以下、「ＬＢ膜」と略する場合がある）および自己組織化膜（以下、「ＳＡＭ」膜と略する場合がある）が知られている。
【０００４】
ＬＢ膜は、親水性部と疎水性部とを併せ持つ両親媒性有機分子を水面上に展開させ、基板に転写することによって得られる。この操作を１回行うと単分子膜を形成することができ、基板への転写を複数回行うことによって、単分子膜が積層された累積膜を形成できる。転写の回数を制御すれば、累積膜の厚さを調整することもできる。
【０００５】
一方、ＳＡＭ膜は、有機分子の末端基を基板の表面に選択的に化学吸着または化学的結合させることによって基板の表面に得られる単分子膜である。基板と結合する末端と反対側の末端となる官能基を適宜選択することによって、ＬＢ膜と同様、累積膜を形成することもできる。本願明細書では、これらＬＢ膜およびＳＡＭ膜の単分子膜および累積膜を有機分子薄膜と称する。また、有機分子とは、ケイ素を骨格に有する分子も含むものとする。
【０００６】
これらの有機分子薄膜の単分子膜において、分子同士は、ファン・デル・ワールス力により、規則的に配列するように結合しており、その結果、２次元的に配向が制御された薄膜を形成している。これらの膜の形成には、高温・高エネルギとなる環境は不要であり、また、大掛かりな装置を必要としない。このため、従来のフォトレジストを用いるマスクの形成方法に比べて、製造工程でのエネルギの消費が少なくてすむという利点がある。
【０００７】
有機分子薄膜の露光には一般に紫外線が用いられる。例えば、紫外線等を選択的に有機分子薄膜に照射して、有機分子を分解させ、紫外線が照射した部分の有機分子を除去したり、逆に有機分子同士を結合させ、紫外線が照射した部分以外の有機分子を除去したりする。こうした紫外線による化学反応を利用したパターニング以外に、走査型プローブ装置を用いて、機械的に有機分子薄膜を加工することもできる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上述の有機分子薄膜のパターニングにおいて、有機分子を分解したり、有機分子同士を結合させたりするためには、照射する紫外線の波長が２００ｎｍ以下である必要がある。しかし、この波長帯の紫外線は空気中で吸収され易い。このため、紫外線を効率よくパターニングに用いるためには、有機分子薄膜と紫外線源との距離をできるだけ短くする必要がある。典型的には、有機分子薄膜と紫外線源との距離を数ｍｍ程度にしなければならない。その結果、パターニングを行うための露光装置のレイアウトに大きな制限が生じる。例えば、露光装置として、一般に用いられるステッパーなどの縮小投影機を用いることはできない。
【０００９】
また、２００ｎｍ以下の波長の紫外線を発光する光源はエキシマランプ等に限られる。このため、従来のフォトリソグラフィの光源に用いられる水銀ランプ等のような点光源の形状に光源をすることができず、照射する紫外線によって微細なパターンを形成することは困難である。
【００１０】
更に、紫外線を照射することによって有機分子薄膜を構成している分子を完全に分解することは困難であり、分解が不十分な分子が残渣として残ってしまう。このため、パターニングした有機分子薄膜をマスクとしてエッチングを行った場合、残渣がエッチングの妨げとなって、正確なエッチングパターンを得ることができない。
【００１１】
走査型プローブ装置等を用いて機械的に有機分子薄膜を加工する場合、走査型プローブ装置の調整が煩雑である。また、描画形式による加工であるため、マスクパターンによっては、エッチングに多大な時間と労力が必要となる。
【００１２】
本発明は、このような従来技術の問題を解決し、有機分子薄膜のパターンを容易に形成する方法を提供する。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の薄膜パターンの形成方法は、基板の表面上に酸化チタン膜を形成する工程と、前記酸化チタン膜の表面に有機分子からなる有機分子薄膜を形成する工程と、前記有機分子薄膜と接している前記酸化チタン膜の表面に所定の露光領域が形成されるように基板に対して紫外線を選択的に照射し、前記酸化チタン膜の露光領域に接している前記有機分子薄膜の前記有機分子を分解する工程とを包含する。
【００１４】
ある好ましい実施形態において、前記有機分子薄膜は、前記有機分子の単分子膜または前記単分子膜が複数積層された累積膜により形成されており、前記有機分子は、ファン・デル・ワールス力によって相互に結合することにより、二次元的に配向が制御されている。前記単分子膜は、典型的には、ラングミュアーブロジェット膜または自己組織化膜である。
【００１５】
ある好ましい実施形態において、前記有機分子は、直鎖状有機シラン化合物であり、前記直鎖状有機シラン化合物は、疎水性を有する官能基を末端基として備えている。
【００１６】
ある好ましい実施形態において、前記紫外線は２００ｎｍから４００ｎｍの波長を有している。
【００１７】
ある好ましい実施形態において、前記基板は、前記紫外線に対して透明であり、前記紫外線を前記基板の裏面から照射する。
【００１８】
ある好ましい実施形態において、前記有機分子薄膜の表面は疎水性を備えている。
【００１９】
ある好ましい実施形態において、薄膜パターンの形成方法は、前記有機分子を分解する工程後、前記基板を無電解めっき用の触媒を含む水溶液に浸漬し、前記紫外線が照射された領域において、前記酸化チタン膜が露出するように前記分解した有機分子を除去し、前記無電解めっき用の触媒を前記酸化チタン膜上に堆積する工程を更に包含する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明の薄膜パターンの形成方法において、パターニングをすべき有機分子薄膜は酸化チタン膜上に形成される。有機分子薄膜の表面からマスクなどを用いて選択的に紫外線を照射すると、紫外線は、酸化チタン膜に達する。紫外線を受けた酸化チタン膜の酸化チタンは、活性酸素種を生成し、酸化チタン膜に接した有機分子薄膜中の有機分子を分解する。したがって、紫外線が照射された領域においてのみ有機分子薄膜中の有機分子が分解され、有機溶媒等により分解した有機分子を除去することによって、有機分子膜のパターニングを行うことができる。
【００２１】
このように、本発明の方法では、有機分子薄膜中の有機分子は紫外線によって直接分解されるのではなく、酸化チタンの光触媒作用により分解される。したがって、パターニングには、有機分子を分解するのに必要な短い波長の紫外線を用いなくてもよく、酸化チタンの光触媒作用を発揮させことのできる紫外線を用いる。
【００２２】
以下、図１（ａ）から（ｈ）を参照して、本発明の薄膜パターンの形成方法を詳細に説明する。本発明の薄膜パターンの形成方法では、まず図１（ａ）に示すように、基板１１上に酸化チタン膜１２を形成する。基板１１としては、ガラス、石英、プラスチックなどからなる透明あるいは所定の波長の光を透過する透光性の基板を用いることができる。後述するように、所望のパターンを形成するための露光を基板１１の裏面から行う場合には、露光に用いる紫外線に対して透明あるいは透光性の基板を基板１１として用いることが好ましい。酸化チタン膜１２を形成した側から露光するのであれば、基板１１は透明である必要はなく、金属やセラミックスなどからなる不透明基板であってもよい。
【００２３】
更に、酸化チタン膜１２は基板１１上に直接形成されていなくてもよい。基板１１表面において酸化チタン膜１２が保持されている限り、酸化チタン膜１２と基板１１との間に保護膜や金属膜などの他の膜が形成されていてもよい。
【００２４】
酸化チタン膜１２は、酸化チタンからなるターゲットを用いたスパッタ法、チタンターゲットを酸素雰囲気下においてスパッタリングする反応性スパッタ法、イオンプレーティングなどの反応性蒸着法、ゾル−ゲル法などにより、形成される。蒸着等により基板１１上に形成したチタン膜に対して陽極酸化を行って、酸化チタン膜１２を形成してもよい。
【００２５】
酸化チタン膜１２は、紫外線の照射によって活性酸素種を発生する光触媒作用を備えているものであれば、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｓｎ、Ｗなどチタンおよび酸素以外の元素を含んでいてもよい。
【００２６】
酸化チタン膜１２の重要な役割は、酸化チタン膜１２表面における光触媒作用である。したがって、酸化チタン膜１２は均一な膜が形成できる程度の厚さを備えていることが好ましく、３０ｎｍ以上の厚さを備えていることが好ましい。一方、酸化チタン膜１２が厚くなってもその表面の光触媒作用は変わらないので、酸化チタン膜１２は厚く形成してもよい。しかし、酸化チタン膜１２の厚さがあまり大きくなると、酸化チタン膜１２の形成に時間がかかりすぎる等の問題が生じ得る。また、基板１１の裏面から紫外線を照射する場合、酸化チタン膜１２が厚すぎると、酸化チタン膜１２の有機分子薄膜１３との界面に十分な紫外線が到達しない可能性がある。したがって、酸化チタン膜１２は２００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００２７】
次に、図１（ｂ）に示すように、酸化チタン膜１２上に有機分子薄膜１３を形成する。有機分子薄膜１３は、ラングミュアーブロジェット膜の単分子膜、自己組織化膜の単分子膜、あるいはこれの単分子膜を積層した累積膜で構成されている。　単分子膜を積層して有機分子薄膜１３を形成する場合には、有機分子薄膜１３の下に位置する酸化チタン膜１２へ紫外線が到達するよう、有機分子薄膜１３は１００ｎｍ以下の厚さを備えていることが好ましい。単分子膜の積層回数を調節することによって、有機分子薄膜１３の厚さを制御できる。
【００２８】
図１（ｂ）に示す有機分子薄膜１３がラングミュアーブロジェット膜の単分子膜である場合、親水性部１３ａおよび疎水性部１３ｂを分子内に有する有機分子１３ｃが、親水性部１３ａ同士および疎水性部１３ｂ同士を近接させて二次元的に配向している。有機分子１３ｃは二次元固状態をとっており、有機分子１３ｃ間に作用するファン・デル・ワールス力により高密度に凝集し、相互に結合している。
【００２９】
ラングミュアーブロジェット膜を形成する有機分子としては、分子中に親水基および疎水基の両方を有する種々の不溶性物質用いることができる。公知の技術を用いて、これらの分子を水面上に展開させ、基板に転写することによって得られる。また、累積膜を形成する場合には、各単分子膜の親水性部１３ａ同士、あるいは疎水性部１３ｂ同士が隣接するよう積層する。
【００３０】
図１（ｂ）に示す有機分子薄膜１３が自己組織化膜の単分子膜である場合、末端基１３ａが所定の基板表面に対して選択的に化学吸着または化学的結合をする性質を備えた有機分子１３ｃを用いる。自己組織化膜においても、ラングミュアーブロジェット膜と同様、有機分子１３ｃは二次元固状態をとっており、有機分子１３ｃ間に作用するファン・デル・ワールス力により高密度に凝集し、相互に結合している。
【００３１】
自己組織化膜の多層膜によって有機分子薄膜１３を構成する場合には、末端基１３ａが、酸化チタン膜１２と選択的に化学吸着または化学結合し得る性質を備えて有機分子１３ｃを用いる。例えば、末端基１３ａとして、酸化チタン膜１２と共有結合し得るクロロシリル基を含む有機分子１３ｃを用いる。また、末端基１３ａの反対側に位置する官能基１３ｂが末端基１３ａとは異なる性質を備えるように有機分子１３ｃを設計し、多層膜を形成することができる。例えば、官能基１３ｂとして疎水性の大きなフッ化炭素あるいは飽和炭化水素を含む官能基を選択してもよい。
【００３２】
自己組織化膜を形成する有機分子としては、オクタデシルトリクロロシラン（ＣＨ３（ＣＨ２）１７ＳｉＣｌ３、ＯＴＳとも略す）などの直鎖有機シラン化合物（ＣＨ３（ＣＨ２）ｎＳｉＸ３、（ｎ＝５〜１８が好ましい、Ｘ＝Ｃｌ、Ｏ（ＣＨ３）３、Ｆ、Ｂｒ）や、ホスホン酸チオール、カルボン酸チオールなどを用いることができる。
【００３３】
これらの有機分子を有機溶媒に溶解させ、酸化チタン膜１２が形成された基板１１を有機分子が溶解した有機溶媒に浸漬することにより、酸化チタン膜１２の表面に高密度で配向した有機分子からなる有機分子薄膜１３が形成される。必要に応じて、基板１２の浸漬および引き上げを繰り返し、単分子膜を積層し、多層膜を形成する。
【００３４】
有機分子を溶解する有機溶媒としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、アセトン、キシレン、トルエン、ヘキサンなどを用いることが好ましい。また、有機溶媒中の有機分子の濃度は、０．０１〜１０ｍＭ程度であることが好ましく、０．１〜１ｍＭであることがより好ましい。有機分子の濃度が低すぎると基板１１の酸化チタン膜１２の表面全体に有機分子薄膜１３が形成されにくくなる。また、濃度が高すぎると、有機分子の自己組織化あるいは単分層となる配向がしにくくなり、高密度で高い配向性を有した有機分子膜１３の形成が困難となる。
【００３５】
基板１１の有機溶媒への浸漬時間は数分から数時間の間の任意の時間を選択しえるが、１０〜３０分であることが好ましい。浸漬後、使用した溶媒で基板１１を洗浄し、乾燥させることにより、図１（ｂ）に示す構造が得られる。
【００３６】
続いて図１（ｃ）に示すように、所望のパターン１４ｄを有し、紫外線を遮断するマスク１４を用い、基板１１の表面から選択的に紫外線を照射する。マスク１４を用いず、ビーム状の紫外線を用いて所望のパターン１４ｄを直接描画してもよい。また、チタン酸化膜１２の形成されていない基板１１の裏面側から露光してもよい。
【００３７】
照射した紫外線は、有機分子薄膜１３を透過して、有機分子薄膜１３と接している酸化チタン膜１２の表面１２ａに達する。そして、有機分子薄膜１３と接している酸化チタン膜１２の表面１２ａに選択的に紫外線が照射された露光領域１２ｄが形成される。酸化チタン膜１２の表面１２ａでは、露光領域１２ｄにおいて、電子および正孔が生成し、その結果、ＯＨラジカルやスーパーオキシドのような活性酸素種が生成する。ＯＨラジカルやスーパーオキシドは非常に反応性が高く、有機分子と容易に反応して炭素間の結合を切断したり、有機分子を酸化したりして、有機分子を分解する。このため、この活性酸素種は、露光領域１２ｄに接した有機分子薄膜１３の有機分子１３ｃを分解する。つまり、有機分子薄膜１３において、マスク１４の所望のパターン１４ｄに対応する露光領域１２ｄの有機分子１３ｃが分解する。なお、この際、有機分子薄膜１３の有機分子の一部が照射した紫外線によって直接分解されてもよい。
【００３８】
この酸化チタンの光触媒作用は、波長が４００ｎｍ以下の紫外線を用いることによって発現する。一方、波長の短い紫外線は、空気中で吸収され、減衰しやすい。このため、空気による紫外線の吸収があまり問題とならない波長２００ｎｍ以上の紫外線を用いることが好ましい。つまり、有機分子薄膜１３の露光に用いる紫外線の波長は２００〜４００ｎｍであることが好ましい。この波長の紫外線は、例えば、従来のフォトリソグラフ工程に用いられる露光装置の水銀ランプによって発生させることができる。
【００３９】
紫外線の照射によって有機分子薄膜１３の領域１３ｄにおいて、分解した有機分子は、有機分子薄膜１３を形成する際に用いた有機溶媒等を用いて洗浄することにより、除去される。これにより、図１（ｄ）に示すように、マスク１４の所望のパターン１４ｄが転写された有機分子薄膜１５が基板１１上に形成される。
【００４０】
パターニングされた有機分子薄膜１５は、従来のフォトリソグラフィプロセスによって形成されたレジストと同様、種々の薄膜プロセスに応用できる。具体的には、有機分子薄膜１５を用いて、金属膜、セラミック膜、有機材料膜などのパターニングや、パターニングされたこれらの膜を形成することができる。
【００４１】
例えば、パターニングされた有機分子薄膜１５を無電解めっきのための下地処理用のマスクとして用いることができる。図１（ｄ）に示すように、酸化チタン膜１２の露光領域１２ｄは、パターニングされた有機分子薄膜１５によって露出されており、他の領域は有機分子薄膜１５に覆われている。上述したように、有機分子薄膜１５の有機分子１３ｃの官能基１３ｂが疎水性を備えている場合には、有機分子薄膜１５の表面は疎水性を備え、酸化チタン膜１２の露光領域１２ｄは親水性を備えている。したがって、無電解めっき用の貴金属からなる触媒を含んだ水溶液に基板１１を浸漬した場合、親水性を備える酸化チタン膜１２の露光領域１２ｄにのみ触媒が吸着し、有機分子薄膜１５の表面には吸着しない。このように所望の領域にのみ触媒が付与された基板を無電解めっき液に浸漬することによって、図１（ｆ）に示すように、酸化チタン膜１２の触媒が吸着している部分（露光領域１２ｄ）にのみめっき膜が選択的に成長し、所望のパターンを有するめっき膜１７を形成することができる。
【００４２】
めっき膜１７を形成した後、有機分子薄膜１５を除去するために、有機分子薄膜１５の全面に２００〜４００ｎｍの波長を有する紫外線を有機分子薄膜１５の全表面に照射する。基板１１が紫外線を透過する場合には、基板１１の裏面から紫外線を照射してもよい。紫外線の照射によって、上述したように、酸化チタン膜１２が活性酸素種を生成し、活性酸素種によって、有機分子薄膜１５の有機分子が分解する。その後有機溶媒で分解した有機分子を除去することによって、酸化チタン膜１２上に所望のパターンを有するめっき膜１７のみが形成された基板１１を得ることができる。
【００４３】
露出した酸化チタン膜１２は親水性を備えているため、めっき膜１７が形成されていない酸化チタン膜１２上に親水性を利用したプロセスを更に施すことも可能である。例えば、酸化チタン膜１２上に水溶性のインク等を選択的に塗布することができる。カラーフィルタに用いるＲＧＢのインクをインクジェット方式等により塗布することができる。
【００４４】
このように、本発明によれば、高密度で配向性に優れた有機分子薄膜をパターニングすることが容易にできる。パターニングには、２００〜４００ｎｍの波長の紫外線を用いることができるので、水銀ランプ等の点光源を用いて微細なパターンを形成することができる。また、この波長の紫外線は空気によって吸収されにくいので、光源と基板との距離を十分にとることができる。このため、露光方法を種々選択することが可能となり、例えば、ステッパーを用いて紫外線を照射することもできる。
【００４５】
また、有機分子薄膜の有機分子は、活性酸素種によって確実に分解されるため、基板１１上に残渣として残存する可能性が低くなり、有機分子薄膜のパターニングを確実に行うことができる。
【００４６】
更に、パターニングされた有機分子薄膜から露出するチタン酸化膜は高い親水性を備えているので、親水性を利用して、種々の薄膜パターンを選択的に形成することができる。
【００４７】
（第１の実施例）
図１（ａ）から（ｈ）を参照して、具体的な実施例を示す。
【００４８】
図１（ａ）に示すように、ガラス基板１１上に厚さ１００ｎｍの酸化チタン膜１２を形成する。酸化チタン膜１２の形成には、酸化チタンをターゲットとし、アルゴンおよび酸素の混合ガスを用いたＲＦスパッタ法を用いる。また、成膜は、４００℃の基板温度および０．７Ｐａのガス圧において、２００ＷのＲＦパワーを印加して行う。
【００４９】
有機分子薄膜１３を形成するために、クロロホルムを溶媒として、１ｍＭ濃度のＯＴＳ溶液を用意する。基板１１をＯＴＳ溶液に一時間浸漬させ、ＯＴＳを酸化チタン膜１２の表面に化学吸着させる。その後、基板１１をＯＴＳ溶液から取り出す。酸化チタン膜１２に化学吸着したＯＴＳの単分子膜上に物理吸着によって残留しうる余剰のＯＴＳ分子を除去するために、クロロホルム溶液に５分間浸漬する。その後、窒素ガスをブローして乾燥させることにより、図１（ｂ）に示すように、ＯＴＳの単分子膜からなる有機分子薄膜１３が酸化チタン膜１２上に形成される。
【００５０】
所定のパターン１４ｄが形成されているマスク１４を介して基板１１の表面全面に紫外線を照射する。露光にはｉ線（３６５ｎｍ）のステッパーを用いる。これにより、パターン１４ｄに対応する領域１３ｄにおいて有機分子薄膜１３の有機分子が分解される。
【００５１】
露光が済んだ基板１１を２５℃の塩化スズ水溶液に３０秒浸漬した後、純水で洗浄する。これにより、図１（ｄ）に示すように、領域１３ｄに存在していた分解した有機分子が除去され、パターニングされた有機分子薄膜１５が形成される。また、酸化チタン膜１２の表面が露出された露光領域１２ｄに、塩化スズが吸着する。このとき、塩化スズは、親水性を備えた酸化チタン膜１２の露光領域１２ｄにのみ吸着し、疎水性を備えた有機分子薄膜１５の表面には吸着しない。
【００５２】
続いて、基板１１を２５℃の塩化パラジウム水溶液に３０秒間浸漬した後、純水で洗浄することによって、図１（ｅ）に示すように、酸化チタン膜１２の露光領域１２ｄにおいて塩化スズが塩化パラジウムを還元し、パラジウム触媒のパターン１６を形成する。
【００５３】
図１（ｆ）に示すように、基板１１を５５℃の硝酸亜鉛およびジメチルアミンボランの混合水溶液に３０分間浸漬することによって、パラジウム触媒のパターン１６上に膜厚約０．１μｍの酸化亜鉛膜のパターン１７を形成する。
【００５４】
２５℃の塩化パラジウム水溶液に３０秒浸漬した後、純水で洗浄することによって、図１（ｇ）に示すように、酸化亜鉛膜のパターン１７上にのみパラジウム触媒を析出させ、酸化亜鉛膜のパターン１７上にパラジウム触媒のパターン１８を形成する。
【００５５】
更に硫酸銅水溶液に基板１１を１０分間浸漬することによって、パラジウム触媒のパターン１８上に厚さ約０．３μｍの銅膜のパターン１９を形成する。
【００５６】
このようにして、基板１１上に銅のパターン１９が形成される。
【００５７】
（第２の実施例）
図２（ａ）から（ｅ）および（ｉ）から（ｌ）を参照して、基板上にカラーフィルタを作成する実施例を示す。まず図２（ａ）から（ｅ）に示すように、基板１１上にパターニングされた有機分子薄膜１５を形成し、露光領域１２ｄにパラジウム触媒のパターン１６を形成する。パラジウム触媒のパターン１６はマトリクス形状を備えている。これらの工程は、第１の実施例において図１（ａ）から（ｅ）を参照して説明した手順によって行う。
【００５８】
続いて、基板１１を７５℃の塩化ニッケル水溶液に１０分間浸漬した後、純水で洗浄することによって、図２（ｉ）に示すように、パラジウム触媒のパターン１６上にニッケル膜パターン２１を形成する。
【００５９】
図２（ｊ）に示すように、基板１１の裏面から全面に紫外線（波長３６５ｎｍ）を照射して有機分子薄膜１５の有機分子を分解し、適当な溶媒に基板１１を浸漬することにより、図２（ｋ）に示すように、分解した有機分子を除去する。これにより、ニッケル膜パターン２１が形成された領域を除いて、酸化チタン膜１２の表面を露出させる。露出した酸化チタン膜１２の表面は親水性を備え、水酸基が極めて多く存在している。
【００６０】
その後、図２（ｌ）に示すように、マトリクス状に形成されたニッケル膜のパターン２１の間の酸化チタン膜１２上にインクジェット法によりＲＧＢインクをそれぞれ吐出してカラーフィルタ２２を形成する。通常マトリクスは数μｍから数十μｍの高さを有するため、バンクが必要となる。しかし、本発明では酸化チタン膜１２の表面が高度に親水化されており、ニッケル膜のパターン２１の表面は疎水化されているため、バンクを用いなくとも塗り分けが可能である。インクは、ブチルカルビトルアセテートを溶剤として用い、顔料を混合することによって所望の色をつくる。また、必要に応じてアルコールを添加する。ＲＧＢインクを吐出、塗布後、２００℃で１０分間乾燥させることにより、カラーフィルタ２２が形成される。
【００６１】
【発明の効果】
本発明の薄膜パターンの形成方法によれば、有機分子薄膜のパターンを容易にかつ確実に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）から（ｈ）は、本発明の第１の実施例によるパターン形成方法における各工程を示す断面図である。
【図２】（ａ）から（ｅ）および（ｉ）から（ｌ）は、本発明の第２の実施例によるパターン形成方法における各工程を示す断面図である。
【符号の説明】
１１　基板
１２　酸化チタン膜
１３、１５　有機分子薄膜
１４　マスク
１６、１８　パラジウム触媒のパターン
１７　酸化亜鉛膜のパターン
１９　銅膜のパターン
２１　ニッケル膜のパターン
２２　カラーフィルタ
【図１】
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【図２】
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