(57)【要約】【課題】カラーフィルタを正確に検査することが可能な検査装置を提供すること。【解決手段】本発明にかかる検査装置は、白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部３２、３３、３４を有するカラーフィルタ３の表面の高さ測定を行うものである。この検査装置は、複数の種類のフィルタ１４を備えている。また、検査部分をカラーカメラ２２によって撮影し、その色を検出する。そして、検出された色に応じて、フィルタ１４を切り換える。【選択図】　図１
2004053495.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部を有するカラーフィルタの表面の高さ測定を行う検査装置であって、
検査する色画素部の色に応じて、検査のために当該色画素部に出射する光の波長成分を制御する検査装置。
【請求項２】
検査する色画素部の色の波長成分が抑制された光をこの色画素部に出射することを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記光の波長成分の制御は、光源より出射される白色スリット光を波長透過特性の異なる複数のフィルタを切り換えることにより実行することを特徴とする請求項１又は２記載の検査装置。
【請求項４】
前記光の波長成分の制御は、出射する光の波長が異なる複数の光源を切り換えることにより実行することを特徴とする請求項１又は２記載の検査装置。
【請求項５】
前記色画素部の色は、カラーカメラによって撮影することによって検出することを特徴とする請求項１又は２記載の検査装置。
【請求項６】
白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部を有するカラーフィルタの表面の高さ測定を行う検査方法であって、
検査する色画素部の色に応じて、検査のために当該色画素部に出射する光の波長成分を制御する検査方法。
【請求項７】
検査する色画素部の色の波長成分が抑制された光をこの色画素部に出射することを特徴とする請求項６記載の検査方法。
【請求項８】
前記光の波長成分の制御は、光源より出射される白色スリット光を波長透過特性の異なる複数のフィルタを切り換えることにより実行することを特徴とする請求項６又は７記載の検査方法。
【請求項９】
前記光の波長成分の制御は、出射する光の波長が異なる複数の光源を切り換えることにより実行することを特徴とする請求項６又は７記載の検査方法。
【請求項１０】
前記色画素部の色は、カラーカメラによって撮影することによって検出することを特徴とする請求項６又は７記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルタの表面を検査する検査装置に関するものであり、より詳しくは、カラーフィルタの表面上の構造物、異物等の高さを非接触で測定する検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置には、カラー表示を行うためにカラーフィルタが用いられる。このカラーフィルタは、製造工程において、突起状の異物が形成される場合がある。また、カラーフィルタの構造が設計通りに形成されない場合もある。このような状態が発生しているかどうかを検査し、また、その異物や構造の高さを測定する検査装置がある。例えば、レーザ顕微鏡により検査装置が構成される。レーザ顕微鏡により検査装置を構成した場合、通常、共焦点型光学系による焦点の合う最大輝度を検出することによって異物や構造の高さを測定している。また、レーザ顕微鏡では、通常、可視光の特定波長のレーザを用いている。
【０００３】
ここで、カラーフィルタは、図６の断面図に示されるような構造を有している。即ち、ガラス基板３１の上面にブラックマトリックス（ＢＭ）３５が設けられ、さらに、色画素部３２、３３、３４が設けられている。ここで、ブラックマトリックス３５は、隣接画素間からの光漏れとスイッチング素子への外光照射を防ぐために設けられている。色画素部３２は赤（Ｒ）の色材、色画素部３３は緑（Ｇ）の色材、そして、色画素部３４は青（Ｂ）の色材からそれぞれ形成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような構造を有するカラーフィルタを、可視光の特定波長のレーザによって検査すると、色画素部３２、３３、３４では、図５に示されるように、それぞれの色に応じて当該可視光レーザが透過する。例えば、赤（Ｒ）の色画素３２においては、赤色のレーザ光が通過する。特にレーザ顕微鏡のレーザ光は単色波長なので、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のどれかを通過する。色画素部３２、３３、３４を通過したレーザ光は、ガラス基板３１の表面等によって反射される。この反射光は、色画素部３２、３３、３４の表面上の異物や構造を検査する上で誤差の原因となる。
【０００５】
このように、従来の検査装置では、カラーフィルタを正確に検査することができないという問題点があった。
【０００６】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、カラーフィルタを正確に検査することが可能な検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかる検査装置は、白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部を有するカラーフィルタの表面の高さ測定を行う検査装置であって、検査する色画素部の色に応じて、検査のために当該色画素部に出射する光の波長成分を制御するものである。このような構成により、色画素部を通過し、ガラス基板等で反射する光の発生を抑制できるため、カラーフィルタを正確に検査することができる。
【０００８】
ここで、検査する色画素部の色の波長成分が抑制された光をこの色画素部に出射することが望ましい。
【０００９】
また、前記光の波長成分の制御は、光源より出射される白色スリット光を波長透過特性の異なる複数のフィルタを切り換えることにより実行するとよい。これにより、簡易な構成により、カラーフィルタを正確に検査することができる。
【００１０】
また、光の波長成分の制御は、出射する光の波長が異なる複数の光源を切り換えることにより実行するようにしてもよい。
【００１１】
また、前記色画素部の色は、カラーカメラによって撮影することによって検出するとよい。これにより、確実に色画素部の色を判別できる。
【００１２】
他方、本発明にかかる検査方法は、白色スリット光を光源とするコンフォーカル光学系により色画素部を有するカラーフィルタの表面の高さ測定を行う検査方法であって、検査する色画素部の色に応じて、検査のために当該色画素部に出射する光の波長成分を制御するものである。このような方法により、色画素部を通過し、ガラス基板等で反射する光の発生を抑制できるため、カラーフィルタを正確に検査することができる。
【００１３】
ここで、検査する色画素部の色の波長成分が抑制された光をこの色画素部に出射することが望ましい。
【００１４】
また、光の波長成分の制御は、光源より出射される白色スリット光を波長透過特性の異なる複数のフィルタを切り換えることにより実行するとよい。これにより、簡易な構成により、カラーフィルタを正確に検査することができる。
【００１５】
また、前記光の波長成分の制御は、出射する光の波長が異なる複数の光源を切り換えることにより実行するようにしてもよい。
【００１６】
さらに、前記色画素部の色は、カラーカメラによって撮影することによって検出するとよい。これにより、確実に色画素部の色を判別できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態１．
図１に本発明の実施の形態にかかるカラーフィルタの検査装置の基本構成を示す。図に示されるように、この検査装置は、コンフォーカル顕微鏡１、フィルタ１４、反射鏡２１、レンズ２、カラーカメラ２２、制御部４及び駆動部５を備えている。
【００１８】
コンフォーカル顕微鏡１は、共焦点型光学系による焦点の合う最大輝度を検出することによって異物や構造の高さを測定している。このコンフォーカル顕微鏡１の具体的なハードウェア構成については後に詳述するが、少なくとも、白色（多色スペクトル）スリット光を出射する光源と、カラーフィルタからの光を検出する検出素子及び共焦点型光学系を有する。
【００１９】
フィルタ１４は、可視光波長制限用フィルタである。フィルタ１４は、少なくとも通過することができる周波数帯の異なる２種類のフィルタを有する。これらの複数のフィルタ１４は、切り換えることができる。例えば、複数のフィルタ１４は、フィルタホルダに横並びに固定され、駆動部５によってこのフィルタホルダをスライドさせることにより、種類の異なるフィルタ１４を切り換えるようにする。また、複数のフィルタ１４を同芯円上に配置し、回転させることによって複数のフィルタ１４を切り換えるようにしてもよい。
【００２０】
反射鏡２１は、カラーフィルタ３を反射した光をカラーカメラ２２の方向に反射させるものである。この例における反射鏡２１は、カラーフィルタ３を反射した光の進行方向とほぼ垂直に移動させることができ、カラーカメラ２２に対してカラーフィルタ３からの反射光を供給する場合にのみ、当該反射光の光路上に位置する。
【００２１】
カラーカメラ２２は、例えば、多数のＣＣＤ素子により構成され、カラー画像を得ることができる。
【００２２】
レンズ２は、カラーフィルタ３上に集光させるための対物レンズ等である。
【００２３】
制御部４は、コンフォーカル顕微鏡１、カラーカメラ２２、駆動部５等の検査装置内の各構成を制御する。特に本発明の実施の形態における制御部４は、カラーカメラ２２によって撮像された画像データに基づき、カラーフィルタ３上の画素の色を判別し、その判別結果に基づいて、フィルタ１４を駆動部５を介して切り換える制御を行う。
【００２４】
駆動部５は、制御部４からの制御信号に応じて、複数のフィルタ１４を切り換える。駆動部５は、例えば、駆動回路、モータや歯車等により構成される。
【００２５】
その他、本発明にかかる検査装置は、検査対象であるカラーフィルタ３を移動させる駆動機構を備えている。この駆動機構によって、コンフォーカル顕微鏡１により出射される光がカラーフィルタ３全体を走査できるように、カラーフィルタ３を移動させる。
【００２６】
ここで、図２を用いて、本発明の動作原理について説明する。図２（ａ）は、カラーフィルタの波長透過特性を示す。カラーフィルタは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色画素部３２、３３、３４を有するため、図２（ａ）に示されるように、各色画素部３２、３３、３４の色に対応した波長を有する光の透過率が高くなっている。
【００２７】
図２（ｂ）は、第１のフィルタ１４の波長透過特性を示す。この第１のフィルタ１４は、赤（Ｒ）の波長を有する光の透過率が高くなっており、他の緑（Ｇ）、青（Ｂ）の波長を有する光の透過率は低くなっている。従って、第１のフィルタ１４を通過した光は、少なくとも緑（Ｇ）、青（Ｂ）の波長成分が少なくなっている。このため、第１のフィルタ１４を通過した光を、緑（Ｇ）の色画素部３３に照射したとしても、この緑（Ｇ）の色画素部３３を透過する緑（Ｇ）の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、緑（Ｇ）の色画素部３３を透過せず、その表面において反射される。同様にして、第１のフィルタ１４を通過した光を、青（Ｂ）の色画素部３４に照射したとしても、この青（Ｂ）の色画素部３４を透過する青（Ｂ）の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、青（Ｂ）の色画素部３４を透過せず、その表面において反射される。他方で、赤（Ｒ）の色画素部３２は、第１のフィルタ１４を通過した光を透過させるため、赤（Ｒ）の色画素部３２の検査には用いることはできない。
【００２８】
図２（ｃ）は、第２のフィルタ１４の波長透過特性を示す。この第２のフィルタ１４は、緑（Ｇ）の波長を有する光の透過率が高くなっており、他の赤（Ｒ）、青（Ｂ）の波長を有する光の透過率は低くなっている。従って、第２のフィルタ１４を通過した光は、少なくとも赤（Ｒ）、青（Ｂ）の波長成分が少なくなっている。このため、第２のフィルタ１４を通過した光を、赤（Ｒ）の色画素部３２に照射したとしても、この赤（Ｒ）の色画素部３２を透過する赤（Ｒ）の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、赤（Ｒ）の色画素部３２を透過せず、その表面において反射される。同様にして、第１のフィルタ１４を通過した光を、青（Ｂ）の色画素部３４に照射したとしても、この青（Ｂ）の色画素部３４を透過する青（Ｂ）の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、青（Ｂ）の色画素部３４を透過せず、その表面において反射される。他方で、緑（Ｇ）の色画素部３３は、第２のフィルタ１４を通過した光を透過させるため、緑（Ｇ）の色画素部３３の検査には用いることはできない。
【００２９】
図２（ｄ）は、第３のフィルタ１４の波長透過特性を示す。この第３のフィルタ１４は、青（Ｂ）の波長を有する光の透過率が高くなっており、他の赤（Ｒ）、緑（Ｇ）の波長を有する光の透過率は低くなっている。従って、第３のフィルタ１４を通過した光は、少なくとも赤（Ｒ）、緑（Ｇ）の波長成分が少なくなっている。このため、第３のフィルタ１４を通過した光を、赤（Ｒ）の色画素部３２に照射したとしても、この赤（Ｒ）の色画素部３２を透過する赤（Ｒ）の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、赤（Ｒ）の色画素部３２を透過せず、その表面において反射される。同様にして、第３のフィルタ１４を通過した光を、緑（Ｇ）の色画素部３３に照射したとしても、この緑（Ｇ）の色画素部３３を透過する緑（Ｇ）の波長成分が照射光に殆ど含まれていないので、緑（Ｇ）の色画素部３３を透過せず、その表面において反射される。他方で、青（Ｂ）の色画素部３４は、第３のフィルタ１４を通過した光を透過させるため、青（Ｂ）の色画素部３４の検査には用いることはできない。
【００３０】
即ち、第１のフィルタ１４を用いた場合には、青（Ｂ）の色画素部３４、緑（Ｇ）の色画素部３３の検査を行なうことができる。第２のフィルタ１４を用いた場合には、青（Ｂ）の色画素部３４、赤（Ｒ）の色画素部３２の検査を行なうことができる。第３のフィルタ１４を用いた場合には、赤（Ｒ）の色画素部３２、緑（Ｇ）の色画素部３３の検査を行なうことができる。
【００３１】
従って、これらのフィルタ１４を適宜、検査しようとする色画素部の色に応じて切り換えることにより、全ての色画素部を正確に検査することができる。
【００３２】
続いて、図１にかかる検査装置の検査動作について説明する。
【００３３】
カラーフィルタ３の所定位置に位置決めする。例えば、コンフォーカル顕微鏡１からの光が赤（Ｒ）の色画素部３２に照射されているものとする。最初は、反射鏡２１は、コンフォーカル顕微鏡１から出射される光の光路上に位置する。カラーカメラ２２は、反射鏡２１及びレンズ２を介して、当該色画素部３２を撮影する。そして、カラーカメラ２２は、撮影により得られる画像データより、撮影対象の色画素部２の色を判別する。この例では、カラーカメラ２２は、赤（Ｒ）であることを判別し、赤（Ｒ）を示す判別信号を制御部４に出力する。制御部４は、判別信号を入力し、赤（Ｒ）の色画素部３２が測定できるようなフィルタ１４を選択する。図２に示す例では、第２のフィルタ１４又は第３のフィルタ１４を選択することができるが、この説明では、第２のフィルタ１４を選択したとする。
【００３４】
制御部４は、コンフォーカル顕微鏡１から出射される光の光路上に、選択した第２のフィルタ１４が位置するように、駆動部５に命令信号を出力する。駆動部５は、この命令信号を入力し、第２のフィルタ１４をコンフォーカル顕微鏡１から出射される光の光路上に移動させる。
【００３５】
次に、反射鏡２１を、図示しない駆動機構により、コンフォーカル顕微鏡１から出射される光の光路上から離れた位置に移動させる。そして、コンフォーカル顕微鏡１から出射された白色光は、第２のフィルタ１４及びレンズ２を通過してカラーフィルタ３に入射する。より詳細には、出射光は、カラーカメラ２２によって撮影された赤（Ｒ）の色画素部３２に入射する。また、出射光は、第２のフィルタ１４を通過することによって、青（Ｂ）及び赤（Ｒ）の波長成分が制限される。そのため、入射した光は、赤（Ｒ）の色画素部３２を通過せずに、その表面において反射される。
【００３６】
そして、反射光は、レンズ２及び第２のフィルタ１４を通過して、コンフォーカル顕微鏡１に入射する。コンフォーカル顕微鏡１は、反射光を入射し、その反射光を検出する。そして、周知の手段により、光が入射した部分、この例では、赤（Ｒ）の色画素部３２の表面を観察する。より具体的には、この部分に異物や構造欠陥等がないかどうかを判別するために、表面の高さを測定する。
【００３７】
次に、カラーフィルタ３を予め定められた距離分移動させる。また、反射鏡２１を、コンフォーカル顕微鏡１から出射される光の光路上に移動させる。そして、再び、カラーカメラ２２によってカラーフィルタ３の検査部分の色を検出する。この例では、前回の検査部分と同一画素上にあり、色が同じであるとする。その場合には、フィルタ１４は、同じものが選択される。続いて、反射鏡２１をコンフォーカル顕微鏡１から出射される光の光路上から離れた位置に移動させる。その後に上述の場合と同様にして、コンフォーカル顕微鏡１は、カラーフィルタ３の表面を観察し、表面の高さを測定する。このような一連の動作を繰り返す。
【００３８】
その後、カラーフィルタ３を移動させ、カラーカメラ２２が、緑（Ｇ）の色画素部３３を撮影したものとする。この場合には、緑（Ｇ）を示す判別信号を制御部４に出力する。制御部４は、判別信号を入力し、緑（Ｇ）の色画素部３２を測定できるようなフィルタ１４を選択する。図２に示す例では、第１のフィルタ１４又は第３のフィルタ１４を選択することができるが、この説明では、第１のフィルタ１４を選択したとする。
【００３９】
制御部４は、コンフォーカル顕微鏡１から出射される光の光路上に、選択した第１のフィルタ１４が位置するように、駆動部５に命令信号を出力する。駆動部５は、この命令信号を入力し、第１のフィルタ１４をコンフォーカル顕微鏡１から出射される光の光路上に移動させる。
【００４０】
次に、反射鏡２１を、図示しない駆動機構により、コンフォーカル顕微鏡１から出射される光の光路上から離れた位置に移動させる。そして、コンフォーカル顕微鏡１から出射された光は、第１のフィルタ１４及びレンズ２を通過してカラーフィルタ３に入射する。より詳細には、出射光は、カラーカメラ２２によって撮影された緑（Ｇ）の色画素部３３に入射する。また、出射光は、第１のフィルタ１４を通過することによって、青（Ｂ）及び緑（Ｇ）の波長成分が制限される。そのため、入射した光は、緑（Ｇ）の色画素部３３を通過せずに、その表面において反射される。
【００４１】
そして、反射光は、レンズ２及び第１のフィルタ１４を通過して、コンフォーカル顕微鏡１に入射する。コンフォーカル顕微鏡１は、反射光を入射し、その反射光を検出する。そして、周知の手段により、光が入射した部分、この例では、緑（Ｇ）の色画素部３３の表面を観察する。より具体的には、この部分に異物や構造欠陥等がないかどうかを判別するために、表面の高さを測定する。
【００４２】
さらに、カラーフィルタ３を移動させ、カラーカメラ２２が、青（Ｂ）の色画素部３４を撮影したものとする。この場合には、青（Ｂ）を示す判別信号を制御部４に出力する。制御部４は、判別信号を入力し、青（Ｂ）の色画素部３４が測定できるようなフィルタ１４を選択する。図２に示す例では、第１のフィルタ１４又は第２のフィルタ１４が選択される。この説明では、第１のフィルタ１４を選択したとする。
【００４３】
制御部４は、コンフォーカル顕微鏡１から出射される光の光路上に、選択した第１のフィルタ１４が位置するように、駆動部５に命令信号を出力する。駆動部５は、この命令信号を入力し、第１のフィルタ１４は、既にコンフォーカル顕微鏡１から出射される光の光路上に位置しているため、その状態を維持する。
【００４４】
次に、反射鏡２１を、図示しない駆動機構により、コンフォーカル顕微鏡１から出射される光の光路上から離れた位置に移動させる。そして、コンフォーカル顕微鏡１から出射された光は、第１のフィルタ１４及びレンズ２を通過してカラーフィルタ３に入射する。より詳細には、出射光は、カラーカメラ２２によって撮影された青（Ｂ）の色画素部３４に入射する。また、出射光は、第１のフィルタ１４を通過することによって、青（Ｂ）及び緑（Ｇ）の波長成分が制限される。そのため、入射した光は、青（Ｂ）の色画素部３４を通過せずに、その表面において反射される。
【００４５】
そして、反射光は、レンズ２及び第１のフィルタ１４を通過して、コンフォーカル顕微鏡１に入射する。コンフォーカル顕微鏡１は、反射光を入射し、その反射光を検出する。そして、周知の手段により、光が入射した部分、この例では、青（Ｂ）の色画素部３４の表面を観察する。より具体的には、この部分に異物等がないかどうかを判別するために、表面の高さを測定する。
【００４６】
このような処理を繰り返し、検査対象であるカラーフィルタ３の検査範囲すべてにつき、光を走査し、検査を行なう。
【００４７】
次に、図３に本発明の実施の形態にかかるカラーフィルタの検査装置の構成例を示す。図１において、光源１１は、多色スペクトルを含む光、即ち白色光を放射するものであり、例えば、キセノンランプ、水銀ランプ、ハロゲンランプ、蛍光ランプである。この光源から放射される光は、ファイバ束１２の結束端に入射される。このファイバ束１２の出射端１３におけるファイバはライン状に配列されている。このようなファイバ束１２を用いるため、出射端１３からは中央部でも端部でも均一の光量が放射されることになるとともに出射される光線の進行方向もファイバの出射角によって決まり、従来のスリットを用いたコンフォーカル顕微鏡に比べて光軸に対する傾斜角は小さいものとなる。ファイバ束１２の出射端１３から出射される光は、フィルタ１４に入射する。
【００４８】
このフィルタ１４は、図１、図２において説明した通りである。フィルタ１４を通過した光は、スリット１５に入射される。このスリット１５を対物レンズ２４に関してカラーフィルタ３である試料面２５と共役の位置に配置してコンフォーカル光学系を構成する。さらに、スリット１５の後方に偏光板１６を配置する。
【００４９】
偏光板１６を通過した光は、リレーレンズ１７を経て、偏光ビームスプリッタ１８に入射される。この偏光ビームスプリッタ１８の偏光面で反射されたビームは、振動ミラーを有する走査ミラー１９に入射される。この走査ミラー１９を、テレビジョンの垂直走査に同期して駆動し、ビームを主走査方向と直交する副走査方向（垂直走査方向）に偏向し、さらにリレーレンズ２０に入射させる。したがって、このリレーレンズ２０によってビームによるラスタＢが形成される。このラスタＢの像を１／４λ板２３および対物レンズ２４を経て試料面２５に結像させる。これによって試料面２５をラスタ走査するようにしている。
【００５０】
試料面２５で反射されたビームは、対物レンズ２４、１／４λ板２３、リレーレンズ２０、走査ミラー１９を経て偏光ビームスプリッタ１８に入射される。ここで、走査ミラー１９を通ることによって副走査方向の偏向は相殺されてなくなる。また、１／４λ板２３を２度通ることによりビームの偏光面は９０度回転するので、偏光ビームスプリッタ１８の偏光面を透過することになる。このようにして偏光ビームスプリッタ１８を透過したビームを結像レンズ２６によって予定焦点面に配置された１次元イメージセンサアレイ２７に収束させる。１次元イメージセンサアレイ２７から読み出される画像信号を信号処理回路で処理した後、例えばテレビジョンモニタ上に映出する。そして、検査対象であるカラーフィルタ３の表面の状態を観察する。ここで、顕微鏡は共焦点光学系で構成している故、光軸上で焦点の合った部分が最大光量を与える。そこで対物レンズを光軸方向に移動するなどして異物などの表面に焦点が合うように、焦点を移動することにより、最大光量を与える点が移動し、最大光量を与える点が消失するまで移動を行えば、この移動量から異物等の高さが検出できることになる。
【００５１】
即ち、この発明の実施の形態における検査装置は、スリット１５を用い、その像をリレーレンズ１７および２０によって結像することによりラスタＢを形成し、このラスタの縮小像を対物レンズ２４によって試料面２２上に形成して試料面をラスタ走査している。そして、このラスタ像を対物レンズ２４、リレーレンズ２０および結像レンズ２０によって１次元イメージセンサアレイ２７の受光面上に結像するようにしている。この場合、対物レンズ２４に入射する光は対物レンズの中心部だけではなく、広い範囲にわたるので、対物レンズの実効的なＮＡは大きくなり、したがって分解能も高くなる。これは特に対物レンズとして広視野、低倍率のものを使用したときに有利となる。さらに、実効的なＮＡが大きくなると、試料２５の傾斜面も観察できるようになる。
【００５２】
本発明の実施の形態にかかる検査装置では、さらに反射鏡２１及びカラーカメラ２２を備えている。この反射鏡２１は、上述の通り、試料２５を反射した光をカラーカメラ２２の方向に反射させるものである。この例における反射鏡２１は、試料２５を反射した光の進行方向とほぼ垂直に移動させることができ、カラーカメラ２２に対して試料２５からの反射光を供給させる場合にのみ、当該反射光の光路上に位置する。カラーカメラ２２は、例えば、多数のＣＣＤ素子により構成され、カラー画像を得ることができる。
【００５３】
この発明の実施の形態１にかかる検査装置では、カラーフィルタを通過しない光が照射されるよう、制御しているため、カラーフィルタを正確に検査することが可能となる。
【００５４】
尚、図３に示す検査装置では、フィルタ１４は、ファイバ束１２の出射端１３の近傍に設けたが、これに限らず、ファイバ束１２の出射端１３から反射鏡２１の間の光路の任意の位置に設けることが可能である。
【００５５】
発明の実施の形態２．
発明の実施の形態１では、反射鏡２１を移動させることによって、カラーカメラ２２側とコンフォーカル顕微鏡１側のいずれかの光路を切り換えるようにした。発明の実施の形態２では、図４に示されるようにカラーカメラ２２の光路とコンフォーカル顕微鏡１の光路がほぼ平行になるように配置している。従って、同じタイミングにおいて、カラーカメラ２２の撮影箇所とコンフォーカル顕微鏡１の観察箇所は異なる。そのため、制御部４は、カラーカメラ２２の撮影することによって得られた色情報を、カラーフィルタ３の位置情報と関連付けて、図示しない記憶手段に格納しておき、コンフォーカル顕微鏡１の観察箇所が何色であるかをわかるようにしている。コンフォーカル顕微鏡１の観察時には、観察箇所の色情報を記憶手段より抽出する。そして、制御部４は、抽出された色情報に基づき、フィルタ１４を選択する。コンフォーカル顕微鏡１は、発明の実施の形態１と同様にして、カラーフィルタ３を観察する。尚、図４に示されるように、本発明の実施の形態２では、カラーカメラ２２に対応するレンズ２ａ、コンフォーカル顕微鏡１に対応するレンズ２ｂを備えている。
【００５６】
この発明の実施の形態２にかかる検査装置でも、観察箇所のカラーフィルタを通過しない光が照射されるよう、制御しているため、カラーフィルタを正確に検査することが可能となる。
【００５７】
特に、この発明の実施の形態２における検査装置は、反射鏡２１が必要ないため、駆動動作が容易となるという効果を奏する。
【００５８】
その他の発明の実施の形態．
上述の検査装置は、検査機能のみならず、異物の除去や高さの修正を行う修復機能を備えるようにしてもよい。
【００５９】
本発明の検査装置の対象となるカラーフィルタは、液晶用に限らず他の用途に用いられるものであってもよい。
【００６０】
上述の例では、カラーカメラによって、観察部分の色を判別するようにしたが、予めカラーフィルタにおける色の情報がカラーフィルタの設計情報等よりわかる場合には、カラーカメラを用いて撮影する必要はない。
【００６１】
カラーカメラにより撮影を一旦検査対象のカラーフィルタ全体について行い、撮影情報又はその撮影情報より得られる色情報を記憶しておき、その色情報に基づきフィルタを適宜選択し、カラーフィルタ全体を観察するようにしてもよい。
【００６２】
上述の例では、フィルタを切り換えることにより、カラーフィルタに出射される光の波長成分を調整するようにしたが、これに限らず、複数の波長の異なる光を出射する光源を設け、この光源を切り換えるようにしてもよい。例えば、赤（Ｒ）を出射する光源、緑（Ｇ）を出射する光源、青（Ｂ）を出射する光源を用意する。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、カラーフィルタを正確に検査することが可能な検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる検査装置の構成例を示すブロック図である。
【図２】カラーフィルタの波長透過特性及び本発明にかかる検査装置のフィルタの波長透過特性を示す図である。
【図３】本発明にかかる検査装置の構成例を示す図である。
【図４】本発明にかかる他の検査装置の構成例を示すブロック図である。
【図５】一般的なカラーフィルタの波長透過特性を示す図である。
【図６】一般的なカラーフィルタの断面図である。
【符号の説明】
１　コンフォーカル顕微鏡　２　レンズ　３　カラーフィルタ
４　制御部　５　駆動部
１４　フィルタ
【図１】
2004053495.tif 000003
【図２】
2004053495.tif 000004
【図３】
2004053495.tif 000005
【図４】
2004053495.tif 000006
【図５】
2004053495.tif 000007
【図６】
2004053495.tif 000008