(57)【要約】【課題】製造装置の稼働率を平準化し、市場の需給動向に合わせて製造装置を効率的に機能させることができる製造装置予約管理システムを提供する。【解決手段】製造装置の利用の予約を管理する製造装置予約管理システムであって、製造装置の利用期間を予約毎に格納する利用予定データベースと、製造を開始することができるとき及び製造終了期限を示す指定期間、及び製造に必要な生産能力を含む予約を予約者から取得する予約取得部と、利用予定データベースを参照し、指定期間内に生産能力を提供できる製造装置の利用可能期間を抽出する利用可能期間抽出部と、利用可能期間抽出部が抽出した製造装置の利用可能期間を利用期間として利用予定データベースに格納する利用予定更新部とを備える。【選択図】　図２
2004013772.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置の利用の予約を管理する製造装置予約管理システムであって、
製造装置の利用期間を予約毎に格納する利用予定データベースと、
製造を開始することができるとき及び製造終了期限を示す指定期間、及び製造に必要な生産能力を含む予約を予約者から取得する予約取得部と、
前記利用予定データベースを参照し、前記指定期間内に前記生産能力を提供できる製造装置の利用可能期間を抽出する利用可能期間抽出部と、
前記利用可能期間抽出部が抽出した前記製造装置の前記利用可能期間を前記利用期間として前記利用予定データベースに格納する利用予定更新部と
を備えることを特徴とする製造装置予約管理システム。
【請求項２】
前記利用予定データベースは、複数の種類の製造装置に対して、前記予約毎に前記利用期間を格納し、
前記予約取得部は、指定機種を前記予約者からさらに取得し、
前記利用可能期間抽出部は、前記指定機種に該当する製造装置の利用可能期間を抽出することを特徴とする請求項１に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項３】
前記利用予定更新部が前記利用可能期間を前記利用期間として前記利用予定データベースに格納した場合、前記指定期間内に前記生産能力を提供できるように製造装置を予約できたことを、前記予約者に対して通知する予約完了通知部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項４】
前記利用予定データベースは、前記予約毎に、前記予約取得部が取得した前記指定期間を許容期間としてさらに格納し、
前記利用可能期間抽出部は、前記利用予定データベースが格納する前記予約について、前記許容期間内において前記利用期間を変更することにより前記利用可能期間を生成して抽出することを特徴とする請求項１に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項５】
前記利用可能期間抽出部は、連続した利用可能期間を抽出することができない場合、前記指定期間内に前記生産能力を提供できる製造装置の利用可能期間を複数に分割して抽出し、
前記利用予定更新部は、複数に分割された前記利用可能期間を前記利用期間として前記利用予定データベースに格納することを特徴とする請求項４に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項６】
前記製造装置の利用の価格を、前記利用期間に対応づけて格納する価格データベースをさらに備え、
前記利用可能期間抽出部は、前記価格データベースを参照し、価格がより安くなるような前記製造装置の前記利用可能期間を選択して抽出することを特徴とする請求項５に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項７】
前記予約取得部が取得した前記生産能力を提供するために必要な製造装置の稼働時間を算出する稼働時間算出部をさらに備え、
前記利用可能期間抽出部は、前記稼働時間に基づいて、前記製造装置の前記利用可能期間を抽出することを特徴とする請求項１に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項８】
前記製造装置は、半導体製造装置であり、
前記予約取得部は、前記生産能力として、パターンデータ及び生産量を取得し、
前記稼動時間算出部は、前記パターンデータ及び前記生産量に基づいて、前記製造装置の前記稼働時間を算出することを特徴とする請求項７に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項９】
前記製造装置の利用の価格を、前記利用期間に対応づけて格納する価格データベースと、
前記利用可能期間抽出部が抽出した前記製造装置の前記利用可能期間における価格を、前記価格データベースを参照して抽出する価格抽出部と、
前記価格抽出部が抽出した前記価格を前記予約者に通知する価格通知部と
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項１０】
前記製造装置は、半導体製造装置であり、
ＩＰ（Ｉｎｔｅｌｌｅｃｔｕａｌ　Ｐｒｏｐｅｒｔｙ）を識別するＩＰ識別情報と、割引率とを対応づけて格納するＩＰ情報データベースをさらに備え、
前記予約取得部は、前記生産能力としてＩＰ識別情報を取得し、
前記価格抽出部は、前記予約取得部が取得した前記ＩＰ識別情報に対応づけて前記ＩＰ情報データベースが格納する前記割引率に基づいて、前記価格データベースを参照して抽出した前記価格を決定し、
前記価格通知部は、前記価格抽出部が決定した前記価格を前記予約者に通知することを特徴とする請求項９に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項１１】
前記ＩＰ識別情報で識別されるＩＰの利用回数に基づいて、前記ＩＰ情報データベースが格納する前記割引率を決定するＩＰ情報更新部をさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項１２】
前記ＩＰ情報更新部は、ＩＰの前記利用回数が大きいほど、前記割引率を大きくすることを特徴とする請求項１１に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項１３】
製造装置の機種、前記指定期間、及び利用期間の少なくとも１つに基づいて、前記製造装置の所定の前記利用期間における価格を決定する価格決定部をさらに備え、
前記価格データベースは、前記価格決定部が決定した前記価格を、前記製造装置及び前記利用期間に対応づけて格納することを特徴とする請求項９に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項１４】
前記価格決定部は、前記予約を受けたときから前記利用期間までの時間が長いほど、単位時間当りの前記価格を安くすることを特徴とする請求項１３に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項１５】
前記価格決定部は、前記予約を受けたときから前記指定期間までの時間が長いほど、単位時間当りの前記価格を安くすることを特徴とする請求項１３に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項１６】
前記価格決定部は、前記利用期間が長いほど、単位時間当りの前記価格を安くすることを特徴とする請求項１３に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項１７】
前記価格決定部は、前記指定期間が長いほど、単位時間当りの前記価格を安くすることを特徴とする請求項１３に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項１８】
前記予約取得部は、指定期間が指定されていない他の生産能力を含む他の予約をさらに取得し、
前記利用予定更新部は、前記利用予定データベースを参照し、製造装置が利用されないときに、前記他の予約を前記利用予定データベースに格納することを特徴とする請求項１に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項１９】
前記指定期間及び前記生産能力を含む前記予約の売り情報及び買い情報を格納する売買情報データベースと、
前記売買情報データベースに格納された前記売り情報と前記買い情報との要求が合致するか否かを判断する売買情報判断部と、
前記売買情報判断部が前記売り情報と前記買い情報との要求が合致すると判断した場合、前記売り情報の提供者と前記買い情報の提供者との間の課金処理を行う課金処理部と
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項２０】
複数の前記売り情報をまとめて集合売り情報を生成する売り情報生成部をさらに備え、
前記売買情報判断部は、前記集合売り情報と前記買い情報との要求が合致するか否かを判断し、
前記課金処理部は、前記売買情報判断部が前記集合売り情報と前記買い情報との要求が合致すると判断した場合、前記複数の売り情報のそれぞれの提供者と、前記買い情報の提供者との間の課金処理を行うことを特徴とする請求項１６に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項２１】
前記売り情報生成部は、前記複数の売り情報の複数の前記指定期間を合わせた期間を前記集合売り情報の指定期間とし、前記複数の売り情報の前記生産能力の和を前記集合売り情報の生産能力とすることを特徴とする請求項１７に記載の製造装置予約管理システム。
【請求項２２】
製造装置の利用の予約を管理する製造装置予約管理方法であって、
製造を開始することができるとき及び製造終了期限を示す指定期間、及び製造に必要な生産能力を含む予約を予約者から取得する予約取得段階と、
製造装置の利用期間を予約毎に格納する利用予定データベースを参照し、前記指定期間内に前記生産能力を提供できる製造装置の利用可能期間を抽出する利用可能期間抽出段階と、
前記利用可能期間抽出段階において抽出された前記製造装置の前記利用可能期間を前記利用期間として前記利用予定データベースに格納する利用予定更新段階と
を備えることを特徴とする製造装置予約管理方法。
【請求項２３】
製造装置の利用の予約を管理する製造装置予約管理システム用のプログラムであって、前記製造装置予約管理システムを、
製造を開始することができるとき及び製造終了期限を示す指定期間、及び製造に必要な生産能力を含む予約を予約者から取得する予約取得部、
製造装置の利用期間を予約毎に格納する利用予定データベースを参照し、前記指定期間内に前記生産能力を提供できる製造装置の利用可能期間を抽出する利用可能期間抽出部、
前記利用可能期間抽出部が抽出した前記製造装置の前記利用可能期間を前記利用期間として前記利用予定データベースに格納する利用予定更新部
として機能させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製造装置予約管理システム、製造装置予約管理方法、及びプログラムに関する。特に本発明は、製造装置の利用の予約を管理する製造装置予約管理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体産業においては、投資負担の軽減と迅速な技術進歩への適応の必要から、半導体製品の設計と、製造に必要な情報の開発と、実際の製造とが分業で行われる事業形態が進展している。このような事業形態の進展の結果として、半導体製品の製造を専業とする企業（ファウンダリ）と、半導体製品を企画設計して製造を外部委託する企業（ファブレスメーカ）とが誕生している。そして、ファブレスメーカとファウンダリとは、生産受託価格、生産納期等を相対取引により決定している。また、特開２００１−２８３０２０号公報には、オープン取引によって、半導体ウェハプロセス等の生産能力を取引する取引方法が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ファブレスメーカには、必要なときに必要な量を供給してくれるファウンダリの存在が前提であるが、ファウンダリの稼働率が上昇すると、ファブレスメーカ向けの生産枠が縮小されてしまう。また、相対取引が行われている場合、ファウンダリは、市場の需給変化に対して迅速に対応することが難しく、急に価格を変動させることができない。そのうえ、ファウンダリは、受注の有無に関わらず設備を稼働し続けなければならないため、固定費の下方硬直性が顕著になる。即ち、相対取引が行われていることによって、ファウンダリの稼働率を平準化し、市場の需給動向に合わせて効率的に機能させることが困難になっている。また、特開２００１−２８３０２０号公報に開示された取引方法によって生産能力の取引を行った場合でも、製造装置の稼働率を平準化することは困難である。
【０００４】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる製造装置予約管理システムを提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明の第１の形態によると、製造装置の利用の予約を管理する製造装置予約管理システムであって、製造装置の利用期間を予約毎に格納する利用予定データベースと、製造を開始することができるとき及び製造終了期限を示す指定期間、及び製造に必要な生産能力を含む予約を予約者から取得する予約取得部と、利用予定データベースを参照し、指定期間内に生産能力を提供できる製造装置の利用可能期間を抽出する利用可能期間抽出部と、利用可能期間抽出部が抽出した製造装置の利用可能期間を利用期間として利用予定データベースに格納する利用予定更新部とを備える。
【０００６】
利用予定データベースは、複数の種類の製造装置に対して、予約毎に利用期間を格納し、予約取得部は、指定機種を予約者からさらに取得し、利用可能期間抽出部は、指定機種に該当する製造装置の利用可能期間を抽出してもよい。
【０００７】
利用予定更新部が利用可能期間を利用期間として利用予定データベースに格納した場合、指定期間内に生産能力を提供できるように製造装置を予約できたことを、予約者に対して通知する予約完了通知部をさらに備えてもよい。
【０００８】
利用予定データベースは、予約毎に、予約取得部が取得した指定期間を許容期間としてさらに格納し、利用可能期間抽出部は、利用予定データベースが格納する予約について、許容期間内において利用期間を変更することにより利用可能期間を生成して抽出してもよい。
【０００９】
利用可能期間抽出部は、連続した利用可能期間を抽出することができない場合、指定期間内に生産能力を提供できる製造装置の利用可能期間を複数に分割して抽出し、利用予定更新部は、複数に分割された利用可能期間を利用期間として利用予定データベースに格納してもよい。
【００１０】
製造装置の利用の価格を、利用期間に対応づけて格納する価格データベースをさらに備え、利用可能期間抽出部は、価格データベースを参照し、価格がより安くなるような製造装置の利用可能期間を選択して抽出してもよい。
【００１１】
予約取得部が取得した生産能力を提供するために必要な製造装置の稼働時間を算出する稼働時間算出部をさらに備え、利用可能期間抽出部は、稼働時間に基づいて、製造装置の利用可能期間を抽出してもよい。
【００１２】
製造装置は、半導体製造装置であり、予約取得部は、生産能力として、パターンデータ及び生産量を取得し、稼動時間算出部は、パターンデータ及び生産量に基づいて、製造装置の稼働時間を算出してもよい。
【００１３】
製造装置の利用の価格を、利用期間に対応づけて格納する価格データベースと、利用可能期間抽出部が抽出した製造装置の利用可能期間における価格を、価格データベースを参照して抽出する価格抽出部と、価格抽出部が抽出した価格を予約者に通知する価格通知部とをさらに備えてもよい。
【００１４】
製造装置は、半導体製造装置であり、ＩＰ（Ｉｎｔｅｌｌｅｃｔｕａｌ　Ｐｒｏｐｅｒｔｙ）を識別するＩＰ識別情報と、割引率とを対応づけて格納するＩＰ情報データベースをさらに備え、予約取得部は、生産能力としてＩＰ識別情報を取得し、価格抽出部は、予約取得部が取得したＩＰ識別情報に対応づけてＩＰ情報データベースが格納する割引率に基づいて、価格データベースを参照して抽出した価格を決定し、価格通知部は、価格抽出部が決定した価格を予約者に通知してもよい。
【００１５】
ＩＰ識別情報で識別されるＩＰの利用回数に基づいて、ＩＰ情報データベースが格納する割引率を決定するＩＰ情報更新部をさらに備えてもよい。ＩＰ情報更新部は、ＩＰの利用回数が大きいほど、割引率を大きくしてもよい。
【００１６】
製造装置の機種、指定期間、及び利用期間の少なくとも１つに基づいて、製造装置の所定の利用期間における価格を決定する価格決定部をさらに備え、価格データベースは、価格決定部が決定した価格を、製造装置及び利用期間に対応づけて格納してもよい。
【００１７】
価格決定部は、予約を受けたときから利用期間までの時間が長いほど、単位時間当りの価格を安くしてもよい。価格決定部は、予約を受けたときから指定期間までの時間が長いほど、単位時間当りの価格を安くしてもよい。価格決定部は、利用期間が長いほど、単位時間当りの価格を安くしてもよい。価格決定部は、指定期間が長いほど、単位時間当りの価格を安くしてもよい。
【００１８】
予約取得部は、指定期間が指定されていない他の生産能力を含む他の予約をさらに取得し、利用予定更新部は、利用予定データベースを参照し、製造装置が利用されないときに、他の予約を利用予定データベースに格納してもよい。
【００１９】
指定期間及び生産能力を含む予約の売り情報及び買い情報を格納する売買情報データベースと、売買情報データベースに格納された売り情報と買い情報との要求が合致するか否かを判断する売買情報判断部と、売買情報判断部が売り情報と買い情報との要求が合致すると判断した場合、売り情報の提供者と買い情報の提供者との間の課金処理を行う課金処理部とをさらに備えてもよい。
【００２０】
複数の売り情報をまとめて集合売り情報を生成する売り情報生成部をさらに備え、売買情報判断部は、集合売り情報と買い情報との要求が合致するか否かを判断し、課金処理部は、売買情報判断部が集合売り情報と買い情報との要求が合致すると判断した場合、複数の売り情報のそれぞれの提供者と、買い情報の提供者との間の課金処理を行ってもよい。
【００２１】
売り情報生成部は、複数の売り情報の複数の指定期間を合わせた期間を集合売り情報の指定期間とし、複数の売り情報の生産能力の和を集合売り情報の生産能力としてもよい。
【００２２】
本発明の第２の形態によると、製造装置の利用の予約を管理する製造装置予約管理方法であって、製造を開始することができるとき及び製造終了期限を示す指定期間、及び製造に必要な生産能力を含む予約を予約者から取得する予約取得段階と、製造装置の利用期間を予約毎に格納する利用予定データベースを参照し、指定期間内に生産能力を提供できる製造装置の利用可能期間を抽出する利用可能期間抽出段階と、利用可能期間抽出段階において抽出された製造装置の利用可能期間を利用期間として利用予定データベースに格納する利用予定更新段階とを備える。
【００２３】
本発明の第３の形態によると、製造装置の利用の予約を管理する製造装置予約管理システム用のプログラムであって、製造装置予約管理システムを、製造を開始することができるとき及び製造終了期限を示す指定期間、及び製造に必要な生産能力を含む予約を予約者から取得する予約取得部、製造装置の利用期間を予約毎に格納する利用予定データベースを参照し、指定期間内に生産能力を提供できる製造装置の利用可能期間を抽出する利用可能期間抽出部、利用可能期間抽出部が抽出した製造装置の利用可能期間を利用期間として利用予定データベースに格納する利用予定更新部として機能させる。
【００２４】
なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態はクレームにかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００２６】
図１は、本発明の一実施形態に係る製造装置予約管理ネットワーク１０の構成の一例を示す。製造装置予約管理ネットワーク１０は、製造装置群３００ａ〜３００ｃが有する製造装置の利用の予約を管理する製造予約管理システム１００と、インターネット網４００を介して製造装置予約管理システム１００に接続されたユーザ端末２００ａ及び２００ｂとを備える。製造装置群３００ａ〜３００ｃが有する製造装置は、半導体製造装置であってよく、さらに具体的には露光装置であってよい。
【００２７】
製造装置群３００ａ〜３００ｂは、例えばファウンダリであり、製造装置予約管理システム１００は、ファウンダリから製造装置の情報を取得して管理する。また、ユーザ端末２００ａ及び２００ｂは、例えばファブレスメーカや投資家が使用するパーソナルコンピュータであり、製造装置予約管理システム１００は、ファブレスメーカや投資家等から、製造装置群３００ａ〜３００ｃが有する製造装置の利用枠の予約を受け付ける。
【００２８】
また、製造装置予約管理システム１００は、ユーザ端末２００ａ又は２００ｂから製造装置群３００ａ〜３００ｃが有する製造装置の予約の売り情報及び買い情報を取得して管理し、売り情報と買い情報との間の取引を行わせる。即ち、製造装置予約管理システム１００は、製造装置の予約を生産権として、生産権のオープン取引を行う。例えば、製造装置予約管理システム１００は、売り情報と買い情報との間の取引として、生産権のオプション取引や先物取引等を行ってもよい。
【００２９】
本実施形態の製造装置予約管理ネットワーク１０によれば、製造装置予約管理システム１００が複数の製造装置群３００ａ〜３００ｃ、即ち複数のファウンダリが有する複数の製造装置を一括して管理することができるため、製造装置の稼働率を均一化することができる。また、製造装置予約管理システム１００が生産権のオープン取引を行うことにより、需給のバランスに応じて生産権の価格を変動させることができ、需給動向に合わせた市場を形成することができる。
【００３０】
図２は、製造装置予約管理システム１００の機能構成の一例を示す。製造装置予約管理システム１００は、製造を開始することができるとき及び製造終了期限を示す指定期間、及び製造に必要な生産能力を予約者から取得し、指定期間内において予約者から取得した生産能力を提供できる製造装置の利用期間を確保して予約を受け付ける。このようにして、製造装置予約管理システム１００は、予約者から受け付けた複数の予約をそれぞれの指定期間を満たす範囲でスケジュールを設定することができる。例えば、生産能力としてウェハサイズ及び枚数（又はロット数）を取得してもよいし、製造装置名及び使用時間を取得してもよい。また、予約の対象となる製造装置が半導体製造装置である場合、パターンデータ及び生産量を取得し、パターンデータ及び生産量から生産能力を求めてもよい。また、予約の対象となる製造装置が露光装置である場合、生産能力としてパターンデータ又はショット数、及び生産量を取得し、パターンデータ又はショット数、及び生産量から生産能力を求めてもよい。
【００３１】
製造装置予約管理システム１００は、製造装置の利用期間を予約毎に格納する利用予定データベース１５０と、指定期間及び生産能力を含む予約を予約者から取得する予約取得部１０２と、利用予定データベース１５０を参照し、予約取得部１０２が取得した指定期間及び生産能力に基づいて、製造装置の利用可能期間を抽出する利用可能期間抽出部１０４と、利用可能期間抽出部１０４が抽出した製造装置の利用可能期間を利用期間として利用予定データベース１５０に格納する利用予定更新部１０６と、予約取得部１０２が取得した予約が完了したことを予約者に対して通知する予約完了通知部１０８とを備える。
【００３２】
製造装置予約管理システム１００は、予約取得部１０２が取得した生産能力を提供するために必要な製造装置の稼働時間を算出する稼働時間算出部１１０をさらに備えてもよい。予約の対象となる製造装置が半導体製造装置である場合、稼働時間算出部１１０は、予約者によって指定されたパターンデータ及び生産量に基づいて、製造装置の稼働時間を算出してもよい。そして、利用可能期間抽出部１０４は、稼働時間算出部１１０が算出した稼働時間に基づいて、製造装置の利用可能期間を抽出してもよい。
【００３３】
予約取得部１０２は、指定機種を予約者からさらに取得してもよい。例えば、予約取得部１０２は、特定の製造装置を指定する情報を取得してもよいし、製造装置の機種を指定する情報を取得してもよい。また、予約取得部１０２は、製造装置の特性を示す情報を取得してもよい。そして、利用可能期間抽出部１０４は、予約取得部１０２が取得した指定機種に該当する製造装置の利用可能期間を抽出してもよい。
【００３４】
さらに、製造装置予約管理システム１００は、製造装置の機種、指定期間、及び利用期間の少なくとも１つに基づいて、製造装置の所定の利用期間における価格を決定する価格決定部１１２と、価格決定部１１２が決定した価格を利用可能期間に対応づけて格納する価格データベース１５２と、利用可能期間抽出部１０４が抽出した利用可能期間における価格を価格データベース１５２を参照して抽出する価格抽出部１１４と、価格抽出部１１４が抽出した価格を予約者に通知する価格通知部１１６とを備える。
【００３５】
価格決定部１１２は、製造装置の稼働コスト又は稼働率に基づいて、製造装置の利用の価格を決定してもよい。例えば、価格決定部１１２は、予約が多いとき期ほど、単位時間当りの製造装置の利用の価格を高くしてもよい。
【００３６】
さらに、製造装置予約管理システム１００は、指定期間及び利用期間を含む製造装置の予約の売り情報及び買い情報を取得する売買情報取得部１１８と、売買情報取得部１１８が取得した売り情報及び買い情報を格納する売買情報データベース１５４と、売買情報データベース１５４に格納された売り情報と買い情報との要求が合致するか否かを判断する売買情報判断部１２０と、売買情報判断部１２０が売り情報と買い情報との要求が合致すると判断した場合、売り情報の提供者と買い情報の提供者との間で、例えば金融機関を介した決済等の課金処理を行う課金処理部１２２と、取引が完了したことを売り情報の提供者及び買い情報の提供者に対して通知する取引完了通知部１２４とを備える。
【００３７】
さらに、製造装置予約管理システム１００は、ＩＰ（Ｉｎｔｅｌｌｅｃｔｕａｌ　Ｐｒｏｐｅｒｔｙ）を識別するＩＰ識別情報と割引率とを対応づけて格納するＩＰ情報データベース１５６と、ＩＰ情報データベース１５６が格納する情報を更新するＩＰ情報更新部１２８と、ＩＰ情報データベース１５６が格納する情報を予約者に通知するＩＰ情報通知部１３０とを備える。
【００３８】
予約の対象となる製造装置が半導体製造装置である場合、予約取得部１０２は、パターンデータとしてＩＰ識別情報を予約者から取得してもよい。そして、価格抽出部１１４は、ＩＰ情報データベース１５６を参照し、予約取得部１０２が取得したＩＰ情報に対応づけて格納される割引率に基づいて製造装置の利用の価格を割り引き、価格通知部１１６に提供してもよい。また、ＩＰ情報更新部１２８は、予約取得部１０２がＩＰ識別情報を含む予約を取得して当該予約が完了した場合に、予約取得部１０２が取得したＩＰ識別情報に基づいてＩＰ情報データベース１５６が格納する情報を更新する。
【００３９】
さらに、製造装置予約管理システム１００は、複数の売り情報をまとめて集合売り情報を生成する売り情報生成部１２６を備えてもよい。そして、売買情報判断部１２０は、売り情報生成部１２６が生成した集合売り情報と買い情報との要求が合致するか否かを判断してもよい。そして、課金処理部１２２は、売買情報判断部１２０が集合売り情報と買い情報との要求が合致すると判断した場合、複数の売り情報のそれぞれの提供者と買い情報の提供者との間の課金処理を行ってもよい。
【００４０】
本実施形態の製造装置予約管理システム１００によれば、製造装置の予約の管理、製造装置の利用の価格の決定、及び製造装置の予約の売買の取引を一括して行うため、稼働率の均一化及び価格の適正化を実現することができる。
【００４１】
図３は、利用予定データベース１５０のデータフォーマットの一例を示す。利用予定データベース１５０は、複数の製造装置１５０ａ〜１５０ｃのそれぞれに対して、予約毎に割り当てられた予約識別情報、利用期間、及び許容期間を対応づけて格納する。利用予定データベース１５０は、予約毎に予約識別情報に対応づけて、予約取得部１０２が取得した指定期間を許容期間として格納する。
【００４２】
利用予定データベース１５０は、予約識別情報「０００１」に対応づけて、利用期間「２００２年１月１日０時〜２００２年１月５日４時（１００時間）」、許容期間「２００２年１月１日〜２００２年１月３１日」を格納し、予約識別情報「０００２」に対応づけて、利用期間「２００２年１月５日４時〜２００２年１月５日１４時（１０時間）」、許容期間「２００２年１月１日〜２００２年１月７日」を格納する。
【００４３】
この後、予約取得部１０２が、生産能力「２０時間」、指定期間「２００２年１月４日〜２００２年１月１８日」の予約を取得した場合、利用可能期間抽出部１０４は、利用予定データベース１５０を参照し、指定期間「２００２年１月４日〜２００２年１月１８日」内に生産能力「２０時間」を提供できる利用可能期間「２００２年１月５日１４時〜２００２年１月６日１０時（２０時間）」を抽出する。そして、利用予定更新部１０６は、利用可能期間「２００２年１月５日１４時〜２００２年１月６日１０時（２０時間）」を利用期間として、又は指定期間指定期間「２００２年１月４日〜２００２年１月１８日」を許容期間として、予約識別情報「０００３」に対応づけて利用予定データベース１５０に格納する。
【００４４】
さらにこの後、予約取得部１０２が、生産能力「３０時間」、指定期間「２００２年１月４日〜２００２年１月６日」の新たな予約を取得した場合、利用可能期間抽出部１０４は、指定期間「２００２年１月４日〜２００２年１月６日」内に生産能力「３０時間」を提供できる利用可能期間が無いので、利用予定データベース１５０が格納する予約について、許容期間内において利用期間を変更することにより、指定期間「２００２年１月４日〜２００２年１月６日」内に生産能力「３０時間」を提供できる利用可能期間を生成して抽出する。例えば、利用可能期間抽出部１０４は、予約識別情報「０００３」の利用期間を「２００２年１月６日２０時〜２００２年１月７日６時」に変更することにより、新たな予約の利用可能期間「２００２年１月５日１４時〜２００２年１月６日２０時（３０時間）」を生成して抽出する。また、利用可能期間抽出部１０４は、複数の予約の利用期間を変更することにより、新たな予約の利用可能期間を生成して抽出してもよい。
【００４５】
また、利用可能期間抽出部１０４は、新たな予約に対して連続した利用可能期間を抽出することができない場合、指定期間内に生産能力を提供できる利用可能期間を複数に分割して抽出してもよい。そして、利用予定更新部１０６は、複数に分割された利用可能期間を利用期間として利用予定データベース１５０に格納してもよい。
【００４６】
本実施形態の製造装置予約管理システム１００によれば、利用予定データベース１５０に格納された予約の利用期間を指定期間内で再配置させて、新たな予約のための利用可能期間を生成することにより新たな予約を受け付けることができるので、製造装置の稼働率を向上させることができる。
【００４７】
図４は、価格データベース１５２のデータフォーマットの一例を示す。価格データベース１５２は、複数の製造装置１５２ａ〜１５２ｃのそれぞれに対して、指定期間開始日、指定期間、利用期間、及び価格を対応づけて格納する。
【００４８】
価格決定部１１２は、予約を受けたときから指定期間までの時間が長いほど、単位時間当りの価格を安くしてもよい。具体的には、指定期間開始日が「２００２年１月」である場合より、「２００２年２月」である場合の方が価格を安くしてもよい。また、価格決定部１１２は、予約を受けたときから利用期間までの時間が長いほど、単位時間当りの価格を安くしてもよい。具体的には、利用期間が「２００２年１月」である場合より、「２００２年２月」である場合の方が価格を安くしてもよい。
【００４９】
価格決定部１１２は、指定期間が長いほど、単位時間当りの価格を安くしてもよい。具体的には、指定期間が「１週間」である場合より、「１ヵ月」である方が安くしてもよい。また、価格決定部１１２は、利用期間が長いほど、単位時間当りの価格を安くしてもよい。具体的には、利用期間が「１０時間」である場合より、「１００時間」である場合の方が安くしてもよい。
【００５０】
また、利用可能期間抽出部１０４は、価格データベース１５２を参照し、価格がより安くなるような製造装置の利用可能期間を選択して抽出してもよい。
【００５１】
本実施形態の製造装置予約管理システム１００によれば、以上のように製造装置の所定の利用期間における価格を決定するので、価格の適正化を実現することができる。
【００５２】
図５は、売買情報データベース１５４のデータフォーマットの一例を示す。図５（ａ）は、売買情報データベース１５４が格納する売り情報ファイル１５６の一例を示す。図５（ｂ）は、売買情報データベース１５８が格納する買い情報ファイル１５４ｂの一例を示す。
【００５３】
売り情報ファイル１５６は、複数の製造装置１５６ａ〜１５６ｃのそれぞれに対して、指定期間、利用期間、売り価格、及び売り情報に割り当てられた売り情報識別情報を対応づけて格納する。また、買い情報ファイル１５８は、複数の製造装置１５８ａ〜１５８ｃのそれぞれに対して、指定期間、利用期間、買い価格、及び売り情報に割り当てられた売り情報識別情報を対応づけて格納する。
【００５４】
売買情報判断部１２０は、属性が同一の売り情報及び買い情報において、売り情報ファイル１５６の売り情報と、買い情報ファイル１５８の買い情報とを比較して、売り価格が買い価格以下である売り情報及び買い情報を抽出する。具体的には、指定期間「２００２年２月１日〜２００２年２月２８日」、利用期間「１０時間」という属性において、売り情報識別情報「３３３３」の売り価格と、買い情報識別情報「７７７７」の買い価格とが同一であるので、売買情報判断部１２０は、売り情報識別情報「３３３３」と買い情報識別情報「７７７７」との間の取引を成立させる。
【００５５】
売り情報生成部１２６は、売り情報識別情報「１１１１」で識別される売り情報と、売り情報識別情報「１１１２」で識別される売り情報とをまとめて、指定期間「２００２年１月１日〜２００２年１月３１日」、利用期間「２０時間」である集合売り情報を生成してもよい。そして、売買情報判断部１２０は、売り情報が生成した集合売り情報と、買い情報ファイル１５８に格納される買い情報との取引を成立させてもよい。
【００５６】
また、売り情報生成部１２６は、指定期間が異なる複数の売り情報をまとめて集合売り情報を生成する場合、複数の売り情報の指定期間の論理和を集合売り情報の指定期間とし、複数の売り情報の生産能力の算術和を集合売り情報の生産能力としてもよい。例えば、指定期間「２００２年３月１日〜２００２年３月７日」、利用期間「１０時間」の売り情報と、指定期間「２００２年３月５日〜２００２年３月１２日」、利用期間「１０時間」の売り情報とをまとめて、指定期間「２００２年３月１日〜２００２年３月１２日」、利用期間「２０時間」の集合売り情報を生成してもよい。
【００５７】
また、製造装置がトラブル等により利用期間内に、予約を受けた生産能力を処理できなかった場合、当該製造装置を所有するファウンダリは、製造装置予約管理システム１００に対して買い情報を提供し、売り情報の提供者と取引を行うことによって製造装置の利用期間を確保してもよい。
【００５８】
本実施形態の製造装置予約管理システム１００によれば、製造装置の予約を生産権として、生産権のオープン取引を行うことができるので、需給のバランスに応じて生産権の価格を変動させることができる。
【００５９】
図６は、ＩＰ情報データベース１５６のデータフォーマットの一例を示す。ＩＰ情報データベース１５６は、ＩＰを識別するＩＰ識別情報と、当該ＩＰの過去における利用回数と、当該ＩＰを利用してチップを製造する場合の製造装置の利用の価格の割引率とを対応づけて格納する。ここでの利用回数は、母集団の中でのＩＰが利用された回数であり、ＩＰの利用頻度を示す。
【００６０】
ＩＰ情報格納部１２８は、予約取得部１０２がＩＰ識別情報を含む予約を取得して当該予約が完了した場合に、予約取得部１０２が取得したＩＰ識別情報に対応づけて格納される利用回数の更新する。例えば、ＩＰ識別情報「ＩＰ０００１」を利用したチップを１００チップ製造する予約が完了した場合、ＩＰ情報更新部１２８は、ＩＰ識別情報「ＩＰ０００１」に対応づけて格納される利用回数を１００増やす。また、ＩＰ情報更新部１２８は、ＩＰの利用回数に基づいて、製造装置の利用の価格の割引率を決定する。例えば、ＩＰ情報更新部１２８は、利用回数が大きいほど割引率を大きくしてもよいし、利用回数が所定数以上になった場合に割引率を大きくしてもよい。これにより、ＩＰの利用頻度の動向に応じた価格を設定することができる。
【００６１】
図７は、ＩＰ情報通知部１３０が予約者に通知するＩＰランキング情報の表示例を示す。ＩＰ情報通知部１３０は、ＩＰ情報データベース１５６が格納する利用回数に基づいてＩＰの利用ランキングを作成して、予約者に通知してもよい。具体的には、ＩＰ識別情報に対して利用回数の大きい順に順位を付けて予約者に通知してもよい。さらに、ＩＰ識別情報で識別されるＩＰを利用した場合の製造装置の利用の価格の割引率を予約者に通知してもよい。また、ＩＰ情報通知部１３０が作成するＩＰの利用ランキングを、ＩＰ取引所で取引されるＩＰ価格に反映させてもよい。これにより、利用頻度の高いＩＰと利用頻度の低いＩＰとを分類してＩＰのディファクトスタンダード（Ｄｅｆａｃｔ　Ｓｔａｎｄａｒｄ）化を促進させることができる。
【００６２】
図８は、製造装置予約管理システム１００による製造装置予約管理方法のフローの一例を示す。まず、予約取得部１０２は、指定期間及び生産能力を予約者から取得する（Ｓ１００）。そして、利用可能期間抽出部１０４は、利用予定データベース１５０を参照し、予約取得部１０２が取得した指定期間内に生産能力を提供できる連続した利用可能期間が抽出できるか否かを判断する（Ｓ１０２）。
【００６３】
Ｓ１０２において連続した利用可能期間を抽出できると判断した場合、利用可能期間抽出部１０４は、連続した利用可能期間を抽出する（Ｓ１０８）。また、Ｓ１０２において連続した利用可能期間を抽出できないと判断した場合、利用可能期間抽出部１０４は、利用予定データベース１５０に格納された予約に対して、許容期間内において利用期間を変更することにより、連続した利用可能期間を抽出できるか否かを判断する（Ｓ１０４）。
【００６４】
Ｓ１０４において連続した利用可能期間を抽出できると判断した場合、利用可能期間抽出部１０４は、利用予定データベース１５０に格納された予約に対して、許容期間内において利用期間を変更することにより、複数の予約の利用可能期間を再配置し（Ｓ１０６）、連続した利用可能期間を抽出する（Ｓ１０８）。また、Ｓ１０４において連続した利用可能期間を抽出できないと判断した場合、利用可能期間抽出部１０４は、複数に分割して利用可能期間を抽出する（Ｓ１１０）。
【００６５】
次に、価格抽出部１１４は、利用可能期間抽出部１０４が抽出した利用可能期間を利用する場合の価格を価格データベースから抽出する（Ｓ１１２）。Ｓ１０８又はＳ１１０において利用可能期間抽出部１０４は、複数の利用可能期間を抽出してもよく、複数の利用可能期間のそれぞれに対して価格抽出部１１４が抽出した価格に基づいて、利用可能期間を選択してもよい。即ち、複数の利用可能期間のうち価格が安いものを選択してもよい。
【００６６】
次に、利用予定更新部１０６は、利用可能期間抽出部１０４が抽出した利用可能期間を利用期間として、利用予定データベース１５０に格納する（Ｓ１１４）。そして、予約完了通知部１０８は、指定期間内に生産能力を提供できるように予約ができたことを予約者に対して通知する（Ｓ１１６）。即ち、予約者は、実際に利用期間の開始時及び終了時は通知されず、指定期間内に生産能力を提供することができる利用期間の確保が約束される。また、価格通知部１１６は、予約した製造装置の利用期間における価格を通知する（Ｓ１１６）。
【００６７】
そして、製造装置は、利用予定データベース１５０に格納された予約に基づいて稼働する。また、予約取得部１０２は、指定期間が指定されていない生産能力を含む予約を取得してもよい。そして、利用予定更新部１０６は、利用予定データベース１５０を参照し、製造装置が利用されないときに、指定期間が指定されていない予約を利用予定データベース１５０に格納してもよい。例えば、パターンデータ及びロット数を予約として取得して登録し、予約と予約との間に製造装置の空き状況ができたら、自動的に登録された生産を実行させてもよい。指定期間が指定されていない場合の価格は、指定期間が指定されている場合よりも安くてもよい。
【００６８】
本実施形態の製造装置予約管理方法によれば、製造装置の利用予定を一括して管理し、予約済みの利用期間を再配分することにより他の予約を受け付けることができるため、効率良く製造装置を稼働させることができる。
【００６９】
また、本実施形態の製造装置予約管理システム１００によれば、製造装置単位で生産量を管理することができるので、例えば小規模なファウンダリを複数管理して市場の需要動向に基づきそれぞれの生産量及び製造装置の利用の価格を柔軟に調整することができる。また、生産権となる製造装置の予約を流通市場で売買することにより、オープン取引のスキームを組むことが可能になる。
【００７０】
図９は、製造装置予約管理システム１００のハードウェア構成の一例を示す。製造装置予約管理システム１００の機能は、ＣＰＵ８１０、ＲＯＭ８２０、ＲＡＭ８３０、通信インターフェイス８４０、及びハードディスクドライブ８５０を備える計算機８００と、計算機８００上で実行されるプログラムとの連携により実現される。計算機８００は、フロッピーディスクドライブ８６０及び／又はＣＤ−ＲＯＭドライブ８７０をさらに備えてもよい。
【００７１】
製造装置予約管理システム１００の機能を実現するプログラムは、予約取得モジュール、利用可能期間抽出モジュール、利用予定更新モジュール、予約完了通知モジュール、稼働時間算出モジュール、価格決定モジュール、価格抽出モジュール、価格通知モジュール、売買情報取得モジュール、売買情報判断モジュール、課金処理モジュール、取引通知モジュール、及び売り情報生成モジュールを備える。これらのモジュールは、計算機８００を、予約取得部１０２、利用可能期間抽出部１０４、利用予定更新部１０６、予約完了通知部１０８、稼働時間算出部１１０、価格決定部１１２、価格抽出部１１４、価格通知部１１６、売買情報取得部１１８、売買情報判断部１２０、課金処理部１２２、取引通知部１２４、及び売り情報生成部１２６として動作させるプログラムである。
【００７２】
以上に示したプログラム又はモジュールは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。記憶媒体としては、フロッピーディスク８８０、ＣＤ−ＲＯＭ８９０の他に、ＤＶＤやＰＤ等の光学記録媒体、ＭＤ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、外部ネットワーク又は計算機８００に接続されたネットワーク等を介してプログラムを計算機８００に提供してもよい。
【００７３】
以上、本発明を実施形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることができる。そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００７４】
【発明の効果】
上記説明から明らかなように、本発明によれば、製造装置の稼働率を平準化し、市場の需給動向に合わせて製造装置を効率的に機能させる製造装置予約管理システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る製造装置予約管理ネットワーク１０の構成の一例を示す図である。
【図２】製造装置予約管理システム１００の機能構成の一例を示す図である。
【図３】利用予定データベース１５０のデータフォーマットの一例を示す図である。
【図４】価格データベース１５２のデータフォーマットの一例を示す図である。
【図５】売買情報データベース１５４のデータフォーマットの一例を示す図である。
【図６】ＩＰ情報データベース１５６のデータフォーマットの一例を示す図である。
【図７】ＩＰ情報通知部１３０が予約者に通知するＩＰランキング情報の表示例を示す図である。
【図８】製造装置予約管理システム１００による製造装置予約管理方法のフローの一例を示す図である。
【図９】製造装置予約管理システム１００のハードウェア構成の一例を示す図である。
【符号の説明】
１０　　製造装置予約管理ネットワーク
１０２　予約取得部　　　　　　　　　１０４　利用可能期間抽出部
１０６　利用予定更新部　　　　　　　１０８　予約完了通知部
１１０　稼働時間算出部　　　　　　　１１２　価格決定部
１１４　価格抽出部　　　　　　　　　１１６　価格通知部
１１８　売買情報取得部　　　　　　　１２０　売買情報判断部
１２２　課金処理部　　　　　　　　　１２４　取引完了通知部
１２６　売り情報生成部　　　　　　　１２８　ＩＰ情報更新部
１３０　ＩＰ情報通知部　　　　　　　１５０　利用予定データベース
１５２　価格データベース　　　　　　１５４　売買情報データベース
１５６　ＩＰ情報データベース
【図１】
2004013772.tif 000003
【図２】
2004013772.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004013772.tif 000008
【図７】
2004013772.tif 000009
【図８】
2004013772.tif 000010
【図９】
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