Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】【課題】高周波点灯専用蛍光ランプなど細径化・高定格電圧化による口金部分の絶縁距離（沿面距離）の不足を防止する蛍光ランプ用口金を提供することを目的とする。【解決手段】シェル１、口金ピン２及び絶縁材３で構成されている蛍光ランプ用口金において、口金ピン２近傍の絶縁材３の厚さｔより、シェル１に接する絶縁材３の厚さＴの方が厚くなっていること、および絶縁材３の幅Ｗを１１．３ｍｍ以上とすることを特徴とする。【選択図】  図１
2004288409.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フェノールなどの絶縁性樹脂からなる絶縁材に真鍮などからなる口金ピンをかしめて固定した物を、アルミなどからなる金属シェルに固定して出来た、管径φ２５．５ｍｍ以下の高周波点灯専用形蛍光ランプおよび一般蛍光ランプ用口金において、絶縁距離（沿面距離）を確保するために、口金ピン近傍の絶縁材の厚さより金属シェル近傍の一部、あるいは全部の絶縁材の厚さの方が厚いことを特徴とする蛍光ランプ用口金。
【請求項２】
上記記載の口金の絶縁材は、フェノール等の絶縁性樹脂からなり、幅は１１．３ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載の蛍光ランプ用口金。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、管径φ２５．５ｍｍ以下の細径蛍光ランプにおいて口金の絶縁距離（沿面距離）不足を防止する為の蛍光ランプ用口金に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に直管形蛍光ランプ用口金は、アルミシェルをベークやファイバーなどの絶縁材によって挟み込んで、真鍮などから出来ている口金ピンをカシメによって絶縁材に固定したり、絶縁材に口金ピンをカシメによって固定し、その絶縁材をアルミシェルに挟んで固定したりして構成されている。
最近では高周波点灯専用蛍光ランプが開発され蛍光ランプの細径化が進んでいる。このように蛍光ランプの細径化が進むことで口金もよりコンパクトになって来ている。本来ならば安全のために、蛍光ランプの定格電圧が高くなるとそれに応じて電気用品安全法や日本工業規格（ＪＩＳ規格）で定められている通りに絶縁距離（沿面距離）を長く取らなければならないのだが、高周波点灯専用蛍光ランプのように管径がφ２５．５ｍｍ以下の定格電圧の高い蛍光ランプになると、今まで一般的に使っていた口金の構造では絶縁距離（沿面距離）を確保することが構造的に非常に困難な状況にある。
【０００３】
【表１】
2004288409.tif 000003
【０００４】
電気用品安全法およびＪＩＳ規格では絶縁距離（沿面距離）は表１のように定められている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、この様な問題を解決するためになされたものであり、高周波点灯専用蛍光ランプなどの管径がφ２５．５ｍｍ以下の細径蛍光ランプで定格電圧が高い蛍光ランプにおいて、電気用品安全法およびＪＩＳ規格に定める絶縁距離（沿面距離）を十分確保することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためには、高周波点灯専用蛍光ランプなどの管径がφ２５．５ｍｍ以下の細径蛍光ランプで定格電圧が高い蛍光ランプにおいて、口金に使用する絶縁材の厚さを口金ピン近傍の厚さよりアルミシェルの近傍の一部、あるいは全部の絶縁材の厚さを厚くすることで達成される。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明について、図１に示す実施例をもとに説明する。図１は直管形蛍光ランプに使用するＧ１３口金の断面図である。図において符号１はアルミからなるシェルである。このシェル１の上部には主に真鍮からなる口金ピン２がフェノール樹脂等からなる絶縁材３にカシメ４によって固定されている。この絶縁材３は口金ピン２近傍の絶縁材３厚さｔよりシェル１近傍の絶縁材３厚さＴを厚くすることにより、シェル１と口金ピン２との絶縁距離（沿面距離）を確保することを可能にしている。また、口金外面の絶縁材３はシェル１と口金ピン２との絶縁距離（沿面距離）を確保するために幅Ｗを１１．３ｍｍ以上とし、絶縁材３の両端はシェル１に切れ込んだ形状とする。
【０００８】
この様に構成されたφ２５．５ｍｍ用Ｇ１３口金と現在一般的に使用されているφ２５．５ｍｍ用Ｇ１３口金Ａ（図２）及びＧ１３口金Ｂ（図３）との絶縁距離（沿面距離）の比較を行った結果を表２に示す。
測定の結果、本発明品は現在一般的に使われているφ２５．５ｍｍ用Ｇ１３口金と比較して絶縁距離（沿面距離）を確保する上で有効であることが確認された。
【０００９】
本実施例では絶縁材３はフェノール樹脂を用いたが、絶縁材３の材質は絶縁性樹脂であれば何でもよい。
【００１０】
【表２】
2004288409.tif 000004
【００１１】
表２に本実施例の物と従来品との絶縁距離（沿面距離）の比較を示す。
【００１２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、口金ピン近傍の絶縁材の厚さより金属シェル近傍の絶縁材の厚さを厚くすることにより、蛍光ランプの細径化・高定格電圧による口金部分の絶縁距離（沿面距離）不足を防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す蛍光ランプ用口金の断面図。
【図２】従来一般的な蛍光ランプ用口金Ａの断面図。
【図３】従来一般的な蛍光ランプ用口金Ｂの断面図。
【符号の説明】
１…シェル
２…口金ピン
３…絶縁材
４…カシメ
ｔ…口金ピン近傍絶縁材厚さ
Ｔ…シェルと接する絶縁材厚さ
Ｗ…絶縁材幅。
【図１】
2004288409.tif 000005
【図２】
2004288409.tif 000006
【図３】
2004288409.tif 000007
(57)【要約】【課題】ガラス管を二重に配置したガラス管ヒータにおいて、この二重ガラス管を一体とすることが考えられる。本発明は、このようなガラス管ヒータの改良を提案するものである。【解決手段】本発明では、ガラス管２と、このガラス管２の内部に挿入されたコイル状の抵抗線３と、前記ガラス管２の両端に封止部材４，４とから成るガラス管ヒータ１において、前記ガラス管１は、径の異なる二つの円筒状ガラス管部２ａ，２ｂの両端を密閉して形成されると共に、この二つの円筒状ガラス管部２ａ，２ｂにより形成された密閉空間２ｃに不活性ガスを充填する。【選択図】    図１
2004288485.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス管と、このガラス管の内部に挿入されたコイル状の抵抗線と、前記ガラス管の両端の封止部材とから成るガラス管ヒータにおいて、
前記ガラス管は、径の異なる二つの円筒状ガラス管部を多重構造に配置し、この二つの円筒状ガラス管部の間の空間を密閉するべくこの二つの円筒状ガラス管部の両側の端部間を密閉すると共に、この密閉された空間に不活性ガスを充填したことを特徴とするガラス管ヒータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷蔵庫において冷却器の除霜等に用いられるガラス管ヒータ（除霜用ヒータ）に関するものである。特に、可燃性冷媒を用いた冷蔵庫に用いられるガラス管ヒータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、冷蔵庫の冷却器の除霜を行うためのガラス管ヒータは、ガラス管内に管軸方向に沿ってコイル状に巻回された抵抗線を架設し、ガラス管の両端部にゴムキャップ等の封止部材を配置し、この封止部材からリード線を外方に導出した構造のものが一般的である。
【０００３】
ところで、冷蔵庫の冷媒として、ＨＣ冷媒等の可燃性冷媒を使用することがある。このような、冷蔵庫において、事故等により可燃性冷媒が洩れた場合に、この可燃性冷媒が、熱されたガラス管ヒータの表面に触れ着火する惧れがあった。
【０００４】
このため、ガラス管ヒーターのガラス管を二重にすることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−１９５７３５号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガラス管を二重に配置して組み立てることは、厄介である。このため、この二重ガラス管を一体とすることが考えられる。
【０００７】
この二重ガラス管を一体とすれば、見かけは厚いガラス管と同じ（円筒状の中空部が出来るので、重量は軽くなる）であり、組立て作業も同じである。
【０００８】
本発明は、このようなガラス管ヒータの改良を提案するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ガラス管２と、このガラス管２の内部に挿入されたコイル状の抵抗線３と、ガラス管２の両端の封止部材４，４とから成るガラス管ヒータ１において、ガラス管２は、径の異なる二つの円筒状ガラス管部２ａ，２ｂを多重構造に配置し、この二つの円筒状ガラス管部２ａ，２ｂの間の空間２ｃを密閉するべくこの二つの円筒状ガラス管部２ａ，２ｂの両側の端部間を密閉すると共に、この密閉された空間２ｃに不活性ガスを充填したことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の１実施形態を図面に基づき説明する。図１は本発明の第１実施形態のガラス管ヒータの一部切欠正面図である。図２は本発明の第１実施形態のガラス管ヒータの断面図である。
【００１１】
図において、１はガラス管ヒータであり、例えば冷蔵庫等の冷却器の除霜用として、冷却器の近傍に配置されるものである。
【００１２】
２はガラス管で、円筒状ガラス管部の二重構造をしている。２ａは外側ガラス管部であり、２ｂは内側ガラス管部である。この２つのガラス管部２ａ，２ｂは、この２つのガラス管部２ａ，２ｂの間の空間２ｃを密閉するように両側の端部間が塞がれている。
【００１３】
このガラス管２内には管軸方向に沿ってコイル状に巻回された抵抗線３が架設されている。
【００１４】
ガラス管２の両端部にはゴム等の絶縁材にて形成された封止部材４、４が取り付けられており、各封止部材４、４にはリード線５、５が挿通される通路６、６がそれぞれ形成されている。
【００１５】
そして、各リード線５、５は抵抗線３と一端を接続されており、他端には図示しない電源に接続するためのカプラー８、８がそれぞれ設けられている。
【００１６】
このガラス管２の密閉空間２ｃには、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノン、クリプトン等の不活性ガスを充填している。
【００１７】
【発明の効果】
本発明では、ガラス管２と、このガラス管２の内部に挿入されたコイル状の抵抗線３と、前記ガラス管２の両端に封止部材４，４とから成るガラス管ヒータ１において、前記ガラス管１は、径の異なる二つの円筒状ガラス管部２ａ，２ｂの両側の端部間を密閉して形成されると共に、この二つの円筒状ガラス管部２ａ，２ｂにより形成された密閉空間２ｃに不活性ガスを充填しているので、着火等の惧れを減少できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態のガラス管ヒータの一部切欠正面図拡大縦断正面図である。
【図２】第１実施形態のガラス管ヒータの断面図である。
【符号の説明】
１    ガラス管ヒータ、
２    ガラス管、
２ａ  外側ガラス管部、
２ｂ  内側ガラス管部、
２ｃ  密閉空間、
３    抵抗線、
４    封止部材。
【図１】
2004288485.tif 000003
【図２】
2004288485.tif 000004
(57)【要約】【課題】多くの昆虫が光を感知する波長域（２５０〜４００ＮＭ）の光をカットし、昆虫の飛来防止に有効な放電灯器具を提供する。【解決手段】長４００ＮＭ以下の紫外線を含む光を出す放電灯７０を備える。前記放電灯７０の光を反射する反射笠２０を備える。前記反射笠２０の開口部を覆う透光板４０を備える。前記透光板２０の前記放電灯７０側の面に４００ＮＭ以下の紫外線を９９％以上カットする透光性の紫外線カットフィルム５０を配置する。【選択図】    図１
2004288594.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長４００ＮＭ以下の紫外線を含む光を出す放電灯を備え、前記放電灯の光を反射する反射笠を備え、前記反射笠の開口部を覆う透光板を備え、前記透光板の前記放電灯側の面に４００ＮＭ以下の紫外線を９９％以上カットする透光性の紫外線カットフィルムを配置したことを特徴とする放電灯器具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は紫外線を多く放射する光源（例えばＨＩＤ放電灯など）を使用した放電灯器具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
透光板の面を荒して紫外線を拡散していたが紫外線は殆どカットできないので商品の退色などの問題があった。また、透光板の面を荒しているので直下照度を重視した器具には不向きとなっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決した器具を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、透光板と放電灯の間に可視光だけを透過する透光性の紫外線カットフィルムを配置することで前記問題点を解決する。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態を図１により、説明する。図１に示すように放電灯器具の本体１０を備え、その本体１０にはランプソケット６０を配し、放電灯７０が点灯できるようにしている。
また、本体１０の天井８０に当る曲げ部１０−１を隠す枠３０、と放電灯７０の光を下方に反射させる反射板２０を備え、枠３０と放電灯７０の間に透光板４０と紫外線カットフィルム５０を配している。
尚、使用する紫外線カットフィルム５０は透明で透光性が高くまた、有害な紫外線（２５０〜４００ＮＭ）を９９％以上カットできるシートでできている。
本発明によれば、有害な紫外線（２５０〜４００ＮＭ）をカットできるので照射される商品の退色がなくなる他透明で透光性が高いので反射板２０の形状を変えることで器具の配光も制御できる。
【０００６】
【発明の効果】
本発明によれば、多くの昆虫が光を感知する波長域（２５０〜４００ＮＭ）の光をカットするので昆虫の飛来防止にも有効となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明器具を示す正面断面図
【符号の説明】
１０：器具本体
１０−１：本体の曲げ部
２０：反射板
３０：枠
４０：透光板
５０：紫外線カットフィルム
６０：ランプソケット
７０：放電灯
８０：天井
【図１】
2004288594.tif 000003
(57)【要約】【課題】器具本体と取付金具を分離することなく、容易に器具をＴバーから取外すことができるシステム天井用蛍光灯器具を提供する。【解決手段】天井を走る断面逆Ｔ字形の互いに併行な一対のＴバー５を備える。前記各Ｔバー５に着脱自在に跨る互いに併行な一対の取付金具３を備える。逆樋状を呈し上部が前記各取付金具３に着脱自在に固定され一対の裾縁部が前記Ｔバー５の水平片に乗る器具本体１を備える。前記各裾縁部付近から延在し前記Ｔバー５の頂部と弾発的に着脱自在に係合して該器具本体１の浮き上がりを阻止する係合片４を備える。前記の着脱自在な固定構造を止めねじ６を緩めたときに前記各取付金具３に対する前記器具本体１の若干の水平移動が可能な止めねじ構造とする。前記水平移動により前記裾縁部の一方が対応する前記水平片から外れ落ちるように構成する。【選択図】    図１
2004288595.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井を走る断面逆Ｔ字形の互いに併行な一対のＴバーを備え、前記各Ｔバーに着脱自在に跨る互いに併行な一対の取付金具を備え、逆樋状を呈し上部が前記各取付金具に着脱自在に固定され一対の裾縁部が前記Ｔバーの水平片に乗る器具本体を備え、前記各裾縁部付近から延在し前記Ｔバーの頂部と弾発的に着脱自在に係合して該器具本体の浮き上がりを阻止する係合片を備え、前記の着脱自在な固定構造を止めねじを緩めたときに前記各取付金具に対する前記器具本体の若干の水平移動が可能な止めねじ構造とし、前記水平移動により前記裾縁部の一方が対応する前記水平片から外れ落ちるようにしたことを特徴とするシステム天井用蛍光灯器具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はシステム天井用器具に関し、器具本体の裾縁部付近から延在した係合片により、Ｔバーの頂部と弾発的に着脱自在に係合して器具本体の浮き上がりを阻止することを特徴とするシステム天井用器具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術はシステム天井用器具に関し、器具本体に互いに併行な一対の取付金具を備え、取付金具に延在した係合片により、Ｔバーの頂部と弾発的に着脱自在に係合して器具本体の浮き上がりを阻止していた。取付金具に係合片を延在したことにより、器具をＴバーから取外す場合、器具本体を取付金具から分離し、器具本体を取外した後に係合片をＴバーから外して取付金具を取外していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はシステム天井用器具に関し、その目的は器具本体と取付金具を分離することなく、器具をＴバーから取外すことができるようにすることである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために器具本体の各裾縁部付近から延在し、Ｔバーの頂部と弾発的に着脱自在に係合して器具本体の浮き上がりを阻止する係合片を備える。これにより、上記目的を達成できる。
【０００５】
【発明の実施の形態】
図１から図４を用いて本発明の実施形態について説明する。天井を走る断面逆Ｔ字形の互いに併行な一対のＴバー５を備え、前記各Ｔバー５に着脱自在に跨る互いに併行な一対の取付金具３を備え、逆樋状を呈し上部が前記各取付金具３に着脱自在に固定され一対の器具本体裾縁部２が前記Ｔバー５の水平片に乗る器具本体１を備え、前記各器具本体裾縁部２付近から延在し前記Ｔバー５の頂部と弾発的に着脱自在に係合して前記器具本体１の浮き上がりを阻止する係合片４を備え、前記の着脱自在な取付金具３の固定構造を止めねじ６が緩んだときに前記各取付金具３に対する前記器具本体１が若干の水平移動を可能な止めねじ構造とする。
器具本体１を取外す場合は、第３図にように蛍光ランプ７と反射板９を取外し、前記水平移動により前記器具本体１の浮き上がりを阻止する係合片４が前記Ｔバー５から外れ、前記器具本体１の前記係合片４が前記Ｔバー５から外し、次に第４図のように前記係合片４が外れた側を持ち上げて揺り戻すことによりもう一方の前記係合片４が外すことができ、前記器具本体裾縁部２の一方が対応する前記Ｔバー５の水平片から外れ落ちるようにしたことで、器具本体と取付金具を分離することなく、器具をＴバーから取外すことができる。
【０００８】
【発明の効果】
本発明によればシステム天井用器具に関し、器具本体と取付金具を分離することなく、容易に器具をＴバーから取外すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の斜視図
【図２】本発明の断面図
【図３】本発明の動作図１
【図４】本発明の動作図２
【図５】従来の断面図
【符号の説明】
１．器具本体  ２．器具本体裾縁部  ４．係合片  ３．取付金具  ５．Ｔバー
６．止めねじ  ７．蛍光ランプ  ８．蛍光灯ソケット  ９．反射板
１０．安定器
【図１】
2004288595.tif 000003
【図２】
2004288595.tif 000004
【図３】
2004288595.tif 000005
【図４】
2004288595.tif 000006
【図５】
2004288595.tif 000007
(57)【要約】【課題】金具等を用いず容易に本体１と反射板６の電気的な接続を可能とし、保護接地（アース）の連続性を得る。【解決手段】下面を開放した本体１、本体１に取り付られる点灯装置、本体１長手方向の両端面を閉じランプソケット４を保持するソケット台３、点灯装置や内部配線を覆うとともに蛍光ランプ５からの光を有効的に反射させる反射板６とを備えた蛍光灯器具を前提とする。本体１下面を覆う反射板６の両端部に設けたソケット用の切り欠き部分に本体１内側に傾斜させて折り曲げた折り曲げ片６３を１個または複数個設ける。当該折り曲げ片６３の両端はテーパー形状にする。ソケット４を保持するのソケット台３の取付け部の前部に反射板６の折り曲げ片６３テーパー部６４が当接するように設ける。【選択図】    図１
2004288596.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下面を開放した本体、本体に取り付られる点灯装置、本体長手方向の両端面を閉じランプソケットを保持するソケット台、点灯装置や内部配線を覆うとともに蛍光ランプからの光を有効的に反射させる反射板とを備えた蛍光灯器具において、本体下面を覆う反射板の両端部に設けたソケット用の切り欠き部分に本体内側に傾斜させて折り曲げた折り曲げ片を１個または複数個設け、当該折り曲げ片の両端はテーパー形状にし、ソケットを保持するのソケット台の取付け部の前部に反射板の折り曲げ片テーパー部が当接するように設けたことを特徴とする蛍光灯器具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、本体に嵌合係止される反射板を有するトラフ形器具において、反射板を嵌合取付しただけで本体と反射板の電気的な接続を可能とする本体および反射板の取付構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術においては、図５に示すように、略コ字形の反射板の長手両端部を折り曲げ、本体の下端のカール部または段付け部に嵌合係止する取付け方式が一般的であり、反射板と本体間の電気的な接合に関しては特に配慮されていないため、本体と反射板の保護接地（アース）の連続性が得られない問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するため、反射板のソケット切り欠き部に本体内側に傾斜させた折り曲げ片を１個または複数個設け、ソケット台の取付け部の前部に反射板の折り曲げ片テーパー部が当接するように折り曲げ片を設けた構成とした。この構成で本体に略コ字形の反射板を嵌合係止させると特に金具等を用いず容易に本体と反射板の電気的な接続を可能として、保護接地（アース）の連続性を得ることを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
下面を開放した本体１、本体に取り付られる点灯装置２、本体長手方向の両端面を閉じランプソケット４を保持するソケット台３、点灯装置２や内部配線を覆うとともに蛍光ランプ５からの光を有効的に反射させる反射板６とを備えた蛍光灯器具において、
ソケット取付け部をわずかに伸ばした前部３１を備えたソケット台３、本体１の反射板取付部１１に嵌合する嵌合部６１を備え、ソケット切欠き部６２を備え、本体内側に折り曲げ端をテーパー状に設けた折り曲げ片６３を備え、折り曲げ片にソケット取付け前部３１の内側に当接するテーパー部６４を備えた反射板６により構成した。
ソケット台３は本体１に固定さてる。反射板６をソケット４が装着された本体１に取付けるとき、折り曲げ片６３の傾斜部がソケット４の前面に当りガイドされて反射板６の位置を容易にソケット前面に案内する。この状態から反射板６の嵌合部６１を本体の反射板取付部１１に挿入し嵌合させると、反射板の折り曲げ片のテーパー部６４でソケット台の前部３１に確実に当接し、本体とソケット台と反射板間の電気的接続が容易にしかも確実に得られる構成とした。
寸法精度の出し易いソケット台全部３１と反射板６の傾斜状に設けた折り曲げ片６３のテーパー部６４により、他の部品を追加することなく弾発力により容易にしかも確実な電気的接続が得られ、本体と反射板の保護接地の連続性が得られる安全な蛍光灯器具を提供することができる。
【０００５】
【発明の実態の形態】
発明の実態形態を図１〜図４を用いて説明する。下面を開放した本体１、本体に取り付られる点灯装置２、本体長手方向の両端面を閉じランプソケット４を保持するソケット台３、点灯装置２や内部配線を覆うとともに蛍光ランプ５からの光を有効的に反射させる反射板６とを備えた蛍光灯器具において、
ソケット取付け部をわずかに伸ばした前部３１を備えたソケット台３、本体１の反射板取付部１１に嵌合する嵌合部６１を備え、ソケット切欠き部６２を備え、本体内側に折り曲げ端をテーパー状に設けた折り曲げ片６３を備え、折り曲げ片にソケット取付け前部３１の内側に当接するテーパー部６４を備えた反射板６による構成した。
ソケット台３は本体１に固定さてる。反射板６をソケット４が装着された本体１に取付けるとき、折り曲げ片６３の傾斜部がソケット４の前面に当りガイドされて反射板６の位置を容易にソケット前面に案内する。この状態から反射板６の嵌合部６１を本体の反射板取付部１１に挿入し嵌合させると、反射板の折り曲げ片のテーパー部６４でソケット台の前部３１に確実に当接し、本体とソケット台と反射板間の電気的接続が容易にしかも確実に得られる構成とした。
寸法精度の出し易いソケット台全部３１と反射板６の傾斜状に設けた折り曲げ片６３のテーパー部６４により、他の特別な部品を必要とせず、弾発力により容易にしかも確実な電気的接続が得られ、本体と反射板の保護接地の連続性が得られる蛍光灯器具を提供することができる。したがって、経済的であり、施工も容易で、感電等に対し安全で信頼性の高い蛍光灯器具を提供することができる。
【０００６】
【発明の効果】
本発明は、本体１に反射板６の折り曲げ片６３ガイド部として反射板６を嵌合係止する従来と同一の組立操作のみで施工性も従来と同等以上に容易であり、反射板６を本体１に嵌合するだけでソケット台３の全部３１に反射板の折り曲げ片６３のテーパー部６４が当接して、本体１と反射板６の電気的な接続が得られ、保護接地（アース）の連続性が容易にかつ確実に得られ経済的でより安全な器具を提供できる。また、折り曲げ片６３は外観上に現れないため美観を損なうことがない蛍光灯器具を提供することができる。
さらに、本体と反射板の保護接地（アース）の連続性により、電子安定器化に伴う雑音端子電圧や放射ノイズの抑制効果が得られ、より信頼性の高い蛍光灯器具の提供が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による蛍光灯器具の本体端部とソケット台の１例を示す部分分解図
【図２】本発明による蛍光灯器具の１例を示す断面図
【図３】本発明による蛍光灯器具の嵌合部を示す断面図
【図４】本発明による蛍光灯器具外観の１例を示す図
【図５】従来技術の１例の嵌合部を示す図
【符号の説明】
１−−−本体
３−−−ソケット台
４−−−ランプソケット
５−−−蛍光ランプ
６−−−反射板
１１−−−反射板取付部
３１−−−ソケット台前部
６３−−−反射板折り曲げ片
６４−−−反射板折り曲げテーパー部
【図１】
2004288596.tif 000003
【図２】
2004288596.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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(57)【要約】【課題】省施工性と施工上の安全性に優れたＨＩＤ天井直付照明器具を提供する。【解決手段】天井面に固定する取付具５を備える。該取付具５は底面及び正面が開放する箱状のものであり、前記取付具５の内部であって背面側寄りに配置する器具本体天板に対し垂直に置いた端子装置９を備える。前記取付具５の上面に形成された配線孔から該取付具５内部へ取込まれ前記端子装置９に容易に電源線１２を接続出来、前記取付具５に上部が着脱自在に装着される器具本体１を備える。前記器具本体１の下部に着脱自在に装着される光源３を備える。前記取付具５の右側面板および左側面版にほぼ水平に延びる階段状係合スリット６を形成する。前記器具本体１の上部に前記各係合スリット６に着脱自在に係合する夫々の係合片７を形成する。前記係合スリット６・係合片７の構造は前記器具本体１の上部を前記取付具５の正面からその内部へ移動して、階段状係合スリット６の一段低い部分で係合がなされるものである。前記係合がなされた後で電源線１２を接続し、前記取付具５の前記正面を着脱自在に覆うカバー１０を備える。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井面に固定する取付具を備え、該取付具は底面及び正面が開放する箱状のものであり、前記取付具の内部であって背面側寄りに配置する器具本体天板に対し垂直に置いた端子装置を備え、前記取付具の上面に形成された配線孔から該取付具内部へ取込まれ前記端子装置に容易に電源線を接続出来、前記取付具に上部が着脱自在に装着される器具本体を備え、前記器具本体の下部に着脱自在に装着される光源を備え、前記取付具の右側面板および左側面版にほぼ水平に延びる階段状係合スリットを形成し、前記器具本体の上部に前記各係合スリットに着脱自在に係合する夫々の係合片を形成し、前記係合スリット・係合片の構造は前記器具本体の上部を前記取付具の正面からその内部へ移動して、階段状係合スリットの一段低い部分で係合がなされるものであり、前記係合がなされた後で電源線を接続し、前記取付具の前記正面を着脱自在に覆うカバーを備え、省施工と施工上の安全性を備えたことを特徴とするＨＩＤ天井直付照明器具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高圧放電ランプを光源とするＨＩＤ天井直付照明器具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術は、取付具の右（左）側面板に階段状係合スリットを備え、それと対を成す、左（右）側面板にねじ貫通用穴を備え、器具本体の上部に階段状係合スリットに着脱自在に係合する係合片と前記ねじ貫通用穴と整合するねじ穴を設けた取付片を備え、係合片を階段状係合スリットに係合し、電源線を端子装置に接続し、前記器具本体に備えた取付片を前記取付具のねじ貫通用穴とねじを介し、取り付ける構造であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記技術は、器具本体を取付ける際、１個の係合片を１個の階段状係合スリットに係合し、器具本体を吊るした不安定状態にて器具本体天板に水平に置かれた端子装置に電源線を接続しなければならない為、場合によっては、器具落下の危険性があった。さらに、ねじにて、取付片を取付具に取付ける際、作業者が質量のある器具本体を操作し、ねじ穴と貫通穴を整合させ、ねじにて固定しなければならず、施工に手間がかかった。
本発明の目的は、前記した問題を解決した器具を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、取付具の右側面板および左側面版にほぼ水平に延びる階段状係合スリットを形成し、器具本体の上部に各係合スリットに着脱自在に係合する夫々の係合片を形成し、前記係合スリット・係合片の構造は器具本体の上部を取付具の正面からその内部へ移動して、階段状係合スリットの一段低い部分で係合がなされるものとし、器具天板に対し端子装置を垂直に置くことで電源線の接続を容易とし、この時、作用する力は、器具本体を取付具から外す方向とは逆に作用する。最後に、取付具の正面を着脱自在に覆うカバーを取付けるのみとし、省施工と施工上の安全性向上を実現した。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例を図１及び図２により説明する。本器具は、器具本体１、ホルダ２、ランプ３、反射笠４、取付具５、係合スリット６、係合片７、取付片８、端子装置９、カバー１０で主に構成されている。
取付具５を天井面に固定し、係合片７を係合スリット６に突き当たるまで挿入する。係合スリット６は階段状になっている為、ずれて器具本体１が取付具５から容易に外れる事は無い。端子装置９は器具本体天板に垂直におかれているため、電源線の接続が容易である。接続時、器具本体に作用する力は、器具本体を外す力の方向とは逆方向に働くので安全である。
また、作業者は両手を使用出来るので作業が容易となる。最後にカバー１０を化粧ねじ１１で固定することにより、器具本体１は取付具５に固定される。これによれば、省施工と施工上の安全性を備えた器具を実現できる。
【０００６】
【発明の効果】
本発明によれば、前記説明のように、省施工と施工上の安全性を備えた器具を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明器具を説明する詳細図。
【図２】本発明器具の実施例を示す斜視図。
【図３】従来器具を示す詳細図。
【符号の説明】
１：器具本体、２：ホルダ、３：ランプ、４：反射笠、５：取付具、６：係合スリット、７：係合片、８：取付片、９：端子装置、１０：カバー、１１：化粧ねじ、１２：電源線、１３：固定ボルト、１４：天井、１５：インサートボルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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(57)【要約】【課題】従来技術のように略Ｕ字形ホルダー３の底部方向に対しランプ６の保持がされていないホルダーでは、信頼性にかけるため、ランプ６の動きを完全に止めて保持する長尺ランプ６の防振ホルダーを有する蛍光灯器具を提供する。【解決手段】ランプ６のゆれ・振動を抑える略Ｕ字形ホルダー３において、略Ｕ字形ホルダー３の自由端側と略Ｕ字の底部３３近傍の側面に設けた反射板２の穴に係合させる係止爪３２とのあいだの側面に、略Ｕ字ホルダー３の底部３３方向への動きを止めてランプ６を保持する固定爪３５を内側に切り起こして形成し、確実にランプ６を保持する。【選択図】    図１
2004288598.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面開放形の断面コ字状の器具本体を備え、前記器具本体の開放面側を全面的に覆うように配置される笠形断面の反射板を備え、前記器具本体に前記反射板を着脱自在に装着する化粧ねじを備え、長尺な蛍光ランプの中央部でランプのゆれ・振動を抑える略Ｕ字形ホルダーを備える蛍光灯器具において、前記反射板の表面にホルダー１個に対し１対の嵌合穴を形成し、略Ｕ字形ホルダーの自由端側にはランプを着脱自在にでき、ゆれを抑える弾性を有するランプ保持部分を形成し、略Ｕ字ホルダーの底部近傍側面に反射板の穴に係合させる係止爪を形成し、略Ｕ字形ホルダーの自由端側と略Ｕ字ホルダーの底部近傍側面に設けた反射板の穴に係合させる係止爪とのあいだの側面に、略Ｕ字形ホルダーの底部方向への動きを止めて保持する固定爪を形成し、略Ｕ字の底部は自由端側に凸形状とし、反射板の嵌合穴に係合する過程において、凸形状となっているＵ字の底部が先に反射板内面に突き当り、更にＵ字の底部両端を押しつづけるとホルダーのＵ字の立上り部に設けた係止爪が反射板の板厚を乗り越えて係合されるようにホルダーの形状を定めたことを特徴とする蛍光灯器具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ランプのゆれを抑える略Ｕ字形ホルダーを有する蛍光灯器具において、ランプが略Ｕ字形ホルダーの底部方向へ動かないように略Ｕ字ホルダーの側面部より内側にランプを保持する固定爪を切り起こして設けた略Ｕ字ホルダーの構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来は、図４・図５に示すように、略Ｕ字ホルダーの自由端部がランプを挟み込みランプを保持しているだけであったため、略Ｕ字ホルダーの底部方向に対しては動きを止めることができず、ランプ保持の信頼性にかけていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、ランプが略Ｕ字形ホルダーの底部方向への動きを止めて、確実にランプを保持する信頼性を向上させた蛍光灯器具を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、ランプのゆれ・振動を抑える略Ｕ字形ホルダーにおいて、略Ｕ字形ホルダーの自由端側と略Ｕ字の底部近傍の側面に設けた反射板の穴に係合させる係止爪とのあいだの側面に、略Ｕ字ホルダーの底部方向への動きを止めてランプを保持する固定爪を内側に切り起こして形成し、確実にランプを保持する。
【０００５】
【発明の実施の形態】
図１から図３を用いて、本発明の実施形態について説明する。図１の蛍光灯器具は、一面開放形の断面コ字状の器具本体１を備え、前記器具本体１の開放面側を全面的に覆うように配置される笠形断面の反射板２を備え、前記器具本体１に前記反射板２を着脱自在に装着する反射板取付用の化粧ねじ５を備え、一対のランプソケットで保持される長尺な蛍光ランプ６の中央部でランプのゆれ・振動を抑える弾性を有する略Ｕ字形ホルダー３を備える。
反射板２のほぼ中央部にホルダーを取付けるための嵌合穴２１を設け、略Ｕ字形ホルダー３にはランプ支持部３１、係止爪３２、低部３３、底部両端３４、固定爪３５を備える。
弾性を有する略Ｕ字形ホルダー３を反射板の内側より嵌合穴２１に挿入していくと、略Ｕ字の底部３１が先に反射板２内面に突き当り、更に弾性を有する略Ｕ字の底部両端３４を押しつづけるとホルダーの略Ｕ字の底部近傍側面に設けた係止爪３２が反射板２の板厚を乗り越えて嵌合係合され、ホルダーの固定が完了する。このとき、略Ｕ字の底部３３は底部両端３４の弾性の反発により凸部が反射板２内面を押し戻し、その結果係止爪３２が反射板２に押付けられがたつきなくホルダーが固定される。
蛍光ランプ６を装着すると、ランプはホルダーの支持部３１だけではなく固定爪３５により略Ｕ字底部３３方向への動きを止めて保持されランプのゆれ・振動を抑えることができる。以上により、ランプを確実に保持し固定する信頼性を向上させた、略Ｕ字形ホルダー３を有した蛍光灯器具を提供できる。
【０００６】
【発明の効果】
本発明によれば、ランプを確実に保持しランプのゆれ・振動を抑える弾性を有する略Ｕ字形ホルダーとすることができ、信頼性を向上させた蛍光灯器具を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る器具外観図である。
【図２】本発明によるホルダーと反射板の嵌合前の要部斜視図である。
【図３】本発明によるホルダーと反射板の嵌合時の断面図である。
【図４】従来技術による１例を示すホルダーと反射板の嵌合前の要部斜視図である。
【図５】従来技術による１例を示すホルダーと反射板の嵌合時の断面図である。
【符号の説明】
１    ：器具本体          ２    ：反射板
２１  ：嵌合穴            ３    ：略Ｕ字形ホルダー
３１  ：ランプ支持部
３２  ：係止爪
３３  ：底部
３６  ：底部両端
３５  ：固定爪
４    ：ランプソケット    ５    ：化粧ねじ
６    ：蛍光ランプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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(57)【要約】【課題】基板上に透明導電膜を成膜形成する際に、透明導電膜のパターニングを得るまでの工程を短縮することができ、設備投資も安価に抑えることができ、環境負荷であったエッチング工法を用いる必要がなくなるようにする。【解決手段】透明ガラスを用いた基板１上へ、熱硬化型の天然樹脂２をマスク材としてパターニングに不要な部分に塗布後、乾燥（硬化）させる。次に、その上から液状の熱分解型の透明導電膜前駆体３を塗布した後、乾燥させる。そして、焼成▲１▼によってマスク材である天然樹脂２を炭化させ、同焼成▲２▼によってマスク材である天然樹脂２を焼失させる。その後、不要部である残渣を除去し、選択的に透明導電膜４を基板１にパターニング形成する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に透明導電膜を成膜形成する透明導電膜の作製方法であって、前記基板上に熱硬化型の天然樹脂をマスク材として塗布する工程と、その上から熱分解型の透明導電膜前駆体を塗布する工程と、前記マスク材の天然樹脂を炭化、焼失させる工程とを有することを特徴とする透明導電膜の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板上に透明導電膜を成膜形成する方法、特にパターニングを改善した透明導電膜の作製方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
基板上へ透明導電膜を作製する例として、例えば熱分解型の透明導電膜をガラス基板上に形成して補助電極等に利用することが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
図３は上記のような従来の透明導電膜の作製工程を示す図であり、（ａ）は成膜工程、（ｂ）はパターニング工程を示している。
【０００４】
成膜工程では、まずガラス基板１１上に、粘性（粘度）を付加した液状の熱分解型の透明導電膜前駆体１２を浸漬、印刷等により塗布する。そして、乾燥工程を経た後、焼成工程に入り、ここで透明導電膜１３を得る。
【０００５】
パターニング工程では、上記のようにして得られた成膜基板に対し、マスク材１４を塗布した後、エッチング工程に入り、選択的に不要部分を除去する。そして、マスク材１４を除去することにより、パターニングされた透明導電膜１５が得られる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平２−２１６７５２号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような透明導電膜の成膜形成にあっては、パターニングを得るまでの工程が多く、またエッチング工法に対する設備投資が多大になるとともに、エッチング工法での薬品の使用、環境汚染物質の排出に伴う除害処理などの維持費が高いという問題点があった。
【０００８】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたもので、パターニングを得るまでの工程を短縮することができ、設備投資も安価に抑えることができ、環境負荷であったエッチング工法を用いる必要のない透明導電膜の作製方法を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る透明導電膜の作製方法は、基板上に透明導電膜を成膜形成する透明導電膜の作製方法であって、前記基板上に熱硬化型の天然樹脂をマスク材として塗布する工程と、その上から熱分解型の透明導電膜前駆体を塗布する工程と、前記マスク材の天然樹脂を炭化、焼失させる工程とを有するようにしたものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施例による透明導電膜の作製方法を示す工程図である。本実施例の方法によれば、透明導電膜の成膜形成とほぼ同時にパターニングが終了する。以下、工程順に説明する。
【００１１】
（１）透明ガラスを用いた基板１上へ、熱硬化型の天然樹脂２をマスク材としてパターニングに不要な部分に塗布後、乾燥（硬化）させる。
【００１２】
（２）その上から液状の熱分解型の透明導電膜前駆体３を塗布する。
【００１３】
（３）乾燥させる。
【００１４】
（４）焼成▲１▼によってマスク材である天然樹脂２を炭化させ、同焼成▲２▼によってマスク材である天然樹脂２を焼失させる。このとき、マスク材は熱硬化型の天然樹脂２を用いているが、熱分解型の透明導電膜を形成する際の焼成温度では炭化焼失し、炭化焼失後は透明導電膜４が基板１上に剥離状態で残る。
【００１５】
（５）不要部である残渣を除去する。これにより、選択的に透明導電膜４が基板１に形成され、パターニングが完了する。
【００１６】
このように本実施例では、透明導電膜４の成膜と同時にパターニングが完了するので、パターニングを得るまでの工程を短縮することができ、設備投資も安価に抑えることができ、環境負荷であったエッチング工法を用いる必要がない。
【００１７】
また、マスク材は天然樹脂２を用いており、これを炭化焼失すると炭酸ガスと水に分解されるので、環境的にも安全である。そして、上記のようにエッチング工法を使用する必要がないので、従来の工法に対して工程が短くなるとともに、設備的にも簡易な方法で投資が安く済ませる。
【００１８】
図２は上述した実施例におけるパターニング法を模式的に示したものであり、（ａ）の浸漬法と（ｂ）の印刷法とがある。
【００１９】
浸漬法では、基板をマスク液に浸漬した後、乾燥（硬化）し、透明導電膜前駆体液に浸漬し、その後乾燥及び焼成を経て完了する。
【００２０】
印刷法では、基板にマスク印刷を施した後、乾燥（硬化）し、透明導電膜前駆体印刷を行い、その後乾燥及び焼成を経て完了する。
【００２１】
なお、本発明は、熱分解型の透明導電膜を選択的に塗工、成膜を必要とする製造工程に広く利用でき、上述の工法の組み合わせや他工法への応用は多いものとなる。
【００２２】
また、本発明を用いた製品の実用化事例として、例えば稀ガス封入式ランプなどの補助電極を部分的に成膜形成する場合に有益である。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、基板上に透明導電膜を成膜形成する際に、透明導電膜のパターニングを得るまでの工程を短縮することができ、設備投資も安価に抑えることができ、環境負荷であったエッチング工法を用いる必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による透明導電膜の作製方法を示す工程図
【図２】実施例のパターニング法を示す説明図
【図３】従来例の作製方法を示す工程図
【符号の説明】
１  基板
２  天然樹脂
３  透明導電膜前駆体
４  透明導電膜
【図１】
2004288507.tif 000003
【図２】
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【図３】
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(57)【要約】【課題】現像ムラを抑制することができる電子部品の製造方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】圧電基板１０上に金属膜１１及びフォトレジスト膜１２を形成し、露光する。次に、圧電基板１０を支持台１３上で現像液と接触させて、フォトレジスト膜１２の一部を除去する。この時、圧電基板１０の回転と静止を間欠的に行い、回転時のみ圧電基板１０を真空吸着を行う。次いで、金属膜１１の露出している部分及び残りのフォトレジスト膜１２を除去する。【選択図】  図１
2004288692.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ上の金属膜あるいは金属酸化膜上にフォトレジスト膜を形成する第１の工程と、前記フォトレジスト膜の上から所定のパターンで露光する第２の工程と、前記ウエハを真空吸着装置を有する支持台上で現像液と接触させて、前記フォトレジスト膜の一部を除去する第３の工程と、前記金属膜あるいは金属酸化膜の露出している部分及び残りの前記フォトレジスト膜を除去する第４の工程とを備え、前記第３の工程において、前記ウエハの回転と静止を間欠的に行い、前記回転時のみ前記ウエハの真空吸着を行う電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、液晶、ＳＡＷデバイスなどの電子部品の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の電子部品の製造方法について説明する。まず、Ｓｉなどのウエハ上にＳｉＯ２などの金属酸化膜を形成する。次に、金属酸化膜の上にフォトレジスト膜を形成し、露光、現像する。現像は、支持台に設けた真空吸着機構でウエハを吸引固定し、現像液を供給し、回転させたり、静止させたりしながら行う。
【０００３】
その後、エッチング処理により不要な金属膜を除去、続いて残りのフォトレジスト膜を除去し、所望の電極パターンを有するＳＡＷデバイスを得る。
【０００４】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平６−４５２４３号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記方法においてウエハを吸引するということは、真空吸着機構内に気流が発生するということであり、回転時はこの気流による影響は少ないのであるが、静止時は支持台が部分的に冷却されて、現像液に温度差が生じることとなる。現像液の温度はフォトレジスト膜の溶解速度に影響を及ぼすこととなる。
【０００７】
その結果、現像ムラが発生し、所望の形状の電極を得ることができないという問題点を有していた。
【０００８】
そこで、本発明は現像ムラを抑制することができる電子部品の製造方法を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【００１０】
本発明の請求項１に記載の発明は、特に支持台上のウエハを回転及び静止させながら現像を行う際、回転時のみ支持台に設けた真空吸着装置により吸引固定するものであり、静止時に現像液に温度差が発生せず、現像ムラを抑制し、所望の特性を有する電子部品を得ることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
以下に本発明の特に、請求項１についてＳＡＷデバイスを例に説明する。
【００１２】
図１は本実施の形態におけるＳＡＷデバイスの製造工程を説明するための断面図で、図２は同実施の形態における支持台の上面図である。図１、図２において、１０は圧電基板、１１は金属膜、１２はフォトレジスト膜、１３は支持台、１４は真空チャックである。
【００１３】
まず、ＬｉＴａＯ３などの圧電基板１０の表面に金属膜１１をスパッタリングなどの薄膜形成方法により設ける。
【００１４】
金属膜１１は二層構造で、下層はＡｌまたはＡｌ−ＣｕなどのＡｌ合金、上層がＴｉからなる。また下層の厚みは２００ｎｍ、上層の厚みは５ｎｍである。
【００１５】
次に、金属膜１１の表面にフォトレジスト膜１２を形成後、所定のパターンを有するフォトマスクを用いて露光する。
【００１６】
次いで、図１に示すように圧電基板１０を支持台１３上に配置し、現像液を圧電基板１０上に供給し、フォトレジスト膜１２の現像を行う。
【００１７】
現像は、圧電基板１０つまり支持台１３の回転と静止を繰り返し行ういわゆるパドル現像を行う。
【００１８】
ただし、回転させる時のみ真空チャック１４にて圧電基板１０を吸着するが、静止させる時は、吸着を休止する。従って、静止時に気流が発生しないので、支持台１３が部分的に冷却されること、すなわち現像液に温度差が発生することを抑制することができる。その結果、フォトレジスト膜１２の現像を均一に行うことができ現像ムラを抑制できる。
【００１９】
また、現像ムラを抑制するために圧電基板１０上の現像液が劣化する前に、新しい現像液を供給し、部分的に現像状態が異ならないようにすることが望ましい。
【００２０】
さらに、現像液は通常アルカリ性であるため、金属膜１１をＡｌを用いて形成すると、現像時に腐食する可能性があるのであるが、本実施の形態においては、金属膜１１の上層のＴｉがＡｌの腐食を抑制することができる。
【００２１】
その後、ドライエッチングにより、圧電基板１０上の不要な金属膜１１を除去し、インターディジタルトランスデューサや反射器の電極パターンを形成する。
【００２２】
さきほどの現像工程において、精度良くフォトレジスト膜１２を除去しているので、所望の形状の電極パターンを形成できる。
【００２３】
次に圧電基板１０を切断し、基板やパッケージに実装することによりＳＡＷデバイスを得る。
【００２４】
なお、金属膜１１の上層としてＴｉを用いたが、これ以外にも下層すなわちＡｌよりも現像液によりエッチングされにくい物質、例えばＣｒ，Ｍｏ，ＳｉＣ，Ｓｉ３Ｎ４を用いることができる。ただし、このような物質は、一般的に質量が大きいため、膜厚が１０ｎｍを超えると電極の総質量が大きくなり、高周波に対応したＳＡＷデバイスを得ることが困難となる。また、１ｎｍ未満であると、下層の現像液による腐食の抑制効果が小さくなるので、１〜１０ｎｍとすることが望ましい。
【００２５】
また、上記実施の形態では、ＳＡＷデバイスを例に説明したが、これに限らず、液晶、半導体等など、基板上にフォトリソ法を用いて所定のパターンを形成する電子部品においては同様の効果が得られる。
【００２６】
【発明の効果】
以上、本発明によると、現像ムラを抑制することにより、電極などのパターンを精度良く形成できるので、優れた特性を有する電子部品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１におけるＳＡＷデバイスの製造工程を説明するための断面図
【図２】同実施の形態における支持台の上面図
【符号の説明】
１０  圧電基板
１１  金属膜
１２  フォトレジスト膜
１３  支持台
１４  真空チャック
【図１】
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【図２】
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