(57)【要約】【課題】装置内部に切換機構を設けて、処理液の切換を複数のノズル間で同時にしかも瞬時に行うことが可能な切換機構を備えたウエット処理装置を提供する。【解決手段】処理部１１と、処理液を導入する処理液導入部２１と、処理液を回収する処理液回収部３１とからなるノズル１ａを備え、処理液導入部２１には、処理液流通路２３，２４と、各処理液流通路２３，２４の下流側に接続されるとともに対向面１１ａ側に開口部２２を有する処理液流通配管２５と、処理液流通路２３，２４と処理液流通配管２５との間に配置されて処理液流通路２３，２４の中から選択された１の処理液流通路を処理液流通配管２５に接続させる切換手段２６とが備えられていることを特徴とするウェット処理装置１を採用する。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物に対向する対向面を有する処理部と、該被処理物と前記対向面との間の空間に処理液を導入する、前記処理部の一方に隣接する処理液導入部と、前記空間から処理液を回収する、前記処理部の他方に隣接する処理液回収部とからなるノズルを備えるウェット処理装置であって、
前記処理液導入部には、２以上の供給用の処理液流通路と、各処理液流通路の下流側に接続されるとともに前記対向面側に開口部を有する１の供給用の処理液流通配管と、前記処理液流通路と前記処理液流通配管との間に配置されて前記複数の処理液流通路の中から選択された１の処理液流通路を前記処理液流通配管に接続させる導入側の切換手段とが備えられていることを特徴とするウエット処理装置。
【請求項２】
前記処理液回収部には、２以上の回収用の処理液流通路と、各回収用の処理液流通路の上流側に接続されるとともに前記対向面に開口部を有する１の回収用の処理液流通配管と、
前記回収用の処理液流通路と前記回収用の処理液流通配管との間に配置されて前記回収用の処理液流通配管を２以上の前記回収用の処理液流通路の中から選択された１の処理液流通路に接続させる回収側の切換手段とが備えられていることを特徴とする請求項１に記載のウエット処理装置。
【請求項３】
前記処理液回収部には、２以上の前記供給用の処理液流通路と同数の前記回収用の処理液流通経路と、１の混合処理液回収用の処理液流通路と、前記回収用の各処理液流通路の上流側に接続されるとともに前記対向面に開口部を有する１の回収用の処理液流通配管と、前記回収用の各処理液流通路と前記回収用の処理液流通配管との間に配置されて前記回収用の処理液流通配管を前記回収用の各処理液流通路の中から選択された１の処理液流通路に接続させる回収側の切換手段とが備えられていることを特徴とする請求項２に記載のウエット処理装置。
【請求項４】
前記導入側の切換手段の上流側または前記回収側の切換手段の下流側の少なくとも一方に、前記各切換手段に印加される処理液の液圧を遮断する圧力遮断弁が備えられていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のウエット処理装置。
【請求項５】
前記導入側の切換手段における切換動作のタイミングと前記回収側の切換手段の切換動作のタイミングとをそれそれ個別に制御する制御手段が備えられていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のウエット処理装置。
【請求項６】
前記処理部に、該処理部と前記被処理物との間の処理液に振動を付与するための振動付与手段が備えられていることを特徴とする請求項１に記載のウェット処理装置。
【請求項７】
前記処理部の前記被処理物側の面が、紫外線を透過する部材で形成されており、前記処理部に、前記被処理物に向けて紫外線を照射するための紫外線照射手段が備えられていることを特徴とする請求項１に記載のウェット処理装置。
【請求項８】
一対の前記ノズルを具備してなり、前記各ノズルの対向面を相互に向き合わせ、各対向面の間に板状の被処理物を配置できるように構成されたことを特徴とする請求項１に記載のウエット処理装置。
【請求項９】
前記各切換手段が、導入側、回収側それぞれの前記複数の処理液流通路と前記処理液流通配管とを連結する連結部と、前記連結部の各処理液流通路近傍に各々設けられた弁収納部と、前記の各弁収納部内に各々収納され、体積収縮が自在であって収縮させたときに前記流通路が開となる中空弾性弁体とから構成され、
前記各中空弾性弁体のうち１の中空弾性弁体を開とし、他の中空弾性弁体を閉とすることにより、１の処理液流通路が選択されて処理液流通配管に接続されることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のウエット処理装置。
【請求項１０】
前記各流通配管が複数の分岐路からなり、前記各処理液流通路の下流側の各々が、前記複数の各処理液流通配管の分岐路に対応する複数の分岐路とされ、前記処理液流通路と処理液流通配管が各々接続されて前記連結部が複数形成されるとともに各連結部同士を連通する連絡配管が設けられ、前記中空弾性弁体が前記弁収納部と前記各連絡配管を貫通して配置されていることを特徴とする請求項９に記載のウエット処理装置。
【請求項１１】
前記各連絡配管が前記弁収納部よりも細く形成されることにより、各連絡配管が前記中空弾性弁体によって常に閉塞されていることを特徴とする請求項１０に記載のウエット処理装置。
【請求項１２】
前記各切換手段が、前記複数の処理液流通路と前記処理液流通配管とを連結する連結部と、該連結部に収納された回転弁体とから構成され、前記回転弁体が前記連結部内で回転されることにより、１の処理液流通路が選択されて処理液流通配管に接続されることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のウエット処理装置。
【請求項１３】
前記各流通配管が複数の分岐路からなり、前記各処理液流通路の下流側の各々が、前記複数の各処理液流通配管の分岐路に対応する複数の分岐路とされ、前記処理液流通路及び処理液流通配管が各々接続されて前記連結部が複数形成されるとともに各連結部同士を連通する連絡配管が設けられ、前記回転弁体が前記各連結部と前記各連絡配管を貫通して配置されていることを特徴とする請求項１２に記載のウエット処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体デバイス、液晶表示パネル等の製造プロセスにおける洗浄、剥離、現像、エッチング、メッキ、研磨等のウェット処理工程において、被処理物上に処理液を供給するためのウェット処理装置に用いて好適な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス、液晶表示パネル等の電子機器の分野においては、その製造プロセス中に被処理物である半導体基板やガラス基板を洗浄処理する工程が必須である。洗浄工程においては、製造工程中の種々の除去対象物質を除去するために、超純水、電解イオン水、オゾン水、水素水等、種々の処理液を用いた洗浄が行われるが、これら処理液はウエット処理装置のノズルから基板上に供給される。下記特許文献１には、ウエット処理装置の一例が記載されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−３３５０６号公報
【０００４】
上記特許文献１に記載されたウエット処理装置は、被処理基板上に処理液を供給してウェット処理を行う際に用いるものであって、一端側に処理液を導入するための導入口を有する導入通路と、他端側に使用後の処理液を外部に排出するための排出口を有する排出通路と、処理用流体を被処理基板に接触させるために導入口と排出口の間に設けられた液体処理路とを具備して構成されている。
【０００５】
従来のウェット処理装置等によれば、処理液を供給した部分以外の部分に処理液を接触させることなく、被処理基板上から除去することができ、省液型のウエット処理装置を実現することが可能になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のウエット処理装置においては、導入通路と排出通路とがそれぞれ１系統ずつ備えられているだけなので、原則として１種類の処理液しか用いることができなかった。従って、洗浄液を用いて被処理基板の洗浄処理を行い、その後、リンス液を用いて被処理基板上に残存した洗浄液をリンスする処理を行う場合は、洗浄液用とリンス液用の２つのウエット処理装置を別個に用意する必要があった。
【０００７】
また、複数種類の処理液を切り替えて流通させるための切換装置を用意し、この切換装置を導入通路の上流側に接続したウエット処理装置を用いることも考えられる。しかし、このようなウエット処理装置では、ウエット処理装置の外部において導入通路に切換装置を接続するため、切換装置から導入通路の導入口までの距離が長くなる。このため、切換装置によって処理液が切り替えられたとしても、被処理基板上において処理液が切り替わるまでに所定の時間を要し、処理液の切換を瞬時に行うことができなかった。
【０００８】
上記の切換装置を有するウエット処理装置に代えて、切換機構を装置内部に収納させたウエット処理装置を用いることも考えられる。しかし、例えば多数の導入口を直列に配置させて構成したウエット処理装置に適用するためには、各導入口において処理液を同時に切り替える必要があり、このような機能を有する切換機構は現在のところ開発されておらず、また、その開発も極めて困難な状況であった。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、装置内部に切換機構を設けて、処理液の切換を複数のノズル間で同時にしかも瞬時に行うことが可能な切換機構を備えたウエット処理装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
【００１１】
本発明のウェット処理装置は、被処理物に対向する対向面を有する処理部と、該被処理物と前記対向面との間の空間に処理液を導入する、前記処理部の一方に隣接する処理液導入部と、前記空間から処理液を回収する、前記処理部の他方に隣接する処理液回収部とからなるノズルを備えるウェット処理装置であって、前記処理液導入部には、２以上の供給用の処理液流通路と、各処理液流通路の下流側に接続されるとともに前記対向面側に開口部を有する１の供給用の処理液流通配管と、前記処理液流通路と前記処理液流通配管との間に配置されて前記複数の処理液流通路の中から選択された１の処理液流通路を前記処理液流通配管に接続させる導入側の切換手段とが備えられていることを特徴とする。
【００１２】
上記のウエット処理装置によれば、処理液導入部に切換手段が備えられるので、導入側の開口部と切換手段とが隣接して導入側の処理液流通配管を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行う場合において、切換手段によって被処理物に供給する処理液が切り換えられると、被処理物上における処理液も直ちに切り換えられ、結果的に処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【００１３】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記処理液回収部には、２以上の回収用の処理液流通路と、各回収用の処理液流通路の上流側に接続されるとともに前記対向面に開口部を有する１の回収用の処理液流通配管と、前記回収用の処理液流通路と前記回収用の処理液流通配管との間に配置されて前記回収用の処理液流通配管を２以上の前記回収用の処理液流通路の中から選択された１の処理液流通路に接続させる回収側の切換手段とが備えられていることを特徴とする。
【００１４】
上記のウエット処理装置によれば、処理液回収部に切換手段が備えられるので、回収側の開口部と切換手段とが隣接して回収側の処理液流通配管を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行った後に当該処理液を順次回収する場合に、回収側の切換手段を作動させることで、処理液同士が混合することなく種類毎に分別回収できる。
【００１５】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記処理液回収部には、２以上の前記供給用の処理液流通路と同数の前記回収用の処理液流通経路と、１の混合処理液回収用の処理液流通路と、前記回収用の各処理液流通路の上流側に接続されるとともに前記対向面に開口部を有する１の回収用の処理液流通配管と、前記回収用の各処理液流通路と前記回収用の処理液流通配管との間に配置されて前記回収用の処理液流通配管を前記回収用の各処理液流通路の中から選択された１の処理液流通路に接続させる回収側の切換手段とが備えられていることを特徴とする。
【００１６】
上記のウエット処理装置によれば、処理液回収部に切換手段が備えられるので、回収側の開口部と切換手段とが隣接して回収側の処理液流通配管を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行った後に当該処理液を順次回収する場合に、回収側の切換手段を作動させることで、処理液同士が混合することなく種類毎に分別回収できる。
また、処理液の回収の際に、前記の空間において複数種類の処理液同士が混合して混合液が生じる場合があるが、上記のウェット処理装置では混合処理液回収用の処理液流通路によってこの混合処理液を回収することができ、処理液と混合処理液とを分別回収することができる。
【００１７】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記導入側の切換手段の上流側または前記回収側の切換手段の下流側の少なくとも一方に、前記各切換手段に印加される処理液の液圧を遮断する圧力遮断弁が備えられていることを特徴とする。
【００１８】
上記のウエット処理装置によれば、切換手段に対する処理液の液圧を圧力遮断弁によって遮断することができ、切換手段の動作を迅速に行うことができる。
【００１９】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記導入側の切換手段における切換動作のタイミングと前記回収側の切換手段の切換動作のタイミングとをそれそれ個別に制御する制御手段が備えられていることを特徴とする。
【００２０】
上記のウエット処理装置によれば、制御手段によって各切換手段の切換動作が個別に行われるので、複数種類の処理液を用いてウエット処理を行う場合に、処理液導入部側における処理液の切換に対応させて回収側の切換手段を作動させることができ、処理液を種類毎に分別回収することができる。
【００２１】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記処理部に、該処理部と前記被処理物との間の処理液に振動を付与するための振動付与手段が備えられていることを特徴とする。
【００２２】
このような構成とすることで、例えば本発明のウェット処理装置を洗浄装置として用いる場合には、上記振動付与手段により処理液（洗浄液）に与えられた振動による付着物の除去効果により洗浄効率を高めることができる。また、この振動付与手段は前記ノズルに対して着脱可能とされていてもよく、このような構成とすれば例えば振動周波数の異なる他の振動付与手段や、光照射手段と容易に交換することができ、ウェット処理装置の汎用性を高めることができる。
【００２３】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記処理部の前記被処理物側の面が、紫外線を透過する部材で形成されており、前記処理部に、前記被処理物に向けて紫外線を照射するための紫外線照射手段が備えられていることを特徴とする。
【００２４】
このような構成とすることで、処理液中にオゾンを発生させて被処理物をオゾン処理したり、処理液の殺菌処理をしたりできるウェット処理装置を実現することができる。また、この紫外線照射手段も、上記振動付与手段と同様に前記ノズルに対して着脱可能とすることができるのは勿論である。
【００２５】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、一対の前記ノズルを具備してなり、前記各ノズルの対向面を相互に向き合わせ、各対向面の間に板状の被処理物を配置できるように構成されたことを特徴とする。
【００２６】
このような構成とすることで、被処理物に対するウエット処理を一度に二方向から行うことができ、効率よくウエット処理を行えるのに加え、二方向から同時にウエット処理することで、処理後の被処理物の汚染を最小限に抑えることができる。
【００２７】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記各切換手段が、導入側、回収側それぞれの前記複数の処理液流通路と前記処理液流通配管とを連結する連結部と、前記連結部の各処理液流通路近傍に各々設けられた弁収納部と、前記の各弁収納部内に各々収納され、体積収縮が自在であって収縮させたときに前記流通路が開となる中空弾性弁体とから構成され、前記各中空弾性弁体のうち１の中空弾性弁体を開とし、他の中空弾性弁体を閉とすることにより、１の処理液流通路が選択されて処理液流通配管に接続されることを特徴とする。
【００２８】
上記のウエット処理装置によれば、中空弾性弁体を収縮させることによって切換動作を行うので、部品同士が擦れ合って摩耗することがなく、異物の発生も防止できる。また、中空弾性弁体が、前記連結部の各処理液流通路近傍に設けられた弁収納部に収納されているので、連結部内における処理液の残存量を少なくすることができ、これにより処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【００２９】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記各流通配管が複数の分岐路からなり、前記各処理液流通路の下流側の各々が、前記複数の各処理液流通配管の分岐路に対応する複数の分岐路とされ、前記処理液流通路と処理液流通配管が各々接続されて前記連結部が複数形成されるとともに各連結部同士を連通する連絡配管が設けられ、前記中空弾性弁体が前記弁収納部と前記各連絡配管を貫通して配置されていることを特徴とする。
【００３０】
上記のウエット処理装置によれば、中空弾性弁体が各弁収納部と各連絡配管を貫通して配置されているので、中空弾性弁体を収縮させることによって複数の分岐路における切換動作を同時に行うことができ、処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【００３１】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記各連絡配管が前記弁収納部よりも細く形成されることにより、各連絡配管が前記中空弾性弁体によって常に閉塞されていることを特徴とする。
【００３２】
このような構成とすることで、連絡配管内に処理液が滞留することがないので、各分岐路における処理液の切換を同時に行うことができる。
【００３３】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記各切換手段が、前記複数の処理液流通路と前記処理液流通配管とを連結する連結部と、該連結部に収納された回転弁体とから構成され、前記回転弁体が前記連結部内で回転されることにより、１の処理液流通路が選択されて処理液流通配管に接続されることを特徴とする。
【００３４】
上記のウエット処理装置によれば、回転弁体を回転させることによって切換動作を行うので、回転弁体及び連結部内における処理液の残存量を少なくすることができ、これにより処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【００３５】
また、本発明のウェット処理装置は、先に記載のウェット処理装置であって、前記各流通配管が複数の分岐路からなり、前記各処理液流通路の下流側の各々が、前記複数の各処理液流通配管の分岐路に対応する複数の分岐路とされ、前記処理液流通路及び処理液流通配管が各々接続されて前記連結部が複数形成されるとともに各連結部同士を連通する連絡配管が設けられ、前記回転弁体が前記各連結部と前記各連絡配管を貫通して配置されていることを特徴とする。
【００３６】
上記のウエット処理装置によれば、回転弁体が各連結部と各連絡配管を貫通して配置されているので、回転弁体を回転させることによって複数の分岐路に対する切換動作を同時に行うことができ、処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【００３７】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態を図面を参照して説明する。
図１に本実施形態のウェット処理装置の斜視図を示し、図２に当該ウェット処理装置を対向面側から見た平面図を示し、図３には図２のＩ−ＩＩ線の断面図を示す。
図１〜図３に示すように、本実施形態のウェット処理装置１は、被処理基板Ｗ（被処理物）に対向する対向面１１ａを有する処理部１１と、被処理基板Ｗと対向面１１ａとの間の空間Ｍに処理液を導入する処理液導入部２１と、当該空間Ｍからウエット処理後の処理液を回収する処理液回収部３１とからなるノズル１ａを備えている。
このようなウェット処理装置１は、プッシュプル型ノズル（省流量型ノズル）と呼ばれるものである。
【００３８】
図２に示すように、対向面１１ａは略矩形状に形成されており、その表面材質はステンレス等の金属または石英などのガラスにより構成されている。また対向面１１ａは、ノズル１ａにおいて被処理基板Ｗと対向して処理液と接する面を形成する面であり、その長辺に沿って複数の導入側の開口部２２と回収側の開口部３２とが設けられている。そして、対向面１１ａと被処理基板Ｗの間の空間Ｍに処理液が流通するように構成されている。尚、対向面１１ａと被処理基板Ｗとの距離は０．５〜８ｍｍの範囲とされている。
【００３９】
本実施形態のノズル１ａにおいては、導入側の開口部２２を介して処理液が被処理基板Ｗ上に供給され、回収側の開口部３２を介して処理液が被処理基板Ｗ上から回収されるようになっている。この導入側の開口部２２と回収側の開口部３２との間の、対向面１１ａと被処理物とに挟まれる領域が、本実施形態のウェット処理装置１における処理領域Ｎとされており、この処理領域Ｎに接している被処理基板Ｗの表面が、ウェット処理に供されるようになっている。
【００４０】
上記導入側の開口部２２及び回収側の開口部３２は、それぞれ所定の間隔や孔径を有して形成され、被処理物の幅方向（対向面１１ａの長手方向）において洗浄液を均一に供給し、また回収できるようになっている。
また、対向面１１ａは親水性とされていることが好ましく、導入側の開口部２２及び回収側の開口部３２の内面側も親水性とされることが好ましい。処理領域Ｎを構成する対向面１１ａを親水性とすることで、処理領域Ｎにおける処理液の流れを円滑にし、その制御性を向上させることができる。また、導入側の開口部２２及び回収側の開口部３２の内面側を親水性とすることで、処理液の導入と回収も円滑に行うことができ、より処理液の流れを安定なものとすることができる。
【００４１】
また、処理部１１は処理液導入部２１と処理液回収部３１の間に配置されており、処理領域Ｎと対向する位置に配置されている。この処理部１１には処理領域Ｎ（空間Ｍ）を流通する処理液に振動を付与するための振動付与手段１２が着脱可能な状態で備えられている。振動付与手段１２の一面側は対向面１１ａの反対面に接合されている。また、振動付与手段１２を駆動、制御するためのケーブル１３が振動付与手段１２に接続されており、このケーブル１３はノズル１ａの外側へ導出され、図示しない駆動制御部に接続されている。この振動付与手段１２としては、振動周波数約０．０２〜５ＭＨｚ程度の超音波を発生する超音波振動子などを用いることができ、被処理物の種類や、ウエット処理の目的に応じて適宜最適な周波数のものを選択すればよい。
【００４２】
次に図３〜図６に示すように、処理液導入部２１には、供給用の第１、第２処理液流通路２３，２４と、供給用の処理液流通配管２５と、導入側の切換手段２６とが備えられている。
図３〜図６に示すように、第１、第２処理液流通路（供給用の処理液流通路）２３，２４は、開口部２２の配列方向に沿って延在する直方体状の中空部であり、その直方体の長辺が開口部２２の配列方向とほぼ平行になるように配置されている。また図３〜図５に示すように、第１、第２処理液流通路２３、２４の上部（上流側）には第１、第２処理液供給管２７ａ、２７ｂがそれぞれ接続されていて、これらの第１、第２処理液供給管２７ａ、２７ｂを介して、ノズル１ａ外部から２種類の処理液を第１、第２処理液流通路２３、２４に供給できるようになっている。例えば、第１処理液流通路２３に洗浄液を供給し、第２処理液流通路２４にはリンス液を供給できようになっている。また図５に示すように、第１、第２処理液流通路２３、２４が第１、第２処理液供給管２７ａ、２７ｂよりも大型に形成されていることによって、処理液が第１、第２処理液供給管２７ａ、２７ｂから第１、第２処理液流通路２３，２４に送液される際にその流路が拡大されるように構成されている。
【００４３】
更に図３〜図６に示すように、第１、第２処理液流通路２３、２４の下部（下流側）には、複数の分岐路２３ａ…、２４ａ…が各処理液流通路２３，２４の長手方向に沿って設けられていて、この分岐路２３ａ…、２４ａ…を介して処理液流通配管２５に処理液を送液できるようになっている。このような構成により、第１、第２処理液流通路２３、２４によって一旦拡大された流路が、分岐路２３ａ…、２４ａ…により複数の流路に細分化されることになり、各分岐路２３ａ…、２４ａ…には均一な液圧の処理液が流れることになる。
【００４４】
また、図５に示すように、処理液流通配管２５（供給用の処理液流通配管）は、第１、第２処理液流通路２３、２４の分岐路２３ａ…、２４ａ…に対応して複数の分岐路２５ａ…とされており、この分岐路２５ａ…は第１、第２処理液流通路の分岐路２４ａ…、２４ｂ…の下流側に各々接続されていて、更に対向面１１ａ側に開口する開口部２２…を有している。開口部２２…は、図２及び図６に示すように、ノズル１ａの対向面１１ａ側に複数の開口として設けられ、これら複数の開口部２２…が対向面１１ａの長手方向に沿って一列に配置されている。この構成により、第１、第２処理液流通路２３、２４に供給された洗浄液及びリンス液（処理液）は、処理液流通路の分岐路２３ａ…、２４ａ…と処理液流通配管の分岐路２５ａ…とを通過して、対向面１１ａに開口された開口部２２…から被処理基板Ｗに供給されるようになっている。
【００４５】
更に切換手段２６（導入側の切換手段）は、第１、第２処理液流通路２３、２４と処理液流通配管２５との間に配置されており、第１、第２処理液流通路２３、２４のうち、選択した１の処理液流通路を処理液流通配管２５に接続させるものである。この切換手段２６は、図７及び図８に示すように、第１、第２処理液流通路２３、２４と処理液流通配管２５とを連結する連結部２６ａと、連結部２６ａの第１、第２処理液流通路２３、２４のそれぞれの近傍に各々設けられた弁収納部２６ｂ、２６ｃと、各弁収納部２６ｂ、２６ｃ内に各々収納された中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅとから概略構成されている。
【００４６】
連結部２６ａ…は、第１、第２処理液流通路の各分岐路２３ａ…、２４ａ…と、処理液流通配管２５を構成する分岐路２５ａ…とをそれぞれ連結している。そして、各連結部２６ａ…の第１、第２処理液流通路２３、２４近傍に弁収納部２６ｂ…、２６ｃ…がそれぞれ設けられている。
即ち、弁収納部２６ｂ、２６ｃは、図５〜図７に示すように、第１、第２処理液流通路２３、２４の各分岐路２３ａ、２４ａの先端に各々設けられた中空部分である。またこの弁収納部２６ｂ…、２６ｃ…は、図５、図６及び図８に示すように、第１、第２処理液流通路２３、２４の長手方向と平行に形成された連絡配管２６ｆ…によって相互に連通されている。そして、この弁収納部２６ｂ…、２６ｃ…及び連絡配管２６ｆ…内にこれらを貫通する中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅが収納されている。
【００４７】
中空弾性体２６ｄ、２６ｅは、ゴムなどの弾性体により構成された中空管であり、その中空部分にガス若しくは液体などの流体を流通させることによって、体積収縮を制御できるようになっている。例えば図１０及び図１２に示すように、中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅの端部には取付金具２８を介してガス流路Ｇ１が接続され、ガス流路Ｇ１には三方弁Ｂを介して加圧ガス流路Ｇ２と減圧ガス流路Ｇ３が接続されている。このように構成することで、三方弁Ｂを切り換えて中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅに加圧ガスを送って中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅを体積膨張させたり、中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅを減圧して体積収縮させたりできるようになっている。
【００４８】
そして、図７に示すように、例えば第２処理液流通路側の中空弾性体２６ｅを収縮させると、中空弾性弁体２６ｅと弁収納部２６ｃの内壁面との間に隙間が生じて「開」となり、この隙間を通ってリンス液が第２処理液流通路２４から処理液流通配管２５側に送液できるようになっている。また図７中の一点鎖線で示すように、第２処理液流通路２４側の中空弾性弁体２６ｅを膨張させると、中空弾性体２６ｅと弁収納部２６ｃの内壁面とが密着して「閉」となり、リンス液の送液を遮断できるようになっている。尚、第１処理液流通路側の中空弾性弁体２６ｄの動作についても同様である。
このようにして、切換手段２６に備えられた２つの中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅのうちの一方を膨張させて「閉」とし、他方を収縮させて「開」とすることで、第１、第２処理液流通路２３、２４のうちの一方を選択して処理液流通配管２５に接続できるようになっている。
【００４９】
このような構成の切換手段２６を用いることで、第１、第２処理液流通路２３，２４に供給された洗浄液、リンス液の一方を選択して処理液流通配管２５を介して被処理基板Ｗに供給することができる。また、中空弾性体２６ｄ、２６ｅが弁収納部２６ｂ、２６ｃ及び連絡配管２６ｆを貫通するように配置されているので、中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅを収縮させることによって複数の分岐路２５ａ…における切換動作を同時に行うことができ、洗浄液、リンス液の切換を瞬時に行うことができる。
更に、中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅを収縮させることによって切換動作を行うので、部品同士が擦れ合って摩耗することがなく、異物の発生も防止できる。また、中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅが、処理液流通路２３，２４の連結部２６ａ近傍に設けられた弁収納部２６ｂ、２６ｃに収納されているので、連結部２６ａ内における処理液の残存量を少なくすることができ、これにより処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【００５０】
また、処理液導入部２１の内部に切換手段２６が備えられるので、導入側の開口部２２と切換手段２６とが隣接して導入側の処理液流通配管２５を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行う場合において、切換手段２６によって被処理物に供給する処理液が切り換えられると、被処理物上における処理液も直ちに切り換えられ、結果的に処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【００５１】
尚、別例の切換手段４７として、図９に示すように、各連絡配管２６ｇが弁収納部２６ｃ（連結部）よりも細く形成されたものを用いることもできる。この切換手段４７においては、各連絡配管２６ｇが中空弾性弁体２６ｅによって常に閉塞された状態にある。即ち、収縮状態の中空弾性弁体２６ｅの外径と連絡配管２６ｇの内径とが一致するように構成されている。
図９に示すように、中空弾性弁体２６ｅの収縮時には、中空弾性体２６ｅと弁収納部２６ｃの内壁面との間に隙間が生じて「開」となり、この隙間を通って処理液が処理液流通路２４から処理液流通配管２５側に送液できるようになる。また図９中の一点鎖線で示すように、中空弾性体２６ｅを膨張させると、中空弾性体２６ｅと弁収納部２６ｃの内壁面とが密着して「閉」となり、処理液の送液が遮断される。このようにして、切換手段に備えられた２つの中空弾性弁体のうちの一方を膨張させて「閉」とし、他方を収縮させて「開」とすることで、第１、第２処理液流通路２３、２４のうちの一方を選択して処理液流通配管２５に接続できる。
尚、この間、連絡配管２６ｇは中空弾性弁体２６ｅによって常に閉塞された状態にあるので、連絡配管２６ｇ内に処理液が滞留することがなく、分岐路２５ａ…における処理液の切換を同時に行うことができる。
【００５２】
また、図１０及び図１２においては中空弾性弁体の一端側にガス流路を接続した例について説明したが、図１１に示すように、中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅの両端側にガス流路Ｇ１、Ｇ１をそれぞれ接続し、一方のガス流路を加圧ガス流路Ｇ２とし、他方のガス流路を減圧ガス流路Ｇ３としても良い。
【００５３】
次に、処理液回収部３１について説明する。図３に示すように、処理液回収部３１には、回収用の第３、第４処理液流通路３３，３４と、回収用の処理液流通配管３５と、回収側の切換手段３６とが備えられている。ここでは、回収側の切換手段３６の構造についてのみ説明する。また、第３、第４処理液流通路３３，３４及び処理液流通配管３５の詳細構造の説明と、第３、第４処理液流通路３３，３４及び処理液流通配管３５と切換手段３６との接続構造の説明については、先程説明した処理液導入部２１における構造と同一であるので説明を省略する。
【００５４】
回収側の切換手段３６は、図１３及び図１４に示すように、第３、第４処理液流通路３３，３４と処理液流通配管３５との間に配置されており、処理液流通配管３５を第３、第４処理液流通路３３，３４のうちの一方の処理液流通路に接続させるものである。この切換手段３６は、図１３及び図１４に示すように、第３、第４処理液流通路３３，３４と処理液流通配管３５とをそれぞれ連結する連結部３６ａと、連結部３６ａに収納された回転弁体３６ｂとから概略構成されている。
【００５５】
連結部３６は、第３、第４各処理液流通路の各分岐路３３ａ…、３４ａ…と、処理液流通配管３５を構成する分岐路３５ａ…とをそれぞれ連結するものであり、各分岐路の合流部分に連結部３６ａ…がそれぞれ形成されている。
連結部３６ａ…は、各分岐路３３ａ…、３４ａ…、３５ａ…の合流部分に設けられた中空部分である。また図１５に示すように、この連結部３６ａ…は、第３、第４処理液流通路３３，３４の長手方向と平行に形成された連絡配管３６ｃ…によって相互に連通されている。そして、この連結部３６ａ…及び連絡配管３６ｃ…を貫通するように回転弁体３６ｂが収納されている。
【００５６】
また図１４及び図１５に示すように、回転弁体３６ｂは円筒形状の部材からなり、その円周面上には各分岐路３３ａ…、３４ａ…、３５ａ…に対応する複数の内部流路３６ｄ…が設けられている。また、回転弁体３６ｂは回転自在な状態で連結部３６ａ内に収納されている。そして図２に示すように、回転弁体３６ｂの一端がノズル１ａ外部に突出している。
そして、回転弁体３６ｂの一端を回転させることで、回転弁体３６ｂの内部流路３６ｄ…により、第３処理液流通路の分岐路３３ａと処理液流通配管の分岐路３５ａとを連通させるか、または内部流路３６ｄにより第４処理液流通路の分岐路３４ａと処理液流通配管の分岐路３５ａとを連通されることができる。図１４は、回転弁体３６ｂの内部流路３６ｄ…が第３処理液流通路の分岐路３３ａ…と処理液流通配管の分岐路３５ａ…とを連通させた状態を示している。このような構成により、２つのうちの１の処理液流通路３３，３４を選択して処理液流通配管３５に接続できるようになっている。
【００５７】
このような構成の切換手段３６を用いることで、被処理基板Ｗ上から処理液流通配管３５を介して回収された処理液を、第３、第４処理液流通路３３，３４のうちのいずれか一方の処理液流通路に流すことができる。また、回転弁体３６ｂが連結部３６ａ及び連絡配管３６ｃを貫通して配置されているので、回転弁体３６ｂを回転させることによって複数の分岐路３５ａ…における切換動作を同時に行うことができ、処理液の切換を瞬時に行うことができる。
また、処理液回収部３１の内部に切換手段３６が備えられるので、回収側の開口部３２と切換手段３６とが隣接して回収側の処理液流通配管３５を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行った後に当該処理液を順次回収する場合に、回収側の切換手段３６を作動させることで、処理液同士が混合することなく種類毎に分別回収できる。
【００５８】
次に、本実施形態のノズル１ａの動作を図１６を参照して説明する。図１６においては、被処理基板Ｗを洗浄液で洗浄するとともにリンス液でリンスする場合を説明する。
図１６Ａに示すように、処理液導入部２１の第１処理液流通路２２には洗浄液が供給され、第２処理液流通路２３にはリンス液が供給されている。そして、導入側の切換手段２６を作動させて第１処理液流通路２２を処理液流通配管２５に接続させ、洗浄液を被処理基板Ｗ上に供給する。
【００５９】
被処理基板Ｗ上に供給された洗浄液は、ウエット処理に供されたのちに、処理液回収部３１によって被処理基板Ｗ上から回収される。処理液回収部３１においては、回収側の切換手段３６によって、回収側の処理液流通配管３５が第３処理液流通路３３に接続させている。使用済みの洗浄液は、処理液流通配管３５を介して第３処理液流通路３３に回収される。
【００６０】
次に、図１６Ｂに示すように、導入側の切換手段２６を作動させて第２処理液流通路２４を処理液流通配管２５に接続させ、リンス液を被処理基板Ｗ上に供給する。
被処理基板Ｗ上に供給されたリンス液は、ウエット処理に供されたのちに、処理液回収部３１によって被処理基板Ｗ上から回収される。処理液回収部３１においては、回収側の切換手段３６によって、回収側の処理液流通配管３５が第４処理液流通路３４に接続させている。使用済みのリンス液は、処理液流通配管３５を介して第４処理液流通路３４に回収される。
【００６１】
回収側の切換手段３６による第３処理液流通路３３から第４処理液流通路３４への切換は、導入側の切換手段２６による第１処理液流通路２３から第２処理液流通路２４への切換時よりも若干遅れて行うことが好ましい。具体的には、処理液が処理液導入部２１から処理液回収部３１に到達するには処理液の流速に対応した所定の時間が必要であることから、この移動時間だけ回収側の切換を遅らせることが好ましい。
【００６２】
上記のウェット処理装置１によれば、複数種類の処理液によるウエット処理を１つのノズル１ａで行うことができる。また処理液の切換を迅速に行うことができ、更に処理液の分別回収も行うことができる。分別回収された処理液は、そのまま再生工程に送って再生させ、再びウエット処理に用いることができる。
【００６３】
また、上記のウェット処理装置１を洗浄装置として用いる場合には、上記振動付与手段１２により処理液（洗浄液）に与えられた振動による付着物の除去効果により洗浄効率を高めることができる。また、この振動付与手段１２は前記ノズル１ａに対して着脱可能とされていてもよく、このような構成とすれば例えば振動周波数の異なる他の振動付与手段１２や、光照射手段と容易に交換することができ、ウェット処理装置１の汎用性を高めることができる。
【００６４】
尚、本実施形態においては、処理部１１に振動付与手段１２を備えた例を説明したが、本発明はこれに限らず、処理部１１の被処理基板Ｗと対向する面を紫外線が透過する部材で形成し、処理部１１に被処理基板Ｗに向けて紫外線を照射するための紫外線照射手段を備えても良い。
このような構成とすることで、処理液中にオゾンを発生させて被処理基板Ｗをオゾン処理したり、処理液の殺菌を行うことができるウェット処理装置１を実現することができる。また、この紫外線照射手段も、上記振動付与手段１２と同様にノズル１ａに対して着脱可能とすることができるのは勿論である。
【００６５】
また、本実施形態においては、処理液導入部２１の切換手段として中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅを備えた切換手段２６を採用し、処理液回収部３１の切換手段として回転弁体３６ｂを備えた切換手段３６を採用したが、本発明はこの形態に限られることはない。すなわち、例えば、処理液導入部２１及び処理液回収部３１の両方の切換手段として中空弾性弁体を備えた切換手段２６を採用してもよく、両方の切換手段として回転弁体を備えた切換手段を採用してもよく、導入側に回転弁体を備えた切換手段を採用するとともに回収側に中空弾性弁体を備えた切換手段を採用してもよい。
【００６６】
（第２の実施形態）
次に本発明の第２の実施形態を図面を参照して説明する。
図１７に本実施形態のウェット処理装置５０の断面図を示す。尚、図１７に示す第２実施形態のウェット処理装置５０の構成要素のうち、図３に示した第１実施形態のウエット処理装置１の構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
図１７に示すように、本実施形態のウェット処理装置５０は、被処理基板Ｗ（被処理物）に対向する対向面１１ａを有する処理部１１と、被処理基板Ｗと対向面１１ａとの間の空間Ｎに処理液を導入する処理液導入部２１と、当該空間Ｎからウエット処理後の処理液を回収する処理液回収部５１とからなるノズル５０ａを備えている。
【００６７】
図１７に示すように、処理液回収部５１には、回収用の第５、第６処理液流通路５３，５４と、混合液回収用の第７処理液流通路５５と、回収用の処理液流通配管５７と、回収側の切換手段５６とが備えられている。
図１７に示すように、第５、第６、第７処理液流通路５３，５４，５５の上部（下流側）には処理液回収管５８ａ、５８ｂ、５８ｃがそれぞれ接続されていて、この処理液回収管５８ａ、５８ｂ、５８ｃを介して、回収済みの処理液並びに混合処理液をノズル５０ａ外部に排出できるようになっている。例えば、第５処理液流通路２３により洗浄液を回収し、第６処理液流通路２４によりリンス液を回収し、第７処理液流通路２５により洗浄液とリンス液の混合液を回収できようになっている。
【００６８】
更に図１７に示すように、第５、第６、第７処理液流通路５３，５４，５５の下部（上流側）には、分岐路５３ａ、５４ａ、５５ａがそれぞれ設けられていて、処理液流通配管５７を介して送られてきた処理液を各処理液流通路５３，５４，５５に送液できるようになっている。
【００６９】
更に切換手段５６（回収側の切換手段）は、第５、第６、第７処理液流通路５３，５４，５５と処理液流通配管５７との間に配置されており、第５、第６、第７処理液流通路５３，５４，５５のうち、選択した１の処理液流通路を処理液流通配管５７に接続させるものである。この切換手段５６は、図１８に示すように、第５、第６、第７処理液流通路５３，５４，５５と処理液流通配管５７とを連結する連結部５６ａと、連結部５６ａの第５、第６、第７処理液流通路５３，５４，５５のそれぞれの近傍に各々設けられた弁収納部５６ｂ、５６ｃ、５６ｄと、各弁収納部５６ｂ、５６ｃ、５６ｄ内に各々収納された中空弾性弁体５６ｅ、５６ｆ、５６ｇとから概略構成されている。
【００７０】
そして、図１８に示すように、例えば第７処理液流通路と連結されている中空弾性体５６ｇを収縮させると、中空弾性弁体５６ｇと弁収納部５６ｄの内壁面との間に隙間が生じて「開」となり、この隙間を通って混合液が第７処理液流通路に送液できるようになっている。また図１８中の一点鎖線で示すように、中空弾性弁体５６ｇを膨張させると、中空弾性体５６ｇと弁収納部５６ｄの内壁面とが密着して「閉」となり、混合液の送液を遮断できるようになっている。尚、第５、第７処理液流通路側の中空弾性弁体５６ｅ、５６ｆの動作についても同様である。
このようにして、切換手段に備えられた３つの中空弾性弁体５６ｅ、５６ｆ、５６ｇのうちのいずれか２つを膨張させて「閉」とし、１つを収縮させて「開」とすることで、第５、第６、第７処理液流通路５３，５４，５５のうちのいずれか一つを選択して処理液流通配管５７に接続できるようになっている。
【００７１】
このような構成の切換手段５６を用いることで、被処理基板Ｗ上から処理液流通配管５７を介して回収された処理液を、第５，第６、第７処理液流通路５３，５４，５５のうちのいずれか一つの処理液流通路に流すことができる。
【００７２】
次に、本実施形態のノズルの動作を図１９を参照して説明する。図１９においては、被処理基板Ｗを洗浄液で洗浄するとともにリンス液で基板Ｗに残存する洗浄液を洗い流す場合について説明する。
図１９Ａに示すように、処理液導入部２１の第１処理液流通路２２には洗浄液が供給され、第２処理液流通路２３にはリンス液が供給されている。そして、導入側の切換手段２６を作動させて第１処理液流通路２２を処理液流通配管２５に接続させ、洗浄液を被処理基板Ｗ上に供給する。
【００７３】
被処理基板Ｗ上に供給された洗浄液は、ウエット処理に供されたのちに、処理液回収部５１によって被処理基板Ｗ上から回収される。処理液回収部５１においては、回収側の切換手段５６によって、回収側の処理液流通配管３５が第５処理液流通路５３に接続されている。使用済みの洗浄液は、処理液流通配管３５を介して第５処理液流通路５３に回収される。
【００７４】
次に、図１９Ｂに示すように、導入側の切換手段２６を作動させて第２処理液流通路２４を処理液流通配管２５に接続させ、リンス液を被処理基板Ｗ上に供給する。
被処理基板Ｗ上に供給されたリンス液は、ウエット処理に供されたのちに、処理液回収部５１によって被処理基板Ｗ上から回収される。処理液回収部５１においては、回収側の切換手段５６によって、回収側の処理液流通配管５５が第７処理液流通路５５に接続されている。
ここで、洗浄液からリンス液に切り換えられた直後においては、残存した洗浄液とリンス液が処理領域Ｎにて混合する場合があり、切換直後の処理液は洗浄液とリンス液が混合した混合液になっている。
そこで、本実施形態においては、この混合液を、処理液流通配管５５を介して混合液回収用の第７処理液流通路５５に回収させる。
【００７５】
次に、図１９Ｃに示すように、回収される処理液（混合液）中における洗浄液成分の濃度がほぼゼロになった頃を見計らって、回収側の切換手段５６を作動させて処理液流通配管５５を第６処理液流通路５４に接続させる。洗浄液成分の濃度がほぼゼロになったということは、回収液がリンス液に変わったということであるから、このリンス液については第６処理液流通路５４に流して回収する。
【００７６】
以上の動作をタイミングチャートで示すと図２０の通りになる。図２０には、各切換手段２６、５６の切換のタイミングチャートを示す。図２０中、符号Ａは第１処理液流通路２３における処理液の供給状態を示す。ＯＮ（ＯＰＥＮ）と表示されているのは第１処理液流通路２３が処理液流通配管２５に接続されている状態を示す。同様に、符号Ｂは第２処理液流通路２４における処理液の供給状態を示しており、ＯＮ（ＯＰＥＮ）と表示されているのは第２処理液流通路２４が処理液流通配管２５に接続されている状態を示す。
また、符号Ｃは第５処理液流通路５３における処理液の回収状態を示し、符号Ｄは第６処理液流通路５４における処理液の回収状態を示し、符号Ｅは第７処理液流通路５５における処理液の回収状態を示している。
図２０に示すように、第１処理液流通路２３（Ａ）から第２処理液流通路２４（Ｂ）に切り換えられたのと同時に、第５処理液流通路５３（Ｃ）から第７処理液流通路５５（Ｅ）に切り換えられ、続いて第７処理液流通路５３（Ｅ）から第６処理液流通路５４（Ｄ）に切り換えられる。
【００７７】
上記のウェット処理装置５０によれば、第１の実施形態とウェット処理装置１と同様な効果が得られる他に、以下の効果が得られる。
すなわち、上記のウエット処理装置５０によれば、処理液の回収の際に、空間Ｎにおいて洗浄液とリンス液が混合して混合液が生じる場合があるが、混合処理液回収用の第７処理液流通路５５によってこの混合液を回収することができ、洗浄液、リンス液、混合液をそれぞれ分別回収することができる。
【００７８】
（第３の実施形態）
次に本発明の第３の実施形態を図面を参照して説明する。
図２１には本実施形態のウェット処理装置の模式図を示し、図２２にはウェット処理装置の平面図を示す。図２１に示すように、このウエット処理装置１００は、一対のノズル５０ａ、５０ａと、各ノズル５０ａの備えられた切換手段の切換動作を制御する制御手段６０とを主体として構成されている。各ノズル５０ａ、５０ａは、それぞれの対向面１１ａ、１１ａを相互に向き合わせて配置されており、対向面１１ａ、１１ａ同士の間に被処理基板Ｗが配置されている。
また、図２２に示すように、被処理基板Ｗは円板状の基板であり、４つの回転駆動ローラ１０１によって回転自在に支持されている。そして、ノズル５０ａの向きを固定した状態で、回転駆動駆動ローラ１０１を駆動して被処理基板Ｗを回転させることにより、被処理基板Ｗの全面をウエット処理できるようになっている。
【００７９】
ノズル５０ａは、先に説明した第２実施形態のノズルと同一構成のものである。即ち、各ノズル５０ａには、導入側の切換手段２６と回収側の切換手段５６とが備えられている。導入側の切換手段２６には図示略の第１処理液流通路側の中空弾性弁体２６ｄと、図示略の第２処理液流通路側の中空弾性弁体２６ｅとが備えられている。また、回収側の切換手段５６には図示略の第５処理液流通路側の中空弾性弁体５６ｅ、図示略の第６処理液流通路側の中空弾性弁体５６ｆと、図示略の第７処理液流通路側の中空弾性弁体５６ｇとが備えられている。
【００８０】
また、中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅには各々加圧ガス流路Ｇ１１、Ｇ１２が接続され、中空弾性弁体５６ｅ〜５６ｇには各々加圧ガス流路Ｇ２１、Ｇ２２、Ｇ２３が接続されている。また、各加圧ガス流路Ｇ１１〜Ｇ２２にはバルブＢ１１〜Ｂ２２が設けられている。各バルブＢ１１〜Ｂ２２は制御手段６０に接続されている。このような構成によって、制御手段６０が各バルブＢ１１〜Ｂ２２の開閉を制御することで、中空弾性弁体２６ｄ〜５６ｇに対する加圧ガスの供給を制御することが可能となる。このようにして制御手段６０によって、各中空弾性弁体２６ｄ〜５６ｇの開閉動作のタイミングを個別に制御できるようになっている。
【００８１】
次に、切換手段２６の上流側にある第１、第２処理液供給管２７ａ、２７ｂには圧力制御弁２８ａ、２８ｂが取り付けられ、切換手段５６の下流側にある処理液回収管５８ａ〜５８ｃには圧力制御弁５８ａ〜５８ｃが設けられている。また、各圧力制御弁５８ａ〜５８ｃは制御手段６０に接続されている。このような構成によって、制御手段６０が各圧力制御弁５８ａ〜５８ｃの開閉を制御することで、処理液の供給及び回収を制御できるようになっている。
また、この圧力制御弁５８ａ〜５８ｃは、各切換手段２６、５６に印加される処理液の液圧を遮断する機能を有している。
【００８２】
上記のウェット処理装置１００は、第２実施形態において説明したノズル５０ａを備えており、第２実施形態で説明した動作と同じ動作を行わせることができる。また、切換手段２６，５６の動作を制御手段６０が個別にしかも一括して行うので、処理時間の短縮化が図れる。
更に、ウェット処理装置１００によれば、被処理基板Ｗに対するウエット処理を一度に二方向から行うことができ、効率よくウエット処理を行えるのに加え、二方向から同時にウエット処理することで、処理後の被処理基板Ｗの汚染を最小限に抑えることができる。
また、上記のウエット処理装置１００によれば、切換手段２６，５６に対する処理液の液圧を圧力遮断弁２８ａ、２８ｂ、５８ａ〜５８ｃによって遮断することができるので、切換手段２６、５６の中空弾性弁体２６ｄ、２６ｅ、５６ｅ〜５６ｆに余分な圧力を与えずに済み、切換手段２６、５６の動作を迅速に行うことができる。
【００８３】
本実施形態のウェット処理装置によるウエット処理条件の一例を紹介すると、被処理基板は直径３００ｍｍのシリコンウエハである。ノズル５０ａは、長手方向の長さが３５０ｍｍのもので、その対向面に導入側及び回収側の開口部を８７個づつ設けられたものを用いる。洗浄液は０．５％濃度のフッ化水素酸水溶液とし、リンス液は水素が１〜１．３ｐｐｍ程度溶解した水素溶解水としたものを用いる。また、洗浄液及びリンス液の流量は２Ｌ／分としている。
【００８４】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明のウェット処理装置によれば、処理液導入部に切換手段が備えられるので、導入側の開口部と切換手段とが隣接して導入側の処理液流通配管を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行う場合において、切換手段によって被処理物に供給する処理液が切り換えられると、被処理物上における処理液も直ちに切り換えられ、結果的に処理液の切換を瞬時に行うことができる。
【００８５】
また、本発明のウエット処理装置によれば、処理液回収部に切換手段が備えられるので、回収側の開口部と切換手段とが隣接して回収側の処理液流通配管を短く構成できる。これにより、複数種類の処理液を順次用いてウエット処理を行った後に当該処理液を順次回収する場合に、回収側の切換手段を作動させることで、処理液同士が混合することなく種類毎に分別回収できる。
更に、本発明のウエット処理装置によれば、処理液の回収の際に、複数種類の処理液同士が混合して混合液が生じる場合があるが、混合処理液回収用の処理液流通路によってこの混合液を回収することができ、処理液と混合液とを分別回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態のウェット処理装置を示す斜視図。
【図２】図１に示すウェット処理装置の底面図。
【図３】図２のＸ−Ｘ’線に対応する断面図。
【図４】本発明の第１の実施形態のウェット処理装置に備えられた処理液導入部の要部を示す正面模式図。
【図５】本発明の第１の実施形態のウェット処理装置に備えられた処理液導入部の要部を示す側面模式図。
【図６】本発明の第１の実施形態のウェット処理装置に備えられた処理液導入部の要部を示す底面模式図。
【図７】本発明の第１の実施形態のウェット処理装置に備えられた導入側の切換手段の要部を示す正面断面図。
【図８】図７のＹ−Ｙ’線に対応する断面図。
【図９】本発明の第１の実施形態のウェット処理装置に備えられた別の切換手段の要部を示す正面断面図。
【図１０】本発明の第１の実施形態のウェット処理装置に備えられた中空弾性弁体の要部を示す断面図。
【図１１】中空弾性弁体の別の例を示す模式図。
【図１２】図１０に示した中空弾性弁体の全体構造を示す模式図。
【図１３】本発明の第１の実施形態のウェット処理装置に備えられた処理液回収部の要部を示す底面模式図。
【図１４】本発明の第１の実施形態のウェット処理装置に備えられた回収側の切換手段の要部を示す正面断面図。
【図１５】図１４のＺ−Ｚ’線に対応する断面図。
【図１６】本発明の第１の実施形態のウェット処理装置の動作を説明するための模式図。
【図１７】本発明の第２の実施形態のウェット処理装置の内部構造を示す模式図。
【図１８】図１６に示すウェット処理装置に備えられた回収側の切換手段の要部を示す正面断面図。
【図１９】本発明の第２の実施形態のウェット処理装置の動作を説明するための模式図。
【図２０】本発明の第２の実施形態のウェット処理装置の動作を説明するためのタイミングチャート。
【図２１】本発明の第３の実施形態のウェット処理装置を示す模式図。
【図２２】図２１に示したウェット処理装置の要部の平面図。
【符号の説明】
１…ウェット処理装置、１ａ、５０ａ…ノズル、１１…処理部、１１ａ…対向面、１２…振動付与手段、２１…処理液導入部、２２…開口部（導入側の開口部）、２３…第１処理液流通路（供給用の処理液流通路）、２３ａ、２４ａ、３３ａ、３４ａ…分岐路（処理液流通路の分岐路）、２４…第２処理液流通路（供給用の処理液流通路），２５…処理液流通配管（供給用の処理液流通配管）、２５ａ、３５ａ…分岐路（処理液流通配管の分岐路）、２６…導入側の切換手段、２６ａ、３６ａ…連結部、２６ｂ、２６ｃ…弁収納部、２６ｄ、２６ｅ…中空弾性弁体、２６ｆ、２６ｇ、３６ｃ…連絡配管、２８ａ、２８ｂ、５８ａ、５８ｂ、５８ｃ…圧力遮断弁、３１…処理液回収部、３２…開口部（回収側の開口部）、３３…第３処理液流通路（回収用の処理液流通路），３４…第４処理液流通路（回収用の処理液流通路），３５、５７…処理液流通配管（回収用の処理液流通配管）、３６、５６…回収側の切換手段、３６ｂ…回転弁体、５３…第５処理液流通路（回収用の処理液流通路），５４…第６処理液流通路（回収用の処理液流通路），５５…第６処理液流通路（混合処理液回収用の処理液流通路），６０…制御手段、Ｍ…空間、Ｎ…空間、Ｗ…被処理基板（被処理物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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