(57)【要約】【課題】安定状態でのアイドル電流を所望の値になるように調整することができ、ばらつきなく生産できる電力増幅器のトリミング方法および装置を提供する。【解決手段】トリミングを２回以上に分け、各トリミングの間に一定時間アイドル電流Ｉｄｄを流したままにし、その一定時間の始めと終わりにアイドル電流Ｉｄｄ１，Ｉｄｄ２を測定（モニタ）し、アイドル電流Ｉｄｄの増減とその変化量を求め、次のトリミングでの電流ターゲットを設定する。これにより、パワーアンプモジュールにおいて安定状態でのアイドル電流を所望の値になるように調整することが可能となる。【選択図】      図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
増幅素子のアイドル電流をトリミング抵抗をトリミングすることにより調整する電力増幅器のトリミング方法であって、
トリミングを２回以上に分け、
各トリミングの間に一定時間アイドル電流を流したままにし、
上記一定時間の始めと終わりにアイドル電流を測定し、
測定結果に基づいてアイドル電流の増減とその変化量を求め、次のトリミングでの電流目標値を設定する
電力増幅器のトリミング方法。
【請求項２】
複数個の電力増幅器に対して順次トリミングと上記一定時間の待ち時間をとり、複数個の待ち時間をオーバーラップさせる
請求項１記載の電力増幅器のトリミング方法。
【請求項３】
増幅素子のアイドル電流をトリミング抵抗をトリミングすることにより調整する電力増幅器のトリミング方法であって、
トリミングを少なくとも２回に分け、
第１回目のトリミングは所望のアイドル電流値より小さい値を第１の目標値にトリミングを行い、当該第１の目標値に達した時点でトリミングを停止し、
上記トリミング停止時点で第１のアイドル電流を測定し、
測定した後、一定時間アイドル電流を流したままにし、
上記一定時間が経過した時点で第２のアイドル電流を測定し、
上記第２のアイドル電流が上記第１のアイドル電流に対して増加してるか減少しているかを判定し、判定結果に応じて次のトリミングの第２の目標値を設定し、第２回目のトリミングを開始する
電力増幅器のトリミング方法。
【請求項４】
上記第２のアイドル電流が上記第１のアイドル電流に対して減少していると判定した場合には、上記第２の目標値を上記所望のアイドル電流値より高く設定する
請求項３記載の電力増幅器のトリミング方法。
【請求項５】
上記第２のアイドル電流が上記第１のアイドル電流に対して増加していると判定した場合には、上記第２の目標値を上記所望のアイドル電流値より低く設定する
請求項３記載の電力増幅器のトリミング方法。
【請求項６】
複数個の電力増幅器に対して順次トリミングと上記一定時間の待ち時間をとり、複数個の待ち時間をオーバーラップさせる
請求項３記載の電力増幅器のトリミング方法。
【請求項７】
増幅素子のアイドル電流をトリミング抵抗をレーザ装置のレーザ光を照射してトリミングすることにより調整する電力増幅器のトリミング装置であって、
アイドル電流を測定する測定手段と、
一定時間をおいて上記レーザ装置を駆動して２回以上に分けてトリミングを行わせ、かつ、上記レーザ装置が非駆動状態にある上記一定時間にはアイドル電流を流したままにし、一定時間の始めと終わりに上記測定手段で測定されたアイドル電流の増減とその変化量を求め、次のトリミングでの電流目標値を設定する制御手段と
を有する電力増幅器のトリミング装置。
【請求項８】
増幅素子のアイドル電流をトリミング抵抗をレーザ装置のレーザ光を照射してトリミングすることにより調整する電力増幅器のトリミング装置であって、
アイドル電流を測定する測定手段と、
一定時間をおいて上記レーザ装置を駆動して少なくとも２回に分けてトリミングを行わせ、かつ、第１回目のトリミングは所望のアイドル電流値より小さい値を第１の目標値に上記レーザ装置を駆動してトリミングを行い、上記第１の目標値に達した時点でトリミングを停止して、当該トリミング停止時点での上記測定手段による測定結果を第１のアイドル電流とし、上記一定時間アイドル電流を流したままにし、上記一定時間が経過した時点での上記測定手段による測定結果を第２のアイドル電流として、上記第２のアイドル電流が上記第１のアイドル電流に対して増加してるか減少しているかを判定し、判定結果に応じて次のトリミングの第２の目標値を設定し、上記レーザ装置を駆動して第２回目のトリミングを開始させる制御手段と
を有する電力増幅器のトリミング装置。
【請求項９】
上記制御手段は、上記第２のアイドル電流が上記第１のアイドル電流に対して減少していると判定した場合には、上記第２の目標値を上記所望のアイドル電流値より高く設定する
請求項８記載の電力増幅器のトリミング装置。
【請求項１０】
上記制御手段は、上記第２のアイドル電流が上記第１のアイドル電流に対して増加していると判定した場合には、上記第２の目標値を上記所望のアイドル電流値より低く設定する
請求項８記載の電力増幅器のトリミング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば無線システムの送信機に適用される電力増幅器に搭載されたトリミング可能な抵抗をトリミングすることによりアイドル電流を調整する電力増幅器のトリミング方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
無線送信機の電力増幅器（パワーアンプモジュール）、特に、携帯電話用送信部に適用される電力増幅器では、増幅素子としての電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）のアイドル電流を所定の値に設定することがパワーアンプモジュールの性能（電力付加効率や歪特性など）を決める重要な要素である。
【０００３】
複数段のＦＥＴを用いたパワーアンプモジュールでは、各ＦＥＴにゲート端子印加電圧Ｖｇｇを抵抗分圧して、ＦＥＴのゲート電位Ｖｇを所定の値に設定している。
【０００４】
図１は、パワーアンプモジュールのバイアス回路を示す回路図である。
このバイアス回路は、ゲート端子印加電圧Ｖｇｇの供給ラインと接地ＧＮＤとの間に抵抗素子Ｒ１と抵抗素子Ｒ２が直列に接続され、抵抗素子Ｒ１と抵抗素子Ｒ２の接続点ＮＤ１がＦＥＴ１のゲート端子Ｇに接続されている。
ＦＥＴ１のドレイン端子Ｄは電源電圧Ｖｄｄの供給ラインに接続され、ソース端子Ｓが接地されている。
【０００５】
ＦＥＴのしきい値電圧Ｖｔｈはある幅（たとえば０Ｖから０．７Ｖ）を持つため、アイドル電流Ｉｄｄを一定にするためにはゲート電位Ｖｇを調整するために、抵抗素子Ｒ１もしくは抵抗素子Ｒ２をトリミング可能な抵抗素子（トリミング抵抗）としている。
図１の例は、抵抗素子Ｒ２がトリミング抵抗となっている場合である。
【０００６】
トリミング抵抗は、レーザ光を照射することで抵抗体にスリット状の絶縁物を形成したり、スリット状に抵抗体を除去することでその抵抗値を上げることができる。
そして、トリミングは、アイドル電流Ｉｄｄをモニタしつつ、レーザ光をスキャンしながら行われる（たとえば、特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１１−３９６６号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ＦＥＴに流れる電流と発熱によりＦＥＴの温度は上昇する。ＦＥＴは温度が上がると、流れるアイドル電流Ｉｄｄが増加する特性を有している。
一方、抵抗素子Ｒ１が温度が上がると抵抗値が増加する温度特性を持つ場合は、ＦＥＴのゲート電位Ｖｇの値は下がり、アイドル電流Ｉｄｄは低下する。
このとき、ＦＥＴの相互コンダクタンスｇｍにばらつきがあるとＶｇの低下量が一定でもアイドル電流Ｉｄｄの低下量が異なってくる。
【０００９】
したがって、上記特許文献１に記載されている方法では、これらの現象をモニタしているＦＥＴのアイドル電流Ｉｄｄが所望の値になりトリミングを終了しても、そのＦＥＴにある時間アイドル電流Ｉｄｄを流し、安定状態になっときのアイドル電流Ｉｄｄはモニタした値と異なるという不利益がある。
【００１０】
図２に示すように、安定状態のアイドル電流Ｉｄｄは、しきい値電圧ＶｔｈやＦＥＴの相互コンダクタンスｇｍのばらつき、ＦＥＴや抵抗素子の温度係数のばらつきにより、モニタした値に比べて高くなったり低くなったりする。
【００１１】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、安定状態でのアイドル電流を所望の値に調整することができ、パワーアンプモジュールをばらつきなく生産することが可能な電力増幅器のトリミング方法および装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点は、増幅素子のアイドル電流をトリミング抵抗をトリミングすることにより調整する電力増幅器のトリミング方法であって、トリミングを２回以上に分け、各トリミングの間に一定時間アイドル電流を流したままにし、上記一定時間の始めと終わりにアイドル電流を測定し、測定結果に基づいてアイドル電流の増減とその変化量を求め、次のトリミングでの電流目標値を設定する。
【００１３】
好適には、複数個の電力増幅器に対して順次トリミングと上記一定時間の待ち時間をとり、複数個の待ち時間をオーバーラップさせる。
【００１４】
本発明の第２の観点は、増幅素子のアイドル電流をトリミング抵抗をトリミングすることにより調整する電力増幅器のトリミング方法であって、トリミングを少なくとも２回に分け、第１回目のトリミングは所望のアイドル電流値より小さい値を第１の目標値にトリミングを行い、当該第１の目標値に達した時点でトリミングを停止し、上記トリミング停止時点で第１のアイドル電流を測定し、測定した後、一定時間アイドル電流を流したままにし、上記一定時間が経過した時点で第２のアイドル電流を測定し、上記第２のアイドル電流が上記第１のアイドル電流に対して増加してるか減少しているかを判定し、判定結果に応じて次のトリミングの第２の目標値を設定し、第２回目のトリミングを開始する。
【００１５】
好適には、上記第２のアイドル電流が上記第１のアイドル電流に対して減少していると判定した場合には、上記第２の目標値を上記所望のアイドル電流値より高く設定する。
【００１６】
好適には、上記第２のアイドル電流が上記第１のアイドル電流に対して増加していると判定した場合には、上記第２の目標値を上記所望のアイドル電流値より低く設定する。
【００１７】
本発明の第３の観点は、増幅素子のアイドル電流をトリミング抵抗をレーザ装置のレーザ光を照射してトリミングすることにより調整する電力増幅器のトリミング装置であって、アイドル電流を測定する測定手段と、一定時間をおいて上記レーザ装置を駆動して２回以上に分けてトリミングを行わせ、かつ、上記レーザ装置が非駆動状態にある上記一定時間にはアイドル電流を流したままにし、一定時間の始めと終わりに上記測定手段で測定されたアイドル電流の増減とその変化量を求め、次のトリミングでの電流目標値を設定する制御手段とを有する。
【００１８】
本発明の第４の観点は、増幅素子のアイドル電流をトリミング抵抗をレーザ装置のレーザ光を照射してトリミングすることにより調整する電力増幅器のトリミング装置であって、アイドル電流を測定する測定手段と、一定時間をおいて上記レーザ装置を駆動して少なくとも２回に分けてトリミングを行わせ、かつ、第１回目のトリミングは所望のアイドル電流値より小さい値を第１の目標値に上記レーザ装置を駆動してトリミングを行い、上記第１の目標値に達した時点でトリミングを停止して、当該トリミング停止時点での上記測定手段による測定結果を第１のアイドル電流とし、上記一定時間アイドル電流を流したままにし、上記一定時間が経過した時点での上記測定手段による測定結果を第２のアイドル電流として、上記第２のアイドル電流が上記第１のアイドル電流に対して増加してるか減少しているかを判定し、判定結果に応じて次のトリミングの第２の目標値を設定し、上記レーザ装置を駆動して第２回目のトリミングを開始させる制御手段とを有する。
【００１９】
本発明によれば、たとえば第１回目のトリミングは所望のアイドル電流値より小さい値、たとえば所望する値より低い第１の目標値にトリミングを行い、この値に達した時点でトリミングを停止する。
この時点の第１のアイドル電流を測定（モニタ）し、一定時間だけアイドル電流を流したままにする。
一定時間が経過した時点で第２のアイドル電流を測定し、一定時間経過後の第２のアイドル電流が第１の電流より下がっていた場合には、その分、第２回目のトリミングの第２の目標値を所望する値より高く設定し、第２回目のトリミングを開始する。
また、一定時間経過後の第２のアイドル電流が第１の電流より上がっていた場合には、その分、第２回目のトリミングの第２の目標値を所望する値より低く設定し、第２回目のトリミングを開始する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面に関連付けて説明する。
【００２１】
図３は、本発明に係るトリミング方法が適用されるパワーアンプモジュール（電力増幅器）の構成例を示す回路図である。
【００２２】
パワーアンプモジュール１０は、複数段のＦＥＴ、本実施形態では２段のＦＥＴ１１，ＦＥＴ１２を有しいている。
そして、パワーアンプモジュール１０は、図３に示すように、ＦＥＴ１１のバイアス回路１３、ＦＥＴ１２のバイアス回路１４、バイアス回路１３のＦＥＴ１１のゲート端子Ｇとの接続点ＮＤ１１と入力端子ＴＩＮとの間に接続された入力整合回路１５、ＦＥＴ１１のドレイン端子Ｄとバイアス回路１４のＦＥＴ１２のゲート端子Ｇとの接続点ＮＤ１２に接続された段間整合回路１６、ＦＥＴ１２のドレイン端子Ｄと出力端子ＴＯＵＴ  との間に接続された出力整合回路１７を有している。
【００２３】
バイアス回路１３は、ゲート端子印加電圧Ｖｇｇの供給ラインと接地ＧＮＤとの間に抵抗素子Ｒ１１と抵抗素子Ｒ１２が直列に接続され、抵抗素子Ｒ１１と抵抗素子Ｒ１２の接続点がＦＥＴ１１のゲート端子Ｇに接続されている。
そして、図３の例では、抵抗素子Ｒ１２がトリミング抵抗となっている。
ＦＥＴ１１のドレイン端子Ｄは電源電圧Ｖｄｄの供給ラインに接続され、ソース端子Ｓが接地されている。
【００２４】
バイアス回路１４は、ゲート端子印加電圧Ｖｇｇの供給ラインと接地ＧＮＤとの間に抵抗素子Ｒ１３と抵抗素子Ｒ１４が直列に接続され、抵抗素子Ｒ１３と抵抗素子Ｒ１４の接続点がＦＥＴ１２のゲート端子Ｇに接続されている。
そして、図３の例では、抵抗素子Ｒ１４がトリミング抵抗となっている。
ＦＥＴ１２のドレイン端子Ｄは電源電圧Ｖｄｄの供給ラインに接続され、ソース端子Ｓが接地されている。
【００２５】
図４は、本実施形態に係るバイアス回路１３（バイアス回路１４）におけるトリミング抵抗素子Ｒ１２（Ｒ１４）のトリミング装置の一実施形態を示す図である。
図４の例では、バイアス回路１３のトリミング抵抗素子Ｒ１２に対するトリミングを行う場合を示す。
【００２６】
本トリミング装置３０は、図４に示すように、ＹＡＧレーザ装置３１、Ｖｄｄ用電圧源３２、Ｖｇｇ用電圧源３３、測定手段としての電流モニタ回路（Ｉ）３４、および制御回路３５を有している。
【００２７】
ＹＡＧレーザ装置３１は、制御回路３５による制御信号ＣＴＬ３１の制御の下、所定パワーのレーザ光をトリミング抵抗素子Ｒ１２に照射する。
このように、レーザ光を照射することで、例えば図５（Ａ）に示すような抵抗体Ｒにスリット状の絶縁物を形成したり、図５（Ｂ）に示すように、スリット状に抵抗体を除去することでその抵抗値を上げることができる。
【００２８】
Ｖｄｄ用電圧源３２は、制御回路３５による制御信号ＣＴＬ３２の制御の下、電源電圧ＶｄｄをＦＥＴ１１のドレイン端子Ｄに供給する。
【００２９】
Ｖｇｇ用電圧源３３は、制御回路３５による制御信号ＣＴＬ３３の制御の下、ゲート端子印加電圧Ｖｇｇをバイアス回路１３に供給する。
【００３０】
電流モニタ回路３４は、ＦＥＴ１１のドレイン端子Ｄに接続され、アイドル電流Ｉｄｄをモニタにして、そのモニタ結果を制御回路３５に出力する。
【００３１】
制御回路３４は、制御信号ＣＴＬ３１によりレーザ装置３１の駆動制御を行い、トリミング抵抗素子Ｒ１２にレーザ光を照射させ、抵抗値を調整し、制御信号ＣＴＬ３２によりＶｄｄ用電圧源３２を駆動制御し、制御信号ＣＴＬ３３によりＶｇｇ用電圧源３３を駆動制御し、電流モニタ回路３５のモニタ電流を受けて電流ターゲットを設定する制御を行いアイドル電流Ｉｄｄを調整する。
【００３２】
制御回路３５は、このアイドル電流Ｉｄｄの調整制御にあたって、以下の特徴的な制御を行う。
すなわち、トリミング（レーザ光照射）を複数回、たとえば２回に分け、第１回目のトリミングは所望のアイドル電流値より低い値でトリミングを停止し、一定時間アイドル電流Ｉｄｄを流したままにすることにより、換言すればアイドル電流Ｉｄｄを流したまま所定時間だけ電流測定を待つ（待ち時間：Ｗａｉｔ  Ｔｉｍｅ）ことにより、ＦＥＴ１１の温度を上昇させる。
そして、待ち時間ＷＴの始めと終わりでアイドル電流Ｉｄｄ１，Ｉｄｄ２を測定し、変化の方向（増減）と変化量を計算し、第２回目の電流ターゲットを設定する。
【００３３】
図６は、本実施形態に係るトリミング方法の例を説明するための図であって、待ち時間経過後にアイドル電流が下がった場合のトリミング方法を説明するための図である。
【００３４】
この場合、図６に示すように、制御回路３５は、制御信号ＣＴＬ３２，ＣＴＬ３３によりＶｄｄ用電圧源３２およびＶｇｇ用電圧源３３を駆動して、電源電圧Ｖｄｄおよびゲート端子印加電圧Ｖｇｇを供給させ、アイドル電流Ｉｄｄを流す。
そして、制御信号ＣＴＬ３１によりレーザ装置３１を駆動し、第１回目のトリミング（ＴＲＭ１）は所望のアイドル電流値より小さい値、たとえば所望する値の７０％あるいは８０％を第１の目標値（ＴＲＧＴ１）にトリミングを行い、この値ＴＲＧＴ１に達した時点で、制御信号ＣＴＬ１によりレーザ装置３１を停止させトリミングを停止する。
この時点Ｔ１のアイドル電流Ｉｄｄ１を電流モニタ回路３４により測定（モニタ）し、一定時間、すなわち待ち時間ＷＴだけアイドル電流Ｉｄｄを流したままにする。
待ち時間ＷＴが経過した時点Ｔ２で第２のアイドル電流Ｉｄｄ２を測定し、アイドル電流Ｉｄｄ１とＩｄｄ２とを比較し、待ち時間経過後の第２のアイドル電流Ｉｄｄ２が第１のアイドル電流Ｉｄｄ１より下がっていた場合には、その分、第２回目のトリミング（ＴＲＭ２）の第２の目標値（ＴＲＧＴ２）を所望する値より高く設定し、制御信号ＣＴＬ３１によりレーザ装置３１を駆動し、第２回目のトリミングを開始する。
【００３５】
図７は、本実施形態に係るトリミング方法の例を説明するための図であって、待ち時間経過後にアイドル電流が上がった場合のトリミング方法を説明するための図である。
【００３６】
この場合、図７に示すように、制御回路３５は、制御信号ＣＴＬ３２，ＣＴＬ３３によりＶｄｄ用電圧源３２およびＶｇｇ用電圧源３３を駆動して、電源電圧Ｖｄｄおよびゲート端子印加電圧Ｖｇｇを供給させ、アイドル電流Ｉｄｄを流す。
そして、制御信号ＣＴＬ３１によりレーザ装置３１を駆動し、第１回目のトリミング（ＴＲＭ１）は所望のアイドル電流値より小さい値、たとえば所望する値の７０％あるいは８０％を第１の目標値（ＴＲＧＴ１）にトリミングを行い、この値ＴＲＧＴ１に達した時点で、制御信号ＣＴＬ３１によりレーザ装置３１を停止させトリミングを停止する。
この時点Ｔ１の第１のアイドル電流Ｉｄｄ１を電流モニタ回路３４により測定（モニタ）し、一定時間、すなわち待ち時間ＷＴだけアイドル電流Ｉｄｄを流したままにする。
待ち時間ＷＴが経過した時点Ｔ２で再度アイドル電流Ｉｄｄ２を測定し、アイドル電流Ｉｄｄ１とＩｄｄ２とを比較し、待ち時間経過後の第２のアイドル電流電流Ｉｄｄ２が第１のアイドル電流Ｉｄｄ１より上がっていた場合には、その分、第２回目のトリミング（ＴＲＭ２）の第２の目標値（ＴＲＧＴ２）を所望する値より低く設定し、制御信号ＣＴＬ３１によりレーザ装置３１を駆動し、第２回目のトリミングを開始する。
【００３７】
なお、このトリミング制御は、２回に分けて行う場合であるが、２回以上に分けて行ったもよい。
この場合、パワーアンプモジュールにおいて安定状態でのアイドル電流を所望の値になるように高精度に調整することができ、よりばらつきなく生産できるという利点がある。
【００３８】
また、複数個のパワーアンプモジュールを同時にトリミング装置に入れ、順次トリミングと待ち時間ＷＴをとり、複数個の待ち時間ＷＴをオーバーラップさせることも可能である。
これにより、トータルの処理時間を減らすことが可能である。
【００３９】
次に、図８および図９に関連付けて、より具体的なトリミング方法に付いて説明する。
【００４０】
ワーク（パワーアンプモジュール）がトリミング装置にセットされた後、御回路３５は、制御信号ＣＴＬ３２，ＣＴＬ３３によりＶｄｄ用電圧源３２およびＶｇｇ用電圧源３３を駆動して、電源電圧Ｖｄｄおよびゲート端子印加電圧Ｖｇｇを供給させ、アイドル電流Ｉｄｄを流す（ＳＴ１）。
次に、電源電圧Ｖｄｄおよびゲート端子印加電圧Ｖｇｇ、並びにアイドル電流Ｉｄｄをチェックする（ＳＴ２）。
ステップＳＴ２でチェックした電圧、電流が規定値で有る場合には、トリミング抵抗を図示しない撮像装置で撮像した画像を認識されたか否かの判定を行う（ＳＴ３）。
ステップＳＴ２でチェックした電圧、電流が規定値でない場合、あるいはステップＳＴ３において、トリミング抵抗を認識できない場合には、設備を停止し、ワークを入れ替え、リスタートし、ステップＳＴ１の処理に戻る（ＳＴ４，ＳＴ５，ＳＴ６）。
【００４１】
ステップＳＴ３において、トリミング抵抗を認識できた場合には、第１の荒い調整（荒調）を行う（ＳＴ７）。すなわち、制御信号ＣＴＬ３１によりレーザ装置３１を駆動し、第１回目のトリミング（ＴＲＭ１）は所望のアイドル電流値より小さい値、たとえば所望する値のたとえば８０％を目標値（ＴＲＧＴ１）にトリミングを行い、この値ＴＲＧＴ１に達した時点で、制御信号ＣＴＬ３１によりレーザ装置３１を停止させトリミングを停止する。
この時点Ｔ１では、アイドル電流Ｉｄｄ１を測定し、待ち時間ＷＴだけアイドル電流Ｉｄｄを流したままにする（ＳＴ８）。
待ち時間ＷＴが経過した時点Ｔ２のアイドル電流Ｉｄｄ２を電流モニタ回路３４により測定（モニタ）し（ＳＴ９）、一定時間、すなわち待ち時間ＷＴだけアイドル電流Ｉｄｄを流したままにする（ＳＴ１０）。
再度、待ち時間ＷＴが経過した時点Ｔ３のアイドル電流Ｉｄｄ３を電流モニタ回路３４により測定（モニタ）し（ＳＴ１１）、アイドル電流Ｉｄｄ１とＩｄｄ２，Ｉｄｄ３とを比較し、この差を測定しアイドル電流の変化量を算出する（ＳＴ１２）。
【００４２】
算出したアイドル電流の変化量をもとに、目標値を例えば９０％に設定して第２の荒調を行い（ＳＴ１３）、待ち時間経過後の時点Ｔ５でたとえば電流を測定（モニタ）し、次に目標値を例えば９７％に設定して第１の微調整（微調）を行い（ＳＴ１４，ＳＴ１５）、待ち時間経過後の時点Ｔ７でたとえば電流を測定（モニタ）し、次に目標値を例えば１００％に設定して第２の微調を行う（ＳＴ１６，ＳＴ１７）。
そして、最終テストを行い（ＳＴ１８）、良好ならば良品トレーに入れ（ＳＴ１９）、不良ならば不良トレーに入れる（ＳＴ２０）。
【００４３】
以上説明したように、本実施形態によれば、トリミングを２回以上に分け、各トリミングの間に一定時間アイドル電流Ｉｄｄを流したままにし、その一定時間の始めと終わりにアイドル電流Ｉｄｄを測定（モニタ）し、アイドル電流Ｉｄｄの増減とその変化量を求め、次のトリミングでの電流ターゲットを設定するようにしたので、パワーアンプモジュールにおいて安定状態でのアイドル電流を所望の値になるように調整することができ、ばらつきなく生産できるという利点がある。
このことにより、パワーアンプモジュールの電力付加効率や歪特性などのばらつきを低減することが可能となる。
たとえば、パワーアンプモジュールの低出力時の消費電流は典型的な値に概して最大値を＋２０％以下に抑えることができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、パワーアンプモジュールにおいて安定状態でのアイドル電流を所望の値になるように調整することができ、ばらつきなく生産できるという利点がある。
このことにより、パワーアンプモジュールの電力付加効率や歪特性などのばらつきを低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】パワーアンプモジュールのバイアス回路を示す回路図である。
【図２】アイドル電流の時間変化の例を示す図である。
【図３】本発明に係るトリミング方法が適用されるパワーアンプモジュール（電力増幅器）の構成例を示す回路図である。
【図４】本実施形態に係るバイアス回路におけるトリミング抵抗素子のトリミング装置の一実施形態を示す図である。
【図５】抵抗体へのレーザ光を照射してトリミングを行う調整処理を説明するための図である。
【図６】本実施形態に係るトリミング方法の例を説明するための図であって、待ち時間経過後にアイドル電流が下がった場合のトリミング方法を説明するための図である。
【図７】本実施形態に係るトリミング方法の例を説明するための図であって、待ち時間経過後にアイドル電流が上がった場合のトリミング方法を説明するための図である。
【図８】より具体的なトリミング方法を説明するためのフローチャートである。
【図９】より具体的なトリミング方法を説明するための図である。
【符号の説明】
１０…パワーアンプモジュール、１１…ＦＥＴ、１２…ＦＥＴ、１３…バイアス回路、１４…バイアス回路、１５…入力段整合回路、１６…段間整合回路、１７…出力整合回路、ＴＩＮ…入力端子、ＴＯＵＴ  …出力端子、Ｒ１１〜Ｒ１４…抵抗素子、３０…トリミング装置、３１…ＹＡＧレーザ装置、  ３２…Ｖｄｄ用電圧源、３３…Ｖｇｇ用電圧源、３４…電流検出回路（Ｉ）、３５…制御回路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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