(57)【要約】【課題】温度変化によるマイクロレンズアレイの位置ずれを抑えたマイクロレンズアレイの取付構造、及び、それを有する露光ヘッドを提供することを課題とする。【解決手段】露光ヘッドは、スタンド１８６と、スタンド１８６にネジ止めされた第１ホルダ１８８と、第１ホルダ１８８にネジ止めされた第２ホルダ１９０と、第２ホルダ１９０に接着されたＭＬＡ１７８と、を有する。これらの部材の材質は、線膨張係数がＭＬＡ１７８、第２ホルダ１９０、第１ホルダ１８８、スタンド１８６、の順に大きくなるように決定されている。また、線膨張係数が大きいスタンド１８６及び第１ホルダ１８８は、光軸方向の両端側に配置され、線膨張係数が小さい第２ホルダ１９０及びＭＬＡ１７８は、その間に配置されてている。これにより、温度変化が生じても、ＭＬＡ１７８に大きな歪が生じることを回避できると共に、被取付部材や介在部材に生じる反りを抑えることができる。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロレンズアレイと、
前記マイクロレンズアレイが取付けられている介在部材と、
前記介在部材が取付けられている被取付部材と、
を備え、
前記介在部材の線膨張係数が前記被取付部材の線膨張係数と前記マイクロレンズアレイの線膨張係数との間の値になるように、前記介在部材の材質を選定することにより、温度変化により前記被取付部材及び前記マイクロレンズアレイに生じる応力を前記介在部材によって緩和させることを特徴とするマイクロレンズアレイの取付構造。
【請求項２】
前記マイクロレンズアレイの配置位置が、前記介在部材と前記被取付部材との間にされていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズアレイの取付構造。
【請求項３】
前記マイクロレンズアレイの材質が石英ガラス又はＢＫ７で、前記介在部材の材質がステンレス又は銅で、前記被取付部材の材質がアルミニウムであることを特徴とする請求項１又は２に記載のマイクロレンズアレイの取付構造。
【請求項４】
前記介在部材が複数枚の板状部材で構成され、
前記マイクロレンズアレイの線膨張係数が前記被取付部材よりも小さい場合には、前記マイクロレンズアレイが取付けられている板状部材から、前記被取付部材に取付けられている板状部材にかけて、線膨張係数が順次上がるように前記複数枚の板状部材が互いに保持し合っており、
前記マイクロレンズアレイの線膨張係数が前記被取付部材よりも大きい場合には、前記マイクロレンズアレイが取付けられている板状部材から、前記被取付部材に取付けられている板状部材にかけて、線膨張係数が順次下がるように前記複数枚の板状部材が互いに保持し合っていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズアレイの取付構造。
【請求項５】
前記マイクロレンズアレイ、前記複数枚の板状部材、及び、前記被取付部材の配置位置を、線膨張係数の大きさが一方向に順次増大又は順次減少しない位置にしたことを特徴とする請求項４に記載のマイクロレンズアレイの取付構造。
【請求項６】
マイクロレンズアレイと、
前記マイクロレンズアレイが取付けられている被取付部材と、
前記被取付部材に取付けられ、前記被取付部材の変形を拘束する拘束部材と、を有することを特徴とするマイクロレンズアレイの取付構造。
【請求項７】
前記被取付部材が板状であって、前記拘束部材が前記被取付部材の一方面側に、前記マイクロレンズアレイが前記被取付部材の他方面側に取付けられていることを特徴とする請求項６に記載のマイクロレンズアレイの取付構造。
【請求項８】
前記被取付部材と前記マイクロレンズアレイとの間に介在する介在部材が設けられていることを特徴とする請求項７に記載のマイクロレンズアレイの取付構造。
【請求項９】
請求項１〜請求項８のうちの何れか１項に記載のマイクロレンズアレイの取付構造を有することを特徴とする露光ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロレンズアレイの取付構造、及び、それを有する露光ヘッドに関し、更に詳細には、温度変化によるマイクロレンズアレイの位置ずれを抑えたマイクロレンズアレイの取付構造、及び、それを有する露光ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）や液晶等の空間光変調素子と、この空間光変調素子で変調された光を透過させるマイクロレンズアレイ（複数個のマイクロレンズが配列されているもの）と、を内蔵する多数の露光ヘッドを使用して、画像データに応じて変調された光ビームで画像を露光する露光装置が種々提案されている。
【０００３】
このような露光装置に設けられている露光ヘッドでは、高倍率、低歪、高解像度などを達成するために、種々の工夫がなされている。例えば、（１）２次元空間変調素子（２次元ＳＬＭ）を主走査方向に対して傾け角度を微調整して配置し、２次元ＳＬＭと被露光面との間に、２次元ＳＬＭの画素数と略同一の数及び配列のマイクロレンズアレイを２次元ＳＬＭに密接し配置することにより、２次元ＳＬＭの個々の画素のスポット径を所望のサイズに縮小して露光することや（例えば、特許文献１参照）、（２）２次元ＳＬＭとマイクロレンズアレイを密接出来ない場合、２次元ＳＬＭとマイクロレンズアレイを最適な間隔に配置して、２次元ＳＬＭの個々の画素のスポット径を所望のサイズに縮小して露光すること（例えば、特許文献２参照）が提案されている。
【０００４】
【特許文献１】
ＵＳ６２８８８３０
【特許文献２】
ＷＯ９８４７０４２
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、２次元空間変調素子の傾け角度の微調整が必要となる場合がある（例えば特許文献１や特許文献２）ことからも判るように、ＤＭＤ等の空間変調素子と、マイクロレンズアレイとの位置安定性能は極めて重要であり、通常、マイクロレンズアレイの位置ずれが１μｍ以下であることが要求されている。
【０００６】
しかし、露光ヘッドの製造時や使用時での温度変化により、マイクロレンズアレイの調整位置がずれてしまい、上記の位置安定性能を満たすことが困難であるという問題があった。この原因は、主として、マイクロレンズアレイを保持している保持部に反りが生じてしまうことによる。また、マイクロレンズアレイに大きな歪が生じるという問題もあった。
【０００７】
そして、温度変化による影響を抑えるために、露光ヘッドの使用環境の温度を一定範囲内にコントロールしていても、この使用環境の温度と、露光ヘッドの製造環境の温度と、が異なることにより、これらの問題が生じていた。
【０００８】
また、１つの露光ヘッドでは、大きなサイズを露光することが不可能なため、露光ヘッドを複数使用して露光する露光装置が多用されている。このような露光装置では、各露光ヘッドの走査線に対する角度やピント位置などがずれてしまうと、画像品質に重大な影響を及ぼしてしまうため、これらの問題は特に深刻になっている。
【０００９】
本発明は、上記事実を考慮して、温度変化によるマイクロレンズアレイの位置ずれを抑えたマイクロレンズアレイの取付構造、及び、それを有する露光ヘッドを提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、露光ヘッド内でマイクロレンズアレイを保持している保持部が、マイクロレンズアレイを保持している介在部材と、介在部材を保持しているスタンド等の被取付部材と、で構成されていることに着目した。そして、被取付部材とマイクロレンズアレイとの熱膨張係数の違いにより、保持部に反りが生じてマイクロレンズアレイに位置ずれが生じたり、保持部からマイクロレンズアレイに大きな力が及ぼされてマイクロレンズアレイに大きな歪が生じたりするということを突き止めた。
【００１１】
また、本発明者は、この介在部材の線膨張係数について調べた。この結果、介在部材は、線膨張係数がマイクロレンズアレイ又は被取付部材とほぼ同程度の材質で構成されていることが判った。
【００１２】
そこで本発明者は、この介在部材の線膨張係数を、マイクロレンズアレイの線膨張係数と、被取付部材の線膨張係数との間の値にすることにより、温度変化が生じても、被取付部材及びマイクロレンズアレイに生じる応力を緩和させる機能を介在部材に持たせることを考え付き、本発明を完成するに至った。
【００１３】
請求項１に記載の発明は、マイクロレンズアレイと、前記マイクロレンズアレイが取付けられている介在部材と、前記介在部材が取付けられている被取付部材と、を備え、前記介在部材の線膨張係数が前記被取付部材の線膨張係数と前記マイクロレンズアレイの線膨張係数との間の値になるように、前記介在部材の材質を選定することにより、温度変化により前記被取付部材及び前記マイクロレンズアレイに生じる応力を前記介在部材によって緩和させることを特徴とする。
【００１４】
このように、請求項１に記載の発明では、製造時や使用時等で温度変化が生じても、被取付部材及びマイクロレンズアレイに生じる応力を介在部材によって緩和させている。
【００１５】
これにより、被取付部材に大きな応力が生じることが回避され、被取付部材に反り等の大きな変形が生じないので、マイクロレンズアレイの位置ずれが生じることを回避できる。また、マイクロレンズアレイに大きな応力が生じることが防止されているので、マイクロレンズアレイに大きな歪が生じることを回避できる。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、前記マイクロレンズアレイの配置位置が、前記介在部材と前記被取付部材との間にされていることを特徴とする。これにより、製造時や使用時等で大きな温度変化が生じても、被取付部材や介在部材に生じる反りを抑えることができ、従って、マイクロレンズアレイに大きな位置ずれが生じ難い。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、前記マイクロレンズアレイの材質が石英ガラス又はＢＫ７で、前記介在部材の材質がステンレス又は銅で、前記被取付部材の材質がアルミニウムであることを特徴とする。
【００１８】
線膨張係数の値は、石英ガラスが５×１０−６、ＢＫ７が７×１０−６、ステンレスが１０×１０−６、銅が１８×１０−６、アルミニウムが２３×１０−６である。なお、本明細書では、線膨張係数の単位を１／℃として示している。
【００１９】
請求項３に記載の発明により、汎用の入手し易い部材で請求項２に記載の発明の効果を奏することができる。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、前記介在部材が複数枚の板状部材で構成され、前記マイクロレンズアレイの線膨張係数が前記被取付部材よりも小さい場合には、前記マイクロレンズアレイが取付けられている板状部材から、前記被取付部材に取付けられている板状部材にかけて、線膨張係数が順次上がるように前記複数枚の板状部材が互いに保持し合っており、前記マイクロレンズアレイの線膨張係数が前記被取付部材よりも大きい場合には、前記マイクロレンズアレイが取付けられている板状部材から、前記被取付部材に取付けられている板状部材にかけて、線膨張係数が順次下がるように前記複数枚の板状部材が互いに保持し合っていることを特徴とする。
【００２１】
これにより、請求項１に記載の発明に比べ、製造時や使用時等で温度変化が生じても、マイクロレンズアレイに大きな歪が生じることを更に回避し易い。
【００２２】
請求項５に記載の発明は、前記マイクロレンズアレイ、前記複数枚の板状部材、及び、前記被取付部材の配置位置を、線膨張係数の大きさが一方向に順次増大又は順次減少しない位置にしたことを特徴とする。
【００２３】
マイクロレンズアレイ、複数枚の板状部材、被取付部材の配置位置を、例えば、線膨張係数の大きさが互い違いになる位置にしてもよい。その際、例えば、千鳥配置のようにして、線膨張係数の大きい部材と小さい部材とを交互に配置してもよいし、線膨張係数が１番目に大きい部材と、２番目に大きい部材と、を両端側に配置し、３番目に大きい部材を１番目に大きい部材の内側に配置し、４番目に大きい部材を２番目に大きい部材の内側に配置する、というように順次配置してもよい。
【００２４】
請求項５に記載の発明により、製造時や使用時等で大きな温度変化が生じても、被取付部材や複数枚の板状部材に生じる反りを抑えることができ、従って、マイクロレンズアレイに大きな位置ずれが生じ難い。
【００２５】
請求項６に記載の発明は、マイクロレンズアレイと、前記マイクロレンズアレイが取付けられている被取付部材と、前記被取付部材に取付けられ、前記被取付部材の変形を拘束する拘束部材と、を有することを特徴とする。これにより、製造時や使用時等で温度変化が生じても、被取付部材の変形が抑えられるので、マイクロレンズアレイに大きな歪や位置ずれが生じることを回避できる。
【００２６】
請求項７に記載の発明は、前記被取付部材が板状であって、前記拘束部材が前記被取付部材の一方面側に、前記マイクロレンズアレイが前記被取付部材の他方面側に取付けられていることを特徴とする。これにより、温度変化が生じても、拘束部材とマイクロレンズアレイとによって被取付部材の反りを抑え易い。
【００２７】
請求項８に記載の発明は、前記被取付部材と前記マイクロレンズアレイとの間に介在する介在部材が設けられていることを特徴とする。これにより、マイクロレンズアレイを取付け易くすることができる。
【００２８】
請求項９に記載の発明は、請求項１〜請求項８のうちの何れか１項に記載のマイクロレンズアレイの取付構造を有することを特徴とする。これにより、温度変化が生じても、露光ヘッドが有するマイクロレンズアレイに大きな歪や位置ずれが生じ難いので、高倍率、低歪、高解像度を達成する露光ヘッドを実現させることが可能になる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態を挙げ、本発明の実施の形態について説明する。
【００３０】
［第１形態］
図１に示すように、第１形態で説明する露光装置１４２は、シート状の感光材料１５０を表面に吸着して保持する平板状のステージ１５２を備えている。４本の脚部１５４に支持された肉厚板状の設置台１５６の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド１５８が設置されている。ステージ１５２は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド１５８によって往復移動可能に支持されている。なお、この露光装置１４２には、ステージ１５２をガイド１５８に沿って駆動するための図示しない駆動装置が設けられている。
【００３１】
設置台１５６の中央部には、ステージ１５２の移動経路を跨ぐようにコ字状のゲート１６０が設けられている。ゲート１６０の端部の各々は、設置台１５６の両側面に固定されている。このゲート１６０を挟んで一方の側にはスキャナ１６２が設けられ、他方の側には感光材料１５０の先端及び後端を検知する複数（例えば、２個）の検知センサ１６４が設けられている。スキャナ１６２及び検知センサ１６４はゲート１６０に各々取り付けられて、ステージ１５２の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ１６２及び検知センサ１６４は、これらを制御する図示しないコントローラに接続されている。
【００３２】
［スキャナの構成］
スキャナ１６２は、図２に示すように、ｍ行ｎ列（例えば、３行５列）の略マトリックス状に配列された複数（例えば、１４個）の露光ヘッド１６６を備えている。この例では、感光材料１５０の幅との関係で、３行目には４個の露光ヘッド１６６を配置した。なお、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドを示す場合は、露光ヘッド１６６ｍｎと表記する。
【００３３】
露光ヘッド１６６による露光エリア１６８は、副走査方向Ｖを短辺とする矩形状である。従って、ステージ１５２の移動に伴い、感光材料１５０には露光ヘッド１６６毎に帯状の露光済み領域１７０が形成される。なお、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドによる露光エリアを示す場合は、露光エリア１６８ｍｎと表記する。
【００３４】
また、図３（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、帯状の露光済み領域１７０が副走査方向と直交する方向に隙間無く並ぶように、ライン状に配列された各行の露光ヘッドの各々は、配列方向に所定間隔（露光エリアの長辺の自然数倍、本実施形態では２倍）ずらして配置されている。このため、１行目の露光エリア１６８１１と露光エリア１６８１２との間の露光できない部分は、２行目の露光エリア１６８２１と３行目の露光エリア１６８３１とにより露光することができる。
【００３５】
［露光ヘッドの構成］
図４は、各露光ヘッド１６６の構成を示す模式図である。露光ヘッド１６６は、入射された光ビームを画像データに応じて各画素毎に変調するＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）１７４を有する。また、露光ヘッド１６６は、光源（図示せず）からの光をＤＭＤ１７４に向けて反射すると共に、ＤＭＤ１７４で変調された光が入射する第１光学系１７６と、第１光学系１７６を通過した光が透過するＭＬＡ（マイクロレンズアレイ）１７８と、ＭＬＡ１７８を透過した光が通過する第２光学系１８０と、を有する。第２光学系１８０を通過した光は、投影面（被露光面）Ｓに投影される。ＤＭＤ１７４及びＭＬＡ１７８は、主走査方向に対して傾け角度が微調整された状態で配置されている。
【００３６】
また、露光ヘッド１６６は、図４、図５に示すように、ＭＬＡ１７８を保持する保持部１８２を備えている。保持部１８２は、図５（Ａ）から（Ｃ）に示すように、定番１８４に保持されたスタンド１８６と、スタンド１８６にネジ止めされた第１ホルダ１８８と、第１ホルダ１８８にネジ止めされている第２ホルダ１９０と、を有しており、ＭＬＡ１７８は第２ホルダ１９０に接着されている。
【００３７】
第１ホルダ１８８は、中段部よりもやや上方位置の外周部の２箇所で、及び、下段部の外周部の１箇所で、それぞれスタンド１８６にネジ止めされており、背面視逆三角形の頂点位置に相当する位置でネジ止めされている。
【００３８】
第２ホルダ１９０は、上段部の外周部の１箇所で、及び、中段部よりもやや下方位置の外周部の２箇所で、それぞれ第１ホルダ１８８にネジ止めされており、背面視正三角形の頂点位置に相当する位置でネジ止めされている。
【００３９】
ＭＬＡ１７８は、正面視略長方形状であって、上段両端部の２箇所で、及び、下段部の略中央位置の１箇所で、それぞれ第２ホルダ１９０に接着剤により固定されており、背面視逆三角形の頂点位置に相当する位置で固定されている。
【００４０】
このような位置でネジ止め或いは固定を行うことにより、それぞれの部材の温度変化により最も大きく変形している締結部の影響を、隣接する部材に伝えないという作用が生じるので、それぞれの締結部に対する応力も小さく、且つ、歪み量を小さくできるという効果が得られる。
【００４１】
本実施形態では、定番１８４及びスタンド１８６の材質は何れもアルミニウム（Ａｌ）であり線膨張係数が２３×１０−６である。第１ホルダ１８８の材質はステンレス（ＳＵＳ）又は銅（Ｃｕ）であり、線膨張係数は、ＳＵＳの場合には１０×１０−６、Ｃｕの場合には１８×１０−６である。第２ホルダ１９０の材質はコバール（Ｃｖ）であり線膨張係数が５．５×１０−６、ＭＬＡ１７８の材質は石英ガラスであり線膨張係数が５×１０−６である。
【００４２】
従って、スタンド１８６、スタンド１８６にネジ止めされた第１ホルダ１８８、第１ホルダ１８８にネジ止めされた第２ホルダ１９０、第２ホルダ１９０に接着されたＭＬＡ１７８、の順に線膨張係数が順次低くなっている。これにより、露光ヘッド１６６の組立て時などで温度変化が大きく生じても、ＭＬＡ１７８に大きな歪が生じることを回避できる。
【００４３】
また、保持部１８２を構成する構成部材のうち定番１８４以外では、最も線膨張係数が高い部材がスタンド１８６（材質はアルミニウム）であり、その次に線膨張係数が高い部材が第１ホルダ１８８（材質はＳＵＳ又はＣｕ）である。この２つの部材に挟まれる位置に、その次に線膨張係数が高い部材である第２ホルダ１９０（材質はＣｖ）が配置されている。そして、第２ホルダ１９０とスタンド１８６との間にＭＬＡ１７８が配置されている。
【００４４】
従って、温度が大きく変化した場合、寸法が最も大きく変化する部材は光軸方向の両端側（すなわち、入光側端及び出光側端）に位置するスタンド１８６及び第１ホルダ１８８である。従って、大きな温度変化が生じても、スタンド１８６や第１ホルダ１８８にＲ方向或いはＬ方向に大きな反りが生じることが回避されている。
【００４５】
このように、本実施形態では、大きな温度変化が生じても、ＭＬＡ１７８に大きな歪が生じることや大きな位置ずれが生じることが防止されており、ＤＭＤ１７４とＭＬＡ１７８との位置安定性能を著しく高めることができる。
【００４６】
［第２形態］
次に、第２形態について説明する。第２形態では、第１形態と同様の構成要素には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００４７】
第２形態では、図６に示すように、マイクロレンズアレイ１７８を保持する保持部１９２の構成が第１形態に比べて異なる。すなわち、保持部１９２には、第２ホルダ１９４が、第１形態の第２ホルダ１９０（図５参照）に代えて設けられている。第２ホルダ１９４は、スタンド１８６と第１ホルダ１８８との間に配置されると共に第１ホルダ１８８にネジ止めされている。また、マイクロレンズアレイ１７８は、第１ホルダ１８８と第２ホルダ１９４との間に配置されて第２ホルダ１９４に接着剤で固定されている。マイクロレンズアレイ１７８の接着されている部位は、第１形態と同様の部位である。
【００４８】
第２形態では、このように、線膨張係数が１番目に大きい部材であるスタンド１８６と、２番目に大きい部材である第１ホルダ１８８と、を両端側に配置し、線膨張係数が３番目に大きい部材である第２ホルダ１９４を１番目に大きいスタンド１８６の内側に配置し、線膨張係数が４番目に大きいマイクロレンズアレイ１７８を２番目に大きい第１ホルダ１８８の内側に配置する、というように順次配置されている。これにより、温度変化が生じても、第１形態に比べ、保持部１９２を更に反り難くすることができる。
【００４９】
［第３形態］
次に、第３形態について説明する。第３形態では、第１形態と同様の構成要素には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００５０】
第３形態では、第１形態に比べ、図７に示すように、スタンド１８６には、ＭＬＡ１７８が設けられていない側に、更に拘束部材１９６がネジ止めで設けられている。拘束部材１９６の材質はステンレス（ＳＵＳ）又は銅（Ｃｕ）である。
【００５１】
これにより、温度が大きく変化しても、拘束部材１９６によって、スタンド１８６に生じる伸縮が更に抑えられる。従って、第１形態に比べ、ＭＬＡ１７８に大きな歪が生じることを更に回避できると共に、スタンド１８６が反ることを更に防止できる。
【００５２】
以上、実施形態を挙げて本発明の実施の形態を説明したが、これらの実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。また、本発明の権利範囲が上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。
【００５３】
【発明の効果】
本発明は上記構成としたので、温度変化によるマイクロレンズアレイの位置ずれを抑えたマイクロレンズアレイの取付構造、及び、それを有する露光ヘッドを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１形態に係る露光ヘッドが設けられた露光装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図１に示した露光装置のスキャナの構成を示す斜視図である。
【図３】図３（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、感光材料に形成される露光済み領域を示す平面図、及び、各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す平面図である。
【図４】第１形態に係る露光ヘッドの光学系を示す模式的構成図である。
【図５】図５（Ａ）から（Ｃ）は、それぞれ、第１形態に係る露光ヘッドに設けられたマイクロレンズアレイの保持部の背面図、図５（Ａ）の矢視５Ｂ−５Ｂの側面断面図、及び、正面図である。
【図６】第２形態に係る露光ヘッドに設けられたマイクロレンズアレイの保持部の側面断面図である。
【図７】図７（Ａ）から（Ｃ）は、それぞれ、第３形態に係る露光ヘッドに設けられたマイクロレンズアレイの保持部の背面図、図７（Ａ）の矢視７Ｂ−７Ｂの側面断面図、及び、正面図である。
【符号の説明】
１６６    露光ヘッド
１７８    ＭＬＡ（マイクロレンズアレイ）
１８６    スタンド（被取付部材）
１８８    第１ホルダ（介在部材、板状部材）
１９０    第２ホルダ（介在部材、板状部材）
１９４    第２ホルダ（介在部材、板状部材）
１９６    拘束部材
【図１】
2004333715.tif 000003
【図２】
2004333715.tif 000004
【図３】
2004333715.tif 000005
【図４】
2004333715.tif 000006
【図５】
2004333715.tif 000007
【図６】
2004333715.tif 000008
【図７】
2004333715.tif 000009