(57)【要約】      （修正有）【課題】カセットを支持する支持装置の支持部が接触するカセットの下枠体の一部の部分で、大型の基板が収容されたカセットの全重量を支えても、カセットに生ずる撓みが収容された基板に影響を及ぼすことがなく、且つ重量増加を極力押さえたカセットを提供する。【解決手段】複数の基板を収納でき、上枠体３と下枠体２との間に複数の支持体４、６を架設した基板用カセット１であって、下枠体２が、互いに交差する２つの桟２ｃ、２ｄと四角形状枠とで構成される略田の字形状部分を備えるとともに、２つの桟の交点から該２つの桟の内の一方の桟に沿って第１の距離離れた位置から、２つの桟の内の他方の桟に交わらずに、四角形状枠の角部から四角形状枠の直線部分に沿って第２の距離離れた位置に到る補強桟２ｅを備えてなる。【選択図】    図１
2004296751.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納でき、上枠体と下枠体との間に複数の支持体を架設した基板用カセットであって、
前記下枠体が、互いに交差する２つの桟と四角形状枠とで構成される略田の字形状部分を備えるとともに、前記２つの桟の交点から該２つの桟の内の一方の桟に沿って第１の距離離れた位置から、前記２つの桟の内の他方の桟に交わらずに、前記四角形状枠の角部から前記四角形状枠の直線部分に沿って第２の距離離れた位置に到る補強桟を備えることを特徴とする基板用カセット。
【請求項２】
複数の基板を収納でき、上枠体と下枠体との間に複数の支持体を架設した基板用カセットであって、
前記下枠体が、互いに交差する２つの桟と四角形状枠とで構成される略田の字形状部分を備えるとともに、前記２つの桟の交点から該２つの桟の内の一方の桟に沿って第１の距離離れた位置から、前記２つの桟の内の他方の桟に交わらずに、前記四角形状枠の角部に到る補強桟を備えることを特徴とする基板用カセット。
【請求項３】
複数の基板を収納でき、上枠体と下枠体との間に複数の支持体を架設した基板用カセットであって、
前記下枠体が、互いに交差する２つの桟と四角形状枠とで構成される略田の字形状部分を備えるとともに、前記２つの桟の交点から、前記四角形状枠の角部から前記四角形状枠の直線部分に沿って第２の距離離れた位置に到る補強桟を備えることを特徴とする基板用カセット。
【請求項４】
前記第１の距離は、前記一方の桟と前記補強桟との交点から、前記他方の桟に交わらずに前記一方の桟に沿って前記四角形状枠に交わる交点までの距離よりも小さくしてなる請求項１または２記載の基板用カセット。
【請求項５】
前記第２の距離は、前記四角形状枠と前記補強桟との交点から、該交点を含む前記四角形状枠の直線部分に沿って前記一方の桟または前記他方の桟に交わる交点までの距離よりも小さくしてなる請求項１または３記載の基板用カセット。
【請求項６】
前記支持体に前記基板を載支する棚片を突設してなる請求項１から５のいずれか１項に記載の基板用カセット。
【請求項７】
前記第１の距離を、８０〜２００ｍｍとしてなる請求項１、２または４記載の基板用カセット。
【請求項８】
前記第２の距離を、８０〜２００ｍｍとしてなる請求項１、３または５記載の基板用カセット。
【請求項９】
前記上枠体を略田の字形枠体で構成してなる請求項１から８のいずれか１項に記載の基板用カセット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板用カセットに係わり、更に詳しくは、ディスプレイ用のパネルディバイスを多面取りするためのマザーボード若しくは大型のディスプレイ用基盤を多段に収容することが可能な基板用カセットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ディスプレイの大型化に伴い、カセットに収容する基板の寸法も大型化してきている。そのため、カセットに収容される基板全体の重量が増加し、これを支えるために、カセットの強度の強化を図る必要があり、これまで田の字形枠体で構成されていた、カセットの底面である下枠体の強度の強化がとくに必要となっている。このため、カセットの下枠体として、特許文献１に記載されているような格子状の枠体で構成する下枠体等が提案されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−１２７１４６号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、カセットの下枠体を特許文献１に記載されているようなたくさんの補強桟を用いた格子状の枠体で構成すると、カセットそのものの重量が増加することから、カセットが載置される床等の建築物の強度等にも影響を及ぼすことになる。また、大型の基板が収容されたカセットは平坦な床に載置するばかりではなく、運搬のためフォークリフト車に積載したり、各種の支持装置に装填したりする必要があり、このような場合に、これらの支持装置の支持部が接触するカセットの下枠体の一部の部分で、基板が収容されたカセットの全重量を支えても、カセットに生ずる撓みが収容された基板に影響を及ぼさないようにする必要があることから、この条件に十分耐え、且つ重量増加を極力押さえたカセットが求められていた。
そこでこの発明は、このような要望に対処するためになされたものであって、カセットを支持する支持装置の支持部が接触するカセットの下枠体の一部の部分で、大型の基板が収容されたカセットの全重量を支えても、カセットに生ずる撓みが収容された基板に影響を及ぼすことがなく、且つ重量増加を極力押さえたカセットを提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板用カセットは、複数の基板を収納でき、上枠体と下枠体との間に複数の支持体を架設した基板用カセットであって、前記下枠体が、互いに交差する２つの桟と四角形状枠とで構成される略田の字形状部分を備えるとともに、前記２つの桟の交点から該２つの桟の内の一方の桟に沿って第１の距離離れた位置から、前記２つの桟の内の他方の桟に交わらずに、前記四角形状枠の角部から該四角形状枠の直線部分に沿って第２の距離離れた位置に到る補強桟を備えることを特徴としている。
【０００６】
また、複数の基板を収納でき、上枠体と下枠体との間に複数の支持体を架設すると共に、前記下枠体が、互いに交差する２つの桟と四角形状枠とで構成される略田の字形状部分を備える本発明の基板用カセットにおいて、前記２つの桟の交点から該２つの桟の内の一方の桟に沿って第１の距離離れた位置から、前記２つの桟の内の他方の桟に交わらずに、前記四角形状枠の角部に到る補強桟を備えるようにしてもよく、或いは、前記２つの桟の交点から、前記四角形状枠の角部から前記四角形状枠の直線部分に沿って第２の距離離れた位置に到る補強桟を備えるようにしてもよい。
【０００７】
上記の基板用カセットにおいて、前記第１の距離は、前記一方の桟と前記補強桟との交点から、前記他方の桟に交わらずに前記一方の桟に沿って前記四角形状枠に交わる交点までの距離よりも小さくするのが好ましい。また、前記第２の距離を、前記四角形状枠と前記補強桟との交点から、該交点を含む前記四角形状枠の直線部分に沿って前記一方の桟または前記他方の桟に交わる交点までの距離よりも小さくするのが好ましい。
【０００８】
上記の基板用カセットにおいて、前記支持体に前記基板を載支する棚片を突設するのが好ましい。
【０００９】
また、上記の基板用カセットにおいて、前記第１の距離を、８０〜２００ｍｍとするのが好ましい。また、前記第２の距離も、８０〜２００ｍｍとするのが好ましい。
【００１０】
また、上記の基板用カセットにおいて、前記上枠体を略田の字形枠体で構成するようにしてもよい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態につき、図面に基づき詳しく説明する。図１は第１実施例の基板用カセット１の斜視図、図２は平面図である。図１、図２において、第１実施例の基板用カセット１は、直方体状の箱型構造をしており、縦方向が長手方向の長方形状の下枠体２と、同じく縦方向が長手方向の長方形状の上枠体３との間に、８本の側支持体４と、２本の後支持体６、及び、２本の角支持体１０を架設して構成している。この基板用カセットの大きさは、縦が１８００ｍｍ、横が１５００ｍｍ以上の基板を収納できる大きさである。図中、矢印Ｄは、第１実施例の基板用カセット１に挿入される基板Ｓの挿入方向を示しており、これは上記の縦方向と同じ方向である。
【００１２】
図３は、下枠体２の一部を拡大した図である。図２、図３において、下枠体２は、縦杆２ａと横杆２ｂとで形成される四角形状枠と、該四角形状枠内に設けられ、互いに交差する２つの桟である縦桟２ｃと横桟２ｄとで構成される略田の字形状部分を備えるとともに、上記２つの桟の交点２ｇからこの２つの桟の内の一方の桟である縦桟２ｃに沿って第１の距離離れた基点２ｈから、上記２つの桟の内の他方の桟である横桟２ｄに交わらずに、四角形状枠の角２ｆから四角形状枠の縦杆２ａの直線部分に沿って第２の距離離れた到点２ｊに到る補強桟２ｅを備えている。尚、図２、図３において、角２ｆは縦杆２ａの中心線と横杆２ｂの中心線との交点であり、交点２ｇは縦桟２ｃの中心線と横桟２ｄの中心線との交点であり、基点２ｈは縦桟２ｃの中心線と補強桟２ｅの中心線との交点であり、そして、到点２ｊは縦杆２ａの中心線と補強桟２ｅの中心線との交点である。また、縦杆中点２ｎは縦杆２ａの中心線と横桟２ｄの中心線との交点であり、横杆中点２ｐは横杆２ｂの中心線と縦桟２ｃの中心線との交点である。
【００１３】
従って、上記の第１の距離は、交点２ｇから基点２ｈまでの距離であり、図３のＬ１１である。この第１の距離Ｌ１１は、一方の桟である縦桟２ｃと補強桟２ｅとの交点である基点２ｈから他方の桟である横桟２ｄに交わらずに、上記の一方の桟である縦桟２ｃに沿って前記四角形状枠の横杆２ｂに交わる交点である横杆中点２ｐまでの距離Ｌ１２よりも、小さくなるように設定する。
また、上記の第２の距離は、角２ｆから到点２ｊまでの距離であり、図３のＬ２１である。この第２の距離Ｌ２１は、四角形状枠の縦杆２ａと補強桟２ｅとの交点である到点２ｊから、該到点２ｊを含む四角形状枠の縦杆２ａの直線部分に沿って他方の桟である横桟２ｄに交わる交点である縦杆中点２ｎまでの距離Ｌ２２よりも小さくなるように設定する。
【００１４】
上記の補強桟２ｅを、交点２ｇではなくこの交点２ｇから離れた基点２ｈから、角２ｆではなくこの角２ｆから離れた到点２ｊへ架設している。これは、基板用カセット１を載置する際、その位置決めのため載置される場所に備えられた、平面視略正方形状のカセット位置決めガイド１２が、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、下枠体２の角２ｆの内側四隅、及び、縦桟２ｃと横桟２ｄとの交点２ｇの周りに形成される四隅に嵌入するので、このスペースを確保するためである。従って、上記の第１の距離Ｌ１１及び、第２の距離Ｌ２１は、平面視略正方形状のカセット位置決めガイドの略一辺の長さとすればよいが、この所定距離は、実用的には８０〜２００ｍｍである。ここで、第１の距離Ｌ１１と、第２の距離Ｌ２１とは、必ずしも同じとする必要はなく、状況に応じて異なるように設定するようにしてもよい。図４中、１３はこのカセット位置決めガイド１２を備えたカセット位置決めガイド台である。
【００１５】
尚、図４（ａ）に示すような、下枠体２の角２ｆの内側四隅に嵌入する位置決めガイド１２を備えたカセット位置決め台１３のみを用いる場合は、第１の距離Ｌ１１をゼロとしてもよい。この場合は、図１４（ａ）に示すように、補強桟２ｔを、縦桟２ｃと横桟２ｄとの交点２ｇから、四角形状枠の角部２ｆから縦杆２ａの直線部分に沿って第２の距離Ｌ２１離れた到点２ｊに到るようにして設ける。また、図４（ｂ）に示すような、縦桟２ｃと横桟２ｄとの交点２ｇの周りに形成される四隅に嵌入する位置決めガイド１２を備えたカセット位置決め台１３のみを用いる場合は、第２の距離Ｌ２１をゼロとしてもよい。この場合は、図１４（ｂ）に示すように、補強桟２ｕを、縦桟２ｃと横桟２ｄとの交点２ｇから縦桟２ｃに沿って第１の距離Ｌ１１離れた基点２ｈから、横桟２ｄに交わらずに、前記四角形状枠の角部２ｆに到るようにして設ける。
【００１６】
上枠体３は、上枠体縦杆３ａと上枠体横杆３ｂとでなる四角形状枠と、この四角形状枠の枠面を横方向に２分する上枠体縦桟３ｃと、この上枠体縦桟３ｃと交差し且つ上記の上枠体縦杆３ａと上枠体横杆３ｂとでなる四角形状枠の枠面を縦方向に２分する上枠体横桟３ｄとで構成される田の字形枠体で構成されている。
また、側支持体４，・・・は下枠体２の縦杆２ａ上に立設されて上枠体３の上枠体縦杆３ａとの間に架設され、後支持体６，６は下枠体２の後方の横杆２ｂに立設されて上枠体３の後方の上枠体横杆３ｂとの間に架設され、そして、下枠体２の縦杆２ａと前方の横杆２ｂとがなす角の上に立設されている角支持体１０，１０は上枠体３の上枠体縦杆３ａと前方の上枠体横杆３ｂとがなす角との間に架設されている。また、側支持体４の補強として、水平補強桟８及び斜補強桟９が設けられている。
【００１７】
この基板用カセット１には、その前方から挿入される基板Ｓを支えるため、側支持体４，・・・には、複数の側棚片５，・・・が内側に向かって突設されている。また、前方から挿入された基板Ｓが前方へ飛び出すのを防ぐために、飛出し防止片１１が角支持体１０，１０に備えられている。
【００１８】
上記の第１実施例の基板用カセット１では、下枠体２の補強桟２ｅを、縦桟２ｃと横桟２ｄの２つの桟の交点２ｇから、この２つの桟の内の一方の桟である縦桟２ｃに沿って第１の距離離れた基点２ｈから、上記２つの桟の内の他方の桟である横桟２ｄに交わらずに、四角形状枠の角２ｆから四角形状枠の縦杆２ａの直線部分に沿って第２の距離離れた到点２ｊへ架設しているが、補強桟の架設の位置をこれと異なるようにすることもできる。図５に示す第２実施例の基板用カセット２１では、下枠体２の補強桟２ｋを、上記２つの桟の交点２ｇからこの２つの桟の内の一方の桟である縦桟２ｃに沿って第１の距離離れた基点２ｈから、上記２つの桟の内の他方の桟である横桟２ｄに交わらずに、四角形状枠の角２ｆから四角形状枠の横杆２ｂの直線部分に沿って第２の距離離れた到点２ｍへ架設している。
【００１９】
この場合の第１の距離は、第１実施例と同様、交点２ｇから基点２ｈまでの距離であり、この第１の距離は、一方の桟である縦桟２ｃと補強桟２ｅとの交点である基点２ｈから、他方の桟である横桟２ｄに交わらずに上記の一方の桟である縦桟２ｃに沿って前記四角形状枠の横杆２ｂに交わる交点である横杆中点２ｐまでの距離よりも、小さくなるように設定する。
一方、第２の距離は、角２ｆから到点２ｍまでの距離であるが、この第２の距離は、四角形状枠の横杆２ｂと補強桟２ｅとの交点である到点２ｍから、該到点２ｍを含む四角形状枠の横杆２ｂの直線部分に沿って一方の桟である縦桟２ｃに交わる交点である横杆中点２ｐまでの距離よりも小さくなるように設定する。
この第２実施例の基板用カセット２１は、上記の補強桟２ｋの架設位置が第１実施例の基板用カセット１の補強桟２ｅとは異なるだけで、それ以外の部分は第１実施例の基板用カセット１と全く同じである。
【００２０】
また、この第２実施例の場合も、第１実施例と同様、図４（ａ）に示すような、下枠体２の角２ｆの内側四隅に嵌入する位置決めガイド１２を備えたカセット位置決め台１３のみを用いる場合は、第１の距離Ｌ１１をゼロとしてもよい。この場合は、図１５（ａ）に示すように、補強桟２ｖを、縦桟２ｃと横桟２ｄとの交点２ｇから、四角形状枠の角部２ｆから横杆２ｂの直線部分に沿って第２の距離Ｌ２１離れた到点２ｍに到るようにして設ける。また、図４（ｂ）に示すような、縦桟２ｃと横桟２ｄとの交点２ｇの周りに形成される四隅に嵌入する位置決めガイド１２を備えたカセット位置決め台１３のみを用いる場合は、第２の距離Ｌ２１をゼロとしてもよい。この場合は、図１４（ｂ）の様にして補強桟２ｕを設ける。
【００２１】
上記の第１実施例及び第２実施例の基板用カセットは、その内部に基板Ｓを挿入して保持した状態で、フォークリフト車等で運搬されたり、各種の支持装置等に装填されたりする。このような基板用カセットの重量を支えるのに用いられるフォークリフト車等の搬送装置或いは支持装置の支持部の形状は、搬送装置或いは支持装置によって異なっており、また、これらの装置の支持部が基板用カセットと接する部分も異なっている。図６及び図７は、第１実施例の基板用カセット１の重量を支えるときの、支持装置等の支持部の形状と第１実施例の基板用カセット１の下枠体２との関係について、各種のパターンを示したものであり、斜線の部分が支持装置等の支持部の形状を示している。同様に、図８及び図９は、第２実施例の基板用カセット２１について示したものである。
【００２２】
このような支持装置等により、上述した第１実施例及び第２実施例の基板用カセットが、その内部に基板Ｓが挿入されて保持した状態でその重量が支えられた場合に、基板用カセットにある一定値以上の撓みが生じると、その基板用カセットの搬送時等に、その中に収容されている基板Ｓに悪影響を及ぼすことになる。
そこで、次に、上述した第１実施例及び第２実施例の基板用カセットが、上記の支持装置等によりその重量が支えられた場合に、どの程度の撓みが生じるかを調べるため、ＡＮＳＹＳ６．０構造解析プログラムを用いてシミュレーションによる線形構造解析を行なった。この線形構造解析に用いた基板用カセットは、上述した通り、縦が１８００ｍｍ、横が１５００ｍｍ以上の基板を収納できる大きさである。また、重量は、試算によれば第１実施例の基板用カセットは１１５．６ｋｇであり、第２実施例の基板用カセットは１１５．７ｋｇである。
【００２３】
尚、このシミュレーションによる線形構造解析は、上述した第１実施例及び第２実施例の基板用カセット以外に、従来例の基板用カセットについても行なった。この従来例の基板用カセットは、下枠体の構造が、第１実施例及び第２実施例の基板用カセットの下枠体における補強桟２ｅ或いは補強桟２ｋを取り除いた状態、即ち、下枠体が田の字形枠体であり、その他の部分は、材質や大きさも含めて第１実施例及び第２実施例の基板用カセットと全く同じである。従って、この従来例の基板用カセットは、第１実施例及び第２実施例の基板用カセットと同じく、縦が１８００ｍｍ、横が１５００ｍｍ以上の基板を収納できる大きさである。また、この従来例の基板用カセットについては、各部の部材の厚さ等が第１実施例及び第２実施例と同じである、重量が１１２．３ｋｇの第１従来例の基板用カセットと、各部の部材の厚さ等を変えることにより、強度が異なる、重量が１２０．１ｋｇの第２従来例の基板用カセット、及び、重量が１２３．８ｋｇの第３従来例の基板用カセットの３種類を想定した。尚、図１０及び図１１は、支持装置等の支持部の形状と上記の各従来例の基板用カセットの下枠体２との関係について、その各種のパターンを示したものである。図中、３２は従来例の基板用カセットの下枠体である。
【００２４】
表１及び表２は、これらの線形構造解析の結果を示したものである。表１は第１実施例及び第２実施例の基板用カセットの解析結果であり、表２は第１従来例、第２従来例及び第３従来例の基板用カセットの解析結果である。実際の解析は、図１２に示すように、基板用カセットの右半分についてのみ行なった。この解析では、側支持体４・・・を、手前から順に支柱１、支柱２、支柱３、支柱４と称し、右側に位置する後支持体６を支柱５と称している。撓み量は、解析の結果得られた値の最大値を示している。また、発生場所支柱Ｎｏはこの撓み量の最大値が発生した場所の支柱Ｎｏを示しており、発生場所支柱Ｎｏに括弧がついたものはその付近であることを示している。尚、図１２は、第１実施例のカセットにおける支持装置等の支持部の形状と基板用カセットの下枠体２との関係パターン図が、図６（ａ）  である場合の線形構造解析の状況を誇張して表現したものである。また、表１及び表２では、基板用カセットを単にカセットと称している。
【００２５】
【表１】
2004296751.tif 000003
【００２６】
【表２】
2004296751.tif 000004
【００２７】
表１、表２によれば、第１実施例の基板用カセットも第２実施例の基板用カセットも、第１従来例の基板用カセットと比べると撓み量の最大値は少ないことがわかる。実用上撓み量の限界値は２ｍｍであるが、第１実施例の基板用カセットも第２実施例の基板用カセットもいずれも撓み量の最大値は限界値以下である。
また、従来例の基板用カセットでも、強度を強化した第２従来例の基板用カセット及び第３従来例の基板用カセットでは、第１実施例の基板用カセットや第２実施例の基板用カセットのレベルに準じた撓み量の最大値とすることができるが、その重量は、いずれも、第１実施例の基板用カセットや第２実施例の基板用カセットよりも重くなる。従って、第１実施例の基板用カセット或いは第２実施例の基板用カセットを用いることにより、カセットに生ずる撓みが収容された基板に影響を及ぼすことがなく、且つ重量増加を極力押さえたカセットを提供することができる。
【００２８】
上記の第１実施例では、補強桟２ｅを、縦桟２ｃ上の基点２ｈから縦杆２ａ上の到点２ｊにかけて設けており、第２実施例では、補強桟２ｋを、縦桟２ｃ上の基点２ｈから横杆２ｂ上の到点２ｍにかけて設けている。しかしこれには限られず、図１３（ａ）に示すように、補強桟２ｑとして、横桟２ｄ上の基点２ｒから縦杆２ａ上の到点２ｊにかけて設けるようにしてもよく、この場合の第１の距離は、交点２ｇから基点２ｒまでの距離であり、第２の距離は、角２ｆから到点２ｊまでの距離である。或いは、図１３（ｂ）に示すように、補強桟２ｓとして、横桟２ｄ上の基点２ｒから横杆２ｂ上の到点２ｍにかけて設けるようにしてもよく、この場合の第１の距離は、上記と同様、交点２ｇから基点２ｒまでの距離であり、第２の距離は、角２ｆから到点２ｍまでの距離である。これらの場合においても、第１の距離や第２の距離の設定は、上記の第１実施例や第２実施例と同様とする。また、これらの場合にも、上記の第１実施例や第２実施例と同様の作用、効果を得ることができる。
【００２９】
また、上記の例においても、図４（ａ）に示すような、下枠体２の角２ｆの内側四隅に嵌入する位置決めガイド１２を備えたカセット位置決め台１３のみを用いる場合は、第１の距離をゼロとしてもよい。この場合は、図１４（ａ）の様にして補強桟２ｔを設け、あるいは、図１５（ａ）の様にして補強桟２ｖを設ける。また、図４（ｂ）に示すような、縦桟２ｃと横桟２ｄとの交点２ｇの周りに形成される四隅に嵌入する位置決めガイド１２を備えたカセット位置決め台１３のみを用いる場合は、第２の距離をゼロとしてもよい。この場合は、図１５（ｂ）に示すように、補強桟２ｗを、縦桟２ｃと横桟２ｄとの交点２ｇから横桟２ｄに沿って第１の距離離れた基点２ｒから、縦桟２ｃに交わらずに、前記四角形状枠の角部２ｆに到るようにして設ける。
【００３０】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の基板用カセットによれば、基板を収納したカセットを運搬のため各種の支持装置等に装填した際に、カセットを支持する支持装置等の支持部が接触するカセットの下枠体の一部の部分で、基板を収納したカセットの全重量を支えても、カセットに生ずる撓みが収容された基板に影響を及ぼすことがなく、且つ重量増加を極力押さえたカセットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例の基板用カセットの斜視図である。
【図２】第１実施例の基板用カセットの平面図である。
【図３】第１実施例の基板用カセットの下枠体の一部を拡大した平面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）はカセット位置決めガイドを示した平面図である。
【図５】第２実施例の基板用カセットの平面図である。
【図６】（ａ）〜（ｈ）は支持装置等の支持部の形状と第１実施例の基板用カセットの下枠体との関係を示した各種のパターン図（その１）である。
【図７】（ａ）〜（ｇ）は支持装置等の支持部の形状と第１実施例の基板用カセットの下枠体との関係を示した各種のパターン図（その２）である。
【図８】（ａ）〜（ｈ）は支持装置等の支持部の形状と第２実施例の基板用カセットの下枠体との関係を示した各種のパターン図（その１）である。
【図９】（ａ）〜（ｇ）は支持装置等の支持部の形状と第２実施例の基板用カセットの下枠体との関係を示した各種のパターン図（その２）である。
【図１０】（ａ）〜（ｈ）は支持装置等の支持部の形状と従来例の基板用カセットの下枠体との関係を示した各種のパターン図（その１）である。
【図１１】（ａ）〜（ｇ）は支持装置等の支持部の形状と従来例の基板用カセットの下枠体との関係を示した各種のパターン図（その２）である。
【図１２】パターン図が図６（ａ）の場合の第１実施例のカセットを用いた線形構造解析の状況を誇張して表現した図である。
【図１３】（ａ）、（ｂ）は他の実施例の基板用カセットの下枠体の平面図である。
【図１４】（ａ）、（ｂ）は下枠体の角の内側四隅に嵌入する位置決めガイドのみ、あるいは、縦桟と横桟との交点の周りの四隅に嵌入する位置決めガイドのみを用いる場合の、基板用カセットの例の下枠体の平面図（その１）である。
【図１５】（ａ）、（ｂ）は下枠体の角の内側四隅に嵌入する位置決めガイドのみ、あるいは、縦桟と横桟との交点の周りの四隅に嵌入する位置決めガイドのみを用いる場合の、基板用カセットの例の下枠体の平面図（その２）である。
【符号の説明】
Ｓ    基板                                    Ｄ    基板の挿入方向
１    基板用カセット                ２    下枠体
２ａ    縦杆                                ２ｂ    横杆
２ｃ    縦桟                                ２ｄ    横桟
２ｅ    補強桟                            ２ｆ    角
２ｇ    交点                                ２ｈ    基点
２ｊ    到点                                ２ｋ    補強桟
２ｍ    到点                                ２ｎ    縦杆中点
２ｐ    横杆中点                        ２ｑ    補強桟
２ｒ    基点                                ２ｓ    補強桟
２ｔ    補強桟                            ２ｕ    補強桟
２ｖ    補強桟                            ２ｗ    補強桟
３    上枠体                                ３ａ    上枠体縦杆
３ｂ    上枠体横杆                    ３ｃ    上枠体縦桟
３ｄ    上枠体横桟                    ４    側支持体
５    側棚片                                ６    後支持体
８    水平補強桟                        ９    斜補強桟
１０    角支持体                        １１    飛出し防止片
１２    カセット位置決めガイド
１３    カセット位置決めガイド台
２１    基板用カセット            ２２    下枠体
３２    従来例の基板用カセットの下枠体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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