Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】【課題】インターネットサイト上で企業、個人等がそれぞれの間で商品の取引または情報の取引等を行うとき、利用者を特定する手段として事前に利用者の情報の登録やその後の認証を行う方法が取られている。従来の認証システムでは１０文字程度の組み合わされた文字によって事前に登録されたデータとの照合により合否を確認するものであったが、認証ＩＤや認証パスワードの漏洩が容易に起こり、登録データの流出の危険度が大きかった。そのため、他人に成りすまして行われるネット詐欺等が横行し、社会問題となっている。本発明は上記問題点を改善することを課題としている。【解決手段】個人の肖像を３次元ポリゴンデータとして、インターネット上に構築された肖像認証システムネットワーク２で肖像登録及び認証作業を行い、肖像認証システムネットワーク２内の肖像検索エンジンで個人の肖像の３次元ポリゴンデータを認証照合に利用し精度の高い認証を行い、インターネットサイトにおけるサイト運営者、登録者及び利用者の高い安全性を図る。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
利用者の３次元の肖像データによる顧客登録を行い、インターネットサイトを運営することを特徴とするシステム。
【請求項２】
利用者の３次元の肖像データによる検索エンジンを用いて、インターネットサイトにおいて登録者認証を行うことを特徴とするシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインターネットサイト上の取引において、精度の高い登録者認証を行うことに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のインターネット上の取引等において、その当事者を確認するためにはＩＤ及びパスワードによる文字を用いた認証システムが一般であった。
また、データには他データとの目視識別のためのマークとして肖像を付することはあったが、肖像自体を認証データとして使用することはなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
インターネットサイト上で企業、個人等がそれぞれの間で商品の取引または情報の取引等を行うとき、利用者を特定する手段として事前に利用者の情報の登録やその後の認証を行う方法が取られている。
【０００４】
従来の認証システムでは１０文字程度の組み合わされた文字によって事前に登録されたデータとの照合により合否を確認するものであったが、認証ＩＤや認証パスワードの漏洩が容易に起こり、登録データの流出の危険度が大きかった。そのため、他人に成りすまして行われるネット詐欺等が横行し、社会問題となっている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、本人固有の肖像を３次元のポリゴンデータとし、これをインターネットサイトの顧客登録時の唯一の登録データとし、本人認証時も本人の肖像のみが照合手段と成るシステムにしたものである。
【０００６】
従来の顧客登録時に必要であった名前、住所、電話番号等の詳細な顧客情報は一切必要とせず、また肖像に名前や番号を付記することもなく肖像のみが唯一の登録データであるため、登録されている肖像からは一切顧客情報が漏洩することがない。
【０００７】
また、認証時にも３次元肖像データそのものを用いるため、一般に行われている文字認証とは比較できない程の大量のデータが用いられ、３次元肖像検索エンジンによって認証されるため、登録者以外の認証は無に等しくなる。
【０００８】
３次元肖像検索エンジンは肖像画像を立体的に構造解析し、それを数値化したものをデータとして照合を図るものである。登録時に立体肖像として記録されたものは平面の肖像で検索しても、立体肖像のどの部分からの肖像であるかを判断し、照合を行うことができるので検索に用いる肖像を選ぶ必要がない。
【０００９】
また、肖像データは基本的な骨格及びその可動部位のデータが解析されているので、肖像の表情による誤差が生じることはない。
【００１０】
【発明の実施の形態】
登録所１において登録者がその肖像の３方向以上の画像を、インターネットライン６を経由して肖像認証システムネットワーク２の集積サーバ３に送信する。集積サーバ３では画像を３Ｄスキャナーで３次元ポリゴンデータへ変換しフロントサーバ４を経由してデータサーバ５へ記録される。このときのポリゴンデータは１０万ポリゴン程度の容量となる。
【００１１】
登録をすでに行った認証請求者１１はインターネットサイト７を利用する時、その要求に応じてインターネットサイト７は認証請求者１１に対して認証請求を求め、認証請求者１１は肖像認証システムネットワーク２の集積サーバ３にアクセスし、認証請求者１１の画像送信端末より肖像を送信する。フロントサーバ３で肖像検索エンジンが稼動し、データサーバ４にある既登録肖像情報との照会を行い条件合致の場合認証を行う。この認証結果がインターネットサイト７及び認証請求者１１に送信され、認証を受けた者はそのサイトの利用が可能となる。
【００１２】
認証は通常認証請求者１１の１枚の肖像で認証を行うが、セキュリティ向上のため肖像請求者１１の笑顔や泣き顔といった特別な表情のみ認証を受け付けることや、動画による肖像の動態認識、あるキーワードを発生するときの唇の動きの認識、ストリーミング状態でのリアルタイム認識といった制約を掛けることも可能である。
【００１３】
【発明の効果】
上述のように本発明はインターネットサイトにおける様々な取引において利用顧客が複数の登録者となることを阻止でき、また情報漏洩の危険を無くし、アクセスする側、アクセスされる側及び運営する側にとって安全なインターネットサイトの運営を実現する手段を提供するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の登録図式
【図２】同認証図式
【符号の説明】
１  登録所
２  肖像認証システムネットワーク
３  集積サーバ
４  フロントサーバ
５  データサーバ
６  インターネットライン
７  インターネットサイト
８  インターネットサイトの利用
９  認証請求
１０  認証請求
１１  認証請求者
【図１】
2004288127.tif 000002
【図２】
2004288127.tif 000003
(57)【要約】【目的】サイン会に参加できなくてもインターネット上で展開したサイン会を開催することで実際に参加したのと同じような効果を得ることができるシステムを提供する。【構成】サイン会を開催するタレントなどは、タレント自身を紹介する動画や画像、メッセージやプロフィール、サインを書いているところの動画や画像などとサインを書き入れた販売商品を用意、商品の販売店はタレントの動画や画像などをホームページ上に公開し、それを掲載したページ内もしくはページの近くにサイン入り商品が購入できるフォームやショッピングカートを設置してサイン入り商品が購入できるようにする。【選択図】  図１
2004288133.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インターネット上でサイン会を開催するためのシステムを備えたことを特徴とするインターネットサイン会
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はインターネットを利用してサイン会を開催するためのシステムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、サイン会に参加するのには開催地に行かなければならなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術は次のような欠点があった。
（イ）サイン会に参加するのには開催地に行かなければならず、開催地から遠方の場合は参加するのがとても難しいか、参加できないことがある。
（ロ）サイン会の開催者側は、サイン会に参加した人にしかタレントなどを売り込むことができない。
（ハ）サイン会の開催者と参加者たちは時間に拘束されてしまう。
本発明はこれらの欠点を解決するためになされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
サイン会を開催するタレントなどは、タレント自身を紹介する動画や画像、メッセージやプロフィール、サインを書いているところの動画や画像などとサインを書き入れた販売商品を用意、商品の販売店はタレントの動画や画像などをホームページ上に公開し、それを掲載したページ内もしくはページの近くにサイン入り商品が購入できるフォームやショッピングカートを設置する。
【０００５】
【作用】
商品の販売店はタレントなどの動画や画像などをホームページ上に公開してサイン入り商品を購入できるようにフォームやショッピングカートを設置する。参加者は公開されたホームページの動画や画像などを見てタレントのことを知り、そのタレントのサイン入り商品の購入を希望する場合設置されているフォームやショッピングカートを利用して注文を販売店に送信する。注文を受けた販売店は決算が済みしだいサイン入り商品を発注者に送って納品する。
【０００６】
【発明の実施の形態】
（イ）サイン会を開催するタレントなどは、タレント自身を紹介する動画や画像、メッセージやプロフィール、サインを書いているところの動画や画像などとサインを書き入れた販売商品を用意する。
（ロ）商品の販売店はタレントの動画や画像などをホームページ上に公開し、そのページ内もしくはページの近くにサイン入り商品が購入できるフォームやショッピングカートを設置する。
（ハ）参加者は公開されたホームページの動画や画像などを見てタレントのことを知り、そのタレントのサイン入り商品の購入を希望する場合設置されているフォームやショッピングカートを利用して注文を販売店に送信する。
（ニ）注文を受けた販売店は決算が済みしだいサイン入り商品を発注者に送って納品する。
【０００７】
【発明の効果】
参加者又はユーザーが地方に住んでいるため遠くて実際に開催されるサイン会に参加できない場合、インターネットサイン会によって公開された動画や画像を見ることで少しでもタレントをよく知る機会をもつことができる効果がある。タレントの動画や画像などをホームページに公開することはより多くの人に見てもらうチャンスであり、タレントをよく知ってもらうことができる。なおかつサイン入りの商品を購入することができる。
また、実際にサイン会を開催する場合のサイン会は開催回数がスケジュールなどの都合で限定されてしまうが、インターネットサイン会ではタレントの動画や画像などはサイン会の開催者と販売店の希望する期間中公開していられるため、その間タレントを宣伝し続けることができる。もし公開期間中やそれ以降でもサイン入り商品を用意できるのであればサイン入り商品の販売もできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のシステム図である。
【図１】
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(57)【要約】【課題】遠隔地に居住する人達や、足腰が不自由になった老人達が簡単で楽に、また、高額な交通費の出費や天候・気温を気にすることなく「墓参」ができるようにした、「お墓」をライブ中継して提供するビジネス方法。【解決手段】従来、遠隔地に居住している人達の「墓参」は、高額な交通費がかかり経済的にも大変であり、老人においては足・腰が弱ってからは体力的に困難である。また、雨の日や風の日・寒い日には尚更行けないのが実状であった。本発明は、以上のような欠点を失くするためになされたものである。【選択図】  図１
2004288131.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遠く離れた場所にある「お墓」（１）を、既存の有線タイプカメラ（２）や無線タイプカメラ（３）と、電話回線やＬＡＮ・ＣＡＴＶ・専用回線・無線・インターネット等の既存の各種通信網（５）を利用して、パソコンや携帯電話機・モニター装置等の端末装置（６）に動画情報や静止画像をモニタリングして映しだし、遠隔地に居ながらリアルタイムに「墓参」を可能とする「お墓」をライブ中継して提供するビジネス方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、既存のＩＴ技術を利用してリアルタイムに「お墓」をライブ中継して提供し、遠隔地に居ながら「墓参」を可能とするビジネス方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、遠隔地に居住している人達の「墓参」は、高額な交通費がかかり費用の面からも頻繁には行えない。また、老人においては足・腰が弱り体力的に一人での「墓参」は困難な場合が多いのが現状である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来、遠隔地に居住している人達の「墓参」は、高額な交通費がかかり経済的にも大変であり、老人においては足・腰が弱ってからは体力的に困難である。また、雨の日や風の日・寒い日には尚更行けないのが実状であった。本発明は、以上のような欠点を失くするためになされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
自宅等に設置するパソコンや携帯電話機・モニター装置等の端末装置（６）のスイッチを入れるだけで、電話回線・ＬＡＮ・ＣＡＴＶ・無線回線・専用回線・インターネット等の既存の各種通信網（５）を利用し、「お墓」（１）の前および「墓地」や「納骨堂の中」等墓の所在地（４）の近くに設置する有線タイプカメラ（２）や無線タイプカメラ（３）へ自動的に接続され、パソコンや携帯電話機・モニター装置等の端末装置（６）からの遠隔制御等により、現時点のお墓（１）の状況をリアルタイムにパソコンや携帯電話機・モニター装置等の端末装置（６）に映し出す。
本発明は、以上の構成よりなる「お墓」をライブ中継して提供するビジネス方法である。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
一端である「お墓」（１）や「墓地」「納骨堂の中」等墓の所在地（４）に、有線タイプカメラ（２）や無線タイプカメラ（３）を随意設置する。もう一端である自宅等にパソコンや携帯電話機・モニター装置等の端末装置（６）を設置し、両端を電話回線・ＬＡＮ・ＣＡＴＶ・無線回線・専用回線・インターネット等の既存する各種通信網（５）に接続し、パソコンや携帯電話機・モニター装置等の端末装置（６）のスイッチを入れるだけで「お墓」（１）や墓の所在地（４）の近くに設置する有線タイプカメラ（２）や無線タイプカメラ（３）に自動的に接続され、パソコンや携帯電話機・モニター装置等の端末装置（６）で遠隔制御等により現時点の墓の状況をモニタリングして動画情報や静止画像を端末装置（６）にリアルタイムに映し出す。
【組み立て方】
▲１▼一端である「お墓」（１）や墓の所在地（４）の一部分に、墓に向かい合うようにポールや建物等の一部に有線タイプカメラ（２）や無線タイプカメラ（３）を設置し、そのカメラ（２）や（３）を電話回線・ＬＡＮ・ＣＡＴＶ・無線回線・専用回線・インターネット等の既存の各種通信網（５）に接続する。
▲２▼もう一端である自宅等に設置するパソコン・モニター装置・携帯電話等である端末装置（６）を、▲１▼同様に既存の各種通信網（５）に接続する。
本説明は、以上のような構造でこれを使用するときは、パソコンや携帯電話機・モニター装置等の端末装置（６）のスイッチを入れ、電話回線・ＬＡＮ・ＣＡＴＶ・無線回線・専用回線・インターネット等既存の各種通信網（５）を介し、有線タイプカメラ（２）や無線タイプカメラ（３）を遠隔制御等でモニタリングして、パソコンや携帯電話機・モニター装置等の端末装置（６）に映しだし、映像を通してリアルタイムに「墓参」ができるようにしたものである。
そうすることにより、雨の日や風の日・寒い日でも遠隔地や自宅に居ながらいつでも自由な時に、映像をとおしてリアルタイムに「墓参」ができる。
特に、他県等遠隔地に居住している人達や、足腰が不自由になった老人達の「墓参」に貢献できる。
【０００６】
【発明の効果】
本発明方法を利用することにより、遠隔地や自宅に居ながら「墓参」を簡単に行うことができるため、遠隔地居住者は高額な交通費の出費が不要であり、足腰が不自由になった老人達は毎日楽に「墓参」することができる。
また、天候や気温に左右されることなく、自宅等にいながら「墓参」できることが便利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法の構成図である。
【符号の説明】
１  お墓                        ４  お墓の所在地
２  有線タイプカメラ            ５  各種通信網
３  無線タイプカメラ            ６  端末装置
【図１】
2004288131.tif 000003
(57)【要約】      （修正有）【課題】従来は、シンポジュウムや講習会に参加するために開催地に赴く必要があり、海外で開催される場合には特に開催日を含め前後に時間的に余裕が無ければ参加出来ない事が多く、時間と費用が掛かり受講意欲が削がれる事がありました。また専門的な技術を学ぶ機会に恵まれず都市と地方で技術格差や新技術に対する知識の入手が困難な事も問題とされてきました。【解決手段】上記課題を解消する為に、この発明は、遠隔地で開催されるシンポジュウムや講習会が開催時刻と同時にインターネットを通じ利用者が視聴出来、また詳しく説明された技術内容のデジタル画像を利用者が好きな時間に学ぶ事を容易にする手段を有することを特徴とする動画配信システムを設ける。【選択図】図１
2004288137.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インターネットを利用しシンポジュウム及び講習会の内容が開催時刻と同時に見られる手段と、そのシンポジュウム及び講習会内容のデジタル映像をメディアライブラリーとして取り揃え利用者が何時でも学べるシステムを料金制で行う特徴を有するシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
この発明は、遠隔地で開催されるシンポジュウムや講習会が開催時刻と同時にインターネットを通じ利用者が視聴出来、また詳しく説明された技術内容のデジタル画像を利用者が好きな時間に視聴する事で学ぶ事が動画配信技術により料金制で出来るシステムである。
【０００２】
【従来の技術】
従来は、シンポジュウムや講習会に参加するために開催地に赴く必要があり、開催される場所によっては開催日の前後に移動の為の時間が必要となり、海外で開催される場合には特に開催日を含め前後に時間的に余裕が無ければ参加出来ない事が多く、時間と費用が掛かり参加及び受講意欲が削がれる事がありました。また専門的な技術を学ぶ機会に恵まれず都市と地方で技術格差や新技術に対する知識の入手が困難な事も問題とされてきました。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の直接参加によるシンポジュウム及び講習会では開催日を含め前後に時間的に余裕が無ければ参加出来ない事が多く、時間と費用が掛かり過ぎる事から若年層や勤務者には専門的な技術を学ぶ機会に恵まれず特に都市と地方で技術格差や新技術に対する知識の入手が困難な事が発生していた。本発明はインターネットで視聴できる為、直接参加型よりも会費のみの低料金でこの課題を解消する事を目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決する為の手段】
上記の課題を解消する為、本発明により利用者は、先ずパーソナルコンピューターにマルチメディア再生ソフトウエアーを備え、ブロードバンド回線に接続を行いシンポジュウム及び講習会運営サイトに接続し正式に登録を行います。正式登録を済ませた後、各利用者の視聴したいシンポジュウム及び講習会を月会費と視聴したシンポジュウム及び講習会やデジタル画像によるメディアライブラリーの費用のみで利用できるシステムである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態を説明する。
（イ）．利用者は、視聴に必要なマルチメディア再生ソフトウエアーをパーソナルコンピューターに備えた後、でブロードバンド回線を使いシンポジュウム及び講習会運営サイトに接続し自分のメールアドレスとパスワードを入力。その後に住所など個人情報とクレジットカード番号を入力し、正式に登録を行います。
（ロ）．正式登録が済み次第与えられた個人番号とパスワードを使用し動画配信により視聴可能となります。
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。
図１はインターネットを使い利用者が遠隔地で開催されるシンポジュウム及び講習会を動画配信による視聴を行うやり取りと動画配信でメディアライブラリーによる独習の方法を示す。
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば遠隔地で開催されるシンポジュウムや講習会が開催時刻と同時にインターネットを通じ利用者が視聴出来、また詳しく説明された技術内容のデジタル画像を利用者が好きな時間に専門的な技術を学ぶ機会に恵まれる事で都市と地方での技術格差や新技術に対する知識の入手が困難な事も問題とされて来た事に低料金制で容易に解消出来るシステムである。
【図面の簡単な説明】
【図１】利用者がインターネットを使い遠隔地で開催されるシンポジュウム及び講習会を動画配信により視聴を行うやり取りとメディアライブラリーによる独習の方法のやり取りを示すフローチャートである。
【図１】
2004288137.tif 000003
(57)【要約】【課題】より自然な姿勢で操作することができ、腕や指に負担のかからない方法で入力することができるカーソル移動装置を考える。【解決手段】直径、約７０ｍｍ前後を有するボール型の中に計測機構を備え、デスク上から離れ片手に掴んだまま手首を動かすだけで簡単にカーソル操作を行い入力することができる。また、ボール型の半球形の内側に備えられた、停止用計測機構、低速用計測機構、高速用計測機構の上を小形ボールが移動することによりカーソル操作を行うことができる。【選択図】      図１
2004288136.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直径、約７０ｍｍ前後を有するボール型の中に計測機構を備え、デスク上から離れ片手に掴んだまま入力をすることができることを特徴とするボール型カーソル移動装置。
【請求項２】
ボール型の半球形の内側に備えられた、停止用計測機構と低速用計測機構と高速用計測機構の上を小形ボールが移動することによりカーソル操作を行う事ができる請求項１記載のボール型カーソル移動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パソコン画面上でカーソルを操作するための、カーソル移動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術は、デスク上に置いて操作するものであった（例えば、特許文献１参照。）。以下、図１により従来の技術について述べると、スティックを設けており、平らなデスク上に置かなければならなかった。このため、やや大きくて場所を取ってしまう。
【特許文献１】特開２００２−２８７８９２号公報（第９頁、図１）
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
より自然な姿勢で操作することができ、腕や指に負担のかからない方法で入力することができるカーソル移動装置を考える。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明のボール型カーソル移動装置は、直径約７０ｍｍ前後を有するボール型の中に計測機構を備え、デスク上から離れ腕を下に延ばした状態で、片手に掴んだまま入力をすることができる。このため、より自然な姿勢で操作することができ、腕や指に負担をかけずに入力することができる。
【０００５】
本発明は、ボール型の半球形の内側に計測機構が備えられ、その上を小形ボールが移動する。これにより、手首を動かすだけで簡単にカーソル操作を行い入力することができる。また、計測機構は半球形の下側に停止用計測機構があり、中間に低速用計測機構を設け、上側に高速用計測機構を用いることでより利便性を持たせてある。
【０００６】
本発明のボール型カーソル移動装置は、ボール型の下端に、パソコン画面のスクロール用ホイールが備えられた構造とすることを好適としている。
【０００７】
また、本発明は、右利きの人と左利きの人がそれぞれ持ちやすい場所に、第一ボタンスイッチと第二ボタンスイッチと第三ボタンスイッチと配置されており、使用する人により自然な姿勢で操作することが可能となっていることを特徴としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１と図２と図３は、本発明のボール型カーソル移動装置の好適な実施の形態を示しており、図１は右利きの人がボール型カーソル移動装置を手に掴んだままの使用状態を表し、図２は上から見た平面図であり、図３は図２Ａの側面断面図である。以下に、このボール型カーソル移動装置を説明する。
【０００９】
ボール型操作部１０は、手で掴みやすい大きさに、直径約６０ｍｍ前後と約７０ｍｍ前後と約８０ｍｍ前後と三種類の大きさを用意するとよい。
【００１０】
図１が示すように、ボール型操作部１０を右手で掴むと、親指に第一ボタンスイッチ１が設けられ、中指と薬指に第二ボタンスイッチ２が設けられている。ボール型操作部１０を左手で掴むと親指に第一ボタンスイッチ１が、中指と薬指に第三ボタンスイッチ３が設けられている。ボール型操作部１０の下端にパソコン画面のスクロール用ホイール４が備えられている。
【００１１】
図３は、本発明の最も重大なもので、カーソル移動装置をデスク上から離れて操作することができるようにした計測機構のひとつである。ボール型操作部１０の内部に小形ボール５が移動できる空間９があり、小形ボール５は停止用計測機構６と低速用計測機構７と高速用計測機構８の上を転がることにより、カーソルの位置を決めることができる。
【００１２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のボール型カーソル移動装置を使用することにより、デスク上から離れ片手に掴んだまま腕を下に延ばした状態で、より自然な姿勢で操作することができる。また、手首を動かすだけで簡単にカーソル操作を行い入力することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のボール型カーソル移動装置の使用状態説明図である。
【図２】本発明のボール型カーソル移動装置の上から見た平面図である。
【図３】本発明のボール型カーソル移動装置の側面断面図である。
【符号の説明】
１      第一ボタンスイッチ
２      第二ボタンスイッチ
３      第三ボタンスイッチ
４      スクロール用ホイール
５      小形ボール
６      停止用計測機構
７      低速用計測機構
８      高速用計測機構
９      空間
１０    ボール型操作部
【図１】
2004288136.tif 000003
【図２】
2004288136.tif 000004
【図３】
2004288136.tif 000005
(57)【要約】【課題】石英ルツボの内面に透明層を形成する技術であって、シリコン単結晶の単結晶歩留まりを向上させる石英ルツボを安価につくる。【解決手段】石英ルツボ熔融時に最初に石英粉の内表面を焼結し、嵩比重が１．７から１．８にする。次に熔融温度を急激に上昇させることで石英ルツボの内面に透明層を作る。また、嵩比重を１．７から１．８にするときにアルゴンガスを流すと焼結層の厚みが厚くなり、透明層も厚くすることが出来る。また急激に温度を上げるときに水素ガスを流すことで透明層中の気泡を小さくし、膨張しないようにすることが出来る。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
石英ルツボ熔融時に最初表面を焼結し、嵩比重が１．７から１．８になったときに、熔融温度を急激に上昇させることを特徴とする石英ルツボの内面に透明層を作る方法。
【請求項２】
上記製造方法において、嵩比重を１．７から１．８にするときにアルゴンガスを流し、急激に温度を上げるときに水素ガスを流すことを特徴とする石英ルツボの内面に透明層を作る方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はシリコン単結晶引き上げに使用する石英ルツボに関するものであり、さらに詳しくは単結晶歩留まりが良い高品質の石英ルツボの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
石英ルツボはシリコン融液と接触する唯一の部材としてシリコン単結晶の歩留まりや品質を決定する重要な部材である。石英ルツボは単結晶育成技術の進歩によって、それに対応した特性を持つことが要求される。シリコン単結晶育成技術において、常圧引上げから減圧引上げに移行した時代には、単結晶歩留まりを向上させるために石英ルツボ内面に透明層をもったルツボが登場した。
【０００３】米国特許４４１６６８０号および４６３２６８６号には減圧法と呼ばれる方法が開示されている。この方法はモールドの外側よりポンプで吸引し、脱ガスを行いながら熔融する。これにより石英ルツボ内面には厚い透明層が形成される。このルツボを使用することにより、減圧炉におけるシリコン単結晶引き上げ時に石英ルツボ内表面の気泡が破裂してシリコン融液中にガラス片が混入し、シリコン単結晶インゴットに付着したときに多結晶化することを抑えることが出来る。また透明層は比表面積が小さいため失透しにくい。このことはクリストバライトが剥離して単結晶端に付着してポリ化するのを妨げることになる。
【０００４】また特開平１−１４８７１８には、熔融中に原料シリカを上部より投入し、透明層を形成する方法が示されている。これは従来酸水素炎により透明石英ガラスをつくる、いわゆるベルヌーイ法と同じ原理である。すなわちターゲットと呼ばれる石英ガラス表面の粘度を下げ、その表面に石英粒子を分散させ熔融することにより脱ガスを行いながら気泡のない石英ガラスを製造するものである。この二種類の方法が石英ルツボの内面に透明層をつける方法として産業界に利用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者は従来と異なる方法で石英ルツボの内面に透明層を作ることを試み成功したものである。減圧法は減圧する装置と穴の開いたモールドを必要とするため、設備コストが高くつく。また、減圧は表面が一皮熔融した時点で利き始めるため、最初の表面層に気泡が残りやすい。このため熔融温度を制御して表面に気泡が残らない温度条件で行う必要がある。
【０００６】一方、原料を上部より投入する方法は投入装置も必要であるが、原料砂を投入したときにシリカのベーパーが大量に発生し、そのベーパーがモールド内に落下して歩留まりを低下させていた。
【０００７】本発明者はこのような現状を鑑み、安価な、高品質の石英ルツボの内面に透明層を形成する方法を検討した結果、石英ガラス粉を内面から熔融する時に、充分に焼結させることで開口気孔を保持したまま緻密化し、さらに温度を上げることで透明層が出来ることを発見して、本発明を完成させたものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明はシリコン単結晶歩留まりを向上させるため、石英ルツボの内面に透明層を作る方法において、石英ルツボ熔融時に最初表面を焼結し、嵩比重が１．７から１．８にした後、熔融温度を急激に上昇させ、透明層をつくるものである。表面層の原料は通常１．３〜１．４の嵩比重になっている。温度をかけると徐々に原料シリカ粒子は焼結し始め、嵩比重が高くなる。嵩比重が１．７未満の場合、粒子と粒子の間の隙間がまだ大きく、温度を上げて熔融したときに気泡が残ってしまう。また１．８を越えると粒子と粒子の隙間が閉孔気孔となり、ガスが抜けないために気泡が残る。気泡が残らない嵩比重はガス抜けの連続気孔が残っており、その隙間が小さくなる１．７から１．８の間に制御する必要がある。このときアルゴンガスによって、雰囲気の熱伝度を大きくすると焼結層の厚みが厚くなり、透明層を厚く作ることが出来る。アルゴンガスを大量に入れるとアーク電極より飛散した黒鉛粉が酸化しないため、４０ｌ／ｍｉｎ程度の流量が望ましい。その後、嵩比重１．７から１．８になった内面層を急激に温度を上げ透明層をつくるのだが、このときに水素を含む雰囲気にするとアルゴンや他のガスが水素によって置換され、気泡を小さくし、消滅させることが出来る。またシリコン単結晶育成中に膨張しにくくなる。
【０００９】この原理は米国特許４４１６６８０号および４６３２６８６号の減圧法や特開平１−１４８７１８の原料粉を投入する方法と同じで、脱ガスを行って、透明層とするものである。本発明の方法は別に高価なモールドを使用すること無しに、歩留まりを落とすこと無しに出来るため、コスト的な優位性が得られる。
【００１０】
【実施例】次に実施例について詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１１】実施例１回転する内径５７４ｍｍφのモールドに米国ユニミン社ＩＯＴＡ−４を２６ｋｇ投入し、２．５インチ黒鉛電極に８０〜９０Ｖの電圧を印加し、２２００〜２８００Ａの電流を流した。３分後、アルゴンガス４０Ｌ／ＭＩＮをモールド内に流した。熔融を始めて５分後、アルゴンガスを水素に替え、４０Ｌ／ＭＩＮの流量を流し、電流を３２００Ａまで上げた。１５分後全体が熔融したところでアークを終了しルツボを取り出した。石英ルツボの内面には０．５から０．９ｍｍの厚さで透明層が形成されていた。この石英ルツボを既知の方法で仕上げ、引上げ機に設置し、ポリシリコン１００ｋｇを投入し、シリコン単結晶を引上げた。５０時間で予定したインゴット長が得られた。単結晶化率は１００％であった。
【００１２】
【発明の効果】
以上の説明により、石英ルツボ。
以上詳しく説明した通り、この発明によって、シリコン単結晶引き上げに用いる石英ルツボの内面に透明層を作る技術として有用であって、シリコン単結晶の単結晶歩留まりを向上させる石英ルツボを安価に製造することができる。
(57)【要約】【課題】均質な炭窒化硼素材料を高収率で製造すること。【解決手段】液体状のアクリロニトリルに三塩化硼素を反応させて付加物とし、該付加物をさらに三塩化硼素の雰囲気下で重合させて重合物とした後、不活性ガスの雰囲気中、５００℃以上３０００℃以下の温度で熱処理することを特徴とする炭窒化硼素材料の製造方法。【選択図】  図１
2004292243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体状のアクリロニトリルに三塩化硼素を反応させて付加物とし、該付加物をさらに三塩化硼素の雰囲気下で重合させて重合物とした後、不活性ガスの雰囲気中、５００℃以上３０００℃以下の温度で熱処理することを特徴とする炭窒化硼素材料の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、炭窒化硼素材料の製造方法に関するものである。製造された炭窒化硼素材料は、例えば、耐熱性材料及び高硬度物質の原料として用いることができる。
【０００２】
【従来の技術】
炭素、窒素及び硼素からなる炭窒化硼素材料の製造方法として、高温の気相状態でアリロニトリルと三塩化硼素とを反応させる方法（特許文献１及び非特許文献１）が知られている。しかし、この製造方法は、気相合成法（熱ＣＶＤ法）であるため、生産性が低く、炭窒化硼素材料の大量合成法としては不向きであった。
【０００３】
【特許文献１】
特開平８−２４５２０６号公報
【非特許文献１】
Ｊ．  Ｃｈｅｍ．  Ｓｏｃ．，  Ｃｈｅｍ．  Ｃｏｍｍｕｎ．  １９９３，  １４，  １１３３−４．
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の事情に鑑み、炭窒化硼素材料を生産性よく高収率で製造する方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記の目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、液相のアクリロニトリルと三塩化硼素とを反応させることによって上記目的を達成することを見出し、この知見に基づいて本発明を完成させるに至った。
すなわち、本発明は、液体状のアクリロニトリルに三塩化硼素を反応させて付加物とし、該付加物をさらに三塩化硼素の雰囲気下で重合させて重合物とした後、不活性ガスの雰囲気中、５００℃以上３０００℃以下の温度で熱処理することを特徴とする炭窒化硼素材料の製造方法である。
【０００６】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明は、３つ段階を経由する。この段階は、連続的又は間欠的に行われる。第一段階では、アクリロニトリルの液体に三塩化硼素を反応させて付加物とする。液体状のアクリロニトリルをそのまま、又は三塩化硼素に不活性な溶媒にアクリロニトリルを溶解して用いることができる。アクリルニトリル濃度は１０〜１００重量％が好ましい。三塩化硼素は、通常、気体状態で反応容器に供給する。付加物の形成反応は、通常、室温で開始される。
【０００７】
アクリロニトリルと三塩化硼素の付加物は、ニトリル基に三塩化硼素が付加することによって製造される。純粋な付加物は、アクリロニトリルと三塩化硼素がモル比で１：１の組成を有する無色の固体であるが、反応過程では未反応のアクリロニトリルも含まれている。反応過程の付加物は、付加の際の反応熱によって液体の状態であるが、三塩化硼素の反応が飽和に近づくと付加物が析出してくる。
【０００８】
第二段階では、飽和状態にある付加物を三塩化硼素の雰囲気下で重合させる。付加物は、直接、又は反応系から付加物を一旦取り出して、重合反応に供することができる。重合は、付加物に存在する炭素間二重結合に三塩化硼素が付加することによって開始するものと考えられる。この時、少量の酸素が存在すると重合が促進される。重合開始剤は、特に必要としないが、所望であれば、重合開始剤として適当なラジカル重合開始剤を添加することができる。重合熱によって反応系の温度が１００℃程度まで上昇するので、通常は、この反応熱により重合が進行する。勿論、所望により、外部加熱を行うこともできる。付加物は、黄色から赤色の液体に変わり、さらに重合が進んで赤褐色の粘調な重合物が形成される。重合時間は、通常、１〜６０分である。
【０００９】
第三段階では、重合物を不活性な雰囲気中で５００℃以上３０００℃以下の温度で熱処理することによって多孔質の炭化物を得る。５００℃では、炭化物はまだ揮発性成分を含んでいる場合があるので、１０００℃以上で熱処理を行うことが好ましい。上限は、炭化物が分解する３０００℃以下である。熱処理温度が１５００℃の時、本発明によってアクリロニトリルから炭窒化硼素材料が６０％以上の収率で得られる。
得られた炭窒化硼素材料に爆薬を用いた衝撃圧縮処理を行うことによって高硬度物質であるＢ−Ｃ−Ｎ系ヘテロダイヤモンドが得られる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に、実施例により、本発明を具体的に説明する。
【００１１】
【実施例１】
アクリロニトリルの液体１００ｇを二口フラスコに入れ、室温に置き、三塩化硼素の気体を供給しながら、アクリロニトリルと三塩化硼素のモル比１：１の付加物が固体として析出するまで反応させた。
さらに三塩化硼素を供給し、付加物の重合を開始させた。重合熱によって反応系は約１００℃まで上昇し、赤色の液体に変化し、しだいに赤褐色の粘調な重合物に変わった。この時点で三塩化硼素の供給をとめ、窒素気流中、５００℃で１時間熱処理し、約１２０ｇのポーラスな黒色の固形物を得た。この固形物を、窒素気流中１０００℃で１時間熱処理し、約８０ｇの炭化物を得、さらに、これを窒素気流中１５００℃で２時間処理して約６８ｇの炭化物を得た。
【００１２】
１５００℃処理で得られた炭化物を元素分析した結果、元素組成はおおよそＢＣ３Ｎで表された。サンプリングによる元素組成のばらつきは殆どみられなかった。図１に示すように、赤外吸収スペクトルは、１４００ｃｍ−１付近においてＢ−Ｎ結合による強い吸収と、１５６０ｃｍ−１付近においてＣ＝Ｎ結合による中程度の吸収を示した。
【００１３】
【実施例２】
アクリロニトリルを反応容器に入れ、マイナス２０℃に冷却し、つづいて三塩化硼素の気体を供給して、アクリロニトリルと三塩化硼素のモル比１：１の付加物である無色の固体を作成した。
この付加物を三塩化硼素の雰囲気中で８０℃以上に加熱し、重合を開始させた。この時、少量の空気を入れて重合を促進させた。反応熱によって付加物は液体になり、しだいに、赤褐色の粘調な重合物に変わった。この時点で三塩化硼素の供給をとめ、窒素気流中約５００℃で１時間熱処理し、ポーラスな黒色の固形物を得た。この固形物を実施例１と同様に熱処理することによって炭化物を実施例１と同様な収率で得た。１５００℃処理で得られた炭化物の元素組成と赤外吸収スペクトルは実施例１と同様であった。
【００１４】
【発明の効果】
本発明の製造方法によって、均質な炭窒化硼素材料を高収率で製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１で得られた炭窒化硼素材料の赤外吸収スペクトル。
【図１】
2004292243.tif 000003
(57)【要約】【課題】イオンビームの電流密度を上げることなく、成膜スピードの向上を可能とする。【解決手段】ターゲット２１にイオンビーム１７を照射し、ターゲット２１から飛び出した粒子によって基板１４上に成膜を行うイオンビームスパッタ装置において、ターゲット２１のスパッタリングされる表面２１ａの形状を凹面形状とする。飛散した粒子の分布範囲２２は従来の表面が平面とされたターゲットに比し、集束するため、飛散粒子を有効に基板１４に付着させることができる。【選択図】      図１
2004292871.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターゲットにイオンビームを照射し、ターゲットから飛び出した粒子によって基板上に成膜を行うイオンビームスパッタ装置において、
上記ターゲットのスパッタリングされる表面の形状が凹面形状とされていることを特徴とするイオンビームスパッタ装置。
【請求項２】
請求項１記載のイオンビームスパッタ装置において、
上記凹面形状は曲率一定の球面によって構成されていることを特徴とするイオンビームスパッタ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は基板上に所望の膜を成膜形成するために使用する成膜用イオンビームスパッタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２はこの種のイオンビームスパッタ装置の従来構成例を模式的に示したものであり、真空槽１１にはその壁面を貫通してイオンガン１２が取り付けられている。真空槽１１内には成膜物質からなるターゲット１３と、成膜が行われる基板１４とが配置されており、この例では２枚のターゲット１３が水冷ジャケット１５の両面に配置されたバッキングプレート１６上にそれぞれ取り付けられている。
イオンガン１２から出射されたイオンビーム１７はターゲット１３に照射され、ターゲット１３をスパッタリングする。この時、ターゲット１３から飛び出した（スパッタリングされた）粒子は真空槽１１内に飛散し、基板１４上に付着する。これにより、基板１４上に成膜が行われる。
なお、成膜粒子の飛散方向を基板１４に向けるために、ターゲット１３の表面がなす平面に対し、イオンビーム１７は垂直よりある程度角度を付けて照射される。図２中、１８は飛散粒子の分布範囲をイメージとして示す。
【０００３】
上記のようなイオンビームスパッタ装置において、成膜スピードを上げようとする場合、イオンビーム１７の電流密度を上げる必要があり、単にイオンガンのビーム電流を上げるか、もしくはイオンガングリッドの形状を変えてイオンビームの電流密度を局所的に上げるといったことが従来行われている。
また、成膜スピードを上げる（成膜レートを高める）ために、複数のターゲットを配置するといった方法も提案されている（例えば、特許文献１参照）。
なお、ターゲット表面を平面ではなく、凹面形状とした構成が特許文献２に記載されている。
【０００４】
【特許文献１】
特表２００２−５２９６００号公報
【特許文献２】
特開平８−３２５７１９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来においては成膜スピードを上げるために、例えばイオンビームの電流密度を上げるといったことが行われているものの、このような方法はある面では効率的とは言えないものとなっていた。
即ち、図２に示したような分布範囲１８で飛散粒子が分布するため、飛散した粒子の一部しか成膜に利用しておらず、イオンビームの電流密度を上げても多くの飛散粒子は成膜に利用されず、無駄となる。
【０００６】
この発明の目的はこの点に鑑み、飛散粒子を有効に利用できるものとし、例えばイオンビームの電流密度を上げることなく、またターゲットを複数配置するといった構造の複雑化を招くような方法を採用することなく、簡易に成膜スピードの向上を図ることができるようにしたイオンビームスパッタ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明によれば、ターゲットにイオンビームを照射し、ターゲットから飛び出した粒子によって基板上に成膜を行うイオンビームスパッタ装置において、ターゲットのスパッタリングされる表面の形状が凹面形状とされる。
請求項２の発明では請求項１の発明において、上記凹面形状が曲率一定の球面によって構成される。
【０００８】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を図面を参照して実施例により説明する。
図１（ａ）はこの発明によるイオンビームスパッタ装置の一実施例を模式的に示したものであり、図２と対応する部分には同一符号を付してある。
この例では真空槽１１内に配置されるターゲット２１は従来の表面が平面とされたターゲット１３と異なり、スパッタリングされる表面の形状が凹面形状をなすものとされる。
【０００９】
図１（ｂ）はこのような形状とされたターゲット２１の詳細をバッキングプレート１６と共に示したものであり、ターゲット２１の表面２１ａはこの例では曲率一定の球面によって構成された凹面形状とされている。
ターゲット２１の表面形状をこのような凹面形状とすることにより、イオンビーム１７によってスパッタリングされてターゲット２１から飛び出し、飛散した粒子は図１（ａ）に示したように、その分布範囲２２が図２における従来の分布範囲１８より大幅に狭くなる。つまり、基板１４の位置に飛散粒子が集まりやすくなり、よって飛散した粒子を有効に基板１４上に付着させることができ、これにより成膜スピードが大幅に向上するものとなる。
なお、表面が凹面形状とされたターゲットは前記したように特許文献２に記載されているものの、この特許文献２はマグネトロンスパッタ装置に関するものであって、磁場によるターゲットのスパッタリングの分布（非エロージョン領域の形成）が起こすコンタミネーションの回避のためにターゲットの中心部の厚さを周縁部に比べ薄くしているものである。
【００１０】
また、マグネトロンスパッタ装置は真空度が１０−２〜１０−３Ｔｏｒｒで成膜を行うので平均自由行程（５ｍｍ〜５０ｃｍ程度）が短く、飛散粒子が基板に直進しないので、上記の形状としても成膜スピードの向上を望むことはできない。
これに対し、イオンビームスパッタ装置は、１０−５〜１０−６Ｔｏｒｒの真空度で成膜を行うので平均自由行程（５ｍ程度）が長く、飛散粒子が直進する。
従って、イオンビームスパッタ装置において、ターゲットの表面形状を凹面形状とすることは特許文献２からは想到しえない成膜スピードの向上という格別の効果を得ることができる。
【００１１】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によればターゲットから飛散した粒子を有効に利用することができ、よってイオンビームの電流密度を上げることなく、つまりイオンビームの電流密度は一定のままで、成膜スピードの向上を簡易に図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）はこの発明によるイオンビームスパッタ装置の一実施例を示す模式図、（ｂ）はその真空槽内に配置されるターゲットの形状を説明するための図。
【図２】従来のイオンビームスパッタ装置の構成を示す模式図。
【図１】
2004292871.tif 000003
【図２】
2004292871.tif 000004
(57)【要約】【課題】環境負荷が小さく、取り扱いが容易な低反射材料の作製方法を提供する。【解決手段】銅から形成された材料または銅を表面に被覆した材料を水酸化ナトリウム水溶液中で陽極酸化し、二価の酸化銅の皮膜を成膜する。【選択図】          図１
2004292898.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅から形成された材料または銅を表面に被覆した材料を水酸化ナトリウム水溶液中で陽極酸化し、二価の酸化銅の皮膜を成膜することを特徴とする低反射材料の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この出願の発明は、低反射材料の作製方法に関するものである。さらに詳しくは、この出願の発明は、環境負荷が小さく、取り扱いが容易な低反射材料の作製方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術とその課題】
光学機器等において可視光の反射を抑制するために、黒クロムメッキをはじめとする低反射化技術が用いられてきている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、上記低反射化技術では、有毒で環境汚染のおそれの大きいクロムを用いること、メッキ処理工程が複雑である等の多くの問題点を抱えている。
【０００４】
そこで、この出願の発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、環境負荷が小さく、取り扱いが容易な低反射材料の作製方法を提供することを解決すべき課題としている。
【０００５】
【特許文献１】
特開昭５９−８６０５９号公報
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この出願の発明は、上記の課題を解決するものとして、銅から形成された材料または銅を表面に被覆した材料を水酸化ナトリウム水溶液中で陽極酸化し、二価の酸化銅の皮膜を成膜することを特徴とする低反射材料の作製方法（請求項１）を提供する。
【０００７】
以下、実施例を示し、この出願の発明の低反射材料の作製方法についてさらに詳しく説明する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
この出願の発明者らは、環境負荷が小さく、取り扱いが容易な酸化銅に着目し、水酸化ナトリウム水溶液中で金属銅を陽極酸化させ、金属銅表面に酸化銅皮膜の形成を試みた。その結果、二価の酸化銅（ＣｕＯ）の皮膜が成膜した金属銅の反射率は、従来の低反射の反射率と比較して１桁以上低い０．０５％以下の反射率を示した。この事実より、従来と比較してきわめて低い反射率を有する材料が簡便に作製されることが確認された。
【０００９】
得られた二価の酸化銅の皮膜は、黒色を呈する上、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による観察から、フレーク状の構造体が基板の法線方向に成長した微細構造を有している。このため、表面に入射した光を効率よく散乱させ、また、吸収することができ、これが、低反射率を示す一因であると考えられる。
【００１０】
上述のような低反射率を示すため、この出願の発明の低反射材料の作製方法は、可視光を利用する光学精密機器全般の内装品の表面処理に適用可能であり、光学特性の格段の高性能化が見込まれる。たとえば、カメラ等の画像記録機器では取得画像の高品質化や高感度化が期待され、分光学的測定システムでは分解能および信頼性の向上が期待される。
【００１１】
また、この出願の発明の低反射材料の作製方法により成膜される二価の酸化銅の皮膜は、上述のとおりの微細構造を有するため、熱の吸収、放出効率がよいと推測され、太陽熱温水器や放熱板、熱交換器等への適用が考えられる。さらに、鮮やかな黒色を呈することから装飾という用途も考えられる。
【００１２】
このように、この出願の低反射材料の作製方法により作製される材料は、低反射材料であることはもちろん、多方面への応用が有望視される。
【００１３】
【実施例】
厚さ１ｍｍ、縦横１０ｍｍの大きさの鏡面研磨した銅板および銅薄膜を表面に形成したステンレス鋼板を、図１に示したように、１Ｍの水酸化ナトリウム水溶液中に配置し、電流密度１．０ｍＡ／ｃｍ２で２５分間陽極酸化した。この後、純水中で超音波洗浄により電解液を除去し、上記銅板およびステンレス鋼板を乾燥した。銅板およびステンレス鋼板の表面は鮮やかな黒色を呈した。ＸＲＤ（Ｘ線回折法）により二価の酸化銅の皮膜が形成されたことが確認された。
【００１４】
光ファイバーおよびレンズを用いてハロゲンランプの光を銅板およびステンレス鋼板の表面に入射角４５°で照射し、反射角４５°で反射スペクトルを測定した。銅板およびステンレス鋼板は、図２の（５）（６）に示したように、可視光全域（４００〜８００ｎｍ）にわたって０．０５％以下の低い反射率を示した。この反射率は、これまでに用いられている低反射処理が施された光学ステージ（図２（３））やカメラ内装部品（図２（４））に比べ、１桁以上低い値である。また、鏡面研磨した銅板（図２（１））およびステンレス鋼板表面に高周波マグネトロンスパッタして成膜した酸化銅膜（図２（２））に比べ、格段に低い。
【００１５】
実施例で得られた二価の酸化銅の皮膜表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。図３はＳＥＭ像であり、フレーク状の構造体が基板の法線方向に成長した組織が確認された。反射率が異なることから実施例で得られた二価の酸化銅の皮膜の構造は、図２（２）に示した酸化銅膜の構造と異なり、水酸化ナトリウム水溶液中での陽極酸化により得られる特有のものであると理解される。
【００１６】
もちろん、この出願の発明は、以上の実施形態および実施例によって限定されるものではない。細部については様々な態様が可能であることはいうまでもない。
【００１７】
【発明の効果】
以上詳しく説明したとおり、この出願の発明によって、環境負荷が小さく、取り扱いが容易な低反射材料の作製方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例において行った処理の概要図である。
【図２】処理後の銅板およびステンレス鋼板の反射スペクトルを他の例と比較して示した図である。
【図３】処理後の銅板およびステンレス鋼板に成膜された二価の酸化銅の皮膜表面の走査型電子顕微鏡像である。
【図１】
2004292898.tif 000003
【図２】
2004292898.tif 000004
【図３】
2004292898.tif 000005