(57)【要約】【課題】一人の作業者でも大型基板を運搬でき、大型基板を基板処理装置へ移載する作業を一人で行うことも可能で、狭い場所を通って大型基板を運ぶこともできる運搬装置を提供する。【解決手段】大型基板１を載置する台板１０と、台板を水平軸回りに、水平位置から９０°以下の角度範囲内で回動可能に支持する一対の支柱１６と、台板を支柱に対し水平位置および所定の傾斜位置で固定する台板固定機構と、台板が水平位置から回動した際に大型基板を台板上に保持する基板保持用突起２２と、一対の支柱にそれぞれ連接し移動用車輪１８が取着された脚部２０とを備えて構成した。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型基板を運搬する運搬装置において、
大型基板を載置する台板と、
この台板を水平軸回りに、水平位置から９０°以下の角度範囲内で回動可能に支持する一対の支柱と、
前記台板を前記支柱に対し、水平位置および所定の傾斜位置で固定する台板固定手段と、
前記台板が水平位置から回動した際に大型基板を台板上に保持する基板保持手段と、
前記一対の支柱にそれぞれ連接し移動用車輪が取着された脚部と、
を備えたことを特徴とする大型基板の運搬装置。
【請求項２】
前記台板の高さ位置を調節する高さ調節手段をさらに備えた請求項１記載の大型基板の運搬装置。
【請求項３】
前記台板上に大型基板が載置された際に大型基板と台板との間に基板搬送機構の基板支持アームが進入する空間が形成されるように、大型基板を支持する支持部材が台板に設けられた請求項１または請求項２記載の大型基板の運搬装置。
【請求項４】
前記台板が、前記一対の支柱に支持された基台部と、この基台部にそれと平行な方向へ摺動可能に支持され大型基板を載置するスライド板部とから構成された請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の大型基板の運搬装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶表示装置（ＬＣＤ）用ガラス基板、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）用ガラス基板等の基板、特に大型の基板を運搬するために使用される大型基板の運搬装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＣＤ用ガラス基板やＰＤＰ用ガラス基板は、年々大型化する傾向にあるが、これらの大型のガラス基板を工場内において１枚ずつ運搬するときには、ガラス基板より大きい板状治具や、タンカ形態の治具、すなわちガラス基板を載置する載置部の両側にそれぞれ一対の取っ手を設けた治具が使用されていた。そして、それらの治具上にガラス基板を載置して、二人の作業者が治具の両側をそれぞれ両手で支え持って運搬するようにしていた。
【０００３】
また、ＬＣＤ用ガラス基板をカセットに出し入れする治具としては、ガラス基板を載置するアーム、このアームを片持ち式に支持する支柱、この支柱を地面に対して支持する足部、地面に対してアームを水平方向に移動するハンドル、および、地面に対してアームを垂直方向に移動するハンドルを備えたガラス基板操作治具がある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−２５５３４２号公報（第３−４頁、図２）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の板状治具やタンカ形態の治具を使用して大型のガラス基板を運搬するためには、少なくとも二人の作業者を必要とする。また、治具上に載置されたガラス基板を、基板の処理が行われる基板処理装置内へ移し替える際には、治具を支え持つ作業者の他に、ガラス基板を治具上から取り上げて基板処理装置へ移載する作業者が必要になる。さらに、従来の治具を用いて大型のガラス基板を運搬するときは、常に治具をほぼ水平姿勢に保たなければならないので、狭い場所を通ってガラス基板を運ぶことは困難であった。
【０００６】
また、特許文献１に開示された構成のガラス基板操作治具は、ガラス基板をカセットに出し入れするための治具であり、これを多少改良しても、大型のガラス基板を運搬する装置としては使用することができない。また、この治具は、ガラス基板を片持ち式に水平姿勢で支持するものであり、狭い場所を通ってガラス基板を運ぶことは困難である。
【０００７】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、一人の作業者であっても大型基板を運搬することができ、大型基板を基板処理装置へ移載する作業を一人で行うことも可能であり、また、狭い場所を通って大型基板を運ぶこともできる大型基板の運搬装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、大型基板を運搬する運搬装置において、大型基板を載置する台板と、この台板を水平軸回りに、水平位置から９０°以下の角度範囲内で回動可能に支持する一対の支柱と、前記台板を前記支柱に対し、水平位置および所定の傾斜位置で固定する台板固定手段と、前記台板が水平位置から回動した際に大型基板を台板上に保持する基板保持手段と、前記一対の支柱にそれぞれ連接し移動用車輪が取着された脚部と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の運搬装置において、前記台板の高さ位置を調節する高さ調節手段をさらに備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２記載の運搬装置において、前記台板上に大型基板が載置された際に大型基板と台板との間に基板搬送機構の基板支持アームが進入する空間が形成されるように、大型基板を支持する支持部材を台板に設けたことを特徴とする。
【００１１】
請求項４に係る発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の運搬装置において、前記台板が、前記一対の支柱に支持された基台部と、この基台部にそれと平行な方向へ摺動可能に支持され大型基板を載置するスライド板部とから構成されたことを特徴とする。
【００１２】
請求項１に係る発明の運搬装置においては、脚部に移動用車輪が取着されているので、台板上に大型基板を載置して、一人の作業者により大型基板を運搬することが可能である。また、台板は、一対の支柱に、水平軸回りに回動可能に支持されているので、台板と共に大型基板を傾斜させることにより、狭い場所を通って大型基板を運ぶことも可能になる。この際、台板固定手段により台板を支柱に対して所定の傾斜位置で固定することができるので、台板が運搬中に回動する恐れが無い。また、台板を水平位置から回動させても、大型基板は基板保持手段によって台板上に保持されるので、台板上から大型基板が脱落する心配が無い。さらに、台板固定手段により台板を支柱に対して水平位置で固定することができるので、作業者一人でも、大型基板を台板上から取り上げて基板処理装置へ移載する作業を行うことが可能である。
【００１３】
請求項２に係る発明の運搬装置では、高さ調節手段によって台板の高さ位置を調節することができるので、台板上に大型基板を載置する作業や、台板上から基板処理装置内へ大型基板を移し替える作業が容易になる。
【００１４】
請求項３に係る発明の運搬装置では、大型基板が台板上に支持部材によって支持され、大型基板と台板との間に空間が形成されるので、基板搬送機構の基板支持アームによって大型基板を台板上に載置したり台板上から大型基板を取り去ったりする際に、基板支持アームが台板や大型基板と干渉することがない。
【００１５】
請求項４に係る発明の運搬装置では、台板を水平姿勢に保った状態で、基台部に対しスライド板部を前方へ摺動させることにより、スライド板部に載置された大型基板を基板処理装置内へ容易に移し替えることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００１７】
図１および図２は、この発明の実施形態の１例を示し、図１は、大型基板の運搬装置の斜視図であり、図２は、その側面図である。この運搬装置は、ＬＣＤ用ガラス基板等の大型基板１を載置する台板１０、および、台板１０を回動可能に支持する左右一対の支持枠１２、１２から構成されている。台板１０は、水平軸回りに、水平位置から９０°以下の角度範囲内で回動することができるようになっている。
【００１８】
支持枠１２は、台板１０の側面中央部に固着された支軸１４を介して台板１０を支持する支柱１６、および、支柱１６に連接し移動用車輪１８が取着された脚部２０により形成されている。台板１０の上面の前端縁付近には、台板１０が水平位置（図２に二点鎖線で示す位置）から回動して傾斜位置（図２に実線で示す位置）に保持された状態においても、大型基板１が台板１０上から滑り落ちることがないように、大型基板１の前端縁に当接して大型基板１を支持する左右一対の基板保持用突起２２が固着されている。なお、大型基板１を台板１０上に保持する手段は、真空吸着等を利用したものであってもよい。
【００１９】
また、この運搬装置には、図１および図２には図示を省略しているが、支柱１６に対し台板１０を水平位置および所定の傾斜位置でそれぞれ固定するための台板固定機構が設けられている。この台板固定機構の構成について、図３および図４に基づいて説明する。
【００２０】
図３に部分側面図を、図４に、一部を断面または破断面で表した部分正面図を示すように、台板１０の側端縁中央部の下面側に扇形の係合板２４が一体に固着されている。係合板２４には、円周方向に複数個の係合孔２６が形設されている。一方、支柱１６の上端付近には、係合板２４の複数個の係合孔２６に対応する位置に、台板１０の回動、したがって台板１０に固着された係合板２４の回動に伴って各係合孔２６と順次一直線上に並ぶ１個の貫通孔２８が形設されている。また、支柱１６の側面には、貫通孔２８の形成位置に、挿通孔３２を有する円筒状筐体３０が固着されている。そして、頭部にノブ３６を有し軸部の中程に鍔３８が形設された係合ピン３４が、円筒状筐体３０の挿通孔３２を挿通し支柱１６の貫通孔２８を摺動自在に貫挿するように取り付けられている。係合ピン３４の鍔３８は、円筒筐体３０内に配置されており、係合ピン３４に、鍔３８と円筒状筐体３０の挿通孔３２形成壁面との間に介在するように圧縮コイルばね４０が外挿されている。
【００２１】
上記した構成の台板固定機構を備えたこの運搬装置において、支柱１６に対して台板１０を回動させるときは、図４の（ｂ）に示すように、係合ピン３４のノブ３６を指で摘んで、係合ピン３４を圧縮コイルばね４０の弾発力に抗して外側へ引っ張り、係合ピン３４の先端部が係合板２４の係合孔２６から抜け出た状態にして、台板１０を回動させる。また、支柱１６に対し台板１０を、図３の（ａ）に示すように水平位置で固定したり、図３の（ｂ）に示すように所定の傾斜位置で固定するときは、係合板２４の１個の係合孔２６と支柱１６の貫通孔２８とが一直線上に並んだ状態としてから、係合ピン３４のノブ３６から指を離すようにする。これにより、図４の（ａ）に示すように、圧縮コイルばね４０の復元力によって係合ピン３４が係合板２４側へ付勢され、係合ピン３４の先端部が係合板２４の係合孔２６内に嵌挿する。そして、台板１０に固着された係合板２４と支柱１６に取着された係合ピン３４とが係合することにより、支柱１６に対する台板１０の角度位置が固定される。また、台板１０の傾斜角度を変更するときは、図４の（ｂ）に示すように、係合ピン３４の先端部を係合板２４の係合孔２６から抜き出し、台板１０を回動させるようにする。
【００２２】
以上のような構成を備えた運搬装置を使用すると、台板１０上に大型基板１を載置して、一人の作業者により大型基板１を運搬することができる。また、台板１０を支持枠１２の支柱１６に対し回動させて傾斜させることにより、狭い場所を通って大型基板１を運ぶこともできる。この際、台板固定機構により台板１０を支柱１６に対して所定の傾斜位置で固定することができるので、台板１０が運搬中に勝手に回動する恐れは無い。また、台板１０を水平位置から回動させても、大型基板１は、その前端縁が一対の基板保持用突起２２に当接して支持されることにより、大型基板１が台板１０上から滑り落ちる心配は無い。さらに、台板固定機構により台板１０を支柱１６に対して水平位置で固定することにより、作業者一人でも、大型基板１を台板１０上から取り上げて基板処理装置へ移載する作業を行うことができる。
【００２３】
次に、図５および図６は、この発明の別の実施形態を示し、図５は、大型基板の運搬装置を正面から見た図であり、図６は、一部を破断面で表した側面図である。この運搬装置の基本構成は、図１および図２に示した運搬装置と同様である。すなわち、この運搬装置は、大型基板１を載置する台板４２、および、台板４２を回動可能に支持する左右一対の支持枠４４、４４から構成されており、支持枠４４は、台板４２の側面中央部に固着された支軸４６を介して台板４２を支持する支柱４８、および、移動用車輪５０が取着された脚部５２を備えて構成されている。なお、図５および図６においては、台板４２が回動して傾斜位置に保持された際に大型基板１が台板１０上から滑り落ちることを防止するための保持用突起や、支柱４８に対し台板４２を水平位置および所定の傾斜位置でそれぞれ固定するための台板固定機構の図示を省略している。
【００２４】
この運搬装置には、台板４２の高さ位置を調節する高さ調節機構が設けられており、この高さ調節機構の構成について説明する。脚部５２上には、固定支柱５４が垂設され固着されている。固定支柱５４には、その上端面から縦方向に、支柱４８（以下、「可動支柱４８」という）が上下方向へ摺動自在に嵌合する案内孔５６が形設されている。また、固定支柱５４の前面側には、前面から案内孔５６に到る細幅の透孔５８が縦方向に形設されている。さらに、固定支柱５４の前面側には、上端付近および下部に、互いに平行な一対のブラケット６０ａ、６０ｂがそれぞれ水平方向に突出するように固着されている。そして、一対のブラケット６０ａ、６０ｂには、ねじ軸６２が鉛直姿勢で取着されている。ねじ軸６２の上端部は、上部のブラケット６０ａに回転自在に支持され、ねじ軸６２の下端付近は、下部のブラケット６０ｂに回転自在に支持されており、ねじ軸６２の下端にウォームギア６４が固着されている。また、固定支柱５４の下端部には、その外側面から前方へ張り出すように支持板部６６が延設されている。
【００２５】
可動支柱４８には、その前面から前方へ突出して透孔５８を貫通するように連接腕６８が延設されている。連接腕６８は、透孔５８の長手方向（鉛直方向）に沿って移動することができるように、透孔５８と干渉しないようになっている。連接腕６８の前端には、ナット７０が一体に固着されており、ナット７０がねじ軸６２と螺合している。
【００２６】
上記した構成は、左・右の支持枠４４、４４および脚部５２、５２についてそれぞれ備わっている。そして、左・右の支持板部６６、６６に、回転棒７２の両端部がそれぞれ回転自在に支持されている。回転棒７２には、左・右のウォームギア６４、６４に螺合するウォーム７４、７４がそれぞれ固着されている。また、回転棒７２の一端側は、支持板６６より外側に突き出ており、その先端にハンドル７６が取着されている。
【００２７】
上記した構成の高さ調節機構を備えたこの運搬装置において、ハンドル７６を回転操作すると、回転棒７２と一体にウォーム７４が水平軸回りに回転する。このウォーム７４の回転力がウォームギア６４に伝達され、ウォームギア６４がねじ軸６２と一体に鉛直軸回りに回転する。ねじ軸６２が回転すると、ねじ軸６２に螺合するとともに連接腕６８および可動支柱４８に連接して回り止めされたナット７０が上下方向へ移動する。このナット７０の上下方向への移動により、ナット７０と連接腕６８を介して一体になった可動支柱４８が上下方向へ移動する。そして、可動支柱４８に支持された台板４２が上下方向へ移動し、台板４２の高さ位置が調節される。このように、高さ調節機構によって台板４２の高さ位置を調節することにより、台板４２の高さを基板処理装置側の基板設置面の高さに合わせることができるので、台板４２上に大型基板を載置する作業や、台板４２上から基板処理装置内へ大型基板を移し替える作業が容易になる。
【００２８】
次に、図７は、この発明のさらに別の実施形態を示す大型基板の運搬装置の斜視図である。この運搬装置は、図１および図２に示した運搬装置と台板７８の構造だけが異なる。したがって、図１および図２に示した運搬装置と共通する構成部材については、図７でも図１および図２で使用した符号と同一符号を用いて、それらの説明を省略する。
【００２９】
図７に示した運搬装置の台板７８には、その上面に同一長さの複数本の支持ピン８０が分散して植設されている。また、台板７８の上面の前端縁付近には、支持ピン８０より長い左右一対の基板保持用ピン８２が植設されている。
【００３０】
このような構造の台板７８を備えた運搬装置では、大型基板１（図７中に二点鎖線で示す）は、台板７８上に複数本の支持ピン８０によって支持される。このため、大型基板１と台板７８の上面との間に空間が形成されることになる。このように、大型基板１と台板７８の上面との間に空間が形成されることにより、図８に側面図を示すように、台板７８を水平位置に固定した状態で、基板搬送ロボット８４の基板支持アーム８６によって大型基板１を台板７８上に載置したり台板７８上から大型基板１を取り去ったりする際に、基板支持アーム８６が台板７８の上面や大型基板１と干渉することが避けられる。このため、この運搬装置から大型基板１を移し替える作業を容易に行うことが可能となる。また、台板７８を水平位置から回動させて傾斜させたときには、大型基板１の前端縁が一対の基板保持用ピン８２に当接して大型基板１が支持されるので、大型基板１が台板７８上から滑り落ちる心配が無い。
【００３１】
また、図９は、この発明のさらに別の実施形態を示す大型基板の運搬装置の側面図である。この運搬装置も、図１および図２に示した運搬装置と台板８８の構造だけが異なる。したがって、図１および図２に示した運搬装置と共通する構成部材については、図９でも図１および図２で使用した符号と同一符号を用いて、それらの説明を省略する。
【００３２】
図９に示した運搬装置の台板８８は、左右一対の支柱１６に支持された基台部９０と、この基台部９０にそれと平行な方向へ摺動可能に支持されたスライド板部９２とから構成されている。スライド板部９２の上面には、大型基板１を支持するための、同一長さの複数本の支持ピン９４が分散して植設されている。また、スライド板部９２の上面の前端縁付近には、台板８８を傾斜位置に保持した際にスライド板部９２の上面から大型基板１が滑り落ちるのを防止するための、支持ピン９４より長い左右一対の基板保持用ピン９６が植設されている。
【００３３】
このような構造の台板８８を備えた運搬装置では、台板８８を水平姿勢に固定した状態で、基台部９０に対しスライド板部９２を、実線で示す位置から二点差線で示す位置へ摺動させて、スライド板部９２を前方へ差し出すことができることにより、スライド板部９２上に載置された大型基板１を基板処理装置内へ容易に移し替えることができる。
【００３４】
なお、上記した実施形態では、台板固定機構や高さ調節機構をそれぞれ手動式で操作する構成例を示したが、電動モータを使用して台板を回動させ、水平位置や所定の傾斜位置に台板を停止させて固定するような構成としてもよいし、電動モータを使用して台板を上下方向へ移動させ、所定の高さ位置に台板を停止させて固定するような構成としてもよい。また、運搬装置自体も、電動モータを用いた自走式とすることもできる。
【００３５】
【発明の効果】
請求項１に係る発明の大型基板の運搬装置を使用すると、一人の作業者であっても大型基板を安全に運搬することができ、大型基板を基板処理装置へ移載する作業を一人で行うことも可能であり、また、狭い場所を通って大型基板を運ぶこともできる。
【００３６】
請求項２に係る発明の運搬装置では、台板上に大型基板を載置する作業や、台板上から基板処理装置内へ大型基板を移し替える作業を容易に行うことができる。
【００３７】
請求項３に係る発明の運搬装置では、基板搬送機構の基板支持アームによって大型基板を台板上に載置したり台板上から大型基板を取り去ったりする際に、基板支持アームが台板や大型基板と干渉することがないので、大型基板の移し替え作業が容易になる。
【００３８】
請求項４に係る発明の運搬装置では、大型基板を基板処理装置内へ容易に移し替えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施形態の１例を示す大型基板の運搬装置の斜視図である。
【図２】図１に示した運搬装置の側面図である。
【図３】図１に示した運搬装置の台板固定機構の構成を示す部分側面図である。
【図４】同じく図１に示した運搬装置の台板固定機構の構成を示し、一部を断面または破断面で表した部分正面図である。
【図５】この発明の別の実施形態を示し、大型基板の運搬装置を正面から見た図である。
【図６】図５に示した運搬装置の、一部を破断面で表した側面図である。
【図７】この発明のさらに別の実施形態を示す大型基板の運搬装置の斜視図である。
【図８】図７に示した運搬装置の動作を説明するための側面図である。
【図９】この発明のさらに別の実施形態を示す大型基板の運搬装置の側面図である。
【符号の説明】
１０、４２、７８、８８  台板
１２、４４  支持枠
１４、４６  支軸
１６  支柱
１８、５０  移動用車輪
２０、５２  脚部
２２  基板保持用突起
２４  係合板
２６  係合孔
２８  貫通孔
３０  円筒状筐体
３４  係合ピン
３６  係合ピンのノブ
３８  係合ピンの鍔
４０  圧縮コイルばね
４８  支柱（可動支柱）
５４  固定支柱
５６  案内孔
５８  細幅の透孔
６０ａ、６０ｂ  ブラケット
６２  ねじ軸
６４  ウォームギアのウォームギア
６６  支持板部
６８  連接腕
７０  ナット
７２  回転棒
７４  ウォームギアのウォーム
７６  ハンドル
８０、９４  支持ピン
８２、９６  基板保持用ピン
９０  台板の基台部
９２  台板のスライド板部
【図１】
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【図２】
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【図３】
2004292080.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2004292080.tif 000008
【図７】
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【図８】
2004292080.tif 000010
【図９】
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