(57)【要約】【課題】ブラックマトリックスとスペーサーの簡便な製造方法の提供。【課題を解決するための手段】予め画素が形成された透明基板上に、第１の黒色ネガ型感光性樹脂層を設ける工程と、前記第１層上に、さらに第２のネガ型感光性樹脂層を設ける工程と、前記第１層及び第２層が設けられた基体に、該基体の背面側から露光する工程と、前記基体の感光性層側から所定のフォトマスクを介して露光する工程と、前記露光後の第１及び第２のネガ型感光性樹脂層を現像する工程とを有することを特徴とする画像形成方法である。【選択図】　無し。【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め画素が形成された透明基板上に、
第１の黒色ネガ型感光性樹脂層を設ける工程Ａと、
前記第１の黒色ネガ型感光性樹脂層の層上に、さらに第２のネガ型感光性樹脂層を設ける工程Ｂと、
前記第１のネガ型感光性樹脂層及び第２のネガ型感光性樹脂層が設けられた基体に、該基体の背面側から露光する工程Ｃと、
前記基体の感光性層側から所定のフォトマスクを介して露光する工程Ｄと、
前記露光後の第１及び第２のネガ型感光性樹脂層を現像する工程Ｅと、
を有することを特徴とする画像形成方法。
【請求項２】
支持体上に少なくともネガ型感光性樹脂層を有している転写シートを用いて、前記第１の黒色ネガ型感光性樹脂層、及び第２のネガ型感光性樹脂層を形成する請求項１に記載の画像形成方法。
【請求項３】
前記工程Ａおよび工程Ｂが、支持体上に少なくとも熱可塑性樹脂層、中間層、ネガ型感光性樹脂層を有している転写シートを用いる請求項１に記載の画像形成方法。
【請求項４】
前記工程Ａが、支持体上に少なくともネガ型感光性樹脂層を有している転写シートを用い、前記工程Ｂが、支持体上に少なくとも熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層、を有している転写シートを用いる請求項１に記載の画像形成方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の画像形成方法において、第２のネガ型感光性樹脂層中に着色剤が添加されている画像形成方法。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかの画像形成方法により形成された黒色画像、及びスペーサー。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５のいずれかの画像形成方法により形成された液晶表示装置用黒色画像、及びスペーサー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は画像形成方法、及び該方法により形成された黒色画像、及びスペーサーに関する。より詳細には、液晶表示体等に使用するブラックマトリックス、及びフォトスペーサーの形成に好適に用いられる画像形成方法、及び該方法により形成されたブラックマトリックス、及びフォトスペーサーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラーフィルターはブラウン管表示用カラーフェイスプレート、複写用光電変換素子プレート、単管式カラーテレビカメラ用フィルター、液晶を用いたフラットパネルディスプレー、カラー固体撮素子等に用いられている。通常用いられるカラーフィルターは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の三原色が規則的に配列して構成されるが、必要に応じて四色あるいはそれ以上の色相からなるものもある。
【０００３】
カラー液晶ディスプレー等に用いられるカラーフィルターには、通常、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各画素の間隙に、表示コントラスト向上等の目的で、ブラックマトリックスが形成されている。このようなカラーフィルターは、例えば、ブラックマトリックスを形成後、その間隙に赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各画素を順次フォトリソ（写真平版）法で形成して作製される。ブラックマトリックスは、クロム等の金属膜や遮光性顔料等を分散させた感光性樹脂を用いる方法等が知られている。例えば、クロム等の金属膜を用いたブラックマトリックスは、金属膜を蒸着等の方法で基板上に形成し、次にフォトレジストを使用したフォトリソ（写真平版）とエッチング工程により金属膜をパターニングして形成される。また遮光性顔料等を分散させた感光性樹脂を用いたブラックマトリックスは、遮光性顔料等を分散した感光性樹脂層を塗布や印刷等の方法で基板上に形成し、パターン露光−現像の工程で形成される。
【０００４】
また、液晶表示装置は、液晶層の厚み（セルギャップ）を一定間隔に保持するために、カラーフィルター基板と対向電極基板からなる２枚の基板間に所定の粒径を有するプラスチックビーズ、セラミックスビーズ等のスペーサービーズを散布して、両基板を張り合わせている。しかしながら、上述のような方法では、スペーサービーズの均一な散布が難しく、セルギャップを表示領域全域にわたって一定にできない問題があった。また、スペーサービーズを多量に使用すると、セルギャップは一定に保たれるが、表示領域に存在するスペーサーのために表示領域の開口率が低下すること、２枚の基板の張り合わせ時にスペーサービーズによって配向膜や透明電極を傷つけ表示欠陥が生じる等の問題があった。
【０００５】
このような問題を解決するために、特開昭６３−８２５４号、特開平５−１９６９４６号各公報では、カラーフィルター基板の２〜３色の着色層を積層してスペーサーを形成することが提案されている。この方法では、求められる液晶層の厚み（セルギャップ）に相当する厚みのスペーサーを形成するためには、各着色層の充分な厚みと厚み精度が必要である。
【０００６】
さらに近年、ＬＣＤパネルの高機能化として、視野角アップ、コントラストアップ等の開発が進められているが、その方式において垂直配向モードを利用したＶＡ方式とフォトスペーサによるスペーサー形成が主流になりつつある。これらの方式では、まずスペーサ構造作製のフォトリソ工程と、ＶＡ方式が必須である配向制御用突起構造作製のフォトリソ工程を要し、ＬＣＤパネルのコストアップとなっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題を解決するために、ブラックマトリックスとスペーサーを簡便に形成可能な製造方法を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための手段は、以下の通りである。即ち、本発明は、
＜１＞　予め画素が形成された透明基板上に、第１の黒色ネガ型感光性樹脂層を設ける工程Ａと、前記第１の黒色ネガ型感光性樹脂層の層上に、さらに第２のネガ型感光性樹脂層を設ける工程Ｂと、前記第１のネガ型感光性樹脂層及び第２のネガ型感光性樹脂層が設けられた基体に、該基体の背面側から露光する工程Ｃと、前記基体の感光性層側から所定のフォトマスクを介して露光する工程Ｄと、前記露光後の第１及び第２のネガ型感光性樹脂層を現像する工程Ｅと、を有することを特徴とする画像形成方法である。
＜２＞　支持体上に少なくともネガ型感光性樹脂層を有している転写シートを用いて、前記第１の黒色ネガ型感光性樹脂層、及び第２のネガ型感光性樹脂層を形成する、前記＜１＞に記載の画像形成方法である。
＜３＞　前記工程Ａおよび工程Ｂが、支持体上に少なくとも熱可塑性樹脂層、中間層、ネガ型感光性樹脂層を有している転写シートを用いる、前記＜１＞に記載の画像形成方法である。
＜４＞　前記工程Ａが、支持体上に少なくともネガ型感光性樹脂層を有している転写シートを用い、前記工程Ｂが、支持体上に少なくとも熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層、を有している転写シートを用いる、前記＜１＞に記載の画像形成方法である。
＜５＞　前記＜１＞ないし＜４＞のいずれかに記載の画像形成方法において、第２のネガ型感光性樹脂層中に着色剤が添加されている画像形成方法である。
＜６＞　前記＜１＞ないし＜５＞のいずれかの画像形成方法により形成された黒色画像、及びスペーサーである。
＜７＞　前記＜１＞ないし＜５＞のいずれかの画像形成方法により形成された液晶表示装置用黒色画像、及びスペーサーである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の画像形成方法は、透明基板上に赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の画素を有する面が形成された面上に、第１の黒色ネガ型感光性樹脂層、及び第２のネガ型感光性樹脂層を設け、その後、該基体の背面側からの全面露光と、前記基体の感光性層側からの所定のフォトマスクを介しての露光と、前記露光後の第１及び第２のネガ型感光性樹脂層を現像する工程を有することを特徴とする。
以下、本発明について詳述する。
【００１０】
＜光透過性基板＞
本発明において用いられる基体としては、透明で光学的等方性があり十分な耐熱性を有する光透過性基板が好ましく、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、酢酸セルロース、ポリアリレート、ソーダガラス、ホウ珪酸ガラス、石英等が挙げられる。該光透過性基板の表面は必要に応じて下塗り処理されてもよい。さらにグロー放電、コロナ放電、紫外線（ＵＶ）照射等の処理を施しても良い。
【００１１】
光透過性基板は、板状、シート状あるいはフィルム状等の形態で使用することができる。基板の厚さは、用途及び材質にあわせて適宜に設定できるが、一般には０．０１〜１０ｍｍが好ましい。例えば、ガラス基板のときは、厚みが０．３〜３ｍｍの範囲が好ましい。
【００１２】
本発明の透明基板表面には、予め赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の画素を有する面が形成されていることを特徴とする。前記各画素が背面側からの露光に対しマスク機能を有し、その結果として光が透過する各画素間に、ブラックマトリックスを好適に形成するからである。前記画素の形成方法には特に制約はなく、着色剤を含有する感光性樹脂組成物を使用した顔料分散法、印刷法、電着法、無電解メッキ法等の公知の方法が採用可能であるが、仮支持体上に各着色剤を含有する感光性樹脂組成物層を設けた転写材料を用いてそれぞれ転写方式で各画素を設ける方法が簡便さ及び厚みの均一性の点から望ましい。
【００１３】
＜ネガ型感光性樹脂層＞
本発明においては、ネガ型感光性樹脂層は少なくとも１５０℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性であることが好ましい。公知の光重合性組成物を用いた層の大部分はこの性質を有するが、公知層の一部は、熱可塑性結合剤の添加あるいは相溶性の可塑剤の添加によって更に改質することができる。
【００１４】
本発明のネガ型感光性樹脂層の素材としては公知の、例えば特開平３−２８２４０４号公報に記載されているネガ型感光性樹脂がすべて使用できる。具体的にはネガ型ジアゾ樹脂とバインダーからなる感光性樹脂層、光重合性モノマーと光重合開始剤とバインダーを含む光重合性樹脂、アジド化合物とバインダーとからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型感光性樹脂組成物等が挙げられる。その中でも特に好ましいのは光重合性樹脂である。また、感光性樹脂としてはアルカリ水溶液により現像可能なものと、有機溶剤により現像可能なものが知られているが、公害防止、労働安全性の確保の観点からアルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。
【００１５】
感光性樹脂層には更に、公知の染料、顔料を添加することができる。すべての顔料は感光性樹脂層中に均一に分散されており、好ましくは５μｍ以下の粒径、特にはｌμｍ以下の粒径が好ましい。カラーフィルターの作製に当たっては、顔料としては０．５μｍ以下の粒径のものが好ましい。
【００１６】
好ましい染料ないし顔料の例としては、ビクトリア・ピュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、モノライト・エローＧＴ（Ｃ．Ｉ．ピグメントエロー１２）、パーマネント・エローＧＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１７）、パーマネント・エローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー８３）、パーマネント・カーミンＦＢＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１４６）、ホスターバームレッドＥＳＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１９）、パーマネント・ルビーＦＢＨ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１１）、ファステル・ピンクＢスプラ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド８１）、モナストラル・ファースト・ブルー（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５）、モノライト・ファースト・ブラックＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック１）、及びカーボンを挙げることができる。
【００１７】
本発明の第１の黒色ネガ型感光性樹脂層の好ましい着色剤の組合わせとしては、赤色系と青色系の互いに補色関係にある顔料混合物と、黄色系と紫色系の互いに補色関係にある顔料混合物との組合せや、上記の混合物に更に黒色の顔料を加えた組合わせや、青色系と紫色系と黒色系の顔料の組合せを挙げることができる。このような組合わせで黒色着色剤とするのが好ましいが、黒色の顔料を単独で使用することもできる。前記黒色の顔料としてはカーボンブラックが好ましい。遮光性の感光性樹脂組成物の全固形分中での着色材料の含有量は、１〜５０質量％の範囲が好ましい。
【００１８】
＜感光性転写材料＞
本発明の画像形成方法は、仮支持体上に少なくとも感光性転写材料を用いることが好ましく、特に、特開平５−１７３３２０号公報、特開平７−２８２３６号公報、特開平１１−１４８２３号公報等に記載の、仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層により構成される感光性転写材料が好適に用いられる。
【００１９】
（熱可塑性樹脂層）
熱可塑性樹脂層は、転写時の気泡混入を避ける目的で、仮支持体上の第一層目として設けられ、主として熱可塑性樹脂を含んでなり、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。本発明において第１層は、基体上に感光性樹脂層のみを設けることが好ましいことから、仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設ける必要はないが、設けることも可能である。一方第２層の感光性樹脂層においては、転写時の気泡混入防止等のために熱可塑性樹脂層を設けることが好ましい。
【００２０】
前記熱可塑性樹脂としては、転写後のアルカリ現像を可能とし、あるいは転写時の転写条件によっては熱可塑性樹脂が周囲にはみ出して被転写体である導電膜上を汚染してしまう場合に除去処理を可能とする観点から、アルカリ性水溶液に可溶な樹脂が好適である。更に、熱可塑性樹脂層は、被転写体である基板の導電膜上に転写する際、導電パターン膜上に存在する凹凸に起因して生じ得る転写不良を防止するクッション材としての機能をも発揮させる観点から、加熱密着時に前記凹凸に応じて変形しうる充分な可塑性を有するのが好ましい。
上記の点から、前記熱可塑性樹脂としては、アルカリ可溶性であって、実質的な軟化点が８０℃以下の樹脂が好ましい。
【００２１】
転写材料は前記の通り、好ましくは仮支持体上に熱可塑性樹脂層の他、後述の中間層、感光性樹脂層を順次積層して構成されるが、本発明においては、第２層に用いられる転写材料は、熱可塑性樹脂層と仮支持体との間の接着強度が、他の層間における接着強度よりも小さくすることが必要であり、これにより転写後の仮支持体を容易かつ熱可塑性樹脂層表面の破壊を伴うことなく除去することができる。即ち、仮支持体除去後の感光性樹脂層への露光を均一に行うことが可能となる点で重要である。
一方、第１層に用いられる転写材料は、基体上に感光性樹脂層のみを設けることが好ましいことから、仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設ける必要はないが、設けることも可能である。
【００２２】
前記熱可塑性樹脂層は、熱可塑性樹脂と必要に応じて他の成分を有機溶剤に溶解して塗布液（熱可塑性樹脂層用塗布液）を調製し、例えば、スピンコート法等の公知の塗布方法により仮支持体上に塗布等して形成することができる。
前記熱可塑性樹脂層の層厚としては、６〜１００μｍが好ましく、６〜５０μｍがより好ましい。前記層厚が、６〜１００μｍの範囲では、導電層上の１μｍ以上の凹凸をも完全に吸収することができ、現像性、製造適性が低下することもない。
【００２３】
（中間層）
中間層は、感光性樹脂層及び熱可塑性樹脂層には有機溶剤が用いられるため、両層が互いに混ざり合うのを防止する機能を有する。本発明において第１層は、基体上に感光性樹脂層のみを設けることが好ましいことから、仮支持体上に中間層を設ける必要はないが、設けることも可能である。一方第２層の感光性樹脂層においては、中間層を設けることが好ましい。前記中間層は、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものであればよく、酸素透過性の低いものが好ましい。また中間層は、水又はアルカリ水溶液に分散、溶解可能な樹脂成分を主に構成され、必要に応じて、界面活性剤等の他の成分を含んでいてもよい。
中でも、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとを組合せてなるものが特に好ましい。更に、前記ポリビニルアルコールとしては、鹸化率が８０％以上のものが好ましい。また、前記ポリビニルピロリドンの含有量としては、中間層の固形体積の１〜７５％であることが好ましく、１〜６０％であることがより好ましく、１０〜５０％であることが最も好ましい。
【００２４】
前記中間層は、その酸素遮断能が低下すると、感光性樹脂層の重合感度が低下して、露光時の光量をアップしたり、露光時間を長くする必要が生ずるばかりか、解像度も低下することになるため、酸素透過率の小さいことが好ましい。
前記中間層の層厚としては、約０．１〜５μｍが好ましく、０．５〜２μｍがより好ましい。前記層厚が、約０．１〜５μｍの範囲では、酸素透過性が高すぎて感光性樹脂層の重合感度が低下することもなく、現像や中間層除去時に長時間を要することもない。
【００２５】
（仮支持体）
前記第１のネガ型感光性樹脂層の転写シ−トに用いられる仮支持体としては、中間層と感光性樹脂層の間で容易に剥離されるものが好ましい。そのため前記仮支持体には、ゼラチン層、ＳＢＲレジン等が下塗りされていることが好ましく、中でもゼラチン層が最も好ましい。又、コロナ表面処理した仮支持体も用いられる。
【００２６】
一方前記第２のネガ型感光性樹脂層の転写シ−トに用いられる仮支持体としては、熱可塑性樹脂層に対して転写に支障とならない程度の剥離性を有するものが好ましい。仮支持体と前記熱可塑性樹脂層との間に良好な剥離性を確保するために、グロー放電等の表面処理は施さず、またゼラチン等の下塗り層も設けないことが好ましい。
【００２７】
いずれの転写シートに用いられる仮支持体も，化学的、熱的に安定で可撓性のものが好ましく、具体的には、テフロン（Ｒ）、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等の薄膜シート若しくはこれらの積層物が好適に挙げられる。前記仮支持体の厚みとしては、５〜３００μｍが好ましく、２０〜１５０μｍがより好ましい。
【００２８】
（カバーフィルム）
前記感光性樹脂層上には、保管等の際の汚れや損傷から保護する目的で、カバーフィルムを設けることが好ましい。カバーフィルムは、感光性樹脂層から容易に剥離可能なものの中から選択でき、前記仮支持体と同一又は類似の材料からなるものであってもよい。具体的には、例えば、シリコーン紙、ポリオレフィン又はポリテトラフルオロエチレンシート等が好ましく、中でも、ポリエチレン、ポリプロピレンフィルムがより好ましい。
前記カバーフィルムの厚みとしては、約５〜１００μｍが好ましく、１０〜３０μｍがより好ましい。
【００２９】
＜転写シートの基体への転写＞
本発明において，感光性転写シートの基体への転写は、まず第１の感光性転写シートのカバーフィルムを剥離し、予め画素が形成されている基体上に、ラミネーターを用い、加圧、加熱して貼り合わせ、次いで中間層と感光性着色層との間で剥離し、基体上に着色層のみを転写する。さらに第２の感光性転写シートのカバーフィルムを剥離し、第１層の着色層面に第２層の着色層面が接するように上記と同様に貼り合わせ、仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、基体上に第１層の感光性樹脂層―第２層の感光性樹脂層―中間層―熱可塑性樹脂層を転写する。
【００３０】
（フォトマスク）
基体上に転写された感光性樹脂層をパターニングする場合には、所定パターンのフォトマスクを介して感光層側から光照射しパターン露光を行い、その後背面側（感光性樹脂層が設けられていない側）から全面露光をする。但し本発明においては、感光層側からの露光と、背面側からの露光の順序はどちらが先でも構わない。その後現像してパターン状の黒色画像、及びスペーサーの層を得る。前記フォトマスクは、光完全透過部と遮光部を有しているものが用いられる。具体的には、ブラックマトリックスのみを形成し、スペーサーは形成しない部位には、遮光部を選択し、背面側からの露光により第１層の黒色感光性樹脂層のみを残し、第２層の感光性樹脂層は現像処理により除去する。スペーサーを形成したい部位には、背面側からの露光と併せて、感光層側からの光完全透過部を選択し、第１層と第２層を残すことにより、ブラックマトリックスに加え、所要の高さのスペーサーが形成される。
【００３１】
＜パターン露光と現像＞
前記露光は３００〜５００ｎｍの波長光の照射により行なうことができ、光源としては、例えば、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、Ｈｇ−Ｘｅランプ等が利用できる。
前記露光の後、現像処理を行なって、熱可塑性樹脂層、中間層及び不要部（未硬化部分）の感光性樹脂層を除去する。
【００３２】
現像液には無機系と有機系の現像液があり、ガラス基板上にカラーフィルターを形成する場合には、どちらの現像液も使用できる。しかしながら、ＣＯＡ即ち、ＴＦＴアクティブマトリックス基板上にカラーフィルターを形成する場合には、無機アルカリ現像液中のＮａやＫイオンがコンタミ（汚染）の原因になるので、有機アルカリ現像液を使用することが好ましい。
【００３３】
前記アルカリ水溶液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が好ましく、更に水混和性のある有機溶剤を少量添加したものも好適に使用することができる。アルカリ水溶液中のアルカリ性物質の濃度としては、０．０１〜３０質量％が好ましく、更にｐＨとしては、８〜１４が好ましい。
前記有機アルカリ現像液としては、ｐＫａ＝７〜１３の有機化合物を０．０５〜５ｍｏｌｅ／Ｌの濃度含む現像液が好ましいが、更に水と混和性を有す有機溶剤を少量添加しても良い。現像液のｐＨは８〜１３が好ましい。水と混和性を有する有機溶剤は、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン等がある。該有機溶剤の濃度は０．１質量％〜３０質量％であるのが好ましい。
また、アルカリ水溶液には、公知の種々の界面活性剤を添加することもできる。界面活性剤の濃度としては、０．０１〜１０質量％が好ましい。
【００３４】
前記現像は、公知の方法により行え、溶剤若しくは水性の現像液、特にアルカリ水溶液等を用いて、例えば、（ａ）露光後の基板自体を現像浴中に浸漬する、（ｂ）露光後の基板にスプレー等により噴霧する等して、更に必要に応じて、溶解性を高める目的で、回転ブラシや湿潤スポンジ等で擦ったり、超音波を照射しながら行うことができる。
露光後の感光性樹脂層の溶解性部分を除去するには、現像液中で回転ブラシで擦るか湿潤スポンジで擦る等の方法を組み合わせることができる。現像液の液温度は２０℃〜４０℃が好ましい。該現像処理の後に蒸留水、イオン交換水、超純水等による水洗工程を入れることが好ましい。また、現像処理した後、更に２００〜２６０℃下でベークするのが好ましい。
【００３５】
【実施例】
以下に実施例を示し本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない
【００３６】
＜実施例１＞
［黒色感光性転写材料の作成］
厚さ０．２μｍのゼラチン層を下塗りした、厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体のゼラチン層面に、下記の処方Ｈ１からなる塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が２０μｍの熱可塑性樹脂層を設けた。
【００３７】
2004053706.tif 000002
【００３８】
次に上記熱可塑性樹脂層上に下記処方Ｂｌから成る塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が１．６μｍ厚の中間層を設けた。
【００３９】
2004053706.tif 000003
【００４０】
上記熱可塑性樹脂層及び中間層を有する仮支持体の上に、下記の処方を有する、黒色（Ｋ１層用）の感光性溶液を塗布、乾燥させ、膜厚３．１μｍ、　ＯＤ３．２の黒色感光性樹脂層を形成した。
【００４１】
2004053706.tif 000004
【００４２】
さらに上記感光性樹脂層の上にポリプロピレン（厚さ１２μｍ）のカバーフィルムを圧着し、黒色（Ｋｌ）感光性転写材料を作製した。
【００４３】
［透明感光性転写材料の作成］
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体のＰＥＴ面に前記の処方Ｈ１からなる塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が２０μｍの熱可塑性樹脂層を設けた。
【００４４】
次に上記熱可塑性樹脂層上に前記処方Ｂｌから成る塗布液を塗布、乾燥させ、乾繰膜厚が１．６μｍ厚の中間層を設けた。
【００４５】
上記熱可塑性樹脂層及び中間層を有する４枚の仮支持体の上に、下記表１の処方を有する、透明色（Ｐ１層用）の感光性溶液を塗布、乾燥させ、膜厚４．０μｍの透明感光性樹脂層を形成した。
【００４６】
【表１】
2004053706.tif 000005
【００４７】
さらに上記感光性樹脂層の上にポリプロピレン（厚き１２μｍ）のカバーフィルムを圧着し、透明（Ｐ１）感光性転写材料を作製した。
【００４８】
［画素パターンの形成］
これらの感光性転写材料を用いて、以下の方法でカラーフイルターを作製した。
まず、特開平１０−１６０９２６号公報の実施例１に記載の方法と同様の方法で、膜厚２μｍのＲ、Ｇ、Ｂ画素を有するカラーフィルターを作成した。
【００４９】
次にＫｌ黒色感光性転写材料のカバーフィルムを剥離し、感光性樹脂層面を透明ガラス基板（厚さ１．ｌｍｍ）にラミネーター（大成ラミネータ（株）製ＶＰ−ＩＩ）を用いて加圧（０．８ｋｇ／ｃｍ２）、加熱（１３０℃）して貼り合わせ、続いて中間層と感光性着色層との界面で剥離し、ガラス基板上にＫ１黒色着色層のみを転写した。さらにＰ１透明感光性転写材料のカバーフィルムを剥離し、Ｋｌ黒色着色層面にＰ１層面が接するように上記と同様に貼り合わせ、仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、Ｒ、Ｇ、Ｂ画素が形成されたガラス基板上に、Ｋ１黒色感光性樹脂層―Ｐ１透明感光性樹脂層―中間層―熱可塑性樹脂層をガラス基板上に転写した。
【００５０】
次に所定のクロムフォトマスクを介して感光層面側から２０ｍｊ／ｃｍ２で露光を実施し、次いで背面側から２０ｍｊ／ｃｍ２で露光を実施した。次に現像液ＰＤ２（冨士写真フイルム（株）製現像液）で熱可塑性樹脂層及び中間層を除去した。この際、感光性樹脂層は実質的に現像されていなかった。次いで、ＣＤｌ（富士写真フイルム（株）製現像液）で感光性樹脂層を現像して不要部を除去し、ＳＤｌ（富士写真フイルム（株）製現像液）にて仕上げ処理し、ガラス基板上にＫｌ層のみのパターンと、ＫｌとＰ１層が積層された画素パターンを形成した。次に２５０℃で、５０分間熱処理を実施した。
【００５１】
上記の結果Ｋ１層のみのパターンについては、Ｋ１層による黒色画素とＲ，Ｇ，Ｂ各画素との重なりはなく、光学濃度が２．８のブラックマトリックスが形成され、ＫｌとＰ１層が積層された画素パターンについては、ガラス基板面から５．２μｍの厚さのスペーサーが形成された。
【００５２】
＜実施例２〜４＞
実施例１におけるＫ１処方の代りに、下記表２に記載のＫ２〜Ｋ４処方を有する黒色感光性溶液を用いた以外は、実施例１と同様にして実施例２〜４のカラーフィルターを形成した。なお、黒色感光性樹脂層の膜厚はいずれも２．２μｍであった。
【００５３】
【表２】
2004053706.tif 000006
【００５４】
上記の結果、実施例２においては光学濃度が３．５のブラックマトリックスと、厚さ５．２μｍのスペーサー、実施例３においては光学濃度が３．５のブラックマトリックスと、厚さ５．２μｍのスペーサー、実施例４においては光学濃度が３．５のブラックマトリックスと、厚さ５．２μｍのスペーサーがそれぞれ形成された。また、実施例２〜４においてはいずれも、黒色画素とＲ，Ｇ，Ｂ各画素との重なりはなかった。
【００５５】
【発明の効果】
本発明によれば、１回の現像処理により、正確に、ブラックマトリックスとスペーサーを形成可能な製造方法を提供することができる。