(57)【要約】　　　（修正有）【課題】絶縁性の被吸着物であっても良好に保持すること。【解決手段】吸着ステージ２１、２２の保持部本体２３に、吸着されるガラス基板１、２とほぼ同じ大きさで平板状に形成された電極２４を埋め込む。この電極２４を挟んで吸着面２３Ａとは反対側の保持部本体２３の面には、電極２４とほぼ同じ大きさで平板状に形成されたアース電極２５を固定配置する。電極２４は直流電源２６の正極側に接続し、アース電極２５は直流電源２６の負極側に接続する。直流電源２６にて電極２４とアース電極２５の間に電圧が印加されると、電極２４、２５間および周囲に電界が生じる。ガラス基板１、２は、誘電分極にて電極２４との対向面に現れた負の電荷と吸着面２３Ａに現れた正の電荷とが引合う力によって吸着される。【選択図】　図２
2004022979.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吸着物を吸着保持する吸着面と、この吸着面に対して絶縁層を介して配置され電圧が印加される電極とを有し、静電気力にて前記被吸着物を前記吸着面に吸着する吸着ステージにおいて、
前記電極は、平板状に形成されてなり、
この平板状の電極に対して前記吸着面とは反対側に絶縁層を介して配置されたアース電極を有することを特徴とする吸着ステージ。
【請求項２】
被吸着物を吸着保持する吸着面と、この吸着面に対して絶縁層を介して配置され電圧が印加される電極とを有し、静電気力にて前記被吸着物を前記吸着面に吸着する吸着ステージにおいて、
前記電極は、平板状に形成されてなり、
この平板状の電極の周囲に絶縁層を介して配置されたアース電極を有することを特徴とする吸着ステージ。
【請求項３】
前記電極は、前記被吸着物における前記吸着面との接触面とほぼ同じ大きさでかつ同一の形状に形成されてなることを特徴とする請求項１または２記載の吸着ステージ。
【請求項４】
第１の基板を保持する第１の吸着ステージと、この第１の吸着ステージと対向配置され第２の基板を保持する第２の吸着ステージとを有し、前記第１の吸着ステージに保持された前記第１の基板と前記第２の吸着ステージに保持された前記第２の基板とを相対的に位置合わせした状態で接着剤を介して貼り合せる基板貼り合せ装置において、
前記第１の吸着ステージと、前記第２の吸着ステージの少なくともいずれか一方は、
基板を吸着保持する吸着面と、この吸着面に対して絶縁層を介して配置され電圧が印加される平板状の電極と、この平板状電極に対して前記吸着面とは反対側に絶縁層を介して配置されたアース電極と、を有してなることを特徴とする基板貼り合せ装置。
【請求項５】
第１の基板を保持する第１の吸着ステージと、この第１の吸着ステージと対向配置され第２の基板を保持する第２の吸着ステージとを有し、前記第１の吸着ステージに保持された前記第１の基板と前記第２の吸着ステージに保持された前記第２の基板とを相対的に位置合わせした状態で接着剤を介して貼り合せる基板貼り合せ装置において、
前記第１の吸着ステージと、前記第２の吸着ステージの少なくともいずれか一方は、
基板を吸着保持する吸着面と、この吸着面に対して絶縁層を介して配置され電圧が印加される平板状の電極と、この平板状電極の周囲に絶縁層を介して配置されたアース電極と、を有してなることを特徴とする基板貼り合せ装置。
【請求項６】
前記第１吸着ステージと前記第２吸着ステージは、真空チャンバ内に配置されることを特徴とする請求項４または５記載の基板貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、静電気力にて被吸着物を吸着する吸着ステージおよびそれを用いた基板貼り合せ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被吸着物を静電気力を利用して吸着する吸着ステージとして静電チャックと称されるものが知られている。そして、このような静電チャックにおいては、その内部に配置する電極の形態によって、単極型と双極型の２種類の方式が用いられている。
【０００３】
単極型の静電チャックは、静電チャックの内部に平板状の電極を、静電チャックにおける被吸着物の吸着面と平行に、かつ吸着面との間に絶縁部材を介して配置してなる。そして、電極と被吸着物との間に電位差を与えることで電極と被吸着物との対向面に異種の電荷を生じさせ、異種の電荷同士が引合う力（静電気力）によって被吸着物を吸着する。
【０００４】
双極型の静電チャックは、図７に示すように、被吸着物の吸着面を有する絶縁部材からなる保持部本体６内に、平面視で櫛歯状に形成された一対の電極７、８を、同一平面状でかつ電極７、８間を絶縁した状態で配置してなる。そして、電極７、８間に電位差を与えることで生じる電界によって誘起される誘電分極により絶縁部材６における電極７、８との対向面に現れる電荷の作用を利用して被吸着物を吸着面に吸着させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガラス基板のような絶縁性の被吸着物を吸着させようとした場合、上述した各静電チャックでは、下記に示す問題点を有していた。
【０００６】
前者の単極型の静電チャックの場合、静電チャック内部に配置された電極と被吸着物との間に電位差を生じさせる必要があるが、被吸着物が絶縁体である場合、その電位差を生じさせることができない。したがって、ガラス基板を吸着することができない。
【０００７】
一方、後者の双極型の静電チャック５は、静電チャック５内に配置した電極７、８間に電位差を生じさせたときに発生する電界により、絶縁部材６に誘起される誘電分極を利用して被吸着物を吸着面に吸着させるので、ガラス基板のような絶縁体であっても吸着することができる。しかしながら、電極７、８同士を電気的に絶縁するために設けた間隙部分ｔでは、誘電分極による吸着作用を効果的に得ることができず、単極型に比べて電極７、８の配置領域における吸着効率が低く、この結果、十分な大きさの吸着力が得られず、吸着中に被吸着物が落下、或いは位置ずれを生じるおそれがあった。
【０００８】
そして、このような静電チャックを、一対のガラス基板をその間に液晶を封入した状態で貼り合せる基板貼り合せ装置に適用した場合、ガラス基板を十分に保持できずに貼り合わせ時にガラス基板間に位置ずれが生じたり、ガラス基板が落下して貼り合せを行なうことができない等の問題を生じるおそれがあった。
【０００９】
本発明は、被吸着物が絶縁体である場合でも良好に保持することが可能な吸着ステージおよびそれを用いた基板貼り合せ装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の一つは、被吸着物を吸着保持する吸着面と、この吸着面に対して絶縁層を介して配置され電圧が印加される電極とを有し、静電気力にて前記被吸着物を前記吸着面に吸着する吸着ステージにおいて、前記電極は、平板状に形成されてなり、この平板状の前記電極に対して前記吸着面とは反対側に絶縁層を介して配置されたアース電極を有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の他の一つは、被吸着物を吸着保持する吸着面と、この吸着面に対して絶縁層を介して配置され電圧が印加される電極とを有し、静電気力にて前記被吸着物を前記吸着面に吸着する吸着ステージにおいて、前記電極は、平板状に形成されてなり、この平板状の前記電極の周囲に絶縁層を介して配置されたアース電極を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明のさらに他の一つは、第１の基板を保持する第１の吸着ステージと、この第１の吸着ステージと対向配置され第２の基板を保持する第２の吸着ステージとを有し、前記第１の吸着ステージに保持された前記第１の基板と前記第２の吸着ステージに保持された前記第２の基板とを相対的に位置合わせした状態で接着剤を介して貼り合せる基板貼り合せ装置において、前記第１の吸着ステージと、前記第２の吸着ステージの少なくともいずれか一方は、基板を吸着保持する吸着面と、この吸着面に対して絶縁層を介して配置され電圧が印加される平板状の電極と、この平板状電極に対して前記吸着面とは反対側に絶縁層を介して配置されたアース電極と、を有してなることを特徴とする。
【００１３】
本発明のさらに他の一つは、第１の基板を保持する第１の吸着ステージと、この第１の吸着ステージと対向配置され第２の基板を保持する第２の吸着ステージとを有し、前記第１の吸着ステージに保持された前記第１の基板と前記第２の吸着ステージに保持された前記第２の基板とを相対的に位置合わせした状態で接着剤を介して貼り合せる基板貼り合せ装置において、前記第１の吸着ステージと、前記第２の吸着ステージの少なくともいずれか一方は、基板を吸着保持する吸着面と、この吸着面に対して絶縁層を介して配置され電圧が印加される平板状の電極と、この平板状電極の周囲に絶縁層を介して配置されたアース電極と、を有してなることを特徴とする。
【００１４】
【作用】
本発明によれば、被吸着物または基板は、平板状の電極とアース電極との間に電圧が印加されるた結果、電極の周囲に生じる電界によって誘起される誘電分極により絶縁層における電極との対向面に現れる電荷の作用を利用して、吸着面に吸着される。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１乃至図４を用いて説明する。
【００１６】
図１は、本発明に係る吸着ステージを適用した基板貼り合せ装置の構成の一例を示す一部断面正面図、図２は、図１の吸着ステージの要部を示す断面正面図、図３は、図２のＡ−Ａ矢視図、図４は、図２の吸着ステージに発生する電界と電荷を表わす模式図である。
【００１７】
図１において、基板貼り合せ装置１０は、２枚のガラス基板１、２の少なくとも一方に閉ループ状にシール剤を塗布するとともに、その内側に液晶を供給し、これら２枚のガラス基板１、２を真空中で貼り合せ液晶表示パネルを製造するもので、真空チャンバ１１、上吸着ヘッド１２、下吸着ヘッド１３、真空チャンバ１１内の圧力を調整する圧力調整装置１４、画像認識装置１５、制御装置１６を有して構成される。
【００１８】
真空チャンバ１１は、上吸着ヘッド１２と下吸着ヘッド１３とを包囲してなり、その側面には、真空チャンバ１１内に被吸着物としてのガラス基板１、２を搬入、搬出するための開閉扉１１Ａが設けられる。
【００１９】
上吸着ヘッド１２は、第１の基板としての上ガラス基板１を保持する第１の吸着ステージとしての上吸着ステージ２１、真空チャンバ１１の外側に配置され、連結部１２Ａを介して上吸着ステージ２１に連結された昇降装置１２Ｂを有し、上吸着ステージ２１は昇降装置１２Ｂによる昇降自在とされる。ここで、連結部１２Ａと真空チャンバ１１との間は、例えば、Ｏリング等のシール手段により、気密が保持された状態でスライド可能とされる。
【００２０】
下吸着ヘッド１３は、第２の基板としての下ガラス基板２を保持する第２の吸着ステージとしての下吸着ステージ２２、真空チャンバ１１の底面に配置され下吸着ステージ２２を支持する移動テーブル１３Ａを有する。移動テーブル１３Ａは、水平（Ｘ−Ｙ方向）方向、および回転（θ）方向に移動可能である。
【００２１】
圧力調整装置１４は、真空チャンバ１１内の圧力を調整するもので、真空チャンバ１１内を減圧する減圧装置と、減圧された真空チャンバ１１内を昇圧する昇圧装置とを有する。
【００２２】
画像認識装置１５は、４つの撮像装置１５Ａ、各撮像装置による取り込み画像を画像処理する画像処理装置１５Ｂを有する。４つの撮像装置１５Ａは、上ガラス基板１および下ガラス基板２の各コーナ部に付された位置検出用マークを撮像するもので、真空チャンバ１１の下方において、上吸着ステージ２１に保持された上ガラス基板１および下吸着ステージ２２に保持された下ガラス基板２の各コーナ部に対応する位置に、撮像方向を上に向けて配置される。
【００２３】
また、真空チャンバ１１における各撮像装置１５Ａに対応する位置には、石英ガラス等からなる透明なのぞき窓１１Ｂが設けられ、下吸着ステージ２２における各撮像装置１５Ａに対応する位置には貫通孔２２Ａが設けられ、撮像装置１５Ａはこののぞき窓１１Ｂおよび貫通孔２２Ａを通して各ガラス基板１、２を撮像する。各ガラス基板１、２は、透明であるので上ガラス基板１に付された位置検出用マークは、下ガラス基板２を通して撮像することができる。
【００２４】
画像処理装置１５Ｂは、撮像装置１５Ａが取り込んだ画像データに基づいて、上ガラス基板１に付された位置検出用マークと下ガラス基板２に付された位置検出用マークとの相対的な位置ずれを検出し、この検出値に基づいて上ガラス基板１と下ガラス基板２との相対的な位置ずれを算出する。
【００２５】
制御装置１６は、基板貼り合せ装置１０の動作を制御するもので、昇降装置１２Ｂ、移動テーブル１３Ａ、圧力制御装置１４、および画像処理装置１５Ｂに接続される。
【００２６】
次に、図２および図３を用いて、上吸着ステージ２１および下吸着ステージ２２の構成について詳述する。なお、上吸着ステージ２１と下吸着ステージ２２は、同一構造であるので、図２において、吸着ステージ２１、２２として個別の説明は省略する。
【００２７】
吸着ステージ２１、２２は、保持部本体２３、電極２４およびアース電極２５を有して構成される。
【００２８】
保持部本体２３は、絶縁材料にて形成され、ガラス基板１、２を保持するための吸着面２３Ａを有する。
【００２９】
電極２４は、図３に示すように、平面視でガラス基板１、２とほぼ同じ大きさでかつ同一の形状の平板状に形成されてなり、保持部本体２３内において吸着面２３Ａと平行に配置される。これにより、電極２４と保持部本体２３の吸着面２３Ａとの間には、保持部本体２３を形成する絶縁材料からなる絶縁層が介在されることとなる。
【００３０】
アース電極２５は、電極２４とほぼ同じ大きさ、同一形状の平板状をなし、保持部本体２３における電極２４を挟んで吸着面２３Ａとは反対側の面に固定される。したがって、アース電極２５と電極２４との間には、保持部本体２３を形成する絶縁材料からなる絶縁層が介在される。
【００３１】
また、電極２４は直流電源２６の正極側に、アース電極２５は直流電源２６の負極側に接続されており、電極２４とアース電極２５の間には直流電源２６により電圧が印加可能とされる。なお、この直流電源２６は、制御装置１６にてＯＮ／ＯＦＦ制御される。
【００３２】
なお、吸着面２３Ａと電極２４との間に介在される絶縁層の厚み、および電極２４とアース電極２５との間に介在される絶縁層の厚みは、少なくとも吸着面２３Ａと電極２４との間、電極２４とアース電極２５との間に電気的な絶縁状態が保てる厚みにする必要があり、その厚みは、絶縁材料の材質に応じた適当な厚みに設定する。
【００３３】
次に、作用について説明する。
【００３４】
まず、図示は省略しているが、上ガラス基板１と下ガラス基板２の少なくとも一方、たとえば下ガラス基板２には、予め閉ループ状にシール剤が塗布されており、また、シール剤で囲まれた領域内には必要量の液晶が供給されているものとして説明する。
【００３５】
真空チャンバ１１の開閉扉１１Ａが開き、不図示の搬送装置により、上ガラス基板１が上吸着ステージ２１に、下ガラス基板２が下吸着ステージ２２にそれぞれ供給される。なおこのとき、真空チャンバ１１内は、圧力制御装置１４により大気圧とされている。
【００３６】
ここで、不図示の搬送装置により供給されたガラス基板１、２は、下記の作用により上吸着ステージ２１、下吸着ステージ２２の吸着面２３Ａに吸着される。
【００３７】
すなわち、付図示の搬送装置により、ガラス基板１、２が保持部本体２３の吸着面２３Ａに対向する近接位置に搬送されると、制御装置１６により直流電源２６がＯＮ制御され、電極２４とアース電極２５との間に電圧が印加される。
【００３８】
電極２４とアース電極２５の間に電圧が印加されると、直流電源２６の正極に接続された電極２４には正の電荷に、負極に接続されたアース電極２５には負の電荷に帯電し、電極２４とアース電極２５の間およびその周囲には、図４に破線で示す如くに電界が発生する。そして、この電界により保持部本体２３およびガラス基板１、２には誘電分極が誘起される。
【００３９】
すなわち、図４に示すように、保持部本体２３における電極２４表面に接する側には電極２４側とは異種の電荷（負の電荷）が現れ、吸着面２３Ａ側には電極２４と同種の電荷（正の電荷）が現れる。また、ガラス基板１、２における電極２４と対向する表面側には、電極２４側とは反対の電荷（負の電荷）が現れる。この結果、ガラス基板１、２は、保持部本体２３の吸着面２３Ａ側に現れた正の電荷とガラス基板１、２の電極２４側に現れた負の電荷とが引き合う力（静電気力）によって吸着面２３Ａに吸着される。
【００４０】
上吸着ステージ２１への上ガラス基板１の吸着、および下吸着ステージ２２への下ガラス基板２の吸着がそれぞれ完了すると、制御装置１６は、開閉扉１１Ａを閉じる。さらに、制御装置１６は、圧力制御装置１４を制御して真空チャンバ１１内を減圧（真空状態）させるとともに、昇降装置１２Ｂを制御して、図１に示す位置から上ガラス基板１と下ガラス基板２とが僅かな隙間を隔てて対向する位置となるまで上吸着ステージ２１を下降させる。
【００４１】
上ガラス基板１と下ガラス基板２とを近接させた後、制御装置１６は、撮像装置１５Ａを制御して、上ガラス基板１、下ガラス基板２に付された位置検出用マークの撮像を行なう。撮像装置１５Ａにて取り込まれた画像データは、画像処理装置１５Ｂに送られ、画像処理装置１５Ｂにより公知のパターンマッチング手法等を用いて上ガラス基板１と下ガラス基板２の位置検出用マークの相対的な位置ずれが算出され、算出された位置検出用マーク間の位置ずれから上ガラス基板１と下ガラス基板２との間の相対的な位置ずれが演算により求められる。
【００４２】
制御装置１６は、画像処理装置１５Ｂにて算出された上ガラス基板１と下ガラス基板２との相対的な位置ずれに基づいて、移動テーブル１３Ａを移動制御して、相対的な位置ずれが零になるように、下ガラス基板２を移動させる。
【００４３】
この後、制御装置１６は、昇降装置１２Ｂを制御して、上吸着ステージ２１を下降動させ、上ガラス基板１をシール剤を介して下ガラス基板２に当接させるとともに、予め設定された押圧力で予め設定された時間だけ押圧する。
【００４４】
設定時間の経過後、制御装置１６は、上吸着ステージ２１の電極２４、２５間に電圧を印加する直流電源２６をＯＦＦ制御するとともに、圧力制御装置１４を制御して、真空チャンバ１１内を大気圧まで昇圧させる。
【００４５】
その後、制御装置１６は、昇降装置１２Ｂを制御して、上吸着ステージ２１を図１に示す位置まで上昇させる。このとき、貼り合わされたガラス基板１、２は、下吸着ステージ２２の吸着力により、下吸着ステージ２２上に残される。
【００４６】
次いで、真空チャンバ１１の開閉扉１１Ａが開かれ、不図示の搬送装置により、貼り合わされたガラス基板１、２が下吸着ステージ２２上から取り上げられ、真空チャンバ１１内から搬出される。なお、不図示の搬送装置によりガラス基板１、２が取り上げられる前のタイミングで、制御装置１６は、下吸着ステージ２２の電極２４、２５間に電圧を印加する直流電源２６をＯＦＦ制御する。
【００４７】
上記の動作を繰返すことで、順次ガラス基板１、２の貼り合わせが行なわれる。
【００４８】
上記実施の形態によれば、吸着ステージ２１、２２の保持部本体２３にガラス基板１、２とほぼ同じ大きさで平板状の電極２４を設け、この電極２４を挟んで吸着面２３Ａとは反対側の保持部本体２３の面に電極２４とほぼ同じ大きさの平板状のアース電極２５を配置し、これらの電極２４とアース電極２５との間に電圧を印加するようにした。このようにすることで、ガラス基板１、２は、電極２４とアース電極２５との間に電圧が印加されることにより発生する電界によって誘起される誘電分極の作用にて吸着ステージ２１、２２に吸着される。しかも、この作用は、図４に示すように、電界が発生している電極２４に対向して位置する吸着面２３Ａ上の領域全てにおいて期待でき、双極型の静電チャックに比べ吸着面２３Ａ上の広い面積に吸着力を有効に作用させることができるので、ガラス基板１、２のような絶縁性の被吸着物であっても良好に保持することができる。なお、ガラス基板１、２の保持力を十分に発揮させるためには、電極２４の大きさは、吸着するガラス基板１、２の被吸着面の大きさ以上にすることが望ましい。
【００４９】
また、電極２４とアース電極２５を被吸着物であるガラス基板１、２とほぼ同じ大きさでかつ同一形状に形成し、両者を層方向に配置したので、ガラス基板１、２に対する吸着力を良好に作用させながら、吸着するガラス基板１、２の外形に対して吸着ステージ２１、２２の外径が必要以上に大きくなることが防止できる。これにより、真空チャンバ１１内に配置される吸着ステージ２１、２２の小型化を図ることができる結果、真空チャンバ１１の容積を小さくすることができる。よって、基板貼り合せ装置１０が小型化できるとともに、真空チャンバ１１内の減圧および昇圧に要する時間の短縮が可能となり、生産性を向上させることができる。
【００５０】
また、このような吸着ステージ２１、２２を適用した基板貼り合せ装置においては、双極型の静電チャックに比べてガラス基板１、２を良好に保持することができることから、ガラス基板１、２を貼り合せる際にガラス基板１、２と吸着ステージ２１、２２との間に面方向のずれを生じることが防止でき、これにより、ガラス基板１、２の貼り合せ精度を向上させることができ、製品歩留りを向上させることができる。
【００５１】
また、吸着ステージ２１、２２を真空チャンバ１１内に配置し、真空チャンバ１１内を減圧（真空状態）した状態でガラス基板１、２を貼り合わせることで、貼り合わされたガラス基板１、２間に封入された液晶中に空気が混入することを防止でき、品質の良い液晶表示パネルを製造することができる。
【００５２】
次に、本発明に係る吸着ステージの第２の実施の形態について、図５および図６を用いて説明する。図５は、第２の実施の形態の吸着ステージを示す断面正面図、図６は、図５のＢ−Ｂ矢視図である。なお、図５、図６において、図２、図３と同一部品には同一符号を付してその説明は省略する。
【００５３】
図５、図６において、図２、図３に示す第１の実施の形態の吸着ステージと異なる点は、アース電極２５を、中央に矩形の開口を有する枠状に形成し、電極２４の外側に電極２４と略同一平面となるように配置した点である。ここで、電極２４の大きさを、ガラス基板１、２とほぼ同じ大きさでかつ同一の形状の平板状に形成する点は、図２、図３に示す第１の実施の形態の吸着ステージと同様である。
【００５４】
このような構成の吸着ステージ２１、２２によっても、第１の実施の形態の吸着ステージと同様に、吸着面２３Ａにおける電極２４との対向面全体に吸着力を生じさせることができ、ガラス基板１、２のような絶縁性の被吸着物であっても良好に保持することができるという効果が得られる。
【００５５】
なお、第２の実施の形態の場合、電極２４に対応する吸着面２３Ａの全ての領域において効率よく吸着力を作用させるためには、アース電極２５の幅Ｗを電極２４の辺の長さＬの半分以上とすることが好ましい。
【００５６】
また、第２の実施の形態において、アース電極２５を平板枠状に形成したが、他の形状であってもよく、たとえば、矩形平板状のアース電極を電極２４の各辺に沿って一つずつ配置し、それぞれのアース電極を直流電源２６の負極側に接続するようにしても良い。
【００５７】
なお、上記各実施の形態において、ガラス基板１、２を、ガラス基板１、２と電極２４との間の静電気力を利用して吸着ステージ２１、２２に吸着する例で説明したが、吸着面２３Ａに真空吸着用の吸着孔を形成し、真空吸着力を併用してガラス基板１、２を吸着するようにしてもよい。このようにすることにより、真空吸着力を作用させることが可能な真空チャンバ内雰囲気下においては、ガラス基板１、２に静電気力と真空吸着力を作用させることができ、より確実にガラス基板１、２を保持することが可能となる。
【００５８】
また、吸着孔を圧縮空気の供給源に接続し、静電気力による吸着を解除するときに、吸着孔から圧縮空気を噴き出させるようにしてもよい。このようにすることで、電極２４、２５への電圧の印加を停止させた後も保持部本体２３の吸着面２３Ａに電荷が残留するような場合であっても、ガラス基板１、２を吸着面２３Ａから確実に引き離すことが可能となり、吸着ステージ２１、２２から不図示の搬送装置へのガラス基板１、２の受け渡しを円滑に行なうことが可能となる。
【００５９】
さらに、圧縮空気に代えてイオン化された圧縮ガスを吸着孔から噴き出させるようにしてもよい。この場合、保持部本体２３の吸着面２３Ａに残留する電荷と異種の電荷を帯びたイオン化ガスを用いることにより、上述のように圧縮空気を噴き出させた場合の効果に加え、吸着面２３Ａに残留する電荷を除去する効果を得ることができる。
【００６０】
また、被吸着物として絶縁体（誘電体）であるガラス基板を用いた例で説明したが、これに限られるものではなく、たとえば、プラスチック等の誘電体からなる基板であっても、或いは、導電体、またはウエハのような半導体からなる基板であっても適用可能である。
【００６１】
また、電極２４を正極にアース電極２５を負極に接続した例で説明したが、正極と負極を入れ替えても良い。
【００６２】
【発明の効果】
本発明によれば、被吸着物が絶縁体である場合でも良好に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る吸着ステージを適用した基板貼り合せ装置の構成の一例を示す一部断面正面図である。
【図２】図１の吸着ステージの要部を示す断面正面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ矢視図である。
【図４】図２の吸着ステージに発生する電界と電荷を表わす模式図である。
【図５】第２の実施の形態の吸着ステージを示す断面正面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ矢視図である。
【図７】従来の双極型静電チャックの構成を示す平面断面図である。
【符号の説明】
１　上ガラス基板（被吸着物）
２　下ガラス基板（被吸着物）
１０　基板貼り合せ装置
１１　真空チャンバ
１２　上吸着ヘッド
１３　下吸着ヘッド
１４　圧力調整装置
１５　画像認識装置
１６　制御装置
２１　上吸着ステージ（第１の吸着ステージ）
２２　下吸着ステージ（第２の吸着ステージ）
２３　保持部本体
２３Ａ　吸着面
２４　電極
２５　アース電極
２６　直流電源
【図１】
2004022979.tif 000003
【図２】
2004022979.tif 000004
【図３】
2004022979.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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