(57)【要約】　　　（修正有）【課題】記録反射膜を覆う薄いカバー層を所望の厚さに形成できる光学記録媒体の製造方法。【解決手段】回転テーブル１０の低速回転でセンターカバー２０上に液状ＵＶ樹脂を塗布する。、高速回転に移行する前に、中速回転で液状ＵＶ樹脂層を半径方向に拡げることで、ＵＶ樹脂層への空気の巻き込み（取り込み）をなくす。また、回転テーブル１０の高速回転終了前にセンターカバー２０の外側に仮ＵＶ照射を行い、ＵＶ樹脂層の表層部を硬化させる。センターカバー２０の脱着と同時にＵＶ樹脂層をセンターカバー２０外周に沿ってスムーズに剪断でき、ディスク基板４１外周縁位置のＵＶ樹脂層の表面張力による変形（盛り上がり）を抑制し、カバー層の内外周における膜厚差を３μｍ以下にする。【選択図】　図４
2004095108.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク基板を載置した回転テーブルを低速回転させつつディスク基板上にカバー層形成用の液状ＵＶ樹脂を塗布した後、前記回転テーブルを高速回転させて前記ディスク基板の記録反射膜全体に液状ＵＶ樹脂をコーティングするスピンコーティング工程と、前記スピンコーティング工程終了後にＵＶ照射してＵＶ樹脂層を硬化するＵＶ照射工程とを備えた光学記録媒体の製造方法において、
前記スピンコーティング工程では、前記回転テーブルの中央凹部に装着したセンターカバーで前記ディスク基板の中央円孔を覆い、回転テーブルを低速回転させつつ前記センターカバー上に液状ＵＶ樹脂を塗布し、次いで前記回転テーブルを中速回転させて液状ＵＶ樹脂層を半径方向に拡げた後、前記回転テーブルを高速回転させることを特徴とする光学記録媒体の製造方法。
【請求項２】
ディスク基板を載置した回転テーブルを低速回転させつつディスク基板上にカバー層形成用の液状ＵＶ樹脂を塗布した後、前記回転テーブルを高速回転させて前記ディスク基板の記録反射膜全体に液状ＵＶ樹脂をコーティングするスピンコーティング工程と、前記スピンコーティング工程終了後にＵＶ照射してＵＶ樹脂層を硬化するＵＶ照射工程とを備えた光学記録媒体の製造方法において、
前記スピンコーティング工程では、前記回転テーブルの中央凹部に装着したセンターカバーで前記ディスク基板の中央円孔を覆い、回転テーブルを低速回転させつつ前記センターカバー上に液状ＵＶ樹脂を塗布した後、前記回転テーブルを高速回転させるが、前記回転テーブルの高速回転終了前に前記ディスク基板にコーティングしたＵＶ樹脂層だけに仮ＵＶ照射し、前記回転テーブルの停止後、前記センターカバーを回転テーブルの中央凹部から脱着して、前記ＵＶ照射工程に移行することを特徴とする光学記録媒体の製造方法。
【請求項３】
ディスク基板を載置した回転テーブルを低速回転させつつディスク基板上にカバー層形成用の液状ＵＶ樹脂を塗布した後、前記回転テーブルを高速回転させて前記ディスク基板の記録反射膜全体に液状ＵＶ樹脂をコーティングするスピンコーティング工程と、前記スピンコーティング工程終了後にＵＶ照射してＵＶ樹脂層を硬化するＵＶ照射工程とを備えた光学記録媒体の製造方法において、
前記スピンコーティング工程では、前記回転テーブルの中央凹部に装着したセンターカバーで前記ディスク基板の中央円孔を覆い、回転テーブルを低速回転させつつ前記センターカバー上に液状ＵＶ樹脂を塗布し、次いで前記回転テーブルを中速回転させて液状ＵＶ樹脂層を半径方向に拡げた後、前記回転テーブルを高速回転させるが、前記回転テーブルの高速回転終了前に前記ディスク基板にコーティングしたＵＶ樹脂層だけに仮ＵＶ照射し、前記回転テーブルの停止後、前記センターカバーを回転テーブルの中央凹部から脱着して、前記ＵＶ照射工程に移行することを特徴とする光学記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記仮ＵＶ照射は、前記回転テーブルの高速回転終了時の減速中に行うことを特徴とする請求項２または３に記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記センターカバーは、前記回転テーブルの中央凹部と係合する係合凸部と、前記ディスク基板の中央円孔を覆う円盤状スカート部と、センターカバーを装脱着する際の摘み部として機能するピンを備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の光学記録媒体の製造方法。
【請求項６】
ディスク基板に積層形成された記録反射膜が情報読み取り面側となる所定厚さの光透過性カバー層で覆われた光学記録媒体であって、
前記カバー層は、請求項１〜５のいずれかの方法によってディスク基板に一体化されたことを特徴とする光学記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザーディスクやＤＶＤ（デジタルビデオディスク）などの光学記録媒体およびその製造方法に係わり、特に大容量の情報を記録できる光学記録媒体およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザーディスクやＣＤやＤＶＤでは、図１１に示すように、例えば厚さ１．２ｍｍの透明なディスク基板１に記録情報となるピットやグルーブ等の凹凸（以下、ピット等という）２が形成され、その上に記録反射膜である金属反射膜３が形成され、さらにその上に厚さ数μｍの保護膜４が積層形成された構造で、ディスク基板１側（図１１下側）から情報を読み取るようになっている。
【０００３】
これらのディスクを製造する従来の一般的な方法としては、まずピット等を形成したスタンパを用いてプラスチック樹脂を射出成形や加圧成形して、ピット等を転写したディスク基板１を作成する。ついで、ディスク基板１のピット等の凹凸２形成面にスパッタ法や真空蒸着法等によりアルミニウムなど記録反射膜である金属反射膜３を積層する。最後にスピナーを用いたスピンコーティングにより金属反射膜３上に保護膜材料である液状の紫外線硬化型樹脂（以下、ＵＶ樹脂という）を塗布し、さらに紫外線（以下、ＵＶという）を照射して保護膜４を硬化させる。
【０００４】
なお、スピンコーティングは、ディスク基板を載置した回転テーブルを低速回転させつつディスク基板の記録反射膜上に液状ＵＶ樹脂を塗布した後、回転テーブルを高速回転させてディスク基板（の記録反射膜）全体に液状ＵＶ樹脂層をコーティングする方法で、量産に適することから広く利用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
そして最近では、図１２に示すように、ディスク基板１の表面に情報記録部となる記録反射膜（金属反射膜）５が形成され、その上に情報読み取り面側となる所定厚さの透明なカバー層６が形成された、小型かつ高密度記録方式の光学記録媒体が開発されつつある。この高密度記録方式の光学記録媒体における情報の読み取りには開口度（ＮＡ）の大きな光学系を用いるため、カバー層６表面の僅かな凹凸でも再生信号の大幅な劣化につながることから、金属反射膜５を覆うカバー層６表面は傾斜のない平滑面であることが必要である。さらに、金属反射膜５における情報を正確に読み取るためには、カバー層６の厚さＨ１は、従来の光学記録媒体における情報読み取り面側のディスク基板１（図１１参照）の厚さ１．２ｍｍに比べると非常に薄く、カバー層６の表面から金属反射膜５までの距離（カバー層６の厚さ）Ｈ１を使用レーザーの波長，対物レンズの開口数，カバー層６の屈折率に応じた所定値（例えば１００μｍ）となるように正確に形成する必要がある。そして、カバー層６における内周と外周における膜厚差が、例えば３μｍ（膜厚１００μｍの３％）以下という高精度が要求されている。
【０００６】
発明者は、量産に最適な従来公知のスピンコーティング法によって、ディスク基板１の金属反射膜５上へのカバー層６の形成を試みたが、５〜１０μｍ程度の極薄の膜の形成についてはほぼ均一の厚さに形成できるが、１００μｍという厚さでは半径方向に膜厚差が生じて、均一な所定の厚さをもつカバー層を形成できなかった。
【０００７】
発明者がその原因を検討したところ、従来公知のスピンコーティング法では、図１３に示すように、スピンコーターの回転テーブル７に載置したディスク基板１の中央部寄りに液状ＵＶ樹脂８を周方向に均一となるように塗布するものの、ディスク基板１には中央円孔１ａがあるため液状ＵＶ樹脂８をリング状に塗布せざるを得ず、液状ＵＶ樹脂を周方向に均一に塗布するには限界があって、これがカバー層６の膜厚を均一にできない原因と考えられる。
【０００８】
そこで発明者は、図４に示すように、スピンコーターの回転テーブル中央部に、ディスク基板のセンター孔を覆う脱着可能なセンターカバーを装着することで、ディスク基板（のセンターカバー）の中央部に液状ＵＶ樹脂を塗布する方法を考えた。
【０００９】
しかし、従来公知のスピンコーティング法に図４に示すセンターカバーを利用する方法では、センターカバーを用いない従来公知のスピンコーティング方法に比べてカバー層６の膜厚を均一化できるものの、以下の新たな問題が提起された。
【００１０】
まず第１に、液状ＵＶ樹脂を塗布した後、直ちに高速回転に移行するため、ＵＶ樹脂と被膜形成面（金属反射膜５の凹凸面）との密着性（濡れ性）が不十分な状態でＵＶ樹脂に大きな遠心力が作用し、ＵＶ樹脂が外周方向に引っ張られる際に、ＵＶ樹脂とディスク基板の被膜形成面（金属反射膜５の凹凸面）間に存在する空気がＵＶ樹脂層中に巻き込まれ（取り込まれ）て、測定誤差の原因となる気泡がカバー層６中に残存してしまう。
【００１１】
第２に、スピンコーティング終了後のＵＶ照射工程に移行する前に、センターカバーを脱着する必要があるが、センターカバーおよびディスク基板にコーティングしたＵＶ樹脂層が柔らかいので、センターカバーを脱着する際にセンターカバーの外周位置でＵＶ樹脂層をスムーズに剪断分離できない。
【００１２】
第３に、スピンコーティング終了後にＵＶ樹脂層８ａはＵＶ照射されることで硬化してカバー層となるが、スピンコーティング終了後、ＵＶ照射が開始されるまでの僅かな時間の間に、図１４符号８ｂに示すように、ディスク基板外周縁部のＵＶ樹脂層が表面張力により僅かに盛り上がり、ＵＶ樹脂層外周縁部８ｂが盛り上がった形態でＵＶ照射されるため、カバー層６の均一化に限界があって、目標とする値（例えば、膜厚１００μｍのカバー層の内周と外周との膜厚差が３μｍ以下）を達成することはできない。
【００１３】
そこで発明者は、ディスク基板（のセンターカバー）にＵＶ樹脂を塗布した後、直ちに高速回転に移行するのではなく、中速回転でゆっくりとＵＶ樹脂層を半径方向に拡げた後、スピンコートのための高速回転に移行したところ、空気がＵＶ樹脂層中に取り込まれにくく気泡として残存しないことが確認された。
【００１４】
また、スピンコーティング終了後のＵＶ照射工程移行前、詳しくは、回転テーブルの高速回転終了時の減速中に、短時間の仮ＵＶ照射を行った後、ＵＶ照射工程に移行するようにしたところ、センターカバーを脱着する際にＵＶ樹脂層をセンターカバー外周位置でスムーズに剪断分離できるとともに、ＵＶ樹脂層外周縁部が盛り上がった形態とならないことが確認された。
【００１５】
即ち、発明者の試作した装置および方法によって前記した第１，第２，第３の問題を解決できることが確認されたので、本発明を提案するに至ったものである。
【００１６】
本発明は前記従来技術の問題点に鑑みなされたもので、その目的は、情報記録部である記録反射膜が情報読み取り面側となる均一厚さのカバー層で覆われた製造の容易な光学記録媒体およびその製造方法を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
前記第１の目的を達成するために、請求項１に係る光学記録媒体においては、ディスク基板を載置した回転テーブルを低速回転させつつディスク基板上にカバー層形成用の液状ＵＶ樹脂を塗布した後、前記回転テーブルを高速回転させて前記ディスク基板の記録反射膜全体に液状ＵＶ樹脂をコーティングするスピンコーティング工程と、前記スピンコーティング工程終了後にＵＶ照射してＵＶ樹脂層を硬化するＵＶ照射工程とを備えた光学記録媒体の製造方法において、
前記スピンコーティング工程では、前記回転テーブルの中央凹部に装着したセンターカバーで前記ディスク基板の中央円孔を覆い、回転テーブルを低速回転させつつ前記センターカバー上に液状ＵＶ樹脂を塗布し、次いで前記回転テーブルを中速回転させて液状ＵＶ樹脂層を半径方向に拡げた後、前記回転テーブルを高速回転させるように構成した。
【００１８】
（作用）　回転テーブルが低速回転することで、ディスク基板（のセンターカバー）に塗布された液状ＵＶ樹脂はセンターカバー全体に円形に拡がる。そして回転テーブルが中速回転することで、液状ＵＶ樹脂層は作用する遠心力（中速回転に対応する比較的小さい遠心力）により半径方向に引っ張られて、ゆっくりとその径を拡げて金属反射膜（の凹凸）と密着して馴染んだ形態となる。このとき、液状ＵＶ樹脂層はゆっくりと拡がるので、ＵＶ樹脂層と金属反射膜間の空気をＵＶ樹脂層中に巻き込む（取り込む）ことがない。そして、回転テーブルが高速回転に移行すると、液状ＵＶ樹脂層は作用する遠心力（高速回転に対応する大きな遠心力）により半径方向に引っ張られるので、ディスク基板の外周寄りではＵＶ樹脂層と金属反射膜間の空気をＵＶ樹脂層中に巻き込む（取り込む）ことになるが、ＵＶ樹脂層中に取り込まれた空気は、作用する大きな遠心力によってＵＶ樹脂ミストとともに半径方向外方に吹き飛ばされて、ＵＶ樹脂層中に気泡として残存しない。なお、ＵＶ樹脂層における、回転テーブルの中速回転によって拡がった領域では、金属反射膜（の凹凸）との密着性（馴染み）が良好であるため、回転テーブルが高速回転することで空気をＵＶ樹脂層中に巻き込む（取り込む）ことはない。
【００１９】
前記第２，第３の目的を達成するために、請求項２に係る光学記録媒体の製造方法おいては、ディスク基板を載置した回転テーブルを低速回転させつつディスク基板上にカバー層形成用の液状ＵＶ樹脂を塗布した後、前記回転テーブルを高速回転させて前記ディスク基板の記録反射膜全体に液状ＵＶ樹脂をコーティングするスピンコーティング工程と、前記スピンコーティング工程終了後にＵＶ照射してＵＶ樹脂層を硬化するＵＶ照射工程とを備えた光学記録媒体の製造方法において、
前記スピンコーティング工程では、前記回転テーブルの中央凹部に装着したセンターカバーで前記ディスク基板の中央円孔を覆い、回転テーブルを低速回転させつつ前記センターカバー上に液状ＵＶ樹脂を塗布した後、前記回転テーブルを高速回転させるが、前記回転テーブルの高速回転終了前に前記ディスク基板上のＵＶ樹脂層だけに仮ＵＶ照射し、前記回転テーブルの停止後、前記センターカバーを回転テーブルの中央凹部から脱着して、前記ＵＶ照射工程に移行するように構成した。
【００２０】
（作用）回転テーブルの高速回転終了後、ＵＶ照射が開始されるまでの間に、ディスク基板外周縁部のＵＶ樹脂層が表面張力により僅かに盛り上がった形態となるおそれがあるが、ＵＶ樹脂層に表面張力が作用する前である回転テーブルの高速回転終了前に、ディスク基板上のＵＶ樹脂層だけに仮ＵＶ照射を行う（センターカバー上のＵＶ樹脂層には仮ＵＶ照射を行わない）ことで、ディスク基板上のＵＶ樹脂層の表層部が硬化する。即ち、ディスク基板からセンターカバーにかけてコーティングされているＵＶ樹脂層は、センターカバーの外周を境として外側では仮ＵＶ照射により表面硬化が進行し、内側では柔らかい表面未硬化状態である。このため、スピンコーティング工程終了後、センターカバーを回転テーブルの中央凹部から脱着する際に、ある程度硬化の進行したセンターカバー外周外側のＵＶ樹脂層に対し、センターカバー外周内側の柔らかいＵＶ樹脂層を上方に剪断するため、センターカバーの外周に沿ってＵＶ樹脂層をスムーズに分離できる。
【００２１】
また、スピンコーティング工程終了後、ＵＶ照射工程に移行するまでの間に、ディスク基板上のＵＶ樹脂層に表面張力が作用するが、ディスク基板外周縁部の既に表面の硬化したＵＶ樹脂層が表面張力により変形する（盛り上がる）ことはない。
【００２２】
したがって、その後のＵＶ照射工程によって硬化したＵＶ樹脂層（カバー層）の表面は、半径方向に平滑な面となる。
【００２３】
前記第１，第２および第３の目的を達成するために、請求項３に係る光学記録媒体の製造方法おいては、ディスク基板を載置した回転テーブルを低速回転させつつディスク基板上にカバー層形成用の液状ＵＶ樹脂を塗布した後、前記回転テーブルを高速回転させて前記ディスク基板の記録反射膜全体に液状ＵＶ樹脂をコーティングするスピンコーティング工程と、前記スピンコーティング工程終了後にＵＶ照射してＵＶ樹脂層を硬化するＵＶ照射工程とを備えた光学記録媒体の製造方法において、
前記スピンコーティング工程では、前記回転テーブルの中央凹部に装着したセンターカバーで前記ディスク基板の中央円孔を覆い、回転テーブルを低速回転させつつ前記センターカバー上に液状ＵＶ樹脂を塗布し、次いで前記回転テーブルを中速回転させて液状ＵＶ樹脂層を半径方向に拡げた後、前記回転テーブルを高速回転させるが、前記回転テーブルの高速回転終了前に前記ディスク基板上のＵＶ樹脂層だけに仮ＵＶ照射し、前記回転テーブルの停止後、前記センターカバーを回転テーブルの中央凹部から脱着して、前記ＵＶ照射工程に移行するように構成した。
【００２４】
（作用）前記した請求項１と同様の作用により、回転テーブルの高速回転によって空気がＵＶ樹脂層中に巻き込（取り込）まれることはないし、前記した請求項２と同様の作用により、センターカバーを回転テーブルの中央凹部から脱着する際に、センターカバーの外周に沿ってＵＶ樹脂層をスムーズに剪断分離できるとともに、スピンコーティング工程終了後、ＵＶ照射工程に移行するまでの間に、ディスク基板外周縁部のＵＶ樹脂層が表面張力によって変形することもない。
【００２５】
請求項４においては、請求項２または３に記載の光学記録媒体の製造方法において、前記仮ＵＶ照射を、前記回転テーブルの高速回転終了時の減速中に行うように構成した。
【００２６】
（作用）回転テーブルの高速回転終了時の減速中は、コーティングしたＵＶ樹脂層に高速回転中に作用するほどの大きな遠心力は作用しない。このため、コーティングしたＵＶ樹脂層全体が均一の膜厚に落ち着いた形態の下で、仮ＵＶ照射されて、ＵＶ樹脂層表層部が硬化する。
【００２７】
請求項５においては、請求項１〜４のいずれかに記載の光学記録媒体の製造方法において、前記センターカバーを、前記回転テーブルの中央凹部と係合する係合凸部と、前記ディスク基板の中央円孔を覆う円盤状スカート部と、センターカバーを装脱着する際の摘み部として機能するセンターピンを備えるように構成した。
【００２８】
（作用）センターピンを掴んでセンターカバーを昇降動作させることで、回転テーブルの中央凹部に対しセンターカバーを装脱着できる。
【００２９】
請求項６に係る光学記録媒体においては、ディスク基板に積層形成された記録反射膜が情報読み取り面側となる所定厚さの光透過性カバー層で覆われた光学記録媒体であって、
請求項１〜５のいずれかに記載の方法によって、前記カバー層をディスク基板に一体化するように構成した。
【００３０】
（作用）ディスク基板に積層形成された記録反射膜が、気泡が残存せず、内周と外周における膜厚差が非常に小さい均一な厚さの光透過性カバー層で覆われた構造となる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を実施例に基づいて説明する。
【００３２】
図１は、本発明の一実施例である小型かつ高密度記録方式の光学記録媒体である光ディスクの縦断面図、図２〜図９は、図１に示す高密度記録方式の光学記録媒体である光ディスク４０の製造方法の実施例を示し、図２は同製造方法におけるスピンコーティング工程に用いるスピンコーター全体の要部構成図、図３はスピンコーターの要部である回転テーブルの縦断面図、図４〜図８はスピンコーティング工程を説明する工程説明図で、図４はセンターカバーを回転テーブルに装着する状態の説明図、図５はディスク基板の中央円孔を覆うセンターカバー上に液体状ＵＶ樹脂を塗布する状態の説明図、図５（ａ）は回転テーブルを低速回転させることでセンターカバー上に塗布される液体状ＵＶ樹脂を説明する説明図、図６は回転テーブルを中速回転さらには高速回転する状態の説明図、図７は回転テーブルの高速回転終了時の減速中に仮ＵＶ照射する状態の説明図、図８はスピンコーティング工程終了後にセンターカバーを回転テーブルから脱着する状態の説明図、図９はスピンコーティング工程における回転テーブルの回転速度を制御するタイムチャートである。
【００３３】
図１において、この光ディスク４０は、ディスク基板４１の表面に情報記録部となる記録反射膜（金属反射膜）４２が形成され、その上に情報読み取り面となる透明な厚さ１００μｍのカバー層Ｃが形成された構造である。この高密度記録方式の光ディスクの情報の読み取りには開口度（ＮＡ）の大きな光学系を用いるため、カバー層Ｃ表面の僅かな凹凸やカバー層Ｃ内の僅かな気泡の存在によっても再生信号の大幅な劣化につながることから、金属反射膜４２を覆うカバー層Ｃの表面は傾斜のない平滑面に形成され、カバー層Ｃ内には気泡が確実に残存しない形態に構成されている。
【００３４】
さらに、金属反射膜４２における情報を正確に読み取ることができるように、カバー層Ｃ表面から金属反射膜４２までの距離（カバー層Ｃの厚さ）Ｔは、従来の光学記録媒体（図１１参照）における情報読み取り面側のディスク基板の厚さ１．２ｍｍに比べると非常に薄く、使用レーザーの波長（４０５ｎｍ），対物レンズの開口数（０．８５），カバー層Ｃの屈折率（約１．５）に対応した所定値（１００μｍ）で、カバー層Ｃの内周と外周における膜厚差が３μｍ以下という高精度に形成されている。
【００３５】
なお、この光ディスク４０は、まずピット等を形成したスタンパを用いてポリカーボネイト等のプラスチック樹脂を射出成形や加圧成形して、ピット等を転写したディスク基板４１を作成する。ついで、ディスク基板４１のピット等の凹凸形成面にスパッタ法や真空蒸着法等によりアルミニウムなど記録反射膜である金属反射膜４２を積層する。次に、後述するスピンコーティング工程により金属反射膜４２上にカバー層形成材料である液状ＵＶ樹脂を塗布し、さらにＵＶ照射工程により液状ＵＶ樹脂層を硬化させることで、カバー層Ｃをディスク基板４１に一体化するようになっている。
【００３６】
図２において、このスピンコーターは、金属反射膜４２が積層形成されたディスク基板４１を下方から支持して回転させる回転テーブル１０と、回転テーブル１０の外周囲に配置されたミスト回収部１８と、ミスト回収部１８の外側に配置されるとともに、回転テーブル１０の上方に接近動作可能な液体ＵＶ樹脂供給ノズル３０および仮ＵＶ照射器３２で主として構成されている。
【００３７】
回転テーブル１０は、駆動モータＭによって回転するスピンドル１１の先端部に固定されており、スピンドル１１は回転テーブル１０の下方に配置された円筒状の筒部１３で回転可能に支承されている。回転テーブル１０のディスク載置面１０ａの中央寄りには、図３に示すように、ドーナツ形状のラバー層１２が積層一体されるとともに、周方向４カ所に吸気孔１４が開口（吸気孔１４は１カ所のみ図示）し、スピンドル１１に設けられた吸気通路（図示せず）を介して吸気孔１４に負圧が作用することで、回転テーブル１０のディスク載置面１０ａにディスク基板４１が吸着固定保持される。
【００３８】
また、回転テーブル１０の中央部には、図３に示すように、センターカバー２０を装着するための段付き係合凹部１０ｂが設けられており、係合凹部１０ｂの内周面には、スプリング１５により付勢された鋼球１６が設けられて、係合凹部１０ｂに装着されたセンターカバー２０を抜け止めするとともに、スプリング１５の付勢力以上の力でセンターカバー２０を上方に引っ張ることで、センターカバー２０を係合凹部１０ｂから脱着できるように構成されている。
【００３９】
センターカバー２０は、図４，図８に示すように、回転テーブル１０の係合凹部１０ａに整合する段付き係合凸部２２にセンターピン２４が垂設されるとともに、円盤状のスカート部２６を有し、係合凸部２２の外周には、回転テーブル１０側の鋼球が係合する係合溝２３が周設されている。そして、図示しないロボットアームがセンターピン２４をクランプして回転テーブル１０の中央部上方まで前進し、昇降動作することで、センターカバー２０（の係合凸部２２）を回転テーブル１０の係合凹部１０ｂに装脱着できる。
【００４０】
また、円盤状のスカート部２６は、図５（ａ）に示すように、回転テーブル１０に載置されたディスク基板４１の中央円孔４１ａからスタンパ押さえの溝４１ｂを越えた位置まで覆う大きさに形成されており、回転テーブル１０のディスク載置面１０ａに吸着固定したディスク基板４１の中央円孔４１ａの周縁部をセンターカバー２０が覆う形態にして、ディスク基板４１の中央部（センターカバー２０の中央部）に液体ＵＶ樹脂を塗布できるようになっている。
【００４１】
また、円盤状のスカート部２６は、中央が最も高く周縁ほど低い曲面に形成されて、回転テーブル１０の回転によりスカート部２６上の液体ＵＶ樹脂がスカート部２６外側のディスク基板４１にスムーズに導かれるようになっている。
【００４２】
ＵＶ樹脂供給ノズル３０は、回転テーブル１０の上方において、センターカバー２０のセンターピン２４に接近した位置から、図５（ａ）仮想線で示す位置（スカート部２６外周縁位置）まで等速でゆっくりと移動できるようになっており、この間に回転テーブル１０が低速で等速回転することで、図５および図５（ａ）に示すように、センターカバー２０のスカート部２６外周を僅かに越えた位置まで、液体ＵＶ樹脂がドーム形に塗布される。
【００４３】
またモータＭの回転速度は、図示しない制御ユニットによって、図９に示すように、低速、中速、高速の３段階に制御されている。
【００４４】
即ち、ＵＶ樹脂供給ノズル３０からセンターカバー２０上に液体ＵＶ樹脂を供給する時は、センターカバー２０全体に均一に塗布できるように、回転テーブル１０は低速（例えば、３０ｒ．ｐ．ｍ．）で回転し、センターカバー２０上の液体ＵＶ樹脂を外側に拡げる時は、ＵＶ樹脂と金属反射膜４２の凹凸間の空気をＵＶ樹脂層中にできるだけ巻き込まない（取り込まない）ように、また金属反射膜４２の凹凸に液体ＵＶ樹脂ができるだけ密着する（馴染む）ように、回転テーブル１０は中速（例えば、１００〜４００ｒ．ｐ．ｍ．）で回転し、スピンコーティングの際は、液体ＵＶ樹脂にできるだけ大きな遠心力が作用して均一な膜厚となるように、回転テーブル１０は高速（例えば、８００〜２０００ｒ．ｐ．ｍ．）で回転するように制御されている。
【００４５】
また、仮ＵＶ照射器３２は、図２，７に示すように、回転テーブル１０にほぼ整合する大きさの筒状ケース３３内中央上方にＵＶ照射ランプ３４が設けられ、筒状ケース３３の下方開口部の中央部には、フレーム３６によって懸吊保持されたＵＶ遮光カバー３８が設けられ、ＵＶ遮光カバー３８は、センターカバー２０のスカート部２６の外径よりも僅かに大きく形成されている。そして、回転テーブル１０の高速回転による液体ＵＶ樹脂のスピンコーティング終了後に、図７に示すように、仮ＵＶ照射器３２が回転テーブル１０に接近した位置となって、ＵＶ遮光カバー３８がセンターカバー２０全体を覆った形態において、微小時間だけ仮ＵＶ照射が行われる。
【００４６】
このとき、ＵＶ照射ランプ３４の照射光は、センターカバー２０からディスク基板１０全体にコーティングされたＵＶ樹脂層の内、スカート部２６外周より外側にだけ照射されて、遮光カバー３８で覆われたスカート部２６外周より内側には照射されないので、スカート部２６外周の外側におけるＵＶ樹脂層では表面硬化が進み、一方、スカート部２６外周の内側におけるＵＶ樹脂層では、まだ硬化の進行していない柔らかい状態に保持される。
【００４７】
このため、後に詳しく説明するが、その後のセンターカバー２０の脱着の際に、スカート部２６の外周に沿ってＵＶ樹脂層をスムーズに剪断分離できる。
【００４８】
また、センターカバー２０を脱着した後に、ディスク基板１０にコーティングしたＵＶ樹脂層を硬化させるＵＶ照射工程に移行するが、ディスク基板１０に形成されているＵＶ樹脂層は表面硬化が進んでいるため、ＵＶ照射工程に至るまでの間に表面張力が作用してディスク基板１０外周縁部におけるＵＶ樹脂層が盛り上がる等というという問題は起こらない。
【００４９】
ミスト回収部１８は、回転テーブル１０の下方外周囲を取り囲むように配設されたインナーカバー１８ａと、回転テーブル１０およびインナーカバー１８ａの外周囲を取り囲むように配設されたアウターカバー１８ｂで構成され、アウターカバー１８ｂの底部には、図示しない排気通路が設けられて、回転テーブル１０を高速回転させるスピンコーティングの際に飛散する液状ＵＶ樹脂のミストを回収できるようになっている。
【００５０】
次に、図２〜９を参照して、スピンコーティング工程により、ディスク基板４１の記録反射膜である金属反射膜４２上にカバー層形成材料である液状ＵＶ樹脂をコーティングし、さらにＵＶ照射工程により液状ＵＶ樹脂層を硬化させることで、カバー層Ｃをディスク基板４１に一体化する手順を説明する。
【００５１】
まず、図３に示すように、ディスク基板４１を回転テーブル１０のディスク載置面１０ａにセットする。次に、図４に示すように、センターカバー２０を回転テーブル１０の係合凹部１０ｂに装着する。
【００５２】
次に、図５，図５（ａ）に示すように、ＵＶ樹脂供給ノズル３０を前進させてセンターカバー２０の中心近傍に位置させ、回転テーブル１０を低速で等速回転させつつ、ＵＶ樹脂供給ノズル３０をセンターカバー２０のスカート部２６外周位置まで半径方向外方にゆっくりと等速で移動させつつ液体ＵＶ樹脂を供給する。
【００５３】
次いで、図６に示すように、回転テーブル１０が中速回転して、液体ＵＶ樹脂が広がり、さらに回転テーブル１０が高速回転して、センターカバー２０のスカート部２６からディスク基板４１の全体にスピンコーティングされてＵＶ樹脂層が形成される。そして、ＵＶ樹脂供給ノズル３０が後退するとともに、回転テーブル１０が低速回転から中速回転に移行すると、仮ＵＶ照射器３２が前進し下降して、図７に示すように、回転テーブル１０上にセットされる。そして、図９に示すように、回転テーブル１０の高速回転が終了した時の減速中に、仮ＵＶ照射器３２のシャッターが開き、微小時間（例えば０．９秒間）ＵＶ照射を行う。例えば、回転テーブル１０が減速開始後０．５秒で完全停止する場合、減速開始時３秒前を起点とした３．１秒後に仮ＵＶ照射器３２のシャッターが開き、シャッターが閉じるまでの所定時間（例えば０．９秒間）だけＵＶ照射を行う。仮ＵＶ照射が終了すると、仮ＵＶ照射器３２は上昇して後退する。
【００５４】
次いで、図８に示すように、センターカバー２０を脱着し、ディスク基板４１を回転テーブル１０から取り出して、図示しないＵＶ照射装置にセットする。そして、約３秒間ＵＶ照射してＵＶ樹脂層を硬化させることで、カバー層Ｃを形成する。
【００５５】
このように本実施例方法では、スピンコーティング工程において、回転テーブル１０を低速回転，中速回転，高速回転と３段階に回転速度を制御することで、ディスク基板４１に形成するＵＶ樹脂層に空気を取り込まないようになっている。
【００５６】
即ち、回転テーブル１０が低速回転することで、ディスク基板１０（のセンターカバー２０）に塗布された液状ＵＶ樹脂はセンターカバー２０（のスカート部２６）の全体に円形に拡がる。そして回転テーブル１０が中速回転することで、液状ＵＶ樹脂層は作用する遠心力（中速回転に対応する比較的小さい遠心力）により半径方向に引っ張られて、ゆっくりとその径を拡げて金属反射膜４２（の凹凸）と密着して馴染んだ形態となる。このとき、液状ＵＶ樹脂層はゆっくりと拡がるので、ＵＶ樹脂層と金属反射膜４２間の空気をＵＶ樹脂層中に巻き込む（取り込む）ことがない。そして、回転テーブル１０が高速回転に移行すると、液状ＵＶ樹脂層は作用する遠心力（高速回転に対応する大きな遠心力）により半径方向に引っ張られるので、ディスク基板１０の外周寄りではＵＶ樹脂層と金属反射膜４２間の空気をＵＶ樹脂層中に巻き込む（取り込む）ことになるが、ＵＶ樹脂層中に取り込まれた空気は、作用する大きな遠心力によってＵＶ樹脂ミストとともに半径方向外方に吹き飛ばされて、ＵＶ樹脂層中に気泡として残存しない。なお、ＵＶ樹脂層における、回転テーブル１０の中速回転によって拡がった領域では、金属反射膜４２（の凹凸）との密着性（馴染み）が良好であるため、回転テーブル１０が高速回転することで空気をＵＶ樹脂層中に巻き込む（取り込む）ことはない。
【００５７】
また、本実施例方法では、回転テーブル１０の高速回転終了時の減速中にディスク基板４１にコーティングしたＵＶ樹脂層だけに仮ＵＶ照射し、回転テーブル１０の停止後、センターカバー２０を回転テーブル１０の中央凹部１０ｂから脱着して、ＵＶ照射工程に移行するようにすることで、センターカバー２０のスムーズな脱着およびＵＶ樹脂層のスムーズな剪断分離、並びにＵＶ樹脂層に対する表面張力の影響を回避するようになっている。
【００５８】
即ち、従来方法では、回転テーブル１０の高速回転終了後、ＵＶ照射が開始されるまでの間に、ディスク基板４１外周縁部のＵＶ樹脂層が表面張力により僅かに盛り上がった形態となるおそれがあるが、本実施例方法では、ＵＶ樹脂層に表面張力が作用する前である回転テーブル１０の高速回転終了時の減速中に、ディスク基板４１上のＵＶ樹脂層だけに仮ＵＶ照射を行う（センターカバー２０上のＵＶ樹脂層には仮ＵＶ照射を行わない）ことで、ディスク基板４１上のＵＶ樹脂層の表層部が硬化する。このため、ディスク基板４１からセンターカバー２０（スカート部２６）にかけてコーティングされているＵＶ樹脂層は、センターカバー２０（スカート部２６）の外周を境として外側では仮ＵＶ照射により表面硬化が進行し、内側では柔らかい表面未硬化状態である。
【００５９】
特に、本実施例方法では、高速回転終了時の減速中に仮ＵＶ照射を行うので、仮ＵＶ照射されるＵＶ樹脂層には、高速回転中に作用する遠心力よりも小さい遠心力が作用しているにとどまり、ディスク基板４１表面全体のＵＶ樹脂層が均一の膜厚に落ち着いた形態の下で仮ＵＶ照射されて、表面硬化するので、センターカバー２０外側のＵＶ樹脂層の膜厚が半径方向に差がでることは全くない。
【００６０】
そして、スピンコーティング工程終了後、センターカバー２０を回転テーブル１０の中央凹部１０ｂから脱着（上方に持ち上げる）する際に、ある程度硬化の進行したセンターカバー２０（スカート部２６）外周外側のＵＶ樹脂層に対し、センターカバー２０（スカート部２６）外周内側の柔らかいＵＶ樹脂層をスカート部２６の外周位置で上方に剪断するため、センターカバー２０（スカート部２６）の外周に沿ってＵＶ樹脂層をスムーズに分離できる。
【００６１】
また、スピンコーティング工程終了後、ＵＶ照射工程に移行するまでの間に、ディスク基板４１上のＵＶ樹脂層に表面張力が作用するが、ディスク基板４１外周縁部の既に表面の硬化したＵＶ樹脂層が表面張力により変形する（盛り上がる）ことはない。
【００６２】
したがって、その後のＵＶ照射工程によって硬化したＵＶ樹脂層であるカバー層Ｃの表面は半径方向に平滑な面で、しかも平均膜厚１００μｍに対し内外周における膜厚差が３μｍという非常に高精度のカバー層Ｃが得られる。
【００６３】
このように、本実施例に示す製造方法によれば、製造された光ディスクの情報読み取り面側の表面（カバー層Ｃの表面）から金属反射膜４２までの距離が設計値通りの正確な値（１００μｍ）に高精度に形成することができるので、現在注目されているＧａＮ系青紫色半導体レーザ用等の高情報量光ディスクの製造に有効である。
【００６４】
なお、カバー層Ｃの膜厚は、液体ＵＶ樹脂の粘性と回転テーブル１０の速度（特に高速回転速度）および回転時間を調節することで、任意の厚さに形成できる。
【００６５】
また、前記センターカバー２０の抜け止め保持手段は、スプリング１５で付勢された鋼球１６で構成されているが、例えば図１０に示すように、回転テーブル１０の中央凹部１０ｂ内に、ディスク載置面１０ａに開口するような吸気孔１４と同様な吸気孔１７を設けて、負圧によって吸着固定保持するようにしてもよい。そして、センターカバー２０を負圧で吸着固定保持する場合は、負圧の作用をＯＮＮ／ＯＦＦすることでセンターカバー２０の固定と固定解除を行えるので、センターカバー２０の装脱着が容易である。
【００６６】
また、前記実施例方法では、スピン工程における仮ＵＶ照射は、回転テーブルの高速回転終了時の減速中に行うように構成されているが、回転テーブルの高速回転終了前に行うものであれば、回転テーブルの高速回転終了時の減速中に限るものではない。
【００６７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に係る光学記録媒体の製造方法によれば、回転テーブルを低速回転させてセンターカバー上に液体ＵＶ樹脂が塗布された後、回転テーブルを中速回転させて液体ＵＶ樹脂層をディスク基板の記録反射膜に馴染ませつつ半径方向に拡大した後、回転テーブルを高速回転させて液体ＵＶ樹脂層をディスク基板の記録反射膜上にコーティングするので、コーティングされたＵＶ樹脂層中に気泡が取り込まれず、カバー層中に気泡が残存しない光学記録媒体を製造できる。
【００６８】
請求項２に係る光学記録媒体の製造方法よれば、回転テーブルの高速回転終了時の減速中に仮ＵＶ照射することで、センターカバーの脱着とコーティングしたＵＶ樹脂層の剪断とをスムーズに行うことができるとともに、ディスク基板外周縁部におけるＵＶ樹脂層が表面張力の影響を受けて変形することもないので、内周と外周における膜厚差が非常に小さい均一な厚さのカバー層を備えた光学記録媒体を製造できる。
【００６９】
請求項３に係る光学記録媒体の製造方法よれば、カバー層中に気泡が残存しないとともに、内周と外周における膜厚差が非常に小さい均一な厚さのカバー層を備えた光学記録媒体を製造できる。
【００７０】
請求項４に係る光学記録媒体によれば、内周と外周における膜厚差が極めて小さい均一な厚さのカバー層を備えた光学記録媒体を製造できる。
【００７１】
請求項５に係る光学記録媒体によれば、ピンを掴んでセンターカバーを昇降動作させることで、回転テーブルの中央凹部に対しセンターカバーを装脱着できるので、スピンコーティング工程ひいては光学記録媒体の製造ラインを自動化に便利である。
【００７２】
請求項６に係る光学記録媒体によれば、光学記録媒体のカバー層中に気泡が残存しないとともに、カバー層は内周と外周における膜厚差が非常に小さい均一な厚さに形成されているので、測定誤差のない光学記録媒体を提供できる。
【００７３】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である小型かつ高密度記録方式の光学記録媒体である光ディスクの縦断面図である。
【図２】図１に示す高密度記録方式の光学記録媒体である光ディスクの製造方法におけるスピンコーティング工程に用いるスピンコーター全体の要部構成図である。
【図３】スピンコーターの要部である回転テーブルの縦断面図である。
【図４】センターカバーを回転テーブルに装着する状態の説明図である。
【図５】ディスク基板の中央円孔を覆うセンターカバー上に液体状ＵＶ樹脂を塗布する状態の説明図である。
【図５（ａ）】回転テーブルを低速回転させることでセンターカバー上に塗布される液体状ＵＶ樹脂を説明する説明図である。
【図６】回転テーブルを中速回転さらには高速回転する状態の説明図である。
【図７】回転テーブルの高速回転終了時の減速中に仮ＵＶ照射する状態の説明図である。
【図８】スピンコーティング工程終了後にセンターカバーを回転テーブルから脱着する状態の説明図である。
【図９】スピンコーティング工程における回転テーブルの回転速度を制御するタイムチャートである。
【図１０】センターカバー固定保持手段の他の実施例を示す断面図である。
【図１１】従来の光ディスクの拡大縦断面図である。
【図１２】最近開発されつつある高密度記録方式の光学記録媒体である光ディスクの縦断面図である。
【図１３】スピンコーティング工程において液体ＵＶ樹脂を塗布する様子の説明図である。
【図１４】スピンコーティング工程後にディスク基板外周縁部のＵＶ樹脂層が表面張力により盛り上がる様子の説明図である。
【符号の説明】
１０　回転テーブル
１０ａ　回転テーブルのディスク載置面
１０ｂ　回転テーブル中央の係合凹部
１４　吸気孔
Ｍ　回転テーブル駆動用モータ
１５　センターカバー抜け止め手段である鋼球
１６　センターカバー抜け止め手段であるスプリング
１７　センターカバー抜け止め手段である吸気孔
２０　センターカバー
２２　センターカバーの係合凸部
２４　センターピン
２６　円盤状スカート部
３０　ＵＶ樹脂供給ノズル
３２　仮ＵＶ照射器
３４　ＵＶ照射ランプ
３８　ＵＶ遮光カバー
４０　光ディスク
４１　ディスク基板
４２　記録反射膜である金属反射膜
Ｃ　カバー層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図５（ａ）】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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