(57)【要約】【課題】磁気転写用ホルダー内で重ね合わせたスレーブ媒体とマスター担体の外周および内周の端部への局所的な圧力の集中による損傷を生じることなく、良好な磁気転写を行う。【解決手段】パターン領域３ｃ，４ｃに転写情報を担持したマスター担体３，４と、転写を受けるスレーブ媒体２とを重ね合わせた密着体を表裏から挟持する磁気転写用ホルダー１０において、密着体の表裏の少なくとも一方を弾性体８を介した状態で挟持する。この弾性体８の少なくともマスター担体３と面する表面を円形とし、この外径Ｄ１を、マスター担体３の外径とスレーブ媒体２の外径のうち小さい方の外径Ｄ２よりも小さく、かつパターン領域３ｃの外径Ｄ３よりも大きくし、また、弾性体８の中心孔８ａの径ｄ１を、マスター担体３の中心孔３ａとスレーブ媒体２の中心孔３ｂのうち大きい方の外径ｄ２より大きく、かつパターン領域３ｃの内径ｄ３よりも小さくする。【選択図】          図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写情報を担持したドーナツ状のパターン領域を表面に有する円盤状のマスター担体と、該マスター担体から前記転写情報の転写を受ける円盤状のスレーブ媒体との密着体を、表裏から、少なくとも該表裏の一方に、少なくとも前記密着体に面する側の表面が円形に形成された弾性体を介して挟持する磁気転写用ホルダーであって、
前記弾性体の円形の表面の外径Ｄ１が、前記マスター担体の外径と前記スレーブ媒体の外径のうち小さい方の外径Ｄ２よりも小さいことを特徴とする磁気転写用ホルダー。
【請求項２】
前記外径Ｄ１と、前記外径Ｄ２との差が０．２ｍｍ〜４ｍｍであることを特徴とする請求項１記載の磁気転写用ホルダー。
【請求項３】
前記外径Ｄ１が、前記パターン領域の外径Ｄ３よりも大きいことを特徴とする請求項１または２記載の磁気転写用ホルダー。
【請求項４】
前記外径Ｄ１と、前記外径Ｄ３との差が４ｍｍ以下であることを特徴とする請求項３記載の磁気転写用ホルダー。
【請求項５】
前記マスター担体および前記スレーブ媒体の少なくとも一方が中心孔を有するものであり、
前記弾性体の円形の表面が中心穴を有し、該中心穴の径ｄ１が前記マスター担体の中心孔の径と前記スレーブ媒体の中心孔の径のうち大きい方の径ｄ２よりも大きいことを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載の磁気転写用ホルダー。
【請求項６】
前記径ｄ１と、前記径ｄ２との差が０．２ｍｍ〜４ｍｍであることを特徴とする請求項５記載の磁気転写用ホルダー。
【請求項７】
前記径ｄ１が、前記パターン領域の内径ｄ３よりも小さいことを特徴とする請求項５または６記載の磁気転写用ホルダー。
【請求項８】
前記径ｄ１と、前記内径ｄ３との差が４ｍｍ以下であることを特徴とする請求項７記載の磁気転写用ホルダー。
【請求項９】
転写情報を担持したドーナツ状のパターン領域を表面に有する円盤状のマスター担体と、該マスター担体から前記転写情報の転写を受ける円盤状のスレーブ媒体との密着体を、表裏から、少なくとも表裏の一方に、少なくとも前記密着体に面する側の表面が円形に形成された弾性体を介して挟持する磁気転写用ホルダーであって、
前記マスター担体および前記スレーブ媒体の少なくとも一方が中心孔を有するものであり、
前記弾性体の円形の表面が中心穴を有し、該中心穴の径ｄ１が前記マスター担体の中心孔の径と前記スレーブ媒体の中心孔の径のうち大きい方の径ｄ２よりも大きいことを特徴とする磁気転写用ホルダー。
【請求項１０】
前記径ｄ１と、前記径ｄ２との差が０．２ｍｍ〜４ｍｍであることを特徴とする請求項９記載の磁気転写用ホルダー。
【請求項１１】
前記径ｄ１が、前記パターン領域の内径ｄ３よりも小さいことを特徴とする請求項９または１０記載の磁気転写用ホルダー。
【請求項１２】
前記径ｄ１と、前記径ｄ３との差が４ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１１記載の磁気転写用ホルダー。
【請求項１３】
前記弾性体の厚みが０．１ｍｍ〜３ｍｍであることを特徴とする請求項１から１２いずれか１項記載の磁気転写用ホルダー。
【請求項１４】
前記弾性体のヤング率が０．５ＭＰａ〜２００ＭＰａであることを特徴とする請求項１から１３いずれか１項記載の磁気転写用ホルダー。
【請求項１５】
請求項１から１４いずれか１項記載の磁気転写用ホルダーを使用し、該ホルダーを介して前記密着体の表裏に圧力を印加した状態で磁気転写を行うことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項１６】
前記パターン領域の各部に印加される圧力の最大値が２ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１５記載の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報が担持されたマスター担体からスレーブ媒体へ該情報を磁気転写する際に用いられる磁気転写用ホルダーおよび磁気転写装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
上記スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
この磁気転写における転写品質を高めるためには、スレーブ媒体とマスター担体とをいかに均一に密着させることが重要な課題である。つまり密着不良があると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写が起こらないとスレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題がある。
【０００５】
その際、上記のような磁気転写では、マスター担体およびスレーブ媒体を、片側ホルダーと他側ホルダーとを備える磁気転写用ホルダーの内部に収容して対峙密着させることが、全面で均一な密着を得る点で良好である（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
しかしながら、マスター担体、スレーブ媒体およびホルダーの平坦性の差により、全面を密着させることが困難であるという問題があった。そこで、マスター担体およびスレーブ媒体を収容する際、弾性体を介在させることが提案されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−１６３８２３号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、マスター担体とスレーブ媒体との密着体を弾性体を介して挟持するホルダーを用いて磁気転写を行う場合、スレーブ媒体とマスター担体との密着性を高めるために加圧した際に、スレーブ媒体やマスター担体の外周、内周の周縁分に集中的に圧力が加わり、マスター担体やスレーブ媒体の端部の損傷や変形が生じていた。さらに外周、内周の端部から少し内側の部分では圧力の小さい部分が発生し、その部分において信号品位の低下を招いていた。
【０００９】
本発明は上記点に鑑みてなされたものであり、スレーブ媒体とマスター担体に損傷を与えることなく、両者を確実に密着させて良好な磁気転写が行えるようにした磁気転写用ホルダーおよび磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の磁気転写用ホルダーは、転写情報を担持したドーナツ状のパターン領域を表面に有する円盤状のマスター担体と、該マスター担体から前記転写情報の転写を受ける円盤状のスレーブ媒体との密着体を、表裏から、少なくとも該表裏の一方に、少なくとも前記密着体に面する側の表面が円形に形成された弾性体を介して挟持する磁気転写用ホルダーであって、
前記弾性体の円形の表面の外径Ｄ１が、前記マスター担体の外径と前記スレーブ媒体の外径のうち小さい方の外径Ｄ２よりも小さいことを特徴とするものである。
【００１１】
なお、本発明の磁気転写用ホルダーにおいては、前記密着体を表裏の両方に前記弾性体を介して挟持するものであることがより望ましい。
【００１２】
前記弾性体は、前記表面が円形であれば裏面はいかなる形状であってもよく、また、側面には傾斜部が設けられていてもよい。
【００１３】
前記外径Ｄ１と、前記外径Ｄ２との差が０．２ｍｍ〜４ｍｍであることが望ましい。該径の差が０．２ｍｍ未満では弾性体がマスター担体からはみ出さないように精度良く配置するのが困難であり、一方、径の差が４ｍｍより大きくなると内外径端部の圧力が低くなり、端分付近の信号品位が悪化する虞があるからである。
【００１４】
さらに、前記外径Ｄ１が、前記パターン領域の外径Ｄ３よりも大きいことが望ましく、この場合には、前記外径Ｄ１と、前記外径Ｄ３との差が４ｍｍ以下であることが望ましい。
【００１５】
さらに、前記マスター担体および前記スレーブ媒体の少なくとも一方が中心孔を有するものである場合、前記弾性体の円形の表面が中心穴を有し、該中心穴の径ｄ１が前記マスター担体の中心孔の径と前記スレーブ媒体の中心孔の径のうち大きい方の径ｄ２よりも大きいことが望ましい。
【００１６】
なお、前記マスター担体および前記スレーブ媒体のうちの一方のみが中心孔を有する場合、「前記マスター担体の中心孔の径と前記スレーブ媒体の中心孔の径のうち大きい方の径」とは、前記マスター担体および前記スレーブ媒体のうち中心孔を有するものの該中心孔の径に相当する。
【００１７】
弾性体の表面の中心穴は、弾性体を貫通する孔であってもよい。
【００１８】
なお、前記径ｄ１と前記径ｄ２の差が０．２ｍｍ〜４ｍｍであることが望ましい。
【００１９】
また、前記径ｄ１が、前記パターン領域の内径ｄ３よりも小さいことが望ましく、この場合、前記径ｄ１と前記内径ｄ３の差が４ｍｍ以下であることが望ましい。
【００２０】
本発明においては、スレーブ媒体の両面にそれぞれマスター担体が配置されている場合、２枚のマスター担体の外径、中心孔の径は必ずしも同一でなくてもよく、この場合には、スレーブ媒体と２枚のマスター担体の外径のうち最も小さい外径をＤ２、中心孔の径のうち最も大きい径をｄ２とする。
【００２１】
本発明の第２の磁気転写用ホルダーは、転写情報を担持したドーナツ状のパターン領域を表面に有する円盤状のマスター担体と、該マスター担体から前記転写情報の転写を受ける円盤状のスレーブ媒体との密着体を、表裏から、少なくとも表裏の一方に、少なくとも前記密着体に面する側の表面が円形に形成された弾性体を介して挟持する磁気転写用ホルダーであって、
前記マスター担体および前記スレーブ媒体の少なくとも一方が中心孔を有するものであり、
前記弾性体の円形の表面が中心穴を有し、該中心穴の径ｄ１が前記マスター担体の中心孔の径と前記スレーブ媒体の中心孔の径のうち大きい方の径ｄ２よりも大きいことを特徴とするものである。
【００２２】
このとき、前記径ｄ１と前記径ｄ２の差が０．２ｍｍ〜４ｍｍであることが望ましい。
【００２３】
また、前記径ｄ１が、前記パターン領域の内径ｄ３よりも小さいことが望ましく、この場合、前記径ｄ１と前記径ｄ３の差が４ｍｍ以下であることが望ましい。
【００２４】
さらに、上記本発明の各磁気転写用ホルダーにおいては、前記弾性体の厚みが０．１ｍｍ〜３ｍｍであること、前記弾性体の弾性率が０．５ＭＰａ〜２００ＭＰａであることが望ましい。なお、弾性体の厚みは０．５ｍｍ以上であることがさらに好ましい。
【００２５】
前記弾性体の具体的な材質としては、フッ素ゴム、ウレタンゴム、ニトリルゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコンゴム、ネオプレンゴム、バイトンゴム、ブタジエンゴム、天然ゴムなどが挙げられる。
【００２６】
本発明の磁気転写装置は、上記本発明の磁気転写用ホルダーを使用し、前記密着体の表裏に圧力を印加した状態で磁気転写を行うことを特徴とするものである。
【００２７】
本発明の磁気転写装置においては、前記パターン領域の各部に印加される圧力の最大値が２ＭＰａ以下であることが望ましい。
【００２８】
なお、前記パターン領域の各部に印加される圧力のバラツキは、最大圧力Ｐｍａｘが最小圧力Ｐｍｉｎの２倍以下であることが望ましい。
【００２９】
前記密着体の表裏に圧力を印加する加圧方法としては、前記磁気転写用ホルダーの内部を密閉し、その密閉空間を減圧することにより加圧する方法、動力源を用いて機械的に加圧する方法、あるいは両者を併用して加圧する方法のいずれであってもよい。
【００３０】
【発明の効果】
本発明の第１の磁気転写用ホルダーによれば、弾性体の円形の表面の外径Ｄ１が、マスター担体の外径とスレーブ媒体の外径のうち小さい方の外径Ｄ２よりも小さいので、マスター担体やスレーブ媒体の外周の端部への集中的に圧力付与が防止され、マスター担体やスレーブ媒体の外周端に損傷を与えない。また、弾性体の外周にマスター担体等が食い込むことがないため弾性体にも損傷を与えない。
【００３１】
また、挟持するマスター担体、スレーブ媒体が中心孔を有するものである場合、弾性体の円形の表面が中心穴を有し、該中心穴の径ｄ１が前記マスター担体の中心孔の径と前記スレーブ媒体の中心孔の径のうち大きい方の径ｄ２よりも大きいものとすることにより、マスター担体やスレーブ媒体の中心孔の端部、すなわち内周の端部への集中的な圧力付与が防止され、マスター担体やスレーブ媒体の外周端に損傷を与えない。また、弾性体の内周にマスター担体等が食い込むことがないため弾性体にも損傷を与えない。
【００３２】
また、外径Ｄ１と外径Ｄ２の差および／または径ｄ１と径ｄ２の差を０．２ｍｍ〜４ｍｍとすれば、弾性体がマスター担体からはみ出ないように配置することができるとともに、重ね合わされたマスター担体とスレーブ媒体の全面に亘って均一な圧力が加えられることから、全面に亘って確実に両者を密着させることができ、良好な信号転写なされ、転写後のスレーブ媒体において良好な信号品位が得られる。
【００３３】
また、外径Ｄ１をマスター担体のパターン領域の外径Ｄ３よりも大きく、および／または径ｄ１をマスター担体のパターン領域の内径ｄ３よりも小さくすれば、マスター担体とスレーブ媒体のパターン領域内において、均一な圧力が加えられることから、良好な信号転写がなされ、転写後のスレーブ媒体において良好な信号品位が得られる。
【００３４】
弾性体の厚さを０．１ｍｍ〜３ｍｍとすれば、内外周端部付近への局所的な低圧部発生を抑制することができる。弾性体が厚すぎると内外周端部付近に局所的な低圧部が発生し、薄すぎるとホルダーの平面度やマスター、スレーブ、弾性体の厚みムラを吸収する変形量を得られない。
【００３５】
弾性体の弾性率を０．５ＭＰａ〜２００ＭＰａとすれば、内周側から外周側に亘っての応力分布を効果的に平均化でき、さらに圧力の均一化を図ることができる。なお、弾性体の弾性率を２００ＭＰａより大きくすると内外周付近の圧力が中央部に対して高くなる虞がある。また、弾性体の弾性率が０．５ＭＰａより小さい場合はマスター担体を固定しても弾性体の容易な変形によりマスター担体が動いてしまい、正確な位置決めが困難となる。これは転写される信号の芯ずれ要因となり好ましくない。また、例えば発泡ゴム等の弾性定数の小さい材料は一般的に発塵しやすい傾向があり、塵埃がマスター担体とスレーブ媒体の密着時に両者の間に介在して信号抜けの原因となる虞がある。
【００３６】
本発明の磁気転写用装置は、上記本発明の磁気転写用ホルダーを使用し、前記密着体表裏に圧力を印加した状態で磁気転写を行うので、全面に均一な圧力を印加した磁気転写を行うことができ、良好な信号品位を得ることができる。
【００３７】
なお、パターン領域の各部に印加される圧力の最大値を２ＭＰａ以下とすることにより、マスター担体やスレーブ媒体への圧力印加による損傷や変形等を抑制することができる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示す実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。
【００３９】
図１は本発明の磁気転写ホルダーを備えた磁気転写装置の概略構成を示す斜視図であり、図２は図１に示した磁気転写ホルダーのＩＩ−ＩＩ断面図、図３は磁気転写ホルダーに保持されるマスター担体とスレーブ媒体および磁気転写ホルダーの弾性体の平面図である。なお、各図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。
【００４０】
磁気転写装置１は、マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて保持する磁気転写用ホルダー１０と、該磁気転写用ホルダー１０の内部空間のエアを真空吸引し内部を減圧状態として密着力を得る図示しない真空吸引手段と、磁気転写用ホルダー１０を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加手段５５とを備えてなる。
【００４１】
磁界印加手段５５は、磁気転写用ホルダー１０の両側に配設された電磁石装置５０，５０を備えてなり、この電磁石装置５０磁気転写用ホルダー１０の半径方向に延びるギャップ５１を有するコア５２にコイル５３が巻き付けられてなる。ギャップ５１に発生する磁力線の向きは、磁気転写用ホルダー１０に保持されたスレーブ媒体２のトラック方向（円周トラックの接線方向）と平行である。また、磁界印加手段５５としては、電磁石装置に代えて永久磁石装置で構成してもよい。なお、上述の磁界印加手段５５は、面内記録のためのものであるが、垂直記録の場合の磁界印加手段は、磁気転写用ホルダー１０の両側に配設された、極性の異なる電磁石または永久磁石から構成することができる。すなわち、垂直記録の場合は、トラック面に垂直な方向に転写用磁界を印加する。
【００４２】
また、磁界印加手段５５は、磁気転写用ホルダー１０の開閉動作を許容するように、両側の電磁石装置５０，５０が接離移動するか、電磁石装置５０，５０間に磁気転写用ホルダー１０が挿入するように電磁石装置５０，５０またはホルダー１０が移動するようになっている。
【００４３】
磁気転写ホルダー１０は、図２に示すように、相対的に接離移動可能な左側の片側ホルダー１１と右側の他側ホルダー１２とを備え、両者の接近に伴い外周のシール機構１３により密閉形成される内部空間６に、スレーブ媒体２、両側のマスター担体３，４を収容し、この内部空間６の減圧によりスレーブ媒体２とマスター担体３，４とを中心位置を合わせた状態で重ね合わせて対峙密着させた密着体を表裏から挟持する。
【００４４】
片側ホルダー１１の基準となる押圧内面１１ａには、後述の弾性体８を介してスレーブ媒体２の片面にサーボ信号等の情報を転写する一方のマスター担体３およびスレーブ媒体２を保持する。他側ホルダー１２の押圧内面１２ａには、スレーブ媒体２の他面にサーボ信号等の情報を転写する他方のマスター担体４を保持する。
【００４５】
つまり、磁気転写用ホルダー１０の片側ホルダー１１は円盤状で、マスター担体３，４の外径より大きい円形状の内面１１ａを有し、この内面１１ａの中央部に片側マスター担体３の背面を吸着などにより保持し、このマスター担体３の表面にスレーブ媒体２を吸着等により保持する。他側ホルダー１２は円盤状で、同様にマスター担体３，４の外径より大きい円形状の内面１２ａを有し、この内面６ａの中央部に他側マスター担体４の背面を吸着などにより保持する。
【００４６】
片側ホルダー１１と他側ホルダー１２の間を接続するシール機構１３は、片側ホルダー１１の外周に軸方向に突出した鍔部１１ｂと、他側ホルダー１２の外周面に装着されたＯリングによるシール材１４とを備える。他側ホルダー１２の外径は、片側ホルダー１１の鍔部１１ｂの内周面の径より小さく、片側ホルダー１１の鍔部１１ｂの内周側に、他側ホルダー１２が挿入可能に設けられている。そして、他側ホルダー１２の外周面のシール材１４が、他側ホルダー１２を片側ホルダー１１側に移動させた際に、片側ホルダー１１の鍔部１１ｂの内周面に摺接して、相対移動を許容しつつ内部空間６を密閉する。
【００４７】
片側ホルダー１１および他側ホルダー１２の背面中心部には、それぞれ中心軸１１ｃ，１２ｃが突設され、磁気転写装置本体に支持される。この片側ホルダー１１および他側ホルダー１２は図示しない回転機構に連係されて磁気転写時に中心軸１１ｃ，１２ｃを中心に一体に回転駆動される。
【００４８】
また、内部空間６を減圧するために、他側ホルダー１２の押圧内面１２ａの中心部に開口する吸引口５ａを備え、この吸引口５ａに連通するエア通路５ｂが他側ホルダー１２の中心軸１２ｃを通して外部に導出され、不図示の真空ポンプに接続されている。
【００４９】
真空ポンプによる真空吸引により、他側ホルダー１２と片側ホルダー１１とで形成される内部空間６を、所定の真空度に減圧する。これにより、重ね合わされたスレーブ媒体２とマスター担体３，４とを加圧し、所定の密着圧力を得る。
【００５０】
また、ホルダー１０は、片側ホルダー１１の押圧内面１１ａに、円盤状の弾性体８が設置され、この弾性体８に片方のマスター担体３を保持し、内部空間６の減圧に伴う加圧時には、弾性体８が変形しつつスレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を所定の加圧力で密着させるものである。
【００５１】
図３は、スレーブ媒体２、マスター担体３および弾性体８の平面図を示すものである図３に示すように、マスター担体３は中心孔３ａを有する円盤状に形成され、片面（情報担持面）の内周部および外周部を除くドーナツ状のパターン領域に転写パターンＰが形成されている。マスター担体３の中心孔３ａの径はｄｍ、外径はＤｍ、マスター担体１の表面のパターン領域の内径はｄ３、外径はＤ３である。なお、マスター担体４はマスター担体と略同一の形状を有し、スレーブ媒体２の他面側の転写すべき転写パターンを有するものである。
【００５２】
図示の転写パターンＰは、転写情報がサーボ信号の場合であり、マスター担体の中心部から等間隔でほぼ放射方向に延びる細幅の領域（サーボ領域）にサーボパターンが形成されてなる。サーボ領域は、図示のように半径方向に連続した湾曲放射状に形成されるほか、直線放射形状に形成されることもある。なお、ここでは転写情報がサーボ信号である場合について挙げているが、転写パターンはサーボパターンのみならず、種々のデータを含むパターンであってもよい。
【００５３】
マスター担体３の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体が使用される。
【００５４】
スレーブ媒体２として、両面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。図示のスレーブ媒体２は、中心孔２ａを有する円盤状であり、内周部および外周部を除く一点鎖線で示すドーナツ状領域が記録再生を行う記録領域２ｃに設定され、ヘッド可動領域となり、この記録領域２ｃに前記転写パターンＰが密着されて対応する磁化パターンが転写記録される。スレーブ媒体２の中心孔２ａの径はｄｓ、外径はＤｓである。また、記録領域２ｃは、マスター担体３のパターン領域と略同一の形状であり、内径はｄ３、外径はＤ３である。スレーブ媒体２の外径Ｄｓと記録領域２ｃの外径Ｄ３との差は一般に２ｍｍ程度であり、径ｄｓと内径ｄ３との差は７ｍｍ程度である。
【００５５】
弾性体８は、中心孔８ａを有する円盤状に形成されており、中心孔８ａの径はｄ１、外径はＤ１である。外径Ｄ１は、マスター担体３とスレーブ媒体２の外径Ｄｍ、Ｄｓのうち小さい方の外径Ｄ２よりも小さく、かつ記録領域２ｃの外径Ｄ３より大きい。また、中心孔８ａの径は、マスター担体３とスレーブ媒体２の中心孔の径ｄｍ、ｄｓのうち大きい径ｄ２よりも大きく、かつ記録領域２ｃの内径ｄ３より小さい。本実施形態においては、スレーブ媒体２の外径Ｄｓがマスター担体３の外径Ｄｍより小さいため、スレーブ媒体２の外径ＤｓがＤ２であり、スレーブ媒体の中心孔の径ｄｓがマスター担体の中心孔の径ｄｍよりも大きいため、スレーブ媒体中心孔の径ｄｓがｄ２である。なお、外径Ｄ１と外径Ｄ２との差が０．２ｍｍ〜４ｍｍ、外径Ｄ１と外径Ｄ３との差が４ｍｍ以下であることが望ましい。同様に径ｄ１と径ｄ２との差が０．２ｍｍ〜４ｍｍ、径ｄ１と内径ｄ３との差が４ｍｍ以下であることが望ましい。外径Ｄ１とＤ２および径ｄ１と径ｄ２の差がそれぞれ０．２ｍｍ未満すなわち両者の半径の差が０．１ｍｍ未満となると、弾性体がマスター担体からはみ出さないように精度良く配置するのが困難である。なお、本実施形態においては、両側のマスター担体３、４を略同一形状のものとしたが、両者の径は必ずしも同一である必要はない。マスター担体３、マスター担体４が異なる外径および中心孔径を有する場合、両者３、４の外径のうち小さい方の外径、および中心孔径のうち大きい方の中心孔径を、マスター担体の外径Ｄｍおよび中心孔径ｄｍとみなせばよい。
【００５６】
本実施形態の磁気転写用ホルダー１０は、弾性体８を介してスレーブ媒体２およびマスター担体３，４を押圧密着させるものであり、弾性体８の外径Ｄ１および中心孔の径ｄ１が、上述のように、Ｄ３＜Ｄ１＜Ｄ２およびｄ３＜ｄ１＜ｄ２の関係にあるため、マスター担体３，４とスレーブ媒体２の密着体の内外周縁に局所的な高圧力が印加されることがなく、マスター担体３，４およびスレーブ媒体２の端部に損傷を与えない。また、パターン領域において均一な圧力が印加され、全面で均等に密着させることができ、マスター担体３，４に形成された転写パターンに正確に対応した磁化パターンをスレーブ媒体２に転写記録することができる。また、外径および中心孔の径が上記関係であれば、マスター担体３，４の端部が弾性体８に食い込むことがないため、弾性体への損傷も防止することができる。
【００５７】
なお、上述の弾性体８の具体的な材料としては、フッ素ゴム、ウレタンゴム、ニトリルゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコンゴム、ネオプレンゴム、バイトンゴム、ブタジエンゴム、天然ゴムなどが挙げられる。
【００５８】
弾性体８の厚みｔが厚すぎると内外径端部付近に局所的な低圧部が生じるが、弾性体８の厚みｔを０．１ｍｍ〜３ｍｍとすることにより、スレーブ媒体の内外径端部付近への局所的な低圧部の発生を抑制することができることが本発明者らの研究により明らかになった。なお、低圧部発生を抑制するためには、厚みｔが薄い方が好ましいが、ホルダー１１、１２の平面度やマスター担体３，４、スレーブ媒体２および弾性体８自体の厚みムラを吸収する変形量を得るためには０．５ｍｍ以上であることが好ましい。したがって、厚みｔは０．１ｍｍ〜３ｍｍが好ましく、より好ましくは０．５ｍｍ〜３ｍｍである。
【００５９】
また、弾性率が小さすぎると、マスター担体を固定しても弾性体の容易な変形によりマスターが動いてしまい、正確な位置決めが困難となる、これは転写される信号の芯ズレ要因となり好ましくない。したがって、弾性率が０．５ＭＰａ〜２００ＭＰａであることが好ましい。
【００６０】
次に、上記磁気転写装置による磁気転写方法について説明する。
【００６１】
磁気転写を行う際には、スレーブ媒体２の磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておく。このスレーブ媒体２をマスター担体３，４と密着させ、初期直流磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行う。
【００６２】
面内記録の場合、磁界印加手段５５によりトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。この際、磁気転写用ホルダー１０を回転させて、スレーブ媒体２とマスター担体３，４の全面に転写用磁界を印加する。なお、磁界印加手段を回転移動させるように設けてもよい。
【００６３】
上記磁気転写装置の磁気転写用ホルダー１０では、同じマスター担体３，４により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず片側ホルダー１１および他側ホルダー１２にマスター担体３，４を位置を合わせて保持させておく。そして、片側ホルダー１１と他側ホルダー１２とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットした後、他側ホルダー１２を片側ホルダー１１に接近移動させる。
【００６４】
そして、他側ホルダー１２のシール材１４が片側ホルダー１１の鍔部１１ｂの内周面に摺接して、スレーブ媒体２およびマスター担体３，４を収容した磁気転写用ホルダー１０の内部空間６を密閉する。真空吸引手段５により密閉空間のエア排出を行って減圧し、内部を所定の真空度とし、他側ホルダーと片側ホルダー１１が相対的に移動することによって、重ね合わせたマスター担体２とスレーブ媒体３，４を加圧する。これにより、他側ホルダー１２は真空度に応じて作用する外力（大気圧）による圧力で、片側ホルダー１１に向けてスレーブ媒体２とマスター担体３とに密着力を加え、所定の密着圧力で密着させると共に、両者の密着面のエア抜きが行われ、密着性が高められる。
【００６５】
このとき、パターン領域の各部に印加される圧力のバラツキが、最大圧力Ｐｍａｘが最小圧力Ｐｍｉｎの２倍以下となり、該パターン領域の各部に印加される圧力の最大値が２ＭＰａ（≒２０ｋｇｆ／ｃｍ２）以下となるようにする。なお、上述のような弾性体８を備えることにより最大圧力Ｐｍａｘを最小圧力Ｐｍｉｎの２倍以下とすることができパターン領域の各部に印加される圧力を均一化することができる。
【００６６】
その後、磁気転写用ホルダー１０の両側に磁界印加手段を接近させ、磁気転写用ホルダー１０を回転させつつ磁界印加手段によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の記録領域に転写記録する。
【００６７】
上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体３，４の転写パターンにおけるスレーブ媒体２と密着した磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【００６８】
また、前記磁気転写用ホルダー１０の内部空間６の減圧による加圧に加えて、ホルダー１０に外部からの動力源による機械的加圧を併用してもよい。この機械的に加圧する押圧手段は、例えば、加圧シリンダを備え、その押圧ロッドの先端がホルダー１０の中心軸１１ｃまたは１２ｃに所定の押圧荷重を印加するように構成すればよい。
【００６９】
図４〜図９はそれぞれ他の実施形態を示す磁気転写用ホルダー１０の断面図であり、スレーブ媒体２とマスター担体３，４の外径、中心孔径の大きさ、および弾性体８の外径、中心孔径、および形状が異なった例である。図４〜図９において、図２の実施形態と同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。
【００７０】
図４に示す第２の実施形態の磁気転写用ホルダーは、他側ホルダー１２側にも弾性体８’を設置したものである。すなわち、本実施形態の磁気転写用ホルダー１０は、マスター担体３，４およびスレーブ媒体２からなる密着体の両面にそれぞれ弾性体８、８’を介して挟持するものである。また、磁気転写用ホルダーの密着体においては、図に示すとおり、マスター担体３および４の外径および中心孔の径は同一であり、スレーブ媒体２の外径がマスター担体３，４の外径より小さく、マスター担体３，４の中心孔の径がスレーブ媒体２の中心孔の径よりも大きいため、本実施形態においてはスレーブ媒体２の外径がＤ２であり、マスター担体の中心孔の径がｄ２である。また、マスター担体３、４のパターン領域３ｃ，４ｃの外径および内径はそれぞれＤ３，ｄ３である。
【００７１】
弾性体８の厚みは弾性体８’の厚みより大きいのものであるが、外径Ｄ１および中心孔ｄ１の径は同一である。なお、外径、中心孔径の大きさは、Ｄ２＜Ｄ１＜Ｄ３、ｄ２＜ｄ１＜ｄ３の関係を満たすものである。この関係を満たした弾性体８，８’を備えているため、本実施形態の磁気転写ホルダーにおいても上記第１の実施形態の場合と同様の効果を得ることができる。また、弾性体８，８’の厚みはそれぞれ０．１ｍｍ〜３ｍｍの範囲の厚みであり、例えば、弾性体８の厚みを３ｍｍ、弾性体８’の厚みを０．５ｍｍとする。密着体の表裏両面を弾性体を介して挟持することにより、片側にのみ弾性体を備えた場合以上に、各部における印加圧力を均一化することができ、より信号品位のよい磁気転写を行うことができる。
【００７２】
図５に示す第３の実施形態の磁気転写用ホルダーは、第２の実施形態の場合と同様に弾性体８，８’を片側ホルダー１１と他側ホルダー１２にそれぞれ配したものである。また、本実施形態においては、図に示すとおり、マスター担体３，４およびスレーブ媒体２の外径は同一のＤ２であり、マスター担体３，４の中心孔の径がスレーブ媒体２の中心孔の径よりも大きいため、本実施形態においてはマスター担体３，４の中心孔の径がｄ２である。また、マスター担体３，４のパターン領域３ｃ，４ｃの外径および内径はそれぞれＤ３，ｄ３である。弾性体８、８’の厚み、外径Ｄ１および中心孔ｄ１の径は略同一である。なお、外径、中心孔径の大きさは、Ｄ２＜Ｄ１＜Ｄ３、ｄ２＜ｄ１＜ｄ３の関係を満たすものである。この関係を満たした弾性体８，８’を備えているため、本実施形態の磁気転写ホルダーにおいても上記第１の実施形態の場合と同様の効果を得ることができる。
【００７３】
さらに、本実施形態は、弾性体８，８’の厚みを略同一の０．５ｍｍ程度の薄型としたものであり、両弾性体８，８’の厚みを０．５ｍｍ程度とすることにより、第２の実施形態の場合よりもさらに圧力の均一化を図ることができる。
【００７４】
図６に示す第４の実施形態の磁気転写用ホルダーは、マスター担体と弾性体の間に剛性板２０を備えた点でのみ第３の実施形態の磁気転写用ホルダーと異なるものである。この剛性板２０は、マスター担体３，４と同形状の板であり、マスター担体３，４を保持するため、および／もしくはマスター担体３，４の剛性を確保する目的で備えたものである。このように、弾性体８，８’とマスター担体３，４との間に剛性板２０を備えた場合にも、上記と同様の効果を得ることができる。
【００７５】
図７に示す第５の実施形態の磁気転写用ホルダーは、弾性体８が円盤状でなく円錐台状である点で上記他の形態と異なるものである。円錐台の中央に中心孔８ａが設けられおり、底面がホルダー１１側、上面がマスター担体３に面するように配されている。円錐台の上面、すなわち、弾性体の少なくとも密着体に面する側の表面８ｂの外径がＤ１、中心孔８ａの径がｄ１である。中心孔８ａは必ずしも弾性体を貫通しているものである必要はなく、マスター担体３に面する表面８ｂに穴を設けたような形状であってもよい。また、弾性体８のマスター担体３に面する表面８ｂは、その外径Ｄ１および中心孔ｄ１の径が、マスター担体３，４もしくはスレーブ媒体２、およびパターン領域の外径Ｄ２，Ｄ３および中心孔の径ｄ２、内径ｄ３とＤ２＜Ｄ１＜Ｄ３、ｄ２＜ｄ１＜ｄ３の関係を満たすものである。
【００７６】
このように、弾性体８の形状が円盤状でなくても、マスター担体３に面する表面８ｂが円形であり、外径および中心孔の径が上記関係を満たすものであれば、上記の第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００７７】
図８に示す第６の実施形態の磁気転写用ホルダーは、弾性体８が円盤状であるが、マスター担体３に面する表面８ｂ側の外周縁８ｃが面取りされた形状である点で他の形態と異なるものである。弾性体８の外周縁８ｃが面取りされて、その表面８ｂは、外径がＤ１、中心孔８ａの径がｄ１の円形となっている。表面８ｂは、その外径Ｄ１および中心孔ｄ１の径が、マスター担体３，４もしくはスレーブ媒体２、およびパターン領域の外径Ｄ２，Ｄ３および中心孔の径ｄ２、内径ｄ３とＤ２＜Ｄ１＜Ｄ３、ｄ２＜ｄ１＜ｄ３の関係を満たすものである。
【００７８】
このように、弾性体８のホルダー１１ｂ側の面の形状が、上記のような外径および中心孔の径を満たさなくても、弾性体８のマスター担体３に面する表面８ｂの形状が、上記関係を満たすものであれば、上記第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００７９】
図９に示す第７の実施形態の磁気転写用ホルダーは、弾性体８の中心孔の径ｄ１が、スレーブ媒体２およびマスター担体３，４の中心孔の径のうち最大の径ｄ２より大きく、外径Ｄ１が、スレーブ媒体２およびマスター担体３，４の外径Ｄ２より小さいものである。Ｄ１とＤ２との差ΔＤ、ｄ１とｄ２との差Δｄは共に０．２ｍｍ〜４ｍｍの範囲であり、図示の半径差ΔＤ／２およびΔｄ／２は０．１ｍｍ〜２ｍｍの範囲である。これにより、スレーブ媒体２およびマスター担体３，４の内周および外周の端部における高圧力の付与を防止して、内周端および外周端の損傷を防止することができる。なお、外径Ｄ１は、パターン領域３ｃ、４ｃの外径より大きく、中心孔の径ｄ１はパターン領域３ｃ，４ｃの内径よりも小さいことが望ましいが、外径Ｄ１がパターン領域３ｃ，４ｃと同等もしくは小さくても、また、中心孔の径ｄ１がパターン領域３ｃ，４ｃと同等もしくは大きくても、パターン領域に亘ってほぼ均一な圧力とすることができる。
【００８０】
なお、弾性体８の中心孔の径、外径のうち、少なくともいずれか一方がマスター担体およびスレーブの中心孔の径、外径と上記関係を満たせば、損傷防止の効果を得ることができる。
【００８１】
図１０に示す第８の実施形態の磁気転写用ホルダーは、弾性体８に中心孔がなく、この転写用ホルダーが挟持するスレーブ媒体２およびマスター担体３，４は中心孔がないものである。このように、中心孔がないスレーブ媒体２およびマスター担体３，４を挟持するための磁気転写用ホルダーの場合、弾性体８にも中心孔を設ける必要はない。中心孔のないマスター担体およびスレーブ媒体を保持するため、磁気転写用ホルダー１０は、図示しない外周位置決め部を有し、また、ホルダー内部６のエアを吸引するための吸引口１５ａおよびエア通路１５ｂが片側ホルダー１１ｂの外周部に設けられ、エア通路１５ｂが不図示の真空ポンプに接続される構造となっている。
【００８２】
スレーブ媒体２とマスター担体３および４の外径は等しく、該外径がＤ２である。また、弾性体８の外径Ｄ１は外径Ｄ２より小さく、Ｄ１とＤ２との差ΔＤは０．２ｍｍ〜４ｍｍであり、図示の半径差ΔＤ／２は０．１ｍｍ〜２ｍｍである。
【００８３】
これにより、スレーブ媒体２およびマスター担体３，４の外周の周縁における高圧力の付与を防止して、外周端の損傷を防止することができる。なお、Ｄ１はパターン領域３ｃ，４ｃの外径よりも大きいことが望ましいが、パターン領域３ｃ，４ｃと同等もしくは小さくても、パターン領域に亘ってほぼ均一な圧力とすることができる。
【００８４】
なお、上記の各実施形態では、スレーブ媒体２の両側にマスター担体３，４を対峙密着させる両面同時転写の態様を示しているが、スレーブ媒体２の片面にマスター担体３または４を対峙密着させる片面逐次転写を行うようにしてもよい。
【００８５】
【実施例】
本発明の具体的な実施例および比較例１、２について説明する。
【００８６】
各例において、磁気転写ホルダーは第１の実施形態の片側ホルダーおよび他側ホルダーを備え、挟持する密着体の表裏両面をそれぞれ厚さ０．５ｍｍの弾性体を介して挟持するものである。
【００８７】
実施例および比較例の磁気転写ホルダーが挟持するマスター担体およびスレーブ媒体は同一のものである。マスター担体、スレーブ媒体、実施例の弾性体、比較例１の弾性体および比較例２の弾性体それぞれの中心孔を有するものであり、その中心孔の径（内径）ｄと、外径Ｄは表１に示す通りである。
【００８８】
【表１】
2004296009.tif 000003
実施例および比較例１、２の磁気転写ホルダーによりマスター担体およびスレーブ媒体を挟持させて密着させた場合の、スレーブ媒体における垂直応力分布のシミュレーション結果を図１１に示す。図１１は、スレーブ媒体の内径から外径に亘る一半径における垂直応力を示すものであり、同図（ａ）が実施例、（ｂ）が比較例１、（ｃ）が比較例２についての結果である。比較例１および２については、外周端において急激な圧力の増加（縦軸下向きが応力大）が生じており、内周端において圧力が不連続になり、一部圧力の低下する部分が生じていた。このような局所的な高圧の印加が生じると、スレーブ媒体もしくはマスター担体に損傷が生じる虞があり、一方圧力が低下する部分があるとその部分での信号転写の品位が低下する虞がある。一方、実施例の場合は、比較例に見られたような局所的な高圧の付与となる箇所は生じなかった。
【００８９】
すなわち、弾性体の外径がスレーブ媒体もしくはマスター担体の外径と同等以上である比較例の場合よりも、弾性体の外径がスレーブ媒体もしくはマスター担体の外径より小さい実施例の方が局所的な高圧の印加を抑制することができ、スレーブ媒体やマスター担体の損傷を抑制することができることが明らかである。
【００９０】
なお、マスター担体とスレーブ媒体の内径と同等以下の内径を有する弾性体である場合、弾性体の弾性率、厚み等の条件によっては、内径側にも図１１（ｂ），（ｂ）の外周側と同様に局所的な高圧が印加される箇所が生じる場合があるが、やはり弾性体の内径をマスター担体とスレーブ媒体のうち小さい内径よりも小さくすることにより、局所的な高圧の印加を抑制することができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態にかかる磁気転写装置の概略構成を示す斜視図
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ断面図
【図３】マスター担体、スレーブ媒体および弾性体の平面図
【図４】本発明の第２の実施形態にかかる磁気転写用ホルダーの概略断面図
【図５】本発明の第３の実施形態にかかる磁気転写用ホルダーの概略断面図
【図６】本発明の第４の実施形態にかかる磁気転写用ホルダーの概略断面図
【図７】本発明の第５の実施形態にかかる磁気転写用ホルダーの概略断面図
【図８】本発明の第６の実施形態にかかる磁気転写用ホルダーの概略断面図
【図９】本発明の第７の実施形態にかかる磁気転写用ホルダーの概略断面図
【図１０】本発明の第８の実施形態にかかる磁気転写用ホルダーの概略断面図
【図１１】実施例および比較例についてスレーブ媒体における垂直応力分布を示すシミュレーション結果を示す図
【符号の説明】
２    スレーブ媒体
２ａ    スレーブ媒体の中心孔
３，４    マスター担体
３ａ，４ａ    マスター担体の中心孔
５ａ    吸引口
５ｂ    エア通路
６    内部空間
８    弾性体
８ａ    弾性体の中心孔
１０    磁気転写用ホルダー
１１    片側ホルダー
１２    他側ホルダー
１１ａ，１２ａ    押圧内面
１１ｂ    鍔部
１１ｃ，１２ｃ    中心軸
１３    シール機構
１４    シール材
【図１】
2004296009.tif 000004
【図２】
2004296009.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004296009.tif 000009
【図７】
2004296009.tif 000010
【図８】
2004296009.tif 000011
【図９】
2004296009.tif 000012
【図１０】
2004296009.tif 000013
【図１１】
2004296009.tif 000014