(57)【要約】【課題】真空発生器及び真空破壊の切換装置が不要な小型化した真空発生装置を提供することである。【解決手段】正圧・負圧・排気の開口を有する外胴体並びに該外胴体の内部に一体化されたノズルユニット及びディフューザーユニットがスライド可能に配置されたこと、また、前記一体化されたノズルユニット及びディヒューザーユニットが気体供給口への加圧気体のＯＮ−ＯＦＦによりスライド稼働する真空発生装置。【選択図】  図１
2004293358.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
正圧・負圧・排気の開口を有する外胴体並びに該外胴体の内部に一体化されたノズルユニット及びディフューザーユニットがスライド可能に配置されたことを特徴とする真空発生装置。
【請求項２】
前記一体化されたノズルユニット及びディヒューザーユニットが気体供給口への加圧気体のＯＮ−ＯＦＦによりスライド稼働することを特徴とする請求項１に記載の真空発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧縮流体より真空を発生させるエジェクタ方式による真空発生器に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来技術によるエジェクタ方式の真空発生器は、ノズル及びディヒューザーよりなる機構でノズル部への圧縮気体の供給を電磁弁等の切換装置によりＯＮ−ＯＦＦしていた。また、ＯＦＦにおける真空破壊を別の電磁弁等で行っていた。また、ノズル部に圧縮気体を常時供給し真空系を電磁弁等の切換装置によりＯＮ−ＯＦＦしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
エジェクタ方式による真空発生器を切換装置でＯＮ−ＯＦＦ、真空破壊を切換装置でＯＮ−ＯＦＦするための装置は、小型化が困難であるという問題がある。本発明においては、真空発生器及び真空破壊の切換装置を設けることなく、小型化した真空発生装置を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
正圧・負圧・排気の開口を有する外胴体並びに該外胴体の内部に一体化されたノズルユニット及びディフューザーユニットがスライド可能に配置された真空発生装置であり、真空系及び真空破壊系の切換装置を別途に設けることなく、小型化した真空発生装置を提供することができる。また、前記一体化されたノズルユニット及びディヒューザーユニットが気体供給口への加圧気体のＯＮ−ＯＦＦによりスライド稼働する真空発生装置である。
【０００５】
本発明に係る真空発生装置は、正圧・負圧・排気の開口を有する外胴体並びに該外胴体の内部に一体化されたノズルユニット及びディフューザーユニットがスライド可能に配置されたものである。また、前記一体化されたノズルユニット及びディヒューザーユニットが気体供給口への加圧気体のＯＮ−ＯＦＦによりスライド稼働するものである。以下において本発明に係る真空発生装置の詳細を説明する。尚、本発明に係る真空発生装置は、以下の説明、実施例に限定されるものでない。
【０００６】
本発明に係る真空発生装置は、ノイズユニット１がディフューザーユニット５の内部に挿入固定され、該ディヒューザーユニットが外胴体１３の内部をスライドする構造である。スライド動力源は、正圧・負圧の気体圧及び／または弾性体１２によるものである。例えば、シリンダ口８より加圧気体を供給して動かし、加圧気体を切り大気に解放することにより弾性体１２の反発力で戻る動きをさせて往復運動をさせることである。例えば、弾性体側にもシリンダ口を設けてシリンダ口８との交互なる加圧気体の供給により往復運動をさせることである。例えば、シリンダ口に負圧を供給して往復運動をさせることも可能であるが本真空発生装置が加圧圧縮気体で動作して真空発生するエジェクタ方式の真空発生装置であることからすると好ましくない。また、外胴体１３及びディヒューザーユニット５のスライド部を含浸油金属、メタルシール、テフロン（商標）若しくはナイロン（商標）等の樹脂、または、磁性流体などでシールドすることもスムーズな動作に有用である。
【０００７】
ノズルユニット１は、金属、樹脂、セラミック、等の材料、外形、寸法、等を限定するものでない。圧縮気体を供給する供給口及び極細のノズル２を有するものであり、外形が円形のものが好ましい。該ノズルの径が０．２〜５ｍｍであることが好ましく、より好ましくは０．４〜３ｍｍである。材料は、加工が容易な金属、成形加工ができる樹脂等が好ましい。該ノズルユニット１は、ディフューザーユニット５に挿入され、ノズルの反対側がほぼ平面上に封鎖されていて圧縮気体を供給する供給口を横方向に形成している。即ち、シリンダ室７と隔離している。
【０００８】
ディヒューザーユニット５は、金属、樹脂、セラミック、等の材料、外形、寸法、等を限定するものでない。前記ノズルユニット１を内部に挿入させ、外胴体１３の内部に挿入されてスムーズに往復運動する構造である。材料は、加工が容易な金属、成形加工ができる樹脂が好ましい。該ディヒューザーユニット５は、内部にノズルユニット１を挿入するための穴及び該穴と通じる拡散室３が形成され、該拡散室に通じる真空吸引用の経路が外周方向に形成され、ディヒューザー４としてテーパー状に拡大する穴が該拡散室と通じるように形成されている。
【０００９】
好ましくは、該ディヒューザーユニットの外周に外周方向に形成された真空級引用の経路と通じる溝が形成されていることである。好ましくは、該ディヒューザーユニットの外周に前記ノズルユニットの圧縮気体を供給する供給口と通ずる溝が形成されていることである。この様な溝が形成されていることにより該ディヒューザーユニット５が該外胴体１３の内部で回転しても圧縮気体の供給及び真空吸引の経路が確保されて真空発生装置の機能を確保することができる。
【００１０】
外胴体１３は、金属、樹脂、セラミック、等の材料、外形、寸法、等を限定するものでない。前記ディヒューザーユニット５を内部に挿入してスムーズに往復運動させる構造である。材料としては、加工が容易な金属、成形加工ができる樹脂であることが好ましい。該外胴体１３には、圧縮供給口、真空吸引口、シリンダ口、破壊圧口が外部配管可能に設けられ、ワンタッチ継ぎ手が設けられていることが好ましいく、消音排気窓を設ける。シリンダ口８によりシリンダ室７気体が送られてディヒューザーユニット５がピストンの如く押され、該シリンダ口８を大気に解放すると該ディヒューザーユニット５が弾性体１２により押し戻される。該弾性体としては、スプリングが好ましい。
【００１１】
消音装置６は、圧縮気体の排気時に発生する排気音を減少させるものであり、特に限定するものでなく通常に使用されている材料より成るものである。ディヒューザーユニット５のディヒューザー４の解放部に直接設置することも、または、外胴体１３の消音排気窓の外部に設置することもできる。
【００１２】
これにのユニット、等を図に示すが如くに組み立てて往復スライド移動がスムーズに製作する。シリンダ口８に正圧の気体を供給した状態の図１に示す位置においては、圧縮供給口９より圧縮気体が供給されてノズル２より放出され、放出された圧縮気体がディヒューザー４を通過して消音装置６，消音排気窓より外部に解放放出される。該ノズル２及び該ディヒューザー４の間において放出された圧縮気体が拡散室３内の気体を持ち去ることにより該拡散室の気体圧を負圧（陰圧）にして真空吸引口１１に真空（負圧）を供給する。
【００１３】
シリンダ口８を大気に解放して弾性体１２により押し戻された状態の図２に示す位置に置いては、圧縮供給口９が閉ざされて真空吸引口９への負圧供給が停止し、破壊圧口１０からの破壊圧が真空吸引口に供給されて真空破壊を行う。または、消音装置が常に大気に解放された状態の構造においては、破壊圧口１０を設置しなくても消音排気窓よりディヒューザー、拡散室を通じて大気が真空吸引口に供給されて真空破壊を行う。真空破壊とは、チップ部品搭載装置などでチップ部品をニードルで吸着して搭載時に搭載解放するにあたり、加圧気体の供給により残存の真空負圧を強制的に除去することである。
【００１４】
この様な本発明に係る真空発生装置は、真空経路及び真空破壊経路に切換装置を設けることなく小型化したものである。
【００１５】
【実施例】本発明に係る真空発生装置の実施例により詳細を説明する。実施を示す図面は、概略構造を示し縮尺等の詳細寸法を示すものでない。
【００１６】
（実施例１）
ディフューザーユニット５（図１を参照）は、外径が８ｍｍで長さが６０ｍｍの真鍮材による円柱形の形状であり、ノズルユニット１が挿入される穴（途中において該ノズルユニットが位置停止される段差を有する。）及び該穴と通じる拡散室３が形成され、該拡散室に通じる真空吸引用（真空吸引口１１に通ずる。）の横穴が形成され、該ディヒューザーユニットの外周に真空吸引用の横穴に通ずる溝が形成され、ノズルユニット１の圧縮気体を供給する横穴に通ずる溝が該ディヒューザーユニットの外周に形成され、ディフューザー４としてテーパー状に拡大する穴が該拡散室の先に通じるように形成され並びに該ディフューザーの先に消音装置６が取り付けられている。
【００１７】
ノズルユニット１（図１を参照）は、外径が６ｍｍの真鍮材による円柱形の形状であり、先端部に直径０．５ｍｍのノズル２が形成され、基の部分には圧縮気体を供給する横穴（圧縮供給口９と通じる。）が形成され並びに最初の縦穴の基の部分が埋め戻されている。
【００１８】
前記ディフューザーユニット５に前記ノズルユニット１が挿入固定されて、該ディフューザーユニット及び該ノズルユニットが真空吸引用の横穴及び圧縮気体を供給する横穴を同一向きとなるように一体化されている。一体化されたものは、消音装置付きのエジェクタ方式による真空発生器である。
【００１９】
前記消音装置６は、横方向に穴のあいた真鍮材による外径が８ｍｍの円柱形状のケースに消音材料が充填されたものである。
【００２０】
外胴体１３（図１を参照）は、外径１０ｍｍ、内径８ｍｍの真鍮材による円柱形の形状で両端が閉ざされている。横方向に圧縮供給口９，破壊圧口１０、真空吸引口１１及び消音排気窓を形成した。また、シリンダ室７に通ずるシリンダ口８が形成されている蓋をネジ止め封止する。各々の口は、配管に接続される。
【００２１】
図１の如く、前記外胴体１３の内部に弾性体１２としてスプリングを配置し、更に、前記ディフューザーユニット５、前記ノズルユニット１及び前記消音装置６が一体化されたものを挿入配置し、前記シリンダ口８が形成された蓋をネジ止め封止して真空発生装置を製作した。
【００２２】
このように製作された真空発生装置は、外胴体１３の内部においてノイズユニット１及び消音装置６が一体化されたディフューザーユニット５がスムーズにスライド移動が可能であり、シリンダ口８から空気圧を加えることによりシリンダ室７で一体化したディフューザーユニット５を押して移動する（図１の状態位置）。この状態で圧縮供給口９より圧縮気体が供給され、ノズル２より放出されディヒューザー４より排気され、このときに拡散室３で真空が発生して真空吸引口１１より真空系に接続される。排気される圧縮気体が消音装置６より消音排気窓を通じて排出される。破壊圧口１０は、閉鎖されている。
【００２３】
シリンダ口８に供給した空気圧を除去して大気圧とすること（真空圧としてもよい。）によりディフューザーユニット５がスプリング１２により押し戻される。（図２の状態位置）この状態では、圧縮供給口９及び消音排気窓が閉鎖され、破壊圧口１０及び真空吸引口１１が拡散室３に通じる真空吸引用の横穴を介して気体回路が導通している。該破壊圧口１０に供給される正圧の気体が該真空吸引口１１に供給されて真空破壊を起こすことが出来る。真空破壊とは、チップ部品搭載装置などでチップ部品をニードルに真空吸着して搭載時に真空解放してチップ部品を放す時に正圧の気体を吹いてニードルからの離れをよくすることである。
【００２４】
（実施例２）
実施例１において、破壊圧口１０がなく、消音装置６が消音排気窓を覆い外胴体１３の外部に配置されていることのほかは、略同様である真空発生装置を製作した。
【００２５】
このように製作された真空発生装置は、実施例１と略同様な動作をさせることができ、シリンダ口への供給空気圧を除去した状態である真空ＯＦＦの状態で真空吸引口１１が拡散室、ディヒューザー、消音排気窓及び消音装置を通じて大気圧になり大気圧流入による真空破壊を起こす。
【００２６】
実施例１及び２の如く製作された真空発生装置は、小型であり、ディヒューザーユニットを移動スライドさせることにより真空系のＯＮ−ＯＦＦを行うことができ、また、真空破壊のための切換装置が不要である。
【００２７】
【発明の効果】
本発明に係る真空発生装置は、ディヒューザーユニットをノズルユニットと共に外胴体の内部で移動スライドさせることにより真空系のＯＮ−ＯＦＦを行うことができ、切換装置がなくとも真空破壊を同時に起こさせることができ、小型化されたものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る真空発生装置の一実施例である真空ＯＮ状態の真空発生状態を示す断面図である。
【図２】本発明に係る真空発生装置の一実施例である真空ＯＦＦ状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１  ノズルユニット
２  ノズル
３  拡散室
４  ディフューザー
５  ディフューザーユニット
６  消音装置
７  シリンダ室
８  シリンダ口
９  圧縮供給口
１０  破壊圧口
１１  真空吸引口
１２  弾性体
１３  外胴体
【図１】
2004293358.tif 000003
【図２】
2004293358.tif 000004