(57)【要約】【課題】高温環境で振動子特性の悪化のない音叉型水晶振動子を提供する。【解決手段】少なくとも、励振電極膜と固定部電極膜とそれぞれの電極膜を接続する接続用電極膜を表面に形成している音叉型水晶片の電極膜形状に於いて、音叉型水晶片の基部上でリード線を半田付けして固定するための固定部電極膜から励振電極膜へ接続するための接続用電極膜は固定部電極膜に接続する付近に幅の狭い部分を設け、固定部電極膜と励振電極膜の間に接続用電極より幅の広い中間電極を設けた音叉型水晶片の電極膜形状とする。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、励振電極膜と固定部電極膜とそれぞれの電極膜を接続する接続用電極膜を表面に形成している音叉型水晶片の電極膜形状に於いて、音叉型水晶片の基部上でリード線を半田付けして固定するための固定部電極膜から励振電極膜へ接続するための接続用電極膜は固定部電極膜に接続する付近に幅の狭い部分を設け、固定部電極膜と励振電極膜の間に接続用電極より幅の広い中間電極を設けたことを特徴とする音叉型水晶片の電極膜形状。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、音叉型水晶片の電極膜形状に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
音叉型水晶振動子は、車載向けなどに多く使用されるようになってきた。車載向け音叉型水晶振動子は、家電や携帯機器等よりも高温環境下で使用されることがあり、高温状態での高い信頼性が要求されてきている。
【０００３】
音叉型水晶振動子は、励振電極膜と固定部電極膜とそれぞれの電極膜を接続する接続用電極膜を蒸着マスクを用いた金属蒸着により形成された音叉型水晶片が気密端子に支持される。一般的な音叉型水晶振動子は、音叉型水晶片の表面に形成された固定部電極膜で気密端子のリード線に半田付けにより接続・固定されている。
【０００４】
ところで前記のような音叉型水晶片の固定部電極膜と励振電極膜を結ぶ接続用電極膜形状に関しては、従来より多くの出願を見るところである。（例えば特許文献１、特許文献２、特許文献３参照）
【０００５】
以下に従来技術による音叉型水晶片の電極膜形状を図面を用いて説明する。図１は音叉型水晶片を気密端子のリードへ固定した状態を示す正面図である（封止管は不図示）。１は音叉型水晶片であり、音叉型水晶片１の表面には、少なくとも、固定部電極膜２、励振電極膜３、４、接続用電極膜５ａが銀、金等の金属を蒸着・スパッタリング等の成膜方法で形成されている。
【０００６】
６は気密端子であり、２本のリード７、７（裏面図示せず）が固定されている。この２本のリード７、７の先端はそれぞれ固定部電極膜２に半田８によって接合されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開昭５３−５７９９４号公報
【特許文献２】
特開昭５３−１４５５９２号公報
【特許文献３】
実開昭５１−１２１４７５号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
音叉型水晶振動子は、製造工程上や音叉型水晶振動子となった後でも、高い温度環境にあると振動周波数が変化してしまうという問題があった。
【０００９】
この場合、音叉型水晶振動子の振動周波数は低くなるように変化している。これにより所望の振動性能が保持できないという問題がある。
【００１０】
この原因として、固定部電極膜２とリード線７とを接続している半田８から半田成分が励振電極膜３に拡散することが考えられる。
【００１１】
前記接合に用いられた半田８は、高温環境に置かれると、固定部電極膜２から接続用電極膜５ａを通って励振電極膜３へと拡散していく。
【００１２】
この場合、拡散した半田成分が励振電極膜３まで達すると、音叉型水晶片の振動モードに影響を与えるようになる。拡散した半田成分が励振電極膜の重量を増加させ、音叉型水晶片の振動周波数の変化となってしまう。
【００１３】
本発明は、固定部電極膜中に拡散した半田成分が励振電極膜まで達するのを防ぐことにより、高温環境でも振動特性の悪化のない音叉型水晶振動子を得ることを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
少なくとも、励振電極膜と固定部電極膜とそれぞれの電極膜を接続する接続用電極膜を表面に形成している音叉型水晶片の電極膜形状に於いて、音叉型水晶片の基部上でリード線を半田付けして固定するための固定部電極膜から励振電極膜へ接続するための接続用電極膜は固定部電極膜に接続する付近に幅の狭い部分を設け、固定部電極膜と励振電極膜の間に接続用電極より幅の広い中間電極を設けた音叉型水晶片の電極膜形状とする。固定部電極膜から励振電極膜へ接続する接続用電極膜形状を極力細くし、励振電極膜までの途中に接続用電極膜より幅の広い中間電極膜をもうけ、半田拡散が励振電極膜まで達するのを防ぐようにしている。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図２は、本発明による音叉型水晶振動子の一実施形態を示す正面図で一部断面図である。尚、図１と同じものは同じ符号を付してある。
【００１６】
音叉型水晶片１は、２本の脚部２１、２２を備えており、各脚部２１、２２に第１及び第２の励振電極膜３、４が形成されている。第１の励振電極膜３は、一方の脚部２１の表裏面（主面）と他方の脚部２２の側面とに設けられ、それぞれが接続されている。同様に、第２の励振電極膜４は、他方の脚部２２の表裏面（主面）と一方の脚部２１の側面とに設けられそれぞれ接続されている。（各側面の電極膜については図示省略）
【００１７】
これらの励振電極膜３、４は、音叉型水晶片の基部の表裏面に設けられた固定部電極膜２から接続用電極膜５ａ、中間電極膜１０、接続用電極膜５ｂを通して接続されている。これらの励振電極膜３、４、固定部電極膜２、接続用電極膜５ａ、５ｂ、中間電極膜１０は、クロム（Ｃｒ）及び銀（Ａｇ）又は金（Ａｕ）等の金属を周知の成膜技術により形成されている。
【００１８】
気密端子６は、内部にガラス１１を介して２本のリード７を支持している。このリード７は、音叉型水晶片１の表裏面の固定部電極膜２に接続していると共に音叉型水晶片１の基部を半田８で固着して支持している。
【００１９】
前記固定部電極膜２からの接続用電極膜５ａ、５ｂの幅を極力細くして、その途中に中間電極膜として接続用電極膜５ａ、５ｂより線幅の広い中間電極膜１０を設けている。
【００２０】
固定部の半田８の半田成分は、固定部電極膜２から接続用電極膜５ａを通して励振電極膜３、４へと拡散して行く。このため接続用電極膜５ａの幅を極力細くすることにより、固定部電極膜２からの半田成分の拡散量を抑えることができる。
【００２１】
また、接続用電極膜５ａ、５ｂの途中に接続用電極膜より幅の広い中間電極膜１０を設けることによって、接続用電極膜５ａから拡散してきた半田成分は中間電極膜１０で拡散が抑えられ接続用電極膜５ｂから励振電極膜３、４へ拡散するのを防止している。
【００２２】
このように本形態では、固定部電極膜２から励振電極膜３、４への接続用電極膜５ａ、５ｂの幅を極力細くすると共に、その途中に接続用電極５ａ、５ｂより幅の広い中間電極膜１０を設けることにより、高温環境での半田拡散を防止し半田成分による励振電極膜３、４の質量増加による振動モードへの悪影響を防止する。
【００２３】
【発明の効果】
前記のごとく本発明によれば、固定部電極膜から励振電極膜へ接続する接続用電極膜の幅を極力細くするとともに、その途中に接続用電極膜より幅の広い中間電極膜を設けることによって、接続用電極膜中を拡散した半田成分が励振電極膜まで達するのを防ぎ、高温環境でも特性の悪化のない音叉型水晶振動子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来技術による電極形状の音叉型水晶振動子の正面図
【図２】本発明による電極形状の音叉型水晶振動子の正面図で一部断面図
【符号の説明】
１  音叉型水晶片
２  固定部電極膜
３  第１の励振電極膜
４  第２の励振電極膜
５ａ  接続用電極膜
５ｂ  接続用電極膜
６  気密端子
７  リード
８  固定半田
１０  中間電極膜
１１  ガラス
２１  脚部
２２  脚部
【図１】
2004336601.tif 000003
【図２】
2004336601.tif 000004