(57)【要約】      （修正有）【課題】簡易な構成でインフラートシールへエアを供給可能であり、インフラートシールからパーティクルが発生する虞の少ない真空用ゲート弁を提供する。【解決手段】内部へエアを供給することにより膨張可能な長管状のインフラートシールを、弁箱本体２の内面に開口４ａの周囲に沿って取り付けるとともに、インフラートシール５の内部へエアを供給するエア供給路７を弁箱本体２に設け、エア供給路７からのエアによってインフラートシール５を弁板３方向へ膨張させて弁板３へ押し付け、これにより開口４ａを閉止するように構成した。【選択図】  図１
2004360754.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する二側壁を貫通する開口が形成された弁箱本体と、
前記弁箱本体の内部に設けられ、前記開口と略平行な方向に沿って開弁位置と閉弁位置との間を移動することにより前記弁箱本体の開口を開閉する弁板とを備える真空用ゲート弁であって、
内部へエアを供給することにより膨張可能な長管状のインフラートシールを、前記弁箱本体の側壁内面に前記開口の周囲に沿って取り付けるとともに、
前記弁箱本体に、前記インフラートシールの内部へエアを供給するエア供給路を設け、
前記エア供給路からのエアによって前記インフラートシールを弁板方向へ膨張させて弁板へ押し付け、これにより前記開口を閉止するように構成したことを特徴とする真空用ゲート弁。
【請求項２】
閉弁位置に位置する弁板の板面が、前記開口が形成された側壁の内面に近接した際に、前記弁板を受け止める受け止め部材を前記側壁の内面に取り付けたことを特徴とする請求項１に記載の真空用ゲート弁。
【請求項３】
前記受け止め部材を、前記インフラートシールを取り付けた側の側壁へ取り付けたことを特徴とする請求項２に記載の真空用ゲート弁。
【請求項４】
前記受け止め部材を、前記インフラートシールを取り付けた側の側壁と対向する側壁へ取り付けたことを特徴とする請求項２に記載の真空用ゲート弁。
【請求項５】
前記受け止め部材は、ポリテトラフルオロエチレン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリイミド樹脂またはステンレスで形成されていることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の真空用ゲート弁。
【請求項６】
前記インフラートシールを取り付けた側の側壁と対向する側壁の内面に、前記開口の周囲に沿ってシール部材を取り付け、
前記エア供給路からのエアによって前記インフラートシールを弁板方向へ膨張させて弁板へ押し付け、これにより前記弁板を前記シール部材側の方向へ移動させるとともに、前記弁板を前記シール部材へ押し付けて前記開口を閉止するように構成したことを特徴とする請求項１に記載の真空用ゲート弁。
【請求項７】
前記弁箱本体の開口部の両側位置に前記弁板を開閉駆動する各シリンダを設けるとともに、前記弁板の両側側部に沿って各シリンダロッドを設け、前記弁板の開弁方向側の端部で前記弁板と前記シリンダロッドとを固定したことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の真空用ゲート弁。
【請求項８】
前記シリンダに位置センサを設け、
前記弁板が開弁位置から閉弁位置方向へ移動して、閉弁位置もしくは閉弁位置近傍に到達した際における前記シリンダのピストン位置を前記位置センサで検知して、この位置センサからの検知信号に基づき前記エア供給路から前記インフラートシールの内部へエアを供給して、これにより前記開口を閉止するように構成したことを特徴とする請求７に記載の真空用ゲート弁。
【請求項９】
前記インフラートシールは、長管状の膨張部と、基底部とからなり、
前記基底部は、
前記膨張部の底部側に長管方向に沿って前記膨張部と一体に形成され、前記膨張部との間に前記インフラートシールの幅方向両側から溝を形成するように前記インフラートシールの幅方向両側に延出形成されるとともに、
前記インフラートシールを前記弁箱本体の側壁内面へ保持する一対の保持部材を備え、
前記一対の保持部材は、前記インフラートシールの幅方向両側に沿ってそれぞれ取り付けられるとともに、これらの保持部材が互いに対向する両先端部に沿って突設部が形成され、
前記溝に位置する前記各突設部と、前記弁箱本体の側壁内面との間で前記基底部を固定し、これにより前記インフラートシールを前記弁箱本体の側壁内面へ保持したことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の真空用ゲート弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空装置に用いられる真空用ゲート弁に関し、詳しくは、インフラートシールでシールを行う真空用ゲート弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体、薄膜、液晶などの製造に使用される真空装置では、各チャンバ間を開放、閉止するゲート弁が用いられている。
【０００３】
従来より、各種の真空用ゲート弁が知られているが、この内の一つに、閉弁時にインフラートシールでシールを行うものがある（例えば特許文献１、２を参照）。
【０００４】
図９に、このインフラートシールを用いた従来の真空用ゲート弁の一例を示す。この真空用ゲート弁１００は、弁箱本体１０２と、弁箱本体１０２の内部に設けられた弁板１０３とを備えている。弁箱本体１０２には、その対向する二側壁を貫通する開口１０４ａ、１０４ｂが形成されている。
【０００５】
弁板１０３の両面には、閉弁位置において弁箱本体１０２の側壁内面と当接する位置にインフラートシール１０５が取り付けられ、このインフラートシール１０５は、弁板１０３の内部に形成されたエア通路１３３と連通している。
【０００６】
開弁状態の弁箱本体１０２を閉弁する際には、弁箱本体１０２の上部のエアシリンダ１３１を駆動して、シリンダロッド１３２を介してその端部に取り付けられた弁板１０３を閉弁位置まで移動させる。そして、エアシリンダ１３１からのエアを、シリンダロッド１３２の内部を通して弁板１０３の内部に形成されたエア通路１３３へ導入し、エア圧によってインフラートシール１０５を膨張させて弁箱本体１０２の側壁内面へ押し付け、これによって、弁箱本体１０２の開口１０４ａ、１０４ｂの周囲の内面と弁板１０３との間をインフラートシール１０５で封止して閉弁している。
【０００７】
【特許文献１】
特開平５−２１５２４９号公報
【特許文献２】
特開２０００−１４５９８０号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
この従来のゲート弁１００では、インフラートシール１０５が弁板１０３に取り付けられている。このため、移動する部材である弁板１０３へインフラートシール１０５を膨張させるエアを供給する必要があり、エア供給のための構成を簡素化することは難しい。
【０００９】
また、開弁位置と閉弁位置との間で弁板１０３の移動を繰り返す度に、弁板１０３に取り付けられたインフラートシール１０５もこの両位置間の移動を繰り返すため、インフラートシール１０５からパーティクルが発生し易くなり、チャンバ内を汚染する可能性が高くなる。
【００１０】
本発明は上述した従来技術の課題を解決するために為されたものであり、その目的は、簡易な構成でインフラートシールへエアを供給可能であり、インフラートシールからパーティクルが発生する虞の少ない真空用ゲート弁を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の真空用ゲート弁は、対向する二側壁を貫通する開口が形成された弁箱本体と、
前記弁箱本体の内部に設けられ、前記開口と略平行な方向に沿って開弁位置と閉弁位置との間を移動することにより前記弁箱本体の開口を開閉する弁板とを備える真空用ゲート弁であって、
内部へエアを供給することにより膨張可能な長管状のインフラートシールを、前記弁箱本体の側壁内面に前記開口の周囲に沿って取り付けるとともに、
前記弁箱本体に、前記インフラートシールの内部へエアを供給するエア供給路を設け、
前記エア供給路からのエアによって前記インフラートシールを弁板方向へ膨張させて弁板へ押し付け、これにより前記開口を閉止するように構成したことを特徴とする。
【００１２】
このように、弁箱本体にインフラートシールを取り付けるとともに、弁箱本体エア供給路を設けてこのエア供給路からインフラートシールへエアを供給している。
【００１３】
したがって、従来に比して簡易な構成でインフラートシールへエアを供給することができる。
【００１４】
また、弁箱本体にインフラートシールを取り付けているため、例えばインフラートシールを弁板に取り付けた場合のようにインフラートシールが移動することがなく、常に所定箇所に位置している。
【００１５】
したがって、インフラートシールからのパーティクルの発生を有効に防止することができる。
【００１６】
また、本発明の真空用ゲート弁は、閉弁位置に位置する弁板の板面が、前記開口が形成された側壁の内面に近接した際に、前記弁板を受け止める受け止め部材を前記側壁の内面に取り付けたことを特徴とする。前記受け止め部材は、前記インフラートシールを取り付けた前記弁箱本体の側壁か、またはこの側壁と対向する側壁へ取り付けられる。また、前記受け止め部材は、ポリテトラフルオロエチレン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリイミド樹脂またはステンレスで形成することが好適である。
【００１７】
このように、受け止め部材を弁箱本体の内面に取り付けているので、差圧によって弁板の板面が箱状本体の側壁に近接した際に、低圧側の受け止め部材が弁板を受け止めて側壁との直接のメタルタッチを防止する。
【００１８】
したがって、弁板と弁箱本体の側壁とが接触することによるパーティクルの発生を防止することができる。
【００１９】
また、場合によっては、差圧によって弁板３の板面が押されてインフラートシール５と弁板３とが過度に離れる前に弁板３を受け止めて、シール性の低下を防止することができる。
【００２０】
また、本発明の真空用ゲート弁は、前記インフラートシールを取り付けた側の前記側壁と対向する側壁の内面に、前記開口の周囲に沿ってシール部材を取り付け、
前記エア供給路からのエアによって前記インフラートシールを弁板方向へ膨張させて弁板へ押し付け、これにより前記弁板を前記シール部材側の方向へ移動させるとともに、前記弁板を前記シール部材へ押し付けて前記開口を閉止するように構成したことを特徴とする。
【００２１】
このように、インフラートシールを膨張させて弁板を弁箱本体の側壁方向へ押して移動させ、弁板をシール部材へ押し付けることによりシール部材でシールを行っている。
【００２２】
したがって、適切なシールが可能であるとともに、通常のＯリングのように安価なシール部材を交換しながら使用することができ、また用途に応じた種類のシール部材を任意に選択することができる。
【００２３】
また、本発明の真空用ゲート弁は、前記弁箱本体の開口部の両側位置に前記弁板を開閉駆動する各シリンダを設けるとともに、前記弁板の両側側部に沿って各シリンダロッドを設け、前記弁板の開弁方向側の端部で前記弁板と前記シリンダロッドとを固定したことを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の真空用ゲート弁は、前記シリンダに位置センサを設け、
前記弁板が開弁位置から閉弁位置方向へ移動して、閉弁位置もしくは閉弁位置近傍に到達した際における前記シリンダのピストン位置を前記位置センサで検知して、この位置センサからの検知信号に基づき前記エア供給路から前記インフラートシールの内部へエアを供給して、これにより前記開口を閉止するように構成したことを特徴とする。
【００２５】
また、本発明の真空用ゲート弁は、前記インフラートシールが、長管状の膨張部と、基底部とからなり、
前記基底部は、
前記膨張部の底部側に長管方向に沿って前記膨張部と一体に形成され、前記膨張部との間に前記インフラートシールの幅方向両側から溝を形成するように前記インフラートシールの幅方向両側に延出形成されるとともに、
前記インフラートシールを前記弁箱本体の側壁内面へ保持する一対の保持部材を備え、
前記一対の保持部材は、前記インフラートシールの幅方向両側に沿ってそれぞれ取り付けられるとともに、これらの保持部材が互いに対向する両先端部に沿って突設部が形成され、
前記溝に位置する前記各突設部と、前記弁箱本体の側壁内面との間で前記基底部を固定し、これにより前記インフラートシールを前記弁箱本体の側壁内面へ保持したことを特徴とする。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の真空用ゲート弁について詳細に説明する。
【００２７】
図１、２は、本発明の真空用ゲート弁の一実施形態を示す説明図である。図１は弁箱本体内部の本体上面側からの説明図、図２は弁箱本体内部の本体正面側からの説明図である。
【００２８】
図１、２に示したように、本実施形態の真空用ゲート弁１は、弁箱本体２と、弁箱本体２の内部に設けられた弁板３とを備えている。弁箱本体２には、その対向する二側壁を貫通する開口４ａ、４ｂが形成され、この開口４ａ、４ｂから各チャンバへ連通している。弁板３は、弁箱本体２の内部を開口４ａ、４ｂと略平行な方向に沿って開弁位置（図１の点線位置）と閉弁位置（図１の実線位置）との間を移動する。本実施形態では、弁板３の移動方向を水平方向としているが、この移動方向は特に限定されず、鉛直方向であってもよい。
【００２９】
弁板３の開閉駆動は、図２に示したように、弁箱本体２の開口部４ａ、４ｂの両側位置に設けられた２つのシリンダ９，９で行っている。このシリンダ９，９のシリンダロッド１０，１０を弁板３の両側側部に沿って設けるとともに、これらのシリンダロッド１０，１０と弁板３とを、その開弁方向側の端部で固定部材１２，１２を介して固定している。
【００３０】
弁箱本体２の側壁内面には、開口４ａの周囲に沿って長管状のインフラートシール５が取り付けられている。このインフラートシール５は、内部へエアを供給することにより膨張可能であり、例えばＥＰＤＭ、フッ素ゴム等から形成されたものが使用可能であるが、経時で放出されるガス量が少ない材質のゴムを使用することが望ましい。
【００３１】
弁箱本体２には、図示しないエア供給源からエアを導入するエア導入部８と、エア導入部８からシール部材５の内部へ連通するエア供給路７とが設けられている。そして、エア導入部８からのエアによってエア供給路７を介してインフラートシール５の内部へエアを供給することによりインフラートシール５を膨張させるように構成されている。
【００３２】
弁箱本体２の開口４ａを閉止して弁両側のチャンバ間を遮断する際には、弁板３をシリンダ９の駆動により開弁位置から閉弁位置へ移動させるとともに、エア導入部８からインフラートシール５の内部へエアを供給してインフラートシール５を膨張させ、弁板３へ押し付ける。これにより開口部４ａの周囲において弁箱本体２の側壁と弁板３とがインフラートシール５で封止され、開口４ａが閉止される。
【００３３】
開口４ａを閉止する際に、インフラートシール５を膨張させるタイミングは、特に限定されないが、弁板３が閉弁位置に到達した後にインフラートシール５を膨張させて弁板３へ接触させることが好ましい。
【００３４】
本実施形態では、開口４ａを閉止する際に、所定のタイミングでシール部材５を膨張させるための位置センサ１１をシリンダ９に設けている。この位置センサ１１は、弁板３がシリンダロッド１０の移動に伴って開弁位置から閉弁位置方向へ移動して、閉弁位置もしくは閉弁位置近傍に到達した際におけるシリンダ９の内部のピストン位置を検知する。そして、この位置センサ１１からの検知信号に基づきエア導入部８からインフラートシール５の内部へエアを供給して、開口４ａを閉止するようにしている。
【００３５】
この位置センサ１１としては、リミットセンサ等の有接点型および、磁気、レーザー、電波等による無接点型など、種々のセンサが利用可能である。
【００３６】
なお、真空雰囲気下であるためにエア供給による膨張操作を行わなくともインフラートシール５が内部圧で膨張してしまう場合には、インフラートシール５の内部を真空ポンプなどで排気して膨張を防止してもよい。
【００３７】
インフラートシール５は、保持部材６によって弁箱本体２の側壁内面に開口４ａの周囲に沿って取り付けられ、好ましくは開口４ａの近傍に沿って取り付けられる。
【００３８】
インフラートシール５および保持部材６の横断面図を図７（Ａ）、（Ｂ）に示す。なお、図７（Ａ）はインフラートシール５の膨張前の状態を示し、図７（Ｂ）はインフラートシール５の膨張後の状態を示している。同図に示したように、本実施形態では、インフラートシール５が、一体に形成された膨張部１７と基底部１６とから構成されている。基底部１６は、長管状の膨張部１７の底部側に長管方向に沿って形成され、膨張部１７との間にインフラートシール５の幅方向両側から溝１８を形成するようにインフラートシール５の幅方向両側に延出形成されている。
【００３９】
このインフラートシール５を弁箱本体２の側壁内面へ取り付ける一対の保持部材６ａ、６ｂは、インフラートシール５の幅方向両側に沿ってそれぞれ取り付けられている。そして、これらの保持部材６ａ、６ｂが互いに対向する両先端部に沿って、突設部１９ａ、１９ｂが形成されている。
【００４０】
これらの突設部１９ａ、１９ｂは、インフラートシール５の溝１８に差し込まれ、弁箱本体２の側壁内面との間で基底部１６を固定している。これによって、インフラートシール５を弁箱本体２の側壁内面へ保持している。
【００４１】
保持部材６ａ、６ｂには、インフラートシール５の膨張部１７に沿って、支持部１５ａ、１５ｂが立設されている。例えば膨張部１７の膨張時に弁板３でこの膨張部１７が圧縮された際などにおいて、これらの支持部１５ａ、１５ｂで膨張部１７の両側を支持することによって、膨張部１７が支持部１５ａ、１５ｂの方向へ拡幅して必要以上に押し潰されることを防止している。
【００４２】
以上のように、本実施形態では、弁箱本体にインフラートシールを取り付けるとともに、弁箱本体にエア供給路を設けてこのエア供給路からインフラートシールへエアを供給しているので、簡易な構成でインフラートシールへエアを供給することができ、さらに、例えばインフラートシールを弁板に取り付けた場合のように、インフラートシールが移動することがなく、常に所定箇所に位置しているので、パーティクルの発生を有効に防止することができる。そして、弁板へのインフラートシールの設置およびエア供給のための加工を要しないため、例えば弁板へヒータを内蔵させたり、あるいは冷却水を循環させるなど、弁板への部材の取り付けや加工の自由度が大幅に増加する。
【００４３】
図３、４は、本発明の真空用ゲート弁の他の実施形態を示す説明図である。図３は弁箱本体内部の本体上面側からの説明図、図４は弁箱本体内部の本体正面側からの説明図である。
【００４４】
本実施形態では、弁箱本体２の内面に受け止め部材１３、１４が取り付けられている。例えば、開口４ａ、４ｂを介して弁箱本体２の両側に設けられたそれぞれのチャンバに圧力差（例えば大気圧と真空圧のように）がある場合において、この差圧によって、閉弁位置に位置する弁板３の板面が押されて、箱状本体２の開口４ａ、４ｂが形成された側壁に近接することがある。
【００４５】
そして、側壁方向に押された弁板３が側壁内面と接触すると、これによって接触部からパーティクルが発生する虞がある。
【００４６】
また、この差圧によって、弁板３がインフラートシール５を取り付けた側壁内面から離反する方向へ移動すると、インフラートシール５と弁板３とが次第に離れて、これらの間のシール性が低下する要因となる。
【００４７】
受け止め部材１３、１４は、閉弁位置に位置する弁板３の板面が、箱状本体２の開口４ａ、４ｂが形成された側壁に近接した際に、弁板３を受け止める。これによって、この側壁内面と弁板３との直接のメタルタッチが防止されるとともに、場合によっては、インフラートシール５と弁板３とが過度に離れる前に弁板３を受け止めて、シール性の低下を防止することができる。
【００４８】
受け止め部材１３、１４の材質としては、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＩ（ポリイミド）などの樹脂、あるいはステンレスが使用される。弁板３との接触等によって、チャンバ内を汚染するパーティクル、ガスなどを発生し易い材質を使用することは好ましくない。
【００４９】
本実施形態では、受け止め部材１３を、インフラートシール５を取り付けた弁箱本体２の側壁へ取り付けるとともに、受け止め部材１４を、インフラートシール５を取り付けた弁箱本体２の側壁と対向する側壁へ取り付けている。受け止め部材１３、１４の形状は、弁箱本体２の側壁内面から適切な突出幅を有するものであれば特に限定されず、例えば、輪状の受け止め部材１４を開口４ｂの周囲に沿って取り付けたり、あるいは複数の受け止め部材１４，１４・・・を用意して、これらを開口４ｂの周囲に沿って断続的に取り付けることができる。
【００５０】
受け止め部材１３の取り付け位置としては、図３に示したようにインフラートシール５の外周側であることが望ましい。また、図８に示したように、その弁箱本体２の内面からの突出幅Ｌ１は、インフラートシール５の膨張時における弁箱本体２の内面からの突出幅Ｌ２よりも低く設定され、弁板３と受け止め部材１３とが定常的に接触しないようにしている。
【００５１】
図５、６は、本発明の真空用ゲート弁の他の実施形態を示す説明図である。
【００５２】
本実施形態では、インフラートシール５を取り付けた弁箱本体２の側壁と対向する側壁に、開口４ｂの周囲に沿ってＯリングなどのシール部材２０を取り付けている。
【００５３】
閉弁操作は、開弁位置から閉弁位置へ弁板３を移動させ（図５）、インフラートシール５を膨張させて弁板３へ押し付けて、これにより弁板３をシール部材２０側の側壁方向へ移動させるとともに弁板３をシール部材２０へ押し付けて行っている（図６）。
【００５４】
すなわち、本実施形態では、インフラートシール５はシール材として作用するのではなく、弁板３をシール部材２０へ押し付けるアクチュエータとして作用しており、シール部材２０によって弁箱本体２の内面と弁板３とを封止している。
【００５５】
このシール部材２０としては、通常のＯリングのように安価なシール部材が使用可能であるとともに、真空中で使用される反応性ガス、プラズマなどに応じた種類のシール部材を任意に選択することができる。
【００５６】
以上、本発明の真空用ゲート弁の実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されることはなく、例えば、受け止め部材を、インフラートシールを取り付けた弁箱本体の側壁またはこれと対向する側壁のいずれか一方にのみ取り付けてもよく、また、インフラートシールを、弁箱本体の開口が形成された両側壁に取り付けて、弁板を各側壁側から双方のインフラートシールで封止できるように構成してもよい。
【００５７】
【発明の効果】
本発明の真空用ゲート弁によれば、弁箱本体にインフラートシールを取り付けるとともに、弁箱本体にエア供給路を設けてこのエア供給路からインフラートシールへエアを供給しているので、簡易な構成でインフラートシールへエアを供給することができる。
【００５８】
また、弁箱本体にインフラートシールを取り付けているため、例えばインフラートシールを弁板に取り付けた場合のように、インフラートシールが移動することがなく、常に所定箇所に位置しているので、パーティクルの発生を有効に防止することができる。
【００５９】
また、受け止め部材を弁箱本体の内面に取り付けることにより、差圧によって弁板の板面が箱状本体の側壁に近接した際に、低圧側の受け止め部材が弁板を受け止めて側壁との直接のメタルタッチを防止する。
【００６０】
したがって、弁板と弁箱本体の側壁とが接触することによるパーティクルの発生を防止することができる。
【００６１】
また、場合によっては、差圧によって弁板３の板面が押されてインフラートシール５と弁板３とが過度に離れる前に弁板３を受け止めて、シール性の低下を防止することができる。
【００６２】
また、インフラートシールを膨張させて弁板を弁箱本体の側壁方向へ押して移動させ、弁板をシール部材へ押し付けることによりシール部材でシールを行うことによって、適切なシールが可能であるとともに、通常のＯリングのように安価なシール部材を交換しながら使用することができ、また用途に応じた種類のシール部材を任意に選択することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の真空用ゲート弁の一実施形態を示した説明図（弁箱本体内部の本体上面側からの説明図）である。
【図２】図２は、図１の真空用ゲート弁の弁箱本体内部の本体正面側からの説明図である。
【図３】図３は、本発明の真空用ゲート弁の他の実施形態を示した説明図（弁箱本体内部の本体上面側からの説明図）である。
【図４】図４は、図３の真空用ゲート弁の弁箱本体内部の本体正面側からの説明図である。
【図５】図５は、本発明の真空用ゲート弁の他の実施形態を示した説明図（弁箱本体内部の本体上面側からの説明図）である。
【図６】図６は、図５の真空用ゲート弁におけるインフラートシールの膨張後の状態を示した説明図である。
【図７】図７（Ａ）、（Ｂ）は、シール部材および保持部材の横断面図であり、図７（Ａ）はシール部材５の膨張前の状態を示し、図７（Ｂ）はシール部材５の膨張後の状態を示す。
【図８】図８は、受け止め部材とシール部材との、弁箱本体の内面からの突出幅の関係の説明図である。
【図９】図９は、従来の真空用ゲート弁の一例を示した説明図である。
【符号の説明】
１        真空用ゲート弁
２        弁箱本体
３        弁板
４ａ      開口
４ｂ      開口
５        インフラートシール
６        保持部材
６ａ      保持部材
６ｂ      保持部材
７        エア供給路
８        エア導入口
９        シリンダ
１０      シリンダロッド
１１      位置センサ
１２      固定部材
１３      受け止め部材
１４      受け止め部材
１５ａ    支持部材
１５ｂ    支持部材
１６      基底部
１７      膨張部
１８      溝
１９      突設部
２０      シール部材
１００    真空用ゲート弁
１０２    弁箱本体
１０３    弁板
１０４ａ  開口
１０４ｂ  開口
１０５    インフラートシール
１３１    エアシリンダ
１３２    シリンダロッド
１３３    エア通路
【図１】
2004360754.tif 000003
【図２】
2004360754.tif 000004
【図３】
2004360754.tif 000005
【図４】
2004360754.tif 000006
【図５】
2004360754.tif 000007
【図６】
2004360754.tif 000008
【図７】
2004360754.tif 000009
【図８】
2004360754.tif 000010
【図９】
2004360754.tif 000011