(57)【要約】【課題】ＤＲＡＭの故障メカニズムの一つであるソフト・エラーへの耐性が高く、製造が簡単な２素子型ＤＲＡＭセルを提供することにある。【解決手段】一つの本体（半導体レール）領域と第１および第２の拡散電極を各々含む完全に空乏状態の第１および第２の転送デバイスを有するメモリ・セル（２素子型ＤＲＡＭ）である。さらにセルは、各転送デバイスの第１および第２の拡散電極の一つに隣接し、電気的に接続される少なくとも一つノードを有する差分蓄積キャパシタを含むことを特徴とする。差分蓄積キャパシタは、主容量と複数の固有容量を有し、主容量は、複数の固有容量の少なくとも５倍より大きい静電容量値を有する。【選択図】　図２
2004088089.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一つの本体（半導体レール）領域と第１および第２の拡散電極を各々含む完全に空乏状態の第１および第２の転送デバイスと、前記各転送デバイスの前記第１および第２の拡散電極の一つと接触し、電気的コンタクトを有する少なくとも一つノードを有する差分蓄積キャパシタと、一つの主容量と複数の固有容量を有する前記蓄積キャパシタとを含み、前記主容量は、前記複数の固有容量の少なくとも５倍より大きい静電容量値を有することを特徴とする基板上に形成されたメモリ・セル。
【請求項２】
前記転送デバイスは、実質的に前記半導体レール領域にわたって延長されているチャネル領域を有する、請求項１に記載のメモリ・セル。
【請求項３】
基板は、埋め込み型絶縁層を有するＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎ−ｏｎ−ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板を含む、請求項１に記載のメモリ・セル。
【請求項４】
前記半導体レール領域は、埋め込み型絶縁層の上に接触して配置される、請求項３に記載のメモリ・セル。
【請求項５】
前記転送デバイスは、各々のチャネル領域を実質的に取り囲むゲート電極を含む、請求項２に記載のメモリ・セル。
【請求項６】
前記第１の転送デバイスの前記第１の拡散電極と、前記第１の転送デバイスの前記半導体レール領域と、前記第１の転送デバイスの前記第２の拡散電極と、および前記差分蓄積キャパシタの前記第１のノードの一部は、すべて半導体材料の第１のレール上に順に配置された、請求項１に記載のメモリ・セル。
【請求項７】
前記第１のレールの半導体材料は、ＩＩＩ−Ｖ族の半導体材料およびその化合物、シリコン、ゲルマニウム、およびシリコン・ゲルマニウム化合物から構成されるグループから選択される、請求項６に記載のメモリ・セル。
【請求項８】
前記転送デバイスは、一つのゲート電極と前記半導体レール領域の上に配置された第１の絶縁膜（誘電体）を含み、前記差分蓄積キャパシタはプレート電極と前記第１のノード上に配置された第２の絶縁膜（誘電体）を含む、請求項１に記載のメモリ・セル。
【請求項９】
前記第１の絶縁膜（誘電体）は前記第２の絶縁膜（誘電体）と異なる誘電率を有する、請求項８に記載のメモリ・セル。
【請求項１０】
前記第２の転送デバイスの前記第１の拡散電極、前記第２の転送デバイスの前記半導体レール領域、前記第２の転送デバイスの前記第２の拡散電極、および前記差分蓄積キャパシタの前記第１のノードの残り部分は、すべて半導体材料からなる前記第１のレールに隣接配置された半導体材料からなる第２のレール上に順に配置された、請求項６に記載のメモリ・セル。
【請求項１１】
前記差分蓄積キャパシタは、前記第１のノードが配置された半導体材料からなる前記第１のレールの一部を覆う絶縁膜（誘電体）を含む、請求項１０に記載のメモリ・セル。
【請求項１２】
前記差分蓄積キャパシタは、さらに前記絶縁膜と、前記差分蓄積キャパシタの第１のノードの前記残り部分が配置されている半導体材料からなる前記第２のレールの隣接部分との間を覆いブリッジするように配置されたプレート電極を含む、請求項１１に記載のメモリ・セル。
【請求項１３】
前記絶縁膜は、前記プレート電極と、前記差分蓄積キャパシタの前記第１のノードの前記残りの部分が配置されている半導体材料からなる前記第２のレールの前記一部との間に配置されている、請求項１２に記載のメモリ・セル。
【請求項１４】
前記プレート電極を覆って配置された第２のキャパシタ絶縁膜および前記第２のキャパシタ絶縁膜の上に配置された第３のキャパシタ電極をさらに含む、請求項１３に記載のメモリ・セル。
【請求項１５】
前記第３のキャパシタ電極の一部は、半導体材料からなる前記第１および第２のレールの一部に接触する、請求項１４に記載のメモリ・セル。
【請求項１６】
半導体基板上に形成された半導体材料からなる複数のレールと、各々のレールはトランジスタを形成するためにゲート電極によって制御される完全空乏状態のチャネル領域で分離されるソースおよびドレイン拡散領域をそこに有し、前記ドレイン拡散は隣接する前記複数のレールの上に配置された差分キャパシタの第１のノードに結合され、前記複数のレールのうち前記隣接レールの少なくとも一つは、前記第１のノード上に配置された蓄積絶縁膜を有し、および前記差分キャパシタのプレート電極は、前記蓄積絶縁膜上に配置されていることを含む、差分ＤＲＡＭセル。
【請求項１７】
基板上に半導体材料からなるレールを形成し、
前記レールの第１の部分をドーピングし、
すくなくとも一つおきに前記レールの前記第１の部分の上に絶縁膜を形成し、
前記レールの隣接ペアの前記第１の部分の上にプレート電極を形成し、
前記第１の部分に隣接する前記レールの第２の部分に電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）を形成し、前記ＦＥＴは、前記レールの前記第２の部分の一部の露出された面すべての上に配置されたゲート電極を有すること、
を含むメモリ・セルの形成方法。
【請求項１８】
前記基板は、埋め込み絶縁層を有するＳＯＩ基板を含み、前記複数のレールは前記埋め込み絶縁層の上に配置されかつ接触することを含む、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
（前記）絶縁膜は、その上にメモリ・セルが形成される前記レールすべての前記第１の部分の上に形成される、請求項１７に記載の方法。
【請求項２０】
前記レールは、少なくとも０．１５μｍの高さをもつ、請求項１９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般にＤＲＡＭセルに関し、より具体的にはソフト・エラー耐性を高めたＤＲＡＭセルに関する。
【０００２】
【従来の技術】標準的なダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ（ＤＲＡＭ）セルは、一方の電極が接地（アース）電位に接続され、もう一方の電極はワード線に接続されるゲート電極と、その他ビット線に接続されるソース／ドレイン電極を有するＦＥＴ転送デバイスのソース／ドレイン電極に接続されるキャパシタを有することを特徴とする。電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）がｎチャネル電界効果トランジスタ（ＮＦＥＴ）である場合、ワード線の電圧がキャパシタからの電荷量を上昇させ、差分増幅器で識別されるようにビット線の電圧を十分に変化させる。
【０００３】ＤＲＡＭの故障メカニズムの一つにキャパシタに蓄積された電荷を乱す外来の電荷によるエラーがある。放射線（たとえばアルファ線）は、キャパシタに蓄積した電荷を乱すが物理的にはほとんどあるいはまったく影響しないため、そのメカニズムは、“ソフト・エラー”と呼ばれる。一般的にそのような障害は、エラー修正コード（ＥＣＣ）、通常、ビット蓄積エラーを検出しすぐに修正する２重エラー検出／１重エラー修正（ＤＥＤ／ＳＥＣ）ハミング・コードで処理される。事実、ハミング・コード法がチップ上で実行されるようにチップ上にＥＣＣ回路を組み込んだＤＲＡＭも設計されている。たとえば本発明出願人に付与された米国特許番号５，１３４，６１６号、“Ｄｙｎａｍｉｃ　ＲＡＭ　ｗｉｔｈ　Ｏｎ−ｃｈｉｐ　ＥＣＣ　ａｎｄ　Ｏｐｔｉｍｉｚｅｄ　Ｂｉｔ　ａｎｄ　Ｗｏｒｄ　Ｒｅｄｕｎｄａｎｃｙ”を参照。
【０００４】しかしながら、ＥＣＣコーディングがソフト・エラー問題に対して実質的な解決策にならない応用例もある。その応用例の一つには、ＤＲＡＭセルの配列がロジック回路内に組み込まれた内蔵ＤＲＡＭがある。そのような応用において、ＥＣＣに関連した諸経費は経済的には正当化されない、つまりロジック回路にＤＲＡＭを付加するコスト増加は、ＥＣＣを計算に入れなければならない場合、さらに正当化するのが難しくなる。
【０００５】ＥＣＣを用いないでソフト・エラー耐性を高めるひとつの方法は、単にキャパシタのサイズを増加すること、たとえばトレンチ・キャパシタ、積層キャパシタ、あるいはキャパシタに供されるチップの表面積を増加させることである。しかし、これらの解決法は、セル全体の領域を大幅に増加させる、あるいはプロセスの複雑さにつながり、どちらとも製造コストが増加する。
【０００６】ソフト・エラー率（ＳＥＲ）を減少させる別の解決法は、いわゆる差分ＤＲＡＭセルを利用することで、この場合２つのトランジスタが共有の浮遊キャパシタに接続される。本発明出願人に付与された米国特許番号　４，１０３，３４２号，　“Ｔｗｏ−Ｄｅｖｉｃｅ　Ｍｅｍｏｒｙ　Ｃｅｌｌ　Ｗｉｔｈ　Ｓｉｎｇｌｅ　Ｆｌｏａｔｉｎｇ　Ｃａｐａｃｉｔｏｒ”　および　仏国公開特許番号ＦＲ　２５９５１６０号，　“Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｍｅｍｏｒｙ　Ｃｅｌｌ　ａｎｄ　Ｄｙｎａｍｉｃ　Ｍｅｍｏｒｙ　Ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇ　Ｓｕｃｈ　ａ　Ｃｅｌｌ”　を参照。
【０００７】さらにソフト・エラー率を減少させるために、トレンチあるいは積層キャパシタを差分ＤＲＡＭセルの概念に組み合わせた考え方の技術もある。ＩＢＭ　Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ　Ｂｕｌｌｅｔｉｎ　“Ｈｉｇｈ　Ｄｅｎｓｉｔｙ　Ｍｅｍｏｒｙ　Ｃｅｌｌ　ＳｔｒｕｃｔｕｒｅＷｉｔｈ　Ｔｗｏ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒｓ，”　Ｖｏｌ．　３１，　Ｎｏ．　７，　Ｄｅｃｅｍｂｅｒ　１９８８　ｐｐ．　４０９−４１７、米国特許番号　４，９２７，７７９号，　“Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ　Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ−Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ　ａｎｄ　Ｏｎｅ−Ｃａｐａｃｉｔｏｒ　Ｄｙｎａｍｉｃ−Ｒａｎｄｏｍ−Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ　Ｃｅｌｌ　ａｎｄ　Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ　Ｐｒｏｃｅｓｓ　Ｔｈｅｒｅｆｏｒ”、米国特許番号　５，５８０，３３５号，　“Ｍｅｔｈｏｄ　ｏｆ　Ｆｏｒｍｉｎｇ　ａ　Ｂｕｒｉｅｄ−Ｓｉｄｅｗａｌｌ−Ｓｔｒａｐ　Ｔｗｏ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ　Ｏｎｅ　Ｃａｐａｃｉｔｏｒ　Ｔｒｅｎｃｈ　Ｃｅｌｌ”　を参照。別の技術として２素子セルの概念を積層キャパシタと組み合わせたものもある。米国特許番号　５，６０６，１８９号，　“Ｄｙｎａｍｉｃ　ＲＡＭ　Ｔｒｅｎｃｈ　Ｃａｐａｃｉｔｏｒ　Ｄｅｖｉｃｅ　Ｗｉｔｈ
Ｃｏｎｔａｃｔ　Ｓｔｒａｐ”　を参照。
【０００８】最近注目を集めているＦＥＴ技術にいわゆる“フィンＦＥＴ”技術がある、これはシリコンのフィン（ひれ形状）をＳＯＩ基板上に画定し、そのフィンはソース／ドレイン領域を形成するためにドーピングされる第１、第２の側方端、およびＦＥＴチャネルを提供する中央領域を含む。この中央領域はゲート電極を形成するためポリシリコンで被覆されており、ゲート電極は“デュアル・ゲート”構造を形成するためにフィン双方の主表面を被覆するので、シリコン本体は少数キャリヤを完全に空乏状態にでき、このようにしてスイッチング速度の増加が図れる。　たとえば、Ｈｉｓａｍｏｔｏ　らの論文　“Ａ　Ｆｕｌｌｙ　Ｄｅｐｌｅｔｅｄ　Ｌｅａｎ−Ｃｈａｎｎｅｌ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ　（ＤＥＬＴＡ），”　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｄｅｖｉｃｅｓ　Ｍｅｅｔｉｎｇ　（ＩＥＤＭ）１９８９，　３４．５．１，　ｐｇ　８３３−３６、およびＣｈｏｉ　らの論文　“Ｕｌｔｒａ−ｔｈｉｎ　Ｂｏｄｙ　ＳＯＩ　ＭＯＳＦＥＴ　ｆｏｒ　Ｄｅｅｐ−ｓｕｂ−ｔｅｎｔｈ　Ｍｉｃｒｏｎ　Ｅｒａ，”　，　Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ　ｏｆ　Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ　ａｎｄ　Ｃｏｍｐｕｔｅｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅｓ，　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ　ａｔ　Ｂｅｒｋｅｌｅｙ，　ＩＥＤＭ　１９９９，　Ｐａｐｅｒ　３．７．１，　ｐｐ．　９１９−２１、を参照。
【０００９】さらに最近、単一キャパシタＤＲＡＭセルに対しての転送デバイスとして同様のデバイスが提案された。　米国特許番号　６，２４６，０８３号，　“Ｖｅｒｔｉｃａｌ　Ｇａｉｎ　Ｃｅｌｌ　ａｎｄ　Ａｒｒａｙ　ｆｏｒ　ａ　Ｄｙｎａｍｉｃ　Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ”を参照。
【００１０】前述した技術の多くは、セル容量を増加させることでソフト・エラー率の減少に取り組むことを教示するが、それに利用できる方法（セル領域を大幅に増加させる、および／またはキャパシタの構造をより複雑化する）は、特にＤＲＡＭアレイと周辺ロジック間の処理の不一致（変動）を最小化するために探求された内蔵ＤＲＡＭのような応用において、最適とは言えず次善のものである。それゆえＤＲＡＭセルに対してソフト・エラー耐性が高くかつ簡単な製造方法の必要性が高まっている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的はソフト・エラー耐性が高く、製造が簡単な２素子ＤＲＡＭセルを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上述および他の発明の目的は、第１の観点で、半導体レール本体領域と第１、第２の拡散電極をおのおの含む第１、第２の完全に空乏状態の転送デバイスで構成されるメモリ・セルで実現される。セルは、各転送デバイスの第１、第２の拡散電極のうち一つと隣接し電気的に接触する少なくとも一つのノードを含む差分蓄積キャパシタを有する。蓄積キャパシタは、主容量と複数の固有キャパシタを有し、主容量は複数の固有容量の少なくとも５倍より大きい静電容量値を有する。
【００１３】別の観点では、本発明は、半導体基板上に形成された半導体材料からなる複数のレール、各々のレールはトランジスタを形成するために、ゲート電極によって制御される完全空乏状態の各チャネル領域で分離されるソースおよびドレイン拡散を有し、各々のドレイン拡散は隣接する複数のレールの上に配置された差分キャパシタの第１のノードに結合されており、前記複数のレールの少なくとも一つの前記隣接レールは、前記第１のノード上に配置された蓄積絶縁膜を有し、前記差分キャパシタのプレート電極は前記蓄積絶縁膜上に配置されていることを含む、差分ＤＲＡＭセルである。
【００１４】さらに発明の別の観点からは、基板上に半導体材料からなるレールを形成し、レールの第１の部分をドーピングし、少なくとも一つおきにレールの前記第１部分の上に絶縁膜を形成し、レールの隣接ペアの第１の部分上にプレート電極を形成し、第１の部分に隣接するレールの第２の部分に電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）を形成し、ＦＥＴは前記レールの第２の部分の一部で露出された側面すべての上に配置されたゲート電極を有し、レールに直交し前記ゲート電極に接触する複数の導体を形成することを含む、メモリ・セルを形成する方法である。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に図面を参照しながら本発明を説明する。本発明は、添付の図面と関連づけて以下の詳細な説明を読めばより明らかに理解できる。同じ番号は、すべての図で同じ構成要素を指すものとする。
【００１６】ワード線１０１（ＷＬ１）に結合される転送デバイス２０１（Ｔ１）、２０１（Ｔ２）を有し、各転送デバイスは、各々ビット線３０１（ＢＬ１），３０２（ＢＬ２）に接続される第１のソース／ドレイン電極を有する差分ＤＲＡＭセルの概略図を図１に示す。本発明において、蓄積キャパシタは、単一の導体がその上に配置されている２つの能動的ノードから構成される。
【００１７】本発明者らは、このような構成において、転送デバイス２０１，２０２（Ｔ１、Ｔ２）のドレイン電極に結合された蓄積ノードを有する浮遊蓄積キャパシタとともに、数個の固有キャパシタがセルの一部であることがわかった。これらのキャパシタ（図１では点線で図解されている）は、それ自体、意図して形成されたわけではないキャパシタという点で“固有”と言え、むしろ図１に示すように浮遊蓄積キャパシタを有するセルの固有な部分と言える。固有容量の第１の供給源は、各転送デバイス２０１，２０２（Ｔ１，Ｔ２）の拡散電極と各転送デバイスの半導体レール本体の（導電）中性電荷領域部との間に生成される接合容量である。この特性より４０２（Ｃｓｂ１）、４０３（Ｃｄｂ１）、４０４（Ｃｓｂ２）、および４０５（Ｃｄｂ２）として図１に示される接合容量が形成される。０．０９μｍのグラウンド・ルール技術において、これらの静電容量は、約０．３ｆＦ／μｍ２から約０．７ｆＦ／μｍ２の値になる。固有容量の第２の供給源は、一般的に非ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ　ｏｎ　Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）技術の場合、基板への接合点を形成する大面積のドレインに起因し、ＳＯＩ設計の場合、ウェハに平行な大面積領域を形成することに起因する。この特性より４０６（Ｃｄｓ１）、４０７（Ｃｄｓ２）として図１に示される接合容量が形成される。両方の場合とも、０．０９μｍのグラウンド・ルール技術において、基板に平行な大きなドレイン表面は固有静電容量を、一般的に約０．２ｆＦ／μｍ２から約１．０ｆＦ／μｍ２増加させる。
【００１８】これらの固有静電容量によって起こる問題を以下に述べる。セルに“１”が書き込まれた時、その電荷は、図１に示した主（蓄積）容量４０１（Ｃｓｔ）と全固有容量４０２−４０７に振り分けられる。したがって所定の転送デバイス（たとえば２０１）が放射事象を受けた時、固有容量Ｃｓｂ１、Ｃｄｂ１、およびＣｄｓ１は電荷がそこに部分的に蓄えられているので、蓄積された電荷のいくらかを放電する。上述の静電容量値があると、放射事象の後、固有静電容量が十分に電荷を蓄えているので主容量４０１（Ｃｓｔ）に蓄えられた残存容量では信頼できる感知に対して十分でない可能性がある。それゆえ蓄積電荷による障害を最小にするため蓄積容量に対して固有容量の静電容量値を小さくすることが有効となるであろう。
【００１９】本発明において、転送デバイスは、その半導体レール本体領域が完全に空の電荷中性領域になるように構成され動作する。これにより転送デバイスの拡散電極の接合容量を減少させる効果が生まれ、換言すれば固有静電容量の値を下げることになる。
【００２０】図２は、本発明の第１の好ましい実施形態を示すメモリ・セルの平面図である。図１、図２において同じ英数字は同じ構造部を参照している。複数の薄いフィン状の半導体レール２１、２２、２３、２４が基板１０の上に形成される。実際に、基板１０はシリコンおよび後述する半導体材料から作成できる。基板１０はバルク基板から半導体半導体レール２１、２２、２３、２４を分離した埋込み酸化物（ｂｕｒｉｅｄ　ｏｘｉｄｅ：　ＢＯＸ）１１を有するＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ−ｏｎ−ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板であることが好ましい。プロセスのこの段階で、基板１０はＢＯＸ上部に均一な厚みの単一半導体層とＢＯＸ下部に基板の残り（もしくはバルク層）を有する。ここで留意すべきは、この構造は転送デバイス２０１、２０２（Ｔ１、Ｔ２）のドレイン拡散を埋込み酸化物下部のバルクの半導体から分離することにより、固有容量の値の減少に役立つことである。
【００２１】半導体レール言い換えばフィン２１、２２、２３、２４は、前述のＨｉｓａｍｏｔｏらおよびＣｈｏｉらの論文での教示に従って形成することができる。そのような構造において、チャネル領域は半導体レール全体にわたって延長され、そのことによりゲート電極（半導体レール周辺を囲む）は動作時において、半導体レール領域のキャリヤ電荷を完全に空にする。ハード・マスク材料、好ましくは二酸化シリコン（ＳｉＯ２）をＳＯＩウェハ上に堆積し、次にハード・マスク材料の上にマンドレル（実際、マンドレルは従来のフォトレジスト・パターンを介してエッチングでパターン形成されるポリシリコン層で形成可能）を形成することにより、レールを形成することが好ましい。その後、好ましくは窒化シリコンからなる側壁スペーサをマンドレルの両側に、たとえば窒化シリコンをマンドレルの上に堆積し、次に通常の技術を用いて反応性イオン・エッチング（ＲＩＥ）で異方性エッチングを行うことで形成する。ここで留意すべきは、二酸化シリコン、ポリシリコン、窒化シリコンが好ましいが、実際には後述するように選択性エッチングができるものであればいかなる組み合わせの材料も使用できることである。次の一連のステップにおいて、マンドレルは、スペーサを取り除かないで除去される（たとえばＲＩＥにおいてエッチャントとしてＨＢｒを用いて、シリコンを二酸化シリコンよりもより速い速度で除去する）。スペーサ（約３５−１００オングストローム幅）は、次に半導体（それは基板１０の埋込み酸化物ＢＯＸの上にある）上のハード・マスクの露出部をエッチングするためのマスクとして使用される。スペーサは、続いて背後にハード・マスクを残して選択的に除去（一般にはエッチャントとしてＣＨ３Ｆを用いて）される。次に“トリム”マスク（ＴＲ）を使ってハード・マスク材料の所望の部分を選択的に除去、その後マスクを除去する。このことでハード・マスクの“ループ”が破壊されることが許される。続いて、ハード・マスクに対して高選択性のシリコン・エッチングが実行されるので、パターン付ハード・マスクの真下のシリコン部分のみが埋込み酸化物ＢＯＸ上に残る。半導体レール２１、２２、２３、２４は、本発明による転送デバイスと蓄積キャパシタが形成された細長いレールである。実際の物質として、本発明ではたとえばガリウムヒ素そのほかＩＩＩ−Ｖ族の材料とその化合物（アロイ）などを含め、いかなる半導体でも実現できるが、本発明の望ましい半導体はシリコン、ゲルマニウム、シリコン・ゲルマニウム化合物半導体である。
【００２２】続いて、一般には露出したシリコン表面に２．０ｎｍから３．０ｎｍの熱酸化による犠牲酸化物の成長の後、転送電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）の閾値電圧を調整するためにホウ素もしくは他のドーパント原子を半導体レール（フィン）にイオン注入（ｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎ）する場合もある。ゲート電極材料（後述）が不純物添加（ｄｏｐｅｄ）ポリシリコンの場合、一般には約８Ｘ１０１８ｃｍ−３のドーピング濃度が使用される。
【００２３】イオン注入の手順は、その注入部分が蓄積キャパシタのプレートの一つとして機能できるように実行される。具体的には図２に示す蓄積キャパシタ４０１（Ｃｓｔ１）の領域内にある部分を除いたレールの部分がマスクされるように、イオン注入マスクが最初に適用される。イオン注入マスクとしては堆積され、次にフォトリソグラフィック・マスクを介してエッチングされた窒化シリコン層が可能であり、あるいはフォトリソグラフィック・マスク自体の場合もありうる。引き続いて、低エネルギー、高濃度イオン注入がレール導体の露出部を提供するために行われる。リン、ホウ素、ヒ素、あるいはそのほか導電性を促進するイオン注入が利用できる。リンのイオン注入が好適で、注入濃度は１Ｘ１０２０／ｃｍ３　、エネルギー・レンジは１−３ＫＶ（Ｋｅｖ）、一般にはウェハ面に垂直な軸から３０−４５度の傾斜角で、フィン全方向で十分なイオン照射を確実に行うためにウェハの４方向もしくはそれ以上の方向からイオン注入を行う。このイオン注入の濃度とエネルギーは、続いて転送デバイス２０１、２０２（Ｔ１、Ｔ２）のソース／ドレイン拡散電極を形成するために利用される量に等しいかそれ以上の量であることを留意すべきである。
【００２４】続いて犠牲酸化物は除去され、絶縁体が成長し蓄積キャパシタの絶縁層（図３のキャパシタ絶縁膜１６を参照）だけでなくレール上に形成されるＦＥＴのゲート絶縁膜も供給することになる。レール対の間で差分キャパシタを完成するため、ゲート導体（電極）材料が引き続いて堆積され、転送デバイスのゲート（すなわちワード線）と導電プレート４１、４２を形成するため、パタニングとエッチングが同時に行われる。
【００２５】代替方法として、より大きい蓄積容量が必要な場合、ゲート材料は、レールを超えて完全に除去できることに加えて、露出されたゲート絶縁膜も除去される。二酸化ハフニウムのような材料を用いて、蓄積キャパシタ絶縁層の誘電率が転送デバイスのゲート絶縁膜の誘電率より大きくなるようにするため、ドレインを覆って残存するように堆積され、パターン形成することもできる。次にＮ＋ドープのポリシリコンのような導電層がレール対の間で差分キャパシタを完成するため、堆積されパターン形成される。
【００２６】本発明の蓄積キャパシタは、半導体レール２１と２２、２３と２４の上に各々位置するプレート４１、４２で形成される。図３を参照。プレートは前述の方法で形成されたキャパシタ絶縁膜１６でそれぞれの半導体レールから分離されている。第２の導体部５１、５２は各々２１と２２、２３と２４の分離された部分の上に位置して、転送デバイス（トランジスタ）２０１、２０２（Ｔ１、Ｔ２）のゲート電極を形成する。図２を参照。ここで留意すべきは、実際にはプレート４１、４２と導体部５１、５２は図示したように個別の部分を形成するため、堆積されエッチングされる単一の導電層（たとえばポリシリコン、難溶解金属シリサイド）からできることである。従って、各導体部は、実質的にそれらの上に形成されたレールを取り囲むことで、トランジスタが導通したとき、チャネルの電荷−中性領域が完全に空乏状態になるように、トランジスタ２０１、２０２（Ｔ１、Ｔ２）の場合にはゲート電極はチャネルが形成された半導体レール領域を取り囲む結果となる。それぞれの導体部がエッチングで画定した後、トランジスタ２０１、２０２の形成を完了するためにソース／ドレインのイオン注入が行われる。
【００２７】複数のビット線導体（図示せず）は、各半導体レール２１、２２、２３、２４の上部にオーバーレイして平行に配置され、ワード線１０１、１０２（ＷＬ１、ＷＬ２）には直交して配置される。これらの導体は、５１、５２の上に位置し、転送デバイス対とビット線対を相互接続する。実際には、ビット線は、一般に金属（たとえば銅、アルミニウム、タングステン、その他導体）の第１層であり、半導体レール２１、２２、２３、２４および導体部５１、５２の上に配置されることを含めて、基板１０の全表面にわたって配置されたパッシベーション層（図示せず）の上に置かれる。ビア（あるいはコンタクト）は、各ビット線を該当する半導体レール２１、２２、２３、２４のソースに各々のビット線コンタクト６１、６２、６３、６４（ＢＬ１−ＢＬ４と表記し、２１、２２、２３、２４の内側に図解的に‘Ｘ’で示した）を介して相互接続するために、このパッシベーション層を貫いて形成される。
【００２８】構造体のこの部分は、好ましくはいわゆる“ダマシン”プロセスを用いて以下のように形成される、初めに、パッシベーション層に通常のフォトレジスト・プロセスにより画定されたホールを形成し、金属がエッチングされたパッシベーション層の上に堆積され、ホールを埋め、パッシベーション層の上面の余分な金属は、通常の化学機械式研磨（ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：ＣＭＰ）技術で除去され、最後に金属の第２層はビアを相互接続するため、パッシベーション層の表面に個別に堆積されエッチングされる。金属の堆積は銅、銅合金に対しては、化学的気相成長法（ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｖａｐｏｒ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：　ＣＶＤ）で行うことができるが、電気メッキが好ましい。パッシベーション層には、リンケイ酸塩ガラス（ＰＳＧ）、ホウリンケイ酸塩ガラス（ＢＰＳＧ）、もしくはフッ素ドープ・ガラス（ＦＳＧ）、およびＤｕＰｏｎｔ社の販売する“ＳｉＬＫ”やＡｐｐｌｉｅｄ　Ｍａｔｅｒｉａｌ社の販売する“Ｂｌａｃｋ　Ｄｉａｍｏｎｄ”のような有機材料が利用できる。その他代替技術として、いわゆる“ディアル・ダマシン”プロセスがあり、ビア上の金属の第２層はビアに対して、前述したように、パッシベーション塗布、エッチング、堆積、化学機械式研磨の全プロセスを通じて同様に画定される。
【００２９】さらに、これら付加的導体が実際に半導体レール２１、２２、２３、２４および導体部５１、５２の上に配置されることを含めて、基板１０の全表面にわたって配置されたパッシベーション層（図示せず）の上に置かれる。プロセス全体は、直前の段落で記述したプロセスと同じかもしくは類似している。
【００３０】ここでまた留意すべきは、図２に示された構造のミラー・イメージ（鏡像）が図２の底辺部に形成されることである。このミラー・イメージの開始点は、ワード線１０２（ＷＬ２）で示されるが、図のわかりやすさの点から詳細は図示されていない。
【００３１】最後に、図２から留意すべきは、転送デバイスは、ディアル・ゲート構造（つまり、導体部５１のゲートはＦＥＴのチャネルを形成するレール部分周辺を囲むこと）で、その結果チャネル領域の電荷−中性領域を完全に空乏状態にできることである。発明者らは、このように構成されたトランジスタは、通常のＦＥＴの接合容量に比べてＦＥＴの拡散電極での接合容量が大きく減少することを見出した。発明者らは、他のディアル・ゲートＦＥＴ技術、あるいはチャネル領域の少数キャリアを完全に空乏状態にする別の技術によって、減少がそれほど大きくないにしろ、同様な接合容量の減少が提供されるものと確信する。
【００３２】本発明による完全空乏状態の転送デバイスは、ゲート電極が常に全ての半導体レール本体から電荷−中性領域を奪うように、半導体レール本体を狭く形成することでいかなる電荷中性領域もなくすように設計されている。結果として図１に示す第１の一連の接合容量Ｃｓｄ１、Ｃｄｂ１、Ｃｓｄ２、およびＣｄｂ２は、直接ドレインからソースへの各転送デバイスに対する残存接合容量（これは一般的には０．０５ｆＦ／μｍ２から０．１ｆＦ／μｍ２の値を有する）を残して除去される。また別の結果として、本発明においては、ウェハ基板に平行で準リソグラフィー的に画定される面はごく小さいため、第２の一連の接合容量Ｃｄｓ１、Ｃｄｓ２は、大きく減少する、その結果等価な固有容量は前述した値に比べ１／５から１／１０とより小さくなった。
【００３３】蓄積容量の固有容量に対する比率のさらなる改善は、本発明の構造でシリコン・レールの高さをさらに増すことで提供され、蓄積キャパシタの容量は、全固有容量に対し相対的に大きくなる。具体的には０．０９μｍのグラウンド・ルールの技術において、レールの高さは約０．１５μｍを超えて増加するので、固有容量の面積は、レール高さに無関係であるため、蓄積容量の面積が固有容量の面積に比べて相対的に増加する。比率が増加したレール高さは、今後の技術でグラウンド・ルールがより小さくなるのにつれて一定の割合で減少する。
【００３４】結果として、固有容量の静電容量値が、主蓄積キャパシタＣｓｔの容量値の約２０％に減少し、この値はセルが放射事象により読取り間違いを起こさない程度に十分小さい。一般に、ＤＲＡＭセルは、セルに最初に蓄積された信号の２０％までの損失が許容できるように十分に余裕をもって設計される。十分な量のイオン放射がビット線電位（この例ではアース）より高い差分ノード上に起きる場合、そのノードはアースに向け放電される。もう一方のノードの電位（ポテンシャル）は固有キャパシタと主蓄積キャパシタに対する相対的静電容量の関数で減少する。固有キャパシタの容量は、蓄積容量の約２０％しかないので、この場合の信号損失は約１６％であり、換言すればセルの設計ポイントである２０％マージンの範囲に入る。結果として、ソフト・エラー事象が起きたときでも、本発明の蓄積セルは、図２に示されたビット線コンタクト６１、６２（ＢＬ１、ＢＬ２）に結合されたビット線の電圧によって、セル信号を感知するセンス増幅器による信頼性のある感知が可能である。
【００３５】図４は、図２のＡ−Ａ線に沿った断面図で、本発明の第２の好適な実施形態を示す。ここで留意すべきは、この実施形態において、蓄積キャパシタ部分においてレール２２、２３の部分上に絶縁層がないことである。これは数種の方法で達成できる。一つの方法として、絶縁層の形成プロセスを通して所定の位置にとどまるレール２２と２３の図示された部分のみにマスクを適用することがある。別の方法として、絶縁層の形成プロセス完了後、レール２２と２３の図示された部分以外のすべてのレールにマスクをし、続いてレールの露出部分からいかなる絶縁層をも除去するため、エッチング・プロセスを行う。後者のプロセスが好適である。結果として、蓄積プレートが大きくなるので蓄積キャパシタの容量が増す。ここで留意すべきは、このサイズの増加は、蓄積キャパシタに振り向けられたセルの表面積を増加させることなしに達成できることである。また、この蓄積容量の増加は、トレンチ・キャパシタあるいは積層キャパシタを用いずに達成できることも留意すべきである。
【００３６】図５は、本発明の第３の好適な実施形態に基づくメモリ・セルの平面図である。概ね、この実施形態は図２（同じ参照番号は同じ構造に該当）に示された実施形態と類似している。この実施形態においては、付加プレート８１、８２、８３、８４の内部の‘Ｘ’で示された場所で各々レールの該当する各々のプレートに接触する付加プレート８１、８２、８３、８４を用いて容量を付加することで、蓄積容量が増加している点で異なる。
【００３７】図６は、図５のＢ−Ｂ線に沿った断面図で本発明の第３の好適な実施形態を示す。この断面図は付加プレート８１、８２、８３、８４とレール２１、２２、２３、２４の間でコンタクトが取れた箇所を採用しており、２者（付加プレートとレール）の間でのコンタクトを簡単に示したものである。この領域にはキャパシタ絶縁膜がないことに留意すべきであり、レール２１、２２、２３、２４とプレート８１、８２、８３、８４の間のいかなる層も後述するプレート８１、８２、８３、８４の形成前にこれらコンタクト領域において除去される。
【００３８】図７は、図５のＡ−Ａ線に沿った断面図で本発明の第３の好適な実施形態を示す。レール２１、２２、２３、２４、蓄積絶縁膜１６、およびプレート４１，４２は図３に示されている。この実施形態において、第２の絶縁膜１８が４１、４２の露出表面の上に形成され、付加プレート８１、８２、８３、８４は第２の絶縁膜１８の上に形成される。このプレート８１、８２、８３、８４は蓄積キャパシタの容量が増加するように、図６に示すように、各々該当するレール２１、２２、２３、２４に結合される。前述の実施形態において蓄積キャパシタに対する絶縁膜１６は、ＦＥＴのゲート絶縁膜と同時に形成できることを思い起こしてほしい。この実施形態では蓄積絶縁膜１６とプレート４１、４２の両方とも所定位置のＦＥＴ領域を保護するイオン注入用マスクを用いて、各々独立して生成される。次に前述したように、絶縁膜１８とプレート８１、８２、８３、８４は、各々ゲート絶縁膜とゲート電極と同時に形成される。ここで留意すべきは、プレート４１、４２と違ってプレート８１、８２、８３、８４は隣接レール間にかかる水平部分を有しないことである。この部分はマスク・エッチの間に除去され、絶縁膜１８の該当部分もまたプレート４１、４２の水平表面下部から除去される。
【００３９】このように本発明を適用することで、ＥＣＣ（Ｅｒｒｏｒ　Ｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎ　Ｃｏｄｅ）、トレンチ・キャパシタ設計、もしくは積層キャパシタ設計といった技術を利用せず、加えて蓄積キャパシタに使われる表面積を増加せずに、ソフト・エラー耐性の高いＤＲＡＭセルが提供される。ＦＥＴ転送デバイスのドレインの蓄積キャパシタ・ノードへの結合に起因する固有キャパシタの静電容量値を減少させ、その結果、読取り誤りを起こすほどの量で、蓄積電荷の状態を変えるには十分な放電経路を迷放射線が誘導するのを避けることができる。
【００４０】本発明を好ましい実施形態の観点から記載したが、本発明の精神と発明の範囲はそれによって限定されるべきではない。むしろ上述の説明およびこの点に関する請求の範囲に記載された本発明の全範囲から逸脱せずに多くの変更を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるメモリ・セルの概略図である。
【図２】本発明による第１の実施形態を示すメモリ・セルの平面図である。
【図３】本発明による第１の実施形態を示すメモリ・セルで図２のＡ−Ａ切断線に沿った断面図である。
【図４】本発明による第２の実施形態を示すメモリ・セルで図２のＡ−Ａ切断線に沿った断面図である。
【図５】本発明による第３の実施形態を示すメモリ・セルの平面図である。
【図６】本発明による第３の実施形態を示す図５のＢ−Ｂ切断線に沿った断面図である。
【図７】本発明による第３の実施形態を示す図５のＡ−Ａ切断線に沿った断面図である。
【符号の説明】
１０１、１０２　ワード線
２０１、２０２　転送デバイス（トランジスタ）
３０１、３０２　ビット線
４０１　主（蓄積）容量
４０２、４０３、４０４、４０５、４０６、４０７　固有容量
１０　基板
１１　埋込み酸化物
１６、１８　絶縁膜
２１，２２，２３，２４　半導体レール（フィン）
４１、４２　プレート
５１、５２　導体部
６１、６２、６３、６４　ビット線コンタクト
８１、８２、８３、８４　付加プレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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