(57)【要約】【課題】半導体ウエハの表面に複数枚の保護テープを多重に貼り付けるとともに、薄型加工された半導体ウエハに負荷かけることなく多重に貼り付けた保護テープを精度よく剥離する保護テープの貼付・剥離方法を提供する。【解決手段】チャックテーブルに吸着保持されたウエハＷの表面にテープ貼付機構によって貼り付けた保護テープＴ１をカッターユニットでウエハ形状に切断する。次いで１枚目の保護テープＴ１より粘着力の弱い保護テープＴ３が保護テープＴ１の上に貼り付けられる。この多重の保護テープＴ１，Ｔ３は、ウエハＷの薄型加工処理後に、テープ剥離装置１５によって、上側から１枚ずつ順番に剥離されてゆく。【選択図】        図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンが形成された半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付けるとともに、この保護テープを半導体ウエハの表面から剥離する保護テープの貼付・剥離方法において、
前記半導体ウエハの表面に複数枚の保護テープを、上側に粘着力の弱い保護テープがくるように多重に貼り付ける貼付工程と、
前記多重に貼り付けられた保護テープの上に剥離テープを貼り付け、この剥離テープを介して前記半導体ウエハの表面から、多重の保護テープを上から１枚ずつ剥離する剥離工程と
を備えたことを特徴とする保護テープの貼付・剥離方法。
【請求項２】
請求項１または請求項２に記載の保護テープの貼付・剥離方法において、
前記多重の保護テープは、複数枚の保護テープを予め多重に貼り付けたものを単位として半導体ウエハの表面に貼り付けることを特徴とする保護テープの貼付・剥離方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の保護テープの貼付・剥離方法において、
前記多重の保護テープは、複数枚の保護テープを個別に繰り返して貼り付けることを特徴とする保護テープの貼付・剥離方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の保護テープの貼付・剥離方法において、
前記多重の保護テープは、その被粘着面に離型処理が施されたものであることを特徴とする保護テープの貼付・剥離方法。
【請求項５】
パターンが形成された半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付けるとともに、この保護テープを半導体ウエハの表面から剥離する保護テープの貼付・剥離方法において、
被粘着面に離型処理が施された同じ種類の複数枚の保護テープを、前記半導体ウエハの表面に多重に貼り付ける貼付工程と、
前記多重に貼り付けられた保護テープの上に剥離テープを貼り付け、この剥離テープを介して前記半導体ウエハの表面から、多重の保護テープを上から１枚ずつ剥離する剥離工程と
を備えたことを特徴とする保護テープの貼付・剥離方法。
【請求項６】
請求項５に記載の保護テープの貼付・剥離方法において、
前記多重の保護テープは、複数枚の保護テープを予め多重に貼り付けたものを単位として半導体ウエハの表面に貼り付けることを特徴とする保護テープの貼付・剥離方法。
【請求項７】
請求項５に記載の保護テープの貼付・剥離方法において、
前記多重の保護テープは、複数枚の保護テープを個別に繰り返して貼り付けることを特徴とする保護テープの貼付・剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、パターンが形成された半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付けるとともに、その保護テープを剥離する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体ウエハの製造過程において、研削方法や研磨方法などの機械的方法、またはエッチングを利用した化学的方法などを利用して半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）の裏面を加工し、その厚みを薄くしている。これらの方法を利用してウエハを加工する際、配線パターンの形成された表面を保護するために、その表面に保護テープが貼り付けられている。
【０００３】
つまり、バックグラインド工程に移載されたウエハは、その表面（パターン面）をチャックテーブルで吸着保持され、裏面を砥石で研削される。このとき、ウエハの表面には研削によるストレスが加わりパターンが破損したり、汚れたりする恐れがあるので、その表面に保護テープを貼り付けている。
【０００４】
さらに、裏面が研削されて薄くなったウエハは加工時や搬送時に破損しやすく、またウエハの撓みや反りのために取り扱いが不便であるので、ウエハ表面に種類の異なった２枚の保護テープを予め貼り付けてウエハの破損や反りを防止するようにした保護テープも提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
このように、ウエハの表面に貼り付けられた２枚の保護テープは、剥離工程で２枚を纏めて一度に剥離する方法が提案実施されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−３３１９６８号
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した特開２０００−３３１９６８号公報に記載の２枚重ねの保護テープを用いることは、ウエハを補強する点で有益ではあるが、保護テープの剥離工程において次のような問題がある。
【０００８】
２枚重ねの保護テープを纏めて一度に剥離する場合、その時の剥離力（引張り力）が非常に大きくなる。したがって、薄型加工されたウエハに対して、一度に大きな引張力が加わりウエハを強制的に反り返したり、破損させたりするといった問題がある。
【０００９】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、半導体ウエハに剛性を付与して半導体ウエハを補強することができるとともに、半導体ウエハからの保護テープの剥離を精度よく行なうことができる保護テープの貼付・剥離方法を提供することを主たる目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、パターンが形成された半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付けるとともに、この保護テープを半導体ウエハの表面から剥離する保護テープの貼付・剥離方法において、
前記半導体ウエハの表面に複数枚の保護テープを、上側に粘着力の弱い保護テープがくるように多重に貼り付ける貼付工程と、
前記多重に貼り付けられた保護テープの上に剥離テープを貼り付け、この剥離テープを介して前記半導体ウエハの表面から、多重の保護テープを上から１枚ずつ剥離する剥離工程と
を備えたことを特徴とするものである。
【００１１】
（作用・効果）上側に粘着力の弱い保護テープがきて多重となる保護テープが、半導体ウエハの表面に貼り付けられる。したがって、半導体ウエハの研削による薄型加工時には、半導体ウエハに剛性を持たせた状態で加工することができる、結果、半導体ウエハの破損を防止することができる。
【００１２】
また、保護テープの剥離時には、上側の保護テープがその下側にある保護テープの粘着力よりも弱いので、剥離テープが貼り付けられた剥離対象の保護テープ１枚だけが剥離テープと一体になって剥離される。つまり、下側の保護テープが貼り付けられた状態で半導体ウエハから保護テープが順番に剥離されるので、薄型加工された後の半導体ウエハには保護テープにより剛性を維持したまま上側から順番に保護テープが剥離される、結果、１回の剥離動作で多重に貼り付けられた保護テープの全てを剥離するのに比べ、剥離時の引張力によって半導体ウエハに加わるストレスが低減されて半導体ウエハの反りや破損を防止することができる。
【００１３】
また、多重の保護テープは、複数枚の保護テープを予め多重に貼り付けたものを単位として半導体の表面に貼り付けることが好ましい（請求項２）。
【００１４】
（作用・効果）１回に貼り付け動作で予め多重に貼り付けた保護テープを半導体ウエハに貼り付けることができる。したがって、作業効率の向上を図ることができる。
【００１５】
また、多重の保護テープは、複数枚の保護テープを個別に繰り返して貼り付けることが好ましい（請求項３）。
【００１６】
（作用・効果）複数枚の保護テープが個別に繰り返して半導体ウエハの表面に貼り付けられることにより、保護テープの押圧レベルを小さくして保護テープを半導体ウエハに貼り付けてゆくことができる。その結果、半導体ウエハへの応力の蓄積を低減でき、薄型加工後に半導体ウエハに反りが発生したり、その反りの原因で破損したり、半導体ウエハの吸着不良による搬送エラーを防止したりすることができる。
【００１７】
また、多重の保護テープは、その被粘着面に剥型処理が施されたものであることが好ましい（請求項４）。
【００１８】
（作用・効果）保護テープの被粘着面に剥型処理を施しておくことにより、多重に貼り合わされた保護テープを上側から１枚ずつ容易に剥離することができる。
【００１９】
また、請求項５に記載の発明は、パターンが形成された半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付けるとともに、この保護テープを半導体ウエハの表面から剥離する保護テープの貼付・剥離方法において、
被粘着面に離型処理が施された同じ種類の複数枚の保護テープを、前記半導体ウエハの表面に多重に貼り付ける貼付工程と、
前記多重に貼り付けられた保護テープの上に剥離テープを貼り付け、この剥離テープを介して前記半導体ウエハの表面から、多重の保護テープを上から１枚ずつ剥離する剥離工程と
を備えたことを特徴とするものである。
【００２０】
（作用・効果）非粘着面に剥型処理が施された同じ種類の保護テープが複数枚、半導体ウエハの表面に多重に貼り付けられる。したがって、多重の保護テープに剥離テープを貼り付けて保護テープを剥離すると、剥離対象の保護テープは、下側の保護テープの表面から容易に剥離される。したがって、保護テープを上側から１枚ずつ剥離することができるので、１回の剥離動作で多重に貼り付けられた保護テープの全てを剥離するのに比べ、剥離時の引張力によって半導体ウエハに加わるストレスが低減されて半導体ウエハの反りや破損を防止することができる。
【００２１】
また、多重の保護テープは、複数枚の保護テープを予め多重に貼り付けたものを単位として半導体の表面に貼り付けることが好ましい（請求項６）。
【００２２】
（作用・効果）１回に貼り付け動作で予め多重に貼り付けた保護テープを半導体ウエハに貼り付けることができる。したがって、作業効率の向上を図ることができる。
【００２３】
また、多重の保護テープは、複数枚の保護テープを個別に繰り返して貼り付けることが好ましい（請求項７）。
【００２４】
（作用・効果）複数枚の保護テープが個別に繰り返して半導体ウエハの表面に貼り付けられることにより、保護テープの押圧レベルを小さくして保護テープを半導体ウエハに貼り付けてゆくことができる。その結果、半導体ウエハへの応力の蓄積を低減でき、薄型加工後に半導体ウエハに反りが発生したり、その反りの原因で破損したり、半導体ウエハの吸着不良による搬送エラーを防止したりすることができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、半導体ウエハの保護テープ貼付・剥離装置に適して実施例を図面に基づいて説明する。
【００２６】
保護テープ貼付方法
先ず、本実施例の保護テープ貼付方法を説明する前に、本実施例で使用する一実施例のテープ貼付装置について、図面を参照して説明する。
図１はテープ貼付装置の概略構成を示す正面図、図２ないし図４はテープ貼付工程を示した正面図である。
【００２７】
実施例に係る半導体ウエハの保護テープ貼付装置１は、セパレータＳ付きの保護テープＴ１を供給するテープ供給部２と、そのセパレータＳ付きの保護テープＴ１からセパレータＳを剥離回収するセパレータ回収部５と、半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」という）を吸着載置するチャックテーブル７と、保護テープＴ１をウエハＷ上に押圧しながら貼り付けるテープ貼付機構８と、ウエハＷに貼付けられた保護テープＴ１をウエハＷの外周形状に沿って切り抜くカッターユニット１０と、切り抜かれた後の残存テープＴ２を剥離するテープ剥離機構１１と、剥離されたテープを回収するテープ回収部１３とを装備している。
【００２８】
以下、各機構の構造について具体的に説明する。
テープ供給部２は、テープボビン３から繰り出されたセパレータＳ付きの保護テープＴ１をガイドローラ群４に巻回案内し、セパレータＳを剥離した保護テープＴ１をテープ貼付機構８に導くように構成されている。なお、テープボビン３は図示しない装置本体の縦壁に軸支され、ブレーキ機構などを介して適度な回転抵抗を与えて過剰なテープ繰り出しが行われないように構成されている。
【００２９】
セパレータ回収部５は、保護テープＴ１から剥離されたセパレータＳを巻き取る回収ボビン６が図示しない縦壁に軸支されて、モータなどの駆動機構によって巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【００３０】
チャックテーブル７は、ガイドピンなどを備えており、移載されたウエハＷのオリエンテーションフラットなどを基準に位置合わせを行なうとともに、裏面を吸着保持するようになっている。
【００３１】
テープ貼付機構８は、そのフレームがテープ走行方向にスライド可能となるように装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレームには貼付けローラ９が回転可能に軸支されているとともに、この貼付けローラ９が図示しないシリンダなどによって上下揺動駆動するようになっている。つまり、貼付けローラ９が保護テープＴ１の表面を押圧して転動しながらウエハＷの表面に保護テープＴ１を貼り付けてゆくようになっている。
【００３２】
カッターユニット１０は、図示しない昇降機構によって待機位置と、保護テープＴ１を切り抜く切断作用位置とにわたって昇降移動するとともに、ウエハＷの周縁に沿って旋回移動して保護テープＴ１を切り抜くようになっている。
【００３３】
テープ剥離機構１１は、そのフレームがテープ走行方向にスライド可能となるように装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレームには剥離ローラ１２が回転可能に軸支されているとともに、この剥離ローラ１２が図示しないシリンダなどによって上下揺動駆動するようになっている。剥離ローラ１２はウエハＷの外周縁に沿って切り抜かれた残存テープＴ２をウエハＷから剥離するためのものである。
【００３４】
テープ回収部１３は、保護テープＴ１を切り抜いた後の残存テープＴ２を巻き取る回収ボビン１４を図示しない装置本体の縦壁に軸支され、モータなどの駆動機構によって巻き取り方向に回転駆動するようになっている。つまり、テープ供給部２から所定量の保護テープＴ１が繰り出されてウエハＷ上に供給されるとともに、駆動部が作動することにより後述する切り抜き後の残存テープＴ２が回収ボビン１４に巻き取られるようになっている。
【００３５】
次に、保護テープをウエハの表面に多重に貼り付けてゆく方法を、上述の構成を有するテープ貼付装置を用いて図を参照しながら説明する。なお、本実施例ではテープ貼付装置を２台使い、ウエハ表面に種類の異なった２枚の保護テープを多重に貼り付ける場合を例に採って説明する。
【００３６】
なお、この実施例で使用する２種類の保護テープは、以下のものとする。
ウエハＷの表面に直接貼り付ける１枚目の保護テープＴ１には、その基材の表面に、例えばコロナ処理などにより重剥離処理（離型処理）を施すとともに、その粘着剤が２枚目の保護テープＴ２よりも粘着力が強い紫外線硬化型のものである。
【００３７】
また、２枚目の保護テープＴ３には、１枚目の保護テープよりも粘着力が弱いものが用いられる。
なお、２種類の保護テープＴ１およびＴ３のそれぞれは、セパレータＳと貼り合わされたロール状のものとなっている。
【００３８】
次に上記２種類の保護テ−プＴ１、Ｔ３およびテープ貼付装置１を用いてウエハＷに保護テープを多重に貼り付けつける一巡の動作について説明する。
【００３９】
先ず、第１および第２テープ貼付装置が並設されており、第１テープ貼付装置のテープボビン３には保護テープＴ１がセットされ、他方の第２テープ貼付装置のテープボビン３には保護テープＴ３がセットされている。
【００４０】
第１テープ貼付装置のチャックテーブル７にウエハＷが載置されて位置合わせが行なわれ、吸着保持される。このとき、図１に示すように、テープ貼付け機構８とテープ剥離機構１１とは左側の初期位置にあり、カッターユニット１０は上方の待機位置にそれぞれ位置する。
【００４１】
ウエハＷの位置合わせが済むと、図２に示すように、テープ貼付け機構８の貼付けローラ９が揺動降下し、この貼付けローラ９が保護テープＴ１を押圧しながらウエハＷ上をテープ走行方向とは逆方向（図２では左から右方向）に転動し、保護テープＴ１をウエハＷの表面全体に均一に貼り付ける。テープ貼付け機構８が終了位置に達すると貼付けローラ９が上昇する。
【００４２】
つぎに、図３に示すように、カッターユニット１０が切断作用位置に下降されて、その刃先が保護テープＴ１に突き刺されて予め設定された所定の高さまで下降されたところで停止される。所定の位置まで下降したカッターユニット１０は、縦軸心Ｘ周りに旋回駆動され、保護テープＴ１がウエハ外形に沿って切断される。このとき、テープ貼付け機構８とテープ剥離機構１１によって、保護テープＴ１には所定のテンションがかけられている。
【００４３】
保護テープＴ１の切り抜き終了後、カッターユニット１０は、図４に示すように、上昇して待機位置に復帰する。
【００４４】
次に、テープ剥離機構１１が、図４に示すように、ウエハＷ上をテープ走行方向とは逆方向へ移動しながらウエハＷ上で切り抜かれた残存テープＴ２を巻き上げて剥離する。
【００４５】
テープ剥離機構１１が剥離作業の終了位置に達すると、テープ剥離機構１１とテープ貼付け機構８とがテープ走行方向に移動して、図１に示す初期位置に復帰する。このとき、残存テープＴ２が回収ボビン１４に巻き取られるとともに、一定量の保護テープＴ１がテープ供給部２から繰り出される。これで第１テープ貼付装置でのウエハＷ表面への保護テープＴ１の貼り付け動作が終了する。
【００４６】
第１テープ貼付装置で表面に保護テープＴ１が貼り付けられたウエハＷは、第２テープ貼付装置へ移載される。
【００４７】
第２テープ貼付装置では、チャックテーブル上でウエハＷの位置合わせを行なった後、上述の第１テープ貼付装置と同じ動作が繰り返され、２枚目の保護テープＴ３が１枚目の保護テープＴ１上に重ね合わせて貼り付けられる。
【００４８】
この貼付時にローラ９が２枚目の保護テープの表面を押圧しながら転動することによって、２枚目の保護テープＴ３の表面に貼り付けられてゆく。したがって、保護テープＴ１とＴ３とが多重に貼り付けられ、剛性を有するウエハＷが形成される。
【００４９】
２枚の保護テープが多重に貼り付けられたウエハＷは、カセットに収納されてバックグラインド装置などに搬送されて、ウエハＷの薄型加工が行われる。その後、再びウエハＷはカセットに収納されてウエハアライメント装置などに搬送される。
【００５０】
例えば、カセットがウエハマウント装置に装填されると、ロボットアームによってカセットからウエハＷが１枚ずつ取り出されてアライメントステージへと移載される。
【００５１】
アライメントステージに移載されたウエハＷは、オリエンテーションフラットなどに基づいて位置合わせが行なわれる。位置合わせが終了すると、アライメントステージＡＳの上方の待機位置にある紫外線照射ユニットが降下し、ウエハＷに向けて紫外線を照射する。
【００５２】
紫外線が照射されると、保護テープＴ１の粘着剤が硬化し、アンカー効果によってウエハＷの表面に２枚目の保護テープＴ３よりもより強固に接着する。
【００５３】
紫外線照射処理の施されたウエハＷは、マウントフレーム作製部に搬送され、図５に示す剥離工程にウエハＷが載置されるときの状態、つまり裏面から粘着テープＴｎを介してリング状フレームｆに支持される。このリング状フレームｆに支持されたウエハＷ（以下、単に「マウントフレームＦ」という）は、剥離工程へと搬送され、後述する図７のチャックテーブル１９に載置される。
【００５４】
以上のように、ウエハＷの表面に粘着力が強い紫外線硬化型の保護テープＴ１を貼り付け、保護テープＴ１の表面にその粘着力よりも弱い保護テープＴ３を貼り付けることができる。つまり、上側に粘着力の弱い保護テープがくるように多重に保護テープを貼り付けることができる。したがって、従来の装置を用いて容易に保護テープを多重に貼り付けることができる。また、ウエハＷの表面に保護テープを多重に貼り付けることによって、裏面を研削するような薄型加工時にウエハＷに剛性を持たせることができ、破損するのを防止することができる。
【００５５】
次に保護テープ剥離方法につてい説明する。
先ず、本実施例の保護テープ剥離方法に使用する一実施例の保護テープ剥離装置について、図面を参照して説明する。
図５はテープ剥離装置の概略構成を示した正面図、図６ないし図９は保護テープを剥離する工程を示した説明図である。
【００５６】
実施例に係る半導体ウエハの保護テープ剥離装置１５は、剥離テープＴｓを供給するテープ供給部１６と、マウントフレームＦを吸着載置するチャックテーブル１９と、ウエハＷの表面に貼り付けられた保護テープＴ３に押圧しながら剥離テープＴｓを貼り付けるとともに、その剥離テープＴｓを保護テープＴ３と一緒に剥離する剥離機構２０と、ウエハＷから剥離した両テープを回収するテープ回収部２２とを装備している。
【００５７】
以下、各機構の構造について具体的に説明する。
テープ供給部１６は、テープボビン１７から繰り出された剥離テープＴｓをガイドローラ１８で巻回案内し、剥離機構２０に導くように構成されている。なお、テープボビン１７は図示しない装置本体の縦壁に軸支され、ブレーキ機構などを介して適度な回転抵抗を与えて過剰な繰り出しが行われないように構成されている。
【００５８】
チャックテーブル１９は、ガイドピンなどを備えており、移載されたマウントフレームＦの位置合わせを行なうとともに、裏面を吸着保持するようになっている。また、チャックテーブル１９は、そのフレームが剥離テープＴｓの走行方向にスライド可能となるように装置本体のレールに把持され、図示しない駆動部に連動連結されている。
【００５９】
剥離機構２０は、そのフレームに剥離ローラ２１が回転可能に軸支されているとともに、この剥離ローラ２１が図示しないシリンダなどによって上下揺動駆動するようになっている。つまり、剥離テープＴｓを保護テープＴ３の表面に押圧しながら貼り付けるようになっている。
【００６０】
また、テープ回収部２２は、保護テープＴ３の表面に剥離テープＴｓを貼り突付けて一体となって剥離されたテープを巻き取る回収ボビン２３を図示しない装置本体の縦壁に軸支され、モータなどの駆動部に連動連結されている。つまり、テープ供給部１６から所定量の剥離テープＴｓが繰り出されて、ウエハＷ上に供給されるとともに、駆動部が作動することにより保護テープＴ３と一体となった剥離テープＴｓが回収ボビン２３に巻き取られるようになっている。
【００６１】
次に、上記保護テープ貼付装置１を用いて保護テープを多重に貼り付け、さらにリング状フレームｆと一体となったマウントフレームＦから保護テープを剥離する方法を、上述の構成を有するテープ剥離装置１５を用いて図を参照しながら説明する。つまり、２枚の保護テープにおいて、２枚目の保護テープＴ３が１枚目の保護テープＴ１よりも粘着力が弱いものである。
【００６２】
先ず、図５に示すように、このマウントフレームＦは、チャックテーブル１９に載置される。
【００６３】
載置されたマウントフレームＦは位置合わせが行なわれ、吸着保持される。このとき、チャックテーブル１９は、図６に示すように、剥離ローラ２１がウエハＷの周縁部に当接する位置に移動（図では左側）する。
【００６４】
マウントフレームＦの位置合わせがすむと、図７に示すように、剥離ローラ２１が揺動下降するとともに、チャックテーブル１９が剥離テープＴｓの走行方向に移動する。このチャックテーブル１９の移動にともなって、剥離ローラ２１が剥離テープＴｓを押圧しながらウエハＷ上を転動する。つまり一番上に貼り付けられた保護テープＴ３上に剥離テープＴｓが貼り付けられてゆくとともに、剥離テープＴｓが貼り付けられたその保護テープＴ３は保護テープＴ１の表面から剥剥離されて離テープＴｓと一緒に巻き上げられてゆく。
【００６５】
このとき、保護テープＴ１の基材の被接着に剥型処理が施されているとともに、ウエハＷに貼り付けられている下側の保護テープＴ１の粘着力が保護テープＴ３よりも強いので、保護テープＴ３のみが、保護テープＴ１の表面から先に剥離される。
【００６６】
チャックテーブル１９が、図８に示す終了位置に達すると剥離ローラ２１が上昇し、チャックテーブル１９はテープ走行方向の逆方向に移動し初期位置に復帰する。このとき、剥離されて剥離テープＴｓと一体となった保護テープＴ３は回収ボビン２３に巻き取られるとともに、一定量の剥離テープＴｓがテープ供給部１６から繰り出される。
【００６７】
以上で１枚の保護テープの剥離動作が終了し、同じ動作を下側の保護テープＴ１に対しても実行することにより、図９に示すように、ウエハＷの表面から保護テープＴ１も剥離することができ、全ての剥離動作が終了する。
【００６８】
以上のように、上側に下側の保護テープをよりも粘着力の弱い保護テープを多重に貼り付けて薄型加工した後に、上側の保護テープから１枚ずつ順番に剥離することによって、従来のように複数枚の保護テープをウエハＷの表面から一度に剥離する場合の大きな引張力よるストレスがウエハＷに加わらない。具体的には、上側の保護テープを剥離するときには、下側の保護テープによってウエハＷの剛性が保持されることになる。したがって、保護テープ剥離時にウエハＷを破損させることがない。
【００６９】
本発明は、上記の実施例に限らず、次のように変形実施することもできる。
【００７０】
（１）上記保護テープの貼付方法では、保護テープを２枚貼り付けた場合について説明したが、２枚以上を多重に貼り付けてもよい。また、多重に貼り付ける保護テープの種類は、上側に粘着力が弱いものがくるようにし、保護テープの被粘着面に離型処理が施され、その表面から保護テープを容易に剥離可能な場合は、同じ種類の保護テープを用いてもよい。また、保護テープとしては紫外線硬化型に限られるものではない。
【００７１】
（２）原反ロールからシート状の保護テープを供給してウエハＷに貼り付け、ウエハＷの周縁に沿って切り抜きながら多重に貼り付けていたが、予めウエハの形状にカットされたものを個別に１枚ずつ繰り返して貼り付けてもよいし、予め２枚の保護テープが重ね合わさったものを貼り付けてカッターユニット１０で切断してゆくようにしてもよい。
【００７２】
（３）上記保護テープの剥離方法では、チャックテーブル１９がテープ走行方向に移動する形態であったが、剥離機構２０自体がテープ走行方向に移動する形態であってもよい。
【００７３】
（４）上記保護テープの剥離方法では、ウエハマウント後に保護テープの剥離を行う場合のマウント剥離を例に採って説明したが、このマウント剥離に限定されるものではなく、マウントフレームに支持されていないウエハの表面に多重に貼り付けられた保護テープを剥離するようにしてもよい。
【００７４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、この発明によれば、半導体ウエハの表面に多重に貼り付けられた保護テープは、上側の保護テープが下側の保護テープよりも粘着力が弱いので、これら多重の保護テープを上方から１枚ずつ順番に剥離することができる。したがって、上側の保護テープを剥離するとき、下側の保護テープが貼り付けられた状態にあることにより、薄型加工された半導体ウエハの剛性を保持した状態で保護テープを剥離してゆくことができるとともに、１枚ずつ剥離することで剥離力による半導体ウエハに対するストレスを低減することもできる。その結果、半導体ウエハの反りや破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例に係るテープ貼付装置の概略構成を示す正面図である。
【図２】テープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図３】テープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図４】テープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図５】実施例に係るテープ剥離装置の概略構成を示す正面図である。
【図６】テープ剥離工程を説明する概略正面図である。
【図７】テープ剥離工程を説明する概略正面図である。
【図８】テープ剥離工程を説明する概略正面図である。
【図９】テープ剥離工程を説明する概略正面図である。
【符号の説明】
Ｗ  …  半導体ウエハ
Ｆ  …  マウントフレーム
Ｔ１，Ｔ３  …  保護テープ
Ｔｓ  …  剥離テープ
１  …  テープ貼付装置
２  …  テープ供給部（保護テープ）
７  …  チャックテーブル
８  …  テープ貼付け機構
１０  …  カッターユニット
１１  …  テープ剥離機構
１３  …  テープ回収部（切断後の保護テープ）
１５  …  テープ剥離装置
１６  …  テープ供給部（剥離テープ）
１９  …  チャックテーブル
２０  …  剥離機構
２２  …  テープ回収部（剥離テープ）
【図１】
2004273527.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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