(57)【要約】【課題】樹脂含浸に先立ってワークに付着した塵埃を好適に除去し得る樹脂含浸装置を提供する。【解決手段】含浸槽１４に向かって送られるガラス織布２４に除電ブロワ２０からイオン化した空気が吹き付けられるため、これに帯電している静電気がそのイオンで中和されることによって除電される。また、既に付着していた塵埃も空気が吹き付けられることによって吹き飛ばされて除去される。そのため、ガラス織布２４の帯電延いては塵埃の付着が好適に解消されるので、塵埃の混入を伴うことなくこれに樹脂を含浸することが可能となる。【選択図】　　　　　　　　　　図１
2004143343.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂溶液が蓄えられた含浸槽を備え、その樹脂溶液中をワークを通過させることによりそのワークに存在する多数の空隙にその樹脂を含浸させるための樹脂含浸装置であって、
前記樹脂溶液中を通過させるに先立って前記ワークにイオン化した空気を吹き付けることによりそのワークを除電するための除電装置を含むことを特徴とする樹脂含浸装置。
【請求項２】
前記ワークは各々が単繊維の撚糸で構成された多数本の経糸および緯糸が織られて成る無機織布であり、そのワークを除電するに先立って開繊処理を施すための開繊装置を含むものである請求項１の樹脂含浸装置。
【請求項３】
前記ワークは、繊維強化樹脂基板を製造するための無機織布である請求項１または請求項２の樹脂含浸装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばガラス・エポキシ基板等を製造するに際して無機織布等に樹脂を含浸するための樹脂含浸装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、無機繊維を織って成る無機織布、例えばガラス織布に合成樹脂を含浸させ且つ硬化させた無機織布強化樹脂基板が知られている。上記ガラス織布は、それぞれ単繊維（モノフィラメント）が撚られた撚り糸（ストランド）で構成された経糸および緯糸が例えば平織に織られたものである。また、上記合成樹脂は、一般には熱硬化性樹脂、例えばエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂等が用いられ、例えば、エポキシ樹脂が用いられた基板はガラス・エポキシ基板と称される。このような無機織布強化樹脂基板、例えばガラス織布強化樹脂基板は、表面に導体層を設けられ且つ適宜の枚数が積層されることにより、例えば電子機器のプリント配線板、半導体のチップ・サイズ・パッケージ（Ｃｈｉｐ　Ｓｉｚｅ　Ｐａｃｋａｇｅ：ＣＳＰ）等に用いられている。
【０００３】
一般に、上記のようなガラス織布強化樹脂基板を製造するに際しては、ロールに巻き取られたガラス織布を、そのロールから引き出しつつ樹脂含浸装置に供給して、合成樹脂を含浸させることが行われている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−１５８４４１号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ガラス織布を織ってロールに巻き取る際には、ガラス織布相互或いは送りロールとの間で擦れ合うことによって静電気が発生する。そのため、ロールに巻き取られているガラス織布は静電気が帯電していることから、そのまま利用すると空気中の塵埃が付着し易い問題がある。そこで、樹脂含浸装置に連続的に送り込まれるガラス織布に、接地された導電性ブラシを含浸に先立って接触させることが行われている。しかしながら、連続的に送られるガラス織布に導電性ブラシが接触させられるのは極めて短時間であることから、十分に除電することが困難であるため、製造されたプリプレグに多量の塵埃が混入することとなっていた。このような問題は、ガラス織布強化樹脂基板を製造するための樹脂含浸に限られず、ワークに存在する多数の空隙に樹脂を含浸する場合には、同様に生じ得る。
【０００６】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的は、樹脂含浸に先立ってワークに付着した塵埃を好適に除去し得る樹脂含浸装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
斯かる目的を達成するため、本発明の要旨とするところは、樹脂溶液が蓄えられた含浸槽を備え、その樹脂溶液中をワークを通過させることによりそのワークに存在する多数の空隙にその樹脂を含浸させるための樹脂含浸装置であって、（ａ）前記樹脂溶液中を通過させるに先立って前記ワークにイオン化した空気を吹き付けることによりそのワークを除電するための除電装置を含むことにある。
【０００８】
【発明の効果】
このようにすれば、ワークにイオン化した空気が吹き付けられるため、そのワークに静電気等が帯電している場合にはそのイオンでこれが中和されることによって除電される。このとき、イオン化した空気による除電作用は、従来から用いられきた導電性ブラシの除電作用に比較すると、同時に著しく広範囲に亘って働くこととなるので、除電処理の有効性が飛躍的に高められる。また、帯電していたことに起因してワークに塵埃が付着していた場合にも、空気が吹き付けられることによってその塵埃が吹き飛ばされて除去される。そのため、ワークの供給前或いは供給中における帯電延いては塵埃の付着が好適に解消されるので、塵埃の混入を伴うことなく樹脂を含浸することが可能となる。
【０００９】
【発明の他の態様】
ここで、好適には、前記ワークは各々が単繊維の撚糸で構成された多数本の経糸および緯糸が織られて成る無機織布であり、そのワークを除電するに先立って開繊処理を施すための開繊装置を含むものである。このようにすれば、開繊処理によって単繊維相互の間隔が広げられた状態で除電処理が施されることから、除電処理前に既に付着していた塵埃の除去が一層容易になる。なお、本願において「開繊処理」とは、単繊維の撚り糸で構成されている経糸および緯糸の撚りを緩めて、それら経糸および緯糸各々の中心間隔を初期の値に略保ったまま単繊維相互間の間隔を無機織布の面方向に広げる処理をいうものである。
【００１０】
また、好適には、前記ワークは、繊維強化樹脂基板を製造するための無機織布である。このようにすれば、除電処理によって塵埃が除去され或いはその付着が防止された無機織布に樹脂が含浸させられることで繊維強化樹脂基板が製造されることから、塵埃混入量が極めて少なくなるので、品質の高い基板を製造することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】
図１は、本発明の一実施例の樹脂含浸装置１０の構成の要部を模式的に示す図である。図において、樹脂含浸装置１０は、樹脂溶液１２が蓄えられた含浸槽１４と、その含浸槽１４内に配置された含浸ロール１６と、その含浸槽１４の上方に配置された一対の送りロール１８，１８と、除電ブロワ２０と、押圧部材２２等とから構成されている。
【００１３】
上記の送りロール１８，１８は、図における左方から供給される図２に示されるようなガラス織布（ガラス・クロス）２４を、含浸槽１４を経由させて図における上方に送るためのものである。左方にはガラス織布２４が巻き取られた供給ロールが、上方には乾燥炉やガラス織布２４を巻き取るための巻き取りロール等がそれぞれ供えられているが、図においてはこれらを省略した。
【００１４】
また、上記の含浸槽１４内に蓄えられた樹脂溶液１２は、例えば熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂等の樹脂ワニスを適度な粘度となるように溶剤で希釈したものである。すなわち、本実施例の樹脂含浸装置１０は、例えば、ガラス・エポキシ基板を製造するために用いられる。なお、この含浸槽１４内には、ガラス織布２４に含浸させられることによって消費された樹脂溶液１２が定期的或いは不定期的に供給されることにより、一定以上の樹脂溶液１２が常に蓄えられているようになっている。この供給機構については、本実施例の理解に必要ではないので省略する。
【００１５】
また、前記の押圧部材２２は、図に矢印で示されるように上下方向すなわちガラス織布２４の法線方向に周期的に圧力を加えることにより、ガラス織布２４を開繊するための開繊装置を構成するものである。押圧部材２２は、ゴム硬度６０°程度のシリコーン・ゴム等から成る厚さ寸法が３０（ｍｍ）程度の弾性体と、ＳＵＳ３１６等のステンレス鋼から成る厚さ寸法が５０（ｍｍ）程度のバックアップとから構成されており、その弾性体がガラス織布２４に押し当てられる。押圧部材２２の押圧力は、ガラス織布２４の種類に応じて適宜定められるものであるが、例えば１０（ｋｇｆ／ｃｍ２）程度すなわち１（ＭＰａ）程度である。また、押圧周期は、例えば１０（回／ｓ）程度である。
【００１６】
なお、ガラス織布２４は、図３に組織を拡大して示すように、例えば互いに平行な複数本の経糸２６およびそれに直交し且つ互いに平行な複数本の緯糸２８が平織に織られることによって構成されている。これら経糸２６および緯糸２８は、例えば５〜１０（μｍ）程度の直径を有する単繊維が１００〜５００本程度撚られたものであるが、開繊処理後の経糸２６および緯糸２８の幅寸法は、例えばそれぞれ４００（μｍ）程度程度であり、単繊維相互間の隙間が通常の撚り糸に比較して大きくなっている。すなわち、押圧部材２２で殴打することにより、その経糸２６および緯糸２８がほぐされて単繊維の撚りが緩められるのである。また、上記単繊維は、例えばＥガラス（Ｎａ２Ｏ，Ｋ２Ｏ等のアルカリ含有率が０．８（％）未満の無アルカリガラス）から成るものである。
【００１７】
図１に戻って、前記の除電ブロワ２０は、例えばイオン化した空気を吹き出すことにより、そのイオン化空気の吹き付けられた対象物が帯電している場合にはこれを除電するためのものであって、前記押圧部材２２よりも上方に位置する方向転換ロール３０，３０の下方、すなわち押圧部材２２と方向転換ロール３０との間の高さ位置に設けられている。この除電ブロワ２０は、図に示されるように、空気の吹出し方向が含浸槽１４に向かって送られるガラス織布２４に向けられているが、その向きは、例えば、略鉛直方向に沿って送られるガラス織布２４に対して４５〜９０度程度の角度を成すように設定されている。すなわち、除電ブロワ２０は、図に示されるようにやや上方に向かう向きと略水平に向かう向きとの間の適宜の傾き角度で用いられる。
【００１８】
なお、除電ブロワ２０は、例えば内部でコロナ放電を発生させることによってイオンを生成するものであり、例えばシムコ社製エアロスタット　ＸＣ等が好適に用いられる。その性能は、例えば、イオンバランスが±５（Ｖ）程度以下、風量が１〜４（ｍ３／ｍｉｎ）程度で、＋１０００（Ｖ）から＋１００（Ｖ）への減衰時間が１．２秒程度の除電能力を備えている。また、除電ブロワ２０の空気吹出し口とガラス織布２４との間隔は、例えば１００〜３００（ｍｍ）程度に設定されており、イオン化した空気が吹き付けられる範囲は、ガラス織布２４の送り方向において例えば１００〜２００（ｍｍ）程度であり、その幅方向においては全幅（例えば最大で６３０（ｍｍ））に亘るように設定されている。
【００１９】
以上のように構成された樹脂含浸装置１０を用いてガラス織布２４に樹脂を含浸するに際しては、ガラス織布２４が例えば１０（ｍｍ／ｓ）程度の搬送速度で図１における右方に順次送られる過程において、先ず、押圧部材２２で殴打されることによって開繊させられた後、除電ブロワ２０からイオン化して空気が吹き付けられる。なお、イオン化空気の風量は、例えば１．５〜２．０（ｍ３／ｍｉｎ）程度に設定される。供給ロールから引き出されるガラス織布２４は、経糸２６および緯糸２８が織られて織布とされつつその供給ロールに巻き取られる際に、ガラス織布２４相互或いはテンションを付与するための等の目的で設けられているロールとの間で擦られることによって帯電しているので、引き出されて含浸槽１４に送られる過程で空気中の塵埃等が付着させられる。
【００２０】
しかしながら、本実施例においては、その含浸槽１４に至る前の段階で除電ブロワ２０からイオン化した空気が吹き付けられることから、ガラス織布２４に残留している静電気が好適に除去される。また、ガラス織布２４に付着していた塵埃は、吹き付けられた空気によって吹き飛ばされる。しかも、除電の前段階として開繊処理が施されることにより、単繊維相互の間隔が緩められているため、付着していた塵埃は容易に吹き飛ばされる。この結果、ガラス織布２４は、塵埃が殆ど付着していない或いは全く付着していない状態で含浸槽１４に送り込まれることとなる。
【００２１】
含浸槽１４に送り込まれたガラス織布２４は、その撚り糸２６，２８相互間や単繊維相互間にその含浸槽１４内の樹脂溶液１２が含浸させられ、且つその全面が樹脂溶液１２で覆われることとなる。このとき、ガラス織布２４の表面における樹脂付着量は、例えば乾燥後に７〜８（μｍ）程度となる。すなわち、そのような厚さ寸法となるように、樹脂溶液１２の粘度が調節される。樹脂溶液１２を含浸させられたガラス織布２４は、送りロール１８，１８によって上方に送られ、図示しない乾燥炉を経由してプリプレグとされた後、巻き取りロールに巻き取られて保管される。
【００２２】
要するに、本実施例においては、含浸槽１４に向かって送られるガラス織布２４に除電ブロワ２０からイオン化した空気が吹き付けられるため、これに帯電している静電気がそのイオンで中和されることによって除電される。また、既に付着していた塵埃も空気が吹き付けられることによって吹き飛ばされて除去される。そのため、ガラス織布２４の帯電延いては塵埃の付着が好適に解消されるので、塵埃の混入を伴うことなくこれに樹脂を含浸することが可能となる。
【００２３】
因みに、除電ブロワ２０に代えて同様な位置に導電性ブラシを設けて除電をしていた従来の樹脂含浸装置では、樹脂を含浸した後のプリプレグに例えば２０〜３０（個／ｍ２）程度の塵埃の混入が認められたが、本実施例によれば、塵埃の混入量は、０〜５（個／ｍ２）程度に過ぎなかった。すなわち、本実施例によれば、従来に比較してプリプレグの品質が著しく高められた。なお、塵埃の混入量は、例えば顕微鏡観察によって確かめたものである。
【００２４】
また、本実施例においては、含浸処理の対象となるワークは、各々が単繊維の撚糸で構成された多数本の経糸および緯糸が織られて成るガラス織布２４であり、樹脂含浸装置１０には、そのガラス織布２４を除電するに先立って開繊処理を施すための開繊装置（押圧部材２２）が備えられている。そのため、開繊処理によって単繊維相互の間隔が広げられた状態で除電処理が施されることから、除電処理前に既に付着していた塵埃の除去が一層容易になる。
【００２５】
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施できる。
【００２６】
例えば、実施例においては、本発明がガラス織布２４にエポキシ樹脂等の樹脂溶液１２を含浸するための樹脂含浸装置１０、すなわちガラス・エポキシ基板の製造装置に本発明が適用された場合について説明したが、本発明は、空隙を有するワークに樹脂を含浸させるものであれば、種々の用途のものに適用される。例えば、他の樹脂がガラス織布１６で強化された基板の製造のための樹脂含浸装置、炭素織布、アルミナ等のセラミック織布等の種々の材料から成る織布への樹脂含浸装置、或いは織布以外の種々の素材への樹脂含浸装置にも本発明は好適に適用される。
【００２７】
また、実施例においては、樹脂含浸装置１０に開繊装置すなわち押圧部材２２が備えられていたが、開繊装置の存在は必須ではない。
【００２８】
また、実施例においては、Ｅガラスから成るガラス繊維が平織に織られてガラス織布２４が構成されていたが、ガラスの種類は用途に応じて適宜選択されるものであり、基板材料とする場合にも、Ｄガラス、Ｔガラス、Ｃガラス、Ｈガラス等を適宜用いることができる。また、織物組織も、朱子（繻子）織、魚子（七子）織、綾織（斜文織）等が基板特性に応じて適宜適用される。
【００２９】
また、実施例においては、除電装置としてコロナ放電でイオンを発生させる除電ブロワ２０が用いられた場合について説明したが、イオン化した空気を吹き付けるものであれば差し支えないので、そのイオン発生方式は特に限定されない。例えば、軟Ｘ線の光子の非弾性散乱による光電子放出作用を利用する軟Ｘ線方式や、紫外線の光子吸収による電子放出作用を利用する紫外線方式等でイオンを発生させるブロワをこれに代えて用いても良い。
【００３０】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の樹脂含浸装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】図１の樹脂含浸装置の処理対象物であるガラス織布を示す図である。
【図３】図２のガラス織布の組織を拡大して示す図である。
【符号の説明】
１０：樹脂含浸装置
１２：樹脂溶液
１４：含浸槽
２０：除電ブロワ
２４：ガラス織布（無機織布）
【図１】
2004143343.tif 000003
【図２】
2004143343.tif 000004
【図３】
2004143343.tif 000005