(57)【要約】【課題】良好なパターニング精度の蒸着パターンを形成することができる新規なメタルマスク蒸着方法、良好なパターニング精度の配線パターンおよび、良好なパターニング精度の蒸着パターンを有する有機エレクトロルミネッセンス表示素子を提供する。【解決手段】メタルマスク、被蒸着基板、磁石をこの順に重ね、磁石の磁力により、メタルマスクと被蒸着基板とを密着させた状態で被蒸着基板に蒸着を行うマスク蒸着法において、メタルマスクとして、矩形状の開口部パターンを有するメタルマスクを使用し、磁石として、長辺同士が向かい合う帯状のＮ極とＳ極との組が、Ｎ極とＳ極とが並ぶ方向について、１０ｍｍ当たり２個以上ある磁石を使用し、帯状のＮ極とＳ極との組の長辺方向を、メタルマスクの矩形状の開口部パターンの長手方向と交差するように配する。直交するように交差することが好ましい。【選択図】　図６
2004146251.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メタルマスク、被蒸着基板、磁石をこの順に重ね、磁石の磁力により、メタルマスクと被蒸着基板とを密着させた状態で被蒸着基板に蒸着を行うマスク蒸着法において、
メタルマスクとして、矩形状の開口部パターンを有するメタルマスクを使用し、
磁石として、長辺同士が向かい合う帯状のＮ極とＳ極との組が、Ｎ極とＳ極とが並ぶ方向について、１０ｍｍ当たり２個以上ある磁石を使用し、
帯状のＮ極とＳ極との組の長辺方向を、メタルマスクの矩形状の開口部パターンの長手方向と交差するように配する
メタルマスク蒸着方法。
【請求項２】
メタルマスク、被蒸着基板、磁石をこの順に重ね、磁石の磁力により、メタルマスクと被蒸着基板とを密着させた状態で被蒸着基板に蒸着を行うマスク蒸着法において、
メタルマスクとして、開口部長さＡ、開口部幅Ｂ、開口部間隔Ｃについて、
Ａ≧１５ｍｍ、
（Ｂ＋Ｃ）≦１０００μｍ、
−２５０μｍ≦（Ｂ−Ｃ）≦＋５００μｍ
の関係を満足する矩形状の開口部パターンを有するメタルマスクを使用し、
磁石として、長辺同士が向かい合う帯状のＮ極とＳ極との組が、Ｎ極とＳ極とが並ぶ方向について、１０ｍｍ当たり２個以上ある磁石を使用し、
帯状のＮ極とＳ極との組の長辺方向を、メタルマスクの矩形状の開口部パターンの長手方向と交差するように配する
メタルマスク蒸着方法。
【請求項３】
メタルマスク、被蒸着基板、磁石をこの順に重ね、磁石の磁力により、メタルマスクと被蒸着基板とを密着させた状態で被蒸着基板に蒸着を行うマスク蒸着法において、
メタルマスクとして、矩形状の開口部パターンを有するメタルマスクを使用し、
磁石として、長辺同士が向かい合う帯状のＮ極とＳ極との組が、Ｎ極とＳ極とが並ぶ方向について、１０ｍｍ当たり２個以上ある磁石を使用し、
帯状のＮ極とＳ極との組の長辺方向を、メタルマスクの矩形状の開口部パターンの長手方向と交差するように配し、
有機エレクトロルミネッセンス表示素子の電極配線パターンと有機エレクトロルミネッセンス層を構成する層パターンとの群から選ばれた少なくとも一つのパターンを蒸着により作製する、
メタルマスク蒸着方法。
【請求項４】
前記交差の角度が７５〜９０゜の間にある、請求項１，２または３に記載のメタルマスク蒸着方法。
【請求項５】
長さＸ、幅Ｙ、間隔Ｚが、
Ｘ≧１５ｍｍ、
（Ｙ＋Ｚ）≦７５０μｍ、
＋２００μｍ≦（Ｙ−Ｚ）≦＋５００μｍ
の関係を満足する蒸着配線パターン。
【請求項６】
陽極、有機エレクトロルミネッセンス層および陰極を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示素子において、
電極配線パターンと有機エレクトロルミネッセンス層を構成する層パターンとの群から選ばれた少なくとも一つのパターンを、請求項１，２，３または４に記載のメタルマスク蒸着方法で作製した有機エレクトロルミネッセンス表示素子。
【請求項７】
陽極、有機エレクトロルミネッセンス層および陰極を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示素子において、
請求項５に記載の蒸着配線パターンを電極配線パターンとして使用した有機エレクトロルミネッセンス表示素子。
【請求項８】
陽極、有機エレクトロルミネッセンス層および陰極を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示素子において、
電極配線パターンと有機エレクトロルミネッセンス層を構成する層パターンとの群から選ばれた少なくとも一つのパターンの線幅のバラツキが平均線幅±５％以内にある有機エレクトロルミネッセンス表示素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁力によってメタルマスクを被蒸着基板に密着保持して、被蒸着基板上に蒸着するメタルマスク蒸着方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、有機エレクトロルミネッセンス（以下、本明細書では有機ＥＬと略称する。）ディスプレイやＩＣ等の分野においても、部品の小型化、細密表示化のニーズに対応するため、配線パターンやその他のパターンのピッチの微細化や、パターン幅、パターン間隔の狭細化が必要とされている。
【０００３】
微細なパターンを形成する方法は、フォトリソグラフィ法、スクリーン印刷法およびマスク蒸着法の三つに大別されるが、中でもマスク蒸着法は、必要な精度のマスクが得られれば、微細なパターンを精度良く形成することができ、高精度、低価格および信頼性の面から最も優れており、広く実用に供されている。特に有機エレクトロルミネッセンスディスプレイにおいては、発光層に用いられる有機材料が水分や有機溶剤に対して耐性が乏しく、ウェットプロセスによるパターニングが困難であるため、マスク蒸着法によるパターニングが主流となっている。
【０００４】
メタルマスク蒸着方法では、被蒸着基板とメタルマスクとの間に隙間があると、その隙間を通して材料が不要な部位にまで回り込んで、蒸着パターンが変形したり、歪んだり、平行性が崩れてしまうといったパターニング精度の低下が生じるという問題が存在する。このため、従来のメタルマスク蒸着方法において、メタルマスクと被蒸着基板との密着性向上や蒸着膜の回り込みによるパターニング精度の低下を抑制するために、被蒸着基板上に磁石を配置し、磁石の磁力によってメタルマスクと被蒸着基板とを密着保持し、蒸着を行う方法がよく知られている。
【０００５】
しかしながら、長尺状即ち長辺の長い矩形状の開口部パターンを有するメタルマスクは、磁石により吸着保持をするとメタルマスクのパターンが変形し、この結果、蒸着のパターニング精度も低下してしまうことがある。これは、メタルマスクに面する側の磁石端面を同一磁極で保持した場合、隣り合う開口部（スリット）間のメタル部分が同一方向に分極するよう磁化される結果、各メタル部分間に斥力が生じ、反発しあうことで、開口部パターンの平行性が崩れてしまうのが原因と考えられる。
【０００６】
この現象は、開口部長が長くなるほど、または開口部間隔が狭くなるほど起こりやすくなる。典型的な場合を図１，２を例示する。図１の矩形状の開口部パターンは磁力による影響を受けていない状態である。これに対し、図２の矩形状の開口部パターンは磁力による影響を受けている状態である。図１と図２との比較からわかるように、図１のきれいな矩形状の開口部パターンであっても、磁力により、図２のように開口部パターンの形状が歪んでしまうことがある。図１，２において、斜線を施した部分が開口部１、斜線のない部分がメタル部２である。従って、図２の領域Ｅでは、蒸着パターンが断線を起こし易くなる。また、領域Ａ〜Ｄ，Ｆ〜Ｉでは蒸着パターンの幅が広くなったり、歪んだりしている。
【０００７】
この問題を解決する方法として、メタルマスクに面する側の磁石の端面に少なくとも１つのＮ極とＳ極の境界が存在する磁石を配置し、金属メタルマスクの隣り合うメタル部分間の斥力と引力とを相殺させて、メタルマスクパターンの平行性を維持する方法や、磁石によりメタルマスクを被蒸着基板に対して所定の吸着力で保持する方法が知られている（例えば特許文献１，２参照。）が、未だ十分信頼性のある技術とはいえない状態にある。
【０００８】
【特許文献１】
特公平６−５１９０５号公報（実施例、図１，２，３）
【０００９】
【特許文献２】
特開２００２−０７５６３８号公報（段落番号００２３，００２４）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、磁力によってメタルマスクを被蒸着基板に密着保持して、被蒸着基板上に蒸着するメタルマスク蒸着方法において、上記問題を解決し、良好なパターニング精度の蒸着パターンを形成することができる新規なメタルマスク蒸着技術を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の態様１は、メタルマスク、被蒸着基板、磁石をこの順に重ね、磁石の磁力により、メタルマスクと被蒸着基板とを密着させた状態で被蒸着基板に蒸着を行うマスク蒸着法において、メタルマスクとして、矩形状の開口部パターンを有するメタルマスクを使用し、磁石として、長辺同士が向かい合う帯状のＮ極とＳ極との組が、Ｎ極とＳ極とが並ぶ方向について、１０ｍｍ当たり２個以上ある磁石を使用し、帯状のＮ極とＳ極との組の長辺方向を、メタルマスクの矩形状の開口部パターンの長手方向と交差するように配するメタルマスク蒸着方法を提供する。
【００１２】
本発明の態様２は、メタルマスク、被蒸着基板、磁石をこの順に重ね、磁石の磁力により、メタルマスクと被蒸着基板とを密着させた状態で被蒸着基板に蒸着を行うマスク蒸着法において、メタルマスクとして、開口部長さＡ、開口部幅Ｂ、開口部間隔Ｃについて、
Ａ≧１５ｍｍ、
（Ｂ＋Ｃ）≦１０００μｍ、
−２５０μｍ≦（Ｂ−Ｃ）≦＋５００μｍ
の関係を満足する矩形状の開口部パターンを有するメタルマスクを使用し、磁石として、長辺同士が向かい合う帯状のＮ極とＳ極との組が、Ｎ極とＳ極とが並ぶ方向について、１０ｍｍ当たり２個以上ある磁石を使用し、帯状のＮ極とＳ極との組の長辺方向を、メタルマスクの矩形状の開口部パターンの長手方向と交差するように配するメタルマスク蒸着方法を提供する。
【００１３】
本発明の態様３は、メタルマスク、被蒸着基板、磁石をこの順に重ね、磁石の磁力により、メタルマスクと被蒸着基板とを密着させた状態で被蒸着基板に蒸着を行うマスク蒸着法において、メタルマスクとして、矩形状の開口部パターンを有するメタルマスクを使用し、磁石として、長辺同士が向かい合う帯状のＮ極とＳ極との組が、Ｎ極とＳ極とが並ぶ方向について、１０ｍｍ当たり２個以上ある磁石を使用し、帯状のＮ極とＳ極との組の長辺方向を、メタルマスクの矩形状の開口部パターンの長手方向と交差するように配し、有機エレクトロルミネッセンス表示素子の電極配線パターンと有機エレクトロルミネッセンス層を構成する層パターンとの群から選ばれた少なくとも一つのパターンを蒸着により作製する、メタルマスク蒸着方法を提供する。
【００１４】
本発明の態様４は、前記交差の角度が７５〜９０゜の間にある、上記態様１，２または３に記載のメタルマスク蒸着方法を提供する。
【００１５】
本発明の態様５は、
長さＸ、幅Ｙ、間隔Ｚが、
Ｘ≧１５ｍｍ、
（Ｙ＋Ｚ）≦７５０μｍ、
＋２００μｍ≦（Ｙ−Ｚ）≦＋５００μｍ
の関係を満足する蒸着配線パターンを提供する。
【００１６】
本発明の態様６は、陽極、有機エレクトロルミネッセンス層および陰極を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示素子において、電極配線パターンと有機エレクトロルミネッセンス層を構成する層パターンとの群から選ばれた少なくとも一つのパターンを、上記態様１，２，３または４に記載のメタルマスク蒸着方法で作製した有機エレクトロルミネッセンス表示素子を提供する。
【００１７】
本発明の態様７は、陽極、有機エレクトロルミネッセンス層および陰極を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示素子において、上記態様５に記載の蒸着配線パターンを電極配線パターンとして使用した有機エレクトロルミネッセンス表示素子を提供する。
【００１８】
本発明の態様８は、陽極、有機エレクトロルミネッセンス層および陰極を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示素子において、電極配線パターンと有機エレクトロルミネッセンス層を構成する層パターンとの群から選ばれた少なくとも一つのパターンの線幅のバラツキが平均線幅±５％以内にある有機エレクトロルミネッセンス表示素子を提供する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を図、実施例等を使用して説明する。なお、これらの図、実施例等および説明は本発明を例示するものであり、本発明の範囲を制限するものではない。本発明の趣旨に合致する限り他の実施の形態も本発明の範疇に属し得ることは言うまでもない。
【００２０】
本発明は、メタルマスク、被蒸着基板、磁石をこの順に重ね、磁石の磁力により、メタルマスクと被蒸着基板とを密着させた状態で被蒸着基板に蒸着を行う場合に、メタルマスクとして、長辺の長い矩形状の開口部パターンを有するメタルマスクを使用する場合に適用される。
【００２１】
本発明に係る磁石としては、永久磁石、電磁石のいずれであってもよく、異方性多極または等方性多極のいずれの着磁形態を有していてもよい。
【００２２】
磁石の大きさとしては、少なくともメタルマスクパターンを覆うことのできるものが好ましい。磁石の吸着力としては、積層蒸着時に起こり得る膜ダメージの点からも被蒸着基板を介して、メタルマスクが吸着できるだけの吸着力があればよい。また、吸着力が強すぎるとメタルマスクと被蒸着基板との位置合わせの時に膜ダメージが発生してしまう恐れがあるので、メタルマスクと被蒸着基板との位置合わせ後に磁石を配置する形式をとってもよい。また、被蒸着基板と磁石との間に、通磁性であり剛性の高い中間基板を配することで、被蒸着基板のたわみを防止したり、メタルマスクと被蒸着基板との吸着力を調整したりしてもよい。
【００２３】
本発明に係る磁石は、長辺同士が向かい合う帯状のＮ極とＳ極とを有し、Ｎ極とＳ極との組が、Ｎ極とＳ極とが並ぶ方向について、１０ｍｍ当たり２個以上ある磁石（以下、本明細書では多極磁石と呼称する場合がある。）である。具体的には、図３のように長辺の長い矩形状のＮ極３とＳ極４とを上下に有する直方体状の磁石を、図４のように交互に並べたものを例示することができる。図４には、長辺同士が向かい合う帯状のＮ極とＳ極との組５が四つ示されている。また、図３の直方体状の磁石を横倒しした図５の状態で並べたものを例示することもできる。この場合には、長辺同士が向かい合う帯状のＮ極とＳ極とは図４のように平面状に並ぶのではなく、この平面に垂直な方向に並ぶことになる。直方体状の磁石同士は直接接触していてもよく、間に隙間があっても、他の物質が介在していてもよい。本発明に係る磁石にはこのような場合も含められる。なお、磁石を並べるのではなく、金属体を直接磁化して、上記の磁石の配置と同様の磁化パターンを与えて多極磁石としてもよい。これらの多極磁石は、取り扱いの点から板状であることが好ましい。
【００２４】
なお、Ｎ極とＳ極とについて「帯状」というのは典型的には長方形のことを意味する。しかしながら磁極の形状は明確に示すことが困難である一方、Ｎ極とＳ極とは長方形に形状から変形していても本発明の目的に適い得る。たとえば鉄粉を上に散布した場合に楕円形が描かれる場合でも本発明の目的に適する。本発明において、帯状のＮ極とＳ極とは、このような意味を有する。この場合、Ｎ極とＳ極との長辺方向とは、上記のように鉄粉を散布したときの形状に外接する長方形についての長辺を意味する。図３のような直方体の磁石を使用する場合には、鉄粉を散布することなく、符号Ｌが長辺に該当すると考えれば十分である。Ｎ極とＳ極との組の長辺方向についても同様に考えることができる。
【００２５】
メタルマスクの材質としては、通常、ステンレス鋼（ＳＵＳ材）、４２合金（４２質量％Ｎｉ−Ｆｅ合金）、３６Ａインバー（３６質量％Ｎｉ−Ｆｅ合金）などの磁性材料が用いられるが、磁石により吸着可能であれば、これらに限定されるものではない。
【００２６】
メタルマスクの板厚は、蒸着陰発生防止の観点から、できるだけ薄い方が好ましいが、薄いと強度が不足し、たわみやすくなるため、通常３０〜１００μｍ程度の範囲で設定することが好ましい。
【００２７】
被蒸着基板としては、特に制限はなく、目的に応じて、ガラス、金属、セラミックス等の無機物や、プラスチック等の有機物、それらの複合体を使用できる。被蒸着基板のサイズについても特に限定されないが、小さい方では１００×１００ｍｍから大きい方では５００×５００ｍｍ以上のサイズでも使用可能である。
【００２８】
また、被蒸着基板に蒸着される材料についても、蒸着できるものであれば特に制限はなく、無機物、有機物に拘わらず、導電性物質、絶縁性物質等各種の材料を使用できる。ＣＶＤ、ＰＶＤ等どのような蒸着方法を使用してもよい。
【００２９】
磁石について、Ｎ極とＳ極との組が、Ｎ極とＳ極とが並ぶ方向について、１０ｍｍ当たり２個以上ある多極磁石を使用し、帯状のＮ極とＳ極との組の長辺方向を、メタルマスクの矩形状の開口部パターンの長手方向と交差するように配することが好ましい。このようにすると、メタルマスクの隣り合う開口部間のメタル部分が同一方向に分極するよう磁化されることが少なくなり、その結果、メタルマスクの開口部パターンの形状の歪みを防止できるようになるからである。
【００３０】
なお、この矩形状の開口部パターンを有するメタルマスクには、その端部が他の形状を有しているものも含まれる。たとえば端部が丸みを帯びている開口部パターンを例示できる。
【００３１】
Ｎ極とＳ極との組は、Ｎ極とＳ極とが並ぶ方向について、１０ｍｍ当たり４個以上あることがより好ましい場合が多い。また、交差の角度は７５〜９０゜の間にあることが好ましく、８５〜９０゜であることがより好ましい。実質的に９０°であることが更に好ましい。図６には、交差の角度が９０゜である例を示している。簡略化のため、板状の磁石は面として示してある。図６において、多極磁石６の帯状のＮ極３とＳ極４との組５の長辺方向ＶＶは、メタルマスク７の矩形状の開口部パターン８の長手方向ＬＬと９０゜で交差している。なお、直交する場合が９０°、平行する場合が０（ゼロ）°である。
【００３２】
矩形状の開口部パターンの寸法については、開口部長さＡ、開口部幅Ｂ、開口部間隔Ｃについて、
Ａ≧１５ｍｍ、
（Ｂ＋Ｃ）≦１０００μｍ、
−２５０μｍ≦（Ｂ−Ｃ）≦＋５００μｍ
の関係を満足することが好ましい。このような長尺の開口部パターンを有するメタルマスクを使用して蒸着する場合に、一般的には開口部パターンの平行性が崩れ易いが、本発明によれば、精度の高い平行性が確保できるからである。図６には、開口部長さＡ、開口部幅Ｂ、開口部間隔Ｃも示してある。（Ｂ−Ｃ）の値は、Ｃ＞Ｂの場合にはマイナスになり、Ｂ＞Ｃの場合にはプラスになる。
【００３３】
蒸着で得られる配線パターンとしては、本発明に係るメタルマスク蒸着方法に制限されることなく、長さＸ、幅Ｙ、間隔Ｚが、
Ｘ≧１５ｍｍ、
（Ｙ＋Ｚ）≦７５０μｍ、
＋２００μｍ≦（Ｙ−Ｚ）≦＋５００μｍ
の関係を満足することが好ましい。たとえば有機ＥＬ表示素子の蒸着電極配線パターンとして使用すると、絶縁膜や隔壁等の電極分離層が不要になるため、製造工程を簡略化できるからである。図７には、有機ＥＬ表示素子の蒸着陰極配線パターン９の長さＸ、幅Ｙ、間隔Ｚが示されている。番号１０は有機ＥＬ層パターンを、番号１１は陽極配線パターンを示している。＋２５０μｍ≦（Ｙ−Ｚ）≦＋５００μｍがより好ましい。なお、蒸着配線パターンを本発明に係るメタルマスク蒸着方法により作製すれば、パターニング精度にすぐれた長尺のパターンとなり、さらに好ましい。（Ｙ−Ｚ）の値は、Ｚ＞Ｙの場合にはマイナスになり、Ｙ＞Ｚの場合にはプラスになる。
【００３４】
本発明に係るメタルマスク蒸着方法で得られる蒸着パターンを詳細に検討した結果、線幅のバラツキを平均線幅±５％以内に収めることができ、この優れた蒸着パターンの幅の均一性により、有機ＥＬ表示素子の画素サイズのバラツキの減少や輝度のバラツキの減少に寄与できることが判明した。線幅のバラツキを平均線幅±３％以内に収めるとより効果が大きい。
【００３５】
平均線幅と線幅のバラツキとは、次のようにして求めたものである。すなわち、メタルマスクの開口部に対応する蒸着パターンの長尺状部分の１本１本について、長手方向の任意の１ｍｍの両端部およびその中間点の合計３点で線幅を測定する。このようにすると、長尺状部分の本数をｎとした場合、３×ｎの数の測定値が得られる。この３×ｎの数の測定値の平均値を平均線幅とする。「線幅のバラツキを平均線幅±５％以内に収める」とは、３×ｎの数の測定値のいずれもがこの平均線幅の±５％以内に入ることを意味する。
【００３６】
このように、本発明に係るメタルマスク蒸着方法で得られる蒸着パターンは、長尺でパターニング精度にすぐれたものとなる。また微細なパターニングが得られる。このような蒸着パターンは、有機ＥＬ表示素子のパターンに特に有用である。具体的には、有機ＥＬ表示素子の電極配線パターンと有機ＥＬ層を構成する層パターンとして使用することができる。ここで、有機ＥＬ層は、界面層，正孔輸送層，発光層，電子注入層等を構成要素とすることが多い。また、これとは異なる層構成を有する場合もあり得る。上記でいう「有機ＥＬ層を構成する層」とはこのような各種の層を意味する。本発明に係るメタルマスク蒸着方法は、この各種の層のどれに適用してもよい。
【００３７】
【実施例】
以下に本発明を、実施例および比較例を挙げてさらに具体的に説明する。例１，４，５〜８は実施例、例２，３は比較例である。なお、結果を表１に纏めた。
【００３８】
［例１］
図６のように、多極磁石の帯状のＮ極とＳ極との組の長辺方向を、長尺のメタルマスクの矩形状の開口部パターンの長手方向と直交するように配し、その間にガラス製被蒸着基板を置き、ガラス製被蒸着基板上にＡｌを真空蒸着し、配線パターンを成膜した。
【００３９】
磁石としては、等方性片面多極着磁のラバー磁石（厚さ１．０ｍｍ、縦１１０ｍｍ、横１１０ｍｍの板状、３ｍｍピッチの着磁、即ち、Ｎ極とＳ極との組の幅が３ｍｍ）を使用した。メタルマスクパターンの寸法は、開口部長５０ｍｍ、開口部幅１００μｍ、開口部間隔２５０μｍ、開口部数１００本、板厚１００μｍであり、材質としては３６Ａインバーを用いた。
【００４０】
蒸着後の蒸着配線パターンを顕微鏡で観察した結果、図８の幅Ｙと間隔Ｚとは均一で、開口部幅１００μｍ、開口部間隔２５０μｍに正確に対応しており、メタルマスクパターンに対応した良好なパターニング精度のパターンを得ることができた。図８中、格子模様の部分が蒸着配線パターンである。
【００４１】
なお、メタルマスクの１００本の開口部に対応する蒸着パターンのそれぞれの長尺状部分について、長手方向の任意の１ｍｍの両端部およびその中間点で線幅を測定した。この測定を全ての長尺状部分について一回ずつ実施した。この３×１００点の値の平均値は１００μｍであった。３×１００点の全ての値がこの平均線幅の±３％以内に収まっていた。
【００４２】
［例２］
蒸着の際に磁石を使用しなかった以外は、実施例１と同様にして、ガラス被蒸着基板上にＡｌを真空蒸着で成膜した。
【００４３】
蒸着後のパターンを顕微鏡で観察した結果、図９に示すように、格子模様の部分で示される蒸着配線パターンの幅Ｙが平均２５０μｍとなり、大きな回り込みが確認された。また、場所によっては、間隔Ｚがゼロとなり、短絡が生じる状態となっていた。
【００４４】
［例３］
図１０のように、帯状のＮ極とＳ極との組の長辺方向を、メタルマスクの矩形状の開口部パターンの長手方向とほぼ平行するように配した以外は、実施例１と同様に、ガラス被蒸着基板上にＡｌを真空蒸着で成膜した。
【００４５】
蒸着後のパターンを顕微鏡で観察した結果、場所によっては、隣り合うメタル部分同士が引き合い、結果、図１１に示すように、メタルマスクパターンに対応したパターンを得ることができなかった。図１１中、格子模様の部分が蒸着部分である。
【００４６】
［例４］
開口部長３５ｍｍ、開口部幅３０５μｍ、開口部間隔４５μｍ、開口部数７０本、板厚５０μｍとした以外は、例１と同様にして、配線パターンを成膜した。
【００４７】
蒸着後の蒸着配線パターンを顕微鏡で観察した結果、メタルマスクパターンに対応した良好なパターニング精度のパターンを得ることができた。このサイズの配線パターンは有機ＥＬ表示素子の電極配線パターンとして有用である。
【００４８】
なお、メタルマスクの７０本の開口部に対応する蒸着パターンのそれぞれの長尺状部分について、例１と同様にして線幅を測定した。この結果、３×７０点の値の平均値は３０５μｍであり、３×７０点の全ての値がこの平均線幅の±３％以内に収まっていた。
【００４９】
［例５］
開口部長２５ｍｍ、開口部幅１００μｍ、開口部間隔２５０μｍ、開口部数１００本、板厚５０μｍとし、Ａｌに代えて有機ＥＬ素子の発光層に使用するトリス（８−キノリノラト）アルミニウムを真空蒸着した以外は、例１と同様にして、蒸着パターンを成膜した。
【００５０】
蒸着後の蒸着パターンを顕微鏡で観察した結果、メタルマスクパターンに対応した良好なパターニング精度のパターンを得ることができた。このサイズの蒸着パターンは有機ＥＬ表示素子の有機ＥＬ層を構成する発光層パターンとして有用である。
【００５１】
なお、メタルマスクの１００本の開口部に対応する蒸着パターンのそれぞれの長尺状部分について、例１と同様にして線幅を測定した。この結果、３×１００点の値の平均値は１００μｍであり、３×１００点の全ての値がこの平均線幅の±３％以内に収まっていた。
【００５２】
［例６，７，８］
開口部長、開口部幅、開口部間隔を表１の如く選択した以外は例１と同様にして、配線パターンを成膜した。
【００５３】
蒸着後の蒸着配線パターンを顕微鏡で観察した結果、メタルマスクパターンに対応した良好なパターニング精度のパターンを得ることができた。
【００５４】
なお、メタルマスクの開口部に対応する蒸着パターンのそれぞれの長尺状部分について、例１と同様にして線幅を測定した。平均値は開口部幅の値と一致し、全ての測定値がこれらの平均線幅の±３％以内に収まっていた。
【００５５】
【表１】
2004146251.tif 000003
【００５６】
【発明の効果】
本発明により、良好なパターニング精度の蒸着パターンを形成することができる新規なメタルマスク蒸着方法、良好なパターニング精度の配線パターンおよび、良好なパターニング精度の蒸着パターンを有する有機エレクトロルミネッセンス表示素子が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】磁力による影響を受けていないメタルマスクの開口部パターンを示す模式図。
【図２】磁力による影響を受けているメタルマスクの開口部パターンを示す模式図。
【図３】長辺の長い矩形状のＮ極とＳ極とを上下に有する直方体状の磁石を示す斜視図。
【図４】図３の磁石を上下交互にして並べた板状の多極磁石の斜視図。
【図５】図３の磁石を横倒しした状態を示す斜視図。
【図６】例１の時の磁石の磁極パターンとメタルマスクパターンとの相対位置関係を説明する斜視図。
【図７】有機ＥＬ表示素子の陰極配線パターンを示す模式図。
【図８】例１の蒸着パターンの顕微鏡観察図。
【図９】例２の蒸着パターンの顕微鏡観察図。
【図１０】例３の磁石の磁極パターンとメタルマスクパターンとの相対位置関係を説明する斜視図。
【図１１】例３の蒸着パターンの顕微鏡観察図。
【符号の説明】
１　　開口部
２　　メタル部
３　　Ｎ極
４　　Ｓ極
５　　Ｎ極とＳ極との組
６　　磁石（多極磁石）
７　　メタルマスク
８　　開口部パターン
９　　陰極配線パターン
１０　有機ＥＬ層パターン
１１　陽極配線パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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