(57)【要約】【課題】ヘッド位置決めにマイクロアクチュエータを採用したディスクドライブ装置において硬質微粒子の発生を防止する。【解決手段】ヘッド位置決め機構であるマイクロアクチュエータ３２の圧電性素子３８ａ，３８ｂの全ての露出面を、ポリマー塗装５２により被包して、硬質微粒子の発生を防止する。被包材はまた、多層チタン酸ジルコン酸鉛結晶体の防湿層として作用し、水蒸気の電極部５０ａ，５０ｂへの侵入と、結果としての電極の腐食とを防止する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
変換ヘッドを担持したスライダを、回転可能な記録用ディスクの選択されたトラックに対して位置決めをするためのディスクドライブ装置であって、可動可能な作動アーム、ヘッドサスペンション、マイクロアクチュエータ、フレクシャ、スライダ、および該スライダに担持された変換ヘッドを有するディスクドライブ装置において、前記マイクロアクチュエータ、前記スライダ、ディスクスペーサ、プリント配線板実装部品、前記ディスクドライブ装置のセラミック製部品、および前記ディスクドライブ装置のステンレススチール製部品から成るグループから選択された部品の全ての露出面を覆う被包材を含むディスクドライブ装置。
【請求項２】
前記被包材が、フッ化炭化水素重合体、パリレン、およびエポキシ樹脂のグループから選択された請求項１に記載のディスクドライブ装置。
【請求項３】
前記被包材が、１ミクロン以下の膜厚を有する請求項１に記載のディスクドライブ装置。
【請求項４】
ディスクドライブ装置のスライダに担持された変換ヘッドの位置を、複数の同心円状トラックを有する回転可能なディスクの選択されたトラックに対して選択的に変更するためのマイクロアクチュエータであって、前記マイクロアクチュエータが圧電性素子を含むマイクロアクチュエータにおいて、前記圧電性素子の全ての露出面を被包するポリマー塗装を含むマイクロアクチュエータ。
【請求項５】
前記ポリマー塗装が、前記圧電性素子を前記ディスクドライブ装置に装着する前に該圧電性素子に対して塗布される請求項４に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項６】
前記ポリマー塗装が、前記圧電性素子に対して浸漬または重力流れ塗装、吹付け塗装、スクリーン塗装、ローラー塗装、または蒸着により塗布される請求項４に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項７】
前記ポリマー塗装が前記圧電性素子に塗布された後に、該圧電性素子が熱、紫外線、または電子線により架橋される請求項６に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項８】
前記ポリマー塗装が、ほぼ均一である請求項４に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項９】
前記ポリマー塗装が、１ミクロン以下の膜厚を有する請求項４に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項１０】
前記ポリマー塗装の膜厚が、約２５オングストロームから約３０オングストロームである請求項９に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項１１】
前記ポリマー塗装が、フッ化炭化水素重合体、パリレン、およびエポキシ樹脂のグループから選択された請求項４に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項１２】
マイクロアクチュエータにおいて、ヘッド装着台座とヘッドサスペンションとの間に装着され、印加された電圧に応じて変形可能な第一圧電性素子と、該第一圧電性素子の全ての露出面を被包する均一なポリマー塗装と、前記ヘッド装着台座とヘッドサスペンションとの間を結合し、かつ該ヘッドサスペンションの前記ヘッド装着台座に対する移動を可能にするほど柔軟な同一コンプライアンス接続部材とを含むマイクロアクチュエータ。
【請求項１３】
前記第一圧電性素子が、単層結晶体から成る請求項１２に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項１４】
前記第一圧電性素子が、多層結晶体から成る請求項１２に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項１５】
前記第一ポリマー塗装が、フッ化炭化水素重合体、パリレン、およびエポキシ樹脂のグループから選択された請求項１２に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項１６】
前記ポリマー塗装が、１ミクロン以下の膜厚を有する請求項１２に記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項１７】
請求項１２に記載のマイクロアクチュエータにおいて、ヘッド装着台座とヘッドサスペンションとの間に装着され、均一なポリマー塗装により被包され、さらに印加された電圧に応じて前記第一圧電性素子の変形とは相補の方向に変形可能な第二圧電性素子をさらに含むマイクロアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、全体としてはディスクドライブ装置のマイクロアクチュエータに係わる。さらに具体的には、本発明は、部品の全ての露出面を覆う被包材に関し、部品は、マイクロアクチュエータ、スライダ、ディスクスペーサ、プリント配線板実装部品、およびディスクドライブのセラミック製部品から成るグループから選択される。本発明は、さらに圧電性結晶体（チタン酸ジルコン酸鉛）により駆動されるマイクロアクチュエータに関し、マイクロアクチュエータは向上した清浄度を有し、ドライブ内部における微粒子の発生を低減する。
【背景技術】
【０００２】
ディスクドライブ装置は、回転可能ディスクのデータトラック上に変換ヘッドを支承するヘッドサスペンションを含む。ヘッドサスペンションは、典型的には基部端に装着部を有するロードビームと、末端に配置されたフレクシャ（たわみ部）と、装着部と剛性部との間のばね部とを含む。浮上型スライダは変換ヘッドを保持し、フレクシャによって支持されている。装着部は、ロードビームを作動アームに装着する基板に普通は取付けられている。サーボ制御装置で制御されているモータは、作動アームを回動させて変換ヘッドをディスク面の所望のデータトラック上に位置決めする。この種類のヘッドサスペンションは、磁気ディスクおよび非磁気ディスクともに使用されている。
【０００３】
磁気ディスクの同心円状トラックの高密度化が続いているために（すなわち、データトラック寸法、および隣接するデータトラックとの間隔が減少しているために）、変換ヘッドを半径方向の位置により精密に位置決めすることが求められている。従来技術では、作動アーム先端のスライダに搭載された変換ヘッドの位置決めを、作動アームをボイスコイルモータのような大型の作動モータを用いて操作することにより実行している。このような大型のモータは、高密度のディスクに効果的に対応できるほどの充分な精度を備えていない。そのため、さらに高密度に配置されたトラックに対応するためには、高い精度の変換ヘッド位置決め機構であるマイクロアクチュエータが必要とされている。
【０００４】
変換ヘッドを精密に位置決めする一つの手法は、従来の低い精度の作動モータとともに高い精度のマイクロアクチュエータを採用し、この二段階作動により変換ヘッドの位置決めを行うことである。マイクロアクチュエータを用いて、変換ヘッドを精密に位置決めする種々の設計が試みられてきた。しかし、これらの設計はすべて、マイクロアクチュエータの有効性を制限するという欠点があった。多くの案ではディスクドライブの既存部品の設計と組立とをさらに複雑にし、他の案では目標トラックへの高速移動を可能にするほどの作動力と帯域幅を達成することが不可能である。それゆえ、これらの先行技術は、マイクロアクチュエータを用いた理想的な解決策を提示してくれない。
【０００５】
マイクロアクチュエータを用いた最近の設計では電気活性素子を使用して、ヘッドサスペンションの作動アームに対する移動を実現しようとしている。すなわち、マイクロアクチュエータをヘッドサスペンションに装着することによりヘッドサスペンションに対するフレクシャの移動を図るものである。マイクロアクチュエータをヘッドサスペンションに装着する例においては、電気活性素子は、作動アームの変換ヘッド装着台座（または基板）とヘッドサスペンションとの間に取付けられた一般的には圧電性結晶体を含む。圧電性素子は、典型的にはチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のセラミックで、単層または多層の結晶体である。
【０００６】
硬質ディスクドライブの分野では、セラミック（硬質）微粒子が記録ヘッドおよび記録媒体損傷の主たる原因であり、ＰＺＴ結晶体がディスクドライブ内部におけるセラミック微粒子の発生源である。作動時に電圧がＰＺＴ結晶体に印加されると、結晶体は変形し、ヘッドサスペンションの作動アームに対する移動が実行される。圧電性素子に電圧を印加すると、ＰＺＴ結晶体は膨張と収縮とを繰返し、これによりＰＺＴ結晶体の表面と側縁からセラミック微粒子が排出される。これらの微粒子が記録ヘッドおよび記録媒体損傷の潜在的原因で、機械的損傷、変換ヘッドの不調、およびデータ損失の原因になる。
【０００７】
硬質微粒子を除去する主な方法は洗浄であるが、洗浄は粒界の結合力を弱め、さらに多くの微粒子をＰＺＴ結晶体から遊離させ、硬質微粒子がもたらす問題を悪化させる。多層ＰＺＴ結晶体も新たな問題をもたらし、ディスクドライブ環境中の水分が銀・パラジウム配線のエレクトロマイグレーション（表面移動）を発生させ、多層ＰＺＴ結晶体の絶縁抵抗を大きく低下させる。この状況は、ヘッドジンバル組立体に時間の経過とともに発生する移動性能の低下として観察される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
先行装置の中にはヘッドサスペンションを水系、または溶剤系で洗浄することにより微粒子の量を最小化しようとする試みもなされたが、微粒子低減効果の飽和現象により成功しなかった。他の装置では、小滴先端（glob-top）被包材を用いて微粒子を最小限にしようとしているが、そのような被包材は、ディスクドライブ環境下では汚染問題、およびマイクロアクチュエータの移動量の低下をもたらし、効果的ではない。さらに、防湿技術の中には層状電極の端部をＰＺＴ結晶体に埋め込むものもあるが、この方法は、多層ＰＺＴ結晶体の有効面積を縮小し、所定寸法の結晶体が備える潜在移動量を低下させ、さらに微粒子発生の面積を拡大する。それゆえ、たとえば電圧印加時のＰＺＴ結晶体からの微粒子排出量を最小にし、表面に存在する微粒子の量を大幅に削減し、さらに硬質微粒子の発生を増進させない、またはキャパシタの絶縁抵抗を低下させないマイクロアクチュエータが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、部品の全ての露出面を覆うのに適した被包材に関する。部品は、ディスクドライブに使用されるもので、マイクロアクチュエータ、スライダ、ディスクスペーサ、プリント配線板実装部品、およびディスクドライブ装置のセラミック製部品から成るグループから選択される。被包材は、ディスクドライブ装置のスライダに担持された変換ヘッドの位置を複数の同心円状トラックを有する回転可能ディスクのトラックに対して選択的に変更するマイクロアクチュエータを覆う。マイクロアクチュエータは圧電性素子を含む種類のものである。圧電性素子の全ての露出面はポリマー塗装により被包される。
【実施例１】
【００１０】
図１は、スライダ１２をディスク１６のトラック１４上に配置するディスクドライブ装置１０の俯瞰図である。ディスクドライブ装置１０は、作動アーム２０を軸２２を中心として回動させるボイスコイルモータ１８を含む。ヘッドサスペンション２４あるいはロードビームは、ヘッド装着台座２６において作動アーム２０に結合されている。フレクシャ２８あるいはジンバルは、ヘッドサスペンション２４の末端に結合されて、スライダ１２を保持する。スライダ１２は、ディスク１６の同心円状トラック１４上にデータを書込み／読出す変換ヘッド（図示せず）を担持する。ディスク１６は、軸３０を中心にして回転することにより風圧を発生させて、スライダ１２をディスク１６面より僅かな距離浮上させる。
【００１１】
ボイスコイルモータ１８を選択的に作動させることにより、作動アーム２０を軸２２を中心にして回動させ、スライダ１２をディスク１６のトラック１４間において移動させることができる。しかし、高いトラック密度を有するディスクドライブ装置においては、ボイスコイルモータ１８は、スライダ１２の変換ヘッドをディスク１６の選択されたトラック１４上に配置するには充分な精度と周波数応答が不足している。そのため、高い精度を備えたマイクロアクチュエータが、図２に示すように、スライダ１２を精密に位置決めするために使用される。
【００１２】
図２は、スライダ１２の精密位置決めのために二段階式ディスクドライブ装置に用いられたマイクロアクチュエータの平面図である。特に、図２にはヘッドサスペンションに装着されたマイクロアクチュエータ３２が示されている。ヘッド装着台座２６あるいは基板は、作動アーム２０（図示せず）の末端に装着されている。ヘッドサスペンション２４は、ヘッド装着台座２６にマイクロアクチュエータ３２により装着されている。ヘッドサスペンション２４の末端３４は、フレクシャ２８に取付けられ、荷重点においてスライダ１２に一定の荷重を加えることにより、ディスクドライブ装置の稼動中にスライダ１２をディスク１６の表面に近接させておくことができる。スライダ１２は、フレクシャ２８の末端に配置された凸縁によってフレクシャ２８に装着されている。
【００１３】
マイクロアクチュエータ３２は、ヘッドサスペンション２４をヘッド装着台座２６に接続するための同一コンプライアンス接続部材３６を含む。ヘッド装着台座２６、ヘッドサスペンション２４、および同一コンプライアンス接続部材３６を単一のシート状材料から形成することもできる。図２に示す実施例では、同一コンプライアンス接続部材３６は、ヘッドサスペンション２４とヘッド装着台座２６との間に配置された二本の梁から成っている。
【００１４】
マイクロアクチュエータ３２は、ヘッド装着台座２６とヘッドサスペンション２４とに装着され、同一コンプライアンス接続部材３６にほぼ平行に配置された圧電性素子３８ａ，３８ｂをさらに含む。圧電性素子３８ａ，３８ｂは、圧電性素子全域に伝達される制御信号、すなわち印加電圧、に応答して縦方向に変形可能である。圧電性素子３８ａ，３８ｂの膨張と収縮とにより同一コンプライアンス接続部材３６が変形し、ヘッドサスペンション２４とスライダ１２とのヘッド装着台座２６に対する回動を引起すことにより、スライダ１２に担持された変換ヘッドの精密な位置決めが実行される。圧電性素子３８ａ，３８ｂそれぞれの矢印４０，４２方向の副次的な膨張と収縮とが、同一コンプライアンス接続部材３６に弾性変形を起こす力を発生し、ヘッドサスペンション２４の同一コンプライアンス接続部材３６を中心とする矢印４４方向の剛体回転運動を起こす。
【００１５】
圧電性素子３８ａ，３８ｂ全体は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）結晶体から成り、多結晶材料の単層、または隣接する層との間に導電路が設けられた多結晶材料の薄い複数層を有する。
【００１６】
図２にはまた、ディスクドライブ装置の追加的部品として機能するプリント配線板４３が示されている。スライダ１２は、導電路４５によりプリント配線板４３に電気的に接続される。マイクロアクチュエータを用いた装置は、スライダ１２やディスクスペーサなどのセラミック製部品、ならびにヘッド装着台座２６、ヘッドサスペンション２４、フレクシャ２８、および作動アーム２０などのステンレススチール製部品など、数個の部品を含む。
【００１７】
図３は、図２のマイクロアクチュエータ３２の線３−３による断面図である。マイクロアクチュエータを用いた装置の各々の圧電性素子３８ａ，３８ｂは、上面４６と底面４８とを有し、底面４８はヘッドサスペンション２４とヘッド装着台座２６とに導電性エポキシ樹脂４９で接着されている。上面４６および底面４８ともに電極５０ａ，５０ｂ（典型的には金）を含み、ディスクドライブ装置とヘッドサスペンション２４との間を電気的に接続している。上部電極５０ａは、圧電性素子３８ａ，３８ｂに電気的接続を行い、電圧を印加することによりヘッドサスペンション２４を作動させるために配置されている。
【００１８】
マイクロアクチュエータ３２の作動時に、電圧が圧電性素子３８ａ，３８ｂに印加されることによりＰＺＴ結晶体が膨張と収縮とを繰返し、結果としてＰＺＴ結晶体の固い表面と側縁からセラミック微粒子が排出される。この排出された微粒子が、記録ヘッドおよび記録媒体損傷の主たる原因であり、機械的損傷、変換ヘッドの不調、およびデータの損失の原因になる。本発明は、マイクロアクチュエータを用いた装置の圧電性素子３８ａ，３８ｂの全ての露出面を覆って、マイクロアクチュエータ３２の作動時に微粒子が発生することを防止する被包材に関するものである。被包材はまた、多層ＰＺＴ結晶体の防湿層として作用し、水蒸気の電極部への侵入と、結果としての電極の腐食とを防止する。
【００１９】
図３に示すように、被包材５２あるいはポリマー塗装は、ヘッドサスペンション２４とヘッド装着台座２６とに装着された圧電性素子３８ａ，３８ｂの全ての露出面（すなわち、底面４８を除く全ての表面）を覆うものである。ポリマー塗装５２は、圧電性素子３８ａ，３８ｂをヘッドサスペンション２４に装着する前に圧電性素子３８ａ，３８ｂに対して塗布されることが好ましい。ポリマー塗装５２を圧電性素子３８ａ，３８ｂに塗布する技術は種々あり、制限するものではないが、浸漬または重力流れ塗装、吹付け塗装、スピンコート、スクリーン塗装、ローラー塗装、または蒸着などである。圧電性素子３８ａ，３８ｂに塗布後、ポリマー塗装５２は、一般にポリマーの架橋を行うために架橋操作が行われる。以後の架橋操作は用いられたポリマーの種類によるが、種々の架橋技術が使用可能で、制限するものではないが、加熱架橋、紫外線架橋、または電子線架橋などがある。ポリマーを架橋させることにより、被包材５２は作動時の移動が制止され、圧電性素子３８ａ，３８ｂ表面の微粒子の遊離が阻止される。ポリマー塗装５２が一旦完全に架橋されると、圧電性素子３８ａ，３８ｂ表面の微粒子の計測数が減少するとともに、被包材は圧電性素子３８ａ，３８ｂの腐食を防止する防湿層として作用する。被包材５２のポリマーは、最小の弾性定数を有し、圧電性素子３８ａ，３８ｂの運動を制限することはなく、また導電体でもない。
【００２０】
被包材５２は、圧電性素子３８ａ，３８ｂの運動を制限しないよう、または上部電極５０ａとのはんだ付けによる電気的接続を阻止しないよう１ミクロン以下の膜厚しか有しない。さらに好ましくは、被包材５２の厚さは２５から３０オングストロームである。この薄い被包材は、圧電性素子３８ａ，３８ｂの性能（たとえば、移動性能または電気的性能）に影響を及ぼすことはない。さらに、被包材５２は薄いため、上部電極５０ａとの電気的接続を、被包材の分解および／またはレーザーアブレーション処理を施すことなく、はんだ付けによって行うことができる。
【００２１】
被包材５２は、フッ化炭化水素重合体、パリレン、またはエポキシ樹脂などのポリマー塗料から成っている。さらに好ましいポリマーは、ＥＧＣ−１７００またはＦｏｍｂｌｉｎ  Ｚ−Ｔｅｔｒａｏｌ（イタリアのアウジモント社製造）などのフルオロアクリラートまたは過フルオロポリエーテルである。
【００２２】
ポリマー塗装５２の一例は、Ｔｅｔｒａｏｌ、または他のフルオロアクリラートまたは過フルオロポリエーテルである。薄く、均一な厚さの塗装にするために、一般的には浸漬または重力流れ塗装、吹付け塗装、またはスピンコートなど数種の塗装法の一方法を用いてフッ化炭化水素重合体は圧電性素子３８ａ，３８ｂに塗布される。ポリマー塗装５２は、塗料の濃度と塗装方法とにより異なるが、１０から１００オングストロームの膜厚を有する。
【００２３】
架橋操作によりポリマー鎖間に架橋が行われ、より強固で、強く接着した被覆が得られる。架橋は、対象となるポリマーの種類によるが、熱、紫外線、または電子線の何れかを用いることにより実行可能である。しかし、フッ化炭化水素重合体の架橋には電子線を用いる方法が最適である。電子線架橋法では、電子が塗装面全域に均一に分散され、そのエネルギーレベルは数千キロ電子ボルトにも達し、紫外線架橋法の場合のエネルギーレベルを大幅に超える。真空電子線架橋法のエネルギーレベルは、２０，０００から８０，０００マイクロクーロン毎平方センチメートルであり、大気中または窒素ガス中電子線架橋法の場合のエネルギーレベルは、８０，０００から２５０，０００キログレイの間である。
【００２４】
フッ化炭化水素重合体の場合には、２０オングストローム以上の膜厚で均一な被覆が得られ、液中微粒子数の低減、微粒子発生の最小化、および水蒸気侵入による多層ＰＺＴ結晶体の移動量の低下を阻止することができる。さらに、フッ化炭化水素重合体による被包材の場合には、圧電性素子との電気的接続をはんだ付けによって行うことができる。
【００２５】
ポリマー塗装５２の別の例は、蒸着によるパリレン重合体の塗布である。パリレンを０．５ミクロンから１ミクロンの膜厚に塗布すると、大幅な液中微粒子数の減少が観察され、絶縁抵抗の低下は多層ＰＺＴ結晶体の生涯試験においても観察されなかった。圧電性素子との電気的接続は、薄いパリレン被覆を施したままでも、あるいは研磨またはレーザーアブレーションによりパリレンを選択的に剥離しても達成可能である。パリレン被覆は、液中微粒子数計測中にＰＺＴ結晶体から遊離する微粒子数を低下させる。パリレンはまた、効果的な防湿層として作用し、水蒸気が電極部に達することにより電圧が印加されたときに電極を樹枝状に成長させ、腐食させることを防止する。
【００２６】
本発明で使用されるポリマー塗装５２のさらに別の例は、エポキシ重合体である。エポキシは、浸漬または重力流れ塗装、吹付け塗装、スピンコート、またはローラー塗装など数種の塗装法の一方法で塗布することができる。エポキシ塗装は種々の温度に過熱することにより架橋される。
【００２７】
本発明は、マイクロアクチュエータを用いた装置の圧電性素子の全ての露出面をポリマー塗装の被包材により覆うことを含む。ポリマー塗装は防湿層として作用し、水蒸気が圧電性素子の電極部に達することにより、電圧が印加されたときに電極を樹枝状に成長させるとともに腐食させて、キャパシタの絶縁抵抗を低下させることを防止する。さらに、防湿層としての被包材は、硬質微粒子の発生には関与しない。本発明による被包材は、微粒子を圧電性素子表面に固定はするが、ＰＺＴ結晶体の自由な運動を妨げることはない。さらに、ポリマー塗装は、液中微粒子数計測中と圧電性素子に対する電圧印加時に遊離する微粒子の量を低下させる（すなわち、液中微粒子数とエーロゾル微粒子数とが低減され、さらに圧電性素子による微粒子発生が最小化される。）。本発明は、マイクロアクチュエータ部品をディスクドライブ装置に導入する際の微粒子による汚染を低減するための経済的な方法を提供するもので、被包材の塗布と架橋とを圧電性素子の製造と平行して実施することができる。さらに、本発明は、防湿機能を持たせることによりディスクドライブ装置に装着された多層ＰＺＴ結晶体の製品寿命を延ばすことができる独特の方法を提供するものである。
【００２８】
本発明による被包材は、ディスクドライブ装置の他の部品に対するポリマー塗装としてもまた効果的で、ディスクドライブ装置の内部で硬質微粒子が発生することを防止することができる。被包材は、マイクロアクチュエータ、スライダ、ディスクスペーサ、プリント配線板実装部品、ディスクドライブ装置のすべてのセラミック製部品、あるいはヘッド装着台座、ロードアーム、フレクシャ、または作動アームなどディスクドライブ装置のすべてのステンレススチール製部品などディスクドライブ装置用部品の全ての露出面を覆うものである。
【００２９】
以上、選好実施例を参照して本発明を説明したが、当業者には形態や細部について本発明の精神および範囲から逸脱することなく変更を加え得ることが理解できよう。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】スライダをディスクのトラック上に配置するディスクドライブ装置の俯瞰図である。
【図２】スライダの精密位置決めのために二段階式ディスクドライブ装置に用いられたマイクロアクチュエータの平面図である。
【図３】図２のマイクロアクチュエータの圧電性素子の線３−３による断面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１０  ディスクドライブ装置
１２  スライダ
１４  トラック
１６  ディスク
２４  ヘッドサスペンション
２６  ヘッド装着台座
２８  フレクシャ
３２  マイクロアクチュエータ
３６  同一コンプライアンス接続部材
３８ａ  圧電性素子
３８ｂ  圧電性素子
４３  プリント配線板
５２  被包材／ポリマー塗装
【図１】
2004310973.tif 000003
【図２】
2004310973.tif 000004
【図３】
2004310973.tif 000005