(57)【要約】【課題】プローブと検査対象物の中心軸がずれていても、簡単な構成でその誤差を吸収し、確実に検査する。【解決手段】検査装置１００は、検査装置本体１０１と、検査対象物が搭載されるステージ１０２と、ステージ１０２の上方に設けられるプローブ装置１０３と、プローブ装置１０３を昇降させる昇降装置１０４を備えている。プローブ装置１０３は、プリント基板１０５上の同軸コネクタ１０５ａに接続されるプローブ本体１０７と、プローブ本体１０７をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持するプローブホルダ１０８を備えている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンタクトピンを備えるプローブ本体と、
前記プローブ本体をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持する保持手段と、
スライドした前記プローブ本体を前記定常位置に復帰させる復帰手段を備えることを特徴とするプローブ装置。
【請求項２】
前記保持手段は、
前記プローブ本体の周縁に設けられるフランジ部材と、
前記フランジ部材をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に収容するプローブホルダを備える請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項３】
前記復帰手段は、弾性部材を含むことを特徴とする請求項１または２に記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記弾性部材は、
前記フランジ部材の周縁と、前記フランジ部材を収容する前記プローブホルダ内面との間に設けられていることを特徴とする請求項３に記載のプローブ装置。
【請求項５】
前記弾性部材は、発泡材である請求項３または４に記載のプローブ装置。
【請求項６】
前記発泡材は、２０ｋｇ／ｍ３以上９００ｋｇ／ｍ３以下の発泡密度を有する請求項５に記載のプローブ装置。
【請求項７】
前記発泡材は、高密度マイクロセルウレタンフォームである請求項５または６に記載のプローブ装置。
【請求項８】
前記弾性部材は、ゴム材である請求項３または４に記載のプローブ装置。
【請求項９】
前記ゴム材は、デュロメータ・タイプＡで１０以上９０以下のゴム硬度を有する請求項８に記載のプローブ装置。
【請求項１０】
前記復帰手段は、スライドした前記フランジ部材を定常位置に復帰させる前記プローブホルダ内に形成された下り斜面である請求項１または２に記載のプローブ装置。
【請求項１１】
前記プローブホルダは、前記フランジ部材とともに前記プローブ本体を垂直状態のままスライドさせるガイドプレートをさらに備える請求項１０に記載のプローブ装置。
【請求項１２】
前記プローブ本体は、その先端部にテーパー部を有する請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のプローブ装置。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のプローブ装置と、前記プローブ装置を昇降させる昇降機構を少なくとも備えることを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブ装置および検査装置に関し、より詳細には、プローブと検査対象物の中心軸がずれていても、その誤差を吸収し、確実に検査することが可能なプローブ装置およびこれを用いた検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品が実装されたプリント基板の検査工程や、当該プリント基板へのデータの書き込み工程では、プリント基板上に実装されたコネクタにプローブを当てて、そこからデータを書き込み、もしくはデータを測定することが行われている。このとき問題となるのは、プローブとコネクタとの位置合わせである。すなわち、プリント基板をステージに搭載した際の位置ずれやプリント基板上のコネクタの実装のばらつきなどによりコネクタが本来の位置に存在していなくても、プローブを確実に接触させる仕組みが必要とされている。
【０００３】
従来、コネクタとプローブの位置合わせを確実に行う方法として、コネクタの位置を光学顕微鏡やビデオカメラで撮像しながらプローブを移動させてプローブと被測定体との位置合わせを行う方法が知られている（特許文献１および特許文献２参照）。この方法によれば、正確かつ確実に、しかも自動的に位置合わせを行うことができる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２９６１４８号公報
【特許文献２】特開平０８−３３０３７１号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この方法では、プローブの制御システムが複雑かつ大型化し、装置自体のコストもかかってしまうという問題がある。特に、プローブを積極的に移動させるシステムには適しているが、プローブとコネクタとのわずかな位置ずれを補正するための方法としては適しておらず、簡単な構成で位置合わせを行うことができる方法が望まれている。
【０００６】
したがって、本発明の目的は、簡単な構成で、プローブと検査対象物との位置合わせを行うことが可能なプローブ装置およびプローブ装置を用いた検査装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のかかる目的は、コンタクトピンを備えるプローブ本体と、前記プローブ本体をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持する保持手段と、スライドした前記プローブ本体を前記定常位置に復帰させる復帰手段を備えることを特徴とするプローブ装置によって達成される。
【０００８】
本発明によれば、プローブ本体と検査対象物の中心軸がずれている場合に、プローブ本体が検査対象物と同軸状態となる方向に外力を受けると、プローブ本体は復帰手段による反発力に逆らってスライドし、コンタクトピンは検査対象物に接続される。外力から解放されると、復帰手段の反発力によってプローブ本体はスライド前の定常位置に戻るので、定常位置を中心とした一定の範囲内の位置ずれがカバーされ、プローブ本体と検査対象物との位置合わせを簡単に行うことができる。
【０００９】
本発明の好ましい実施形態において、前記保持手段は、前記プローブ本体の周縁に設けられるフランジ部材と、前記フランジ部材をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に収容するプローブホルダを備える。
【００１０】
本発明の好ましい実施形態によれば、簡単な構成で、プローブ本体をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持することができる。
【００１１】
また、本発明の好ましい実施形態において、前記復帰手段は、弾性部材を含んでいる。
【００１２】
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記弾性部材は、前記フランジ部材の周縁と、前記フランジ部材を収容する前記プローブホルダ内面との間に設けられている。
【００１３】
本発明の好ましい実施形態によれば、簡単な構成で、プローブ本体を定常位置に復帰させることができる。
【００１４】
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記弾性部材は、発泡材である。
【００１５】
本発明の好ましい実施形態によれば、スライドした前記プローブ本体を定常位置へ戻すのに好適な復帰力を提供することができる。
【００１６】
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記発泡材は、２０ｋｇ／ｍ３以上９００ｋｇ／ｍ３以下の発泡密度を有する。
【００１７】
本発明のさらに好ましい実施形態によれば、スライドした前記プローブ本体を定常位置へ戻すのにさらに好適な復帰力を提供することができる。
【００１８】
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記発泡材は、高密度マイクロセルウレタンフォームである。
【００１９】
本発明のさらに好ましい実施形態によれば、スライドした前記プローブ本体を定常位置へ戻すのに最適な復帰力を提供することができる。
【００２０】
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記弾性部材は、ゴム材である。
【００２１】
本発明のさらに好ましい実施形態によれば、スライドした前記プローブ本体を定常位置へ戻すのに好適な復帰力を提供することができる。
【００２２】
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記ゴム材は、デュロメータ・タイプＡで１０以上９０以下のゴム硬度を有する。
【００２３】
本発明のさらに好ましい実施形態によれば、スライドした前記プローブ本体を定常位置へ戻すのにさらに好適な復帰力を提供することができる。
【００２４】
さらにまた、本発明の好ましい実施形態において、前記復帰手段は、スライドした前記フランジ部材を定常位置に復帰させる前記プローブホルダ内に形成された下り斜面である。
【００２５】
本発明の好ましい実施形態によれば、簡単な構成で、プローブ本体を定常位置に復帰させることができる。
【００２６】
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記プローブホルダは、前記フランジ部材とともに前記プローブ本体を垂直状態のままスライドさせるガイドプレートをさらに備える。
【００２７】
本発明のさらに好ましい実施形態によれば、プローブ本体を傾かせることなく垂直状態のままスライドさせることができる。
【００２８】
本発明のさらに好ましい実施形態において、前記プローブ本体は、その先端部にテーパー部を有する。
【００２９】
本発明の好ましい実施形態によれば、テーパー部と検査対象物が当接すると、プローブ本体はこのテーパー部によって検査対象物と同軸状態となる方向に外力を受けてその方向へスライドする。したがって、簡単な構成で、プローブ本体のコンタクトピンを検査対象物に接続させることができる。
【００３０】
本発明の前記目的はまた、上述したプローブ装置のいずれか１つと、前記プローブ装置を昇降させる昇降機構を少なくとも備えることを特徴とする検査装置によっても達成される。
【００３１】
本発明によれば、プローブ本体と検査対象物の中心軸がずれている場合に、プローブ本体を降下させると、プローブ本体の先端部にあるテーパー部と検査対象物が当接することによって、プローブ本体は検査対象物と同軸状態となる方向に外力を受けるため、復帰手段による反発力に逆らってスライドする。その結果、プローブ本体のコンタクトピンは検査対象物に接続される。プローブ本体を上昇させると、外力が解除されるため、復帰手段の反発力によってプローブ本体はスライド前の定常位置に復帰する。したがって、簡単な構成で、プローブ本体と検査対象物との位置合わせを行うことができる。
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。
【００３２】
図１は、本発明の好ましい実施形態にかかる検査装置の外観構成を示す略斜視図である。
【００３３】
図１に示されるように、この検査装置１００は、検査装置本体１０１と、検査対象物が搭載されるステージ１０２と、ステージ１０２の上方に設けられるプローブ装置１０３と、プローブ装置１０３を昇降させる昇降装置１０４を備えている。
【００３４】
検査装置本体１０１は、検査対象物への検査用信号の供給や測定結果の処理などを行う機能を備えており、前面に設けられた操作パネル１０１ａを操作することにより、検査の開始や停止などを指示することができる。また操作パネル１０１ａにはランプや液晶ディスプレイによって検査状況も表示される。
【００３５】
ステージ１０２は、検査装置本体１０１の上面に設けられており、ここに検査対象物であるプリント基板１０５が搭載される。ステージ１０２には、プリント基板１０５の面積に相当する凹面１０２ｃが形成されており、さらに凹面１０２ｃの両側にガイドブロック１０６が形成されている。これらによって、搭載されるプリント基板１０５の位置ずれが最小限に抑えられる。また、ステージ１０２にはプリント基板１０５が搭載されているか否か、またはプリント基板１０５がほぼ所定の位置に配置されているか否かを検出するセンサが設けられていることが好ましい。このようなセンサを設けることによって、プリント基板１０５が正しく搭載されていないにもかかわらず検査が実行されることを防止することができる。
【００３６】
プローブ装置１０３は、プリント基板１０５上の同軸コネクタ１０５ａに接続されるプローブ本体１０７と、プローブ本体１０７をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持するプローブホルダ１０８を備えている。プローブ本体１０７は、その両端部がプローブホルダ１０８の上下面から突出するようにプローブホルダ１０８によって保持され、プローブ本体１０７の後端部には同軸ケーブル１０９が接続される。
【００３７】
昇降装置１０４は、プローブ装置１０３がプリント基板１０５の上方に配置されるように、検査装置本体１０１の上方に立設された支持台１１０によって検査装置本体１０１の上面よりも十分高い位置に設置されている。昇降装置１０４としては、例えばモータ、エアシリンダ、油圧シリンダなどを用いることができる。昇降装置１０４の動作は、検査装置本体１０１からの制御信号によって制御される。
【００３８】
ステージ１０２上に配置されるプリント基板１０５には、検査用の同軸コネクタ１０５ａが実装されている。プローブ装置１０３は同軸コネクタ１０５ａの鉛直方向上方に配置され、プローブ装置１０３が降下した場合にはプローブ本体１０７が同軸コネクタ１０５ａと接続するようになっている。すなわち、検査装置本体１０１からの制御に従って昇降装置１０４がプローブ装置１０３を降下させると、プローブ本体１０７はその鉛直方向下方にある同軸コネクタ１０５ａに接続する。この状態で検査装置本体１０１から検査用信号を供給し、その応答結果処理することにより、プリント基板１０５が正常に動作するか否かを判定することができる。
【００３９】
検査が終了し、検査装置本体１０１からの制御信号に従って昇降装置１０４がプローブ装置１０３を上昇させると、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａとの接続も解除される。検査が終了したプリント基板１０５は、ステージ１０２上から取り出され、検査結果に応じたスタッカに収納された後、未検査のプリント基板１０５が新たにステージ１０２上に搭載される。なお、ステージ１０２上へのプリント基板の搭載や取り出しは、手作業で行ってもよく、吸着アームなどの移送機構で自動的に行ってもよい。
【００４０】
図２は、検査装置１００のシステム構成を示すブロック図である。
【００４１】
図２に示されるように、このシステムは、検査装置本体１０１内に、検査の開始や終了を指示するための操作パネル１０１ａと、検査プログラムを実行して各ブロックを制御する検査プログラム処理部２０１と、検査プログラムを格納するプログラムメモリ２０２と、昇降装置１０４を制御する駆動制御部２０３と、プローブ装置１０３への信号供給および測定結果の処理を行う測定処理部２０４と、処理されたデータを格納するデータメモリ２０５と、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）やプリンタなどの外部機器を接続可能な外部端子２０６を備えている。検査プログラムは、外部端子２０６に接続したＰＣからプログラムメモリ２０２内へ転送され、実際の検査時に検査プログラム処理部２０１内で処理される。データメモリ２０５内の測定結果データは、外部端子２０６を介してＰＣやプリンタへ転送することができる。
【００４２】
図３は、検査装置１００による検査手順を示すフローチャートである。
【００４３】
図３に示されるように、操作パネル１０１ａから検査開始が指示されると、検査プログラム処理部２０１によって検査プログラムが実行され、プリント基板がステージ１０２上に搭載されているか否かの確認が行われる（Ｓ３０１）。なお、プリント基板を吸着アームで自動搭載する場合には、自動搭載が行われた後にプリント基板の搭載の有無を確認する。次いで、駆動制御部２０３が昇降装置１０４を制御してプローブ装置１０３を降下させるので、プリント基板１０５上の同軸コネクタ１０５ａにプローブ本体１０７が接続する（Ｓ３０２）。その後、検査プログラムに従って所定の検査および設定情報の書き込みが行われる（Ｓ３０３）。すなわち、測定処理部２０４がプローブ本体１０７へ検査項目に対応する信号を供給し、その応答結果を処理することによって所定の検査が行われるとともに、プリント基板上のメモリに所定の設定情報が書き込まれる。検査および設定情報の書き込みが完了すると、駆動制御部２０３が昇降装置１０４を制御してプローブ装置１０３を上昇させるので、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａとの接続が解除される（Ｓ３０４）。最後に、検査完了後のプリント基板がステージ１０２から取り出される（Ｓ３０５）。
【００４４】
図４は、本発明にかかるプローブ装置１０３の好ましい実施形態を示す一部破断図である。また、図５は、プローブ装置１０３の分解斜視図である。
【００４５】
図４に示されるように、このプローブ装置１０３は、円筒状のプローブ本体１０７と、プローブ本体１０７をスライド自在に保持するプローブホルダ１０８と、プローブ本体１０７の周縁に固定される円型のフランジ部材１１１と、フランジ部材１１１とともにプローブホルダ１０８内に収容される弾性部材１１２を備えている。
【００４６】
プローブ本体１０７は、詳細には後述するが、その先端部１０７ａの内側にコンタクトピンが設けられており、また後端部には同軸ケーブル１０９が接続されている。フランジ部材１１１は、プローブ本体１０７の長手方向の略中央位置に設けられる。フランジ部材１１１は、プローブ本体１０７とは別の部材として提供されてもよく、最初からプローブ本体１０７と一体的に形成されていても構わない。フランジ部材１１１としては、金属製または樹脂製のものを用いることができる。
【００４７】
プローブホルダ１０８は、円型のプローブホルダ本体１０８ａと、その側面から突出したハンドル部１０８ｂを備えており、ハンドル部１０８ｂは昇降装置１０４のパイプ部１０４ｐに接続している。本実施形態において、これらは長円形の支持板１１３とその上面の前方寄りに設けられる円型のケース１１４との組み合わせによって構成されている。支持板１１３とケース１１４との固定はねじ１１５によって行われる。
【００４８】
プローブホルダ本体１０８ａの中央部には、プローブ本体１０７の両端部をプローブホルダ本体１０８ａの上下面から突出させるための貫通孔１０８ｃが設けられている。本実施形態において、この貫通孔１０８ｃは円型のケース１１４の上面中央とこれに対応した支持板１１３上の所定の位置に設けられている。貫通孔１０８ｃの径はプローブ本体１０７の径よりも大きく設定され、貫通孔とプローブ本体１０７との間にはある程度の遊び（隙間）が形成される。フランジ部材１１１がプローブホルダ本体１０８ａ内に収容されると、プローブ本体１０７は、その先端部１０７ａがプローブホルダ本体１０８ａの下面（支持板の下面）よりも下方に突出し、その後端部１０７ｂがプローブホルダ本体１０８ａの上面（ケースの上面）よりも上方に突出するように、貫通孔１０８ｃ内に垂直に配置される。
【００４９】
プローブホルダ本体１０８ａの内部には、フランジ部材１１１および弾性部材１１２を収容可能な内部空間が形成されている。内部空間の高さは、できるだけ遊び（隙間）が生じないようにフランジ部材１１１の板厚とほぼ等しく設定される。また、内部空間の径は、フランジ部材１１１の径よりも大きく設定され、内部空間を形成するプローブホルダ本体１０８ａの内周面とフランジ部材１１１の周縁との間にはある程度の遊び（隙間）が形成される。その結果、フランジ部材１１１およびプローブ本体１０７は、プローブホルダ本体１０８ａの中心軸を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持される。
【００５０】
弾性部材１１２は、スライドして中心軸からずれたプローブ本体１０７をもとの位置に復帰させる役割を果たす。そのため、弾性部材１１２はケース内に収容されたフランジ部材１１１の周縁とケースの内周面との間に形成される隙間に設けられる。弾性部材１１２がフランジ部材１１１の周縁とケースの内周面に挟まれることで、弾性部材１１２はわずかに圧縮されており、フランジ部材１１１は弾性部材１１２からわずかな弾性力を均等に受けている。これにより、フランジ部材１１１およびプローブ本体１０７は、その中心軸が貫通孔の中心軸と一致する位置である定常位置を保っている。
【００５１】
弾性部材１１２がこのように設けられることによって、プローブ本体１０７に外力が加えられると、プローブ本体１０７とともにフランジ部材１１１がスライドして、スライド方向にある弾性部材１１２の一部が圧縮される。その後、プローブ本体１０７が外力から解放されると、圧縮された弾性部材１１２の反発力によってプローブ本体１０７はスライド前の定常位置に戻ることができる。
【００５２】
なお、フランジ部材１１１の周縁とプローブホルダ本体１０８ａの内周面との間に形成される遊び（隙間）の幅は、適切な復帰力を提供できるように設定された弾性部材１１２の幅に合わせて、これと略等しく設定される。また、貫通孔とプローブ本体１０７との間に形成される遊び（隙間）の幅は、弾性部材１１２が最大限に圧縮されてプローブ本体１０７が最大限にスライドしたとしてもそのスライドを妨げないように十分広く設定されていることが好ましい。このように十分広く設定すれば、プローブ本体１０７のスライドが貫通孔によって妨げられることはない。
【００５３】
以上のように構成されているため、フランジ部材１１１およびプローブ本体１０７は、フランジ部材１１１の周縁とプローブホルダ本体１０８ａの内周面との間に挟まれて弾性部材１１２が圧縮され、その定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持される。
【００５４】
弾性部材１１２としては、発泡材を用いることが好ましい。発泡材を用いれば、プローブ本体１０７に固定されたフランジ部材１１１を中央位置へ復帰させるのに好適な弾性力を提供することができる。発泡材の発泡密度は、２０ｋｇ／ｍ３〜９００ｋｇ／ｍ３の範囲内であることが好ましい。発泡材の弾性力は、その幅、高さ、または形状（空洞等）によって調整が可能であり、フランジ部材１１１の径の大きさやプローブ本体１０７や同軸ケーブル１０９を含む重量を総合的に考慮して設定される。
【００５５】
発泡材としては、例えばマイクロセルポリマーシート（高密度マイクロセルウレタンフォーム）、シリコンフォーム、ポリエチレンフォーム（ポリオレフィンフォーム）、ゴムスポンジ、ポリウレタンフォームなどを用いることができる。特に、フランジ部材１１１およびこれと固定されたプローブ本体１０７を十分にスライドさせることができるように十分な柔軟性を有し、かつスライドしたフランジ部材１１１およびプローブ本体１０７を定常位置に復帰させるのに十分な反発力を提供する材料として、マイクロセルポリマーシートが最適である。しかも、マイクロセルポリマーシートであれば圧縮残留歪（いわゆるヘタリ）が少なく、反発力を持続させることができる。
【００５６】
その他、発泡性は有しないが弾性力を有するゴム材を用いることもできる。ゴム材のゴム硬度は、ＪＩＳ  Ｋ６２５３（新ＪＩＳ）に準拠するデュロメータ・タイプＡで１０〜９０の範囲内に設定されることが好ましい。ゴム材の弾性力は、その幅、高さまたは形状（空洞等）によって調整が可能であり、フランジ部材の径の大きさやプローブ本体１０７や同軸ケーブル１０９を含む重量を総合的に考慮して設定される。ゴム材は発泡材に比べて硬いため、大型で重量があり、大きな復帰力を必要とするフランジ部材に好適である。
【００５７】
フランジ部材１１１が封止される内部空間の高さは、フランジ部材１１１の上面とプローブホルダ本体１０８ａ内の天井面との間に隙間ができないように、フランジ部材１１１の高さと等しく設定することが理想であるが、そのようにすることは実際上極めて困難である。そのため、内部空間の高さをフランジ部材１１１の高さよりもわずかに高く設定する必要があるが、あまり高くしすぎると遊びが多くなりすぎて、同軸コネクタに圧接したときの力のかかり具合によってはプローブ本体１０７が垂直状態を維持できず、大幅に傾いてしまうという不具合がある。したがって、内部空間の高さは、収容されるフランジ部材１１１の高さよりもわずかに高い程度、具体的には、半径０．５ｃｍ〜１ｃｍ前後のプローブと一体化された半径２ｃｍ〜５ｃｍ前後のフランジ部材１１１に対して、フランジ部材１１１とケースの内側上面との間の隙間を０．０５ｍｍ〜０．２ｍｍに設定することが好ましい。なお、フランジ部材１１１の半径を大きくすれば、内部空間の高さをさらに高く設定してもプローブ本体１０７の傾きはわずかとなるので、より大きな隙間を取ることも可能である。
【００５８】
なお、実際のセッティングでは、図５に示されるように、プローブ本体１０７の先端部１０７ａを支持板１１３側に形成された貫通孔１０８ｃに挿入した状態で、フランジ部材１１１が固定されたプローブ本体１０７を支持板１１３上に搭載し、フランジ部材１１１の周縁に弾性部材１１２を取り付けた後、これらの上方にケース１１４を被せることによって、フランジ部材１１１および弾性部材１１２をケース１１４内に収容し、ケース１１４と支持板１１３をねじ１１５で固定する。あるいは、図５に示した配置を上下反転させた状態でセットする。すなわち、ケース１１４の開口部を上向きの状態にして、プローブ本体１０７の後端部１０７ｂをケース１１４側に形成された貫通孔１０８ｃに挿入した状態で、フランジ部材１１１が固定されたプローブ本体１０７をケース内にセットした後、ケースとフランジ部材１１１の周縁との間に形成される隙間に弾性部材１１２をセットし、さらにケース１１４の開口部に支持板１１３を被せてねじ１１５で固定する。これによって、プローブ本体１０７は貫通孔１０８ｃ内の所定の位置に保持され、プローブ本体１０７の先端部１０７ａは支持板１１３の下面よりも下方に突出し、同軸ケーブル１０９が接続されるプローブ本体１０７の後端部１０７ｂはケース１１４の上面よりも上方に突出した状態となる。
【００５９】
図６は、プローブ本体１０７の内部構造を示す略断面図である。
【００６０】
図６に示されるように、プローブ本体１０７は、円筒状の金属体であるハウジング部６０１の内部にコンタクトピン６０２を備えている。コンタクトピン６０２は金属などの導電率の高い導電性材料からなる。コンタクトピン６０２は、その先端部６０２ａがプローブ本体の先端部１０７ａの開口部から露出して同軸コネクタと接触可能なように、ハウジング部６０１の内部に配置され、絶縁性材料からなるコンタクトサポート６０３によってハウジング部６０１の中心軸上に保持されている。
【００６１】
また、コンタクトピン６０２の後端部には円板形のピンヘッド６０２ｂが設けられており、その奥側に設けられた金属製のコイルスプリング６０４と接触しているため、コンタクトピン６０２はプローブ本体１０７の先端部の方向に付勢されている。またコイルスプリング６０４はコンタクトピン６０２と端子部材とを電気的に接続する役割も果たし、コンタクトピン６０２はコイルスプリング６０４および端子部材６０５を介してプローブ本体１０７の後端部にねじ止め固定される同軸ケーブル１０９と電気的に接続される。さらに、コンタクトピン６０２、コイルスプリング６０４および端子部材６０５がハウジング部６０１と電気的に絶縁されるように、ハウジング部６０１の内周面には絶縁部材６０６が設けられている。
【００６２】
本実施形態においては、プローブ本体の先端部１０７ａが伸縮可能に構成されている。すなわち、ハウジング部６０１の一方の開口部にガイド部材６０７が設けられており、このガイド部材６０７によってプローブ本体１０７の先端部が構成され、ガイド部材６０７の上下動がプローブ本体の先端部１０７ａの伸縮となる。また、ガイド部材６０７は、その奥側に設けられたコイルスプリング６０８によってプローブ本体の先端部１０７ａの方向、すなわちコンタクトピン６０２の付勢方向と同一方向に付勢されている。したがって、定常状態では、コンタクトピンの先端部６０２ａがガイド部材６０７よりも奥側に位置し、コンタクトピンの先端部６０２ａはガイド部材６０７によって包囲されている。
【００６３】
また、プローブ本体の先端部１０７ａにはテーパー部６０７ａが設けられている。本実施形態において、プローブ本体１０７の先端部はガイド部材６０７によって構成されているため、テーパー部６０７ａはガイド部材６０７の開口部に設けられている。テーパー部６０７ａは、ガイド部材６０７の開口部が内側から外側へ向けて広がった形状である。このテーパー部６０７ａによってコンタクトピン６０２と同軸コネクタとの軸ずれが補正される。
【００６４】
図７は、図６に示したプローブ本体１０７の変形状態を示す略側面断面図である。
【００６５】
図７に示されるように、プローブ本体１０７を同軸コネクタに押し付けるなどして、プローブ本体の先端部１０７ａに外力が加えられると、ガイド部材６０７がハウジング部６０１の奥へ押し込まれてコンタクトピンの先端部６０２ａが露出する。したがって、コンタクトピン６０２を同軸コネクタに接触させることができる。コンタクトピン６０２と同軸コネクタとの圧接力が強すぎる場合には、コンタクトピン６０２もハウジング部６０１の奥へ押し込まれるため、コンタクトピン６０２の折れ曲がりが防止される。
【００６６】
図８ないし図１１は、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸にずれがない場合の接続動作を示す略断面図である。
【００６７】
図８に示されるように、プローブ装置１０３が上昇位置にあるとき、プローブ本体１０７には何の外力も加わっていないため、プローブ本体１０７は定常位置であるプローブホルダ本体１０８ａの中央に位置し、プローブホルダ本体１０８ａと同軸状態を保っている。
【００６８】
図９に示されるように、プローブ装置１０３を降下させると、プローブ本体１０７の先端部が同軸コネクタ１０５ａと接触する。プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸が一致していれば、同軸コネクタ１０５ａの周縁部がプローブ本体１０７の先端部に設けられたテーパー部６０７ａと均等に接触するので、図１０に示されるように、ガイド部材６０７はプローブ本体１０７の奥へ真っ直ぐに押し込められる。したがって、プローブ本体１０７がスライドすることはない。ガイド部材６０７が押し込められるとコンタクトピンの先端部６０２ａが露出するので、同軸コネクタ１０５ａにコンタクトピン６０２を接触させることができる。
【００６９】
図１１に示されるように、プローブ装置１０３をさらに降下させると、同軸コネクタ１０５ａとコンタクトピン６０２の圧接力がさらに強くなるため、コンタクトピン６０２はコイルスプリング６０８による弾性力に逆らって上方に持ち上げられる。したがって、コンタクトピン６０２の変形や破損を防止することができる。さらに、図１１に示した状態からプローブ装置１０３を上昇させると、図１０、図９の状態を経て、図８に示した元の上昇位置へ戻る。
【００７０】
図１２ないし図１５は、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【００７１】
図１２に示されるように、プローブ装置１０３が上昇位置にあるとき、プローブ本体１０７には何の外力も加わっていないため、プローブ本体１０７は定常位置であるプローブホルダ本体１０８ａの中央に位置し、プローブホルダ本体１０８ａと同軸状態を保っている。一方、プローブ本体１０７の中心軸に対し、同軸コネクタ１０５ａの中心軸は左側にずれている。
【００７２】
図１３に示されるように、プローブ装置１０３を降下させると、プローブ本体１０７の先端部が同軸コネクタ１０５ａと接触する。ここで、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸がずれているので、プローブ本体１０７の先端部に設けられたテーパー部６０７ａには同軸コネクタ１０５ａの外周の一部のみが接触する。
【００７３】
図１４に示されるように、プローブ装置１０３をさらに降下させると、その接触部分がテーパー部６０７ａに沿って徐々に奥へと相対的に移動して、プローブ本体１０７はその中心軸が同軸コネクタの中心軸と一致する最終的な位置まで移動する。したがって、プローブ本体１０７に固定されたフランジ部材１１１もスライドする。このようにして、プローブホルダ１０８に対するフランジ部材１１１の中心軸が偏心すると、偏心方向（図示左側）の弾性部材１１２ａが圧縮され、これと反対方向にある弾性部材１１２ｂとフランジ部材１１１との間には隙間１１６が生ずる。
【００７４】
図１５に示されるように、プローブ装置１０３をさらに降下させると、ガイド部材６０７はプローブ本体１０７の奥へ押し込められる。ガイド部材６０７が押し込められるとコンタクトピンの先端部６０２ａが露出するので、同軸コネクタ１０５ａにコンタクトピン６０２を接触させることができる。さらに降下させると、同軸コネクタ１０５ａとコンタクトピン６０２の圧接力がさらに強くなるため、コンタクトピン６０２はコイルスプリング６０８の弾性力に逆らって上方に持ち上げられる。したがって、コンタクトピン６０２の変形や破損を防止することができる。
【００７５】
図１５に示した状態からプローブ装置１０３を上昇させると、図１４、図１３の状態を経て、図１２に示した元の上昇位置へ戻る。すなわち、同軸コネクタ１０５ａとテーパー部６０７ａとの圧接力によってスライドしたプローブ本体１０７がその圧接力から解放されると、圧縮されている弾性部材１１２の反発力によって元の位置に戻るので、図１１に示されるように、プローブ本体１０７とプローブホルダ１０８は再びほぼ同軸状態となり、弾性部材１１２も定常状態に戻る。このように、プローブ装置１０３は定常位置を中心とした３６０度の一定範囲内で同軸コネクタ１０５ａの位置ずれを吸収することができる。
【００７６】
図１６（ａ）（ｂ）は、プローブ本体１０７のスライド状態を示す略平面断面図であり、図１６（ａ）はスライド前の状態、図１６（ｂ）はスライド後のスライド状態を示している。また、矢印はフランジ部材１１１に加わる弾性部材１１２の反発力であって、矢印が太いほど反発力が強いことを示している。
【００７７】
図１６（ａ）に示されるように、定常状態では、フランジ部材１１１が周囲の弾性部材１１２からわずかな弾性力を均等に受けているので、プローブ本体１０７はプローブホルダ１０８の中央、すなわちプローブホルダ１０８の中心軸と同軸上に位置している。外力によってプローブ本体１０７およびフランジ部材１１１がスライドした状態ではスライド方向にある弾性部材１１２が圧縮されるので、図１６（ｂ）に示されるように、その方向からの弾性部材１１２の反発力も強くなる。ここで、プローブ本体１０７をスライドさせる外力が加わらなくなると、フランジ部材１１１は弾性部材１１２からの反発力によってスライドして元に中央位置に押し戻されるとともに、弾性部材１１２も弛緩状態となって、再び図１６（ａ）に示した定常状態に戻る。したがって、スライドしたプローブ本体１０７を中央位置に確実に復帰させることができる。
【００７８】
以上説明したように、本実施形態によれば、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸がずれていても、その誤差を吸収し、確実に検査を行うことができる。
【００７９】
なお、本実施形態においては、コンタクトピン６０２が上下動可能であり、コンタクトピン６０２がコイルスプリング６０４によって付勢されている場合を例に説明したが、これに限定されるものではなく、コンタクトピン６０２と同軸コネクタ１０５ａとの圧接力を他の方法によって一定に調整可能な場合には、コイルスプリング６０４を省略し、コンタクトピン６０２が上下動しないように固定しても構わない。
【００８０】
また、本実施形態においては、プローブ本体１０７の先端部１０７ａが伸縮可能であり、プローブ本体の先端部１０７ａを構成するガイド部材６０７がコイルスプリング６０８によって付勢されている場合を例に説明したが、これに限定されるものではなく、コイルスプリング６０８を省略し、プローブ本体の先端部１０７ａが伸縮しないように固定しても構わない。
【００８１】
また、本実施形態において、フランジ部材１１１の周縁に巻き付けられる弾性部材としては、等幅なシート材が巻き付けられる必要はなく、一定の周期で幅が変化するシート材など、フランジ部材１１１の周縁にほぼ均等に弾性力を与えることができる弾性部材であれば、どのような形状や構造であっても構わない。また、弾性部材は、シート材などの固体に限らず、ゲル状の樹脂などであっても構わない。
【００８２】
図１７は、本発明の他の好ましい実施形態にかかるプローブ装置１０３の構成を示す略斜視図である。
【００８３】
図１７に示されるように、このプローブ装置１０３は、円筒状のプローブ本体と、プローブ本体をスライド自在に保持するプローブホルダと、プローブホルダの周縁に固定される円型のフランジ部材と、フランジ部材とともにプローブホルダ内に収容される弾性部材を備えており、またプローブホルダは、円形のプローブホルダ本体と、その側面から突出したハンドル部を備えており、以上の構成は上述した第１の実施形態と同様である。
【００８４】
一方、本実施形態では、プローブホルダ本体１０８ａを構成するケース部１２１ａとハンドル部１０８ｂを構成する支持板部１２１ｂが一つの部材によって一体的に形成されており、ケース部１２１ａの上方に形成された開口部に、ドーナツ板状の上部カバー１２２を被せた構成を有している。上部カバー１２２の中央には貫通孔１０８ｃが形成され、ケース部１２１ａの底面中央にも貫通孔１０８ｃが形成される。フランジ部材１１１が固定されたプローブ本体１０７を、その先端部が下向きとなるようにしてケース部１２１ａ内に収容し、フランジ部材１１１の周縁に絶縁部材１１２を設けた後、ケース部１２１ａの開口部に上部カバー１２２を被せてフランジ部材１１１を封止する。このとき、ケース部１２１ａの下面からプローブ本体の先端部１０７ａが突出し、上部カバー１２２の上方からプローブ本体の後端部１０７ｂが突出する。
【００８５】
このような構成であっても、プローブ本体１０７は、上述した第１の実施形態と同様の作用効果を奏することができ、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸がずれていても、その誤差を吸収し、確実に測定することができる。
【００８６】
図１８は、本発明の他の好ましい実施形態にかかるフランジ部材の構成を示す略分解斜視図である。
【００８７】
図１８に示されるように、このフランジ部材１３１は、２つの部材によって構成されており、プローブ本体に直接固定されるフランジ本体１３１ａと、フランジ本体１３１ａを嵌め込むことができるように中央部分がくり抜かれた円板状のフランジアダプタ１３１ｂを備えている。フランジ本体１３１ａはどのような形状であってもよいが、本実施形態では所定の板厚を有するほぼ矩形状の平板である。フランジ本体１３１ａおよびフランジアダプタ１３１ｂはともに同一の板厚に設定されることが好ましい。フランジ本体１３１ａとフランジアダプタ１３１ｂは、フランジアダプタ１１１ｂの中央のくり抜かれた部分１３１ｃにフランジ本体１１１ａを嵌め込んだとき、それぞれの中心軸が一致するように設計される。
【００８８】
フランジ部材１３１をプローブホルダ１０８内に収容する場合には、フランジ本体１３１ａとフランジアダプタ１３１ｂとを接着などにより固定せず、着脱可能な状態のままプローブホルダ１０８内に収容する。このようにしても、プローブホルダ１０８内にて上下方向の動きが規制されているため、実質的にはフランジ本体１３１ａとフランジアダプタ１３１ｂが固定されているに等しい状態となっている。そのため、上述した第１の実施形態にかかるフランジ部材と同様に機能し、プローブ本体１０７に外力が加われば、プローブ本体１０７とともにフランジ本体１３１ａおよびフランジアダプタ１３１ｂもスライドし、外力から解放されると、フランジアダプタ１３１ｂおよびフランジ本体１３１ａは弾性部材の反発力を受けてプローブ本体１０７を定常位置に復帰させることができる。また、２つの部材でフランジ部材１３１を構成すれば、プローブ本体１０７に直接固定されたフランジ本体１３１ａが円板状でなくても、フランジアダプタ１３１ｂを円板状にすることで対応できる。
【００８９】
図１９は、本発明のさらに他の実施形態にかかるフランジ部材の構成を示す略斜視図である。
【００９０】
図１９に示されるように、このフランジ部材１４１は、その板面が部分的にくり貫かれている。図示のフランジ部材では、４つの貫通孔１４１ａが設けられている。このような構造にすれば、フランジ部材１４１、ひいてはフランジ部材１４１を含むプローブ本体１０７全体の軽量化を図ることができる。その結果、スライドしたプローブ本体１０７を定常位置へ復帰させるための弾性部材として、弾性力の比較的弱いものを用いることができる。
【００９１】
図２０は、本発明にかかるプローブ装置１０３の他の好ましい実施形態を示す一部破断図である。また、図２１は、プローブ装置１０３の分解斜視図である。
【００９２】
図２０に示されるように、このプローブ装置１０３は、円筒状のプローブ本体１０７と、プローブ本体１０７をスライド自在に保持するプローブホルダ１０８と、プローブ本体１０７の周縁に固定される円型のフランジ部材と、プローブホルダ１０８内に収容されるドーナツ板状のガイドプレート１５３を備えている。
【００９３】
プローブ本体１０７は、図４に示したものとほぼ同様であるが、本実施形態においては先端部が伸縮しない固定タイプのものが用いられることが好ましい。これは、プローブ本体１０７がスライドする場合に垂直方向の移動も伴うことから、水平方向及び垂直方向の外力が直接伝わるようにするためである。
【００９４】
プローブホルダ１０８は、円型のプローブホルダ本体１０８ａと、その側面から突出したハンドル部１０８ｂを備えており、ハンドル部１０８ｂは昇降装置１０４のパイプ部１０４ｐに接続している。本実施形態において、これらは長円形の支持板１１３と、その上面の前方寄りに設けられる円型のケース１５１と、ケース１５１の上方の開口部に被せられる上部カバー１５２との組み合わせによって構成されている。ケース１５１と支持板１１３との固定およびケース１５１と上部カバー１５２との固定はねじ１１５によって行われる。
【００９５】
プローブホルダ本体１０８ａの中央部には、プローブ本体１０７の両端部をプローブホルダ本体の上下面から突出させるための貫通孔１０８ｃが設けられている。本実施形態において、この貫通孔１０８ｃは上部カバー１５２の上面中央とこれに対応した支持板１１３上の所定の位置に設けられている。貫通孔１０８ｃの径はプローブ本体１０７の径よりも大きく設定され、貫通孔１０８ｃとプローブ本体１０７との間にはある程度の遊び（隙間）が形成される。フランジ部材１１１がプローブホルダ本体１０８ａ内に収容されると、プローブ本体１０７は、その先端部１０７ａがプローブホルダ本体１０８ａの下面（支持板の下面）よりも下方に突出し、その後端部がプローブホルダ本体１０８ａの上面（ケースの上面）よりも上方に突出するように、貫通孔１０８ｃ内に垂直に配置される。
【００９６】
プローブホルダ本体１０８ａの内部の上方には、フランジ部材１１１が収容される第１の内部空間１５４が形成されており、その下方にはガイドプレート１５３が収容される第２の内部空間１５５が形成されている。第１の内部空間１５４の高さは、フランジ部材１１１の板厚よりも高く設定される。また第１の内部空間１５４の径は、その底面においてフランジ部材１１１とほぼ等しく、上方に行くほど広がっており、第１の内部空間１５４を形成するプローブホルダ本体１０８ａの内周面は下り斜面１５６となっている。第２の内部空間１５５の高さは、できるだけ遊び（隙間）が生じないようにガイドプレート１５３の板厚とほぼ等しく設定される。また第２の内部空間１５５の径は、ガイドプレート１５３の外径よりも大きく設定され、第２の内部空間１５５を形成するプローブホルダ本体１０８ａの内周面とガイドプレート１５３の周縁との間にはある程度の遊び（隙間）が形成される。
【００９７】
ガイドプレート１５３は、フランジ部材１１１とともにプローブ本体１０７を垂直状態のままスライドさせる役割を果たす。ガイドプレート１５３の内径は、できるだけ遊び（隙間）がないようにプローブ本体１０７の径とほぼ等しく設定される。その結果、プローブ本体１０７は、垂直方向にはガイドプレート１５３と無関係に移動することができるが、水平方向にはガイドプレート１５３と一緒にスライドする。そして、プローブ本体１０７は水平状態のフランジ部材１１１およびガイドプレート１５３によって２点で支持されるため、プローブ本体１０７は傾くことなく垂直状態のままスライドすることができる。
【００９８】
第１の内部空間１５４を形成する下り斜面１５６は、プローブ本体１０７をスライドさせるとともに、スライドして中心軸からずれたプローブ本体１０７をもとの位置に復帰させる役割を果たす。これにより、フランジ部材１１１およびプローブ本体１０７は、その中心軸が貫通孔１０８ｃの中心軸と一致する位置である定常位置を保っている。
【００９９】
プローブ本体１０７に垂直方向の外力が加えられると、プローブ本体１０７とともにフランジ部材１１１が上方に持ち上げられる。このとき、外力に水平方向の成分も含まれていると、プローブ本体１０７は垂直状態のまま斜め方向に持ち上げられる。すなわち、プローブ本体１０７はフランジ部材１１１およびガイドプレート１５３によって２点で支持されているため、プローブ本体１０７は上方に持ち上げられながら垂直状態のままスライドする。その後、プローブ本体１０７が外力から解放されると、フランジ部材１１１はプローブ本体１０７とともに自重によって下り斜面１５６に沿って落下し、スライド前の定常位置に戻ることができる。
【０１００】
なお、下り斜面１５６の角度は、フランジ部材１１１とともにプローブ本体１０７を定常位置に確実に復帰させることができるように、４５度以上に設定されていることが好ましく、より好ましくは、スライド量も十分に確保するために４５度に設定される。また、貫通孔１０８ｃとプローブ本体１０７との間に形成される遊び（隙間）の幅は、プローブ本体１０７が最大限にスライドしたとしてもそのスライドを妨げないように十分広く設定されていることが好ましい。このように十分広く設定すれば、プローブ本体１０７のスライドが貫通孔１０８ｃによって妨げられることはない。
【０１０１】
以上のように構成されているため、フランジ部材１１１およびプローブ本体１０７は、その定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持され、スライドしたプローブ本体１０７は定常位置に復帰することができる。
【０１０２】
なお、実際のセッティングでは、図２１に示されるように、ガイドプレート１５３を第２の内部空間１５５に収容した状態でケース１５１を支持板１１３上にねじ１１５で固定する。次いで、プローブ本体１０７の先端部を貫通孔１０８ｃに挿入した状態で、フランジ部材１１１が固定されたプローブ本体１０７を第１の内部空間１５４にセットし、上方の開口部に上部カバー１５２を被せることによって、フランジ部材１１１をケース１５１内に収容し、ケース１５１と上部カバー１５２をねじ１１５で固定する。
【０１０３】
図２２および図２３は、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸にずれがない場合の接続動作を示す略断面図である。
【０１０４】
図２２に示されるように、プローブ装置１０３が上昇位置にあるとき、プローブ本体１０７には何の外力も加わっていないため、プローブ本体１０７は定常位置であるプローブホルダ本体１０８ａの中央に位置し、プローブホルダ本体１０８ａと同軸状態を保っている。
【０１０５】
図２３に示されるように、プローブ装置１０３を降下させると、プローブ本体１０７の先端部が同軸コネクタ１０５ａと接触する。プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸が一致していれば、コンタクトピン６０２も同軸コネクタ１０５ａに接触するとともに、同軸コネクタ１０５ａの周縁部がプローブ本体１０７の先端部に設けられたテーパー部６０７ａと均等に接触するので、さらに降下させると、フランジ部材１１１が天井面にぶつかるまでプローブ本体１０７は真っ直ぐ上方に持ち上げられる。したがって、プローブ本体１０７がスライドすることはない。図２３に示した状態からプローブ装置１０３を上昇させると、プローブ本体１０７およびフランジ部材１１１は自重により落下し、図２２に示した元の上昇位置へ戻る。
【０１０６】
図２４ないし図２６は、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【０１０７】
図２４に示されるように、プローブ装置１０３が上昇位置にあるとき、プローブ本体１０７には何の外力も加わっていないため、プローブ本体１０７は定常位置であるプローブホルダ本体１０８ａの中央に位置し、プローブホルダ本体１０８ａと同軸状態を保っている。一方、プローブ本体１０７の中心軸に対し、同軸コネクタ１０５ａの中心軸は左側にずれている。
【０１０８】
図２５に示されるように、プローブ装置１０３を降下させると、プローブ本体１０７の先端部が同軸コネクタ１０５ａと接触する。ここで、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸がずれているので、プローブ本体１０７の先端部に設けられたテーパー部６０７ａには同軸コネクタ１０５ａの外周の一部のみが接触する。
【０１０９】
図２６に示されるように、プローブ装置１０３をさらに降下させると、その接触部分がテーパー部６０７ａに沿って徐々に奥へと相対的に移動して、プローブ本体１０７はその中心軸が同軸コネクタ１０５ａの中心軸と一致する最終的な位置まで移動する。したがって、コンタクトピン６０２が同軸コネクタ１０５ａに接触するとともに、プローブ本体１０７およびフランジ部材１１１は斜め上方に持ち上げられる。また、プローブ本体１０７とともにガイドプレート１５３もスライドするため、プローブ本体１０７の垂直状態が維持される。
【０１１０】
図２６に示した状態からプローブ装置１０３を上昇させると、図２５の状態を経て、図２４に示した元の上昇位置へ戻る。すなわち、同軸コネクタ１０５ａとテーパー部６０７ａとの圧接力によってスライドしたプローブ本体１０７がその圧接力から解放されると、フランジ部材１１１がプローブ本体１０７とともに自重により下り斜面１５６に沿って落下し、元の位置に戻るので、図２４に示されるように、プローブ本体１０７とプローブホルダ本体１０８ａは再び同軸状態となる。このように、プローブ装置は定常位置を中心とした３６０度の一定範囲で同軸コネクタ１０５ａの位置ずれを吸収することができる。
【０１１１】
以上説明したように、本実施形態によれば、プローブ本体と同軸コネクタの中心軸がずれていても、その誤差を吸収し、確実に検査を行うことができる。
【０１１２】
なお、本実施形態においては、プローブホルダ本体１０８ａの内部の上方に、フランジ部材１１１が収容される第１の内部空間１５４を形成し、その下方に、ガイドプレート１５３が収容される第２の内部空間１５５が形成したが、これに限定されるものではなく、第２の内部空間１５５を上方に形成し、第１の内部空間１５４を下方に形成しても構わない。
【０１１３】
本発明は、以上の実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更を加えることが可能であり、これらも本発明に包含されるものであることは言うまでもない。
【０１１４】
例えば、前記実施形態においては、プローブ装置１０３の昇降機構としてモータやエアシリンダなどの昇降装置を用いたが、プローブ装置１０３を手動で昇降しても構わない。
【０１１５】
図２７は、本発明の他の好ましい実施形態にかかる検査装置の構成を示す略斜視図である。
【０１１６】
図２７に示されるように、この検査装置９００は、昇降機構として駆動レバー９９１を備え、駆動レバー９９１を引き下げるとこれに連結したパイプ部１０４ｐも降下し、逆に押し上げるとパイプ部１０４ｐが上昇するようになっている。このような構成によれば、パイプ部１０４ｐの降下に連動してプローブ装置１０３も降下し、プローブ本体１０７はその鉛直方向下方に位置するプリント基板１０５上の同軸コネクタ１０５ａに接続される。この状態で検査用信号を供給し、その応答結果を処理することにより、プリント基板１０５が正常に動作するか否かを判定することができる。また、パイプ部１０４ｐの上昇に連動してプローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａとの接続も解除される。
【０１１７】
したがって、プローブ装置１０３を手動で昇降させる場合であっても、モータやシリンダなどの駆動源を用いて昇降させる場合と同様の作用効果を奏し、プローブ本体と同軸コネクタの中心軸がずれていても、その誤差を吸収し、確実に位置合わせを行うことができる。なお、この検査装置の構成も一例に過ぎず、本発明にかかる検査装置は、上述したプローブ装置さえ備えていればどのようなシステム構成であっても構わない。
【０１１８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、プローブと検査対象物の中心軸がずれていても、簡単な構成でその誤差を吸収し、確実に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施形態にかかる検査装置の外観構成を示す略斜視図である。
【図２】図２は、検査装置１００のシステム構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、検査装置１００による検査手順を示すフローチャートである。
【図４】図４は、本発明にかかるプローブ装置１０３の好ましい実施形態を示す一部破断図である。
【図５】図５は、プローブ装置１０３の分解斜視図である。
【図６】図６は、プローブ本体１０７の内部構造を示す略断面図である。
【図７】図７は、図６に示したプローブ本体１０７の変形状態を示す略側面断面図である。
【図８】図８は、図９ないし図１１とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタの中心軸にずれがない場合の接続動作を示す略断面図である。
【図９】図９は、図８、図１０および図１１とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタの中心軸にずれがない場合の接続動作を示す略断面図である。
【図１０】図１０は、図８、図９および図１１とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタの中心軸にずれがない場合の接続動作を示す略断面図である。
【図１１】図１１は、図８ないし図１０とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタの中心軸にずれがない場合の接続動作を示す略断面図である。
【図１２】図１２は、図１３ないし図１５とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【図１３】図１３は、図１２、図１４および図１５とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【図１４】図１４は、図１２、図１３ないし図１５とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【図１５】図１５は、図１２ないし図１４とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【図１６】図１６（ａ）（ｂ）は、プローブ本体１０７のスライド状態を示す略平面断面図であり、図１６（ａ）はスライド前の状態、図１６（ｂ）はスライド後のスライド状態を示している。
【図１７】図１７は、本発明の他の好ましい実施形態にかかるプローブ装置１０３の構成を示す略斜視図である。
【図１８】図１８は、本発明の他の好ましい実施形態にかかるフランジ部材の構成を示す略分解斜視図である。
【図１９】図１９は、本発明のさらに他の実施形態にかかるフランジ部材の構成を示す略斜視図である。
【図２０】図２０は、本発明にかかるプローブ装置１０３の他の好ましい実施形態を示す一部破断図である。
【図２１】図２１は、プローブ装置１０３の分解斜視図である。
【図２２】図２２は、図２３とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸にずれがない場合の接続動作を示す略断面図である。
【図２３】図２３は、図２２とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸にずれがない場合の接続動作を示す略断面図である。
【図２４】図２４は、図２５および図２６とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【図２５】図２５は、図２４および図２６とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【図２６】図２６は、図２４および図２５とともに、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【図２７】図２７は、本発明の他の好ましい実施形態にかかる検査装置の構成を示す略斜視図である。
【符号の説明】
１００      検査装置
１０１      検査装置本体
１０１ａ      操作パネル
１０２      ステージ
１０２ｃ      凹面
１０３      プローブ装置
１０４      昇降装置
１０４ｐ      パイプ部
１０５      プリント基板
１０５ａ      同軸コネクタ
１０６      ガイドブロック
１０７      プローブ本体
１０７ａ      プローブ本体の先端部
１０７ｂ      プローブ本体の後端部
１０８      プローブホルダ
１０８ａ      プローブホルダ本体
１０８ｂ      ハンドル部
１０８ｃ      貫通孔
１０９      同軸ケーブル
１１０      支持台
１１１      フランジ部材
１１１ａ      フランジ本体
１１１ｂ      フランジアダプタ
１１２      絶縁部材
１１２ａ      弾性部材の一部
１１２ｂ      弾性部材の一部
１１３      支持板
１１４      ケース
１１５      ねじ
１１６      隙間
１２１ａ      ケース部
１２１ｂ      支持板部
１２２      上部カバー
１３１      フランジ部材
１３１ａ      フランジ本体
１３１ｂ      フランジアダプタ
１３１ｃ      くり抜かれた部分
１４１      フランジ部材
１４１ａ      貫通孔
１５１      ケース
１５２      上部カバー
１５３      ガイドプレート
１５４      第１の内部空間
１５５      第２の内部空間
１５６      下り斜面
２０１      検査プログラム処理部
２０２      プログラムメモリ
２０３      駆動制御部
２０４      測定処理部
２０５      データメモリ
２０６      外部端子
６０１      ハウジング部
６０２      コンタクトピン
６０２ａ      コンタクトピンの先端部
６０２ｂ      コンタクトピンのピンヘッド
６０３      コンタクトサポート
６０４      コンタクトピン用コイルスプリング
６０５      端子部材
６０６      絶縁部材
６０７      ガイド部材
６０７ａ      テーパー部
６０８      ガイド部材用コイルスプリング
９００      検査装置
９９１      駆動レバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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