(57)【要約】【課題】誘電体粉末と熱可塑性樹脂からなる自立性多孔質シートを用いて誘電体膜を形成する方法に提供する。【解決手段】無機の誘電体粉末を重量百分率で４０〜９８％、熱可塑性樹脂を２〜６０％含有する厚みが３５０μｍ以下の自立性多孔質シートからなるプラズマディスプレイパネル用誘電体形成シート材料を、１２０℃以上１８０℃以下の温度で、圧力０．５ＭＰａ〜８０ＭＰａでガラス基板の電極側表面上に熱圧着し、高温にて脱バインダ後、誘電体粉を焼結あるいは融着することにより形成するプラズマディスプレイパネル誘電体の製造方法。【選択図】　　　　　　　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機の誘電体粉末を重量百分率で４０〜９８％、熱可塑性樹脂を２〜６０％含有する厚みが３５０μｍ以下の自立性多孔質シートからなるプラズマディスプレイパネル用誘電体形成シート材料を、１２０℃以上１８０℃以下の温度で、圧力０．５ＭＰａ〜８０ＭＰａでガラス基板の電極側表面上に熱圧着し、高温にて脱バインダ後、誘電体粉を焼結あるいは融着することにより形成するプラズマディスプレイパネル誘電体の製造方法。
【請求項２】
熱圧着時間が１０秒以上である、請求項１記載のプラズマディスプレイパネル誘電体の製造方法。
【請求項３】
熱圧着温度が１４０〜１６０℃であることを特徴とする請求項１〜２のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル誘電体の製造方法。
【請求項４】
熱可塑性樹脂が実質的にポリオレフィン樹脂である請求項１〜３のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル用誘電体の製造方法。
【請求項５】
熱可塑性樹脂が少なくとも５ｄｌ／ｇの固有粘度を有する請求項１〜４のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル用誘電体の製造方法。
【請求項６】
熱可塑性樹脂の熱圧着前の空孔率が４０〜９５％である請求項１〜５のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル用誘電体の製造方法。
【請求項７】
熱可塑性樹脂の熱圧着後の空孔率が０〜３０％である請求項１〜６のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル用誘電体の製造方法。
【請求項８】
実質的に溶剤と誘電体粉末及び熱可塑性樹脂からなる熱可逆的ゲル化溶液を用いてゲル化製膜し、延伸する事により製造したプラズマディスプレイパネル用誘電体形成シート材料を用いた請求項１〜７のいずれかに記載の製造方法。
【請求項９】
無機の誘電体粉末が、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３系ガラスまたはＢｉ２Ｏ３−ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＣａＯ系ガラスである事を特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のプラズマディスプレイ用誘電体の製造方法。
【請求項１０】
無機の誘電体粉末の平均粒径が０．１〜１０μｍである事を特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のプラズマディスプレイ用誘電体の製造方法。
【請求項１１】
無機の誘電体粉末に酸化チタンが配合されたものである請求項１〜１０のいずれかに記載のプラズマディスプレイ用誘電体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマディスプレイパネル用誘電体形成方法に関し、更に詳しくは誘電体粉末と熱可塑性樹脂からなる自立性多孔質シートをガラス基板に熱圧着し、脱バインダ後誘電体粉を溶融させて誘電体膜を形成する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ハイビジョンをはじめとする高品位で大画面のテレビに対する期待が高まっている中で、ＣＲＴ、液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤ）、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰ）といった各種ディスプレイの分野においてこれに適したディスプレイの開発が進められている。
ＰＤＰは大型パネルでありながら製造プロセスが容易である事、視野角が広い事、自発光タイプで表示品位が高いこと等の理由から、フラットパネル表示技術の中で注目されており、特にカラーＰＤＰは２０インチ以上の壁掛けテレビ用の表示デバイスとして将来主流になるものと期待されている。
【０００３】
通常ＡＣ型ＰＤＰは、その前面ガラス基板の片面（背面基板と向き合う面）にスズ−インジウム酸化物あるいはスズ酸化物等の透明電極が形成され、その上に該電極の導電性を補うために該透明電極より狭い巾で金属のバス電極が設けられている。これらの表示電極は透明な誘電体ガラス層で被覆され、更にその上に例えば酸化マグネシウムなどの保護層が設けられている。
【０００４】
一方背面ガラス基板にアドレス電極が配設され、その上を誘電体ガラス層が覆い、その上に隔壁や蛍光体層が設けられている。隔壁の間隙には放電ガスが封入されて放電空間となっている。
【０００５】
ディスプレイの高品位化に対する要求が高まる中で、ＰＤＰにおいても微細なセル構造のものが望まれている。セル構造が微細になると、放電電極間の距離が短くなるばかりでなく、放電空間も狭くなるため、誘電体層におけるコンデンサとしての容量を従来と同じだけ確保しようとすれば、誘電体ガラス層の厚みを従来より薄くする必要性がある。
【０００６】
従来この様な誘電体層はスクリーン印刷法あるいはグリーンシート法により形成されている。（例えば特許文献１〜３参照）
しかしながらこれらの方法は、印刷時の印刷特性あるいはグリーンシートとしての強度を考慮すると、誘電体粉末を最大でも８０％程度しか含むことが出来なかった。また組成中に可塑成分として多量の溶剤・可塑剤を加える必要があり、誘電体層中の気泡等の原因になる危険性がある。これらの要因が絶縁耐圧低下の原因となっている。従って誘電体層を薄くする事が極めて困難であった。
【０００７】
また現行の印刷法やグリーンシート法ではガラス基板に形成された金属電極の凹凸を平坦化することができず、金属電極に沿った凹凸が誘電体表面に残存する現象（ピローイング）が生じる。そのため印加電圧の不均一性が生じる恐れがある。
【０００８】
更には誘電体層中に微小な泡が多数残存し、ＰＤＰ前面板として用いる場合十分な透明性を得る事が出来ないといった問題点が存在する。また現行用いられているグリーンシートはそれ自体に自立性がないためベースフィルム、カバーフィルムに挟まれた形で供給されている。その結果使用時にこれらのフィルムを除去する必要があり廃棄物処理の観点から好ましくない。またグリーンシート自体タック性を有す自己保持性のないシートでありハンドリングも困難である。
【０００９】
【特許文献１】
特開平９−１０２２７３号公報、第３−５頁
【００１０】
【特許文献２】
特開平１１−１０６２３７号公報
【００１１】
【特許文献３】
特開平１０−２９１８３４号公報、第１１頁、図２
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の主な目的は、ラズマディスプレイパネル用誘電体形成方法を提供することにあり、なかでも破れ等の欠陥が無く、透明性に優れた誘電体膜を形成方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、絶縁耐圧が高く、表面が平滑であり、しかも透明性に優れた誘電体層を形成する事が可能なプラズマディスプレイパネル用誘電体の形成法を提供する事である。
【００１４】
本発明者らは鋭意検討の結果、誘電体粉末を分散した多孔質シートをガラス基板に特定の条件で熱圧着する事により上記目的を達成する事を見出し、本発明に至った。
【００１５】
すなわち本発明は次の通りのものである。
【００１６】
１．　無機の誘電体粉末を重量百分率で４０〜９８％、熱可塑性樹脂を２〜６０％含有する厚みが３５０μｍ以下の自立性多孔質シートからなるプラズマディスプレイパネル用誘電体形成シート材料を、１２０℃以上１８０℃以下の温度で、圧力０．５ＭＰａ〜８０ＭＰａでガラス基板の電極側表面上に熱圧着し、高温にて脱バインダ後、誘電体粉を焼結あるいは融着することにより形成するプラズマディスプレイパネル誘電体の製造方法。
２．　熱圧着時間が１０秒以上である、上記のプラズマディスプレイパネル誘電体の製造方法。
３．　熱圧着温度が１４０〜１６０℃であることを特徴とする上記のプラズマディスプレイパネル誘電体の製造方法。
４．　熱可塑性樹脂が実質的にポリオレフィン樹脂である上記のプラズマディスプレイパネル用誘電体の製造方法。
５．　熱可塑性樹脂が少なくとも５ｄｌ／ｇの固有粘度を有する上記のプラズマディスプレイパネル用誘電体の製造方法。
６．　熱可塑性樹脂の熱圧着前の空孔率が４０〜９５％である上記のプラズマディスプレイパネル用誘電体の製造方法。
７．　熱可塑性樹脂の熱圧着後の空孔率が０〜３０％である上記のプラズマディスプレイパネル用誘電体の製造方法。
８．　実質的に溶剤と誘電体粉末及び熱可塑性樹脂からなる熱可逆的ゲル化溶液を用いてゲル化製膜し、延伸する事により製造したプラズマディスプレイパネル用誘電体形成シート材料を用いた上記の製造方法。
９．　無機の誘電体粉末が、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３系ガラスまたはＢｉ２Ｏ３−ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＣａＯ系ガラスである事を特徴とする上記のプラズマディスプレイ用誘電体の製造方法。
１０．　無機の誘電体粉末の平均粒径が０．１〜１０μｍである事を特徴とする上記のプラズマディスプレイ用誘電体の製造方法。
１１．　無機の誘電体粉末に酸化チタンが配合されたものである上記のプラズマディスプレイ用誘電体の製造方法。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１８】
図１にＡＣ型ＰＤＰの概略図を示す。一般にＰＤＰは前面ガラス基板（１）の上に、透明電極（２）、銀等からなるバス電極（３）、前面板誘電体層（４）および保護層（５）を形成された前面パネルと、背面ガラス基板（６）の表面にアドレス電極（７）、背面板誘電体層（８）、隔壁（１０）、Ｒ，Ｇ，Ｂ各色の蛍光体（９）を形成してなる背面パネルを張り合わせ、前面パネルと背面パネルの間に形成される放電空間（１１）内に放電ガスを封入した構成となっている。
【００１９】
本発明のプラズマディスプレイ用誘電体の製造方法は上記前面パネルの前面板誘電体層および背面パネルの背面板誘電体層に用いるものである。前面板誘電体層と背面板誘電体層では、光学的にはそれぞれ透過率と反射率が重要視されるが、それ以外の平坦化、高絶縁耐圧、薄膜化等の要求特性は基本的に同一である。
【００２０】
本発明のプラズマディスプレイ用誘電体の製造方法は無機の誘電体粉末を重量百分率で４０〜９８％、熱可塑性樹脂を２〜６０％含有する該ＰＤＰ誘電体層を形成するための自立性多孔質シート材料をガラス基板に熱圧着し、高温で脱バインダ後、誘電体粉末を焼結あるいは融着させて誘電体膜を形成する方法である。
【００２１】
本発明に用いるシート材料は無機の誘電体粉末を重量百分率で４０〜９８％、熱可塑性樹脂を２〜６０％含有している。
【００２２】
一方本発明に用いるシートは誘電体粉末を最大で９８％含有する事が可能であるため、高密度でピンホールの少ない誘電体層を形成する事ができ絶縁耐圧が著しく向上する。その結果誘電体層の薄層化が可能であり、ＰＤＰの高精細化に有利である。
【００２３】
無機の誘電体粉末の含有率は重量百分率で４０〜９８％、好ましくは７５〜９８％、より好ましくは８５〜９８％である。９８％より無機成分の含有率が多い場合は、機械的強度に問題が生じる場合がある。逆に無機成分が少ない場合は、無機成分の密度が低いため焼成後の無機膜の密度が低下し、絶縁耐圧の低下等を生じる。
【００２４】
また本発明に用いるシートは無機の誘電体成分とその結着剤としての熱可塑性樹脂以外には基本的には溶剤、可塑剤成分を含有しない。従って脱バインダ時に溶剤の気化による気泡生成等の問題が少ない。
【００２５】
本発明に用いるシートは自立性の多孔シートである事を特徴としている。本発明に用いるシート材料は自立性を有するため、ベースフィルムのような不要な廃棄物を用いる必要もなく、ハンドリングの面でもきわめて優れている。
【００２６】
この様に本発明に用いるＰＤＰ誘電体形成用シート材料は極めて優れた特性を有する。しかしながら該シート材料は従来法のグリーンシートと異なり、多孔質の延伸フィルムであるため、製造時に空孔を潰し、配向を緩和する工程が必要となる。空孔が十分に潰れていない場合、誘電体粉末の距離が広くなり焼結あるいは融着時により緻密な誘電体膜を形成する事が難しくなる。また配向緩和が不十分な場合、昇温時の熱収縮によりシート材料の破れや薄膜化が生じ均一な誘電体膜を形成する事ができない可能性がある。本発明では、該多孔質シート材料を１２０℃以上１８０℃以下の温度で、０．５ＭＰａ以上の圧力で電極が固定されたガラス基板に熱圧着する事により、空孔を潰し、同時に配向緩和を行う。
圧着温度が１２０℃より低い場合はガラス基板への接着力が弱く、また空孔の潰れ、配向緩和ともに不十分である。一方１８０℃より高温の場合は、シートが完全に溶融してしまい好ましくない。圧着温度は好ましくは１４０℃以上であり、さらに好ましくは１４０℃以上１６０℃以下である。
【００２７】
本発明の製造法の圧着圧力は０．５ＭＰａ以上である。０．５ＭＰａ以下の場合は、空孔が十分に潰れない恐れがある。好ましくは１０ＭＰａ以上である。圧力の上限はとくにはなく、ガラス基板が破壊されない程度で圧着処理される。
【００２８】
また本発明の圧着時間は１０秒以上である。圧着時間が１０秒より短い場合は配向緩和が不十分となり、昇温時のフィルムの破れの原因となる事がある。好ましくは３０秒以上である。
本発明に用いるシートの熱可塑性樹脂成分は実質的にポリオレフィン樹脂であることが好ましい。ここで実質的というのはポリオレフィン樹脂中に安定剤、可塑剤等、少量の改質成分を含んでも問題ないということである。ポリオレフィン樹脂としてはポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂等が例示できる。
【００２９】
更には該熱可塑性樹脂は少なくとも５ｄｌ／ｇの固有粘度を有することが好ましい。固有粘度が５ｄｌ／ｇ未満の場合、シートとしての強度が不十分となり自立性等が失われる可能性がある。このような条件を満たすポリエチレン樹脂としては超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷＰＥ）や高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）が例示できる。またこれらのブレンド物、あるいはこれらの高分子ポリマーと低分子ポリマーのブレンド体であっても、ブレンド体の固有粘度が５ｄｌ／ｇ以上であれば差し支えない。
【００３０】
本発明のプラズマディスプレイ用誘電体形成シートの厚みは３５０μｍ以下である。本発明のような多孔シートの場合、測定の方法により大きく厚みが異なる。本特許での厚みは光学顕微鏡、レーザー顕微鏡あるいはＳＥＭ等の観察により非接触で測定した厚みである。３５０μｍより厚い場合は、近年のＰＤＰ高精細化の流れと相反する事になる。好ましくは０．１μｍ以上、２５０μｍ以下である。０．１μｍより薄い場合は、無機成分を十分に保持できない可能性がある。
【００３１】
本発明に用いるシートは多孔質である事を特徴としている。しかし本発明のシートを用いた場合、シートをガラス基板に熱圧着する際多孔質シートが電極の凹凸を吸収し、誘電体層形成後表面が平坦化される。本発明のシートの空孔率は５０〜９５％である。ここで空孔率は
【００３２】
【数１】
空孔率＝（ρ０−ρ）／ρ０　　Ｘ　１００（％）
で定義される。ここでρ０は空孔がない場合の理論密度、ρは空孔を含有した多孔質シートの実測の密度である。
【００３３】
本発明のＰＤＰ用誘電体の形成方法では、熱可塑性樹脂の熱圧着後の空孔率が０〜３０％である。熱圧着後の空孔率が３０％より大きい場合、誘電体粉末間の距離が大きいため、加熱時の焼結あるいは融着が不十分となり、気泡を多く含んだ誘電体膜となる可能性がある。その場合、光学特性、絶縁耐圧共に不十分となる。
【００３４】
本発明の誘電体の形成方法では、熱可塑性樹脂の熱圧着後の空孔率が好ましくは２０％以下である。より好ましくは１０％以下である。
【００３５】
本発明のプラズマディスプレイパネル用誘電体形成シート材料に用いる無機の誘電体粉末はＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３系ガラスまたはＢｉ２Ｏ３−ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＣａＯ系ガラスである。またその平均粒径は０．１〜１０μｍである。１０μｍより大きい場合、焼成後大きな空隙が残存し絶縁耐圧が低下しこのましくない。一方０．１μｍより小さい場合、焼成時に急激に溶融流動するために電極と反応して発泡の原因となることがある。より好ましくは０．２〜５μｍである。
【００３６】
通常上記のようなガラス誘電体を用いた場合は透明誘電体となり、透過率が要求されるＰＤＰ前面板用誘電体として最適である。一方反射率が要求される背面板の誘電体層には上記ガラス誘電体に加えて、酸化チタンを含有する事が好ましい。
【００３７】
本発明のプラズマディスプレイ用誘電体形成シート材料は実質的に溶剤、誘電体粉末、及び熱可塑性樹脂とからなる熱可逆的ゲル化溶液をゲル化製膜し得られたゲル化シートを延伸する事により製造される。すなわち無機の誘電体粉末をミリング装置を用いて適当なゲル化溶媒の一部に分散させた後、結着剤としての熱可塑性樹脂と残りのゲル化溶媒を加えて熱可塑性樹脂と溶剤を加熱溶解させることによりゾル化させる。このとき無機の誘電体粉末を均等に分散させるため、適当な分散剤を加える事が好ましい。該ゾル化組成物をゲル化温度以上の温度でシート状に付形し、該シートをゲル化点以下に急冷する事によりゲル化シートを作成する。このゲル化シートを、熱可塑性樹脂のガラス転移点以上の温度で１軸あるいは２軸に延伸し、その後熱固定する事により製造する。場合によってはこの工程の後、ゲル化溶剤を除去する抽出工程を有する場合もある。
【００３８】
該ゲル化溶剤としては、例えば熱可塑性樹脂がポリエチレンの場合は、ヘキサン、デカリン、パラフィン等が例示できる。またこれらの溶剤の混合物であっても差し支えない。
【００３９】
本発明のプラズマディスプレイ用誘電体の製造法は自立性多孔質シートからなる事を特徴とするプラズマディスプレイパネル用誘電体形成シート材料を、１２０℃以上１８０℃以下の温度で、圧力０．５ＭＰａ〜８０ＭＰａで１０秒間以上電極が固定されたガラス基板に熱圧着し、高温にて脱バインダ後、誘電体粉を焼結あるいは融着することにより形成する。
【００４０】
脱バインダとはプラズマディスプレイパネル用誘電体形成シート材料から熱可塑性樹脂等誘電体粉末以外の有機成分を除く処理のことであるが、公知の方法、例えば電気炉中で高温で処理するなどの方法で有機成分を除くことができる。脱バインダ温度は条件に依存するが通常２５０〜４５０℃である。
【００４１】
次いで脱バインダされた誘電体紛を、ガラス基板上で焼結あるいは融着させ誘電体膜を形成する。このときの焼結あるいは融着温度は４００〜６５０℃程度であることが好ましい。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば無機の誘電体粉４０〜９８％と熱可塑性樹脂２〜６０％を含有する自立性多孔質シートを用い、該シートを１２０℃以上１８０℃以下の温度で、圧力０．５ＭＰａ〜８０ＭＰａで１０秒間以上電極が固定されたガラス基板に熱圧着した後、昇温する事により脱バインダ、誘電体融着を行う事により、ＰＤＰガラス基板の誘電体層をより高密度かつ平坦に充填する事が可能となり、その結果該誘電体層をより高絶縁耐圧化、薄層化することができる。
【００４３】
また該シート材料を十分に熱緩和し、かつ空孔を潰す事により、破れ等の欠陥が無く、透明性に優れた誘電体膜を形成する事が可能となる。
【００４４】
【実施例】
次に本発明を以下の実施例につき詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に制限されるものではない。記載の量を以下に記載の方法で測定した。
【００４５】
延伸フィルムの厚さは、走査型電子顕微鏡またはレーザー顕微鏡で測定した。フィルムの密度は、概知容量のフィルム片の重量を測定することにより決定した。空孔率は、測定した密度ρ０と空孔の無い無機物含有シートの理論密度ρの密度から以下のように決定した。
【００４６】
【数２】
空孔率＝（ρ０−ρ）／ρ０　　Ｘ　１００（％）
［製造例１］
デカリン５６重量部に、パラフィン油（Ｓｈｅｌｌ製　Ｏｎｄｉｎａ　Ｏｉｌ　６８）３４重量部及び１５ｄｌ／ｇの極限粘度数（デカリン中１３５℃で測定）を有する超高分子量ポリエチレン（三井化学株式会社製　ハイゼックスミリオン２４０Ｍ）１０重量部を加え、平均粒径２．２μｍのＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３系ガラス９０重量部を分散させた。該分散体を２軸混練押し出し機を用いて１８０℃で溶解させてゾル化し、該ゾル化物ををフラットフィルム押出ダイを介して１５０℃で押出し、該押出品を水浴を通過させて冷却しゲル化させた。このようにして成形されたフィルムを８０℃で１時間乾燥させることにより、デカリンを除去した。このフィルムの厚みは７００μｍであった。
【００４７】
このパラフィンがフィルム中に残留したパラフィン油含有フィルムを、延伸中の温度を１０５℃から１２５℃でＭＤ方向に３倍、ＴＤ方向に７倍に二軸延伸し、その後１４０℃で１分間熱固定処理を行った。フィルムの延伸後、パラフィン油をフィルムからヘキサンを用いて抽出し、８０℃で１時間乾燥した。延伸し、乾燥したフィルムは、表１に記載の特性を有していた。
【００４８】
得られた多孔質フィルムの厚みはレザーテック株式会社製　リアルタイム走査型レーザー顕微鏡１ＬＭ２１Ｄにて測定した。
【００４９】
また密度ρ０は重量と上記方法で求めた厚み、面積を用いて計算した。理論密度ρはρ＝３．３０ｇ／ｃｍ３であった。
【００５０】
［製造例２］
製造例１で得られた未延伸のパラフィン油含有フィルムを、延伸中の温度を１０５℃から１２５℃でＭＤ方向に１．８倍、ＴＤ方向に３．０倍に二軸延伸し、その後１４０℃で１分間熱固定処理を行った。フィルムの延伸後、パラフィン油をフィルムからヘキサンを用いて抽出し、８０℃で１時間乾燥した。延伸し、乾燥したフィルムは、表１に記載の特性を有していた。
【００５１】
【表１】
2004146233.tif 000002
【００５２】
［実施例１］
製造例１で製造したフィルムをガラス板上に２枚重ねて置き、その上に剥離フィルムとしてカプトンフィルムを載せ、１４５℃、５１ＭＰａで１０分間熱圧着を行った。圧着後の空孔率を表２に示す。
フィルムを熱圧着したガラス基板を電気炉で脱バインダし、誘電体粉末の融着を行った。出来上がった誘電体膜は厚さ２３μｍで均一膜厚であった。
【００５３】
［実施例２］
熱圧着条件が１５５℃、１０ＭＰａで１０分間である以外は実施例１と同様に圧着を行った。圧着後の空孔率を表２に示す。
【００５４】
フィルムを熱圧着したガラス基板を電気炉で脱バインダし、誘電体粉末の融着を行った。出来上がった誘電体膜は厚さ２３μｍで均一膜厚であった。
【００５５】
［実施例３］
熱圧着条件が１５５℃、５１ＭＰａで１０分間である以外は実施例１と同様に圧着を行った。圧着後の空孔率を表２に示す。
【００５６】
フィルムを熱圧着したガラス基板を電気炉で脱バインダし、誘電体粉末の融着を行った。出来上がった誘電体膜は厚さ２３μｍで均一膜厚であった。得られた誘電体膜の写真を図２に示す。
【００５７】
［実施例４］
熱圧着条件が１６０℃、５１ＭＰａで１０分間である以外は実施例１と同様に圧着を行った。圧着後の空孔率を表２に示す。
フィルムを熱圧着したガラス基板を電気炉で脱バインダし、誘電体粉末の融着を行った。出来上がった誘電体膜は厚さ２３μｍで均一膜厚であった。
【００５８】
［実施例５］
製造例２で作製した多孔質シートを用いて、１５５℃、５１ＭＰａで１０分間熱圧着を行った以外は実施例１と同様にして誘電体層を形成した。圧着後の空孔率を表２に示す。
得られた誘電体膜は厚さ３４μｍで均一膜厚であった。
【００５９】
［比較例１］
熱圧着条件が８０℃、５１ＭＰａで１０分間である以外は実施例１と同様に熱圧着を行った。圧着後の空孔率を表２に示す。
【００６０】
フィルムを熱圧着したガラス基板を電気炉で脱バインダし、誘電体粉末の融着を行った。出来上がった誘電体膜には破れが見られ、全体に白化し透明性が損なわれていた。その写真を図３に示す。
【００６１】
［比較例２］
熱圧着条件が１１０℃、５１ＭＰａで１０分間である以外は実施例１と同様に熱圧着を行った。圧着後の空孔率を表２に示す。
【００６２】
フィルムを熱圧着したガラス基板を電気炉で脱バインダし、誘電体粉末の融着を行った。出来上がった誘電体膜には破れが見られ、全体に白化して透明性が損なわれていた。
【００６３】
【表２】
2004146233.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【図１】図１はＡＣ型ＰＤＰの概略図である。
【図２】実施例３で得られた誘電体膜の写真である。
【図３】比較例１で得られた誘電体膜の写真である。
【符号の説明】
１：前面板ガラス基板
２：透明電極
３：バス電極
４：前面板誘電体層
５：保護層
６：背面板ガラス基板
７：アドレス電極
８：背面板誘電体層
９：蛍光体
１０：隔壁
１１：放電空間
【図１】
2004146233.tif 000004
【図２】
2004146233.tif 000005
【図３】
2004146233.tif 000006