(57)【要約】【課題】ビート光を生成する基準レーザ光の縦モードを確定し、被検レーザ光の光周波数を一意に決定する。【解決手段】周波数ｆｍ　の変調信号により駆動され、縦モード間隔ｆｍ　の光コムを発生させるマルチモード光源と、光コムと被検レーザ光を合波する光合波手段と、合波された光コムの１つの縦モードと被検レーザ光のビート光を電気信号に変換する光検出手段と、電気信号の周波数ｆを測定する周波数カウンタとを備え、被検レーザ光の光周波数を測定する光周波数測定装置において、変調信号の周波数を変化させて光コムの縦モード間隔を変化させる手段と、光コムのすべての縦モードの光周波数を同一方向に偏移させる光周波数偏移手段と、縦モード間隔および縦モードの光周波数偏移に応じて測定される電気信号の周波数ｆの変化分から被検レーザ光の光周波数を決定する光周波数計数回路とを備える。【選択図】　　　　図１
2004061126.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周波数ｆｍ　の変調信号により駆動され、基準光周波数ν０　の基準モードを中心に縦モード間隔ｆｍ　の光コムを発生させるマルチモード光源と、
前記マルチモード光源から出力される光コムと被検レーザ光を合波する光合波手段と、
前記光合波手段で合波された光を入力し、前記光コムの１つの縦モードと被検レーザ光のビート光を電気信号に変換する光検出手段と、
前記光検出手段から出力される電気信号の周波数ｆを測定する周波数カウンタとを備え、前記被検レーザ光の光周波数を測定する光周波数測定装置において、
前記変調信号の周波数を変化させて前記光コムの縦モード間隔を変化させる手段と、
前記光コムのすべての縦モードの光周波数を同一方向に偏移させる光周波数偏移手段と、
前記縦モード間隔および縦モードの光周波数偏移に応じて測定される前記電気信号の周波数ｆの変化分から前記被検レーザ光の光周波数を決定する光周波数計数回路と
を備えたことを特徴とする光周波数測定装置。
【請求項２】
周波数ｆｍ　の変調信号により駆動され、基準光周波数ν０　の基準モードを中心に縦モード間隔ｆｍ　の光コムを発生させるマルチモード光源と、
前記マルチモード光源から出力される光コムと被検レーザ光を合波する光合波手段と、
前記光合波手段で合波された光を入力し、前記光コムの１つの縦モードと被検レーザ光のビート光を電気信号に変換する光検出手段と、
前記光検出手段から出力される電気信号の周波数ｆを測定する周波数カウンタとを備え、前記被検レーザ光の光周波数を測定する光周波数測定装置において、
前記変調信号の周波数を変化させて前記光コムの縦モード間隔を変化させる手段と、
前記光合波手段に入力する前記被検レーザ光の光周波数を偏移させる光周波数偏移手段と、
前記縦モード間隔および前記被検レーザ光の光周波数偏移に応じて測定される前記電気信号の周波数ｆの変化分から前記被検レーザ光の光周波数を決定する光周波数計数回路と
を備えたことを特徴とする光周波数測定装置。
【請求項３】
請求項１に記載の光周波数測定装置において、
前記光周波数計数回路は、
前記変調信号の周波数をシフトして前記縦モード間隔をｆｍ　からｆｍ　＋Δｆｍ　に変化させたときに、縦モード間隔の変化分Δｆｍ　（符号を含む）と、前記電気信号の周波数ｆの変化分Δｆ（符号を含む）との比ｎ＝Δｆ／Δｆｍ　（符号を含む）を計数する手段と、
前記縦モードの光周波数偏移と前記電気信号の周波数ｆの変化分との比の符号ＳＭ　（正ならば１、負ならば−１）を判定する手段と、
前記基準光周波数ν０　と、ｆｍ　と、ｎと、ＳＭ　に基づいて、前記被検レーザ光の光周波数νＸ　を
νＸ　＝ν０　＋ＳＭ　ｎｆｍ　−ＳＭ　ｆ
により算出する手段と
を備えたことを特徴とする光周波数測定装置。
【請求項４】
請求項２に記載の光周波数測定装置において、
前記光周波数計数回路は、
前記変調信号の周波数をシフトして前記縦モード間隔をｆｍ　からｆｍ　＋Δｆｍ　に変化させたときに、縦モード間隔の変化分Δｆｍ　（符号を含む）と、前記電気信号の周波数ｆの変化分Δｆ（符号を含む）との比ｎ＝Δｆ／Δｆｍ　（符号を含む）を計数する手段と、
前記被検レーザ光の光周波数偏移と前記電気信号の周波数ｆの変化分との比の符号ＳＴ　（正ならば１、負ならば−１）を判定する手段と、
前記基準光周波数ν０　と、ｆｍ　と、ｎと、ＳＴ　に基づいて、前記被検レーザ光の光周波数νＸ　を
νＸ　＝ν０　−ＳＴ　ｎｆｍ　＋ＳＴ　ｆ
により算出する手段と
を備えたことを特徴とする光周波数測定装置。
【請求項５】
請求項１または請求項２に記載の光周波数測定装置において、
前記マルチモード光源は、縦モード間隔の変化に係わらず基準モードの基準光周波数ν０　を一定に制御する基準光周波数制御手段を含む
ことを特徴とする光周波数測定装置。
【請求項６】
請求項１または請求項２に記載の光周波数測定装置において、
前記マルチモード光源は、
前記変調信号により駆動されるモード同期レーザと、
前記モード同期レーザから出力される光コムを入力し、そのスペクトル幅を広げる光非線形媒質と
を備えたことを特徴とする光周波数測定装置。
【請求項７】
請求項１または請求項２に記載の光周波数測定装置において、
前記マルチモード光源は、
前記基準光周波数ν０　の単一モード光を出力する光源と、
前記変調信号により駆動され、前記単一モード光を変調して光コムを発生させる光変調手段と、
前記光変調手段から出力される光コムを入力し、そのスペクトル幅を広げる光非線形媒質と
を備えたことを特徴とする光周波数測定装置。
【請求項８】
請求項１に記載の光周波数測定装置において、
光周波数偏移手段は、前記マルチモード光源と前記光合波手段との間に、シフト周波数信号発生器から出力されるシフト周波数信号に応じて光コムの光周波数をシフトする光周波数シフト手段を挿入した構成である
ことを特徴とする光周波数測定装置。
【請求項９】
請求項１に記載の光周波数測定装置において、
光周波数偏移手段は、前記マルチモード光源が請求項６または請求項７に示す光非線形媒質を含むときに、光非線形媒質の前段に、シフト周波数信号発生器から出力されるシフト周波数信号に応じて光コムの光周波数をシフトする光周波数シフト手段を挿入した構成である
ことを特徴とする光周波数測定装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の光周波数測定装置において、
光周波数偏移手段は、前記マルチモード光源が請求項５に示す基準光周波数制御手段を含むときに、シフト周波数信号発生器から出力されるシフト周波数信号に応じて光周波数基準が有する基準周波数をシフトする構成である
ことを特徴とする光周波数測定装置。
【請求項１１】
請求項１に記載の光周波数測定装置の光周波数計数回路における光周波数測定方法において、
前記変調信号の周波数をシフトして前記縦モード間隔をｆｍ　からｆｍ　＋Δｆｍ　に変化させたときに、縦モード間隔の変化分Δｆｍ　（符号を含む）と、前記電気信号の周波数ｆの変化分Δｆ（符号を含む）との比ｎ＝Δｆ／Δｆｍ　（符号を含む）を計数するステップと、
前記縦モードの光周波数偏移と前記電気信号の周波数ｆの変化分との比の符号ＳＭ　（正ならば１、負ならば−１）を判定するステップと、
前記基準光周波数ν０　と、ｆｍ　と、ｎと、ＳＭ　に基づいて、前記被検レーザ光の光周波数νＸ　を
νＸ　＝ν０　＋ＳＭ　ｎｆｍ　−ＳＭ　ｆ
により算出するステップと
を有することを特徴とする光周波数測定方法。
【請求項１２】
請求項２に記載の光周波数測定装置の光周波数計数回路における光周波数測定方法において、
前記変調信号の周波数をシフトして前記縦モード間隔をｆｍ　からｆｍ　＋Δｆｍ　に変化させたときに、縦モード間隔の変化分Δｆｍ　（符号を含む）と、前記電気信号の周波数ｆの変化分Δｆ（符号を含む）との比ｎ＝Δｆ／Δｆｍ　（符号を含む）を計数するステップと、
前記被検レーザ光の光周波数偏移と前記電気信号の周波数ｆの変化分との比の符号ＳＴ　（正ならば１、負ならば−１）を判定するステップと、
前記基準光周波数ν０　と、ｆｍ　と、ｎと、ＳＴ　に基づいて、前記被検レーザ光の光周波数νＸ　を
νＸ　＝ν０　−ＳＴ　ｎｆｍ　＋ＳＴ　ｆ
により算出するステップと
を備えたことを特徴とする光周波数測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ光の光周波数を測定する光周波数測定装置および測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光周波数特性装置には、マイケルソン干渉計に被検レーザ光を入力し、一方の光路の光学長を掃引し、干渉出力のフリンジ（光パワー変動の山谷の数）を測定することにより、被検レーザ光の光周波数を測定するものがある。しかし、この構成で精度を高めるためには干渉計を大きくする必要があり、そのために装置規模が大きくなる、振動に弱くなる、重量が重くなる問題があった。また、光周波数基準光を用いて掃引長を校正する必要があった。
【０００３】
この問題を回避するために、発振周波数が安定化された基準レーザ光と被検レーザ光を合波して得られるビート光を電気信号に変換し、その周波数をカウントし、基準レーザ光の周波数に加算することにより被検レーザ光の光周波数を測定する方法が提案されている。
【０００４】
さらに、この技術を発展させ、基準レーザ光として広帯域な光源を用いることにより、測定可能な帯域を拡大させる方法も提案されている。この広帯域基準光源としては、発振周波数ν０　が安定化された単一モード基準レーザ光を電気光学変調することにより光周波数間隔ｆｍ　の光コム（縦モードの集合）を発生させ、さらに光非線形媒質に入力してスペクトル幅を広げる構成が提案されている。この広帯域基準光源を用いた場合には、被検レーザ光と近い光周波数領域にある基準光から得られるビート光の光周波数を測定する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、測定されるビート光周波数は、被検レーザ光と多数ある縦モードのどのモードとのビートであるか不明であるので、被検レーザ光の光周波数を確定することができなかった。
【０００６】
本発明は、ビート光を生成する基準レーザ光の縦モードを確定し、被検レーザ光の光周波数を一意に決定することができる光周波数測定装置および測定方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１は、周波数ｆｍ　の変調信号により駆動され、基準光周波数ν０　の基準モードを中心に縦モード間隔ｆｍ　の光コムを発生させるマルチモード光源と、マルチモード光源から出力される光コムと被検レーザ光を合波する光合波手段と、光合波手段で合波された光を入力し、光コムの１つの縦モードと被検レーザ光のビート光を電気信号に変換する光検出手段と、光検出手段から出力される電気信号の周波数ｆを測定する周波数カウンタとを備え、被検レーザ光の光周波数を測定する光周波数測定装置において、変調信号の周波数を変化させて光コムの縦モード間隔を変化させる手段と、光コムのすべての縦モードの光周波数を同一方向に偏移させる光周波数偏移手段と、縦モード間隔および縦モードの光周波数偏移に応じて測定される電気信号の周波数ｆの変化分から被検レーザ光の光周波数を決定する光周波数計数回路とを備える。
【０００８】
この光周波数計数回路は、変調信号の周波数をシフトして縦モード間隔をｆｍ　からｆｍ　＋Δｆｍ　に変化させたときに、縦モード間隔の変化分Δｆｍ　（符号を含む）と、電気信号の周波数ｆの変化分Δｆ（符号を含む）との比ｎ＝Δｆ／Δｆｍ　（符号を含む）を計数する手段と、縦モードの光周波数偏移と電気信号の周波数ｆの変化分との比の符号ＳＭ　（正ならば１、負ならば−１）を判定する手段と、基準光周波数ν０　と、ｆｍ　と、ｎと、ＳＭ　に基づいて、被検レーザ光の光周波数νＸ　を
νＸ　＝ν０　＋ＳＭ　ｎｆｍ　−ＳＭ　ｆ
により算出する手段とを備える（請求項３，１１）。
【０００９】
請求項２は、周波数ｆｍ　の変調信号により駆動され、基準光周波数ν０　の基準モードを中心に縦モード間隔ｆｍ　の光コムを発生させるマルチモード光源と、マルチモード光源から出力される光コムと被検レーザ光を合波する光合波手段と、光合波手段で合波された光を入力し、光コムの１つの縦モードと被検レーザ光のビート光を電気信号に変換する光検出手段と、光検出手段から出力される電気信号の周波数ｆを測定する周波数カウンタとを備え、被検レーザ光の光周波数を測定する光周波数測定装置において、変調信号の周波数を変化させて光コムの縦モード間隔を変化させる手段と、光合波手段に入力する被検レーザ光の光周波数を偏移させる光周波数偏移手段と、縦モード間隔および被検レーザ光の光周波数偏移に応じて測定される電気信号の周波数ｆの変化分から被検レーザ光の光周波数を決定する光周波数計数回路とを備える。
【００１０】
この光周波数計数回路は、変調信号の周波数をシフトして縦モード間隔をｆｍ　からｆｍ　＋Δｆｍ　に変化させたときに、縦モード間隔の変化分Δｆｍ　（符号を含む）と、電気信号の周波数ｆの変化分Δｆ（符号を含む）との比ｎ＝Δｆ／Δｆｍ　（符号を含む）を計数する手段と、被検レーザ光の光周波数偏移と電気信号の周波数ｆの変化分との比の符号ＳＴ　（正ならば１、負ならば−１）を判定する手段と、基準光周波数ν０　と、ｆｍ　と、ｎと、ＳＴ　に基づいて、被検レーザ光の光周波数νＸ　を
νＸ　＝ν０　−ＳＴ　ｎｆｍ　＋ＳＴ　ｆ
により算出する手段とを備える（請求項４，１２）。
【００１１】
マルチモード光源は、縦モード間隔の変化に係わらず基準モードの基準光周波数ν０　を一定に制御する基準光周波数制御手段を含む（請求項５）。
【００１２】
マルチモード光源は、変調信号により駆動されるモード同期レーザと、モード同期レーザから出力される光コムを入力し、そのスペクトル幅を広げる光非線形媒質とを備える（請求項６）。また、マルチモード光源は、基準光周波数ν０　の単一モード光を出力する光源と、変調信号により駆動され、単一モード光を変調して光コムを発生させる光変調手段と、光変調手段から出力される光コムを入力し、そのスペクトル幅を広げる光非線形媒質とを備える（請求項７）。
【００１３】
請求項１に記載の光周波数測定装置における光周波数偏移手段は、マルチモード光源と光合波手段との間に、シフト周波数信号発生器から出力されるシフト周波数信号に応じて光コムの光周波数をシフトする光周波数シフト手段を挿入した構成である（請求項８）。また、マルチモード光源が請求項６または請求項７に示す光非線形媒質を含むときに、光非線形媒質の前段に、シフト周波数信号発生器から出力されるシフト周波数信号に応じて光コムの光周波数をシフトする光周波数シフト手段を挿入した構成である（請求項９）。また、マルチモード光源が請求項５に示す基準光周波数制御手段を含むときに、シフト周波数信号発生器から出力されるシフト周波数信号に応じて光周波数基準が有する基準周波数をシフトする構成である（請求項１０）。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の光周波数測定装置の第１の実施形態を示す。図において、マルチモード光源１は、変調信号発生器２から出力される周波数ｆｍ　の変調信号により駆動され、基準光周波数ν０　の基準モードを中心に縦モード間隔ｆｍ　の光コムを発生させる。この変調信号の周波数をｆｍ　からｆｍ　＋Δｆｍ　にΔｆｍ　シフトすると、光コムの縦モード間隔もｆｍ　からｆｍ　＋Δｆｍ　に変化する。ただし、基準モードの基準光周波数ν０　は、縦モード間隔を変化させても変化しない。
【００１５】
この光コムは光周波数シフト手段３を介して光カプラ４に入力され、被検レーザ光と合波して光検出手段５に入力される。光検出手段５は、光コムの１つの縦モードと被検レーザ光のビート光を電気信号に変換し、その周波数ｆが周波数カウンタ６で測定される。
【００１６】
光周波数シフト手段３は、シフト周波数信号発生器７から出力されるシフト周波数信号で駆動することにより、光コムの全モードを同一方向に偏移させる。このシフト周波数信号の周波数に応じた光周波数偏移量をΔν０　とする。光周波数シフト手段３としては、音響光学変調器（ＡＯＭ）あるいは電気光学効果を利用した光変調器を用いた周波数シフタを用いることができる。
【００１７】
また、基準光周波数ν０　を一定に制御する基準光周波数制御手段を有するマルチモード光源１′の場合には、図２に示す第２の実施形態のように光周波数シフト手段３を用いず、シフト周波数信号発生器７から出力されるシフト周波数信号をマルチモード光源１′の基準光周波数制御手段に入力し、光周波数基準が有する基準周波数をシフトすることにより光コムの全モードを同一方向に偏移させるようにしてもよい。具体的構成例は後述する。
【００１８】
また、光周波数シフト手段３による光周波数偏移は、マルチモード光源１から出力される光コムに対してではなく、図３に示す第３の実施形態のように、被検レーザ光に対して行ってもよい。
【００１９】
光周波数計数回路８は、変調信号発生器２から変調信号の周波数ｆｍ　、Δｆｍ　を入力し、シフト周波数信号発生器７からシフト周波数信号に対応する光周波数偏移量Δν０　を入力し、周波数カウンタ６で測定される光周波数ｆ、Δｆを入力し、被検レーザ光の光周波数νＸ　を算出する。
【００２０】
以下、光コムの縦モード間隔の変化および光周波数偏移の方向を観測することにより、ビート光を生成する基準レーザ光の縦モードを確定し、被検レーザ光の光周波数を一意に決定する方法について、図４および図５を参照して説明する。
【００２１】
まず、光検出手段５に光コムと被検レーザ光（光周波数νＸ　）　の合波光を入力し、そのビート光を光電変換して得られる電気信号の周波数ｆを周波数カウンタ６で測定する。この周波数ｆは、光コムの１つの縦モードと被検レーザ光の光周波数差に相当する。
【００２２】
次に、マルチモード光源１を駆動する変調信号の周波数ｆｍ　をΔｆｍ　増大させてｆｍ　＋Δｆｍ　としたときに、周波数カウンタ６で周波数ｆ＋Δｆを測定して周波数ｆの増大量Δｆを算出する。ここで、図４（ｂ）　に示すように、被検レーザ光とビート光をつくる縦モードが、基準光周波数ν０　の基準モードから数えてｎ番目（νｎ　）とすると、
｜Δｆ｜＝｜ｎΔｆｍ　｜
の関係が存在する。このとき、Δｆ／Δｆｍ　の符号も判別する。ちなみに図４の例ではΔｆｍ　が正、Δｆが負であるので、Δｆ／Δｆｍ　の符号は負となる。
【００２３】
次に、光周波数シフト手段３で光周波数偏移量Δν０　を与えたときに、測定される周波数ｆ、ｆ＋Δｆの変化方向からΔｆ／Δν０　の符号を判別する。ちなみに図４の例ではΔν０　が正、Δｆが負であるので、Δｆ／Δν０　の符号は負となる。なお、光周波数シフト手段３で光周波数偏移を静的に与える場合も、正弦波的に与える場合も、Δｆ／Δν０　の符号判定は可能である。
【００２４】
これらの結果からν０　、νｎ　、νＸ　の大小関係（図５　（ａ）〜（ｄ）　のいずれか）を判別し、その大小関係に基づいて被検レーザ光の光周波数νＸ　を確定する。なお、以下の説明では、光コムに光周波数偏移Δν０　を与える場合について示すが、被検レーザ光に光周波数偏移Δν０　を与える場合には、その符号を逆にして考えればよい。
【００２５】
図５（ａ）　はνｎ　＜νＸ　＜ν０　であり、Δｆ／Δｆｍ　＞０、Δｆ／Δν０　＜０となる。図５（ｂ）　はνＸ　＜νｎ　＜ν０　であり、Δｆ／Δｆｍ　＜０、Δｆ／Δν０　＞０となる。いずれの場合もビート光を生成する縦モードの光周波数νｎ　は、
νｎ　＝ν０　−ｎｆｍ　＝ν０　−ｆｍ　｜Δｆ／Δｆｍ　｜
となる。
【００２６】
図５（ｃ）　はν０　＜νｎ　＜νＸ　であり、Δｆ／Δｆｍ　＜０、Δｆ／Δν０　＜０となる。図５（ｄ）　はν０　＜νＸ　＜νｎ　であり、Δｆ／Δｆｍ　＞０、Δｆ／Δν０　＞０となる。いずれの場合も
νｎ　＝ν０　＋ｎｆｍ　＝ν０　＋ｆｍ　｜Δｆ／Δｆｍ　｜
となる。
【００２７】
したがって、光周波数計数回路８では、Δｆ／Δｆｍ　＞０、Δｆ／Δν０　＜０であれば図５（ａ）　の場合であり、被検レーザ光の光周波数νＸ　は、
νＸ　＝νｎ　＋ｆ＝ν０　−ｆｍ　｜Δｆ／Δｆｍ　｜＋ｆ
として求める。
【００２８】
Δｆ／Δｆｍ　＜０、Δｆ／Δν０　＞０であれば図５（ｂ）　の場合であり、被検レーザ光の光周波数νＸ　は、
νＸ　＝νｎ　−ｆ＝ν０　−ｆｍ　｜Δｆ／Δｆｍ　｜−ｆ
として求める。
【００２９】
Δｆ／Δｆｍ　＜０、Δｆ／Δν０　＜０であれば図５（ｃ）　の場合であり、被検レーザ光の光周波数νＸ　は、
νＸ　＝νｎ　＋ｆ＝ν０　＋ｆｍ　｜Δｆ／Δｆｍ　｜＋ｆ
として求める。
【００３０】
Δｆ／Δｆｍ　＞０、Δｆ／Δν０　＞０であれば図５（ｄ）　の場合であり、被検レーザ光の光周波数νＸ　は、
νＸ　＝νｎ　−ｆ＝ν０　＋ｆｍ　｜Δｆ／Δｆｍ　｜−ｆ
として求める。
【００３１】
（マルチモード光源１の構成例）
図６は、マルチモード光源１の構成例を示す。図において、マルチモード光源１は、周波数ｆｍ　の変調信号により駆動される能動モード同期レーザ１１の出力光を光増幅器１２で増幅して非線形光ファイバ１３に入力し、非線形効果（スーパーコンティニウム発生等）によってスペクトル拡大し、スペクトルが数百ｎｍにわたる広帯域な光コムを発生させる構成である（参考文献：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒ，　Ｖｏｌ．３０，　Ｎｏ．１０，　ｐｐ．７９０−７９１）。この光コムの縦モード間隔ｆｍ　は、駆動する変調信号の周波数に応じて変化させることができる。
【００３２】
なお、能動モード同期レーザ１１としては、半導体モード同期レーザ（ＭＬＬＤ）や、エルビウム添加光ファイバモード同期リングレーザ等が利用できる。このＭＬＬＤを利用する場合は、その実効共振器長によりモード同期周波数（縦モード間隔）が決定される。離調（駆動周波数の最適駆動周波数からの差分）は数パーセントが許容され、駆動周波数を数パーセント変化させても、パルス幅および出力パワー等に大きな変化はない。
【００３３】
また、能動モード同期レーザ１１から出力される縦モードの１つ（基準光周波数ν０　の基準モード）を光カプラ１４、光バンドパスフィルタ１５を介して分波し、その吸収線の光周波数が校正された標準気体を有する光周波数基準１６を介して光検出回路１７に入力する。光発振周波数制御回路１８は、光検出回路１７の出力に応じて能動モード同期レーザ１１の発振周波数を制御し、基準モードの基準光周波数ν０　が気体吸収線に同期するように帰還ループが形成される。これにより、基準モードの基準光周波数ν０　を極めて一定に制御することができる。
【００３４】
また、光周波数シフト手段３は、マルチモード光源１の出力側に接続される他に、マルチモード光源１を構成する能動モード同期レーザ１１（光カプラ１４）と光増幅器１２との間に挿入してもよい。この場合の構成例を図７に示す。
【００３５】
（マルチモード光源１′の構成例）
図８は、マルチモード光源１′の構成例を示す。図において、マルチモード光源１′は、図６に示すマルチモード光源１に基準光周波数ν０　を制御する光周波数基準制御回路１９を追加した構成である。この光周波数基準制御回路１９にシフト周波数信号を入力し、光周波数基準１６として用いる気体の温度または圧力を制御することにより、光周波数基準１６が有する基準周波数をシフトする。これが図２に示す第２の実施形態に対応するマルチモード光源１′であり、光周波数シフト手段３に代わる構成である。
【００３６】
また、マルチモード光源１，１′の能動モード同期レーザ１１に代えて、基準光周波数ν０　の単一モード光を出力する光源と、変調信号により単一モード光を変調して光コムを発生させる光変調手段（例えは電気光学変調器）を用いることも可能である。なお、マルチモード光源の縦モード間隔ｆｍ　は、光変調手段の変調信号周波数により決定されるので、その周波数を変化させることにより縦モード間隔ｆｍ　を変化させることができる。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、ビート光を生成する基準レーザ光の縦モードを確定し、被検レーザ光の光周波数を一意に決定することができるので、数百ｎｍの広帯域に渡って被検レーザ光の光周波数を高精度に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光周波数測定装置の第１の実施形態を示す図。
【図２】本発明の光周波数測定装置の第２の実施形態を示す図。
【図３】本発明の光周波数測定装置の第３の実施形態を示す図。
【図４】本発明の光周波数測定装置の特定原理を説明する図。
【図５】被検レーザ光の光周波数の算出パターンを説明する図。
【図６】マルチモード光源１の構成例を示す図。
【図７】マルチモード光源１の他の構成例を示す図。
【図８】マルチモード光源１′の構成例を示す図。
【符号の説明】
１　マルチモード光源
２　変調信号発生器
３　光周波数シフト手段
４　光カプラ
５　光検出手段
６　周波数カウンタ
７　シフト周波数信号発生器
８　光周波数計数回路
１１　能動モード同期レーザ
１２　光増幅器
１３　非線形光ファイバ
１４　光カプラ
１５　光バンドパスフィルタ
１６　光周波数基準
１７　光検出回路
１８　光発振周波数制御回路
１９　光周波数基準制御回路
【図１】
2004061126.tif 000003
【図２】
2004061126.tif 000004
【図３】
2004061126.tif 000005
【図４】
2004061126.tif 000006
【図５】
2004061126.tif 000007
【図６】
2004061126.tif 000008
【図７】
2004061126.tif 000009
【図８】
2004061126.tif 000010