(57)【要約】【課題】短時間で研削ペレットの交換及び高精度の平面研削用定盤を組み立てることができ、且つ難加工板を効率よく平面研削を行え、作業時間を短縮してコスト削減が可能となる研削ペレット及び平面研削用定盤を提供する。【解決手段】本発明は、上面１１ａが所定の平面を形成する砥石１１と、下面１２ａが砥石１１の上面１１ａと略平行な平面を形成して上部に砥石１１を固着した台座１２とを備え、台座１２に定盤本体２１に螺着固定するためのねじ孔１３が設けられた研削ペレット１０、及び複数の研削ペレット１０を固定する平面２１ｂを有する定盤本体２１とを備え、複数の研削ペレット１０のそれぞれが定盤本体２１に螺着固定されてなる平面研削用定盤２０である。【選択図】　　　　　図２
2004122270.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面が所定の平面を形成する砥石と、下面が該砥石の上面と略平行な平面を形成して上部に該砥石を固着した台座とを備え、
前記台座に、定盤本体に螺着固定するためのねじ孔、雄ねじ挿通孔、または雄ねじの何れかが設けられてなることを特徴とする研削ペレット。
【請求項２】
台座に、定盤本体に対する回転止めが設けられてなることを特徴とする請求項１に記載の研削ペレット。
【請求項３】
上面が所定の平面を形成する砥石及び下面が該砥石の上面と略平行な平面を形成して上部に該砥石を固着した台座とを具備した複数の研削ペレットと、該研削ペレットを固定する平面を有する定盤本体とを備え、複数の前記研削ペレットのそれぞれが定盤本体に螺着固定されてなることを特徴とする平面研削用定盤。
【請求項４】
研削ペレットの台座または定盤本体の平面の一方に凸部が設けられ、これに係止する係止部が他方に設けられており、定盤本体に該研削ペレットが回転を防止された状態で螺着固定されてなることを特徴とする請求項３に記載の平面研削用定盤。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板等の平らな表面を有するワークの研削に使用される研削ペレット及び平面研削用定盤に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ガラス基板等の平面研削を行う場合、遊離砥粒を研削液中に懸濁させ回転する錫定盤に塗布して使用するラッピングが行われてきたが、高い表面精度が得られるものの加工時間が長く遊離砥粒の洗い落とし作業及び遊離砥粒の管理に労力を要する。そこで、研削加工の効率を追求して、図３に示すように、定盤本体１の表面１ａに、複数のペレット２が接着剤３により固着された固定砥粒型の平面研削用定盤が用いられるようになってきている。
【０００３】
近年では、特許文献１のように、メンテナンスを容易にするため、複数のペレットを接着剤等で固着した基板を、定盤本体にボルトで取り付けたペレット定盤も提案されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−４２５５２号公報（第２−３頁、第１−３図）
また、ガラスレンズの加工用として、特許文献２のように、複数のダイヤペレットを、引張方向に付勢されたコイルバネを介してネジで螺着する二重研削皿が提案されている。
【特許文献２】
実開昭５５−１７９７５４号明細書（第１０−１１頁、第４図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、複数のペレットを接着剤等で固着した場合、研削抵抗の大きい硬質ガラス、結晶化ガラス、及びセラミックス基板等を高速で研削を行うと、接着強度不足でペレットが外れて基板表面が損傷し、その上、定盤平面精度が低下するので、研削される基板表面の平面度も低下するという問題がある。
【０００６】
また、大きな平面研削用定盤、例えば、３０Ｂクラスのようなものでは、ペレットを接着固定する作業に長時間を要するという問題がある。
【０００７】
また、バネを介してダイヤペレットを螺着した場合も、更に固定が不安定となり、平面研削用定盤の平面精度を所望範囲内に維持することができないなどの問題がある。
【０００８】
本発明は、上記のような問題点を解決する研削ペレット及び平面研削用定盤を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る研削ペレットは、上面が所定の平面を形成する砥石と、下面が該砥石の上面と略平行な平面を形成して上部に該砥石を固着した台座とを備え、前記台座に、定盤本体に螺着固定するためのねじ孔、雄ねじ挿通孔、または雄ねじの何れかが設けられてなることを特徴とする。
【００１０】
平面研削用定盤を構成する研削ペレットとしては、加工面となる砥石の上面が所定の平面を形成すること、即ち、所定の平面度の範囲内に砥石の上面が収まっていることが重要であり、また、砥石の上面を平面研削用定盤の研削ペレット取り付け平面に対して平行になるように、砥石を固着した台座の下面を砥石の上面と略平行な平面を形成する、即ち、台座の下面が所定の平面度の範囲内で、且つ、砥石の上面と所定の平行度に収まっていることが重要である。なお、砥石の上面及び台座の下面は平坦面に限らず、所定の平面を形成することができるものであれば環状や複数のブロック状突起部からなるものでもよい。
【００１１】
台座としては、その下面を定盤本体に密着させた状態で螺着固定するために、ねじ孔、雄ねじ挿通孔、または雄ねじのうち少なくとも一つを設けてあれば使用可能である。
【００１２】
砥石としては、ダイヤモンド砥粒、ボラゾン砥粒、その他所定の硬度を有する所定粒径分布のものを金属、樹脂その他の結合材を用いて固めたものであれば使用可能である。
【００１３】
また、本発明の研削ペレットは、台座に回転止めが設けられてなることを特徴とする。
【００１４】
台座に設ける回転止めとしては、平面研削用定盤の研削ペレット取り付け平面に立設させたピン等の凸部を係止する凹部や、その逆に台座に凸部を設けて、平面研削用定盤の研削ペレット取り付け平面に係止する凹部その他を設けてもよい。
【００１５】
本発明に係る平面研削用定盤は、上面が所定の平面を形成する砥石及び下面が該砥石の上面と略平行な平面を形成して上部に該砥石を固着した台座とを具備した複数の研削ペレットと、該研削ペレットを固定する平面を有する定盤本体とを備え、複数の前記研削ペレットのそれぞれが定盤本体に螺着固定されてなることを特徴とする。
【００１６】
複数の研削ペレットのそれぞれを定盤本体に螺着固定する具体的な手段としては、研削ペレットの台座に、定盤本体に螺着固定するためのねじ孔、雄ねじ挿通孔、または雄ねじの何れかを設けるとよい。また、研削ペレットのねじ孔、雄ねじ挿通孔、または雄ねじに対応して、定盤本体の平面に、研削ペレットを固定する複数の雄ねじ挿通孔、雄ねじ、またはねじ孔の何れかを設けるとよい。
【００１７】
また、本発明の平面研削用定盤は、研削ペレットの台座または定盤本体の平面の一方に凸部が設けられ、これに係止する係止部が他方に設けられており、定盤本体に該研削ペレットが回転を防止された状態で螺着固定されてなることを特徴とする。
【００１８】
回転止めとしては、研削ペレットの台座または平面研削用定盤の研削ペレット取り付け平面の一方に設けられたピン等の凸部と、他方に設けられてこれを係止する凹部等があれば使用可能である。
【００１９】
【作用】
本発明の研削ペレットは、上面が所定の平面を形成する砥石と、下面が該砥石の上面と略平行な平面を形成して上部に該砥石を固着した台座とを備え、前記台座に、定盤本体に螺着固定するためのねじ孔、雄ねじ挿通孔、または雄ねじの何れかが設けられてなるので、複数の雄ねじ挿通孔、雄ねじ、またはねじ孔の何れかを設けた定盤本体の平面に、容易に複数の研削ペレットを螺着固定することができる。
【００２０】
また、本発明によれば、台座に、定盤本体に対する回転止めが設けられてなるので、平面研削中に、定盤本体の平面に螺着固定した研削ペレットが回転することがなく螺着が外れず、且つ、砥石の上面が所定の加工面を維持することが可能となる。
【００２１】
本発明の平面研削用定盤は、上面が所定の平面を形成する砥石及び下面が該砥石の上面と略平行な平面を形成して上部に該砥石を固着した台座とを具備した複数の研削ペレットと、該研削ペレットを固定する平面を有する定盤本体とを備え、複数の前記研削ペレットのそれぞれが定盤本体に螺着固定されてなるので、使用済みの研削ペレットのねじを外して除去し、新しい研削ペレットのねじを締めることで容易に短時間で研削ペレットの交換を行うことができる。
【００２２】
また、本発明によれば、研削ペレットの台座または定盤本体の平面の一方に凸部が設けられ、これに係止する係止部が他方に設けられており、定盤本体に該研削ペレットが回転を防止された状態で螺着固定されてなるので、平面研削中に、定盤本体の平面に螺着固定した研削ペレットが回転することがなく螺着が外れず、且つ、砥石の上面が所定の加工面を安定して維持することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係る研削ペレットの実施の形態について説明する。
【００２４】
図１に示すように、本実施の形態に係る研削ペレット１０は、加工面である上面１１ａが所定の平面を形成する砥石１１と、下面１２ａが砥石１１の上面１１ａと略平行な平面を形成して上部に砥石１１を固着した台座１２とを備え、台座１２に、定盤本体に螺着固定するためのねじ孔１３が設けられており、下面１２ａに回転止め用の凹部１２ｂが設けられているものである。
【００２５】
研削ペレット１０を構成する砥石１１は、例えば、直径がφ２０ｍｍ、高さ１０ｍｍで、４〜８μｍメッシュのダイヤモンド砥粒を約３０％の割合でニッケル・ブロンズからなるメタルボンドで焼結したものであり、その上面１１ａは、平面度が１０μｍ以内の平面を形成するものである。また、台座１２は、厚さ５ｍｍで鉄からなり、下面１２ａと砥石１１の上面１１ａとの平行度は１０μｍ以内になっており、下面１２ａの中央にはメートルねじＭ４のねじ孔１３が設けられており、その横には深さ２ｍｍで直径３ｍｍの円形の凹部１２ｂが設けられている。
【００２６】
また、図２に示すように、本実施の形態に係る平面研削用定盤２０は、５６５２個の研削ペレット１０を固定するための雄ねじ挿通孔２１ａが穿設された平面２１ｂと、その横に回転止め用の複数のピン２１ｃとを有する定盤本体２１を備え、５６５２個の研削ペレット１０のそれぞれが定盤本体２１に螺着固定されているものである。
【００２７】
定盤本体２１の平面２１ｂには、メートルねじＭ４の六角孔付きボルト３０が挿通する直径φ４．５ｍｍでその裏面側には、ボルトの頭部が埋設される座ぐり２１ｄが形成されている雄ねじ挿通孔２１ａが穿設されており、平面２１ｂの平面度は２０μｍ以内になっている。この平面２１ｂに、平面度が１０μｍ以内の上面１１ａを有する砥石１１と、上面１１ａと平行度が１０μｍ以内の下面１２ａとを有する研削ペレット１０を、ボルト３０で螺着固定すると、５６５２個の研削ペレット１０の上面１１ａは１０μｍ以内の平面度の加工面を形成することになる。加工面に、更に高い平面度が要求される場合には、修正砥石等を使用してツルーイングにより平面度を向上させた後に、ガラス基板等の平らな表面を有するワークの研削に使用する。
【００２８】
上記の平面研削用定盤２０を図示しない平面研削盤に取り付けて縦３００ｍｍ横２００ｍｍ厚さ０．５ｍｍのガラス基板の平面研削を行ったところ、研削ペレットを接着固定した従来の平面研削用定盤を使用した場合に比べて、単位面積当たりの荷重を２５０ｇ／ｃｍ２まで上げても研削ペレット１０が脱落することもなく、定盤の平面精度を維持・継続することができた。
【００２９】
また、使用後の平面研削用定盤２０の５６５２個の研削ペレット１０を交換したところ、要した時間は５時間以内であり、従来の平面研削用定盤の約１／３に短縮することが可能となった。
【００３０】
なお、上記実施の形態では、研削ペレット１０の台座１２にねじ孔１３を設けた例を示したが、台座に雄ねじ挿通孔または雄ねじを設けて、定盤本体の平面に、研削ペレットを固定する雄ねじ挿通孔またはねじ孔の何れかを設けてもよい。また、回転止めとして台座１２の凹部１２ｂと定盤本体２１の平面２１ｂに立設したピン２１ｃの組み合わせを例示したが、これに限らず、研削ペレットの台座の下面にピンを凸設し、定盤本体の平面にその嵌入孔を設けてもよく、その他の係止可能な要素でもよい。
【００３１】
【発明の効果】
本発明の研削ペレットによれば、上面が所定の平面を形成する砥石と、下面が該砥石の上面と略平行な平面を形成して上部に該砥石を固着した台座とを備え、前記台座に、定盤本体に螺着固定するためのねじ孔、雄ねじ挿通孔、または雄ねじの何れかが設けられており、定盤本体の平面に、容易に複数の研削ペレットを螺着固定することができるので、短時間で高精度の平面研削用定盤を組み立てることが可能となり、難加工性のガラス基板等を効率よく平面研削を行うことができる。
【００３２】
また、本発明によれば、台座に、定盤本体に対する回転止めが設けられてなり、平面研削中に、定盤本体の平面に螺着固定した研削ペレットが回転することがなく螺着が外れず、且つ、砥石の上面が所定の加工面を維持することが可能となるので、高精度の平面研削を行うことができる。
【００３３】
本発明の平面研削用定盤は、上面が所定の平面を形成する砥石及び下面が該砥石の上面と略平行な平面を形成して上部に該砥石を固着した台座とを具備した複数の研削ペレットと、該研削ペレットを固定する平面を有する定盤本体とを備え、複数の前記研削ペレットのそれぞれが定盤本体に螺着固定されてなり、使用済みの研削ペレットのねじを外して除去し、新しい研削ペレットのねじを締めることで容易に短時間で研削ペレットの交換を行うことができるので、平面研削作業に要するトータルの作業時間を短縮することが可能となり、結果的に研削コストの大幅な削減が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の研削ペレットの断面図。
【図２】本発明の平面研削用定盤の（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＹ−Ｙ断面図。
【図３】従来の研削定盤の説明図であって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＸ−Ｘ断面図。
【符号の説明】
１０　研削ペレット
１１　砥石
１１ａ　上面
１２　台座
１２ａ　下面
１２ｂ　凹部
１３　ねじ孔
２０　平面研削用定盤
２１　定盤本体
２１ａ　雄ねじ挿通孔
２１ｂ　平面
２１ｃ　ピン
２１ｄ　座繰り
３０　ボルト
【図１】
2004122270.tif 000003
【図２】
2004122270.tif 000004
【図３】
2004122270.tif 000005