(57)【要約】【課題】記録媒体搬送装置において、装置コストを上昇させることなく記録媒体の搬送におけるヨーイングの影響を抑制する。【解決手段】載置台１０に載置された基板１の記録面２に対して垂直な記録面垂直軸Ｋの回りに回転可能に上記載置台１０を支持する回転支持手段２１を有するベース台２０を、搬送部３０によって所定の搬送方向へ搬送する。角度変動検出手段５１により載置台１０の向きを検出して得た角度変動データに基づいて、回転制御手段５９が載置台１０の回転を制御して上記載置台１０の向きの変動を補償する。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体を載置する載置台と、
前記載置台を、該載置台に載置された前記記録媒体の記録面に対して垂直な記録面垂直軸の回りに回転可能に支持する回転支持手段を有するベース台と、
該ベース台を所定の搬送方向へ搬送する搬送手段と、
前記搬送手段による前記ベース台の搬送で生じる該ベース台の前記記録面垂直軸の回りの回転による前記載置台の向きの変動を、前記回転支持手段により前記載置台を回転させて補償する回転補償手段とを備えたことを特徴とする記録媒体搬送装置。
【請求項２】
前記回転補償手段が、前記載置台の向きを検出する角度変動検出手段と、該角度変動検出手段で検出した角度変動に基づいて、前記載置台の向きの変動が補償されるように、前記回転支持手段による前記載置台の回転を制御する回転制御手段とからなることを特徴とする請求項１記載の記録媒体搬送装置。
【請求項３】
前記搬送手段による前記ベース台の搬送によって生じる、前記記録面に平行で前記搬送方向に対して直交する搬送横方向への前記載置台の位置の変動を補償する位置補償手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の記録媒体搬送装置。
【請求項４】
前記ベース台に対する前記載置台の位置を前記搬送横方向へ移動させる横移動支持手段を備え、前記位置補償手段が、前記載置台の前記搬送横方向への位置の変動を検出する横変動検出手段と、該横変動検出手段で検出した前記載置台の前記搬送横方向への位置の変動に基づいて、前記横移動支持手段により前記載置台の位置を前記搬送横方向へ移動させる横移動制御手段とからなるものであることを特徴とする請求項３記載の記録媒体搬送装置。
【請求項５】
前記位置補償手段が、前記載置台の前記搬送横方向への位置の変動を検出する横変動検出手段と、記録ヘッドにより前記記録面に記録される画像を表す画像データの位置座標を前記搬送横方向にシフトさせるデータシフト手段とを備え、前記搬送手段で搬送される前記記録媒体の前記記録面に前記記録ヘッドにより画像が記録される際に、前記横変動検出手段によって検出された前記載置台の前記搬送横方向への位置の変動に基づいて、前記データシフト手段により、前記画像データの位置座標を前記搬送横方向へシフトさせることを特徴とする請求項３記載の記録媒体搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録媒体を搬送する記録媒体搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、電気回路の配線パターンを記録するための感光材料が塗布された、プリント配線用の基板等の記録媒体を搬送しながらこの搬送方向と直交する方向にレーザビーム等を走査してこの基板上に配線パターンを記録する露光装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−３３８４３２号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような露光装置においては、配線パターンが記録される基板の搬送において、ヨーイングが生じると、基板上に記録される配線パターンが歪んでしまうため、この基板を搬送する搬送機構には、高精度な機械要素、例えば、高精度な搬送レールと搬送ガイド等が用いられている。
【０００５】
しかしながら、上記のような高精度の機械要素を用いて露光装置を製作すると装置コストが高くなってしまうという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、装置コストを上昇させることなく記録媒体の搬送におけるヨーイングの影響を抑制することができる記録媒体搬送装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の記録媒体搬送装置は、記録媒体を載置する載置台と、この載置台を、該載置台に載置された記録媒体の記録面に対して垂直な記録面垂直軸の回りに回転可能に支持する回転支持手段を有するベース台と、このベース台を所定の搬送方向へ搬送する搬送手段と、搬送手段によるベース台の搬送で生じる該ベース台の記録面垂直軸の回りの回転による載置台の向きの変動を、前記回転支持手段により載置台を回転させて補償する回転補償手段とを備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
前記回転補償手段は、載置台の向きを検出する角度変動検出手段と、この角度変動検出手段で検出した角度変動に基づいて、載置台の向きの変動が補償されるように、回転支持手段による載置台の回転を制御する回転制御手段とからなるものとすることができる。
【０００９】
前記記録媒体搬送装置は、搬送手段によるベース台の搬送によって生じる、記記録面に平行で搬送方向に対して直交する搬送横方向への載置台の位置の変動を補償する位置補償手段を備えることができる。
【００１０】
前記記録媒体搬送装置は、ベース台に対する載置台の位置を搬送横方向へ移動させる横移動支持手段を備えることができ、前記位置補償手段は、載置台の搬送横方向への位置の変動を検出する横変動検出手段と、この横変動検出手段で検出した載置台の搬送横方向への位置の変動に基づいて、横移動支持手段による載置台の搬送横方向への移動を制御する横移動制御手段とからなるものとすることができる。
【００１１】
前記位置補償手段は、載置台の搬送横方向への位置の変動を検出する横変動検出手段と、記録ヘッドにより前記記録面に記録される画像を表す画像データの位置座標を搬送横方向にシフトさせるデータシフト手段とを備えたものとすることができ、前記搬送手段で搬送される記録媒体の記録面に前記記録ヘッドにより画像が記録される際に、横変動検出手段によって検出された前記載置台の搬送横方向への位置の変動に基づいて、前記データシフト手段により、前記画像データの位置座標を搬送横方向へシフトさせることができる。
【００１２】
なお、前記記録媒体は、搬送されつつ画像の各部分が順次記録されて上記画像の全体が記録されるものであれば、どのようなものであってもよい。例えば、この記録媒体は、感光材料層を有する基板、インクノズルからインクジェット方式によって射出された配線用インクを受けて電気回路の配線パターンが形成される基板、あるいは、容器とこの容器に溜められた光造形用の光硬化液とからなる光造型用プール等とすることができる。
【００１３】
また、前記記録ヘッドは、例えば、記録媒体が感光材料層を有する基板であるときには、感光材料を硬化させる光を発する露光ヘッドとすることができ、記録媒体が配線用インクを受けて配線パターンが形成される基板であるときには、配線用インクを射出するインク射出ヘッドとすることができ、記録媒体が光造型用プールであるときには、光造形用の光硬化液を硬化させる光を発する露光ヘッドとすることができる。
【００１４】
【発明の効果】
本発明の記録媒体搬送装置は、搬送手段によるベース台の搬送で生じるこのベース台の記録面垂直軸の回りの回転による載置台の向きの変動を、回転支持手段により載置台を回転させて補償する回転補償手段を備えているので、搬送手段でベース台を搬送するときにこのベース台にヨーイングが生じても、載置台を記録面垂直軸の回りに回転させることによりこの載置台の向きを常に同じ方向に向けることができるので、記録媒体の搬送におけるヨーイングの影響を抑制することができる。これにより、例えば、ベース台の搬送を高精度な機械要素を用いて行なう場合等に比して、装置コストの上昇を抑えることができる。
【００１５】
また、回転補償手段を、載置台の向きを検出する角度変動検出手段と、この角度変動検出手段で検出した角度変動に基づいて、載置台の向きの変動が補償されるように、回転支持手段による載置台の回転を制御する回転制御手段とからなるものすれば、より確実に、記録媒体の搬送におけるヨーイングの影響を抑制することができる。
【００１６】
また、記録媒体搬送装置が、搬送手段によるベース台の搬送によって生じる、搬送横方向への載置台の位置の変動を補償する位置補償手段を備えるようにすれば、載置台の搬送横方向への位置の変動を抑制することができ、記録媒体の搬送におけるヨーイングの影響をさらに抑制することができる。
【００１７】
また、記録媒体搬送装置が、さらに、ベース台に対する前記載置台の位置を搬送横方向へ移動させる横移動支持手段を備え、上記位置補償手段を、載置台の搬送横方向への位置の変動を検出する横変動検出手段と、この横変動検出手段で検出した載置台の搬送横方向への位置の変動に基づいて、上記横移動支持手段による載置台の搬送横方向への移動を制御する横移動制御手段とからなるものとすれば、より確実に記録媒体の搬送におけるヨーイングの影響を抑制することができる。
【００１８】
また、位置補償手段を、横変動検出手段とデータシフト手段とを備えたものとし、搬送手段で搬送される記録媒体の記録面に上記記録ヘッドにより画像が記録される際に、横変動検出手段によって検出された上記載置台の搬送横方向への位置の変動に基づいて、データシフト手段により、画像データの位置座標を搬送横方向へシフトさせるようにすれば、より確実に記録媒体の搬送におけるヨーイングの影響を抑制することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。図１（ａ）は本発明の実施の形態の記録媒体搬送装置の概略構成を示す平面図、図１（ｂ）は上記記録媒体搬送装置の側面図である。
【００２０】
本発明の実施の形態による記録媒体搬送装置は、記録媒体である基板１を載置する載置台１０と、載置台１０を、この載置台１０に載置された基板１の記録面２に対して垂直な記録面垂直軸Ｋの回りに回転可能に支持する回転支持部２１を有するベース台２０と、ベース台２０を所定の搬送方向（図中矢印Ｙ方向）へ搬送する搬送部３０と、搬送部３０によるベース台２０の搬送で生じるこのベース台２０の記録面垂直軸Ｋの回りの回転による載置台１０の向きの変動を、回転支持部２１により載置台１０を回転させて補償する回転補償手段５０とを備えている。
【００２１】
この記録媒体搬送装置は、さらに、ベース台２０に対する載置台１０の位置を搬送横方向へ移動させる横移動支持部４０と、搬送部３０によるベース台２０の搬送によって生じる、記録面２に平行で上記搬送方向に対して直交する搬送横方向（図中矢印Ｘ方向）への載置台１０の位置の変動を補償する位置補償手段６０とを備えている。
【００２２】
なお、上記基板１はプリント基板作成用の感光材料層を有する基板、あるいは液晶表示器やプラズマ表示器等のディスプレイ用基板作成用の感光材料層を有する基板等とすることができる。
【００２３】
また、上記搬送部３０は、従来より知られている機械要素等で構成することができる。より具体的には、例えば、搬送ガイドとしてはボール・レールシステム、あるいはエアスライドシステム等を採用することができ、動力伝達機構としては、ラック・ピニオン機構、ボールネジ・ボールブッシュ機構、ピストン・シリンダ機構、あるいはエアスライダ等を採用することができる。また、駆動源としては、モータ、油圧アクチュエータ、空圧アクチュエータ、リニアモータ等を採用することができる。
【００２４】
回転支持部２１は、ベース台２０のベース部２９上に配設された、回転軸２１Ｂを有するダイレクトドライブモータ２１Ｃと、後述するクロスローラテーブル４１を上部に固定し、回転軸２１Ｂに接続された回転受部２１Ａとを有する。ダイレクトドライブモータ２１Ｃの回転軸２１Ｂの回転軸線は上記記録面垂直軸Ｋと一致し、ダイレクトドライブモータ２１Ｃの回転軸２１Ｂの回転によって回転受部２１Ａが回転することによりクロスローラテーブル４１上の載置台１０が記録面垂直軸Ｋの回りに回転する。
【００２５】
回転補償手段５０は、載置台１０の向きを検出する角度変動検出手段であるレーザ測長システム５１と、このレーザ測長システム５１で検出された上記角度変動を示す角度変動データを入力し、上記角度変動データに基づいて載置台１０の向きの変動を補償するようにダイレクトドライブモータ２１Ｃを駆動し、回転支持部２１による載置台１０の回転を制御する回転制御部５９とを有している。
【００２６】
なお、レーザ測長システム５１は、レーザ測長器本体５２と、レーザ測長器本体５２と一定の位置関係を保つように配置された干渉計部５３と、載置台１０に固定された反射鏡ターゲット５４とからなる、従来より知られているレーザ光の干渉を利用した角度変動検出システムとして構成されているものである。
【００２７】
横移動支持部４０は、上スリーブ２３上に配設された下テーブル４１Ａ、クロスローラ４１Ｃ、および上部に載置台１０が固定された上テーブル４１Ｂからなり、載置台１０を搬送横方向に移動可能とするクロスローラテーブル４１と、下テーブル４１Ａに固定され、上テーブル４１Ｂを下テーブル４１Ａに対して移動させる、マイクロメータヘッド４３およびこのマイクロメータヘッド４３を駆動するモータ４４からなるモータ付きマイクロメータヘッド４５等とから構成されている。なお、下テーブル４１Ａに一端が固定されたバネ４６の他端が上テーブル４１Ｂに固定され、上テーブル４１Ｂがバネ４６に引かれて上テーブル４１Ｂに配設されたマイクロメータヘッド４５のスピンドルを付勢している。
【００２８】
位置補償手段６０は、載置台１０の搬送横方向への変動を測定するレーザ測長システム６１と、このレーザ測長システム６１で測定された搬送横方向への変動を示す搬送横方向変動データを入力し、この搬送横方向変動データに基づいて搬送横方向への変動が補償されるようにベース台２０に対する載置台１０の位置をモータ付きマイクロメータヘッド４５の駆動により制御する横位置制御部６９とを有している。
【００２９】
なお、レーザ測長システム６１は、レーザ測長器本体６２と、レーザ測長器本体６２と一定の位置関係を保つように配置された干渉計部６３と、載置台１０に固定された反射鏡ターゲット６４とからなる、従来より知られているレーザ光の干渉を利用した真直度検出システムとして構成されているものである。
【００３０】
次に上記実施の形態における作用について説明する。
【００３１】
図２は記録媒体搬送装置によって搬送される基板を載置する載置台１０の様子を示す平面図である。
【００３２】
搬送部３０によるベース台２０の搬送にヨーイングが生じることなくこのベース台２０が搬送方向（図中矢印Ｙ方向、以後搬送Ｙ方向という）に搬送される場合には、ベース台２０は、回転したり、あるいは上記搬送Ｙ方向に対して直交する搬送横方向（図中矢印Ｘ方向、以後、搬送横Ｘ方向という）への位置が変動することなく、この載置台１０に載置された基板１の搬送横Ｘ方向における中心線Ｊが搬送Ｙ方向に向かう理想的な搬送軌跡である理想搬送軌跡Ｅに常に重なるように搬送される。
【００３３】
しかしながら、実際には搬送部３０によるベース台２０の搬送においてヨーイングが生じるので、ベース台２０の搬送軌跡はＸＹ平面において曲る変動搬送軌跡Ｆで示されるものとなる。
【００３４】
なお、載置台１０の搬送横Ｘ方向における中心線と基板１の搬送横Ｘ方向における中心線とが互いに重なるように、基板１が載置台１０上に載置されるので、上記図２における基板１の中心線Ｊは載置台１０の中心線でもある。
【００３５】
搬送部３０によって搬送されるベース台２０は、位置Ａにおいては搬送横Ｘ方向への位置変動も記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動も生じていない状態であり、基板１（載置台１０の）の中心線Ｊは理想搬送軌跡Ｅと重なっている。次に、ベース台２０が位置Ｂに搬送されると、ベース台２０に記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動は生じていないが、搬送横Ｘ方向に値δ１だけこのベース台２０の位置が変動する。次に、ベース台２０が位置Ｃに搬送されると、ベース台２０に搬送横Ｘ方向の位置変動は生じていないが、記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動によりベース台２０の向きが反時計回りに角度θ１だけ傾く。つづいて、ベース台２０が位置Ｄに搬送されると、記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動によりベース台２０の向きが反時計回りに角度θ２だけ傾くとともに、このベース台２０の位置が搬送横Ｘ方向とは反対方向にδ２だけ変動する。
【００３６】
なお、図２に示すように、基板１の中心線Ｊの位置と理想搬送軌跡Ｅの位置との位置関係に基づいて、上記位置の変動の値δ１、δ２および回転変動の角度の値θ１、θ２を示している。
【００３７】
上記位置Ａ、位置Ｂ、位置Ｃ，位置Ｄ等におけるベース台２０のヨーイングに伴う載置台１０の位置変動および角度変動は、レーザ測長システム６１とレーザ測長システム５１で検出される。そして、上記載置台１０の位置変動および角度変動は、回転補償手段５０と位置補償手段６０とによって補償される。
【００３８】
以下、回転補償手段５０と位置補償手段６０とによる、載置台１０の位置変動および角度変動の補償について詳しく説明する。
【００３９】
・位置Ｂにおける補償
ベース台２０が位置Ｂに搬送されると、ベース台２０の位置が搬送横Ｘ方向に値δ１だけ変動する。この位置変動はレーザ測長システム６１によって検出され、搬送横Ｘ方向への変動を示す搬送横方向変動データがレーザ測長システム６１から横位置制御部６９に出力される。搬送横方向変動データを入力した横位置制御部６９は、上記搬送横方向変動データに基づいて搬送横Ｘ方向への変動を戻すようにモータ付きマイクロメータヘッド４５の駆動により載置台１０の位置を移動させて、基板１の中心線Ｊの位置を理想搬送軌跡Ｅに一致させる。
【００４０】
・位置Ｃにおける補償
次に、ベース台２０が位置Ｃに搬送されると、記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動によりベース台２０の向きが反時計回りに角度θ１だけ傾く。この角度変動はレーザ測長システム５１で検出され、上記角度変動を示す角度変動データがレーザ測長システム５１から回転制御部５９に出力される。角度変動データを入力した回転制御部５９は、上記角度変動データに基づいて上記載置台１０（基板１）の向きの変動を戻すようにダイレクトドライブモータ２１Ｃの駆動によりクロスローラテーブル４１を介して載置台１０を時計回りに回転させて、基板１の中心線Ｊの位置を理想搬送軌跡Ｅに一致させる。
【００４１】
・位置Ｄにおける補償
つづいて、ベース台２０が位置Ｄに搬送されると、記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動によりベース台２０の向きが反時計回りに角度θ２だけ傾くとともに、このベース台２０の位置が搬送横Ｘ方向とは反対方向にδ２だけ変動する。
【００４２】
上記角度θ２の角度変動はレーザ測長システム５１で検出され、上記角度変動を示す角度変動データがレーザ測長システム５１から回転制御部５９に出力される。角度変動データを入力した回転制御部５９は、上記角度変動データに基づいて載置台１０の角度変動を戻すようにダイレクトドライブモータ２１Ｃの駆動により載置台１０を時計回りに回転させる。この回転により、位置Ｊ１に位置した基板１の中心線Ｊの位置が理想搬送軌跡Ｅと平行な位置Ｊ２に位置する。
【００４３】
また、上記搬送横Ｘ方向とは反対方向へのδ２の位置変動はレーザ測長システム６１によって検出され、上記搬送横Ｘ方向への変動を示す搬送横方向変動データがレーザ測長システム６１から横位置制御部６９に出力される。搬送横方向変動データを入力した横位置制御部６９は、上記搬送横方向変動データに基づいて搬送横Ｘ方向への変動を戻すようにモータ付きマイクロメータヘッド４５の駆動により載置台１０の位置を搬送横Ｘ方向へ移動させる。この移動により基板１の中心線Ｊの位置が理想搬送軌跡Ｅに一致する。
【００４４】
上記のことにより、基板１の中心線Ｊの位置が常に理想搬送軌跡Ｅに一致するようにこの載置台１０を搬送Ｙ方向に移動させることができる。これにより、基板の搬送におけるヨーイングの影響を抑制することができる。
【００４５】
なお、上記実施の形態においては、回転補償手段５０と位置補償手段６０との両方を機能させて、載置台１０に載置された基板１の位置変動および角度変動の補償を行なったが、上記記録媒体搬送装置は、位置補償手段６０の機能を利用することなく回転補償手段５０の機能のみを用いて載置台１０に載置された基板１の角度変動の補償のみを行なうものとすることもできる。
【００４６】
以下、回転補償手段５０により載置台１０に載置された基板１の角度変動の補償のみを行なった場合について図３を参照して説明する。図３は記録媒体搬送装置の位置補償手段を機能させないようにして搬送される基板の様子を示す平面図である。
【００４７】
搬送部３０によって搬送されるベース台２０は、位置Ａにおいては搬送横Ｘ方向への位置変動も記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動も生じていない状態であり、基板１の中心線Ｊは理想搬送軌跡Ｅと重なっている。
【００４８】
・位置Ｂにおける補償
ベース台２０が位置Ｂに搬送されると、ベース台２０の位置が搬送横Ｘ方向に値δ１だけ変動するが、記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動は生じていないので回転補償手段５０により載置台１０を回転させる動作は行なわれない。なお、載置台１０の搬送横Ｘ方向への位置変動の補償は実施されない。
【００４９】
・位置Ｃにおける補償
次に、ベース台２０が位置Ｃに搬送されると、記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動によりベース台２０の向きが反時計回りに角度θ１だけ傾く。この角度変動はレーザ測長システム５１で検出され、上記角度変動を示す角度変動データがレーザ測長システム５１から回転制御部５９に出力される。角度変動データを入力した回転制御部５９は、上記角度変動データに基づいて載置台１０の向きの変動を戻すようにダイレクトドライブモータ２１Ｃの駆動により載置台１０を時計回りに回転させて、基板１の中心線Ｊの向きを理想搬送軌跡Ｅに対して平行な向きにすることで、基板１の中心線Ｊの位置と理想搬送軌跡Ｅの位置とが一致する。
【００５０】
・位置Ｄにおける補償
つづいて、ベース台２０が位置Ｄに搬送されると、記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動によりベース台２０の向きが反時計回りに角度θ２だけ傾くとともに、このベース台２０の位置が搬送横Ｘ方向とは反対方向にδ２だけ変動する。
【００５１】
上記角度θ２の角度変動はレーザ測長システム５１で検出され、上記角度変動を示す角度変動データがレーザ測長システム５１から回転制御部５９に出力される。角度変動データを入力した回転制御部５９は、上記角度変動データに基づいて載置台１０の角度変動を戻すようにダイレクトドライブモータ２１Ｃの駆動により載置台１０を時計回りに回転させる。この回転で基板１の中心線Ｊの向きが理想搬送軌跡Ｅに対して平行な向きとなる。なお、ここでも載置台１０の搬送横Ｘ方向への位置変動の補償は実施されない。
【００５２】
上記のことにより、基板１の中心線Ｊの向きが常に理想搬送軌跡Ｅに対して平行な向きとなるように載置台１０を移動させることができる。これにより、基板１の搬送におけるヨーイングの影響を抑制することができる。
【００５３】
さらに、回転補償手段５０により載置台１０の角度変動の補償を行なうとともに、上記位置補償手段６０の機能を利用することなく、記録ヘッドにより基板１の記録面２に記録される画像を表す画像データの位置座標を搬送横Ｘ方向にシフトさせて、載置台１０の搬送横Ｘ方向への位置変動の補償を行なう場合について図４、図５および図６を参照して説明する。
【００５４】
図４（ａ）は記録ヘッドにより記録面に記録される画像の位置をシフトさせて位置変動の補償を行なう記録媒体搬送装置の概略構成を示す平面図、図４（ｂ）は上記記録媒体搬送装置を示す側面図、図５は基板の記録面に記録される画像の記録面上の所定の領域を示す平面図、図６は記録ヘッドにより記録面に記録される画像を表す画像データの位置座標をシフトさせて位置変動の補償を行なう様子を示す平面図である。
【００５５】
位置補償手段７０は、載置台１０の搬送横Ｘ方向への位置の変動を検出する横変動検出手段である上記レーザ測長システム６１と、記録ヘッド８０により基板１の記録面２に記録される画像Ｇを表す画像データの位置座標を搬送横Ｘ方向にシフトさせるデータシフト手段７６とを備え、搬送部３０で搬送される基板１の記録面２に記録ヘッド８０により画像Ｇが記録される際に、レーザ測長システム６１によって検出された上記載置台１０の搬送横Ｘ方向への位置の変動に基づいて、上記データシフト手段７６により、上記画像データの位置座標を搬送横Ｘ方向へシフトさせる。
【００５６】
以下、位置補償手段７０による載置台１０の搬送横Ｘ方向への位置変動の補償について詳しく説明する。なお、位置Ａ、位置Ｂ、位置Ｃ、位置Ｄにおける記録ヘッド８０による基板１の記録面２への画像の記録は、図５に示す領域１ａ、領域１ｂ、領域１ｃ、領域１ｄに対して順次行なわれる。
【００５７】
・位置Ａにおける補償および記録ヘッド８０による記録
位置Ａにおいては、基板１の中心線Ｊの位置は理想搬送軌跡Ｅに一致しているので、回転補償手段５０による載置台１０の角度変動の補償および、位置補償手段７０による載置台１０の位置変動の補償が実行されることなく、記録ヘッド８０により基板１に画像Ｇ１を記録する。この画像Ｇ１は基板１中の領域１ａに記録される。
【００５８】
・位置Ｂにおける補償および記録ヘッド８０による記録
ベース台２０が位置Ｂに搬送されると、記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動は生じないが、ベース台２０の位置が搬送横Ｘ方向に値δ１だけ変動する。この位置変動はレーザ測長システム６１で検出され、この搬送横Ｘ方向への変動を示す搬送横方向変動データがレーザ測長システム６１からデータシフト手段７６に出力される。搬送横方向変動データを入力したデータシフト手段７６は、上記搬送横方向変動データに基づいて、記録ヘッド８０により基板１上に記録される画像を表す画像データの位置座標を搬送横Ｘ方向とは反対方向へ値δ１だけシフトさせる。ここで、記録ヘッド８０により、基板１に、上記値δ１だけシフトされた画像データによって表される画像Ｇ２を記録することによって、この画像Ｇ２は基板１中の中心線Ｊから搬送横Ｘ方向とは反対方向へ値δ１だけシフトした領域１ｂに記録される。
【００５９】
・位置Ｃにおける補償
次に、ベース台２０が位置Ｃに搬送されると、ベース台２０の搬送横Ｘ方向への変動は無くなり、記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動によりベース台２０の向きが反時計回りに角度θ１だけ傾く。この角度変動はレーザ測長システム５１で検出され、上記角度変動を示す角度変動データがレーザ測長システム５１から回転制御部５９に出力される。角度変動データを入力した回転制御部５９は、上記角度変動データに基づいて載置台１０の向きの変動を戻すようにダイレクトドライブモータ２１Ｃの駆動により載置台１０を時計回りに回転させ、基板１の中心線Ｊの向きを理想搬送軌跡Ｅに対して平行にすることで、基板１の中心線Ｊの位置と理想搬送軌跡Ｅの位置とが一致する。ここで、記録ヘッド８０により基板１に画像Ｇ３を記録すると、この画像Ｇ３は基板１中の搬送横Ｘ方向に位置ずれのない領域１ｃに記録される。
【００６０】
・位置Ｄにおける補償
つづいて、ベース台２０が位置Ｄに搬送されると、記録面垂直軸Ｋの回りの角度変動によりベース台２０の向きが反時計回りに角度θ２だけ傾くとともに、このベース台２０の位置が搬送横Ｘ方向とは反対方向にδ２だけ変動する。
【００６１】
上記角度θ２の角度変動はレーザ測長システム５１で検出され、上記角度変動を示す角度変動データがレーザ測長システム５１から回転制御部５９に出力される。角度変動データを入力した回転制御部５９は、上記角度変動データに基づいて載置台１０の角度変動を戻すようにダイレクトドライブモータ２１Ｃの駆動により載置台１０を時計回りに回転させる。この回転で基板１の中心線Ｊの向きが理想搬送軌跡Ｅに対して平行な向きとなる。
【００６２】
また、上記ベース台２０の搬送横Ｘ方向とは反対方向へのδ２の位置変動はレーザ測長システム６１によって検出され、上記搬送横Ｘ方向とは反対方向への変動を示す搬送横方向変動データがレーザ測長システム６１からデータシフト手段７６に出力される。搬送横方向変動データを入力したデータシフト手段７６は、上記搬送横方向変動データに基づいて、記録ヘッド８０により基板１上に記録される画像を表す画像データの位置座標を搬送横Ｘ方向へ値δ２だけシフトさせる。ここで、記録ヘッド８０により、基板１に、上記値δ２だけシフトされた画像データによって表される画像Ｇ４を記録すると、この画像Ｇ４は基板１中の中心線Ｊから搬送横Ｘ方向に値δ２だけシフトした領域１ｄに記録される。
【００６３】
したがって、画像Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４に関しては、各画像が記録される基板１中の各領域は互いに搬送横Ｘ方向へずれるが、画像としての互いの位置関係はずれることなく基板１中に記録することができる。また、上記のように個別の画像を基板中の搬送Ｙ方向および搬送横Ｘ方向にそれぞれ複数記録することにより全体画像が基板１に記録されるので、上記全体画像の大きさを基板１の大きさよりも少し大きくしておくことにより基板１上の全領域に所望の画像を記録することができる。
【００６４】
上記のことにより、搬送部の搬送におけるヨーイングの影響により載置台に載置された基板の向きの変動あるいは位置の変動が生じても、記録ヘッド８０により、この基板中の所定の位置に画像を記録することができ、基板の搬送におけるヨーイングの影響を抑制することができる。
【００６５】
なお、上記実施の形態においては、搬送手段によるベース台の搬送で生じるこのベース台の記録面垂直軸の回りの回転による載置台の向きの変動を、角度検出手段で検出した角度変動に基づいて補償するように回転支持手段による載置台の回転を制御したり、搬送手段によるベース台の搬送で生じるこのベース台の搬送横方向への位置の変動を、横変動検出手段で検出した載置台の搬送横方向への位置の変動に基づいて補償するように横移動支持手段による載置台の搬送横方向への移動を制御したり、あるいは、搬送手段で搬送される記録媒体の記録面に対して記録ヘッドにより画像が記録される際に、横変動検出手段によって検出された載置台の搬送横方向への位置の変動に基づいて、データシフト手段による画像データの位置座標の搬送横方向への移動を制御したりするクローズドループによる制御の例を示したが、上記制御はオープンループで実施するようにしてもよい。
【００６６】
すなわち、例えば、図７（ａ）の記録媒体搬送装置の概略構成を示す平面図、および図７（ｂ）の上記装置の概略構成を示す側面図に示すように、記録媒体搬送装置に、ベース台２０の搬送方向の位置である搬送位置と上記各搬送位置における記録面垂直軸Ｋの回りの回転による載置台１０の向きの変動との関係を示す、予め測定された角度変動データを記憶する角度変動記憶手段８３、上記ベース台２０の搬送位置と各搬送位置における搬送横Ｘ方向への載置台１０の位置の変動との関係を示す、予め測定された位置変動データを記憶する位置変動記憶手段８４、およびベース台２０の搬送位置を測定する搬送位置測定手段８５を備えるようにする。
【００６７】
そして、回転補償手段５０Ａが、搬送位置測定手段８５で測定されたベース台２０の搬送位置を示すデータを入力しこの搬送位置に対応させて、角度変動記憶手段８３から角度変動データを呼び出して、この角度変動データに基づいて、載置台１０の向きの変動が補償されるように、回転支持部２１のダイレクトドライブモータ２１Ｃの駆動による載置台１０の回転を制御するようにするとともに、位置補償手段６０Ａが、搬送位置測定手段８５で測定されたベース台２０が位置する搬送位置を表すデータを入力しこの搬送位置に対応させて、位置変動記憶手段８４から位置変動データを呼び出して、この位置変動データに基づいて、載置台１０の位置の変動が補償されるように、横移動支持部４０のモータ付きマイクロメータヘッド４５を駆動して載置台１０の搬送横Ｘ方向への移動を制御するようにすることができる。
【００６８】
なお、搬送位置測定手段８５は、例えば、搬送部３０に配置された搬送Ｙ方向に延びるスケール８５Ａをベース台２０のベース部２９に配置された検出部８５Ｂで読み取ってベース台２０の搬送位置を測定する方式等を採用することができる。
【００６９】
また、例えば、図８（ａ）の記録媒体搬送装置の概略構成を示す平面図および図８（ｂ）の上記装置の概略構成を示す側面図に示すように、記録媒体搬送装置に、ベース台２０の搬送方向の位置である搬送位置と上記各搬送位置における記録面垂直軸Ｋの回りの回転による載置台１０の向きの変動との関係を示す、予め測定された角度変動データを記憶する角度変動記憶手段８３、上記ベース台２０の搬送位置と各搬送位置における搬送横Ｘ方向への載置台１０の位置の変動との関係を示す、予め測定された位置変動データを記憶する位置変動記憶手段８４、およびベース台２０の搬送位置を測定する搬送位置測定手段８５を備えるようにする。
【００７０】
そして、回転補償手段５０Ａが、搬送位置測定手段８５で測定されたベース台２０の搬送位置を表すデータを入力しこの搬送位置に対応させて、角度変動記憶手段８３から角度変動データを呼び出して、この角度変動データに基づいて、載置台１０の向きの変動が補償されるように、回転支持部２１のダイレクトドライブモータ２１Ｃの駆動による載置台１０の回転を制御するようにするとともに、位置補償手段７０Ａが、記録ヘッド８０により基板１上の記録面２に記録される画像を示す画像データの位置座標を搬送横方向にシフトさせるデータシフト手段７６Ａを備え、この位置補償手段７０Ａが、搬送位置測定手段８５で測定されたベース台２０の搬送位置を表すデータを入力しこの搬送位置に対応させて、位置変動記憶手段８４から位置変動データを呼び出して、この位置変動データに基づいて、データシフト手段７６Ａにより、画像データの位置座標を搬送横Ｘ方向へシフトさせるようにすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の記録媒体搬送装置の概略構成を示す図
【図２】記録媒体搬送装置によって搬送される基板の様子を示す平面図
【図３】記録媒体搬送装置の位置補償手段を機能させないようにして搬送される基板の様子を示す図
【図４】記録ヘッドにより記録面に記録される画像の位置をシフトさせて位置変動の補償を行なう記録媒体搬送装置の概略構成を示す図
【図５】基板の記録面に記録される画像の記録面上の所定の領域を示す平面図
【図６】記録ヘッドにより記録面に記録される画像をシフトさせて位置変動の補償を行なう様子を示す平面図
【図７】載置台の位置変動および角度変動の補償をオープンループ制御で行なう記録媒体搬送装置の実施の形態の１例を示す図
【図８】載置台の位置変動および角度変動の補償をオープンループ制御で行なう記録媒体搬送装置の実施の形態の１例を示す図
【符号の説明】
１  基板
２    記録面
１０    載置台
２０    ベース台
２１    回転支持部
３０    搬送部
４０    横移動支持部
５０    回転補償手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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