(57)【要約】【課題】短時間に試験を行うことができるＩＣテスタを実現することを目的にする。【解決手段】本発明は、複数の出力ピンを有する被試験対象を試験するＩＣテスタに改良を加えたものである。本装置は、被試験対象の出力ピンを、複数のリレーにより選択する選択部と、この選択部が選択した出力ピンに電流を流す少なくとも１つの電流源と、選択部のリレーの切替を制御すると共に、リレーのオン時に、電流源に電流を流させる制御部とを設けたことを特徴とする装置である。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の出力ピンを有する被試験対象を試験するＩＣテスタにおいて、
前記被試験対象の出力ピンを、複数のリレーにより選択する選択部と、
この選択部が選択した出力ピンに電流を流す少なくとも１つの電流源と、
前記選択部のリレーの切替を制御すると共に、前記リレーのオン時に、電流源に電流を流させる制御部と
を設けたことを特徴とするＩＣテスタ。
【請求項２】
選択部が選択した出力ピンの電圧を計測する少なくとも１つの電圧計測部を設けたことを特徴とする請求項１記載のＩＣテスタ。
【請求項３】
選択部が選択した出力ピンの電圧を、比較電圧と比較する少なくとも１つのコンパレータを設けたことを特徴とする請求項１記載のＩＣテスタ。
【請求項４】
複数の出力ピンを有する被試験対象を試験するＩＣテスタにおいて、
前記被試験対象の出力ピンを、複数のリレーにより選択する選択部と、
前記被試験対象に電源電圧を供給すると共に、接地電位に接続する電源部と、
前記選択部が選択した出力ピンから電流を引き込む少なくとも１つの電流源と、
前記接地電位に接続せずに、前記被試験対象と電流源と共に負荷電流の経路をなす負荷電源と
を設けたことを特徴とするＩＣテスタ。
【請求項５】
負荷電源のプラス端と選択部が選択した出力ピンとの電位差を計測する少なくとも１つの電圧計測部を設けたことを特徴とする請求項４記載のＩＣテスタ。
【請求項６】
負荷電源のプラス端と選択部が選択した出力ピンとの分圧を、比較電圧と比較するコンパレータを設けたことを特徴とする請求項４記載のＩＣテスタ。
【請求項７】
被試験対象はプラズマディスプレイドライバであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のＩＣテスタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の出力ピンを有する被試験対象、例えば、プラズマディスプレイドライバ等を試験するＩＣテスタに関し、短時間に試験が行えるＩＣテスタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣテスタは、被試験対象（以下ＤＵＴと略す）、例えば、ＩＣ，ＬＳＩ等に試験パターンを与え、ＤＵＴの出力と期待値とを比較し、ＤＵＴの良否の判定を行うものである。例えば、「ＴＳ６０００　２０ＭＨｚ　ロジックＬＳＩテストシステム」横河技報，Ｖｏｌ．４２，１９９８，Ｎｏ．３，ｐ．８９−９４等に記載されている。このような装置を図７に示し説明する。
【０００３】
図７において、ＤＵＴ１はプラズマディスプレイドライバで、出力ピンが６０以上の複数ピンを有している。ピンエレクトロニクス（以下ＰＥと略す）２は、ＤＵＴ１の出力ピンごとに設けられ、ドライバ、コンパレータ、比較的小電圧・小電流のソース・メジャーである測定ユニット等を有する。マルチプレクサ３は選択部で、ＤＵＴ１の出力ピンに電気的に接続し、複数のリレーにより選択を行う。ＤＣモジュール４は、ＰＥ２の測定ユニットに比較し、大電圧・大電流のソース・メジャーで、マルチプレクサ３に電気的に接続する。
【０００４】
このようなＩＣテスタには、ファンクションテストとＤＣテストがある。ファンクションテストは、ＤＵＴ１の機能試験を行うテストで、ＰＥ２のドライバ、コンパレータを用いて行われる。ＤＵＴ１の入力ピンに、図示しないＰＥのドライバから試験パターンを入力し、ＤＵＴ１の出力ピンからの出力により、ＰＥ２のコンパレータが期待値と比較し、良否の判定を行う。
【０００５】
また、ＤＣテストは直流特性試験で、小電圧・小電流の試験においてはＰＥ２の測定ユニットを用いて行われる。ＰＥ２の測定ユニットがＤＵＴ１の出力ピンにより測定を行い、良否の判定を行う。
【０００６】
次に、大電圧・大電流のＤＣテストについて説明する。マルチプレクサ３により、ＤＵＴ１の出力ピンを選択し、ＤＣモジュール４により、電流を与え、電圧測定を行い、ＤＵＴ１の出力抵抗（電圧降下）の良否の判定を行う。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、ＩＣ，ＬＳＩ等の試験において、大電圧・大電流を試験するピンは１〜数ピンなので、大電圧・大電流を試験するＤＣモジュール４をＩＣテスタは多くもっていない。しかし、プラズマディスプレイドライバの場合、高電圧、例えば１００Ｖを６０以上の出力ピンから出力して、プラズマディスプレイを駆動するので、多くのピンで大電圧、大電流の試験が必要になる。
【０００８】
大電圧・大電流のＤＣモジュール４は、高精度の大電流を得るために、応答速度が遅いので、試験時間短縮のため、電流を流した状態にして、マルチプレクサ３の切り替えを行い、試験を行っている。しかし、大電圧・大電流のＤＣモジュール４により、リレーに過電流が印加される可能性があり、リレーの破損につながってしまう。そこで、リレーの破損防止のため、リレーの接点定格を上げることが考えられるが、動作速度が遅くなり、試験時間がかかってしまう。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、短時間に試験を行うことができるＩＣテスタを実現することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、
複数の出力ピンを有する被試験対象を試験するＩＣテスタにおいて、
前記被試験対象の出力ピンを、複数のリレーにより選択する選択部と、
この選択部が選択した出力ピンに電流を流す少なくとも１つの電流源と、
前記選択部のリレーの切替を制御すると共に、前記リレーのオン時に、電流源に電流を流させる制御部と
を設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、
選択部が選択した出力ピンの電圧を計測する少なくとも１つの電圧計測部を設けたことを特徴とするものである。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、
選択部が選択した出力ピンの電圧を、比較電圧と比較する少なくとも１つのコンパレータを設けたことを特徴とするものである。
【００１３】
請求項４記載の発明は、
複数の出力ピンを有する被試験対象を試験するＩＣテスタにおいて、
前記被試験対象の出力ピンを、複数のリレーにより選択する選択部と、
前記被試験対象に電源電圧を供給すると共に、接地電位に接続する電源部と、
前記選択部が選択した出力ピンから電流を引き込む少なくとも１つの電流源と、
前記接地電位に接続せずに、前記被試験対象と電流源と共に負荷電流の経路をなす負荷電源と
を設けたことを特徴とするものである。
【００１４】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の発明において、
負荷電源のプラス端と選択部が選択した出力ピンとの電位差を計測する少なくとも１つの電圧計測部を設けたことを特徴とするものである。
【００１５】
請求項６記載の発明は、請求項４記載の発明にいて、
負荷電源のプラス端と選択部が選択した出力ピンとの分圧を、比較電圧と比較するコンパレータを設けたことを特徴とするものである。
【００１６】
請求項７記載の発明は、請求項１〜６のいずれかに記載の発明において、
被試験対象はプラズマディスプレイドライバであることを特徴とするものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の第１の実施例を示した構成図である。図７と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【００１８】
図１において、ＤＣモジュール５は、ＤＣモジュール４の代わりに設けられ、測定ユニットに比較し、大電圧・大電流のソース・メジャーで、マルチプレクサ３に電気的に接続する。そして、ＤＣモジュール５は、電流源５１、電圧計測部５２からなる。電流源５１は、一端をマルチプレクサ３に電気的に接続し、マルチプレクサ３が選択した出力ピンに電流を流し、他端を接地電位に接続する。電圧計測部５２は、マルチプレクサ３に電気的に接続し、マルチプレクサ３が選択した出力ピンの電圧を計測する。制御部６は、クロックを入力し、マルチプレクサ３のリレーの切替を制御すると共に、リレーのオン時に、電流源５１に電流を流させる。
【００１９】
このような装置のＤＣモジュール５を用いた動作を以下で説明する。なお、以下ＰＥ２によるファンクション動作等は従来と同じなので説明を省略する。図２は図１に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。（ａ）はクロック、（ｂ）〜（ｄ）はそれぞれマルチプレクサ３のリレーＲＬ（ｎ−１），ＲＬ（ｎ），ＲＬ（ｎ＋１）の動作、（ｅ）は電流源５１の電流である。
【００２０】
制御部６は、同期のためのクロックを入力し、電流源５１の電流を絞って止める（イ）。そして、制御部６は、マルチプレクサ３のリレーＲＬ（ｎ−１）をオフ駆動させた後（ロ）、リレーＲＬ（ｎ）をオン駆動させる（ハ）。そして、リレーＲＬ（ｎ−１）が復帰時間経過後オフする（ニ）。また、リレーＲＬ（ｎ）が動作時間経過後オンする（ホ）。そして、制御部６は、測定条件である電流を電流源５１に流させる（ヘ）。この結果、リレーＲＬ（ｎ）に接続されているＤＵＴ１の出力ピンから電流源５１は電流を引いていく。制御部６は、整定時間を待って、電圧計測部５２に電圧を計測させる（ト）。この電圧計測部５２の計測結果により、ＤＵＴ１の良否の判定を行う。
【００２１】
このように、制御部６がリレーのオン時に、電流源５１の電流を流すように制御し、リレーの切替時に電流を流さないようにするので、過電流を防止でき、リレー接点の定格電流を上げる必要がなく、試験時間を短縮できる。
【００２２】
次に、第２の実施例を図３に示し説明する。ここで、図１，７と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【００２３】
図３において、マルチプレクサ３ａ，３ｂは、マルチプレクサ３の代わりに設けられ、それぞれ、ＤＵＴ１の奇数出力ピン、偶数出力ピンに電気的に接続し、複数のリレーにより選択を行う。ＤＣモジュール５ａ，５ｂは、ＤＣモジュール５の代わりに設けられ、測定ユニットと比較し、大電圧・大電流のソース・メジャーで、それぞれマルチプレクサ３ａ，３ｂに電気的に接続する。そして、ＤＣモジュール５ａ，５ｂは、ＤＣモジュール５と同様に、図示しない電流源、電圧計測部からなる。制御部６ａは、クロックを入力し、マルチプレクサ３ａ，３ｂのリレーの切替を制御すると共に、リレーのオン時に、ＤＣモジュール５ａ，５ｂの電流源に電流を流させる。
【００２４】
このような装置のＤＣモジュール５ａ，５ｂを用いた動作を以下に説明する。図４は図３に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。ここで、マルチプレクサ３ａ，３ｂに用いられるリレーＲＬ（ｎ−１），ＲＬ（ｎ）において、ｎ−１は奇数、ｎは偶数とする。（ａ）はクロック、（ｂ）〜（ｆ）はそれぞれリレーＲＬ（ｎ−１），ＲＬ（ｎ），ＲＬ（ｎ＋１），ＲＬ（ｎ＋２），ＲＬ（ｎ＋３）の動作、（ｇ），（ｈ）はそれぞれＤＣモジュール５ａ，５ｂの電流源の制御信号である。ここで、制御信号がロウレベルのとき、電流源は電流を流す。
【００２５】
制御部６ａは、クロックごとに、マルチプレクサ３ａ，３ｂのリレーを、交互に切り替えてオン駆動し、ＤＵＴ１の出力ピンを順に選択する。これに伴って、制御部６ａは、交互に、マルチプレクサ３ａ，３ｂのリレーがオン時に、ＤＣモジュール５ａ，５ｂの電流源に電流を流させる。そして、ＤＣモジュール５ａ，５ｂの電圧計測部が電圧を計測し、この結果によりＤＵＴ１の良否の判定を行う。
【００２６】
また、ＤＣモジュール５ａ，５ｂを用いた他の動作例を説明する。図５は図３に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。（ａ）はクロック、（ｂ）はリレーＲＬ（ｎ−１），ＲＬ（ｎ）の動作、（ｃ）はリレーＲＬ（ｎ＋１），ＲＬ（ｎ＋２）の動作、（ｄ），（ｅ）はＤＣモジュール５ａ，５ｂの電流源の制御信号である。
【００２７】
制御部６ａは、クロックごとに、マルチプレクサ３ａ，３ｂのリレーを同時にオン駆動し、ＤＵＴ１の奇数、偶数の出力ピンを切り替えて選択する。そして、制御部６ａは、マルチプレクサ３ａ，３ｂのリレーが同時にオン時に、交互にＤＣモジュール５ａ，５ｂの電流源の電流を流させる。これにより、ＤＣモジュール５ａ，５ｂの電圧計測部が電圧を計測し、この結果によりＤＵＴ１の良否の判定を行う。
【００２８】
そして、第３の実施例を図６に示し以下に説明する。ここで、図１，７と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【００２９】
図６において、抵抗Ｒ０はＤＵＴ１の出力抵抗で、電源端と出力ピンとの間に表れる。ＤＣモジュール７は電源部で、電源７１、内部抵抗Ｒからなり、ＤＵＴ１の電源電圧を供給すると共に、接地電位に接続する。電源７１はマイナス端を接地電位に接続し、ＤＵＴ１のグランド端も接地電位に接続され、同電位にされる。内部抵抗Ｒは、一端を電源７１のプラス端に接続し、他端をＤＵＴ１の電源端子に接続する。ＤＣモジュール８は、ＤＣモジュール５の代わりに設けられ、測定ユニットと比較し、大電圧・大電流のソース・メジャーで、マルチプレクサ３に電気的に接続する。そして、ＤＣモジュール８は、電流源８１、電圧計測部８２、負荷電源８３からなる。電流源８１は、一端をマルチプレクサ３に電気的に接続する。電圧計測部８２は、一端をマルチプレクサ３に電気的に接続し、電圧を計測する。負荷電源８３は、マイナス端を電流源８１の他端に接続し、プラス端を電圧計測部８２の他端に接続する。リレー９は、一端を負荷電源８３のプラス端に接続し、他端をＤＵＴ１の電源端に接続する。
【００３０】
このような装置のＤＣモジュール７を用いた動作を以下に説明する。ＤＣモジュール７が、ＤＵＴ１の電源電圧を供給する。そして、図示しない制御部が、リレー９をオンにし、マルチプレクサ３のリレーの１つをオンにする。負荷電源８３がリレー９を介して負荷電圧（電流）をＤＵＴ１の電源端に供給する。このとき、電流源８１が、マルチプレクサ３のリレーがオンされたＤＵＴ１の出力ピンから電流を引いていく。これにより、負荷電源８３が供給する負荷電流が、ＤＵＴ１の出力抵抗Ｒ０、マルチプレクサ３のリレーを介して、電流源８１に流れる。電圧計測部８２が電圧を測定し、電圧降下を測定し、この結果によりＤＵＴ１の良否の判定を行う。
【００３１】
そして、マルチプレクサ３のリレーを切り替えて、ＤＵＴ１の出力ピンの電圧降下を測定し、ＤＵＴ１の良否の判定を行う。
【００３２】
ＤＵＴ１（プラズマディスプレイドライバ）は高圧電源、例えば、１００Ｖ以上、数ｍＡを要求する。そのため、一般的に、ＤＣモジュール７の内部抵抗Ｒが高くなる。その結果、ＤＣモジュール８を接地電位に接続すると、負荷電流変動でＤＣモジュール７の出力端子電圧が変動し、電圧計測部８２の測定誤差に加算される。また、マルチプレクサ３により切り替えを行い、電圧が変動すると、ＤＵＴ１の１ピンごとに電源７１が整定するのに時間がかかり、試験時間がかかってしまう。
【００３３】
一方、図６に示す装置では、ＤＣモジュール８は接地電位に接続されていないので、動作電流は、ＤＣモジュール７によりＤＵＴ１に供給され、負荷電流はＤＣモジュール８によりＤＵＴ１に供給される。従って、ＤＣモジュール７の電圧変動が起こらないので、ＤＣモジュール７の電源７１の整定時間を必要とせず、試験時間を短くできる。また、ＤＣモジュール７の電圧変動がないので、測定誤差を抑えることができる。
【００３４】
そして、ＤＵＴ１がプラズマディスプレイドライバの場合、約２０Ｖの電圧降下を測定し、０．１Ｖオーダーの精度を要求する。電圧計測部８２がフローティングでない場合（接地電位に接続されている場合）、電源の電圧である１２８Ｖが測定できなければならない。しかし、電圧計測部８２がフローティングなので、約２０Ｖのレンジ測定ができればよい。つまり、容易に高精度が得られ、安価な電圧計測部を用いることができる。
【００３５】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、図１，３に示すＤＣモジュール５，５ａ，５ｂはＤＵＴ１の出力ピンから電流を引く構成を示したが、電流を与えて、試験を行う構成でもよい。
【００３６】
また、図１，３に示す装置に、図６に示す装置のように、ＤＣモジュール５，５ａ，５ｂをフローティングにしてもよい。
【００３７】
そして、図１，３，６に示す装置において、電圧計測部５２，８２、ＤＣモジュール５ａ，５ｂの電圧計測部で試験を行う構成を示したが、電圧計測部の代わりに、コンパレータにより比較電圧と比較して、良否を判定する構成でもよい。ここで、電圧計測部８２では、代わりに分圧抵抗を設け、分圧をコンパレータで比較電圧と比較することにより、良否の判定は行われる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明によれば、以下のような効果がある。
請求項１〜３，７によれば、制御部がリレーのオン時に、電流源に電流を流させるようにし、リレーの切替時に電流を流さないようにするので、過電流を防止でき、リレー接点の定格電流を上げる必要がなく、試験時間を短縮できる。
【００３９】
請求項４〜７によれば、負荷電源は、接地電位に接続されていないので、動作電流は、電源部により被試験対象に供給され、負荷電流は負荷電源により被試験対象に供給される。従って、電源部の電圧変動が起こらないので、電源部の整定時間を必要とせず、試験時間を短くできる。
【００４０】
請求項５，６によれば、電源部の電圧変動がないので、測定誤差または判定誤差を抑えることができる。
【００４１】
請求項５によれば、電圧計測部のレンジが小さくてよいので、容易に高精度が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示した構成図である。
【図２】図１に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。
【図３】本発明の第２の実施例を示した構成図である。
【図４】図３に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。
【図５】図３に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。
【図６】本発明の第３の実施例を示した構成図である。
【図７】従来のＩＣテスタの構成を示した図である。
【符号の説明】
１　ＤＵＴ
３，３ａ，３ｂ　マルチプレクサ
５，５ａ，５ｂ，７，８　ＤＣモジュール
５１，８１　電流源
５２，８２　電圧計測部
６，６ａ　制御部
８３　電源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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