(57)【要約】【課題】蒸気を安定して高効率に供給でき、しかも短時間で蒸気を発生させることができ、また構成が簡素化され、メンテナンスが容易な蒸気発生器を提供する。【解決手段】液体を貯留する液体タンク部１と、前記液体タンク部に直接接続され、前記液体タンク部から供給された液体を加熱し、蒸気を生成する蒸発部２と、前記蒸発部に直接接続され、前記蒸発部によって生成された蒸気を貯留する蒸気貯留部３と、前記蒸気貯留部３と直接接続され、前記蒸発部によって生成された蒸気を外部に導出する導出路４と、前記液体タンクに接続された液体を供給する液路１０ｂと、前記蒸発部２の一側面に設けられた、少なくとも蒸発部２を加熱するヒータ部２０とを備え、前記液体タンク１、蒸発部２、蒸気貯留部３、導出路４、液路１０ｂが透光性材料からなる一体物中に形成されている。【選択図】      図１
2004298331.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留する液体タンク部と、
前記液体タンク部に直接接続され、前記液体タンク部から供給された液体を加熱し、蒸気を生成する蒸発部と、
前記蒸発部に直接接続され、前記蒸発部によって生成された蒸気を貯留する蒸気貯留部と、
前記蒸気貯留部と直接接続され、前記蒸発部によって生成された蒸気を外部に導出する導出路と、
前記液体タンク部に接続され、前記液体タンク部に液体を供給する液路と、
前記蒸発部の一側面に設けられ、少なくとも蒸発部を加熱するヒータ部とを備え、
前記液体タンク部、蒸発部、蒸気貯留部、導出路、液路が、透光性材料からなる一体物中に形成されていることを特徴とする蒸気発生器。
【請求項２】
前記透光性材料からなる一体物がガラス体であることを特徴とする請求項１に記載された蒸気発生器。
【請求項３】
前記透光性材料からなる一体物が、透明な、シリカガラス体、硼珪酸ガラス体、ソーダガラス体のいずれかであることを特徴とする請求項２に記載された蒸気発生器。
【請求項４】
前記蒸発部の横断面積は、液体タンク部の横断面積より小さく、液体タンク部側から蒸気貯留部側に向かって徐々に横断面積が拡がるように形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載された蒸気発生器。
【請求項５】
前記蒸発部と液体タンク部を跨いで、多孔質体が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載された蒸気発生器。
【請求項６】
前記導出路の縦断面形状が、外部に向けて徐々に拡がる台形状に形成されると共に、前記導出路中に拡散板が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載された蒸気発生器。
【請求項７】
前記ヒータ部は、カーボンワイヤー発熱体がガラス板中に封入されたヒータであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載された蒸気発生器。
【請求項８】
前記ヒータ部は、カーボンワイヤー発熱体が収納される溝が形成された第一のガラス板と、前記溝を覆う第二のガラス板とを融着させることにより、カーボンワイヤー発熱体をガラス板中に封入することを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項７のいずれかに記載された蒸気発生器。
【請求項９】
前記ガラス体に対して、液体タンク、蒸発部、蒸気貯留部、導出路を凹部として形成し、前記凹部の開口面を前記ヒータ部のガラス板で前記ガラス体に融着し覆うことにより、液体タンク、蒸発部、蒸気貯留部、導出路が形成されることを特徴とする請求項２または請求項３に記載された蒸気発生器。
【請求項１０】
前記ヒータ部は、カーボンワイヤー発熱体がガラス板中に封入されたヒータであって、前記ガラス体の側面にヒータ部のガラス板を融着することを特徴とする請求項２、請求項３、請求項７、請求項８、請求項９のいずれかに記載された蒸気発生器。
【請求項１１】
前記ヒータ部は、前記カーボンワイヤー発熱体がガラス板中に封入されたヒータであって、前記ガラス体との当接側または融着側と反対側のガラス板側面に、反射膜あるいは反射部材が設けられていることを特徴とする請求項２、請求項３、請求項７、請求項８、請求項９、請求項１０のいずれかに記載された蒸気発生器。
【請求項１２】
前記ヒータ部は、前記カーボンワイヤー発熱体がガラス板中に封入されたヒータであって、前記ガラス体との当接または融着側と反対側のガラス板中に、反射膜あるいは反射部材が埋設されていることを特徴とする請求項２、請求項３、請求項７、請求項８、請求項９、請求項１０のいずれかに記載された蒸気発生器。
【請求項１３】
前記ヒータ部と前記ガラス体の間に、前記ガラス体の加熱する各部への前記ヒータ部からの熱伝導を均等化せしめる均熱膜または均熱板が形成されていることを特徴とする請求項２、請求項３、請求項７、請求項８、請求項９、請求項１０のいずれかに記載された蒸気発生器。
【請求項１４】
前記蒸発部の近傍に、熱電対が装着されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載された蒸気発生器。
【請求項１５】
前記液体タンク部、蒸発部、蒸気貯留部、導出路が少なくとも形成されたガラス体と、前記ガラス体の側面に設けられたヒータ部とが断熱材で包囲され、金属ケース内に収納されていることを特徴とする請求項２乃至請求項１４に記載された蒸気発生器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は蒸気発生器に関し、より詳細には、短時間で蒸気を発生させることができる蒸気発生器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
蒸気発生装置は、例えば、水蒸気の吐出を利用して、液体を吸い上げて噴霧するスチーム式吸入器等に用いられている。
この種のスチーム式吸入器は、スチームを吐出するノズルを設けると共に、液体タンク内の液内に一端を入れた吸い上げ管の上端を、前記ノズル付近に配置している。そして、水を加熱してスチームを発生させ、このスチームをノズルから吐出させると、液体はスチームの吐出に伴って、吸い上げ管から吸い上げられてスチームの流れにのって噴霧される。
この場合、加熱開始からスチームが発生して噴霧が開始されるまでの時間を短くするために、給水タンク内の水を直接加熱するのではなく、小容量の加熱室を別途設けて、給水タンク内の水の一部を加熱室に導き、ここでスチームを発生させている。
【０００３】
より具体的に説明するために一例を挙げて説明する。例えば、特開２０００−１２６２９６号公報において提案されているスチーム吸引器を、図２１に基づいて説明する。
図中符号１０１は給水タンク部、符号１０３はヒータ１０２が壁面に配された加熱室であり、給水タンク部１０１の底部と加熱室１０３の底部とが導水管路１０４で連通している。また、加熱室１０３の上部空間と給水タンク部１０１の上部空間とはスチーム通過孔（図示せず）で連通しており、加熱室１０３で発生して給水タンク部１０１の上部空間に流れ込んだスチームは、ノズル１０５へと向かうように構成されている。
なお、図中、符号１０６は一端が液体タンク内に位置する吸い上げ管、符号１０７は給水タンク部１内のスチーム圧が上昇した時に開いて圧力を逃がすリリーフバルブ、符号１０８は給水タンク部１０１の上端開口を閉じている中蓋である。
【０００４】
このスチーム吸引器にあっては、給水タンク部１０１から加熱部１０３に水が供給され、この加熱部１０３で発生した水蒸気は、給水タンク部１０１の上部空間に流れ込む。その後、前記水蒸気は給水タンク部１０１の上部空間からノズル１０５に供給され、ノズル１０５から吐出される。これによって、吸い上げ管１０６の上端部は負圧となり、吸い上げ管１０６から液体が吸い上げられてスチームの流れにのって噴霧される。
【０００５】
【特許文献１】
特開平２０００−１２６２９６号公報（第２頁第１欄第２７行乃至第２頁第１欄第４８行）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記蒸気発生装置は、一般的に鉄、アルミニウム等の金属で構成されるため、ヒータ１０２からの熱が筐体（ケーシング）に逃げてしまい、加熱部１０３内の水を有効に加熱することができず、熱効率が悪く、しかも急激な加熱を行うことができなかった。そのため、依然として、加熱開始からスチームが発生して噴霧が開始されるまでの時間が長いという課題を払拭し得ていない。
また、前記蒸気発生装置では、加熱室１０３の壁面にヒータ１０２を配し、水を直接加熱するように構成されている。そのため、水漏れを防止するため、ヒータ１０２と壁面との間にＯリング１０９等の部材を設ける必要があり、使用時間に応じたメンテナンスしなければならなかった。
更に、前記蒸気発生装置では、給水タンク部１０１と加熱室１０３とをパイプで接続し、加熱室１０３の上部空間と給水タンクの上部空間とはスチーム通過孔で連通させ、給水タンク部１０１とノズルとをパイプで接続している。そのため、装置全体が複雑化し、製造コストが嵩むという課題があった。
【０００７】
本発明は、上記した技術的課題を解決するためになされたものであり、蒸気を安定して高効率に供給でき、しかも短時間で蒸気を発生させることができ、また構成が簡素化され、メンテナンスが容易な蒸気発生器を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記技術的課題を解決するためになされたものであり、本発明にかかる蒸気発生装置は、液体を貯留する液体タンク部と、前記液体タンク部に直接接続され、前記液体タンク部から供給された液体を加熱し、蒸気を生成する蒸発部と、前記蒸発部に直接接続され、前記蒸発部によって生成された蒸気を貯留する蒸気貯留部と、前記蒸気貯留部と直接接続され、前記蒸発部によって生成された蒸気を外部に導出する導出路と、前記液体タンク部に接続され、前記液体タンク部に液体を供給する液路と、前記蒸発部の一側面に設けられ、少なくとも蒸発部を加熱するヒータ部とを備え、前記液体タンク部、蒸発部、蒸気貯留部、導出路、液路が、透光性材料からなる一体物中に形成されていることを特徴としている。
【０００９】
本発明かかる蒸気発生器にあっては、前記液体タンク、蒸発部、蒸気貯留部、導出路、液路が、透光性材料からなる一体物中に形成され、しかもパイプ（配管）等を用いることなく液体タンクと蒸発部とが直接接続され、また蒸発部と蒸気貯留部とが直接接続されている。このようにパイプ（配管）が用いられていないため、装置全体を簡略化できると共に、熱容量を小さくできる。
その結果、小型のヒータであっても、急激な加熱を行うことができ、加熱開始からスチームが発生して噴霧が開始されるまでの時間をより短くすることができる。
【００１０】
ここで、前記透光性材料からなる一体物がガラス体であることが望ましく、前記一体物が、透明な、ガラス体、硼珪酸ガラス体、ソーダガラス体であることが望ましい。より好ましくは、透明なシリカガラス体であることが好ましい。
このように、前記透光性材料からなる一体物がガラス体からなる場合には、ヒータ部による伝熱及び輻射熱による加熱が可能となり、熱効率をより向上させることができる。また、ガラス体は低熱容量であるため、高速昇降温を行うことができると共に、急激な温度変化に対して破損等を防止することが出来る。更に耐食性に優れ、安価に製造することができる。
【００１１】
また、前記蒸発部の横断面積は、熱効率の観点から、液体タンク部の横断面積より小さく、液体タンク部側から水蒸気貯留部側に向かって徐々に横断面積が拡がるように形成されていることが望ましい。
更に、前記蒸発部と液体タンク部を跨いで、多孔質体が設けられていることが、蒸発部への円滑な水の供給及び突沸防止の観点から、好ましい。なお、酸化防止の観点から、前記多孔質体は、水中に設けられていることが望ましい。
【００１２】
また、前記導出路の縦断面形状が、外部に向けて徐々に拡がる台形状に形成されると共に、前記導出路中に拡散板が設けられていることが望ましい。
また、前記ヒータ部は、カーボンワイヤー発熱体がガラス板中に封入されたヒータであることが望ましい。尚、カーボンワイヤー発熱体がガラス板中に封入されているため、カーボンの酸化を防止できる。
【００１３】
更に、前記ヒータ部は、カーボンワイヤー発熱体が収納される溝が形成された第一のガラス板と、前記溝を覆う第二のガラス板とを融着させることにより、カーボンワイヤー発熱体をガラス板中に封入することが望ましい。
このように構成することにより、カーボンワイヤー発熱体をガラス板中に容易に封入することができる。
【００１４】
本発明の蒸気発生器において、前記ガラス体に対し、前記したヒータ部を設けることによって、前記カーボンワイヤー発熱体もしくは／または前記多孔質体以外の発生器構成体をガラス単一材料とすることができ、極めて高い急速昇降温を実現できる。また部品数を少なくすることができ、かつ高強度の混合器とすることができる。
また前記ヒータ部は、前記カーボンワイヤー発熱体の配線パターンを高い自由度で変更できるため、配線密度やあるいはカーボンワイヤー発熱体の本数、太さを部分的に変化させることで、所望部のみの局部的加熱が可能となる。
前記ヒータ部は、前記ガラス体と別体として設けることによって、前記ガラス体を高濃薬液、あるいは空焼等、過剰条件下での洗浄が容易となり、常に高純度、同一条件下での原料と水蒸気の混合が可能となる。
【００１５】
更に、前記ガラス体に対して、液体タンク部、蒸発部、蒸気貯留部、導出路を凹部として形成し、前記凹部の開口面をヒータ部で覆うことにより、液体タンク部、蒸発部、蒸気貯留部、導出路が形成されることが望ましい。
このように、液体タンク部等の各部を凹部で形成するため、各部をガラス体に対して容易に形成できる。また各部を別体で形成した場合に、必要な別体各部を繋げる接続管あるいは接続のための各種備品が不要である。
【００１６】
尚、前記ヒータ部は、カーボンワイヤー発熱体がガラス板中に封入されたヒータであって、前記ガラス体の側面にヒータ部のガラス板を融着することが望ましく、融着することによって、ガラス体とヒータ部とを一体化することができる。前記ガラス体とヒータ部のガラス板を融着によって一体化することによって、より高純度、シンプル、小型化された蒸気発生器とすることができる。
【００１７】
また前記ヒータ部は、前記カーボンワイヤー発熱体がガラス板中に封入されたヒータであって、前記ガラス体との当接または融着側と反対側のガラス板側面に、反射膜あるいは反射部材が設けられていることが望ましい。
このように反射膜あるいは反射部材を設けることにより、ヒータ部における熱をより効率的にガラス体に伝達することができる。更に、反射部材または反射膜の形成曲率等を変更することで、反射される加熱領域を適宜、変更、調整することができる。
なお、前記ガラス体との当接側または融着側と反対側のガラス板中に、反射膜あるいは反射部材が埋設されている場合にも、同様な効果を得ることができる。
【００１８】
また、前記ヒータ部と前記ガラス体の間に、前記ガラス体の加熱する各部への前記ヒータ部からの熱伝導を均等化せしめる均熱膜または均熱板が形成されていることが望ましい。
このように均熱板または均熱膜を形成することにより、カーボンワイヤー発熱体による線状の加熱を前記均熱板または均熱膜で緩衝させ、面状の加熱に変換させることで、各部内での均等な加熱を可能とし、かつ熱効率を向上させることができる。
【００１９】
また、前記蒸発部の近傍に、熱電対が装着されていることが望ましく、熱電対で測定した温度に基づいてカーボンワイヤー発熱体の温度制御を行うことができる。
更に、前記液体タンク部、蒸発部、蒸気貯留部、導出路が少なくとも形成されたガラス体と、前記ガラス体の側面に設けられたヒータ部とが断熱材で包囲され、金属ケース内に収納されていることが望ましい。このように構成されているため、熱効率がより向上すると共に、破損等を防止できる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明の第一の実施形態を図１乃至図１１に基づいて説明する。なお、図１は本発明にかかる第一の実施形態を表した斜視図、図２は図１に示されたガラス体の斜視図、図３は図１に示されたヒータ部を示す図であって、（ａ）はヒータ形成面側から見た図、（ｂ）はＩ−Ｉ断面図である。図４はヒータ部の要部断面図、図５はカーボンワイヤー発熱体を示した図、図６はヒータ部の封止端子部の要部断面図、図７はヒータ部の封止端子部のピンチングシールの状態を示す斜視図である。更に、図８は、図１に示した実施形態の概略縦断面図、図９は拡散板を示す正面図および側面図、図１０は図１に示した実施形態の概略縦断面図、図１１は、第一の実施形態の製造方法を示す概略斜視図である。
また、この実施形態およびこの実施形態以降の実施形態にあっては、液体として水を用い、水蒸気を発生させる場合について説明する。
【００２１】
図１の符号Ａは、ガラス体１０およびヒータ部２０からなる蒸気発生器である。このガラス体１０中には、水を貯留する液体タンク部１と、前記液体タンク部１と直接接続され、前記液体タンク部１から供給された水を加熱し、水蒸気を生成する蒸発部２が形成されている。また、前記ガラス体１０中には前記蒸発部２と直接接続され、前記蒸発部２によって生成された水蒸気を貯留する蒸気貯留部３が形成されている。
【００２２】
前記蒸発部２の横断面積は、液体タンク部１の横断面積より小さく形成されている。このように前記蒸発部２が小さな横断面積で形成されているため、加熱効率が向上し、加熱後早期に水蒸気を発生させることができる。
また、図１０に示すように、蒸発部２の側壁２ａを傾斜面とし、液体タンク部１側から蒸気貯留部３側に向かって徐々に横断面積が拡がる、即ち縦断面形状が台形状になるように、形成するのが好ましい。このように液体タンク部１と接する蒸発部２の横断面積をより小さく形成することで、液体タンク部１内の水と蒸発部２の水との対流が抑制され、より容易に、またより効率的に水蒸気を発生させることができる。
【００２３】
また、前記蒸気貯留部３の一側端部３ａは円弧状に形成され、蒸気貯留部３に貯留された水蒸気が澱むことなく、蒸気貯留部３の他端部上面に形成された導出口３ｂに水蒸気を導くことができる。
この蒸気貯留部３は、水蒸気圧の変動を抑制するために設けられたものであり、液体タンク部１内の水量の変動及び発生する水蒸気量の変動による、水蒸気圧変動抑制するものである。
【００２４】
また、前記ガラス体１０中には、前記蒸気貯留部３の導出口３ｂから導出された水蒸気を外部に導く導出路４が形成されている。この導出路４は、円弧状に曲がった部分４ａと、外部に向かって徐々に拡がる拡散部４ｂとに分かれる。
前記した従来の吸い上げ管に相当する吸い上げ管Ｂを、図１、図２、図８に仮想線で示すように、前記円弧状部４ａから拡散部４ｂに移行する位置に配設するのが好ましい。この位置に前記吸い上げ管Ｂを配設することにより、吸い上げた液体と水蒸気とをより混合、拡散させることができる。尚、前記拡散部４ｂを設けることなく、導出路４を同一断面積で形成し、その導出路の終端にノズルを設け、その近傍に吸い上げ管を設けても良い。
【００２５】
前記ガラス体１０は、透明な、ガラス体、硼珪酸ガラス体、ソーダガラス体であることが望ましい。より好ましくは、透明なシリカガラス体であることが好ましい。
このようにガラス体１０で構成されているため、ヒータ部２０による伝熱及び輻射熱による加熱が可能となり、熱効率をより向上させることができる。また、ガラスは低熱容量であるため、高速昇降温を行うことができると共に、急激な温度変化に対して破損等を防止することできる。更に耐食性に優れ、安価に製造することができる。特に、シリカガラスは、他のガラスに比べカーボンワイヤー発熱体との高温時接触における優れて耐食性、耐高温変形性、耐薬品性等に優れているため好ましい。
【００２６】
また、前記液体タンク部１、蒸発部２、蒸気貯留部３、導出路４が一体物中に形成され、しかもパイプ（配管）等を用いることなく、液体タンク部１と蒸発部２とが直接接続され、また蒸発部２と蒸気貯留部３とが直接接続されている。即ち、各部の接続にパイプ（配管）が用いられていないため、装置全体を簡略化できると共に、熱容量を小さくできる。
【００２７】
更に、図８に基づいて、前記吸い上げ管Ｂと蒸気貯留部３から導出路４接続部について説明する。
前記接続部において、前記導出路４は、吸い上げ管Ｂに対して、０度（両者が並行）から４５度の角度θをもって接続されるのが好ましい。このような接続角度に形成されている場合には、水蒸気が円弧状部４ａから拡散部４ｂへ移行する際、吸い上げ管Ｂの出口近傍に負圧が生じ、吸い上げ管内の液体は吸引されながら導出され、両者が混合される。
【００２８】
なお、前記導出路４が、吸い上げ管Ｂに対して、４５度を超える角度θをもって形成されている場合には、前記した液体の吸引効果を得ることができない。好ましくは、前記導出路４が、吸い上げ管Ｂに対して、５度以上２０度以下の角度θで形成されているのが良い。
また、前記導出路４中には、図９に示すように拡散板３６を設けるのが好ましい。この拡散板３６には水蒸気が通過する貫通孔３６ａが形成されると共に、支持部３６ｂによって導出部４の側壁に固定されている。この拡散板３６はガラスにより形成し、前記導出部４の側壁に融着により固定するのが好ましい。
【００２９】
また、このガラス体１０には、図１に示すように、前記液体タンク部１に水を供給するためのパイプ５及びこのパイプ５と液体タンク部１を結ぶ液路１０ａが設けられている。前記パイプ５は、ガラス体１０の側面から突出し、水供給源（図示せず）に接続されている。また、液路１０ａはガラス体１０中に形成されている。
また、前記蒸気貯留部３の導出口３ｂの上方には、熱電対が挿入される熱電対挿入用孔１０ｂが形成されている。この熱電対による温度の測定結果に基づいて、蒸発部２等が所定温度になるように後述するヒータ部２０（カーボンワイヤー発熱体２１）への供給電圧を制御するものである。
【００３０】
前記した液体タンク部１、蒸発部２、蒸気貯留部３，導出口３ｂ、導出路４、熱電対挿入孔１０ｂは、図２に示すように、ガラス体１０に対して、凹部として形成して形成されている。
そして、図１に示すように前記凹部の開口面を後述するヒータ部２０で覆うことにより、液体タンク部１、蒸発部２、蒸気貯留部３，導出口３ｂ、導出路４、熱電対挿入孔１０ｂとして形成される。
【００３１】
次に、ヒータ部２０について説明する。
このヒータ部２０は、図１、図３、図４、図５に示すように、カーボンワイヤー発熱体２１がガラス板中に封入されたヒータである。即ち、カーボンワイヤー発熱体２１が収納される溝２２ａが形成された第一のガラス板２２と、前記溝２２ａを覆う第二のガラス板２３とを融着することにより、カーボンワイヤー発熱体２２ａをガラス板中に封入している。
また、前記カーボンワイヤー発熱体２１は蛇行して、一平面上（同一平面上）に配置されている。更に、前記カーボンワイヤー発熱体２１は、封止端子部２４において、電力を供給する外側接続線２５と接続されている。
【００３２】
前記第一のガラス板２２、第二のガラス板２３は、透明な、ガラス体、硼珪酸ガラス体、ソーダガラス体であることが望ましい。より好ましくは、透明なシリカガラス体であることが好ましい。
このようにガラス板で構成されているため、伝熱及び輻射熱による加熱が可能となり、熱効率をより向上させることができる。また、ガラスは低熱容量であるため、高速昇温を行うことができると共に、急激な温度変化に対して破損等を防止することできる。更に耐食性に優れ、安価に製造することができる。
特に、シリカガラスが、他のガラスに比べて、カーボンワイヤー発熱体との高温時接触における耐食性、耐高温変形性、耐薬品性等において優れているため、好ましい。
【００３３】
このヒータ部２０は、図１に示すようにガラス体１０の側面に対して、融着され、前記液体タンク部１、蒸発部２、蒸気貯留部３，導出口３ｂ、導出路４、熱電対挿入孔１０ｂを形成する凹部を塞ぐと共に、液体タンク部１、蒸発部２、蒸気貯留部３、導出路４を加熱するように構成されている。
【００３４】
前記カーボンワイヤー発熱体２１は、液体タンク部１、蒸発部２、蒸気貯留部３、導出路４を加熱するように構成されるが、各部位で必要とされる温度が異なる。そのため、高温が必要な部分については、前記カーボンワイヤー発熱体２１が密に形成され、低温でよい部分については、前記カーボンワイヤー発熱体２１が疎に形成される。
例えば、蒸発部２の温度が１００℃のとき、蒸気貯留部３は、１３０℃〜１５０℃に加熱されるように、形成パターンをもってカーボンワイヤー発熱体２１が配設されている。
【００３５】
更に、このカーボンワイヤー発熱体２１について図５に基づいて説明すると、図５に示すように、前記カーボンワイヤー発熱体２１は、カーボン繊維を束ねた繊維束を複数本編み上げてなる編紐または組紐から構成されている。
カーボンワイヤー発熱体２１としては、直径５乃至１５μｍ程度のカーボン単繊維、例えば直径７μｍのカーボン単繊維を約８００乃至３５００本程度束ねた繊維束を１０束程度用いて直径１．０〜２．５ｍｍの編紐、あるいは組紐形状に編み込んだものが好適である。
【００３６】
また、このカーボンワイヤー発熱体２１の編み込みスパンは、２乃至５ｍｍ程度が好ましく、更に、カーボンワイヤー発熱体２１表面におけるカーボン単繊維の毛羽立ち２１ａは長さ０．５乃至２．５ｍｍ程度である。
このように、カーボン単繊維の毛羽立ち２１ａが形成され、実質的にこの毛羽立ち２１ａによってガラス部材と接触するため、カーボンワイヤー発熱体２１の本体部分との接触面積を少なくでき、シリカ（ＳｉＯ２  ）とカーボン（Ｃ）との反応を最小限にし、耐久性を向上させることができる。
【００３７】
また、発熱性状の均質性、耐久安定性等の観点及びダスト発生回避上の観点から、カーボンワイヤー発熱体２１を構成するカーボン単繊維は、高純度であることが好ましく、カーボン単繊維中に含まれる不純物量が灰分（ＪＩＳ  Ｒ  ７２２３−１９７９）として１０ｐｐｍ以下、特に、３ｐｐｍ以下であることが好ましい。
なお、カーボンワイヤー発熱体２１の固有抵抗値は、１０００℃で、１０〜２０Ω／ｍであることが好ましい。抵抗が１０〜２０Ω／ｍであるために電流を５Ａ〜１５Ａとし、電圧を１００Ｖ程度とすることができる。このため電流が小さく抑えられ、ピンチングシールされた封止端子部に負担をかけないですむ。更に、電圧を１００Ｖ以下にすることで、電源装置をコンパクトにできる。
【００３８】
このようなカーボンワイヤー発熱体２１が用いられるのは、例えば従来の金属ヒータに比べて、熱容量が低いため急速昇降温させることができるからである。特に、蒸気発生器Ａがガラス体で構成されているため、急速昇降温が可能である。また、カーボンワイヤー発熱体２１の抵抗は金属ヒータと異なり常温で高く、高温になると低くなる傾向がある。その結果、急速昇温した際にも過電流が流れることがなく、ヒューズが切れる等の事故を防止できる。
更に、カーボンワイヤー発熱体２１はカーボン単繊維を組み上げたものであるため切断され難く、数本切れても抵抗値に変化がないため、蒸気発生装置のヒータとしては好適である。
【００３９】
次に、封止端子部２４について、図１、３、６、７に基づいて説明する。なお、図６は封止端子部２４の先端部分（ガラス板２２側）を示し、図７は封止端子部２４の後端部分を示している。
図６、７に示すように、カーボンワイヤー発熱体２１の端部を収容するガラス管２６と、前記ガラス管２６に圧縮されて収容され、前記カーボンワイヤー発熱体２１の端部を挟持するワイヤーカーボン部材２７とを備えている。このガラス管２６はガラス管２９の内部に収納されている。
なお、カーボンワイヤー発熱体２１の端部を挟持するワイヤーカーボン部材２７は、カーボンワイヤー発熱体２１と同質のものが用いられ、前記したカーボンワイヤー発熱体２１を２乃至４の複数本まとめて束にし、更にこの束を三束用いてワイヤーカーボン部材２７としている。前記カーボンワイヤー発熱体２１は、この三つの均等なワイヤーカーボン束の間であって、かつ前記ガラス管２６のほぼ中心に位置するように配設される。
【００４０】
また、封止端子部２４の後端部分は、前記ガラス管２６に端部が収容され、圧縮されたワイヤーカーボン部材２７に挟持された電力供給用のＭｏ（モリブデン）からなる内側接続線２８と、前記内側接続線２８と電気的に接続されるＭｏ（モリブデン）箔３０と、このＭｏ（モリブデン）箔３０に電気的に接続されるＭｏ（モリブデン）からなる外側接続線２５とを備えている。そして、Ｍｏ（モリブデン）箔３０は前記ガラス管２９に対していわゆるピンチングシールされている。
前記ガラス管２９の先端部分はガラス板２２に融着され、後端部分はピンチングシールされるため、前記ガラス管２９は密閉される。なお、ガラス管２９の内部には窒素ガスが充填され、カーボンワイヤー発熱体２１等の酸化を抑制している。
【００４１】
また、ヒータ部２０のカーボンワイヤー発熱体２１が封入されたガラス板２２には、図３に示すように、反射膜あるいは反射部材１９が設けられている。
即ち、ガラス体１０の配置側と反対側のガラス板２２の側面に、反射膜あるいは反射部材１９が設けられている。この反射膜あるいは反射部材１９はガラス板２２の側面全面に形成しても良く、あるいは蒸発部２、蒸気貯留部３等の形成位置に対応した位置のみに形成してもよい。
このように、反射膜あるいは反射部材１９を設けることにより、蒸発部２等を効率的に加熱することができる。例えば、Ａｌ膜、Ａｕ膜、ＴｉＮ膜、Ｓｉ膜、Ａｌ／Ａｌ２Ｏ３  多層膜、Ａｌ／ＳｉＯ２  多層膜、Ｃｒ／ＴｉＮ 多層膜、Ｃｒ／ＴｉＮ／ＴｉＯ２  多層膜、Ｓｉ／ＳｉＯ２  多層膜を反射膜とすることができ、また、Ａｌ箔、Ａｕ箔を反射部材とすることができる。
【００４２】
前記反射膜１９は蒸着、ＣＶＤによりガラス板２２の面上に形成でき、反射部材１９は貼着により形成することができる。また前記反射膜１９の膜厚は１０μｍ以上、５００μｍ以下が望ましい。１０μｍ以下では良好な反射が行えず、５００μｍ以上では膜が剥離する虞があるためである。
なお、反射膜１９を形成するガラス板２２の表面粗さは、Ｒａ０．１μｍ〜５００μｍであることが好ましい。表面面粗さがＲａ０．１μｍ以下の場合には、反射膜が剥離し易く、またＲａ５００μｍ以上の場合には、熱伝導が悪化するため、好ましくない。
また、前記反射膜あるいは反射部材１９は、ガラス板２２の側面に凹部を形成し、ガラスで覆うことでその内部に形成するのが好ましい。凹部内に反射膜あるいは反射部材１９を形成することにより、剥離、脱落を防止できる。
【００４３】
次に、この蒸気発生器Ａの動作作用について説明する。
液体タンク部１にはパイプ５および液路１０ａから水が所定量供給されている。この状態で、カーボンワイヤー発熱体２１に電力が供給されると、蒸発部２が加熱され、水蒸気が発生する。特に、蒸発部２の横断面積が液体タンク部１よりも小さいため、蒸発部２において効率的に水蒸気を発生させることができる。
この発生した水蒸気は、蒸気貯留部３に一時蓄えられ、導出口３ｂから導出路４に供給される。このとき、前記カーボンワイヤー発熱体２１によって、蒸気貯留部３、導出口３ｂ、導出路４を加熱しているため、水蒸気の結露が抑制される。なお、吸い上げ管Ｂが、前記円弧状部から拡散部に移行する位置に配設されている場合には、吸い上げ管Ｂから吸い上げた液体と水蒸気とをより混合、拡散する。
【００４４】
次に、この蒸気発生器Ａの製造方法について、図１、図２、図３、図６、図７、図１１に基づいて説明する。
まず、ガラス体１０に、液体タンク部１、蒸発部２、蒸気貯留部３、導出口３ｂ、導出路４となる凹部を形成する。また、前記ガラス体１０に、液体タンク部１に接続される液路１０ａ及びこの液路１０ａに接続されるパイプ５を形成する。また、熱電対を挿入する熱電対挿入用孔１０ｂを形成する。
【００４５】
一方、ガラス板２２にカーボンワイヤー発熱体２１を収納する溝２２ａを形成し、前記溝２２ａに前記カーボンワイヤー発熱体２１を配設する。
そして、前記ガラス板２２の溝形成面（カーボンワイヤー発熱体２１を配設面）および相対峙するガラス板２３の面を鏡面加工する。また、ガラス体１０の凹部形成面側の面および相対峙するガラス板２３の面を鏡面加工する。
その後、図１１に示すように三者を重ね、密着面が水平になるように高温処理炉にセットし、０．１ｋｇｆ／ｃｍ２  の荷重を加えながら１４５０℃で、三者を融着し、一体化する。
融着後、カーボンワイヤー発熱体２１の端部を、図６に示すように、三つの均等なワイヤーカーボン束（ワイヤーカーボン部材２７）の間であって、かつ前記ガラス管２６のほぼ中心に位置するように配設する。その後、前記ガラス管２６をガラス管２９に収納し、前記ガラス管２９をガラス板２１の背面に融着、固定する。
【００４６】
また、図６、図７に示すように、内側接続線２８の一端部をワイヤーカーボン束（ワイヤーカーボン部材２７）内に差込み、他端部をＭｏ箔３０の一端側に固定する。このＭｏ箔３０の他端側には、外側接続線２５が固定されている。そして、窒素を流しながら、ガラス管２９の端部をピンチングシールし、ガラス管２９の内部の圧力を１００ｔｏｒｒとして密封する。
最後に、熱電対を熱電対挿入用孔１０ｂに装着して、蒸気発生器が完成する。
【００４７】
以上説明したように、上記実施形態にかかる蒸気発生器Ａにあっては、前記液体タンク部１、蒸発部２、蒸気貯留部３、導出路３、液路１０ａが、透光性材料からなる一体物中に形成され、しかもパイプ等を用いることなく液体タンク部１と蒸発部２が直接接続され、また蒸発部２と蒸気貯留部３とが直接接続されている。このように、各部の接続にパイプが用いられていないため、装置全体を簡略化できると共に、熱容量を小さくでき、急激な加熱を行うことができる。その結果、加熱開始からスチームが発生して噴霧が開始されるまでの時間をより短くすることができる。
【００４８】
特に、蒸気発生器Ａはガラスで構成されているため、ヒータ部２０による伝熱及び輻射熱による加熱が可能となり、より熱効率を向上させることができる。また、ガラスは低熱容量であるため、高速昇降温を行うことができると共に、急激な温度変化に対して破損等起こすことがない。更に耐食性に優れ、安価に製造することができる。
【００４９】
次に、本発明にかかる蒸気発生器の第二の実施形態について図１２に基づいて説明する。なお、図１２は、断熱材と共に蒸気発生器が金属ケース内に収納された状態を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ断面図、（ｂ）は縦断面図である。
この実施形態は、前記した第一の実施形態の蒸気発生器を断熱材３７で包囲したものである。
即ち、グラスウール、ファイバーフラックスボード、多孔質セラミックスブロック、ロックウール等の断熱材３７で、ガラス体１０及びヒータ部２０を包囲し、更に金属ケース３８内に収納したものである。
このように、断熱材３７によって、ガラス体１０及びヒータ部２０を包囲しているため、効率的に加熱を行うことができる。また、金属ケース３８内に収納されているため、衝撃等から蒸気発生器を保護することができる。なお、断熱材３７がグラスウール等の場合、いわゆる緩衝材としての機能を有するため、蒸気発生器を衝撃等からより保護することができる。
【００５０】
次に、本発明にかかる蒸気発生器の第三の実施形態について図１３、図１４に基づいて説明する。尚、図１３は本発明の第三の実施形態を示す概略縦断面図、図１４は、図１３に示した第三の実施形態の変形例を示す概略縦断面図である。
この実施形態は、前記蒸発部２と液体タンク部１を跨いで、多孔質体４０が設けられていることを特徴とする。
即ち、図１３に示すように、多孔質体４０が前記蒸発部２と液体タンク部１を跨いで設けられている場合には、多孔質体４０の毛細管現象によって、蒸発部２に対する水の供給が安定する。また、蒸発部２、液体タンク部１での突沸を防止することができる。なお、図１３にあっては、多孔質体４０の下端部が液体タンク部１の上部に位置しているが、多孔質体４０の下端部を液体タンク部１の下部（底部）まで位置させても良い。
【００５１】
また、この多孔質体４０としては、多孔質ガラス、多孔質ＳｉＣ、カーボン多孔体、カーボンフェルト、多孔質レンガ、ガラスウールを用いることができる。しかし、多孔質ＳｉＣ、カーボン多孔体等を多孔質体４０として用いる場合には、多孔質体４０の水蒸気との接触による酸化を防止するため、多孔質体４０全体を水中に配置するのが好ましい。
【００５２】
また、図１４に示すように、多孔質体４０をＳｉＣ材料、カーボン材料等のある程度熱容量を有するもの（吸熱体）とし、これを前記蒸発部２と液体タンク部１を跨いで設けた場合には、ヒータ部２０からの熱を蓄熱し、水に対する伝熱効率を高めることができる。
この場合の多孔質体４０は、ある程度の熱容量を有するものであれば、特に、その材質は限定されない。しかし、カーボンファイバー等を多孔質体４０として用いる場合には、多孔質体４０の水蒸気との接触による酸化を防止するため、多孔質体４０は水中に配置するのが好ましい。また多孔質体４０の細孔によって、水との接触面積が大きくなり、水蒸気発生効率を向上させることができる。
【００５３】
次に、本発明にかかる蒸気発生器の第四の実施形態について図１５に基づいて説明する。なお、図１５は、第四の実施形態を示す概略側面図である。
この実施形態は、前記ヒータ部２０と前記ガラス体１０の間に、前記ガラス体の加熱する各部への前記ヒータ部からの熱伝導を均等化せしめる均熱板あるいは均熱膜４４が形成されていることを特徴としている。
【００５４】
このように、前記ヒータ部２０と前記ガラス体１０の間で、特にガラス体１０の蒸発部２、蒸気貯留部３の側面位置に、均熱板あるいは均熱膜４４を設けることにより、前記各部の温度を均一化でき、熱効率を向上させることができる。
前記均熱板４４としては、ガラス状カーボン板、カーボン板を用いることができる。また均熱膜４４としては、カーボン、カーボン粉、ＳｉＣ膜を用いることができる。なお、膜厚は、前記したように１０μｍ以上、５００μｍ以下が望ましい。１０μｍ以下では良好な均熱が行えず、５００μｍ以上では膜が剥離する虞があるためである。また、均熱部材は貼着により形成することができる。
また、前記均熱板または均熱膜４４は、ガラス板２２の側面に凹部を形成しガラスで覆うことで、その内部に形成するのが好ましい。凹部内に均熱板または均熱膜を形成することにより、剥離、脱落を防止できる。
【００５５】
次に、本発明にかかる蒸気発生器の第五の実施形態について図１６に基づいて説明する。なお、図１６は、第五の実施形態を示す斜視図である。
この実施形態は、ガラス板２２の溝形成面（カーボンワイヤー発熱体２１を配設面）に対して垂直な側面に封止端子部２４を形成した点に特徴がある。このように、ガラス板２２の溝形成面（カーボンワイヤー発熱体２１を配設面）に対して垂直な側面に封止端子部２４を形成されているため、第一の実施形態もしくは後述の第九の実施形態における反射膜、反射部材を側面全面に設けることができ、熱効率を向上させることができる。
【００５６】
次に、本発明にかかる蒸気発生器の第六の実施形態について図１７に基づいて説明する。なお、図１７は第六の実施形態を示す断面図であって、（ａ）はヒータ部２０の要部断面図、（ｂ）はカーボンワイヤー発熱体２１を２本入れた場合を示すヒータ部２０の要部断面図である。
この実施形態は、図１７（ａ）に示すように、カーボンワイヤー発熱体２１を収納する溝４５の形状を逆Ｔ字状に変更したものである。このように、溝４５を逆Ｔ字状に形成したために、カーボンワイヤー発熱体２１を溝４５に一旦収納すると、カーボンワイヤー発熱体２１が前記溝４５から飛び出すことがなく、カーボンワイヤー発熱体２１の配設作業を容易に行うことができる。
また、前記した溝４５には、図１７（ｂ）に示すように、２本のカーボンワイヤー発熱体２１を収納しても良い。このように２本のカーボンワイヤー発熱体２１を収納した場合には、断線などの事故が１本のカーボンワイヤー発熱体に仮に生じた場合でも加熱機能を維持することができる。
【００５７】
次に、本発明にかかる蒸気発生器の第七の実施形態について図１８に基づいて説明する。
この実施形態にあっては、第一の実施形態のようにガラス体１０とヒータ部２０とを融着により一体化することなく、分離可能に形成した点に特徴がある。即ち、図１８（ａ）に示すように、ガラス板２２の溝２２ａに前記カーボンワイヤー発熱体２１を配設し、ガラス板５０を融着し、ヒータ部２０を形成する。
一方、液体タンク部１、蒸発部２、蒸気貯留部３，導出口３ｂ、導出路４、熱電対挿入孔１０ｂを、ガラス体１０に凹部として形成する。このガラス体１の凹部側面にガラス板５１を融着する。
【００５８】
そして、前記ヒータ部２０とガラス体１０は、図１８（ｂ）に示すように、別体として形成する。
これらヒータ部２０とガラス体１０は、図１２の第二の実施形態に示す断熱材３７で、ガラス体１０及びヒータ部２０を包囲し、更に金属ケース３８内に収納する。
このように、ヒータ部２０とガラス体１０とを別体に形成されているため、破損等した場合、破損したもののみを交換すれば良く、容易に修理することができる。また、溶解物等の固着により、タンク部１・蒸発部２が汚れた場合には、ガラス体１０の洗浄を容易に行うことができる。
【００５９】
次に、本発明にかかる蒸気発生器の第八の実施形態について図１９に基づいて説明する。この実施形態にあっては、第一の実施形態のようにヒータ部２０から封止端子部２４が突出することなく、ガラス板２２（５０）内に収納されている点に特徴がある。
このように、封止端子部２４がガラス板２２（５０）内に収納されているため、封止端子部２４の保護を図ることができ、破損等を防止できる。なお、封止端子部２４から延設される外側接続線２５は、開口部５２から外部に引き出されるように構成されている。
【００６０】
次に、本発明にかかる蒸気発生器の第九の実施形態について図２０に基づいて説明する。なお、図２０は、第九の実施形態を示す図であって、（ａ）はヒータ部を示す概略斜視図、（ｂ）は変形例を示す概略斜視図である。
この実施形態にあっては、カーボンワイヤー発熱体２１の背面に放射される熱を集熱し、ガラス体１０を加熱するものであり、第一の実施形態に比べて熱効率を向上させることができる。
即ち、図２０（ａ）に示すように、前記カーボンワイヤー発熱体２１が封入されたガラス板５５の背面（ガラス体１０との融着面と相対向するガラス板５５側面）が所定の角度を有する複数の面５６として形成され、この面に反射膜あるいは反射部材５７が設けられている。
このように、カーボンワイヤー発熱体２１が封入されたガラス板５５の背面を所定の角度を有する複数の面５６として形成し、この面５６に反射膜あるいは反射部材５７が設けられているため、ガラス体１０方向に集熱することができ、特に蒸発部２、蒸気貯留部３、導出路４のいずれか一つもしくは任意の幾つかを同時に有効に加熱することができる。
【００６１】
また、図２０（ｂ）に示すように、カーボンワイヤー発熱体２１が封入されたヒータ部２０において、ヒータ部２０を形成するカーボンワイヤー発熱体２１を挟んで、ガラス体１０との融着面と反対側のガラス板５８中に、反射膜あるいは反射部材５９が埋設されていても、前記場合と同様な効果を得ることができる。
【００６２】
この反射膜あるいは反射部材５７，５９はガラス体１０の側面全面に形成しても良く、あるいは蒸発部２、蒸気貯留部３等の形成位置に対応した位置のみに形成しても良い。
このように、反射膜あるいは反射部材５７，５９を設けることにより、蒸発部、蒸気貯留部等を効率的に加熱することができる。例えば、Ａｌ膜、Ａｕ膜、ＴｉＮ膜、Ｓｉ膜、Ａｌ／Ａｌ２Ｏ３  多層膜、Ａｌ／ＳｉＯ２  多層膜、Ｃｒ／ＴｉＮ多層膜、Ｃｒ／ＴｉＮ／ＴｉＯ２  多層膜、Ｓｉ／ＳｉＯ２  多層膜を反射膜とすることができ、また、Ａｌ箔、Ａｕ箔を反射部材とすることができる。
【００６３】
前記反射膜５７は蒸着、ＣＶＤによりヒータ部２０の少なくとも一表面に形成できる。また前記反射膜５７の膜厚は１０μｍ以上、５００μｍ以下が望ましい。１０μｍ以下では良好な反射が行えず、５００μｍ以上では膜が剥離する虞があるためである。
なお、反射膜５７を形成するガラス体の表面粗さは、Ｒａ０．１μｍ〜５００μｍであることが好ましい。表面面粗さがＲａ０．１μｍ以下の場合には、反射膜が剥離し易く、またＲａ５００μｍ以上の場合には、熱伝導が悪化するため、好ましくない。
【００６４】
上記実施形態にあっては、水蒸気を発生させる場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、水の代わりに他の液体を当然用いても良い。また、上記実施形態にあっては、ガラス体に前記液体タンク部、蒸発部、蒸気貯留部、導出路、液路が形成されている場合について説明したが、本発明はガラス体に限らず、透光性材料からなる一体物中に形成されていれば良い。
【００６５】
また、上記実施形態にあっては、ガラス体、ガラス板、ガラス管等における「ガラス」の内容を特定していないが、前記したように最も好ましい「ガラス」はシリカガラスである。
したがって、実施形態において「シリカガラス」の場合を明示しないが、前記ガラス体、ガラス板、ガラス管等には、シリカガラスを用いたものが、当然に含まれるものである。
【００６６】
上記実施形態にあっては、熱電対を蒸気貯留部の導出口３ｂの上方に装着する場合を例にとって説明したが、蒸発部近傍に設けても良い。
【００６７】
また、本発明にかかる蒸気発生装置は、例えば、ディーゼルエンジンから排出されるＮＯｘガスを浄化する排ガス浄化装置にも適用することができる。即ち、この蒸気発生装置によって生成された水蒸気によって、液体尿素を吸い上げ管から吸引し、水蒸気と液体尿素とを混合する。その結果、液体尿素が熱分解され、アンモニアが生成される。したがって、このアンモニアをＮＯｘ還元触媒に供給し、排ガスを浄化するように構成しても良い。
【００６８】
【発明の効果】
本発明によれば、蒸気を安定して高効率に供給でき、しかも短時間で蒸気を発生させることができ、また構成が簡素化され、メンテナンスが容易な蒸気発生器を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明にかかる第一の実施形態を表した斜視図である。
【図２】図２は、図１に示されたガラス体の斜視図である。
【図３】図３は、図１に示されたヒータ部を示す図であって、（ａ）はヒータ形成面側から見た図、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ断面図である。
【図４】図４は、ヒータ部の要部断面図である。
【図５】図５は、カーボンワイヤー発熱体を示した図である。
【図６】図６は、ヒータ部の封止端子部の要部断面図である。
【図７】図７は、ヒータ部の封止端子部のピンチングシールの状態を示す斜視図である。
【図８】図８は、図１に示した実施形態の概略縦断面図である。
【図９】図９は、拡散板を示す正面図および側面図である。
【図１０】図１０は、図１に示した第一の実施形態における蒸発部の変形例を示す概略縦断面図である。
【図１１】図１１は、第一の実施形態の製造方法を示す概略斜視図である。
【図１２】図１２は、本発明にかかる第二の実施形態を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ断面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図１３】図１３は、本発明の第三の実施形態を示す概略縦断面図である。
【図１４】図１４は、図１４に示した第三の実施形態の変形例を示す概略縦断面図である。
【図１５】図１５は、本発明の第四の実施形態を示す概略縦断面図である。
【図１６】図１６は、本発明の第五の実施形態を示す概略側面図である。
【図１７】図１７は第六の実施形態を示す断面図であって、（ａ）はヒータ部の要部断面図、（ｂ）はカーボンワイヤー発熱体を２本入れた場合を示すヒータ部の要部断面図である。
【図１８】図１８は、本発明の第七の実施形態を示す概略斜視図である。
【図１９】図１９は、本発明の第八の実施形態を示す概略斜視図である。
【図２０】図２０は、第九の実施形態を示す図であって、（ａ）はヒータ部を示す概略斜視図、（ｂ）は変形例を示す概略斜視図である。
【図２１】図２１は、従来の蒸気発生器（スチーム吸引器）を示す概略構成図である。
【符号の説明】
Ａ    蒸気発生器
１０  ガラス体
１    液体タンク部
２    蒸発部
３    蒸気貯留部
４    導出路
５    パイプ
１９  反射膜（反射部材），
２０  ヒータ部
２１  カーボンワイヤー発熱体
２２  ガラス板
２３  ガラス板
２４  封止端子部
２５  外側接続線
２６  ガラス管
２７  ワイヤカーボン部材
２８  内側接続線
２９  ガラス管
３０  モリブデン箔
３６  拡散板
３７  断熱材
３８  金属ケース
４０  多孔質体
４４  反射膜（反射部材）
５０  ガラス板
５１  ガラス板
５２  開口部
５５  ガラス板
５６  面
５７  反射膜（反射部材）
５８  ガラス
５９  反射膜（反射部材）
【図１】
2004298331.tif 000003
【図２】
2004298331.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2004298331.tif 000018
【図１７】
2004298331.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2004298331.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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