(57)【要約】【課題】基板上の吐出ドット量を可変に制御して、所望量を正確に吐出できる手法を実現すること。【解決手段】一印刷周期毎に出力される駆動信号を、第１パルス、第２パルスの駆動パルスから構成する。最初に与えられる階調値を、各駆動パルスにそれぞれ対応したデータからなる吐出データにする。これにより、各駆動パルスのうちいずれか一つまたは複数の駆動パルスを適宜選択することができ、基板上のドット重量を可変に制御して、所望のインク重量の吐出を行うことができる。【選択図】　　図２
2004034475.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数層の機能層のうち少なくとも１層を、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた圧力発生素子を作動させることにより、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式ヘッドの駆動装置において、
インク滴をそれぞれ吐出させるための複数の駆動パルスを含んでなる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段と、
前記各駆動パルスにそれぞれ対応したパルス選択信号含んでなるデータに基づいて、前記各駆動パルスのうちいずれか一つまたは複数の駆動パルスを前記圧力発生素子に対して選択的に入力させることを特徴とするインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【請求項２】
複数層の機能層のうち少なくとも１層を、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた圧力発生素子を作動させることにより、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式ヘッドの駆動装置において、
それぞれのインク滴を吐出させるための第１の駆動パルスと第２の駆動パルスとを少なくとも含んでなる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段と、
前記各駆動パルスにそれぞれ対応して設けられたパルス選択信号により、一印刷周期内で前記各駆動パルスの内一つまたは複数の駆動パルスを選択可能なデータを形成するデータ手段と、
前記印字データに基づいて、前記駆動信号を前記圧力発生素子に対して入力させるスイッチ手段とを備え、前記駆動信号は、第１のインク滴を吐出させるための第１の駆動パルスと、前記第１のインク滴よりも少量の第２のインク滴を吐出させるための第２の駆動パルスとを含んで構成されていることを特徴とするインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【請求項３】
前記データは、前記駆動信号の駆動パルスにそれぞれ対応したパルス選択信号を組み合わせてなり、インク滴を吐出させない第１の階調値と、前記第１の駆動パルスのみを選択して前記第１のインク滴を吐出させる第２の階調値と、前記第２の駆動パルスのみを選択して前記第２のインクを吐出させる第３の階調値と、前記第１の駆動パルスおよび第２の駆動パルスを選択して前記第１のインク滴および第２のインク滴を吐出させる第４の階調値とが、選択可能であることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【請求項４】
前記第１の駆動パルスは、中間電位から第１の最大電位まで上昇する第１の電圧上昇波形と、前記第１の最大電位を維持する第１の最大電位維持波形と、前記第１の最大電位から最低電位まで降下する第１の電圧下降波形と、前記最低電位を維持する最低電位維持波形と、前記最低電位から前記中間電位に復帰する中間電位復帰波形とを有してそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項２，３のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【請求項５】
前記第２の駆動パルスは、中間電位から前記第１の最大電位よりも小さい第２の最大電位まで上昇する第２の電圧上昇波形と、前記第２の最大電位を維持する最大電位維持波形と、前記第２の最大電位から中間電位まで下降する第２の電圧下降波形とを有して構成されていることを特徴とする請求項２，３のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【請求項６】
前記第２の駆動パルスは、中間電位から前記第１の最大電位よりも小さい第２の最大電位まで上昇する第２の電圧上昇波形と、前記第２の最大電位を維持する最大電位維持波形と、前記第２の最大電位から前記第１の電位よりも大きい第２の最低電位まで降下する第２の電圧下降波形と、前記最低電位を維持する最低電位維持波形と、前記第２の最低電位から前記中間電位に復帰する中間電位復帰波形とを有してそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項２，３のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【請求項７】
前記圧力発生素子は、圧電振動子であることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【請求項８】
複数層の機能層のうち少なくとも１層を、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた圧力発生素子を作動させることにより、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式ヘッドの駆動方法において、インク滴をそれぞれ吐出させるための複数の駆動パルスを含んでなる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段と、前記各駆動パルスにそれぞれ対応したパルス選択信号含んでなる印字データに基づいて、前記各駆動パルスのうちいずれか一つまたは複数の駆動パルスを前記圧力発生素子に対して選択的に入力させることを特徴とするインクジェット式ヘッドの駆動方法。
【請求項９】
前記機能層の間にバンク部が形成され、前記バンク部は、親液性に処理された第１バンク層と、撥液性に処理された第２バンク層から形成されてなり、前記第１バンク層を前記電極の一部と重なるように形成することを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動方法。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載されたインクジェット式ヘッドの駆動装置により製造された表示装置。
【請求項１１】
複数層の機能層が電極間に形成されてなる表示装置を有する電子機器の製造装置であって、
前記複数層の機能層のうち少なくとも１層を、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた圧力発生素子を作動させることにより、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式ヘッドと、
インク滴をそれぞれ吐出させるための複数の駆動パルスを含んでなる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段と、
前記各駆動パルスにそれぞれ対応したパルス選択信号含んでなる印字データに基づいて、前記各駆動パルスのうちいずれか一つまたは複数の駆動パルスを前記圧力発生素子に対して選択的に入力させることを特徴とする電子機器の製造方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載された製造方法により製造されたものであることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、同一のノズルから異なる大きさのインク滴を吐出することができるインクジェット式ヘッドの駆動装置および駆動方法に関し、この手法を用いて表示装置の製造、表示装置、電子機器の製造を行うことに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、有機蛍光材料等の機能材料をインク化し、当該インク（組成物）を基材上に吐出する液滴吐出法により、機能材料のパターニングを行う方法を採用して、一対の電極間に該機能材料からなる機能層が挟持された構造のカラー表示装置、特に機能材料として有機発光材料を用いたＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示装置の開発が行われている。
【０００３】
上述した機能材料のパターニング方法としては、例えば、基板上に形成したＩＴＯ等からなる画素電極の周囲にバンク部を形成し、次に画素電極およびこの画素電極に隣接する前記バンク部の一部を親液性に処理するとともにバンク部の残りの部分を撥液性に処理し、次に機能層の構成材料を含む組成物を画素電極に吐出して乾燥することにより、画素電極上に機能層を形成する方法が採用されている。
【０００４】
具体的には、複数のノズルが副走査方向に沿って配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用い、この液滴吐出ヘッドを基板に対して主走査方向に走査しつつ、前記ノズルから組成物を吐出することにより、画素電極上に機能層を形成する。
【０００５】
この従来の方法によれば、吐出した組成物がバンク部から溢れた場合でも、バンク部の撥液処理された部分ではじかれて隣接する他の画素電極上に流れ込むことがないので、正確にパターニングを行うことが可能になる。
【０００６】
また、所望の重量を吐出させる駆動パルスを採用することにより、複数の液滴をバンク内に吐出し全液滴重量を一定にすることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の方法においては、駆動パルスを１種類に固定していたため、微妙な吐出量の調整が難しく、一つの画素に適切な全液滴量を得ることが非常に難しい。これにより画素内での目的膜厚を得ることが難しく、また吐出液滴数を増減しても適切な膜厚にならず、画素表示に不具合が生じるおそれがあった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、各機能層を所望の膜厚で形成することが可能な表示装置の製造方法を提供するとともに、一定の膜厚の機能層を具備して表示品質に優れた表示装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
【０００９】
複数層の機能層のうち少なくとも１層を、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた圧力発生素子を作動させることにより、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式ヘッドの駆動装置において、
インク滴をそれぞれ吐出させるための複数の駆動パルスを含んでなる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段と、
前記各駆動パルスにそれぞれ対応したパルス選択信号含んでなるデータに基づいて、前記各駆動パルスのうちいずれか一つまたは複数の駆動パルスを前記圧力発生素子に対して選択的に入力させることを特徴とするインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１０】
複数層の機能層のうち少なくとも１層を、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた圧力発生素子を作動させることにより、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式ヘッドの駆動装置において、
それぞれのインク滴を吐出させるための第１の駆動パルスと第２の駆動パルスとを少なくとも含んでなる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段と、
前記各駆動パルスにそれぞれ対応して設けられたパルス選択信号により、一印刷周期内で前記各駆動パルスの内一つまたは複数の駆動パルスを選択可能なデータを形成するデータ手段と、
前記印字データに基づいて、前記駆動信号を前記圧力発生素子に対して入力させるスイッチ手段とを備え、前記駆動信号は、第１のインク滴を吐出させるための第１の駆動パルスと、前記第１のインク滴よりも少量の第２のインク滴を吐出させるための第２の駆動パルスとを含んで構成されていることを特徴とするインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１１】
前記データは、前記駆動信号の駆動パルスにそれぞれ対応したパルス選択信号を組み合わせてなり、インク滴を吐出させない第１の階調値と、前記第１の駆動パルスのみを選択して前記第１のインク滴を吐出させる第２の階調値と、前記第２の駆動パルスのみを選択して前記第２のインクを吐出させる第３の階調値と、前記第１の駆動パルスおよび第２の駆動パルスを選択して前記第１のインク滴および第２のインク滴を吐出させる第４の階調値とが、選択可能であることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１２】
前記第１の駆動パルスは、中間電位から第１の最大電位まで上昇する第１の電圧上昇波形と、前記第１の最大電位を維持する第１の最大電位維持波形と、前記第１の最大電位から最低電位まで降下する第１の電圧下降波形と、前記最低電位を維持する最低電位維持波形と、前記最低電位から前記中間電位に復帰する中間電位復帰波形とを有してそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項２，３のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１３】
前記第２の駆動パルスは、中間電位から前記第１の最大電位よりも小さい第２の最大電位まで上昇する第２の電圧上昇波形と、前記第２の最大電位を維持する最大電位維持波形と、前記第２の最大電位から中間電位まで下降する第２の電圧下降波形とを有して構成されていることを特徴とする請求項２，３のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１４】
前記第２の駆動パルスは、中間電位から前記第１の最大電位よりも小さい第２の最大電位まで上昇する第２の電圧上昇波形と、前記第２の最大電位を維持する最大電位維持波形と、前記第２の最大電位から前記第１の電位よりも大きい第２の最低電位まで降下する第２の電圧下降波形と、前記最低電位を維持する最低電位維持波形と、前記第２の最低電位から前記中間電位に復帰する中間電位復帰波形とを有してそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項２，３のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１５】
前記圧力発生素子は、圧電振動子であることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１６】
複数層の機能層のうち少なくとも１層を、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた圧力発生素子を作動させることにより、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式ヘッドの駆動方法において、インク滴をそれぞれ吐出させるための複数の駆動パルスを含んでなる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段と、前記各駆動パルスにそれぞれ対応したパルス選択信号含んでなる印字データに基づいて、前記各駆動パルスのうちいずれか一つまたは複数の駆動パルスを前記圧力発生素子に対して選択的に入力させることを特徴とするインクジェット式ヘッドの駆動方法。
【００１７】
前記機能層の間にバンク部が形成され、前記バンク部は、親液性に処理された第１バンク層と、撥液性に処理された第２バンク層から形成されてなり、前記第１バンク層を前記電極の一部と重なるように形成することを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動方法。
【００１８】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載されたインクジェット式ヘッドの駆動装置により製造された表示装置。
【００１９】
複数層の機能層が電極間に形成されてなる表示装置を有する電子機器の製造装置であって、前記複数層の機能層のうち少なくとも１層を、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた圧力発生素子を作動させることにより、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式ヘッドと、インク滴をそれぞれ吐出させるための複数の駆動パルスを含んでなる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段と、前記各駆動パルスにそれぞれ対応したパルス選択信号含んでなる印字データに基づいて、前記各駆動パルスのうちいずれか一つまたは複数の駆動パルスを前記圧力発生素子に対して選択的に入力させることを特徴とする電子機器の製造方法。請求項１１に記載された製造方法により製造されたものであることを特徴とする電子機器。
【００２０】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
プリントヘッドの機械的構成の一例図１は、プリントヘッドの機械的構造の一例を示している。基板ユニット２１は、ノズル穴２２Ａが形成されたノズルプレート２２とアイランド部２３Ａが形成された振動板２３とによって流路形成板２４を挟持することにより、構成されている。流路形成板２４には、インク室２５、インク供給口２６及び圧力発生室２７が形成されている。
【００２１】
基台２８には収容室２９が形成されており、収容室２９内には圧電振動子１７が取り付けられている。圧電振動子１７は、その先端が振動板２３のアイランド部２３Ａに当接するように、固定基板３０を介して固定されている。ここで、圧電振動子１７には、例えば縦振動横効果のＰＺＴが用いられ、充電されると収縮し、放電すると伸長するようになっている。圧電振動子１７への充放電はリード線３１を介して行われる。
【００２２】
なお、圧電振動子１７は、縦振動横効果のＰＺＴに限らず、たわみ振動型のＰＺＴでもよい。また、圧力発生素子としては、圧電振動子に限らず、例えば磁歪素子等の他の素子を用いてもよい。また、ヒータ等の熱源によってインクを加熱させ、加熱により生じた気泡によって圧力を変化させる構成でもよい。要するに、外部から与えられる信号に応じて、圧力発生室２７内に圧力変動を生じさせる素子であれば用いることができる。
【００２３】
圧電振動子１７を充電すると、圧電振動子１７が収縮して圧力発生室２７が膨張し、圧力発生室２７内の圧力が低下してインク室２５から圧力発生室２７内にインクが流入する。圧電振動子１７を放電させると、圧電振動子１７が伸長して圧力発生室２７が縮小し、圧力発生室２７内の圧力が上昇して圧力発生室２７内のインクがノズル穴２２Ａを介して外部に吐出される。
【００２４】
次に、駆動信号と吐出されるインク滴及び階調表現方法について図２を参照しつつ説明する。図２には、駆動信号の波形と吐出されるインク滴の大小関係とが示されていると共に、駆動信号を用いた階調表現の方法が示されている。駆動信号発生回路が発生させる駆動信号は、「第１の駆動パルス」としての第１パルスと、「第２の駆動パルス」としての第２パルスの合計２つの駆動パルスから構成されている。
【００２５】
ここで、第１パルスによって得られるドット径は、例えば約１０ｎｇの中程度の大きさになるため、第１パルスを「中ドットパルス」として表現することもできる。第２パルスは、第１パルスの後に位置しており、例えば約２ｎｇの小さいインク滴を吐出させるためのものである。この第２パルスによって小さいドット径が得られるため、第２パルスを「小ドットパルス」として表現することもできる。第１パルスと第２パルスは入れ替えてもよい。
【００２６】
次に、駆動信号を構成する各パルスについて、図２中に示す如く、各パルスの各部分に付したＰ１１、Ｐ２１等の符号を参照しつつ説明する。
【００２７】
まず、第１パルスは、図２中に示すように、その電圧値が中間電位Ｖｍからスタートし（Ｐ１１）、中間電位Ｖｍから所定の電圧勾配θＣＭで「第１の最大電位」としての最大電位ＶＰＭ　まで上昇し（Ｐ１２）、最大電位ＶＰＭ　を所定時間だけ維持する（Ｐ１３）。次に、第１パルスの電圧値は、最大電位ＶＰＭから所定の電圧勾配θＤＭをもって最低電位ＶＬまで下降する（Ｐ１４）。
【００２８】
ここで、充電時の電圧勾配θＣＭよりも放電時の電圧勾配θＤＭ　の方が大きくなるように設定されている。また、第１パルスの電圧値が最大電位ＶＰＭ　から最低電位ＶＬまで低下するのに要する時間は、圧電振動子１７の固有振動周期ＴＡと略同一に設定されている。なお、最低電位ＶＬは、圧電振動子１７の分極反転を防止するために、グランドレベル（０Ｖ）と同じか、あるいはプラス電位であることが好ましい。
【００２９】
そして、第１パルスの電圧値は、最低電位ＶＬを所定時間だけ保持した後（Ｐ１５）、再び中間電位Ｖｍ　まで上昇する（Ｐ１６）。ここで、最大電位ＶＰＭ　からの電圧下降の開始から最低電位ＶＬ　の維持終了までの時間は、インクの固有周期（ヘルムホルツ周期）と略同一に設定されている。
【００３０】
第２パルスの電圧値は、第１パルスと同様に中間電位Ｖｍからスタートし（Ｐ２１）、所定の電圧勾配θＣＳで「第２の最大電位」としての最大電位ＶＰＳ　まで上昇する（Ｐ２２）。この第２パルスの最大電位ＶＰＳは、第１パルス及び第３パルスの最大電位ＶＰＭよりも小さい。そして、第２パルスの電圧値は、最大電位ＶＰＳを所定時間だけ維持した後（Ｐ２３）、所定の電圧勾配θＤＳをもって中間電位Ｖｍまで下降する（Ｐ２４）。なお、第２　パルスでは、充電時の電圧勾配θＣＳの方が放電時の電圧勾配θＤＳよりも大きくなるように設定されている。
【００３１】
なお、図２中、Ｐ１２が「第１の電圧上昇波形」、Ｐ１３が「第１の最大電位維持波形」、Ｐ１４が「第１の電圧下降波形」、Ｐ１５が「最低電位維持波形」、Ｐ１６が「中間電位復帰波形」にそれぞれ対応する。また、Ｐ２２が「第２の電圧上昇波形」、Ｐ２３が「第２の最大電位維持波形」、Ｐ２４が「第２の電圧下降波形」にそれぞれ対応する。
【００３２】
本実施の形態によれば、複数の駆動パルスによって基本波形たる駆動波形を形成し、各駆動パルスに対応したビットデータからなる印字データをスイッチ回路１６に与える構成のため、一印刷周期内で、各ノズルから一つまたは複数のインク滴をそれぞれ吐出させることができる。従って、基板上における記録ドット毎に多階調の表現を行うことができ、印刷速度を低下させることなく高品位の印刷を実現することができる。
【００３３】
具体的には、中ドット相当のインク滴を吐出させる第１パルスと小ドット相当のインク滴を吐出させる第２パルスとを含んで駆動信号を形成するため、インク滴を吐出しない「第１の階調値」としての階調値１　、中ドット相当のインク滴を吐出させる「第２の階調値」としての階調値２　、小ドット相当のインク滴を吐出させる「第３の階調値」としての階調値３及び小、中ドット相当のインク滴をそれぞれ吐出させる大ドット相当の「第４の階調値」としての階調４　、の合計４段階の階調表現をノズル毎に行うことができる。
【００３４】
より具体的に説明する。バンク内全体に必要な重量が全ドットで７７ｎｇであるとする。前記第１のパルスが９ｎｇ、第２のパルスが２ｎｇの場合、第２の階調値では、９ドットで計８１ｎｇの吐出量になり、第３の階調値では３８ドットで計７６ｎｇの吐出量になり、第四の階調値では第１のパルスおよび第２のパルスを合わせて１４ドットで所望の７７ｎｇの吐出量を得ることができる。このように、第１，第２のパルスの組み合わせにより様々な吐出量を自由に変えることができ、必要な吐出量に合わせこむことが可能である。
【００３５】
次に、本実施形態の表示装置の製造方法を説明する。
【００３６】
本実施形態の表示装置の製造方法は、例えば（１）バンク部材形成工程、（２）プラズマ処理工程（親液化工程および撥液化工程を含む）（３）正孔注入／輸送層形成（機能層形成工程）（４）発光層形成工程（機能層形成工程）（５）対向電極形成工程、および（６）封止工程とを具備して構成されている。なお、製造方法はこれに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００３７】
バンク形成工程では，基体の所定の位置にバンク部を形成する工程である。バンク部は、第１のバンク層として無機物バンク層が形成されてなり、第２のバンク層として有機物バンク層が形成された構造である。
【００３８】
無機物バンク層は、層間絶縁層および画素電極の全面に無機物膜を形成し、その後無機物膜をフォトリソグラフィ法等によりパターニングすることにより、開口部を有する無機物バンク層が形成される。開口部は、画素電極の電極面の形成位置に対応するもので、下部開口部として設けられている。
【００３９】
このとき、無機物バンク層は画素電極の周縁部（一部）と重なるように形成される。画素電極の一部と無機物バンク層とが重なるように無機物バンク層を形成することにより、発光層の発光領域を制御することができる。
【００４０】
次に、第２バンク層としての有機物バンク層を形成する。これは、無機物バンク層上に形成される。有機物バンク層として、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶剤性を有する材料を用いる。これらの材料を用い、有機物バンク層をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。なお、パターニングする際、有機物バンク層に上部開口部を形成する。上部開口部は、電極面および下部開口部に対応する位置に設けられる。
【００４１】
上部開口部は、無機物バンク層に形成された下部開口部より広く形成することが好ましい。さらに、有機物バンク層はテーパーを有する形状が好ましく、有機物バンク層の開口部が画素電極の幅より狭く、有機物バンク層の最上面では画素電極の幅とほぼ同一の幅になるように有機物バンク層を形成することが好ましい。これにより、無機物バンク層の下部開口部を囲む第１積層部が、有機物バンク層よりも画素電極の中央側に延出された形になる。
【００４２】
なお、有機バンク層の厚さは、０．１〜３．５μｍの範囲が好ましく、特に２μｍ程度がよい。
【００４３】
次に、プラズマ処理工程では、画素電極の表面を活性化すること、さらにバンク部の表面を表面処理することを目的として行われる。特に活性化工程では、画素電極上の洗浄、さらに仕事関数の調整を主な目的として行っている。さらに、画素電極の表面の親液化処理（親液化工程）、バンク部の表面の撥液化処理（撥液化工程）を行う。
【００４４】
このプラズマ処理工程は、例えば（１）予備加熱工程、（２）活性化処理工程（親液化工程）、（３）撥液化処理工程（親液化工程）、および（４）冷却工程とに大別される。なお、このような工程に限られたものではなく、必要に応じて工程を削減、さらなる工程追加も行われる。
【００４５】
正孔注入／輸送層形成工程（機能層形成工程）では、液滴吐出として例えばインクジェット式ヘッドを用いることにより、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を電極上に吐出する。その後に乾燥処理および熱処理を行い、電極上および無機物バンク層上に正孔注入／輸送層を形成する。なお、正孔注入／輸送層が形成された無機物バンク層をここでは第１積層部という。
【００４６】
液滴吐出による製造方法は前記の通りである。
【００４７】
ここで用いる第１組成物としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）等の混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることができる。極性溶媒としては、例えばイソプロピルアルコール、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチルピロリドン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノンおよびその誘導体、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート等のグリコールエーテル類等を挙げることができる。
【００４８】
より具体的な第１の組成物の組成としては、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ混合物（ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ＝１：２０）：２２．４重量％、ＰＳＳ：１．４４重量％、ＩＰＡ：１０重量％、Ｎ−メチルピロリドン：２７．０重量％、ジメチルイミダゾール：５０重量％のものを例示できる。尚、第１の組成物の粘度は２〜３０ｃｐｓ程度が好ましく、特に４〜２０ｃｐｓ程度が良い。
【００４９】
上記の第１組成物を用いることにより、吐出ノズルに詰まりが生じることがなく安定吐出できる。
【００５０】
なお、正孔注入／輸送層形成材料は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各発光層に対して同じ材料を用いても良く、発光層毎に変えても良い。
【００５１】
次に、乾燥工程を行う。乾燥工程を行うことにより、吐出後の第１組成物を乾燥処理し、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、正孔注入／輸送層を形成する。
【００５２】
次に、発光層形成工程は、表面改質工程、発光層形成材料吐出工程、および乾燥工程、とからなる。
【００５３】
まず、正孔注入／輸送層の表面を表面改質するために表面改質工程を行う。次に、前述の正孔注入／輸送層形成工程と同様、インクジェット式ヘッドにより第２組成物を正孔注入／輸送層上に吐出する。その後，吐出した第２組成物を乾燥処理（および熱処理）して、正孔注入／輸送層上に発光層を形成する。
【００５４】
また、発光層の材料としては、ポリフルオレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、またはこれらの高分子材料にペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、例えばルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェンルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレット、クマリン６、キナクリドン等をドープして用いることができる。
【００５５】
非極性溶媒としては、正孔注入／輸送層に対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。
【００５６】
このような非極性溶媒を発光層の第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層を再溶解させることなく第２組成物を塗布できる。
【００５７】
より具体的な第２組成物の組成としては、シクロヘキシルベンゼン：トリメチルベンゼン＝５０：５０ｖｏｌ％にポリフルオレン誘導体を１重量％溶解したものを例示できる。尚、第２組成物の粘度は２〜３０ｃｐｓ程度が好ましく、特に４〜２０ｃｐｓ程度が良い。
【００５８】
次に対向電極形成工程では、発光層および有機物バンク層上の全面に陰極を形成する。なお、陰極は複数の材料を積層して作成しても良い。例えば、発光層に近い側には仕事関数が小さい材料を形成することが好ましく、例えばＣａ、Ｂａ等を用いることが可能であり、また材料によっては下層にＬｉＦ等を薄く形成した方が良い場合もある。また、上部側（封止側）には下層部よりも仕事関数が高い材料、例えばＡｌを用いることもできる。
【００５９】
これらの陰極は、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等で形成することが好ましく、特に蒸着法で形成することが、熱による発光層の損傷を防止できる点で好ましい。
【００６０】
最後に封止工程は、発光素子が形成された基体と封止基板とを封止樹脂により封止する工程である。例えば、熱硬化樹脂または紫外線硬化樹脂からなる封止樹脂を基体の全面に塗布し、封止樹脂上に封止用基板を積層する。この工程により基体上に封止部を形成する。
【００６１】
封止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部分から水や酸素等が陰極に侵入して陰極が酸化されるおそれがあるので好ましくない。
【００６２】
さらに基板の配線に陰極を接続するとともに、駆動ＩＣに回路素子部の配線を接続することにより、本実施形態の表示装置が得られる。
【００６３】
（第２の実施形態）
次に、第１の実施形態の表示装置を備えた電子機器の具体例について説明する。
【００６４】
具体例としては，携帯電話，ワープロ，パソコン等の携帯型情報処理装置が挙げられる。また、腕時計型電子機器にも使用できる。
【００６５】
これらの電子機器は、前記の第１実施形態の表示装置を用いた表示部を備えたものであり、先第１実施形態の表示装置の特徴を有するので、高輝度であって表示品質に優れた効果を有する電子機器となる。
【００６６】
これらの電子機器を製造するには、第１の実施形態と同様にして、駆動ＩＣ（駆動回路）を備えた表示装置を構成し、この表示装置を、携帯電話、携帯型情報処理装置、腕時計型電子機器に取り込むことにより製造される。
【００６７】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、カラーフィルタ作製、金属粒子、樹脂等の微粒子を吐出させデバイスを作製させる系においても適用でき、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００６８】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明に係るインクジェット式ヘッドの駆動装置および駆動方法によれば、駆動信号を形成する複数の駆動パルスを印字データによって選択可能な構成としたため、同一のノズルから重量の異なるインク滴を吐出できると共に、一印刷周期内で複数のインク滴を吐出することができる。したがって、表示画素基板上にドット径を可変に調整して、目的のインク重量を成膜することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェット式ヘッドの機械的構造を示す構成説明図。
【図２】本発明第１の実施の形態に用いられる駆動信号と階調値等との関係を示す説明図。
【符号の説明】
１７　　圧電素子
２２Ａ　　ノズル穴
２７　　圧力発生室
【図１】
2004034475.tif 000003
【図２】
2004034475.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成14年7月18日(2002.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の詳細な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、同一のノズルから異なる大きさのインク滴を吐出することができるインクジェット式ヘッドの駆動装置および駆動方法に関し、この手法を用いて表示装置の製造、表示装置、電子機器の製造を行うことに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、有機蛍光材料等の機能材料をインク化し、当該インク（組成物）を基材上に吐出する液滴吐出法により、機能材料のパターニングを行う方法を採用して、一対の電極間に該機能材料からなる機能層が挟持された構造のカラー表示装置、特に機能材料として有機発光材料を用いたＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示装置の開発が行われている。
【０００３】
上述した機能材料のパターニング方法としては、例えば、基板上に形成したＩＴＯ等からなる画素電極の周囲にバンク部を形成し、次に画素電極およびこの画素電極に隣接する前記バンク部の一部を親液性に処理するとともにバンク部の残りの部分を撥液性に処理し、次に機能層の構成材料を含む組成物を画素電極に吐出して乾燥することにより、画素電極上に機能層を形成する方法が採用されている。
【０００４】
具体的には、複数のノズルが副走査方向に沿って配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用い、この液滴吐出ヘッドを基板に対して主走査方向に走査しつつ、前記ノズルから組成物を吐出することにより、画素電極上に機能層を形成する。
【０００５】
この従来の方法によれば、吐出した組成物がバンク部から溢れた場合でも、バンク部の撥液処理された部分ではじかれて隣接する他の画素電極上に流れ込むことがないので、正確にパターニングを行うことが可能になる。
【０００６】
また、所望の重量を吐出させる駆動パルスを採用することにより、複数の液滴をバンク内に吐出し全液滴重量を一定にすることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の方法においては、駆動パルスを１種類に固定していたため、微妙な吐出量の調整が難しく、一つの画素に適切な全液滴量を得ることが非常に難しい。これにより画素内での目的膜厚を得ることが難しく、また吐出液滴数を増減しても適切な膜厚にならず、画素表示に不具合が生じるおそれがあった。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、各機能層を所望の膜厚で形成することが可能な表示装置の製造方法を提供するとともに、一定の膜厚の機能層を具備して表示品質に優れた表示装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
【００１０】
複数層の機能層のうち少なくとも１層を、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた圧力発生素子を作動させることにより、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式ヘッドの駆動装置において、
インク滴をそれぞれ吐出させるための複数の駆動パルスを含んでなる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段と、
前記各駆動パルスにそれぞれ対応したパルス選択信号含んでなるデータに基づいて、前記各駆動パルスのうちいずれか一つまたは複数の駆動パルスを前記圧力発生素子に対して選択的に入力させることを特徴とするインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１１】
複数層の機能層のうち少なくとも１層を、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた圧力発生素子を作動させることにより、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式ヘッドの駆動装置において、
それぞれのインク滴を吐出させるための第１の駆動パルスと第２の駆動パルスとを少なくとも含んでなる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段と、
前記各駆動パルスにそれぞれ対応して設けられたパルス選択信号により、一印刷周期内で前記各駆動パルスの内一つまたは複数の駆動パルスを選択可能なデータを形成するデータ手段と、
前記印字データに基づいて、前記駆動信号を前記圧力発生素子に対して入力させるスイッチ手段とを備え、前記駆動信号は、第１のインク滴を吐出させるための第１の駆動パルスと、前記第１のインク滴よりも少量の第２のインク滴を吐出させるための第２の駆動パルスとを含んで構成されていることを特徴とするインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１２】
前記データは、前記駆動信号の駆動パルスにそれぞれ対応したパルス選択信号を組み合わせてなり、インク滴を吐出させない第１の階調値と、前記第１の駆動パルスのみを選択して前記第１のインク滴を吐出させる第２の階調値と、前記第２の駆動パルスのみを選択して前記第２のインクを吐出させる第３の階調値と、前記第１の駆動パルスおよび第２の駆動パルスを選択して前記第１のインク滴および第２のインク滴を吐出させる第４の階調値とが、選択可能であることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１３】
前記第１の駆動パルスは、中間電位から第１の最大電位まで上昇する第１の電圧上昇波形と、前記第１の最大電位を維持する第１の最大電位維持波形と、前記第１の最大電位から最低電位まで降下する第１の電圧下降波形と、前記最低電位を維持する最低電位維持波形と、前記最低電位から前記中間電位に復帰する中間電位復帰波形とを有してそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項２，３のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１４】
前記第２の駆動パルスは、中間電位から前記第１の最大電位よりも小さい第２の最大電位まで上昇する第２の電圧上昇波形と、前記第２の最大電位を維持する最大電位維持波形と、前記第２の最大電位から中間電位まで下降する第２の電圧下降波形とを有して構成されていることを特徴とする請求項２，３のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１５】
前記第２の駆動パルスは、中間電位から前記第１の最大電位よりも小さい第２の最大電位まで上昇する第２の電圧上昇波形と、前記第２の最大電位を維持する最大電位維持波形と、前記第２の最大電位から前記第１の電位よりも大きい第２の最低電位まで降下する第２の電圧下降波形と、前記最低電位を維持する最低電位維持波形と、前記第２の最低電位から前記中間電位に復帰する中間電位復帰波形とを有してそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項２，３のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１６】
前記圧力発生素子は、圧電振動子であることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動装置。
【００１７】
複数層の機能層のうち少なくとも１層を、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた圧力発生素子を作動させることにより、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式ヘッドの駆動方法において、インク滴をそれぞれ吐出させるための複数の駆動パルスを含んでなる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段と、前記各駆動パルスにそれぞれ対応したパルス選択信号含んでなる印字データに基づいて、前記各駆動パルスのうちいずれか一つまたは複数の駆動パルスを前記圧力発生素子に対して選択的に入力させることを特徴とするインクジェット式ヘッドの駆動方法。
【００１８】
前記機能層の間にバンク部が形成され、前記バンク部は、親液性に処理された第１バンク層と、撥液性に処理された第２バンク層から形成されてなり、前記第１バンク層を前記電極の一部と重なるように形成することを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のインクジェット式ヘッドの駆動方法。
【００１９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載されたインクジェット式ヘッドの駆動装置により製造された表示装置。
【００２０】
複数層の機能層が電極間に形成されてなる表示装置を有する電子機器の製造装置であって、前記複数層の機能層のうち少なくとも１層を、複数のノズルのそれぞれに対応して設けられた圧力発生素子を作動させることにより、前記ノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式ヘッドと、インク滴をそれぞれ吐出させるための複数の駆動パルスを含んでなる駆動信号を発生させる駆動信号発生手段と、前記各駆動パルスにそれぞれ対応したパルス選択信号含んでなる印字データに基づいて、前記各駆動パルスのうちいずれか一つまたは複数の駆動パルスを前記圧力発生素子に対して選択的に入力させることを特徴とする電子機器の製造方法。請求項１１に記載された製造方法により製造されたものであることを特徴とする電子機器。
【００２１】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
プリントヘッドの機械的構成の一例図１は、プリントヘッドの機械的構造の一例を示している。基板ユニット２１は、ノズル穴２２Ａが形成されたノズルプレート２２とアイランド部２３Ａが形成された振動板２３とによって流路形成板２４を挟持することにより、構成されている。流路形成板２４には、インク室２５、インク供給口２６及び圧力発生室２７が形成されている。
【００２２】
基台２８には収容室２９が形成されており、収容室２９内には圧電振動子１７が取り付けられている。圧電振動子１７は、その先端が振動板２３のアイランド部２３Ａに当接するように、固定基板３０を介して固定されている。ここで、圧電振動子１７には、例えば縦振動横効果のＰＺＴが用いられ、充電されると収縮し、放電すると伸長するようになっている。圧電振動子１７への充放電はリード線３１を介して行われる。
【００２３】
なお、圧電振動子１７は、縦振動横効果のＰＺＴに限らず、たわみ振動型のＰＺＴでもよい。また、圧力発生素子としては、圧電振動子に限らず、例えば磁歪素子等の他の素子を用いてもよい。また、ヒータ等の熱源によってインクを加熱させ、加熱により生じた気泡によって圧力を変化させる構成でもよい。要するに、外部から与えられる信号に応じて、圧力発生室２７内に圧力変動を生じさせる素子であれば用いることができる。
【００２４】
圧電振動子１７を充電すると、圧電振動子１７が収縮して圧力発生室２７が膨張し、圧力発生室２７内の圧力が低下してインク室２５から圧力発生室２７内にインクが流入する。圧電振動子１７を放電させると、圧電振動子１７が伸長して圧力発生室２７が縮小し、圧力発生室２７内の圧力が上昇して圧力発生室２７内のインクがノズル穴２２Ａを介して外部に吐出される。
【００２５】
次に、駆動信号と吐出されるインク滴及び階調表現方法について図２を参照しつつ説明する。図２には、駆動信号の波形と吐出されるインク滴の大小関係とが示されていると共に、駆動信号を用いた階調表現の方法が示されている。駆動信号発生回路が発生させる駆動信号は、「第１の駆動パルス」としての第１パルスと、「第２の駆動パルス」としての第２パルスの合計２つの駆動パルスから構成されている。
【００２６】
ここで、第１パルスによって得られるドット径は、例えば約１０ｎｇの中程度の大きさになるため、第１パルスを「中ドットパルス」として表現することもできる。第２パルスは、第１パルスの後に位置しており、例えば約２ｎｇの小さいインク滴を吐出させるためのものである。この第２パルスによって小さいドット径が得られるため、第２パルスを「小ドットパルス」として表現することもできる。第１パルスと第２パルスは入れ替えてもよい。
【００２７】
次に、駆動信号を構成する各パルスについて、図２中に示す如く、各パルスの各部分に付したＰ１１、Ｐ２１等の符号を参照しつつ説明する。
【００２８】
まず、第１パルスは、図２中に示すように、その電圧値が中間電位Ｖｍからスタートし（Ｐ１１）、中間電位Ｖｍから所定の電圧勾配θＣＭで「第１の最大電位」としての最大電位ＶＰＭ　まで上昇し（Ｐ１２）、最大電位ＶＰＭ　を所定時間だけ維持する（Ｐ１３）。次に、第１パルスの電圧値は、最大電位ＶＰＭから所定の電圧勾配θＤＭをもって最低電位ＶＬまで下降する（Ｐ１４）。
【００２９】
ここで、充電時の電圧勾配θＣＭよりも放電時の電圧勾配θＤＭ　の方が大きくなるように設定されている。また、第１パルスの電圧値が最大電位ＶＰＭ　から最低電位ＶＬまで低下するのに要する時間は、圧電振動子１７の固有振動周期ＴＡと略同一に設定されている。なお、最低電位ＶＬは、圧電振動子１７の分極反転を防止するために、グランドレベル（０Ｖ）と同じか、あるいはプラス電位であることが好ましい。
【００３０】
そして、第１パルスの電圧値は、最低電位ＶＬを所定時間だけ保持した後（Ｐ１５）、再び中間電位Ｖｍ　まで上昇する（Ｐ１６）。ここで、最大電位ＶＰＭ　からの電圧下降の開始から最低電位ＶＬ　の維持終了までの時間は、インクの固有周期（ヘルムホルツ周期）と略同一に設定されている。
【００３１】
第２パルスの電圧値は、第１パルスと同様に中間電位Ｖｍからスタートし（Ｐ２１）、所定の電圧勾配θＣＳで「第２の最大電位」としての最大電位ＶＰＳ　まで上昇する（Ｐ２２）。この第２パルスの最大電位ＶＰＳは、第１パルス及び第３パルスの最大電位ＶＰＭよりも小さい。そして、第２パルスの電圧値は、最大電位ＶＰＳを所定時間だけ維持した後（Ｐ２３）、所定の電圧勾配θＤＳをもって中間電位Ｖｍまで下降する（Ｐ２４）。なお、第２　パルスでは、充電時の電圧勾配θＣＳの方が放電時の電圧勾配θＤＳよりも大きくなるように設定されている。
【００３２】
なお、図２中、Ｐ１２が「第１の電圧上昇波形」、Ｐ１３が「第１の最大電位維持波形」、Ｐ１４が「第１の電圧下降波形」、Ｐ１５が「最低電位維持波形」、Ｐ１６が「中間電位復帰波形」にそれぞれ対応する。また、Ｐ２２が「第２の電圧上昇波形」、Ｐ２３が「第２の最大電位維持波形」、Ｐ２４が「第２の電圧下降波形」にそれぞれ対応する。
【００３３】
本実施の形態によれば、複数の駆動パルスによって基本波形たる駆動波形を形成し、各駆動パルスに対応したビットデータからなる印字データをスイッチ回路１６に与える構成のため、一印刷周期内で、各ノズルから一つまたは複数のインク滴をそれぞれ吐出させることができる。従って、基板上における記録ドット毎に多階調の表現を行うことができ、印刷速度を低下させることなく高品位の印刷を実現することができる。
【００３４】
具体的には、中ドット相当のインク滴を吐出させる第１パルスと小ドット相当のインク滴を吐出させる第２パルスとを含んで駆動信号を形成するため、インク滴を吐出しない「第１の階調値」としての階調値１　、中ドット相当のインク滴を吐出させる「第２の階調値」としての階調値２　、小ドット相当のインク滴を吐出させる「第３の階調値」としての階調値３及び小、中ドット相当のインク滴をそれぞれ吐出させる大ドット相当の「第４の階調値」としての階調４　、の合計４段階の階調表現をノズル毎に行うことができる。
【００３５】
より具体的に説明する。バンク内全体に必要な重量が全ドットで７７ｎｇであるとする。前記第１のパルスが９ｎｇ、第２のパルスが２ｎｇの場合、第２の階調値では、９ドットで計８１ｎｇの吐出量になり、第３の階調値では３８ドットで計７６ｎｇの吐出量になり、第四の階調値では第１のパルスおよび第２のパルスを合わせて１４ドットで所望の７７ｎｇの吐出量を得ることができる。このように、第１，第２のパルスの組み合わせにより様々な吐出量を自由に変えることができ、必要な吐出量に合わせこむことが可能である。
【００３６】
次に、本実施形態の表示装置の製造方法を説明する。
【００３７】
本実施形態の表示装置の製造方法は、例えば（１）バンク部材形成工程、（２）プラズマ処理工程（親液化工程および撥液化工程を含む）（３）正孔注入／輸送層形成（機能層形成工程）（４）発光層形成工程（機能層形成工程）（５）対向電極形成工程、および（６）封止工程とを具備して構成されている。なお、製造方法はこれに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００３８】
バンク形成工程では，基体の所定の位置にバンク部を形成する工程である。バンク部は、第１のバンク層として無機物バンク層が形成されてなり、第２のバンク層として有機物バンク層が形成された構造である。
【００３９】
無機物バンク層は、層間絶縁層および画素電極の全面に無機物膜を形成し、その後無機物膜をフォトリソグラフィ法等によりパターニングすることにより、開口部を有する無機物バンク層が形成される。開口部は、画素電極の電極面の形成位置に対応するもので、下部開口部として設けられている。
【００４０】
このとき、無機物バンク層は画素電極の周縁部（一部）と重なるように形成される。画素電極の一部と無機物バンク層とが重なるように無機物バンク層を形成することにより、発光層の発光領域を制御することができる。
【００４１】
次に、第２バンク層としての有機物バンク層を形成する。これは、無機物バンク層上に形成される。有機物バンク層として、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶剤性を有する材料を用いる。これらの材料を用い、有機物バンク層をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。なお、パターニングする際、有機物バンク層に上部開口部を形成する。上部開口部は、電極面および下部開口部に対応する位置に設けられる。
【００４２】
上部開口部は、無機物バンク層に形成された下部開口部より広く形成することが好ましい。さらに、有機物バンク層はテーパーを有する形状が好ましく、有機物バンク層の開口部が画素電極の幅より狭く、有機物バンク層の最上面では画素電極の幅とほぼ同一の幅になるように有機物バンク層を形成することが好ましい。これにより、無機物バンク層の下部開口部を囲む第１積層部が、有機物バンク層よりも画素電極の中央側に延出された形になる。
【００４３】
なお、有機バンク層の厚さは、０．１〜３．５μｍの範囲が好ましく、特に２μｍ程度がよい。
【００４４】
次に、プラズマ処理工程では、画素電極の表面を活性化すること、さらにバンク部の表面を表面処理することを目的として行われる。特に活性化工程では、画素電極上の洗浄、さらに仕事関数の調整を主な目的として行っている。さらに、画素電極の表面の親液化処理（親液化工程）、バンク部の表面の撥液化処理（撥液化工程）を行う。
【００４５】
このプラズマ処理工程は、例えば（１）予備加熱工程、（２）活性化処理工程（親液化工程）、（３）撥液化処理工程（親液化工程）、および（４）冷却工程とに大別される。なお、このような工程に限られたものではなく、必要に応じて工程を削減、さらなる工程追加も行われる。
【００４６】
正孔注入／輸送層形成工程（機能層形成工程）では、液滴吐出として例えばインクジェット式ヘッドを用いることにより、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を電極上に吐出する。その後に乾燥処理および熱処理を行い、電極上および無機物バンク層上に正孔注入／輸送層を形成する。なお、正孔注入／輸送層が形成された無機物バンク層をここでは第１積層部という。
【００４７】
液滴吐出による製造方法は前記の通りである。
【００４８】
ここで用いる第１組成物としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）等の混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることができる。極性溶媒としては、例えばイソプロピルアルコール、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチルピロリドン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノンおよびその誘導体、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート等のグリコールエーテル類等を挙げることができる。
【００４９】
より具体的な第１の組成物の組成としては、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ混合物（ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ＝１：２０）：２２．４重量％、ＰＳＳ：１．４４重量％、ＩＰＡ：１０重量％、Ｎ−メチルピロリドン：２７．０重量％、ジメチルイミダゾール：５０重量％のものを例示できる。尚、第１の組成物の粘度は２〜３０ｃｐｓ程度が好ましく、特に４〜２０ｃｐｓ程度が良い。
【００５０】
上記の第１組成物を用いることにより、吐出ノズルに詰まりが生じることがなく安定吐出できる。
【００５１】
なお、正孔注入／輸送層形成材料は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各発光層に対して同じ材料を用いても良く、発光層毎に変えても良い。
【００５２】
次に、乾燥工程を行う。乾燥工程を行うことにより、吐出後の第１組成物を乾燥処理し、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、正孔注入／輸送層を形成する。
【００５３】
次に、発光層形成工程は、表面改質工程、発光層形成材料吐出工程、および乾燥工程、とからなる。
【００５４】
まず、正孔注入／輸送層の表面を表面改質するために表面改質工程を行う。次に、前述の正孔注入／輸送層形成工程と同様、インクジェット式ヘッドにより第２組成物を正孔注入／輸送層上に吐出する。その後，吐出した第２組成物を乾燥処理（および熱処理）して、正孔注入／輸送層上に発光層を形成する。
【００５５】
また、発光層の材料としては、ポリフルオレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、またはこれらの高分子材料にペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、例えばルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェンルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレット、クマリン６、キナクリドン等をドープして用いることができる。
【００５６】
非極性溶媒としては、正孔注入／輸送層に対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。
【００５７】
このような非極性溶媒を発光層の第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層を再溶解させることなく第２組成物を塗布できる。
【００５８】
より具体的な第２組成物の組成としては、シクロヘキシルベンゼン：トリメチルベンゼン＝５０：５０ｖｏｌ％にポリフルオレン誘導体を１重量％溶解したものを例示できる。尚、第２組成物の粘度は２〜３０ｃｐｓ程度が好ましく、特に４〜２０ｃｐｓ程度が良い。
【００５９】
次に対向電極形成工程では、発光層および有機物バンク層上の全面に陰極を形成する。なお、陰極は複数の材料を積層して作成しても良い。例えば、発光層に近い側には仕事関数が小さい材料を形成することが好ましく、例えばＣａ、Ｂａ等を用いることが可能であり、また材料によっては下層にＬｉＦ等を薄く形成した方が良い場合もある。また、上部側（封止側）には下層部よりも仕事関数が高い材料、例えばＡｌを用いることもできる。
【００６０】
これらの陰極は、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等で形成することが好ましく、特に蒸着法で形成することが、熱による発光層の損傷を防止できる点で好ましい。
【００６１】
最後に封止工程は、発光素子が形成された基体と封止基板とを封止樹脂により封止する工程である。例えば、熱硬化樹脂または紫外線硬化樹脂からなる封止樹脂を基体の全面に塗布し、封止樹脂上に封止用基板を積層する。この工程により基体上に封止部を形成する。
【００６２】
封止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部分から水や酸素等が陰極に侵入して陰極が酸化されるおそれがあるので好ましくない。
【００６３】
さらに基板の配線に陰極を接続するとともに、駆動ＩＣに回路素子部の配線を接続することにより、本実施形態の表示装置が得られる。
【００６４】
（第２の実施形態）
次に、第１の実施形態の表示装置を備えた電子機器の具体例について説明する。
【００６５】
具体例としては，携帯電話，ワープロ，パソコン等の携帯型情報処理装置が挙げられる。また、腕時計型電子機器にも使用できる。
【００６６】
これらの電子機器は、前記の第１実施形態の表示装置を用いた表示部を備えたものであり、先第１実施形態の表示装置の特徴を有するので、高輝度であって表示品質に優れた効果を有する電子機器となる。
【００６７】
これらの電子機器を製造するには、第１の実施形態と同様にして、駆動ＩＣ（駆動回路）を備えた表示装置を構成し、この表示装置を、携帯電話、携帯型情報処理装置、腕時計型電子機器に取り込むことにより製造される。
【００６８】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、カラーフィルタ作製、金属粒子、樹脂等の微粒子を吐出させデバイスを作製させる系においても適用でき、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００６９】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明に係るインクジェット式ヘッドの駆動装置および駆動方法によれば、駆動信号を形成する複数の駆動パルスを印字データによって選択可能な構成としたため、同一のノズルから重量の異なるインク滴を吐出できると共に、一印刷周期内で複数のインク滴を吐出することができる。したがって、表示画素基板上にドット径を可変に調整して、目的のインク重量を成膜することができる。