(57)【要約】【課題】研磨用テープを良好にドレッシングできる研磨用テープのドレッシング装置及び研磨装置を提供する。【解決手段】研磨用テープ供給部１８からドレッシング部２０に搬送されてきた研磨用テープ１６の研磨面に向けて、ノズル１２から高圧の洗浄液を噴射する。この洗浄液は、高圧で噴射されることにより空中で霧粒状になり、霧粒状体が研磨用テープ１６に勢いよく衝突する。この衝撃によって、研磨用テープ１６の微粒子研磨材間に詰まった研磨屑が叩き出され、洗い流される。これにより、研磨用テープ１６は良好にドレッシングされる。【選択図】          図１
2004160628.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微粒子研磨材が長尺状テープにコーティングされた研磨用テープをドレッシングするドレッシング装置において、
該ドレッシング装置は、洗浄液を高圧で噴射するノズルを有し、該ノズルから前記研磨用テープに高圧洗浄液を噴射して研磨用テープをドレッシングすることを特徴とする研磨用テープのドレッシング装置。
【請求項２】
微粒子研磨材が長尺状テープにコーティングされた研磨用テープをドレッシングするドレッシング装置において、
供給リールに巻回された前記研磨用テープを巻取リールに送り出し、供給リールと巻取リールとの間に設けられた前記ドレッシング装置のノズルから、前記研磨用テープに高圧洗浄液を噴射して研磨用テープをドレッシングし、ドレッシング終了した研磨用テープを前記巻取リールに巻き取ることを特徴とする研磨用テープのドレッシング装置。
【請求項３】
前記ドレッシング装置には乾燥手段が設けられ、前記ノズルからの高圧洗浄液によってドレッシングされた前記研磨用テープを、前記乾燥手段によって乾燥させて前記巻取リールに巻き取ることを特徴とする請求項２に記載の研磨用テープのドレッシング装置。
【請求項４】
被加工物を挟んで供給リールと巻取リールとが設置され、供給リールに巻回された研磨用テープを巻取リールに送り出し、供給リールと巻取リールとの間に設けられた前記被加工物に前記研磨用テープを押し付けて、被加工物を研磨加工する研磨装置において、
請求項１に記載の研磨用テープのドレッシング装置が、被加工物と巻取リールとの間の搬送経路に設置され、被加工物の研磨に供した研磨用テープを前記ドレッシング装置によってドレッシングすることを特徴とする研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微粒子研磨材が長尺状テープにコーティングされた研磨用テープをドレッシングするドレッシング装置、及びその研磨用テープを用いた研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の研磨用テープを用いた研磨装置は、エンジンのクランクシャフトの研磨装置、又はＬＣＤパネルやプリント基板の研磨装置として採用されている。かかる研磨装置は、研磨ステージを挟んで供給リールと巻取リールとが設置され、供給リールに巻回された研磨用テープを巻取リールに向けて送り出しながら、研磨ステージに配置された被加工物を研磨用テープに押し付けて、被加工物を研磨加工する（例えば、特許文献１、２）。研磨用テープを使用した研磨装置によれば、ワークは常に新しい研磨用テープの研磨面によって研磨されるので、ムラの無い安定した表面仕上加工ができるという利点がある。
【０００３】
研磨用テープにコーティングされる微粒子研磨材としては酸化アルミニウム、シリコンカーバイト、ダイヤモンド研磨粒子がある。
【０００４】
【特許文献１】
特許第２９９５３６７号公報  （第２頁  図１）
【０００５】
【特許文献２】
特許第１６３５３４６号公報  （第１頁  図１）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、研磨用テープを使用した従来の研磨装置は、高価な研磨用テープを再使用することなく使い捨てをしているために、その分だけ加工費が嵩むという欠点があった。また、研磨用テープの目の細かい微粒子研磨材の特性として、研磨用テープを単に水洗浄しただけでは、研磨用テープをドレッシングすることは不可能であり、このようなドレッシングが困難な研磨用テープをドレッシングできる装置が従来から望まれていた。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、研磨用テープを良好にドレッシングできる研磨用テープのドレッシング装置及び研磨装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決する為の手段】
前記目的を達成するために、本発明の研磨用テープのドレッシング装置は、微粒子研磨材が長尺状テープにコーティングされた研磨用テープをドレッシングするドレッシング装置において、該ドレッシング装置は、洗浄液を高圧で噴射するノズルを有し、該ノズルから前記研磨用テープに高圧洗浄液を噴射して研磨用テープをドレッシングすることを特徴とする。
【０００９】
また、前記目的を達成するために、本発明の研磨装置は、被加工物を挟んで供給リールと巻取リールとが設置され、供給リールに巻回された研磨用テープを巻取リールに送り出し、供給リールと巻取リールとの間に設けられた前記被加工物に前記研磨用テープを押し付けて、被加工物を研磨加工する研磨装置において、請求項１に記載の研磨用テープのドレッシング装置が、被加工物と巻取リールとの間の搬送経路に設置され、被加工物の研磨に供した研磨用テープを前記ドレッシング装置によってドレッシングすることを特徴とする。
【００１０】
請求項１に記載の研磨用テープのドレッシング装置によれば、研磨用テープに向けてノズルから洗浄液を高圧で噴射すると、洗浄液は霧粒状になって研磨用テープに衝突し、この衝撃によって、研磨用テープの目の細かい微粒子研磨材間に詰まった研磨屑が叩き出され、洗い流される。これにより、研磨用テープを良好にドレッシングできる。
【００１１】
請求項２に記載の研磨用テープのドレッシング装置によれば、供給リールに巻回された研磨用テープを巻取リールに送り出しながら、供給リールと巻取リールとの間に設けられたドレッシング装置のノズルから、研磨用テープに高圧洗浄液を噴射して研磨用テープをドレッシングし、ドレッシング終了した研磨用テープを巻取リールに巻き取ることを特徴とする。これにより、巻取リールに巻き取った研磨用テープを、その状態で研磨装置に装着することができる。
【００１２】
請求項３に記載の研磨用テープのドレッシング装置によれば、ノズルからの高圧洗浄液によってドレッシングされた研磨用テープを、乾燥手段によって乾燥させて巻取リールに巻き取ることを特徴とする。これにより、巻取リールに巻き取った研磨用テープを、即座に研磨装置に使用できる。
【００１３】
請求項４に記載の発明によれば、被加工物を挟んで供給リールと巻取リールとが設置され、供給リールに巻回された研磨用テープを巻取リールに送り出しながら、供給リールと巻取リールとの間に設けられた被加工物に研磨用テープを押し付けて、被加工物を研磨加工する研磨装置において、請求項１に記載の研磨用テープのドレッシング装置を、被加工物と巻取リールとの間の搬送経路に設置し、被加工物の研磨に供した研磨用テープをドレッシング装置によってドレッシングすることを特徴とするので、研磨用テープによる被加工物の研磨加工と、研磨用テープのドレッシングとを同時に実施できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って、本発明に係る研磨用テープのドレッシング装置及び研磨装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００１５】
図１、図２に示す実施の形態の研磨用テープのドレッシング装置１０は、純水等の洗浄液をノズル１２，１２から研磨用テープ１６に向けて噴射することにより、研磨加工に供した研磨用テープ１６をドレッシングする装置である。
【００１６】
ドレッシング装置１０は研磨用テープ供給部１８、ドレッシング部２０、乾燥部２２、巻出部２４、及び研磨用テープ巻取部２６を主として構成される。
【００１７】
研磨用テープ供給部１８は、図１の如くドレッシング前の研磨用テープ１６が巻回される供給リール２８が供給部本体３０に回転自在に支持されている。この供給リール２８に巻回された研磨用テープ１６が、供給リール２８から巻き戻されてドレッシング部２０に所定の速度で供給される。
【００１８】
ドレッシング部２０は一次ドレッシング用ノズル１２、一対の二次ドレッシング用ノズル１４、１４、及び一対のエアーナイフノズル３２、３２等から構成される。一次ドレッシング用ノズル１２は、バックアップローラ３４の上方を通過する研磨用テープ１６の研磨面に向けて洗浄液を高圧で噴射するものであり、不図示の洗浄液供給用ポンプに接続されている。また、バックアップローラ３４の上方を通過する研磨用テープ１６は、バックアップローラ３４の搬送方向上流側及び下流側に配置された上下一対のガイドローラ３６、３８によって挟まれて搬送されることにより、斜行が防止された状態で搬送され、この状態で一次ドレッシング用ノズル１２から噴射される高圧の洗浄液によってドレッシングされる。なお、研磨用テープ１６の幅寸法が大きい場合には、一次ドレッシング用ノズル１２をスイング装置によって研磨用テープ１６の幅方向にスイングさせながらドレッシングするか、２個以上のノズルを並べる。これにより、研磨用テープ１６の研磨面を均一にドレッシングすることができる。
【００１９】
下流側のガイドローラ３６、３８を通過した研磨用テープ１６は、一対の二次ドレッシング用ノズル１４、１４によって更にドレッシングが行われる。二次ドレッシング用ノズル１４、１４は、一次ドレッシング用ノズルよりも低圧に設定され、一次ドレッシング用ノズル１２によって浮き上がった研磨屑を再付着させないため、及びそれ以外の一般ゴミを除去するために設けられたものである。また、二次ドレッシング用ノズル１４、１４によってドレッシング中の研磨用テープ１６は、上流側のガイドローラ３６、３８と下流側に配置されたガイドローラ４０、４２とによって挟まれて搬送されることにより、斜行が防止された状態で搬送されているので、二次ドレッシング用ノズル１４、１４からの洗浄液が均一に当てられている。
【００２０】
ガイドローラ４０、４２を通過した、ドレッシング終了後の研磨用テープ１６は、ガイドローラ４０、４２の下流側に設置された上下一対のエアーナイフノズル３２、３２から噴射される圧縮エアによって、付着した洗浄液が吹き飛ばされて乾燥部２２に供給される。
【００２１】
乾燥部２２には乾燥用ケース４４が設けられ、このケース４４内に複数台の温風ヒータ４６、４６…が研磨用テープ１６の搬送方向に沿って配置されている。ケース４４を通過する際に研磨用テープ１６は、温風ヒータ４６、４６…からの温風によって乾燥される。
【００２２】
ケース４４を通過した乾燥後の研磨用テープ１６は、巻出部２４の巻出ローラ４８に巻き付けられた後、バッファ部５０に送り出される。巻出ローラ４８の回転軸には、スピードコントロール可能な図２の巻出用モータ５２のスピンドルが連結されている。巻出用モータ５２の動力が巻出ローラ４８に伝達されることにより、研磨用テープ１６がスピードコントロールされて図１の研磨用テープ供給部１８から研磨用テープ巻取部２６の間で搬送される。また、巻出ローラ４８の回転力（研磨用テープ搬送力）を効率良く研磨用テープ１６に伝達させるために、巻出ローラ４８に対する研磨用テープ１６の巻付角度を大きくする一対のガイドローラ５４、５４が巻出ローラ４８の上部に配置されている。
【００２３】
バッファ部５０に搬送された研磨用テープ１６は、一対のガイドローラ５６、５６の間に配置されたバッファローラ５８に巻き付けられる。バッファローラ５８は自重によって上下移動自在に設けられ、その自重が研磨用テープ１６に加わることにより、研磨用テープ１６は弛みがキャンセルされた状態で、すなわち張力が与えられた状態で研磨用テープ巻取部２６に供給される。
【００２４】
研磨用テープ巻取部２６に供給された研磨用テープ１６は、巻取リール６０に巻き取られる。巻取リール６０の回転軸には、図２に示すインダクションモータ６２の出力軸が連結され、インダクションモータ６２の駆動力によって巻取リール６０が回転されることにより、研磨用テープ１６が巻取リール６０に巻き取られる。
【００２５】
以上説明したドレッシング装置１０において、研磨用テープ１６の搬送速度は、巻出用モータ５２による巻出ローラ４８の回転速度によって設定され、また、巻出ローラ４８の周速と、インダクションモータ６２による巻取リール６０の周速との差による研磨用テープ１６の弛みがバッファ部５０によってキャンセルされている。更に、供給リール２８の回転軸には、トルクモータ６４の出力軸が連結され、研磨用テープ搬送方向とは逆方向のトルクがトルクモータ６４から供給リール２８に付加されている。よって、トルクモータ６４とバッファ部５０とによって研磨用テープ１６は確実に弛みがキャンセルされた状態で搬送される。なお、図１上で符号６６はエッジ検出用センサであり、エッジ検出用センサ６６によって研磨用テープ１６のエッジが検出される。この検出情報は、ドレッシング装置１０全体を統括制御する制御装置に出力され、制御装置は、この検出情報に基づいてドレッシング装置１０の各機器を制御する。
【００２６】
このように構成されたドレッシング装置１０によれば、研磨用テープ供給部１８からドレッシング部２０に搬送されてきた研磨用テープ１６の研磨面に向けて、ノズル１２から高圧の洗浄液を噴射する。この洗浄液は、高圧で噴射されることにより空中で霧粒状になり、霧粒状体が研磨用テープ１６に勢いよく衝突する。この衝撃によって、研磨用テープ１６の微粒子研磨材間に詰まった研磨屑が叩き出され、洗い流される。これにより、研磨用テープ１６は良好にドレッシングされる。
【００２７】
ドレッシングされた研磨用テープ１６は、二次ドレッシング用ノズル１４、１４から噴射される洗浄液によって浮き上がった研磨屑が再付着することなく洗い流される。そして、乾燥部２２を通過中に乾燥され、その後、巻出部２４を通過して研磨用テープ巻取部２６の巻取リール６０に巻き取られる。これにより、巻取リール６０に巻き取った研磨用テープ１６は、ドレッシングされるとともに乾燥されているので、その状態で即座に研磨装置に使用できる。
【００２８】
図３は、ドレッシング装置１０が適用された研磨装置１００の一例が示されている。なお、図３に示したドレッシング装置１０において、図１、図２で示したドレッシング装置１０と同一若しくは類似の部材については同一の符号を付して説明する。
【００２９】
図３に示す研磨装置１００は、被加工物１０２を挟んで供給リール１０４と巻取リール１０６とが設置され、供給リール１０４に巻回された研磨用テープ１６を巻取リール１０６に送り出し、ガイドローラ１０８、１１０の間に設けられた被加工物１０２を研磨用テープ１６に押し付けて、被加工物１０２を研磨加工する研磨装置である。なお、符号１１２は、被加工物１０２が押し当てられた研磨用テープ１６を裏側から支持するバックアップローラである。
【００３０】
ドレッシング装置１０は、被加工物１０２の加工部１１４と巻取リール１０６との間の搬送経路に設置され、被加工物１０２の研磨に供した研磨用テープ１６をドレッシングする。
【００３１】
ドレッシング装置１０は、装置本体１１６内に一次ドレッシング用ノズル１２、バックアップローラ３４が配置され、バックアップローラ３４の下方を通過する研磨用テープ１６の研磨面に向けて一次ドレッシング用ノズル１２から洗浄液を高圧で噴射することにより、研磨用テープ１６をドレッシングする。
【００３２】
ドレッシング終了後の研磨用テープ１６は、上下一対のエアーナイフノズル３２、３２から噴射される圧縮エアによって、付着した洗浄液が吹き飛ばされて乾燥部２２に供給される。符号１１８は仕切板であり、前記吹き飛ばされた洗浄液が乾燥部２２に浸入するのを仕切板１１８によって防止している。
【００３３】
乾燥部２２のケース４４内には、コイルヒータ１２０、１２０が研磨用テープ搬送路の上下に配設されている。ケース４４を通過する際に研磨用テープ１６は、温風ヒータ４６、４６…からの温風によって乾燥され、この後、巻取リール１０６に巻き取られる。
【００３４】
図３の如く研磨装置１００にドレッシング装置１０を組み込むことにより、研磨用テープ１６による被加工物１０２の研磨加工と、研磨用テープ１６のドレッシングとを同時に実施できる。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の研磨用テープのドレッシング装置によれば、研磨用テープに向けて洗浄液を高圧で噴射するノズルを設けたので、研磨用テープを良好にドレッシングできる。
【００３６】
また、本発明のドレッシング装置によれば、供給リールに巻回された研磨用テープを巻取リールに送り出しながら、供給リールと巻取リールとの間に設けられたドレッシング装置のノズルから、研磨用テープに高圧洗浄液を噴射して研磨用テープをドレッシングし、ドレッシング終了した研磨用テープを巻取リールに巻き取ることを特徴とするので、巻取リールに巻き取った研磨用テープを、その状態で研磨装置に装着することができる。
【００３７】
更に、本発明のドレッシング装置によれば、ノズルからの高圧洗浄液によってドレッシングされた研磨用テープを、乾燥手段によって乾燥させて巻取リールに巻き取ることを特徴とするので、巻取リールに巻き取った研磨用テープを、即座に研磨装置に使用できる。
【００３８】
一方、本発明の研磨装置によれば、請求項１に記載の研磨用テープのドレッシング装置を、被加工物と巻取リールとの間の搬送経路に設置し、被加工物の研磨に供した研磨用テープをドレッシング装置によってドレッシングすることを特徴とするので、研磨用テープによる被加工物の研磨加工と、研磨用テープのドレッシングとを同時に実施できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態の研磨用テープのドレッシング装置の構造を示す正面図
【図２】図１に示した研磨用テープのドレッシング装置の上面図
【図３】図１に示した研磨用テープのドレッシング装置が適用された研磨装置の構造図
【符号の説明】
１０…ドレッシング装置、１２…ノズル、１６…研磨用テープ、１８…研磨用テープ供給部、２０…ドレッシング部、２２…乾燥部、２４…巻出部、２６…研磨用テープ巻取部、２８…供給リール、３２…エアーナイフノズル、３４…バックアップローラ、４６…温風ヒータ、４８…巻出ローラ、５０…バッファ部、５２…巻出用モータ、５８…バッファローラ、６０…巻取リール、６２…インダクションモータ、６４…トルクモータ、６６…エッジ検出用センサ、１００…研磨装置、１０２…被加工物、１０４…供給リール、１０６…巻取リール、１２０…コイルヒータ
【図１】
2004160628.tif 000003
【図２】
2004160628.tif 000004
【図３】
2004160628.tif 000005