(57)【要約】　　　（修正有）【課題】２つの搬送アーム機構における共通部を少なくし、その高さ方向の調整を個別に精度良く容易に行え、２つの搬送アーム機構を独立して動かすことができる搬送装置の提供。【解決手段】被処理体ｗを保持する保持部６Ａ，６Ｂを水平方向に進退移動させる２つの搬送アーム機構４Ａ，４Ｂを備え、搬送アーム機構４Ａ，４Ｂは、駆動手段によって正逆回転される駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂと、該駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂから所定間隔をあけて設けられ、駆動側回転軸に同期して逆回転される従動側回転軸１２Ａ，１２Ｂと、これら駆動側回転軸と従動側回転軸のそれぞれに一端が固定されて設けられ、他端が前記保持部に連結された一対の屈伸アーム１６Ａ，１６Ｂとからなり、各搬送アーム機構の駆動側回転軸が同軸上に配置され、各搬送アーム機構の従動側回転軸が互いに異なった位置に配置されているとともに、各保持部が同一水平面内に配置されている。【選択図】　　　　　図３
2004122253.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を保持する保持部を水平方向に進退移動させる２つの搬送アーム機構を備えた搬送装置であって、前記搬送アーム機構は、駆動手段によって正逆回転される駆動側回転軸と、該駆動側回転軸から所定間隔をあけて設けられ、該駆動側回転軸に同期して逆回転される従動側回転軸と、これら駆動側回転軸と従動側回転軸のそれぞれに一端が固定されて設けられ、他端が前記保持部に連結された一対の屈伸アームとからなり、各搬送アーム機構の駆動側回転軸が同軸上に配置され、各搬送アーム機構の従動側回動軸が互いに異なった位置に配置されているとともに、各保持部が同一水平面内に配置されていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記一対の屈伸アームが、駆動側回転軸と従動側回転軸とに設けられた一対の基部リンクと、該各基部リンクの先端部と前記保持部の基部とに両端が回動自在にピン結合されて設けられるとともに、保持部の基部での回転が互いに同期される一対の先端リンクとで構成されていることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記保持部の基部の中央が駆動側回転軸と従動側回転軸の垂直二等分線上を移動し、前記被処理体の中心が駆動側回転軸の軸心を通る直線上を進退移動するように、前記保持部の前記被処理体を保持する部分は前記保持部の基部に対して偏心していることを特徴とする請求項１または２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記２つの搬送アーム機構が、駆動側回転軸を中心として所定の角度で異なる方向を向いて配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項５】
前記２つの搬送アーム機構における基部リンクと先端リンクがそれぞれ異なる高さに配置され、一方の搬送アーム機構の基部リンクと先端リンクが他方の搬送アーム機構の基部リンクと先端リンクの間を通過するように構成されていることを特徴とする請求項２記載の搬送装置。
【請求項６】
前記搬送アーム機構の駆動側回転軸の外周部に、該駆動側回転軸が貫通する回転テーブルと、該回転テーブルを回転駆動するテーブル駆動用回転軸とが設けられ、該回転テーブルに前記搬送アーム機構の従動側回転軸が回転自在に軸支されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フロッグレッグ式の２つの搬送アーム機構を備えた搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば半導体装置の製造においては、被処理体例えば半導体ウエハを搬送する搬送装置が用いられており、その一例として、２つのフロッグレッグ式の搬送アーム機構を有する搬送装置が、特開平４−１２９６８５号公報や特開平６−１５５９２号公報等にて開示されている。
【０００３】
図９（ａ）〜（ｃ）は上記特開平４−１２９６８５号公報に示された搬送アーム機構を示すものであり、同図（ａ），（ｂ）は搬送アーム機構の伸縮状態をそれぞれ示す平面図で、同図（ｃ）は伸長状態の立面図である。図示されているように、搬送アーム機構は、大回動軸１００と、この大回動軸１００に間隔をおいて設けられた一対の小回動軸１００ａ，１００ｂとを有し、この一対の小回動軸１００ａ、１００ｂは同時に相異なる方向に回動する構成になっている。一対の小回動軸１００ａ，１００ｂには、基部リンク１０２ａ，１０２ｂの一端部がそれぞれ固定され、その基部リンク１０２ａ，１０２ｂの先端部には、大回動軸１００より左側方向に延びる第１先端リンク１０３ａ，１０３ｂの一端部がそれぞれピン結合され、更に、その第１先端リンク１０３ａ，１０３ｂの他端部には第１ピック１０４がピン結合されている。また、第１先端リンク１０２ａ，１０２ｂの他端部には、さらに、大回動軸１００より右側方向に延びる第２先端リンク１０５ａ，１０５ｂの一端部がそれぞれピン結合され、その第２先端リンク１０５ａ，１０５ｂの他端部にも第２ピック１０６がピン結合されている。
【０００４】
即ち、一対の小回動軸１００ａ，１００ｂを同時に相異なる方向に回動させると、基部リンク１０２ａ，１０２ｂが回動し、それにより、第１先端リンク１０３ａ，１０３ｂも回動して、第１ピック１０４が、例えば、図９（ｂ），（ｃ）に示すように左方向に移動して大回動軸１００より離れる。一方、このとき、基部リンク１０２ａ，１０２ｂの回動により、第２先端リンク１０５ａ，１０５ｂも回動し、第２ピック１０６が、左方向に移動して大回動軸１００に近ずく。
【０００５】
また、基部リンク１０２ａ，１０２ｂが上述の場合と反対方向に回動すると、第１先端リンク１０３ａ，１０３ｂおよび第２先端リンク１０５ａ，１０５ｂが上記と反対方向への動作をして、第１ピック１０４と第２ピック１０６とが上記動作と反対方向に向けて移動する。さらに、第１ピック１０４と第２ピック１０６の位置を、例えば、大回動軸１００の左側から右側へ、あるいは右側から左側へと反転させる場合には、一対の小回動軸１００ａ，１００ｂの回動により、図（ａ）に示すように第１ピック１０４と第２ピック１０６とが大回動軸１００と等距離にあるときに、大回動軸１００を１８０゜回転させて行うようになっている。
【０００６】
上記のように、一対の小回動軸１００ａ，１００ｂの回動により、第１ピック１０４と第２ピック１０６とを同時に移動できるうえ、大回動軸１００を１８０゜回転させることにより、第１ピック１０４と第２ピック１０６との位置を反転することができるので、１つのピックしかない場合に比較して、搬送時間のロスタイムが減少して、搬送効率の向上が図れる。また、特開平６−１５５９２号公報等に示される搬送アームも基本的には同様の構成になっていて、その相違は、一対の小回動軸が同軸上で内外に多重に配される構成となっている点である。
【０００７】
【特許文献１】
特開平４−１２９６８５号公報
【特許文献２】
特開平６−１５５９２号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来のフロッグレッグ式の搬送アーム機構を備えた搬送装置においては、２つのピック１０４，１０６をそれぞれ移動させるための２つの搬送アーム機構が、その駆動源側に配した基部リンク１０２ａ，１０２ｂを共通化しているため、２つの搬送アーム機構の高さ方向の調整を個別に精度良く行うことが難しく、高いメカニカル精度を出すことが困難であった。また、基部リンク１０２ａ，１０２ｂを共通化しているため、一方の搬送アーム機構のピック１０４を移動させると、他方の搬送アーム機構のピック１０６も動いてしまい、２つの搬送アーム機構を独立して動かすことができず、搬送効率が悪いという問題があった。
【０００９】
本発明は、前記事情を考慮してなされたもので、２つの搬送アーム機構における共通部を少なくし、２つの搬送アーム機構の高さ方向の調整を個別に精度良く容易に行うことでき、２つの搬送アーム機構を独立して動かすことができる搬送装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のうち、請求項１の搬送装置は、被処理体を保持する保持部を水平方向に進退移動させる２つの搬送アーム機構を備えた搬送装置であって、前記搬送アーム機構は、駆動手段によって正逆回転される駆動側回転軸と、該駆動側回転軸から所定間隔をあけて設けられ、該駆動側回転軸に同期して逆回転される従動側回転軸と、これら駆動側回転軸と従動側回転軸のそれぞれに一端が固定されて設けられ、他端が前記保持部に連結された一対の屈伸アームとからなり、各搬送アーム機構の駆動側回転軸が同軸上に配置され、各搬送アーム機構の従動側回動軸が互いに異なった位置に配置されているとともに、各保持部が同一水平面内に配置されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２の搬送装置は、請求項１記載の搬送装置において、前記一対の屈伸アームが、駆動側回転軸と従動側回転軸とに設けられた一対の基部リンクと、該各基部リンクの先端部と前記保持部の基部とに両端が回動自在にピン結合されて設けられるとともに、保持部の基部での回転が互いに同期される一対の先端リンクとで構成されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３の搬送装置は、請求項１または２記載の搬送装置において、前記保持部の基部の中央が駆動側回転軸と従動側回転軸の垂直二等分線上を移動し、前記被処理体の中心が駆動側回転軸の軸心を通る直線上を進退移動するように、前記保持部の前記被処理体を保持する部分は前記保持部の基部に対して偏心していることを特徴とする請求項１または２記載の搬送装置。
【００１３】
請求項４の搬送装置は、請求項１〜３のいずれかに記載の搬送装置において、前記２つの搬送アーム機構が、駆動側回転軸を中心として所定の角度で異なる方向を向いて配置されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項５の搬送装置は、請求項２記載の搬送装置において、前記２つの搬送アーム機構における基部リンクと先端リンクがそれぞれ異なる高さに配置され、一方の搬送アーム機構の基部リンクと先端リンクが他方の搬送アーム機構の基部リンクと先端リンクの間を通過するように構成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項６の搬送装置は、請求項１〜５のいずれかに記載の搬送装置において、前記搬送アーム機構の駆動側回転軸の外周部に、該駆動側回転軸が貫通する回転テーブルと、該回転テーブルを回転駆動するテーブル駆動用回転軸とが設けられ、該回転テーブルに前記搬送アーム機構の従動側回転軸が回転自在に軸支されていることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の実施の形態である搬送装置を有するマルチチャンバ型の真空処理装置の概略構成を示す平面図、図２は搬送装置を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）を図の左側から見た側面図、（ｃ）は（ａ）を図の下側からみた側面図である。図３は搬送装置の平面図で、（ａ）は第１の搬送アーム機構を伸ばして第２の搬送アームを縮めた状態を示す図、（ｂ）は両搬送アーム機構を縮めた状態を示す図、（ｃ）は第１の搬送アーム機構を縮めて第２の搬送アーム機構を伸ばした状態を示す図である。図４は駆動側回転軸と従動側回転軸とを逆向きに同期回転させる同期機構の一例を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線矢視断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ線矢視断面図である。図５はピックの基部に連結される一対の先端リンクの同期手段の一例を示す平面図である。図６は搬送アーム機構の駆動源の構造の一例を示す縦断面図である。
【００１７】
図１に示すように、この真空処理装置１は、被処理体例えば半導体ウエハｗを一枚ずつ収容して所定の処理（例えば、成膜処理、エッチング処理等）を施す複数の処理室２（この図示例では４つの処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ）と、ウエハｗを各処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄや後述するロードロック室３ａ，３ｂに搬送する搬送装置１００を備えた搬送室５と、この搬送室５と大気圧の外部との間でウエハｗの出し入れを行うための、例えば２つのロードロック室３ａ，３ｂとを備えている。
【００１８】
前記搬送室５は、平面略六角形に形成されており、その外周の４つの面に処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄがそれぞれゲートバルブＧ１〜Ｇ４を介して接続されている。搬送室５の外周の他の２つの面には搬入用もしくは搬出用としてのロードロック室３ａ，３ｂがそれぞれゲートバルブＧ５，Ｇ６を介して接続されている。ロードロック室３ａ，３ｂの外部に臨んで形成されたウエハの出し入れ口には、これを開閉するためのゲートバルブＧ７，Ｇ８が設けられている。
【００１９】
前記搬送室５を中心としてその周囲に処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄやロードロック室３ａ，３ｂが放射状に配置され、搬送室５内の中心部に搬送装置１００が設けられている。この搬送装置１００は、被処理体例えば半導体ウエハｗを保持するピック（保持部）６Ａ，６Ｂを水平方向に進退移動させる２つの搬送アーム機構４Ａ，４Ｂを備えている。２つの搬送アーム機構４Ａ，４Ｂは後述の駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂを中心として所定の角度図示例では１８０°で異なる方向を向いて配置されている。また、２つの搬送アーム機構４Ａ，４Ｂは共通の１つの回転テーブル１８上に設けられており、回転テーブル１８の回転によりピック６Ａ，６Ｂの伸縮移動方向である指向方向を任意の処理室２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄないしロードロック室３ａ，３ｂに向くように任意に変更可能となっている。
【００２０】
一方（第１）の前記搬送アーム機構４Ａは、図２〜図６に示すように、第１モータ２４Ａによって正逆回転される駆動側回転軸１０Ａと、該駆動側回転軸１０Ａから所定間隔をあけて設けられ、該駆動側回転軸１０Ａに同期して逆回転される従動側回転軸１２Ａと、これら駆動側回転軸１０Ａと従動側回転軸１２Ａのそれぞれに一端が固定されて設けられ、他端が前記保持部に連結された一対の屈伸アーム１６Ａとからなっている。他方（第２）の搬送アーム機構４Ｂは、第２モータ２４Ｂによって正逆回転される駆動側回転軸１０Ｂと、該駆動側回転軸１０Ｂから所定間隔をあけて設けられ、該駆動側回転軸１０Ｂに同期して逆回転される従動側回転軸１２Ｂと、これら駆動側回転軸１０Ｂと従動側回転軸１２Ｂのそれぞれに一端が固定されて設けられ、他端が前記保持部に連結された一対の屈伸アーム１６Ｂとからなっている。
【００２１】
第１の搬送アーム機構４Ａの屈伸アーム１６Ａは、駆動側回転軸１０Ａと従動側回転軸１２Ａとに設けられた一対の基部リンク４０Ａ，４０Ａ’と、各基部リンク４０Ａ，４０Ａ’の先端部と前記ピック６Ａの基部８Ａとに両端が回動自在にピン４４，４６で結合されて設けられるとともに、ピック６Ａの基部８Ａでの回転が互いに同期される一対の先端リンク４２Ａ，４２Ａ’とで構成されている。第２の搬送アーム機構４Ｂの屈伸アーム１６Ｂは、駆動側回転軸１０Ｂと従動側回転軸１２Ｂとに設けられた一対の基部リンク４０Ｂ，４０Ｂ’と、各基部リンク４０Ｂ，４０Ｂ’の先端部と前記ピック６Ｂの基部８Ｂとに両端が回動自在にピン４４，４６で結合されて設けられるとともに、ピック６Ｂの基部８Ｂでの回転が互いに同期される一対の先端リンク４２Ｂ，４２Ｂ’とで構成されている。
【００２２】
ここで、基部リンク４０Ａ，４０Ａ’，４０Ｂ，４０Ｂ’はそれぞれ同じ長さになっている。先端リンク４２Ａ，４２Ａ’，４２Ｂ，４２Ｂ’はそれぞれ同じ長さになっている。また、先端リンク４２Ａ，４２Ａ’，４２Ｂ，４２Ｂ’は基部リンク４０Ａ，４０Ａ’，４０Ｂ，４０Ｂ’よりも長くなっている。基部リンク４０Ａ等及び先端リンク４２Ａ等の長さはピック６Ａ，６Ｂの大きさや半導体ウエハｗの径等を考慮して最適な大きさに設定される。従って、本発明は、先端リンク４２Ａ等の方が基部リンク４０Ａ等よりも長い場合に限定されるものではない。
【００２３】
各搬送アーム機構４Ａ，４Ｂの駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂは同軸上（同心円状）配置されていて、一方の駆動側回転軸１０Ｂの外側に、管状の他方の駆動側回転軸１０Ａが設けられていて、管状の他方の駆動側回転軸１０Ａ内に一方の駆動側回転軸１０Ｂが回転自在に挿通されている。駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂの外周部に、該駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂが貫通する回転テーブル１８と、この回転テーブル１８を回転駆動するテーブル駆動用回転軸２０とが設けられ、回転テーブル１８に前記搬送アーム機構の従動側回転軸１２Ａ，１２Ｂが回転自在に軸支されている。駆動側回転軸１０Ｂの外側に管状のテーブル用回転軸２０が設けられており、これらの回転軸１０Ａ，１０Ｂ，２０は同軸上（同心円状）に多重に配されて搬送室５の底部である基盤２２を貫通している。
【００２４】
そして、前記基盤２２の下部に第１，第２駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂ及びテーブル用回転軸２０をそれぞれ回転させるための第１，第２，第３駆動手段である第１，第２，第３モータ２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃが設けられている。第１，第２，第３モータ２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃは、それぞれロータ２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ及びスタータコイル２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃとで構成されている。テーブル用回転軸２０の下端からは駆動側回転軸１０Ａが突出して延び、更に駆動側各回転軸１０Ａの下端からは駆動側回転軸１０Ｂが突出して延びており、各回転軸１０Ａ，１０Ｂ，２０の下端部外周には、ロータ２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃがそれぞれ一体的に取り付けられている。基盤２２の下面には、各回転軸１０Ａ，１０Ｂ，２０の周囲を囲繞してモータケース３０が気密に取り付けられており、このモータケースの内周面には、各回転軸１０Ａ，１０Ｂ，２０のロータ２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃに対向してステータコイル２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃが取り付けられている。つまり、搬送アーム機構４Ａ，４Ｂの駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂの外周部に、当該駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂが貫通する回転テーブル１８とこの回転テーブル１８を回転駆動するテーブル駆動用回転軸２０とが設けられている。
【００２５】
また、テーブル駆動用回転軸２０の上端からは第１搬送アーム機構４Ａの駆動側回転軸１０Ａが突出して延び、この駆動側回転軸１０Ａの上端からは、第２搬送アーム機構４Ｂの駆動側回転軸１０Ｂが突出して延びている。回転テーブル１８はテーブル駆動用回転軸２０の上端外周部に一体的に取り付けられており、当該回転テーブル１８に各搬送アーム機構４Ａ，４Ｂの従動側回転軸１２Ａ，１２Ｂが回転自在に軸支されている。即ち、回転テーブル１８には、駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂの両側に一直線上に並んで、かつ当該駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂから等距離の間隔をあけて一対の固定軸３２Ａ，３２Ｂが立設されており、この固定軸３２Ａ，３２Ｂにそれぞれベアリングを介して回転自在に従動側回転軸１２Ａ，１２Ｂが軸支されている。
【００２６】
そして、駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂと従動側回転軸１２Ａ，１２Ｂとの間には、駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂの回転を反対方向の回転に変換しつつ従動側回転軸１２Ａ，１２Ｂに同期させて伝える同期機構１４（１４Ａ，１４Ｂ）が介設されている。この同期機構１４について、第１搬送アーム機構４Ａ側の同期機構１４Ａを例にして説明すると、図４に示すように、駆動側回転軸１０Ａと従動側回転軸１２Ａとには、それぞれ外径寸法が等しくされた同径部１０Ａａ，１２Ａａが形成されて、これら同径部１０Ａａ，１２Ａａ間に２枚の金属製例えばステンレス製のベルト３６，３６が掛け回されて構成されている。この２枚のベルト３６，３６は上下にずらされて配置され、上下で相互に逆向きのＳ字状に掛け回されている。
【００２７】
各々のベルト３６，３６の両端はロックピン３８によって同径部１０Ａａ，１２Ａａの外周面に固定され、２枚が１組となってタスキ掛け様に巻回されている。これにより駆動側回転軸１０Ａの正逆方向の回転力を、いずれか一方のベルト３６，３６の張力によって従動側回転軸１２Ａに逆回転に変換して伝えるようになっている。なお、図４においては、従動側回転軸１２Ａを軸支する固定軸は図示省略されている。
【００２８】
また、各ピック６Ａ，６Ｂの基部８Ａ，８Ｂに対してピン結合される一対の先端リンク４２Ａと４２Ａ’，４２Ｂと４２Ｂ’には、その基部８Ａ，８Ｂに対してそれぞれがなす角度が常に同一で逆方向となるように、ピック６Ａ，６Ｂの基部８Ａ，８Ｂ部分での回転を互いに同期させるための同期手段４８を介して互いに係合されている。図５はその同期手段４８の一例を示している。同図に示すように、一方のピック６Ａの基部８Ａにピン４６で回動自在に連結された一対の先端リンク４２Ａ，４２Ａ’の端部には同期手段４８として互いに噛み合うギヤが形成されている。なお、他方のピック６Ｂの基部８Ｂも同様である。また、ギヤに代えて、図４に示したタスキ掛け様に巻回されたベルトを用いても良い。
【００２９】
前記ピック６Ａの基部８Ａの中央は駆動側回転軸１０Ａと従動側回転軸１２Ａの垂直二等分線Ｌｂ（図３（ｂ）参照）上を移動し、ピック６Ａ上の半導体ウエハｗの中心が駆動側回転軸１０Ａの軸心を通る直線Ｌａ上を進退移動するように、ピック６Ａの半導体ウエハを保持する部分は、その基部８Ａに対して前記垂直二等分線Ｌｂと直線Ｌａとの間隔Ｅだけ偏心している。因みに、駆動側回転軸１０Ａと従動側回転軸１２Ａの軸間距離は２Ｅである。なお、ピック６Ｂの基部８Ｂも同様である。
【００３０】
前記２つの搬送アーム機構４Ａ，４Ｂにおける基部リンク４０Ａ，４０Ａ’，４０Ｂ，４０Ｂ’と先端リンク４２Ａ，４２Ａ’，４２Ｂ，４２Ｂ’がそれぞれ異なる高さに配置され、図２（ｂ）に示されるように、一方の搬送アーム機構４Ａの基部リンク４０Ａと先端リンク４２Ａが他方の搬送アーム機構４Ｂの基部リンク４０Ｂ’と先端リンク４２Ｂ’の間を通過するように構成されている。同様に、他方の搬送アーム機構４Ｂの基部リンク４０Ｂと先端リンク４２Ｂが一方の搬送アーム機構４Ａの基部リンク４０Ａ’と先端リンク４２Ａ’の間を通過するように構成されている。なお、従動側の基部リンク４０Ａ’と４０Ｂ’は互いに干渉しないため同じ高さであっても良く、従動側の先端リンク４２Ａ’と４２Ｂ’も互いに同じ高さであっても良い。
【００３１】
換言すれば、一方の搬送アーム機構４Ａの従動側の基部リンク４０Ａ’と先端リンク４２Ａ’の高さ方向の間隔が、他方の搬送アーム機構４Ｂの駆動側の基部リンク４０Ｂと先端リンク４２Ｂの高さ方向の厚さよりも広く設定され、他方の搬送アーム機構４Ｂの従動側の基部リンク４０Ｂ’と先端リンク４２Ｂ’の高さ方向の間隔が、一方の搬送アーム機構４Ａの駆動側の基部リンク４０Ａと先端リンク４２Ａの高さ方向の厚さよりも広く設定されていることが好ましい。
【００３２】
以上のように構成される搬送装置１００では、駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂを個別に回転駆動させることで、各ピック６Ａ，６Ｂを独立して進退移動させることができる。即ち、図３（ｂ）の両搬送アーム機構４Ａ，４Ｂを縮めた状態から、第１の搬送アーム機構４Ａの回転駆動軸１０Ａを左回転させると、その回転は同期機構１４Ａによって同期された逆回転に変換されて従動側回転軸１２Ａに伝わり、同図（ａ）に示すように、一対の屈伸アーム１６Ａが屈曲した折畳み収納状態から同期して伸張していく。この伸長に伴い、一対の先端リンク４２Ａ，４２Ａ’間の角度は変化していくが、両先端リンク４２Ａ，４２Ａ’は、ピック６Ａの基部８Ａにピン結合された端部に形成された同期手段４８のギヤ同士が噛み合っているので、常に両先端リンク４２Ａ，４２Ａ’はピック６Ａの基部に対する角度が同一で逆向きに維持されることになる。
【００３３】
つまり、ピック６Ａは搬送アーム機構４Ａの伸長の度合いに関わらず、常に同一の方向を指向して、一定の姿勢に保持されたまま、前進移動されることになる。そして、この伸長状態から駆動側回転軸１０Ａを右回転させれば、上記とは逆に搬送アーム機構４Ａは縮まってピック６Ａは後退移動されることになる。この際、ピック６Ａは、その基部８Ａが駆動側回転軸１０Ａと従動側回転軸１２Ａの垂直２等分線上Ｌｂを姿勢を保持された状態で平行に進退移動される。ここで、ピック６Ａの基部８Ａが駆動側回転軸１０Ａと従動側回転軸１２Ａの垂直二等分線Ｌｂ上を移動し、ピック６Ａ上の半導体ウエハの中心が駆動側回転軸１０Ａの軸心を通る直線Ｌａ上を進退移動するように前記垂直二等分線Ｌｂよりも距離Ｅだけ偏心しているため、ピック６Ａを駆動側回転軸１０Ａの軸芯を通る直線Ｌａ上を進退移動させることができ、搬送方向の位置決め制御が容易にでき、搬送効率の向上が図れる。
【００３４】
また、上記伸縮動作時には、第１の搬送アーム機構４Ａの駆動側の基部リンク４０Ａと先端リンク４２Ａとは、第２の搬送アーム機構４Ｂの従動側回転軸１２Ｂに連なる、離間した基部リンク４０Ｂ’と先端リンク４２Ｂ’との間を干渉せずに通過することになる。そして、上記第１の搬送アーム機構４Ａの伸縮作動は、逆側を指向して点対称位置に設けられた第２の搬送アーム機構４Ｂでも全く同様に行われ、両搬送アーム機構４Ａ，４Ｂはそれぞれ完全に独立して作動し得る。
【００３５】
従って、２つの搬送アーム機構４Ａ，４Ｂを完全に独立させて設け、それらの駆動側回転軸１０Ａ，１０Ｂは同軸に配置させるので、各ピック６Ａ，６Ｂに独立した進退動作をさせることが可能となるとともに、搬送装置１００全体を可及的にコンパクトに構成することが可能となる。また、寸法誤差などに起因した組み立て精度上のガタが生じても、各搬送アーム機構４Ａ，４Ｂ毎にそれぞれのピック６Ａ，６Ｂの高さ等を個別に調整して容易に揃えることができ、高いメカニカル精度を確保することができるようになる。
【００３６】
また、図３（ｂ）に示す両搬送アーム機構４Ａ，４Ｂを縮めた状態で、回転テーブル１８を回転駆動することにより、各搬送アーム機構４Ａ，４Ｂの指向方向を、図１に示す任意の処理室２ａ〜２ｄあるいはロードロック室３ａ，３ｂに向けて変更でき、いずれか所望の処理室２ａ〜２ｄあるいはロードロック室３ａ，３ｂに指向させた状態で搬送アーム機構４Ａもしくは４Ｂを伸縮させて、ピックをウエハｗとの係合方向に進退させることで、ウエハｗをピック６Ａ，６Ｂに保持して、処理室２ａ〜２ｄやロードロック室３ａ，３ｂに搬送することができる。
【００３７】
図７は、搬送アーム機構の駆動源の構造の他の実施形態例を示す縦断面図である。図示するように、駆動源の電動モータ部の構造としては、最内側の軸心部に配された駆動側回転軸１０Ａの下端に設けられる電動モータ５０の外側に、同心円状に並べて順次に、駆動側回転軸１０Ｂ用の電動モータ５２と、テーブル用回転軸２０の電動モータ５４とを並設するようにした構造を採用し得る。この場合、基盤２２の下側に突出させて、各回転軸１０Ａ，１０Ｂ，２０用の電動モータ５０，５２，５４のロータ収納室５６，５８，６０を一体形成して、その収納室５６，５８，６０の外部にステータ５０ａ，５２ａ，５４ａを取り付けるように構成することで、搬送室５内の気密生を良好に保ちつつ、下方へ突出寸法を抑制することができるようになる。
【００３８】
駆動側回転軸１０Ａの下端部にはロータ５０ｂが設けられている。駆動側回転軸１０Ｂとテーブル用回転軸２０とのロータ収納室５８，６０はともに環状をなし、その内部にはロータ５２ｂ，５４ｂが取り付けられた筒体６２，６４が納められている。各筒体６２，６４は内・外周の両面がベアリング６６を介して基盤２２に回転自在に支持されている。駆動側回転軸１０Ｂの筒体６２の上端には径方向内方に延びて駆動側回転軸１０Ｂと一体となった円環状のフランジ６８が設けられている。また、テーブル用回転軸２０は筒体６４によって構成されており、この筒体６４の上端部は回転テーブル１８の下面に一体に結合されている。
【００３９】
図８は、搬送アーム機構の駆動源の構造の更に他の実施形態例を示す縦断面図である。この図示例では２軸駆動用の例が示されている。基盤２２に下方に突出するモータケース７０を一体形成し、このケース７０の外周部に、駆動側回転軸１０Ｂを駆動するモータのステータコイル７２を取り付け、このモータケース７０の内周部にベアリング６６を介して駆動側回転軸１０Ｂの円筒形をなした筒体７４を回転自在に支持し、この筒体７４に上記ステータコイル７２に対向させてロータ７６を取り付けている。
【００４０】
また、上記筒体７４の内側にはベアリング６６を介して駆動側回転軸１０Ａの下端に一体的に設けた拡径部７８を回転自在に支持し、この拡径部７８の軸心に一致させてケース７０の下面に駆動側回転軸１０Ａ用のモータ８０を取り付け、このモータ８０の回転軸８２の上部を斜め外方に屈曲させてケース７０内に挿入し、このモータ回転軸８２の外側にはこれを囲繞する蛇腹状の弾性に富んだ金属製シールカバー（ベローズ）８４を被せており、シールカバー８４の先端部分は高剛性に形成されていて、モータ回転軸８２の先端との間にはベアリング６６が介在されている。
【００４１】
シールカバー８４の先端面には、係合軸８６が取り付けられていて、この係合軸８６が駆動側回転軸１０Ａ下端の拡径部７８の下面に傾斜させて凹設した軸受け部８８にベアリング６６を介して係合されている。モータ回転軸８２が回転するとその先端は旋回し、これに伴いシールカバー８４は蛇腹状の弾性に富んだ部分が変形しながらその先端が旋回し、その先端に取り付けた係合軸８６を介して駆動側回転軸１０Ａが回転されるようになっている。これにより、高真空を保ったまま大気側から真空側に回転駆動力を導入することができる。
【００４２】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。
【００４３】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００４４】
（１）請求項１の搬送装置によれば、被処理体を保持する保持部を水平方向に進退移動させる２つの搬送アーム機構を備えた搬送装置であって、前記搬送アーム機構は、駆動手段によって正逆回転される駆動側回転軸と、該駆動側回転軸から所定間隔をあけて設けられ、該駆動側回転軸に同期して逆回転される従動側回転軸と、これら駆動側回転軸と従動側回転軸のそれぞれに一端が固定されて設けられ、他端が前記保持部に連結された一対の屈伸アームとからなり、各搬送アーム機構の駆動側回転軸が同軸上に配置され、各搬送アーム機構の従動側回転軸が互いに異なった位置に配置されているとともに、各保持部が同一水平面内に配置され、、ているため、２つの搬送アーム機構における共通部が少なくなり、２つの搬送アーム機構の高さ方向の調整を個別に精度良く容易に行うことでき、メカニカル精度の向上が図れると共に、２つの搬送アーム機構を独立して動かすことがき、搬送効率の向上が図れる。
【００４５】
（２）請求項２の搬送装置によてば、前記一対の屈伸アームが、駆動側回転軸と従動側回転軸とに設けられた一対の基部リンクと、該各基部リンクの先端部と前記保持部の基部とに両端が回動自在にピン結合されて設けられるとともに、保持部の基部での回転が互いに同期される一対の先端リンクとで構成されているため、２つの搬送アーム機構を共通部を少なくして容易に構成することができる。
【００４６】
（３）請求項３の搬送装置によれば、前記保持部の基部の中央が駆動側回転軸と従動側回転軸の垂直二等分線上を移動し、前記被処理体の中心が駆動側回転軸の軸心を通る直線上を進退移動するように、前記保持部の前記被処理体を保持する部分は前記保持部の基部に対して偏心しているため、前記保持部の基部が駆動側回転軸と従動側回転軸の垂直二等分線上を移動するにも関らずに、保持部の中心を駆動側回転軸の軸心を通る直線上を進退移動させることができ、搬送方向の位置決め制御が容易にでき、搬送効率の向上が図れる。
【００４７】
（４）請求項４の搬送装置によれば、前記２つの搬送アーム機構が、駆動側回転軸を中心として所定の角度で異なる方向を向いて配置されているため、例えば搬送装置を中心に放射状に配置された処理室等への被処理体の搬送作業を効率よく行うことができる。
【００４８】
（５）請求項５の搬送装置によれば、前記２つの搬送アーム機構における基部リンクと先端リンクがそれぞれ異なる高さに配置され、一方の搬送アーム機構の基部リンクと先端リンクが他方の搬送アーム機構の基部リンクと先端リンクの間を通過するように構成されているため、２つの搬送アーム機構のリンク同士の干渉を回避することができ、搬送効率の向上が図れる。
【００４９】
（６）請求項６の搬送装置によれば、前記搬送アーム機構の駆動側回転軸の外周部に、該駆動側回転軸が貫通する回転テーブルと、該回転テーブルを回転駆動するテーブル駆動用回転軸とが設けられ、該回転テーブルに前記搬送アーム機構の従動側回転軸が回転自在に軸支されているため、例えば搬送装置を中心に放射状に配置された処理室等に対して搬送アーム機構を指向させて被処理体の搬送作業を効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態である搬送装置を有するマルチチャンバ型の真空処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】搬送装置を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）を図の左側から見た側面図、（ｃ）は（ａ）を図の下側からみた側面図である。
【図３】搬送装置の平面図で、（ａ）は第１の搬送アーム機構を伸ばして第２の搬送アームを縮めた状態を示す図、（ｂ）は両搬送アーム機構を縮めた状態を示す図、（ｃ）は第１の搬送アーム機構を縮めて第２の搬送アーム機構を伸ばした状態を示す図である。
【図４】搬送アーム機構の駆動側回転軸と従動側回転軸とを逆向きに同期回転させる同期機構の一例を示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線矢視断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ線矢視断面図である。
【図５】ピックの基部に連結される一対の先端リンクの同期手段の一例を示す平面図である。
【図６】搬送アーム機構の駆動源の構造の一例を示す縦断面図である。
【図７】搬送アーム機構の駆動源の構造の他の例を示す縦断面図である。
【図８】搬送アーム機構の駆動源の構造の更に他の例を示す縦断面図である。
【図９】従来の搬送装置の一例を示す図で、（ａ）は搬送アーム機構を縮めた状態の平面図、（ｂ）は一方の搬送アーム機構を伸ばした状態の平面図、（ｃ）は（ｂ）の側面図である。
【符号の説明】
ｗ　半導体ウエハ（被処理体）
１００　搬送装置
４Ａ，４Ｂ　搬送アーム機構
６Ａ，６Ｂ　ピック（保持部）
２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ　モータ（駆動手段）
１０Ａ，１０Ｂ　駆動側回転軸
１２Ａ，１２Ｂ　従動側回転軸
４０Ａ，４０Ａ’，４０Ｂ，４０Ｂ’　基部リンク
４２Ａ，４２Ａ’，４２Ｂ，４２Ｂ’　先端リンク
１８　回転テーブル
２０　回転テーブル駆動用回転軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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