(57)【要約】【課題】高感度化を図りつつ、被写体表面における照度の最大値と最小値との差が大きな場合にも実際の被写体表面における照度に対応する階調が整った画像を得ることが可能な撮像装置を提供する。【解決手段】被写体表面５に係る光学像を光電面３３により電子像に変換する。その電子像を構成する電子３Ｅが、光電面３３と蛍光面３７との間の電位差により加速されて蛍光面３７に電子像を結ぶ。蛍光面３７で衝突した電子３Ｅのエネルギー密度に応じた光３Ｌ２を発生し、加速による電子３Ｅのエネルギー増加分だけ、最初に光電面３３に入射した光学像よりも輝度の高い光学像を撮像素子７０の撮像面７１に結ぶ。そして、撮像素子７０が、撮像面７１に結ばれた光学像についての信号強度としての輝度を、その対数に圧縮変換した画像信号を生成することにより、被写体表面５に係る画像を取得する。【選択図】　　　　図２
2004032398.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体に係る光学像を電子像に変換し、前記電子像を構成する電子を加速して出力像を生成することによって、前記出力像についての信号強度を前記光学像についての信号強度よりも増強する増強手段と、
前記出力像についての信号強度を圧縮変換した画像信号を生成することにより、前記被写体に係る画像を取得する撮像手段と、
を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
請求項１に記載の撮像装置であって、
前記撮像手段は、前記出力像についての信号強度を対数変換して前記被写体に係る画像を取得するものであることを特徴とする撮像装置。
【請求項３】
請求項２に記載の撮像装置であって、
対数スケールにおいて、前記撮像手段の入力側における信号強度の動作帯域が、前記増強手段の出力側における信号強度の動作帯域の半分以上と重なることを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、監視カメラ等に用いられる撮像装置に関し、幅広い撮影環境において被写体の状態を反映した画像の取得を可能とする技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被写体に係る画像を撮影する撮像装置には、その原理によって幾つかのタイプが存在するが、それらの中で扱い易さやコストを考慮した際に最も優れたものは、ＣＣＤに代表される固体撮像素子を用いた撮像装置である。また、固体撮像素子を用いれば、撮像装置全体を容易に小型化することが可能であるという利点もある。
【０００３】
しかし、ＣＣＤに代表される固体撮像素子の感度は決して高くはない。一般的に、固体撮像素子において実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得るためには、固体撮像素子の撮像面上において１０−１［ｌｘ］オーダー以上の照度が必要となる。そして、固体撮像素子に対して集光を行う対物レンズ系による光の強度の低下を加味すると、被写体表面における必要な照度は１００［ｌｘ］オーダー以上となる。この数値は、夜間において照明がない撮影環境では実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることが極めて困難であることを意味する。
【０００４】
このような問題に対して、固体撮像素子を用いた撮像装置の感度を高めるために、従来より種々の技術が提案されており、それらは主に以下に示す５つの技術に類別される。
【０００５】
第１の従来技術は、固体撮像素子から出力される画像信号に対して、可変ゲインアンプなどでゲインを高める処理を施す技術である。この技術によっては、微弱な画像信号を増強することができるが、同時にノイズ成分までも増強されることとなり、結果として得られる画質は劣悪なものとなる。
【０００６】
第２の従来技術は、固体撮像素子で隣接関係にある複数の画素について出力される画像信号を加算する技術であり、例えば、特開平９−１８２０９０号公報において提案されている技術において利用されている。この技術によっては、個々の画素の画像信号が微弱であっても、隣接する複数の画素についての画像信号を加算することにより、画像信号を増強することができるが、複数の画素についての画像信号から１つの画像信号しか得られないため、解像度が著しく低下する。
【０００７】
第３の従来技術は、固体撮像素子において露光時間を延長することによって電荷の蓄積時間を延長する技術であり、例えば、特開昭６４−７８０８１号公報に提案されている技術において、シャッタースピードを遅くすることによって露光時間を延長する技術が用いられている。この技術によっては、被写体表面における照度が微弱であっても露光量を増加させることによって画像信号の増強することができる。また、電荷の蓄積時間を長くすることにより、画像全体においてランダムノイズが平均化されてノイズ成分の影響が小さくなるため、画質の劣化を抑制することもできる。しかし、シャッタースピードが遅いために被写体の動きに対する追従性に欠け、残像が発生するなどして、いわゆる動解像度が低下するといった欠点がある。
【０００８】
第４の従来技術は、時間的に連続して撮影した複数の画像データを、メモリ内で繰り返して加算する技術であり、例えば、特開平５−１０３２６６号公報において提案されている技術において利用されている。この技術によっては、画像信号を増強することができるとともに、画像全体においてランダムノイズの平均化を図ることができるため、画質の劣化を抑制することもできる。しかし、第３の従来技術と同様に、残像が発生するなどして、いわゆる動解像度が低下するといった欠点がある。
【０００９】
第５の従来技術は、被写体に係る光学像を増強する素子を構成に加える方法である。ここで、光学像を増強する素子とは、一般的にイメージインテンシファイア（以下、場合に応じて「Ｉ．Ｉ．」と略称する）と称されるものであり、このイメージインテンシファイアを撮像装置に利用したものとしては、例えば、浜松ホトニクス（株）によって「ＩＣＣＤカメラ」という製品名で実際に商品化されているものがある。
【００１０】
図９は従来技術に係るイメージインテンシファイアを利用した典型的な撮像装置１００の要部構成を示す模式図である。なお、図９には方向関係を明確にするため、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を付している。図９に示すように、従来の撮像装置１００は対物レンズ系１２０、イメージインテンシファイア１３０、リレー光学系１６０、および撮像素子１７０とを備えている。
【００１１】
イメージインテンシファイア１３０には、照射される光のエネルギー密度に応じた電子を放出する光電面１３３と、衝突する電子のエネルギーに応じた光を発生させる蛍光面１３７とが設けられており、光電面１３３と蛍光面１３７との間には蛍光面１３７側の電位が相対的に高くなるように電位差が設定されている。また、光電面１３３と蛍光面１３７との間に電子レンズ１３５が設けられており、電子レンズ１３５と蛍光面１３７との間には蛍光面１３７側の電位が相対的に高くなるように電位差が設定されている。
【００１２】
被写体表面５から発した光２Ｌ１は対物レンズ系１２０によりイメージインテンシファイア１３０の光電面１３３の＋Ｘ方向の面上に結像される。光電面１３３の−Ｘ方向の面上の各点では、結像した光のエネルギー密度に応じた数の電子２Ｅを放出する。電子２Ｅは、光電面１３３と蛍光面１３７との間の電位差により、光電面１３３から蛍光面１３７に向けて加速されつつ進み、電子レンズ１３５による偏向を受けて、蛍光面１３７の＋Ｘ方向の面上に電子像が結ばれる。蛍光面１３７の−Ｘ方向の面上の各点では、衝突した電子２Ｅのエネルギー密度に応じた光２Ｌ２が発生する。そして、光２Ｌ２は、光学レンズなどで構成されるリレー光学系１６０によって、撮像素子１７０の＋Ｘ方向の面である撮像面１７１に結像され、撮像素子１７０において被写体に係る画像を取得する。
【００１３】
ここでは、電子２Ｅが加速によってエネルギーを付与されているため、最初に光電面１３３に入射した光の輝度よりも蛍光面１３７で発生する光の輝度の方が高くなる。したがって、イメージインテンシファイア１３０は、被写体に係る光学像を増強することができる。なお、イメージインテンシファイアの種類によっては、光学像を増強する度合い（以下、「増倍率」と称す）をさらに高めるためにマイクロチャンネルプレート（図示省略）と呼ばれる電子増倍機構を加えたり、あるいは電子レンズ１３５を省略するものなどがある。
【００１４】
以上のように、この第５の従来技術によっては、被写体表面の照度が低い場合にも、実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることが可能であるとともに、動解像度の低下も招かないために被写体の動きに対する追従性も兼ね備えている。つまり、第５の従来技術は、第１から第４の従来技術に勝るところが多いと言える。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、実用上、一般的には、イメージインテンシファイアの蛍光面から発生し得る光の輝度の最大値と最小値の比、即ち輝度のダイナミックレンジは、最大１０６程度とされているが、固体撮像素子において被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることが可能な撮像面の照度（以下、「撮像面照度」と称す）の最大値と最小値との比、即ち撮像面照度のダイナミックレンジは、代表的な固体撮像素子であるＣＣＤでは１０２程度とされている。つまり、単にイメージインテンシファイアとＣＣＤとを組み合わせた場合には、イメージインテンシファイアのダイナミックレンジのうちの一部しかＣＣＤによる撮影に利用することができず、１０４程度に相当するイメージインテンシファイアのダイナミックレンジが活用されないこととなる。
【００１６】
図１０は従来のイメージインテンシファイア１３０と撮像素子１７０のダイナミックレンジ、および撮像素子１７０において実際の被写体表面５の照度に対応した階調が整った画像を得るために必要な撮像面照度の帯域（以下、「動作帯域」と称す）と、撮像素子１７０の動作帯域に対応する被写体表面５における照度の帯域（以下、「被写体表面照度帯域」）との対応関係を例示する模式図である。
【００１７】
図１０においては、横軸は照度［ｌｘ］を示しており、上から順に、一般的なＣＣＤの動作帯域７Ｃ０と、イメージインテンシファイア１３０の蛍光面１３７が発光して出力可能な光の輝度の帯域から一義的に決まる、撮像面１７１に結像可能な光学像の照度の帯域（以下、「Ｉ．Ｉ．出力動作帯域」と称す）３Ｂ０と、ＣＣＤの動作帯域７Ｃ０に対応する光電面１３３における照度の帯域（以下、「Ｉ．Ｉ．入射帯域」と称す）３Ａ０と、ＣＣＤの動作帯域７Ｃ０に対応する被写体表面照度帯域５Ａ０とを示している。
【００１８】
なお、図１０では、理解を容易とするために、イメージインテンシファイア１３０の蛍光面１３７で発生した光は損失なく撮像素子１７０に入射するものと仮定しており、イメージインテンシファイア１３０の増倍率を１０２と仮定している。さらに、対物レンズ系１２０として、Ｆナンバー（絞り値）が１．４の一般的なものを用いた場合を想定して、被写体表面５における照度に対するイメージインテンシファイア１３０の光電面１３３における照度の比（光電面１３３における照度／被写体表面５における照度）を１０−１と仮定している。
【００１９】
図１０に示すように、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域３Ｂ０は１０−３〜１０３［ｌｘ］であるが、ＣＣＤの動作帯域７Ｃ０が１０−１〜１０１［ｌｘ］であるために、実際にはＩ．Ｉ．出力動作帯域３Ｂ０とＣＣＤの動作帯域７Ｃ０とが重なり合う帯域Ｄ０しか有効利用されていない。そして、イメージインテンシファイア１３０の増倍率が１０２であることを考慮すると、図１０に示すように、帯域Ｄ０に対応するＩ．Ｉ．入射帯域３Ａ０は１０−３〜１０−１［ｌｘ］となり、さらに、帯域Ｄ０に対応する被写体表面照度帯域５Ａ０は１０−２〜１００［ｌｘ］となる。つまり、一般的なＣＣＤでは、被写体表面５の照度のうち１０−２〜１００［ｌｘ］の帯域にあるものについてしか実際の被写体表面５の照度に対応した階調が整った画像を得ることができないといった問題点がある。
【００２０】
このような問題点に対して、ＣＣＤの露光時間を調節すれば、ＣＣＤの動作帯域をシフトさせることは可能であるが、１フレームの画像中に表現可能なダイナミックレンジは１０２程度と変わらない。つまり、このような対応策では、輝度の最大値と最小値との差の大きな画像の細部を表現することができず、ユーザーのニーズが満たされないといった事態を招くことが多々ある。
【００２１】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、高感度化を図りつつ、被写体表面における照度の最大値と最小値との差が大きな場合にも実際の被写体表面における照度に対応する階調が整った画像を得ることが可能な撮像装置を提供することを目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明は、被写体に係る光学像を電子像に変換し、前記電子像を構成する電子を加速して出力像を生成することによって、前記出力像についての信号強度を前記光学像についての信号強度よりも増強する増強手段と、前記出力像についての信号強度を圧縮変換した画像信号を生成することにより、前記被写体に係る画像を取得する撮像手段とを備えることを特徴とする。
【００２３】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の撮像装置であって、前記撮像手段は、前記出力像についての信号強度を対数変換して前記被写体に係る画像を取得するものであることを特徴とする。
【００２４】
また、請求項３の発明は、請求項２に記載の撮像装置であって、対数スケールにおいて、前記撮像手段の入力側における信号強度の動作帯域が、前記増強手段の出力側における信号強度の動作帯域の半分以上と重なることを特徴とする。
【００２５】
この明細書において、「信号強度」とは、光学像における輝度や照度のほか、電子像における電子線の強度など、画像の各部の濃淡を反映する信号情報一般を指す用語として使用する。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２７】
＜１．第１実施形態＞
＜１−１．撮像システムの概要＞
図１は本発明の第１実施形態に係る撮像システム１の構成概要を例示する模式図である。図１に示すように、撮像システム１は撮像装置１０、コントローラ１１、モニタ１２、および記録装置１３とを備えている。撮像装置１０とコントローラ１１、コントローラ１１とモニタ１２、およびコントローラ１１と記録装置１３とは、ケーブルＣＢ１，ＣＢ２，ＣＢ３によってそれぞれ電気的に接続され、撮像装置１０とコントローラ１１、コントローラ１１とモニタ１２、およびコントローラ１１と記録装置１３とは相互にデータを送受信し合うことができる。なお、ここでは、ケーブルＣＢ１，ＣＢ２，ＣＢ３によって電気的に接続したが、無線回線によって接続しても良いし、有線回線や無線回線などから構成されるネットワークを介して接続しても良い。
【００２８】
撮像装置１０は、主に対物レンズ系２０と箱形のカメラ本体部２１とから構成され、例えば、監視カメラなどとして屋外などに固定設置されて昼夜を問わず監視を行うような用途に用いられる。また、撮像装置１０は、被写体に係る画像データを取得してケーブルＣＢ１を介してコントローラ１１に送信する。なお、撮像装置１０は本発明の特徴部分であるが、撮像装置１０については後程詳述する。
【００２９】
コントローラ１１は、撮像装置１０の動作を制御する装置であり、ユーザーがコントローラ１１の前面に設けられた操作パネル１１Ｐのボタンやスイッチを種々操作することによって、コントローラ１１からケーブルＣＢ１を介して撮像装置１０に種々の制御信号を送信することができる。例えば、コントローラ１１からの制御信号によって、撮像装置１０における撮影の開始や停止、図示を省略する駆動機構による撮像装置１０の撮影方向の変更などを遠隔操作によって制御することができる。
【００３０】
また、コントローラ１１は、ユーザーが操作パネル１１Ｐのボタンなどを操作することによって、撮像装置１０からケーブルＣＢ１を介して入力される画像データをケーブルＣＢ２を介してモニタ１２に送信することができる。よって、モニタ１２において撮像装置１０で取得された画像を可視的に出力することができる。
【００３１】
さらに、コントローラ１１は、ユーザーが操作パネル１１Ｐのボタンなどを操作することによって、撮像装置１０からケーブルＣＢ１を介して入力される画像データをケーブルＣＢ３を介して記録装置１３に送信することができる。そして、撮像装置１０で取得された画像データを、記録装置１３に着装されたビデオテープや光ディスクなどの記録媒体（図示省略）に記録することができる。
【００３２】
＜１−２．撮像装置について＞
＜１−２−１．撮像装置の要部構成＞
図２は撮像装置１０の要部構成を示す模式図である。なお、図２には方向関係を明確にするため、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を付している。
【００３３】
上述したように、撮像装置１０は主に対物レンズ系２０と箱形のカメラ本体部２１とから構成され、図２に示すように、カメラ本体部２１内には、イメージインテンシファイア（以下、場合に応じて「Ｉ．Ｉ．」と略称する）３０、リレー光学系６０、および撮像素子７０とを備えている。
【００３４】
イメージインテンシファイア３０には、照射される光のエネルギー密度に応じた電子を放出する光電面３３と、衝突する電子のエネルギーに応じた光を発生させる蛍光面３７とが設けられており、光電面３３と蛍光面３７との間には蛍光面３７側の電位が相対的に高くなるように電位差が設定されている。また、光電面３３と蛍光面３７との間には電子レンズ３５が設けられており、電子レンズ３５と蛍光面３７との間には蛍光面３７側の電位が相対的に高くなるように電位差が設定されている。
【００３５】
被写体表面５から発した光３Ｌ１は対物レンズ系２０により、カメラ本体部２１内のイメージインテンシファイア３０における光電面３３の＋Ｘ方向の面上に結像される。そして、光電面３３の−Ｘ方向の面上の各点では、結像した光のエネルギー密度に応じた数の電子３Ｅを放出する。
【００３６】
電子３Ｅは、光電面３３と蛍光面３７との間の電位差によって、光電面３３から蛍光面３７に向けて加速されつつ進み、電子レンズ３５による偏向を受けて、蛍光面３７の＋Ｘ方向の面上に電子像が結ばれる。蛍光面３７の−Ｘ方向の面上の各点では、衝突した電子３Ｅのエネルギー密度に応じた光３Ｌ２が発生する。
【００３７】
光３Ｌ２は、レンズなどで構成されるリレー光学系６０によって、撮像素子７０の撮像面７１に結像され、撮像素子７０において被写体に係る画像を取得する。なお、リレー光学系６０は、光学レンズなどで構成されるものに限られず、蛍光面３７の−Ｘ方向の面上から出力される光学像を撮像素子７０に対して直接伝達する光ファイバの束などによって構成される部材であっても良い。
【００３８】
このように、イメージインテンシファイア３０では、電子３Ｅが加速によってエネルギーを付与されるため、電子３Ｅについて、加速によってエネルギーが増加した分だけ、最初に光電面３３に入射した光の輝度よりも蛍光面３７で発生する光の輝度の方が高くなる。即ち、イメージインテンシファイア３０が、被写体表面５に係る光学像を光電面３３によって電子像に変換し、その電子像を構成する電子３Ｅを加速して蛍光面３７において光学像である出力像を生成することによって、出力像についての信号強度としての輝度を、光電面３３に結像される被写体に係る光学像についての信号強度としての輝度よりも増強する増強手段として機能する。
【００３９】
なお、イメージインテンシファイア３０は、被写体に係る光学像を増強することができるが、イメージインテンシファイア３０の構成としては、これに限られるものではなく、光学像を増強する度合い（以下、「増倍率」と称す）をさらに高めるためにマイクロチャンネルプレート（図示省略）と呼ばれる電子増倍機構を加えたり、あるいは電子レンズ３５を省略するものなどであっても良い。
【００４０】
次に、撮像素子７０について説明する。
【００４１】
＜１−２−２．撮像素子について＞
一般的なＣＣＤイメージセンサでは、各画素（セル）ごとに、所定期間において入射される光を光電変換して電荷を蓄積し、その電荷を転送することによって、各セルにおいて所定期間に蓄積される電荷量に応じた画素輝度信号を得る。このとき、各セルにおいて所定期間に蓄積される電荷量は、所定期間において各セルに入射される光の光量に略比例する。即ち、得られる画素輝度信号は入射光量に略比例する。
【００４２】
ところが、一般的なＣＣＤイメージセンサでは、電荷の転送部において転送可能な電荷容量（以下、「電荷転送容量」と称す）には限界があり、各セルに蓄積される電荷量が一定以上となると電荷の転送部は飽和状態となる。具体的には、画素輝度信号として検出できる最低の電荷量に対して画素輝度信号として検出できる最大の電荷量は１０２倍程度となっている。つまり、一般的なＣＣＤイメージセンサなどにおいては、被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることが可能な撮像面における照度（以下、「撮像面照度」と称す）の最大値と最小値との比、即ち撮像面照度のダイナミックレンジは１０２程度となっている。
【００４３】
このように、一般的なＣＣＤイメージセンサでは撮像面照度のダイナミックレンジは１０２程度と狭いため、撮像素子７０では、撮像面照度のダイナミックレンジを拡大するために光電流の対数変換機能を付加している。
【００４４】
具体的には、撮像素子７０内の各セルにおいて、ＭＯＳトランジスタ固有の特性を利用して、光電流に対して対数変換を施す対数変換回路７３が設けられている。ＭＯＳトランジスタでは、ゲート電圧が閾値電圧以下のときサブスレッショールド電流（ｓｕｂ−ｔｈｒｅｃｈｏｌｄ　ｃｕｒｒｅｎｔ）と呼ばれる微小電流が流れるが、対数変換回路７３ではこのサブスレッショールド電流を利用して光電流に対して対数変換を施す。
【００４５】
図３は、撮像素子７０内の対数変換機能について説明する図である。なお、図３では撮像素子７０の１つのセルに注目して、光電変換部７２および対数変換回路７３の機能について示している。
【００４６】
図３に示すように、撮像素子７０の１つのセルは、例えば、光電変換部７２として機能するｐｎ接合フォトダイオード（以下「フォトダイオード」と称す）７２ｄと、対数変換回路７３として機能するｎチャンネルＭＯＳトランジスタ（以下、「ＭＯＳトランジスタ」と称す）７３Ｍとを備えて構成されている。
【００４７】
フォトダイオード７２ｄは、そのアノードがＭＯＳトランジスタ７３ＭのドレインＤとゲートＧに接続されている。また、フォトダイオード７２ｄのカソードに直流電圧ＶＤＤ、ＭＯＳトランジスタ７３ＭのソースＳに直流電圧ＶＳＳ、ＭＯＳトランジスタ７３Ｍのバックゲート（基板）に直流電圧ＶＳＵＢが印加されている。なお、ここでは、ＶＤＤ＞ＶＳＳ≧ＶＳＵＢの関係にあり、フォトダイオード７２ｄには逆バイアスが印加され、また、ＭＯＳトランジスタ７３ＭのソースＳおよびドレインＤと基板にも逆バイアスが印加されている。
【００４８】
フォトダイオード７２ｄに光が入射すると光のエネルギー密度に比例した光電流Ｉｐがフォトダイオード７２ｄのカソードからアノードへ流れる。そして、ＭＯＳトランジスタ７３Ｍを流れるサブスレッショールド電流ＩＤは、定常状態ではＩＤ＝Ｉｐであり、ＶＳＵＢを適切な電圧となるように調整すると、光電流Ｉｐが対数変換されてゲート電圧ＶＧとなる。
【００４９】
このように、対数変換回路７３では、ＭＯＳトランジスタ固有の特性を利用して、各セルにおいて、入射光量をその光量の積分値の対数に比例した量の電子に圧縮変換することができる。
【００５０】
図２に戻って説明を続ける。
【００５１】
撮像素子７０では、リレー光学系６０によって撮像面７１に光３Ｌ２が結像されると、各セルごとに、まず、一般的なＣＣＤイメージセンサと同様に、フォトダイオードなどで構成される光電変換部７２において、撮像面７１から入射する入射光量に応じた光電流を発生させる。次に、対数変換回路７３において、光電変換部７２において発生した光電流に対して対数変換を行う。つまり、対数変換回路７３は、各セルにおいて、入射光量をその光量の積分値の対数に比例した量の電子に圧縮変換する。そして、所定期間において対数変換回路７３から出力される電子は電荷として蓄積され、その電荷を転送することによって、各セルにおいて所定期間に蓄積される電荷量に応じた画素輝度信号を得る。
【００５２】
図４は、各セルにおける入射光量とその入射光量に対応する画素輝度信号の値（以下、「画素値」と称す）との関係を例示する模式図である。図４では、横軸が入射光量（Ｘ）を示し、縦軸が画素値（Ｙ）を示しており、曲線７１Ｃが撮像素子７０についての入射光量（Ｘ）と画素値（Ｙ）との関係を示している。なお、図４には、比較対象として、一般的なＣＣＤについての入射光量（Ｘ）と画素値（Ｙ）との関係を示す直線７１Ｌも示している。また、撮像素子７０にも、一般的なＣＣＤと同様に電荷転送容量には限界があり、図４では電荷転送容量の限界に対応する画素値を画素値（Ｙ＝Ｙｍａｘ）として示している。
【００５３】
図４に示すように、一般的なＣＣＤについては画素値（Ｙ＝Ｙｍａｘ）に対応する入射光量は入射光量（Ｘ＝Ｐ）である。これに対して、撮像素子７０については曲線７１Ｃが示すように、入射光量をその光量の積分値の対数に比例した量の電子に変換するため、入射光量が入射光量（Ｘ＝Ｐ）よりも遙かに大きな値とならなければ、画素値が画素値（Ｙ＝Ｙｍａｘ）に到達しない。
【００５４】
このように、撮像素子７０では、入射光量が増大しても転送される電荷量、即ち画素輝度信号は低く抑えることができ、一般的なＣＣＤと電荷転送容量の限界が同じでも、対応可能な入射光量の範囲が拡大し、結果として撮像面７１におけるダイナミックレンジが拡大する。具体的には、撮像素子７０において実際の被写体表面５の照度に対応した階調が整った画像を得るために必要な撮像面照度の帯域（以下、「動作帯域」と称す）は１０−１〜１０５［ｌｘ］程度であり、このときのダイナミックレンジは１０６にものぼる。
【００５５】
したがって、撮像素子７０は、同じ画素輝度信号の範囲で、一般的なＣＣＤよりも、遙かに広い輝度の帯域を表すことができる。そして、ここでは、撮像素子７０が、撮像面７１に照射される光についての輝度の帯域を、その対数に比例した光の輝度の帯域に圧縮変換して、画素輝度信号を得ているとも言える。即ち、ここでは、撮像素子７０が、イメージインテンシファイア３０の蛍光面３７から出力される光学像についての信号強度としての輝度を、その対数に圧縮変換した画素輝度信号（画像信号）を生成することにより、被写体表面５に係る画像を取得する撮像手段として機能する。
【００５６】
なお、撮像素子７０における対数変換機能についての以上の説明では、ＣＣＤイメージセンサを前提とした機能の説明を行ったが、ＣＭＯＳイメージセンサを前提としても、同様な対数変換機能の考え方を適用することができる。
【００５７】
そして、このような光電流に対して対数変換を施す回路を設けた撮像素子としては、例えば、ミノルタ（株）によって「ＬＳ−２００２」という製品名で実際に商品化されている撮像装置に搭載された対数変換型ＣＭＯＳイメージセンサなどがあり、また、特開平３−１９２７６４号公報などで提案されている撮像素子などもある。
【００５８】
＜１−２−３．撮像素子の動作帯域と被写体表面における照度＞
図５はイメージインテンシファイア３０と撮像素子７０のダイナミックレンジ、および撮像素子７０の動作帯域と撮像素子７０の動作帯域に対応する被写体表面５における照度の帯域（以下、「被写体表面照度帯域」）との対応関係を例示する模式図である。
【００５９】
図５においては、横軸は信号強度としての照度［ｌｘ］を示しており、上から順に、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１と、イメージインテンシファイア３０の蛍光面３７が発光して出力可能な光の輝度の帯域から一義的に決まる、撮像面７１に結像可能な光学像の照度の帯域（以下、「Ｉ．Ｉ．出力動作帯域」と称す）３Ｂ１と、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１に対応する光電面３３における照度の帯域（以下、「Ｉ．Ｉ．入射帯域」と称す）３Ａ１と、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１に対応する被写体表面照度帯域５Ａ１とを示している。
【００６０】
なお、図５では、理解を容易とするために、イメージインテンシファイア３０の蛍光面３７で発生した光は損失なく撮像素子７０に入射するものと仮定しており、イメージインテンシファイア３０の増倍率を１０２と仮定している。さらに、対物レンズ系２０として、Ｆナンバー（絞り値）が１．４の一般的なものを用いた場合を想定して、被写体表面５における照度に対するイメージインテンシファイア３０の光電面３３における照度の比（光電面３３における照度／被写体表面５における照度）を１０−１と仮定している。
【００６１】
また、図５は、蛍光面３７で使用されている蛍光体の材料として、アメリカ電子工業会（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ　Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ　Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ）によりＰ−４３型という呼称で規格化されている蛍光体の材料を用いた場合を示している。
【００６２】
図５に示すように、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１が１０−１〜１０５［ｌｘ］であり、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域３Ｂ１は１０−３〜１０３［ｌｘ］である。よって、ここでは、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１とＩ．Ｉ．出力動作帯域３Ｂ１とが重なり合う１０−１〜１０３［ｌｘ］の帯域Ｄ１が有効利用される。
【００６３】
そして、イメージインテンシファイア３０の増倍率が１０２であることを考慮すると、図５に示すように、帯域Ｄ１に対応するＩ．Ｉ．入射帯域３Ａ１は１０−３〜１０１［ｌｘ］となり、さらに、帯域Ｄ１に対応する被写体表面照度帯域５Ａ１は１０−２〜１０２［ｌｘ］となる。つまり、ここでは、被写体表面５における照度のうち１０−２〜１０２［ｌｘ］の帯域にあるものについて実際の被写体表面５の照度に対応した階調が整った画像を得ることができる。
【００６４】
したがって、被写体表面５における照度の最大値と最小値との比（被写体表面５における照度の最小値／被写体表面５における照度の最大値）（以下、「許容照度比」と称す）が１０４と大きな場合にも実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることができる。即ち、ここでは、図１０で示した従来の撮像装置１００に対して、許容照度比を２桁も向上させることができる。
【００６５】
そして、第１実施形態に係る撮像装置１０については、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１（１０−１〜１０５［ｌｘ］）と、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域３Ｂ１（１０−３〜１０３［ｌｘ］）とを、下式（１）で示す１０を底とした同様の指数関数で表した場合に、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１に対する指数の範囲（ｘ＝−１〜＋５）が、出力動作帯域３Ｂ０に対する指数の範囲（ｘ＝−３〜＋３）のうちの３分の２の範囲（ｘ＝−１〜＋３）を含むこととなる。
【００６６】
ｙ＝１０ｘ　（１０は底、ｘは指数、ｙは各照度）　・・・（１）
【００６７】
以上のように、第１実施形態に係る撮像装置１０では、イメージインテンシファイア３０が被写体表面５に係る光学像についての信号強度としての輝度を増強した光学像を生成する。そして、撮像素子７０が、イメージインテンシファイア３０が生成した光学像についての信号強度を、その対数に圧縮変換した画像信号を取得することにより、被写体表面５に係る画像を取得する。このような構成とすることによって、ダイナミックレンジの大きなイメージインテンシファイアに、通常のＣＣＤやＣＭＯＳイメージセンサよりもダイナミックレンジの大きな撮像素子を組み合わせることができるため、高感度化を図りつつ、被写体表面の照度の最大値と最小値との差が大きな場合にも実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることができる。即ち、低照度から高照度にわたり幅広い照明環境条件に対して撮影可能となり、しかも、輝度の最大値と最小値との差（以下、「ラチチュード」と称す）の大きな画像を表現可能なような撮影が可能となる。
【００６８】
＜２．第２実施形態＞
第１実施形態に係る撮像装置１０では、イメージインテンシファイア３０の蛍光面３７の材料としてアメリカ電子工業会によりＰ−４３型という呼称で規格化されている蛍光体の材料を用いていたが、第２実施形態に係る撮像装置１０Ａでは、蛍光面３７Ａで使用されている蛍光体の材料として、アメリカ電子工業会によりＰ−３１型という呼称で規格化されている蛍光体の材料を用いている。なお、第２実施形態に係る撮像装置１０Ａについては、第１実施形態に係る撮像装置１０の蛍光面３７の材料が変更されたのみであり、装置構成は全く異なるところがないため、蛍光面３７Ａおよびイメージインテンシファイア３０Ａ以外は同様な符号を付し、説明を省略する。
【００６９】
図６は、第２実施形態に係る撮像装置１０Ａについて、イメージインテンシファイア３０Ａと撮像素子７０のダイナミックレンジ、および撮像素子７０の動作帯域と撮像素子７０の動作帯域に対応する被写体照度帯域との対応関係を例示する模式図である。
【００７０】
図６においては、図５と同様に、横軸は信号強度としての照度［ｌｘ］を示しており、上から順に、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１と、イメージインテンシファイア３０Ａの蛍光面３７Ａが発光して出力可能な光の輝度の帯域から一義的に決まる、撮像面７１に結像可能な光学像の照度の帯域（以下、「Ｉ．Ｉ．出力動作帯域」と称す）３Ｂ２と、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１に対応する光電面３３における照度の帯域（以下、「Ｉ．Ｉ．入射帯域」と称す）３Ａ２と、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１に対応する被写体表面照度帯域５Ａ２とを示している。
【００７１】
なお、図６でも、図５と同様に、理解を容易とするために、イメージインテンシファイア３０の蛍光面３７で発生した光は損失なく撮像素子７０に入射するものと仮定しており、イメージインテンシファイア３０の増倍率を１０２と仮定している。さらに、対物レンズ系２０として、Ｆナンバー（絞り値）が１．４の一般的なものを用いた場合を想定して、被写体表面５における照度に対するイメージインテンシファイア３０の光電面３３における照度の比（光電面３３における照度／被写体表面５における照度）を１０−１と仮定している。
【００７２】
図６に示すように、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域３Ｂ２は１０−２〜１０４［ｌｘ］であって、第１実施形態のＩ．Ｉ．出力動作帯域３Ｂ１（１０−３〜１０３［ｌｘ］）と比較して、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１（１０−１〜１０５［ｌｘ］）に対してより一致する傾向にある。そして、ここでは、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１とＩ．Ｉ．出力動作帯域３Ｂ２とが重なり合う１０−２〜１０４［ｌｘ］の帯域Ｄ２が有効利用される。
【００７３】
そして、イメージインテンシファイア３０の増倍率が１０２であることを考慮すると、図６に示すように、帯域Ｄ２に対応するＩ．Ｉ．入射帯域３Ａ２は１０−３〜１０２［ｌｘ］となり、さらに、帯域Ｄ２に対応する被写体表面照度帯域５Ａ２は１０−２〜１０３［ｌｘ］となる。つまり、ここでは、被写体表面５における照度のうち１０−２〜１０３［ｌｘ］の帯域にあるものについて実際の被写体表面５の照度に対応した階調が整った画像を得ることができる。
【００７４】
したがって、被写体表面５の許容照度比が１０５と大きな場合にも実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることができる。即ち、第２実施形態に係る撮像装置１０Ａでは、図１０で示した従来の撮像装置１００に対して許容照度比を３桁も向上させることができ、第１実施形態に係る撮像装置１０に対しても許容照度比を１桁向上させることができる。
【００７５】
そして、第２実施形態に係る撮像装置１０Ａについては、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１（１０−１〜１０５［ｌｘ］）と、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域３Ｂ２（１０−２〜１０４［ｌｘ］）とを、上式（１）で示した１０を底とした同様の指数関数で表した場合に、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１に対する指数の範囲（ｘ＝−１〜＋５）が、出力動作帯域３Ｂ２に対する指数の範囲（ｘ＝−２〜＋４）のうちの６分の５（ｘ＝−１〜＋４）を含む。
【００７６】
このように、蛍光面３７，３７Ａに用いられる蛍光体の材料を種々変更することによって、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域を変更し、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域と撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１とが重なり合う帯域を種々変更することができる。
【００７７】
例えば、従来の撮像装置１００については許容照度比が１０２であるが、蛍光面３７，３７Ａに用いられる蛍光体の材料を変更することによって、許容照度比を１０３と１オーダー以上高めると、被写体表面の照度の最大値と最小値との差が大きな場合にも実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることができる。このとき、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１と、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域（図示省略）とを、上式（１）で示した１０を底とした同様の指数関数で表すと、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１に対する指数の範囲（ｘ＝−１〜＋５）が、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域に対する指数の範囲のうちの半分（ｘ＝−１〜＋２）以上を含むこととなる。言い換えれば、常用対数スケールにおいて、撮像素子７０の入力側である撮像面７１における信号強度の動作帯域（動作帯域７Ｃ１）が、イメージインテンシファイア３０の出力側における信号強度の動作帯域（Ｉ．Ｉ．出力動作帯域）の半分以上と重なることとなる。
【００７８】
即ち、対数スケールにおいて、撮像素子７０において実際の被写体表面５の照度に対応した階調が整った画像を得るために必要な撮像面７１における信号強度としての照度の帯域が、イメージインテンシファイア３０，３０Ａの出力側において出力可能な信号強度の帯域の半分以上と重なるような構成とすることによって、被写体表面の照度の最大値と最小値との差がかなり大きな場合にも実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることができる。
【００７９】
また、被写体表面５の照度の最大値と最小値との差がさらに大きな場合にも実際の被写体表面５の照度に対応した階調が整った画像を得るには、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１と、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域とを、上式（１）で示した１０を底とした同様の指数関数で表した場合に、撮像素子の動作帯域に対する指数の範囲が、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域に対する指数の範囲のうちの半分（ｘ＝−１〜＋２）以上を含む場合よりも、第１実施形態の撮像装置１０のように、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１に対する指数の範囲が、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域に対する指数の範囲のうちの３分の２（ｘ＝−１〜＋３）以上を含む場合の方が好ましく、さらに、第２実施形態の撮像装置１０Ａのように、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１に対する指数の範囲が、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域に対する指数の範囲のうちの６分の５（ｘ＝−１〜＋４）以上を含む場合の方が好ましい。
【００８０】
言い換えれば、常用対数スケールにおいて、撮像素子７０の入力側である撮像面７１における信号強度の動作帯域（動作帯域７Ｃ１）が、イメージインテンシファイア３０の出力側における信号強度の動作待機（Ｉ．Ｉ．出力動作帯域）の半分以上と重なる場合よりも、３分の２以上と重なる場合の方が好ましく、さらに、６分の５以上と重なる方が好ましい。
【００８１】
さらに、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１に対する指数の範囲（ｘ＝−１〜＋５）が、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域に対する指数の範囲のうちのより多くの範囲を含む場合、例えば、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１とＩ．Ｉ．出力動作帯域とが略一致するように設定されるか、または、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域が、広く設定された撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１を全て包含するように設定される方が好ましい。
【００８２】
以上のように、イメージインテンシファイア３０，３０Ａの蛍光面３７，３７Ａの材料を種々変更することによって、被写体表面の照度の最大値と最小値との差が一層大きな場合にも実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることができる。即ち、なお一層幅広い照明環境条件に対して撮影可能となる。
【００８３】
＜３．変形例＞
以上、この発明の実施形態について説明したが、この発明は上記説明した内容のものに限定されるものではない。
【００８４】
◎例えば、上述した実施形態では、図４に示すように、撮像素子７０が、入射光量をその光量の積分値の対数に比例した量の電子に変換したが、これに限れられるものではなく、入射光量をその光量の積分値よりも圧縮した光量に対応する電子に変換するようなものであれば良い。
【００８５】
図７および図８は、図４と同様に、各セルにおける入射光量と画素値との関係を例示する模式図である。図７および図８では、撮像素子が、入射光量をその光量の積分値の対数に比例した量の電子に変換する以外に、入射光量をその光量の積分値よりも圧縮した光量に対応する電子に変換する場合についての入射光量と画素値との関係を例示している。
【００８６】
図７および図８では、横軸が入射光量（Ｘ）を示し、縦軸が画素値（Ｙ）を示しており、直線７１Ｃ１および折れ線７１Ｃ２が撮像素子についての入射光量（Ｘ）と画素値（Ｙ）との関係を示している。なお、図７および図８には、比較対象として、一般的なＣＣＤについての入射光量（Ｘ）と画素値（Ｙ）との関係を示す直線７１Ｌも示している。また、図７および図８では撮像素子の電荷転送容量の限界に対応する画素値も画素値（Ｙ＝Ｙｍａｘ）として示している。
【００８７】
図７および図８に示すように、一般的なＣＣＤについては画素値（Ｙ＝Ｙｍａｘ）に対応する入射光量は入射光量（Ｘ＝Ｐ）である。これに対して、図７に示すように、直線７１Ｃ１の傾きは直線７１Ｌの傾きよりも遙かに小さく、撮像素子については画素値（Ｙ＝Ｙｍａｘ）に対応する入射光量はＸ＝Ｐ１となり、Ｘ＝Ｐよりも遙かに大きな値となる。
【００８８】
また、図８に示すように、折れ線７１Ｃ２は、入射光量Ｘが０〜Ｐの範囲については線分Ｃ２ａ、入射光量ＸがＰ以上の範囲については線分Ｃ２ｂで構成されている。そして、線分Ｃ２ａの傾きは直線７１Ｌの傾きの１／２であり、線分Ｃ２ａの傾きは直線７１Ｌの傾きよりも遙かに小さい。したがって、ここでは、撮像素子については画素値（Ｙ＝Ｙｍａｘ）に対応する入射光量はＸ＝Ｐ１となり、Ｘ＝Ｐよりも遙かに大きな値となる。
【００８９】
即ち、ここでも、撮像素子が、イメージインテンシファイア３０，３０Ａの蛍光面３７，３７Ａから出力される光学像についての信号強度としての輝度を、圧縮変換した画素輝度信号（画像信号）を生成することにより、被写体表面５に係る画像を取得することができるため、入射光量が増大しても転送される電荷量、即ち画素輝度信号は低く抑えることができる。
【００９０】
◎また、上述した実施形態では、イメージインテンシファイア３０，３０Ａは、加速した電子からなる電子像を蛍光面３７，３７Ａで光学像に変換し、その光学像に基づいて撮像素子７０が被写体表面５に係る画像を取得したが、これに限られるものではなく、イメージインテンシファイアや撮像素子には種々のものが考えられれる。
【００９１】
例えば、イメージインテンシファイア３０，３０Ａにマイクロチャンネルプレート（図示省略）と呼ばれる電子増倍機構を加えて、電子を加速しつつ電子を増倍して、イメージインテンシファイアから電子を直接、撮像素子に打ち込むようなものであっても良い。この場合は、撮像素子では、フォトダイオードなどの光電変換部は不要であり、撮像素子は、電子像に基づいて被写体表面に係る画像を取得する。
【００９２】
なお、この場合は、電子が加速、増倍されることによって、イメージインテンシファイアからの出力像についての信号強度としての輝度が、光電面３３に結像される被写体に係る光学像についての信号強度としての輝度よりも増強されることと等価な効果を生じる。即ち、イメージインテンシファイアからの出力像である電子像についての信号強度が、光電面３３に結像される被写体に係る光学像についての信号強度よりも増強されていると見ることが出来る。
【００９３】
したがって、ここでも、常用対数スケールにおいて、撮像素子７０の入力側である撮像面７１における信号強度の動作帯域（動作帯域７Ｃ１）が、イメージインテンシファイア３０の出力側における信号強度の動作帯域（Ｉ．Ｉ．出力動作帯域）の半分以上と重なるような構成とすることができる。
【００９４】
◎また、上述した実施形態では、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１と、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域とを、上式（１）で示した１０を底とした同様の指数関数で表して、それぞれに対する指数の範囲を比較したが、これに限られるものではなく、例えば、上式（１）における底を任意の正の実数として、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１とＩ．Ｉ．出力動作帯域とに対する指数の範囲を比較しても、それぞれに対する指数の範囲どうしの比率は変わらないため、例えば、上式（１）における底を任意の正の実数として、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１とＩ．Ｉ．出力動作帯域とに対する指数の範囲を比較しても良い。
【００９５】
したがって、常用対数スケールおよび他の対数スケールのいずれにおいても、撮像素子７０の動作帯域７Ｃ１とＩ．Ｉ．出力動作帯域とが重なる帯域と、Ｉ．Ｉ．出力動作帯域との比は変わらない。
【００９６】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、被写体に係る光学像についての信号強度を増強した像を生成し、生成した像についての信号強度を圧縮変換した画像信号を取得することにより、被写体に係る画像を取得するような構成とすることによって、ダイナミックレンジの大きな増強手段に、通常のＣＣＤやＣＭＯＳイメージセンサよりもダイナミックレンジの大きな撮像手段を組み合わせることができるため、高感度化を図りつつ、被写体表面の照度の最大値と最小値との差が大きな場合にも実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることができる。
【００９７】
また、請求項２の発明によれば、被写体に係る光学像についての信号強度を増強した像を生成し、生成した像についての信号強度を対数変換した画像信号を取得することにより、被写体表面の照度の最大値と最小値との差が大きな場合にも実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることができる。
【００９８】
また、請求項３の発明によれば、対数スケールにおいて、撮像手段において実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得るために必要な撮像面における信号強度の帯域が、増強手段の出力側において出力可能な信号強度の帯域の半分以上と重なるような構成とすることによって、被写体表面の照度の最大値と最小値との差がかなり大きな場合にも実際の被写体表面の照度に対応した階調が整った画像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る撮像システムの構成概要を例示する模式図である。
【図２】撮像装置の要部構成を示す模式図である。
【図３】撮像素子内の対数変換機能を説明する図である。
【図４】入射光量とその入射光量に対応する画素値との関係を例示する模式図である。
【図５】イメージインテンシファイアと撮像素子のダイナミックレンジ、および撮像素子の動作帯域と被写体表面照度帯域との対応関係を例示する模式図である。
【図６】イメージインテンシファイアと撮像素子のダイナミックレンジ、および撮像素子の動作帯域と被写体表面照度帯域との対応関係を例示する模式図である。
【図７】入射光量とその入射光量に対応する画素値との関係を例示する模式図である。
【図８】入射光量とその入射光量に対応する画素値との関係を例示する模式図である。
【図９】従来技術に係る典型的な撮像装置の要部構成を示す模式図である。
【図１０】従来のイメージインテンシファイアと撮像素子のダイナミックレンジ、およびＣＣＤの動作帯域と被写体表面照度帯域との対応関係を例示する模式図である。
【符号の説明】
１　撮像システム
５　被写体表面
１０　撮像装置
２０　対物レンズ系
２１　カメラ本体部
３０，３０Ａ　イメージインテンシファイア（増強手段）
３３　光電面
３７，３７Ａ　蛍光面
７０　撮像素子（撮像手段）
７１　撮像面
７２　光電変換部
７３　対数変換回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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