(57)【要約】【課題】薄板部品を治具から容易に取り外すことが可能な取外し装置を提供する。【解決手段】チャック２０ａ，２０ｂによって保持されたリード・フレーム１２が振動させられることによって、そのリード・フレーム１２と溶接治具１６とが相対的に振動させられることから、その振動で位置決めピン１３６および位置決め孔１３８の干渉が解消され或いは緩和される。そのため、リード・フレーム１２をその変形を抑制しつつ容易に取り外すことができる。【選択図】　　　　　　　　　　図９
2004034267.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の治具に嵌め合わされた薄板部品を保持装置で保持してその治具から取り外すための取外し装置であって、
前記薄板部品を前記保持装置で保持した状態でその薄板部品と前記治具とを相対的に振動させる振動装置を含むことを特徴とする薄板部品取外し装置。
【請求項２】
前記振動装置は、前記薄板部品を保持した前記保持装置を振動させるものである請求項１の薄板部品取外し装置。
【請求項３】
前記振動装置は、前記薄板部品をその取外し方向に対して垂直な平面内で相対的に振動させるものである請求項１の薄板部品取外し装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、治具に固定された薄板部品をその治具から取り外すための取外し装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、基板の表示面に所定形状で設けられた複数個の蛍光体層と、その蛍光体層の上方に架設されたフィラメント状陰極と、それら蛍光体層および陰極の間の高さ位置に設けられた複数の制御電極等とを備え、その陰極から発生させられた熱電子をその制御電極で制御してその蛍光体層に選択的に入射させることによりその蛍光体層を発光させる形式の蛍光表示管（Ｖａｃｕｕｍ　Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ　Ｄｉｓｐｌａｙ：ＶＦＤ）が知られている。このような蛍光表示管は低い動作電圧で鮮明に表示されると共に、発光色の異なる蛍光体層を用意することによりカラー表示が可能となる等の特徴があるため、音響機器や自動車の表示パネルの表示部品などとして多用されている。
【０００３】
前記の基板上には、前記のフィラメント状陰極に通電するための一対の陰極端子や、前記の蛍光体層或いは制御電極に通電するための複数本の電極端子等が備えられるが、蛍光表示管を製造するに際しては、これら複数本の端子が一体となった枠状を成すリード・フレームと称される金属製の薄板部品が用いられる。上記一対の陰極端子には、アンカおよびサポートと称される支持体がそれぞれ取り付けられており、フィラメント状陰極はその支持体にその両端部が固着されることで架設されている。そのため、蛍光表示管の製造工程においては、リード・フレームに支持体を固着する支持体溶接工程や、その支持体にフィラメント状陰極を固着するフィラメント溶接工程等が行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記の支持体溶接工程では、例えば、支持体溶接装置に備えられた治具にリード・フレームを載せて所定位置に固定し、その治具に対して一定の相対位置に支持体が位置するように制御された支持体供給装置を用いてその治具上に支持体を載せた後、それらのスポット溶接を実施する。また、フィラメント溶接工程では、支持体が固着されたリード・フレームをフィラメント溶接装置に備えられた治具に載せて所定位置に固定した後、その治具に対して一定の相対位置となるようにその上方に引き出された複数本のフィラメントの各々をスポット溶接等によって支持体の固着面に溶接する。何れの場合にも、溶接を施すに際しては、リード・フレームを治具上において所定の位置に位置決めしなければならない。このような位置決めのために、従来から、例えばリード・フレームが載せられる治具の上面の複数箇所に位置決めピン等の突起を設けると共に、リード・フレームのその突起に対応する位置に複数の貫通孔を設けて、それら突起と貫通孔とを嵌め合わせ、更に必要に応じて磁力で吸着して位置ずれを防止することが行われている。
【０００５】
しかしながら、上記のような位置決め方法では、要求される相対位置精度が高くなるに従って突起と貫通孔との隙間が小さくなる。そのため、高い相対位置精度を要求される蛍光表示管のリード・フレームの溶接処理では、治具から取り外して次工程に送る際に、リード・フレームの僅かな傾きや変形等に起因して突起と貫通孔との干渉（こじり）が生じ得る。干渉が生じたまま取り外すと、その嵌め合い部分に応力が集中することからリード・フレームのような薄板部品は容易に変形して使用不能になるため、機械を用いて取り外すことが困難であった。なお、上記変形は、例えば治具に吸着するための磁力等で生じ得る。したがって、リード・フレームの取外しを手作業で行う必要があるため、これが製造工程の自動化の妨げとなっていた。このような不都合は、蛍光表示管のリード・フレームの溶接処理に限られず、その他の種々の製造工程においても、ワークである薄板部品を治具に嵌め合わせて位置決めするものであれば同様に生じるのである。
【０００６】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的は、薄板部品を治具から容易に取り外すことが可能な取外し装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
斯かる目的を達成するため、本発明の要旨とするところは、所定の治具に嵌め合わされた薄板部品を保持装置で保持してその治具から取り外すための取外し装置であって、前記薄板部品を前記保持装置で保持した状態でその薄板部品と前記治具とを相対的に振動させる振動装置を含むことにある。
【０００８】
【発明の効果】
このようにすれば、保持装置によって保持された薄板部品と治具とが相対的に振動させられることから、その振動で薄板部品と治具との嵌め合い部分の干渉が解消され或いは緩和されるので、薄板部品をその変形を抑制しつつ容易に取り外すことができる。
【０００９】
なお、上記振動の周波数は、好適には、例えば１０〜２０（Ｈｚ）の範囲内、例えば１５（Ｈｚ）程度である。この周波数は、例えば、薄板部品が塑性変形を起こさない程度に振動させられるように定められる。
【００１０】
また、上記嵌め合い構造は、例えば薄板部品および治具の一方にピンを他方に貫通孔を設けて、そのピンをその貫通孔に刺し通すことにより構成されるが、嵌め合い構造であれば必ず干渉の問題が発生し得るので、その態様は問わない。
【００１１】
【発明の他の態様】
ここで、好適には、前記振動装置は、前記薄板部品を保持した前記保持装置を振動させるものである。装置に固定されている治具を振動させるためには保持装置を振動させる場合に比較して大掛かりな振動装置が必要になると共に、位置決め精度維持のためには治具を振動させることは好ましくないが、このようにすれば、位置決め精度を低下させることなく、薄板部品を一層容易に取り外すことができる。
【００１２】
また、前記保持装置が振動させられる態様において、一層好適には、その保持装置は、駆動モータ（パルスモータ）に振動信号を送ることで振動させられる。このようにすれば、振動させるために別途機械的構成を追加する必要がないので、装置構成が簡単且つ安価になる利点がある。
【００１３】
また、好適には、前記取外し装置は、前記薄板部品を前記取外し方向に移動させつつ前記治具と相対的に振動させるものである。このようにすれば、干渉が解消され或いは緩和されると直ちに薄板部品が治具から外れるため、取外しが一層容易になる利点がある。
【００１４】
また、好適には、前記振動装置は、前記薄板部品をその取外し方向に対して垂直な平面内で相対的に振動させるものである。このようにすれば、取外し方向に振動させる場合に比較して容易に干渉を解消させ或いは緩和させることができる。しかも、振動方向と取外し方向とが相違するため、振動させつつ薄板部品を取外し方向に移動させることによって一層効率よく取り外すことが可能となる利点がある。なお、上記平面は取外し方向と厳密に垂直をなす必要はなく、略垂直であれば足りる。
【００１５】
また、好適には、前記平面内において相対的に振動させる場合において、前記振動装置は、少なくとも互いに直交する２方向に沿って振動させるものである。このようにすれば、１方向に振動させる場合に比較して一層容易に干渉を解消できる。
【００１６】
また、好適には、前記薄板部品は蛍光表示管のリード・フレームである。リード・フレームは、アンカやサポートを所定の位置に溶接し或いはフィラメント状陰極をそれらアンカおよびサポートの所定の位置に溶接するために比較的高精度に位置決めすることが要求されるので、それに設けられた貫通孔と治具に設けられた位置決めピンとの隙間が０．１（ｍｍ）程度と極めて小さい一方、長さ寸法は用途により２００（ｍｍ）程度にもなるので、位置決めピンと貫通孔との干渉が生じ易い。また、例えば厚さ寸法が１（ｍｍ）以下、例えば０．３〜０．４（ｍｍ）程度であって極めて薄いので、容易に変形する。本発明の取外し装置を適用すれば、このような干渉が発生し易く且つ変形し易い薄板部品であっても、容易に取り外すことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
図１は、本発明の一適用例である取外し装置１０の全体構成を説明するための平面図である。例えばＶＦＤの製造工程においては、陰極端子や陽極端子、グリッド端子等が一体となったリード・フレーム１２に、アンカやサポートを溶接し、或いは溶接されたそれらアンカおよびサポート間にフィラメント状陰極を張設するための溶接工程が実施されるが、上記取外し装置１０は、例えば自動化ラインにおいてこのような溶接処理を実施するために備えられた溶接装置の一部を構成している。なお、上記リード・フレーム１２は、例えば長さ寸法が２０（ｍｍ）程度、厚さ寸法が０．２（ｍｍ）程度の枠状を成す金属薄板である。本実施例においては、上記のリード・フレーム１２が薄板部品に相当する。
【００１９】
上記の図１において、図における右方すなわち例えば前工程を実施するための図示しない他の自動機ユニットから連続する一対のレール１４，１４上には、その左端部すなわち溶接装置の中央部に溶接治具１６が位置する。前記のリード・フレーム１２は、この溶接治具１６上の所定位置に載せられており、この位置において前記の溶接が実施された後、取外し装置１０によって溶接治具１６上から取り外されて例えば図における左方に設けられた次工程に送られる。
【００２０】
また、上記の溶接治具１６の上方には、図における左方に設けられたクリップ・ステージ１８にリード・フレーム１２を搬送するために、これを挟持してその溶接治具１６から取り外すための一対のチャック２０ａ，２０ｂが備えられている。一方のチャック２０ａは図における上下方向（以下、Ｘ方向とする）に沿って伸びる直線駆動装置２２に取り付けられ、他方のチャック２０ｂはその直線駆動装置２２に隣接し且つそれに対して平行に設けられた直線駆動装置２４に取り付けられており、何れもそのＸ方向の移動が可能である。また、上記直線駆動装置２４は、図における左右方向（以下、Ｙ方向とする）の移動可能な状態で、そのＹ方向に沿って伸びる直線駆動装置２６に取り付けられている。このため、一対のチャック２０ａ，２０ｂは、何れもＸ方向およびＹ方向の２方向に移動可能となっている。本実施例においては、上記のチャック２０ａ，２０ｂが保持装置に相当する。
【００２１】
なお、クリップ・ステージ１８は、フィラメント状陰極１２６（図６参照）を溶接されたリード・フレーム１２を図示しない基板上に載せ、スペーサを介してカバー・ガラス板を被せた後、焼成工程に送るために耐熱クリップ８（図３参照）で挟持するためのものである。
【００２２】
図２は、上記の図１における下方から見た状態を表す正面図である。これらの図に示されるように、上記の直線駆動装置２６は、互いに平行な一対のレール２８，２８と、それらレール２８，２８に嵌め合わされた略直方体形状の移動部材３０と、その移動部材３０に螺合させられたねじ軸３２と、そのねじ軸３２にカップリングを介して回転軸が接続されたモータ３４とを備えたリニア・ガイド付アクチュエータである。なお、移動部材３０とねじ軸３２との間にはボールが介在させられており、これらはボールねじを構成する。また、モータ３４は、例えば回転角度制御の容易なステッピング・モータである。そのため、モータ３４の出力軸の回転がねじ軸３２に伝達されると、そのねじ軸３２の軸心回りの回転に伴って移動部材３０がその回転方向に応じて図における左右何れかに移動させられる。上記の移動部材３０の上面には支持板３６がボルト等によって固定されており、前記の直線駆動装置２４はその支持板３６に取り付けられている。すなわち、直線駆動装置２４は、移動部材３０の移動に伴って移動させられる。
【００２３】
また、上記の図１、図２、図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ視断面を表す図３、および図２におけるＩＶ−ＩＶ視断面を表す図４に示されるように、この直線駆動装置２４は、大きさが異なる他は直線駆動装置２６と同様に構成されている。すなわち、一対のレール３８，３８、移動部材４０、ねじ軸４２，モータ４４等を備え、そのモータ４４の出力軸の回転がねじ軸４２に伝達されることで、そのねじ軸４２の軸心回りの回転に伴ってその移動部材４０が図４における左右方向に移動させられる。この移動部材４０には、横向きのＴ字型を成す支持板４６がボルト等で固定されており、更に、その支持板４６に鉛直方向（以下、Ｚ方向とする）に沿って伸びる直線駆動装置４８がボルト等で固定されている。
【００２４】
また、図１において上側に位置するレール１４の外側には、そのレール１４に沿って伸びるリニア・ガイド・レール５０が備えられているが、そのレール５０には、直線駆動装置２４の支持板３６とは反対側の端部に固定された支持板５２がそのレール５０の長手方向に沿って移動可能に嵌め合わされている。このレール５０は、図３および図４に示されるように、溶接装置のベース５４上に固定された枠状の支持ブロック５６上に固定されており、直線駆動装置２６によってその直線駆動装置２４がＹ方向に移動させられる際にその一端が一定の高さ位置で支持されることとなる。なお、前記の直線駆動装置２６は、ベース５４に突設された複数本の幅広の脚５８で支持されており、直線駆動装置２４の移動部材４０の駆動方向を水平方向に保っている。また、図４において６０、６２はそれぞれ移動部材３０が移動範囲内の終端位置に到達したことを検知するために設けられたセンサおよびドグである。また、図２および図４において６４、６６、および６８はそれぞれ移動部材４０が移動範囲内の終端位置に到達したことを検知するために設けられた一対のセンサおよびドグである。上記センサ６０，６４，６６は、例えば光電スイッチで構成される。
【００２５】
また、図２および図４に示されるように、上記の直線駆動装置４８も大きさが異なる他は直線駆動装置２６と同様に構成されている。すなわち、直線駆動装置４８は、Ｚ方向に沿って伸びる互いに平行な一対のレール７０，７０と、そのレール７０，７０で案内されつつＺ方向に移動させられる移動部材７２と、その移動部材７２に螺合させられたねじ軸７４と、モータ７６とを備え、そのモータ７６の出力軸の回転をねじ軸７４に伝達することでその移動部材７２をＺ方向に移動させる。移動部材７２には支持板７８が取り付けられており、前記のチャック２０ｂは、その支持板７８に固定されている。
【００２６】
また、図１乃至図３および図２におけるＶ−Ｖ視断面を表す図５に示されるように、前記の直線駆動装置２２は、前記の直線駆動装置２４の移動部材４０に固定された支持板４６に取り付けられている。この直線駆動装置２２も、大きさが異なる他は、直線駆動装置２６と同様に、レール８０，８０、移動部材８２、それに螺合させられるねじ軸８４、およびモータ８６を備えており、そのモータ８６の出力軸の回転をねじ軸８４に伝達することでこれをその軸心回りに回転させ、その回転方向に応じて移動部材８２を図５における右方或いは左方に移動させるものである。この移動部材８２の上面には、平面視において図１に示されるようにＬ字型を成す支持板８８が取り付けられており、更に、その支持板８８にＺ方向に沿って伸びる直線駆動装置９０が固定されている。
【００２７】
この直線駆動装置９０は、前記の直線駆動装置４８と同様に構成されたものであって、レール９２，９２内をＺ方向に移動させられる移動部材９４、ねじ軸９６，およびモータ９８を備え、その移動部材９４に取り付けられた支持板１００に前記のチャック２０ａが固定されている。
【００２８】
以上のように、直線駆動装置２２は直線駆動装置４８と同様に直線駆動装置２４の移動部材４０に取り付けられると共に、その直線駆動装置２２の移動部材８２に直線駆動装置９０が取り付けられ、それら直線駆動装置９０，４８にチャック２０ａ，２０ｂがそれぞれ取り付けられていることから、それらチャック２０ａ，２０ｂは何れも、Ｚ方向において各々移動可能であって溶接治具１６上からの高さ位置が変化させられ得ると共に、Ｘ方向において各々移動可能であってそのＸ方向における位置および相互間隔が変化させられ得る。また、直線駆動装置２４は、直線駆動装置２６の移動部材３０に取り付けられていることから、チャック２０ａ，２０ｂは、Ｙ方向においても一体となって移動可能である。すなわち、チャック２０ａ，２０ｂは、直線駆動装置２２，２４，２６，４８，および９０によって、Ｘ、Ｙ、Ｚの３方向において、溶接治具１６上のリード・フレーム１２に接近し或いは離隔するように三次元的に動作させられる。
【００２９】
また、上記直線駆動装置２２，２４，２６，４８，９０の各々に備えられたモータ８６，４４，３４，７６，９８は、何れも制御装置１０８で回転制御される。制御装置１０８は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭや各種インターフェース等を備え、例えば蛍光表示管の品番毎に応じてＲＯＭに予め組み込まれたプログラムに従って、ＲＡＭの一時記憶機能を利用しつつＣＰＵで入力信号を処理し、その入力信号に応じた出力信号を発生させることでモータ８６等を制御する。本実施例では、モータ８６，４４等に正転信号および反転信号の何れかが送られ、それに応じて、チャック２０ａ，２０ｂが上記のようにＸ、Ｙ、或いはＺ方向に移動させられる。更に、モータ３４，４４には、上記正転、反転信号を交互に出力することで実質的に振動信号も送られ得るようになっている。上記振動信号は、例えば、１０〜２０（Ｈｚ）程度の低い周波数で正負が反転させられるものであり、この振動信号が送られると、移動部材３０，４０がその位置で略留まったままそれぞれの駆動方向に微振動させられ、延いてはチャック２０ａ，２０ｂがＸ、Ｙ二方向に微振動させられる。上記振動の振幅は、例えば０．０５〜０．１（ｍｍ）程度の範囲内であって、後述する位置決めピン１３６と位置決め孔１３８とのクリアランス以下の大きさに設定される。実施例においては、制御装置１０８および直線駆動装置２４，２６によって振動装置が構成されている。
【００３０】
なお、図２および図５において、１０２および１０４、１０６は、前記のセンサ６４および６６、６８と同様に、移動部材８２の移動範囲を制限するためのセンサおよびドグである。センサ１０４，１０６も例えば光電スイッチで構成される。
【００３１】
また、図１乃至図５から明らかなように、チャック２０ａ、２０ｂは、何れも同様な構造を備えたものであり、略逆Ｌ字状を成す上側挟持部１１２と、その上側挟持部１１２を昇降させるためのエア・シリンダを備えてその下側に固定された下側挟持部１１４とを有している。後述するように、溶接治具１６上のリード・フレーム１２は、図２および図３において左側に突き出して設けられたそれら上側挟持部１１２および下側挟持部１１４の先端部間に挟まれた状態でその溶接治具１６から取り外される。
【００３２】
図６は、上記の溶接治具１６上におけるリード・フレーム１２の固定状態を説明するための図である。なお、前記の図１においては、平面視における大きさが溶接治具１６に比較して極めて小さなリード・フレーム１２を処理する場合を描いているが、図６においては簡略化して溶接治具１６およびリード・フレーム１２の略同様な大きさに描いた。
【００３３】
図において、リード・フレーム１２は、アンカ１１６或いはサポート１１８が溶接された一対の陰極端子部１２０，１２０の両端部が連結された平面形状が矩形枠状を成すものである。図における手前側に位置する一方の連結部１２２には、陽極端子或いはグリッド端子等を構成するための多数本のリード１２４を備えており、アンカ１１６およびサポート１１８間には複数本のフィラメント状陰極１２６が張設されている。この図に示されるのは、取外し装置１０が備えられた溶接装置におけるフィラメント状陰極１２６の溶接処理が終了した段階である。
【００３４】
一方、溶接治具１６は、スポット溶接の際に通電に利用される一方の電極を兼ねたものであって、相互間隔が調節可能な一対の支持ブロック１２８，１３０を有する。その支持ブロック１２８，１３０の上面には、薄板状の位置決め部材１３２，１３４が相対移動不能にそれぞれ取り付けられており、その表面に複数本の位置決めピン１３６が突設されている。リード・フレーム１２、アンカ１１６，およびサポート１１８は、その位置決めピン１３６に対応する位置に厚み方向に貫通する複数の位置決め孔１３８を備えており、その位置決め孔１３８に位置決めピン１３６が刺し通されることによってその溶接治具１６上の一定の位置に固定されている。
【００３５】
上記位置決めピン１３６と位置決め孔１３８との嵌合状態を、図７に拡大して示す。位置決めピン１３６は、例えば直径３（ｍｍ）程度、高さ寸法Ｈが２〜３（ｍｍ）程度の大きさに構成されている。一方、位置決め孔１３８は、リード・フレーム１２やアンカ１１６等の何れに設けられているものも、例えば直径が１．２（ｍｍ）程度の一様な寸法である。そのため、位置決め孔１３８と位置決めピン１３６との隙間（クリアランス）Ｇは０．１（ｍｍ）程度の極めて小さな値になっている。リード・フレーム１２は、このような微小隙間の嵌合構造とされることによって、溶接治具１６上において高精度に位置決めされるのである。なお、リード・フレーム１２上にはアンカ１１６およびサポート１１８が溶接されているが、溶接後の全体の厚さ寸法でも例えば０．４（ｍｍ）程度に過ぎない。したがって、その厚さ寸法は位置決めピンの高さ寸法Ｈに比較して極めて薄いため、図７では一体で描き全体をリード・フレーム１２として示した。
【００３６】
なお、支持ブロック１２８，１３０の相互間隔は、自動化ラインを流される蛍光表示管の品番毎すなわちリード・フレーム１２の種類毎に応じた値に設定され、位置決め部材１３２，１３４の種類もリード・フレーム１２に応じて変更される。また、リード・フレーム１２の固定は、上述した位置決め孔１３８と位置決めピン１３６との嵌め合いだけで為されていても良いが、これに加えて磁力で吸着してもよい。
【００３７】
以上のように構成される取り外し装置１０を備えた溶接装置においてフィラメント状陰極１２６の溶接を行うに際しては、先ず、例えば、図８（ａ）に示されるように、前記の位置決めピン１３６と位置決め孔１３８との嵌め合いによってリード・フレーム１２が所定の位置に載せられた溶接治具１６が、レール１４，１４上を例えば一点鎖線で示される位置まで送られる。図８（ｂ）に移動後の位置を示す。この位置において、図示しない溶接ヘッドやフィラメント供給装置等が作動させられて、リード・フレーム１２上のアンカ１１６およびサポート１１８間に所定本数のフィラメント状陰極１２６が全て溶接されると、取外し装置１０が作動させられてその溶接治具１６上からリード・フレーム１２が取り外され、且つ次工程に送られる。
【００３８】
上記リード・フレーム１２の取外しは、例えば、以下のように実施される。先ず、直線駆動装置２６のモータ３４を回転駆動することによって、直線駆動装置２２，２４をリード・フレーム１２に接近する図８（ｂ）に示す矢印方向に移動させる。このとき、チャック２０ａ，２０ｂの下端部は、溶接治具１６の上面よりも僅かに上側に位置している。また、この移動に先立ち或いは前後して、モータ４４，８６が駆動されることにより、チャック２０ａ、２０ｂのＸ方向における位置およびそれらの間隔がリード・フレーム１２の大きさに応じて調節される。
【００３９】
次いで、図８（ｃ）に示される位置において、チャック２０ａ，２０ｂのエア・シリンダを作動させることにより上側挟持部１１２を下降させ、下側挟持部１１４と間でリード・フレーム１２を挟んで保持する。図９は、この保持状態を拡大して模式的に示した図である。リード・フレーム１２は、上側挟持部１１２および下側挟持部１１４の先端部間に挟まれることによって保持されている。なお、図においてはリード１２４やフィラメント状陰極１２６等を省略した。
【００４０】
続く段階では、上記のように保持した状態で、モータ７６，９８を同期して回転駆動させ、チャック２０ａ，２０ｂをＺ方向に上昇させることにより、リード・フレーム１２を溶接治具１６上から取り外す。このとき、そのＺ方向の上昇と同時に、モータ３４，４４が正転および反転を例えば１５（Ｈｚ）程度の周期で繰り返させられることによって、チャック２０ａ，２０ｂが水平面内においてＸ方向およびＹ方向に微振動させられる。この振動の振幅は、例えば、Ｘ方向においては正転反転共に０．１（ｍｍ）程度、Ｙ方向においては正転が０．１（ｍｍ）程度で反転が０．０９（ｍｍ）程度に設定されている。Ｙ方向については、前進方向すなわちチャック２０がピン１３６に接近する正転方向が反転方向よりも僅かに大きい値に設定されている。チャック２０がリード・フレーム１２の手前側だけを挟持していることから、チャック２０から見てピン１３６の奥側に孔１３８の内周縁が引っかかるとリード・フレーム１２が外れなくなるため、これを防止するためである。すなわち、チャック２０は、Ｙ方向に僅かに前進しながらＺ方向に上昇させられることとなる。このように、本実施例においては、リード・フレーム１２が水平方向に微振動させられつつ溶接治具１６上から離脱させられる。
【００４１】
ところで、リード・フレーム１２は、その位置決め孔１３８に溶接治具１６の位置決めピン１３６が刺し通されることによってその溶接治具１６上に位置決めされ且つ固定されているが、前述したように、それらの隙間Ｇは極めて小さい値に設定されている。そのため、Ｚ方向への上昇時にリード・フレーム１２の水平面に対する僅かな傾きや変形等が生じると、位置決め孔１３８と位置決めピン１３６との干渉が容易に生じる。このような干渉は、アンカ１１６やサポート１１８が僅かでも位置ずれして溶接されると、一層生じ易くなる。これをそのまま上昇させて取り外そうとすると、その干渉部分に応力集中して、極めて薄い金属板から成るリード・フレーム１２が変形し得る。したがって、従来はこの取外し作業を自動機で行わせることは困難であったため、手作業で取り外していた。
【００４２】
これに対して、本実施例によれば、上述したように水平方向に微振動させつつ鉛直方向に取り外すことから、その微振動で上記の位置決め孔１３８と位置決めピン１３６との干渉が好適に解消され或いは緩和される。そのため、それらの間の隙間Ｇが極めて小さいにも拘わらず、取外し装置１０によって容易に取り外すことが可能となっているのである。なお、上記モータ３４，４４の微振動は、それによってリード・フレーム１２に生じる変形が塑性変形に至らない程度に設定される。
【００４３】
図８（ｃ）に戻って、上記のようにしてリード・フレーム１２が溶接治具１６上から取り外され、所定の高さ位置まで上昇させられると、モータ３４，４４へ送られていた振動信号およびモータ７６，９８に送られていた駆動信号が停止させられ、モータ３４に正転或いは反転方向の駆動信号が送られる。これにより、リード・フレーム１２は、チャック２０ａ，２０ｂに保持されたまま、矢印に示すようにクリップ・ステージ１８に向かって搬送される。図８（ｄ）は、その水平方向への搬送が終了した段階を示している。
【００４４】
クリップ・ステージ１８までリード・フレーム１２が搬送されると、モータ３４が停止させられると共に、昇降用のモータ７６，９８が駆動させられ、チャック２０ａ，２０ｂが下降させられる。そして、チャック２０ａ，２０ｂのエア・シリンダを作動させてそれらの上側挟持部１１２および下側挟持部１１４を開くことによって、そのクリップ・ステージ１８上にリード・フレーム１２が降ろされる。このようにしてリード・フレーム１２を降ろした後、モータ３４が上記段階までとは反対方向に回転駆動されることによって、チャック２０ａ、２０ｂが図８（ｄ）の矢印方向に移動させられ、初期位置に復帰させられる。その後、図８（ｅ）に示すように、溶接治具１６がレール１４，１４上を右方へ移動させられ、図示しない初期位置において、次のリード・フレーム１２を同様に処理するために載せられる。
【００４５】
以上説明したように、本実施例によれば、チャック２０ａ，２０ｂによって保持されたリード・フレーム１２が振動させられることによって、そのリード・フレーム１２と溶接治具１６とが相対的に振動させられることから、その振動で位置決めピン１３６および位置決め孔１３８の干渉が解消され或いは緩和される。そのため、リード・フレーム１２をその変形を抑制しつつ容易に取り外すことができる。
【００４６】
また、本実施例によれば、リード・フレーム１２と溶接治具１６との相対振動は、リード・フレーム１２を保持したチャック２０ａ，２０ｂを振動させることによって実現される。そのため、レール１４上に載せられ且つチャック２０ａ，２０ｂに比較すると遙かに重い溶接治具１６を振動させる場合に比較して、適度な微振動を容易に発生させ得る利点がある。
【００４７】
しかも、本実施例においては、チャック２０ａ，２０ｂをＸ方向およびＹ方向に駆動するためのモータ３４，４４に振動信号を送ることでそれらチャック２０ａ，２０ｂが微振動させられるため、振動を発生させるための装置を別途用意する必要のない利点もある。
【００４８】
また、本実施例においては、取外し装置１０は、リード・フレーム１２を取外し方向（Ｚ方向）に移動させつつ振動させるため、干渉が解消され或いは緩和されると直ちにリード・フレーム１２が溶接治具１６から外れるため、取外しが一層容易になる利点がある。
【００４９】
また、本実施例においては、リード・フレーム１２がその取外し方向（Ｚ方向）に対して垂直な平面内すなわちＸ方向およびＹ方向に振動させられるため、Ｚ方向に振動させる場合に比較して容易に干渉を解消させ或いは緩和させることができる。
【００５０】
また、本実施例においては、リード・フレーム１２が互いに直交する２方向（Ｘ方向およびＹ方向）に振動させられるため、それらのうち１方向だけに振動させる場合に比較して一層容易に干渉を解消できる。
【００５１】
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施できる。
【００５２】
例えば、実施例においては、蛍光表示管のリード・フレーム１２の製造工程において溶接治具１６からこれを取り外すために本発明が適用された場合について説明したが、本発明は、隙間の小さな嵌め合い構造が形成されることから取外しが困難となる薄板部品を処理する装置であれば、種々の用途の部品の処理装置に適用される。また、薄板部品は、金属の他にセラミックスや合成樹脂、木、或いはこれらの組み合わされたもの等であっても良い。
【００５３】
また、実施例においては、リード・フレーム１２がその取外し方向（Ｚ方向）に対して垂直な平面内で振動させられていたが、振動方向は、取外しが容易になる範囲で適宜定めることができ、取外し方向に一致し或いはそれに対して傾斜していても差し支えない。
【００５４】
また、実施例においては、リード・フレーム１２がＸ方向およびＹ方向の二方向に沿って振動させられていたが、これらのうち一方だけに振動させても差し支えない。
【００５５】
また、実施例においては、チャック２０ａ，２０ｂを振動させ延いてはリード・フレーム１２を振動させることによって溶接治具１６との相対振動を実現していたが、反対に溶接治具１６を振動させ、或いは両者を振動させてもよい。但し、溶接治具１６はアンカ１１６，サポート１１８，およびフィラメント状陰極１２６等の溶接時における位置決めの基準となるので、実施例に示したようにチャック２０を振動させる方が好ましい。
【００５６】
また、実施例においては、リード・フレーム１２を保持するためにチャック２０ａ，２０ｂが用いられていたが、保持装置の形態は、薄板部品と治具とを相対振動させることが可能であれば特に問わない。例えば、真空吸着であっても良く、或いは、実施例で示したような金属製の薄板部品であれば、磁力によって吸着することも可能である。
【００５７】
また、実施例においては、微振動の周波数が１５（Ｈｚ）程度に設定されていたが、その値は、薄板部品を変形或いは破損させず且つ容易に治具から取り外し得る範囲で適宜設定される。
【００５８】
また、実施例においては、リード・フレーム１２を搬送し且つ振動させるためにリニア・ガイド、ボールねじ、およびモータ３４等から成る直線駆動装置２６等が用いられていたが、処理対象となる薄板部品の搬送方向は装置の配置に応じて適宜定められるものであり、その方向に駆動可能な装置が適宜選定して用いられる。また、直線的に駆動する場合にも、例えば、油圧シリンダや空気圧シリンダ等適宜のものを用いることができる。
【００５９】
また、実施例においては、リード・フレーム１２を搬送するためのモータ３４、４４および制御装置１０８等で実質的に振動装置が構成されていたが、振動装置は、リード・フレーム１２と溶接治具との間で相対振動を発生させ得るものであれば、適宜の構成を採ることができる。例えば、チャック２０に超音波振動子等の振動部品を取り付けてもよい。
【００６０】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の取外し装置の構成を説明する平面図である。
【図２】図１の取外し装置の要部を説明する正面図である。
【図３】図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ視断面の要部を示す図である。
【図４】図２におけるＩＶ−ＩＶ視断面の要部を示す図である。
【図５】図２におけるＶ−Ｖ視断面の要部を示す図である。
【図６】図１の取外し装置に送り込まれる溶接溶接治具１６を示す斜視図である。
【図７】図６の溶接溶接治具１６のリード・フレームとの嵌め合い構造を説明する図である。
【図８】（ａ）〜（ｅ）は、取外し装置の作動を説明するための模式図である。
【図９】取外し装置のチャックでリード・フレームを掴んだ状態を拡大して示す図である。
【符号の説明】
１２：リード・フレーム（薄板部品）
１６：溶接治具（治具）
２０：チャック（保持装置）
１３６：位置決めピン
１３８：位置決め孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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