(57)【要約】【課題】シャープでかつ表面平滑度の高い凹凸パターンを有し、しかも均一に裏面研磨された情報記録媒体用スタンパーを製造する。【解決手段】ガラス板上のフォトレジスト層に潜像を形成した後に現像してフォトレジスト層からガラス板の一部を露出させ、フォトレジスト層をマスクとしてガラス板をドライエッチングして凹部を形成し、ガラス板の残留フォトレジスト層を除去し、ガラス板における凹凸パターンの反転凹凸パターンが形成された樹脂層１４を２Ｐ法で他のガラス板１３の表面に形成してガラス原盤１５を作製し、ガラス原盤１５における樹脂層１４の表面に導電膜１６を形成し、導電膜１６の上に金属膜１７を形成し、その状態で金属膜１７の裏面を研磨した後に、ガラス原盤１５から導電膜１６および金属膜１７の積層体を剥離して情報記録媒体用スタンパーを製造する。【選択図】        図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板上に形成されたフォトレジスト層に露光用ビームを照射して潜像を形成した後に現像して当該フォトレジスト層から前記ガラス板の一部を露出させ、前記フォトレジスト層をマスクとして用いて前記ガラス板をドライエッチングして当該ガラス板に凹部を形成し、当該ガラス板の上に残留している前記フォトレジスト層を除去した後に、当該ガラス板に形成されている凹凸パターンの反転凹凸パターンが表面に形成された樹脂層を当該ガラス板を用いた２Ｐ法で他のガラス板の表面に形成することによってガラス原盤を作製し、当該ガラス原盤における前記樹脂層の表面に導電膜を形成した後に、当該導電膜の上に金属めっきによって金属膜を形成し、当該ガラス原盤上に形成されている状態で前記金属膜の裏面を研磨した後に、当該ガラス原盤から前記導電膜および金属膜の積層体を剥離することによって情報記録媒体用スタンパーを製造する情報記録媒体用スタンパーの製造方法。
【請求項２】
ガラス板上に形成されたフォトレジスト層に露光用ビームを照射して潜像を形成する露光装置と、前記潜像が形成された前記フォトレジスト層を現像して当該フォトレジスト層から前記ガラス板の一部を露出させる現像装置と、前記フォトレジスト層をマスクとして用いて前記ガラス板をドライエッチングして当該ガラス板に凹部を形成するエッチング装置と、当該ガラス板の上に残留している前記フォトレジスト層を除去するレジスト除去装置と、当該ガラス板に形成されている凹凸パターンの反転凹凸パターンが表面に形成された樹脂層を当該ガラス板を用いた２Ｐ法で他のガラス板の表面に形成することによってガラス原盤を作製する樹脂層形成装置と、前記ガラス原盤における前記樹脂層の表面に導電膜を形成する導電膜形成装置と、前記導電膜の上に金属めっきによって金属膜を形成する金属膜形成装置と、情報記録媒体用スタンパーとなる前記導電膜および前記金属膜の積層体における当該金属膜の裏面を前記ガラス原盤上に形成されている状態で研磨する研磨装置とを備えている情報記録媒体用スタンパーの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面に凹凸パターンが形成された情報記録媒体用スタンパーを製造する情報記録媒体用スタンパーの製造方法および情報記録媒体用スタンパーの製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の情報記録媒体用スタンパーの製造方法として、特開平３−１３０９４４号に開示された情報記録媒体である光ディスク製造用スタンパーの製造方法が知られている。この光ディスク製造用スタンパーの製造方法によって光記録媒体（ＣＤやＤＶＤなど）用のスタンパーを製造する際には、まず、スタンパー作製時の原盤となる円板状のガラス板を平坦面に研磨し、次いで、ガラス板の研磨された面にフォトレジスト層を形成する。次いで、このフォトレジスト層に例えばレーザービームを照射することにより、光記録媒体におけるグルーブ等の微細凹凸転写用の凹凸パターンに対応する母型パターンを露光した後に、露光後のフォトレジスト層を現像処理して母型パターン（凹凸パターン）を形成する。次いで、母型パターンの上に金属下地層（導電膜）を形成した後に、金属下地層の上に金属電鋳膜をめっきによって形成する。次いで、金属下地層および金属電鋳膜によって形成される金属膜（金属下地層および金属電鋳膜の積層体）をガラス板から剥離した後に、剥離した金属膜に対して打抜き加工を施すことによって外周面を整形すると共に中心孔を形成する。最後に、金属膜における母型パターンの転写面に対する裏面を平坦化して情報記録媒体用スタンパーが完成する。
【０００３】
【特許文献１】
特開平３−１３０９４４号公報（第４頁）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の情報記録媒体用スタンパーの製造方法には、以下の改善すべき課題がある。すなわち、特開平３−１３０９４４号公報に記載の情報記録媒体用スタンパーの製造方法では、ガラス板の表面にフォトレジスト層によって形成された母型パターン上に金属下地層および金属電鋳膜を形成してスタンパーとなる金属膜を形成している。この場合、フォトレジスト層に母型パターン用の潜像を露光用ビームを照射して形成する際に、フォトレジスト層とガラス板との界面で露光用ビームが反射され、この反射光に起因してフォトレジスト層が多重に露光されて潜像が崩れることがある。かかる場合には、母型パターンにおける凹部の溝形状が丸みを帯びるため、この母型パターンによって形成した情報記録媒体用スタンパーの凹凸パターンも丸みを帯びることとなる。したがって、より高密度な記録が可能な情報記録媒体用のディスク基材を製造するために、よりファインな凹凸パターンを情報記録媒体用スタンパーに形成しようとするときに、凹凸パターンが丸みを帯びていることに起因して、正確なトラッキングを可能とするディスク基材の製造が困難となるおそれがある。このため、この点の改善が望まれている。
【０００５】
また、フォトレジスト層の表面がガラス板の表面と比較して一般的に平滑度が低いために、フォトレジスト層で形成した凹凸パターンを転写することによって形成される情報記録媒体用スタンパーの凹凸パターンにおける表面の平滑度、およびこの情報記録媒体用スタンパーによって形成される情報記録媒体における微細凹凸の表面の平滑度を十分に確保できないおそれもある。一方、情報記録媒体における微細凹凸の表面の平滑度の良否は、情報記録媒体に記録された情報を光ピックアップや磁気ディスクで読み出す際に、光ピックアップ等から出力される信号に重畳するノイズの多少に影響を与える。また、情報記録媒体における微細凹凸の表面の平滑度が光ピックアップ等の出力信号に重畳するノイズに与える影響の度合いは、微細凹凸のピッチを狭めるに従って大きくなる傾向にある。したがって、情報記録媒体の記録密度をより高めるために情報記録媒体用スタンパーの凹凸パターンのピッチをさらに狭めた場合、読取エラーが発生する確率が高くなるおそれがある。このため、この点を改善するのが好ましい。
【０００６】
さらに、金属膜は、薄く変形し易いためにガラス板から一旦剥離した状態では平面性が失われる。この場合、一旦平面性が失われた金属膜を十分な平面性を確保した状態で裏面研磨用の研磨治具へ取り付けることは容易ではない。このため、ガラス板から金属膜を一旦剥離した後に裏面研磨する方法では、金属膜に対して均一に裏面を研磨するのが容易ではない。したがって、簡単かつ確実で、しかも均一に金属膜の裏面を研磨できるのが望ましい。
【０００７】
本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、シャープでかつ表面平滑度の高い凹凸パターンを有し、しかも均一に裏面研磨された情報記録媒体用スタンパーを製造し得る情報記録媒体用スタンパーの製造方法および製造装置を提供することを主目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく本発明に係る情報記録媒体用スタンパーの製造方法は、ガラス板上に形成されたフォトレジスト層に露光用ビームを照射して潜像を形成した後に現像して当該フォトレジスト層から前記ガラス板の一部を露出させ、前記フォトレジスト層をマスクとして用いて前記ガラス板をドライエッチングして当該ガラス板に凹部を形成し、当該ガラス板の上に残留している前記フォトレジスト層を除去した後に、当該ガラス板に形成されている凹凸パターンの反転凹凸パターンが表面に形成された樹脂層を当該ガラス板を用いた２Ｐ法（Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ  法）で他のガラス板の表面に形成することによってガラス原盤を作製し、当該ガラス原盤における前記樹脂層の表面に導電膜を形成した後に、当該導電膜の上に金属めっきによって金属膜を形成し、当該ガラス原盤上に形成されている状態で前記金属膜の裏面を研磨した後に、当該ガラス原盤から前記導電膜および金属膜の積層体を剥離することによって情報記録媒体用スタンパーを製造する。
【０００９】
また、本発明に係る情報記録媒体用スタンパーの製造装置は、ガラス板上に形成されたフォトレジスト層に露光用ビームを照射して潜像を形成する露光装置と、前記潜像が形成された前記フォトレジスト層を現像して当該フォトレジスト層から前記ガラス板の一部を露出させる現像装置と、前記フォトレジスト層をマスクとして用いて前記ガラス板をドライエッチングして当該ガラス板に凹部を形成するエッチング装置と、当該ガラス板の上に残留している前記フォトレジスト層を除去するレジスト除去装置と、当該ガラス板に形成されている凹凸パターンの反転凹凸パターンが表面に形成された樹脂層を当該ガラス板を用いた２Ｐ法（Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ  法）で他のガラス板の表面に形成することによってガラス原盤を作製する樹脂層形成装置と、前記ガラス原盤における前記樹脂層の表面に導電膜を形成する導電膜形成装置と、前記導電膜の上に金属めっきによって金属膜を形成する金属膜形成装置と、情報記録媒体用スタンパーとなる前記導電膜および前記金属膜の積層体における当該金属膜の裏面を前記ガラス原盤上に形成されている状態で研磨する研磨装置とを備えている。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る情報記録媒体用スタンパーおよび情報記録媒体用スタンパーの製造装置の好適な実施の形態について説明する。
【００１１】
最初に、本発明に係る情報記録媒体用スタンパーの製造装置（以下、「スタンパー製造装置」ともいう）１００について、図８を参照して説明する。
【００１２】
このスタンパー製造装置１００は、フォトレジスト層形成装置１０１、露光装置１０２、現像装置１０３、エッチング装置１０４、レジスト除去装置１０５、樹脂層形成装置１０６、導電膜形成装置１０７、金属膜形成装置１０８および研磨装置１０９を備え、ガラス板１１，１３（図４参照）を用いて図７に示す情報記録媒体用スタンパー（以下、「スタンパー」ともいう）１を製造可能に構成されている。
【００１３】
次に、スタンパー製造装置１００を用いた情報記録媒体用スタンパーの製造方法について図面を参照して説明する。
【００１４】
スタンパー製造装置１００では、まず、フォトレジスト層形成装置１０１が、図１に示すように、表面を平坦に研磨したガラス板１１の上にポジ型フォトレジストをスピンコート法によって層状に塗布した後に硬化させることにより、ガラス板１１の上にフォトレジスト層１２を形成する。
【００１５】
次に、露光装置１０２が、図１に示すように、スタンパー１の凹部１ａ，１ａ・・（図７参照）を形成すべき部位に、パターニング用のレーザービームＬを照射する。これにより、フォトレジスト層１２に例えば形成ピッチが０．３０μｍ程度で、幅０．１５μｍ程度の螺旋状の潜像が形成される。次いで、現像装置１０３がこの状態のフォトレジスト層１２を現像することにより、図２に示すように、レーザービームＬの照射部位が除去されてガラス板１１の表面の一部が螺旋状に露出する。
【００１６】
続いて、エッチング装置１０４が、フォトレジスト層１２をマスクとして用いて、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８、ＣＨＦ３、若しくはこれらの混合ガス、またはこれらに添加ガス（Ｏ２、Ａｒ、Ｈ２）を添加したガスをエッチングガスとして使用したリアクディブイオンエッチング（本発明におけるドライエッチング）を行うことにより、図３に示すように、ガラス板１１に凹部１１ａ，１１ａ・・を形成する。この場合、ガラス板１１をエッチングして形成された凹部１１ａ，１１ａ・・は、フォトレジスト層を露光および現像して形成される従来の凹部と比較して非常にシャープに形成される。つまり、ガラス板１１の凹凸パターンは、殆ど丸みを帯びない状態で形成される。また、ガラス板１１は、その表面の平滑度がフォトレジスト層の表面の平滑度と比較して非常に高く、しかもその凹部１１ａ，１１ａ・・の表面もエッチング装置１０４によって十分な平滑度で形成される。このため、ガラス板１１の凹凸パターンは、その表面の平滑度が十分に高い状態で形成される。次に、レジスト除去装置１０５が、エッチングを完了したガラス板１１をレジスト剥離液に浸すことにより、ガラス板１１の上に残留しているフォトレジスト層１２を除去する。
【００１７】
次に、樹脂層形成装置１０６が、図４に示すように、ガラス板１１を用いて、２Ｐ法（Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ法）により、ガラス板１３の表面に樹脂層１４を形成して、図５に示すガラス原盤（マスタースタンパー）１５を作製する。具体的には、ガラス板１３をその中心軸を中心に低速回転させた状態で未硬化の紫外線硬化型の樹脂を滴下する。続いて、ガラス板１３を高速回転させることにより、滴下した樹脂を遠心力によってガラス板１３の表面全体に延ばす。次いで、図４に示すように、ガラス板１１を樹脂に押圧して、ガラス板１１に形成されている凹凸パターンの反転凹凸パターンを樹脂に転写する。次いで、ガラス板１１側から紫外線を樹脂に照射して樹脂を硬化させる。これにより、ガラス板１１に形成された凹凸パターンの反転凹凸パターンが転写された樹脂層１４がガラス板１３の表面に形成される。最後に、樹脂層１４からガラス板１１を剥離することにより、図５に示すガラス原盤１５が作製される。この場合、ガラス原盤１５の樹脂層１４に形成された凹凸パターンは、ガラス板１１を用いた２Ｐ法によって形成される。したがって、ガラス板１１の凹凸パターンが前述したようにシャープでしかも十分な平滑度を有して形成されているため、ガラス原盤１５の表面に形成された凹凸パターンも非常にシャープでしかも十分な平滑度を有している。
【００１８】
次いで、導電膜形成装置１０７が、図６に示すように、例えば無電解めっきによってガラス原盤１５における樹脂層１４の表面に導電膜１６を形成し、その後に、金属膜形成装置１０８が、この導電膜１６を電極として使用して電解めっき処理を施すことにより（析出により）、同図に示すように、導電膜１６の上に金属膜（例えば、電解ニッケル膜）１７を形成（積層）する。
【００１９】
次いで、研磨装置１０９が、ガラス原盤１５上に形成された金属膜１７の裏面（ガラス原盤１５との非接触面）を研磨する。最後に、導電膜１６および金属膜１７の積層体をガラス原盤１５から、人手によって、または専用の剥離装置（図示せず）を使用して剥離して、剥離した導電膜１６および金属膜１７の積層体に対して打抜き加工を施すことによって外周面を整形すると共に中心孔を形成する。これにより、図７に示すように、ガラス原盤１５に形成されている凹凸パターンの反転凹凸パターンが転写されることによって凹部１ａ，１ａ・・が表面に形成されたスタンパー（マザースタンパー）１が作製される。この場合、このスタンパー１は、ガラス原盤１５の凹凸パターンが前述したようにシャープでしかも十分な平滑度を有して形成されているため、スタンパー１の表面に形成された凹部１ａ，１ａ・・を含む凹凸パターンも非常にシャープでしかも十分な平滑度を有している。また、金属膜１７は、平面性の高いガラス原盤１５上に形成されている状態でその裏面が研磨されるため、スタンパー１は、極めて均一な厚みで形成される。したがって、このスタンパー１を用いて光記録媒体用のディスク基材を製造することで、正確なトラッキングが可能なディスク基材を形成することができる。
【００２０】
このように、本発明の実施の形態に係る情報記録媒体用スタンパーの製造方法および情報記録媒体用スタンパーの製造装置によれば、ドライエッチングによって凹部１１ａ，１１ａ・・を形成したガラス板１１を用いた２Ｐ法によってガラス原盤１５を作製し、このガラス原盤１５を用いてスタンパー１を作製することにより、スタンパー１の表面に形成された凹部１ａ，１ａ・・を含む凹凸パターンを非常にシャープでしかも十分な平滑度を有する状態で形成することができる。また、ガラス原盤１５上に形成されている状態で金属膜１７の裏面を研磨することにより、極めて均一な厚みでスタンパー１を製造することができる。したがって、このスタンパー１を用いて光記録媒体用のディスク基材を製造することで、正確なトラッキングが可能なディスク基材を製造することができる。
【００２１】
なお、本発明は、上記した発明の実施の形態に限らず、適宜変更が可能である。例えば、本発明における凹凸パターン（スタンパー１の表面に形成された凹凸パターン）は、本発明の実施の形態に例示した螺旋状の凹凸パターンに限定されず、同心円状の凹凸パターンや、その他各種形状の凹凸パターンであってもよい。したがって、同心円状の凹凸パターンがその表面に形成される磁気ディスク（ディスクリート記録媒体等）に対しても本発明を適用できることは勿論である。さらに、本発明は、案内溝を形成するためのスタンパーの製造に限定されず、例えば情報ピットを形成するためのスタンパーの製造方法にも有効に適用することができる。また、上記した発明の実施の形態では、ポジ型フォトレジストを用いてフォトレジスト層１２を形成する例について説明したが、ネガ型フォトレジストを用いてフォトレジスト層を形成することもできる。
【００２２】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係る情報記録媒体用スタンパーの製造方法および情報記録媒体用スタンパーの製造装置によれば、ドライエッチングによって表面に凹凸パターンが形成されたガラス板を用いた２Ｐ法を用いて、ガラス板に形成した凹凸パターンの反転凹凸パターンが表面に形成された樹脂層を他のガラス板の表面に形成することによってガラス原盤を作製し、このガラス原盤を用いて情報記録媒体用スタンパーを作製することにより、情報記録媒体用スタンパーの表面に形成された凹凸パターンを非常にシャープでしかも十分な平滑度を有する状態で形成することができる。また、ガラス原盤における樹脂層の表面に導電膜を形成した後に、この導電膜の上に金属めっきによって金属膜を形成し、ガラス原盤上に形成されている状態で金属膜の裏面を研磨することにより、極めて均一な厚みで情報記録媒体用スタンパーを製造することができる。したがって、この情報記録媒体用スタンパーを用いて光記録媒体用のディスク基材を製造することで、正確なトラッキングが可能なディスク基材を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ガラス板１１の上にフォトレジスト層１２を形成した状態の断面図である。
【図２】フォトレジスト層１２の現像が完了した状態の断面図である。
【図３】ガラス板１１に対するエッチングが完了した状態の断面図である。
【図４】ガラス板１１を用いて２Ｐ法によってガラス板１３の表面に樹脂層１４を形成した状態の断面図である。
【図５】図４の状態からガラス板１１を剥離して作製したガラス原盤１５の断面図である。
【図６】ガラス原盤１５の上に導電膜１６および金属膜１７を形成した状態の断面図である。
【図７】図６の状態において金属膜１７の裏面を研磨した後に、導電膜１６および金属膜１７の積層体を剥離して製造したスタンパー１の断面図である。
【図８】スタンパー製造装置１００の構成図である。
【符号の説明】
１  スタンパー
１ａ  凹部
１１  ガラス板
１１ａ  凹部
１２  フォトレジスト層
１３  ガラス板
１４  樹脂層
１５  ガラス原盤
１６  導電膜
１７  金属膜
１００  スタンパー製造装置
１０２  露光装置
１０３  現像装置
１０４  エッチング装置
１０５  レジスト除去装置
１０６  樹脂層形成装置
１０７  導電膜形成装置
１０８  金属膜形成装置
１０９  研磨装置
Ｌ  レーザービーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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