(57)【要約】【課題】運転休止時に配管中の洗浄液固化を簡単な構成で防止し低コスト化に適した洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄装置は、洗浄液を配管経路ｐ９、ｐ４、ｐ１を通して循環させて基材を洗浄する洗浄装置であって、配管経路の最も低い箇所に排出用バルブ４付きの排出用配管を備え、運転を休止する際に配管経路内の洗浄液が重力により排出用バルブを介して排出用配管から自然排出するように、前記配管経路は排出用配管に向けて傾斜している。また、配管経路中の分岐箇所ｃ１、ｃ２における配管の内面下部は前記排出用配管側に向かって低くなっている。【選択図】図１
2004298752.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
常温では固化する洗浄液を配管経路を通して循環させて基材を洗浄する洗浄装置であって、
前記配管経路の最も低い箇所に排出用バルブ付きの排出用配管を備え、
前記洗浄液を循環させる運転を休止した場合に配管経路内の洗浄液が重力により排出用バルブを介して排出用配管から自然排出するように、前記配管経路は排出用配管に向けて傾斜している
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記配管経路中の分岐箇所における配管の内面下部は前記排出用配管側に向かって低くなっている
ことを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄装置は、
前記洗浄液を溜めるタンクと、
タンク内に設けられ洗浄液を加熱するヒーターと、
運転時にタンクから洗浄液を前記配管経路に供給するポンプと
を備えるとを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記排出用配管は、運転を休止した場合に前記タンクに洗浄液を自然排出するよう傾斜している
ことを特徴とする請求項３記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記排出用配管は、運転を休止した場合に前記タンクとは異なる外部タンクに洗浄液を自然排出するよう傾斜している
ことを特徴とする請求項３記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記洗浄装置は、さらに
運転を休止する際に前記ポンプ内の洗浄液を水に置換する置換手段を
備えることを特徴とする請求項３、４又は５記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記洗浄装置は、さらに、
運転を再開する際にポンプ内の水を抜く水抜き手段を
備えることを特徴とする請求項６記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記洗浄装置は、さらに、
運転を再開する際にポンプを加熱する加熱手段を
備えることを特徴とする請求項３、４又は５記載の洗浄装置。
【請求項９】
前記置換手段は、さらに運転を休止する際に、前記配管経路中に設けられたフィルタ内の洗浄液を水に置換する
ことを特徴とする請求項３、４又は５記載の洗浄装置。
【請求項１０】
前記洗浄装置は、さらに、
運転を再開する際に前記フィルタ内の水を抜く水抜き手段を
備えることを特徴とする請求項９記載の洗浄装置。
【請求項１１】
前記洗浄装置は、さらに、
運転を再開する際に、前記配管経路中に設けられたフィルタを加熱する過熱手段を
備えることを特徴とする請求項３、４又は５記載の洗浄装置。
【請求項１２】
前記洗浄装置は、さらに、
前記配管経路に設けられ、基材に洗浄液を噴出するノズルと、
運転を休止する際に前記ノズルの噴出孔を塞ぐ洗浄液を除去する除去手段と
を備えることを特徴とする請求項３、４又は５記載の洗浄装置。
【請求項１３】
前記除去手段は、前記ノズルの噴出孔に空気を通気することにより洗浄液を除去する
ことを特徴とする請求項１２記載の洗浄装置。
【請求項１４】
前記除去手段は、ノズルを運転時は下向きに休止時は上向きになるように前記配管経路に接続し、運転を休止する際にノズルが上向きにされることによる自然通気により前記噴出孔の洗浄液を除去する
ことを特徴とする請求項１２記載の洗浄装置。
【請求項１５】
前記洗浄装置は、さらに、
前記タンクにおいて洗浄液にオゾンを通気することにより洗浄液を再生する再生手段を備える
ことを特徴とする請求項３、４又は５記載の洗浄装置。
【請求項１６】
タンク内の洗浄液をポンプによって配管経路を循環させて基材の有機皮膜を除去する洗浄装置であって、
常温では固化する前記洗浄液を前記タンク内で液化するためのヒーターと、
前記配管経路の最も低い箇所に設けられた排出用バルブ付きの排出用配管と、を備え、
前記配管経路は、前記洗浄液を循環させる運転を休止した場合に配管経路内の洗浄液が重力により排出用バルブを介して排出用配管から自然排出するように、排出用配管に向けて傾斜し、
前記配管経路中の分岐箇所における配管の内面下部は、前記排出用配管側に向かって低くなっている
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項１７】
前記洗浄装置は、さらに
運転を休止する際に前記ポンプ内の洗浄液を水に置換する置換手段を
備えることを特徴とする請求項１６記載の洗浄装置。
【請求項１８】
前記置換手段は、さらに
運転を休止する際に、前記配管経路中に設けられたフィルタ内の洗浄液を水に置換することを特徴とする請求項１７記載の洗浄装置。
【請求項１９】
前記洗浄装置は、さらに
前記配管経路に設けられ、基材に洗浄液を噴出するノズルと、
運転を休止する際に前記ノズルの噴出孔を塞ぐ洗浄液を除去する除去手段と
を備えることを特徴とする請求項１８記載の洗浄装置。
【請求項２０】
前記洗浄装置は、さらに
運転を再開する際にポンプ及びフィルタ内の水を抜く水抜き手段を
を備えることを特徴とする請求項１９記載の洗浄装置。
【請求項２１】
常温では固化する洗浄液を用いて第１洗浄槽及び第２洗浄槽において基材の有機皮膜を除去する洗浄装置であって、
第１洗浄槽の洗浄による使用済の洗浄液をオゾン通気により再生する再生手段と、
再生された洗浄液を第２配管経路を通して第２洗浄槽に供給する第１ポンプと、
第２洗浄槽の洗浄液を自然排出により回収するタンクと、
常温では固化する前記洗浄液を前記タンク内で液化するためのヒーターと、
前記タンク内の洗浄液を第２配管経路を通して第１洗浄槽に供給する第２ポンプと、
第１、第２配管経路のそれぞれ最も低い箇所に設けられた、排出用バルブ付きの第１、第２排出用配管と
を備え、
第１、第２配管経路は、それぞれ運転を休止する際に配管経路内の洗浄液が重力により排出用バルブを介して排出用配管から自然排出するように、第１、第２排出用配管に向けて傾斜し、
各配管経路中の分岐箇所における配管の内面下部は、前記排出用配管側に向かって低くなっている
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２２】
第１排出用配管は再生手段に洗浄液を自然排出するよう傾斜し、第２排出用配管は前記タンクに洗浄液を自然排出するよう傾斜している
ことを特徴とする請求項２１記載の洗浄装置。
【請求項２３】
前記洗浄装置は、さらに
運転を休止する際に第１ポンプ及び第２ポンプ内の洗浄液を水に置換する置換手段を
備えることを特徴とする請求項２１記載の洗浄装置。
【請求項２４】
常温では固化する洗浄液を用いて、洗浄液を配管経路を通して循環させて基材を洗浄する洗浄装置における洗浄液排出方法であって、
前記洗浄液を循環させる運転を休止した場合に、前記配管経路の最も低い箇所に設けられた排出用バルブ付きの排出用配管から、重力により配管経路内の洗浄液を排出用バルブを介して排出用配管から自然排出させる排出ステップと、
自然排出後に、前記配管経路に設けられたポンプ及びフィルタ内の洗浄液を水に置換する置換ステップと
を有することを特徴とする洗浄液の排出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネル、ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）、半導体等の製造プロセスにおいてガラス基板やウェハーを洗浄してフォトレジストなどの有機皮膜を剥離又は除去する洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶パネルや半導体の製造プロセスにおける、フォトレジストを剥離又は除去する洗浄工程では、硫酸、過酸化水素等の各種薬液が多量に使用される。そのために多量の廃酸や廃アルカリ等の廃液が生じ、廃液の処理が問題となっている。薬液の中でも多量に使用される種類については、回収した後精製して、製造工程等での再利用が試みられるようになってきており、各種の薬液再生方法の開発が進められている。
【０００３】
近年の、パネルの大型化、ウェハーの大口径化等により使用する薬液槽が大型化しその容量が大きくなると、使用する薬液量が増大し、薬液コストのみならず薬液処理コストや環境負荷が増大し、そのために廃液量を可能なかぎり少量化する新たな技術が必要とされている。
【０００４】
半導体プロセスにおいて使用される薬液を循環させる半導体製造装置の先行技術文献として特許文献１がある。
【０００５】
図１６は、この半導体製造装置の構成を示す図である。同図のように薬液槽９０１においてシリコンウェハーを洗浄した薬液は、オーバーフロー槽９０３に溢れ出た後、循環用ポンプ９０５を有する薬液循環用配管９０４を介して精密ろ過膜９１１、水分分離装置９１７、フィルタ９０６を通過して、薬液槽９０１に循環する。ここで精密ろ過膜９１１では、パーティクル等の懸濁粒子を除去する。水分分離装置９０７において薬液は、気体透過膜９０８を介して水分吸収剤９０９により水分が分離される。
【０００６】
この構成により、反応等により生成した過剰な水分を連続的に除去し、薬液寿命の延長と薬液補充量の節減を可能にしている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１０−２８４４５８号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、強力な剥離力を有するが従来利用されていない炭酸エチレンを洗浄液として使用する場合には、次の問題がある。
【０００９】
すなわち、炭酸エチレンが常温では固化する特性をもつことから、運転休止に移行するとき、及び運転を再開するときの洗浄液の取り扱いが問題となる。特に、運転休止中に配管で薬液が固化してしまうと、配管が詰まってしまい、運転再開に支障をきたすというという問題がある。
【００１０】
この問題に対して、たとえば、配管を二重配管とし、内側に洗浄液を外側に温水を通す構成とし、運転休止時の配管内での固化を許容し、運転再開直前に内側の薬液を液化する構成が考えられる。しかし、薬液の配管経路の全てを二重配管とすることは、装置コストを高くする点で望ましくない。
【００１１】
本発明は、運転休止時に配管中の洗浄液固化を簡単な構成で防止し低コスト化に適した洗浄装置及び方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の洗浄装置は、常温では固化する洗浄液を配管経路を通して循環させて基材を洗浄する洗浄装置であって、前記配管経路の最も低い箇所に排出用バルブ付きの排出用配管を備え、洗浄液を循環させる運転を休止した場合に配管経路内の洗浄液が重力により排出用バルブを介して排出用配管から自然排出するように、前記配管経路は排出用配管に向けて傾斜していることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、配管経路内で洗浄液が固化することを低コストで簡単に防止することができる。
【００１４】
ここで、前記配管経路中の分岐箇所における配管の内面下部は前記排出用配管側に向かって低くなるように構成してもよい。
【００１５】
この構成によれば、自然排出時に分岐箇所において液溜まりができないので、洗浄液のほぼ全部を自然排出させることができる。
【００１６】
また、前記洗浄装置は、前記洗浄液を溜めるタンクと、タンク内に設けられ洗浄液を加熱するヒーターと、運転時にタンクから洗浄液を前記配管経路に供給するポンプとを備える。
【００１７】
この構成によれば、運転中の洗浄液の液化をタンクの一箇所で集中させることができ、洗浄装置の随所に液化のためのヒーターを設ける必要がなく、低コスト化に適している。
【００１８】
ここで、前記排出用配管は、運転を休止した場合に前記タンクに洗浄液を自然排出するよう傾斜している構成としてもよい。
【００１９】
この構成によれば、運転中のバッファとして洗浄液を貯めるタンクに対して、運転休止に際して洗浄液を自然排出するので、運転休止中に当該タンク内で固化した洗浄液を、運転再開時に上記ヒーターにより液化してスムーズに運転を再開することができる。
【００２０】
また、前記排出用配管は、運転を休止した場合に前記タンクとは異なる外部タンクに洗浄液を自然排出するよう傾斜している構成としてもよい。
【００２１】
この構成によれば、外部タンクに洗浄液を自然に排出するので、洗浄液の交換を容易にすることができる。
【００２２】
ここで、前記洗浄装置は、運転を休止する際に前記ポンプ内の洗浄液を水に置換する置換手段を備える構成としてもよい。
【００２３】
この構成によれば、運転再開時にポンプが固化した洗浄液によって損傷することを防止することができる。
【００２４】
さらに、前記洗浄装置は、運転を再開する際にポンプ内の水を抜く水抜き手段を備える構成としてもよい。
【００２５】
この構成によれば、ポンプ内に置換された水により洗浄液を薄めることなくに運転を再開することができる。
【００２６】
また、前記洗浄装置は、上記置換手段および水抜き手段の代わりに、運転を再開する際にポンプを加熱する加熱手段を備える構成としてもよい。
【００２７】
この構成によれば、ポンプの損傷を防止し、洗浄液を薄めることなく運転を再開することができる。
【００２８】
さらに、前記置換手段は、運転を休止する際に、前記配管経路中に設けられたフィルタ内の洗浄液を水に置換する構成としてもよい。
【００２９】
この構成によれば、運転再開時にフィルタが固化した洗浄液によって目詰まりすることを防止することができる。
【００３０】
また、前記洗浄装置は、運転を再開する際に前記フィルタ内の水を抜く水抜き手段を備える構成としてもよい。
【００３１】
この構成によれば、フィルタ内に置換された水により洗浄液を薄めることなくに運転を再開することができる。
【００３２】
さらに、前記洗浄装置は、フィルタの水置換及び水抜きの代わりに、運転を再開する際に前記フィルタを加熱する過熱手段を備える構成としてもよい。
【００３３】
この構成によれば、フィルタの目詰まりを防止し、洗浄液を薄めることなる運転を再開することができる。
【００３４】
ここで、前記洗浄装置は、前記配管経路に設けられ、基材に洗浄液を噴出するノズルと、運転を休止する際に前記ノズルの噴出孔を塞ぐ洗浄液を除去する除去手段とを備える構成としてもよい。
【００３５】
この構成によれば、運転再開時にノズルの噴出孔の目詰まりを防止することができる。
【００３６】
また、本発明の洗浄装置は、第１洗浄槽及び第２洗浄槽において基材の有機皮膜を除去する洗浄装置であって、第１洗浄槽の洗浄による使用済の洗浄液をオゾン通気により再生する再生手段と、再生された洗浄液を第２配管経路を通して第２洗浄槽に供給する第１ポンプと、第２洗浄槽の洗浄液を自然排出により回収するタンクと、常温では固化する前記洗浄液を前記タンク内で液化するためのヒーターと、前記タンク内の洗浄液を第２配管経路を通して第１洗浄槽に供給する第２ポンプと、第１、第２配管経路は、それぞれ最も低い箇所に排出用バルブ付きの排出用配管を備え、第１、第２配管経路は、それぞれ運転を休止する際に配管経路内の洗浄液が重力により排出用バルブを介して排出用配管から自然排出するように、排出用配管に向けて傾斜し、各配管経路中の分岐箇所における配管の内面下部は、前記排出用配管側に向かって低くなっている構成としてもよい。
【００３７】
この構成によれば、運転中の洗浄液の再生利用によって、洗浄液の寿命を飛躍的に伸ばすことができるので、配管内での固化防止を容易に実現することによる洗浄装置の製造コストを抑える効果に加えて、洗浄装置の洗浄液交換によるランニングコストを低減させるという効果がある。
【００３８】
また、本発明の洗浄液の排出方法についても上記と同様の構成、作用、効果を有する。
【００３９】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
本発明の実施の形態における洗浄装置は、液晶パネルのガラス基板やＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）のガラス基板や半導体ウェハー等の基材を洗浄（レジスト剥離）する装置であって、液晶パネルやＰＤＰや半導体を製造する半導体製造装置の一工程として設置される。
【００４０】
＜洗浄装置の概略構成＞
図１は、本発明の実施の形態１における洗浄装置の構成を示す図である。
【００４１】
同図に示すように洗浄装置は、ポンプ２１により薬液タンク２９内の洗浄液を配管経路ｐ９、ｐ４、ｐ１を介してシャワーノズル２２、２３、２４から噴出し、搬送路２７上で搬送される基材１００ｐを噴出した洗浄液によって洗浄し、洗浄後の洗浄液を洗浄槽２８からバルブ６を介して薬液タンクに循環させる。本洗浄装置は、洗浄液として常温では固化する炭酸エチレン（ＥＣ：Ｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｃａｒｂｏｎａｔｅ）を使用しているため、運転中は薬液タンク２９内のヒーター３２により液化している。
【００４２】
また、運転休止中に洗浄液が配管中で固化したり、それにより運転再開時に配管が詰まったりしないように、本洗浄装置は、（Ａ）配管経路の最も低い箇所に排出用バルブ４を有する排出用配管を備え、ポンプ停止直後に排出用バルブ４を介して配管経路内の洗浄液が重力により回収タンク３０に自然排出されるように、配管経路は排出用配管に向けて傾斜させてあり、（Ｂ）休止状態に移行するときにポンプ２１内の洗浄液を水に置換し、（Ｃ）シャワーノズル２２〜２４先端の細孔の洗浄液を落とすためエアーを通す構成としている。
【００４３】
＜洗浄液＞
洗浄液として使用される炭酸エチレン（融点３６．４℃、沸点２３８℃、引火点１６０℃）は、室温では無色無臭の固体であり、洗浄液として利用するには加温する必要があるが、非プロトン性極性溶媒として利用できる。沸点及び引火点が高く、毒性が小さいので工業上の利用に適している。この洗浄液は、第１に、有機皮膜の剥離性能が優れ（剥離速度が速く）、第２に、水溶性（中性）であるという特性を有している。
【００４４】
より詳しく説明すると、第１の点につき、レジスト剥離力が強いので、通常のレジストであれば２０μｍ／分以上と従来にない驚異的な剥離速度を実現する。炭酸エチレンは、強力なレジスト剥離力を有するだけでなく、環境面への悪影響及び経済性の問題もなく、毒性も非常に弱く、またレジスト以外の有機皮膜の除去にも有効である。
【００４５】
第２の点につき、洗浄液は水溶性なので、ガラス基板及びその表面に形成された下地膜へのダメージを与えず、純水によるリンスが可能である。
【００４６】
＜運転中の状態＞
運転中は、洗浄装置は、常温では固化する洗浄液を液化し、液化した洗浄装置を配管経路を通して洗浄液を循環させて、搬送された基材を洗浄する。
【００４７】
図１では、バルブの白抜き、黒塗りによって洗浄装置が運転中のバルブの開閉状態を表している。すなわち、白抜きのバルブ５、６、９〜１１、１３、１４は開いている状態を、黒塗りのバルブ２、４、７、８、１２は閉じている状態を、半分だけ黒塗りのバルブ３は半開きの状態（開度を調整されている状態）を示している。ただし、バルブ９〜１１は、シャワーノズル２２〜２４からの噴出量調整のために全開とは限らず開度調整される。
【００４８】
運転中の洗浄装置において、薬液タンク２９内の洗浄液は、配管ｐ９からポンプによって吸入される。ポンプから排出される洗浄液は、配管ｐ４、バルブ５、配管ｐ１を順に介してシャワーノズル２２〜２４から噴出される。シャワーノズル２２〜２４は、細孔（噴出孔）を多数有する円筒状の管であり基材１００ｐに洗浄液を噴出する。また、バルブ５と並行に設けられたバルブ３は、ポンプの流量の一部を直接薬液タンク２９に戻している。薬液タンク２９に直接戻しているのは、基材１００ｐへの噴出量の調整のためのバルブ９〜１１の開度調整とは逆向きにバルブ３を開度調整することによりポンプ２１の排出量の過剰分を逃がすためであり、かつ、配管ｐ７から流入する洗浄液によって薬液タンク２９内の洗浄液を攪拌して温度むらを解消するためである。
【００４９】
基材１００ｐに噴出された洗浄液は、原液タンク１００から洗浄槽２８に滴り落ちバルブ６を通って薬液タンク２９に戻る。
【００５０】
なお、リキッドカッタ２５は、バルブ１３を介して供給されるエアを基材１００ｐに吹きつけることにより、基材１００ｐ上の洗浄液が洗浄槽２８外に流出することを防止している。リキッドカッタ２６も同様である。
【００５１】
＜配管経路＞
図１における洗浄液の配管経路は、模式的ではあるが配管の高低を表している。洗浄液の配管経路において最も低い位置は、分岐箇所Ｃ３である。分岐箇所Ｃ３には排出用のバルブ４を有する配管が、さらに低い位置に傾斜を持って設けられ、回収タンク３０に繋がっている。
【００５２】
また、バルブ５に接続された配管ｐ１は、バルブ５、配管ｐ４から分岐箇所Ｃ３に向かって低くなるように傾斜している。配管ｐ１から分岐する配管ｐ２、ｐ３は、シャワーノズル２２、シャワーノズル２３に向かって低くなるように傾斜している。もっとも、同図のように垂直としてもよい。配管ｐ１の先のバルブ１１からシャワーノズル２４の配管は、シャワーノズル２４に向かって低くなるように傾斜している。
【００５３】
バルブ６を有する配管は薬液タンク２９に向かって、バルブ７を有する配管は回収タンク３０に向かって低くなるように傾斜している。
【００５４】
図２（ａ）は、配管ｐ１から配管ｐ２への分岐箇所ｃ２の様子を示す図である。
同図のように分岐箇所ｃ２は、自然排出できる液溜まりができないように分岐している。配管ｐ１から配管ｐ３への分岐箇所ｃ１及びその他の分岐箇所についても同様の構成としている。また、図２（ａ）の代わりに図２（ｂ）に示す構成としてもよい。
【００５５】
上記の配管経路によれば、ポンプ２１停止直後にバルブ４及び５を開放したとき、配管ｐ１内の洗浄液は、バルブ５から４を介して回収タンク３０に自然排出される。また、配管ｐ２、ｐ３及び配管ｐ１先端側（バルブ１１、シャワーノズル２４等を含む配管）では、洗浄液がシャワーノズル２２〜２４に向けて自然排出される。
【００５６】
また、バルブ６を閉めてバルブ７を開放すれば、洗浄槽２８の洗浄液は、バルブ７から配管ｐ８を通って回収タンク３０に自然排出される。
【００５７】
もっとも、ポンプ２１内の洗浄液は、ポンプ２１の構造にもよるが通常は自然排出できないので、ポンプ２１内の洗浄液を水に置換する（上記（Ｂ））。また、シャワーノズル２２〜２４は、自然排出した後噴出孔に洗浄液の膜が張り付き、固化により目詰まりする可能性がある。この点については、シャワーノズル２２〜２４の各配管にバルブ８から接続箇所１５、１６、１７を介して空気を通気することにより目詰まりを解消する（上記（Ｃ））。なお、バルブ８から接続箇所１５、１６への配管は図示を省略している。
【００５８】
＜運転休止中の状態＞
運転休止中、本洗浄装置は、基材の搬送とポンプによる配管経路内の洗浄液の循環とを停止している。
【００５９】
図３は、洗浄装置が運転休止中の各バルブの開閉状態を示す図である。同図のように、ポンプ２１回りではバルブ１、２、３、４及び５が閉じた状態である。このうち、バルブ１、２及び４は、置換された水がポンプ２１内に入っているので必ず閉じておかなければならない。バルブ３及び５は開いた状態でもよい。
【００６０】
また、バルブ６及び７は開いた状態であるが、閉じていてもよい。バルブ８、１２は閉じた状態である。
【００６１】
＜運転休止処理＞
図４は、洗浄装置において運転状態から運転休止状態に移行する運転休止処理を示すフローチャートである。同図の処理は、制御部３３に組み込まれたマイクロコンピュータがメモリ内のプログラムを実行することにより各バルブやポンプを制御することによって実行される。
【００６２】
制御部３３に備えられた操作部を介してオペレータから運転休止操作を受けたとき、制御部３３は、まず、ポンプ２１を停止することにより配管経路内の洗浄液の循環を停止し（Ｓ１）、バルブを制御することにより配管経路中の洗浄液を自然排出させ（Ｓ２、上記（Ａ））、さらにシャワーノズルに空気を通過させ（Ｓ３、上記（Ｃ））、ポンプ２１内の洗浄液を水に置換する（Ｓ４、上記（Ｂ））。
【００６３】
より具体的に、バルブの開閉状態の変化を示す図５（ａ）〜（ｄ）を用いて説明する。図５（ａ）は運転中のポンプ２１回りのバルブの開閉状態を示す図である。同図（ａ）のようにバルブ２、４は閉じた状態、バルブ１、５は開いた状態、バルブ３は半開きの状態であり、ポンプ２１は稼動している。
【００６４】
自然排出のステップ（Ｓ２）では、制御部３３は、ポンプ２１停止後に、まずバルブ１を閉め（Ｓ２１）、バルブ４を開け、自然排出が終わるまでしばらく（数分間）の間この状態を維持する（Ｓ２２）。図５（ｂ）は、自然排出中のバルブの開閉状態を示す。同図のように、配管経路中の洗浄液はバルブ５、３から排出用のバルブ４を通って回収タンク３０に重力によって自然排出することになる。なお、ステップＳ２２において制御部３３はバルブ３を全開にしてよい。また、図１に示したバルブ６を閉じてバルブ７を開いてもよい。こうすれば、洗浄槽２８からの洗浄液は薬液タンク２９ではなくに回収タンク３０に自然排出されることになる。こののち、制御部３３はバルブ４を閉める（Ｓ２３）。回収タンク３０に回収された洗浄液は、液化しているこの時点で、人手により薬液タンク２９に戻しておくものとする。
【００６５】
さらに、シャワーノズル通気のステップ（Ｓ３）では、制御部３３は、バルブ５を閉めてから（Ｓ３１）、バルブ８を開けて（Ｓ３２）短時間（数秒から数十秒）経過した後閉める（Ｓ３３）。その結果、シャワーノズル２２〜２４を通気するので、ノズル先端の噴出孔を洗浄液が塞ぐこと、ひいては固化により目詰まりを起こすことを防止している。
【００６６】
続いて、水に置換するステップ（Ｓ４）では、制御部３３は、バルブ３、５を閉めてから（Ｓ４１）、水供給用のバルブ２を開け（Ｓ４２）、ポンプ２１を短時間運転（Ｓ４３）する。ここで、短時間とは、ポンプ２１内の洗浄液が水に押し出されて排出され、ポンプ２１内に水を充填するのに十分な時間であり、数秒から数十秒程度である。図５（ｃ）は、ポンプ２１内の洗浄液を水に置換する様子を示す。バルブ４からはポンプ２１内に滞留していた洗浄液とバルブ２から吸入される水とが排出される。この排出液は、薬液タンク２９に洗浄液を移した後の空の回収タンク３０に一旦排出して破棄すればよい。
【００６７】
さらに、制御部３３は、ポンプ２１の短時間運転の終了後、バルブ２及び４を閉じる（Ｓ４４）。これにより、洗浄装置は運転休止状態になる。図５（ｄ）は、このときのバルブの開閉状態を状態を示す。ポンプ２１内は、水に置換されているので、ポンプ２１内で洗浄液が固化することを回避している。
【００６８】
＜運転再開処理＞
図６は、洗浄装置において運転休止状態から運転状態に移行する運転再開処理を示すフローチャートである。同図の処理も制御部３３によって実行される。
【００６９】
制御部３３に備えられた操作部を介してオペレータから運転を再開する操作を受けたとき、制御部３３は、薬液タンク２９内のヒーター３２を加熱することにより固化している洗浄液を液化し（Ｓ５）、バルブを制御することにより液化した後ポンプ２１に対して水抜きをしてから（Ｓ６）、ポンプを運転する（Ｓ７）。
【００７０】
より詳しく説明すると、水抜きのステップ（Ｓ６）では、制御部３３は、バルブ３を（開いている場合は）閉め、排出用バルブ４を開け（Ｓ６１）、薬液タンク２９から洗浄液を供給するバルブ１を開けてから（Ｓ６２）、ポンプを短時間運転する（Ｓ６３）。ここで、短時間とは、ポンプ２１内の水が洗浄液に追い出されて排出されるのに必要最小限な時間であり、数秒から数十秒程度である。図５（ｄ）は、水抜き時のポンプ２１回りの各バルブの開閉状態を示す。これにより、ポンプ２１内の水が洗浄液に押し出されて排出される。しかも、必要最小限の時間ポンプを運転することにより、洗浄液を無駄に排出することなくかつ水により洗浄液が薄まることもない。
【００７１】
さらに、制御部３３は、バルブ４を閉め（Ｓ６４）、バルブ５を開ける（Ｓ６５）。このとき、バルブ３を半開きにし、バルブ７を（開いている場合は）閉め、バルブ６を（閉じている場合は）開ける。この後、制御部３３はポンプ２１の運転を再開する（Ｓ７）。これにより、洗浄装置は運転状態となる（図５（ａ）参照）。
【００７２】
以上説明してきたように本実施の形態における洗浄装置は、（Ａ）配管経路の最も低い箇所に排出用バルブ４を有する排出用配管を備え、ポンプ停止直後に排出用バルブ４を介して配管経路内の洗浄液が重力により回収タンク３０に自然排出されるように、配管経路は排出用配管に向けて傾斜させて構成しているので、配管内で洗浄液が固化することを低コストで簡単に防止することができる。言い換えれば、運転再開時に固化した洗浄液による配管詰まりを防止することができる。その結果、全ての配管を二重配管とした構成と比較して、常温で固化する洗浄液の利用を洗浄装置の製造コストを高くすることなく簡単な構成で実現することができる。
また、（Ｂ）休止状態に移行するときにポンプ２１内の洗浄液を水に置換する構成なので、ポンプ２１内で洗浄液が固化することを防止することができる。つまり、運転再開時にポンプ２１が固化した洗浄液によって損傷することを防止することができる。さらに、（Ｃ）シャワーノズル２２〜２４先端の細孔の洗浄液をエアーを通す構成としているので、運転再開時にシャワーノズル２２〜２４が目詰まりすることを防止することができる。
【００７３】
さらに、常温では固化する洗浄液を液化するためのヒーターを配管経路の随所に配置する必要がなく、タンク内の１箇所のみとすることができる。
【００７４】
＜変形例＞
なお、本実施の形態における洗浄装置の構成は上記に限らず種々の変換が可能である。以下に変形例を示す。
【００７５】
（１）上記実施形態ではバルブ８を介してシャワーノズル２２〜２４に空気を通過している（図４のＳ３参照）が、この代わりに図７（ａ）に示すシャワーノズルを備える構成としてもよい。同図（ａ）において、シャワーノズル２２〜２４は、接続部２２ａ〜２４ａにより配管ｐ１又はその分岐配管に接続される。接続部２２ａ〜２４ａはそれぞれ同図（ｂ）及び同図（ｃ）に示すように少なくとも１８０度回転することが可能である。また、接続部２２ａ〜２４ａは、配管ｐ１よりも高い位置に配置され、配管ｐ１はバルブ５から排出用バルブ４に向かって低くなるように傾斜して配置されている。
【００７６】
この構成では、図４に示した運転休止処理において、シャワーノズル通気ステップ（Ｓ３）を削除し、自然排出ステップ（Ｓ２）の前に、ノズルを上向きに反転させるステップを設ければよい。このステップでは、シャワーノズル２２〜２４を人手又はモータによりシャワーノズル先端を上向きに反転させる（図７（ｂ）から同図（ｃ）の状態にする）。同図（ｃ）の状態では、シャワーノズル先端が上向きなので、自然排出時（図４のＳ２）に配管経路内の洗浄液の流れにより、シャワーノズルの噴出孔から吸入される空気が通過し、噴出孔を開いた状態とすることができる。ノズル先端が上向きなので、噴出孔が一旦開いた状態になれば、配管内壁の残留洗浄液が徐々に流れ落ちる下向きの場合とは異なり、開いた状態を維持する。また、図６に示した運転再開処理では、ポンプ運転ステップ（Ｓ７）より前に、ノズル先端を下向きに反転させるステップを設ければよい（図７（ｃ）から同図（ｂ）の状態にする）。
【００７７】
（２）図１に示した洗浄装置において、洗浄液を濾過するフィルタを備え、ポンプ２１と同様に、運転休止中はフィルタ内部を水に置換した状態とする構成としてもよい。図８は、フィルタを追加した構成例を示すポンプ２１周辺の図である。同図ではポンプ２１の直後にフィルタ３４を配置した構成としている。この構成によれば、図４に示した水に置換するステップ（Ｓ４）、図６に示した水抜きステップ（Ｓ６）によって、ポンプ２１と共にフィルタ３４も水置換および水抜きをすることができる。その結果、フィルタ３４内で洗浄液が固化することを防止することができる。つまり、固化によるフィルタ詰まりを防止することができる。
【００７８】
また、図８ではフィルタ３４はポンプ２１の後段に配置されているが、配管経路の他の位置でもよい。その場合、フィルタ流入側の配管に水供給用のバルブ及び配管を設け、フィルタ流出側の配管に水抜き用のバルブ及び配管を設けた構成とし、当該フィルタに対して、図４に示した水に置換するステップ（Ｓ４）および図６に示した水抜きステップ（Ｓ６）を実行する構成とすればよい。
【００７９】
（３）図４に示した運転休止処理、図５に示した運転再開処理は、制御部３３の制御によって実行しているが、オペレータによる人手で実行してもよい。その場合でも同じ効果を得ることができる。
【００８０】
（４）ポンプ及びフィルタの水置換と水抜きを行う代わりに、ポンプ及びフィルタを加熱し、それらの内部の固化した洗浄液を液化する構成としてもよい。例えば、熱線をポンプ及びフィルタに巻き付ける構成や、温水に浸して加熱する構成としてもよい。
【００８１】
（５）フィルタの水置換と水抜きを行う代わりに、フィルタに空気を通す構成とし、フィルタ内部の洗浄液を排除して固化による目詰まりを解消してもよい。
【００８２】
（６）ポンプが空運転可能な種類であれば、上記の水置換及び水抜きは不要である。
【００８３】
（実施の形態２）
実施の形態１では洗浄液を回収タンクに回収する構成を示したが、本実施の形態では薬液タンクに回収する構成について説明する。
【００８４】
図９は、本発明の実施の形態２における洗浄装置の構成を示す図である。同図の洗浄装置において、図１の洗浄装置と同じ構成要素には同じ符号を付してあるので説明を省略し、主に異なる点を説明する。
【００８５】
図９の洗浄装置は、図１と比較して、ポンプ２１周辺においてバルブ３、バルブ４の代わりにバルブ２００、２０１、フィルタ３４を備える点と、配管経路が図９にようになった点と異なっている。
【００８６】
バルブ２００は、運転中は半開きの状態でポンプの流量の一部を直接薬液タンク２９に戻すことにより薬液タンク２９内の液化洗浄液を攪拌し、運転休止処理では薬液タンク２９への自然排出用のバルブである。
【００８７】
バルブ２０１は、運転再開処理における水抜き用のバルブである。
【００８８】
フィルタ３４は、ポンプ２１と共に内部の洗浄液が水に置換される。
【００８９】
配管経路について、配管ｐ１０はバルブ２００を介して薬液タンク２９に向かって低くなるように傾斜している。バルブ２００から薬液タンク２９への配管部分は、配管経路中最も低い位置に設けられる。
【００９０】
また、ポンプ２１からフィルタ３４と分岐点ｃ３とバルブ２０１までの配管部分は、運転休止時には水に置換されるので図９のように配管ｐ１０よりも低い位置でもかまわない。ただし、上記配管部分におけるポンプ２１からフィルタ３４を介して分岐箇所ｃ３へ至る配管は、分岐箇所ｃ３よりも高い位置に設けることが望ましい。そうすれば、上記配管部分に滞留する洗浄液をできるだけ多く回収することができる。
【００９１】
これ以外の配管については図１の洗浄装置と同様であるので、運転休止処理において洗浄液が回収タンクではなく薬液タンク２９に直接自然排出されることになる。
【００９２】
図９ではバルブの白抜きと黒塗りにより運転中のバルブの状態を示している。運転中は、バルブ２、１２、２０１、８が閉じた状態であり、バルブ１、５、６、９〜１１が開いている。バルブ２００は、図１のバルブ３と同様に半開きの状態である。
【００９３】
また、休止状態では、バルブ１、５、２、２００、２０１、１２、８が閉じた状態であり、それ以外がどちらでもよい。
【００９４】
＜運転休止処理＞
図１０は、洗浄装置において運転状態から運転休止状態に移行する運転休止処理を示すフローチャートである。同図の処理は、制御部３３ａにより各バルブやポンプを制御することによって実行される。
【００９５】
同図は、図４に示した運転休止処理と比較して、Ｓ２、Ｓ４の代わりにＳ２０、Ｓ４０を実行する点が異なっている。これ以外は同じなので説明を省略し、異なる点を中心に説明する
自然排出のステップ（Ｓ２０）では、制御部３３ａは、ポンプ停止後に、まずバルブ１を閉め（Ｓ２１）、バルブ２００を開け、自然排出が終わるまでしばらく（数分間）の間この状態を維持する（Ｓ２２１）。これにより、配管ｐ１内の洗浄液は、バルブ５、分岐点ｃ３、バルブ２００を介して薬液タンク２９に自然排出される。配管ｐ２、ｐ３およびバルブ１１を有する配管は、シャワーノズル２２〜２４から洗浄槽２８に自然排出される。さらに、洗浄槽２８の洗浄液は、バルブ６を介して薬液タンク２９に自然排出されることになる。
【００９６】
また、フィルタ３４が分岐点ｃ３より高い位置に配置されている場合には、フィルタ３４内の洗浄液も分岐点ｃ３、バルブ２００介して薬液タンク２９に自然排出される。フィルタ３４が分岐点ｃ３より低い位置に配置されている場合には、分岐点ｃ３、フィルタ３４、ポンプ２１、バルブ１、配管ｐ９を含む配管部分内に洗浄液が溜まることになるが、この配管部分内の洗浄液は直後に水に置換される。この後、制御部３３ａはバルブ２００を閉める（Ｓ２３１）。
【００９７】
さらに、シャワーノズル通気ステップ（Ｓ３）の後、水に置換するステップ（Ｓ４０）では、制御部３３ａは、バルブ５を（開いている場合は）閉めてから（Ｓ４１１）、水供給用のバルブ２、水排出量のバルブ２０１を開け（Ｓ４２）、ポンプ２１を短時間運転（Ｓ４３）する。ここで、短時間とは、ポンプ２１及びフィルタ３４内の洗浄液が水に押し出されて排出され、ポンプ２１及びフィルタ３４内に水を充填するのに十分な時間であり、数秒から数十秒程度である。
【００９８】
ポンプ２１の短時間運転の終了後、制御部３３ａは、バルブ２、２０１を閉じる（Ｓ４４）。このようにして、ポンプ２１及びフィルタ３４内の洗浄液が水に置換されるので、洗浄液の固化によるポンプ２１の損傷及びフィルタの目詰まりを防止している。
【００９９】
＜運転再開処理＞
図１１は、運転再開処理を示すフローチャートである。同図の処理も制御部３３ａにより各バルブやポンプを制御することによって実行される。また、同図は、図６に示した運転休止処理と比較して、Ｓ６の代わりにＳ６０を実行する点が異なっている。これ以外は同じなので説明を省略し、異なる点を中心に説明する。
【０１００】
水抜きステップ（Ｓ６０）において、制御部３３ａは、バルブ２００を（開いている場合は）閉め、バルブ２０１を開け（Ｓ６１０）、バルブ１を開けてから（Ｓ６２）、ポンプを短時間運転する（Ｓ６３）。ここで、短時間とは、ポンプ２１及びフィルタ３４内の水が洗浄液に追い出されて排出されるのに必要最小限な時間であり、数秒から数十秒程度である。これにより、ポンプ２１及びフィルタ３４内の水が洗浄液に押し出されて排出される。
【０１０１】
さらに、制御部３３ａは、バルブ２０１を閉め（Ｓ６４１）、バルブ５を開ける（Ｓ６５）。このとき、バルブ２００を半開きにし、バルブ６を（閉じている場合は）開ける。この後、制御部３３ａはポンプ２１の運転を再開する（Ｓ７）。これにより、洗浄装置は運転状態となる。
【０１０２】
以上説明してきたように本実施の形態における洗浄装置は、（Ａ）水で置換される配管部分を除く配管経路の最も低い箇所に排出用バルブ２００を有する排出用配管を備え、配管経路は排出用配管に向けて傾斜させて構成しているので、配管内で洗浄液が固化することを防止することができる。しかも、回収用のタンクではなく薬液タンク２９に自然排出により直接回収することができる。（Ｂ）ポンプ２１及びフィルタ３４内の水置換及び（Ｃ）シャワーノズルの通気による効果は実施の形態１と同じである。
【０１０３】
＜変形例＞
なお、本実施の形態における洗浄装置の構成は上記に限らず種々の変換が可能である。以下に変形例を示す。
【０１０４】
（１）図１０に示した運転休止処理中の水置換ステップ（Ｓ４０）ではポンプ２１及びフィルタ３４内の洗浄液をバルブ２０１から排出しているが、バルブ２００から薬液タンク２９に戻す構成とすることができる。この場合、Ｓ４０の代わりに、制御部３３ａは、バルブ２及びバルブ２００を開けて、置換される洗浄液をバルブ２００から薬液タンク２９に排出し、バルブ２０１を開けバルブ２００を閉めて水をバルブ２０１から排出するようにすればよい。ここで、ポンプ２１の運転時間は、ポンプ２１からフィルタ３４、分岐点ｃ３、バルブ２０１までの配管、ポンプ２１、フィルタ３４の各容量の和に相当する流量となる時間だけ運転すればよい。これにより、洗浄液を無駄に排出することを防止することができる。
【０１０５】
（２）本実施の形態では、薬液タンク２９に自然排出しているが、薬液タンク２９と外部の回収タンクとの間で排出先を切り替える構成としてもよい。例えば、バルブ２００を有する排出用配管をフレクシブル管とすればよい。
【０１０６】
（３）実施の形態１に示した変形例のうち技術的に矛盾しないものは当然に適用してもよい。
【０１０７】
（実施の形態３）
本実施の形態では、洗浄液を循環再生利用する二槽式とした構成について説明する。
【０１０８】
＜洗浄装置の構成＞
図１２は、本発明の実施の形態３における洗浄装置の構成を示す図である。同図の洗浄装置は、第１洗浄槽２８ａ及び第２洗浄槽２８ｂにおける二段階の洗浄を行う。その際、第１洗浄槽２８ａの使用済の洗浄液を再生装置３００にてオゾン通気により再生してから配管ｐ１４を介して第２洗浄槽２８ｂでの洗浄用に供給し、第２洗浄槽２８ｂの使用済の洗浄液を薬液タンク２９から再生することなくそのまま洗浄液として配管ｐ１３を介して第１洗浄槽２８ａに供給する。一箇所のみの再生としているのは、有機皮膜除去性能が極めて高くまた再生力の強い炭酸エチレンを採用していることによる。また一箇所で再生するので二箇所で再生する場合に比べて、再生能力が半分でよく、装置の小型化を容易にしている。
【０１０９】
また、（Ａ）配管経路については、第１、第２段階のそれぞれで再生装置３００内のタンク、薬液タンク２９に向かって自然排出するように傾斜を設けている。第１段階の配管経路では、配管ｐ１４からバルブ３０５、分岐点ｃ６、バルブ５００を介して再生装置３００に至る配管は、再生装置３００内のタンクに向かって低くなるように傾斜している。配管ｐ１５は、第１洗浄槽２８ａから再生装置３００内のタンクに向かって低くなるように傾斜している。
【０１１０】
バルブ３０１、３０２、ポンプ３２１、フィルタ３３３、バルブ５００、５０１を含む配管は、実施の形態２の洗浄装置におけるポンプ２１周辺と全く同じ構成であり、水に置換される部分である。バルブ３０７からシャワーノズル３１３までの配管は、第１洗浄槽２８ａに向かって低くなるように傾斜している。
【０１１１】
第２段階の配管経路については、配管ｐ１３からバルブ５、分岐点ｃ５、バルブ２００を介して薬液タンク２９に至る配管は、薬液タンク２９に向かって低くなるように傾斜している。また、実施の形態２の洗浄装置と同じ符号を付した構成は、同じように配管され同じ構成である。
【０１１２】
この構成により、再生装置３００に至る配管経路と、薬液タンク２９に至る配管経路は、いずれも実施の形態２と同様に、配管内で洗浄液が固化することを防止している。
【０１１３】
さらに、（Ｂ）ポンプ及びフィルタの水置換、及び（Ｃ）シャワーノズル２２の通気の点についても、第１段階、第２段階のそれぞれで、実施の形態２と全く同様に構成されている。
【０１１４】
再生装置３００は、第１洗浄槽２８ａに溜まった洗浄液を排管ｐ１５を介して回収しオゾン通気により再生する。洗浄液である炭酸エチレンは、基材から剥離されて洗浄液中に溶解したレジストを、５０℃以下のオゾンガスを通気させることにより短時間で低分子量物質にまで分解することができる。その際、炭酸エチレンはオゾン通気により化学的な変化を受けないので、再生後もレジストを剥離又は除去する性能がほとんど劣化せず、循環再生利用に適している。
【０１１５】
＜再生装置の構成＞
図１３は、再生装置３００の構成例を示す図である。同図のように、再生装置３００は、主としてオゾンガス通気によるレジスト分解と、窒素ガス通気によるオゾン脱気とを行う。また、内部に複数のヒーターを有するので、運転休止中に固化した洗浄液を運転再開時に液化する。
【０１１６】
＜再生装置の洗浄液に関する構成＞
再生装置３００は、洗浄液が通過する構成として、第１洗浄槽２８ａから配管ｐ１５及びバルブ５００からの配管に接続された原液取込管１０１から取り込まれた洗浄後の洗浄液を原液として貯める原液タンク１００と、原液タンク１００からの原液を吸入し逆止弁１４１、バルブ１４０、フローティング流量計１０３を介して第１通気処理管１０４に送り出す原液ポンプ１０２と、原液ポンプ１０２から供給される原液にオゾンガスを通気する第１通気処理管１０４と、第１通気処理管１０４から連結管１０５を介して供給される洗浄液にオゾンガスを通気する第２通気処理管１０６と、第２通気処理管１０６から連結管１０７を介して供給される洗浄液に窒素ガスを通気することによりオゾンガスを脱気する脱気処理管１０８と、脱気処理管１０８から連結管１０９を介して供給される洗浄液を処理液として貯める処理液タンク１１０とを備える。第１通気処理管１０４、第２通気処理管１０６、脱気処理管１０８にはそれぞれ加熱器１２６ｃ、１２６ｂ、１２ｂａが巻きつけられている。また、洗浄液を通す連結管１０５、１０７、１０９、ポンプ１０２、迂回管１２９及び迂回管１３１等には、熱線が巻きつけられ（又は貼付けられ）、運転再開時に固化した洗浄液を液化するように構成されている。
【０１１７】
原液タンク１００内のヒーター１４２及び冷却管１２２は、運転中に原液が固化せず、かつ再生に適切な温度にするための温度調整用である。オゾンガスの溶解度を上げると共にオゾンガスの分解を抑制するため、適切な温度としては、例えば炭酸エチレンの場合４０〜５０度程度の範囲内が望ましい。また、ヒーター１４２は、運転再開時は、固化した洗浄液を液化する。
【０１１８】
原液タンク１００内の冷却管１２２は、運転中に外部から自動バルブ（図外）および冷水取込管１２１を介して供給される冷水により原液を冷却し、冷水排出管１２３を介して外部に排水する。上記の自動バルブ（図外）の開度調整は、ヒーター１４２とともに適切な温度となるように制御される。
【０１１９】
第１通気処理管１０４の周囲に取り付けられた冷却器１１９は、外部から冷水取込管１２１を介して供給される冷水により第１通気処理管１０４を冷却し、冷水排出管１２０を介して外部に排水する。これにより、オゾンガスの溶解度を上げると共にオゾンガスの分解を防ぎ、オゾンガス通気によるレジスト分解を促進する適温に保つ。４０℃〜１００℃の範囲内でよいが、４０〜５０℃程度が望ましい。
【０１２０】
ヒーター１３２は、運転中に再生及び脱気後の洗浄液を例えば８０℃程度に加温する。運転再開時は処理液タンク１１０内の固化した洗浄液を液化する。
【０１２１】
レーザーセンサ１３０は、四方弁１２８により迂回管１２９及び迂回管１３１を迂回するオゾン再生後の洗浄液について、レジスト色の濃度を測定する。洗浄液は、レジストが溶解していない場合は無色透明であるが、レジストの溶解度が高くなるにつれて淡黄色、橙色、茶色と濃くなっていく。再生後の洗浄液は通常は透明になるので、レーザーセンサ１３０によって測定されたレジスト色の濃度は、オゾンガス系統や洗浄液の循環系統等における異常発生の有無の判定等に用いられる。
【０１２２】
処理液タンク１１０内の処理液は、再生された洗浄液として図１２に示したバルブ３０１を有する連結管を介してポンプ３２１に吸入される。
【０１２３】
＜再生装置のオゾンガス及び窒素ガスに関する構成＞
再生装置３００におけるオゾンガスに関する構成について、オゾンガス発生器（図外）により送出されるオゾンガスは、オゾン取込管１１４から第２通気処理管１０６に供給され、オゾン管１１５を介して第１通気処理管１０４に供給され、さらにオゾン管１１６を介して原液タンク１００に通気される。
【０１２４】
再生装置３００における窒素ガスに関する構成について、窒素ガスボンベ（図外）により送出される窒素ガスは、窒素取込管１２４を脱気処理管１０８に供給され、窒素取込管１２５を介して原液タンク１００に排出される。ここでは窒素ガスという不活性ガスを用いているが、空気その他のガス（気体）であってもよい。原液タンク１００に通気されたオゾンガス及び供給された窒素ガスは、オゾン分解器１４５を介して排気管１１７から排気される。
【０１２５】
加熱器１２６ａは、運転中、処理液タンク１１０での洗浄液の加熱に先立って脱気処理管１０８を流れる洗浄液を予備加熱する。この予備加熱は、脱気処理管１０８におえけるオゾンガスの分解及び脱気の促進も兼ねている。このとき、温度計１２７に測定された温度に応じて加熱量が調整される。
【０１２６】
オゾンセンサ１３５、１３７は、それぞれオゾンガスの濃度を確認用である。
オゾン分解器１４５は、触媒によりオゾンガスを分解して無害化する。
【０１２７】
本実施の形態における洗浄装置は、以上のように構成される。運転休止処理及び運転再開処理は、制御部３３ａと同様の制御部（図外）によって、再生装置３００、薬液タンク２９のそれぞれに対して実施の形態２で説明した図１０及び図１１と同様の処理を行う。
【０１２８】
以上説明してきたように本実施の形態における洗浄装置によれば、運転中は、炭酸エチレンにより極めて高い洗浄力を得ており、第１洗浄槽２８ａの洗浄後の洗浄液を再生装置３００により再生し、再生後の最もクリーンな洗浄液を第２洗浄槽２８ｂに供給するように構成しているので、洗浄液の再生能力と相俟って、洗浄に使用した液量（洗浄液の噴出量）の半分を再生するだけでよく、装置の小型化に適している。
【０１２９】
また、運転休止中は、（Ａ）第１段階、第２段階のそれぞれで、水で置換される配管部分を除く配管経路の最も低い箇所に排出用バルブ５００、２００を有する排出用配管を備え、配管経路は排出用配管に向けて傾斜させて構成しているので、配管内で洗浄液が固化することを防止することができる。しかも、再生装置３００内のタンクと薬液タンク２９に自然排出により直接回収することができる。（Ｂ）ポンプ３２１及びフィルタ３３３と、ポンプ２１及びフィルタ３４内をそれぞれの水置換することにより、ポンプの損傷及びフィルタの目詰まりを防止し、（Ｃ）シャワーノズル３１２及び３１３の通気により噴出孔の目詰まりを防止しするという効果がある。
【０１３０】
さらに、運転中の再生利用によって、洗浄液の寿命を飛躍的に伸ばすことができるので、洗浄装置の製造コストを抑えるという効果に加えて、洗浄液交換によるランニングコストを低減させるという効果がある
【０１３１】
＜変形例＞
なお、本実施の形態における洗浄装置の構成は上記に限らず種々の変換が可能である。以下に変形例を示す。
【０１３２】
（１）運転休止処理において再生装置３００内部の洗浄液を水に置換し、運転再開処理において再生装置３００から水抜きをする構成としてもよい。その場合、再生装置３００内部のヒーターを減らすことができるので、再生装置の製造コストも低減させることができる。
【０１３３】
（２）再生装置３００の代わりに薬液タンクを配置した構成としてもよい。
【０１３４】
（３）本実施形態では、２段階の洗浄装置を示したが３段階以上の多段階の洗浄装置としてもよい。この場合、再生装置は、第１段階の洗浄による使用済の洗浄液を再生し、再生された洗浄液を最後段階に供給し、前後する２つの段階の間で後段の洗浄による使用済の洗浄液を前段に洗浄液として供給する構成とし、各段階において薬液上記（Ａ）〜（Ｃ）（配管の傾斜、水置換、シャワーノズルの通気）を行う構成とすればよい。
【０１３５】
（４）本実施の形態のおける二段階の洗浄装置の前段階として図１に示した洗浄装置を追加した構成としてもよい。この場合、前段階では、第１段階以降の循環再生経路とは独立して、再生することなく前段階だけで繰り返し循環利用する。繰り返しの循環利用により洗浄液のクリーン度が許容値を下回れば、交換すれことになる。前段階では、洗浄液のクリーン度が多少悪くなったとしてもレジストを粗く剥離又は除去ことができるので、その次の第１段階以降ではより確実にレジスト剥離又は除去することができる。通常のレジストよりも剥離又は除去しにくい、例えばイオン注入などにより強く変質したレジスト膜や、ドライエッチングで変質したレジスト膜や、通常よりも厚いレジスト膜が付着した基材などに適している。
【０１３６】
（５）第２段階において、洗浄液を薬液タンク２９に自然排出により回収しているが、第２段階の薬液タンク２９周辺の構成部分の代わりに図１に示した薬液タンク周りの構成部分を備えてもよい。この場合、第２段階の洗浄液を薬液タンク２９ではなく回収タンクに自然排出により回収することになる。第１段階においても同様である。
【０１３７】
（６）実施の形態１、２及び３に示した変形例のうち技術的に矛盾しないものは適用してよい。
【０１３８】
（実施の形態４）
実施の形態２では洗浄装置は基材を１枚ずつ洗浄するいわゆる枚葉式の構成例を説明したが、本実施の形態では、複数枚の基材を同時に洗浄するいわゆるバッチ式の構成例について説明する。
【０１３９】
図１４は、本発明の実施の形態４における洗浄装置の構成を示す図である。同図の洗浄装置は、図９に示した洗浄装置と比較して、バルブ５及びバルブ６より上に位置する構成部分の代わりに洗浄槽４１、オーバーフロー槽４２、流量計４３、導出管４４、導出管４５を備えている点が異なる。
【０１４０】
洗浄槽４１は、基板カセット又は搬送チャックにより保持された複数枚の基材を洗浄液に浸漬することにより洗浄する。オーバーフロー槽４２は、洗浄槽４１の周囲に取り付けられ、洗浄槽４１から溢れ出した洗浄液を配管ｐ１１、バルブ６を介して薬液タンク２９に排出する。
【０１４１】
配管ｐ１１は、薬液タンク２９に向かって低くなるように傾斜している。配管ｐ１２から配管ｐ１０は、バルブ５から薬液タンク２９に向かって低くなるように傾斜している。
【０１４２】
この構成によれば、実施の形態２の洗浄装置と同様の効果をバッチ式の場合でも得ることができる。
【０１４３】
＜変形例＞
なお、本実施の形態における洗浄装置の構成は上記に限らず種々の変換が可能である。以下に変形例を示す。
【０１４４】
（１）洗浄液を薬液タンク２９に自然排出により回収しているが、この薬液タンク２９周辺の構成の代わりに図１に示した薬液タンク周辺の構成を備えてもよい。この場合、洗浄液を薬液タンク２９ではなく回収タンクに自然排出により回収することができる。
【０１４５】
（２）上記実施形態１〜３に示した変形例のうち技術的に矛盾しないものは適用してよい。
【０１４６】
（実施の形態５）
図１５は、本発明の実施の形態５における二槽のバッチ式の洗浄装置の構成を示す図である。同図の洗浄装置は、実施の形態３における図１２に示した洗浄装置と比較して、洗浄槽を含む上の構成部分の代わりにバッチ式の二つの洗浄槽を備える点が異なっている。
【０１４７】
複数枚の基材は、第１洗浄槽１５０ａで洗浄された後さらに第１洗浄槽１５０ｂで洗浄される。配管ｐ１６は、バルブ３０５に向かって低くなるように傾斜しており、配管ｐ１７は、バルブ５に向かって低くなるように傾斜している。
【０１４８】
この構成によって、実施の形態３の洗浄装置と同様の効果を二槽のバッチ式の場合にも得ることができる。
＜変形例＞
なお、本実施の形態における洗浄装置の構成は上記に限らず種々の変換が可能である。以下に変形例を示す。
【０１４９】
（１）実施形態１〜４に示した変形例のうち技術的に矛盾しないものは適用してよい。
【０１５０】
（２）実施の形態１における洗浄装置（図１参照）、実施の形態２における洗浄装置（図９参照）、実施の形態４における洗浄装置（図１４参照）について、薬液タンク２９の代わりに図１２で示した再生装置３００を備える構成としてもよい。これにより、洗浄液の寿命を飛躍的に伸ばすことができる。
【０１５１】
【発明の効果】
以上説明してきたように本発明における洗浄装置は、常温では固化する洗浄液を利用する場合、配管経路内の洗浄液が重力により自然排出させる構成なので、配管内で洗浄液が固化することを低コストで容易に防止することができる。
【０１５２】
また、休止状態に移行するときにポンプ内、フィルタ内の洗浄液を水に置換する構成なので、
運転再開時にポンプが固化した洗浄液によって損傷することを防止することができる。
【０１５３】
さらに、シャワーノズル先端の噴出孔にエアーを通す構成としているので、運転再開時にシャワーノズルが目詰まりすることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１における洗浄装置の構成を示す図である。（外のタンク）
【図２】メイン配管とサブ配管の接続箇所を図である。
【図３】運転休止中におけるバルブの開閉状態を示す図である。
【図４】運転休止処理を示すフローチャートである。
【図５】ポンプ回りにおける洗浄液及び水の流れを示す説明図である。
【図６】運転再開処理を示すフローチャートである。
【図７】シャワーノズル管の他の構成例を示す図である。
【図８】（なお）ポンプ後段にフィルタを追加した構成を示す図である。
【図９】実施の形態２における洗浄装置の構成を示す図である。（中のタンクに回収）
【図１０】運転休止処理を示すフローチャートである。
【図１１】運転再開処理を示すフローチャートである。
【図１２】実施の形態３における洗浄装置の構成を示す図である。
【図１３】再生装置の構成を示す図である。
【図１４】実施の形態４におけるバッチ式（一槽）の洗浄装置の構成を示す図である。
【図１５】実施の形態５におけるバッチ式（二槽）の洗浄装置の構成を示す図である。
【図１６】従来の半導体製造装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
１〜１３    バルブ
Ｃ３    分岐箇所
２１    ポンプ
２２〜２４  シャワーノズル
２２ａ〜２４ａ  接続部
２５、２６    リキッドカッタ
２７    搬送路
２８    洗浄槽
２９    薬液タンク
３０    回収タンク
３２    ヒーター
３３    制御部
３４    フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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