(57)【要約】【課題】液体材料の液滴の飛行曲がりが生じた場合に、該飛行曲がり液体材料の液滴を消滅させることができる薄膜パターン形成装置を提供することを課題とする。【解決手段】液体材料の液滴１１を基板上に配置して膜パターンを形成する薄膜パターン形成装置であって、上記基板上に上記液体材料の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド１２を有する液滴吐出手段と、該液滴吐出ヘッドと上記基板との位置を相対的に移動可能とする移動手段と、液滴吐出手段又は移動手段の少なくとも一方を制御する制御手段とを具備すると共に、上記液滴吐出手段に液滴吐出ヘッド１２ら吐出する飛行曲がりが生じた飛行曲がり液滴を消滅させる飛行曲がり液体材料の液滴消滅手段であるレーザ照射手段５０を設けた。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体材料の液滴を基板上に配置して膜パターンを形成する薄膜パターン形成装置であって、
上記基板上に上記液体材料の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出手段と、
該液滴吐出ヘッドと上記基板との位置を相対的に移動可能とする移動手段と、
液滴吐出手段又は移動手段の少なくとも一方を制御する制御手段とを具備すると共に、
上記液滴吐出手段に液滴吐出ヘッドから吐出する飛行曲がりが生じた液体材料の液滴を消滅させる飛行曲がり液滴消滅手段を設けたことを特徴とする薄膜パターン形成装置。
【請求項２】
請求項１において、
上記飛行曲がり液滴消滅手段が該飛行曲がりが生じた液体材料の液滴に高いエネルギーを付与して消滅させるものであることを特徴とする薄膜パターン形成装置。
【請求項３】
請求項１において、
上記飛行曲がり液滴消滅手段がレーザ照射手段であることを特徴とする薄膜パターン形成装置。
【請求項４】
請求項３において、
上記レーザ照射手段がパルスレーザ照射手段であることを特徴とする薄膜パターン形成装置。
【請求項５】
請求項３において、
上記レーザ光を格子状に照射すると共に、その格子中心を液体材料の液滴の落下鉛直中心軸とすることを特徴とする薄膜パターン形成方法。
【請求項６】
液体材料の液滴を基板上に配置して膜パターンを形成する薄膜パターン形成方法であって、
上記基板上に上記液体材料の液滴を液滴吐出ヘッドから吐出する際に、
上記飛行曲がりが生じた液体材料の液滴に高エネルギーを付与して消滅させることを特徴とする薄膜パターン形成方法。
【請求項７】
請求項６において、
上記高いエネルギーがレーザ照射手段からのレーザ光であることを特徴とする薄膜パターン形成方法。
【請求項８】
請求項７において、
上記レーザがパルスレーザであることを特徴とする薄膜パターン形成方法。
【請求項９】
請求項７において、
上記レーザ光を格子状に照射すると共に、その格子中心を液体材料の液滴の落下鉛直中心軸とし、格子状レーザ光により、飛行曲がりが生じた液体材料の液滴を消滅させることを特徴とする薄膜パターン形成方法。
【請求項１０】
請求項６において、
液体材料の液滴を吐出する吐出工程と、
飛行曲がりが生じた液体材料の液滴が発生した際に、レーザ光を照射して飛行曲がりが生じた液体材料の液滴を消滅させる飛行曲がり液滴消滅工程と、
飛行曲がりが生じた液体材料の液滴を消滅した際に、不吐出の情報により、再度液体材料の液滴を吐出させる再吐出工程と、からなることを特徴とする薄膜パターン形成方法。
【請求項１１】
液体材料の液滴の飛行曲がりをレーザにより監視するステップと、
飛行曲がり液滴を検出した場合には、補完印字データの作成をするステップとをコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１２】
請求項１乃至５のいずれか１つに記載の薄膜パターン形成装置を用いて製造されてなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
請求項１乃至５のいずれか１つに記載の薄膜パターン形成装置を用いて製造されてなる電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、描画装置に係り、特に安定した液滴吐出を可能とする薄膜パターン形成装置、薄膜パターン形成方法、プログラム、電子光学装置及び電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、液晶表示装置等に使用されているカラーフィルタ等や微細パターンを描画する場合に、液滴吐出を可能とする薄膜パターン形成装置が用いられており、インク等の液体材料の液滴を液滴吐出する液滴吐出手段には、例えばインクを吐出する例えばインクジェットヘッドが備えられている。このインクジェットヘッドには、インクが吐出する吐出ノズルが備えられており、このような吐出ノズルから吐出されるインクがカラーフィルタに着弾するようになっている。具体的には、インクジェットヘッドには、圧電素子等が配置され、この圧電素子に電圧が印加されると、その電圧に応じて圧電素子が変形し、インクノズルからインクが吐出されるようになっている。このため、インク吐出が制御し易いインクジェットヘッドとなっている。このようにインクを吐出する方式は、インクジェット方式と称されている。
【０００３】
ところで、このようなインクジェット方式のインクジェットヘッドには、図１１に示すように、インクジェットヘッド１の裏面側に多数インクノズル（例えば１８０個／１列）３７が配設されており、該インクノズルから液状のインクを吐出するようにしている。
このインクの吐出の際に、インク吐出が正常であると所定の位置に着弾するが、インクノズルの詰まり等により、インクの吐出不良のためにインク曲がりが発生する場合がある。このインク曲がりが発生すると、着弾位置が所定のインクとは異なり、混色や描画ムラのおそれがある、という問題がある。
【０００４】
このため、従来においては、例えば印字期間外において圧力発生素子に駆動波形を供給することにより記録ヘッドのノズル開口から複数回インク滴を吐出するフラッシング動作がなされるように構成したインクジェット式記録装置を用い、上記フラッシング動作中において、複数のインク滴を連続して吐出する連続吐出期間を複数備え、連続吐出期間と次に続く連続吐出期間との間に、連続吐出期間中のインク滴吐出周期よりも長い期間の吐出休止期間を設けることで飛行曲がりを防止することが提案されている（特許文献１）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−２７３９１２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来においては、インク吐出以前に休止期間を設けるような解決策であり、一端飛行曲がりが生じてしまった飛行曲がりインクを消滅させることの提案はなされていなかった。
【０００７】
本発明は、前記問題に鑑み、液体材料の液滴の飛行曲がりが生じた場合に、該飛行曲がり液滴を消滅させることができる薄膜パターン形成装置、薄膜パターン形成方法、プログラム、電子光学装置及び電子機器を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明に係る薄膜パターン形成装置は、液体材料の液滴を基板上に配置して膜パターンを形成する薄膜パターン形成装置であって、上記基板上に上記液体材料の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出手段と、該液滴吐出ヘッドと上記基板との位置を相対的に移動可能とする移動手段と、液滴吐出手段又は移動手段の少なくとも一方を制御する制御手段とを具備すると共に、上記液滴吐出手段に液滴吐出ヘッドから吐出する飛行曲がりが生じた飛行曲がり液体材料の液滴を消滅させる飛行曲がり液体材料の液滴消滅手段を設けたことを特徴とする。この飛行曲がり液体材料の液滴消滅手段により飛行曲がりが生じた液体材料の液滴を消滅させることにより、設定描画領域以外への液体材料の液滴の着弾を解消する。
【０００９】
上記飛行曲がり液体材料の液滴消滅手段が該飛行曲がり液体材料の液滴に高いエネルギーを付与して消滅させるようにしてもよい。
【００１０】
上記飛行曲がり液体材料の液滴消滅手段がレーザ照射手段とし、レーザ光により飛行曲がり液滴を消滅させる。
【００１１】
上記レーザ照射手段がパルスレーザ照射手段とすることでパルス状レーザ光により飛行曲がり液滴を消滅させることができる。
【００１２】
上記レーザ光を格子状に照射すると共に、その格子中心を液体材料の液滴の落下鉛直中心軸とすることにより、格子状レーザ光領域に突入した飛行曲がり液滴をレーザ光により消滅させる。
【００１３】
本発明の薄膜パターン形成方法は、液体材料の液滴を基板上に配置して膜パターンを形成する薄膜パターン形成方法であって、上記基板上に上記液体材料の液滴を液滴吐出ヘッドから吐出する際に、上記飛行曲がりが生じた飛行曲がり液滴に高エネルギーを付与して消滅させることを特徴とする。これにより、飛行曲がり液滴を消滅させることができ、カラーフィルタの混色防止、金属配線等のショート防止を図ることができる。
【００１４】
上記レーザ光を格子状に照射すると共に、その格子中心を液体材料の液滴の落下鉛直中心軸とし、格子状レーザ光により、飛行曲がり液滴を消滅させることができる。
【００１５】
また、本発明の薄膜パターン製造方法は、液体材料の液滴を吐出する吐出工程と、飛行曲がり液体材料の液滴が発生した際に、レーザ光を照射して飛行曲がり液滴を消滅させる飛行曲がり液滴消滅工程と、飛行曲がり液滴を消滅した際に、不吐出の情報により、再度液滴を吐出させる再吐出工程と、からなることを特徴とする。これにより描画中に飛行曲がり吐出が生じた場合に、その情報をもとに補完印字パターンの印字データを作成することができ、描画抜けを再描画することができる。
【００１６】
本発明のプログラムは、液体材料の液滴の飛行曲がりをレーザにより監視するステップと、飛行曲がり液滴を検出した場合には、補完印字データの作成をするステップとをコンピュータに実行させるものである。
【００１７】
上記薄膜パターン形成装置を用いることにより、描画精度が向上し、例えば金属配線のショート防止やカラーフィルタ等の混色防止をはかった電気光学装置を提供することができる。
【００１８】
上記薄膜パターン形成装置を用いることにより、描画精度が向上し、例えば金属配線のショート防止やカラーフィルタ等の混色防止をはかった電気光学装置を備える電子機器を得ることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の内容を発明の実施形態により詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２０】
図１は本実施形態にかかる薄膜形成装置の概略図である。図２及び図３は液滴吐出ヘッドの概略図である。図４はレーザ照射装置を備えた液滴吐出ヘッドの概略図である。図５は液滴吐出ヘッドの側面図である。図６は飛行曲がりが生じた液滴をレーザ光で消滅させる模式図である。図７は工程のフロー図である。図８は本実施形態の方法を実行するコンピュータ、レーザ手段及び主手段の関係を示すブロック図である。図９はパーソナルコンピュータの斜視図である。図１０は携帯電話の斜視図である。
【００２１】
［第１の実施の形態］
本実施の形態の薄膜パターン形成装置１０は、図１に示すように、液晶表示装置においてその基板上に形成されるカラーフィルタ、薄膜（液晶）又は配線を形成するために用いられるものである。
【００２２】
本実施の形態にかかる薄膜パターン形成装置１０は、図１に示すように、基板１の表面に例えば液体材料の液滴１１を吐出する液滴吐出ヘッド１２を有する液滴吐出手段１３と、該液滴吐出ヘッド１２と基板１との位置を相対的に移動させる移動手段１４と、液滴吐出手段１３及び移動手段１４を制御する制御手段１５とを具備してなるものである。
【００２３】
上記移動手段１４は、図１に示すように、基板ステージ１６上に載置された基板１の上方に、液滴吐出ヘッド１２を下方側に向けて支持すると共に移動自在のステージ１８によりＸ軸方向に移動自在のヘッド支持部１７と、上方の液滴吐出ヘッド１２に対して基板ステージ１６と共に基板をＹ軸方向に移動させるステージ駆動部１９とから構成されている。
【００２４】
上記ヘッド支持部１７は、液滴吐出ヘッド１２を基板１に対してその鉛直軸方向（Ｚ軸）に任意の移動速度で移動可能且つ位置決め可能な例えばリニアモータ等の機構と、鉛直軸を中心に液滴吐出ヘッド１２を回転させることによって下方の基板１に対して任意な角度に設定可能なステッピングモータ等の機構とを備えたものである。
【００２５】
上記ステージ駆動部１９は、鉛直軸を中心に基板ステージ１６を回転させて上方の液滴吐出ヘッド１２に対して任意な角度に設定可能なθ軸ステージ２０と、基板ステージ１６とを液滴吐出ヘッド１２に対して水平方向（Ｙ方向）に移動させ且つ位置決めするステージ２１とを備えている。なお、θ軸ステージ２０は、ステッピングモータ等から構成され、ステージ２１はリニアモータ等から構成されている。
【００２６】
上記吐出手段１３は、液滴吐出ヘッド１２とこれにチューブ２２を介して接続されたタンク２３とを備えている。タンク２３は液体材料の液滴１１を貯留するものである、チューブ２２を介してこの液体材料の液滴１１を液滴吐出ヘッド１２に供給するものとなっている。このような構成によって液滴吐出手段１３は、タンク２３に貯留された液体材料の液滴１１を液滴吐出ヘッド１２から吐出し、これを基板１上に配置するようにしている。上記液滴吐出ヘッド１２は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮し、その圧力で液滴（液状材料）を吐出させるものであり、一列又は複数列に配列された複数のノズル（ノズル孔）を有している。
【００２７】
この液滴吐出ヘッド１２の構成の一例について図２、図３を参照して説明する。図２、図３に示すように、液滴吐出ヘッド１２は、例えばステンレス製のノズルプレート３１と振動版３２とを備え、仕切り部材（リザーバプレート）３３を介して両者を接合したものである。ノズルプレート３１と振動板３２との間には、仕切り部材によって複数の空間３４と液溜まり３５とが形成されている。各空間３４と液溜まり３５の内部は液状材料（図示せず）で満たされており、各空間３４と液溜まり３５とは供給口３６を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート３１には、各空間３４から液状材料１１を噴射するための微小孔のノズル３７が形成されている。一方、振動板３２には、液溜まり３５に液体材料の液滴１１を供給するための孔３７が形成されている。
【００２８】
上記振動板３２の空間に対向する面と反対側の面上には、図２、図３に示すように、圧電素子（ピエゾ素子）３８が接合されている。この圧電素子３８は、図３に示すように一対の電極３９，３９の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するように撓曲するようになっている。そして、このような構成のもとに圧電素子３８が接合されている振動板３２は、圧電素子３８と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間３４の内部容積が増大するようになっている。したがって、空間３４内に増大した容積分に相当する液状材料が液溜まり３５から供給口３６を介して流入する。また、このような状態から圧電素子３８への通電を解除すると、圧電素子３８と振動板１３とは共に元の形状に戻る。したがって、空間３４も元の容積に戻ることから、空間内部の液体材料の液滴１１の圧力が上昇し、ノズル３７から基板１に向けて液状材料の噴霧状液滴が吐出される。
【００２９】
なお、液滴吐出ヘッド１２の方式としては、上述したような圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、超音波モータ，リニアモータ等により、振動を付与し、またはタンク内に圧力を印加することにより、上記微小穴から液体材料の液滴１１である液晶を射出させるようにしてもよい。ここで、タンク内の液晶は、前もって脱泡処理されていることが望ましい。尚、液滴吐出ヘッド１３は、タンク内の液晶ないしは液晶と低粘性揮発性液体の混合物を加熱して、該物質の膨張・発泡により、微小穴から液晶を射出させる、所謂バブルジェット（登録商標）方式として構成されていてもよい。
【００３０】
上記制御手段１５は、装置全体の制御を行うマイクロプロセッサ等のＣＰＵや、各種信号の入出力機能を有するコンピュータ等によって構成されたものであり、図１に示したように、液滴吐出手段１３及び移動手段１４にそれぞれ電気的に接続されたことにより、液滴吐出手段１３による吐出動作、及び移動手段１４による移動動作の少なくとも一方、本実施の形態では両方を制御するものとなっている。
そして、このような構成により、液状液体材料の液滴の吐出条件を調整し、形成する薄膜（液晶）の配置量を制御するようにしている。
【００３１】
すなわち、制御手段１５は、上記配置量を制御する機能として、基板に対する液状液体材料の液滴の吐出間隔を調整する制御機能と、１ドットあたりの液状液体材料の液滴の吐出量を調整する制御機能と、ノズルの配列方向と移動機構による移動方向との角度（θ）を調整する制御手段と、基板上を複数の領域に分けて各領域に吐出条件を設置する制御機能とを備えている。
【００３２】
さらに、制御手段１５は、上記吐出間隔を調整する制御機構として、基板１と液滴吐出ヘッド１２との相対的な移動の速度を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、移動手段における吐出の時間間隔を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、複数のノズルのうち同時に液体材料の液滴を吐出させるノズルを任意に設定して吐出間隔を調整する機能とを備えている。
【００３３】
本発明では、図３に示すように、上記液滴吐出ヘッド１２に液体材料の液滴の飛行曲がりが生じた際に、該飛行曲がり液滴を消滅させる飛行曲がり液滴消滅手段であるレーザ照射手段５０と受光手段５１を配設している。
【００３４】
このレーザ照射手段５０はレーザ光５２を照射して、ノズル３７から吐出された液体材料の液滴１１に飛行曲がりが生じた場合に、該飛行曲がり液体材料の液滴を消滅するものである。これにより、基板側には正常な液体材料の液滴１１以外の飛行曲がりの液滴が着弾しなくなるので、描画精度の向上、カラーフィルタの混色等を防止することができる。
【００３５】
ここで、レーザ照射手段５０としては、高いエネルギー密度のものが好ましく、例えば１００ｍＪ／ｃｍ２以上とするのが好ましい。これは、１００ｍＪ／ｃｍ２未満では飛行曲がり液体材料の液滴を消滅させることができず、好ましくないからである。
【００３６】
サンプリング周波数は例えば６２５ｋＨｚ，２５０ｋＨｚと、吐出周波数と較べて速ければ速いほどよい。
【００３７】
また、レーザの種類としては出力が高いＹＡＧレーザ、ＣＯ２レーザを用いるのが好ましい。
【００３８】
上記レーザ光のスポット径としては、数１０〜１００μｍとするのが好ましく、いずれにせよ、液体材料の液滴１１の液滴径よりも大きいものとする。これは、飛行曲がりの液体材料の液滴を完全に消滅させるためである。
【００３９】
また、レーザ照射手段以外の高いエネルギー付与手段としては、例えば指向性が高いマイクロウェーブ、電子ビームを用いるようにしてもよい。
ここで、レーザ照射手段５０の配設位置としては、特に限定されるものではないが、液滴吐出ヘッド１２と一体することが好ましい。
【００４０】
図４（ａ）、（ｂ）にレーザ照射手段の配設の一例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、図面はいずれも液滴吐出ヘッド１２の裏面側からみた図である。
図４（ａ）は液滴吐出ヘッド１２のノズル３７から吐出される液体材料の液滴をレーザ光５２で格子状に囲むようにレーザ照射手段５０と受光手段５１とが各々対向して設けられている。そして上記格子状レーザ光の中心部が液体材料の液滴の落下鉛直中心軸とするようにしている。
このような配置によれば、４本のレーザ光５２により、飛行曲がりが生じた液体材料の液滴がレーザ照射範囲に突入した時点で、レーザ光５２によって完全に消滅させることができる。
ここで、格子の間隔は液体材料の液滴の液滴径にも依存するが、液滴径の５０％以上の間隔を持つように設定すればよい。例えば液滴が２０μｍの場合には、格子径Ｄは３０〜４０μｍ程度とすればよい。
【００４１】
図４（ｂ）は図４（ａ）の配置と異なり、いずれか一方向にレーザ光５２を照射するように、レーザ照射手段５０と受光部５１とを配設している。この配置によれば、液体材料の液滴の飛行曲がりが図面左右方向に顕著な場合に有効であり、レーザ照射を少なくすることができる。
【００４２】
図５は液滴吐出ヘッド１２の側面図であり、基板１とレーザ光５２との位置の関係を示す図面である。
図５に示すように、液滴吐出ヘッド１２のノズル３７と基板１との間隙Ｇは、約０．３〜１ｍｍ程度であり、この間隙Ｇの間の所定の位置（例えば中間位の位置）において、格子状のレーザ光５２を照射し、ノズル３７から滴下する際に飛行曲がりが生じた液体材料の液滴を消滅させるようにしている。
なお、飛行曲がりの精度を向上させようとする場合には、レーザ光の照射光路を基板１側に位置するようにすればよく、飛行曲がりの精度を穏かに設定する場合には、レーザ光の照射光路を液滴吐出ヘッド１２側に位置するようにすればよい。
【００４３】
この飛行曲がりが生じたノズルはその後使用せず、全行もしくは１行分の描画終了後、ワイピング又はクリーニングするようにすればよい。
【００４４】
図６に飛行曲がりが生じた液体材料の液滴５２をレーザ光５２で消滅させる模式図を示す。
図６（ａ）は液体材料の液滴の正常な吐出状態を示すものであり、ノズル３７から吐出された液体材料の液滴１１は格子状のレーザ光５２の中心間隙を潜り抜け、基板の所定位置に着弾する。
一方、図６（ｂ）は液体材料の液滴の異常な飛行曲がりが生じた吐出状態を示すものであり、ノズル３７から吐出され、飛行曲がりが生じた液滴５３は井桁状のレーザ光５２の間を潜り抜けることができず、飛行曲がり方向に存在するレーザ光領域に突入し、レーザ光により消滅する。これにより、基板の所定位置以外に液体材料の液滴が着弾することが解消される。
なお、この飛行曲がりにより液体材料の液滴を消滅したことは受光部５２の光量の変化により検出することができ、該検出信号が検出された際には、再度吐出するようにして補完するようにしている。
【００４５】
図７にこの飛行曲がりの液体材料の液滴を消滅させる処理を実行する方法を示す。
（１）先ず、描画の動作を開始する（Ｓ１）。
（２）次に、レーザ照射を開始する（Ｓ２）。
（３）次に、１パス分描画を開始する（Ｓ３）。
（４）次に、液体材料の液滴１１の飛行が正常か否かをサンプリングする（Ｓ４）。
（５）次に、液体材料の液滴の吐出終了する（Ｓ５）。
（６）次に、サンプリングデータを整理する（Ｓ６）。
（７）次に、液体材料の液滴に飛行曲がりの有無を判断する（Ｓ７）。
（８）飛行曲がりが無い場合（Ｎｏ）、所定パス分の描画が終了したか否かを判断する（Ｓ８）。所定分の描画が終了するまで上記（３）〜（７）のステップ（Ｓ３〜７）を繰り返す。
一方、液体材料の液滴１１に飛行曲がりが生じた場合には、補完印字データの作成をする（Ｓ９）。その後、補完印字データに従って（３）のステップ（Ｓ３）に戻る。
【００４６】
この液体材料の液滴１１の飛行曲がりの確認のために、センサを別途設けるようにし、該センサに応じてレーザ手段から飛行曲がりが生じた液体材料の液滴にレーザ光を照射し、消滅させるようにしてもよい。
【００４７】
次に、図８を参照してプログラムの実行について説明する。
図８に示すように、第１の制御手段１５から描画を開始するタイミングを示す第１信号６１を第２の制御手段６０で入力すると同時に、該第２の制御手段６０からレーザ照射させる旨の第２信号６２をレーザ照射手段５０に出力する。次いで、第１の制御手段１５から液体材料の液滴１１の吐出終了の旨を示す第３の信号６３を第２の制御手段６０で入力すると同時に、レーザ照射を停止させる旨の第４信号６４をレーザ照射手段５０に出力する。
一方、受光部５２によってレーザ信号を検出しておき、レーザ光５２の照射により、飛行曲がり液滴を消滅させた際に、飛行曲がり液滴を消滅させた旨の第５信号６５を第２の制御手段６０に出力する。次いで、第５信号６５を受けた旨の第６信号６６を第２制御手段６０から第１の制御手段１５に出力し、第１の制御手段１５において、補完印字パターンの印字データを作成し、新たにまた描画を開始する。
【００４８】
これにより、的確に飛行曲がりが生じた液滴５３を消滅させることを実行することができ、その結果により印字抜けの補完を行うことができる。
【００４９】
なお、上記制御手段６０と上記制御手段１５とを一体として実行するようにしてもよい。
【００５０】
［第２の実施の形態］
次に、本発明に係る液晶表示パネルを適用可能な電子機器の具体例について図９及び図１０を参照して説明する。
【００５１】
まず、本発明に係る液晶表示パネルを、可搬型のパーソナルコンピュータ（いわゆるノート型パソコン）の表示部に適用した例について説明する。図９は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。同図に示すように、パーソナルコンピュータ９１は、キーボード９１１を備えた本体部９１２と、本発明に係る液晶表示パネルを適用した表示部９１３とを備えている。
【００５２】
続いて、本発明に係る薄膜パターン形成装置によって製造した液晶表示パネルを、携帯電話機の表示部に適用した例について説明する。図１０は、この携帯電話機の構成を示す斜視図である。
同図に示すように、携帯電話機９２は、複数の操作ボタン９２１のほか、受話口９２２、送話口９２３とともに、本発明に係る薄膜パターン形成装置によって製造した液晶表示パネルを適用した表示部９２４を備える。
【００５３】
なお、本発明に係る薄膜パターン製造装置によって製造した液晶表示パネルを適用可能な電子機器としては、図９に示したパーソナルコンピュータや図１０に示した携帯電話機の他にも、液晶テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、ディジタルスチルカメラなどが挙げられ、特に限定されるものではない。
【００５４】
また、上述した実施形態では、電気光学装置として、液晶装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、液晶シャッター等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態にかかる薄膜パターン形成装置の概略図である。
【図２】第１の実施の形態にかかる液滴吐出ヘッドの概略図である。
【図３】第１の実施の形態にかかる液滴吐出ヘッドの概略図である。
【図４】レーザ照射装置を備えた液滴吐出ヘッドの概略図である。
【図５】液滴吐出ヘッドの側面概略図である。
【図６】飛行曲がりが生じた液滴をレーザ光で消滅させる模式図である。
【図７】工程のフロー図である。
【図８】本実施形態の方法を実行するコンピュータ、レーザ手段及び主手段の関係を示すブロック図である。
【図９】パーソナルコンピュータの斜視図である。
【図１０】携帯電話の斜視図である。
【図１１】吐出ノズルの構成図である。
【符号の説明】
１・・・第１基板、１０・・・薄膜形成装置、１１・・・液体材料の液滴、１２・・・液滴吐出ヘッド、１３・・・液滴吐出手段、１４・・・移動手段、１５・・・制御手段、５０・・・レーザ照射手段、５１・・・受光手段、５２・・・レーザ光、５３・・・飛行曲がりの液滴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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