(57)【要約】【課題】マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて磁気転写する際の位置合わせを改善する。【解決手段】マスター担体３とスレーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写方法において、スレーブ媒体の中心孔を位置決め保持するスレーブ保持軸６１の外周部に、マスター担体３を位置調整可能に配置し、該マスター担体３を、その周囲に配置したマイクロメータヘッド１００で押し移動することにより、パターンの中心位置がスレーブ保持軸６１の中心位置にくるように位置合わせして固定し、その後、スレーブ保持軸６１にスレーブ媒体を供給してマスター担体とスレーブ媒体との位置決めを行う。【選択図】      図４
2004310908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体の情報担持面と、転写を受ける円盤状の磁気記録媒体によるスレーブ媒体との位置決め方法であって、
前記スレーブ媒体の中心孔を位置決め保持するスレーブ保持軸の外周部に、前記マスター担体を位置調整可能に配置し、該マスター担体を、その周囲に配置した移動部材で移動させることにより、前記パターンの中心位置が前記スレーブ保持軸中心位置にくるように位置合わせして固定し、その後、前記スレーブ保持軸にスレーブ媒体を供給してマスター担体とスレーブ媒体との位置決めを行うことを特徴とする磁気転写媒体の位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気転写において用いられる転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体と磁気記録媒体であるスレーブ媒体の位置決め方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気転写は、磁性体の微細凹凸パターンにより転写情報を担持したマスター担体と転写を受ける磁気記録媒体によるスレーブ媒体とを密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報（例えばサーボ信号）に対応する磁化パターンをスレーブ媒体の記録面に転写記録するものである。磁気転写に関連した先行技術文献としては以下のようなものが挙げられる。
【０００３】
【特許文献１】
特開昭６３−１８３６２３号公報
【特許文献２】
特開平１０−４０５４４号公報
【特許文献３】
特開平１０−２６９５６６号公報
【特許文献４】
特開平１１−１７５９７３号公報
【０００４】
スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状磁気記録媒体の場合には、スレーブ媒体に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。その際には、スレーブ媒体とマスター担体を密着したものまたは磁界を発生させる磁界印加装置を相対的に回転させて、スレーブ媒体のトラック方向に磁界を印加し、円盤状のスレーブ媒体のトラック全周に磁化パターンを転写している。
【０００５】
この磁気転写を行う際には、スレーブ媒体をマスター担体に精度良く位置決めすることが重要である。特にハードディスク等のスレーブ媒体では、磁気転写後にドライブ装置に取り付けられたときの回転中心と転写記録された磁化パターンとの中心とが精度良く一致していなければならない。しかしながら、マスター担体の作製においては、転写情報のパターンの形成中心と、マスター担体の形状中心とを精度良く一致させることは困難である。例えば、中央部に位置決め穴を開口させても、その加工精度が十分でない場合には、転写情報のパターンの形成中心と、マスター担体の形状中心がずれてしまう。
【０００６】
上記を鑑み、マスター担体とスレーブ媒体を密着させる際に、画像装置で両者の位置決めを行うものが知られている（例えば、特許文献４参照）。
具体的には、まず密着フランジにスレーブ媒体をセットした後、その上にパターンに対応して透明部分に形成されたマーカーを有するマスター担体を載置し、画像装置でマーカーとスレーブ媒体との位置とが一致するように観察しつつマスター担体の位置調節を行ってから両者を密着させるようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のようなマスター担体の位置調節では、スレーブ媒体を交換して磁気転写を行う毎に、マスター担体とスレーブ媒体を画像装置を使用して位置決め動作を行うので、この位置決め動作に時間を要して磁気転写効率が低下する問題があった。
【０００８】
通常、一枚のマスター担体を用いて複数のスレーブ媒体に対して順次磁気転写が行われる。転写効率を高めるには、磁気転写装置に予めマスター担体をセットし、このマスター担体との密着位置にスレーブ媒体を搬送して両者を密着させた後に転写用磁界を印加することが好ましい。その際には、ハードディスクのようなスレーブ媒体には、ドライブの回転軸に取り付けるための中心孔が設けられ、その中心位置と回転中心とを一致させるように調整が為される。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みてなされたもので、マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて磁気転写する際の位置合わせを改善し、生産効率の高い磁気転写を行えるようにした位置決め方法及びその方法の実現する位置決め装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る磁気転写媒体の位置決め方法は、転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体の情報担持面と、転写を受ける円盤状の磁気記録媒体によるスレーブ媒体との位置決め方法であって、
前記スレーブ媒体の中心孔を位置決め保持するスレーブ保持軸の外周部に、前記マスター担体を位置調整可能に配置し、該マスター担体を、その周囲に配置した移動部材で移動させることにより、前記パターンの中心位置が前記スレーブ保持軸中心位置にくるように位置合わせして固定し、その後、前記スレーブ保持軸にスレーブ媒体を供給してマスター担体とスレーブ媒体との位置決めを行うことを特徴とする。
【００１１】
この場合、前記マスター担体のパターンを測定顕微鏡で観測し、該パターンの中心位置を前記スレーブ保持軸の中心位置に合わせるのが好ましい。また、前記マスター担体に前記パターンの形成と共に位置合わせ用のマークを設けておき、該マークを測定顕微鏡で観測し、前記パターンの中心位置を前記スレーブ保持軸の中心位置に合わせるようにしてもよい。いずれの場合も、位置合わせはマスター担体の周囲に配置してある移動部材であるマイクロメータヘッドでマスター担体を直接動かして行う。
【００１２】
その際、基盤上にマスター担体を載置した状態でマスター担体を動かす必要があるので、基盤上にはマスター担体の移動を可能にする摩擦係数の小さな保持面を設けておく。この保持面は、例えば、基盤上に固定したクッション材の表面で構成する。例えば、摩擦係数の低減を図るためと非粘着性能を持たせるために、クッション材の表面にフッ素樹脂等をコーティングしたりフッ素等を含浸させたりする。また、基盤上にマスター担体を吸引保持する場合には、マスター担体の位置決め時に吸引圧を小さくして保持力を弱めておく。このようにして、マスター担体の移動がマイクロメータヘッドによって簡単にできるようにした上で、位置決め調整を行うことにするのが好ましい。
【００１３】
このようにマスター担体の位置決めを、直接マスター担体をマイクロメータヘッドで押し移動することで行うことにより、基盤側に、マスター担体を載せた状態で動かすような、ＸＹ移動式の複雑な保持機構を設ける必要がなく、基盤側の構造のコンパクト化を図ることができる。
【００１４】
また、本発明の磁気転写方法を実施する調整装置は、転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体の情報担持面と転写を受ける円盤状の磁気記録媒体によるスレーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、マスター担体側の第１の基盤と、スレーブ媒体側の第２の基盤と、第１の基盤の中心位置に立てられスレーブ媒体の中心孔を位置決めするスレーブ保持軸と、前記第１の基盤側に設けられ該基盤上に載置されたマスター担体をＸＹ方向に位置調整するマイクロメータヘッドとを備える。
【００１５】
なお、マスター担体を載置する第１の基盤は磁気転写装置に対して脱着可能に設けておき、その第１の基盤を転写位置から外した状態で、前記マスター担体の位置合わせを行うのが好適であり、外した状態でマスター担体のパターンまたは前記マークを測定顕微鏡で観測し、パターンの中心位置を前記スレーブ保持軸の中心位置に合わせるのが好ましい。
【００１６】
この場合の測定顕微鏡としては、ＸＹ方向に移動可能なステージを備え、観察部を観測しつつ複数の点をプロットすると、近似円を描いて中心位置が求められるようになっているものを使用する。そして、顕微鏡のステージ上に第１の基盤を載置し、その基盤の保持面上にマスター担体を載置した後、スレーブ保持軸の中止位置を求め、同様のマスター担体のパターンまたはマークからパターンの中心位置を求め、両者が一致するようにマスター担体をマイクロメータヘッドを用いてスレーブ保持軸に対してＸＹ方向に位置調整する。
【００１７】
なお、磁気転写装置は、前記のように位置合わせしたマスター担体とスレーブ媒体とを押圧密着させる加圧手段や、密着したスレーブ媒体及びマスター担体に対して転写用磁界を印加する磁界印加手段などを備える。第１の基盤に対するマスター担体の固定は吸引式固定機構などによって行うのが好適である。
【００１８】
前記磁界印加手段としては、電磁石装置または永久磁石装置を採用することができ、マスター担体とスレーブ媒体との密着部分の片側または両側から転写用磁界を印加して、マスター担体とスレーブ媒体を密着したまま、転写用磁界を相対的に回転させて磁気転写を行う。
【００１９】
上記転写方法としては、最初にスレーブ媒体をトラック方向に直流磁化する初期磁化を施し、このスレーブ媒体と、転写する情報に対応する微細凹凸パターンに磁性層が形成されたマスター担体とを密着させて、その状態でスレーブ媒体面の初期直流磁化方向と略逆向きの方向に転写用磁界を印加して、磁気転写を行うのが好ましい。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の実施の形態にかかる磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図である。図２は密着状態における要部の断面図、図３はマスター担体の位置調整を測定顕微鏡により行う際の概略機構図、図４はマスター担体の位置調整方法の説明に用いる平面図（ａ）及び側面図（ｂ）、図５および図６はマスター担体の位置調整過程を示す平面図、図７は密着前状態の要部断面図である。なお、各図は模式図であり、その厚み等は実際の寸法とは異なる比率で示してある。
【００２１】
図１に示す磁気転写装置１は、第１の基盤６（回転台）と第２の基盤７（押圧部材）との間に、図２に示すように、転写を受ける円盤状の磁気記録媒体によるスレーブ媒体２と、サーボ信号等の転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体３の情報担持面とを、不図示の加圧手段（プレス機構）により押圧密着させ、その状態で、上下に配置した磁界印加手段５により、転写用磁界を印加するものである。マスター担体３は下側の第１の基盤６の上部に配置され、スレーブ媒体２はマスター担体３の上側で、第２の基盤７の下部に配置される。
【００２２】
磁界印加手段５は、スレーブ媒体２およびマスター担体３の半径方向に延びるギャップ５１を有するコア５２にコイル５３が巻き付けられた電磁石装置５０、５０が上下両側に配設されてなり、上下で同じ方向にトラック方向と平行な転写用磁界を印加する。なお、磁界印加手段５としては、電磁石装置に代えて永久磁石装置で構成してもよく、片側のみに配設するようにしてもよい。
【００２３】
磁界印加時には、スレーブ媒体２およびマスター担体３を一体に回転させつつ磁界印加手段５によって転写用磁界を印加し、マスター担体３の転写情報をスレーブ媒体２のトラック全周に転写記録する。転写用磁界を回転移動させるように設けてもよい。また、磁界印加手段５は、第１の基盤６と第２の基盤７との閉開動作を許容するように、電磁石装置５０が待避移動するように設けられる。
【００２４】
下側の第１の基盤６は、ベース部材６０の上部の中心位置にスレーブ媒体２の中心孔２ａを位置決めするスレーブ保持軸６１を備えると共に、このスレーブ保持軸６１の外周部にマスター担体３を保持するマスター保持部材（クッション材）６２を備えている。このマスター保持部材６２は、動かないようにベース部材６０上に固定されている。このマスター保持部材６２の上面は、マスター担体３を載置する保持面６２ａとなっており、摩擦係数を小さくするための表面処理が施されている。ここで、保持部材６２は、マスター担体３の位置調整を行うためには、マスター担体３が保持部材６２に密着し移動不可能とならない程度にマスター担体３を保持する必要があり、保持面６２ａは摩擦係数が１．０以下であり、非粘着性であることが好ましい。具体的には、保持面６２ａに低摩擦処理を施す、テフロンコーティングを施す、保持面６２ａにフッ素含浸樹脂を用いる等が行われる。
【００２５】
マスター担体３は、スレーブ保持軸６１の外径より大きい内孔３ａを有する円環ディスク状に形成され、詳細は示さないが、その片面（図で上面）に、磁性層による微細凹凸パターン３１が円環状のトラックに対応して同心円状に形成された転写情報担持面を有し、これと反対側の面（図の下面）がマスター保持部材６２の上面に保持される。
【００２６】
スレーブ媒体２は、画面に磁気記録層が形成されたハードディスク等の円盤状磁気記録媒体である。このスレーブ媒体２を保持するスレーブ保持軸６１は突起状に形成され、その外径はスレーブ媒体２の中心孔２ａとほぼ同径に形成されている。スレーブ媒体２の位置決めは、スレーブ媒体２の中心孔２ａをスレーブ保持軸６１に嵌めることで達成される。スレーブ保持軸６１のマスター担体３上面よりの突出量は、スレーブ媒体２の厚さより小さく（第２の基盤７の中心部に凹部が形成されている場合は大きくてもよい）形成されている。
【００２７】
第１の基盤６のベース部材６０は円盤状に形成され、その上面中心部にスレーブ保持軸６１がマスター保持部材６２の中央を上下に貫通して立設されている。マスター保持部材６２の上面である保持面６２ａには、マスター担体３をエアの吸引等によって保持するための複数の吸引孔が開いている。複数の吸引孔を介したマスター担体３の吸着のための吸着真空度は、−３０ＫＰａから−１０ＫＰａであることが好ましい。
【００２８】
第１の基盤６は、磁気転写位置の本体に対して脱着可能に設けられており、図３に示す測定顕微鏡１０に移載した状態で、マスター担体３がマスター保持部材６２上を摺動することによりマスター担体３の位置調整ができるようになっている。なお、第１の基盤６は、不図示の回転駆動手段によって回転駆動される。
【００２９】
第２の基盤７は、第１の基盤６と同等の円盤状に形成されている。この第２の基盤７は、不図示の昇降機構により上下移動可能に設置されることで加圧手段を構成しており、シリンダ等の昇降機構により発生された押圧力が、第２の基盤７に加えられるようになっている。
【００３０】
図３に示す測定顕微鏡１０は、ベース１１の上面に対して垂直に支柱１２が立設され、この支柱１２に光学系による観察部１３が上下移動可能に設けられている。ベース１１の上面には、ＸＹ方向に移動可能なステージ１４が備えられ、ハンドル１５の操作によって、ステージ１４をＸ方向およびＹ方向に移動操作できるようになっている。図示しないが、ステージ１４には移動量検出手段が設置されており、測定顕微鏡１０は、その検出値に基づいて演算部（パソコン）で各種演算を行い、表示部で座標表示等を行う。
【００３１】
この磁気転写装置で磁気転写を行う場合は、まず、マスター担体３を第１の基盤６上において位置決めし固定しておく。次いで、マスター担体３上にスレーブ媒体２を供給し、その中心孔２ａをスレーブ保持軸６１に嵌めることで、マスター担体３とスレーブ媒体２との位置決めを行う。
【００３２】
マスター担体３の位置決めを行うに際しては、まず、第１の基盤６上においてスレーブ保持軸６１の外周部に、マスター担体３を位置調整可能に配置する。次に測定顕微鏡１０のステージ１４上に第１の基盤６を載置し、観察部１３で観察しつつ、ステージ１４の移動操作を行い、視野の基点にマスター担体３のパターン３１の複数の基準点３１ａ（図５参照）またはマーク３２（図８参照）をプロットする。そうすると、測定顕微鏡１０は、近似円を描いてパターンの中心位置を演算し、その座標を表示部に表示する。また、スレーブ保持軸６１の中心位置を同様に測定し、その座標を表示部に表示する。なお、両者の座標の偏位量を表示するのが位置合わせを行う上では好ましい。
【００３３】
測定顕微鏡１０を用いて行うマスター担体３の位置決め方法を、図４〜図６に基づいて説明する。
まず、図５に示すように、マスター担体３をマスター保持部材６２の上面（保持面６２ａ）に最初に載置した状態では、例えば、マスター担体３のパターン３１の中心位置が、スレーブ保持軸６１の中心位置とずれて（図５の場合は左下方にずれて）いる。この状態で、パターン３１の中心位置とスレーブ保持軸６１の中心位置との偏差が小さくなるように、マスター担体３を直接ＸＹ方向に移動調整する。そして、マスター担体３の移動操作を繰り返して、図６に示すように両者の中心位置が合致した状態でマスター担体３を固定する。
【００３４】
ここで、マスター担体３の移動には、図４に示すように、複数のマイクロメータヘッド１００を用いる。マイクロメータヘッド１００は、マスター担体３の周囲４方向に等間隔（９０度間隔）で配置されたものであり、その先端でマスター担体３を押すことにより、マイクロメータのオーダでマスター担体３を移動させることができるものである。マイクロメータヘッドは、粗動として１０μｍ、最後の微調整として１μｍ以下でマスター担体３を移動可能とするものが好ましい。
【００３５】
この場合のマスター担体３の移動は以下のように行う。即ち、まず、マスター担体３の周囲の４方向にマイクロメータヘッド１００を配置する。マイクロメータヘッド１００は、マスター担体３の中心を通り互いに直交するＸＹ軸上に配置し、各ロッド１０１の先端をマスター担体３の外周に近接配置した状態で固定しておく。そして、これらのマイクロメータヘッド１００を用いて、マスター担体３をＸＹ方向方向に押し移動することにより、マスター担体３のパターンの中心位置がスレーブ保持軸６１の中心位置にくるように位置合わせし、位置合わせが済んだらマスター担体３を固定する。
【００３６】
なお、上記パターン３１の一部を基準点３１ａとして観測する代わりに、図８に示すように、マスター担体３にパターン３１の形成と共に位置合わせ用のマーク３２を設け、このマーク３２を観測顕微鏡１０で観測しながら、パターン３１の中心位置を求めるようにしてもよい。マーク３２は、例えば、パターン３１の外部における同心円上の複数点に形成するのがよい。
【００３７】
次に、全体の磁気転写方法の全体の流れを説明する。
まず、図７に示すように第２の基盤７が上昇移動した密着前の状態において、第１の基盤６のマスター保持部材６２に、前述のようにして予めマスター担体３をそのパターン３１の中心をスレーブ保持軸６１の中心と位置合わせして保持した後、このマスター担体３上にスレーブ媒体２を搬入し、その中心孔２ａをスレーブ保持軸６１に嵌合させて載置する。このスレーブ保持軸６１による位置決めによって、スレーブ媒体２の回転中心とマスター担体３のパターン３１の中心位置とが精度良く位置決めされる。
【００３８】
その後、加圧手段により第２の基盤７を下降作動させ、第２の基盤７の押圧面をスレーブ媒体２の上面に当接させ、このスレーブ媒体２を押圧して、その下面（磁気記録面）をマスター担体３の上面（情報担持面）に所定の圧力で密着させる。続いて、両側の電磁石装置５０、５０を接近させ、第１の基盤６および第２の基盤７を略１回転させつつ、この電磁石装置５０、５０によって転写用磁界を印加して、マスター担体３の転写情報に応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の記録面に記録する。
【００３９】
磁気転写が終了した後には、第２の基盤７を開作動して押圧力を開放し、転写後のスレーブ媒体２をマスター担体３から外し、取り出し搬送する。その後、別工程でスレーブ媒体２を反転後スレーブ保持軸６１に再セットし、スレーブ媒体２の反対面にマスター担体３を密着させて同様に磁気転写を行う。
【００４０】
なお、図９に示すように両面同時転写を行うようにしてもよい。この場合、下側の第１の基盤６は前述のように、ベース部材６０の上部の中心位置にスレーブ媒体２の中心孔２ａを位置決めするスレーブ保持軸６１を備えると共に、このスレーブ保持軸６１の外周部に下側のマスター担体３を保持するマスター保持部材６２を備え、そのパターンの中心位置がスレーブ保持軸６１の中心位置に合致して固定されている。スレーブ保持軸６１の中心部には位置決め穴６１ａが設けられている。ここで、マスター担体３は、上述の方法によりマイクロメータヘッド１００を用いて、スレーブ保持軸６１の中心とマスター担体３の中心が一致するように位置決めされる。
【００４１】
一方、上側の第２の基盤７は、ベース部材７０の下部の中心位置に前記スレーブ保持軸６１の位置決め穴６１ａに挿入されて位置決めする位置決めピン７１を備えると共に、この位置決めピン７１の外周部に上側のマスター担体４を保持するマスター保持部材７２を備え、そのパターンの中心位置が位置決めピン７１の中心位置に合致して固定されている。ここでも、マスター担体４は、上述の方法によりマイクロメータヘッド１００を用いて、位置決めピン７１の中心とマスター担体４の中心が一致するように位置決めされる。
【００４２】
そして、磁気転写時には、第１の基盤６のマスター保持部材６２に保持された下側のマスター担体３上にスレーブ媒体２を搬入し、その中心孔２ａをスレーブ保持軸６１に嵌合させて載置し、位置決めする。その後、第２の基盤７を降下作動させ、その位置決めピン７１をスレーブ保持軸６１の位置決め穴６１ａに嵌合させ、第２の基盤７のマスター保持部材７２に保持された上側のマスター担体４と、スレーブ媒体２の回転中心とを位置決めする。そして、スレーブ媒体２の下面および上面に上下のマスター担体３，４の情報担持面をそれぞれ所定の圧力で密着させ、転写用磁界を印加して、マスター担体３、４の転写情報に応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の画面に同時に記録する。
【００４３】
スレーブ媒体２には予め初期磁化を行っておく。この初期磁化は、次のように行う。即ち、スレーブ媒体２の保持力以上の磁界強度部分をトラック方向位置で少なくとも一箇所以上有する磁界強度分布の磁界を、好ましくは、スレーブ媒体２の保持力以上の磁界強度部分をトラック方向位置で一方向のみで有しており、逆方向の磁界強度はいずれのトラック方向位置でのスレーブ媒体２の保持力未満である磁界強度分布の磁界を、トラック方向の一部分で発生させ、その状態でスレーブ媒体２あるいは磁界をトラック方向に回転させることにより、全トラックの初期磁化（直流消磁）を行う。
【００４４】
また、転写用磁界は、上記初期磁化のトラック方向とは逆方向のトラック方向に印加するものであり、最適転写磁界強度範囲（スレーブ媒体２の保持力の０．６〜１．３倍）の最大値を超える磁界強度がトラック方向のいずれにも存在せず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が１つのトラック方向で少なくとも１カ所以上有する。さらに、これと逆向きのトラック方向の磁界強度がスレーブ媒体２の記録面前領域においていずれのトラック方向位置においても最適転写磁界強度範囲未満である。
【００４５】
本実施の形態によれば、磁気転写を行う際に、予めマスター担体３，４をそのパターンの中心位置とスレーブ保持軸６１及び位置決めピン７１の中心位置と一致させて保持し、その上にスレーブ媒体２を搬送し、スレーブ保持軸６１に位置決め保持してマスター担体３と密着させて両者の位置決めを行うことにより、スレーブ媒体２の中心位置と、転写された磁化パターン３１の中心位置とが精度良く合致し、磁気転写後のスレーブ媒体２をドライブ装置に装着した際の回転中心との位置精度を高くできる。従って、一度位置決め固定したマスター担体３に対する複数のスレーブ媒体２の供給が、位置決め精度を確保しつつ効率よく行え、良好な磁気転写を効率よく継続することができ、生産効率の向上が図れる。
【００４６】
【発明の効果】
上記のような本発明によれば、スレーブ媒体の中心孔を位置決め保持するスレーブ保持軸の外周部に、マスター担体を位置調整可能に配置し、該マスター担体を、その周囲に配置したマイクロメータヘッドで押し移動することにより、パターンの中心位置がスレーブ保持軸中心位置にくるように位置合わせして固定し、その後、スレーブ保持軸にスレーブ媒体を供給してマスター担体とスレーブ媒体との位置決めを行うようにしているので、スレーブ媒体をドライブ装置に取り付けた際の回転中心となるスレーブ保持軸の中心位置と、マスター担体に形成したパターンの中心位置とを精度良く一致させることができ、磁気転写の信頼性を高めることができる。また、スレーブ媒体をスレーブ保持軸に供給することによりマスター担体との位置決めが行えるので、スレーブ媒体の供給毎の位置決めが不要となって、生産効率の高い磁気転写が行える。
【００４７】
また、マスター担体の位置決めを、直接マスター担体をマイクロメータヘッドで押し移動することで行うようにしているので、基盤側に、マスター担体を載せた状態で動かすような、ＸＹ移動式の複雑な保持機構を設ける必要がなく、基盤側の構造のコンパクト化を図ることができる。
【００４８】
また、マスター担体のパターンを測定顕微鏡で観測し、該パターンの中心位置をスレーブ保持軸の中心位置に合わせるようにすると、精度の良い位置合わせが容易に行える。
【００４９】
また、マスター担体にパターンの形成と共に位置合わせ用のマークを設けておくと、マスター担体の位置合わせにおける基準設定が簡易で、測定顕微鏡による位置調整作業が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の磁気転写方法を実施するための磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図である。
【図２】マスター担体とスレーブ媒体を密着状態にした状態おける磁気転写装置の要部断面図である。
【図３】マスター担体の位置調整を行う測定顕微鏡の概略機構図である。
【図４】マスター担体の位置調整を行っている状態を示す平面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。
【図５】マスター担体の位置調整前の状態を示す概略平面図である。
【図６】マスター担体の位置調整後の状態を示す概略平面図である。
【図７】密着状態における磁気転写装置の要部断面図である。
【図８】他の実施形態のマスター担体を示す平面図である。
【図９】他の実施形態における磁気転写装置の密着前状態における要部断面図である。
【符号の説明】
２  スレーブ媒体
３  マスター担体
６  第１の基盤
６１  スレーブ保持軸
６２  マスター保持部材
１００  マイクロメータヘッド
【図１】
2004310908.tif 000003
【図２】
2004310908.tif 000004
【図３】
2004310908.tif 000005
【図４】
2004310908.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004310908.tif 000008
【図７】
2004310908.tif 000009
【図８】
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【図９】
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