(57)【要約】【課題】軽負荷かつ高出力電圧の用途に好適な圧電トランスを提供する。【解決手段】この圧電トランス２ａは、矩形の圧電基板４に一対の入力電極６、８を設け、当該圧電基板の長さ方向の端部付近に出力電極１０を設け、両入力電極６、８間の圧電基板４は厚さ方向に分極し、入力電極６、８と出力電極１０間の圧電基板４は長さ方向に分極した構造をしている。Ｐはその分極方向を示す。そして、各入力電極６、８の長さＬ２　を、圧電基板４の長さＬ１　の２０％〜４０％にしている。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形の圧電基板の両主面に一対の入力電極を設け、当該圧電基板の長さ方向であって入力電極とは反対側の端部付近に出力電極を設け、両入力電極間の圧電基板は厚さ方向に分極し、入力電極と出力電極間の圧電基板は長さ方向に分極した構造の圧電トランスにおいて、前記各入力電極の長さを、前記圧電基板の長さの２０％〜４０％にしていることを特徴とする圧電トランス。
【請求項２】
請求項１記載の圧電トランスと、この圧電トランスの両入力電極間に交流電圧を印加する交流電源と、前記圧電トランスの出力電極とグラウンドとの間に接続された整流用のダイオードと、前記圧電トランスの出力電極に接続されたイオン発生用の針状電極とを備えることを特徴とするイオン発生器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばイオン発生器のような軽負荷かつ高出力電圧の用途に好適な圧電トランスおよびそれを備えるイオン発生器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
高電圧発生用に、圧電トランスを用いる技術が注目されている。これまでの圧電トランスの主な用途は、液晶ディスプレイのバックライト光源として使用される冷陰極管の点灯用である。
【０００３】
このような用途に用いられる従来の圧電トランスの基本的な構造を図６に示す。この圧電トランス２は、ローゼン型と呼ばれるものであり、平面形状が矩形の圧電基板（例えば圧電セラミックス基板）４の上下の両主面に一対の入力電極６、８を、圧電基板４を挟んで相対向するように設け、当該圧電基板４の長さ方向であって入力電極６、８とは反対側の端面に出力電極１０を設け、両入力電極６、８間の圧電基板４はその厚さ方向に分極し（図中の矢印Ｐはその分極方向を示す。以下同じ）、入力電極６、８と出力電極１０間の圧電基板４はその長さ方向に分極した構造をしている。各入力電極６、８は、圧電基板４の一方の（即ち出力電極１０とは反対側の）端部から中央部にかけて形成されており、その長さＬ２　は、圧電基板４の長さＬ１　の約１／２である。
【０００４】
両入力電極６、８間に、当該圧電トランス２の共振周波数近傍の交流電圧を印加して励振すると、圧電基板４における電歪効果および圧電効果によって、出力電極１０に、より具体的には出力電極１０と入力電極８（または６）との間に、昇圧された交流電圧を得ることができる。なお、このような圧電トランス２は、圧電基板４の長さＬ１　を入力交流電圧の１／２波長にして１／２波長（λ／２）モードの共振振動モードを利用する場合と、当該長さＬ１　を入力交流電圧の１波長にして１波長（λ）モードの共振振動モードを利用する場合とがある。
【０００５】
これまで、上記のような基本的な構造を元にして、大パワーが得られるように、様々な改良案が提案されている。この改良は、例えば特許文献１にも提案されているように、基本的には、入力インピーダンスを小さくし、出力インピーダンスも小さくする改良である。なぜなら、従来の圧電トランスは、前述したように冷陰極管を点灯することを主目的として開発されており、このような用途では比較的大きい電力（例えば数Ｗ程度）の供給が使命となっていたからである。
【０００６】
【特許文献１】
特開平９−１８１３７１号公報（段落番号００１９、図１）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
圧電トランスの上記以外の用途として、高電圧を用いてイオン（例えば負イオン）を発生するイオン発生器に用いることが挙げられる。
【０００８】
図６に示す従来の圧電トランス２を用いたイオン発生器の一例を図７に示す。このイオン発生器は、上記のような圧電トランス２と、それの両入力電極６、８間に前述したような共振周波数近傍の交流電圧を印加する交流電源１２と、圧電トランス２の出力電極１０とグラウンドとの間にカップリングコンデンサ１４を介して接続された整流用のダイオード１６と、カップリングコンデンサ１４の出力部（換言すれば、当該コンデンサ１４とダイオード１６（この例ではそのアノード）との接続部）に接続されたイオン発生用の針状電極１８とを備えている。交流電源１２は、その出力交流電圧の周波数を圧電トランス２の共振周波数の変化に自動で追従させる機能は有していない。交流電源１２を安価にするためである。図２に示すイオン発生器においても同様である。なお、この明細書でグラウンドとは、当該イオン発生器の電気回路のアース部のことである。
【０００９】
圧電トランス２の出力電極１０から出力される出力電圧Ｖ２　は、カップリングコンデンサ１４を介してダイオード１６および針状電極１８に印加され、ダイオード１６で半波整流される。これによって、この例では負の直流高電圧が得られ、これが針状電極１８に印加される。これによって、針状電極１８から負イオン２０を発生させることができる。なお、カップリングコンデンサ１４は、圧電トランス２の出力部をダイオード１６で直接短絡させることによって大きな電流が流れるのを、インピーダンスを高めることによって抑制するためのものである。
【００１０】
このような用途の場合、出力電圧は高いけれども、その出力電力は概して大きくない。例えば、出力電圧Ｖ２　が５０００Ｖ（波高値）で負イオン２０を１０００万／ｃｃの濃度で毎秒１ｍ３　発生させるとしても、その出力電力値Ｗ２　は、次式に示すように、８ｍＷ程度である。ｅは電子の電荷であり、１．６×１０−１９　クーロンである。
【００１１】
【数１】
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【００１２】
このように、イオン発生器で必要とされる圧電トランスの出力は、１０ｍＷ以下であり、大きくてもせいぜい２０〜３０ｍＷ以下である。これは、これまでの冷陰極管点灯用の出力（数Ｗ）に比べて、必要とされる出力が非常に（２〜３桁）小さい。反対に、圧電トランスに必要とされる出力電圧Ｖ２　は、５ｋＶ前後（例えば２〜７ｋＶ程度）と、これまでの冷陰極管点灯用の出力電圧（例えば１００Ｖ程度）に比べてかなり（１桁程度）大きい。
【００１３】
そこで、必要とする出力が小さいので、従来の圧電トランス２の内で小出力（１Ｗ出力）の圧電トランス２を用いて上記のようなイオン発生器を構成して動作させたところ、圧電トランス２の温度上昇が激しく、圧電トランス２は、自己発熱で自らの共振周波数を大きく変化させて、出力が低下してしまい、安定動作が不可能になった。実験の結果、耐熱の観点からは、実用的には出力が数Ｗクラスという大型の圧電トランス２を必要とすることが判明した。
【００１４】
しかし、せいぜい２０〜３０ｍＷ以下の出力を取り出すのに、出力が数Ｗクラスの圧電トランス２を用いなければならないのは、非常に効率が悪く、しかも圧電トランス２ひいてはイオン発生器の寸法も大きくなり、かつコストも嵩む。
【００１５】
なお、交流電源１２は、その出力交流電圧の周波数を圧電トランス２の共振周波数の変化に自動で追従させる機能は有していない。そのような機能を有するものを用いると、交流電源１２が非常に高価になる、という別の問題が発生する。また、正確な周波数制御は、実際上は難しい。
【００１６】
例えば２０〜３０ｍＷ以下という軽負荷で、例えば２〜７ｋＶ程度という高出力電圧の用途に好適な圧電トランスが必要である。そこでこの発明は、軽負荷かつ高出力電圧の用途に好適な圧電トランスを提供することを一つの目的としている。また、そのような圧電トランスを用いたイオン発生器を提供することを他の目的としている。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、種々の検討を行った。その結果を以下に示す。
【００１８】
圧電トランスの簡略化した等価回路は、一般的に図８のように示される。つまり、一方の入力電極６と出力電極１０間にインダクタンスＬ、静電容量Ｃおよび抵抗Ｒが直列に形成され、両入力電極６、８間に入力側静電容量Ｃ１　が形成され、出力電極１０と他方の入力電極８間に出力側静電容量Ｃ２　が形成されている。両入力電極６、８間には交流電源１２が接続される。出力電極１０と入力電極８間には、負荷２２（その負荷インピーダンスはＲＬ　）が接続される。
【００１９】
イオン発生器のような用途においては、負荷２２は前述したように非常に小さく（軽く）、即ち負荷インピーダンスＲＬ　は極めて大きく、出力がオープンのモデルで考えて良い。そうすると、前述した圧電トランス２の発熱の要因は、出力側静電容量Ｃ２　を通して圧電トランス２の内部を流れる内部環流電流Ｉ０　による抵抗Ｒでの電力損失（ジュール損。これは簡単に言えばＩ０２Ｒで表される）であり、入力電力の殆どはこの電力損失（内部損失）になっている。
【００２０】
ところが、従来の圧電トランス２は、冷陰極管のように負荷インピーダンスＲＬ　が比較的小さい（例えば冷陰極管の点灯後で数十ｋΩ）負荷を対象に開発されており、そのために、圧電トランス２の出力インピーダンスＺ２　も比較的小さい（例えば１００ｋΩ程度）。圧電トランス２の出力インピーダンスＺ２　は、簡単に言えば、図８からも分かるように、出力側静電容量Ｃ２　によって決まり、Ｚ２　＝１／ωＣ２　で表される。ωは角周波数である。即ち従来の圧電トランス２は、この出力側静電容量Ｃ２　の値が大きい。また、前述したように、従来成されているのは、出力インピーダンスをより小さくする（即ち出力側静電容量Ｃ２　をより大きくする）改良である。
【００２１】
上記のように出力インピーダンスの小さい圧電トランス２を用いて、前述したように冷陰極管点灯用よりも少なくとも１桁程度は大きい出力電圧Ｖ２　を得るためには、内部環流電流Ｉ０　を大きくせざるを得ず（なぜなら、簡単に言えばＶ２　＝Ｉ０　・Ｚ２　で表される）、これが、圧電トランス２の内部における抵抗Ｒでの電力損失を大きくし、発熱を大きくしているということが分かった。
【００２２】
従って、例えばイオン発生器のような軽負荷かつ高出力電圧の用途に用いる圧電トランスにおいては、従来とは全く逆に、上記出力側静電容量Ｃ２　を小さくして圧電トランスの出力インピーダンスＺ２　を大きくすれば良く、そのためには、圧電トランスの入力電極の長さを小さくして、入力電極と出力電極との間の距離を大きくすれば良いことを見出した。この発明は、このような知見に基づいてなされたものである。
【００２３】
即ち、この発明に係る圧電トランスは、前記各入力電極の長さＬ２　を、前記圧電基板の長さＬ１　の２０％〜４０％にしていることを特徴としている（請求項１に対応）。
【００２４】
上記のように構成することによって、軽負荷かつ高出力電圧の用途に好適な圧電トランスを実現することができる。即ち、前述した等価回路における出力側静電容量Ｃ２　が小さくなり、出力インピーダンスＺ２　が大きくなるので、内部環流電流Ｉ０　を大きくしなくても、高い出力電圧Ｖ２　を得ることができる。その結果、圧電トランスにおける電力損失を小さくすることができるので、圧電トランスの温度上昇を小さくすることができる。その結果、圧電トランスの安定動作が可能になる。ひいては、圧電トランスの小型化を図ることができる等の様々な効果が得られる。
【００２５】
入力電極の長さＬ２　を上記のような範囲に限定したのは、４０％を超えると、従来の圧電トランスに近づき、出力側静電容量Ｃ２　をあまり小さくすることはできず、圧電トランスの温度上昇を抑える効果が小さくなるからである。２０％未満になると、圧電トランスへ入力電力を供給する効率が低下すること等によって、高い出力電圧Ｖ２　を得ることが困難になるからである。入力電極の長さＬ２　は、上記範囲の内でも、２５％〜３４％がより好ましい。
【００２６】
この発明に係るイオン発生器は、上記のような圧電トランスと、この圧電トランスの両入力電極間に交流電圧を印加する交流電源と、当該圧電トランスの出力電極とグラウンドとの間に接続された整流用のダイオードと、当該圧電トランスの出力電極に接続されたイオン発生用の針状電極とを備えることを特徴としている（請求項２に対応）。
【００２７】
このイオン発生器によれば、圧電トランスに対する負荷インピーダンスは非常に大きく圧電トランスの負荷は軽負荷であるので、しかも高出力電圧を必要とするので、圧電トランスの上記のような作用効果をより顕著に発揮させることができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明に係る圧電トランスの一例を示す斜視図である。図６に示した従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該従来例との相違点を主に説明する。
【００２９】
この圧電トランス２ａにおいては、前記各入力電極６、８の長さＬ２　を、前記圧電基板４の長さＬ１　の２０％〜４０％にしている。即ち、圧電基板４の長さＬ１　に対する各入力電極６、８の長さＬ２　の割合（＝Ｌ２　／Ｌ１　×１００）を２０％以上４０％以下の範囲内にしている。両入力電極６、８は、前述したように、圧電基板４の一方の（即ち出力電極１０とは反対側の）端部から中央部の方向に形成されている。両入力電極６、８は、圧電基板４の幅方向（即ち、長さＬ１　と直交する方向）には、通常はこの例のように全体に形成されている。従って、この例では、各入力電極６、８の面積が、圧電基板４の一つの主面の面積の２０％〜４０％であると言うこともできる。上記割合が好ましい理由は、図３を参照して後で詳述する。
【００３０】
上記のように構成することによって、軽負荷かつ高出力電圧の用途に好適な圧電トランス２ａを実現することができる。即ち、入力電極６、８と出力電極１０との間の距離が大きくなって前述した等価回路（図８参照）における出力側静電容量Ｃ２　が小さくなり、出力インピーダンスＺ２　が大きくなる。例えば、長さＬ２　の割合を上記のような範囲にすることによって、１ＭΩ以上の出力インピーダンスＺ２　を実現することができる。これは従来例よりも１桁は大きい。その結果、内部環流電流Ｉ０　を大きくしなくても、高い出力電圧Ｖ２　を得ることができる。特に、軽負荷の用途においてはそうである。その結果、圧電トランス２ａにおける電力損失を小さくすることができるので、圧電トランス２ａの温度上昇を小さくすることができる。ひいては、圧電トランス２ａの小型化を図ることができる等の様々な効果が得られる。この効果については後で更に説明する。
【００３１】
この圧電トランス２ａの定格出力電力は、例えば５〜３０ｍＷの範囲内である。定格出力電圧Ｖ２　は、例えば２〜７ｋＶの範囲内である。
【００３２】
図２は、図１に示す圧電トランスを用いたイオン発生器の一例を示す回路図である。図７に示した従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該従来例との相違点を主に説明する。
【００３３】
このイオン発生器では、従来例で用いていた出力側のカップリングコンデンサ１４を省略しており、上記圧電トランス２ａの出力電極１０に直接（即ちカップリングコンデンサ１４を介在させることなく）、前記ダイオード１６の一端（この例ではアノード）および針状電極１８を接続している。ダイオード１６の他端（この例ではカソード）はグラウンドに接続されている。なお、圧電トランス２ａの入力電極の一方（この例では入力電極８）および交流電源１２の一端もグラウンドに接続されている。従って、ダイオード１６の他端（この例ではカソード）は、この一方の入力電極８あるいは交流電源１２の一端に接続されていると言うこともできる。
【００３４】
このイオン発生器でカップリングコンデンサ１４を省略することができるのは、前述したように、圧電トランス２ａの出力インピーダンスＺ２　が高いからである。即ち、ダイオード１６は、圧電トランス２ａの出力電圧Ｖ２　を半サイクルごとに短絡することになる。そのようなことを、従来のように出力インピーダンスＺ２　の低い圧電トランス２で行うと、ダイオード１６に大きな電流が流れるので、ダイオード１６および圧電トランス２に容量の大きいものが必要であり、かつ消費電力も大きく、また圧電トランスの動作が不安定になりやすい。従来はこれを防止するために、出力部にカップリングコンデンサ１４を介在させて、このカップリングコンデンサ１４によってインピーダンスを高めていたのである。これに対して、上記圧電トランス２ａは、それ自身で出力インピーダンスＺ２　が高いので、カップリングコンデンサ１４を介在させなくても、上記のような問題発生を防止することができる。
【００３５】
図２のイオン発生器において、圧電基板４の長さＬ１　に対する各入力電極６、８の長さＬ２　の割合の異なる（即ち、当該割合が２５％、３４％および５０％の）圧電トランス２ａを用いたときの、圧電トランス２ａの表面の温度上昇ΔＴおよび出力電圧Ｖ２　を測定した結果を図３に示す。このとき、交流電源１２から入力電極６、８に供給する交流電圧の大きさは同一とした。
【００３６】
割合が５０％（即ちＬ２　／Ｌ１　＝１／２）というのは、従来の圧電トランス２と構造が同じであり、従来例である。このときの温度上昇ΔＴは、約４０℃と非常に大きい。出力電圧Ｖ２　は約２．３ｋＶである。
【００３７】
割合が３４％（即ちＬ２　／Ｌ１　≒１／３）のときは、温度上昇ΔＴは約５℃と非常に（従来例の１／１０程度に）小さく、しかも出力電圧Ｖ２　は約５．６ｋＶで従来例の２倍以上大きい。温度上昇ΔＴが小さいのは、圧電トランス２ａにおける電力損失（内部損失）が小さいことの表れである。
【００３８】
割合が２５％（即ちＬ２　／Ｌ１　＝１／４）のときは、温度上昇ΔＴは約３℃と非常に（従来例の１／１０程度に）小さく、しかも出力電圧Ｖ２　は約３．５ｋＶで従来例よりも明らかに大きい。
【００３９】
割合が２０％（即ちＬ２　／Ｌ１　＝１／５）のときの測定は行っていないけれども、グラフを延長することによって、図３中に破線で示すような結果が得られるものと推定される。また、割合が４０％の場合は、図３のグラフから、温度上昇ΔＴは従来例に比べて明らかに小さく、しかも従来例よりも明らかに大きい出力電圧Ｖ２　が得られることが分かる。
【００４０】
上記から分かるように、入力電極６、８の長さＬ２　の割合が２０％〜４０％の範囲内では、圧電トランス２ａの温度上昇ΔＴは従来例に比べて明らかに小さく、しかも従来例と同程度以上の出力電圧Ｖ２　が得られる。従って、圧電基板４の長さＬ１　に対する各入力電極６、８の長さＬ２　の割合は、２０％〜４０％の範囲内が好ましい。特に、上記割合が２５％〜３４％の場合は、温度上昇ΔＴが従来例に比べて非常に小さく、しかも従来例よりも明らかに大きい出力電圧Ｖ２　が得られる。従って、上記割合は、２５％〜３４％の範囲内がより好ましい。
【００４１】
この発明に係る圧電トランス２ａの効果の詳細を列挙すると次のとおりである。
【００４２】
（１）この圧電トランス２ａは、その内部における電力損失を小さくすることができ、当該圧電トランス２ａの温度上昇を従来例に比べて明らかに小さくすることができる。その結果、圧電トランス２ａの安定動作が可能になる。従って、従来のように耐熱のためにわざわざ大型の圧電トランスを用いなくて済む。即ち、小型のものでも安定動作が可能になるので、圧電トランス２ａの小型化を図ることができる。これは省スペースにつながり、ひいてはこのような圧電トランス２ａを用いた機器（例えば図２に示すイオン発生器）の小型化を図ることが可能になる。
【００４３】
（２）この圧電トランス２ａは、上記のようにそれ自身で出力インピーダンスＺ２　が高いので、出力側のインピーダンスを高めるために従来必要としていたカップリングコンデンサを省略することができる。これは図２の所で詳述したとおりである。
【００４４】
（３）従来の圧電トランス２もこの発明に係る圧電トランス２ａも、１波長モードの振動モードを利用する場合に比べて、１／２波長モードの振動モードを利用する方が、圧電トランスの長さが半分になり小型化することができるという利点がある。しかし、１／２波長モードの場合は、図４ＢおよびＣに示すように、圧電基板４の長さ方向の中央に、振動の節部３２すなわち振動応力の最大部が位置することになる。
【００４５】
一方、この種の圧電トランス２、２ａでは、圧電基板４の分極時に生じて内在する分極応力の最大部３０は、前述したような分極方向Ｐの境界部、即ち入力電極６、８の出力電極１０側の端部に生じる。
【００４６】
従来の圧電トランス２では、入力電極６、８の長さＬ２　が圧電基板４の長さＬ１　の約１／２であるので、図６中に矢印で示すように、上記分極応力の最大部３０と振動応力の最大部３２とが一致または近接する関係にあり、これによって応力集中が生じて圧電トランス２（より具体的にはその圧電基板４）が中央部で破損しやすいという大きな課題がある。
【００４７】
これに対して、この発明に係る圧電トランス２ａでは、入力電極６、８の長さＬ２　を圧電基板４の長さＬ１　の２０％〜４０％にしているので、図４に示すように、分極応力の最大部３０と振動応力の最大部３２とを完全に分離することができる。即ち、両者３０、３２の位置を完全にずらすことができる。その結果、応力集中を避けることができるので、圧電トランス２ａ（より具体的にはその圧電基板４）が破損しにくくなり、機械的強度の高い圧電トランス２ａを実現することができる。
【００４８】
（４）この圧電トランス２ａは、上記のように出力インピーダンスＺ２　が高いので、高電圧出力時の人に対する安全性が高い。なぜなら、仮に出力電極１０やそれに接続された針状電極１８等の出力部に人が触れると、圧電トランス２ａの共振周波数が大きく変化して出力電圧Ｖ２　が急減に低下すると共に、出力電圧Ｖ２　は高い出力インピーダンスＺ２　とそれよりもかなり低い人体のインピーダンスとで分圧される形になるため、一瞬にして出力電圧Ｖ２　は人体に安全な領域（例えば数Ｖ程度）まで急激に低下するからである。
【００４９】
この発明に係る圧電トランス２ａは、上記（１）〜（４）に挙げた効果を奏するので、例えば図２に示したような、軽負荷でしかも高出力電圧を必要とするイオン発生器に用いるのが特に好適であり、そのようなイオン発生器に用いると上記効果をより顕著に発揮することができる。
【００５０】
なお、圧電トランス２ａの出力電極１０は、圧電基板４の端面ではなく、例えば図５に示す例のように、圧電基板４の主面の端部付近に設けても良い。そのようにすると、出力電極１０をそれと同一面に設ける入力電極６（または８）と同時に形成することができるので、出力電極１０の形成が容易になる。
【００５１】
また、図２のようなイオン発生器において、正イオンを発生させる場合は、ダイオード１６の向きを図示とは逆にすれば良い。
【００５２】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、軽負荷かつ高出力電圧の用途に好適な圧電トランスを実現することができる。しかも次のような効果を奏する。
【００５３】
（１）圧電トランスの内部における電力損失を小さくして、圧電トランスの温度上昇を小さくすることができるので、小型のものでも安定動作が可能になる。その結果、圧電トランスの小型化を図ることができる。
【００５４】
（２）この圧電トランスはそれ自身で出力インピーダンスが高いので、出力側のインピーダンスを高めるために従来必要としていたカップリングコンデンサを省略することができる。
【００５５】
（３）１／２波長モードの振動モードの利用時に、分極応力の最大部と振動応力の最大部とを分離して応力集中を避けることができるので、機械的強度の高い圧電トランスを実現することができる。即ち、１／２波長モードの振動モードを機械的に安定して利用することが可能になる。
【００５６】
（４）この圧電トランスは出力インピーダンスが高く、出力部に人が触れると出力電圧は一瞬にして急激に低下するので、高電圧発生に利用しても人に対する安全性が高い。
【００５７】
請求項２記載の発明によれば、圧電トランスに対する負荷インピーダンスは非常に大きく圧電トランスの負荷は軽負荷であるので、しかも高出力電圧を必要とするので、請求項１記載の圧電トランスの上記のような作用効果をより顕著に発揮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る圧電トランスの一例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す圧電トランスを用いたイオン発生器の一例を示す回路図である。
【図３】入力電極の長さの割合に対する圧電トランスの表面の温度上昇および出力電圧を測定した結果の一例を示す図である。
【図４】この発明に係る圧電トランスを１／２波長モードで励振する場合の例を示す図であり、（Ａ）は圧電トランスの断面図、（Ｂ）は変位分布図、（Ｃ）は振動応力分布図である。
【図５】この発明に係る圧電トランスの他の例を示す斜視図である。
【図６】従来の圧電トランスの一例を示す斜視図である。
【図７】図６に示す従来の圧電トランスを用いたイオン発生器の一例を示す回路図である。
【図８】圧電トランスの簡略化した等価回路図である。
【符号の説明】
２ａ　圧電トランス
４　圧電基板
６、８　入力電極
１０　出力電極
１２　交流電源
１６　ダイオード
１８　針状電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004146660.tif 000009
【図７】
2004146660.tif 000010
【図８】
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