(57)【要約】【課題】センサの検出感度を向上させることができ、小型に構成しても十分な検出感度を得ることができるジャイロセンサや加速度センサ、圧力センサ等のセンサを提供すること。【解決手段】圧電材料で形成され、外部から作用する力に基づいて、前記圧電材料の振動を検出するセンサ１０であって、前記圧電材料の少なくとも検出部２３，２３に、複数対の電極２６ａ，２６ｂが形成されており、これら複数対の電極が直列に接続されているセンサ。【選択図】　　図２
2004085237.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料で形成され、外部から作用する力に基づいて、前記圧電材料の振動を検出するセンサであって、
前記圧電材料の少なくとも検出部に、複数対の電極が形成されており、
これら複数対の電極が直列に接続されている
ことを特徴とする、圧電材料を利用したセンサ。
【請求項２】
前記検出部として、一方向に延びるように形成した検出腕を備えて、この検出腕に設けた電極が、腕の方向と平行に、複数対に分割されることで複数対の電極とされており、これら複数対の電極を直列に接続したことを特徴とする、請求項１に記載の圧電材料を利用したセンサ。
【請求項３】
前記圧電材料が単結晶材料であることを特徴とする、請求項１または２のいずれかに記載の圧電材料を利用したセンサ。
【請求項４】
前記圧電材料が水晶であることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電材料を利用したセンサ。
【請求項５】
圧電材料で形成され、外部から作用する力に基づいて、前記圧電材料の振動を検出するセンサ本体を備えるジャイロセンサであって、
センサ本体を励振する手段と、
前記センサ本体からの検出信号を処理する手段と
を有し、
前記センサ本体の少なくとも検出部に、複数対の電極が形成されており、
これら複数対の電極が直列に接続されている構成とした
ことを特徴とする、ジャイロセンサ。
【請求項６】
圧電材料で形成され、外部から与えられる加速に基づいて前記圧電材料の振動を検出するセンサであって、
前記圧電材料の少なくとも検出部に、複数対の電極が形成されており、
これら複数対の電極が直列に接続されている
ことを特徴とする、加速度センサ。
【請求項７】
圧電材料で形成され、外部から与えられる振動に基づいて前記圧電材料の振動を検出するセンサであって、
前記圧電材料の少なくとも検出部に、複数対の電極が形成されており、
これら複数対の電極が直列に接続されている
ことを特徴とする、圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電材料の振動や変位等を検出することで、角速度や加速度等の種々の計測を行うためのジャイロセンサや加速度センサ、圧力センサ等のセンサの改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、圧電材料の振動や変位等を利用して、加速度や角速度等を検出する各種のセンサが広く利用されている。
図９は、このような圧電材料を利用したセンサの簡単な構成例を示している。図において、センサ１は、圧電材料により形成された四角柱状の検出体４を備えている。図１０は、図９のＳ−Ｓ線切断断面図であり、検出体４の各外面には、それぞれ電極２，２と電極３，３とが形成されており、図１０に示すように電極２，２と電極３，３どうしを接続し、これらの電位差を取り出すように接続されている。
【０００３】
図１１は、このようなセンサ１について、例えば、矢印の方向に、振動Ｔが加えられた場合が示されており、図１１（ａ）のセンサ１の検出体４の部分が、図１１（ｂ）に示されている。
図において、矢印方向に振動Ｔが働くと、センサ１の検出体４は、図１１（ｂ）に示すように変位（変形）する。つまり、検出体４の右側４ａは延びて、左側４ｂは縮むように振動もしくは変位（変形）する。
【０００４】
この検出体４の振動もしくは変位（変形）により、図１１のＵ−Ｕ線切断断面図である図１２（ａ）に示すように、検出体４の外面の各電極２，２，３，３間には、矢印で示すような電界が生じる。この検出体４の振動もしくは変位（変形）に基づく電界は、図１２（ｂ）に示すように、それぞれ電位差を持った、検出体４の外面における各電極２，３の並列回路として構成されるという原理に基づいて、信号として取り出され、かくして振動Ｔの検出を行うことができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、センサ１により検出する振動Ｔが小さい場合には、発生する電位差も小さいことから、その分検出が困難となる。また、装置を小型化すると、センサ本体である検出体４も小さくなり、電位差がより小さくなることから、その検出がますます困難となる。
【０００６】
ところが、従来のセンサ１では、図１２（ｂ）の等価回路に示されているように、複数対の電極２，２，３，３が、並列に接続されているために、検出される電圧が大きくならない。このため、検出する振動Ｔが小さかったり、小型のセンサである場合には、検出が難しくなる。
【０００７】
本発明は、上述の問題を解決するためになされたものであり、センサの検出感度を向上させることができ、小型に構成しても十分な検出感度を得ることができるジャイロセンサや加速度センサ、圧力センサ等のセンサを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の目的は、請求項１の発明によれば、圧電材料で形成され、外部から作用する力に基づいて、前記圧電材料の振動や変位もしくは変形等（以下、これらを全て「振動」という）を検出するセンサであって、前記圧電材料の少なくとも検出部に、複数対の電極が形成されており、これら複数対の電極が直列に接続されている、圧電材料を利用したセンサにより、達成される。
請求項１の構成によれば、このセンサの検出部を構成する圧電材料には、複数対の電極を形成している。しかもこの複数対の電極が直列に接続されている。
これにより、検出部を構成する圧電材料が、検出対象としての圧力や、角速度等の所定方向に作用する力に応じて、振動すると、この部分に設けられた前記複数対の複数の電極が、対とされた電極の数に応じて、高いレベルの検出信号を生成することができるので、検出感度を向上させることができる。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１の構成において、前記検出部として、一方向に延びるように形成した検出腕を備えて、この検出腕に設けた電極が、腕の方向と平行に、複数対に分割されることで複数対の電極とされており、これら複数対の電極を直列に接続したことを特徴とする。
請求項２の構成によれば、振動検出用に圧電材料で形成した検出腕を設ける。検出腕は加速度を受けると変形し易く容易に電荷が発生するので、この検出腕に関して、その腕と平行に電極を分割して直列に接続するようにすれば、分割した分だけ検出電圧を高くすることができる。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１または２のいずれかの構成において、前記圧電材料が単結晶材料であることを特徴とする。
請求項３の構成によれば、圧電材料が単結晶材料である場合には、一般に単結晶材料は多結晶材料に比べて安定性は高いが電気的結合係数が低いので、電極を分割して直列に接続することで、検出信号のレベルを高めて高い検出感度を得ることができるという利点がある。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれかの構成において、前記圧電材料が水晶であることを特徴とする。
請求項４の構成によれば、水晶は、電気機械結合係数が低いので、特に、電極を分割して、直列に接続することで、検出信号のレベルを高めて、高い検出感度を得ることができる。
【００１２】
上記目的は、請求項５の発明にあっては、圧電材料で形成され、外部から作用する力に基づいて、前記圧電材料の振動を検出するセンサ本体を備えるジャイロセンサであって、センサ本体を励振する手段と、前記センサ本体からの検出信号を処理する手段とを有し、前記センサ本体の少なくとも検出部に、複数対の電極が形成されており、これら複数対の電極が直列に接続されている構成としたジャイロセンサにより、達成される。
請求項５の構成によれば、センサ本体の検出部を構成する圧電材料には、複数対の電極を形成している。しかもこの複数対の電極が直列に接続されていることにより、対とされた電極の数に応じて、検出電圧を高くすることができるので、ジャイロセンサの検出感度を向上させることができる。
【００１３】
また、上述の目的は、請求項６の発明によれば、圧電材料で形成され、外部から与えられる加速に基づいて前記圧電材料の振動を検出するセンサであって、前記圧電材料の少なくとも検出部に、複数対の電極が形成されており、これら複数対の電極が直列に接続されている、加速度センサにより、達成される。
請求項６の構成によれば、このセンサの検出部を構成する圧電材料には、複数対の電極を形成している。しかもこの複数対の電極が直列に接続されている。
これにより、対とされた電極の数に応じて、検出電圧を高くすることができるので、加速度センサの検出感度を向上させることができる。
【００１４】
また、上述の目的は、請求項７の発明によれば、圧電材料で形成され、外部から与えられる振動に基づいて前記圧電材料の振動を検出するセンサであって、前記圧電材料の少なくとも検出部に、複数対の電極が形成されており、これら複数対の電極が直列に接続されている、圧力センサにより、達成される。
請求項７の構成によれば、このセンサの検出部を構成する圧電材料には、複数対の電極を形成している。しかもこの複数対の電極が直列に接続されている。
これにより、対とされた電極の数に応じて、検出電圧を高くすることができるので、圧力センサの検出感度を向上させることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１は、本実施形態による圧電材料を利用したセンサの第１の実施形態としてのジャイロセンサの概略構成を示すブロック図である。
図において、ジャイロセンサ１０は、センサ本体２０と、このセンサ本体２０を励振させ駆動するための回路及び、センサ本体２０からの信号を検出する回路を備えている。
センサ本体２０は、例えば、圧電材料等で形成され図示しないパッケージやケース内で、その振動を妨げないように、固定されている。
このセンサ本体２０は、励振部としての一対の励振用振動片２２，２２と、検出部としての一対の検出用振動片２３，２３とを固定部２１により一体に形成することで、ほぼＨ字状の形態を備えている。固定部２１は、接着剤等により、上述のパッケージ等へ固定されている。
【００１６】
そして、ジャイロセンサ１０は、励振手段としての励振回路１１により、励振用振動片２２，２２に駆動電圧を印加して、矢印Ｘの方向に沿って、所謂音叉振動させるようになっている。この際に、Ｙ軸の回りに回転角速度ωが作用すると、励振用振動片２２，２２は、Ｘ軸方向の振動の方向と、回転角速度ωとのベクトル積の方向に働くコリオリの力Ｆｃを受けて、次式にしたがって、Ｚ軸に沿って（プラスＺ方向とマイナスＺ方向に交互に）振動するようになっている（ウオーク振動）。この振動はＹ方向に検出用振動片２３，２３に伝えられる。
Ｆｃ＝２ｍＶ・ω（ｍは、駆動用振動片２２，２２の振動部分の質量、Ｖは駆動用振動片２２，２２の速度）・・・・・・（１）式
【００１７】
検出用振動片２３，２３の振動による検出信号は、その処理手段を経て出力されるようになっている。この検出信号の処理手段として、例えば、検出バランス調整回路１４と、この検出バランス調整回路１４の処理信号が入力される増幅回路１５と、増幅された信号が入力される同期検波回路１６と、同期検波回路１６により同期を取った信号が入力される積分回路１７と、積分回路１７の処理信号が入力される増幅出力回路１８とを備えている。
【００１８】
すなわち、検出用振動片２３，２３の各振動による検出信号は、検出バランス調整回路１４により、バランス調整される。このバランス調整後の信号は増幅回路１５により増幅され同期検波回路１６に入力される。同期検波回路１６は、励振回路１１と接続されており、励振回路１１からの出力信号に基づいて、その交流電圧を負の部分を反転して整流することで、同期検波を行い積分回路１７に入力される。積分回路１７では、正電圧化された電気信号を整流電圧の電気信号とし、この電気信号は増幅出力回路１８によって、所定の信号レベルで出力される。
特に、このジャイロセンサ１０では、後述する構成により、検出用振動片２３，２３の検出信号レベルが高められることで、高感度な回転角度検出を行うことができるようになっている。
【００１９】
図２は、センサ本体２０を示す概略斜視図である。
図において、センサ本体２０は、圧電材料で形成されており、好ましくは、単結晶の圧電材料で、例えば、タンタル酸リチウムが使用されている。この場合、タンタル酸リチウム以外の圧電材料として、例えば、水晶，ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形態のジャイロセンサを小型化する場合、検出信号のレベルが低くなるが、以下の構成とすることで、検出感度を向上させることができるものである。
【００２０】
図２において、Ｘ方向はタンタル酸リチウムのＸ軸、Ｙ、Ｚ方向はタンタル酸リチウムのＹ，Ｚ方向をＸ軸まわりに４０度回転した方向を示している。
図において、センサ本体２０は一方向（図において右斜めの方向）に延びる固定部２１と、この固定部２１から、励振部として、図において左方に平行に延びる一対の励振用振動片２２，２２と、固定部２１から、検出部として、図において右方に平行に延びる一対の検出用振動片２３，２３とを備えている。
【００２１】
励振用振動片２２，２２の表面には、駆動電圧を印加するための励振電極２４，２４が形成されている。この励振用電極２４，２４は、種々の形態があるが、励振用振動片２２，２２に所謂音叉振動を生じさせるものであれば、特に特定の形態である必要はない。
検出部である検出用振動片２３，２３には、それぞれ検出用電極２５，２６が形成されている。
各検出用振動片２３，２３にそれぞれ形成された検出用電極２５，２６は同じ構成なので、手前側の一方の検出用振動片２３の検出用電極２５，２６についてだけ説明する。
【００２２】
検出用電極２５は、図において、検出用振動片２３の両側面の各面にひとつずつ形成されている。これに対して、検出用電極２６は、検出用電極２５と分離されていて、検出用振動片２３の上面と下面にそれぞれ形成されている。検出用電極２５と検出用電極２６は分離されており、検出用電極２５が一方の極（例えば、正極）となり、検出用電極２６が他方の極（例えば、負極）となる。そして、各検出用振動片２３の上下面において、それぞれ、振動と直交する方向（図において、Ｘ方向）に沿って複数、この場合は２つずつに分割されて、分割電極２６ａ、２６ｂとされている。
【００２３】
図３は、このようなジャイロセンサ本体２０のひとつの検出用振動片２３の部分を拡大して示した図であり、図３（ａ）は電極が形成された状態で、図２における検出用振動片２３の上面部を正面に位置させて、電極の分割の様子を示し、図３（ｂ）は、検出用振動片２３の検出体である圧電材料だけを示している。
また、図４（ａ）は、図１のジャイロセンサ本体２０に角速度が作用した場合に、各電極間に生じる電界の様子を、図３（ａ）のＣ−Ｃ線断面図として矢印により示したもので、図４（ｂ）は、図４（ａ）の等価回路である。
【００２４】
これらを参照しながら、ジャイロセンサ本体２０の動作を説明する。
ジャイロセンサ本体２０の励振用振動片２２，２２は、図１で説明した駆動手段としての励振回路１１から、駆動用電圧が印加されることにより、図２において矢印Ａに示すように、その先端部どうしが接近したり離間したりするようにして、Ｘ方向に沿って音叉振動する。この際に、Ｙ軸回りに、回転角速度ωが働くと、コリオリの力Ｆｃを受けて、上述した（１）式にしたがって、駆動用振動片２２，２２は、図２のＺ方向に振動する。この振動は、固定部２１を介して、Ｙ方向に伝えられ、検出用振動片２３，２３も矢印Ｂに示す方向に振動する。
【００２５】
これを図３（ａ）について見ると、検出用振動片２３の上記Ｂ方向の振動によって、図４（ａ）に示すように、検出用振動片２３の検出用電極２５と分割された電極２６ａの間、及び検出用電極２５と分割された他の電極２６ｂの間には、矢印で示すような電界が生じる。この検出用振動片２３の振動に基づく電界は、図４（ｂ）に示すように、検出用振動片２３の外面における各電極２６ａと２５、電極２６ｂと２５とがそれぞれ電位差を持って、直列に接続された回路として構成されるという原理に基づいて、信号として取り出される。このようにして、回転角速度ωの検出を行うことができる。
【００２６】
したがって、本実施形態によれば、このジャイロセンサ本体２０の検出部である検出用振動片２３が回転角速度ωに応じて振動すると、複数対とされた検出用電極２５と２６ａと、検出用電極２５と２６ｂが直列に接続された構成に基づいて、高い電圧の検出信号を生成することができるので、検出感度を向上させることができる。このため、全体を小型に構成しても十分な検出感度を得ることができる。
【００２７】
図５は、本発明による圧電材料を利用したセンサの第２の実施形態としてのジャイロセンサの概略構成を示す概略平面図であり、圧電材料としては水晶が使用されている。本実施形態で使用する水晶は電気機械結合係数が低いので、検出信号のレベルが低くなるが、以下の構成とすることで、検出感度を向上させることができるものである。図５において、Ｘ方向は水晶の電気軸、Ｙ方向は水晶の機械軸、方向は水晶の光軸（成長軸）を示している。特に、図５では、図１のようなブロック構成を省略し、圧電材料で形成されたセンサ本体だけを示している。図６（ａ）は、図５のジャイロセンサ３０に角速度ωが作用した場合に、各電極間に生じる電界の様子を、図５のＤ−Ｄ線断面図として矢印により示したもので、図６（ｂ）は、図６（ａ）の等価回路である。
これらの図において、第１の実施形態と共通の符号を付した箇所は、第１の実施形態と同じ構成であるから、重複する説明は省略する。
【００２８】
図５において、ジャイロセンサ３０は、センサ本体３１が、圧電材料等を使用したパッケージ２８内に収容されており、このパッケージ２８内は、第１の実施形態で説明したのとほぼ同様に、センサ本体３１を励振する励振回路等の駆動手段と、センサ本体３１からの振動を検出する回路等を備えている。
【００２９】
センサ本体３１は、第１の実施形態と同様の圧電材料で形成されており、図５において、ほぼ正方形の固定部３２がパッケージ２８に対して固定されている。固定部３２からは、それぞれ左右の方向に固定部３２と一体に形成された支持部３３，３３が延びている。
各支持部３３，３３の端部には、各支持部３３，３３の延びる方向と直交する方向に、各支持部３３，３３の端部を起点として、両方向に延出された励振用振動片３４，３４が設けられている。そして、各励振用振動片３４，３４には、それぞれ励振用電極２４，２４が設けられている。
【００３０】
さらに、図５において固定部３２の上下の辺のほぼ中央部には、上記各支持部３３，３３の延びる方向と直交する方向に、２つの検出用振動片３５，３５が形成されている。一方の検出用振動片３５は、図５において上方に延びており、他方の検出用振動片３５は、図５において下方に延びていて、検出用振動片３５，３５と、各支持部３３，３３の端部に設けられた各励振用振動片３４，３４は、互いに平行とされている。
【００３１】
図５において、ジャイロセンサ３０の励振用振動片３４，３４は、駆動手段としての図示しない励振回路から、駆動用電圧が印加されることにより、矢印Ｅ，Ｅに示すように、その先端部どうしが接近したり離間したりするようにして振動する。この際に、図５に示すように、紙面の平面内で固定部３２の中心Ｏの回りに、回転角速度ωが働くと、コリオリの力Ｆｃは、図５のＦ，Ｆの方向に働く。この振動は、支持部３３，３３と固定部３２を介して検出用振動片３５，３５に伝えられる。このため、上述の（１）式にしたがって、検出用振動片３５，３５は、図５の矢印Ｈ，Ｈに示す方向に振動する。
【００３２】
これを図６（ａ）について見ると、検出用振動片３５の上記Ｈ方向の振動によって、検出用振動片３５の検出用電極２５と分割された電極２６ａの間、及び検出用電極２５と分割された他の電極２６ｂの間には、矢印で示すような電界が生じる。この検出用振動片３５の振動に基づく電界は、図６（ｂ）の等価回路で示す原理に基づいて、信号として取り出され、かくして回転角速度ωの検出を行うことができる。
したがって、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様に、ジャイロセンサ３０の検出部である検出用振動片３５，３５が回転角速度ωに応じて振動すると、複数対とされた検出用電極２５と２６ａと、検出用電極２５と２６ｂが直列に接続された構成に基づいて、高い電圧の検出信号を生成することができるので、検出感度を向上させることができる。このため、全体を小型に構成しても十分な検出感度を得ることができる。
特に、本実施形態のように、使用している圧電材料が水晶である場合には、水晶は、電気機械結合係数が低いので、特に、電極を分割して、直列に接続することで、検出信号のレベルを高めて、高い検出感度を得ることができる。したがって、電極が、さらに多数に分割されることで、より検出信号のレベルを高めることができる。
そして、第１及び第２の実施形態に示されたように、ジャイロセンサを構成する場合に、圧電材料によるセンサ本体の形態がどのような形態であっても、検出用の電極を、振動方向に沿って複数に分割し、直列に接続することにより、高い電圧の検出信号を生成することができるので、検出感度を向上させることができる。
【００３３】
図７は、本発明による圧電材料を利用したセンサの第３の実施形態としての加速度センサの要部を示す正面図である。
図８（ａ）は、図７の加速度センサ４０に加速度が作用した場合に、各電極間に生じる電界の様子を、図７のＧ−Ｇ線断面図として矢印により示したもので、図８（ｂ）は、図８（ａ）の等価回路である。
これらの図において、第１及び第２の実施形態と共通の符号を付した箇所は、第１の実施形態と同じ構成であるから、重複する説明は省略する。
【００３４】
図７において、加速度センサ４０は、圧電材料により形成された四角柱状の検出体４１を備えており、図示しないパッケージやケース内で、加速度の働く方向Ｉが、検出体４１の延びる方向と直交する方向となるように支持されている。
検出体４１の図において左右の側面には、検出用電極２５，２５が形成されている。また、検出体４１の図において手前の面と、紙面の背面側に位置する面（図示せず）には、それぞれもうひとつの検出用電極２６がそれぞれ設けられている。検出用電極２５と検出用電極２６は分離されており、検出用電極２５が一方の極（例えば、正極）となり、検出用電極２６が他方の極（例えば、負極）となる。また、一方の検出用電極２６は、加速度の方向Ｉと一致する振動方向に関して、複数、この場合２つに分割されている。これにより、検出用電極２６は、電極２６ａと電極２６ｂに分割されている。
【００３５】
図７において、加速度がＩ方向に働くと、加速度センサ４０は、点線で示すように振動する。つまり、加速度センサ４０を構成する検出体４１の右側と左側が交互に延びたり縮んだりする。
この検出体４１の振動により、図８（ａ）に示すように、検出体４１内で矢印で示すような電界が生じる。この検出体４１の振動に基づく電界は、図８（ｂ）に示すように、検出体４１の外面における各電極２６ａと２５、電極２６ｂと２５とがそれぞれ電位差を持って、直列に接続された回路として構成されるという原理に基づいて、信号として取り出される。このようにして、加速度の検出を行うことができる。
【００３６】
したがって、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様に、加速度センサ４０が加速度に応じて振動すると、複数対とされた検出用電極２５と２６ａと、検出用電極２５と２６ｂが直列に接続された構成に基づいて、高い電圧の検出信号を生成することができるので、検出感度を向上させることができる。このため、全体を小型に構成しても十分な検出感度を得ることができる。
尚、この図７および図８の構成と同様の構成により、図７の矢印Ｉ方向に働く圧力を検出対象とした圧力センサを構成した場合においても、第３の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００３７】
本発明は上述の実施形態に限定されない。センサに働くなんらかの力に対して、検出電極を直列に接続する構成のものであれば、ジャイロセンサ、加速度センサ、圧力センサ等のいかなる名称のセンサにも適用される。
【００３８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、センサの検出感度を向上させることができ、小型に構成しても十分な検出感度を得ることができるジャイロセンサや加速度センサ、圧力センサ等のセンサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態によるジャイロセンサの構成を示すブロック図。
【図２】図１のジャイロセンサのセンサ本体部分の概略斜視図。
【図３】図１のジャイロセンサの検出用振動片の部分的構成を示す図であり、（ａ）は電極配置を示す概略斜視図、（ｂ）は電極を省略した検出体の概略斜視図。
【図４】図１のジャイロセンサ１０に角速度が作用した場合の説明図であり、（ａ）は図１のジャイロセンサ１０に角速度が作用した場合に、各電極間に生じる電界の様子を、図３（ａ）のＣ−Ｃ線断面図として矢印により示した図、（ｂ）は（ａ）の等価回路図。
【図５】本発明の第２の実施形態によるジャイロセンサの構成を示す概略平面図。
【図６】図５のジャイロセンサ３０に角速度が作用した場合の説明図であり、（ａ）は図５のジャイロセンサ３０に角速度が作用した場合に、各電極間に生じる電界の様子を、図５のＤ−Ｄ線断面図として矢印により示した図、（ｂ）は（ａ）の等価回路図。
【図７】本発明の第３の実施形態による加速度センサの要部を示す正面図。
【図８】図７の加速度センサに加速度が作用した場合の説明図であり、（ａ）は図７の加速度センサに加速度が作用した場合に、各電極間に生じる電界の様子を、図７のＧ−Ｇ線断面図として矢印により示した図、（ｂ）は（ａ）の等価回路図。
【図９】従来の圧電材料を利用したセンサの概略斜視図。
【図１０】図９のＳ−Ｓ線断面図。
【図１１】図９のセンサに矢印の方向に、振動Ｔが加えられた場合の説明図であり、（ａ）は図９のセンサの電極配置を示す概略斜視図、（ｂ）は電極を省略した検出体の概略斜視図。
【図１２】センサに対して矢印の方向に、振動Ｔが加えられた場合の説明図であり、（ａ）は図９のセンサに振動Ｔが作用した場合に、各電極間に生じる電界の様子を、図１１のＵ−Ｕ線断面図として矢印により示した図、（ｂ）は（ａ）の等価回路図。
【符号の説明】
１０，３０・・・ジャイロセンサ、２０，３１・・・センサ本体、２１・・・固定部、２２，２２・・・励振用振動片、２３，２３・・・検出用振動片、２５，２６・・・検出用電極、３２・・・固定部、３３，３３・・・支持部、３４，３４・・・励振用振動片、３５，３５・・・検出用振動片、４０・・・加速度センサ（圧力センサ）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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