(57)【要約】【課題】スリーブの加工を合理化することにより、廉価なコンタクトプローブを提供すること。【解決手段】ロッド体２０と、ロッド体２０を保持するスリーブ３０とを備え、ロッド体がスリーブに対して移動することにより伸縮するコンタクトプローブにおいて、スリーブは、プレート状の素材Ａをプレス成形してなる構成のコンタクトプローブである。プレス成形は、ブランク形成工程、カーリング工程、及び分離工程を含む。【選択図】　　　　図２
2004061180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロッド体と、前記ロッド体を保持するスリーブとを備え、前記ロッド体が前記スリーブに対して移動することにより伸縮するコンタクトプローブにおいて、
前記スリーブは、プレート状の素材をプレス成形してなることを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
前記プレス成形は、前記素材に前記スリーブのブランクを形成する工程と、前記ブランクをカーリングする工程とを含むことを特徴とする請求項１記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記プレス成形は、カーリングした前記ブランクを前記素材から分離する工程を含むことを特徴とする請求項２記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記スリーブには、前記ロッド体を前記スリーブの外側に付勢する弾性体を収納するとともに、前記弾性体を支える突部を設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載のコンタクトプローブ。
【請求項５】
前記スリーブには、メッキを施したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載のコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロッド体と、ロッド体を保持するスリーブとを備え、ロッド体がスリーブに対して移動することにより伸縮するコンタクトプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣ素子や回路基板の検査装置に利用される極細のコンタクトプローブとしては、ロッド体をスリーブに保持してなるものが知られている。この種のコンタクトプローブは、ロッド体がスリーブに対して移動することにより伸縮し、更にスリーブには、ロッド体をスリーブの外側に付勢する弾性体が収納されている。スリーブ及びロッド体は、それぞれ導通性に優れた金属部材であり、検査装置にはそれらの一方を導通するとともに、被検査対象にはそれらの他方を接触させる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述したコンタクトプローブのスリーブは、従来では、棒材又はパイプ材の内径及び外径を施削加工により仕上げた後、その先端形状をフライス加工により切り出して作成されている。つまり、コンタクトプローブの製造コストについては、スリーブの施削加工及びフライス加工が非常に割高となっているのが現状である。
【０００４】
また特に、ロッド体やスリーブに金メッキ等のメッキを施すことによれば、コンタクトプローブの導通性は一層向上することが可能である。但し、スリーブの内径が微小であることから、スリーブの内面にはメッキ液が入り難く、メッキ品質には問題が生じる場合もあった。
【０００５】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、スリーブの加工を合理化することにより、廉価なコンタクトプローブを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本願第１請求項に記載した発明は、ロッド体と、前記ロッド体を保持するスリーブとを備え、前記ロッド体が前記スリーブに対して移動することにより伸縮するコンタクトプローブにおいて、前記スリーブは、プレート状の素材をプレス成形してなる構成のコンタクトプローブである。このような構成によると、スリーブの加工を合理化することが可能であり、廉価なコンタクトプローブが得られる。
【０００７】
すなわちスリーブは、従来では、棒材又はパイプ材の内径及び外径を施削加工により仕上げた後、その先端形状をフライス加工により切り出して作成していたところ、本発明では、プレート状の素材をプレス成形して作成するので、これを比較的容易に作成することが可能となる。
【０００８】
本願第２請求項に記載した発明は、請求項１において、前記プレス成形は、前記素材に前記スリーブのブランクを形成する工程と、前記ブランクをカーリングする工程とを含む構成のコンタクトプローブである。このような構成によると、プレス成形は極めて効率よく行うことが可能である。
【０００９】
本願第３請求項に記載した発明は、請求項２において、前記プレス成形は、カーリングした前記ブランクを前記素材から分離する工程を含む構成のコンタクトプローブである。このような構成によると、プレス成形は極めて効率よく行うことが可能である。
【００１０】
本願第４請求項に記載した発明は、請求項１乃至３のいずれかにおいて、前記スリーブには、前記ロッド体を前記スリーブの外側に付勢する弾性体を収納するとともに、前記弾性体を支える突部を設けた構成のコンタクトプローブである。すなわち、スリーブに弾性体を収納する場合は、スリーブの要所に弾性体を支える突部を設けるとよい。プレス成形によれば、かかる突部は容易に設けることが可能である。
【００１１】
本願第５請求項に記載した発明は、請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記スリーブには、メッキを施した構成のコンタクトプローブである。すなわち従来においては、内径が微小のスリーブの内面にはメッキ液が入り難いという不都合があったところ、本発明においては、スリーブがプレート状の素材をプレス成形してなる故に、スリーブの内面には素材の継目からメッキ液が進入するという利点がある。ついては、メッキ品質が向上し、導通性はより確実に確保される。
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の具体例を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１２】
図１乃至図２に示す本例のコンタクトプローブ１は、ＩＣ素子又は回路基板の検査装置に利用される極細（断面直径１ｍｍ以下、全長数ｍｍ程度）のものであり、ロッド体２０と、ロッド体２０を保持するスリーブ３０とを備え、ロッド体２０がスリーブ３０に対して移動することにより伸縮する構成となっている。検査装置にはロッド体２０及びスリーブ３０の一方を導通するとともに、被検査対象にはそれらの他方を接触させる。ロッド体２０の先端部２１及びスリーブ３０の先端部３１には、それぞれ尖鋭な頂部が形成されており、被検査対象には、それらの頂部が突き当てられる。
【００１３】
スリーブ３０には、ロッド体２０をスリーブ３０の外側に付勢する弾性体（図例はコイルばね）４０を収納している。またスリーブ３０の要所には、弾性体４０を支える突部３２を設けている。この突部３２は、スリーブ３０の内部に突出した部位であり、本例ではスリーブ３０の壁の一部を切り起こして形成している。或いは突部３２は、壁の一部を打ち出して形成することも可能である。突部３２と弾性体４０との間には、ボール等を配置してもよい。
【００１４】
一方、ロッド体２０の基端部２２は、スリーブ３０の開口に挿入するとともに、所定の冶具を用いて開口縁部３３をカシメることによって抜け止めされている。
【００１５】
このような構成によれば、弾性体４０の弾性力により、ロッド２０又はスリーブ３０を被検査対象に対して適正な圧力で当接することが可能となる。
【００１６】
尚、図中の３４は、検査装置に対してプローブ３０を位置決めする際に利用される固定用突部である。この固定用突部３４は、スリーブ３０の壁の一部を打ち出して形成されている。
【００１７】
また特に、ロッド体２０及びスリーブ３０には、コンタクトプローブ１の導通性を向上するべくメッキを施している。図中の３５は、後述する素材Ａの継目に相当するスリットである。スリーブ３０にメッキを施す際は、このスリット３５からスリーブ３０の内面にメッキ液が進入する。従って、スリーブ３０には効率よくメッキを施すことができる。
【００１８】
図３乃至図９に示すように、本例のスリーブ３０は、プレート状の素材Ａをプレス成形してなるものである。これらの図に示すように、プレス成形は、素材Ａにスリーブ３０の半製品たるブランク３０ａを形成する工程（ｐｒｏｃｅｓｓ１）と、ブランク３０ａをカーリングする工程（ｐｒｏｃｅｓｓ２）と、カーリングしたブランク３０ａを素材Ａから分離する工程（ｐｒｏｃｅｓｓ３）とを含むものである。
【００１９】
プレス成形を行うプレス装置１００は、帯状の素材Ａを間欠的に搬送してこれをプレス成形するものであり、その搬送路には、所定の金型が順次配置されている（図３参照）。スリーブ３０は、素材Ａの幅方向において２個取りする構成となっている。
【００２０】
プレス装置１００の最初の金型１０１によれば、素材Ａには搬送に利用するためのパイロット孔Ｂが設けられる。
【００２１】
続くブランク形成工程（ｐｒｏｃｅｓｓ１）においては、初めの金型１１１では開口縁部３３となる部位を打ち抜き、次の金型１１２では開口縁部３３をある程度圧延し、次の金型１１３では固定用突部３４を形成し、次の金型１１４では先端部３１となる部位を部分的に打ち抜くとともにブランク３０ａの側部を打ち抜き、次の金型１１５では先端部３１となる部位を完全に打ち抜き、次の金型１１６では突部３２の外形線を打ち抜き、次の金型１１７では外形線を設けた部位に曲げを施すことによりこれを突部３２とする。しかして素材Ａには、つなぎＣを残したブランク３０ａが形成される（図４、図５参照）。
【００２２】
ここで、開口縁部３３をある程度圧延するのは、後にロッド体２０をスリーブ３０に保持する際に、これを容易にカシメるためである。また、先端部３１となる部位を段階的に打ち抜くことにより、より尖鋭な頂部の形成を達成している。
【００２３】
続くカーリング工程（ｐｒｏｃｅｓｓ２）においては、アイドルを適宜に設定しつつ所定のパーツを連続配置してなる金型１２１により、ブランク３０ａのカーリングを行う（図６及び図７参照）。この金型１２１によると、ブランク３０ａは図中の（１）〜（１０）の順に示すように、漸次に塑性変形されて円筒形となる。ブランク３０ａの両側部を突き合わせてなる素材Ａの継目は、前述したスリット３５となる。また、このように塑性変形されたブランク３０ａは、金型１２１の後段においてサイジングされる。ブランク３０ａの寸法精度は、サイジングを施すことにより極めて正確なものとなる。
【００２４】
続く分離工程（ｐｒｏｃｅｓｓ３）においては、初めの金型１３１ではつなぎＣを折り曲げてブランク３０ａをやや傾斜させ、次の金型１３２では２個取りのうちの一方のブランク３０ａを素材Ａから分離し、次の金型１３３では他方のブランク３０ａを分離する（図８及び図９参照）。素材Ａから分離したブランク３０ａはすなわちスリーブ３０であり、メッキが施され且つロッド体２０及び弾性体４０と組み付けられる。
【００２５】
ブランク３０ａの分離は、ブランク３０ａとつなぎＣとの境目を剪断して行われる。図９中の矢印は、その剪断方向を示す。ここで、つなぎＣを折り曲げてこれをやや傾斜させることによれば、金型が不要な部位に当接する事態を回避することができ、かかる剪断が正確に行われるという利点がある。
【００２６】
以上説明したように、本例のコンタクトプローブは、従来では割高となるスリーブの加工をプレス成形によって合理化し、その製造コストを削減するという顕著な効果を達成したものである。
【００２７】
【発明の効果】
本発明は、ロッド体と、前記ロッド体を保持するスリーブとを備え、前記ロッド体が前記スリーブに対して移動することにより伸縮するコンタクトプローブにおいて、前記スリーブは、プレート状の素材をプレス成形してなる構成のコンタクトプローブである。このような構成によると、スリーブの加工を合理化することができ、廉価なコンタクトプローブを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の具体例に係り、コンタクトプローブを示す側面図である。
【図２】本発明の具体例に係り、コンタクトプローブを示す側面断面図である。
【図３】本発明の具体例に係り、プレス成形の説明図である。
【図４】本発明の具体例に係り、ブランク形成工程の説明図である。
【図５】本発明の具体例に係り、ブランクを示す説明図である。
【図６】本発明の具体例に係り、カーリング工程の説明図である。
【図７】本発明の具体例に係り、カーリング工程におけるブランクの断面形状を示す説明図である。
【図８】本発明の具体例に係り、分離工程の説明図である。
【図９】本発明の具体例に係り、分離工程における剪断部位の説明図である。
【符号の説明】
１　　　コンタクトプローブ
２０　　　ロッド体
２１　　　先端部
２２　　　基端部
３０　　　スリーブ
３０ａ　　　ブランク
３１　　　先端部
３２　　　突部
３３　　　開口縁部
３４　　　固定用突部
３５　　　スリット
４０　　　弾性体
１００　　　プレス成形装置
１０１　　　金型（パイロット孔形成用）
１１１〜１１７　　　金型（ブランク形成工程用）
１２１　　　金型（カーリング工程用）
１３１〜１３３　　　金型（分離工程用）
Ａ　　　素材
Ｂ　　　パイロット孔
Ｃ　　　つなぎ
【図１】
2004061180.tif 000003
【図２】
2004061180.tif 000004
【図３】
2004061180.tif 000005
【図４】
2004061180.tif 000006
【図５】
2004061180.tif 000007
【図６】
2004061180.tif 000008
【図７】
2004061180.tif 000009
【図８】
2004061180.tif 000010
【図９】
2004061180.tif 000011