(57)【要約】【課題】例えばマスク基板に対して熱処理を行う熱処理装置において、基板温度の面内均一性を向上させること。【解決手段】前記熱処理装置（熱処理ユニット３）において、加熱プレート４に塗布液（レジスト液）が塗布された基板Ｇを載置して当該基板Ｇを加熱するにあたり、加熱プレート４の上部に、基板Ｇの周囲に、内面が基板側面に対向するように、かつ加熱プレート表面との間に隙間を形成するように枠体５を設ける。この枠体５により基板側面からの放熱が抑えられ、基板温度の面内均一性が向上する。また枠体５と加熱プレート４との間には隙間が形成されているので、パーティクルがこの領域に溜まらず、基板Ｇへのパーティクルの付着が抑えられる。【選択図】    図３
2004247345.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を加熱するための加熱プレートと、
前記加熱プレートを加熱するための加熱手段と、
前記加熱プレートに載置された基板の周囲に、内面が前記基板の側面と対向するように、かつ加熱プレートの表面との間に隙間を形成するように設けられた枠体と、を備えることを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】
基板を加熱するための加熱プレートと、
前記加熱プレートを加熱するための加熱手段と、
前記加熱プレートに載置された基板の周囲に、内面が前記基板の側面と対向するように設けられ、前記内面が湾曲する枠体と、を備えることを特徴とする熱処理装置。
【請求項３】
前記枠体の内面は、加熱プレートに載置された基板の側面に対向する面が凹面状に湾曲していることを特徴とする請求項２記載の熱処理装置。
【請求項４】
前記枠体の内面は、加熱プレートに載置された基板の側面に対向する面が凸面状に湾曲していることを特徴とする請求項２記載の熱処理装置。
【請求項５】
前記枠体の内面は鏡面であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の熱処理装置。
【請求項６】
前記枠体の内面は梨地であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の熱処理装置。
【請求項７】
前記枠体を、当該枠体の内面と、前記加熱プレートに載置された基板の側面との距離が変化するように移動させるための駆動機構を備えることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の熱処理装置。
【請求項８】
基板温度が昇温しているときよりも、基板温度が定温状態にあるときの方が、前記枠体の内面が加熱プレートに載置された基板の側面に近くに位置するように前記駆動機構を制御する制御部を備えることを特徴とする請求項７記載の熱処理装置。
【請求項９】
前記枠体は、周方向に分割して構成されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の熱処理装置。
【請求項１０】
前記枠体は、当該枠体を加熱するための加熱部を備えることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の熱処理装置。
【請求項１１】
前記基板は一辺の長さが６インチの略正方形のガラス基板であり、加熱プレートは直径が１２インチの半導体ウエハを加熱するための円形プレートであることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばマスク基板等の基板に例えばレジスト液を塗布した後、当該基板に対して熱処理を行うための熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造プロセスにおいて、半導体マスクを形成する場合、角型のマスク基板にレジスト液を塗布し、フォトマスクを用いてそのレジスト膜を露光し、更に現像することによって所望のレジストパタ−ンを作製することが行われている。前記基板としては例えば一辺の長さが１５２ｍｍの正方形であり、厚さが６．３５ｍｍの、一辺の長さが６インチサイズのガラス基板が用いられる。
【０００３】
前記レジスト液は塗布膜の成分を溶剤に溶解させたものであり、レジスト液の塗布後には基板を所定温度に加熱して前記溶剤を揮発させる熱処理が行われる。この熱処理は、ヒータを備えた熱板上に基板を載置することにより行われているが、既述のような厚みのある基板の場合、基板温度の面内均一性が悪化しやすい。つまり厚みのある基板では、基板側面から放熱が多くなるので、基板の周縁領域の温度が中央領域よりも低下してしまう傾向にあるからである。このように基板温度が面内において異なると、前記溶剤の揮発量が面内において変化し、結果としてレジスト膜の膜厚の面内均一性が悪化してしまう。
【０００４】
このため例えば図１８に示すように、熱板１０に凹部１１を形成し、この凹部１１内に基板１２を収める状態で基板１２を熱板１０により加熱することにより、基板側面の近傍領域を熱板１０にて加熱し、当該側面からの放熱を抑えることが行われている。図中１３はヒータである。しかしながらこの手法では、凹部１１の隅部にパーティクルが溜まってしまうことがあるが、このパーティクルは除去が困難であり、当該パーティクルが基板１２に付着する恐れがある。また熱板１０に凹部１１を形成するためには多大な時間と費用が必要であり、製造コストが高くなるという問題がある。
【０００５】
そこで本発明者らは、図１９に示すように熱板１０上に載置された基板１２の周囲に側板１４を設けることにより基板側面からの放熱を抑えることを検討している。このような手法としては、加熱プレートの被処理体配置部分に、被処理体を取り囲むように被処理体よりも高い外枠を設ける構成（例えば、特許文献１参照）や、熱板上に載置されたマスクの周囲にマスクの厚みより高いか、または等しい高さの側板を配置する構成、熱板上に載置されたマスクの周囲に側部熱板を設け、マスクの側面からの放熱を防止する構成（例えば、特許文献２参照）が提案されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−２０４４２８号公報（請求項３、段落００２１、段落００４２、段落００５０、図２参照）
【特許文献２】
特開２００２−１００５６２号公報（段落００３４、段落００４２、図４、図６参照）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１の構成では、外枠は基板の周囲に空気が入るのを抑えるために設けられるものであり、このため外枠は熱板上に隙間を形成しないように設けられている。また特許文献２の構成においても、図４及び図６より、側板や側部熱板は熱板との間に隙間を形成しないように設けられている。ここで特許文献１の外枠と特許文献２の側板等は、被処理体やマスクの表面よりも高くなるように設けられているので、図２０に示すように、パーティクル１５が処理容器内の気流に乗って飛散してくると、そのまま基板１２表面まで飛散していき、欠陥発生の原因となる恐れがある。またパーティクル１５が基板と側板１４等の間に入り込みと、このパーティクル１５はどこにも逃げていけず、結局側板１４等と熱板１０との間の隅部に溜まってしまい、基板１２がパーティクル１５により汚染される懸念がある。
【０００８】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、基板を加熱プレートに載置して加熱するにあたり、基板温度の高い面内均一性を確保する技術を提供することにある。また他の目的は、基板のパーティクル汚染を抑えながら、基板の面内温度均一性を向上させる技術を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の熱処理装置は、基板を加熱するための加熱プレートと、
前記加熱プレートを加熱するための加熱手段と、
前記加熱プレートに載置された基板の周囲に、内面が前記基板の側面と対向するように、かつ加熱プレートの表面との間に隙間を形成するように設けられた枠体と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
このような構成では、加熱プレートにより基板を加熱するにあたり、基板の周囲に枠体が設けられているので、基板側面からの放熱が抑えられ、基板温度の面内均一性が向上する。この際、枠体は加熱プレート表面との間に隙間を形成するように設けられているので、枠体と加熱プレートとの間にパーティクルが溜まることが抑えられ、基板へのパーティクルの付着が防止される。
【００１１】
また本発明の他の発明は、基板を加熱するための加熱プレートと、
前記加熱プレートを加熱するための加熱手段と、
前記加熱プレートに載置された基板の周囲に、内面が前記基板の側面と対向するように設けられ、前記内面が湾曲する枠体と、を備えることを特徴とする。ここで前記枠体の内面は、加熱プレートに載置された基板の側面に対向する面が凹面状に湾曲する構成でもよいし、加熱プレートに載置された基板の側面に対向する面が凸面状に湾曲する構成でもよい。また前記枠体の内面は鏡面により構成してもよいし、梨地により構成してもよい。
【００１２】
このような構成では、枠体の内面を湾曲させ、枠体の内面において基板に近い箇所や遠い箇所を形成することにより、当該枠体により基板側面の適切な部位を選択的に加熱することができ、これにより基板側面からの放熱が選択的に制御され、基板温度の高い面内均一性を確保することができる。
【００１３】
さらに本発明では、前記枠体を、当該枠体の内面と、前記加熱プレートに載置された基板の側面との距離が変化するように移動させるための駆動機構を備えるようにしてもよく、この場合例えば基板温度が昇温しているときよりも、基板温度が定温状態にあるときの方が、前記枠体の内面が加熱プレートに載置された基板の側面に近くなるように前記駆動機構を制御する制御部を備えるようにしてもよい。また前記枠体は、周方向に分割して構成するようにしてもよいし、当該枠体を加熱するための加熱部を備える構成であってもよい。
【００１４】
ここで前記基板は一辺の長さが６インチの略正方形のガラス基板であり、加熱プレートは直径が１２インチの半導体ウエハを加熱するための円形プレートを用いることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の熱処理装置が組み込まれた塗布膜形成装置の一実施の形態について説明する。ここで、図１は本発明の塗布膜形成装置の一実施の形態に係る全体構成を示す平面図であって、図２はその概略斜視図である。図中Ｂ１は例えば５枚の基板例えばマスク基板Ｇが収納されたキャリアＣを搬入出するためのキャリアブロックであり、このキャリアブロックＢ１は、前記キャリアＣを載置するキャリア載置部２１と受け渡し手段２２とを備えている。
【００１６】
前記マスク基板Ｇは、例えば半導体マスクを形成するためのガラス基板であり、例えば一辺の長さが１５２±０．５ｍｍの正方形であって、厚さが６．３５ｍｍの、一辺の長さが６インチサイズの角型のガラス基板が用いられる。前記受け渡し手段２２はキャリアＣから基板Ｇを取り出し、取り出した基板ＧをキャリアブロックＢ１の奥側に設けられている処理部Ｂ２へと受け渡すように、左右、前後に移動自在、昇降自在、鉛直軸回りに回転自在に構成されている。
【００１７】
処理部Ｂ２の中央には主搬送手段２３が設けられており、これを取り囲むように例えばキャリアブロックＢ１から奥を見て例えば右側には塗布ユニット２４及び現像ユニット２５が、左側には洗浄ユニット２６が、手前側、奥側には加熱・冷却系のユニット等を多段に積み重ねた棚ユニットＵ１，Ｕ２が夫々配置されている。塗布ユニット２４は、基板にレジスト液を塗布する処理を行うユニット、現像ユニット２５は、露光後の基板に現像液を液盛りして所定時間そのままの状態にして現像処理を行うユニット、洗浄ユニット２６はレジスト液を塗布する前に基板を洗浄するためのユニットである。
【００１８】
前記棚ユニットＵ１，Ｕ２は、複数のユニットが積み上げられて構成され、例えば図２に示すように、熱処理ユニット３や、冷却ユニット２７のほか、基板Ｇの受け渡しユニット２８等が上下に割り当てられている。前記主搬送手段２３は、昇降自在、進退自在及び鉛直軸まわりに回転自在に構成され、棚ユニットＵ１，Ｕ２及び塗布ユニット２４、現像ユニット２５並びに洗浄ユニット２６の間で基板Ｇを搬送する役割を持っている。但し図２では便宜上受け渡し手段２２及び主搬送手段２３は描いていない。
【００１９】
前記処理部Ｂ２はインタ−フェイス部Ｂ３を介して露光装置Ｂ４と接続されている。インタ−フェイス部Ｂ３は受け渡し手段２９を備えており、この受け渡し手段２９は、例えば昇降自在、左右、前後に移動自在かつ鉛直軸まわりに回転自在に構成され、前記処理ブロックＢ２と露光装置Ｂ４との間で基板Ｇの受け渡しを行うようになっている。
【００２０】
このような塗布膜形成装置における基板Ｇの流れについて述べておくと、先ず外部からキャリアＣがキャリア載置部２１に搬入され、受け渡し手段２２によりこのキャリアＣ内から基板Ｇが取り出される。基板Ｇは、受け渡し手段２２から棚ユニットＵ１の受け渡しユニット２８を介して主搬送手段２３に受け渡され、所定のユニットに順次搬送される。例えば洗浄ユニット２６にて所定の洗浄処理が行われ、熱処理ユニットの一つにて加熱乾燥が行われた後、冷却ユニット２７にて所定の温度に調整され、塗布ユニット２４にて塗布膜の成分が溶剤に溶解されたレジスト液の塗布処理が行われる。
【００２１】
続いて基板Ｇは熱処理ユニットの一つにて、所定温度に加熱されてレジスト液中の溶剤を蒸発させて除去するプリベーク処理が行われた後、冷却ユニット２７の一つにて所定の温度に調整され、次いで主搬送手段２３により棚ユニットＵ２の受け渡しユニット２８を介してインターフェイス部Ｂ３の受け渡し手段２９に受け渡され、この受け渡し手段２９により露光装置Ｂ４に搬送されて、所定の露光処理が行われる。この後基板Ｇは、インターフェイス部Ｂ３を介して処理部Ｂ２に搬送され、熱処理ユニットの一つにて所定の温度に加熱されて、ポストエクスポージャーベーク処理が行われる。次いで冷却ユニット２７にて所定の温度まで冷却されて温度調整された後、現像ユニット２５にて現像液が液盛りされ、所定の現像処理が行われる。こうして所定の回路パターンが形成された基板Ｇは主搬送手段２３、キャリアブロックＢ１の受け渡し手段２２を介して、例えば元のキャリアＣ内に戻される。
【００２２】
続いて本発明の熱処理装置である熱処理ユニット３について図３を参照して説明する。この熱処理ユニット３では、基板Ｇにレジスト液を塗布した後に、レジスト液に含まれる溶剤を除去する処理が行われる。図中３１は処理容器であり、その側面には、例えば全周に亘って開口部３１ａが形成され、この開口部３１ａを介して処理容器３１の内部に主搬送手段２３がアクセスできるように構成されている。前記開口部の３１ａの上部側は処理容器３１内を排気するための排気部３２として構成され、処理容器３１の天井部のほぼ中央領域には排気口３２ａが形成され、この排気口３２ａには、図示しない排気手段が接続されて、処理空間内の雰囲気を外部に排気できるようになっている。
【００２３】
このような処理容器３１の内部には例えば加熱プレート４が、開口部３１ａを介して主搬送手段２３との間で基板Ｇの受け渡しを行うことができる位置に設けられている。基板Ｇはこの加熱プレート４上に例えばプロキシミティーピン４１を介して、例えば加熱プレート４から僅かに例えば０．５ｍｍ程度浮上した状態で載置され、加熱プレート４により加熱されるようになっている。
【００２４】
前記加熱プレート４は例えば図４，図５に示すように、直径が１２インチサイズのウエハの加熱処理に用いられる加熱プレートにより構成される。つまり加熱プレート４は直径が３３０ｍｍ程度、厚さが３０ｍｍ程度の大きさの円形プレートよりなり、例えばアルミニウム合金や、ステンレス鋼等により構成されている。
【００２５】
この加熱プレート４の内部には加熱手段をなすヒータ４２が内蔵されており、このヒータ４２により基板Ｇが１００℃〜２５０℃程度に加熱されるようになっている。ヒータ４２は、例えば図６に示すように、基板Ｇを加熱するための円形の平面状のヒータ４２ａと、このヒータ４２ａの周囲に同心円状に設けられた環状ヒータ４２ｂ，４２ｃの３つのヒータ４２ａ〜４２ｃにより構成されている。これらヒータ４２ａ〜４２ｃは、基板Ｇが載置された領域のみならず加熱プレート４の全面が満遍なく加熱されるように設けられており、例えばこの例では環状ヒータ４２ｂ，４２ｃは基板Ｇの載置領域の外側に設けられている。なおヒータ４２の数や形状はこの例に限らず、平面ヒータ４２ａは角形であってもよいし、環状ヒータ４２ｂ，４２ｃも角形の環状体であってもよい。またこの例の環状ヒータの数を増やしたり、減らしたりしてもよいし、平面ヒータを設けず、複数の環状ヒータにより基板Ｇを加熱するようにしてもよい。
【００２６】
このような加熱プレート４には、主搬送手段２３との間に基板の受け渡しを行うための、例えば４本の支持ピン４３が設けられている。この支持ピン４３は加熱プレート４の下方に設けられた保持プレート４４ａを介して昇降機構４４に連結され、これにより支持ピン４３の先端が加熱プレート４の表面に対して出没できるように昇降自在に構成されている。
【００２７】
また加熱プレート４に載置された基板Ｇの周囲には、図４，図５に示すように、当該基板Ｇを若干の隙間Ａを形成して取り囲むように枠体５が設けられている。この枠体５は例えば角形の環状体よりなり、例えば下面を支持する支持部５１により加熱プレート４表面に対して若干の隙間Ｂを介して載置されている。前記枠体５や支持部５１は例えばアルミニウム合金等の金属等の熱伝導性を備えた材質により構成されている。
【００２８】
ここで基板Ｇの側面と枠体５の内周面との間に形成される隙間Ａは例えば１ｍｍ〜１０ｍｍ程度、枠体５の下面と加熱プレート４表面との間に形成される隙間Ｂは例えば０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度に、夫々設定することが好ましい。また枠体５の高さＣは、例えば基板Ｇ表面の高さとほぼ同じかまたは若干低くなるように設定することが好ましく、例えば枠体５表面までの高さＣは加熱プレート４より例えば５ｍｍ〜６ｍｍ程度に設定され、枠体５の幅Ｄは例えば１０ｍｍ程度に設定される。
【００２９】
前記処理容器３１の開口部３１ａは、筒状のシャッタ３３により開閉自在に構成されている。このシャッタ３３は加熱プレート４の外側に設けられる筒状の本体３３ａの上端に内向きの水平片３３ｂを設けた形状からなる。このシャッタ３３は、例えばエアシリンダよりなる昇降機構３４により、前記水平片３３ｂが開口部３１ａの下方側近傍に位置し、当該開口部３１ａを開く位置と、前記水平片３３ｂが開口部３１ａの上方側近傍に位置し、当該開口部３１ａをほぼ塞ぐ位置との間で昇降自在に構成されている。ここでシャッタ３３は、排気部３２下面との間で僅かな隙間Ｅを形成する位置で上昇が停止されるようになっている。図中３５はシャッタ３３を所定の高さ位置で停止するためのストッパーである。
【００３０】
このような熱処理ユニット３では、シャッタ３３を下降させ、開口部３１ａを介して主搬送手段２３を処理容器３１の内部に進入させて、この主搬送手段２３と支持ピン４３との協働作業により加熱プレート４に対して基板Ｇの受け渡しが行われる。こうして加熱プレート４の所定の位置に基板Ｇを載置した後、主搬送手段２３を退行させ、シャッタ３３を上昇させて、排気部３２及びシャッタ３３の間に隙間Ｅを残して不完全に遮断する、いわゆるセミクローズド状態として排気を行ないながら、加熱プレート４により基板Ｇを例えば１２０℃程度の温度に加熱して所定の加熱処理を行う。
【００３１】
この実施の形態では、基板Ｇを囲むように枠体５が設けられているので、この枠体５により基板側面からの放熱が抑えられ、基板温度の面内均一性を高めることができる。枠体５や支持部５１は熱伝導性を備えているので、加熱プレート４からの熱が支持部５１を介して、または加熱プレート４からの輻射熱により枠体５に伝わり、枠体５自体が加熱される。この枠体５の内周面は基板Ｇの側面近傍に存在するので、基板Ｇの側面近傍が枠体５により加熱されることになり、基板Ｇの厚みが大きい場合であっても、基板側面からの放熱が抑えられるからである。
【００３２】
ところで処理容器３１内では、シャッタ３３と排気部３２との間の隙間Ｅから入り込み、排気口３２ａに向かう気流が形成されているので、基板Ｇの外方から内側に向かう気流に沿ってパーティクルが飛散することがある。この際枠体５の高さを基板Ｇ表面の高さより低く設定すると、図７に示すようにパーティクル１００は、基板Ｇの側面に衝突して当該側面と枠体５との間の隙間Ａに入り込んで行くので、基板Ｇ表面へのパーティクル１００の付着が抑えられる。また枠体５と加熱プレート４との間には隙間Ｂが形成されているので、前記基板Ｇと枠体５との間に入り込んだパーティクル１００は、この隙間Ｂを介して処理容器３１内の排気流に乗って排出される。このため枠体５と加熱プレート４との間の隅部にパーティクル１００が溜まるのを防ぐことができ、基板Ｇのパーティクル汚染を抑えることができる。
【００３３】
またこの例においては、加熱プレート４として直径１２インチサイズのウエハを加熱するための既存の円形プレートを利用しているので、一辺の長さが６インチサイズの角形基板用に新たに加熱プレートを用意する必要が無く、コスト的に有利である。この際一辺が６インチサイズの角形基板の一辺は１５２ｍｍ程度であるのに対し、加熱プレート４は直径３３０ｍｍ程度と大きいので、さらに基板温度の面内均一性を向上させることができる。
【００３４】
この理由については次のように考えられる。基板Ｇを加熱プレート４に載置してからシャッタ３３を閉じ、処理を開始しようとする時、シャッタ３３の内側が冷えていて前記基板Ｇの外方から内側に向かう気流がシャッタ３３で冷やされる現象が発生する。ここで加熱プレートが基板Ｇよりも僅かに大きい程度の大きさの場合、冷たい風がそのまま基板Ｇに到達してしまい、基板Ｇの外周部の温度が低下してしまう。また加熱プレート４自体も周縁領域から外方に放熱していくので、基板Ｇの側面からの放熱が促され、この点からも基板Ｇの外周部の温度が低下する原因となっている。この放熱を補うために加熱プレート４の周縁領域のヒータ温度を高めようとすると、基板Ｇが載置されている領域と近いので、基板Ｇの周縁領域の温度が高くなりすぎ、結果として基板温度の面内均一性が悪化する。
【００３５】
これに対して、加熱プレート４が基板Ｇに比べて十分に大きく、基板Ｇの載置領域の外方側の領域にもヒータが設けられ、加熱プレート４全体が加熱されている場合、前記シャッタ３３により冷却された風が基板Ｇに到達するまでに加熱プレート４により十分に暖められるので、冷たい風が基板Ｇに到達することがなく、基板Ｇの外周部の温度低下を抑えることができる。また加熱プレート４の周縁領域から放熱が起こったとしても、この放熱を補うように加熱プレート４の周縁領域が加熱されるが、加熱プレート４の周縁領域は基板Ｇが載置されている領域から遠いので基板Ｇ温度に影響を与えることがなく、結果として基板Ｇの外周部の温度が低下しにくく、基板Ｇ温度の面内均一性が向上する。
【００３６】
続いて枠体５の他の例について説明するが、この例の枠体５は、内面（基板Ｇの側面と対向する面）が湾曲するように構成されているものである。図８は、枠体５Ａの内面６１（基板Ｇの側面に向いた面）が凹面状に湾曲するように形成されている例である。この例では、枠体５Ａの内面６１が、基板角部の近傍領域は枠体５Ａに近く、基板Ｇの辺の中央近傍領域では枠体５Ａから離れるように形成されている。従って基板Ｇは枠体５Ａにより角部近傍が選択的に加熱されることになる。
【００３７】
このような枠体５Ａは、例えば処理温度が２００℃以上と高く、加熱プレート４からの放射熱が大きい場合に有効である。このように処理温度が高いと、基板Ｇの４隅からの放熱が大きくなってしまうので、この領域に枠体５Ａが近づき、基板Ｇの辺の中央領域では枠体５Ａが離れるようにすると、基板Ｇの角部が枠体５Ａにより選択的に加熱され、この領域からの放熱を抑えることができて、基板温度の面内均一性を高めることができる。
【００３８】
また図９に示す例は、前記枠体５Ｂの内面６２が凸面状に湾曲するように形成されているものである。この例では、枠体５Ｂの内面６２は、基板Ｇの辺の中央近傍領域では枠体５Ｂに近く、基板Ｇの角部の近傍領域では枠体５Ｂから離れるように形成されている。従って基板Ｇは枠体５Ｂにより辺の中央近傍領域が選択的に加熱されることになる。
【００３９】
このような枠体５Ｂは、例えば処理温度が１００℃程度と低く、主として加熱プレート４からプロキシミティーピン４１を介する熱伝導により基板Ｇが加熱される場合に有効である。このようにプロキシミティーピン４１による熱伝導にて基板Ｇが加熱されると、プロキシミティーピン４１と基板Ｇとの接触領域の温度が他の領域に比べて高くなる。ここでプロキシミティーピン４１は基板Ｇの角部の近傍領域に設けられることが多く、これにより角部近傍領域の温度が他の領域に比べて高くなる。従って基板Ｇの４隅からの放熱を大きくするように、この領域では枠体５Ｂから離れ、基板Ｇの辺の中央領域では枠体５Ｂを近づけるようにすると、基板Ｇの辺の中央領域が枠体５Ｂにより選択的に加熱され、基板温度の面内均一性を高めることができる。
【００４０】
また枠体５（５Ａ，５Ｂ）は、基板Ｇに対向する内面を鏡面により構成するようにしてもよい。このようにすると、基板Ｇ側面からの放射熱が枠体５等の内面により反射され、さらに基板Ｇ側面からの温度低下を防ぐことができる。さらに枠体５等は、基板Ｇに対向する面を梨地により構成するようにしてもよい。梨地とはたとえば表面の粗さがＲａ＝１００μｍ程度の少し粗い面をいう。このようにすると、枠体５等の内面からの放射熱が多くなり、この放射熱により基板Ｇ側面が加熱され、さらに基板Ｇ側面からの温度低下を防ぐことができる。
【００４１】
以上において枠体５Ａ，５Ｂの内面を湾曲させたり、鏡面または梨地にて形成する例では、枠体５Ａ，５Ｂを、加熱プレート４との間に隙間を形成しないで設けるようにしてもよい。
【００４２】
続いて枠体のさらに他の例について説明する。この例の枠体５Ｃは、当該枠体５Ｃの内面と、前記加熱プレート４に載置された基板Ｇの側面との距離が変化するように、移動自在に構成されている。具体的には、例えば枠体５Ｃは、基板Ｇの側面に対向する棒状の４つのプレート７１（７１ａ〜７１ｄ）を組み合わせてなり、各プレート７１は例えば加熱プレート４を貫通する支持部材７２を介して、例えば加熱プレート４の下方側に設けられた駆動機構７３により、当該プレート７１の内面が、前記加熱プレートに載置された基板Ｇの側面に対して近付いたり、離れたりするように略水平方向に移動自在に構成されている。
【００４３】
前記駆動機構７３は例えばボールネジやエアシリンダ等によりなり、例えば制御部２００により、処理温度や処理時間に応じて基板Ｇの側面と枠体５Ｃの内面との離間距離を例えば１ｍｍ〜１０ｍｍ程度の間で変化させるように制御されている。
【００４４】
このような構成では、基板Ｇを昇温させるときには、基板Ｇの周縁領域の温度が高くなる傾向があるので、図１１（ａ）に示すように、プレート７１を基板Ｇ側面から離れた位置に配置して、基板Ｇの周縁領域の温度上昇を抑え、基板Ｇの温度が昇温後の定温状態にあるときには、基板Ｇの周縁領域の温度が低下する傾向があるので、図１１（ｂ）に示すように、プレート７１を基板Ｇ側面に近づけて、基板Ｇの周縁領域の温度低下を抑える。このため基板温度の面内均一性をより向上させることができる。
【００４５】
さらに枠体５Ｄは、図１２（ａ）に示すように、図１０に示すプレート７１ａ〜７１ｄを長さ方向に複数例えば３個に分割し、各分割プレート８１（８１ａ〜８１ｄ）〜８３（８３ａ〜８３ｄ）を水平方向駆動機構により、基板Ｇ側面との距離を変化させるように構成してもよい。こうして、図１２（ｂ）に示すように、基板Ｇの辺の中央領域近傍の分割プレート８２との離間距離と、基板Ｇの角部近傍の分割プレート８１，８３との離間距離とを適切な量に設定するように、夫々の分割プレート８１〜８３を配置することにより、基板Ｇの辺の中央領域と角部の放熱量を制御し、これにより基板Ｇの部位に応じて温調することができるので、基板温度の面内均一性をより向上させることができる。
【００４６】
さらにまた本発明では、図１３に示すように、枠体５Ｅに抵抗発熱体よりなる加熱部をなすヒータ９１を内蔵し、このヒータの温度を図示しない制御部により、処理温度や処理時間に応じて変化させるようにしてもよい。ここで枠体５Ｅの温度によって基板Ｇからの放熱量が変化するので、枠体５Ｅの温度を、基板Ｇの昇温時や降温時、定温時の夫々のタイミングで最適な温度に調整することにより、基板Ｇからの放熱量が最適な状態で制御され、基板温度の面内均一性を高めることができる。
【００４７】
以上において図１０〜図１３に示す構成では、枠体５Ｃ，５Ｄ，５Ｅを、加熱プレート４との間に隙間を形成しないで設けるようにしてもよい。
【００４８】
【実施例】
続いて本発明の効果を確認するために行った実施例について説明する。
（実施例１）
一辺の長さが６インチサイズの温度センサ付き角型基板を、直径１２インチサイズの半導体ウエハの加熱に用いられる直径３３０ｍｍの円形の加熱プレートに載置し、前記基板の周囲にアルミニウム合金より構成された枠体を設け、基板を加熱プレートにより１２０℃に加熱して定温状態に保ち、この状態の基板面内の温度を検出した。このとき基板側面と枠体の内面との離間距離を２ｍｍ、枠体の加熱プレート表面からの高さを６ｍｍ、枠体の幅を１０ｍｍ、枠体下面と加熱プレート表面との離間距離を０．１ｍｍとした。
【００４９】
前記温度センサ付き角型基板では、面内の３１箇所に温度センサが設けられており、この温度センサからの測定値を元にして基板面内の温度分布を作成した。この結果を図１４（ａ）に示すが、基板面内温度のレンジ幅は１．０７℃であった。このレンジ幅は小さい値程、基板面内温度の均一性が高いことを示す。
（比較例１）
基板の周囲に枠体を設けない他は実施例１と同様の条件で実験を行い、基板面内の温度分布を作成した。この結果を図１４（ｂ）に示すが、基板面内温度のレンジ幅は１．５１℃であった。
（比較例２）
加熱プレートを、直径８インチサイズの半導体ウエハの加熱に用いられる直径２７０ｍｍの円形の加熱プレートに変更し、基板の周囲に枠体を設けないで、実施例１と同様の条件で実験を行い、基板面内の温度分布を作成した。この結果を図１４（ｃ）に示すが、基板面内温度のレンジ幅は１．９３℃であった。
【００５０】
これらの結果より、各温度分布やレンジ幅から見て、比較例２に比べて実施例１、比較例１の方が基板の面内温度の均一性が高く、これにより一辺の長さが６インチサイズの角型基板を、直径１２インチサイズのウエハを加熱するための円形の加熱プレートにて加熱することは有効であると理解される。
【００５１】
また実施例１と比較例１とを比べると、比較例１のグラフでは基板の中央付近の温度が高く、外周に行くに従って温度が低下する傾向にあるが、実施例１では基板の中央部と外周部での温度差が小さく、枠体を基板の周囲に設けることにより、基板温度の面内均一性を高められることが認められる。さらに実施例１の構成では、枠体と加熱プレートとの間にパーティクルの発生が認められなかった。
【００５２】
（実施例２）
一辺が６インチサイズの温度センサ付き角型基板を、直径１２インチサイズの半導体ウエハの加熱に用いられる直径３３０ｍｍの円形の加熱プレートに載置し、前記基板の周囲にアルミニウム合金より構成された枠体を設け、基板を加熱プレートにより１５０℃に加熱して定温状態に保ち、この状態の基板面内の温度を検出した。このとき基板は加熱プレート表面に設けられたプロキシミティーピンにより加熱プレート表面から８０μｍ浮上させた状態で支持し、基板側面と枠体の内面との離間距離を２ｍｍ、枠体の加熱プレート表面からの高さを６ｍｍ、枠体の幅を１０ｍｍ、枠体下面と加熱プレート表面との離間距離を０．１ｍｍとした。
【００５３】
図１５（ａ）に前記基板の３１個の温度センサの温度測定値の経時変化について示すが、ここに示した２つの温度曲線の範囲内に全ての温度センサの測定値の温度曲線が含まれている。２回同じ実験をしたところ、温度が安定した４００秒から６００秒までの基板面内温度のレンジ幅は０．９５℃と１．０４℃であった。
（比較例３）
基板の周囲に枠体を設けない他は実施例２と同様の条件で実験を行った。図１５（ｂ）に温度センサの温度測定値の経時変化について示すが、温度が安定した４００秒から６００秒までの基板面内温度のレンジ幅は１．２７℃であった。
（実施例３）
基板温度を２２０℃に加熱して実施例２と同様の条件で実験を行った。図１６（ａ）に温度センサの温度測定値の経時変化について示すが、温度が安定した４００秒から６００秒までの基板面内温度のレンジ幅は１．５０℃であった。
（比較例４）
基板の周囲に枠体を設けない他は実施例３と同様の条件で実験を行った。図１６（ｂ）に温度センサの温度測定値の経時変化について示すが、温度が安定した４００秒から６００秒までの基板面内温度のレンジ幅は２．３０℃であった。
【００５４】
これらにより、基板を１５０℃に加熱する場合、２２０℃に加熱する場合共に、枠体を設けた場合の方が、温度が安定したときの基板面内温度のレンジ幅が小さいことから、枠体を設けることにより基板温度の高い面内均一性が確保できることが認められる。さらに実施例２，３の構成では、枠体と加熱プレートとの間にパーティクルの発生が認められなかった。
【００５５】
以上において、本発明は、基板側面からの放熱を抑えることにより、基板温度の高い面内均一性を確保するものであり、厚さの大きい基板程基板側面からの放熱量が大きいので、厚さが例えば３ｍｍ以上の厚さの大きい基板の熱処理に特に有効である。
【００５６】
また本発明では、枠体５（５Ａ〜５Ｅ）は、必ずしも基板全周を囲むものである必要はなく、基板の周囲をある程度囲むものであればよいし、意図的に基板を囲まない領域を形成するものであってもよい。また必ずしも環状体である必要はなく、分割されていてもよいし、図１７（ａ）に示すように井形に形成された枠体５Ｆであってもよい。さらに図１７（ｂ）に示すように箱型のトレー状の枠体５Ｇを形成し、この内部に基板Ｇを保持させ、枠体５Ｇの下縁の一部を切欠して隙間５０を形成する構成であってもよい。さらにまた加熱プレート４０は、図１７（ｃ）に示すように、基板載置面に段差や傾斜面が形成される構成であってもよい。
【００５７】
また本発明では所定の加熱処理が行われるものであれば、熱処理ユニットは上述の構成に限らず、シャッタによりウエハの搬送口を開閉するタイプ以外に、チャンバ方式の構成であってもよい。さらに本発明は、レジスト液を塗布した後の基板の加熱のみならず、洗浄後の加熱乾燥や、露光後のポストエクスポージャーベークや現像後のポストベーク等の熱処理に適用することができる。さらに上述の実施の形態では半導体マスク用の角型基板を処理する装置について説明したが、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）用の基板例えば特殊用途向けに処理される厚みのある円形基板等を処理する装置についても本発明は適用可能である。
【００５８】
【発明の効果】
本発明によれば、基板を加熱プレートにより加熱するにあたり、加熱プレートとの間に隙間を形成しながら基板の周囲を枠体で囲んでいるので、パーティクルの発生を抑えながら、基板温度の面内均一性を高めることができる。また本発明の他の発明によれば、基板の周囲を枠体で囲みながら加熱プレートにより基板を加熱しているので、基板温度の面内均一性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる塗布膜形成装置の一実施の形態の全体構成を示す平面図である。
【図２】前記塗布膜形成装置の全体構成を示す概略斜視図である。
【図３】前記塗布膜形成装置に設けられる熱処理ユニットの一例を示す断面図である。
【図４】前記熱処理ユニットに設けられる加熱プレートと枠体と基板とを示す概略斜視図である。
【図５】前記加熱プレートと枠体と基板とを示す平面図と側面図である。
【図６】前記加熱プレートに設けられるヒータを示す平面図である。
【図７】前記枠体の作用を説明するための側面図である。
【図８】前記枠体の他の例を示す平面図と概略斜視図である。
【図９】前記枠体のさらに他の例を示す平面図と概略斜視図である。
【図１０】前記枠体のさらに他の例を示す平面図と側部断面図である。
【図１１】図１０に示す枠体の作用を説明するための平面図である。
【図１２】前記枠体のさらに他の例を示す平面図である。
【図１３】前記枠体のさらに他の例を示す側面図である。
【図１４】本発明の効果を確認するために行った実施例１、比較例１、比較例２の結果を示す基板の温度分布を示す平面図である。
【図１５】本発明の効果を確認するために行った実施例２と比較例３の結果を示す特性図である。
【図１６】本発明の効果を確認するために行った実施例３と比較例４の結果を示す特性図である。
【図１７】本発明の枠体と加熱プレートのさらに他の例を示す側面図である。
【図１８】従来の熱処理ユニットの加熱プレートの一例を示す側面図である。
【図１９】従来の熱処理ユニットの加熱プレートの他の例を示す側面図である。
【図２０】従来の熱処理ユニットの加熱プレートの作用を示す側面図である。
【符号の説明】
Ｇ            マスク基板
Ｂ１          キャリアブロック
Ｂ２          処理ブロック
２３          基板搬送手段
２４          塗布ユニット
３            熱処理装置
３１          処理容器
３３          シャッタ
４            加熱プレート
４２          ヒータ
５（５Ａ〜５Ｇ）  枠体
５１          支持部
７３          水平方向駆動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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