(57)【要約】【課題】液状材料の無駄を少なくしてコストダウンを図るとともに生産性の向上を図り、さらには吐出する液状材料（液状体）が透明の場合にも、液滴吐出ヘッドの吐出性能を容易に検査することができるようにした、液滴吐出装置及び液滴吐出方法、さらにはデバイスの製造方法、電子機器を提供する。【解決手段】基体を載置するステージ３９の上方に設けられて基体に液滴を吐出するノズルを備えた液滴吐出ヘッド３４と、ステージ３９の移動軸に対して少なくとも一方の側方に設けられたフラッシングエリアＦとを有した液滴吐出装置３０である。フラッシングエリアＦに、液滴吐出ノズルの吐出性能を検査する検査媒体４１を設けた。【選択図】　図１
2004098400.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体を載置するステージの上方に設けられて前記基体に液滴を吐出するノズルを備えた液滴吐出ヘッドと、
前記ステージの移動軸に対して少なくとも一方の側方に設けられたフラッシングエリアとを有した液滴吐出装置であって、
前記フラッシングエリアに、液滴吐出ノズルの吐出性能を検査する検査媒体を設けたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記検査媒体を、送り機構によって移動可能に設けたことを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記検査媒体が、前記液状体の液滴の吐出を受けた際、該液滴のｐＨに対応した色を呈するものであることを特徴とする請求項１又は２記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記液滴の吐出を受けた検査媒体を調べる画像処理装置を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
液滴吐出ヘッドから基体上に液状体の液滴を吐出し、基体上の所望位置に液状体を設ける液滴吐出方法において、
前記基体の近傍にフラッシングエリアを設け、このフラッシングエリアに、前記液状体の液滴の吐出を受けることによって液滴吐出ノズルの吐出性能を検査する検査媒体を設け、前記基体上への液滴の吐出に先立ちまたはその吐出と吐出との間に、フラッシングエリアの検査媒体上に液滴を吐出してフラッシングを行い、その後このフラッシングされた検査媒体に基づいて液滴吐出ノズルの吐出性能を検査することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項６】
基体上の所定箇所に機能性を有する液状体が成膜されたデバイスの製造方法であって、
前記基体の近傍にフラッシングエリアを設け、このフラッシングエリアに、前記液状体の液滴の吐出を受けることによって液滴吐出ノズルの吐出性能を検査する検査媒体を設け、前記基体上への液滴の吐出に先立ちまたはその吐出と吐出との間に、フラッシングエリアの検査媒体上に液滴を吐出してフラッシングを行う工程と、
フラッシングされた検査媒体に基づいて液滴吐出ノズルの吐出性能を検査する工程と、
を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項７】
請求項６記載の製造方法によって得られたデバイスを備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出ヘッドから基体上に液状体の液滴を吐出し、基体上の所望位置に液状体を設ける液滴吐出装置及び液滴吐出方法、さらにはデバイスの製造方法、電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクなどの液滴を吐出して薄膜形成やパターニングなどを行う液滴吐出装置として、一般にインクジェット技術を応用した装置がある。この装置は、液状材料供給部からの液状材料（液状体）の供給を受ける液滴吐出ヘッドと、基板等を液滴吐出ヘッドに対して相対的に移動させるステージとを備え、吐出データに基づいて液滴吐出ヘッドを移動させながら基板上に液滴を吐出させ、薄膜形成やパターニングなどを行うものである。
【０００３】
このような装置では、通常これを用いて基板に対し正規に液滴吐出を行うに先立ち、液滴吐出ヘッドの全てのノズルが正常な状態にあるか、例えば液詰まりやゴミ等の付着などによる異常がないかを検査する。
この検査方法では、通常はノズルチェックパターンを白紙などの液状材料（インク）が見易い、すなわち視認性のよい紙の上に描画し、得られた描画状態を目視又は画像処理装置による画像処理によって確認することにより、ノズルから正常に液滴が吐出されているか否かを検査する。
【０００４】
また、このような検査の結果、液滴吐出ヘッドの全てのノズルが正常な状態にあると判定された場合には、基板に対して正規に液滴吐出を行うが、その場合にも、液滴吐出の直前、さらには吐出と吐出との間にフラッシングを行う。このフラッシングは、特に吐出する液状材料中の溶媒の揮発性が高い場合などに、液状材料の吐出が連続的になされないノズルでは、その開口に滞留する液状材料が溶媒の揮発によって粘度上昇を起こし、甚だしい場合には液状材料が固化したり、ここに塵埃が付着したり、さらには気泡の混入などによりノズル開口に目詰まりを発生し、吐出不良を起こすといった不都合に対処するためのものである。
【０００５】
すなわち、従来では、ステージの一方の側あるいは両方の側にフラッシングエリアを設け、このフラッシングエリアに向けて液滴吐出ヘッドの各ノズルから強制的に吐出を行わせ、前記した吐出不良を防止するようにしているのである。
【０００６】
ところで、近年では液滴吐出装置の用途が広がり、当初の目的である文字等の印刷以外にも、前述したような薄膜形成やパターニングなどのため種々の液状材料が用いられるようになってきている。具体的には、有機ＥＬ素子において発光部を形成する各層の形成材料を、液滴吐出装置によって吐出塗布する試みがなされている。また、ＤＮＡや蛋白質などの生化学物質についても、液状材料として液滴吐出装置で所望の位置に吐出するといった試みがなされるようになってきている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような液状材料の中には高価な材料もある。その場合に、液滴吐出ヘッドの吐出性能の検査とフラッシングとの両方でこの材料を無駄にすることがコストダウンを妨げる一因となっており、したがってその改善が望まれている。
【０００８】
また、従来では液滴吐出による検査を終了した後、検査結果を待って正規に液滴吐出を行うが、このような待機時間によって生産性が損なわれてしまい、また、この待機時間中に前述したノズル開口の目詰まりなどが起こる可能性があり、したがってその改善も望まれている。
【０００９】
また、特に正規の液滴吐出中に何らかの原因で吐出不良が起きた場合、結果的に液状体を塗布した基板は不良品となってしまうが、その場合に基板に対しての吐出が全て終了した後、この基板が検査されることによって初めて不良であることが分かるため、材料の無駄が多くなり、また時間的なロスも多いことから生産性を損なう結果となってしまう。
【００１０】
さらに、例えば前記発光部を形成する各層のうちの正孔移動層の形成材料は無色透明であり、また、ＤＮＡや蛋白質などの生化学物質も、通常は十分に希釈した状態で試料として用いることから、吐出された状態においてはほぼ無色透明、あるいは非常に視認性の悪いものとなっている。したがって、これらの液状材料を液滴吐出装置で吐出する場合、液滴吐出ヘッドのノズルの検査を従来のように白紙の上に吐出するといった方法で行おうとしても、得られた描画状態を目視や画像処理装置で確認するのが困難であり、したがってノズルの吐出性能が調べられないのが現状である。
【００１１】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、液状材料の無駄を少なくしてコストダウンを図るとともに生産性の向上を図り、さらには吐出する液状材料（液状体）が透明の場合にも、液滴吐出ヘッドの吐出性能を容易に検査することができるようにした、液滴吐出装置及び液滴吐出方法、さらにはデバイスの製造方法、電子機器を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため本発明の液滴吐出装置では、基体を載置するステージの上方に設けられて前記基体に液滴を吐出するノズルを備えた液滴吐出ヘッドと、前記ステージの移動軸に対して少なくとも一方の側方に設けられたフラッシングエリアとを有した液滴吐出装置であって、前記フラッシングエリアに、液滴吐出ノズルの吐出性能を検査する検査媒体を設けたことを特徴としている。
この液滴吐出装置によれば、前記フラッシングエリアに検査媒体を設けたことにより、フラッシングを兼ねて液滴吐出ヘッドの吐出性能の検査を行うことが可能となり、したがって材料の無駄を少なくすることができ、また検査終了から正規の液滴吐出までの間の待機時間をなくすことによって生産性の向上を図ることができる。
【００１３】
また、前記の液滴吐出装置においては、前記検査媒体を、送り機構によって移動可能に設けるのが好ましい。
このようにすれば、送り機構によって検査媒体を移動させつつこの検査媒体上にフラッシング動作を行わせることにより、このフラッシング動作による検査媒体上への描画状態（吐出状態）をその都度観察することが可能になる。したがって、基体上への正規な液滴吐出の最中に液滴吐出性能を検査することが可能になり、これにより正規の液滴吐出中に何らかの原因で吐出不良が起きた場合の、材料の無駄や時間的なロスを低減することができる。
【００１４】
また、前記の液滴吐出装置においては、前記検査媒体が、前記液状体の液滴の吐出を受けた際、該液滴のｐＨに対応した色を呈するものであるのが好ましい。
このようにすれば、たとえ液状体が透明性である場合にも、検査媒体に起きる変色により形成された描画状態を目視又は画像処理装置などによって確認することにより、全てのノズルから正常に液滴が吐出されているか否かを検査することができる。
【００１５】
また、前記の液滴吐出装置においては、前記液滴の吐出を受けた検査媒体を調べる画像処理装置を備えているのが好ましい。
このようにすれば、例えば各ノズルから吐出された液滴によって変色した部分の線幅を画像処理装置によって調べ、予め記憶させた正常な線幅の範囲に入っているか等を判断することにより、目視で行う場合に比べより正確な検査が可能になる。
【００１６】
また、本発明の液滴吐出方法では、液滴吐出ヘッドから基体上に液状体の液滴を吐出し、基体上の所望位置に液状体を設ける液滴吐出方法において、前記基体の近傍にフラッシングエリアを設け、このフラッシングエリアに、前記液状体の液滴の吐出を受けることによって液滴吐出ノズルの吐出性能を検査する検査媒体を設け、前記基体上への液滴の吐出に先立ちまたはその吐出と吐出との間に、フラッシングエリアの検査媒体上に液滴を吐出してフラッシングを行い、その後このフラッシングされた検査媒体に基づいて液滴吐出ノズルの吐出性能を検査することを特徴としている。
この液滴吐出方法によれば、フラッシングされた検査媒体によって液滴吐出ノズルの吐出性能を検査することにより、フラッシングを兼ねて液滴吐出ヘッドの吐出性能の検査を行うことができ、したがって材料の無駄を少なくすることができ、また検査終了から正規の液滴吐出までの間の待機時間をなくすことによって生産性の向上を図ることができる。
【００１７】
また、本発明のデバイスの製造方法では、基体上の所定箇所に機能性を有する液状体が成膜されたデバイスの製造方法であって、前記基体の近傍にフラッシングエリアを設け、このフラッシングエリアに、前記液状体の液滴の吐出を受けることによって液滴吐出ノズルの吐出性能を検査する検査媒体を設け、前記基体上への液滴の吐出に先立ちまたはその吐出と吐出との間に、フラッシングエリアの検査媒体上に液滴を吐出してフラッシングを行う工程と、フラッシングされた検査媒体に基づいて液滴吐出ノズルの吐出性能を検査する工程と、を有することを特徴としている。
このデバイスの製造方法によれば、フラッシングされた検査媒体によって液滴吐出ノズルの吐出性能を検査することにより、フラッシングを兼ねて液滴吐出ヘッドの吐出性能の検査を行うことができ、したがって材料の無駄を少なくすることができ、また検査終了から正規の液滴吐出までの間の待機時間をなくすことによって生産性の向上を図ることができる。
【００１８】
また、本発明の電子機器では、前記製造方法によって得られたデバイスを備えたことを特徴としている。
この電子機器によれば、生産性が向上したデバイスを備えてなることにより、この電子機器自体も生産性が向上したものとなる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置の一例を示す図であり、図１において符号３０は液滴吐出装置である。この液滴吐出装置３０は、ベース３１、基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３、液滴吐出ヘッド３４、液供給手段３５、制御装置４０等を有して構成されたものである。ベース３１は、その上に前記基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３を設置したものである。
【００２０】
基板移動手段３２は、ベース３１上に設けられたもので、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール３６を有したものである。この基板移動手段３２は、例えばリニアモータ（図示せず）により、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるよう構成されたものである。
スライダ３７上にはステージ３９が固定されている。よって、基板移動手段３２がステージ３９の移動軸となる。このステージ３９は、基板（基体）Ｓを位置決めし保持するためのものである。すなわち、このステージ３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをステージ３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、例えばステージ３９の位置決めピン（図示せず）により、ステージ３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。
【００２１】
ステージ３９上の基板Ｓに対し、その両側、すなわち後述する液滴吐出ヘッド３４の移動方向（Ｘ軸方向）での両側には、液滴吐出ヘッド３４にフラッシングを行わせるためのフラッシングエリアＦ、Ｆが設けられている。これらフラッシングエリアＦ、Ｆには、液滴吐出ヘッド３４の検査を行うための検査媒体４１が設けられている。検査媒体４１、４１は、図１及び図２に示すように送りロール４１ａと巻き取りロール４１ｂとの間に巻かれてＹ軸方向に沿って展開されたもので、巻き取りロール４１ｂに連結されたモータ３８により、送りロール４１ａ側から巻き取りロール４１ｂ側に連続的に移送されるようになっている。ここで、これら送りロール４１ａおよび巻き取りロール４１ｂと、モータ３８とにより、本発明の送り機構が構成されている。なお、このような検査媒体４１、４１は、そのベース３１上での位置、すなわちフラッシングエリアＦにおける位置が予め決められており、その位置が前記制御装置４０によって記憶されている。
【００２２】
また、検査媒体４１は、後述するように液滴吐出ヘッド３４から吐出された液状体の液滴を受けた際、この液滴のｐＨに対応した色を呈する媒体であり、例えば酸塩基指示薬をフィルム基体上に設けたものである。
ここで、酸塩基指示薬としては、例えば、ペンタメトキシレッド、キナルジンレッド、２，４−ジニトロフェノール、ヘキサメトキシレッド、ヘプタメトキシレッド、キノリンブルー、ｏ−クレゾールフタレイン、チモールフタレイン、フェノールフタレイン、メチルオレンジ、コンゴーレッド、サリチル酸、α−ナフチルアミン、３，６−ジヒドロキシフタル酸、ｍ−クレゾールパープル、チモールブルー、ジメチルイエロー、ブロモフェノールブルー、ブロモクレゾールグリーン、メチルレッド、クロロフェノールレッド、ブロモクレゾールパープル、ブロモチモールブルー、ニュートラルレッド、フェノールレッド、クレゾールレッド、チモールブルー等が挙げられるが、本発明においてはこれらのうちの複数種を適宜に混合し、万能指示薬、すなわち広いｐＨ領域に亘っていくつもの変色域をもつ酸塩基指示薬が好適に用いられる。
なお、特に液滴吐出装置で吐出する液状体のｐＨが分かっている場合には、その劣化などを考慮した範囲のｐＨに変色域をもつ酸塩基指示薬を、用いるようにしてもよい。
【００２３】
フィルム基体としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートや、ジアセテート、セロハン、セルロイド、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリビニルクロライド、ポリビニリデンクロライド、ポリアクリレート、ポリエチレン、ポリプロピレンなどの樹脂フィルムが用いられるが、もちろんこれらに限定されることなく、紙なども使用可能である。
【００２４】
また、このようなフィルム基体上に前記酸塩基指示薬を定着させるには、該酸塩基指示薬をバインダーに混ぜ、得られた混合物をフィルム基体上に塗着するといった方法が採られる。酸塩基指示薬を混合するためのバインダーとしては、液状体の液滴を受容でき、かつこの液状体に対して溶解性あるいは親和性を有する水溶性樹脂又は水分散性樹脂が用いられる。例えば、ポリビニルアルコール及びアニオン変性ポリビニルアルコール、カチオン変性ポリビニルアルコール、アセタール変性ポリビニルアルコール等のポリビニルアルコールの変性物；ポリウレタン；ポリビニルピロリドン及びポリビニルピロリドンと酢酸ビニルの共重合体、ビニルピロリドンとジメチルアミノエチル・メタクリル酸の共重合体、四級化したビニルピロリドンとジメチルアミノエチル・メタクリル酸の共重合体、ビニルピロリドンとメタクリルアミドプロピル塩化トリメチルアンモニウムの共重合体などのポリビニルピロリドンの変性物；カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロースなどのセルロース及びカチオン化ヒドロキシエチルセルロース等のセルロースの変性物；ポリエステル、ポリアクリル酸（エステル）、メラミン樹脂、あるいはこれらの変性物、ポリエステルとポリウレタンの共重合体等の合成樹脂、また、アルブミン、ゼラチン、カゼイン、でんぷん、カチオン化でんぷん、アラビアゴム、アルギン酸ソーダなどの天然樹脂が好適に用いられる。
【００２５】
なお、前記検査媒体４１は、バインダー成分の分散液中に前記酸塩基指示薬を混合し、さらにこの混合物を前記フィルム基体上に塗布、乾燥することにより、形成することができる。酸塩基指示薬を含むバインダーの厚さについては、５〜５０μｍ程度とするのが、液滴を受容した際そのｐＨに応じて良好に変色するため好ましい。
【００２６】
これら検査媒体４１、４１の近傍には画像処理装置５０が配置されている。この画像処理装置５０は、検査媒体４１、４１の巻き取りロール４１ｂ側の上方に配置されたＣＣＤカメラ５１、５１（図１中においては、片方のＣＣＤカメラ５１の図示を省略）と、これらＣＣＤカメラ５１に接続された処理装置本体５２とからなるものである。ＣＣＤカメラ５１は、検査媒体４１表面の色変化を記録し、その記録データを処理装置本体５２に送るものである。処理装置本体５２は、コンピューター等からなるもので、ＣＣＤカメラ５１から送られてきた記録媒体４１における色変化データを解析することにより、後述するように液滴吐出ヘッド３４の各ノズルの吐出性能を検査したり、液状体のｐＨを調べて液状体の劣化度を検査したりするものである。
【００２７】
なお、処理装置本体５２は、前記の検査媒体４１を送るためのモータ３８、及び後述する制御装置４０とも接続されている。そして、これにより処理装置本体５２は、制御装置４０による制御によって液滴吐出ヘッド３４から検査媒体４１上に液滴が吐出された際、処理装置本体５２はその時間を制御装置４０から受信するようになっている。また、吐出を受けた検査媒体４１がモータ３８によりＣＣＤカメラ５１の視野に到るまでの時間も、予めモータ３８の速度等から演算して記憶しておく。このような構成のもとに処理装置本体５２は、液滴吐出ヘッド３４から吐出された液滴による検査媒体４１の色変化（変色）を、確実にＣＣＤカメラ５１で記録させるようになっている。
【００２８】
ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、該走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向に液滴吐出ヘッド３４を搭載するキャリッジ４２を移動可能に保持したものである。キャリッジ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これにより液滴吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。
【００２９】
ここで、このキャリッジ４２は、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向、すなわちＸ軸方向に例えば１μｍ単位で移動が可能になっており、このような移動は制御装置４０によって制御されるようになっている。したがって、前述したように検査媒体４１、４１の位置が制御装置４０に記憶されることにより、後述するように液滴吐出ヘッド３４によるフラッシングのための液滴の吐出が、検査媒体４１上に確実になされるようになっている。
【００３０】
液滴吐出ヘッド３４は、前記キャリッジ４２に取付部４３を介して回動可能に取り付けられたものである。取付部４３にはモータ４４が設けられており、液滴吐出ヘッド３４はその支持軸（図示せず）がモータ４４に連結している。このような構成のもとに、液滴吐出ヘッド３４はその周方向に回動可能となっている。また、モータ４４も前記制御装置４０に接続されており、これによって液滴吐出ヘッド３４はその周方向への回動が、制御装置４０に制御されるようになっている。
【００３１】
ここで、液滴吐出ヘッド３４は、図３（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数の空間１５と液溜まり１６とが形成されている。各空間１５と液溜まり１６の内部は液状材料で満たされており、各空間１５と液溜まり１６とは供給口１７を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート１２には、空間１５から液状材料を噴射するためのノズル孔１８が縦横に整列させられた状態で複数形成されている。一方、振動板１３には、液溜まり１６に液状材料を供給するための孔１９が形成されている。
【００３２】
また、振動板１３の空間１５に対向する面と反対側の面上には、図３（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子２０が接合されている振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１５の容積が増大するようになっている。したがって、空間１５内に増大した容積分に相当する液状材料が、液溜まり１６から供給口１７を介して流入する。また、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。したがって、空間１５も元の容積に戻ることから、空間１５内部の液状材料の圧力が上昇し、ノズル孔１８から基板に向けて液状材料の液滴２２が吐出される。
【００３３】
なお、このような構成からなる液滴吐出ヘッド３４は、その底面形状が略矩形状のもので、図４に示すようにノズル１８を縦横に整列させた状態（図４では省略して横に一列のみ記載している）に配置したものである。
【００３４】
液供給手段３５は、液滴吐出ヘッド３４に液状材料を供給する液供給源４５と、この液供給源４５から液滴吐出ヘッド３４に液を送るための液供給チューブ４６とからなるものである。
制御装置４０は、コンピュータ等からなるもので、前述したように記録媒体４１の位置、具体的にはＹ軸に平行となる両方の側縁のＸ座標を記憶するとともに、液滴吐出ヘッド３４の位置情報、すなわち液滴吐出ヘッド３４のガイドレール３３ｄ、３３ｄ上での位置（Ｘ座標）とそのときの各ノズルの位置（Ｘ座標）とを検知して記憶するものである。なお、フラッシングによる検査に際して、液滴吐出ヘッド３４に検査媒体４１上への液滴の吐出（フラッシング）を行わせたときには、前述したようにその時間を処理装置本体５２に送信するようになっている。
【００３５】
次に、このような構成からなる液滴吐出装置３０による液滴吐出方法を説明する。なお、本例は液滴吐出装置３０によって有機ＥＬ装置における発光部を構成する正孔移送層を形成する場合に適用されるもので、正孔移送層形成の前段階としての液滴吐出検査方法である。また、本例では、吐出する液状体として、有機ＥＬ装置における発光部を構成する正孔移送層の形成材料、例えば３，４−ポリエチレンジオシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）の分散液を用いている。この形成材料は、ほぼ無色透明であり、ｐＨが約２．０の酸性液である。なお、この形成材料は、長期保存等によって劣化すると、そのｐＨが例えば２．５程度とアルカリ側に変化する。
【００３６】
本例では、前準備として、ロール状の検査媒体４１を送りロール４１ａと巻き取りロール４１ｂとの間にセットしておく。なお、検査媒体４１としては、前述したように万能指示薬を用いたものが好ましいが、液状体のｐＨ域が既知であることから、例えばｐＨ１．５〜３．０程度の範囲に変色域をもつ酸塩基指示薬を、用いるようにしてもよい。また、特に本例では、ｐＨ２．０近傍とｐＨ２．５近傍との間に変色域をもつもの、すなわち液滴がｐＨ２．０近傍の場合と、ｐＨ２．５近傍の場合とで基の色（液滴を受容する前の検査媒体４１自体の色）に対する変色の度合い（色の濃淡、あるいは色相そのもの）が異なるものを用いる。
【００３７】
また、本例では、フラッシングを兼ねて行う液滴吐出検査として、液滴吐出ヘッド３４の各ノズル１８の吐出性能の検査と、液状体の劣化度の検査とを同時に行うものとする。すなわち、各ノズル１８の吐出性能の検査に関しては、まず、液滴吐出ヘッド３４から吐出するノズルチェックパターン、例えば図５（ｂ）に示すようなノズルチェックパターンＰを予め処理装置本体５２に記憶させておく。ここで、モータ３８を作動させることによって検査媒体４１を移動させつつ、図４に示したように液滴吐出ヘッド３４の全てのノズル１８…から同時にかつ連続的に液滴を吐出し、各ノズル１８に対応した線分Ｌを形成すると、これら線分Ｌは互いに隣接してその境界が分かりにくくなってしまう。
【００３８】
そこで、全てのノズル１８…を例えば端から奇数番目のノズルと偶数番目のノズルとに分け、図５（ａ）に示すように最初に奇数番目のノズルからのみ液滴を吐出させ、その後、図５（ｂ）に示すように偶数番目のノズルからのみ液滴を吐出させる。すると、各線分Ｌは隣り合うものとの間に隙間をあけ、また隣り合うノズル１８から吐出され形成された線分Ｌ、Ｌは検査媒体４１の長さ方向にてずれて形成されたものとなる。したがって、図４に示した場合のごとく各線分Ｌが互いに隣接してしまい、その境界が分かりにくくなってしまうといったことがなくなる。
【００３９】
なお、ノズル１８…の数が多い場合などでは、ノズル１８…を奇数番目と偶数番目とに二分割するのに代えて、三分割あるいはそれ以上に分割するようにしてもよい。
また、処理装置本体５２に記憶させるノズルチェックパターンＰとしては、特に各線分Ｌの線幅や長さを、それぞれノズルが正常であると判定される範囲（有効範囲）として記憶させておく。そして、後述するようにＣＣＤカメラ５１で記録され送られてきた記録データと照合し、記録データにあるノズルチェックパターンにおける各線分の線幅や長さが、前記有効範囲に入っているか否かなどを調べることにより、液滴吐出ヘッド３４の各ノズル１８の吐出性能の良否を判定する。
【００４０】
また、液状体の劣化度の検査に関しては、ｐＨ２．０近傍で変色した場合の検査媒体４１の色と、ｐＨ２．５近傍で変色した場合の検査媒体４１の色とを、例えば予めＣＣＤカメラ５１に設けたカラーフィルタを通すことなどによって識別できるようにしておき、これによって液滴（液状体）のｐＨを判別することにより劣化度の判定（検査）を行う。
【００４１】
このようにして前準備を行ったら、以下の手順に基づき、液滴吐出を行う。
まず、制御装置４０によって液滴吐出ヘッド３４をベース３１上のクリーニングステージ（図示せず）に移動させ、クリーニングを行うことにより、液滴吐出ヘッド３４の全ノズルを液滴吐出可能な状態にする。
【００４２】
次に、制御装置４０によって液滴吐出ヘッド３４をフラッシングエリアＦの検査媒体４１上に移動させる。
なお、検査媒体４１はベース３１上の両側にあるが、どちら側を用いるかについては特に決まりはなく、任意の側のものを選択してこれの上に液滴吐出ヘッド３４を移動させる。ただし、選択した側については、処理装置本体５２に認識させておくのはもちろんである。
【００４３】
次いで、フラッシングエリアＦ、Ｆに検査媒体４１が正しくセットされているか否かを確認する。
この確認は、例えば送りロール４１ａ及び巻き取りロール４１ｂにそれぞれ検査媒体４１がセットされているかなどを光センサ等によって検知し、あるいはＣＣＤカメラ５１によって検査媒体４１を認識させることなどによって行う。また、検査媒体４１における液滴吐出位置が、既に液滴が吐出されていることによって変色していないかも確認するが、この確認については、前記したようにＣＣＤカメラ５１によって検査媒体４１を認識させることによって行ってもよい。また、簡易的には、先に液滴吐出検査がなされた後、モータ３８による巻き取りがなされたか否かを処理装置本体５２に記憶させておくことで行ってもよい。
【００４４】
なお、このような確認により、検査媒体４１が正しくセットされていないと判定された場合には、警報を鳴らすなどして作業者にそのことを知らせ、検査媒体４１を再セットする。その後、再度検査媒体４１が正しくセットされているか否かを確認する。
【００４５】
検査媒体４１が正しくセットされていると判定された場合には、制御装置４０によって液滴吐出ヘッド３４から液滴をノズルチェックパターンＰに対応させて吐出させる。
【００４６】
このようにして液滴吐出を行ったら、モータ３８を作動させて検査媒体４１をＣＣＤカメラ５１側に送る。そして、送られてきた液滴の吐出パターンをＣＣＤカメラ５１で撮影して記録し、さらに記録データを処理装置本体５２で解析して前述した検査、すなわち液滴吐出ヘッド３４の各ノズル１８の吐出性能の検査と、液状体の劣化度の検査とを行う。
【００４７】
また、液滴の吐出を行い、その変色をＣＣＤカメラ５１で撮影・記録した検査媒体４１については、再度モータ３８を作動させることによって巻き取りロール４１ｂ側に巻き取っておき、液滴吐出ヘッド３４側には新たな検査媒体４１が位置するようにセットする。
【００４８】
そして、前記のＣＣＤカメラ５１で撮影記録して得られた記録データを処理装置本体５２で解析・検査し、その結果全てのノズル１８が正常な状態にあり、また、液状体に許容範囲を越える劣化も認められなかった場合には、前検査を終了する。
【００４９】
一方、一つでもノズル１８に異常が認められた場合には、再度前記のクリーニングを行い、以下、前記工程を再度繰り返す。また、液状体に許容範囲を越える劣化が認められた場合には、液供給源４５の液状体（正孔移送層の形成材料）を新しい液状体に交換し、その後再度前記のクリーニングを行い、さらに前記工程を再度繰り返す。
【００５０】
次に、このようにして前検査を終了したら、液滴吐出ヘッド３４による正規な動作（液滴吐出）、本例では基板Ｓ上への正孔移送層の形成を行う。
このとき、ノズル１８によっては部分的にあまり吐出動作を行わないものもあることから、その吐出と吐出との間にもフラッシングを行う。
その際、検査媒体４１上にて従来通りのフラッシングを行うとともに、これに引き続き、図５（ｂ）に示したノズルチェックパターンＰに対応して全ノズル１８から液滴の吐出（フラッシング）を行う。なお、フラッシングを開始してからはモータ３８を作動させておき、検査媒体４１を巻き取りローラ４１ｂ側に連続的に送るようにする。
【００５１】
そして、このような液滴吐出（フラッシング）を終了した後、液滴吐出ヘッド３４については、再度基板Ｓ上に戻し、正孔移送層の形成を引き続き行う。
また、フラッシングを行った検査媒体４１については、特にノズルチェックパターンＰに対応して全ノズル１８から液滴の吐出した部分の吐出パターンについて、先の検査後のときと同様にしてＣＣＤカメラ５１で撮影して記録する。そして、この記録データを処理装置本体５２で解析し、特に液滴吐出ヘッド３４の各ノズル１８がそれぞれ正常になされているか否かを検査する。また、必要に応じて液状体の劣化度の検査も行う。
【００５２】
このような検査の結果、各ノズル１８が全て正常であると判定された場合には、液滴吐出ヘッド３４の動作を止めることなくそのまま正孔移送層の形成を続ける。そして、所定時間経過後、再度検査を兼ねた同様のフラッシングを行い、以下これを繰り返す。また、一部のノズル１８に吐出不良が生じたと判定された場合には、液滴吐出ヘッド３４による液滴の吐出動作を停止させる。また、必要に応じて、警報を鳴らすことなどによって作業者に異常を知らせる。
【００５３】
なお、本例では正規な液滴吐出動作に先立ち、液滴吐出ヘッド３４の吐出性能及び液状体の劣化度を検査するようにしたが、このような正規な液滴吐出動作の前の検査は行わずに、フラッシング動作として行う液滴吐出、すなわち正規な動作としての吐出と吐出との間に行う液滴吐出により、液滴吐出ヘッド３４の吐出性能、さらには液状体の劣化度を検査するようにしてもよい。
【００５４】
このような液滴吐出装置３０にあっては、フラッシングエリアＦに検査媒体４１を設けたことにより、フラッシングを兼ねて液滴吐出ヘッドの吐出性能の検査を行うことができる。したがって、例えば正規な液滴吐出動作の前の検査は行わずに、フラッシング動作として行う液滴吐出によって液滴吐出ヘッド３４の吐出性能等を検査すれば、材料の無駄を少なくすることができ、また検査終了から正規の液滴吐出までの間の待機時間をなくすことによって生産性の向上を図ることができる。
【００５５】
また、モータ３８等による送り機構によって検査媒体４１を移動させつつこの検査媒体４１上にフラッシング動作を行わせるようにしたので、このフラッシング動作による検査媒体上への描画状態（吐出状態）をその都度観察することができ、したがって基板Ｓ上への正規な液滴吐出の最中に液滴吐出性能を何度でも検査することができ、これにより正規の液滴吐出中に何らかの原因で吐出不良が起きた場合の、材料の無駄や時間的なロスを低減することができる。
すなわち、従来では基板Ｓに対し目的とする層に対応した液滴吐出を全て終了した後、基板Ｓを目視や画像処理装置などで検査することにより、初めて液滴吐出ヘッド３４の吐出不良に起因する不良を発見することになる。一方、本例の液滴吐出装置３０によれば、前述したように正規な液滴吐出の最中に液滴吐出性能を検査し、その結果、吐出不良が認められればその時点で正規な液滴の吐出を終了させることにより、材料の無駄や時間的なロスを低減することができるのである。
【００５６】
また、検査媒体４１を、液状体の液滴の吐出を受けた際該液滴のｐＨに対応した色を呈する（変色する）ものにしたので、たとえ液状体が透明性である場合にも、検査媒体４１に起きる変色により形成された描画状態を画像処理装置５０によって確認することにより、全てのノズル１８…から正常に液滴が吐出されているか否かをより正確に検査することができる。
また、ステージ３９の両側をフラッシングエリアＦとし、これらフラッシングエリアＦ、Ｆにそれぞれ検査媒体４１を設けたので、これら検査媒体４１、４１に対して交互に検査を兼ねたフラッシングを行い、画像処理装置５０による検査も交互に行うことにより、検査時間の短縮化を図ることができる。
【００５７】
なお、本発明は前記の例に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しないかぎり種々の変更が可能である。例えば、液状体（液滴）として、正孔移動層の形成材料に代えて他の層の形成材料を吐出する場合に適用してもよく、また、このような有機ＥＬ装置などの機能性材料でなく、ＤＮＡや蛋白質などの生化学物質を吐出する場合に適用してもよい。
【００５８】
また、検査媒体４１としては、簡易的にはリトマス紙を用いることもできる。さらに、液状体が透明性でなく、有色であるなど視認性が高い場合には、従来の検査で用いていた白紙などを用いるようにしてもよい。
また、前記例では検査媒体に起きる変色を、画像処理装置５０によって調べるようにしたが、簡易的には肉眼による目視で行うようにしてもよい。
また、前記例ではステージ３９の両側をフラッシングエリアＦとし、これらフラッシングエリアＦ、Ｆにそれぞれ検査媒体４１、４１を配置したが、片側のみに検査媒体４１を設け、他の側には従来通りのフラッシング装置を設けてもよい。
【００５９】
また、本発明のデバイスの製造方法は、前記の液滴吐出装置３０による液滴吐出方法を用いてデバイスを製造する方法である。この製造方法が適用されるデバイスとしては、カラーフィルタや配線、各種の膜やパターンなどの機能性を有する種々の構成要素を前記液滴吐出装置３０で形成することができれば、特に限定されることなく任意のものとされる。
【００６０】
図６は、このような本発明の製造方法が適用されるデバイスの一例としての、有機ＥＬ装置の断面図を示した図である。
図６に示すようにこの有機ＥＬ装置３０１は、基板３１１、回路素子部３２１、画素電極３３１、バンク部３４１、発光素子３５１、陰極３６１（対向電極）、および封止基板３７１から構成された有機ＥＬ素子３０２に、フレキシブル基板（図示略）の配線および駆動ＩＣ（図示略）を接続したものである。回路素子部３２１は基板３１１上に形成され、複数の画素電極３３１が回路素子部３２１上に整列している。そして、各画素電極３３１間にはバンク部３４１が格子状に形成されており、バンク部３４１により生じた凹部開口３４４に、発光素子３５１が形成されている。陰極３６１は、バンク部３４１および発光素子３５１の上部全面に形成され、陰極３６１の上には、封止用基板３７１が積層されている。
【００６１】
有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置３０１の製造プロセスは、バンク部３４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子３５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子３５１を形成する発光素子形成工程と、陰極３６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板３７１を陰極３６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
発光素子形成工程は、凹部開口３４４、すなわち画素電極３３１上に正孔注入／輸送層３５２および発光層３５３を形成することにより発光素子３５１を形成するもので、正孔注入／輸送層形成工程と発光層形成工程とを具備している。そして、正孔注入／輸送層形成工程は、正孔注入／輸送層３５２を形成するための第１組成物（機能液）を各画素電極３３１上に吐出する第１液滴吐出工程と、吐出された第１組成物を乾燥させて正孔注入／輸送層３５２を形成する第１乾燥工程とを有し、発光層形成工程は、発光層３５３を形成するための第２組成物（機能液）を正孔注入／輸送層３５２の上に吐出する第２液滴吐出工程と、吐出された第２組成物を乾燥させて発光層３５３を形成する第２乾燥工程とを有している。
【００６２】
この発光素子形成工程では、前記液滴吐出装置３０を用いて、前記発光素子を形成するようにしている。したがって、この有機ＥＬ装置３０１の製造方法によれば、材料の無駄を少なくすることができ、また検査終了から正規の液滴吐出までの間の待機時間をなくすことによって生産性の向上を図ることができる。
【００６３】
次に、本発明の電子機器を説明する。本発明の電子機器は、前記の有機ＥＬ装置（デバイス）を表示部として有したものであり、具体的には図７に示すものが挙げられる。
図７は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図７において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は前記の有機ＥＬ装置を用いた表示部を示している。
この携帯電話（電子機器）によれば、生産性が向上した有機ＥＬ装置（デバイス）を備えてなることにより、この携帯電話自体も生産性が向上したものとなる。
なお、本発明の電子機器としては、携帯電話に限定されることなく、腕時計型電子機器やワープロ、パソコン等の携帯型情報処理装置など、従来公知の種々の電子機器に適用可能である。
【００６４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の液滴吐出装置は、フラッシングエリアに検査媒体を設けたことにより、フラッシングを兼ねて液滴吐出ヘッドの吐出性能の検査を行えるようにしたものであるから、材料の無駄を少なくしてコストダウンを図ることができ、また検査終了から正規の液滴吐出までの間の待機時間をなくすことによって生産性の向上を図ることができる。
【００６５】
また、本発明の液滴吐出方法は、フラッシングされた検査媒体によって液滴吐出ノズルの吐出性能を検査するようにした方法であるから、フラッシングを兼ねて液滴吐出ヘッドの吐出性能の検査を行うことができ、したがって材料の無駄を少なくしてコストダウンを図ることができ、また検査終了から正規の液滴吐出までの間の待機時間をなくすことによって生産性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の一例の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示した液滴吐出装置の要部拡大図である。
【図３】液滴吐出ヘッドの概略構成を説明するための図であり、（ａ）は要部斜視図、（ｂ）は要部側断面図である。
【図４】液滴吐出ヘッドの底面におけるノズルの配置状態とこれらノズルから吐出された液滴による描画状態を説明するための斜視図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、図４に示した液滴吐出ヘッドによる、ノズルチェックパターンＰに対応した液滴吐出を説明するための図である。
【図６】本発明の製造方法が適用される有機ＥＬ装置の断面図である。
【図７】本発明の電子機器の一例を示す図である。
【符号の説明】
３０…液滴吐出装置、３４…液滴吐出ヘッド、３９…ステージ、
４１…検査媒体、５０…画像処理装置、Ｓ…基板（基体）、
Ｆ…フラッシングエリア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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