(57)【要約】【課題】ワークの品種に応じて収納方式の切換作業を効率良くしかも装置の設置面積を拡大せずに行える成形品収納装置を提供する。【解決手段】モータ２１より駆動伝達されて昇降する昇降ロッド２５がユニット載置部２６を挿通して収納マガジン側へ突き出し可能に支持されたベースユニット１９の当該ユニット載置部２６に、成形品の収納形態が異なる収納マガジン１５、１８を備えた収納ユニット２７、２８が位置決めされて載置される。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂封止後の成形品を収納する成形品収納装置において、
駆動源より駆動伝達されて昇降する昇降ロッドがユニット載置部を挿通して収納マガジン側へ突き出し可能に支持されたベースユニットの当該ユニット載置部に、成形品の収納形態が異なる収納マガジンを備えた収納ユニットが位置決めされて載置されることを特徴とする成形品収納装置。
【請求項２】
前記収納マガジンは、筒体状に形成されたマガジンの底部に装填されたリフタープレート上に成形品を積層収納するスタック収納マガジンであり、昇降ロッドがリフタープレートに当接したまま順次下降することにより成形品が収納されることを特徴とする請求項１記載の成形品収納装置。
【請求項３】
前記収納マガジンは筐体状に形成されたマガジンの両側壁面に設けられたスリットに沿って成形品をスライドさせて収納するスリット収納マガジンであり、昇降ロッドがスリット収納マガジンに連繋したまま当該スリット収納マガジンを順次上昇又は下降させることにより成形品が収納されることを特徴とする請求項１記載の成形品収納装置。
【請求項４】
前記ベースユニットに昇降ロッドが複数設けられており、昇降ロッド間の間隔が拡縮可能に支持されていることを特徴とする請求項１、２又は３記載の成形品収納装置。
【請求項５】
樹脂封止後、モールド金型から取り出された成形品から不要樹脂を分離するディゲート部と、不要樹脂が分離された成形品を一旦保持し、収納マガジンの収納形態に応じて収納動作を行う成形品ピックアップ部とを具備したことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の成形品収納装置。
【請求項６】
ワーク供給部よりワーク及び封止樹脂をプレス部に供給して樹脂封止を行い、樹脂封止された成形品をプレス部から請求項１乃至５の何れか１項記載の成形品収納装置へ取り出して収納することを特徴とする樹脂封止装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する利用分野】
本発明は、樹脂封止後の成形品を収納する成形品収納装置及び樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
樹脂封止装置の一例として樹脂タブレットを用いた樹脂封止装置について説明する。この樹脂封止装置は、モールド金型（上型及び／又は下型）にワーク（リードフレーム、樹脂基板、シリコンウエハ及び樹脂タブレットなど）が搬入され、更に樹脂タブレットが供給されてから、型開閉機構を作動させてモールド金型をクランプし、溶融した樹脂を圧送りしてトランスファー成形を行うものである。成形後の成形品は、モールド金型より取り出されて収納マガジンなどに収納されるようになっている。
【０００３】
具体的には、樹脂封止装置は、ワーク供給部、樹脂供給部、樹脂封止部及び成形品収納部が設けられている。そして、ワーク及び樹脂タブレットをローダーで保持しながら樹脂封止部へ搬入して樹脂封止を行い、樹脂封止部から成形品をアンローダーにより成形品取出部へ取り出して、ディゲート部で不要樹脂と分離してから成形品収納部で収納マガジン等へ収納するようになっている（特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−３００９７６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の樹脂封止装置においては、成形品収納部が、マガジン内に成形品を積層して収容するスタック収納方式か成形品をマガジンの両側壁面に形成された各スリットに沿ってスライドさせて収容するスリット収納方式を採用するかによって樹脂封止装置が専用機となっていた。このため、成形品収納部をスタック収納方式とスリット収納方式とで改変するのに改変作業に手間取るため改変は行い難く、スタック収納方式及びスリット収納方式を併用するため増設するとすれば、装置の設置面積が増大するため設置できない場合や、作業スペースが確保できない場合があった。
【０００６】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、ワークの品種に応じて収納方式の切換作業を効率良くしかも装置の設置面積を拡大せずに行える成形品収納装置及び該成形品収納装置を用いて小型で汎用性の高い樹脂封止装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
樹脂封止後の成形品を収納する成形品収納装置において、駆動源より駆動伝達されて昇降する昇降ロッドがユニット載置部を挿通して収納マガジン側へ突き出し可能に支持されたベースユニットの当該ユニット載置部に、成形品の収納形態が異なる収納マガジンを備えた収納ユニットが位置決めされて載置されることを特徴とする。
また、収納マガジンは、筒体状に形成されたマガジンの底部に装填されたリフタープレート上に成形品を積層収納するスタック収納マガジンであり、昇降ロッドがリフタープレートに当接したまま順次下降することにより成形品が収納されることを特徴とする。
或いは、収納マガジンは、筐体状に形成されたマガジンの両側壁面に設けられたスリットに沿って成形品をスライドさせて収納するスリット収納マガジンであり、昇降ロッドがスリット収納マガジンに連繋したまま当該スリット収納マガジンを順次上昇又は下降させることにより成形品が収納されることを特徴とする。
また、ベースユニットに昇降ロッドが複数設けられており、昇降ロッド間の間隔が拡縮可能に支持されていることを特徴とする。
また、樹脂封止後、モールド金型から取り出された成形品から不要樹脂を分離するディゲート部と、不要樹脂が分離された成形品を一旦保持し、収納マガジンの収納形態に応じて収納動作を行う成形品ピックアップ部とを具備したことを特徴とする。
【０００８】
樹脂封止装置においては、ワーク供給部よりワーク及び封止樹脂をプレス部に供給して樹脂封止を行い、樹脂封止された成形品をプレス部から前述した成形品収納装置へ取り出して収納することを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る成形品収納装置及び樹脂封止装置の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。本実施例は、樹脂封止装置の一部として成形品収納装置が分離可能に設けられた場合を例示して説明する。
【００１０】
図１はスタック収納方式の成形品収納装置の平面図、図２はスリット収納方式の成形品収納装置の平面図、図３はベースユニットの構成を示す正面図、図４（ａ）（ｂ）（ｃ）はベースユニットのユニット載置部の平面図、正面図、右側面図、図５（ａ）（ｂ）は、スタック収納マガジンを備えたマガジン交換ユニットのベースユニットへの着脱作業の説明図及び矢印Ａ−Ａ断面図、図６（ａ）（ｂ）は、スリット収納マガジンを備えたマガジン交換ユニットのベースユニットへの着脱作業の説明図及び矢印Ａ−Ａ断面図、図７〜図９はスタック収納方式からスリット収納方式への切換え作業の説明図、図１０は樹脂封止装置の平面図である。
【００１１】
先ず、樹脂封止装置の一例の概略構成について図１０を参照して説明する。
樹脂封止装置はワーク供給部Ａと成形品収納装置を構成する成形品収納部Ｂとの間にプレス部１を設けた増設レール部Ｃを分離可能に備えている。ワーク供給部Ａ、成形品収納部Ｂ及び増設レール部Ｃのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、台座部には各種機能部を備えることが可能である。
【００１２】
図１０において、ワーク供給部Ａは、供給マガジン１に収納されたワーク（リードフレーム、樹脂基板などに半導体チップが搭載されたもの又は搭載用のもの）Ｗをフレームインデックス２へ載せた後、プレヒート部３へ向きを揃えて送り出される。プレヒート部３でプレヒートされたワークＷがローダー４に受け渡される。また、図示しないリニアフィーダから整列して送り出された樹脂タブレットがタブレットホルダー５へ装填され、該タブレットホルダー５を供給位置まで移動してローダー４に受け渡される。
【００１３】
増設レール部Ｃは、ワーク供給部Ａと成形品収納部Ｂとの間に挿脱可能に設けられている。増設レール部Ｃは、ワーク供給部Ａと成形品収納部Ｂとの間に増設される。ワーク供給部Ａ、成形品収納部Ｂ及び増設レール部Ｃは移動レール部６どうしを連絡するように連結され、移動レール部６上をローダー４及びアンローダー７が各々共用して移動可能になっている。
【００１４】
プレス部８は本実施例では４箇所に並設されている。各プレス部８はモールド金型、公知の型開閉機構及びモールド金型のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装備されている。各プレス部１は、台座部に設けられており、必要に応じてモールド金型の金型面を覆うリリースフィルムを張設するフィルムユニット９が設けられていても良い。
【００１５】
ローダー４は、プレヒート部３でワークＷを受け取って保持し、タブレットホルダー５より樹脂タブレットを受け取って保持したまま、移動レール部６側から各プレス部８へ進退移動して搬入するようになっている。また、樹脂封止後の成形品はプレス部８において離型され、アンローダー７により成形品収納部Ｂへ搬出されるようになっている。
【００１６】
成形品収納部Ｂには、アンローダー７により成形品が取り出される成形品取出部１０、成形品より不要樹脂が分離されるディゲート部１１及び成形品を収納するワーク収納部１２が設けられている。成形品取出部１０では、いずれかのプレス部８からアンローダー７により取出された成形品が下方に待機している移動テーブル１３へ受け渡される。アンローダー７は、成形品を移動テーブル１３へ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。移動テーブル１３は成形品を載置したままディゲート部１１へ搬送する。ディゲート部１１は、移動テーブル１３により搬送された成形品を押えて冷却すると共にワークＷをツイストすることによりゲートブレイクし不要樹脂を分離する。不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。移動テーブル１３は成形品のみを載置して受渡し位置まで搬送する。受渡し位置において、移動テーブル１３に載置された成形品が成形品ピックアップ１４により一旦保持されてワーク収納部１２へ以下に説明するスタック収納若しくはスリット収納が行われる。
【００１７】
次に、図１及び図２において、成形品をスタック収納する場合とスリット収納を行う場合の収納動作について説明する。先ず成形品をスタック収納する場合には、図１において、成形品ピックアップ１４が移動テーブル１３よりディゲートされた成形品をチャックすると、該成形品ピックアップ１４がスタック収納マガジン１５上まで移動しチャックを解除してマガジン内へ成形品を収納する。成形品ピックアップ１４は、移動テーブル１３からの受渡し位置Ｐとスタック収納マガジン１５上の収納位置Ｑとの間を往復移動するようになっている。成形品のスタック収納動作は、一方のスタック収納マガジン１５のみに対し、成形品ピックアップ１４がチャックした２枚分の成形品のうち１枚目をスタックしてから成形品ピックアップ１４を１８０度回転させて２枚目の成形品の向きを揃えて同一のマガジンへスタックするようにしても良いし、或いは両側のスタック収納マガジン１５に対し、成形品ピックアップ１４がチャックした２枚分の成形品のチャックを同時に解放してスタックするようにしても良い。
【００１８】
次に、成形品をスリット収納する場合には、図２において、成形品ピックアップ１４が受渡し位置Ｐへ移動した移動テーブル１３よりディゲートされた成形品をチャックすると、移動テーブル１３は成形品取出部１０側へ戻る。受渡し位置Ｐの下方には収納用レール部１６がワーク収納部１２まで敷設されている。成形品ピックアップ１４はチャックした成形品を収納用レール部１６へ受け渡す。収納用レール部１６の端部にはプッシャー１７が設けられており、プッシャー１７によりワークＷの後端側を押動しながらワークＷをスリット用収納マガジン１８のスリット溝へ収納するようになっている。尚、収納用レール部１６のレール幅はワークＷによって調整又はレール部を交換できるようになっている。
【００１９】
次に、ワーク収納部１２の構成について図３及び図４を参照して詳述する。
ベースユニット１９の底部には、駆動源として正逆回転駆動可能なモータ２１が２箇所に設けられている。ベースユニット１９のフレーム部２０に固定されているユニット載置部２６には、ねじ軸２２が２箇所に起立して回転可能に支持されている。ねじ軸２２の下端部にはプーリ２３が一体に設けられており、モータプーリとの間には無端状のタイミングベルトが掛け渡されている。各ねじ軸２２にはナット部２４が螺合しており、ねじ軸２２の回転に伴って上下に移動するようになっている。ナット部２４には、昇降ロッド２５の下端が各々起立して支持されている。各昇降ロッド２５の上端は、フレーム部２０に一体に支持されたユニット載置部２６を挿通して支持されている。ナット部２４がねじ軸２２に沿って上下に移動すると、ユニット載置部２６を挿通する昇降ロッド２５をマガジン側へ突き出させて昇降させるようになっている。
【００２０】
ユニット載置部２６は、成形品の収納形態が異なる収納マガジン（本実施例ではスタック収納マガジン１５若しくはスリット収納マガジン１８）を備えた収納ユニット（本実施例ではスタック収納ユニット２７若しくはスリット収納ユニット２８（図６（ａ）参照））が位置決めされて着脱可能に載置されるようになっている。図４（ａ）において、ユニット載置部２６には、スタック収納ユニット２７を位置決めするためのスタック用位置決めピン２９が４箇所に突設されている。また、スタック収納ユニット２７を載置した後で固定を行うスタック用固定ブロック３０が２箇所に設けられている。図４（ｃ）において、スタック用固定ブロック３０にはねじ孔３１が設けられており、スタック収納ユニット２７がユニット載置部２６に載置された後でねじ孔３１にてねじ止めされるようになっている。
【００２１】
また、図４（ａ）（ｂ）において、ユニット載置部２６には、スリット収納ユニット２８を位置決めするためのスリット用位置決めピン３２が４箇所に突設されている。スリット収納ユニット２８は、フレーム底部４２に形成された位置決め孔４６にスリット用位置決めピン３２を嵌合させてユニット載置部２６に載置される。また、フレーム底部４２とスタック用位置決めピン２９との干渉を避けるため、フレーム底部４２にはスペーサブロック４３が設けられている。ボルト４４がフレーム底部４２、スペーサブロック４３を貫通してユニット載置部２６のタップ４５にねじ締めされることにより収納ユニット２８が固定される（図６（ａ）参照）。
【００２２】
また、ユニット載置部２６には、昇降ロッド２５を支持するロッド支持部３３が取付ねじ３４により取り付けられている。ユニット載置部２６には長孔２６ａが形成されており、該長孔２６ａを昇降ロッド２５が挿通している。取付ねじ３４を緩めてロッド支持部３３を長孔２６ａに沿って移動させることにより、昇降ロッド２５どうしの間隔を拡縮するよう調整できる。
【００２３】
次に、スタック収納ユニット２７及びスリット収納ユニット２８のベースユニット１９への着脱動作について図５及び図６を参照して説明する。先ず、スタック収納ユニット２７の着脱動作について説明する。図５（ａ）（ｂ）において、スタック収納ユニット２７のフレーム底部３５にはガイド溝３６が長手方向に形成されている。また、フレーム側部３７には固定ねじ３８が設けられている。図５（ａ）において、スタック収納ユニット２７をユニット載置部２６のスタック用位置決めピン２９がガイド溝３６に進入するように載せる。スタック収納ユニット２７をユニット載置部２６に載せた後、スタック用位置決めピン２９がガイド溝３６に進入したまま図５（ｂ）の矢印方向へスライドさせて、スタック用固定ブロック３０にフレーム側部３７が突き当たるまでスライドさせる。そして、固定ねじ３８をねじ孔３１に嵌合させて締め付けることでスタック収納ユニット２７がユニット載置部２６に位置決めして固定される。
【００２４】
図５（ａ）において、スタック収納マガジン１５は、スタック収納ユニット２７のユニットフレーム３９に支持されたマガジンテーブル４０に載置される。マガジンテーブル４０は、ユニットフレーム３９の適当な位置に上下させることができる。スタック収納マガジン１５は筒体状に形成されており、ワーク（成形品）Ｗが積層収納されるため、マガジン底部を形成するリフタープレート４１が脱落しないように装填されている。昇降ロッド２５が上昇すると、マガジン底部に収容されたリフタープレート４１の下面に当接したまま押上げ、マガジン内で押上げられた位置で待機させておく。成形品ピックアップ１４よりワークＷがマガジン内にスタック収納されるたびに順次下降することにより積層収納されるようになっている。
【００２５】
次に、スリット収納ユニット２８の着脱動作について説明する。図６（ａ）（ｂ）において、スリット収納ユニット２８のフレーム底部４２には、ユニット載置部２６に設けられたスリット用位置決めピン３２が嵌合する位置決め孔４６が４箇所に設けられている。ユニット載置部２６に突設されたスタック用位置決めピン２９との干渉を避けるため、スリット用位置決めピン３２はスタック用位置決めピン２９と異なる高さ位置で突設されており、フレーム底部４２にはスペーサブロック４３が両側に設けられている。また、フレーム底部４２には、スペーサーブロック４３を貫通してボルト４４が嵌め込まれている。
【００２６】
図６（ａ）において、スリット収納ユニット２８のフレーム底部４２に設けられた位置決め孔４６とユニット載置部２６のスリット用位置決めピン３２、スペーサブロック４３より突設されたボルト４４とユニット載置部２６のタップ４５とを各々位置合わせして載置してからねじ締めするだけで、スリット収納ユニット２８がユニット載置部２６に固定される。
【００２７】
スリット収納マガジン１８は、筐体状に形成されたマガジンの両側内壁に設けられたスリットに沿ってワーク（成形品）Ｗをスライドさせて収容する。スリット収納ユニット２８内には、スリット収納マガジン１８を搭載して上下にスライド可能なスライドガイド４７が設けられている。スライドガイド４７は、ユニットフレーム４８に上下に設けられた直動ガイド４９に連繋してスライド自在に設けられている。スライドガイド４７の底部は昇降ロッド２５の上端部と連繋するようになっている（図８参照）。スリット収納マガジン１８はスライドガイド４７に載置されて昇降ロッド２５がスライドガイド４７に連繋したまま当該スリット収納マガジン１８スライドガイド４７と共に順次上昇又は下降させることにより成形品が収納されるようになっている。
【００２８】
次に、収納ユニットの交換作業の一例について、図３乃至図９を参照して説明する。本実施例では、ベースユニット１９にスタック収納ユニット２７が搭載された状態からスリット収納ユニット２８へ交換する交換作業について説明する。
図３において、スタック収納ユニット２７をユニット載置部２６より取り外す。取り外す手順は、固定ねじ３８を取り外してユニットフレーム３９を図の矢印方向へスライドさせることにより、ガイド溝３６の長手方向に沿って引き出すことができる（図５（ａ）（ｂ）参照）。
【００２９】
次に、図７において、スライドガイド４７にスリット収納マガジン１８が搭載されていない状態のスリット収納ユニット２８を準備する。スリット収納ユニット２８を載置する前に、ユニット載置部２６で取付ねじ３４を緩めてロッド支持部３３を長孔２６ａに沿って移動させることにより、昇降ロッド２５どうしの間隔を拡昇降ロッド２５の間隔を広げておく（図４（ａ）参照）。
次いで、スリット収納ユニット２８をユニット載置部２６に載置する。図８において、スリット収納ユニット２８のフレーム底部４２に設けられた位置決め孔４６とスリット用位置決めピン３２、ボルト４４とタップ４５とを各々嵌合させて載せ、ボルト４４をタップ４５にねじ締めする（図６（ａ）参照）。また、スライドガイド４７の一部と昇降ロッド２５の上端部とを連繋部５０にて連繋する。
【００３０】
次に、図８に示す空のスリット収納マガジン１８をスライドガイド４７に載せる。図９にスリット収納マガジン１８をスライドガイド４７に載せた状態を示す。成形品を収納する動作に先立ってモータ２１を起動して昇降ロッド２５を上昇させ、スライドガイド４７と共にスリット収納マガジン１８を収納位置まで上昇させて待機する。
【００３１】
上述した成形品収納装置を用いれば、ベースユニット１９のユニット載置部２６に、成形品の収納形態が異なるスタック収納マガジン１５やスリット収納マガジン１８を備えたスタック収納ユニット２７やスリット収納ユニット２８が位置決めされて着脱可能に載置できるので、ワークの品種に応じて収納方式の切換作業を効率良くしかも装置の設置面積を拡大せずに行える（図１０二点鎖線で示すワーク収納部１２参照）。
また、上記成形品収納装置を用いることで小型で汎用性の高い樹脂封止装置を提供することができる。また、本実施例の樹脂封止装置は、ワーク供給部Ａ、成形品収納部Ｂ及び増設レール部Ｃは分割して組み替え可能に設けられているので、ワークの品種に応じて装置レイアウトが自由に変更でき、大幅な樹脂封止装置の改変を伴わずに、半導体パッケージ製造装置の一部としてインライン化して生産効率を向上させることができる。
【００３２】
以上、本発明の好適な実施例について述べてきたが、上述した実施例の態様に限定されるのではなく、例えば、収納マガジンへの収納方式は、スタック収納若しくはスリット収納方式以外であっても良い。また、樹脂封止装置はプレス部を備え、ワーク供給部Ａ及び成形品収納部Ｂが一体に形成された装置であっても良い。また、プレス部のモールド金型にはキャビティが１箇所に形成されていても、複数箇所に形成されていても何れでも良い。また、プレス部は、圧縮成形、トランスファー成形の他にも射出成形等であっても良い。また、樹脂封止装置には、ワーク洗浄部及び／又はポストキュア部がインライン化して設けられていても良い等、多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００３３】
【発明の効果】
本発明に係る成形品収納装置を用いれば、ベースユニットのユニット載置部に、成形品の収納形態が異なる収納マガジンを備えた収納ユニットが位置決めされて着脱可能に載置できるので、ワークの品種に応じて収納方式の切換作業を効率良くしかも装置の設置面積を拡大せずに行うことができる。
また、上記成形品収納装置を用いることで、小型で汎用性の高い樹脂封止装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】スタック収納方式の成形品収納装置の平面図である。
【図２】スリット収納方式の成形品収納装置の平面図である。
【図３】ベースユニットの構成を示す正面図である。
【図４】ベースユニットのユニット載置部の平面図、正面図、右側面図である。
【図５】スタック収納マガジンを備えたマガジン交換ユニットのベースユニットへの着脱作業の説明図及び矢印Ａ−Ａ断面図である。
【図６】スリット収納マガジンを備えたマガジン交換ユニットのベースユニットへの着脱作業の説明図及び矢印Ａ−Ａ断面図である。
【図７】スタック収納方式からスリット収納方式への切換え作業の説明図である。
【図８】スタック収納方式からスリット収納方式への切換え作業の説明図である。
【図９】スタック収納方式からスリット収納方式への切換え作業の説明図である。
【図１０】樹脂封止装置の平面図である。
【符号の説明】
Ａ  ワーク供給部
Ｂ  成形品収納部
Ｃ  増設レール部
１  供給マガジン
２  フレームインデックス
３  プレヒート部
４  ローダー
５  タブレットホルダー
６  移動レール部
７  アンローダー
８  プレス部
９  フィルムユニット
１０  成形品取出部
１１  ディゲート部
１２  ワーク収納部
１３  移動テーブル
１４  成形品ピックアップ
１５  スタック用収納マガジン
１６  収納用レール部
１７  プッシャー
１８  スリット用収納マガジン
１９  ベースユニット
２０  フレーム部
２１  モータ
２２  ねじ軸
２３  プーリ
２４  ナット部
２５  昇降ロッド
２６  ユニット載置部
２７  スタック収納ユニット
２８  スリット収納ユニット
２９  スタック用位置決めピン
３０  スタック用固定ブロック
３１  ねじ孔
３２  スリット用位置決めピン
３３  ロッド支持部
３４  取付ねじ
３５、４２  フレーム底部
３６  ガイド溝
３７  フレーム側部
３８  固定ねじ
３９、４８  ユニットフレーム
４０  マガジンテーブル
４１  リフタープレート
４３  スペーサブロック
４４  ボルト
４５  タップ
４６  位置決め孔
４７  スライドガイド
４９  直動ガイド
５０  連繋部
【図１】
2004273773.tif 000003
【図２】
2004273773.tif 000004
【図３】
2004273773.tif 000005
【図４】
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【図５】
2004273773.tif 000007
【図６】
2004273773.tif 000008
【図７】
2004273773.tif 000009
【図８】
2004273773.tif 000010
【図９】
2004273773.tif 000011
【図１０】
2004273773.tif 000012