(57)【要約】【課題】基板上で相互接続された各検査対象物の出力周波数をそれぞれ正確に測定して、各検査対象物を適確にトリミングする．【解決手段】検査対象のＶＣＯ１２の出力レベルが低下しても、アンプ１４に内蔵の自動利得制御回路による利得の設定により、周波数カウンター１７の入力レベルを適宜に維持することができる。また、検査対象のＶＣＯ１２の出力信号の高調波成分をローパスフィルターにより除去しているため、このローパスフィルターの出力側では検査対象のＶＣＯ１２の出力レベルが高調波レベルよりも十分に高くなり、検査対象のＶＣＯ１２の出力信号の基本周波数を周波数カウンター１７により測定することができる。このため、基板１１上で各ＶＣＯ１２を適確にトリミングすることが可能になり、コストの低減と作業効率の向上を実現することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の出力周波数を測定し、この出力周波数に基づいて検査対象物の基板パターンをトリミングするトリミング装置において、
検査対象物の出力を増幅する増幅手段と、検査対象物の出力からノイズ成分を除去するフィルターとを備え、検査対象物の出力周波数を増幅手段及びフィルターを介して測定することを特徴とするトリミング装置。
【請求項２】
相互接続された複数の検査対象物の基板パターンを順次トリミングすることを特徴とする請求項１に記載のトリミング装置。
【請求項３】
フィルターは、低域通過フィルターであることを特徴とする請求項１に記載のトリミング装置。
【請求項４】
複数のフィルターを選択的に用いるためのフィルター切り換え手段を備えることを特徴とする請求項１に記載のトリミング装置。
【請求項５】
増幅手段は、自動利得制御回路を内蔵することを特徴とする請求項１に記載のトリミング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象物の出力周波数を測定し、この出力周波数に基づいて検査対象物の基板パターンをトリミングするトリミング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種のトリミング装置では、検査対象物を動作させて、この検査対象物の出力周波数を測定しつつ、この検査対象物の基板のパターンインダクタンスをレーザ光線によりトリミングして、この検査対象物の出力周波数を予め設定された目標周波数に調整している。
【０００３】
図３は、従来のトリミング装置を示している。ここでは、電圧制御発振器（以下ＶＣＯと称する）１０１を検査対象物としており、このＶＣＯ１０１を電源１０２からの電圧供給により動作させ、このＶＣＯ１０１の出力周波数を周波数カウンター１０３により測定している。そして、制御装置（ＰＣ）１０４は、この測定された出力周波数を監視しつつ、レーザー装置１０５を制御して、レーザー装置１０５のレーザ光線ＬによりＶＣＯ１０１の基板片のパターンインダクタンスをトリミングし、このトリミングによりＶＣＯ１０１の出力周波数を目標周波数に設定している。
【０００４】
ところで、ＶＣＯ１０１の製造工程においては、複数のＶＣＯ１０１を同一の基板上に形成してから、この基板をダイシング等により分割して、それぞれのＶＣＯ１０１を分離している。
【０００５】
この製造工程を簡単化するには、各ＶＣＯ１０１を分離する以前に、各ＶＣＯ１０１のトリミングを基板上で行なうことが望ましいものの、この基板上でのトリミングは困難であった。これは、基板上では検査対象のＶＣＯ１０１の入出力端子等が隣り合う他の各ＶＣＯ１０１の入出力端子等と接続された状態であって、検査対象のＶＣＯ１０１の入出力端子等にとっては隣り合う他の各ＶＣＯ１０１の入出力が不定負荷となり、この不定負荷により検査対象のＶＣＯ１０１の出力レベルが低下して、この出力レベルと高調波レベルとの差が無くなり、高調波の周波数が周波数カウンター１０３により測定されてしまうからである。このため、基板上の各ＶＣＯ１０１をダイシングにより分離するか、あるいは基板上で各ＶＣＯ１０１間の接続パターンを切断して、各ＶＣＯ１０１間の動作干渉が発生し得ない状態にしてから、それぞれのＶＣＯ１０１のトリミングを行なっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板上の各ＶＣＯ１０１をダイシングにより分離した場合は、トリミングを効率的に行なうために、各ＶＣＯ１０１を専用トレイに並べなおしたり、各ＶＣＯ１０１を順次搬送する必要があり、製造工程の繁雑化を招いた。
【０００７】
また、基板上で各ＶＣＯ１０１間の接続パターンを切断する場合は、この切断スペース、つまり各ＶＣＯ１０１間の離間スペースを十分に確保する必要があり、基板上での該離間スペースの占有率が高くなって、基板からの各ＶＣＯ１０１の取り数が少なくなり、ＶＣＯ１０１のコストが上昇した。
【０００８】
そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、基板上で相互接続された各検査対象物の出力周波数をそれぞれ正確に測定して、各検査対象物を適確にトリミングすることが可能なトリミング装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、検査対象物の出力周波数を測定し、この出力周波数に基づいて検査対象物の基板パターンをトリミングするトリミング装置において、検査対象物の出力を増幅する増幅手段と、検査対象物の出力からノイズ成分を除去するフィルターとを備え、検査対象物の出力周波数を増幅手段及びフィルターを介して測定している。
【００１０】
この様に検査対象物の出力を増幅手段により増幅すれば、検査対象物の出力レベルの低下を補うことができる。また、検査対象物の出力のノイズ成分をフィルターにより除去すれば、高調波等を測定せずに済む。この結果として、検査対象物の出力周波数を正確に測定して、検査対象物の基板パターンを適確にトリミングすることが可能になる。
【００１１】
また、本発明においては、相互接続された複数の検査対象物の基板パターンを順次トリミングしている。
【００１２】
検査対象物の出力の増幅により出力レベルの低下を補い、検査対象物の出力のノイズ成分の除去により高調波等を測定せずに済むことから、例えば基板上の各ＶＣＯが検査対象であれば、基板上の各ＶＣＯをダイシングにより分離したり、各ＶＣＯ間の接続パターンを切断しなくても、基板上でそれぞれのＶＣＯを適確にトリミングすることが可能になる。
【００１３】
更に、本発明においては、フィルターは、低域通過フィルターである。
【００１４】
低域通過フィルターは、高調波を除去するのに適確であり、またコストが低いという利点がある。
【００１５】
また、本発明においては、複数のフィルターを選択的に用いるためのフィルター切り換え手段を備えている。
【００１６】
この様に複数のフィルターをフィルター切り換え手段により選択的に用いれば、検査対象物の出力のノイズ成分の周波数が変化しても、このノイズ成分を効果的に除去することが可能になる。
【００１７】
更に、本発明においては、増幅手段は、自動利得制御回路を内蔵している。
【００１８】
この様な自動利得制御回路を内蔵する増幅手段は、検査対象物の出力が変動しても、この検査対象物の出力を一定のレベルまで増幅する。これにより、増幅手段を介しての検査対象物の出力が一定となり、この出力周波数の測定が容易になる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２０】
図１は、本発明のトリミング装置の一実施形態を示すブロック図である。本実施形態のトリミング装置では、基板１１上に配列された複数の電圧制御発振器（以下ＶＣＯと称する）１２を順次検査している。電源１３は、電圧を検査対象となるそれぞれのＶＣＯ１２に順次供給して、これらのＶＣＯ１２を逐次動作させる。アンプ１４は、自動利得制御回路を内蔵しており、検査対象のＶＣＯ１２の出力信号を入力し、この出力信号のレベルにかかわらず、この出力信号を一定のレベルまで増幅する。各スイッチ回路１５は、各ローパスフィルター１６−１〜１６−ｎのいずれかを選択し、この選択したローパスフィルターにより検査対象のＶＣＯ１２の出力信号の高調波成分を除去させる。従って、検査対象のＶＣＯ１２の出力信号は、アンプ１４により一定レベルまで増幅され、ローパスフィルターにより高調波成分を除去される。
【００２１】
周波数カウンター１７は、検査対象のＶＣＯ１２の出力信号をアンプ１４及びローパスフィルターを介して入力し、この出力信号の周波数を測定して、この測定した出力周波数を制御装置１８に出力する。制御装置１８は、検査対象のＶＣＯ１２の出力周波数を入力すると、レーザー装置１９を制御して、レーザー装置１９のレーザ光線Ｌにより検査対象のＶＣＯ１２の基板片のパターンインダクタンスをトリミングし、このトリミングによりＶＣＯ１２の出力周波数を目標周波数に調整する。
【００２２】
ここで、各ＶＣＯ１２を配列した基板１１を図２（ａ）に示し、その一部Ｐを図２（ｂ）に拡大して示し、単一のＶＣＯ１２の基板片を図２（ｃ）に示す。
【００２３】
図２（ｂ）から明らかな様に基板１１上では検査対象のＶＣＯ１２の入出力端子やグランド端子が隣り合う他の各ＶＣＯ１２の入出力端子やグランド端子と接続されている。この状態では、検査対象のＶＣＯ１２の入出力端子等にとっては隣り合う他の各ＶＣＯ１２の入出力が不定負荷となり、この不定負荷により検査対象のＶＣＯ１２の出力レベルが低下して、この出力レベルと高調波レベルとの差が無くなり、検査対象のＶＣＯ１２の出力信号の基本周波数測定が困難になる。
【００２４】
ところが、本実施形態では、検査対象のＶＣＯ１２の出力レベルが低下しても、アンプ１４に内蔵の自動利得制御回路による利得の設定により、周波数カウンター１７の入力レベルを一定に維持することができる。また、検査対象のＶＣＯ１２の出力信号の高調波成分をローパスフィルターにより除去しているため、このローパスフィルターの出力側では検査対象のＶＣＯ１２の出力レベルが高調波レベルよりも十分に高くなり、検査対象のＶＣＯ１２の出力信号の基本周波数を周波数カウンター１７により確実に測定することができる。すなわち、検査対象のＶＣＯ１２の出力信号をアンプ１４により一定レベルまで増幅して、その高調波成分をローパスフィルターにより除去し、検査対象のＶＣＯ１２の出力信号の基本周波数を周波数カウンター１７により正確に測定することができる。このため、基板１１上で各ＶＣＯ１２を適確にトリミングすることが可能になり、コストの低減と作業効率の向上を実現することができる。
【００２５】
また、各ローパスフィルター１６−１〜１６−ｎを選択的に用いているので、ＶＣＯ１２の出力信号の高調波成分の周波数が変化しても、この高調波成分を効果的に除去することができる。
【００２６】
こうして各ＶＣＯ１２をトリミングして、それぞれの出力周波数を目標周波数に調整した後、各ＶＣＯ１２をダイシングにより分割する。
【００２７】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、多様に変形することができる。例えば、ローパスフィルターの代わりに、バンドパスフィルターを適用しても良く、あるいは単一のフィルターを用いても構わない。また、検査対象物としてＶＣＯを例示しているが、検査対象物が他の種類の電子回路であっても良い。
【００２８】
【発明の効果】
以上説明した様に本発明によれば、検査対象物の出力を増幅手段により増幅し、検査対象物の出力のノイズ成分をフィルターにより除去しているので、検査対象物の出力周波数を正確に測定して、検査対象物の基板パターンを適確にトリミングすることが可能になる。このため、基板上の各ＶＣＯをダイシングにより分離したり、各ＶＣＯ間の接続パターンを切断しなくても、基板上でそれぞれのＶＣＯを適確にトリミングすることが可能になり、コストの低減と作業効率の向上を実現することができる。
【００２９】
また、複数のフィルターを選択的に用いているので、検査対象物の出力のノイズ成分の周波数が変化しても、このノイズ成分を効果的に除去することが可能になる。更に、増幅手段として、自動利得制御回路を内蔵したものを用いているので、検査対象物の出力レベルにかかわらず、出力周波数を確実に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のトリミング装置の一実施形態を示すブロック図である。
【図２】（ａ）は複数のＶＣＯを配列した基板を示す図であり、（ｂ）は（ａ）の部分拡大図であり、（ｃ）は単一のＶＣＯの基板片を示す図である。
【図３】従来のトリミング装置を示すブロック図である。
【符号の説明】
１１　　基板
１２　　電圧制御発振器（ＶＣＯ）
１３　　電源
１４　　アンプ
１５　　スイッチ回路
１６−１〜１６−ｎ　　ローパスフィルター
１７　　周波数カウンター
１８　　制御装置
１９　　レーザー装置
【図１】
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【図２】
2004088601.tif 000004
【図３】
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