(57)【要約】【課題】液状体、及びその吐出により基板上に形成する構成要素に静電気が帯電することによる不都合を防止した、液状体吐出装置とその吐出方法、及び電子機器を提供する。【解決手段】印加された電圧に基づき液体を吐出する吐出ヘッド３４と、該吐出ヘッド３４に前記液体を供給する液状体タンク３５、供給チューブ２４とを備え、前記吐出ヘッド３４と、液状体タンク３５と、供給チューブ２４とに向けてイオン風を送るイオン発生手段５０ａ〜５０ｄを備えた構成とする。フラッシング領域４１にイオン風を送るイオン発生手段５０ｄを設けることが好ましい。【選択図】        図１
2004160357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する吐出ヘッドと、該吐出ヘッドに前記液体を供給する液状体供給部とを備えた液状体吐出装置において、
前記吐出ヘッドと、液状体供給部とに向けてイオン風を送るイオン発生手段を備えたことを特徴とする液状体吐出装置。
【請求項２】
前記液状体供給部に、液状体タンクと、該液状体タンクから前記吐出ヘッドに前記液状体を輸送するための供給チューブとが備えられており、
前記液状体タンクと、供給チューブのそれぞれに向けてイオン風を送るイオン発生手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の液状体吐出装置。
【請求項３】
前記吐出ヘッドのフラッシング領域に向けてイオン風を送るイオン発生手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２記載の液状体吐出装置。
【請求項４】
液状体を吐出する吐出ヘッドを有した液状体吐出装置により、基板に対して前記液状体を吐出するに際して、
前記液状体を吐出する吐出ヘッドと、該吐出ヘッドに前記液状体を供給する液状体供給部と、イオン風を送風するイオン発生手段とを備えた液状体吐出装置を用い、
前記イオン発生手段により前記吐出ヘッド及び液状体供給部とに向けてイオン風を送りながら、前記液状体供給部から吐出ヘッドに前記液状体を輸送し、前記吐出ヘッドから基板に向けて液状体を吐出することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれかに記載の液状体吐出装置、あるいは請求項４記載の液状体の吐出方法によって構成要素の一部が形成されてなることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液状体吐出装置、液状体の吐出方法、及び電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液状体材料を吐出する吐出ヘッドを備えた吐出装置として、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタが知られている。
インクジェットプリンタに備えられるインクジェットヘッドは、通常、液状体を貯留するキャビティと、該キャビティに連通するノズルと、前記キャビティ内に貯留された液状体を前記ノズルより吐出させるための吐出手段とを有して構成されている。また、このような吐出ヘッドには液状体を貯留する液状体タンクが接続されており、これから吐出ヘッドに液状体が供給されるようになっている。
【０００３】
また、前記のインクジェットヘッドは、近年では吐出ヘッドとして、民生用のインクジェットプリンタだけでなく工業用の吐出装置、すなわち各種デバイスの構成要素を形成するための装置としても使用されるようになってきている。例えば、液晶装置などにおけるカラーフィルタ、有機ＥＬ装置における発光層や正孔注入層、さらには各種デバイスの金属配線、マイクロレンズなどについても、その形成のために吐出ヘッドが用いられるようになってきている。
【０００４】
ここで、前記インクジェットヘッドを液晶装置などのカラーフィルタの製造に用いた場合、特に基板がガラス製であることから帯電し易く、したがってこの帯電した領域にカラーフィルタ材料を吐出した際、吐出した液滴が所望の位置と異なる方向に着弾されてしまう、いわゆる飛行曲がりが生じることがある。
そこで、このような飛行曲がりを抑え、液滴の着弾位置ずれを防止したカラーフィルタの製造方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−２８１８１０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記のカラーフィルタの製造方法では、単に基板そのものの帯電を防止することを目的としている。これは、あくまで基板がガラスなどの電荷が解放され難いものであることによる。
しかしながら、カラーフィルタ製造以外の各種のデバイスの製造プロセスでは、基板そのもの以外の要素、例えば、インクを基板に対して吐出するための装置部品や、インクそのものが帯電する場合があり、特に、インクの帯電はヘッドから吐出される液滴の飛行曲がりを生じさせるのみならず、インクジェットヘッド（吐出ヘッド）の駆動素子や基板上に既設された電気回路等の破壊の原因となるおそれがある。
しかして、このような基板そのもの以外の要素に対しては、これの帯電を防止する技術が提供されていないのが現状である。
【０００７】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、液状体、あるいはその吐出によって基板上に形成される構成要素が帯電する不都合を防止することができる液状体吐出装置、液状体の吐出方法、及び電子機器を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ヘッドと、該吐出ヘッドに前記液状体を供給する液状体供給部とを備えた液状体吐出装置において、前記吐出ヘッドと、液状体供給部とに向けてイオン風を送るイオン発生手段を備えたことを特徴としている。
上記構成の液状体吐出装置によれば、吐出ヘッドとこの吐出ヘッドに液状体を供給する液状体供給部とに向けてイオン風を送るようになっているので、これらの部位、及び内部を通過する前記液状体の帯電を効果的に防止することができ、前記吐出ヘッドの素子部や液状体を吐出される基板に設けられた素子等の静電破壊が防止される。従って、液状体吐出装置による製品の生産性を向上することができるとともに、その信頼性を高めることができる。
【０００９】
本発明の液状体吐出装置は、前記液状体供給部に、液状体タンクと、該液状体タンクから前記吐出ヘッドに前記液状体を輸送するための供給チューブとが備えられており、前記液状体タンクと、供給チューブのそれぞれに向けてイオン風を送るイオン発生手段を備えたことを特徴とする。
本発明では、前記イオン発生手段は、装置の所定の構成部材にイオン風を送ることができれば、その配設の形態に限定はなく、上記構成の如く液状体供給部に備えられている液状体を貯溜する手段である前記液状体タンクと、液状体を輸送する手段である前記供給チューブとのそれぞれにイオン発生手段を設けることができる。イオン風による除電作用は、イオン発生手段と対象部材との距離が近いほどその効果が大きくなるため、各構成部材にそれぞれイオン発生手段を設けることでより高い除電効果を得ることができる。
【００１０】
本発明の液状体吐出装置は、前記吐出ヘッドのフラッシング領域に向けてイオン風を送るイオン発生手段を備えたことを特徴とする。
上記構成の液状体吐出装置によれば、前記吐出ヘッドから基板へ吐出される液状体のみならず、フラッシング領域に吐出された後の液状体も除電することができる。これにより、フラッシング領域上に吐出ヘッドが移動した際にヘッドの素子等が破損されるのを効果的に防止できる。また、本構成により基板の近傍に配設されるフラッシング領域の帯電を防止することで、このフラッシング領域の電荷による前記基板上の素子等の静電破壊も効果的に防止することができる。
【００１１】
本発明の液状体の吐出方法は、液状体を吐出する吐出ヘッドを有した液状体吐出装置により、基板に対して前記液状体を吐出するに際して、液状体を吐出する吐出ヘッドと、該吐出ヘッドに前記液状体を供給する液状体供給部と、イオン風を送風するイオン発生手段とを備えた液状体吐出装置を用い、前記イオン発生手段により前記吐出ヘッド及び液状体供給部とに向けてイオン風を送りながら、前記液状体供給部から吐出ヘッドに前記液状体を輸送し、前記吐出ヘッドから基板に向けて液状体を吐出することを特徴としている。
上記の吐出方法によれば、液状体供給部から吐出ヘッドに供給され、該吐出ヘッドから基板に向けて吐出される液状体の帯電を効果的に防止しつつ液状体吐出装置による描画や素子形成を行うことができるので、液状体の帯電による飛行曲がりや各部の素子破壊を効果的に防止することができ、高い生産効率で液状体の吐出工程を行うことが可能である。
【００１２】
本発明の電子機器は、先の液状体吐出装置、あるいは液状体の吐出方法によって構成要素の一部が形成されてなることを特徴としている。
この電子機器によれば、その構成要素が静電破壊されることが防止され、あるいは液状体によって形成される構成要素の帯電が防止された基板によって構成要素の一部が形成されているので、信頼性の高い良好なものとなる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、本発明の液状体吐出装置（以下、吐出装置と記す）の一実施形態を示す図であり、図１において符号３０は吐出装置である。この吐出装置３０は、ベース３１、基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３、吐出ヘッド３４、液状体タンク３５、イオン発生手段５０ａ〜５０ｄ等を有して構成されたもので、吐出ヘッド３４より基板Ｓに対して液状体を吐出するものである。なお、本実施形態の吐出装置本体３０では、前記基板Ｓとして易帯電性の構成要素が設けられたものも好適に用いることができ、また前記液状体として易帯電性の材料を用いることもできる。さらに、基板Ｓの形状や寸法等に特に限定はなく、図示した平板状のもの以外を用いたとしても本発明の技術範囲を逸脱するものではない。また、液状体タンク３５が吐出ヘッド３４の近傍に設置されて、液状体タンク３５と吐出ヘッド３４がヘッド移動手段３３によって一緒に移動する構成でも良い。
【００１４】
ベース３１は、その上に前記基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３を設置したものである。
基板移動手段３２は、本発明における基板保持部、すなわち基板Ｓを保持するための基板保持部として機能するもので、Ｙ軸方向に沿ってガイドレール３６を有したものである。このような構成のもとに、基板移動手段３２は例えばリニアモータにより、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるようになっている。スライダ３７には、θ軸用のモータが備えられている。このモータは、例えばダイレクトドライブモータからなるものであり、これのロータはテーブル３９に固定されている。このような構成のもとに、モータに通電するとロータおよびテーブル３９は、θ方向に沿って回転し、テーブル３９をインデックス（回転割り出し）するようになっている。
【００１５】
テーブル３９は、基板Ｓを位置決めし、保持するものである。すなわち、このテーブル３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをテーブル３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、テーブル３９の位置決めピンにより、テーブル３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。テーブル３９には、吐出ヘッド３４がインクを捨打ちあるいは試し打ちするためのフラッシング領域４１が設けられている。このフラッシング領域４１は、Ｙ軸方向に延びて形成されたもので、基板ＳのＸ軸方向の側方側に設けられたものである。
【００１６】
ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向に吐出ヘッド３４を保持させるスライダ４２を移動可能に保持したものである。スライダ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これにより吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。
【００１７】
吐出ヘッド３４には、揺動位置決め手段としてのモータ４３、４４、４５、４６が接続されている。そして、モータ４３を作動させると、吐出ヘッド３４はＺ軸に沿って上下動し、Ｚ軸上での位置決めが可能になっている。なお、このＺ軸は、前記のＸ軸、Ｙ軸に対しそれぞれに直交する方向（上下方向）である。また、モータ４４を作動させると、吐出ヘッド３４は図１中のβ方向に沿って揺動し、位置決め可能になり、モータ４５を作動させると、吐出ヘッド３４はγ方向に揺動し、位置決め可能になり、モータ４６を作動させると、吐出ヘッド３４はα方向に揺動し、位置決め可能になる。
【００１８】
このように吐出ヘッド３４は、スライダ４２上において、Ｚ軸方向に直線移動して位置決め可能となり、かつ、α、β、γに沿って揺動し、位置決め可能となっている。したがって、吐出ヘッド３４のインク吐出面を、テーブル３９側の基板Ｓに対する位置あるいは姿勢を、正確に制御することができるようになっている。
ここで、吐出ヘッド２は、図２（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数のキャビティ１５…とリザーバ１６とが形成されており、これらキャビティ１５…とリザーバ１６とは流路１７を介して連通している。
【００１９】
各キャビティ１５とリザーバ１６の内部とは液状体で満たされるようになっており、これらの間の流路１７はリザーバ１６からキャビティ１５に液状体を供給する供給口として機能するようになっている。また、ノズルプレート１２には、キャビティ１５から液状体を噴射するための孔状のノズル１８が縦横に整列した状態で複数形成されている。一方、振動板１３には、リザーバ１６内に開口する孔１９が形成されており、この孔１９には液状体タンク３５が供給チューブ２４（図１参照）を介して接続されている。
【００２０】
また、振動板１３のキャビティ１５に向く面と反対の側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１、２１間に挟持され、通電により外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたもので、本発明における液状体の吐出手段として機能するものである。
【００２１】
このような構成のもとに圧電素子２０が接合された振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲し、これによりキャビティ１５の容積を増大させる。すると、キャビティ１５内とリザーバ１６内とが連通しており、リザーバ１６内に液状体が充填されている場合には、キャビティ１５内に増大した容積分に相当する液状体が、リザーバ１６から流路１７を介して流入する。
そして、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。よって、キャビティ１５も元の容積に戻ることから、キャビティ１５内部の液状体の圧力が上昇し、ノズル１８から液状体の液滴２２が吐出される。
【００２２】
なお、吐出ヘッドの吐出手段としては、前記の圧電素子（ピエゾ素子）２０を用いた電気機械変換体以外でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式や、帯電制御型、加圧振動型といった連続方式、静電吸引方式、さらにはレーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用で液状体を吐出させる方式を採用することもできる。
【００２３】
液状体タンク３５は、図１に示したように吐出ヘッド３４の近傍に配置されたもので、吐出によって形成する構成要素の液状材料（液状体）を貯留したものである。この液状体タンク３５には、その内部、あるいはその外側にヒータ（図示せず）が設けられていてもよい。このヒータは、貯留している液状体を加熱するためのもので、特に液状体が高粘性のものの場合などに、加熱することで粘度を低くし、液状体タンク３５から吐出ヘッド３４への液状体の流入を容易にできるようにするものである。
【００２４】
本実施形態の液状体吐出装置３０には、図１に示すように、複数のイオン発生手段５０ａ〜５０ｄが設けられている。これらのイオン発生手段５０ａ〜５０ｄは、イオン風を発生させるもの、例えばイオナイザーやイオン送風機によって構成することができる。ここで、イオン風とは、放電針先端でコロナ放電により生じたイオンに、空気やＮ２を吹き付けてイオンの流れとしたものである。なお、本発明におけるイオン発生手段５０ａ〜５０ｄは、上記の放電針を多数備えることで、十分な量のイオンを送ることができるように構成されている。
【００２５】
イオン発生手段５０ａは、吐出ヘッド３４の前方側に配置され、イオン発生手段５０ｂは供給チューブ２４の延びる方向に沿って配置され、イオン発生手段５０ｃは、液状体タンク３５の側方に配置され、イオン発生手段５０ｄは、ベース３１上において、フラッシング領域４１に沿ってその側方あるいは上方に配置されたもので、発生させたイオン風を、それぞれ吐出ヘッド３４、供給チューブ２４、液状体タンク３５、フラッシング領域４１に吹き付けることができるように、その吹き出し口を前記各部材に向けて配置されたものである。これらのイオン発生手段５０ａ〜５０ｄについては、前記各部材に対して十分均等にイオン風を吹き付けることができるよう、これを移動させる移動手段に取り付けておき、この移動手段の動作により前記各部材のに沿う方向に移動させるようにしてもよい。
【００２６】
イオン発生手段５０ａ〜５０ｃによれば、液状体タンク３５から供給チューブ２４を介して液状体が吐出ヘッド３４に供給される経路において、この経路を構成する各部材の除電を効率よく行うことができるので、電荷を溜めやすい樹脂材料から構成される場合がある液状体タンク３５や供給チューブ２４では、その帯電を効果的に防止でき、吐出ヘッド３４では、その吐出機構に含まれる素子の静電破壊を効果的に防止することができる。従って、本実施形態の構成による液状体吐出装置は、長時間稼働に耐える、信頼性の高い液状体吐出装置である。
【００２７】
また、イオン発生手段５０ａ〜５０ｃによれば、前記経路中を移動する液状体の除電を効率よく行うことができるので、基板Ｓに対して帯電していない状態の液状体を吐出でき、基板Ｓ上に例えばアクティブ素子等が形成されていたとしても、これらの素子の静電破壊を生じさせることなく基板上への液状体の吐出を行うことが可能である。
また、フラッシング領域４１に対してイオン風を送るイオン発生手段５０ｄが設けられていることで、フラッシング領域４１自体、及び係る領域に捨て打ちされた液状体の除電が行われるので、捨て打ちを行うために吐出ヘッド３４がフラッシング領域４１上に移動した際にフラッシング領域４１に溜まった電荷により吐出ヘッド３４の素子が破壊されるのを防止することができる。さらには、図１に示すようにフラッシング領域４１は、通常基板Ｓの側方側近傍に設けられているため、この部材が帯電していると基板Ｓ上にアクティブ素子等が形成されている場合に素子の静電破壊を生じる可能性があるが、本実施形態の吐出装置３０ではフラッシング領域４１も適切に除電されるため、このような基板Ｓの破損も効果的に防止することができる。
【００２８】
このようなイオン発生手段５０ａ〜５０ｄのイオン風による除電は、基板Ｓに対して非接触であることから、基板Ｓに傷の発生やごみの付着をもたらすことがなく、極めて好ましい除電方法となる。したがって、イオン風を送る（吹き付ける）ことによる電荷の中和は、後述するように液状体の吐出を行う前に行うのはもちろん、吐出ヘッド３４やこれによる液滴の吐出、さらには吐出された液状体の吐出状態に支障がない限り、液状体の吐出中や吐出後にも行うようにするのが好ましい。
【００２９】
次に、このような構成の吐出装置３０の動作を基に、本発明の液状体の吐出方法の一例を説明する。なお、この説明においては、基板Ｓとして易帯電性の構成要素が設けられたものを用い、また、前記液状体として易帯電性の材料を用いるものとする。
まず、基板Ｓを本発明における基板保持部となる基板移動手段３２上に載せ、ここに保持固定させる。
【００３０】
このようにして基板Ｓをセットしたら、吐出ヘッド３４から液状体を吐出する前に、イオン発生手段５０ａ〜５０ｃでイオン風を発生させ、さらにこの発生させたイオン風を吐出ヘッド３４、液状体タンク３５、及び供給チューブ２４からなる液状体の経路を構成する部材に吹き付ける。また、必要に応じてイオン発生手段５０ｄにより発生されたイオン風をフラッシング領域４１に吹き付ける。これらのイオン発生手段５０ａ〜５０ｄを移動手段に取り付けている場合には、イオン風が前記各構成部材全体、特にその表面に均等に送られるよう、イオン発生手段５０ａ〜５０ｄを適宜に移動させつつその吹き出し口からイオン風を送るとよい。
【００３１】
すると、吐出ヘッド３４、液状体タンク３５、供給チューブ２４、及びフラッシング領域４１の各々が帯電している電荷を中和することができるのはもちろん、吐出ヘッド３４から吐出される液状体の電荷も中和されているので、基板Ｓに形成された易帯電性の構成要素、例えばＴＦＴ（薄膜トランジスタ）などからなるアクティブ素子が、液状体の電荷により破壊されるのを防止することができる。このイオン風による電荷の中和を施さない場合、基板Ｓ上に付着、堆積された液状体の電荷により基板Ｓの電位が例えば５〜３０ｋＶ程度になってしまうが、このイオン風を送る処理により除電された液状体を付着させるならば、基板Ｓの電位を例えば１ｋＶ以下にすることができる。
【００３２】
その後、吐出ヘッド３４を吐出のための正規の位置に移動させ、かつ基板Ｓを基板移動手段３２で移動させつつ、吐出ヘッド３４を吐出動作させることにより、基板Ｓ上の所望位置に液状体、例えば金属コロイド材料などからなる金属配線材料を吐出する。なお、この液状体の吐出動作中においても、液状体の吐出に支障がない範囲において、前記イオン発生手段５０ａ〜５０ｄからイオン風を送るのが好ましい。
【００３３】
このようにして液状体の吐出を行うと、前述したように吐出ヘッド３４から吐出される液状体の電荷を除去するようになっていることから、液状体の付着により基板Ｓが帯電するのを防止でき、また基板Ｓが帯電していても、イオン発生手段５０ａからのイオン風により基板の電荷が吐出ヘッド３４に到達するのを防止できるので、吐出ヘッド３４の静電破壊を生じさせるのを防止することができる。なお、吐出終了後においても、前述したように支障のない限りにおいて前記各部材へのイオン風の送りを続行するのが好ましい。
【００３４】
このような吐出装置３０による液状体の吐出方法にあっては、吐出ヘッド３４への液状体の供給経路を構成する各部材に対してイオン風を送るようにしたので、前記各構成部材そのものが帯電している電荷を中和することができるのはもちろん、前記経路中の液状体の電荷も中和することができる。したがって、基板Ｓ上のアクティブ素子等が静電破壊されるのを防止できるとともに、基板Ｓの帯電に起因して吐出ヘッド３４が破壊されてしまうなどの不都合も防止することができる。
【００３５】
また、本実施形態では液状体は電荷を中和されて吐出されることから、吐出した易帯電性の液状体にも電荷が帯電され難くすることができる。したがって、易帯電性の液状体によって形成される構成要素、例えば金属配線が帯電するのも効果的に防止することができ、従って、この構成要素（金属配線）の帯電に起因して吐出ヘッド３４が破壊されてしまうなどの不都合が生じることもない。
よって、この吐出装置３０による液状体の吐出方法によれば、液状体を吐出して得られた基板Ｓを用いて形成される製品の生産性を向上することができるとともに、その信頼性を高めることができる。
【００３６】
なお、前記実施形態では、易帯電性の構成要素としてＴＦＴなどのアクティブ素子を、また易帯電性の材料からなる液状体として金属コロイド材料などの金属配線材料を例示したが、本発明はこれらに限定されることなく、易帯電性の構成要素、あるいは易帯電性の材料からなる液状体として他の種々のものも適用することができる。具体的には、易帯電性の構成要素としては、前記した金属配線や各種のメモリ素子、有機ＥＬ素子、有機ＴＦＴ素子などを挙げることができ、易帯電性の材料からなる液状体としては、導電性微粒子を分散させてなる液状体や、導電性の樹脂材料、例えば導電性カラーフィルタ材料などを挙げることができる。また、本発明は、前記構成要素や液状体として、易帯電性のものを用いた場合に大きな効果を得ることができるが、それ以外の構成要素や液状体に用いても良いのは勿論である。
【００３７】
次に、本発明の第１の適用例として、有機ＥＬ装置の製造例について説明する。
図３は、前記吐出装置により一部の構成要素が製造された有機ＥＬ装置の側断面図であり、まずこの有機ＥＬ装置の概略構成を説明する。
図３に示すようにこの有機ＥＬ装置３０１は、基板３１１、回路素子部３２１、画素電極３３１、バンク部３４１、発光素子３５１、陰極３６１（対向電極）、および封止基板３７１から構成された有機ＥＬ素子３０２に、フレキシブル基板（図示略）の配線および駆動ＩＣ（図示略）を接続したものである。回路素子部３２１は、ＴＦＴ等からなるアクティブ素子が基板３１１上に形成され、複数の画素電極３３１が回路素子部３２１上に整列して構成されたものである。そして、各画素電極３３１間にはバンク部３４１が格子状に形成されており、バンク部３４１により生じた凹部開口３４４に、発光素子３５１が形成されている。陰極３６１は、バンク部３４１および発光素子３５１の上部全面に形成され、陰極３６１の上には封止用基板３７１が積層されている。
【００３８】
有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置３０１の製造プロセスは、バンク部３４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子３５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子３５１を形成する発光素子形成工程と、陰極３６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板３７１を陰極３６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
【００３９】
発光素子形成工程は、凹部開口３４４、すなわち画素電極３３１上に正孔注入層３５２および発光層３５３を形成することにより発光素子３５１を形成するもので、正孔注入層形成工程と発光層形成工程とを具備している。そして、正孔注入層形成工程は、正孔注入層３５２を形成するための第１組成物（液状体）を各画素電極３３１上に吐出する第１吐出工程と、吐出された第１組成物を乾燥させて正孔注入層３５２を形成する第１乾燥工程とを有し、発光層形成工程は、発光層３５３を形成するための第２組成物（液状体）を正孔注入層３５２の上に吐出する第２吐出工程と、吐出された第２組成物を乾燥させて発光層３５３を形成する第２乾燥工程とを有している。
【００４０】
この発光素子形成工程において、正孔注入層形成工程における第１吐出工程と、発光層形成工程における第２吐出工程とで前記の吐出装置３０を用いている。この有機ＥＬ装置３０１の製造においても、各構成要素形成のための吐出に先立ち、基板３１１、すなわち回路素子部３２１や画素電極３３１といった易帯電性の構成要素を形成した基板３１１に対して吐出される液状体の吐出ヘッドへの供給経路に対して、イオン発生手段５０ａ〜５０ｃによりイオン風を送り、供給経路を構成する液状体タンク３５、供給チューブ２４、及び吐出ヘッド３４を除電し、この経路内を輸送される液状体も除電するようにする。これにより、基板３１１が帯電するのを防止することができ、また液状体の帯電による吐出ヘッド３４の静電破壊を防止することができるので、得られる有機ＥＬ装置３０１の生産性を向上し、かつその信頼性を高めることができる。
【００４１】
次に、本発明の第２の適用例として、発光ダイオード及び有機ＴＦＴを備えた電子装置の製造例について説明する。
図４は、前記吐出装置により一部の構成要素が製造された電子装置の側断面図である。この電子装置７０は、有機ＴＦＴ７１と有機ＬＥＤ７２とが同一基板７３上にモノシリックに集積化されてなるものである。有機ＴＦＴ７１は、基板７３上に形成されたゲート電極７４と、これを覆って形成された誘電体層７５と、この誘電体層７５上に形成されたソース電極７６およびドレイン電極７７と、これら電極を覆って形成された有機半導体層７８とから構成されたものである。
【００４２】
有機ＬＥＤ７２は、基板７３上に形成された陽極７９と、この陽極７９を覆って形成された正孔輸送層８０と、この正孔輸送層８０上に形成された電子輸送層８１と、この電子輸送／エミッタ層８１上に形成された陰極８２とから構成されたものである。なお、陽極７９は前記のドレイン電極７７がそのまま基板７３上に延びて形成されたものであり、また、正孔輸送層８０は前記有機半導体層７８が陽極７９上に延びて形成されたものである。
【００４３】
このような装置７０にあっても、例えば陽極７９や陰極８２を金属で形成する場合などに、その製造に際して前記の吐出装置３０が好適に用いられる。すなわち、これら陽極７９や陰極８２を形成する場合、特にそのパターニングに有利なことから、金属コロイド材料（例えば金コロイドや銀コロイド）や導電性微粒子（例えば金属微粒子）を分散させてなる液状材料を吐出し、乾燥・焼結することで形成することがある。そのような場合に、本発明を適用して、前記液状体の供給経路（液状体タンク３５、供給チューブ２４、及び吐出ヘッド３４）に対してイオン発生手段５０ａ〜５０ｃによりイオン風を送り、前記各部材に帯電した電荷、さらには前記経路を通じて輸送される液状体に帯電した電荷を中和しておくことで、形成する電極の帯電を防止する。
これにより、吐出ヘッド３４の静電破壊を防止することができるとともに、形成された電極の帯電も防止できるので、得られる電子装置の生産性を向上し、かつその信頼性を高めることができる。
【００４４】
次に、本発明の第３の適用例として、プラズマディスプレイについて説明する。
図５は、前記吐出装置により一部の構成要素、すなわちアドレス電極５１１とバス電極５１２ａとが製造されたプラズマディスプレイを示す分解斜視図であり、図５中符号５００はプラズマディスプレイである。このプラズマディスプレイ５００は、互いに対向して配置されたガラス基板５０１とガラス基板５０２と、これらの間に形成された放電表示部５１０とから概略構成されている。
【００４５】
放電表示部５１０は、複数の放電室５１６が集合されてなり、複数の放電室５１６のうち、赤色放電室５１６（Ｒ）、緑色放電室５１６（Ｇ）、青色放電室５１６（Ｂ）の３つの放電室５１６が対になって１画素を構成するように配置されている。
前記（ガラス）基板５０１の上面には所定の間隔でストライプ状にアドレス電極５１１が形成され、それらアドレス電極５１１と基板５０１の上面とを覆うように誘電体層５１９が形成され、更に誘電体層５１９上においてアドレス電極５１１、５１１間に位置して各アドレス電極５１１に沿うように隔壁５１５が形成されている。なお、隔壁５１５においてはその長手方向の所定位置においてアドレス電極５１１と直交する方向にも所定の間隔で仕切られており（図示略）、基本的にはアドレス電極５１１の幅方向左右両側に隣接する隔壁と、アドレス電極５１１と直交する方向に延設された隔壁により仕切られる長方形状の領域が形成され、これら長方形状の領域に対応するように放電室５１６が形成され、これら長方形状の領域が３つ対になって１画素が構成される。また、隔壁５１５で区画される長方形状の領域の内側には蛍光体５１７が配置されている。蛍光体５１７は、赤、緑、青の何れかの蛍光を発光するもので、赤色放電室５１６（Ｒ）の底部には赤色蛍光体５１７（Ｒ）が、緑色放電室５１６（Ｇ）の底部には緑色蛍光体５１７（Ｇ）が、青色放電室５１６（Ｂ）の底部には青色蛍光体５１７（Ｂ）が各々配置されている。
【００４６】
次に、前記ガラス基板５０２側には、先のアドレス電極５１１と直交する方向に複数のＩＴＯからなる透明表示電極５１２がストライプ状に所定の間隔で形成されるとともに、高抵抗のＩＴＯを補うために金属からなるバス電極５１２ａが形成されている。また、これらを覆って誘電体層５１３が形成され、更にＭｇＯなどからなる保護膜５１４が形成されている。
そして、前記基板５０１とガラス基板５０２の基板２が、前記アドレス電極５１１…と表示電極５１２…を互いに直交させるように対向させて相互に貼り合わされ、基板５０１と隔壁５１５とガラス基板５０２側に形成されている保護膜５１４とで囲まれる空間部分を排気して希ガスを封入することで放電室５１６が形成されている。なお、ガラス基板５０２側に形成される表示電極５１２は各放電室５１６に対して２本ずつ配置されるように形成されている。
前記アドレス電極５１１と表示電極５１２は図示略の交流電源に接続され、各電極に通電することで必要な位置の放電表示部５１０において蛍光体５１７を励起発光させて、カラー表示ができるようになっている。
【００４７】
そして、本例では、特に前記アドレス電極５１１とバス電極５１２ａとを、それぞれ前記の吐出装置３０を用いて形成している。すなわち、これらアドレス電極５１１とバス電極５１２ａを形成する場合、特にそのパターニングに有利なことから、金属コロイド材料（例えば金コロイドや銀コロイド）や導電性微粒子（例えば金属微粒子）を分散させてなる液状材料を吐出し、乾燥・焼結して形成している。
その場合にも、本発明を適用して、前記液状材料の供給経路に対してイオン発生手段５０ａ〜５０ｃによりイオン風を送り、供給経路の構成部材及び経路内を輸送される液体材料の電荷を中和しておく。これにより、得られる電極の帯電を防止するとともに形成するアドレス電極５１１及びバス電極５１２ａの膜厚の均一化を図り、これらを機能のバラツキがない信頼性の高いものに形成する。
また、吐出ヘッド３４の静電破壊を防止し、さらに得られるプラズマディスプレイの生産性を向上し、かつその信頼性を高めることができる。
【００４８】
なお、本発明が適用されるデバイス、電子機器としては、前記のものに限定されることなく、例えば電気泳動装置や液晶表示装置、各種半導体装置など種々のものの製造に適用可能である。
【００４９】
前記吐出装置によって一部の構成要素を形成した電子機器の一例を説明する。図６は、このような電子機器の一例としての携帯電話を示す斜視図である。図６において符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は前記適用例の有機ＥＬ装置３０１を用いた表示部を示している。
図６に示した電子機器（携帯電話）は、前記の有機ＥＬ装置からなる表示部１００１を備えているので、特に表示部１００１の生産性が良好であり、かつその信頼性が高いものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の液状体吐出装置の概略構成図である。
【図２】図２は、吐出ヘッドの概略構成図である。
【図３】図３は、有機ＥＬ装置の側断面図である。
【図４】図４は、有機ＴＦＴ素子の側断面図である。
【図５】図５は、プラズマディスプレイの分解斜視図である。
【図６】図６は、電子機器の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
３０…吐出装置、２４…供給チューブ、３４…吐出ヘッド、３５…液状体タンク、５０ａ〜５０ｄ…イオン発生手段、４１…フラッシング領域、Ｓ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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