(57)【要約】【課題】１次粒子が微細で、１次粒子が０．１〜１．０μｍと微細かつ均一で、含有酸素量が少なく、電解キャパシタの使用に好適なニオブおよび／またはタンタル粉末を得る。【解決手段】ニオブおよび／またはタンタル酸化物を、アルカリ金属またはアルカリ土類金属で、２段階に分けて還元することにより、ニオブおよび／またはタンタル粉末を製造する方法において、第１段階還元により、（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏｘ（式中、ｘは０．０６〜０．３５）からなるニオブおよび／またはタンタル低級酸化物粉末を得て、反応で生成したアルカリ土類酸化物を除去し、第２段階還元では、溶融アルカリ塩および／または溶融アルカリ土類金属塩の共存下で、溶融アルカリ金属または溶融アルカリ土類金属からなる還元金属を反応させる。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１段階還元により、ニオブおよび／またはタンタル酸化物を、アルカリ土類金属と反応させて、（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏｘ  （式中、ｘは０．０６〜０．３５）からなるニオブおよび／またはタンタル低級酸化物粉末を得て、反応で生成したアルカリ土類酸化物を除去した後、第２段階還元により、溶融アルカリ塩および／または溶融アルカリ土類金属塩の共存下で、該低級酸化物粉末を溶融アルカリ金属または溶融アルカリ土類金属からなる還元金属と反応させることを特徴とするニオブおよび／またはタンタル粉末の製造方法。
【請求項２】
第２段階還元で使用する還元金属として、マグネシウムもしくはカルシウムを用いることを特徴とする請求項１に記載のニオブおよび／またはタンタル粉末の製造方法。
【請求項３】
第２段階還元で使用する塩として、塩化マグネシウムまたは塩化カルシウム、もしくはそれらの混合物を用いることを特徴とする請求項１に記載のニオブおよび／またはタンタル粉末の製造方法。
【請求項４】
第２段階還元で使用する塩の添加量を、ニオブおよび／またはタンタル低級酸化物に対し、５〜１００質量部とすることを特徴とする請求項３に記載のニオブおよび／またはタンタル粉末の製造方法。
【請求項５】
第２段階還元で使用する還元金属の添加量を、ニオブおよび／またはタンタル低級酸化物に対し、残留酸素除去に必要な化学量論量の０．５〜１．５当量に調整することで、還元金属の残留量が２００質量ｐｐｍ以下となることを特徴とする請求項１に記載のニオブおよび／またはタンタル粉末の製造方法。
【請求項６】
請求項１から４のいずれかに記載の製造方法により製造されるニオブおよび／またはタンタル粉末であって、１次粒子の調整と脱酸素を同時に行い、１次粒子の粒子径が０．１〜１．０μｍで、ｐｐｍで表した酸素量と、ｍ２  ／ｇで表したＢＥＴ比表面積の比が４５００以下であることを特徴とするニオブおよびまたはタンタル粉末。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ニオブおよび／またはタンタル粉末の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特開平０８−０９７０９６号公報や、特表平１０−５０４６０３号公報には、アルカリ金属またはアルカリ土類金属等によりニオブおよびタンタルのフッ化物や酸化物を還元して、粒子径１μｍ以下であり、５ｍ２  ／ｇを超えるＢＥＴ比表面積を持つ微細なニオブおよびタンタル粉末を得る方法が記載されている。
【０００３】
また、特開平０８−１６２３７２号公報に記載されているように、ニオブおよびタンタル粉末を電解キャパシタとして使用する場合、粉末の比表面積が大きい微細な粉末ほど容量が大きく好ましい。
【０００４】
しかし、ニオブは酸化しやすく、酸化物が安定なため、粉末が微細であるほど、表面酸化により酸素量は増加する。また、１次粒子径０．１〜１μｍの微粉末を得ようとすると、還元プロセス中の熱的不均一により、０．０１μｍオーダーの極めて微細な粒子が生成される。この場合、０．０１μｍオーダーの極めて微細な粒子が存在すると、キャパシタ製造時の焼結の均一性が失われるという問題があった。
【０００５】
さらに、還元剤として用いるアルカリ金属およびアルカリ土類金属がニオブおよびタンタル中へ固溶または残留し、電解キャパシタの容量および電気的特性に悪影響を及ぼすという問題があった。
【０００６】
また、特開２０００−１１９７１０号公報に記載されているように、発熱量を抑制するために溶融アルカリ土類金属による還元を２段階で行い、第１段の反応で（Ｎｂ，Ｔａ）ｘ、式中ｘを１．５〜０．５で表される低級酸化物粉末を得る試みもなされているが、この場合、第２段の還元の制御がうまく行えず、粉末の比表面積が大きくなったり、溶融アルカリ土類金属の残留量が高くなるという問題があった。
【０００７】
これに対して、特開２００３−１１９５０６号公報では、ニオブやタンタルの酸化物をアルカリ金属やアルカリ土類金属で還元してニオブやタンタルの粉末を得るに際し、還元を２段階に分けて行い、第１段階で（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏｘ  、ただし式中ｘ＝０．０６〜０．３５、で表される低級酸化物粉末を得るまで行い、第１段階の還元反応で生成したアルカリ金属やアルカリ土類金属の酸化物を除去し、第１段階還元工程で得られた低級酸化物粉末をアルカリ金属やアルカリ土類金属の融液を用いて第２段階の還元を行ってニオブやタンタルの粉末を得る方法が開示されている。具体的には、たとえば、マグネシウムを低級酸化物粉末に混合して溶解反応させている。
【０００８】
しかしながら、かかる方法では、得られたニオブおよび／またはタンタル粉末の水素含有量が高いという問題がった。
【０００９】
【特許文献１】
特開平０８−０９７０９６号公報
【００１０】
【特許文献２】
特表平１０−５０４６０３号公報
【００１１】
【特許文献３】
特開平０８−１６２３７２号公報
【００１２】
【特許文献４】
特開２０００−１１９７１０号公報
【００１３】
【特許文献５】
特開２００３−１１９５０６号
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、１次粒子が微細で、１次粒子が０．１〜１．０μｍと微細かつ均一で、含有酸素量および含有水素量が少なく、電解キャパシタの使用に好適なニオブおよび／またはタンタル粉末を得ることである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明のニオブおよび／またはタンタル粉末の製造方法は、第１段階還元により、ニオブおよび／またはタンタル酸化物を、アルカリ土類金属と反応させて、（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏｘ  （式中、ｘは０．０６〜０．３５）からなるニオブおよび／またはタンタル低級酸化物粉末を得て、反応で生成したアルカリ土類酸化物を除去した後、第２段階還元により、溶融アルカリ塩および／または溶融アルカリ土類金属塩の共存下で、該低級酸化物粉末を溶融アルカリ金属または溶融アルカリ土類金属からなる還元金属と反応させることを特徴とする。
【００１６】
さらに、第２段階還元で使用する還元金属として、マグネシウムもしくはカルシウムを用いることが好ましい。
【００１７】
さらに、第２段階還元で使用する塩として、塩化マグネシウムまたは塩化カルシウム、もしくはそれらの混合物を用いることが好ましい。
【００１８】
さらに、第２段階還元で使用する塩の添加量を、ニオブおよび／またはタンタル低級酸化物に対し、５〜１００質量部とすることが好ましい。
【００１９】
さらに、第２段階還元で使用する還元金属の添加量を、ニオブおよび／またはタンタル低級酸化物に対し、残留酸素除去に必要な化学量論量の０．５〜１．５当量に調整することで、還元金属の残留量を２００質量ｐｐｍ以下とする。
【００２０】
本発明のニオブおよび／またはタンタル粉末は、前記のいずれかに記載のニオブおよび／またはタンタル粉末の製造方法により製造され、１次粒子の調整と脱酸素を同時に行い、１次粒子の粒子径が０．１〜１．０μｍで、ｐｐｍで表した酸素量と、ｍ２／ｇで表したＢＥＴ比表面積の比が４５００以下である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
本発明のニオブおよび／またはタンタル粉末の製造方法は、第１段階還元により、ニオブおよび／またはタンタル酸化物を、アルカリ土類金属と反応させて、（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏｘ  （式中、ｘは０．０６〜０．３５）からなるニオブおよび／またはタンタル低級酸化物粉末を得て、反応で生成したアルカリ土類酸化物を除去した後、第２段階還元により、溶融アルカリ塩および／または溶融アルカリ土類金属塩の共存下で、該低級酸化物粉末を溶融アルカリ金属または溶融アルカリ土類金属からなる還元金属と反応させる。
【００２２】
このとき、還元金属の融液の存在によりニオブおよび／またはタンタルの表面拡散が阻害されるため、比表面積の減少を抑制しながら粒子の結合が得られ、０．０１μｍオーダーの極めて微細な粒子発生を抑えつつ、１次粒子が０．１〜１．０μｍで、均一かつ微細な粉末を得ることができる。さらに、溶融アルカリ塩および／またはアルカリ土類金属塩の共存下でこの反応を行わせることにより、還元金属の拡散がさらに促進され、還元反応が速やかに進行する。このような均一かつ微細な粒子が得られるのは、溶融アルカリ塩および／またはアルカリ土類金属塩自身は、還元効果を持たないが、還元金属の過剰拡散を抑制しうる拡散媒体となり、微細なニオブおよび／またはタンタル粉末中へ均一かつ適度に浸透することなどに寄与していると考えられる。その他に、第１段階還元時に低酸素組成まで還元を行っていることも、効果的に寄与していると考えられる。還元金属が直接、前記低級酸化物粉末と共存すると、還元金属が過剰に入り込み、酸洗時に多量の水素を発生させ、その結果、多量の水素がニオブおよび／またはタンタル粉末に入ってしまう。粉末が多量のＨを含有すると、ペレット焼結時にガス放出が起こり、真空度が低下するという問題を生ずることになる。
【００２３】
さらに、第２段階還元で使用する還元金属として、マグネシウムもしくはカルシウムを用いる。また、第２段階還元で使用する塩として、塩化マグネシウムまたは塩化カルシウム、もしくはそれらの混合物を用いることが好ましい。
【００２４】
マグネシウムおよびカルシウムは、ニオブおよび／またはタンタル中への溶解度が小さいので、還元終了後の粉末への混入を抑制することができる。また、塩化マグネシウムと塩化カルシウムの混合塩は、単体の場合よりも融点が低いので、反応温度を下げることができ、加熱による１次粒子の成長を抑制することができる。
【００２５】
さらに、第２段階還元で使用する塩の添加量を、ニオブおよび／またはタンタル低級酸化物に対し、５〜１００質量部とする。
【００２６】
添加する塩が５質量部未満では、添加の効果が少なく、１００質量部を超えて添加しても、効果に顕著な差は見られないし、添加した塩は、第２段階還元終了後、水洗などにより除去するので、過剰に入れることは好ましくない。適正な塩の添加量は、粉末の１次粒子径などにより変化するが、おおよそ１０〜６０質量部が好ましい。
【００２７】
さらに、第２段階還元で使用する還元金属の添加量を、ニオブおよび／またはタンタル低級酸化物に対し、残留酸素除去に必要な化学量論量の０．５〜１．５当量に調整することで、還元金属の残留量を２００質量ｐｐｍ以下とする。
【００２８】
通常、還元反応には理論当量より過剰の還元剤を用いる。この場合、過剰な還元金属は、ニオブおよび／またはタンタル粉末に固溶する。還元剤であるアルカリ金属またはアルカリ土類金属は、ニオブおよび／またはタンタルへの固溶限が小さいが、それでも数百ｐｐｍ程度は固溶および残留してしまう。しかし、還元剤の配合量を０．５〜１．５当量と低く抑えることで、還元金属のニオブおよび／またはタンタル中への固溶を抑え、残留する還元金属を低減することが可能となる。これは、ニオブおよび／またはタンタル粉末と接触した溶融した還元金属は、ニオブおよび／またはタンタル中に固溶する前に、残留酸素と反応して酸化物となり、ニオブおよび／またはタンタル中へ固溶し難くなるためである。
【００２９】
また、この場合、還元金属の添加量を０．５〜１．５当量に抑えているにもかかわらず、ｐｐｍで表した酸素量とｍ２／ｇで表したＢＥＴ比表面積の比が４５００以下のニオブおよび／またはタンタル粉末が得られる。これは、溶融塩の共存により、溶融還元金属が促進され、粉末表面に均一に浸透するためだと考えられる。
【００３０】
以上の製造方法により製造されたニオブおよび／またはタンタル粉末は、１次粒子の粒子径が０．１〜１．０μｍと微細かつ均一で、電解キャパシタに好適である。
【００３１】
【実施例】
次に、実施例を用いて本発明をさらに説明する。
【００３２】
（実施例１）
平均粒径４μｍの酸化ニオブ１００ｇと、金属マグネシウム片４８ｇとを、ニオブ製容器に入れ、ニオブ製容器ごと電気炉に装入し、内部を真空状態とした後、アルゴン雰囲気に置換して加熱し、９５０℃の温度で１時間保持して第１段階還元を行った。
【００３３】
放冷および徐酸化後、ニオブ製容器を電気炉から取り出して反応生成物を取り出し、１１．５Ｎの塩酸溶液中に投入して、酸洗処理することにより、生成した酸化マグネシウムを除去した。さらに、水洗および真空乾燥して、５６．８ｇのニオブ低級酸化物粉を得た。
【００３４】
得られたニオブ低級酸化物粉を、塩化マグネシウムと混合し、ニオブ製容器に入れ、マグネシウム片を２．４ｇ（残留酸素除去に必要な化学量論量の１．１当量に相当）をその上部に置き、前述と同様に、アルゴン雰囲気に置換した電気炉内で、７５０℃に加熱し、２時間保持して第２段階還元および微細粒子の形成を行わせた。
【００３５】
反応終了後、放冷および徐酸化後、反応生成物を取り出し、純水中に投入して、塩を溶解除去した。その後、残留した還元物を、１１．５Ｎの塩酸溶液中に投入して、酸洗処理することにより、生成した酸化マグネシウムを除去した。さらに、水洗およびエタノール洗浄後、真空乾燥して、５４．２ｇのニオブ粉末を得た。得られたニオブ粉末の平均粒子径は、０．５μｍであった。
【００３６】
得られたニオブ粉末を０．２ｇ計量し、圧粉成形と、１３００℃、１時間の真空焼結を行って、多孔質焼成体とした。得られた焼成体を、リン酸水溶液中、２０Ｖの電圧で、１０時間の化成処理を行った後、３５％硫酸中で、ＬＣＲメータ（Ａｇｉｌｅｎｔ製４２６３Ｂ）を用い、ＣＶ値（容量Ｃと化成電圧Ｖとの積であり、電解コンデンサの特性を表す一般的指標）を測定した。
【００３７】
また、含有されるＯ値、Ｍｇ量およびＢＥＴ値を測定した。第２段階還元の条件および測定結果を、表１に示す。
【００３８】
（実施例２）
第２段階還元の条件を、表１に示したように変更した以外は、実施例１と同様に、ニオブ粉末を得て、同様の測定を行った。第１段階還元で得られたニオブ低級酸化物粉は、５７．２ｇであった。添加したマグネシウム片は、残留酸素除去に必要な化学量論量の１．５当量に相当する３．２ｇとした。得られたニオブ粉末の平均粒子径は、０．６μｍであった。第２段階還元の条件および測定結果を、表１に示す。
【００３９】
（実施例３）
第２段階還元の条件を、表１に示したように変更した以外は、実施例１と同様に、ニオブ粉末を得て、同様の測定を行った。第１段階還元で得られたニオブ低級酸化物粉は、５５．８ｇであった。添加したマグネシウム片は、残留酸素除去に必要な化学量論量の１．１当量に相当する２．３ｇとした。得られたニオブ粉末の平均粒子径は、０．４μｍであった。第２段階還元の条件および測定結果を、表１に示す。
【００４０】
（実施例４）
塩化マグネシウムに加えて、塩化カルシウムを添加し、第２段階還元の条件を、表１に示したように変更した以外は、実施例１と同様に、ニオブ粉末を得て、同様の測定を行った。第１段階還元で得られたニオブ低級酸化物粉は、５６．８ｇであった。添加したマグネシウム片は、残留酸素除去に必要な化学量論量の０．９当量に相当する１．３ｇとした。得られたニオブ粉末の平均粒子径は、０．３５μｍであった。第２段階還元の条件および測定結果を、表１に示す。
【００４１】
（実施例５）
塩化マグネシウムに加えて、塩化カルシウムを添加し、第２段階還元の条件を、表１に示したように変更した以外は、実施例１と同様に、ニオブ粉末を得て、同様の測定を行った。第１段階還元で得られたニオブ低級酸化物粉は、５９．３ｇであった。添加したマグネシウム片は、残留酸素除去に必要な１．１当量に相当する１．６ｇとした。得られたニオブ粉末の平均粒子径は、０．５μｍであった。第２段階還元の条件および測定結果を、表１に示す。
【００４２】
（実施例６）
平均粒径４μｍの酸化タンタル８０ｇと、金属マグネシウム片４０ｇとを、ニオブ製容器に入れ、ニオブ製容器ごと電気炉に装入し、内部を真空状態とした後、アルゴン雰囲気に置換して加熱し、９５０℃の温度で１時間保持して第１段階還元を行った。
【００４３】
放冷および徐酸化後、ニオブ製容器を電気炉から取り出して反応生成物を取り出し、１１．５Ｎの塩酸溶液中に投入して、酸洗処理することにより、生成した酸化マグネシウムを除去した。さらに、水洗および真空乾燥して、６０．０ｇのタンタル低級酸化物粉を得た。
【００４４】
得られたタンタル低級酸化物粉を、塩化マグネシウムと混合し、ニオブ製容器に入れ、マグネシウム片１．２ｇ（残留酸素除去に必要な化学量論量の１．１当量に相当）をその上部に置き、前述と同様に、アルゴン雰囲気に置換した電気炉内で、７００℃に加熱し、２時間保持して第２段階還元および微細粒子の形成を行わせた。
【００４５】
反応終了後、放冷および徐酸化後、反応生成物を取り出し、純水中に投入して、塩を溶解除去した。その後、残留した還元物を、１１．５Ｎの塩酸溶液中に投入して、酸洗処理することにより、生成した酸化マグネシウムを除去した。さらに、水洗およびエタノール洗浄後、真空乾燥して、５６．１ｇのタンタル粉末を得た。得られたタンタル粉末の平均粒子径は、０．４μｍであった。
【００４６】
得られたタンタル粉末を０．２ｇ計量し、圧粉成形と、１３００℃、１時間の真空焼結を行って、多孔質焼成体とした。得られた焼成体を、リン酸水溶液中、２０Ｖの電圧で、１０時間の化成処理を行った後、３５％硫酸中で、ＬＣＲメータ（Ａｇｉｌｅｎｔ製４２６３Ｂ）を用い、ＣＶ値（容量Ｃと化成電圧Ｖとの積であり、電解コンデンサの特性を表す一般的指標）を測定した。
【００４７】
また、含有されるＯ値、Ｍｇ量およびＢＥＴ値を測定した。第２段階還元の条件および測定結果を、表１に示す。
【００４８】
（実施例７）
塩化マグネシウムに加えて、塩化カルシウムを添加し、第２段階還元の条件を、表１に示したように変更した以外は、実施例１と同様に、タンタル粉末を得て、同様の測定を行った。第１段階還元で得られたタンタル低級酸化物粉は、５９．４ｇであった。添加したマグネシウム片は、残留酸素除去量に必要な化学量論量のの１．１当量に相当する１．６ｇとした。得られたタンタル粉末の平均粒子径は、０．４μｍであった。第２段階還元の条件および測定結果を、表１に示す。
【００４９】
【表１】
2004360043.tif 000002
【００５０】
実施例１から５は，いずれも７５０００μＦ／ｇ以上のＣＶ値を示し、優れたコンデンサ特性を示すことが分かる。また、実施例６および７のタンタル粉も、良好なコンデンサ特性を示している。
【００５１】
（比較例１）
第２段階還元の条件を、表２に示したように変更した以外は、実施例１と同様に、ニオブ粉末を得た。第１段階還元で得られたニオブ低級酸化物粉は、５７．５ｇであった。添加したマグネシウム片は、残留酸素除去に必要な化学量論量の１．１当量に相当する１．６ｇとした。得られたニオブ粉末の平均粒子径は、０．４μｍであった。
【００５２】
得られたニオブ粉末を０．５ｇ計量し、圧粉成形と、１３００℃、１時間の真空焼結を行って、多孔質焼成体とした。得られた焼成体を、リン酸水溶液中、２０Ｖの電圧で、１０時間の化成処理を行った後、３５％硫酸中で、ＬＣＲメータを用い、ＣＶ値を測定した。また、含有されるＯ値、Ｍｇ量およびＢＥＴ値を測定した。第２段階還元の条件および測定結果を、表２に示す。
【００５３】
（比較例２）
第２段階還元の条件を、表２に示したように変更した以外は、比較例１と同様に、ニオブ粉末を得て、同様の測定を行った。第１段階還元で得られたニオブ低級酸化物粉は、５７．０ｇであった。添加したマグネシウム片は、残留酸素除去に必要な化学量論量の１．１当量に相当する１．６ｇとした。得られたニオブ粉末の平均粒子径は、０．５μｍであった。第２段階還元の条件および測定結果を、表２に示す。
【００５４】
（比較例３）
第２段階還元の条件を、表２に示したように変更した以外は、比較例１と同様に、ニオブ粉末を得て、同様の測定を行った。第１段階還元で得られたニオブ低級酸化物粉は、５７．１ｇであった。添加したマグネシウム片は、残留酸素除去に必要な化学量論量の０．３当量に相当する０．４３ｇとした。得られたニオブ粉末の平均粒子径は、０．５μｍであった。第２段階還元の条件および測定結果を、表２に示す。
【００５５】
（比較例４）
第２段階還元の条件を、表２に示したように変更した以外は、比較例１と同様に、ニオブ粉末を得て、同様の測定を行った。第１段階還元で得られたニオブ低級酸化物粉は、５７．６ｇであった。添加したマグネシウム片は、残留酸素除去に必要な化学量論量の２．５当量に相当する３．６ｇであった。得られたニオブ粉末の平均粒子径は、０．６μｍであった。第２段階還元の条件および測定結果を、表２に示す。
【００５６】
（比較例５）
第２段階還元において、第１段階還元で得られたニオブ低級酸化物粉５４．０ｇに、マグネシウム片１．５ｇ（残留酸素除去に必要な化学量論量の１．１当量に相当）を直接添加して混合して、反応させた以外は、比較例１と同様に、ニオブ粉末を得て、同様の測定を行った。得られたニオブ粉末の平均粒子径は、０．４μｍであった。第２段階還元の条件および測定結果を、表２に示す。
【００５７】
【表２】
2004360043.tif 000003
【００５８】
比較例１は、ＢＥＴ比表面積が大きく、容量も高いが、容量に比較して酸素量が高くなってしまっている。また、塩化物添加量の多い比較例２は、やはり、酸素量が多い。一方、Ｍｇ添加量の少ない比較例３も、充分に還元が進まず、酸素量は著しく高い。一方、Ｍｇ添加量の多い比較例４では、還元は充分に進行しているが、Ｍｇの残留量が増加している。
【００５９】
また、比較例４および比較例５のＨを分析したところ、３７０ｐｐｍおよび４８０ｐｐｍと、実施例１〜７が２００ｐｐｍ以下であるのに対し、著しく高かった。
【００６０】
（従来例１）
蒸気還元によって第２段階還元を行った従来例を示す。実施例１と同様に１次還元を行って得た粉末を、再度、表３に示す条件で蒸気還元を行った。第１段階還元で得られたニオブ低級酸化物粉は、５５．８ｇであった。添加したマグネシウム片は、残留酸素除去に必要な化学量論量の１．１当量に相当する１．８ｇとした。得られたニオブ粉末の平均粒子径は、０．４μｍであった。第２段階還元の条件および測定結果を、表３に示す。
【００６１】
（従来例２）
第２段階還元の条件を、表２に示したように変更した以外は、従来例１と同様に、ニオブ粉末を得て、同様の測定を行った。第１段階還元で得られたニオブ低級酸化物粉は、５６．５ｇであった。添加したマグネシウム片は、１．８６ｇであった。得られたニオブ粉末の平均粒子径は、０．７μｍであった。第２段階還元の条件および測定結果を、表３に示す。
【００６２】
【表３】
2004360043.tif 000004
【００６３】
２次蒸気還元温度を７００℃とした従来例１では、還元がほとんど進まず、酸素量が３００００質量ｐｐｍと著しく高かった。一方、２次蒸気還元温度を９００℃とした従来例２では、酸素量は４８００質量ｐｐｍと良好であるが、１次粒子の粗大化が進行し、ＢＥＴ比表面積が小さく、そのため容量も本発明の実施例例に比べて著しく低かった。
【００６４】
以上のように、酸化物の２段階還元において、第２段階還元を、溶融塩の共存下でアルカリ土類金属などで還元することにより、高い容量を持つコンデンサを得ることが可能となることが分かる。
【００６５】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明によれば、１次粒子が微細で、１次粒子が０．１〜１．０μｍと微細かつ均一で、含有酸素量および含有水素量が少なく、電解キャパシタの使用に好適なニオブおよび／またはタンタル粉末を得ることができる。