(57)【要約】【課題】本発明は、基板、殊に大型化した基板のアニール装置の省スペース化を実現し、かつ基板の歪みなどを回避し良好な熱処理を可能とする基板アニール装置を提供するものである。【解決手段】基板アニール装置において、基板移載投入部と、基板をアニールする炉体と、基板を冷却する冷却部と、基板移載排出部とからなり、基板移載投入部と炉体と冷却部と基板移載排出部間においてローラー搬送する基板搬送部が装置本体上部に設けられ、該基板移載投入部に水平方向に搬送された基板を垂直方向に立ち上げる移載機構を備え、基板移載排出部に垂直方向の状態で搬送された基板を水平方向に戻す移載機構を備えることを特徴とするものであり、また、炉体に遠赤外線パネルヒーターを配設し、あるいは、冷却部に微風供給ノズルと冷却水を用いた冷却プレートを配設したことを特徴とするものである。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板アニール装置において、基板移載投入部と、基板をアニールする炉体と、基板を冷却する冷却部と、基板移載排出部とからなり、基板移載投入部と炉体と冷却部と基板移載排出部間においてローラー搬送する基板搬送部が装置本体上部に設けられ、該基板移載投入部に水平方向において搬送された基板を垂直方向に立ち上げる移載機構を備え、該基板移載排出部に垂直方向の状態で搬送された基板を水平方向に戻す移載機構を備えることを特徴とする基板アニール装置。
【請求項２】
炉体に遠赤外線パネルヒーターを配設したことを特徴とする請求項１に記載した基板アニール装置。
【請求項３】
冷却部に微風供給ノズルと冷却水を用いた冷却パネルを配設したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載した基板アニール装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、液晶板や集積回路板等の板状電子部品をアニール（熱処理）するための基板アニール装置であり、詳細には、特に大型化した基板の熱処理において、装置の省スペース化と良好な熱処理を実現できる基板アニール装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来提供されている基板アニール装置においては、主として炉内へ連続的に搬送される基板が水平方向、すなわち基板両面を炉内に対し上下方向に向け載置された状態において搬送されていた。
【０００３】
しかしながら、水平方向での搬送では、搬送中の基板の歪みや割れなどを生ずる原因となり、殊に大型化した基板ではその弊害が顕著に現れることとなる。
【０００４】
また、上記のような水平方向での搬送では、基板の歪み増加に対応するため、基板収容棚の各棚部の間隔を確保しなければならず、基板アニール装置のスペースが増大し、装置の製造コストが増加し、また設置環境の確保が困難となりうる。
【０００５】
一方、従来における、電気ヒーター等を用いた加熱体では、熱風による風圧の影響を受け、基板にずれや割れ、欠けなどの損傷を招いていた。
【０００６】
なお、例えば特許文献１においては、炉体正面における基板搬入扉を縦長矩形スリットを設けるクリーンオーブンが記載されているが、本発明は、装置内を基板搬送部により連続的に基板が搬送され且つ基板移載投入部と基板移載排出部にそれぞれ基板の搬送方向を変える移載機構を備える点や炉体の加熱体において構成を異にするものである。
【特許文献】特願２００２−１４９９６
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、基板、殊に大型化した基板のアニール装置の省スペース化を実現し、かつ基板の歪みなどを回避し良好な熱処理を可能とする基板アニール装置を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成するため、基板アニール装置において、
基板移載投入部と、基板をアニールする炉体と、基板を冷却する冷却部と、基板移載排出部とからなり、基板移載投入部と炉体と冷却部と基板移載排出部間においてローラー搬送する基板搬送部が装置本体上部に設けられ、該基板移載投入部に水平方向に搬送された基板を垂直方向に立ち上げる移載機構を備え、基板移載排出部に垂直方向の状態で搬送された基板を水平方向に戻す移載機構を備えることを特徴とするものである（請求項１）。
【０００８】
また上記の基板アニール装置において、炉体に遠赤外線パネルヒーターを配設したことを特徴とするものである（請求項２）。
【０００９】
また上記の基板アニール装置において、冷却部に微風供給ノズルと冷却水を用いた冷却プレートを配設したことを特徴とするものである（請求項３）。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
【００１１】
図１は、本発明に係る基板アニール装置の概要を示す説明平面図であり、図２は、本発明に係る基板アニール装置の概要を示す説明上面図である。
【００１２】
また、図３は、本発明に係る基板アニール装置における炉体正面図である。
【００１３】
また、図４は、本発明に係る基板アニール装置における基板移載投入部の移載機構の概要を示す説明斜視図であり、図５は、本発明に係る基板アニール装置における移載機構を示す平面図である。
【００１４】
本発明に係る基板アニール装置においては、図１に示す矢印方向、すなわち投入部から排出部に基板（Ｘ）が搬送され、具体的には、ベルトコンベア等から本装置へ搬送された基板（Ｘ）が、移載機構を備える基板移載投入部（Ａ）から炉体（Ｂ）へ搬送され、炉体内でアニール（熱処理）された基板（Ｘ）が冷却部（Ｃ）へ搬送され、その後、移載機構を備える基板移載排出部（Ｄ）へ搬送され、コンベア搬送される工程を経る流れとなる。
【００１５】
ベルトコンベア等により水平状態において搬送される基板は、基板移載投入部における移載機構によって、コンベア搬送時の状態に対し垂直に立ち上げられる。すなわち本発明に係る基板アニール装置においては、基板の搬送形態が従来の水平方向の搬送から、これを垂直方向へ立ち上げ、縦型の搬送（基板の処理面が搬送方向に対し左右に位置づけられる）としたことに特徴がある。
【００１６】
図４は、基板投入部の移載機構の概要を示すものであり、例えば、コンベアにて水平方向に搬送された基板（Ｘ）が移載機構において停止し、駆動モータを介したアーム（１）により基板（Ｘ）を垂直方向へ略９０度回動させ、適宜投入する炉体（Ｂ）の基板通過用開口（２）へ縦横の平行移動がされることになる。
【００１７】
なお、図４には、明細書中に記載される水平方向をＹ方向、垂直方向をＺ方向とし、その方向を明確に示す。
【００１８】
基板移載投入部の移載機構により立ち上げられた基板が、基板搬送部（Ｅ）に備えられる基板ハンドリング部（３）にクランプされ、図１や図４に示される状態において炉体（Ｂ）へ搬送される。
【００１９】
図３は、炉体（Ｂ）の正面図を示すものであるが、本発明においては、上記の説明のように、基板が垂直方向に立ち上げられているため、炉体正面の基板通過開口部（２）は、細長縦型のスリット状に形成されることになる。
【００２０】
基板搬送部（Ｅ）は、基板のいわゆる縦型の搬送に対応するため、装置本体の上部に設けられることになる。
【００２１】
基板搬送部（Ｅ）は、例えば、複数の基板ハンドリング部（３）を備えたベルト部が駆動モータにより回動しており、基板が、投入部から、炉体、冷却部を経て排出部まで搬送されるように配設されている。
【００２２】
なお、図２の平面図からも明らかなように、本発明においては、基板搬送部（Ｅ）は適宜複数設けられているものであり、効率的に基板のアニールをなすことが可能となる。
【００２３】
炉体は、請求項２に記載したように、遠赤外線パネルヒーター（４）を使用することが好ましい。
【００２４】
これにより、熱風による風圧の影響を回避することができ、炉体中の基板共振によるズレ、割れ、欠けなどの損傷が生ずることはない。
【００２５】
また、炉体内部を高速度により昇温することも可能となり、基板へ均一な熱処理を実施することができる。
【００２６】
冷却部は、請求項３に記載したように、アニールされた基板を冷却するため、基板にクリーンエアを供給する微風供給ノズル（５）と冷却水を用いた冷却プレート（６）が配設されている。
【００２７】
なお、微風供給にあたっては、基板が共振しない程度の僅かな風量を吹き付けるものであり、これにより炉体内において昇温された基板を常温近辺まで下げることとなる。
【００２８】
基板搬送部により垂直方向に立ち上げられた状態で搬送された基板は、基板排出部に設けられた移載機構により、水平方向に戻され、コンベア搬送される。
【００２９】
なお、基板排出部の移載機構については、図示しないが、基板投入部の移載機構と同様のものであり、垂直方向に立ち上げられた状態で搬送された基板をアームによって水平方向へ戻し、ベルトコンベアへ配送させることとなる。
【００３０】
【発明の効果】
本発明は、上記に詳述したように構成されるので、以下のような効果を奏するものである。
【００３１】
基板を水平搬送ではなく、垂直方向に立ち上げた状態、すなわち縦型に搬送させることにより、基板アニール装置の省スペース化に資することとなり、かつ搬送時の歪みなどを回避することが可能となる。
【００３２】
また、炉体に遠赤外線パネルヒーターを使用することにより、基板の共振によるズレ、割れ、欠けなどを回避すること可能となり、炉内の昇温時間を短縮することが可能となる。
【００３３】
また、冷却部において、微風を基板に吹き付けることにより、基板共振によるズレ、割れなどを回避することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板アニール装置の概要を示す説明平面図。
【図２】本発明に係る基板アニール装置の概要を示す説明上面図。
【図３】本発明に係る基板アニール装置における炉体正面図。
【図４】本発明に係る基板アニール装置における基板移載投入部の移載機構の概要を示す説明斜視図。
【図５】本発明に係る基板アニール装置における移載機構を示す平面図。
【符号の説明】
Ａ  基板投入移載部
Ｂ  炉体
Ｃ  冷却部
Ｄ  基板排出移載部
Ｅ  基板搬送部
１  アーム
２  基板通過用開口
３  基板ハンドリング部
４  遠赤外線パネルヒーター
５  微風供給ノズル
６  冷却パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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