(57)【要約】【課題】高精度の深い放電ギャップを容易に形成でき、また材料に制限されない管体を備え、耐久性及び品質が向上したサージアブソーバ及びその製造方法、並びにこれに用いるレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】管体２の一端部から管体内部に反射鏡２２ｂを挿入させ、反射鏡２２ｂと管体２とを相対的に軸線周りで回転させつつ、管体２の他端部からレーザ光を管体内部に照射させて反射鏡２２ｂにより導電性皮膜５に向けて反射させ、導電性皮膜５を軸方向に分割するように放電ギャップ６を形成するレーザ照射工程を採用した。【選択図】    図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性の管体内周面に被着された導電性皮膜に、放電ギャップを有するサージアブソーバの製造方法であって、
前記管体の内周面に導電性皮膜を被着させる被着工程と、
該被着工程後、前記管体の一端部から前記管体内部に反射鏡を挿入させ、該反射鏡と前記管体とを相対的に軸線周りで回転させつつ、前記管体の他端部からレーザ光を前記管体内部に照射させて前記反射鏡により前記導電性皮膜に向けて反射させ、導電性皮膜を軸方向に分割するように放電ギャップを形成するレーザ照射工程と、
該レーザ照射工程後、前記管体内に不活性ガスを封入し前記管体の両端部をそれぞれ封止電極で封止する封止工程とを有することを特徴とするサージアブソーバの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のサージアブソーバの製造方法において、前記レーザ照射工程の際に、前記管体内にガスを流通させることを特徴とするサージアブソーバの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載のサージアブソーバの製造方法において、
前記レーザ照射工程後かつ前記封止工程前に、反射鏡を管体の一端部から挿入し、前記管体の他端部から前記放電ギャップの形成具合を検査する検査工程を有することを特徴とするサージアブソーバの製造方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のサージアブソーバの製造方法により製造されたことを特徴とするサージアブソーバ。
【請求項５】
絶縁性の管体内周面に被着された導電性皮膜に放電ギャップを有するサージアブソーバを製造する際、前記導電性皮膜にレーザ光を照射させて前記放電ギャップを形成するレーザ加工装置であって、
前記管体の他端部から前記管体の内部に向けて前記管体の軸方向と平行にレーザ光を照射するレーザ照射機構と、
前記管体内部で前記レーザ光に対抗する位置に配置され、前記レーザ光を前記導電性皮膜に向けて反射させるレーザ反射鏡と、
該レーザ反射鏡を、前記管体の一端部から前記管体の内部に向けて前記管体の軸方向に前後移動可能、かつ回転可能に駆動する駆動機構とを備えていることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項６】
請求項５記載のレーザ加工装置において、
前記管体の一端部から前記管体の内部に向けてガスを流通させる送風機構を備えていることを特徴とするレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、サージアブソーバ及びその製造方法並びにレーザ加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電話機、ファクシミリ、モデム等の通信機器用の電子機器が通信線と接続する部分、或いはＣＲＴ駆動回路等、雷サージや静電気等の異常電圧（サージ電圧）による影響を受けやすい部分には、サージ電圧によって電子機器やこの機器を搭載するプリント基板の熱的損傷又は発火等による破壊を防止するために、サージアブソーバが接続されている。
【０００３】
このようなサージアブソーバは様々なものが知られているが、その一つとしてガラス等からなる絶縁性の管体と、一対の封止電極とを備えたものが知られている。管体は円筒形状に形成され、その内周面には導電性皮膜が被着されている。この導電性皮膜には、管体の略中央の位置で導電性皮膜を軸方向に分割するようにマイクロギャップが形成されている。一対の封止電極は、管体の両端部に封着されて導電性皮膜に電気的に接続されている。また、管体内には、不活性ガスが封入されている。
【０００４】
このサージアブソーバにおいては、異常電圧（サージ電圧）が一対の封止電極に印加されると、マイクロギャップでグロー放電がトリガされる。この放電は、導電性皮膜に沿って管体の両端部に達し、最終的に対抗する一対の封止電極間でアーク放電が発生する。これによりサージ電圧は、サージアブソーバに吸収され電子機器等が保護される。
【０００５】
ここで、このサージアブソーバの製造方法としては、ガラスや石英等の絶縁性の管体に導電性皮膜を被着させ、管体の両端部に一対の封止電極を封止し、管体の外周面の導電性皮膜を除去した後、管体の外側からレーザ光を照射させる。この際、レーザ光は、管体を透過し、管体の内周面の導電性皮膜をカットしてマイクロギャップを形成することによりサージアブソーバを得ている（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平０７−０２２１５２号公報（段落番号０００８−００１５段落、第１、２図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のサージアブソーバの製造方法においては、管体の外側からレーザ光を照射させて管体の内周面の導電性皮膜をカットさせるので、管体を必ず透過させる必要があった。そのため、レーザ光の出力や位置調整が難しくマイクロギャップの精度を高く保つことが難しいといった問題があった。
また、レーザ光を外側から照射し、管体を透過させるので、マイクロギャップを深く形成するのが難しく、寿命特性を向上させることが困難であった。
更に、管体はレーザ光を透過させるためガラスや透明な石英等の材料に制限されていたが、ガラスは機械的強度に劣り、また、石英は高価でかつ加工が困難であるといった不都合があった。
更には、レーザ光を管体の外側から照射するので、レーザ光照射前に、管体の外周面に被着された導電性皮膜を除去させるか又は、管体の外周面をマスキングした後、導電性皮膜を被着するといった手間がかかる不都合があった。
加えて、マイクロギャップは、封止電極を封止した後に形成するので、形成する際に発生した導電性皮膜のクズ等が管体内に残り、品質に影響を及ぼす恐れがあった。
【０００８】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、高精度の深い放電ギャップを容易に形成でき、また材料に制限されない管体を備え、耐久性及び品質が向上したサージアブソーバ及びその製造方法、並びにこれに用いるレーザ加工装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、この発明は以下の手段を提供している。
請求項１に係る発明は、絶縁性の管体内周面に被着された導電性皮膜に、放電ギャップを有するサージアブソーバの製造方法であって、前記管体の内周面に導電性皮膜を被着させる被着工程と、該被着工程後、前記管体の一端部から前記管体内部に反射鏡を挿入させ、該反射鏡と前記管体とを相対的に軸線周りで回転させつつ、前記管体の他端部からレーザ光を前記管体内部に照射させて前記反射鏡により前記導電性皮膜に向けて反射させ、導電性皮膜を軸方向に分割するように放電ギャップを形成するレーザ照射工程と、該レーザ照射工程後、前記管体内に不活性ガスを封入し前記管体の両端部をそれぞれ封止電極で封止する封止工程とを有することを特徴とするものである。
【００１０】
この発明に係るサージアブソーバの製造方法においては、レーザ光を反射鏡により導電性皮膜に向けて反射させて、管体内周面の導電性皮膜を軸方向に分割するように放電ギャップを形成するので、従来のように、管体外部から管体を透過させて管体内周面の導電性皮膜にレーザ照射する必要がなく、直接導電性皮膜をレーザ光で焼き切ることができる。よって、導電性皮膜の所定位置に確実にレーザ照射できるので、高精度の放電ギャップを容易に形成することができる。また、導電性皮膜に直接レーザ照射するので、管体内部に至る深い放電ギャップを容易に形成でき、寿命特性を向上させることができる。
また、レーザ照射工程の際に、反射鏡を使用してレーザ光を照射するので、反射鏡で直接確認しながら導電性皮膜にレーザ照射できることからも容易に放電ギャップを形成することができる。
【００１１】
また、従来のように管体の外側からレーザ照射する必要がないので、管体外周面に被着された導電性皮膜を除去したり、予めマスキングするといった手間を省くことができ、作業性を向上させることができる。
更に、管体を透過させないので、管体は従来のようにガラスや透明な石英等のレーザ透過可能な材料に制限する必要がない。よって、機械的強度や加工性の優れた材料を用いることができ、材料の選択性が広がって、寿命を延ばし耐久性を向上させることができる。また、石英等の高価な材料を使用しなくともよいので、部材コストも低減させることもできる。
更には、封着工程前にレーザ照射工程を行うので、放電ギャップ形成の際に発生するクズ等が管体に残りにくいので、品質の向上化を図ることができる。
加えて、管体内周面の導電性皮膜に放電ギャップを形成できるので、大きな放電空間が得られる。よって、安定した放電を実施できるのでサージ電圧の吸収性を向上させることができる。
【００１２】
請求項２に係る発明は、請求項１記載のサージアブソーバの製造方法において、前記レーザ照射工程の際に、前記管体内にガスを流通させることを特徴とするものである。
この発明に係るサージアブソーバの製造方法においては、レーザ照射工程の際に、管体内にガスを流通させるので、放電ギャップを形成する際に発生した導電性皮膜のクズ等をガスによって押し流して除去することができる。よって、クズ等が反射鏡に付着することを防止して、反射鏡の反射率及び視認性の低減を防止することができる。
【００１３】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２記載のサージアブソーバの製造方法において、前記レーザ照射工程後かつ前記封止工程前に、反射鏡を管体の一端部から挿入し、前記管体の他端部から前記放電ギャップの形成具合を検査する検査工程を有することを特徴とするものである。
この発明に係るサージアブソーバの製造方法においては、反射鏡を利用して管体の他端部から放電ギャップの形成具合を検査するので、管体内周面の放電ギャップの状態を容易に観察することができる。よって、放電ギャップの形成不良を高精度に判別することが可能となり、これを修正若しくは排除できるので、高精度の放電ギャップを安定して得ることができ、更に信頼性を向上させることができる。
【００１４】
請求項４に係る発明は、請求項１から３のいずれかに記載のサージアブソーバの製造方法により製造されたことを特徴とするものである。
この発明に係るサージアブソーバにおいては、管体の内側からのレーザ照射によって高精度かつ深い放電ギャップを備えているので、性能及び耐久性を向上させることができる。
【００１５】
請求項５に係る発明は、絶縁性の管体内周面に被着された導電性皮膜に放電ギャップを有するサージアブソーバを製造する際、前記導電性皮膜にレーザ光を照射させて前記放電ギャップを形成するレーザ加工装置であって、  前記管体の他端部から前記管体の内部に向けて前記管体の軸方向と平行にレーザ光を照射するレーザ照射機構と、前記管体内部で前記レーザ光に対抗する位置に配置され、前記レーザ光を前記導電性皮膜に向けて反射させるレーザ反射鏡と、該レーザ反射鏡を、前記管体の一端部から前記管体の内部に向けて前記管体の軸方向に前後移動可能、かつ回転可能に駆動する駆動機構とを備えていることを特徴とするものである。
【００１６】
この発明に係るレーザ加工装置においては、管体内部でレーザ光に対抗する位置に配置され、レーザ光を導電性皮膜に向けて反射させるレーザ反射鏡を備えているので、管体の内周面に被着された導電性皮膜に直接レーザ光を照射できる。よって、導電性皮膜に高精度かつ深い放電ギャップを形成することができる。
また、レーザ反射鏡は、前後移動及び回転が可能なので、管体の内周面軸方向における任意位置に環状に１本又は複数本の放電ギャップを形成することができる。
【００１７】
請求項６に係る発明は、請求項５記載のレーザ加工装置において、前記管体の一端部から前記管体の内部に向けてガスを流通させる送風機構を備えていることを特徴とするものである。
この発明に係るレーザ加工装置においては、管体の一端部から管体の内部に向けてガスを流通させるので、放電ギャップを形成する際に発生した導電性皮膜のクズ等をガスによって押し流して除去することができる。よって、クズ等が反射鏡に付着することはないので、反射鏡の反射率及び視認性の低減を防止することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照し、この発明の一実施の形態について図１から図９を参照して説明する。
図１、図２に示すサージアブソーバ１は、アルミナ等の絶縁性物質からなる管体２と、ＦｅＮｉ系合金等からなる封止電極３、４とを備えたものである。管体２は、円筒形状に形成され、その内周面には導電性皮膜５が被着されている。この導電性皮膜５には、管体２の略中央位置で導電性皮膜５を軸方向に分割するように、マイクロギャップ６（放電ギャップ）が形成されている。
封止電極３は、円柱形状に形成されたフランジ状の大径部３ａと小径部３ｂとを有している。大径部３ａの外径は管体２の外径と同一の大きさに形成され、小径部３ｂの外径は管体２の内周面に被着された導電性皮膜５に当接する大きさに形成されている。また、封止電極４も封止電極３と同様に、大径部４ａ及び小径部４ｂにより構成されている。
【００１９】
これら封止電極３、４は、管体２の両端部にＡｇ、Ａｇ−Ｃｕ、Ａｇ−Ｉｎ系等からなるろう材１５によってそれぞれ溶着されている。また封止電極３、４の小径部３ａ、４ａは、導電性皮膜５に当接しているので、封止電極３、４と導電性皮膜５とは、電気的に接続されている。また、小径部３ａ、４ａと導電性皮膜５とで密閉された管体２の内部空間７には、アルゴンガス、ネオンガス、窒素ガス等の不活性ガスが封入されている。
このサージアブソーバ１は、封止電極３、４を介して例えば、電話機、ファクシミリ、モデム等の通信機器の通信回路に接続されている。
【００２０】
このように構成されたサージアブソーバ１において、雷や静電気等により異常電圧（サージ電圧）が発生した場合には、サージ電圧は封止電極３、４に印加される。印加された電圧は、導電性皮膜５を通じてマイクロギャップ６に達し、強い電界集中を生じさせて沿面放電（グロー放電）を起こさせる。この放電は、導電性皮膜５に沿って管体２の両端部に達し、最終的に対抗する一対の封止電極３、４間でアーク放電を発生させる。これによりサージアブソーバ１は、サージ電圧を吸収することができ、回路を保護することができる。
【００２１】
次に、このサージアブソーバ１の製造方法を、図３から図９を参照して説明する。
図３に示すように、管体２の表面全体に化学的気相成長法（ＣＶＤ法）、無電解メッキ法等の成膜方法によりＭｏ−Ｍｎ層、Ｍｏ−Ｗ層等の導電性皮膜を被着させる。これにより、管体２の外周面には導電性皮膜８が、管体２の内周面には導電性皮膜５がそれぞれ被着される。
【００２２】
次いで、図４に示すレーザ加工装置２０により、導電性皮膜５にマイクロギャップ６を形成させる。図４に示すようにレーザ加工装置２０は、レーザ照射機構２１、レーザ反射鏡２２、駆動機構２３、送風機構２４及び制御部２５を備えている。レーザ照射機構２１、駆動機構２３及び送風機構２４は、制御部２５にそれぞれ接続され、ＣＰＵ等の制御部２５によって制御されている。
レーザ照射機構２１は、管体２の他端部の外側に配置され、管体２内部に向けて軸方向にレーザ照射が可能な機能を有している。レーザ反射鏡２２は、軸部２２ａと軸部２２ａの先端に設けられた反射鏡２２ｂとを有しており、管体２の一端部側に配置されている。この反射鏡２２ｂは、管体２の軸方向に対して４５°の角度をもって形成され、照射されるレーザ光を管体２の軸方向に直交する方向に、即ち、導電性皮膜５に向けて反射可能な機能を有している。
【００２３】
駆動機構２３は、レーザ反射鏡２２と接続されたモータ等で構成されており、レーザ反射鏡２２を管体２の軸方向に前後移動可能に駆動させ、またレーザ反射鏡２２を軸部２２ａの軸線を中心に回転可能に駆動させる機能を有している。送風機構２４は、例えばファンからなる送風源２４ａと送風管２４ｂとから構成され、軸部２２ａの周囲より管体２の内部に高速ガスを流通させる機能を有している。
【００２４】
次いで、図５に示すように、駆動機構２３により、管体２の一端部からレーザ反射鏡２２を挿入し、軸方向中央の所定位置に保持させる。
次いで、図６及び図９（ａ）に示すように、管体２の他端部から反射鏡２２ｂに向けてレーザ照射機構２１よりレーザ光を照射させる。このレーザ照射と同時に、送風機構２４より高速ガスをレーザ照射方向と逆方向に流通させる。更に、レーザ照射の間は、レーザ反射鏡２２を駆動機構２３により回転させる。
照射されたレーザ光は、レーザ反射鏡２２の反射鏡２２ｂで管体２の軸方向に直行する方向に反射され、導電性皮膜５に対して直角に照射される。このレーザ照射により、導電性皮膜５にマイクロギャップ６が形成される。また、高速ガスにより、マイクロギャップ６を形成する際に発生した導電性皮膜５のクズ等が吹き飛ばされて除去される。また、レーザ反射鏡２２を回転させるので、マイクロギャップ６は、導電性皮膜５の内周面全体に渡って均一に環状形成され、かつ、導電性皮膜５を軸方向に分割するように形成される。これら一連の作動は、制御部２５によって制御されている。
【００２５】
ここで、図９（ｂ）に示すようにマイクロギャップ６の形成後、管体２の他端部より反射鏡２２ｂを介してマイクロギャップ６の形成具合を検査する。即ち、反射鏡２２ｂにマイクロギャップ６を写し出し内視鏡のごとく観察する。その検査結果に応じて、必要ならば再度レーザ光を照射してマイクロギャップ６を修正する。
【００２６】
次いで、管体２をレーザ加工装置２０から取り外し、図７及び図９（ｃ）、図９（ｄ）に示すように管体２の両端部と封止電極３、４の大径部３ａ、４ａとの間にろう材１５を挟んで、封止電極３、４の小径部３ｂ、４ｂを管体２内に挿入させる。ここで、ろう材１５は、管体２の端部周方向に波形状となった環体に形成されている。また、その外径は大径部３ａ、４ａと同一の大きさであり、内径は小径部３ｂ、４ｂ以上大きさに形成されている。
この状態においては、管体２の外周面に被着されている導電性皮膜８と封止電極３、４とはろう材１５を介して電気的に接続されている。即ち、管体２の表面全体には導電性皮膜が被着されているので、導電性皮膜８と封止電極３、４とは、管体２の端部に形成された導電性皮膜を介して電気的に接続されている。また、管体２の内部空間７は、封止電極３、４の小径部３ｂ、４ｂの外周面と管体の内周面との間の微小な隙間、及びろう材１５の波形状の隙間を介して管体２の周囲の外気と通じている。
【００２７】
次いで、封止電極３、４が組み合わされた管体２を図示しない封着室に入れ、図８及び図９（ｅ）に示すように導電性皮膜８を負極端子、封止電極３、４を正極端子として、それぞれ電気溶接装置３０と電気接続させる。次いで、図示しない真空ポンプにより封着室から空気を抜き負圧にさせ、その後、封着室内に所定の圧力にて不活性ガスを供給する。これにより管体２の内部空間７は、前述した隙間を介して流入した不活性ガスによって、封着室内と同様に不活性ガスが充満された状態に維持される。
この状態において、電気溶接装置３０により導電性皮膜８と封止電極３、４との間に通電して電気溶接を行う。これにより、管体２と封止電極３、４との間に挟まれて配置されているろう材１５は、抵抗加熱により溶解され管体２と封止電極３、４とをそれぞれ溶着させる。よって、管体２の内部空間７に不活性ガスを封入させた状態で封止電極３、４が封着される。
【００２８】
次いで、封着室より取り出し、管体２の外周面に被着された導電性皮膜８を、希塩酸、希硫酸等の化学的方法、バレル研磨、エッチング等を用いて全て除去させて、サージアブソーバ１を得る。
【００２９】
このサージアブソーバ１の製造方法によれば、レーザ光を反射鏡２２ｂにて反射させて導電性皮膜５を管体２の略中央にて軸方向に分割するようにマイクロギャップ６を形成させることができるので、従来のように管体２の外部から管体２を透過させて導電性皮膜５にレーザ照射する必要がなく、直接導電性皮膜５をレーザ光で焼き切ることができる。よって、導電性皮膜５の所定位置に確実にレーザ照射できるので、高精度のマイクロギャップ６を容易に形成することができる。また、導電性皮膜５に直接レーザ照射できるので、深いマイクロギャップ６を容易に形成でき、寿命特性を向上させることができる。
【００３０】
また、レーザ照射工程の際に、反射鏡２２ｂを使用してレーザ光を照射するので、反射鏡２２で直接確認しながら導電性皮膜５にレーザ照射できることからも容易にマイクロギャップ６を形成することができる。
また、従来のように管体２の外部からレーザ照射する必要がないので、管体２の外周面に被着された導電性皮膜８を先に除去したり、予めマスキングするといった手間を省くことができるので、製造の作業性を向上させることができる。
更に、管体２を透過させずにレーザを照射できるので、管体２は、従来のようにガラスや石英等のレーザ透過可能な材料に制限する必要がない。よって、機械的強度や加工性の優れた材料を使用できるので、寿命を延ばし耐久性を向上させることができる。また、石英等の高価な材料を使用しなくともよいので、部材コストを低減させることができる。
【００３１】
更に、反射鏡２２ｂを利用して管体２の他端部からマイクロギャップ６の形成具合を検査するので、マイクロギャップ６の状態を容易に観察できる。よって、マイクロギャップ６の形成不良を高精度に判別することが可能となり、これを修正若しくは排除できるので、高精度のマイクロギャップ６を安定して得ることでき、信頼性を向上させることができる。
更には、レーザ照射工程の際に、反射鏡２２ｂの周囲に高速ガスを流通させるので、マイクロギャップ６を形成する際に発生した導電性皮膜５のクズを除去できる。よって、品質を向上させることができると共に、クズが反射鏡２２ｂに付着することはないので、反射鏡２２ｂの反射率及び視認性の低減も防ぐことができる。
【００３２】
上述したサージアブソーバ１の製造方法により製造されたサージアブソーバ１においては、管体２の内側からのレーザ照射によって高精度かつ深いマイクロギャップ６を備えるので、耐久性及び性能を向上させることができる。
【００３３】
レーザ加工装置２０においては、管体２内部でレーザ光に対抗する位置に配置され、レーザ光を導電性皮膜５に向けて反射させる反射鏡２２ｂを備えているので、導電性皮膜５に直接レーザ光を照射できる。よって、導電性皮膜５に高精度かつ深いマイクロギャップ６を形成することができる。
また、レーザ反射鏡２２は、前後移動及び回転が可能なので、管体２の内周面軸方向における任意位置に環状にマイクロギャップ６を容易に形成することができる。
更に、送風機構２４を備えているので、マイクロギャップ６を形成する際に発生した導電性皮膜５のクズ等を除去できる。よって、クズ等が反射鏡２２ｂに付着することはないので、反射鏡２２ｂの反射率及び視認性の低減を防止することができる。
【００３４】
なお、本実施形態によるサージアブソーバ１においては、管体の外形を円状としたが、これに限られるものではなく、例えば、図１０（ａ）に示すように管体４０の外形を四角形状のような多角形状に形成した構成としても良い。この場合においては、サージアブソーバの転がり等の防止、安定化が向上し、チップ化の容易な構成にすることができる。また、図１０（ｂ）に示すようにサージアブソーバ５０の封止電極６０、７０の外形のみを四角形状のような多角形状に形成した構成としても良い。
また、反射鏡２２ｂを利用してマイクロギャップ６の形成具合を検査したが、レーザ反射鏡２２の反射鏡２２ｂではなく、検査工程にのみ使用する他の反射鏡を管体２に挿入し、検査を実施してもよい。
更に、マイクロギャップ６を形成する際に、レーザ反射鏡２２を回転させた製造方法としたが、管体２を回転させてマイクロギャップ６を形成した製造方法
にしても良い。更には、除去工程において導電性皮膜８を全て除去したが、少なくとも封止電極３、４とが導電性皮膜８を介して電気的に接続されないよう、導電性皮膜８を部分的に除去しても良い。この際、管体２の軸方向に導電性皮膜８が分割されて、内部のマイクロギャップ６よりも高抵抗な間隔とされる。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のサージアブソーバの製造方法によれば、レーザ光を反射鏡により反射させて、管体内周面の導電性皮膜を軸方向に分割するように放電ギャップを形成させることができるので、直接導電性皮膜をレーザ光で焼き切ることができ、高精度かつ深い放電ギャップを容易に形成することができると共に、品質及び寿命特性を向上させることができる。
また、反射鏡を使用してレーザ光を照射するので、反射鏡で直接確認しながら導電性皮膜にレーザ照射できると共に、管体外周面の導電性皮膜の除去やマスキングが不要なので、作業性を向上させることができる。
更に、管体を透過させないので、機械的強度や加工性の優れた材料を自由に選択することができ、耐久性等を向上させることができると共に、低コストの材料も用いることができる。
更には、封着工程前にレーザ照射工程を行うので、放電ギャップ形成の際に発生するクズ等が管体に残りにくいので、品質の向上化を図ることができる。
【００３６】
本発明のサージアブソーバによれば、管体の内側からのレーザ照射によって高精度かつ深い放電ギャップを備えているので、性能及び耐久性を向上させることができる。
【００３７】
本発明のレーザ加工装置においては、管体内部でレーザ光に対抗する位置に配置され、レーザ光を導電性皮膜に向けて反射させるレーザ反射鏡を備えているので、管体の内周面に被着された導電性皮膜に直接レーザを照射でき、高精度かつ深い１本又は複数本の放電ギャップを管体の内周面軸方向における任意位置に環状に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るサージアブソーバの一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すサージアブソーバのＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図３】本発明に係るサージアブソーバの製造方法の一実施形態における、導電性皮膜を被着した後のサージアブソーバを示す断面図である。
【図４】本発明に係るレーザ加工装置の一実施形態を示す構成図である。
【図５】本発明に係るサージアブソーバの製造方法の一実施形態における、レーザ加工前の状態を示すサージアブソーバの断面図である。
【図６】本発明に係るサージアブソーバの製造方法の一実施形態における、レーザ照射時の状態を示すサージアブソーバの断面図である。
【図７】本発明に係るサージアブソーバの製造方法の一実施形態における、ろう材を配した状態を示すサージアブソーバの断面図である。
【図８】本発明に係るサージアブソーバの製造方法の一実施形態における、電気溶接前の状態を示すサージアブソーバの断面図である。
【図９】本発明に係るサージアブソーバの製造方法の一実施形態を工程順（ａ：レーザ照射時、ｂ：放電ギャップ検査時、ｃ：電気溶接前の部材分解状態、ｄ：電気溶接前の部材組立時、ｅ：電気溶接時の配線状態）に示した説明図である。
【図１０】本発明に係るサージアブソーバの一実施形態における他の例を示す管体の斜視図及びサージアブソーバの斜視図である。
【符号の説明】
１    サージアブソーバ
２    管体
３、４    封止電極
５、８    導電性皮膜
６    マイクロギャップ（放電ギャップ）
２０    レーザ加工装置
２１    レーザ照射機構
２２    レーザ反射鏡
２２ｂ    反射鏡
２３    駆動機構
２４    送風機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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