(57)【要約】【課題】溶融金属中の気泡の除去を効率よく行い、かつ材料の有効な利用を図る。【解決手段】排気弁２４ａを閉じ、排気弁２４ｂを開ける。そして不活性ガス導入管１１ａから不活性ガスをタンク２ａ内に導入する。タンク２ａの圧力はタンク２ｂの圧力よりも高まり、タンク２ａ内の溶融半田１の液面が下がる。タンク２ａ，２ｂの間に圧力差が発生し、溶融半田１が溶融半田室４を介してタンク２ａ側からタンク２ｂ側へと移動する。気泡２５はタンク２ｂへと移動し、タンク２ｂにおいて気泡２５が除去される。気泡２５を除去するに際しては、溶融半田１を半田吐出装置１０１から排出する必要がなく、溶融半田の材料を有効に利用できる。【選択図】　　　　図２
2004034138.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融金属によって充填される溶融金属室と、
いずれも前記溶融金属室に連通して前記溶融金属を格納する第１及び第２タンクと
を備え、
前記第１タンクと前記第２タンクとの間に圧力差を発生させ、前記溶融金属を前記溶融金属室を介して前記第１タンクと前記第２タンクとの間で移動させ、
前記溶融金属室において前記溶融金属を加圧して前記溶融金属を吐出する、金属吐出装置。
【請求項２】
それぞれ前記第１及び第２タンクに設けられ、各々がガスを導入する第１及び第２ガス導入管と、
それぞれ前記第１及び第２タンクに設けられ、各々が前記第１及び第２タンクの前記ガスを排出する第１及び第２ガス排出管と、
それぞれ前記第１及び第２タンクにおける前記溶融金属の液面を検出する第１及び第２液面検出センサと、
前記第１及び第２液面検出センサの出力に基づいて、前記第１及び前記第２ガス排出管を介しての前記ガスの排出の可否を制御するコントローラと、
を更に備える、請求項１記載の金属吐出装置。
【請求項３】
前記第１及び前記第２ガス排出管のいずれかが前記ガスを排出しない場合に、前記第１及び第２タンクを加振する加振機構
を更に備える、請求項２記載の金属吐出装置。
【請求項４】
前記第２タンクを排気する排気機構を更に備える、請求項１記載の金属吐出装置。
【請求項５】
前記第２タンクと前記溶融金属室との間を接続する金属供給路を更に備え、
前記金属供給路の途中には隘路が設けられる、請求項１記載の金属吐出装置。
【請求項６】
前記溶融金属室を介して前記第１タンクから前記第２タンクへと前記溶融金属を移動させ、
前記溶融金属室を経由しない別経路を介して前記第２タンクから前記第１タンクへと前記溶融金属を移動させる、請求項１記載の金属吐出装置。
【請求項７】
前記第２タンクは前記第１タンクの上方に配置される、請求項６記載の金属吐出装置。
【請求項８】
溶融金属によって充填される溶融金属室と、
前記溶融金属室に連通して前記溶融金属を格納するタンクと、
前記タンク内の前記溶融金属の液面に浮遊する浮遊反射板と、
前記浮遊反射板の上側の面までの距離を測定する光学的検出器と
を備え、
前記溶融金属室において前記溶融金属を加圧して前記溶融金属を吐出する、金属吐出装置。
【請求項９】
前記浮遊反射板はその下側の面に突起部を有する、請求項８記載の金属吐出装置。
【請求項１０】
溶融金属を吐出する吐出用開口部を有するノズルと、
前記溶融金属の吐出方向と反対側から前記ノズルに取り付けられて、前記ノズルと共に、前記溶融金属によって充填される溶融金属室を形成するダイアフラムと、
前記ノズルとは反対側から前記溶融金属室に設けられ、前記溶融金属を加圧する加圧機構と、
前記ノズルを前記ダイアフラムに取り付ける押さえ板と、
前記押さえ板を前記吐出方向側から前記ダイアフラムに締め付けるビスと、
前記ダイアフラムに取り付けられる弾性体と、
を備え、
前記ダイアフラムは、前記加圧機構が設けられて前記吐出方向に突出する中央部と、その周囲とを有し、
前記ノズルは前記中央部においてのみ設けられ、
前記押さえ板は、前記中央部を受ける凹部と、前記周囲と当接する接触部とを有し、
前記ビスは前記接触部と前記周囲とをねじ止めする、金属吐出装置。
【請求項１１】
前記中央部の側面と前記凹部との間に連通する真空吸引配管と、
前記真空吸引配管に設けられた圧力計と
を更に備える、請求項１０記載の金属吐出装置。
【請求項１２】
前記凹部の側面において、前記中央部の側面に向けて開く凹部であるガス溜まり部が設けられ、
前記凹部の底において、前記凹部の側面から前記吐出用開口部に向いて伸びる溝が設けられ、
前記凹部の側面の高さに配置され、前記ガス溜まり部を介して前記溝に連通し、不活性ガスを導入する雰囲気ガス導入管
を更に備える、請求項１０記載の金属吐出装置。
【請求項１３】
溶融金属を吐出する吐出用開口部を有するノズルと、
前記溶融金属の吐出方向と反対側から前記ノズルに取り付けられて、前記ノズルと共に、前記溶融金属によって充填される溶融金属室を形成するダイアフラムと、
前記ダイアフラムと前記ノズルとの間に介在する金属シールと
を備える金属吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は溶融金属を吐出する技術に関し、例えば半田バンプの形成のために溶融半田を吐出する技術に適用することができる。
【０００２】
【従来の技術】
図１９は従来の半田吐出装置の構造を模式的に例示する断面図である。溶融半田１はタンク２内に格納されており、半田供給路３を介して溶融半田室４に至る。溶融半田室４は、吐出用開口部５が開けられたノズル６を下方から、上方のダイアフラム７へと、押さえ板１７によって取り付けることによって形成されている。溶融半田室４にはノズル６と反対側から、即ちダイアフラム７に対して、加圧機構たる圧電素子８が設けられており、溶融半田室４を充填する溶融半田１を加圧する。当該加圧によって溶融半田１が溶融半田室４から吐出用開口部５を介して下方へ吐出される。つまりダイアフラム７は溶融半田１が吐出する方向と反対側からノズル６に取り付けられている。溶融半田１が液体のまま吐出されるように、タンク２はヒータ９で、半田供給路３及び溶融半田室４はヒータ１０で、それぞれ加熱される。
【０００３】
溶融半田１は吐出用開口部５から吐出される際、雰囲気ガス導入管１６から与えられる不活性ガス（但し本出願においては、これは窒素ガスをも含む概念である）が吹き付けられ、溶融半田１の表面が酸化されることを防止する。
【０００４】
溶融半田室４にはドレイン穴１３が接続されており、両者の間はドレイン蓋１４によって開閉される。溶融半田室４において溶融半田１中に気泡が生じた場合、ドレイン穴１３から溶融半田１を排出し、別途新たに溶融半田１をタンク２へ供給する。
【０００５】
タンク２には不活性ガス導入管１１及び不活性ガス排出管１２が挿入されており、不活性ガス排出管１２には排気弁２４が設けられている。タンク２は半田供給路３、不活性ガス導入管１１、及び不活性ガス排出管１２を除いて密閉されている。不活性ガス排出管１２を閉め、ドレイン蓋１４を開け、不活性ガス導入管１１から不活性ガスを導入することにより、タンク２において溶融半田１が加圧される。当該加圧によって溶融半田１はドレイン穴１３から排出半田１５として排出され、排出半田回収箱２０を用いて回収される。
【０００６】
タンク２の一部には透光性の窓、例えばガラス窓１８が設けられ、液面検出センサ１９によって溶融半田１の表面の光学的な検出を可能としている。これにより、タンク２から溶融半田１の残量を検出し、以て溶融半田１が排出されたか否かを検出することができる。
【０００７】
図２０はノズル６が押さえ板１７によってダイアフラム７へと取り付けられる状態の詳細を示す断面図である。吐出方向側からビス２２が押さえ板１７及びノズル６を貫通し、ダイアフラム７へとノズル６を締め付けている。ダイアフラム７にはノズル６に向かって開く溝２３が設けられており、溝２３には弾性体たるＯリング２１が填められ、上記締め付けの効果を高めている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術によれば、排出半田１５をそのまま半田吐出装置に再使用することができない。よって半田の損失が大きかった。また高温の排出半田１５を排出することになる。
【０００９】
また溶融半田１の液面は酸化して不安定に変色するので、溶融半田１の残量をその液面までの距離の検出によって判断する場合に不正確となる。
【００１０】
図２１はＯリング２１近傍の詳細を示す断面図である。ビス２２の締め付けに対するＯリング２１の反発力Ｇにより、ノズル６が変形して撓みＱが生じている。そして撓みＱが生じることにより溶融半田室４と溝２３が連通し、その結果、溶融半田１は幅Ｓで伸縮する。このような溶融半田１の伸縮は溶融半田室４を充填する溶融半田１への加圧を妨げる。
【００１１】
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、溶融金属中の気泡の除去を効率よく行い、かつ材料の有効な利用を第１の目的とする。
【００１２】
また、溶融金属の液面を精度よく検出することを第２の目的とする。
【００１３】
また、ノズルの変形を防止して溶融金属への加圧を妨げないことを第３の目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
この発明のうち請求項１にかかるものは、溶融金属によって充填される溶融金属室と、いずれも前記溶融金属室に連通して前記溶融金属を格納する第１及び第２タンクとを備える金属吐出装置であって、前記第１タンクと前記第２タンクとの間に圧力差を発生させ、前記溶融金属を前記溶融金属室を介して前記第１タンクと前記第２タンクとの間で移動させ、前記溶融金属室において前記溶融金属を加圧して前記溶融金属を吐出する。
【００１５】
この発明のうち請求項２にかかるものは、請求項１記載の金属吐出装置であって、それぞれ前記第１及び第２タンクに設けられ、各々がガスを導入する第１及び第２ガス導入管と、それぞれ前記第１及び第２タンクに設けられ、各々が前記第１及び第２タンクの前記ガスを排出する第１及び第２ガス排出管と、それぞれ前記第１及び第２タンクにおける前記溶融金属の液面を検出する第１及び第２液面検出センサと、前記第１及び第２液面検出センサの出力に基づいて、前記第１及び前記第２ガス排出管を介しての前記ガスの排出の可否を制御するコントローラと、を更に備える。
【００１６】
この発明のうち請求項３にかかるものは、請求項２記載の金属吐出装置であって、前記第１及び前記第２ガス排出管のいずれかが前記ガスを排出しない場合に、前記第１及び第２タンクを加振する加振機構を更に備える。
【００１７】
この発明のうち請求項４にかかるものは、請求項１記載の金属吐出装置であって、前記第２タンクを排気する排気機構を更に備える。
【００１８】
この発明のうち請求項５にかかるものは、請求項１記載の金属吐出装置であって、前記第２タンクと前記溶融金属室との間を接続する金属供給路を更に備え、前記金属供給路の途中には隘路が設けられる。
【００１９】
この発明のうち請求項６にかかるものは、請求項１記載の金属吐出装置であって、前記溶融金属室を介して前記第１タンクから前記第２タンクへと前記溶融金属を移動させ、前記溶融金属室を経由しない別経路を介して前記第２タンクから前記第１タンクへと前記溶融金属を移動させる。
【００２０】
この発明のうち請求項７にかかるものは、請求項６記載の金属吐出装置であって、前記第２タンクは前記第１タンクの上方に配置される。
【００２１】
この発明のうち請求項８にかかるものは、溶融金属によって充填される溶融金属室と、前記溶融金属室に連通して前記溶融金属を格納するタンクと、前記タンク内の前記溶融金属の液面に浮遊する浮遊反射板と、前記浮遊反射板の上側の面までの距離を測定する光学的検出器とを備え、前記溶融金属室において前記溶融金属を加圧して前記溶融金属を吐出する、金属吐出装置である。
【００２２】
この発明のうち請求項９にかかるものは、請求項８記載の金属吐出装置であって、前記浮遊反射板はその下側の面に突起部を有する。
【００２３】
この発明のうち請求項１０にかかるものは、溶融金属を吐出する吐出用開口部を有するノズルと、前記溶融金属の吐出方向と反対側から前記ノズルに取り付けられて、前記ノズルと共に、前記溶融金属によって充填される溶融金属室を形成するダイアフラムと、前記ノズルとは反対側から前記溶融金属室に設けられ、前記溶融金属を加圧する加圧機構と、前記ノズルを前記ダイアフラムに取り付ける押さえ板と、前記押さえ板を前記吐出方向側から前記ダイアフラムに締め付けるビスと、前記ダイアフラムに取り付けられる弾性体と、を備える金属吐出装置であって、前記ダイアフラムは、前記加圧機構が設けられて前記吐出方向に突出する中央部と、その周囲とを有し、前記ノズルは前記中央部においてのみ設けられ、前記押さえ板は、前記中央部を受ける凹部と、前記周囲と当接する接触部とを有し、前記ビスは前記接触部と前記周囲とをねじ止めする。
【００２４】
この発明のうち請求項１１にかかるものは、請求項１０記載の金属吐出装置であって、前記中央部の側面と前記凹部との間に連通する真空吸引配管と、前記真空吸引配管に設けられた圧力計とを更に備える。
【００２５】
この発明のうち請求項１２にかかるものは、請求項１０記載の金属吐出装置であって、前記凹部の側面において、前記中央部の側面に向けて開く凹部であるガス溜まり部が設けられ、前記凹部の底において、前記凹部の側面から前記吐出用開口部に向いて伸びる溝が設けられ、前記凹部の側面の高さに配置され、前記ガス溜まり部を介して前記溝に連通し、不活性ガスを導入する雰囲気ガス導入管を更に備える。
【００２６】
この発明のうち請求項１３にかかるものは、溶融金属を吐出する吐出用開口部を有するノズルと、前記溶融金属の吐出方向と反対側から前記ノズルに取り付けられて、前記ノズルと共に、前記溶融金属によって充填される溶融金属室を形成するダイアフラムと、前記ダイアフラムと前記ノズルとの間に介在する金属シールとを備える金属吐出装置である。
【００２７】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１及び図２は本実施の形態にかかる半田吐出装置１０１の構造及び動作を模式的に示す断面図である。
【００２８】
タンク２ａ，２ｂはそれぞれ半田供給路３ａ，３ｂを介して溶融半田室４と連通している。溶融半田１はタンク２ａ，２ｂに格納され、半田供給路３ａ，３ｂを介して溶融半田室４に至り、溶融半田室４を充填する。但し本出願で「溶融半田１が溶融半田室４を充填する」とは溶融半田１の他に気泡２５が存在する場合をも含む概念である。気泡２５が存在する場合、溶融半田１「中に」気泡２５が存在する、との表現をも採用する。
【００２９】
タンク２ａ，２ｂには、それぞれの内圧を制御する機構が設けられている。当該機構として、タンク２ａには不活性ガス導入管１１ａ及び不活性ガス排出管１２ａが挿入されており、不活性ガス排出管１２ａには排気弁２４ａが設けられている。同様に、タンク２ｂには不活性ガス導入管１１ｂ及び不活性ガス排出管１２ｂが挿入されており、不活性ガス排出管１２ｂには排気弁２４ｂが設けられている。タンク２ａは半田供給路３ａ、不活性ガス導入管１１ａ、及び不活性ガス排出管１２ａを除いて密閉されている。タンク２ｂは半田供給路３ｂ、不活性ガス導入管１１ｂ、及び不活性ガス排出管１２ｂを除いて密閉されている。
【００３０】
溶融半田室４において溶融半田１中に気泡２５が存在した場合には、例えば排気弁２４ａを閉じ、排気弁２４ｂを開ける。そして不活性ガス導入管１１ａから不活性ガスをタンク２ａ内に導入する。これにより、タンク２ａの圧力はタンク２ｂの圧力よりも高まり、タンク２ａ内の溶融半田１の液面を押し下げる。このようにしてタンク２ａ，２ｂの間に圧力差を発生させ、溶融半田１を溶融半田室４を介してタンク２ａ側からタンク２ｂ側へと移動させる。これにより気泡２５はタンク２ｂへと移動し、タンク２ｂにおいて気泡２５が除去される（図２）。
しかも気泡２５を除去するに際しては、溶融半田１を半田吐出装置１０１から排出する必要がないので、溶融半田の材料を有効に利用することができる。
【００３１】
溶融半田室４には下方から、吐出用開口部５が開けられたノズル６が、押さえ板１７によって取り付けられている。溶融半田室４には上方からダイアフラム７が、ダイアフラム７には更に圧電素子８が、それぞれ設けられており、溶融半田室４を充填する溶融半田１を加圧する。当該加圧によって溶融半田１が溶融半田室４から吐出用開口部５を介して吐出される。溶融半田１は吐出用開口部５から吐出される際、雰囲気ガス導入管１６から与えられる不活性ガスが吹き付けられ、溶融半田１の表面が酸化されることを防止する。
【００３２】
溶融半田１が液体のまま吐出されるように、タンク２ａ，２ｂはそれぞれヒータ９ａ，９ｂで、半田供給路３ａ及び溶融半田室４はヒータ１０ａで、半田供給路３ｂ及び溶融半田室４はヒータ１０ｂで、それぞれ加熱される。ヒータ９ａ，９ｂは一体として構成してもよく、またヒータ１０ａ，１０ｂを一体として構成してもよく、更にはヒータ９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂを一体として構成してもよい。
【００３３】
吐出用開口部５から溶融半田１を吐出する際には、タンク２ａ内の溶融半田１の液面を押し下げ、タンク２ｂ内の溶融半田１の液面との間に高低差が生じている状態であってよい。もちろん、図１に示された状態から気泡２５を取り除いた状態を得てから、排気弁２４ａ，２４ｂを開け、不活性ガス導入管１１ａからの不活性ガスの導入を停止し、吐出用開口部５から溶融半田１を吐出してもよい。
【００３４】
また、気泡２５を除去するのに、タンク２ａ，２ｂの間に圧力差を発生させ、溶融半田１を溶融半田室４を介してタンク２ｂ側からタンク２ａ側へと移動させてもよい。この場合には気泡２５はタンク２ａへと移動し、タンク２ａにおいて気泡２５が除去される。具体的には、排気弁２４ｂを閉じ、排気弁２４ａを開ける。そして不活性ガス導入管１１ｂから不活性ガスをタンク２ｂ内に導入する。
これにより、タンク２ｂの圧力はタンク２ａの圧力よりも高まり、タンク２ｂ内の溶融半田１の液面を押し下げる。
【００３５】
また、溶融半田１をタンク２ａからタンク２ｂへと、またタンク２ｂからタンク２ａへと、交互に移動させてもよい。このような動作により、気泡２５の除去はより効果的に行われる。
【００３６】
タンク２ａ，２ｂのそれぞれの一部には透光性の窓、例えばガラス窓１８ａ，１８ｂが設けられる。液面検出センサ１９ａ，１９ｂはそれぞれガラス窓１８ａ，１８ｂを通して、タンク２ａ，２ｂに格納された溶融半田１の表面を光学的に検出する。排気弁２４ａ，２４ｂの開閉は、液面検出センサ１９ａ，１９ｂによって検出された溶融半田１の液面の高さ、即ちタンク２ａ，２ｂにおける溶融半田１が所定の下限値に達したことを契機として採用することができる。
【００３７】
実施の形態２．
図３は本実施の形態にかかる半田吐出装置１０２の構造及び動作を模式的に示す断面図である。吐出装置１０２は実施の形態１で示された吐出装置１０１に対して、センサアンプ２５、コントローラ２６、加振機構２７を追加した構成を備えている。
【００３８】
センサアンプ２５は、液面検出センサ１９ａ，１９ｂによってそれぞれ検出された、タンク２ａ，２ｂにおける溶融半田１の液面の高さが、所定の下限値Ｌに達したとの情報をコントローラ２６へ伝達する。コントローラ２６は当該情報及び別途に入力する動作指令ＣＮＴに基づいて、排気弁２４ａ，２４ｂの開閉、及び加振機構２７の動作を制御する。加振機構２７は稼働部２７ａと衝突部２７ｂとを備え、稼働部２７ａが動作することにより、衝突部２７ｂがタンク２ａ，２ｂを囲む壁に衝突し、これを加振する。
【００３９】
図４は半田吐出装置１０２の動作を説明するタイミングチャートである。時刻ｔ１においてコントローラ２６へ動作指令ＣＮＴが与えられる。時刻ｔ１に至る迄は、液面検出センサ１９ａ，１９ｂはタンク２ａ，２ｂにおける溶融半田１の液面の高さがいずれも下限値Ｌには達していないことを検出している。液面検出センサ１９ａ，１９ｂのこのような状態は図４において「非Ｌ」として示されている。また時刻ｔ１よりも前にはバルブ２４ａ，２４ｂが開いており、この状態は図４において「開」として示されている。また時刻ｔ１よりも前には加振機構２７も動作しておらず、図４において「停止」として示されている。
【００４０】
時刻ｔ１においてコントローラ２６が動作指令ＣＮＴを受けると、バルブ２４ａを閉じて不活性ガス排出管１２ａによるガスの排出をさせない一方、加振機構２７を稼働させる。これらの状態は図４においてそれぞれ「閉」、「稼働」として示されている。不活性ガス導入管１１ａからは不活性ガスがタンク２ａに導入されるので、タンク２ａの内圧は高まり、タンク２ａ内の溶融半田１の液面は低下し、溶融半田室４内の溶融半田１はタンク２ａ側からタンク２ｂ側へと移動する。タンク２ａ内の溶融半田１の液面が低下し、時刻ｔ２において当該液面が下限値Ｌに到達する。この状態は液面検出センサ１９ａによって検出され、図４において「Ｌ」として示されている。
【００４１】
コントローラ２６は、タンク２ａ内の溶融半田１の液面が所定の下限値Ｌに達したとの情報を受け、バルブ２４ａを開いて不活性ガス排出管１２ａによってタンク２ａ内のガスを排出させ、加振機構２７を停止する。これにより、溶融半田１はタンク２ｂ側からタンク２ａ側へと戻る。つまり時刻ｔ１乃至時刻ｔ２の期間において、溶融半田室４内の溶融半田１がタンク２ａ側からタンク２ｂ側へと移動する。検出タンク２ａ内の溶融半田１の液面が下限値Ｌに到達していると液面検出センサ１９ａによって検出される期間Δｔａは短く、例えば加振機構２７が稼働する時間よりも短い。
【００４２】
時刻ｔ２の後、コントローラ２６は待機時間Ｔを待って、時刻ｔ３（＝ｔ２＋Ｔ）においてバルブ２４ｂを閉じて不活性ガス排出管１２ｂによるガスの排出をさせない一方、加振機構２７を稼働する。不活性ガス導入管１１ｂからは不活性ガスがタンク２ｂに導入されるので、タンク２ｂの内圧は高まり、タンク２ｂ内の溶融半田１の液面は低下し、溶融半田室４内の溶融半田はタンク２ｂ側からタンク２ａ側へと移動する。タンク２ｂ内の溶融半田１の液面が低下し、時刻ｔ４において当該液面が下限値Ｌに到達する。この状態は液面検出センサ１９ｂによって検出される。
【００４３】
コントローラ２６は、タンク２ｂ内の溶融半田１の液面が所定の下限値Ｌに達したとの情報を受け、バルブ２４ｂを開いて不活性ガス排出管１２ｂによってタンク２ｂ内のガスを排出させ、加振機構２７を停止する。これにより、溶融半田１はタンク２ａ側からタンク２ｂ側へと戻る。つまり時刻ｔ３乃至時刻ｔ４の期間において、溶融半田室４内の溶融半田１がタンク２ｂ側からタンク２ａ側へと移動する。検出タンク２ａ内の溶融半田１の液面が下限値Ｌに到達していると液面検出センサ１９ａによって検出される期間Δｔｂは短く、例えば加振機構２７が稼働する時間よりも短い。
【００４４】
一旦コントローラ２６に動作指令ＣＮＴを与えることにより、図４で示された動作が行われ、溶融半田１が元の状態に戻る。実施の形態１で既述したような溶融半田１をタンク２ａからタンク２ｂへと、またタンク２ｂからタンク２ａへと、交互に移動させることを自動的に行ってもよい。この場合、気泡２５の除去を効率的に行うことができる。
【００４５】
なお、本実施の形態において、特に加振機構２７を設けなくても上記効果を得ることができる。しかし、溶融半田１の移動時にタンク２ａ，２ｂを加振することにより、溶融半田室４の壁面に付着した気泡を、溶融半田１中に浮遊させ、より効率的に気泡２５の除去を行うことができる。
【００４６】
コントローラ２６に動作指令ＣＮＴを一旦与えることにより、タンク２ａからタンク２ｂへ、そしてタンク２ｂからタンク２ａへの、溶融半田１の往復動作を複数回行ってもよい。
【００４７】
実施の形態３．
図５は本実施の形態にかかる半田吐出装置１０３の構造を模式的に示す断面図である。吐出装置１０３は実施の形態１で示された吐出装置１０１に対して、排気機構２８、排気弁２９、遮断弁３０ａを追加した構成を備えている。
【００４８】
排気機構２８は排気弁２９を介して、排気弁２４ｂよりもタンク２ｂ寄りの位置で不活性ガス排出管１２ｂに設けられている。また遮断弁３０ａは半田供給路３ｂの途中に設けられている。
【００４９】
まず排気弁２９を閉じ、遮断弁３０ａを開き、半田吐出装置１０３を半田吐出装置１０１と同じ動作を行わせ得る状態にする。そして実施の形態１に示されたように、排気弁２４ａを閉じて、排気弁２４ｂが開いた状態で、不活性ガス導入管１１ａから不活性ガスを導入し、タンク２ａ側からタンク２ｂ側へと溶融半田１を移動させる。例えばタンク２ａ内の溶融半田１の液面の高さが、所定の下限値となるまで溶融半田１を移動させる。
【００５０】
その後に遮断弁３０ａを閉じ、更にその後に排気弁２４ｂを閉じ、排気弁２９を開ける。これにより、タンク２ｂ内は排気機構２８により、排気弁２９、不活性ガス排出管１２ｂを介して排気される。かかる排気により、タンク２ｂ内は減圧雰囲気となり、タンク２ｂ内での溶融半田１に含まれる気泡の放出が促進される。
【００５１】
かかる排気を一定時間行った後、排気弁２９を閉じ、排気弁２４ｂを開けて不活性ガス排出管１２ｂからの大気流入を許し、遮断弁３０ａを開けて溶融半田１の液面を元の状態に戻す。
【００５２】
当該排気を効率よく行うため、排気の際には、不活性ガス導入管１１ｂからの不活性ガスの導入は避ける方が望ましい。
【００５３】
排気機構２８の構成としては、図５に示されたように、真空ポンプ２８ａ及び、これと排気弁２９との間に設けられた排気配管２８ｂを例示することができる。
【００５４】
実施の形態４．
図６は本実施の形態にかかる半田吐出装置１０４の構造を模式的に示す断面図である。吐出装置１０４は実施の形態１で示された吐出装置１０１に対して、遮断弁３０ｂ、隘路３１、リターン配管３２、リターン遮断弁３３ａを追加した構成を有している。但し図６では図面の繁雑を避けるために、ガラス窓１８ａ，１８ｂ、液面検出センサ１９ａ，１９ｂの図示を省略している。
【００５５】
遮断弁３０ｂは半田供給路３ｂとタンク２ｂとの境界近傍に設けられる。また隘路３１は半田供給路３ｂの途中に設けられ、半田供給路３ｂよりも小径に構成されている。リターン配管３２は第１タンク２ａと第２タンク２ｂとの間に接続され、リターン遮断弁３３ａによって第１タンク２ａと第２タンク２ｂとの間の連通の可否が設定される。リターン配管３２の第１タンク２ａ側の端３２ａは第１タンクにおいて溶融半田１には接触しない位置に配置される。またリターン配管３２の第２タンク２ｂ側の端３２ｂは第２タンクにおいて溶融半田１中に浴する位置に配置される。
【００５６】
図７は遮断弁３０ｂ近傍の構成を模式的に示す断面図である。遮断弁３０ｂはテーパ面３０１と、テーパ面３０１に嵌合する先端部３０２ａを有する桿状体３０２とを備えている。テーパ面３０１は、第２タンク２ｂの底と半田供給路３ｂとの境界に設けられ、第２タンク２ｂ側から半田供給路３ｂ側に向かって窄まる。桿状体３０２は先端部３０２ａを支持する支持体３０２ｂを更に有している。
桿状体３０２は、図６及び図７の白抜き矢印で示されたように上下動して、テーパ面３０１に先端部３０２ａを嵌合させたり、抜き去ったりする。このような動作により、遮断弁３０ｂは半田供給路３ｂとタンク２ｂとの連通の可否を設定する。但し遮断弁３０ｂの構成は、図７に例示された構成に限定されることなく、他の公知の構造を採用することができる。
【００５７】
図８は遮断弁３０ｂの他の構造を例示する断面図である。桿状体３０２の先端部３０２ａは平板状であり、タンク２ｂの底に当接することにより、半田供給路３ｂの上端を塞ぐ。
【００５８】
隘路３１は図７に示されるように半田供給路３ｂと平行な断面を呈していてもよいし、図８に示されるように半田供給路３ｂに対して傾斜する断面を呈していてもよい。
【００５９】
半田吐出装置１０４の操作は、まずリターン遮断弁３３ａを閉じ、遮断弁３０ｂを開き、半田吐出装置１０４を半田吐出装置１０１と同じ動作を行わせ得る状態にする。そして実施の形態１に示されたように、排気弁２４ａを閉じて、排気弁２４ｂが開いた状態で、不活性ガス導入管１１ａから不活性ガスを導入し、タンク２ａ側からタンク２ｂ側へと溶融半田１を移動させる。例えばタンク２ａ内の溶融半田１の液面の高さが、所定の下限値となるまで溶融半田１を移動させる。
【００６０】
その後、遮断弁３０ｂを閉じて、半田供給路３ｂから溶融半田室４へと溶融半田１が戻ることを防止する。そして排気弁２４ａを開けて、タンク２ａの内圧を大気圧に戻す。そしてリターン遮断弁３３ａを開き、排気弁２４ｂを閉じ、不活性ガス導入管１１ｂから不活性ガスを導入する。これによりタンク２ｂの内圧は高められ、リターン配管３２の端３２ｂから端３２ａへと溶融半田１が移動する。
【００６１】
半田吐出装置１０４では、半田吐出装置１０１と同様にタンク２ａからタンク２ｂへと溶融半田１を移動させて気泡をタンク２ｂにおいて放出することに加え、その後にタンク２ｂからタンク２ａへと溶融半田１を戻す際には溶融半田室４を経由しない別経路、即ちリターン配管３２を介して溶融半田１を移動させる。
よって気泡が溶融半田室４へと再混入することを防止できる。
【００６２】
隘路３１は隘路３１に至るまでの半田供給路３ｂにおける溶融半田１の移動速度を抑制する。よって溶融半田１がタンク２ａからの気泡を巻き込んだり、半田供給路３ａ，３ｂで溶融半田１が途切れることを防止する。隘路３１は遮断弁３０ｂ、リターン配管３２、リターン遮断弁３２の存否によらずその効果を与える。よって半田吐出装置１０４において用いられるのみならず、本実施の形態以外の他の実施の形態で説明される半田吐出装置に適用することができる。
【００６３】
実施の形態５．
図９乃至図１１は本実施の形態にかかる半田吐出装置１０５の構造及び動作を模式的に示す断面図である。吐出装置１０５は実施の形態４で示された吐出装置１０４に対して、タンク２ｂをタンク２ａよりも上方に配置した変形を行って得られる構造を有している。かかる変形に伴い、タンク２ｂの壁には貫通孔１８ｃが穿たれている。ガラス窓１８ａ、貫通孔１８ｃを通して、タンク２ｂの上方に設けられた液面検出センサ１９ａがタンク２ａにおける溶融半田１の液面の高さを検出できる。また、タンク２ａと接続されるべく、不活性ガス導入管１１ａ及び不活性ガス排出管１２ａがタンク２ｂの壁を貫通している。
【００６４】
更に、リターン配管３２を流入配管３５に、リターン遮断弁３３ａをリターン遮断弁３３ｂに、それぞれ置換している。リターン遮断弁３３ｂはタンク２ｂの底に設けられ、遮断弁３０ｂはリターン遮断弁３３ｂよりも上方に、従ってタンク２ｂの底に対しても上方に、設けられる。
【００６５】
図１２は遮断弁３０ｂ及びリターン遮断弁３３ｂ近傍の構成を模式的に示す断面図である。遮断弁３０ｂは実施の形態４と同様に構成され、図７に示された構造を採ることができる。即ち、例えばテーパ面３０１と桿状体３０２とを備える。あるいは遮断弁３０ｂは図８に示された構成を採ってもよい。
【００６６】
リターン遮断弁３３ｂはテーパ面３０３と、テーパ面３０３に嵌合する先端部３０４ａを有する桿状体３０４とを備えている。テーパ面３０３はタンク２ｂの底を貫通して設けられ、流入配管３５の上端と連通している。テーパ面３０３は第２タンク２ｂ側から流入配管３５側に向かって窄まる。桿状体３０４は先端部３０４ａを支持する支持体３０４ｂを更に有している。桿状体３０４は、図９及び図１２の白抜き矢印で示されたように上下動して、テーパ面３０３に先端部３０４ａを嵌合させたり、抜き去ったりする。このような動作により、リターン遮断弁３３ｂは流入配管３５とタンク２ｂとの連通の可否を設定する。但しリターン遮断弁３３ｂの構成は、図１２に例示された構成に限定されることなく、他の公知の構造を採用することができる。
【００６７】
流入配管３５の下端はタンク２ａの底近傍に配置され、リターン遮断弁３３ｂが開くことによってタンク２ａ，２ｂが流入配管３５を介して連通する。
【００６８】
次に動作について説明する。通常、溶融半田１を吐出する際には、遮断弁３０ｂ、リターン遮断弁３３ｂのいずれをも開く。この際、図９に示されるように溶融半田１の液面はタンク２ａ内にあり、タンク２ａよりも上方に位置するタンク２ｂには溶融半田１は格納されていない。
【００６９】
図１０は、気泡を除去するためにタンク２ａ側からタンク２ｂ側へと溶融半田１を移動させる際の動作を示す。この際にはリターン遮断弁３３ｂを閉じ、遮断弁３０ｂを開け、実施の形態１に示されたように、排気弁２４ａを閉じて、排気弁２４ｂが開いた状態で、不活性ガス導入管１１ａから不活性ガスを導入し、タンク２ａ側からタンク２ｂ側へと溶融半田１を移動させる。例えばタンク２ａ内の溶融半田１の液面の高さが、所定の下限値となるまで溶融半田１を移動させる。遮断弁３０ｂはタンク２ｂの底よりも上方に位置するので、溶融半田１は遮断弁３０ｂから流れてタンク２ｂの底へと至る。
【００７０】
図１１はタンク２ｂ側からタンク２ａ側へと溶融半田１を戻す際の動作を示す。実施の形態４に示された操作と同様に、まず遮断弁３０ｂを閉じて、半田供給路３ｂから溶融半田室４へと溶融半田１が戻ることを防止する。そして排気弁２４ａを開けて、タンク２ａの内圧を大気圧に戻す。そしてリターン遮断弁３３ｂを開き、排気弁２４ｂを閉じ、不活性ガス導入管１１ｂから不活性ガスを導入する。これによりタンク２ｂの内圧は高められ、流入配管３５を介してタンク２ａへと溶融半田１が移動する。
【００７１】
以上のように、半田吐出装置１０５も半田吐出装置１０４と同様に、気泡が溶融半田室４へと再混入することを防止できる。しかも半田吐出装置１０５は半田吐出装置１０４と比較して、幅方向の寸法を小さくする設計が可能となる。
【００７２】
タンク２ａ内の溶融半田１の液面の高さを液面検出センサ１９ａで検出するに際し、浮遊反射板３４を用いることも望ましい。浮遊反射板３４はタンク２ａ内の溶融半田１の液面に浮遊し、その上側の面（以下「表面」と称す）の高さを液面検出センサ１９ａで検出することにより、間接的にタンク２ａ内の溶融半田１の液面の高さを検出することができる。
【００７３】
浮遊反射板３４は例えばアルミニウムあるいはその合金、チタンあるいはその合金、ステンレス鋼を材料として形成することができる。これらは溶融半田１よりも比重が軽く、溶融半田１の液面に浮遊する。但しその表面に溶融半田１が載らないように、溶融半田１との濡れ性を悪くすることが望ましい。溶融半田１との濡れ性を悪くするためには、アルミニウムあるいはその合金で浮遊反射板３４を形成する場合にはアルマイト処理を行い、チタンあるいはその合金、またはステンレス鋼を材料として形成する場合にはダイアライクカーボンによるコーティングを行うことが望ましい。これらの材料のいずれも酸化膜の状態は溶融半田１の酸化膜よりも安定であり、液面検出センサ１９ａによる光学的な検出において好適である。
【００７４】
また、溶融半田１を得るためにはタンク２ａ内の温度を半田の融点よりも高く保つ必要があるが、上記の浮遊反射板３４の材料は、半田の融点よりも高い融点を有しており、実際の使用上、浮遊反射板３４の融点よりも低い温度で操作を行うことができる。
【００７５】
浮遊反射板３４はその下方（タンク２ａの底側）の面（以下「裏面」と称す）に突起部３７を有しており、タンク２ａから溶融半田１が減少しても、浮遊反射板３４の裏面はタンク２ａの底には達せず、浮遊反射板３４とタンク２ａの底とが接触する面積は小さい。これによりタンク２ａへと溶融半田１が戻された場合に、浮遊反射板３４は容易にタンク２ａの底から離れ、溶融半田１の液面に浮遊する。
【００７６】
なお、浮遊反射板３４の表面が流入配管３５の下端に引っかかっては、溶融半田１の液面に浮遊できない場合が考えられる。よって浮遊反射板３４がタンク２ａの底に達してもその表面が流入配管３５の下端よりも上方に位置することが望ましい。換言すれば、浮遊反射板３４の突起部３７をも含めた高さは、タンク２ａの底から流入配管３５の下端迄の高さよりも大きいことが望ましい。浮遊反射板３４の突起部３７をも含めた高さは、浮遊反射板３４の表面と裏面との間の厚さや、突起部３７の高さによって設定することができる。
【００７７】
浮遊反射板３４を用いた溶融半田１の液面検出は、溶融半田１をタンク２ａ，２ｂ間で移動させる技術を前提とするものではなく、例えば図１９に示された半田吐出装置において適用することができる。
【００７８】
実施の形態６．
図１３は本実施の形態にかかる半田吐出装置１０６の構造を模式的に示す断面図である。図２０に示される構成と比較して、ノズル６を圧電素子８の下方近傍にのみ設け、ビス２２はダイアフラム７と、押さえ板１７を直接に接触させて締め付けている。
【００７９】
ダイアフラム７は圧電素子８が設けられる中央部７ａが、その周囲７ｂよりも溶融半田１の吐出方向たる下方に突出している。押さえ板１７は中央部７ａを受ける凹部１７ａと、周囲７ｂと当接する接触部１７ｂとを備えている。Ｏリング２１を受ける溝２３は中央部７ａの下面７ｃに設けられ、ノズル６は下面７ｃにのみ当接するが、周囲７ｂには当接しない。
【００８０】
ビス２２は周囲７ｂと接触部１７ｂとをねじ止めする。接触部１７ｂは凹部１７ａよりも肉厚に形成され、ビス２２の座ぐりを深くすることができる。これによりビス２２は、その頭が大きなものを採用することができ、押さえ板１７の剛性を高めてノズル６の撓みを抑止することができる。よって溶融半田室４と溝２３の間に隙間が生じることもなく、溶融半田１への加圧は良好に行われる。
【００８１】
その一方、凹部１７ａが設けられることにより、ノズル６が有する吐出用開口部５の下方の押さえ板１７の厚みは薄く、溶融半田１が吐出されてから吐出対象（図示せず）に至るまでの距離を短くすることができる。よって押さえ板１７の剛性を高めつつ、吐出の位置についての精度を悪化させにくいという利点がある。
【００８２】
Ｏリング２１の位置は下面７ｃから離すこともできる。図１４は本実施の形態にかかる他の半田吐出装置１０７の構造を模式的に示す断面図である。接触部１７ｂは、ダイアフラム７の中央部７ａと周囲７ｂとの境界近傍で面取り１７ｃが形成されており、当該面取り１７ｃと、中央部７ａと周囲７ｂとが作る空隙にＯリング２１が填め込まれている。よって溝２３は設けられていない。
【００８３】
半田吐出装置１０７ではＯリング２１が肉厚の接触部１７ｂでダイアフラム７に押さ付けられるので、Ｏリング２１の反発力に耐えることができ、溶融半田室４の周囲に隙間が生じることがない。
【００８４】
例えば更に、接触部１７ｂは上記境界から周囲に向く所定距離だけ、周囲７ｂと空隙を設けて離れており、凹部１７ａは中央部７ａの側面と空隙９１を設けて離れている。
【００８５】
実施の形態７．
半田吐出装置に溶融半田を供給する前には、その組み立ての良否を判断することが望ましい。一旦溶融半田を充填した後に組み立てが不良であることが分かった場合には半田吐出装置を再度組み立てなおす必要がある。しかしそれでは溶融半田室４内に対して表面処理を改めて行うことになる。また半田が溶融しているのでその温度を降下させてからでないと再度の組み立てを行うことができず、作業時間が長くなってしまう。
【００８６】
図１５は本実施の形態にかかる半田吐出装置１０７ａの構造を示す断面図である。半田吐出装置１０７ａは半田吐出装置１０７（図１４）に真空吸引配管３８を設けて変形した構造を有している。真空吸引配管３８は吐出方向にほぼ直交して接触部１７ｂを貫通し、中央部７ａの側面と凹部１７ａとの間の空隙９１に連通している。真空吸引配管３８は外部に引き出され、圧力計３９が設けられている。
【００８７】
半田吐出装置１０７を組み立てた後に、真空吸引配管３８によって空隙９１を吸引し、圧力計３９の表示を確認する。圧力計３９の表示によって空隙９１にリークが無いことが検出されければ、ノズル６、ダイアフラム７、押さえ板１７は良好に組み立てられていると考えられる。よってその後に溶融半田１を導入しても、ノズル６とダイアフラム７とが形成する溶融半田室４は良好に密閉され、溶融半田１への加圧も良好となる。またリークが検出された場合であっても、溶融半田１をまだ導入していないので、再度の組み立てが容易となる。
【００８８】
実施の形態８．
図１６は本実施の形態にかかる半田吐出装置１０７ｂの構造を示す断面図である。半田吐出装置１０７ｂは半田吐出装置１０７（図１４）の雰囲気ガス導入管１６の位置を凹部１７ｂの側面の高さにまで引き上げて変形した構成を有している。
【００８９】
図１７は押さえ板１７を吐出方向に沿ってみた場合の平面図である。図１７には鎖線でダイアフラム７の中央部７ａ及び吐出用開口部５の位置を示している。
接触部１７ｂはダイアフラム７に接触する面１７１と、ダイアフラム７から離れる面１７２とを有している。面１７２にはビス２２がねじ止めされる孔２２１が貫通している。図１７のＰＰ矢視方向の断面が図１６で現れた押さえ板１７の断面に相当する。
【００９０】
凹部１７ａの側面には中央部７ａの側面に向けて開く凹部である雰囲気ガス溜まり４１が形成されており、これを介して雰囲気ガス導入管１６は中央部７ａの側面と凹部１７ａとの間の空隙９１に連通する。凹部１７ａの底４３には凹部１７ａの側面から吐出用開口部５に向いて伸びる溝４２が設けられており、これは空隙９１を介して雰囲気ガス溜まり４１に連通する。
【００９１】
雰囲気ガス導入管１６から導入された（図１６の矢印参照）雰囲気ガスは、吐出用開口部５に至るまでに、雰囲気ガス溜まり４１及び溝４２を経由する（図１６の矢印参照）。よって雰囲気ガスの流速が雰囲気ガス溜まり４１において低下し、吐出用開口部５へ供給される際に外気を巻き込みにくくする。よって溶融半田１が吐出される際に酸化されにくくなる。
【００９２】
またダイアフラム７は図示されないヒータで加熱されており、雰囲気ガス導入管１６は従来の場合と比較してダイアフラム７に近く、温められやすい。よって溶融半田１が吐出される際に固化しにくくなる。
【００９３】
実施の形態９．
図１８は本実施の形態にかかる半田吐出装置１０８の構造を示す断面図である。半田吐出装置１０８は、半田吐出装置１０６（図１３）の溝２３及びＯリング２１を金属シール４０に置換した構成を有している。つまりダイアフラム７とノズル６との間に金属シール４０が介在して取り付けられている。
【００９４】
Ｏリング２１は一般に高分子材料で形成され、溶融半田１の濡れ性が悪い。しかし金属シール４０は例えばステンレス鋼を材料として形成し、これにＮｉメッキやＡｕメッキ等の親半田処理を行って溶融半田１との濡れ性を良好にすることができる。よって溶融半田室４からノズル６とダイアフラム７との境界迄の溶融半田１の濡れ性を良好にすることができ、気泡の発生を抑制することができる。
また溝２３を設ける必要がないので、吐出方向に沿っての寸法を短くすることができる。
【００９５】
金属シール４０の採用は、本件の他の実施の形態の採用を前提とはせず、例えば図１９に示された半田吐出装置において適用することができる。
【００９６】
【発明の効果】
この発明のうち請求項１にかかる金属吐出装置によれば、溶融金属室において溶融金属中に気泡が生じた場合、溶融金属を第１タンクと第２タンクとの間で溶融金属室を介して移動させることにより、当該気泡を溶融金属室から容易に除去することができる。しかも溶融金属の材料を外部に排出せずに有効に利用することができる。
【００９７】
この発明のうち請求項２にかかる金属吐出装置によれば、第１ガス排出管を介してのガスの排出をさせないことにより、第１タンクの内圧が高まり、溶融金属を第１タンク側から第２タンク側へと移動させることができる。第１タンクにおける溶融金属の液面が所定の下限に到達したことは、第１液面検出センサによってコントローラに伝達される。コントローラは当該伝達によって第１ガス排出管を介してガスを排出させ、液面状態を元に戻す。第２ガス排出管を介してのガスの排出をさせないことにより、第２タンクの内圧が高まり、溶融金属を第２タンク側から第２タンク側へと移動させることができる。第２タンクにおける溶融金属の液面が所定の下限に到達したことは、第２液面検出センサによってコントローラに伝達される。コントローラは当該伝達によって第２ガス排出管を介してガスを排出させ、液面状態を元に戻す。溶融金属を第１タンクと第２タンクとの間で溶融金属室を介して自動的に移動させることにより、気泡を溶融金属室から容易に除去することができる。
【００９８】
この発明のうち請求項３にかかる金属吐出装置によれば、溶融金属室の壁面に付着した気泡を、溶融金属中に浮遊させ、より効率的に気泡の除去を行うことができる。
【００９９】
この発明のうち請求項４にかかる金属吐出装置によれば、第１タンク側から第２タンク側へと溶融金属を移動させ、第２タンク内での溶融金属の気泡を効率よく放出することができる。
【０１００】
この発明のうち請求項５にかかる金属吐出装置によれば、第１タンク側から第２タンク側へと溶融金属を移動させて気泡を放出する際、溶融金属の移動速度を抑制し、溶融金属が第１タンクから気泡を巻き込むことや、移動中の溶融金属が途切れることを防止する。
【０１０１】
この発明のうち請求項６にかかる金属吐出装置によれば、第１タンク側から第２タンク側へと溶融金属を移動させて気泡を放出した後、気泡が溶融金属室へと再混入することを防止できる。
【０１０２】
この発明のうち請求項７にかかる金属吐出装置によれば、幅方向の寸法を小さくする設計が可能となる。
【０１０３】
この発明のうち請求項８にかかる金属吐出装置によれば、浮遊反射板の上側の面までの距離を測定することにより、間接的にタンク内の溶融金属の液面の高さを検出することができる。
【０１０４】
この発明のうち請求項９にかかる金属吐出装置によれば、タンクから溶融金属が減少しても、浮遊反射板の下側の面はタンクの底には達せず、浮遊反射板とタンクの底とが接触する面積は小さい。これによりタンクへと再び溶融金属が戻された場合に、浮遊反射板は容易にタンクの底から離れ、溶融金属の液面に浮遊する。
【０１０５】
この発明のうち請求項１０にかかる金属吐出装置によれば、接触部を凹部よりも肉厚に形成できるので、座ぐりを深くし、ビスはその頭が大きなものを採用することができる。よって押さえ板の剛性を高めてノズルの撓みを抑止することができる。よって溶融金属室に隙間が生じることもなく、溶融金属への加圧は良好に行われる。その一方、凹部が設けられることにより、ノズルが有する吐出用開口部の下方の押さえ板の厚みは薄く、溶融金属が吐出されてから吐出対象に至るまでの距離を短くすることができる。よって吐出の位置についての精度を悪化させにくい。
【０１０６】
この発明のうち請求項１１にかかる金属吐出装置によれば、圧力計の表示によってリークが無いことが検出されければノズル、ダイアフラム、押さえ板は良好に組み立てられていると考えられる。よってその後に溶融金属を導入しても、ノズルとダイアフラムとが形成する溶融金属室は良好に密閉され、溶融金属への加圧も良好となる。
【０１０７】
この発明のうち請求項１２にかかる金属吐出装置によれば、不活性ガスの流速がガス溜まりにおいて低下し、吐出用開口部へ供給される際に外気を巻き込みにくくする。よって溶融金属が吐出される際に酸化されにくくなる。またダイアフラムは加熱されており、雰囲気ガス導入管は温められやすくなるので、溶融金属が吐出される際に固化しにくくなる。
【０１０８】
この発明のうち請求項１３にかかる金属吐出装置によれば、金属シールは容易に溶融金属との濡れ性を良好にできる。よって溶融金属室からノズルとダイアフラムとの境界迄の溶融金属の濡れ性を良好にすることができ、気泡の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる半田吐出装置の構造及び動作を模式的に示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１にかかる半田吐出装置の構造及び動作を模式的に示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２にかかる半田吐出装置の構造を模式的に示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態２にかかる半田吐出装置の構造を説明するタイミングチャートである。
【図５】本発明の実施の形態３にかかる半田吐出装置の構造を模式的に示す断面図である。
【図６】本発明の実施の形態４にかかる半田吐出装置の構造を模式的に示す断面図である。
【図７】本発明の実施の形態４にかかる半田吐出装置の構造を模式的に示す断面図である。
【図８】本発明の実施の形態４にかかる半田吐出装置の構造を模式的に示す断面図である。
【図９】本発明の実施の形態５にかかる半田吐出装置の構造及び動作を模式的に示す断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態５にかかる半田吐出装置の構造及び動作を模式的に示す断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態５にかかる半田吐出装置の構造及び動作を模式的に示す断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態５にかかる半田吐出装置の構造を模式的に示す断面図である。
【図１３】本発明の実施の形態６にかかる半田吐出装置の構造を模式的に示す断面図である。
【図１４】本発明の実施の形態６にかかる他の半田吐出装置の構造を模式的に示す断面図である。
【図１５】本発明の実施の形態７にかかる半田吐出装置の構造を模式的に示す断面図である。
【図１６】本発明の実施の形態８にかかる半田吐出装置の構造を模式的に示す断面図である。
【図１７】本発明の実施の形態８にかかる半田吐出装置の構造を模式的に示す平面図である。
【図１８】本発明の実施の形態９にかかる半田吐出装置の構造及び動作を模式的に示す断面図である。
【図１９】従来の半田吐出装置の構造を模式的に例示する断面図である。
【図２０】従来の半田吐出装置の構造を模式的に例示する断面図である。
【図２１】従来の半田吐出装置の構造を模式的に例示する断面図である。
【符号の説明】
１　溶融半田、２ａ，２ｂ　タンク、３ａ，３ｂ　半田供給路、４　溶融半田室、５　吐出用開口部、６　ノズル、７　ダイアフラム、７ａ　中央部、７ｂ　周囲、８　圧電素子、１１ａ，１１ｂ　不活性ガス導入管、１２ａ，１２ｂ　不活性ガス排出管、１６　雰囲気ガス導入管、１７　押さえ板、１７ａ　凹部、１７ｂ　接触部、１９ａ，１９ｂ　液面検出センサ、２１　Ｏリング、２２　ビス、２６　コントローラ、２７　加振機構、２８　排気機構、３１　隘路、３２　リターン配管、３４　浮遊反射板、３５　流入配管、３７　突起部、３８　真空吸引配管、３９　圧力計、４０　金属シール、４１　雰囲気ガス溜まり。
【図１】
2004034138.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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