(57)【要約】【課題】生産進度を容易に把握でき、製造工程のリードタイム削減及び工程内在庫の低減と、製造工程フロー全体での平準化（詳しくは工程内在庫や生産進度などの平準化）を行うことができる生産管理・制御方法を提供する。【解決手段】１以上のウエハよりなる製造ロットを複数、投入して複数の製造工程フローを経て入庫まで行う。投入から入庫までの間におけるロットに対し実際の中間在庫ポイントではない擬似的な中間在庫ポイントを設置し、この中間在庫ポイントにより区分された区間における各ロットについての製造工程上の現在位置を投入から入庫までの計画線に照らして、その進捗度合いを求め、当該進捗度合いとして遅れているロットの順番に優先度を高くする。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１以上のワークよりなる製造ロットを複数、投入して複数の製造工程フローを経て入庫まで行う場合において、
投入から入庫までの間における各ロットについての製造工程上の現在位置を投入から入庫までの計画線に照らして、その進捗度合いを求め、当該進捗度合いとして遅れているロットの順番に優先度を高くするようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項２】
１以上のワークよりなる製造ロットを複数、投入して複数の製造工程フローを経て入庫まで行う場合において、
投入から入庫までの間におけるロットに対し実際の中間在庫ポイントではない擬似的な中間在庫ポイントを設置し、この中間在庫ポイントにおいて生産量の進度を求めて生産管理に反映するようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項３】
１以上のワークよりなる製造ロットを複数、投入して複数の製造工程フローを経て入庫まで行う場合において、
投入から入庫までの間におけるロットに対し実際の中間在庫ポイントではない擬似的な中間在庫ポイントを設置し、この中間在庫ポイントにより区分された区間における各ロットについての製造工程上の現在位置を当該区間での投入から入庫までの計画線に照らして、その進捗度合いを求め、当該進捗度合いとして遅れているロットの順番に優先度を高くするようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項４】
請求項１または３に記載の生産管理・制御方法において、
納期からリードタイムを倒した投入日に基づき計画線をひいて、それに基づいてロットの進捗度合いを求めるようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項５】
請求項１または３に記載の生産管理・制御方法において、
製造途上において納期の後側への変更があった場合、その変更された納期からリードタイムを倒した現時点で投入されるべき日に基づき計画線をひいて、それに基づいてロットの進捗度合いを求めるようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項６】
請求項１または３に記載の生産管理・制御方法において、
製造途上において納期の前側への変更があった場合、その変更された納期からリードタイムを倒した現時点で投入されるべき日に基づき計画線をひいて、それに基づいてロットの進捗度合いを求めるようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項７】
請求項２または３に記載の生産管理・制御方法において、
擬似的な中間在庫ポイントの設置は、払出指示のみを与えるポイントを設置することにより行い、在庫は、その前の払出指示ポイントあるいは投入指示のポイントから、次の払出指示ポイントあるいは入庫指示のポイントの間で持つようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項８】
請求項２または３に記載の生産管理・制御方法において、
擬似的な中間在庫ポイントの設置は、擬似中間入庫指示と擬似中間投入指示を与えるポイントを設置することにより行い、在庫は、両ポイント間において持つようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項９】
請求項７に記載の生産管理・制御方法において、
前記払出指示による在庫を持つためのバッファ期間またはバッファ個数として、少なくとも、変動を吸収するためのバッファ期間またはバッファ個数を有し、払出指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項１０】
請求項７に記載の生産管理・制御方法において、
前記払出指示による在庫を持つためのバッファ期間またはバッファ個数として、固定したバッファ期間またはバッファ個数と、変動を吸収するためのバッファ期間またはバッファ個数とに分けて、払出指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項１１】
請求項８に記載の生産管理・制御方法において、
前記ポイント間に在庫を持つためのバッファ期間またはバッファ個数として、少なくとも、変動を吸収するためのバッファ期間またはバッファ個数を有し、擬似中間入庫指示と擬似中間投入指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項１２】
請求項８に記載の生産管理・制御方法において、
前記ポイント間に在庫を持つためのバッファ期間またはバッファ個数として、固定したバッファ期間またはバッファ個数と、変動を吸収するためのバッファ期間またはバッファ個数とに分けて、擬似中間入庫指示と擬似中間投入指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項１３】
請求項１，３，４，５，６のいずれか１項に記載の生産管理・制御方法において、
前記進捗度合いを求めるために用いるリードタイムを算出する際に、各工程を構成する作業の時間を比例配分するようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項１４】
請求項１，３，４，５，６のいずれか１項に記載の生産管理・制御方法において、
前記進捗度合いを求めるために用いるリードタイムを算出する際に、各工程を構成する作業の間の待ち時間を比例配分するようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項１５】
請求項１，３，４，５，６のいずれか１項に記載の生産管理・制御方法において、
現工程作業に対して次工程作業の計画線上の予定日または予定時間を納期として扱って、その納期までの時間と残り作業時間を求め、その比率にて進捗度合いを求めるようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項１６】
請求項１３または１４に記載の生産管理・制御方法において、
停滞が許される期限時間を加味して、工程別リードタイムを補正処理するようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項１７】
請求項１，３〜１６のいずれか１項に記載の生産管理・制御方法において、
製造工程フローにおける一定以上の過負荷がかかる設備または工程をボトルネック装置またはボトルネック工程として設定し、ボトルネック装置またはボトルネック工程においては、計画線をひいた後に、ロットの優先度順に、その設備または工程の所要の時間であるリードタイム分を計画線に対して見込んで前倒ししていくようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【請求項１８】
請求項１，３〜１７のいずれか１項に記載の生産管理・制御方法において、
リードタイムの計算に用いる作業または設備の前の待ち時間を実績より随時算出するようにしたことを特徴とする生産管理・制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生産管理・制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、特に半導体ウエハなどのデバイスを製造・試作する場合において、その生産管理、［生産］スケジュリーング、ディスパッチ（仕掛指示）の方法については、ワークとしてのウエハ（以下、代表例としてウエハで多々例示をするが、その場合でも、ウエハはワークの意としても用いている）やロットの納期に基づいて行われる。具体的には、図３３に示されるように納期までの時間（Ｌ１，Ｌ２）に基づいて、
１）納期余裕度（Ｃｒｉｔｉｃａｌ  Ｒａｔｉｏ）や
２）納期余裕時間（Ｓｌａｃｋ）
といった納期による方法が主に採られてきていた。
【０００３】
この納期遅れロットの判定方法の前提として、納期を過ぎていない、つまり、Ｌ≧０（即ちＬ１）ならば、納期遅れではないロットであるが、納期を過ぎている、つまり、Ｌ＜０（即ちＬ２）ならば、納期遅れロットである。
【０００４】
１）納期余裕度（Ｃｒｉｔｉｃａｌ  Ｒａｔｉｏ）に関しては、納期を過ぎていないロットの場合、納期までの時間（Ｌ１）／残り作業時間（Ｂ）が小さいほど急ぎであり、納期を過ぎているロットの場合、納期までの時間（Ｌ２）×残り作業時間（Ｂ）が小さいほど急ぎである。ここで、納期を過ぎているロットの場合はＬ２がマイナスとなるので、納期を過ぎているロットでも小さいほど急ぎとなる。
【０００５】
２）納期余裕時間（Ｓｌａｃｋ）に関しては、納期を過ぎていないロットの場合、納期までの時間（Ｌ１）が小さいほど急ぎである。ここで、納期を過ぎているロットの場合はＬ２がマイナスとなるので、納期を過ぎているロットでも小さいほど急ぎとなる。
【０００６】
なお、納期までの時間Ｌ１，Ｌ２は、通常は稼動日のみで加算する。また、残り作業時間Ｂには、製造工程フローの作業ステップの和の場合と、製造工程フローの作業ステップの和と次作業ステップへの搬送時間や、予め設定された必要な待機時間を加える場合がある。
【０００７】
ここで、製造工程フローに関して説明する。製造工程は、加工や測定や検査などの各種条件を規定した工程や作業ステップである。なお、各種条件にはホトリソグラフィ工程での露光用レティクルや露光用マスクやレーザ光線などによるパターニングプログラムなども含む。製造工程フローとは、こうした工程や作業ステップの連なりのことである。
【０００８】
ロットとは、製造の開始などの基点が同じウエハ同士の群で、製造工程フローが基本的に同じであるウエハの群である。
前記１），２）の方式の利点は、確実に納期を守ろうとロットの優先度が決定される点にある。
【０００９】
しかし、この方法の場合、電子デバイス（主に半導体装置）を製造・試作する際、特に全製造工程フローが多大の工程作業ステップより構成される場合で、リードタイムが長大となる場合、前半の製造工程フローで生産進度（生産量の進度）が遅れ、後半の製造工程で製造速度を上げなければならないような状態になることや、製造工程内における過剰な工程内在庫の発生や、その工程のフローの位置による工程内在庫のバラツキや生産進度の停滞が生じる。このように、そもそも途中工程での生産進度の把握がしにくいといった問題が生じ、特に、製造リードタイムの増加及び工程内在庫の増大と、図３４，３５に示すような製造工程フロー全体での（工程内在庫や生産進度などの）平準化を行う上での問題等が発生していた。
【００１０】
また、図３６，３７に示されるように、投入（中間投入含む）から入庫（中間入庫含む）の生産管理やその制御を行う上での基本的な概念としては、生産計画などから納期が求められ、それを目標リードタイムで倒して、投入すべき日を決め、投入すべき日に対し、投入実績が遅れていれば、進度は遅れであり、進んでいれば、進度は進んでいる。その結果に基づき指示を出す方式が採られてきていた。なお、当然であるが投入実績を算定するには、投入から入庫間の在庫品を加味する必要がある。また、中間在庫品の量や日数が設定されていれば、それらの加味も必要である。ここで、リードタイムの決定方法は次のようなものがある。
【００１１】
ａ）．品名毎（優先度のレベル毎）に予め定義ファイルなどに設定しておく（固定の目標値としておく）。
ｂ）．実績や未来の予測値から随時算出する。なお、上限・下限を固定値で設定し、その範囲内に収める場合もある。
【００１２】
ｃ）．前述のａ）やｂ）に対し生産計画の数値を係数掛けなどして求めた結果を用いる。
しかし、この方法では、特に半導体ウエハ製造工程フローのような、投入（中間投入含む）から入庫（中間入庫含む）までのリードタイムが長い場合では、図３８，３９に示されるように、生産管理やその制御を行う上で次の１），２）という問題が生じていた。
【００１３】
１）．投入（中間投入含む）から入庫（中間入庫含む）の間の生産進度が分からないため、上流の工程の進みが悪くなることや、工場（工程）内の在庫分布に山や谷ができたりし平準化がされない傾向に陥る。
【００１４】
２）．後補充的概念にて、入庫（中間入庫含む）指示に基づき投入指示が出されても、リードタイムが長い工程であるため、補充すべき量だけ投入するという後補充の生産方式が取りづらく、先行投入（前倒し生産）をする傾向になりやすい。
【００１５】
なお、図３９においては、投入後に前半の品名・基本工程として工程Ｘ，…等を経て中間入庫して、中間在庫された後に、中間投入され、後半の品名・基本工程として工程Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅを経て入庫、即ち、出荷待ち在庫となる。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はこのような背景の下になされたものであり、その目的は、生産進度を容易に把握でき、製造工程のリードタイム削減及び工程内在庫の低減と、製造工程フロー全体での平準化（詳しくは工程内在庫や生産進度などの平準化）を行うことができる生産管理・制御方法を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明によれば、投入から入庫までの間における各ロットについての製造工程上の現在位置を投入から入庫までの計画線に照らして、その進捗度合いを求め、当該進捗度合いとして遅れているロットの順番に優先度を高くすることにより、生産進度を容易に把握でき、製造工程のリードタイム削減及び工程内在庫の低減と、製造工程フロー全体での平準化（詳しくは工程内在庫や生産進度などの平準化）を行うことができる。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、投入から入庫までの間におけるロットに対し実際の中間在庫ポイントではない擬似的な中間在庫ポイントを設置し、この中間在庫ポイントにおいて生産量の進度を求めて生産管理に反映することにより、生産進度を容易に把握でき、製造工程のリードタイム削減及び工程内在庫の低減と、製造工程フロー全体での平準化（詳しくは工程内在庫や生産進度などの平準化）を行うことができる。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、投入から入庫までの間におけるロットに対し実際の中間在庫ポイントではない擬似的な中間在庫ポイントを設置し、この中間在庫ポイントにより区分された区間における各ロットについての製造工程上の現在位置を当該区間での投入から入庫までの計画線に照らして、その進捗度合いを求め、当該進捗度合いとして遅れているロットの順番に優先度を高くすることにより、生産進度を容易に把握でき、製造工程のリードタイム削減及び工程内在庫の低減と、製造工程フロー全体での平準化（詳しくは工程内在庫や生産進度などの平準化）を行うことができる。
【００２０】
請求項４に記載のように、請求項１または３に記載の生産管理・制御方法において、納期からリードタイムを倒した投入日に基づき計画線をひいて、それに基づいてロットの進捗度合いを求めるようにすると、ロットの優先度の取り扱いをより正しく行うことができる。
【００２１】
請求項５に記載のように、請求項１または３に記載の生産管理・制御方法において、製造途上において納期の後側への変更があった場合、その変更された納期からリードタイムを倒した現時点で投入されるべき日に基づき計画線をひいて、それに基づいてロットの進捗度合いを求めるようにすると、ロットの優先度の取り扱いをより正しく行うことができる。
【００２２】
請求項６に記載のように、請求項１または３に記載の生産管理・制御方法において、製造途上において納期の前側への変更があった場合、その変更された納期からリードタイムを倒した現時点で投入されるべき日に基づき計画線をひいて、それに基づいてロットの進捗度合いを求めるようにすると、ロットの優先度の取り扱いをより正しく行うことができる。
【００２３】
請求項７に記載のように、請求項２または３に記載の生産管理・制御方法において、擬似的な中間在庫ポイントは、払出指示のみを与えるポイントとし、工程内の在庫は、その前の払出指示ポイントあるいは投入指示のポイントから、次の払出指示ポイントあるいは入庫指示のポイントの間で持つようにしたり、請求項８に記載のように、擬似的な中間在庫ポイントは、擬似中間入庫指示と擬似中間投入指示を与えるポイントとし、工程内の在庫は、両ポイント間で持つようにしてもよい。
【００２４】
請求項９に記載のように、請求項７に記載の生産管理・制御方法において、払出指示による在庫を持つためのバッファ期間またはバッファ個数として、少なくとも、変動を吸収するためのバッファ期間またはバッファ個数を有し、払出指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないようにすると、実用上好ましいものとなる。また、請求項１０に記載のように、請求項７に記載の生産管理・制御方法において、払出指示による在庫を持つためのバッファ期間またはバッファ個数として、固定したバッファ期間またはバッファ個数と、変動を吸収するためのバッファ期間またはバッファ個数とに分けて、払出指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないようにすると、実用上好ましいものとなる。
【００２５】
請求項１１に記載のように、請求項８に記載の生産管理・制御方法において、ポイント間に在庫を持つためのバッファ期間またはバッファ個数として、少なくとも、変動を吸収するためのバッファ期間またはバッファ個数を有し、擬似中間入庫指示と擬似中間投入指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないようにすると、実用上好ましいものとなる。また、請求項１２に記載のように、請求項８に記載の生産管理・制御方法において、ポイント間に在庫を持つためのバッファ期間またはバッファ個数として、固定したバッファ期間またはバッファ個数と、変動を吸収するためのバッファ期間またはバッファ個数とに分けて、擬似中間入庫指示と擬似中間投入指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないようにすると、実用上好ましいものとなる。
【００２６】
請求項１３に記載のように、請求項１，３，４，５，６のいずれか１項に記載の生産管理・制御方法において、前記進捗度合いを求めるために用いるリードタイムを算出する際に、各工程を構成する作業の時間を比例配分するとよい。あるいは、請求項１４に記載のように、請求項１，３，４，５，６のいずれか１項に記載の生産管理・制御方法において、前記進捗度合いを求めるために用いるリードタイムを算出する際に、各工程を構成する作業の間の待ち時間を比例配分するとよい。
【００２７】
請求項１５に記載のように、請求項１，３，４，５，６のいずれか１項に記載の生産管理・制御方法において、現工程作業に対して次工程作業の計画線上の予定日または予定時間を納期として扱って、その納期までの時間と残り作業時間を求め、その比率にて進捗度合いを求めるようにしてもよい。
【００２８】
請求項１６に記載のように、請求項１３または１４に記載の生産管理・制御方法において、停滞が許される期限時間、即ち、停滞期限を加味して、工程別リードタイムを補正処理することもできる。
【００２９】
請求項１７に記載のように、請求項１，３〜１６のいずれか１項に記載の生産管理・制御方法において、製造工程フローにおける一定以上の過負荷がかかる設備または工程をボトルネック装置またはボトルネック工程として設定し、ボトルネック装置またはボトルネック工程においては、計画線をひいた後に、ロットの優先度順に、その設備または工程の所要の時間であるリードタイム分を計画線に対して見込んで前倒ししていくようにすると、実用上好ましいものとなる。
【００３０】
請求項１８に記載のように、請求項１，３〜１７のいずれか１項に記載の生産管理・制御方法において、リードタイムの計算に用いる作業または設備の前の待ち時間を実績より随時算出すると、実用上好ましいものとなる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を具体化した実施の形態を、半導体ウエハを製造・試作するウエハ工場で適用した場合を例にとり、その運用、制御、管理するシステムを具体例に説明する。
【００３２】
図１に示すように、全体システム構成としては、製造工程フロー，リードタイム等の管理装置１０と、在庫ロット（トラッキング）管理装置２０と、リードタイム・中間進度管理装置３０と、（マスタ）スケジュール制御管理装置４０と、ディスパッチ（仕掛指示）制御管理装置５０とを具備している。各装置１０，２０，３０，４０，５０はコンピュータ（サーバ）と記録装置を具備している。
【００３３】
なお、この図１では各機能別に記録装置やコンピュータ（サーバ）を分けているが、同じ装置内に同一の目的を達成する機能を盛り込んでもよい。
以下の説明において、入庫は、途中製品での途中在庫のための入庫を含み、また、入庫ではなく直接出荷する場合を含み、さらに、入庫して暫く在庫し出荷する場合に納期を出荷時とする場合も含む。
【００３４】
まず、図２を用いて、「Ａ．中間進度（中間の進捗度合い）を算出して管理する手法」について説明する。
中間進度（図２のＦ）とは、ロットの投入日から納期までの進捗予定を作成し、これと実際の進捗を比べ、その差を日数（または時間）で表現することで行う。進度は、予定に対する進みもしくは遅れ日数（時間）で表現する。
【００３５】
図２の場合、スケジューリングを行うタイミング（スケジュール時刻）において、計画線上では作業Ｄの処理中であればいいことになっているが、実際には作業Ｅの仕掛け前まで進捗している。従って、進みの矢印の長さ分処理が進んでいることになる。ただし、進みまたは遅れの中に非稼働時間帯が含まれる場合、その分を差し引いた残りを進度とする。スケジュール時刻が７日午前６：００で、計画線上の作業Ｄの払出が８日午前０：００であるとすると、その進みは１８時間（０．７５日）となる。
【００３６】
以下に、中間進度を求める手順を説明する。
１．図１のリードタイム・中間進度管理装置３０は、中間進度を算出すべき進捗中のロット情報を、図１の在庫ロット（トラッキング）管理装置２０より得る。
２．図１のリードタイム・中間進度管理装置３０は、図１の製造工程フロー，リードタイム等の管理装置１０より、そのロットの製造工程フローを求め、その投入〜入庫のリードタイムを求める。そして、図１のリードタイム・中間進度管理装置３０は、ロットの投入日時と納期を求め、納期から必要に応じ稼働日ベースでリードタイム分さかのぼった日付と実際の投入日時とを比較し、実際の投入日時の方の日付が後（投入遅れ）である場合、納期からリードタイム分さかのぼって求めた日付をそのロットの投入日時とする。稼働日は、実際の工場運用で使用しているカレンダを使用するのが好適である。
３．図１のリードタイム・中間進度管理装置３０は、製造工程フローを参照し、全作業を処理するのに必要な処理時間（図２のＡ）を求める。作業時間は、設備での処理時間と必要に応じ搬送時間も足したものである。その作業で使用する設備が複数ある場合は、最も処理時間の長いものとするのがよいが、平均や第一番目のものなどでもよい。
４．図１のリードタイム・中間進度管理装置３０は、ロットのフローを参照して、現作業以降（現作業処理中の場合はその次の作業以降）の全作業を処理するのに必要な処理時間（図２のＢ）を求める。
５．図１のリードタイム・中間進度管理装置３０は、ロットの投入日から納期までの稼働時間（図２のＣ１＋Ｃ２＋Ｃ３）を求める。稼働時間を求める際には、日の切れ目に応じて行う。例えば、１日が８：４０〜翌日の８：４０までとしてカウントする場合で、土曜日と日曜日が非稼働日であった場合は以下のようになる。
【００３７】
月曜日の８：４０〜土曜日の８：４０までが稼働時間帯
土曜日の８：４０〜月曜日の８：４０までが非稼動時間帯
６．図１のリードタイム・中間進度管理装置３０は、処理済の作業時間をもとに、作業済みの時間に対応した稼働時間（図３のＤ１＋Ｄ２）を次式で求める。
【００３８】
Ｄ１＋Ｄ２＝（Ｃ１＋Ｃ２＋Ｃ３）・｛１−（Ｂ／Ａ）｝
この式は、トータルのリードタイム（図２のＣ１＋Ｃ２＋Ｃ３）を作業時間（図２のＡとＢ）で比例配分して計画線上の位置（図２のＤ１＋Ｄ２）を算出することを意味している。
７．図１のリードタイム・中間進度管理装置３０は、ロットの投入日から、（６）で求めた稼働時間分先の日時を求め、これを払い出し予定日時（図２のＥ）とする。稼働時間分先の日時を求める際、非稼動時間帯（上述の例では、非稼動日の８：４０から稼働日の８：４０まで）の時間は対象としない。
８．図１のリードタイム・中間進度管理装置３０は、（７）で求めた日時（Ｅ）からスケジュール時刻を引いたものを中間進度（図２のＦ）とする。但し、ここで求めた中間進度の中に非稼動時間帯の時間が含まれている場合は、その分を除いた残りを中間進度とする。中間進度は、払い出し予定日時がスケジュール時刻より先（未来）であれば、ロットの中間進度は進みであり、そうでなければ遅れとなる。
９．図１のリードタイム・中間進度管理装置３０は、ここで計算して得られた中間進度情報を、図１の（マスタ）スケジュール制御管理装置４０に送信する。なお、（マスタ）スケジュール制御管理装置４０は、必要に応じ、中間進度でのロット優先度でロットに対し使用すべき装置や仕掛けるべき時間を算出し、割り付けを行う。
１０．図１のディスパッチ（仕掛指示）制御管理装置５０は、通常は、（マスタ）スケジュール制御管理装置４０の算出結果を基に最終仕掛け決定を指示するが、ディスパッチ（仕掛指示）制御管理装置５０自体が短い工程作業ステップの仕掛け予約をするような場合などは、ディスパッチ（仕掛指示）制御管理装置５０自体に中間進度情報を送り、ディスパッチ（仕掛指示）をしてもよい。なお、この場合、ロット［群］単位で、別に優先度（例えば、特急や超特急と云ったもの）を設定していてもよい。また、類似製造工程フロー群の単位で、別に優先度（例えば、１，２，３，４といった優先順番と云ったもの）を設定していてもよい。その場合は、ロット［群］単位や工程フロー群の単位での優先度が同じレベルの時に（例えば、特急ロット同士の時に）、中間進度でのロット優先度が使用されることになる。
【００３９】
上記は具体的計算方法の一例を示したが、要は、投入から入庫（出荷）までをリードタイムに基づき理想計画を当てて、それに対し、現状のロットの進み具合を優先度とする。よって、計算方法としては他の方法を採っても同意であれば、同じことになる。
【００４０】
この「Ａ．中間進度（中間の進捗度合い）を算出して管理する手法」に関して、さらなる説明を加える。
図３３での納期までの時間（Ｌ１，Ｌ２）に基づいて管理する手法に対し改善を行うべく、図３に示すようする。つまり、１枚以上のウエハ（広義にはワーク）よりなる製造ロットを複数、投入して複数の製造工程フローを経て入庫まで行う場合において、投入から入庫までの間における各ロットについての製造工程上の現在位置を投入から入庫までの計画線に照らして、その進捗度合いを求め、当該進捗度合いとして遅れているロットの順番に優先度を高くする。これにより、生産進度（優先度）を容易に把握でき、製造工程のリードタイム削減及び工程内在庫の低減と、製造工程フロー全体での平準化（詳しくは工程内在庫や生産進度などの平準化）を行うことができる。これは特に全製造工程フローが多大の工程作業ステップより構成される場合に有用である。
【００４１】
なお、この図３での計画線は分かり易くするため直線表記しているが、実際は、投入から入庫までの製造工程フローの作業ステップ所要時間（や更に各作業ステップ前の待ち時間を加味したもの）で算定される。
【００４２】
中間進度（計画線優先順位）の計算方法について説明を加える。
概要としては、図４に示すように、
Ａ＝製造工程フローの全作業に要する処理時間の合計
Ｂ＝ロットフローのこれからの全作業に要する処理時間の合計
Ｃ＝納期までの稼働日数合計
Ｄ＝納期までの稼働日数中、作業済の時間に対応する稼働日数＝Ｃ・（１−（Ｂ／Ａ））
Ｅ＝投入日からＤの日数分先の稼働日の日付を求めたもの（これを払い出し予定日とする）
Ｆ＝「Ｅ−当日の日付」を、進度とする（日数は稼動日でカウントする）
なお、稼働日数を計算する稼働カレンダは、生産管理のカレンダである。
【００４３】
この中間進度（計画線優先順位）を用いてロットの優先度を割り出してスケジュールを組んでいく。
なお、図１の在庫ロット（トラッキング）管理装置２０にはこのＡ，Ｂ，Ｃ，Ｅの情報がマスタスケジュール作成中に通知され、管理装置２０はこれら数値を用いて中間進度を表示する。
【００４４】
このように、優先度は、工程の残りリードタイム（Ｂ）と納期より、その時点での投入されるべき投入日（理想投入日）を求め、理想投入日から納期までの計画線をひいて、それに対する進度でロット優先度を判断する。
【００４５】
図３の場合は単純化されているが、次のようなことが発生する。
図５に示すように、リードタイムから算出した投入日よりも仮に早く投入した場合（前倒し投入した場合）、この実際の投入日Ｙから計画線に対するロットの進捗度で判断するので、現状での投入されるべき日よりも早く投入すればするほど製造工程フローの前の方ほどロットの進度が遅れているように取り扱われ、優先度が高くなりロットが進んでしまう。
【００４６】
また、図６に示すように、生産計画の変動で納期が遅くなった場合には、計画線の傾きが小さくなり、優先度が高くなりロットが進んでしまう。
さらに、図７に示すように、生産計画の変動や、在庫ロットやウエハが品質上などでロットアウトやウエハアウトや保留となった場合に、納期が投入後に前倒しになる場合があるが、そうした場合でも、計画線の傾きが大きくなってしまい、製造工程フローの上流では急がなくても良いように扱われてしまう。
【００４７】
これら不具合（図５，６，７を用いて説明した不具合）を解消すべく、以下のようにしている。
図５の場合の対処として図８に示すように、あくまで、最新の納期から倒した投入日（理想投入日）に基づき計画線をひいて、それに基づいてロットの進度を判断する。つまり、納期からリードタイムを倒した投入日に基づき計画線をひいて、それに基づいてロットの進捗度合いを求める。同様に、図６の場合の対処として図９に示すように、あくまで、最新の納期から倒した投入日（理想投入日）に基づき計画線をひいて、それに基づいてロットの進度を判断する。つまり、製造途上において納期の後側への変更があった場合、その変更された納期からリードタイムを倒した現時点で投入されるべき日に基づき計画線をひいて、それに基づいてロットの進捗度合いを求める。図７の場合の対処として図１０に示すように、あくまで、最新の納期から倒した投入日（理想投入日）に基づき計画線をひいて、それに基づいてロットの進度を判断する。つまり、製造途上において納期の前側への変更があった場合、その変更された納期からリードタイムを倒した現時点で投入されるべき日に基づき計画線をひいて、それに基づいてロットの進捗度合いを求める。その結果、ロットの優先度の取り扱いをより正しく行うことができる。
【００４８】
このように、図１１に示すように、先行投入された場合には、改善後の計画線とロット位置との差に基づいて中間進度を求める。また、図１２に示すように、生産計画の変動があった場合にも、改善後の計画線とロット位置との差に基づいて中間進度を求める。
【００４９】
また、図３に示したやり方の代わりに、図１３に示すように、遅れ量を現工程作業に対して、次工程作業の計画線上の予定日（日時）を納期として扱って、「納期余裕度（Ｃｒｉｔｉｃａｌ  Ｒａｔｉｏ）」でロット優先度を判断するようにしてもよい。詳しくは、遅れ量を、単純な計画線とロット位置との差ではなく、現工程作業に対して次工程作業の計画線上の予定日または予定時間を納期として扱って、その納期までの時間（Ｌ１’，Ｌ２’）と残り作業時間（Ｂ’）を求め、その比率にて納期余裕度（進捗度合い）を求めてロット優先度を判断する。より詳しくは、納期を過ぎていないロットの場合、納期までの時間（Ｌ１’）／残り作業時間（Ｂ’）が小さいほど急ぎであり、納期を過ぎているロットの場合、納期までの時間（Ｌ２’）×残り作業時間（Ｂ’）が小さいほど急ぎである。ここで、納期を過ぎているロットの場合はＬ２’がマイナスとなるので、納期を過ぎているロットでも小さいほど急ぎとなる。
【００５０】
なお、ここで、次工程作業の計画線上の予定日（日時）を納期として扱った場合を「納期余裕度」を求める手法としたが、これに対し、「納期余裕時間（Ｓｌａｃｋ）」を求める手法が図３に示したやり方に相当する。
【００５１】
図１３での計画線は分かり易くするため、直線表記しているが、実際は、投入から入庫までの製造工程フローの作業ステップ所要時間（や更に各作業ステップ前の待ち時間や搬送時間を加味したもの）で算定される。
【００５２】
次に、「Ｂ．擬似的中間在庫ポイントの設置（途中工程指示）に伴ない生産量進度を算出して管理する手法」について説明する。
これは、投入から入庫までの間におけるロットに対し実際の中間在庫ポイントではない擬似的な中間在庫ポイントを設置し、この中間在庫ポイントにおいて生産量の進度を求めて生産管理するための進度の進み・遅れを示す指標やグラフなどで表し、実際の管理に反映するものである。つまり、図３８，３９を用いて説明した問題に対し、図１４，１５に示すように擬似的な中間在庫ポイントを設定する。詳しくは、投入（中間投入含む）、入庫（中間入庫含む）の生産指示以外に、途中製造工程で擬似的な投入（中間投入含む）と入庫（中間入庫含む）の指示を出す。即ち、工程内を進捗中のロットに対し、実際の中間在庫ではない擬似的な中間在庫ポイントを設置する。この擬似的な中間在庫ポイントでの在庫量は０でもよい。
【００５３】
これにより、生産進度（生産量の進度）を容易に把握でき、製造工程のリードタイム削減及び工程内在庫の低減と、製造工程フロー全体での平準化（詳しくは工程内在庫や生産進度などの平準化）を行うことができる。
【００５４】
途中工程の指示の作成方法としては、次の２つの方式がある。図１６（ａ）の方法と、図１６（ｂ）の方法である。
図１６（ａ）においては、擬似的な中間在庫ポイントの設置は、払出指示のみを与えるポイントを設置することにより行い、在庫は、その前の払出指示ポイント（あるいは投入指示のポイント）から、次の払出指示ポイント（あるいは入庫指示のポイント）の間で持つこととし、中間入庫／入庫指示、つまり、後工程から順番に倒して払出指示を作っていく。
【００５５】
なお、仕掛指示を作成する場合は、払出指示から作成することになる。
図１６（ｂ）においては、擬似的な中間在庫ポイントの設置は、擬似中間入庫指示と擬似中間投入指示を与えるポイントを設置することにより行い、在庫は、両ポイント間において持つようにする。
【００５６】
図１６（ａ）でも図１６（ｂ）でも、中間入庫に関しては、図１５，３９に示すように、中間入庫指示と中間投入指示を作成する。この中間入庫指示と中間投入指示に準ずる仮想的な中間在庫ポイント、即ち、擬似中間在庫ポイントを指定して、擬似中間入庫、擬似中間投入指示を作成する手法が本方式である。
【００５７】
なお、途中工程の指示を作成するポイントは図１の製造工程フロー，リードタイム等の管理装置１０にて規定する。図１６（ａ），（ｂ）では、工程の“後”が指示作成ポイントとなる場合で説明している。
【００５８】
擬似中間在庫（バッファ）の確保方法について、図１６（ａ）では在庫を枚数や日数で指定できる。これは、２つの隣接する工程払出ポイント間の在庫を指定することになる。工程毎に在庫を定義するが、この値は次工程より前の払出指示を作成するときに使用される。また、指示区分を設定した工程間に複数の工程がある場合は個々の在庫の総和が使用される。
【００５９】
図１６（ａ），（ｂ）では、生産計画の変動や在庫の変動時も極力納期を変更しないようにするために、擬似中間在庫として固定バッファと変動吸収バッファが２種類定義できる。
【００６０】
固定バッファは、途中工程で投入するために準備されているロットであり、標準手持ち（日数あるいは個数）である。また、変動吸収バッファは、変動を吸収するための在庫（日数あるいは個数）である。詳しくは、図１６（ａ）の場合では、払出指示による在庫を持つためのバッファ期間またはバッファ個数として、固定したバッファ期間またはバッファ個数と、変動を吸収するためのバッファ期間またはバッファ個数とに分けて、払出指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないようにする。また、図１６（ｂ）の場合では、ポイント間に在庫を持つためのバッファ期間またはバッファ個数として、固定したバッファ期間またはバッファ個数と、変動を吸収するためのバッファ期間またはバッファ個数とに分けて、擬似中間入庫指示と擬似中間投入指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないようにする。
【００６１】
なお、広義には次のようにする。払出指示による在庫を持つためのバッファ期間またはバッファ個数として、少なくとも、変動を吸収するためのバッファ期間またはバッファ個数を有し、払出指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないようにする。また、ポイント間に在庫を持つためのバッファ期間またはバッファ個数として、少なくとも、変動を吸収するためのバッファ期間またはバッファ個数を有し、擬似中間入庫指示と擬似中間投入指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないようにする。
【００６２】
この変動吸収バッファを用いる手法を採用することについては後ほど「Ｆ．変動吸収バッファによる効果説明」で再度説明を加える。
次に、「Ｃ．擬似的に途中工程指示を行うとともに中間進度（中間の進捗度合い）を算出して管理する手法」について説明する。
【００６３】
これは、図１７に対し図１８のようにする手法である。つまり、図１８において、投入から入庫までの間におけるロットに対し実際の中間在庫ポイントではない擬似的な中間在庫ポイントを設置する。そして、この中間在庫ポイントにより区分された区間における各ロットについての製造工程上の現在位置を当該区間での投入から入庫までの計画線に照らして、その進捗度合いを求め、当該進捗度合いとして遅れているロットの順番に優先度を高くする。この手法により、生産進度（優先度）を容易に把握でき、製造工程のリードタイム削減及び工程内在庫の低減と、製造工程フロー全体での平準化（詳しくは工程内在庫や生産進度などの平準化）を行うことができる。
【００６４】
図１７において、製造工程が工程群１，２，３よりなり、投入指示（中間投入指示）により工程群１が開始され、工程群３の後に入庫指示が行われるものとしている。このとき、図１８に示すように、工程群１と工程群２との間において擬似の指示ポイントを設定するとともに工程群２と工程群３との間において擬似の指示ポイントを設定する。そして、擬似の指示ポイントにより区分された区間における各ロットについての製造工程上の現在位置を投入から入庫までの計画線に照らして、その進捗度合いを求め、当該進捗度合いとして遅れているロットの順番に優先度を高くする。
【００６５】
次に、「Ｄ．工程別リードタイムを用いて計画線上の払出予定日時（図４でのＥ）を算出する方法」について説明する。
ここでは、図１７に示すものに対し図１８に示すように、途中工程指示がされるとともに、その各指示ポイント間において進度を求める場合について述べる。
【００６６】
図１９に示すように、製造工程フロー，リードタイム等の管理装置１０（図１参照）では、途中工程指示ポイント毎に、擬似中間投入指示／擬似中間入庫指示が与えられ、コンピュータの定義ファイルに作業別リードタイムが定義される。
【００６７】
仕掛位置を含む途中工程指示ポイント間で、擬似中間入庫指示の引当により決まる途中工程納期から、仕掛位置まで遡って各作業の作業別リードタイムを、必要に応じカレンダベースで逆算した日付を仕掛位置の理想計画日時（＝払出予定日時）とする。理想計画日時と現在日時の差が中間進度となる。すなわち、工程（作業）別にリードタイムを与える場合は、先の「Ａ」の方法を採らずとも（作業処理時間の累計を行わなくても）、単純な減算だけで理想計画日時を算出することができる。なお、工程別（作業別）リードタイムの計算方法については、後述の工程別リードタイムの計算ロジックにて説明する。
【００６８】
さらに、「Ａ．優先度決定方法」と「Ｂ．途中工程指示」の両方法を組み合わせた時の図４での計算例としては次のようになる。
Ａ＝製造工程フローの全作業に要する処理時間の合計
Ｂ＝ロットのフローのこれからの全作業に要する処理時間の合計
Ｃ＝投入日から納期までの稼働日数（純稼働日数）
これは、ロットの投入日を納期から必要に応じ稼働日や非稼働日を考慮して、トータルのリードタイムを遡って計算したリードタイムに等しい。
Ｄ＝処理済作業時間＝Ｃ・（１−Ｂ／Ａ）
Ｅ＝途中工程指示による払出予定日時（途中工程納期）から仕掛位置まで作業別リードタイムを必要に応じ稼働日や非稼働日を考慮して遡った時間。
Ｆ＝「Ｅ−当日の日付」を、中間進度とする（日数は稼働日でカウントされたデータである）。
【００６９】
図２０，２１を用いて工程リードタイム（中間進度算出用）の算出方法を説明する。図２０のように各作業の処理時間を比例配分して算出してもよい。即ち、進捗度合いを求めるために用いるリードタイムを算出する際に、各工程を構成する作業の時間を比例配分してもよい。また、図２１のように、作業間の待ち時間を分配して算出してもよい。即ち、進捗度合いを求めるために用いるリードタイムを算出する際に、各工程を構成する作業の間の待ち時間を比例配分してもよい。
【００７０】
次に、「Ｅ．停滞期限内となるような補正を伴なう工程別リードタイムの計算ロジック」について説明する。
ここでは、製造工程フロー全体の目標リードタイムが、個々の工程（作業）別リードタイム（と待ち時間）の加算とイコールである場合よりも、より複雑な方法である、製造工程フロー全体の目標リードタイムが決まっており、その範囲内に個々の工程（作業）別リードタイム（と待ち時間）の加算結果を圧縮して、製造工程フロー全体の目標リードタイム内に収める方法を例にとり説明する。具体的には、図１７において、入庫での納期が決められており、この納期を守るようにして図１８での処理が行われる。このとき、各工程でのリードタイムを調整することになる。そのために以下のようにする。
Ｅ−１．工程別リードタイムの計算手順（第１ステップ）
工程別リードタイムは第１ステップとして以下の手順で計算を行う。
【００７１】
図２２に示すように、投入（中間投入）後、工程Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを経て入庫（中間入庫）する場合、工程Ａでのリードタイムは図２３のような内訳であり、工程Ｂでのリードタイムは図２４のような内訳であり、工程Ｄでのリードタイムは図２５のような内訳であるとする。
【００７２】
詳しくは、図２３において、工程Ａは作業１〜３を有し、作業１のリードタイムは、作業待ち時間と作業処理時間（例えば、図１の製造工程フロー，リードタイム等の管理装置１０より得る）との和である。作業２のリードタイムは、搬送時間（装置からステーションまでの搬送時間）と作業待ち時間と搬送時間（ステーションから装置までの搬送時間）と作業処理時間との和である。作業３のリードタイムは、搬送時間（装置からステーションまでの搬送時間）と作業待ち時間と搬送時間（ステーションから装置までの搬送時間）と作業処理時間との和である。
【００７３】
図２４についても図２３とほぼ同じであるが、図２４での作業２のリードタイムが若干異なっている。つまり、作業２のリードタイムは、搬送時間（装置からステーションまでの搬送時間）と搬送時間（ステーションからステーションまでの搬送時間）と作業待ち時間と搬送時間（ステーションから装置までの搬送時間）と作業処理時間との和となっている。
【００７４】
図２５についても図２３とほぼ同じであるが、図２５での作業２のリードタイムが若干異なっている。つまり、作業１と作業２がステーションを経ないので、作業２のリードタイムは、搬送時間（装置から装置までの搬送時間）と作業処理時間との和となっている。
【００７５】
図２６に示すように、生産リードタイムは（内訳としては）、待ち時間と、作業を行う上で必要な最低限の時間、即ち、物理限界時間と、固定バッファ時間の和となる。詳しくは、図２６においては、待ち時間（０．２日）と、工程Ａの作業ａの物理限界時間（０．５日）と、待ち時間（０．３日）と、工程Ａの作業ｂの物理限界時間（２．３日）と、待ち時間（０．２日）と、工程Ａの作業ｃの物理限界時間（３．１日）と、固定バッファ時間（２．０日）と、待ち時間（０．１日）と、工程Ｂの作業ｄの物理限界時間（２．５日）と、待ち時間（０．２日）と、工程Ｂの作業ｅの物理限界時間（１．２日）の和が生産リードタイムとなる。
Ｅ−２．停滞期限による補正処理（第２ステップ）
停滞期限による補正処理（機能）は、求めたリードタイムが停滞期限時間を超えてしまった場合、リードタイムが停滞期限を超えないように、リードタイムを調整する機能である。この機能を、図２７を用いて説明する。
【００７６】
図２７において、製造工程フローとして工程Ａ（作業１，２，３）の次に工程Ｂ（作業４，５，６）を行う。作業１，２，３，４，５，６のリードタイムは、１．０日、１．０日、１．２日、０．２日、０．５日、２．０日である。作業２の終了から作業４の開始までに停滞期限として３．０日が設定されている。つまり、途中工程ポイントをまたぐ停滞期限（＝３．０日）が設定されている。ここで、作業２を行った後に作業待ち時間Ａ（＝０．３日）と搬送時間Ａ（＝０．１日）が設定されている。また、作業３を行った後に固定バッファ（＝１．０日）と作業待ち時間Ｂ（＝０．５日）と搬送時間Ｂ（＝０．１日）が設定されている。
【００７７】
図２７の場合、
停滞期間（３．０）＜リードタイム（０．３＋０．１＋１．２＋１．０＋０．５＋０．１）
となるため、次の計算を行う。
【００７８】
作業待ち時間Ａの圧縮として、
｛（３．０−１．０−１．２−０．１−０．１）｝・｛０．３／（０．３＋０．５）｝
＝０．２２５
作業待ち時間Ｂの圧縮として、
（３．０−１．０−１．２−０．１−０．１）−０．２２５
＝０．３７５
このようにして、停滞期限を加味して、工程別リードタイムを補正処理する。すべての作業のリードタイムを求めた後に本機能による補正処理を行う。停滞期限によるリードタイムの補正では、固定バッファ日数は圧縮せず、作業待ち時間の圧縮を行うことで、リードタイムが停滞期限を超えないようにする。
Ｅ−２−１．リードタイムの停滞期限への合わせ込み機能
（１）停滞期限の確認
本機能は、図２８に示すように、リードタイムのネストの深いほうから順番に行う。そのために停滞期限のネストの深さをチェックする。
（２）チェック順序
ネストの深さ（降順）→作業順（昇順）
（３）チェックと合わせ込み機能
本機能では、停滞期限の範囲内に固定バッファ、変動吸収バッファが含まれる場合、停滞期限時間から固定バッファ、変動吸収バッファを差し引いた値を停滞期限時間として扱う。
【００７９】
全ての停滞期限について以下の処理を行う。
（ア）リードタイムが停滞期限時間を超えていた場合、物理限界時間＋固定バッファが停滞期限時間を超えていないかをチェックする。
【００８０】
物理限界時間が停滞期限時間を超えている場合、当該フローの停滞期限時間の合わせ込みは行わず、アラームにて警告を出す。
（イ）物理限界時間＋固定バッファが停滞期限を超えていない場合、停滞期限範囲（停滞期限の開始作業の払い出しから期限作業の仕掛けまで）のリードタイム＝停滞期限時間とし、この間の作業前リードタイムを再計算する。この間のリードタイムは再度計算しなおすことはしない。
（ウ）再計算した停滞期限範囲以外のリードタイムを再計算する。
【００８１】
次に、「Ｆ．変動吸収バッファによる効果説明」について述べる。
途中工程バッファに変動吸収バッファを用いることにより、次の効果を奏する。図２９，３０に示すように、［中間］投入、［中間］入庫、擬似中間入庫・擬似中間投入の指示を変えないことで、一度付いたロットの納期を可能な限り変えないように制御することができる。詳しくは、急に納期に余裕のあるロットが発生した場合、他のロットは早く流れる。しかし、図２９に示すように、納期に余裕のないロットが発生した場合は、他のロットのリードタイムに悪影響を与える。そこで、図３０に示すように、それを改善する手法が流動速度一定ルールである。つまり、納期が変化したロットが発生しても、他のロットの流動速度に影響を与えない、つまり、遅れたロットだけが遅れた分だけ納期遅延するルールである。これは、在庫（バッファ）の存在が前提なので、変動吸収バッファで予め納期の変動（生産計画などの変動）を吸収する分のバッファを設定する。変動吸収バッファは、その分の在庫を保持しようとして、［中間］投入指示、  擬似［中間］投入指示を出すが、固定バッファとは異なり、既に［中間］投入や擬似［中間］投入されて進捗中のロットに対しては、納期変更をしないようにするためのものである。つまり、投入時の納期を守るためのものである。ここで、納期を守るために先入れ先出しでロットを進めてもよい。
【００８２】
次に、「Ｇ．その他」について説明する。
途中工程指示ポイントからポイントの区間毎に、納期余裕度や納期余裕時間などの従来からのロット優先度を用いたり、中間進度を用いたりと用途によって混在して使用したり、計画線のひき方を、各工程作業ステップ毎ではなく、いくつか抜き取った各工程作業ステップ毎に計画線をひいたり、計画線の精度としても、日単位から秒単位など用途によって変えてもよい。
【００８３】
図３１を用いて、途中工程バッファでの中間進度について説明する。
通常の中間入庫されたロットには、中間進度の概念はないが、途中工程指示ポイントで擬似的に在庫としているロットには、中間進度を付与する必要がある場合がある。
【００８４】
その方法を以下説明する。
（ア）払出進度
払出進度が遅れている場合は、バッファ中のロットへの進度の影響はない。図３１（ａ）に示すように、払出進度が進んでいる場合、バッファ中のロットに、進度が進んでいるロットがあると見なさなければならない。従って、払出進度の進み分のロット（進み枚数相当分をロット番号の逆順に決定）について、払出日から現在日までを進度が進んでいると見なせばよい。
（イ）投入進度
図３１（ｂ）に示すように、バッファ中のロットで、いわゆる投入遅れのロットは、工程内にあるロットとして中間進度を計算するものとする。また、払出進度から進んでいるロットと重なった場合、投入遅れを優先する。
【００８５】
図３１（ｃ）に示すように、バッファ中のロットで、払出進度の進んでいないロットと、投入遅れのロットを除くロットは、中間進度を０とする。
また、製造工程フローにおける一定以上の過負荷がかかる設備または工程をボトルネック装置またはボトルネック工程として設定し、ボトルネック装置またはボトルネック工程においては、計画線をひいた後に、ロットの優先度順に、その設備または工程の所要の時間であるリードタイム分を計画線に対して見込んで前倒ししていくようにしてもよい。
【００８６】
あるいは、リードタイムの計算に用いる作業または設備の前の待ち時間を実績より随時算出し、工場の状態にリアルタイムで対応するようにしてもよい。
以上、システム事例について説明をしてきたが、ここで、実際の効果を具体的に示す実効果例を、半導体ウエハ工場を例に取り説明する。
【００８７】
図３２は、実際に、当発明を適用し、在庫ロットを減少させ、製造リードタイムを下げた例である。なお、在庫ロット数の減少比率も図３２とほぼ同様である。
【００８８】
これにて明白なように、当方法とその制御及び管理システムによれば、在庫低減と平準化による飛躍的製造リードタイムの短縮が可能であり、特に半導体（ウエハ）等のデバイスの製造の産業の発展に貢献するところ多大である。
【００８９】
本発明は、半導体（ウエハ）等のデバイスを製造（試作を含む）する場合に限定されるものではなく、一般的な製造業に適用できる。具体的には、種種の液晶やプラズマ方式などのディスプレイ、磁気、光といった記録ディスク媒体、或いは薄膜ヘッド、超格子メモリ、といった電子デバイス及び有機物を主に用いたデバイス（例えば有機ＥＬ、有機感光体）を製造するプロセス全般に渡り有効であり、ジョブショップ型のラインに対してはより効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態におけるシステムの全体構成を示す図。
【図２】作業工程の進捗状態を示す図。
【図３】作業工程の進捗状態を示す図。
【図４】作業工程の進捗状態を示す図。
【図５】作業工程の進捗状態を示す図。
【図６】作業工程の進捗状態を示す図。
【図７】作業工程の進捗状態を示す図。
【図８】作業工程の進捗状態を示す図。
【図９】作業工程の進捗状態を示す図。
【図１０】作業工程の進捗状態を示す図。
【図１１】作業工程の進捗状態を示す図。
【図１２】作業工程の進捗状態を示す図。
【図１３】作業工程の進捗状態を示す図。
【図１４】作業工程の進捗状態を示す図。
【図１５】各工程の流れを示す図。
【図１６】（ａ），（ｂ）は各工程の流れを示す図。
【図１７】作業工程の進捗状態を示す図。
【図１８】作業工程の進捗状態を示す図。
【図１９】各工程の流れを示す図。
【図２０】工程別リードタイムの算出を説明するための図。
【図２１】工程別リードタイムの算出を説明するための図。
【図２２】工程別リードタイムを説明するための図。
【図２３】先頭工程でのリードタイムを説明するための図。
【図２４】工程Ｂでのリードタイムを説明するための図。
【図２５】工程Ｄでのリードタイムを説明するための図。
【図２６】リードタイムの計算例を示す図。
【図２７】停滞期間を考慮したリードタイムの算出例を説明するための図。
【図２８】停滞期間のチェックと補正を説明するための図。
【図２９】他のロットが影響を受けることを説明するための図。
【図３０】他のロットの納期を変動させない方法を説明するための図。
【図３１】（ａ），（ｂ），（ｃ）は途中工程バッファでの中間進度の算出を説明するための図。
【図３２】効果確認のための行ったシミュレーション結果を示す図。
【図３３】従来技術を説明するための投入から入庫までの進捗状態を示す図。
【図３４】平準化できていない態を示す図。
【図３５】平準化された状態を示す図。
【図３６】投入から入庫までを示す図。
【図３７】作業工程の進捗状態を示す図。
【図３８】作業工程の進捗状態を示す図。
【図３９】各工程の流れを示す図。
【符号の説明】
１０…製造工程フロー，リードタイム等の管理装置、２０…在庫ロット（トラッキング）管理装置、３０…リードタイム・中間進度管理装置、４０…（マスタ）スケジュール制御管理装置、５０…ディスパッチ（仕掛指示）制御管理装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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