(57)【要約】【課題】この発明はノズルヘッドに形成されたノズルの気泡抜きを迅速かつ確実に行なうことができるようにした溶液の塗布装置を提供することにある。【解決手段】基板の板面に溶液を噴射塗布する塗布装置において、上記溶液を噴射する複数のノズルが形成されたノズルヘッド１３と、上面に上記基板を載置し上記ノズルヘッドの下方でこのノズルヘッドに対して往復駆動される搬送テーブル６と、この搬送テーブルに設けられ搬送テーブルが駆動されることで上記ノズルヘッドのノズルが開口した面に接触してこれらノズルを閉塞するとともに上記搬送テーブルの移動にともない閉塞された複数のノズルを順次開放する開口部が形成され、この開口部によって開放されたノズルから溶液を噴射させて各ノズル内の気泡を抜く気泡抜き部材３８とを具備する。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の板面に溶液を噴射塗布する塗布装置において、
上記溶液を噴射する複数のノズルが形成されたノズルヘッドと、
上面に上記基板を載置し上記ノズルヘッドの下方でこのノズルヘッドに対して往復駆動される搬送テーブルと、
この搬送テーブルに設けられ搬送テーブルが駆動されることで上記ノズルヘッドのノズルが開口した面に接触してこれらノズルを閉塞するとともに上記搬送テーブルの移動にともない閉塞された複数のノズルを順次開放する開口部が形成され、この開口部によって開放されたノズルから溶液を噴射させてノズル内の気泡を抜く気泡抜き部材と、
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。
【請求項２】
上記気泡抜き部材には、上記開口部によってノズルを開放する前に全てのノズルを閉塞する第１の閉塞部と、上記開口部によって開放されて溶液を噴射したノズルを順次閉塞する第２の閉塞部とが設けられていることを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置。
【請求項３】
上記ノズルヘッドには上記溶液の供給管が接続され、この供給管による上記ノズルヘッドへの溶液の供給は、上記気泡抜き部材の第１の閉塞部によって全てのノズルが閉塞されたときに開始され、上記第２の閉塞部によって全てのノズルが閉塞されたときに停止されることを特徴とする請求項２記載の溶液の塗布装置。
【請求項４】
上記気泡抜き部材は、上記ノズルヘッドのノズルが開口した面に対して接離可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置。
【請求項５】
上記搬送テーブルには、上記基板を加熱する加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置。
【請求項６】
基板に溶液を噴射するノズルヘッドに形成された複数のノズルの気泡抜き方法において、
複数のノズルの全てを閉塞する第１の閉塞工程と、
全てのノズルを閉塞した後、上記ノズルヘッドに溶液を供給する供給工程と、
複数のノズルを順次開放し開放されたノズルから溶液を噴射させて気泡抜きする抜気工程と、
溶液が噴射されたノズルを順次閉塞する第２の閉塞工程と、
を具備したことを特徴とする気泡抜き方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はノズルから基板の板面に溶液を噴射して塗布する塗布装置及び上記ノズルの気泡を抜くための気泡抜き方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば、液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、ガラス基板や半導体ウエハなどの基板に配向膜、レジスト、カラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンスなどの機能性薄膜を形成する成膜プロセスがある。この成膜プロセスでは、上記溶液を塗布するためにインクジェット方式によって溶液を噴射塗布するノズルヘッドを備えた塗布装置が用いられる。
【０００３】
上記塗布装置は、基板を搬送する搬送テーブルを有し、この搬送テーブルの上方には、搬送テーブルの移動方向と直交する方向に沿って複数のノズルヘッドが並設されている。各ノズルヘッドには複数のノズルが穿設されたノズルプレートが設けられ、各ノズルからはノズルヘッドに供給された溶液がピエゾ素子によって加圧されて噴射されるようになっている。
【０００４】
ノズルヘッドの修理交換をしたり、溶液を種類の異なる溶液に交換した場合などには、上記ノズルヘッドに溶液を供給する供給管、この供給管によって溶液が供給されるノズルヘッドの内部、さらにノズルヘッドに形成されたノズルの各部から気泡を除去する、気泡抜きが行なわれる。
【０００５】
上記各部の気泡抜きを行なうことで、ノズルヘッドに形成された複数のノズルから基板に向けて溶液を確実にかつ均一に噴射することができるようになるから、基板に対する溶液の塗布精度を向上させることができる。
【０００６】
塗布装置には通常、複数のノズルヘッドが搬送テーブルの移動方向に対して直行する方向に一列或いは二列に設けられ、さらに各ノズルヘッドには数十のノズルが形成されている。したがって、塗布装置全体ではノズルの数が数百に及ぶことになる。
【０００７】
上記供給管とノズルヘッドの内部の気泡抜きは、溶液を上記供給管からノズルヘッドに供給し、このノズルヘッドに接続された戻り管に戻すことで行なわれる。その場合、ノズルヘッドに形成されたノズルを閉塞してもよいが、閉塞しなくても、ノズル孔は細径で、他の部分に比べて流路抵抗が著しく高いから、ノズル孔から溶液が流出することはない。
【０００８】
上記ノズルの気泡抜きを行なう場合には、上記戻り管に設けられたバルブを閉じ、溶液を上記供給管からノズルヘッドに供給し、ノズルから噴射させることで行なわれる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、塗布装置は、上述したように複数のノズルヘッドを有し、しかも各ノズルヘッドには数十のノズルが形成されているから、ノズルの総数はかなり多くなる。そのため、溶液をノズルヘッドに供給し、ノズルから噴射させようとしても、溶液が全てのノズルから均一に噴射し難く、全てのノズルから溶液が噴射するまでにはかなりの時間が掛かることになる。その結果、全てのノズルの気泡抜きを迅速に行うことができず、作業能率が悪いということがあるばかりか、その間に使用する溶液の量がかなり多くなるということもある。
【００１０】
基板に機能性薄膜を形成するための溶液は高価なものが多いため、気泡抜きのために使用する溶液の量が多くなるとコストの大幅な上昇を招くことになる。
【００１１】
そこで、気泡抜きに使用した溶液を回収し、基板に塗布することで再使用するということも行なわれている。しかしながら、気泡抜きに使用した溶液は汚れたり、大気との接触による酸化などによって性能が劣化することがあるため、再使用すると、不良品の発生を招く虞がある。そのため、ノズルの気泡抜きをわずかな溶液によって短時間で確実に行なうことができるようにすることが望まれている。
【００１２】
この発明は、ノズルの数が多くても、これらノズルの気泡抜きを少ない溶液によって短時間で確実に行なうことができるようにした塗布装置及び気泡抜き方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、基板の板面に溶液を噴射塗布する塗布装置において、
上記溶液を噴射する複数のノズルが形成されたノズルヘッドと、
上面に上記基板を載置し上記ノズルヘッドの下方でこのノズルヘッドに対して往復駆動される搬送テーブルと、
この搬送テーブルに設けられ搬送テーブルが駆動されることで上記ノズルヘッドのノズルが開口した面に接触してこれらノズルを閉塞するとともに上記搬送テーブルの移動にともない閉塞された複数のノズルを順次開放する開口部が形成され、この開口部によって開放されたノズルから溶液を噴射させてノズル内の気泡を抜く気泡抜き部材と、
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
【００１４】
請求項２の発明は、上記気泡抜き部材には、上記開口部によってノズルを開放する前に全てのノズルを閉塞する第１の閉塞部と、上記開口部によって開放されて溶液を噴射したノズルを順次閉塞する第２の閉塞部とが設けられていることを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置にある。
【００１５】
請求項３の発明は、上記ノズルヘッドには上記溶液の供給管が接続され、この供給管による上記ノズルヘッドへの溶液の供給は、上記気泡抜き部材の第１の閉塞部によって全てのノズルが閉塞されたときに開始され、上記第２の閉塞部によって全てのノズルが閉塞されたときに停止されることを特徴とする請求項２記載の溶液の塗布装置にある。
【００１６】
請求項４の発明は、上記気泡抜き部材は、上記ノズルヘッドのノズルが開口した面に対して接離可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置にある。
【００１７】
請求項５の発明は、上記搬送テーブルには、上記基板を加熱する加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置にある。
【００１８】
請求項６の発明は、基板に溶液を噴射するノズルヘッドに形成された複数のノズルの気泡抜き方法において、
複数のノズルの全てを閉塞する第１の閉塞工程と、
全てのノズルを閉塞した後、上記ノズルヘッドに溶液を供給する供給工程と、
複数のノズルを順次開放し開放されたノズルから溶液を噴射させて気泡抜きする抜気工程と、
溶液が噴射されたノズルを順次閉塞する第２の閉塞工程と、
を具備したことを特徴とする気泡抜き方法にある。
【００１９】
この発明によれば、ノズルヘッドに設けられた複数のノズルを閉塞してから順次開放するため、開放されたノズルから溶液を確実に噴射させることができるから、ノズルの数が多くても、溶液を全てのノズルから確実に、しかも比較的短時間で噴射させて気泡抜きを行なうことが可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態を説明する。
【００２１】
図１乃至図６はこの発明の第１の実施の形態の塗布装置１を示し、この塗布装置１は直方体状のベース２を備えている。このベース２の下面の複数箇所にはそれぞれ高さ調整可能な脚３が設けられ、この脚３によってベース２を水平に支持できるようになっている。
【００２２】
上記ベース２の上面の幅方向両端部には長手方向に沿って取付け板４がそれぞれ設けられている。各取付け板４の上面にはガイドレール５が長手方ほぼ全長にわたって設けられている。一対のガイドレール５には搬送テーブル６がスライダ７によってスライド可能に設けられている。この搬送テーブル６は図示しない駆動装置によって上記ガイドレール５に沿って往復駆動されるようになっている。上記搬送テーブル６の上面には支持ピン８などの保持手段によってガラス基板や半導体ウエハなどの基板Ｗが着脱可能に載置される。
【００２３】
上記ベース２の長手方向中途部には、上記一対のガイドレール５を跨いで門型の支持体１１が立設されている。この支持体１１の上部には図２に示すように取付け部材１２が幅方向に沿って架設されている。この取付け部材１２の一側面にはインクジェット方式の複数のノズルヘッド１３が一列或いは二列、この実施の形態では一列で設けられている。
【００２４】
図５（ａ），（ｂ）に示すように、上記ノズルヘッド１３はヘッド本体１４を有し、このヘッド本体１４の下端面にはノズルプレート１５が設けられている。このノズルプレート１５には複数のノズル１６が千鳥状に穿設されている。
【００２５】
上記ヘッド本体１４内には各ノズル１６に対向する位置に図示しないピエゾ素子が設けられ、このピエゾ素子が駆動されることで、上記ヘッド本体１４に後述する供給管２１によって供給された溶液が上記ノズル１６から上記搬送テーブル６に保持された基板Ｗに向けて噴射されるようになっている。
【００２６】
なお、溶液としては基板Ｗに配向膜、レジスト、カラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンスなどの機能性薄膜を形成するものが用いられる。
【００２７】
上記ノズルヘッド１３のヘッド本体１４には、図３に示すように溶液の供給管２１と回収管２２との一端が接続されている。これら供給管２１と回収管２２とには開閉弁２３，２４が設けられている。
【００２８】
上記供給管２１の他端は溶液の供給タンク２５に接続されている。上記回収管２２の他端は回収タンク２６に接続されている。回収タンク２６と供給タンク２５とは中途部に開閉弁２７が設けられた補給管２８によって接続されている。
【００２９】
上記供給タンク２５と回収タンク２６には溶液の液面を検出するレベルセンサ２５ａ，２６ａが設けられている。回収タンク２６の液面が所定以下になると、この回収タンク２６に接続された開閉弁２９を有する補充管３１によって溶液が補充される。上記供給タンク２５の液面が所定以下になると、この供給タンク２５には上記回収タンク２６から溶液が供給される。
【００３０】
なお、上記供給管２１と回収管２２とは、ノズルヘッド１３の数に応じて分岐され、それぞれのノズルヘッド１３に開閉弁２３，２４を介して接続されている。
【００３１】
図４に示すように、上記搬送テーブル６の一端面には上下方向に沿ってガイド部材３３が設けられている。このガイド部材３３には断面形状がＬ字状の可動部材３４の一側辺に設けられたスライダ３５がスライド可能に係合されている。つまり、可動部材３４は上記ガイド部材３３に沿って上下動可能に設けられている。上記可動部材３４は上記搬送テーブル６の一側面に設けられた駆動手段としてのシリンダ３６によって上下駆動される。
【００３２】
上記可動部材３４の他側辺はほぼ水平となっていて、この他側辺の上面にはゴムや弗素樹脂などの弾性材料によって矩形板状に形成された気泡抜き部材３８が設けられている。
【００３３】
上記可動部材３４をシリンダ３６によって図４に鎖線で示すように上昇させると、上記気泡抜き部材３８の上面は上記取付け部材１２に設けられた複数のノズルヘッド１３のノズルプレート１５に密着する高さに上昇するようになっている。
【００３４】
上記気泡抜き部材３８には、図６（ａ）に示すように並設された複数のノズルヘッド１３と対応して複数の開口部３９が形成されている。この実施の形態では、上記開口部３９は直線状のスリットからなり、同図に矢印Ｘで示す搬送テーブル６の走行方向と直交する方向に対して所定の角度θで傾斜している。
【００３５】
上記気泡抜き部材３８が所定の高さに上昇した状態で、上記搬送テーブル６が矢印Ｘ方向に走行すると、上記気泡抜き部材３８は、最初に上記Ｘ方向に沿う幅方向の一端部がノズルヘッド１３のノズルプレート１５に密着する。
【００３６】
上記気泡抜き部材３８のＸ方向に沿う幅方向の一端部は、図６（ａ）にＹで示す千鳥状に形成されたノズル１６の寸法よりも大きな幅寸法Ｚの第１の閉塞部３８ａに形成され、他端部も同様の幅寸法Ｚの第２の閉塞部３８ｂに形成されている。
【００３７】
上記気泡抜き部材３８が搬送テーブル６の走行によって図６（ａ）の位置から図６（ｂ）の位置まで矢印Ｘ方向に移動すると、各ノズルヘッド１３の全てのノズル１６が上記第１の閉塞部３８ａによって閉塞される。
【００３８】
上記気泡抜き部材３８が図６（ｂ）の位置から図６（ｃ）に示すようにさらにＸ方向に移動すると、各ノズルプレート１５の長手方向一端のノズル１６順次開口部３９に対向して開放される。
【００３９】
ノズルプレート１５の長手方向他端のノズル１６が開放され終わると、全てのノズル１６は気泡抜き部材３８の上記Ｘ方向に沿う他端部の第２の閉塞部３８ｂによって閉塞された後、この気泡抜き部材３８との接触状態が解除されるようになっている。
【００４０】
図１と図４に示すように、上記可動部材３４の他辺の気泡抜き部材３８の下方には回収パン４１が搬送テーブル６と一体的に設けられている。この回収パン４１は、後述するごとくノズルから噴射されて開口部３９及び上記可動部材３４の他辺に形成された図示しない通孔部を通過した溶液が回収される。
【００４１】
上記搬送テーブル６には、この上面に支持ピン８によって支持された基板Ｗを加熱するための加熱手段としてのヒータ４２が内蔵されている。このヒータ４２は、基板Ｗに供給された溶液の溶剤を蒸発させず、しかも基板Ｗの上面に噴射された溶液の粘性を基板Ｗの上面で平滑に流動する程度に低下させる温度、たとえば３０〜４０℃に上記基板Ｗを加熱するよう制御されるようになっている。
【００４２】
つぎに上記構成の塗布装置１によって基板Ｗに溶液を塗布する前に気泡抜きする手順について図６（ａ）〜（ｄ）を参照して説明する。
【００４３】
溶液を種類の異なるものに交換したり、ノズルヘッド１３を修理、交換した場合などには、ノズルヘッド１３の内部やノズル１６に気泡が残留することがあるから、気泡抜きを行なわなければならない。気泡抜きを行なうには、まず、供給タンク２５の溶液を供給管２１からノズルヘッド１３に供給し、回収管２２から回収タンク２５に回収することで、供給管２１やノズルヘッド１３内に滞留する気泡を溶液の流れによって除去することができる。
【００４４】
ノズルヘッド１３の気泡抜きが終了したならば、ノズルプレート１５に設けられたノズル１６の気泡抜きを行なう。ノズル１６の気泡抜きは、まず気泡抜き部材３８をノズルプレート１５に密着する高さに上昇させた後、搬送テーブル６をノズルヘッド１３に向けて走行させる。気泡抜き部材３８が図６（ａ）に示す状態から図６（ｂ）に示すようにノズルヘッド１３の下方に到達すると、搬送テーブル６の搬送方向に沿う気泡抜き部材３８の幅方向一端部に形成された第１の閉塞部３８ａによって各ノズルヘッド１３の全てのノズル１６が閉塞される。
【００４５】
全てのノズル１６が閉塞された時点で供給管２１を通じてノズルヘッド１３への溶液の供給を開始する。この時点では全てのノズル１６が気泡抜き部材３８の第１の閉塞部３８ａによって閉塞されているから、溶液はノズル１６から噴射去れず、ノズルヘッド１３内で圧力が上昇する。
【００４６】
気泡抜き部材３８の第１の閉塞部３８ａが全てのノズル１６を閉塞した状態から、図６（ｃ）に示すように気泡抜き部材３８をさらに矢印Ｘ方向に移動すると、各ノズルプレート１５の長手方向一端のノズル１６から順次開口部３９に対向して開放される。それによって、開放されたノズル１６から溶液が噴射するから、そのノズル１６の気泡抜きが行なわれる。
【００４７】
気泡抜き部材３８が図６（ｃ）に示す状態からさらにＸ方向へ移動することで、全てのノズル１６が順次開口部３９に対向して開放されるから、開放されたノズル１６から順次気泡抜きされることになる。
【００４８】
このようにして全てのノズル１６の気泡抜きが終了すると、図６（ｄ）に示すように気泡抜き部材３８の第２の閉塞部３８ｂによって全てのノズル１６が閉塞されるから、この時点で溶液の供給を停止することで、ノズル１６の気泡抜きが終了する。
【００４９】
このように、気泡抜き部材３８を移動させ、複数のノズル１６を順次開口部３９に対向させて開放し、開放されたノズル１６から溶液が噴射して気泡抜きを行なうようにした。
【００５０】
そのため、複数のノズルヘッド１３を備えることで、ノズル１６の数が増大しても、全てのノズル１６のうちの一部ずつ開放して気泡抜きするため、開放されたノズル１６から溶液を確実かつ迅速に噴射させて気泡抜きすることができる。
【００５１】
つまり、ノズル１６の数が多くなった場合、仮に全てのノズル１６から溶液を同時に噴射させて気泡抜きすると、抵抗の大きなノズル１６からは溶液を確実に、しかも迅速に噴射させることができないため、気泡抜きに要する時間が長くなるとともに、使用する溶液の量も増大することになる。
【００５２】
しかしながら、この発明によれば、上述したように多数のノズル１６の全てを閉塞した後、ノズル１６を一部ずつ順次開放して気泡抜きを行なうようにした。そのため、全てのノズル１６の気泡抜きを短時間で確実に行なうことができるから、それによって溶液の使用量も少なくてすむ。
【００５３】
上記気泡抜き部材３８には、ノズル１６を開口部３９に対向させる前に、全てのノズル１６を閉塞する第１の閉塞部３８ａ及び全てのノズル１６を開口部３９に対向させて気泡抜きした後、これらのノズル１６の全て閉塞する第２の閉塞部３８ｂを設けるようにした。
【００５４】
第１の閉塞部３８ａを設けたことで、開口部３９に対向する前のノズル１６から溶液が噴射されることがないから、溶液が無駄に使用されるのを防止できる。第２の閉塞部３８ｂを設けたことで、開口部３９に対向して溶液の噴射が終了したノズル１６から再度溶液が噴射されることがないから、開口部３９に対向位置するノズル１６から溶液を確実に噴射させることが可能となるばかりか、溶液が無駄に噴射されるのをなくすこともできる。
【００５５】
このようにして気泡抜きが行なわれた塗布装置１によって基板Ｗに溶液を塗布する場合、気泡抜き部材３８をノズルプレート１５に接触しない高さに下降させて搬送テーブル６を駆動する。基板Ｗがノズルヘッド１３の下方に搬送されたならば、各ノズルヘッド１３のノズル１６から基板Ｗに溶液を噴射する。
【００５６】
基板Ｗは搬送テーブル６に設けられたヒータ４２によって所定の温度、つまり溶液中の溶媒が蒸発して流動性が損なわれることのない温度に加熱されている。そのため、基板Ｗの板面に噴射された溶液は、粘度低下して流動し、基板Ｗの板面で平滑になるから、溶液によって形成される機能性薄膜を均一な厚さにすることが可能となる。
【００５７】
従来、溶液の粘性を低下させるためには、溶液を供給タンク２５内で予め所定の温度に加熱しておくということが行なわれていた。しかしながら、溶液を供給タンク２５内で加熱すると、溶液が加熱されてからノズルヘッド１３のノズル１６から噴射されるまでの時間が長くなることが多いから、その間に溶液が酸化するなどして劣化するということがあり、好ましくなかった。
【００５８】
しかしながら、搬送テーブル６にヒータ４２を設けて基板Ｗを加熱するようにしたことで、溶液の仮焼成されるまでの加熱時間を短くできるから、酸化などによる劣化を抑制することができる。
【００５９】
この発明は上記第１の実施の形態に限定されるものでない。たとえば、第１の実施の形態では気泡抜き部材３８にノズルヘッド１３と対応する数の開口部３９を形成したが、図７に示すように２つのノズルヘッド１３に対して１つの開口部３９Ａを形成するようにしてもよく、さらには図示しないが３つ以上のノズルヘッド１３に対して１つの開口部３９Ａを形成するようにしてもよい。
【００６０】
開口部３９を複数のノズルヘッド１３に対応させれば、一度に開放されるノズル１６の数が少なくなるから、開放されたノズル１６から溶液をより一層、迅速かつ確実に噴射させることが可能となる。
【００６１】
塗布装置１にはノズルヘッド１３が図８に示すように二列に設けられることがある。そのような場合であっても、気泡抜き部材３８にはたとえば各ノズルヘッド１３に対応するよう開口部３９Ｂを二列に形成することで、第１の実施の形態と同様、ノズル１６の気泡抜きを行なうことができる。
【００６２】
なお、この場合、詳細は図示しないが、開口部３９は複数のノズルヘッド１３に対応する形状としてもよい。
【００６３】
気泡抜き部材３８に形成される開口部３９の形状は直線状に限られず、図９に示す階段状の開口部３９Ｃや図１０に示すＶ字状の開口部Ｄなどであってもよく、要は気泡抜き部材３８がノズルヘッド１３に対して接触しながら移動することで、複数のノズル１６を順次開放することができる形状であればよい。
【００６４】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、ノズルヘッドに設けられた複数のノズルを閉塞してから順次開放し、開放されたノズルから溶液を噴射してノズルの気泡抜きを行なうようにした。
【００６５】
そのため、ノズルの数が多くても、全てのノズルから溶液を確実に、しかも比較的短時間で噴射させて気泡抜きを行なうことが可能となるから、気泡抜きに使用する溶液を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態に係る塗布装置の側面図。
【図２】図１の塗布装置の縦断面図。
【図３】ノズルヘッドに溶液を供給するための配管図。
【図４】搬送テーブルの気泡抜き部材が設けられた端部の拡大図。
【図５】（ａ）はノズルヘッドの正面図、（ｂ）はノズルプレートを示すノズルヘッドの底面図。
【図６】（ａ）は気泡抜き部材がノズルヘッドに接触する前の状態の説明図、（ｂ）は気泡抜き部材の第１の閉塞部によって全てのノズルが閉塞された状態の説明図、（ｃ）はノズルの一部が開口部に露出した状態の説明図、（ｄ）は気泡抜き部材の第２の閉塞部によって全てのノズルが閉塞された状態の説明図。
【図７】この発明の気泡抜き部材の変形例を示す平面図。
【図８】ノズルヘッドの配置状態の変形例を示す平面図。
【図９】気泡抜き部材に形成される開口部の変形例を示す平面図。
【図１０】気泡抜き部材に形成される開口部のさらに他の変形例を示す平面図。
【符号の説明】
６…搬送テーブル
１３…ノズルヘッド
１６…ノズル
２１…供給管
３８…気泡抜き部材
３９…開口部
４２…ヒータ（加熱手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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