(57)【要約】【課題】液晶パネル配向塗膜の乾燥に際し、均一な鏡面状の乾燥皮膜の形成を可能とするとともに、静電気による障害を抑えて高品質の乾燥皮膜を形成することが可能な簡易な構成の液晶パネル配向塗膜乾燥装置を提供する。【解決手段】液晶パネル配向塗膜乾燥装置は、平板状の目的基板６を収容して気密に封止が可能な気密容器１，２と、この気密容器１，２から充満気体を排出する吸引減圧機構８，９とから構成され、上記気密容器１，２には、目的基板６を平坦に支持しうる長さと間隔で起立する複数本の支持ピン３…を備えて構成する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の目的基板を収容して気密に封止が可能な気密容器と、この気密容器からその内部の充満気体を排出する吸引減圧機構とからなる液晶パネル配向塗膜乾燥装置であって、
上記気密容器には、目的基板を平坦に支持しうる長さと間隔で起立する複数本の支持ピンを備えることを特徴とする液晶パネル配向塗膜乾燥装置。
【請求項２】
前記複数本の支持ピンは、その少なくとも１本を熱伝導率が小さい合成樹脂材により形成してなることを特徴とする請求項１記載の液晶パネル配向塗膜乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネル配向塗膜の乾燥に使用する液晶パネル配向塗膜乾燥装置に関し、特に、液晶パネル配向塗膜の乾燥に際し、均一な鏡面状の乾燥皮膜の形成を可能とするとともに静電気による障害を抑えて高品質の乾燥皮膜を形成することが可能な液晶パネル配向塗膜乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７に示すホットプレート方式の液晶パネル配向塗膜乾燥装置が知られている。この液晶パネル配向塗膜乾燥装置は、液晶パネル配向塗膜を乾燥させるために、吸着プレート１０１を介して液晶パネルの配向塗膜液面をヒータ１０２側に密接させるように構成することにより、液晶パネル基板１０３上に印刷技術により塗布された液を均一に乾燥して鏡面皮膜を形成するものである。最終製品の液晶パネルは、塗布と乾燥の工程を繰り返して各種の膜を多層に重ねることにより製造する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記液晶パネル配向塗膜乾燥装置は、ヒータ１０２の表面温度の均一化に限界があり、また、介在する吸着プレート１０１の表面の複雑な構成、すなわち、吸着プレート１０１に貫通する支持ピン１０４…のそれぞれの昇降穴１０５…が開口するとともに、吸着用の吸引口１０６…が開口していることから、吸着プレート１０１と密接する部分との間の熱伝達の差による乾燥速度の部分的な差によって斑が生じ、また、表面状態の差が生じることにより、均一な乾燥条件を満たすことが困難となっていた。このような原因による乾燥斑は、重ねて処理される後工程にも影響し、最終製品の視認性の品質を損なうこととなる。その他に、吸着プレート１０１に密着している乾燥後の液晶パネル基板１０３を吸着プレート１０１から剥がす際に静電気が発生し、基板上に形成されている電子回路が静電気障害により部分的に破損するという問題をも内包している。
【０００４】
本発明の目的は、液晶パネル配向塗膜の乾燥に際し、均一な鏡面状の乾燥皮膜の形成を可能とするとともに、静電気による障害を抑えて高品質の乾燥皮膜を形成することが可能な簡易な構成の液晶パネル配向塗膜乾燥装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、平板状の目的基板を収容して気密に封止が可能な気密容器と、この気密容器からその内部の充満気体を排出する吸引減圧機構とからなる液晶パネル配向塗膜乾燥装置であって、上記気密容器には、目的基板を平坦に支持しうる長さと間隔で起立する複数本の支持ピンを備えることを特徴とする。
【０００６】
上記気密容器内の目的基板は、複数本の支持ピンによって最小限度の接触面積により平坦に支持されることから、気密容器との間の熱移動が小さく抑えられて温度分布が均一化され、また、吸引減圧機構によって吸引減圧された均等圧力の雰囲気による蒸発気化作用により、目的基板の表面の塗膜液が一様に乾燥されることから、均一な乾燥皮膜が形成されるとともに、目的基板を取出す際の支持ピンとの間の最小限度の接触により、両者間に発生する静電気が小さく抑えられる。
【０００７】
請求項２に係る発明は、前記複数本の支持ピンは、その少なくとも１本を熱伝導率が小さい合成樹脂材により形成してなることを特徴とする。
上記支持ピンは熱伝導率が小さいので、接触する目的基板との間の熱移動が小さく抑えられることから、目的基板の部分的な温度変化が小さく、温度分布を均一に確保することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
上記技術思想に基づき具体的に構成された実施の形態について以下に図面を参照しつつ説明する。
【０００９】
本発明の液晶パネル配向塗膜乾燥装置の開放状態の斜視図を図１に、また、その縦断面図を図２に示す。図１および図２において、液晶パネル配向塗膜乾燥装置は、平板状の目的基板６を収容可能な大きさのベース部２と、このベース部２に対して封止可能に昇降する気密蓋部１とによって開閉可能な気密容器を構成し、そのベース部２には複数本の支持ピン３…を立設する。この複数本の支持ピン３…は、目的基板を平坦に支持しうる長さと間隔でベース部２から起立する。ベース部２には、複数の開口９ａ…を形成し、この開口９ａ…に連通する排気用の導通路９を備え、吸引減圧ポンプ（吸引減圧機構）８を接続する。
【００１０】
ベース部２の外周部には、気密蓋部１を昇降支持する伸縮脚４を四隅に備え、また、気密蓋部１の下端部には、ベース部２との間で当接封止が可能なシール部７を形成し、伸縮脚４を短縮した場合において気密蓋部１によって目的基板６を収容しうる気密室を形成する。また、気密蓋部１の上部には、内部確認用の透視窓５を形成する。
【００１１】
上記構成の液晶パネル配向塗膜乾燥装置は、伸縮脚４を伸ばして気密蓋部１を開いた状態で目的基板６を出し入れし、乾燥処理時は、図３の封止状態の縦断面図のように、複数本の支持ピン３…によって目的基板６を支持し、伸縮脚４を縮めることによって気密蓋部１のシール部７により気密に封止する。このようにして目的基板６を収容配置した気密室から吸引減圧ポンプ８により排気する。
【００１２】
この場合、気密容器１，２内の目的基板６は、複数本の支持ピン３…によって平坦に支持されることから、気密容器１，２との間の熱移動を小さく抑えて温度分布が均一化され、また、吸引減圧ポンプ８によって吸引減圧された等圧の雰囲気による蒸発気化作用により、目的基板６の表面の塗膜液が一様に乾燥されることから、均一な乾燥皮膜を形成することができる。
【００１３】
詳細に説明すると、目的基板６には、前工程において印刷方式によって塗膜液が均一に塗布され、この目的基板６は気密容器１，２内に搬送された状態で室温にあることから、均一な温度分布が保たれる。吸引減圧による内圧低下とともに、塗膜液の蒸発温度が低下することにより塗膜液中の溶媒が急速に蒸発する。この蒸発は目的基板６の全表面から均一に進行することから、蒸発熱が奪われた後もその温度分布は均一に維持される。また、真空状態の気密容器内においては、対流を含めて内部の気体の流動が抑えられることから、目的基板６は、気流による乱れを受けることなく、均一に乾燥が進行する。さらに、支持ピン３…による微小接触部によって均一性を損なうことなく目的基板６を支持しつつ乾燥することができ、最終的には、残った固形分により目的基板６の表面に均一な鏡面状の乾燥皮膜が形成される。
【００１４】
したがって、従来のホットプレート方式では不可欠な吸着プレートの吸着穴その他の溝や堀込みによる部分的な接触に起因する温度分布の乱れ、加熱送風や対流等による気流の乱れを受けることにより避けられなかった乾燥皮膜形成上の問題は、上記構成の液晶パネル配向塗膜乾燥装置によって解消することができる。
【００１５】
乾燥終了時の取扱いについては、導通路９等から外気を補い、気密容器の内圧を調整した上で伸縮脚４を伸ばして気密蓋部１を開き、目的基板６を支持ピン３…の上方に持ち上げることにより、乾燥後の目的基板を取出すことができる。このとき、目的基板６を支持する接触部は、複数本の支持ピン３…の僅かな面積に過ぎないことから、取出しによる静電気の発生を小さく抑えることができるので、目的基板６に形成されている電子回路に対する静電気障害を招くことなく、安全に取扱うことができる。
【００１６】
上記液晶パネル配向塗膜乾燥装置の具体的な構成においては、目的基板の搬出入のために、ロボットやローラコンベア、ベルトコンベア、エアースライド式のコンベア、または人手その他の搬送方式による。気密容器の開閉構造は、扉方式または容器分割方式が適用できる。扉方式には回転式、移動式が選択でき、容器分割方式には上下分割、水平分割等が選択できる。これらの扉の開閉や容器の分割はエアーや油圧のシリンダ、アクチュエータまたは電動機による。また、目的基板の搬送方式により、図４のように、支持ピン３…の全部又はその一部を昇降ベース１０に植設して昇降可能に構成する。
【００１７】
目的基板の乾燥状態の目視を要する場合には、図５の縦断面図に示すように、気密容器の蓋部１にのぞき窓５を設置した上で、内部の視認性を確保するために、のぞき窓５の外方または内方に照明１１，１２を付設する。また、必要により、加熱用のヒータ１３，１４を設ける。このヒータ１３，１４は、内部を一定温度に昇温加熱することにより目的基板の表面塗布液の蒸発気化作用が促進され、乾燥処理を高速化することができる。
【００１８】
排気用の導通路９は、乾燥による溶媒の移動状態に対応するべく、気密容器の上面、側面、底面等から開口位置を選択する。排気に際しては、突沸による目的基板６の膜面の障害を回避するために、塗布液の種類により真空度の制御を行う。
【００１９】
気密容器内に設ける支持ピン３は、図６（ａ）に示す支持ピン３の各種の先端形状（尖頭１６、丸頭１７、円頭１８、円周頭１９、多角形頭２０，２１）から適用基板の大きさ、厚さ、重量、ピン配置、静電気対策、搬送方式、等に応じて適宜選択することができる。その材質は、ステンレス鋼等による全金属製のほか、合成樹脂材を使用することにより、目的基板に対する傷を抑えることができるとともに、熱伝導を小さく抑えて温度分布の均一化を確保することができるほか、乾燥後に取出す際のスパークを低減することができる。この樹脂製ピンについては、図６（ｂ）のように、樹脂製頭部２２と金属製基部２３とにより構成することができる。そのほか、静電気低減のためには、必要に応じて各種の除電装置を設け、また、図６（ｃ）のように、ピンに吸着孔２４を形成することにより、目的基板を固定することができる。
【００２０】
【発明の効果】
本発明の液晶パネル配向塗膜乾燥装置は以下の効果を奏する。
上記構成の液晶パネル配向塗膜乾燥装置は、支持ピンと低圧雰囲気とによって静電障害を抑えつつ均一な乾燥皮膜を形成することができるので、簡易な構成によって高品質の乾燥皮膜を形成することができ、また、乾燥後は、目的基板を複数本の支持ピンの上方に持ち上げることにより、静電気の発生を抑えつつ、目的基板を取出すことができる。
【００２１】
また、支持ピンを合成樹脂材によって形成した場合は、目的基板との間の熱移動が小さく抑えられ、目的基板の部分的な温度変化が小さく抑えられることから、簡易な構成によって均一な乾燥皮膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液晶パネル配向塗膜乾燥装置の立体斜視図
【図２】図１の液晶パネル配向塗膜乾燥装置の縦断側面図
【図３】図１の液晶パネル配向塗膜乾燥装置の側面視による作用説明図
【図４】支持ピンを昇降可能に構成した例を示す縦断面図
【図５】内部を目視可能に構成した例を示す縦断面図
【図６】支持ピンの先端形状例（ａ）、樹脂製ピンの構成例（ｂ）、吸着孔付きの例（ｃ）
【図７】ホットプレート方式の液晶パネル配向塗膜乾燥装置
【符号の説明】
１  気密蓋部（気密容器）
２  ベース部（気密容器）
３  支持ピン
６  目的基板
７  シール部
８  吸引減圧ポンプ（吸引減圧機構）
９  導通路（吸引減圧機構）
９ａ  開口
１３，１４  ヒータ
１６  尖頭
１７  丸頭
１８  円頭
１９  円周頭
２０，２１  多角形頭
２２  樹脂製頭部
２３  金属製基部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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