(57)【要約】【課題】本発明は、対物レンズと試料との間に配置される液体中に気泡が混じるのを防止し得るようにして、高精度な試料解析を実現することにある。【解決手段】光源５、共焦点光学系を用いた倒立型蛍光顕微鏡１、蛍光標識された試料２３が発する蛍光を電気信号に変換する光電気信号変換部２、電気信号を信号処理して試料２３の特性を求めるデータ処理部３及び求められた試料２３の特性を表示する表示部４とを備えて蛍光分析装置１００を構成した。そして、対物レンズ１１、試料プレート１２を支持するステージ１３、対物レンズ１１と試料プレート１２との間に液体２４を供給する液体供給部１４、液体２４中の気泡を排除する気泡除去部１５、光源５で発生した光を対物レンズ１１に導く光経路１６、及び対物レンズ１１で得られた光を光電気信号変換装置２に導く光経路１７を備えて倒立型蛍光顕微鏡１を構成した。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に光を照射するための光源と、
前記試料に照射された光の透過光または反射光を取得する顕微鏡と、
前記顕微鏡で得られた光を電気信号に変換する光電気信号変換手段と、
前記光電気信号変換装置で変換された電気信号に基づいて前記試料の各種特性を求めるデータ処理手段と
を具備する光分析装置において、
前記顕微鏡は、
前記試料を収容する容器を支持する容器支持部材と、
前記試料に対向して配置される対物レンズと、
前記対物レンズと前記容器との間に液体を供給する液体供給手段と、
前記液体供給手段で供給された液体中の気泡を除去する気泡除去手段と
を備えることを特徴とする光分析装置。
【請求項２】
前記気泡除去手段は、振動子を有し、前記振動子を、前記容器支持部材に接触させたことを特徴とする請求項１記載の光分析装置。
【請求項３】
前記気泡除去手段は、振動子を有し、前記振動子を前記容器に接触させたことを特徴とする請求項１記載の光分析装置。
【請求項４】
前記液体供給手段は、前記液体を前記対物レンズと前記容器との間に吐出する供給ノズルを有し、前記気泡除去手段は、振動子を有し、前記振動子を前記供給ノズルに接触させたことを特徴とする請求項１記載の光分析装置。
【請求項５】
前記気泡除去手段は、音波発生部を有し、前記音波発生部を、前記容器及び前記対物レンズとは間隙を介して配置したことを特徴とする請求項１の光分析装置。
【請求項６】
前記気泡除去手段は、前記容器と前記対物レンズとの間を収容する減圧室、および前記減圧室内を減圧する減圧ポンプを有することを特徴とする請求項１記載の光分析装置。
【請求項７】
顕微鏡の試料を収容する容器と対物レンズとの間に液体を供給した後に前記対物レンズの焦点合わせを行い、前記試料から前記対物レンズに入射した光を測定し、測定された光のデータに基づいて試料の特性を求める光分析装置の運転方法において、
前記供給された液体に振動を与え、その後、前記焦点合わせを行うことを特徴とする光分析装置の運転方法。
【請求項８】
前記容器を支持する容器支持部材を備え、該容器支持部材を振動させて前記供給された液体に振動を与えることを特徴とする請求項７の光分析装置の運転方法。
【請求項９】
前記容器を振動させることによって供給された前記液体に振動を与えることを特徴とする請求項７記載の光分析装置の運転方法。
【請求項１０】
前記試料を収容する容器と前記対物レンズとの間に液体を吐出する供給ノズルを備え、該供給ノズルを振動させて前記供給された液体に振動を与えることを特徴とする請求項７の光分析装置の運転方法。
【請求項１１】
前記試料を収容する容器と前記対物レンズとの間に液体を供給し、次いで前記対物レンズを前記容器に相対的に移動させ、次いで前記供給された液体に振動を与え、その後、前記焦点合わせを行うことを特徴とする請求項７記載の光分析装置の運転方法。
【請求項１２】
前記試料を収容する容器と前記対物レンズとの間に液体を供給しながら、前記供給された液体に振動を与えることを特徴とする請求項７記載の光分析装置の運転方法。
【請求項１３】
対物レンズと、
試料を収容する容器を支持する容器支持部材と、
前記対物レンズ及び前記容器との間に液体を供給する液体供給手段と
を具備する顕微鏡において、
前記液体供給手段により供給された液体中の気泡を除去する気泡除去手段を備えたことを特徴とする顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば蛍光相関分光法（ＦＣＳ）による解析等に供される液浸対物レンズを有する光学顕微鏡を用いる光分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、この種の光分析装置としては、特開平１０−３９２２２号公報に開示されるものが知られている。この公報には、顕微鏡のステージの対物レンズ側に、対物レンズの方向に開放された液溜を設け、標本の液浸と同等の屈折率を持つ透明な液体を滞留させ、対物レンズの先端をこの液体に接触させることが記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術では、液溜に滞留された液体に気泡が混じることがあり、気泡によって液溜に滞留された液体の屈折率が変化して、良好な像が得られなくなる問題がある。
【０００４】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、構成簡易にして、対物レンズと試料の間に配置された液体中に気泡が混じるのを効果的に防止し得るようにした光分析装置、その運転方法及び顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決する手段】
本発明は、試料に光を照射するための光源と、前記試料に照射された光の透過光または反射光を取得する顕微鏡と、前記顕微鏡で得られた光を電気信号に変換する光電気信号変換手段と、前記光電気信号変換装置で変換された電気信号に基づいて前記試料の各種特性を求めるデータ処理手段とを具備する光分析装置において、前記顕微鏡を、前記試料を収容する容器を支持する容器支持部材と、前記試料に対向して配置される対物レンズと、前記対物レンズと前記容器との間に液体を供給する液体供給手段と、前記液体供給手段で供給された液体中の気泡を除去する気泡除去手段とを備えて構成した。
【０００６】
上記構成によれば、容器支持部材が試料を収容する容器を支持し、液体供給手段が対物レンズと容器との間に液体を供給し、気泡除去手段が供給された液体中の気泡を除去することにより、気泡による光の反射や散乱が減少され、液体中における屈折率が均一化される。従って、対物レンズの焦点合わせを精度良く行うことができ、しかも、液体中における光の損失が少なくなるため、焦点位置で試料への光の照射を効率よく行うことが可能となり、且つ、対物レンズに入る光の損失が液体中において軽減することができる。これにより、高精度な光の測定データを光電気信号変換手段で取得することができて、試料の精度良い分析結果を得ることが可能となる。
【０００７】
また、本発明の光分析装置は、前記気泡除去手段に振動子を備えて、該振動子を容器支持手段に接触させるように構成した。
【０００８】
また、本発明の光分析装置は、前記気泡除去手段に振動子を備えて、該振動子を容器に接触させるように構成した。
【０００９】
また、本発明の光分析装置は、前記液体供給手段に、液体を対物レンズと容器との間に吐出する供給ノズルを備えると共に、前記気泡除去手段に振動子を備え、該振動子を前記供給ノズルに接触配置するように構成した。
【００１０】
上記構成によれば、各振動子が振動すると容器支持部材、容器又は供給ノズルを介して振動が液体に伝わり、液体中に浮遊する気泡、容器表面に付着している気泡、対物レンズの表面に付着している気泡が液体から排除され、しかも、振動によって容器内の試料が撹拌されて、試料内の物体の濃度が均一化される。従って、光電気信号変換手段で取得される光の測定データの正確化が促進されて、さらに、試料の精度良い分析結果を得ることが可能となる。
【００１１】
また、本発明の光分析装置は、前記気泡除去手段に、音波発生部を備え、該音波発生部を、前記容器及び対物レンズに対して間隙を採って配置するように構成した。
【００１２】
上記構成によれば、音波発生部で発生した音波が液体を振動させることによって、気泡が液体から排除され、同様に正確な光の測定データの取得が可能となる。
【００１３】
また、本発明の光分析装置は、気泡除去手段を、容器と対物レンズとの間を収容する減圧室、及び減圧室内を減圧する減圧ポンプを備えて構成した。
【００１４】
上記構成によれば、容器と対物レンズとの間を液体で満たした後、又は液体供給手段が対物レンズと容器との間に液体を供給しながら、減圧ポンプによって減圧室を減圧することにより、液体中の気泡を除去することができる。従って、同様に液体から気泡が効果的に排除され、同様に正確な光の測定データの取得が可能となる。
【００１５】
また、本発明は、顕微鏡の試料を収容する容器と対物レンズとの間に液体を供給した後に前記対物レンズの焦点合わせを行い、前記試料から前記対物レンズに入射した光を測定し、測定された光のデータに基づいて試料の特性を求める光分析装置の運転方法において、前記供給された液体に振動を与え、その後、前記焦点合わせを行うように構成した。
【００１６】
上記構成によれば、振動によって液体中の気泡が除去されるので、気泡による光の反射や散乱が減少し、液体中で屈折率が均一化されることにより、対物レンズの焦点合わせを精度良く行うことができる。また、これによれば、対物レンズに入る光の損失を液体中において少なくすることができると共に、その振動によって容器内の試料が撹拌されて、試料内の物体の濃度を均一化することができる。従って、高精度な光の測定データを光電気信号変換手段で得ることができて、試料の精度良い分析結果を得ることが可能となる。
【００１７】
また、本発明の光分析装置の運転方法は、前記容器を支持する容器支持部材をを備えて、該容器支持部材を振動させて前記供給された液体を振動させるように構成した。
【００１８】
また、本発明の光分析装置の運転方法は、前記容器を振動させて前記供給された液体を振動させるように構成した。
【００１９】
また、本発明の光分析装置の運転方法は、液体を対物レンズと容器との間に吐出する供給ノズルを備えて、該供給ノズルを振動させて前記供給された液体に振動を与えるように構成した。
【００２０】
上記構成によれば、容器支持部材、容器又は供給ノズルを介して振動が液体に伝わり、液体中に浮遊する気泡、容器表面に付着している気泡、対物レンズの表面に付着している気泡が液体から排除され、しかも、振動によって容器内の試料が撹拌されて、試料内の物体の濃度が均一化される。従って、取得される光の測定データの正確化が促進されて、さらに、試料の精度良い分析結果を得ることが可能となる。
【００２１】
また、本発明の光分析装置の運転方法は、試料を収容する容器と対物レンズとの間に液体を供給し、次いで対物レンズを容器の方向に相対的に移動させ、次いで供給された液体に振動を与え、その後、焦点合わせするように構成した。
【００２２】
また、本発明の光分析装置の運転方法は、試料を収容する容器と対物レンズとの間に液体を供給しながら、供給された液体に振動を与えるように構成した。
【００２３】
上記構成によれば、液体を供給後、対物レンズを容器に対して相対的に移動させて振動を与えた後、あるいは液体を供給しながら振動を与えることにより、液体中に浮遊する気泡、容器表面に付着している気泡、対物レンズの表面に付着している気泡が液体から排除されると共に、該液体の振動によって容器内の試料が撹拌されて、試料内の物体の濃度が均一化される。従って、同様に取得される光の測定データの正確化が促進されて、さらに、試料の精度良い分析結果を得ることが可能となる。
【００２４】
また、本発明は、対物レンズと、試料を収容する容器を支持する容器支持部材と、前記対物レンズ及び前記容器との間に液体を供給する液体供給手段とを具備する顕微鏡において、前記液体供給手段により供給された液体中の気泡を除去する気泡除去手段を備えて構成した。
【００２５】
上記構成によれば、容器支持部材が試料を収容する容器を支持し、液体供給装置が対物レンズと容器との間に液体を供給し、気泡除去手段が供給された液体中の気泡を除去することにより、気泡による光の反射や散乱が防止されて、液体中における屈折率が均一化される。従って、対物レンズの焦点合わせを精度良く行うことができ、しかも、試料から対物レンズに入る光の損失が液体中において少なくなるため、焦点位置で試料への光の照射を効率よく行うことが可能となり、且つ、対物レンズに入る光の損失が液体中において軽減することができて、試料の観察を精度良く行うことが可能となる。
【００２６】
【発明の実施の様態】
以下、本発明の実施の形態に係る光分析装置、その運転方法及び顕微鏡について、図面を参照して説明する。
【００２７】
（第一の実施の形態）
図１は、本実施例の第一の実施の形態に係る光分析装置である蛍光分析装置１００を示す。即ち、この蛍光分析装置１００には、光源５、共焦点光学系を用いた倒立型蛍光顕微鏡１、該倒立型蛍光顕微鏡１で取得される蛍光標識された試料２３（図２参照）が発する蛍光を、電気信号に変換する光電気信号変換手段である光電気信号変換部２、該光電気信号変換部２で求めた測定データに基づいて試料２３の特性を求めるデータ処理手段であるデータ処理部３及び該データ処理部３で求めた試料２３の各種特性を表示する表示部４が設けられる。また、この蛍光分析装置１００には、上記各部を制御する制御部６（図３参照）が設けられる。
【００２８】
なお、上記光源５は、例えばレーザー光発生装置で構成され、上記光電気信号変換部２は、例えばフォトマルチプライヤやアバランシェフォトダイオードで構成される。
【００２９】
上記倒立型蛍光顕微鏡１は、例えば対物レンズ１１、容器を構成する試料プレート１２を支持するステージ１３、対物レンズ１１と試料プレート１２との間に液体を供給する液体供給手段である液体供給部１４、液体中の気泡を除去する気泡除去手段である気泡除去部１５、上記光源５で発生した光を対物レンズ１１に導く光経路１６、及び対物レンズ１１で得られた光を上記光電気信号変換部２に導く光経路１７を有する。
【００３０】
上記液体供給部１４には、試料プレート１２の底面１８と対物レンズ１１との間に液体を供給するための供給ノズル１９、及び供給する液体２４の量を調整する液体調整部２０が設けられる。そして、上記気泡除去部１５には、振動子２１、及び振動子２１の駆動を制御する振動制御部２２が設けられる。
【００３１】
上記対物レンズ１１の上方には、試料プレート１２が配置される。この試料プレート１２は、図２に示すように容器支持部材であるステージ１３に支持されて、上記対物レンズ１１の上方に配置される。ステージ１３には、振動子２１が設けられ、振動子２１には、上記振動制御部２２が接続されている。
【００３２】
また、上記対物レンズ１１の近傍には、供給ノズル１９が配置され、この供給ノズル１９には、液体調整部２０が接続されている。
【００３３】
上記供給ノズル１９により供給される液体２４は、例えば薬剤で屈折率を調整した溶液や水などで、光を散乱させるような不純物が混入してないものが好ましい。そして、上記試料プレート１２としては、例えば試料２３を平面に置くプレートや試料を収容する凹部を複数持つウエルなどで、光源５からの光が透過するものが好ましい。
【００３４】
ここで、上記制御部６について説明する。即ち、制御部６は、図３に示すように上記光源５及び光経路１６，１７の光学系を制御する光源・光学系制御部７、上記ステージ１３の移動を制御するステージ制御部８、上記液体供給部１４を制御する液体供給制御部９、上記気泡除去部１５を制御する気泡除去制御部１０、上記対物レンズ１１の移動や焦点合わせを制御する対物レンズ制御部２８、及び予め定められた蛍光分析装置の運転手順に従って各制御部７〜１０、２８に命令を与える中央制御部２９を有する。
【００３５】
上記制御部６は、試料プレート１２がステージ１３にセットされると、中央制御部２９が予め決められた位置にステージ１３を移動させるようにステージ制御部８に命令する。ステージ制御部８は、命令に従ってステージ１３を駆動させる。
【００３６】
測定開始前、中央制御部２９は、対物レンズ１１と試料プレート１２との間に液体を供給するように液体供給制御部９に命令する。液体供給制御部９は、命令に従って液体調整部２０を駆動する。
【００３７】
次いで、中央制御部２９は、液体２４の供給後又は供給中の予め定められた期間に、供給された液体２４中の気泡を除去するように気泡除去制御部１０に命令する。気泡除去制御部１０は、命令に従って気泡除去部１５を駆動させる。
【００３８】
次いで、中央制御部２９は、対物レンズ１１の移動、又は焦点合わせを行うように気泡除去制御部１０に命令する。対物レンズ制御部２８は、命令に従って対物レンズ１１の移動または焦点合わせ行う。そして、中央制御部２９は、データ処理を開始するようにデータ処理部３（図１参照）に命令する。データ処理部３は、命令に従ってデータ処理を行い、所領の所望の特性を算出する。
【００３９】
ここで、上記液体供給部１４により供給される液体２４中の気泡を排除する方法について図４を参照して説明する。
【００４０】
まず、ステップＳ４０において、試料プレータ１２がステージ１３にセットされ、このセット状態において、液体供給部１４が駆動されて液体調整部２０が対物レンズ１１上に予め定められた量の液体２４を供給ノズル１９から吐出させて供給する（ステップＳ４１）。
【００４１】
続いて、ステップＳ４２に移行して、対物レンズ１１を試料プレート１２方向に移動させ、試料プレート１２の底面１８と対物レンズ１１との間を液体２４で満たす。その後、振動制御部２２は、振動子２１を駆動して、ステージ１３を振動させる（ステップＳ４３）。ここで、振動は、ステージ１３及び試料プレート１２を介して液体２４に伝わり、液体２４中に浮遊する気泡、試料プレート１２の底面１８に付着している気泡、対物レンズ１１の表面に付着している気泡、が液体２４から排除される。
【００４２】
次に、ステップＳ４４に移行して対物レンズ１１の焦点を合わを行い、試料プレート１２上に収容した試料２３から対物レンズ１１に入射した蛍光を測定して、測定された蛍光のデータに基づいて試料の特性を求めて表示部２に表示し（ステップＳ４５）、測定動作が終了される。
【００４３】
このように、上記光分析装置は、液体供給部１４で対物レンズ１１と試料プレート１２との間に液体２４を供給し、この液体供給部１４で供給された液体２４に対して振動を与えて該液体２４中の気泡を気泡除去部１５で除去し、試料プレート１２上に載置した試料２３から対物レンズ１１に入射した光を測定し、測定された光のデータに基づいて試料２３の特性を求めるように構成した。
【００４４】
これによれば、液体２４中の気泡が除去されることにより、気泡による光の反射や散乱が減少され、液体２４中における屈折率が均一化されることにより、対物レンズ１１の焦点合わせを精度良く行うことが可能となる。また、液体２４中の気泡が排除されたことにより、光源５からの照射光の散乱による損失が少なくなることで、焦点位置で試料２３への光の照射が効率よく行われる。さらに、対物レンズ１１に入る蛍光の損失が液体２４中において少なくなり、精度良い蛍光の測定データを、光電気信号変換部２で得ることが可能となる。
【００４５】
また、上記気泡を排除するための振動によって試料プレート１２内の試料２３が撹拌されて、試料２３内の物体の濃度を均一化することができる。これによっても、試料２３からの正確な蛍光の測定を行うことが可能となる。
【００４６】
また、上記光分析装置の運転方法では、対物レンズ１１と試料プレート１２との間に液体２４を供給した後、供給された液体２４に振動を与え、その後、対物レンズ１１の焦点合わせを行い、試料プレート１２上に載置した試料から対物レンズ１１に入射した光を測定し、測定された光のデータに基づいて試料２３の特性を求めるように構成した。
【００４７】
これによれば、振動によって液体２４中の気泡が除去されるので、気泡による光の反射や散乱が減少し、液体２４中で屈折率が均一化されることにより、対物レンズ１１の焦点合わせを精度良く行うことができる。また、これによれば、対物レンズ１１に入る光の損失を液体中において少なくすることができると共に、その振動によって試料プレート１２内の試料２３が撹拌されて、試料２３内の物体の濃度を均一化することができる。従って、高精度な光の測定データを光電気信号変換部２で得ることができて、試料２３の精度良い分析結果を得ることが可能となる。
【００４８】
また、上記顕微鏡は、対物レンズ１１及び試料プレート１２との間に液体２４を液体供給部１４で供給し、この液体供給部１４で供給された液体２４中の気泡を気泡除去部１５で除去するように構成した。
【００４９】
これによれば、液体２４中の気泡が除去されることにより、気泡による光の反射や散乱が防止されて、液体２４中における屈折率が均一化されることにより、対物レンズ１１の焦点合わせを精度良く行うことが可能となる。また、これによれば、試料２３から対物レンズ１１に入る光の損失が液体中において少なくなるため、焦点位置で試料への光の照射を効率よく行うことが可能となり、且つ、対物レンズ１１に入る光の損失が液体２４中において軽減することができて、試料２３の観察を精度良く行うことが可能となる。
【００５０】
なお、上記実施の形態では、ステージ１３に気泡除去部１５の振動子２１を設けて液体２４中の気泡を除去するように構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、図５に示すように振動子２１を試料プレート１２に接触させて配するように構成したり、あるいは図６に示すように振動子２１を供給ノズル１９に配するように構成することも可能である。これら図５及び図６の構成においても、同様の効果が期待される。
【００５１】
（第二の実施の形態）
図７は、本発明の第二の実施の形態を示すもので、上述した第一の実施の形態と同様の効果が期待される。但し、図７においては、上記図一及び図２と同一部分について、同一符号を付して、その説明に付いて省略する。
【００５２】
即ち、第二の実施の形態では、気泡除去手段として上記第一の実施の形態における気泡除去部１５の振動子２１に替えて音波発生器２５を用いて構成される。この音波発生器２５は、例えば超音波発生素子等で構成され、対物レンズ１１の近傍に支持部材２６で配置される。そして、この音波発生器２５には、音波の発生を制御する音波制御部２７が接続されている。
【００５３】
上記構成において、液体２４中の気泡を排除するには、例えば上述した第一の実施の形態と略同様に、試料プレート１２の底面１８と対物レンズ１１との間を液体２４で満たした後、音波制御部２７が音波発生器２５から音波を発生させる。ここで、音波発生器２５から発された音波は、液体２４を振動させ、該液体２４中に浮遊する気泡、試料プレート１２の底面１８に付着している気泡、対物レンズ１１の表面に付着している気泡を排除する。このように、音波を利用していることにより、非接触状態で、液体２４に振動を与えることが可能なことにより、液体２４の供給途中においても効果的に除去することができる。
【００５４】
また、第二の実施の形態における気泡除去動作としては、例えば図８に示す手順で行うことも可能である。即ち、先ず、ステップＳ５０において、試料プレート１２をステージ１３にセットし、その後、ステップＳ５１において、試料プレート１２の底面１８と対物レンズ１１との間を液体２４を供給しながら、又は、対物レンズ１１を試料プレート１２に近づけながら音波制御部２７が音波発生器２５から音波を発生させる。このように音波による気泡除去動作は、非接触状態で、液体２４に振動を与えることが可能なことにより、液体２４の供給途中においても効果的に与えることができる。
【００５５】
また、上記対物レンズ１１を試料プレート１２に近づけながら気泡の除去を行っても、音波を利用していることにより、液体２４を対物レンズ１１上に保ったままで気泡の除去が可能となる。
【００５６】
このように液体２４中の気泡は、音波発生器２５からの音波によって排除される。その後、ステップＳ５２において、対物レンズ１１の焦点合わせが行われ、試料の蛍光を取得してデータ処理して、所望の特性を求めて表示部４に表示し（ステップＳ５３）、測定動作が終了される。
【００５７】
（第三の実施の形態）
図９は、第三の実施の形態に係る光分析装置である蛍光分析装置３００を示すもので、上述した第一の実施の形態と同様の効果を期待することができる。但し、図９においては、上記図１と同一部分について、同一符号を付して、その説明を省略する。即ち、第三の実施の形態においては、例えば倒立型蛍光顕微鏡１の対物レンズ１１、ステージ１３、液体供給部１４の供給ノズル１９を減圧室３０内に収容配置する。この減圧室３０には、減圧ポンプ３１が連結される。そして、この減圧ポンプ３１は、減圧制御部３２の接続され、この減圧制御部３２を介して駆動制御される。
【００５８】
上記構成において、液体２４中の気泡を排除するには、例えば図１０あるいは図１１に示す手順で実行される。
【００５９】
先ず、図１０の気泡除去手順では、まず、ステップＳ６０において、試料プレータ１２がステージ１３にセットされ、このセット状態において、液体供給部１４が駆動されて液体調整部２０が対物レンズ１１上に予め定められた量の液体を供給ノズル１９から吐出させて供給する（ステップＳ６１）。
【００６０】
続いて、ステップＳ６２に移行して、対物レンズ１１を試料プレート１２方向に移動させ、試料プレート１２の底面１８と対物レンズ１１との間を液体２４で満たす。その後、減圧制御部３２は、減圧ポンプ３１を駆動して、減圧室３０内を減圧する（ステップＳ６３）。ここで、減圧室３０内の減圧に伴って、対物レンズ１１と試料プレート１２との間の液体２４中に浮遊する気泡、試料プレート１２の底面１８に付着している気泡、対物レンズ１１の表面に付着している気泡が排除される。
【００６１】
次に、ステップＳ６４に移行して対物レンズ１１の焦点を合わせを行い、その後、ステップＳ６５に移行して、試料プレート１２上に載置した試料から対物レンズ１１に入射した蛍光を測定して、測定された蛍光のデータに基づいて試料２３の特性を求めて表示部２に表示し、測定動作が終了される。
【００６２】
また、図１１の気泡除去手順においては、先ず、ステップＳ７０で試料プレート１２をステージ１３にセットし、その後、ステップＳ７１において、試料プレート１２の底面１８と対物レンズ１１との間を液体２４を供給しながら、又は、対物レンズ１１を試料プレート１２に近づけながら減圧制御部３２が減圧ポンプ３１を駆動し、減圧室３０内を減圧する。ここで、減圧室３０内の減圧に伴って、対物レンズ１１と試料プレート１２との間の液体２４中に浮遊する気泡、試料プレート１２の底面１８に付着している気泡、対物レンズ１１の表面に付着している気泡が排除される。
【００６３】
ここで、液体２４中の気泡は、排除され、ステップＳ７２において、対物レンズ１１の焦点合わせが行われ、その後、ステップＳ７３に移行して、試料２３の蛍光を取得してデータ処理し、所望の特性を求めて表示部４に表示し、測定動作が終了される。
【００６４】
このように第三の実施の形態においては、供給ノズル１９から液体２４を供給しながら、又は対物レンズ１１を試料プレート１２に近づけながら減圧室３０を減圧しても、液体２４を対物レンズ１１上に保ったままで気泡を除去することができる。
【００６５】
なお、上記第一乃至第三の実施の形態では、共焦点光学系を用いた倒立型蛍光顕微鏡１を用いて構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、共焦点光学系でない顕微鏡や倒立型でない各種の顕微鏡においても適用可能で、何れにおいても同様の効果が期待される。
【００６６】
また、上記第一乃至第三の実施の形態では、顕微鏡を蛍光分析装置に用いた場合を説明したが、顕微鏡単体で試料の観察を行う場合にも、適用可能であり、同様の効果と共に、簡便にして容易に正確な顕微鏡観察が可能となる。
【００６７】
さらに、上記各実施の形態においては、液体気泡除去手段として、振動を付与して液体中等の気泡を除去するように構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他の気泡除去方式で構成することも可能である。
【００６８】
よって、この発明は、上記実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。
【００６９】
例えば実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【００７０】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、構成簡易にして、対物レンズと試料の間に配置された液体中に気泡が混じるのを効果的に防止し得るようにした光分析装置、その運転方法及び顕微鏡を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態に係る蛍光分析装置の構成を説明するために示した構成図である。
【図２】図１の要部を取り出して示した配置図である。
【図３】図１の制御部を取り出して示したブロック図である。
【図４】図１の液体中の気泡を排除する気泡除去手順を示したフローチャートである。
【図５】図１の気泡除去部を構成する振動子の他の配置例を示した配置図である。
【図６】図１の気泡除去部を構成する振動子の他の配置例を示した配置図である。
【図７】本発明の第二の実施の形態に係る蛍光分析装置を示した配置図である。
【図８】図７の液体中の気泡を排除する気泡除去手順の一例を示したフローチャートである。
【図９】本発明の第三の実施の形態に係る蛍光分析装置の構成を説明するために示した構成図である。
【図１０】図９の液体中の気泡を排除する気泡除去手順の一例を示したフローチャートである。
【図１１】図９の液体中の気泡を排除する気泡除去手順の他の例を示したフローチャートである。
【符号の説明】
１　…　倒立型蛍光顕微鏡
２　…　光電気信号変換部
３　…　データ処理部
４　…　表示部
５　…　光源
６　…　制御装置
７　…　光源・光学系制御部
８　…　ステージ制御部
９　…　液体供給制御部
１０　…　気泡除去制御部
１１　…　対物レンズ
１２　…　試料プレート
１３　…　ステージ
１４　…　液体供給部
１５　…気泡除去部
１６、１７　…　光経路
１８　…　試料プレート底面
１９　…　供給ノズル
２０　…　液体調整部
２１　…　振動子
２２　…　振動制御部
２３　…　試料
２４　…　液体
２５　…　音波発生器
２６　…　支持部材
２７　…　音波制御部
２８　…　対物レンズ制御部
２９　…　中央制御部
３０　…　減圧室
３１　…　減圧ポンプ
３２　…　減圧制御部
１００、３００　…　蛍光分析装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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