(57)【要約】　　　（修正有）【課題】通過帯域幅の制御を行うことにより歩留の優れた弾性表面波装置およびこれを用いた電子部品および通信装置を提供する。【解決手段】圧電ウエハ１１上で弾性表面波の位相の伝搬方向を、圧電基板の切欠部に垂直１３な方向または平行な方向とし、櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向１７は、圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向と交わるように設け、櫛形電極の共通電極は櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向と平行であり、かつ櫛形電極のストリップ電極は櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向と垂直に設けたという構成を有している。【選択図】　図１
2004146917.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一部に切欠部を有する圧電ウエハ上に少なくとも櫛形電極を設け、個片状に切断して形成した弾性表面波装置において、
前記圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向は、前記圧電基板の切欠部に垂直な方向または平行な方向であり、
前記櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向は、前記圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向と交わるように設け、
前記櫛形電極は共通電極とストリップ電極からなり、
前記共通電極は前記櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向と平行であり、
かつ前記ストリップ電極は前記櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向と垂直に設け、
前記弾性表面波装置の矩形の長辺方向または短辺方向は、前記切欠部と垂直または平行になるように設けた弾性表面波装置。
【請求項２】
櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向と圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向とが交わる角度は、前記圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向を基準として０度を除いて−３度以上＋３度以下の範囲である請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項３】
櫛形電極に隣接して反射器電極を設けた請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項４】
櫛形電極は入力用櫛形電極と出力用櫛形電極を有し、反射器電極は第１の反射器電極と第２の反射器電極を有し、
前記入力用櫛形電極および前記出力用櫛形電極はそれぞれの櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向が平行になるように配置し、
前記入力用櫛形電極から出力側に所定の間隔を有し、前記入力用櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向に対して所定の角度を有するように設けた第１の反射器電極と、
前記出力用櫛形電極から入力側に所定の間隔を有し、前記第１の反射器電極により反射された弾性表面波を反射し、前記出力用櫛形電極に伝搬するように設けた第２の反射器電極を備えた請求項３に記載の弾性表面波装置。
【請求項５】
櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向は、圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向を基準として時計回りに傾斜させた請求項４に記載の弾性表面波装置。
【請求項６】
櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を傾斜させる角度は、０度を除いて３度以下である請求項５に記載の弾性表面波装置。
【請求項７】
櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向は、圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向を基準として反時計回りに傾斜させた請求項４に記載の弾性表面波装置。
【請求項８】
櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を傾斜させる角度は、０度を除いて３度以下である請求項７に記載の弾性表面波装置。
【請求項９】
一部に切欠部を有する圧電ウエハ上に少なくとも櫛形電極を設け、個片状に切断して形成した弾性表面波装置において、
前記圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向は、前記圧電基板の切欠部に垂直な方向または平行な方向であり、
前記櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向は、前記圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向と交わるように設け、
前記櫛形電極は共通電極とストリップ電極からなり、
前記共通電極は前記櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向と平行であり、
かつ前記ストリップ電極は前記櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向と垂直に設け、
前記弾性表面波装置の矩形の長辺方向または短辺方向は、前記切欠部と垂直または平行になるように設けた弾性表面波装置を、バンプ、ボールまたはワイヤーのうちいずれか１つによりベース部材に配設し、封止した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は無線通信機器などに用いられる弾性表面波装置、この弾性表面波装置を用いた電子部品および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来弾性表面波装置は移動体通信機器用フィルタやテレビ用の中間周波数帯域のフィルタとして広く利用されているが、特に近年移動体通信機器用の高周波帯域での用途が増加するにつれて安定した共振周波数が得られる高精度の弾性表面波装置が求められている。
【０００３】
しかし、従来の弾性表面波装置は良好な温度特性と高いＱを同時に得ることはできないという欠点を有していた。
【０００４】
これらの欠点を解決する手段としては、図９に示したように櫛形電極１のストリップ電極２ａ，２ｂおよび反射器電極３ａ，３ｂのストリップ電極４を弾性表面波の位相の伝搬方向（Ｘ’軸）５と垂直な方向（Ｚ’軸）６に平行に設け、櫛形電極１の共通電極７ａ，７ｂおよび反射器電極３ａ，３ｂの共通電極８を弾性表面波の位相の伝搬方向（Ｘ’軸）５から角度δだけ傾斜し、パワーフロー角９に平行に設けることにより弾性表面波のエネルギーを効率良く閉じ込め、良好な温度特性と高いＱ値を同時に得る構成が用いられていた。
【０００５】
なお、本発明に関する先行技術文献情報としては、例えば特許文献１が知られている。
【０００６】
【特許文献１】
国際公開番号Ｗ０９６／１０２９３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のように櫛形電極１のストリップ電極２ａ，２ｂおよび反射器電極３ａ，３ｂのストリップ電極４を弾性表面波の位相の伝搬方向（Ｘ’軸）５と垂直な方向（Ｚ’軸）６に平行に設け、櫛形電極１の共通電極７ａ，７ｂおよび反射器電極３ａ，３ｂの共通電極８を弾性表面波の位相の伝搬方向（Ｘ’軸）５から角度δだけ傾斜し、パワーフロー角９に平行に設ける構成では、良好な温度特性と高いＱ値を同時に得ることはできるが、通過帯域幅の制御が困難で歩留が低下するという課題を有していた。
【０００８】
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、通過帯域幅の制御を行うことにより歩留に優れた弾性表面波装置、この弾性表面波装置を用いた電子部品および電子機器を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【００１０】
本発明の請求項１に記載の発明は、一部に切欠部を有する圧電ウエハ上に少なくとも櫛形電極を設け、個片状に切断して形成した弾性表面波装置において、前記圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向は、前記圧電基板の切欠部に垂直な方向または平行な方向であり、前記櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向は、前記圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向と交わるように設け、前記櫛形電極は共通電極とストリップ電極からなり、前記共通電極は前記櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向と平行であり、かつ前記ストリップ電極は前記櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向と垂直に設け、前記弾性表面波装置の矩形の長辺方向または短辺方向は、前記切欠部と垂直または平行になるように設けたという構成を有しており、これにより圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向と櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を制御することができるため、通過帯域幅を制御することができるという作用効果が得られる。
【００１１】
本発明の請求項２に記載の発明は、櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向と圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向とが交わる角度は、圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向を基準として０度を除いて−３度以上＋３度以下の範囲であるという構成を有しており、これにより圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向と櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を制御することができるため、通過帯域幅を制御することができるという作用効果が得られる。
【００１２】
本発明の請求項３に記載の発明は、櫛形電極に隣接して反射器電極を設けたという構成を有しており、これにより櫛形電極と反射器電極を有する弾性表面波装置であって圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向と櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を制御することができるため、通過帯域幅を制御することができるという作用効果が得られる。
【００１３】
本発明の請求項４に記載の発明は、櫛形電極は入力用櫛形電極と出力用櫛形電極を有し、反射器電極は第１の反射器電極と第２の反射器電極を有し、前記入力用櫛形電極および前記出力用櫛形電極はそれぞれの櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向が平行になるように配置し、前記入力用櫛形電極から出力側に所定の間隔を有し、前記入力用櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向に対して所定の角度を有するように設けた第１の反射器電極と、前記出力用櫛形電極から入力側に所定の間隔を有し、前記第１の反射器電極により反射された弾性表面波を反射し、前記出力用櫛形電極に伝搬するように設けた第２の反射器電極を備えたという構成を有しており、これにより櫛形電極を平行する２列に分割し、弾性表面波の伝搬方向に一部重なるように配置することができるため、弾性表面波装置の長辺方向の寸法を短くするとともに、圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向と櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を制御することができるため、通過帯域幅を制御することができるという作用効果が得られる。
【００１４】
本発明の請求項５に記載の発明は、櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向は、圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向を基準として時計回りに傾斜させたという構成を有しており、これにより櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を制御することができるため、通過帯域幅を狭くすることができるという作用効果が得られる。
【００１５】
本発明の請求項６に記載の発明は、櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を傾斜させる角度は０度を除いて３度以下であるという構成を有しており、これにより櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を効率よく制御することができるため、通過帯域幅を狭くすることができるという作用効果が得られる。
【００１６】
本発明の請求項７に記載の発明は、櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向は、圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向を基準として反時計回りに傾斜させたという構成を有しており、これにより櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を制御することができるため、通過帯域幅を広くすることができるという作用効果が得られる。
【００１７】
本発明の請求項８に記載の発明は、櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を傾斜させる角度は０度を除いて３度以下であるという構成を有しており、これにより櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を効率よく制御することができるため、通過帯域幅を広くすることができるという作用効果が得られる。
【００１８】
本発明の請求項９に記載の発明は、一部に切欠部を有する圧電ウエハ上に少なくとも櫛形電極を設け、個片状に切断して形成した弾性表面波装置において、前記圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向は、前記圧電基板の切欠部に垂直な方向または平行な方向であり、前記櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向は、前記圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向と交わるように設け、前記櫛形電極は共通電極とストリップ電極からなり、前記共通電極は前記櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向と平行であり、かつ前記ストリップ電極は前記櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向と垂直に設け、前記弾性表面波装置の矩形の長辺方向または短辺方向は、前記切欠部と垂直または平行になるように設けた弾性表面波装置を、バンプ、ボールまたはワイヤーのうちいずれか１つによりベース部材に配設し、封止した電子機器という構成を有しており、これにより櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を制御することができるため、通過帯域幅を制御した電子機器を得ることができるという作用効果が得られる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
以下に本発明の実施の形態１を用いて、本発明の請求項１〜９について説明する。
【００２０】
図１は本発明の実施の形態１における弾性表面波装置の、圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向および弾性表面波装置の配置を示す平面図、図２は本発明の実施の形態１における弾性表面波装置の電極の配置を示す平面図である。
【００２１】
図１において、ＬｉＴａＯ３単結晶などからなる圧電ウエハ１１に切欠部を設け圧電ウエハ１１の結晶方位を決定している。この切欠部はオリエンテイション・フラット１２（Ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ　Ｆｌｅｔ以下略してオリフラと言う）と呼ばれ、このオリフラ１２を基準として圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向が決められている。
【００２２】
本実施の形態１において、圧電ウエハ１１上の弾性表面波の位相の伝搬方向すなわち圧電ウエハ１１が有している結晶方位から決められる位相の伝搬方向はオリフラ１２に垂直な方向１３と同一方向であり、弾性表面波装置１４は矩形形状であり、その長辺１５はオリフラ１２と垂直であり、弾性表面波装置１４の短辺１６はオリフラ１２と平行に設けられている。
【００２３】
またオリフラ１２に垂直な方向１３と、弾性表面波装置１４に設けた櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向１７のずれ角度１８をθとなるように設けている。
【００２４】
図１においてずれ角度１８は、オリフラ１２に垂直な方向１３に対して反時計回りにθだけ傾けた構成を示している。
【００２５】
図２は本発明の実施の形態１における弾性表面波装置の電極の配置を示す平面図であり、図１の圧電ウエハ１１を個片に分割した弾性表面波装置１４を拡大した平面図である。
【００２６】
この弾性表面波装置１４は、圧電基板２１の上に入力用櫛形電極２２と出力用櫛形電極２３および第１の反射器電極２４と第２の反射器電極２５を設けたものであり、入力用櫛形電極２２と出力用櫛形電極２３はそれぞれの櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向２６ａ，２６ｂが互いに平行であり、弾性表面波装置１４の矩形の一方の角部付近に入力用櫛形電極２２を設け、矩形の中心を挟んで対向する側の角部付近に出力用櫛形電極２３を設けている。
【００２７】
第１および第２の反射器電極２４，２５は、入力用櫛形電極２２の中心と出力用櫛形電極２３の中心を結ぶ直線の中点に対して点対称になるように配置した。
【００２８】
オリフラ１２に垂直な方向すなわち弾性表面波装置１４の矩形の長辺１５と、入力用櫛形電極２２および出力用櫛形電極２３から励起される弾性表面波の伝搬方向２６ａ，２６ｂのずれ角度１８を反時計回りにθとなるように配置している。
【００２９】
本実施の形態１において角度θは−０．２度（反時計回りに０．２度）であったが、０度を含まずに−３度以上＋３度以下の範囲の角度を用いることができる。
【００３０】
圧電基板２１上に入力用櫛形電極２２、出力用櫛形電極２３および第１の反射器電極２４、第２の反射器電極２５を形成する方法として、ＬｉＴａＯ３単結晶などからなる圧電ウエハ１１上にＡｌ，Ｔｉなどからなる金属の薄膜をスパッタリングなどの方法で形成し、フォトリソグラフィー法などを用いて所望の電極をドライエッチングなどの方法を用いて形成し、個片に切断して弾性表面波装置を得た。
【００３１】
入力用櫛形電極２２から出力側に所定の間隔を有し、入力用櫛形電極２２から励起される弾性表面波の伝搬方向２６ａの延長線に対して所定の角度を有するように傾斜させた第１の反射器電極２４を設ける。本実施の形態１においては櫛形電極と反射器電極の間隔は弾性表面波装置の１波長相当長さとした。
【００３２】
出力用櫛形電極２３から入力側に所定の間隔を有し、第１の反射器電極２４により反射された弾性表面波を反射し、出力用櫛形電極２３に伝搬するように出力用櫛形電極２３から励起される弾性表面波の伝搬方向２６ｂの延長線に対して所定の角度を有するように傾斜させた第２の反射器電極２５を設ける。
【００３３】
入、出力用櫛形電極２２，２３から励起される弾性表面波の伝搬方向２６ａ，２６ｂに垂直な方向と第１、第２の反射器電極２４，２５のストリップ電極２７，２８のなす角度は１５度傾斜させたが、２５度以下の範囲であれば他の角度を用いてもかまわない。
【００３４】
第１、第２の反射器電極２４，２５のストリップ電極２７，２８はそれぞれ略同一幅、同一長さで同一周期に配置したもので、反射係数はほぼ１であり、第１、第２の反射器電極２４，２５の外周形状は略平行四辺形である。また反射器電極２４，２５にはストリップ電極の対を接続する共通電極を設けてもかまわない。
【００３５】
また、入力用櫛形電極２２に接続して入力端子２９ａ，２９ｂを設け、出力用櫛形電極２３に接続して出力端子３０ａ，３０ｂを設けている。
【００３６】
このような構成にすることにより、入力端子２９ａ，２９ｂから入力用櫛形電極２２に電気信号が印加されると弾性表面波が第１の反射器電極２４に伝搬され、第１の反射器電極２４で反射されて第２の反射器電極２５へ伝搬される。
【００３７】
次に第２の反射器電極２５で再び反射された弾性表面波は出力用櫛形電極２３に伝搬され、出力端子３０ａ，３０ｂから電気信号として取り出すことができる。
【００３８】
すなわち弾性表面波はＺ型の伝搬経路を取ることとなるが、入力用櫛形電極２２で励起された弾性表面波が第１および第２の反射器電極２４，２５により効率よく反射し出力用櫛形電極２３に伝搬することができる。
【００３９】
また、Ｚ型の伝搬経路構成にすることにより入力用櫛形電極２２と出力用櫛形電極２３の櫛の部分の長さを一部重なるように設けることができるため結果的に弾性表面波装置１４の長辺の長さを短くすることができる。
【００４０】
このような構成にすることにより圧電ウエハ１１上の弾性表面波の位相の伝搬方向（弾性表面波装置の矩形の長辺方向）と入力用櫛形電極２２または出力用櫛形電極２３から励起される弾性表面波の伝搬方向２６ａ，２６ｂがずれることにより弾性表面波装置１４のＱ値が変化し、圧電ウエハ１１上の弾性表面波の位相の伝搬方向（弾性表面波装置の矩形の長辺方向）に対して入力用櫛形電極２２または出力用櫛形電極２３から励起される弾性表面波の伝搬方向２６ａ，２６ｂを反時計回りにずらした場合弾性表面波装置１４のＱ値が大きくなることにより損失が小さくなるため通過帯域幅を広くすることができ、逆に時計回りにずらした場合弾性表面波装置１４のＱ値が小さくなることにより損失が大きくなるため通過帯域幅を狭くすることができる。
【００４１】
また図２に示したＺ型の伝搬経路構成の場合、圧電ウエハ１１上の弾性表面波の位相の伝搬方向（弾性表面波装置の矩形の長辺方向）と入力用櫛形電極２２または出力用櫛形電極２３から励起される弾性表面波の伝搬方向２６ａ，２６ｂがずれることにより、第１および第２の反射器電極２４，２５のストリップ電極２７，２８が入力用櫛形電極２２または出力用櫛形電極２３から励起される弾性表面波の伝搬方向２６ａ，２６ｂに対して傾斜している効果も加味されて、圧電ウエハ１１上の弾性表面波の位相の伝搬方向（弾性表面波装置の矩形の長辺方向）に対して反時計回りにずらした場合弾性表面波の伝搬効率が良くなるため通過帯域幅を広くすることができ、逆に時計回りにずらした場合弾性表面波の伝搬効率が悪くなるため通過帯域幅を狭くすることができる。
【００４２】
このように、弾性表面波装置の電極配置により弾性表面波の基本的な通過帯域幅が決まったものであっても、圧電ウエハ１１上の弾性表面波の位相の伝搬方向（弾性表面波装置の矩形の長辺方向）と入力用櫛形電極２２または出力用櫛形電極２３から励起される弾性表面波の伝搬方向２６ａ，２６ｂを時計回りまたは反時計回りに制御してずらすことにより通過帯域幅を制御することができる。
【００４３】
弾性表面波装置に必要とされる通過帯域幅は仕様により異なるため、弾性表面波装置の電極配置により得られたままの通過帯域幅では仕様を満足できない場合があるが、仕様を満足するために電極配置を最初から電極設計を行っていたのでは設計にかかる時間が膨大になり短期間での開発を行うことはできない。そこで基本となる弾性表面波装置の電極配置をもとに通過帯域幅を広げたり狭くしたり制御することができれば要望仕様を満足する弾性表面波装置を短期間で開発できるとともに通過帯域幅に関して要望仕様に対する余裕度が広げられるため結果として歩留を向上させることが可能となる。
【００４４】
図３は本発明の実施の形態１におけるずれ角度１８と弾性表面波装置１４の特性との関係を示す図である。
【００４５】
図３においてずれ角度のプラスは時計回りを示し、マイナスは反時計回りを示す。図３（ａ）は弾性表面波装置１４のずれ角度０度を基準とした−３５ｄＢにおける通過帯域幅の変化量を示し、図３（ｂ）は弾性表面波装置１４の挿入損失を示す。
【００４６】
ずれ角度１８がマイナスすなわち反時計回りに弾性表面波の伝搬方向をずらせた場合、通過帯域幅はずれ角度０度の場合よりも通過帯域幅を広げることができ、ずれ角度１８がプラスすなわち時計回りに弾性表面波の伝搬方向をずらせた場合、通過帯域幅はずれ角度０度の場合よりも通過帯域幅を狭くすることができる。
【００４７】
ずれ角度１８が−１〜＋１度の範囲では通過帯域幅の変化量はほぼ直線的に変化し、通過帯域幅を容易に制御することができる。ずれ角度１８が±１度を超えると通過帯域幅の変化量は曲線状となり、ずれ角度１８が±３度の場合通過帯域幅変化量が最大になる。ずれ角度１８が±３度を超えると通過帯域幅変化量は減少する。
【００４８】
一方挿入損失については、ずれ角度１８が−１〜＋１度の範囲では挿入損失はほとんど一定で挿入損失は劣化しないが、ずれ角度１８が±２度を超えると挿入損失が急激に劣化し、ずれ角度１８が±３度を超えると挿入損失が９ｄＢを超えてしまう。
【００４９】
従って、ずれ角度１８が−１〜＋１度の範囲では挿入損失の劣化がほとんどなく通過帯域幅の変化量がほぼ直線的に変化するため、他の特性に影響を与えずに通過帯域幅を簡単に制御することができる最も好ましい範囲である。
【００５０】
また、ずれ角度１８が±１度を超え−２度〜＋２度の範囲（−２度〜−１度、＋１度〜＋２度）では、挿入損失の劣化が小さいままで通過帯域幅をさらに大きくすることができるが、通過帯域幅の変化が直線からずれるため制御がややし難くなる。
【００５１】
さらに、ずれ角度１８が±２度を超え−３〜＋３度の範囲（−３度〜−２度、＋２度〜＋３度）では、通過帯域幅の変化量はさらに大きくすることができるとともに挿入損失も大きくなるが、まだ使用可能な範囲である。
【００５２】
ずれ角度１８が±３度を超えると通過帯域幅の変化量が減少するとともに挿入損失が９ｄＢを超えるため実質的に使用できない特性になってしまう。
【００５３】
なお、ずれ角度１８が０度の場合は挿入損失の劣化はないが通過帯域幅を制御することはできない。
【００５４】
従って、ずれ角度１８が０度を含まず±３度の範囲であれば通過帯域幅を広くしたり狭くしたり制御することが可能であり、挿入損失を劣化させたくない場合はずれ角度１８が０度を含まず±２度の範囲を用いることができ、通過帯域幅の制御を簡単に行いたい場合はずれ角度１８が０度を含まず±１度の範囲を用いることができる。
【００５５】
次にこのようにして得られた弾性表面波装置１４を用いて電子部品を製造する。
【００５６】
図４は本実施の形態１における弾性表面波装置１４を用いた電子部品４１の断面図である。
【００５７】
図４において、電子部品４１は凹部を有するＡｌ２Ｏ３などからなるベース部材４２の凹部４３底面に、Ｗなどの上にＡｕなどを重ねてなる引き出し電極４４を有し、ベース部材４２の外周面で引き出し電極４４と接続するＷなどの上にＡｕなどを重ねてなる外部端子電極４５を備えたベース部材４２に配設する。
【００５８】
ベース部材４２の引き出し電極４４と、Ａｕなどからなるバンプ４６を介して弾性表面波装置１４に設けた電極パターンに接続するパッド電極４７とを超音波などを印加して接続することにより弾性表面波装置１４をフェイスダウン実装し、あらかじめＡｕ−Ｓｎなどからなる接着部材４８を担持させたＡｌなどからなる蓋体４９とベース部材４２を押圧加熱することにより接着部材４８を溶融し気密封止した。
【００５９】
なお、電子部品の製造にあたっては上述した方法、構成以外に、必要に応じて他の方法例えばワイヤボンディングや金属ボールなどで弾性表面波装置１４を実装してもかまわないし、接着部材４８としてＡｇまたはＡｇを含むろう材、メッキ、半田、非鉛半田などを用いてもかまわないし、またこれらの材質からなるボールやペーストなどを用いてもかまわない。また、ベース部材４２の内部に引き出し電極４４と外部端子電極４５を接続するための配線例えばビヤホールなどを設けてもかまわない。
【００６０】
次に、このようにして得られた電子部品４１を用いて携帯電話などの通信装置を製造する。
【００６１】
図５は携帯電話などに用いられる高周波回路の概略ブロック図である。
【００６２】
図５において、５１はアンテナであり、５２はアンテナ５１につながる共用器であり、５３は共用器５２につながる送信用の弾性表面波装置であり、５４は共用器５２につながる受信用の弾性表面波装置である。
【００６３】
本発明による電子部品４１は送信用の弾性表面波装置５３および受信用の弾性表面波装置５４に用いることができ、温度変化に対して通信品質が変動しにくい優れた通信装置を得ることができる。
【００６４】
以上のように本発明によれば、圧電基板２１の上に入力用櫛形電極２２と出力用櫛形電極２３および第１の反射器電極２４と第２の反射器電極２５を設け、オリフラ１２に垂直な方向に対して、入力用櫛形電極２２および出力用櫛形電極２３から励起される弾性表面波の伝搬方向２６ａ，２６ｂのずれ角度１８を持たせるように配置することにより、挿入損失などの特性を劣化させることなく通過帯域幅を広げたり狭めたり簡単に制御することができ、歩留に優れた弾性表面波装置およびこれを用いた電子部品および通信装置を得ることができる。
【００６５】
（実施の形態２）
以下に本発明の実施の形態２を用いて、本発明の請求項１、２について説明する。
【００６６】
図６は、本発明の実施の形態２における弾性表面波装置の、圧電ウエハ上での弾性表面波の位相の伝搬方向および弾性表面波装置の配置を示す平面図、図７は本発明の実施の形態２における弾性表面波装置の電極の配置を示す平面図、図８は本発明の実施の形態２における弾性表面波装置を用いた電子部品の断面図である。
【００６７】
図６〜８において実施の形態１の図１、図２、図４で説明したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。
【００６８】
本実施の形態２の図６、図７、図８と実施の形態１の図１、図２、図４とで相違する点は、圧電ウエハ６１上で弾性表面波の位相の伝搬方向を、圧電ウエハ６１に設けたオリフラ６２に平行な方向としたことであり、反射器電極をなくしたことおよび入力用櫛形電極と出力用櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を同一直線上としたことであり、弾性表面波装置を基板上に実装したことおよび弾性表面波装置と基板の形状を略同一としたことである。
【００６９】
すなわち、実施の形態１においては、圧電ウエハ１１上で弾性表面波の位相の伝搬方向をオリフラ１２に垂直な方向とし、第１および第２の反射器電極２４、２５を有し、入力用櫛形電極２２と出力用櫛形電極２３から励起される弾性表面波の伝搬方向を同一ではなく互いに平行な方向とし、凹部を有するベース部材４２に実装し、ベース部材４２は弾性表面波装置１４より大きい形状を有するという構成になっているが、本実施の形態２においては、圧電ウエハ６１上で弾性表面波の位相の伝搬方向をオリフラ６２に平行な方向６３とし、反射器電極をなくし、入力用櫛形電極７１と出力用櫛形電極７２から励起される弾性表面波の伝搬方向７３を同一直線上とし、形状が圧電基板７４に略同一で平らな基板８１上に弾性表面波装置６４を実装する構成にしたものであり、それ以外は実施の形態１と同様にして弾性表面波装置およびこれを用いた電子部品および通信装置を製造した。
【００７０】
図６において、弾性表面波装置６４は矩形形状であり、その長辺６５はオリフラ６２と平行であり、弾性表面波装置６４の短辺６６はオリフラ１２と垂直に設けられている。
【００７１】
櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向６７はオリフラ６２に平行な方向６３すなわち圧電ウエハ６１上での弾性表面波の位相の伝搬方向とずれ角度６８の角度をなしており、ずれ角度６８が圧電ウエハ６１上での弾性表面波の位相の伝搬方向に対して反時計回りに傾いている場合は通過帯域幅を広くすることができ、逆に圧電ウエハ６１上での弾性表面波の位相の伝搬方向に対して時計回りに傾いている場合は通過帯域幅を狭くすることができる。
【００７２】
従って他の特性に悪影響を及ぼすことなく通過帯域幅を制御することができるため、挿入損失などの特性を劣化させることなく通過帯域幅を広げたり狭めたり簡単に制御することができ、歩留に優れた弾性表面波装置およびこれを用いた電子部品および通信装置を得ることができる。
【００７３】
図８において８１は圧電基板７４とほぼ同形状でＡｌ２Ｏ３などからなる基板である。
【００７４】
基板８１には第１の導体パターン８２ａ，８２ｂに接続してスルーホール８３ａ，８３ｂを設け、さらに基板８１の外周面に設けた第２の導体パターン８４ａ，８４ｂに接続されており、バンプ８５ａ，８５ｂを押圧しながら超音波などを印加することにより弾性表面波装置６４を基板８１上に実装している。さらに、パッド電極８６ａ，８６ｂおよび第１の導体パターン８２ａ，８２ｂの外周部をシリコンなどの封止樹脂８７により封止し、圧電基板７４の外周面上に保護用にシリコンなどの保護樹脂８８を塗布する。このようにして圧電基板７４と基板８１の形状がほぼ等しい小型低背形状のチップサイズパッケージを得ることができる。
【００７５】
なお、図６、図７に示した弾性表面波装置６４を図４に示した構成で電子部品を製造してもかまわないし、図１、図２に示した弾性表面波装置１４を図８で示した構成で電子部品を製造してもかまわない。
【００７６】
従って、実施の形態１と比較すると、圧電ウエハ６１上で弾性表面波の位相の伝搬方向をオリフラ６２に平行な方向であっても、櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向６７をオリフラ６２に平行な方向すなわち圧電ウエハ６１上での弾性表面波の位相の伝搬方向とずれ角度６８の角度を設けて傾けることにより挿入損失などの特性を劣化させることなく通過帯域幅を広げたり狭めたり簡単に制御することができ、小型低背で歩留に優れた弾性表面波装置およびこれを用いた電子部品および電子機器を得ることができる。
【００７７】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向がオリフラに垂直な方向であっても平行な方向であっても、櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向を圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向とずれ角度を設けて傾けることにより、通過帯域幅を広げたり狭めたり簡単に制御することができ、歩留に優れた弾性表面波装置この弾性表面波装置を用いた電子部品および電子機器を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における弾性表面波装置の、圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向および弾性表面波装置の配置を示す平面図
【図２】本発明の実施の形態１における弾性表面波装置の電極の配置を示す平面図
【図３】本発明の実施の形態１におけるずれ角度と弾性表面波装置の特性との関係を示す図
【図４】本実施の形態１における弾性表面波装置を用いた電子部品の断面図
【図５】携帯電話などに用いられる高周波回路の概略ブロック図
【図６】本発明の実施の形態２における弾性表面波装置の、圧電ウエハ上で弾性表面波の位相の伝搬方向および弾性表面波装置の配置を示す平面図
【図７】本発明の実施の形態２における弾性表面波装置の電極の配置を示す平面図
【図８】本発明の実施の形態２における弾性表面波装置を用いた電子部品の断面図
【図９】従来の弾性表面波装置の電極構成を示す平面図
【符号の説明】
１　櫛形電極
２ａ，２ｂ　ストリップ電極
３ａ，３ｂ　反射器電極
４　ストリップ電極
５　弾性表面波の位相の伝搬方向（Ｘ’軸）
６　弾性表面波の位相の伝搬方向（Ｘ’軸）５と垂直な方向（Ｚ’軸）
７ａ，７ｂ　櫛形電極１の共通電極
８　反射器電極３ａ，３ｂの共通電極
９　パワーフロー角
１１　圧電ウエハ
１２　オリフラ
１３　オリフラに垂直な方向
１４　弾性表面波装置
１５　長辺
１６　短辺
１７　櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向
１８　ずれ角度
２１　圧電基板
２２　入力用櫛形電極
２３　出力用櫛形電極
２４　第１の反射器電極
２５　第２の反射器電極
２６ａ，２６ｂ　櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向
２７　ストリップ電極
２８　ストリップ電極
２９ａ，２９ｂ　入力端子
３０ａ，３０ｂ　出力端子
４１　電子部品
４２　ベース部材
４３　凹部
４４　引き出し電極
４５　外部端子電極
４６　バンプ
４７　パッド電極
４８　接着部材
４９　蓋体
５１　アンテナ
５２　共用器
５３　送信用の弾性表面波装置
５４　受信用の弾性表面波装置
６１　圧電ウエハ
６２　オリフラ
６３　オリフラに平行な方向
６４　弾性表面波装置
６５　長辺
６６　短辺
６７　櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向
６８　ずれ角度
７１　入力用櫛形電極
７２　出力用櫛形電極
７３　櫛形電極から励起される弾性表面波の伝搬方向
７４　圧電基板
７５　ずれ角度
７６　長辺
７７　長辺
７８ａ，７８ｂ　入力端子
７９ａ，７９ｂ　出力端子
８１　基板
８２ａ，８２ｂ　第１の導体パターン
８３ａ，８３ｂ　スルーホール
８４ａ，８４ｂ　第２の導体パターン
８５ａ，８５ｂ　バンプ
８６ａ，８６ｂ　パッド電極
８７　封止樹脂
８８　保護樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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