(57)【要約】【課題】クラックやデラミネーションを防止し、導体線路に生じる歪みを少なくした健全なセラミックコイルを提供する。【解決手段】セラミックグリーンシートの一面上に複数のコイルパターンを印刷形成し、前記セラミックグリーンシートを複数枚積層して一体に焼結したブラシレスモータ用セラミックコイルで、前記コイルパターンは導体線路を所定の線路間隔をもってスパイラル状に巻き回してなり、前記コイルパターンの導体線路が、積層方向に重なり隣接する他のコイルパターンの導体線路間との重なり位置に設けられている。【選択図】　　図１
2004088969.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックグリーンシートの一面上に複数のコイルパターンを印刷形成し、前記セラミックグリーンシートを複数枚積層して一体に焼結したブラシレスモータ用セラミックコイルにおいて、
前記コイルパターンは導体線路を所定の線路間隔をもってスパイラル状に巻き回してなり、前記コイルパターンの導体線路が、積層方向に重なり隣接する他のコイルパターンの導体線路間との重なり位置に設けられていることを特徴とするブラシレスモータ用セラミックコイル。
【請求項２】
セラミックグリーンシートの一面上にコイルパターンが回転対称に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のブラシレスモータ用セラミックコイル。
【請求項３】
セラミックグリーンシートのコイルパターンが印刷形成される一面上において、コイルパターンが形成されない部分にセラミックペーストを印刷したセラミックグリーンシートを複数枚積層して一体に焼結したことを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載のブラシレスモータ用セラミックコイル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミックグリーンシート上にコイルパターンを構成する導体線路を印刷形成したものを多数枚積層焼結して作製したセラミックコイルに関し、特に回転機の界磁コイルなどに適用することのできるセラミックコイルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
小型電子機器に用いるモータとして、積層コンデンサや積層インダクタのようにセラミックシートと電極パターンの積層技術を用いてセラミックグリーンシート上に界磁コイルとなるコイルパターンを印刷形成したものを積層して積層体とし一体焼結したセラミックコイルからなる固定子と、永久磁石回転子とを組み合わせたものが、特開昭６４−５９９０２号公報、特開平６−３８４６０号公報などに開示されている。
【０００３】
前記セラミックグリーンシートを構成するセラミック材として高温系の材料として窒化アルミニウムやアルミナ、低温系の材料としてホウケイ酸ガラス系、アルミナガラス系のようなものがあり、高温系の材料にはタングステン、低温系の材料には金、銀、銅、ニッケルなどの金属又は合金がコイルパターンを構成する導体線路の構成材料として用いられる。
【０００４】
このようなセラミックコイルは耐熱性があり、また熱伝導率が高いため環境温度差やモータ自身での発熱に対して安定した特性となり、また複数の層に形成されたセラミックコイルを接着材など用いることなく構成できるので、低コストで、かつセラミックコイル間の電気的接続を信頼性良く行うことが出来るものである。
【０００５】
このセラミックコイルに駆動電流を供給すると磁界が発生し、この磁界がモータの回転子のマグネットの磁界と作用して電磁力を発生する。これによって回転子とセラミックコイルとの間にトルクが発生し、その結果回転子は所定の角度回転する。そして、駆動電流を各相のコイル極に順次印加することにより回転子が連続して回転する。この際、高いトルク特性を得ようとすれば、前記セラミックコイルを少なくとも数十ターン巻き回して構成することが必要である。
【０００６】
しかしながら、高いトルク特性を得ようとしてセラミックコイルを多層化して形成するとともに、多層化による厚み増加を極力少なくするように、コイル間に介在するセラミックグリーンシートを薄層化すると、コイルパターンを構成する導体線路の厚みの影響が無視できなくなる。
【０００７】
前記セラミックコイルにおいては巻き数を多くするようにコイルパターンを平面的に複数ターン導体線路を巻き回しスパイラル形状とするのが一般的である。例えば、ハードディスクの磁気ディスク駆動用のモータなどでは、凡そ８０〜１２０μｍの間隔をもって導体幅が８０〜２４０μｍの導体線路が２〜６ターン巻き回されてコイルパターンを形成する。また、コイルパターン間のセラミックグリーンシートの厚みは１５〜２０μｍに設定される。このようなセラミックグリーンシートを図１４に示す積層状態のように多数枚積層して、各セラミックグリーンシートに形成されたコイルパターンを重ならせて圧力を加えて一体の積層体とするとともに、セラミックグリーンシートに形成されたスルーホールを介してコイルパターンを相互に接続し、これを焼結して数十ターンのセラミックコイルを形成する。このようなセラミックコイルの断面は図１５に示すように、コイルパターン８２が積層方向に重なり合う部分（コイル形成部）とコイル非形成部分とで段差が生じ、コイル形成部は厚くコイル非形成部は薄く形成されてしまう。またコイル形成部においても、コイルパターン８２が積層方向に重なり合う部分とそうでない部分とでおうとつが生じる。このような段差やおうとつが生じる原因は、セラミックグリーンシートとコイルパターンの圧力に対する変形能が大きく異なることが要因となり、積層体を圧着する際に、コイル形成部とコイル非形成部とに均一に圧力を作用させることが困難であるためである。
【０００８】
圧着圧力が作用しにくいコイル非形成部が剥離しない程度に圧力を与えて圧着すると、積層体内で、積層方向に重なり合うコイルパターンに高い圧力が作用し、その部分のセラミックグリーンシートの密度がコイル非形成部よりも高くなる。また前記部分に発生する内部応力を開放するように、クラックが発生したり、コイルパターンがセラミックグリーンシートの面方向にずれ（歪み）たりすることがあった。このためモータのトルク特性に寄与するセラミックコイルの線路有効長部を精度良く形成することが困難であったり、ずれが著しい場合にはコイルパターンが断線してしまうことがあった。
【０００９】
またコイル非形成部では圧着圧力が十分に作用せずに、密度が低くセラミックグリーンシート間の密着力が弱いものとなる。このような積層体を焼結すると、デラミネーションなどの構造欠陥が発生し易く、積層体内での密度が不均一で各部の収縮率が異なりセラミックコイルに大きな変形が生じる問題があった。
【００１０】
このような問題を改善する方法として、特開２００１−１２６９５１号には、内部電極を印刷したセラミックグリーンシートのシート面に重ねて、内部電極の印刷パターンに相応する面部分を除いた印刷面を有するスクリーン製版により、内部電極とセラミックグリーンシートとの段差を埋めるようにセラミックペーストを所定の厚みに印刷し、これを複数積層して積層セラミック部品を得ることが開示されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
特開２００１−１２６９５１号の方法によれば、コイル非形成部の密着力を上げ、積層体内におけるコイル形成部との密度差を小さくすることが出来るものの、モータ用のセラミックコイルにおいては、コイル形成部での密度差や密着力により生じる変形や、コイルパターンのずれといった問題が残される。
【００１２】
そこで、本発明の目的とするところは、クラックやデラミネーションを防止し、導体線路に生じる歪みを少なくした健全なセラミックコイルを提供するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、セラミックグリーンシートの一面上に複数のコイルパターンを印刷形成し、前記セラミックグリーンシートを複数枚積層して一体に焼結したブラシレスモータ用セラミックコイルにおいて、コイルパターンは導体線路を所定の線路間隔をもってスパイラル状に巻き回してなり、前記コイルパターンの導体線路が、積層方向に重なり隣接する他のコイルパターンの導体線路間との重なり位置に設けられているブラシレスモータ用セラミックコイルである。
【００１４】
ここでコイルパターンの導体線路が、積層方向に重なり隣接する他のコイルパターンの導体線路間との重なり位置に設けられている状態を説明する。図１６に示すコイル断面図は異なるセラミックグリーンシートに形成された２つのコイルパターン４２ａ、５２ａの積層体内での配置関係を示している。コイルパターン４２ａ、５２ａはそれぞれ所定の間隔Ｌをもって、例えば２ターン巻き回されている。ここでは便宜上、２つの導体線路の断面として示されるコイルパターン４２ａを、ぞれぞれ導体線路４２ａ１、４２ａ２とし、コイルパターン５２ａを、ぞれぞれ導体線路５２ａ１、５２ａ２として示す。
【００１５】
例えば、コイルパターン４２ａの導体線路４２ａ１は、異なるセラミックグリーンシートに形成された導体線路５２ａ１、５２ａ２の２本の導体間（Ｌ部）と積層方向に重なり合う位置に積層配置される。図１６においては、導体線路４２ａ１の線幅Ｗを導体線路５２ａ１、５２ａ２の２本の導体間に配置するようにしているが、導体線路の幅方向中央部が２本の導体線路間にあれば良く、少なくとも導体線路の全幅Ｗの０．３倍以上が異なるセラミックグリーンシートに形成された導体線路の２本の導体間（Ｌ部）と積層方向に重なり合うようにすれば、密度や密着力の不均一さから生じる不具合を解消するとともに、積層方向に隣接するコイルパターン同士が、コイルパターンのずれを阻止するように機能させることが出来るので好ましい。積層方向に隣接するコイルパターンの導体線路の一部が重なりあう場合も本発明の範囲内である。
【００１６】
本発明のセラミックコイルにおいては、セラミックグリーンシートの一面上にコイルパターンを回転対称に設けて構成するのが好ましい。そしてセラミックグリーンシートのコイルパターンが印刷形成される一面上において、コイルパターンが形成されていない部分にセラミックペーストを印刷したセラミックグリーンシートを複数枚積層して一体に焼結するのがより好ましい。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明のセラミックコイルを固定子に用いている永久磁石モータ（ブラシレスモータ）について、以下図面を参照しながら詳しく説明する。図１と図２は本発明の一実施例に係るセラミックコイルを用いた永久磁石モータ全体を示すもので、図１は平面図、図２はその永久磁石モータを印刷回路基板上に取り付けた状態を示す断面図である。
【００１８】
永久磁石モータ１００は複数の界磁コイルを内部に持つ板状セラミックコイルからなる固定子１０と、回転中心のところに取り付けられた回転軸９５で保持されている永久磁石回転子９０からなるものであり、印刷回路基板２００には回転軸９５を通す開口が形成され、これをまたぐように固定子１０が印刷回路基板２００上にハンダなどで固定されている。
【００１９】
固定子１０の実装面側に印刷回路基板２００上の電力供給プリント線（図示せず）との接続端子が形成されており、Ｓｎ−Ａｇ系やＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ系等のＰｂフリーハンダを用い、ハンダ１５で固定子１０を印刷回路基板２００上に容易に取り付けることが出来るので好ましい。また、前記接続端子を実装面の反対面側に形成し、前記プリント線と導線でハンダ接続することは可能であるが、この場合には接着等の印刷回路基板への固定手段が必要となる。
【００２０】
固定子１０には、永久磁石回転子９０の回転中心に対応した位置に開孔１９が開けられており、その開孔１９に軸受１８が取り付けられて、回転軸９５が軸受１８によって回転自在に固定子１０に保持されている。そして永久磁石回転子９０には板状セラミックコイルからなる固定子と面同士が対向するように永久磁石９１が設けられている。
【００２１】
ここで用いる永久磁石９１としては、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ焼結磁石、Ｓｍ−Ｃｏ焼結磁石等の希土類焼結磁石、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ、Ｓｍ−Ｆｅ−Ｎ、Ｓｍ−Ｃｏ等の希土類ボンド磁石あるいはフェライト焼結磁石等の保持力の高い永久磁石材料を使用する。好ましくは固有保持力Ｈｉｊが残留磁束密度Ｂｒより高い永久磁石材料を使用することで磁石厚さを薄くできる。永久磁石９１の形状としてはリング状あるいは、リングを分割した扇形のものを用いることができる。永久磁石９１は、モータ回転中心に関してＮ極とＳ極が回転対称に形成されていることが望ましい。
【００２２】
永久磁石モータ１００に用いられている固定子１０の外観斜視図を図３に示す。固定子１０はほぼ正方形をした平板状セラミックコイルであり、その厚さは数百μｍである。その一方端面の４個の隅部に接続端子２２，２３，２４，２５がそれぞれ設けられている。固定子１０はその接続端子の付いている側の端面が印刷回路基板２００の実装面と対向するようにし、前記接続端子を印刷回路基板上の電力供給プリント線（図示せず）にハンダ接続して、永久磁石モータ１００の界磁コイルに電力を供給するとともに、印刷回路基板２００と固定子１０とを固定する。４個の接続端子は固定子１０の端面上でその中央にある開孔１９に関して回転対称の位置に設けられていることが好ましい。
【００２３】
固定子１０の内部に設けられている界磁コイルは、図４に示すように６個の界磁コイルを有し、各２個の界磁コイルを直列接続して構成される３組の界磁コイルが、それぞれモータの各相となっており全体で３相となっているのがよい。これら３組の界磁コイルそれぞれの各一端が４個の接続端子のうち３個の接続端子２２，２３，２４それぞれに接続されており、これら３組の界磁コイルの他の一端は共通となって接続端子２５に接続されているのが望ましい。
【００２４】
固定子１０の構造を説明するために、図５に固定子に用いているセラミックコイルを分解斜視図で示している。図５は焼結前のセラミックグリーンシート積層品を示しており、複数の接続端子を一面に設けた外部端子用セラミックグリーンシート２０と、複数の界磁コイルを持ったコイルシート積層品３０とからなる。そしてセラミックグリーンシート積層品の略中央部には積層方向に貫通する開孔１９を有している。
【００２５】
コイルシート積層品３０は、ほぼ正方形をしたセラミックグリーンシート４０〜５０′、６０を１０〜２０枚積層したものであり、各セラミックグリーンシートは固定子１０に界磁コイルを設けるために、セラミックグリーンシート４０〜５０′、６０上にＡｇペーストを主体とする複数の扇形コイルパターン４２〜５２′、６２をその開孔１９に関して回転対称に印刷で形成したものである。
【００２６】
コイルパターンを形成したセラミックグリーンシートは２種類のものがあり、ここで上から奇数番目のセラミックグリーンシート４０，４０′に付けられたコイルパターン４２，４２′は外周から左回りに内側に向かって渦を巻いており、上から偶数番目のセラミックグリーンシート５０，５０′（偶数番目のセラミックグリーンシートを本明細書では「第二のセラミックグリーンシート」と呼ぶことがある。）に付けられたコイルパターン５２，５２′は外周から右回りに内側に向かって渦を巻いている。最下段のセラミックグリーンシート６０にあるコイルパターン６２は、この例では奇数番目にあるシートと同じコイルパターンを有している。
【００２７】
ここで各セラミックグリーンシートには６個のコイルパターンが印刷形成されており、各セラミックグリーンシートに形成されたコイルパターンに図５の左端にあるものから時計廻りの順にａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆと符号を付ける。セラミックグリーンシート４０に形成されたコイルパターンは４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、……４２ｆと呼び、その下にある第二のセラミックグリーンシート５０のコイルパターンは５２ａ、５２ｂ、……５２ｆと呼ぶ。
【００２８】
セラミックグリーンシート上に印刷形成されたコイルパターンの構造を示すために、セラミックグリーンシート４０のコイルパターン４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、……４２ｆの平面図を図７に、第二のセラミックグリーンシート５０のコイルパターン５２ａ、５２ｂ、……５２ｆの平面図を図８に示す。上から奇数番目のセラミックグリーンシートのコイルパターンは図７に示したものと同じで、上から偶数番目のセラミックグリーンシートのコイルパターンは図８に示したものと同じである。
【００２９】
セラミックグリーンシート４０ではコイルパターン４２ａ、４２ｃ、４２ｅのコイル内側端のところにスルーホールがセラミックグリーンシートの厚さ方向に開けられていて、各コイルパターン内側端からスルーホールを介して各シートの他面まで導体を通している。またコイルパターン４２ｂ、４２ｄ、４２ｆのコイル外側端のところにスルーホールがそのセラミックグリーンシートの厚さ方向に開けられていて、各コイルパターン外側端からそのスルーホールを介して各シートの他面まで導体を通している。以下奇数番目のセラミックグリーンシートには同様にスルーホールと導体が形成されている。偶数番目のセラミックグリーンシート５０ではコイルパターン５２ａ、５２ｃ、５２ｅのコイル外側端のところにスルーホールがそのセラミックグリーンシートの厚さ方向に開けられていて、各コイルパターン外側端からそのスルーホールを介して各シートの他面まで導体を通している。またコイルパターン５２ｂ、５２ｄ、５２ｆのコイル内側端のところにスルーホールがそのセラミックグリーンシートの厚さ方向に開けられていて、各コイルパターン内側端からそのスルーホールを介して各シートの他面まで導体を通している。以下偶数番目のセラミックグリーンシートは同様にスルーホールと導体が形成されている。
【００３０】
このように扇形コイルパターン、スルーホール及び導体を形成したセラミックグリーンシート４０〜５０′、６０を、図５にあるように重ねてコイルシート積層品３０とすると、コイルパターン４２ａ、５２ａ、……４２′ａ、５２′ａ、６２ａが重なり、コイルパターン４２ｂ、５２ｂ、……４２′ｂ、５２′ｂ、６２ｂが重なり、以下同様に各セラミックグリーンシートの対応する位置にあるコイルパターンが重なることになる。そして、コイルパターン４２ａの内側端がコイルパターン５２ａの内側端に、コイルパターン４２ａの内側端のところにセラミックグリーンシート４０を通して設けたスルーホールと導体によって接続される。コイルパターン５２ａの外側端がその下にあるコイルパターンの外側端に、コイルパターン５２ａの外側端のところでセラミックグリーンシート５０を通して設けたスルーホールと導体によって、接続される。以下同様に上下にあるセラミックグリーンシートのコイルパターン同士が接続されて、コイルパターン４２ａ、５２ａ、……４２′ａ、５２′ａ、６２ａが接続されたコイルとなる。同時に、他の５個のコイルパターンについても、同様にコイルが形成される。
【００３１】
そして、最下段のセラミックグリーンシート６０のコイルパターン６２を形成した面と反対側面には、図６に斜視図で示すように第一の導体パターン７２，７３，７４が印刷で形成されている。
【００３２】
図６はセラミックグリーンシート６０を図５と反対側（底面側）から見た斜視図である。第一の導体パターン７２，７３，７４はセラミックグリーンシート６０の上面にあるコイルパターン間を接続する。すなわち、第一の導体パターン７２は、セラミックグリーンシート６０のコイルパターン６２ａの内側端からそこに開けられたスルーホールを通ってそのシートの裏面まで行っている導体と、コイルパターン６２ｄの外側端からそこに開けられたスルーホールを通ってそのシートの裏面まで行っている導体とを接続する。また、第一の導体パターン７３はコイルパターン６２ｂの外側端とコイルパターン６２ｅの内側端とを接続し、第一の導体パターン７４はコイルパターン６２ｆの外側端とコイルパターン６２ｃの内側端とを接続している。
【００３３】
第一の導体パターン７２，７３，７４は、回転中心すなわち開孔１９に関して１８０°離れている２組の界磁コイルを接続しているので、各第一の導体パターンは開孔１９の周りに円弧状に１８０°以上に延びている。図６から明らかなように各第一の導体パターンは半径の違った２個の円周に沿って延びた２段となっている。そして第一の導体パターンは互いに角度方向に少なくとも部分的に重複して設けられている。
【００３４】
このようにしてコイルパターン４２ａ、５２ａ、……、４２′ａ、５２′ａ、６２ａが接続されたコイルと、コイルパターン４２ｄ、５２ｄ、……、４２′ｄ、５２′ｄ、６２ｄが接続されたコイルとが第一の導体パターン７２によって直列に接続される。すなわち２個の界磁コイルによって１組の界磁コイルが作られる。他の第一の導体パターン７３，７４についても同様である。
【００３５】
本実施例のような３相モータ用のセラミックコイルである場合には界磁コイルのそれぞれは、６０°未満で４０°以上、好ましくは約５０°の開角度で形成される。界磁コイル幅は対向する回転子に用いられている永久磁石の幅との関係で適当な値とするが、永久磁石の磁極数を６極としたときに、各磁極を完全に各界磁コイルでカバーできて、隣の磁極まで同時には覆わない大きさとして、４０°以上６０°未満としている。また界磁コイルのセラミックグリーンシート１枚当たりの巻き数は２〜４回が適当である。駆動トルクを上げるためには巻き数を多くするのがよいが、巻き数を多くすると抵抗が大きくなってコイルを流れる電流が減少するので２〜４回としている。
【００３６】
本実施例においては、奇数番目のセラミックグリーンシート例えば４０のコイルパターン４２ａと偶数番目のセラミックグリーンシート例えば５０のコイルパターン５２ａとを重ねると、コイルパターン４２ａの各導体がコイルパターン５２ａの隣り合う２本の導体間に対応するセラミックグリーンシート４０上の位置に設けて、図９に示すように構成している。
【００３７】
図９では、上側にあるコイルパターン４２ａを実線で、下側にあるコイルパターン５２ａを破線で示している。コイルパターン４２ａの各直線部や各円弧部を構成している導体がコイルパターン５２ａの各直線部や各円弧部を構成している２本の導体の間に、あるいはその横に位置して、コイルパターン４２ａの導体とコイルパターン５２ａの導体とが重ならないようになっている。コイルパターン５２ａの各導体から見てもコイルパターン４２ａの各導体との関係は同様である。そこでセラミックグリーンシート４０，５０，……４０′，５０′、６０を上に述べたように積層したとき、図９の１０−１０線における断面は図１０に示すように、奇数番目のセラミックグリーンシート４０、……４０′、６０のコイルパターン導体と偶数番目のセラミックグリーンシート５０，……５０′のコイルパターン導体とが互いに相手の間に位置するようになる。
【００３８】
上に述べた実施例では、コイルシート積層品を形成しているセラミックグリーンシートのうち、外部端子用セラミックグリーンシートから最も反対側にあるセラミックグリーンシート６０の扇形コイルパターンを形成した面と反対側面に複数の第一の導体パターンを形成した。セラミックグリーンシート６０に代えて、扇形コイルパターンを持たないセラミックグリーンシートを用いて、そのシートのセラミックグリーンシート５０′と対向する面に第一の導体パターンを形成したものを用いてコイルシート積層品とすることもできる。
【００３９】
複数のコイルパターンを持ったセラミックグリーンシートを複数枚積層したものの上に、外部端子用セラミックグリーンシート２０が重ねられる。外部端子用セラミックグリーンシート２０は、印刷形成した接続端子２２，２３，２４，２５及び第二の導体パターン２６をコイルシート積層品と対向する側と反対側面に持っている。４個の接続端子２２，２３，２４，２５は外部端子用セラミックグリーンシート２０の一方端面の４個の隅部にそれぞれ設けられている。第二の導体パターン２６は開孔１９の周りを囲むように環状に設けられて、第二の導体パターン２６は別の導体パターンによって接続端子２５と接続されている。
【００４０】
接続端子２２，２３，２４それぞれは延長部を持っており、その先端が、セラミックグリーンシート４０の上に印刷形成された扇形コイルパターン４２ａ、４２ｃ、４２ｅの外側端に対応した位置まで延びている。また中央の第二の導体パターン２６は半径方向に延びた部分を持っていて、その先端それぞれが、セラミックグリーンシート４０上に印刷された扇形コイルパターン４２ｂ、４２ｄ、４２ｆの内側端に対応した位置まで延びている。
【００４１】
外部端子用セラミックグリーンシート２０には接続端子２２，２３，２４それぞれから延びている延長部先端及び第二の導体パターン２６から半径方向に延びた導体パターンそれぞれの先端のところにスルーホールが開けられていて、各スルーホールに通された導体によって、接続端子２２，２３，２４及び第二の導体パターン２６それぞれが外部端子用セラミックグリーンシート２０の裏と電気的に接続されている。外部端子用セラミックグリーンシート２０をコイルパターンを持ったセラミックグリーンシートの積層したものの上に重ねることによって、接続端子２２，２３，２４それぞれがコイルパターン４２ａ、４２ｃ、４２ｅの外側端と接続され、コイルパターン４２ｂ、４２ｄ、４２ｆの内側端が第二の導体パターン２６を経由して接続端子２５と接続される。その結果として図４に示す結線となる。
【００４２】
外部端子用セラミックグリーンシート２０と、複数のコイルパターンを持ったセラミックグリーンシート４０，５０，……４０′，５０′、６０を１０〜２０枚積層したコイルシート積層品３０とを積層して、加圧をかけて一体化した上で焼結する。焼結をすることによって、これらセラミックグリーンシートは一体の焼結体の平板状セラミックコイルとなって、図３に示す如きものとなる。図３に示す板状セラミックコイルからなる固定子上面は接続端子２２，２３，２４，２５の表面を除いて全面に絶縁層を被覆してある。また、固定子の第一の導体パターン７２，７３，７４が設けられている端面に絶縁層を被覆しておくことが好ましい。
【００４３】
セラミックグリーンシートを積層したものを焼結して、コイルパターン導体がセラミックで囲まれたセラミックコイル（固定子１０）となる。積層したセラミックグリーンシートは焼結することで一体になり、ほぼ台形をした断面であった導体が楕円断面となって図１１に断面図で示す如きものとなる。
【００４４】
図９，図１０に示したように奇数番目のセラミックグリーンシートに印刷形成されていたコイルパターン導体と偶数番目のセラミックグリーンシートに形成されていたコイルパターン導体とが互いに相手側シートにある２本の導体間に位置するように積層しているので、圧着後、焼結したセラミックコイルの楕円断面をした導体が同じ位置で重なることがなく、いわば千鳥配置となっている。
【００４５】
このようにセラミック中でコイルパターン導体を千鳥配置にすることによって、焼結前あるいは焼結中に圧力をかけたときの導体の潰れや歪みを低減し、デラミネーションの発生を抑制して健全なセラミックコイルとすることができる。
【００４６】
セラミックグリーンシートは、ＺｎＯ−ＭｇＯ−ＳｉＯ２を主成分とした材料、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３を主成分とした材料、Ａｌ２Ｏ３−ＣａＯ−ＳｉＯ２−ＭｇＯ−Ｂ２Ｏ３を主成分とした材料、Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＳｒＯを主成分とした材料などに、バインダー、可塑剤、溶剤を加えてドクターブレード法などで１０μｍ〜数１０μｍ厚としたものである。このセラミックグリーンシートにＡｇペーストなどでコイルパターンを印刷形成した上で、積層して、９．８ＭＰａ〜１９．６ＭＰａの圧力を加えて一体化している。その後適当な雰囲気中、８５０℃〜１０００℃程度の温度で焼結される。このように大きな圧力をかけて一体化するので、導体線路が重なっている部分が大きいと、圧力がそのままに導体に加わるので導体が大きく変形をしたりする。またその部分のセラミックが薄くなるので導体間にあるセラミックにクラックが生じたりすることがある。しかし本発明のようにコイルパターン導体の位置を積極的にずらすことによって、その部分に介在するセラミックが厚くなるのでセラミックが緩衝となって割れなどが生じることがない。
【００４７】
本発明のセラミックコイルにおいては、焼結前のセラミックグリーンシート上面でコイルパターンの存在しない領域に、そのセラミックグリーンシートとほぼ同じ材料からなるセラミック部（以下の説明で「カウンター」と呼ぶことがある。）を形成しておくことがより好ましい。
【００４８】
図１２はコイルパターンの存在しない領域に前記セラミック部を形成したセラミックグリーンシートの平面図である。図１２ではセラミック部４５（カウンター）に微細なドットでハッチングを付けて示している。コイルパターン中央の空いた所と、コイルパターンの周りにセラミック部４５が設けられている。
【００４９】
セラミック部４５は、例えばセラミックグリーンシートを構成する誘電体粉末を樹脂（エチルセルロース）、可塑剤（ジメチルフタレート）、溶剤（ＢＣＡ、エタノール、ブタノール）とともに所定量混合してペースト化した誘電体ペーストを、印刷して形成している。このセラミック部４５はコイルパターン部を除いたセラミックグリーンシート全面に設けておくと良い。セラミック部の厚さはコイルパターンの導体厚さの約５０〜１００％とすることが望ましい。
【００５０】
図１３にセラミック部４５を形成したセラミックグリーンシートを複数積層し、圧着前の状態での断面図を示す。ここでコイルパターン導体同士の間隔はその導体幅とほぼ同じレベルで１００μｍ程度なので、コイルパターン導体間にはセラミック部を設ける必要はない。このように、セラミック部４５を設けることによって、圧着したときに内部圧力分布を均一化することができて、セラミックグリーンシートを積層したときの密着性が更に良くなり、セラミックコイルの平坦度が更に向上し、コイル導体の潰れや歪みの発生を防ぐことができる。
【００５１】
またコイル形成部とコイル未形成部との厚さの差を小さくし、セラミックグリーンシートの平坦度を向上するので、不所望な変形、デラミネーション、クラックを防止することができる。
【００５２】
なお、セラミック部４５はすべてのセラミックグリーンシートに設ける必要はなく、例えば偶数層のみ、奇数層のみに設けたりしても良く、グリーンシートの厚さや、コイルパターンの導体厚さ、積層数により適宜設ければ良い。また、コイルパターン導体間にも必要に応じてセラミック部を設けることは本発明の範囲内である。
【００５３】
【実施例】
セラミックグリーンシートの一方の面に、Ａｇペーストによってコイルパターンを印刷形成して図９及び図１０に示すようにコイルパターンを千鳥配置となるように、合計１１枚を交互に積層し、８５℃で、１０．８ＭＰａの圧力を均一に６００秒間かけて一体化して図５に示すセラミックグリーンシート積層品とした。そして、大気雰囲気の焼成炉に入れて約１３時間かけて約９００℃まで昇温し、その温度で約１時間半保持した後、約５時間かけて常温まで冷却して焼結し、外観寸法が８ｍｍ×８ｍｍの本発明のセラミックコイルを作製した。
【００５４】
前記セラミックグリーンシートは、主成分がＡｌ，Ｓｉ，Ｓｒ，Ｔｉの酸化物で構成され、Ａｌ，Ｓｉ，Ｓｒ，ＴｉをそれぞれＡｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＳｒＯ、ＴｉＯ２に換算し合計１００質量％としたとき、Ａｌ２Ｏ３換算で５０質量％、ＳｉＯ２換算で３６質量％、ＳｒＯ換算で１０質量％、ＴｉＯ２換算で４質量％以下のＡｌ，Ｓｉ，Ｓｒ，Ｔｉを含有し、前記合計１００質量％に対し副成分として、Ｂｉ２Ｏ３換算で２．５質量％のＢｉを含有する誘電体セラミックスを用い、これにバインダ、可塑剤、溶剤を加えて混合し、粘度調整してセラミックスラリーとした。
【００５５】
このセラミックスラリーを用いてドクターブレード法などの公知のシート成形方法によって２０μｍ厚のセラミックグリーンシートを作製した。このセラミックグリーンシートの一面にＡｇペーストを用いて図７に示すコイルパターン及び図８に示すコイルパターンをそれぞれ印刷形成して２種類のシートとした。扇形コイルパターンはセラミックグリーンシート中央からの見込む角度を約５０°とし、コイルパターン導体の厚さを２０μｍ、導体幅を２００μｍ、導体と導体との間隔を１００μｍとした。
【００５６】
このようにして作製したセラミックコイルの厚さと変形量を１０個測定し、その結果を表１に「本発明（千鳥配置）」として示す。なお、厚みはセラミックコイルを樹脂に埋め込み、これを切断研磨した断面を５０倍の工具顕微鏡により計測しその最厚部の厚みとし、変形量は前記最厚部の厚みと最薄部の厚さの差とし、これを一試料において０．５ｍｍ間隔で１６断面について評価した。以下厚み、変形量は同様に評価している。
【００５７】
次に、上記工程で作製した図７及び図８に示すセラミックグリーンシートの上に、セラミックグリーンシートに用いたものと同じ誘電体材料粉末をペースト化した誘電体ペーストを用いて、コイルパターンの部分を除いてセラミック部（カウンター）を図１２及び図１３に示すようにスクリーン印刷で形成した。各カウンターはコイルパターン端から約３０μｍ離れて形成し、その厚さは約１５μｍで一様とした。このようにカウンターを形成したセラミックグリーンシートを用いて上の例と同様に合計１１枚を積層してセラミックグリーンシート積層品とした。これを前記と同様に加圧した上で焼結してセラミックコイルとした。
【００５８】
別に比較例のセラミックコイルを作製した。上記実施例と同様にセラミックグリーンシートにコイルパターンを、その積層方向に重なるコイルパターンの導体同士が図１４の断面図にあるように上下に重なるようにして作製して、これらのセラミックグリーンシートを合計１１枚交互に重ねてセラミックグリーンシート積層品とした。この積層品について上と同様に加圧した上で焼結してセラミックコイルとした。
【００５９】
それぞれ評価結果を表１に「本発明（千鳥配置）」、「本発明（千鳥配置＋カウンター）」、「比較例」として示す。
【００６０】
【表１】
2004088969.tif 000003
【００６１】
表１に示すように、本発明のセラミックコイル（千鳥配置）は比較例の場合と比べて変形量を１／２以下と著しく低減している。さらにカウンターを設けたものは、厚みが増加するものの、更に変形を低減することが出来た。
【００６２】
さらに工具顕微鏡での断面観察倍率を５００倍として観察したところ、本発明のセラミックコイルではデラミネーションやクラックなどの構造結果は見られなかったが、比較例のものではデラミネーションやクラックが発生した。また、比較例のものではセラミックコイルが積層方向にくの字状にずれて形成されていた。
【００６３】
以上本発明のセラミックコイルを永久磁石モータの固定子に適用した例に基づいて、本発明を説明したが、本発明は界磁コイル以外のスパイラルコイルを有するコイル部品例えばインダクターなどにも適用できることは明らかであろう。
【００６４】
【発明の効果】
本発明のセラミックコイルは、クラックやデラミネーションの生じないまた導体パターンの潰れや歪みを低減した健全なものなので、モータのように加重や振動の加わる用途に応用できるものとなった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のセラミックコイルを用いた永久磁石モータの平面図である。
【図２】本発明のセラミックコイルを用いた永久磁石モータを印刷回路基板上に取り付けた状態を示す断面図である。
【図３】永久磁石モータに用いている固定子（セラミックコイル）の外観斜視図である。
【図４】本発明の一実施例に係る固定子（セラミックコイル）における界磁コイルの結線を示す結線図である。
【図５】図３に示す固定子（セラミックコイル）の分解斜視図である。
【図６】固定子の裏面にある第一の導体パターンの斜視図である。
【図７】コイルパターンを印刷形成したセラミックグリーンシートの平面図である。
【図８】コイルパターンを印刷形成した第二のセラミックグリーンシートの平面図である。
【図９】コイルパターンの位置関係を示す平面図である。
【図１０】コイルシート積層品の断面図である。
【図１１】焼結後の本発明によるセラミックコイル（例えば固定子）の断面図である。
【図１２】セラミック部（カウンター）を設けたセラミックグリーンシートの平面図である。
【図１３】セラミック部（カウンター）を設けたコイルシート積層品の断面図である。
【図１４】セラミックグリーンシートを積層した比較例の断面図である。
【図１５】焼結後の比較例のセラミックコイルの断面図である。
【図１６】本発明の一実施例に係るセラミックコイルにおけるコイルパターンの配置関係を示す断面図である。
【符号の説明】
１０　　　　　　　　　　　　固定子（セラミックコイル）
１５　　　　　　　　　　　　ハンダ
１９　　　　　　　　　　　　開孔
２０　　　　　　　　　　　　外部端子用セラミックグリーンシート
３０　　　　　　　　　　　　コイルシート積層品
４０，５０，４０′，５０′，６０、８０　　セラミックグリーンシート
２２，２３，２４，２５　　　　　　　　　　接続端子
２６　　　　　　　　　　　　第二の導体パターン
４２，５２，４２′，５２′、６２　　　　　　　　　　　　　　　　コイルパターン
４５　　　　　　　　　　　　セラミック部（カウンター）
７２，７３，７４　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　第一の導体パターン
８２　　　　　　　　　　　　コイルパターン
１８　　　　　　　　　　　　軸受
９０　　　　　　　　　　　　永久磁石回転子
９１　　　　　　　　　　　　永久磁石
９５　　　　　　　　　　　　回転軸
１００　　　　　　　　　　永久磁石モータ
２００　　　　　　　　　　印刷回路基板
【図１】
2004088969.tif 000004
【図２】
2004088969.tif 000005
【図３】
2004088969.tif 000006
【図４】
2004088969.tif 000007
【図５】
2004088969.tif 000008
【図６】
2004088969.tif 000009
【図７】
2004088969.tif 000010
【図８】
2004088969.tif 000011
【図９】
2004088969.tif 000012
【図１０】
2004088969.tif 000013
【図１１】
2004088969.tif 000014
【図１２】
2004088969.tif 000015
【図１３】
2004088969.tif 000016
【図１４】
2004088969.tif 000017
【図１５】
2004088969.tif 000018
【図１６】
2004088969.tif 000019