(57)【要約】【課題】安定したヘッド挙動が得られ、且つ、サーボ情報を効率良く記録することができる磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。【解決手段】磁性層１２を、サーボ領域２８において、所定のサーボパターンをなす複数のサーボパターン単位部３０と、該複数のサーボパターン単位部３０の間を部分的に充填するようにパターニングしたサーボパターン間充填部３２と、に分離した。又、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン間充填部３２と、が異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成した。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のデータ領域と、複数のサーボ領域と、に区分けされて情報が記録される磁性層を有してなり、該磁性層は前記各サーボ領域において、所定のサーボパターンをなす複数のサーボパターン単位部と、該複数のサーボパターン単位部の間を部分的に充填するようにパターニングされたサーボパターン間充填部と、に分離されていることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
請求項１において、
前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、は異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項３】
請求項２において、
前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、は前記磁気特性として異なる保磁力を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項４】
請求項２において、
前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、は前記磁気特性として異なる磁気異方性を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項５】
請求項２において、
前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、は前記磁気特性として異なる残留磁化を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
前記磁性層は前記各データ領域において、多数の記録要素に分離され、且つ、前記各サーボ領域に占める前記サーボパターン単位部の面積の比率よりも、前記各サーボ領域に占める前記サーボパターン単位部及びサーボパターン間充填部の合計面積の比率が、前記データ領域に占める前記記録要素の面積の比率に近い値になるように前記サーボパターン間充填部が形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかにおいて、
前記磁性層は前記各データ領域において、記録再生ヘッドの進行方向に対し垂直な方向に微細なトラックピッチで多数の記録要素に分離され、且つ、前記サーボパターン間充填部の少なくとも一部が前記サーボ領域内における前記データ領域の近傍にパターニングされたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかにおいて、
前記サーボパターン間充填部が前記サーボパターン単位部よりも小さく形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかにおいて、
前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、が反対の極性に磁化されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項１０】
複数のデータ領域と、複数のサーボ領域と、に区分けされて情報が記録される磁性層を有してなり、該磁性層は前記各サーボ領域において、所定のサーボパターンをなすサーボパターン単位部が、記録再生ヘッドの進行方向に対し垂直な方向に分離されていることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項１１】
請求項９において、
前記サーボパターン単位部が、記録再生ヘッドの進行方向に対し垂直な方向にトラック幅以上の長さを有するように分離されていることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項１２】
請求項１０又は１１において、
前記サーボパターン単位部が、記録再生ヘッドの進行方向に対し垂直な方向にトラック幅以上０．２ｍｍ以下の長さを有するように分離されていることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項１３】
基板上に磁性層を一様に形成する磁性層形成工程と、前記磁性層を、所定のサーボパターンをなす複数のサーボパターン単位部と、該複数のサーボパターン単位部の間を部分的に充填するサーボパターン間充填部と、に分離し、且つ、前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、が異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成する磁性層加工工程と、を含んでなることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１４】
請求項１３において、
前記磁性層加工工程は、前記磁気特性として異なる保磁力を備えるように前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、を異なる大きさに形成するようにされ、且つ、該磁性層加工工程の後に、前記サーボパターン単位部及び前記サーボパターン周囲部双方の保磁力よりも大きな直流磁場を前記磁性層に一様に印加する第１の直流磁場印加工程と、前記の直流磁場に対して向きが反対で、前記サーボパターン単位部の保磁力及び前記サーボパターン周囲部の保磁力の中間の大きさの直流磁場を前記磁性層に一様に印加する第２の直流磁場印加工程と、が設けられたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えばハードディスク等の磁気記録媒体は、複数のデータ領域と、複数のサーボ領域とに区分けされて情報が記録される磁性層を有し、サーボ領域にはヘッドの位置決め等のための制御用のサーボ情報が所定のサーボパターンで磁気的に記録される。
【０００３】
サーボ情報の記録工程は、サーボ・トラック・ライティング方式により、各磁気記録媒体毎にサーボ領域におけるサーボパターン部及びその周囲部を反対の極性に順次磁化させていくものであり、生産性が低いという問題があった。特に近年、面記録密度の向上及びこれに伴うヘッドの浮上高さの低下のため、サーボ情報についても高密度で、高精度な記録が要求されるようになっており、サーボ情報の記録工程の効率改善に対するニーズが高まっている。
【０００４】
これに対し、サーボパターン部又はその周囲部のいずれか一方だけに磁性層を形成し、サーボパターンを形状として形成するようにした磁気記録媒体が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。このようにすれば、磁気記録媒体に一様に直流磁場を印加することにより、磁性層がサーボパターンどおりに磁化されるので、サーボ情報の記録工程の大幅な効率改善を図ることができる。
【０００５】
尚、近年、面記録密度の大幅な上昇を図るべくデータ領域において磁性層を多数の記録要素に分離したディスクリートタイプの磁気記録媒体が注目されているが、このようなディスクリートタイプの磁気記録媒体の場合、磁性層のデータ領域の分離加工を行う際、サーボ領域の磁性層も同時に分離加工することができ、好都合である。
【０００６】
【特許文献１】
特開平６―１９５９０７号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、サーボパターンを凹凸として形成すると磁気記録媒体とヘッドとの間で気流が乱れて、ヘッドの浮上高さ、姿勢が不安定となり、情報の記録・読取精度が低下するという問題がある。
【０００８】
特に、サーボパターンは一定の規則性を有していることが多いものの、磁気記録媒体とヘッドとの間の気流を不安定にする方向に作用しやすい。尚、サーボパターンはヘッド側のドライブ装置との関係で決められるものであり、磁気記録媒体とヘッドとの間の気流を安定させるようなサーボパターンを自由に採用することはできないという事情がある。
【０００９】
又、サーボ領域とデータ領域との境界では表面の凹凸状態が大きく変化するため、ヘッド浮上の高さ、ヘッド姿勢は、サーボ領域とデータ領域との境界で特に不安定になりやすい。
【００１０】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、安定したヘッド挙動が得られ、且つ、サーボ情報を効率良く記録することができる磁気記録媒体及びその製造方法を提供することを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、磁性層をサーボ領域においてサーボパターン単位部と、サーボパターン間を部分的に充填するようにパターニングされたサーボパターン間充填部と、に分離し、磁気記録媒体とヘッドとの間に良好な気流が得られるようにサーボパターン間充填部を適宜パターニングすることにより、上記課題を解決したものである。
【００１２】
尚、本発明者は、本発明に至る過程で、磁性層を様々な形状に加工することを試みたところ、磁性層の磁気特性が、その形状的な大きさにより変化することに気がついた。一例を示すと、磁性層の保磁力は、その大きさが数百ｎｍ付近を下回ると著しく増大する傾向があることを発見した。
【００１３】
従って、サーボパターン単位部と、サーボパターン間充填部と、が異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成することにより、磁気特性の差異から両者を識別することが可能である。。
【００１４】
尚、サーボパターン間充填部を磁性層の一部として形成しているので、他の材料を用いてサーボパターン間充填部を形成するよりも、製造が容易であり、生産性という点で有利ある。
【００１５】
即ち、次のような本発明により、上記課題の解決を図ったものである。
【００１６】
（１）複数のデータ領域と、複数のサーボ領域と、に区分けされて情報が記録される磁性層を有してなり、該磁性層は前記各サーボ領域において、所定のサーボパターンをなす複数のサーボパターン単位部と、該複数のサーボパターン単位部の間を部分的に充填するようにパターニングされたサーボパターン間充填部と、に分離されていることを特徴とする磁気記録媒体。
【００１７】
（２）前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、は異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする前記（１）の磁気記録媒体。
【００１８】
（３）前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、は前記磁気特性として異なる保磁力を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする前記（２）の磁気記録媒体。
【００１９】
（４）前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、は前記磁気特性として異なる磁気異方性を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする前記（２）の磁気記録媒体。
【００２０】
（５）前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、は前記磁気特性として異なる残留磁化を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする前記（２）の磁気記録媒体。
【００２１】
（６）前記磁性層は前記各データ領域において、多数の記録要素に分離され、且つ、前記各サーボ領域に占める前記サーボパターン単位部の面積の比率よりも、前記各サーボ領域に占める前記サーボパターン単位部及びサーボパターン間充填部の合計面積の比率が、前記データ領域に占める前記記録要素の面積の比率に近い値になるように前記サーボパターン間充填部が形成されたことを特徴とする前記（１）乃至（５）のいずれかの磁気記録媒体。
【００２２】
（７）前記磁性層は前記各データ領域において、記録再生ヘッドの進行方向に対し垂直な方向に微細なトラックピッチで多数の記録要素に分離され、且つ、前記サーボパターン間充填部の少なくとも一部が前記サーボ領域内における前記データ領域の近傍にパターニングされたことを特徴とする前記（１）乃至（６）のいずれかの磁気記録媒体。
【００２３】
（８）前記サーボパターン間充填部が前記サーボパターン単位部よりも小さく形成されたことを特徴とする前記（１）乃至（７）のいずれかの磁気記録媒体。
【００２４】
（９）前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、が反対の極性に磁化されたことを特徴とする前記（１）乃至（８）のいずれかの磁気記録媒体。
【００２５】
（１０）複数のデータ領域と、複数のサーボ領域と、に区分けされて情報が記録される磁性層を有してなり、該磁性層は前記各サーボ領域において、所定のサーボパターンをなすサーボパターン単位部が、記録再生ヘッドの進行方向に対し垂直な方向に分離されていることを特徴とする磁気記録媒体。
【００２６】
（１１）前記サーボパターン単位部が、記録再生ヘッドの進行方向に対し垂直な方向にトラック幅以上の長さを有するように分離されていることを特徴とする前記（９）の磁気記録媒体。
【００２７】
（１２）前記サーボパターン単位部が、記録再生ヘッドの進行方向に対し垂直な方向にトラック幅以上０．２ｍｍ以下の長さを有するように分離されていることを特徴とする前記（１０）乃至（１１）のいずれかの磁気記録媒体。
【００２８】
（１３）基板上に磁性層を一様に形成する磁性層形成工程と、前記磁性層を、所定のサーボパターンをなす複数のサーボパターン単位部と、該複数のサーボパターン単位部の間を部分的に充填するサーボパターン間充填部と、に分離し、且つ、前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、が異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成する磁性層加工工程と、を含んでなることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【００２９】
（１４）前記磁性層加工工程は、前記磁気特性として異なる保磁力を備えるように前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、を異なる大きさに形成するようにされ、且つ、該磁性層加工工程の後に、前記サーボパターン単位部及び前記サーボパターン周囲部双方の保磁力よりも大きな直流磁場を前記磁性層に一様に印加する第１の直流磁場印加工程と、前記の直流磁場に対して向きが反対で、前記サーボパターン単位部の保磁力及び前記サーボパターン周囲部の保磁力の中間の大きさの直流磁場を前記磁性層に一様に印加する第２の直流磁場印加工程と、が設けられたことを特徴とする前記（１３）の磁気記録媒体の製造方法。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００３１】
図１は、本実施形態に係る磁気記録媒体の構造を模式的に示す平面図である。図２は、図１におけるＩＩ−ＩＩ線に沿う側断面図である。
【００３２】
磁気記録媒体１０は、複数のデータ領域１４と、複数のサーボ領域２８と、に区分けされて情報が記録される磁性層１２を有し、磁性層１２がデータ領域１４において、径方向に微細なトラックピッチで多数の記録要素１６に形状的に分離された垂直記録型のディスクリートタイプの磁気ディスクで、基板１８上に下地層２０、軟磁性層２２、配向層２４、磁性層１２、保護層２６、がこの順で形成されている。
【００３３】
磁気記録媒体１０は、磁性層１２が、各サーボ領域２８において、所定のサーボパターンをなす複数のサーボパターン単位部３０と、該複数のサーボパターン単位部３０の間を部分的に充填するようにパターニングされたサーボパターン間充填部３２と、に分離され、且つ、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン間充填部３２と、が異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴としている。
【００３４】
他の構成については、従来の磁気記録媒体と同様であるので説明を適宜省略することとする。
【００３５】
磁性層１２を構成する記録要素１６、サーボパターン単位部３０及びサーボパターン間充填部３２は、材質がＣｏＰｔ（コバルト−プラチナ）合金とされている。ＣｏＰｔ合金は、図３中に符号Ａで示される曲線のように、その形状が小さいほど保磁力が大きくなり、特に大きさが２００ｎｍ以下になると保磁力が著しく増大する性質を有している。
【００３６】
記録要素１６は、各データ領域１４に同心円状に多数並設されている。
【００３７】
サーボパターン単位部３０は、サーボパターンを構成する各サーボパターン単位毎に該サーボパターン単位と等しい形状に形成されている。
【００３８】
サーボパターン間充填部３２は略円形の突起状体で、サーボパターン単位部３０よりも小さく形成され、サーボパターン単位部３０よりも大きな保磁力を備えている。又、サーボパターン間充填部３２は各サーボパターン単位部３０の間に多数形成されている。サーボパターン間充填部３２の多くの部分は、サーボ領域２８の内における前記データ領域１４の近傍にパターニングされている。
【００３９】
サーボパターン単位部３０は磁気ディスクの半径方向（記録ヘッドの進行方向に対し垂直な方向）に分離されている。分離の際、サーボパターン単位部３０はディスクリートタイプの磁気ディスクにおける記録トラック幅（記録要素１６の幅）と同等、もしくはトラック幅よりも広い幅を有するように形成することが好ましい。記録トラック幅よりも狭い場合は磁気ヘッドによるサーボ信号の読取が困難となる。したがって、サーボパターン単位部３０の分離される幅は磁気ディスクの記録トラック幅により決定される。また、サーボパターン単位部３０は０．２ｍｍ以下の幅を有するように形成されるのが好ましい。サーボパターン単位部３０の幅が０．２ｍｍ以上の場合、回転中の磁気ディスクと磁気ヘッドとの間に気流の乱れが生じ、好ましくない。
【００４０】
尚、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン間充填部３２と、は反対の極性に磁化されている。
【００４１】
基板１８の材質はガラス、下地層２０の材質はＣｒ（クロム）又はＣｒ合金、軟磁性層２２の材質はＦｅ（鉄）合金又はＣｏ（コバルト）合金、配向層２４の材質は、ＣｏＯ、ＭｇＯ、ＮｉＯ等、保護層２６の材質はＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｎｄ  Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ）とされている。
【００４２】
ここで、本明細書においてＤＬＣという用語は、炭素を主成分とし、アモルファス構造であって、ビッカース硬度測定で２００〜８０００ｋｇｆ／ｍｍ２程度の硬さを示す材料という意義で用いることとする。
【００４３】
次に、磁気記録媒体１０の作用について説明する。
【００４４】
磁気記録媒体１０は、複数のサーボパターン単位部３０の間を部分的に充填するようにサーボパターン間充填部３２がパターニングされているので、サーボパターン単位部３０だけが配設される磁気記録媒体よりも表面が均されてヘッドとの間の気流が乱れにくく、ヘッドの挙動が安定する。
【００４５】
又、各サーボ領域２８に占めるサーボパターン単位部３０及びサーボパターン間充填部３２の合計面積の比率が、データ領域１４に占める記録要素１６の面積の比率に近い値になるようにサーボパターン間充填部３２がパターニングされているので、データ領域１４とサーボ領域２８との境界においてもヘッドの挙動が安定する。
【００４６】
特に、サーボパターン間充填部３２は、多くの部分がサーボ領域２８の近傍にパターニングされているので、データ領域１４とサーボ領域２８との境界においてヘッドの挙動を安定させる効果が高められている。
【００４７】
更に、サーボパターン単位部３０が記録再生ヘッドの進行方向に対し垂直な方向に分離されており、分離された部分を記録再生ヘッドの進行方向に沿う気流が通り抜けることができるので、サーボパターン単位部３０による気流の乱れがそれだけ低減され、この点でもヘッドの挙動を安定させる効果が高められている。
【００４８】
又、サーボパターン間充填部３２はサーボパターン単位部３０よりも小さく形成され、パターニングの自由度が大きいので、それだけ微妙な気流の調節を実現することができる。
【００４９】
又、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン間充填部３２と、はいずれも共通の磁性層１２の一部であるので、サーボパターン単位部３０の表面の高さと、サーボパターン間充填部３２の表面の高さと、を高精度で一致させることができ、この点でもヘッドの挙動を安定させる効果が得られる。
【００５０】
又、各サーボパターン単位部３０をサーボパターンを構成するサーボパターン単位と等しい形状に形成しているので、サーボ情報の読取精度を高めることができる。
【００５１】
又、磁気記録媒体１０は、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン間充填部３２と、が異なる保磁力を備えているので、後述するように、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン間充填部３２とを反対の極性に磁化させることが容易であり、サーボ情報を効率良く記録することができる。
【００５２】
次に、磁気記録媒体１０の製造方法について説明する。
【００５３】
図４は、磁性記録媒体１０の製造工程の概要を示すフローチャートである。
【００５４】
まず、図５に示されるような、製造工程における出発体５０を用意する。この出発体５０は、基板１８上に、下地層２０を３００〜２０００Åの厚さで、軟磁性層２２を５００〜３０００Åの厚さで、配向層２４を３０〜３００Åの厚さで、連続磁性層５２を１００〜３００Åの厚さで、この順でスパッタリング法により形成する（Ｓ１０１）。更に、連続磁性層５２上に第１のマスク層５４を１００〜５００Åの厚さでスパッタリング法により形成し（Ｓ１０２）、更に第２のマスク層５６を３００〜３０００Åの厚さで、スピンコート又はディッピングにより形成し（Ｓ１０３）、ベーキングすることにより得られる。
【００５５】
尚、第１のマスク層５４の材質はＴｉＮ（窒化チタン）、第２のマスク層５６の材質はネガ型レジスト（ＮＥＢ２２Ａ  住友化学工業株式会社製）とされている。
【００５６】
このようにして得られた出発体５０の第２のマスク層５６に、まず転写手段（図示省略）を用いて、データ領域１４における記録要素１６の分離パターン、及びサーボ領域２０におけるサーボパターン単位部３０及びサーボパターン間充填部３２の分離パターンに相当する凹部をナノ・インプリント法により転写し（Ｓ１０４）、更に、酸素ガス又はオゾンガスを用いたプラズマにより、第２のマスク層５６の全面を均一にドライエッチング加工すると、図６に示されるように凹部底面の第２のマスク層５６が除去され（Ｓ１０５）、凹部底面に第１のマスク層５４が露出する。尚、第２のマスク層５６はドライエッチングにより凹部以外の領域も除去されるが、凹部底面との段差の分だけ残存する。
【００５７】
次に、ＣＦ４（４フッ化炭素）ガス又はＳＦ６（６フッ化硫黄）ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより、図７に示されるように、凹部底面の第１のマスク層５４を除去する（Ｓ１０６）。尚、この際、連続磁性層５２も微少量除去される。又、凹部以外の領域の第２のマスク層５６も大部分が除去されるが微小量が残存する。
【００５８】
次に、ＮＨ３（アンモニア）ガス及びＣＯ（一酸化炭素）ガスの混合ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより、図８に示されるように、凹部底面の連続磁性層５２を除去し、連続磁性層５２をデータ領域１４において多数の微細な記録要素１６に分離すると共に、サーボ領域２８においてサーボパターン単位部３０とサーボパターン間充填部３２とに分離する。（Ｓ１０７）。尚、この際、凹部底面の配向層２４も微少量除去される。又、凹部以外の領域の第２のマスク層５６は完全に除去されるが、凹部以外の領域の第１のマスク層５４は記録要素１６、サーボパターン単位部３０及びサーボパターン間充填部３２上に若干量残存する。
【００５９】
この残存した第１のマスク層５４は、ＣＦ４ガス又はＳＦ６ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより、図９に示されるように完全に除去する（Ｓ１０８）。
【００６０】
次に、ＣＶＤ法により、磁性層１２の表面及び凹部底面に保護層２６を形成することにより（Ｓ１０９）、前記図１及び図２に示されるような磁気記録媒体１０が得られる。
【００６１】
尚、保護層２６の表面には必要に応じて、ディッピング法により、例えば材質がＰＦＰＥ（パーフロロポリエーテル）の潤滑層を１０〜２０Åの厚さで塗布する。
【００６２】
次に、磁気記録媒体１０へのサーボ情報の記録方法について説明する。
【００６３】
まず図１０に模式的に示されるように、磁気記録媒体１０にサーボパターン単位部３０及びサーボパターン間充填部３２双方の保磁力よりも大きい直流の外部磁場を一様に印加してサーボパターン単位部３０及びサーボパターン間充填部３２を等しい極性に磁化させる（Ｓ１１０）。
【００６４】
次に、図１１に示されるように前記外部磁場に対して向きが反対で、サーボパターン間充填部３２の保磁力よりも小さく、且つ、サーボパターン単位部３０の保磁力より大きい直流の外部磁場を一様に印加すると、サーボパターン単位部３０が逆の極性に磁化される（Ｓ１１１）。尚、サーボパターン間充填部３２は磁化の極性が反転しない。即ち、サーボパターン単位部３０とサーボパターン間充填部３２とが、反対の極性に磁化され、サーボ情報の記録が完了する。
【００６５】
このように、一様な直流の外部磁場を２段階で印加することにより、容易にサーボ情報を記録することができ、本実施形態に係る磁気記録媒体の製造方法は生産効率がよい。
【００６６】
又、サーボ領域２８において磁性層１２をサーボパターン単位部３０とサーボパターン間充填部３２とに分離する工程と、データ領域１４において磁性層１２を多数の記録要素１６に分離する工程とが、同時に行われるので、この点でも本実施形態に係る磁気記録媒体の製造方法は生産効率がよい。
【００６７】
更に、サーボパターン間充填部３２を磁性層１２の一部として形成しているので、他の材料を用いてサーボパターン間充填部３２を形成するよりも、製造が容易であり、この点でも本実施形態に係る磁気記録媒体の製造方法は生産効率がよい。
【００６８】
尚、本実施形態において、磁性層１２の材質はＣｏＰｔ合金とされているが、本発明はこれに限定されるものではなく、磁性層１２の材質は例えば、Ｃｏ（コバルト）合金、ＣｏとＰｄ（パラジウム）の積層体、ＣｏとＰｔ（白金）の積層体、Ｆｅ（鉄）、Ｆｅ合金、Ｆｅ合金の積層体等の他の材質としてもよい。尚、Ｃｏ及びＰｄ（パラジウム）の積層体は、その形状的な大きさと保磁力とが図３中に符号Ｂの曲線で示される関係となる性質を有している。
【００６９】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１０は、サーボパターン間充填部３２が略円形で、前記図１に示されるように、多くの部分がサーボ領域２８の近傍にパターニングされているが、本発明はこれに限定されるものではなく、サーボパターン間充填部の形状、配設数、配設パターンは、磁気記録媒体１０とヘッドとの間に良好な気流を実現できるように適宜選択すればよい。
【００７０】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１０は、サーボパターン間充填部３２がサーボパターン単位部３０よりも小さく形成されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、サーボパターン単位部よりも大きくサーボパターン間充填部を形成してもよい。例えば、本実施形態におけるサーボパターン間充填部を一体で形成し、各サーボ領域にサーボパターン間充填部を一つだけ配設するようにしてもよい。
【００７１】
又、例えば、図１２に示されるように、各サーボパターン単位部をこれよりも小さな複数のサーボパターン単位部構成要素３０Ａの集合として形成し、サーボパターン単位部構成要素３０Ａよりも大きくサーボパターン間充填部３２を形成してもよい。このようにすることでサーボパターン単位部とサーボパターン間充填部との磁気特性の差を大きくすることができる。
【００７２】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１０は、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン間充填部３２とが、異なる保磁力を備え、反対の極性に磁化されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、サーボパターン単位部と、サーボパターン間充填部とが、磁気異方性、残留磁化等の他の相異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成し、これらの磁気特性の差異に基づいて両者を識別するようにしてもよい。
【００７３】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１０はデータ領域１４に記録要素１６が径方向に微細なトラックピッチで多数並設された垂直記録型のディスクリートタイプの磁気ディスクであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、記録要素がトラックの周方向（セクタの方向）に微細な間隔で並設された磁気ディスク、トラックの径方向及び周方向の両方向に微細な間隔で並設された磁気ディスクの製造についても本発明は当然適用可能である。又、ＭＯ等の光磁気ディスク等の他の磁気記録媒体の製造に対しても本発明は適用可能である。
【００７４】
又、データ領域に連続磁性層を備える構成の磁気記録媒体についても、本発明を適用し、サーボ領域にサーボパターン単位部とサーボパターン間充填部とを分離して形成すれば、サーボ情報の読取効率を向上する効果が得られる。
【００７５】
又、本実施形態において、第１のマスク層５４の材質はＴｉＮとされているが、第１のマスク層５４の材質はＣＯガス等を反応ガスとする反応性イオンエッチングで除去されにくい材質であれば、第１のマスク層５４の材質は特に限定されず、例えば、Ｔｉ（チタン）、Ｔａ（タンタル）、Ｍｇ（マグネシウム）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｓｉ（珪素）、Ｇｅ（ゲルマニウム）、Ｐｂ（鉛）の他、これらを主成分として含む合金、化合物等を用いることができる。
【００７６】
又、本実施形態において、第１のマスク層５４をドライエッチングで所定のパターンに加工するために第１のマスク層５４上に、更にネガ型レジストの第２のマスク層５６が形成され、２段階のドライエッチングで第１のマスク層５４が所定のパターンに加工されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、第１のマスク層５４を所定のパターンで加工することができれば、第１のマスク層５４上に形成する他のマスク層の材質、積層数等は特に限定されず、例えば３段階以上のドライエッチングで第１のマスク層５４を所定のパターンに加工してもよい。
【００７７】
又、本実施形態において、第１のマスク層５４を加工するためにＣＦ４又はＳＦ６を反応ガスとする反応性イオンエッチングを用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、上記のような第１のマスク層５４の材質と反応し、エッチングを促進するような反応ガスであれば反応ガスの種類は特に限定されず、例えばＮＦ３（３フッ化窒素）、ＣＨＦ３（フルオロホルム）等の他のフッ素系ガス、Ｃｌ２（塩素）、ＢＣｌ３（３塩化ホウ素）、ＣＨＣｌ３（クロロホルム）等の塩素系ガス等を用いてもよい。
【００７８】
（実施例）
上記実施形態により、磁気記録媒体１０を作製した。サーボパターン間充填部３２は直径が約１００ｎｍの大きさの略円形に形成した。
【００７９】
ヘッドスライダー（図示省略）を近接させて磁気記録媒体１０を回転させ、ヘッド素子部の浮上高さを側定したところ、ヘッド素子部は図１３中に符号Ｃで示す曲線のような挙動を示した。尚、曲線が大きく変動している部分は、データ領域とサーボ領域との境界におけるヘッド素子部の浮上高さの変動を示している。ヘッド素子部の浮上高さは、データ領域中では安定していた。ヘッドスライダーがサーボ領域に入るとヘッド素子部は０．５ｎｍの変動を示した。さらに、ヘッドスライダーのヘッド素子部がデータ領域からサーボ領域に入る時点で、最大約１．９ｎｍの変動を示した。
【００８０】
（比較例）
上記実施例に対し、サーボ領域２８にはサーボパターン単位部３０だけを形成し、サーボパターン間充填部３２は形成していない比較試料を作成した。
【００８１】
ヘッドスライダー（図示省略）を近接させてこの比較試料を回転させ、ヘッド素子部の浮上高さを側定したところ、ヘッド素子部は図１３中に符号Ｄで示す曲線のような挙動を示した。
【００８２】
ヘッド素子部の浮上高さは、データ領域中では安定していた。ヘッドスライダーがサーボ領域に入るとヘッド素子部は０．５ｎｍの変動を示した。さらに、ヘッドスライダーのヘッド素子部がデータ領域からサーボ領域に入る時点で、最大約２．８ｎｍの変動を示した。
【００８３】
即ち、実施例は比較例に対して、データ領域とサーボ領域との境界におけるヘッド素子部の浮上高さの変動幅が大幅に縮小されていることが確認された。
【００８４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、安定したヘッド挙動が得られ、且つ、サーボ情報を効率良く記録することが可能となるという優れた効果がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態に係る磁気記録媒体の構造を模式的に示す平面図
【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩ線に沿う側断面図
【図３】同磁気記録媒体の磁性層の形状的な大きさと保磁力との関係を示すグラフ
【図４】同磁気記録媒体の製造工程を示すフローチャート
【図５】同磁気記録媒体の製造工程における出発体の構造を模式的に示す側断面図
【図６】前記出発体の第２のマスク層の加工工程を模式的に示す側断面図
【図７】前記出発体の第１のマスク層の加工工程を模式的に示す側断面図
【図８】前記出発体の磁性層の加工工程を模式的に示す側断面図
【図９】前記出発体の第１のマスク層の除去工程を模式的に示す側断面図
【図１０】前記磁気記録媒体への第１の外部磁場印加工程を模式的に示す側断面図
【図１１】前記磁気記録媒体への第２の外部磁場印加工程を模式的に示す側断面図
【図１２】本実施形態に係る磁気記録媒体の他の構造例を模式的に示す平面図
【図１３】本発明の実施例及び比較例に係る磁気記録媒体におけるヘッドの浮上高さを示すグラフ
【符号の説明】
１０…磁気記録媒体
１２…磁性層
１４…データ領域
１６…記録要素
１８…サーボ領域
２０…下地層
２２…軟磁性層
２４…配向層
２６…保護層
２８…サーボ領域
３０…サーボパターン単位部
３０Ａ…サーボパターン単位部構成要素
３２…サーボパターン間充填部
３６、４０…隙間部
５０…製造工程における出発体
５２…連続磁性層
５４…第１のマスク層
５６…第２のマスク層
Ｓ１０１…磁性層形成工程
Ｓ１０７…磁性層加工工程
Ｓ１１０…第１の直流磁場印加工程
Ｓ１１１…第２の直流磁場印加工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【手続補正書】
【提出日】平成15年5月20日(2003.5.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】
請求項１０において、
前記サーボパターン単位部が、記録再生ヘッドの進行方向に対し垂直な方向にトラック幅以上の長さを有するように分離されていることを特徴とする磁気記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１４】
請求項１３において、
前記磁性層加工工程は、前記磁気特性として異なる保磁力を備えるように前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、を異なる大きさに形成するようにされ、且つ、該磁性層加工工程の後に、前記サーボパターン単位部及び前記サーボパターン間充填部双方の保磁力よりも大きな直流磁場を前記磁性層に一様に印加する第１の直流磁場印加工程と、前記の直流磁場に対して向きが反対で、前記サーボパターン単位部の保磁力及び前記サーボパターン間充填部の保磁力の中間の大きさの直流磁場を前記磁性層に一様に印加する第２の直流磁場印加工程と、が設けられたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
（１１）前記サーボパターン単位部が、記録再生ヘッドの進行方向に対し垂直な方向にトラック幅以上の長さを有するように分離されていることを特徴とする前記（１０）の磁気記録媒体。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
（１４）前記磁性層加工工程は、前記磁気特性として異なる保磁力を備えるように前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン間充填部と、を異なる大きさに形成するようにされ、且つ、該磁性層加工工程の後に、前記サーボパターン単位部及び前記サーボパターン間充填部双方の保磁力よりも大きな直流磁場を前記磁性層に一様に印加する第１の直流磁場印加工程と、前記の直流磁場に対して向きが反対で、前記サーボパターン単位部の保磁力及び前記サーボパターン間充填部の保磁力の中間の大きさの直流磁場を前記磁性層に一様に印加する第２の直流磁場印加工程と、が設けられたことを特徴とする前記（１３）の磁気記録媒体の製造方法。