(57)【要約】【課題】転写ホルダーの気密性を確保してマスター担体とスレーブ媒体間に十分な密着力を与えられる構造に構成するとともに内部空間における発塵を防止して良好な磁気転写を効率よく行えるようにする。【解決手段】接離移動する片側ホルダー５と他側ホルダー６との間に開閉される内部空間Ａに、転写情報を担持したマスター担体３と転写を受けるスレーブ媒体２とを対峙密着させる転写ホルダー１０で、マスター担体３とスレーブ媒体２と同一の内部空間Ａに摺動部および発塵部を持たない。ホルダーに薄肉構造の弾性部６３を設け、その変形で密着力の印加を行う。弾性材料による弾性部を設けたり、ベローズで摺動部分と隔離したり、発塵しない磁性流体シールを採用してもよい。【選択図】          図１
2004310809.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとの間に開閉される内部空間に、転写情報を担持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを収容して対峙密着させる磁気転写装置の転写ホルダーにおいて、
前記マスター担体とスレーブ媒体と同一の内部空間に摺動部および発塵部を持たないことを特徴とする磁気転写装置の転写ホルダー。
【請求項２】
前記片側ホルダーと他側ホルダーの少なくとも一方の一部に弾性部を備え、該弾性部の変形で密着時の片側ホルダーと他側ホルダーの相対移動を許容することを特徴とする請求項１に記載の転写ホルダー。
【請求項３】
前記弾性部が薄肉部で形成されてなることを特徴とする請求項２に記載の転写ホルダー。
【請求項４】
前記弾性部が弾性材料で形成されてなることを特徴とする請求項２に記載の転写ホルダー。
【請求項５】
前記内部空間と摺動部の間に、ベローズを設置して両者を隔離してなることを特徴とする請求項１に記載の転写ホルダー
【請求項６】
摺動シール部に磁性流体シールを使用することを特徴とする請求項１に記載の転写ホルダー。
【請求項７】
前記片側ホルダーと他側ホルダーの圧接シール部に平型リングを使用することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の転写ホルダー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報が担持されたマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置において、上記マスター担体とスレーブ媒体とを内部空間に収容し密着させる転写ホルダーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
上記スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
この磁気転写における転写品質を高めるためには、スレーブ媒体とマスター担体とを塵埃が介在しない状態で全面で均等に密着させることが重要である。つまり塵埃が付着していると、付着部を中心とし周辺に及ぶ範囲までマスター担体とスレーブ媒体の密着が確保できず、磁気転写が起こらない領域が生じ、スレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題がある。
【０００５】
特に、上記のような磁気転写においては、１枚のマスター担体の繰り返し使用により多数のスレーブ媒体に連続的に磁気転写を行うために、マスター担体の表面に塵埃が付着して汚染されると、それ以降の磁気転写にすべて転写不良が発生することになる。さらに、これらの付着物により、マスター担体表面を変形させ、正常な機能を損なう問題がある。
【０００６】
また、上記のような磁気転写では、マスター担体およびスレーブ媒体を、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとを備えるホルダーの内部空間に収容して対峙密着させることが、全面で均一な密着を得る点で良好である（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−１６３８２３号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような磁気転写では、マスター担体およびスレーブ媒体は、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとを備える転写ホルダーの内部空間に収容されて対峙密着されるものであるが、スレーブ媒体とマスター担体との密着面のエアーを排出して密着性を高めるため、または、真空吸引により作用する外圧でスレーブ媒体とマスター担体とに密着力を与えるために、上記内部空間を密閉し内部エアーを排出することが行われる。
【０００９】
しかし、上記転写ホルダーの内部空間は、スレーブ媒体の搬入、搬出を行うために開閉作動されると共に、密着力を印加するために内部空間を拡縮作動するように片側ホルダーと他側ホルダーとの押圧面が接離移動するように構成される。そして、前記内部空間を密閉するシール部分は、片側ホルダーと他側ホルダーとの接離移動に伴い、磁気転写毎に内部空間を開閉するための圧接と分離を繰り返すと共に、嵌合摺動して密閉状態を維持する必要がある。
【００１０】
さらに、前記ホルダーは磁気転写時に転写用磁界をスレーブ媒体の前面に印加するために、ホルダーを回転駆動することが行われ、前述の内部空間に連通する吸引通路の導入部分などにシール機構を必要としている。
【００１１】
上記のような構成とするために、マスター担体およびスレーブ媒体を密着状態で収容する転写ホルダーの内部空間に連通する部位に上記のようなシール部分、特に摺動シール部が露出していると、このシール部は摺動、摩耗に伴って発塵しやすく、その塵埃がマスター担体およびスレーブ媒体に付着し、前述のような転写不良を招く問題があった。
【００１２】
本発明は上記点に鑑みてなされたものであり、内部空間の気密性を確保してマスター担体とスレーブ媒体間に十分な密着力を与えられる構造に構成するとともに内部空間における発塵を防止して良好な磁気転写を効率よく行えるようにした磁気転写装置の転写ホルダーを提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明による磁気転写装置の転写ホルダーは、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとの間に開閉される内部空間に、転写情報を担持したマスター担体と転写を受けるスレーブ媒体とを収容して対峙密着させる磁気転写装置の転写ホルダーにおいて、
前記マスター担体とスレーブ媒体と同一の内部空間に摺動部および発塵部を持たないことを特徴とするものである。
【００１４】
前記片側ホルダーと他側ホルダーの少なくとも一方の一部に弾性部を備え、該弾性部の変形で密着時の片側ホルダーと他側ホルダーの相対移動を許容し、摺動シール部を配置しないように構成し得る。また、前記弾性部は薄肉部で形成するか、弾性材料で形成することが可能である。
【００１５】
一方、前記内部空間と摺動部の間に、ベローズを設置して両者を隔離し、摺動部の発塵が内部空間に流入しないように構成することが可能である。
【００１６】
また、摺動シール部には発塵性のない磁性流体シールを使用するのが好ましい。さらに、片側ホルダーと他側ホルダーとの圧接シール部に平型リングを使用するのが発塵を抑制する点で好適である。この平型リングの材質には金属、ゴム、金属ゴムコーティング、樹脂を使用するのが望ましい。上記各発塵低減構造は組み合わせて構成し得るものである。
【００１７】
【発明の効果】
上記のような本発明によれば、マスター担体とスレーブ媒体を収容する片側ホルダーと他側ホルダーの接離移動に伴う内部空間に、発塵の原因となる摺動部および発塵部を持たないようにしたことにより、転写ホルダーの気密性を確保し、マスター担体とスレーブ媒体間に十分な密着力を与えられる構造でありながら、転写ホルダー内部の発塵を防止することができるため、マスター担体およびスレーブ媒体への塵埃の付着を防止でき、塵埃付着による転写不良の発生を抑制できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示す各実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は第１の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーの開状態を示す概略断面図である。なお、後述の各図も模式図であり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。
【００１９】
図１に示すように、本実施形態の磁気転写装置の転写ホルダー１０は、接離移動可能な下側の片側ホルダー５と上側の他側ホルダー６とを備え、両者の接近に伴い圧接シール部７により密閉形成される内部空間Ａに、スレーブ媒体２、マスター担体３、弾性材４を配置して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体２とマスター担体３とを対峙密着させる。
【００２０】
なお、図示していないが、磁気転写装置は、転写ホルダー１０内の内部空間Ａのエアーを真空吸引し内部を減圧状態として密着力を得る真空吸引手段と、転写ホルダー１０を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置とを備える。
【００２１】
また、図示の転写ホルダー１０は、水平方向に配置したスレーブ媒体２の片面にマスター担体３を対峙密着させ、片面逐次磁気転写を行う態様を示しているが、スレーブ媒体２およびマスター担体３を縦向きに配置して磁気転写を行うようにしてもよい。また、スレーブ媒体２の両側にそれぞれマスター担体３を配置して両面に対峙密着させ、両面同時磁気転写を行うようにしてもよい。ここで、対峙密着とは、接触密着、ごく僅かな隙間を空けて対峙するこの双方の何れかを指すものとする。
【００２２】
前記片側ホルダー５は円盤状で、マスター担体３の外径より大きい円形状の内面５ａ（押圧面）を有し、この内面５ａの中央部にマスター担体３の下面を吸着などにより保持する。一方、他側ホルダー６は、スレーブ媒体２の外径より若干大きく厚肉に形成された剛体構造の押圧円盤部６１と、この押圧円盤部６１の外周部分にリング状に連設された薄肉構造の弾性部６３と、弾性部６３のさらに外周に連設された周壁部６２とからなる。押圧円盤部６１の内面６ａ（押圧面）にシート状の弾性材４（クッション材）が取り付けられ、この弾性材４の下面にスレーブ媒体２を吸着などにより保持する。
【００２３】
周壁部６２は軸方向に延びる筒状で、上記押圧円盤部６１の外周部に弾性部６３を介して連結され、弾性部６３の変形に応じて押圧円盤部６１に対して相対的に軸方向（接離方向）に変位可能である。この周壁部６２の外径は上記片側ホルダー５の外径とほぼ等しく、軸方向の長さ（高さ）は押圧円盤部６１の高さ（厚さ）より大きく設けられ、内面６ａより突出している。その突出量は、マスター担体３、スレーブ媒体２および弾性材４の合計厚さより若干大きくなるように設定されている。
【００２４】
そして、上記他側ホルダー６における周壁部６２の端面に圧接シール部７が配置され、この圧接シール部７により片側ホルダー５の内面５ａとの間の圧接シールを行う。つまり、周壁部６２の下端面にＯリング７ａまたは後述の平型リングが装着され、該Ｏリング７ａが片側ホルダー５の内面５ａの周縁部に圧接可能であり、この圧接シール部７により、内部空間Ａの開閉用のシールが行われる。なお、上記Ｏリング７ａは片側ホルダー５側に設置してもよい。
【００２５】
前記他側ホルダー６および片側ホルダー５は金属製であり、例えば、ステンレス（ＳＵＳ３０３，３０４）、チタン、アルミニウム、真鍮、黄銅などの材質で形成される。そして、前記薄肉構造による弾性部６３は、密着時の圧力に応じて弾性変形するようになっている。例えば、薄肉弾性部６３の厚さを０．１〜２ｍｍに形成する。０．１ｍｍ未満では耐久性が不足し、２ｍｍを越えると剛性が高く変形不足で密着不良が発生する。また、薄肉弾性部６３の径方向の幅を０．５〜１００ｍｍに形成する。０．５ｍｍ未満では剛性が高くなり密着不良が発生し、１００ｍｍを越えると加工適性が問題となる。
【００２６】
弾性材４はスレーブ媒体２の背面に接触して均等に圧力を加えるためのもので、弾性特性を有する材料により円盤状に形成される。弾性特性を有する材料としては、シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴムなど一般的なゴムや、スポンジゴム等の発泡樹脂などが使用できる。
【００２７】
前記片側ホルダー５および他側ホルダー６の外面の中心位置には、それぞれ支持軸５ｃ，６ｃが突設され、不図示の装置本体に支持されている。この片側ホルダー５および他側ホルダー６は図示しない回転機構に連係されて支持軸５ｃ，６ｃを中心に一体に回転駆動される。
【００２８】
また、図示していないが、片側ホルダー５の内面５ａには、内部空間Ａに連通する部分に、真空吸引手段の排気口が開口されている。この排気口に連通するエアー通路が片側ホルダー５内に形成され、支持軸５ｃを通して外部に導出され、不図示の真空ポンプに接続されている。また、他側ホルダー６にも排気口を形成して内部空間Ａの真空吸引を行うようにしてもよい。この真空吸引手段によるエアーの真空吸引により、転写ホルダー１０内の内部空間Ａを所定の真空度に制御する。これにより、スレーブ媒体２とマスター担体３とが所定の密着圧力となるように設定されると共に、両者の密着面のエアー抜きが行われ、密着性が高められる。なお、上記密着力の印加のために、転写ホルダー１０を外部から機械的に加圧する押圧手段を備えてもよい。
【００２９】
上記支持軸５ｃ，６ｃの軸受部では、真空吸引用のエアー通路を導出する部分にシールが必要となるが、そのシール部分で発生した塵埃が内部空間Ａを大気開放した際に、流入するエアーとともに内部空間Ａへ侵入してマスター担体３，スレーブ媒体２に付着することになるので、その軸受部のシールには後述（図４）の発塵性のない磁性流体シールを適用するのが望ましい。
【００３０】
本実施形態構造の転写ホルダー１０により、図１に示すような分離状態からの接近移動においては、マスター担体３とスレーブ媒体２が密着する前に、圧接シール部７のＯリング７ａが片側ホルダー５の内面５ａに圧接して内部空間Ａを閉じる。この密閉後に、内部空間Ａを真空吸引手段により減圧し密着力を印加すると、弾性部６３の変形によって押圧円盤部６１が周壁部６２に対して片側ホルダー５側に変位する。これに伴い、内部空間Ａに収容したスレーブ媒体２をマスター担体３上に押圧して密着させる。なお、スレーブ媒体２はマスター担体３上にセットするようにしてもよい。
【００３１】
上記のように転写ホルダー１０は、圧接シール部７によって内部空間Ａを密閉した状態で、弾性部６３の変形可能な範囲で他側ホルダー６の押圧円盤部６１の内面６ａと片側ホルダー５の内面５ａとの接離移動が可能に設けられている。これにより弾性材４の圧縮変形が可能となり、スレーブ媒体２とマスター担体３との密着面に均等に密着圧力が印加できる。なお、片側ホルダー５を上記のような弾性部を有する構造に設けて、変位可能にしてもよい。
【００３２】
上記のような転写ホルダー１０を備えた磁気転写装置によって磁気転写を行う際には、スレーブ媒体２の磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておくのが好ましい。このスレーブ媒体２をマスター担体３と密着させ、初期直流磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行う。
【００３３】
スレーブ媒体２は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【００３４】
マスター担体３は円盤状ディスクに形成されている。このマスター担体３は、基板上に形成された微細凹凸パターンに磁性体が被覆されてなり、この面がスレーブ媒体２に密着される転写パターンが形成された転写情報担持面となる。これと反対側の面が片側ホルダー５に吸着保持される。マスター担体３の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体が使用される。
【００３５】
転写用磁界および必要に応じて初期磁界を印加する不図示の磁界印加装置は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石が転写ホルダー１０の両側に配設されてなり、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。転写ホルダー１０を回転させて、スレーブ媒体２とマスター担体３の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石を転写ホルダー１０の両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、転写ホルダー１０を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００３６】
次に、磁気転写工程を説明する。上記磁気転写装置の転写ホルダー１０では、同じマスター担体３により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず片側ホルダー５および他側ホルダー６にマスター担体３および弾性材４を位置を合わせて保持させておく。この他側ホルダー６と片側ホルダー５とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットした後、他側ホルダー６を片側ホルダー５に接近移動させる。
【００３７】
そして、圧接シール部７により内部空間Ａを密閉し、スレーブ媒体２とマスター担体３とが押圧状態となる前にエアー排出を行って減圧し、所定の真空度とするのに伴った弾性部６３の変形により、他側ホルダー６の押圧円盤部６１が内部空間Ａの密閉状態を維持したまま、片側ホルダー５側に変位する。スレーブ媒体２の背面にマスター担体３が接触し、真空度に応じて作用する外力（大気圧）による圧力で、弾性材４を介してスレーブ媒体２とマスター担体３とに均一かつ平行に密着力を加え、所定の密着圧力で密着させる。この所定の密着状態が得られるまで押圧円盤部６１が変位できる程度に、弾性部６３が変形可能となっている。
【００３８】
その後、転写ホルダー１０の両側に磁界印加装置を接近させ、転写ホルダー１０を回転させつつ磁界印加装置によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体３の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の磁気記録部に転写記録する。
【００３９】
本実施形態によれば、転写ホルダー１０の内部空間Ａには、密閉後に密着力を印加させるための両ホルダー５，６の内面５ａ，６ａを接近移動させる変位を薄肉構造の弾性部６３によって得るようにしたことにより、この内部空間Ａには摺動部が形成されず、摺動摩耗に伴う発塵の影響を受けずに、良好な磁気転写を長時間維持でき、マスター担体３の長寿命化が図れる。
【００４０】
次に、図２は第２の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダー２０の開状態を示す概略断面図である。
【００４１】
本実施形態の転写ホルダー２０は、第１の実施形態の薄肉構造の弾性部６３に代えて、弾性材料による弾性部６４を備えたものであり、その他は第１の実施形態と同様に構成され、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。
【００４２】
すなわち、他側ホルダー６は、スレーブ媒体２の外径より若干大きく厚肉に形成された剛体の押圧円盤部６１と、この押圧円盤部６１の外周部分にリング状に連設された弾性材料による弾性部６４と、該弾性部６４のさらに外周に連設された周壁部６２とからなる。
【００４３】
上記弾性部６４を構成する弾性材料としては、ゴム、樹脂等が使用され、その変形量等は前記実施形態の薄肉構造の弾性部６３と同様な特性が得られるように設定されている。作用その他についても同様である。
【００４４】
次に、図３は第３の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダー３０の開状態を示す概略断面図である。
【００４５】
本実施形態の転写ホルダー３０における片側ホルダー５は前例と同様であり、他側ホルダー６は押圧円盤部６１と周壁部６２とに分割構成されている。円盤状の押圧円盤部６１は押圧面となる内面６ａを有し、この内面６ａに弾性材４およびスレーブ媒体２を保持する。
【００４６】
周壁部６２は軸方向に延びる筒状で、押圧円盤部６１の外周部に嵌合されて軸方向（接離方向）に移動可能である。この周壁部６２の外径は片側ホルダー５の外径とほぼ等しく、軸方向の長さ（高さ）は押圧円盤部６１の高さ（厚さ）より大きく設けられ、その下端部には押圧円盤部６１の下面側（内周方向）に突出した内フランジ部６２ａを有する。この内フランジ部６２ａの上面と押圧円盤部６１の内面６ａ周縁部との間には、伸縮変位可能なベローズ６５が両者を連結して配設されている。このベローズ６５は気密性を有するとともに真空吸引時の圧力による内径方向への変位が少なく、押圧円盤部６１と周壁部６２との摺動部が内部空間Ａに連通露出しないように隔離されるとともに、押圧円盤部６１と周壁部６２との相対移動に対して内部空間Ａの密閉状態を維持するように、ベローズ６５が伸縮変形する。
【００４７】
周壁部６２の下端面に片側ホルダー５の内面５ａとの間のシールを行う圧接シール部７が配置され、この圧接シール７のシール部材としては平型リング７ｂが用いられる。平型リング７ｂの材質は、金属、ゴム、金属ゴムコーティング、樹脂が使用される。金属は望ましくは非磁性体を使用する。また、平型リング７ｂの表面に潤滑剤を塗布する。潤滑剤は真空環境でガスが発生しない素材のものを使用する。これらにより、圧接シール部７からの発塵を極力抑制することができる。
【００４８】
片側ホルダー５および他側ホルダー６は、それぞれ支持軸５ｃ，６ｃを備え、回転駆動される。また、真空吸引手段によるエアーの真空吸引により、内部空間Ａが所定の真空度に制御される。
【００４９】
本実施形態構造の転写ホルダー３０により、図３に示すような分離状態からの接近移動においては、マスター担体３とスレーブ媒体２が密着する前に、圧接シール部７の平型リング７ｂが片側ホルダー５の内面５ａに圧接して内部空間Ａを閉じる。この密閉後に、内部空間Ａを真空吸引手段により減圧すると共に、押圧円盤部６１を周壁部６２に沿って片側ホルダー５側に移動させる。これに伴い内部空間Ａが縮小し、ベローズ６５は収縮変形し内部空間Ａの密閉が保持される。そして、圧接シール部７により密閉維持された内部空間Ａに収容したスレーブ媒体２をマスター担体３上に押圧して密着させる。
【００５０】
本実施形態においても、転写ホルダー３０の内部空間Ａは、ベローズ６５によって密着動作に伴う摺動部分と隔離され、摺動部分の発塵の影響を受けることなく、良好な密着状態を確保できる。
【００５１】
次に、図４は第４の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダー４０の開状態を示す概略断面図である。
【００５２】
本実施形態の転写ホルダー４０は、内部空間Ａに摺動部が露出しているが、この摺動部のシール構造を発塵性のない機構としている。片側ホルダー５は前例と同様であり、他側ホルダー６は押圧円盤部６１と周壁部６２とに分割構成され、押圧円盤部６１の内面６ａに弾性材４およびスレーブ媒体２を保持する。一方、周壁部６２は軸方向に延びる筒状で、押圧円盤部６１の外周部に嵌合されて軸方向（接離方向）に移動可能であり、その上端部には押圧円盤部６１の上面側（内周方向）に突出した内フランジ部６２ｂを有する。この内フランジ部６２ｂの下面と押圧円盤部６１の外周部上面との間には、引っ張りバネによる付勢部材６６が介装されている。周壁部６２の下端面に平型リング７ｂによる片側ホルダー５の内面５ａとの間のシールを行う圧接シール部７が配置され、内部空間Ａの開閉用のシールが行われる。
【００５３】
また、前記押圧円盤部６１の外周面に摺動シール部８が配置され、この摺動シール部８により、押圧円盤部６１の外周に嵌合された周壁部６２の内周面との間の摺動シールを行う。この摺動シール部８は発塵性のない磁性流体シールを使用している。この磁性流体シールは、周壁部６２の内面にマグネット８ａが埋設され、押圧円盤部６１の外周面との間には磁性流体８ｂ（磁性体を含む流体）が装填され、マグネット８ａに吸引されて保持される磁性流体８ｂによって、両者の摺動隙間が充填シールされて内部空間Ａの気密性を確保している。
【００５４】
前記付勢部材６６は、周壁部６２を押圧円盤部６１から片側ホルダー５の方向に付勢するもので、他側ホルダー６が片側ホルダー５から離れた状態では、常に周壁部６２が最下降位置にあるように付勢している。
【００５５】
また、片側ホルダー５および他側ホルダー６には、それぞれ支持軸５ｃ，６ｃが突設され、回転駆動される。さらに内部空間Ａに連通する真空吸引手段によるエアーの真空吸引により、転写ホルダー２０内の内部空間Ａを所定の真空度に制御する。これにより、スレーブ媒体２とマスター担体３とが所定の密着圧力となるように設定されると共に、両者の密着面のエアー抜きが行われ、密着性が高められる。
【００５６】
本実施形態の転写ホルダー４０では、図４に示すような分離状態からの接近移動においては、マスター担体３とスレーブ媒体２が密着する前に、圧接シール部７の平型リング７ｂが片側ホルダー５の内面５ａに圧接して内部空間Ａを閉じる。この密閉後に、内部空間Ａを真空吸引手段により減圧すると共に、押圧円盤部６１を周壁部６２に沿って片側ホルダー５側に移動させる。これに伴い内部空間Ａが縮小し、付勢部材６６は伸張変形し、摺動シール部８で内部空間Ａの密閉が保持される。そして、密閉維持された内部空間Ａに収容したスレーブ媒体２をマスター担体３上に押圧して密着させる。
【００５７】
本実施形態においても、転写ホルダー４０の両ホルダー５，６内の内部空間Ａを密閉状態とする摺動シール部８を、発塵性のない磁性流体シールで構成したことにより、塵埃付着のない良好な磁気転写を長時間維持でき、マスター担体３の長寿命化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーの開状態を示す概略断面図
【図２】第２の実施形態にかかる転写ホルダーの開状態を示す概略断面図
【図３】第３の実施形態にかかる転写ホルダーの開状態を示す概略断面図
【図４】第４の実施形態にかかる転写ホルダーの開状態を示す概略断面図
【符号の説明】
１０〜４０    転写ホルダー
２    スレーブ媒体
３    マスター担体
４    弾性材
５    片側ホルダー
６    他側ホルダー
Ａ    内部空間
７    圧接シール部
７ｂ    平型リング
８    摺動シール部（磁性流体シール）
８ａ    マグネット
８ｂ    磁性流体
６１    押圧円盤部
６２    周壁部
６３    薄肉構造の弾性部
６４    弾性材料の弾性部
６５    ベローズ
【図１】
2004310809.tif 000003
【図２】
2004310809.tif 000004
【図３】
2004310809.tif 000005
【図４】
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