(57)【要約】【課題】一対のアームの長さを精度よく形成することができる保持具を製造する方法、アクチュエータを製造する方法及びスライダユニットを製造する方法を提供すること。【解決手段】本発明に係るスライダユニット１の製造方法は、第１の基板６０の両面６１，６２の相対する位置に一対の溝７０，７１を形成する工程と、一対の溝が形成された両面に第２の基板８０及び第３の基板８０を夫々接合する工程と、第２の基板及び第３の基板が接合された第１の基板を、第１の基板の端部６０ａから一対の溝の位置までエッチングして第２の基板及び第３の基板における第１の基板側の面の一部を露出させて一対のアーム４２，４２を形成する工程と、第２の基板及び第３の基板の第１の基板側と反対側の面夫々に圧電素子３０，３０を設ける工程と、一対のアーム間に磁気ヘッドスライダ１０を取り付ける工程とを備える。【選択図】  図４
2004295944.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板の両面の相対する位置に一対の溝を形成する工程と、
前記一対の溝が形成された前記両面に第２の基板及び第３の基板を夫々接合する工程と、
前記第２の基板及び前記第３の基板が接合された前記第１の基板を、該第１の基板の端部から前記一対の溝の位置までエッチングすることにより、前記第２の基板及び前記第３の基板における前記第１の基板側の面の一部を露出させて一対のアームを形成する工程と
を備えることを特徴とする保持具の製造方法。
【請求項２】
前記第１の基板がガラス基板であり、前記第２の基板及び前記第３の基板がシリコン基板であることを特徴とする請求項１記載の保持具の製造方法。
【請求項３】
前記一対の溝を複数並列に形成し、
前記複数の一対の溝を夫々分離するように前記第２の基板及び前記第３の基板が接合された前記第１の基板を分割して、前記一対の溝を夫々含む複数のブロック体を形成する工程を更に備え、
前記ブロック体に対して前記エッチングを施すことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の保持具の製造方法。
【請求項４】
前記一対の溝が一方向に延びており、
前記エッチングの後に、前記一対の溝が延びている方向に沿って前記第１の基板を複数に分割する工程を更に備えることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の保持具の製造方法。
【請求項５】
第１の基板の両面の相対する位置に一対の溝を形成する工程と、
前記一対の溝が形成された前記両面に第２の基板及び第３の基板を夫々接合する工程と、
前記第２の基板及び前記第３の基板が接合された前記第１の基板を、該第１の基板の端部から前記一対の溝の位置までエッチングすることにより、前記第２の基板及び前記第３の基板における前記第１の基板側の面の一部を露出させて一対のアームを形成する工程と、
前記第２の基板及び前記第３の基板における前記第１の基板側と反対側の面夫々に圧電素子を取り付ける工程と
を備えることを特徴とするアクチュエータの製造方法。
【請求項６】
前記第１の基板がガラス基板であり、前記第２の基板及び前記第３の基板がシリコン基板であることを特徴とする請求項５記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項７】
前記一対の溝を複数並列に形成し、
前記複数の一対の溝を夫々分離するように前記第２の基板及び前記第３の基板が接合された前記第１の基板を分割して、前記一対の溝を夫々含む複数のブロック体を形成する工程を更に備え、
前記ブロック体に対して前記エッチングを施すことを特徴とする請求項５又は請求項６記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項８】
前記一対の溝が一方向に延びており、
前記エッチングの後に、前記一対の溝が延びている方向に沿って前記第１の基板を複数に分割する工程を更に備えることを特徴とする請求項５〜請求項７の何れか１項に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項９】
第１の基板の両面の相対する位置に一対の溝を形成する工程と、
前記一対の溝が形成された前記両面に第２の基板及び第３の基板を夫々接合する工程と、
前記第２の基板及び前記第３の基板が接合された前記第１の基板を、該第１の基板の端部から前記一対の溝の位置までエッチングして前記第２の基板及び前記第３の基板における前記第１の基板側の面の一部を露出させて一対のアームを形成する工程と、
前記第２の基板及び前記第３の基板の前記第１の基板側と反対側の面夫々に圧電素子を取り付ける工程と、
前記一対のアーム間に磁気ヘッドスライダを取り付ける工程と
を備えることを特徴とするスライダユニットの製造方法。
【請求項１０】
前記第１の基板がガラス基板であり、前記第２の基板及び前記第３の基板がシリコン基板であることを特徴とする請求項９記載のスライダユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータの製造方法、スライダユニットの製造方法及びそれらに好適に用いられる保持具の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、磁気記録においては、急速な勢いでハードディスク等の記録媒体の記録密度が向上してきている。この記録密度の向上において、トラックピッチの狭小化、即ち、トラック密度も飛躍的に伸びている。
【０００３】
このようにトラックピッチの幅が狭くなると、トラック位置に対する磁気ヘッドスライダ（以下、単に「スライダ」という）の位置制御の精度を上げなければならない。しかし、スライダの位置を従来のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）だけで制御することには限界がある。このため、スライダを更に精密に制御することが求められている。
【０００４】
このようなスライダを制御するデバイスとしては、一対のアーム部を連結部で連結して、そのアーム部の両側に圧電素子を接合したアクチュエータがある（例えば、特許文献１参照）。このようなアクチュエータでは、一対のアーム部でスライダを挟持する。そして、圧電素子でアーム部を変位させることでスライダの位置を制御する。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−２８９９３６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のようなアクチュエータにおけるアーム部や連結部は、金属板を切断し、折り曲げて形成されている。そのため、小型化への対応が難しい。そこで、本発明者は、次に示す手法を考えた。先ず、ガラス基板の両面にシリコン基板を接合する。次に、シリコン基板に挟まれたガラス基板を、その一端部から部分的にエッチングで除去する。これにより、一対のシリコン基板が、エッチングで一部除去されたガラス基板を挟持した構造体が形成される。この構造体において、一対のシリコン基板がアーム部に相当し、ガラス基板がアーム部を連結する連結部に相当する。そして、その保持具のシリコン基板の外側面、即ち、アーム部の外側面に圧電素子を設けることでアクチュエータとする。
【０００７】
しかしながら、上述した保持具を用いたアクチュエータにおいて、アーム部のうち、連結部から先に延びる部分をアームとすると、アームの長さがねらいどおりになり難かった。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、一対のアームの長さを精度よく形成することができる保持具を製造する方法、アクチュエータを製造する方法及びスライダユニットを製造する方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、本発明に至る検討段階で、図６（ａ）に示すように一対のシリコン基板８０，８０で挟まれたガラス基板１３０を用意した。そして、そのガラス基板１３０の一部をエッチング除去して図６（ｂ）に示す保持具１４０を得た。この場合、図６（ｂ）に示すようにガラス基板１３０のエッチング量を調整することができずに、左右のシリコン基板８０，８０のガラス基板１３０側の面８１が露出している部分の長さが異なっていた。即ち、左右のアームの長さがずれていた。本発明は、このような状況を考慮して完成されたものである。
【００１０】
すなわち、上記課題を解決するために、本発明に係る保持具は、第１の基板の両面の相対する位置に一対の溝を形成する工程と、一対の溝が形成された両面に第２の基板及び第３の基板を夫々接合する工程と、第２の基板及び第３の基板が接合された第１の基板を、該第１の基板の端部から一対の溝の位置までエッチングすることにより、第２の基板及び第３の基板における第１の基板側の面の一部を露出させて一対のアームを形成する工程とを備えることを特徴とする。
【００１１】
この方法によれば、第１の基板をその一端部から一対の溝の位置までエッチングすると、第２の基板及び第３の基板における第１の基板側の面は、エッチングを開始した側の端部から、溝におけるエッチング方向奥側の壁との境界まで露出する。第２の基板及び第３の基板におけるこの露出領域を有する部分が、アームとなる。つまり、本発明では、エッチング処理そのものではなく、エッチング前に形成される溝の位置でアームの長さを規定することができるので、各アームの長さを高精度に形成し得る。
【００１２】
なお、第１の基板がガラス基板であり、第２の基板及び第３の基板がシリコン基板であることは好適である。この場合、第１の基板と、第２の基板及び第３の基板との材料が異なるので、第２及び第３の基板形状を保持したまま第１の基板を容易にエッチングすることができる。
【００１３】
また、本発明に係る保持具の製造方法においては、一対の溝を複数並列に形成し、複数の一対の溝を夫々分離するように第２の基板及び第３の基板が接合された第１の基板を分割して、一対の溝を夫々含む複数のブロック体を形成する工程を更に備え、ブロック体に対してエッチングを施すことが好適である。この場合には、第１〜第３の基板からなる１組の基板から容易に複数の保持具を形成することができる。
【００１４】
更にまた、本発明に係る保持具の製造方法においては、一対の溝が一方向に延びており、エッチングの後に、一対の溝が延びている方向に沿って第１の基板を複数に分割する工程を更に備えることが好ましい。この場合も、１組の基板から容易に多くの保持具を製造することが可能である。
【００１５】
また、本発明に係るアクチュエータの製造方法は、第１の基板の両面の相対する位置に一対の溝を形成する工程と、一対の溝が形成された両面に第２の基板及び第３の基板を夫々接合する工程と、第２の基板及び第３の基板が接合された第１の基板を、該第１の基板の端部から一対の溝の位置までエッチングすることにより、第２の基板及び第３の基板における第１の基板側の面の一部を露出させて一対のアームを形成する工程と、第２の基板及び第３の基板における第１の基板側と反対側の面夫々に圧電素子を取り付ける工程とを備えることを特徴とする。
【００１６】
この方法によれば、第１の基板をその一端部から一対の溝の位置までエッチングすると、第２の基板及び第３の基板における第１の基板側の面は、エッチングを開始した側の端部から、溝におけるエッチング方向奥側の壁との境界まで露出する。第２の基板及び第３の基板におけるこの露出領域を有する部分が、アームとなる。つまり、本発明では、エッチング処理そのものではなく、エッチング前に形成される溝の位置でアームの長さを規定することができるので、各アームの長さを高精度に形成し得る。そして、そのアームを圧電素子で動かすことができる。
【００１７】
なお、上記圧電素子を第２及び第３の基板に取り付けるのは、第２及び第３の基板を第１の基板に接合する前、第１の基板に接合した後であって第１の基板をエッチングする前又は第１の基板をエッチングした後とすれば良い。
【００１８】
また、第１の基板がガラス基板であり、第２の基板及び第３の基板がシリコン基板であることが好ましい。この場合、第１の基板と、第２の基板及び第３の基板との材料が異なるので、第２及び第３の基板形状を保持したまま第１の基板を容易にエッチングすることができる。
【００１９】
更に、本発明に係るアクチュエータの製造方法においては、一対の溝を複数並列に形成し、複数の一対の溝を夫々分離するように第２の基板及び第３の基板が接合された第１の基板を分割して、一対の溝を夫々含む複数のブロック体を形成する工程を更に備え、ブロック体に対してエッチングを施すことが好適である。この場合には、１組の基板から容易に複数のアクチュエータを製造できる。
【００２０】
更にまた、本発明に係るアクチュエータの製造方法においては、一対の溝が一方向に延びており、エッチングの後に、一対の溝が延びている方向に沿って第１の基板を複数に分割する工程を更に備えることが好ましい。この場合も、１組の基板から複数のアクチュエータを製造できるので、１組の基板から容易に複数のアクチュエータを製造することが可能である。
【００２１】
また、本発明に係るスライダユニットの製造方法は、第１の基板の両面の相対する位置に一対の溝を形成する工程と、一対の溝が形成された両面に第２の基板及び第３の基板を夫々接合する工程と、第２の基板及び第３の基板が接合された第１の基板を、該第１の基板の端部から一対の溝の位置までエッチングして第２の基板及び第３の基板における第１の基板側の面の一部を露出させて一対のアームを形成する工程と、第２の基板及び第３の基板の第１の基板側と反対側の面夫々に圧電素子を取り付ける工程と、一対のアーム間に磁気ヘッドスライダを取り付ける工程とを備えることを特徴とする。
【００２２】
この方法によれば、第１の基板をその一端部から一対の溝の位置までエッチングすると、第２の基板及び第３の基板における第１の基板側の面は、エッチングを開始した側の端部から、溝におけるエッチング方向奥側の壁との境界まで露出する。第２の基板及び第３の基板におけるこの露出領域を有する部分が、アームとなる。つまり、本発明では、エッチング処理そのものではなく、エッチング前に形成される溝の位置でアームの長さを規定することができるので、各アームの長さを高精度に形成し得る。そして、そのように高精度に形成されたアームでスライダの位置を調整することができる。
【００２３】
なお、上記圧電素子を第２及び第３の基板に取り付けるのは、第２及び第３の基板を第１の基板に接合する前、第１の基板に接合した後であって第１の基板をエッチングする前又は第１の基板をエッチングした後とすれば良い。
【００２４】
また、第１の基板がガラス基板であり、第２の基板及び第３の基板がシリコン基板であることが好適である。この場合、第１の基板と、第２の基板及び第３の基板との材料が異なるので、第２及び第３の基板の形状を保持したまま第１の基板を容易にエッチングすることができる。
【００２５】
また、本発明に係るスライダユニットの製造方法においては、一対の溝を複数並列に形成し、複数の一対の溝を夫々分離するように、第２の基板及び第３の基板が接合された第１の基板を分割して一対の溝を夫々含む複数のブロック体を形成する工程を更に備え、ブロック体に対してエッチングすることが好適である。この場合、１組の基板から容易に複数のスライダユニットを製造することができる。
【００２６】
更にまた、本発明に係るスライダユニットの製造方法においては、一対の溝が一方向に延びており、エッチングした後に、一対の溝が延びている方向に沿って第１の基板を複数に分割する工程を更に備えることが好ましい。この場合も、１組の基板から容易に複数のスライダユニットを製造することができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。以下の説明においては、全図を通し、同一又は相当部分には同一符号を付することとする。また、図中の寸法比率は必ずしも説明中のものとは一致していない。
【００２８】
図１〜図３を参照して本実施形態に係るスライダユニット１について説明する。図１は、スライダユニット１の構成を概略的に示す斜視図である。スライダユニット１は、磁気ヘッドスライダ（以下、単に「スライダ」という）１０と、スライダ１０の変位を制御するアクチュエータ１２とから構成されている。
【００２９】
スライダ１０は薄膜磁気ヘッドを備えており、ハードディスクから磁気記録情報を読み取ったり、ハードディスクに磁気記録情報を記録したりするものである。スライダ１０は略直方体形状をなしており、図中上方の面が、ハードディスクに対面するエアベアリング面である。なお、スライダレールなどの図示は省略している。スライダ１０は、アクチュエータ１２に搭載されている。
【００３０】
図２及び図３を参照すると、アクチュエータ１２は保持具２０と、圧電素子３０とから構成される。図２は、スライダユニット１の分解斜視図であり、図３は、アクチュエータ１２の平面図である。
【００３１】
保持具２０はシリコンからなる一対のアーム部４０，４０を有する。各アーム部４０は略直方体であって、第１端部４０ａ側でスライダ１０を挟持する。アーム部４０，４０は、第１端部４０ａと反対側の第２端部４０ｂ側でガラスからなる連結部５０により連結されている。各アーム部４０と連結部５０とは、例えば、陽極接合で接合されている。各アーム部４０において連結部５０側の側面４１が露出している領域が夫々アーム４２，４２である。一対のアーム４２は、スライダ１０を動かす可動部として機能する。図３に示すように、各アーム４２の長さＬは同じである。
【００３２】
アーム部４０，４０の連結部５０側と反対の側面４３には、夫々圧電素子３０，３０が接着されている。圧電素子３０は、例えば、エポキシ系、アクリル系等の接着剤で接着される。圧電素子３０は単板構造であって、ＰＺＴ等の圧電セラミックス素体３１の表裏面に電極３２を有している。圧電素子３０は、その長手方向がアーム部４０の長手方向になるように設けられている。また、各圧電素子３０は、アーム部４０，４０が連結部５０で連結されている部分に圧電素子３０の端部３０ａが位置するようにアーム部４０，４０に夫々接着されている。このような位置に接着すれば、圧電素子３０を一対のアーム部４０に接着する場合の負荷を連結部５０で受けることができる。そのため、圧電素子３０を取り付ける場合に、アーム４２，４２が変形したり、折れたりすることを抑制することが可能である。
【００３３】
上記構成のスライダユニット１において、連結部５０をハードディスクドライブにおけるサスペンションのジンバル（不図示）に接着固定する。そして、電極３２に電圧を供給して圧電素子３０，３０の厚み方向に電圧を印加する。その結果、左右の圧電素子３０に夫々反対の伸縮を起こさせる。そして、その左右の圧電素子３０の夫々の反対の伸縮により一対のアーム部４０の第１端部４０ａ側を図１の矢印Ｘ方向に変位させてスライダ１０の位置を制御する。
【００３４】
上記構成のスライダユニット１は以下のようにして製造される。図４（ａ）〜（ｈ）に、スライダユニット１の各製造工程を模式的に示す。
【００３５】
先ず、円板状のガラス基板（第１の基板）６０を用意する。ガラス基板６０は連結部５０となるべきものである。ガラス基板６０の厚さ、即ち、上面６１及び下面６２間の距離が、図３に示すアクチュエータ１２の左右のアーム部４０の各側面４１間の距離に相当する。したがって、ガラス基板６０の厚さは、スライダ１０の幅とほぼ同じか、スライダ１０の幅よりもわずかに長くなるようにしておく。
【００３６】
次に、図４（ａ）に示すように、ガラス基板６０の上面６１及び下面６２（即ち、両面）の相対する位置に幅の等しい一対の溝７０，７１を複数組（例えば、２組）形成する。言い換えれば、溝７０と溝７１とは、上面６１（又は下面６２）に直交する方向に重なる位置に形成されている。一対の溝７０，７１は、夫々上面６１及び下面６２に沿って一方向に延びている。溝７０，７１は、例えば、ドライエッチングまたはダイシングソーで形成すれば良い。
【００３７】
そして、図４（ｂ）に示すように、２枚のシリコン基板（第２の基板，第３の基板）８０，８０を、溝７０，７１が形成されたガラス基板６０の上面６１及び下面６２に夫々接合して接合体９０を形成する。シリコン基板８０は、ガラス基板６０とほぼ同じ径を有する。シリコン基板８０，８０とガラス基板６０とは、その側面が揃うように接合されることが好適である。ガラス基板６０とシリコン基板８０との接合は、陽極接合で行うことが好ましい。陽極接合の場合は、ガラス基板６０とシリコン基板８０との間に接着剤を使用しないで接合することができるからである。
【００３８】
次に、図４（ｃ）に示すように、並列されている２つの一対の溝７０，７１を分離するように、そられが延びている方向に接合体９０を切断する。ここで、図４（ｃ）を参照すると、一対の溝７０，７１から切断位置Ｐまでの距離が切断位置Ｑまでの位置よりも長くなるように切断する。言い換えれば、一組の溝７０，７１から切断位置Ｐ，Ｑまでの長さが互いに異なるように切断する。これにより、一組の溝７０，７１を１つ含む短冊状のブロック体１００を２個得る（図４（ｄ））。
【００３９】
次に、図４（ｄ）のブロック体１００において、切断位置Ｐのガラス基板６０の端部６０ａ側から、一対の溝７０，７１の位置までのガラスをエッチングにより除去する。ここで、エッチングは、端部６０ａからのエッチング方向に沿って溝７０，７１の奥側の内壁（切断位置Ｑ側の面）７０Ａ，７１Ａと、手前側の内壁（切断位置Ｐ側の面）７０Ｂ，７１Ｂとの間まで実施する。エッチングは、例えば、ＨＦやバッファードＨＦで行う。
【００４０】
図４（ｅ）は、上記エッチング処理されたブロック体１００を示している。図４（ｅ）に示されているように、エッチング処理により２つのシリコン基板８０夫々における内側の側面８１の一部が露出する。
【００４１】
図４（ｆ）に示すように、上記エッチング処理されたブロック体１００の２つのシリコン基板８０夫々のガラス基板６０と反対側の側面８２において夫々対応する位置に同じ大きさの圧電素子１２０，１２０を接着する。圧電素子１２０、１２０は、後に切断されることで圧電素子３０，３０になるものである。ここで、図４（ｆ）に示すように圧電素子１２０の端部１２０ａが、内側にガラス基板６０がある各シリコン基板８０の側面８２の領域に位置するように各圧電素子１２０を接着する。このようにして接着すれば、圧電素子１２０を接着するときの負荷をガラス基板６０が受けるので、シリコン基板８０が変形したり、折れたりすることを抑制することができる。
【００４２】
次に、図４（ｆ）のブロック体１００を、図中の点線で示すようにブロック体１００の長手方向（一対の溝７０，７１が延びている方向）に沿って複数に分割することで、図３のアクチュエータ１２が得られる。ブロック体１００の切断は、例えば、ダイシングソー、スライサー、ワイヤーソーの何れを用いて実施しても良い。
【００４３】
次に、図４（ｈ）に示すようアクチュエータ１２の左右のアーム４２間にスライダ１０を配置する。そして、スライダ１０の位置を調整して、スライダ１０をアーム部４０に接着することで図１のスライダユニット１が得られる。
【００４４】
本実施形態において、ブロック体１００を構成しているガラス基板６０に一対の溝７０，７１が形成されていることが重要である。本実施形態では、図４（ｄ）に示すブロック体１００を構成しているガラス基板６０の端部６０ａ側（後にアーム４２，４２の先端となる側）から内壁７０Ａと内壁７０Ｂとの間（又は、内壁７１Ａと内壁７１Ｂとの間）までエッチングする。この位置までエッチング処理をすれば、溝７０，７１が形成されていることから、各シリコン基板８０の側面８１は、夫々のシリコン基板８０と内壁７０Ａ，７１Ａとの境界まで露出する。この露出領域の各シリコン基板８０が一対のアーム４２，４２である。言い換えれば、一対のアーム４２の長さは、エッチング処理前に内壁７０Ａ，７１Ａの位置で規定されている。一方、一対の溝７０，７１はガラス基板６０の両面の相対する位置に形成されており、内壁７０Ａ，７１Ａは切断位置Ｐから同じ位置にある。したがって、一対のアーム４２の長さは同じになる。このように、アーム４２の長さが同じである保持具２０からアクチュエータ１２が製造されているので、各圧電素子３０で駆動される各アーム４２の変位も同じになる。また、図１の矢印Ｘ方向における左右の変位量も同じになる。したがって、スライダユニット１において、アーム４２，４２に挟持されたスライダ１０をより高い精度で制御することができる。
【００４５】
なお、上記製造工程において、エッチング処理後に左右のシリコン基板８０で挟まれているガラス基板６０が連結部５０になる。上述したようにエッチング処理は、内壁７０Ａと内壁７０Ｂとの間で終了する。したがって、内壁７０Ａと内壁７１Ａとの間は図４（ｅ）に示すように突起６１が残る場合がある。なお、この突起６１は、スライダ１０と接触しない程度にしか残らないのでそのまま残しておいても良く、また、研磨しても良い。
【００４６】
また、本実施形態では、一対の溝７０，７１を２組形成し、それらを夫々１組ずつ含むブロック体１００を形成している。そして、そのブロック体１００を更にその長手方向に分割してアクチュエータ１２を製造している。したがって、１つのガラス基板６０から多くのアクチュエータ１２及びそれを用いたスライダユニット１を製造することができる。
【００４７】
次に、本実施形態の変形例について述べる。本発明の好適な実施形態では、一対の溝７０，７１の幅は同じとしているが、その幅は異なっていても良い。図５に幅が異なる場合の一対の溝７２，７３の配置関係を示す。図５では、図中右側から（矢印Ｓの方向に）ガラス基板６０がエッチングされるものとする。この場合、図５に示すように溝７２の内壁７２Ａ及び溝７３の内壁７３Ａが夫々相対する位置、言い換えれば、ガラス基板６０の両面に直交する方向に重なる位置にあるようにすれば良い。内壁７２Ａ，７３Ａが、このような位置関係にあるように溝７２，７３を形成すれば、幅が狭い溝７２の位置までエッチングすれば左右同じ長さのアームを形成することができる。
【００４８】
また、上記実施形態では、圧電素子３０として単板構造のものを用いているが積層構造の圧電素子を用いても良い。また、ＰＺＴ薄膜などの薄膜構造の圧電素子を用いても良い。
【００４９】
更に、上記実施形態では、圧電セラミックス素体の表裏面に電極が設けられているが、圧電セラミックス素体においてアーム部（シリコン基板）と接触する側の面と反対側の面に電極を設けるだけでも良い。この場合には、シリコン基板として低抵抗のものを用いて、ジンバルを介してアーム部を接地すればよい。また、圧電セラミック素体においてアーム部と接触する側の面及びその面と反対側の面に設けられている電極を夫々第１電極、第２電極とした場合、第１電極を第２電極側の面まで延ばし、その面上において一定の間隔を空けて第１電極と第２電極とを並べて配置しても良い。この場合には、第１電極と第２電極とが並んでいるので、それらの電極にリード線を取り付けやすい。更に、積層構造の圧電素子の場合、スルーホールを用いて、リード線の取り付けやすい位置に端部電極を形成することもできる。
【００５０】
更にまた、上記実施形態では、ブロック体をエッチングした後、シリコン基板８０に圧電素子を接着したが、例えば、エッチング前のブロック体１００の状態でシリコン基板８０，８０に接着させても良い。この場合、シリコン基板８０の間には、ガラス基板６０が挟まれているため、アーム４２が圧電素子３０の取り付けにより変形したり、折れたりすることが更に抑制される。また、ガラス基板と接合する前のシリコン基板に圧電素子を設けていても良く、この場合、圧電素子を取り付けた面と反対の面でガラス基板と接合すれば良い。
【００５１】
更にまた、上記実施形態では、第１の基板をガラス基板とし、第２の基板及び第３の基板を夫々シリコン基板としたが、これに限定する必要はない。例えば、第１の基板はエッチング除去できるものならばよい。ただし、エッチング除去する観点から、第２の基板及び第３の基板と、第１の基板とは異なる材料からなることが好適である。また、形状は円板状に限らなくても良い。
【００５２】
また、上記実施形態では、一対の溝７０，７１をガラス基板６０に２組形成しているが、必ずしも２組に限る必要はない。一対の溝７０，７１は１組でも良いし、２組以上あっても良い。
【００５３】
また、上記実施形態では、スライダユニット１を製造するため、図４（ｆ）のように圧電素子を接着したブロック体１００を、その長手方向に分割している。これに対して、圧電素子の付いていない保持具を製造する場合には、図４（ｅ）の段階で、長手方向にブロック体１００を分割して複数の保持具としても良い。更に、図４（ｅ）のブロック体１００を１つの保持具としても良い。
【００５４】
また、上記実施形態では、保持具に圧電素子を取り付けてアクチュエータとし、更に、スライダを取り付けてスライダユニットとしているが、このようなスライダユニットに利用することに限定する必要はない。保持具は、磁気ヘッドスライダ以外に重りなどを保持しても良い。また、保持具を構成している第２の基板及び第３の基板の外側面に圧電素子をつけて、加速度センサやジャイロ用の音叉などに用いてもよい。また、アクチュエータも、磁気ヘッドスライダの位置制御だけでなく、光学機器や精密機器などの部品の変位や位置決め調整に用いても良い。
【発明の効果】
本発明による製造方法によれば、一対のアームの長さを一対の溝の位置により決定することができる。そのため、左右のアームの長さを精度よく形成することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るスライダユニットの一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１のスライダユニットの分解斜視図である。
【図３】アクチュエータの平面図である。
【図４】（ａ）〜（ｈ）は、図１のスライダユニットの製造工程図である。
【図５】溝の幅が異なる場合の一対の溝の配置関係を示すガラス基板の側面図。
【図６】（ａ）は、本発明に至る検討段階におけるエッチング前のガラス基板とシリコン基板の接合体の正面図である。（ｂ）は、本発明に至る検討段階に保持具の正面図である。
【符号の説明】
１…スライダユニット、１０…磁気ヘッドスライダ、１２…アクチュエータ、２０…保持具、３０…圧電素子、４０…アーム部、４０ａ…第１端部、４０ｂ…第２端部、４１，４３…側面、４２…アーム、５０…連結部、６０…ガラス基板（第１の基板）、６１…上面、６２…下面、７０，７１…一対の溝、７０Ａ，７０Ｂ，７１Ａ，７１Ｂ…内壁、８０…シリコン基板（第２の基板、第３の基板）、１００…ブロック体、１３０…検討段階で用いたガラス基板、１４０…検討段階で得られた保持具。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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