(57)【要約】【課題】ある一つの処理装置を占有して１ロット分の全てのキャリアを連続的に処理するバッチ処理が必要とされる場合に、バッチ処理の要件を常に確実に満たすことができる生産制御システムを提供する。【解決手段】一つのロットが複数のキャリアＹに振り分けられて処理装置Ｚに順次投入される際に、バッチ処理必要ロットに属するキャリアＹを、他のロットに属するキャリアを処理中の装置Ｚに投入したり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアＹを複数の装置Ｚに分割して投入したりしないように検証し、そのような事態になるときには装置投入不可とする投入判定手段Ｘを設けている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々のロットが複数のキャリアに振り分けられた状態で各工程に沿って配置された各処理装置に順次投入されて処理される場合において、各処理装置に対するキャリアの投入制御を行うためのシステムであって、
一つの処理装置を占有して１ロット分の全てのキャリアを連続的に処理することが必要となるバッチ処理必要ロットが他のロットに属するキャリアを処理中の装置に投入されたり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアを処理中の装置に他のロットに属するキャリアが投入されたり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアが複数の装置に分割して投入されたりしないようにそれぞれ検証して、そのような事態になるときには装置投入不可とする投入判定手段を備えることを特徴とする生産制御システム。
【請求項２】
各々のロットが複数のキャリアに振り分けられた状態で各工程に沿って配置された各処理装置に順次投入されて処理される場合において、各処理装置に対するキャリアの投入制御を行うためのシステムであって、
各キャリアには、当該キャリアがいずれのロットに属するかを識別するキャリアＩＤが登録されたキャリア管理カードが個別に設けられ、また、各処理装置には装置識別用の装置ＩＤが登録されたデータ保持部、および上記キャリア管理カードのキャリアＩＤを読み取る読取手段が設けられる一方、
ある一つの処理装置を占有して１ロット分の全てのキャリアを連続的に投入するバッチ処理が必要であるか否かを示すバッチ処理情報が、ロットの属する型名および工程識別用の工程ＩＤに対応させて製造基準情報として予め登録されている製造基準情報ファイルと、各工程ごとに使用される処理装置における現在のキャリアの仕掛状態を示す情報が装置ＩＤおよび工程ＩＤとともに装置仕掛情報として記憶されている装置仕掛情報ファイルとを備えるとともに、
上記読取手段で読み取ったキャリアＩＤならびに上記製造基準情報ファイルに登録されている製造基準情報に基づいて、処理装置に投入予定のキャリアがバッチ処理を必要とするバッチ処理必要ロットに属するか否かを判別するバッチ処理必要ロット判別手段と、このバッチ処理必要ロット判別手段の判別結果ならびに上記装置仕掛情報ファイルの装置仕掛情報に基づいて、処理装置で処理中のキャリアが属するロットと投入予定のキャリアが属するロットとが一致するか否かを判断してその判断結果に基づいて投入予定のキャリアを選別するキャリア選別手段と、を含むことを特徴とする生産制御システム。
【請求項３】
上記キャリア選別手段は、投入予定のキャリアがバッチ処理必要ロットである場合において、この投入予定のキャリアが属するロットに対して、この投入予定の処理装置で処理中のキャリアが属するロットが一致しない場合には、装置投入不可とするものであることを特徴とする請求項２記載の生産制御システム。
【請求項４】
上記キャリア選別手段は、投入予定のキャリアがバッチ処理必要ロットである場合において、当該キャリアが投入予定となっている処理装置に付された装置ＩＤと、投入予定のキャリアと同じバッチ処理必要ロットに属する他のキャリアを処理中の処理装置に付された装置ＩＤとを比較して、両者が不一致の場合には、投入予定のキャリアを装置投入不可とするものである請求項２または請求項３に記載の生産制御システム。
【請求項５】
上記選別制御手段は、処理装置で処理中のキャリアが属するロットがバッチ処理必要ロットの場合において、この処理装置に投入予定のキャリアが属するロットが、上記処理中のキャリアが属するロットと一致しない場合には装置投入不可とするものであることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか１項に記載の生産制御システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種製品を各工程に沿って配置された処理装置に投入して所定の処理を行う生産制御システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体デバイスの製造や品質保証のために各種の処理を行う処理装置、たとえば、マルチマガジン方式の検査装置やソータなどにおいては、ハンドリングや搬送等の便宜上、図１２に示すように、製品の組単位となる１つのロットを複数のキャリア（マガジン）Ｙに振り分けた上で、各キャリアＹ単位でもって処理装置に順次供給、排出することが行われる。
【０００３】
すなわち、上のような処理装置においては、各種設備上の制約から、ロットを構成する全てのキャリアＹを装置内に一時に投入して一括処理できないため、一つのキャリアＹの処理が完了するたびに、装置内に新たに一つのキャリアＹを投入することが行われる。
【０００４】
ところで、製品の種類によっては、処理装置の温度ドリフト等の変動要因の影響を除いたり、品質保証を確保する等の観点から、一つの処理装置を占有して１ロット分の全てのキャリアを連続的に処理することが必要になる場合がある。以下、ある一つの処理装置を占有して１ロット分の全てのキャリアを連続的に処理することをバッチ処理と称し、また、このようなバッチ処理が必要なロットをバッチ処理必要ロットと称する。
【０００５】
このバッチ処理必要ロットについても、上述したように装置の制約上、一つの装置内に１ロットに属する全てのキャリアを一括投入して処理することができないので、キャリア単位で順次装置内に投入されることになるが、その場合、次のような投入の仕方がなされると上述したバッチ処理の要件を満たさなくなる。
【０００６】
（１）  すなわち、いま、図１３（ａ）に示すように、投入予定のキャリアＹ１はバッチ処理必要ロットに属しているが、処理装置Ｚ１に仕掛中のキャリアＹ２は、この投入予定のキャリアＹ１のバッチ処理必要ロットに属さない場合、投入予定のキャリアＹ１を実際に装置Ｘ１に投入すると、装置Ｚ１内に異なるロットが共存することになるため、バッチ処理の要件を満たさなくなる。
【０００７】
（２）  図１３（ｂ）に示すように、ある処理装置Ｚ２で処理中のキャリアＹ１と投入予定のキャリアＹ１とが同じバッチ処理必要ロットに属し、また、２つの処理装置Ｚ１，Ｚ２が同じ工程の処理を行うものであっても、キャリアＹ１を処理中の装置Ｚ２と、キャリアＹ１の投入対象となっている装置Ｚ１とが別の場合、バッチ処理必要ロットに属するキャリアＹ１が２つの装置Ｚ１，Ｚ２に分割して投入処理されることになるのでバッチ処理の要件を満たさなくなる。
【０００８】
（３）  図１３（ｃ）に示すように、処理装置Ｚ１で処理中のキャリアＹ１がバッチ処理必要ロットである場合に、新たに投入予定のキャリアＹ２がこの装置Ｚ１で処理中のバッチ処理必要ロットに属さないときには、この投入予定のキャリアＹ２を装置Ｘ１に投入すると装置Ｘ１内に異なるロットが共存するようになるため、バッチ処理の要件を満たさなくなる。
【０００９】
そこで、従来は、作業者が各キャリアに添付された検移票などに記述されている内容を読み取って、処理装置で処理中のキャリアおよび投入予定のキャリアについて、それぞれバッチ処理必要ロットに属するか否かを判断することで、キャリアが上記（１）〜（３）のような投入状態にならないように注意を払いながら作業を行っている。
【００１０】
なお、従来技術として、特定の製品ロットを複数に分割し、分割された各製品組に対して、各工程毎に作業号機を指定するデータを付加可能な生産制御システムや（たとえば、特許文献１参照）、製造設備に限定すべき作業条件と作業者が製造設備に予め設定した作業条件とを比較して、双方が一致した場合には作業指示を送出し、不一致の場合には警告を発するようにした製造管理システム（たとえば、特許文献２）などが提案されている。
【００１１】
しかしながら、これらの特許文献１，２に記載されている従来技術は、ロットがいずれの装置であれば処理可能かを判断して単に指示を出しているだけであって、バッチ処理必要ロットの有無を考慮して、投入予定のキャリアと仕掛中のキャリアとの関係において投入の適否を判断するものではない。
【００１２】
【特許文献１】
特開平９−２６０２３１号公報（第４，５頁、図１）
【特許文献２】
特開２００１−３２５０１９号公報（第２，４頁、図１）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、従来は、作業者が処理装置に仕掛中のキャリア、および投入予定のキャリアについてそれぞれバッチ処理必要ロットに属するか否かを判断して、キャリアが上記（１）〜（３）のような投入状態にならないように注意を払いながら作業を行っているが、全て人手に頼っているために投入ミスを起こし易い。
【００１４】
そして、不意に上記（１）〜（３）のような投入状態になってしまうと、１ロット分について再度処理が必要となったり、１ロット分の製品を破棄せざるを得なくなるなどの不具合を生じている。また、作業者にとっては、投入ミスを起こさないように常に注意を払う必要があるため、作業時の負担が大きくなっている。
【００１５】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、キャリアを順次供給排出する各処理装置に対してキャリアを投入する場合において、過大な労力を要することなく、バッチ処理の要件を常に確実に満たすことができる生産制御システムを提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る生産制御システムは、上記の目的を達成するために、各々のロットが複数のキャリアに振り分けられた状態で各工程に沿って配置された各処理装置に順次投入されて処理される構成を前提としている。
【００１７】
そして、本発明では、一つの処理装置を占有して１ロット分の全てのキャリアを連続的に処理することが必要となるバッチ処理必要ロットが他のロットに属するキャリアを処理中の装置に投入されたり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアを処理中の装置に他のロットに属するキャリアが投入されたり、バッチ処理必要ロットに属するキャリアが複数の装置に分割して投入されたりしないようにそれぞれ検証し、そのような事態になるときには装置投入不可とする投入判定手段を設けたことを特徴としている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１に係る生産制御システムの全体構成を示すブロック図である。
【００１９】
この実施の形態１の生産制御システムは、システム全体の制御を司るシステム制御装置Ｘ、製品に対して各種の処理を行う複数の処理装置Ｚ、製品ｐを保持した状態で各処理装置Ｚに投入されるキャリアＹを備えている。
【００２０】
図１２に示したように、各キャリアＹは一つのロットに属しており、各キャリアＹには、メモリカードなどのキャリア管理カード１１が設けられている。そして、キャリア管理カード１１には、図２に示すように、当該キャリアＹがいずれのロットに属するかを識別するキャリアＩＤ、キャリアＹの処理工程を特定するための工程ＩＤ、および図３に示すような工程順を示す工程番号と工程ＩＤとが対応付けられた工程フロー情報が登録されている。
【００２１】
この場合のキャリアＩＤは、図４に示すように、ロットＩＤに各キャリア毎の連番が付された構造をしており、したがって、キャリアＩＤからロットＩＤを簡単に特定できるようになっている。なお、当然のことながら、キャリアＩＤは、各工程に沿った全ての処理が終了するまでは不変であるが、工程ＩＤは各工程の処理が終了するたびに書き換えられる。
【００２２】
各処理装置Ｚには、キャリア管理カード１１に対して情報の読み書きするＩＤ読書部２１、システム制御装置Ｘとの間でデータ通信を行うデータ通信部２２、処理装置Ｚの全般的な動作を制御する処理制御部２３、およびシステム制御装置Ｘやキャリア管理カード１１との間のアクセスデータを保持するとともに、動作制御プログラムなどが格納されたハードディスクなどからなるデータ保持部２４を備えている。さらに、このデータ保持部２４には、各処理装置Ｚを識別するための装置ＩＤが予め登録されている。なお、上記のＩＤ読書部２１が特許請求の範囲における読取手段に対応している。
【００２３】
システム制御装置Ｘは、各処理装置Ｚとの間でデータ通信を行うデータ通信部３１、処理装置ＺへのキャリアＹの投入の適否を判定する投入判定部３２、および外部記憶装置で構成されるデータベース３３を備えている。そして、このデータベース３３は、ロット情報ファイル３３ａ、製造基準情報ファイル３３ｂ、および装置仕掛情報ファイル３３ｃをそれぞれ備えている。
【００２４】
なお、このシステム制御装置Ｘが、特許請求の範囲における投入判定手段に対応し、また、上記のシステム制御装置Ｘの投入判定部３２が特許請求の範囲のバッチ処理必要ロット判別手段に対応し、さらに、システム制御装置Ｘの投入判定部３２および処理装置Ｚの処理制御部２３が特許請求の範囲におけるキャリア選別手段に対応している。
【００２５】
上記のロット情報ファイル３３ａには、図５に示すように、各ロットが属する製品型名を特定するために、ロットＩＤと型名とが対応付けられてロット情報として予め登録されている。製造基準情報ファイル３３ｂには、図６に示すように、１ロット分の全てのキャリアＹについてバッチ処理が必要であるか否かを示すバッチ処理情報が、ロットの属する型名および工程ＩＤに対応させて製造基準情報として予め登録されている。装置仕掛情報ファイル３３ｃは、図７に示すように、各処理装置Ｚにおいて処理中のキャリアＹを特定するための仕掛キャリアＩＤが装置ＩＤおよび工程ＩＤに対応付けて装置仕掛情報として記憶されている。したがって、この装置仕掛情報は、一つのキャリアＹの処理が終了するたびにその内容が書き換えられる。
【００２６】
次に、上記構成の生産制御システムの動作、特に、処理装置Ｚに対するキャリアＹの投入の適否を判定する場合の動作を主体に、図８に示すフローチャートを参照して説明する。
【００２７】
まず、キャリアＹが処理装置Ｚに実際に投入されるのに先立って、処理装置ＺのＩＤ読書部２１によって、キャリア管理カード１１に登録されているキャリアＩＤと工程ＩＤが読み取られてデータ保持部２４に登録される。さらに、読み取られたキャリアＩＤと工程ＩＤ、ならびにデータ保持部２４に予め登録されている装置ＩＤは、共にデータ通信部２２を介してシステム制御装置Ｘに送信され、そのデータ通信部３１から投入判定部３２に取り込まれる（ステップ１）。
【００２８】
ここでは、一例として、キャリアＹが投入予定の一つの処理装置Ｚに着目したとき、このキャリアＹに設けられているキャリア管理カード１１からキャリアＩＤとして“ＬＯＴ００１−０１”が、工程ＩＤとして“Ａ２０”が読み取られたものとする。また、この処理装置Ｚのデータ保持部２４に保持されている装置ＩＤは“ＭＡＣ０１”であるとする。
【００２９】
投入判定部３２は、キャリアＩＤからロットＩＤを取得し、このロットＩＤをキーにしてロット情報ファイル３３ａを検索してそのロットの属する製品の型名を取得する（ステップ２）。たとえば、ロット情報が図５に示す内容であった場合、上記のようにキャリアＩＤが“ＬＯＴ００１−０１”のとき、ロットＩＤは“ＬＯＴ００１”であるから、型名は“ＡＢＣ１２３４５”となる。
【００３０】
引き続いて、投入判定部３２は、受信した工程ＩＤと上記のようにして取得した型名をキーとして、製造基準情報ファイル３３ｂを検索して、投入予定のキャリアＹがバッチ処理必要ロットに属するか否かを判断する（ステップ３，４）。たとえば、製造基準情報が図６に示す内容であった場合、上記の例ではキャリア管理カード１１から読み取った工程ＩＤが“Ａ２０”で、ロット情報を検索して取得した型名が“ＡＢＣ１２３４５”であるので、その場合には投入予定のキャリアＹはバッチ処理必要ロットに属すると判断される。
【００３１】
投入予定のキャリアＹがバッチ処理必要ロットの場合、投入判定部３２は、キャリアＹの投入対象となっている処理装置Ｚについての装置ＩＤと上記の工程ＩＤとをキーにして装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索して、仕掛キャリアＩＤを取得する（ステップ５）。たとえば、装置仕掛情報が図７に示す内容の場合、装置ＩＤが“ＭＡＣ０１”、工程ＩＤが“Ａ２０”の場合、仕掛キャリアＩＤは“ＬＯＴ００１−０３”となる。
【００３２】
なお、キャリアＹの投入対象となっている処理装置Ｚには仕掛中のキャリアが存在しない場合もあるので、その場合には仕掛キャリアＩＤも存在しない。そのときには、仕掛キャリアＩＤは“取得なし”となる。この点については後で詳述する。
【００３３】
ここで、仕掛キャリアＩＤが取得された場合には、その仕掛キャリアＩＤと投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤとが比較される（ステップ６）。このとき、両ＩＤが一致する場合には、両キャリアＹは共に同じバッチ処理必要ロットに属するので、投入判定部３２は、投入予定のキャリアＹは投入可と判断する（ステップ９）。たとえば、上記のように、仕掛キャリアＩＤが“ＬＯＴ００１−０３”で、投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤが“ＬＯＴ００１−０１”であれば、両者は共に同じバッチ処理必要ロットに属するため投入可となる。
【００３４】
この投入判定部３２の判定結果は、データ通信部３１から処理装置Ｚのデータ通信部２２を介して処理制御部２３に送られるので、処理制御部２３は投入予定のキャリアＹの投入制御を行い、当該キャリアＹが処理装置Ｚ内に投入されて所定の処理が開始される。
【００３５】
これに対して、ステップ６において、装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索して取得した仕掛キャリアＩＤが投入予定のキャリアのキャリアＩＤと不一致の場合には、図１３（ａ）に示した状態になる。つまり、投入予定のキャリアをＹ１、処理装置Ｚ１で処理中のキャリアをＹ２とすると、投入予定のキャリアＹ１はバッチ処理必要ロットに属しているが、処理装置Ｚ１で処理中のキャリアＹ２は、この投入予定のキャリアＹ１のバッチ処理必要ロットには属さないためバッチ処理の要件を満たさず、したがって、投入判定部３２は、投入予定のキャリアＹ１の投入を不可と判断する（ステップ１５）。
【００３６】
たとえば、装置仕掛情報が図９に示す内容の場合、装置ＩＤ（“ＭＡＣ０１”）と工程ＩＤ（“Ａ２０”）をキーにして装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索したときには仕掛キャリアＩＤが“ＬＯＴ００２−０１”となるが、これに対して投入予定のキャリアＹ１のキャリアＩＤは“ＬＯＴ００１−０１”であるので、両キャリアＹ１，Ｙ２のロットＩＤが互いに異なる。このためキャリアＹ１の投入不可となる。
【００３７】
この投入判定部３２の判定結果は、データ通信部３１から処理装置Ｚのデータ通信部２２を介して処理制御部２３に送られるので、処理制御部２３は投入予定のキャリアＹの投入動作禁止するため、当該キャリアＹは処理装置Ｚ内に投入されず、したがって処理は開始されない。これにより、バッチ処理必要ロットに属するキャリアが、他のロットに属するキャリアを処理中の装置に不意に投入されるといったミス発生を確実に防止することができる。
【００３８】
ところで、前述のように、ステップ５で装置ＩＤと工程ＩＤをキーにして装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索しても、キャリアＹの投入対象となっている処理装置Ｚ内に仕掛中のキャリアが全く存在しない場合には、仕掛キャリアＩＤを取得できないので、そのときには、ステップ６で仕掛キャリアＩＤは“取得なし”となる。このときには、投入予定のキャリアＹのロットＩＤをキーにして装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索し、装置ＩＤを取得する（ステップ７）。
【００３９】
たとえば、装置仕掛情報が図１０に示す内容の場合、装置ＩＤが“ＭＡＣ０１”、工程ＩＤが“Ａ２０”の場合、仕掛キャリアＩＤは“取得なし”となるので、投入予定のキャリアＹに対応するロットＩＤ“ＬＯＴ００１”をキーとしてこの装置仕掛情報から装置ＩＤを検索すると“ＭＡＣ０２”となる。
【００４０】
そして、装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索して取得した装置ＩＤと、キャリアＹの投入対象となっている装置ＩＤとを比較する（ステップ８）。このとき、両ＩＤが異なる場合には、図１３（ｂ）に示した状態になる。つまり、現在処理中のキャリアＹ１と投入予定のキャリアＹ１とが同じバッチ処理必要ロット（ここでは“ＬＯＴ００１”）に属し、また、２つの処理装置Ｚ１，Ｚ２が同じ工程（ここでは“Ａ２０”）の場合であっても、バッチ処理必要ロットに属するキャリアＹ１が２つの装置Ｚ１，Ｚ２に分割して処理されることになってバッチ処理の要件を満たさなくなる。そのため、投入判定部３２は、投入予定のキャリアＹ１は投入不可と判断する（ステップ１５）。その結果、バッチ処理必要ロットを複数の装置Ｚ１，Ｚ２で処理してしまうといったミス発生を確実に防ぐことができる。
【００４１】
なお、ステップ８において、装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索して取得した装置ＩＤと投入予定のキャリアＹについての装置ＩＤとが一致する場合には、同じ処理装置Ｚに同じバッチ処理必要ロットに属する各キャリアＹが投入されることになるため、投入判定部３２は投入可と判定する（ステップ９）。
【００４２】
次に、投入予定のキャリアＹが属するロットがバッチ処理必要ロットに該当しない場合の投入制御について説明する。なお、ここでは、投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤは“ＬＯＴ００１−０１”、このキャリアＹの投入対象となっている処理装置Ｚの装置ＩＤは“ＭＡＣ０１”とする。また、この場合の処理装置Ｚは、前述の場合と異なり図３の工程番号１の処理（工程ＩＤ“Ａ１０”）を行うものとする。
【００４３】
その場合、図５に示したロット情報および図６に示した製造基準情報から、新たに投入予定のキャリアＹはバッチ処理必要ロットに属さないことが分かる。このときには、ステップ４においてバッチ処理不要と判断される
【００４４】
そこで、次に、キャリアＹの投入対象となっている装置ＩＤと工程ＩＤとをキーにして装置仕掛情報ファイル３３ｃを検索して、仕掛キャリアＩＤを取得する（ステップ１０）。たとえば、上記のように装置ＩＤが“ＭＡＣ０１”で、工程ＩＤが“Ａ１０”のときに装置仕掛情報が図１１に示す内容であったとすれば、仕掛キャリアＩＤは“ＬＯＴ００２−０１”となる。
【００４５】
このようにして仕掛キャリアＩＤが取得された場合には、その仕掛キャリアＩＤが投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤと比較される（ステップ１１）。その際、仕掛キャリアＩＤが投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤと一致しない場合には、仕掛キャリアＩＤからそのロットＩＤを特定し、このロットＩＤをキーにしてロット情報ファイル３３ａ（図５参照）を検索してそのロットの属する型名を取得する（ステップ１２）。そして、この取得した型名および工程ＩＤをキーにして、製造基準情報ファイル３３ｂ（図６参照）から、処理装置Ｚ１に仕掛中のキャリアがバッチ処理必要ロットに属するか否かを判断する（ステップ１３，１４）。
【００４６】
たとえば、上記の例で、仕掛キャリアＩＤは“ＬＯＴ００２−０１”で、投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤが“ＬＯＴ００１−０１”であれば両者は一致しないので、仕掛キャリアＩＤから特定されるロットＩＤ“ＬＯＴ００２”をキーにして図５に示すロット情報を検索すると、型名は“ＢＣＤ１２３４５”である。このとき図１１の装置仕掛情報で得られる仕掛中の工程ＩＤは“Ａ１０”なので、図６の製造基準情報から、処理装置Ｚで処理中のキャリア（ロットに対応する型名“ＢＣＤ１２３４５”）はバッチ処理必要ロットであると判定される。
【００４７】
そして、処理装置で処理中のキャリアがバッチ処理必要ロットに属していると判断された場合には、図１３（ｃ）に示したような状態になる。つまり、処理装置Ｚ１で処理中のキャリアをＹ１、装置Ｚ１に投入予定のキャリアをＹ２とすると、処理装置Ｚ１で処理中のキャリアＹ１（ロットＩＤ“ＬＯＴ００２”）はバッチ処理必要ロットに属しているのに対して、投入予定のキャリアＹ２はバッチ処理必要ロットに属さないので、このキャリアＹ２を新たに処理装置Ｚ１に投入すると装置Ｘ１内で異なるロットが共存するようになってバッチ処理の要件を満たさなくなる。したがって、投入判定部３２は、キャリアＹ２の投入は不可と判断する（ステップ１５）。
【００４８】
これにより、バッチ処理必要ロットに属するキャリアを処理中の装置に対して、他のロットに属するキャリアが不意に投入されるといったミス発生を確実に防止することができる。
【００４９】
一方、ステップ１４の判断で、処理装置Ｚで処理中のキャリアがバッチ処理必要ロットに属さないとき、ステップ４の判断により、投入予定のキャリアＹもバッチ処理必要ロットに属さないので、投入判定部３２は処理装置Ｚへの新たなキャリアの投入を許可する（ステップ９）。
【００５０】
なお、ステップ１１で仕掛キャリアＩＤが投入予定のキャリアＹのキャリアＩＤと一致する場合には、両キャリアは共に同じロットに属するので、投入判定部３２は、投入予定のキャリアＹは投入可と判断する（ステップ９）。また、ステップ１１でキャリアＹの投入対象となっている処理装置Ｚにおいて現在処理中のキャリアが全く存在しないときには、仕掛キャリアＩＤは“取得なし”となるが、このときにも、ステップ４の判断により、投入予定のキャリアＹが属するロットはバッチ処理必要ロットでないので、投入判定部３２は、処理装置Ｚへの新たなキャリアＹの投入を許可する（ステップ９）。
【００５１】
投入判定部３２の判定結果により、処理装置Ｚへの新たなキャリアＹが投入可となった場合、前述のようにキャリアＹを処理装置Ｚ内に投入して処理を開始することになるが、その際、投入判定部３２は、図７の装置仕掛情報ファイルに対して装置ＩＤ、工程ＩＤ、仕掛キャリアＩＤを登録する。
【００５２】
そして、キャリアＹに対する処理が完了すると、処理装置Ｚの処理制御部２３は、データ保持部２４から読み出したキャリアＩＤと共に処理完了の旨をシステム制御装置Ｘに送信する。そして、送信後は、データ保持部２４に登録されていたキャリアＩＤと工程ＩＤとを削除する。また、ＩＤ読書部２１は、キャリア管理カード１１から工程フロー情報を読み取って工程番号を一つ進めた工程ＩＤを取得し、この取得した工程ＩＤをキャリア管理カード１１に記録する。一方、システム制御装置Ｘは、送信されてきたキャリアＩＤをキーに装置仕掛情報ファイル３３ｃ（図７参照）から処理完了のキャリアに対応した仕掛キャリアＩＤを削除する。これにより、キャリア管理カード１１に記録される工程ＩＤの正当性、および装置仕掛情報ファイル３３ｃの正当性を保つことができる。
【００５３】
上記の実施の形態１では、キャリアＹに設けたキャリア管理カード１１には、キャリアＩＤ、工程ＩＤ、および図３に示した工程フロー情報を登録するようにしているが、キャリアＩＤのみをたとえばバーコードなどの標記によって登録するようにしてもよい。その場合には、システム制御装置Ｘにデータベースとして図３の工程フロー情報を登録するとともに、ロット情報ファイル３３ａ（図５参照）において、ロットＩＤに対応付けて処理予定の工程ＩＤを登録し、投入判定結果が投入可となってその旨を処理装置に送信する際に、この工程ＩＤを更新する。
【００５４】
【発明の効果】
本発明に係る生産制御システムによれば、キャリアを順次供給排出する各処理装置に対してキャリアを投入する場合に、バッチ処理の要件を常に確実に満たすことができる。このため、バッチ処理必要ロットを再度処理することが必要になったり、ロットを破棄せざるを得なくなるなどの不具合発生を無くすことができる。また、各キャリアについてバッチ処理の適否が自動的に判断されるため、作業者の負担を大幅に削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る生産制御システムの全体構成を示すブロック図である。
【図２】キャリア管理カードに登録されているキャリアＩＤと工程ＩＤの一例を示す説明図である。
【図３】キャリア管理カードに登録されている工程フロー情報の一例を示す説明図である。
【図４】キャリアＩＤとロットＩＤとの関係を示す説明図である。
【図５】システム制御装置のデータベースを構成するロット情報の一例を示す説明図である。
【図６】システム制御装置のデータベースを構成する製造基準情報の一例を示す説明図である。
【図７】システム制御装置のデータベースを構成する装置仕掛情報の一例を示す説明図である。
【図８】本発明に係る生産制御システムにおいて、処理装置に対するキャリアの投入の適否を判定する場合の処理動作を説明するために供するフローチャートである。
【図９】バッチ処理の要件を満たさなくなる場合の装置仕掛情報の一例を示す説明図である。
【図１０】バッチ処理の要件を満たさなくなる場合の装置仕掛情報の他の一例を示す説明図である。
【図１１】バッチ処理の要件を満たさなくなる場合の装置仕掛情報のさらに他の一例を示す説明図である。
【図１２】ロットとキャリアとの関係を示す説明図である。
【図１３】キャリアを処理装置に投入する際に、バッチ処理の要件を満たさなくなる場合を示す説明図である。
【符号の説明】
Ｘ  システム制御装置（投入判定手段）、Ｙ  キャリア、Ｚ  処理装置、１１キャリア管理カード、２１  ＩＤ読取部、２２  データ通信部、２３  処理制御部、２４  データ保持部、３１  データ通信部、３２  投入判定部、３３  データベース、３３ａ  ロット情報ファイル、３３ｂ  製造基準情報ファイル、３３ｃ  装置仕掛情報ファイル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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