(57)【要約】【課題】リニア振動電機の作動効率を向上させる。【解決手段】非磁性体製のスペーサ１４ａを挟んで可動コア１４の変位方向一端側と他端側に永久磁石１４ｂを配置する。これにより、可動コア１４内において、多くの磁束が閉じてしまうことを抑制できる。したがって、歯部１５と可動コア１４との間で多くの磁束を通す（流す）ことができるので、リニア振動電機をアクチュエータとして利用した場合には、歯部１５と可動コア１４との間に発生する磁気吸引力を増大させることができる。延いては、可動コア１４に発生する推力を増大させることができるので、アクチュエータ１３の作動効率を向上させることができる。【選択図】　　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに間隔を隔てて隣接する複数の歯部（１５）の周りにソレノイドコイル（１６）を配置したヨーク（２０）を有し、前記複数の歯部（１５）に囲まれた空間に往復変位可能に可動コア（１４）を配置したリニア振動電機において、
前記可動コア（１４）は、磁界が発生することを抑制する磁気遮断手段（１４ａ）、及び前記磁気遮断手段（１４ａ）を挟んで前記可動コア（１４）の変位方向一端側と他端側に配置された永久磁石（１４ｂ）を備えることを特徴とするリニア振動電機。
【請求項２】
往復変位可能に配置された可動コア（１４）と、
前記可動コア（１４）を挟んで対向配置され、前記可動コア（１４）の変位方向と直交する径方向に延びる磁性材料からなる歯部（１５）と、
前記歯部（１５）周りに巻かれた巻き線からなるソレノイドコイル（１６）とを備え、
前記可動コア（１４）は、磁界が発生することを抑制する磁気遮断手段（１４ａ）、及び前記磁気遮断手段（１４ａ）を挟んで前記可動コア（１４）の変位方向一端側と他端側に配置された永久磁石（１４ｂ）を有することを特徴とするリニア振動電機。
【請求項３】
前記磁気遮蔽手段（１４ａ）は、非磁性体であることを特徴とする請求項１又は２に記載のリニア振動電機。
【請求項４】
前記磁遮蔽手段（１４ａ）は、前記永久磁石（１４ｂ）の極性と反発する極性に着磁された永久磁石であることを特徴とする請求項１又は２に記載のリニア振動電機。
【請求項５】
前記可動コア（１４）のうち前記永久磁石（１４ｂ）から前記歯部（１５）に至る磁気回路中には、強磁性体からなる誘導体（１４ｃ）が配置されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載のリニア振動電機。
【請求項６】
前記永久磁石（１４ｂ）は、前記可動コア（１４）の変位方向に対して直交する面おいて、この面の図心周りに複数個配置され、
前記永久磁石（１４ｂ）の着磁方向は、前記可動コア（１４）の変位方向に対して略直交し、
前記永久磁石（１４ｂ）の中心を通って前記着磁方向と直交する延びる磁石中心線（Ｌ１）は、前記可動コア（１４）の変位方向に対して直交する面おいて、前記歯部（１５）の中心線（Ｌ２）とずれており、
さらに、前記可動コア（１４）のうち、前記可動コア（１４）の変位方向に対して直交する面おいて、隣り合う前記永久磁石（１４ｂ）間には、強磁性体からなる誘導体（１４ｃ）が配置されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載のリニア振動電機。
【請求項７】
前記永久磁石（１４ｂ）の一部は、前記誘導体（１４ｃ）の外壁面から突出して、隣り合う前記歯部（１５）間に形成された空間に位置していることを特徴とする請求項６に記載のリニア振動電機。
【請求項８】
前記可動コア（１４）のうち、前記可動コア（１４）の変位方向に対して直交する面の図心には、磁界が発生することを抑制する第２の磁気遮断手段（１４ｄ）が設けられていることを特徴とする請求項６又は７に記載のリニア振動電機。
【請求項９】
前記ソレノイドコイル（１６）に交流電流を通電して前記可動コア（１４）を振動変位させることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載のリニア振動電機。
【請求項１０】
前記可動コア（１４）を振動変位させることより、前記ソレノイドコイル（１６）に誘導電流を発生させることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載のリニア振動電機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可動コアが往復運動（振動）するリニア振動電機に関するもので、アクチュエータ（リニアモータ）又は発電機に適用して有効である。
【０００２】
【従来の技術】
リニア振動電機として、例えば特開平１３−３３０２９号公報に記載の発明では、図１２に示すように、円周方向に配置された複数の永久磁石１４ｂを有する略円柱状の可動コア１４、可動コア１４を挟んで対向配置された複数本の歯部１５、及び歯部１５に周りに巻かれた巻き線からなる励磁コイル１６等からアクチュエータ（リニアモータ）を構成している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、リニア振動電機では、可動コアに配置された永久磁石の極性を、可動コアの変位方向一端側と他端側との相違させる必要があるが、上記公報に記載の発明では、変位方向一端側の永久磁石と他端側の永久磁石とが接触しているので、可動コア内において、多くの磁束（磁気回路）が閉じてしまうおそれが高い。
【０００４】
そして、可動コア内において、多くの磁束（磁気回路）が閉じてしまうと、歯部と可動コアとの間に発生する磁気吸引力が低下してしまうので、可動コアに発生する推力が低下してしまい、リニア振動電機の作動効率が低下してしまう。
【０００５】
また、上記公報に記載のリニア振動電機を発電機に用いた場合において、可動コア内で多くの磁束（磁気回路）が閉じてしまうと、歯部に発生する磁束が低下しまうので、発電能力が低下してしまい、リニア振動電機の作動効率が低下してしまう。
【０００６】
本発明は、上記点に鑑み、第１には、従来と異なる新規なリニア振動電機を提供し、第２には、リニア振動電機の作動効率を向上させることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明では、互いに間隔を隔てて隣接する複数の歯部（１５）の周りにソレノイドコイル（１６）を配置したヨーク（２０）を有し、複数の歯部（１５）に囲まれた空間に往復変位可能に可動コア（１４）を配置したリニア振動電機において、可動コア（１４）は、磁界が発生することを抑制する磁気遮断手段（１４ａ）、及び磁気遮断手段（１４ａ）を挟んで可動コア（１４）の変位方向一端側と他端側に配置された永久磁石（１４ｂ）を備えることを特徴とする。
【０００８】
これにより、可動コア（１４）内において、多くの磁束が閉じてしまうことを抑制できるので、歯部（１５）と可動コア（１４）との間で多くの磁束を通す（流す）ことができ、リニア振動電機の作動効率を向上させることができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明では、往復変位可能に配置された可動コア（１４）と、可動コア（１４）を挟んで対向配置され、可動コア（１４）の変位方向と直交する径方向に延びる磁性材料からなる歯部（１５）と、歯部（１５）周りに巻かれた巻き線からなるソレノイドコイル（１６）とを備え、可動コア（１４）は、磁界が発生することを抑制する磁気遮断手段（１４ａ）、及び磁気遮断手段（１４ａ）を挟んで可動コア（１４）の変位方向一端側と他端側に配置された永久磁石（１４ｂ）を有することを特徴とする。
【００１０】
これにより、可動コア（１４）内において、多くの磁束が閉じてしまうことを抑制できるので、歯部（１５）と可動コア（１４）との間で多くの磁束を通す（流す）ことができ、リニア振動電機の作動効率を向上させることができる。
【００１１】
請求項３に記載の発明では、磁気遮蔽手段（１４ａ）は、非磁性体であることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項４に記載の発明では、磁遮蔽手段（１４ａ）は、永久磁石（１４ｂ）の極性と反発する極性に着磁された永久磁石であることを特徴とするものである。
【００１３】
請求項５に記載の発明では、可動コア（１４）のうち永久磁石（１４ｂ）から歯部（１５）に至る磁気回路中には、強磁性体からなる誘導体（１４ｃ）が配置されていることを特徴とする。
【００１４】
これにより、永久磁石（１４ｂ）のうち歯部（１５）から離れた部位、つまり可動コア（１４）の軸方向端部側に発生した磁束を誘導体（１４ｃ）を経由して歯部（１５）に導くことができる。
【００１５】
したがって、永久磁石（１４ｂ）から歯部（１５）に至る磁路の磁気抵抗を小さくすることができるので、リニア振動電機の作動効率を向上させることができる。
【００１６】
請求項６に記載の発明では、永久磁石（１４ｂ）は、可動コア（１４）の変位方向に対して直交する面おいて、この面の図心周りに複数個配置され、永久磁石（１４ｂ）の着磁方向は、可動コア（１４）の変位方向に対して略直交し、永久磁石（１４ｂ）の中心を通って着磁方向と直交する延びる磁石中心線（Ｌ１）は、可動コア（１４）の変位方向に対して直交する面おいて、歯部（１５）の中心線（Ｌ２）とずれており、さらに、可動コア（１４）のうち、可動コア（１４）の変位方向に対して直交する面おいて、隣り合う永久磁石（１４ｂ）間には、強磁性体からなる誘導体（１４ｃ）が配置されていることを特徴とする。
【００１７】
これにより、可動コア（１４）のうち永久磁石（１４ｂ）から歯部（１５）に至る磁気回路中に強磁性体からなる磁路が構成されたこととなるので、永久磁石（１４ｂ）から歯部（１５）に至る磁路の磁気抵抗を小さくすることができ、リニア振動電機の作動効率を向上させることができる。
【００１８】
請求項７に記載の発明では、永久磁石（１４ｂ）の一部は、誘導体（１４ｃ）の外壁面から突出して、隣り合う歯部（１５）間に形成された空間に位置していることを特徴とする。
【００１９】
ところで、隣り合う歯部（１５）間には、後述する図３に示すように、有効利用されないデットスペースが発生してしまうが、本発明のごとく、デットスペースとなる隣り合う歯部（１５）間に形成された空間に永久磁石（１４ｂ）を突き出せば、リニア振動電機を大型にすることなく、大型の永久磁石（１４ｂ）を配置することができる。
【００２０】
したがって、リニア振動電機を大型にすることなく、リニア振動電機の作動効率を向上させることができる。
【００２１】
請求項８に記載の発明では、可動コア（１４）のうち、可動コア（１４）の変位方向に対して直交する面の図心には、磁界が発生することを抑制する第２の磁気遮断手段（１４ｄ）が設けられていることを特徴とする。
【００２２】
これにより、可動コア（１４）内において、多くの磁束が閉じてしまうことを抑制できるので、歯部（１５）と可動コア（１４）との間で多くの磁束を通す（流す）ことができ、リニア振動電機の作動効率を向上させることができる。
【００２３】
請求項９に記載の発明では、ソレノイドコイル（１６）に交流電流を通電して可動コア（１４）を振動変位させることを特徴とするものである。
【００２４】
請求項１０に記載の発明では、可動コア（１４）を振動変位させることより、ソレノイドコイル（１６）に誘導電流を発生させることを特徴とするものである。
【００２５】
因みに、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【００２６】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
本実施形態は、本発明に係るリニア振動電機をパルス管冷凍機のリニア圧縮機のアクチュエータに適用したものであって、図１はパルス管冷凍機の模式図であり、図２（ａ）は図１のＡ−Ａ断面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【００２７】
なお、パルス管冷凍機は、放熱器１、畜冷器２、冷却部３、パルス管４、キャピラリーチューブ５、バッファタンク６及びリニア圧縮機１０等からなるもので、パルス管冷凍機全体としての作動及び構成は、例えば特許第２６９９９５７号又は特開２００１−３３０３２９号公報に記載の発明と同様であるので、本明細書では、パルス管冷凍機そのものの構成及び作動説明は省略する。
【００２８】
次に、リニア圧縮機１０について述べる。
【００２９】
シリンダ１１は内部にピストン１２が往復運動する円筒状のものであり、ピストン１２はアクチュエータ１３によりシリンダ１１の軸方向に往復（振動）変位させられる。
【００３０】
アクチュエータ１３は、往復変位可能に配置された可動コア１４、可動コア１４を挟んで対向配置されて可動コア１４の変位方向と直交する径方向に延びる磁性材料からなる主磁極をなす歯部１５、歯部１５周りに巻かれた巻き線からなるソレノイドコイル１６、可動コア１４を変位可能に支持する板バネ状の支持部材１７、及びこれら１４〜１７を収納するケーシング１８等からなるものである。
【００３１】
なお、ケーシング１８は内圧作用するステンレス製の圧力容器であり、ピストン１２と可動コア１４とは、可動コア１４の変位方向、つまり可動コア１４の軸方向に可動コア１４内を貫通するシャフト１９により連結されており、可動コア１４はシャフト１９を介して支持部材１７に固定され、ソレノイドコイル１６は樹脂等の非磁性材からなる巻き枠に銅又はアルミニウム等の導電性材料からなる巻き線を巻くことにより構成されている。
【００３２】
また、歯部１５は、図２（ａ）に示すように、略円柱状の可動コア１４の外周周りに等間隔で複数本（本実施形態では、４本）放射状に設けられているとともに、これら複数本の歯部１５のうち可動コア１４と反対側の長手方向端側は、環状のヨーク２０が連結されている。
【００３３】
そして、歯部１５及びヨーク２０は、ソレノイドコイル１６により誘起された磁束の磁路、つまり磁気回路を構成するとともに、電磁鋼板又はパーメンジュール等の磁化特性に優れた強磁性体製の板材を磁力線に対して直交するような方向に積層することにより構成されている。
【００３４】
具体的には、歯部１５を構成する板材の圧延面と可動コア１４変位方向とを略平行とし、ヨーク２０を構成する板材の圧延面と可動コア１４変位方向とを略直交させて、可動コア１４（特に、後述する誘導体１４ｃ）構成する板材の圧延面と歯部１５構成する板材の圧延面とが平行になるようにしている。
【００３５】
また、可動コア１４は、図２（ｂ）に示すように、磁界が発生することを抑制する磁気遮断手段をなすスペーサ１４ａ、スペーサ１４ａを挟んで可動コア１４の変位方向一端側と他端側に配置された板状の永久磁石１４ｂ、及び可動コア１４内の磁路を構成する誘導体１４ｃ等からなるものである。
【００３６】
なお、スペーサ１４ａの材質としては、ステンレス、銅又はアルミニウム等の非磁性体製であり、永久磁石１４ｂはネオジ−鉄系、サマリウムカバルト系又はフェライト系のマグネットが採用されている。
【００３７】
このとき、永久磁石１４ｂは、可動コア１４の変位方向に対して直交する面、つまり図２（ａ）に示される面おいて、この面の図心周りに複数個（本実施形態では、歯部１５と同数）配置されているとともに、永久磁石１４ｂの着磁方向が、図３に示すように、可動コア１４の変位方向に対して略直交し、かつ、永久磁石１４ｂの中心（図心）を通って着磁方向と直交する延びる磁石中心線Ｌ１が、可動コア１４の変位方向に対して直交する面おいて、歯部１５の中心線Ｌ２に対してずれるように可動コア１４に配置されている。なお、磁石中心線Ｌ１と歯部１５の中心線Ｌ２とのずれ角は、３６０°／（歯部１５の本数）／２、つまり４５°である。
【００３８】
なお、円周方向及びスペーサ１４ａを挟んで隣り合う永久磁石１４ｂは、その極性が反対となるように配置されている。
【００３９】
因みに、着磁方向とは、永久磁石１４ｂの磁極、つまりＮ極とＳ極とを結ぶ方向であり、断面の図心とは、周知のごとく、平面図形において面積モーメントが釣り合う点を言う。
【００４０】
そして、誘導体１４ｃは、図４に示すように、板材の圧延面と可動コア１４変位方向とが略平行となるように、圧延面を略放射状に配置して隣り合う永久磁石１４ｂ間を繋ぐように１／４円柱状に構成されたものである。なお、誘導体１４ｃを構成する板材は歯部１５と同一の材料にて構成されている。
【００４１】
また、可動コア１４のうち、可動コア１４の変位方向に対して直交する面、つまり図４（ｂ）に示す可動コア１４断面の図心には、磁界が発生することを抑制する磁気遮断手段をなす空隙１４ｄが設けられている。
【００４２】
なお、本実施形態では、シャフト１９をステンレス、銅、アルミニウム等の非磁性体製として空隙１４ｄに圧入固定しているとともに、空隙１４ｄ周りの強磁性体製の板材は、その圧延面が可動コア１４の変位方向に対して直交するように配置されている。
【００４３】
次に、本実施形態に係るアクチュエータ１３の概略作動を述べる。
【００４４】
ソレノイドコイル１６の印加電圧は電子制御装置により制御されており、この電子制御装置は、可動コア１４、支持部材１７及び作動流体の弾性特性を考慮した振動系の固有振動数と等しい周波数の交流電流をソレノイドコイル１６に通電して歯部１５の極性を周期的に変化させることにより、歯部１５と可動コア１４との間に発生する引力及び斥力の向きを周期的に反転させて可動コア１４を往復変位させる。
【００４５】
なお、本実施形態に係るアクチュエータ１３では、ピストン１２が上死点と下死点との中間位置に到達した時（以下、この時の可動コア１４の位置を振幅の中心と呼ぶ。）において、可動コア１４と歯部１５との間のパーミアンスの変化率が最大となるように、可動コア１４及び歯部１５が配置されている。このため、本実施形態に係るアクチュエータ１３では、可動コア１４に作用する推力は、振幅の中心にて最大となる。
【００４６】
次に、本実施形態の作用効果を述べる。
【００４７】
スペーサ１４ａを挟んで可動コア１４の変位方向一端側と他端側に永久磁石１４ｂを配置しているので、可動コア１４内において、多くの磁束が閉じてしまうことを抑制できる。
【００４８】
したがって、歯部１５と可動コア１４との間で多くの磁束を通す（流す）ことができるので、歯部１５と可動コア１４との間に発生する磁気吸引力を増大させることができる。延いては、可動コア１４に発生する推力を増大させることができるので、アクチュエータ１３の作動効率を向上させることができる。
【００４９】
また、隣り合う永久磁石１４ｂ間を繋ぐように誘導体１４ｃを設けているので、可動コア１４のうち永久磁石１４ｂから歯部１５に至る磁気回路中に強磁性体からなる磁路が構成されたこととなる。
【００５０】
したがって、永久磁石１４ｂのうち歯部１５から離れた部位、つまり可動コア１４の軸方向端部側に発生した磁束を誘導体１４ｃを経由して歯部１５に導くことができる。したがって、永久磁石１４ｂから歯部１５に至る磁路の磁気抵抗を小さくすることができるので、可動コア１４に発生する推力を増大させることができ、アクチュエータ１３の作動効率を向上させることができる。
【００５１】
ところで、可動コア１４のうち永久磁石１４ｂから歯部１５に至る磁気回路中に強磁性体からなる磁路、つまり誘導体１４ｃを設けるに当たっては、後述する第４実施形態（図７参照）に示すように、１／４円筒状の永久磁石１４ｂを可動コア１４の外周面側に配置するとともに、この外周面側に配置された永久磁石１４ｂを外周側から覆うように誘導体１４ｃを配置する方法があるが、この方法では、円周方向において隣り合う永久磁石１４ｂ間に対応する部位には、誘導体１４ｃを配置せず、非磁性体製の磁気遮断部１４ｅを配置する必要があるので、可動コア１４の構造が複雑になり、可動コア１４の製造原価が上昇してしまう。
【００５２】
これに対して、本実施形態では、円周方向において隣り合う永久磁石１４ｂ間を繋ぐように略１／４円筒状の誘導体１４ｃを設けているので、磁気遮断部１４ｅを設ける必要がない。したがって、可動コア１４の構造が単純になるので、可動コア１４の製造原価が上昇を抑制できる。
【００５３】
また、可動コア１４の変位方向に対して直交する面、つまり図４（ｂ）に示す可動コア１４断面の図心には、磁界が発生することを抑制する磁気遮断手段をなす空隙１４ｄが設けられているので、可動コア１４内において、多くの磁束が閉じてしまうことを抑制できる。
【００５４】
したがって、歯部１５と可動コア１４との間で多くの磁束を通す（流す）ことができるので、歯部１５と可動コア１４との間に発生する磁気吸引力を増大させることができる。
【００５５】
（第２実施形態）
第１実施形態では非磁性体にてスペーサ１４ａを構成したが、本実施形態では、図５に示すように、永久磁石１４ｂの極性と反発する極性に着磁された永久磁石によりスペーサ１４ａを構成したものである。
【００５６】
なお、図５（ａ）はスペーサ１４ａ全体を極性が反対の永久磁石で構成したものであり、図５（ｂ）は非磁性体のスペーサ１４ａ内に極性が反対の永久磁石１４ａ’を埋め込んだものである。
【００５７】
これにより、可動コア１４の推力に寄与する磁束を増大させることができるので、可動コア１４の推力を増大させることができる。
【００５８】
（第３実施形態）
本実施形態では、図６に示すように、永久磁石１４ｂの一部を誘導体１４ｃ、つまり可動コア１４の外壁面から突出させて、永久磁石１４ｂの一部を隣り合う歯部１５間に形成された空間に位置させたものである。
【００５９】
次に、本実施形態の作用効果を述べる。
【００６０】
隣り合う歯部１５間には、例えば図３に示すように、有効利用されないデットスペースが発生してしまうが、本実施形態のごとく、デットスペースとなる隣り合う歯部１５間に形成された空間に永久磁石１４ｂを突き出せば、アクチュエータ１３を大型にすることなく、大型の永久磁石１４ｂを配置することができる。
【００６１】
したがって、アクチュエータ１３を大型にすることなく、可動コア１４の推力に寄与する磁束を増大させることができるので、アクチュエータ１３を大型にすることなく、可動コア１４の推力を増大させることができる。
【００６２】
（第４実施形態）
本実施形態は、図７に示すように、１／４円筒状の永久磁石１４ｂを可動コア１４の外周面側に配置するとともに、この外周面側に配置された永久磁石１４ｂを外周側から覆うように誘導体１４ｃを配置したものである。
【００６３】
（その他の実施形態）
永久磁石１４ｂの配置及び形状は、上述の実施形態に限定されるものではなく、例えば図８〜１０に示すような形状であってもよい。
【００６４】
また、上述の実施形態では、ソレノイドコイル１６に交流電圧を印加することにより本発明に係るリニア振動電機をアクチュエータ１３として用いたが、本発明の適用は、これに限定されるものではなく、図１１に示すように、発電機として用いてもよい。
【００６５】
なお、リニア振動電機を発電機として利用する場合には、何らかの手段（図１１では、熱音響エンジン）により可動コア１４を振動させてソレノイドコイル１６に誘起される誘導電流（起電圧）を出力として取り出すものである。
【００６６】
また、上述の実施形態では、一枚の板状磁石から一個の永久磁石１４ｂを構成したが、本発明はこれに限定されるものではなく、着磁方向に複数枚の磁石を積層することにより一個の永久磁石１４ｂを構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】パルス管冷凍機の模式図である。
【図２】（ａ）は図１のＡ−Ａ断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るリニア振動電機の特徴を示す断面図である。
【図４】（ａ）は本発明の第１実施形態に係る可動コアの斜視図であり、（ｂ）は本発明の第１実施形態に係る可動コアの断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るスペーサの斜視図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係るリニア振動電機の特徴を示す図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係るリニア振動電機の特徴を示す図である。
【図８】本発明のその他の実施形態に係るリニア振動電機の特徴を示す図である。
【図９】本発明のその他の実施形態に係るリニア振動電機の特徴を示す図である。
【図１０】本発明のその他の実施形態に係るリニア振動電機の特徴を示す図である。
【図１１】熱音響エンジンを用いた発電機の模式図である。
【図１２】従来の技術に係るアクチュエータの説明図である。
【符号の説明】
１４…可動コア、１４ａ…スペーサ、１４ｂ…永久磁石、１５…歯部、
１６…ソレノイドコイル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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