(57)【要約】【課題】複数台の磁気転写装置で付帯設備を共有できる磁気転写装置を提供する。【解決手段】マスター担体とスレーブ媒体を密着させて転写用磁界を印加し、磁気転写を行う磁気転写装置において、転写装置本体３と、マスター位置決め装置２と、マスタークリーニング装置４と、マスター表面検査装置５等の付帯設備をそれぞれ独立に配置したものである。【選択図】      図１
2004273019.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体の情報担持面に転写を受ける円盤状の磁気記録媒体によるスレーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写機本体と、前記マスター担体を保持部材の上に正確に載置するためのマスター位置決め装置と、前記マスター担体上に付着した塵埃を除去するをマスタークリーニング装置と、および前記マスター担体の表面を検査するマスター表面検査装置とを少なくとも１つの装置を独立に配置したことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
前記磁気転写装置全体を設置した室内の清浄度がクラスＡ、前記磁気転写機本体および付帯設備をそれぞれ局部的にカバーで囲い、フィルターで清浄化された空気を送り込めるようにした前記カバー内の清浄度をクラスＢとしたときにＡ＞Ｂとなるようにしたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項３】
前記マスター担体とそれを保持するマスター・ホルダーを各装置間で搬送する時に、前記マスター・ホルダー部を局部的にクリーンユニットで囲い搬送することを特徴とする請求項１又は２記載の磁気転写装置。
【請求項４】
前記マスター担体とそれを保持するマスター・ホルダーを各装置間で搬送する時に、前記マスター・ホルダーをマスター担体のパターン表面が物体に接触しない位置関係に保持して両側１式を閉じた状態で搬送することを特徴とする請求項１又は２記載の磁気転写装置。
【請求項５】
前記マスター・ホルダーを、マスター担体のパターン表面が物体に接触しない位置関係に保持して両側１式を閉じた状態で、クリーンユニットで囲って搬送することを特徴とする請求項４記載の磁気転写装置。
【請求項６】
前記マスター・ホルダーを、片側づつ別々にカバーを装着して前記マスター担体のパターン表面を遮蔽して搬送することを特徴とする請求項１又は２記載の磁気転写装置。
【請求項７】
前記マスター・ホルダーを、片側づつ別々にカバーを装着して前記マスター担体のパターン表面を遮蔽し、クリーンユニットで囲って搬送することを特徴とする請求項６記載の磁気転写装置。
【請求項８】
前記マスター・ホルダーは、前記マスター担体を保持する際に、吸引により固定することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載の磁気転写装置。
【請求項９】
前記マスター・ホルダーは、搬送時に真空源かまたは吸引口をバルブで閉じて吸引力を保持することを特徴とする請求項８記載の磁気転写装置
【請求項１０】
前記マスター・ホルダーは、前記マスター担体を保持する際に、機械的に係合部材等により固定することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体から磁気記録媒体によるスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より磁気転写は、磁性体の微細凹凸パターンにより転写情報を担持したマスター担体と転写を受ける磁気記録媒体によるスレーブ媒体とを密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報（例えば、サーボ情報）に対応する磁化パターンをスレーブ媒体の記録面に転写記録するものである。
磁気転写装置は、例えば、特許文献１の「磁気転写方法及び磁気転写装置」、特許文献２の「磁気転写用マスター担体」に開示されているものがある。
【０００３】
図８は従来の磁気転写装置の要部斜視図であり、スレーブ媒体７２（磁気記録媒体）のスレーブ面（磁気記録面）を、マスター担体６３の情報担持面に接触させ、所定の押圧力で密着させて、磁界生成手段５５により転写用磁界を印加してサーボ信号等の磁化パターンを転写記録する。スレーブ媒体７２は両面又は片面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体であり、マスター担体３に密着させる前に、必要に応じてグライドヘッド、研磨体などにより表面の微小突起あるいは付着塵埃を除去するクリーニング処理を施し、初期磁界をトラック方向の一方向に印加して初期磁化（直流消磁）を行って置く。
【０００４】
マスター担体３はディスク状に形成され片面には、図９の磁気転写の基本工程図に示すような、微細凹凸パターンが形成された転写情報担持面を有し、これと反対側の面が吸引などによる密着手段に保持され、搬送されたスレーブ媒体７２と密着される。なお、図９のように、スレーブ媒体７２の片面にマスター担体６３を密着させて片面逐次転写を行う場合と、スレーブ媒体７２の両面にそれぞれマスター担体６３、７４を密着させて両面同時転写を行う場合とがある。マスター担体６３は、スレーブ媒体７２と密着させる前に、付着した塵埃を除去するクリーニング処理を必要に応じて行う。
【０００５】
スレーブ媒体７２とマスター担体を密着させて、転写用磁界を印加する磁界生成手段５５は、密着手段に保持されたスレーブ媒体７２、及びマスター担体６３の半径方向へ伸びるギャップ５１を有するコア５２に、コイル５３が巻き付けられた電磁石装置（永久磁石も使用可）５０が上下両側に配置されている。
図１０の転写用磁界の漏れ磁界強度の規定を示す図のように、上下で同じ方向にトラック方向と平行な磁力線Ｇを有する転写用磁界を印加する。
磁界印加時には、スレーブ媒体７２とマスター担体６３を一体に回転させて（電磁石５５を回転させてもよい）磁石５５により転写磁界を印加し、マスター担体６３の転写情報をスレーブ媒体７２のスレーブ面に転写する。
【０００６】
転写手順は、図９に示すように。図９（ａ）は磁場を一方向に印加してスレーブ媒体７２を初期直流磁化する工程を、図９（ｂ）はマスター担体６３とスレーブ媒体７２とを蜜着させて反対方向に転写磁界を印加する工程を、図９（ｃ）は磁気転写後の状態をそれぞれ示すように行われる。
先ず、図９（ａ）のように、スレーブ媒体７２に初期磁界Ｈｉｎをトラック方向の一方向へ印加して、予め初期磁化（直流消磁）を行う。その後、図９（ｂ）に示すように、このスレーブ媒体７２のスレーブ面（磁気記録面）とマスター担体６３の基板３１の微細凹凸パターンに磁性層３２が被覆されている情報担持面の磁性層３２の密着凸部と凹部空間との形成パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−２５１７２４号公報（第３、４頁、図１、図２、図４）
【特許文献２】
特開２００２−２１６３４３号公報（第３、４頁）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の技術では、マスター担体及びホルダーを取り外して搬送・組込みを行う時に、ホルダーあるいはマスター担体へのゴミ混入と、衝突によるマスター担体の位置ズレ、損傷などが発生しやすいと言う問題があった。本発明は、このような課題を解決するもので、安価な設備構成により、マスター担体およびホルダーなどへのゴミの混入と衝突による位置ズレ又は損傷などを低コストで防止できる磁気転写装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１記載の磁気転写装置の発明は、転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体の情報担持面に転写を受ける円盤状の磁気記録媒体によるスレーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写機本体と、前記マスター担体を保持部材の上に正確に載置するためのマスター位置決め装置と、前記マスター担体上に付着した塵埃を除去するをマスタークリーニング装置と、および前記マスター担体の表面を検査するマスター表面検査装置とを少なくとも１つの装置を独立に配置したことを特徴とする。
この磁気転写装置によれば、磁気転写装置の処理能力から各装置の台数比率を最適にすることができ、例えば、付帯設備の費用が高い場合には、複数台の磁気転写装置に対して付帯設備を共有化して、付帯設備の台数を減らすことが可能になり、また、転写装置の台数を増やす場合にも転写装置本体だけの追加で同じ付帯設備を共有化できるようになるため、本体設備を効率化し安価にできる。
【００１０】
また、請求項２に記載の磁気転写装置の発明は、前記磁気転写装置全体を設置した室内の清浄度がクラスＡ、前記磁気転写機本体および付帯設備をそれぞれ局部的にカバーで囲い、フィルターで清浄化された空気を送り込めるようにした前記カバー内の清浄度をクラスＢとしたときにＡ＞Ｂとなるようにしたことを特徴とする。
この磁気転写装置によれば、室内の清浄度よりもカバー内の清浄度をより清浄化することにより、マスター担体表面への塵埃の付着などによる不良品の発生を防止できる。
また、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２のいずれか１項に記載の磁気転写装置において、前記マスター担体とそれを保持するマスター・ホルダーを各装置間で搬送する時に、前記マスター・ホルダー部を局部的にクリーンユニットで囲い搬送することを特徴としている。
この磁気転写装置によれば、搬送中のマスター担体への塵埃などの付着を防止できる。
【００１１】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１又は２のいずれか１項に記載の磁気転写装置において、前記マスター担体とそれを保持するマスター・ホルダーを各装置間で搬送する時に、前記マスター・ホルダーをマスター担体のパターン表面が物体に接触しない位置関係に保持して両側１式を閉じた状態で搬送することを特徴としている。
この磁気転写装置によれば、搬送中にマスター担体表面が衝突などにより損傷を受けるようなことが無く、搬送後、磁気転写装置では迅速に転写作業を行うことができる。
また、請求項５に記載の発明は、前記マスター・ホルダーを、マスター担体のパターン表面が物体に接触しない位置関係に保持して両側１式を閉じた状態で、クリーンユニットで囲って搬送することを特徴としている。
この磁気転写装置によれば、搬送中にマスター担体表面が衝突などにより損傷を受けるようなことが無く、搬送後、磁気転写装置では迅速に転写作業を行うことができる、ことに加えて、搬送途中に塵埃が付着することも防止できる。
【００１２】
また、請求項６に記載の発明は、請求項１又は２のいずれか１項に記載の磁気転写装置において、前記マスター・ホルダーを、片側づつ別々にカバーを装着して前記マスター担体のパターン表面を遮蔽して搬送することを特徴としている。この磁気転写装置によれば、マスター・ホルダー１式を閉じた状態で搬送する場合に比較して、搬送手順を簡単化できる。
また、請求項７に記載の発明は、前記マスター・ホルダーを、片側づつ別々にカバーを装着して前記マスター担体のパターン表面を遮蔽し、クリーンユニットで囲って搬送することを特徴としている。
この磁気転写装置によれば、搬送手順が簡単化できることに加えて、搬送途中に塵埃が付着するのを防止できる。
【００１３】
また、請求項８に記載の発明は、前記マスター・ホルダーは、前記マスター担体を保持する際に、吸引により固定することを特徴としている。
この磁気転写装置によれば、真空吸引により多数の吸引孔により吸引するのでホルダーによる確実な保持固定が可能である
また、請求項９に記載の発明は、前記マスター・ホルダーは、搬送時に真空源かまたは吸引口をバルブで閉じて吸引力を保持することを特徴としている。
この磁気転写装置によれば、マスター・ホルダーの搬送と同時に搬送可能な真空源により真空に保つか、あるいは、吸引／開放用バルブを閉じることにより、吸引・固定状態を保持しながら搬送できる。
また、請求項１０に記載の発明は、前記マスター・ホルダーは、前記マスター担体を保持する際に機械的に係合部材等により固定することを特徴としている。この磁気転写装置によれば、機械的な機構によってもマスター担体をホルダーに固定できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施の形態について図を参照して説明する。
図１は本発明の第１の実施の形態に係る磁気転写装置の構成図である。
図２は図１に示すマスター位置決め装置の断面図である。
図４は図２に示すマスター位置決め装置の説明図である。
図１において、１は各装置を独立に配置して各装置間をマスター担体等を搬送して磁気転写装置によりスレーブ媒体を生産する、磁気転写システムである。
【００１５】
２は磁気転写システム１を構成するマスター位置決め装置でクリーンユニット内に収容されてマスター・ホルダーによりマスター担体を保持する。３は磁気転写装置で同様にクリーンユニットに収容されてマスター担体にスレーブ媒体を密着させて磁気転写を行う。３Ｂ〜３ｎは複数台で構成された磁気転写装置ラインを示す。４はマスタークリーニング装置でクリーンユニットに収容されて、マスター担体やスレーブ媒体を密着させる前に汚れ、ゴミの付着などをグライドヘッド等を用いてクリーニングする。５はマスター表面検査装置でクリーンユニット内に収容されて、クリーニング後のマスター担体、スレーブ媒体表面を光学的検査装置などにより検査を行う。７はマスター作成装置で必要に応じて設置することができ、クリーンユニット内に収容されてマスター担体の作成を行う。６はマスター位置決め装置２やクリーニング装置４などの搬送台車ロボットが走行する搬送経路であり、マーク方式や軌道方式などである。
【００１６】
図２において、２０はマスター位置決め装置２を収容するクリーンユニットを示し、例えば、クリーンユニット２０は天井フィルターから供給される高清浄なエアーがほぼ垂直に通気口を通過する全面ダウンフロー方式により、エアーを循環させて清浄度クラスＢを１〜１０００に保つものであり、ここでは室内１００全体をクラス１０以下の高清浄度に保持するのは空調費が過大となるので、マスター位置決め装置２、磁気転写装置３などの必要な装置部分だけを局所的に高清浄度に保ち、室内１００はクラス１０００〜１０００００程度の清浄度に設定するという二段構造による効率化によりコストの低減を図っている。清浄度を表すクラスは半導体工業規格（ＳＥＭＩ）に従った数値であり、クリーンユニットによって清浄度は室内１００全体の清浄度より高くなる。言い換えれば、クリーンユニットによる清浄度のクラスをＢとした場合、室内１００全体の清浄度クラスＡとしたときに、Ａ＞Ｂの関係となる。クリーンユニットの清浄度はクラス１〜１００が好ましく、特に好ましくはクラス１〜１０である。
２１はスライドユニットであり、左右のマスター・ホルダーをスライド調節してストッパーによりマスター担体が接触しない位置関係で固定する。２３は通気口でクリーユニット２０のエアーの循環用である。
なお、マスター位置決め装置２は、マスター担体をマスター保持部材により吸引固定して保持する左側のマスター・ホルダー２４と、右側のマスター・ホルダー２５と、スレーブ媒体位置決め機構２６と、真空吸引装置（図示していない）の吸引・解放用パイプ２７〜３０等で構成されている。
【００１７】
つぎに動作について説明する。
先ず、マスター位置決め装置２の位置決め方法の原理について説明する。
図４の磁気転写装置の位置決め操作の説明図に示すように、下側の第１の基盤６６はベース部材６０の上部中心位置にスレーブ媒体７２の中心孔７２ａを位置決めするスレーブ保持軸６１を備えると共に、このスレーブ保持軸６１の外周部に下側のマスター担体６３を保持するマスター保持部材６２を備え、そのパターンの中心位置がスレーブ保持軸６１の中心位置に合致して固定されている。スレーブ保持軸６１の中心部には位置決め穴６１ａが設けられている。
【００１８】
一方、上側の第２の基盤７７は、ベース部材７０の下部の中心位置にスレーブ保持軸６１の位置決め穴６１ａに挿入されて位置決めする位置決めピン７１を備えると共に、この位置決めピン７１の外周部に上側のマスター担体７４を保持するマスター保持部材８２を備え、そのパターンの中心位置が位置決めピン７１の中心位置に合致して固定されている。
なお、第１の基盤６６は磁気転写位置より脱着可能に設けられ、測定顕微鏡に移載して、マスター保持部材６２に保持したマスター担体６３のパターンの中心位置がスレーブ保持軸６１の中心位置と合致するように調整される。この第１の基盤６６は回転駆動手段（図示していない）によって回転駆動されるようになっている。
また、第２の基盤７７は加圧手段を構成し、昇降機構（図示していない）によって上下移動可能であり、シリンダ等により発生された押圧力が加えられて位置調整されるようになっている。
【００１９】
位置決め調整動作は、図５に示す測定顕微鏡１００のステージ１１４上に基盤６６を載置し、観察部１１３で観察しながらＸ軸調節摘みおよびＹ軸調節摘み１１５を微回転してステージ１１４の移動操作を行い、図６に示すように、マスター担体６３のパターン３１の中心位置がスレーブ保持軸６１の中心位置とずれて、偏心状態にある場合は、マスター担体６３のパターン３１上の複数の基準点３１ａ（又はマーク）をプロットし、近似円を描いてパターン３１の中心点を演算して求め、スレーブ保持軸６１の中心点も同様に求めて、図７に示すように、両者が一致するするようにマスター保持部材６２をＸ、Ｙ方向に位置調整してマスター保持部材６２を固定する。
【００２０】
こうして第１の基盤６６のマスター保持部材６２に保持された、下側のマスター担体６３上にスレーブ媒体７２を搬入し、その中心孔７２ａをスレーブ保持軸６１に嵌合・載置することで、スレーブ媒体７２の回転中心と下側のマスター担体６３とが精度良く位置決めされる。その後、第２の基盤７７を下降させ、位置決めピン７１をスレーブ保持軸６１の位置決め穴６１ａに嵌合させ、第２の基盤７７のマスター保持部材８２に保持された上側のマスター担体７４と、スレーブ媒体７２の回転中心とが位置決めされる。これによって、スレーブ媒体７２の下面、上面に上下のマスター担体６３、７４の情報担持面を、それぞれ所定の圧力で密着させ、転写用磁界を印加して転写情報に応じた磁化パターンをスレーブ媒体７２の両面に同時記録する。
【００２１】
以上、マスター位置決め装置２におけるマスター担体６３、７４と、スレーブ媒体７２の位置決め原理について説明したが、図４の場合は説明を簡単にするために、マスター担体とスレーブ媒体が、左右横に平面状に載置される形態として示したのに対して、図２の場合は、搬送、組込み等を考慮して、縦型に配置構成され、スライドユニット等により調整されるように構成した点が異なるが、その他の構造は基本的には同様な構成である。
スライドユニット２１上に載置された左右（図４の場合は上下）のマスター・ホルダー２４、２５は、図４を例に説明したようなスレーブ保持軸とマスター担体との位置決め手順等を用いて位置決めされた後、スライドユニット２１のストッパーでマスター担体が接触しない位置に位置決めされて、マスター・ホルダー２４、２５は真空吸引機構のパイプ２７〜３０を介して排気されて吸着・固定される。
【００２２】
このマスター位置決め装置２、磁気転写装置３、マスター・クリーニング装置４、マスター裏面検査装置５等は、図２に示すように、局所的に清浄度がクラス１０以下にクリーンユニット２０により保たれるもので、例えば、天井チャンバーに複数配置された天井フィルターにて塵埃粒子を除去したクリーンエアーをダウンフローとして吹き出し、装置内に供給されたクリーンエアーは床面の通気口（グレーテング）２３を通過して循環ファン（図示していない）により再び天井チャンバーへ循環し清浄化される。また、クリーンルームは外気からの異物侵入を防止するために外気よりも正圧状態としている。また、これらマスター位置決め装置、磁気転写装置、クリーニング装置、検査装置などの各種装置以外の室内１００はクラス１００〜１０００程度の清浄度に保持される。
また、図示していないが、マスター位置決め装置２は、下部に搬送用台車ロボット等を有し、クリーンユニット２０に収容状態で搬送可能になっているものとする。その他、クリーンユニット２０の外部へマスター担体機構を搬出・搬入する搬送ロボット、このマスター担体の搬出時、クリーンユニット２０同志を接触させた時に、位置・寸法が等しく互いに接合することで外気に対してシールドされ、双方から開いてマスター担体等の搬入口又は搬出口となるゲート（扉）と、クリーンユニット２０同志の接触時のガイド、接触センサー等の、通常の搬送システムで使用されている最低限の構成を有しているものとする。
【００２３】
次に、マスター位置決め装置２でセッテングしたマスター担体を、磁気転写装置３Ａへ搬送してスレーブ媒体に情報を磁気転写する場合を例に説明する。その場合の搬送方式については、各種の方式が考えられるが、以下では、通常の最も簡単な搬送方式と考えられる例を想定して磁気転写の手順を説明する。しかし、これに限定されるものではなく、各種の搬送方式が適用可能である。
Ｓ１：マスター位置決め装置２をクリーンユニット２０ごと台車ロボットにより搬送経路６ｂ上をマスタークリーニング装置４（逆にクリーニング装置４を搬送してもよい）へ向け走行する。センサーにより接続が確認されたら両方の装置の製品搬送口となるゲートを開いて、真空吸引装置によりマスター担体保持部材（マスター・ホルダー）に吸引・固定されているマスター担体６３を、吸引を解除（吸着バルブのＯＦＦなど）して、多関節ロボットにフォーク等を取付けた担体搬送ロボットによりマスター担体６３をマスタークリーニング装置４内に移送し、グライドヘッド等によりクリーニングを施してから、マスター位置決め装置２へ戻して、ゲート（扉）を閉じ搬送経路６ｂを逆方向へ元の位置に戻る。
Ｓ２：次に、同様にマスター位置決め装置２のクリーンユニット２０を搬送経路６ｃ上をマスター表面検査装置５へ走行して、光学装置などによる表面検査を行って元に戻す。なお、マスタークリーニング装置４でクリーニングしてそのまま検査装置へ移送して検査するようにしてもよい。
【００２４】
Ｓ３：クリーニング及び検査が済んだ上下のマスター担体６３、７４を再度、位置決めセッテングして、左右のマスター・ホルダー２４、２５をスライドユニット２１のストッパーでマスター担体６３、７４の表面が互いに物体に接触しない位置に、真空吸引装置のパイプなどを介して吸引・固定する。
Ｓ４：マスター担体６３、７４が固定されたら、クリーユニット２０を磁気転写装置３Ａに向け、搬送経路６ａ上を走行する。マスター位置決め装置２のクリーンユニット２０と、磁気転写装置３Ａのクリーンユニット２０双方の接続が確認されたら、双方のゲートを開いてマスター搬送ロボットにより、マスター担体６３、７４がホルダー６２、７２に固定された状態で位置決めがズレないように磁気転写装置３Ａ内にに移送して所定位置に載置する。
Ｓ５：転写するスレーブ媒体をスレーブキヤリヤ等から引き出して、上下のマスター担体６３、７４の間に位置決めセットして、上下面を夫々マスター担体に密着させ、磁気転写装置により磁気転写を行ってから転写装置から取り出し、記録済キャリヤ等に搬送して収納する。
【００２５】
以上の磁気転写装置３Ａの転写ではスレーブ媒体のクリーニングと検査は行わなかったが、必要な場合は搬送経路６ｄを走行してクリーニング装置４によるスレーブ媒体７２のクリーニングと表面検査装置５による検査を実行する。
また、他の磁気転写装置３Ａ以外の磁気転写装置３Ｂ、３Ｃ、…、３ｎも、稼働率による台数比で決められ、それぞれ高価なマスター位置決め装置２と、高価なマスタークリーニング装置４、高価なマスター表面検査装置５を共有して磁気転写を、磁気転写装置３Ｂの場合は搬送経路６ｅ、６ｆを走行して、磁気転写装置３Ｃの場合は搬送経路６ｇ、６ｈを走行して、磁気転写装置３ｎの場合は搬送経路６ｉ、６ｊを走行することで実行できるので、スレーブ媒体７２の転写スレーブ媒体生産数の増量、コストダウンが可能になる。
【００２６】
ここまでは、マスター位置決め装置の搬送システムについて最も簡単な例として、装置ごと台車で移送する例を説明したが、これに限定するものではなく、例えば、各装置毎のクリーニングユニットは固定して、搬送経路全体をクリーンルーム化して昇降システムを利用して各装置へマスターホルダー等の製品を移送するように構成してもよい。これだとクリーンユニットのゲート等の部品を省略できる。また、台車ロボットの搬送経路を軌道方式として走行誤差を軽減する方式だとか、あるいは、磁気転写装置３Ａ〜ｎを円形上に配置して中心にマスター位置決め装置２、マスタークリーニング装置４、マスター表面検査装置５などを配置する、衛星型の配置・搬送システム等、各種の搬送方式が適用可能である。
【００２７】
次に、本発明の第２の実施の形態について図を参照して説明する。
図３は、本発明の第２の実施の形態に係るマスター位置決め装置の断面図である。
図３の第２の実施の形態は、図２の前実施の形態が左右のマスター・ホルダー２４、２５を同時に搬送したのに対し片側づつ搬送するようにした例である。
そして、図３は左側のマスター・ホルダー２４だけを先に搬送する場合の例であるが、塵・埃などの付着を避けるためにマスター担体の表面にカバー４０を装着して遮蔽している。
【００２８】
マスター担体の搬送時には、
Ｓ１：マスター担体のクリーニング、検査を行った後、マスター担体をホルダーにセットして、マスター・ホルダーにカバー４０を付着し、搬送経路６ａを通って磁気転写装置３Ａへ移送する。
Ｓ２：磁気転写装置３Ａ内で、左側のマスター・ホルダー２４のマスター担体６３の上面にスレーブ保持軸６１によりスレーブ媒体７２を位置決めして、セットする。
Ｓ３：続いて右側のマスター・ホルダー２５のマスター担体表面にカバー４０を装着して、磁気転写装置３Ａへ移送する。
Ｓ４：磁気転写装置３Ａで位置決めピン７１により上側のマスター担体７４をスレーブ媒体７２上面に位置決めして、吸引パイプ２７〜３０から吸引して固定する。
Ｓ５：この状態でスレーブ媒体７２の両面に転写磁界を印加して、マスター担体６３、７４の転写情報に応じた磁化パターンがスレーブ媒体７２の両面に同時に記録される。
【００２９】
このように、第２の実施の形態では、マスター担体を片方づつ移送するので、第１の実施の形態の場合のようにスライドユニットを調節して双方のマスター担体の表面に物体が接触しないように位置関係を調節する手順が必要なくなり、手順を簡単化できる。また、搬送システムの小型化が可能で、搬送中の位置ずれも低減できる。
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体の情報担持面に転写を受ける円盤状の磁気記録媒体によるスレーブ媒体とを密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、転写装置本体と、マスター位置決め装置、マスタークリーニング装置およびマスター表面検査装置等の付帯設備の少なくとも１つの装置を独立に配置したので、磁気転写装置の処理能力から各装置の台数比率を最適にすることができる。例えば、付帯設備の費用が高い場合には、複数台の磁気転写装置に対して付帯設備を共有化して、付帯設備の台数を減らすことが可能になり、また、転写装置の台数を増やす場合にも転写装置本体だけの追加で同じ付帯設備を共有化できるようになるので、本体設備を効率化し安価にできるという効果がある。
また、磁気転写装置全体を設置した室内の清浄度がクラスＡ、前記磁気転写機本体および付帯設備をそれぞれ局部的にカバーで囲い、フィルターで清浄化された空気を送り込めるようにした前記カバー内の清浄度をクラスＢとしたときにＡ＞Ｂとなるようにしたので、この磁気転写装置によれば、室内の清浄度よりもカバー内の清浄度をより清浄化でき、マスター担体表面への塵埃の付着などによる不良品の発生を防止できる。
また、マスター担体とそれを保持するマスター・ホルダーを各装置間で搬送する時に、マスター・ホルダーをマスター担体のパターン表面が物体に接触しない位置関係に保持して両側１式を閉じた状態か、又は、片側づつクリーンユニットに収容して搬送するので、マスター及びホルダーの取外し、搬送、組込みなどの場合に、ホルダー・マスターへのゴミ混入と衝突によるマスターの位置ズレや損傷を防止できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る磁気転写装置の構成図である。
【図２】図１に示すマスター位置決め装置の断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係るマスター位置決め装置の断面図である。
【図４】図２に示すマスター位置決め装置の説明図である。
【図５】図４に示すマスター担体の位置調整装置を示す図である。
【図６】図５に示す位置調整装置の位置調整法の説明図である。
【図７】図６に示すマスター担体の位置調整後の状態を示す図である。
【図８】従来の磁気転写装置の斜視図である。
【図９】図８に示す磁気転写装置の基本工程を示す図である。
【図１０】図８に示す転写磁界の洩れ磁界強度を示す図である。
【符号の説明】
１  磁気転写システム
２  マスター位置決め装置
３  磁気転写装置
４  マスタクリーニング装置
５  マスター表面検査装置
６  搬送経路
７  マスター製作装置
２４、２５  マスター・ホルダー
２６  スレーブ媒体位置決め機構
２７〜３０  吸引パイプ
４０  カバー
１００  室内
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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