(57)【要約】【課題】雰囲気ガスや潤滑油中に腐食成分が含まれていたとしても、中間層の腐食を防止することを可能ならしめる軸受およびスクリュー圧縮機を提供する。【解決手段】摺動部材が樹脂層からなり、この樹脂層９ｃと裏金９ａとの間に、アンカー効果を利用して前記樹脂層９ｃと裏金９ａとを接合するための中間層９ｂが形成されてなる複層摺動部材から構成され、前記樹脂層９ｃを介してスラスト力を受けるスラスト軸受９において、前記中間層９ｂが露出するスラスト軸受９の側面に、このスラスト軸受９回りに介在する雰囲気ガスや潤滑油による前記中間層９ｂの腐食を防止する腐食防止層９ｄを形成させる。【選択図】        図  ５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
摺動部材が樹脂層からなり、この樹脂層と裏金との間に、前記樹脂層と裏金とを接合するための中間層が形成されてなる複層摺動部材から構成され、前記樹脂層を介して力を受ける軸受において、前記中間層の側面に、前記中間層の腐食を防止する腐食防止層を形成させたことを特徴とする軸受。
【請求項２】
前記腐食防止層は、前記樹脂層と同材質であることを特徴とする請求項１に記載の軸受。
【請求項３】
前記腐食防止層は、前記樹脂層と前記裏金とに接着し得る機能を備えた樹脂であることを特徴とする請求項１に記載の軸受。
【請求項４】
前記腐食防止層は、請求項３に記載の樹脂で接着された金属であることを特徴とする請求項１に記載の軸受。
【請求項５】
前記腐食防止層は、真空蒸着、またはスパッタリングによる金属被膜であることを特徴とする請求項１に記載の軸受。
【請求項６】
ケーシング内に、互いに噛合する雌雄一対のスクリューロータが収容され、これら一対のスクリューロータそれぞれのロータ軸の一方に円板状のスラスト部材が嵌着されると共に、前記スラスト部材を挟む位置に、このスラスト部材の摺動面に摺接して、前記スクリューロータからスラスト部材に伝達されるスラスト力を受持つスラスト軸受が配設されてなるスクリュー圧縮機において、前記スラスト軸受は、請求項１乃至５のうちの何れか一つの項に記載の軸受であることを特徴とするスクリュー圧縮機。
【請求項７】
ケーシング内に、互いに噛合する雌雄一対のスクリューロータが収容され、これら一対のスクリューロータそれぞれのロータ軸に摺接して、そのロータ軸から伝達されるラジアル力を受持つラジアル軸受が配設されてなるスクリュー圧縮機において、前記ラジアル軸受は、請求項１乃至５のうちの何れか一つの項に記載の軸受であることを特徴とするスクリュー圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、軸受およびスクリュー圧縮機の改善に係り、特に、耐腐食性に優れた軸受およびこの耐腐食性に優れた軸受を備えたスクリュー圧縮機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のとおり、スクリュー圧縮機は、互いに噛合する雌雄一対のスクリューロータを収容するケーシングを備えている。これら雌雄一対のスクリューロータそれぞれの両軸端はラジアル軸受によって支持される一方、これら雌雄一対のスクリューロータそれぞれの一方の軸端部にスクリューロータに生じるスラスト力を受持つ一対のスラスト軸受が設けられている。これらスラスト軸受は、これら雌雄一対のスクリューロータそれぞれの一方の軸端部に外嵌された円板状のスラスト部材を挟む位置に配設されており、このスラスト部材の摺動面に摺接して、前記スクリューロータからスラスト部材に伝達されるスラスト力を受持つように構成されている。上記構成になるスクリュー圧縮機は、スクリューロータが高速で回転されるために、前記ラジアル軸受、およびスラスト軸受には滑り軸受が用いられている。軸受の摺動部には低摩擦であることが要求されるため、特に高周速のスラスト部材から受けるスラスト力を受けるスラスト軸受の摺動部には低摩擦の材質が用いられている。
【０００３】
摺動部に低摩擦の材質を用いたスラスト軸受としては、例えば後述する構成になる複層摺動部材から構成されてなるものがある。この複層摺動部材は、接着し難い金属製の裏金と摺動部材である樹脂層との間に多孔質中間層を形成させてアンカー効果を発揮させることにより、金属と樹脂層との接合力を強めて樹脂層を剥がれ難くすると共に、この樹脂層の耐磨耗性、および摺動特性を向上させるようにしたものである。以下、スラスト軸受として用いられるこの複層摺動部材の構成を、その断面図の図１５を参照しながらより詳細に説明する。
【０００４】
図１５に示す符号５０は、複層摺動部材であって、この複層摺動部材５０は裏金５５、多孔質中間層５４、接着層５３および摺動層５２が、この順に積層されて構成されている。前記裏金５５は鋼製であって、そして前記多孔質中間層５４は前記裏金５５の表面に銅合金粉末を散布焼結することにより形成されている。
前記接着層５３はテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）またはポリテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＡＰ）の溶融フッ素樹脂から形成されている。
【０００５】
前記摺動層５２はポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）に１０〜９５重量％のＰＦＡまたはＦＡＰの溶融フッ素樹脂を添加したものから構成されている。
また、この摺動層５２には、耐磨耗性を向上させるために、０．１〜３０重量％のカーボンファイバ（ＣＦ）、グラスファイバ（ＧＦ）またはアラミド繊維の何れかの強化繊維が添加されている。さらに、この摺動層５２には、摺動特性を向上させるために、０．１〜２０重量％のグラファイト（Ｇｒ）、二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）または膨張化黒鉛（膨張Ｇｒ）の何れかの固体潤滑剤が添加されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−１９４３８０号公報（第２−３頁、第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記複層摺動部材は摺動層が裏金から剥がれ難く、しかも耐磨耗性および摺動特性が優れているのでスラスト軸受の構成素材として好適であると考えられる。
ところで、この複層摺動部材からなるスラスト軸受を、例えばスクリュー圧縮機のスクリューロータのロータ軸に使用すると、このスラスト軸受回りにガスや潤滑油が侵入するため、このスラスト軸受は雰囲気ガスや潤滑油と接触することとなる。雰囲気ガスや潤滑油中にスラスト軸受の構成部品を腐食する腐食成分、例えばアンモニアが含まれていると、銅を含む多孔質中間層の腐食によりスラスト軸受が破損し、スクリュー圧縮機を頻繁に補修しなければならなくなり、スクリュー圧縮機の稼働率の低下に加えて、そのメンテナンスコストが嵩むという問題が生じることとなる。
【０００８】
従って、本発明の目的は、たとえ雰囲気ガスや潤滑油中に腐食成分が含まれていたとしても、中間層の腐食を防止することを可能ならしめる軸受およびこの軸受を備えたスクリュー圧縮機を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記実情に鑑みてなされたものであって、従って上記課題を解決するために、本発明の請求項１に係る軸受が採用した手段は、摺動部材が樹脂層からなり、この樹脂層と裏金との間に、前記樹脂層と裏金とを接合するための中間層が形成されてなる複層摺動部材から構成され、前記樹脂層を介して力を受ける軸受において、前記中間層の側面に、前記中間層の腐食を防止する腐食防止層を形成させたことを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項２に係る軸受が採用した手段は、請求項１に記載の軸受において、前記腐食防止層は、前記樹脂層と同材質であることを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項３に係る軸受が採用した手段は、請求項１に記載の軸受において、前記腐食防止層は、前記樹脂層と前記裏金とに接着し得る機能を備えた樹脂であることを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項４に係る軸受が採用した手段は、請求項１に記載の軸受において、前記腐食防止層は、請求項３に記載の樹脂で接着された金属であることを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項５に係る軸受が採用した手段は、請求項１に記載の軸受において、前記腐食防止層は、真空蒸着、またはスパッタリングによる金属被膜であることを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項６に係るスクリュー圧縮機が採用した手段は、ケーシング内に、互いに噛合する雌雄一対のスクリューロータが収容され、これら一対のスクリューロータそれぞれのロータ軸の一方に円板状のスラスト部材が嵌着されると共に、前記スラスト部材を挟む位置に、このスラスト部材の摺動面に摺接して、前記スクリューロータからスラスト部材に伝達されるスラスト力を受持つスラスト軸受が配設されてなるスクリュー圧縮機において、前記スラスト軸受は、請求項１乃至５のうちの何れか一つの項に記載の軸受であることを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項７に係るスクリュー圧縮機が採用した手段は、ケーシング内に、互いに噛合する雌雄一対のスクリューロータが収容され、これら一対のスクリューロータそれぞれのロータ軸に摺接して、そのロータ軸から伝達されるラジアル力を受持つラジアル軸受が配設されてなるスクリュー圧縮機において、前記ラジアル軸受は、請求項１乃至５のうちの何れか一つの項に記載の軸受であることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態１に係るスクリュー圧縮機と、このスクリュー圧縮機の一対のスクリューロータのスラスト力を受けるスラスト軸受を、添付図面を順次参照しながら説明する。図１はスクリュー圧縮機の軸受配設構成を示す主要部断面図、図２乃至図４は裏金と中間層と樹脂層とからなるスラスト軸受の製造工程を示す説明図、図５はスラスト軸受の模式的断面図である。
【００１７】
図１に示す符号１は、本発明の軸受を備えたスクリュー圧縮機であって、このスクリュー圧縮機１はケーシング２を備えている。このケーシング２内には、互いに噛合する雌雄一対のスクリューロータ３，４が収容されている。これら雌雄一対のスクリューロータ３，４のうち、一方のスクリューロータ３は図示しないモータによって回転され、他方のスクリューロータ３は前記一方のスクリューロータ３の回転に付随して回転されるように構成されている。これら雌雄一対のスクリューロータ３，４のスクリューを中心とする両側のロータ軸３ａ，４ａは、前記ケーシング２の開口端にボルト締結されてなる軸受ケース５，６に形成されてなる軸受箱に嵌着されたラジアル軸受７により支持されている。また、これら雌雄一対のスクリューロータ３，４の一方（図１における左側）のロータ軸３ａ，４ａの前記ラジアル軸受７の外側に円板状のスラスト部材８がキーを介して嵌着されている。
【００１８】
そして、スラスト部材８の面が摺接する、後述する構成になるスラスト軸受９が、このスラスト部材８を挟む両側に配設されている。このスラスト部材８のラジアル軸受７側の面に摺接するスラスト軸受９は、前記軸受ケース５の端面にフランジ部がボルト締結されてなる第１軸受抑え１０の凹所に嵌着されることにより支持されている。また、このスラスト部材８の反ラジアル軸受７側の面に摺接するスラスト軸受９は前記軸受ケース５の端面に前記第１軸受抑え１０のフランジ部に重ねられてフランジ部がボルト締結されてなる第２軸受抑え１１の凹所に嵌着されることにより支持されている。
【００１９】
なお、これら第１，２軸受抑え１０，１１は、何れも軸受ケース５の端面にボルト締結される軸受抑え本体と、この軸受抑え本体にボルトにより締結され、スラスト軸受９が嵌着される嵌着凹所を有する軸受支持部材とからなる構成になっている。
【００２０】
次に、図２乃至図５を順次参照しながら、スラスト軸受９の摺動部材である摺動層が、例えばポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥという）樹脂である場合を例として、このスラスト軸受９の構成を説明する。先ず、図２に示すように、鉄製の裏金９ａの表面に、銅等の鉄よりも低融点の金属をめっき（以下、銅めっきという）する。次いで、図３に示すように、銅めっき面に複数の短い銅線をばら撒き、銅が若干溶融するまで加熱して銅線を銅めっき面に溶着させることにより中間層９ｂを形成させる。そして、中間層９ｂが形成された裏金９ａを、ＰＴＦＥ樹脂が溶融する温度に加熱し、中間層９ｂの上にＰＴＦＥ樹脂板をプレスにより押圧する。プレスによる押圧により、アンカー効果により中間層９ｂの上にＰＴＦＥ樹脂板が接着されて樹脂層９ｃが形成され、３層構成になる複層摺動部材からなるスラスト軸受９が構成される。
【００２１】
ところで、スラスト軸受９が上記のような構成になっていると、スラスト軸受９の側面に中間層９ｂが露出しているため、雰囲気ガスや軸受を潤滑する潤滑油に、アンモニア等の銅を腐食する成分が含まれていると、スクリュー圧縮機１の運転中にスラスト軸受９の中間層９ｂが腐食する。アンモニア成分による中間層９ｂの腐食により中間層９ｂと樹脂層９ｃとの接合力が弱まり、樹脂層９ｃが剥離してスラスト軸受９が損傷する恐れが生じる。
【００２２】
そこで、本実施の形態１では、樹脂層９ｃの剥離の原因となる中間層９ｂの腐食防止のために、図５に示すように、樹脂層９ｃの端部がスラスト軸受９の側面に沿って延設されてなる腐食防止層９ｄによって中間層９ｂが覆われてなる構成になっている。この場合、腐食防止層９ｄの終端とスラスト軸受９の側面との間に若干の隙間が生じることがあるので、腐食防止層９ｄの端末部にシリコン樹脂等を塗布することが好ましい。
【００２３】
以下、本実施の形態１の作用態様を説明すると、スラスト軸受９の中間層９ｂが腐食防止層９ｄで覆われていて、中間層９ｂの配設部位に雰囲気ガスや潤滑油が侵入するようなことがない。従って、本実施の形態１によれば、たとえ雰囲気ガスや潤滑油中にアンモニア等の銅を腐食する成分が含まれていたとしても、スクリュー圧縮機１の運転中に中間層９ｂが腐食するようなことがない。
【００２４】
従って、本実施の形態１によれば、中間層９ｂの剥離に起因してスラスト軸受９が破損するようなことがないから、スクリュー圧縮機１の補修頻度が減少し、スクリュー圧縮機１の稼働率が向上するのに加えて、そのメンテナンスコストも安価なるという優れた効果を得ることができる。
【００２５】
本発明の実施の形態２を、スラスト軸受の模式的断面図の図６を参照しながら説明する。但し、スクリュー圧縮機の構成については、上記実施の形態１と同構成であるから、スラスト軸受の構成についての説明に止める。
【００２６】
図６に示すスラスト軸受９は、このスラスト軸受９の側面の中間層９ｂの位置する部位より若干広い範囲に、樹脂層９ｃと同材質のＰＴＦＥ樹脂を圧着してなる腐食防止層９ｄを形成させることにより、中間層９ｂを覆う構成としたものである。
【００２７】
本実施の形態２によれば、スラスト軸受９の中間層９ｂがＰＴＦＥ樹脂を圧着してなる腐食防止層９ｄにより覆われていて、中間層９ｂの配設部位に雰囲気ガスや潤滑油等が侵入するようなことがない。従って、上記実施の形態１と同等の効果を得ることができる。
【００２８】
本発明の実施の形態３を、スラスト軸受の模式的断面図の図７を参照しながら説明する。但し、スクリュー圧縮機の構成については、上記実施の形態１と同構成であるから、スラスト軸受の構成についての説明に止める。
【００２９】
図７に示すスラスト軸受９は、このスラスト軸受９の側面の中間層９ｂの位置する部位より若干広い範囲に、裏金９ａと樹脂層９ｃとに接着機能を備えた接着剤、例えばエポキシ樹脂からなる接着剤で金属板を接着することにより、接着剤と金属板からなる腐食防止層９ｄを形成させて、この中間層９ｂを覆う構成としたものである。
【００３０】
本実施の形態３によれば、スラスト軸受９の中間層９ｂが接着剤と金属板からなる腐食防止層９ｄにより覆われていて、中間層９ｂの配設部位に雰囲気ガスや潤滑油が侵入するようなことがない。従って、上記実施の形態１と同等の効果を得ることができる。
【００３１】
本発明の実施の形態４を、スラスト軸受の模式的断面図の図８を参照しながら説明する。但し、スクリュー圧縮機の構成については、上記実施の形態１と同構成であるから、スラスト軸受の構成についての説明に止める。
【００３２】
図８に示すスラスト軸受９は、このスラスト軸受９の裏金９ａと樹脂層９ｃとの表面をマスキングすると共に真空蒸着槽内にセットして、スラスト軸受９の側面に金属の蒸着被膜からなる腐食防止層９ｄを形成させて、中間層９ｂを覆う構成としたものである。なお、この蒸着被膜の膜厚としては、例えば５０μｍ程度であれば十分である。
【００３３】
本実施の形態４によれば、スラスト軸受９の中間層９ｂが金属の蒸着被膜からなる腐食防止層９ｄにより覆われていて、中間層９ｂの配設部位に雰囲気ガスや潤滑油等が侵入するようなことがない。従って、上記実施の形態１と同等の効果を得ることができる。なお、本実施の形態４においては、金属の蒸着被膜により腐食防止層９ｄを形成させたが、例えばスパッタリングによりアルミニウムやクロム合金の金属被膜からなる腐食防止層を形成させても良い。
【００３４】
以上では、スラスト軸受９の摺動部材となる樹脂層９ｃとしてＰＴＦＥ樹脂を用いた例について説明した。しかしながら、樹脂層９ｃとして、例えば耐磨耗性に優れると共に起動時の摩擦計数が低いポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）を採用することもできるので、ＰＴＦＥ樹脂からなる樹脂層９ｃに限定されるものではない。また、以上では、中間層９ｂが銅めっき層と、この銅めっき層に溶着させた複数の短い銅線とから構成されてなる場合を例として説明した。しかしながら、本発明の技術的思想を、例えば従来例に係る多孔質中間層を有する複層摺動部材に対しても適用することができるから、上記実施の形態に係る中間層の構成に限定されるものではない。
【００３５】
ところで、これまで本発明の軸受に係る技術的思想をスラスト軸受に適用し、このスラスト軸受を用いたスクリュー圧縮機を示したが、本発明はスラスト軸受に限るものではなく、ラジアル軸受に対しても適用することができる。図９乃至図１１は、本発明の実施の形態５に係るラジアル軸受７である。図９はラジアル軸受７の模式的斜視図であり、図１０は図９におけるＡ−Ａ矢視方向の模式的断面図であり、図１１は図９におけるＢ−Ｂ矢視方向の模式的断面図である。
【００３６】
即ち、本実施の形態５に係るラジアル軸受７は、図１０および図１１に示すとおり、前述のスラスト軸受９と同様、３種構成からなる複層摺動部材で構成されており、ほぼ円筒状に形成されている。ラジアル軸受７は、図１に示すように、スクリューロータ３，４のスクリューを中心とする両側のロータ軸３ａ，４ａに嵌着されている。このラジアル軸受７は、最も外側に位置する鉄等からなる裏金７ａと、この裏金７ａの内側に形成され、この裏金７ａより低融点の金属（例えば銅）からなる中間層７ｂと、この中間層７ｂの内側に形成され、ロータ軸３ａ，４ａと摺接する部位を有する樹脂層７ｃとから構成されている。そして、図９および図１１に示すとおり、中間層７ｂが、ラジアル軸受７の側面に沿って延設されてなる樹脂層７ｃの端部から構成された腐食防止層７ｄによって覆われてなる構成になっている。
【００３７】
従って、中間層７ｂの配設部位に雰囲気ガスや潤滑油が侵入することがなく、仮に、雰囲気ガスや潤滑油中に中間層７ｂを腐食する成分が含まれていたとしても、この中間層７ｂが腐食するようなことがない。
【００３８】
図１２は、本発明の実施の形態６に係るラジアル軸受の模式的断面図である。
このラジアル軸受７では、このラジアル軸受７の側面の中間層７ｂの位置する部位より若干広い範囲に、樹脂層７ｃと同材質の樹脂を圧着してなる腐食防止層７ｄが形成されている。
【００３９】
図１３は、本発明の実施の形態７に係るラジアル軸受の模式的断面図である。
このラジアル軸受７では、このラジアル軸受７の側面の中間層７ｂの位置する部位より若干広い範囲に、裏金７ａと樹脂層７ｃとに接着機能を備えた接着剤により環状の金属板を接着することにより、接着剤と金属板とからなる腐食防止層７ｄが形成されている。
【００４０】
図１４は、本発明の実施の形態８に係るラジアル軸受の模式的断面図である。
このラジアル軸受７では、このラジアル軸受７の側面に、金属の蒸着被膜からなる腐食防止層７ｄが形成されている。
【００４１】
本発明の軸受に係る技術的思想をラジアル軸受に適用した場合においても、腐食防止層７ｄの形成により、中間層７ｂが腐食するようなことがなく、スラスト軸受に適用した場合と同様の効果を得ることができる。なお、上記実施の形態５乃至８に係るラジアル軸受の場合には、板状の裏金の上に中間層を形成し、この中間層の上に樹脂層をプレスにより押圧して、スラスト軸受の場合と同様の複層摺動部材を構成する。次いで、この複層摺動部材を円筒状に曲げ成形すると共に、相対する端面を接合するという工程を経て製造されるものである。
【００４２】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の請求項１乃至７に係る軸受およびスクリュー圧縮機によれば、中間層を有する軸受の側面に、中間層の腐食を防止する腐食防止層が形成されていて、中間層の配設部位に雰囲気ガスや潤滑油が侵入するようなことがない。従って、本発明の請求項１乃至７に係る軸受およびスクリュー圧縮機によれば、たとえ雰囲気ガスや潤滑油中に中間層を腐食する腐食成分が含まれていたとしても、スクリュー圧縮機の運転中に軸受の中間層が腐食するようなことがなく、軸受が損傷するようなことがないから、スクリュー圧縮機の補修頻度が減少し、スクリュー圧縮機の稼働率が向上するのに加えて、そのメンテナンスコストも安価なるという優れた効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係り、スクリュー圧縮機の軸受配設構成を示す主要部断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係り、裏金と中間層と樹脂層とからなるスラスト軸受の第１製造工程を示す説明図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係り、裏金と中間層と樹脂層とからなるスラスト軸受の第２製造工程を示す説明図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係り、裏金と中間層と樹脂層とからなるスラスト軸受の第３製造工程を示す説明図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係り、スラスト軸受の模式的断面図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係り、スラスト軸受の模式的断面図である。
【図７】本発明の実施の形態３に係り、スラスト軸受の模式的断面図である。
【図８】本発明の実施の形態４に係り、スラスト軸受の模式的断面図である。
【図９】本発明の実施の形態５に係り、ラジアル軸受の模式的斜視図である。
【図１０】図９におけるＡ−Ａ矢視方向の模式的断面図である。
【図１１】図９におけるＢ−Ｂ矢視方向の模式的断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態６に係り、ラジアル軸受の模式的断面図である。
【図１３】本発明の実施の形態７に係り、ラジアル軸受の模式的断面図である。
【図１４】本発明の実施の形態８に係り、ラジアル軸受の模式的断面図である。
【図１５】従来例に係る複層摺動部材の断面図である。
【符号の説明】
１…スクリュー圧縮機
２…ケーシング
３…スクリューロータ，３ａ…ロータ軸
４…スクリューロータ，４ａ…ロータ軸
５…軸受ケース
６…軸受ケース
７…ラジアル軸受，７ａ…裏金，７ｂ…中間層，７ｃ…樹脂層，７ｄ…腐食防止層
８…スラスト部材
９…スラスト軸受，９ａ…裏金，９ｂ…中間層，９ｃ…樹脂層，９ｄ…腐食防止層
１０…第１軸受抑え
１１…第２軸受抑え
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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