(57)【要約】【課題】被めっき品の多品種少量生産に対応するために、段取り替えが容易なめっき装置を提供する。【解決手段】めっき液を収容するめっき槽１２に給電ロッド１６が配設され、給電ロッド１６に電気的に接続して被めっき品をセットするセット部４０が脱着可能に設けられためっき装置１０において、セット部４０が、被めっき品をセットするためのトッププレート２４と、トッププレート２４にセットされた被めっき品にめっき液を噴射する噴射孔１８ａが設けられたノズルプレート１８とを備え、トッププレート２４とノズルプレート１８とがあらかじめ一体的に組み立てて構成されていることを特徴とするめっき装置１０である。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき液を収容するめっき槽に給電板が配設され、
前記給電板に電気的に接続して被めっき品をセットするセット部が脱着可能に設けられためっき装置において、
前記セット部が、被めっき品をセットするためのトッププレートと、該トッププレートにセットされた被めっき品にめっき液を噴射する噴射孔が設けられたノズルプレートとを備え、
前記トッププレートとノズルプレートとがあらかじめ一体的に組み立てて構成されていることを特徴とするめっき装置。
【請求項２】
前記トッププレートに給電板と螺合する給電ロッドを取り付ける取り付け孔が設けられ、該取り付け孔にスリーブが装着され、
該スリーブとシャフトとが前記ノズルプレートを挟んで互いに螺合することにより前記ノズルプレートと前記トッププレートに支持されていることを特徴とする請求項１記載のめっき装置。
【請求項３】
ノズルプレートに、めっき槽側に配置されるベース部とノズルプレートとの間に配置されるスペーサが固定されていることを特徴とする請求項２記載のめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレーム等の半導体装置製品の表面にめっきを行うめっき装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
リードフレーム等の半導体装置部品を製造する工程では、保護めっき等の種々のめっきが施される。図７は、リードフレーム等の半導体装置部品をめっきするめっき装置で、リードフレーム等の被めっき品をセットするセット部４０の構成を組み立て斜視図によって示したものである。このセット部４０は短冊状に形成された被めっき品をセットしてめっきを施すもので、被めっき品をセットするトッププレート２４とノズルプレート１８、スペーサ２０をめっき槽１２側に設置されているベース部１４に位置合わせして重ね合わせるようにして組み立てられる。
【０００３】
具体的には、めっき槽１２のベース部１４にスペーサ２０を重ね合わせてネジ孔２によりスペーサ２０をネジ止めし、ベース部１４に固定したスペーサ２０にノズルプレート１８を重ね合わせてネジ孔４によりノズルプレート１８をスペーサ２０にをネジ止めする。同時にカラー２１をノズルプレート１８と給電板１６の間に挿入し、ネジ孔１６ａを用いてネジ止めする。続いて、めっき槽１２にトッププレート２４を位置合わせして載せ、ネジ孔６を用いてネジ止めする。
なお、トッププレート２４にセットされた被めっき品の上方には、陽極プレートが配置されており、めっき時には、トッププレート２４と陽極プレートとで被めっき品を挟むようにしてめっきがなされる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
被めっき品をセットするセット部４０（めっき装置）は、被めっき品の寸法や被めっき品に形成されているリードパターンに応じて、ノズルプレート１８にノズル孔を形成し、トッププレート２４に開口穴を形成するから、品種交換の際にはノズルプレート１８やトッププレート２４を製品に応じて交換しなければならない。品種交換がそれほど頻繁になされない場合は、品種交換の際にノズルプレート１８やトッププレート２４を交換してセットする作業は、さほど問題にならないのであるが、最近のように多品種の製品が生産されるようになってくると、品種交換の際に、その都度ノズルプレート１８やトッププレート２４を交換して組み立てる段取り替えを行うことは、作業が煩雑であり、めっき作業の効率化を阻害するという課題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は以上に説明した課題を解決すべくなされたものであり、次のような構成を有する。
すなわち、めっき液を収容するめっき槽に給電板が配設され、前記給電板に電気的に接続して被めっき品をセットするセット部が脱着可能に設けられためっき装置において、前記セット部が、被めっき品をセットするためのトッププレートと、該トッププレートにセットされた被めっき品にめっき液を噴射する噴射孔が設けられたノズルプレートとを備え、前記トッププレートとノズルプレートとがあらかじめ一体的に組み立てて構成されていることを特徴とするめっき装置である。
【０００６】
また、前記トッププレートに給電板と螺合する給電ロッドを取り付ける取り付け孔が設けられ、該取り付け孔にスリーブが装着され、該スリーブとシャフトとが前記ノズルプレートを挟んで互いに螺合することにより前記ノズルプレートと前記トッププレートに支持されていることを特徴とする。
また、前記ノズルプレートに、めっき槽側に配置されるベース部とノズルプレートとの間に配置されるスペーサが固定されていることを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るめっき装置の好適な実施の形態を図面に従って詳細に説明する。
図１は本発明に係るめっき装置で、リードフレーム等の被めっき品をセットするセット部４０の組み立て斜視図であり、図２はセット部４０をめっき槽側にセットした状態を示す。
図２に示すように、めっき槽１２にはベース部１４と給電板１６が固定されており、被めっき品をセットするセット部４０は、ベース部１４にスペーサ２０を介してノズルプレート１８とトッププレート２４が重ね合わせて取り付けられている。
【０００８】
２０はベース部１４と同形の矩形の枠状に形成されたスペーサである。スペーサ２０はノズルプレート１８をベース部１４から所定距離に離間させて支持するためのものであり、ベース部１４の上端面に配設されたシール材３０の上に載置されている。
図１（ａ）にも示しているように、ノズルプレート１８にはその上に配置されるトッププレートに向けてめっき槽１２からのめっき液を噴射させるための噴射孔１８ａが貫設されている。噴射孔１８ａはトッププレート２４に配置される被めっき品の各々のめっき領域に対応して配置されている。また、ノズルプレート１８の上面の噴射孔１８ａが形成されている領域である中央部には凸部１８ｂが形成され、２つの給電板１６のネジ孔１６ａに対応した位置に位置決め孔１８ｄが設けられている。
【０００９】
本実施形態のめっき装置においては、ノズルプレート１８とスペーサ２０とトッププレート２４とをあらかじめ一体的に組み立てて使用する。
ノズルプレート１８とスペーサ２０とは、ノズルプレート１８にスペーサ２０をネジ止めする方法、あるいはノズルプレート１８にスペーサ２０を接着する方法によって固定することができる。図２はネジ１９によってノズルプレート１８にスペーサ２０を固定した状態を示す。ノズルプレート１８とスペーサ２０とは、めっき作業中に分離しないよう固定されており、ノズルプレート１８とスペーサ２０との間からめっき液が漏れないようにシールが施されている。
【００１０】
トッププレート２４には、下面側にノズルプレート１８の凸部１８ｂが挿入される凹部２３が形成され、上面側に被めっき品を載置する載置部２５が形成されている。
図１（ａ）に示すように、載置部２５はトッププレート２４の上面に、被めっき品の幅寸法よりも若干幅広な、平坦状の段差部に形成されている。２４ａは被めっき品のめっき領域に対応して開口させて設けた開口穴である。２４ｂは被めっき品を、トッププレート２４上に位置決めして配置するためのガイドピンである。２４ｃはノズルプレート１８とトッププレート２４とをネジ止めして固定するための挿通孔である。また、２４ｄはセット部４０をひとまとめにしてベース部１４の給電板１６に連結して固定させるための取り付け孔である。
【００１１】
ノズルプレート１８とトッププレート２４とは、ノズルプレート１８とスペーサ２０とを組み合わせて固定した状態で、トッププレート２４の下面側にノズルプレート１８の凸部１８ｂを挿入させた後、トッププレート２４の下面とノズルプレート１８の間にカラー２１を配置し、挿通孔２４ｃ、カラー２１にネジを挿通し、ノズルプレート１８のネジ孔１８ｃにネジ止めすることにより一体に組み立てられる。
【００１２】
本実施形態のめっき装置は、図１（ｂ）に示すように、トッププレート２４とノズルプレート１８とスペーサ２０とを一体的に組み立てた状態でめっき槽１２側に簡単に取り付けることができるように構成されている。
以下、セット部４０を組み立てした状態でめっき槽１２の給電板１６と電気的に接続して固定する構造について詳細に説明する。図３はノズルプレート１８を給電板１６から離間して支持するための円筒シャフト２２の断面図であり、図４は円筒シャフト２２と組み合わせて使用することにより、ノズルプレート１８とトッププレート２４とを連結するスリーブ２６の断面図である。
【００１３】
スリーブ２６は、上部が拡径部２６ａに形成され、中途部が拡径部２６ａよりも若干細径に形成された細径部２６ｂに形成され、下部が細径部２６ｂよりもさらに細径に形成された螺合部２６ｃに形成されている。螺合部２６ｃの外周面にはネジ部２６ｙが形成されている。２７は給電ロッド２８を挿通する取り付け孔である。
図３に示す円筒シャフト２２では、上部の内周面にスリーブ２６の螺合部２６ｃが螺合するネジ部２２ｙが形成されている。
【００１４】
図５に、上述した円筒シャフト２２とスリーブ２６とを用いてセット部４０を組み立てた状態を示す。
セット部４０をめっき槽１２にセットする際には、あらかじめセット部４０に円筒シャフト２２とスリーブ２６とを固定しておく。すなわち、スリーブ２６をトッププレート２４の取り付け孔２４ｄに挿入し、スリーブ２６の螺合部２６ｃをノズルプレート１８の位置決め孔１８ｄに挿通し、位置決め孔１８ｄから延出している螺合部２６ｃに円筒シャフト２２を螺合させる。円筒シャフト２２を回してネジ込むようにすることにより、円筒シャフト２２の上端面とスリーブ２６の段差部２６ｄとがノズルプレート１８の両面に当接し、互いに螺合することによって円筒シャフト２２とスリーブ２６がトッププレート２４およびノズルプレート１８によって支持される。
【００１５】
３２は、スリーブ２６の拡径部２６ａと取り付け孔２４ｄの内底面との間に配置したＯリング等のシール部材である。このシール部材３２は、めっき時にめっき液がトッププレート２４側に漏れないようにシールするためのものである。
【００１６】
図１（ｂ）が、円筒シャフト２２と、スリーブ２６と、ノズルプレート１８と、トッププレート２４とが一体に組み立てられた状態の斜視図を示す。ノズルプレート１８にはあらかじめスペーサ２０が固定されているから、ノズルプレート１８とトッププレート２４とを連結することによって、スペーサ２０、ノズルプレート１８、トッププレート２４が一体的に組み立てられる。
【００１７】
図６は、上記のようにして組み立てたセット部４０をめっき槽１２に設置した状態を示す。
同図で２８はスリーブ２６および円筒シャフト２２の取り付け孔２７、２２ｂに挿通した給電ロッドである。給電ロッド２８は給電板１６に設けられているネジ孔１６ａに螺合するネジが外周面に設けられたものであり、円筒シャフト２２の孔位置をネジ孔１６ａに位置合わせし、円筒シャフト２２とスリーブ２６を挿通してネジ孔１６ａに螺合させて締め付けることによってセット部４０を給電板１６に固定することができる。シール部材３２は給電ロッド２８の締め付けによってシールする。図２に示すように、セット部４０はその両端部で給電ロッド２８により給電板１６に固定して取り付けられる。
【００１８】
本実施形態のめっき装置は、被めっき品をセットするセット部４０の各構成部品をあらかじめ組み立てた状態で、めっき槽１２側の給電板１６に取り付けるように構成されているから、品種交換の際にはセット部４０ごと交換して取り付ければよく、従来のように、品種交換の際に、ノズルプレート１８やトッププレート２４を個別に組み立てていた方法とくらべて、はるかに容易に品種交換することが可能になる。
【００１９】
セット部４０はリードフレーム等の製品によって、トッププレート２４の開口穴２４ａの配置位置や配置数が異なるし、ノズルプレート１８の噴射孔１８ａの配置位置等が異なるから、あらかじめ、製品ごとに特定のセット部４０を組み立てて用意しておき、品種切り換えの際には、当該製品用のセット部４０に交換してセットする。これによって、多品種の製品をめっきする装置で、品種交換がしばしば生じる場合であっても、短時間で品種切り換え作業を行うことができ、段取り替えに要する作業時間を短縮して、効率的なめっき作業を行うことができるめっき装置１０とすることができる。
【００２０】
【発明の効果】
本願発明に係るめっき装置においては、予め、トッププレートと、ノズルプレートと、円筒シャフトとをセット部として一体的にすることができるので、めっき槽のベース部への取り付けが容易になり、めっき装置の段取り替えを非常に短時間で行うことができる。
また、トッププレートと、ノズルプレートと、円筒シャフトとを交換ユニットとして一体的にする作業と、ノズルプレートと給電板の電気的接続は、それぞれ一回のネジ止め程度の作業により行うことを可能にしたことにより、めっき装置の段取り替え作業をさらに容易に行うことができ、生産性の向上に大きな貢献をする等といった著効を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】めっき装置に用いるセット部の組み立て斜視図である。
【図２】セット部をめっき槽に取り付けた状態を示す正面図である。
【図３】円筒シャフトの断面図である。
【図４】スリーブの断面図である。
【図５】セット部を組み立てた状態での組み付け部の構成を示す断面図である。
【図６】セット部を給電板に取り付けた状態を示す断面図である。
【図７】従来のめっき装置に用いるセット部の組み立て説明図である。
【符号の説明】
１０  めっき装置
１２  めっき槽
１４  ベース部
１６  給電板
１８  ノズルプレート
２２  円筒シャフト
２４  トッププレート
２６  スリーブ
２７  取り付け孔
２８  給電ロッド
４０  セット部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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