(57)【要約】【課題】　スルーホール５１を有するワーク５０に対する吸引固定を確実にするとともに、スルーホール５１からのインキ８４の抜け落ちを防止する。【解決手段】　ワーク載置治具６０に貫通孔６１と凹部６３を設ける。貫通孔６１は、テーブル７０の吸引孔７１に対応して設けられている。従って、ワーク５０は、テーブル７０に確実に吸引固定される。ワーク載置治具６０は、感光性樹脂板１５０と支持板１５１からなる。感光性樹脂板１５０に対して、スルーホール５１に対応して凹部６３をフォト法を用いて設ける。スルーホール５１に充填されたインキ８４がワーク５０の裏面から盛り上がった場合でも、凹部６３により空間が提供されているため、インキ８４がワーク５０の裏面を汚すことがない。【選択図】　　　　図３
2004034719.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　ワークをテーブルに載置するワーク載置治具において、ワークを載置する樹脂板を備え、
　上記樹脂板は、光硬化性の感光性樹脂で形成されることを特徴とするワーク載置治具。
【請求項２】
　ワークをテーブルに載置するワーク載置治具において、ワークを載置する樹脂板を備え、
　上記ワーク載置治具は、上記樹脂板を支持する支持体を備えたことを特徴とするワーク載置治具。
【請求項３】
　上記支持体は、支持板であることを特徴とする請求項２記載のワーク載置治具。
【請求項４】
　上記支持体は、金属であることを特徴とする請求項２記載のワーク載置治具。
【請求項５】
　上記支持体は、ポリエステルであることを特徴とする請求項２記載のワーク載置治具。
【請求項６】
　ワークをテーブルに載置するワーク載置治具において、ワークを載置する樹脂板を備え、
　上記ワーク載置治具は、磁力によりテーブルに吸着されることを特徴とするワーク載置治具。
【請求項７】
　ワークをテーブルに載置するワーク載置治具において、ワークを載置する樹脂板を備え、
　上記樹脂板は、ワークを粘着する粘着材を備えたことを特徴とするワーク載置治具。
【請求項８】
　上記光硬化性の感光性樹脂は、末端エチレン基を少なくとも２個有する光重合性不飽和化合物と、光重合開始剤とを必須成分とする感光性樹脂組成物であることを特徴とする請求項１記載のワーク載置治具。
【請求項９】
　上記光硬化性の感光性樹脂は、分子中に２以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物と、このエポキシ化合物を光硬化し得る光カチオン重合開始剤とを必須成分とする感光性樹脂組成物であることを特徴とする請求項１記載のワーク載置治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　この発明は、ワークを載置するワーク載置治具及びその製造方法に関するものである。特に、スクリーン印刷機により印刷されるワークをテーブルに吸着固定するためのワーク載置治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
　図２１は、スクリーン印刷機を示す斜視図である。
【０００３】
　図２２は、スクリーン印刷機の概略側面図である。
【０００４】
　図２３は、スクリーン印刷機の概略平面図である。
【０００５】
　図２１において、１０１はスクリーン印刷機、１０２はスクリーン印刷機の基台、１０３は移動可能に取り付けられた移動テーブル、１０４は移動テーブルの移動をガイドするガイドレール、１０５はスクリーン印刷機の操作ボックス、１０７は操作ボックスに取り付けられた操作スイッチ、１０９は移動テーブル１０３の上に乗せられたワークに対してスクリーン印刷を行う印刷部である。
【０００６】
　図２２，図２３において、１１０は移動テーブル１０３の上に乗せられたワーク、２００はスクリーン製版、２０１はスクリーン製版２００のスクリーン枠、２１１はスクリーン製版２００に張られたスクリーン、１０６はスキージ１１１及び図示していないスクレッパーを保持するとともに、矢印Ａと矢印Ｄの方向にスライドするスライダ、１０８はスライダ１０６をスライドさせるフレームである。
【０００７】
　移動テーブル１０３は、基台１０２に取り付けられたガイドレール１０４に沿って左右にスライドできるように取り付けられている。移動テーブル１０３が印刷部１０９の下に移動すると、移動テーブル１０３が図示していないストッパにより制止され、印刷部１０９によりワーク１１０に対してスクリーン印刷が行われる。
【０００８】
　移動テーブル１０３には、吸引孔１９０が設けられており、矢印に示すように、空気を吸引することによりワーク１１０が移動テーブル１０３に吸着できるような構造となっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
　従来のスクリーン印刷機の移動テーブル１０３には、吸引孔１９０が備えられており、ワーク１１０を吸引するようにしているが、ワーク１１０が柔らかい素材でできている場合、或いは、薄いものである場合、図２４に示すように、ワーク１１０の表面に凹凸が生じてしまう場合がある。このように、ワーク１１０の表面が波打っている場合には、印刷が正確に行われないという問題点があった。
【００１０】
　更に、図２５に示すように、ワーク１１０にスルーホール１９１が存在している場合がある。スルーホール１９１は、図２６に示すように、ワーク１１０の表から裏に貫通している貫通孔である。スルーホール１９１の位置と移動テーブル１０３の吸引孔１９０の位置が一致して印刷が行われる場合は、インキ１９９が吸引孔１９０から吸引されてしまい、ワーク１１０の裏面を汚してしまうという問題点があった。
【００１１】
　また、インキ１９９によりスルーホール１９１を埋めるために印刷がなされる場合、スルーホール１９１が吸引孔１９０を経由して吸引されてしまい、スルーホール１９１がインキ１９９により充填されないという問題が起こってしまう。
【００１２】
　なお、図２７は、ワーク１１０のスルーホール１９１に対してインキ１９９を充填する場合に、吸引を積極的に利用する場合を示している。ワーク１１０は、塩化ビニール板１９７とポスト１９６によって支えられている。そして、矢印のように空気を吸引することにより、インキ１９９は、スルーホール１９１に充填されやすくなる。
【００１３】
　この発明が解決しようとしている問題点は、図２７に示すように、積極的に空気の吸引を用いてスルーホール１９１にインキ１９９を充填する場合のことを除いたものである。インキ１９９の粘性が高いような場合には、図２７に示すような吸引方法を用いてスルーホール１９１にインキ１９９を充填しやすくすることができる。しかし、インキ１９９の粘性が低いような場合は、吸引することによりインキ１９９がスルーホール１９１を通過してしまい、落下してしまうという問題点が発生する。
【００１４】
　この発明は、このように吸引することによりインキを充填する技術を用いることができない場合に適応するものである。即ち、図２６に示すように、スルーホール１９１と吸引孔１９０が同じ位置にある場合、或いは、非常に接近した位置にある場合に、インキ１９９が吸引孔１９０に吸引されて落下されてしまうことを防止したり、或いは、ワーク１１０の裏面を汚してしまったりすることを防止しようとするものである。
【００１５】
　この発明は、以上のような問題点を解決するためになされたものであり、ワークが薄い場合、或いは、ワークが折り曲げられやすい場合においても、ワークをテーブルの表面に平らに載置することができるワーク載置治具を得ることを目的とする。
【００１６】
　また、この発明は、ワークにスルーホールが存在する場合においても、ワークをテーブルに対して確実に吸着することができるとともに、印刷したインキがスルーホールを経由して落下したり、ワークの裏面を汚さないようなワーク載置治具及びその製造方法を得ることを目的とする。
【００１７】
　また、この発明は、前述した各種のワーク載置治具を用いることにより、ワークの平坦性の改善、或いは、スルーホールのあるワークへの印刷の改善がなされたスクリーン印刷機を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
　この発明に係るワーク載置治具は、ワークをテーブルに載置するワーク載置治具において、ワークを載置する樹脂板を備えたことを特徴とする。
【００１９】
　上記ワーク載置治具は、ワークのホールに対応する位置に凹部を有することを特徴とする。
【００２０】
　上記樹脂板は、光硬化性の感光性樹脂で形成されることを特徴とする。
【００２１】
　上記ワーク載置治具は、上記樹脂板を支持する支持体を備えたことを特徴とする。
【００２２】
　上記支持体は、支持板であることを特徴とする。
【００２３】
　上記支持体は、金属であることを特徴とする。
【００２４】
　上記支持体は、ポリエステルであることを特徴とする。
【００２５】
　上記ワーク載置治具は、磁力によりテーブルに吸着されることを特徴とする。
【００２６】
　上記樹脂板は、ワークを粘着する粘着材を備えたことを特徴とする。
【００２７】
　上記光硬化性の感光性樹脂は、末端エチレン基を少なくとも２個有する光重合性不飽和化合物と、光重合開始剤とを必須成分とする感光性樹脂組成物であることを特徴とする。
【００２８】
　上記光硬化性の感光性樹脂は、分子中に２以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物と、このエポキシ化合物を光硬化し得る光カチオン重合開始剤とを必須成分とする感光性樹脂組成物であることを特徴とする。
【００２９】
　この発明に係るワーク載置治具は、電子回路基板をワークとし、電子回路基板の小径孔に対応した所定の位置に小径孔よりも大きい径の凹部を設けた樹脂板を有し、電子回路基板の小径孔が凹部に対応するように電子回路基板を載置し、スクリーン印刷によりインキを小径孔に充填することを特徴とする。
【００３０】
　この発明に係るスクリーン印刷機は、ワーク載置治具を用いてスクリーン印刷を行うことを特徴とする。
【００３１】
　この発明に係るワーク載置治具の製造方法は、ワークをテーブルに載置するワーク載置治具の製造方法において、樹脂板に対してワークのホールに対応した位置に凹部を形成する工程を備えたことを特徴とする。
【００３２】
　上記凹部を形成する工程は、
　ワークのホール位置に対応してフォトフィルムを形成する工程と、
　光硬化性の感光性樹脂により樹脂板を形成する工程と、
　フォトフィルムを用いて樹脂板を露光する工程と、
　現像液で現像することにより未露光部分を除去する工程と
を備えたこと特徴とする。
【００３３】
　上記フォトフィルムを形成する工程は、ワークのホール径に対して１倍から１０倍の径を持つフォトマスクパターンを生成する工程を備えたことを特徴とする。
【００３４】
　上記感光性樹脂は、支持板に感光性樹脂を塗布する工程を有する異を特徴とする。
【００３５】
　上記ワーク載置治具の製造方法は、更に、未露光部分を除去する工程の後に、支持板を接着する工程を有することを特徴とする。
【００３６】
　上記ワーク載置治具の製造方法は、更に、樹脂板を形成する工程の前に、末端エチレン基を少なくとも２個有する光重合性不飽和化合物と、光重合開始剤とを必須成分とする感光性樹脂組成物を調整する工程を有することを特徴とする。
【００３７】
　上記ワーク載置治具の製造方法は、更に、分子中に２以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物と、このエポキシ化合物を光硬化し得る光カチオン重合開始剤とを必須成分とする感光性樹脂組成物を調整する工程を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００３８】
　以上のように、この発明によれば、ワーク載置治具６０に感光性樹脂板１５０を用いているので、凹部６３及び貫通孔６１を容易に形成することができるという効果がある。
【００３９】
　また、この発明によれば、フォト法により感光性樹脂板１５０のパターンを形成するので、複雑なパターンを簡単に形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
実施の形態１．
　図１は、ワーク５０とワーク載置治具６０とテーブル７０の斜視図である。
【００４１】
　図２は、ワーク載置治具６０の一部断面を示す斜視図である。
【００４２】
　図３，図４は、ワーク５０とワーク載置治具６０とテーブル７０の側断面図である。
【００４３】
　ワーク５０は、例えば、プラスチック基板や誘電体基板である。また、ワーク５０は、例えば、電子回路基板である。更に、具体例をあげれば、ワーク５０は、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ　Ｓｉｚｅ　Ｐａｃｋａｇｅ）−ＢＧＡ（Ｂａｌｌ　Ｇｒｉｄ　Ａｒｒａｙ）基板である。ワーク５０は、スルーホール５１（小径孔又はビアホールともいう）を有している。また、ワーク５０は、位置決め孔５２を有している。テーブル７０は、吸引孔７１を有している。また、テーブル７０は、位置決めピン７２を有している。ワーク載置治具６０は、貫通孔６１と位置決め孔６２とを有している平板である。また、ワーク載置治具６０は、凹部６３を有している。図２に示すように、貫通孔６１と位置決め孔６２とは、ワーク載置治具６０の表面から裏面に貫通している。凹部６３は、ワーク載置治具６０の表面から裏面には貫通していない窪みである。凹部６３が環状に形成されることにより、アイランド９９が形成される。
【００４４】
　ワーク載置治具６０は、ナイロン系感光材料等の光硬化性の感光性樹脂板１５０と、スチール板、ポリエステル板、銅板、鋼板、鉄板、アルミニウム板、プラスチック板、ゴム板等の支持板１５１とから形成されている。貫通孔６１は、ワーク載置治具６０に対するパンチ加工又はドリル加工により形成することができる。貫通孔６１は、その他の機械加工により形成しても構わない。或いは、レーザ加工により形成しても構わない。凹部６３は、感光性樹脂板１５０に対してフォト法によるパターン現像により形成することができる。外形線１８１は、ワーク５０の外形を示す凹枠線である。外形線１８１もフォト法によるパターン現像により形成することができる。感光性樹脂板１５０の厚さは、例えば、１ｍｍ以上あればよい。支持板１５１は、感光性樹脂板１５０の強度を補強するためのものである。従って、感光性樹脂板１５０を補強できる厚さであれば、その厚さは、任意なものでよい。支持板１５１にポリエステルを用いる場合は、支持板１５１を透明にすることができ、感光性樹脂板１５０も透明ならば、ワーク載置治具６０全体を透明にすることができる。支持板１５１に、磁性金属材料を用いた場合には、支持板１５１が磁石１７０により吸着され、磁力によりワーク載置治具６０がテーブル７０に固定されることになる。磁力が強力な場合には、位置決めピン７２を設けなくてもよい。即ち、光硬化性の感光性樹脂板１５０により凹部６３を設けたワーク載置治具６０の、凹部６３を形成した面の反対側に金属板（磁性体層）を設け、スクリーン印刷機のテーブル７０上に設けた磁石（磁力層）に置き、磁力によりワーク載置治具６０をテーブル７０に固定している。
【００４５】
　図２は、凹部６３が連続している場合を示している。凹部径Ｗがスルーホール径Ｄよりも大きいため、凹部６３が連続してしまう場合がある。
【００４６】
　このように、凹部６３が連続した結果、サークルを形成する場合でも、凹部６３が感光性樹脂板１５０を貫通する貫通孔でないため、アイランド９９を残すことができる。
【００４７】
　図３に示すように、貫通孔６１は、吸引孔７１に対応して設けられている。しかし、貫通孔６１は、全ての吸引孔７１に対応して設けられているわけではない。スルーホール５１と吸引孔７１が同じ位置にある場合、或いは、スルーホール５１と吸引孔７１が接近した位置にある場合には、貫通孔６１は、設けられない。即ち、ワーク載置治具６０により吸引孔７１が塞がれた状態になる。
【００４８】
　このように、スルーホール５１が存在する位置、或いは、スルーホール５１に接近した位置に吸引孔７１が存在する場合には、ワーク載置治具６０により吸引孔７１を塞いでしまうことにより、スキージ１１１により印刷されたインキ８４が吸引孔７１に吸引されて吸引孔７１から落下したり、或いは、ワーク５０の裏側に周り、ワーク５０の裏側を汚すことを防止することができる。
【００４９】
　凹部６３は、ワーク５０のスルーホール５１に対応して設けられている。凹部６３は、スルーホール５１に充填されたインキ８４（又はペースト）がワーク５０の裏面側への出っ張りを許容する空間を提供するものである。
【００５０】
　図４に示すように、凹部径Ｗは、スルーホール径Ｄよりも大きい。凹部径Ｗは、スルーホール径Ｄの約１．５倍から１０倍程度が望ましい。また、凹部深さＶは、スルーホール径Ｄと等しいかそれ以上あることが望ましい。インキ８４がワーク５０の裏面から出てしまう場合でも、インキ８４の表面張力により、その形状は、半円球を呈する。その半円球が凹部６３の内壁に触れないようにするためには、凹部６３の凹部径Ｗと凹部深さＶが大きければ大きいほどよいが、あまり大きくすることによりワーク載置治具６０の強度を弱めてしまうという欠点がある。特に、凹部径Ｗは、スルーホール径Ｄの５倍から１０倍にするのが望ましい。凹部深さＶは、例えば、０．５ｍｍ以上あるのが望ましい。
【００５１】
　図５に示すように、前述した凹部６３の代わりに、感光性樹脂板１５０を貫通する貫通凹部６４にしても構わない。スルーホール５１の数が少なく、或いは、スルーホール５１がまばらにある場合には、図２に示したような凹部６３が連続されることによるアイランド９９が形成されることがない。そのような場合には、図５に示すように、凹部６３を、貫通凹部６４としても構わない。また、図５に示すように、凹部６３が貫通凹部６４であって、かつ、図２に示すようなアイランド９９ができる場合でも、アイランド９９は、支持板１５１に接合されているので、ワーク載置治具６０に存在することができる。しかし、図５に示す貫通凹部６４の場合は、アイランド９９が支持板１５１から剥離する危険もあるので、図３，図４に示すように、凹部６３は、貫通凹部６４にしない方が望ましい。
【００５２】
　図６と図７は、ワーク載置治具６０の製造方法の一例を示す図である。
【００５３】
　図６は、フォトフィルムの製造方法の一例を示すフローチャートである。
【００５４】
　図７は、ワーク載置治具６０に凹部６３を形成する方法の一例を示すフローチャートである。
【００５５】
　フォトフィルムを形成する場合は、ステップ３０において、まず、ワーク５０のサイズとスルーホール５１と位置決め孔５２の位置と径をそれぞれ取得する。また、テーブル７０の吸引孔７１の位置と径を取得する。次に、ステップ３１において、スルーホール５１の径を５から１０倍にして、凹部６３用のフォトマスクパターンを生成する。次に、ステップ３２において、位置決め孔５２の径と同径の位置決め孔６２用のフォトマスクパターンを生成する。次に、ステップ３３において、吸引孔７１の径を１．５から２倍にして貫通孔６１用のフォトマスクパターンを生成する。
【００５６】
　上記ステップ３１、ステップ３２、ステップ３３における各フォトマスクパターンの中心位置は、スルーホール５１と位置決め孔５２と吸引孔７１の中心位置と同じである。ステップ３３において、貫通孔６１用のフォトマスクパターンを生成する場合は、ステップ３１で生成した凹部６３用のフォトマスクパターンとステップ３２で生成した位置決め孔６２用のフォトマスクパターンと重ならないようにする。貫通孔６１用のフォトマスクパターンが他のフォトマスクパターンと重なる場合、或いは、近くにある場合には、貫通孔６１用のフォトマスクパターンは生成しない。次に、ステップ３４において、ワーク５０のサイズからワーク５０の外形線のフォトマスクパターンを生成する。次に、ステップ３５において、生成したフォトマスクパターンを用いて、フォトマスクパターンが黒の露光用ポジフィルムを形成する。
【００５７】
　以上の工程により、フォトフィルムが完成する。
【００５８】
　上記ステップ３１において、径を５倍から１０倍にするのは、凹部６３を大きくし、充分な空間を開けるためである。また、上記ステップ３２において、位置決め孔５２と位置決め孔６２を同径とするのは、位置決めピン７２を確実に保持し、位置決め精度を高めるためである。また、上記ステップ３３において、径を１．５から２倍にするのは、吸引孔７１と貫通孔６１の位置合わせが多少ずれた場合でも、吸引孔７１からの吸引力をワークに確実に伝えるためである。また、上記ステップ３４において、外形線１８１を設けるのは、スクリーン印刷の際に、ワーク５０をワーク載置治具６０に載せる場合の目安とするためである。
【００５９】
　なお、位置決め孔６２又は貫通孔６１が支持板１５１とともに、パンチ加工等の機械加工により形成する場合は、位置決め孔６２又は貫通孔６１用のフォトマスクパターンはなくてもよい。また、外形線１８１用のフォトマスクパターンもなくてもよい。
【００６０】
　図７を用いて、ワーク載置治具６０の製造方法の一例について説明する。
【００６１】
　まず、ステップ４０において、支持板１５１に光硬化性の感光性樹脂組成物を塗布して感光性樹脂層を形成する。次に、ステップ４１において、感光性樹脂層の上にフォトフィルムを密着させ、フォトフィルムに紫外線をあて、感光性樹脂層を露光する。次に、ステップ４２において、現像液で感光性樹脂層を現像し、未露光部分を除去する。未露光部分が現像液により除去されることにより、凹部６３が形成される。次に、ステップ４３において、支持板１５１に貫通孔６１と位置決め孔６２をパンチ加工、或いは、ドリル加工等の機械加工により形成する。上記ステップ４２の現像終了時点で、貫通孔６１と位置決め孔６２には、凹部６３又は貫通凹部６４が形成されているだけである。従って、ステップ４３により支持板１５１と凹部６３の底に残存する感光性樹脂を機械加工により取り除き、貫通孔６１と位置決め孔６２を生成することができる。
【００６２】
　なお、支持板１５１に感光性樹脂組成物を積層してから露光現像するのではなく、感光性樹脂層を露光現像してから、支持板１５１を接着剤により接着するようにしてもよい。
【００６３】
　以上のように、電子回路基板の小径孔情報に基づき、ワーク載置治具６０の露光用ポジフィルムを容易に作成でき、この露光用ポジフィルムを用いて感光性樹脂の露光及び未露光部の除去（現像）を行えば、ワーク載置治具６０を短時間に精度よく作成できる。
【００６４】
　前述したように、ＣＳＰ−ＢＧＡ基板をスクリーン印刷して孔埋めする場合、基板の小径孔にインキ（レジスト材）を埋め込むが、小径孔からレジスト材がテーブルに転写されてしまい、充分な孔埋めができない。また、レジスト材で印刷台が汚れ、その都度清掃することになり、生産性に難がある。ワーク載置治具６０は、この問題を解決するために、フォト法を利用してインキの逃げ加工として凹部６３を施した印刷治具であり、材料に、例えば、ナイロン系の感光性樹脂などを採用するものである。その特長は、以下の通りである。
（１）感光性樹脂素材の使用により及びその選択により基板に傷がつかない。また、取扱者に傷害を与えない。また、重さも軽い。
（２）表面がフラットでゴミの付着、発生がなく、耐溶剤性がある。
（３）フォト法なので、任意の外形形状や任意のパターン形状が可能である。
（４）インキの逃げ加工として設けられた凹部６３の深さは、０．５ｍｍ以上と深く、インキ（レジスト材）が他に転写されない。
（５）治具厚精度がよく、印刷の耐久性に優れている。
（６）樹脂の硬度が選択可能である。
【００６５】
　ワーク載置治具６０の凹部６３の形成に光硬化性の感光性樹脂を用いて露光及び未露光部の除去（現像）により凹部６３を形成するが、感光性樹脂の強度補強のため、温度、湿度に対する寸法安定性のため及び取り扱いの向上のため、金属板又はプラスチックフィルム等の支持板１５１に感光性樹脂板１５０を形成するのが望ましい。
【００６６】
　感光性組成物には無溶剤液状の光硬化性の感光性樹脂と固形状の光硬化性の感光性樹脂があるが、その使用には、露光及び未露光部の除去（現像）という操作がどちらも必要である。
【００６７】
　ワーク載置治具６０の製造に用いる感光性樹脂組成物を構成する成分の各々について以下に説明する。
【００６８】
　光硬化性の感光性樹脂の一例は、末端エチレン基を少なくとも２個有する光重合性不飽和化合物と、光重合開始剤とを必須成分とする感光性樹脂組成物である。必須成分の１つである光重合性不飽和化合物としては、多官能性アクリル系を代表とする光重合し得るエチレン性不飽和化合物が使用できる。アリル基、ビニルエーテル基、ビニルアミノ基を持つ化合物も使用できる。好適なものとしては、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレートで代表されるポリエチレングリコールジアクリレート（ｎ＝２〜２００）類及びそれ等に対応するメタクリレート類、ポリアルキレングリコールジアクリレート（ｎ＝４〜１１）類、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、２，２−ジメチルプロパンジアクリレートに代表される各種のアクリレート類及びそれ等に対応するメタクリレート類が有効であり、また、それ等の２種以上の混合物として使用できる。
【００６９】
　第２必須成分である光重合開始剤としては、ベンゾフェノン類、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどのベンゾインアルキルエーテル類、エチルアントラキノン、ブチルアントラキノンなどのアルキルアントラキノン類、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ベンゾフェノン、４，４−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、４，４−ビスジエチルアミノベンゾフェノンなどをあげることができる。これらは単独で、或いは、２種以上の混合物として用いられる。
【００７０】
　通常、これら必須２成分を主体とする感光性樹脂組成物は無溶剤液状で提供されるが、必須２成分それに溶剤溶解性の高分子化合物、更に、これら全成分を溶解する溶剤を適当量混合して溶液としたものを基板上に塗布して乾燥すれば、固形状の感光性樹脂を提供することができる。高分子化合物の選択は、未露光部の除去に用いる現像液の種類により選ぶことができる。即ち、現像液に水を用いるときには、ポリビニルアルコール、ポリビニルアルコールを部分的にアセタール化したもの、ポリビニルメチルエーテル、ポリ−ε−カプラミド（ナイロン６）のα位の水素原子をジメチルアミノ基で置換した水溶性ナイロンなどの高分子化合物を選択する。アルカリ水を現像液に用いるときには、カルボキシル基などのアルカリ可溶性基を持つ高分子化合物、即ち、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、無水マレイン酸などの重合体、もしくは共重合体を選択することができる。更に、アルコールや塩素系の溶剤を現像液に用いるときには、アルコール可溶性共重合ポリアミドや変性不飽和ポリエステル、変性ポリウレタン、クロロプレンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴムなどを選択することができる。
【００７１】
　現像液の選択は作業性、作業環境を、それに高分子化合物の選択はできあがったワーク載置治具の硬度、表面タック性の善し悪しなどの特性を考慮して選ぶことができる。
【００７２】
　或いは、光硬化性の感光性樹脂の他の例は、分子中に２以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物と、このエポキシ化合物を光硬化し得る光カチオン重合開始剤とを必須成分とする感光性樹脂組成物である。分子中に２以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物としては、通常、エポキシ樹脂組成として用いられているものであればいかなるものでもよく、具体例としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂；ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂；フェノールノボラック型エポキシ樹脂；脂環式エポキシ樹脂；トリグリシジルイソシアネイトやヒダントインエポキシの如き含複素環エポキシ樹脂；水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂；プロピレングリコール−ジグリシジルエーテルやペンタエリスリトール−ポリグリシジルエーテルなどの脂肪族系エポキシ樹脂；芳香族、脂肪族もしくは脂環式のカルボン酸とエピクロルヒドリンとの反応によって得られるエポキシ樹脂；スピロ環含有エポキシ樹脂；アクリルフェノールノボラック化合物とエピクロルヒドリンとの反応生成物であるグリシジルエーテル型エポキシ樹脂；ビスフェノールＡのそれぞれの水酸基のオルト位にアリル基を有するジアリルビスフェノール化合物とエピクロルヒドリンとの反応生成物であるグリシジルエーテル型エポキシ樹脂；グリシジルアクリレート類の重合体などがあげられる。
【００７３】
　第２必須成分であるエポキシ化合物を光硬化し得る光カチオン重合開始剤として紫外線露光によりルイス酸などのエポキシ硬化触媒を生成する芳香族ジアゾニウム塩、芳香族ヨウドニウム塩、芳香族スルホニウム塩のいずれか一種類以上のカチオンとＢＦ4-，ＰＦ6-，ＡｓＦ6-，又はＳｂＦ6-のいずれか一種以上のアニオンとの塩が使用できる。
【００７４】
　例えば、ジフェニルアミン−４−ジアゾニウムテトラフルオロボレート（図８）、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート（図９）、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート（図１０）、ビス［４−（ジフェニルスルホニオ）フェニル］サルファイド・ビスヘキサフルオロホスフェート（図１１）、ビス［４−ジ（４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル）スルホニオフェニル］サルファイド・ビスヘキサフルオロアンチモネートなどである。
【００７５】
実施例
実施例１．
　プロピレングリコールのジグリシジルエーテルとアクリル酸との反応生成物（商品名デナコールアクリレートＤＡ−９１１長瀬化成工業社製）４０重量部、グリセリンのトリグリシジルエーテルとアクリル酸との反応生成物（商品名デナコールアクリレートＤＡ−３１１長瀬化成工業社製）２０重量部、ペンタエリスリトールトリアクリレート（商品名アロニックスＭ−３０５東亜合成化学工業株式会社製）４０重量部、重合開始剤としてイルガーキューア−６５１（チバガイギー社製）５重量部、着色剤としてオイルブルー０．２重量部を混合して無溶剤液体状の感光性樹脂組成物を調整した。
【００７６】
　次に、ガラス板上に露光用ポジフィルムを置き、更に、この上に厚さ５０μｍのポリエステルフィルムを重ね、無溶剤液体状の感光性樹脂組成物をナイフコーターで１ｍｍの厚さに流延した。ガラス板の下方８０ｃｍの距離から３ｋｗ超高圧水銀灯で６０秒間紫外線を照射し、未露光部などの未硬化部分をイソプロピルアルコールを用いて溶解除去したところ、ポリエステルフィルム上に硬化した感光性樹脂による画像が残った。次に、支持板１５１となる厚さ５００μｍのポリエステルフィルム上にエポキシ接着剤（商品名ＤＰ−１００クリア住友スリーエム社製）を均一に塗布し、感光性樹脂による画像の上に圧着して約３時間静置してから硬化した感光性樹脂を保持している厚さ５０μｍのポリエステルフィルムを剥がした。
【００７７】
　以上の工程により、厚さ５００μｍのポリエステルフィルム上に強固に接着した感光性樹脂による画像、即ち、深さ８００μｍの凹部６３を設けたワーク載置治具６０が形成できた。
【００７８】
実施例２．
　実施例１における厚さ５００μｍのポリエステルフィルムの代わりに、厚さ１ｍｍの鉄板上にエポキシ接着剤（商品名ＤＰ−１００クリア住友スリーエム社製）を均一に塗布して同様の操作をしたところ、鉄板上に強固に接着した感光性樹脂による画像、即ち、深さ８００μｍの凹部６３を設けたワーク載置治具６０が形成できた。この鉄板ベースを有するワーク載置治具６０は、スクリーン印刷機の印刷台上に設けられた磁力層に磁力で固定することができた。
【００７９】
実施例３．
　イソブチルメタクリレート２０部、メチルメタアクリレート４０部、β−ヒドロキシエチルアクリレート２５部、メタアクリル酸１５部のエチレン性不飽和化合物を用いて、酢酸ブチル溶液中にて、分子量５００００の高分子化合物を重合反応により得た。この高分子化合物溶液に、末端エチレン基を２個有する２官能性の光重合性不飽和化合物（商品名アロニックスＭ−６２５０東亜合成化学工業株式会社製造）４０部と、光重合開始剤として２−エチルアントラキノン５部、着色剤としてオイルブルー（オリエント化学社製）０．５部を加えて感光性樹脂組成物とした。
【００８０】
　この感光性樹脂組成物を支持板１５１となる厚さ１ｍｍの鉄板上にナイフコーターで１ｍｍの厚さに流延してから、６０℃で約２時間乾燥して鉄板上に厚さ６００μｍの固形状の感光性樹脂層を設けた。感光性樹脂層に露光用ポジフィルムを密着して８０ｃｍの距離から３ｋｗ超高圧水銀灯で３分間紫外線を照射し、未露光部の未硬化部分を０．８％炭酸ナトリウム水溶液をスプレイして溶解除去したところ厚さ１ｍｍの鉄板上に硬化した感光性樹脂による画像が残った。
【００８１】
　以上の工程により、厚さ１ｍｍの鉄板ベースと一体となった感光性樹脂による５５０μｍの凹部６３を設けたワーク載置治具６０が形成できた。
【００８２】
　未硬化部分の除去工程において、０．８％炭酸ナトリウム水溶液のスプレイ時間を半分にしたところ厚さ１ｍｍの鉄板ベースと一体となった感光性樹脂の層厚は５５０μｍで、凹部６３の深さが２５０μｍのワーク載置治具６０が形成できた。
【００８３】
実施例４．
　エポキシ化合物として脂環式エポキシ樹脂（ダイセル化学工業株式会社製セロキサイド２０２１Ｐ）を１５０重量部、多官能脂環式エポキシ樹脂（ダイセル化学工業株式会社製ＧＴ−４０３）を３００重量部、反応性エポキシ樹脂希釈剤のアルキルグリシジルエーテル（新日本理化社製リカレジンＬ−２００）を５０重量部、それに光カチオン重合開始剤としてトリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネートのプロピレンカーボネート５０％溶液３０重量部を混合して液状の感光性樹脂組成物を調整した。
【００８４】
　次に、ガラス板上に露光用ポジフィルムを置き、更に、この上にシリコンコーティングにより剥離性を有する厚さ３８μｍのポリエステルフィルム（商品名ダイヤホイルＭＲ＃３８三菱樹脂社製）を剥離性面を上にして重ね、前述の液状の感光性樹脂組成物をナイフコーターで１．５ｍｍの厚さに流延し、露光用ポジフィルムの両側に厚さ１．３ｍｍのスペンサーを置いて、支持板１５１となる厚さ５００μｍのポリエステルフィルムを、流延した液状の感光性樹脂組成物に端から密着させて行き、厚さ３８μｍのポリエステルフィルムと厚さ５００μｍのポリエステルフィルムとの間に約１．３ｍｍの液状の感光性樹脂組成物層を設けてから、ガラス板の下方８０ｃｍの距離から３ｋｗ超高圧水銀灯で１２０秒間紫外線を照射し、剥離性を有する３８μｍのポリエステルフィルムを剥がしてから、未露光部の未硬化部分をイソプロピルアルコールとキシレンの１：１溶剤を用いて溶解除去したところ厚さ５００μｍのポリエステルフィルム上に硬化した感光性樹脂による画像が残った。
【００８５】
　以上の工程により、厚さ５００μｍのポリエステルフィルム上に強固に接着したエポキシ化合物系感光性樹脂による画像、即ち、約深さ１．３ｍｍの凹部６３を設けたワーク載置治具６０が形成できた。
【００８６】
実施の形態２．
　図１２，図１３は、感光性樹脂板１５０に対して粘着材１６０を設けた場合を示している。感光性樹脂板１５０の上にワーク５０が載せられた場合、粘着材１６０が存在していることにより、ワーク５０が確実にワーク載置治具６０に固定される。粘着材１６０は、感光性樹脂板１５０に対して自己粘着性のある感光材料を用いて形成されたものである。粘着材１６０の配置場所は、感光性樹脂板１５０のパターンが形成されていない部分、或いは、貫通孔６１の周囲に設けられる。粘着材１６０の形状は、図１２に示すように、直線状、Ｌ字状、環状、或いは、図１３に示すように、Ｘ字状、或いは、四角でも構わない。
【００８７】
実施の形態３．
　図１４は、ワーク載置治具６０の他の取り付け例を示す斜視図である。
【００８８】
　図１５は、図１４の側断面図である。
【００８９】
　感光性樹脂板１５０の幅Ｌ１は、支持板１５１の幅Ｌ２よりも小さい。このように、支持板１５１の端部をはみ出させることにより、支持板１５１をテーブル７０に、粘着テープ１７１を用いて接着することができる。支持板１５１の端部がはみ出していない場合には、粘着テープ１７１を用いようとすると、感光性樹脂板１５０の上に粘着テープ１７１が貼られることになり、感光性樹脂板１５０の表面に凹凸ができてしまう。これを避けるために、支持板１５１の周囲が感光性樹脂板１５０よりはみ出すようにしている。
【００９０】
　また、はめ込み段差１８２は、感光性樹脂板１５０をはめ込むための段差である。外形線１８１の内側をワーク５０の厚さよりも小さい高さで段差をつけることにより、ワーク５０がはめ込み段差１８２にはめ込まれる。このようにして、ワーク５０の前後左右の位置ずれを防ぐことができる。
【００９１】
実施の形態４．
　図１６，図１７，図１８は、支持板１５１を用いないで代わりの支持体を用いる場合を示している。
【００９２】
　図１６に示す支持枠１５２は、感光性樹脂板１５０の周囲を覆うものである。図１７に示す支持環１５３は、感光性樹脂板１５０の内部に密封されたリングである。図１８に示す支持棒１５４は、感光性樹脂板１５０の内部に密封された直線上の棒である。
【００９３】
　図１６，図１７，図１８に示した支持枠１５２、支持環１５３、支持棒１５４でも、支持板１５１と同様の効果を奏する。また、図示していないその他の支持体を有している場合でも構わない。
【００９４】
実施の形態５．
　図１９は、ワーク載置治具６０が感光性樹脂板１５０のみから形成されている場合を示す図である。
【００９５】
　このように、支持板１５１等の支持体がない場合であっても構わない。支持板１５１等の支持体がない場合には、図２０に示すように、ワーク載置治具６０に対して開口部１８０を自由に設けることができる。金属板からなる支持板１５１が存在する場合に、金属に対して機械加工をしなければ開口部１８０を設けることができないが、感光性樹脂板１５０のみからなるワーク載置治具６０の場合には、鋏やカッターやナイフを用いることにより開口部１８０を容易に作ることができる。
【００９６】
　このように、開口部１８０を任意の位置に、かつ、容易に設けることができるため、テーブル７０からワーク５０に対して直接作業を行う場合、或いは、ワーク５０を搬出入するためにワーク５０の下側に爪を入れてワーク５０を挟む場合等に開口部１８０を用いることができる。
【００９７】
　なお、支持板１５１がポリエステルやゴム等の容易に切断可能な材料でできている場合は、同様に、鋏やナイフやカッター等で加工することができ、開口部１８０を容易に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】この発明のワーク５０とワーク載置治具６０とテーブル７０を示す斜視図である。
【図２】この発明のワーク載置治具６０の一部断面斜視図である。
【図３】この発明のワーク５０とワーク載置治具６０とテーブル７０の断面図である。
【図４】この発明の凹部６３のサイズを説明する図である。
【図５】この発明のワーク載置治具６０の他の例を示す図である。
【図６】フォトフィルムの製造方法の一例を示すフローチャート図である。
【図７】ワーク載置治具６０の製造方法の一例を示すフローチャート図である。
【図８】光カチオン重合開始剤の具体例を示す図である。
【図９】光カチオン重合開始剤の具体例を示す図である。
【図１０】光カチオン重合開始剤の具体例を示す図である。
【図１１】光カチオン重合開始剤の具体例を示す図である。
【図１２】この発明の粘着材１６０を示す図である。
【図１３】この発明の粘着材１６０を示す図である。
【図１４】この発明のワーク載置治具６０の他の例を示す図である。
【図１５】図１４の側断面図である。
【図１６】この発明の支持体の他の例を示す図である。
【図１７】この発明の支持体の他の例を示す図である。
【図１８】この発明の支持体の他の例を示す図である。
【図１９】この発明のワーク載置治具６０の他の例を示す図である。
【図２０】この発明のワーク載置治具６０の開口部１８０を示す図である。
【図２１】従来のスクリーン印刷機の斜視図である。
【図２２】従来のスクリーン印刷機の側面図である。
【図２３】従来のスクリーン印刷機の平面図である。
【図２４】従来のスクリーン印刷機の問題点を示す図である。
【図２５】従来のスルーホールを持つワークを示す図である。
【図２６】従来のスルーホールを持つワークへの印刷時の問題点を示す図である。
【図２７】従来の吸引力を利用した穴埋めを説明する図である。
【符号の説明】
【００９９】
　５０　ワーク、５１　スルーホール、５２，６２　位置決め孔、６０　ワーク載置治具、６１　貫通孔、７２　位置決めピン、６３　凹部、７０　テーブル、７１　吸引孔、８４　インキ、９９　アイランド、１１１　スキージ、１５０　感光性樹脂板、１５１　支持板、１５２　支持枠、１５３　支持環、１５４　支持棒、１６０　粘着材、１７０　磁石、１７１　粘着テープ、１８０　開口部、１８１　外形線、１８２　はめ込み段差、Ｄ　スルーホール径、Ｖ　凹部深さ、Ｗ　凹部径。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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