(57)【要約】【課題】対象部の抵抗成分を精度よく計測できる技術を提供すること。【解決手段】計測対象物に設けられている一方の導体部と他方の導体部の間を接続している対象部の抵抗成分を計測する装置である。この抵抗成分計測装置は、接触手段と測定手段と算出手段を有する。接触手段は、一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させるとともに、他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させる。測定手段は、少なくとも合計４個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに通電して当該プローブ対間の抵抗成分をそれぞれに測定する。算出手段は、前記した測定手段で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部の抵抗成分を算出する。【選択図】  図３
2004233167.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測対象物に設けられている一方の導体部と他方の導体部の間を接続している対象部の抵抗成分を計測する装置であり、
一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させるとともに、他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させる手段と、
少なくとも合計４個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに通電して当該プローブ対間の抵抗成分をそれぞれに測定する手段と、
前記測定手段で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部の抵抗成分を算出する手段と
を有する抵抗成分計測装置。
【請求項２】
計測対象物に設けられている一方の導体部と他方の導体部の間を接続している対象部のリアクタンス成分を計測する装置であり、
一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させるとともに、他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させる手段と、
少なくとも合計４個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに交流を通電して当該プローブ対間のリアクタンス成分をそれぞれに測定する手段と、
前記測定手段で得られる複数個のリアクタンス成分の測定値から、対象部のリアクタンス成分を算出する手段と
を有するリアクタンス成分計測装置。
【請求項３】
計測対象物に設けられている一方の導体部と他方の導体部の間を接続している対象部のインピーダンスを計測する装置であり、
一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させるとともに、他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させる手段と、
少なくとも合計４個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに交流を通電して当該プローブ対間の抵抗成分とリアクタンス成分をそれぞれに測定する手段と、
前記測定手段で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部の抵抗成分を算出する手段と、
前記測定手段で得られる複数個のリアクタンス成分の測定値から、対象部のリアクタンス成分を算出する手段と
を有するインピーダンス計測装置。
【請求項４】
ｎ個（ｎは３以上の整数）の対象部とｎ＋１個の導体部とが交互に配置されているとともに、最外に配置されている一方の導体部から最外に配置されている他方の導体部まで直列的に通電可能である場合に、対象部毎の抵抗成分を計測する装置であり、
最外に配置されている一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、最外に配置されている他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、その他の導体部に１個ずつプローブを接触させる手段と、
少なくとも合計ｎ＋３個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに通電して当該プローブ対間の抵抗成分をそれぞれに測定する手段と、
前記測定手段で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部毎の抵抗成分を算出する手段と
を有する抵抗成分計測装置。
【請求項５】
ｎ個（ｎは３以上の整数）の対象部とｎ＋１個の導体部とが交互に配置されているとともに、最外に配置されている一方の導体部から最外に配置されている他方の導体部まで直列的に通電可能である場合に、対象部毎のリアクタンス成分を計測する装置であり、
最外に配置されている一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、最外に配置されている他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、その他の導体部に１個ずつプローブを接触させる手段と、
少なくとも合計ｎ＋３個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに交流を通電して当該プローブ対間のリアクタンス成分をそれぞれに測定する手段と、
前記測定手段で得られる複数個のリアクタンス成分の測定値から、対象部毎のリアクタンス成分を算出する手段と
を有するリアクタンス成分計測装置。
【請求項６】
ｎ個（ｎは３以上の整数）の対象部とｎ＋１個の導体部とが交互に配置されているとともに、最外に配置されている一方の導体部から最外に配置されている他方の導体部まで直列的に通電可能である場合に、対象部毎のインピーダンスを計測する装置であり、
最外に配置されている一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、最外に配置されている他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、その他の導体部に１個ずつプローブを接触させる手段と、
少なくとも合計ｎ＋３個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに交流を通電して当該プローブ対間の抵抗成分とリアクタンス成分をそれぞれに測定する手段と、
前記測定手段で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部毎の抵抗成分を算出する手段と、
前記測定手段で得られる複数個のリアクタンス成分の測定値から、対象部毎のリアクタンス成分を算出する手段と
を有するインピーダンス計測装置。
【請求項７】
計測対象物に設けられている一方の導体部と他方の導体部の間を接続している対象部の抵抗成分を計測する方法であり、
一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させるとともに、他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させる工程と、
少なくとも合計４個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに通電して当該プローブ対間の抵抗成分をそれぞれに測定する工程と、
前記測定工程で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部の抵抗成分を算出する工程と
を有する抵抗成分計測方法。
【請求項８】
計測対象物に設けられている一方の導体部と他方の導体部の間を接続している対象部のリアクタンス成分を計測する方法であり、
一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させるとともに、他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させる工程と、
少なくとも合計４個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに交流を通電して当該プローブ対間のリアクタンス成分をそれぞれに測定する工程と、
前記測定工程で得られる複数個のリアクタンス成分の測定値から、対象部のリアクタンス成分を算出する工程と
を有するリアクタンス成分計測方法。
【請求項９】
ｎ個（ｎは３以上の整数）の対象部とｎ＋１個の導体部とが交互に配置されているとともに、最外に配置されている一方の導体部から最外に配置されている他方の導体部まで直列的に通電可能である場合に、対象部毎の抵抗成分を計測する方法であり、
最外に配置されている一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、最外に配置されている他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、その他の導体部に１個ずつプローブを接触させる工程と、
少なくとも合計ｎ＋３個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに通電して当該プローブ対間の抵抗成分をそれぞれに測定する工程と、
前記測定工程で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部毎の抵抗成分を算出する工程と
を有する抵抗成分計測方法。
【請求項１０】
ｎ個（ｎは３以上の整数）の対象部とｎ＋１個の導体部とが交互に配置されているとともに、最外に配置されている一方の導体部から最外に配置されている他方の導体部まで直列的に通電可能である場合に、対象部毎のリアクタンス成分を計測する方法であり、
最外に配置されている一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、最外に配置されている他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、その他の導体部に１個ずつプローブを接触させる工程と、
少なくとも合計ｎ＋３個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに交流を通電して当該プローブ対間のリアクタンス成分をそれぞれに測定する工程と、
前記測定工程で得られる複数個のリアクタンス成分の測定値から、対象部毎のリアクタンス成分を算出する工程と
を有するリアクタンス成分計測方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブを用いて、対象とされる部分（対象部）の抵抗成分やリアクタンス成分を計測する技術に関する。本技術は、対象部のインピーダンスを計測する技術ともいえる。
【０００２】
【従来の技術】例えば、電子部品が実装された基板は、電子部品の実装後にインサーキットテストが実施される。通常、インサーキットテストは、プローブを用いて電子部品（対象部）のインピーダンスを測定することによって行なう。プローブを用いたインサーキットテストでは、まず、電子部品のリードが接続されている２箇所の導体パターンに１個ずつプローブを接触させる。次に、導体パターンに接触している２個のプローブ間に電圧を印加する。そして、印加した電圧と、そのときにプローブ間に流れる交流電流とからインピーダンスの抵抗成分（Ｒ）とリアクタンス成分（Ｘ）をそれぞれ測定（計算）する。これにより、インピーダンス（Ｒ＋ｊＸ）が求まり、そのインピーダンスに基づいて電子部品が正常に機能しているか否かを判断する。下記特許文献１には、２個のプローブをプロービング面に接触させてプローブ間の抵抗値を測定する技術が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−７４９７６号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来技術を用いると、測定された抵抗成分に、対象部（上記の場合は電子部品）の抵抗成分以外の抵抗が含まれることがある。例えば、プローブ自体がもつ抵抗や、プローブとそのプローブが接触した導体部（上記の場合は導体パターン）との接触抵抗等が含まれてしまう。特に、プローブと導体部との接触不良が起こると、接触抵抗が非常に大きくなることもある。このため従来の技術では、対象部の実際の抵抗成分からかけ離れた値が測定されることがある。また、従来の技術を用いて測定されたリアクタンス成分には、対象部のリアクタンス成分以外のリアクタンスが含まれることがある。例えば、２つのプローブと接続される測定機器側のリアクタンス（例えばハーネスのリアクタンス）が含まれてしまう。
上記のように、従来の技術では、対象部の抵抗成分やリアクタンス成分を精度良く求めることができないといった問題があった。
【０００５】
本発明は、上記した実情に鑑みてなされたものであり、対象部の抵抗成分やリアクタンス成分を精度良く計測できる技術を提供する。これにより、抵抗成分とリアクタンス成分で表現されるインピーダンスを精度良く求めることもできる。
【０００６】
【課題を解決するための手段と作用と効果】上記課題を解決するために創作された請求項１に記載の技術は、計測対象物に設けられている一方の導体部と他方の導体部の間を接続している対象部の抵抗成分を計測する装置である。この抵抗成分計測装置は、接触手段と測定手段と算出手段を有する。接触手段は、一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させるとともに、他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させる。測定手段は、少なくとも合計４個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに通電して当該プローブ対間の抵抗成分をそれぞれに測定する。算出手段は、前記した測定手段で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部の抵抗成分を算出する。
【０００７】
上記した接触手段は、例えば、第１のプローブと第２のプローブを一方の導体部（第１導体部）に接触させ、第３のプローブと第４のプローブを他方の導体部（第２導体部）に接触させる。この場合、測定手段は、４個のプローブから選択され得る全てのプローブ対のプローブ間の抵抗成分を測定してもよい。この場合、以下の６つ（４Ｃ２）の抵抗成分が測定されることになる。
（１）第１のプローブと第２のプローブとの間の抵抗成分（ＲＡ）；第１のプローブと第１導体部との接触抵抗や第１のプローブ自体がもつ抵抗等（その他にも第１のプローブと接続されている配線の抵抗などがある）を合成した値（Ｒ１）と、第２のプローブと第１導体部との接触抵抗や第２のプローブ自体がもつ抵抗等を合成した値（Ｒ２）とが含まれる。従って、ＲＡは、Ｒ１とＲ２とδを加算した値になる。ここで、δは、第１のプローブの接触点と第２のプローブの接触点との間の第１導体部の抵抗等である。但し、このδは、非常に小さいために無視できる。従って、「ＲＡ＝Ｒ１＋Ｒ２」と近似できる。以下でも、δの存在は無視することにする。なお、以下では、プローブと導体部との接触抵抗やプローブ自体がもつ抵抗等を合成した値を、「プローブの抵抗成分」と簡単に記載することにする。
（２）第３のプローブと第４のプローブとの間の抵抗成分（ＲＢ）；第３のプローブの抵抗成分（Ｒ３）と、第４のプローブの抵抗成分（Ｒ４）とが含まれる。従って、「ＲＢ＝Ｒ３＋Ｒ４」と近似できる。
（３）第１のプローブと第３のプローブとの間の抵抗成分（ＲＣ）；第１のプローブの抵抗成分（Ｒ１）と、第３のプローブの抵抗成分（Ｒ３）と、対象部の抵抗成分（Ｒ）とが含まれる。従って、「ＲＣ＝Ｒ１＋Ｒ３＋Ｒ」と近似できる。
（４）第１のプローブと第４のプローブとの間の抵抗成分（ＲＤ）；第１のプローブの抵抗成分（Ｒ１）と、第４のプローブの抵抗成分（Ｒ４）と、対象部の抵抗成分（Ｒ）とが含まれる。従って、「ＲＤ＝Ｒ１＋Ｒ４＋Ｒ」と近似できる。
（５）第２のプローブと第３のプローブとの間の抵抗成分（ＲＥ）；第２のプローブの抵抗成分（Ｒ２）と、第３のプローブの抵抗成分（Ｒ３）と、対象部の抵抗成分（Ｒ）とが含まれる。従って、「ＲＥ＝Ｒ２＋Ｒ３＋Ｒ」と近似できる。
（６）第２のプローブと第４のプローブとの間の抵抗成分（ＲＦ）；第２のプローブの抵抗成分（Ｒ２）と、第４のプローブの抵抗成分（Ｒ４）と、対象部の抵抗成分（Ｒ）とが含まれる。従って、「ＲＦ＝Ｒ２＋Ｒ４＋Ｒ」と近似できる。
【０００８】
算出手段は、以下の各算出方法を採用して対象部の抵抗成分Ｒを算出してもよい。
（その１）測定されたＲＡ〜ＲＦを上記の（１）〜（６）で示した６つの方程式に代入し、その６つの方程式からなる連立方程式を解く。この連立方程式は、未知数の数（５個；Ｒ，Ｒ１〜Ｒ４）よりも方程式の数（６個）の方が多いために、Ｒとして複数の解が求められる可能性がある。複数のＲが求められる場合は、複数のＲの平均値を算出して一つのＲを求めるようにしてもよい。上記の連立方程式は、一つの解だけ導出できる場合には代数的に解くことができ、複数の解が導出できる場合には数値代入法によって解くことができる。
（その２）測定されたＲＡ〜ＲＦを方程式「Ｒ＝（ＲＣ＋ＲＤ＋ＲＥ＋ＲＦ−２ＲＡ−２ＲＢ）／４」に代入することによってＲを算出する。この算出方法を用いると、計算が非常に簡単になる。
【０００９】
なお、上記例の場合、測定手段が６個のプローブ対間の抵抗成分を測定しているが、必ずしもそうする必要はない。例えば、上記の（１）〜（６）で示した６つの方程式のうち（１）と（２）で示した方程式を必ず含んだ５つの方程式からなる連立方程式を代数的に解くことによっても、Ｒを求めることができる。従って、このようにしてＲを算出する場合には、全てのプローブ対毎の抵抗成分を測定する必要はなく、５個のプローブ対毎の抵抗成分だけを測定すればよい。
また、上記した（１）、（２）、（３）、（６）で示した４つの方程式からなる連立方程式を解くことによってもＲを求めることができる。この場合、測定されたＲＡ，ＲＢ，ＲＣ，ＲＦを「Ｒ＝（ＲＣ＋ＲＦ−ＲＡ−ＲＢ）／２」に代入してＲを算出してもよい。この場合には、４個のプローブ対間の抵抗成分だけを測定すればよい。
全てのプローブ対毎の抵抗成分を測定しない場合は、測定手段による測定時間や算出手段による算出時間を短縮できる。
上記したことから明らかなように、請求項に記載した「少なくとも合計４個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに通電して当該プローブ対間の抵抗成分を測定する」とは、「導体部に接触している全てのプローブ対間の抵抗成分を測定する」ということを必ずしも意味するのではなく、「算出手段が対象部の抵抗成分を算出できる範囲において全てのプローブ対間の抵抗成分を測定する」ということを意味するものである。
本装置によると、対象部の抵抗成分を精度良く計測することができる。なお、この装置は、定電流を通電するものであっても、交流電流を通電するものであってもよい。
【００１０】
上記課題を解決するために創作された請求項２に記載の技術は、計測対象物に設けられている一方の導体部と他方の導体部の間を接続している対象部のリアクタンス成分を計測する装置である。このリアクタンス成分計測装置は、接触手段と測定手段と算出手段とを有する。接触手段は、一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させるとともに、他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させる。測定手段は、少なくとも合計４個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに交流を通電して当該プローブ対間のリアクタンス成分をそれぞれに測定する。算出手段は、測定手段で得られる複数個のリアクタンス成分の測定値から、対象部のリアクタンス成分を算出する。
【００１１】
上記した接触手段は、例えば、第１のプローブと第２のプローブを一方の導体部（第１導体部）に接触させ、第３のプローブと第４のプローブを他方の導体部（第２導体部）に接触させる。この場合、測定手段は、４個のプローブから選択され得る全てのプローブ対のプローブ間のリアクタンス成分を測定してもよい。この場合、以下の６つ（４Ｃ２）のリアクタンス成分が測定されることになる。
（１’）第１のプローブと第２のプローブとの間のリアクタンス成分（ＸＡ）；測定機器のハーネスがもつリアクタンスのうち第１のプローブに関係する部分のリアクタンスや第１のプローブ自体がもつリアクタンス等を合成した値（Ｘ１）と、測定機器のハーネスがもつリアクタンスのうち第２のプローブに関係する部分のリアクタンスや第２のプローブ自体がもつリアクタンス等を合成した値（Ｘ２）とが含まれる。従って、「ＸＡ＝Ｘ１＋Ｘ２」と近似できる。なお、以下では、測定機器のハーネスがもつリアクタンスのうち当該プローブに関係する部分のリアクタンスや当該プローブ自体がもつリアクタンス等を合成した値を、「プローブのリアクタンス成分」と簡単に記載することにする。
（２’）第３のプローブと第４のプローブとの間のリアクタンス成分（ＸＢ）；第３のプローブのリアクタンス成分（Ｘ３）と、第４のプローブのリアクタンス成分（Ｘ４）とが含まれる。従って、「ＸＢ＝Ｘ３＋Ｘ４」と近似できる。
（３’）第１のプローブと第３のプローブとの間のリアクタンス成分（ＸＣ）；第１のプローブのリアクタンス成分（Ｘ１）と、第３のプローブのリアクタンス成分（Ｘ３）と、対象部のリアクタンス成分（Ｘ）とが含まれる。従って、「ＸＣ＝Ｘ１＋Ｘ３＋Ｘ」と近似できる。
（４’）第１のプローブと第４のプローブとの間のリアクタンス成分（ＸＤ）；第１のプローブのリアクタンス成分（Ｘ１）と、第４のプローブのリアクタンス成分（Ｘ４）と、対象部のリアクタンス成分（Ｘ）とが含まれる。従って、「ＸＤ＝Ｘ１＋Ｘ４＋Ｘ」と近似できる。
（５’）第２のプローブと第３のプローブとの間のリアクタンス成分（ＸＥ）；第２のプローブのリアクタンス成分（Ｘ２）と、第３のプローブのリアクタンス成分（Ｘ３）と、対象部のリアクタンス成分（Ｘ）とが含まれる。従って、「ＸＥ＝Ｘ２＋Ｘ３＋Ｘ」と近似できる。
（６’）第２のプローブと第４のプローブとの間のリアクタンス成分（ＸＦ）；第２のプローブのリアクタンス成分（Ｘ２）と、第４のプローブのリアクタンス成分（Ｘ４）と、対象部のリアクタンス成分（Ｘ）とが含まれる。従って、「ＸＦ＝Ｘ２＋Ｘ３＋Ｘ」と近似できる。
【００１２】
算出手段は、上記した抵抗成分を計測する場合と同様にして、対象部のリアクタンス成分（Ｘ）を算出することができる。例えば、測定されたＸＡ〜ＸＦを（１’）〜（６’）で示した６つの方程式に代入し、その６つの方程式からなる連立方程式を解くようにしてもよい。これにより、対象部のリアクタンス成分Ｘを求めることができる。また、測定されたＸＡ〜ＸＦを方程式「Ｘ＝（ＸＣ＋ＸＤ＋ＸＥ＋ＸＦ−２ＸＡ−２ＸＢ）／４」に代入してＸを算出することもできる。
本装置によると、対象部のリアクタンス抵抗成分を精度良く計測することができる。
なお、測定手段が全てのプローブ対間のリアクタンス成分を測定する必要がない点は、上記した抵抗成分の場合と同様である。
【００１３】
請求項３に記載の技術は、計測対象物に設けられている一方の導体部と他方の導体部の間を接続している対象部のインピーダンスを計測する装置である。このインピーダンス計測装置は、接触手段と測定手段と抵抗成分算出手段とリアクタンス成分算出手段を有する。接触手段は、一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させるとともに、他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させる。測定手段は、少なくとも合計４個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに交流を通電して当該プローブ対間の抵抗成分とリアクタンス成分をそれぞれに測定する。抵抗成分算出手段は、測定手段で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部の抵抗成分を算出する。リアクタンス成分算出手段は、測定手段で得られる複数個のリアクタンス成分の測定値から、対象部のリアクタンス成分を算出する。
各算出手段は、上記した請求項１や請求項２に記載の装置と同様に、対象部の抵抗成分Ｒとリアクタンス成分Ｘを算出する。これにより、Ｒ＋Ｘｊで表現されるインピーダンスが計測されることになる。
本装置によると、対象部のインピーダンスを精度良く計測することができる。当然に、インピーダンスの絶対値（ルート（Ｒ２＋Ｘ２））も精度良く計測することができる。
【００１４】
請求項４に記載の技術は、ｎ個（ｎは３以上の整数）の対象部とｎ＋１個の導体部とが交互に配置されているとともに、最外に配置されている一方の導体部から最外に配置されている他方の導体部まで直列的に通電可能である場合に、対象部毎の抵抗成分を計測する装置である。この装置も接触手段と測定手段と算出手段とを有する。接触手段は、最外に配置されている一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、最外に配置されている他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、その他の導体部に１個ずつプローブを接触させる。測定手段は、少なくとも合計ｎ＋３個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに通電して当該プローブ対間の抵抗成分をそれぞれに測定する。算出手段は、測定手段で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部毎の抵抗成分を算出する。
【００１５】
ｎ個の対象部とｎ＋１個の導体部とが交互に配置されており、最外に配置されている一方の導体部から最外に配置されている他方の導体部まで直列的に通電可能である場合は、各導体部に２個以上ずつプローブを接触させる必要がない。接触手段は、最外に配置されている２個の導体部にそれぞれ２個以上のプローブを接触させるが、その他の導体部には１個ずつプローブを接触させる。例えば、最外に配置されている２個の導体部に２個ずつプローブを接触させる場合は、必要なプローブの数はｎ＋３個となる。この場合、測定手段は、ｎ＋３個のプローブから選択され得る全てのプローブ対間の抵抗成分を測定してもよい（即ち、抵抗成分が、（ｎ＋３）（ｎ＋２）／２（ｎ＋３Ｃ２）（個）測定されることになる）。この場合、算出手段は、各プローブの抵抗成分を未知数とした連立方程式に測定された抵抗成分を代入し、その連立方程式を解くことによって全ての対象部の抵抗成分を算出することができる。この連立方程式における未知数は、各プローブの抵抗成分の数（ｎ＋３）と、各対象部の抵抗成分の数（ｎ）との和（２ｎ＋３）である。連立方程式を構成する方程式の数は、全てのプローブ対の数（測定された抵抗成分の数；（ｎ＋３）（ｎ＋２）／２）となる。この場合、方程式の数の方が未知数の数よりも多い。対象部の抵抗成分として複数の解が導出される場合には、数値代入法によって連立方程式を解くとよい。
本装置によると、全ての対象部の抵抗成分を精度良く計測することができる。
【００１６】
請求項５に記載の技術は、ｎ個（ｎは３以上の整数）の対象部とｎ＋１個の導体部とが交互に配置されているとともに、最外に配置されている一方の導体部から最外に配置されている他方の導体部まで直列的に通電可能である場合に、対象部毎のリアクタンス成分を計測する装置である。この装置は、最外に配置されている一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、最外に配置されている他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、その他の導体部に１個ずつプローブを接触させる手段と、少なくとも合計ｎ＋３個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに交流を通電して当該プローブ対間のリアクタンス成分をそれぞれに測定する手段と、測定手段で得られる複数個のリアクタンス成分の測定値から、対象部毎のリアクタンス成分を算出する手段とを有している。
この装置によると、全ての対象部のリアクタンス成分を精度良く計測することができる。
【００１７】
請求項６に記載の技術は、ｎ個（ｎは３以上の整数）の対象部とｎ＋１個の導体部とが交互に配置されているとともに、最外に配置されている一方の導体部から最外に配置されている他方の導体部まで直列的に通電可能である場合に、対象部毎のインピーダンスを計測する装置である。この装置は、最外に配置されている一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、最外に配置されている他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、その他の導体部に１個ずつプローブを接触させる手段と、少なくとも合計ｎ＋３個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに交流を通電して当該プローブ対間の抵抗成分とリアクタンス成分をそれぞれに測定する手段と、測定手段で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部毎の抵抗成分を算出する手段と、測定手段で得られる複数個のリアクタンス成分の測定値から、対象部毎のリアクタンス成分を算出する手段とを有する。
この装置によると、全ての対象部のインピーダンスを精度良く計測することができる。
【００１８】
請求項７に記載の技術は、計測対象物に設けられている一方の導体部と他方の導体部の間を接続している対象部の抵抗成分を計測する方法である。この計測方法は、一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させるとともに、他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させる工程と、少なくとも合計４個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに通電して当該プローブ対間の抵抗成分をそれぞれに測定する工程と、測定工程で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部の抵抗成分を算出する工程とを有する。
この方法によると、請求項１の技術と同様の作用と効果を得ることができる。
【００１９】
請求項８に記載の技術は、計測対象物に設けられている一方の導体部と他方の導体部の間を接続している対象部のリアクタンス成分を計測する方法である。この計測方法は、一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させるとともに、他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させる工程と、少なくとも合計４個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに交流を通電して当該プローブ対間のリアクタンス成分をそれぞれに測定する工程と、測定工程で得られる複数個のリアクタンス成分の測定値から、対象部のリアクタンス成分を算出する工程とを有する。
この方法によると、請求項２の技術と同様の作用と効果を得ることができる。
【００２０】
請求項９に記載の技術は、ｎ個（ｎは３以上の整数）の対象部とｎ＋１個の導体部とが交互に配置されているとともに、最外に配置されている一方の導体部から最外に配置されている他方の導体部まで直列的に通電可能である場合に、対象部毎の抵抗成分を計測する方法である。この計測方法は、最外に配置されている一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、最外に配置されている他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、その他の導体部に１個ずつプローブを接触させる工程と、少なくとも合計ｎ＋３個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに通電して当該プローブ対間の抵抗成分をそれぞれに測定する工程と、測定工程で得られる複数個の抵抗成分の測定値から、対象部毎の抵抗成分を算出する工程とを有する。
この方法によると、請求項４に記載の技術と同様の作用と効果を得ることができる。
【００２１】
請求項１０に記載の技術は、ｎ個（ｎは３以上の整数）の対象部とｎ＋１個の導体部とが交互に配置されているとともに、最外に配置されている一方の導体部から最外に配置されている他方の導体部まで直列的に通電可能である場合に、対象部毎のリアクタンス成分を計測する方法である。この計測方法は、最外に配置されている一方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、最外に配置されている他方の導体部に少なくとも２個のプローブを接触させ、その他の導体部に１個ずつプローブを接触させる工程と、少なくとも合計ｎ＋３個のプローブで構成される複数個のプローブ対のそれぞれに交流を通電して当該プローブ対間のリアクタンス成分をそれぞれに測定する工程と、測定工程で得られる複数個のリアクタンス成分の測定値から、対象部毎のリアクタンス成分を算出する工程とを有する。
この方法によると、全ての対象部のインピーダンスを精度良く計測することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】各請求項に記載の発明は、下記の形態で好適に実施することができる。
（形態１）各請求項に記載の方法又は装置は、電子部品が実装された基板のインサーキットテストに用いられる。
（形態２）形態１の場合、請求項に記載の「計測対象物」とは実装基板である。さらに、請求項に記載の「導体部」は基板上に形成されている導体パターンであり、請求項に記載の「対象部」は電子部品である。この場合、電子部品のリードと導体パターンとが半田接合されている。
【００２３】
【実施例】（第１実施例）以下、図面を参照して、本発明を具現化した実施例を説明する。図１は、本実施例に係る基板検査装置１０の概略図である。基板検査装置１０は、電子部品３０が実装された基板２０のインサーキットテストを行なう（従って基板検査装置１０はインサーキットテスタともいえる）。基板２０上には、導体パターン２２，２４が形成されている。導体パターン２２には、電子部品３０のリード３２が接続されている。導体パターン２４には、電子部品３０のリード３４が接続されている。導体パターン２２（又は２４）とリード３２（又は３４）は図示省略の半田によって接合されている。
【００２４】
基板検査装置１０は、４本のプローブ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄと、それらプローブ５０ａ等と配線６０ａ，６０ｂ，６０ｃ，６０ｄを介して接続されているインピーダンス測定部７０と、記憶部７２と、演算部７４等を備えている。
各プローブ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄは、その中心に導電体（図示省略）を内蔵している。その導電体はプローブ５０ａ等の先端側（尖っている端部側）に露出している。導電体は、プローブ５０ａ等の先端とは反対側の端部において配線６０ａ等と接続されている。
図では、各プローブ５０ａ等を移動させる機構を図示省略している。その移動機構は、各プローブ５０ａ等のそれぞれを独立して移動させることができる。移動機構は、図１の左右方向と上下方向と紙面垂直方向のいずれの方向にも各プローブ５０ａ等を移動させることができる。移動機構の動作は、基板検査装置１０で検査する基板に応じて予め設定されている。
【００２５】
インピーダンス測定部７０は、２つの配線（６０ａ，６０ｂ，６０ｃ，６０ｄの中から選択される２本）を接続できるスイッチ機構（図示省略）を有している。スイッチ機構は、６つの組合せ、即ち、（１）配線６０ａと配線６０ｂ、（２）配線６０ａと配線６０ｃ、（３）配線６０ａと配線６０ｄ、（４）配線６０ｂと配線６０ｃ、（５）配線６０ｂと配線６０ｄ、（６）配線６０ｃと配線６０ｄ、のいずれかを接続する。インピーダンス測定部７０は、スイッチ機構が接続した配線対（即ちプローブ対）毎に、その配線対を含む電気回路に電圧を印加する。そして、その電気回路に流れる電流を測定し、印加した電圧と測定した電流とからそのプローブ対のプローブ間のインピーダンスの抵抗成分とリアクタンス成分を算出（測定）する。従って、（１）プローブ５０ａとプローブ５０ｂとの間のインピーダンス（抵抗成分とリアクタンス成分）、（２）プローブ５０ａとプローブ５０ｃとの間のインピーダンス、（３）プローブ５０ａとプローブ５０ｄとの間のインピーダンス、（４）プローブ５０ｂとプローブ５０ｃとの間のインピーダンス、（５）プローブ５０ｂとプローブ５０ｄとの間のインピーダンス、（６）プローブ５０ｃとプローブ５０ｄとの間のインピーダンス、がそれぞれ測定されることになる。
なお、印加した電圧と流れた電流とからインピーダンスの抵抗成分とリアクタンス成分を算出する技術は公知であるために説明を省略する。
【００２６】
記憶部７２は、インピーダンス測定部７０で測定されたインピーダンスを一時的に記憶しておく。
演算部７４は、予め設定されたプログラムに従って基板検査装置１０の動作を統括的に制御する。例えば、プローブ５０ａ等の移動機構の動作を制御したり、インピーダンス測定部７０で算出されたインピーダンスから電子部品３０のインピーダンスを算出する処理を実行したりする。その他にも、算出した電子部品３０のインピーダンスが規格内にあるか否かを判定する処理も実行する。
また、図示省略しているが、基板検査装置１０はディスプレイを有している。ディスプレイでは、基板検査装置１０の動作に応じて種々の情報が表示される。
【００２７】
次に、図２を参照して、図１の状態（即ちプローブ５０ａ等が導体パターン２２，２４に接触している状態）で構成される電気回路について説明する。図中のＺは、電子部品３０のインピーダンスである。Ｚは、抵抗成分Ｒとリアクタンス成分Ｘとを用いてＲ＋ｊＸと表現される。図中のＺ１は、プローブ５０ａのインピーダンスである。具体的には、抵抗成分Ｒ１とリアクタンス成分Ｘ１とを用いてＲ１＋ｊＸ１と表現される。抵抗成分Ｒ１は、主に、プローブ５０ａと導体パターン２２との接触抵抗である。また、プローブ５０ａ自体がもつ抵抗や配線６０ａがもつ抵抗も抵抗成分Ｒ１に含まれる。リアクタンス成分Ｘ１は、主に、プローブ５０ａをインピーダンス測定部７０と接続するハーネスがもつリアクタンスである。
図中のＺ２，Ｚ３，Ｚ４は、プローブ５０ｂ，５０ｃ，５０ｄのインピーダンスである。
【００２８】
ここでは、図３を参照して、基板検査装置１０が基板２０を検査する動作について説明する。図３は、基板検査装置１０の動作を示すフローチャートである。
まず、各プローブ５０ａ等の先端を導体パターン２２，２４に接触させる（ステップＳ２）。ステップＳ２では、プローブ５０ａとプローブ５０ｂを導体パターン２２に接触させるとともに、プローブ５０ｃとプローブ５０ｄを導体パターン２４に接触させる。ステップＳ２が終了すると、全てのプローブ５０ａ等が導体パターン２２，２４に接触している状態になる（図１の状態）。
【００２９】
次に、ステップＳ４を実行する。ステップＳ４では、導体パターン２２，２４に接触しているプローブ対毎に、そのプローブ対のプローブ間のインピーダンスを測定し、その測定値を記憶していく。具体的には、次の６組（１２個）の数値を測定する。
（１−１）プローブ５０ａとプローブ５０ｂとの間の抵抗成分ＲＡを算出する。この抵抗成分ＲＡは、Ｒ１とＲ２の和と近似できる（実際には他の抵抗（例えば導体パターン２２の抵抗）を含んだ値になるが、それらは無視できる）。
（１−２）プローブ５０ａとプローブ５０ｂとの間のリアクタンス成分ＸＡを測定する。このリアクタンス成分ＸＡは、Ｘ１とＸ２の和と近似できる。
（２−１）プローブ５０ｃとプローブ５０ｄとの間の抵抗成分ＲＢ（＝Ｒ３＋Ｒ４）を測定する。
（２−２）プローブ５０ｃとプローブ５０ｄとの間のリアクタンス成分ＸＢ（＝Ｘ３＋Ｘ４）を測定する。
（３−１）プローブ５０ａとプローブ５０ｃとの間の抵抗成分ＲＣ（＝Ｒ１＋Ｒ＋Ｒ３）を測定する。
（３−２）プローブ５０ａとプローブ５０ｃとの間のリアクタンス成分ＸＣ（＝Ｘ１＋Ｘ＋Ｘ３）を測定する。
（４−１）プローブ５０ａとプローブ５０ｄとの間の抵抗成分ＲＤ（＝Ｒ１＋Ｒ＋Ｒ４）を測定する。
（４−２）プローブ５０ａとプローブ５０ｄとの間のリアクタンス成分ＸＤ（＝Ｘ１＋Ｘ＋Ｘ４）を測定する。
（５−１）プローブ５０ｂとプローブ５０ｃとの間の抵抗成分ＲＥ（＝Ｒ２＋Ｒ＋Ｒ３）を測定する。
（５−２）プローブ５０ｂとプローブ５０ｃとの間のリアクタンス成分ＸＥ（＝Ｘ２＋Ｘ＋Ｘ３）を測定する。
（６−１）プローブ５０ｂとプローブ５０ｄとの間の抵抗成分ＲＦ（＝Ｒ２＋Ｒ＋Ｒ４）を測定する。
（６−２）プローブ５０ｂとプローブ５０ｄとの間のリアクタンス成分ＸＦ（＝Ｘ２＋Ｘ＋Ｘ４）を測定する。
ステップＳ４の処理では、測定したＲＡ〜ＲＦ，ＸＡ〜ＸＦを記憶部７２で記憶する。そして、記憶部７２がＲＡ〜ＲＦ，ＸＡ〜ＸＦを記憶するとステップＳ６に進む。
【００３０】
ステップＳ６では、記憶された各測定値から電子部品３０のインピーダンスＺを算出する。具体的には、記憶部７２で記憶されている抵抗成分ＲＡ〜ＲＦを、方程式「Ｒ＝（ＲＣ＋ＲＤ＋ＲＥ＋ＲＦ−２ＲＡ−２ＲＢ）／４」に代入し、この方程式を解く。これにより、電子部品３０のインピーダンスの抵抗成分Ｒを算出することができる。さらに、記憶部７２で記憶されている抵抗成分ＸＡ〜ＸＦを、方程式「Ｘ＝（ＸＣ＋ＸＤ＋ＸＥ＋ＸＦ−２ＸＡ−２ＸＢ）／４」に代入し、この方程式を解く。これにより、電子部品３０のインピーダンスのリアクタンス成分Ｘを算出することができる。
ステップＳ６で算出されたＲとＸを記憶部７２で記憶するとステップＳ８に進む。
【００３１】
ステップＳ８では、ステップＳ６で算出されたＲとＸがそれぞれ所定範囲内にあるか否かが判断される。ここで参照する「所定範囲」は、基板の種類、電子部品の種類等に応じて予め設定されるものである。所定範囲は、正常に機能している電子部品のインピーダンスの抵抗成分とリアクタンス成分に基づいて設定される。ステップＳ６で算出されたＲとＸが所定範囲内にある場合（ステップＳ８でＹＥＳの場合）は、基板検査処理を終了する。一方、ステップＳ６で導出されたＲとＸが所定範囲内にない場合（ステップＳ８でＮＯの場合）は、ＮＧ内容をディスプレイに表示する（ステップＳ１０）。例えば、ステップＳ６で導出されたＲとＸを表示する。表示されたＲとＸを見ることによって、基板検査装置１０の使用者が異常原因を特定できる場合がある。例えば、ＲとＸが所定の関係にある場合は、導体パターン２２（又は２４）とリード３２（又は３４）とがうまく半田接合されていないと判断できる場合がある。なお、ステップＳ１０では、算出されたＲとＸから異常原因を特定し、その特定した異常原因を表示するようにしてもよい。この場合、ＲとＸの関係と、異常原因とを対応づけて記憶しておく必要がある。例えば、Ｒがｓ１からｓ２の間に含まれ、かつ、Ｘがｔ１からｔ２の間に含まれる場合には、導体パターン２２（又は２４）とリード３２（又は３４）との半田接合が不良であること等を記憶しておく。
なお、算出されたＲとＸから電子部品３０のインピーダンスの絶対値を算出し、その絶対値に基づいてステップＳ８の判断を行なうようにしてもよい。
【００３２】
上記した第１実施例の基板検査装置１０によると、電子部品３０の抵抗成分Ｒとリアクタンス成分Ｘを精度良く計測できる。従って、電子部品３０のインピーダンスＺを精度良く計測できる。
【００３３】
なお、上記した第１実施例では、全てのプローブ対（６組のプローブ対）のプローブ間の抵抗成分ＲＡ〜ＲＦを方程式「Ｒ＝（ＲＣ＋ＲＤ＋ＲＥ＋ＲＦ−２ＲＡ−２ＲＢ）／４」に代入してＲを求めている。同様にして、リアクタンス成分Ｘも求めている。しかしながら、次のようにしてＲやＸを求めてもよい。以下の説明では、Ｒを求める場合のみ記載するが、それはＸを求める場合にも適用できる。
（第１実施例の変形例その１）
測定されたインピーダンスの抵抗成分ＲＡ〜ＲＦを、以下の６つの方程式、即ち、（１）ＲＡ＝Ｒ１＋Ｒ２、（２）ＲＢ＝Ｒ３＋Ｒ４、（３）ＲＣ＝Ｒ１＋Ｒ＋Ｒ３、（４）ＲＤ＝Ｒ１＋Ｒ＋Ｒ４、（５）ＲＥ＝Ｒ２＋Ｒ＋Ｒ３、（６）ＲＦ＝Ｒ２＋Ｒ＋Ｒ４、に代入し、これら６つの方程式からなる連立方程式を解いてＲを求める。この場合は、連立方程式を解くプログラムを予め設定しておく必要がある。さらにこの場合、未知数の数（Ｒ１〜Ｒ４，Ｒの５個）よりも方程式の数が多いために、Ｒとして複数の解が求まる可能性がある。その場合には、複数のＲの平均値を算出するようにしてもよい。複数の解が求まる場合には、代数的に連立方程式を解いてＲを算出することができない。この場合、数値代入法によって複数のＲを求めることができる。
【００３４】
（第１実施例の変形例その２）
第１実施例では、全てのプローブ対（６組のプローブ対）のプローブ間のインピーダンスの抵抗成分を測定している。しかしながら、全てのプローブ対のプローブ間のインピーダンスの抵抗成分を測定しなくても電子部品３０の抵抗成分Ｒを求めることができる。例えば、抵抗成分ＲＡ，ＲＢ，ＲＣ，ＲＤ，ＲＥだけを測定する（ＲＦを測定しない）。この場合、測定されたＲＡ，ＲＢ，ＲＣ，ＲＤ，ＲＥを、以下の５つの方程式、即ち、（１）ＲＡ＝Ｒ１＋Ｒ２、（２）ＲＢ＝Ｒ３＋Ｒ４、（３）ＲＣ＝Ｒ１＋Ｒ＋Ｒ３、（４）ＲＤ＝Ｒ１＋Ｒ＋Ｒ４、（５）ＲＥ＝Ｒ２＋Ｒ＋Ｒ３、に代入し、その連立方程式を解くことによって抵抗成分Ｒを求めることができる。この場合には、未知数の数と方程式の数が一致しているために、Ｒとしての解が一つだけ求まる（従って代数的に連立方程式を解くことができる）。
なお、代数的にＲを算出する場合は、抵抗成分ＲＡ，ＲＢ，ＲＣ，ＲＤ，ＲＥ，ＲＦの中から５つの抵抗成分さえ測定すれば、そのＲを必ず算出できるとは限らない。５つの抵抗成分の中には、抵抗成分ＲＡ，ＲＢが必ず含まれなければならない。
【００３５】
（第１実施例の変形例その３）
また、次のようにしても抵抗成分Ｒを求めることができる。即ち、抵抗成分ＲＡ，ＲＢ，ＲＣ，ＲＦだけを測定し（ＲＤ，ＲＥを測定しない）、測定されたＲＡ，ＲＢ，ＲＣ，ＲＦを方程式「Ｒ＝（ＲＣ＋ＲＦ−ＲＡ−ＲＢ）／２」に代入してＺを求める。このようにしても、抵抗成分Ｒを求めることができる。
【００３６】
（第２実施例）次に、本発明を具現化した第２実施例を説明する。ここでは、第１実施例と同様の部分は説明を省略する場合がある。図４に、第２実施例に係る基板検査装置１００の構成を示している。本実施例の基板検査装置１００で検査される基板２００は、５つの電子部品１３０ａ〜１３０ｅと６つの導体パターン１２２〜１２７とが交互に配置されている（どのような電気回路が構成されるかは後で説明する）。なお、図４では、中央に配置されている電子部品１３０ｃと１３０ｄを図示省略している（これらは図５に示されている）。符号１３２ａ〜１３２ｅ，１３４ａ〜１３４ｅは、各電子部品１３０ａ〜１３０ｅから伸びるリードである。
【００３７】
本実施例の基板検査装置１００は、基本的には第１実施例のそれと同様の構成をしている。即ち、インピーダンス測定部１７０と記憶部１７２と演算部１７４等を備える。但し、８個のプローブ１５０ａ〜１５０ｈを備えている点が第１実施例と異なる。８個のプローブ１５０ａ〜１５０ｈのそれぞれは配線１６０を介してインピーダンス測定部１７０に接続されている。図４によく示されているように、基板２００の検査の際には、２個のプローブ１５０ａ，１５０ｂが導体パターン１２２と接触されるとともに、２個のプローブ１５０ｇ，１５０ｈが導体パターン１２７に接触される。そして、導体パターン１２３，１２４，１２５（図示省略），１２６には、それぞれ１個ずつプローブ１５０ｃ〜１５０ｆが接触される。
【００３８】
図５に、図４の状態（即ちプローブ１５０ａ〜１５０ｈが導体パターン１２２〜１２７に接触している状態）で構成されている電気回路を示している。図中Ｚｎ１〜Ｚｎ５は、各電子部品１３０ａ〜１３０ｅのインピーダンスである。Ｚ１〜Ｚ８は、各プローブ１５０ａ〜１５０ｈのインピーダンスである。図５を見れば、各電子部品１３０ａ〜１３０ｅが直列的に接続されていることがよくわかる。即ち、最も外側にある一方の導体パターン１２２から最も外側にある他方の導体パターン１２７まで直列的に通電可能である。
【００３９】
次に、基板検査装置１００が基板２００を検査する動作について説明する。
（プローブを接触させる工程）
各プローブ１５０ａ等の先端を導体パターン１２２〜１２７に接触させる。これにより図４の状態になる。
（抵抗成分とリアクタンス成分を測定する工程）
導体パターン１２２〜１２７に接触しているプローブ対毎に、そのプローブ対のプローブ間のインピーダンスの抵抗成分とリアクタンス成分を測定し、その測定値を記憶していく。プローブが８個あるために（符号１５０ａ〜１５０ｈ）、２８（８Ｃ２）のプローブ対毎の抵抗成分とリアクタンス成分がそれぞれに測定されることになる。例えば、プローブ１５０ａとプローブ１５０ｂとの間の抵抗成分ＲＡＢ（プローブ１５０「ａ」とプローブ１５０「ｂ」に対応する抵抗成分であるために「ＲＡＢ」と表現する。以下でも同様に表現する）は、第１実施例の場合と同様にＲ１とＲ２の和として求まる。また、例えば、プローブ１５０ａとプローブ１５０ｆとの間のリアクタンス成分ＸＡＦは、Ｘ１とＸｎ１とＸｎ２とＸｎ３とＸｎ４とＸ６の和として求まる。測定されたプローブ対毎の抵抗成分とリアクタンス成分は記憶部１７２で記憶される。
【００４０】
（各電子部品のインピーダンスを算出する工程）
測定された各抵抗成分と各リアクタンス成分から各電子部品１３０ａ〜１３０ｅのインピーダンス（Ｚｎ１〜Ｚｎ５）を導出する。まず、測定されたプローブ対毎の抵抗成分を、２８の方程式、即ち、ＲＡＢ＝Ｒ１＋Ｒ２、ＲＡＣ＝Ｒ１＋Ｒｎ１＋Ｒ３、…、からなる連立方程式に代入する。そして、抵抗成分が代入された連立方程式を解く（この連立方程式では計１３個の未知数（Ｒ１〜Ｒ８、Ｒｎ１〜Ｒｎ５）が存在する）。これにより、Ｒｎ１〜Ｒｎ５を算出することができる。なお、この場合、２８の方程式に対して１３個の未知数があるために、数値代入法によって、解であるＲｎ１〜Ｒｎ５をそれぞれ複数導出するようにしてもよい。そして、複数算出されたＲｎ１の平均値をＲｎ１の真値とするようにしてもよい。同様にしてＲｎ２〜Ｒｎ５を求めてもよい。
次いで、測定されたプローブ対毎のリアクタンス成分を、２８の方程式、即ち、ＸＡＢ＝Ｘ１＋Ｘ２、ＸＡＣ＝Ｘ１＋Ｘｎ１＋Ｘ３、…、からなる連立方程式に代入する。そして、リアクタンス成分が代入された連立方程式を解く。これにより、Ｘｎ１〜Ｘｎ５を算出することができる。
算出されたＲｎ１〜Ｒｎ５，Ｘｎ１〜Ｘｎ５は、記憶部１７２で記憶される。
【００４１】
上記のようにしてＲｎ１〜Ｒｎ５，Ｘｎ１〜Ｘｎ５が算出されると、Ｒｎ１＋ｊＸｎ１で表現される電子部品１３０ａのインピーダンスＺｎ１が規格内にある否かが判断される（第１実施例におけるステップＳ８と同様の処理）。同様に、Ｚｎ２〜Ｚｎ５も規格内にあるか否かが判断される。Ｚｎ１〜Ｚｎ５が全て規格内にある場合には、基板検査処理を終了する。一方、Ｚｎ１〜Ｚｎ５のいずれかが規格内にない場合は、ＮＧ内容をディスプレイに表示する（第１実施例におけるステップＳ１０と同様の処理）。
【００４２】
上記した第２実施例によると、それぞれの電子部品１３０ａ〜１３０ｅにおける抵抗成分とリアクタンス成分を精度良く求めることができる。従って、それぞれの電子部品１３０ａ〜１３０ｅのインピーダンスを精度良く求めることができる。第２実施例によると、５つの電子部品１３０ａ〜１３０ｅのインピーダンスを計測するのに８本のプローブだけでよい。即ち、全ての導体パターン１２２〜１２７にプローブを２個ずつ接触させる必要がないために、装置１００を簡単に構成することができる。
【００４３】
なお、第１実施例の変形例その２やその３でも説明したように、測定工程において、導体パターン１２２〜１２７に接触している全てのプローブ対毎の抵抗成分とリアクタンス成分を測定しなくても、インピーダンスＺｎ１〜Ｚｎ５を求めることができる。測定工程では、インピーダンスＺｎ１〜Ｚｎ５を算出できる範囲において、所定のプローブ対のインピーダンスの抵抗成分とリアクタンス成分だけを測定するようにしてもよい。
【００４４】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
本技術は、電子部品の抵抗成分やリアクタンス成分を求める場合にのみ用いることに限定されない。例えば、面的に広がる導体がある場合に、その導体の第１部分と第２部分との間の抵抗成分やリアクタンス成分を求めることにも用いることができる。この場合、請求項でいう導体部は第１部分と第２部分であり、請求項でいう対象部は第１部分と第２部分との間である。このことから明かなように、請求項の導体部と対象部との間に明確な境界は必要なく、導体部と対象部とが連続している場合であっても本技術を適用できる。
【００４５】
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例の基板検査装置の図を簡単に示す。
【図２】図１の状態で構成される電気回路を簡単に示す（インピーダンスをＺで表現している）。
【図３】基板検査装置が行なう処理のフローチャートである。
【図４】第２実施例の基板検査装置の図を簡単に示す。
【図５】図４の状態で構成される電気回路を簡単に示す（インピーダンスをＺで表現している）。
【符号の説明】
１０・・基板検査装置（第１実施例）
２０・・基板
２２，２４・・導体パターン
３０・電子部品
３２，３４・・リード
５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ・・プローブ
６０ａ，６０ｂ，６０ｃ，６０ｄ・・配線
７０・・インピーダンス測定部
７２・・記憶部
７４・・演算部
１００・・基板検査装置（これ以下は第２実施例）
２００・・基板
１２２，１２３，１２４，１２５，１２６，１２７・・導体パターン
１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ，１３０ｄ，１３０ｅ・・電子部品
１３２ａ，１３２ｂ，１３２ｃ，１３２ｄ，１３２ｅ，１３４ａ，１３４ｂ，１３４ｃ，１３４ｄ，１３４ｅ・・リード
１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄ，１５０ｅ，１５０ｆ，１５０ｇ，１５０ｈ・・プローブ
１６０・・配線
１７０・・インピーダンス測定部
１７２・・記憶部
１７４・・演算部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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