(57)【要約】　　　（修正有）【課題】被加工面に損傷を与えることなく研磨工具の接触位置を求めることにより実際の加工位置を精度良く位置決めでき、高精度の補正研磨加工を行える方法を提供すること。【解決手段】被加工物の表面に対して小径の球体状の研磨工具を所定の荷重で接触させ、これを回転又は微振動させながらｘ軸方向、ｙ軸方向に、被加工物と研磨工具とを相対的に移動させて研磨加工を行う研磨方法であって、研磨工具表面にマーキング材を塗布し、被加工面に押印する押印工程と、被加工物面上のマークを、研磨工具と同じ部材に取り付けた撮像手段で撮像し、第１の座標導出工程と、被測定物を上記撮像手段で撮像し、当該端面の座標位置を求める第２の座標導出工程と、得られた座標位置から上記仮の座標系原点を補正する座標補正工程と、補正された原点を用いてＮＣデータに従って研磨を行う研磨工程とによること。【選択図】　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の表面に対して小径の球体状の研磨工具を所定の荷重で接触させ、これを回転又は微振動させながらｘ軸ステージ、ｙ軸ステージによってｘ軸方向、ｙ軸方向に、被加工物と研磨工具とを相対的に移動させて研磨加工を行う研磨方法において、
研磨工具表面にマーキング材を塗布し、被加工物の仮の座標系原点で被加工物表面に所定の圧力で研磨工具を接触させて押印する押印工程と、
被加工物面上にマーキングされたマークを研磨工具と同じ部材に取り付けた撮像手段で撮像し、得られた画像から上記マークの重心の座標位置を求める第１の座標導出工程と、
被測定物の端面を上記撮像手段で撮像し、当該端面の座標位置を求める第２の座標導出工程と、
得られた座標位置から上記仮の座標系原点を補正する座標補正工程と、
補正された原点を用いてＮＣデータに従って被測定物表面を移動させて研磨を行う研磨工程とからなることを特徴とする研磨方法。
【請求項２】
上記の第２の座標導出工程を、被加工物表面の複数の場所について行うことを特徴とする請求項１の研磨方法。
【請求項３】
上記の研磨工具が、円環面の研磨部材と、これを所定の軸周りに回転させる回転手段からなることを特徴とする、請求項１又は請求項２の研磨方法。
【請求項４】
上記の研磨工具が、球面状の研磨部材と、これを所定の軸周りに回転させる回転手段からなることを特徴とする、請求項１乃至請求項２の研磨方法。
【請求項５】
上記の研磨工具の被加工物との接触部の直径が、被加工物のうねりの主波長の１／２以下であることを特徴とする、請求項１乃至請求項４の研磨方法。
【請求項６】
回転又は微振動する球面状の研磨工具と、当該研磨工具を所定の荷重で被加工面に接触させる加圧手段と、被測定物と研磨工具を少なくとも２自由度で相対的に移動させる移動手段とを備えた研磨装置において、
研磨工具と同一の部材に取り付けられた撮像手段と、得られた画像の特定の範囲を抽出し、研磨工具の接触マークの画像重心を出力する第１の画像処理手段と、
得られた画像の中の特定の直線の位置を取り出し、その位置を出力する第２の画像処理手段と、
第１及び第２の画像処理手段の出力から、移動手段の座標原点を修正する座標修正手段とを有することを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
回転又は微振動する球面状の研磨工具と、当該研磨工具を所定の荷重で被加工面に接触させる加圧手段と、被測定物と研磨工具を少なくとも２自由度で相対的に移動させる移動手段とを備えた研磨装置において、
研磨工具と同一の部材に取り付けられ被測定物表面の画像を取得する撮像手段と、
得られた画像の特定の範囲を抽出し、研磨工具の接触マークの画像重心を出力する第１の画像処理手段と、
得られた画像の中の特定の直線の位置を取り出し、その位置を出力する第２の画像処理手段と、
第１及び第２の画像処理手段の出力から、移動手段の座標原点を修正する座標修正手段と、
研磨工具と同一の部材に取り付けた触針式または非接触式の変位測定手段とを有することを特徴とする研磨装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項４の研磨方法で製作された光学素子。
【請求項９】
請求項１乃至請求項４の研磨方法で製作された成形用金型。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、高度な光学素子やその成形用金型などを製作するための研磨方法、殊にその形状が非球面、特殊なトーリック面など、従来の研磨方法では加工が困難な形状を研磨加工する方法に関するものであり、特に、形状誤差を相殺するように滞留時間などを制御して研磨工具を移動させて補正研磨（形状誤差の補正をも行う研磨加工）を行うことができるものである。
【０００２】
【従来技術】
最近では、レーザープリンタなどの光書き込み系に用いるｆθレンズなど、単純な球面ではない、高度の自由度を持つ非球面のレンズが求められるようになっている。これらの光学素子は、形状誤差や表面粗さだけでなく、うねりの波長が数ｍｍの誤差成分に対しても高い形状精度が要求される。
このような場合、研磨工具の形状への追従性を考慮して、比較的小径の工具を回転させ、あるいは微振動させながら移動させて研磨加工を行うポイント研磨法が主に用いられる（例えば、回転工具によるものとして特開２００１−１３８１９６号公報、微振動によるものとして特開平１１−９９４５４号公報参照）。特に形状誤差、うねり、表面粗さを同時に補正するため、予め非加工面の形状を測定し、設計値との差である形状誤差を求め、これを相殺するように研磨工具の荷重（研磨加圧力）、滞留時間などを制御して研磨を行う補正研磨が用いられる。その一例が特開平５−５７６０６号公報（研磨方法及び研磨装置）に記載されている。
【０００３】
補正研磨で被加工面のうねりを補正しようとする場合、研磨工具の接触幅をうねりの波長の１／２以下にすることが望ましいので、研磨工具の被加工面に対する接触幅を最大でも１ｍｍ程度にすることが望ましい。これには、研磨工具を被加工面の曲率半径より小さな曲率半径の、弾性を有する凸曲面（全体的に球状または部分的に球状をなす面）とし、研磨時の荷重を調節することにより、接触幅を所望の値に調節する方法が望ましい。
しかし、工具の接触幅が小さい場合は、接触幅が広い場合に比して、研磨量に対する許容範囲が小さいので、被加工面の形状測定結果から得られた補正量分だけを、被加工面の所定の位置で研磨することが厳格に求められ、このために、制御システムにおける座標位置と実際の被加工面の形状誤差の位置とを高精度で一致させることが厳格に求められる。例えば、研磨補正しようとする形状誤差を正弦波として考えてみると、被加工面の形状誤差と研磨加工による除去量分布に横方向の位置誤差が出ると、位相のずれた正弦波の引き算となり、その結果、振幅が同じでも引き算の結果が０にならない。例えば、加工後の形状誤差が元の形状誤差の振幅の１０％以下になるように補正研磨加工する場合、制御システムにおける座標位置と実際の被加工面の形状誤差の位置との位置ずれ量の許容値は１．５％である。したがって、研磨補正しようとするうねりの波長が２ｍｍであれば、許容される位置誤差は約０．０３ｍｍである。
【０００４】
上記従来の研磨方法においては、制御システムにおける座標位置と実際の加工位置との一致性は、被加工物のテーブル上での位置決めで担保しており、この位置決め精度を高めることで、上記両位置のずれを補償するのが一般的である。
しかし、０．０３ｍｍ以上の位置決め精度を被加工物のテーブル上での位置決めで担保することは困難であって保証の限りではないので、より高精度で制御システムにおける座標位置と実際の被加工面の形状誤差の位置との一致性を保証することが必要である。
ところで、制御システムにおける座標位置に対して実際の被加工面の形状誤差の位置がずれる要因には、次のことが考えられる。
すなわち、例えば図５に示すように、研磨工具は、球面の研磨部材５ａと回転軸５ｂからなっており、回転軸は研磨工具を所定の速度で回転させる回転機構６に着脱自在に取り付けられていて、適宜交換されるものである。このため、回転軸を保持する部分の加工精度や研磨工具の軸の長さの誤差などの影響で、回転機構と研磨部材の中心との間の距離ｄに誤差を生じる。そして、この誤差のために、制御システムにおける座標位置と実際の加工位置との間にずれを生じてしまい、その結果、被測定面の形状誤差ともずれてしまうことになる。
上記の要因は、被加工物のテーブル上での位置決精度を可能な限り高めても、それによって解消される問題ではないから、テーブルに位置決めされた被加工物に対する研磨工具の実際の接触位置と制御システムの座標位置とを一致させるように座標位置を補正する他はない。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１３８１９６号公報
【特許文献２】特開平１１−９９４５４号公報
【特許文献３】特開平５−５７６０６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、被加工面に損傷を与えることなく研磨工具の接触位置を求めることにより実際の加工位置を精度良く位置決めでき、高精度の補正研磨加工を行える方法を提供することである。
【０００７】
【課題解決のために講じた手段】
【解決手段１】（請求項１に対応）
上記課題解決のために講じた手段１（解決手段１）は、研磨方法についての手段であり、被加工物の表面に対して小径の球体状の研磨工具を所定の荷重で接触させ、これを回転又は微振動させながらｘ軸ステージ、ｙ軸ステージによってｘ軸方向、ｙ軸方向に、被加工物と研磨工具とを相対的に移動させて研磨加工を行う研磨方法を前提として、次の（イ）乃至（ホ）の工程を有するものである。
（イ）研磨工具表面にマーキング材を塗布し、被加工物の仮の座標系原点で被加工物表面に所定の圧力で研磨工具を接触させて押印する押印工程と、
（ロ）被加工物面上にマーキングされたマークを、研磨工具と同じ部材に取り付けた撮像手段で撮像し、得られた画像から上記マークの重心の座標位置を求める第１の座標導出工程と、
（ハ）被測定物の端面を上記撮像手段で撮像し、当該端面の座標位置を求める第２の座標導出工程と、
（ニ）得られた座標位置から上記仮の座標系原点を補正する座標補正工程と、
（ホ）補正された原点を用いてＮＣデータに従って被測定物表面を移動させて研磨を行う研磨工程。
【０００８】
【作用】
上記（イ）の押印工程で被研磨面に付されたマーキングが、研磨作業において研磨部材が被加工面に接して研磨される被研磨加工面を表す。そこで、制御システムが備えている座標上における仮座標位置に上記マークを付し、このマークをｚ軸ステージに対して所定の位置関係にある撮像手段によって撮影し、これを画像処理し、上記マークの重心位置を求めることによって、実際に研磨部材が被加工面に接する面の重心位置の座標位置が求められる。
さらに、上記（ハ）の工程で、被加工物の端面を同撮像手段で撮影し、これを画像処理して当該端面の座標位置を求める。
上記のマークの実際の座標位置、被加工物の端面の実際の座標位置に基づいて制御システムの座標系を補正する。これによって、計測された形状誤差データの座標位置と、研磨加工における被加工面の実際の座標位置とが高精度で一致されることになり、特定位置における研磨加工が計測データに基づいて正確になされることになる。
【０００９】
【実施態様１】（請求項２に対応）
実施態様１は、上記解決手段１について、その第２の座標導出工程を、被加工物表面の複数の場所について行うことである。
【作用】
第２の座標導出工程を、被加工物表面の複数の場所について行うことにより、複数の軸方向の端面と上記マークの重心位置との距離が求まり、座標系の複数の軸方向の補正を行うことができるので、特定位置における研磨加工が計測データに基づいてより正確になされることになる。
【００１０】
【実施態様２】（請求項３に対応）
実施態様２は、上記解決手段１又は実施態様１について、その研磨工具が、円環面の研磨部材と、これを所定の軸周りに回転させる回転手段からなるものであることである。
なお、上記の「円環面」は、平面内の円を、当該円の外の軸線を中心にして回転させたときに上記円によって描かれる立体図形の表面で、平たくいえば、周方向曲面の局率よりも軸方向曲面の局率が大きい外周曲面で、ドーナツやタイヤの外周面がこれに当たる。
研磨部材の外周面が円環面であるから、被加工面との接触面は略楕円形状になり、そのｘ軸方向幅、ｙ軸方向幅を変えることで、その研磨加工特性を様々に調整することができる。
【００１１】
【実施態様３】（請求項４に対応）
実施態様３は、上記解決手段１又は実施態様１について、その研磨工具が、球面状の研磨部材と、これを所定の軸周りに回転させる回転手段からなるものであることである。
研磨部材の被加工面との接触面がほぼ円形となり、一定の研磨加工特性が得られ、またツルーイングによって形状精度の安定した研磨工具を確保することができる。
【００１２】
【実施態様４】（請求項５に対応）
実施態様４は、上記解決手段１、実施態様１乃至実施態様３について、その研磨工具の被加工物との接触部の直径が、被加工物のうねりの主波長の１／２以下であることである。
【作用】
ポイント研磨の入力（ＮＣデータ）と出力（実際の研磨量）の関係は、ローパスフィルタの関係にあり、例えば、入力に接触幅の１／２以下の波長の高周波の形状を入れても実際の研磨量はほとんどゲインがないが、概略研磨工具の接触幅の２倍以上の波長の形状成分は、入力とほぼ同じように除去される。したがって、予め被加工面についての形状測定結果を分析して被加工面のうねりの主波長を求め、この１／２以下で接触するようにすれば、十分に補正研磨可能でかつ許容される限界まで接触幅を大きくすることによって、位置ずれの影響が低減される。
なお、研磨工具と被研磨加工面との接触部の直径は、研磨部材の直径、難さ、研磨部材の被研磨面への加圧力の変更によって適宜調整される。
【００１３】
【解決手段２】（請求項６に対応）
解決手段２は、研磨装置についての手段であり、回転又は微振動する球面状の研磨工具と、当該研磨工具を所定の荷重で被加工面に接触させる加圧手段と、被測定物と研磨工具を少なくとも２自由度で相対に移動させる移動手段とを備えた研磨装置を前提として、次の（イ）乃至（ニ）によるものである。
（イ）研磨工具と同一の部材に取り付けられた撮像手段を有し、
（ロ）得られた画像の特定の範囲を抽出し、研磨工具の接触マークの画像重心を出力する第１の画像処理手段を有し、
（ハ）得られた画像の中の特定の直線の位置を取り出し、その位置を出力する第２の画像処理手段を有し、
（ニ）第１及び第２の画像処理手段の出力から、移動手段の座標原点を修正する座標修正手段を有すること。
【００１４】
なお、要件（ロ）における「特定の範囲」は、上記撮像手段による撮像対象が研磨工具を接触させたマーキングしたマークであれば、例えば０．５ｍｍ程度の誤差で撮像範囲内のいつも同じ位置にマークが撮像されることが期待される特定の範囲のことである。
また、要件（ハ）の「特定の直線」は、被加工物の端部の直線など、位置検出のために上記撮像手段によって、特定して撮影された直線のことである。
さらに、要件（ハ）の「直線の位置を取り出」すは、例えば、被加工面の端部を撮影対象とした画像において、縦線で輝度が著しく変化している部分について、横方向に輝度変化が著しい点を多数抽出する等により、その横方向の重心位置を求めることである。
さらに、要件（ロ）の「第１の画像処理手段」は、研磨工具の接触マークの画像重心を求める処理手段であり、要件（ハ）の「第２の画像処理手段」は被測定面の端部などの特定の直線の位置を求める処理手段であって、互いに別個の処理手段である。
【００１５】
【解決手段３】（請求項７に対応）
解決手段３は、研磨装置についての解決手段であり、回転又は微振動する球面状の研磨工具と、当該研磨工具を所定の荷重で被加工面に接触させる加圧手段と、被測定物と研磨工具を少なくとも２自由度で相対的に移動させる移動手段とを備えて研磨装置を前提として、次の（イ）乃至（ホ）によるものである。
（イ）研磨工具と同一の部材に取り付けられ被測定物表面の画像を取得を取得する撮像手段を有し、
（ロ）得られた画像の特定の範囲を抽出し、研磨工具の接触マークの画像重心を出力する第１の画像処理手段を有し、
（ハ）得られた画像の中の特定の直線の位置を取り出し、その位置を出力する第２の画像処理手段を有し、
（ニ）第１及び第２の画像処理手段の出力から、移動手段の座標原点を修正する座標修正手段を有し、
（ホ）研磨工具と同一の部材に取り付けた触針式または非接触式の変位測定手段を有すること。
上記解決手段２、解決手段３は、解決手段１（およびその実施態様）の研磨方法を実施するための装置に関する解決手段であり、その作用は、次の実施態様の説明から明らかである。
【００１６】
【実施の形態】
次いで、図面を参照しつつ実施例を説明する。
被加工物１はレンズ面を転写加工されたｆθレンズであり、ｙ軸ステージ２上に設置されて、球面研磨工具５によってその上面を研磨加工されるものである。
球面状の研磨工具５は直径２０ｍｍの球面体であり、ｘｙ座標のｘ軸方向の回転軸を備えた回転機構に着脱自在に取り付けられており、回転機構はｚ軸ステージ４に設置されている。ｚ軸ステージ４には荷重センサがあって、これにより工具にかかるＺ軸方向の荷重を測定し、当該荷重を所定の値にするようにｚ軸ステージを制御するようになっている。
また撮像素子１０がｚ軸ステージ４に設置されていて、これによって被加工物１の上面を撮影して、研磨制御のための画像情報を取り入れるようにしている。
研磨工具５を所定の回転速度で回転させ、ｚ軸方向の荷重を制御し、ｙ軸ステージ２で被加工物１をｙ軸方向に往復させながら、レンズ１のレンズ面を研磨加工する。
なお、被加工物１の表面形状が予め測定されていて、この測定データに基づいて、制御システムにおけるｘｙ座標における各座標位置での必要な研磨補正値が求められている。この研磨補正値に見合った研磨補正がなされるように、ｚ軸方向の荷重、研磨工具の滞留時間が制御される。
【００１７】
まず、研磨工具５下部の表面にマーキング材を塗布する。マーキング材は、接触部に押印されたマークを撮像素子１０で撮像できるものであって、その後に洗浄除去されるように、染色した潤滑液などが用いられる。
次に研磨装置の座標系での被加工面の原点を、ｙ軸ステージの所定の位置に被加工物を取り付けたときに、被加工物の図面から推定される光学機能面の原点を求め、これを仮の原点として研磨装置の制御システムに設定する。研磨工具を仮の原点位置で、工具を回転させずに所定の荷重で被加工面に接触させる。すると被加工物表面に工具の実際の接触部に上記マーキング材が付着して、接触位置がマーキングされる。
【００１８】
次に図３を参照して、制御システムにおける座標系の補正操作について説明する。
上記のマーキングを撮像素子１０で撮像し、取り込まれたマーキング画像（マーク）の上記ｘｙ座標上での重心位置を求め、このマークの重心が撮像された画像の中央にくるようにｘ軸ステージ３、ｙ軸ステージ２を移動させてｚ軸ステージ４の位置を調節する。調節後のｚ軸ステージ１のｘ、ｙ座標（ｘ１，ｙ１）をメモリに記憶する。
【００１９】
次にｙ軸ステージ２を移動させて被加工物１の側端面を撮像し、これを画像処理して、上記側端面が撮像された画像の中央にくるようにｘ軸ステージ３、ｙ軸ステージ２を移動させてｚ軸ステージ４の位置を調節する。そしてこの調節後のｚ軸ステージ４のｘ，ｙ座標（ｘ２，ｙ２）をメモリに記憶する。
【００２０】
最後に、上記の第１回の調節後の位置（ｘ１，ｙ１）と第２回の調節後の位置（ｘ２，ｙ２）からｙ１，ｙ２の差を求め、これが図面の寸法とずれている場合、これを補正するように上記の仮の原点のｙ座標位置を更新する。これによって、制御システムにおける軸の原点と被加工面の光学機能面のｙ軸の原点とが一致することになる。
最後に、更新された原点を用いてＮＣを動作させ、被加工物表面を補正研磨加工する。これによって、ＮＣ制御データにおける各座標位置での補正量分に応じた研磨補正が、被加工面上の正確な位置でなされることになる。
なお、ｘ軸方向での原点補正を行わないでｙ軸方向での原点補正だけで、制御システムにおけるｘｙ座標上の原点とｚ軸シテージの実際の運行の原点とが完全に一致することには必ずしもならないが、しかし、多くの場合、被加工物の光学特性との関係から、被加工物の長手方向と短手方向では要求精度が違うので、そのうちの１軸を合わせるだけで十分な場合があり、このような場合は、ｙ軸方向での原点補正だけで、制御システムの座標系とを調整すれば足りる。
【００２１】
次に上記仮の原点のｘ軸方向の座標位置修正について説明する。
ｙ軸方向での原点補正を行って後、ｙ軸ステージ２を元の位置（マーキングのある位置）に戻り、次にｘ軸ステージ３を動作させて被加工物の端面を撮影し、これを画像処理して当該端面の座標（ｘ３，ｙ３）を求め、上記（ｘ１，ｙ１）と（ｘ３，ｙ３）から仮の原点のｚ軸ステージのｘ座標値を修正する。その後、補正された座標に基づいて補正研磨加工を行う。
【００２２】
上記研磨工具５は球面状の回転体であるから、被加工物との接触部が概略円形状となり、また、ツルーイング時（研磨工具の形状を真球に近付ける工程の時）にスリバチ状のツルアを用いることができる。
念のために、上記図４を参照して、ツルーイングについて説明する。ツルーア２０は円筒で、その端面に円筒と同軸の円錐状の凹部２０ａがあり、この内面に砥粒が電着されている。これを円筒の軸周りに回転させ、研磨工具の球面の中心をツルアの回転軸に合わせて、自転させながら当接させる。これにより、研磨工具の球面の真球度がより高められて、研磨工具の偏心や形状誤差が十分小さくなる。
また、研磨工具は円環面（トーラス面）であってもよい。円環面の場合は、被加工面との接触部が略楕円になるため、ｘ軸方向、ｙ軸方向で研磨特性を変えることができる。光学特性との関係で、走査レンズは長手方向と短手方向で高精度が要求されるうねりの波長が違うため、これに研磨特性を合わせることができる。
【００２３】
この実施例における被加工物１の表面は、前加工により、数ｍｍから十数ｍｍの周期的うねりが重畳している場合がある。この場合、予めかじめ被加工物のうねりを測定し、当該測定データにおけるうねりの周波数を分析して、当該うねりの主波長を求め、研磨工具５の接触幅がこの１／２以下となるように設定する。なお、上記の形状測定時にもこのうねりの主波長が充分な精度で測定できるような座標間隔で測定する。
そしてこのうねり成分を補正研磨用のＮＣデータに、例えば、形状測定データからバンドパスフィルタを使って所定の波長帯のうねり成分を抽出し、これをＮＣデータの各座標に割り付ける方法で反映させることによって、うねりの主波長を低減させるのに必要十分な研磨装置の接触幅を設定することができる。
【００２４】
また、この例では、ｚ軸ステージ４に触針式または光触針式の変位計をとりつけてあるので、オンマシンでの形状測定が可能であり、研磨補正加工の能率を著しく向上させることができる。
以上の実施例は、光学素子の研磨補正加工に本発明を適用したものであるが、成形用金型の転写加工面（レンズ面を転写加工する面）の補正研磨にも、同様にして適用することができる。
以上の実施例によれば、研磨工具による実際の加工位置での加工量と制御データ上の当該位置での加工量の一致性が高い精度で得られるので、被加工曲面の研磨補正加工が高精度でなされ、したがって、形状誤差、うねり、表面粗さに至る表面性状が補正された極めて良好な光学素子、成形金型を製作されることになる。
【００２５】
【発明の効果】
この発明の効果を主な請求項に対応させて整理すれば次のとおりである。
（１）請求項１について
被加工面に損傷を与えずに、研磨工具の被加工面への接触部と被加工面の端部の距離を測定することにより、高精度で被加工面と制御システムの座標を一致させることができるから、より精度良く補正研磨加工を行うことが可能となる。また、人為的な被加工物の取付ミスによって研磨加工精度が著しく低下することを回避できる。
【００２６】
（２）請求項２について
請求項１と同様の補正作業を直交する２方向で行うことで、平面内での座標位置を精度良く修正することが可能となり、より精度良く補正研磨加工を行うことができる。
【００２７】
（３）請求項３について
研磨工具が円環面であり、被加工面との接触部を任意の比率の略楕円にすることができるから、ｘ，ｙ各軸方向それぞれ独立して所望の幅の研磨特性を設定することが可能である。これは、ｆθレンズのように長手方向と短手方向で要求されるうねりの許容波長が違う場合に有効である。
【００２８】
（４）請求項４について
研磨工具が球面であり、スリバチ状のツルアとの刷り合わせでツルーイングが可能であるから、安価に高精度の研磨工具を実現でき、研磨工具を一定の速度で回転させているときの被加工面の研磨除去量が安定するので、より精度良く補正研磨加工を行うことができる。
【００２９】
（５）請求項５について
撮像手段で撮影したマークの画像からマークの重心を求める工程や、端部の位置を求める工程を画像処理を用いて自動化することができ、制御システムの座標と実際の被加工面の形状誤差を高精度で合わせることが可能であるので、被加工物の表面状態に応じた補正研磨が可能となり、より精度良く補正研磨加工を行うことができる。
【００３０】
（６）請求項６について
被加工面に損傷を与えずに、研磨工具の被加工面への接触部と被加工面の端部の距離を測定することにより、高精度で被加工面と制御システムの座標を一致させることができるから、より精度良く補正研磨加工を行うことが可能となる。また、人為的な被加工物の取付ミスによって研磨加工精度が著しく低下することを回避できる。
【００３１】
（７）請求項７について
研磨工具、撮像手段に加えて触針式変位計を搭載することにより、オンマシンでの形状測定が可能となり、オンマシンでの形状測定を行うことで、形状測定から補正研磨までの工程で被加工物の脱着操作をしないで済むので、被測定物の取付に伴って生じる誤差成分が排除され、より高精度の補正研磨が行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】は実施例の研磨装置の斜視図である。
【図２】は座標系の補正作業のフロー図である。
【図３】は実施例の機能ブロック図である。
【図４】は球状研磨具のツルーイングの模式図である。
【図５】は研磨装置の要部拡大図である。
【符号の説明】
１：被加工物
２：ｙ軸ステージ
３：ｘ軸ステージ
４：ｚ軸ステージ
５：回転工具（研磨工具）
１０：撮像素子（撮像手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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