(57)【要約】【課題】パージの効果を比較的長期間維持することができるとともに、有機物等が容器の外部から内部に侵入するのを有効に抑制防止することができ、バルブの取付構造を簡素化し、バルブの金属部品を省略できる収納容器を提供する。【解決手段】容器本体１の複数の貫通孔４にそれぞれ嵌入されて容器本体１に対する気体の流通を制御する複数のバルブ体２０を備える。各バルブ体２０を、貫通孔４に嵌入されて気体を流通させる固定筒２１と、固定筒２１に螺合される保持筒２５と、固定筒２１と保持筒２５に内蔵される逆止弁３１と、逆止弁３１を変形させる弾性変形部材３３と、弾性変形部材３３に接触する中蓋筒３４と、中蓋筒３４と保持筒２５との間に介在されるフィルタ３６とから構成し、弾性変形部材３３の非圧縮時には逆止弁３１に気体の流通を規制させ、弾性変形部材３３の圧縮時には逆止弁３１に気体の流通を許容させる。【選択図】　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体と、この容器本体の開口を開閉する蓋体と、これら容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方の貫通孔に取り付けられて容器本体に対する流体の流通を制御するバルブ体とを含んでなる収納容器であって、
バルブ体を、貫通孔に嵌められて流体を流通させる固定筒と、貫通孔に嵌められて固定筒に組み合わされる保持筒と、これら固定筒と保持筒に隙間を介して内蔵される弾性逆止弁と、この弾性逆止弁と接触する中蓋筒とから構成し、
弾性逆止弁の非圧縮時には流体の流通を規制し、弾性逆止弁の圧縮時には流体を流通させるようにしたことを特徴とする収納容器。
【請求項２】
貫通孔の周縁部にリブを形成して外部に伸ばし、固定筒と保持筒とを螺子結合し、固定筒にリブの周縁部に接触するフランジを形成するとともに、保持筒に貫通孔の周縁部に接触するフランジを形成し、保持筒と中蓋筒の間にはフィルタを設けた請求項１記載の収納容器。
【請求項３】
弾性逆止弁を、少なくとも保持筒に隙間を介して内蔵される弾性の逆止弁と、保持筒に内蔵されて逆止弁を変形させる弾性変形部材とから形成し、中蓋筒を保持筒に支持させるとともに、この中蓋筒を逆止弁と弾性変形部材のいずれか一方に接触させ、逆止弁の非圧縮時には流体の流通を規制し、逆止弁の圧縮時には流体を流通させるようにした請求項１又は２記載の収納容器。
【請求項４】
弾性逆止弁を、少なくとも保持筒に隙間を介して内蔵される弾性の逆止弁と、この逆止弁に内蔵されて逆止弁を変形させる伸縮自在の蛇腹体とから形成し、この蛇腹体の周壁に流通口を設け、逆止弁の非圧縮時には流体の流通を規制し、逆止弁の圧縮時には流体を流通させるようにした請求項１又は２記載の収納容器。
【請求項５】
弾性逆止弁を、少なくとも保持筒内に隙間を介して内蔵される弾性の逆止弁と、この逆止弁に一体化されて逆止弁を変形させる弾性のスカート体とから形成し、逆止弁に流通口を設け、スカート体の周縁部から薄肉のスカート片を屈曲可能に伸ばして逆止弁の周面に設け、逆止弁の非圧縮時には流体の流通を規制し、逆止弁の圧縮時には流体を流通させるようにした請求項１又は２記載の収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやフォトマスクガラス等の基板を収納し、ガスパージ可能な収納容器に関し、より詳しくは、収納容器の内外に対する流体の流通を制御するガスパージの逆止弁に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体業界においては、ＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ　Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｙ）に代表されるように、半導体部品のコスト削減によるシェア獲得競争が行われており、これに伴い半導体製造のコストを削減するための生産システムの見直し、あるいは半導体部品の製造に使用される基板の大口径化（例えば、半導体ウェーハの場合、３００ｍｍあるいはそれ以上）が実施されるようになってきている。
【０００３】
半導体生産システムは、半導体製造工場全体を高度にクリーンな状態（例えば、クリーン度１０以下）に維持して半導体部品を製造するという従来の方法から、基板の複数の処理工程を別々に区画して小さく区画された各内部空間を高度にクリーンな環境とし、各処理工程間の基板の受け渡しを収納容器を使用して行う方法に移行してきている。このような方法によれば、クリーンルーム建設のための設備コストやその維持のためのランニングコストを著しく削減することができ、しかも、半導体の部品製造の歩留まり向上が可能である。
【０００４】
こうした局所にクリーンな環境が分離している半導体製造工場で使用される収納容器には、半導体製造工場内を自動機で搬送可能な搬送手段や自動機での蓋体の取り付け取り外しが可能なＦＩＭＳ対応の蓋体が備え付けられている。また、収納する基板を汚染させないよう、高い密封が求められたり、容器内部を清浄な状態にするため、排出される揮発性ガスの少ないクリーンな原材料を使用して形成することが求められている。
【０００５】
しかしながら、昨今の半導体部品に形成される電子回路の最小線幅は益々低ピッチ化（０．１３μｍ以下）の方向にあり、一部又は複数の半導体製造工程において収納容器に収納された基板表面の自然酸化膜の形成や有機汚染を防止するため、収納容器内を窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエアで置換（ガスパージ）しておくことが有効なのが分かってきた。
この点に鑑み、収納容器の一部を開口させてフィルタを取り付けたり、開口の周縁部にチェックバルブ等のバルブ部品を取り付けてガスパージする技術が提案されている（特許文献１、２参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１‐１９１５８７号公報
【特許文献２】
特表２００２‐５１０１５０号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の収納容器は、以上のように構成されているので、以下のような問題点がある。先ず、フィルタを単に取り付けただけの収納容器の場合、簡素な構成でパージ可能であるが、開口及びフィルタを介してパージしたガスを内部に維持できる構造には構成されていない。すなわち、収納容器内のガスが外部に安易に流出するので、ガスパージの効果を短時間しか維持することができないという問題がある。また、収納容器の内外が連通しているので、クリーンルームに存在する微量の有機物が収納容器の外部から内部に流入するのを完全には防止することができないという問題がある。
【０００８】
また、ガスパージ用の開口にバルブを取り付ける場合、バルブを取り付けるための係止構造が実に複雑になるという問題がある。さらに、通常のバルブの場合、弁操作するためのスプリング等の金属部品が内蔵されているので、収納容器の保管時や洗浄時に金属部品から滲み出る微量の金属イオンが収納容器の内部に侵入して基板を汚染させるおそれがある。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みなされたもので、パージの効果を比較的長期間維持することができるとともに、有機物等が容器の外部から内部に侵入するのを有効に抑制防止することができ、バルブの取付構造を簡素化し、バルブから金属部品を排除することできる収納容器を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、上記課題を達成するため、容器本体と、この容器本体の開口を開閉する蓋体と、これら容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方の貫通孔に取り付けられて容器本体に対する流体の流通を制御するバルブ体とを含んでなる収納容器であって、
バルブ体を、貫通孔に嵌められて流体を流通させる固定筒と、貫通孔に嵌められて固定筒に組み合わされる保持筒と、これら固定筒と保持筒に隙間を介して内蔵される弾性逆止弁と、この弾性逆止弁と接触する中蓋筒とから構成し、
弾性逆止弁の非圧縮時には流体の流通を規制し、弾性逆止弁の圧縮時には流体を流通させるようにしたことを特徴としている。
【００１１】
なお、貫通孔の周縁部にリブを形成して外部に伸ばし、固定筒と保持筒とを螺子結合し、固定筒にリブの周縁部に接触するフランジを形成するとともに、保持筒に貫通孔の周縁部に接触するフランジを形成し、保持筒と中蓋筒の間にはフィルタを設けることができる。
また、弾性逆止弁を、少なくとも保持筒に隙間を介して内蔵される弾性の逆止弁と、保持筒に内蔵されて逆止弁を変形させる弾性変形部材とから形成し、中蓋筒を保持筒に支持させるとともに、この中蓋筒を逆止弁と弾性変形部材のいずれか一方に接触させ、逆止弁の非圧縮時には流体の流通を規制し、逆止弁の圧縮時には流体を流通させることができる。
【００１２】
また、弾性逆止弁を、少なくとも保持筒に隙間を介して内蔵される弾性の逆止弁と、この逆止弁に内蔵されて逆止弁を変形させる伸縮自在の蛇腹体とから形成し、この蛇腹体の周壁に流通口を設け、逆止弁の非圧縮時には流体の流通を規制し、逆止弁の圧縮時には流体を流通させることができる。
さらに、弾性逆止弁を、少なくとも保持筒内に隙間を介して内蔵される弾性の逆止弁と、この逆止弁に一体化されて逆止弁を変形させる弾性のスカート体とから形成し、逆止弁に流通口を設け、スカート体の周縁部から薄肉のスカート片を屈曲可能に伸ばして逆止弁の周面に設け、逆止弁の非圧縮時には流体の流通を規制し、逆止弁の圧縮時には流体を流通させることもできる。
【００１３】
ここで特許請求の範囲における容器本体には、単数複数の半導体ウェーハやフォトマスクガラス等の基板、各種の電気電子部品や小物品等が適宜収納される。この容器本体の開口は、正面、上面、側面いずれでも良い。流体は、不活性ガスやドライエアからなる気体が主であるが、何らこれらに限定されるものではない。また、バルブ体は、単数複数いずれでも良いし、容器本体と蓋体の貫通孔にそれぞれ設けても良く、蓋体の貫通孔に設けることも可能である。バルブ体の弾性逆止弁は、単一の弾性材からなるものでも良いが、別部品である逆止弁と弾性変形部材等とから構成することも可能である。弾性変形部材は、保持筒に隙間を介して内蔵されても良いし、そうでなくても良い。さらに、中蓋筒は、例えば凹凸等の係合手段を介して保持筒に支持される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における収納容器は、図１ないし図７に示すように、複数枚の基板Ｗを上下に並べて整列収納する容器本体１と、この容器本体１の開口を着脱自在に閉鎖する蓋体１０と、容器本体１の底部に配設されて容器本体１に対する気体の流通を制御する複数のバルブ体２０とを備え、この複数のバルブ体２０のうち、容器本体１の後方に位置する一部をガス導入バルブ２０Ａとし、容器本体１の前方に位置する残部をガス排気バルブ２０Ｂとして利用するようにしている。
【００１５】
複数枚の基板Ｗとしては、例えば複数枚の半導体ウェーハがあげられる。より詳しくは、３００ｍｍの（例えば、２５枚や２６枚等）のシリコンウェーハ等が使用される。
【００１６】
容器本体１は、図１に示すように、例えば透明のポリカーボネート等を使用して一端面である正面の開口したフロントオープンボックスタイプに形成され、内部両側には、基板Ｗの側部周縁を支持する支持部材がそれぞれ配設される。この容器本体１は、図２に示す底部に、収納容器の種類を検知して区別するための貫通口を有する平面略Ｙ字形のボトムプレート２が装着され、このボトムプレート２の前部両側と後部とに、断面略Ｖ字形を呈した加工装置用の位置決め部材３がそれぞれ形成される。
【００１７】
容器本体１の底部の前後両側、換言すれば、基板Ｗの投影面積に重ならない領域には図２に示すように、貫通孔４がそれぞれ穿孔され、各貫通孔４の周縁部には、外部下方向に突出する円筒形のリブ５が一体形成される。容器本体１の天井にはハンドル６が着脱自在に装着され、このハンドル６がＯＨＴ（オーバーヘッドホイストトランスファー）と呼ばれる自動機に保持されることにより、収納容器が工程内を搬送される。また、容器本体１の開口正面には、蓋体嵌合用のリム部７が幅広に一体形成され、このリム部内の上下両側には、蓋体用の係止溝８がそれぞれ凹み形成される。容器本体１の外部両側には、手動搬送用の把持ハンドル９がそれぞれ着脱自在に装着される。
【００１８】
蓋体１０は、図１に示すように、四隅部が丸く湾曲した横長の略矩形に形成され、内部に図示しない係止機構が配設されており、この係止機構の出没可能な複数の係止爪が周壁の出没孔１１から突出してリム部７の係止溝８に嵌入し、容器本体１に嵌合した蓋体１０を閉鎖するよう機能する。この蓋体１０の裏面には、容器本体１のリム部７と嵌合する段差部が突出形成され、この段差部には、複数枚の基板Ｗを所定のピッチで上下方向に水平に整列支持するフロントリテーナ１２が装着される。蓋体１０の段差部には、エンドレスのシールガスケット１３が嵌合され、このシールガスケット１３が蓋体閉塞時の密封性を確保する。
【００１９】
なお、容器本体１、ボトムプレート２、ハンドル６、一対の把持ハンドル９、蓋体１０は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、環状オレフィン樹脂からなる熱可塑性樹脂等を使用して成形される。
【００２０】
各バルブ体２０は、各構成部品の中心線部の断面を表した図３の展開斜視図に示すように、貫通孔４のリブ５に下方から嵌入されて気体を流通させる固定筒２１と、貫通孔４にシール用のＯリング３０を介し上方から嵌入されて固定筒２１に上方から着脱自在に螺嵌される保持筒２５と、これら固定筒２１と保持筒２５に内蔵される弾性の逆止弁３１と、この逆止弁３１を上方から押圧して変形させる通気性・連気性の弾性変形部材３３と、この弾性変形部材３３に接触する中蓋筒３４と、この中蓋筒３４と保持筒２５との間に介在される円板形のフィルタ３６とから構成（この点については、図１のＩ‐Ｉ線断面参照）され、逆止弁３１と弾性変形部材３３とが弾性逆止弁を形成しており、固定筒２１から保持筒２５にかけて流れる気体を制御するよう機能する。
【００２１】
固定筒２１は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン等からなる所定の樹脂を使用して基本的には有底円筒形に形成され、内周面には、取付用の螺子溝２２が螺刻形成される。この固定筒２１の底部中心には、気体流通用の丸い通気口２３が穿孔され、底部の外周面には、半径外方向に伸びるリング状のフランジ２４が周設されており、このフランジ２４がリブ５の開口周縁部に接触する（図４ないし図７参照）。
【００２２】
保持筒２５は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン等からなる所定の樹脂を使用して基本的には円筒形に形成され、開口した上部には、気体流通用の複数の通気口を区画する区画リブ２６が格子状又は放射状に配設されており、この区画リブ２６の裏面には、フィルタ３６の形状に対応して保持する段差２７が形成される。この保持筒２５の上部外周面には、半径外方向に伸びるリング状のフランジ２８が周設され、このフランジ２８が貫通孔４の開口周縁部に接触する（図４ないし図７参照）。
【００２３】
保持筒２５の外周面には、取付用の螺子溝２９が螺刻形成され、この螺子溝２９が固定筒２１の螺子溝２２と螺合する。保持筒２５の外周面と貫通孔４の周面との間に介在されるＯリング３０は、容器本体１に対する外気の侵入や容器本体１からの気体の漏れを有効に防止する。
【００２４】
弾性逆止弁の一部である逆止弁３１は、所定のエラストマー等を使用して断面略Ｈ字形の平面略円形に形成され、固定筒２１の内底面に嵌入搭載されて丸い通気口２３を被覆し、保持筒２５の内周面との間に気体の流路である僅かな隙間３２を形成する。この可撓性を有する逆止弁３１の材料としては、例えばメラミンゴム、イソプレンゴム、ブチルゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等のゴム、ポリエステル系熱可塑性エラストマー、各種熱可塑性エラストマーがあげられる。逆止弁３１の固定筒２１に対向する対向面には、シール形成用の凹凸部が適宜形成される。
【００２５】
なお、逆止弁３１は、バルブ体２０がガス導入バルブ２０Ａとして利用される場合には、固定筒２１の通気口２３を被覆する（図３、図４、図５参照）が、バルブ体２０がガス排気バルブ２０Ｂとして利用される場合には、弾性変形部材３３と上下逆に配置され、弾性変形部材３３上に搭載支持される（図６、図７参照）。
【００２６】
弾性逆止弁の残部である弾性変形部材３３は、所定の発泡材料等を使用して容器本体１の内外を連通する連泡を備えたリング形に形成され、保持筒２５の内部に嵌入されて逆止弁３１の外周上に搭載されるとともに、保持筒２５の内周面との間に気体の流路である僅かな隙間３２Ａを形成する。このエンドレスの弾性変形部材３３は、例えばメラミンゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム、ポリエチレン、あるいは弾性・通気性の不織布等を材料として形成され、圧縮変形して逆止弁３１を動作させる関係上、圧縮歪みが低く設定される。
なお、弾性変形部材３３は、通気性が確保できるのであれば、リング形になんら限定されるものではなく、例えば円筒形等の他形状でも良い。
【００２７】
なお、弾性変形部材３３は、バルブ体２０がガス導入バルブ２０Ａとして利用される場合には、逆止弁３１の外周上に搭載される（図３、図４、図５参照）が、バルブ体２０がガス排気バルブ２０Ｂとして利用される場合には、逆止弁３１と上下逆に配置され、固定筒２１の内底面に嵌入搭載される（図６、図７参照）。
【００２８】
中蓋筒３４は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン等からなる所定の樹脂を使用して基本的には円筒形に形成され、開口した上部には、気体流通用の複数の通気口を区画する区画リブ３５が格子状又は放射状に配設されており、固定筒２１と保持筒２５の間に内蔵された状態で弾性変形部材３３に接触する。この中蓋筒３４は、保持筒２５の内部に凹凸係合機構（例えば、保持筒２５の内周面又は中蓋筒３４の外周面に形成される溝と、中蓋筒３４の外周面又は保持筒２５の内周面に形成されて溝に嵌まる突部）等を介して支持され、保持筒２５の内部上方との間にシールを確保するＯリング３０Ａが介在される。
【００２９】
なお、中蓋筒３４は、バルブ体２０がガス導入バルブ２０Ａとして利用される場合には、弾性変形部材３３の一部と接触し、バルブ体２０がガス排気バルブ２０Ｂとして利用される場合には、逆止弁３１の外周上に接触するよう保持筒２５に保持されて開口した下部が閉塞される（図６、図７参照）。
【００３０】
フィルタ３６は、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、多孔質テフロン（登録商標）膜、ガラス繊維等からなる分子濾過フィルタ、活性炭素繊維等の濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタからなり、これらが保持筒２５の段差２７と中蓋筒３４の区画リブ３５との間に挟持された状態で単数複数挿入され、中蓋筒３４の通気口を被覆する。このフィルタ３６の表裏面には、ポリプロピレンやポリエチレン等からなる保護部材が適宜積層される。
【００３１】
なお、複数のフィルタ３６を使用する場合、同種のタイプを使用しても良いが、異なるタイプを使用することも可能である。例えば、分子濾過フィルタとケミカルフィルタとを組み合わせれば、基板Ｗのパーティクル汚染の他、有機ガス汚染をも抑制防止することができる。
【００３２】
また、バルブ体２０の組立に際しては、螺子結合を採用しても良いが、他の方法を採用したり、併用しても良い。例えば、固定筒２１と保持筒２５の一方に凹部を、他方には凸部をそれぞれ形成し、これらを嵌合させることにより固定しても良い。同様に、保持筒２５と中蓋筒３４の一方に凹部を、他方には凸部をそれぞれ形成し、これらを嵌合させても良い。
【００３３】
上記構成において、バルブ体２０をガス導入バルブ２０Ａとして利用する場合、不活性ガスやドライエアからなる気体が外部から供給されないときには、中蓋筒３４に保持されている弾性変形部材３３が弾性力により略平板状の逆止弁３１を固定筒２１の内底面に押し付けて通気口２３を閉塞するので、シール状態が形成される。したがって、収納容器の外部から内部に気体等が流入したり、収納容器の内部から外部に気体が漏れ出ることが有効に防止される（図４参照）。
【００３４】
これに対し、加工装置の導入ノズル７０からバルブ体２０に不活性ガスやドライエアからなる気体（図５の矢印参照）が供給されるときには、噴出する気体の圧力により逆止弁３１が保持筒方向に押圧されて弾性変形部材３３を同方向に圧縮変形させ、変形した逆止弁３１が固定筒２１の通気口２３との間に隙間を形成してシール状態を解除する。これにより気体は、収納容器の外部から固定筒２１の通気口２３と逆止弁３１の間の隙間、隙間３２、弾性変形部材３３、中蓋筒３４、フィルタ３６、保持筒２５を順次経由して収納容器の内部に流入する（図５参照）。
【００３５】
また、バルブ体２０をガス排気バルブ２０Ｂとして利用する場合、弾性変形部材３３が弾性力により逆止弁３１を中蓋筒３４の開口下部に押し付けてシール状態を形成する。したがって、収納容器の外部から内部に気体等が流入したり、収納容器の内部から外部に気体が漏れ出るのが有効に防止される（図６参照）。
【００３６】
これに対し、収納容器の内部に気体（図７の矢印参照）が充満するときには、充満する気体の圧力により逆止弁３１が固定筒方向に押圧されて弾性変形部材３３を同方向に圧縮変形させ、変形した逆止弁３１が中蓋筒３４との間に隙間を形成してシール状態を解除する。これにより気体は、収納容器の内部から保持筒２５、フィルタ３６、中蓋筒３４、逆止弁３１と中蓋筒３４との間の隙間、隙間３２、弾性変形部材３３、固定筒２１の通気口２３を順次経由して外部の加工装置の排気ノズル７１に流出する（図７参照）。この際、排気ノズル７１を減圧すれば、不活性ガス等からなる気体を効率的にパージすることができる。
【００３７】
上記構成によれば、容器本体１にフィルタ３６付きのバルブ体２０をセットするので、収納容器内のガスが外部に簡単に流出することがなく、これによりガスパージの効果を長時間維持することができる。また、収納容器の内外がバルブ体２０を介して間接的に連通しているので、クリーンルームに存在する微量の有機物が収納容器の外部から内部に流入するのを略完全に抑制防止することができる。また、貫通孔４やそのリブ５に、螺子結合した固定筒２１と保持筒２５のフランジ２４・２８をそれぞれ当接させれば、脱落することのない強固な係止構造を得ることができるので、バルブを取り付けるための係止構造が複雑になるという問題を簡単に解消することが可能となり、しかも、容器本体用の金型の簡素化をも図ることができる。
【００３８】
また、バルブ体２０を合成樹脂製とし、このバルブ体２０に、スプリング等の金属部品をなんら内蔵していないので、収納容器の保管時や洗浄時に金属部品から滲み出る微量の金属イオンが収納容器の内部に侵入して基板Ｗを汚染させるおそれがない。さらに、バルブ体２０の構成が実に簡素なので、組立の容易化やコスト削減が大いに期待できる。
【００３９】
次に、図８は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体１の内部に、バルブ体２０と連通する単数複数のノズルタワー５０を立て設けるようにしている。
ノズルタワー５０は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）等からなる所定の樹脂を使用して基本的には中空の円柱形に形成され、基板Ｗの側部と対向する周壁に、複数の噴出し口５１が所定の間隔をおいて上下方向に並べて穿孔されており、この複数の噴出し口５１から気体（矢印参照）が基板方向に供給される。複数の噴出し口５１の面積は、全て同一の面積でも良いし、下方から上方に向かうにしたがい徐々に拡大するものでも良い。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００４０】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、噴出し口５１から気体が基板方向に流動するので、不活性ガスの導入時に容器本体１内の滞留部分を解消してパージ時間を大幅に短縮することができるのは明らかである。
【００４１】
次に、図９は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体１の内部に、バルブ体２０の上方に位置する単数複数の偏向板６０を立て設けるようにしている。
偏向板６０は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）等からなる所定の樹脂を使用して基本的には断面略倒Ｌ字形に形成され、バルブ体２０からの気体（矢印参照）を基板方向に案内したり、収納容器内の気体をバルブ体２０に導くよう機能する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００４２】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、偏向板６０が気体の流れを制御するので、最下段に収納される基板Ｗに気体が直接衝突し、パーティクルを吹きかけたり、あるいはパーティクルが巻き上がったりするのを有効に抑制防止することができるのは明らかである。
【００４３】
次に、図１０、図１１は本発明の第４の実施形態を示すもので、この場合には、各バルブ体２０の弾性逆止弁を、断面略Ｕ字形に形成されて少なくとも保持筒２５内に流路である隙間３２を介し嵌入される弾性の逆止弁３１と、この有底円筒形の逆止弁３１に嵌入されて逆止弁３１を変形させる伸縮性の蛇腹体３７とから一体形成して弾性変形部材３３を省略し、複数のバルブ体２０のうち、一部をガス導入バルブ２０Ａとし、残部をガス排気バルブ２０Ｂとして利用するようにしている。
【００４４】
蛇腹体３７は、可撓性・弾性を有する中空の略円柱形に形成され、周壁には通気用の複数の流通口３８が所定の間隔をおいて穿孔されており、固定筒２１と中蓋筒３４の周壁下部間に位置する逆止弁３１の内部に積層される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００４５】
上記構成において、バルブ体２０をガス導入バルブ２０Ａとして利用する場合、気体が外部から供給されないときには、蛇腹体３７が下方の逆止弁３１を固定筒２１の内底面に押し付けて通気口２３を閉塞するので、シール状態が形成される。したがって、収納容器の外部から内部に気体等が流入したり、収納容器の内部から外部に気体が漏れ出ることが有効に防止される（図１０参照）。
これに対し、バルブ体２０をガス排気バルブ２０Ｂとして利用する場合、下方の蛇腹体３７が上方の逆止弁３１を中蓋筒３４の開口下部に圧接してシール状態を形成する。したがって、収納容器の外部から内部に気体等が流入したり、収納容器の内部から外部に気体が漏れ出るのが有効に防止される（図１１参照）。
【００４６】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、弾性逆止弁を、複数の別部品から形成するのではなく、変形時に気体を流通させる逆止弁３１と、バネ機能を有する蛇腹体３７とから一体形成するので、部品点数の削減が期待でき、これを通じて構造の簡素化、組立性の向上、生産管理の容易化を図ることができる。
【００４７】
次に、図１２、図１３は本発明の第５の実施形態を示すもので、この場合には、各バルブ体２０の弾性逆止弁を、保持筒２５内に流路である隙間３２を介し嵌入される弾性の逆止弁３１と、この逆止弁３１に空隙を介し一体化されて逆止弁３１を変形させる弾性のスカート体４０とから形成して弾性変形部材３３を省略し、複数のバルブ体２０のうち、一部をガス導入バルブ２０Ａとし、残部をガス排気バルブ２０Ｂとして利用するようにしている。
【００４８】
逆止弁３１とスカート体４０の材料としては、例えばメラミンゴム、イソプレンゴム、ブチルゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等のゴム、ポリエステル系熱可塑性エラストマー、各種熱可塑性エラストマーがあげられる。逆止弁３１には、通気用の複数の流通口３８Ａが所定の間隔をおいて穿孔される。また、スカート体４０は、略円板形あるいは断面略凹字の円柱形に形成されてその周縁部からバネ性を有する薄肉のスカート片４１が屈曲可能に伸長され、この略中空円錐台形のスカート片４１が逆止弁３１の周面に一体的に接続される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００４９】
上記構成において、バルブ体２０をガス導入バルブ２０Ａとして利用する場合、気体が外部から供給されないときには、上方のスカート体４０が下方の逆止弁３１をスカート片４１を介し固定筒２１の内底面に押し付けて通気口２３を閉塞するので、シール状態が形成される。したがって、収納容器の外部から内部に気体等が流入したり、収納容器の内部から外部に気体が漏れ出ることが有効に防止される（図１３参照）。
【００５０】
これに対し、バルブ体２０をガス排気バルブ２０Ｂとして利用する場合、下方のスカート体４０が上方の逆止弁３１をスカート片４１を介し中蓋筒３４の開口下部に押し付けてシール状態を形成する。したがって、収納容器の外部から内部に気体等が流入したり、収納容器の内部から外部に気体が漏れ出るのが有効に防止される（図１２参照）。
【００５１】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、弾性逆止弁を、変形時に気体を流通させる逆止弁３１と、バネ機能を有するスカート体４０とから一体形成するので、部品点数の削減が期待でき、これを通じて構造の簡素化、組立性の向上、生産管理の容易化を実現することが可能である。
【００５２】
なお、上記実施形態では容器本体１のリム部内周面に係止溝８を形成したが、これを省略しても良い。この場合、外部操作に基づいて動作する蓋体１０の係止機構を省略することができる。さらに、ガスを給排出する加工装置に、バルブ開閉用の突起や吸着ハンド等を設けることも可能である。
【００５３】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、パージの効果を比較的長期間維持することができ、有機物等が容器の外部から内部に侵入するのを有効に抑制あるいは防止することができるという効果がある。また、バルブの取付構造を簡素化し、バルブの金属部品を省略することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る収納容器の実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】本発明に係る収納容器の実施形態における容器本体を示す底面図である。
【図３】本発明に係る収納容器の実施形態におけるバルブ体を示す分解斜視図である。
【図４】本発明に係る収納容器の実施形態におけるガス導入バルブを示す断面説明図である。
【図５】図４のガス導入バルブに気体が供給される状態を示す断面説明図である。
【図６】本発明に係る収納容器の実施形態におけるガス排気バルブを示す断面説明図である。
【図７】図６のガス排気バルブから気体が外部に流出する状態を示す断面説明図である。
【図８】本発明に係る収納容器の第２の実施形態を示す模式断面説明図である。
【図９】本発明に係る収納容器の第３の実施形態を示す模式断面説明図である。
【図１０】本発明に係る収納容器の第４の実施形態におけるバルブ体をガス導入バルブとして使用する状態を示す断面説明図である。
【図１１】本発明に係る収納容器の第４の実施形態におけるバルブ体をガス排気バルブとして使用する状態を示す断面説明図である。
【図１２】本発明に係る収納容器の第５の実施形態におけるバルブ体をガス排気バルブとして使用する状態を示す断面説明図である。
【図１３】本発明に係る収納容器の第５の実施形態におけるバルブ体をガス導入バルブとして使用する状態を示す断面説明図である。
【符号の説明】
１　　　　　容器本体
４　　　　　貫通孔
５　　　　　リブ
１０　　　　蓋体
２０　　　　バルブ体
２０Ａ　　　ガス導入バルブ
２０Ｂ　　　ガス排気バルブ
２１　　　　固定筒
２２　　　　螺子溝
２３　　　　通気口
２４　　　　フランジ
２５　　　　保持筒
２８　　　　フランジ
２９　　　　螺子溝
３１　　　　逆止弁（弾性逆止弁）
３２　　　　隙間
３２Ａ　　　隙間
３３　　　　弾性変形部材（弾性逆止弁）
３４　　　　中蓋筒
３６　　　　フィルタ
３７　　　　蛇腹体（弾性逆止弁）
３８　　　　流通口
３８Ａ　　　流通口
４０　　　　スカート体（弾性逆止弁）
４１　　　　スカート片
Ｗ　　　　　基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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