(57)【要約】      （修正有）【課題】面積が大きくて薄型ダイを破損させることなく確実に粘着シートより剥離させることができる。【解決手段】ダイ３が貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、吸着ステージで粘着シートを吸着している状態でダイ３を突き上げる突き上げ部材３０と、突き上げ部材３０で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えている。吸着ステージには、外周のリング面２１よりダイ３の各辺に伸びた辺受け面２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄと、中心よりダイ３の隅部に伸びたＸ字状の隅受け面２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄとが形成され、ピックアップされるダイ３の各辺に対応した部分にＶ字形状の真空吸引される吸着溝部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄが形成されている。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、この吸着ステージで粘着シートを吸着している状態でダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記吸着ステージには、ピックアップするダイの各辺に対応した部分に真空吸引される吸着溝が形成されていることを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項２】
ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、この吸着ステージで粘着シートを吸着している状態でダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記吸着ステージには、外周のリング面よりダイの各辺に伸びた辺受け面と、中心よりダイの隅部に伸びたＸ字状の隅受け面とが形成され、ピックアップされるダイの各辺に対応した部分にＶ字形状の真空吸引される吸着溝部が形成されていることを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項３】
前記突き上げ部材の上面は、平坦であることを特徴とする請求項１又は２記載のダイピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイが貼り付けられた粘着シートからダイを剥離させてピックアップするダイピックアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ダイピックアップ方法及び装置として、例えば特許文献１、特許文献２及び特許文献３が挙げられる。
【０００３】
【特許文献１】
特開昭６２−２０８６４８号公報
【特許文献２】
特開平３−２２９４４１号公報
【特許文献３】
特開平７−２４９６７４号公報
【０００４】
特許文献１は、粘着シートを吸着するシート吸着コレットと、ダイ（チップ）を吸着するチップ吸着コレットとを備えている。まず、シート吸着コレットにより粘着シートの吸着が行なわれ、ダイの中心部において粘着シートの剥離が行なわれる。次にシート吸着コレットによる吸着が解除されて吸着されていた粘着シートが上方に戻ることになる。この動作によりダイの周辺部が粘着シートより剥離され、チップ吸着コレットの吸引によりダイをピックアップする。
【０００５】
特許文献２は、粘着シートを吸着する吸着受台と、ダイを突き上げる４個の突き上げピンと、ダイを吸着する吸着コレットとを備えており、前記突き上げピンは、ダイの各辺の隅からほぼ等しい距離に設けられている。そこで、吸着受台で粘着シートを吸着した状態で、突き上げピンの突き上げによってダイを突き上げ、吸着コレットの吸引によりダイをピックアップする。
【０００６】
特許文献３には、２つの実施例が開示されている。第１実施例は、待機状態において、粘着シートに対してコレットを傾斜させ、また複数の突き上げニードルの先端同士を連ねた面もコレットと同様に傾斜させている。この状態で、コレットを下降させると共に、突き上げニードルを上昇させて粘着シート側からダイを突き上げことによってコレットでダイを吸着する。次にコレットと突き上げニードルとの両方を粘着シートの法線方向へ直線的に上昇させることによって、ダイをその一端部から徐々に粘着シートから剥離させる。
【０００７】
第２実施例は、待機状態において、コレットが粘着シートに対して平行であり、また１個の突き上げニードルを有している。この状態でコレットを下降させてダイを吸着すると共に、突き上げニードルを上昇させて粘着シート側からダイに接触させる。次にダイの一端部を中心としてコレットを回転させると共に、ダイの中心よりも他端側を突き上げニードルによって、ダイをその他端部から徐々に粘着シートから剥離させる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１は、ダイを粘着シートから剥離させるのは、シート吸着コレット及びチップ吸着コレットによる吸着力のみで行なう。このため、面積が大きいダイは剥離に時間がかかると共に、この動作のみではダイを確実に剥離させるには信頼性が乏しい。また吸着力を強くする必要があるので、ダイの厚さが例えば２０〜８０μｍと薄い薄型ダイは、吸着力を強くするとダイを破損させてしまう。
【０００９】
特許文献２は、吸着受台で粘着シートを吸着した状態で、突き上げピンの突き上げ力のみよってダイを粘着シートから剥離させるので、薄型ダイの場合は該ダイに変形が生じて破損し易い。また突き上げピンの先端は尖っているので、薄型ダイの場合は点接触の集中応力が生じ、これによってもダイに破損が生じ易い。
【００１０】
特許文献３の第１実施例は、突き上げニードルの先端同士を連ねた面が同一面でないと、突出した突き上げニードルのみがダイをコレットに押圧することになる。また突き上げニードルの先端同士を連ねた面が同一面であっても、この突き上げニードルの同一面に対してコレットの傾斜角が同一面でないと、複数の突き上げニードルの内で左右両端の突き上げニードルの一方のみがダイをコレットに押圧することになる。このため、面積が大きいダイを確実に剥離させることができなく信頼性に乏しい。また一部の突き上げニードルのみがダイを押圧する恐れがあり、また突き上げニードルの先端は尖っているので、薄型ダイの場合は点接触の集中応力が生じ、ダイに破損が生じ易い。
【００１１】
特許文献３の第２実施例は、１個の突き上げニードルでダイを突き上げながらコレットを回転させるので、第１実施例と同様にダイに集中応力が生じ、ダイに破損が生じ易い。
【００１２】
本発明の課題は、面積が大きくて薄型ダイを破損させることなく確実に粘着シートより剥離させることができるダイピックアップ装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の請求項１は、ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、この吸着ステージで粘着シートを吸着している状態でダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記吸着ステージには、ピックアップするダイの各辺に対応した部分に真空吸引される吸着溝が形成されていることを特徴とする。
【００１４】
上記課題を解決するための本発明の請求項２は、ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、この吸着ステージで粘着シートを吸着している状態でダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記吸着ステージには、外周のリング面よりダイの各辺に伸びた辺受け面と、中心よりダイの隅部に伸びたＸ字状の隅受け面とが形成され、ピックアップされるダイの各辺に対応した部分にＶ字形状の真空吸引される吸着溝部が形成されていることを特徴とする。
【００１５】
上記課題を解決するための本発明の請求項３は、請求項１又は２において、前記突き上げ部材の上面は、平坦であることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を図１乃至図４により説明する。図１に示すように、粘着シート１に貼り付けられたウェーハは、ダイシング２されて複数のダイ３に分割されており、粘着シート１はＸＹ方向に移動する図示しない枠体に固定されている。粘着シート１の上方には、ダイ３を真空吸着する吸着穴１１が形成されたコレット１０が配設されている。コレット１０は図示しないスプリングで下方に付勢されており、図示しない駆動手段で上下動及びＸＹ方向に移動させられる。
【００１７】
粘着シート１の下方には、該粘着シート１を真空吸着する吸着ステージ２０が配設されている。図２乃至図４（主として図２及び図３参照）に示すように、吸着ステージ２０の上面は、突き上げられるダイ３よりも大きく、外周のリング面２１よりダイ３の各辺に伸びた４個の辺受け面２２（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ）が形成され、また中心よりダイ３の隅受け面に伸びたＸ字状の隅受け面２３（２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ）が形成されている。従って、リング面２１、辺受け面２２及び隅受け面２３で囲まれた部分は、吸着溝２４となっており、ピックアップされるダイ３に対応した吸着溝２４の部分は、ダイ３の各辺に対してＶ字形状の２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄとなっている。
【００１８】
吸着溝２４部分には、真空吸引される複数個の吸着穴２５が形成されている。前記隅受け面２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄには、それぞれ突き上げ部材配設穴２６が形成されており、突き上げ部材配設穴２６には、それぞれピン形状よりなり上面が平坦な３個の突き上げ部材３０が上下動可能に配設されている。これらの突き上げ部材３０は、図示しない上下駆動手段で上下駆動させられる。
【００１９】
次に作用について説明する。粘着シート１が固定された図示しない枠体を移動させ、ピックアップするダイ３を吸着ステージ２０に位置決めする。次に吸着穴２５を真空吸引する。この真空吸引によって、ダイシング２部分の粘着シート１は、Ｖ字形状の吸着溝部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄからの負圧により下方に引かれるので、ダイ３の外周部分は粘着シート１から剥離される。次に突き上げ部材３０が上昇してダイ３を突き上げると共に、コレット１０が吸着穴１１からの負圧によりダイ３を吸着する。これにより、突き上げ部材３０の部分を除いてダイ３は粘着シート１から剥離される。この場合、ダイ３は、突き上げ部材３０とコレット１０の下面１２で直接挟持されるので、ダイ３を安定して把持できる。続いてコレット１０がダイ３を吸着したまま上昇する。これにより、コレット１０は粘着シート１から確実にダイ３を剥離させ、ＸＹ移動させられてダイ３を所定の場所に搬送する。
【００２０】
このように、突き上げられるダイ３の各辺を受ける辺受け面２２とダイ３の隅部を受ける隅受け面２３とで形成されるＶ字形状の吸着溝部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄからの負圧によりダイ３の外周部が粘着シート１から剥離されているので、突き上げピン３０でダイ３を突き上げた場合、大きなダイ３でも確実にコレット１０でピックアップすることができる。また突き上げピン３０の上面を平坦に形成することにより、ダイ３を破損させることもない。
【００２１】
なお、上記実施の形態においては、突き上げ部材配設穴２６にそれぞれ３個の突き上げ部材３０を設けた場合について説明したが、１個又は２個以上であってもよい。また突き上げ部材３０としてピン形状の場合について説明したが、突き上げ部材配設穴２６に沿った板状形状でもよい。
【００２２】
【発明の効果】
本発明は、ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、この吸着ステージで粘着シートを吸着している状態でダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記吸着ステージには、ピックアップするダイの各辺に対応した部分に真空吸引される吸着溝が形成されているので、面積が大きくて薄型ダイを破損させることなく確実に粘着シートより剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を示す正面図である。
【図２】吸着ステージの斜視図である。
【図３】吸着ステージの平面図である。
【図４】（ａ）は図３のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図３のＢ−Ｂ線断面図、（ｃ）は図３のＣ−Ｃ線断面図である。
【符号の説明】
１    粘着シート
２    ダイシング
３    ダイ
１０    コレット
２０    吸着ステージ
２１    リング面
２２、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ      辺受け面
２３    隅受け面
２４    吸着溝
２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ      吸着溝部
２５    吸着穴
２６    突き上げ部材配設穴
３０    突き上げ部材
【図１】
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【図２】
2004273528.tif 000004
【図３】
2004273528.tif 000005
【図４】
2004273528.tif 000006