(57)【要約】【課題】ネットワーク回線の容量の変化があり、容量が大きい場合でも小さい場合でも画像の更新レートを速くすることができる電子顕微鏡像の転送方式を実現する。【解決手段】制御部１８は、転送される画像の更新レートに関係するネットワーク回線１１の容量を検出し、ネットワーク回線１１が充分な容量を有している場合には、画像信号は、第１の画像圧縮転送部８において、ＭｏｔｉｏｎＪＰＥＧ方式で圧縮され、ＴＣＰ／ＩＰ方式の画像転送方式で、ネットワーク回線１１を介してクライアントＰＣ１２に転送される。回線１１が混み合ってきて、充分な転送速度が確保できなくなった場合には、画像信号は、第２の画像圧縮転送部９において、ＵＤＰデータ転送方式でデータの圧縮が行なわれ、その圧縮されたデータは、分配器１０、ネットワーク回線１１を介してクライアントＰＣ１２の圧縮画像変換ユニット１６に供給される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子顕微鏡を遠隔地からネットワーク回線を介して像の観察条件を制御し、所望の観察条件に設定された電子顕微鏡から、試料の画像データを得、得られた画像データを圧縮処理して該ネットワーク回線を介して遠隔地に設けられた制御装置に転送し、制御装置で圧縮画像を変換し、得られた画像データに基づいて遠隔地で顕微鏡像を表示するようにした電子顕微鏡の遠隔観察システムにおいて、それぞれ異なった圧縮転送方式で画像データを圧縮転送する複数の画像データ圧縮転送部を電子顕微鏡側に設け、そのいずれかの画像データ圧縮転送部を選択し得るように構成し、遠隔地の制御装置によりネットワーク回線の容量を検出し、検出された容量に応じていずれかの画像データ圧縮転送部を選択し、選択された圧縮転送方式により画像データを圧縮処理すると共に、選択された転送方式により、圧縮データを遠隔地の制御装置に転送するようにした電子顕微鏡の遠隔観察システム。
【請求項２】
画像データ圧縮転送部は２種設けられ、その一方はＵＤＰデータ転送方式であり、他方はＭｏｔｉｏｎＪＰＥＧ方式であり、ネットワーク回線の容量が大きい場合には、ＭｏｔｉｏｎＪＰＥＧ方式を用い、容量が小さい場合には、ＵＤＰデータ転送方式を用いて画像データの圧縮転送処理を行なうようにした請求項１記載の電子顕微鏡の遠隔観察システム。
【請求項３】
電子顕微鏡を遠隔地からネットワーク回線を介して像の観察条件を制御し、所望の観察条件に設定された電子顕微鏡から、試料の画像データを得、得られた画像データを圧縮処理して該ネットワーク回線を介して遠隔地に設けられた制御装置に転送し、制御装置で圧縮画像を変換し、得られた画像データに基づいて遠隔地で顕微鏡像を表示するようにした電子顕微鏡の遠隔観察システムにおいて、それぞれ画素数が異なり、画像サイズが異なる画像データに圧縮転送する複数の画像データ圧縮転送部を電子顕微鏡側に設け、そのいずれかの画像データ圧縮転送部を選択し得るように構成し、遠隔地の制御装置によりネットワーク回線の容量を検出し、検出された容量に応じていずれかの画像データ圧縮転送部を選択し、選択された圧縮転送方式により画像データを圧縮処理すると共に、選択された転送方式により、圧縮データを遠隔地の制御装置に転送するようにした電子顕微鏡の遠隔観察システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、走査電子顕微鏡や透過電子顕微鏡などの電子顕微鏡で撮影した像のデータを、インターネット等のネットワーク回線を介して電子顕微鏡から離れた遠隔地に転送する電子顕微鏡の遠隔観察システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
走査電子顕微鏡や電子プローブマイクロアナライザー等では、電子銃から発生し加速された電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズによって試料上に細く集束している。そして電子ビームを走査コイルによって試料上で２次元的に走査し、電子ビームの走査部分から発生した２次電子等を検出している。
【０００３】
検出された２次電子信号は、映像信号として電子ビームの２次元走査に同期したディスプレイに供給される。その結果、高い倍率で試料の表面構造の状態の観察を行なうことができ、広い産業分野で研究や検査目的で使用されている。
【０００４】
また、透過電子顕微鏡では、投影レンズによって拡大された像を撮像管によって映像信号に変換し、この映像信号によってディスプレイ上で像の観察を行なうことができる。近年、この走査電子顕微鏡や透過電子顕微鏡をこれら顕微鏡が設置されている場所から離れた遠隔地より、ネットワーク回線（例えばＬＡＮやインターネット）を介してコントロールし、また、撮影した像を顕微鏡側から、遠隔地のクライアントのパーソナルコンピュータ（ＰＣ）に転送し、ＰＣ上で像を観察することが行われている。
【０００５】
例えば、走査電子顕微鏡像の転送においては、まず最初にクライアントＰＣから走査電子顕微鏡を動作させるためのコマンドを、ネットワーク回線を介して走査電子顕微鏡に送る。走査電子顕微鏡側では、このコマンドを受け取り、コマンドの内容に応じた動作を自動的に開始する。
【０００６】
一例として、倍率値を指定したコマンドが送られてきた場合には、その倍率に応じた試料上の特定の大きさの２次元領域を電子ビームで走査するような電子ビームの走査信号が発生され、偏向コイルに供給される。この結果、得られた２次電子検出信号は、映像信号として、一旦走査電子顕微鏡側の画像圧縮転送部内のフレームメモリーに格納される。
【０００７】
フレームメモリーに格納された各画像の映像信号は、適宜なデータ圧縮機能により圧縮され、その圧縮データがネットワーク回線を介してクライアントＰＣに転送される。クライアントＰＣ側では、圧縮データを受け取り、圧縮データを変換して映像信号を再生し、この変換された映像信号に基づいてクライアントＰＣ側のディスプレイ上に指定した倍率の像を表示する。クライアントＰＣを操作しているオペレータは、転送された像を観察し、試料の移動や倍率の変更を走査電子顕微鏡側に指示する。このような方式により、遠隔地より電子顕微鏡をインターネットを介して操作し、得られた像をインターネットを介してクライアントＰＣ側に転送している。
【０００８】
なお、上記遠隔地としては、例えば、半導体デバイス等の製造を行なうクリーンルームを挙げることができる。すなわち、クリーンルームの清浄度を維持するために、顕微鏡のオペレータの出入りの回数を減らす必要があり、そのため、クリーンルーム内にオペレータを配置せず、クリーンルーム外から顕微鏡の操作や、像の観察を行なうようにしている。また、１台の顕微鏡を異なった場所で複数のオペレータによって操作する場合も、顕微鏡の遠隔地操作が有効となる。
（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
【特許文献１】
特開２０００―１２３７７０号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記した走査電子顕微鏡で取得した走査電子顕微鏡像の画像信号は、圧縮処理が施されてインターネット等のネットワーク回線を介してクライアントＰＣ側に転送される。この画像の圧縮転送方式は複数種類存在する。例えば、走査電子顕微鏡に使用されている圧縮転送方式としては、ＵＤＰデータ転送、ＭｏｔｉｏｎＪＰＥＧ，ＭＰＥＧ１，ＭＰＥＧ２などを挙げることができる。
【００１１】
これらの画像転送方式は、それぞれ互いにデータ転送量、画像サイズ、画質が異なり、それぞれ特徴を有している。例えば、画像転送方式としてＵＤＰ方式を利用する場合、小さい画像表示の場合は、データ転送量が小さく、画像の更新レートは速くなるが、画質が悪くなることと、データ保証をしないため、常にデータを送信つづけるという特徴を有している。
【００１２】
また、ＭｏｔｉｏｎＪＰＥＧを用いた場合、ＴＣＰ／ＩＰを使うためデータ保証をとりながらデータを送信するため、データ通信の応答が遅くなり小さい画像表示においては、画質は良いがデータ転送量は多く、回線の容量が小さい場合に画像の更新レートが悪くなる。
【００１３】
本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、その目的は、ネットワーク回線の容量に変化があり、容量が大きくなっても小さくなっても画像の更新レートを常に速くすることができる電子顕微鏡像の転送方式を実現するにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明に基づく電子顕微鏡の遠隔観察システムは、電子顕微鏡を遠隔地からネットワーク回線を介して像の観察条件を制御し、所望の観察条件に設定された電子顕微鏡から、試料の画像データを得、得られた画像データを圧縮処理して該ネットワーク回線を介して遠隔地に設けられた制御装置に転送し、制御装置で圧縮画像を変換し、得られた画像データに基づいて遠隔地で顕微鏡像を表示するようにした電子顕微鏡の遠隔観察システムにおいて、それぞれ異なった圧縮転送方式で画像データを圧縮転送する複数の画像データ圧縮転送部を電子顕微鏡側に設け、そのいずれかの画像データ圧縮転送部を選択し得るように構成し、遠隔地の制御装置によりネットワーク回線の容量を検出し、検出された容量に応じていずれかの画像データ圧縮転送部を選択し、選択された圧縮転送方式により画像データを圧縮処理すると共に、選択された転送方式により、圧縮データを遠隔地の制御装置に転送するようにしたことを特徴とするものである。
【００１５】
また、画像データ圧縮転送部は２種設けられ、その一方の画像データ圧縮転送方式はＵＤＰデータ転送方式であり、他方はＭｏｔｉｏｎＪＰＥＧ方式であり、ネットワーク回線の容量が大きい場合には、ＭｏｔｉｏｎＪＰＥＧ方式を用い、容量が小さい場合には、ネットミーティングを用いて画像データの圧縮転送処理を行なうようにしたことを特徴としている。
【００１６】
更に、本発明における電子顕微鏡の遠隔観察システムは、電子顕微鏡を遠隔地からネットワーク回線を介して像の観察条件を制御し、所望の観察条件に設定された電子顕微鏡から、試料の画像データを得、得られた画像データを圧縮処理して該ネットワーク回線を介して遠隔地に設けられた制御装置に転送し、制御装置で圧縮画像を変換し、得られた画像データに基づいて遠隔地で顕微鏡像を表示するようにした電子顕微鏡の遠隔観察システムにおいて、それぞれ画素数が異なり、画像サイズが異なる画像データに圧縮転送する複数の画像データ圧縮転送部を電子顕微鏡側に設け、そのいずれかの画像データ圧縮転送部を選択し得るように構成し、遠隔地の制御装置によりネットワーク回線の容量を検出し、検出された容量に応じていずれかの画像データ圧縮転送部を選択し、選択された圧縮転送方式により画像データを圧縮処理すると共に、選択された転送方式により、圧縮データを遠隔地の制御装置に転送するようにしたことを特徴とするものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図を参照して詳述する。図１は本発明に基づく電子顕微鏡像の転送方式を実現するための概略構成図である。図中１は走査電子顕微鏡本体２を有した、サーバー側としての走査電子顕微鏡ユニットであり、走査電子顕微鏡本体２には、走査電子顕微鏡の加速電圧、倍率、フォーカス合わせ等の制御を行う制御部３が備えられている。
【００１８】
また、走査電子顕微鏡本体２には、その内部に設けられた２次電子検出器や反射電子検出器からの映像信号が供給され、その映像信号の輝度やコントラストを調整する検出信号処理部４が備えられている。なお、２次電子検出器や反射電子検出器は、試料（図示せず）上で一次電子ビームを２次元走査することによって発生した２次電子や反射電子を検出する。
【００１９】
検出信号処理部４からの映像信号は、走査電子顕微鏡ユニット１の中に設けられたディスプレイ５に供給され、試料の走査２次電子像や反射電子像が表示されると共に、スイッチ６を介して第１と第２の画像圧縮転送部８、９のいずれかに供給される。一方の画像圧縮転送部８では、検出信号処理部４からの画像データを、指定された圧縮方式、例えば、ＵＤＰデータ転送方式でデータの圧縮を行なって転送する。
【００２０】
また、他方の画像圧縮転送部９では、検出信号処理部４からの画像データを、指定された圧縮方式、例えば、ＭｏｔｉｏｎＪＰＥＧでデータの圧縮を行ない、ＴＣＰ／ＩＰ方式の画像転送方式によって転送する。この２種の画像圧縮転送部８、９では、画像サイズの切換処理も行なうように構成されている。なお、良く知られているように、ＴＣＰ／ＩＰとは、ネットワーク用のプロトコルであり、ＴＣＰはトランスポート層のプロトコル、ＩＰはインターネットワーク層のプロトコルである。
【００２１】
第１の画像圧縮転送部８および第２の画像圧縮転送部９からのデータは、分配器（ハブ）１０に供給され、そのいずれかのデータが、インターネットやＬＡＮなどのネットワーク回線１１を介して、クライアントＰＣ１２に転送される。なお、切換スイッチ７の切り換えに応じて、第１の画像圧縮転送部８および第２の画像圧縮転送部９の電源１３の切換スイッチ１４も切り換えられる。
【００２２】
クライアントＰＣ１２側には、ネットワーク回線１１との間のインターフェース１５が設けられており、クライアントＰＣ１２に転送された圧縮画像は、インターフェース１５によって圧縮画像変換ユニット１６に供給される。圧縮画像変換ユニット１６では、供給された圧縮画像を映像信号に変換し、その映像信号をディスプレイ１７に供給する。
【００２３】
この実施の形態では、圧縮画像変換ユニット１６に、ＴＣＰ／ＩＰ方式の画像転送方式によって転送され、ＭｏｔｉｏｎＪＰＥＧで圧縮されたデータを元の映像信号に戻す機能と、ＵＤＰデータ転送方式でデータの圧縮を行なって転送されたデータを元の映像信号に戻す機能とが備えられている。このような状態とすることによって、走査電子顕微鏡ユニット１とクライアントＰＣ１２との間の通信が可能となる。
【００２４】
クライアントＰＣ１２には、制御部１８が備えられているが、この制御部１８には、図示していないが、マウスやジョイスティックなどのポインティングデバイスや、操作パネルが接続されている。この制御部１８を操作して、オペレータは遠隔地の走査電子顕微鏡ユニット１内の走査電子顕微鏡制御部３を介し、走査電子顕微鏡本体２を制御する。
【００２５】
すなわち、制御部１８は、ディスプレイ１７の画面上に制御すべき対象のボタンが表示されており、このボタンのいずれかにカーソルを移動させ、マウスをクリックすることによって制御すべき対象を選択する。
【００２６】
図２はディスプレイ１７の画面の一例を示しており、画面は画像表示部１７ａとコントロール部１７ｂより構成されている。このコントロール部１７ｂに走査電子顕微鏡本体２を制御すべき対象のボタンが表示されている。
【００２７】
例えば、倍率の選択ボタンにカーソルを合わせ、マウスをクリックすると、ディスプレイ１７の画面上には、倍率の選択モードの画面が表示され、オペレータは、例えば、画面上に表示された複数の倍率値のいずれかにカーソルを合わせてマウスをクリックする。
【００２８】
このようにして選択された倍率値のコマンドは、制御部１８からインターフェース１５、ネットワーク回線１１、ハブ１０を介して、走査電子顕微鏡ユニット１内の制御部３に転送される。制御部３では、転送されたコマンドを検出し、コマンドに応じた倍率となるように、電子ビームの走査信号の振幅を変化させ、試料上の電子ビームの２次元走査領域の大きさを変化させる。
【００２９】
また、上記倍率値の設定と同様の操作により、制御部１８によって画像の圧縮転送方式を指定すると、スイッチ６と１４との切換コマンドを作成し、ハブ１０を介して各スイッチに切換コマンドを供給し、コマンドに応じてスイッチを切り換え、走査電子顕微鏡ユニット１内の第１と第２の画像圧縮転送部８、９のいずれかの圧縮転送方式を選択することができる。
【００３０】
更に、制御部１８は、転送される画像の更新レートに関係するネットワーク回線１１の容量を検出するために、一定間隔で、データ転送量をバックグラウンドで測定する機能も有している。このような構成の動作を次に説明する。
【００３１】
まず、オペレータはクライアントＰＣ１２内の制御部１８を操作して、走査電子顕微鏡本体２内における電子ビームの加速電圧の設定、観察倍率（走査信号の振幅）の設定、試料ステージの移動による観察位置の設定などを行なう。制御部１８の操作による観察条件の設定は、前記した条件以外に、２次電子検出器と反射電子検出器との切換など通常の走査電子顕微鏡の観察条件の全てを含むことが望ましい。
【００３２】
また、制御部１８により、検出信号処理部４を制御し、検出器から得られた映像信号の輝度調整やコントラストの調整も行なうことができる。更に、走査電子顕微鏡制御部３と検出信号処理部４によって、試料に照射される電子ビームのオートフォーカス動作やオートスティグマ動作を始めとした、通常の走査電子顕微鏡の調整動作のほとんどの操作を行なうことができる。
【００３３】
このようにして走査電子顕微鏡本体２内の電子光学系の設定等と検出信号処理部４の制御を行なった後、制御部１８は、転送される画像の更新レートに関係するネットワーク回線１１の容量を検出するために、一定間隔で、データ転送量をバックグラウンドで測定する。
【００３４】
この回線容量の測定により、例えば、ネットワーク回線１１が充分な容量を有している場合には、ＭｏｔｉｏｎＪＰＥＧ方式で画像の圧縮転送を行うように、制御部１８は、スイッチ６と１４を、検出信号処理部４からの映像信号が、第１のデータ圧縮転送部８に供給されるようにを切り換える。このスイッチの切り換えにより、画像信号は、ＭｏｔｉｏｎＪＰＥＧ方式で圧縮され、ＴＣＰ／ＩＰ方式の画像転送方式で、ネットワーク回線１１を介してクライアントＰＣ１２に転送される。
【００３５】
このＭｏｔｉｏｎＪＰＥＧ方式で圧縮された画像データは、例えば、６４０×４８０画素のデータ量であり、データの転送量は大きいが、ネットワーク回線１１の容量が充分大きいため、画像の更新レートも速くして転送を行なうことができる。
【００３６】
この結果、クライアントＰＣ１２に転送された圧縮画像を圧縮画像変換ユニット１６で元の画像信号に変換し、その画像信号により、走査電子顕微鏡像をディスプレイ１７上に表示すれば、画質の良い像を観察することができる。また、画像の更新レートも速くすることができるため、動画として走査電子顕微鏡像の観察ができることになる。
【００３７】
ここで、クライアントＰＣ１２の制御部１８は、常にネットワーク回線１１の容量を監視しており、回線１１が混み合ってきて、充分な転送速度が確保できなくなった場合には、制御部１８はスイッチ６と１４を切り換え、走査電子顕微鏡ユニット１内の検出信号処理部４からの画像信号を、第２の画像圧縮転送部９に転送する。
【００３８】
この結果、画像信号は、第２の画像圧縮転送部９において、ＵＤＰデータ転送方式でデータの圧縮が行なわれ、その圧縮されたデータは、分配器１０、ネットワーク回線１１を介してクライアントＰＣ１２の圧縮画像変換ユニット６に供給される。
【００３９】
このＵＤＰデータ転送方式で圧縮された画像データの転送量は小さく、ネットワーク回線１１の容量が充分でない場合でも、画像の更新レートを速くして転送を行なうことができる。
【００４０】
また、第２の画像圧縮転送部９において、ＵＤＰデータ転送方式で圧縮された画像データを、大画素（例えば３２０×２４０画素）から、それよりも少ない中画素と、更に少ない小画素の３種類の画像データの切り替えが自動的にできるように構成すると良い。
【００４１】
すなわち、この３種類の画像データの切り替えを、ネットワーク回線１１の容量に応じて、制御部１８からの制御によって行なうと、ネットワーク回線１１の容量に応じた、より最適な画素数の画像を転送することができる。この結果、クライアントＰＣ１２に転送された圧縮画像を圧縮画像変換ユニット１６で元の画像信号に戻し、その画像信号により、走査電子顕微鏡像をディスプレイ１７上に表示すれば、回線１１の容量が少なくなっても、容量に応じた画素数の画像の圧縮データを転送することができるため、画像の更新レートを速くした状態で、回線の容量に応じた最適な画質の像を表示することができる。
【００４２】
更に、第１の画像圧縮転送部８と第２の画像圧縮転送部９を用いて、ネットワーク回線１１の容量に応じて画像圧縮転送方式を切り替えることはせず、第１の画像圧縮転送部８と第２の画像圧縮転送部９において画像サイズ切り換え機能を付属させ、画素数に応じて画像サイズを自動的に調整できるように構成すると、画素数が少なくなっても画質の悪化を防止することができる。
【００４３】
すなわち、ネットワーク回線１１の容量が大きい場合には、ディスプレイ１８に表示される画像の画素数は、図２（ａ）に示すように、最大の６４０×４８０画素とされて、ディスプレイ１８の画面サイズと同一のサイズで画質の優れた画像が表示される。
【００４４】
その一方で、ネットワーク回線１１の容量が小さくなった場合には、ディスプレイ１８に表示される画像の画素数は、例えば、３２０×２４０画素とされて、図２（ｂ）に示すように、ディスプレイ１８の画面の中心部に画像サイズが小さくされた、画質の優れた画像が表示される。
【００４５】
以上本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこの実施の形態に限定されず幾多の変形が可能である。例えば、走査電子顕微鏡を例に説明したが、透過電子顕微鏡による観察にも本発明を適用することができる。また、画像圧縮転送方式は２種の方式から選択するようにしたが、３種以上の圧縮転送方式を切り換えるように構成しても良い。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に基づく電子顕微鏡の画像転送方式は、電子顕微鏡の遠隔観察システムは、電子顕微鏡を遠隔地からネットワーク回線を介して像の観察条件を制御し、所望の観察条件に設定された電子顕微鏡から、試料の画像データを得、得られた画像データを圧縮処理して該ネットワーク回線を介して遠隔地に設けられた制御装置に転送し、制御装置で圧縮画像を変換し、得られた画像データに基づいて遠隔地で顕微鏡像を表示するようにした電子顕微鏡の遠隔観察システムにおいて、それぞれ異なった圧縮転送方式で画像データを圧縮転送する複数の画像データ圧縮転送部を電子顕微鏡側に設け、そのいずれかの画像データ圧縮転送部を選択し得るように構成し、遠隔地の制御装置によりネットワーク回線の容量を検出し、検出された容量に応じていずれかの画像データ圧縮転送部を選択し、選択された圧縮転送方式により画像データを圧縮処理すると共に、選択された転送方式により、圧縮データを遠隔地の制御装置に転送するようにしたことを特徴とするものである。
【００４７】
上記した構成により、ネットワーク回線の容量が充分に大きい場合には、転送する画像データ量を多くすることができる圧縮転送方式を自動的に選択し、その結果、再生する画像の画質が良い状態で、画像の更新レートが高い像を得ることができる。また、ネットワーク回線の容量が小さい場合には、少ないデータで転送する圧縮転送方式が自動的に選択され、画質が劣っても画像の更新レートが高い像を得ることができる。
【００４８】
また、本発明における電子顕微鏡の遠隔観察システムは、電子顕微鏡を遠隔地からネットワーク回線を介して像の観察条件を制御し、所望の観察条件に設定された電子顕微鏡から、試料の画像データを得、得られた画像データを圧縮処理して該ネットワーク回線を介して遠隔地に設けられた制御装置に転送し、制御装置で圧縮画像を変換し、得られた画像データに基づいて遠隔地で顕微鏡像を表示するようにした電子顕微鏡の遠隔観察システムにおいて、それぞれ画素数が異なり、画像サイズが異なる画像データに圧縮転送する複数の画像データ圧縮転送部を電子顕微鏡側に設け、そのいずれかの画像データ圧縮転送部を選択し得るように構成し、遠隔地の制御装置によりネットワーク回線の容量を検出し、検出された容量に応じていずれかの画像データ圧縮転送部を選択し、選択された圧縮転送方式により画像データを圧縮処理すると共に、選択された転送方式により、圧縮データを遠隔地の制御装置に転送するようにしたことを特徴とするものである。
【００４９】
上記した構成により、ネットワーク回線の容量が充分に大きい場合には、転送する画像データ量を多くすることができ、大きな画像サイズのデータを転送できる圧縮転送方式を自動的に選択し、その結果、再生する画像の画質が良い状態で、画像の更新レートが高い像を得ることができる。また、ネットワーク回線の容量が小さい場合には、画像サイズを小さくし、少ないデータで転送する圧縮転送方式が自動的に選択され、画像サイズが小さいものの、画像の更新レートが高い像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づく電子顕微鏡の画像転送方式を実施するための概略構成図である。
【図２】ディスプレイ上に表示された像の一例を示す図である。
【符号の説明】
１  走査電子顕微鏡ユニット
２  走査電子顕微鏡本体
３  走査電子顕微鏡制御部
４  検出信号処理部
５  ディスプレイ
６、１４  スイッチ
８  第１の画像圧縮転送部
９  第２の画像圧縮転送部
１０  分配器（ハブ）
１１  ネットワーク回線
１２  クライアントＰＣ
１３  電源
１５  インターフェース
１６  圧縮画像変換ユニット
１７  ディスプレイ
１８  制御部
【図１】
2004171936.tif 000003
【図２】
2004171936.tif 000004