(57)【要約】【課題】繰返し測定における計測動作初期の不安定さを回避するため動作状態に応じて計測に先立ち事前繰返し動作を行い、計測系の安定度を高める。【解決手段】繰返し動作の前において制御手段２１から計時補正手段１９に信号が入力された後、計時補正手段１９は予め定めた事前繰返し回数Ｎｐｒだけ事前繰返し動作を行った後は計測開始を指示し、計時手段１８が正規の動作を開始する。その後本来定めた繰返し回数Ｎｓｔまで繰返し動作を行うと、計時手段１８は計時動作を停止し流量演算手段２０で流量演算を行う。【選択図】　図１
2004061268.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体の流れる流路に配置され超音波を送受信する振動子と、前記振動子の送受信の切換手段と、前記振動子間相互の超音波伝搬を複数回行う繰返し手段と、前記繰返し時に前記振動子からの送信信号を遅らせる遅延手段と、それぞれの複数回繰返しの伝搬時間を計測する計時手段と、前記計時手段の計時動作を補正する計時補正手段と、前記計時手段のそれぞれの計時値と前記遅延手段の遅延値の差に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えた流量計測装置。
【請求項２】
計時補正手段は、計時開始時に前回までの計時手段の計測値に応じた一定回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する計時開始手段を有する請求項１記載の流量計測装置。
【請求項３】
計時補正手段は、計時開始時に前回までの計時手段の計測値が予め定めた値より大きい場合に所定回数の繰返し動作を行った後から計時を開始する計時開始手段を有する請求項１記載の流量計測装置。
【請求項４】
計時補正手段は、計時開始時に前回までの計時手段の計測値が予め定めた値より小さい場合に所定回数の繰返し動作を行った後から計時を開始する計時開始手段を有する請求項１記載の流量計測装置。
【請求項５】
被測定流体の流れる流路に配置され超音波を送受信する振動子と、前記振動子の送受信の切換手段と、前記振動子間相互の超音波伝搬を複数回行う繰返し手段と、前記繰返し時に前記振動子からの送信信号を遅らせる遅延手段と、それぞれの複数回繰返しの伝搬時間を計測する計時手段と、前記遅延手段の遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記計時手段の計時動作を補正する計時補正手段と、前記計時手段のそれぞれの計時値と前記遅延手段の遅延値の差に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備え、前記計時補正手段は、計時開始時に前記遅延時間計測手段で求めた遅延時間の計測値に応じて一定回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する計時開始手段を有する流量計測装置。
【請求項６】
計時補正手段は、計時開始時に前回までの遅延時間計測手段で求めた遅延時間の差に応じて所定回数の繰返し動作を行った後から計時を開始する計時開始手段を有する請求項５記載の流量計測装置。
【請求項７】
計時補正手段は、計時開始時に前回までの遅延時間計測手段で求めた遅延時間が予め定めた値より小さい場合に所定回数の繰返し動作を行う計測開始手段の動作を停止する請求項５記載の流量計測装置。
【請求項８】
計時補正手段は、回路電圧を監視する電圧監視手段を有し、計時開始時に前記電圧監視手段で求めた電圧に応じて一定回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する計時開始手段を有する請求項１から請求項７いずれか一項記載の流量計測装置。
【請求項９】
計時補正手段は、記憶手段を有し、計時開始時に前記記憶手段の値に応じて一定回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する計時開始手段を有する請求項１から請求項７いずれか一項記載の流量計測装置。
【請求項１０】
計時補正手段は、計時手段による計時単位より細かい計時単位を有する副計時手段を有し、計時開始時に一定回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する際に前記副計時手段を用いて計時開始時の時間精度を調整する請求項１から請求項９いずれか一項記載の流量計測装置。
【請求項１１】
計時補正手段は、計時開始時に一定回数の繰返し動作を行った後に計時手段への計時開始信号を送出する計時動作開始手段を有する請求項１から請求項９いずれか１項記載の流量計測装置。
【請求項１２】
請求項１から請求項１１のいずれか１項記載の計時補正手段としてコンピュータを機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波を利用して気体や液体などの流量を計測する流量計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の超音波流量計としては、例えば、特開２０００−２９２２３２公報に記載されているものがあった。図１３は、前記公報に記載された従来の超音波流量計の構成を示すブロック図である。
【０００３】
図１３において、流体流路１の途中に超音波を発信する第１振動子２と受信する第２振動子３が流れ方向に配置されている。４は第１振動子２への送信回路、５は第２振動子３で受信した超音波を信号処理する受信回路である。６は受信回路５で超音波を検知した後第１振動子２からの送信と第２振動子３での受信を複数回繰り返す繰返し手段である。９は受信回路で超音波を検出した後、再度第１振動子２から超音波を送信するまでの遅延時間を発生させる遅延時間発生手段であり、１０は遅延時間発生手段９により発生した遅延時間を計測する遅延時間計測手段、１１は遅延時間発生手段９の計測値を基に、遅延時間を制御する遅延時間制御手段、１２はは繰返し手段により行われる複数回の超音波伝達の所要時間を計測する累積時間計測手段、８は遅延時間計測手段１２および累積時間計測手段１２の計測値から流量を求める流量演算手段である。送信回路５より送出されたバースト信号により第１振動子２から発信された超音波信号は、流れの中を伝搬し、第２振動子３で受信され受信回路６で検知され、遅延時間発生手段９で発生した遅延時間を置いた後、再び送信回路５よりバースト信号が送出される。送信回路５からのバースト信号は、予め定められた回数だけ繰り返され、この繰返しに要した時間を累積時間計測手段１２で、また、遅延時間を遅延時間計測手段１０により計測する。
【０００４】
更に、流量演算手段８では、累積時間計測手段１２で求めた値から遅延時間計測手段１０で求めた遅延時間を差し引くことにより、超音波の伝達のみの所要時間Ｔを求める。
【０００５】
次に、遅延時間の計測方法について説明する。計測開始時には、遅延時間制御手段１１により計測繰返し中の遅延時間の設定値の指示が遅延時間発生手段９に与えられる。更に、繰返し手段６により遅延時間発生手段９にトリガ信号が送出される。この時、累積時間計測手段１２により、超音波伝達時間の計測が開始されると共に、遅延時間計測手段１１で１回目の遅延時間の計測を開始する。次に、所定の遅延時間が完了すると、遅延時間計測１１は計測動作を終了し、この時求めた遅延時間ｔ１を流量演算手段８へ記憶させる。その後、繰返し手段６により、遅延→送受信→送受信→・・・・の如く規定の回数だけ動作を繰り返す。受信回路５でｎ回目の受信信号を検知されると、最後にもう一度、遅延時間発生手段９により遅延時間と同等の時間が発生し、遅延時間計測手段１０が計測を開始する。所定の遅延時間が終了した後は、実施例１と同様に、累積時間計測手段１２ではｎ回分の超音波伝達時間とｎ＋１回の遅延時間の合計値Ｔａ、遅延時間計測手段１１では、ｎ＋１回目の遅延時間ｔ（ｎ＋１）が得られる。
【０００６】
遅延時間発生手段９で生成される時間が変化するものと考えれば、ｎ回の送受信の前後の遅延時間を計測すれば、繰返し動作の間の遅延時間の変化を推定できる。すなわち、直線的に変化していると仮定すれば、ｔ１とｔ（ｎ＋１）の平均値を遅延時間の代表値と考えることが可能であるし、何らかの曲線変化を示すのであれば、荷重平均値を代表値と考えることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来の超音波流量計における、遅延時間の演算のように繰返しの最初と最後だけの時間を参考にしていては、繰返し回数や伝搬時間の違いにより遅延時間の精度が期待したほど高まらない場合がある。
【０００８】
例えば繰り返し動作の途中で回路電流による発熱などが影響し遅延発生手段の動作の特性が変化する場合があり、遅延時間が一定にならないことがある。また、これを解消するために繰り返し回数を増加して平均するなどの対策があるが、時間が長くなると周囲温度の状態や電源電圧の変化、さらに動作時間により遅延時間の精度に影響がでてくる。
【０００９】
また、繰返し動作の最初と最後では振動子の動作も違っている可能性がある。特に一定時間以上動作を停止していたあとの動き始め等は不安定さを含んでいると思われる。
【００１０】
さらに遅延時間の精度は流量の測定精度にそのまま影響を与えるので、高精度の遅延時間をもつ遅延回路の実現が課題であった。例えば、音速を３４０ｍ／ｓは０．３４ｍｍ／μｓとなり、数ｎｓの時間のずれが測定精度に大きな影響を与える。また、繰り返し回数を増加すれば電力も増大するなどの付随的な問題も発生してくる。
【００１１】
本発明は上記の課題を解決するもので、繰返し動作の初期における不安定動作を積極的に活用し、この動作を行うことで遅延素子の動作や、振動子の動作などを定常状態に近い環境で動作することにおいて計測系の不安定動作を経過させる。そしてその後の安定動作にはいってから本来の繰返し動作を行うことで、安定した精度の良い流量計測を実現することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記従来の課題を解決するために、本発明の計時補正手段は、計測動作の初期における不安定動作を積極的に活用し、遅延素子や、振動子などを定常状態に近い環境になるよう動作し始め、計測系全体の不安定動作時間域を経過させる。その後、安定動作にはいってから本来の繰返し動作を行い、正確な計時動作を行うことで安定した精度の良い流量計測を実現することを目的としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、被測定流体の流れる流路に配置され超音波を送受信する振動子と、前記振動子の送受信の切換手段と、前記振動子間相互の超音波伝搬を複数回行う繰返し手段と、前記繰返し時に前記振動子からの送信信号を遅らせる遅延手段と、それぞれの複数回繰返しの伝搬時間を計測する計時手段と、前記計時手段の計時動作を補正する計時補正手段と、前記計時手段のそれぞれの計時値と前記遅延手段の遅延値の差に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えた流量計測装置である。そして、計測開始直後の計測系が不安定な期間には計時動作を保留し、一定回数だけ繰返し動作を行った後に、計測開始直後の回路や振動子の不安定な動作を回避して正常な動作になってから正規の繰返し回数だけ計測動作を行うため、時間精度の向上を図ることが可能になる。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、特に、請求項１に記載の計時補正手段が、計時開始時に前回までの計時手段の計測値に応じた一定回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する計時開始手段を有することにより、計時時間の長さに応じて計測初期の繰返し動作回数を調節することができ、時間誤差の割合を一定レベルに安定することが可能になる。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、特に、請求項１に記載の計時補正手段が、計時開始時に前回までの計時手段の計測値が予め定めた値より大きい場合に所定回数の繰返し動作を行った後から計時を開始する計時開始手段を有することにより、前回の計測時間が一定時間より長い場合は計測初期の繰返し動作による精度向上は一定レベル以下でも全体の時間が長いため誤差分が少なくなると判断し、回数を減らすことが可能となる。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、特に、請求項１に記載の計時補正手段が、計時開始時に前回までの計時手段の計測値が予め定めた値より小さい場合に所定回数の繰返し動作を行った後から計時を開始する計時開始手段を有することにより、前回の計測時間が一定時間より短い場合は計測初期の繰返し動作による精度向上を厳密にするため繰返し回数を増加して対応することができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、被測定流体の流れる流路に配置され超音波を送受信する振動子と、前記振動子の送受信の切換手段と、前記振動子間相互の超音波伝搬を複数回行う繰返し手段と、前記繰返し時に前記振動子からの送信信号を遅らせる遅延手段と、それぞれの複数回繰返しの伝搬時間を計測する計時手段と、前記遅延手段の遅延時間を計測する遅延時間計測手段と、前記計時手段の計時動作を補正する計時補正手段と、前記計時手段のそれぞれの計時値と前記遅延手段の遅延値の差に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備え、前記計時補正手段は、計時開始時に前記遅延時間計測手段で求めた遅延時間の計測値に応じて一定回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する計時開始手段を有する流量計測装置である。
【００１８】
そして、遅延時間計測手段で測定した遅延時間に応じて遅延手段の不安定さを推定し計測開始直後の繰返し回数を調整することで、計測系が不安定な期間には計時動作を保留し、その後に正規の繰返し回数だけ計測動作を行うため初期動作の不安定さを減少することが可能になる。
【００１９】
請求項６記載の発明は、特に、請求項５記載の計時補正手段が、計時開始時に前回までの遅延時間計測手段で求めた遅延時間の差に応じて所定回数の繰返し動作を行った後から計時を開始する計時開始手段を有することにより、遅延時間の差に応じて温度変化などの計測系の不安定さを推定し計測開始直後の繰返し回数を調整することで初期動作の不安定さを減少することが可能になる。
【００２０】
請求項７記載の発明は、特に、請求項５記載の計時補正手段が、計時開始時に前回までの遅延時間計測手段で求めた遅延時間が予め定めた値より小さい場合に所定回数の繰返し動作を行う計測開始手段の動作を停止することにより、遅延時間差が一定値以内なら計測系の不安定さが許容できると推定し計測開始直後の繰返し動作を行わないことで精度の維持と省電力効果を実現することが可能になる。
【００２１】
請求項８記載の発明は、特に請求項１から請求項７いずれか一項記載の流量計測装置において、計時補正手段が、回路電圧を監視する電圧監視手段を有し、計時開始時に前記電圧監視手段で求めた計測系に供給される電圧に応じて一定回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する計時開始手段を有することにより、電圧値によって計測系の不安定さを推定し、計測開始直後の繰返し回数を調整することで初期動作の不安定さを減少することが可能になる。
【００２２】
請求項９記載の発明は、特に請求項１から請求項７いずれか一項記載の流量計測装置において、計時補正手段は、記憶手段を有し、計時開始時に前記記憶手段の値に応じて一定回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する計時開始手段を有することにより、遅延時間の値や伝達時間の値の代表値や許容値を記憶手段に持たせて置き、その値と現実の値の差から計測系の不安定さを推定し計測開始直後の繰返し回数を調整することで初期動作から安定した計測を行うことが可能となる。また、記憶手段には使用開始時からの期間を記憶することで経年変化による不安定さを補正することも可能になる。
【００２３】
請求項１０記載の発明は、特に請求項１から請求項９いずれか一項記載の流量計測装置において、計時補正手段が、計時手段による計時単位より細かい計時単位を有する副計時手段を有し、計時開始時に一定回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する際にこの副計時手段を用いて計時開始時の時間精度を調整することにより、計測動作を行う際にその開始時間を分解能の高い副計測手段で行い、主となる計測手段と合わせることにより時間精度の向上を図ることが可能になる。
【００２４】
請求項１１記載の発明は、特に請求項１から請求項９いずれか一項記載の流量計測装置において、計時補正手段が計時開始時に一定回数の繰返し動作を行った後に計時手段への計時開始信号を送出する計時動作開始手段を有することにより、計測開始直後の回路や振動子の不安定な動作を回避して正常な動作になってから計測動作を行う際に、その開始時から計時手段の動作を行うことでそれまでの動作を省略することができ省電力動作を実現することが可能となる。
【００２５】
請求項１２記載の発明は、特に請求項１から請求項１１いずれか一項記載の流量計測装置において計時補正手段の動作を確実にするためのコンピュータを機能させるためのプログラムを有する構成としたもので、これにより計測開始直後の計測系の不安定な動作を回避する計時補助手段の動作をソフトで行うことにより繰返し回数の条件設定、変更が容易にでき、また経年変化などにも柔軟に対応できるためよりフレキシブルに計測時間の精度向上を行うことができる。
【００２６】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
【００２７】
（実施例１）
請求項１、請求項２、請求項３および請求項４に係る実施例１に関する本発明の流量計測装置について説明する。図１は本実施例の構成を示す流量計測装置のブロック図である。図１おいて、本発明の超音波流量計は被測定流体の流れる流路１と、前記流路１に配置された超音波を送受信する第１の振動子２、第２の振動子３を設置し、前記第１の振動子２を駆動する駆動手段１４と、前記第２の振動子３の受信信号を受け受信タイミングを決定するタイミング検知手段１５と、前記駆動手段１４と第１の振動子２、および第２の振動子３とタイミング検知手段１５の間に切換手段１３を設け、超音波の送受信を第１の振動子２と第２の振動子３の間で交互に行うようにしている。タイミング検知手段１５の出力を受け駆動手段１４を介して再度超音波の送受信を繰り返すという動作回数を計測し所定の回数で動作を停止する繰返し手段１６と、前記繰返し手段１６の信号を受け所定の遅延時間遅れて前記駆動手段１３のトリガ信号として出力する遅延手段１７と、少なくとも駆動手段１４による第１の振動子２の駆動開始から前記繰返し手段１６の動作停止までの超音波の伝搬時間を測定する計時手段１８と、前記計時手段１８の値から前記一対の振動子間の流速を演算し、それから流量を求める流量演算手段２０と、前記計時手段１８による計時動作を補正する計時補正手段１９と、前記計時補正手段１９で計時開始動作を行う計時開始手段２２を有するものである。さらに制御手段２１を設け、前記駆動手段１４を動作する計測スタート信号を出力する。
【００２８】
通常の動作を説明する。制御手段２１からスタート信号を受けた駆動手段１４が第１の振動子２を一定時間パルス駆動を行うと同時に計時手段１８は制御手段２１からの信号によってに時間計測始める。パルス駆動された第１の振動子２からは超音波が送信される。第１の振動子２から送信した超音波は被測定流体中を伝搬し第２の振動子３で受信される。第２の振動子３の受信出力は、タイミング検知手段１５で信号を増幅された後、予め定められている受信タイミングの信号レベルで超音波の受信を決定する。繰返し動作を行わない場合はこの超音波の受信を決定した時点で計時手段１８の動作を停止し、その時間情報ｔから（式１）によって流速を求める。
【００２９】
（計時手段１８から得た測定時間をｔ、超音波振動子間の流れ方向の有効距離をＬ、音速をｃ、被測定流体の流速をｖとする。）
ｖ＝（Ｌ／ｔ）−ｃ　・・・（式１）
タイミング検知手段１５は通常コンパレータによって基準電圧と受信信号を比較するようになっていることが多い。
【００３０】
繰返し手段１６を用いる今回の動作はタイミング検知手段１５の判定結果を遅延手段１７で一定時間遅延させた後に駆動手段１４に返し、再度送信を行う。繰返し動作を決められた回数行い、その時間を計時手段１８で測定し、計時手段１８の測定時間を元に（式２）の計算によって流速を求める（遅延手段の遅延時間をＴｄ、繰返しの回数をｎ、測定時間をｔｓ、超音波振動子間の流れ方向の有効距離をＬ、音速をｃ、被測定流体の流速をｖとする）。
【００３１】
ｖ＝Ｌ／（ｔｓ／ｎ−Ｔｄ）−ｃ・・・（式２）
この方法によれば（式１）の方法に比べ精度よく測定することができる。
【００３２】
また、第１の超音波振動子２と第２の超音波振動子３とを切り替え、被測定流体の上流から下流と下流から上流へのそれぞれの伝搬時間を測定し、（式３）より速度ｖを求める（上流から下流への測定時間時間をｔ１、下流から上流への測定時間時間をｔ２とする）。
【００３３】
ｖ＝Ｌ／２（（１／ｔ１）−（１／ｔ２））・・・（式３）
この方法によれば音速の変化の影響を受けずに流度を測定することが出来るので、流速・流量・距離などの測定に広く利用されている。流速ｖが求まると、それに流路１の断面積を乗ずることにより流量を導くことができる。
【００３４】
通常の動作は図３に示すタイミング図のようになる。すなわち、制御手段２１による時刻ｔ０における開始信号から計測を開始し、ｔ１で駆動手段１４を介して第１の超音波振動子２を駆動する。そこで発生した超音波信号は流路内を伝搬し時刻ｔ２で第２の超音波振動子３に到達し、タイミング検知手段１５で受信点を検知すると繰返し手段１６は設定回数に達していない場合、遅延手段１７に信号を送出する。そして時刻ｔ３から遅延手段１７が動作し、予め定めた時間だけ動作した後時刻ｔ４で駆動手段１４に信号を送出し、再び第１の超音波振動子２を駆動する。以下、この繰返しを行っている。
【００３５】
繰返し手段１６で決められた回数動作すると図３時刻ｔ５で送受信動作は停止し、その時間は図に示すＴとなる。その後、切換え手段１３が送受信を切換える。すなわち第１の超音波振動子２が受信側、第２の超音波振動子３が送信側になる。そして同様な繰返し動作を行う。時間的な動作は図２（ｄ）に示すようにＴ１の間は第１の超音波振動子２が送信側、第２の超音波振動子３が受信側、Ｔｃｈで切換え動作を行い、Ｔ２では反対に第１の超音波振動子２が受信側、第２の超音波振動子３が送信側となる。なお、図３に示す送信波、受信波の動作は図４以下の説明では同じため記述を省略しているが、内部動作は図３と同じである。
【００３６】
このように繰返し手段１６で決められた回数動作する場合に１回目と最終回目では遅延手段１７の動作が異なることがある。通常、遅延手段１７としてはＬＣ分布定数回路等が用いられているが、これらの素子には抵抗成分も含まれている。遅延手段１７に抵抗分があると電流を流していけば繰返し１回目では問題無いが、回数を重ねていくにつれ電流による発熱が発生し、その結果遅延時間が変化してくる。しかし、この発熱も平衡点があるためある一定回数以上の繰返し回数では遅延時間が一定とみて良い。図２（ａ）のｐ線に繰返し回数と遅延手段１７の１回当たりの遅延時間の概念図を示す。これより繰返し回数が少ないと遅延時間の差が大きいことがわかる。またＬＣ分が大きい場合は振動成分が発生し、図２（ａ）のｑ線のような挙動を示すことが考えられる。同様に繰返し時間に着目すると図２（ｂ）のｒ線のように平衡点に近づく特性や、振動成分を含む場合は図２（ｂ）のｓ線のような特性も存在する。遅延時間の差が大きいと流量演算手段２０で計時手段１８が測定した時間から遅延時間の繰返し回数分を差し引き超音波伝搬時間分のみから流量を求める際、遅延時間の合計に誤差が生じてくる。
【００３７】
図２（ａ）に示しているように遅延手段１７の１回当たりの遅延手段は異なっている。具体的には図３のＤ０、Ｄ１とＤ２の時間が等しくないということである。ここでＤ０は制御手段２１から最初遅延手段１７に信号を送出して作成しても良いし、制御手段２１自身で作成しても良い。
【００３８】
流量を算出する場合は時刻ｔ０からｔ５までの時間Ｔから実際超音波の伝搬した時間だけを用いるためＤ０，Ｄ１，Ｄ２の時間を差し引かなければならない。
【００３９】
図２（ａ）に示すように繰返し回数により遅延時間の変化することがわかっている場合、切換え動作を含めると遅延時間の動作は図２（ｄ）のようになる。例えば、繰り返し回数が図２（ａ）のＰしかない時の遅延時間とＲまで繰り返す時の遅延時間は流量演算に用いる場合大きく異なってくる。式２を変形すると式２‘となる。
【００４０】
ｖ＝Ｌ／（ｔｓ　−　ΣＴｄ）／ｎ−ｃ　・・・（式２‘）
ここでΣＴｄとは遅延手段１６の遅延時間の繰り返し回数分における合計値である。この値を直接求めることができれば精度良く演算ができるが実際には推定値や演算値を用いている。遅延時間の合計値と考えると繰り返し回数ＰとＲでは大きく異なることが図２より容易に理解できる。そこですべての繰り返し回数を調べることまでしなくてもある程度繰返し動作を行い安定した時の遅延時間を測定し、それから全体の遅延時間を推定することは可能である。具体的には計測終了後すぐに遅延時間のみを測定すれば、それまでの動作時の値とほぼ近い遅延時間を得ることができる。しかし、図２（ａ）にあるように動作初期の不安定な動作を推定することは困難である。
【００４１】
そこで、この問題を回避する方法を以下に説明する。図３において時刻ｔ０の前において制御手段２１から計時補正手段１９に信号が入力された後、駆動手段１４を介して振動子を動作し一連の繰返し動作を行う。計時補正手段１９は図４の１００で予め定めた事前繰返し回数Ｎｐｒを用い、繰返し手段１６での動作回数ＮがＮｐｒより多くなるか調べているＮｐｒに達するまでは計時動作を行わない。Ｎｐｒ回事前繰返し動作を行った後は１０１で計測開始を指示し、計時手段１８が正規の動作を開始する。その後１０２で本来定めた繰返し回数Ｎｓｔまで繰返し動作を行うと、繰返し手段１６の出力で計時手段１８は計時動作を停止する。それまでは１０４で繰返し動作を継続する。そして計時動作を停止した後は流量演算手段２０で流量演算を行う。１０２の繰返し回数Ｎｓｔは本来の回数に事前繰返し回数を加算し、Ｎのカウントとして１００の動作から継続してもよい。また、一旦Ｎ≧Ｎｐｒの判断を行ったのちＮのカウント値をリセットして計数しなおしても良い。
【００４２】
この動作は図２（ａ）における繰返し回数が例えばＱまでの不安定な動作を計測系として経過させた後に繰返し回数Ｘの位置から再度繰返しカウントをやり直す動作を行っている。これは図３における遅延信号Ｄ１，Ｄ２などが安定してから繰返し動作を行うことに相当する。この説明では遅延手段の動きにのみ着目しているが、振動子についても同様に一定時間停止した最初の振動動作と繰返し動作の最後の振動動作では振動子の挙動も異なっている可能性が大きい。このため今まで説明したように遅延手段のみを動作させるのではなく、動作する系全体を定常状態に近い状態で繰返し動作し、動作初期の計測系としての不安定さを取り除くことが必要であり、本動作を行うことでそれが実現できる。
【００４３】
このように、計測開始直後の計測系が不安定な期間には計時動作を保留し、一定回数だけ繰返し動作を行った後に、計測開始直後の回路や振動子の不安定な動作を回避して正常な動作になってから正規の繰返し回数だけ計測動作を行うため、時間精度の向上を図ることが可能になる。
【００４４】
また、図５（ａ）を用いて他の動作を説明する。計測系の動作は周囲温度や計測時間、計測繰返し回数、さらには計測待機時間などにより計測動作開始時の不安定領域時間が変動する。したがって、図３において時刻ｔ０の前において制御手段２１から計時補正手段１９に信号が入力された後、駆動手段１４を介して振動子を動作し一連の繰返し動作を行う。計測補正手段１９は図４の１００で予め定めた事前繰返し回数Ｎｐｒを用い、繰返し手段１６での動作回数ＮがＮｐｒに達するまでは計時動作を行わない。この事前繰返し回数Ｎｐｒを求める方法を説明する。図５の１１０で前回計測したときの計時手段１８の計時値（ＣＮＴ）を求める。これは前回の値を記憶しているメモリやリセットしていないカウンタ値をそのまま用いることが可能である。計時補正手段１９は１１１において、このＣＮＴに関する関数ｆ（ＣＮＴ）を求め、その整数値を事前繰返し回数Ｎｐｒとする。そして図３の１００におけるＮｐｒを設定する。ここでｆ（ＣＮＴ）は単純にＣＮＴに比例した演算でも良いし、遅延手段１７や振動子、または測定系の非線形動作現象に対応できる関数を選定してもよい。この計測開始時にＮｐｒ回動作が終了すると計測開始手段２２が繰返し手段１６、計時手段１８に信号を送出し本来の計時動作を開始する。
【００４５】
このように、計時補正手段１９が、計時開始時に前回までの計時手段の計測値に応じた回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する計時開始手段２２を有することにより、計時時間の長さに応じて計測初期における不安定動作時間を推定し繰返し動作回数を調節することができ、計測における時間誤差の割合を一定レベル以下に安定することが可能になる。
【００４６】
また、図５（ｂ）を用いて他の動作を説明する。計測系の動作は流れている流体の流量によっても計測時間が変化する。例えば流量の流れる方向に対向して振動子が送信している場合などは伝搬時間が長くなる。一定時間毎に計測動作をしている場合は、このような送信をした後は次の計測時間までの停止時間が短くなる。したがって、計測動作を開始した場合の不安定動作時間が短くなる可能性がある。さらに今回計測する伝搬時間も長時間の場合は初期の不安定時間の誤差への寄与度合いは平均すると少なくなる可能性がある。
【００４７】
このような場合の事前繰返し回数Ｎｐｒを求める方法を説明する。図５（ｂ）の１２０で前回計測したときの計時手段１８の計時値（ＣＮＴ）を求める。１２１でこの計時値が予め定めた値Ｎｘより大きいか判断する。ＣＮＴ＞Ｎｘの場合は計測時間が長かったため待機時間がその分短くなり、その結果測定系もまだ不安定状態に入りきっていないと判定できる。したがって計時補正手段１９は１２２において、事前繰返し回数Ｎｐｒを一定回数減らし、その値をもって図３の１００におけるＮｐｒを設定する。以下の動作は同じのため説明を省略する。
【００４８】
このように、計時補正手段１９が、計時開始時に前回までの計時手段１８の計測値が予め定めた値より大きい場合には計測動作初期の繰返し動作による精度向上は一定レベル以下でも全体の時間が長いため誤差分が少なくなると判断し、回数を減らすことが可能となる。これにより計測時間全体に占める初期不安定さの割合を一定レベルにすることが可能になると共に、不要な事前繰返し動作回数を少なくするため計測系を電池で動作している場合は省電力動作も実現できる。
【００４９】
また、図５（ｂ）を用いて他の動作を説明する。計測系の動作は流れている流体の流量が微小な場合、計測時間の差も非常に小さい。この差を用いて流量を演算する場合は誤差成分を極力除かなければならない。特に計時手段１８においては計測動作初期の不安定動作の影響を小さくしなければならない。このような場合の事前繰返し回数Ｎｐｒを求める方法は図５（ｂ）の１２０で前回計測したときの計時手段１８の計時値（ＣＮＴ）を求めた後、１２１でこの計時値が予め定めた値Ｎｘより小さいか判断する。ＣＮＴ＜Ｎｘの場合は計測時間が短いため流量が少ないと推定できる。したがって計時補正手段１９は１２３において、事前繰返し回数Ｎｐｒを一定回数増やし、その値をもって図３の１００におけるＮｐｒを設定する。以下の動作は同じのため説明を省略する。ここで判定する値Ｎｘは固定値でなく、いろいろな条件により制御手段２１などから変更することも可能である。
【００５０】
このように、計時補正手段１９が、計時開始時に前回までの計時手段１８の計測値が予め定めた値より小さい場合には計測動作初期の繰返し動作による精度向上の寄与度が大きい判断し、回数を増やすことが可能となる。これにより計測時間全体に占める初期不安定さの割合を一定レベルに維持することが可能になると共に、必用な場合にのみ事前繰返し動作回数を多くするため計測系を電池で動作している場合は省電力動作も実現できる。
【００５１】
（実施例２）
請求項５、請求項６および請求項７に係る実施例２に関する本発明の流量計測装置について図１、図３、図６を用いて説明する。実施例１と異なるところは遅延手段の動作時間を計測し、その値によって事前繰返し回数を変更しながら計測することである。
【００５２】
まず、図１、図３、図６（ａ）を用いて動作を説明する。（式２‘）で示したように遅延手段１７の遅延時間が安定すれば計測精度も向上する。すべての繰返し回数における遅延時間を計測することは電力の面などで現実的ではない。したがって、切換手段１３で振動子の送受信を切換えて一対の計測を終了した後すぐに遅延時間のみを測定すれば、それまでの動作時の値とほぼ近い遅延時間を得ることができる。この遅延時間から次の計測動作の初期不安定動作を推定していく。
【００５３】
例えば、周囲温度や計測時間、計測繰返し回数、さらには計測待機時間などにより遅延手段１７の計測動作開始時における不安定領域時間が変動する。したがって、図３において時刻ｔ０の前において制御手段２１から計時補正手段１９に信号が入力された後、駆動手段１４を介して振動子を動作し一連の繰返し動作を行う。計測補正手段１９は図４の１００で予め定めた事前繰返し回数Ｎｐｒを用い、繰返し手段１６での動作回数ＮがＮｐｒに達するまでは計時動作を行わない。この事前繰返し回数Ｎｐｒを遅延手段１７の動作によって調整する方法を説明する。図１の遅延手段計測手段２３は前回の一対の計測動作が終了した後に遅延手段１７の動作である遅延時間を実測する。そしてこの遅延時間値Ｔｄはメモリに記憶するか、またはリセットせずに測定値をそのまま保存する。計時補正手段１９は図６（ａ）の１３０でこのＴｄを入力し、１３１でＴｄに関する関数ｆ（Ｔｄ）を求め、その整数値を事前繰返し回数Ｎｐｒとする。そして図３の１００におけるＮｐｒを設定する。ここでｆ（Ｔｄ）は単純にＴｄに比例した演算でも良いし、遅延手段１７特有、または測定系の非線形動作現象に対応できる関数を選定してもよい。この計測開始時にＮｐｒ回動作が終了すると計測開始手段２２が繰返し手段１６、計時手段１８に信号を送出し本来の計時動作を開始する。
【００５４】
このように、計時補正手段１９が遅延時間計測手段２３で測定することで、遅延時間に応じて遅延手段１７の不安定さを推定し、計測開始直後の繰返し回数を調整する。そして計測開始直後の計測系が不安定な期間には計時動作を保留し、一定回数だけ繰返し動作を行った後に正規の繰返し回数だけ計測動作を行うことで計測初期動作の不安定さを減少することが可能になる。
【００５５】
また、図６（ｂ）を用いて他の動作を説明する。切換手段１３によって振動子の動作は送受信が反転し、流量の流れる方向によって伝搬時間が異なる。したがって一定回数の繰返し動作の時間も異なってくる。流量が多いとその時間差も大きくなり、その結果遅延手段の動作間隔も変化する。このため前回の一対の伝搬時間を測定する際に遅延手段１７の遅延時間を測定しＴｄ１とする。そして今回計測する際の事前に同様に遅延手段１７の遅延時間を測定しＴｄ２とする。この２つの値を用い事前繰返し回数Ｎｐｒを求める。図６（ｂ）の１４０で前回計測したときの遅延時間Ｔｄ１を求め、１４１で同様にＴｄ２を求める。１４２でこの時間差（Ｔｄ１−Ｔｄ２）の絶対値を演算しｄとおく。１４３でｄが予め定めた値Ｔｘより大きいか判断する。ｄ＞Ｔｘの場合は遅延時間の差が大きく周囲環境の大きな変化があったと推定し、計時補正手段１９は１４４において事前繰返し回数ＮｐｒをこのＴｘの関数として変更する。またｄがＴｘより大きくない場合は予め定めた繰返し回数をそのまま利用する。それ以降の動作は実施例１と同じのため説明を省略する。
【００５６】
このように、計時補正手段１９が、遅延時間計測手段２３により直接遅延時間を測定した値の差に応じて所定回数の繰返し動作を行った後から計時を開始する計時開始手段を有することにより、前回計測した遅延時間と今回測定した遅延時間の差に応じて温度変化などの計測系の不安定さを推定し計測開始直後の繰返し回数を調整することで初期動作の不安定さを減少することが可能になる。
【００５７】
また、図６（ｃ）を用いて他の動作を説明する。周囲環境の変化があまり無く、遅延手段１７の動作が安定している場合は事前繰返し動作も行わなくて良いことがある。このため前回の一対の伝搬時間を測定する際に遅延手段１７の遅延時間を測定しＴｄ１、今回計測する際の事前に同様に遅延手段１７の遅延時間を測定しＴｄ２として事前繰返し回数Ｎｐｒを求める。図６（ｃ）の１５０で前回計測したときの遅延時間Ｔｄ１を求め、１５１で同様にＴｄ２を求める。１５２でこの時間差（Ｔｄ１−Ｔｄ２）の絶対値を演算しｄとおく。１５３でｄが予め定めた値Ｔｘより小さいか判断する。ｄ＜Ｔｘの場合は遅延時間の差が小さく周囲環境の変化もあまり無く安定であると推定し、計時補正手段１９は１５４において事前繰返し回数Ｎｐｒを０とし、すぐに計時動作に入る。また１５３でｄ≧Ｔｘの場合は予め定めた繰返し回数をＮｐｒとして設定する。それ以降の動作は実施例１と同じのため説明を省略する。
【００５８】
このように、計時補正手段１９が計時開始時に前回までの遅延時間計測手段２３で求めた遅延時間が予め定めた値より小さい場合に計測系の不安定さが許容できると推定し計測開始直後の繰返し動作を行わないよう計測開始手段２２の動作を停止することができ、精度の維持を図りつつ省電力効果を実現することが可能になる。本実施例ではＴｄ１とＴｄ２の計測するタイミングを前回計測終了時と今回計測開始前としているが、別にこれに限定せず制御手段２１で計測系の安定度に最もかかわるタイミングを推定し、そこの遅延手段１７の遅延時間を測定することも可能である。
【００５９】
（実施例３）
請求項８および請求項９に係る実施例３に関する本発明の流量計測装置について図７、図８、図９を用いて説明する。実施例１と異なるところは計測系に供給される電圧値や、記憶手段に設定している設定値によって事前繰返し回数を変更しながら計測することである。
【００６０】
まず、図７、図８を用いて動作を説明する。遅延手段１７の動作は図２に示すように時間とともに変化することが多いが、供給する電圧によってもその動作は大きく変化する。たとえば抵抗成分が主な場合は発熱が主要因になるため電圧が高いと安定するまでの時間は早くなり、反対に低電圧の場合はじわじわと安定するための時間が長時間になる。これらの動作を考慮し、計測動作初期の不安定さを取り除くためには供給電圧によってその動作回数を変化することが有用である。特に制御手段２１としてマイクロコンピュータなどを用いている場合はＡＤ変換が容易に行える。
【００６１】
例えば、供給電圧により遅延手段１７の計測動作開始時における不安定領域時間が変動する。したがって、図３において時刻ｔ０の前において制御手段２１から計時補正手段１９に信号が入力された後、駆動手段１４を介して振動子を動作し一連の繰返し動作を行う。計測補正手段１９は図４の１００で予め定めた事前繰返し回数Ｎｐｒを用い、繰返し手段１６での動作回数ＮがＮｐｒに達するまでは計時動作を行わない。この事前繰返し回数Ｎｐｒを電圧検出手段２４の動作によって調整する方法を説明する。図７の電圧検出手段２３は供給電圧を検出する。計時補正手段１９は図８の１６０でこの検出電圧Ｖを求め、１６１において、このＶに関する関数ｆ（Ｖ）を求め、その整数値を事前繰返し回数Ｎｐｒとする。そして図３の１００におけるＮｐｒを設定する。ここでｆ（Ｖ）は単純にＶに比例した演算でも良いし、遅延手段１７や振動子、または測定系の供給電圧に対する非線形動作現象に対応できる関数を選定してもよい。この計測開始時にＮｐｒ回動作が終了すると計測開始手段２２が繰返し手段１６、計時手段１８に信号を送出し本来の計時動作を開始する。
【００６２】
このように、計時補正手段が供給電圧を監視する電圧監視手段２４を有し、計時開始時に計測系に供給される電圧値に応じて計測系の不安定さを推定し計測開始直後の繰返し回数を調整することで初期動作の不安定さを減少することが可能になる。
【００６３】
また、図９を用いて他の動作を説明する。事前繰返し回数Ｎｐｒは電圧などで決定できるが、流路の形状などによっても変化する必要がある。例えば不安定さの許容値が測定系によって変更するような場合である。このような時は図９（ａ）の１７０で記憶手段のｈ番地にある値Ｍ（ｈ）を読み、これをｄｍとする。１７１において遅延時間計測手段２３で計測した遅延時間ｄｌｙがｄｍより大きい場合は例えば１７２で事前繰返し回数を一定回数αだけ少なくする。また反対にｄｌｙがｄｍより小さい場合は１７３でα回だけ繰返し回数を多くする。このように予め記憶手段２５に設定している値を用いて実測値と比較することでその測定系特有の動作を１品毎に容易に設定しておくことが可能になる。また、図９（ｂ）のように１８０で記憶手段のｋ番地にある値Ｍ（ｋ）を読み、これをｄｘとする。１８１において前回計測した計時手段から求めた伝搬時間がｄｘより大きい場合は例えば１８２で事前繰返し回数を一定回数αだけ少なくする。また反対に伝搬時間がｄｘより小さい場合は１８３でα回だけ繰返し回数を多くする。このように予め記憶手段２５に設定している値を用いて伝搬時間の実測値と比較することでその測定系特有の経年変化などを書き換えて設定することが可能になる。
【００６４】
このように計時補正手段１９が、記憶手段２５を有し、計時開始時に前記記憶手段の値に応じて一定回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する計時開始手段を有することにより、遅延時間の値や伝達時間の値の代表値や許容値を記憶手段に持たせて置き、その値と現実の値の差から計測系の不安定さを推定し計測開始直後の繰返し回数を調整することで初期動作から安定した計測を行うことが可能となる。記憶手段２５には使用開始時からの期間を記憶することで経年変化による不安定さを補正することも可能になる。また、記憶手段を書き換え可能とすることで現場において容易に設定することが可能になる。
【００６５】
（実施例４）
請求項１０および請求項１１に係る実施例４に関する本発明の流量計測装置について図１０、図１１、図１２を用いて説明する。実施例１と異なるところは事前の繰返し動作後の計測開始時間を副計時手段を用いて正確に求めることである。
【００６６】
まず、図１０、図１１を用いて動作を説明する。今まで説明してきたように測定系の動作初期における不安定さを回避するため動作初期に一定回数Ｎｐｒだけ測定系を動作させた後、本来の計測を行う。通常計時手段としては水晶発振子などを用いたカウンタが利用されている。この動作は図１１（ａ）のように制御手段２３から（ｂ）の計測開始信号を受けると図１１のｔ０で動作を開始してしまう。しかし、計測系では事前の動作を行っている。Ｎｐｒ回動作を行った後、計時補正手段１９から事前繰返し動作の終了信号が出るのが（ｃ）のようにｔ１とすると計時手段の発振周期とずれているため例えばｔ１からｔ２の間が開始時間の誤差となってしまう。そこで副計時手段２６は計時補正手段１９からの信号を受けると図１１（ｄ）のように時刻ｔ１からｔ２の間を計時手段の計測周期より高速のクロック信号で計測する。この高速クロックは短時間だけしか動作しないため電力的にも問題は無い。通常は制御手段からの信号で計時動作を始めると計時手段動作（ａ）の上側にあるようにすぐに計数動作を行うが、事前繰返し動作を行うと計時手段動作（ａ）の下側にあるように時刻ｔ２より計数動作を行う。最後はこの計数値とｔ１からｔ２までの高速クロックによる時間計測値をまとめて計時手段１８で時間計測を行う。これを図１２で説明すると１９０で繰返し動作がＮｐｒ回経過した場合、１９１でＰＲ値計測としてｔ１からｔ２の時間を測定している。そして１９２で図１１（ａ）の上側の計数値をリセットし、１９３で図１１（ａ）の下側のように計数値をカウントし始める。そして予め設定した繰返し回数Ｎｓｔまで経過すると１９５で計時動作を停止し、１９７で計時手段の値を用いて流量を演算する。
【００６７】
このように、計時開始時に一定回数の繰返し動作を行った後に計時を開始する際に計時開始時の時間精度を調整することができ、本来の計時開始時間の分解能を高い副計測手段で行い、主となる計測手段と合わせることにより時間精度の向上を図ることが可能になる。また、副計時手段は動作時間が短いため精度向上を省電力で実現することが可能である。
【００６８】
また、図１１、図１３を用いて他の動作を説明する。２００で繰返し動作がＮｐｒ回経過した場合、２０１で副計時手段２６がオンし、その信号を介して２０２で計時動作開始手段２７をオンする。これは図１１において時刻ｔ２になって初めて計時手段（ａ）のカウントが開始することを意味している。副計時手段２６により時刻ｔ０からｔ２の間は計時手段１８の動作が停止されている。そして２０３で計時動作を開始し、予め設定した繰返し回数Ｎｓｔまで経過すると２０５で計時動作を停止した後、２０７で計時手段の値を用いて流量を演算する。この動作を行うには計時手段の計数動作がすぐに安定することが必要である。
【００６９】
このように、計時補正手段が計時開始時に一定回数の繰返し動作を行った後に計時手段への計時開始信号を送出する計時動作開始手段を有することにより、計測開始直後の回路や振動子の不安定な動作を回避して正常な動作になってから計測動作を行う際に、その開始時から計時手段の動作を行うことで不要な動作を省略することができ省電力動作を実現することが可能となる。
【００７０】
（実施例５）
請求項１２に係る実施例５に関する本発明の流量計測装置について説明する。実施例１と異なるところは、流量計測装置において、事前繰返し回数を調整する計時補正手段や副計時手段の動作を確実にするためのコンピュータを機能させるためのプログラムを有する記憶媒体２８を用いていることである。図１、図７、図１０において実施例１から実施例４で示した計時補正手段１９や副計時手段２６の動作を行うには、予め実験等により遅延時間と事前繰返し回数、繰返し時間、超音波の伝搬時間などの相関を求め、例えばファジィ制御のメンバーシップ関数のように適合度というような形で判断する判定ソフトをプログラムとして記憶媒体２８に格納しておく。通常マイクロコンピュータのメモリやフラッシュメモリ等電気的に書き込み可能なものにしておくと利用が便利である。
【００７１】
このように計時補正手段１９や副計時手段２６の動作をプログラムで行うことができるようになると計測開始直後の計測系の不安定な動作を回避する計時補助手段の動作をソフトで行うことにより繰返し回数の条件設定、変更が容易にでき、また経年変化などにも柔軟に対応できるためよりフレキシブルに計測時間の精度向上を行うことができる。なお本実施例において計時補正手段１９や副計時手段２６以外の動作もマイコン等によりプログラムで行ってもよい。
【００７２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかのように本発明の流量計測装置によれば、計時補正手段を用いることで事前繰返し動作を行い、計測開始直後の計測系が不安定な期間には系は動作しながら不安定動作を経過させるため一定回数だけ繰返し動作を行い、安定状態に入ってから正規の繰返し回数だけ計測動作を行うことにより計測開始直後の回路や振動子の不安定な動作を回避して正常な動作になってから計測動作を行うため、時間精度の向上を図ることが可能になる。また、遅延手段の遅延時間を実測しその値によって計時動作の開始直後の不安定動作を回避する回数を決定するため、より測定系の実動作を考慮した事前繰返し処理により計測精度の維持と省電力効果を実現することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１における流量計測装置の全体のブロック図
【図２】（ａ）同流量計測装置における繰返し回数と遅延時間の関係を示す図
（ｂ）同流量計測装置における繰返し時間と遅延時間の関係を示す図
（ｃ）同流量計測装置における１回の繰返し時間と遅延時間の関係を示す図
（ｄ）同流量計測装置における動作時間と遅延時間の関係を示す図
【図３】（ａ）同流量計測装置における制御手段の動作を示すタイミング図
（ｂ）同流量計測装置における送信波の動作を示すタイミング図
（ｃ）同流量計測装置における受信波の動作を示すタイミング図
（ｄ）同流量計測装置における遅延手段の動作を示すタイミング図
【図４】同流量計測装置の動作を示すフローチャート
【図５】（ａ）同流量計測装置における計時補正手段の動作を示すフローチャート
（ｂ）同流量計測装置における計時補正手段の動作を示すフローチャート
【図６】（ａ）本発明の第２の実施例の流量計測装置における計時補正手段の動作を示すフローチャート
（ｂ）同流量計測装置における計時補正手段の動作を示すフローチャート
（ｃ）同流量計測装置における計時補正手段の動作を示すフローチャート
【図７】本発明の第３の実施例における流量計測装置の全体のブロック図
【図８】同流量計測装置における計時補正手段の動作を示すフローチャート
【図９】（ａ）同流量計測装置における計時補正手段の動作を示すフローチャート
（ｂ）同流量計測装置における計時補正手段の動作を示すフローチャート
【図１０】本発明の第４の実施例における流量計測装置の全体のブロック図
【図１１】（ａ）同流量計測装置における計時手段の動作を示すタイミング図
（ｂ）同流量計測装置における制御信号の動作を示すタイミング図
（ｃ）同流量計測装置における計時補正手段の動作を示すタイミング図
（ｄ）同流量計測装置における副計時手段の動作を示すタイミング図
【図１２】同流量計測装置における計時補正手段の動作を示すフローチャート
【図１３】同流量計測装置における計時補正手段の動作を示すフローチャート
【図１４】従来の流量計測装置の全体のブロック図
【符号の説明】
１　流路
２　第１の振動子
３　第２の振動子
１３　切換え手段
１６　繰返し手段
１７　遅延手段
１８　計時手段
１９　計時補正手段
２０　流量演算手段
２２　計時開始手段
２３　遅延時間計測手段
２４　電圧検出手段
２５　記憶手段
２６　副計時手段
２７　計時動作開始手段
２８　記憶媒体
【図１】
2004061268.tif 000003
【図２】
2004061268.tif 000004
【図３】
2004061268.tif 000005
【図４】
2004061268.tif 000006
【図５】
2004061268.tif 000007
【図６】
2004061268.tif 000008
【図７】
2004061268.tif 000009
【図８】
2004061268.tif 000010
【図９】
2004061268.tif 000011
【図１０】
2004061268.tif 000012
【図１１】
2004061268.tif 000013
【図１２】
2004061268.tif 000014
【図１３】
2004061268.tif 000015
【図１４】
2004061268.tif 000016