(57)【要約】【課題】液体成分と固体成分とが入り交じった混合物から液体成分のみを効果的に除去し、残った固体成分をコンパクトに押し固めることができる固液分離及び脱水装置を提供する。【解決手段】回転式ドラムフィルター２０を通過させることにより、固液混合物から略分離された固体成分を、ベルトコンベア４により搬送し、しかる後、当該ベルトコンベア４の搬送域下流に配置されたゴムローラ１２で前記固体成分を圧搾するようにした固液分離及び脱水装置２であって、前記ベルトコンベアによる搬送路の側方に、搬送路の幅が前記ゴムローラに近づく程、狭くなる堰１４を設けるとともに、前記ゴムローラ１２の上流側に脱水用のゴムローラ２８を設けたことを特徴としている。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転式ドラムフィルターを通過させることにより、固液混合物から略分離された固体成分を、ベルトコンベアにより搬送し、しかる後、当該ベルトコンベアの搬送域下流に配置されたゴムローラで前記固体成分を圧搾するようにした固液分離及び脱水装置であって、
前記ベルトコンベアによる搬送路の側方に、搬送路の幅が前記ゴムローラに近づく程、狭くなる堰を設けるとともに、前記ゴムローラの上流側に脱水用のゴムローラを設けたことを特徴とする固液分離及び脱水装置。
【請求項２】
前記堰は、板状のゴムにより形成されていることを特徴とする請求項１に記載の固液分離及び脱水装置。
【請求項３】
前記脱水用のゴムローラの周面には、突起が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の固液分離及び脱水装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は固液分離及び脱水装置に関し、特には半導体やプリント基板の製造分野などで好ましく使用することができる固液分離及び脱水装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体やプリント基板の製造分野において、例えば、エッチングした後、不要となったフォトレジストやドライフィルムは、溶剤により除去されている。したがって、この溶剤を再使用する場合には、液体成分の中からフィルム片からなる固体成分を除去しなければならない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような固体成分を取り除くには、網目状のストレーナにより溶剤と固体成分とを分離している。ここで、網目状のストレーナを通過させても、固体成分中に未だかなりの量の溶剤を含んでいる。
このような混合物は、樹脂製あるいはスチール製のベルトコンベアで搬送され、一対のローラ間を通過させることにより、固体成分を押し固めていた。
【０００４】
ところが、このようにして固体成分を押し固める場合に、従来は液体成分が脱水されていないために、ベルトコンベアによる搬送の途中で、固体成分がローラの両側に流れてしまい、一部は圧搾されずにそのまま落下してしまうという問題があった。
本発明は、このような実状に鑑み、液体成分と固体成分とが入り交じった混合物から液体成分のみを効果的に除去し、残った固体成分をコンパクトに押し固めることができる固液分離及び脱水装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明に係る固液分離及び脱水装置は、
回転式ドラムフィルターを通過させることにより、固液混合物から略分離された固体成分を、ベルトコンベアにより搬送し、しかる後、当該ベルトコンベアの搬送域下流に配置されたゴムローラで前記固体成分を圧搾するようにした固液分離及び脱水装置であって、
前記ベルトコンベアによる搬送路の側方に、搬送路の幅が前記ゴムローラに近づく程、狭くなる堰を設けるとともに、前記ゴムローラの上流側に脱水用のゴムローラを設けたことを特徴としている。
【０００６】
係る構成による固液分離及び脱水装置によれば、先ず、脱水用のゴムローラにより固液混合物が脱水されるとともに、次第に幅が狭くなるベルトコンベアで固液成分が逃げ場を失いながら下流のゴムローラ間に送り込まれるので、全ての固体成分を強制的に押し潰すことができる。
ここで、前記堰は、板状のゴムにより形成されていることが好ましい。
【０００７】
このような構成であれば、堰の形成が容易であるとともに、板状のゴムが弾性変形するので、ベルトコンベアとの間に隙間が生じるようなこともなく、また、ローラの周面あるいはベルトコンベアの表面などを傷つけることもない。
また、前記脱水用のゴムローラの周面には、突起が形成されていることが好ましい。
【０００８】
このような構成であれば、固液混合物により滑ってしまうことが防止される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。
図１、図２は、本発明の一実施例による固液分離及び脱水装置を示したものである。
この固液分離及び脱水装置２は、無端ベルト４と、この無端ベルト４が巻き掛けられた一対のローラ６、８と、この無端ベルト４を回転駆動させるモータ１０とを有し、さらに、一対のローラ６，８間に、ローラ２６が介在されている。
【００１０】
また、無端ベルト４の上側には、大径のゴムローラ１２，２８が設置されておりが、そのうち上流側のローラ２８の周面には、滑り防止用の突起３０が複数個設けられている。
一方、図１に示したように、無端ベルト４の両側方には、板状のゴム材１４，１４がブラケット１６，１６を介して装置フレーム等に取り付けられている。
【００１１】
このゴム材１４は、板状の長尺物から形成されているが、長さ方向に進むにしたがって幅が広く形成されている。したがって、無端ベルト４による搬送域の幅は、ローラ６からローラ８に近づくにしたがって、狭くなるように構成されている。なお、このゴム材１４の端面は、無端ベルト４の上面を軽く押圧する程度に無端ベルト４に接近されていることが好ましい。
【００１２】
本実施例による固液分離及び脱水装置２は上記のように構成されているが、以下にその作用について説明する。
先ず、固液分離及び脱水装置２は、例えば、半導体やプリント基板の製造分野において、不要となったフォトレジストやドライフィルムが混入された溶剤から、固体成分（フォトレジストやドライフィルム）を取り除くのに好ましく用いることができる。
【００１３】
その場合、上記の固液分離及び脱水装置２は、図２に示したように、回転式ドラムフィルター２０の出口排出シュート２２の下流に配置される。そして、回転式ドラムフィルター２０には、固体成分すなわちフォトレジストやドライフィルムが含有された溶液が供給されてくる。そして、この原液が、円筒状スクリーン（例えば、ウエッジワイヤー）が回転されることにより、固体成分が分離され、排出シュート２２から排出されてくる。この排出されてきた固体成分の残渣は、未だ液体成分をかなり含まれているため、泥流のようになっている。
【００１４】
このような残渣が固液分離及び脱水装置２に供給されてくると、無端ベルト４により下流側に供給される。なお、この無端ベルト４による搬送路を若干傾けて配置することが好ましい。このように傾斜させれば、自然落下で液体成分を除去することができる。また、このとき、無端ベルト４の搬送路を構成する幅は、一対のゴム材１４，１４からなる堰により、下流に行くにしたがって次第に狭められているので、残渣は次第に中央側に集められ、盛り上げられるようになる。
【００１５】
そして、最初のローラ２８を通過することにより、先ず、脱水される。また、かなりの量がまとまって送られてきたとしても、最初のローラ２８により厚さが整えられる。なお、残渣が多量の液体を含んでいる場合に、その残渣によりローラ２８が滑ろうとしても、周面に配設された突起３０が無端ベルト４の表面に食い込むようになるので、その滑りを防止することができる。よって、整厚された残渣が速やかに次のゴムローラ１２側に送られ、このローラ１２とローラ８との間で押し潰されるので、略液体成分が除かれた状態で固体成分が押し潰され、かなりコンパクトに押し固められることになる。また、こうして、押し固められた固体成分は、装置本体の所定の開口から除去されることになる。
【００１６】
よって、略全ての固液混合物を押し固めてコンパクトにすることができる。
以上、本発明の一実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に何ら限定されない。
例えば、上記実施例では、半導体やプリント基板の製造分野において、フォトレジストやドライフィルムを洗い流した溶剤中に含まれる固体成分の分離について説明したが、固液混合物は、上記実施例に何ら限定されるものではなく、種々の混合物が適用可能である。
【００１７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る固液分離及び脱水装置によれば、液体が多量に含まれている混合物であるとしても、先ず、脱水し、その後、ゴムローラにより確実に押し潰すことができる。
したがって、液体成分がかなり含有されている溶液中の固形物を極めて効率的に除去することができる。また、脱水用のゴムローラの周面に突起を形成すれば、滑りを防止することができる。
【００１８】
よって、特に、半導体やプリント基板の製造分野で不要となったフォトレジストやドライフィルムを含む溶剤を除去する場合に、これらの固体成分を効率的に除去し、押し固めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明一実施例による固液分離及び脱水装置の斜視図である。
【図２】図２は同実施例による使用勝手の一例を示す側面図である。
【符号の説明】
２　　　搬送装置
４　　　無端ベルト
１２　　ゴムローラ
１４　　堰
２０　　ドラムコンベア
２８　　ゴムローラ
３０　　突起
【図１】
2004034075.tif 000003
【図２】
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