(57)【要約】【課題】アルミニウム含有率が４０重量％以上のアルミニウム合金から成る台金を備え、周速８０ｍ／ｓ以上の超高速研削加工に用いられる超砥粒研削ホイールであって、研削に際し弱アルカリ性の研削液を使用しても台金の腐食が進行しない超砥粒研削ホイールを提供する。【解決手段】台金１２の表面に、防食性および耐摩耗性を有する被膜２０が形成されている為、超高速研削加工に用いられても、研削液中に若干含まれる固形物や気泡などによって台金の表面に形成された前記被膜２０が機械的に除去されることなく、研削加工に際し弱アルカリ性の研削液を使用しても台金１２の腐食が進行しない。その結果、超砥粒研削ホイール１０の安全性が向上し、また、繰り返しの使用によって台金１２の腐食が進行しない為に台金１２の再利用が可能となり、超砥粒研削ホイール１０の製造コストを削減することができる【選択図】　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム含有率が４０重量％以上のアルミニウム合金から成る台金上に超砥粒が固着され、周速８０ｍ／ｓ以上の超高速研削加工に用いられる超砥粒研削ホイールであって、
前記台金の表面に、防食性および耐摩耗性を有する被膜が形成されていることを特徴とする超砥粒研削ホイール。
【請求項２】
前記被膜は、少なくともｐＨ７．０〜１１．０の範囲内の弱アルカリ性水溶液に対し防食性を有するものである請求項１の超砥粒研削ホイール。
【請求項３】
前記被膜は、ビッカース硬さでＨＶ３００以上の硬度を有するものである請求項１または２の超砥粒研削ホイール。
【請求項４】
前記被膜は、前記台金に陽極酸化処理を施すことにより形成されるアルマイト被膜である請求項１から３の何れかの超砥粒研削ホイール。
【請求項５】
前記被膜は、前記台金に金属溶射処理を施すことにより形成される金属溶射被膜である請求項１から３の何れかの超砥粒ホイール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アルミニウム含有率が４０重量％以上のアルミニウム合金から成る台金を備え、周速８０ｍ／ｓ以上といった超高速研削加工に用いられる超砥粒研削ホイールの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえばＣＢＮ砥粒またはダイヤモンド砥粒などの超砥粒を台金上に固着させた超砥粒研削ホイールが、高能率研削や粗研削等に多用されている。近年、かかる超砥粒研削ホイールの台金にアルミニウム合金を用いたものが開発されている。たとえば、特開２０００−１４１２３１号公報に記載されたＳｉを主成分とする急冷凝固アルミニウム合金を台金に用いた超砥粒研削ホイールがそれであり、そのようなアルミニウム合金を台金に用いた超砥粒研削ホイールは、他の材料たとえばスチールなどを台金に用いた超砥粒研削ホイールに比べ格段に軽量である為、たとえば周速８０ｍ／ｓ以上といった超高速研削加工において好適に用いられるものである。
【０００３】
ところで、かかる超砥粒研削ホイールを用いた研削加工に際して使用される研削液としては、研削液中に雑菌が繁殖するのを抑える目的で、また、研削液が作業者の肌に触れる可能性があることを考慮し、弱アルカリ性の研削液が用いられることが多い。ここで、アルミニウムは弱アルカリ性水溶液と化学反応を起こす為、台金がアルミニウム合金から成る超砥粒研削ホイールを用いた研削加工に弱アルカリ性の研削液を使用するうえで台金の腐食が危惧されるが、アルミニウム表面には空気中の自然酸化による酸化被膜が形成されていること、および研削加工に使用される研削液は専ら弱アルカリ性水溶液であり水酸化物濃度が低いこと等の理由から、たとえば周速３０ｍ／ｓといった通常の研削加工においては研削液との化学反応による前記台金の腐食は作業上ほとんど問題にならなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、本発明者は、台金にアルミニウム合金を用いた超砥粒研削ホイールによる研削試験を繰り返す中で、たとえば周速８０ｍ／ｓ以上といった超高速研削加工に前記超砥粒研削ホイールが用いられた場合、たとえば２４時間の連続研削により前記台金に０．０１ｍｍ程度の腐食が進行することを発見した。
【０００５】
そのように台金の腐食が進行すれば、台金の厚みの減少に伴い台金の外周面に固着された研削層の接着面積が小さくなり、結果として超砥粒研削ホイールの安全性が低下する可能性がある。また、台金に用いられるアルミニウム合金は、たとえばＳｉを１５〜４０重量％といった高い割合で含有するハイシリコンアルミニウムなどであり、このようなアルミニウム合金は前述のように軽量であるという利点を有する反面、スチールなどの他の材料に比べ高価である為、研削加工に繰り返し使用されることによって研削層が寿命に達し使用不能となった超砥粒研削ホイールを回収して台金を再利用することでコストの低減が計られている。しかし、繰り返しの使用により台金の腐食が進行すれば台金を再利用することができなくなり、超砥粒研削ホイールの製造コストが高くなるという問題が生じる。
【０００６】
そこで本発明者は、前述のようにアルミニウム合金を用いた台金の腐食が進行する原因について検討を続けた結果、超砥粒研削ホイールが周速８０ｍ／ｓ以上といった超高速研削加工に用いられることで、台金の表面に自然酸化により形成されている前記酸化被膜が研削液中に若干含まれる固形物や気泡などによって機械的に除去され、アルミニウムと研削液との化学反応が起こることにより腐食が進行するのではないかという見解を持つに至った。
【０００７】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、アルミニウム含有率が４０重量％以上のアルミニウム合金から成る台金を備え、周速８０ｍ／ｓ以上の超高速研削加工に用いられる超砥粒研削ホイールであって、研削加工に際し弱アルカリ性の研削液を使用しても台金の腐食が進行しない超砥粒研削ホイールを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成する為に、本発明の要旨とするところは、アルミニウム含有率が４０重量％以上のアルミニウム合金から成る台金上に超砥粒が固着され、周速８０ｍ／ｓ以上の超高速研削加工に用いられる超砥粒研削ホイールであって、前記台金の表面に、防食性および耐摩耗性を有する被膜が形成されていることを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の効果】
このようにすれば、アルミニウム合金から成る台金の表面に、防食性および耐摩耗性を有する被膜が形成されている為、周速８０ｍ／ｓ以上といった超高速研削加工に用いられても、研削液中に若干含まれる固形物や気泡などによって台金の表面に形成された前記被膜が機械的に除去されることなく、研削加工に際し弱アルカリ性の研削液を使用しても台金の腐食が進行しない。その結果、超砥粒研削ホイールの安全性が向上し、また、繰り返しの使用によって台金の腐食が進行しない為に台金の再利用が可能となり、超砥粒研削ホイールの製造コストを削減することができる。
【００１０】
【発明の他の態様】
また、好適には、前記被膜は、少なくともｐＨ７．０〜１１．０の範囲内の弱アルカリ性水溶液に対し防食性を有するものである。このようにすれば、超砥粒研削ホイールを用いた超高速研削加工に際し使用される研削液に対して十分な防食性を有する被膜が得られ、台金の腐食が進行しない。
【００１１】
また、好適には、前記被膜は、ビッカース硬さでＨＶ３００以上の硬度を有するものである。このようにすれば、超砥粒研削ホイールが８０ｍ／ｓ以上といった超高速研削加工に用いられても、台金の表面に形成された前記被膜が研削液中に若干含まれる固形物や気泡などによって機械的に除去されることなく、アルミニウムと研削液との化学反応が起こらない為、台金の腐食が進行しない。
【００１２】
また、好適には、前記被膜は、前記台金に陽極酸化処理を施すことにより形成されるアルマイト被膜である。アルマイト被膜とは、シュウ酸電解液によってＡｌを陽極酸化して多孔性被膜を生成後、封孔処理を施したものであり、そのようにして形成されるアルマイト被膜は、防食性および耐摩耗性に優れる緻密な被膜であり、簡便な方法により形成が可能である為に実用に適している。
【００１３】
また、好適には、前記被膜は、前記台金に金属溶射処理を施すことにより形成される金属溶射被膜である。このようにすれば、防食性および耐摩耗性に優れた金属溶射被膜が形成されていることで、前記超砥粒研削ホイールを用いた超高速研削加工に際しての台金の腐食をより好適に防止できる。
【００１４】
【実施例】
以下、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１５】
図１は、本発明の一実施例である超砥粒研削ホイール１０を説明する斜視図である。この図に示すように、本実施例の超砥粒研削ホイール１０は、たとえば外径３８０ｍｍφ×内径８０ｍｍφ×厚さｔ１０ｍｍ程度の寸法を備えた穴空き円板状を成すものであり、その中央部に設けられた取付穴１７において研削機械に取り付けられる為に備えられた台金１２の外周面に、ダイヤモンド砥粒またはＣＢＮ砥粒などの超砥粒１４が、たとえばレジンボンドなどの結合剤によって固着された研削層１６を有している。
【００１６】
上記台金１２は、たとえば急冷凝固アルミニウム合金から成るものであり、その組成は、たとえばＳｉを１５〜４０重量％、Ｃｕを０．５〜６重量％、Ｍｇを０．２〜３重量％の割合で含有し、残部が実質的にアルミニウムおよび不可避的不純物とされたものである。かかる組成のアルミニウム合金は、たとえば８０ｍ／ｓ以上といった超高速研削にも耐え得る強度を有することに加え、スチールなどといった他の金属材料に比べて軽量である為、超高速研削に用いられる超砥粒研削ホイール１０の台金１２として好適に用いられる。
【００１７】
前記超砥粒研削ホイール１０は、前記取付穴１７において図示しない研削機械の主軸に取り付けられ、前記研削層１６と被削材との間に研削液を供給しつつ、図示しない保持装置に保持された被削材を前記研削層１６に押しつけた状態で、その軸心Ｃ回りに回転されて用いられる。これにより、被削材の被削面が研削層１６により所望形状に研削される。
【００１８】
かかる超砥粒研削ホイール１０を用いた研削加工に際して使用される研削液としては、研削液中に雑菌が繁殖するのを抑える目的で、また、研削液が作業者の肌に触れる可能性があることを考慮し、弱アルカリ性の研削液が用いられることが多い。ここで、アルミニウムは弱アルカリ性水溶液と以下の式１に示す化学反応式で表される化学反応を起こしてその弱アルカリ性水溶液に溶ける性質を有するものであり、台金１２にアルミニウム合金を用いた超砥粒研削ホイール１０の研削に弱アルカリ性の研削液を使用した場合、かかる化学反応によりその台金１２が微量ずつ研削液に溶けることすなわち腐食することが考えられる。だが実用の場においては、アルミニウム表面には空気中の自然酸化による酸化被膜すなわち不動態膜が形成されていること、および研削加工に使用される研削液は専ら弱アルカリ性水溶液であり水酸化物濃度が低いことなどの理由からほとんど問題にならない。
【００１９】
［式１］
２Ａｌ＋２ＯＨ−　＋６Ｈ２　Ｏ→２Ａｌ（ＯＨ）４　−　＋３Ｈ２　
【００２０】
一方、たとえば周速８０ｍ／ｓ以上といった超高速研削加工に用いられる場合には、若干ながら前記台金１２の腐食が進行することが考えられる。図２は、従来の技術による超砥粒研削ホイール４０を中心軸を含む平面で切断して示す断面図である。この図に示すように、従来の超砥粒研削ホイール４０では、研削開始時にＡの厚みを備えていた場合、長時間の研削により台金１２の腐食が進行し、台金１２の平面部１８がそれぞれΔＡ腐食されることにより、その台金１２の厚みはＡ−２ΔＡにまで減少する。このΔＡは、たとえば２４時間の連続研削により０．０１ｍｍ程度といった小さなものであるが、一ヶ月間の連続使用では両面で約０．６ｍｍとなり無視できないものになる。前述のように通常の研削では腐食が進行せず、かかる超高速研削加工においてのみ腐食が進行するのは、超砥粒研削ホイール４０が周速８０ｍ／ｓ以上といった超高速研削加工に用いられることで、台金１２の表面に自然酸化により形成されている酸化被膜が研削液中に若干含まれる固形物や気泡などによって機械的に除去され、アルミニウムと研削液との間に上述の化学反応が起こることにより腐食が進行することによるものと考えられる。
【００２１】
図３は、本実施例の超砥粒研削ホイール１０を中心軸を含む平面で切断して示す断面図である。この図に示すように、本実施例の超砥粒研削ホイール１０では、前記超砥粒１４を固着する前段階において、前記台金１２の全表面に防食性および耐摩耗性を有する被膜２０を形成する被覆処理がおこなわれることにより被膜２０が形成されている。かかる被膜２０としては、たとえば前記台金１２に陽極酸化処理を施すことにより形成されるアルマイト被膜、あるいは金属溶射処理を施すことにより形成される金属溶射被膜などが効果的且つ実用的である。
【００２２】
図４は、前記台金１２に陽極酸化処理を施し、その表面にアルマイト被膜を形成させる工程を示す工程図である。この図に示すように、先ず脱脂工程ＰＡ１において、前記台金１２に付着している油脂分や汚れが除去される。次に酸洗工程ＰＡ２において、前述のように自然酸化により前記台金１２の表面に形成されていた酸化被膜が酸性薬剤によって除去されて光輝表面が得られる。続く第１水洗工程ＰＡ３において、前記台金１２の表面上に残留している酸性薬剤が洗い流され、さらに続く陽極酸化工程ＰＡ４において、前記台金１２がシュウ酸電解液に浸漬させられて台金１２を陽極として電流が流されることによりその台金１２の表面に陽極酸化被膜が生成される。そのようにして生成された陽極酸化被膜は、無定形または結晶質のアルミナ（Ａｌ２　Ｏ３　）から成るものであり、シュウ酸電解液による陽極酸化では、直径数十ｎｍまでの孔が１μｍ２　あたり数十から数百個、被膜表面に垂直に形成される。本実施例では、陽極酸化工程ＰＡ４に続く第２水洗工程ＰＡ５において、表面に残留しているシュウ酸が除去された後、さらに続く封孔工程ＰＡ６において、たとえば前記台金１２が加圧蒸気中に所定時間維持されることにより封孔処理が施される。これにより上記陽極酸化被膜はベーマイト（Ａｌ２　Ｏ３　・Ｈ２　Ｏ）に変化する。以上のようにして、前記台金２０の表面に、少なくともｐＨ７．０〜１１．０の範囲内のアルカリ性水溶液に対し防食性を有し、且つ、ビッカース硬さでＨＶ３００以上の硬度を有する、防食性および耐摩耗性に優れたアルマイト被膜が形成される。
【００２３】
また、図５は、台金１２に金属溶射処理を施し、その表面に金属溶射被膜を形成させる工程を示す工程図である。この図に示すように、先ず粗面化工程ＰＢ１において、前記台金１２の表面がショットブラスト処理などにより粗面化される。次に中間層形成工程ＰＢ２において、後述の溶射工程ＰＢ３で溶射される所定の金属材料の接着性を高める為の中間層が前記台金１２の表面に溶射などにより形成される。かかる中間層の材料としては、たとえばニッケルアルミニウムなどが好適に用いられる。続く溶射工程ＰＢ３において、そのように表面に中間層が形成された前記台金１２に、たとえばＳＵＳ４２０、タングステンカーバイド、あるいはニッケルクロムなどの材料が溶射される。その溶射に用いられる溶射装置は、溶射される材料の融点によりガス式溶射装置あるいは電気式溶射装置などが適宜選択される。それらの溶射装置を用いて溶融あるいは半溶融状態に熱せられ且つ吹き付けられることにより溶射されて金属溶射被膜が形成される。ここで、タングステンカーバイドなどの高融点の材料についても、不活性ガス雰囲気たとえばアルゴンガスの雰囲気下、プラズマ状態下で放電させることにより溶融状態とすることができる。また、上述の溶射される材料としては、線状のものあるいは粉末状のものなどが好適に用いられる。たとえば平均粒径５０μｍφ程度のタングステンカーバイド粉末が不活性ガス雰囲気にて溶融させられ０．５ＭＰａの溶射圧力でプラズマ溶射されて、あるいは線径１．０ｍｍφ程度のＳＵＳ４２０線材が大気雰囲気にて溶融させられ０．５ＭＰａの溶射圧力でアーク溶射されて厚みｔ０．１５ｍｍ程度の金属溶射被膜が形成される。
【００２４】
かかる金属溶射被膜の材料としては、材料それ自体がビッカース硬さでＨＶ３００以上の硬度を有するものが好適に用いられる。前記台金１２には、さらに続く仕上加工工程ＰＢ４において、表面の平滑化、寸法調整、金属溶射被膜の膜厚調整などの機械加工が施され、以上のようにして、前記台金２０の表面に、少なくともｐＨ７．０〜１１．０の範囲内のアルカリ性水溶液に対し防食性を有し、且つ、ビッカース硬さでＨＶ３００以上の硬度を有する、防食性および耐摩耗性に優れた金属溶射被膜が形成される。たとえば材料としてＳＵＳ４２０を用いた約０．１５ｍｍ程度の厚さ寸法を備えた金属溶射被膜では、ビッカース硬さでＨＶ３５０程度の硬度が得られる。また、タングステンカーバイドによる被膜は高い表面硬度を得たい場合に有用であり、同程度の厚さ寸法を備えた金属溶射被膜においてビッカース硬さでＨＶ７００程度の硬度が得られる。
【００２５】
ここで、本発明の効果を検証する為に本発明者がおこなった研削試験について説明する。その研削試験では、アルミニウム含有率が４０重量％以上のアルミニウム合金から成る台金１２の表面に、図４に示す工程によりアルマイト被膜が形成された本実施例の超砥粒研削ホイールである実施例試料１と、図５に示す工程により金属溶射被膜が形成された本実施例の超砥粒研削ホイールである実施例試料２と、表面に被膜２０を設けない他は同様の材料を用いて従来の技術により作成された超砥粒研削ホイールである比較例試料とを用いて研削実験を行った。それぞれの試料を研削機械に取り付けて、ｐＨ１０．１の研削液を使用し、周速２００ｍ／ｓで２４時間連続研削を行った後、それぞれの試料における台金１２の様子を調べると、本実施例の超砥粒研削ホイールである実施例試料１および２では、台金１２に厚みの減少がほとんど見られなかったのに対し、従来の技術による超砥粒研削ホイールである比較例試料では、台金１２に片面で０．０１２ｍｍ、両面で０．０２４ｍｍの厚み減少が観察された。この実験の結果から、本実施例の超砥粒研削ホイールは、超高速研削時に研削液として使用される弱アルカリ性水溶液に対して十分な防食性を備えていることがわかる。
【００２６】
このように、本実施例では、アルミニウム合金から成る台金１２の表面に、防食性および耐摩耗性を有する被膜２０が形成されている為、周速８０ｍ／ｓ以上といった超高速研削加工に用いられても、研削液中に若干含まれる固形物や気泡などによって台金１２の表面に形成された前記被膜２０が機械的に除去されることなく、研削に際し弱アルカリ性の研削液を使用しても台金１２の腐食が進行しない。その結果、超砥粒研削ホイール１０の安全性が向上し、また、繰り返しの使用によって台金１２の腐食が進行しない為に台金１２の再利用が可能となり、超砥粒研削ホイール１０の製造コストを削減することができる。
【００２７】
また、前記被膜２０は、少なくともｐＨ７．０〜１１．０の範囲内のアルカリ性水溶液に対し防食性を有するものである為、かかる被膜２０は超砥粒研削ホイール１０を用いた超高速研削加工に際し使用される研削液に対して十分な防食性を有し、台金１２の腐食が進行しない。
【００２８】
また、前記被膜２０は、ビッカース硬さでＨＶ３００以上の硬度を有するものである為、超砥粒研削ホイール１０が８０ｍ／ｓ以上といった超高速研削加工に用いられても、台金１２の表面に形成された前記被膜２０が研削液中に若干含まれる固形物や気泡などによって機械的に除去されることなく、アルミニウムと研削液との化学反応が起こらない為、台金１２の腐食が進行しない。
【００２９】
また、前記被膜２０は、前記台金１２に陽極酸化処理を施すことにより形成されるアルマイト被膜であり、防食性および耐摩耗性に優れ、簡便な方法により形成が可能である為に実用に適しており、かかるアルマイト被膜が形成されていることで、前記超砥粒研削ホイール１０を用いた超高速研削加工に際しての台金１２の腐食をより好適に防止できる。
【００３０】
また、前記被膜２０は、前記台金１２に金属溶射処理を施すことにより形成される金属溶射被膜である為、防食性および耐摩耗性に優れた金属溶射被膜が形成されていることで、前記超砥粒研削ホイール１０を用いた超高速研削加工に際しての台金１２の腐食をより好適に防止できる。
【００３１】
以上、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施される。
【００３２】
たとえば、前述の実施例の超砥粒研削ホイール１０は、台金１２の外周面に超砥粒１４がレジンボンドによって固着された研削層１６を有するものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく、たとえばビトリファイドボンドあるいはメタルボンドにより超砥粒１４が相互に固着されたセグメント砥石が前記台金１２の外周面に接着剤で固定されたセグメント型超砥粒研削ホイール、あるいは電着などにより前記台金１２の外周面に超砥粒１４が直接的に固着された研削層１６を有する超砥粒研削ホイールなどにも好適に用いられるものである。
【００３３】
また、前述の実施例の超砥粒研削ホイール１０は、台金１２の外周面に超砥粒１４が固着された円筒状の研削層１６を有するものであったが、本発明は台金１２の平面部に超砥粒１４が固着された平面状の研削層を有する超砥粒研削ホイール、あるいは総型の研削面を有する超砥粒研削ホイールなどにも好適に用いられる。
【００３４】
また、前述の実施例の超砥粒研削ホイール１０では、図３に示すように、台金１２の全表面に被膜２０が形成されていたが、図６に示す超砥粒研削ホイール３０のように、本発明の被膜２０は前記超砥粒研削ホイール１０が研削加工に用いられる際、少なくとも台金１２における研削液に接する部分に形成されていればよく、台金１２の全表面に被膜２０が形成されていなくともよい。
【００３５】
また、前述の実施例において、台金１２はＳｉを主成分とする急冷凝固アルミニウム合金であり、その組成は、たとえばＳｉを１５〜４０重量％、Ｃｕを０．５〜６重量％、Ｍｇを０．２〜３重量％の割合で含有し、残部が実質的にアルミニウムおよび不可避的不純物とされたものであったが、本発明はこれに限定されるものでは当然になく、アルミニウム含有率が４０重量％以上のアルミニウム合金から成る台金１２上に超砥粒１４が固着された超砥粒研削ホイール１０に広く用いられるものである。
【００３６】
また、前述の実施例では、台金１２の表面上に生成された陽極酸化被膜に封孔工程Ｐ６において封孔処理が施されベーマイト化されることによりアルマイト被膜とされていたが、前記台金１２の腐食を進行させない防食性および耐摩耗性を保証することができれば、この封孔処理は必ずしも施されなくともよい。
【００３７】
また、前述の実施例では、被膜２０としてアルマイト被膜あるいは金属溶射被膜が形成されていたが、周速８０ｍ／ｓ以上の超高速研削加工に際し弱アルカリ性の研削液を使用しても台金１２の腐食を進行させない防食性および耐摩耗性を保証する被膜であればどんなものであってもよく、たとえばＣｒメッキあるいはＮｉメッキによる金属メッキ被膜などであっても構わない。
【００３８】
その他一々例示はしないが、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である超砥粒研削ホイールを示す斜視図である。
【図２】従来の技術による超砥粒研削ホイールを中心軸を含む平面で切断して示す断面図である。
【図３】図１に示す超砥粒研削ホイールを中心軸を含む平面で切断して示す断面図である。
【図４】台金に陽極酸化処理を施し、その表面にアルマイト被膜を形成する工程を示す工程図である。
【図５】台金に金属溶射処理を施し、その表面に金属溶射被膜を形成する工程を示す工程図である。
【図６】本発明の他の実施例である超砥粒研削ホイールを中心軸を含む平面で切断して示す断面図である。
【符号の説明】
１０、３０：超砥粒研削ホイール
１２：台金
１４：超砥粒
２０：被膜
【図１】
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【図２】
2004034165.tif 000004
【図３】
2004034165.tif 000005
【図４】
2004034165.tif 000006
【図５】
2004034165.tif 000007
【図６】
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