(57)【要約】【課題】定在ガスのガス濃度と突発ガスのガス濃度とを安価な手段で検出する。【解決手段】外部空気が流入するチャンバ（４０）と、チャンバ（４０）に流入した外部空気からチャンバ（４０）の外部空気のガス濃度を検出するガスセンサ（２０）とを備え、ガスセンサ（２０）の基準値を較正するための較正動作を行う。較正動作の開始前のセンサ出力に基づくガス濃度と定在ガス基準レベルとの差を予め設定された閾値と比較して定在ガスレベルを導出し、定在ガス信号を出力する定在ガス部（８１）を備えている。センサ出力に基づくガス濃度と予め設定された突発ガス用０レベルとの差を予め設定された閾値と比較して突発ガスレベルを導出し、突発ガス信号を出力する突発ガス部（８２）を備えている。そして、導出された定在ガス濃度を表示する定在ガス表示部と、突発ガス濃度を表示する突発ガス表示部とを備えている。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部空気が流入するチャンバ（４０）と、
該チャンバ（４０）に流入した外部空気からチャンバ（４０）の外部空気のガス濃度を検出するガスセンサ（２０）と、
該ガスセンサ（２０）の基準値を較正するための較正動作を行う較正手段（７３）とを備えたガス検出装置において、
上記ガスセンサ（２０）が出力する１つのセンサ出力に基づいて、チャンバの外部空気に定常的に存在する定在ガスのガス濃度と、チャンバの外部空気に突発的に発生する突発ガスのガス濃度とを導出する導出手段（８０）を備えているガス検出装置。
【請求項２】
請求項１において、
上記導出手段（８０）は、較正動作の開始前のガスセンサ（２０）のセンサ出力に基づくガス濃度と定在ガス基準レベルとの差を予め設定された閾値と比較して定在ガスレベルを導出し、定在ガス信号を出力する定在ガス部（８１）を備えているガス検出装置。
【請求項３】
請求項１において、
上記導出手段（８０）は、ガスセンサ（２０）のセンサ出力に基づくガス濃度と予め設定された突発ガス基準レベルとの差を予め設定された閾値と比較して突発ガスレベルを導出し、突発ガス信号を出力する突発ガス部（８２）を備えているガス検出装置。
【請求項４】
請求項３において、
上記導出手段（８０）は、較正手段（７３）の較正動作が開始された後、所定時間が経過するまで、上記突発ガス部（８２）が較正動作の開始前の突発ガス信号を出力し続けるように突発ガス部（８２）の突発ガスレベルを維持させるレベル維持部（８３）を備えているガス検出装置。
【請求項５】
請求項３において、
上記突発ガス部（８２）は、較正動作の開始前のガスセンサ（２０）のセンサ出力に基づくガス濃度を突発ガス基準レベルに設定し、較正手段（７３）が較正動作を行う毎に突発ガス基準レベルを更新するように構成されているガス検出装置。
【請求項６】
請求項４において、
上記レベル維持部（８３）は、較正動作の開始前の突発ガスレベルから低いガスレベルに複数レベルに維持するように複数の維持部（８ａ）を備えているガス検出装置。
【請求項７】
請求項６において、
上記複数の維持部（８ａ）は、後段の維持部（８ａ）にいくにしたがって維持時間が長く設定されているガス検出装置。
【請求項８】
請求項１において、
上記導出手段（８０）は、上記レベル維持部（８３）のレベル維持動作中にガス濃度が維持レベルに基づく所定値まで変動すると、レベル維持部（８３）のレベル維持動作を終了させる終了部（８４）を備えているガス検出装置。
【請求項９】
請求項１において、
上記導出手段（８０）の出力信号を受けてガスレベルに対応して機器類の制御量を変更して機器類の制御信号を出力する信号制御手段（７２）を備えているガス検出装置。
【請求項１０】
請求項１において、
上記導出手段（８０）の出力信号を受けて定在ガス濃度を表示する定在ガス表示手段（９１）と、突発ガス濃度を表示する突発ガス表示手段（９２）とを備えているガス検出装置。
【請求項１１】
請求項１０において、
上記定在ガス表示手段（９１）と突発ガス表示手段（９２）とは、定在ガス表示手段（９１）を低濃度側に位置し、突発ガス表示手段（９２）が高濃度側に位置するように配置されているガス検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス濃度を検出するガス検出装置に関し、特に、ガスレベルの導出対策に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、空気清浄機に搭載されているガスセンサは、温湿度のドリフトを補正できない。したがって、清浄状態、例えば、ガスレベル０が一定時間続くと、そのときのセンサ出力（瞬時値若しくはある期間の平均値）で仮想０レベルを設定する。そして、任意の時間におけるガスセンサ出力と仮想０レベルの差に応じてガスレベル、例えば、ガスレベル０〜ガスレベル３を決めている。
【０００３】
このように、仮想０レベルを設定することにより、温湿度のドリフトがあっても煙草などの突発ガスを検知することができ、そのガス濃度に応じたガスレベルの表示を可能としている。
【０００４】
しかし、空気清浄機の浄化性能が不十分であるため、煙草などの突発ガスが発生した後、清浄レベルまで復帰するのに長時間を要する。実際に室内空気が浄化されるのに１〜２時間程度が必要である。ガスセンサ出力が実際のガスレベルをそのまま表示すると、長時間にわたって高濃度のガスレベル（例えば、ガスレベル２〜３）を表示してしまい、空気清浄機の使用者に違和感を与えてしまう。
【０００５】
そこで、特許第２５６３２６３号及び特許第２５８６５２４号公報に開示されているように、所定時間が経過すると、仮想０レベルを上昇させるようにしている。この結果、ガスレベルを強制的に低下させる等のソフト的処置を施し、使用者の体感に合わせるようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来のガスセンサは、温湿度に依存するドリフトによる誤検出を抑制するため、突発ガスのみを検出するアルゴリズムを採用している。この結果、緩やかに変化する低濃度の定在ガスは検出できなくなっていた。
【０００７】
しかしながら、昨今、ホルムアルデヒド（ＨＣＨＯ）やトルエンを代表とする揮発性有機化合物（ＶＯＣ）のように、建材や家具から長期間に渡り徐々に放散される低濃度の定在ガスが、シックハウス、シックスクール、シックビルディングなどの原因物質の一つとして問題視されている。したがって、空気清浄機や換気装置において、自動運転制御用又は浄化効果の可視化用として装置に組込可能な低濃度の定在ガスの検出手段の要求が高まっている。
【０００８】
一方、特開２００１−４１９１６号公報に開示されているように、ガスセンサのセンサ出力の基準値を構成するガス検出装置がある。しかしながら、このガス検出装置では、定在ガスを検出するものと、突発ガスを検出するものとを２台設ける必要があり、コスト高になるという問題がある。
【０００９】
本発明は、斯かる点に鑑みて成されたもので、定在ガスのガス濃度と突発ガスのガス濃度とを安価な手段でもって検出することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
図１に示すように、請求項１に係る発明は、外部空気が流入するチャンバ（４０）と、該チャンバ（４０）に流入した外部空気からチャンバ（４０）の外部空気のガス濃度を検出するガスセンサ（２０）と、該ガスセンサ（２０）の基準値を較正するための較正動作を行う較正手段（７３）とを備えたガス検出装置を前提としている。そして、上記ガスセンサ（２０）が出力する１つのセンサ出力に基づいて、チャンバの外部空気に定常的に存在する定在ガスのガス濃度と、チャンバの外部空気に突発的に発生する突発ガスのガス濃度とを導出する導出手段（８０）を備えている。
【００１１】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明において、上記導出手段（８０）が、較正動作の開始前のガスセンサ（２０）のセンサ出力に基づくガス濃度と定在ガス基準レベルとの差を予め設定された閾値と比較して定在ガスレベルを導出し、定在ガス信号を出力する定在ガス部（８１）を備える構成としている。
【００１２】
また、請求項３に係る発明は、請求項１に係る発明において、上記導出手段（８０）が、ガスセンサ（２０）のセンサ出力に基づくガス濃度と予め設定された突発ガス基準レベルとの差を予め設定された閾値と比較して突発ガスレベルを導出し、突発ガス信号を出力する突発ガス部（８２）を備える構成としている。
【００１３】
また、請求項４に係る発明は、請求項３に係る発明において、上記導出手段（８０）が、較正手段（７３）の較正動作が開始された後、所定時間が経過するまで、上記突発ガス部（８２）が較正動作の開始前の突発ガス信号を出力し続けるように突発ガス部（８２）の突発ガスレベルを維持させるレベル維持部（８３）を備える構成としている。
【００１４】
また、請求項５に係る発明は、請求項３に係る発明において、上記突発ガス部（８２）が、較正動作の開始前のガスセンサ（２０）のセンサ出力に基づくガス濃度を突発ガス基準レベルに設定し、較正手段（７３）が較正動作を行う毎に突発ガス基準レベルを更新するように構成されている。
【００１５】
また、請求項６に係る発明は、請求項４に係る発明において、上記レベル維持部（８３）が、較正動作の開始前の突発ガスレベルから低いガスレベルに複数レベルに維持するように複数の維持部（８ａ）を備える構成としている。
【００１６】
また、請求項７に係る発明は、請求項６に係る発明において、上記複数の維持部（８ａ）が、後段の維持部（８ａ）にいくにしたがって維持時間が長く設定されている。
【００１７】
また、請求項８に係る発明は、請求項１に係る発明において、上記導出手段（８０）は、上記レベル維持部（８３）のレベル維持動作中にガス濃度が維持レベルに基づく所定値まで変動すると、レベル維持部（８３）のレベル維持動作を終了させる終了部（８４）を備える構成としている。
【００１８】
また、請求項９に係る発明は、請求項１に係る発明において、上記導出手段（８０）の出力信号を受けてガスレベルに対応して機器類の制御量を変更して機器類の制御信号を出力する信号制御手段（７２）を備える構成としている。
【００１９】
また、請求項１０に係る発明は、請求項１に係る発明において、上記導出手段（８０）の出力信号を受けて定在ガス濃度を表示する定在ガス表示手段（９１）と、突発ガス濃度を表示する突発ガス表示手段（９２）とを備える構成としている。
【００２０】
また、請求項１１に係る発明は、請求項１０に係る発明において、上記定在ガス表示手段（９１）と突発ガス表示手段（９２）とは、定在ガス表示手段（９１）を低濃度側に位置し、突発ガス表示手段（９２）が高濃度側に位置するように配置されている。
【００２１】
すなわち、本発明では、ガスセンサ（２０）が対象ガスのガス濃度を検出する場合、外部空気がチャンバ（４０）内に流入して拡散する。この外部空気がガスセンサ（２０）に供給される。該ガスセンサ（２０）は、対象のガス濃度に対応したセンサ出力を出力し、導出手段（８０）がガス濃度を算出する。そして、例えば、請求項９に係る発明では、信号制御手段（７２）が制御信号を出力し、例えば、室内ファンの回転数などが変更される。
【００２２】
更に、較正手段（７３）は、前回の較正動作Ｓが終了した後、例えば、所定時間が経過すると、較正動作Ｓを実行し、チャンバ（４０）の内部空気を清浄化し、清浄空気がガスセンサ（２０）に供給される。そして、上記ガスセンサ（２０）は、清浄空気のガス濃度を検出する。その後、較正を終了すると、導出手段（８０）は、較正の終了時におけるセンサ出力によってガスセンサ（２０）の基準値を基に測定動作を再開する。
【００２３】
一方、上記導出手段（８０）は、ガスセンサ（２０）が出力する１つのセンサ出力に基づき、定在ガスレベルと突発ガスレベルとを導出し、請求項１０及び請求項１１に係る発明では、表示手段（９０）が定在ガスレベルと突発ガスレベルとを別個に表示する。
【００２４】
また、請求項２に係る発明では、上記導出手段（８０）の定在ガス部（８１）が、定在ガス基準レベルと較正動作前のガス濃度との差を導出し、予め設定された閾値と比較して定在ガスレベルを導出する。
【００２５】
また、請求項３に係る発明では、上記導出手段（８０）の突発ガス部（８２）が、突発ガス基準レベルとガスセンサ（２０）のセンサ出力との差を用い、この差と予め設定された閾値とを比較することによって突発ガスレベルを導出する。
【００２６】
また、請求項４に係る発明では、基準値の較正を行うと、レベル維持部（８３）が較正動作の開始時に算出された突発ガスレベルを所定の維持時間だけ維持する。その後、上記所定の維持時間が終了すると、突発ガスレベルの維持動作を終了し、通常のセンサ出力と突発ガス基準レベルとの差に応じて突発ガスレベルを導出する。
【００２７】
また、請求項５に係る発明では、上記導出手段（８０）の突発ガス部（８２）が、較正動作の開始前のガスセンサ（２０）のセンサ出力に基づくガス濃度を突発ガス基準レベルに設定し、較正手段（７３）が較正動作を行う毎に突発ガス基準レベルを更新する。
【００２８】
また、請求項６に係る発明では、上記レベル維持部（８３）の複数の維持部（８ａ）が、較正動作の開始前の突発ガスレベルから低いガスレベルに複数レベルに維持する。
【００２９】
また、請求項７に係る発明では、上記複数の維持部（８ａ）は、後段の維持部（８ａ）にいくにしたがって維持時間が長くなる。
【００３０】
また、請求項８に係る発明では、上記導出手段（８０）の終了部（８４）が、上記レベル維持部（８３）のレベル維持動作中にガス濃度が維持レベルに基づく所定値まで変動すると、レベル維持部（８３）のレベル維持動作を終了させる。
【００３１】
【発明の実施の形態１】
以下、本発明の実施形態１を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３２】
図１に示すように、本実施形態のガス検出装置（１０）は、例えば、空気調和装置の室内機や空気清浄機に設けられている。そして、該ガス検出装置（１０）は、外部空気である室内空気のガス濃度を検出するもので、例えば、室内のホルムアルデヒドなどの他、煙草や焼き肉臭などの対象ガスのガス濃度を検出するものである。
【００３３】
上記ガス検出装置（１０）は、ガスセンサ（２０）と清浄空気の生成手段（３０）とを備えている。上記生成手段（３０）は、チャンバ（４０）に熱触媒（５０）及び触媒ヒータ（６０）が設けられて構成されている。そして、上記熱触媒（５０）と触媒ヒータ（６０）とが清浄手段（３１）を構成している。
【００３４】
上記チャンバ（４０）は、所定容量の容器状に形成されている。具体的に、上記チャンバ（４０）は、高熱伝導率材料で形成され、ほぼカップ状の本体（４１）と、該本体（４１）の上部を閉鎖する上部板（４２）とより構成されている。そして、上記本体（４１）の上部には、チャンバ（４０）の外部と内部とを連通する開口（４３）が形成されている。該開口（４３）は、室内空気がチャンバ（４０）に流入して拡散するように形成されている。
【００３５】
尚、上記チャンバ（４０）は、熱触媒（５０）の負荷を小さくすると共に、測定時の対象ガスに対する応答性を良くするため、容積が極力小さいことが望ましい。つまり、上記チャンバ（４０）の容量は、熱触媒（５０）並びに触媒ヒータ（６０）のサイズ及び電気容量に応じて、温度上昇を避けるための下限値が存在し、数ミリリットルから数十ミリリットル程度である。
【００３６】
上記ガスセンサ（２０）は、半導体センサで構成され、チャンバ（４０）の本体（４１）に取り付けられている。そして、上記ガスセンサ（２０）のセンサ部がチャンバ（４０）内に位置している。
【００３７】
上記熱触媒（５０）と触媒ヒータ（６０）とは、チャンバ（４０）の内部の中央下部に配置されている。上記触媒ヒータ（６０）は、熱触媒（５０）を活性化させるための駆動源であって、電気ヒータで構成されている。
【００３８】
上記熱触媒（５０）は、ガスセンサ（２０）の基準値を較正するために清浄空気を生成するための触媒である。上記熱触媒（５０）は、例えば、触媒成分が担体に担持されて構成され、マンガン系触媒、バナジウム系触媒又はモリブデン系触媒等の熱触媒で構成されている。
【００３９】
上記熱触媒（５０）の担体としては、例えば、活性アルミナ、セリア、ジルコニア、シリカ及びゼオライト等から選ばれた１種類以上の金属酸化物又は該金属酸化物と金属の複合酸化物との混合物が採用されている。
【００４０】
上記触媒成分としては、例えば、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｍｎ及びＲｈのうちから選ばれた１種類以上の金属、該金属を含有する合金若しくは該金属の酸化物、又はこれらの２種類以上の混合物が採用されている。
【００４１】
また、上記熱触媒（５０）は、例えば、触媒成分が担体に担持されたものを網状に形成された金属等の基材に担持させてもよく、また、熱触媒（５０）は、触媒成分のみからなるものを網状に形成された金属等の基材に担持させてもよい。
【００４２】
上記触媒ヒータ（６０）は、熱触媒（５０）に接合されるか、又は重ね合わされ、該触媒ヒータ（６０）への通電によって熱触媒（５０）が活性化するように構成されている。
【００４３】
また、上記触媒ヒータ（６０）と熱触媒（５０）との構成は、ヒータフィラメントに熱触媒を直接に塗布したものでもよい。
【００４４】
また、上記触媒ヒータ（６０）にプレートやフィン等の伝熱部材を取り付け、該伝熱部材に熱触媒（５０）をコーティングしてもよい。
【００４５】
また、上記熱触媒（５０）の焼結体を形成し、該焼結体に触媒ヒータ（６０）を巻き付けてもよい。
【００４６】
また、上記熱触媒（５０）を粉末状とし、この粉末状熱触媒と触媒ヒータ（６０）とを管状保持材に充填するか、網状保持材で挟み込むようにしてもよい。
【００４７】
また、本実施形態の清浄手段（３１）は、熱触媒（５０）と触媒ヒータ（６０）とで構成したが、機能を満たすものであれば他の構成としてもよい。例えば、上記清浄手段（３１）は、光触媒と紫外線源とで構成してもよく、また、プラズマ触媒とプラズマ発生源とで構成してもよい。
【００４８】
一方、上記ガスセンサ（２０）にはコントローラ（７０）が接続されている。該コントローラ（７０）は、ガスセンサ（２０）の基準値の較正制御手段（７１）と、ガス濃度を導出する導出手段（８０）と、信号制御手段（７２）とを備えている。
【００４９】
上記較正制御手段（７１）は、ガスセンサ（２０）の基準値の較正動作を所定時間毎に実行するように構成され、較正制御手段（７１）によって触媒ヒータ（６０）が通電によって加熱する。そして、上記較正制御手段（７１）と生成手段（３０）とによって較正手段（７３）が構成されている。
【００５０】
上記導出手段（８０）は、ガスセンサ（２０）が出力する１つのセンサ出力に基づいて、チャンバの外部空気に定常的に存在する定在ガスのガス濃度と、チャンバの外部空気に突発的に発生する突発ガスのガス濃度とを導出するように構成されている。そして、上記導出手段（８０）は、定在ガス部（８１）と突発ガス部（８２）とレベル維持部（８３）とを備えている。尚、上記定在ガスとは、ＨＣＨＯやＶＯＣなどの徐々に放散される低濃度のガスをいい、突発ガスとは、煙草や焼き肉臭のように急激に上昇する高濃度のガスをいう。
【００５１】
上記定在ガス部（８１）は、較正動作の開始前のガスセンサ（２０）のセンサ出力に基づくガス濃度と定在ガス基準レベルとの差を予め設定された閾値と比較して定在ガスレベルを導出し、定在ガス信号を出力するように構成されている。
【００５２】
上記突発ガス部（８２）は、ガスセンサ（２０）のセンサ出力に基づくガス濃度と予め設定された突発ガス基準レベルとの差を予め設定された閾値と比較して突発ガスレベルを導出し、突発ガス信号を出力するように構成されている。
【００５３】
上記レベル維持部（８３）は、較正手段（７３）の較正動作が開始された後、所定時間が経過するまで、上記突発ガス部（８２）が較正動作の開始前の突発ガス信号を出力し続けるように突発ガス部（８２）の突発ガスレベルを維持させるように構成されている。
【００５４】
上記信号制御手段（７２）は、導出手段（８０）が導出したガスレベルの出力信号を受け、ガスレベルに対応して機器類の制御量を変更し、機器類の制御信号を出力するように構成されている。例えば、上記信号制御手段（７２）は、空気調和装置の室内機や空気清浄機に設けられているファンの回転数を変更する制御信号を出力する。
【００５５】
そこで、上記定在ガス及び突発ガスの導出の原理について説明する。先ず、定在ガスレベルについて図２に基づき説明する。
【００５６】
上記定在ガスレベルＭＬは、触媒を活性化させる較正動作Ｓ前のセンサ出力と、定在ガス基準レベルＬＴとの差を用い、予め設定された閾値によって設定される。
【００５７】
つまり、上記定在ガス基準レベルＬＴは、較正手段（７３）によって較正されたガスセンサ（２０）の基準値に相当し、図２に示すように、この基準値である定在ガス基準レベルＬＴと較正動作Ｓ前のガス濃度との差、例えば、差Ａを導出する。そして、この差Ａが予め設定された閾値と比較し、定在ガスレベルＭＬを導出する。この差Ａの場合は、例えば、定在ガスのレベル１となる。
【００５８】
この定在ガスのレベル１は、次の較正動作Ｓの終了まで維持され、図２においては、次の較正動作Ｓの終了時には、基準値である定在ガス基準レベルＬＴと較正動作前のガス濃度との差Ｂを導出する。この差Ｂの場合は、例えば、定在ガスのレベル２となる。
【００５９】
このように、較正動作毎に基準値である定在ガス基準レベルＬＴを更新し、定在ガスレベルＭＬを導出する。
【００６０】
尚、較正動作Ｓ前のセンサ出力は、較正動作Ｓの開始時のセンサ出力であってもよいし、悪影響を与えない範囲であれば較正動作Ｓの開始前の一定時間における平均値を用いてもよい。
【００６１】
また、図２においては、上記定在ガスレベルＭＬは、低濃度から高濃度へと突発的にセンサ出力が上昇しているよう表れているが、実際の定在ガスは徐々に上昇する。
【００６２】
低濃度の定在ガスは、本来、徐々に上昇するものであり、そのレベル表示において途中の急峻な変動を対象とする必要はない。したがって、次の基準値の更新まで定在ガスレベルＭＬを維持するだけで機能としては十分である。
【００６３】
閾値は、例えば、事前に把握しているセンサ特性を用いて設定すればよい。例えば、低濃度トルエンの検出特性は、図３に示すとおりとなる。
【００６４】
この場合、図４に示すように、トルエンが０．１ｐｐｍに相当するセンサ出力の差が生ずると、定在ガスのレベル０から定在ガスのレベル１へとレベルが上昇する。尚、トルエンが０ｐｐｍ以下に相当するセンサ出力になった場合、定在ガスのレベル３に設定している。この理由は、較正動作中に急激にセンサ出力が上昇した場合に対応するためである。
【００６５】
つまり、較正動作Ｓに要する時間は、システムの機械的設定によって異なるが、通常１秒〜３０秒である。この較正動作Ｓの間において、ガスセンサ（２０）のセンサ出力が急激に上昇すると、較正動作Ｓの前後の出力差が負側に大きくなる。その場合は、雰囲気ガス濃度が高いと判断させるためである。定在ガスは、急激なガス濃度の上昇を想定していないが、上述のように、定在ガスのレベル３に設定し、次回の較正動作Ｓまでの間、低い定在ガスレベルＭＬが保持されることによる違和感を少しでも抑制することができる。
【００６６】
尚、基準値である定在ガス基準レベルＬＴの更新の時間間隔が長いと、その間は、定在ガスレベルＭＬが更新されない。このため、使用者が違和感を覚えてしまうので、基準値の更新間隔は、体感に合った範囲で設定するのが好ましい。一般的には、１０分以内で、５分以内が好ましい。
【００６７】
次に、突発ガスレベルの導出原理について図５に基づいて説明する。
【００６８】
上記突発ガス基準レベルである仮想的な突発ガス用０レベルＬＺ（突発ガス零レベル）を導入する。この突発ガス用０レベルＬＺとガスセンサ（２０）のセンサ出力との差を用い、この差と予め設定された閾値とを比較することによって突発ガスレベルＲＬを導出する。
【００６９】
更に、触媒を活性化させる較正動作Ｓが開始されると、較正動作Ｓの直前、実際には較正動作Ｓの開始時に算出された突発ガスレベルＲＬを所定の維持時間だけ維持する（図５ＨＬ参照）。この維持時間は、較正動作Ｓの期間中又はセンサ出力が雰囲気ガス濃度レベルまで復帰するまでの時間である。つまり、上記維持時間は、使用者が違和感を覚えぬように、体感に合った範囲で設定する。一般的には、１０分以内で、５分以内が好ましい。
【００７０】
上記維持時間の終了後は、突発ガスレベルＲＬの維持動作を終了し、通常のセンサ出力と突発ガス用０レベルＬＺとの差に応じて突発ガスレベルＲＬを実時間で表示する。この結果、使用者に違和感を与えることなく突発ガスレベルＲＬが表示される。
【００７１】
一方、上記維持時間、つまり、不感期間（較正動作Ｓの期間＋復帰時間）において、直前の突発ガスレベルＲＬを維持することにより、使用者の体感に合った表示が可能となる。しかし、この維持時間が長く、例えば、維持時間が２０〜３０分に設定されていると、煙草を１本喫煙したのみであるにも拘わらず、その間、突発ガスレベルＲＬが更新されないため、使用者に違和感を与えてしまう。突発ガスとして最も一般的な喫煙を想定すると、上記維持時間は、１０分以内で、５分以内が好ましい。
【００７２】
更に、上記コントローラ（７０）は、表示手段（９０）を備えている。該表示手段（９０）は、図６に示すように、定在ガス表示部（９１）と突発ガス表示部（９２）とを個別に備えている。
【００７３】
上記定在ガス表示部（９１）は、導出手段（８０）の定在ガス部（８１）の出力信号を受けて定在ガス濃度を表示する定在ガス表示手段を構成している。上記突発ガス表示部（９２）は、導出手段（８０）の突発ガス部（８２）の出力信号を受けて突発ガス濃度を表示する突発ガス表示手段を構成している。
【００７４】
上記定在ガス表示部（９１）及び突発ガス表示部（９２）は、ＬＥＤバーグラフで構成され、定在ガス表示部（９１）が左側に、突発ガス表示部（９２）が右側に配置されている。更に、上記定在ガス表示部（９１）及び突発ガス表示部（９２）は、４つのバー部（９３）を有し、４段階表示するように構成され、定在ガスレベルＭＬをレベル０〜レベル３で表示し、突発ガスレベルＲＬをレベル０〜レベル３で表示するように構成されている。
【００７５】
また、上記定在ガス表示部（９１）及び突発ガス表示部（９２）は、横長に構成され、例えば、４つのバー部（９３）が水平方向に配置され、中央部のガス濃度が低く、左右に行くに従ってガス濃度が高くなるように構成されている。
【００７６】
そこで、上記表示手段（９０）が定在ガス表示部（９１）と突発ガス表示部（９２）とを個別に設けるようにした理由について説明する。
【００７７】
上述したように、定在ガスは、ＨＣＨＯやＶＯＣなどの徐々に放散される低濃度のガスであり、突発ガスは、煙草や焼き肉臭のように急激に上昇する高濃度のガスである。したがって、脱臭又は除去効果を可視化する場合、別々に表現することが使用者にとって解かりやすい。つまり、使用者は、２種類のガスレベルが表示されることによりガス種の概略推定が可能となり、居室のガス環境を知ることができる。特に、定在ガスは、人間が感じることができない低濃度であることが多いため、使用者が受けるメリットは大きい。
【００７８】
そこで、上述したように、上記表示手段（９０）が定在ガス表示部（９１）と突発ガス表示部（９２）とを個別に設けるようにしている。
【００７９】
尚、上記表示手段（９０）は、図７に示すように、定在ガス表示部（９１）が定在ガスレベルＭＬを２つのバー部（９３）で２段階表示するようにしてもよい。
【００８０】
つまり、定在ガスレベルＭＬと突発ガスレベルＲＬは、その特性上、閾値に大小の違いがある。定在ガスレベルＭＬは、低濃度であるため閾値を突発ガスレベルＲＬより低く設定される。
【００８１】
したがって、定在ガスレベルＭＬの高レベルと突発ガスレベルＲＬの低レベルとが、閾値の関係で濃度領域が重複する場合がある。その際、使用者に無用な誤解を与える危険性を避けるため、定在ガスレベルＭＬは、低レベルのみの２段階表示にしている。
【００８２】
尚また、上記表示手段（９０）は、各ガスレベルを４段階又は２段階で表示しているが、レベル数は、特に限定されるものではない。また、上記表示手段（９０）は、ＬＥＤバーグラフの他、液晶等によるバーグラフ、数値表示、絵、アニメーション、動画、又は音（音楽）などを用いてもよく、また、定在ガスレベルＭＬと突発ガスレベルＲＬとを別々の表示を行うようにしてもよい。
【００８３】
〈作用〉
次に、上述したガス検出装置（１０）の検出動作について説明する。
【００８４】
先ず、ガスセンサ（２０）が室内の対象ガスのガス濃度を検出する場合、触媒ヒータ（６０）への通電を停止している。この通電の停止により、熱触媒（５０）が活性化することがないので、室内空気が開口（４３）を介してチャンバ（４０）内に流入し、拡散する。この室内空気がガスセンサ（２０）の感ガス部（２６）に供給される。
【００８５】
上記ガスセンサ（２０）は、この室内空気から対象ガス濃度に対応したセンサ出力を出力し、導出手段（８０）がガス濃度を算出し、信号制御手段（７２）が制御信号を出力し、例えば、室内ファンの回転数などが変更される。
【００８６】
一方、コントローラ（７０）の較正手段（７３）は、前回の較正動作Ｓが終了した後、例えば、所定時間が経過すると、較正動作Ｓを実行する。つまり、上記較正制御手段（７１）の制御信号によって触媒ヒータ（６０）への通電が開始される。この通電により、熱触媒（５０）が活性化し、チャンバ（４０）の内部空気が清浄され、清浄空気がガスセンサ（２０）に供給される。
【００８７】
そして、上記ガスセンサ（２０）は、清浄空気のガス濃度を検出する。その後、上記較正制御手段（７１）は、所定時間が経過するか、又はガスセンサ（２０）のセンサ出力の変化率が所定値以下になると、較正の終了を判定する。導出手段（８０）は、較正の終了時におけるセンサ出力によってガスセンサ（２０）の零点（基準値）を較正する。その後、通常の測定動作を再開する。
【００８８】
上記導出手段（８０）は、ガスセンサ（２０）が出力する１つのセンサ出力に基づき、定在ガスレベルＭＬと突発ガスレベルＲＬとを導出し、表示手段（９０）が定在ガスレベルＭＬと突発ガスレベルＲＬとを別個に表示する。
【００８９】
つまり、上記導出手段（８０）の定在ガス部（８１）は、図２に示すように、基準値である定在ガス基準レベルＬＴと較正動作Ｓ前のガス濃度との差を導出する。例えば、差Ａの場合は、定在ガスのレベル１となる。
【００９０】
この定在ガスのレベル１は、次の較正動作Ｓの終了まで維持され、図２においては、次の較正動作Ｓの終了時には、基準値である定在ガス基準レベルＬＴと較正動作Ｓ前のガス濃度との差Ｂを導出する。この差Ｂの場合は、例えば、定在ガスのレベル２となる。このように、較正動作Ｓ毎に基準値である定在ガス基準レベルＬＴを更新し、定在ガスレベルＭＬを導出する。
【００９１】
また、上記導出手段（８０）の突発ガス部（８２）は、図５に示すように、仮想的な突発ガス用０レベルＬＺとガスセンサ（２０）のセンサ出力との差を用い、この差と予め設定された閾値とを比較することによって突発ガスレベルＲＬを導出する。
【００９２】
更に、基準値の較正を行うと、レベル維持部（８３）が較正動作Ｓの開始時に算出された突発ガスレベルＲＬを所定の維持時間だけ維持する（図５ＨＬ参照）。その後、上記維持時間が終了すると、突発ガスレベルＲＬの維持動作を終了し、通常のセンサ出力と突発ガス用０レベルＬＺとの差に応じて突発ガスレベルＲＬを実時間で表示する。
【００９３】
また、表示手段（９０）は、例えば、図６に示すように、定在ガスレベルＭＬと突発ガスレベルＲＬとをＬＥＤバーグラフによって別個に表示する。
【００９４】
〈実施形態１の効果〉
以上のように、本実施形態によれば、ガスセンサ（２０）の１つのセンサ出力によって定在ガスレベルＭＬと突発ガスレベルＲＬとを導出するようにしたために、低濃度のガスをも確実に検出することができる。
【００９５】
また、上記定在ガスと突発ガスとをそれぞれ検出する装置を設ける必要がないので、構成を簡素化することができると共に、安価にすることができる。
【００９６】
また、上記定在ガス基準レベルＬＴを較正動作Ｓによって更新するので、定在ガスを正確に検出することができる。
【００９７】
また、較正動作Ｓの開始前のガスセンサ（２０）のセンサ出力に基づいて定在ガスレベルＭＬを導出するので、定在ガスレベルＭＬを正確に導出することができる。
【００９８】
また、予め設定された突発ガス用０レベルＬＺに基づいて突発ガスレベルＲＬを導出するので、突発ガスレベルＲＬを正確に導出することができる。
【００９９】
また、較正動作Ｓを開始すると、突発ガスレベルＲＬを維持するようにしたので、突発ガスレベルＲＬの変動が抑制され、使用者の違和感をなくすることができる。
【０１００】
また、上記定在ガス表示部（９１）が定在ガスの濃度を表示し、上記突発ガス表示部（９２）が突発ガスの濃度を表示するので、定在ガスと突発ガスとを別個に且つ確実に識別することができる。
【０１０１】
また、上記定在ガス表示部（９１）を低濃度側に、突発ガス表示部（９２）を高濃度側に配置するようにすると、使用者に無用な誤解を与える危険性を避けることができる。
【０１０２】
また、上記信号制御手段（７２）が導出手段（８０）が導出したガスレベルに基づいて機器類の制御量を変更するので、ガスレベルに一致した制御を確実に行わせることができる。
【０１０３】
【発明の実施の形態２】
以下、本発明の実施形態２を図面に基づいて詳細に説明する。
【０１０４】
本実施形態は、図８に示し、前実施形態１が突発ガス用０レベルＬＺを一定にしていたのに代わり、突発ガス用０レベルＬＺを較正動作Ｓ毎に更新するようにしたものである。
【０１０５】
一般に、機器の脱臭能力は、ガス濃度が低濃度になるほど効率が低下する。特に、住宅用空気清浄機の場合、機器自身の脱臭能力が低いので、煙草の臭いを除去するのに数時間を要する。センサ出力をそのまま表示すると、使用者に違和感を与えることになる。つまり、人間の嗅覚は麻痺してしまうにも拘わらず、不必要に長時間に亘って高い突発ガスレベルＲＬが表示されているよう感じる。
【０１０６】
そこで、本実施形態では、導出手段（８０）の突発ガス部（８２）が較正手段（７３）の較正動作Ｓ毎に較正動作Ｓの開始時のセンサ出力に基づき突発ガス用０レベルＬＺを更新するようにしている。この結果、突発ガスレベルＲＬの表示に対する違和感が低減される。
【０１０７】
具体的に、図８において、較正動作Ｓが開始されると、導出手段（８０）の突発ガス部（８２）は、それ以降の突発ガス用０レベルＬＺを較正動作Ｓの開始時の突発ガスレベルＲＬに更新する。したがって、その後、喫煙による突発ガスによってセンサ出力が急上昇すると、突発ガスレベルＲＬが突発ガスのレベル１に変更される。
【０１０８】
更に、次の較正動作Ｓが開始すると、較正動作Ｓの開始時の突発ガスレベルＲＬを維持時間だけ維持する動作（ＨＬ）が開始された後、較正開始時のセンサ出力で突発ガス用０レベルＬＺが更新される。
【０１０９】
したがって、センサ出力が所定時間後に雰囲気ガスレベルまで復帰すると、突発ガス用０レベルＬＺが先の較正動作Ｓの開始時のセンサ出力で更新されているため、突発ガスレベルＲＬは、突発ガス用０レベルＬＺよりも低くなるため突発ガスのレベル０になる。
【０１１０】
このように、較正動作Ｓの開始時のセンサ出力で突発ガス用０レベルＬＺを更新すると、ガス検出装置（１０）を住宅用空気清浄機に搭載した場合、喫煙時において、徐々にガス濃度が低下していく際も、較正動作Ｓの時間間隔以上に長く突発ガスレベルＲＬが高く表示されることがなくなる。この結果、使用者の違和感を解消することができる。
【０１１１】
これに対し、図９に示すように、突発ガス用０レベルＬＺを順次上昇させることが考えられる。つまり、較正動作Ｓを開始すると、突発ガス用０レベルＬＺを１レベルだけ上昇させる。この結果、違和感なく突発ガスレベルＲＬを順次下げることができる。
【０１１２】
ところが、突発ガス用０レベルＬＺを順次上昇させると、下記の如く不具合が生ずる。空気清浄機などの脱臭除去能力、又は装置の使用する場所や容積との関係で、高濃度の突発ガスの低下具合が中途半端に速い場合がある。その際、図１０Ｄに示すように、突発ガスレベルＲＬが一旦低下した後（突発ガスのレベル０）、新たな突発ガスが発生していないにも拘わらず、再び突発ガスレベルＲＬが上昇するという不具合が発生し、体感に合わなくなる。
【０１１３】
そこで、本発明は、上述したように、較正動作Ｓ毎に較正動作Ｓの開始時のセンサ出力で更新するようにしている。
【０１１４】
【発明の実施の形態３】
以下、本発明の実施形態３を図面に基づいて詳細に説明する。
【０１１５】
本実施形態は、図１に鎖線で示すように、前実施形態１がレベル維持部（８３）が較正動作Ｓの開始時の突発ガスレベルＲＬを維持するようにしたの代わり、第１の維持部（８ａ）と第２の維持部（８ａ）とを設けるようにしたものである。
【０１１６】
つまり、上記第１の維持部（８ａ）は、較正動作Ｓの開始前の突発ガスレベルＲＬを維持させるように構成されている。また、上記第２の維持部（８ａ）は、第１の維持部（８ａ）に連続し、該第１の維持部（８ａ）の突発ガスレベルＲＬよりも低いガスレベルに所定の維持時間が経過するまで維持させるように構成されている。
【０１１７】
つまり、図１１に示すように、突発ガスが高濃度である場合、較正動作Ｓを開始した後、維持時間が経過すると、突発ガスレベルＲＬが高レベルから急激に零レベルまで下がる（図１１Ｅ参照）。この結果、使用者に新たな違和感を与えることになる。
【０１１８】
また、開口（４３）のコンダクタンスの設定によっては、較正動作Ｓの終了後における復帰時間が長くなる場合がある。この場合、突発ガスレベルＲＬを維持する維持時間を長くする必要が生じ、これもまた違和感を引き起こす。
【０１１９】
そこで、本実施形態では、突発ガスレベルＲＬを維持する第１の維持時間と第２の維持時間とを設定し、突発ガスレベルＲＬを段階的に下げるようにした。
【０１２０】
具体的に、図１２に示すように、第１の維持部（８ａ）による第１の維持時間（ＨＬ１）の終了後、第２の維持部（８ａ）による第２の維持時間（ＨＬ２）が設定される。そして、第２の維持部（８ａ）は、第１の維持部（８ａ）で維持された突発ガスレベルＲＬより１レベル低い突発ガスレベルＲＬを維持する。この結果、突発ガスレベルＲＬは段階的に下がり、体感と一致する。
【０１２１】
尚、本実施形態は、２つの維持部（８ａ）を設けるようにしたが、レベル数に応じて３つ以上の維持部（８ａ）を設けるようにしてもよく、要するに、突発ガスのレベル０まで段階的に下げるようにすればよい。
【０１２２】
また、第１の維持部（８ａ）の維持時間は短く、第２の維持部（８ａ）、第３の維持部（８ａ）の維持時間を徐々に長くすると、より体感に合ってくるため好ましい。つまり、上記維持部（８ａ）は、後段の維持部（８ａ）にいくにしたがって維持時間が長くなっている。
【０１２３】
【発明の実施の形態４】
以下、本発明の実施形態４を図面に基づいて詳細に説明する。
【０１２４】
本実施形態は、図１に鎖線で示すように、前実施形態１がレベル維持部（８３）によって維持時間が経過するまで、突発ガスレベルＲＬを維持するようにしたの代えて、維持動作の終了部（８４）を設けるようにしたものである。
【０１２５】
上記終了部（８４）は、レベル維持部（８３）のレベル維持動作中に、ガスセンサ（２０）のセンサ出力に基づくガス濃度が維持レベルまで変動すると、レベル維持部（８３）のレベル維持動作を終了させるように構成されている。
【０１２６】
つまり、突発ガスが連発する場合がある。その際、レベル維持部（８３）の維持時間内は、突発ガスレベルＲＬが維持されるため、維持時間内に次の突発ガスが発生しても突発ガスレベルＲＬは更新されず、新たな違和感が生じる。
【０１２７】
そこで、本実施形態では、レベル維持部（８３）のレベル維持動作を終了させるようにしたものである。具体的に、図１３に示すように、レベル維持部（８３）の維持動作中であっても、ガスセンサ（２０）出力と突発ガス用０レベルＬＺとの差が、維持されている突発ガスレベルＲＬと同レベルになると（図１３Ｆ点参照）、突発ガスレベルＲＬの維持を終了し、実時間で突発ガスレベルＲＬを設定する。これによって、違和感が解消される。尚、上記終了部（８４）は、レベル維持部（８３）のレベル維持動作中にガス濃度が維持レベルに基づく所定値まで変動すると、レベル維持部（８３）のレベル維持動作を終了させるものであればよい。
【０１２８】
【実施例】
次に、上述したガス検出装置（１０）によるガス検出の実験結果について、図１４〜図１９に基づいて説明する。
【０１２９】
図１４及び図１７は、従来の較正動作Ｓを行わないガスセンサ（２０）のセンサ出力と該センサ出力にって表示される従来のガスレベルを示している。また、図１５及び図１６と図１８及び図１９は、本発明の基準値を較正するガスセンサ（２０）のセンサ出力と該センサ出力にって表示されるガスレベルを示している。
【０１３０】
各図１４〜図１９は、横軸が時間を示し、左側の第１縦軸がセンサ出力を示し、右側の第２縦軸がガスレベルを示している。
【０１３１】
また、各ガスレベルは４段階表示とし（レベル０〜レベル３）、基準値を較正する較正動作Ｓの時間間隔は、１０分であり、較正時間（触媒活性化時間）は３０秒であり、レベル維持部（８３）が突発ガスレベルＲＬを維持する維持時間は、触媒活性化の開始時から第１の維持部（８ａ）が３分、第２の維持部（８ａ）が５分、第３の維持部（８ａ）が２分としている。
【０１３２】
測定場所は一般住宅であり、図１４〜図１６は、１２畳洋リビング（１６時００分〜０時００分）であり、図１７〜図１９は、６畳洋室（０時００分〜９時００分）である。
【０１３３】
図１４〜図１６の１２畳洋リビングにおいては、１８時３０分頃、それまで開けていた窓を閉め、１８時４５分頃から４人が夕食を取った。その後、深夜まで臭気がこもっていた。
【０１３４】
本発明では、この図１５から明らかなように、突発ガスレベルＲＬは、零レベルであるが、図１６から明らかなように、深夜まで臭気がこもっていることを定在ガスレベルＭＬとして正しく検出している。しかしながら、図１４から明らかなように、従来ガスレベルＯＬは、清浄レベル（零レベル）となっており、臭気を検出していないこととなっている。
【０１３５】
また、図１７〜図１９の６畳洋室においては、換気をした後、１時００分頃から４時３０分頃にかけて７回喫煙しており、その後、市販の消臭スプレーを部屋内に噴射した。
【０１３６】
図１４に示すように、従来ガスセンサ（２０）は、煙草のような突発ガスを正しく検出し、体感に合わせてガスレベルを低下させているのがわかる。
【０１３７】
一方、本発明では、図１８に示すように、突発ガスレベルＲＬを従来ガスセンサ（２０）によるガスレベルと遜色無く検出されており、違和感もない。また、本発明では、図１９に示すように、定在ガスレベルＭＬも表示しており、従来ガスセンサ（２０）や突発ガスレベルＲＬが清浄レベル（零レベル）であっても、基準時の較正によって５時４０分頃までガスの存在を検出している。
【０１３８】
【発明の効果】
したがって、本発明によれば、ガスセンサ（２０）の１つのセンサ出力によって定在ガスレベルと突発ガスレベルとを導出するようにしたために、低濃度のガスをも確実に検出することができる。
【０１３９】
また、定在ガスと突発ガスとをそれぞれ検出する装置を設ける必要がないので、構成を簡素化することができると共に、安価にすることができる。
【０１４０】
また、定在ガス基準レベルを較正動作によって更新するようにすると、定在ガスを正確に検出することができる。
【０１４１】
また、請求項２に係る発明によれば、較正動作の開始前のガスセンサ（２０）のセンサ出力に基づいて定在ガスレベルを導出するので、定在ガスレベルを正確に導出することができる。
【０１４２】
また、請求項３に係る発明によれば、予め設定された突発ガス基準レベルに基づいて突発ガスレベルを導出するので、突発ガスレベルを正確に導出することができる。
【０１４３】
また、請求項４に係る発明によれば、較正動作を開始すると突発ガスレベルを維持するようにしたので、突発ガスレベルの変動が抑制され、使用者の違和感をなくすることができる。
【０１４４】
また、請求項５に係る発明によれば、較正動作の開始時のセンサ出力で突発ガス基準レベルを更新するようにすると、徐々にガス濃度が低下していく際、長く突発ガスレベルが高く表示されることがなくなり、使用者の違和感を解消することができる。
【０１４５】
また、請求項６に係る発明によれば、上記レベル維持部（８３）が、複数の突発ガスレベルに維持するようにすると、突発ガスレベルが段階的に下がるようにすることができ、体感と一致させることができる。
【０１４６】
また、請求項７に係る発明によれば、上記レベル維持部（８３）が維持する突発ガスレベルを段階的に長くするので、より体感と一致させることができる。
【０１４７】
また、請求項８に係る発明によれば、上記レベル維持部（８３）のレベル維持動作を途中で終了させるようにするので、レベル維持中に次の突発ガスが発生しても突発ガスレベルを検出することができるので、違和感が解消することができる。
【０１４８】
また、請求項９に係る発明によれば、信号制御手段（７２）が導出手段（８０）が導出したガスレベルに基づいて機器類の制御量を変更するので、ガスレベルに一致した制御を確実に行わせることができる。
【０１４９】
また、請求項１０に係る発明によれば、上記定在ガス表示部（９１）が定在ガスの濃度を表示し、上記突発ガス表示部（９２）が突発ガスの濃度を表示するので、定在ガスと突発ガスとを別個に且つ確実に識別することができる。
【０１５０】
また、請求項１１に係る発明によれば、上記定在ガス表示手段（９１）を低濃度側に、突発ガス表示手段（９２）を高濃度側に配置するようにすると、使用者に無用な誤解を与える危険性を避けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１の構成を示すブロック図である。
【図２】実施形態１の定在ガスの濃度変化及びガスレベルを示す特性図である。
【図３】実施形態１のトルエン濃度に対するセンサ出力を示す特性図である。
【図４】実施形態１のトルエン濃度に対するガスレベルを示す特性図である。
【図５】実施形態１の突発ガスの濃度変化及びガスレベルを示す特性図である。
【図６】実施形態１の表示手段を示す構成図である。
【図７】実施形態１の他の表示手段を示す構成図である。
【図８】実施形態２の突発ガスの濃度変化及びガスレベルを示す特性図である。
【図９】実施形態２の突発ガスの他のレベル処理を示す特性図である。
【図１０】実施形態２の突発ガスの他のレベル処理を示す他の特性図である。
【図１１】実施形態３の突発ガスの濃度変化及びガスレベルの比較を示すための特性図である。
【図１２】実施形態３の突発ガスの濃度変化及びガスレベルを示す特性図である。
【図１３】実施形態４の突発ガスの濃度変化及びガスレベルを示す特性図である。
【図１４】実施例を示す従来のセンサ出力及びガスレベルの特性図である。
【図１５】実施例を示す本発明における突発ガスのセンサ出力及びガスレベルの特性図である。
【図１６】実施例を示す本発明における定在ガスのセンサ出力及びガスレベルの特性図である。
【図１７】実施例を示す従来のセンサ出力及びガスレベルの他の特性図である。
【図１８】実施例を示す本発明における突発ガスのセンサ出力及びガスレベルの他の特性図である。
【図１９】実施例を示す本発明における定在ガスのセンサ出力及びガスレベルの他の特性図である。
【符号の説明】
１０　　　　　　ガス検出装置
２０　　　　　　ガスセンサ
４０　　　　　　チャンバ
４３　　　　　　開口
７０　　　　　　コントローラ
７２　　　　　　信号制御手段
７３　　　　　　較正手段
８０　　　　　　導出手段
８１　　　　　　定在ガス部
８２　　　　　　突発ガス部
８３　　　　　　レベル維持部
８４　　　　　　終了部
８ａ　　　　　　維持部
９０　　　　　　表示手段
９１　　　　　　定在ガス表示部（定在ガス表示手段）
９２　　　　　　突発ガス表示部（突発ガス表示手段）
【図１】
2004085230.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2004085230.tif 000013
【図１２】
2004085230.tif 000014
【図１３】
2004085230.tif 000015
【図１４】
2004085230.tif 000016
【図１５】
2004085230.tif 000017
【図１６】
2004085230.tif 000018
【図１７】
2004085230.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
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