(57)【要約】【課題】今までにない新規な記録ヘッドを用いることで光を用いて光の回折限界より小さな記録マークを形成することが可能であり、且つ、入射光の減衰および反射を近接場光を用いた場合に比べて数段小さくすることの出来るデータ記録再生装置を提供する。【解決手段】記録再生ヘッド３に、カーボナノチューブからなる線状のコア導体８を有する同軸体１０を備え、第１光学系（１５，１Ａ，１Ｂ）により入射され同軸体１０の入射端１３から出射端１４へと搬送されるレーザ光に基づきコア導体８の出射端側から出力される変位電流Ｓ２によって記録媒体に記録マークを形成してデータを記録する一方、同軸体１０を搬送されて反射された光を検出手段１８で検出することで記録媒体４に形成された記録マークを識別してデータを読み出すように構成する。【選択図】        図１
2004295930.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に近接可能に支持されるヘッド体と、
このヘッド体に設けられ、上記ヘッド体の記録媒体に対向する面まで通じるピンホールの少なくとも内側面が導体にされた外部導体、および、該外部導体の中央に配置されたカーボナノチューブからなる線状のコア導体を有する同軸体と、
上記同軸体の入射端にレーザ光を入射する第１光学系と、
上記同軸体の入射端から出射される反射光を抽出する第２光学系と、
この第２光学系により抽出された光の所定の物理量を検出する検出手段とを備え、
上記第１光学系により入射され上記同軸体の入射端から上記記録媒体に近接した出射端へと搬送されるレーザ光に基づき上記コア導体の上記出射端側から出力される変位電流によって上記記録媒体に記録マークを形成してデータを記録する一方、上記同軸体を搬送されて反射された光を上記第２光学系を介して上記検出手段で検出することにより上記記録媒体に形成された記録マークを識別してデータを読み出すように構成されていることを特徴とするデータ記録再生装置。
【請求項２】
筒状に形成された外部導体の中央に線状のコア導体を配置してなる同軸体と、
この同軸体の入射端へ光を入射する第１光学系と、
上記同軸体の他方の端部である出射端が記録媒体に近接して対向されるように上記同軸体を支持可能な支持手段とを備え、
上記第１光学系により入射され上記同軸体の入射端から出射端へ搬送される光に基づき上記コア導体の上記出射端側から出力される変位電流によって上記記録媒体に記録マークを形成してデータを記録するように構成されていることを特徴とするデータ記録再生装置。
【請求項３】
上記同軸体の入射端から出射される反射光を抽出する第２光学系と、
該第２光学系により抽出された光の所定の物理量を検出する検出手段とを備え、
上記第１光学系により入射され上記同軸体を搬送されて反射された光を上記第２光学系を介して上記検出手段で検出することにより上記記録媒体に形成された記録マークを識別してデータを読み出すように構成されていることを特徴とする請求項２記載のデータ記録再生装置。
【請求項４】
上記コア導体には上記入射端側の先端が細くされるテーパーが形成されていることを特徴とする請求項２又は３に記載のデータ記録再生装置。
【請求項５】
上記記録媒体の抵抗、および、上記同軸体の出射端と上記記録媒体との間に形成されるキャパシタからなる上記同軸体と上記記録媒体間の特性インピーダンスが、上記同軸体の出射端の特性インピーダンスとほぼ同一になるように設定されていることを特徴とする請求項２〜４の何れかに記載のデータ記録再生装置。
【請求項６】
ヘッド体にピンホールを形成するピンホール形成工程と、
ゼオライトを薄膜状に形成してなるゼオライト片の空孔に触媒物質を担持させる工程と、
上記ゼオライト片を上記ピンホールの一方の端部へ挿入する工程と、
上記ゼオライト片に担持させた触媒物質を担体としてカーボナノチューブを成長させるコア成長工程とを有し、
これらの工程によりピンホールの中央にカーボナノチューブからなるコア導体を配した同軸体を、上記ヘッド体に形成することを特徴とする変位電流型光ヘッドの製造方法。
【請求項７】
上記ピンホールの直径は０．５μｍ〜１．２μｍであることを特徴とする請求項６記載の変位電流型光ヘッドの製造方法。
【請求項８】
上記ピンホール形成工程においては、ヘッド体に収束イオンビーム、イオンビーム、電子ビーム、或いはレーザビームを照射することでヘッド体にピンホールを形成することを特徴とする請求項６又は７に記載の変位電流型光ヘッドの製造方法。
【請求項９】
上記ピンホール形成の後に、イオンビームプレーティング法により金、銅、アルミ等の金属膜をピンホールの内側面に形成することを特徴とする請求項６〜８の何れかに記載の変位電流型光ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
上記触媒物質は直径３０ｎｍ以下の粒子であることを特徴とする請求項６〜９の何れかに記載の変位電流型光ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
上記触媒物質は、鉄、ニッケル、カドミウム、コバルトの何れかであることを特徴とする請求項９記載の変位電流型光ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
上記ゼオライト片を上記ピンホールへ挿入する工程において、上記触媒物質は上記ピンホールの端面より外側に１０ｎｍ以上はみ出さない位置に固定することを特徴とする請求項６〜１１の何れかに記載の変位電流型光ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
上記ヘッド体は、マンガン・ジンク系の合金、ニッケルジンク系の合金、タングステン系の合金、あるいはプラチナ系の合金から構成されることを特徴とする請求項６〜１２の何れかに記載の変位電流型光ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
上記ゼオライト片は粒子ホッピング法により上記ピンホールの端部へ挿入することを特徴とする請求項６〜１３の何れかに記載の変位電流型光ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
上記コア成長工程において、上記カーボナノチューブは触媒化学気相成長法により成長させることを特徴とする請求項６〜１４に記載の変位電流型光ヘッドの製造方法。
【請求項１６】
上記コア成長工程において、上記カーボナノチューブは単層又は複層に形成することを特徴とする請求項６〜１５に記載の変位電流型光ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザ光を用いて例えば相変化型の記録媒体に超高密度の記録と再生を行うデータ記録再生装置、さらには変位電流（電束電流ともいう）型の光ヘッドを用いたデータ記録再生装置、並びに、このデータ記録再生装置に用いられる変位電流型光ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在実用化されている光を用いたデータ記録再生装置では、レーザ光を回折限界にまで集光して記録媒体に照射し、その記録層に相変化又は磁気的変調を与えることによって情報を記録する一方、記録媒体に形成された記録マークにより変調された反射光を検出することにより情報の再生を行う。このようなデータ記録再生装置では、記録媒体上に形成することのできる記録マークの大きさはレーザ光の波長およびレーザ光を集光する対物レンズによりほぼ決定されてしまい、対物レンズの影響を除いたとしても、レーザ光の回折限界よりも小さくすることは出来ない。
【０００３】
近年、コンピュータのデータ記録再生装置を取り巻く情報量の増大に対応していくために、回折限界を超えるような高い記録密度を達成することのできる次世代のデータ記録再生装置の実現が待たれている。
【０００４】
このようななか、次世代のデータ記録再生装置として有望視されている方法として、近接場光を用いて情報の記録・再生を行ういわゆる近接場光メモリ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｎｅａｒ−Ｆｉｅｌｄ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＳＮＯＭ）が提案されている（例えば特許文献１や特許文献２）。
【０００５】
近接場光メモリの原理は次のごとくである。すなわち、図９に示すように、レーザ光をレンズ３１により回折限界まで絞り込み、次いで、このレーザ光を遮光板３２の細孔３２ａを通してさらに絞り込む。ここで遮光板３２の細孔３２ａから放出された光が近接場光Ｐとなる。そして、この近接場光を書込み情報で変調して記録媒体４０に照射し、記録層に相変化又は磁気的変調を与えることで、記録媒体４０に情報を記録する。このような手段を用いることで光の回折限界よりも小さな記録マークを記録媒体４０に形成し、大容量の情報の記録が可能となる。
【０００６】
また、近接場光メモリにおいて記録情報を再生する場合には、一定強度のレーザ光を遮光板３２の細孔３２ａを通して記録媒体４０に照射し、その反射光をビームスプリッタ等により抽出して検出することで行う。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００１−２５５２５５号公報
【特許文献２】
特開２０００−２０７７６４号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近接場光を用いた高密度記録方式には次のような課題がある。すなわち、レーザ光は回折限界より小さな細孔３２ａをトンネル効果の作用で通過するため細孔３２ａの中は減衰領域となる。従って、細孔３２ａを通過する光は進行距離に対して指数関数的に減衰し、例えば、減衰の少ない円筒形Ｈ１１モードの波でも孔径の１／２の距離を進むと１６ｄＢも減衰する。さらに、遮光板３２の細孔３２ａを通過した近接場光は指向性を失って広がるため進行距離の二乗で減衰していく。従って、記録媒体の記録層へはレーザの出力レベルに対して極端に微量（例えば−４０ｄＢ）な光しか到達せず、情報の記録を行うにはレーザの出力レベルを非常に大きくしなければならないという課題がある。
【０００９】
また、記録密度を上げるために遮光板３２の孔径を小さくしていくと、孔を通過できずに反射する光が多くなり、この反射光が信号再生時のノイズとなる。一方、記録媒体の記録層に到達し反射されて戻ってくる光（再生光信号）の強度は入射光に対して極端に小さくなるため、広義のＳ／Ｎ比（すなわち再生光信号の強度／反射光の強度）は非常に小さな値となる。そのため、上記のような構成では記録情報を正確に再生することは非常に難しい。
【００１０】
この発明の目的は、今までにない新規な記録ヘッドを用いることで光を用いて光の回折限界より小さな記録マークを形成することが可能であり、且つ、入射光の減衰および反射を近接場光を用いた場合に比べて数段小さくすることの出来るデータ記録再生装置およびその光ヘッドの製造方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明のデータ記録再生装置の代表例は、上記目的を達成するため、記録媒体に近接可能に支持されるヘッド体と、このヘッド体に設けられ、上記ヘッド体の記録媒体に対向する面まで通じるピンホールの少なくとも内側面が導体にされた外部導体、および、該外部導体の中央に配置されたカーボナノチューブからなる線状のコア導体を有する同軸体と、上記同軸体の入射端にレーザ光を入射する第１光学系と、上記同軸体の入射端から出射される反射光を抽出する第２光学系と、この第２光学系により抽出された光の所定の物理量（例えば光強度或いは偏光度など）を検出する検出手段とを備え、上記第１光学系により入射され上記同軸体の入射端から上記記録媒体に近接した出射端へと搬送されるレーザ光に基づき上記コア導体の上記出射端側から出力される変位電流によって上記記録媒体に記録マークを形成してデータを記録する一方、上記同軸体を搬送されて反射された光を上記第２光学系を介して上記検出手段で検出することにより上記記録媒体に形成された記録マークを識別してデータを読み出すようにしたものである。
【００１２】
このような手段によれば、同軸体を搬送されるレーザ光により同軸体のコア導体から記録媒体に伝播される変位電流（電場の変位）を用いて記録媒体に記録マークを形成するので、コア導体の直径を小さくすることで、光の回折限界よりも小さな記録マークを形成して大容量の記録を実現できる。さらに、レーザ光は回折限界よりも絞る必要がないので、入射光の減衰や反射を近接場光を用いた場合に比べて数段小さくすることが出来る。従って、近接場光を用いる場合に比べて、低出力のレーザで情報の記録ができ、また、再生時のノイズを小さくすることが出来る。
【００１３】
望ましくは、上記コア導体には入射端側の先端が細くなるようにテーパーを形成すると良い。さらに、記録媒体の抵抗、および、同軸体の出射端と記録媒体との間に形成されるキャパシタからなる同軸体と記録媒体間の特性インピーダンスが、上記同軸体の出射端の特性インピーダンスとほぼ同一になるように構成すると好ましい。
【００１４】
このように構成することで、レーザ光を同軸体に入射する際や、変位電流を同軸体から記録媒体へ出射する際に、その伝播効率を高くして効率よく情報の記録を行うことが出来る。また、再生時の反射ノイズも小さくすることが出来る。
【００１５】
本発明の変位電流型光ヘッドの製造方法は、ヘッド体に直径０．５μｍ〜１．２μｍのピンホールを形成するピンホール形成工程と、このピンホールの内側面に金属膜を形成する工程と、ゼオライトを薄膜状に形成してなるゼオライト片の空孔に直径３０ｎｍ（ナノメートル）以下の触媒物質を担持させる工程と、ゼオライト片を上記ピンホールの一方の端部へ挿入する工程と、上記ゼオライト片に担持させた触媒物質を担体としてカーボナノチューブを成長させるコア成長工程とを有し、これらの工程によりピンホールの中央にカーボナノチューブからなるコア導体を配した同軸体を上記ヘッド体に形成するものである。
【００１６】
このような方法により、例えば３７５ＴＨｚ（テラヘルツ）のレーザ光（波長０．８μｍ）を搬送させることが可能で、且つ、細く、電気伝導度が高く、熱耐性も強いコア導体を有した同軸体を形成することが出来る。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図８の図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の実施の形態の変位電流型光ヘッドを用いたデータ記録再生装置の全体構成を示す模式図である。
【００１８】
この実施の形態のデータ記録再生装置は、図１に示すように、記録媒体４に近接した位置に支持されるヘッド体および支持手段としてのエアスライダ３と、このエアスライダ３に設けられる外部導体９およびコア導体８からなる同軸体１０と、第１光学系として半導体レーザなどのレーザ出力手段１５、このレーザ光を平行にするコリメータレンズ１Ａおよびレーザ光を同軸体１０の内径にまで集光して同軸体１０へ入射させる集光レンズ１Ｂと、第２光学系として同軸体１０からの反射光を透過ミラー１７により分離させるビームスプリッタ１６およびこの反射光を集光する集光レンズ１Ｃと、この第２光学系により分離された光の強度を検出するフォトダイオードなどの検出手段１８等を備えている。
【００１９】
また、この実施の形態のデータ記録再生装置においては、熱により相変化又は磁気的変調を加えることのできる記録媒体４を用いて情報の記録と再生とを行う。
【００２０】
なお、図１において同軸体１０は拡大して表わされており、実際には図２に示すようにエアスライダ３の中に同軸体１０が収まった形態にされる。
【００２１】
図２には、変位電流型光ヘッドを同軸体が半分になるように縦に切断した状態の断面斜視図を、図３には同軸体を上方から見た平面図を、図４にはコア導体の先端部分を拡大した図を示す。
【００２２】
エアスライダ３は、記録媒体４との間に空気層を挿んで記録媒体４と例えば１０ｎｍ〜１５ｎｍ程度の微小な間隔を開けた状態に保持されるもので、例えば公知のハードディスクの記録再生ヘッドに使われている技術により実現されるものである。エアスライダ３は、高さが１μｍ程度の直方体形状で、記録媒体４とエアスライダ３との間に空気を導入する傾斜部３Ａが設けられている。
【００２３】
同軸体１０は、光が入射される入射端１３がエアスライダ３の上方に開放され、反対側の出射端１４が記録媒体４に近接するエアスライダ３の下面に位置されるように形成されている。同軸体１０を構成する外部導体９は、例えば内径が０．５μｍ〜１．２μｍ程度に形成された円筒形状の導体である。
【００２４】
コア導体８は、外部導体９の中央で外部導体９と同軸となる位置に形成された、例えばナノカーボンチューブからなる線状の導体であり、記録媒体４に近い側の直径は２０ｎｍ〜３０ｎｍ程度、レーザ光が入射される側は、図４に示すように、その先端にかけて径が小さくなるようにテーパーがかけられた形状をしている。また、コア導体８は、図２、図３に示すように、同軸体１０の出射端１４において平面状に形成されたゼオライト片ＺＬにより同軸体１０内で固定され、特に制限されないが、出射端１４以外の範囲ではコア導体８と外部導体９との間は中空になっている。
【００２５】
なお、詳細には製造方法の説明のところで述べるが、コア導体８の出射端側には直径が２０ｎｍ〜３０ｎｍ程度の金属粒子が設けられている。また、コア導体８を形成するナノカーボンチューブは、１層のナノカーボンチューブ或いは２層や多層のナノカーボンチューブとしても良い。
【００２６】
次に、この実施の形態の変位電流型光ヘッドを用いたデータ記録再生装置の動作説明を行う。
図５には、変位電流型光ヘッドの同軸体にレーザ光が搬送されて変位電流が記録媒体へ伝播される状態を説明する縦断面図を示す。
【００２７】
この実施の形態のデータ記録再生装置において情報を記録するときの動作原理は次のごとくである。すなわち、レーザ出力手段１５から例えば波長１μｍ程度のレーザ光を出力してコリメータレンズ１Ａおよび集光レンズ１Ｂによりこのレーザ光を同軸体１０の入射端１３に収束すると、先ず、このレーザ光が同軸体１０の内部に進入して同軸体１０に沿って搬送される。
【００２８】
図５に示すように、光が同軸体１０を搬送されるときには、電波が同軸ケーブルを伝播するときと同様に、光の進行波Ｓがコア導体８の表面にエネルギー密度を集中させて進行する。詳細には、このときコア導体８と外部導体９の表面には進行波Ｓの周波数に対応する周期で且つ進行波Ｓの波長と同程度の間隔で電荷が上下に振動するような電流が流れ、また、それにより、コア導体８の出射端側の電位が進行波Ｓの周波数に対応する周期で振動される。
【００２９】
そして、上記の進行波Ｓは、同軸体１０の出射端１４においてコア導体８の表面にエネルギー密度を集中させた状態で記録媒体４に伝播されて吸収される。そして、このときの発熱により、記録媒体４のコア導体８の直下にある部位が、アモルファス状態から結晶状態に相変化されたり、或いは磁気的な変調が加えられて記録媒体４に記録マークが形成される。
【００３０】
詳細には、進行波Ｓが同軸体１０を搬送されることで生じるコア導体８の出射端１４の電位の変化が、変位電流（電場の変位のことを示し、電荷の移動は生じない）Ｓ２として記録媒体４に伝播され、それにより、記録媒体４のコア導体８の直下の部位から外部導体９の直下の部位へと放射状に広がるように電流が流れる。この電流はコア導体８の直下の部位で大きく、放射方向に進むに従ってその密度が小さくなるので、この電流により記録媒体４のコア導体８の直下の部位が発熱されて上記のような記録マークが形成される。
【００３１】
なお、レーザ光の出力レベルを低くしたり高くすることで、記録媒体４のコア導体８直下の部位の発熱量をコントロールして、記録マークを消去することも出来る。
【００３２】
図６には、同軸体の入射側のインピーダンスを説明する図を、図７には、同軸体の出射端の部分のインピーダンスを説明する図を示す。
【００３３】
この実施の形態のデータ記録再生装置では、同軸体１０の入射端１３や出射端１４の接続部において次のようにインピーダンスを整合させることで、レーザ光を同軸体１０へ入射するときと、同軸体１０の出射端１４から記録媒体４へ進行波Ｓを伝播させるときの光の伝播効率を高め、さらにその反射を少なくしている。
【００３４】
すなわち、同軸体１０の入射端１３では、図６に示すように、真空のインピーダンス“無限大”に整合させるために、コア導体８の先端がなだらかに細くなるように形成している。外部導体９とコア導体８との間が中空の同軸の特性インピーダンスは、外部導体９の内径ｂとコア導体８の直径ａにより次式１のように決まるので、コア導体８の先端を細くすることで、同軸体１０の入射端１３の特性インピーダンスを大きくして整合を図ることが出来る。
【００３５】
【数１】
2004295930.tif 000003
【００３６】
同軸体１０の出射端１４の部分では、図７に示すように、同軸体１０の出射端１４と記録媒体４との間に形成されるキャパシタＣ（＝Ｃ１＋Ｃ２）、および、記録媒体４のコア導体８の直下から外部導体９の直下へと放射状に伸びる経路の抵抗Ｒにより次式２のように求められる特性インピーダンスＺと、同軸体１０の出射端１４の特性インピーダンスＺ０とが同一になるように、記録媒体４の抵抗が調整されている。
【００３７】
【数２】
2004295930.tif 000004
【００３８】
情報を再生するときの動作原理は次の通りである。すなわち、レーザ出力手段１５の出力レベルを一定に保つとともに、同軸体１０からの反射光をスプリッタ１６で抽出して例えばその強度を検出手段１８で検出する。記録媒体４のコア導体８の直下の部位に記録マークが形成されて変調されていると、この部分のインピーダンスは記録マークが形成されていない部分のインピーダンスに比べて大きくなるため、記録媒体４から同軸体１０へと反射される進行波Ｓが多くなる。従って、この反射光の強度を検出することで記録媒体４に記録マークが形成されているか否かを識別することが出来る。
【００３９】
次に、この実施の形態のデータ記録再生装置で使用される変位電流型光ヘッドの製造方法について説明する。
図８は、変位電流型光ヘッドの製造工程の流れを示す説明図である。
【００４０】
この実施の形態の変位電流型光ヘッドの製造方法は、エアスライダ３が形成されるウエハ形状の基材２３に内側面が導体にされたピンホール２４を形成するピンホール形成工程と、ゼオライトを薄膜状に形成してなるゼオライト片２０に触媒物質として金属の超微粒子２１を担持させる微粒子担持工程と、金属粒子２１を担持したゼオライト片２０を基材２３のピンホール２４へ挿入するゼオライト装着工程と、ゼオライト片２０が挿入された基材２３を炉にかけてコア導体８となるカーボナノチューブを成長させるコア成長工程と、基材２３をカッティング又はエッチング等することでエアスライダ３の形状に成形する成形工程とから主になる。
【００４１】
基材２３は、マンガン・ジンク系のフェライト合金、ニッケルジンク系のフェライト合金、タングステン系のフェライト合金、あるいはプラチナ系の合金を１μｍ程度に成膜して形成する。なお、基材２３としてシリコンを用いることも出来る。
【００４２】
ピンホール形成工程では、先ず、上記の基材２３に直径１μｍ程度のピンホール２４，２４…を穿設する。このような加工は、例えば、ガリウムイオンビームを収束・走査し、特定微小領域を微細加工する収束イオンビーム装置を用いて行うことが出来る。その他、イオンビーム、電子ビーム、或いはレーザビームを用いた装置を用いて行っても良い。
【００４３】
次いで、このピンホール２４，２４…の内側に外部導体９となる金、銅、アルミ、白金等の金属膜を形成する。この金属膜の形成は、例えばイオンビームプレーティング法により実現することが出来る。なお、基材２３に導電率の高い合金を用いた場合には、この金属膜の形成工程は不要となる。
【００４４】
微粒子担持工程では、図８（ａ）〜（ｂ）に示すように、平面状に形成されたゼオライト片２０に金属の超微粒子２１を撒布することで、この超微粒子２１をゼオライト片２０の空孔に担持させる。超微粒子２１としては、例えば、鉄、ニッケル、カドミウム、或いはコバルトを用いる。
【００４５】
平面状に形成されたゼオライト片２０には、１０ｎｍ〜１５ｎｍの粒子を担持可能な空孔が多数設けられており、撒布された微粒子２１がこの空孔にはまることで微粒子２１を一定の強度で担持させることが出来る。また、超微粒子２１を撒布する際に、超微粒子２１の濃度を適度に制御することで、個々の超微粒子２１を適度な間隔を開けてゼオライト片２０に担持させることが出来る。このようなゼオライト片２０や超微粒子２１を形成する技術は公知のものである。
【００４６】
ゼオライト装着工程では、金属粒子２１を担持したゼオライト片２０を１μｍ程度の大きさに破砕し（或いは、破砕した状態のゼオライト片２０に金属粒子２１を撒布して担持させても良い）、これらをピンホール２４の形成された基材２３上に分散させた状態で、基材２３に適度な振動を加えることで行う。振動によりゼオライト片２０が移動してピンホール２４に挿入されると、振動のエネルギーによりゼオライト片２０がピンホール２４に適度に嵌まり込む一方、ピンホール２４に入らないものは基材２３上を移動して基材２３から除去される。この方法のことを粒子ホッピング法と称する。
【００４７】
コア成長工程では、上記のゼオライト片２０が挿入された基材２３をヒータ２５により６００℃〜１０００℃に熱された炉２６に設置し、この炉２６にアセチレンと例えばアルゴンの混合ガスを流すことで、ＣＣＶＤ法（触媒化学気相成長法）により、ゼオライト片２０に担持された金属粒子２１を触媒としてこの金属粒子２１からナノカーボンチューブを成長させる。このような成長法により、例えば２００ｎｍ以上の長さで単層または複層のナノカーボンチューブを成長させることが出来る。
【００４８】
そして、顕微鏡等を用いてピンホール２４の中心で適宜な方向および適宜な長さにナノカーボンチューブが成長しているピンホール２４を探し、成形工程においてそのピンホール２４の部分を用いてエアスライダ３の形状に成形することで、変位電流型光ヘッドが製造される。
【００４９】
以上のように、この実施の形態のデータ記録再生装置によれば、同軸体１０のコア導体８から記録媒体４に伝播される変位電流（電場の変位）Ｓ２により記録媒体４に記録マークを形成するので、光の回折限界の面積よりも数段小さいコア導体８の直径と同程度の大きさの記録マークを形成し、大容量の情報記録を実現することが出来る。
【００５０】
さらに、レーザ光を用いて情報の記録と再生を行っているが、レーザ光を回折限界よりも絞ってはいないので、入射光の反射や減衰を近接場光を用いた場合に比べて数段小さくすることが出来る。従って、近接場光を用いる場合に比べて、出力レベルの小さなレーザを用いて情報の記録ができ、また、再生時のノイズを小さくして正確な再生を行うことが出来る。
【００５１】
また、この実施の形態の変位電流型光ヘッドの製造方法によれば、例えば３７５ＴＨｚ（テラヘルツ）のレーザ光（波長０．８μｍ）を搬送波として伝播させることが可能で、且つ、細く、電気伝導度が高く、熱耐性の強いコア導体８を有する同軸体１０を形成することが出来る。媒体へ記録する時はこの３７５ＴＨｚを振幅変調することによって成しえる。
【００５２】
なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。例えば、実施の形態では、エアスライダ（ヘッド体）、コア導体および外部導体等の材質や大きさを具体的に示したが、これらは現時点において最良と思われる具体例の一つにすぎず、本発明は、同軸に沿って光を搬送しそのコア導体から記録媒体に出射される変位電流により情報を記録したりその反射波により情報を再生するデータ記録再生装置を全て含むものである。
【００５３】
また、実施の形態の変位電流型光ヘッドの製造方法では、ゼオライト片に金属粒子を担持させる工程やピンホールにゼオライト片を挿入する工程において、金属粒子の担持位置やゼオライト片の挿入向きなどを制御せず、ランダムに多数行ってその中から適正なものを選別するという方法を示したが、マイクロマニュピレータ等を用いて金属粒子の担持位置を制御したりゼオライト片を適宜な向きで適宜な位置に挿入したりするようにしても良い。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のデータ記録再生装置に従うと、同軸体のコア導体から記録媒体に伝播される変位電流により記録媒体に記録マークを形成するので、光の回折限界よりも細いコア導体を用いることでその直径と同程度の大きさの記録マークを形成して、大容量の情報記録を実現することが出来る。
【００５５】
さらに、光を回折限界よりも絞る必要がないので、入射光の反射や減衰を近接場光を用いた場合に比べて数段小さくすることが出来る。従って、近接場光を用いた場合に比べて、低出力の入射光により情報の記録が可能であり、また、再生時のノイズも小さくなって正確な再生を行うことが出来るという効果がある。
【００５６】
また、本発明の変位電流型光ヘッドの製造方法によれば、レーザ光を搬送波として伝播させることが可能で、且つ、細く、電気伝導度が高く、熱耐性の強いコア導体を有する同軸体をヘッド体に形成することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の変位電流型光ヘッドを用いたデータ記録再生装置を模式的に示した全体構成図である。
【図２】変位電流型光ヘッドの詳細を示す一部断面斜視図である。
【図３】図２の変位電流型光ヘッドの同軸体を上方から見た平面図である。
【図４】図２のコア導体の先端部分を拡大して示した図である。
【図５】変位電流型光ヘッドにレーザ光が伝播して変位電流が記録媒体へ伝播される状態を説明する縦断面図である。
【図６】変位電流型光ヘッドの同軸体の入射側のインピーダンスを説明する図である。
【図７】変位電流型光ヘッドの同軸体の出射端の部分のインピーダンスを説明する図である。
【図８】変位電流型光ヘッドの製造工程の流れを示す説明図である。
【図９】近接場光を用いたデータ記録再生装置の概要を示す図である。
【符号の説明】
３    エアスライダ（ヘッド体）
４    記録媒体
８    コア導体
９    外部導体
１０  同軸体
１３  入射端
１４  出射端
１５  レーザ出力手段
１６  スプリッタ
１８  検出手段
２０  ゼオライト片
２１  金属粒子
２３  基材
２４  ピンホール
Ｓ    進行波
Ｓ２  変位電流
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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