(57)【要約】【課題】液晶等を液滴吐出法により安定に塗布する描画装置を提供することを課題とする。【解決手段】溶剤中に描画材料が溶解又は分散されてなる描画液を基板上に塗布する描画装置であって、上記基板上に上記描画液を吐出する液滴吐出ヘッド１２を有する液滴吐出手段１３と、上記基板を載置する基板ステージ１６と、上記吐出ヘッド１２又は上記基板ステージ１６の位置を相対的に移動可能とする移動手段１４と、上記液滴吐出ヘッド又は基板ステージの少なくとも一方を制御する制御手段１５とを具備すると共に、上記液滴吐出ヘッド１２又は基板ステージ１６の少なくとも一方又は両方に溶剤流出防止手段である壁５１を設けてなる。【選択図】      図１
2004298787.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶剤中に描画材料が溶解又は分散されてなる描画液を基板上に塗布する描画装置であって、
上記基板上に上記描画液を吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出手段と、
上記基板を載置する基板ステージと、
上記吐出ヘッド又は上記基板ステージの位置を相対的に移動可能とする移動手段と、
上記液滴吐出ヘッド又は基板ステージの少なくとも一方を制御する制御手段とを具備すると共に、
上記液滴吐出ヘッド又は基板ステージの少なくとも一方又は両方に溶剤流出防止手段を設けてなることを特徴とする描画装置。
【請求項２】
請求項１において、
上記溶剤が空気よりも軽い溶剤であり、且つ溶剤流出手段が液滴吐出ヘッドの液滴吐出側の周囲に周設してなる壁であることを特徴とする描画装置。
【請求項３】
請求項２において、
上記壁の下端部と基板とのギャップが０．０５ｍｍ以上であることを特徴とする描画装置。
【請求項４】
請求項３において、
上記壁の高さが０．１〜０．４ｍｍであることを特徴とする描画装置。
【請求項５】
請求項２乃至４のいずれか１つにおいて、
上記壁が液滴吐出側に向かって傾斜していることを特徴とする描画装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１つにおいて、
上記基板ステージの一部に溶剤を揮発することができる溶剤溜を設けたことを特徴とする描画装置。
【請求項７】
請求項１において、
上記溶剤が空気よりも重い溶剤であり、且つ上記溶剤流出防止手段が上記ステージの周囲に周設してなる壁であることを特徴とする描画装置。
【請求項８】
請求項７において、
上記基板ステージの周囲に週説した壁の高さが０．５ｍｍ以上であることを特徴とする描画装置。
【請求項９】
請求項７又は８において、
上記空気よりも重い溶剤を基板ステージ表面に供給する溶剤供給手段を設けたことを特徴とする描画装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１つに記載の描画装置を用いて製造されてなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項１乃至９のいずれか１つに記載の描画装置を用いて製造されてなる電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、描画装置に係り、特に安定した液滴吐出を可能とする描画装置、及びこの描画装置により得られた電子光学装置及び電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、液晶表示装置等に使用されているカラーフィルタ等にインク等の描画液を液滴吐出する液滴吐出手段には、例えばインクを吐出するインクジェットヘッドが備えられている。このインクジェットヘッドには、インクが吐出するインクノズルが備えられており、このようなインクノズルから吐出されるインクがカラーフィルタに着弾するようになっている。具体的には、インクジェットヘッドには、圧電素子等が配置され、この圧電素子に電圧が印加されると、その電圧に応じて圧電素子が変形し、インクノズルからインクが吐出されるようになっている。このため、インク吐出が制御し易いインクジェットヘッドとなっている。このようにインクを吐出する方式は、インクジェット方式と称されている。
【０００３】
ところで、このようなインクジェット方式のインクジェットヘッドには、図１２に示すように、インクジェットヘッド１の裏面側に多数インクノズル（例えば１８０個／１列）３７が配設されており、該インクノズルから液状のインクを吐出したり、吐出を停止したりするため、長時間使用すると、どうしてもインクノズルの先端部や内部等にインクの増粘作用でインクが付着してしまう、という問題がある。
このようにインクが付着したインクノズルを、そのまま使用すると、付着したインクによってインクノズルから吐出されるインクの吐出角度が変化させられたり、更には、インクノズルが詰まってしまう等の不具合が発生したりし、これらは、インクノズルの吐出不良の原因となっていた。
【０００４】
このため、従来においては、図１３に示すように、インク吐出を施す基板３を載置するステージ１６には、インクジェットヘッド１２からのインク予備吐出用の受け皿９が設けられている。具体的には、インクジェットヘッドが基板の塗布領域を避けるような位置に、予備吐出用の受け皿９が形成されている。
【０００５】
そして、インクジェットヘッド１は、カラーフィルタ等にインクを吐出していないときは、前記インク予備吐出用の受け皿９が配置されている領域に移動させられ、このインク予備吐出用の受け皿９に向かってインクを吐出するようになっている（いわゆるフラッシング作用）。このように、インクノズルがインクを吐出することで、増粘作用により、インクノズルの内部等にインクが付着等して、インクノズルを詰まらせることを未然に防ぐようになっている（特許文献１、図３）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−２６４３６６号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記特許文献１にかかる従来のインクジェット法においていわゆるフラッシングを行う場合には、以下のような問題がある。
イ）フラッシングによりインクの無駄がある。
ロ）フラッシング時間が発生し、全体として描画時間が長くなる。
ハ）フラッシングを行うための各種手段が必要となり、高価な描画装置となる。
【０００８】
本発明は、前記問題に鑑み、従来技術のようないわゆるフラッシング作用を行うことなく、安定した液滴吐出ができる描画装置、及びこの描画装置により得られた電子光学装置及び電子機器を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明に係る描画装置は、溶剤中に描画材料が溶解又は分散されてなる描画液を基板上に塗布する描画装置であって、上記基板上に上記描画液を吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出手段と、上記基板を載置する基板ステージと、上記吐出ヘッド又は上記基板ステージの位置を相対的に移動可能とする移動手段と、上記液滴吐出ヘッド又は基板ステージの少なくとも一方を制御する制御手段とを具備すると共に、上記液滴吐出ヘッド又は基板ステージの少なくとも一方又は両方に溶剤流出防止手段を設けてなることを特徴とする。これにより、溶剤流出防止手段により液滴吐出ヘッド又は基板ステージ表面において溶剤雰囲気が形成され、液滴吐出ノズルのノズル孔からの溶剤の蒸発が防止される。
【００１０】
上記溶剤が空気よりも軽い溶剤の場合には、溶剤流出手段が液滴吐出ヘッドの液滴吐出側の周囲に壁を周設するようにしてもよい。これにより、壁内が溶剤雰囲気となり描画液の乾きを防止することができる。
【００１１】
上記壁の下端部と基板とのギャップを０．０５ｍｍ以上とすることで、安定した且つ良好な描画が可能となる。
上記壁の高さを０．１〜０．４ｍｍとすることで、安定した且つ良好な描画が可能となる。
【００１２】
上記壁を液滴吐出側に向かって傾斜させることで、移動においても溶剤を壁内部に保持することがなく、溶剤の流出がさらに防止される。
【００１３】
上記基板ステージの一部に溶剤を揮発することができる溶剤溜を設けることで、溶剤を壁内に充満させることができ、描画開始においても溶剤蒸気雰囲気とすることができる。
【００１４】
上記溶剤が空気よりも重い溶剤の場合には、上記溶剤流出防止手段が上記ステージの周囲に壁を周設するようにしてもよい。これにより、基板ステージ表面が溶剤雰囲気となり、該溶剤雰囲気内を移動する液滴吐出ヘッドから溶剤のみが蒸発することがなく、ノズル詰まりを生じるようなことが解消される。
【００１５】
上記基板ステージの周囲に週説した壁の高さを０．５ｍｍ以上とすることで、確実な液滴吐出を行いつつノズルの乾きを防止することができる。
【００１６】
上記空気よりも重い溶剤を基板ステージ表面に供給する溶剤供給手段を設けことにより、描画開始においても基板表面を溶剤蒸気雰囲気とすることができる。
【００１７】
上記溶剤が描画材料を溶解する溶剤よりも蒸気比重が重いものを用い、溶剤流出防止手段内を当該蒸気雰囲気としてなるようにしてもよい。
【００１８】
上記薄膜形成装置を用いて品質の向上した電気光学装置を製造することができる。
【００１９】
上記薄膜形成装置を用いて製造されてなる品質の向上した電気光学装置を備える電子機器を得ることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の内容を発明の実施形態により詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２１】
図１乃至図５は本実施形態にかかる描画装置の構成図である。図６は描画装置の概略図である。図７及び図８は液滴吐出ヘッドの概略図である。図９は液晶パネルの構成図である。図１０はパーソナルコンピュータの斜視図である。図１１は携帯電話の斜視図である。
【００２２】
［第１の実施の形態］
先ず、図９を参照して本発明にかかる電気光学装置である液晶表示パネルの構成について説明する。本実施の形態にかかる液晶表示パネル１００は、対向配置された第１基板１と第２基板４とを有するものであり、第１基板１及び第２基板４の内側面には、それぞれ液晶表示要素１０６、１０７が形成されている。
【００２３】
具体的には、図９に示すように、第１基板１には、反射膜（アルミニウム等）１０１、カラーフィルタ（ＣＦ）１０２、オーバーコート（ＯＶＣ）層１０３、透明電極１０４及び配向膜１０５が順次形成され、第１基板側の液晶表示要素１０６としている。
一方の対向する第２基板４には、透明電極１０４及び配向膜１０５が形成されている。透明電極１０４はＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）その他の透明電極材料によって形成され、所定のパターンが加工され、第２基板側の液晶表示要素１０６としている。配向膜１０５は例えばポリイミド（ＰＩ）等の膜が形成され、配向処理（ラビング処理）がなされている。
【００２４】
このようにして液晶表示要素が各々形成された第１基板１と第２基板４とは、両基板間の内周囲に導電性の間隙保持粒子１１０を分散したシール部２が略矩形状に施され、スペーサである間隙保持粒子１１１により所定の間隙、いわゆるセルギャップをもって封着されている。そして、このシール部２によって、第１基板１と第２基板４との間に液晶領域が画成されている。
【００２５】
以下、本実施の形態にかかる液晶表示装置を製造する描画装置について図６を参照して説明する。
【００２６】
本実施の形態の描画装置１０は、図６に示すように、液晶表示装置においてその基板上に形成される例えば薄膜（液晶）等を形成するために用いられるもので、本実施の形態においては、液晶表示要素１０６が形成された第１基板１の表面側に枠状に形成されたシール部２を形成した内部に液晶３を液滴吐出するものである。その後、対向する液晶表示要素１０７が形成された第２基板４を貼合わせ、図４に示すような液晶表示装置を形成するものである。
【００２７】
ここで、シール部を形成するシール剤としては市販の接着材を代用する事が出来るが、基板間の厚みを保持し、液晶の量を規定するために間隙保持粒子を分散した接着剤を用いれば好適である。
【００２８】
また、シール部を形成後、該基板上に間隙保持粒子散布することにより、基板間隔を均一に保持するようにしてもよい。
【００２９】
また、間隙保持粒子を分散した液晶を液滴吐出装置により吐出することにより、間隙保持粒子を散布する工程を省くようにしてもよい。
【００３０】
上記シール剤としては、熱硬化型接着材や光硬化型接着材を用いることができ、間隙保持粒子としては、シリカ粒子、ポリスチレン粒子等のプラスチック粒子、シリカ粒子の回りに熱可塑性樹脂をコーティングした粒子等を用いることができる。そして、基板上に形成された枠状のシール部により囲まれた部分に、計算量だけ液滴吐出ノズルにより液晶を平面状に塗布する。
【００３１】
このようにして得た基板と、他方の基板を貼り合わせた後、接着剤を硬化させることにより液晶表示素子を得ることが出来る。貼り合わせる条件としては真空下で行えば尚好適である。
【００３２】
本実施の形態にかかる描画装置１０は、図６に示すように、液晶表示要素が形成された第１基板１の表面に例えば液晶等の描画液１１を吐出する液滴吐出ヘッド１２を有する液滴吐出手段１３と、該液滴吐出ヘッド１２と基板１との位置を相対的に移動させる移動手段１４と、液滴吐出手段１３及び移動手段１４を制御する制御手段１５とを具備してなるものである。
【００３３】
上記移動手段１４は、図６に示すように、基板ステージ１６上に載置された基板１の上方に、液滴吐出ヘッド１２を下方側に向けて支持すると共に移動自在のステージ１８によりＸ軸方向に移動自在のヘッド支持部１７と、上方の液滴吐出ヘッド１２に対して基板ステージ１６と共に基板をＹ軸方向に移動させるステージ駆動部１９とから構成されている。
【００３４】
上記ヘッド支持部１７は、液滴吐出ヘッド１２を基板１に対してその鉛直軸方向（Ｚ軸）に任意の移動速度で移動可能且つ位置決め可能な例えばリニアモータ等の機構と、鉛直軸を中心に液滴吐出ヘッド１２を回転させることによって下方の基板１に対して任意な角度に設定可能なステッピングモータ等の機構とを備えたものである。
【００３５】
上記ステージ駆動部１８は、鉛直軸を中心に基板ステージ１６を回転させて上方の液滴吐出ヘッド１２に対して任意な角度に設定可能なθ軸ステージ２０と、基板ステージ１６とを液滴吐出ヘッド１２に対して水平方向（Ｙ方向）に移動させ且つ位置決めするステージ２１とを備えている。なお、θ軸ステージ２０は、ステッピングモータ等から構成され、ステージ２１はリニアモータ等から構成されている。
【００３６】
上記吐出手段１３は、液滴吐出ヘッド１２とこれにチューブ２２を介して接続されたタンク２３とを備えている。タンク２３は描画液１１を貯留するものである、チューブ２２を介してこの描画液１１を液滴吐出ヘッド１２に供給するものとなっている。このような構成によって液滴吐出手段１３は、タンク２３に貯留された描画液１１を液滴吐出ヘッド１２から吐出し、これを基板１上に塗布するようにしている。上記液滴吐出ヘッド１２は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮し、その圧力で液滴（液状材料）を吐出させるものであり、一列又は複数列に配列された複数のノズル（ノズル孔）を有している。
【００３７】
この液滴吐出ヘッド１２の構成の一例について図７、図８を参照して説明する。図７、図８に示すように、液滴吐出ヘッド１２は、例えばステンレス製のノズルプレート３１と振動版３２とを備え、仕切り部材（リザーバプレート）３３を介して両者を接合したものである。ノズルプレート３１と振動板３２との間には、仕切り部材によって複数の空間３４と液溜まり３５とが形成されている。各空間３４と液溜まり３５の内部は液状材料（図示せず）で満たされており、各空間３４と液溜まり３５とは供給口３６を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート３１には、各空間３４から液状材料１１を噴射するための微小孔のノズル３７が形成されている。一方、振動板３２には、液溜まり３５に描画液１１を供給するための孔３７が形成されている。
【００３８】
振動板３２の空間に対向する面と反対側の面上には、図７、図８に示すように、圧電素子（ピエゾ素子）３８が接合されている。この圧電素子３８は、図８に示すように一対の電極３９，３９の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するように撓曲するようになっている。そして、このような構成のもとに圧電素子３８が接合されている振動板３２は、圧電素子３８と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間３４の内部容積が増大するようになっている。したがって、空間３４内に増大した容積分に相当する液状材料が液溜まり３５から供給口３６を介して流入する。また、このような状態から圧電素子３８への通電を解除すると、圧電素子３８と振動板１３とは共に元の形状に戻る。したがって、空間３４も元の容積に戻ることから、空間内部の描画液１１の圧力が上昇し、ノズル３７から基板１に向けて液状材料の噴霧状液滴が吐出される。
【００３９】
なお、液滴吐出ヘッド１２の方式としては、上述したような圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、超音波モータ，リニアモータ等により、振動を付与し、またはタンク内に圧力を印加することにより、上記微小穴から描画液１１である液晶を射出させるようにしてもよい。ここで、タンク内の液晶は、前もって脱泡処理されていることが望ましい。尚、液滴吐出ヘッド１３は、タンク内の液晶ないしは液晶と低粘性揮発性液体の混合物を加熱して、該物質の膨張・発泡により、微小穴から液晶を射出させる、所謂バブルジェット（登録商標）方式として構成されていてもよい。また、液晶の射出は、真空中，減圧下，大気圧または加圧下等、所望の圧力下で行なわれ得るようにしている。
【００４０】
上記制御手段１５は、装置全体の制御を行うマイクロプロセッサ等のＣＰＵや、各種信号の入出力機能を有するコンピュータ等によって構成されたものであり、図６に示したように、液滴吐出手段１３及び移動手段１４にそれぞれ電気的に接続されたことにより、液滴吐出手段１３による吐出動作、及び移動手段１４による移動動作の少なくとも一方、本実施の形態では両方を制御するものとなっている。
そして、このような構成により、液状吐出液の吐出条件を調整し、形成する薄膜（液晶）等の膜厚を制御するようにしている。
【００４１】
すなわち、制御手段１５は、上記膜厚を制御する機能として、基板に対する液状吐出液の吐出間隔を調整する制御機能と、１ドットあたりの液状吐出液の吐出量を調整する制御機能と、ノズルの配列方向と移動機構による移動方向との角度（θ）とを吐出ごとに吐出条件を設定する制御手段と、基板上を複数の領域に分けて各領域に吐出条件を設置する制御機能とを備えている。
【００４２】
さらに、制御手段１５は、上記吐出間隔を調整する制御機構として、基板１と液滴吐出ヘッド１２との相対的な移動の速度を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、移動手段における吐出の時間間隔を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、複数のノズルのうち同時に塗布液を吐出させるノズルを任意に設定して吐出間隔を調整する機能とを備えている。
【００４３】
また、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施の形態においては、液滴吐出ヘッド１２の裏面側に溶剤流出防止手段である壁５１を周設している。この矩形状に周設した壁５１の存在により、図１（ｂ）に示すように、塗布液１１である描画液の構成材料である溶剤蒸気Ｓが壁５１内に充満する。この結果、上記壁５１内に滞留する溶剤蒸気Ｓにより、ノズル孔からの溶剤の蒸発量を少なくすることができ、描画液の高粘度化を防止し、皮膜形成等による孔詰まり等の不具合が解消される。
すなわち、溶剤蒸気の濃度が平衡濃度以上であれば、理論的には溶剤の蒸発がなくなるので、描画液を構成する溶剤がノズルヘッド内から気相中へ移動（蒸発）することがなく、描画液の粘度が高くなることが防止される。
【００４４】
これにより、描画液重量の変動をフラッシングよりも少なくすることができる。よって、高精度な液滴吐出が要求される分野において、好適である。
【００４５】
また、従来技術のようなフラッシングが不要となり、描画液の無駄が少なくなる。また、乾き易いインクの場合にはフラッシングを多様する結果、描画にしようするインク量よりもフラッシングに使用するインク量が多くなるので、描画液を本来の描画に効率的に使用することができる。さらに、高価なインクやバイオ用途のような合成量がわずかなインクを吐出する場合にも、フラッシングが不要となるので、特に好適となる。
【００４６】
従来技術のようなフラッシングが不要となる結果、描画時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。
【００４７】
従来技術のようなフラッシングを行う場合のように各種制御手段が不要となり、装置構成が簡略化される。
【００４８】
ここで、上記液滴吐出ヘッド１２の裏面側に壁５１を設ける場合は、用いる溶剤が空気よりも軽い場合が特に好ましい。
【００４９】
また、用いる描写材料を溶解する溶剤よりも蒸気比重の重い溶剤を用い、壁５１内に溶剤蒸気Ｓが滞留する雰囲気とするようにしてもよい。
【００５０】
また、本実施の形態においては、上記壁５１の下端部５１ａと基板１とのギャップが０．０５ｍｍ以上、好ましくは０．１ｍｍ以上とするのがよい。これは、上記ギャップが０．０５ｍｍ未満では円滑な描画ができないからである。
また、上記壁５１の高さは、０．１〜０．４ｍｍ、好ましくは０．２〜０．４ｍｍとするのがよい。これは、０．１ｍｍ未満では溶剤流出防止効果を効率よく発揮できないからである。
【００５１】
また、図２に示すように、上記周設した壁５１が液滴吐出側に向かって傾斜させるようにしてもよい。このようにすると、液滴吐出ヘッド又は基板が移動する際に、傾斜した壁５１内の存在により溶剤の排出が防止されることになるからである。
【００５２】
また、図３に示すように、上記基板ステージ１６の一部に溶剤５２を揮発することができる溶剤溜５３を設けるようにしてもよい。この溶剤溜５３により、描画開始前において、周設した壁５１の内部に溶剤蒸気Ｓを充満させ、溶剤雰囲気とするようにすればよい。これにより、描画開始前においても、壁５１で囲まれた領域内を溶剤５２の雰囲気とすることができ、乾きを防止することができる。
【００５３】
特に、基板が大判化（１５０ｃｍ×１５０ｃｍ等の基板）した場合には、液滴手段による描画領域が広くなり、従来のようなインク予備吐出用の受け皿を設けた場合では、捨てるインク量が膨大となり、また、ステージを移動させる領域も広いので、該移動時間も無駄となるが、本発明の場合には、そのようなことがなく、しかも、液滴吐出ヘッドの吐出近傍は常に溶剤雰囲気となっているので、安定した吐出が可能となる。
【００５４】
本実施の形態では、描画液である塗布液１１として液晶の場合について説明したが、本発明では液晶に限定されるものではなく、例えば有機ＥＬ用のインク材料（正孔材料、発光材料）を用いた場合にも適用することができる。
【００５５】
また、本実施の形態では、液晶以外にもカラーフィルタ、配向膜、オーバーコート層、金属配線等にも適用することができる。
【００５６】
また、描画装置をレジスト、マイクロレンズアレイ、及びバイオチップ（たんぱく質、遺伝子検査）の用途にも応用することもできる。
【００５７】
［第２の実施の形態］
次に、本発明にかかる描画装置の第２の実施の形態について説明する。
図４に示すように、本実施の形態の描画装置は、基板ステージ１６の周囲に溶剤防止手段である壁６１を周設したものである。この矩形状に周設した壁６１の存在により、図４に示すように、描画液の構成材料である溶剤蒸気Ｓが壁６１内に充満し、該溶剤蒸気Ｓ内を移動する液滴吐出ヘッド１２の裏面側のノズル孔近傍において描画液中の溶剤の蒸発を少なくすることができ、描画液の高粘度化を防止し、皮膜形成等による孔詰まり等の不具合が解消される。
【００５８】
ここで、上記基板ステージ１６の周囲に壁６１を設ける場合は、用いる溶剤が空気よりも重い場合が特に好ましい。
空気よりも重い溶剤とは、例えばアセトン（蒸気比重＝２．０）、キシレン（蒸気比重＝３．６６）等の芳香族系溶剤、メタノール（蒸気比重＝１．１）、イソプロピルアルコール（蒸気比重＝２．９９）等のアルコール系溶剤を挙げることができるが、本発明はこれらに限定するものではない。なお、蒸気比重とは空気を１とした場合の溶剤蒸気の比重のことをいう。
【００５９】
また、用いる描写材料を溶解する溶剤よりも蒸気比重の重い溶剤を用い、壁６１内に溶剤蒸気Ｓが滞留する雰囲気とするようにしてもよい。
【００６０】
また、上記壁６１の高さは、０．５ｍｍ以上とするのがよい。これは、０．５ｍｍ未満では溶剤流出防止効果を効率よく発揮できないからである。
【００６１】
また、液滴吐出ヘッド１２の下端部は壁６１よりも低い位置で移動することで、移動中ヘッドノズル孔表面は溶剤蒸気で満たされることになる。これにより、ヘッドノズルからの描画液の溶剤の蒸発を少なくすることができ、安定した描画液の吐出が可能となる。
【００６２】
また、図５に示すように、上記基板ステージ１６の壁６１で囲む領域内に溶剤蒸気Ｓを充満させるための溶剤蒸気供給手段６２を設置するようにしてもよい。この溶剤蒸気供給手段６２は内部に溶剤５２を充填した容器６３と該容器６３から溶剤Ｓを基板１の表面に供給する供給ノズル６４とを備えている。これにより、描画開始前において、周設した壁５１の内部に溶剤蒸気Ｓ充満させ、溶剤雰囲気とすることができる。この結果、描画開始前においても、壁６１で囲まれた雰囲気内を溶剤蒸気Ｓの雰囲気とすることができ、乾きを防止することができる。
【００６３】
［第３の実施の形態］
次に、本発明に係る液晶表示パネルを適用可能な電子機器の具体例について図１０及び図１１を参照して説明する。
まず、本発明に係る描画装置で形成した液晶表示パネルを、可搬型のパーソナルコンピュータ（いわゆるノート型パソコン）の表示部に適用した例について説明する。図１０は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。同図に示すように、パーソナルコンピュータ９１は、キーボード９１１を備えた本体部９１２と、本発明に係る液晶表示パネルを適用した表示部９１３とを備えている。
【００６４】
続いて、本発明に係る液晶表示パネルを、携帯電話機の表示部に適用した例について説明する。図１１は、この携帯電話機の構成を示す斜視図である。
同図に示すように、携帯電話機９２は、複数の操作ボタン９２１のほか、受話口９２２、送話口９２３とともに、本発明に係る液晶表示パネルを適用した表示部９２４を備える。
【００６５】
なお、本発明に係る液晶表示パネルを適用可能な電子機器としては、図１０に示したパーソナルコンピュータや図１１に示した携帯電話機の他にも、液晶テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、ディジタルスチルカメラなどが挙げられる、特に限定されるものではない。
【００６６】
また、上述した実施形態では、電気光学装置として、液晶装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッター等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態にかかる描画装置の要部概略図である。
【図２】第１の実施の形態にかかる他の描画装置の要部概略図である。
【図３】第１の実施の形態にかかる他の描画装置の要部概略図である。
【図４】第２の実施の形態にかかる描画装置の要部概略図である。
【図５】第２の実施の形態にかかる描画装置の要部概略図である。
【図６】第１の実施の形態にかかる描画装置の概略構成図である。
【図７】第１の実施の形態にかかる液滴吐出ヘッドの概略図である。
【図８】第１の実施の形態にかかる液滴吐出ヘッドの概略図である。
【図９】液晶パネルの構成図である。
【図１０】パーソナルコンピュータの斜視図である。
【図１１】携帯電話の斜視図である。
【図１２】液滴吐出ノズルの概略図である。
【図１３】液晶インクジェット法のフラッシング部を有する構成図である。
【符号の説明】
１・・・第１基板、２・・・シール部、３・・・液晶、４・・・第２基板、１０・・・薄膜形成装置、１１・・・塗布液、１２・・・液滴吐出ヘッド、１３・・・液滴吐出手段、１４・・・移動手段、１５・・・制御手段、５１，６１・・・壁、５２・・・溶剤、６２・・・溶剤蒸気供給手段、６３・・・容器、６４・・・供給ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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