(57)【要約】【課題】高温での活性化処理なしにパネル内の不純ガスの捕集を行うことができるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】プラズマディスプレイパネルの製造方法において、少なくとも、基板の一主面上に誘電体層を形成する工程と、誘電体層上に放電空間を仕切る隔壁を形成する工程と、隔壁間に蛍光体層を形成する工程とを有し、それぞれの工程のうち少なくともひとつの工程が、ゲッタ材料を含む溶液を含浸処理した無機材料を用いる工程である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、基板の一主面上に誘電体層を形成する工程と、前記誘電体層上に放電空間を仕切る隔壁を形成する工程と、前記隔壁間に蛍光体層を形成する工程とを有し、それぞれの工程のうち少なくともひとつの工程が、ゲッタ材料を含む溶液を含浸処理した無機材料を用いる工程であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
ゲッタ材料を含む溶液を含浸処理した無機材料を用いる工程が隔壁を形成する工程であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
無機材料がシリカあるいはアルミナであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
アルミナがγ型アルミナあるいはθ型アルミナであることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
ゲッタ材料を含む溶液がゲッタ材料の金属塩を含む溶液であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
ゲッタ材料がニッケル（Ｎｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）のうちのいずれか一種以上の金属であることを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
少なくとも、基板の一主面上に誘電体層を形成する工程と、前記誘電体層上に放電空間を仕切る隔壁を形成する工程と、前記隔壁間に蛍光体層を形成する工程と、前記基板の縁部にダミーの隔壁を形成する工程とを有し、前記ダミーの隔壁を形成する工程が、ゲッタ材料を含む溶液を含浸処理した無機材料を用いる工程であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
無機材料がシリカあるいはアルミナであることを特徴とする請求項７に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
アルミナがγ型アルミナあるいはθ型アルミナであることを特徴とする請求項８に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
ゲッタ材料を含む溶液がゲッタ材料の金属塩を含む溶液であることを特徴とする請求項７に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】
ゲッタ材料がニッケル（Ｎｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）のうちのいずれか一種以上の金属であることを特徴とする請求項１０に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大画面で、薄型、軽量のテレビなどの画像表示に用いられるプラズマディスプレイ装置のプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータやテレビなどの画像表示に用いられているカラー表示デバイスにおいて、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）を用いたプラズマディスプレイ装置は、大型で薄型、軽量を実現することのできるカラー表示デバイスとして注目されている。
【０００３】
ＰＤＰは、ガラス基板などの透明基板に表示電極、誘電体層、保護膜を積層した前面板と、基板にストライプ状のアドレス電極を形成したのち、誘電体層を形成し、その上に放電空間を形成する隔壁を設け、その隔壁側面と誘電体層上に紫外線によって励起されて発光する赤色、緑色、青色の蛍光体層を形成した背面板とを備えている。これらの前面板と背面板を対向させて封着し、放電空間にネオン（Ｎｅ）、キセノン（Ｘｅ）などを封入し放電させている。さらに、このように構成されたＰＤＰをプラズマディスプレイ装置として駆動させると、前述の構成要素から不純ガスが発生するため、その不純ガスを吸着除去するためにゲッタ材料をＰＤＰ内に封止し、いわゆるゲッタ処理を施す例が開示されている（例えば、特許文献１）。さらに、ＰＤＰの隔壁にゲッタ層を設ける例も開示されている（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特開２０００−３１１５８８号公報
【特許文献２】特表２００２−５３１９１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、これら従来の構成のゲッタ処理には以下のような課題があった。図８には、従来のＰＤＰにおけるゲッタの構造の一例を示している。図８に示すように、前面板５０と封着材５１によって周囲が封止された背面板５２に排気孔５３が穿孔され、排気孔５３に排気管５４が接続されている。さらに排気管５４にゲッタ材料５５が封入されている。このような構成においては排気孔５３を通じて放電空間内の不純ガスがゲッタ材料５５に捕集される。しかしながら、ＰＤＰ内の放電空間は隔壁５６によって分離されているため、放電空間内で流動することなく、拡散のみによって不純ガスがゲッタ材料５５に捕集されることになる。そのため、ゲッタ材料５５の近辺領域のみしか不純ガスの捕集がなされず、実際の画像表示領域に放出される不純ガスを捕集できないという課題を有する。また、これらの課題を解決するために、背面板５２に複数箇所の排気孔５３を設け、ゲッタ材料５５を複数箇所に配置する例もあるが、この場合には製造が煩雑になるだけでなく、背面板５２の基板強度を弱めるという課題を有している。
【０００５】
さらに、図９には、従来のＰＤＰにおけるゲッタ構造の他の一例を示している。図９に示すように、電極、誘電体などよりなる前面板６０と背面板６１とよりなるＰＤＰにおいて、背面板６１の構成要素の一部を形成し、側壁に蛍光体層６２が形成された隔壁６３の上面にゲッタ層６４を設けている。このように隔壁６３の上面にゲッタ層６４を設けるとＰＤＰ全面に亘っての不純ガスの捕集に対しては効果がある。しかしながら、隔壁６３を形成したのちに再度ゲッタ層６４を形成する必要があるなどの、製造上の煩雑さがあるとともに、隔壁６３の絶縁性がゲッタ材料によって損なわれることに起因して放電特性に影響を与えるなどの課題がある。
【０００６】
さらに、図８および図９に示す従来のゲッタ材料に不純ガス捕集効果を生じさせるためには、約４００℃程度の高温で加熱処理する活性化処理が必要であった。
【０００７】
本発明は、高温での活性化処理なしにＰＤＰ内の不純ガスの捕集をＰＤＰ内の広範囲に亘って行うことができるＰＤＰの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のＰＤＰの製造方法は、少なくとも、基板の一主面上に誘電体層を形成する工程と、誘電体層上に放電空間を仕切る隔壁を形成する工程と、隔壁間に蛍光体層を形成する工程とを有し、それぞれの工程のうち少なくともひとつの工程が、ゲッタ材料を含む溶液を含浸処理した無機材料を用いる工程を有している。
【０００９】
この製造方法によれば、放電空間内で発生する不純ガスを吸着捕集し、安定した放電特性を実現することができる。
【００１０】
さらに、ゲッタ材料を含む溶液を含浸処理した無機材料を用いる工程が隔壁を形成する工程であることが望ましく、製造が容易で効果的に不純ガスを捕集可能となる。
【００１１】
さらに、無機材料がシリカあるいはアルミナであることが好ましく、より効果的に不純ガスの捕集が可能となる。
【００１２】
さらに、アルミナがγ型アルミナあるいはθ型アルミナであることが好ましく、吸着比表面積を増大させてより効果的に吸着効果を発現する。
【００１３】
さらに、ゲッタ材料を含む溶液がゲッタ材料の金属塩を含む溶液であることが好ましく、より簡単プロセスでゲッタ材料を無機材料に含浸させることが可能となる。
【００１４】
さらに、ゲッタ材料がニッケル（Ｎｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）のうちのいずれか一種以上の金属であることが好ましく、不純ガスの吸着捕集効果を高めることができる。
【００１５】
また、本発明のＰＤＰの製造方法は、少なくとも、基板の一主面上に誘電体層を形成する工程と、誘電体層上に放電空間を仕切る隔壁を形成する工程と、隔壁間に蛍光体層を形成する工程と、基板の縁部にダミーの隔壁を形成する工程とを有し、ダミーの隔壁を形成する工程が、ゲッタ材料を含む溶液を含浸処理した無機材料を用いる工程を有している。
【００１６】
この製造方法によれば、放電空間内で発生する不純ガスを吸着捕集し、安定した放電特性を実現することができる。
【００１７】
さらに、無機材料がシリカあるいはアルミナであることが好ましく、より効果的に不純ガスの捕集が可能となる。
【００１８】
さらに、アルミナがγ型アルミナあるいはθ型アルミナであることが好ましく、吸着比表面積を増大させてより効果的に吸着効果を発現する。
【００１９】
さらに、ゲッタ材料を含む溶液がゲッタ材料の金属塩を含む溶液であることが好ましく、より簡単プロセスでゲッタ材料を無機材料に含浸させることが可能となる。
【００２０】
さらに、ゲッタ材料がニッケル（Ｎｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）のうちのいずれか一種以上の金属であることが好ましく、不純ガスの吸着捕集効果を高めることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のＰＤＰの製造方法によれば、基板上に所定の構成要素を形成する際の無機材料中に、ゲッタ材料が非常に活性の高い状態で保持され、活性化処理をしなくても不純ガスを非常に高い効率で捕集できるＰＤＰを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に本発明の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１によるＰＤＰの製造方法について図面を参照しながら説明する。
【００２４】
まず、本発明のＰＤＰの構成について図１を用いて説明する。ＰＤＰは基本的には前面板１と背面板２とで構成される。前面板１は、前面ガラス基板３と、その一方の主面上に形成されたストライプ状の透明電極４およびバス電極５よりなる表示電極６と遮光層７と、表示電極６および遮光層７を覆ってコンデンサとしての働きをする誘電体層８と、この誘電体層８上に形成された酸化マグネシウム（ＭｇＯ）膜からなる保護膜９とで構成されている。一方、背面板２は、背面ガラス基板１０と、その一方の主面上に形成されたストライプ状のアドレス電極１１と、このアドレス電極１１を覆う背面板誘電体層１２と、その上に形成された隔壁１３と、各隔壁１３間に形成された、赤色、緑色および青色でそれぞれ発光する蛍光体層１４とで構成されている。
【００２５】
ＰＤＰは、前面板１と背面板２とを、アドレス電極１１と表示電極６とが直交するように対向させて気密封着し、隔壁１３によって形成された放電空間１５にネオン（Ｎｅ）−キセノン（Ｘｅ）などの放電ガスを４００Ｔｏｒｒ〜６００Ｔｏｒｒの圧力で封入したものである。表示電極６およびアドレス電極１１に所定の電圧を印加することによって放電ガスを放電させ、その結果、発生した紫外線が各色の蛍光体層１４を励起し、蛍光体が赤色、緑色、青色に発光し、カラー画像が表示される。
【００２６】
このように構成されたＰＤＰにおいて、本発明の実施の形態１では隔壁１３に不純ガスの吸着捕集機能を持たせる場合について述べる。アドレス電極１１と背面板誘電体層１２が形成された背面ガラス基板１０に隔壁１３を形成する場合のプロセスフローを図２に示す。背面板誘電体層１２が形成された背面ガラス基板１０を用意するステップ１、この背面ガラス基板１０上に隔壁１３を形成するためのペーストを塗布するステップ２、隔壁１３をパターニングして形成するステップ３、隔壁１３と背面板誘電体層１２上に蛍光体層１４を形成するステップ４よりなる。また、隔壁１３を形成するためのペーストを作製するプロセスは、図２に示すようなステップ５ないしステップ９よりなる。
【００２７】
まず、ステップ５で、隔壁１３を構成する主原料となるシリカやアルミナなどの無機材料の粉体粒子を準備する。隔壁１３の場合にはシリカやアルミナの純度については、特に機械的強度の観点から選択することが必要である。また、アルミナの場合の結晶型については、次のステップ６で金属塩を無機材料に含浸させる際に、大量に金属塩をアルミナ中に含浸させたい場合には、比表面積の大きなθ型やγ型を選択する方が好ましい。
【００２８】
次に、ステップ６で、ゲッタ材料の金属塩の含浸を行う。これらの金属塩の金属成分（ゲッタ材料）としては、活性の高い金属であればよく、例えばニッケル（Ｎｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）などの金属のうちの一種以上の金属が考えられる。これらの金属塩の塩根としては、例えば酢酸根、硝酸根、蓚酸根などが考えられる。このような金属塩を純水に溶解させ、この濃度が１％〜４％の水溶液にステップ５で準備した無機材料を加え、約２時間程度攪拌しながら、無機材料に金属塩水溶液を含浸させてスラリーを作製する。
【００２９】
次にステップ７で、含浸後のスラリーを濾過する。粒子間の水分を取り切るためには吸引濾過が好ましい。次いでステップ８では、水分乾燥、塩根の分解除去のために乾燥および焼成を行う。水分乾燥には１５０℃〜３００℃が望ましく、また塩根を分解除去するには３５０℃〜６００℃程度の酸素雰囲気中で処理することが好ましい。状況に応じて、窒素雰囲気や水素などの還元ガス雰囲気を用いることも可能である。このステップ５からステップ８までの工程によって、隔壁１３を構成する主原料であるシリカやアルミナに対するゲッタ材料の含浸は終了する。すなわち、ステップ５からステップ８までの工程によってゲッタ材料を含む溶液を含浸処理した無機材料が得られる。なお、ステップ８の乾燥・焼成のステップで塩根を分解除去できるように、硝酸塩、酢酸塩、蓚酸塩を選択したが、塩根が残留してもよい場合も考えられるので、塩根として塩酸根や燐酸根あるいは蟻酸根、さらには有機錯体や無機錯体なども考えられることは言うまでもない。
【００３０】
図３に、図２のステップ５からステップ８によってゲッタ材料を含浸させた無機材料粒子の内部構造を模式的に示している。図３（ａ）に示すように、シリカやアルミナなどの無機材料粒子２０はその結晶形態や出発原材料によって異なるが、数十Å〜数千Åの細孔２１を有している。これらの細孔２１を有する無機材料粒子２０にゲッタ材料を含浸させると、図３（ｂ）に示すように、細孔２１の内表面や無機材料粒子２０の外表面２２に数十Å〜数百Åのゲッタ材料微粒子２３が付着する。このようなゲッタ材料微粒子２３は、結晶子径が小さいため触媒活性が非常に高くなるとともに、従来のゲッタ材料比表面積の数百倍もの比表面積を有した触媒作用を発現するのと同様の構造を有し、ガス吸着体として作用する。また、結晶子径が小さいために、表面エネルギーが増大し、物理吸着だけでなく化学吸着作用を発現する。したがって、従来のゲッタ材料では必要であった活性化処理をしなくても不純ガスの捕集効果を発現することができる。
【００３１】
このようにしてゲッタ材料を含浸させた無機材料に、図２のステップ９に示すように、隔壁１３を構成する他の構成材料である低融点ガラス成分を加え、さらに樹脂、溶媒を加えてペースト化する。低融点ガラス成分としては、例えばＰｂ−Ｂ系ガラス（ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2の化合物）などが用いられる。ペーストはステップ２に示すように、スクリーン印刷法やダイコート法などで背面板誘電体層１２が形成された背面ガラス基板１０上に数百μｍ程度塗布され、溶媒除去のために乾燥される。また、ペーストはステップ３の隔壁１３のパターニングの方法に応じて最適な材料を添加してもよく、例えば、パターニングをフォトリソ法によって行う場合には、ペースト中に感光性材料などを付加している。
【００３２】
ステップ３では、隔壁１３のパターニングを行う。パターニングの方法は前述のフォトリソ法の他に、サンドブラスト法あるいはリフトオフ法などがある。またスクリーン印刷法を用いる場合には、ステップ９で作製したペーストを直接パターン印刷するため、ステップ３は省略される。このようにして、パターニングしたのち、ペースト中の樹脂成分を除去し、固化させるため約５００℃の温度で焼成し、所定形状の隔壁１３を形成する。
【００３３】
ステップ４では、隔壁１３の側面と背面板誘電体層１２上に蛍光体層１４を形成する。赤色、緑色、青色の３色の蛍光体層１４は、例えばスクリーン印刷法やインクジェット法などで形成される。
【００３４】
以上のステップで、背面板２が形成される。そして、この背面板２と別途作製した前面板１とを、前面板１の表示電極６と背面板２のアドレス電極１１とが直交するように貼り合わせ、周囲を封止する。その後、加熱しながら排気して製造プロセス中で発生し吸着された不純ガスを除去し、所定の放電ガスを導入して封着しＰＤＰとして完成させる。
【００３５】
このようにして形成されたＰＤＰにおいては、その後のＰＤＰの放電などによって蛍光体層１４や前面板１から発生する不純ガスは、隔壁１３中の非常に活性が高くガス吸着性能に優れたゲッタ材料の微粒子に物理吸着と化学吸着の両作用によって吸着される。また、隔壁１３はＰＤＰの表示領域全面に亘って形成されているため、表示領域全面で均一にこれらの不純ガスを吸着することができる。また、ＰＤＰでは蛍光体層１４から不純ガスが多く発生することが知られており、この発生源に隣接している隔壁１３に不純ガス捕集機能を持たせることで、不純ガス捕集効果に優れ、放電空間１５の放電ガスを所定成分、所定濃度に保持し、常に安定した放電を実現することができる。したがって、放電特性に優れたＰＤＰを実現することができる。
【００３６】
なお、本発明では、隔壁１３を形成する無機材料としてγ型アルミナあるいはθ型アルミナを選択することによって、より不純ガス捕集効果に優れた隔壁を形成することができる。図４は、アルミナの結晶形態による細孔分布の違いを模式的に示した図であり、横軸に細孔径（Å）、縦軸にその発生頻度を示している。図４に示すように、小径の細孔は、α型よりθ型、θ型よりγ型の方が多いことがわかる。含浸法でこのような細孔にゲッタ材料の金属塩を含浸させると、径の小さい細孔ほど径の小さなゲッタ材料の微粒子が形成されるため、比表面積が格段に増加し、ガス吸着活性が飛躍的に増加する。したがって、アルミナとしてγ型あるいはθ型を選択することによって不純ガス捕集効果を飛躍的に高めることが可能となる。
【００３７】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２では、蛍光体層１４に不純ガスの吸着捕集機能を持たせる場合について述べる。
【００３８】
図５には、蛍光体層を形成する無機材料中にゲッタ材料を含浸させて蛍光体ペーストを作製し、その蛍光体ペーストを用いて蛍光体層を形成する場合のプロセスフローを示す。本実施の形態では、青色蛍光体であるＢＡＭ：Ｅｕ蛍光体を例にとって説明する。
【００３９】
ステップ２０は、青色蛍光体であるＢＡＭ：Ｅｕを準備するステップである。青色蛍光体であるＢＡＭ：Ｅｕを合成する際には、母体物質の原材料であるアルミナ、炭酸バリウム、炭酸マグネシウムと、付活剤として酸化ユーロピウムと、さらに各原材料表面の部分融解で物質間の移動を助け、反応を速めるフラックス剤として僅かなフッ化アルミニウムなどとを、化学量論的に適切な量を調整したのち、混合して高温焼成している。この材料を分級して所定の粒径とした粉体を得る。
【００４０】
ステップ２１は、蛍光体材料あるいは別途付加した無機材料にゲッタ材料を含浸させるステップである。本実施の形態では、前述の方法によって作製された蛍光体粉体の一部にゲッタ材料の金属塩の含浸をしている。これらの金属塩の金属成分（ゲッタ材料）としては、活性の高い金属であればよく、例えばニッケル（Ｎｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）などの金属のうちの一種以上の金属が考えられる。これらの金属塩の塩根としては、例えば酢酸根、硝酸根、蓚酸根などが考えられる。このような金属塩を純水に溶解させ、この濃度が１％〜４％の水溶液に蛍光体粉体を加え、２時間程度攪拌しながら、蛍光体粉体に金属塩水溶液を含浸させてスラリーを作製する。
【００４１】
次にステップ２２で、含浸後のスラリーを濾過する。粒子間の水分を取り切るためには吸引濾過が好ましい。次いでステップ２３では、水分乾燥、塩根の分解除去のために乾燥および焼成を行う。水分乾燥には１５０℃〜３００℃が望ましく、また塩根を分解除去するには３５０℃〜６００℃程度の酸素雰囲気中で処理することが好ましい。状況に応じて、窒素雰囲気や水素などの還元ガス雰囲気を用いることも可能である。
【００４２】
次にステップ２４では、元々の蛍光体粉体と含浸処理した蛍光体粉体とを混合する。このようにして作製した蛍光体粉体に樹脂材料と溶媒を加えてペーストとし、スクリーン印刷法やインクジェット法で隔壁１３間に塗布する。なお、ステップ２３の乾燥・焼成のステップで塩根を分解除去できるように、硝酸塩、酢酸塩、蓚酸塩を選択したが、塩根が残留してもよい場合も考えられるので、塩根として塩酸根や燐酸根あるいは蟻酸根、さらには有機錯体や無機錯体なども考えられることは言うまでもない。
【００４３】
ステップ２０で準備された蛍光体粉体は、数十Å〜数千Åの細孔を有している。そのため、これらの細孔を有する蛍光体粉体にゲッタ材料を含浸させると、細孔内部の表面や周囲表面に数十Å〜数百Åのゲッタ材料微粒子が付着する。このようなゲッタ材料微粒子は、結晶子径が小さいため触媒活性が非常に高くなるとともに、従来のゲッタ材料比表面積の数百倍もの比表面積を有した触媒作用を発現するのと同様の構造を有し、ガス吸着体として作用する。また、結晶子径が小さいために、表面エネルギーが増大し、物理吸着だけでなく化学吸着作用を発現する。したがって、従来のゲッタ材料では必要であった活性化処理をしなくても不純ガスの捕集効果を発現することができる。したがって、元々の蛍光体粉体のうちのごく一部の蛍光体粉体にゲッタ材料を含浸処理することによって、不純ガスの吸着捕集が可能となるため、蛍光体の特性を損なうことなく不純ガス捕集を実現できる。
【００４４】
なお、本実施の形態では蛍光体材料の一部を処理して、未処理の蛍光体材料と混合しているが、例えば蛍光体材料と別のアルミナやシリカなどに含浸処理をした上で蛍光体材料と混合してもよい。さらに、含浸処理の割合を調整して蛍光体材料全部に含浸処理を施してもよい。
【００４５】
また、本実施の形態では青色蛍光体に不純ガスの吸着捕集が可能となるように含浸処理を施しているが、他の赤色蛍光体や緑色蛍光体に同様の処理を施すことも可能である。
【００４６】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３では、背面板誘電体層１２に不純ガスの吸着捕集機能を持たせる場合について述べる。
【００４７】
図２に示すステップ１で背面板誘電体層付ガラス基板を作製する場合に、背面板誘電体層１２を形成する無機材料中にゲッタ材料を含浸させて、誘電体ペーストを作製する方法について述べる。
【００４８】
背面板誘電体層１２は前面板１の誘電体層８ほど材料成分による透過率の変化や誘電率の変化を考慮する必要がないため、シリカやアルミナなどの無機材料にゲッタ材料の金属塩を含浸させた材料を任意に選択し易い。ここで、含浸処理の方法などは本発明の実施の形態１での隔壁１３の材料への含浸処理の場合と同様である。この含浸処理した材料と背面板誘電体層１２の主成分となる低融点ガラス成分を混合し、さらに樹脂、溶媒を加えてペースト化する。
【００４９】
このペーストをスクリーン印刷法やダイコート法などによって背面ガラス基板１０上に塗布し、乾燥したのち、焼成することによって背面板誘電体層１２が形成される。このようにして形成した背面板誘電体層１２中には、前述した隔壁１３や蛍光体層１４の場合と同様に、非常に活性の高い微粒子が散在しているために不純ガスの吸着捕集を十分に行うことができる。
【００５０】
このように、本発明の実施の形態１から実施の形態３に述べたように、本発明では、ＰＤＰの隔壁、蛍光体層、背面板誘電体層などの構成要素を形成する際に用いる原材料にゲッタ材料を含浸処理するだけでよく、簡単な製造方法で不純ガス捕集効果の優れたＰＤＰを実現できる。
【００５１】
図６には、プラズマディスプレイ装置を連続点灯した時の青色輝度の経時変化を示しており、初期輝度を１としている。曲線ａは、図２に示す本発明の実施の形態１による製造方法を用いて隔壁１３を形成した４２インチ（リブピッチ１５０μｍのＨＤ−ＴＶ仕様）の大きさのＰＤＰよりなるプラズマディスプレイ装置の場合を示しており、曲線ｂは、ゲッタ材料を排気管に設けて活性化処理することで不純ガス吸着捕集を行う従来のＰＤＰよりなるプラズマディスプレイ装置の場合を示している。なお、曲線ａの場合のＰＤＰでは、排気管にゲッタ材料を設けて活性化処理することはしていない。他の構成要素は全て同一である。
【００５２】
なお、ＰＤＰへの封入ガスはネオン（Ｎｅ）−キセノン（Ｘｅ）（Ｘｅは含有量５％）であり、封入圧力は５００Ｔｏｒｒである。図１に示す放電空間１５で発生する１４７ｎｍの真空紫外線が蛍光体を励起し、４５０ｎｍの青色を発光する。ここで、図６において特に青色の輝度変化について示しているのは、ＢＡＭ：Ｅｕ系の青色蛍光体がパネル内部で発生する不純ガスの影響を受け易く、輝度劣化が大きいためである。
【００５３】
図６に示すように、従来のプラズマディスプレイ装置に比べて、本発明のプラズマディスプレイ装置の輝度劣化は小さいことがわかる。放電空間に発生する不純ガスは、特に点灯初期に発生するが、本発明のＰＤＰを用いたプラズマディスプレイ装置では、隔壁内の無機材料中の細孔に形成された活性の高いゲッタ材料の微粒子によって不純ガスを吸着するため、青色蛍光体の発光層の劣化を抑えることができると考えられる。また、本発明によるＰＤＰと従来のＰＤＰの、連続点灯時間が２０００時間後におけるパネル内のガス成分を測定すると、Ｈ2Ｏについては従来のＰＤＰでは初期値に比べて７７％も増加していたものが、本発明のＰＤＰでは２７％の増加でしかなかった。また、ＨＣ系ガス（Ｏを含む）については従来のＰＤＰでは初期値に比べて６３％も増加していたが、本発明のＰＤＰでは２８％の増加でしかなかった。このことからも、本発明によるＰＤＰでは従来のＰＤＰに比べて不純ガスの捕集効果が優れていることがわかり、連続点灯での輝度劣化の小さいことがわかる。
【００５４】
図６には、ゲッタ材料を含む溶液を含浸処理した無機材料を用いて隔壁１３を形成した実施の形態１の場合について示したが、実施の形態２あるいは実施の形態３に示すように、ゲッタ材料を含む溶液を含浸処理した無機材料を用いて蛍光体層１４や背面板誘電体層１２を形成した場合でも、同様の効果のあることがわかっている。
【００５５】
また、上記実施の形態１では隔壁１３に不純ガスの吸着捕集機能を持たせたが、隔壁１３とは別にダミーの隔壁を設けて、そのダミーの隔壁に不純ガスの吸着捕集機能を持たせるようにしてもよく、その一例を図７に示す。図７（ａ）はＰＤＰの概略断面図、同図（ｂ）は背面ガラス基板１０の概略平面図であり、電極などを省略して示している。図７に示すように、前面ガラス基板３と背面ガラス基板１０とは周囲を封着材３０によって封止されており、背面ガラス基板１０上には放電空間を仕切る隔壁１３が設けられている。封着材３０と隔壁１３との間の背面ガラス基板１０上にはダミー隔壁３１を形成している。すなわち、ダミー隔壁３１は背面ガラス基板１０上の縁部に形成されている。ダミー隔壁３１以外の構成は図１を用いて説明したＰＤＰの構成と同様である。このダミー隔壁３１は、ゲッタ材料を含む溶液を含浸処理した無機材料を用いて形成されており、本発明の実施の形態１において隔壁１３を形成した方法と同様な材料および方法を用いて形成することができる。本発明の実施の形態１における隔壁１３の場合と同様にダミー隔壁３１はガス吸着体として作用する。図７の例では、ダミー隔壁３１はＰＤＰの長辺のほぼ全長に亘って形成されているため、パネル内部で発生する不純ガスの吸着捕集効果をＰＤＰ内の広範囲に亘って得ることができる。また、この場合、ＰＤＰの隔壁１３、蛍光体層１４、背面板誘電体層１２については、従来のＰＤＰに形成されたものと同じ材料を用いて形成してもよく、これらのうちの少なくともひとつを上記本発明の実施の形態１〜実施の形態３で示した材料および方法を用いて形成してもよい。
【００５６】
なお、上記本発明の実施の形態では、ＰＤＰにおける背面板２の構成要素を形成する際に、ゲッタ材料を含む溶液を含浸処理した無機材料を用いる方法について述べたが、前面板１の放電空間に曝される面に、この無機材料を用いて形成される部材を設けることによっても不純ガスの吸着捕集効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
以上のように本発明のＰＤＰの製造方法によれば、誘電体層、隔壁あるいは蛍光体層などを形成する際の無機材料中に、ゲッタ材料が非常に活性の高い状態で保持され、活性化処理をしなくても不純ガスを非常に高い効率で捕集できるガス吸着体を有するＰＤＰを得ることができ、放電特性に優れたＰＤＰを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの構成を示す分解斜視図
【図２】本発明の実施の形態１における隔壁材料にゲッタ材料を含浸させる場合のプロセスフロー図
【図３】（ａ）、（ｂ）は本発明の実施の形態１における無機材料粒子の内部構造を示す模式図
【図４】アルミナの結晶形態による細孔分布を示す模式図
【図５】本発明の実施の形態２における蛍光体材料にゲッタ材料を含浸させる場合のプロセスフロー図
【図６】プラズマディスプレイ装置を連続点灯した時の青色輝度の経時変化を示す特性図
【図７】（ａ）、（ｂ）は本発明の実施の形態１によるＰＤＰの他の一例を示す概略断面図および概略平面図
【図８】従来の排気管にゲッタ材料を設けたＰＤＰの一部断面図
【図９】従来の隔壁上部にゲッタ層を設けたＰＤＰの断面図
【符号の説明】
【００５９】
１    前面板
２    背面板
３    前面ガラス基板
４    透明電極
５    バス電極
６    表示電極
７    遮光層
８    誘電体層
９    保護膜
１０    背面ガラス基板
１１    アドレス電極
１２    背面板誘電体層
１３    隔壁
１４    蛍光体層
１５    放電空間
２０    無機材料粒子
２１    細孔
２２    外表面
２３    ゲッタ材料微粒子
３０    封着材
３１    ダミー隔壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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