(57)【要約】【課題】不透明帯電泳動粒子を電気信号で移動させて、撮像素子に入射する光量を調節する電気泳動光量調整素子を提供する。【解決手段】２枚の透明基板間に不透明帯電泳動粒子を含んだ電気泳動液を充填した電気泳動光量調整素子において、少なくとも１つの基板上に複数の電極からなる電極群を少なくとも１つ以上配置し、複数の電極群の場合は周期的に配置して駆動することによって、前記帯電泳動粒子を移動させて、素子の透過光量を適宜変化させる光量調整素子を形成する。【選択図】　　　図１
2004061834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
実質的に透明な第一基板と、該第一基板に間隙支持体を介して対向して配置された実質的に透明な第二基板と、前記両基板の少なくとも一方の対向面側に形成された複数の電極と、前記両基板間に充填された透明絶縁性液体と複数の不透明帯電泳動粒子からなる電気泳動液とを含む電気泳動光量調整素子であって、
前記電極のうち３以上の電極で一電極群を形成し、少なくとも１つ以上の電極群を備えたことを特徴とする電気泳動光量調整素子。
【請求項２】
前記電極群が複数かつ周期的に配置された電極構成を有している電気泳動光量調整素子であって、各電極群中の電極が他の電極群中の相対応する電極と電気的に結線されていることを特徴とする請求項１記載の電気泳動光量調整素子。
【請求項３】
請求項１記載の電気泳動光量調整素子の駆動方法であって、駆動用の電気信号を前記一電極群を形成している電極中の、第１電極、第２電極、・・第ｎ電極（ｎは整数）の順に時系列に順次印加して、前記不透明帯電泳動粒子を移動させることにより素子の透過光量を調節することを特徴とする電気泳動光量調整素子の駆動方法。
【請求項４】
請求項１記載の電気泳動光量調整素子の駆動方法であって、前記一電極群を形成している電極中の、第１電極、第２電極、・・第ｎ電極（ｎは整数）に位相の異なる電気信号を同時に入力して、前記不透明帯電泳動粒子を移動させることにより素子の透過光量を調節することを特徴とする電気泳動光量調整素子の駆動方法。
【請求項５】
前記電気信号の大きさを徐々に増減させて前記不透明帯電泳動粒子を移動させることを特徴とする請求項２乃至３記載の電気泳動光量調整素子の駆動方法。
【請求項６】
前記電気泳動調光素子が非透光性領域と透光性領域からなり、前記非透光性領域に前記不透明帯電泳動粒子を集合させたときは前記透光性領域が透過状態となり、前記透光性領域の一部もしくは全部に前記不透明帯電泳動粒子を分散させたときに半透光状態もしくは非透過状態になることを特徴とする請求項１記載の電気泳動光量調整素子。
【請求項７】
少なくとも前記非透光性領域が、不透明な遮光性部材により形成されていることを特徴とする請求項１記載の電気泳動光量調整素子。
【請求項８】
前記電極の配置方法が、各基板上に２層に渡って形成されていることを特徴とする請求項１記載の電気泳動光量調整素子。
【請求項９】
前記電極郡の各電極のパターンが環状であり、その平面配置がそれぞれ半径を異にする同心円状に配置されていることを特徴とする請求項１記載の電気泳動光量調整素子。
【請求項１０】
前記電極郡の各電極のパターンが帯状であり、その平面配置が電気泳動光量調整素子の中心より遠心方向に対して０度より大きい角度で配置されていることを特徴とする請求項１記載の電気泳動光量調整素子。
【請求項１１】
電気泳動光量調整素子の遠心方向と電極との成す角が素子の中心からの距離に依存して変化することを特徴とする請求項９記載の電気泳動光量調整素子。
【請求項１２】
前記電極群に異なる２つの電圧をそれぞれ少なくとも１つ以上の前記電極に印加し、かつ該電圧を交互に入れ替えることを特徴とする請求項２乃至３記載の電気泳動光量調整素子の駆動方法。
【請求項１３】
前記不透明帯電泳動粒子にかかる実効的な電界強度を徐々に低下させて、前記電極群に含まれる全ての電極の印加電圧を同じにすることを特徴とする請求項２乃至３記載の電気泳動光量調整素子の駆動方法
【請求項１４】
前記電極群に駆動電圧を印加する駆動回路と、請求項１記載の電気泳動光量調整素子、該素子を透過する光量を測定する光量測定手段とを備え、該光量測定手段の出力に応じて前記駆動回路からの駆動電圧を可変することを特徴とする請求項１記載の光量調整装置。
【請求項１５】
光路中にレンズおよび撮像素子および請求項１記載の電気泳動光量調整素子を適宜配置したことを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はレンズの光軸上に備え、光量に応じ透過率が変化する光量調整素子とその駆動方法、駆動装置およびこれを用いた装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
透過率の異なるフィルタを選択的に光軸上に出し入れして、自動的に光量調整を行うビデオ、カメラ用交換レンズの光量調整装置が特開平０５−０４０２９３に開示されている。係る発明は、透過率の異なる複数のフィルタを保持したフィルタ保持体を鏡筒内に設け、この鏡筒を組み付けたカメラ本体からの情報により前記フィルタ保持体を駆動して適正な光量がえられるように光軸上のフィルタを選択交換する駆動源とを備え、カメラ本体の電源が投入されて撮影待機状態になるときはフィルタ本体を駆動して光量調整動作を行い、カメラ本体が録画状態になったときは光量調整動作を規制する構成とした光量調整装置である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平０５−０４０２９３で開示された光量調整装置は
・複数のフィルタとアクチュエーターを保持することから小型化が困難である。・フィルタによる透過率が不連続に変化するため、動画などの撮影中の切替が困難である。もしくは切り替えた場合に不自然な画像となる懸念がある。
といった問題点を抱えている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、以上述べたように問題点を解析し、上記の問題は透過光量を無段階で変化できる素子を１つ備えることで改善できることを見出した。そこで、本発明の目的は、上記の従来技術の問題点を改善し、不透明帯電泳動粒子を電気信号で移動させて透過光量状態を変化させる電気泳動光量調整素子を提供することにある。
【０００５】
本発明の第１は、実質的に透明な第一基板と、該第一基板に間隙支持体を介して対向して配置された実質的に透明な第二基板と、前記両基板の少なくとも一方の対向面側に形成された複数の電極と、前記両基板間に充填された透明絶縁性液体と複数の不透明帯電泳動粒子からなる電気泳動液とを含む電気泳動光量調整素子であって、
前記電極のうち３以上の電極で一電極群を形成した少なくとも１つ以上の電極群を備えたことを特徴とする電気泳動光量調整素子である。
【０００６】
また、本発明の第２は該素子の駆動方法として、
請求項１記載の電気泳動光量調整素子の駆動方法であって、駆動用の電気信号を前記一電極群を形成している電極中の、第１電極、第２電極、・・第ｎ電極（ｎは整数）の順に時系列に順次印加して、前記不透明帯電泳動粒子を移動させることにより素子の透過光量を調節することを特徴とする電気泳動光量調整素子の駆動方法である。
【０００７】
また本発明の第３は、前記電気泳動調光素子が非透光性領域と透光性領域からなり、前記非透光性領域に前記不透明帯電泳動粒子を集合させたときは前記透光性領域が透過状態となり、前記透光性領域に前記不透明帯電泳動粒子を分散させたときに非透過状態になることを特徴とする電気泳動光量調整素子である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施態様について順に説明する。
【０００９】
図１に本発明の代表的な断面構成図を、図７に本発明の代表的な平面図を示す。第一基板１上には第１電極７と第３電極９が配置されており、絶縁部３を挟んで第２電極８と第４電極１０が配置されている。この場合、第１、第２、第３及び第４電極の４電極によって１つの電極群が構成されており、図７に示すように２つの電極群が存在し、各電極が周期的に配列している。さらにその上に間隙支持体４を挟んで第二基板２が配置されている。
【００１０】
第一基板１と第二基板２と間隙支持体４によって作られる空間には透明な絶縁性液体６が充填され、その絶縁性液体６中に電界印加によって泳動する不透明帯電泳動粒子５が分散されている。第１電極７、第２電極８、第３電極９、第４電極１０の平面パターンは環状であり、それを同心円状に配置している。図中にそれぞれ４本ずつ配置された第１電極７、第２電極８、第３電極９、第４電極１０は、それぞれの電極同士が外部で結線され、電気的に接続されている。
【００１１】
第一基板、第二基板は、実質的に光学的に透明である。なお、本発明において、実質的に透明であるとは、光透過率が可視光域（波長４００−７００ｎｍ）或は変調しようとする波長領域において、７０％以上、好ましくは８０％以上、より好ましくは９０％以上であることを意味する。
【００１２】
透明な電極のうち１つの電極群を形成する電極数は、３つ以上ならいくらでも良い。また上記電極群が１つであり、その中の電極数が３の場合を図２に示す。さらにこの電極数は、３電極以上あれば良く、かつ電極群数が複数あり、その電極パターンが周期的に配置されている場合が好ましい。この場合電極上に浮遊する不透明帯電泳動粒子を、一方の電極から他方の電極へ搬送することが可能であり、電極数が３を下回ると動作が不完全となる。
【００１３】
ここで云う周期的とはこの電極群数をＮとすると、第１電極７の平面方向の隣に第２電極８を配置し、その第２電極８の平面方向の隣に第３電極９を配置し、・・・、順次に第ｎ電極の平面方向の隣に再度第１電極７を配置する構成を指す。ただし、電極群数が１つの場合は、第１電極７の平面方向の隣に第２電極８を配置し、その第２電極８の平面方向の隣に第３電極９を配置する構成に従って第ｎ電極までを配置すればよい。また、各電極群に含まれる電極数はすべて等しくなくても良い。ｎを２以上の整数とすると、１電極群の最後の第ｎ電極の隣に、次の電極群に属する第１電極が配置されていれば良い。
【００１４】
電極は一方の基板のみに配置しても良いが両方の基板に配置しても良い。すくなくとも各電極は基板の対向面側に配置し平面方向にずらした位置に配置すればよい。電極は全面を覆うようにに配置するのが好ましいが（図１、図４）、その限りではない。全面を覆ってもいいし覆わなくても良い。つまり電極間に隙間があってよい（図２、図５）。さらには電極同士が一部重複していて配置されても良い（図３）。電極に透明電極を用いるのは好ましい構成だが、電極が全面を覆わない場合は透明電極でなくても良い。電極が全面を覆う場合には少なくとも一部の電極が透明であれば良い。
【００１５】
不透明帯電泳動粒子５は電極に印加された電圧により発生する電場に依存して泳動する。例えば不透明帯電泳動粒子５が正に帯電している場合、不透明帯電泳動粒子５は最も低い電圧が印加された電極近傍に集まる。最も低い電圧を印加する電極を第１電極７、第２電極８・・・と替えると不透明帯電泳動粒子５は第１電極７に集まった後、第２電極８に集まる。これを繰り返すことで不透明帯電泳同粒子５を電気泳動光量調整素子２１内で移動可能となり、不透明帯電泳同粒子５を凝集分散させ電気泳動光量調整素子２１の透過光量を調整できる。また、不透明帯電泳動粒子５を逆方向へ移動させる場合には図１２に示すように印加電圧の位相を逆にすればよい。
【００１６】
駆動電圧の波形は特に限定しない。矩形波（図１０）、正弦波、三角波などどのようの駆動波形でも良い。各電極に印加する駆動波形の位相差も特に限定しないが、均等な位相差をもって入力するのが好ましい（図１１）。例えば電極群数がｎ個の場合、各電極間の位相差は２π／ｎとなる。
【００１７】
不透明帯電泳動粒子５の駆動方法として、実効的な電界強度を徐々に増減させることは良い駆動方法の一つである（図１３）。各電極に印加する電圧の入力波形は正弦波、矩形波などを位相をずらして入力すればよいが、それよりも低い周波数で電圧を増減させて入力しても良い。本素子は第１電極７から第２電極８、第２電極８から第３電極９、第３電極９から・・・と不透明帯電泳動粒子５を移動させて駆動するが、その第１電極７から第２電極８へ移動させる電圧と第２電極８から第３電極９へ移動させる電圧を僅かに変えることで粒子の搬送量を変化させ、粒子を均一に分散可能となる。例えば電圧を以下の式で与えられる値にして入力する駆動方法は１つの例である。
【００１８】
【外１】
2004061834.tif 000003
【００１９】
（但しｆ：周波数、ｔ：時間、ｎ：電極群の番号、Ｎ：電極群数、α：−１以上１以下の実数）
または図１３に示すように駆動電圧の高さを徐々に低下もしくは増加させるサイクルを繰り返しても良い。
【００２０】
電気泳動調光素子２１の一部に不透明帯電泳動粒子５を集合させて透光状態をなし（図１），電気泳動調光素子２１全体に不透明帯電泳動粒子５を分散させて半透光状態を成す（図２）のは良い駆動方法の１つである。透光状態をなす際に不透明帯電泳動粒子５を集合させる場所は素子内であればどこでも良い。素子中央に集めても良いし、素子周辺部に集めても良い（図１）。または１つ以上の電極群上に集めても良い。
【００２１】
電気泳動調光素子２１の一部に不透明な遮光部１１を備える構成は好ましい構成の１つである（図４、図５、図８、図９）。遮光部１１の構成は特に限定しない。一部が透明で一部が不透明な基板（図３）もしくは不透明な基板に穴をあけたもの（図４、図５）を第一基板１もしくは第二基板２の上に設けてもよいし、第一基板１もしくは第二基板２を不透明に着色しても良い。または一部が不透明な基板を第一基板１もしくは第二基板２に用いても良い。または、不透明の電極材料で電極を作成し遮光部１１としても良い。
【００２２】
遮光領域も特に限定しない。素子中央でもよいし、周辺部分（図８、図９）でも良い。一部を不透明材料で作成した電極を遮光部分としても良い。
【００２３】
遮光部１に不透明帯電泳動粒子５を搬送して透光状態をなし、開口部１２の一部もしくは全部に粒子を搬送して、半透光状態を成す方法は好ましい駆動方法の１つである。遮光部１１に不透明帯電泳動粒子５を集めることで透光状態の透過率が一定になる。また不透明帯電泳動粒子５を開口部１２の全部に分散して半透光状態をなしてもよいし（図８）、開口部１２の一部に移動させて一部透光部分を残して半透光状態にする（図９）のも良い駆動方法である。不透明な電極と一部の透明な電極上に粒子を移動させて半透光状態をなすのも良い駆動方法である。
【００２４】
絶縁部３を介して配置される電極層を２電極層以上備え、２つ以上でかつ全電極群数の半数以下の電極群を１つの電極層に配置することは好ましい構成の１つである。図２に示すように、電極間には絶縁部３もしくは電極間に隙間を作るなど、少なくとも絶縁を保つ部分が必要である。電極を全面に配置する場合、電極層を２つ以上備えかつ全電極群数の半数以下の電極群を１つの電極層に配置することで電極間の隙間の無い構成が可能となる（図１）。また、１つの電極層に２つ以上の電極群を配置することで電極層数を減少でき、製造が容易となる。好ましい構成としては２電極群を備えた電極層を第一基板１および第二基板２に１電極層ずつ（図３）もしくは２電極層ずつ（図４）を備える構成である。
【００２５】
図７は、電極の形状が径の異なる環状で、それぞれの電極を同心に配置する構成は好ましい構成の１つである。電極の太さは特に限定しない。全ての電極で同じでもよいし、例えば電極の径に依存して変化しても良い。また、電極は完全な環でなくても良く、配線をするために環の一部を切断して配線を配置しても良い。環状の電極の最内部に配置される電極は必ずしも環状でなくても良く、例えば円の様に、その電極の内部を電極領域として含んでも良い。
【００２６】
図６は、帯状の電極を配置し、その一部もしくは全部を素子の遠心方向に対して０度でない角度を持って配置する構成は好ましい構成の一つである。電極が遠心方向に対して０度でない角度で配置されることで不透明帯電泳動粒子５を遠心方向と円周方向に同時に搬送することができ、素子内の不透明帯電泳動粒子５の分布濃度を均一化できる。電極と遠心方向の成す角度は特に限定しない。一定でもよいし、素子中心からの距離に依存して変化しても良い。また電極の幅も特に限定しない。一定でもよいし、図６のように素子中心からの距離に依存して変化しても良い。
【００２７】
不透明帯電泳動粒子５を所望の領域に移動させた後に、異なる２つの電圧をそれぞれ１つ以上の電極群に印加し、かつ電圧を交互に入れ替える方法は良い駆動方法の一つである。さらに、不透明帯電泳動粒子５にかかる実効的な電界強度を徐々に低下させて、電極の印加電圧を同じにする駆動方法も好ましい駆動方法である。これらの駆動方法により不透明帯電泳動粒子の分布が均一になり、透過率制御が容易となる。
【００２８】
本素子を用いた好ましい撮像素子の例を図１４に示す。各電極群に所望の電圧を印加する駆動回路２３と素子を通過する光量を測定する光量測定手段２２を備えている。光量測定手段２２はどのようなものでも良い。例えば電荷結合素子などの撮像素子３６を光量測定手段２２に用いて、その出力に依存して適切な透過率になるように駆動回路２３により電気泳動光量調整素子２１を制御すればよい。
【００２９】
またこの電気泳動光量調整素子３５の適用方法は特に限定しないが、レンズ装置３３、撮像モジュール３２、および撮像装置３１などに適用するのは良い適用方法である。一例を図１５に示す。
【００３０】
また本発明の電気泳動光量調整素子は、レンズと撮像素子などの光学部品の光軸上に配置すればその配置方法について特に限定しない。この一例を図１６に示すが、本発明の電気泳動光量調整素子１６５をレンズ装置１６４の絞り位置に対応した場所に配置した例（図１６−ａ）、もしくはレンズ１６４の前面に配置する構成（図１６−ｂ）は好ましい構成例である。
【００３１】
レンズ装置を構成するレンズの枚数は特に限定しない。複数枚で構成しても良いし、１枚でもよい。少なくとも撮像素子に入射する光量を変化させることが出来て、かつ結像面で所望の像が得られればよく、どの位置に配置してもよい。これによってよって結像面に撮像素子１６６を配置することによって、入射光の光量を調節することが可能になる。
【００３２】
【実施例】
以下、実施例に従って本発明を説明する。
【００３３】
（実施例１）
本実施例では、図１に示す断面構成で、図７に示す平面構成の素子を作製し駆動を行った。
【００３４】
作製した素子の大きさは直径１ｍｍ、厚さ０．５３ｍｍである。まず、第一基板１として厚さ０．２ｍｍのガラスにＩＴＯを低温成膜し、フォトリソグラフィー及びエッチングにより図に示す形状にパターニングした。続いて、絶縁部としてＳｉＯ２を製膜し、その上にＩＴＯを低温成膜し、フォトリソグラフィー及びエッチングにより図に示す形状にパターニングした。また、同様に絶縁部としてＳｉＯ２を製膜した。この上に、間隙支持体４を形成した。間隙支持体４は、光感光性エポキシ樹脂を塗布した後、露光及びウエット現像を行うことによって形成し、３０μｍの高さとした。形成された空間内に絶縁性液体６及び不透明帯電泳動粒子５を充填した。絶縁性液体６としては、イソパラフィンを使用した。不透明帯電泳動粒子５としては、ポリスチレンとカーボンの混合物で、平均粒径２μｍ位のものを使用した。イソパラフィン中での不透明帯電泳動粒子５は正帯電極性を示した。次に、第２基板２として厚さ０．２ｍｍのガラスを位置合わせを行ないながら第一基板１上に置き、素子周辺部を接着剤により張り合わせた。
【００３５】
これに駆動装置２３を接続して駆動を行った。まず、図１１に示す波形により素子を駆動させたところ、素子全体に分散していた不透明帯電泳動粒子５は素子中央に搬送され透光状態となった。駆動電圧は１０Ｖである。また、図１２に示す波形により素子を駆動させたところ、素子中央に分散していた不透明帯電泳動粒子５は素子周辺に搬送され透光状態となった。駆動電圧は同様に１０Ｖである。
【００３６】
また、図１３に示す波形により素子を駆動させたところ、素子周辺に分散していた不透明帯電泳動粒子５は素子全体に分散され半透光光状態となった。駆動電圧は最高１０Ｖである。また第１電極７と第３電極９、第２電極８と第４電極１０をそれぞれ同電位として、一方に５Ｖ他方に−５Ｖを交互に印加したところ不透明帯電泳動粒子５は均一に分散した。さらに、電圧を緩やかに小さくして全ての電極を０Ｖにしたところより均一に分散した。
【００３７】
この駆動装置に光量測定手段２２を接続し、その光量測定手段２２の出力に依存して上記駆動電圧を選択して印加したところ、電気泳動光量調整素子２１を透過する光量を一定に保つことができた。また、本素子を撮像装置３１に取り付けて駆動させたところ、明所から暗所まで良好な画像を得ることができた。
【００３８】
（実施例２）
本実施例では、図５に示す断面構成で、図６に示す平面構成の素子を作製し駆動を行った。
【００３９】
作製した素子の大きさは直径１ｍｍ、厚さ０．５３ｍｍである。まず、第一基板１として厚さ０．２ｍｍのガラスにＩＴＯを低温成膜し、フォトリソグラフィー及びエッチングにより図に示す形状にパターニングした。続いて、絶縁部としてＳｉＯ２を製膜した。この上に、間隙支持体４を形成した。間隙支持体４は、光感光性エポキシ樹脂を塗布した後、露光及びウエット現像を行うことによって形成し、３０μｍの高さとした。形成された空間内に絶縁性液体６及び不透明帯電泳動粒子５を充填した。絶縁性液体６としては、イソパラフィンを使用した。不透明帯電泳動粒子５としては、ポリスチレンとカーボンの混合物で、平均粒径２μｍ位のものを使用した。イソパラフィン中での不透明帯電泳動粒子５は正帯電極性を示した。次に、第２基板２として厚さ０．２ｍｍのガラスを位置合わせを行ないながら第一基板１上に置き、素子周辺部を接着剤により張り合わせた。その上に直径０．７ｍｍの穴をあけた不透明な基板を配置して遮光部とした。
【００４０】
これに駆動装置２３を接続して駆動を行った。まず、図１２に示す波形により素子を駆動させたところ、素子全体に分散していた不透明帯電泳動粒子５は素子周辺に搬送され透光状態となった。駆動電圧は１０Ｖである。また、図１３に示す波形により素子を駆動させたところ、素子周辺に分散していた不透明帯電泳動粒子５は素子全体に分散され半透光光状態となった（図８）。駆動電圧は最高１０Ｖである。また、図１１に示す波形により素子を駆動させたところ、素子全体に分散していた不透明帯電泳動粒子５は素子中央に搬送され半透光状態となった（図９）。駆動電圧は同様に１０Ｖである。また第１電極７と第３電極９、第２電極８と第４電極１０をそれぞれ同電位として、一方に５Ｖ他方に−５Ｖを交互に印加したところ不透明帯電泳動粒子５は均一に分散した。さらに、電圧を緩やかに小さくして全ての電極を０Ｖにしたところより均一に分散した。
【００４１】
この駆動装置に光量測定手段２２を接続し、その光量測定手段２２の出力に依存して上記駆動電圧を選択して印加したところ、電気泳動光量調整素子２１を透過する光量を一定に保つことができた。また、本素子を撮像モジュール３２に取り付けて駆動させたところ、明所から暗所まで良好な画像を得ることができた。
【００４２】
【発明の効果】
以上、詳細に述べたように、本発明によって次のような効果が得られた。
第一に、１つの素子で透過率が変化する電気泳動光量調整素子を提供した。これによりこれまで小型化が困難であったレンズ装置、撮像モジュール、撮像装置を大幅に小型化できた。
【００４３】
第二に、無段階で透過率を変化できることから動画の撮影中にも透過率を変えることができ、より良好な動画像の撮影が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な断面図の一例を示す。
【図２】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な断面図の一例を示す。
【図３】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な断面図の一例を示す。
【図４】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な断面図の一例を示す。
【図５】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な断面図の一例を示す。
【図６】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な平面図の一例を示す。
【図７】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な平面図の一例を示す。
【図８】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な平面図の一例を示す。
【図９】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な平面図の一例を示す。
【図１０】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な駆動方法の一例を示す。
【図１１】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な駆動方法の一例を示す。
【図１２】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な駆動方法の一例を示す。
【図１３】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な駆動方法の一例を示す。
【図１４】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な適用方法の一例を示す。
【図１５】本発明の電気泳動光量調整素子の代表的な適用方法の一例を示す。
【図１６】本発明の電気泳動光量調整素子を用いた撮像装置の一例を示す図である。
【符号の説明】
１　第一基板
２　第二基板
３　絶縁部
４　間隙支持体
５　不透明帯電泳動粒子
６　絶縁性液体
７　第１電極
８　第２電極
９　第３電極
１０　第４電極
１１　遮光部
１２　開口部
２１　電気泳動光量調整素子
２２　光量測定手段
２３　駆動装置
３１　撮像装置
３２　撮像モジュール
３３　レンズ装置
３４　レンズ
３５　電気泳動光量調整素子
３６　撮像素子
３７　撮像素子駆動装置
３８　駆動装置
３９　記憶装置
【図１】
2004061834.tif 000004
【図２】
2004061834.tif 000005
【図３】
2004061834.tif 000006
【図４】
2004061834.tif 000007
【図５】
2004061834.tif 000008
【図６】
2004061834.tif 000009
【図７】
2004061834.tif 000010
【図８】
2004061834.tif 000011
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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