(57)【要約】【課題】液状体充填処理に用いる装置やクリーニング装置によって静電気が発生するのを防止した、液状体の吐出装置と液状体の吐出方法、及び電子機器を提供する。【解決手段】基体上に液状体を吐出する吐出ヘッド３４を具備した液状体の吐出装置３０である。吐出ヘッド３４の吐出面を覆うノズルキャップ５１とこのノズルキャップ５１にチューブ５２を介して連結した吸引ポンプ５３とを有してなる液状体充填処理用装置５０と、この液状体充填処理用装置５０にイオン風を送るイオン発生手段３８と、を備えている。【選択図】    図３
2004160358.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体上に液状体を吐出する吐出ヘッドを具備した液状体の吐出装置において、
前記吐出ヘッドの吐出面を覆うノズルキャップとこのノズルキャップに連結した吸引手段とを有してなる液状体充填処理用装置と、
前記液状体充填処理用装置にイオン風を送るイオン発生手段と、を備えたことを特徴とする液状体の吐出装置。
【請求項２】
基体上に液状体を吐出する吐出ヘッドを具備した液状体の吐出装置において、
前記吐出ヘッドの吐出面をクリーニングするクリーニング装置と、
前記クリーニング装置にイオン風を送るイオン発生手段と、を備えたことを特徴とする液状体の吐出装置。
【請求項３】
液状体を吐出する吐出ヘッドを有した液状体の吐出装置により、基体に対して前記液状体を吐出する液状体の吐出方法において、
前記液状体の吐出に先立ち、前記吐出ヘッドの吐出面をノズルキャップで覆い、このノズルキャップを介して吸引手段で吸引することにより、吐出ヘッド内に液状体を強制的に流入させる液状体充填処理を行うとともに、この液状体充填処理の際に、前記ノズルキャップや吸引手段の少なくとも一部にイオン風を送ることを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項４】
液状体を吐出する吐出ヘッドを有した液状体の吐出装置により、基体に対して前記液状体を吐出する液状体の吐出方法において、
前記液状体の吐出に先立ち、前記吐出ヘッドの吐出面をクリーニング装置でクリーニング処理するとともに、このクリーニング処理の際に、前記クリーニング装置にイオン風を送ることを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項５】
請求項１又は２に記載の液状体の吐出装置、あるいは請求項３又は４記載の液状体の吐出方法によって構成要素の一部が形成されてなることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、吐出ヘッドへの液状体の充填処理に用いる装置やクリーニング装置によって静電気が発生するのを防止した、液状体の吐出装置と液状体の吐出方法、及び電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液状体材料としてのインクを吐出する吐出ヘッドを備えた吐出装置として、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタが知られている。
インクジェットプリンタに備えられるインクジェットヘッドは、通常、液状体を貯留するキャビティと、該キャビティに連通するノズルと、前記キャビティ内に貯留された液状体を前記ノズルより吐出させるための吐出手段とを有して構成されている。また、このような吐出ヘッドには液状体を貯留する液状体タンクが接続されており、これから吐出ヘッドに液状体が供給されるようになっている。
【０００３】
また、前記のインクジェットヘッドは、近年では吐出ヘッドとして、民生用のインクジェットプリンタだけでなく工業用の吐出装置、すなわち各種デバイスの構成要素を形成するための装置としても使用されるようになってきている。例えば、液晶装置などにおけるカラーフィルタ、有機ＥＬ装置における発光層や正孔注入層、さらには各種デバイスの金属配線、マイクロレンズなどについても、その形成のために吐出ヘッドが用いられるようになってきている。
【０００４】
ここで、前記インクジェットヘッドを液晶装置などのカラーフィルタの製造に用いた場合、特に基板がガラス製であることから帯電し易く、したがってこの帯電した領域にカラーフィルタ材料を吐出した際、吐出した液滴が所望の位置と異なる方向に着弾されてしまう、いわゆる飛行曲がりが生じることがある。
そこで、このような飛行曲がりを抑え、液滴の着弾位置ずれを防止したカラーフィルタの製造方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
ところで、一般に前記インクジェットヘッド（吐出ヘッド）では、気泡が混入するとその吐出性能が低下し、飛行曲がり（着弾位置ずれ）などが生じてしまう。そこで、従来では、特に吐出開始時、すなわち初期充填時などにおいて、液状体タンクから液状体を吐出ヘッド内に強制的に流入させ、これによって吐出ヘッド内やヘッド内までの経路内に存在していたガス（空気）や気泡を取り除く処理、すなわち液状体充填処理を行っている。
【０００６】
このような気泡を取り除くための液状体充填処理として、具体的には、吐出ヘッドの吐出面にノズルキャップを被着させ、このノズルキャップ、さらにこれに連結するチューブを介して吸引ポンプで吐出ヘッド内を吸引減圧することにより、液状体タンクから液状体を吐出ヘッド内に強制的に流入させるようにしている。なお、ノズルキャップについては、吐出ヘッドの吐出面が乾燥するのを防止するために装着させておくこともある。
また、このような吐出ヘッド内への液状体の流入を終了した後、通常は吐出ヘッドの吐出面が液状体で濡れることなどから、布・スポンジ等のワイピング材などを用いたクリーニング装置により、吐出ヘッドの吐出面を払拭するようにしている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１１−２８１８１０号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前記の気泡を取り除くための液状体充填処理では、吸引ポンプを作動させている間、あるいは吐出面にノズルキャップを被着させるためのノズルキャップ移動の際などに、吐出ヘッドそのものやこの吐出ヘッド内に充填された液状体、さらに吐出ヘッドに連結する液状体移送用のチューブに静電気を発生させてしまうことがある。
一方、前記のクリーニング装置においても、ワイピング材を吐出面に押しつけ、払拭するための動作により、吐出ヘッドに静電気を発生させてしまうことがある。
【０００９】
しかし、このように吐出ヘッド等に静電気を発生させてしまうと、吐出する液状体に飛行曲がり（着弾位置ずれ）が生じたり、吐出ヘッドの駆動素子が破壊されてしまうといった不都合がある。また、液状体を塗布するための基板（基体）に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等の易帯電性の構成要素が形成されている場合に、この構成要素が破壊されてしまうおそれもある。
【００１０】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、液状体充填処理に用いる装置やクリーニング装置によって静電気が発生するのを防止した、液状体の吐出装置と液状体の吐出方法、及び電子機器を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため本発明の液状体の吐出装置は、基体上に液状体を吐出する吐出ヘッドを具備した液状体の吐出装置において、前記吐出ヘッドの吐出面を覆うノズルキャップとこのノズルキャップに連結した吸引手段とを有してなる液状体充填処理用装置と、前記液状体充填処理用装置にイオン風を送るイオン発生手段と、を備えたことを特徴としている。
この液状体の吐出装置によれば、イオン発生手段によって液状体充填処理用装置にイオン風を送ることにより、吸引ポンプやノズルキャップなどに発生した静電気を中和することができ、したがって吐出ヘッドがノズルキャップを介して帯電し、破壊されてしまうなどの不都合が起こるのを防止することができる。
【００１２】
また、本発明の別の液状体の吐出装置は、基体上に液状体を吐出する吐出ヘッドを具備した液状体の吐出装置において、前記吐出ヘッドの吐出面をクリーニングするクリーニング装置と、前記クリーニング装置にイオン風を送るイオン発生手段と、を備えたことを特徴としている。
この液状体の吐出装置によれば、イオン発生手段によってクリーニング装置にイオン風を送ることにより、このクリーニング装置に発生した静電気を中和することができ、したがって吐出ヘッドがクリーニング装置を介して帯電し、破壊されてしまうなどの不都合が起こるのを防止することができる。
【００１３】
本発明の液状体の吐出方法は、液状体を吐出する吐出ヘッドを有した液状体の吐出装置により、基体に対して前記液状体を吐出する液状体の吐出方法において、前記液状体の吐出に先立ち、前記吐出ヘッドの吐出面をノズルキャップで覆い、このノズルキャップを介して吸引手段で吸引することにより、吐出ヘッド内に液状体を強制的に流入させる液状体充填処理を行うとともに、この液状体充填処理の際に、前記ノズルキャップや吸引手段の少なくとも一部にイオン風を送ることを特徴としている。
この液状体の吐出方法によれば、ノズルキャップや吸引手段の少なくとも一部にイオン風を送るようにしたので、吸引手段やノズルキャップなどに発生した静電気を中和することができ、したがって吐出ヘッドがノズルキャップを介して帯電し、破壊されてしまうなどの不都合が起こるのを防止することができる。
【００１４】
本発明の別の液状体の吐出方法は、液状体を吐出する吐出ヘッドを有した液状体の吐出装置により、基体に対して前記液状体を吐出する液状体の吐出方法において、前記液状体の吐出に先立ち、前記吐出ヘッドの吐出面をクリーニング装置でクリーニング処理するとともに、このクリーニング処理の際に、前記クリーニング装置にイオン風を送ることを特徴としている。
この液状体の吐出方法によれば、クリーニング装置にイオン風を送るようにしたので、このクリーニング装置に発生した静電気を中和することができ、したがって吐出ヘッドがクリーニング装置を介して帯電し、破壊されてしまうなどの不都合が起こるのを防止することができる。
【００１５】
本発明の電子機器では、前記の液状体の吐出装置、あるいは前記の液状体の吐出方法によって構成要素の一部が形成されてなることを特徴としている。
この電子機器によれば、構成要素の一部を形成する際に吐出ヘッドが静電破壊されてしまうなどの不都合が防止されているので、生産性の良好なものとなる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、本発明の液状体の吐出装置（以下、吐出装置と記す）の一実施形態を示す図であり、図１において符号３０は吐出装置である。この吐出装置３０は、ベース３１、基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３、吐出ヘッド３４、液状体タンク３５、イオン発生手段３８等を有して構成されたもので、吐出ヘッド３４より基板（基体）Ｓに対して液状体を吐出し、液状体を膜状に塗布するものである。なお、基板Ｓ、すなわち本発明における基体は、ガラス等の基板そのものでもよく、また、ガラス基板等の上に例えば薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）などの駆動素子や配線などからなる回路を形成したものであってもよい。
【００１７】
ベース３１は、その上に前記基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３を設置したものである。
基板移動手段３２は、Ｙ軸方向に沿ってガイドレール３６を有したもので、例えばリニアモータにより、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるようになっている。スライダ３７には、θ軸用のモータ（図示せず）が備えられている。このモータは、例えばダイレクトドライブモータからなるものであり、これのロータ（図示せず）はテーブル３９に固定されている。このような構成のもとに、モータに通電するとロータおよびテーブル３９は、θ方向に沿って回転し、テーブル３９をインデックス（回転割り出し）するようになっている。
【００１８】
テーブル３９は、基板Ｓを位置決めし、保持するものである。すなわち、このテーブル３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをテーブル３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、テーブル３９の位置決めピン（図示せず）により、テーブル３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。テーブル３９には、吐出ヘッド３４がインクを捨打ちあるいは試し打ちするための捨打ちエリア４１が設けられている。この捨打ちエリア４１は、本例ではＸ軸方向に延びて形成されたもので、テーブル３９の後端部側に設けられたものである。
【００１９】
ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、該走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向に吐出ヘッド３４を保持させるスライダ４２を移動可能に保持したものである。スライダ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これにより吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。
【００２０】
吐出ヘッド３４には、揺動位置決め手段としてのモータ４３、４４、４５、４６が接続されている。そして、モータ４３を作動させると、吐出ヘッド３４はＺ軸に沿って上下動し、Ｚ軸上での位置決めが可能になっている。なお、このＺ軸は、前記のＸ軸、Ｙ軸に対しそれぞれに直交する方向（上下方向）である。また、モータ４４を作動させると、吐出ヘッド３４は図１中のβ方向に沿って揺動し、位置決め可能になり、モータ４５を作動させると、吐出ヘッド３４はγ方向に揺動し、位置決め可能になり、モータ４６を作動させると、吐出ヘッド３４はα方向に揺動し、位置決め可能になる。
【００２１】
このように吐出ヘッド３４は、スライダ４２上において、Ｚ軸方向に直線移動して位置決め可能となり、かつ、α、β、γに沿って揺動し、位置決め可能となっている。したがって、吐出ヘッド３４のインク吐出面を、テーブル３９側の基板Ｓに対する位置あるいは姿勢を、正確にコントロールすることができるようになっている。
ここで、吐出ヘッド３４は、図２（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数のキャビティ１５…とリザーバ１６とが形成されており、これらキャビティ１５…とリザーバ１６とは流路１７を介して連通している。
【００２２】
各キャビティ１５とリザーバ１６の内部とは液状体で満たされるようになっており、これらの間の流路１７はリザーバ１６からキャビティ１５に液状体を供給する供給口として機能するようになっている。また、ノズルプレート１２には、キャビティ１５から液状体を噴射するための孔状のノズル１８が縦横に整列した状態で複数形成されている。一方、振動板１３には、リザーバ１６内に開口する孔１９が形成されており、この孔１９には液状体タンク３５がチューブ２４（図１参照）を介して接続されている。
【００２３】
また、振動板１３のキャビティ１５に向く面と反対の側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１、２１間に挟持され、通電により外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたもので、本発明における吐出手段として機能するものである。
【００２４】
このような構成のもとに圧電素子２０が接合された振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲し、これによりキャビティ１５の容積を増大させる。すると、キャビティ１５内とリザーバ１６内とが連通しており、リザーバ１６内に液状体が充填されている場合には、キャビティ１５内に増大した容積分に相当する液状体が、リザーバ１６から流路１７を介して流入する。
そして、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。よって、キャビティ１５も元の容積に戻ることから、キャビティ１５内部の液状体の圧力が上昇し、ノズル１８から液状体の液滴２２が吐出される。
【００２５】
なお、吐出ヘッドの吐出手段としては、前記の圧電素子（ピエゾ素子）２０を用いた電気機械変換体以外でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式や、帯電制御型、加圧振動型といった連続方式、静電吸引方式、さらにはレーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用で液状体を吐出させる方式を採用することもできる。
【００２６】
液状体タンク３５は、図１に示したように吐出ヘッド３４の近傍に配置されたもので、吐出によって形成する構成要素の液状材料（液状体）を貯留したものである。この液状体タンク３５には、その内部、あるいはその外側にヒータ（図示せず）が設けられている。このヒータは、貯留している液状体を加熱するためのもので、特に液状体が高粘性のものの場合などに、加熱することで粘度を低くし、液状体タンク３５から吐出ヘッド３４への液状体の流入を容易にできるようにしたものである。
【００２７】
また、本実施形態の吐出装置３０には、図３に示すように液状体充填処理用装置５０が備えられている。この液状体充填処理用装置５０は、吐出ヘッド３４の吐出面、すなわちノズル１８を形成した面に被着されるノズルキャップ５１と、このノズルキャップ５１に連結したチューブ５２と、このチューブ５２に連結した吸引ポンプ５３とから構成されている。
ノズルキャップ５１は、吐出ヘッド３４のノズル形成面に当接してこれを覆うパッド（図示せず）を有し、このパッドに形成された孔部（図示せず）に前記チューブ５２を連通させたものである。なお、パッドはゴムや軟質の合成樹脂などによって形成されており、これによって吐出ヘッド３４のノズル形成面に密着するようになっている。
【００２８】
吸引ポンプ５３は、真空ポンプやプロセスポンプからなるもので、チューブ５２およびノズルキャップ５１を介して吐出ヘッド３４内を吸引減圧することにより、液状体タンク３５から液状体を吐出ヘッド３４内に強制的に流入させるようにしている。なお、この吸引ポンプ５３にはタンク（図示せず）が接続されており、このタンクに吐出ヘッド３４を流れ出た液状体を回収するようになっている。ここで、本発明における吸引手段は、前記吸引ポンプ５３を含む構成であれば、吸引ポンプ５３単独で構成されていても、また吸引ポンプ５３と前記チューブ５２とを備えて構成されていてもよい。
【００２９】
さらに、本実施形態の吐出装置３０には、図４に示すようにクリーニング装置６０が備えられている。このクリーニング装置６０は、基台６１と、この基台６１上に設けられた一対のローラ６２、６２と、これらローラ６２、６２間に巻回されたワイピング材６３と、ローラ６２、６２を回転させるモータ（図示せず）とを備えて構成されたものである。基台６１には、これの上に設けられたローラ６２、６２を昇降させる昇降機構（図示せず）が設けられており、これによってローラ６２、６２間に巻回されたワイピング材６３は、吐出ヘッド３４の吐出面（ノズル形成面）に当接し、あるいはこれから離間するようになっている。ワイピング材６３は布やスポンジ等からなるもので、例えばアルコールを含浸した状態で吐出ヘッド３４の吐出面を払拭するように構成されている。
【００３０】
すなわち、このクリーニング装置６０は、ローラ６２、６２が回転することによってこれに巻回されたワイピング材５３が回転移動し、吐出ヘッド３４の吐出面を払拭するように構成されたものである。また、このクリーニング装置６０では、例えば一方のローラ６２側にてアルコールや他の溶剤からなるクリーニング剤をワイピング材６３に浸み込ませ、その状態でワイピング材に６３を他方のローラ６２側に回転移送することにより、このクリーニング剤を浸み込んだワイピング材６３で吐出ヘッド３４の吐出面を払拭・清掃するようになっている。
【００３１】
また、本発明の吐出装置３０では、前述したような液状体充填処理用装置５０やクリーニング装置６０に対して、イオン風を送るイオン発生手段３８が備えられている。イオン発生手段３８は、イオン風を発生させるもの、例えばイオナイザーやイオン送風機によって構成されたものである。ここで、イオン風とは、放電針先端でコロナ放電により生じたイオンに、空気やＮ２  を吹き付けてイオンの流れとしたものである。なお、本発明におけるイオン発生手段３８は、放電針を多数備えたことにより、十分な量のイオンを送ることができるようになっている。
【００３２】
また、イオン発生手段３８は、液状体充填処理用装置５０に対する場合には、図３に示したようにノズルキャップ５１、チューブ５２、吸引ポンプ５３のそれぞれに独立してイオン風を送ることができるよう、例えば３台のイオナイザー３８ａ‥を備えて構成されており、これによってノズルキャップ５１、チューブ５２、吸引ポンプ５３のそれぞれに確実にイオン風を送ることができるようになっている。ただし、本発明はこれに限定されることなく、例えば吐出ヘッド３４に直接接するノズルキャップ５１のみにイオン風を送るように構成するのが好ましい。
【００３３】
一方、クリーニング装置６０に対する場合には、図４に示したようにクリーニング装置６０にイオン風を送ることができるよう、例えば１台のイオナイザー３８ａがクリーニング装置６０の近傍に設けられている。ここで、前記の液状体充填処理用装置５０に対するイオン発生手段３８にあっても、またクリーニング装置６０に対するイオン発生手段３８にあっても、対象物に対して十分均等にイオン風を吹き付けることができるよう、これを移動させる移動手段に取り付けておき、この移動手段の動作によって液状体充填処理用装置５０やクリーニング装置６０の全体にイオン風を送れるようにしてもよい。
このようなイオン発生手段３８からのイオン風による除電は、液状体充填処理用装置５０、クリーニング装置６０に対してそれぞれ非接触であることから、これら装置に傷の発生やごみの付着をもたらすことがなく、極めて好ましい除電方法となる。
【００３４】
次に、このような構成の吐出装置３０の動作を基に、本発明の液状体の吐出方法の一例を説明する。
まず、吐出ヘッド３４からの基板Ｓへの液状体の吐出に先立ち、図３に示した液状体充填処理装置５０によって液状体タンク３５から液状体を吐出ヘッド３４内に強制的に流入させる。具体的には、従来と同様にして、吐出ヘッド３４の吐出面にノズルキャップ５１を被着させ、このノズルキャップ５１、さらにこれに連結するチューブ５２を介して吸引ポンプ５３で吐出ヘッド３４内を吸引減圧することにより、液状体タンク３５から液状体を吐出ヘッド３４内に強制的に流入させる。
【００３５】
このとき、イオン発生手段３８を構成するイオナイザー３８ａ‥により、ノズルキャップ５１、チューブ５２、吸引ポンプ５３のそれぞれに対してイオン風を送る。すると、液状体充填処理装置５０に発生した静電気がイオン風によって中和されることにより、ノズルキャップ５１を介して吐出ヘッド３４が帯電することが防止される。
【００３６】
このようにして吐出ヘッド３４内に液状体を強制的に流入させたら、液状体充填処理装置５０を除去した後、充填処理によって液状体で濡れた吐出ヘッド３４の吐出面を、図４に示したクリーニング装置６０によって払拭する。具体的には、ローラ６２、６２を回転させてこれらローラ６２、６２間に巻回されたワイピング材６３を回転移送するとともに、昇降機構（図示せず）によってローラ６２、６２を昇降させ、ローラ６２、６２間のワイピング材６３を吐出ヘッド３４の吐出面（ノズル形成面）に当接させることにより、このワイピング材６３によって吐出ヘッド３４の吐出面を払拭する。
【００３７】
このとき、先の液状体充填処理装置５０の場合と同様に、イオン発生手段３８（イオナイザー３８ａ）によってクリーニング装置６０に対してイオン風を送る。すると、クリーニング装置６０に発生した静電気がイオン風によって中和されることにより、ワイピング部材６３等を介して吐出ヘッド３４が帯電することが防止される。
【００３８】
このようにして液状体充填処理装置５０で吐出ヘッド３４への初期充填を行い、さらにクリーニング装置６０によって吐出ヘッド３４の吐出面の払拭処理を行ったら、クリーニング装置６０を除去した後、従来と同様にして吐出ヘッド３４から基板Ｓ上に液状体を吐出する。このとき、先に液状体充填処理装置５０やクリーニング装置６０に発生した静電気が中和されているので、これら静電気によって吐出ヘッド３４が帯電するのが防止されている。
【００３９】
したがって、本実施形態の液状体の吐出装置３０とこれによる液状体の吐出方法によれば、吐出ヘッド３４の帯電に起因して吐出する液状体に飛行曲がり（着弾位置ずれ）が生じたり、吐出ヘッド３４の駆動素子が破壊されてしまうといった不都合を防止することができる。また、液状体を吐出し塗布するための基板Ｓに薄膜トランジスタ等の易帯電性の構成要素が形成されている場合にも、この構成要素が静電破壊されてしまうことを防止することができる。
【００４０】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変更が可能であり、特に液状体充填処理装置５０やクリーニング装置６０の構成については、本発明の要旨を逸脱しない限り種々の変更が可能である。
【００４１】
次に、本発明の適用例として、有機ＥＬ装置の製造例について説明する。
図５は、前記吐出装置により一部の構成要素が製造された有機ＥＬ装置の側断面図であり、まずこの有機ＥＬ装置の概略構成を説明する。
図５に示すようにこの有機ＥＬ装置３０１は、基板３１１、回路素子部３２１、画素電極３３１、バンク部３４１、発光素子３５１、陰極３６１（対向電極）、および封止基板３７１から構成された有機ＥＬ素子３０２に、フレキシブル基板（図示略）の配線および駆動ＩＣ（図示略）を接続したものである。回路素子部３２１は、ＴＦＴ等からなるアクティブ素子が基板３１１上に形成され、複数の画素電極３３１が回路素子部３２１上に整列して構成されたものである。そして、各画素電極３３１間にはバンク部３４１が格子状に形成されており、バンク部３４１により生じた凹部開口３４４に、発光素子３５１が形成されている。陰極３６１は、バンク部３４１および発光素子３５１の上部全面に形成され、陰極３６１の上には封止用基板３７１が積層されている。
【００４２】
有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置３０１の製造プロセスは、バンク部３４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子３５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子３５１を形成する発光素子形成工程と、陰極３６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板３７１を陰極３６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
【００４３】
発光素子形成工程は、凹部開口３４４、すなわち画素電極３３１上に正孔注入層３５２および発光層３５３を形成することにより発光素子３５１を形成するもので、正孔注入層形成工程と発光層形成工程とを具備している。そして、正孔注入層形成工程は、正孔注入層３５２を形成するための第１組成物（液状体）を各画素電極３３１上に吐出する第１吐出工程と、吐出された第１組成物を乾燥させて正孔注入層３５２を形成する第１乾燥工程とを有し、発光層形成工程は、発光層３５３を形成するための第２組成物（液状体）を正孔注入層３５２の上に吐出する第２吐出工程と、吐出された第２組成物を乾燥させて発光層３５３を形成する第２乾燥工程とを有している。
【００４４】
この発光素子形成工程において、正孔注入層形成工程における第１吐出工程と、発光層形成工程における第２吐出工程とで、その前処理として、前記の吐出装置３０の液状体充填処理装置５０、およびクリーニング装置６０を用い、吐出ヘッド３４への各液状体の初期充填処理、さらに吐出ヘッド３４の吐出面の払拭処理を行っている。
【００４５】
この有機ＥＬ装置３０１の製造においても、各構成要素形成のための吐出に先立ち、予め帯電防止処理がなされている液状体充填処理装置５０、およびクリーニング装置６０によって各液状体の初期充填処理、さらに吐出ヘッド３４の吐出面の払拭処理を行っているので、吐出ヘッド３４の帯電に起因して吐出する液状体に飛行曲がり（着弾位置ずれ）が生じたり、吐出ヘッド３４の駆動素子が破壊されてしまうといった不都合を防止することができる。また、液状体を吐出し塗布するための基板３１１に形成された回路素子部３２１等を静電破壊してしまうといったことも防止することができる。
なお、本発明が適用されるデバイス、電子機器としては、前記のものに限定されることなく、例えば電気泳動装置や液晶表示装置、プラズマディスプレイ装置、各種半導体装置など種々のものの製造に適用可能である。
【００４６】
前記吐出装置によって一部の構成要素を形成した電子機器の一例を説明する。図６は、このような電子機器の一例としての携帯電話を示す斜視図である。図６において符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は前記の有機ＥＬ装置３０１を用いた表示部を示している。
図６に示した電子機器（携帯電話）は、前記の有機ＥＬ装置からなる表示部１００１を備えているので、特に表示部１００１の生産性が良好であり、かつその信頼性が高いものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の吐出装置の概略構成図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は吐出ヘッドの概略構成図である。
【図３】吐出装置に充填処理用装置が備えられた状態を示す図である。
【図４】吐出装置にクリーニング装置が備えられた状態を示す図である。
【図５】有機ＥＬ装置の側断面図である。
【図６】電子機器の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
３０…吐出装置、３４…吐出ヘッド、３８…イオン発生手段、
３８ａ…イオナイザー、５０…液状体充填処理用装置、
５１…ノズルキャップ、５２…チューブ、５３…吸引ポンプ、
６０…クリーンニング装置、Ｓ…基板（基体）、
１０００…携帯電話本体、１００１…表示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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