(57)【要約】【課題】積層するプレート１１〜１４の合わせ面に塗布した接着剤が加圧接合時に、外部にはみ出す接着剤の量を減少させて、周囲を汚さないようにする。【解決手段】最下層のプレート１４における拡大接着剤溜まり部４２の一部と平面視で重なる位置にその上層のプレート１３における空気逃がし孔３８を形成し、さらにそのプレート１３における拡大接着剤溜まり部４２の一部と平面視で重なる位置にその上層のプレート１２における空気逃がし孔３８を形成し、さらにそのプレート１２における拡大接着剤溜まり部４２の一部と平面視で重なる位置にその上層のプレート１１における空気逃がし孔３６を形成する場合、少なくとも上下に隣接する空気逃がし孔同士の軸線が横にずれて一致しないように設定するのである。【選択図】  図７
2004160874.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンの液体流路が少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層接着する構造において、
前記液体流路より外周位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝を凹み形成し、
該逃がし溝に対向する各薄板状部品には、該逃がし溝と連通し、且つ当該薄板状部品の厚さ方向に貫通する空気逃がし孔を穿設し、
前記各薄板状部品の空気逃がし孔を、相互に連通するように重ね配置するとともに、その一端において積層最外層における少なくとも一方の面から外方へ開口させ、
前記空気逃がし孔を前記逃がし溝の幅よりも大きく拡大形成し、かつ前記積層最外層における開口部よりも大きく形成した
ことを特徴とする薄板状部品の積層接着構造。
【請求項２】
所定のパターンの液体流路が少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層接着する構造において、
前記液体流路より外周位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝を凹み形成し、
該逃がし溝に対向する各薄板状部品には、該逃がし溝と連通し、且つ当該薄板状部品の厚さ方向に貫通する空気逃がし孔を穿設し、
前記各薄板状部品の空気逃がし孔を相互に連通させるとともに、その一端において積層最外層における少なくとも一方の面から外方へ開口させ、
前記空気逃がし孔近傍の前記逃がし溝の一部分に、該逃がし溝の幅を拡大して接着剤溜まり部を形成したことを特徴とする薄板状部品の接着構造。
【請求項３】
前記各薄板状部品における空気逃がし孔を、薄板状部品の積層方向に延びる軸線同士が食い違い状に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項４】
前記薄板状部品は、複数のノズルを備えたインクジェットプリンタヘッド用のプレートであり、前記液体流路は、インク供給源から、前記各ノズルへインクを通過させるためのインク流路であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の薄板状部品の積層接着構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタヘッドや電子部品等に使用される複数枚の薄板状部品を積層状にて接着固定する構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
先行技術のオンディマンド型のインクジェットプリンタヘッドにおいては、［特許文献１］の公報に記載されているように、キャビティユニットは、ノズルを列状に配置したノズルプレートと、この各ノズルごとの圧力室を備えたベースプレートと、その両プレートの間にあってインク供給源に接続され、且つ前記圧力室に連通するインク流路や、共通インク室（マニホールド室）を有する複数枚のプレートとを、接着剤を介して積層形成されており、このキャビティユニットの背面には、前記圧力室箇所に対応させて駆動用の圧電素子等の噴射圧力発生手段を固着したものである。
【０００３】
そして、前記先行技術では、前記積層する上下のプレート（薄板状部品）の少なくとも一方のプレートの片面には、前記インク流路やマニホールド室のより外周位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細長い逃がし溝を凹み形成する。さらに、前記逃がし溝に連通し、且つ各プレートの板厚を貫通する貫通孔（但し、積層最下層の貫通孔の底を封止する）を設けることにより、前記複数枚のプレートを接着剤を介して積層し、加圧接合したとき、塗布された接着剤中や隣接するプレートの合わせ面に紛れ込んだ空気（気泡）を前記逃がし溝及び貫通孔を介してキャビティユニットの外に排出できるようにする。また、前記塗布した接着剤の余分のものも合わせ面同士で加圧されるときに逃がし溝及び貫通孔を介してキャビティユニットの外に排出することができる。しかも、逃がし溝が各プレートの外周縁に開口していないので、前記塗布した接着剤の層がシール層を兼用したとき、前記インク流路等からキャビティユニット外へのインクの漏出を防止できるというものであった。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−９６４７８号公報（図７及び図８参照）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記接着剤の粘度が低い場合には、プレートの加圧接合作業時に、最上層のプレートの貫通孔から外に溢れ出し、加圧接合装置に接着剤が付着してしまうから、この溢れた接着剤の始末のために、余分の清掃作業を実行したりするメインテナンス作業を頻繁に行わなければならない。または、前記加圧接合作業に際して、接着剤付着防止のためのシートを加圧接合装置に敷設する等の余分の手間が掛かるという問題があった。
【０００６】
このような問題は、パターンが小さい電子部品の組み立ての際にも起こり得るものであった。
【０００７】
本発明は、このような問題を解消した薄板状部品の積層接着（固定）した構造を得ることを技術的課題とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため、請求項１に記載の発明の薄板状部品の積層接着構造は、所定のパターンの液体流路が少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層接着する構造において、前記液体流路より外周位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝を凹み形成し、該逃がし溝に対向する各薄板状部品には、該逃がし溝と連通し、且つ当該薄板状部品の厚さ方向に貫通する空気逃がし孔を穿設し、前記各薄板状部品の空気逃がし孔を、相互に連通するように重ね配置するとともに、その一端において積層最外層における少なくとも一方の面から外方へ開口させ、前記空気逃がし孔を前記逃がし溝の幅よりも大きく拡大形成し、かつ前記積層最外層における開口部よりも大きく形成したものである。
【０００９】
そして、請求項２に記載の発明は、所定のパターンの液体流路が少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層接着する構造において、前記液体流路より外周位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝を凹み形成し、該逃がし溝に対向する各薄板状部品には、該逃がし溝と連通し、且つ当該薄板状部品の厚さ方向に貫通する空気逃がし孔を穿設し、前記各薄板状部品の空気逃がし孔を相互に連通させるとともに、その一端において積層最外層における少なくとも一方の面から外方へ開口させ、前記空気逃がし孔近傍の前記逃がし溝の一部分に、該逃がし溝の幅を拡大して接着剤溜まり部を形成したものである。
【００１０】
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記各薄板状部品における空気逃がし孔を、薄板状部品の積層方向に延びる軸線同士が食い違い状に配置されているものである。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記薄板状部品は、複数のノズルを備えたインクジェットプリンタヘッド用のプレートであり、前記液体流路は、インク供給源から、前記各ノズルへインクを通過させるためのインク流路としたものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。図１〜図６は、本発明の第１の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。図１において、金属板製のキャビティユニット９に対して接合されるプレート型の圧電アクチュエータ２０の上面には、外部機器との接続のために、フレキシブルフラットケーブル４０が接着剤にて重ね接合されているものであり、最下層のキャビティユニット９の下面側に開口されたノズル１５から下向きにインクが噴射するものとする。
【００１３】
前記キャビティユニット９は、図２〜図４に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート１０、二枚のマニホールドプレート１１、１２、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の五枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構造であり、実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート１０を除き、各プレート１１、１２、１３、１４は、４２％ニッケル合金鋼板製で、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有する。前記ノズルプレート１０には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）のインク噴出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１０における第１の方向（長辺方向）に沿って２列の千鳥配列状に設けられている。即ち、ノズルプレート１０の前記第１の方向に延びる２つの平行状の基準線１０ａ、１０ｂに沿って、微小ピッチＰの間隔で千鳥状配列にて多数個のノズル１５が穿設されている。前記二枚のマニホールドプレート１１、１２には、外部のインク供給源からのインクを溜めた後、後述する圧力室１６にインクを供給するための共通インク室（マニホールド室）１２ａ、１２ｂが、前記ノズル１５の列の両側に沿って延びるように穿設されている。但し、ノズルプレート１０に対面する下側のマニホールドプレート１１における共通インク室１２ｂは、当該マニホールドプレート１２の上側にのみ開放するように凹み形成されている（図３及び図４参照）。この共通インク室１２ａ、１２ｂは、上側のマニホールドプレート１２に対する前記スペーサプレート１３の積層により密閉される構造になっている。
【００１４】
また、前記ベースプレート１４には、その長辺（前記第１の方向）に沿う中心線に対して直交する第２の方向（短辺方向）に延びる細幅の圧力室１６の多数個が穿設されている。そして、前記中心線を挟んで左右両側にて平行状の長手基準線１４ａ、１４ｂを設定すると、前記中心線より左側の圧力室１６の先端流路１６ａは前記右側の長手基準線１４ａ上に位置し、逆に前記長手中心線より右側の圧力室１６の先端流路１６ａは前記左側の長手基準線１４ｂ上に位置し、且つこの左右の圧力室１６の先端流路１６ａが交互に配置されているので、左右両側の圧力室１６は一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に配置されていることになる。
【００１５】
この各圧力室１６の先端流路１６ａは、前記ノズルプレート１０における前記千鳥状配列のノズル１５に、前記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレート１１、１２に同じく千鳥状配列にて穿設されているインク流路としての微小径の連通孔１７、１７、１７を介して連通している。一方、前記各圧力室１６の他端は、断面積の小さいインク流路としてのハーフエッチングされた細長い絞り部１６ｄを介して直径が大きい他端流路１６ｂに接続されており、他端流路１６ｂは、前記スペーサプレート１３における左右両側部位に穿設されたインク流路１８を介して、前記両マニホールドプレート１１、１２における共通インク室１２ａ、１２ｂに連通している。なお、前記他端流路１６ｂ及び細長の絞り部１６ｄは、図３及び図４に示すように、ベースプレート１４の下面側にのみ開口するようにハーフエッチングにて凹み形成されているものであり、前記他端流路１６ｂの直径は前記インク流路１８の直径とほぼ等しく形成する。絞り部１６ｄは圧電アクチュエータ２０が駆動されたときに、圧力室１６から共通インク室１２ａ、１２ｂへ向かうインクの圧力波を抑えるため、圧力室１６よりも断面が小さくなっている。
【００１６】
さらに、各圧力室１６の長手方向に中途部には、ベースプレート１４の板厚の半分程度の連設部１６ｃを設けることにより、多数並設された圧力室１６の側壁の剛性の低下を防止する。
【００１７】
また、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の一端に穿設された供給孔１９ａ、１９ｂは、相互に重なって前記共通インク室１２ａに連通している。そして、この供給孔１９ａの上面には、その上方のインクタンク（図示せず）から供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ２９が張設されている。
【００１８】
次に、キャビティユニット９を組み立てる方法について説明する。図９に示すように、４枚のリードフレーム１００ａ〜１００ｄを積層して接着固定するものであり、各リードフレーム１００ａ〜１００ｄには、所定のパターンが形成された薄板状の部品としてのマニホールドプレート１１、１２、スペーサプレート１３、ベースプレート１４が一定間隔にて連設配置されるものとする。即ち、最下層となるリードフレーム１００ｄには、前記実施形態におけるベースプレート１４を一定間隔にて配置するように形成されている。なお、左右の細長いフレーム枠１０２、１０２の間は適宜間隔でタイバー１０４に連結されている。同様に、下から第２層のリードフレーム１００ｃにはスペーサプレート１３が前記と同じ間隔で形成されている。下から第３層のリードフレーム１００ｂには、マニホールドプレート１２が前記と同じ間隔で形成されている。また、最上層のリードフレーム１００ａには他方のマニホールドプレート１１が前記と同じ間隔で形成されている。また、前記各リードフレーム１００ａ〜１００ｄにおけるフレーム枠１０２には適宜間隔にて位置決め孔１０５が形成されている。なお、各プレート１１、１２、１３、１４はフレーム枠１０２に対して微小幅の連設片１０６で連結されている。
【００１９】
これらのリードフレームを積層する場合、図２に示すように、キャビティユニット９の使用状態（下面側にインクのノズルが開口される状態）と同じになるようにノズルプレート１０を最下層に、べースプレート１４を最上層になるようにリードフレーム１００ａ〜１００ｄを積層するか、またはその上下が逆になるように、各プレート１０〜１４を配置して積層させてよい（図５参照）。これらのとき、図５、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すごとく、上下に隣接するプレートの相対向する面のうちの片面に接着剤用の細幅の逃がし溝３４、３５を凹み形成する。図５では最下層のベースプレート１４、下から第２層のスペーサプレート１３及び第３のマニホールドプレート１２の各々の片面に形成された接着剤用の逃がし溝３４、３５が上向きになるように配置されるものとする。
【００２０】
また、前記逃がし溝３４、３５に連通する位置であって、且つ積層する各プレート１２、１３の平坦面における上下の同じ位置には、各プレート１２、１３の板厚を貫通して互いに上下方向に連通するように空気逃がし孔３７、３８を穿設する。最上層のマニホールドプレート１１（またはベースプレート１４が最上層になるときにはベースプレート１４）には、空気逃がし孔３７、３８と連通する位置に開口部３６が板厚を貫通して形成され、外部に開口されている。また、最下層のベースプレート１４に形成される空気逃がし孔３６ａは前記逃がし溝３４（３５）とほぼ同じ深さ（板厚さの半分程度）で下面側には連通しない凹みとする（図５（ａ）及び図５（ｂ）参照）。
【００２１】
さらに、最上層のプレート１１と最下層のプレート１４とを除く中間層のプレート１２、１３における空気逃がし孔３７、３８の直径Ｄ２を少なくとも最上層のプレート１１における開口部３６の直径Ｄ１より大きく形成し、且つ逃がし溝３４、３５の幅よりも大きく形成することにより、積層時の接着剤４１が各プレート１１〜１４の合わせ面に沿って移動するときに、前記中間層における大径の空気逃がし孔３７、３８は、接着剤４１に混じった空気（気泡）の逃げ道を確保すると共に、各プレートの外周縁に接着剤４１が漏出しないための接着剤溜まり部となるようにするものである（図５（ｂ）参照）。
【００２２】
そして、リードフレーム１００ａ〜１００ｄのプレートの積層面に予め接着剤４１を塗布する。この接着剤４１の塗布方法の一つとしては、治具の平坦面に予め接着剤４１を薄く塗布しておき、この塗布面に前記リードフレーム１００ａ〜１００ｄのプレートの積層面を合わせることにより、例えば、ベースプレート１４における逃がし溝３４、３５、圧力室１６、他端流路１６ｂ、絞り部１６ｄ、空気逃がし孔３６ａ等の凹所以外の平坦な凸面に接着剤４１を転写することができる。接着剤４１を塗布したローラ面に前記プレートの積層面を押し当てて転写するようにしても良い。
【００２３】
次いで、位置決め孔１０５にピンを差し込み、最下層のリードフレーム１００ｄと最上層のリードフレーム１００ａとに挟持力または押圧力を作用させて、加圧し、接着固定するものである。
【００２４】
このようにして接着剤４１を転写した複数枚のリードフレームを押圧して、各プレート１１、１２、１３、１４の広幅面を接着固定するとき、余分の接着剤４１は前記逃がし溝３４、３５に流れ込み、次いで、さらに余分の接着剤４１は、図５（ｂ）に示すように、空気逃がし孔３６ａ、３７、３８を充満させる。このとき、前記隣接するプレート１１、１２、１３、１４の合わせ面（広幅面）や接着剤４１中に紛れ込んだ空気は、気泡となって前記横方向の逃がし溝３４、３５及び縦方向の空気逃がし孔３６ａ、３７、３８中の接着剤４１と共に移動して、開口部３６からプレートの外に排出される。その結果、前記隣接するプレート１１、１２、１３、１４の合わせ面（広幅面）に気泡を含まない層状に形成された接着剤４１によって安定した接着兼シール層を形成することができる。しかも、中間層における空気逃がし孔３７、３８の直径が開口部３６よりも大きい、即ち空気逃がし孔の空洞体積（容積）が大きいから、余分の接着剤４１が前記空気逃がし孔３７、３８内に溜まって、開口部３６からキャビティユニット９の外へ流れ出す接着剤４１の量を大幅に減少させることができる。
【００２５】
なお、最下層のプレート１４の空気逃がし溝３６ａも大径に形成しても良いが、逃がし溝３５から大径の空気逃がし孔３８に接着剤が流れ込むので、逃がし溝３５の幅と同じ径でも良い。
【００２６】
従って、最上層のプレートの開口部３６から外に溢れ出し、加圧接合装置に接着剤が付着してしまうことが少なくなり、その始末のために、余分の清掃作業を実行したりするメンテナンス作業を行う回数も少なくできる。また、前記加圧接合作業に際して、接着剤付着防止のためのシートを加圧接合装置に敷設する交換頻度も少なくできるという効果を奏する。
【００２７】
その後、最上層のマニホールドプレート１１の上面にて前記空気逃がし孔３６の箇所を接着剤等のシール剤３８にて封止すると、マニホールドプレート１１の上面が平滑な広幅面であり、この面でシールすることから、確実に前記シール剤にて塞ぐことができる。その結果、各プレート１１、１２、１３、１４におけるインク流路としての、共通インク室１２ａ、１２ｂ、連通孔１７、インク流路１８、並びに各圧力室１６や先端流路１６ａ、他端流路１６ｂ等からキャビティユニット９の外部へのインクの漏出が確実に防止できるのである。
【００２８】
なお、粘性の低い（液状の）接着剤４１がプレート（ベースプレート１４等を含む、以下同じ）の合わせ面のような狭い隙間を通る毛細管現象では、断面積の大きい箇所よりも毛細管力が大きい、断面積の小さい箇所の方に、先に接着剤４１が引き寄せられるから、インク流路としての他端流路１６ｂから圧力室１６に連通する前記絞り部１６ｄや連通孔１７、インク流路１８の各断面積よりも逃がし溝３４、３５の断面積を小さくなるように設定することで、プレートの合わせ面における接着剤４１が前記各インク流路よりも先に逃がし溝３４、３５を介して空洞体積（容積）が大きい中間層における空気逃がし孔３７、３８に接着剤４１を導き、インク流路が接着剤４１で塞がれるのを防止できるのである。
【００２９】
図７、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示す第２実施形態では、前記空気逃がし孔３７、３８の近傍の逃がし溝３５の一部分に、幅すなわち平面視の面積が拡大形成された拡大接着剤溜まり部４２を形成したものである。この拡大接着剤溜まり部４２は各プレート１２〜１４の板厚の略半分程度をハーフエッチングして凹み形成したものである。空気逃がし孔の直径は、拡大接着剤溜まり部４２の幅と同じであることが好ましいが、小さくても良い。前記接着剤４１による接合時の中間層での余分の接着剤４１が拡大接着剤溜まり部４２に溜まるので、キャビティユニット９の外へ流れ出す接着剤４１の量を大幅に減少させることができる。前記と同様のメンテナンス作業の頻度を少なくできる効果を奏する。
【００３０】
また、前記第２実施形態の変形例として、上下に隣接するプレートにおける空気逃がし孔３７、３８、３６の位置を互いにその軸線が一致しないように横にずらす（上下の空気逃がし孔のプレートの積層方向に延びる軸線同士が食い違うようにずらす）ものである。例えば、図７、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示す実施形態のように、最下層のプレート１４における拡大接着剤溜まり部４２の一部と平面視で重なる位置にその上層のプレート１３における空気逃がし孔３８を形成し、さらにそのプレート１３における拡大接着剤溜まり部４２の一部と平面視で重なる位置にその上層のプレート１２における空気逃がし孔３８を形成し、さらにそのプレート１２における拡大接着剤溜まり部４２の一部と平面視で重なる位置にその上層のプレート１１における空気逃がし孔３６を形成する場合、少なくとも上下に隣接する空気逃がし孔同士の軸線が横にずれて一致しないように設定するのである。
【００３１】
このように前記上下の空気逃がし孔の位置が横にずれていると、プレート１１〜１４の合わせ面に塗布された接着剤４１は、加圧接合時に逃がし溝３４、３５から拡大接着剤溜まり部４２に流れ込んで溜まり、次いで各プレートの上下方向に貫通する空気逃がし孔を介して、上層のプレート側に移動するというようにジグザグ状に接着剤４１が移動する。従って、粘性の小さい接着剤４１が一気に上層のプレート側に到達せず、各層における拡大接着剤溜まり部４２及び大径の空気逃がし孔３７（３８）に接着剤４１を確実に捕捉して、キャビティユニット９の外への接着剤４１のはみ出し量を少なくできる。
【００３２】
以上のようにして接着固定されたリードフレーム１００ａ〜１００ｄから連設片１０６が切断されて、一体化されたキャビティユニット９が取り外される。その後ノズルプレート１０を同じく接着剤にて固定する。このキャビティユニット９では、前記前記ベースプレート１４及びスペーサプレート１３の一端部に穿設の供給孔１９ａ，１９ｂから前記共通インク室１２ａ、１２ｂ内に流入したインクは、この共通インク室１２ａから前記各インク流路１８を通って前記各圧力室１６内に分配されたのち、この各圧力室１６内から前記連通孔１７、１７、１７を通って、当該圧力室１６に対応するノズル１５に至るという構成になっている。
【００３３】
一方、前記圧電アクチュエータ２０は、図１及び図４に示すように、複数枚の圧電シート２１を積層した構造で、特開平４−３４１８５３号公報に開示されたものと同様に、１枚の厚さが３０μｍ程度の各圧電シート２１のうち最下段の圧電シートとそれから上方へ数えて偶数番目の圧電シートの上面（広幅面）には、前記キャビティユニット９における各圧力室１６に対応した箇所ごとに細幅の個別電極（図示せず）が、第１の方向（長辺方向）に沿って列状に形成され、各個別電極は前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って各圧電シートの長辺の端縁部近傍まで延びている。下から奇数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、複数個の圧力室１６に対して共通のコモン電極（図示せず）が形成されており、最上段のトップシート２３の上面には、その長辺の端縁部に沿って、前記個別電極の各々に対して電気的に接続される表面電極３０と、前記各コモン電極に対して電気的に接続される表面電極３１とが、設けられている（図１参照）。
【００３４】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２０における下面（圧力室１６と対面する広幅面）全体に、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート４１ａを予め貼着し、次いで、前記キャビティユニット９に対して、当該圧電アクチュエータ２０が、その各個別電極を前記キャビティユニット９における各圧力室１６の各々に対応させて接着・固定される（図４参照）。また、この圧電アクチュエータ２０における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル４０が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル４０における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極３０、３１に電気的に接合される。
【００３５】
この構成において、前記圧電アクチュエータ２０における各個別電極２４のうち任意の個別電極と、コモン電極との間に電圧を印加することにより、圧電シート２１のうち前記電圧を印加した個別電極の部分に圧電による積層方向の歪みが発生し、この歪みにて前記各個別電極に対応する圧力室１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６内のインクが、ノズル１５から液滴状に噴出して、所定の印字が行われる（図４参照）。
【００３６】
前記各実施形態では、インクジェットヘッドの組み立てに適用したが、電子部品の組み立てに際しても複数枚のリードフレーム等の薄板状部品であって、液体流路が所定パターンで少なくとも片面に形成された薄板状部品が少なくとも一枚あるときの複数枚の薄板状部品の積層固定の構造に対して最適なものである。また、インクジェットヘッドに適用する場合、アクチュエータとして圧電素子以外に加熱素子を使用することもできる。
【００３７】
【発明の作用・効果】
以上に説明したように、請求項１に記載の発明の薄板状部品の積層接着構造は、所定のパターンの液体流路が少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層接着する構造において、前記液体流路より外周位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝を凹み形成し、該逃がし溝に対向する各薄板状部品には、該逃がし溝と連通し、且つ当該薄板状部品の厚さ方向に貫通する空気逃がし孔を穿設し、前記各薄板状部品の空気逃がし孔を、相互に連通するように重ね配置するとともに、その一端において積層最外層における少なくとも一方の面から外方へ開口させているから、薄板状部品の合わせ面（広幅面）や接着剤中に紛れ込んだ空気は、気泡となって前記合わせ面や横方向の逃がし溝及び縦方向の空気逃がし孔中の接着剤と共に移動して、薄板状部品の外に排出される。その結果、前記隣接する薄板状部品の合わせ面（広幅面）に層状に形成された接着剤の層によって、安定した接着兼シール層を形成することができる。
【００３８】
そして、本発明では、前記空気逃がし孔を前記逃がし溝の幅よりも大きく拡大形成し、かつ前記積層最外層における開口部よりも大きく形成したものであるから、空気逃がし孔の空洞体積（容積）が大きくなる。従って、余分の接着剤が前記空気逃がし孔内に溜まって、キャビティユニットの外へ流れ出す接着剤の量を大幅に減少させることができるので、最上層の薄板状部品の空気逃がし孔から外に溢れ出し、加圧接合装置に接着剤が付着してしまうことが少なくなり、その始末のために、余分の清掃作業を実行したりするメンテナンス作業を行う回数も少なくできる。また、前記加圧接合作業に際して、接着剤付着防止のためのシートを加圧接合装置に敷設する交換頻度も少なくできるという効果を奏する。
【００３９】
そして、請求項２に記載の発明は、薄板状部品の積層接着構造において、前記各薄板状部品の空気逃がし孔を相互に連通させるとともに、その一端において積層最外層における少なくとも一方の面から外方へ開口させ、前記空気逃がし孔近傍の前記逃がし溝の一部分に、該逃がし溝の幅を拡大して接着剤溜まり部を形成したものである。
【００４０】
従って、前記接着剤による接合時の中間層での余分の接着剤が、容積の拡大された接着剤溜まり部に溜まるので、キャビティユニットの外へ流れ出す接着剤の量を大幅に減少させることができる。請求項１の発明と同様のメンテナンス作業の頻度を少なくできる効果を奏する。
【００４１】
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記各薄板状部品における空気逃がし孔を、薄板状部品の積層方向に延びる軸線同士が食い違い状に配置されているものであるから、薄板状部品の合わせ面に塗布された接着剤は、加圧接合時に逃がし溝から拡大接着剤溜まり部に流れ込んで溜まり、次いで各薄板状部品の上下方向に貫通する空気逃がし孔を介して、隣接層の薄板状部品側に移動するというようにジグザグ状に接着剤が移動する。従って、粘性の小さい接着剤が一気に最外層の薄板状部品側に到達せず、各層における拡大接着剤溜まり部及び大径の空気逃がし孔に接着剤を確実に捕捉して、キャビティユニットの外への接着剤のはみ出し量を少なくできる。
【００４２】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記薄板状部品は、複数のノズルを備えたインクジェットプリンタヘッド用のプレートであり、前記液体流路は、インク供給源から、前記各ノズルへインクを通過させるためのインク流路としたものである。従って、インクジェットプリンタヘッド用のプレートの積層作業時に最上層から接着剤が多量にはみ出さないようにして周囲を汚さない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視図である。
【図２】キャビティユニットの分解斜視図である。
【図３】キャビティユニットの分解部分的拡大斜視図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ線矢視拡大断面図である。
【図５】ノズル側を上にして配置した各プレートの逃がし溝及び空気逃がし孔を示す分解斜視図である。
【図６】（ａ）は積層に先立つ接着剤塗布状態を示す逃がし溝、空気逃がし孔等の断面図、（ｂ）は各プレートの積層接着状態を示す断面図である。
【図７】第２実施形態における逃がし溝、拡大接着剤溜まり部、空気逃がし孔等を示す要部拡大斜視図である。
【図８】（ａ）は第２実施形態における積層に先立つ接着剤塗布状態を示す逃がし溝、空気逃がし孔等の断面図、（ｂ）は各プレートの積層接着状態を示す断面図である。
【図９】本案のリードフレームの積層を示す斜視図である。
【符号の説明】
９          キャビティユニット
１０          ノズルプレート
１１、１２                マニホールドプレート
１３          スペーサプレート
１４          ベースプレート
１５          ノズル
１６          圧力室
１６ｂ        他端流路
１６ｄ        絞り部
１７          連通孔
１８          インク流路
２０          圧電アクチュエータ
３４、３５      逃がし溝
３７、３８    空気逃がし孔
３６          開口部
４１          接着剤
４２          拡大接着剤溜まり部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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