(57)【要約】【課題】圧力補正室の変形可能板が対向面に吸着して補正動作を行えなくなる。【解決手段】振動板１０を一つの面とする振動室１１と、振動板１０に所定のギャップを置いて対向する電極１２と、外気圧に応じて変位する変形可能部である変形可能板１４を一つの面として各振動室１１に連通する圧力補正室１３と、各振動室１１間及び圧力補正室１３を連通する連通路１５とを有し、変形可能板１４には圧力補正室１３側表面に微小突起１６を形成した。【選択図】　図４
2004098178.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変形可能な振動板を少なくとも一つの面とする振動室と、前記振動板に対向する電極と、前記振動室に連通する圧力補正室とを有し、前記圧力補正室の少なくとも一つの面には外気圧に応じて変位し得る変形可能部が設けられ、前記振動板を静電力で変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記変形可能部が対向する面と接触するときの接触面積を低減する手段を有することを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記変形可能部の圧力補正室側に微小突起が形成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記変形可能部と対向する面に微小突起が形成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記微小突起の材質が酸化シリコン又は窒化シリコンであることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記圧力補正室の前記変形可能板が接触する面に表面粗さを大きくする粗面化処理が施されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項６】
変形可能な振動板を少なくとも一つの面とする振動室と、前記振動板に対向する電極と、前記振動室に連通する圧力補正室とを有し、前記圧力補正室の少なくとも一つの面には外気圧に応じて変位し得る変形可能部が設けられ、前記振動板を静電力で変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記圧力補正室の前記変形可能部が接触する面に疎水膜が形成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項７】
変形可能な振動板を少なくとも一つの面とする振動室と、前記振動板に対向する電極と、前記振動室に連通する圧力補正室とを有し、前記圧力補正室の少なくとも一つの面には外気圧に応じて変位し得る変形可能部が設けられ、前記振動板を静電力で変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記圧力補正室の前記変形可能部が接触する面に導電層が形成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項８】
液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の液体を加圧するための静電型アクチュエータとを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記静電型アクチュエータが請求項１ないし７のいずれかに記載の静電型アクチュエータであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項８に記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１０】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドに液を供給する液供給タンクを一体化した液供給カートリッジにおいて、前記液滴吐出ヘッドが請求項８に記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液供給カートリッジ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置及び液供給カートリッジに関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開２００１−３００４２１号公報
【０００３】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像記録装置或いは画像形成装置として用いるインクジェット記録装置において使用する液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドは、インク滴を吐出する単一又は複数のノズル孔と、このノズル孔が連通する吐出室（インク室、液室、加圧液室、圧力室、インク流路等とも称される。）と、吐出室内のインクを加圧する圧力を発生するアクチュエータ手段とを備えて、アクチュエータ手段で発生した圧力で吐出室内インクを加圧することによってノズル孔からインク滴を吐出させる。
【０００４】
なお、液滴吐出ヘッドとしては、例えば液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどもあるが、以下ではインクジェットヘッドを中心に説明する。また、液滴吐出ヘッドのアクチュエータ部分を構成するアクチュエータは、例えばマイクロポンプ、マイクロ光変調デバイスなどの光学デバイス、マイクロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力センサなどのマイクロデバイスにも適用することができる。
【０００５】
このような液滴吐出ヘッドなどに使用される静電型アクチュエータとして、例えば振動板とこれに対向する電極とを所定のギャップ置いて配置し、振動板と電極間との間に駆動電圧を印加することで静電力を発生させて振動板を静電力で電極側に変形変位させるようにしたものが知られている。
【０００６】
このような静電型アクチュエータを用いた液滴吐出ヘッドは、他の方式に比べて消費電力が少ないが、更なる低消費電力化を進めるためには低電圧駆動化を図る必要があり、この低電圧駆動化のためには、電極−振動板間の距離（以下、「ギャップ長」という。）を狭くし、振動板の厚みを薄くする必要がある。
【０００７】
しかしながら、このようにした場合、駆動電圧の低電圧化は図れるが、ギャップ長が狭く、一方で振動板の薄膜化によって剛性が低くなるため、振動板と電極間が臨む空間（以下、「振動室」という。）に水分が存在すると、液架橋力もしくは水素結合力により、振動板が一度電極に接触すると、振動板が電極に接したままのスティキング状態になり、アクチュエータとして機能しなくなる。そのため、振動室は、外気から流体が侵入できない構成としなければならない。
【０００８】
そこで、振動室の開口を封止材を用いて封止することによって、振動室を密閉状態にすることが考えられるが、振動室に連通する全空間（以下、「アクチュエータ室」という。）にヘッド外の気体が出入りできない構成を採る場合には、新たな問題が生じる。
【０００９】
つまり、アクチュエータ室内の気体と外界の気体が自由に行き来できないため、外界の気圧，温度が変化すると、アクチュエータ室内と外界の気圧に差が生じ、この気圧差の大きさに応じて振動板の平衡位置が変化する。例えば、アクチュエータ室内の内圧が外気圧よりも小さければ、振動板の平衡位置は電極側に近づき、アクチュエータ室内の内圧が外気圧よりも大きければ、振動板の平衡位置は電極から遠ざかる。
【００１０】
このように振動板の平衡位置が変動する結果として、ヘッドから吐出される液滴の吐出量，速度は、アクチュエータ室と外界の気圧差により変化することになり、液滴吐出ヘッドは安定した吐出特性を維持できず、画像品質が低下することになる。
【００１１】
そこで、更に例えば
【特許文献１】に開示されているように、大気に通じる変位板（変形可能板）をキャビティプレートと称する振動板を形成する基板内に設けて、変位板を挟んで大気と逆側の圧力補償室（圧力補正室）を振動室と連通させた構成を採り、圧力補正室の一方の面を形成する変位可能板は、振動板よりも剛性が低く、外気圧に応じて変位できるようにしたものが知られている。
【００１２】
このような構成を採ることにより、圧力補正室と振動室を含むヘッド内空間が、大気から気密に遮断された構成であっても、振動室と外界に気圧差が発生した際に、振動板の平衡位置が変化するのではなく、変形可能板の平衡位置が大きく変化することで、振動板の変位を抑制させることができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上述した
【特許文献１】に開示のものは、ヘッドが若干大きくなるものの、ヘッド構成のみで振動板の平衡位置のバラツキを低減しようとするものであり、例えば気圧センサを設けるというような原理的に所望の効果が望めない方法とは異なり十分な効果を期待できる。
【００１４】
しかしながら、このような構成でも、変形可能板の剛性が振動板の剛性よりも十分低いために新たな課題が生じる。すなわち、変形可能板とその対向面の距離が狭い場合、ヘッド内外の気圧差の発生により、変形可能板は対向面に容易に接触してしまう。このとき、変形可能板の剛性は非常に低いため、一度接触すると変形可能板と対向面に働くファンデルワールス力により、変形可能板は対向面にスティキングされてしまい、その機能を失ってしまうことになる。また、変形可能板と対向面間に、吸着水，残留電荷が存在する場合は、さらにスティキングされ易いくなる。
【００１５】
一方、変形可能板とその対向面の距離が広い場合、変形可能板が対向面に接触することを避けられるので、スティキングを防止することはできるが、圧力補正室の体積が大きくなる、つまりアクチュエータ室の体積が大きく増加するため、アクチュエータ室と外気の気圧差がより大きく影響することとなり、結果として圧力補正室のスペースとして　より広い面積が必要となり、ヘッドのサイズが増大し、ヘッドコストが高くなってしまうことになる。
【００１６】
このように、従来の静電型アクチュエータないしはインクジェットヘッドにあっては、ヘッドサイズの不要な大型化を招くことなく、変形可能板と対向面の距離は狭くして、かつスティキング防止を図ることができない、すなわち安定した動作特性が得られないという課題がある。
【００１７】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、安定した動作特性が得られる小型の静電型アクチュエータ、この静電型アクチュエータを備えた安定した滴吐出特性が得られ、高画質記録が可能な液滴吐出ヘッド、この液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置、液滴吐出ヘッドを一体化した液供給カートリッジを提供することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る静電型アクチュエータは、振動室に連通する圧力補正室の少なくとも一つの面には外気圧に応じて変位し得る変形可能部が設けられ、この変形可能部が対向する面と接触するときの接触面積を低減する手段を有する構成としたものである。
【００１９】
ここで、接触面積を低減する手段としては、変形可能部の圧力補正室側に微小突起を形成した構成、あるいは、変形可能部と対向する面に微小突起を形成した構成とすることができる。この微小突起の材質は酸化シリコン又は窒化シリコンであることが好ましい。また、接触面積を低減する手段としては、圧力補正室の変形可能板が接触する面に表面粗さを大きくする粗面化処理を施す構成とすることができる。
【００２０】
本発明に係る静電型アクチュエータは、振動室に連通する圧力補正室の少なくとも一つの面には外気圧に応じて変位し得る変形可能部が設けられ、圧力補正室の変形可能部が接触する面に疎水膜が形成されている構成としたものである。
【００２１】
本発明に係る静電型アクチュエータは、振動室に連通する圧力補正室の少なくとも一つの面には外気圧に応じて変位し得る変形可能部が設けられ、圧力補正室の変形可能部が接触する面に導電層が形成されている構成としたものである。
【００２２】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、この吐出室の液体を加圧するための本発明に係る静電型アクチュエータとを備えたものである。
【００２３】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するインクジェットヘッドとして本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載したものである。
【００２４】
本発明に係る液供給カートリッジは、液滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドに液を供給する液供給タンクを一体化したものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。本発明の液滴吐出ヘッドの第１実施形態に係るインクジェットヘッドについて図１ないし図５を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドの吐出室部の振動板長手方向に沿う断面説明図、図３は同ヘッドの吐出部の振動板短手方向に沿う断面説明図、図４は同ヘッドの圧力補正部の変形可能板長手方向に沿う断面説明図、図５は同ヘッドの変形可能板の圧力補正室側の平面説明図である。
【００２６】
このヘッドは、インク液滴を基板の面部に設けたノズル孔から吐出させるサイドシュータタイプのものであり、流路基板１と、電極基板２と、ノズル基板３とを接合した積層構造となっている。流路基板１とノズル基板３を接合することによって、インク滴を吐出する複数のノズル孔４が連通する吐出室６、及び図示しないが、各吐出室６に流体抵抗部を介してインクを供給する共通液室（共通インク室）などを形成している。なお、エッジシュータタイプとすることもできる。
【００２７】
また、流路基板１と電極基板２とを接合することによって、振動板１０を一つの面とする振動室１１と、振動板１０に所定のギャップを置いて対向する電極１２と、外気圧に応じて変位する変形可能部である変形可能板１４を一つの面として各振動室１１に連通する圧力補正室１３と、各振動室１１間及び圧力補正室１３を連通する連通路１５とを形成している。これらの振動板１０、振動室１１、電極１２、圧力補正室１３、変形可能板１４、連通路１５によって本発明に係る静電型アクチュエータを構成している。
【００２８】
ここで、流路基板１は、例えばシリコン基板からなり、ボロンなどの高濃度ｐ型拡散層を形成してＫＯＨ水溶液等で異方性エッチングを行うことで、高濃度ｐ型拡散層がエッチングストップ層となる技術を用いて、吐出室６となる凹部を形成すると同時に振動板１０を形成している。また、流路基板１には底部を変形可能板１４とする凹部を形成したものである。
【００２９】
電極基板２は、シリコン基板２１上にシリコン酸化膜などの絶縁膜２２を形成し、この絶縁膜２２に振動室１１となる凹部を形成して、この凹部の底面に振動板１０に対向する電極１２を形成し、また圧力補正室１３となる凹部を形成している。なお、少なくとも電極１２の表面には図示しないがシリコン酸化膜などの絶縁膜を形成して、振動板１１との当接による電気的ショートなどを防止している。
【００３０】
これらの流路基板１と電極基板２とを接合した後振動室となる凹部及び圧力補正室１３となる凹部を封止剤２５で封止して、振動室１１及び圧力補正室１３を画成している。
【００３１】
ここで、圧力補正室１３の壁面を形成する変形可能板１４は振動板１１よりも剛性が低く、外気圧の変化に応じて変形変位できる構成とする。そして、この変形可能板１４の圧力補正室１３側表面には、図５にも示すように、変形可能板１４が対向する面である圧力補正室１３の壁面１３ａと接触するときの接触面積を低減させる手段である多数の微小突起１６を形成している。
【００３２】
ノズル基板３は、例えば厚さ５０μｍのッケル基板を用い、ノズル基板３の面部に、吐出室６と連通するようにそれぞれノズル孔４を設けている。なお、ノズル基板３は、その他の金属材料、樹脂材料、これらの複層構造で構成することができる。
【００３３】
このように構成したこのヘッドにおいては、電極１２に発振回路により０Ｖから４０Ｖのパルス電位を印加し、電極１２の表面がプラスに帯電すると、パルス電位を印加していない振動板１０との間に静電気の吸引作用が働き、振動板１０は電極１２側へ撓み、振動板１０が図示しない絶縁膜を介して電極１２と当接する。
【００３４】
このとき、インクが共通液室より流体抵抗部を通じて吐出室６内へ供給される。その後、電極１２への電位を０Ｖに戻すことにより、電極１２と振動板１０との間で働いていた静電気力が０となり、撓んでいた振動板１０が自身の復元力で元の状態へ戻る時に吐出室６内の圧力が急激に上昇し、ノズル孔４よりインク液滴が吐出される。
【００３５】
ここで外気圧が変動して振動室１１と外気圧との間に気圧差が発生した場合、変形可能板１４が振動板１０よりも剛性が低く外気圧に応じて変形変位できるものであるから、振動室１１内の圧力が外気圧よりも高くなると圧力補正室１３の壁面をなす変形可能板１４が圧力補正室１３の容積を拡大する方向に変形変位して振動板１０の変形が抑制され、外気圧が振動室１１内の圧力よりも高くなると圧力補正室１３の壁面をなす変形可能板１４が圧力補正室１３の容積を縮小する方向に変形変位して振動板１０の変形が抑制される。
【００３６】
この場合、変形可能板１４と圧力補正室１３の対向面１３ａとのギャップが狭いため、変形可能板１４は容易に圧力補正室１３の対向面１３ａに接触するが、変形可能板１４の圧力補正室１３側表面には微小突起１６を設けているので、この微小突起１６が圧力補正室１３の対向面１３ａに接触することになり、接触面積は変形可能板１４表面が直接圧力補正室１３の対向面１３ａに接触する場合に比べて格段に低減する。
【００３７】
これにより、変形可能板１４が圧力補正室１３の対向面１３ａに接触した場合でも、接触面積が小さいことから、接触した際に働くファンデルワールス力，吸着水，残留電荷による吸着力が実質的抑制され、変形可能板１４のスティキングを抑えることができる。この結果、変形可能板１４の機能、つまりは圧力補正室１３の機能を損なうことを避けることができ、長期にわたり安定した補正動作を行うことができ、しかも変形可能板１４表面と圧力補正室１３の対向面１３ａとのギャップを狭くできるので、ヘッドの大型化を招くこともない。
【００３８】
このように、このヘッドでは、圧力補正室の変形可能板に接触面積を低減する手段を設けることで、安定した補正動作を行うことができて、外部環境の変化による振動室と外気圧との圧力差による振動板の初期位置の変動を抑制でき、インク吐出特性のバラツキを抑え、安定した滴吐出が行うことができ、且つ高精度で信頼性の高い液滴吐出ヘッドを実現できる。したがって、また、この液滴吐出ヘッドの静電型アクチュエータを用いたマイクロポンプや光変調デバイスにおいても高精度で信頼性の高い素子を提供できる。
【００３９】
ここで、微小突起１６の形状は特に限定されるものではない。縦断面形状としては、例えば図６（ａ）に示すように矩形状（四角形状）、同図（ｂ）に示すように三角形状、同図（ｃ）に示すように台形状（変形可能板１４側が幅広）などとすることができる。この場合、製造歩留まり、構造の安定性、接触面積を小さくするという機能の観点からは、縦断面形状を台形状にして、つまり接触面がさらに狭くなるようにするのが特に好ましい。
【００４０】
また、横断面形状としても、例えば図７（ａ）に示すように矩形状（四角形状）、同図（ｂ）に示すように円形状、同図（ｃ）に示すように三角形状とすることができ、さらにこれらの点状に限らず、図８に示すように長尺形状（線状形状）などとすることができる。
【００４１】
さらに、微小突起１６の配置は、前述した図５に示すような配置例に限るものではなく、１列，２列，３列などの列状配置、千鳥状配置、環状配置，ランダム配置とすることができる。ただし、微小突起１６を設ける配置として、変形可能板１４の厚み，短辺幅，対向面との距離を考慮して、圧力補正室１３と外気の圧力差により変形可能板１４が対向部の微小突起１６以外には接触しない配置とすることが好ましい。
【００４２】
また、上記実施形態では、ヘッド内で複数のアクチュエータの各振動室が相互に連通している例で説明しているが、各アクチュエータの振動室が独立している場合にも適用できる。ただし、各振動室が独立している場合には、各独立部分毎に圧力補正室を設け、各圧力補正室毎に変形可能部の接触面積を低減する手段を設ける必要がある。
【００４３】
さらに、振動板のスティキング防止を兼ねて、振動板の裏面（振動室側面）にも微小突起を設ける構成を採用した場合には、振動板裏面と変形可能板の圧力補正室側表面に、同時に、つまりは同じ材料を用いて同じプロセスで微小突起を設けることができ、このようにすれば、プロセスの増加を防ぐことができる。
【００４４】
ここで、微小突起の形成方法としては、平面に突起を直接形成する方法でも良く、或いは、平面に彫り込みを形成して、残った部分を微小突起とする方法のいずれでも良い。
【００４５】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの第２実施形態に係るインクジェットヘッドについて図９を参照して説明する。なお、同図は同ヘッドの圧力補正部の変形可能板長手方向に沿う断面説明図である。
このヘッドでは、変形可能板１４に対向する圧力補正室１３の対向面１３ａ上に微小突起１６を設けている。このようにしても、前記第１実施形態と同様の作用効果が得られ、また、製造プロセスにより、変形可能板側に微小突起を形成できない若しくは困難な場合でも対応することができる。
【００４６】
また、振動板のスティキング防止を兼ねて、振動板に対向する面（電極側）に微小突起を設ける構成を採用する場合、振動板対向面と変形可能板の対向面に、同時に、つまりは同じ材料を用いて同じプロセスで微小突起を設けるようにすることができ、このようにすれば、プロセスの増加を防ぐことができる。
【００４７】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの第３実施形態に係るインクジェットヘッドについて図１０を参照して説明する。なお、同図は同ヘッドの圧力補正部及び振動室の変形可能板短手方向に沿う要部断面説明図である。
このヘッドでは、振動板１０に対向する電極１２表面にシリコン酸化膜からなる絶縁膜１８を形成し、この絶縁膜１８を形成するときに圧力補正室１３の変形可能板１４に対向する対向面１３ａにシリコン酸化膜からなる微小突起１６を形成している。
【００４８】
すなわち、インクジェットヘッドのような微小構造の形成には、半導体技術を利用することが好ましく、アクチュエータ部の形成と共に、圧力補正室の形成ができれば、プロセス数の増加を抑えることができ、コストダウンを図ることができる。
【００４９】
この場合、振動室１１の形成と同時に圧力補正室１３を形成するとすれば、圧力補正室１３の構成として幾つかの制限が生じる。振動室１１において、駆動の際電極１２がその対向する面（振動板１０側表面）に当接する場合には、電気的なショートが生じないように、電極表面もしくはその対向面の少なくとも一方には絶縁層が形成されていなくてはならない。当接しない場合も、放電が危惧されるので、絶縁層があると信頼性が増す。この絶縁層の材質を酸化シリコン（シリコン酸化膜）とすると、多様な半導体プロセスでは形成方法を用いることができる。
【００５０】
そこで、この実施形態では、酸化シリコン膜をアクチュエータ部（振動室１１）の絶縁層（絶縁膜）１８として形成し、同時に圧力補正室１３にも形成し、その後、圧力補正室１３の絶縁層の微小突起１６に相当する部分以外を、エッチングにより除去することで微小突起１６を形成している。
【００５１】
この場合、絶縁膜１８を形成するための酸化シリコン層を形成する段階で、つまり、エッチッグ無しで、微小突起１６を形成することもできる。この場合の例を図１１に示している。
【００５２】
なお、アクチュエータ部の絶縁膜と圧力補正室の微小突起材料層は同時に形成する必要はなく、また、圧力補正室の微小突起材料層を酸化シリコン膜とする場合でもアクチュエータ部の絶縁層を酸化シリコン膜とする必要もない。
【００５３】
また、振動板側に絶縁層を形成するような場合には、絶縁層として窒化シリコンを用いることが好ましい。このような場合には、圧力補正室１３の変形可能板１４にも窒化シリコン膜からなる微小突起１６を形成することが好ましい。
【００５４】
すなわち、酸化シリコン膜を剛性の低い部位上に形成すると、材料間に圧縮応力が生じ、剛性の低い部位は撓んでしまう。静電型アクチュエータは静電力の働く電極間のギャップ長を精度良く形成しないと、所望の特性が得られないので、酸化シリコン膜により剛性の低い部位が撓んで、結果としてギャップ長が所望しない値に変化するとアクチュエータとして十分な機能が期待できない。
【００５５】
これに対し、窒化シリコン膜は引張り応力の膜であるので、剛性の低い部位に形成しても、この剛性の低い部位が撓むことがなく、静電力の働く電極間のギャップ長は変化せず、結果としてアクチュエータの機能を損なうことがない。
【００５６】
したがって、上述したように、アクチュエータ部に必要な絶縁層として窒化シリコンを用いた場合には、同時に圧力補正室にも窒化シリコン膜を形成して、この窒化シリコン膜圧力補正室の微小突起の材料として用いると良い。
【００５７】
ただし、この場合も、アクチュエータ部の絶縁膜と圧力補正室の微小突起材料層は同時に形成する必要はなく、また、微小突起材料を窒化シリコン膜とする場合でもアクチュエータ部の絶縁層を窒化シリコン膜で形成する必要もない。
【００５８】
次に、具体的なヘッド構成とその評価について説明する。
（実施例１）
次の作製方法で微小突起を形成したヘッドを作製した。この作製方法を図１２を参照して説明する。なお、同図（ａ）は１ビットのアクチュエータ部の断面説明図、同図（ｂ）は圧力補正室の断面説明図である。
【００５９】
同図（ａ）において、先ずシリコン基板３１上にＳｉＯ２膜３２を形成し、次に、電極及び隔壁となるポリシリコン層３３を形成した後、ＳｉＮ層３４が形成できるようエッチングにより彫り込みを形成して、ポリシリコン層３３からなる電極１２を形成する。このとき、電極１２が各アクチュエータ部で電気的に独立するようする。その後、ＳｉＮ３４をＣＶＤで形成し、ＳｉＯ２３５で彫り込み部を埋め込む。そして、表面を研磨した後ＳｉＮ層３６を形成し、更にポリシリコン層３７を形成する。その後、図示するように設けられた抜き孔３８から、内部のＳｉＯ２３５をエッチング除去することで振動室１１が形成される。
【００６０】
同図（ｂ）において、圧力補正室の形成もアクチュエータ部とほぼ同様の工程で行う。異なる点は、電極１２を形成しないために圧力補正室の底面に相当する部分のポリシリコン層３３を除去する点、ＳｉＯ２３５形成し表面を研磨した後、微小突起１６を形成する位置の彫り込みを形成した後、ＳｉＮ層３６を形成し、更にポリシリコン層３７を形成する点である。これにより、ＳｉＮ層３６で微小突起１６を一体形成した変形可能板１４が形成され、ＳｉＯ２３５を除去することで変形可能板１４の裏面に微小突起１６を有する圧力補正室１３が形成される。
【００６１】
このヘッドにおける各部のパラメータは次のとおりとした。
振動板：厚みｔ＝２μｍ，短辺長ａ＝１２５μｍ，長辺長ｂ＝１０００μｍ
変形可能板：厚みｔ＝２μｍ，短辺長ａ＝２０００μｍ，長辺長ｂ＝１０ｍｍ
電極形状：電極は振動板に対して平行となるように形成した。また、電極と振動板間のエアＧａｐ長は、仕様上　０．２μｍとなるよう設計した。
微小突起：高さｔ＝０．２μｍ，面積３×３μｍとした。
配置は、前後左右６０μｍピッチとなるマトリクス状とした。
変形可能板の裏面に形成した。
【００６２】
（比較例１）
上記実施例１と同様の製作工程で、微小突起を有しないヘッドを作製した。微小突起を作製しないため、ＳｉＯ２３５形成し表面を研磨した後はそのまま微小突起１６を形成する位置の彫り込みを形成しないでＳｉＮ３６を成膜する。
【００６３】
（評価方法と結果）
上述した実施例１のヘッドと比較例１のヘッドについて、大気中で、変形可能板をニードルで押し、変形可能板を対向面に接触させ、その後、変形可能板が対向面にスティキングされるかどうかを確認した。
【００６４】
このとき、複数のヘッドについて評価を行ったところ、実施例１のヘッドではスティキングが生じなかったが、比較例１のヘッドではほぼ確実にスティキングが生じた。
【００６５】
ここで、スティキングが生じた主な原因としては、原子間力，液架橋力，水素結合力が考えられる。このようなスティキングを生じる変形可能部では、所望の圧力補正が得られず、ヘッドとしての信頼性が期待できない。
【００６６】
（実施例２）
次の作製方法で微小突起を形成したヘッドを作製した。すなわち、シリコン基板上に酸化膜を形成後、酸化膜を彫り込み、この彫り込みにＴｉＮの成膜により電極を形成し、電極上にシリコン酸化膜を絶縁層として形成した。ここで、圧力補正室にはＴｉＮが形成されていても良いが、形成していない。圧力補正室のシリコン酸化膜をエッチングして、微小突起を形成し、これを電極基板とする。
【００６７】
他方、別のシリコン基板にエッチングにより振動板，共通液室，それに伴う変形可能板等を形成し、これを流路基板とする。このとき、振動板と変形可能板は、全くの同一プロセスにおいて形成した。
【００６８】
その後、電極基板上に流路基板を直接接合により接合した。なお、１ヘッドに形成されたアクチュエータ数は１列１９２である。ここでは、１列全ての振動室が、１つの圧力補正室に連通する構成とした。
【００６９】
（比較例２）
上記実施例２と同様の製作工程で、微小突起を有しないヘッドを作製した。微小突起を作製しないため、電極基板の作製工程での微小突起形成工程は行わない。
【００７０】
このヘッドにおける各部のパラメータは次のとおりとした。
振動板：厚みｔ＝２μｍ，短辺長ａ＝１２５μｍ，長辺長ｂ＝１０００μｍ
変形可能板：厚みｔ＝２μｍ，短辺長ａ＝２０００μｍ，長辺長ｂ＝１０ｍｍ
電極形状：電極は振動板に対して平行となるように形成した。また、電極と振動板間のエアギャップ長は、仕様上　０．２μｍとなるよう設計した。
微小突起：高さｔ＝０．２μｍ，面積３×３μｍとした。
配置は、前後左右６０μｍピッチとなるマトリクス状とした。
変形可能部の裏面に形成した。
【００７１】
（評価方法と結果）
上述した実施例２のヘッドと比較例２のヘッドについて、大気中で、変形可能板をニードルで押し、変形可能板を対向面に接触させ、その後、変形可能板が対向面にスティキングされるかどうかを確認した。
【００７２】
このとき、複数のヘッドについて評価を行ったところ、実施例２のヘッドではスティキングが生じなかったが、比較例２のヘッドではほぼ確実にスティキングが生じた。
【００７３】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの第４実施形態に係るインクジェットヘッドについて図１３を参照して説明する。なお、同図は同ヘッドの変形可能板長手方向に沿う断面説明図である。
このヘッドでは、圧力補正室１３の変形可能板１４に対向する対向面１３ｂに表面粗さを大きくする粗面化処理を施している。この場合、対向面１３ｂの表面粗さは、振動室内の表面粗さと同じ（振動室内の表面にも粗面化処理を施した場合）若しくは振動室内の表面粗さよりも大きく（振動室内の表面にも粗面化処理を施さない場合）なる。
【００７４】
このように、変形可能板１４が接触する圧力補正室１３の対向面１３ｂに粗面化処理を施すことによって接触時の接触面積を低減することができ、前記各実施形態と同様に、変形可能板１４が圧力補正室１３の対向面１３ｂに接触した場合でも、接触面積が小さいことから、接触した際に働くファンデルワールス力，吸着水，残留電荷による吸着力が実質的抑制され、変形可能板１４のスティキングを抑えることができ、この結果、変形可能板１４の機能、つまりは圧力補正室１３の機能を損なうことを避けることができ、長期にわたり安定した補正動作を行うことができる。
【００７５】
次に、具体的なヘッド構成とその評価について説明する。
（実施例３）
ヘッドの作製方法は前述した実施例２で説明したと同様であるが、微小突起を形成する代わりに、電極基板と振動基板の直接接合の前に、変形可能部の対向面となる部分をＡｒガスを用いてドライエッチングにより粗す、という粗面化処理工程を行っている。
【００７６】
（比較例３）
実施例３の製作方法と同様にして製作したが、微小突起を設けず、また、対向面に粗面化処理を施さなかった。
【００７７】
このヘッドにおける各部のパラメータは次のとおりとした。
振動板：厚みｔ＝２μｍ，短辺長ａ＝１２５μｍ，長辺長ｂ＝１０００μｍ
変形可能板：厚みｔ＝２μｍ，短辺長ａ＝１０００μｍ，長辺長ｂ＝１０ｍｍ
電極形状：電極は振動板に対して平行となるように形成した。また、電極と振動板間のエアギャップ長は、仕様上　０．２μｍとなるよう設計した。
【００７８】
（評価方法と結果）
上述した実施例３のヘッドと比較例３のヘッドについて、大気中で、変形可能板をニードルで押し、変形可能板を対向面に接触させ、その後、変形可能板が対向面にスティキングされるかどうかを確認した。
【００７９】
このとき、複数のヘッドについて評価を行ったところ、実施例３のヘッドではスティキングが生じなかったが、比較例３のヘッドではほぼ確実にスティキングが生じた。
【００８０】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの第５実施形態に係るインクジェットヘッドについて図１４を参照して説明する。なお、同図は同ヘッドの変形可能板長手方向に沿う断面説明図である。
このヘッドでは、圧力補正室１３の変形可能板１４に対向する対向面１３ａに疎水膜２６を形成している。疎水膜２６の材料としては、パーフルオロデカン酸（ＰＦＤＡ）、ヘキサメチルシジラザン（ＨＭＤＳ）等を挙げることができ、ＨＭＤＳの方が分子が小さく、狭い空間に膜を形成するには好適である。
【００８１】
このように、変形可能板１４が接触する圧力補正室１３の対向面１３ａに疎水膜２６を形成することによって、液架橋力、水素結合力によるスティキング（吸着水によるスティキング）を防止することができる。この結果、変形可能板１４の機能、つまりは圧力補正室１３の機能を損なうことを避けることができ、長期にわたり安定した補正動作を行うことができる。
【００８２】
次に、具体的なヘッド構成とその評価について説明する。
（実施例４）
ヘッドの作製方法は前述した実施例２で説明したと同様であるが、微小突起を形成せず、接合後、ＨＭＤＳ中にディッピングして、圧力補正室にＨＭＤＳの膜を形成した。
【００８３】
（比較例４）
実施例４の製作方法と同様にして製作したが、微小突起を設けず、また、疎水膜も形成しなかった。
【００８４】
このヘッドにおける各部のパラメータは次のとおりとした。
振動板：厚みｔ＝２μｍ，短辺長ａ＝１２５μｍ，長辺長ｂ＝１０００μｍ
変形可能板：厚みｔ＝２μｍ，短辺長ａ＝３００μｍ，長辺長ｂ＝１０ｍｍ
電極形状：電極は振動板に対して平行となるように形成した。また、電極と振動板間のエアギャップ長は、仕様上　０．２μｍとなるよう設計した。
【００８５】
（評価方法と結果）
上述した実施例４のヘッドと比較例４のヘッドについて、大気中で、変形可能板をニードルで押し、変形可能板を対向面に接触させ、その後、変形可能板が対向面にスティキングされるかどうかを確認した。
【００８６】
次に、３０℃相対湿度６０％の環境試験室において、実施例４のヘッドと比較例４のヘッドを１時間放置後、両ヘッドの変形可能部をニードルで押し、変形可能部を対向面に接触させ、変形可能部がスティキングされるかどうかを確認した。
【００８７】
このとき、複数のヘッドについて評価を行ったところ、比較例４のヘッドは、大気中ではスティキングを起こさないが、環境試験室ではスティキングが生じることが確認された。一方、ＨＭＤＳ膜を形成した実施例４のヘッドでは、大気中でも、環境試験室でも、スティキングが生じないことが確認された。
【００８８】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの第６実施形態に係るインクジェットヘッドについて図１５を参照して説明する。なお、同図は同ヘッドの変形可能板長手方向に沿う断面説明図である。
このヘッドでは、圧力補正室１３の変形可能板１４に対向する対向面１３ａに導電層（導電性膜）２７を形成している。導電層２７としては、ＴｉＮなどの金属材料、ポリシリコンなどの半導体材料を挙げることができる。そして、ここでは、導電層２７はＧＮＤに接続している（接地している）。
【００８９】
このように、変形可能板１４が接触する圧力補正室１３の対向面１３ａに導電層２７を形成することによって、スティキングを生じる原因の一つとして考えられる、何らかの理由で接触部に発生する静電荷を逃がすことができ、静電荷によるスティキングを防止することができる。この結果、変形可能板１４の機能、つまりは圧力補正室１３の機能を損なうことを避けることができ、長期にわたり安定した補正動作を行うことができる。
【００９０】
次に、具体的なヘッド構成とその評価について説明する。
（実施例５）
ヘッドの作製方法は前述した実施例３で説明したと同様である。ただし、ここではアクチュエータ部の電極形成と同時に、圧力補正部にＴｉＮ層を形成した。その後、直接接合の前に、ＴｉＮ層の酸化膜をドライエッチングにより除去した。
【００９１】
このヘッドにおける各部のパラメータは次のとおりとした。
振動板：厚みｔ＝２μｍ，短辺長ａ＝１２５μｍ，長辺長ｂ＝１０００μｍ
変形可能板：厚みｔ＝２μｍ，短辺長ａ＝３００μｍ，長辺長ｂ＝１０ｍｍ
電極形状：電極は振動板に対して平行となるように形成した。また、電極と振動板間のエアギャップ長は、仕様上　０．２μｍとなるよう設計した。
【００９２】
（評価方法と結果）
圧力補正室のＴｉＮ層（導電層２７）と変形可能板間に電位差を与え、静電引力により変形可能板をＴｉＮ層に当接させる。その後、変形可能板とＴｉＮ層を直接フロートの状態にすると、変形可能板は対向面スティキングしたままであった。しかし、ＴｉＮ層をＧＮＤにおとすと、変形可能板は対向面から外れて、スティキングが解消されることが確認された。
【００９３】
次に、本発明を適用する他の形態の静電型ヘッドの一例について図１６を参照して説明する。
このヘッドは、振動板１０の吐出室６とは反対面に絶縁膜１０ａを介して、振動板１０と電気的に分離され、また、相互に電気的に互いに分離された、複数の構造体からなる電極４２を設けている。
【００９４】
このヘッドにおいては、隣り合う電極４２、４２の一方に０Ｖから４０Ｖのパルス電位を印加し、他方に０Ｖを印加すると、隣り合う電極４２、４２間で静電力が発生して、自由端側が引き合うので、振動板１０が撓むことになる。これにより、吐出室６内の圧力が急激に上昇してインク滴が吐出される。
【００９５】
このようなヘッドにおいても、前記各実施形態と同様に振動室１１に連通する圧力補正室を設けて、この圧力補正室の少なくとも１つの面を外気圧に応じて変形可能な変形可能部とし、この変形可能部と圧力補正室との対向する面との接触面積を低減する手段を設けることによって、長期にわたり安定した滴吐出動作を行うことができるようになる。
【００９６】
次に、本発明に係る液供給カートリッジとしてのインクカートリッジ（インクタンク一体型ヘッド）について図１７を参照して説明する。
このインクカートリッジ１００は、ノズル孔１０１等を有する上記各実施形態のいずれかのインクジェットヘッド１０２と、このインクジェットヘッド１０２に対してインクを供給するインクタンク１０３とを一体化したものである。
【００９７】
このように本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドとインクタンクとを一体化することにより、安定した滴吐出特性を有し、信頼性の高い液滴吐出ヘッドを一体化したインクカートリッジ（インクタンク一体型ヘッド）が得られ、タンク一体型ヘッドの低コスト化を図れる。
【００９８】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について図１８及び図１９を参照して説明する。なお、図１８は同記録装置の斜視説明図、図１９は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【００９９】
このインクジェット記録装置は、記録装置本体１１１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部１１２等を収納し、装置本体１１１の下方部には前方側から多数枚の用紙１１３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）１１４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙１１３を手差しで給紙するための手差しトレイ１１５を開倒することができ、給紙カセット１１４或いは手差しトレイ１１５から給送される用紙１１３を取り込み、印字機構部１１２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１１６に排紙する。
【０１００】
印字機構部１１２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１２１と従ガイドロッド１２２とでキャリッジ１２３を主走査方向（図１９で紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ１２３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドからなるヘッド１２４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ１２３にはヘッド１２４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ１２５を交換可能に装着している。なお、本発明に係るヘッド一体型ヘッド（インクカートリッジ）を搭載するようにすることもできる。
【０１０１】
インクカートリッジ１２５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
【０１０２】
また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド１２４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【０１０３】
ここで、キャリッジ１２３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド１２１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド１２２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ１２３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ１２７で回転駆動される駆動プーリ１２８と従動プーリ１２９との間にタイミングベルト１３０を張装し、このタイミングベルト１３０をキャリッジ１２３に固定しており、主走査モーター１２７の正逆回転によりキャリッジ１２３が往復駆動される。
【０１０４】
一方、給紙カセット１１４にセットした用紙１１３をヘッド１２４の下方側に搬送するために、給紙カセット１１４から用紙１１３を分離給装する給紙ローラ１３１及びフリクションパッド１３２と、用紙１１３を案内するガイド部材１３３と、給紙された用紙１１３を反転させて搬送する搬送ローラ１３４と、この搬送ローラ１３４の周面に押し付けられる搬送コロ１３５及び搬送ローラ１３４からの用紙１１３の送り出し角度を規定する先端コロ１３６とを設けている。搬送ローラ１３４は副走査モータ１３７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【０１０５】
そして、キャリッジ１２３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１３４から送り出された用紙１１３を記録ヘッド１２４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１３９を設けている。この印写受け部材１３９の用紙搬送方向下流側には、用紙１１３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１４１、拍車１４２を設け、さらに用紙１１３を排紙トレイ１１６に送り出す排紙ローラ１４３及び拍車１４４と、排紙経路を形成するガイド部材１４５，１４６とを配設している。
【０１０６】
記録時には、キャリッジ１２３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド１２４を駆動することにより、停止している用紙１１３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙１１３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙１１３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙１１３を排紙する。この場合、ヘッド１２４を構成する本発明に係るインクジェットヘッドはインク滴噴射の制御性が向上し、特性変動が抑制されているので、安定して高い画像品質の画像を記録することができる。
【０１０７】
また、キャリッジ１２３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド１２４の吐出不良を回復するための回復装置１４７を配置している。回復装置１４７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ１２３は印字待機中にはこの回復装置１４７側に移動されてキャッピング手段でヘッド１２４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【０１０８】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド１２４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【０１０９】
このように、このインクジェット記録装置においては本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載しているので、長期に亘って安定した滴吐出特性が得られ、高い画像品質で記録することができる。
【０１１０】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。また、静電型アクチュエータを備えるマイクロデバイスとして、マイクロポンプ、光学デバイス（光変調デバイス）、マイクロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力センサなどにも適用することができる。
【０１１１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る静電型アクチュエータによれば、振動室に連通する圧力補正室の少なくとも一つの面には外気圧に応じて変位し得る変形可能部が設けられ、この変形可能部が対向する面と接触するときの接触面積を低減する手段を有する構成としたので、安定した動作特性を有する小型のアクチュエータを得ることができる。
【０１１２】
本発明に係る静電型アクチュエータによれば、振動室に連通する圧力補正室の少なくとも一つの面には外気圧に応じて変位し得る変形可能部が設けられ、圧力補正室の変形可能部が接触する面に疎水膜が形成されている構成としたので、安定した動作特性を有する小型のアクチュエータを得ることができる。
【０１１３】
本発明に係る静電型アクチュエータによれば、振動室に連通する圧力補正室の少なくとも一つの面には外気圧に応じて変位し得る変形可能部が設けられ、圧力補正室の変形可能部が接触する面に導電層が形成されている構成としたので、安定した動作特性を有する小型のアクチュエータを得ることができる。
【０１１４】
本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、本発明に係る静電型アクチュエータを備えているので、安定した滴吐出特性が得られ、信頼性及び画像品質が向上する。
【０１１５】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インク滴を吐出するインクジェットヘッドが本発明に係る液滴吐出ヘッドであるので、高画質記録を行うことができる。
【０１１６】
本発明に係る液供給カートリッジによれば、本発明に係る液滴吐出ヘッドと駅供給タンクを一体化したので、安定した滴吐出特性が得られ、信頼性及び画像品質が向上するヘッドを有するカートリッジが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の静電型アクチュエータを含む本発明に係る液滴吐出ヘッドの第１実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図２】同ヘッドのアクチュエータ部の振動板長手方向に沿う断面説明図
【図３】同ヘッドのアクチュエータ部の振動板短手方向に沿う断面説明図
【図４】同ヘッドの圧力補正部の変形可能板長手方向に沿う断面説明図
【図５】同ヘッドの圧力補正部の変形可能板短手方向に沿う断面説明図
【図６】微小突起の縦断面形状の異なる例を説明する説明図
【図７】微小突起の横断面形状の異なる例を説明する説明図
【図８】微小突起の横断面形状及び配置例の他の例を説明する平面説明図
【図９】同第２実施形態に係るインクジェットヘッドの圧力補正部の変形可能板長手方向に沿う断面説明図
【図１０】同第３実施形態に係るインクジェットヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図
【図１１】同実施形態の他の例の説明に供するインクジェットヘッドの圧力補正部の変形可能板長手方向に沿う断面説明図
【図１２】本発明に係る液滴吐出ヘッドの製作工程の説明に供する断面説明図
【図１３】同第４実施形態に係るインクジェットヘッドの圧力補正部の変形可能板長手方向に沿う断面説明図
【図１４】同第５実施形態に係るインクジェットヘッドの圧力補正部の変形可能板長手方向に沿う断面説明図
【図１５】同第６実施形態に係るインクジェットヘッドの圧力補正部の変形可能板長手方向に沿う断面説明図
【図１６】本発明を適用する他の形式の静電型液滴吐出ヘッドの一例を説明する振動板短手方向に沿う断面説明図
【図１７】本発明に係る液供給カートリッジの説明に供する斜視説明図
【図１８】本発明に係るインクジェット記録装置の一例を説明する斜視説明図
【図１９】同記録装置の機構部の説明図
【符号の説明】
１…流路基板、２…電極基板、３…ノズル基板、４…ノズル孔、６…吐出室、７…流体抵抗部、８…共通液室、１０…振動板、１１…振動室、１２…電極、１３…圧力補正室、１４…変形可能板、１５…連通路、１６…微小突起、２６…疎水膜、２７…導電層、１００…インクカートリッジ、１２４…記録ヘッド。
【図１】
2004098178.tif 000003
【図２】
2004098178.tif 000004
【図３】
2004098178.tif 000005
【図４】
2004098178.tif 000006
【図５】
2004098178.tif 000007
【図６】
2004098178.tif 000008
【図７】
2004098178.tif 000009
【図８】
2004098178.tif 000010
【図９】
2004098178.tif 000011
【図１０】
2004098178.tif 000012
【図１１】
2004098178.tif 000013
【図１２】
2004098178.tif 000014
【図１３】
2004098178.tif 000015
【図１４】
2004098178.tif 000016
【図１５】
2004098178.tif 000017
【図１６】
2004098178.tif 000018
【図１７】
2004098178.tif 000019
【図１８】
2004098178.tif 000020
【図１９】
2004098178.tif 000021