(57)【要約】【課題】ターミナルピンと感圧素子との電気的な接続不良を生じるおそれが少なく，電気的信頼性の高い圧力センサを提供すること。【解決手段】相互に電気的に接続されたターミナルピン１０と感圧素子２０とを配置している受圧面３２を有するコネクタハウジング３０と，該コネクタハウジング３０を挿入するセンサハウジングとを有する圧力センサである。ターミナルピン１０は，コネクタハウジング３０の内部を貫通すると共に受圧面３２側に突出している。このターミナルピン１０には，感圧素子２０の上面に向けて伸ばされた弾性を有する金属製の接点部材１２０を接続してある。該接点部材１２０における接触部１２２と該電極パッド部２０１とは，接点部材１２０の弾性に基づく付勢力により接合することなく接触し，電気的な接続状態にある。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に電気的に接続されたターミナルピンと感圧素子とを配置している受圧面を有するコネクタハウジングと，該コネクタハウジングを挿入するセンサハウジングと，上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとの間に形成された圧力室とを有し，該圧力室に上記感圧素子を収容してある圧力センサにおいて，
上記コネクタハウジングの内部を貫通すると共に上記受圧面から突出する上記ターミナルピンには，上記感圧素子の上面に向けて伸ばされた弾性を有する金属製の接点部材を接続してあり，
上記接点部材は，上記感圧素子に設けられた電極パッド部に当接する接触部と，上記ターミナルピンと接合される基部とを有しており，
上記接触部と該電極パッド部とは，上記接点部材の弾性に基づく付勢力により接合することなく接触し，電気的な接続状態にあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
請求項１において，上記接点部材は，該接点部材又は上記電極パッド部のいずれかに接合されたバンプ材を介在させて，上記電極パッド部と電気的に接続されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項３】
請求項１又は２において，上記接点部材における上記基部は，上記ターミナルピンの先端の端面である先端面に接合してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項４】
請求項１又は２において，上記接点部材における上記基部は，上記ターミナルピンの側面に接合してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項において，上記接点部材は，板状の部材よりなることを特徴とする圧力センサ。
【請求項６】
請求項５において，上記接点部材は，上記基部と上記接触部との間に，曲げ剛性を調節するための形状変化部を有していることを特徴とする圧力センサ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項において，上記コネクタハウジングの上記受圧面から突出する上記ターミナルピンの外周には，上記コネクタハウジングと上記ターミナルピンとの隙間をシールするシール用接着剤を配設してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項において，上記受圧面には，パリレンコート処理による被膜が形成してあることを特徴とする圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【従来技術】
圧力センサは，シリコン基板上に形成した歪ゲージと，シリコン基板を精密にエッチングして形成した圧力検知用のダイヤフラムとを有する感圧素子を利用したセンサである。そして，この圧力センサは，上記歪ゲージにより，圧力によるダイヤフラムのひずみ量を計測することにより圧力を測定する。
【０００２】
感圧素子を配置する受圧面を有するコネクタハウジングと，センサハウジングとからなる圧力センサにおいて，上記の感圧素子は，センサハウジングに挿入したコネクタハウジングと，センサハウジングとの間の圧力室に収容されるよう構成されている。
コネクタハウジングの内部には，一体成形されたターミナルピンが貫通している。ターミナルピンの一方の端部は，受圧面に露出し，感圧素子と電気的に接続される。ターミナルピンにおける他方の端部は，外部機器等の外部コネクタを接続するためのコネクタソケット等に突出している。圧力センサにおいては，このターミナルピンを介して，感圧素子への電源供給，信号出力等が可能となっている。
【０００３】
受圧面に露出するターミナルピンと感圧素子とを電気的に接続する方法の一つとして，ワイヤボンディングによる接続方法がある。ワイヤボンディングにおいては，受圧面から突出させたターミナルピンと，感圧素子に設けられた電極パッドとを，Ａｕ線，Ａｌ線等よりなるボンディングワイヤを用いて相互に接続する。
他の方法としては，感圧素子の取付け面にターミナルピンの先端面を露出させておき，バンプ材等を介して，上記先端面と感圧素子の電極パッドとを直接接合する方法がある。
【０００４】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来の圧力センサにあっては，次のような問題がある。
即ち，ボンディングワイヤは，５０μｍ程度の非常に細い金属線であるため，断線するおそれがある。
また，ターミナルピンの先端面と，感圧素子の電極パッドとを直接接合する場合には，その接合箇所にクラックを生じるおそれがある。ターミナルピンを保持するコネクタハウジングと，感圧素子自体との温度膨張係数の相違により，両者の接合箇所に歪による応力が発生しうるからである。
【０００５】
本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，ターミナルピンと感圧素子との電気的な接続不良を生じるおそれが少なく，電気的信頼性の高い圧力センサを提供しようとするものである。
【０００６】
【課題の解決手段】
本発明は，相互に電気的に接続されたターミナルピンと感圧素子とを配置している受圧面を有するコネクタハウジングと，該コネクタハウジングを挿入するセンサハウジングと，上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとの間に形成された圧力室とを有し，該圧力室に上記感圧素子を収容してある圧力センサにおいて，
上記コネクタハウジングの内部を貫通すると共に上記受圧面から突出する上記ターミナルピンには，上記感圧素子の上面に向けて伸ばされた弾性を有する金属製の接点部材を接続してあり，
上記接点部材は，上記感圧素子に設けられた電極パッド部に当接する接触部と，上記ターミナルピンと接合される基部とを有しており，
上記接触部と該電極パッド部とは，上記接点部材の弾性に基づく付勢力により接合することなく接触し，電気的な接続状態にあることを特徴とする圧力センサにある（請求項１）。
【０００７】
本発明の上記圧力センサにおいては，上記ターミナルピンと上記感圧素子における上記電極パッド部とは，上記のごとく，弾性を有する上記接点部材により電気的に接続してある。そのため，例えば，ボンディングワイヤのごとく断線等の電気的なトラブルを生じることがない。
【０００８】
また，上記接点部材における上記接触部と上記電極パッド部とは，接合されることなく相互に接触している。そのため，温度変動等により接触部と電極パッド部との相対的な寸法関係が変化した場合であっても，両者を電気的に接続する接続箇所に歪による応力が発生することがない。したがって，本発明の圧力センサによれば，例えばターミナルピンと感圧素子とを直接接合した場合に起こり得る接合クラック等の問題を生じるおそれが少ない。
【０００９】
さらに，上記接触部は，上記接点部材の弾性に基づく付勢力により，上記電極パッド部に向けて押し付けられている。そのため，上記接触部と上記電極パッド部とが接触しているのみの状態であっても，両者の間を確実に電気的に接続させることができる。また，温度変動等による各部の寸法変化が生じた場合であっても，上記接点部材の弾性変形により吸収することができ，上記接触部と上記電極パッド部との接触状態が変動するおそれは少ない。
【００１０】
このように，本発明によれば，ターミナルピンと感圧素子との電気的な接続不良を生じるおそれが少なく，電気的信頼性の高い圧力センサを提供することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明においては，上記接点部材は，該接点部材又は上記電極パッド部のいずれかに接合されたバンプ材を介在させて，上記電極パッド部と電気的に接続されていることが好ましい（請求項２）。
この場合には，上記バンプ材により，上記接点部材と上記電極パッド部との間の接触面積を適切に設定できる。そして，単位面積当たりの接触荷重を高くして，両者を確実に電気的に接続することができる。
【００１２】
また，上記接点部材における上記基部は，上記ターミナルピンの先端の端面である先端面に接合してあることが好ましい（請求項３）。
上記センサハウジングに未挿入の上記コネクタハウジングにおいて，上記ターミナルピンの先端面が露出する上記受圧面は，外部に露出している。
そのため，上記先端面に接合する場合には，コネクタハウジングにインサート成形されたターミナルピンに対して，上記接点部材を作業性良く接合できる。
【００１３】
また，上記接点部材における上記基部は，上記ターミナルピンの側面に接合してあることも良い（請求項４）。
この場合には，上記ターミナルピンの側面において，上記接点部材における上記基部と上記ターミナルピンとの接触長さを十分確保して，両者を確実に接合することができる。
【００１４】
また，上記接点部材は，板状の部材よりなることが好ましい（請求項５）。
この場合には，上記接点部材における，上記感圧素子の上記電極パッド部と対面する部位は平面となり，接点部材と電極パッド部との位置ずれ等を許容できるようになる。そのため，両者を，さらに確実に信頼性高く電気的に接続することができる。
【００１５】
また，上記接点部材は，上記基部と上記接触部との間に，曲げ剛性を調節するための形状変化部を有していることが好ましい（請求項６）。
この場合には，上記形状変化部により，上記接点部材全体における曲げ剛性を適切に調節できる。そして，上記接点部材における上記接触部を，適切な付勢力により上記電極パッド部に当接させることができる。
なお，上記形状変化部としては，コーナー状の曲がり部よりなる部分，２つ以上の曲がり部を組み合わせた波状形状よりなる部分や上記基部及び上記接触部よりも狭幅又は薄肉の部分等とすることが考えられる。
【００１６】
また，上記コネクタハウジングの上記受圧面から突出する上記ターミナルピンの外周には，上記コネクタハウジングと上記ターミナルピンとの隙間をシールするシール用接着剤を配設してあることが好ましい（請求項７）。
この場合には，上記受圧面から突出する上記ターミナルピンの外周を，確実にシールすることができる。
【００１７】
また，上記受圧面には，パリレンコート処理による被膜が形成してあることが好ましい（請求項８）。
上記パリレンコート処理とは，ＣＶＤ法（化学蒸着法）により，ポリパラキシリレン，ポリモノクロロパラキシリレン，ポリジクロロパラキシリレン等のジパラキシリレン誘導体による被膜を形成する処理である。
【００１８】
上記受圧面に，パリレンコート処理による被膜を形成する場合には，上記接点部材や上記感圧素子を含めて，パリレンコート処理による被膜により覆うことができる。そのため，上記接点部材や上記感圧素子を，圧力媒体や圧力計測対象流体等から保護することができ，上記接触部と上記電極パッド部との接触面に異物等が混入するおそれがない。したがって，両者間の電気的接続の信頼性は，さらに高められることとなる。
【００１９】
【実施例】
（実施例１）
本発明の実施例にかかる圧力センサ１について，図１〜図３を用いて説明する。
本例の圧力センサ１は，図１に示すごとく，相互に電気的に接続されたターミナルピン１０と感圧素子２０とを配置している受圧面３２を有するコネクタハウジング３０と，該コネクタハウジング３０を挿入するセンサハウジング４０と，コネクタハウジング３０とセンサハウジング４０との間に形成された圧力室４２とを有している。そして，該圧力室４２には，感圧素子２０を収容してある。
【００２０】
ターミナルピン１０は，コネクタハウジング３０の内部を貫通すると共に受圧面３２側に突出している。このターミナルピン１０には，感圧素子２０の上面に向けて伸ばされた弾性を有する金属製の接点部材１２０を接続してある。
接点部材１２０は，感圧素子２０の電極パッド部２０１に当接する接触部１２２と，ターミナルピン１０と接合される基部１２１とを有している。
そして，接触部１２２と該電極パッド部２０１とは，接点部材１２０の弾性に基づく付勢力により接合することなく接触し，電気的な接続状態にある。
以下，この内容について詳しく説明する。
【００２１】
本例の圧力センサ１は，図１に示すごとく，シールダイヤフラム４３を有するセンサハウジング４０に，ターミナルピン１０と感圧素子２０とを有するコネクタハウジング３０を挿入して組み立てたセンサである。すなわち，本例の圧力センサ１は，圧力計測対象である流体とは隔離された圧力室４２を有するものである。そして，この圧力センサ１は，シールダイヤフラム４３に作用する上記流体の圧力を，圧力室４２に封入した圧力伝達媒体を介して，感圧素子２０により検知できるよう構成されている。
感圧素子２０は，シリコン基板上のシリコン層を加工して歪ゲージを形成するとともに，シリコン基板を精密にエッチングしてセンサダイヤフラムを形成したものである。
【００２２】
ＰＰＳ樹脂よりなるコネクタハウジング３０は，図１に示すごとく，後述するごとくターミナルピン１０をインサートして一体成形されていると共に，センサハウジング４０に挿入する挿入部３５と，外部機器のコネクタ（図示略）と電気的に接続するためのソケット部３００とを有している。
【００２３】
コネクタハウジング３０における挿入部３５は，図１に示すごとく，上記挿入方向に略平行な軸を中心とした略円柱形状の挿入基部３５３と，該挿入基部３５３よりも小径である略円柱形状の挿入先端部３５１とを有している。そして，該挿入先端部３５１と挿入基部３５３との間には，コネクタテーパ面３５２を配設してある。
【００２４】
さらに，この挿入先端部３５１は，図１に示すごとく，その外周面に，圧力室４２を密閉するためのＯリング５０及びバックアップリング５１を配設できるよう構成されており，挿入先端部３５１の外周面には，Ｏリング５０及びバックアップリング５１を配設するためのリング溝３５０を設けてある。
【００２５】
ソケット部３００は，図１に示すごとく，外部機器（図示略）と電気的に接続するための外部コネクタ（図示略）を挿入することができるよう構成されていると共に，該ソケット部３００の内部には，それぞれのターミナルピン１０における一方の端部を突出させてある。そして，それぞれのターミナルピン１０は，ソケット部３００に挿入された上記外部コネクタの各電極と電気的に接触するよう構成されている。
【００２６】
コネクタハウジング３０の挿入方向の端面である受圧面３２には，内方へ向けて窪んでいる窪み部３２０が設けてある。該窪み部３２０には，図１に示すごとく，ターミナルピン１０の他方の端部である突出部１１０を突出させてあると共に，感圧素子２０を配置してある。
上記のターミナルピン１０としては，図２に示すごとく，電源用，グランド用及び信号出力用の３本があり，これらのターミナルピン１０は，すべてソケット部３００から受圧面３２へとコネクタハウジング３０を貫通するように，インサート成形によってコネクタハウジング３０内部に一体的に配置されている。
【００２７】
各ターミナルピン１０と，感圧素子２０に設けられた電極パッド部２０１とは，図２，図３に示すごとく，突出部１１０の先端にある接合面１０１に接合された接点部材１２０により電気的に接続されている。該接点部材１２０は，ばね材であるＳＵＳ材よりなる平板状の部材である。この接点部材１２０は，その一方の端部である基部１２１においてターミナルピン１０の接合面１０１にスポット溶接により接合されている。
【００２８】
一方，感圧素子２０の電極パッド部２０１には，図２，図３に示すごとく，バンプ材２２が接合されている。該バンプ材２２に対しては，上記接点部材１２０における他方の端部である接触部１２２を当接させてある。バンプ材２２と接触部１２２との間には，接点部材１２０自体の弾性に基づく付勢力を作用させてある。
また，各ターミナルピン１０における突出部１１０と，コネクタハウジング３０との境界部は，図３に示すごとく，シリコーン系シール材からなるシール層１２によりシールされ，圧力室４２の気密性を保持できるように構成されている。
【００２９】
センサハウジング４０は，ステンレススチールよりなると共に，図１に示すごとく，上記シールダイヤフラム４３のコネクタハウジング３０側に，上記挿入部３５を挿入する凹部４５と，該凹部４５に挿入された挿入部３５に係合するカシメ部４１とを有している。
【００３０】
センサハウジング４０における凹部４５は，図１に示すごとく，上記挿入先端部３５１を挿入する略円柱形状の内周面を形成する第１凹部４５１と，上記挿入基部３５３を挿入する略円柱形状の第２凹部４５３とを有している。そして，該第２凹部４５３と上記第１凹部４５１との間に，センサテーパ面４５２が配設されている。また，凹部４５の底面部分には，シールダイヤフラム４３が配設されている。
センサテーパ面４５２は，図１に示すごとく，コネクタハウジング３０の上記挿入先端部３５１に配設されたＯリング５０を第１凹部４５１に滑らかに挿入できるよう上記挿入方向とのなす角Ｒを２５度に設定してある。
【００３１】
センサハウジング４０は，図１に示すごとく，シールダイヤフラム４３の被計測環境側に圧力計測対象としての流体，気体等をシールダイヤフラム４３側へ導入する圧力導入孔４４１と，圧力計測対象としての流体等を収容する配管パイプ等に対して圧力センサ１を取り付けるためのネジ部４４２とを有している。
【００３２】
上記のごとく構成されたコネクタハウジング３０とセンサハウジング４０とを組み立てて製造された圧力センサ１は，図１に示すごとく，コネクタハウジング３０を挿入したセンサハウジング４０のカシメ部４１を内径方向に変形させてある。このようにカシメ部４１を内径方向に変形させることにより，カシメ部４１を，コネクタハウジング３０の挿入基部３５３に係合させ，固定してある。
【００３３】
コネクタハウジング３０とセンサハウジング４０とは，図１に示すごとく，それぞれが有するコネクタテーパ面３５２とセンサテーパ面４５２とを密着させることにより，両者の挿入方向の位置が規制されている。すなわち，コネクタハウジング３０の挿入先端にある受圧面３２とセンサハウジング４０の凹部４５の底部とは接触することなく，両者の間に所定の隙間が形成されている。
また，コネクタテーパ面３５２とセンサテーパ面４５２との間には，上記かしめ部４１をかしめる際に生じる挿入方向の荷重を作用させてある。
【００３４】
この圧力センサ１は，コネクタハウジング３０の受圧面３２とセンサハウジング４０のシールダイヤフラム４３とが対峙して形成された空間よりなる圧力室４２を有している。この圧力室４２には，上記圧力伝達媒体としてシリコンオイルが充填されている。また，挿入先端部３５１に配設されたリング溝３５０と，第１凹部４５１との間隙に装着されたＯリング５０及びバックアップリング５１によりシールされている。このＯリング５０は，リング溝３５０における挿入方向の反対側の端面により押圧されたバックアップリング５１により保持され，高圧にも耐え得るよう構成されている。
【００３５】
そして，以上のごとく構成された圧力センサ１を用いて，圧力を計測するに当たって，センサハウジング４０に設けられたねじ部４４２により，圧力計測対象としての流体等を収容する配管パイプ等に取り付けられるよう構成してある。そして，圧力導入孔４４１を経由してシールダイヤフラム４３側に導入される圧力計測対象としての流体の圧力は，圧力室４２に充填されたシリコンオイルを介して感圧素子２０のセンサダイヤフラムに伝達されるよう構成してある。
【００３６】
以上のごとく，本例の圧力センサ１においては，図３に示すごとく，ターミナルピン１０と感圧素子２０とは，ばね材よりなる接点部材１２０により電気的に接続してある。該接点部材１２０は，弾性を有する程度の強度を有しているため，例えば，ボンディングワイヤのごとく断線等のトラブルを生じることがない。
【００３７】
また，接点部材１２０と電極パッド部２０１とは，相互に接触している状態にしてある。そのため，圧力センサ１に温度変動等を生じ，その受圧面３２に平行な方向に寸法変化を生じた場合であっても，接点部材１２０と電極パッド部２０１との接合部に歪による応力が発生することがない。そのため，本例の圧力センサ１は，接合クラック等の問題は全く生じない。
【００３８】
さらに，接点部材１２０は，その弾性に基づく付勢力により，電極パッド部２０１に接合されたバンプ材２２に押し付けられている。この付勢力により，接点部材１２０は，電極パッド部２０１に接合されたバンプ材２２に押圧されて確実に接触し，両者は信頼性高く電気的に接続されている。
また，接点部材１２０の弾性により，温度変動等により生じ得る上記受圧面３２に略直交する方向の寸法変化を吸収することができる。そのため，受圧面３２に略直交する方向において寸法変化が生じても，接点部材と電極パッド部２０１との接触状態が変動するおそれは少ない。
【００３９】
このように，本例の圧力センサ１は，ターミナルピン１０と感圧素子２０との電気的な接続不良を生じるおそれが少なくその電気的信頼性が高い。
上記接点部材１２０の材質としては，本例のほか，鉄，ベリリウム銅，リン青銅，黄銅，アルミ等により作製することもできる。
【００４０】
また，図４に示すごとく，接点部材１２０における接触部１２２と基部１２１との間に，２つのターン部よりなるＳ字形状のベント部１２３を配置することも有効である。この場合には，ターン数やターン部曲率等のベント部１２３の形状に応じて，接点部材１２０全体における曲げ剛性を調節することができ，接触部１２２の付勢力を適切に設定できる。
なお，曲げ剛性を調節する他の方法としては，図５に示すごとく，接点部材１２０における接触部１２２と基部１２１との間に，幅が狭い中間部１２９を設けることも有効である。
【００４１】
なお，本例の圧力センサ１におけるセンサハウジング４０に代えて，シールダイヤフラム４３を有していないセンサハウジングを適用することもできる。この場合には，圧力計測対象である流体が圧力室に流入し，感圧素子２０のセンサダイヤフラムに直接作用することとなる。
【００４２】
（実施例２）
本例は，実施例１の圧力センサを基にして，接点部材の接合方法及び接合面のシール方法を変更した例である。以下，この内容について，図６，図７，図８を用いて説明する。
本例の接点部材１３０は，図６，図７に示すごとく，その基部１３１において，互いに対向すると共にターミナルピン１０を狭持するつめ部１３５，１３６を有している。このつめ部１３５，１３６は，基部１３１から接触部１３２に至る部分と略直交する面を形成するよう構成されている。
圧力センサ１における接点部材１３０は，つめ部１３５，１３６に挟まれた間隔にターミナルピン１０を挿入したうえ，ターミナルピン１０の側面に圧着し，さらにレーザ溶接してある。
【００４３】
また，接点部材１３０を圧着した後の受圧面３２には，実施例１におけるシリコーン系接着剤による上記シール層に代えて，ＣＶＤ法によるパリレンコーティング被膜を形成してある。
次に，パリレンコーティングを実施する方法について説明する。受圧面３２にパリレンコーティングによる被膜３２１を形成するに当たっては，図８に示すごとく，まず，気化器６０１により原料であるジパラキシリレンを１７５℃以下，１３３Ｐａ以下で気化し，さらに，熱分解室６０２により６８０℃以下，６７Ｐａ以下で熱分解を実施して，ジラジカルパラキシリレンを得る。
【００４４】
そして，このジラジカルパラキシリレンを蒸着室６０３に導入して，３５℃以下，１３Ｐａ以下にすることにより，蒸着室６０３内に保管したコネクタハウジング３０における受圧面３２にポリパラキシリレンを蒸着することで，被膜３２１を完成させている。
そしてその後，バキュームポンプ６０５により吸引された防臭冷却筒６０４により蒸着室６０３内の余剰成分をポリマー化させ廃却している。
【００４５】
上記のごとく本例の圧力センサ１において，接点部材１３０は，ターミナルピン１０の側面に圧着してある。そのため，ターミナルピン１０の先端面の傾きや荒れ等の影響を受けることなく，接点部材１３０を所定の位置に精度良く簡便に配置することができる。
【００４６】
また，上記パリレンコーティングによれば，図７に示すごとく，ターミナルピン１０，感圧素子２０や接点部材１３０を含めて受圧面３２全面を，パリレンコート処理による被膜３２１により覆うことができる。
そのため，接点部材１２０とバンプ材２２との接触面に異物等が混入するおそれがなく，電気的な信頼性が高い。
【００４７】
このように本例の圧力センサ１は，精度良く取り付けられた接合部材１３０を被膜３２１により覆って保護してある。そのため，上記圧力センサ１は，電気的な信頼性が高く，長期間に渡ってその優れた検出性能を維持することができる。
なお，その他の構成及び作用効果については，実施例１と同様である。
【００４８】
（実施例３）
本例は，実施例１の圧力センサを基にして，ターミナルピンにおける接点部材の接合箇所を変更した例である。以下，この内容について図９を用いて説明する。
本例の接合部材１４０は，図９に示すごとく，基部１４１と接触部１４２との間に，略直角の曲がり部１４３を有している。
【００４９】
そして，基部１４１は，図９に示すごとく，ターミナルピン１０の側面にスポット溶接接合されている一方，接触部１４２は，感圧素子２０に対面している。この接触部１４２は，曲がり部１４３が発揮する弾性に基づく付勢力により感圧素子２０に押し付けられている。
【００５０】
本例の接点部材１４０は，図９に示すごとく，ターミナルピン１０の側面に接合されている。そのため，接触部１４２の傾きが，ターミナルピン１０の先端面傾き等の影響を受けることがない。したがって，本例の圧力センサ１によれば，接点部材１４０の取付け精度が良好である。
なお，その他の構成及び作用効果については，実施例１と同様である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，圧力センサの構造を示す断面図。
【図２】実施例１における，コネクタハウジングにおける受圧面を示す正面図。
【図３】実施例１における，コネクタハウジングにおける受圧面周辺を示す断面図。
【図４】実施例１における，その他の構成によるコネクタハウジングにおける受圧面周辺を示す断面図。
【図５】実施例１における，その他の構成によるコネクタハウジングにおける受圧面周辺を示す断面図。
【図６】実施例２における，コネクタハウジングにおける受圧面を示す正面図。
【図７】実施例２における，コネクタハウジングにおける受圧面周辺を示す断面図。
【図８】実施例２における，パリレンコーティングの実施手順を示す工程図。
【図９】実施例３における，コネクタハウジングにおける受圧面周辺を示す断面図。
【符号の説明】
１．．．圧力センサ，
１０．．．ターミナルピン，
１２０，１３０，１４０．．．接点部材，
１２１，１３１，１４１．．．基部，
１２２，１３２，１４２．．．接触部，
１２３．．．ベント部，
１４３．．．曲がり部，
２０．．．感圧素子，
２２．．．バンプ材，
３０．．．コネクタハウジング，
３２．．．受圧面，
３２１．．．被膜，
３５．．．挿入部，
３５０．．．リング溝，
３５１．．．挿入先端部，
３５２．．．コネクタテーパ面，
３５３．．．挿入基部，
４０．．．センサハウジング，
４２．．．圧力室，
４５．．．凹部，
４５１．．．第１凹部，
４５２．．．センサテーパ面，
４５３．．．第２凹部，
５０．．．Ｏリング，
５１．．．バックアップリング，
【図１】
2004061367.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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