(57)【要約】【課題】板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱できる板状被処理物の強制冷却・加熱方法を得る。【解決手段】対向する内面１ａ，１ｂが平行となっている処理室２内に所要温度の風を入口から層流として送り込む。処理室２内に配置した板状被処理物５の表面に沿って風を流して強制的に冷却または加熱する。この際に、板状被処理物５の表面に沿って層流として風を流せるように処理室２の出口２ｂでは、入口２ａに送り込む風量とほぼ同量の風量を排気させる。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する内面が平行となっている処理室内に所要温度の風を入口から層流として送り込み、前記処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って前記風を流して強制的に冷却または加熱する板状被処理物の強制冷却・加熱方法において、
前記板状被処理物の表面に沿って層流として前記風を流せるように前記処理室の出口では前記入口に送り込む風量とほぼ同量の風量を排気させることを特徴とする板状被処理物の強制冷却・加熱方法。
【請求項２】
対向する内面が平行となっている処理室内に入口より
入口整流手段を経て所要温度の風を層流として送り込み、前記処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って前記風を流して強制的に冷却または加熱する板状被処理物の強制冷却・加熱装置において、
前記板状被処理物の表面に沿って層流として前記風を流せるように前記処理室の出口には、前記処理室の入口に送り込む風量とほぼ同量の風量を出口整流手段を経て排気する排気ファンが設けられていることを特徴とする板状被処理物の強制冷却・加熱装置。
【請求項３】
前記処理室内の対向内面に冷却・加熱手段がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項２に記載の板状被処理物の強制冷却・加熱装置。
【請求項４】
前記処理室の入口には、前記板状被処理物を１秒以下の速度で通過できる風速の前記所要温度の風を送り込める送風ファンが設けられていることを特徴とする請求項２または３に記載の板状被処理物の強制冷却・加熱装置。
【請求項５】
対向する内面が平行となっている処理室内に該処理室の中間の送気部から所要温度の風を送り込み、前記処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って層流として前記風を流せるように前記処理室の出口では前記送気部から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を排気させることを特徴とする板状被処理物の強制冷却・加熱方法。
【請求項６】
対向する内面が平行となっている処理室内に該処理室の中間から所要温度の風を送り込む送気部と、前記処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って層流として前記風を流せるように前記処理室の出口には前記送気部から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を出口整流手段を経て排気する排気ファンが設けられていることを特徴とする板状被処理物の強制冷却・加熱装置。
【請求項７】
前記出口は対向して２つ設けられ、これら２つの出口の前記排気ファンは前記送気部から送り込まれた風量の１／２の風量の排気を行うものであることを特徴とする請求項６に記載の板状被処理物の強制冷却・加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶表示器やプラズマディスプレイの如きフラットパネル表示器のフラットパネルの如き板状処理物を強制的に冷却または加熱する板状被処理物の強制冷却・加熱方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば液晶表示器やプラズマディスプレイの如きフラットパネル表示器のフラットパネルの如き板状処理物を加熱処理の後に強制的に冷却または加熱する場合には、対向する内面が平行となっている処理室内に入口整流手段を経て所要温度の冷却風を層流として送り込み、処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って所要温度の冷却風を流して強制的に冷却または加熱していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の板状被処理物の強制冷却・加熱方法及び装置では、処理室内に所要温度の風を単に層流として送り込むだけであったので、処理室内で層流が乱されて乱流が発生し、板状被処理物の表面の各部を一様に冷却または加熱することができず、板状被処理物の各部の品質が一様にならない問題点があった。板状被処理物の各部の品質が一様にならないと、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルの場合には、使用時に色むらが発生する問題点があった。
【０００４】
本発明の目的は、板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱できる板状被処理物の強制冷却・加熱方法及び装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、対向する内面が平行となっている処理室内に所要温度の風を入口から層流として送り込み、処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って風を流して強制的に冷却または加熱する板状被処理物の強制冷却・加熱方法を改良するものである。
【０００６】
本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱方法は、板状被処理物の表面に沿って層流として該風を流せるように処理室の出口では入口に送り込む風量とほぼ同量の風量を排気させることを特徴とする。
【０００７】
このようにすると、処理室内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【０００８】
また本発明は、対向する内面が平行となっている処理室内に入口より入口整流手段を経て所要温度の風を層流として送り込み、処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って該風を流して強制的に冷却または加熱する板状被処理物の強制冷却・加熱装置を改良するものである。
【０００９】
本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置では、板状被処理物の表面に沿って層流として前記風を流せるように処理室の出口には、処理室の入口に送り込む風量とほぼ同量の風量を出口整流手段を経て排気する排気ファンが設けられていることを特徴とする。
【００１０】
このように処理室の出口に、処理室の入口に送り込む風量とほぼ同量の風量を出口整流手段を経て排気する排気ファンを設けると、処理室内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【００１１】
この場合、処理室内の対向内面には、冷却・加熱手段がそれぞれ設けられていることが好ましい。このようになっていると、冷却または加熱を一層効率よく行わせることができる。
【００１２】
また、処理室の入口には、板状被処理物を１秒以下の速度で通過できる風速の所要温度の風を送り込める送風ファンが設けられていることが好ましい。このような風速になっていると、板状被処理物に対する風の流れ方向の上手側で該板状被処理物との熱交換の悪影響を受けることなく該板状被処理物の下手側を該風で冷却または加熱することができて、板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。
【００１３】
また、本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱方法は、対向する内面が平行となっている処理室内に該処理室の中間の送気部から所要温度の風を送り込み、処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って層流として該風を流せるように処理室の出口では送気部から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を排気させることを特徴とする。
【００１４】
このような方法でも、処理室内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【００１５】
また、本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置は、対向する内面が平行となっている処理室内に該処理室の中間から所要温度の風を送り込む送気部と、該処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って層流として風を流せるように処理室の出口には送気部から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を出口整流手段を経て排気する排気ファンが設けられていることを特徴とする。
【００１６】
このように構成されていると、処理室内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【００１７】
出口が対向して２つ設けられている場合には、これら２つの出口の排気ファンは送気部から送り込まれた風量の１／２の風量の排気を行うものであることが好ましい。このようになっていると、送気部の両側の出口に向かって風を、板状被処理物の表面に沿って層流として流すことができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置における実施の形態の第１例を示す縦断面図である。
【００１９】
本例の板状被処理物の強制冷却・加熱装置は、対向する内面１ａ，１ｂが平行となっている処理室２を備えている。この処理室２の入口２ａには、該処理室２内に入口整流手段３を経て所要温度の風を層流として送り込む送風ファン４が複数台並設されている。風の温度は、事前に冷却または加熱してから送り込むようになっている。入口整流手段３は、板状部材に多数の整流孔を貫通させて形成されている。処理室２内には、板状被処理物５が、所定の高さで水平向きに並設された複数本の石英管の如き支持体６上に水平向きで置かれて配置されている。送風ファン４は、板状被処理物５を１秒以下の速度で通過できる風速の風を送り込めるようになっている。処理室２の出口２ｂには、処理室２の入口２ａに送り込む風量とほぼ同量の風量を出口整流手段７を経て排気する複数台の排気ファン８が並設されている。出口整流手段７は、板状部材に多数の整流孔を貫通させて形成されている。また、処理室２内の対向内面１ａ，１ｂには、ジャケットよりなる冷却・加熱手段９ａ，９ｂがそれぞれ設けられている。処理室２内で対向内面１ａ，１ｂに直交する対向面にも、同様に冷却・加熱手段がそれぞれ設けられている。
【００２０】
次に、このような第１例の板状被処理物の強制冷却・加熱装置を用いた第１例の板状被処理物の強制冷却・加熱方法について説明する。
【００２１】
この板状被処理物の強制冷却・加熱方法では、対向する内面１ａ，１ｂが平行となっている処理室２内に、所要温度の風を入口２ａから入口整流手段３を経て層流として送風ファン４で送り込む。この際に、送風ファン４は、板状被処理物５を１秒以下の速度で通過できる風速の風を送り込むようにする。一方、処理室２の出口２ｂでは、処理室２内の板状被処理物５の表面に沿って該風を層流として流せるように、入口２ａに送り込む風量とほぼ同量の風量を出口整流手段７を経て排気ファン８で排気させる。
【００２２】
このように処理室２の出口２ｂに、処理室２の入口２ａに送り込む風量とほぼ同量の風量を出口整流手段７を経て排気する排気ファン８を設けると、処理室２内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物５の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物５の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物５が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【００２３】
また、処理室２内の対向内面に冷却・加熱手段９ａ，９ｂがそれぞれ設けられていると、冷却または加熱を一層効率よく行わせることができる。
【００２４】
さらに、処理室２の入口２ａに、板状被処理物５を１秒以下の速度で通過できる風速の風を送り込める送風ファン４が設けられていると、板状被処理物５に対する風の流れ方向の上手側で該板状被処理物５との熱交換の悪影響を受けることなく該板状被処理物５の下手側を該風で冷却または加熱することができて、板状被処理物５の各部を一様に冷却または加熱することができる。この場合、送風ファン４による風の風速は、板状被処理物５を１秒以下の速度で通過できる速さであれば、速い程よい。
【００２５】
図２は本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置における実施の形態の第２例を示す縦断面図である。
【００２６】
本例の板状被処理物の強制冷却・加熱装置は、対向する内面１ａ，１ｂが平行となっている処理室２を備えている。この処理室２内には、該処理室２の中間から所要温度の風を送り込む送気部１０が設けられている。この送気部１０は、内面１ａに沿って所定間隔で配置された複数本の送風配管１１により構成されている。これら送風配管１１には、図示しないが所定間隔で送風ノズルが開口されている。処理室２には、送気部１０を間にして対向する両側に２つの出口２ｂが設けられている。処理室２内には、所定の高さで水平向きに並設された複数本の石英管の如き支持体６が配置されている。これら支持体６上に板状被処理物５が載せられて配置されている。この処理室２内に配置された板状被処理物５の表面に沿って層流として所要温度の風を流せるように、処理室２の２つの出口２ｂには、送気部１０から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を出口整流手段７を経て排気する排気ファン８が複数台並設されている。これら２つの出口２ｂの排気ファン８は、送気部１０から送り込まれた風量の１／２の風量の排気を行うようになっている。出口整流手段７は、板状部材に多数の整流孔を貫通させて形成されている。
【００２７】
次に、このような第２例の板状被処理物の強制冷却・加熱装置を用いた第２例の板状被処理物の強制冷却・加熱方法について説明する。
【００２８】
この板状被処理物の強制冷却・加熱方法では、対向する内面１ａ，１ｂが平行となっている処理室２内に該処理室２の中間の送気部１０から所要温度の風を送り込む。処理室２内に配置された板状被処理物５の表面に沿って層流として該風を流せるように処理室２の２つの出口２ｂでは、送気部１０から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を排気させる。
【００２９】
このような方法及び装置でも、処理室２内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物５の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物５の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物５が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【００３０】
上記各例では、各装置及び板状被処理物５を水平向き（横向き）にして冷却・加熱を行うように記載したが、各装置及び板状被処理物５を垂直向き（縦向き）にして冷却・加熱することもできる。
【００３１】
【発明の効果】
本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱方法では、板状被処理物の表面に沿って層流として該風を流せるように処理室の出口では入口に送り込む風量とほぼ同量の風量を排気させるので、処理室内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【００３２】
また本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置では、板状被処理物の表面に沿って層流として前記風を流せるように処理室の出口には、処理室の入口に送り込む風量とほぼ同量の風量を出口整流手段を経て排気する排気ファンを設けているので、処理室内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【００３３】
この場合、処理室内の対向内面に冷却・加熱手段がそれぞれ設けられていると、冷却または加熱を一層効率よく行わせることができる。
【００３４】
また、処理室の入口に、板状被処理物を１秒以下の速度で通過できる風速の所要温度の風を送り込める送風ファンを設けると、板状被処理物に対する風の流れ方向の上手側で該板状被処理物との熱交換の悪影響を受けることなく該板状被処理物の下手側を該風で冷却または加熱することができて、板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。
【００３５】
また、本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱方法は、対向する内面が平行となっている処理室内に該処理室の中間の送気部から所要温度の風を送り込み、処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って層流として該風を流せるように処理室の出口では送気部から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を排気させるので、処理室内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【００３６】
また、本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置は、対向する内面が平行となっている処理室内に該処理室の中間から所要温度の風を送り込む送気部と、該処理室内に配置された板状被処理物の表面に沿って層流として風を流せるように処理室の出口には送気部から送り込まれた風量とほぼ同量の風量を出口整流手段を経て排気する排気ファンを設けているので、処理室内で乱流が発生せずに、層流の状態で板状被処理物の表面に沿って所要温度の風を流して強制的に冷却または加熱を行うことができる。このため板状被処理物の各部を一様に冷却または加熱することができる。それ故、板状被処理物が例えばフラットパネル表示器のフラットパネルでも、使用時に色むらが発生することはない。
【００３７】
出口が対向して２つ設けられている場合には、これら２つの出口の排気ファンを、送気部から送り込まれた風量の１／２の風量の排気を行うものとすると、送気部の両側の出口に向かって風を、板状被処理物の表面に沿って層流として流すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置における実施の形態の第１例の縦断面図である。
【図２】本発明に係る板状被処理物の強制冷却・加熱装置における実施の形態の第２例の縦断面図である。
【符号の説明】
１ａ，１ｂ　内面
２　処理室
３　入口整流手段
４　送風ファン
５　板状被処理物
６　支持体
７　出口整流手段
８　排気ファン
９ａ，９ｂ　冷却・加熱手段
１０　送風部
１１　送風配管
【図１】
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【図２】
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