(57)【要約】【課題】弛みや皺を生じさせたりすることなく、カバーシートをディスク基板の記録面上に搬送し、かつカバーシート全体をディスク基板の記録面上に隙間が生じないように重ね合せる。【解決手段】貼合ユニット５４では、吸引穴１４４がカバーシート２４の搬入方向Ｂに沿ってシート載置面９２における最も流側に配置され、また吸引穴１４６が吸引穴１４４に対して搬入方向に沿って下流側に配置され、残りの吸引穴がシート載置面９２全体に多数配置されると共に、吸引穴１４４，１４６が高真空用の負圧室１４０に連通し、残りの吸引穴については、負圧室１４０及び負圧室１４２の何れかに連通している。これにより、シート載置面９２上に載置されたカバーシート２４に対する単位面積当たりの吸着力がカバーシート２４の搬出方向への移動に従って略連続的に増大する。【選択図】  図５
2004171717.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも片側の面が記録面とされ、該記録面に情報記録層が形成されたディスク基板と、樹脂フィルムの片側の面に粘着膜が成膜されてなり、該粘着膜を介して前記記録面に貼り合わされて前記情報記録層を覆う透明なカバー層を構成する薄膜状のカバーシートと、を有する光ディスクを製造する光ディスクの製造装置であって、
ディスク基板を支持するディスク支持台と、
カバーシートが摺動可能とされたシート載置面が設けられ、該シート載置面上に前記樹脂フィルムが接するようにカバーシートが載置されるシート搬送台と、
前記シート載置面に凹状のシート吸引部を開口させ、該シート載置面上にカバーシートが載置されると、該カバーシートに前記シート吸引部を通して負圧を作用させカバーシートをシート載置面上に吸着するシート吸着手段と、
前記シート吸着手段により前記シート載置面上にカバーシートが吸着されると、前記シート搬送台を前記シート載置面上のカバーシートの一端部が前記ディスク支持台により支持されたディスク基板の一端部と重なり合う貼合開始位置に支持した後、該シート搬送台を前記貼合開始位置からディスク基板の記録面に沿って他端部側へ移動させるシート搬送手段と、
前記シート搬送台により前記ディスク基板に重ね合わされたカバーシートに圧接しつつ、該シート搬送台の前記貼合開始位置からの移動に追従してカバーシート上の一端部から他端部へ移動し、カバーシートを前記シート載置面上からディスク基板の記録面上へ相対的に移動させつつ、該記録面上に移動したカバーシートを加圧する加圧部材とを有し、
前記シート吸着手段が、前記シート載置面上に載置されたカバーシートに対する単位面積当たりの吸着力を、前記シート載置面におけるカバーシートの摺動方向への移動に従って段階的又は略連続的に増大させることを特徴とする光ディスクの製造装置。
【請求項２】
前記シート吸着手段は、前記シート載置面における単位面積当たりの前記シート吸引部の開口面積を前記摺動方向に向って増大させて、前記シート載置面上に載置されたカバーシートに対する単位面積当たりの吸着力を、カバーシートの前記摺動方向への移動に従って段階的又は略連続的に増大させることを特徴とする請求項１記載の光ディスクの製造装置。
【請求項３】
前記シート吸着手段は、前記摺動方向に沿って上流側に配置された前記シート吸着部に対して下流側に配置された前記シート吸着部に高い真空度の負圧を供給して、前記シート載置面上に載置されたカバーシートに対する単位面積当たりの吸着力を、カバーシートの前記摺動方向への移動に従って段階的又は略連続的に増大させることを特徴とする請求項１又は２記載の光ディスクの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスク基板の記録面上に薄膜状のカバーシートを貼り合わせて光ディスクを製造する光ディスクの製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザ光を用いて情報を記録し、又は再生する光ディスクとしては、例えば、ＣＤ−Ｒ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ−ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ（ｄｉｇｉｔａｌｖｅｒｓａｔｉｌｅ  ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ−Ｒ（ｄｉｇｉｔａｌ  ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  ｄｉｓｃ−ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）等が既に普及しているが、近年、光ディスクに対しては、映像情報等の情報を更に大量に格納したいという要望があり、高密度化の検討が進んでいる。このような光ディスクに対する記録密度は、おおむねディスク上の光ビームのスポットサイズで決まり、このスポットサイズは、レーザ波長をλ、対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／ＮＡに比例する。このため、光ディスクに対する記録密度を高めるためには、レーザ光の短波長化と対物レンズの高ＮＡ化が必要となる。しかし、光ディスクの傾きにより発生するコマ収差はＮＡの３乗に比例して大きくなるため、高ＮＡ化によってディスクの傾きに対するマージンが極めて小さくなり、わずかな傾きでもビームスポットがぼやけ、高密度での記録及び再生が実現できなくなる。従って、高密度化に適した従来の光ディスクでは、レーザ光の透過層であるカバー層を十分薄いもの（例えば、１００μｍ以下）とし、高ＮＡに伴うディスクの傾きによるコマ収差の増加を抑制する必要がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−３１３３７号公報（第９−１０頁、図４）
【０００４】
上記のような光ディスクの製造ラインでは、情報記録層が形成されたディスク基板の記録面上に樹脂フィルムを基材とする薄膜状のカバーシートを貼り合せ、このカバーシートによりディスク基板上に情報記録層を覆う透明なカバー層を形成して光ディスクを製造する。ここで、カバーシートは、樹脂フィルム及びこの樹脂フィルムの片側の面に形成された粘着膜から構成されている。このカバーシートをディスク基板に貼り合わせる際には、例えば、粘着膜を介してカバーシートをディスク基板上に重ね合せつつ、このカバーシートを加圧ローラ等の加圧部材によりディスク基板側へ加圧し、カバーシート全体をディスク基板の記録面に均一に密着させる。これにより、カバーシート全体がディスク基板へ十分な接合力で貼り合わされ、製品素材として光ディスクが製造される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような光ディスクを製造する際には、カバーシートが非常に薄く、曲げ剛性も極めて小さいものであることから、弛みや皺を生じさせたりすることなくカバーシートをディスク基板の記録面上に搬送し、カバーシート全体をディスク基板の記録面上に隙間なく重ね合せることが難しい、という問題が生じる。ここで、皺や弛みが生じているカバーシートを加圧ローラ等により加圧してディスク基板に貼り合わした場合には、皺、弛み等が生じていたカバーシートの一部分に残留する応力が他の部分に残留する応力よりも大きくなる現象が生じる。このように光ディスクにおけるカバーシートに残留する応力分布が不均一になることは、光ディスクにおける光入射面の寸法精度を低下させる原因となる。
【０００６】
本発明の目的は、上記事実を考慮して、弛みや皺を生じさせたりすることなく、カバーシートをディスク基板の記録面上に搬送し、かつカバーシート全体をディスク基板の記録面上に隙間が生じないように重ね合せることできる光ディスクの製造装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光ディスクの製造装置は、ディスク基板を支持するディスク支持台と、カバーシートが摺動可能とされたシート載置面が設けられ、該シート載置面上に前記樹脂フィルムが接するようにカバーシートが載置されるシート搬送台と、前記シート載置面に凹状のシート吸引部を開口させ、該シート載置面上にカバーシートが載置されると、該カバーシートに前記シート吸引部を通して負圧を作用させカバーシートをシート載置面上に吸着するシート吸着手段と、前記シート吸着手段により前記シート載置面上にカバーシートが吸着されると、前記シート搬送台を前記シート載置面上のカバーシートの一端部が前記ディスク支持台により支持されたディスク基板の一端部と重なり合う貼合開始位置に支持した後、該シート搬送台を前記貼合開始位置からディスク基板の記録面に沿って他端部側へ移動させるシート搬送手段と、前記シート搬送台により前記ディスク基板に重ね合わされたカバーシートに圧接しつつ、該シート搬送台の前記貼合開始位置からディスク基板の他端部側への移動に追従してカバーシート上の一端部から他端部へ移動し、カバーシートを前記シート載置面上からディスク基板の記録面上へ相対的に移動させつつ、該記録面上に移動したカバーシートを加圧する加圧部材とを有し、前記シート吸着手段が、前記シート載置面上に載置されたカバーシートに対する単位面積当たりの吸着力を、前記シート載置面におけるカバーシートの摺動方向への移動に従って段階的又は略連続的に増大させることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る光ディスクの製造装置によれば、シート吸着手段によりシート搬送台のシート載置面上にカバーシートが吸着されると、シート搬送手段が、シート搬送台をシート載置面上のカバーシートの一端部がディスク支持台により支持されたディスク基板の一端部と重なり合う貼合開始位置に支持した後、このシート搬送台を貼合開始位置からディスク基板の記録面に沿って他端部側へ移動させると共に、加圧部材が、シート搬送台によりディスク基板に重ね合わされたカバーシートに圧接しつつ、シート搬送台の貼合開始位置からの移動に追従してカバーシート上の一端部から他端部へ移動し、カバーシートをシート載置面上からディスク基板の記録面上へ相対的に移動させつつ、この記録面上に移動したカバーシートを加圧することにより、シート搬送台の貼合開始位置からディスク基板の他端部側への移動に連動し、カバーシートをシート載置面上からディスク基板の記録面上に相対的に移動させると共に、このカバーシートをその一端部から他端部へ向かって加圧部材により加圧してディスク基板の記録面へ貼り合わせることができる。
【０００９】
このとき、カバーシートにはシート載置面に開口するシート吸着部による吸着力が作用すると共に、カバーシートにおける加圧部材とシート載置面との間に掛け渡された部分にはシート吸着部による吸着力の大きさに対応する張力が付与されるので、カバーシートに弛み、皺が生じることを防止しつつ、このカバーシートをディスク基板の記録面上へ重ね合わせた後、加圧部材からの加圧力により記録面に貼り合わせることができる。
【００１０】
また、カバーシートのシート載置面上からディスク基板の記録面上への移動に従って、カバーシートのシート載置面との接触面積が減少するが、シート吸着手段がシート載置面上に載置されたカバーシートに対する単位面積当たりの吸着力を、カバーシートの摺動方向への移動に従って段階的又は略連続的に増大させることにより、カバーシートのディスク基板への貼り合せが完了する直前まで、カバーシートをシート載置面上に安定的に吸着しておくことが可能になるので、カバーシートのディスク基板の記録面へ貼り合わせ途中に、カバーシートの他端部付近がシート搬送台のシート載置面から脱落し、このカバーシートの他端部側が弛んだ状態で記録面上に重ね合わされることを防止できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る光ディスクの製造装置について図面を参照して説明する。
【００１２】
（実施形態の構成）
先ず、本発明の実施形態に係る光ディスクの構成について説明する。図１には、本発明の実施形態に係るた光ディスクが示されている。この光ディスク１０は、従来のＤＶＤ−Ｒ等の光ディスクと比較して高密度の情報記録が可能とされたものであり、例えば、従来の光ディスクと比較して、記録再生用のレーザ光として短波長の青紫レーザ光を用いると共に、ディスク駆動装置の対物レンズの開口数ＮＡを０．８５程度まで増大することで、１２０ｍｍ径の光ディスク１０に対する片面記録容量が２５Ｇバイト以上に高められている。
【００１３】
光ディスク１０には、円板状に形成されたディスク基板１２が設けられており、このディスク基板１２の片側の面は情報の記録面１４とされている。このディスク基板１２の記録面１４側には、光反射層１８及び光吸収層２０が順に積層されており、これらの光反射層１８及び光吸収層２０により情報記録層（以下、単に「記録層」という。）１６が構成されている。また光ディスク１０には、記録層１６を覆うようにディスク基板１２上に透明なカバー層２２が設けられている。このカバー層２２は、透明樹脂を素材とするカバーシート２４により構成され、その厚さが１００μｍ程度とされている。
【００１４】
ディスク基板１２は、ＰＣ（ポリカーボネイト）等の樹脂を素材としてモールド成形されている。またカバー層２２を構成するカバーシート２４は、ＰＣ（ポリカーボネイト）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の透明な樹脂フィルム２６及び、この樹脂フィルム２６の片側の面に形成された粘着膜２８からなる。粘着膜２８は、公知のアクリル系、ゴム系、シリコン系等の粘着剤により形成されるが、透明性及び耐久性の観点からは、アクリル系粘着剤が望ましい。
【００１５】
ディスク基板１２の中心部には、光ディスク１０の回転中心となる軸心ＳＤに沿って円形のセンターホール２９が穿設されている。またカバー層２２の中心部にも、軸心ＳＤを中心としてセンターホール２９と略同一内径を有する円形の開口部３０が形成されている。但し、カバー層２２については、その内周端がディスク基板１２の記録層１６よりも内周側に位置していれば良いことから、この位置関係を満たす範囲で、開口部３０の内径をセンターホール２９の内径よりも大くしても良い。
【００１６】
図２には、本発明の実施形態に係る光ディスク製造装置が示されている。この光ディスク製造装置４０は、モールド成形等により成形されたディスク基板１２にカバーシート２４を貼り合わせて光ディスク１０を製造するためのものであり、光ディスク製造装置４０には、光ディスクの製造ラインにてそれぞれ独立した工程を経て製造されたディスク基板１２及びカバーシート２４が供給される。
【００１７】
光ディスク製造装置４０には、制御ユニット（図示省略）等を内蔵した本体ケーシング４２が設けられており、この本体ケーシング４２の上面部には、その中央付近に円板状のターンテーブル４４が軸心ＳＴを中心として回転可能に設置されている。このターンテーブル４４上には、その軸心ＳＴを中心とする周方向に沿ってディスク基板１２が載置可能とされた８個のディスク支持台４６が設けられている。これらのディスク支持台４６には、その中心部にそれぞれディスク基板１２のセンターホール２９に対応するセンターピン４８が設けられている。センターピン４８は、ディスク支持台４６の上面部からの突出長が調整可能とされており、ディスク支持台４６上にディスク基板１２が載置されると、ディスク支持台４６から突出してディスク基板１２のセンターホール２９内へ嵌挿し、ディスク基板１２をディスク支持台４６上の中心位置に位置決めする。
【００１８】
またディスク支持台４６の上面部には多数の吸引穴（図示省略）が開口しており、これらの吸引穴はそれぞれ真空ポンプ等の真空発生装置に接続されている。この真空発生装置は、ディスク支持台４６上にディスク基板１２が載置されると、ディスク支持台４６の各吸引穴へ負圧を供給する。これにより、ディスク基板１２が吸引穴内における負圧の作用によりディスク支持台４６の上面部に吸着される。
【００１９】
図２に示されるように、光ディスク製造装置４０には、ターンテーブル４４の外周側に、ディスク供給ユニット５２、貼合ユニット５４、剥離ユニット５６、面状検査ユニット６８及びディスク搬出ユニット５８が設置されている。なお、図２では、ディスク供給ユニット５２によりディスク基板１２の供給を受ける位置にあるディスク支持台４６を起点とし、ターンテーブル４４の回転方向（反時計方向）に沿って８個のディスク支持台４６がそれぞれ保持される位置（周回位置）をＰ１〜Ｐ８として示している。
【００２０】
ディスク供給ユニット５２は周回位置Ｐ１の外周付近に配置されており、このディスク供給ユニット５２には、複数枚のディスク基板１２が積載可能とされたディスク台６０及び、このディスク台６０上に積載された複数枚のディスク基板１２から１枚のディスク基板１２を把持し、この１枚のディスク基板１２を周回位置Ｐ１にあるディスク支持台４６上へ搬送する搬送アーム６２が設けられている。
【００２１】
貼合ユニット５４は、ディスク支持台４６上に載置されたディスク基板１２にカバーシート２４を貼り合わせるためのものであり、周回位置Ｐ２の外周側に配置されている。また光ディスク製造装置４０には、貼合ユニット５４の外周側にカバーシート２４を供給するためののシート供給ユニット６４が配置されている。ここで、貼合ユニット５４には、シート供給ユニット６４により供給されたカバーシート２４を保持し、このカバーシート２４を周回位置Ｐ１に保持されたディスク支持台４６の上方まで搬送するシート搬送台６６が設けられており、このシート搬送台６６は、シート供給ユニット６４から供給されるカバーシート２４を受け入れる受入位置（図２の実線で示される位置）と周回位置Ｐ２との間で移動可能とされている。
【００２２】
図２に示されるように、剥離ユニット５６は、周回位置Ｐ４に保持されたディスク支持台４６の上方から外周側へ延在するように設置されており、周回位置Ｐ４に保持されたディスク支持台４６上に載置された光ディスク１０の上面（光入射面）に貼り付けられている保護シート３８（図３参照）を剥離し、この保護シート３８を回収する。また面状検査ユニット６８は、周回位置Ｐ６に保持されたディスク支持台４６の上方に設置されており、周回位置Ｐ６に保持されたディスク支持台４６上に載置された光ディスク１０の光入射面の平面性、軸心ＳＤを基準とする傾き量等を検査する。なお、面状検査ユニット６８による光ディスク１０についての検査結果は、光ディスク製造装置４０の制御ユニット（図示省略）へ送信され、制御ユニットは、面状検査ユニット８２による検査結果に基づいて周回位置Ｐ７まで搬送されてきた光ディスク１０が予め決められた品質基準を満たしていないＮＧ品か、品質基準を満たしている良品かを判断する。
【００２３】
ディスク搬出ユニット５８は周回位置Ｐ７に保持されたディスク支持台４６の外周付近に配置されており、ディスク搬出ユニット５８には、複数枚のディスク基板１２がそれぞれ積載可能とされたディスク台７４が設けられると共に、周回位置Ｐ７に保持されたディスク支持台４６とディスク台７４の間で光ディスク１０を搬送するための搬送アーム７８が設けられている。
【００２４】
次に、上記のような光ディスク製造装置４０におけるシート供給ユニット６４及び貼合ユニット５４について詳細に説明する。
【００２５】
シート供給ユニット６４には、図３（Ａ）に示されるように、カバーシート２４の加工素材である積層シート材３２に対してデカール処理を行うデカール処理装置１１０が設けられている。ここで、積層シート材３２は、図３（Ｂ）に示されるように、樹脂フィルム２６、この樹脂フィルム２６の片側の面に成膜された粘着膜２８、この粘着膜２８の表面に貼り付けられた剥離シート３６、及び樹脂フィルム２６の粘着膜２８とは反対側の面に貼り付けられた保護シート３８からなる４層構造とされている。剥離シート３６及び保護シート３８は、それぞれＰＥＴ等の樹脂を素材として薄膜状に成形され、それぞれ粘着膜２８及び樹脂フィルム２６に剥離可能に貼り付けられている。
【００２６】
図３（Ａ）に示されるように、積層シート材３２は長尺帯状に形成されており、ローラ状に巻き取られた原反ロール３４としてデカール処理装置１１０の送出部１１２へ装填される。この積層シート材３２には、通常、その長手方向に沿って原反ロール３４の巻芯３５側へ向って凹状に湾曲しようとするカール癖が付いている。このような積層シート材３２のカール癖の強度は、原反ロール３４の外周側に巻き取られていたものでは弱いが、巻取位置が原反ロール３４の内周側へ移動するに従って強く、すなわち強い力で小さい曲率半径まで湾曲しようとする。
【００２７】
デカール処理装置１１０の送出部１１２は原反ロール３４を回転可能に支持し、原反ロール３４から積層シート材３２を下流側へ延出させる。デカール処理装置１１０には、送出部１１２の下流側にダンサー機構１１４が設けられている。ダンサー機構１１４には、積層シート材３２の搬送経路に沿って第１パスローラ１１６、ダンサーローラ１１８及び第２パスローラ１２０が送出部１１２側から順に配置されている。ここで、ダンサーローラ１１８は、上下方向（矢印Ｈ方向）に沿って下限位置と上限位置との間で移動可能に支持されると共に、下限位置の方向へ所定の付勢力Ｕ１で付勢されている。
【００２８】
デカール処理装置１１０には、積層シート材３２の搬送経路に沿ってダンサー機構１１４の下流側に加熱ローラ１２２が配置されると共に、この加熱ローラ１２２の前後であって加熱ローラ１２２の下方にそれぞれ第１テンションローラ１２４及び第２テンションローラ１２６がそれぞれ配置されている。これらのテンションローラ１２４，１２６は、それぞれ略水平方向に沿って接離可能に支持されると共に、互いに近接する方向へ所定の付勢力Ｕ２で付勢されている。ここで、加熱ローラ１２２は、そのローラ面１２３に沿った表層部が比較的高い熱伝導性を有するシリコンゴム等の弾性材料により形成されている。また加熱ローラ１２２の内部には、ローラ面１２３に沿ってハロゲンヒータ等のヒータ１２８が埋設されている。このヒータ１２８は、ヒータ電源（図示省略）により駆動電流が供給されることで発熱し、ローラ面１２３を常温よりも十分に高い加熱温度に維持する。
【００２９】
デカール処理装置１１０では、後述する貼合ユニット５４へのカバーシート２４の供給時に、加熱ローラ１２２が所定の供給速度で加熱ローラ１２２が供給方向（図３の矢印Ｒ方向）へ回転する。このとき、ダンサー機構１１４のダンサーローラ１１８は、下限位置側への付勢力Ｕ１に抗して図３（Ａ）の実線で示される下限位置から二点鎖線で示される上限位置側へ上昇することで、積層シート材３２に付勢力Ｐ１に対応する張力を付与しつつ、積層シート材３２に加熱ローラ１２２へ送り出す。
【００３０】
ダンサー機構１１４から送り出された積層シート材３２は、第１テンションローラ１２４、加熱ローラ１２２及び第２テンションローラ１２４にそれぞれ接しつつ下流側へ送り出される。このとき、積層シート材３２は、テンションローラ１２４，１２６からの付勢力Ｕ２を受けて付勢力Ｐ２に対応する張力が付与されると共に、テンションローラ１２４，１２６により加熱ローラ１２２のローラ面１２３に約２／３周に亘って巻き付くように搬送経路が設定される。これにより、積層シート材３２は、その張力に対応する圧接力でローラ面１２３に圧接して湾曲すると共に、加熱温度に昇温されたローラ面１２３から伝達される熱により昇温される。従って、積層シート材３２は、加熱ローラ１２２のローラ面１２３との圧接時には原反ロール３４として巻き取られていた時とは逆の方向（矯正方向）へ湾曲する。
【００３１】
加熱ローラ１２２のローラ面１２３は、ヒータ１２８からの発生熱により積層シート材３２における樹脂フィルム２６を形成した樹脂材料の軟化点に対応する加熱温度に維持される。これにより、積層シート材３２の樹脂フィルム２６は、加熱ローラ１２２のローラ面１２３との圧接時に略常温から軟化点に応じて設定された矯正温度ＴＲまで昇温される。これにより、積層シート材３２が有するカール癖を消失させ、又は十分に小さくできる。
【００３２】
シート供給ユニット６４には、デカール処理装置１１０の下流側に積層シート材３２を打抜加工することにより、カバーシート２４を製造する打抜装置１３０が設けられている。この打抜装置１３０は、図４（Ａ）に示されるように、互いに対となるブレードローラ１３２及び受けローラ１３４が設けられており、ブレードローラ１３２のローラ面１３３には、周方向に沿って複数（例えば、３個）の外周打抜刃１３６及び内周打抜刃１３８が同心状に設けられている。また受けローラ１３４はブレードローラ１３２の下側に軸平行となるように配置され、これらのローラ１３２，１３４は、それぞれローラ駆動部（図示省略）からのトルクを受けて互いに等線速度で回転する。
【００３３】
ブレードローラ１３２の外周打抜刃１３６は、ローラ面１３３上において環状に設けられており、平面上に展開すると、ディスク基板１２と略同一径又は僅かに小径の円軌跡に沿って刃先部が延在するように形成されている。また外周打抜刃１３６のローラ面１３３からの突出長は、積層シート材３２における保護シート３８の表面から剥離シート３６の貼付面３７までの厚さＴＥ（図４（Ｂ）参照）と等しくするか、厚さＴＥよりも僅かに長く設定する。これにより、外周打抜刃１３６の刃先が剥離シート３６の厚さ方向に沿った中間点まで達し、積層シート材３２の弾性変形分を吸収して保護シート３８及び樹脂フィルム２６を確実に切断することができる。
【００３４】
一方、ブレードローラ１３２の内周打抜刃１３８も、ローラ面１３３上において環状に設けられており、平面上に展開すると、カバーシート２４における開口部３０（図１参照）と略同一径の円軌跡に沿って刃先部が延在するように形成されている。また内周打抜刃１３８のローラ面１３３からの突出長は、積層シート材３２全体の厚さＴ（図４（Ｂ）参照）と等しいか、又は打抜時の積層シート材３２の圧縮変形を考慮して厚さＴよりも僅かに短くされている。
【００３５】
受けローラ１３４のローラ面１３５は、その軸心からの曲率半径が一定の湾曲面からなり、金属、硬質樹脂等の一定以上の硬度及び耐磨耗性を有する材料により形成されている。ここで、受けローラ１３４は、付勢機構（図示省略）によりブレードローラ１３２の方向へ所定の付勢力で付勢されている。
【００３６】
打抜装置１３０では、デカール処理装置１１０から送られてきた積層シート材３２をブレードローラ１３２及び受けローラ１３４の間に挟持する。これらのブレードローラ１３２及び受けローラ１３４は互いに等線速度で回転し、積層シート材３２を下流側へ送り出す。このとき、受けローラ１３４が付勢機構により付勢されていることから、積層シート材３２は、ブレードローラ１３２のローラ面１３３と受けローラ１３４のローラ面１３５との間で加圧（圧縮）されつつ、ローラ１３２，１３４からの搬送力により一定速度で搬送方向（矢印Ｆ方向）へ搬送される。このローラ１３２，１３４による積層シート材３２の搬送時に、ブレードローラ１３２は、そのローラ面１３３を保護シート３８の表面に圧接させ、また受けローラ１３４は、そのローラ面１３５を剥離シート３６の表面に圧接させる。
【００３７】
ブレードローラ１３２は、受けローラ１３４と共に積層シート材３２を搬送方向へ搬送しつつ、外周打抜刃１３６を積層シート材３２における保護シート３８へ押し当て、外周打抜刃１３６及び内周打抜刃１３８により積層シート材３２を切断する。このとき、外周打抜刃１３６のローラ面１３３からの突出長が積層シート材３２における厚さＴＥ（図４（Ｂ）参照）と等しいか、又は厚さＴＥよりも僅かに長くされている程度なので、外周打抜刃１３６は、積層シート材３２における保護シート３８及び片面に粘着膜２８が形成された樹脂フィルム２６を貫通するが、保護シート３８は貫通しない。これにより、ローラ１３２，１３４間を通過した積層シート材３２の保護シート３８及び樹脂フィルム２６は、外周打抜刃１３６の内周側にあった部分が円板状に打抜かれ、他の部分から切離される。またローラ１３２，１３４間を通過した積層シート材３２の剥離シート３６は、打抜刃１３６，１３８により打抜かれることなく長尺帯状まま搬送方向へ送り出される。
【００３８】
また、内周打抜刃１３８のローラ面１３３からの突出長が積層シート材３２における厚さＴ（図４（Ｂ）参照）と等しいか、又は厚さＴよりも僅かに短くされていることから、内周打抜刃１３８は積層シート材３２全体を貫通して外周打抜刃１３６により打ちぬかれた部分の中心部に円形の貫通穴を穿設する。ここで、外周打抜刃１３６により円板状に打抜かれた樹脂フィルム２６及び粘着膜２８は、ディスク基板１２に貼り合わされるカバーシート２４となり、内周打抜刃１３８により打抜かれた樹脂フィルム２６及び粘着膜２８の貫通穴は、カバーシート２４における開口部３０とされる。このカバーシート２４には、外周打抜刃１３６及び内周打抜刃１３８により打抜かれて、カバーシート２４と同一の面形状を有する剥離シート３６が貼り付いた状態で搬送方向へ送り出される。
【００３９】
次いで、打抜装置１３０では、ブレードローラ１３２及び受けローラ１３４間を通過した積層シート材３２から剥離シート３６及び樹脂フィルム２６のカバーシート２４の外周側を剥離、除去すると共に、積層シート材３２の開口部３０の内周側を抜取り、除去する。これにより、カバーシート２４の製造が完了し、このカバーシート２４には、粘着膜２８に長尺帯状のままの剥離シート３６が貼り付けられ、かつ樹脂フィルム２６にカバーシート２４と同一面形状とされた保護シート３８が貼り付けられている。
【００４０】
シート供給ユニット６４には、打抜装置１３０の下流側にカバーシート２４を剥離シート３６から剥離し、カバーシート２４を貼合ユニット５４のシート搬送台６６上へ搬送するためのシート剥離装置８０が設置されている。図５に示されるように、シート剥離装置８０には、長尺帯状の剥離シート３６からカバーシート２４を剥離しつつ、このカバーシート２４を貼合ユニット５４のシート搬送台６６上へ移送するためのクサビ状の剥離ガイド部材８４が設けられ、この剥離ガイド部材８４は、その先端部８５が受入位置にある貼合ユニット５４のシート搬送台６６側を向くように支持されている。
【００４１】
シート剥離装置８０には、剥離ガイド部材８４の下流側に、複数のカバーシート２４が下面側に貼り付けられた剥離シート３６に所定の張力を付与しつつ、この剥離シート３６に所定の剥離方向（矢印Ｅ方向）の引張り力を加えるテンション機構（図示省略）が設けられている。これにより、シート剥離装置８０では、剥離シート３６を介してカバーシート２４が剥離ガイド部材８４の下面部８６に一定の圧接力で圧接しつつ、剥離ガイド部材８４の基端側から先端側へ向って移動する。このとき、剥離ガイド部材８４の先端部８５付近では、カバーシート２４が剥離シート３６から剥離する。また剥離シート３６から剥離されたカバーシート２４は、剥離ガイド部材８４の前方へ押出されて図示の受入位置に保持されたシート搬送台６６上へスライドする。
【００４２】
に示されるように、貼合ユニット５４におけるシート搬送台６６は、その上面部が平面状のシート載置面９２とされている。このシート載置面９２には、シート供給ユニット６４によるカバーシート２４の搬入方向（矢印Ｂ方向）における終端部にブロック状のストッパ部材９４が設けられている。このストッパ部材９４は、剥離ガイド部材８４からシート載置面９２上にスライドしてきたカバーシート２４の外周端に当接し、このカバーシート２４をシート載置面９２における所定の載置位置に位置決めする。このとき、カバーシート２４の搬入方向上流側の端部（一端部）はシート載置面９２から剥離ガイド部材８４側へ延出する。
【００４３】
また、シート搬送台６６及び剥離ガイド部材８４の一方を搬入方向（矢印Ｂ方向）及び搬出方向（矢印Ｃ方向）へ移動可能に構成し、図１０に示されるように、剥離シート３６に貼り付けられたカバーシート２４をシート載置面９２上に載置した状態から、剥離ガイド部材８４を相対的に搬入方向に沿って想像線で示される位置まで移動させつつ、剥離シート３６からカバーシート２４を剥離させるようにして良い。これにより、カバーシート２４をシート搬送台６６のシート載置面９２上により確実に載置できるようになり、しかもシート載置面９２上に載置されたカバーシート２４の載置位置への位置決め精度も向上できる。
【００４４】
図５に示されるように、シート搬送台６６には、シート載置面９２の下部側に中空室がシート載置面９２に対向するように設けられており、この中空室は、その内部に設けられた隔壁１４３によりカバーシート２４の搬入方向に沿って２個の負圧室１４０及び負圧室１４２に区画されている。ここで、シート搬送台６６には、負圧室１４０及び負圧室１４２からそれぞれシート載置面９２へ貫通する多数の吸引穴１４４，１４６，１４８が穿設されている。これら３種類の吸引穴１４４，１４６，１４８は、図９に示されるように、シート載置面９２における開口面積がそれぞれ異なっている。これら吸引穴１４４，１４６，１４８の開口面積をそれぞれＡ１，Ａ２，Ａ３とした場合、これらの開口面積はＡ１＞Ａ２＞Ａ３の関係になっている。
【００４５】
シート搬送台６６における搬入方向上流側の負圧室１４０及び下流側の負圧室１４２は、それぞれフレキシブルホース等からなる圧力配管１５０，１５２を通して真空ポンプ等の真空発生装置１５４，１５６に接続されており、これらの真空発生装置１５４，１５６は、カバーシート２４がシート載置面９２上に載置されて載置位置に位置決めされると、負圧室１４０，１４２内の空気を吸入して負圧室１４０，１４２内を予め設定されている目標真空度ＶＨ、ＶＬまでそれぞれ減圧する。これにより、カバーシート２４が吸引穴１４４，１４６，１４８からの負圧の作用によりシート載置面９２上に吸着される。このとき、真空発生装置１５４の目標真空度ＶＨは、真空発生装置１５６の目標真空度ＶＬよりも高いもの（低圧）になっている。具体的には、目標真空度ＶＨは９７〜９８ｋＰａ程度に設定され、目標真空度ＶＬは９８〜９９ｋＰａ程度に設定され、目標真空度ＶＨ、ＶＬ間には０．５〜１．０ｋＰａ程度の差圧が確保されている。
【００４６】
図９に示されるように、シート載置面９２にそれぞれ開口する吸引穴１４４，１４６，１４８のうち、開口面積が最も大きい吸引穴１４４は、カバーシート２４の搬入方向（矢印Ｂ方向）に沿ってシート載置面９２における最も流側に配置され、また中間の開口面積を有する吸引穴１４６は、吸引穴１４４に対して搬入方向に沿って下流側に配置されている。
【００４７】
ここで、吸引穴１４４は、シート載置面９２の幅方向（矢印Ｗ方向）に沿って中央部に位置する領域に集中的に配置されており、この領域の形状は搬入方向上流側の端部から下流側へ向かって幅が狭くなる略扇状とされている。また吸引穴１４６は、シート載置面９２の中心点ＣＦよりも搬入方向上流側にあって、中心点ＣＦを中心として円弧状に湾曲する帯状の領域に集中的に配置されている。また最も開口面積が小さい吸引穴１４８は、中心点ＣＦを中心として湾曲する同心円状の軌跡に沿ってシート載置面９２全体に多数配置されている。なお、図９には、図面の簡略化のために一部の吸引穴１４８のみが示されており、図示を省略した吸引穴１４８が配置される領域が二点鎖線により示されている。このように吸引穴１４４，１４６，１４８が設けられたシート載置面９２では、カバーシート２４の搬出方向（矢印Ｃ方向）に沿って下流側に位置する領域ほど、そこに配置された各吸引穴１４４，１４６，１４８の開口面積の総和が増大する。
【００４８】
シート載置面９２に開口する吸引穴１４４，１４６，１４８のうち、吸引穴１４４，１４６については全てが負圧室１４０に連通しており、吸引穴１４８については、中心点ＣＦ付近を境界として、搬入方向上流側に配置されたものは負圧室１４０に連通し、搬入方向下流側に配置されているもの負圧室１４２に連通している。
【００４９】
図６及び図９に示されるように、シート搬送台６６の両側面部には、それぞれシート載置面９２の幅方向へ突出する反転軸１００が設けられている。また貼合ユニット５４には、反転軸１００を中心としてシート搬送台６６を反転させると共に、シート搬送台６６を上下方向（矢印Ｈ方向）及びターンテーブル４４の径方向に沿って移動させる搬送加圧機構（図示省略）が設けられている。シート搬送台６６には、反転軸１００と軸平行となるように、ブラケット１０６を介して円柱状の加圧ローラ１０２が回転可能に取り付けられている。この加圧ローラ１０２は、そのローラ面１０４に沿った表層部がシリコンゴム、ウレタンゴム、バイトン等の弾性材料により形成されると共に、このローラ面１０４の軸方向に沿った寸法がカバーシート２４の直径よりも長くされている。
【００５０】
また加圧ローラ１０２は、受入位置にあるシート搬送台６６に対して搬入方向上流側にあり、かつシート載置面９２に対して僅かに下側に位置するように軸支されている。これにより、加圧ローラ１０２は、受入位置にあるシート搬送台６６上にカバーシート２４が載置されると、そのローラ面１０４をシート載置面９２上から上流側へ延出したカバーシート２４一端部へ正対させる。
【００５１】
貼合ユニット５４では、カバーシート２４がシート載置面９２上に負圧により吸着されると、搬送加圧機構がシート搬送台６６を移動開始させる。このとき、搬送加圧機構は、先ず、図６に示されるように、反転軸１００を中心としてシート搬送台６６を所定の方向（図６では反時計方向）へ反転させつつ、シート搬送台６６をターンテーブル４４におけるディスク支持台４６の上方まで上昇させる。続いて、搬送加圧機構は、シート搬送台６６の反転動作を継続させつつ、このシート搬送台６６を周回位置Ｐ２に保持されたディスク支持台４６上における所定の貼合開始位置まで移動させる。
【００５２】
貼合開始位置に移動したシート搬送台６６は、図７に示されるように、シート載置面９２上から延出したカバーシート２４の一端部をディスク支持台４６上に載置されたディスク基板１２の一端部上に重ね合わせると共に、このカバーシート２４の一端部に加圧ローラ１０２のローラ面１０４を所定の荷重値Ｌで圧接させる。これにより、カバーシート２４の一端部がディスク基板１２の一端部上へ加圧されると共に、ディスク基板１２の一端部がディスク支持台４６上へ圧接する。ここで、荷重値Ｌは、基本的には、カバーシート２４をディスク基板１２に貼り合わせるために必要となる加圧力の大きさに応じて設定される。また、このように荷重値Ｌを設定することにより、加圧ローラ１０２のカバーシート２４に対する摩擦力がシート載置面９２上におけるカバーシート２４に対する吸着力よりも十分に大きくなる。
【００５３】
次いで、搬送加圧機構は、加圧ローラ１０２を荷重値Ｌでカバーシート２４に圧接させつつ、軸心Ｓ１を中心とするターンテーブル４４の径方向に沿ってシート搬送台６６を貼合開始位置から外周側へ移動させる。これにより、カバーシート２４がシート搬送台６６のシート載置面９２上からターンテーブル４４の内周側へ向う搬出方向（矢印Ｃ方向）へ相対的にスライドし、カバーシート２４のシート載置面９２上から内周側へ延出した部分が加圧ローラ１０２によりディスク基板１２上へ荷重値Ｌに対応する加圧力で加圧されて行く。このとき、カバーシート２４はシート載置面９２からの吸着力に抗してシート載置面９２上を相対的に内周側へスライドする。
【００５４】
加圧ローラ１０２は、シート搬送台６６が貼合開始位置から外周側へ移動すると、このシート搬送台６６と共に外周側へ移動しつつカバーシート２４上を転動する。これにより、図５に示されるように、加圧ローラ１０２からの加圧力によりカバーシート２４が、その一端部から他端部側へ向ってディスク基板１２に貼り合わされて行き、加圧ローラ１０２がディスク基板１２の外周側へ離脱すると略同時に、カバーシート２４のディスク基板１２への貼り合わせが完了し、製品素材としての光ディスク１０が製造される。この後、搬送加圧機構は、ディスク基板１２の外周側へ離脱したシート搬送台６６を受入位置に復帰させる。
【００５５】
ここで、本実施形態に係る貼合ユニット５４では、前述したように、シート載置面９２にそれぞれ開口する吸引穴１４４，１４６，１４８のうち、吸引穴１４４がカバーシート２４の搬入方向（矢印Ｂ方向）に沿ってシート載置面９２における最も流側に配置され、また中間の開口面積を有する吸引穴１４６が吸引穴１４４に対して搬入方向に沿って下流側に配置され、残りの吸引穴１４８がシート載置面９２全体に多数配置されると共に、吸引穴１４４，１４６については全てが負圧室１４０に連通し、残りの吸引穴１４８については中心点ＣＦ付近を境界として上流側に配置されたものが負圧室１４０に連通し、下流側に配置されているものが負圧室１４２に連通している。これにより、カバーシート２４がシート搬送台６６のシート載置面９２上を搬入方向とは反対の搬出方向（矢印Ｃ方向）へ相対的にスライドする際には、シート載置面９２上に載置されたカバーシート２４に対する単位面積当たりの吸着力がカバーシート２４の搬出方向への移動に従って略連続的に増大する。
【００５６】
（実施形態の作用）
次に、上記のように構成された光ディスク製造装置４０を用いて光ディスク１０を製造する製造工程について説明する。
【００５７】
光ディスク製造装置４０では、先ず、ディスク供給ユニット５２の搬送アーム６２によりディスク台６０上から１枚のディスク基板１２が把持され、このディスク基板１２がターンテーブル４４における周回位置Ｐ１にあるディスク支持台４６上に載置される。これに同期し、周回位置Ｐ１にあるディスク支持台４６では、センターピン４８が上方へ突出してセンターホール２９内へ嵌挿することで、ディスク基板１２がディスク支持台４６上における中心位置に位置決めされる。
【００５８】
ターンテーブル４４は、ディスク供給ユニット５２によりディスク基板１２がディスク支持台４６上に載置されると、軸心ＳＴを中心として反時計方向へ回転し、ディスク基板１２が載置されたディスク支持台４６を周回位置Ｐ２まで移動させる。この時、貼合ユニット５４のシート搬送台６６上には、シート供給ユニット６４により１枚のカバーシート２４が載置されている。このカバーシート２４は、既に説明したように貼合ユニット５４により周回位置Ｐ２にあるディスク支持台４６上に載置されたディスク基板１２の記録面１４に貼り合わされる。これにより、周回位置Ｐ２にあるディスク支持台４６上にて光ディスク１０の製造が完了する。
【００５９】
ターンテーブル４４は、周回位置Ｐ２にあるディスク支持台４６上にて光ディスク１０の製造が完了すると、反時計方向へ回転して光ディスク１０載置されたディスク支持台４６を周回位置Ｐ４まで移動させる。これに同期して、剥離ユニット５６は、周回位置Ｐ４に停止しているディスク支持台４６上に載置された光ディスク１０から保護シート９０を剥離し、この保護シート９０を回収する。また面状検査ユニット６８は、周回位置Ｐ６に停止しているディスク支持台４６上に載置された光ディスク１０の上面（光入射面）の平面性、傾き量等の面状を検査する。この面状検査ユニット６８による検査結果は、光ディスク製造装置４０の制御ユニット（図示省略）へ送信される。制御ユニットは、面状検査ユニット８２による検査結果に基づいて光ディスク１０が予め決められた品質基準を満たしていないＮＧ品か、品質基準を満たしている良品かを判断する。
【００６０】
光ディスク製造装置４０では、面状検査ユニット８２による検査完了後に、ターンテーブル４４により光ディスク１０が周回位置Ｐ７まで搬送されてくると、この光ディスク１０をディスク搬出ユニット５８の搬送アーム７８により把持させ、ディスク支持台４６上からディスク台７４上に搬送して積載する。このとき、光ディスク１０が予め決められた品質基準を満たしていないＮＧ品であるか、品質基準を満たしている良品であるかに応じ、光ディスク１０をディスク台７４上のそれぞれ異なる部位へ積載するようにしても良い。このようにしてディスク台７４上に積載された光ディスク１０は、所定のロット枚数まで貯まると、ディスク台７４上から再検査工程、塗装工程等の他の工程が行われる装置等へ搬出される。
【００６１】
以上説明した本実施形態に係る光ディスク製造装置４０によれば、シート搬送台６６のシート載置面上にカバーシート２４が吸着されると、搬送加圧機構が、シート搬送台６６をシート載置面９２上のカバーシート２４の一端部がディスク支持台４６により支持されたディスク基板１２の一端部と重なり合う貼合開始位置に支持した後、このシート搬送台６６を貼合開始位置からディスク基板１２の記録面１４に沿って他端部側へ移動させると共に、加圧ローラ１０２が、シート搬送台６６によりディスク基板１２に重ね合わされたカバーシート２４に圧接しつつ、シート搬送台６６の貼合開始位置からの移動に追従してカバーシート２４上の一端部から他端部へ転動し、カバーシート２４をシート載置面９２上からディスク基板１２の記録面１４上へ相対的に移動させつつ、この記録面１４上に移動したカバーシート２４を加圧することにより、シート搬送台６６の貼合開始位置からディスク基板１２の他端部側への移動に連動し、カバーシート２４をシート載置面９２上からディスク基板１２の記録面１４上に相対的に移動させると共に、このカバーシート２４をその一端部から他端部へ向かって加圧ローラ１０２により加圧してディスク基板１２の記録面１４へ貼り合わせることができる。
【００６２】
このとき、カバーシート２４にはシート載置面９２に開口する吸引穴１４４，１４６，１４８による吸着力が作用すると共に、カバーシート２４における加圧ローラ１０２とシート載置面９２との間に掛け渡された部分には吸引穴１４４，１４６，１４８による吸着力の大きさに対応する張力が付与されるので、カバーシート２４に弛み、皺が生じることを防止しつつ、このカバーシート２４をディスク基板１２の記録面１４上へ重ね合わせた後、加圧ローラ１０２からの加圧力により記録面１４に貼り合わせることができる。
【００６３】
また、貼合ユニット５４では、カバーシート２４のシート載置面９２上からディスク基板１２の記録面１４上への移動に従って、カバーシート２４のシート載置面９２との接触面積が減少するが、シート搬送台６６のシート載置面９２上に載置されたカバーシート２４に対する単位面積当たりの吸着力がカバーシート２４の搬出方向への移動に従って略連続的に増大することにより、カバーシート２４のディスク基板１２への貼り合せが完了する直前まで、カバーシート２４をシート載置面９２上に安定的に吸着しておくことが可能になるので、カバーシート２４のディスク基板１２へ貼り合せ途中に、カバーシート２４の他端部付近がシート搬送台６６のシート載置面９２から脱落し、このカバーシート２４の他端部側が弛んだ状態で記録面１４上に重ね合わされることを防止できる。
【００６４】
なお、本実施形態に係る貼合ユニット５４は、シート搬送台６６のシート載置面９２上に載置されたカバーシート２４に対する単位面積当たりの吸着力をカバーシート２４の搬出方向への移動に従って略連続的に増大させていたが、シート載置面９２を搬出方向に沿って複数の領域に区分し、これら各領域毎のカバーシート２４に対する単位面積当たりの吸着力を段階的に増大させるようにしてもよい。
【００６５】
また、本実施形態に係る貼合ユニット５４では、シート載置面９２の搬出方向に沿った各領域に開口する吸引穴１４４，１４６，１４８の各領域における開口面積の総和及び、各領域に開口する吸引穴１４４，１４６，１４８へ供給する負圧の大きさ（真空度）の双方を変えているが、シート載置面９２の各領域に開口する吸引穴の開口面積の総和のみを領域毎に段階的又は連続的に変えることで、各領域毎におけるカバーシート２４に対する単位面積当たりの吸着力を段階的又は略連続的に増大させるようにしてもよく、またシート載置面９２の各領域に開口する吸引穴へ供給する負圧の大きさのみを段階的に変えることで、各領域毎におけるカバーシート２４に対する単位面積当たりの吸着力を段階的に増大させるようにしてもよい。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る光ディスクの製造装置によれば、弛みや皺を生じさせたりすることなく、カバーシートをディスク基板の記録面上に搬送し、かつカバーシート全体をディスク基板の記録面上に隙間が生じないように重ね合せることできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る光ディスクの構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る光ディスク製造装置の構成を示す平面図である。
【図３】図２に示されるシート供給ユニットにおけるデカール処理装置及び、このデカール処理装置によりデカール処理される積層シート材の構成を示す側面図である。
【図４】図２に示されるシート供給ユニットにおける打抜装置及び、この打抜装置によりカバーシートが打抜加工される積層シート材の構成を示す側面図である。
【図５】図２に示される光ディスク製造装置におけるシート剥離装置及び貼合ユニットの構成を示す側面図である。
【図６】図５に示される貼合ユニットにおけるシート搬送台が受入位置からカバーシートの貼合開始位置側へ移動開始した直後の状態を示している。
【図７】図５に示される貼合ユニットにおけるシート搬送台がカバーシートの貼合開始位置まで移動した状態を示している。
【図８】図５に示される貼合ユニットにおけるシート搬送台によるカバーシートのディスク基板への貼合が完了する直前の状態を示している。
【図９】図２に示されるシート供給ユニットにおける打抜装置及び、この打抜装置によりカバーシートが打抜加工される積層シート材の構成を示す平面図である。
【図１０】図２に示される光ディスク製造装置におけるシート剥離装置及び貼合ユニットの構成を示す側面図であり、カバーシートの剥離方法の他の例を説明するためのものである。
【符号の説明】
１０      光ディスク
１２      ディスク基板
１４      記録面
１６      記録層（情報記録層）
１８      光反射層（情報記録層）
２０      光吸収層（情報記録層）
２２      カバー層
２４      カバーシート
２６      樹脂フィルム
２８      粘着膜
４０      光ディスク製造装置
４６      ディスク支持台
５４      貼合ユニット
６６      シート搬送台
９２      シート載置面
１０２    加圧ローラ（加圧部材）
１４０    負圧室（シート吸着手段）
１４２    負圧室（シート吸着手段）
１４４    吸引穴（シート吸着手段）
１４６    吸引穴（シート吸着手段）
１４８    吸引穴（シート吸着手段）
１５０    圧力配管（シート吸着手段）
１５２    圧力配管（シート吸着手段）
１５４    真空発生装置（シート吸着手段）
１５６    真空発生装置（シート吸着手段）
【図１】
2004171717.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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