(57)【要約】【課題】ズレを精度良く検出して可動部を正確な基準位置に設定することができる基板処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】ｘ方向については、ｘ軸変位機構３２が基準位置Ａｘにまで照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅなどの可動部を、基準位置Ａｘに相当する位置である仮想基準位置にまで移動させる第１移動、およびずらし位置Ｂｘに相当する位置である仮想非検出位置にまで移動させる第２移動をそれぞれ行ったときに、検知セクタ３２ｅの有無を原点センサ５１が検出する第１および第２検出をそれぞれ行う。第１検出で検知セクタ３２ｅがない（検知セクタ３２ｅが位置する仮想基準位置が検出域ａ内にない）、または第２検出で検知セクタ３３ｅがある（検知セクタ３２ｅが位置する仮想非検出位置が検出域ａ内にある）ことを検出すれば、可動部のズレが検出されたとしているので、ズレを精度良く検出して可動部を正確な基準位置に設定することができる。【選択図】        図５
2004273802.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理を行うために可動部を備えた基板処理装置であって、
前記可動部の基準位置を検出する検出手段と、
前記可動部を移動させる移動手段と、
前記移動手段を制御する制御手段とを備え、
移動手段が可動部を所定距離だけ移動させる第１移動を行ったときに前記検出手段が検出した可動部の位置を仮想基準位置として検出する第１検出を行い、移動手段が可動部を所定距離だけ移動させる第２移動を行ったときに前記検出手段が検出した可動部の位置を仮想非検出位置として検出する第２検出を行うように、前記制御手段は移動手段を制御し、
前記第１検出で検出された前記仮想基準位置が前記基準位置を中心とする検出域内にないとき、または前記第２検出で検出された前記仮想非検出位置が前記基準位置を中心とする検出域内にあるとき、可動部のズレとして検出することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記可動部のズレがあったときに報知する報知手段を備え、
前記第１検出で検出された前記仮想基準位置が前記基準位置を中心とする検出域内にないとき、または前記第２検出で検出された前記仮想非検出位置が前記基準位置を中心とする検出域内にあるとき、前記報知手段は報知することを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の基板処理装置において、
前記第１検出で検出された前記仮想基準位置が前記基準位置を中心とする検出域内にないとき、または前記第２検出で検出された前記仮想非検出位置が前記基準位置を中心とする検出域内にあるとき、前記移動手段による前記可動部の移動を停止して、移動後の前記基板処理を停止するように、前記制御手段は移動手段を制御することを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、
各々の前記第１および第２検出の検出結果の内容を出力あるいは記憶することを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
基板処理を行うために可動部を備えた基板処理装置であって、
前記可動部の基準位置を検出する検出手段と、
前記可動部を移動させる移動手段と、
前記移動手段を制御する制御手段とを備え、
前記基準位置の方向に向かって、移動手段が可動部を移動させながら前記検出手段が可動部の各々の位置を検出する第３検出を可動部が検出域に位置するまで行い、前記第３検出における検出域から、検出域の中心位置である基準位置までに相当する距離分だけ、移動手段が可動部をさらに移動させるように、前記制御手段は移動手段を制御することを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板処理装置において、
前記可動部のズレがあったときに報知する報知手段を備え、
前記基準位置に相当する位置にまで可動部が位置しても、前記第３検出を行っているときには、前記報知手段は報知することを特徴とする基板処理装置。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載の基板処理装置において、
前記基準位置に相当する位置にまで可動部が位置しても、前記第３検出を行っているときには、前記移動手段による前記可動部の移動を停止して、移動後の前記基板処理を停止するように、前記制御手段は移動手段を制御することを特徴とする基板処理装置。
【請求項８】
請求項５から請求項７のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第３検出の検出結果の内容を出力あるいは記憶することを特徴とする基板処理装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記可動部は、前記基板処理を施す処理部であることを特徴とする基板処理装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項８のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記可動部は、前記基板であることを特徴とする基板処理装置。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記移動手段を、方向や位置を決定する基板のオリエンテーションフラットあるいはノッチについて、前記オリエンテーションフラットに対して垂直方向、あるいは前記ノッチから基板の中心までの方向であるｙ方向に沿って移動させるｙ方向用移動手段で構成し、
前記ｙ方向に沿って検出を行うことを特徴とする基板処理装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の基板処理装置において、
前記移動手段を、前記ｙ方向用移動手段と、水平面内に対して前記ｙ方向に直交する方向であるｘ方向に沿って移動させるｘ方向用移動手段とで構成し、
前記ｘおよびｙの両方向に沿って各々の検出を行うことを特徴とする基板処理装置。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２のいずれかに記載の基板処理装置において、
基板を水平面内に回転させる回転手段を備え、
前記移動手段による前記可動部は、前記基板処理を施す処理部であるとともに、
前記基板処理は、塗布膜が塗布形成された基板を、前記回転手段で水平面内に回転させつつ基板の周縁部を露光する周縁部露光処理であって、
前記移動手段は、前記処理部を少なくとも水平面内に移動させる手段であることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示器のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、光ディスク用の基板（以下、単に基板と称する）に対して基板処理を行う基板処理装置に係り、特に、基板処理を行うための可動部のズレを検出する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板あるいは処理部を移動させて、基板や処理部のような可動部のズレによって悪影響を顕著に及ぼす基板処理装置として、例えば、基板の周縁部を露光する周縁部露光装置（エッジ露光装置）が知られている。かかる装置によれば、塗布膜（例えばフォトレジスト膜）が塗布形成された基板をスピンチャックによって保持し、ヘッドに備えられた光照射部からその基板の周縁部に照射させた状態で、スピンチャックを鉛直軸心周りに回転させ、基板の周縁部を所定の露光幅でリング状に露光している（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−３２６３５９号公報（第３−５頁、図１、図４、図５）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したように可動部にズレがあって、ずれた状態で基板処理が行われてしまうと、基板処理が周縁部露光の場合には、周縁部露光領域について周縁部露光が行われなかったり、あるいは周縁部露光領域以外のパターン領域について周縁部露光が行われたり、ズレによる悪影響が顕著に出てしまう。そこで、可動部のズレを検出するのに、図９のような手法を用いて行っている。以下、図９を参照して説明する。なお、この場合には、基板を固定した状態で、光照射部を備えたヘッドのみを移動させて設定するものとする。また、説明の便宜上、ヘッドＨ、原点センサＳのみ図示する。
【０００５】
ズレを検出するのは、ヘッドのような可動部を設定された基準位置に相当する位置にまで移動させたときに、可動部が基準位置に位置しているか否かで行う。このような基準位置を、図９に示すように原点Ａとし、この原点Ａに原点センサＳを配設する。ヘッドＨが、図９（ａ）に示す方向に、原点Ａに向かって移動し、原点Ａを通り過ぎた後に、原点Ａから図９（ｂ）に示す距離ｔだけずらした位置にまで移動したら、図９（ｂ）に示すようにヘッドＨは停止して、原点センサＳの検出を行う。ここで、図９（ｂ）に示すように、原点Ａを中心とした原点センサＳの検出域をａとする。上述した距離ｔは、その検出域ａの長さを超えるように設定される。つまり、ヘッドＨが原点Ａの近傍に移動したとき原点センサＳがＯＮ状態の場合、ヘッドＨが検出域ａ内では原点センサＳはＯＮ状態のままで、距離ｔだけずらした位置にまでヘッドＨが移動すれば、すなわちヘッドＨが検出域ａ内になければ、原点センサＳはＯＦＦとなる。
【０００６】
もし、図９（ｂ）に示す位置にヘッドＨが停止したときに、原点センサＳがＯＮであれば、原点Ａから十分ずらした位置にも関わらず、その停止位置が検出域ａ内に実際にあることになってしまうので、原点ＡまでヘッドＨを戻したとしてもその原点Ａからずれているとしてアラームを報知して、その後の基板処理を中断する。
【０００７】
図９（ｂ）に示す位置で、原点センサＳの検出を行って、原点センサＳがＯＦＦであれば、すなわちズレがなくヘッドＨの停止位置が検出域ａ内でなければ、図９（ｃ）に示す方向に、原点Ａに向かって移動し、原点Ａにまで移動したら、図９（ｄ）に示すようにヘッドＨは停止して、原点センサＳによる検出を行う。ズレがなくヘッドＨが検出域ａ内にあれば、原点センサＳはＯＮとなる。もし、図９（ｄ）に示すように原点ＡにヘッドＨが停止したときに、原点センサＳがＯＦＦであれば、ヘッドＨは検出域ａ内になく、原点Ａからずれているとしてアラームを報知して、その後の基板処理を中断する。
【０００８】
このように、原点Ａから距離ｔだけずらした位置で原点センサＳによる検出を行い、次いで、原点Ａで原点センサＳによる検出を行うことで、それらの検出結果に基づく所定位置の設定を行い、周縁部露光を行っている。また、それらの検出結果のいずれか１つでもズレがあると検出した場合には、その後の基板処理を中断して、原因を解明した上で位置修正や装置の修理を行って、再度、ズレの検出を行って、ズレがなければ基板処理を行う。
【０００９】
しかし、図９に示す、かかる手法でもズレを検出することができない、あるいはズレを検出した状態で基板処理が行われてしまう場合がある。第１の主たる課題として、図９（ｂ）に示すような場合でズレを検出することができるのは、原点Ａから距離ｔだけずらした位置が、ズレによって原点センサＳの検出域ａ内に実際にはあるのに限られてしまうという課題がある。例えば、原点Ａから距離ｔだけずらしたが、検出域ａにすら到達していない場合には、ずれているにも関わらずそのズレを検出することができない。
【００１０】
次に、第２の主たる課題として、図９（ｄ）に示すような場合、すなわち原点Ａでズレを検出する場合、検出することができない微妙なズレに起因して、基板を処理するたびに、検出の際に原点Ａから徐々にずれていくという課題がある。また、ズレが蓄積されることにもなるので、基板を処理するたびに徐々にずれていった状態で周縁部露光が行われてしまい、どの基板からズレが発生したかを遡って調べなければならない。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、ズレを精度良く検出して可動部を正確な基準位置に設定することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板処理を行うために可動部を備えた基板処理装置であって、前記可動部の基準位置を検出する検出手段と、前記可動部を移動させる移動手段と、前記移動手段を制御する制御手段とを備え、移動手段が可動部を所定距離だけ移動させる第１移動を行ったときに前記検出手段が検出した可動部の位置を仮想基準位置として検出する第１検出を行い、移動手段が可動部を所定距離だけ移動させる第２移動を行ったときに前記検出手段が検出した可動部の位置を仮想非検出位置として検出する第２検出を行うように、前記制御手段は移動手段を制御し、前記第１検出で検出された前記仮想基準位置が前記基準位置を中心とする検出域内にないとき、または前記第２検出で検出された前記仮想非検出位置が前記基準位置を中心とする検出域内にあるとき、可動部のズレとして検出することを特徴とするものである。
【００１３】
〔作用・効果〕請求項１に記載の発明によれば、移動手段が可動部を所定距離だけ移動させる第１移動を行ったときに検出手段が検出した可動部の位置を仮想基準位置として検出する第１検出を行い、移動手段が可動部を所定距離だけ移動させる第２移動を行ったときに検出手段が検出した可動部の位置を仮想非検出位置として検出する第２検出を行っている。そして、第１検出で検出された仮想基準位置が基準位置を中心とする検出域内にないとき、または第２検出で検出された検出された仮想非検出位置が基準位置を中心とする検出域内にあるとき、可動部のズレとして検出する。このように、可動部にズレがなければ、移動手段が第１移動を行ったときに可動部が位置する仮想基準位置は、基準位置を中心とする検出域内になければならず、かつ、移動手段が第２移動を行ったときに可動部が位置する仮想非検出位置は、基準位置を中心とする検出域内にあってはならない。
【００１４】
第１検出を行うべく移動手段は、第１移動で仮想基準位置にまで必ず移動させているので、第１検出は、第１移動での移動先である仮想基準位置で必ず行われる。従って、従来のように、移動先が基準位置を中心とする検出域内にあるときのみズレを検出して、それ以外の位置ではズレがあるにも関わらずズレを検出することができないのと相違し、本発明では、第１移動での移動先である仮想基準位置で第１検出が必ず行われ、それ以外の位置では第１検出が行われず、その仮想基準位置が基準位置を中心とする検出域内になければズレを検出することができる。さらに、第２検出を行うべく移動手段は、第２移動で仮想非検出位置にまで移動させているので、次の第２検出は、第２移動での移動先である仮想非検出位置で必ず行われる。この第２検出でのズレの検出により、ズレのさらなる確認が行えるので、ズレを精度良く検出することができ、上述した第１の課題を解決することができる。その結果、ズレを精度良く検出して可動部を正確な基準位置に設定することができる。
【００１５】
基板処理を制御する具体的な構成は、例えば第１および第２検出の検出結果の如何に関わらず、可動部の移動後に基板処理を続行する構成であってもよいし、所定量以上のズレに蓄積されたら可動部の移動を停止して、移動後の基板処理を停止する構成であってもよいし、下記の請求項２〜請求項４に記載の発明に係る構成であってもよい。
【００１６】
すなわち、可動部のズレがあったときに報知する報知手段を備え、第１検出で検出された仮想基準位置が基準位置を中心とする検出域内にないとき、または第２検出で検出された仮想非検出位置が基準位置を中心とする検出域内にあるとき、報知手段は報知する構成（請求項２に記載の発明）や、第１検出で検出された仮想基準位置が基準位置を中心とする検出域内にないとき、または第２検出で検出された仮想非検出位置が基準位置を中心とする検出域内にあるとき、移動手段による可動部の移動を停止して、移動後の基板処理を停止するように、制御手段が移動手段を制御する構成（請求項３に記載の発明）や、各々の第１および第２検出の検出結果の内容を出力あるいは記憶する構成（請求項４に記載の発明）であってもよい。また、これらの請求項２〜請求項４に記載の発明を互いに組み合わせてもよい。例えば、請求項２〜請求項４に記載の発明を全て組み合わせることで、第１検出で検出された仮想基準位置が基準位置を中心とする検出域内にないとき、または第２検出で検出された仮想非検出位置が基準位置を中心とする検出域内にあるとき、報知手段は報知して、かつ、移動手段による可動部の移動を停止して、移動後の基板処理を停止し、各々の第１および第２検出の検出結果の内容を出力あるいは記憶するようにしてもよい。
【００１７】
なお、請求項２に記載の発明によれば、報知手段を備え、第１検出で検出された仮想基準位置が基準位置を中心とする検出域内にないとき、または第２検出で検出された仮想非検出位置が基準位置を中心とする検出域内にあるとき、報知手段が報知することで、可動部のズレが発生すれば、基板処理を行うオペレータ（術者）に知らせることができる。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、第１検出で検出された仮想基準位置が基準位置を中心とする検出域内にないとき、または第２検出で検出された仮想非検出位置が基準位置を中心とする検出域内にあるとき、移動手段による可動部の移動を停止して、移動後の基板処理を停止することで、可動部のズレが発生してもずれた状態で基板処理が行われるという事態を防止することができる。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、各々の第１および第２検出の検出結果の内容を出力することで、オペレータはその内容を把握することができ、各々の第１および第２検出結果の内容を記憶することで、過去の検出結果、すなわち過去の履歴を知ることができ、ズレの発生傾向や原因を解明することができる。また、出力あるいは記憶することで、それぞれの第１，第２の検出結果について比較を行うこともできる。
【００２０】
また、請求項５に記載の発明は、基板処理を行うために可動部を備えた基板処理装置であって、前記可動部の基準位置を検出する検出手段と、前記可動部を移動させる移動手段と、前記移動手段を制御する制御手段とを備え、前記基準位置の方向に向かって、移動手段が可動部を移動させながら前記検出手段が可動部の各々の位置を検出する第３検出を可動部が検出域に位置するまで行い、前記第３検出における検出域から、検出域の中心位置である基準位置までに相当する距離分だけ、移動手段が可動部をさらに移動させるように、前記制御手段は移動手段を制御することを特徴とするものである。
【００２１】
〔作用・効果〕請求項５に記載の発明によれば、基準位置の方向に向かって、移動手段が可動部を移動させながら検出手段が可動部の各々の位置を検出する第３検出を可動部が検出域に位置するまで行い、第３検出における検出域から、検出域の中心位置である基準位置まで相当する距離分だけ、移動手段が可動部をさらに移動させる。このように、検出域から中心位置である基準位置まで相当する距離分だけ、可動部をさらに移動させるようにしているので、検出することができない微妙なズレがあったとしても、上述した距離分だけ実際に移動させて、その移動先を基準位置として修正することでそのズレを吸収することができる。従って、基板を処理するたびに基準位置から徐々にずれることを防止することができ、上述した第２の課題を解決することができる。その結果、ズレを精度良く検出して可動部を正確な基準位置に設定することができる。また、基板を処理するたびに徐々にずれていった状態で基板処理が行われるという事態を防止することができる。
【００２２】
また、請求項２に記載の発明と同じように、可動部のズレがあったときに報知する報知手段を備え、基準位置に相当する位置にまで可動部が位置しても、第３検出を行っているときには、報知手段は報知する構成（請求項６に記載の発明）であってよいし、基準位置に相当する位置にまで可動部が位置しても、第３検出を行っているときには、請求項３に記載の発明と同じように、移動手段による可動部の移動を停止して、移動後の基板処理を停止するように、制御手段が移動手段を制御する構成（請求項７に記載の発明）であってもよいし、請求項４に記載の発明と同じように、第３検出の検出結果の内容を出力あるいは記憶する構成（請求項８に記載の発明）であってもよい。また、これらの請求項６〜請求項８に記載の発明を互いに組み合わせてもよい。
【００２３】
また、請求項１〜請求項８に記載の発明における可動部は、基板処理を施す処理部であってもよいし（請求項９に記載の発明）、基板であってもよい（請求項１０に記載の発明）。
【００２４】
また、請求項１〜請求項１０に記載の発明において、移動手段を下記のように構成することができる。基板の位置はもとより、基板の向きがずれていれば基板処理、特にフォトリソグラフィ技術に係る処理を行うことができない。図８に示すように、基板Ｗが略円形の場合には、かかる処理を正確に行うべく、方向や位置を決定するための、図８（ａ）に示すオリエンテーションフラットＯＦ、あるいは図８（ｂ）に示すノッチＮが基板Ｗに設けられている。オリエンテーションフラットＯＦの基板Ｗについては、そのオリエンテーションフラットＯＦに対して垂直方向をｙ方向とし、ノッチＮの基板Ｗについては、そのノッチＮから基板Ｗの中心Ｐまでの方向をｙ方向とする。
【００２５】
移動手段を、ｙ方向に沿って移動させるｙ方向用移動手段で構成し、ｙ方向に沿って検出を行うこと（請求項１１に記載の発明）で、ｙ方向に関するズレを精度良く検出することができる。図８に示すように、水平面内に対してｙ方向に直交する方向をｘ方向とすると、基板が、図８（ａ）に示すオリエンテーションフラットＯＦの基板Ｗであれば、ｘ方向の多少のズレはオリエンテーションフラットＯＦによって吸収するので、ｘ方向に関するズレを精度良く検出する必要はないが、基板が、図８（ｂ）に示すノッチＮの基板Ｗであれば、下記の請求項１２記載の発明のように、ｘ方向に関するズレをも精度良く検出するのが好ましい。
【００２６】
すなわち、移動手段を、ｙ方向用移動手段と、ｘ方向用移動手段とで構成し、ｘおよびｙの両方向に沿って各々の検出を行う（請求項１２に記載の発明）のが好ましい。なお、移動手段は、請求項１１、請求項１２に記載のｘ，ｙ方向に限定されず、別の方向であってよいし、水平面内に回転する方向であってもよい。また、基板の形態（例えば、矩形基板）に応じてｘ方向のみであってもよい。
【００２７】
基板処理は、基板あるいは基板処理を施す処理部などの可動部を移動させてから行うものであれば、特に限定されない。例えば、基板を水平面内に回転させる回転手段を備え、移動手段による可動部は、基板処理を施す処理部であるとともに、基板処理は、塗布膜が塗布形成された基板を、回転手段で水平面内に回転させつつ基板の周縁部を露光する周縁部露光処理であって、移動手段を、処理部を少なくとも水平面内に移動させる手段で構成すること（請求項１３に記載の発明）で、周縁部露光処理において、ズレを精度良く検出して可動部を正確な基準位置に設定することができ、ずれた状態で周縁部露光処理が行われるという事態を防止することができ、周縁部露光処理を精度良く行うことができる。
【００２８】
なお、本明細書は、基板処理方法に係る発明も開示している。
【００２９】
（１）可動部の移動後に基板処理を行う基板処理方法であって、前記可動部が所定距離だけ移動する第１移動を行ったときに可動部の位置を仮想基準位置として検出する第１検出を行い、可動部が所定距離だけ移動する第２移動を行ったときに可動部の位置を仮想非検出位置として検出する第２検出を行い、前記第１検出で検出された前記仮想基準位置が基準位置を中心とする検出域内にないとき、または前記第２検出で検出された仮想非検出位置が基準位置を中心とする検出域内にあるとき、可動部のズレとして検出することを特徴とする基板処理方法。
【００３０】
〔作用・効果〕上記の発明によれば、可動部が所定距離だけ移動する第１移動を行ったときに可動部の位置を仮想基準位置として検出する第１検出を行い、可動部が所定距離だけ移動する第２移動を行ったときに可動部の位置を仮想非検出位置として検出する第２検出を行い、第１検出で検出された仮想基準位置が基準位置を中心とする検出域内にないとき、または第２検出で検出された検出された仮想非検出位置が基準位置を中心とする検出域内にあるとき、可動部のズレとして検出するので、第１の課題を解決することができ、その結果、ズレを精度良く検出して可動部を正確な基準位置に設定することができる。
【００３１】
（２）可動部の移動後に基板処理を行う基板処理方法であって、前記可動部の基準位置の方向に向かって、可動部が移動しながら可動部の各々の位置を検出する第３検出を可動部が検出域に位置するまで行い、前記第３検出における検出域から、検出域の中心位置である基準位置までに相当する距離分だけ、可動部がさらに移動して、その移動先の地点を前記基準位置とすることを特徴とする基板処理方法。
【００３２】
〔作用・効果〕上記の発明によれば、可動部の基準位置の方向に向かって、可動部が移動しながら可動部の各々の位置を検出する第３検出を可動部が検出域に位置するまで行い、第３検出における検出域から、検出域の中心位置である基準位置までに相当する距離分だけ、可動部がさらに移動して、その移動先の地点を基準位置とするので、その移動先の地点を基準位置として修正することで第２の課題を解決することができ、その結果、ズレを精度良く検出して可動部を正確に基準位置に設定することができる。
【００３３】
（３）前記（１）または（２）に記載の基板処理方法において、方向および位置を決定する基板のオリエンテーションフラットあるいはノッチについて、前記オリエンテーションフラットに対して垂直方向、あるいは前記ノッチから基板の中心までの方向であるｙ方向に沿って可動部を移動させて、前記ｙ方向に沿って検出を行うことを特徴とする基板処理方法。
【００３４】
〔作用・効果〕上記の発明によれば、ｙ方向に関するズレを精度良く検出することができる。
【００３５】
（４）前記（３）に記載の基板処理方法において、前記ｙ方向の他に、水平面内に対して前記ｙ方向に直交する方向であるｘ方向に沿って可動部を移動させて、前記ｘおよびｙの両方向に沿って各々の検出を行うことを特徴とする基板処理方法。
【００３６】
〔作用・効果〕上記の発明によれば、ｙ方向のみならずｘ方向に関するズレをも精度良く検出することができる。特に、ノッチの基板のときに有用である。
【００３７】
（５）前記（１）から（４）のいずれかに記載の基板処理方法において、前記可動部は、前記基板処理を施す処理部であるとともに、前記基板処理は、塗布膜が塗布形成された基板を、水平面内に回転させつつ基板の周縁部を露光する周縁部露光処理であって、前記処理部を水平面内に移動させて前記検出を行い、検出後に処理部を基板の周縁部に設定して、その処理部から基板に光を照射することで前記周縁部露光処理を行うことを特徴とする基板処理方法。
【００３８】
〔作用・効果〕上記の発明によれば、周縁部露光処理において、ズレを精度良く検出して処理部を基板の周縁部に設定することができ、ずれた状態で周縁部露光処理が行われるという事態を防止することができ、周縁部露光処理を精度良く行うことができる。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
図１は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す斜視図であり、図２は、ｘ軸変位機構／ｙ軸変位機構の具体的構成を示す図であり、図３は、本実施例装置の制御系の構成を示すブロック図である。本実施例では、塗布膜（例えばフォトレジスト膜）が塗布形成された基板の周縁部を露光する周縁部露光装置（エッジ露光装置）を例に採って、基板処理を説明する。また、本実施例では、オリエンテーションフラットの基板を例に採って説明する。
【００４０】
本実施例に係る基板処理装置は、図１に示すように、スピンチャック１１などからなる基板回転機構１０と、光照射部２１などからなる処理機構２０と、その光照射部２１を水平面（ｘｙ平面）内に移動させる移動機構３０とから構成されている。ここで、ｙ方向は、オリエンテーションフラットＯＦに対して垂直方向を示し、ｘ方向は、水平面内に対してｙ方向に直交する方向、すなわちオリエンテーションフラットＯＦに平行な方向を示す。
【００４１】
基板回転機構１０は、スピンチャック１１およびモータ１２から構成されている。このスピンチャック１１は、基板Ｗを水平姿勢に吸着保持する。また、スピンチャック１１はモータ１２に連結されており、モータ１２によってスピンチャック１１は鉛直軸心周りに回転して、吸着保持された基板Ｗも鉛直軸心周り、すなわち水平面内に回転する。基板回転機構１０は、本発明における回転手段に相当する。
【００４２】
処理機構２０は、光照射部２１、光ファイバ２２、および照射ヘッド２３から構成されている。この光照射部２１は、基板Ｗに塗布形成されたフォトレジスト膜を露光する波長帯域（例えば、紫外線）を出力するために、例えば、水銀キセノンランプなどの光源２１ａ，楕円鏡２１ｂ，紫外線透過フィルタ２１ｃ，シャッタ２１ｄなどから構成されている。紫外線透過フィルタ２１ｃを透過した紫外光は、光ファイバ２２を介して、照射ヘッド２３に導かれる。シャッタ２１ｄは、その開閉によって光照射部２１から照射ヘッド２３への紫外光の出力／停止を切り替えるためのものである。照射ヘッド２３は、所定の形状に絞ったスポット光を基板Ｗに照射するためのスリットや、光学レンズ系（いずれも図示省略）などを備えている。この光照射部２１，光ファイバ２２，および照射ヘッド２３は、本発明における処理部に相当する。
【００４３】
移動機構３０は、支持アーム３１、ｘ軸変位機構３２、およびｙ軸変位機構３３から構成されている。図２（ａ）の平面図および図２（ｂ）の断面図に示すように、ｘ軸変位機構３２は、筐体部材３２ａ，モータ３２ｂ，螺軸３２ｃ，基台３２ｄ，検知セクタ３２ｅから構成されるとともに、ｙ軸変位機構３３は、筐体部材３３ａ，モータ３３ｂ，螺軸３３ｃ，基台３３ｄ，検知セクタ３３ｅから構成されている。ｘ軸変位機構３２とｙ軸変位機構３３とは同様の構成であるので、以下、ｘ軸変位機構３２の説明のみを行い、必要な部分を除いてｙ軸変位機構３３の説明については省略する。
【００４４】
筐体部材３２ａには長手方向に溝部が設けられており、この溝部に沿って螺軸３２ｃが配設されている。基台３２ｄは螺軸３２ｃに螺合され、螺軸３２ｃはモータ３２ｂに連結されている。また、検知セクタ３２ｅは、基台３２ｄの下面に配設されている。ｘ軸変位機構３２の場合には、基台３２ｄは、ｙ軸変位機構３３の筐体部材３３ａの下面に配設され、ｙ軸変位機構３３の場合には、基台３３ｄは、下部における支持アーム３１の下面に配設されている。
【００４５】
このように構成されることで、ｘ軸変位機構３２側のモータ３２ｂによって螺軸３２ｃが回転し、それに伴って基台３２ｄ、基台３２ｄの下面に配設された検知セクタ３２ｅ、および基台３２ｄを下面に配設したｙ軸変位機構３３の筐体部材３３ａがｘ方向に移動して、ｙ軸変位機構３３全体もｘ方向に移動する。同様に、ｙ軸変位機構３３側のモータ３３ｂによって螺軸３３ｃが回転し、それに伴って基台３３ｄ、基台３３ｄの下面に配設された検知セクタ３３ｅ、および基台３３ｄを下部において下面に配設した支持アーム３１がｙ方向に移動する。図１に示すように、支持アーム３１の先端には照射ヘッド２３が取り付けられており、ｘ／ｙ軸変位機構３２，３３の各モータ３２ｂ，３３ｂによって照射ヘッド２３は、ｘおよびｙの両方向に移動する。すなわち、照射ヘッド２３は、水平面内に移動する。移動機構３０は、本発明における移動手段であって、ｘ軸変位機構３２は、本発明におけるｘ方向用移動手段に、ｙ軸変位機構３３は、本発明におけるｙ方向用移動手段にそれぞれ相当する。
【００４６】
ｘ軸／ｙ軸変位機構３２，３３のモータ３２ｂ，３３ｂ、およびスピンチャック１１を回転させるモータ１２は、パルス信号を受信するごとに１ステップずつ所定の角度に回転駆動するステッピングモータであって、パルスの数で、モータ３２ｂによって変位するｙ軸変位機構３３のｘ方向に関する移動量など、モータ３３ｂによって変位する支持アーム３１のｙ方向に関する移動量など、モータ１１によって回転する基板Ｗの回転角度などがわかる。
【００４７】
この他に、本実施例に係る基板処理装置（本実施例装置）は、ラインセンサ４０を備えている。このラインセンサ４０は、複数個のＣＣＤを並設して構成されており、基板Ｗの周縁部の回転軌跡に対応する位置に配設されている。
【００４８】
また、図２に示すように、基準位置Ａｘにおいてｘ軸変位機構３２の筐体部材３２ａの溝部の側面には原点センサ５１が、基準位置Ａｙにおいてｙ軸変位機構３３の筐体部材３３ａの溝部の側面には原点センサ５２がそれぞれ配設されている。これら原点センサ５１，５２は、図２（ｂ）に示すように、コの字型の形状であって、透過型センサとして構成されている。コの字を形成する一方の面には投光素子が、他方の面には受光素子（いずれも図示省略）がそれぞれ配設されている。
【００４９】
検知セクタ３２ｅがｘ方向に移動し、図２（ａ）中に示す基準位置Ａｘに配設された原点センサ５１を通過すると、検知セクタ３２ｅは原点センサ５１のコの字をそれぞれ形成する両面に挟まれることになって、投光素子から光が検知セクタ３２ｅによって遮光される。この遮光によって原点センサ５１は検知セクタ３２ｅがあることを検出し、原点センサ５１を配設した基準位置Ａｘを検出する。換言すれば、位置検出は、検知セクタ３２ｅの有無の検出によって行われ、検知セクタ３２ｅがあることを原点センサ５１が検出すれば、後述する基準位置Ａｘを中心とする検出域ａ（図５，図６参照）内に検知セクタ３２ｅが位置することを検出し、検知セクタ３２ｅがないことを原点センサ５１が検出すれば、検出域ａ内に検知セクタ３２ｅが位置しないことを検出する。
【００５０】
同様に、検知セクタ３３ｅがｙ方向に移動し、図２（ａ）中に示す基準位置Ａｙに配設された原点センサ５２を通過すると、投光素子から光が検知セクタ３３ｅによって遮光され、この遮光によって原点センサ５２は検知セクタ３３ｅがあることを検出し、原点センサ５２を配設した基準位置Ａｙを検出する。換言すれば、位置検出は、検知セクタ３３ｅの有無の検出によって行われ、検知セクタ３３ｅがあることを原点センサ５２が検出すれば、検出域ａ内に検知セクタ３３ｅが位置することを検出し、検知セクタ３３ｅがないことを原点センサ５２が検出すれば、検出域ａ内に検知セクタ３３ｅが位置しないことを検出する。これら検知セクタ３２ｅ，３３ｅの基準位置Ａｘ，Ａｙの検出に基づいて原点Ａ（図７（ｂ）参照）を設定する。原点センサ５１，５２は、本発明における検出手段に相当する。
【００５１】
また、可動する部材は、基板回転機構１０側のモータ１２によって水平面内に回転するスピンチャック１１や基板Ｗ、ｘ軸変位機構３２側のモータ３２ｂによってｘ方向に移動する基台３２ｄや検知セクタ３２ｅやｙ軸変位機構３３全体、およびｘ軸／ｙ軸変位機構３２，３３のモータ３２ｂ，３３ｂによってｘおよびｙの両方向に移動する基台３３ｄや検知セクタ３３ｅや照射ヘッド２３を含む処理機構２０などであるが、本発明における第１検出，第２検出，および第３検出を行うべく移動することで可動する部材は、モータ３２ｂによってｘ方向に移動する基台３２ｄや検知セクタ３２ｅやｙ軸変位機構３３全体、モータ３２ｂ，３３ｂによってｘおよびｙの両方向に移動する基台３３ｄや検知セクタ３３ｅや処理機構２０である。従って、本実施例では、基台３２ｄや検知セクタ３２ｅやｙ軸変位機構３３全体や基台３３ｄや検知セクタ３３ｅや処理機構２０は、本発明における可動部に相当する。なお、可動する点においては、本発明における検出手段の１つに相当する原点センサ５２も、ｘ方向に移動するｙ軸変位機構３３の筐体部材３３ａの溝部の側面に配設されることで、ｘ方向に移動するので、原点センサ５２は、本発明における検出手段にも可動部にも相当する。
【００５２】
次に、本実施例装置の制御系の構成について説明する。本発明における制御手段に相当する制御部６１には、図３に示すように、上述したラインセンサ４０、および原点センサ５１，５２の他に、モータ駆動回路１２Ａ，３２Ａ，３３Ａ、角度情報演算部６２、ｘ方向情報演算部６３、ｙ方向情報演算部６４、露光条件プログラム６５、開閉駆動回路６６、スイッチ６７、アラーム６８などが接続される。
【００５３】
モータ駆動回路１２Ａは、スピンチャック１１を回転させるモータ１２を駆動させる回路であって、モータ駆動回路３２Ａは、ｘ軸変位機構３２側のモータ３２ｂを駆動させる回路であって、モータ駆動回路３３Ａは、ｙ軸変位機構３３側のモータ３３ｂを駆動させる回路である。角度情報演算部６２は、制御部６１からモータ駆動回路１２Ａに送信するパルス信号の数からモータ１１によって回転する基板Ｗの回転角度、もしくはその回転角度が既知のときにはその回転角度から上述したパルスの数を求めるもので、ｘ方向情報演算部６３は、制御部６１からモータ駆動回路３２Ａに送信するパルス信号の数からモータ３２ｂによって変位するｙ軸変位機構３３のｘ方向に関する移動量、もしくはその移動量が既知のときにはその移動量から上述したパルスの数を求めるもので、ｙ方向情報演算部６４は、制御部６１からモータ駆動回路３３Ａに送信するパルス信号の数からモータ３３ｂによって変位する支持アーム３１のｙ方向に関する移動量、もしくはその移動量が既知のときにはその移動量から上述したパルスの数を求めるものである。
【００５４】
露光条件プログラム６５は、後述する図４に示すフローチャート（一連の周縁部露光処理の手順）を記憶するプログラムである。また、開閉駆動回路６６は、シャッタ２１ｄの開閉を行うための駆動回路であって、スイッチ６７は、光源２１ａのＯＮ／ＯＦＦを切り替えるスイッチである。アラーム６８は、本発明における第１〜第３検出でズレがあったときには、基板処理を行うオペレータ（術者）に報知するためのもので、光照射部や音発生部（いずれも図示省略）などで構成されている。アラーム６８は、本発明における報知手段に相当する。
【００５５】
次に、一連の周縁部露光処理の手順について、図４に示すフローチャートを参照して説明するとともに、周縁部露光処理のための照射ヘッドの原点合わせについて、図５，図６に示す説明図を参照し、周縁部露光で形成される周縁部露光領域について、図７に示す説明図を参照して説明する。なお、図５，図６は、図１をｙ方向から見た側面図であって、説明の便宜上、照射ヘッド２３、検知セクタ３２ｅ、原点センサ５１のみ図示する。上述したように、露光条件プログラム６５に記憶されているプログラムを制御部６１が読み込んで、制御部６１にそれぞれ接続されている各構成にコマンドを与えることで、図４に示すフローチャートが実行される。
【００５６】
ステップＳ１（基板の搬入／向き合わせ）
図示を省略する搬送機構によって基板Ｗをスピンチャック１１に載せて、スピンチャック１１が基板Ｗを吸着保持して基板Ｗの搬入を行う。搬入後は、オリエンテーションフラットＯＦの面が、ｘ方向と平行になるように基板Ｗの向きを合わせる。
【００５７】
具体的には、水平面内に基板Ｗを微小角度（例えば９°）ずつ、少なくとも３６０°回転させながら、ラインセンサ４０から出力されるＣＣＤの「ＯＮ」の数の変移を制御部６１が監視する。水平面内の基板Ｗの回転は、モータ１２による鉛直軸心周りのスピンチャック１１で行われる。基板ＷのオリエンテーションフラットＯＦ以外の円弧部分を、ラインセンサ４０が横切っている間、ＣＣＤの「ＯＮ」の数は一定である。そして、オリエンテーションフラットＯＦの一方の端部をラインセンサ４０が通過した瞬間から、ＣＣＤの「ＯＮ」の数は一定状態から増加状態に転じる。さらに、オリエンテーションフラットＯＦの中央を通過する瞬間まで「ＯＮ」の数は増加を続け、オリエンテーションフラットＯＦの中央を通過すると、「ＯＮ」の数は減少に転じ、ラインセンサ４０がオリエンテーションフラットＯＦの他方の端部を通過すると、「ＯＮ」の数は減少状態から一定状態に転じる。この「ＯＮ」の数の検出によって、オリエンテーションフラットＯＦの中央を検知して、水平面内の基板Ｗの回転を停止して向きを合わせる。
【００５８】
基板Ｗの向き合わせが終了すれば、下記のステップＳ２〜Ｓ１２を行う。ステップＳ２〜Ｓ１２が照射ヘッド２３の原点合わせとなる。また、ステップＳ２，Ｓ３は、ｘ方向に関する本発明における第１検出となる。なお、説明の便宜上、図５，図６の紙面から見て、右方向を「＋」方向、左方向を「−」方向として図示する。
【００５９】
ステップＳ２（ｘ方向に関する第１移動〔仮想基準位置までのｘ方向の移動〕）
まず、図５（ａ）に示すように、照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅなどを、基準位置Ａｘに相当する位置である仮想基準位置までｘ方向に移動させる。このステップＳ２の移動は、ｘ方向に関する本発明における第１移動に相当する。この場合には、図５（ａ）に示す方向、すなわち「−」方向に照射ヘッド２３を移動させる。具体的に説明すると、ｘ軸変位機構３２側のモータ３２ｂによって基台３２ｄや検知セクタ３２ｅやｙ軸変位機構３３全体がｘ方向に移動して、それに伴って、ｙ軸変位機構３３側の基台３３ｄを下部において下面に配設した支持アーム３１、支持アーム３１の先端に取り付けられた照射ヘッド２３などもｘ方向に移動する。なお、ｘ軸変位機構３２の筐体部材３２ａの溝部の側面に配設された原点センサ５１は、筐体部材３２ａはｘ方向に移動しないので固定されたままである。
【００６０】
第１移動の際には、検知セクタ３２ｅが、原点センサ５１を配設した基準位置Ａｘに相当する位置である仮想基準位置に位置するまでｘ方向の移動を行う。ここで、「基準位置」までの移動とせずに、「仮想基準位置」までの移動としたのは、基準位置におけるズレがあるか否かを検出するためであって、スタートした地点から実際の基準位置Ａｘまでの距離と、仮想基準位置までの距離とが必ずしも一致するとは限らないからである。ズレがなければスタートした地点から基準位置Ａｘまでの距離と、仮想基準位置までの距離とは一致し、この距離は既知である。従って、制御部６１からモータ駆動回路３２Ａに送信するパルス信号の数について、モータ３２ｂによって変位するｙ軸変位機構３３のｘ方向に関する移動量が、上述した距離になるようなパルスの数を、ｘ方向情報演算部６３は求めて、そのパルスの数に達するまで、仮想基準位置までのｘ方向の移動、すなわち第１移動を行う。
【００６１】
ステップＳ３（検知セクタはあったか？）
検知セクタ３２ｅが、原点センサ５１を配設した基準位置Ａｘに相当する位置である仮想基準位置にまで移動したら、図５（ｂ）に示すように移動を停止して、検知セクタ３２ｅの有無を検出する。検知セクタ３２ｅの有無の検出は、原点センサ５１の投光素子からの検知セクタ３２ｅによる遮光の有無によって行われる。もし、基準位置Ａｘと仮想基準位置とが一致せず、仮想基準位置が基準位置Ａｘを中心とする検出域ａ内になければ、すなわち、検知セクタ３２ｅがなければ、検知セクタ３２ｅが基準位置Ａｘに位置しているはずにも関わらず、ズレによって実際には位置していなかったとして、ズレが検出されたとみなして、ステップＳ４に移行する。もし、仮想基準位置が基準位置Ａｘを中心とする検出域ａ内にあれば、すなわち、検知セクタ３２ｅがあれば、ズレは発生していないとみなして、ステップＳ５に移行する。なお、ステップＳ５，Ｓ６は、ｘ方向に関する本発明における第２検出となる。
【００６２】
ここで、本明細書における検出域とは、検出手段である原点センサ５１，５２が検出し得る範囲を示し、本実施例の場合にはｘ方向では原点センサ５１や検知セクタ３２ｅの大きさ、原点センサ５１の感度によって決定され、ｙ方向では原点センサ５２や検知セクタ３３ｅの大きさ、原点センサ５２の感度によって決定される。図５，図６では、説明の便宜上、検知セクタ３３ｅおよび原点センサ５１の幅を同じ大きさに図示するとともに、検出域ａの範囲を検知セクタ３３ｅおよび原点センサ５１の幅で図示する。
【００６３】
ステップＳ４（アラーム発報／処理の停止）
ズレが検出されていれば、オペレータに報知するためにアラーム６８が発報する。また、照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅなどのｘ方向の移動を停止して、移動後の周縁部露光処理を停止する。
【００６４】
ステップＳ５（ｘ方向に関する第２移動〔仮想非検出位置までのｘ方向の移動〕）
ズレが発生していなければ、図５（ｃ）に示すように、照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅなどを、基準位置Ａｘから距離ｔだけずらした位置Ｂｘ（以下、この位置を「ずらし位置」と呼ぶ）に相当する位置である仮想非検出位置にまでｘ方向に移動させる。このステップＳ５の移動は、ｘ方向に関する本発明における第２移動に相当する。具体的に説明すると、モータ３２ｂによって検知セクタ３２ｅなどがｘ方向に移動して、それに伴って、支持アーム３１、照射ヘッド２３などもｘ方向に移動する。
【００６５】
第１移動の際には、検知セクタ３２ｅが、ずらし位置Ｂｘに相当する位置である仮想非検出位置に位置するまでｘ方向の移動を行う。ここで、「ずらし位置」までの移動とせずに、「仮想非検出位置」までの移動としたのは、第１移動で述べた理由と同じく、ずらし位置におけるズレがあるか否かを検出するためであって、基準位置Ａｘから実際のずらし位置Ｂｘまでの距離ｔと、仮想非検出位置までの距離とが必ずしも一致するとは限らないからである。ズレがなければ基準位置Ａｘから実際のずらし位置Ｂｘまでの距離ｔと、仮想非検出位置までの距離とは一致し、この距離ｔは既知である。従って、ステップＳ２と同じく、ｙ軸変位機構３３のｘ方向に関する移動量が、上述した距離ｔとなるような、制御部６１からモータ駆動回路３２Ａに送信するパルス信号の数を求めて、そのパルスの数に達するまで、仮想非検出位置までのｘ方向の移動、すなわち第２移動を行う。
【００６６】
ステップＳ６（検知セクタはなかったか？）
検知セクタ３２ｅが、ずらし位置Ｂｘに相当する仮想非検出位置にまで移動したら、図５（ｄ）に示すように移動を停止して、検知セクタ３２ｅの有無を検出する。もし、ずらし位置Ｂｘと仮想非検出位置とが一致せず、仮想非検出位置が基準位置Ａｘを中心とする検出域ａ内にあれば、すなわち、検知セクタ３２ｅがあれば、検知セクタ３２ｅが基準位置Ａｘから十分ずらしたずらし位置Ｂｘに位置しているはずにも関わらず、ズレによって検出域ａ内に実際にはあったとして、ズレが検出されたとみなして、ステップＳ７に移行する。もし、仮想非検出位置が基準位置Ａｘを中心とする検出域ａ内になければ、すなわち、検知セクタ３２ｅがなければ、ズレは発生していないとみなして、ステップＳ８に移行する。なお、ステップＳ８，Ｓ９は、ｘ方向に関する本発明における第２検出となる。
【００６７】
ステップＳ７（アラーム発報／処理の停止）
ステップＳ４と同じく、ズレが検出されていれば、アラーム６８が発報し、移動後の周縁部露光処理を停止する。
【００６８】
ステップＳ８（基準位置までのｘ方向の移動）
ズレが発生していなければ、図６（ａ）に示すように、照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅなどを、基準位置Ａｘにまでｘ方向に移動させる。この場合には、図６（ａ）に示す方向、すなわち、ステップＳ２の図５（ａ）やステップＳ５の図５（ｃ）に示す方向とは逆方向である「＋」方向に、照射ヘッド２３を移動させる。具体的に説明すると、モータ３２ｂによって検知セクタ３２ｅなどがｘ方向に移動して、それに伴って、支持アーム３１、照射ヘッド２３などもｘ方向に移動する。ｘ方向に移動しながら照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅなどの可動部の各々の位置を検出する第３検出を行うために、検知セクタ３２ｅの有無の変化を検出し、検知セクタ３２ｅの有無の変化が発生する位置である検出域ａの境界位置Ｃｘに位置するまで、基準位置Ａｘまでのｘ方向の移動を行う。
【００６９】
ステップＳ９（検知セクタの有無は変化したか？）
基準位置Ａｘに達するまでに、図６（ｂ）に示すように、検出域ａの境界位置Ｃｘに到達するが、その境界位置Ｃｘに到達したという目安は、検知セクタ３２ｅの有無の変化があったか否かを検出することで行われる。境界位置Ｃｘに達し、さらに基準位置Ａｘに達しても、検知セクタ３２ｅの有無の変化がなければ、すなわち、第３検出をなおも行っていれば、ズレが検出されたとみなして、ステップＳ１０に移行する。もし、検知セクタ３２ｅの有無の変化があれば、検知セクタ３２ｅが境界位置Ｃｘにさしかかったとして、その境界位置Ｃｘに一旦停止し、ステップＳ１１に移行する。なお、基準位置Ａｘに達する目安は、ステップＳ５でも述べたようにｙ軸変位機構３３のｘ方向に関する移動量が、距離ｔ（基準位置Ａｘとずらし位置Ｂｘとの距離）となるような、制御部６１からモータ駆動回路３２Ａに送信するパルス信号の数を求めて、そのパルスの数に達するまでに検知セクタ３２ｅの有無の変化があったか否かをみればよい。
【００７０】
ステップＳ１０（アラーム発報／処理の停止）
ステップＳ４，Ｓ７と同じく、ズレが検出されていれば、アラーム６８が発報し、移動後の処理を停止する。
【００７１】
ステップＳ１１（検出域の距離分だけｘ方向へ移動）
停止後、照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅなどを再度動かして、境界位置Ｃｘから基準位置Ａｘに相当する距離分だけ、すなわち検出域ａの距離分だけ、基準位置Ａｘにまでｘ方向に移動させる。具体的に説明すると、モータ３２ｂによって検知セクタ３２ｅなどがｘ方向に移動して、それに伴って、支持アーム３１、照射ヘッド２３などもｘ方向に移動する。そして、検知セクタ３２ｅが、検出域ａの距離分だけ移動したら、図６（ｃ）に示すように移動を停止して、次のステップＳ１２に移行する。ここで、停止した位置は基準位置Ａｘとなる。基準位置Ａｘに停止させるのに、ずらし位置Ｂｘから距離ｔの分だけ移動させずに、境界位置Ｃｘに位置したとき、すなわち検知セクタ３２ｅの有無の変化があったときから検出域ａの距離分だけ移動させたのは、以下の理由による。
【００７２】
すなわち、検出することができない微妙なズレがあったときに、基板Ｗを処理するたびに基準位置Ａｘから徐々にずれることを防止するためである。検出することができない微妙なズレとして、例えば、検知セクタ（ステップＳ１１の場合には検知セクタ３２ｅ）の有無の変化が起こる前にパルス信号が途絶える場合がある。パルス信号が途絶える原因としては、例えばモータ（ステップＳ１１の場合にはｘ軸変位機構３２に備えられたモータ３２ｂ）の接触不良などがある。つまり、接触不良によってパルス信号が途絶えることで、モータがパルス信号を受信していないと認識して、途絶えた分だけモータは回転駆動しない。
【００７３】
例えば、ずらし位置Ｂｘから距離ｔの分だけ移動させて基準位置Ａｘに戻す場合において、距離ｔ分だけ移動させるのにα〔ステップ〕必要で、１ステップ当りのモータ３２ｂの回転角度がβ〔ｒａｄ／ステップ〕とすると、α×β〔ｒａｄ〕だけ回転させると、基準位置Ａｘに戻すことができる。パルス信号がγ〔ステップ〕分だけ途絶えた場合には、モータ３２ｂは（α−γ）〔ステップ〕分のパルス信号を受信したと認識し、制御部６１はα〔ステップ〕分のパルス信号を送信したと認識する。従って、従来のように、ずらし位置Ｂｘから距離ｔの分だけ移動させる場合には、制御部６１はα〔ステップ〕分のパルス信号を送信すると、モータの駆動を停止するように制御するので、実際に移動させる距離ｔを、（ｔ−ｔ×γ／α）としてしまって、実際の基準位置Ａｘからｔ×γ／α分のズレが生じる。
【００７４】
本実施例の場合には、モータ３２ｂが（α−γ）〔ステップ〕分のパルス信号を受信したと認識し、制御部６１がα〔ステップ〕分のパルス信号を送信したと認識しても、検知セクタ３２ｅの有無の変化が起こる前にパルス信号が途絶えるケースでは、検知セクタ３２ｅの有無の変化が起こる前のパルス信号の数は考慮せずに、検知セクタ３２ｅの有無の変化を検出するので、ｔ×γ／α分のズレが生じることなく基準位置Ａｘに戻る。このように、例えば、検知セクタの有無の変化が起こる前にパルス信号が途絶える場合のように、検出することができない微妙なズレがあったとしても、検出域ａの距離分だけ実際に移動させて、その移動先の地点を基準位置（ステップＳ１１の場合には基準位置Ａｘ）として修正することでそのズレを吸収することができる。
【００７５】
ステップＳ１２（ｙ方向に関する第１移動〔仮想基準位置までのｙ方向の移動〕〜検出域の距離分だけｙ方向へ移動）
ステップＳ２〜Ｓ１１は、ｘ方向に関する位置合わせであるが、このステップＳ１２は、ｙ方向に関する位置合わせである。ｙ軸変位機構３３側のモータ３３ｂによって基台３３ｄや検知セクタ３３ｅや支持アーム３１などがｙ方向に移動して、それに伴って、照射ヘッド２３などもｙ方向に移動する。具体的な手順については、ステップＳ２〜Ｓ１１の手順がｘ方向からｙ方向に替わったのみなので、その説明を省略するが、基準位置Ａｙを中心として基準位置Ａｘと同様の位置合わせを行えばよい。また、異常があったときには、アラーム６８が発報し、移動後の処理を停止するようにすればよい。
【００７６】
ステップＳ１２でｙ方向にも位置合わせを行えば、検知セクタ３２ｅが基準位置Ａｘに、検知セクタ３３ｅが基準位置Ａｙにそれぞれ位置することになり、照射ヘッド２３は図７（ｂ）に示す原点Ａに位置することになる。次に、ステップＳ１３の周縁部露光処理について説明する。
【００７７】
ステップＳ１３（周縁部露光処理）
図７（ａ）に示すように、パターン領域ＰＡの周囲の階段状のラインに沿った輪郭の外側が周縁部露光領域となる。この周縁部露光領域を図７（ａ）では斜線で示す。周縁部露光の際には、ステップＳ１において、オリエンテーションフラットＯＦの面が、ｘ方向と平行になるように基板Ｗを予め回転させ、ステップＳ２〜Ｓ１２において照射ヘッド２３を図７（ｂ）に示す原点Ａに合わせてから行う。そして原点Ａから所定距離分だけｘ／ｙ方向に移動させて、その移動先の地点を所定位置として設定して周縁部露光を開始する。
【００７８】
上述したように照射ヘッド２３から照射されるスポット光がスリット（図示省略）によって所定の形状に絞られる。本実施例では、この形状を図７（ｂ）に示すように矩形として説明する。矩形状に絞られたスポット光ＳＬは、照射ヘッド２３をｘ／ｙ方向にそれぞれ移動させることで、図７（ｂ）に示すように複数のスポット光ＳＬが互いに隣接して得られた周縁部露光領域が形成される。このように移動させることで、階段状のラインに沿って周縁部が露光される。また、この場合、露光幅はｙ方向に設定される。
【００７９】
図７（ｂ）に示す基板Ｗの向きでオリエンテーションフラットＯＦにおける周縁部が露光されれば、スピンチャック１１によって基板Ｗを水平面内に時計周り（あるいは反時計周り）に９０°回転させて、同様の処理を行う。さらに、その処理が終了すれば、スピンチャック１１によって基板Ｗを水平面内に時計周り（あるいは反時計周り）に、９０°回転させて、同様の処理を行い、その処理が終了すれば、さらに９０°回転させて、周縁部露光領域を全て形成する。
【００８０】
ステップＳ１４（基板の搬出）
ステップＳ１３で周縁部露光処理が終了すれば、ｘ軸／ｙ軸変位機構３２，３３を操作することで、照射ヘッド２３や支持アーム３１などをｘ／ｙ方向に移動させて、照射ヘッド２３や支持アーム３１などを基板Ｗの外側に待避させる。そして、図示を省略する搬送機構によって基板Ｗを保持した状態で、スピンチャック１１による吸着を解除し、その搬送機構が基板Ｗをスピンチャック１１から外すことで、基板の搬出を行う。このように、ステップＳ１〜Ｓ１４を行うことで一連の基板処理が終了する。
【００８１】
上述の構成を有する本実施例に係る基板処理装置は、以下の効果を奏する。ｘ方向について説明すると、ｘ軸変位機構３２が、照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅなどの可動部をスタートした地点から所定距離だけ移動させる第１移動を行ったときに検知セクタ３２ｅの位置を仮想基準位置として検出する第１検出（ステップＳ２，Ｓ３）を行っている。この第１検出において、原点センサ５１が検知セクタ３２ｅの有無を検出する。そして、ｘ軸変位機構３２が、可動部を基準位置Ａｘからずらし位置Ｂｘまでの距離ｔの所定距離だけ移動させる第２移動を行ったときに検知セクタ３２ｅの位置を仮想非検出位置して検出する第２検出（ステップＳ５，Ｓ６）を行っている。この第２検出において、原点センサ５１が検知セクタ３２ｅの有無を検出する第２検出を行っている。
【００８２】
なお、第１，第２検出での検知セクタ３２ｅの位置が、検出域ａ内にあるか否かは、検知セクタ３２ｅの有無で行われる。すなわち、第１検出で検知セクタ３２ｅがなければ、検知セクタ３２ｅが位置する仮想基準位置が検出域ａ内にないとして、ズレが検出されたとする。また、第２検出で検知セクタ３２ｅがあれば、検知セクタ３２ｅが位置する仮想非検出位置が検出域ａ内にあるとして、ズレが検出されたとする。
【００８３】
このように、可動部にズレがなければ、ｘ軸変位機構３２が第１移動を行ったときに検知セクタ３２ｅが位置する仮想基準位置は、基準位置Ａｘを中心とする検出域ａ内になればならず、すなわち、第１検出で検知セクタ３２ｅがなければならず、かつ、ｘ軸変位機構３２が第２移動を行ったときに検知セクタ３２ｅが位置する仮想非検出位置は、基準位置Ａｘを中心とする検出域ａ内にあってはならない。
【００８４】
第１検出を行うべくｘ軸変位機構３２は、第１移動で仮想基準位置にまで必ず移動させているので、第１検出は、第１移動での移動先である仮想基準位置で必ず行われる。従って、従来のように、移動先が基準位置Ａｘを中心とする検出域ａ内にあるときのみズレを検出して、それ以外の位置ではズレがあるにも関わらずズレを検出することができないのと相違し、本発明では、第１移動での移動先である仮想基準位置で第１検出が必ず行われ、それ以外の位置では第１検出が行われず、その仮想基準位置が基準位置Ａｘを中心とする検出域ａ内になければズレを検出することができる。
【００８５】
さらに、第２検出を行うべくｘ軸変位機構３２は、第２移動で仮想非検出位置にまで移動させているので、次の第２検出は、第２移動での移動先である仮想非検出位置で必ず行われる。この第２検出でのズレの検出により、ズレのさらなる確認が行えるので、ズレを精度良く検出することができ、上述した第１の課題を解決することができる。その結果、ズレを精度良く検出して可動部を正確な基準位置に設定することができる。なお、ｙ方向についても同様である。
【００８６】
また、ｘ方向について説明すると、本実施例の場合には、基準位置Ａｘの方向に向かって、ｘ軸変位機構３２が照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅなどの可動部を移動させながら原点センサ５１が可動部の各々の位置を検出する第３検出を検知セクタ３２ｅが検出域ａ内にさしかかる境界位置Ｃｘに位置するまで行い（ステップＳ８，Ｓ９）、境界位置Ｃｘから基準位置Ａｘに相当する距離分だけ、すなわち検出域ａの距離分だけ、ｘ軸変位機構３２は、可動部をさらに移動させる（ステップＳ１１）。
【００８７】
なお、検知セクタ３２ｅが検出域ａ内に位置したか否かの目安は、検知セクタ３２ｅの有無の変化があったか否かを検出することで行われる。すなわち、第３検出で検知セクタ３２ｅの有無の変化がなければ、検知セクタ３２ｅが検出域ａの境界位置Ｃｘに到達していないとする。もし、境界位置Ｃｘに達し、さらに基準位置Ａｘに達しても、検知セクタ３２ｅの有無の変化がなければ、すなわち、第３検出をなおも行っていれば、ズレが検出されたとする。
【００８８】
このように、上述した検出域ａの距離分だけ、可動部をさらに移動させるようにしているので、検出することができない微妙なズレがあったとしても、上述した距離分だけ実際に移動させて、その移動先を基準位置Ａｘとして修正することでそのズレを吸収することができる。従って、基板Ｗを処理するたびに基準位置Ａｘから徐々にずれることを防止することができ、上述した第２の課題を解決することができる。その結果、ズレを精度良く検出して可動部を正確な基準位置に設定することができる。また、基板Ｗを処理するたびに徐々にずれていった状態で基板処理が行われるという事態を防止することができる。なお、ｙ方向についても同様である。
【００８９】
また、正常に検出されなかったときにオペレータに報知するアラーム６８を備え、本実施例の場合には、本発明における第１〜第３検出でズレがあった場合、すなわち、検知セクタ３２ｅがないことを第１検出で検出する（第１検出で検出された仮想基準位置が検出域ａ内にない）（ステップＳ３）、あるいは検知セクタ３２ｅがあることを第２検出で検出する（第２検出で検出された仮想非検出位置が検出域ａ内にある）（ステップＳ６）、あるいは境界位置Ｃｘに達し、基準位置Ａｘに達しても、検知セクタ３２ｅの有無の変化がない（基準位置Ａｘに相当する位置にまで検知セクタ３２ｅが位置しても第３検出を行っている）（ステップＳ９）場合には、アラーム６８が発報して、ｘ軸変位機構３２が照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅなどの可動部のｘ方向の移動を停止して、移動後の基板処理を停止する（ステップＳ４，Ｓ７，Ｓ１０）ように、制御部６１がｘ軸変位機構３２やアラーム６８を制御している。
【００９０】
このように制御しているので、検知セクタ３２ｅがないことを第１検出で検出する、あるいは検知セクタ３２ｅがあることを第２検出で検出する、あるいは検知セクタ３２ｅの有無の変化を検出しなければ、アラーム６８が発報して報知することで、照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅなどの可動部のズレが発生すれば、基板処理を行うオペレータに知らせることができる。同様に、検知セクタ３２ｅがないことを第１検出で検出する、あるいは検知セクタ３２ｅがあることを第２検出で検出する、あるいは検知セクタ３２ｅの有無の変化を検出しなければ、可動部のｘ方向の移動を停止して、移動後の基板処理を停止することで、可動部のズレが発生しても発生した状態で基板処理が行われるという事態を防止することができる。
【００９１】
制御部６１がｘ軸変位機構３２やアラーム６８を制御するのは、露光条件プログラム６５に記憶されているプログラムを制御部６１が読み込んで、制御部６１にそれぞれ接続されている各構成にコマンドを与えることで行われる。このように制御することで、制御部６１による基板処理（本実施例の場合には周縁部露光処理）が行われる。
【００９２】
また、本実施例の場合には、本発明における移動手段に相当する移動機構３０を、ｘ方向に沿って移動させるｘ軸変位機構３２と、ｙ方向に沿って移動させるｙ軸変位機構３３とで構成し、ｘ，ｙの両方向に沿って各々の検出を行うようにしている。ここで、ｙ方向は、上述したように、オリエンテーションフラットＯＦに対して垂直方向を示し、ｘ方向は、水平面内に対してｙ方向に直交する方向、すなわちオリエンテーションフラットＯＦに平行な方向を示す。
【００９３】
従って、本実施例のような基板の場合、すなわち、オリエンテーションフラットＯＦの基板Ｗの場合には、ｘ，ｙの両方向に関するズレを精度良く検出することができる。その結果、本実施例の周縁部露光処理を正確に行うことができる。
【００９４】
また、本実施例の場合、基板処理は、周縁部露光処理であるので、この周縁部露光処理において、ズレを精度良く検出して照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅ，３３ｅなどの可動部を正確な基準位置（基準位置Ａｘ，Ａｙや原点Ａなど）に設定することができ、ずれた状態で周縁部露光処理が行われるという事態を防止することができ、周縁部露光処理を精度良く行うことができる。また、周縁部露光処理の場合には、基板Ｗの位置はもとより、基板Ｗの向きも重要であって、基板Ｗの向きがずれていれば、処理を正確に行うことができないが、本実施例のようにラインセンサ４０から出力されるＣＣＤの「ＯＮ」の数の変移を制御部６１が監視する（ステップＳ１）ことで、基板Ｗの向きを正確に合わせることができる。
【００９５】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００９６】
（１）上述した本実施例では、原点センサ５１，５２（本発明における検出手段）を基準位置Ａｘ，Ａｙにそれぞれ固定して、検知セクタ３２ｅ，３３ｅをそれぞれ移動させて、セクタの検出をそれぞれ行ったが、原点センサ５１，５２をそれぞれ移動させて、検知セクタ３２ｅ，３３ｅを基準位置Ａｘ，Ａｙにそれぞれ固定配設して、セクタの検出をそれぞれ行ってもよい。この場合には、検知セクタ３２ｅ，３３ｅはそれぞれ固定されているので、本発明における可動部は、検知セクタ３２ｅ，３３ｅ以外の基台３２ｄやｙ軸変位機構３３全体や基台３３ｄや処理機構２０（照射ヘッド２３を含む）などとなる。いずれにしても、照射ヘッド２３などの可動部を正確な基準位置に設定することができる。なお、この変形例では、原点センサ５１，５２が移動するので、原点センサに接続するケーブルなども移動することになる。従って、本実施例のように原点センサは固定されているのが好ましいが、スリップリング機構を採用するのであれば、この限りでない。
【００９７】
（２）上述した本実施例では、本発明における検出手段は、コの字型の形状の原点センサ５１，５２から構成される透過型センサであったが、可動部の基準位置を検出する、通常に用いられる検出手段であれば、特に限定されない。例えば、検出手段は、反射型センサでもよい。また、本実施例のように透過型センサでも、コの字型の形状で構成される原点センサ５１，５２に限定されない。なお、他の検出手段と比較して、本実施例のような透過型センサは検出域が広いので、ズレが起こり易くなるが、本発明を適用することで、そのズレを精度良く検出することができる。従って、本発明は、本実施例のように透過型センサのときに有用である。
【００９８】
（３）上述した本実施例では、第１，第２検出において「−」方向に移動させて（ステップＳ２，Ｓ５）、第３検出で検知セクタ３２ｅの有無の変化を検出するまで、および検出域ａの距離分だけ、「＋」方向に移動させた（ステップＳ８，Ｓ１１）が、移動させる方向については、限定されない。第１，第２検出において「＋」方向に移動させて、第３検出で検知セクタ３２ｅの有無の変化を検出するまで、および検出域ａの距離分だけ、「−」方向に移動させてもよいし、第１検出において「−」方向に移動させて、第２検出において「＋」方向に移動させて、第３検出で検知セクタ３２ｅの有無の変化を検出するまで、および検出域ａの距離分だけ、「−」方向に移動させてもよいし、第１検出において「＋」方向に移動させて、第２検出において「−」方向に移動させて、検知セクタ３２ｅの有無の変化を検出するまで、および検出域ａの距離分だけ、「＋」方向に移動させてもよい。いずれにしても、第１，第２検出と、上述した第３検出とを組み合わせる場合には、第３検出後に基準位置に戻すべく、第２検出での移動と、第３検出での移動とは互いに逆方向になるように移動させる。
【００９９】
（４）上述した本実施例では、第１，第２検出と、第３検出とを組み合わせて検出を行ったが、必ずしも両方の検出を行う必要はない。第１，第２検出のみ行ってもよいし、第３検出のみ行ってもよい。要するに、第１，第２検出、および第３検出の少なくともいずれか一方の検出を行えばよい。
【０１００】
（５）上述した本実施例では、オリエンテーションフラットＯＦの基板Ｗとして説明したが、図８（ｂ）に示すようなノッチＮの基板Ｗでも、本発明を適用することができる。この場合、図８（ｂ）に示すように、ノッチＮから基板Ｗの中心Ｐまでの方向をｙ方向とし、水平面内に対してｙ方向に直交する方向をｘ方向とする。本実施例のようにオリエンテーションフラットＯＦの基板Ｗであれば、ｘ方向の多少のズレはオリエンテーションフラットＯＦによって吸収するので、ｘ方向に関するズレを精度良く検出する必要はないが、この変形例のように、基板が、図８（ｂ）に示すノッチＮの基板Ｗであれば、上述した本実施例のように、ｙ方向に関するズレのみならず、ｘ方向に関するズレをも精度良く検出するのが好ましい。換言すれば、本実施例のように、ｙ方向に関するズレのみならず、ｘ方向に関するズレをも検出するのは、特に、この変形例のようにノッチＮの基板Ｗのときに有用である。
【０１０１】
（６）上述した本実施例では、本発明における移動手段を、ｘ方向用移動手段（ｘ軸変位機構３２）とｙ方向用移動手段（ｙ軸変位機構３３）とで構成し、本発明における検出手段を、原点センサ５１と原点センサ５２とで構成することで、ｘ，ｙの両方向に関するズレを精度良く検出するようにしたが、上述した変形例（５）のようなノッチＮの基板Ｗでなければ、ｘ方向に関するズレを必ずしも精度良く検出する必要がないので、本発明における移動手段をｙ方向用移動手段（ｙ軸変位機構３３）のみで構成し、本発明における検出手段を原点センサ５２のみで構成してもよい。またノッチＮの基板Ｗであっても、本発明以外でｘ方向に関するズレを精度良く検出することができる、あるいはｘ方向に関するズレを精度良く検出しなくとも基板処理が行えるものであれば、同じようにｙ方向に関するズレのみを精度良く検出するように移動手段および検出手段を構成すればよい。
【０１０２】
同様に、本実施例のようにオリエンテーションフラットＯＦの基板Ｗであっても、本発明以外でｙ方向に関するズレを精度良く検出することができる、あるいはｙ方向に関するズレを精度良く検出しなくとも基板処理が行えるものであれば、ｙ方向以外の方向に関するズレを精度良く検出するように移動手段を構成すればよい。また、基板の形態（例えば、矩形基板）に応じてｘ方向のみに関するズレを検出するように移動手段を構成してもよい。
【０１０３】
また、ｘ，ｙ方向に限定されず、別の方向に関するズレを検出するように移動手段を構成してもよい。例えば、本発明における検出（第１，第２検出または第３検出）を行うべく移動することで可動する部材、すなわち、本発明における可動部材が、水平面内の回転移動するスピンチャック１１や基板Ｗであれば、スピンチャック１１の水平面内の移動に追従して検知セクタの有無を検出するように移動手段をスピンチャック１１で構成し、可動部を水平面内に回転させる場合には、水平面内に回転する方向に関するズレを検出することができる。周縁部露光処理の場合には、基板Ｗの位置はもとより、基板Ｗの向きも重要であることから、水平面内に回転する方向に関するズレを検出することができるように構成することで、周縁部露光処理をより正確に行うことができる。
【０１０４】
なお、本発明における可動部は、本実施例のように基板処理を施す処理部（本実施例では光照射部２１，光ファイバ２２，および照射ヘッド２３）であってよいし、この変形例のように、基板Ｗであってもよい。前者の場合には処理部などの可動部を正確な基準位置に設定することができ、後者の場合には基板などの可動部を正確な基準位置に設定することができる。
【０１０５】
（７）上述した本実施例では、変形例（６）でも述べたように、照射ヘッド２３などに代表される処理部を移動させて検出を行ったが、基板Ｗの方を移動させて検出を行ってもよい。周縁部露光処理を例に採ると、照射ヘッド２３や支持アーム３１などを固定させた状態で、スピンチャック１１に水平面内の移動を行う機構の他に、ｘ，ｙの両方向あるいは基板Ｗの半径方向の移動を行うような機構を備えてもよい。もちろん、照射ヘッド２３や支持アーム３１などについてもｘ，ｙの両方向の移動を行うようにしてもよい。ただ、基板Ｗが水平面内にも回転によって移動し、ｘ，ｙ方向が水平面内の回転によって変化してしまい方向の管理が煩雑となるので、基板Ｗを水平面内の回転の他に移動させる方向は、基板Ｗの半径方向であるのが好ましい。
【０１０６】
（８）上述した本実施例では、正常に検出されなかったときには、アラーム６８が発報して、照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅ，３３ｅなどの可動部の移動を停止して、移動後の基板処理を停止したが、基板処理の制御については上述した本実施例に限定されない。例えば、アラーム６８の発報のみであってもよいし、移動の停止のみであってもよい。また、アラーム６８の発報または移動の停止に限定されず、検出結果の如何に関わらず、照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅ，３３ｅなどを基準位置に設定して基板処理を続行する構成であってもよいし、所定量以上のズレに蓄積されたら照射ヘッド２３や検知セクタ３２ｅ，３３ｅなどの移動を停止して、移動後の基板処理を停止してもよい。
【０１０７】
（９）各々の第１，第２検出，または第３検出の検出結果の内容を出力あるいは記憶するように、モニタやメモリなどを別に備えてもよい。これらの内容をモニタなどに出力することで、オペレータは内容を把握することができ、これらの内容をメモリなどに記憶することで、過去の検出結果、すなわち過去の履歴を知ることができ、ズレの発生傾向や原因を解明することができる。また、出力あるいは記憶することで、それぞれの検出結果について比較を行うこともできる。
【０１０８】
（１０）上述した本実施例では、基板処理は周縁部露光処理であったが、基板あるいは基板処理を施す処理部などの可動部を移動させてから行う基板処理であれば、本発明を適用することができる。逆に、基板あるいは処理部などの可動部を正確な基準位置に設定しなくとも正確に行える基板処理、例えば処理液に浸漬する基板処理に本発明を適用しなくともよい。もちろん、そのような基板処理についても本発明を適用して構わない。
【０１０９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、移動手段が可動部を所定距離だけ移動させる第１移動を行ったときに検出手段が検出した可動部の位置を仮想基準位置として検出する第１検出を行い、移動手段が可動部を所定距離だけ移動させる第２移動を行ったときに検出手段が検出した可動部の位置を仮想非検出位置として検出する第２検出を行うように、制御手段は移動手段を制御し、第１検出で検出された仮想基準位置が基準位置を中心とする検出域内にないとき、または第２検出で検出された検出された仮想非検出位置が基準位置を中心とする検出域内にあるとき、可動部のズレとして検出する（請求項１に記載の発明）、あるいは基準位置の方向に向かって、移動手段が可動部を移動させながら検出手段が可動部の各々の位置を検出する第３検出を可動部が検出域に位置するまで行い、第３検出における検出域から、検出域の中心位置である基準位置まで相当する距離分だけ、移動手段が可動部をさらに移動させるように、制御手段は移動手段を制御する（請求項５に記載の発明）ので、ズレを精度良く検出して可動部を正確な基準位置に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本実施例装置のｘ軸変位機構／ｙ軸変位機構の具体的構成を示す図であって、（ａ）は機構の平面図、（ｂ）は機構のＸ−Ｘ線断面図である。
【図３】本実施例装置の制御系の構成を示すブロック図である。
【図４】一連の周縁部露光処理の手順を示すフローチャートである。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、本実施例に係る周縁部露光処理のための照射ヘッドの原点合わせについての説明図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、本実施例に係る周縁部露光処理のための照射ヘッドの原点合わせについての説明図である。
【図７】本実施例装置で周縁部露光を行う周縁部露光領域についての説明図であって、（ａ）は、基板全体における周縁部露光領域を示す図、（ｂ）は、オリエンテーションフラットにおける周縁部露光領域を示す拡大図である。
【図８】（ａ）は、オリエンテーションフラットの基板、（ｂ）は、ノッチの基板の平面図である。
【図９】（ａ）〜（ｄ）は、従来における周縁部露光処理のためのヘッドの原点合わせについての説明図である。
【符号の説明】
１０  …  基板回転機構
２１  …  光照射部
２３  …  照射ヘッド
３２  …  ｘ軸変位機構
３３  …  ｙ軸変位機構
３２ｅ，３３ｅ  …  検知セクタ
５１，５２  …  原点センサ
６１  …  制御部
６８  …  アラーム
ＯＦ  …  オリエンテーションフラット
Ｎ  …  ノッチ
Ａｘ，Ａｙ  …  基準位置
Ｗ  …  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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