(57)【要約】【課題】積層や剥離が容易で、クリーン度を保つことができ、しかも積層による補強効果が得られ易いガラス保護用スペーサシート、そのスペーサシートを用いたガラス板積層体、およびガラス板の運搬方法を提供する。【解決手段】超高分子量ポリエチレン製の多孔質シート１１からなるガラス保護用スペーサシート、及び、超高分子量ポリエチレン製の多孔質シート１１の少なくとも片面に、フッ素樹脂製の多孔質膜１２を積層一体化してあるガラス保護用スペーサシート。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超高分子量ポリエチレン製の多孔質シートからなるガラス保護用スペーサシート。
【請求項２】
超高分子量ポリエチレン製の多孔質シートの少なくとも片面に、フッ素樹脂製の多孔質膜を積層一体化してあるガラス保護用スペーサシート。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のガラス保護用スペーサシートを介在させつつ、複数のガラス板を積層してあるガラス板積層体。
【請求項４】
請求項１又は２に記載のガラス保護用スペーサシートを介在させつつ、複数のガラス板を積層した状態で運搬するガラス板の運搬方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス板同士の間に介在させて使用するガラス保護用スペーサシート、そのスペーサシートを用いたガラス板積層体、およびガラス板の運搬方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＴＦＴやＳＴＮ等の液晶表示装置（ＬＣＤ）に用いられるガラスには、高いクリーン度が要求される。そのマザーガラスは、２００３年の第５世代で１００ｃｍ×１００ｃｍ位の大きさで作製されている。このようなマザーガラスをガラスメーカから各デバイスメーカへ輸送する際には、クリーン度を維持するため、および接触によるキズを防止するために、ガラス板とガラス板を離した状態で輸送していた。
【０００３】
近年、画面の大型化が進み、将来２００６年ごろの第７世代では、マザーガラスは１８０ｃｍ×２００ｃｍにまで大きくなると予測されている。液晶用画面に限らず、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）用のカラーフィルターも、大型化している。しかし、マザーガラスの面積は大きくなるものの、ガラス厚みは従来と同じ厚みが用いられると考えられる。
【０００４】
従来方法では、マザーガラスはクリーン度を保つために１枚１枚離して梱包していたが、その方法ではガラスが大きくなると割れてしまうため、クリーン度を保持しつつ割れずに輸送する方法が必要になってきた。例えば、ガラス同士をそのまま重ねると、輸送時強度が増して割れずに輸送できるが、ガラス同士密着するため、ガラスを１枚ごとに分離する時に割れてしまったり、輸送時の振動でガラス同士のこすれにより表面にキズが生じる恐れがある。
【０００５】
このような理由から、一般的にガラス板を重ねる際には、再生紙等の間紙が用いられてきたが、紙の中には紙をすく液に不純物が入っていたり、回収紙の中に異物が混入していたりしており、特にＬＣＤ用ガラスに用いた場合、表面にキズが付き、その部分が液晶基板を作製する時欠陥となり表示欠落や表示ゆがみが生じるなどの、歩留まり低下につながる。
【０００６】
また、普通の紙や不織布を使用する場合は、ガラス表面に紙紛や繊維の付着が残り易い。特に、押し出し法により作製する不織布繊維は、流動性を良くする必要があるため押し出し助剤のステアリン酸カルシウム等が入っている。また、高温で押し出しするため、酸化防止剤等が混入されている。これらの成分がガラスの密着により、表面にブルーミングしてガラス表面に付着して汚染するという問題がある。
【０００７】
一方、ガラス板の表面への散布および除去が容易なスペーサを使用する方法として、ゼオライトの粉末をガラス間のスペーサとして付着させる、ガラス板の積層運搬方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開平７−２５４３号公報（第２頁）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、粉末状のスペーサを介在させる方法では、ガラス板のクリーン度を保つのが困難であり、粉末の散布や除去が容易とは言えず、しかもガラス板を積層する際の補強効果も十分でない。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、積層や剥離が容易で、クリーン度を保つことができ、しかも積層による補強効果が得られ易いガラス保護用スペーサシート、そのスペーサシートを用いたガラス板積層体、およびガラス板の運搬方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記目的を達成すべく、各種材料や各種形態のスペーサについて鋭意研究したところ、超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷＰＥ）製の多孔質シートや、それにフッ素樹脂製の多孔質膜を積層したものが、積層や剥離が容易で、クリーン度を保つことができ、しかも積層による十分な補強効果が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１２】
即ち、本発明のガラス保護用スペーサシートは、超高分子量ポリエチレン製の多孔質シートからなることを特徴とする。このような多孔質シートを用いることにより、シートの積層や剥離が容易となり、また、ガラス面との密着力や摩擦力が得られるため、ガラス板を積層した際の補強効果も得られ易い。しかも、実施例の結果が示すように、異物等による傷の発生や粒子脱落による表面の汚染も少ないため、ガラス表面のクリーン度を保つことができる。
【００１３】
また、本発明の別のガラス保護用スペーサシートは、超高分子量ポリエチレン製の多孔質シートの少なくとも片面に、フッ素樹脂製の多孔質膜を積層一体化してあることを特徴とする。フッ素樹脂製の多孔質膜の場合、実施例の結果が示すように、異物等による傷の発生や粒子脱落による表面の汚染がより少ないため、ガラス表面をよりクリーンに保つことができる。また、フッ素樹脂製の多孔質膜では、シートの剥離性が更に良好になるが、密着力が高まるため、ＵＨＭＷＰＥの場合と同等の積層時の補強効果が得られる。従って、このフッ素樹脂製の多孔質膜の面を、ガラス板の基板形成面に積層するのが好ましい。
【００１４】
一方、本発明のガラス板積層体は、上記のガラス保護用スペーサシートを介在させつつ、複数のガラス板を積層してあることを特徴とする。この発明によると、上記の如き作用効果を奏するスペーサシートを介在させるため、スペーサシートの積層や剥離が容易で、ガラス面のクリーン度を保つことができ、しかも積層による補強効果が得られ易いガラス板積層体とすることができる。
【００１５】
他方、本発明のガラス板の運搬方法は、上記のガラス保護用スペーサシートを介在させつつ、複数のガラス板を積層した状態で運搬することを特徴とする。この発明によると、上記の如き作用効果を奏するスペーサシートを介在させるため、スペーサシートの積層や剥離が容易で、ガラス面のクリーン度を保つことができ、しかも積層による補強効果が得られ易いガラス板の運搬方法とすることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明のガラス保護用スペーサシートの一例の使用状態を示す図である。
【００１７】
本発明のガラス保護用スペーサシートとしては、ＵＨＭＷＰＥ製の多孔質シートからなるもの、ＵＨＭＷＰＥ製の多孔質シートの片面にフッ素樹脂製の多孔質膜を積層一体化したもの、ＵＨＭＷＰＥ製の多孔質シートの両面にフッ素樹脂製の多孔質膜を積層一体化したもの、多孔質シートと多孔質膜との間に接着層などの中間層を設けたもの、などがある。本実施形態では、図１に示すように、ＵＨＭＷＰＥ製の多孔質シート１１の片面にフッ素樹脂製の多孔質膜１２を積層一体化したガラス保護用スペーサシート１０の例を示す。
【００１８】
多孔質シート１１としては、ＵＨＭＷＰＥを主成分とし、多孔質構造を有するシートであればよく、例えば、焼結多孔質シート、延伸多孔質膜、相分離で得られた多孔質膜、これらの多孔質膜を架橋したもの、など何れでもよい。  但し、粒子脱落の抑制、異物混入による汚染防止、洗浄性、適度な弾性の観点から、焼結多孔質シートが好ましい。
【００１９】
多孔質シート１１の物性としては、圧縮弾性率１００〜１０００Ｋｇ／ｍ２  、好ましくは２００〜４００Ｋｇ／ｃｍ２  からなり、平均孔径１０〜１００μｍ、好ましくは１５〜４０μｍからなる、通気性フラジール０．５〜２０ｃｃ  ．ｃｍ２  ／ｓｅｃ、好ましくは１〜５ｃｃ  ．ｃｍ２  ／ｓｅｃからなり、針押し込み硬さであるショアＤ３０〜５２、好ましくは３５〜４５からなる、厚み０．０５〜４ｍｍｔ好ましくは０．１〜２．２ｍｍｔ、動摩擦係数０．３以下好ましくは０．  １５以下であるものが好ましい。なお、ＵＨＭＷＰＥを用いる場合、その材質自身の硬さ（非多孔体）はショアＤ５０〜６０が好ましく、５２〜５７がより好ましい。このような焼結多孔質シートは、剛性があるためしわにならずにガラス板１に貼ることができる。
【００２０】
超高分子量ポリエチレンとしては、粘度平均分子量が５０万〜１０００万が好ましく、１００万〜７００万がより好ましい。なおかかる超高分子量ポリエチレンは、商品名をハイゼックスミリオン（三井石油化学工業）やホスタレンＧＵＲ（タイコナ社）とする市販品などを入手しうる。ＵＨＭＷＰＥからなる圧縮弾性率２００〜４００Ｋｇ／ｃｍ２  、平均孔径１０〜４０ミクロン、通気性１〜５フラジールからなる超高分子量多孔質焼結フィルターの製造方法は、特許第２０２００２６号公報の方法や、他の公知の多孔質化方法を適用することができる。又この方法は不純物が少ない粒子状原料を何もいれない状態で焼結のみ行うためクリーンな原反シートを得ることができる。これらシートはほとんど不純物がないことが判っている。
【００２１】
次に、このＵＨＭＷＰＥ多孔質シート１１の製造法の一例を述べる。この方法はＵＨＭＷＰＥ粉末を金型に充填し、次いで、これをＵＨＭＷＰＥの融点以上の温度に加熱された水蒸気雰囲気中で焼結してブロック状成形体とした後冷却し、この成形体を所定厚さのシートに切削するものである。
【００２２】
この方法においては、先ず、ＵＨＭＷＰＥ粉末（粒径は通常３０〜２００μｍ）を金型に充填し、次いで、これをＵＨＭＷＰＥの融点以上に加熱された水蒸気雰囲気中で焼結してブロック状成形体とする。このようにＵＨＭＷＰＥ粉末を金型に充填し、これを加熱された水蒸気雰囲気中で焼結するので、金型としては少なくとも一つの開口部（加熱水蒸気導入用）を有するものを用いる。焼結に要する時間は粉末の充填量や水蒸気の温度等によって変わるが、通常、約１〜１２時間である。
【００２３】
この際に用いる水蒸気はＵＨＭＷＰＥの融点以上に昇温させるため、加圧状態とされるので、金型に充填されたＵＨＭＷＰＥ粉末間に容易に進入することができる。なお、ＵＨＭＷＰＥ粉末間への加熱水蒸気の進入をより容易にするため、該粉末を金型に充填し、この金型を耐圧容器に入れ、減圧状態とする脱気操作を施し、その後加熱された水蒸気雰囲気中で焼結するようにしてもよい。この際の減圧度合いは特に限定されないが、約１〜１００ｍｍＨｇが好ましい。
【００２４】
従って、金型に充填されたＵＨＭＷＰＥ粉末の焼結は、前記耐圧容器に水蒸気導入管およびその開閉バルブを設けておき、該粉末間の空気を脱気した後、減圧を止めあるいは減圧を続けながら、水蒸気バルブを開いて加熱水蒸気を導入する方法によって行うことができる。
【００２５】
この焼結時において、ＵＨＭＷＰＥ粉末は融点以上の温度に加熱されるがその溶融粘度が高いのであまり流動せず、その粉末形状を一部乃至大部分維持し、隣接する粉末相互がその接触部位において熱融着し多孔質のブロック状成形体（粉末相互の非接触部が該多孔質成形体の微孔となる）が形成される。なお、焼結に際し、所望により加圧することもできるが、その圧力は、通常、約１０ｋｇ／ｃｍ２  以下とするのが好ましい。
【００２６】
上記のようにして焼結を行った後、冷却する。冷却に際してはブロック状成形体への亀裂の発生を防止するため、急冷を避けるのが好ましく、例えば、室温に放置して冷却する方法を採用できる。なお、冷却はブロック状成形体を金型に入れたまま行ってもよく、あるいは金型から取り出して行ってもよい。このようにしてブロック状成形体を冷却した後、旋盤等により所定厚さに切削することにより、多孔質シート１１を得ることができる。
【００２７】
上記方法により得られる多孔質シート１１の微孔の孔径、気孔率は用いるＵＨＭＷＰＥ粉末の粒径や焼結時における加圧の有無によって決定される。他の条件が同じであれば、用いた粉末の粒径が大きい程微孔の孔径が大きく、気孔率の高い多孔質シート１１が得られる。また、焼結時に加圧しない場合は加圧した場合に比べ微孔の孔径が大きく、気孔率の高い多孔質シート１１が得られる。更に、焼結時に加圧した場合はその圧力が高い程微孔の孔径が小さく、気孔率の低い多孔質シート１１が得られる。
【００２８】
かような方法によって得られるＵＨＭＷＰＥ多孔質シート１１は、上記したように隣接するＵＨＭＷＰＥ粉末がその形状の一部乃至大部分を維持すると共に粉末相互がその接触部位において熱融着してシート形状を呈し、且つ、粉末相互の非接触部位を微孔とするミクロ構造を有している。この多孔質シート１１のミクロ構造は、例えば、多孔質シート１１を厚さ方向に沿って切断し、その切断面を走査型電子顕微鏡を用いて観察（倍率は適宜設定するが、通常、約１００〜１０００倍である）することができる。
【００２９】
次に、フッ素樹脂製の多孔質膜１２について説明する。多孔質膜１２としては、フッ素樹脂を主成分とする多孔質膜であればよく、好ましくは平均孔径０．１〜１０μｍ、より好ましくは平均孔径０．５〜５μｍからなる、厚み２５μｍ以下のものが好ましい。これをＵＨＭＷＰＥ多孔質シート１１に積層一体化したガラス保護用スペーサシート１０をガラス板１に密着することで、大型の縦方向に立てかけたガラスにも簡単に密着させることができる。
【００３０】
フッ素樹脂としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ポリテトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）等が挙げられるが、異物混入による汚染防止、ガラスとの密着性、適度な柔軟性などの観点から、ＰＴＦＥが好ましい。
【００３１】
フッ素樹脂の多孔質膜１２は、粒子脱落の抑制、異物混入による汚染防止、洗浄性などの観点から、延伸多孔質膜が好ましい。フッ素樹脂の延伸多孔質膜は、フッ素樹脂粉末（１次粒子）の結着膜を延伸することにより得られる。フッ素樹脂の延伸多孔質膜の平均孔径等は結着圧力、延伸条件等により制御できる。好ましく用いうるフッ素多孔質膜としては、日東電工（株）社製商品名ミクロテックスが挙げられが、例えば特許第３２７３７３５号公報に記載の方法で製造する事ができる。この方法は圧延助剤として不純物が非常に少ない原料を混ぜて作製するが、後で抽出し焼成するため（３４０℃）、不純物が熱分解、蒸発して残らないことが判っている。
【００３２】
ＵＨＭＷＰＥ多孔質シート１１とフッ素樹脂の多孔質膜１２との積層法は、特に制限されないが、通常、その多孔質膜を焼結多孔質体層に、熱ラミネートや熱溶着などにより貼合わせることができる。また多孔質膜１２の積層は、接着剤、熱融着性シート、粘着テープなどによる積層法を採用することも可能である。接着等は、全面でなされていてもよいが、一部の面（例えば四辺）のみが積層一体化していてもよい。
【００３３】
本発明のガラス板積層体は、図１に示すように、以上のようなガラス保護用スペーサシート１０を介在させつつ、複数のガラス板１を積層してあることを特徴とする。本発明のガラス板の運搬方法は、当該ガラス保護用スペーサシートを介在させつつ、複数のガラス板を積層した状態で運搬することを特徴とする。
【００３４】
ガラス板１は２枚以上積層されていればよいが、ガラス板１を数１０枚〜２百枚ほど重ねて一体にして梱包することにより、ガラスが低汚染で割れずに輸送できるようになる。また、ガラス板１を重ねてもガラス表面を傷つけずに輸送できる。ガラス板１の厚みや大きさは何れでもよいが、本発明が特に有効となるのは、厚みが０．５〜０．７ｍｍで、大きさが１．５ｍ×１．０ｍ以上の場合である。
【００３５】
ガラス保護用スペーサシート１０とガラス板１との配置には、好ましい配置関係がある。即ち、マザーガラス等のガラス板１には、基板を形成する面１ｂとそれの裏面である面１ａ（搬送したりする場合に吸盤で触れる面）がある。よりクリーン度を増すためには、ガラス保護用スペーサシート１０のふっ素樹脂側（多孔質膜１２）に基板形成面１ｂを配置し、多孔質構造の効果によりガラス板１に密着させる。その上に次のガラス板１の搬送接触面１ａをのせる。すなわち背面のＵＨＭＷＰＥ側（多孔質シート１１）に、次のガラス板１の搬送接触面１ａを密着させる。これを数十〜２００枚くらい繰り返し行うと、一体化して強度を増して割れないで輸送可能になる。
【００３６】
次に密着させて輸送した後に、ガラス板１枚１枚を分離して、次の加工を行う際には、ＵＨＭＷＰＥの低摩擦効果により簡単にガラス板を分離することができる。ふっ素面も密着しているのみであるため、簡単にはがすことができる。以上のようにすることにより、より汚染度を少なくして輸送させることが可能になる。
【００３７】
【実施例】
以下、本発明の構成と効果を具体的に示す実施例等について説明する。
【００３８】
実施例１
厚み０．５ｍｍｔの日東電工製商品名サンマップであるＵＨＭＷＰＥ多孔質シートを、ガラス板に密着させその背面に同じガラス板を密着させる。それらの操作を５回繰り返し、一枚の板状にして、圧力１７５ｇ／ｃｍ２  になるように重りをのせた後、１０ｃｍ角のガラス板をずれないように梱包して、トラックに乗せ約５００Ｋｍ移動させた後ガラス表面の傷を調べた。又それを６０℃×９５％ＲＨＴの状態で３日間恒温室に入れ、取り出した後２３℃×６５％の部屋にて２時間放置後１番下から２番目のガラスを取り出し汚染性を調べた。
【００３９】
実施例２
厚み０．２ｍｍｔの日東電工製商品名サンマップであるＵＨＭＷＰＥ多孔質シートと厚み２０μｍｔの日東電工製商品名ＮＴＦ膜であるフッ素膜を熱ラミネ−トした物を、ガラス板に密着させその背面に同じガラス板を密着させた。それらの操作を５回繰り返し一枚の板状にして、圧力１７５ｇ／ｃｍ２  になるように重りをのせた後１０ｃｍ角のガラス板をずれないように梱包して、トラックに乗せ約５００Ｋｍ移動させた後ガラス表面の傷を調べた。又それを６０℃×９５％ＲＨＴの状態で３日間恒温室に入れ、取り出した後２３℃×６５％の部屋にて２時間放置後１番下から２番目のガラスを取り出し、汚染性を測定した。
【００４０】
実施例３
実施例２で用いたスペーサシートを超音波洗浄器にて３分間洗浄し、再び実施例２と同様にテストを行った。
【００４１】
比較例１
厚み０．１ｍｍｔの日本製紙社製リサイクル上質紙を、ガラス板に密着させ、その背面に同じガラス板を密着させる。それらの操作を５回繰り返し一枚の板状にして、圧力１７５ｇ／ｃｍ２  になるように重りをのせた後、１０ｃｍ角のガラス板をずれないように梱包して、トラックに乗せ約５００Ｋｍ移動させた後、ガラス表面の傷を調べた。又それを６０℃×９５％ＲＨＴの状態で３日間恒温室に入れ、取り出した後２３℃×６５％の部屋にて２時間放置後１番下から２番目のガラスを取り出し、汚染性を測定した。
【００４２】
比較例２
マザーガラスメーカがデバイスメーカに出荷する時の運送する前のガラス（初期値）で、ガラス表面の傷と汚染性を測定した。
【００４３】
評価試験
実施例、比較例で得たガラス板から、上に覆っている物を取り除いた後、１ｃｍ角にカットしたものを取り出し、その表面を光学顕微鏡で観察した。その際、傷の発生数は１ｍｍ×１ｍｍの範囲をカウントした。倍率３０倍で５０ミクロン以上の傷の数をカウントした。
【００４４】
また、汚染性については、ガラス板の表面の２００μｍφの範囲を下記の測定条件でＥＳＣＡ（ＵＬＶＡＣ−ＰＨＩ社製Ｑｕａｎｔｕｍ２０００）を用いて、Ｃ／Ｓｉ比を測定した。ＥＳＣＡ数値は２点の平均値でブランク値から引いた値であり、各試料の最表面についてワイドスキャン測定により定性分析を行い、検出された元素についてナロースキャン測定を行った。
【００４５】
Ｘｒａｙ    Ｓｅｔｔｉｎｎｇ；２００μｍφ（３０Ｗ（１５ＫＶ））のポイント分析
Ｘ線源；モノクロＡＩＫα、光電子取り出し角；４５度
中和条件；中和銃とイオン銃の併用
これらの測定結果を表１に示す。
【００４６】
【表１】
2004331341.tif 000003
表１の結果が示すように、実施例のスペーサシートではＣ／Ｓｉ比が１以下となり非常に低い汚染度レベルであり、特にフッ素樹脂製の多孔質膜を積層した場合（実施例２）には、汚染度レベルが更に低くなった。また、スペーサシートを超音波洗浄機で洗浄した物を用いて再度同様に密着させた後のガラス表面の汚染度を測定したが、結果は同様にＣ／Ｓｉ比が１以下となり非常に低い汚染度レベルであった。また、実施例のスペーサシートでは表面のキズの発生もほとんど無くすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガラス保護用スペーサシートの一例の使用状態を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図
【符号の説明】
１        ガラス板
１ａ      搬送接触面
１ｂ      基板形成面
１０      ガラス保護用スペーサシート
１１      超高分子量ポリエチレン製の多孔質シート
１２      フッ素樹脂製の多孔質膜
【図１】
2004331341.tif 000004