(57)【要約】【課題】面積の大きくて厚さも薄いダイに変形を与えないで確実に粘着シートより剥離させることができる。【解決手段】ダイ２が貼り付けされた粘着シート１を吸着する吸着ステージ１１と、ダイ２を突き上げる突き上げ部材１２と、突き上げ部材１２で突き上げられたダイ２を吸着して搬送するコレット２１とを備えている。コレット２１の下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面２５を有するダイ吸着体２３が固定されている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、ダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記コレットの下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面を有するダイ吸着体が固定されていることを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項２】
前記コレットの下端部には、前記ダイ吸着体を固定するダイ吸着体固定凹部が形成され、前記ダイ吸着体固定凹部と前記ダイ吸着体間に吸引空間部を形成するように、前記ダイ吸着体は前記ダイ吸着体固定凹部に固定されていることを特徴とする請求項１記載のダイピックアップ装置。
【請求項３】
前記ダイ吸着体は、ポーラス構造の焼結体又は発泡金属よりなることを特徴とする請求項１又は２記載のダイピックアップ装置。
【請求項４】
前記突き上げ板の上面は、平坦であることを特徴とする請求項１記載のダイピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイが貼り付けられた粘着シートからダイを剥離させてピックアップするダイピックアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ダイピックアップ装置として、例えば特許文献１、特許文献２及び特許文献３が挙げられる。
【０００３】
特許文献１は、粘着シートを吸着するシート吸着コレットと、ダイ（チップ）を吸着するチップ吸着コレットとを備えており、チップ吸着コレットのダイ吸着面は角錐となっている。そこで、シート吸着コレットにより粘着シートの吸着が行なわれ、ダイの中心部において粘着シートの剥離が行なわれる。次にシート吸着コレットによる吸着が解除されて吸着されていた粘着シートが上方に戻ることになる。この動作によりダイの周辺部が粘着シートより剥離され、チップ吸着コレットの吸引によりダイをピックアップする。
【０００４】
特許文献２は、粘着シートを吸着する吸着ステージと、ダイを吸着するコレットと、ダイを突き上げる突き上げニードルとを備えており、コレットの下端面には凹部が形成され、コレットの外周部のみがダイに接触するようになっている。また特許文献２には、２つの実施例が開示されている。
【０００５】
第１実施例は、待機状態において、粘着シートに対してコレットを傾斜させ、また複数の突き上げニードルの先端同士を連ねた面もコレットと同様に傾斜させている。この状態で、コレットを下降させると共に、突き上げニードルを上昇させて粘着シート側からダイを突き上げことによってコレットでダイを吸着する。次にコレットと突き上げニードルとの両方を粘着シートの法線方向へ直線的に上昇させることによって、ダイをその一端部から徐々に粘着シートから剥離させる。
【０００６】
第２実施例は、待機状態において、コレットが粘着シートに対して平行であり、また１個の突き上げニードルを有している。この状態でコレットを下降させてダイを吸着すると共に、突き上げニードルを上昇させて粘着シート側からダイに接触させる。次にダイの一端部を中心としてコレットを回転させると共に、ダイの中心よりも他端側を突き上げニードルによって、ダイをその他端部から徐々に粘着シートから剥離させる。
【０００７】
特許文献３は、ダイを吸着するコレットと、コレットの下端部に配設された多孔質テープと、この多孔質テープの両端が巻回されるリールと、このリールを駆動するリール駆動部とを備えている。コレットのダイ吸着面は、ダイより小面積の平面に形成されており、またコレットの真空吸引穴はダイの中心部のみを吸着するようになっている。
【０００８】
【特許文献１】
特開昭６２−２０８６４８号公報
【特許文献２】
特開平７−２４９６７４号公報
【特許文献３】
特開平３−２０１４５８号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１は、ダイを粘着シートから剥離させるのは、シート吸着コレット及びチップ吸着コレットによる吸着力のみで行なう。このため、面積が大きい例えば１０ｍｍ正方形のダイは剥離に時間がかかると共に、この動作のみではダイを確実に剥離させるには信頼性が乏しい。また吸着力を強くする必要があるので、ダイの厚さが例えば２０〜８０μｍと薄い薄型ダイは、吸着力を強くするとダイを破損させてしまう。またチップ吸着コレットは角錐コレットであり、角錐コレットは、ダイと接する面がある角度を持っており、ダイの端部のみがコレットと接するので、吸着位置やダイの寸法が不良の場合に吸着したダイが落下することがある。特に大きなダイの場合には、このような問題が発生し易い。
【００１０】
特許文献２は、コレットの外周部のみがダイに接触するので、コレットの凹部に対応したダイ部分を突き上げニードルで突き上げすることになり、ダイが大きくて薄型の場合には、ダイが破損し易い。また次のような問題も有する。
【００１１】
特許文献２の第１実施例は、突き上げニードルの先端同士を連ねた面が同一面でないと、突出した突き上げニードルのみがダイをコレットに押圧することになる。また突き上げニードルの先端同士を連ねた面が同一面であっても、この突き上げニードルの同一面に対してコレットの傾斜角が同一面でないと、複数の突き上げニードルの内で左右両端の突き上げニードルの一方のみがダイをコレットに押圧することになる。このため、面積が大きいダイを確実に剥離させることができなく信頼性に乏しい。また一部の突き上げニードルのみがダイを押圧する恐れがあり、また突き上げニードルの先端は尖っているので、薄型ダイの場合は点接触の集中応力が生じ、ダイに破損が生じ易い。特許文献２の第２実施例は、１個の突き上げニードルでダイを突き上げながらコレットを回転させるので、第１実施例と同様にダイに集中応力が生じ、ダイに破損が生じ易い。
【００１２】
特許文献３は、コレットのダイ吸着面はダイより小さく、またコレットの真空吸引穴はダイの中心部のみを吸着するようになっているので、薄型ダイの場合はダイの端部が吸着されなく、ダイが粘着テープより剥離される時にダイの端部が破損し易い。また多孔質テープを巻回したリール及び該リールを駆動するリール駆動部を必要とし、装置が高価となる。
【００１３】
本発明の課題は、面積の大きくて厚さも薄いダイに変形を与えないで確実に粘着シートより剥離させることができるダイピックアップ装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の請求項１は、ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、ダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記コレットの下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面を有するダイ吸着体が固定されていることを特徴とする。
【００１５】
上記課題を解決するための本発明の請求項２は、請求項１において、前記コレットの下端部には、前記ダイ吸着体を固定するダイ吸着体固定凹部が形成され、前記ダイ吸着体固定凹部と前記ダイ吸着体間に吸引空間部を形成するように、前記ダイ吸着体は前記ダイ吸着体固定凹部に固定されていることを特徴とする。
【００１６】
上記課題を解決するための本発明の請求項３は、請求項１又は２において、前記ダイ吸着体は、ポーラス構造の焼結体又は発泡金属よりなることを特徴とする。
【００１７】
上記課題を解決するための本発明の請求項４は、請求項１において、前記突き上げ板の上面は、平坦であることを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を図１により説明する。粘着シート１に貼り付けられたウェーハは、ダイシングされて複数のダイ２に分割されており、粘着シート１はＸＹ方向に移動する図示しない枠体に固定されている。粘着シート１の下方には、該粘着シート１を真空吸着する吸着穴１０が形成された吸着ステージ１１が配設されており、吸着ステージ１１内には、上面が平坦でダイ２を突き上げる突き上げ部材１２が配設されている。
【００１９】
粘着シート１の上方には、真空吸引穴２０が形成されたコレット２１が配設されており、コレット２１は図示しないスプリングで下方に付勢されており、図示しない駆動手段で上下動及びＸＹ方向に移動させられる。コレット２１の下端部には、ダイ吸着体固定凹部２２が形成されており、ダイ吸着体固定凹部２２には、ダイ２を真空吸着するダイ吸着体２３が吸引空間部２４を形成するように固定されている。ダイ吸着体２３は、多数の微細な吸着穴を有するポーラス構造よりなる焼結体又は発泡金属よりなり、吸着面２５は、ダイ２の上面全体を吸着する大きさで平坦に形成されている。
【００２０】
次に作用について説明する。吸着ステージ１１で粘着シート１を吸着し、コレット２１が下降してダイ吸着体２３はダイ２を吸着する。続いて突き上げ部材１２が吸着ステージ１１の上面より上昇する。次にコレット２１はダイ吸着体２３がダイ２を吸着したまま上昇する。これにより、コレット２１は粘着シート１から確実にダイ２を剥離させ、ＸＹ移動させられてダイ２を所定の場所に搬送する。
【００２１】
コレット２１によるダイ２の吸着は、真空吸引穴２０より吸引空間部２４を通してダイ吸着体２３の平坦な吸着面２５でダイ全体を吸着するので、突き上げ部材１２によってダイ２を突き上げて粘着シート１を剥離させる時に、面積が大きくて薄型ダイも破損させることがない。またダイ吸着体２３は多数の微細な吸着穴から構成されているので、ダイ２の上面全体を均一な吸着力で吸着することができ、吸着による部分的な応力集中が起きなく、安定して薄型のダイ２を吸着できる。またダイ吸着体２３に微細な多数の穴を加工するのはコスト高になるが、ダイ吸着体２３をポーラス構造よりなる焼結体又は発泡金属で構成することにより、安価に製作できる。また突き上げ部材１２の上面を平坦に形成することにより、ダイ２を破損させることもない。
【００２２】
【発明の効果】
本発明は、ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、ダイを突き上げる突き上げ部材と、この突き上げ部材で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、前記コレットの下端部には、多数の微細な吸着穴を有し、かつダイ上面全体を吸着する大きさで平坦な吸着面を有するダイ吸着体が固定されているので、面積の大きくて厚さも薄いダイに変形を与えないで確実に粘着シートより剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
１    粘着シート
２    ダイ
１０    吸着穴
１１    吸着ステージ
１２    突き上げ部材
２０    真空吸引穴
２１    コレット
２２    ダイ吸着体固定凹部
２３    ダイ吸着体
２４    吸引空間部
２５    吸着面
【図１】
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