(57)【要約】【課題】この発明は、簡易な構成で、且つ、環境変化に影響を受けることなく、安定した高精度な除電を実現し得るようにすることにある。【解決手段】周壁に導電性被膜２１３が被着された試料載置台２１を、顕微鏡本体１０のベース１６の取付部１６１に着脱自在に嵌装して、この試料載置台２１の導電性被膜２１３をベース１６に対して板ばね部材２３を用いて圧接して保持するように構成したものである。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも試料載置面と側面に導電性被膜が被着された試料載置台と、
この試料載置台が着脱自在に嵌装され、前記導電性被膜を介して導通される顕微鏡本体のベースと、
前記試料載置台を前記ベースに着脱自在に位置決めする保持部材と
を具備することを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
前記試料載置台に被着する導電性被膜は、略透明で、表面抵抗値が１０６  〜１０９  ［Ω／□］に設定され、且つ、前記保持部材は、弾性を有することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
前記試料載置台は、一方の面に白色層が設けられ、他方の面に黒色層が設けられることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば生きたままの生物等の標本を観察したり、各種の作業に用いたり、あるいは半導体デバイス工程での各種検査等の各種作業に用いられる顕微鏡装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、この種の顕微鏡装置においては、試料載置台を、顕微鏡本体のベースに組付けて、試料を試料載置台に載置して観察しながら組立て等の各種の作業が行われる。このような試料載置台は、一方の面が白色に形成され、その他方の面が黒色に形成され、観察する試料とのコントラストを考慮して一方が選択されてベースに組付けられる。
【０００３】
また、上記顕微鏡装置にあっては、最近、特に、静電気に弱い試料の観察や組立て等に用いられることがある。
【０００４】
そこで、静電気対策として、その顕微鏡部品を、樹脂材に導電性物質を混入させた材料を用いて形成し、その成形品の上から導電性の塗装を施して最適な表面抵抗値を得るように構成したものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、顕微鏡部品を、静電気を消散する樹脂材と、静電気を消散しない樹脂材とを混合して成形して静電気対策を施すように構成したものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
さらに、顕微鏡本体のベースに対して、試料載置台と導通する部材を配して、この部材の表面抵抗値を低く設定し、各部材間で導通をとることにより、試料載置台で発生した静電気を除電する構成もある。この試料載置台は、表面抵抗値が異なる複数個が用意されて、載置される試料に合ったものが選択されてベースに装着される（例えば、特許文献３参照）。
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１の構成では、その構成上、例えば高度なクリーンルーム等の低湿度環境下で使用すると、静電気の除電機能が低下されるうえ、試料の色に応じて、視認性が低下され、観察を含む作業が煩雑となるという問題を有する。
【０００８】
また、特許文献２の構成では、親水性ポリマーを樹脂材に混入することで、白色の試料載置台を形成することが可能であるが、同様に低湿度環境下において静電気の除電機能が低下され、同様に試料の色に応じて視認性が低下され、観察を含む作業が煩雑となるという問題を有する。
【０００９】
また、特許文献３の構成では、表面抵抗値を調整して高精度な静電対策を施すことは可能であるが、試料の色に応じて視認性が低下され、観察を含む作業が煩雑となるという問題を有する。
【００１０】
【特許文献１】
特開平１０−１３３１２４号公報
【００１１】
【特許文献２】
特表平９−５０６７１３号公報
【００１２】
【特許文献３】
特開２００１−３５００９７号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
以上述べたように、従来の顕微鏡装置では、低湿度環境下において除電機能が低下され、しかも、試料の色に応じて視認性が低下されて作業の低下を招くという問題を有する。
【００１４】
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、簡易な構成で、且つ、環境変化に影響を受けることなく、安定した高精度な除電を実現し得るようにして多様な試料の高精度な観察を実現した顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この発明は、少なくとも試料載置面と側面に導電性被膜が被着された試料載置台と、この試料載置台が着脱自在に嵌装され、前記導電性被膜を介して導通される顕微鏡本体のベースと、前記試料載置台を前記ベースに着脱自在に位置決めする保持部材とを備えて顕微鏡装置を構成した。
【００１６】
上記構成によれば、試料載置台は、保持部材を介してベースに確実に着脱され、その着状態で、環境湿度等に影響されることの無い導電性被膜がベースと導通されることにより、発生した静電気が導電性被膜を通ってベースに導かれてアースに除電される。従って、試料載置台に載置された試料は、例えば静電気に弱いものにおいても、静電気の影響を受けることなく、初期の性能が確保されて、安定した観察及び作業が可能となる。
【００１７】
また、この発明は、前記試料載置台に被着する導電性被膜を、略透明で、表面抵抗値を１０６  〜１０９  ［Ω／□］に形成し、且つ、前記保持部材を、弾性を持たせて構成した。
【００１８】
上記構成によれば、試料載置台は、略透明な導電性被膜が被着されることにより、その母材の色特性等の素材特性を確保することができ、しかも、その保持部材の弾性力によりベースに圧接されて該ベースに導通される。従って、試料載置台としての仕様の多様化を実現したうえで、さらに、信頼性の高い静電対策が可能となる。
【００１９】
また、この発明は、前記試料載置台を、一方の面に白色層を設け、他方の面に黒色層を設けて構成した。
【００２０】
上記構成によれば、白色層及び黒色層を選択的に用いた使用形態を実現したうえで、各使用形態において高精度な静電対策が実現される。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】
（第１の実施の形態）
図１は、この発明の第１の実施の形態に係る顕微鏡装置の外観構成を示すもので、顕微鏡本体１０には、図示しない結像レンズ系が内蔵され、この結像レンズ系（図示せず）の上方に接眼レンズ１１がスリーブ１２を介して配される。
【００２３】
顕微鏡本体１０は、ズームハンドル１３１，１３２が軸１４を介して回転操作自在に設けられている。このズームハンドル１３１，１３２は、回転操作を行うことで、上記結像レンズ系（図示せず）を移動させ、観察倍率を変化させる。
【００２４】
上記顕微鏡本体１０は、支柱１５を介して架台であるベース１６に取り付けられる。この支柱１５には、焦準ハンドル１７１，１７２が軸１８を介して設けられている。この焦準ハンドル１７１，１７２は、その回転操作に連動してガイド１９とともに、支柱１５に沿って顕微鏡本体１０を昇降制御させる。上記ベース１６は、金属材料、例えばアルミニウムで形成され、アースコード２０を介して接地される。
【００２５】
また、ベース１６には、顕微鏡本体１０に対応する位置に試料載置台２１が後述するように配され、この試料載置台２１には、試料２２が載置される。
【００２６】
上記構成において、観察を含む作業を行う場合には、先ず、試料載置台２１の上面に観察対象となる試料２２をセットし、続いて、作業者が、接眼レンズ１１を覗きながら焦準ハンドル１７１，１７２を回転操作する。これにより、顕微鏡本体は、支柱に沿って上下動され、上記結像レンズ系（図示せず）が試料に対して最適な位置にピント合わせが行われる。一方、ズームハンドル１３１，１３２は、その回転操作に連動して上記結像レンズ系（図示せず）の倍率を可変設定する。
【００２７】
次に、上記ベース１６及び試料載置台２１の配置構成について図２乃至図４を参照して説明する。即ち、ベース１６には、図２及び図３に示すように略円形をした凹状の取付部１６１が上記顕微鏡本体１０に対向する所定の位置に設けられる。この取付部１６１には、その側面に切欠き窓１６２が設けられ、この切欠き窓１６２には、保持部材を構成する弾性を有した板ばね部材２３の作用部、例えば略湾曲をした一対の突部２３１、２３１が出入り自在に配される。
【００２８】
板ばね部材２３は、導電性を有した、例えばステンレス等の金属材料で略Ｌ字形状に形成され、その一端に上記一対の突部２３１，２３１が周方向に所定の間隔を有して設けられる。また、板ばね部材２３の他端は、上記取付部１６１の背面側に設けられた固定部１６３に、例えば金属材料製の螺子部材２４を用いて螺着される。これにより、板ばね部材２３は、その他端がベース１６の固定部１６３に螺子部材２４を用いて螺着されると、その一端の突部２３１，２３１が、上記取付部１６１の切欠き窓１６２から出入り自在に突出される。
【００２９】
なお、上記板ばね部材２３の作用部を構成する突部２３１は、対（二つ）を所定の間隔に設けるように構成することなく、その他、例えば一つを配するように構成してもよい。
【００３０】
上記ベース１６の固定部１６３には、例えば導電性の向上を図るために金属メッキを施をてもよい。これにより、板ばね部材２３は、固定部１６３に対して、より安定した確実な導通が実現される。
【００３１】
また、試料載置台２１は、図４に示すように上記ベース１６の取付部１６１に対応してアクリル樹脂等の絶縁性材料で、例えば白色層２１１と黒色層２１２の二層構造を有した略円板状に形成され、上記ベース１６の取付部１６１より上面が若干、突出するように厚さ寸法が設定される。そして、この試料載置台２１の両面と側面には、例えば金属の粉体等が混入された略透明な導電性被膜２１３が形成される。これにより、導電性被膜２１３の導電特性は、例えばクリーンルーム内の如く環境湿度が低下された湿度環境においても、安定した高精度な特性が確保される。この導電性被膜２１３は、例えば表面抵抗値が１０６  〜１０９  ［Ω／□］になるように設定される。
【００３２】
ここで、試料載置台２１は、上記ベース１６の取付部１６１に嵌装されると、その側面の導電性被膜２１３に対して板ばね部材２３の突部２３１，２３１が圧接される。これにより、試料載置台２１は、その側面の導電性被膜２１３の一部が板ばね部材２３を介してベース１６の固定部１６３と電気的に導通されると共に、該板ばね部材２３の付勢力により、その側面の導電性被膜２１３が取付部１６１の側面に圧接されて導通がより確実となる。
【００３３】
また、試料載置台２１は、その底面の導電性被膜２１３が取付部１６１の底面と接触して電気的に導通される。
【００３４】
上記構成において、試料載置台２１は、観察する試料２２に応じて、白色層２１１あるいは黒色層２１２の一方が試料載置面として選択され、選択した一方が上面に位置するようにベース１６の取付部１６１に嵌装される。この際、試料載置台２１は、その側面で取付部１６１の切欠き窓１６２から突出される板ばね部材２３の突部２３１，２３１を、その弾性力に抗して押し込むように収容される。
【００３５】
ここで、試料載置台２１は、その側面の一部に板ばね部材２３の突部２３１，２３１が圧接されて、取付部１６１の側面方向に付勢力が付与される。これにより、試料載置台２１は、ベース１６の取付部１６１の側面に板ばね部材２３の弾性力により圧接されて位置規制され、ベース１６の取付部１６１に位置決めされる。この際、板ばね部材２３は、その突部２３１，２３１が、ベース１６の取付部１６１の切欠き窓１６２を通して取付部１６１内に突出されて試料載置台２１の側面に当接されていることにより、外部に露出されることがない。
【００３６】
ここで、試料載置台２１は、その側面の導電性被膜２１３が板ばね部材２３を介してベース１６の固定部１６３と電気的に接続されると共に、板ばね部材２３の付勢力により、その側面の導電性被膜２１３が取付部１６１の側面に圧接されて導通される。また、試料載置台２１は、その導電性被膜２１３の底面がベース１６の取付部１６１の底面と電気的に導通される。
【００３７】
上記試料載置台２１は、観察を行うために試料２２が載置されて、静電気が発生すると、その静電気が導電性被膜２１３の側面から板ばね部材２３に導かれ、該板ばね部材２３からベース１６の固定部１６３に導かれてアースコード２０を通して除電される。また、静電気は、試料載置台２１の底面及び側面の導電性被膜２１３から直接的にベース１６の取付部１６１に導かれてアースコード２０より除電される。
【００３８】
このように試料載置台２１は、その導電性被膜２１３、ベース１６の取付部１６１及び板ばね部材２３を介してアースコード２０に電気的に接続されることにより、静電気が効率的に除電されて帯電することがないため、載置された試料２２の観察を含む作業が、静電気の影響を受けることなく、安定して実行することができる。
【００３９】
また、上記ベース１６の取付部１６１に嵌装した試料載置台２１を、反転させて他方の面を試料載置面として配置するために取付部１６１から離脱する場合には、試料載置台２１を、板ばね部材２３の付勢力に抗して付勢方向と逆の方向に押し付けながらベース１６の取付部１６１より離脱させる。その後、試料載置台２１は、他方の白色層２１１（あるいは黒色層２１２）を上面として、同様にベース１６の取付部１６１に嵌装される。この嵌装状態においても、同様に静電気の安定した除電が実現される。
【００４０】
このように、上記顕微鏡装置は、試料載置面及び側面に導電性被膜２１３が被着された試料載置台２１を、顕微鏡本体１０のベース１６の取付部１６１に着脱自在に嵌装して、この試料載置台２１の導電性被膜２１３をベース１６に対して板ばね部材２３を用いて圧接して保持するように構成した。
【００４１】
これによれば、試料載置台２１は、板ばね部材２３を介してベース１６に確実に着脱され、その着状態で、環境湿度等に影響されることの無い導電性被膜２１３とベース１６が導通されることにより、発生した静電気が導電性被膜２１３を通ってベース１６に導かれてアースコード２０を介して除電される。この結果、試料載置台２１に載置された試料２２は、例えば静電気に弱いものにおいても、破壊されることなく、初期の性能が確保されて、安定した高精度な観察及び作業が実現される。
【００４２】
そして、静電気対策が施された試料載置台２１は、導電性被膜２１３により静電気対策が施されていることにより、その表面に塵や埃等が付着しにくいため、その取扱いの簡略化が図れる。
【００４３】
また、試料載置台２１の導電性被膜２１３は、例えば金属の粉末を混入していることにより、例えばクリーンルーム等の低湿度下でも、所望の導電特性を発揮することができる。
【００４４】
さらに、これによれば、試料載置台２１のベース１６の取付部１６１への配置を、白色層２１１あるいは黒色層２１２に可変設定することにより、試料２２のコントラスト環境を、観察を含む作業に最適な環境に設定することができるため、各種試料２２の観察を含む高精度な作業を、簡便にして容易に行うことができる。
【００４５】
なお、上記第１の実施の形態では、板ばね部材２３を用いて保持部材を構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、例えば導電性を有する導電性ゴムを用いたり、その他の各種の弾性部材を用いて構成することも可能である。また、導電性被膜２１３としては、金属製フィラーや、親水性ポリマー等を樹脂に混入させて構成することも可能である。
【００４６】
（第２の実施の形態）
図５及び図６は、この発明の第２の実施の形態に係る顕微鏡装置の要部を取り出して示すもので、第１の実施の形態と略同様の効果が期待される。但し、図５及び図６においては、上記図１乃至図４と同一部分について、同一符号を付してその説明を省略する。
【００４７】
この第２の実施の形態においては、上記試料載置台２１を上面側よりベース１６の取付部１６１に付勢して位置決めするように構成したものである。即ち、上記ベース１６には、その取付部１６１の周囲に、例えば二つの取付孔１６４，１６４が所定の間隔に形成され、この取付孔１６４，１６４には、導電性をより向上させるために、例えば金属メッキをそれぞれ施してもよい。そして、この取付孔１６４，１６４には、保持部材を構成する金属製の固定部材２５，２５がそれぞれ嵌入される。
【００４８】
固定部材２５，２５の先端には、それぞれ導電性を有した作用部を構成する板ばね部材２６，２６の基端が回動調整自在に取付けられる。この板ばね部材２６，２６は、その先端部が上記取付部１６１に嵌装された試料載置台２１の導電性被膜２１３（図５及び図６中では、図の都合上、図示せず）上に弾性係合される。ここで、試料載置台２１は、板ばね部材２６，２６により上面から垂直方向に付勢力が付与されてベース１６の取付部１６１に圧接されて位置決めされた状態で、相互間が導通される。
【００４９】
この固定部材２５，２５及び板ばね部材２６，２６は、相互間が導通され、固定部材２５，２５は、取付孔１６１，１６１に嵌入されると、該取付孔１６４，１６４を介してベース１６と導通される。なお、この固定部材２５，２５及び板ばね部材２６，２６には、例えば金属材料で形成されて、それぞれの周壁に表面抵抗値が１０６  〜１０９  ［Ω／□］の導電性被膜（図の都合上、図示せず）を被着してもよい。
【００５０】
また、上記試料載置台２１の試料載置面及び側面には、上記導電性被膜２１３が被着される。これにより、試料載置台２１は、ベース１６の取付部１６１に嵌装されると、その底面及び側面の導電性被膜２１３が取付部１６１の底面及び側面と電気的に導通される。この導通状態において、試料載置台２１は、板ばね部材２６，２６により、取付部１６１内に圧接されて位置決めされる。
【００５１】
なお、上記導電性被膜２１３は、同様に略透明で、その表面抵抗値が１０６  〜１０９  ［Ω／□］に設定される。
【００５２】
上記構成により、試料載置台２１は、ベース１６の取付部１６１に嵌装されて、その導電性被膜２１３の上面に対して固定部材２５，２５に組付けられた板ばね部材２６，２６の先端部が圧接される。これにより、試料載置台２１は、その上面の導電性被膜２１３が板ばね部材２６，２６及び固定部材２５、２５を介してベース１６と電気的に導通されると共に、その底面の導電性被膜２１３が板ばね部材２６、２６の付勢力により、取付部１６１の底面に圧接されて電気的に導通される。
【００５３】
そして、試料載置台２１は、その導電性被膜２１３上に試料２２が載置されて静電気が発生すると、該静電気が導電性被膜２１を通って板ばね部材２６，２６、固定部材２５，２５、ベース１６に導かれてアースコード２０から除電される。または、静電気は、試料載置台２１の導電性被膜２１３の底面もしくは側面側からベース１６の取付部１６１の底面に直接的に導かれて上記アースコード２０から除電される。
【００５４】
なお、上記第２の実施の形態では、弾性部材として板ばね部材２６，２６を用いて構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、導電性を有する、例えば導電性ゴム等を用いて構成することも可能である。また、導電性被膜２１３としては、金属製フィラーや、親水性ポリマー等を樹脂に混入させて構成することも可能である。
【００５５】
（第３の実施の形態）
図７及び図８は、この発明の第３の実施の形態の要部を取り出して示すもので、上記第１の実施の形態と略同様の効果が期待される。但し、図７及び図８においては、上記図１乃至図４と同一部分について、同一符号を付してその説明を省略する。
【００５６】
この第３の実施の形態においては、上記ベース１６の取付部１６１の周壁に保持部材を構成する金属製の固定摘み２７を回転調整自在に配して、この固定摘み２７でベース１６の取付部１６１に嵌装した上記試料載置台２１の側面を押圧付勢して取付部１６１内に位置決めすると共に、相互間の導通をより確実とするように構成したものである。
【００５７】
即ち、上記ベース１６には、螺子孔１６５が、取付部１６１の側面を貫通して設け、この螺子孔１６５には、導電性を有した、例えば金属材料で形成された固定摘み２７が螺合調整自在に配される。この固定摘み２７には、螺子部２７１が設けられ、この螺子部２７１には、導電性を高めるための金属メッキを施してもよい。
【００５８】
上記構成により、試料載置台２１は、固定摘み２７をベース１６の螺子孔１６５に対する螺合を緩めた状態で、ベース１６の取付部１６１に嵌装され、その後、固定摘み２７が締め付けられる。これにより、固定摘み２７は、その螺子部２７１の先端部が試料載置台２１の側面を周方向に押し込んで、該試料載置台２１を取付部１６１に位置決めする。
【００５９】
ここで、試料載置台２１は、その側面の導電性被膜２１３の一部が固定摘み２７を介してベース１６の螺子孔１６５と電気的に導通されると共に、該固定摘み２７の付勢力により、その側面の導電性被膜２１３が取付部１６１の側面に圧接されて導通が確実となる。
【００６０】
また、試料載置台２１は、その底面の導電性被膜２１３が取付部１６１の底面と接触して電気的に導通される。
【００６１】
これにより、試料載置台２１は、静電気が発生すると、その静電気が導電性被膜２１３の側面から固定摘み２７に導かれ、該固定摘み２７からベース１６の固定部１６５に導かれてアースコード２０を通して除電される。
【００６２】
または、静電気は、試料載置台２１の底面及び側面の導電性被膜２１３から直接的にベース１６の取付部１６１に導かれてアースコード２０より除電される。
【００６３】
なお、上記第３の実施の形態では、導電性被膜２１３を、金属の粉末を樹脂に混入して形成するように構成した場合で説明したが、これに限ることなく、金属製フィラーや、親水性ポリマー等を樹脂に混入させて構成することも可能である。
【００６４】
（第４の実施の形態）
この発明の第４の実施の形態に係る顕微鏡装置について図面を参照して説明する。即ち、図９乃至図１１は、第４の実施の形態に係る試料載置台２８，２９，３０をそれぞれ取り出して示すもので、上記図１乃至図３に示す如くベース１６の取付部１６１に収容配置される。
【００６５】
図９の試料載置台２８は、白色層２８１と黒色層２８２の二層構造として、その一方の黒色層２８２を白色層２８１に比して板厚に形成する。そして、この黒色層２８２の側面には、その白色層２８１を合わせた板厚の略中央部に被膜処理用のヤトイ穴と称する把持部２８３を、例えば周方向に複数個、所定の間隔に設ける。この把持部２８３は、試料載置台２８の試料載置面及び側面に導電性被膜２８４を形成する際にヤトイとなり、信頼性の高い高精度な被膜処理が可能となる。この導電性被膜２８４は、上記各実施の形態と同様に、例えば略透明で、その表面抵抗値が１０６  〜１０９  ［Ω／□］になるように設定され、例えば金属の粉末を樹脂に混入して形成される。
【００６６】
ここで、上記把持部２８３は、試料載置台２８の白色層２８１あるいは黒色層２８２の一方を試料載置面として、ベース１６の取付部１６１に嵌装した状態においては、取付部１６１内に位置されて、ベース１６上に露出されることがない。
【００６７】
上記試料載置台２８は、被膜処理を施して導電性被膜２８４を形成する際に、把持部２８３がヤトイとなり、該把持部２８３に導電性被膜２８４が被着されず欠落されるが、上記ベース１６の取付部１６１に嵌装された状態では、その側面の把持部２８３以外の部位及び底面の導電性被膜２８４が取付部１６１の側面及び底面と電気的に導通される。これにより、試料載置台２８は、その把持部２８３を除く部位に被着された導電性被膜２８４を介して上記ベース１６の取付部１６１と電気的に導通されて静電気の安定した除電が実現される。
【００６８】
なお、上記把持部２８３は、黒色層２８２に形成することなく、白色層２８１の側面に形成するようにしてもよい。この場合には、試料載置台２８は、その白色層２８１を黒色層２８２に比して板厚に形成し、把持部２８３を、その黒色層２８２を合わせた板厚の略中央部となる白色層２８１の側面に形成する。これにより、試料載置台２８の白色層２８１あるいは黒色層２８２の何れを試料載置面としてベース１６の取付部１６１に嵌装しても、把持部２８３が、同様にベース１６上に露出されることがない。
【００６９】
また、図１０の試料載置台２９は、黒色層２９１を、例えばカーボンや金属のフィラー等を樹脂材に混入した導電性を持たせた材料で、上記ベース１６の取付部１６１の深さ寸法に対応した所定の厚さ寸法に形成する。そして、この黒色層２９１の一方面には、凹部２９２を形成し、この凹部２９２には、白色層２９３を埋設する如く嵌装する。この白色層２９３には、その側面にヤトイ穴と称する把持部２９４を、例えば複数個、所定の間隔に設け、この把持部２９４を把持して、その周壁に上記導電性被膜２９５が被着される。そして、この白色層２９３は、上記黒色層２９１の凹部２９２に接着剤等を用いて導電可能に嵌装される。
【００７０】
上記導電性被膜２９５は、上記各実施の形態と同様に、例えば略透明で、表面抵抗値が１０６  〜１０９  ［Ω／□］になるように設定され、例えば金属の粉末を樹脂に混入して形成される。
【００７１】
上記構成により、試料載置台２９は、その白色層２９３の導電性被膜２９５が黒色層２９１と電気的に導通され、その黒色層２９１が、上記ベース１６の取付部１６１に嵌装されると、ベース１６を介して上記アースコード２０と電気的に接続される。これにより、試料載置台２９は、その上面に静電気が発生すると、白色層２９３及び黒色層２９１を介してベース１６の取付部１６１内に導かれ、該ベース１６から上記アースコード２０を介して除電される。
【００７２】
また、図１１の試料載置台３０は、黒色層３０１の一方面の凸部３０２を形成して、白色層３０３の他方面に凹部３０４を形成する。そして、黒色層３０１の凸部３０２には、ヤトイ穴と称する被膜形成用把持部３０５を、例えば複数個、所定の間隔に設け、その白色層３０３の凹部３０４の内壁には、同様にヤトイ穴と称する被膜形成用把持部３０６を設ける。この黒色層３０１及び白色層３０３は、それぞれ把持部３０５，３０６を把持して、例えばその周壁全体に、略透明で、表面抵抗値が１０６  〜１０９  ［Ω／□］の導電性被膜３０７が被着される。この導電性被膜３０７は、例えば金属の粉末を樹脂に混入して形成される。
【００７３】
上記黒色層３０１及び白色層３０３は、その凸部３０２及び凹部３０４が嵌合されて、例えば相互間が接着剤を用いて導電可能に接着されて二層構造の上記試料載置台３０が形成される。ここで、黒色層３０１及び白色層３０３は、各導電性被膜３０７を介して電気的に導通される。
【００７４】
上記構成により、試料載置台３０は、例えばその黒色層３０１側が、上記ベース１６の取付部１６１に嵌装されると、その導電性被膜３０７がベース１６の取付部１６１を介して上記アースコード２０と電気的に接続される。これにより、試料載置台３０は、その上面に静電気が発生すると、導電性被膜３０７を介してベース１６の取付部１６１内に導かれ、ベース１６から上記アースコード２０を介して除電される。
【００７５】
なお、図１１の試料載置台３０においても、黒色層３０１に凸部３０２を設けて、白色層３０３に凹部３０４を設けるように構成したが、これに限ることなく、例えば黒色層３０１に凹部を設けて、白色層３０３に凸部を設けて構成することが可能である。
【００７６】
上記第４の実施の形態における各試料載置台２８，２９，３０は、上述した第１乃至第３の実施の形態のいずれかの構成により、ベース１６の取付部１６１内に位置決めされてベース１６に組付けられる。
【００７７】
なお、上記各実施の形態では、二層構造の試料載置台を用いて構成するようにした場合で説明したが、これに限ることなく、その他、一層構造、三層構造等の各種の載置台構造を用いて構成することも可能である。
【００７８】
また、上記各実施の形態では、試料載置台の周壁の全体である試料載置面及び側面を導電性被膜等により導電性を有するように構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、試料載置台の少なくとも一方の試料載置面と側面に導電性被膜を設けて構成することにより、略同様の効果が期待される。
【００７９】
よって、この発明は、上記実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。
【００８０】
例えば実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【００８１】
また、この発明は、上記各実施の形態に基づいて、
（１）  顕微鏡の架台に着脱可能な載置台を有する顕微鏡装置において、
前記架台が前記載置台を保持する保持部材を有し、前記載置台が導電性の被膜で覆われ、前記載置台と前記架台が前記保持部材を通じて導通を取ることが可能であることを特徴とする顕微鏡装置を提供することができる。
【００８２】
（２）  （１）記載の顕微鏡装置において、
前記載置台の被膜が、透明性に優れた導電性を有する被膜であり、前記載置台の表面抵抗値が１０６  〜１０９  ［Ω／□］であって、前記保持部材が弾性部材であることを特徴とする顕微鏡装置を提供することができる。
【００８３】
（３）  （１）（２）記載の顕微鏡装置において、
被膜を付加する工程で、前記載置台の保持を行うための穴もしくは溝を前記載置台の側面に設け、前記架台に設けられた前記保持部材と接触する前記載置台の側面が、導電性を有することを特徴とする顕微鏡装置を提供することができる。
【００８４】
（４）  （１）（２）（３）記載の顕微鏡装置において、
前記載置台の片面が白色、もう一方が黒色で構成されることを特徴とする顕微鏡装置を提供することができる。
【００８５】
（５）  （１）（２）（３）（４）記載の顕微鏡において、
前記試料載置台は、前記ベースに埋設される側面に、前記導電性被膜の形成に供する把持部が設けられることを特徴とする顕微鏡装置を提供することができる。
【００８６】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明によれば、簡易な構成で、且つ、環境変化に影響を受けることなく、安定した高精度な除電を実現し得るようにして多様な試料の高精度な観察を実現した顕微鏡装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態に係る実体顕微鏡の要部の外観を示した一部断面図である。
【図２】図１のベースを取り出して示した一部断面図である。
【図３】図２のＡ―Ａを断面して示した断面図である。
【図４】図１の試料載置台の詳細を示した詳細説明図である。
【図５】この発明の他の実施の形態に係るベース及び試料載置台を取り出して示した一部断面図である。
【図６】図５のＢ―Ｂを断面して示した断面図である。
【図７】この発明の他の実施の形態に係るベース及び試料載置台を取り出して示した一部断面図である。
【図８】図７のＣ―Ｃを断面して示した断面図である。
【図９】この発明の他の実施の形態に係る試料載置台を示した詳細説明図である。
【図１０】この発明の他の実施の形態に係る試料載置台を示した詳細説明図である。
【図１１】この発明の他の実施の形態に係る試料載置台を示した詳細説明図である。
【符号の説明】
１０  …  顕微鏡本体、  １１  …  接眼レンズ、１２  …  スリーブ、  １３１，１３２  …  ズームハンドル、１４  …  軸、  １５  …  支柱、  １６…  ベース、１６１  …  取付部、１６２  …  切欠き窓、１６３  …  固定部、１６４  …  取付孔、１６５  …  螺子孔、  １７１，１７２  …  焦準ハンドル、１８  …  軸、１９  …  ガイド、  ２０  …  アースコード、  ２１…  試料載置台、２１１  …  白色層、２１２  黒色層、２１３  …  導電性被膜、２２  …  試料、  ２３  …  板ばね部材、２３１  …  突部、  ２４  …  螺子部材、２５  …  固定部材、２６  …  板ばね部材、２７  …  固定摘み、２７１  …  螺子部、２８  …  試料載置台、２８１  …  白色層、２８２…  黒色層、２８３  …  把持部、２８４  …  導電性被膜、２９  …  試料載置台、２９１  …  黒色層、２９２  …  凹部、２９３  …  白色層、２９４…  把持部、２９５  …  導電性被膜、３０  …  試料載置台、３０１  …  黒色層、３０２  …  凸部、３０３  …  白色層、３０４  …  凹部、３０５、３０６  …  把持部、３０７  …  導電性被膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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