(57)【要約】【課題】　粒成長が抑制されたナノ結晶セラミックスバルク材及びその製造方法の提供。【解決手段】　セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として金属又は半金属の酸化物、窒化物、炭化物、硼化物等を存在させてなるものである。　セラミックス形成成分の各微粉末を、ボールミル等を用いてメカニカルアロイング（ＭＡ）することによって、ナノ結晶セラミックス粉末を製造した後、同セラミックス粉末をシース圧延、スパークプラズマ焼結、押出し成形等の熱間固化成形又は爆発成形などの固化成形処理してセラミックスバルク材となす。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
　セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として金属又は半金属の酸化物を存在させてなることを特徴とするナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項２】
　セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として金属又は半金属の窒化物を存在させてなることを特徴とするナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項３】
　セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として金属又は半金属の炭化物を存在させてなることを特徴とするナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項４】
　セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として金属又は半金属のケイ化物（シリサイド）を存在させてなることを特徴とするナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項５】
　セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として金属又は半金属の硼化物（ボライド）を存在させてなることを特徴とするナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項６】
　セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として、（１）金属又は半金属の酸化物、（２）金属又は半金属の窒化物、（３）金属又は半金属の炭化物、（４）金属又は半金属のケイ化物（シリサイド）又は（５）金属又は半金属の硼化物（ボライド）から選ばれる２種以上の化合物を存在させてなることを特徴とするナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項７】
　セラミックスナノ結晶粒子又はその集合体よりなるバルク材が、窒素を０．０１〜５．０質量％含有するものであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項８】
　セラミックスナノ結晶粒子又はその集合体よりなるバルク材が、窒素を０．１〜２．０質量％含有するものであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項９】
セラミックスナノ結晶粒子又はその集合体よりなるバルク材が、金属酸化物の形態で酸素を０．０１〜１．０質量％含有したものであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項１０】
　セラミックスナノ結晶粒子の集合体の固化成形過程での脱窒を防ぐため、窒素との化学的親和力が大きい金属元素を含有せしめてなることを特徴とする請求項２，６〜８のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項１１】
　ナノ結晶セラミックス形成成分が、
アルミニウム、マグネシウム、カリウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、亜鉛、イットリウム、スカンジウム、サマリウム、インジウム、ウラン、クロム、ジルコニウム、錫、タングステン、タンタル、鉄、ニッケル、コバルト、銅、ニオブ、バナジウム、マンガン、モリブデン、ランタンから選ばれる１種又は２種以上の酸化物であることを特微とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項１２】
　ナノ結晶セラミックス形成成分が、
アルミニウム、マグネシウム、カリウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、亜鉛、イットリウム、スカンジウム、サマリウム、インジウム、ウラン、クロム、ジルコニウム、錫、タングステン、タンタル、鉄、ニッケル、コバルト、銅、ニオブ、バナジウム、マンガン、モリブデン、ランタンから選ばれる１種又は２種以上の炭化物であることを特微とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項１３】
　ナノ結晶セラミックス形成成分が、
アルミニウム、マグネシウム、カリウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、亜鉛、イットリウム、スカンジウム、サマリウム、インジウム、ウラン、クロム、ジルコニウム、錫、タングステン、タンタル、鉄、ニッケル、コバルト、銅、ニオブ、バナジウム、マンガン、モリブデン、ランタンから選ばれる１種又は２種以上の窒化物であることを特微とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項１４】
　ナノ結晶セラミックス形成成分が、
アルミニウム、マグネシウム、カリウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、亜鉛、イットリウム、スカンジウム、サマリウム、インジウム、ウラン、クロム、ジルコニウム、錫、タングステン、タンタル、鉄、ニッケル、コバルト、銅、ニオブ、バナジウム、マンガン、モリブデン、ランタンから選ばれる１種又は２種以上の硼化物（ボライド）であることを特微とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項１５】
　ナノ結晶セラミックス形成成分が、
アルミニウム、マグネシウム、カリウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、亜鉛、イットリウム、スカンジウム、サマリウム、インジウム、ウラン、クロム、ジルコニウム、錫、タングステン、タンタル、鉄、ニッケル、コバルト、銅、ニオブ、バナジウム、マンガン、モリブデン、ランタンから選ばれる１種又は２種以上のケイ化物（シリサイド）であることを特微とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項１６】
　セラミックスナノ結晶粒子が、金属間化合物であることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項１７】
　セラミックスナノ結晶粒子が、ボールミル等を用いるメカニカルミリング（ＭＭ）又はメカニカルアロイング（ＭＡ）によって得られたものであることを特徴とする請求項１〜１６のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【請求項１８】
　ナノ結晶セラミックス形成成分の各微粉末を、
ボールミル等を用いてメカニカルアロイング（ＭＡ）することによって、ナノ結晶セラミックス粉末を製造した後、
同セラミックス粉末をホットプレス、シース圧延（Ｓｈｅａｔｈ　Ｒｏｌｌｉｎｇ）、スパークプラズマ焼結（Ｓｐａｒｋ　Ｐｌａｓｍａ　Ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ）、押出し成形等の熱間固化成形又は爆発成形などの固化成形処理をすることによりセラミックスバルク材となすことを特微とするナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
【請求項１９】
　ナノ結晶セラミックス形成成分の各微粉末を、
他の金属・半金属又はセラミックス物質とともに混合し、
ボールミル等を用いてメカニカルアロイング（ＭＡ）することによって、ナノ結晶セラミックス粉末を製造した後、
同セラミックス粉末をホットプレス、シース圧延（ＳＲ）、スパークプラズマ焼結（ＳＰＳ）、押出し成形等の熱間固化成形又は爆発成形などの固化成形処理することによりセラミックスバルク材となすことを特微とするナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
【請求項２０】
　メカニカルミリング又はメカニカルアロイングを施す雰囲気が、（１）アルゴンガスなどの不活性ガス、（２）Ｎ2ガス、又は（３）ＮＨ3ガスから選ばれるいずれか１種、又は（４）（１）〜（３）から選ばれる２種以上の混合ガスの雰囲気であることを特徴とする請求項１８又は１９のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
【請求項２１】
　メカニカルミリング又はメカニカルアロイングを施す雰囲気が、若干のＨ2ガスなどの還元性物質を加えたガスの雰囲気であることを特徴とする請求項２０に記載のナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
【請求項２２】
　メカニカルミリング又はメカニカルアロイングを施す雰囲気が、真空又は真空中に若干のＨ2ガスなどの還元性物質を加えた真空又は還元雰囲気であることを特徴とする請求項１８又は１９に記載のナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
【請求項２３】
　セラミックスナノ結晶粒子が、金属間化合物であることを特徴とする請求項１８〜２２のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
【請求項２４】
　メカニカルミリング（ＭＭ）又はメカニカルアロイング（ＭＡ）処理時にボールミル等の処理容器、ボール等からナノ結晶非酸化物系セラミックス粉末に混入する酸素の量を０．０１〜１．０質量％に調整し、その酸素の化合物である金属又は半金属の酸化物により、メカニカルミリング（ＭＭ）又はメカニカルアロイング（ＭＡ）過程におけるナノサイズレベルでの結晶粒の一層の微細化の促進とメカニカルミリング（ＭＭ）又はメカニカルアロイング（ＭＡ）処理粉末の固化成形過程での結晶粒粗大化を抑制することを特微とする請求項１８〜２３のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
【請求項２５】
　請求項１８〜２４のいずれか１項に記載の方法によって製造されたナノ結晶セラミックスバルク材を、超塑性発現温度近傍の温度で成形加工することを特徴とするナノ結晶セラミックス成形体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、セラミックス、特にナノ結晶セラミックスバルク材及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
　耐熱材料、超硬材料として有用なＡｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、ＴｉＣ、Ｃｒ3Ｃ2、ＳｉＣ、Ｓｉ3Ｎ4、ＴｉＮ、ＴｉＢ2などの酸化物系又は非酸化物系セラミックスやＮｉ3Ａｌ、Ｃｏ3Ｔｉ、Ｎｉ3（Ｓｉ、Ｔｉ）、ＴｉＡｌなどの金属間化合物では、いずれもその脆さのため、常温では一般にはその塑性加工が困難であり、比較的高い温度域での超塑性を利用した成形加工が極めて重要となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
　しかし、超塑性を発現させるためには、その結晶粒径をナノサイズ又はこれに近いオーダまで微細化することが必要であるが、このような成形加工に応えられる満足し得る超微細粉末の提供はなされていない。
　さらに、それらのセラミックスの結晶粒径をナノレベルのものにすると、通常２０００℃前後の超高温で行われている例えばＳｉ3Ｎ4、ＳｉＣなどのセラミックスの熱間固化成形（焼結）温度を大きく低下させることが可能となる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
　本発明は上記課題を解決するもので、下記構成の発明である。
（１）セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として金属又は半金属の酸化物を存在させてなることを特徴とするナノ結晶セラミックスバルク材。
（２）セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として金属又は半金属の窒化物を存在させてなることを特徴とするナノ結晶セラミックスバルク材。
（３）セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として金属又は半金属の炭化物を存在させてなることを特徴とするナノ結晶セラミックスバルク材。
（４）セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として金属又は半金属のケイ化物（シリサイド）を存在させてなることを特徴とするナノ結晶セラミックスバルク材。
（５）セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として金属又は半金属の硼化物（ボライド）を存在させてなることを特徴とするナノ結晶セラミックスバルク材。
【０００５】
（６）セラミックスナノ結晶粒子の集合体よりなるセラミックスバルク材であって、
前記各ナノ結晶粒子の粒子間及び／又は同粒子の内部に、結晶粒成長抑制物質として、〔１〕金属又は半金属の酸化物、〔２〕金属又は半金属の窒化物、〔３〕金属又は半金属の炭化物、〔４〕金属又は半金属のケイ化物（シリサイド）又は〔５〕金属又は半金属の硼化物（ボライド）から選ばれる２種以上の化合物を存在させてなることを特徴とするナノ結晶セラミックスバルク材。
（７）セラミックスナノ結晶粒子又はその集合体よりなるバルク材が、窒素を０．０１〜５．０質量％含有するものであることを特徴とする前項（１）〜（６）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
（８）セラミックスナノ結晶粒子又はその集合体よりなるバルク材が、窒素を０．１〜２．０質量％含有するものであることを特徴とする前項（１）〜（６）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
（９）セラミックスナノ結晶粒子又はその集合体よりなるバルク材が、金属酸化物の形態で酸素を０．０１〜１．０質量％含有したものであることを特徴とする前項（１）〜（８）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
（１０）セラミックスナノ結晶粒子の集合体の固化成形過程での脱窒を防ぐため、窒素との化学的親和力が大きい金属元素を含有せしめてなることを特徴とする前項（２）、（６）〜（８）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【０００６】
（１１）ナノ結晶セラミックス形成成分が、アルミニウム、マグネシウム、カリウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、亜鉛、イットリウム、スカンジウム、サマリウム、インジウム、ウラン、クロム、ジルコニウム、錫、タングステン、タンタル、鉄、ニッケル、コバルト、銅、ニオブ、バナジウム、マンガン、モリブデン、ランタンから選ばれる１種又は２種以上の酸化物であることを特微とする前項（１）〜（１０）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
（１２）ナノ結晶セラミックス形成成分が、アルミニウム、マグネシウム、カリウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、亜鉛、イットリウム、スカンジウム、サマリウム、インジウム、ウラン、クロム、ジルコニウム、錫、タングステン、タンタル、鉄、ニッケル、コバルト、銅、ニオブ、バナジウム、マンガン、モリブデン、ランタンから選ばれる１種又は２種以上の炭化物であることを特微とする前項（１）〜（１０）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
（１３）ナノ結晶セラミックス形成成分が、アルミニウム、マグネシウム、カリウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、亜鉛、イットリウム、スカンジウム、サマリウム、インジウム、ウラン、クロム、ジルコニウム、錫、タングステン、タンタル、鉄、ニッケル、コバルト、銅、ニオブ、バナジウム、マンガン、モリブデン、ランタンから選ばれる１種又は２種以上の窒化物であることを特微とする前項（１）〜（１０）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【０００７】
（１４）ナノ結晶セラミックス形成成分が、アルミニウム、マグネシウム、カリウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、亜鉛、イットリウム、スカンジウム、サマリウム、インジウム、ウラン、クロム、ジルコニウム、錫、タングステン、タンタル、鉄、ニッケル、コバルト、銅、ニオブ、バナジウム、マンガン、モリブデン、ランタンから選ばれる１種又は２種以上の硼化物（ボライド）であることを特微とする前項（１）〜（１０）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
（１５）ナノ結晶セラミックス形成成分が、アルミニウム、マグネシウム、カリウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、亜鉛、イットリウム、スカンジウム、サマリウム、インジウム、ウラン、クロム、ジルコニウム、錫、タングステン、タンタル、鉄、ニッケル、コバルト、銅、ニオブ、バナジウム、マンガン、モリブデン、ランタンから選ばれる１種又は２種以上のケイ化物（シリサイド）であることを特微とする前項（１）〜（１０）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
（１６）セラミックスナノ結晶粒子が、金属間化合物であることを特徴とする前項（１）〜（１５）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
（１７）セラミックスナノ結晶粒子が、ボールミル等を用いるメカニカルミリング（ＭＭ）又はメカニカルアロイング（ＭＡ）によって得られたものであることを特徴とする前項（１）〜（１６）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材。
【０００８】
（１８）ナノ結晶セラミックス形成成分の各微粉末を、ボールミル等を用いてメカニカルアロイング（ＭＡ）することによって、ナノ結晶セラミックス粉末を製造した後、同セラミックス粉末をホットプレス、シース圧延（Ｓｈｅａｔｈ　Ｒｏｌｌｉｎｇ）、スパークプラズマ焼結（Ｓｐａｒｋ　Ｐｌａｓｍａ　Ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ）、押出成形等の熱間固化成形又は爆発成形などの固化成形処理をすることによりセラミックスバルク材となすことを特微とするナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
（１９）ナノ結晶セラミックス形成成分の各微粉末を、他の金属・半金属又はセラミックス物質とともに混合し、ボールミル等を用いてメカニカルアロイング（ＭＡ）することによって、ナノ結晶セラミックス粉末を製造した後、同セラミックス粉末をホットプレス、シース圧延（ＳＲ）、スパークプラズマ焼結（ＳＰＳ）、押出し成形等の熱間固化成形又は爆発成形などの固化成形処理することによりセラミックスバルク材となすことを特微とするナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
（２０）メカニカルミリング又はメカニカルアロイングを施す雰囲気が、〔１〕アルゴンガスなどの不活性ガス、〔２〕Ｎ2ガス、又は〔３〕ＮＨ3ガスから選ばれるいずれか１種、又は〔４〕〔１〕〜〔３〕から選ばれる２種以上の混合ガスの雰囲気であることを特徴とする前項（１８）又は（１９）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
（２１）メカニカルミリング又はメカニカルアロイングを施す雰囲気が、若干のＨ2ガスなどの還元性物質を加えたガスの雰囲気であることを特徴とする前項（２０）に記載のナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
（２２）メカニカルミリング又はメカニカルアロイングを施す雰囲気が、真空又は真空中に若干のＨ2ガスなどの還元性物質を加えた真空又は還元雰囲気であることを特徴とする前項（１８）又は（１９）に記載のナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
（２３）セラミックスナノ結晶粒子が、金属間化合物であることを特徴とする前項（１８）〜（２２）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
（２４）メカニカルミリング（ＭＭ）又はメカニカルアロイング（ＭＡ）処理時にボールミル等の処理容器、ボール等からナノ結晶非酸化物系セラミックス粉末に混入する酸素の量を０．０１〜１．０質量％に調整し、その酸素の化合物である金属又は半金属の酸化物により、メカニカルミリング（ＭＭ）又はメカニカルアロイング（ＭＡ）過程におけるナノサイズレベルでの結晶粒の一層の微細化の促進とメカニカルミリング（ＭＭ）又はメカニカルアロイング（ＭＡ）処理粉末の固化成形過程での結晶粒粗大化を抑制することを特微とする前項（１８）〜（２３）のいずれか１項に記載のナノ結晶セラミックスバルク材の製造方法。
（２５）前項（１８）〜（２４）のいずれか１項に記載の方法によって製造されたナノ結晶セラミックスバルク材を、超塑性発現温度近傍の温度で成形加工することを特徴とするナノ結晶セラミックス成形体の製造方法。
【発明の効果】
【０００９】
　本発明では、成分元素の混合粉末のメカニカルアロイング（ＭＡ）処理により製造したナノオーダ又はこれに近い結晶粒径のＴｉＣ、（ＴｉＣ）50（ＴａＣ）50（質量％）粉末及び溶解・凝固塊のメカニカルミリング（ＭＭ）処理により前記のものと同程度の結晶粒径に微細化したＮｉ3Ｓｉ粉末は、約１０００℃での押出し成形でいずれも超塑性を示すようになるため、その固化成形をより効果的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
　以下、本発明の実施例について、添付図面を参照しながら説明する。
【実施例】
【００１１】
　実施例１：
　図１は２００ｈ（時間）メカニカルアロイング（ＭＡ）処理したＴｉＣ試料（ａ）及び（ＴｉＣ）50（ＴａＣ）50（質量％）試料（ｂ）と２００ｈメカニカルミリング（ＭＭ）処理したＮｉ3Ｓｉ試料（ｃ）の熱間押出し成形加工（押出し圧力：９８ＭＰａ）の説明図である。なお、図中、１は押出ダイス、２は試料、３はダミーブロック、４は容器、５はラムを示す。
　図２は、図１の試料（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の１０００℃での押出し成形加工時に、押出ダイス開孔口先端部から押出される部分の長さｈ（ｍｍ）を示したグラフ図である。
　本図より試料（ａ）、（ｂ）、（ｃ）いずれにおいても、成形加工過程でダイス開孔口から１０〜２０ｍｍ程度、押出されていることが解る。
　結晶粒径５０〜１００μｍの試料（ａ）、（ｂ）と同組成の市販品及び結晶粒径７０〜１５０μｍの試料（ｃ）と同組成の溶解・凝固塊の粉砕粉末の同条件での押出し加工時にみられる各試料のｈの値は１ｍｍ程度であるので、前記のＭＡ及びＭＭ処理試料の押出し成形過程においては、超塑性が発現されているものと解釈できる。
【００１２】
　実施例２：
　ジルコニア（ＺｒＯ2）の粉末をボールミルを用いたメカニカルミリング（ＭＭ）処理により、結晶粒径の異なるナノ結晶のＺｒＯ2粉末をつくり、同粉末を内径４０ｍｍのＡｌ2Ｏ3製ダイスに充填して大気中にて１３００℃にて成形圧力６０ＭＰａの下で１５分間のホットプレスをを行い、直径４０ｍｍ、厚さ約５ｍｍの仮焼結体とした。
　次いで種々の温度で同焼結体の厚さ方向に歪速度１０-5／ｓにて２０分間圧縮荷重を与え、その厚さ方向で急激な変位の現れる温度を超塑性の開始温度ＴSPとした。結果は表１のとおりであった。
【表１】
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　表１からみて、ＺｒＯ2セラミックス材料において超塑性の発現する温度ＴSPは、その結晶粒径ｄの減少とともに大きく低下することが解った。
【００１３】
　以上述べたとおり、本発明によれば、ＭＡないしＭＭ処理によって製造したセラミックス又は金属間化合物の各材料は、いずれも結晶粒径がナノオーダとなり、続く固化成形においても、１０００℃付近の温度では、超塑性が現れ、さらにまたＭＡ又はＭＭ処理粉末に若干存在している酸化物などにより、その粒成長が抑制されて、前記セラミックス、金属間化合物粉末からのナノ結晶セラミックスバルク材の製造をより効果的に達成できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明実施例で用いられる粉末試料の熱間押出し成形加工の説明図である。
【図２】本発明実施例で用いられる試料（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の押出ダイス開孔口先端部から押出されている部分の長さ（ｈ）を示すグラフ図である。
【符号の説明】
【００１５】
　　ａ：ＴｉＣ
　　ｂ：（ＴｉＣ）50（ＴａＣ）50（質量％）
　　ｃ：Ｎｉ3Ｓｉ
【図１】
2004143039.tif 000004
【図２】
2004143039.tif 000005