(57)【要約】【課題】気化しやすい薬液の供給でも、気泡の影響を受けずに正確に秤量し、処理槽等に対する薬液供給を正確に行うこと。【解決手段】ベローズポンプ３を縦置きし、ポンプ室の最上部に連通する吐出口を設け、この吐出口を電磁開閉バルブＶ２、Ｖ３によって、薬液供給タンク２に薬液を戻す薬液戻し管３４と、薬液を洗浄槽１等の処理部へ供給する薬液供給管３３との何れか一方に切換接続する。【選択図】      図１
2004273830.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液供給タンクより薬液を吸入して処理部へ供給する薬液供給装置において、
前記薬液供給タンクより薬液が吸入されるポンプ室と、
前記ポンプ室に前記薬液供給タンクより薬液を吸入する往復ポンプと、
前記ポンプ室の上部に連通する薬液吐出用の吐出口と、
前記薬液供給タンクに薬液を戻す薬液戻し通路と、前記処理部へ薬液を供給する薬液供給通路との何れか一方に前記吐出口を切換接続する流路切換手段と、
を有することを特徴とする薬液供給装置。
【請求項２】
前記吐出口より吐出する流体が気体を含む非液相であるか気体を含まない液相であるかを検出する気液検出手段を有し、
前記流路切換手段は、前記気液検出手段によって非液相であることが検出された時には前記吐出口を前記薬液戻し通路に接続し、液相であることが検出された時には前記吐出口を前記薬液供給通路に接続することを特徴とする請求項１記載の薬液供給装置。
【請求項３】
前記往復ポンプのピストン移動位置を検出する位置検出手段を有し、
前記気液検出手段によって非液相であることが検出されている状態より液相であることが検出される状態に変化した時点に前記位置検出手段によって検出されるピストン移動位置を基準として吐出薬液量を制御することを特徴とする請求項２記載の薬液供給装置。
【請求項４】
前記往復ポンプは、前記ポンプ室の下方に縦置き配置されて上下方向にピストンが往復動するものである請求項１〜３の何れか１項記載の薬液供給装置。
【請求項５】
前記往復ポンプは電動式のベローズポンプであることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項記載の薬液供給装置。
【請求項６】
前記処理部は薬液を使用する洗浄槽であることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項記載の薬液供給装置。
【請求項７】
前記洗浄槽に希釈水を計量供給する希釈水供給系と、前記洗浄槽の薬液の濃度を検出する濃度検出手段とを有し、
前記濃度検出手段により検出される前記洗浄槽の薬液濃度に応じて前記往復ポンプによる前記薬液供給タンクより前記洗浄槽への薬液の供給量と、前記希釈水供給系により前記洗浄槽へ供給する希釈水の供給量を制御することを特徴とする請求項６記載の薬液供給装置。
【請求項８】
前記洗浄槽の溶液を循環させる槽溶液循環系を有することを特徴とする請求項６または７記載の薬液供給装置。
【請求項９】
前記洗浄槽の溶液を排出する溶液排出通路と、前記溶液排出通路を流れる溶液の比抵抗を検出する比抵抗検出手段を有することを特徴とする請求項６〜８の何れか１項記載の薬液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、薬液供給装置に関し、特に、半導体製造装置における半導体（Ｓｉウエハ）の洗浄装置や液晶用ガラス基板の洗浄装置に用いられる薬液供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造プロセス等の洗浄装置に用いられる薬液供給装置として、薬液供給源より薬液をポンプによって処理槽（洗浄槽）へ供給する際に、気泡を含まない薬液を処理槽へ供給することにより、処理槽に供給する薬液の供給量が気泡の混入によって誤差を生じないようにしたものがある（例えば、特許文献１）。
【０００３】
この薬液供給装置の概略を図４を参照して説明する。処理槽１００に対する薬液の供給や補給は、薬液供給タンク（薬液供給源）１０１の下部配管に設けられたポンプ１０２の駆動と、バルブ１０３の弁開により行われる。この時、使用するポンプ１０２は、エアー駆動式のダイヤフラムポンプや電気駆動式のべローズポンプ、さらに容器内を窒素などの不活性ガスにより加圧し、薬液を押し出す型式のものが用いられる。
【０００４】
半導体ウエハや液晶用ガラスを洗浄する薬液として、アンモニアと過酸化水素と水の混合液がよく使われるが、この薬液は気化しやすい。このため、ポンプ内や配管中で気泡が発生し、薬液を吐出する際に正確な量を吐出することができない。
【０００５】
このため、ポンプ出口の配管を分岐点１０４で、処理槽１００と薬液供給タンク１０１とに分岐し、それぞれバルブ１０３、１０５によって薬液の流れを切り換えるようにしている。
【０００６】
薬液を供給する初期過程では、薬液供給タンク１０１側のバルブ１０５を開き、処理槽１００側のバルブ１０３を閉じた状態で、ポンプ１０２を駆動し、薬液を供給タンク１０１に戻し、循環させることによって、配管中の気泡を取り除いている。
【０００７】
その後、薬液供給タンク１０１側のバルブ１０５を閉じ、次に、処理槽１００側のバルブ１０３を開いた状態で、ポンプ１０２を駆動して処理槽１００に薬液を供給することにより、処理槽１００に供給する薬液中に気泡が少なくなるようにしている。
【０００８】
【特許文献１】
特許第３３４１２０６号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述したような従来の薬液供給装置では、配管中の気泡が完全に無くなったことを確認することができないばかりか、エアー駆動式のダイヤフラムポンプでは気泡が発生しやすく、いつまで循環させても気泡がなくならない場合がある。従って、処理槽に供給する薬液の供給量が安定せず、処理槽の薬液濃度が安定せず、高精度な濃度設定ができず、洗浄状態が安定しない。
【００１０】
この発明は、上述の如き問題点を解消するためになされたもので、気化しやすい薬液の供給でも、気泡の影響を受けずに正確に秤量し、処理槽等に対する薬液供給を正確に行う薬液供給装置を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、この発明による薬液供給装置は、薬液供給タンクより薬液を吸入して処理部へ供給する薬液供給装置において、前記薬液供給タンクより薬液が吸入されるポンプ室と、前記ポンプ室に前記薬液供給タンクより薬液を吸入する、電動式ベローズポンプ等による往復ポンプと、前記ポンプ室の上部に連通する薬液吐出用の吐出口と、前記薬液供給タンクに薬液を戻す薬液戻し通路と、前記処理部へ薬液を供給する薬液供給通路との何れか一方に前記吐出口を切換接続する流路切換手段とを有することを特徴とする。
【００１２】
この発明による薬液供給装置によれば、往復ポンプの吐出口をポンプ室の上部にしたことによって気泡、気体をポンプ室の上部に集めることができ、薬液中の気体（気泡）がポンプ室上部に集められて気液分離が行われ、ポンプ室上部に集められた気体を往復ポンプの吐出動作で強制的に薬液供給タンク側に逃がすことができ、往復ポンプから吐出する流体が気泡等を含まない完全な液相の状態になった以降に、薬液を洗浄槽等の処理部へ供給することができる。
【００１３】
この発明による薬液供給装置は、更に、前記吐出口より吐出する流体が気体を含む非液相であるか気体を含まない液相であるかを検出する気液検出手段を有し、前記流路切換手段は、前記気液検出手段によって非液相であることが検出された時には前記吐出口を前記薬液戻し通路に接続し、液相であることが検出された時には前記吐出口を前記薬液供給通路に接続する。
【００１４】
この発明による薬液供給装置によれば、往復ポンプの吐出口より吐出する流体が気体を含む非液相であるか、気体を含まない液相であるかが気液検出手段によって監視され、気液検出手段によって非液相であることが検出された間は、吐出口を薬液戻し通路に接続し、気体あるいは気体を含む薬液（気液混在物）を薬液供給タンク側に逃がすことができ、気液検出手段によって液相であることが検出された時には、吐出口を薬液供給通路に接続することにより、気泡等を含まない完全な液相の薬液だけを洗浄槽等の処理部へ供給することができる。
【００１５】
この発明による薬液供給装置は、更に、前記往復ポンプのピストン移動位置を検出する位置検出手段を有し、前記気液検出手段によって非液相であることが検出されている状態より液相であることが検出される状態に変化した時点に前記位置検出手段によって検出されるピストン移動位置を基準として吐出薬液量を制御する。
【００１６】
この発明による薬液供給装置によれば、位置検出手段によって往復ポンプのピストン移動位置が監視され、往復ポンプの吐出口より吐出する流体が、気液検出手段によって非液相であることが検出されている状態より液相であることが検出される状態に変化した時点のピストン移動位置を基準として吐出薬液量を制御することが行われることにより、最適な薬液の供給量を洗浄槽等の処理部へ正確に供給することができる。
【００１７】
なお、この発明による薬液供給装置における往復ポンプは、前記ポンプ室の下方に縦置き配置されて上下方向にピストンが往復動するものとすることができる。
【００１８】
この発明による薬液供給装置は、更に、前記洗浄槽に純水等の希釈水を計量供給する希釈水供給系と、前記洗浄槽の薬液の濃度を検出する濃度検出手段とを有し、前記濃度検出手段により検出される前記洗浄槽の薬液濃度に応じて前記往復ポンプによる前記薬液供給タンクより前記洗浄槽への薬液の供給量と、前記希釈水供給系により前記洗浄槽へ供給する希釈水の供給量を制御する。
【００１９】
この発明による薬液供給装置によれば、濃度検出手段によって洗浄槽の薬液の濃度が検出され、これに基づいて、往復ポンプによって薬液供給タンクより洗浄槽へ供給する薬液の供給量と、希釈水供給系により洗浄槽へ供給する希釈水の供給量が制御されるから、洗浄槽の薬液濃度を目標値に自動設定することができる。
【００２０】
この発明による薬液供給装置は、更に、前記洗浄槽の溶液を循環させる槽溶液循環系を有し、洗浄槽内における薬液濃度を均一化できる。
【００２１】
この発明による薬液供給装置は、更に、前記洗浄槽の溶液を排出する溶液排出通路と、前記溶液排出通路を流れる溶液の比抵抗を検出する比抵抗検出手段を有する。
【００２２】
この発明による薬液供給装置によれば、薬液による洗浄の終了過程で、洗浄槽に純水等による希釈液のみを供給して洗浄槽の薬液濃度を下げる場合、洗浄槽にに対する希釈液の供給にともない洗浄槽の溶液が溶液排出通路より排出され、その溶液排出通路を流れる溶液の比抵抗が比抵抗検出手段により監視される。そして、比抵抗検出手段により検出される排出溶液の比抵抗が希釈液と同等になったことによって、洗浄が完了したことを確認できる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下に添付の図を参照してこの発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１はこの発明による薬液供給装置をＳｉウエハの洗浄装置に用いた一つの実施形態を示している。
【００２４】
Ｓｉウエハの洗浄装置には主に２種類ある。その一つは、洗浄に使用する薬液の種類によって薬液洗浄槽が別々にあり、Ｓｉウエハはその各種の洗浄槽を洗浄プロセスによって次々と出入れされる、いわゆるバッチ式の洗浄装置である。もう一つは、Ｓｉウエハは一つの洗浄槽を移動せず、薬液が次々と入れ替わる、いわゆるワンバス式の洗浄装置である。
【００２５】
この発明の薬液洗浄装置は、そのどちらの洗浄方式のものにも有効なシステムである。また、洗浄槽への薬液の供給は、洗浄槽の薬液を全て入れ替える場合と、洗浄槽の薬液濃度を安定化するため、不足した薬液を補給する場合がある。この発明の薬液洗浄装置は、そのどちらにも有効なシステムである。
【００２６】
Ｓｉウエハ洗浄装置は、ＳｉウエハＷを収容する洗浄槽１と、洗浄用の薬液、例えば、フッ酸洗浄のための薬液（フッ酸）を貯容する薬液供給タンク２と、薬液供給タンク２の薬液を洗浄槽１に供給するための往復ポンプである電動式ベローズポンプ３とを含む。
【００２７】
電動式ベローズポンプ３は、縦置きされ、図２に示されているように、ポンプストローク方向が鉛直方向になっている。電動式ベローズポンプ３は、ポンプヘッド部４を含むシリンダ形状のポンプハウジング５と、ポンプハウジング５の下部に連結部材６によって取り付けられ、機械室７を画定する気密板８および筐体９とを有する。
【００２８】
ポンプハウジング５のシリンダボア１０内にはベローズ１１が軸線方向（鉛直方向）に伸縮可能に設けられている。ベローズ１１は、伸縮可能な円筒状の薄肉のベローズ壁部１１Ａと、ベローズ壁部１１Ａの上端を閉じる端壁状の可動ピストン部１１Ｂと、ベローズ壁部１１Ａの下端に設けられた円環状の固定リング部１１Ｃとを、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素系樹脂により一体成形されている。
【００２９】
ポンプハウジング５とベローズ１１は、ポンプヘッド部４と可動ピストン部１１Ｂとの間に、ポンプ室１２を画定している。ポンプハウジング５には、ポンプ室１２の下部領域に連通する吸入口１３と、ポンプ室１２の最上部に連通する吐出口１４とが形成されている。ポンプ室１２の上部は円錐形をなし、その中央最上部に吐出口１４が開口している。また、ポンプ室１２の上部円錐形状に倣って可動ピストン部１１Ｂの上面部も円錐形になっている。
【００３０】
ベローズ１１の固定リング部１１Ｃは、ポンプハウジング５と気密板８とに挟まれ、ポンプハウジング５側に気密に固定されている。気密板８にはベローズ内部空間１５の換気通路１６および液漏れ検出通路１７とが形成されている。気密板８には、ベローズ内部空間換気口部材１８と、液漏れ検出器１９が取り付けられている。
【００３１】
ベローズ１１の可動ピストン部１１Ｂの背面側中央にはベローズ駆動軸２０の上端が固定連結されている。ベローズ駆動軸２０は気密板８に形成された貫通孔２１を貫通して機械室７内に突出している。
【００３２】
機械室７には、パルスモータ２２、パルスモータ２２により駆動されるボールねじ装置２３が設けられており、ボールねじ装置２３のねじ軸２４とベローズ駆動軸２０とが同軸連結されている。ねじ軸２４は、モータ駆動で軸線方向に移動し、ベローズ駆動軸２０を直結状態で軸線方向（ポンプストローク方向＝鉛直方向）に駆動する。パルスモータ２２には、位置検出器であるロータリエンコーダ２５が接続されている。
【００３３】
このベローズポンプ３では、ベローズ駆動軸２０の下方向移動（吸入行程）により、ベローズ１１の可動ピストン部１１Ｂが降下移動し、ベローズ１１の収縮に伴い吸入口１３よりポンプ室１２に薬液等の流体を吸入し、ベローズ駆動軸２０の上方向移動（吐出行程）により、ベローズ１１の可動ピストン部１１Ｂが上昇移動し、ベローズ１１の伸長に伴いポンプ室１２内の流体を吐出口１４へ吐出する。
【００３４】
このベローズポンプ３の吸入・吐出量は、可動ピストン部１１Ｂの軸線方向移動量、換言すれば、ボールねじ装置２３によるベローズ駆動軸２０の駆動量により、定量的に可変設定することができる。可動ピストン部１１Ｂの軸線方向の移動位置はロータリエンコーダ２５によって検出される。
【００３５】
なお、機械室７には光電式のホームセンサ２６が設けられている。また、筐体９には、機械室換気口部材２７や機械室圧力逃がし弁２８等が取り付けられている。
【００３６】
ベローズポンプ３の吸入口１３は吸入管３１によって薬液供給タンク２の底部に接続されている。吸入管３１には薬液吸入用の電磁開閉バルブＶ１（図１参照）が取り付けられている。ベローズポンプ３の吐出口１４には吐出管３２が接続されている。吐出管３２は、図１に示されているように、二股分岐し、分岐した一方に薬液吐出用の電磁開閉バルブＶ２、薬液供給管３３が接続され、他方に気泡排出用の電磁開閉バルブＶ３、薬液戻し管３４が接続されている。
【００３７】
電磁開閉バルブＶ２、Ｖ３は、互いに相反する関係で開閉し、ベローズポンプ３の吐出口１４を薬液供給管３３と薬液戻し管３４の何れか一方に切換接続する流路切換手段をなす。
【００３８】
薬液供給管３３は供給管３５によって洗浄槽１に接続され、薬液戻し管３４はフィルタ３６を介して薬液供給タンク２の上部に接続されている。
【００３９】
吐出管３２の電磁開閉バルブＶ３には気液センサ３７が設けられている。気液センサ３７は、光電式、超音波式のものであり、吐出口１４より吐出する流体が気体を含む非液相であるか、気体（気泡）を含まない液相であるかを検出する。
【００４０】
供給管３５には、希釈水供給系として純水供給管３８が接続され、純水供給源３９より純水が電磁開閉バルブＶ７の開閉によって秤量供給されるようになっている。
【００４１】
洗浄槽１にはオーバフロー槽４０が設けられている。オーバフロー槽４０と供給管３５とが循環用配管４４によって接続されて、槽溶液循環系をなしており、循環用配管４４の途中に、電磁開閉バルブＶ４、濃度センサ４１、循環用ポンプ４２、フィルタ４３が介設されている。濃度センサ４１は、循環用配管４４において洗浄槽１の薬液濃度を検出する。
【００４２】
また、オーバフロー槽４０には溶液排出管４５が接続されている。溶液排出管４５には、電磁開閉バルブＶ５、比抵抗センサ４６が接続されている。比抵抗センサ４６は溶液排出管４５を流れる溶液の比抵抗を計測検出する。洗浄槽１はホッパ槽状をなし、底部に廃液管４７、電磁開閉バルブＶ６を接続されている。
【００４３】
気液センサ３７、濃度センサ４１、比抵抗センサ４６の各センサ出力は制御装置５０に入力される。制御装置５０は、コンピュータ式のものであり、ロータリエンコーダ２５、気液センサ３７、濃度センサ４１、比抵抗センサ４６よりの各センサ出力と操作盤５１よりの指令信号に応じて電磁開閉バルブＶ１〜Ｖ７の開閉とべローズポンプ３、循環ポンプ４２の動作（駆動）を制御する。
【００４４】
制御装置５０は、基本的には、べローズポンプ３の吐出口１４より吐出する流体が気体を含む非液相であることが気液センサ３７によって検出されている時には、電磁開閉バルブＶ３を開いて電磁開閉バルブＶ２を閉じ、べローズポンプ３の吐出口１４より吐出する流体が気体を含まない液相であることが気液センサ３７によって検出されている時には、電磁開閉バルブＶ３を閉じて電磁開閉バルブＶ２を開く制御を行う。
【００４５】
つぎに、フッ酸洗浄における使用例に基づいて動作を図３に示されているタイムチャートを参照して説明する。
（１）スタート時、制御装置５０は、電磁開閉バルブＶ３、電磁開閉バルブＶ２を閉じ、電磁開閉バルブＶ１を開き、その状態で、べローズポンプ３を吸入動作させる。これにより、フッ酸液の入った薬液供給タンク２からフッ酸液がべローズポンプ３のポンプ室１２内に吸入する。
【００４６】
初期状態においては、ポンプ室１２内は空で、配管中も空の状態なので、薬液供給タンク２からフッ酸液をべローズポンプ３内に吸入する時、多くの空気や一部気化したフッ酸液がポンプ室１２の上部に溜まる。
【００４７】
（２）次に、電磁開閉バルブＶ２、電磁開閉バルブＶ１を閉じ、電磁開閉バルブＶ３を開き、その状態でべローズポンプ３を吐出動作させる。ポンプ室１２の上部に溜った気体は、べローズポンプ３の吐出動作によってポンプ室最上部の吐出口１４より気液センサ３７を経て電磁開閉バルブＶ３を通過し、さらにフィルタ３６を経て薬液供給タンク２に戻る。
【００４８】
なお、電磁開閉バルブＶ３から薬液戻し管３４及びフィルタ３６を介して薬液供給タンク２に至る経路に代えて、電磁開閉バルブＶ３から廃液管４８を介して廃液タンク４９に至る経路を設けて、ポンプ室１２の上部に溜った気体を廃液タンク４９に戻すようにしてもよい。
【００４９】
（３）さらに、べローズポンプ３を吐出動作させると、ポンプ室上部の気体は全て吐き出され、ポンプ室１２内は全てフッ酸液によって満たされる。やがて、ポンプ上部の配管（吐出管３２）もフッ酸液で満たされる。気液センサ３７によってポンプ上部の配管中が完全にフッ酸液によって満たされたことが検出されると、気液センサ３７からの信号によって、制御装置５０は、ベローズポンプ３を止め、電磁開閉バルブＶ３を閉じる。
【００５０】
（４）初期状態において、ポンプ室１２内や配管中に、大量の気体があった場合には、ポンプ室１２内の気体を押し出した後に、十分な液吐出量が確保できない場合がある。制御装置５０は、べローズポンプ３のべローズ位置（可動ピストン部１１Ｂの移動位置）を常時監視しているので、その気体押出完了位置から吐出可能な液量を求めることができ、十分な吐出量が確保できない場合には、再度（１）〜（３）の吸入行程を繰り返すことによって、ポンプ室１２内を満液にすることができ、十分な吐出量を確保することができる。
【００５１】
万一、数回吸入行程を繰り返しても、ポンプ室１２内を満液にすることができない場合は、薬液供給タンク２が空か、配管の外れや漏れや、その他の異常が考えられるので、異常警報を出すことも可能である。
【００５２】
（５）通常は、一旦ポンプ室１２内や配管中が薬液によって満たされると、ポンプ室上部に溜まる気体の量は多くないため、気液センサ３７によってポンプ上部の配管中が完全にフッ酸液によって満たされたことが検出された時点、すなわち、気液センサ３７によって非液相であることが検出されている状態より液相であることが検出される状態に変化した時点にロータリエンコーダ２５によって検出されるピストン移動位置を基準として吐出薬液量を制御する。
【００５３】
すなわち、気液センサ３７によってポンプ上部の配管中が完全にフッ酸液によって満たされたことが検出された時点の制御装置５０が記憶しているピストン移動位置と必要吐出量からべローズポンプ３の動作ストロークが決まる。また時間当たりの吐出量についても、ベローズポンプ３の動作速度を決めることによって正確に行うことができる。
【００５４】
（６）スタート時には、上記の（１）の動作と同時に、電磁開閉バルブＶ７を開いて純水供給源３９から洗浄槽１内に所定流量の純水が注水される。
（７）洗浄槽１内に純水が満たされると、ウエハカセット５２に入った複数枚（通常１カセット２５枚）のＳｉウエハＷが洗浄槽１内に入れられる。
【００５５】
（８）次に、電磁開閉バルブＶ４が開き、循環ポンプ４２が駆動し、洗浄槽１内の液が循環する。
（９）この状態で、電磁開閉バルブＶ２を関き、べローズポンプ３により所定量のフッ酸液を所定流量で吐出させると、洗浄槽１内は、徐々にフッ酸濃度が上がり、最終的に所定のフッ酸濃度になる。
【００５６】
（１０）洗浄槽１のフッ酸濃度は、光学式の濃度センサ４１によってモニタされていてるから、洗浄槽１のフッ酸濃度が所定濃度に無いときや、フッ酸濃度が変化した時には、純水の補給や薬液の補給が行われる場合もある。
【００５７】
（１１）所定の時間に亘ってフッ酸液による洗浄が行われると、電磁開閉バルブＶ５が開き、同時に電磁開閉バルブＶ７が開き、洗浄槽１に純水が注水される。これにより、オバーフロー槽４０に溢れた洗浄液は溶液排出管４５より排水され、洗浄槽１のフッ液濃度は徐々に薄くなる。
【００５８】
（１２）この時、洗浄槽１の溶液排出管４５に付けられた比抵抗センサ４６によって洗浄槽１から排出する溶液の比抵抗を測定し、フッ酸濃度の低下によって洗浄槽１内の液の比抵抗が注入している純水の比抵抗と同じ程度の値になったことによって洗浄終了したことを確認する。これで、ＳｉウエハＷのフッ酸液による洗浄が終わり、ＳｉウエハＷを洗浄槽１より搬出する。その後、電磁開閉バルブＶ６が開いて洗浄槽１の液を排出する。
【００５９】
この洗浄工程は、本発明の薬液供給装置を説明するための一例であって、この薬液供給装置の使用法としてこれに限定されるものではない。また、薬液供給装置は、フッ酸液以外の薬液にも有効で、特に、アンモニアや過酸化水素などのように、気化しやすい液には、特に有効である。
【００６０】
なお、以上の実施形態では、ベローズ１１の伸縮により可動ピストン部１１Ｂを上下動させて薬液等の流体を吸入、吐出する、ポンプストローク方向が鉛直方向になっている縦置きのベローズポンプ３を用いる場合について説明したが、薬液等の流体を吸入、吐出する往復ポンプはベローズポンプ以外のタイプのものであってもよい。
【００６１】
また、往復ポンプの配置は縦置きに限らず横置きであってもよく、同様に、ピストンの往復動によるポンプストロークも上下方向でなく水平方向であってもよく、要は、これから吐出されるポンプハウジング内の薬液等の流体中にある気体（気泡）が、ポンプハウジングの上部に溜まるように構成されてさえいれば、いかなる構造、配置、ポンプストローク方向のものを往復ポンプとして用いてもよいことは、勿論のことである。
【００６２】
【発明の効果】
以上の説明から理解される如く、この発明による薬液供給装置によれば、往復ポンプの吐出口をポンプ室上部にしたことによって気泡をポンプ室の上部に集めることができ、気泡の排出を容易にでき、気化しやすい薬液でも気泡の影響を受けずに正確に秤量して洗浄槽等の処理部へ供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による薬液供給装置をＳｉウエハの洗浄装置に用いた一つの実施形態を示すシステム構成図である。
【図２】この発明による薬液供給装置で使用されるベローズポンプの一つの実施形態を示す断面図である。
【図３】この発明による薬液供給装置をＳｉウエハの洗浄装置に用いた一つの実施形態のタイムチャートである。
【図４】従来の薬液供給装置を示すシステム構成図である。
【符号の説明】
１  洗浄槽
２  薬液供給タンク
３  ベローズポンプ
１１  ベローズ
１２  ポンプ室
１４  吐出口
２２  パルスモータ
２５  ロータリエンコーダ
３３  薬液供給管
３４  薬液戻し管
３７  気液センサ
３９  純水供給源
４１  濃度センサ
４４  循環用配管
４５  溶液排出管
４６  比抵抗センサ
５０  制御装置
Ｖ１〜Ｖ７  電磁開閉バルブ
【図１】
2004273830.tif 000003
【図２】
2004273830.tif 000004
【図３】
2004273830.tif 000005
【図４】
2004273830.tif 000006