(57)【要約】【課題】転動装置用センサ装置の軽量化によって共振周波数を上げて、検出した振動による異常判定の信頼性を向上させること、熱伝導性の向上によって温度検出時における検出応答性を向上させること。【解決手段】転動装置に固定されるセンサケース２６に収容保持された検出素子３０、３１によって転動装置１０の状態を検出する転動装置用センサ装置２０であって、センサケース２６を軽量金属製としたことで、軽量化による共振周波数の上昇が図れ、また、熱伝導性の向上によって温度検出時における検出応答性の向上、検出精度の向上を図ることができる。【選択図】　図１
2004061117.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転動装置に固定されるセンサケースに収容保持された検出素子によって前記転動装置の状態を検出する転動装置用センサ装置であって、
前記センサケースを、軽量金属製としたことを特徴とする転動装置用センサ装置。
【請求項２】
前記軽量金属はアルミニウム合金であることを特徴とする請求項１に記載の転動装置用センサ装置。
【請求項３】
前記軽量金属はチタン合金であることを特徴とする請求項１に記載の転動装置用センサ装置。
【請求項４】
前記軽量金属は、マグネシウム合金であることを特徴とする請求項１に記載の転動装置用センサ装置。
【請求項５】
前記検出素子は、少なくとも、前記センサケースに収容保持された、前記転動装置の振動を検出する振動検出素子を有していることを特徴とする請求項１から４のいずれか１つに記載の転動装置用センサ装置。
【請求項６】
前記検出素子として、少なくとも、前記センサケースに収容保持された、前記転動装置の温度を検出する温度検出素子を有していることを特徴とする請求項１から５のいずれか１つに記載の転動装置用センサ装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１つに記載の転動装置用センサ装置を転動装置に備え、前記転動装置用センサ装置により前記転動装置の状態を検出することを特徴とするセンサ付転動装置。
【請求項８】
前記転動装置は転がり軸受装置であることを特徴とする請求項７に記載のセンサ付転動装置。
【請求項９】
前記転動装置は転動体の転動によって直線的な移動を実現する直動装置であることを特徴とする請求項７に記載のセンサ付転動装置。
【請求項１０】
前記直動装置はボールねじであることを特徴とする請求項９に記載のセンサ付転動装置。
【請求項１１】
前記直動装置はリニアガイドであることを特徴とする請求項９に記載のセンサ付転動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、転動装置用センサ装置及びセンサ付転動装置に係り、転がり軸受装置や直動装置等の転動装置の運転状態の検知、機械装置等の予防保全、また電気情報機器等の軸受の異常検知等に用いられる。特に、信頼性が要求される鉄道車両、自動車、搬送車等の軸受装置やギヤボックス等の予防保全に用いられる転動装置用センサ装置及びセンサ付転動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、鉄道車両の車軸用軸受装置等の大型の転動装置では、構成部品の摩耗や破損による不都合の発生を未然に防止すると同時に、手間のかかる分解検査等の頻度を削減して維持管理費の軽減を目的として、転動装置の状態を検出する転動装置用センサ装置を装備したセンサ付転動装置の開発が盛んになっている。
【０００３】
図４は、そのようなセンサ付転動装置の従来例を示したものである。
このセンサ付転動装置８０は、鉄道車両の車軸１５を回転自在に支持する転がり軸受装置で、車軸１５の軸端において軸方向に間隔をあけて配された一対の転がり軸受８１，８１と、各転がり軸受８１，８１の外輪８２，８２に外嵌したハウジング８８と、ハウジング８８に取り付けられた転動装置用センサ装置９０とを備えた構成になっている。
【０００４】
転動装置用センサ装置９０は、前記ハウジング８８に固定されるセンサケース９１と、このセンサケース９１に収容保持される検出素子１００とを備えた構成である。
センサケース９１は、前記検出素子１００を収容する中空の本体９１ａと、この本体９１ａの外周に突設された取付け用フランジ部９１ｂとを、鉄やステンレス等の重量金属によって一体形成したもので、取付け用フランジ部９１ｂをねじ９９によってハウジング８８に締結することで、ハウジング８８に固定されている。
【０００５】
検出素子１００は、この例の場合は、転がり軸受８１の振動を検出する振動検出素子で、前記本体９１ａ内に固定されたプリント基板９５に実装されている。
このプリント基板９５上には、振動検出素子１００の他に、軸受装置の異常検出の信頼性を向上させるために追加される他の検出素子や、基板上に搭載した素子等を外部ケーブルに電気接続するための回路部品等が搭載される。
プリント基板９５上の回路や素子は、センサケース９１のケーブル取出口９１ｃを挿通するケーブル９８を介して、外部の電源や演算処理装置等に接続される。
【０００６】
以上の転動装置用センサ装置９０は、振動検出素子１００の出力を予め設定した基準値と比較したり、周波数を分析したりすることによって、転がり軸受８１がその構成部品の摩耗や破損等で通常と異なる振動を生じた時にそれを検出可能にしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、転動装置用センサ装置９０に使用している振動検出素子１００の出力信号に基づく異常判定の精度を向上させるためには、判定用に使用する振動周波数域の波形が共振によって乱れることを抑止することが好ましく、そのためには、転動装置用センサ装置９０の軽量化により共振周波数を上げて、高次の周波数まで安定した検出を可能にすることが有効である。
ところが、従来の転動装置用センサ装置９０は、センサケース９１が鉄等の重量金属製であるため、転動装置用センサ装置９０全体としての軽量化が難しい。そのため、軽量化によって共振周波数を上げることができず、結局、検出素子１００の出力を処理する演算処理装置で、共振の影響を排除する処理を実施しなければならず、演算処理が複雑化したり、演算処理装置への負担が大きくなっていた。
【０００８】
また、センサ付転動装置が、自動車や鉄道車両等の車軸を支持する軸受装置の場合は、ばね下荷重の軽減等によって車両性能の向上を図ることから、転動装置及び転動装置用センサ装置のそれぞれの軽量化が重要課題となるが、前述した重量金属製のセンサケース９１はこのような軽量化を困難にする原因となっていた。
【０００９】
また、転動装置が転がり軸受装置の場合、転動装置用センサ装置９０に装備する検出素子として温度検出素子を追加すると、動作温度における異常の有無と、振動の異常の有無とを照合することで、更に異常の有無の判定精度を向上させることができる。
このように、温度検出素子を装備して転動装置の温度を監視する場合には、転動装置の温度変化が、センサケース９１上での熱伝導によって鈍化することが無いように、センサケース９１に優れた熱伝導性を付与することが望ましいが、従来センサケース９１に使用されている鉄系材料は、他の金属材料と比較して特に熱伝導性が優れるとは言い難く、改良の余地があった。
【００１０】
本発明は、前述した問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、軽量化によって共振周波数を上げて、判定用に使用する振動周波数域の波形が共振によって乱れることを防止し、転動装置の発生する振動から異常判定を行う場合の精度向上を図ることができ、また、センサ付転動装置がばね下となる場合に、転動装置用センサ装置の軽量化によるばね下荷重の軽減を図ることができ、さらに、センサケースに優れた熱伝導性を持たせて、転動装置用センサ装置に温度検出素子が装備されている場合に、正確に且つ応答性良く転動装置の温度変化を検出可能で、転動装置の温度変化を転動装置における異常の有無の判定に活かすことができる転動装置用センサ装置及びセンサ付転動装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、下記構成により達成される。
（１）　転動装置に固定されるセンサケースに収容保持された検出素子によって前記転動装置の状態を検出する転動装置用センサ装置であって、
前記センサケースを、軽量金属製としたことを特徴とする転動装置用センサ装置。
（２）　前記軽量金属はアルミニウム合金であることを特徴とする上記（１）に記載の転動装置用センサ装置。
（３）　前記軽量金属はチタン合金であることを特徴とする上記（１）に記載の転動装置用センサ装置。
（４）　前記軽量金属はマグネシウム合金であることを特徴とする上記（１）に記載の転動装置用センサ装置。
（５）　前記検出素子として、少なくとも、前記転動装置の振動を検出する振動検出素子が前記センサケースに収容保持されていることを特徴とする上記（１）から（４）のいずれか１つに記載の転動装置用センサ装置。
（６）　前記検出素子として、少なくとも、前記転動装置の温度を検出する温度検出素子が前記センサケースに収容保持されていることを特徴とする上記（１）から（５）のいずれか１つに記載の転動装置用センサ装置。
（７）　上記（１）から（６）のいずれか１つに記載の転動装置用センサ装置を転動装置に備え、前記転動装置用センサ装置により前記転動装置の状態を検出することを特徴とするセンサ付転動装置。
（８）　前記転動装置は転がり軸受装置であることを特徴とする上記（７）に記載のセンサ付転動装置。
（９）　前記転動装置は転動体の転動によって直線的な移動を実現する直動装置であることを特徴とする上記（７）に記載のセンサ付転動装置。
（１０）　前記直動装置はボールねじであることを特徴とする上記（９）に記載のセンサ付転動装置。
（１１）　前記直動装置はリニアガイドであることを特徴とする上記（９）に記載のセンサ付転動装置。
【００１２】
上記構成の転動装置用センサ装置及びセンサ付転動装置によれば、検出素子を収容保持して転動装置に固定される転動装置用センサ装置のセンサケースが、軽量金属製となって、センサケースが重量金属製であった従来の転動装置用センサ装置と比較すると、センサケースの軽量化によって共振周波数を上げることができる。
従って、判定用に使用する振動周波数域の波形が共振によって乱れることを防止し、転動装置の発生する振動から異常判定を行う場合の精度向上を図ることができる。
また、センサ付転動装置がばね下荷重となる場合に、転動装置用センサ装置の軽量化によるばね下荷重の軽減を図ることもできる。
【００１３】
また、センサケースに使用する軽量金属として、例えば、アルミニウム合金やチタン合金等を使用すると、これらの軽量金属は従来の鉄系材料と比較して熱伝導性に優れるため、センサケースに優れた熱伝導性を持たせて、転動装置用センサ装置に温度検出素子が装備されている場合に、正確に、かつ、応答性良く転動装置の温度変化を検出可能になり、転動装置の温度変化を転動装置における異常の有無の判定に活かして、異常の有無の判定の信頼性を更に向上させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳しく説明する。
図１に、本発明の第１の実施の形態のセンサ付転動装置１０を示す。
このセンサ付転動装置１０は、軸１５を回転自在に支持する転がり軸受装置で、軸１５の軸端において軸方向に間隔をあけて配された一対の転がり軸受（ここでは玉軸受）１１，１１と、これらの転がり軸受１１，１１の外輪１２，１２に外嵌されたハウジング１８とを備えた転がり軸受装置１７に、転動装置用センサ装置２０を取り付けた構成になっている。なお、転がり軸受の内輪１３，１３に、軸１５が内嵌されている。
【００１５】
ここでは、外輪１２，１２及びハウジング１８が外方部材かつ静止部材として機能し、内輪１３，１３及び軸１５が内方部材かつ可動部材として機能し、両者の間には転動体（ここでは玉）１４が配されている。
【００１６】
ハウジング１８は円筒形状に形成されており、一方の（図中右方の）転がり軸受１１よりも軸方向に突出して延びており、その端部には、エンドカバー１９が固定されている。軸１５は、ハウジング１８内で、エンドカバー１９に至る手前で終端している。ハウジング１８の転動装置用センサ装置取付部は、円筒状でも、平面状でもよい。
【００１７】
転動装置用センサ装置２０は、転がり軸受１１の状態を検出するための複数種の検出素子をプリント基板上に搭載したセンサユニット２４と、このセンサユニット２４を収容保持するセンサケース２６と、センサケース２６を挿通して前記検出素子を外部の制御装置や演算処理装置に接続するケーブル２３とを備えた構成である。
【００１８】
センサケース２６は、上方に開放した収容部を持つケース本体２１と、ケース本体２１の開放部を覆うケースカバー２２とから構成されている。そして、ケース本体２１には、ケーブル２３を挿通するケーブル取出口（図示略）が装備されている。
【００１９】
本実施の形態の場合、センサケース２６を構成するケース本体２１とケースカバー２２は、軽量金属の一つであるアルミニウム合金製である。
本実施の形態で使用するアルミニウム合金は、比重が２．８程度で、好ましくは、Ａ２０１７，Ａ２０２４，Ａ７０７５等のジュラルミン系のアルミニウム合金を使用すると良い。また耐食性が必要な場合は、Ａ６０６１，Ａ６０６３等が良い。
アルミニウム合金は、鉄系の金属材料と比較して、軽量で、且つ、熱伝導性が優れるという特質を持つが、更に、ジュラルミン系のアルミニウム合金の場合は、機械的強度も大きく、頑強なセンサケースを得ることができる。
【００２０】
ケース本体２１は、図２（Ａ）に示すように、ハウジング１８外面上に隙間無く置かれた取付板２１ａと、取付板２１ａに立設された側板２１ｂと、取付板２１ａと同様にハウジング１８外面上に隙間無く置かれて側板２１ｂより外周側に突出したフランジ２１ｃとを有している。側板２１ｄの内周面にはセンサケース内部に隆起したし支持台２１ｄが形成され、支持台にプリント基板２５が図示しないねじにより取り付けられている。プリント基板２５には、複数の検出素子３０、３１が搭載されている。
取付板２１ａの取付面（ハウジング１８外面に相対する面）は、熱伝達や、振動伝達を良好にするために、ハウジング１８外面に倣って隙間なく接触する形状に設定されている。
【００２１】
上記のセンサユニット２４において、検出素子３０は転がり軸受１１又はその構成部品に発生する振動を検出する振動検出素子（加速度センサ）である。また、検出素子３１は、転がり軸受１１の温度を検出する温度検出素子である。
センサユニット２４のプリント基板２５上には、上記の振動検出素子３０と、温度検出素子３１の他に、各検出素子からの信号を処理するための電子部品や、各検出素子にケーブル２３を接続するための回路部品等が、適宜実装される。
【００２２】
振動検出素子３０としては、シリコン加速度センサを用いることもできる。これは、シリコン・マイクロマシン部品（機械素子）を電子回路と同一のシリコン基板上に集積することにより、小型化、高性能化及び低コスト化を図ったものである。シリコン加速度センサは、フォトリソグラフィなどＩＣの製造技術を利用して製造される。
しかしシリコン加速度センサに限定はされず、振動検出素子３０として、圧電素子を使用したバイモルフ型の振動センサや、圧電素子と重錘を組合せた振動センサ、あるいは片持ちはり構造の振動センサ等のほか、圧電素子の代わりにひずみゲージを利用した振動センサなどを用いてもよい。
また、表面実装タイプの振動検出素子でなく、リードタイプの振動検出素子でもよい。
【００２３】
本実施の形態の場合、センサユニット２４のプリント基板２５は、板厚方向が検出する振動の方向（図の矢印Ｖ）と直交するように設定されている。
【００２４】
ケース本体２１内にプリント基板２５を固定するために、ねじや接着剤を用いる他に、エポキシ樹脂などのモールド材をケース本体２１内にモールドして固定してもよい。また、ねじで固定した場合、その後にエポキシ樹脂などでモールドしてもよい。また、防水のため、軟らかいシリコン樹脂やシリコンゲルなどを充填してもよい。
なお、エポキシ樹脂のような硬い樹脂でモールドする場合は、検出素子や電子部品部分をシリコン樹脂等のやわらかい樹脂で被覆した後に、モールド材でモールドするのが良い。この際、発泡性の樹脂（発泡性シリコン樹脂など）をやわらかい樹脂の上に覆った後にモールド材でモールドすると、温度変化による熱膨張率差によって発生する圧力を緩和できるので、圧力による検出素子や電子部品の破損を防止できるので、さらに好ましい。なお、発泡性の樹脂そのもので、検出素子や電子部品を覆った後にモールドしても良い。
【００２５】
プリント基板２５上の振動検出素子３０は、ハウジング１８や車軸１５の前記矢印Ｖ方向の振動を検出する。
このように、振動検出の方向をプリント基板２５の板厚方向に対して直交する方向に設定しておくと、プリント基板の板厚方向が検出振動の向きＶに平行になる従来のものと比較して、検出する振動信号からプリント基板２５の曲げ方向の振動を取り除くことができ、プリント基板２５自体の曲げ変形によって振動検出素子３０の検出精度が低下することを防止することができる。
【００２６】
また、振動検出方向は、プリント基板２５の板厚方向と直交する方向であれば、一方向でも、二方向でも、又はそれ以上でもよい。
例えば、図２（Ｂ）に示すように、直交する二方向の振動Ｖ１，Ｖ２を検出するようにできる。このように二方向の振動を検出する場合、その値を合成することで、プリント基板２５の板厚方向と直交する全方向の振動を検出することができる。
【００２７】
なお、センサユニット２４に使用されるプリント基板２５の板厚方向（曲げ方向）の剛性は、一般に、プリント基板２５の板面方向（板厚方向に直交する方向）の伸縮の剛性より小さい。そのため、プリント基板２５の曲げ方向の固有振動数は、板の伸縮方向の固有振動数より低い。
測定しようとしている外部振動にこの固有振動数を含む周波数帯域があると、プリント基板２５が曲げ方向に共振してしまう。従って、振動の検出方向をプリント基板２５の板厚方向に設定している場合は、プリント基板２５の曲げ方向の共振の振動を測定してしまい、本来の振動波形を正確に測定することができない。
それに対し、本実施の形態のように、振動検出方向がプリント基板２５の板厚方向と直交する方向に設定されていると、曲げ方向の振動は検出しないので、本来の振動波形を正確に測定することができる。
【００２８】
なお、プリント基板２５の曲げ方向の固有振動数は、一般に１〜４ｋＨｚに存在することが多く、測定したい周波数帯域と重複することが多い。
それに対し、プリント基板２５の伸縮方向の固有振動数はその剛性が大きいので、１０ｋＨｚ以上にあることが多く、測定したい周波数帯域より高くなる。したがって、振動検出素子３０の振動検出方向をプリント基板２５の板厚方向と直交する方向に設定することで、測定対象の振動を精度良く測定することができる。
【００２９】
また、上記実施の形態では、センサ付転動装置１０がばね下荷重となる場合に、転動装置用センサ装置２０の軽量化によるばね下荷重の軽減を図ることができる。
【００３０】
また、センサケース２６に使用したアルミニウム合金は、従来の鉄系材料と比較して熱伝導性に優れるため、センサケース２６に優れた熱伝導性を持たせて、転動装置用センサ装置２０に温度検出素子３１が装備されている場合に、正確に且つ応答性良く転動装置の温度変化を検出可能になり、転動装置１０の温度変化を転動装置における異常の有無の判定に活かして、異常の有無の判定の信頼性を更に向上させることができる。
【００３１】
なお、上記実施の形態では、ケーブル２３で信号を取り出していたが、無線などを使用してワイヤレスで信号を伝送してもよい。ワイヤレスの場合は、可動輪側に（可動部材側に）転動装置用センサ装置を設けてもよい。
また、軸受装置１７における転がり軸受１１は、玉軸受に限らず、円筒ころ軸受、円錐ころ軸受や、各種の複列軸受でもよい。
【００３２】
また、以上の転動装置用センサ装置２０では、ケース本体２１内には、検出素子として、振動検出素子３０と温度検出素子３１とを装備したが、装備する検出素子は上記実施の形態に限定するものではない。ケース本体２１内に装備する検出素子は、振動検出素子３０及び温度検出素子３１の少なくともいずれか１つが装備されていれば、センサケースを軽量合金製としたことによる効果を得ることができる。そして、必要に応じて、上記実施の形態のように、振動検出素子３０と温度検出素子３１の双方を装備した構成にしたり、または、速度検出素子や歪み検出素子等を検出素子として組み合わせることも可能である。速度検出素子を備えることにより、振動と回転速度、温度と回転速度、さらには振動と温度と回転速度の複数の物理量を測定でき、回転速度に依存した振動及び温度として判断できるので、それらの値が正常であるか異常であるかの判断がより適切にできる。このとき、回転速度は磁束密度の絶対値や変化量に比例する値として出力されるので、センサケースが非磁性材であると、磁束を遮断しないので回転速度が正確に測定できる。アルミニウム合金、チタン合金、マグネシウム合金等の軽量金属は、非磁性材なのでセンサとして速度検出素子を有する場合にはこのような効果も有する。なお、振動検出素子や温度検出素子の電源として、転動装置の相対回転を利用した発電機を有する場合もその発電機は磁束密度の絶対値や変化量に比例した起電力を用いているので、同様に非磁性材である軽量金属を用いることにより効率よく振動検出素子及び温度検出素子への電圧及び電流を供給できる。
【００３３】
さらに、軸受装置１７に限らず、図３に示すように、転動体の転動によって直線的な移動を実現する直動装置であるボールねじ５０に本発明を適用することもできる。
ボールねじ５０では、ナット５１に転動装置用センサ装置６０を取り付けることにより、ねじ軸５２とナット５１との係合部における剥離等の異常を検知することができる。
なお、転動装置用センサ装置６０の取付け相手はナット５１に限らず、ねじ軸５２をサポートしている固定側のサポートユニット５３や単純支持側のサポートユニット５４に取り付けてもよい。ねじ軸５２はロックナット５５により固定側のサポートユニット５３に軸方向に固定されており、カップリング５６を介して結合された駆動モータ５７によって回転する。
【００３４】
また、ボールねじに限らず、リニアガイドやその他の直動装置における可動部やレールに転動装置用センサ装置６０を取り付けることによって、剥離等の異常を検知することもできる。
【００３５】
また、本発明に係る転動装置用センサ装置のセンサケースに使用する軽量金属材料は、上記実施の形態のものに限定するものではない。
例えば、ジュラルミン系のアルミニウム合金を使用する場合でも、Ａ５０５６，Ａ６０６１等の耐食ジュラルミンを使用することで、屋外に晒されるセンサケース２６に耐食性を持たせることができる。
【００３６】
また、センサケース２６をアルミニウム合金で形成する場合には、表面処理として、化学被膜処理又は陽極酸化処理（アルマイト処理）を行うことが好ましい。このような表面処理を施すことで、更に耐食性の向上を図ることができる。また、アルマイト処理を実施する場合に、硬質アルマイト処理を行えば、耐食性を向上させると同時に、耐摩耗性を向上させることもできる。
【００３７】
また、センサケース２６に使用する軽量金属としては、比重が１．８程度のマグネシウム合金や、比重が４．５程度となるチタン合金も選択可能である。
マグネシウム合金の場合は、アルミニウム合金よりもさらに軽量なため、転動装置用センサ装置２０の軽量化を促進することができる。そして、マグネシウム合金を使用する場合も、腐食防止の目的で、陽極酸化処理又は化成処理等の表面処理を実施することが好ましく、耐食性及び耐摩耗性の双方の向上を図る場合には、陽極酸化処理を行うと良い。
チタン合金の場合は、比重がアルミニウム合金よりも大きいため、軽量化の度合は多少小さくなるものの、チタン合金自体が耐食性に優れるため、耐食性の向上を目的とした表面処理を省くことができる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明の転動装置用センサ装置及びセンサ付転動装置によれば、転動装置用センサ装置のセンサケースが軽量金属製となって、転動装置用センサ装置が軽量化されたため、センサ付転動装置がばね下荷重となる場合に、転動装置用センサ装置の軽量化によってばね下荷重の軽減を図ることができる。
【００３９】
また、転動装置用センサ装置のセンサケースをアルミニウム合金製、或いはチタン合金製にすることで、鉄系材料を使用した従来のものより、優れた熱伝導性を確保して、転動装置用センサ装置に温度検出素子が装備されている場合に、正確に、かつ、応答性良く転動装置の温度変化を検出することが可能になり、転動装置の温度変化によって転動装置の異常の有無の判定をすることで、転動装置用センサ装置の信頼性を更に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るセンサ付転動装置の第１の実施の形態の縦断面図である。
【図２】図１に示したセンサ付転動装置における転動装置用センサ装置の拡大図である。
【図３】本発明が適用されるボールねじを示す図である。
【図４】従来のセンサ付転動装置の断面図である。
【符号の説明】
１０　　　　　　　センサ付軸受装置（センサ付転動装置）
１１　　　　　　　転がり軸受
１２　　　　　　　外輪
１３　　　　　　　内輪
１５　　　　　　　軸
１７　　　　　　　転がり軸受装置（転動装置）
２０　　　　　　　転動装置用センサ装置
２１　　　　　　　ケース本体
２２　　　　　　　ケースカバー
２３　　　　　　　ケーブル
２４　　　　　　　センサユニット
２５　　　　　　　プリント基板
２６　　　　　　　センサケース
３０　　　　　　　振動検出素子
３１　　　　　　　温度検出素子
５０　　　　　　　ボールねじ
６０　　　　　　　転動装置用センサ装置
【図１】
2004061117.tif 000003
【図２】
2004061117.tif 000004
【図３】
2004061117.tif 000005
【図４】
2004061117.tif 000006