(57)【要約】【課題】分割型の保持器を簡便に組み立てられるようにして、転動体の脱落が発生しない転がり軸受をより安価に製造する。【解決手段】円環状の保持リング１３の側面から複数のセパレータ１４が一体に突設されかつこの各セパレータ１４間で転動体７収納するための収納凹部１５が形成されている第一分割体１１と、保持リング１３と同径の円環状の閉塞リング１６を有する第二分割体１２と、この第二分割体１２を第一分割体１１に同軸心状に連結するための連結手段１７とを備えており、第一及び第二分割体１１，１２の少なくとも一方が固体潤滑性のある材料で形成されている転がり軸受用保持器において、前記連結手段１７を、セパレータ１４の先端部を閉塞リング１６側に向かって押し込むことによって同閉塞リング１６に引っ掛かって抜け止めされるよう当該セパレータ１４の先端部に形成された掛止突起１８により構成する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円環状の保持リング（１３）の側面から複数のセパレータ（１４）が一体に突設されかつこの各セパレータ（１４）間で転動体（７）を収納するための収納凹部（１５）が形成されている第一分割体（１１）と、前記保持リング（１３）と同径の円環状の閉塞リング（１６）を有する第二分割体（１２）と、この第二分割体（１２）を前記第一分割体（１１）に同軸心状に連結するための連結手段（１７）とを備えており、前記第一及び第二分割体（１１，１２）の少なくとも一方が固体潤滑性のある材料で形成されている転がり軸受用保持器において、
前記連結手段（１７）は、前記セパレータ（１４）の先端部を閉塞リング（１６）側に向かって押し込むことによって同閉塞リング（１６）に引っ掛かって抜け止めされるよう当該セパレータ（１４）の先端部に形成された掛止突起（１８）から構成されていることを特徴とする転がり軸受用保持器。
【請求項２】
掛止突起（１８）は、閉塞リング（１６）の径方向に弾性変形自在となるようにセパレータ（１４）の先端に一体形成された胴部（１９）と、前記閉塞リング（１６）の径内側縁に掛止可能となるように前記胴部（１９）の先端に一体形成された掛止フック（２０）と、先端側に向かうに従って径内側に傾斜するように前記掛止フック（２０）に形成されたカム面（２１）と、を備えている請求項１に記載の転がり軸受用保持器。
【請求項３】
閉塞リング（１６）の径内側縁における胴部（１９）と対応する位置に当該胴部（１９）が丁度嵌り込む収納凹部（２２）が形成されている請求項２に記載の転がり軸受用保持器。
【請求項４】
内側レース（３）を内周面に有する外輪（４）と、外側レース（５）を外周面に有する内輪（６）と、前記内側レース（３）と外側レース（５）に嵌り込んだ状態で前記外輪（４）と内輪（６）に転動自在に接する複数の転動体（７）と、この各転動体（７）の周方向間隔を保持するための保持器（１）と、を備えている転がり軸受において、
前記保持器（１）は請求項１〜３の何れかに記載の保持器からなることを特徴とする転がり軸受。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体製造装置に使用される転がり軸受とその保持器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置においては、軸受部分から潤滑剤の蒸発や散乱が発生すると、半導体製品に致命的な欠陥をもたらす原因になることから、転がり軸受に液体潤滑剤を使用することができず、このため、固体潤滑性のある材料で形成された保持器を有する転がり軸受を使用するのが一般的である。もっとも、固体潤滑性のある材料は脆く割れやすい、変形しやすい等の問題がある。
かかる固体潤滑性のある保持器としては、通常、一体型のものが使用されており、この一体型の保持器は、転動体の直径よりも小さい開口のポケット部を周方向等間隔おきに有する冠形状のリング部材よりなり、その各ポケット部にそれぞれ転動体を強制的に嵌め込むことにより、各転動体間の間隔を保持するようにしている（特許文献１参照）。
【０００３】
一方、固体潤滑性のある保持器として分割型のものもあり、この分割型の保持器は、半円状凹部を周方向等間隔おきに有する一対の分割体を備えており、この両分割体同士を多数のリベットで一体に結合することにより、前記各半円状凹部同士を互いに接合してなる複数の円形のポケット部にそれぞれ転動体を収納し、各転動体間の間隔を保持するようにしている（特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平７−２１７６６２号公報（２〜３欄）
【特許文献２】
特開平７−２６９５７２号公報（請求項１）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の保持器のうち、一体型においては、保持器のポケット部に転動体を強制的に嵌め込む際に、そのポケット部の開口部分が塑性変形を起こして開いたままの状態になり、これが原因で転動体の脱落が発生することがある。
一方、分割型の場合は、そのような不都合はない反面、分割体同士を結合する手段として多数のリベットを採用していることから、保持器の組み立て手間が多く、この点で転がり軸受の製造コストが高くなるという欠点がある。また、保持器全体を固体潤滑性のある材料で形成した場合、リベットの締め込み時に保持器が割れてしまう可能性もある。
【０００６】
本発明は、このような実情に鑑み、分割型の保持器を簡便に組み立てられるようにして、転動体の脱落が発生しない転がり軸受をより安価に製造することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明は次の技術的手段を講じた。
すなわち、本発明は、円環状の保持リングの側面から複数のセパレータが一体に突設されかつこの各セパレータ間で転動体を収納するための収納凹部が形成されている第一分割体と、前記保持リングと同径の円環状の閉塞リングを有する第二分割体と、この第二分割体を前記第一分割体に同軸心状に連結するための連結手段と、を備えている転がり軸受用保持器において、前記連結手段は、前記セパレータの先端部を閉塞リング側に向かって押し込むことによって同閉塞リングに引っ掛かって抜け止めされるよう当該セパレータの先端部に形成された掛止突起から構成されていることを特徴とするものである。
【０００８】
この場合、セパレータの先端部に形成された掛止突起が、そのセパレータの先端部を閉塞リング側に向かって押し込むことによって同閉塞リングに引っ掛かって抜け止めされるようになっているので、各掛止突起を閉塞リングに向かって押し付けるだけで、第一分割体と第二分割体とをワンタッチで連結することができる。このため、分割体同士をリベットで結合させている従来の場合に比べて、分割体同士をより簡単に結合させることができ、分割型の保持器の組み立て作業がより簡便になる。また、組み立て時のリベット締め込みに伴う保持器の割れが発生することもない。
【０００９】
上記の作用を奏する掛止突起としては、より具体的には、閉塞リングの径方向に弾性変形自在となるようにセパレータの先端に一体形成された胴部と、前記閉塞リングの径内側縁に掛止可能となるように前記胴部の先端に一体形成された掛止フックと、先端側に向かうに従って径内側に傾斜するように前記掛止フックに形成されたカム面と、を備えたものを採用することができる。
【００１０】
そして、かかる掛止突起を採用する場合において、閉塞リングの径内側縁における胴部と対応する位置に当該胴部が丁度嵌り込む収納凹部を形成しておけば、各掛止突起の胴部を収納溝部に収納させた状態でその掛止突起の掛止フックを閉塞リングに引っ掛けることで、第二分割体が第一分割体に対して周方向に相対移動して掛止フックが不意に外れてしまうのが未然に防止され、この点で転がり軸受の耐久性を向上することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
図２は、本発明に係る保持器１を有する固体潤滑タイプの転がり軸受２の断面図であり、この軸受２は、例えば半導体製造装置のディスク回転部や搬送部等の清浄な環境を必要とする部位に使用される。
図２に示すように、本実施形態の転がり軸受２は、内側レース３を内周面に有する外輪４と、外側レース５を外周面に有する内輪６と、内側レース３と外側レース５に嵌り込んだ状態で外輪４と内輪６に転動自在に接する複数の転動体７と、この各転動体７の周方向間隔を保持するための保持器１とを備えている。
【００１２】
このうち、内側レース３と外側レース５は、球状の転動体７とほぼ同じ曲率で湾曲した断面形状の溝部よりなり、各転動体７がそれぞれ両レース３，５に嵌め込まれることにより、外輪４と内輪６の軸心方向（図２の左右方向）の相対移動が規制されている。なお、転動体７は、鋼球又はセラミックボール等の球状体よりなる。また、図示していないが、これらの両レース３，５及び転動体７の表面には、四フッ化エチレン樹脂、グラファイト、二硫化モリブデン、二硫化タングステン等よりなる固体潤滑膜が形成され、これにより、外輪４及び内輪６と転動体７との間の潤滑作用を長期間に渡って維持するようにしている。
【００１３】
一方、本実施形態の保持器１は、軸心方向に分割された表裏一対の第一分割体１１と第二分割体１２とからなる分割型のものであり、この各分割体１１，１２は、四フッ化エチレン樹脂、グラファイト、二硫化モリブデン、二硫化タングステン等の固体潤滑性のある材料を含有する合成樹脂で構成されている。なお、いずれか一方の分割体１１，１２のみに固体潤滑性を付与してもよい。図１に示すように、この各分割体１１，１２のうち、第一分割体１１は、円環状の保持リング１３と、この保持リング１３の側面から一体に突設された四角柱状の複数のセパレータ１４を備え、この各セパレータ１４間で前記転動体７を収納するための収納凹部１５が形成されている。
【００１４】
これに対して、第二分割体１２は、上記保持リング１３と同径の円環状の閉塞リング１６のみからなり、この閉塞リング１６には上記セパレータ１４は突設されていない。本実施形態の保持器１は、第二分割体１２を第一分割体１１に同軸心状に連結するための連結手段１７を備えており、この連結手段１７は各セパレータ１４の先端から突設された掛止突起１８よりなる。
【００１５】
そして、本実施形態の掛止突起１８は、閉塞リング１６の径方向に弾性変形自在となるようにセパレータ１４の先端に一体形成された胴部１９と、閉塞リング１６の径内側縁に掛止可能となるように胴部１９の先端に一体形成された掛止フック２０と、先端側に向かうに従って径内側に傾斜するように掛止フック２０に形成されたカム面２１とを備えている。
【００１６】
従って、セパレータ１４の先端部を閉塞リング１６側に向かって押し込むようして両分割体１１，１２を互いに接合させると、掛止突起１８のカム面２１が閉塞リング１６の径内側縁に当接して掛止突起１８の胴部１９が径内側に弾性変形し、その後、カム面２１が終焉した時点で胴部１９が径外側に復元変形することにより、掛止突起１８のフック２０が閉塞リング１６の径内側縁に引っ掛かって抜け止めされるようになっている。
【００１７】
このように、本実施形態に係る保持器１によれば、各掛止突起１８を閉塞リング１６に向かって押し付けるだけで、第一分割体１１と第二分割体１２とをワンタッチで連結することができるので、分割体同士をリベットで結合させている従来の場合に比べて、分割体１１，１２同士をより簡単に結合させることができ、分割型の保持器１の組み立て作業をより簡便に行うことができる。
【００１８】
また、本実施形態では、閉塞リング１６の径内側縁における各胴部１９と対応する周方向等間隔位置に、その胴部１９の径方向断面高さ以上の径方向深さを有する収納溝部２２が形成されており、各胴部１９を収納溝部２２にそれぞれ収納させた状態で掛止突起１８のフック２０を閉塞リング１６に引っ掛けるようにしている。このため、掛止突起１８を嵌め込んで両分割体１１，１２を結合させた後に、第二分割体１２が第一分割体１１に対して周方向に相対移動することなくなり、このため、掛止フック２０が閉塞リング１６から不意に外れるのを未然に防止することができる。
【００１９】
なお、上記した実施形態はすべて例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって規定され、そこに記載された構成と均等の範囲内のすべての変更も本発明に含まれる。
例えば、図例の実施形態では、第二分割体１２を閉塞リング１６のみから構成し、第一分割体１１の掛止突起１８を閉塞リング１６の径内側縁に引っ掛けるようにしているが、第二分割体１２にもセパレータを形成し、このセパレータに第一分割体１１の掛止突起１８を連結させるようにしてもよい。
【００２０】
また、図３に示すように、第二分割体１２の閉塞リング１６にも掛止突起１８付きのセパレータ１４を形成することにより、第二分割体１２を第一分割体１１と同じ形状及び寸法の部材とし、この両分割体１１，１２を互いのセパレータ１４が周方向に交互に並ぶように連結させて保持器１を組み立てるようにしてもよい。この場合、第一分割体１１と第二分割体１２を同じ部材で構成できるので、部品点数が少なくなって製作コストをより削減することができる。なお、図３に示す変形例では、保持リング１３及び閉塞リング１６の径内側縁に収納凹部２２を形成したものを例示しているが、この収納凹部２２を省略することにしてもよい。
【００２１】
一方、図３に示す変形例では、同じ向きのセパレータ１４，１４間に二つの転動体７，７が収納されることから、玉割リブ２３が保持リング１３及び閉塞リング１６の対向内面に膨出形成されており、これにより、保持器１の組み立て時に二つの転動体７，７が自然に周方向に振り分けられるようになっている。なお、この玉割リブ２３の頂上面はセパレータ１４の先端縁と同じ形状に形成され、第一及び第二分割体１１，１２同士を互いに連結すると、各セパレータ１４の先端縁が玉割リブ２３の頂上面に接合するようになっている。
【００２２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、分割型の保持器を従来より簡便に組み立てることができるので、転動体の脱落が発生しない転がり軸受をより安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】保持器の結合作業を示す組み立て斜視図である。
【図２】固体潤滑タイプの転がり軸受の断面図である。
【図３】保持器の変形例を示す組み立て斜視図である。
【符号の説明】
１      保持器
２      転がり軸受
３      内側レース
４      外輪
５      外側レース
６      内輪
７      転動体
１１      第一分割体
１２      第二分割体
１３      保持リング
１４      セパレータ
１５      収納凹部
１６      閉塞リング
１７      連結手段
１８      掛止突起
１９      胴部
２０      掛止フック
２１      カム面
２２      収納凹部
【図１】
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【図２】
2004232752.tif 000004
【図３】
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