(57)【要約】【課題】基板２０にＤＦＲフィルム２２をラミネ−トするラミネ−ト装置において、レジストが染み出しても圧着ロ−ル１０，１１に付着することなく幅の異なる基板２０でもＤＦＲフィルム２２をラミネ−トできるようにする。【解決手段】ＤＦＲフィルム２２を基板２０に圧着時にＤＦＲフィルム２２の端部２４からにじみ出るレジストを転写させるレジスト付着防止フィルム２を供給することによって、圧着ロ−ル１０，１１にレジストを付着させない。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドライフィルムレジストから保護フィルムを引き剥がす手段と、前記保護フィルムが付いていない前記ドライフィルムレジストを走向する基板に送り込む複数のロ−ラと、送り込まれる前記ドライフィルムレジストを前記基板に押しつけるとともに下側の圧着ロ−ル１０と共働して前記ドライフィルムレジストを挟み前記ドライフィルムレジストを前記基板に被着させる上側の圧着ロ−ルと、前記上側の圧着ロ−ルに押し付けられる前記ドライフィルムレジストと前記上側の圧着ロ−ルとの間に挿入されるとともに前記ドライフィルムレジストの両側の端部からはみ出すレジスト付着防止フィルムを供給するフィルムロ−ルと、前記レジスト付着防止フィルムを巻き取る巻き取りロ−ルとを備えることを特徴とするラミネ−ト装置。
【請求項２】
前記レジスト付着防止フィルムは、前記ドライフィルムレジストの幅より大きい一枚のフィルム部材であることを特徴とする請求項１記載のラミネ−ト装置。
【請求項３】
前記レジスト付着防止フィルムは、二つに分離されるとともに前記ドライフィルムレジストの両側の端部に配設されていることを特徴とする請求項１記載のラミネ−ト装置。
【請求項４】
二つに分離された前記レジスト付着防止フィルムの間隔を調節する間隔調整機構を備えることを特徴とする請求項３記載のラミネ−ト装置。
【請求項５】
前記ドライフィルムレジストを走向する前記基板に送り込む終段のロ−ラから送り出される前記ドライフィルムレジストに張力を与えるバキュ−ムプレ−トを備えることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３または請求項４記載のラミネ−ト装置。
【請求項６】
前記バキュ−ムプレ−トは、金属製であることを特徴とする請求項５記載のラミネ−ト装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性ドライフィルムを基板に重ね接着するラミネ−ト装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、感光性ドライフィルムは、プリント配線基板の金属板やＰＤＰのガラス基板等の金属膜の微細加工に用いられていた。この感光性ドライフィルムは、ベ−スとなるベ−スフィルムに感光性レジストが塗布されたもので、さらに、このベ−スフィルムに塗布された感光性レジストを保護する保護フィルムが貼り付けられている。
【０００３】
図４は従来のラミネ−ト装置の一例を説明するための図である。また、この感光性ドライフィルムは、ドラム状に巻き付けられロ−ル状態で供給もしくは保管されていた。通常、このロ−ル状態の感光性ドライフィルムは、原反ロ−ルと呼ばれていた。
【０００４】
この感光性ドライフィルムレジストを基板にラミネ−トする場合は、図４に示すように、感光性ドライフィルムレジストを巻き付けた原反ロ−ルから感光性ドライフィルムレジストを送り出しロ−ラ１２により保護フィルム２１を剥がす。表面に露呈した感光性ドライフィルムレジスト（以下ＤＦＲと記す）が塗布されたＤＥＲフィルム２２は、基板２０とともに二つの圧着ロ−ル１０，１１に挟まれＤＦＲフィルム２２は基板２０に接着される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したラミネ−タ装置では、高温での圧着を行っているため、ＤＦＲフィルム２２のエッジ部から染み出したレジストが上部の圧着ロ−ル１１に付着し、経時的に作業を行っていくと、染み出したレジストは圧着ロ−ル１１に積層される。
【０００６】
この積層されたレジスト２２ａは、高温での圧着により圧着ロ−ル１１に固着し、除去することが困難となる。このため、この積層されたレジスト２２ａは、他の圧着ロ−ル１１の面より高く凸状に形成されている。その結果、幅の異なる基板でラミネ−ト作業すると、ＤＦＲ面に圧痕が発生する。この圧痕が次工程である露光・現像後に、その部位の剥がれが生じるという問題がある。このことは、幅の異なる基板でのＤＦＲラミネ−ト作業が困難となる。
【０００７】
この問題を解消するラミネ−タが特開２０００−６２０２４号公報に開示されている。このラミネ−タは、ドライフィルムレジストの両端部に対応するロ−ルの表面部位置に全周囲にわたる溝を形成し、この溝にしみ出るレジストを落とし込むことを特徴としている。
【０００８】
しかしながら、このラミネ−タは、溝の位置が限定されているので、幅の異なる基板およびドライフィルムレジストに適用できないという欠点がある。また、溝に落とし込まれたレジストがロ−ルの回転に伴って飛び散りドライフィルムレジスト面を汚染させる懸念がある。
【０００９】
従って、本発明の目的は、レジストが染み出しても圧着ロ−ルに付着することなく幅の異なる基板でもＤＦＲフィルムをラミネ−トできるラミネ−ト装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の特徴は、ドライフィルムレジストから保護フィルムを引き剥がす手段と、前記保護フィルムが付いていない前記ドライフィルムレジストを走向する基板に送り込む複数のロ−ラと、送り込まれる前記ドライフィルムレジストを前記基板に押しつけるとともに下側の圧着ロ−ル１０と共働して前記ドライフィルムレジストを挟み前記ドライフィルムレジストを前記基板に被着させる上側の圧着ロ−ルと、前記上側の圧着ロ−ルに押し付けられる前記ドライフィルムレジストと前記上側の圧着ロ−ルとの間に挿入されるとともに前記ドライフィルムレジストの両側の端部からはみ出すレジスト付着防止フィルムを供給するフィルムロ−ルと、前記レジスト付着防止フィルムを巻き取る巻き取りロ−ルとを備えるラミネ−ト装置である。
【００１１】
また、前記レジスト付着防止フィルムは、前記ドライフィルムレジストの幅より大きい一枚のフィルム部材であるか、または、二つに分離されるとともに前記ドライフィルムレジストの両側の端部に配設されていることが望ましい。さらに、二つに分離された前記レジスト付着防止フィルムの間隔を調節する間隔調整機構を備えることが望ましい。
【００１２】
一方、前記ドライフィルムレジストを走向する前記基板に送り込む終段のロ−ラから送り出される前記ドライフィルムレジストに張力を与えるバキュ−ムプレ−トを備えることが望ましい。また、好ましくは、前記バキュ−ムプレ−トは、金属製であることである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について図面を参照して説明する。
【００１４】
図１は本発明の一実施の形態におけるラミネ−ト装置を説明するための斜視図である。このラミネ−ト装置は、図１に示すように、送り出される基板２０に保護フィルムが付いていないＤＦＲフイルム２２を押しつけるとともに下側の圧着ロ−ル１０と共働してＤＦＲフイルム２２を挟みＤＦＲフィルム２２を基板２０に被着させる圧着ロ−ル１１と、圧着ロ−ル１１に押し付けられるＤＦＲフイルム２２と圧着ロ−ル１１との間に介在するとともにＤＦＲフィルム２２の両側の端部２４からはみ出す幅をもつレジスト付着防止フィルム２と、このレジスト付着防止フィルム２を供給するフィルムロ−ル５と、ＤＦＲフィルム２２の端部２４からにじみ出るレジストを付着したレジスト付着防止フィルム２を巻き取る巻き取りロ−ル６を備えている。
【００１５】
図２は図１のラミネ−ト装置の構成を示す図である。次に、このラミネ−ト装置の動作について説明する。まず、図２に示すように、保護フィルム２１が付いた状態のＤＦＲフィルム２２を巻き取るＤＦＲロ−ル３からロ−ラ８に引き出され、巻き取りロ−ル９によって保護フィルム２１が引き剥がされる。一方、保護フィルム２１が無い状態のＤＦＲフィルム２２は、ロ−ラ４およびロ−ラ７を経て基板２０上に供給される。このときロ−ラ７と基板２０との間の距離が長いので、ＤＦＲフィルム２２に弛みや位置ずれを起こさないように、バキュ−ムプレ−ト１が備えられている。
【００１６】
このバキュ−ムプレ−ト１は表面が滑らかに仕上げられており、表面に複数の真空吸着孔が開けられている。特に、後段は、円弧状に成形されており、ＤＦＲフィルム２２が円滑に供給できる表面構造になっている。また、このバキュ−ムプレ−ト１は、ＤＦＲフィルム２２との接触摩擦時に発生する電荷をア−スに逃がすために、例えばステンレス鋼などの金属で製作されることが望ましい。
【００１７】
基板２０上に供給されたＤＦＲフィルム２２は、基板２０とともに加熱された圧着ロ−ル１１および１０に挟まれながら送られる。これによってＤＦＲフィルム２２は基板２０に被着される。
【００１８】
このとき、圧着ロ−ル１０，１１の圧力によりＤＦＲフィルム２２の両側の端部２４から滲み出たレジストは、図１に示すように、ＤＦＲフィルム２２の端部からはみ出したレジスト付着防止フィルム２の部分に付着する。このことにより、従来、起きていた圧着ロ−ル１１へのレジストの付着の問題は無くなる。
【００１９】
また、このレジスト付着防止フィルム２は、ＤＦＲフィルム２２のラミネ−トに伴って常に更新される。従って、レジスト付着防止フィルム２上にもレジストが積層されることは無い。このレジスト付着防止フィルム２の更新機構は、新しいレジ
スト付着防止フィルム２を巻き取る巻き取りロ−ル６と、使用済みのレジスト付着防止フィルム２を巻き取るフィルムロ−ル５とを備えている。そして、圧着ロ−ル１１の回転に伴って巻き取りロ−ル６から新しいレジスト付着防止フィルム２を引き出し、使用済みのレジスト付着防止フィルム２をフィルムロ−ル５で巻き取るようになっている。
【００２０】
この実施の形態のラミネ−ト装置では、レジスト付着防止フィルム２の幅より狭いＤＦＲフィルム２２に適用できるという汎用性があるという利点がある。
【００２１】
図３は本発明の他の実施の形態におけるラミネ−ト装置を説明するための斜視図である。このラミネ−ト装置は、図３に示すように、ＤＦＲフイルム２２の両側の端部２４のそれぞれを覆う二つのレジスト付着防止フィルム２ａを設け、これらレジスト付着防止フィルム２ａを巻き取る巻き取りロ−ル６と、使用済みのレジスト付着防止フィルム２ａを巻き取るフィルムロ−ル５とを備えている。
【００２２】
また、このラミネ−ト装置は、二つのレジスト付着防止フィルム２ａの間隔を変える間隔調整機構３が備えられている。この間隔調整機構３によって、ＤＦＲフィルム２２の幅によって二つのレジスト付着防止フィルム２ａの間隔を変えることができる。このことは、前述の実施の形態におけるラミネ−ト装置よりさらに汎用性が向上する。しかも、レジスト付着防止フィルム２ａの使用量を大幅に低減できるという利点がある。
【００２３】
なお、間隔調整機構３は図面にはしめさないが、例えば、フィルムロ−ル５の回転軸を二つに分離し、二つに分離された回転軸のそれぞれの一端にスプライン軸を形成し、これらスプライン軸を挿入し回転を伝達するキ−溝のあるスリ−ブ軸受をフィルムロ−ルを固定する軸受部材の中間に配置する。そして、二つの軸受部材の間隔を調整してから、二つの軸受部材を固定すれば良い。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、ドライフィルムレジストフィルムを基板に圧着時にドライフィルムレジストフィルムの端部からにじみ出るレジストを転写させるフィルム部材を供給することによって、圧着ロ−ルにレジストを付着させないで運転でき、ドライフィルムレジスト面に圧痕が発生させることなく、歩留まりが向上するという効果がある。
【００２５】
また、フィルム部材を更新する手段を設けることによって、メンテナンスを行うこと無く、長時間にわたり運転ができ、稼働率が向上するという効果がある。
【００２６】
さらに、ドライフィルムレジストフィルムの幅に応じてフィルム部材の位置を変えることができるので、汎用性があるし、設備の変更が必要なく、運用コストを低減できるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態におけるラミネ−ト装置を説明するための斜視図である。
【図２】図１のラミネ−ト装置の構成を示す図である。
【図３】本発明の他の実施の形態におけるラミネ−ト装置を説明するための斜視図である。
【図４】従来のラミネ−ト装置の一例を説明するための図である。
【符号の説明】
１　　バキュ−ムプレ−ト
２，２ａ　　レジスト付着防止フィルム
３　　ＤＦＲロ−ル
４，７，８，１２　　ロ−ラ
５　　フィルムロ−ル
６，９　　巻き取りロ−ル
１０，１１　　圧着ロ−ル
２０　　基板
２２　　ＤＦＲフィルム
【図１】
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【図２】
2004034439.tif 000004
【図３】
2004034439.tif 000005
【図４】
2004034439.tif 000006