(57)【要約】　　　（修正有）【課題】ワークから受ける外力が研磨テープの搬送に及ぼす影響を低減し、テープの伸縮や速度変動による研磨ムラを防止し、更に高い精度で研磨可能な研磨装置を提供する。【解決手段】研磨テープのウェブを保持する巻き出しローラと、巻き出しローラから研磨テープを巻き出すフィードローラと、研磨テープを巻き取る巻き取りローラとを備えたウェブ搬送装置と、研磨テープをワークに押しつけるコンタクトロールと、ワークを移動させるワーク搬送装置と、ワークと研磨テープの接点近傍において常に加工量を一定および一様に保持する加工量調整装置とを設けた研磨装置を提供する。【選択図】　図１
2004098195.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨テープの接触によりワークの表面を研磨する装置であって、
研磨テープのウェブを保持する巻き出しローラと、前記巻き出しローラから前記研磨テープを巻き出すフィードローラと、前記研磨テープを巻き取る巻き取りローラとを備えたウェブ搬送装置と、
前記研磨テープをワークに押しつけるコンタクトロールと、
前記ワークを移動させるワーク搬送装置と、
前記ワークと、前記研磨テープの接点近傍において常に加工量を一定および一様に保持する加工量調整装置と、
を備えることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
請求項１記載の研磨装置であって、
前記加工量調整装置が、
前記コンタクトローラに近接して設置するフィードローラと、
前記巻き出しローラの回転軸の駆動力を制御するトルク制御装置と、
前記フィードローラの速度を制御する速度制御装置と、
から成ることを特徴とする研磨装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の研磨装置であって、
前記加工量調整装置が、
研磨テープをワークに押しつける押しつけ圧を一定に保持する圧力調整装置、
から成ることを特徴とする研磨装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の研磨装置であって、
前記圧力調整装置が、
前記コンタクトローラ両端に配置し、該コンタクトローラの押しつけ圧を調整するエアシリンダと、
前記エアシリンダの押し側および引き側の各々に供給するエアのバランスを調整するエア供給口と、
から成ることを特徴とする研磨装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の研磨装置であって、
前記圧力調整装置が、
前記コンタクトローラ両端に配置し、該コンタクトローラの押しつけ位置および押しつけ圧を調整する楔型のストッパー、
から成ることを特徴とする研磨装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の研磨装置であって、
前記コンタクトローラが、
中心軸を通す中空のコンタクトローラであり、
前記コンタクトローラの内径と前記中心軸の間にベアリング状の支持部品、
を備えることを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の研磨装置であって、
前記ワーク搬送装置が、
リニアモータ、およびエアスライダー、
から成ることを特徴とする研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨テープをワークに押しつけてワークの研磨を行う研磨装置に関し、更に詳しくは、研磨テープとワークの接点近傍の高精度な位置および研磨圧の調整に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
巻き出しローラ、フィードローラ、巻き取りローラを備え、フィードローラにより研磨テープを巻き出しローラから巻き取りローラに送り、搬送途中で研磨テープをワークに押しつけることによりワークを研磨する研磨装置が使用されている。
【０００３】
このような研磨装置においては、研磨テープの搬送張力を一定にするために、巻き取りローラの速度制御、および巻き出しローラのトルク制御を行うことが一般的である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来においては、以下の問題がある。すなわち、研磨テープがワークから受ける摩擦力により、研磨テープが引っ張られたり、滑ったりするなど、研磨を行う加工点で研磨テープとワークの相対速度が一定にならずに、研磨ムラが発生する。
【０００５】
また、研磨テープとワークの接点における押しつけ圧を極低い圧力にすることが困難であり、精密に研磨することが困難であるという問題もある。
【０００６】
更に、一般的に使用されているボールネジ駆動のワーク搬送装置においては、高精度な位置決め、および滑らかで真っ直ぐな移動が困難であるため、研磨位置の制御と均一な面の確保が難しいという問題もある。
【０００７】
係る問題を解決するために、本発明は、ワークから受ける外力が研磨テープの搬送に及ぼす影響を低減し、テープの伸縮や速度変動による研磨ムラを防止し、更に高い精度で研磨可能な研磨装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様は、研磨テープの接触によりワークの表面を研磨する装置において、研磨テープのウェブを保持する巻き出しローラと前記巻き出しローラから前記研磨テープを巻き出すフィードローラと前記研磨テープを巻き取る巻き取りローラとを備えたウェブ搬送装置と、前記研磨テープをワークに押しつけるコンタクトロールと、前記ワークを移動させるワーク搬送装置と、前記ワークと前記研磨テープの接点近傍において常に加工量を一定および一様に保持する加工量調整装置とを設けたものである。
【０００９】
本発明の第２の態様は、上述の第１の態様に係わる研磨装置において、前記加工量調整装置を、前記コンタクトローラに近接して設置するフィードローラと、前記巻き出しローラの回転軸の駆動力を制御するトルク制御装置と、前記フィードローラの速度を制御する速度制御装置とにより構成するようにしたものである。
【００１０】
本発明の第３の態様は、上述の第１または２の態様に係る研磨装置において、前記加工量調整装置を、研磨テープをワークに押しつける押しつけ圧を一定に保持する圧力調整装置により構成するようにしたものである。
【００１１】
本発明の第４の態様は、上述の第１から３の態様に係わる研磨装置において、前記圧力調整装置を、前記コンタクトローラ両端に配置し該コンタクトローラの押しつけ圧を調整するエアシリンダと、前記エアシリンダの押し側および引き側の各々に供給するエアのバランスを調整するエア供給口とにより構成するようにしたものである。
【００１２】
本発明の第５の態様は、上述の第１から４の態様に係わる研磨装置において、前記圧力調整装置を、前記コンタクトローラ両端に配置し該コンタクトローラの押しつけ位置を調整する楔型のストッパーにより構成するようにしたものである。
【００１３】
本発明の第６の態様は、上述の第１から５の態様に係わる研磨装置において、前記コンタクトローラが、中心軸を通す中空のコンタクトローラであり、前記コンタクトローラの内径と前記中心軸の間にベアリング状の支持部品を設けたものである。
【００１４】
本発明の第７の態様は、上述の第１から６の態様に係る研磨装置において、前記ワーク搬送装置を、リニアモータおよびエアスライダーにより構成するようにしたものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示する実施例に基づき説明する。図１は、本発明の研磨装置の基本構成の一実施例である。
【００１６】
研磨装置は、巻き出しローラ１、コンタクトローラ２、フィードローラ３、ニップローラ４、巻き取りローラ５、ワーク搬送装置６を備えている。更に、巻き出しローラ１にはトルク制御装置７が、コンタクトローラ２には圧力調整装置８が、フィードローラ３には速度制御装置９が設置されている。
【００１７】
研磨装置は、フィードローラ３とニップローラ４により研磨テープ１０を挟むことで、巻き出しローラ１から研磨テープ１０を送り出し、コンタクトローラ２およびワーク搬送装置６により、研磨テープ１０に対して相対的に移動するワーク１１に研磨テープ１０に押しつけて研磨を行い、最終的に巻き取りローラ５に研磨テープ１０を巻き取るように動作する。
【００１８】
研磨装置は、巻き出しローラ１の回転軸の駆動力を制御するトルク制御装置７、およびフィードローラ３の速度を制御する速度制御装置９により、研磨テープ１０の搬送張力を一定に保つ。
【００１９】
更に、フィードローラ３、およびニップローラ４を、コンタクトローラ２の近傍に設置し、研磨テープ１０を巻き取りローラ５よりコンタクトローラ２に近い位置で支持することにより、研磨テープ１０の搬送に外力が影響を及ぼす範囲を狭くし、研磨テープ１０の張力変動に伴う伸縮や速度変動を低減する。
【００２０】
図２は、圧力調整装置８の正面図、および側面図、およびコンタクトローラ４の断面図である。
【００２１】
圧力調整装置８は、エアシリンダ１２、引き側エア供給口１３、押し側エア供給口１４、楔型ストッパー１５、アクチュエータ１６から構成されている。
【００２２】
エアシリンダ１２は、コンタクトローラ２の両端に設置され、引き側エア供給口１３からコンタクトローラ２の自重を打ち消す空気圧を供給し、押し側エア供給口１４から実際に研磨を行うために必要な押しつけ圧を供給し、押しつけ圧を高精度に調整を可能にするものである。
【００２３】
また、楔型ストッパー１５は、アクチュエータ１６により楔型ストッパー１５の移動量を調整することでコンタクトローラ２の高さを決定し、エアシリンダ１２からのエアがコンタクトローラ２を押しつけることで生じるコンタクトローラ２の表面ゴム１７の変形量（図２におけるδ）により押しつけ圧を調整することを可能にするものである。
【００２４】
また、コンタクトローラ２は、中空構造を有し、コンタクトローラ２の内径と中空に通した中心軸１８の間にベアリング状の支持部品１９を備えており、支持部品１９を中心軸１８の任意の位置に設置することにより、中心軸１８の両端に荷重が作用した場合のコンタクトローラ２がワーク８に接触する面の圧力分布を一様にすることが可能である。
【００２５】
【発明の効果】
以上の通りであるから、本発明に係る研磨装置によれば、加工量調整装置により、テープの伸縮や速度変動を低減し、均一な研磨面を得ることができ、研磨ムラを防止することが可能となる。
【００２６】
また、圧力調整装置、リニアモータ、およびエアスライダーにより構成したワーク搬送装置を備えることにより、コンタクトローラの押しつけ圧の調整と、高精度な研磨位置の調整が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の研磨装置の構成図である。
【図２】本発明の圧力調整装置の正面図および側面図である。
【符号の説明】
１　巻き出しローラ
２　コンタクトロール
３　フィードローラ
４　ニップローラ
５　巻き取りローラ
６　ワーク搬送装置
７　トルク制御装置
８　圧力調整装置
９　速度制御装置
１０　研磨テープ
１１　ワーク
１２　エアシリンダ
１３　エア供給口（引き側）
１４　エア供給口（押し側）
１５　楔型ストッパー
１６　アクチュエータ
１７　表面ゴム
１８　中心軸
１９　支持部品
【図１】
2004098195.tif 000003
【図２】
2004098195.tif 000004