(57)【要約】【課題】レーザガイド用光ファイバの断線を確実に検知でき、しかも、大型のレーザ加工装置にも適用することができるレーザガイドを提供する。【解決手段】レーザガイド２０は、レーザ光Ｌを導光するためのレーザガイド用光ファイバ２１と、レーザガイド用光ファイバ２１の長手方向に沿って設けられた断線検知用光ファイバ２３と、を備える。断線検知用光ファイバ２３は、ファイバ中心をなす石英製のコアと、コアを被覆するように設けられたプラスチック製のクラッドと、を有する。【選択図】図１
2004085310.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を導光するためのレーザガイド用光ファイバと、該レーザガイド用光ファイバの長手方向に沿って設けられた断線検知用光ファイバと、を備えたレーザガイドであって、
上記断線検知用光ファイバは、ファイバ中心をなす石英製のコアと、該コアを被覆するように設けられたプラスチック製のクラッドと、を有することを特徴とするレーザガイド。
【請求項２】
レーザ光を導光するためのレーザガイド用光ファイバと、該レーザガイド用光ファイバの長手方向に沿って設けられた２本の断線検知用光ファイバと、該２本の断線検知用光ファイバのファイバ端のうち該レーザガイド用光ファイバの出射端側の方に設けられ該２本の断線検知用光ファイバの一方のファイバ端から他方のファイバ端に光を導光する導光手段と、を備えたレーザガイドであって、
上記２本の断線検知用光ファイバはいずれも、ファイバ中心をなす石英製のコアを有し、該２本の断線検知用光ファイバのうち少なくとも一方は、該コアを被覆するように設けられたプラスチック製のクラッドを有することを特徴とするレーザガイド。
【請求項３】
レーザ光を導光するためのレーザガイド用光ファイバと、
上記レーザガイド用光ファイバの長手方向に沿って設けられた断線検知用光ファイバと、
上記断線検知用光ファイバの一方のファイバ端に設けられ該断線検知用光ファイバに光を入射させる光入射手段と、
上記断線検知用光ファイバの他方のファイバ端に設けられ該断線検知用光ファイバを伝播した上記光入射手段からの光を検知する光検知手段と、
を備えたレーザガイド断線検知システムであって、
上記断線検知用光ファイバは、ファイバ中心をなす石英製のコアと、該コアを被覆するように設けられたプラスチック製のクラッドと、を有することを特徴とするレーザガイド断線検知システム。
【請求項４】
請求項３に記載されたレーザガイド断線検知システムにおいて、
上記光入射手段は、上記レーザガイド用光ファイバから発せられるレーザ光が上記断線検知用光ファイバの一方のファイバ端に入射するように設けられた該断線検知用光ファイバの設置構造によって構成されていることを特徴とするレーザガイド断線検知システム。
【請求項５】
レーザ光を導光するためのレーザガイド用光ファイバと、
上記レーザガイド用光ファイバの長手方向に沿って設けられた２本の断線検知用光ファイバと、
上記２本の断線検知用光ファイバのファイバ端のうち上記レーザガイド用光ファイバの出射端側の方に設けられ該２本の断線検知用光ファイバの一方のファイバ端から他方のファイバ端に光を導光させる導光手段と、
上記２本の断線検知用光ファイバの一方の断線検知用光ファイバのファイバ端のうち上記レーザガイド用光ファイバの入射端側の方に設けられ該一方の断線検知用光ファイバに光を入射させる光入射手段と、
上記２本の断線検知用光ファイバの他方の断線検知用光ファイバのファイバ端のうち上記レーザガイド用光ファイバの入射端側の方に設けられ該他方の断線検知用光ファイバを伝播した上記光入射手段からの光を検知する光検知手段と、
を備えたレーザガイド断線検知システムであって、
上記２本の断線検知用光ファイバはいずれも、ファイバ中心をなす石英製のコアを有し、該２本の断線検知用光ファイバのうち少なくとも一方は、該コアを被覆するように設けられたプラスチック製のクラッドを有することを特徴とするレーザガイド断線検知システム。
【請求項６】
請求項３又は５に記載されたレーザガイド断線検知システムを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ光を導光するためのレーザガイド用光ファイバと、そのレーザガイド用光ファイバの長手方向に沿って設けられた断線検知用光ファイバと、を備えたレーザガイド、及び、それを備えたレーザガイド断線検知システム、並びに、それを備えたレーザ加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＹＡＧレーザなどの高出力レーザ光を用いることにより鉄やアルミニウム等の金属の切削や溶接を行う加工方法があり、自動車のボディの製造などに適用され始めている。かかる加工では、レーザ発振器から出射されたレーザ光を被加工物まで導光するためにレーザガイド用光ファイバという光ファイバが用いられる。
【０００３】
ところで、レーザガイド用光ファイバが何らかの理由によって断線した場合、その断線部分からレーザ光が漏れることとなる。かかる漏れたレーザ光は、金属をも加工できる程のエネルギーを有しているため、保護管などの被加工物以外のものを加熱し、それによって火災などの事故を起こす可能性もある。従って、レーザガイド用光ファイバが断線したときにその断線を検知するレーザガイド断線検知システムが必要となる。
【０００４】
特開昭５６−１７３０３号公報、特開昭５８−１３０３０１号公報、特開昭６０−１０１５０３号公報及び特開昭６０−１３９２４１号公報には、レーザ光等の高出力光を伝送するための光ファイバに沿って金属線や導電性塗料等を設け、その金属線や導電性塗料等の断線によって光ファイバの断線を検知することが開示されている。
【０００５】
つまり、上記公報に開示されている断線検知システムは、例えば、図９に示すように、レーザ発振器１０’からのレーザ光Ｌ’を被加工物３０’まで導光するレーザガイド用光ファイバ２１’に、その長手方向に沿うと共に電源５０’及び電流計等によって通電状態をモニタするモニタ装置６０’が介設された閉回路を形成するように電線７０’が設けられたものであり、これによれば、図１０に示すように、レーザガイド用光ファイバ２１’が断線してレーザ光Ｌ’が漏れるとそのエネルギーで電線７０’が断線され、それによって通電状態が変化するのでモニタ装置６０’で電線の断線、すなわち、レーザガイド用光ファイバ２１’の断線が検知されることとなり、かかる場合にレーザ発振器１０’からのレーザ光Ｌ’の出射を即座に停止させるようになっている。
【０００６】
しかしながら、上記のように電線７０’の断線によってレーザガイド用光ファイバ２１’の断線を検知する場合、電線７０’を構成する金属の融点がレーザガイド用光ファイバ２１’の断線によって上昇する温度以下である必要がある。具体的には、例えば、レーザガイド用光ファイバがＧＩファイバの場合、その断線によって上昇する温度が２００〜３００℃程度であるため、電線を構成する金属の融点がそれ以下であることが必要となる。一方、かかる低融点の金属の電線は機械的強度が低いために外力の作用や屈曲等の変形によっても切断する場合があり、かかる場合、レーザガイド用光ファイバ断線検知システムが誤動作することとなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
また、光ファイバを用いてレーザガイド断線検知システムを構成することも可能である。
【０００８】
例えば、図１１に示すように、レーザ発振器１０’からのレーザ光Ｌ’を被加工物３０’まで導光するレーザガイド用光ファイバ２１’の長手方向に沿って断線検知用光ファイバ２３’を設けると共に、その断線検知用光ファイバ２３’の一方のファイバ端に光源２４’及び他方のファイバ端に光検知器２５’をそれぞれ配設したレーザガイド断線検知システムを構成することができ、これによれば、図１２に示すように、レーザガイド用光ファイバ２１’が断線してレーザ光Ｌ’が漏れるとそのエネルギーで断線検知用光ファイバ２３’が断線され、それによって光検知器２５’で光源２４’からの光が検知されなくなることでレーザガイド用光ファイバ２１’の断線を検知することができる。
【０００９】
また、図１３に示すように、レーザ発振器１０’からのレーザ光Ｌ’を被加工物３０’まで導光するレーザガイド用光ファイバ２１’の長手方向に沿って断線検知用光ファイバ２３’を設けると共に、その断線検知用光ファイバ２３’の一方のファイバ端をレーザ光出射部２２’内に配置してレーザガイド用光ファイバ２１’からのレーザ光Ｌ’のうち図示しないレンズ系で反射したものの一部がそこに入射されるようにし且つ他方のファイバ端に光検知器２５’に設けたレーザガイド断線検知システムを構成することもでき、これによっても、図１４に示すように、レーザガイド用光ファイバ２１’が断線してレーザ光Ｌ’が漏れるとそのエネルギーで断線検知用光ファイバ２３’が断線され、それによって光検知器２５’で光が検知されなくなることでレーザガイド用光ファイバ２１’の断線を検知することができる。
【００１０】
しかしながら、断線検知用光ファイバを石英製のものとした場合、レーザガイド用光ファイバの断線によって上昇する温度では断線検知用光ファイバのファイバ素線が溶融せず、樹脂製の被覆部分が溶融して強度が低下し且つ外力が作用してはじめてファイバ素線が断線することとなるので、確実にレーザガイド用光ファイバの断線を検知しうるとは言い難い、という問題がある。
【００１１】
また、断線検知用光ファイバをプラスチック製のものとした場合、レーザガイド用光ファイバの断線によって上昇する温度で断線するものの、光の透過率が石英製のものに比べて劣るため、断線検知用光ファイバのファイバ長が長いと光検知器で光を検知することが困難となるため、長尺のレーザガイドを要するレーザ加工装置に用いることができない、という問題がある。
【００１２】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、レーザガイド用光ファイバの断線を確実に検知でき、しかも、断線検知用光ファイバのファイバ長が長くても伝播する光を検知することが可能であるレーザガイド及びそれを備えたレーザガイド断線検知システム、並びに、それを備えたレーザ加工装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、断線検知用光ファイバとしてコアが石英製であり且つクラッドがプラスチック製である、いわゆる、ポリマークラッドファイバを用いるようにしたものである。
【００１４】
具体的には、本発明の第１のレーザーガイドは、レーザ光を導光するためのレーザガイド用光ファイバと、該レーザガイド用光ファイバの長手方向に沿って設けられた断線検知用光ファイバと、を備えたものであって、
上記断線検知用光ファイバは、ファイバ中心をなす石英製のコアと、該コアを被覆するように設けられたプラスチック製のクラッドと、を有することを特徴とする。
【００１５】
上記の構成によれば、断線検知用光ファイバのコアが石英製で且つクラッドがプラスチック製であり、レーザガイド用光ファイバが断線したときには、その断線部分からレーザ光が漏れ、そのエネルギーによって断線部分の温度が上昇して樹脂製のクラッドが溶融し、それによって例えばコアに光を閉じ込めることができなくなって光が断線検知用光ファイバを伝播できなくなるなどの理由により光の伝播状態が変化するので、確実にレーザガイド用光ファイバの断線を検知することができる。なお、通常、コアは小径であるのでクラッドが溶融してコアだけが残るということはなく、クラッドの溶融によって断線検知用光ファイバが断線することとなるので、それによってもレーザガイド用光ファイバの断線検知の確実性がサポートされる。
【００１６】
また、光が伝播するコアが石英製であり、断線検知用光ファイバのファイバ長が長くても伝播する光を検知することが可能であるので、長尺のレーザガイドを要するレーザ加工装置であっても適用することができる。
【００１７】
以上のようなレーザガイドを備えた本発明の第１のレーザガイド断線検知システムは、
レーザ光を導光するためのレーザガイド用光ファイバと、
上記レーザガイド用光ファイバの長手方向に沿って設けられた断線検知用光ファイバと、
上記断線検知用光ファイバの一方のファイバ端に設けられ該断線検知用光ファイバに光を入射させる光入射手段と、
上記断線検知用光ファイバの他方のファイバ端に設けられ該断線検知用光ファイバを伝播した上記光入射手段からの光を検知する光検知手段と、
を備えたレーザガイド断線検知システムであって、
上記断線検知用光ファイバは、ファイバ中心をなす石英製のコアと、該コアを被覆するように設けられたプラスチック製のクラッドと、を有することを特徴とする。
【００１８】
本発明の第１のレーザガイド断線検知システムは、上記光入射手段が、上記レーザガイド用光ファイバから発せられるレーザ光が上記断線検知用光ファイバの一方のファイバ端に入射するように設けられた該断線検知用光ファイバの設置構造によって構成されているものであってもよい。
【００１９】
断線検知用光ファイバの一方のファイバ端に設けた光源で光入射手段を構成するようにしてもよいが、上記の構成によれば、かかる光源が不要であって構成を簡単なものとすることができる。
【００２０】
本発明の第２のレーザガイドは、レーザ光を導光するためのレーザガイド用光ファイバと、該レーザガイド用光ファイバの長手方向に沿って設けられた２本の断線検知用光ファイバと、該２本の断線検知用光ファイバのファイバ端のうち該レーザガイド用光ファイバの出射端側の方に設けられ該２本の断線検知用光ファイバの一方のファイバ端から他方のファイバ端に光を導光する導光手段と、を備えたものであって、
上記２本の断線検知用光ファイバはいずれも、ファイバ中心をなす石英製のコアを有し、該２本の断線検知用光ファイバのうち少なくとも一方は、該コアを被覆するように設けられたプラスチック製のクラッドを有することを特徴とする。
【００２１】
上記の構成によれば、２本の断線検知用光ファイバの少なくとも一方のクラッドがプラスチック製であり、レーザガイド用光ファイバが断線したときには、その断線部分からレーザ光が漏れ、そのエネルギーによって断線部分の温度が上昇して樹脂製のクラッドが溶融し、それによって例えばコアに光を閉じ込めることができなくなって光が断線検知用光ファイバを伝播できなくなるなどの理由により光の伝播状態が変化するので、確実にレーザガイド用光ファイバの断線を検知することができる。なお、通常、コアは小径であるのでクラッドが溶融してコアだけが残るということはなく、クラッドの溶融によって断線検知用光ファイバが断線することとなるので、それによってもレーザガイド用光ファイバの断線検知の確実性がサポートされる。
【００２２】
また、２本の断線検知用光ファイバのいずれもコアが石英製であり、断線検知用光ファイバのファイバ長が長くても伝播する光を検知することが可能であるので、長尺のレーザガイドを要するレーザ加工装置であっても適用することができる。
【００２３】
断線検知用光ファイバがレーザガイド用光ファイバの入射端から出射端までそれに沿って延びた後に折り返して出射端から入射端に戻るように設けられ、一方のファイバ端に光源が及び他方のファイバ端に光検知器が設けられたレーザガイドの構成であると、折り返し部において、断線検知用光ファイバが折れてしまう可能性があり、また、曲げ変形による損失が生じ、さらに、断線検知用光ファイバを略円弧状に形成させる必要があることからそのためのスペースの確保が必要となる。しかしながら、上記の構成によれば、折り返し部で断線検知用光ファイバが曲げ変形されないので、断線検知用光ファイバが折れてしまうことがなく、また、曲げ変形による損失が生じることもなく、さらに、断線検知用光ファイバを略円弧状に形成させる必要がないことから折り返し部分を小型にすることができる。
【００２４】
以上のようなレーザガイドを備えた本発明の第２のレーザガイド断線検知システムは、
レーザ光を導光するためのレーザガイド用光ファイバと、
上記レーザガイド用光ファイバの長手方向に沿って設けられた２本の断線検知用光ファイバと、
上記２本の断線検知用光ファイバのファイバ端のうち上記レーザガイド用光ファイバの出射端側の方に設けられ該２本の断線検知用光ファイバの一方のファイバ端から他方のファイバ端に光を導光させる導光手段と、
上記２本の断線検知用光ファイバの一方の断線検知用光ファイバのファイバ端のうち上記レーザガイド用光ファイバの入射端側の方に設けられ該一方の断線検知用光ファイバに光を入射させる光入射手段と、
上記２本の断線検知用光ファイバの他方の断線検知用光ファイバのファイバ端のうち上記レーザガイド用光ファイバの入射端側の方に設けられ該他方の断線検知用光ファイバを伝播した上記光入射手段からの光を検知する光検知手段と、
を備えたレーザガイド断線検知システムであって、
上記２本の断線検知用光ファイバはいずれも、ファイバ中心をなす石英製のコアを有し、該２本の断線検知用光ファイバのうち少なくとも一方は、該コアを被覆するように設けられたプラスチック製のクラッドを有することを特徴とする。
【００２５】
本発明のレーザ加工装置は、以上のような本発明の第１又は第２のレーザガイド断線検知システムを備えたものである。
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、断線検知用光ファイバのコアが石英製で且つクラッドがプラスチック製であり、レーザガイド用光ファイバが断線したときには樹脂製のクラッドが溶融して光の伝播状態が変化するので、確実にレーザガイド用光ファイバの断線を検知することができる。
【００２７】
また、光が伝播するコアが石英製であり、断線検知用光ファイバのファイバ長が長くても伝播する光を検知することが可能であるので、長尺のレーザガイドを要するレーザ加工装置であっても適用することができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２９】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るレーザ加工装置Ａを示す。
【００３０】
このレーザ加工装置Ａは、鉄やアルミニウム等の金属の切削や溶接を行うものであり、ＹＡＧレーザ等のレーザ発振器１０と、レーザ発振器１０に取り付けられそこからのレーザ光Ｌを被加工物３０まで導光するケーブル状のレーザガイド２０と、を備えている。
【００３１】
レーザガイド２０は、レーザガイド用光ファイバ２１と、レーザガイド用光ファイバ２１の被加工物３０側端に取り付けられたレーザ光出射部２２と、レーザガイド用光ファイバ２１の入射端から出射端までレーザガイド用光ファイバ２１に沿って延びた後に折り返して出射端から入射端に戻るように設けられた断線検知用光ファイバ２３と、を備えている。なお、レーザガイド２０のレーザガイド用光ファイバ２１及び断線検知用光ファイバ２３は図示しないステンレス製等の可撓管で被覆されている。
【００３２】
断線検知用光ファイバ２３は、ファイバ中心をなす石英製のコアと、コアを被覆するように設けられたアクリル系の紫外線硬化型樹脂等のプラスチック製のクラッドと、により光ファイバ素線が構成され、その光ファイバ素線がナイロン樹脂等の被覆層で被覆されたものである。断線検知用光ファイバ２３の一方のファイバ端には光入射手段としての光源２４が設けられていると共に他方のファイバ端には光検知手段としての光検知器２５が設けられており、レーザガイド用光ファイバ２１と、これらの断線検知用光ファイバ２３、光源２４及び光検知器２５とによってレーザガイド断線検知システムＳが構成されている。
【００３３】
このレーザ加工装置Ａは、通常、レーザ発振器１０からのレーザ光Ｌをレーザガイド用光ファイバ２１を介してレーザ光出射部２２から被加工物３０に向けて出射することにより加工を行うものである。このとき、光源２４から断線検知用光ファイバ２３の一方のファイバ端に光が入射され、その光が断線検知用光ファイバ２３のコアを伝播して他方のファイバ端の光検知器２５で検知される。
【００３４】
上記の構成によれば、断線検知用光ファイバ２３のコアが石英製で且つクラッドがプラスチック製であり、図２に示すように、レーザガイド用光ファイバ２１が断線したときには、その断線部分からレーザ光Ｌが漏れ、そのエネルギーによって断線部分の温度が上昇して樹脂製の被覆層及びクラッドが溶融し、それによって例えばコアに光を閉じ込めることができなくなって光が断線検知用光ファイバ２３を伝播できなくなるなどの理由により光の伝播状態が変化するので、確実にレーザガイド用光ファイバ２１の断線を検知することができる。なお、通常、コアは小径であるのでクラッドが溶融してコアだけが残るということはなく、クラッドの溶融によって断線検知用光ファイバ２３が断線することとなるので、それによってもレーザガイド用光ファイバ２１の断線検知の確実性がサポートされる。
【００３５】
また、光が伝播するコアが石英製であり、断線検知用光ファイバ２３のファイバ長が長くても伝播する光を検知することが可能であるので、レーザ加工装置Ａが長尺のレーザガイド２０を要するものであってもよい。
【００３６】
（実施形態２）
図３は、本発明の実施形態２に係るレーザ加工装置Ａを示す。なお、実施形態１と同一部分については同一符号で示す。
【００３７】
このレーザ加工装置Ａでは、レーザガイド２０は、レーザガイド用光ファイバ２１と、レーザガイド用光ファイバ２１の出射端側の端に取り付けられたレーザ光出射部２２と、レーザガイド用光ファイバ２１のレーザ発振器１０側の端からレーザ光出射部２２までレーザガイド用光ファイバ２１に沿って設けられた２本の断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂと、を備えている。
【００３８】
２本の断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂの一方の断線検知用光ファイバ２３ａのファイバ端のうちレーザガイド用光ファイバ２１の入射端側の方には光入射手段としての光源２４が設けられており、また、２本の断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂの他方の断線検知用光ファイバ２３ｂのファイバ端のうちレーザガイド用光ファイバの入射端側の方に光検知手段としての光検知器２５が設けられている。
【００３９】
レーザ光出射部２２には、図４及び５に示すように、有底円筒状の折り返し部４０が設けられている。この折り返し部４０には、２本の断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂの出射端側のファイバ端部が挿入されていると共に、底近傍にプリズム４１が設けられ、さらに、両断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂのそれぞれとプリズム４１との間にレンズ４２が設けられている。プリズム４１は、断面略直角二等辺三角形の三角柱に形成されたものであり、斜辺に対応した面に反射コーティング４１ａが施され、底辺に対応した面が両断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂに対向するように配置されている。そして、これによって、光源２４からの光が一方の断線検知用光ファイバ２３ａを経てレンズ４２を介してプリズム４１で反射し、それが他方の断線検知用光ファイバ２３ｂに入射されて光検知器２５に至るように構成されている。なお、図４及び５において、レーザ光出射用のレンズ系及び可撓管は図示していない。
【００４０】
その他の構成は、実施形態１と同一である。
【００４１】
実施形態１のように、断線検知用光ファイバ２３がレーザガイド用光ファイバ２１の入射端から出射端までそれに沿って延びた後に折り返して出射端から入射端に戻るように設けられたレーザガイドの構成であると、折り返し部において、断線検知用光ファイバ２３が折れてしまう可能性があり、また、曲げ変形による損失が生じ、さらに、断線検知用光ファイバ２３を略円弧状に形成させる必要があることからそのためのスペースの確保が必要となる。しかしながら、上記の構成によれば、折り返し部４０で断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂが曲げ変形されないので、断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂが折れてしまうことがなく、また、曲げ変形による損失が生じることもなく、さらに、断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂを略円弧状に形成させる必要がないことから折り返し部分を小型にすることができる。
【００４２】
その他の作用・効果は実施形態１と同一である。
【００４３】
（実施形態３）
図６は、本発明の実施形態３に係るレーザ加工装置Ａのレーザ光出射部を示す。なお、実施形態１及び２と同一部分については同一符号で示す。
【００４４】
このレーザ加工装置Ａでは、レーザ光出射部２２に、図６に示すように、有底円筒状の折り返し部４０が設けられている。この折り返し部４０には、２本の断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂの出射端側のファイバ端部が挿入されていると共に、底近傍にミラー４３が設けられ、さらに、両断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂのそれぞれとミラー４３との間にレンズ４２が設けられている。ミラー４３は、立方体にＶ字溝を形成したような形状に形成されており、そのＶ字溝の各面が相互に４５°の角度をなすミラー面４３ａを構成し、各ミラー面４３ａに対して４５°の角度をなす方向に断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂが位置付けられるように配置されている。そして、これによって、光源２４からの光が一方の断線検知用光ファイバ２３ａを経てレンズ４２を介してミラー４３で反射し、それが他方の断線検知用光ファイバ２３ｂに入射されて光検知器２５に至るように構成されている。
【００４５】
その他の構成、作用・効果は、実施形態２と同一である。
【００４６】
（実施形態４）
図７は、本発明の実施形態４に係るレーザ加工装置Ａを示す。なお、実施形態１と同一部分については同一符号で示す。
【００４７】
このレーザ加工装置Ａは、レーザガイド２０において、断線検知用光ファイバ２３がレーザガイド用光ファイバ２１の入射端からレーザ光出射部２２までレーザガイド用光ファイバ２１に沿って設けられていると共に、断線検知用光ファイバ２３の一方のファイバ端がレーザ光出射部２２の内部に配置されてレーザガイド用光ファイバ２１から発せられるレーザ光Ｌのうち図示しないレンズ系で反射したものの一部がそこに入射するようにされ且つ他方のファイバ端に光検知手段としての光検知器２５が設けられたものである。つまり、レーザガイド用光ファイバ２１から発せられるレーザ光Ｌが断線検知用光ファイバ２３の一方のファイバ端に入射するように設けられた断線検知用光ファイバ２３の設置構造によって光入射手段が構成されている。その他の構成は、実施形態１と同一である。
【００４８】
上記の構成によれば、実施形態１の場合と同様に、図８に示すように、レーザガイド用光ファイバ２１が断線したときには、その断線部分からレーザ光Ｌが漏れ、そのエネルギーによって断線部分の温度が上昇し、樹脂製の被覆層及びクラッドが溶融してコアに光を閉じ込めることができなくなり、それによって光が断線検知用光ファイバ２３を伝播できなくなるので、確実にレーザガイド用光ファイバ２１の断線を検知することができる。
【００４９】
また、断線検知用光ファイバ２３のための光源が不要であるので、装置構成を簡単なものとすることができる。
【００５０】
その他の作用・効果は実施形態１と同一である。
【００５１】
（その他の実施形態）
上記実施形態１〜４では、断線検知用光ファイバ２３を樹脂層を有するものとしたが、特にこれに限定されるものではなく、石英製のコアと樹脂製のクラッドとからのみなるものとしてもよい。
【００５２】
また、上記実施形態２及び３では、２本の断線検知用光ファイバ２３ａ，２３ｂのいずれもを石英製のコアとプラスチック製のクラッドとを有するものとしたが、特にこれに限定されるものではなく、いずれか一方が石英製のコア及びクラッドを有するものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係るレーザ加工装置の構成図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るレーザ加工装置のレーザガイド用光ファイバが切断したときの状態を示す説明図である。
【図３】本発明の実施形態２に係るレーザ加工装置のレーザ光出射部の断面図である。
【図４】本発明の実施形態２に係るレーザ加工装置のレーザ光出射部の断面図である。
【図５】本発明の実施形態２に係るレーザ加工装置のレーザ光出射部における折り返し部の断面図である。
【図６】本発明の実施形態３に係るレーザ加工装置の構成図である。
【図７】本発明の実施形態４に係るレーザ加工装置の構成図である。
【図８】本発明の実施形態４に係るレーザ加工装置のレーザガイド用光ファイバが切断したときの状態を示す説明図である。
【図９】電線でレーザガイド用光ファイバの断線を検知するようにしたレーザ加工装置の構成図である。
【図１０】電線でレーザガイド用光ファイバの断線を検知するようにしたレーザ加工装置のレーザガイド用光ファイバが切断したときの状態を示す説明図である。
【図１１】光ファイバでレーザガイド用光ファイバの断線を検知するようにした第１のレーザ加工装置の構成図である。
【図１２】光ファイバでレーザガイド用光ファイバの断線を検知するようにした第１のレーザ加工装置のレーザガイド用光ファイバが切断したときの状態を示す説明図である。
【図１３】光ファイバでレーザガイド用光ファイバの断線を検知するようにした第２のレーザ加工装置の構成図である。
【図１４】光ファイバでレーザガイド用光ファイバの断線を検知するようにした第２のレーザ加工装置のレーザガイド用光ファイバが切断したときの状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１０，１０’　レーザ発振器
２０　レーザガイド
２１，２１’　レーザガイド用光ファイバ
２２，２２’　レーザ光出射部
２３，２３ａ，２３ｂ，２３’　断線検知用光ファイバ
２４，２４’　光源（光入射手段）
２５，２５’　光検知器（光検知手段）
３０，３０’　被加工物
４０　折り返し部
４１　プリズム
４１ａ　反射コーティング
４２　レンズ
４３　ミラー
４３ａ　ミラー面
５０’　電源
６０’　モニタ装置
７０’　電線
Ａ　レーザ加工装置
Ｌ，Ｌ’　レーザ光
Ｓ　レーザガイド断線検知システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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