(57)【要約】【課題】ＰＡＳ方式の場合、装置が大型となり電磁弁等の装置のメンテナンスに難点があり、膜分離方式の場合、窒素純度は９５〜９９．９％程度となるため高純度のニーズには適せず、膜分離方式によって作り出した窒素ガスの純度を更に高めようとする目的で鉄粉を使用する技術に関しては、粉状の鉄粉を使用するということで充填や取り出し等の作業性に問題があった。【解決手段】窒素ガス内に混在している酸素を取り除く目的で、加圧された状態の窒素ガスが通過する脱酸素手段５０の脱酸素室５１、５２に、酸化により窒素ガス内に混在している酸素を吸収する鉄粉と活性炭と塩化ナトリウムを充填する際に、鉄粉と活性炭と塩化ナトリウムを固化して粒子状にしたものを充填した。【選択図】　　　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
窒素ガス内に混在している酸素を取り除く目的で、加圧された状態の前記窒素ガスが通過する脱酸素手段（５０）の脱酸素室（５１、５２）に、酸化により前記窒素ガス内に混在している前記酸素を吸収する鉄粉と活性炭と塩化ナトリウムを充填する際に、前記鉄粉と前記活性炭と前記塩化ナトリウムを固化して粒子状にしたものを充填したことを特徴とする圧縮空気より分離した窒素ガスの純度を高めるための酸素吸収装置。
【請求項２】
前記鉄粉と前記活性炭と前記塩化ナトリウムを固化するに際し、フェノール系の粉末のバインダーを使用し、前記鉄粉と前記活性炭と前記塩化ナトリウムと前記バインダーを混合したものであることを特徴とする請求項１に記載の圧縮空気より分離した窒素ガスの純度を高めるための酸素吸収装置。
【請求項３】
前記粒子の大きさは、１〜８ｍｍであることを特徴とする請求項２に記載の圧縮空気より分離した窒素ガスの純度を高めるための酸素吸収装置。
【請求項４】
前記バインダーは２〜６重量％であることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の酸素吸収剤。
【請求項５】
前記活性炭は１２〜２５重量％であることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の圧縮空気より分離した窒素ガスの純度を高めるための酸素吸収装置。
【請求項６】
前記脱酸素手段（５０）に水を滴下するための水ポット（５１ｃ、５２ｃ）と開閉弁（５１ｄ、５２ｄ）を接続したことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の圧縮空気より分離した窒素ガスの純度を高めるための酸素吸収装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧縮空気より分離した窒素ガスの純度を高めるための酸素吸収装置に関する技術であって、更に詳細に述べると、高純度の窒素ガス作り出すために圧縮空気より分離した窒素ガスの純度を高めるための酸素吸収装置の技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、圧縮空気を液化させないで圧縮空気のままで不要なガスを取り除き窒素ガスを作り出す技術としては、ＰＡＳ方式と膜分離方式の二つの方式が一般的であった。
【０００３】
その中で、ＰＡＳ方式は、Ｐｒｅｓｓｕｒｅ　Ｓｗｉｎｇ　Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ、の略称を意味していて、圧縮空気を活性炭の一種である吸着材に通し、高圧力下で特定のガスを吸着し、低圧力下で特定のガスを吐き出す、という吸着材の特性を利用して、圧縮空気から酸素等を吸着することで窒素を分離する方式である。　この場合、ピートレス・ドライヤと同様の原理をもち、装置は２筒式で膜分離式よりも大型となり、電磁弁などのメンテナンス負荷もかかる。　尚、窒素純度は通常９９〜９９．９９９９％程度であった。
【０００４】
一方、膜分離方式は、圧縮空気を中空糸状の高分子膜である中空糸膜内に送り込み、圧縮空気に含まれている各ガス成分の膜への透過量の差を利用して窒素を分離する方式である。　この場合、ＰＡＳ方式よりも小型でメンテナンス負荷も小さい反面、窒素純度は９５〜９９％程度であるため、高純度のニーズには適しなかった。　但し、送り込む圧縮空気の流量によっては、即ち時間をかける程、窒素純度を上げることが出来、９９．９％も可能であった。
【０００５】
然しながら、膜分離方式において、作り出された窒素ガスの純度を更に高めようとする技術として、鉄粉を酸化させることで酸素を取り除くようなことは行っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の、圧縮空気より分離した窒素ガスの純度を高めるための装置に関する技術に関しては、酸素吸収装置を含め、以下に示すような課題があった。
【０００７】
先ず、ＰＡＳ方式の場合、装置が大型となり、電磁弁等の装置のメンテナンスに難点があった。
【０００８】
次に、膜分離方式の場合、窒素純度は９５〜９９．９％程度となるため、高純度のニーズには適しなかった。
【０００９】
一方、膜分離方式によって作り出した窒素ガスの純度を更に高めようとする目的で鉄粉を使用する技術に関しては、粉状の鉄粉を使用するということで、充填や取り出し等の作業性に問題があった。
本発明はこのような課題を解決することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、窒素ガス内に混在している酸素を取り除く目的で、加圧された状態の前記窒素ガスが通過する脱酸素手段５０の脱酸素室５１、５２に、酸化により前記窒素ガス内に混在している前記酸素を吸収する鉄粉と活性炭と塩化ナトリウムを充填する際に、前記鉄粉と前記活性炭と前記塩化ナトリウムを固化して粒子状にしたものを充填したことを特徴とし、更には、前記鉄粉と前記活性炭と前記塩化ナトリウムを固化するに際し、フェノール系の粉末のバインダーを使用し、前記鉄粉と前記活性炭と前記塩化ナトリウムと前記バインダーを混合したものであることを特徴とし、更には、前記粒子の大きさは、１〜８ｍｍであることを特徴とし、更には、前記バインダーは２〜６重量％であることを特徴とし、更には、前記活性炭は１２〜２５重量％であることを特徴とし、更には、前記脱酸素手段５０に水を滴下するための水ポット５１ｃ、５２ｃと開閉弁５１ｄ、５２ｄを接続したことを特徴とすることによって、上記課題を解決した。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本願発明による、圧縮空気より分離した窒素ガスの純度を高めるための酸素吸収装置を図面と共に詳細に説明する。
ここで、図１は、本願発明の全体を示した図であり、図２は、脱酸素手段の詳細図である。
【００１２】
図１に見られるように、１０はエアーコンプレッサであり、具体的に図示していないが、モータとコンプレッサとタンクから構成されていて、モータの回転をベルトによってコンプレッサに伝達することで、大気を取り込みながら圧縮空気をタンクに貯蔵するようになっている。
【００１３】
そして、全体の構成としては、エアーコンプレッサ１０によってタンクに貯蔵された圧縮空気は、圧縮空気配管２０１と、手動によって開閉することが可能な開閉弁１１と、圧縮空気配管２０２と、圧縮空気より水分を除去または吸収することによって乾燥させるドライヤー２０と、圧縮空気配管２０３と、圧縮空気より各種の異物を除去するフィルター集合体３０と、圧縮空気配管２０６と、圧縮空気より酸素を除去する中空糸膜集合体４０と、窒素ガス配管２０７と、窒素ガスより酸素を除去する脱酸素手段５０と、窒素ガス配管２０８と、窒素ガスが脱酸素手段５０を通過することで窒素ガスに取り込まれた異物を除去するフィルター６０と、窒素ガス配管２０９と、窒素ガスを貯蔵する窒素ガスタンク７０と、窒素ガス配管２１０と、手動によって開閉することが可能な開閉弁７１と、窒素ガス配管２１１を配設することで、窒素ガスを供給可能な構成となっている。
【００１４】
ここで、圧縮空気を乾燥させるドライヤー２０は、圧縮空気を冷却することによって空気中の水分を露化させ、それによってドレン水として除去する方式が一般的であるが、乾燥剤を収納することによって吸収する方式や分離膜によって水分を除去する方式等も考えられる。　尚、冷却の方法としては、各種の冷媒を使用して、空気によるものや、水によるもの等色々な方式が考えられる。　当然、発生したドレン水は、排出することが出来るようになっている。
【００１５】
また、フィルター集合体３０は、圧縮空気より塵を除去するプレフィルター３１と圧縮空気配管２０４と圧縮空気より油を除去するミストフィルター３２と圧縮空気配管２０５と圧縮空気より油を除去するミクロミストフィルター３３より構成されている。
【００１６】
尚、フィルター集合体３０としてはは、上流からプレフィルター３１とミストフィルター３２とミクロミストフィルター３３の三組のフィルターを構成しているが、一例として上流から最小の大きさが３μと０．１μと０．０１μの異物を捕捉することが出来るものであったり、また別の例として最小の大きさが５μと０．５μと０．０１μの異物を捕捉することが出来るものであったり、究極的には最小の大きさが１〜５μと０．０５〜１μと０．０１〜０．０５μ何れかの値の異物を捕捉することが出来るものであったりするようなフィルターの構成等が考えられる。　また、最下流にフィルターとして、臭いを除去する活性炭フィルターを配設することも考えられる。
【００１７】
更に、フィルター集合体３０を構成している各フィルター３１、３２、３３の構造としては、一例として全てのフィルター本体に異物を捕捉するフィルターエレメントを収納しているような構成が考えられる。　そして、フィルター３１、３２、３３からは、露化して溜まったドレン水を排出することが出来るようになっている。
【００１８】
加えて、このフィルター集合体３０を構成しているフィルター３１、３２、３３に関しては、三組のフィルター３１、３２、３３に限定される訳ではなく、下流になるに従って捕捉性能が向上するような配置であれば、二組のフィルターでも四組のフィルターでも、それ以上の組数のフィルターの構成でも構わない。
【００１９】
次に、中空糸膜集合体４０に関しては、直列に配置した中空糸膜集合体配管２５１と中空糸膜４１と中空糸膜集合体配管２５２と絞り弁４１ａと中空糸膜集合体配管２５３、及び直列に配置した中空糸膜集合体配管２５４と中空糸膜４２と中空糸膜集合体配管２５５と絞り弁４２ａと中空糸膜集合体配管２５６、及び直列に配置した中空糸膜集合体配管２５７と中空糸膜４３と中空糸膜集合体配管２５８と絞り弁４３ａと中空糸膜集合体配管２５９、の三列を並列に配設する構成としている。　但し、並列に配設する構成であるならば、三列に限定される訳ではなく、処理量に対応させて少なければ一列でも二列でも、多ければ四列でもそれ以上の列数でもかまわない。
【００２０】
この場合、中空糸膜４１、４２、４３に関しては、ポリエステル製で何千ものストロー状の中空糸を束ねたものより形成されていて、中空糸の内部に圧縮空気を通すことで、それぞれのガスが固有に持っている中空糸の膜の透過スピードの違いを利用し、空気中に最も多く含まれている窒素ガスを残存させているのである。
【００２１】
尚、圧縮空気を構成しているガスが中空糸膜４１、４２、４３を透過するスピードは、早く放出するガスと放出しにくいガスがあり、残ったガスが窒素ガスということになる。　特に、中空糸膜４１、４２、４３がポリエステル製の場合、水蒸気が一番透過しやすく、以下水素とヘリウムが続き、更に炭酸ガスと一酸化炭素が続き、最後に酸素とアルゴンと窒素が一番透過しにくく、その中でも窒素ガスが一番透過しにくいガスということで残存する訳である。
【００２２】
但し、中空糸膜４１、４２、４３は、ポリエステル製の他に、ポリオレフィン製やポリプロピレン製の樹脂も考えられる。
【００２３】
また、窒素ガスより酸素を除去する脱酸素手段５０としては、詳細は図２に示す通りである。
【００２４】
ここで、図２に示した脱酸素手段５０は、直列に配置した脱酸素手段内配管２６１と手動によって開閉する開閉弁５１ａと脱酸素手段内配管２６２と脱酸素室５１と脱酸素手段内配管２６３と手動によって開閉する開閉弁５１ｂと脱酸素手段内配管２６４、及び直列に配置した脱酸素手段内配管２６５と手動によって開閉する開閉弁５２ａと脱酸素手段内配管２６６と脱酸素室５２と脱酸素手段内配管２６７と手動によって開閉する開閉弁５２ｂと脱酸素手段内配管２６８、の二組の系統を並列に配設する構成としている。
【００２５】
但し、二組の系統を並列に配設する構成でなくても、一組の系統だけの構成でもかまわない。　この場合、二組の系統で並列に構成する理由は、脱酸素室５１、５２には、窒素ガスに含まれた酸素を酸化によって除去するために、混合して粒状にした、鉄粉と、鉄の酸化の反応を促進するための塩化ナトリウムと活性炭等を充填しているが、二組の系統で並列に構成することによって、脱酸素室５１、５２のいずれか一組の系統の充填物が劣化した際に、劣化した充填物の調達と交換をする間、残った他の一組の系統を使用することによって装置全体が完全に休止するのを防ぐように考慮して構成したものである。
【００２６】
そこで、充填物に関して詳細に述べると、従来は、粉状の鉄粉と、鉄の酸化の反応を促進するための塩化ナトリウムと活性炭等を充填しているが、充填物の大半を占める鉄粉が粉状であるために、充填や取り出すに際しての作業性が非常に悪いことが欠点となっていた。
【００２７】
一方、本願発明においては、鉄粉や塩化ナトリウムや活性炭を、場合によってはバインダーを加え、混合して固化して粒状にした物を使用することによって、前述の欠点を解決したのである。　この場合、粒状の大きさとしては、小さすぎると粉状との差を見出す事が出来なくなり、大きすぎると酸化に際しての反応が悪くなり、１〜８ｍｍの大きさにすることが、作業性からも反応性からも効果的であった。　特に、２〜４ｍｍの大きさにすることが、理想的であった。
【００２８】
尚、粒状にする方法としては、第一の方法としては、乾式造粒機によって水は勿論バインダーを添加することなく鉄粉等を、直接スクリューフィーダー及びロールプレスにて圧蜜し板状に成型し希望する大きさの粒状にしたり、第二の方法としては、プレスペレッターによってバインダーが入っている鉄粉等を、２〜４個の円錐状のローラーがダイスの上を公転しかつ自転しながらバインダーが入っている鉄粉等をかみこみダイスの中に強制的に押し込むことにより形成したものをカッターで切断することで造粒したり、第三の方法としては、押出機によってバインダーが入っている鉄粉等を、混練し板材や棒材を成型し希望する大きさの粒状すること等が考えられる。
【００２９】
更に、充填物に関しては、鉄粉と塩化ナトリウムと活性炭の構成の他に、鉄粉だけの場合、鉄粉に活性炭だけの場合、鉄粉に塩化ナトリウムだけの場合、加えてその各々にバインダーを加えた場合と加えない場合等色々な変化を考えることが出来る。　この場合、水分保持材に関しても、前述の組み合わせに対応して、使用する場合と使用しない場合の両方を考えることが出来る。　また、更に加えて前述の全ての組み合わせに対応して、水を加える場合と加えない場合の両方を考えることが出来る。
【００３０】
特に、塩化ナトリウムに関しては、その代わりに塩化カリウムや塩化カルシウムを使用しても構わない。
【００３１】
ところで、一つの例として，重量の割合で鉄粉７４％と塩化ナトリウム５％と活性炭１７％とバインダーとしてのフェノール系樹脂の粉末４％の混合品を使用することが理想的であるということが出来る。
【００３２】
尚、バインダーの添加量に関して述べると、バインダーが多すぎると強度は増すが鉄粉の酸化に対する塩化ナトリウムや活性炭の働きを妨害するために、２〜６重量％が限界であり、理想的な値を示すと３〜５重量％である。
【００３３】
更に、活性炭に関して述べると、従来の鉄粉に比べ、粒状にすると酸素が拡散しにくいために量を多くする必要があり、１２〜２５重量％が望ましい値であり、理想的な値を示すと１５〜２０重量％である。
【００３４】
一方、これらの物質を反応させることによって、水を加えた場合には、発熱し水分が蒸発する。　そこで、発熱によって蒸発した水を供給するために、脱酸素室５１，５２には、水ポット５１ｃ、５２ｃが水供給配管２９１、２９３と手動によって開閉する開閉弁５１ｄ、５２ｄと水供給配管２９２，２９４を弁して接続している。
【００３５】
ところで、図２に示した脱酸素手段５０の場合は、水を水ポット５１ｃ、５２ｃより脱酸素室５１、５２に供給可能になっているが、別の脱酸素手段として、脱酸素室の上流に個々にまたは単独に水槽を設けて窒素ガスを必ず通過するようにし、それによって湿った窒素ガスを脱酸素室に送り込むような構成にしても構わない。　もちろん、開閉弁５１ｄ、５２ｄは、手動でなく、一定時間毎に一定時間の間開くような機能を持たせても構わない。
【００３６】
続いて、フィルター６０は、窒素ガスが脱酸素手段５０を通過すると酸素が除去されるが、それと同時に粒状になっていて、酸素を除去するために充填したはずの鉄粉や塩化ナトリウムや活性炭やバインダーの一部が窒素ガスに異物となって取り込まれて来ることがあり、そこでそれらを除去する目的で設けたものである。
【００３７】
従って、フィルター６０の能力としては、鉄粉や塩化ナトリウムや活性炭やバインダーを除去出来る性能を持ったものが必要となるのである。　さて、フィルター６０からは、露化して溜まったドレン水を排出することが出来るようになっている。
【００３８】
最後に、窒素ガスタンク７０は、窒素ガスを貯蔵するものであり、この窒素ガスタンク７０を設けることによって、窒素ガス配管２１１から窒素ガスを供給するに当たり、脈動をおこすこともなく、連続して安定した状態で窒素ガスを供給することが可能となっているのである。
【００３９】
本発明による、圧縮空気より分離した窒素ガスの純度を高めるための酸素吸収装置は前述したように構成されており、以下に、その動作について詳細に説明する。
【００４０】
先ず、エアーコンプレッサ１０を構成しているモータを作動させると、モータの回転はベルトによってコンプレッサに伝えられ、圧縮空気をタンクに貯蔵するようになっている。
【００４１】
ここで、貯蔵された圧縮空気は、圧縮空気配管２０１と、開閉弁１１と、圧縮空気配管２０２と、ドライヤー２０と、圧縮空気配管２０３と、プレフィルター３１と圧縮空気配管２０４とミストフィルター３２と圧縮空気配管２０５とミクロミストフィルター３３とから構成されるフィルター集合体３０と、圧縮空気配管２０６を経由して中空糸膜集合体４０に送り込まれる。
【００４２】
この場合、ドライヤー２０では、圧縮空気は水分を除去または吸収することによって乾燥した状態となり、フィルター集合体３０では、フィルター３１、３２、３３や、場合によっては活性炭フィルター等の他のフィルターを構成することで、油や塵等の各種の異物を取り除いている。
【００４３】
また、中空糸膜集合体４０では、各中空糸膜４１、４２、４３に接続している絞り弁４１ａ、４２ａ、４３ａを個々に調整することによって、各絞り弁４１ａ、４２ａ、４３ａの下流の中空糸膜集合体配管２５３、２５６、２５９では、全ての配管が同一の純度の窒素ガスを確保出来るようになっている。　具体的には、中空糸膜４１、４２、４３の各々によってまた絞り弁４１ａ、４２ａ、４３ａを個々に調整することによって、全ての中空糸膜集合体配管２５３、２５６、２５９で確実に９９．５％程度の純度の窒素ガスを確保出来るようになっているのである。
【００４４】
次に、中空糸膜集合体４０で一定の純度を確保した窒素ガスは、窒素ガス配管２０７を経由して脱酸素手段５０に送られる。
【００４５】
この場合、９９．５％程度の純度を確保した窒素ガスは、窒素ガス配管２０７を経由して脱酸素手段５０で、脱酸素手段５０を構成している脱酸素室５１、５２に充填している粒状の鉄粉や塩化ナトリウムや活性炭やバインダーのうちの、鉄粉を酸化させることで窒素ガスから酸素を奪い窒素ガスの純度を更に高めているのである。
【００４６】
その際、反応剤として鉄の酸化の反応を促進するために塩化ナトリウムと活性炭と少量の水によって、時には水吸収材を使用することで、９９．９％の窒素ガスの純度が可能となったのである。
【００４７】
尚、反応剤としては、全く添加しなかったり、水または水と水保持剤だけを添加したり、塩化ナトリウムだけを添加したり、塩化ナトリウムと水または水と水保持剤だけを添加したり、活性炭だけを添加したり、活性炭と水または水と水保持剤だけを添加したり、塩化ナトリウムと活性炭と水または水と水保持剤だけを添加したり等色々の変化が考えられる。
【００４８】
ここで、脱酸素手段５０が二組の系統が並列して構成している理由は、脱酸素手段５０を構成している二つの系統の脱酸素室５１，５２に充填しているうちの一方の系統の鉄粉等が劣化した際に、他方の系統の鉄分等を使用する目的で配設したものである。　従って、一方の系統を使用している際には、他方の系統に配設された開閉弁５１ａ、５１ｂまたは開閉弁５２ａ、５２ｂのいずれか一方を閉じることで、その系統に窒素ガスが流れないようにしているのである。
【００４９】
また、水ポット５１ｃ、５２ｃに接続している開閉弁５１ｄ、５２ｄに関しては、脱酸素室５１，５２およびその下流においての発熱の状況や酸素ガスの濃度の変化等による水分の必要性に応じて開閉出来るようになっている。
【００５０】
最後に、脱酸素手段５０で純度を高めた窒素ガスは、窒素ガス配管２０８を経由してフィルター６０に送られ、フィルター６０では窒素ガスが脱酸素手段５０を通過する際に、粒状になっていて、酸素を除去するために充填された鉄粉や塩化ナトリウムや活性炭やバインターの一部の窒素ガスに取り込まれた異物を除去する目的で設けたものであり、更に窒素ガス配管２０９を経由して窒素ガスタンク７０に貯蔵される。　ここで、窒素ガスタンク７０に貯蔵された窒素ガスは、必要に応じて開閉弁７１を開き窒素ガス配管２１１より供給されるようになっている。
【００５１】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明により、下記のような効果をあげることができる。
【００５２】
第一に、脱酸素手段を構成している脱酸素室に充填している鉄粉や塩化ナトリウムや活性炭を粒状にする事によって、管理の点では楽になり充填にさいしての作業性が格段に向上した。
【００５３】
第二に、脱酸素室に充填している鉄粉や塩化ナトリウムや活性炭を粒状にするに当たって、バインダーを使用することによって容易に粒状にすることが可能となった。
【００５４】
第三に、粒子の大きさを１〜８ｍｍにすることによって、作業性が向上しながら、反応性は一定の能力を確保した。
【００５５】
第四に、バインダーの割合を２〜６重量％にすることによって、強度を確保しながら酸化を促進することが可能となった。
【００５６】
第五に、活性炭の割合を１２〜２５％にすることによって、酸素が容易に拡散させることが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の全体を示した図
【図２】脱酸素手段の詳細図
【符号の説明】
１０・・・・・エアーコンプレッサ
１１・・・・・開閉弁
２０・・・・・ドライヤー
３０・・・・・フィルター集合体
３１・・・・・プレフィルター（フィルター）
３２・・・・・ミストフィルター（フィルター）
３３・・・・・ミクロミストフィルタ（フィルター）
４０・・・・・中空糸膜集合体
４１・・・・・中空糸膜
４１ａ・・・・絞り弁
４２・・・・・中空糸膜
４２ａ・・・・絞り弁
４３・・・・・中空糸膜
４３ａ・・・・絞り弁
５０・・・・・脱酸素手段
５１・・・・・脱酸素室
５１ａ・・・・開閉弁
５１ｂ・・・・開閉弁
５１ｃ・・・・水ポット
５１ｄ・・・・開閉弁
５２・・・・・脱酸素室
５２ａ・・・・開閉弁
５２ｂ・・・・開閉弁
５２ｃ・・・・水ポット
５２ｄ・・・・開閉弁
６０・・・・・フィルター
７０・・・・・窒素ガスタンク
７１・・・・・開閉弁
２０１・・・・圧縮空気配管
２０２・・・・圧縮空気配管
２０３・・・・圧縮空気配管
２０４・・・・圧縮空気配管
２０５・・・・圧縮空気配管
２０６・・・・圧縮空気配管
２０７・・・・窒素ガス配管
２０８・・・・窒素ガス配管
２０９・・・・窒素ガス配管
２１０・・・・窒素ガス配管
２１１・・・・窒素ガス配管
２５１・・・・中空糸膜集合体配管
２５２・・・・中空糸膜集合体配管
２５３・・・・中空糸膜集合体配管
２５４・・・・中空糸膜集合体配管
２５５・・・・中空糸膜集合体配管
２５６・・・・中空糸膜集合体配管
２５７・・・・中空糸膜集合体配管
２５８・・・・中空糸膜集合体配管
２５９・・・・中空糸膜集合体配管
２６１・・・・脱酸素手段内配管
２６２・・・・脱酸素手段内配管
２６３・・・・脱酸素手段内配管
２６４・・・・脱酸素手段内配管
２６５・・・・脱酸素手段内配管
２６６・・・・脱酸素手段内配管
２６７・・・・脱酸素手段内配管
２６８・・・・脱酸素手段内配管
２９１・・・・水供給配管
２９２・・・・水供給配管
２９３・・・・水供給配管
２９４・・・・水供給配管
【図１】
2004098037.tif 000003
【図２】
2004098037.tif 000004