(57)【要約】【課題】アームの位置制御の精度を高める。【解決手段】ロボット本体１０に第１伝達機構２を介して回動可能に取り付けられた第１アーム３と、該第１アーム３の先端部に第２伝達機構４を介して回動可能に取り付けられた作業手段５とから構成されると共に、第１伝達機構２および第２伝達機構４を連結して動力を伝達する第１連結手段６を備えるロボットアーム１において、第１連結手段６が、第１伝達機構２からの動力または該第１伝達機構２への動力を授受する第１動力伝達部７と、第２伝達機構４からの動力または該第２伝達機構４への動力を授受する第２動力伝達部８と、第１動力伝達部７および第２動力伝達部８を繋ぐ第１連結部９とから構成される。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボット本体に第１伝達機構を介して回動可能に取り付けられた第１アームと、該第１アームの先端部に第２伝達機構を介して回動可能に取り付けられた作業手段とから構成されると共に、上記第１伝達機構および上記第２伝達機構を連結して動力を伝達する第１連結手段を備えるロボットアームにおいて、上記第１連結手段が、上記第１伝達機構からの動力または該第１伝達機構への動力を授受する第１動力伝達部と、上記第２伝達機構からの動力または該第２伝達機構への動力を授受する第２動力伝達部と、上記第１動力伝達部および上記第２動力伝達部を繋ぐ第１連結部とから構成されていることを特徴とするロボットアーム。
【請求項２】
上記作業手段が、上記第２伝達機構に固定されて上記第１アームに対して回動可能な第２アームと、上記第２伝達機構と同心で上記第１アームに固定された第３伝達機構と、上記第２アームの先端部に第４伝達機構を介して回動可能に取り付けられたハンドとから構成されると共に、上記第３伝達機構と上記第４伝達機構を連結して動力を伝達する第２連結手段を備えるロボットアームであって、上記第２連結手段が、上記第３伝達機構からの動力または該第３伝達機構への動力を授受する第３動力伝達部と、上記第４伝達機構からの動力または該第４伝達機構への動力を授受する第４動力伝達部と、上記第３動力伝達部および上記第４動力伝達部を繋ぐ第２連結部とから構成されていることを特徴とする請求項１記載のロボットアーム。
【請求項３】
上記各伝達機構はプーリであると共に、上記各動力伝達部はベルトであり、尚かつ上記各連結部は金属プレートであることを特徴とする請求項１または２記載のロボットアーム。
【請求項４】
上記各アームにリブを設けたことを特徴とする請求項１から３までのいずれか記載のロボットアーム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロボットアームに関する。更に詳述すると、本発明は、例えば半導体のウェハ、大型液晶搬送ロボット等の大型のワークをカセットや膜付装置等のプロセス装置の間で移動させる多関節ロボットにおけるロボットアームの構造の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
複数のアームを互いに回転可能に連結すると共に回転駆動源の回転力を伝達して伸縮等の動作をさせるようにしたロボットアームが、例えば半導体のウェハ等のワークをカセットや膜付装置等のプロセス装置の間で移動させる多関節ロボットに搭載されている。
【０００３】
例えば図６に示すロボットアーム１０３は、いわゆるベルト直接駆動型と呼ばれるもので、基台１０４上の関節部を中心に回転可能な第１アーム１０５と、この第１アーム１０５の先端部に関節部を介して回転可能に連結された第２アーム１０６と、基台１０４に固定された第１のタイミングプーリ１０７と、関節部において第２アーム１０６に固定された第２のタイミングプーリ１０８と、これら第１のタイミングプーリ１０７及び第２のタイミングプーリ１０８に掛け渡されたタイミングベルト１１１とを備え、第１アーム１０５が回転したときの第２アーム１０６の回転量を規制してこの第２アーム１０６の先端部を直線的に移動させるものである。これによれば、ワーク１０１をハンド１０２上に載置し、このハンド１０２を常時一定方向に向けながら直線上を移動させることが可能である。ハンド１０２は、第２アーム１０６のハンド側プーリ１１０に取り付けられている。第１アーム１０５と第２アーム１０６は同じ長さであり、第１アーム１０５は２つのタイミングプーリ１０７，１０８と１本の長いタイミングベルト１１１とを収容し、第２アーム１０６は２つのタイミングプーリ１０９，１１０と１本の長いタイミングベルト１１２とを収容している。
【０００４】
また、第１アーム１０５に固着された駆動軸１１３が第１のタイミングプーリ１０７と同心となる位置に回転可能に設けられており、基台１０４及び第１のタイミングプーリ１０７に対して第１アーム１０５を回転可能に支持している。この駆動軸１１３は、基台１０４に内蔵されるモータ（図示せず）によって回転される。また、第２のタイミングプーリ１０８と第２アーム１０６とは連結筒１１４により固定されている。さらに、第１アーム１０５と第３のタイミングプーリ１０９とは連結軸１１５により固定されている。この連結軸１１５は、連結筒１１４の内部に回転可能に収容されている。
【０００５】
ここで、第１のタイミングプーリ１０７と第２のタイミングプーリ１０８との径（歯数）の比は２：１とされ、第３のタイミングプーリ１０９と第４のタイミングプーリ１１０との径（歯数）の比は１：２とされている。このため、第１のタイミングプーリ１０７、第２のタイミングプーリ１０８、第４のタイミングプーリ１１０の回転角度比は１：２：１となる。
【０００６】
このロボットアーム１０３を使用する際は、モータを駆動することにより第１アーム１０５を基台１０４に対して回転させる。このとき、固定的な基台側プーリ１０７に対し相対的に回転するタイミングベルト１１１が、第１アーム１０５に対してハンド側プーリ１０８を相対回転させる。このハンド側プーリ１０８の第１アーム１０５に対する回転により、第１アーム１０５に対して第２アーム１０６が回転すると共に第２アーム１０６に対して基台側プーリ１０９が回転する。さらに、第２アーム１０６に対して基台側プーリ１０９が回転することにより、第２アーム１０６に対してハンド側プーリ１１０が回転してハンド１０２が回転する。
【０００７】
ここで、第１アーム１０５及び第２アーム１０６が同じ長さであると共に第１アーム１０５の基台側プーリ１０７とハンド側プーリ１０８（即ち、第２アーム１０６の基台側プーリ１０９）と第２アーム１０６のハンド側プーリ１１０との回転角度比は１：２：１であるので、第１アーム１０５を回転させることにより、第１アーム１０５と第２アーム１０６との角度が変化して、第１アーム１０５の基台側プーリ１０７の中心と第２アーム１０６のハンド側プーリ１１０の中心とを結んだ直線上をハンド１０２が向きを一定にしながら移動する。
【０００８】
ところで、近年では液晶ガラスが大型化して重量化している。このため、上述したタイミングベルトでは剛性が不足してワークの位置精度が低下してしまう。そこで、各関節部に減速機を設けると共にタイミングベルトを高速で回転させる技術が開発されている（特開２００１−３１０２８７参照）。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００１−３１０２８７号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図６に示すベルト直接駆動型のロボットアーム１０３では、第１アーム１０５内に１本の長いタイミングベルト１１１で第２アーム１０６を直接駆動し、同様に１本の長いタイミングベルト１１２でハンド１０２を駆動する構造であるため、ハンド１０２を直進駆動させる際の精度がこれらタイミングベルト１１１，１１２自体の剛性によって左右されてしまう。ところが、高い剛性を確保しようとすればベルト幅を大きくしたりベルト強度を増加させたり、あるいはプーリ１０７〜１１０の径を大きくする必要があり、ロボットアーム１０３全体の大型化を招く。ロボットアーム１０３の大きさには限界があるため、タイミングベルト１１１，１１２には剛性上の限界があり、ロボットアーム１０３の高い精度を確保するのが難しい。
【００１１】
また、タイミングベルト１１１，１１２はいずれもエンドレスベルトであるので、各アーム１０５，１０６の内部全体にリブを形成するのは困難である。このため、アーム１０５，１０６の上下方向の剛性を高めることができない。これもアームの位置制御の精度の低下の一因となる。
【００１２】
一方、タイミングベルトに減速機を併用したロボットアームでは、機構が複雑化するためコストが増大してしまうと共にメンテナンスが煩雑になってしまう。また、アームが何かに衝突したときにタイミングベルトの歯飛びでは済まず減速機が破損するおそれがある。さらに、減速機を利用することで重量が増加するので各関節部の回転軸を太くする必要がある。そして、減速機の利用や軸の拡径化によりロボットアーム全体の重量が増加するので、これを設置する例えばクリーンルームの床（グレーチング）の補強が必要になってしまい設備費が高くなってしまう。
【００１３】
そこで、本発明は、アームの位置制御の精度を高めることができるロボットアームを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、請求項１記載の発明は、ロボット本体に第１伝達機構を介して回動可能に取り付けられた第１アームと、該第１アームの先端部に第２伝達機構を介して回動可能に取り付けられた作業手段とから構成されると共に、第１伝達機構および第２伝達機構を連結して動力を伝達する第１連結手段を備えるロボットアームにおいて、第１連結手段が、第１伝達機構からの動力または該第１伝達機構への動力を授受する第１動力伝達部と、第２伝達機構からの動力または該第２伝達機構への動力を授受する第２動力伝達部と、第１動力伝達部および第２動力伝達部を繋ぐ第１連結部とから構成されるようにしている。
【００１５】
したがって、例えば第２伝達機構の動力を第１伝達機構に伝達する際は、第２伝達機構→第２動力伝達部→第１連結部→第１動力伝達部→第１伝達機構という順でなされる。このため、第１連結部を硬質の部材で形成できるので、従来のように第１伝達機構と第２伝達機構との間にタイミングベルトのみが介在する場合に比べて、ベルトが短くなりベルトの伸縮による位置精度低下を抑えることができる。
【００１６】
また、第１動力伝達部と第１連結部との間および第１連結部と第２動力伝達部との間では一旦分離して再度連結することが可能になるので、これら第１動力伝達部と第１連結部と第２動力伝達部とが通過する孔を有すると共に第１アーム内を横切るリブを形成することができるようになる。
【００１７】
さらに、ベルト直接駆動型になるので、減速機を使用する場合に比べて構造が簡素でメンテナンス性が良い。
【００１８】
そして、請求項２記載の発明は、請求項１記載のロボットアームにおいて、作業手段が、第２伝達機構に固定されて第１アームに対して回動可能な第２アームと、第２伝達機構と同心で第１アームに固定された第３伝達機構と、第２アームの先端部に第４伝達機構を介して回動可能に取り付けられたハンドとから構成されると共に、第３伝達機構と第４伝達機構を連結して動力を伝達する第２連結手段を備えるロボットアームであって、第２連結手段が、第３伝達機構からの動力または該第３伝達機構への動力を授受する第３動力伝達部と、第４伝達機構からの動力または該第４伝達機構への動力を授受する第４動力伝達部と、第３動力伝達部および第４動力伝達部を繋ぐ第２連結部とから構成されるようにしている。
【００１９】
したがって、例えば第３伝達機構の動力を第４伝達機構に伝達する際は、第３伝達機構→第３動力伝達部→第２連結部→第４動力伝達部→第４伝達機構という順でなされる。このため、第２連結部を硬質の部材で形成できるので、従来のように第３伝達機構と第４伝達機構との間にタイミングベルトのみが介在する場合に比べて、ベルトが短くなりベルトの伸縮による精度低下を抑えることができる。
【００２０】
また、第３動力伝達部と第２連結部との間および第２連結部と第４動力伝達部との間では一旦分離して再度連結することが可能になるので、これら第３動力伝達部と第２連結部と第４動力伝達部とが通過する孔を有すると共に第２アーム内を横切るリブを形成することができるようになる。
【００２１】
また、請求項３記載の発明は、請求項１または２記載のロボットアームにおいて、各伝達機構はプーリであると共に、各動力伝達部はベルトであり、尚かつ各連結部は金属プレートであるようにしている。したがって、各伝達機構の間には金属プレートである連結部が介在されるので、見かけ上のベルトの長さが短くなって剛性を高めることができる。
【００２２】
さらに、請求項４記載の発明は、請求項１から３までのいずれか記載のロボットアームにおいて、各アームにリブを設けるようにしている。このため、各アームの剛性を高めることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の構成を図面に示す最良の形態に基づいて詳細に説明する。
【００２４】
図１〜図５に、本発明のロボットアーム１の実施形態の一例を示す。このロボットアーム１は、ロボット本体１０に第１伝達機構２を介して回動可能に取り付けられた第１アーム３と、該第１アーム３の先端部に第２伝達機構４を介して回動可能に取り付けられた作業手段５とから構成されると共に、第１伝達機構２および第２伝達機構４を連結して動力を伝達する第１連結手段６を備えるものである。そして、第１連結手段６が、第１伝達機構２からの動力または該第１伝達機構２への動力を授受する第１動力伝達部７と、第２伝達機構４からの動力または該第２伝達機構４への動力を授受する第２動力伝達部８と、第１動力伝達部７および第２動力伝達部８を繋ぐ第１連結部９とから構成されるようにしている。このため、例えば第２伝達機構４→第２動力伝達部８→第１連結部９→第１動力伝達部７→第１伝達機構２という順で動力が伝達されるので、第１連結部９を硬質の部材で形成することにより第１伝達機構２と第２伝達機構４との間のベルトの長さを短くしてベルトの伸びによる作業手段５の位置精度低下を抑えることができる。
【００２５】
また、このロボットアーム１では、作業手段５は、第２伝達機構４に固定されて第１アーム３に対して回動可能な第２アーム１１と、第２伝達機構４と同心で第１アーム３に固定された第３伝達機構１４と、第２アーム１１の先端部に第４伝達機構１５を介して回動可能に取り付けられたハンド１２とから構成されると共に、第３伝達機構１４と第４伝達機構１５を連結して動力を伝達する第２連結手段１６を備えるものとしている。そして、第２連結手段１６が、第３伝達機構１４からの動力または該第３伝達機構１４への動力を授受する第３動力伝達部１７と、第４伝達機構１５からの動力または該第４伝達機構１５への動力を授受する第４動力伝達部１８と、第３動力伝達部１７および第４動力伝達部１８を繋ぐ第２連結部１９とから構成されるようにしている。このため、例えば第３伝達機構１４→第３動力伝達部１７→第２連結部１９→第４動力伝達部１８→第４伝達機構１５という順で動力が伝達されるので、第２連結部１９を硬質の部材で形成することにより第３伝達機構１４と第４伝達機構１５との間のベルトの長さを短くしてベルトの伸びによるハンド１２の位置精度の低下を抑えることができる。
【００２６】
各伝達機構２，４，１４，１５はプーリであると共に、各動力伝達部７，８，１７，１８はベルト、特にタイミングベルトであり、尚かつ各連結部９，１９は金属プレートのような硬質部材としている。各連結部９，１９の長さは、各アーム３，１１が最も回転したときでも各連結部９，１９がいずれの伝達機構２，４，１４，１５にも干渉しないものとする。
【００２７】
第１連結部９は、第１動力伝達部７および第２動力伝達部８の端部を挟み込んで間隔を調整可能な調整側連結部２０と、各端部を挟み込んだまま間隔調整できずに固定する固定側連結部２１とを備えている。また、第２連結部１９は、第３動力伝達部１７および第４動力伝達部１８の端部を挟み込んで間隔を調整可能な調整側連結部２２と、各端部を挟み込んだまま間隔調整できずに固定する固定側連結部２３とを備えている。
【００２８】
調整側連結部２２は、図１および図３に示すように一方の動力伝達部１７を挟み込んで一体化する第１端部２４と他方の動力伝達部１８を挟み込んで一体化する第２端部２５とを備えている。第１端部２４は各動力伝達部１７，１８の長手方向に沿ったスライド穴２６を備えている。第２端部２５はスライド穴２６を貫通するボルト２７によって第１端部２４に対して摺動可能に取り付けられている。また、第１端部２４および第２端部２５に対して動力伝達部１７，１８の長手方向に沿って螺合する調整用ボルト２８が設けられている。このため、調整用ボルト２８を回転することにより第１端部２４および第２端部２５の間隔が調整され、両方の動力伝達部１７，１８の張力を調整することができる。尚、調整側連結部２０は、上記調整側連結部２２と同様の構成であるため説明を省略する。
【００２９】
ここでの動力伝達部１７，１８の張力としては、別個のテンションローラを不要にできる程度であることが好ましい。これによればテンションローラを省略してコストダウンおよび軽量化、更には精度向上を図ることができる。
【００３０】
また、動力伝達部１７，１８と連結部１９との間は一旦分離して再度連結することが可能になるので、これら動力伝達部１７，１８と連結部１９とが通過する孔を有すると共に第２アーム１１内を横切るリブを形成することができるようになる。例えば図１に示すように、アーム３，１１の内側にリブ２９を形成し、このリブ２９には動力伝達部７，８，１７，１８および連結部９，１９が貫通する透孔３０と配線用透孔３１とを形成する。リブ２９を設けることにより、断面変形を抑えることができアーム３，１１の上下剛性を高めることができる。また、アーム３，１１の肉厚を薄くして軽量化を図ることができる。
【００３１】
第１伝達機構２はロボット本体１０に固定されている。ハンド１２は、第２アーム１１の第４伝達機構１５に取り付けられている。また、第１伝達機構２および第２伝達機構４の回転中心の間隔と第３伝達機構１４および第４伝達機構１５の回転中心の間隔とは同じ長さとしている。
【００３２】
また、第２伝達機構４と第２アーム１１とは直接ねじ止めにより固定されている。さらに、第１アーム３と第３伝達機構１４とは連結筒３３により固定されている。この連結筒３３は、第２伝達機構４の内部に収容されている。連結筒３３の内部には配線が収容されている。さらに、第１アーム３の第２伝達機構４の近傍には駆動機構３５が内蔵されている。この駆動機構３５は、モータ３６と、該モータ３６に取り付けられた減速機３７と、減速機３７に取り付けられた駆動プーリ３８と、駆動プーリ３８と第２伝達機構４とに掛け渡される駆動ベルト３９とを備えている。
【００３３】
ここで、第１伝達機構２と第２伝達機構４との径（歯数）の比は２：１とされ、第３伝達機構１４と第４伝達機構１５との径（歯数）の比は１：２とされている。このため、第１伝達機構２、第２伝達機構４、第４伝達機構１５の回転角比は１：２：１となる。
【００３４】
ロボットアーム１は、図４および図５に示すようにロボット本体１０に２本支持されている。ロボット本体１０は昇降機構を有している。すなわち、ロボットアーム１は、昇降機構の最低高さ（図４中、実線で示す）と昇降機構の最高高さ（図４中、二点鎖線で示す）との間で昇降可能である。また、ロボット本体１０はレール３４に沿って移動可能にされている。
【００３５】
上述したロボットアーム１の動作を以下に説明する。
【００３６】
ロボットアーム１を使用する際は、モータ３６を駆動することにより減速機３７を介して駆動プーリ３８を回転させる。さらに、駆動プーリ３８の回転は駆動ベルト３９を介して第２伝達機構４に伝達される。第２伝達機構４の回転は第１連結手段６を介して第１伝達機構２に伝達される。また、第２伝達機構４の回転により、第１アーム３に対して第２アーム１１が回転すると共に第２アーム１１に対して第３伝達機構１４が回転する。さらに、第２アーム１１に対して第３伝達機構１４が回転することにより、第２アーム１１に対して第４伝達機構１５が回転してハンド１２が回転する。
【００３７】
ここで、第１伝達機構２および第２伝達機構４の回転中心の間隔と第３伝達機構１４および第４伝達機構１５の回転中心の間隔とは同じ長さであると共に第１アーム３の第１伝達機構２と第２伝達機構４（即ち、第２アーム１１の第３伝達機構１４）と第２アーム１１の第４伝達機構１５との回転角度比は１：２：１であるので、第１アーム３を回転させることにより、第１アーム３と第２アーム１１との角度が変化して、第１アーム３の第１伝達機構２の中心と第２アーム１１の第４伝達機構１５の中心とを結んだ直線上をハンド１２が向きを一定にしながら移動する。
【００３８】
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば本実施形態では動力伝達部７，８，１７，１８としてタイミングベルトを使用しているが、これには限られずスチールベルトやチェーンを利用しても良い。
【００３９】
また、上述した実施形態では各アーム３，１１にリブが設けられているが、これには限られず例えば荷重が余り大きくない場合などは設けなくても良い。
【００４０】
さらに、上述した実施形態ではモータ３６を第１アーム３の第２伝達機構４の近傍に設けているが、これには限られずモータ３６をロボット本体１０に内蔵させるようにしても良い。この場合は、モータ３６により第１アーム３を駆動させて、第１伝達機構２から第２伝達機構４、第３伝達機構１４、第４伝達機構１５と動力を伝達させる。あるいは、モータ３６を第２アーム１１に設けて、第４伝達機構１５を駆動させても良い。この場合は、第４伝達機構１５から、第３伝達機構１４、第２伝達機構４、第１伝達機構２と動力を伝達させる。
【００４１】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１記載のロボットアームによれば、第１連結部を硬質の部材で形成して、従来のように第１伝達機構と第２伝達機構との間にタイミングベルトのみが介在する場合に比べて、ベルトが短くなりベルトの伸縮による作業手段の位置精度低下を抑えることができる。
【００４２】
また、第１動力伝達部と第１連結部との間および第１連結部と第２動力伝達部との間では一旦分離して再度連結することが可能になるので、これら第１動力伝達部と第１連結部と第２動力伝達部とが通過する孔を有すると共に第１アーム内を横切るリブを形成することができるようになる。これにより、第１アームの断面変形を抑えることができるので、アームの上下方向の剛性を高めることができる。また、アームの肉厚を薄くすることができるので、軽量化を図ることができる。
【００４３】
さらに、ベルト直接駆動型になるので、減速機を使用する場合に比べて構造が簡素でメンテナンス性が良い。しかも、駆動部はアームの関節部とは別個であるので、アームの内部構造とは別に駆動部のみを一体交換などできる。よって、駆動部がアームの関節部に設けられた場合に比べてメンテナンス時間の短縮を図ることができる。
【００４４】
そして、請求項２記載のロボットアームによれば、第２連結部を硬質の部材で形成して、従来のように第３伝達機構と第４伝達機構との間にタイミングベルトのみが介在する場合に比べて、ベルトが短くなりベルトの伸縮による作業手段の位置精度低下を抑えることができる。
【００４５】
また、第３動力伝達部と第２連結部との間および第２連結部と第４動力伝達部との間では一旦分離して再度連結することが可能になるので、これら第３動力伝達部と第２連結部と第４動力伝達部とが通過する孔を有すると共に第２アーム内を横切るリブを形成することができるようになる。これにより、第２アームの断面変形を抑えることができるので、アームの上下方向の剛性を高めることができる。また、アームの肉厚を薄くすることができるので、軽量化を図ることができる。
【００４６】
請求項３記載のロボットアームによれば、各伝達機構はプーリであると共に、各動力伝達部はベルトであり、尚かつ各連結部は金属プレートであるようにしているので、各伝達機構の間には金属プレートである連結部が介在されることになり、見かけ上のベルトの長さが短くなって剛性を高めて位置制御の精度を高めることができる。
【００４７】
さらに、請求項４記載のロボットアームによれば、各アームにリブを設けているので、各アームの剛性を高めて位置制御の精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のロボットアームの主要部を示す縦断面側面図である。
【図２】ロボットアームの主要部を示す平面図である。
【図３】調整側連結部を示す側面図である。
【図４】ロボットアームを示す正面図である。
【図５】ロボットアームを示す平面図である。
【図６】従来のロボットアームを示す縦断面正面図である。
【符号の説明】
１  ロボットアーム
２  第１伝達機構
３  第１アーム
４  第２伝達機構
５  作業手段
６  第１連結手段
７  第１動力伝達部
８  第２動力伝達部
９  第１連結部
１０  ロボット本体
１１  第２アーム
１２  ハンド
１４  第３伝達機構
１５  第４伝達機構
１６  第２連結手段
１７  第３動力伝達部
１８  第４動力伝達部
１９  第２連結部
２９  リブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
2004160568.tif 000005
【図４】
2004160568.tif 000006
【図５】
2004160568.tif 000007
【図６】
2004160568.tif 000008