(57)【要約】【課題】フラットディスプレイパネルの生産性の向上を図ることが出来る製造装置を提供する。【解決手段】ベーク炉内において製造過程のフラットディスプレイパネル１を支持する支持フレームＣＴ３と、排気ヘッドＣＴ４ａ，ＣＴ４ｂと、この排気ヘッドＣＴ４ａ，ＣＴ４ｂに冷却水を循環させる配管ボックスＣＴ６とを備え、支持フレームＣＴ３が複数のフラットディスプレイパネルを水平面内において並べた状態で支持する大きさを有し、この支持フレームＣＴ３に支持されるフラットディスプレイパネルの数に対応する数の排気ヘッドＣＴ４ａ，ＣＴ４ｂがそれぞれ配管ボックスＣＴ６に近接する位置に配置されている。【選択図】　　図３
2004146243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱チャンバ内において製造過程のフラットディスプレイパネルを支持する支持部材と、この支持部材に支持されたフラットディスプレイパネルの排気管に接続されてこのフラットディスプレイパネル内の空間からの排気を行う排気ヘッドと、この排気ヘッドに冷却水を循環させる冷却水供給部材とを備えたフラットディスプレイパネルの製造装置において、
前記支持部材が複数のフラットディスプレイパネルを水平面内において並べた状態で支持する大きさを有し、
この支持部材に支持されるフラットディスプレイパネルの数に対応する数の排気ヘッドがそれぞれ冷却水供給部材に近接する位置に配置されている、
ことを特徴とするフラットディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２】
前記支持部材が二枚のフラットディスプレイパネルを水平面内において並べた状態で支持する大きさを有し、冷却水供給部材が支持部材の両側にそれぞれ配置され、二つの排気ヘッドが支持部材に対して同じ側の両端部分の冷却水供給部材に近接する位置にそれぞれ配置されていて、排気管が角部分に取り付けられた二枚のフラットディスプレイパネルが支持部材上に互いに９０度異なる向きに載置されて、それぞれの排気管が支持部材に対して同じ側の両端位置に位置されることにより排気ヘッドに接続される請求項１に記載のフラットディスプレイパネルの製造装置。
【請求項３】
前記支持部材が二枚のフラットディスプレイパネルを水平面内において並べた状態で支持する大きさを有し、冷却水供給部材が支持部材の両側にそれぞれ配置され、二つの排気ヘッドが支持部材を挟んで互いに反対側の両端部分の冷却水供給部材に近接する位置にそれぞれ配置されていて、排気管が角部分に取り付けられた二枚のフラットディスプレイパネルが支持部材上に互いに１８０度異なる向きに載置されて、それぞれの排気管が支持部材を挟んで互いに反対側の両端位置に位置されることにより排気ヘッドに接続される請求項１に記載のフラットディスプレイパネルの製造装置。
【請求項４】
前記冷却水供給部材が支持部材の一方の側に配置され、支持部材上に支持されるフラットディスプレイパネルの数に対応する数の排気ヘッドが冷却水供給部材に沿って互いにフラットディスプレイパネルの幅以上の間隔を開けた位置に配列されて、排気管が角部分に取り付けられた複数のフラットディスプレイパネルが支持部材上に互いに同じ向きに載置されて、それぞれの排気管が冷却水供給部材に沿って並ぶ位置に位置されることにより排気ヘッドに接続される請求項１に記載のフラットディスプレイパネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、フラットディスプレイパネルの製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
面放電方式反射型プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、放電空間を介して前面ガラス基板と背面ガラス基板とが互いに対向するように配置されており、前面ガラス基板の背面側に、行方向に延び列方向に並設されてそれぞれ表示ラインを形成する複数の行電極対が形成されて、この行電極対が誘電体層および保護誘電体層によって被覆されており、また、背面ガラス基板の前面ガラス基板と放電空間を介して対向する側に、列方向に延び行方向に並設されて行電極対と交差する位置の放電空間内にそれぞれ放電セルを構成する複数の列電極と、各放電セルを区画する隔壁と、各放電セル毎に赤，緑，青の三原色に色分けされた蛍光体層とが形成されており、そして、この前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の排気が行われた放電空間内に、ネオンやキセノンなどの混合ガスからなる放電ガスが封入された構造を有している。
【０００３】
また、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）も、二枚の基板の間に電子放出機構が設けられている真空の空間が形成された構造を有している。
【０００４】
従来、上記のようなＰＤＰやＦＥＤなどのフラットディスプレイパネルは、カート搬送式連続炉によって、排気管封着処理および排気処理，ガス封入処理などの製造工程が連続して行われる。
【０００５】
すなわち、図１および２において、製造過程にあるフラットディスプレイパネル１は、二枚の基板が互いに所定の間隔を開けて対向配置され、この二枚の基板の間の空間の外縁部に封止層が形成されて仮焼成され、この二枚の基板が図示しないクリップによって互いに分離しないように仮固定され、さらに、一方の基板の非表示領域部分に二枚の基板の間の空間内に連通された排気管２が、封着剤によって仮固定されている。
【０００６】
このフラットディスプレイパネル１は、排気装置を装備したカートＣ上に、このカートＣのマガジン支柱Ｃ１に固定された支持フレームＣ２によってそれぞれ下方から支持された状態で多段に積み重ねられる（図には一段のみ図示されている）。
【０００７】
このとき、各フラットディスプレイパネル１の排気管２が、カートＣの排気装置の排気ヘッドＣ３にそれぞれ接続されている。
【０００８】
そして、この多段に積み重ねられたフラットディスプレイパネル１は、カートＣごと、図示しないベーク炉内に搬入される。
【０００９】
この後、フラットディスプレイパネル１は、ベーク炉内において加熱されて二枚の基板の間の封止層および排気管２を封着する封着剤の本焼成が行われ、さらに、加熱状態において排気装置による二枚の基板の間の空間からの排気、および、この空間内への放電ガスの導入が行われる。
【００１０】
このとき、排気管２をチャキングするゴムパッキンを高熱から保護するために、排気ヘッドＣ３内に配管ボックスＣ４から冷却水が循環される。
【００１１】
この放電ガスの導入後、排気管２が切断されて溶融されることにより、二枚の基板の間の空間が密閉されて、放電ガスが封じ込められる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなフラットディスプレイパネルの製造装置において、生産能力を向上させるためには、カートＣ一台当たりに積載するフラットディスプレイパネル１の枚数を増やすことが有効な手段になる。
【００１３】
しかしながら、フラットディスプレイパネル１を積み重ねる段数を増やすことは、高さの制限や安定性などの点において制約がある。
【００１４】
この発明は、上記のような従来のフラットディスプレイパネルの製造装置における問題点を解決して、生産性の向上を図ることが出来るようにすることを目的としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この発明によるフラットディスプレイパネルの製造装置は、上記目的を達成するために、加熱チャンバ内において製造過程のフラットディスプレイパネルを支持する支持部材と、この支持部材に支持されたフラットディスプレイパネルの排気管に接続されてこのフラットディスプレイパネル内の空間からの排気を行う排気ヘッドと、この排気ヘッドに冷却水を循環させる冷却水供給部材とを備えたフラットディスプレイパネルの製造装置において、前記支持部材が複数のフラットディスプレイパネルを水平面内において並べた状態で支持する大きさを有し、この支持部材に支持されるフラットディスプレイパネルの数に対応する数の排気ヘッドがそれぞれ冷却水供給部材に近接する位置に配置されていることを特徴としている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の最も好適と思われる実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明を行う。
【００１７】
図３は、この発明によるフラットディスプレイパネルの製造装置の実施形態における第１の例を示す平面図であり、図４は、この製造装置の側面図である。
【００１８】
この図３および４において、フラットディスプレイパネル１をベーク炉内に搬入するためのカートＣＴは、ベースＣＴ１上の両側の側縁に、それぞれ複数（図示の例では三本ずつ）のマガジン支柱ＣＴ２がベースＣＴ１の両側で互いに対向するように配列されている。
【００１９】
そして、このベースＣＴ１の両側で互いに対向するそれぞれ一対のマガジン支柱ＣＴ２の間に、フラットディスプレイパネル１を積載する棚の各段毎に、複数（この例では三本）の支持フレームＣＴ３が水平に架け渡されている。
なお、図には、一段目の棚の構成のみが示されている。
【００２０】
各支持フレームＣＴ３は、その長さ（ベースＣＴ１の両側で互いに対向する一対のマガジン支柱ＣＴ２の間の距離）が、複数枚（図示の例では二枚）のフラットディスプレイパネル１が後述するような形態で水平に並べて載置出来る大きさに設定されている。
【００２１】
さらに、支持フレームＣＴ３上に支持されたそれぞれのフラットディスプレイパネル１の角部が支持フレームＣＴ３の両端部に近接する位置（図３において下側の左右側部）に、棚の各段毎に、排気ヘッドＣＴ４ａ，ＣＴ４ｂが、それぞれマガジン支柱ＣＴ２に固定された支持梁ＣＴ５ａ，ＣＴ５ｂによって支持されることによって、設置されている。
【００２２】
ベースＣＴ１のマガジン支柱ＣＴ２の列の外側には、それぞれ、排気および放電ガス導入，冷却水循環などのための配管ボックスＣＴ６がそれぞれ取り付けられている。
【００２３】
次に、上記のカートＣＴにフラットディスプレイパネル１を積載する際の、形態について説明を行う。
【００２４】
ここで、フラットディスプレイパネル１の排気管２は、その取り付け位置が決まっており、この例においては、フラットディスプレイパネル１を横長に載置した場合（図３において左側の位置されているフラットディスプレイパネル１の状態）に、図において左下の角部に位置されるように取り付けられている。
【００２５】
カートＣＴにフラットディスプレイパネル１を積載する際には、図３および４において、各段の棚の支持フレームＣＴ３上の左側部分に、製造過程にあるフラットディスプレイパネル１を横長の向きにして、三本の支持フレームＣＴ３うちの排気ヘッドＣＴ４ａが設けられている側の二本の支持フレームＣＴ３上に載置し、各フラットディスプレイパネル１の図において左下角部に位置される排気管２を各段の棚ごとに設けられている排気ヘッドＣＴ４ａに接続する。
【００２６】
そして、各段の棚の支持フレームＣＴ３上の右側部分には、フラットディスプレイパネル１を縦長の向きにして、三本の支持フレームＣＴ３上に載置し、各フラットディスプレイパネル１の図において右下角部に位置される排気管２を、同様に、各段の棚ごとに設けられている排気ヘッドＣＴ４ｂに接続する。
【００２７】
このようにして、各段の棚に二枚ずつのフラットディスプレイパネル１が積載されたカートＣＴは、ベーク炉内に搬入されて、排気管封着処理および排気処理，ガス封入処理などの製造工程が行われる。
【００２８】
このフラットディスプレイパネルの製造装置によれば、カートＣＴの高さを増加させることなく、一台のカートＣＴに積載するフラットディスプレイパネル１の枚数を増やすことが出来、これによって、カート搬送式連続炉における生産能力を従来と比べて大幅に向上させることが出来るようになる。
【００２９】
そして、カートＣＴの棚の各段に複数枚のフラットディスプレイパネル１を載せる場合に、各フラットディスプレイパネル１に取り付けられている排気管２が、カートＣＴのマガジン支柱ＣＴ２側に位置する態様で支持フレームＣＴ３上に載置されて、それぞれマガジン支柱ＣＴ２に近接する位置に配置された排気ヘッドＣＴ４ａ，ＣＴ４ｂにそれぞれ接続されるようになっていることによって、配管ボックスＣＴ６から排気ヘッドＣＴ４ａ，ＣＴ４ｂに供給される冷却水の温度が、各フラットディスプレイパネル１について均一になり、これによって、排気ヘッドがマガジン支柱ＣＴ２間の中央に配置される場合のように炉内における温度特性に不均一が発生するのを防止することが出来る。
【００３０】
図５は、この発明によるフラットディスプレイパネルの製造装置の実施形態における第２の例を示す平面図である。
【００３１】
この例におけるフラットディスプレイパネルの製造装置は、上記第１の例の場合と比較して、排気ヘッドＣＴ４ａの位置が、平行に配列された三本の支持フレームＣＴ３を挟んでカートＣＴの反対側の側部のマガジン支柱ＣＴ２に近接する位置、すなわち、排気ヘッドＣＴ４ａとＣＴ４ｂが三本の支持フレームＣＴ３を挟んでカートＣＴの対角線の両端位置に配置された構成になっている。
【００３２】
他の部分の構成については、前述した第１の例の場合とほぼ同様であり、同一の符号が付されている。
【００３３】
このカートＣＴには、棚の各段の図５において左側部分に、フラットディスプレイパネル１がその排気管２が上側左角部に位置される向きに向けられ、右側部分にフラットディスプレイパネル１がその排気管２が下側右角部に位置される向きに向けられた状態、すなわち、二枚のフラットディスプレイパネル１の向きが互いに１８０度異なる向きに向けられた状態で、それぞれ載置される。
【００３４】
これによって、三本の支持フレームＣＴ３を挟んでカートＣＴの対角線の両端の位置に配置された排気ヘッドＣＴ４ａとＣＴ４ｂに、互いに１８０度異なる向きに向けられて支持フレームＣＴ３上に載置された二枚のフラットディスプレイパネル１のそれぞれの排気管２が接続される。
【００３５】
この第２の例によるフラットディスプレイパネルの製造装置も、第１の例と同様に、カート搬送式連続炉における生産能力を従来と比べて大幅に向上させることが出来るようになるとともに、各フラットディスプレイパネル１が、その排気管２がそれぞれカートＣＴのマガジン支柱ＣＴ２側に位置する態様で支持フレームＣＴ３上に支持されて、マガジン支柱ＣＴ２に近接する位置に配置された排気ヘッドＣＴ４ａ，ＣＴ４ｂにそれぞれ接続されるので、配管ボックスＣＴ６から排気ヘッドＣＴ４ａ，ＣＴ４ｂに供給される冷却水の温度を、各フラットディスプレイパネル１について均一に保つことが出来るようになる。
【００３６】
図６は、この発明によるフラットディスプレイパネルの製造装置の実施形態における第３の例を示す平面図である。
【００３７】
この例におけるフラットディスプレイパネルの製造装置は、支持フレームＣＴ３が偶数本（図示に例では４本）取り付けられており、前記第１の例の場合と比較して、排気ヘッドＣＴ４ｂの位置が、平行に配列された四本の支持フレームＣＴ３を挟んでカートＣＴの反対側の側部のマガジン支柱ＣＴ２に近接する位置、すなわち、排気ヘッドＣＴ４ａとＣＴ４ｂが四本の支持フレームＣＴ３を挟んでカートＣＴの対角線の両端の位置に配置された構成になっている。
【００３８】
他の部分の構成については、前述した第１の例の場合とほぼ同様であり、同一の符号が付されている。
【００３９】
このカートＣＴには、棚の各段の図６において上側部分に、フラットディスプレイパネル１がその長手方向が支持フレームＣＴ３と平行にかつ排気管２が上側右角部に位置される向きに向けられ、左側部分にフラットディスプレイパネル１がその長手方向が支持フレームＣＴ３と平行にかつ排気管２が下側左角部に位置される向きに向けられた状態、すなわち、二枚のフラットディスプレイパネル１の向きが支持フレームＣＴ３と平行で互いに１８０度異なる向きに向けられた状態でそれぞれ載置される。
【００４０】
これによって、四本の支持フレームＣＴ３を挟んでカートＣＴの対角線の両端の位置に配置された排気ヘッドＣＴ４ａとＣＴ４ｂに、互いに１８０度異なる向きに向けられて支持フレームＣＴ３と平行に載置された二枚のフラットディスプレイパネル１のそれぞれの排気管２が接続される。
【００４１】
この第３の例によるフラットディスプレイパネルの製造装置も、第１の例と同様に、カート搬送式連続炉における生産能力を従来と比べて大幅に向上させることが出来るようになるとともに、配管ボックスＣＴ６から排気ヘッドＣＴ４ａ，ＣＴ４ｂに供給される冷却水の温度を、各フラットディスプレイパネル１について均一に保つことが出来るようになる。
【００４２】
図７は、この発明によるフラットディスプレイパネルの製造装置の実施形態における第４の例を示す平面図である。
【００４３】
この例におけるフラットディスプレイパネルの製造装置は、上記第４の例の場合と同様に、支持フレームＣＴ３が４本取り付けられており、排気ヘッドＣＴ４ａも図７においてカートＣＴの同じ位置に配置されているが、もう一方の排気ヘッドＣＴ４ｂが、支持フレームＣＴ３の軸線方向において排気ヘッドＣＴ４ａと同じ側で４本の支持フレームＣＴ３の図において上から二本目と三本目の間（すなわち、カートＣＴの側部中央位置）に配置されている。
【００４４】
他の部分の構成については、前述した第１の例の場合とほぼ同様であり、同一の符号が付されている。
【００４５】
このカートＣＴには、棚の各段の図７において上側部分と下側部分に載置されるフラットディスプレイパネル１の向きが、その長手方向が支持フレームＣＴ３と平行にかつそれぞれの排気管２が図において下左側に位置される向きに向けられた状態、すなわち、二枚のフラットディスプレイパネル１の向きが同一で支持フレームＣＴ３と平行な状態でそれぞれ載置される。
【００４６】
これによって、カートＣＴの支持フレームＣＴ３の軸線方向に対して同じ側に配置された排気ヘッドＣＴ４ａとＣＴ４ｂに、互いに同じ向きに向けられて支持フレームＣＴ３と平行に載置された二枚のフラットディスプレイパネル１のそれぞれの排気管２が接続される。
【００４７】
この第４の例によるフラットディスプレイパネルの製造装置も、第１の例と同様に、カート搬送式連続炉における生産能力を従来と比べて大幅に向上させることが出来るようになるとともに、配管ボックスＣＴ６から排気ヘッドＣＴ４ａ，ＣＴ４ｂに供給される冷却水の温度を、各フラットディスプレイパネル１について均一に保つことが出来るようになる。
【００４８】
上記実施形態の各例におけるフラットディスプレイパネルの製造装置は、加熱チャンバ内において製造過程のフラットディスプレイパネルを支持する支持部材と、この支持部材に支持されたフラットディスプレイパネルの排気管に接続されてこのフラットディスプレイパネル内の空間からの排気を行う排気ヘッドと、この排気ヘッドに冷却水を循環させる冷却水供給部材とを備えたフラットディスプレイパネルの製造装置において、前記支持部材が複数のフラットディスプレイパネルを水平面内において並べた状態で支持する大きさを有し、この支持部材に支持されるフラットディスプレイパネルの数に対応する数の排気ヘッドがそれぞれ冷却水供給部材に近接する位置に配置されていることを特徴とするフラットディスプレイパネルの製造装置をその上位概念の実施形態とするものである。
【００４９】
この上位概念の実施形態によるフラットディスプレイパネルの製造装置は、複数のフラットディスプレイパネルを水平面内において並べた状態で支持する大きさを有する支持部材上に、複数のフラットディスプレイパネルが載置されて支持される。
【００５０】
このとき、フラットディスプレイパネルのそれぞれの所定の位置に取り付けられている排気管が、支持部材上に支持されるフラットディスプレイパネルの数と同じ数の排気ヘッドがそれぞれ配置されている冷却水供給部材に近接する位置にそれぞれ位置するように、フラットディスプレイパネルの向きが向けられて水平面内において並べて載置され、各フラットディスプレイパネルの排気管が、それぞれ排気ヘッドに接続される。
【００５１】
そして、排気ヘッドに冷却水供給部材から冷却水が循環されながら、排気管を介して、フラットディスプレイパネルの空間内からの排気が行われる。
【００５２】
以上のように、この実施形態によるフラットディスプレイパネルの製造装置によれば、フラットディスプレイパネルを積載する段数を従来と比べて増加させることなく、一度に製造処理することが出来るフラットディスプレイパネルの枚数を増やすことが出来、これによって、フラットディスプレイパネルの生産能力を従来と比べて大幅に向上させることが出来るようになる。
【００５３】
そして、複数枚のフラットディスプレイパネルが、この各フラットディスプレイパネルに取り付けられている排気管がそれぞれ冷却水供給部材に近接する位置に位置される態様で支持部材上に載置されて、それぞれ冷却水供給部材に近接する位置に配置された排気ヘッドに接続されるようになっていることによって、冷却水供給部材から排気ヘッドに供給される冷却水による影響が各フラットディスプレイパネルに対して最小限に抑制され、これによって、複数枚のフラットディスプレイパネルを支持部材上に支持するために排気ヘッドが支持部材の中央に配置される場合のように、加熱チャンバ内における温度特性に不均一が発生するのを防止することが出来るようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来例を示す平面図である。
【図２】同例の側面図である。
【図３】この発明の実施形態における第１の例を示す平面図である。
【図４】同例の側面図である。
【図５】この発明の実施形態における第２の例を示す平面図である。
【図６】この発明の実施形態における第３の例を示す平面図である。
【図７】この発明の実施形態における第４の例を示す平面図である。
【符号の説明】
１　　　　　　　　　…フラットディスプレイパネル
２　　　　　　　　　…排気管
ＣＴ　　　　　　　　…カート（製造装置）
ＣＴ１　　　　　　　…ベース
ＣＴ２　　　　　　　…マガジン支柱
ＣＴ３　　　　　　　…支持フレーム（支持部材）
ＣＴ４ａ，ＣＴ４ｂ　…排気ヘッド
ＣＴ５ａ，ＣＴ５ｂ　…支持梁
ＣＴ６　　　　　　　…配管ボックス（冷却水供給部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004146243.tif 000008
【図７】
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