(57)【要約】　　　（修正有）【課題】遮光閉鎖され、開口がゼロサイズの時から、正方形を示す高精度なピンホ−ルを開発する。【解決手段】ピンホール開口が相互調整可能なフォイル縁によって境界づけられ、有利なことに、少なくとも２枚のフォイル片がそれぞれ少なくとも１つの縁を持ち、それらの縁がＬ形をなすよう相互配置され、および／または相互結合されており、Ｌ形の結合片が、それらが菱形または正方形の光貫通路を取り囲み、それらがピンホール調整のため相互移動するよう、上下配置される、特にレーザ走査型顕微鏡の照明および／または検出光路用の調整可能なピンホール。【選択図】図１
2004118190.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　ピンホール開口が、相互移動可能なフォイル縁によって境界づけられる、レーザ走査型顕微鏡の照明光路および／または検出光路用の調整可能なピンホール。
【請求項２】
　少なくとも２枚のフォイル片が、それぞれ少なくとも１つの真直ぐな縁を持ち、それらの縁がＬ形を成すように配置され、および／または相互結合し、Ｌ形の結合片が、菱形または正方形の光通過路の境界をなし、相互にピンホール調整のために移動するように上下に配置される、請求項１に記載の調整可能なピンホール。
【請求項３】
　移動方向が、Ｌ形によって形成される角または角内部にある他の角の二等分線の方向に行われる、請求項２に記載の調整可能なピンホール。
【請求項４】
　少なくとも２枚のフォイル片が、それぞれ少なくとも１つの真直ぐな縁で結合され、それらの縁が小さい角を有し、２つのこの種フォイル片対が、相互に垂直に、または１つの角でピンホール調整のためにシフトされるようになっている、レーザ走査型顕微鏡の照明光路および／または検出光路用の調整可能なピンホール。
【請求項５】
　少なくとも２枚のフォイル片が、それぞれ少なくとも１つの真直ぐな縁で重さなり、それらの縁が小さい角を有し、２つのこの種フォイル片対が、それぞれ逆向きまたは同じ向きに捩れるようになっている、レーザ走査型顕微鏡の照明光路および／または検出光路用の調整可能なピンホール。
【請求項６】
　部分的にコーティングされた２枚の透明担体が、相互にシフトされ、コーティング部が、共同で境界付けピンホール形成のための角度領域を持つ、調整可能なピンホール。
【請求項７】
　担体間にテフロン（登録商標）帯および／または液浸液が配されている、請求項６に記載の調整可能なピンホール。
【請求項８】
　第１のレバー間に、レバー移動方向に斜めに配置されたフォイル縁を持つフォイル片をそれぞれ１つ有す、相互調整可能な少なくとも４つの第２レバーから成る菱形の配置が構成されている、相互調整可能なレバーの配置された調整可能なピンホール。
【請求項９】
　フォイル片が固定ジョイント本体を有する、前記請求項のうちの１項に記載の調整可能なピンホール。
【請求項１０】
　フォイル縁を調整するために、モータ駆動可能な固定ジョイント本体が配されている、前記請求項のうちの１項に記載の調整可能なピンホール。
【請求項１１】
　調整が、好ましくはさまざまなピッチを持つ、少なくとも２本の同期作動するスピンドルを通じてシフトできるフォイル片固定プレートを駆動するステップモータにより行われる、前記請求項のうちの１項に記載の調整可能なピンホール。
【請求項１２】
　ピンホールを貫通する光量を捕捉するために、距離測定システムおよび／または光学検出器を通じてステップモータ駆動の較正が行われる、前記請求項のうちの１項に記載の調整可能なピンホール。
【請求項１３】
　ピンホールが、フォイル片が重り合うように閉鎖可能になっている、前記請求項のうちの１項に記載の調整可能なピンホール。
【請求項１４】
　少なくとも１つのフォイル片対が、衝突保護のための調整装置を有する、前記請求項のうちの１項に記載の調整可能なピンホール。
【請求項１５】
　個々の、または複合形態のフォイル片材質が、少なくとも１つの面に真直ぐに切り取られることにより、ピンホールを境界づけるフォイル縁が作り出されることを特徴とする、前記請求項のうちの１項に記載の調整可能なピンホールを製造するための方法。
【請求項１６】
　フォイル縁の精度を高めるために、切り取り後に、好ましくは研磨により後処理される、請求項１５に記載の調整可能なピンホールを製造するための方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、ピンホール開口が、相互移動可能なフォイル縁によって境界づけられる、レーザ走査型顕微鏡の照明光路および／または検出光路用の調整可能なピンホールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
　特許文献１（ＤＥ　２０２０５０７９　Ｕ１）にはピンホール用の鋏型閉鎖機構が記載されている。
　それによると、向かい合い回転軸を通じて相互に動かされる角度形成位置の精度が、再現性のある遮光閉鎖およびピンホール開口の正確な正方形にとって重大な障害になっている。
【特許文献１】ＤＥ　２０２０５０７９　Ｕ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
　本発明の課題は、遮光閉鎖され、開口がゼロ・サイズのときから、正方形を示す高精度ピンホールを開発することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
　前記課題は、本発明に基づき、ピンホール開口を形成する縁が、好ましくは研磨されているフォイル縁から成る配置において、本発明の実施に従いフォイル縁を相互に移動させることにより解決される。
　フォイル縁から成るピンホール開口形態は、ピンホール開口の隅が、完全に尖った角で、隅の曲率半径がゼロであるという決定的な長所を提供する。これによってピンホール開口はゼロ・サイズのときから再現性のある調整ができる。
　フォイル縁の部品製造は、すでにその段階から高精度で、たとえばダイヤモンド切断、レーザ切断、またはエッチングにより行うことができる。
　好ましくは、非常に正確で遊びのない移動を進行させるために、傾きまたは回転の生じる弾性ウェブ形態の固定ジョイント本体が配されている。
　本発明は、驚くべきことに、ピンホール開口をゼロ・サイズまで調整可能、再現可能に縮小させることを許容し、その遮光閉鎖を上下に重なるフォイル縁の衝突危険なしに可能にする。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
　本発明を以下に概要図に基づきより詳しく説明する。
　以下にフォイル縁という場合、本質的にピンホール開口および／または閉鎖において向かい合っている縁のことで、一方フォイル片のその他の形態は場所の要求および実施に応じて変えることができる。
【０００６】
　フォイル片材質は、たとえば厚さが１０μｍのばね鋼、ばね青銅またはアルミニウムとすることができる。フォイル縁は、たとえば１００の予備製造された個々のフォイル片の結合体で構成され、押し抜き加工され、その後再び分離されるか、また供給状態で帯状材質として使用することができる。
【０００７】
　図１ａは、特に直角に配置されたフォイル片Ｆ１〜Ｆ４によるＬ形の図を模式的に示し、ここでＦ１およびＦ２ならびにＦ３およびＦ４は、それぞれ結合点Ｖ１，Ｖ２において互いに堅く結合されている。これらはその結合点とは反対側の端で、それぞれ場所固定で（黒色で表示ｓ）互いに矢印の方向にシフト可能なプレートＰ１およびＰ２上に固定されており、しかも各プレート上において、ピンホール開口ＰＨが、プレートＰ１およびＰ２の矢印方向への同期移動の際に点状に開閉するようになっている。
　フォイル片の上下に重なり合う結合ｓおよびプレートＰ１およびＰ２との結合ｓは、たとえば貼り付け、抵抗熔接、拡散熔接または超音波熔接によって行うことができる。
【０００８】
　プレートＰ１およびＰ２を矢印方向への同期シフトにより、開口領域が点Ｖ１，Ｖ２で結合されたフォイル縁の間で縮小または拡大され、しかもプレートＰ１，Ｐ２が接近する際に、ピンホール開口ＰＨが開き、またその逆となることが実行される。ピンホール開口は、この場合、好ましくは正方形で１つの点にまで閉じる。さらにプレートＰ１，Ｐ２が距離拡大する場合、ピンホール開口はフォイル縁の妨げ合い、傷つけ合いなしに、遮光状態で重り合う。
【０００９】
　それぞれ２つのフォイル縁を互いに直角に固定することにより、それらによって作られる直角は製造上の問題がないことが保証される。
　Ｆ３のＦ４上への短か目の固定により、フォイル縁の鈎留めをコンパクトにし、Ｆ２のフォイル縁との接触を無くすことができる。
【００１０】
　図１ｂには本発明の別の形態が示されている。
　これは十字形に配置された十字形フォイル片Ｆ５−Ｆ８から成り、それらはそれぞれプレートＰ１（Ｆ５，Ｆ６）もしくはＰ２（Ｆ７，Ｆ８）に固定されており、その際ここでも２枚のプレートＰ１，Ｐ２は矢印の方向に互いにシフト可能であり、しかし、ここではＰ１，Ｐ２が接近する際ピンホールＰＨが閉じ、またその逆であり、なぜならＦ５、Ｆ７およびＦ６、Ｆ８は、互いに結合していないため、鋏形に重なってシフトされるからである。
　ピンホールの開口は、ここではそれぞれプレート縁の反対側に向いたフォイル片配置のエッジによって形成される。
【００１１】
　図１ｃには本発明のまた別の形態が描かれている。
　各フォイル片Ｆ９，Ｆ１０，Ｆ１１，Ｆ１２は、２つのジョイントを、好ましくは固定ジョイント体を形成する。ジョイント点の距離、Ｇ９１からＧ９２まで、Ｇ１０１からＧ１０２まで、Ｇ１１１からＧ１１２までおよびＧ１２１からＧ１２２までは、好ましくは等しく、ピンホール開口よりはるかに大きいものとする。フォイル片対Ｆ９，Ｆ１１およびＦ１０，Ｆ１２は、それぞれＬ形にその結合位置Ｖ３およびＶ４において結合し、十字形にプレートＰ１，Ｐ２上に固定されており、プレートＰ１およびＰ２を矢印方向に同期開口の際、ピンホール開口が点状に、好ましくは正方形に閉じ、また逆になるようになっている。これは、プレートＰ１，Ｐ２の距離を矢印方向に同期拡大の際、ジョイント点Ｇ９２およびＧ１０２、Ｇ１１２およびＧ１２１が矢印方向に垂直に相互移動し、ピンホール開口が閉じ、またその逆となることによって行われる。
【００１２】
　この際、フォイル片に形成した屈曲可能なジョイント部の切込みが開閉する。ピンホールの開閉の際、ピンホール開口形態はほぼ正方形のままである。
　プレートＰ１，Ｐ２の距離を拡大する際、フォイル縁が相互に妨げられたり、破壊されたりすることなく、ピンホール開口は最終的に遮光状態におおわれる。
　フォイル縁の鈎留めは、Ｆ９のＦ１１上への短か目の固定により、つまりフォイル縁Ｆ１２との接触がないことによって排除される。
【００１３】
　図２には新しい実施態様が示されており、ここではそれぞれ２つのフォイル片Ｆ１３，Ｆ１４，Ｆ１５，Ｆ１６が対をなして、互いに僅かにＶ字形を形成し、すなわち互いに小さな開角、好ましくは相互間４度の角を有している。
　図２ａでは１つのフォイル片対が他のフォイル片対に対して、その個々のフォイル片の中心軸に沿って、好ましくは矢印方向に互いに垂直に同期シフトされる。
　互いに垂直にシフトさせることが、好ましくは２つのモータ（図示されていない）を通じて両方のフォイル片対を同期移動させることにより、ピンホール開口の調整時に高精度で大きな調整距離をもたらし、場合によっては距離測定システムに頼らずに済むようになる。
　図２ｂでは、フォイル片Ｆ１７およびＦ１８が軸Ａ１およびＡ２のまわりに、フォイル片Ｆ１９およびＦ２０が軸Ａ３およびＡ４のまわりに正反対に、かつ好ましくはピンホール開口の開閉に同期して捩れることにより、僅かにＶ形を形成する開口角がフォイル縁間で変化する。
　図２ｃでは、回転軸Ａ５，Ａ６およびＡ７，Ａ８はフォイル片対Ｆ２１，Ｆ２２およびＦ２３，Ｆ２４の離れた逆サイドの位置に存在する。フォイル片の回転は、好ましくは同期かつ同義的に行われる。
【００１４】
　図３には、図１ａに基づくフォイル縁の配置に関連するピンホール調整のための配置が示されている。しかし、プレートＰ１，Ｐ２のシフトは、図１ｂ，１ｃに基づくフォイル縁の配置適用時に準じて行うことができる。
　ここでは、さまざまなピッチのネジを持ち、ナットＭ１およびＭ２を通じて、Ｐ１およびＰ２の調整移動に垂直方向に、Ｐ１およびＰ２と結合する誘導部Ｆ１の動きを実現させるスピンドルＳＰ１およびＳＰ２を駆動する、単にプレートＰ１においてのみ捩れ安定なステップモータＳＭが描かれている。部品ＦおよびＰはこの場合特に１つの片で製造されており、互いに弾力性のあるウェブ（平行ばねジョイント）によって結合している。
　これら部品の製造は、たとえばレーザ熔接、エッチング、浸食または押し抜き加工によって行うことができる。
【００１５】
　ステップモータＳＭは、プレートＰ１に対して回転安定で、かつ自由にシフト可能なように配置されている。これは、異なったピッチのねじを持つスピンドルＳＰ１およびＳＰ２を同期駆動する（たとえば、Ｍ３×０．５とＭ２．６×０．４５のネジでピッチ差５０μｍが発生する）。
　スピンドルＳＰ２が、ステップモータＳＭによって駆動され、フレームＦ２に固定されたナットＭ２内へねじ込まれる。回転安定なステップモータＳＭはその結果、軸Ａに沿ってスピンドルシフト分矢印方向にシフトされる。
　誘導部（Ｆ１）に固定されているナットＭ１は、差動ネジに基づきステップモータＳＭに比べて約１０倍小さい長さだけ、ナットＭ２の方へシフトされる。これはＦ１調整時に非常に高い感度を実現する。
【００１６】
　ばねウェブ（平行ばねジョイント）によりフレームと結合している誘導部（Ｆ１）には、斜めのばねウェブＳＴ５，ＳＴ６が固定されており、これらはモータ軸の回転の際に広がり、または狭まり、プレートＰ１，Ｐ２およびそれに加えピンホールが開閉する。
　フレームＦ２がいくつかのウェブＳＴ１〜ＳＴ４（２つの平行ばねジョイント）を通じてプレートＰ１，Ｐ２と結合し、それらを平行に誘導している一方、プレートＰ１，Ｐ２は、Ｐ１およびＰ２のシフト方向に斜めに、かつＦ１，Ｆ２に斜めに配置されている、それぞれ弾力性を蓄えたウェブＳＴ５，ＳＴ６を通じてＦ１と結合している。
　これによって、Ｆ１を矢印の方向にシフトすることが、これに垂直かつ互いに逆平行にプレートＰ１およびＰ２をシフトすることに変換され、その結果として図１または図２に基づくピンホール開口の調整が達成される。
【００１７】
　図３には模式的に空白ＡＳ（点線で示される楕円形部分）が示されているが、ここには、図４に見本例として示されているような距離測定システムを配置することができる。これはプレートＰ１，Ｐ２間の相対移動、およびそれと共にピンホール開口の対角線のサイズを測定する。
　プレートＰ２の上に光源ＬＥＤが固定配置され、これに対し同様にＰ２の下に位置分解能のあるセンサＳが対置されている。これはＰ２に対して可動であるプレートＰ１と結合するスケールＭＲ、ここでは透明なラスタスケールの移動を、キャッチされたラスタ変化に基づき捕捉する。
　この種の測定システムは一般に市販されており、精度０．１μｍ以上のものが入手できる。このような一般市販の測定システムは加えてステップモータ駆動の較正が可能である。
【００１８】
　捕捉されたプレートＰ１，Ｐ２の相対移動に基づき、それによってオンラインで実際のピンホール開口を捕捉することができ、また光学的測定によってさまざまなピンホール開口状態のときにも補正することができる。
　ステップモータ駆動の較正が容易な方法で、ここに描かれていない追加の光学検出器が、ピンホール開口の開く瞬間時に、ここに描かれていない光源からピンホール開口を貫通する光を捕捉し、その瞬間にステップモータ駆動の較正を高精度で惹起することによっても行える。
【００１９】
　図５には、ステップモータＳＭ１およびナットＭ３，Ｍ４から成る、プレートＰＬＸのＸ方向への移動を保証するスピンドル駆動が描かれている。このプレートは、たとえば固定点ＢＦ１を通じて図４に基づくシフト装置上の固定点ＢＦと結合しているので、ピンホール配置の全体は、図４に基づきＸ方向に、および図５に基づく配置と結合することのできる別の配置（図６）によりＹ方向にもシフトすることができる。これによってピンホールを光軸に垂直に、たとえばセンタリング目的でのＸおよびＹ方向へのシフトが保証される。
【００２０】
　図７には、２枚の互いにシフトできる薄いガラスプレートＧＬ１，ＧＬ２、たとえば顕微鏡のスライドガラスが描かれており、これらは互いに矢印方向にシフトでき、たとえば高精度のリトグラフィ工程を通じて、それぞれ部分的にコーティングされている。コーティングは、この場合ＧＬ１およびＧＬ２について鏡対称に実施し、それぞれ１つの、好ましくは直角および鋭角Ｗ１，Ｗ２の部分がコーティングされずに、プレートＧＬ１，ＧＬ２が重なり合った場合にピンホールＰＨが形成されるようにする。プレートが逸れて直接重なってコーティングを損傷することのないよう、ピンホールＰＨの作業領域外の縁に薄いテフロン(登録商標)帯ＴＳを少なくとも１枚のプレートに配することができる。
【００２１】
　これは摩擦の少ない滑りを保証し、特にシフト方向へ方向づけられている。テフロン（登録商標）は滑らかなガラス表面上でのみほとんど理想的な摩滅のない滑りをする。したがって、テフロン（登録商標）層の領域ではガラスプレート上にクロム層は存在しない。
　反射損失を避けるため、互いに向かい合ったガラスプレートＧＬ１およびＧＬ２の表面において、ガラスプレート間に液浸液を注入することができる。
【００２２】
　図８には、レバージョイントＨ１〜Ｈ４に配置されたフォイル片ＦＬ１〜ＦＬ４から成る調整可能なピンホールの別な実施態様が示されている。この配置は図２ｃのフォイル縁の配置に関連している。
　レバージョイントＨ１〜Ｈ４は、好ましくは長さが等しいものとし、互いにジョイント結合していて、調整可能な菱形を形成する。調整は点Ａ１，Ａ２において、Ａ１およびＡ２と結合している、回転点Ａ３，Ａ４に軸受けされてレバージョイントＨＡ１，ＨＡ２の引き合わせまたは引き離しを通じて行われる。
【００２３】
　たとえばＨＡ１およびＨＡ２が相向かう方向に移動すると（図８ｂの矢印方向）、以下の回転移動が起きる：
　ＦＬ１は反時計回りに
　ＦＬ２は時計回りに
　ＦＬ３は反時計回りに
　ＦＬ４は時計回りに移動するので、各２枚のフォイル片ＦＬが相向かう方向に移動し、それによってピンホールが閉ざされる。
　ＨＡ１およびＨＡ２を引き離す場合は逆のことが起きる。
　図８ｃには、図３類似の配置であるが、ただ１つのステップモータＳＭによりピンホール調整を行うことのできる完全な配置が描かれている。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の３つの実施態様
【図２】本発明の別の実施態様
【図３】図１ａに基づくフォイル縁の配置に関連するピンホール調整のための配置
【図４】距離測定システム
【図５】プレートのＸ方向への移動を保証するスピンドル駆動
【図６】図５の別の配置
【図７】ガラスプレートによるピンホールの別の実施態様
【図８】本発明の調整可能なピンホールの別の実施態様
【符号の説明】
【００２５】
Ｆ１〜Ｆ１２　　　フォイル片
Ｖ１〜Ｖ４　　　結合点
ｓ　　　固定点
Ｐ１〜Ｐ２　　　プレート
Ｇ９１〜９２、Ｇ１０１〜１０２　　　ジョイント点
Ａ１〜Ａ８　　　回転軸
Ｍ１，Ｍ２　　　ナット
ＳＭ　　　ステップモータ
ＧＬ１，ＧＬ２〜ガラスプレート
ＴＳ　　　テフロン（登録商標）帯
Ｈ１〜Ｈ４　　　レバージョイント
【図１】
2004118190.tif 000003
【図２】
2004118190.tif 000004
【図３】
2004118190.tif 000005
【図４】
2004118190.tif 000006
【図５】
2004118190.tif 000007
【図６】
2004118190.tif 000008
【図７】
2004118190.tif 000009
【図８】
2004118190.tif 000010