(57)【要約】　　　（修正有）【課題】インクジェット記録ヘッドの構成部材の変形を抑止して、その信頼性を高めること。【解決手段】電気熱変換素子１０２と吐出口１０１との間におけるヒーターボード２０９と天板２１０との接合面のそれぞれに、互いに位置を規制し合う凸部５０１と凹部５０２を設けた。【選択図】　　　　図５
2004098297.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と天板との接合面間に、インク吐出口を該インク吐出口に連通するインク流路が形成され、前記基板に設けられた吐出エネルギー発生手段が発生する吐出エネルギーによって、前記インク流路内のインクを前記吐出口から吐出可能なインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記吐出エネルギー発生手段と前記吐出口との間における前記基板と前記天板との接合面のそれぞれに、互いに位置を規制し合う規制部を設けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記規制部は、前記接合面の一方に設けられた凹部と、前記接合面の他方に設けられて前記凹部と嵌合する凸部を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記規制部は、前記基板と前記天板との接合時に、前記基板に対する前記天板の姿勢を矯正することを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記規制部は、前記基板に設けられた凸部によって、前記基板と前記天板との接合時に、前記基板に対する前記天板の姿勢を矯正することを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記規制部は、前記基板と前記天板との接合時に、前記基板に対して、前記吐出口からのインクの吐出方向における前記天板の変位を規制することを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記規制部は、前記基板に設けられた凸部によって、前記基板と前記天板との接合時に、前記基板に対して、前記吐出口からのインクの吐出方向における前記天板の変位を規制することを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記規制部は、前記基板上に成膜により形成された凹部および／または凸部を有することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記規制部は、前記基板上にエッチングにより形成された凹部および／または凸部を有することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記天板は、樹脂材料による射出成形体であることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
前記吐出エネルギー発生手段は、インクの吐出エネルギーとして熱エネルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドと、
前記インクジェット記録ヘッドに供給するためのインクを収容するタンクと
を備えたことを特徴とするインクジェットカートリッジ。
【請求項１２】
請求項１から１０のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドと、
前記インクジェット記録ヘッドと被記録媒体とを相対移動させる移動手段と
を備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載のインクジェットカートリッジと、
前記インクジェットカートリッジと被記録媒体とを相対移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクを吐出可能なインクジェット記録ヘッド、インクジェットカートリッジ、およびそれらを用いたインクジェット記録装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のインクジェット記録ヘッドの一構成例を図１から図４に示す。図１は、記録ヘッドの斜視図、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図、図４は図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【０００３】
これらの図において、インクジェット記録ヘッドには、複数の吐出口１０１が設けられ、また、これらの吐出口１０１からそれぞれインクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換素子１０２が各インク流路１０３毎に設けられている。各電気熱変換素子１０２は、主に、発熱抵抗体１０４と、これに電力を供給するための電気配線１０５とによって構成されている。
【０００４】
すなわち、図４に示されるように、シリコン等からなる基板２０１上には、絶縁膜２０２、層間膜２０３が形成され、これらの形成された膜上には、図３に示されるようなパターンの発熱抵抗体１０４の層が形成される。さらに、この層上には、一部を除いて、ＡＩ等よりなる電気配線１０５の層が図３に示されるようなパターンで形成される。発熱抵抗体１０４の層において電気配線１０５の層が形成されない部分は、電気熱変換素子１０２としての発熱部を構成する。さらに、発熱抵抗体１０４および電極配線２０５のパターンを覆うように、第１保護膜２０７および第２保護膜２０８が被覆される。このように、基板２０１及びその上に形成される電気熱変換素子１０２等により、ヒーターボード２０９が構成される。
【０００５】
図３，図４において、各インク流路１０３は流路壁１０６によって仕切られ、また各インク流路１０３の吐出口１０１と反対側の端部は共通液室１０７と連通している。この共通液室１０７には、インクタンク（不図示）からインク受口４０１を通して供給されるインクが貯蔵される。共通液室１０７に供給されたインクは、ここから各インク流路１０３に導かれ、吐出口１０１近傍でメニスカスを形成して保持される。この状態にて、電気熱変換素子１０２を選択的に通電して駆動させることにより、それが熱エネルギーを発生し、その熱エネルギーによりインクに膜沸騰を生じされる。そして、その膜沸騰により発生した気泡の成長によって、インクが吐出口１０１から吐出される。
【０００６】
このようなインクジェット記録ヘッドのヒーターボード２０９上には、樹脂等よりなる天板２１０が接合される。すなわち、天板２１０には、吐出口１０１を形成するオリフィスプレート４０２、および流路壁１０６が一体に形成されている。この天板２１０とヒーターボード２０９は、図２に示されるように、前者の吐出口１０３の形成部等と後者の電気熱変換素子１０２等との相対位置を画像処理等の手段により位置合わせしながら接合される。そして、接着剤等によって天板２１０の後部（吐出口形成部と反対側の部分）をヒーターボード２０９に仮どめした後、板バネ等の弾性部材（図示せず）によって、天板２１０における流路壁１０６の上部をヒーターボード２０９側に加圧する。これにより、ヒーターボード２０９上の各電気熱変換素子１０２の相互間が流路壁１０６により分離されて、各インク流路１０３毎に電気熱変換素子１０２が配置されることになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
近年、インクジェット記録装置の高速記録化に伴い、インクジェット記録ヘッドの記録幅（ノズル列幅）は長尺化の方向にあり、樹脂成形品である天板２１０の反りが生産上の重要な問題になってきている。また、天板２１０をヒーターボード２０９に押圧する板バネ等の弾性部材の押圧のみによって、インクの吐出方向における天板２１０の位置規制が行われているため、記録ヘッドを高温で長期保存すると天板２１０が熱変形をおこして、天板２１０に設けられたノズル（インク流路１０３）とヒーターボード２０９の電気熱変換素子１０２（以下、ヒーターともいう）との相対的な位置ずれが発生するおそれがあった。
【０００８】
本発明は、以上のような問題を鑑みてなされたものであり、その目的は、インクジェット記録ヘッドの構成部材の変形を抑止して、その信頼性を高めることにある。
【０００９】
また、本発明の他の目的は、コスト的に有利な樹脂成形の天板を用いた場合においても、その天板の成形時の反りや高温保存時の変形等の問題を解決し、生産性を上げつつ、信頼性の高いインクジェット記録ヘッド、インクジェットカートリッジ、およびインクジェット記録装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、基板と天板との接合面間に、インク吐出口を該インク吐出口に連通するインク流路が形成され、前記基板に設けられた吐出エネルギー発生手段が発生する吐出エネルギーによって、前記インク流路内のインクを前記吐出口から吐出可能なインクジェット記録ヘッドにおいて、前記吐出エネルギー発生手段と前記吐出口との間における前記基板と前記天板との接合面のそれぞれに、互いに位置を規制し合う規制部を設けたことを特徴とする。
【００１１】
本発明のインクジェットカートリッジは、前記インクジェット記録ヘッドと、前記インクジェット記録ヘッドに供給するためのインクを収容するタンクとを備えたことを特徴とする。
【００１２】
本発明のインクジェット記録装置は、前記インクジェット記録ヘッドと前記インクジェット記録ヘッドと被記録媒体とを相対移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【００１３】
本発明のインクジェット記録装置は、前記インクジェットカートリッジと、前記インクジェットカートリッジと被記録媒体とを相対移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
本実施形態におけるインクジェット記録ヘッドの基本構成は、前述した図１から図４の従来例のものと同様であり、図２中のＶ円部を図５のように構成した点において従来例と相違する。
【００１６】
本例のインクジェット記録ヘッドの基本構成においては、前述のように、列状に設けられた複数個の吐出口１０１からインクを吐出させるために利用されるエネルギー発生素子として、電気熱変換素子１０２が構成されている。ハフニュウムの硼化物やタンタルのチッ化物からなる発熱抵抗体１０４は、シリコンからなる基板２０１上に設けられ、各発熱抵抗体１０４に電気信号を供給するアルミニウム等の電極配線２０５と共に、成膜技術により一体的に成形される。天板２１０は、複数のインク流路１０３のそれぞれを区分するための流路壁１０６や、各インク流路１０３へ供給されるインクを一時的に収納する共通液室１０７などを形成するための溝が設けられている。さらに、天板２１０には、インクタンク（不図示）からのインクを共通液室１０７に導入するためのインク受け口４０１、及び各インク流路１０３に対応した吐出口１０１を複数個有するオリフィスプレート４０２が一体に成形されている。天板２１０の材料としては、例えば、ポリエーテルポリサルフォン、ポリフェニレンオキシド、ポリプロピレンなどの他、種々の成型用樹脂材料を用いることができる。
【００１７】
ヒーターボード２０９の基板２０１上には、無機材料（例えば、ＳｉＯ，ＳｉＯ２，ＳｉＮ等）からなる絶縁膜２０２（本実施例においては、ＳｉＯ２）の層が公知の成膜技術によって成膜される。その成膜後、２層配線の１層目の配線（不図示）、層間膜２０３の絶縁層（ＳｉＯ２）、発熱抵抗体１０４（ＨｆＢ２）の層、電極配線２０５（Ａｌ）の層、第１保護膜２０７（ＳｉＯ２）、第２保護膜２０８（Ｔａ）等の層が成膜、パターニング法を用いて成形される。
【００１８】
また、このようなヒーターボード２０９の成形時には、図５に示されるように、インク吐出のためにエネルギー発生素子としての電気熱変換素子（以下、「ヒーター」ともいう）１０２および電極配線２０５と、ヒーターボード２０９のインク吐出方向端部（図５中左側の端部）との間に、前述した電極配線２０５と同様の成膜、パターニング法によって、凸部５０１を成す層が形成される。この凸部５０１は、基板２０１からヒーターボード２０９側に突出する。さらに、天板２１０側には凹部５０２が形成されており、ヒーターボード２０９と天板２１０とを接合した時に、その凹部５０２がヒーターボード２０９側の凸部５０１に嵌合する。それぞれの凸部５０１と凹部５０２とが嵌め合わせることにより、ヒーターボード２０９と天板２１０とを正規な位置関係に規制することができる。
【００１９】
すなわち、線膨張係数の違うシリコン基板２０１と樹脂製の天板２１０を用いたインクジェット記録ヘッドにおいて、温度変化が生じた場合に、凸部５０１と凹部５０２がヒーターボード２０９と天板２１０の相対変位を抑止し、天板２１０に設けられた吐出口を含むノズル（インク吐出のための流路１０３）と、ヒーターボード２０９に設けられた発泡エネルギー発生のためのヒーター１０２との位置関係は変化しない。したがって、高温による膨張時や低温による収縮時にもノズルとヒーター１０２との位相関係が変化せずに、常に安定したインクの吐出性能を得ることが可能となる。
【００２０】
また、ヒーターボード２０９と天板２１０との接合時において、ヒーターボード２０９の凸部５０１によって、インクの吐出方向における天板２１０の変位が規制される。さらに、樹脂製の天板２１０の成形時に、天板２１０やオリフィスプレート４０２に反りが生じたとしても、その天板２１０をヒーターボード２０９に接合する時に、ヒーターボード２０９に対する天板２１０の姿勢を矯正することができる。したがって、ヒーターボード２０９に対する天板２１０の接合が完了することによって、ヒーター１０２と吐出口１０１までの間の距離が天板２１０の反りのために変化してしまうという問題はなくなる。
【００２１】
さらに、このような構成の記録ヘッドが高温環境下に長時間放置されたり、またはインクの不吐出のために記録ヘッドの温度が上昇したりして、天板２１０が熱膨張により変形しようとした場合に、凸部５０１と凹部５０２によって、その天板２１０の変形を防止することができる。これらの結果、記録ヘッドの生産性と共に、その信頼性を高めることができる。
【００２２】
なお、凸部５０１の形状は、天板２１０の位置決めが可能であって、インクが吐出に対する影響の無い形状であればよい。また、凸部５０１と凹部５０２の凸，凹の関係を逆にして、ヒーターボード２０９側に凹部を設け、かつ天板２１０側に凸部を設けてもよい。その場合、ヒーターボード２０９に凹部を形成するために、例えば、天板２１０の流路壁１０６が接合しているヒーターボード２０９の部分のパターンよりも低い凹状の部位を形成すべく、ヒーターボード２０９のシリコン面のエッチング等により、加工することにより、凹部を形成することができる。
【００２３】
また、本実施形態では、ヒーターボード２０９と天板２１０との接合面のそれぞれに、互いに位置を規制し合う規制部としての凸部５０１と凹部５０２を設けたが、その規制部の形態は何ら限定されない。また、そのような規制部は、ヒーター１０２と吐出口１０１との間におけるヒーターボード２０９と天板２１０との接合面に設ければよい。
【００２４】
（第２の実施形態）
図６は、上述した第１の実施形態としてのインクジェット記録ヘッドを用いて構成したインクジェットカートリッジの一例の斜視図である。
【００２５】
本例におけるインクジェットカートリッジ４０は、シリアルタイプの記録装置に備えられるものであり、前述した第１の実施形態としてのインクジェット記録ヘッド１０と、インク供給管４１と、インクを収容するインクタンク４２と、このインクタンク４２内を密閉する蓋部材４３とで主要部が構成されている。インクを吐出するための多数の吐出口１０１が形成されたインクジェット記録ヘッド１０は、インクタンク４２から、インク供給管４１およびインク受口４０１を通して、共通液室１０７内に供給されるようになっている。
【００２６】
本例におけるインクジェットカートリッジ４０は、インクジェットヘッド１０とインクタンク４２とを一体的に形成した。しかし、インクジェットヘッド１０に対して、インクタンク４２を交換可能に連結した構造としてもよい。
【００２７】
（第３の実施形態）
図７は、上述した図６のインクジェットカートリッジ４０を用いたインクジェット記録装置の一例を説明するための要部の斜視図である。
【００２８】
本例のインクジェット記録装置５０は、紙送りモータ５１によって駆動回転するプラテンローラ５２と、一対の案内棒５３とが平行に配設され、その一対の案内棒５３には、キャリッジ５４が摺動自在に保持されている。また、案内棒５３の両側に回転自在に配設された一対のプーリ５５，５６には、キャリッジ５４に連結される走査ワイヤ５７が巻き掛けられている。一方のプーリ５５には、キャリッジ駆動モータ５８が連結され、このキャリッジ駆動モータ５８の正逆転によって、キャリッジ５４は案内棒５３に案内されながらプラテンローラ５２の長手方向に走査されるようになっている。
【００２９】
キャリッジ５４には、着脱操作レバー５９によって、図６のインクジェットカートリッジ４０が交換可能に搭載される。インクジェット記録ヘッド１０の吐出口１０１は、プラテンローラ５２に巻き付けられた紙などの記録媒体７０と所定の間隙を以て対向する。また、インクジェット記録ヘッド１０には、フレキシブルケーブル６０を介して、図示しない制御部に接続される。そして、キャリッジ駆動モータ５８によるキャリッジ５４の走査中における記録ヘッド１０からのインク吐出と、モータ５１による記録媒体７０の送り動作とを繰り返すことによって、プリント媒体７０上に順次画像を記録する。
【００３０】
なお、インクジェットカートリッジ４０は、使用するインクの色などに応じて、１つ以上（図示例では２つ）をキャリッジ５４に搭載することができるようになっている。
【００３１】
（その他）
なお、本発明は、特にインクジェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段（例えば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギによりインクの状態変化を生起させる方式の記録ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすものである。かかる方式によれば記録の高密度化，高精細化が達成できるからである。
【００３２】
その代表的な構成や原理については、例えば、米国特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型，コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持されているシートや液路に対応して配置されている電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成長，収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書，同第４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことができる。
【００３３】
記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示されているような吐出口，液路，電気熱変換体の組合せ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許第４５５８３３３号明細書，米国特許第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基いた構成としても本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録を確実に効率よく行うことができるようになるからである。
【００３４】
さらに、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのような記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによってその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。
【００３５】
加えて、上例のようなシリアルタイプのものでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
【００３６】
また、本発明の記録装置の構成として、記録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できるので、好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げることができる。
【００３７】
また、搭載される記録ヘッドの種類ないし個数についても、例えば単色のインクに対応して１個のみが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数のインクに対応して複数個数設けられるものであってもよい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるかいずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極めて有効である。
【００３８】
さらに加えて、以上説明した本発明実施例においては、インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もしくは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェット方式ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよい。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せしめることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化するインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も本発明は適用可能である。このような場合のインクは、特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向するような形態としてもよい。本発明においては、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。
【００３９】
さらに加えて、本発明インクジェット記録装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、吐出エネルギー発生手段と吐出口との間における基板と天板との接合面のそれぞれに、互いに位置を規制し合う規制部を設けたことにより、吐出口近傍における基板や天板などの構成部材の変形を抑止して、インク吐出の信頼性を高めることができる。
【００４１】
特に、コスト的に有利な樹脂成形の天板を用いた場合においても、その天板の成形時の反りや高温保存時の変形等の問題を解決し、生産性を上げつつ、信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のインクジェット記録ヘッドの斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う拡大断面図ある。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの要部の拡大断面図である。
【図６】本発明に係るインクジェットカートリッジの斜視図である。
【図７】本発明に係るインクジェット記録装置の要部の斜視図である。
【符号の説明】
１０１　吐出口
１０２　電気熱変換素子
１０３　インク流路
１０４　発熱抵抗体
１０５　電気配線
１０６　流路壁
１０７　共通液室
２０１　基板
２０２　絶縁膜
２０３　層間膜
２０５　電極配線
２０７　第１保護膜
２０８　第２保護膜
２０９　ヒーターボード
２１０　天板
４０１　インク受け口
４０２　オリフィスプレート
５０１　凸部
５０２　凹部
【図１】
2004098297.tif 000003
【図２】
2004098297.tif 000004
【図３】
2004098297.tif 000005
【図４】
2004098297.tif 000006
【図５】
2004098297.tif 000007
【図６】
2004098297.tif 000008
【図７】
2004098297.tif 000009