(57)【要約】【課題】雰囲気温度によらず所望の厚みで接着剤を引き伸ばす。【解決手段】接着剤塗布装置は、フィルムに対し一定の間隔を空けて固定されたスキージを備えており、フィルム上に接着剤を供給すると共にそのフィルムを引出モータによりスキージ側へ引き出すことで、フィルム上の接着剤をスキージによって引き伸ばす。ここで、フィルムの引出し速度は、次のように決定される。即ち、引出モータを駆動していない状態にて（Ｓ１１０：Ｎ）、雰囲気温度が１８℃未満であれば引出し速度を６０ｍｍ／ｓとし（Ｓ１２０：Ｙ，Ｓ１３０）、１８℃以上２３℃未満であれば７０ｍｍ／ｓとし（Ｓ１４０：Ｙ，Ｓ１５０）、２３℃以上２８℃未満であれば８０ｍｍ／ｓとし（Ｓ１６０：Ｙ，Ｓ１７０）、２８℃以上であれば９０ｍｍ／ｓとする（Ｓ１８０）。この結果、雰囲気温度の影響で接着剤の粘度が変化しても、所望の厚みで接着剤を引き伸ばすことができる。【選択図】  図３
2004160419.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート材の上に接着剤を供給する接着剤供給手段と、
前記接着剤供給手段により接着剤が供給されたシート材とスキージとを相対移動させることにより、前記シート材上の接着剤を前記スキージによって引き伸ばす引伸ばし手段と、
を備えた接着剤塗布装置において、
雰囲気温度を検出する温度検出手段と、
前記温度検出手段により検出される雰囲気温度に応じて、前記引伸ばし手段が前記シート材と前記スキージとを相対移動させる速度を変更する速度変更手段と、
を備えたことを特徴とする接着剤塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の接着剤塗布装置において、
前記速度変更手段は、前記温度検出手段により検出される雰囲気温度が高いほど、前記シート材と前記スキージとを相対移動させる速度を速くすること、
を特徴とする接着剤塗布装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の接着剤塗布装置において、
前記速度変更手段は、前記スキージにより前記シート材上の接着剤が引き伸ばされている間は、前記シート材と前記スキージとを相対移動させる速度を一定に保つこと、
を特徴とする接着剤塗布装置。
【請求項４】
複数の部材を接着剤で貼り合わせて製造するインクジェットヘッドの製造方法であって、
請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載の接着剤塗布装置を用いて前記シート材に接着剤を塗布する工程と、
該シート材の接着剤が塗布された面を、前記部材における接着剤を塗布すべき面に押し当てることにより該部材に接着剤を転写する工程と、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スキージを用いてシート材に接着剤を塗布する技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、例えばインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドは、複数の部材を接着剤で貼り合わせることによって製造される。
そして、部材に接着剤を塗布する方法としては、まずフィルムの一面上に接着剤を適量滴下し、これをブレードを用いて引き伸ばしてフィルムの一面上に均一の厚みで塗布し、このフィルムの他面側を所定のローラの外周面上に接触させてローラを流路板（部材）の面上で転がすことにより、フィルムの一面上の接着剤を流路板の面上に転写するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−１２７４１４号公報（第３−４頁、第３図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一般に接着剤は温度によって粘度が変化するため、フィルム上に引き伸ばされる接着剤の厚みが雰囲気温度によって変わってしまうという問題があった。こうしてフィルム上に引き伸ばされる接着剤の厚みが変化すると、フィルムから部材に転写される接着剤の厚みにばらつきが生じることとなり、接着剤の量の不足によるリークや、接着剤の量が多すぎることによるはみ出し等が発生しやすくなってしまう。
【０００５】
本発明は、こうした問題に鑑みなされたものであり、雰囲気温度によらず所望の厚みで接着剤を引き伸ばすことを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
上記目的を達成するためになされた請求項１に記載の接着剤塗布装置では、接着剤供給手段が、シート材（例えばフィルム）の上に接着剤を供給し、引伸ばし手段が、接着剤供給手段により接着剤が供給されたシート材とスキージ（ブレード）とを相対移動させることにより、シート材上の接着剤をスキージによって引き伸ばす。そして更に、本装置では、温度検出手段が、雰囲気温度（例えば室温）を検出し、速度変更手段が、温度検出手段により検出される雰囲気温度に応じて、引伸ばし手段がシート材とスキージとを相対移動させる速度を変更する。
【０００７】
このような請求項１の接着剤塗布装置によれば、雰囲気温度の影響によって接着剤の粘度が変化しても、シート材上に引き伸ばされる接着剤の厚みを所望の厚みに調整することができる。即ち、シート材上に引き伸ばされる接着剤の厚みは、接着剤の粘度に応じて変化するだけでなく、シート材とスキージとを相対移動させる速度に応じても変化することから、雰囲気温度に応じてシート材とスキージとの相対速度を変更することにより、接着剤の厚みを調整することができるのである。
【０００８】
なお、雰囲気温度の影響を緩和するために、ヒータを用いて温度制御する構成も考えられるが、ヒータによって余分なエネルギーが必要になる点や、接着剤の反応を過剰に進行させてしまう点等が問題となる。これに対し、請求項１の接着剤塗布装置では、こうした問題が生じない。
【０００９】
ところで、速度変更手段がシート材とスキージとを相対移動させる速度は、請求項２に記載のように、温度検出手段により検出される雰囲気温度が高いほど速くするとよい。一般に、接着剤の粘度はその温度が高いほど低くなりシート材上に引き伸ばされる接着剤の厚みが薄くなる一方、シート材とスキージとを相対移動させる速度を速くするほどシート材上に引き伸ばされる接着剤の厚みが厚くなるため、雰囲気温度の変化による影響を緩和することができる。
【００１０】
また更に、請求項３に記載のように、速度変更手段が、スキージによりシート材上の接着剤が引き伸ばされている間は、シート材とスキージとを相対移動させる速度を一定に保つようにすれば、接着剤が引き伸ばされている際にその厚みが変化してしまうことを防ぐことができる。
【００１１】
次に、請求項４に記載の製造方法は、インクジェットヘッドを複数の部材を接着剤で貼り合わせて製造するものであり、上記請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載の接着剤塗布装置を用いてシート材に接着剤を塗布する工程と、このシート材の接着剤が塗布された面を、上記インクジェットヘッドを構成する部材における接着剤を塗布すべき面に押し当てることによりその部材に接着剤を転写する工程とを含むことを特徴としている。このインクジェットヘッドの製造方法によれば、部材に転写される接着剤の厚みを雰囲気温度に関係なくほぼ一定に保つことができるため、安定した性能のインクジェットヘッドを製造することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明が適用された実施形態について、図面を用いて説明する。
まず図１は、本実施形態の接着剤塗布装置の概略構成図であり、図２は、接着剤塗布装置の電気的構成を表わすブロック図である。
【００１３】
図１に示すように、接着剤塗布装置１００は、フィルム１０２上に接着剤１０４を供給するシリンダ１０６と、フィルム１０２に対し一定の間隔を空けて固定された板状のスキージ１０８とを備えている。
また更に、図２に示すように、本接着剤塗布装置１００は、スキージ１０８の先端付近で雰囲気温度を検出する温度センサ１１０と、シリンダ１０６から吐出される接着剤１０４の量を調節する接着剤調節器１１２と、フィルム１０２をシリンダ１０６からスキージ１０８へ向かう方向に引き出す引出モータ１１４と、周知のＣＰＵ１１６、ＲＯＭ１１８及びＲＡＭ１２０を有した制御装置１２２とを備えている。なお、フィルム１０２は、ロール状に巻かれた長尺のものであり、引出モータ１１４の駆動量に応じた長さだけ引き出される。
【００１４】
そして、本接着剤塗布装置１００は、フィルム１０２上に接着剤１０４を一定の厚みで引き伸ばす引き伸ばし動作を行う。
具体的には、制御装置１２２が、接着剤調節器１１２を制御してシリンダ１０６から接着剤１０４を吐出させると共に、引出モータ１１４にフィルム１０２を一定の長さだけ引き出させる。これにより、シリンダ１０６からフィルム１０２上に吐出された接着剤１０４がスキージ１０８側へ搬送され、スキージ１０８の先端とフィルム１０２との間を通過する際に一定の厚みに引き伸ばされる。
【００１５】
また、制御装置１２２は、引出モータ１１４にフィルム１０２を引き出させる際に、ＲＡＭ１２０に記憶される引出速度値に従ってフィルム１０２の引き出し速度を決定するようになっている。
ここで、上記引出速度値を設定するために制御装置１２２のＣＰＵ１１６が行う引出速度値設定処理について、図３のフローチャートを用いて説明する。なお、本引出速度値設定処理は、本接着剤塗布装置１００の電源がオンされることにより開始される。
【００１６】
この引出速度値設定処理が開始されると、まずＳ１１０にて、引出モータ１１４を駆動中であるか否か（即ち、接着剤１０４の引き伸ばし動作を行っている状態か否か）を判定し、引出モータ１１４を駆動中でないと判定した場合にのみ、Ｓ１２０へ移行する。つまり、接着剤１０４の引き伸ばし動作を行っている最中には、後述するＳ１２０以降の処理を行わないようになっている。
【００１７】
そして、Ｓ１２０では、温度センサ１１０による検出温度が１８℃未満であるか否かを判定する。
このＳ１２０で、検出温度が１８℃未満であると判定した場合には、Ｓ１３０へ移行し、引出速度値を６０ｍｍ／ｓｅｃとしてＲＡＭ１２０に記憶させた後、Ｓ１１０へ戻る。
【００１８】
一方、Ｓ１２０で、検出温度が１８℃未満でないと判定した場合には、Ｓ１４０へ移行し、検出温度が１８℃以上２３℃未満であるか否かを判定する。
そして、Ｓ１４０で、検出温度が１８℃以上２３℃未満であると判定した場合には、Ｓ１５０へ移行し、引出速度値を７０ｍｍ／ｓｅｃとしてＲＡＭ１２０に記憶させた後、Ｓ１１０へ戻る。
【００１９】
一方、Ｓ１４０で、検出温度が１８℃以上２３℃未満でないと判定した場合には、Ｓ１６０へ移行し、検出温度が２３℃以上２８℃未満であるか否かを判定する。
このＳ１６０で、検出温度が２３℃以上２８℃未満であると判定した場合には、Ｓ１７０へ移行し、引出速度値を８０ｍｍ／ｓｅｃとしてＲＡＭ１２０に記憶させた後、Ｓ１１０へ戻る。
【００２０】
一方、Ｓ１６０で、検出温度が２３℃以上２８℃未満でないと判定した場合（即ち、検出温度が２８℃以上である場合）には、Ｓ１８０へ移行し、引出速度値を９０ｍｍ／ｓｅｃとしてＲＡＭ１２０に記憶させた後、Ｓ１１０へ戻る。
以上のような引出速度設定値処理が実行されることにより、接着剤１０４の引き伸ばし動作は、雰囲気温度に応じた引き出し速度でフィルム１０２が引き出されることにより行われる。また、上記Ｓ１１０の処理により、引き伸ばし動作中はフィルム１０２の引き出し速度が一定に保たれる。
【００２１】
次に、フィルム１０２上に引き伸ばした接着剤１０４の転写方法について説明する。
図４は、接着剤塗布対象の部材（ワーク）Ｗに対し、フィルム１０２上に引き伸ばされた接着剤１０４を転写する工程を説明する説明図である。
【００２２】
図４（ａ）〜図４（ｃ）に示すように、まず部材Ｗにおける接着剤１０４を転写しようとする面に、フィルム１０２の接着剤１０４が引き伸ばされた面を、ローラ１２４を用いて端から順に押し当てていく。そして、図４（ｄ）に示すように、部材Ｗをフィルム１０２から引き離すと、部材Ｗに接着剤１０４が転写された状態となる。
【００２３】
ところで、上記引出速度設定値処理（図３）では、温度センサ１１０による検出温度が高いほど引出速度値を高い値にする（即ち、スキージ１０８による接着剤１０４の引き伸ばし速度を速くする）ようにしているが、これは雰囲気温度の変化に対して部材Ｗに転写される接着剤１０４の厚さを一定に保つためである。
【００２４】
ここで、本発明者が行った試験について説明する。本発明者は、フィルム１０２上の接着剤１０４をスキージ１０８によって引き伸ばし、そのフィルム１０２上の接着剤１０４をチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる部材Ｗに転写した後、その部材Ｗの重量を測定する試験を行った。
【００２５】
図５は、この試験の結果を表わすグラフである。なお、グラフにおいて、縦軸の接着剤転写重量とは、接着剤１０４を転写後のＰＺＴの部材Ｗの重量を８枚まとめて測定した値である。また、横軸のスキージ速度とは、フィルム１０２を基準としたスキージ１０８の移動速度（即ち、スキージ１０８によって接着剤１０４を引き伸ばす速度）である。
【００２６】
図５から明らかなように、雰囲気温度が一定の状態では、スキージ速度の増加に伴い、接着剤転写重量がほぼ一定の割合で増加する。これは、スキージ速度が速いほどフィルム１０２上に接着剤１０４が厚く引き伸ばされるためであると考えられる。また、雰囲気温度が低い場合と高い場合とでは、雰囲気温度が低い方が接着剤転写重量が増加する。これは、雰囲気温度が低いほど接着剤１０４の粘度が高くなるため、フィルム１０２上に接着剤１０４が厚く引き伸ばされると共に、部材Ｗに転写されやすくなるためであると考えられる。
【００２７】
この結果から、雰囲気温度が高い場合には、スキージ速度を速くし、雰囲気温度が低い場合には、スキージ速度を遅くすることで、雰囲気温度の違いによる部材Ｗに転写される接着剤１０４の量のばらつきを低減することができることが分かる。
【００２８】
次に、本接着剤塗布装置１００を用いて製造されるインクジェットヘッドについて説明する。
図６は、インクジェットヘッドの平面図である。図７は、図６内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図８は、図７内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図９は、図６に示すインクジェットヘッドの要部断面図である。図１０は、図６に示すインクジェットヘッドの要部分解斜視図である。
【００２９】
図６に示すように、インクジェットヘッド１は、一方向（主走査方向）に延在した矩形平面形状をしている。インクジェットヘッド１は、後述する多数の圧力室１０やインク排出口（ノズル）８（共に図７〜図９参照）が形成された流路ユニット４を有しており、その上面には、千鳥状になって２列に配列された複数の台形のアクチュエータユニット２１が接着されている。より詳細には、各アクチュエータユニット２１は、その平行対向辺（上辺及び下辺）が流路ユニット４の長手方向に沿うように配置されている。また、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士が、流路ユニット４の幅方向にオーバーラップしている。なお、図６〜図１０では図示省略しているが、アクチュエータユニット２１上には、後述する個別電極３５及び共有電極３４の電位を制御する信号を供給するためのフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ：ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ）５０（図１２参照）がそれぞれ貼り付けられている。
【００３０】
アクチュエータユニット２１の接着領域と対応した流路ユニット４の下面は、インク吐出領域となっている。インク吐出領域の表面には、後述するように、多数のインク排出口８がマトリクス状に多数配列されている。また、流路ユニット４の上方には、その長手方向に沿ってインク溜まり３が配置されている。インク溜まり３は、その一端に設けられた開口３ａを介してインクタンク（図示せず）に連通しており、常にインクで満たされている。インク溜まり３には、その延在方向に沿って開口３ｂが２つずつ対になって、アクチュエータユニット２１が設けられていない領域に千鳥状に設けられている。
【００３１】
図６及び図７に示すように、インク溜まり３は、開口３ｂを介してその下層にある流路ユニット４内のマニホールド５と連通している。開口３ｂには、インク内に含有される塵埃などを捕獲するためのフィルタ（図示せず）が設けられていてよい。マニホールド５は、その先端部が２つに分岐して副マニホールド５ａとなっている。１つのアクチュエータユニット２１の下部には、当該アクチュエータユニット２１に対してインクジェットヘッド１の長手方向両隣にある２つの開口３ｂからそれぞれ２つの副マニホールド５ａが進入してきている。つまり、１つのアクチュエータユニット２１の下部には、合計で４つの副マニホールド５ａがインクジェットヘッド１の長手方向に沿って延在している。各副マニホールド５ａには、インク溜まり３から供給されたインクが満たされている。
【００３２】
図７及び図８に示すように、アクチュエータユニット２１に対応したインク吐出領域の表面には、多数のインク排出口８が配列されている。各インク吐出口８は、図９からも分かるように、先細形状のノズルとなっており、平面形状がほぼ菱形の圧力室（キャビティ）１０（長さ９００μｍ、幅３５０μｍ）及びアパーチャ１２を介して副マニホールド５ａと連通している。このようにして、インクジェットヘッド１には、インクタンクからインク溜まり３、マニホールド５、副マニホールド５ａ、アパーチャ１２及び圧力室１０を経てインク吐出口８に至るインク流路３２が形成されている。なお、図７及び図８において、図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１０及びアパーチャ１２を実線で描いている。更に、図７及び図８において、後述する溝部５３及び導電膜３８の図示を省略している。
【００３３】
また、図８からも明らかなように、アクチュエータユニット２１の下方にあるインク吐出領域に対応した流路ユニット４内では、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１２が当該圧力室に隣接する圧力室１０と重複するように、圧力室１０同士が密着して配列されている。このようなことが可能なことの一因は、図９にも示すように、圧力室１０とアパーチャ１２とを異なる高さに設けるようにしたからである。このようにすることで、圧力室１０を高密度に配列することが可能であり、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像形成を実現している。
【００３４】
圧力室１０は、図７及び図８に描かれた平面内において、インクジェットヘッド１の長手方向（第１配列方向）と、インクジェットヘッド１の幅方向からやや傾いた方向（第２配列方向）との２方向にインク吐出領域内で配列されている。インク吐出口８は、第１配列方向には５０ｄｐｉで配列されている。一方で、圧力室１０は、第２配列方向には１つのインク吐出領域内に最大で１２個が含まれるように配列されており、そして、第２配列方向に１２個の圧力室１０が配列されたことによる第１配列方向への変位は圧力室１０の１つ分に相当している。これにより、インクジェットヘッド１の全幅内で、第１配列方向に隣接する２つのインク吐出口８間の距離だけ離隔した範囲には、１２個のインク吐出口８が存在するようになっている。なお、各インク吐出領域の第１配列方向についての両端部（アクチュエータユニット２１の斜辺に相当する）では、インクジェットヘッド１の幅方向に対向するインク吐出領域と相補関係となることで上記条件を満たしている。そのため、本インクジェットヘッド１では、第１及び第２配列方向に配列された多数のインク吐出口８から、インクジェットヘッド１の幅方向への用紙に対する相対的な移動に伴って順次インク滴を吐出させることで、主走査方向に６００ｄｐｉで印刷を行うことが可能になっている。
【００３５】
次に、インクジェットヘッド１の断面構造について説明する。
図９及び図１０に示すように、インクジェットヘッド１の底部側の要部は、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６，２７，２８、カバープレート２９、ノズルプレート３０の合計１０枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた９枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。
【００３６】
アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シートが積層され且つ電極が配されることによってそのうちの最上層だけが活性層とされ残り３層が非活性層とされたものである。キャビティプレート２２は、圧力室１０に対応するほぼ菱形の開口が多数設けられた金属プレートである。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔及び圧力室１０からインク吐出口８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１２のほかに圧力室１０からインク吐出口８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１２と副マニホールド５ａとの連絡孔及び圧力室１０からインク吐出口８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２６，２７，２８は、副マニホールド５ａに加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からインク吐出口８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープレート２９は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からインク吐出口８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズルとして機能する先細のインク吐出口８がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００３７】
これら１０枚のシート２１〜３０は、図９に示すようなインク流路３２が形成されるように、互いに位置合わせして積層される。このインク流路３２は、副マニホールド５ａからまず上方へ向かい、アパーチャ１２において水平に延在し、それから更に上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１２から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にインク吐出口８へと向かう。
【００３８】
次に、アクチュエータユニット２１の詳細な構造について説明する。
図１１は、図８に示す領域におけるアクチュエータユニット２１の拡大平面図である。図１２は、図１１のＡ−Ａ線に沿ったインクジェットヘッド１の部分断面図である。
【００３９】
図１１に示すように、アクチュエータユニット２１の上面であって平面視で各圧力室１０と実質的に重なり合う位置には、厚さ１．１μｍ程度の個別電極３５がそれぞれ設けられている。個別電極３５は、ほぼ菱形の電極部３５ａと、電極部３５ａの一方の鋭角部から連続して形成された矢印形状の電極部３５ｂとからなる。電極部３５ａは、圧力室１０よりも一回り小さくほぼこれと相似形状を有しており、平面視において圧力室１０に収まるように配置されている。また、電極部３５ｂは、平面視においてそのほとんどの領域が圧力室１０からはみ出している。
【００４０】
アクチュエータユニット２１の上面の個別電極３５以外の領域は、そのほとんどが個別電極３５と同じ厚みで同じ材料からなる導電膜３８で被覆されている。個別電極３５と導電膜３８との間は、個別電極３５の外縁に沿ってアクチュエータユニット２１の表面に形成された幅３０μｍ程度、深さ５〜１０μｍ程度の溝部５３によって絶縁されている。後述するように、溝部５３によって隣接する個別電極３５同士の相互干渉が軽減されるので、クロストークの発生を抑制することが可能となっている。
【００４１】
図１２に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された４枚の圧電シート４１，４２，４３，４４を含んでいる。そして、アクチュエータユニット２１には、個別電極３５及び共通電極３４の電位を制御する信号を供給するためのＦＰＣ５０が貼り付けられている。圧電シート４１〜４４は連続平板層であり、アクチュエータユニット２１は、インクジェットヘッド１内の１つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されている。圧電シート４１〜４４が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、圧電素子の機械的剛性を高く保つことができるので、インクジェットヘッド１におけるインク吐出性能の応答性を高めることができるようになっている。本実施形態において、圧電シート４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。
【００４２】
最上層にある圧電シート４１とその下方に隣接した圧電シート４２との間には、シート全面に形成された厚み２μｍ程度の共通電極３４が介在している。また、上述したように、アクチュエータユニット２１の上面つまり圧電シート４１の上面には、平面形状が圧力室１０と相似形状（長さ８５０μｍ、幅２５０μｍ）を有し且つ積層方向への射影領域が圧力室領域に含まれる電極部３５ａと矢印形状の電極部３５ｂとからなる個別電極３５が、圧力室１０毎に形成されている。更に、圧電シート４３と圧電シート４４との間、及び、圧電シート４２と圧電シート４３との間には、アクチュエータユニット２１を補強するための補強用金属膜３６ａ，３６ｂがそれぞれ介在している。補強用金属膜３６ａ，３６ｂは、共通電極３４とほぼ同じ厚さを有している。本実施形態において、個別電極３５、導電膜３８は下地にＮｉ（膜厚１μｍ程度）、表層にＡｕ（膜厚０．１μｍ程度）が形成された積層金属材料からなるものであり、共通電極３４及び補強用金属膜３６ａ，３６ｂは、Ａｇ−Ｐｄ系の金属材料からなるものである。補強用金属膜３６ａ，３６ｂは電極として作用するものではなく必ずしも設ける必要はないが、補強用金属膜３６ａ，３６ｂがあることで焼結後の圧電シート４１〜４４の脆さを補うことができ、圧電シート４１〜４４がハンドリングし易くなるという利点がある。
【００４３】
共通電極３４は、図示しない領域においてＦＰＣ５０を介して接地されている。これにより、共通電極３４は、全ての圧力室１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。また、個別電極３５は、各圧力室１０に対応するもの毎に電位を制御することができるように、矢印形状の電極部３５ｂにおいて、個別電極３５毎に独立してＦＰＣ５０内に配線されたリード線（図示せず）と接触しており、このリード線を介して図示しないドライバに接続されている。このように、本実施形態では、平面視において圧力室１０の外側にある電極部３５ｂにおいて個別電極３５とＦＰＣ５０とが接続されていることにより、アクチュエータユニット２１の積層方向への伸縮が阻害されることが少なく、圧力室１０の容積変化量を大きくすることができるようになっている。なお、共通電極３４は、積層方向への射影領域が圧力室領域を含むように或いは射影領域が圧力室領域に含まれるように圧力室１０毎に多数形成されたものであってもよく、必ずしもシート全面に形成された１枚の導電シートである必要はない。ただし、このとき、圧力室１０に対応する部分が全て同一電位となるように共通電極同士が電気的に接続されていることが必要である。
【００４４】
本実施形態のインクジェットヘッド１において、圧電シート４１〜４４の分極方向はその厚み方向となっている。つまり、アクチュエータユニット２１は、最上側（つまり、圧力室１０から最も離れた）の圧力シート４１を活性層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート４２〜４４を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば活性層である圧電シート４１の電極に挟まれた部分が分極方向と直角方向に縮む。一方、圧電シート４２〜４４は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、最上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２〜４４との間で、シート間で分極方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４１〜４４全体が非活性側に凸となる変形を生じる（ユニモルフ変形）。このとき、図１２で示したように、圧電シート４１〜４４の下面は圧力室を区画する隔壁（キャビティプレート）２２の上面に固着されているので、結果的に圧電シート４１〜４４は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、インク吐出口８からインクが吐出される。その後、個別電極３５への駆動電圧の印加が停止されれば、圧電シート４１〜４４は元の形状に戻って、圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド５側から吸い込む。
【００４５】
なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５に電圧を印加しておき、吐出要求がある毎に一旦電圧の印加を停止し、その後所定のタイミングにて再び電圧を印加する方法を用いることもできる。この場合は、電圧の印加が停止されたタイミングで、圧電シート４１〜４４が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は、初期状態（予め電圧が印加された状態）と比較して増加し、インクがマニホールド５側から吸い込まれ、その後再び電圧が印加されたタイミングで、圧電シート４１〜４４が圧力室側へ凸となるように変形し、圧力室の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。
【００４６】
また、例えば電界と分極とが逆方向であれば電極に挟まれた活性層である圧電シート４１の一部が分極方向と直角方向に伸びる。従って、圧電シート４１〜４４の電極３４，３５に挟まれた部分は、圧電横効果により、圧力室側に凹となるように湾曲する。このため、圧力室１０の容積が増加して、インクをマニホールド５側から吸い込む。その後、個別電極３５への駆動電圧の印加が停止されれば、圧電シート４１〜４４は元の形状に戻って、圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをノズルから吐出する。
【００４７】
このように、本実施形態のインクジェットヘッド１では、アクチュエータユニット２１の圧力室から最も離れた圧電シート４１が活性層であって、その圧力室側にある面とは反対側の面（上面）に個別電極３５が形成されていると共に、圧電シート４１の上面に個別電極３５同士の離隔を保つような導電膜３８が形成されている。そのため、接着力の強化のために個別電極３５だけでなく圧電シート４１上の全面にＦＰＣ５０を接着により貼り合わせた場合に、個別電極３５以外の領域に個別電極３５とほぼ同じ厚さを有する導電膜３８が存在するために、個別電極３５が形成された領域とそれ以外の領域とに高低差がほとんど生じない。従って、ＦＰＣ５０を引き剥がそうとする外力がこれに加えられた場合であっても、ＦＰＣ５０とアクチュエータユニット２１とが剥がれにくくなって、インクジェットヘッド１の信頼性が向上する。
【００４８】
また、本実施形態のインクジェットヘッド１は、アクチュエータユニット２１の圧力室から最も離れた圧電シート４１だけが活性層であって、その圧力室側にある面とは反対側の面（上面）上だけに個別電極３５が形成されたものである。そのため、アクチュエータユニット２１を作製する際に、平面視で重なるように設けられた個別電極同士を互いに接続するためのスルーホールを形成する必要がなく、容易に製造可能である。
【００４９】
更に、本実施形態のインクジェットヘッド１は、圧力室１０から最も離れた活性層としての圧電シート４１と流路ユニット４との間に、３枚の非活性層としての圧電シートが配置されたものである。このように、１層の活性層に対して非活性層を３層とすることで、圧力室１０の容積変化量を比較的大きくすることができ、従って、個別電極３５の駆動電圧の低電圧化と共に圧力室１０の小型化及び高集積化を図ることが可能となる。
【００５０】
本実施形態のインクジェットヘッド１は、活性層である圧電シート４１と非活性層である圧電シート４２〜４４とが同じ材料で形成されているために、材料を交換する手間が不要となり、比較的簡略な製造工程により製造可能である。そのため、製造コストを低減できることが期待される。更に、活性層である圧電シート４１と非活性層である圧電シート４２〜４４とが全て実質的に同じ厚みを有していることからも、製造工程の簡略化によるコスト削減を図ることができる。なぜなら、圧電シートとなるセラミックス材料を塗布積層していくときの厚さ調整工程を簡単に行うことができるようになるからである。
【００５１】
また、上述のように構成された本実施形態のインクジェットヘッド１によれば、圧電シート４１を共通電極３４と個別電極３５とで挟み込むことにより、圧電効果によって容易に圧力室１０の容積を変化させることができる。また、活性層である圧電シート４１が連続平板層であるため、容易に製造することが可能である。
【００５２】
また、本実施形態のインクジェットヘッド１は、圧力室１０に近い圧電シート４２〜４４を非活性層とし、圧力室１０から離れた圧電シート４１を活性層としたユニモルフ構造のアクチュエータユニット２１を有している。そのため、圧電横効果により圧力室１０の容積変化量を大きくすることができて、圧力室１０側が活性層でその反対側が非活性層のインクジェットヘッドと比較して、個別電極３５に印加される電圧の低電圧化や圧力室１０の高集積化を図ることが可能となる。印加電圧の低電圧化を図ることにより、個別電極３５を駆動するドライバを小型化できてコストを抑えることができ、圧力室１０を小さくできてその高集積化を図ったときであっても十分な量のインクを吐出することが可能となって、ヘッド１の小型化と印刷ドットの高密度配置が実現される。
【００５３】
次に、本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法について、更に図１３〜図１７を参照しつつ説明する。
インクジェットヘッド１を製造するには、まず流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１をそれぞれ並行して別個に作製し、その後両者を接着する。流路ユニット４を作製するには、これを構成する各プレート２２〜３０に、パターニングされたフォトレジストをマスクとした異方性エッチングを施して、図９及び図１０に示すような開孔及び凹部を各プレート２２〜３０のそれぞれに形成する。また、図１３に示すように、キャビティプレート２２に圧力室１０を形成する際、これと同時のエッチング工程により、円形のマーク（キャビティ位置認識マーク）５５を形成する。つまり、圧力室１０及びマーク５５に相当する部分に開孔を有するフォトレジストをマスクとしてキャビティプレート２２にエッチングを施す。マーク５５は、後述するレーザ加工のトレース位置決定・修正のために設けられるものであり、例えば、インク吐出領域外において、キャビティプレート２２の長手方向の所定間隔毎に、キャビティプレート２２の幅方向に離れた２個所に形成される。マーク５５は開孔であってもよいし、凹部であってもよい。なお、図１３においては、多数の圧力室１０のうち一部の圧力室１０だけを図示している。
【００５４】
変形例として、マーク５５は、圧力室１０を形成するためのエッチングと別工程で、つまり別のフォトレジストをマスクとして行うようにしてもよい。しかしながら、マーク５５を形成するためのエッチングを圧力室１０を形成するためのエッチングと同時の工程とすることで、圧力室１０に対するマーク５５の位置精度を高めることができ、後述するように個別電極３５と圧力室１０との位置精度が向上するという利益が得られる。
【００５５】
また、キャビティプレート２２以外の８枚のプレート２３〜３０についても、エッチングにより開孔を形成する。その後、インク流路３２が形成されるように９枚のプレート２２〜３０を接着剤１０４を介在させつつ重ね合わせ、接着することで流路ユニット４を作製する。
【００５６】
ここで、各プレート２２〜３０間に接着剤１０４を介在させる際には、前述した接着剤塗布装置１００を用いている。具体的には、接着剤塗布装置１００を用いてフィルム１０２に接着剤１０４を塗布する工程を行った後、フィルム１０２に塗布された接着剤１０４を接着剤転写対象のプレートに転写する工程を行う。
【００５７】
即ち、接着剤塗布装置１００では、図１に示すように、フィルム１０２上に接着剤１０４が供給されると共にフィルム１０２が引き出されることにより、フィルム１０２上に接着剤１０４が一定の厚みで引き伸ばされる。ここで、フィルム１０２は、接着剤転写対象のプレートの大きさに見合った長さだけ引き出されるようになっている。また、フィルム１０２は、前述した引出速度値設定処理（図３）により、温度センサ１１０による検出温度に応じた速度で引き出される。
【００５８】
そして、接着剤塗布装置１００を用いて接着剤１０４が引き伸ばされたフィルム１０２を、図４に示すように、プレート（部材Ｗ）の接着剤１０４を塗布すべき面にローラ１２４を用いて押し当てることにより、フィルム１０２上の接着剤１０４をプレートに転写する。
【００５９】
こうして接着剤１０４が転写されたプレートを、貼り合わせ対象のプレートと貼り合わせることにより、プレート同士を接着する。
このような工程を繰り返し行うことにより、流路ユニット４を作製するのである。
【００６０】
一方、アクチュエータユニット２１を作製するには、まず、圧電シート４４となるセラミックス材料上に、補強用金属膜３６ａとなる導電性のペーストをパターン印刷する。それと並行して、圧電シート４３となるセラミックス材料上に補強用金属膜３６ｂとなる導電性のペーストをパターン印刷すると共に、圧電シート４２となるセラミックス材料上に共通電極３４となる導電性のペーストをパターン印刷する。その後、４枚の圧電シート４１〜４４を冶具を用いて位置合わせしつつ重ね合わせることによって得られた積層物を所定の温度で焼成する。これにより、最上層にある圧電シート４１の下面に共通電極３４が形成された、個別電極を有しない積層物が形成される。この時点でのアクチュエータユニット２１の部分拡大断面図を図１４に示す。
【００６１】
次に、上述のようにして作製されたアクチュエータユニット２１となる積層物は、圧電シート４４とキャビティプレート２２とが接触するように、接着剤１０４により流路ユニット４と接着される。この際、流路ユニット４のキャビティプレート２２の表面及び圧電シート４１の表面にそれぞれ形成された位置合わせのための目印に基づいて両者が接着される。なお、この位置合わせは、アクチュエータユニット２１となる積層物に未だ個別電極が形成されていないことから、高い精度を要求されない。また、アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との接着にも、前述した接着剤塗布装置１００を用いている。
【００６２】
しかる後、圧電シート４１上の全面に導電膜３８がＰＶＤ（ＰｈｙｓｉｃａｌＶａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：物理的蒸着）、印刷又はメッキにより形成される。この時点でのインクジェットヘッド１の図１２に相当する断面図を図１５（ａ）に、その一点鎖線で囲った領域の部分拡大図を図１６（ａ）にそれぞれ示す。
【００６３】
次に、図１５（ｂ）及び図１７に示すように、キャビティプレート２２上に形成されたマーク５５を基準にして、平面視で圧力室１０の外縁やや内側にレーザが照射されるよう出射方向を制御しつつ例えばＹＡＧレーザを用いてレーザ加工を行い、圧電シート４１上の導電膜３８の図１１に示す溝部５３に対応する領域５７（図１７において太線で示す）だけを除去する。こうして導電膜３８を部分的に除去することにより、導電膜３８とは絶縁した個別電極３５のパターンが形成される。このときの図１５（ｂ）の一点鎖線で囲った領域の部分拡大図を図１６（ｂ）に示す。
【００６４】
このように、本実施形態では、圧力室１０のある流路ユニット４側に形成されたマーク５５に基づいてレーザ加工により個別電極３５のパターンを形成するので、予め個別電極などが形成されたアクチュエータユニットを流路ユニットに接着する場合と比較して、圧電シート４１上に形成される個別電極３５の圧力室１０に対する位置精度が向上する。これにより、インク吐出性能の均一性が優れたものとなり、インクジェットヘッド１の長尺化を図ることが容易になる。つまり、本実施形態のようにアクチュエータユニット２１を複数設け、それらを流路ユニット４の長手方向に配列するのではなく、アクチュエータユニット２１として流路ユニット４と同じ程度に長いものを１つだけ用いるようにすることができる。
【００６５】
また、ＰＶＤなどで導電膜３８を形成する場合はペーストを印刷する場合とは異なり高温処理を行う必要が無くなるので、上述したように、圧電シート４１〜４４と流路ユニット４とを接着してから導電膜３８の形成及びそのパターニングを行うことができるようになる。従って、アクチュエータユニット２１のハンドリングが非常に容易になる。
【００６６】
その後、個別電極３５に電気信号を供給するためのＦＰＣ５０をアクチュエータユニット２１上に貼り付け、更に所定の工程を経ることによってインクジェットヘッド１の製造が完了する。
以上説明した本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法では、圧電シート４１〜４４を積層する際に隣接する圧電シート間に個別電極を形成しない、つまり、圧力室１０から最も離れた圧電シート４１だけが活性層となるようにしているので、平面視で重なるように設けられた個別電極同士を互いに接続するためのスルーホールを圧電シート４１〜４４に形成する必要が無い。そのため、上述したように、本実施形態のインクジェットヘッド１は、比較的簡易な工程により低コストで製造可能である。
【００６７】
更に、本実施形態では、４枚の圧電シート４１〜４４を積層し、そのうち最上層の圧電シート４１だけが活性層となり残りの３枚の圧電シート４２〜４４が非活性層となるようにしている。このようにして製造されたインクジェットヘッド１によれば、上述したように、圧力室１０の容積変化量を比較的大きくすることができ、従って、個別電極３５の駆動電圧の低電圧化と共に圧力室１０の小型化及び高集積化を図ることが可能となる。
【００６８】
また、本実施形態では、導電膜３８が除去された後もレーザ加工を引き続いて行うことにより、圧電シート４１の厚さの１／３〜２／３程度の深さを有する溝部５３を圧電シート４１に形成する。このように、個別電極３５と導電膜３８との間に個別電極３５の外縁に沿って溝部５３を形成することによって、ある圧力室１０に対応した圧電シートの変形による影響が隣接する圧力室１０上の圧電シートに伝わりにくくなり、隣接した圧力室１０間のクロストークの発生を低減させることが可能となっている。
【００６９】
また、本実施形態では、溝部５３に対応する部分以外の導電膜３８は除去しない。そのため、上述したように、接着力の強化のために個別電極３５だけでなく圧電シート４１上の全面にＦＰＣ５０を接着により貼り合わせた場合に、個別電極３５以外の領域に個別電極３５とほぼ同じ厚さを有する導電膜３８が存在することで、個別電極３５が形成された領域とそれ以外の領域とに高低差がほとんど生じない。従って、ＦＰＣ５０を引き剥がそうとする外力がこれに加えられた場合であっても、ＦＰＣ５０とアクチュエータユニット２１とが剥がれにくくなって、インクジェットヘッド１の信頼性が向上するという利益が得られる。
【００７０】
なお、本実施形態では、個別電極３５のみ、共通電極３４及び補強用金属膜３６ａ，３６ｂとは異なり圧電シート４１〜４４となるセラミックス材料と一緒に焼成しない。これは、個別電極３５が露出しているために、焼成時の高温加熱により蒸発しやすく、セラミックス材料に被覆された共通電極３４などに比べて厚みの制御が困難だからである。しかしながら、共通電極３４なども焼成時に多少なりとも厚みが減少するので、焼成後の連続性を維持することを考慮するとその厚みを薄くすることが難しい。一方、個別電極３５は、焼成後に上述したような手法で形成するために、共通電極３４などよりも薄く形成することが可能である。このように、本実施形態のインクジェットヘッド１では、最も上層にある個別電極３５を共通電極３４よりも薄くすることで、活性層である圧電シート４１の変位が個別電極３５によって規制されづらくなって、インクジェットヘッド１における圧力室１０の容積変形量を向上させている。
【００７１】
また、本実施形態の接着剤塗布装置１００では、シリンダ１０６及び接着剤調節器１１２が、接着剤供給手段に相当し、引出モータ１１４が、引伸ばし手段に相当し、温度センサ１１０が、温度検出手段に相当し、引出速度値設定処理（図３）が、速度変更手段に相当している。
【００７２】
以上のように、本実施形態の接着剤塗布装置１００によれば、雰囲気温度の影響によって接着剤１０４の粘度が変化しても、インクジェットヘッド１の構成部材に転写される接着剤１０４の厚みをほぼ一定に保つことができるため、製造されるインクジェットヘッド１の性能を安定させることができる。また、接着剤１０４の引き伸ばし動作を行っている最中はフィルム１０２の引き出し速度を変化させないため、同一の部材に転写される接着剤１０４の厚みを均一にすることができる。
【００７３】
そして特に、アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との接着においては接着剤１０４の転写量を厳密に管理する必要があることから、本接着剤塗布装置１００を用いる効果が高い。即ち、アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との間に介在する接着剤１０４は、その量が少ないと隣り合う圧力室１０間でインクのリークが生じやすくなり、逆に、その量が多いと圧力室１０にはみ出しやすくなると共にアクチュエータユニット２１の変形が接着剤１０４によって吸収されやすくなる、というようにインク吐出口８からのインクの吐出性能に影響しやすいからである。
【００７４】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、種々の形態を採り得ることは言うまでもない。
例えば、上記実施形態の接着剤塗布装置１００のようにフィルム１０２の引き出し速度を温度センサ１１０の検出温度に応じて段階的に変更するのではなく、検出温度に応じてリニアに変更するようにしてもよい。このようにすれば、雰囲気温度の違いによる接着剤転写量のばらつきを一層低減することができる。
【００７５】
また更に、上記実施形態の接着剤塗布装置１００では、フィルム１０２を引き出すことによりフィルム１０２上の接着剤１０４を固定位置のスキージ１０８によって引き伸ばすようにしているが、これに限ったものではなく、フィルム１０２とスキージ１０８とを相対移動させる構成であればよい。例えば、フィルム１０２に沿ってスキージ１０８自体を移動させる構成であってもよい。
【００７６】
一方、上記実施形態のインクジェットヘッド１を構成する圧電シート４１〜４４や電極３４，３５の材料は、上述したものに限らず、その他の公知の材料に変更してもよい。また、圧力室１０の平面形状や断面形状、配置形態、活性層の数、非活性層の数などは、適宜変更してよい。また、活性層と非活性層とで層厚を異なる厚みにしてもよい。
【００７７】
また、上記実施形態のインクジェットヘッド１では、エッチングにより流路ユニット４を構成する各プレート２２〜３０に開孔やマーク５５を形成しているが、エッチング以外の方法で各プレート２２〜３０に開孔やマーク５５を形成してもよい。また、上記実施形態では、レーザ加工を行う際に個別電極３５となる以外の導電膜３８を残存させているが、個別電極３５となる領域以外の導電膜３８は完全に除去してもよい。ただし、上述した利益が得られなくなることに加え加工時間が増加してコストアップにつながるので個別電極３５となる領域以外の導電膜３８の除去は特に行う必要は無い。
【００７８】
また更に、上記実施形態のインクジェットヘッド１では、最上層にある圧力室１０から最も離れた圧電シート４１だけを活性層としているが、それ以外の圧電シート４２〜４４を活性層としてもよい。このようなインクジェットヘッド１を製造するには、圧電シート４１〜４４を積層する際に、活性層とする圧電シートの一方の面（例えば圧電シート４２の下面）に接触するような個別電極をパターン印刷すればよい。この場合は、平面視で上下に重なり合う個別電極同士を接続するためのスルーホールを形成する必要があり、製造工程がやや煩雑となる。また、最上層の圧電シート４１以外と接触する個別電極の圧力室１０に対する位置精度は低下するものの、最上層の圧電シート４１が圧力室１０の容積変化に最も寄与すると考えられるため、本実施形態は有効である。
【００７９】
一方、上記実施形態のインクジェットヘッド１では、導電膜３８の除去に引き続いて最上層の圧電シート４１を一部除去して溝部５３を形成しているが、溝部５３は必ずしも形成しなくてもよい。また、溝部５３は共通電極３４を孤立させない限りは上から２層目の圧電シート４２以下まで達していてもよく、溝部５３を深く形成するほどクロストーク抑制効果は大きくなる。
【００８０】
一方また、上記実施形態のインクジェットヘッド１では、アクチュエータユニット２１と流路ユニット４とを接着してから導電膜３８を形成しているが、アクチュエータユニット２１上に導電膜３８をＰＶＤなどで形成してから流路ユニット４を接着するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態の接着剤塗布装置の概略構成図である。
【図２】接着剤塗布装置の電気的構成を表わすブロック図である。
【図３】引出速度値設定処理のフローチャートである。
【図４】部材に接着剤を転写する工程を説明する説明図である。
【図５】スキージ速度と接着剤転写重量との関係を示すグラフである。
【図６】インクジェットヘッドの平面図である。
【図７】図６内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図８】図７内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図９】図６に示すインクジェットヘッドの要部断面図である。
【図１０】図６に示すインクジェットヘッドの要部分解斜視図である。
【図１１】図８に示す領域におけるアクチュエータユニットの拡大平面図である。
【図１２】図１１のＡ−Ａ線に沿ったインクジェットヘッドの部分断面図である。
【図１３】図６に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、マークが形成されたキャビティプレートを示す平面図である。
【図１４】図６に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、アクチュエータユニットの部分拡大断面図である。
【図１５】図６に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における部分断面図である。
【図１６】図１５に対応した部分拡大断面図である。
【図１７】図６に示すインクジェットヘッドの製造途中の一過程における、レーザ照射される領域を説明するための平面図である。
【符号の説明】
１…インクジェットヘッド、３…インク溜まり、３ａ，３ｂ…開口、４…流路ユニット、５…マニホールド、５ａ…副マニホールド、８…インク排出口、１０…圧力室、１２…アパーチャ、２１…アクチュエータユニット、２２…キャビティプレート、３０…ノズルプレート、３２…インク流路、３４…共通電極、３５…個別電極、３５ａ，３５ｂ…電極部、３６ａ，３６ｂ…補強用金属膜、４１…圧電シート（活性層）、４２〜４４…圧電シート（非活性層）、５０…ＦＰＣ、５３…溝部、５５…マーク、５７…領域、１００…接着剤塗布装置、１０２…フィルム、１０４…接着剤、１０６…シリンダ、１０８…スキージ、１１０…温度センサ、１１２…接着剤調節器、１１４…引出モータ、１２２…制御装置、１２４…ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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