(57)【要約】【課題】アーム長の寸法精度が高いアクチュエータを得ることができる製造方法を提供する。【解決手段】まず、スリット状の開口部３１が設けられたガラス板３０の両面にそれぞれ一対のシリコン板４０ａ，４０ｂを接合することにより、接合体２０を得る。次いで、接合体２０を開口部３１の長手方向に沿って切断する。このとき、シリコン板４０ａ，４０ｂにおける開口部３１を挟む領域を通る面で切断を行う。そして、接合体２０を切断して得られる基体１０に対し、シリコン板４０ａ，４０ｂの外面に圧電素子５０ａ，５０ｂを接着した後、所定の位置で切断する。これにより、連結部１６を介して連結された一対のアーム部１７ａ，１７ｂを有するアクチュエータ２を得る。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
連結部を介して連結された一対のアーム部を有し、前記アーム部によって保持される磁気ヘッドスライダを変位させるアクチュエータの製造方法であって、
開口部が設けられた連結部用基板を準備する準備工程と、
前記連結部用基板の両面にそれぞれ一対のアーム部用基板を接合する接合工程と、
前記連結部用基板及び前記アーム部用基板を、一対の前記アーム部用基板における前記開口部を挟む領域を通る面で切断する切断工程と、
一対の前記アーム部用基板の前記連結部用基板とは反対側の面に、それぞれ前記アーム部を変位させる一対の圧電素子を取り付ける取付工程と、
を備えることを特徴とするアクチュエータの製造方法。
【請求項２】
前記接合工程を完了する前に、前記連結部用基板の前記開口部に熱溶融性材料を充填する工程を備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項３】
前記取付工程においては、前記圧電素子の取付けを、硬化温度が前記熱溶融性材料の融点温度以上である熱硬化性の接着剤により行うことを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項４】
前記開口部はスリット状をしており、前記連結部用基板及び前記連結部用基板に接合された前記アーム部用基板を、前記開口部の長手方向に沿って所定の間隔で複数に切断する工程を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項５】
前記取付工程において、前記圧電素子は帯状をしており、前記圧電素子の取付けを、その長手方向が前記開口部の長手方向と一致するように行うことを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項６】
前記圧電素子は、積層圧電素子であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項７】
前記連結部用基板はガラス板であり、前記アーム部用基板はシリコン板であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のアクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＨＤＤ用のマイクロアクチュエータとして、表面に圧電素子が接着された一対のアームを備え、各アームの一端を支持部材により固定した構成のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平２００２−２６４１１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のアクチュエータは、製造工程においてアーム部を支持部材に対して位置合わせして接着しなければならないため、アームの長さ等の寸法精度が低いという問題があった。特に、ＨＤＤ用のマイクロアクチュエータのような極小型のアクチュエータを製造する場合には、位置合わせが非常に困難であり、上記の問題が顕著であった。
【０００５】
アーム部と支持部材との位置合わせ工程を省くための方法として、例えば図８（Ａ）〜図８（Ｃ）に示す製造方法が考えられる。この製造方法では、まず、ガラス板８１を２枚のシリコン板８２ａ，８２ｂで挟んだ基体８０を準備する（図８（Ａ）参照）。次に、基体８０のガラス板８１をその一側面Ｓ８からエッチングすることにより、ガラス板の一部を除去する（図８（Ｂ）参照）。そして、基体８０を点線Ｌ８で示す部分で切断することにより、アクチュエータ８が得られる（図８（Ｃ）参照）。このアクチュエータ８は、ガラス板８１から切り出された支持部材８６、及びシリコン板８２ａ，８２ｂから切り出されたアーム部８７ａ，８７ｂを有して構成されている。また、アーム部８７ａ，８７ｂの側面には、アーム部８７ａ，８７ｂを変位させるための圧電素子（図示せず）が取り付けられている。
【０００６】
ところが、この製造方法では、エッチングによりアーム部８７ａ，８７ｂを支持部材８６に対して突出させることによって、アーム部８７ａ，８７ｂに実効的なアーム長ｈ８ａ，ｈ８ｂを生ぜしめている。ここで、アーム長ｈ８ａ，ｈ８ｂは、アーム部８７ａ，８７ｂ全体の長さｈ９ａ，ｈ９ｂから支持部材８６と接合している部分の長さｈ１０ａ，ｈ１０ｂを減じたものである。
【０００７】
このため、エッチングの非均一性に起因して、支持部材８６のエッチング面Ｓ９を平面状に形成することが困難である。そして、このように面Ｓ９の形状を所望に制御できないということは、支持部材８６とアーム部８７ａ，８７ｂとの接合部分の長さｈ１０ａ，ｈ１０ｂを制御できないということであり、ひいては、アーム長ｈ８ａ，ｈ８ｂの寸法精度が低下してしまうことになる。特に、２つのアーム部８７ａ，８７ｂ間において、アーム長ｈ８ａ，ｈ８ｂに差が生じてしまうと、アクチュエータ８の精密な動作を著しく妨げることになってしまう。
【０００８】
そこで、本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、アーム長の寸法精度が高いアクチュエータを得ることができる製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明によるアクチュエータの製造方法は、連結部を介して連結された一対のアーム部を有し、アーム部によって保持される磁気ヘッドスライダを変位させるアクチュエータの製造方法であって、開口部が設けられた連結部用基板を準備する準備工程と、連結部用基板の両面にそれぞれ一対のアーム部用基板を接合する接合工程と、連結部用基板及びアーム部用基板を、一対のアーム部用基板における開口部を挟む領域を通る面で切断する切断工程と、一対のアーム部用基板の連結部用基板とは反対側の面に、それぞれアーム部を変位させる一対の圧電素子を取り付ける取付工程と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
この製造方法においては、一対のアーム部が連結部を介して連結された構成のアクチュエータが得られる。連結部は連結部用基板に由来し、アーム部は連結部用基板の両面に接合されたアーム部用基板に由来するものである。また、取付工程においてアーム部用基板に圧電素子を取り付けるため、アーム部には圧電素子が取り付けられている。このアクチュエータにおいては、磁気ヘッドスライダが一対のアーム部により保持される。そして、圧電素子に電圧を印加すると、圧電素子はその電歪効果によりアーム部を変位させる。
【００１１】
ここで、連結部用基板に開口部が設けられているとともに、切断工程においては、接合された連結部用基板及びアーム部用基板の切断を、切断面がアーム部用基板における連結部用基板の開口部を挟む領域を通るようにして行っている。これにより、開口部は分断され、分断された各々の開口部は完成後のアクチュエータにおいて一対のアーム部で挟まれる領域を画成することとなる。このため、本製造方法によれば、連結部とアーム部とを位置合わせする工程、及びガラス板をエッチングする工程がともに不要である。また、アーム長の寸法精度が高いアクチュエータを好適に得ることができる。
【００１２】
また、本発明によるアクチュエータの製造方法は、接合工程を完了する前に、連結部用基板の開口部に熱溶融性材料を充填する工程を備えることが好適である。この場合、製造工程において連結部用基板の破損等を防ぐことができる。
【００１３】
取付工程においては、圧電素子の取付けを、硬化温度が熱溶融性材料の融点温度以上である熱硬化性の接着剤により行うことが好適である。この場合、圧電素子の取付けの際に、接着剤を硬化させるために加える熱によって、熱溶融性材料を融解除去することができる。
【００１４】
本発明によるアクチュエータの製造方法は、開口部はスリット状をしており、連結部用基板及び連結部用基板に接合されたアーム部用基板を、開口部の長手方向に沿って所定の間隔で複数に切断する工程を備えることが好適である。この場合、複数のアクチュエータを一度の製造において得ることができる。
【００１５】
取付工程において、圧電素子は帯状をしており、圧電素子の取付けを、その長手方向が開口部の長手方向と一致するように行うことが好適である。これにより、複数のアクチュエータをまとめて製造する場合、各々のアクチュエータに対して個別に圧電素子を接着する工程を省くことができる。
【００１６】
圧電素子は、積層圧電素子であることが好適である。この場合、アーム部の最大変位量が大きなアクチュエータを得ることができる。
【００１７】
連結部用基板はガラス板であり、アーム部用基板はシリコン板であることが好適である。この場合、ガラス板及びシリコン板は、それぞれ完成後のアクチュエータにおいて連結部及びアーム部として好適に機能する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、図示の便宜上、図面の寸法比率は図示の値に限定されず、また説明のものと必ずしも一致しない。さらに、上下左右等の位置関係については、特に明示しない限り、図面における位置関係に基づくものとする。
【００１９】
図１は、本発明において得られるアクチュエータの一実施形態を示す斜視図である。アクチュエータ１は、磁気ヘッドスライダを保持しつつ、これをＸ方向に変位させるものであり、連結部１１、２本のアーム部１２ａ，１２ｂ、及び圧電素子１３ａ，１３ｂを備えている。連結部１１は、直方体形状をしており、２本のアーム部１２ａ，１２ｂを連結する部分である。
【００２０】
連結部１１の対向する一組の面に、それぞれアーム部１２ａ，１２ｂの一端が接合されている。アーム部１２ａ，１２ｂは、ともに連結部１１との接合面に沿って平行に延びる同一の直方体形状をしており、対をなしている。アーム部１２ａ，１２ｂのうち連結部１１に対して突出している部分が、磁気ヘッドスライダを狭持する部分となる。
【００２１】
アーム部１２ａ，１２ｂには、連結部１１との接合面とは反対側の面にそれぞれ圧電素子１３ａ，１３ｂが接着されている。圧電素子１３ａ，１３ｂは、長方形の板状をしており、その長辺がアーム部１２ａ，１２ｂの延びる方向に沿って接着されている。また、圧電素子１３ａ，１３ｂは、所定の位置に形成された電極から電圧を印加されると、電歪効果によりアーム部１２ａ，１２ｂの延びる方向に伸張或いは収縮する。圧電素子１３ａ，１３ｂが伸張するか収縮するかは、印加する電圧の向きによって制御することができる。また、伸縮或いは収縮する長さは、印加する電圧の大きさによって制御することができる。
【００２２】
なお、アクチュエータ１の寸法としては、例えば下記のようにすることができる。
アーム長ｈ１：９００μｍ、
アーム部全長ｈ２：１５００μｍ、
アクチュエータの厚さｄ１：３００μｍ、
アーム間隔（連結部の幅）ｗ１：１０００μｍ、
アーム幅ｗ２：３００μｍ。
【００２３】
図２は、アクチュエータ１の動作を説明するための図である。図２は、ＨＤＤに設けられたアクチュエータ１を示している。アクチュエータ１は、ＨＤＤのサスペンション６０に固定されている。サスペンション６０は、磁気ヘッドの浮上力を制御するロードビーム６１、及びアクチュエータ１を支えるジンバル６２を有して構成されている。また、アクチュエータ１は、アーム部１２ａ及びアーム部１２ｂによって、磁気ヘッドスライダ６３を狭持している。この磁気ヘッドスライダ６３は、薄膜磁気ヘッド（図示せず）を有している。また、磁気ヘッドスライダ６３のＨＤ（図示せず）に対向する面Ｓ１が、いわゆるＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）面である。このＡＢＳ面Ｓ１には、磁気ヘッドスライダ６３を記録再生時にＨＤから浮上させるためのスライダレール（図示せず）が形成されている。
【００２４】
このＨＤＤにおいて、アクチュエータ１は、薄膜磁気ヘッドとＨＤとの位置関係を主にＨＤの面方向において調整する。例えば、圧電素子１３ａ及び圧電素子１３ｂ（図示せず）のそれぞれに所定の電圧を印加することにより、圧電素子１３ａを伸張させ、且つ圧電素子１３ｂを収縮させる。すると、アーム部１２ａの圧電素子１３ａとの接着面が圧電素子１３ａから引張り力を受けることにより、アーム部１２ａがアーム部１２ｂに近づく側に屈曲する。一方、アーム部１２ｂの圧電素子１３ｂとの接着面が圧電素子１３ｂから縮み力を受けることにより、アーム部１２ｂがアーム部１２ａから遠ざかる側に屈曲する。これにより、磁気ヘッドスライダ６３は、図中Ｘ方向のアーム部１２ａからアーム部１２ｂの向きに変位する。この変位量は、圧電素子１３ａ，１３ｂに印加する電圧の大きさによって制御される。また、圧電素子１３ａ，１３ｂに印加する電圧の向きを逆にすると、磁気ヘッドスライダ６３は、Ｘ方向のアーム部１２ｂからアーム部１２ａの向きに変位する。
【００２５】
図３は、図１の圧電素子１３ａ，１３ｂの一構成例を説明するための図である。圧電素子１３は、複数の圧電セラミック層２１、複数の内部電極層２２、及び外部電極２３ａ，２３ｂを備える積層圧電素子である。図３においては、圧電素子１３の内部構造を断面図で示している。図に示すように、圧電セラミック層２１と内部電極層２２とは、交互に積層されて積層体をなしている。したがって、各々の圧電セラミック層２１が２つの内部電極層２２で挟まれた構成となっている。また、積層体の積層方向に垂直な一側面Ｓ２がアクチュエータ１に対する取付け面となる。
【００２６】
また、積層体の上面及び下面から側面Ｓ２とは反対の側面の一部にかけて、それぞれ外部電極２３ａ，２３ｂが設けられている。ここでは、圧電セラミック層２１の伸縮方向（図の上下方向）に垂直な面を積層体の上面及び下面としている。なお、アクチュエータ１のアーム部１２ａ，１２ｂが導電性をもつ場合、外部電極２３ａ，２３ｂがアーム部１２ａ，１２ｂに接触してショートするのを防ぐために、外部電極２３ａ，２３ｂは、積層体の上面及び下面において側面Ｓ２側の端部にまで達しないように設けられる。
【００２７】
これらの外部電極２３ａ，２３ｂは、ともに内部電極層２２と接続される。このとき、それぞれの内部電極層２２は、外部電極２３ａ，２３ｂのいずれか一方にのみ接続される。具体的には、内部電極層２２のうち、外部電極２３ａに接続されるものを内部電極層２２ａとし、外部電極２３ｂに接続されるものを内部電極層２２ｂとすると、内部電極層２２は、積層方向に沿って内部電極層２２ａと２２ｂとが交互に現れる構成となっている。
【００２８】
なお、かかる構成の下では、内部電極層２２ａ，２２ｂ間に電圧を印加した場合、圧電セラミック層２１に生じる電場ベクトルの向きが、隣接する圧電セラミック層２１どうしで逆向きとなる。そこで、圧電セラミック層２１の全てが揃って伸張或いは収縮するように、隣接する圧電セラミック層２１どうしの表裏が反対になるように積層している。
【００２９】
上記構成において、外部電極２３ａ，２３ｂに電位差を与えることにより、内部電極層２２ａ，２２ｂ間に電圧を印加すると、圧電素子１３が伸張或いは収縮する。このような積層型の圧電素子１３をアクチュエータ１に対して設けた場合、アーム部１２ａ，１２ｂに対して、大きな引張り力或いは縮み力を与えることができるため、アーム部１２ａ，１２ｂの最大変位量を大きくすることができる。ただし、アクチュエータ１に設ける圧電素子としては、積層型のものに限らず、単板型あるいはバイモルフ型のものであってもよい。
【００３０】
次に、図４〜図７の工程図を参照して、本発明によるアクチュエータの製造方法の一実施形態を説明する。まず、図４（Ａ）に示すガラス板３０を準備する（準備工程）。ガラス板３０は、完成後のアクチュエータにおいて連結部を構成する連結部用基板である。また、ガラス板３０としては、熱膨張が小さいものを用いることが望ましい。
【００３１】
ガラス板３０には、開口部３１が設けられている。開口部３１は、スリット状、具体的には細長い長方形状をしている。この開口部３１は、完成後のアクチュエータにおいて、一対のアーム部で挟まれる領域を画成する部分となる。また、開口部３１は、その長手方向（図中Ｙ方向）と垂直な方向に沿って等しいピッチで３つ配列している。このように開口部３１が設けられたガラス板３０は、例えば、溶融したガラスを所定の金型に流し込み、ガラスを冷却固化させることにより作製することができる。また、ガラス板３０の作製に際しては、所望の厚さよりもやや厚めに作製したガラス板３０に平面研磨等を施すことにより、その厚さを所望に調整することが望ましい。
【００３２】
また、ガラス板３０の開口部３１が設けられていない部分に、カットマーク３２が付けられている。カットマーク３２は、後述する切断工程においてガラス板３０の切断すべき箇所の目安を与えるものである。カットマーク３２は、ガラス板の左右両端部にそれぞれ同数ずつ設けられている。また、左右両端部のそれぞれに設けられた複数のカットマーク３２は、ガラス板３０の面内においてＹ方向と直行する方向（Ｚ方向）に沿って、等間隔で設けられている。この間隔は、開口部３１の配列ピッチの半分に等しい。また、各開口部３１について、その中心を通りＹ方向に平行な直線上に左右両端部のカットマーク３２が１つずつ位置している。カットマーク３２としては、カメラで検出することができ、データとして画像処理ができるものであればよい。例えば、カットマーク３２をインク印刷等によりガラス板３０に設けることができる。
【００３３】
次に、図４（Ｂ）に示すように、ガラス板３０の開口部３１に熱溶融性材料であるワックス３３を充填する（充填工程）。ワックス３３としては、例えば、パラフィンワックス、カルナバワックス、ロジンとカルナバとの混合ワックス、及びこれらの混合ワックス等を用いることができる。また、ワックス３３の充填は、例えば、次のようにして行うことができる。まず、ラップフィルムが敷設された平滑な面を有する台上にガラス板３０を載置する。その後、開口部３１に溶融ワックス３３を滴下してからガラス板３０の上にもラップフィルムを敷設する。この状態でワックス３３を一旦加熱してから固化させる。これにより、開口部３１全体にワックス３３が均一に充填される。
【００３４】
次に、図５（Ａ）に示すように、ガラス板３０の両面にそれぞれシリコン板４０ａ，４０ｂを接合する（接合工程）。シリコン板４０ａ，４０ｂは、完成後のアクチュエータにおいてアーム部を構成するアーム部用基板である。シリコン板４０ａ，４０ｂの開口部３１の長手方向（Ｙ方向）についての長さｄ５は、ガラス板３０のそれよりも短い。具体的には、その長さｄ５は、開口部３１の長さよりも長く、開口部３１の両端に設けられたカットマーク３２間の距離よりも短い。また、シリコン板４０ａ，４０ｂのガラス板３０の面内においてＹ方向と直交する方向（Ｚ方向）についての長さｈ５は、ガラス板３０のそれと略同じである。また、シリコン板４０ａ，４０ｂの厚さは、ガラス板３０の厚さよりも薄い。
【００３５】
本接合工程においては、シリコン板４０ａ，４０ｂがガラス板３０の開口部３１（ワックス３３の充填部分）を覆い、且つ一方でカットマーク３２は覆わないようにして、シリコン板４０ａ，４０ｂをガラス板３０に接着固定する。この接着固定には、例えばエポキシ系樹脂を接着剤として用いることができる。ただし、接着剤としては、ワックス３３が溶融するのを防ぐため、硬化温度がワックス３３の融点よりも低いものを用いることが望ましい。
【００３６】
上記接合工程によって、図５（Ｂ）に示すように、ガラス板３０及びシリコン板４０ａ，４０ｂを接合した接合体２０が得られる。この図は、開口部３１を含みＹ方向に垂直な面での断面を示している。ガラス板３０の断面には、ガラス部分３０ａとワックス３３が充填された開口部３１がＺ方向に沿って交互に一定のピッチで現れている。
【００３７】
次に、ガラス板３０に設けられたカットマーク３２（図５（Ｂ）においては図示せず）を基準として、接合体２０を、シリコン板４０ａ，４０ｂにおける開口部３１を挟む領域Ｄ１を通る面で切断する（切断工程）。このときの切断面を、図５（Ｂ）に一点鎖線Ｌ１で示す。本実施形態においては、特に、開口部３１の中心を通りＺ方向に垂直な面で接合体２０を切断する。これにより、各開口部３１がその長手方向（紙面に垂直な方向）に沿って図中の上側部分及び下側部分の２つに分断される。一方、接合体２０の切断を、シリコン板４０ａ，４０ｂにおけるガラス部分３０ａを挟む領域Ｄ２を通る面でも行う。これにより、各ガラス部分３０ａも開口部３１の長手方向に沿って２つに分断される。ガラス板３０及びシリコン板４０ａ，４０ｂの切断は、例えば、ダイヤモンドカッターによって行うことができる。この場合は、刃の厚みが０．０５〜０．１ｍｍ程度のものを用いることが望ましい。また、切断に際しては、ワックス３３の部分を直接切断しないようにするか、又はワックス３３を冷却しながら切断することが望ましい。
【００３８】
上記切断工程によって、図６（Ａ）に示す基体１０が複数得られる。本実施形態では、１つの開口部３１につき２つの基体１０が得られるので、合計６つの基体１０を得る。各基体１０は、切断工程において分断された開口部３１及びガラス部分３０ａを一組有して構成されており、開口部の長手方向（Ｙ方向）に沿って延びている。また、基体１０の上面には、図に示すように、Ｙ方向に沿って手前から順に、ガラス板３０のガラス部分３０ａ、両側をシリコン板４０ａ，４０ｂで覆われたワックス３３、及びガラス部分３０ａが露出している。
【００３９】
次に、図６（Ｂ）に示すように、シリコン板４０ａ，４０ｂのガラス板３０とは反対側の面に、それぞれ圧電素子５０ａ，５０ｂ（図示せず）を取り付ける（取付工程）。本取付工程においては、圧電素子５０ａ，５０ｂとして、その電歪効果による伸縮方向と垂直な方向を長手方向とする帯状に形成された積層圧電素子を用いている。そして、圧電素子５０ａ，５０ｂをその長手方向がＹ方向と一致するように接着する。この接着には、例えばエポキシ系樹脂のような熱硬化性の接着剤を用いている。また、ここで用いる接着剤の硬化温度は、ワックス３３の融点温度以上である。このような接着剤を用いることにより、本工程において接着剤の加熱硬化と併せてワックス３３の融解除去を行う。これにより、基体１０のワックス３３が除去された部分は、ガラス板３０のガラス部分３０ａ及びシリコン板４０ａ，４０ｂで囲まれた窪み部５２となる。
【００４０】
次に、圧電素子５０ａ，５０ｂが接着された基体１０を、Ｙ方向と垂直な面で切断する。図７（Ａ）に、このとき切断される部分を一点鎖線Ｌ２で示す。本垂直切断工程においては、一点鎖線Ｌ２で示すように、基体１０をその延びる方向（Ｙ方向）に沿って所定の間隔で複数に切断する。この切断は、図５（Ｂ）で説明した切断工程と同様に、例えばダイヤモンドカッターによって行うことができる。
【００４１】
以上により、図７（Ｂ）に示すアクチュエータ２を複数得る。各アクチュエータ２は、ガラス板３０から切り出された連結部１６、シリコン板４０ａ，４０ｂから切り出された一対のアーム部１７ａ，１７ｂ、及び圧電素子５０ａ，５０ｂから切り出された一対の圧電素子１８ａ、１８ｂを有して構成されている。
【００４２】
本実施形態による製造方法によれば、一対のアーム部１７ａ，１７ｂが連結部１６を介して連結されたアクチュエータ２が得られる。ここで、開口部３１が設けられたガラス板３０を用いるとともに、切断工程において開口部３１を分断している。これにより、分断された開口部３１が、アクチュエータ２において一対のアーム部１７ａ，１７ｂで挟まれる領域を画成している。このため、本製造方法によれば、連結部１６とアーム部１７ａ，１７ｂとを位置合わせする工程、及びガラス板３０をエッチングする工程がともに不要である。また、アーム長の寸法精度が高いアクチュエータを好適に得ることができる。
【００４３】
また、ガラス板３０の開口部３１にワックス３３を充填した状態で接合工程及び切断工程を実行している。これにより、これらの工程におけるガラス板３０の破損、かけ等を防ぐことができる。このため、アクチュエータ２の製造の歩留まりを向上させることができる。
【００４４】
また、取付工程において、圧電素子５０ａ，５０ｂの取付けを硬化温度がワックス３３の融点温度以上である熱硬化性の接着剤を用いて行うことにより、接着剤を硬化させるために加える熱によって、ワックス３３を融解除去している。これにより、ワックス３３を除去する工程を別に設ける必要がないため、アクチュエータの製造工程が簡略化される。
【００４５】
また、本製造方法は、ガラス板３０及びガラス板３０に接合されたシリコン板４０ａ，４０ｂを、ガラス板３０のスリット状の開口部３１の長手方向に沿って所定の間隔で複数に切断する工程を備えている。これにより、複数のアクチュエータ２を一度の製造において得ることができる。このため、本製造方法は、アクチュエータの量産化及び低コスト化に適している。
【００４６】
また、取付工程において、帯状の圧電素子５０ａ，５０ｂを、その長手方向が開口部３１の長手方向と一致するように接着している。これにより、複数のアクチュエータ２をまとめて製造する場合、各々のアクチュエータ２に対して個別に圧電素子５０ａ，５０ｂを接着する工程を省くことができるため、製造工程が簡略化される。
【００４７】
また、圧電素子５０ａ，５０ｂとして、積層圧電素子を用いている。このため、アーム部１７ａ，１７ｂの最大変位量が大きなアクチュエータ２を得ることができる。
【００４８】
また、切断工程においては、図５（Ｂ）の断面図に示すように、ガラス部分３０ａ及び開口部３１をそれぞれＺ方向に垂直な面に沿って一定間隔で切断している。また、各開口部３１の中心部を切断するようにしているため、２つの同寸法の基体１０を１つの開口部３１から得ることができる。これにより、１度の製造においてより多くのアクチュエータ２を得ることができる。また、このように開口部３１に対する一度の切断により同じ基体１０を２つ得ることができるため、切断回数を減らすことができる。このため、簡易な製造工程で多数のアクチュエータ２を好適に製造することができる。特に、本実施形態では、開口部３１が複数設けられたガラス板３０を用いている。このため、一度の製造工程において、さらに多数のアクチュエータ２を得ることができる。
【００４９】
また、切断の際の目安となるカットマーク３２をガラス板３０に設けている。これにより、ガラス板３０及びシリコン板４０ａ，４０ｂの切断を所望の位置で高精度に行うことが容易となる。
【００５０】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態においてワックス３３の充填工程を接合工程を開始する前に行ったが、接合工程の途中で行うこととしてもよい。具体的には、ガラス板３０の片面に一対のシリコン板４０ａ，４０ｂのいずれか一方を接合した状態で開口部３１にワックス３３を充填し、その後で他方のシリコン板４０ａ，４０ｂを接合することとしてもよい。
【００５１】
【発明の効果】
本発明による製造方法によれば、アーム長の寸法精度が高いアクチュエータを得ることができる
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明において得られるアクチュエータの一実施形態を示す斜視図である。
【図２】アクチュエータ１の動作を説明するための図である。
【図３】図１の圧電素子１３ａ，１３ｂの一構成例を説明するための図である。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明によるアクチュエータの製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図５】（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明によるアクチュエータの製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図６】（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明によるアクチュエータの製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図７】（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明によるアクチュエータの製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図８】（Ａ）〜（Ｃ）は、従来のアクチュエータの製造方法を示す工程図である。
【符号の説明】
１，２…アクチュエータ、１０…基体、１１，１６…連結部、１２ａ，１２ｂ，１７ａ，１７ｂ…アーム部、１３，１３ａ，１３ｂ，１８ａ，１８ｂ，５０ａ，５０ｂ…圧電素子、２０…接合体、３０…ガラス板、３１…開口部、３２…カットマーク、３３…ワックス、４０ａ，４０ｂ…シリコン板、６０…サスペンション、６１…ロードビーム、６２…ジンバル、６３…磁気ヘッドスライダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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