(57)【要約】【課題】液体有機金属や有機金属溶液等の液体材料を気化する気化器において、フィルタ目詰まりを軽減することができる気化器の提供。【解決手段】液体材料は、気化ノズル部２０によって霧状液体材料２６に霧化され、高温の気化チャンバ内壁３８により気化される。これによって生成された材料ガスはチャンバ本体３１の排出口３４からＣＶＤ装置１側へと排出されるが、気化されなかった霧状液体材料２６ａ，２６ｂや液体材料が固化して生成されたパーティクル２７等は、気化フィルタ３５によって捕捉される。気化フィルタ３５はヒータ３９によって加熱されているため、捕捉された霧状液体材料２６ａ，２６ｂは気化される。その結果、パーティクルの発生量を低減することができ、気化フィルタ３５や、気化フィルタ３５よりも下流に設けられるフィルタの目詰まりを軽減することができる。【選択図】        図２
2004211183.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高温に保持された気化チャンバ内へ液体有機金属若しくは有機金属溶液から成る液体材料を噴霧し、噴霧された前記液体材料が気化して生じた材料ガスをＣＶＤ成膜装置に供給する気化器において、
前記気化チャンバの材料ガス排出口を覆うように設けられて、前記液体材料の未気化残留体を捕捉し、かつ、未気化噴霧粒子を気化するフィルタと、
前記フィルタを加熱する加熱手段とを設けたことを特徴とする気化器。
【請求項２】
請求項１に記載の気化器において、
前記フィルタの温度が前記液体材料の気化温度範囲となるように前記加熱手段を制御する温度制御手段を設けたことを特徴とする気化器。
【請求項３】
請求項１または２に記載の気化器において、
気化チャンバ内に噴霧された前記液体材料が前記排出口方向に飛散するのを防止する流路制御部材を、前記気化チャンバに設けたことを特徴とする気化器。
【請求項４】
高温に保持された気化チャンバ内へ液体有機金属若しくは有機金属溶液から成る液体材料を噴霧し、噴霧された前記液体材料が気化して生じた材料ガスをＣＶＤ成膜装置に供給する気化器において、
前記液体材料が噴霧されるとともに該液体材料を気化する第１の空間と、
前記第１の空間と連通部を介して連通し、前記第１の空間で気化されて生じた材料ガスを気化器から排出する排出口が設けられた第２の空間と、
前記第１の空間と第２の空間との連通部を塞ぐように設けられたフィルタと、
前記フィルタの温度を前記液体材料の気化温度範囲に制御する温度制御手段とを設けたことを特徴とする気化器。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の気化器において、
前記フィルタを、ガス流路上流側に設けられた目の粗い第１フィルタ層と、ガス流路下流側に設けられて前記第１フィルタ層を通過した未気化残留体を捕捉する目の細かい第２フィルタ層とから成る二層以上の多層構造としたことを特徴とする気化器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＣＶＤ成膜に用いられ、液体有機金属や有機金属溶液等の液体材料を気化する気化器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス製造工程における薄膜形成方法の一つとしてＭＯＣＶＤ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法があるが、スパッタ等に比べて膜質，成膜速度，ステップカバレッジなどが優れていることから近年盛んに利用されている。ＭＯＣＶＤ装置に用いられているＣＶＤガス供給法としては、従来からバブリング法や昇華法などが知られている。近年は、液体有機金属若しくは有機金属を有機溶剤に溶かした液体材料をＣＶＤ装置の直前で気化して供給する方法が、制御性および安定性の面でより優れた方法として注目されている。この気化方法では、高温に保たれた気化チャンバ内にノズルから液体材料を噴霧して、液体材料を気化させている。
【０００３】
ところが、液体材料の種類によっては霧状の液体材料の全てが気化チャンバ内で気化されず、その一部が気化チャンバから配管を介してＣＶＤ装置側へと排出される場合がある。このとき、排出された霧状液体材料が配管中で固化したり、気化した材料ガスが再凝集したりしてパーティクルが発生する。このパーティクルがＣＶＤ装置まで達すると成膜不良の原因となるおそれがあるため、従来は、気化器とＣＶＤ装置との間にフィルタを配設して、そのフィルタでパーティクルをトラップするようにしている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平６−３１０４４４号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このパーティクルのトラップによりフィルタの目詰まりが短期間で発生しやすく、頻繁にフィルタを交換する必要があった。その結果、フィルタ交換のための装置停止により、生産性が低下するという問題があった。
【０００６】
本発明の目的は、液体有機金属や有機金属溶液等の液体材料を気化する気化器において、フィルタ目詰まりを軽減することができる気化器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、高温に保持された気化チャンバ内へ液体有機金属若しくは有機金属溶液から成る液体材料を噴霧し、噴霧された液体材料が気化して生じた材料ガスをＣＶＤ成膜装置に供給する気化器に適用され、気化チャンバの材料ガス排出口を覆うように設けられて、液体材料の未気化残留体を捕捉し、かつ、未気化噴霧粒子を気化するフィルタと、フィルタを加熱する加熱手段とを設けたことを特徴とする。
フィルタの温度が液体材料の気化温度範囲となるように加熱手段を制御する温度制御手段を設けても良い。また、流路制御部材をを設けて噴霧された液体材料が排出口方向に飛散するのを防止するようにしても良い。
本発明は、高温に保持された気化チャンバ内へ液体有機金属若しくは有機金属溶液から成る液体材料を噴霧し、噴霧された液体材料が気化して生じた材料ガスをＣＶＤ成膜装置に供給する気化器に適用され、液体材料が噴霧されるとともに該液体材料を気化する第１の空間と、第１の空間と連通部を介して連通し、第１の空間で気化されて生じた材料ガスを気化器から排出する排出口が設けられた第２の空間と、第１の空間と第２の空間との連通部を塞ぐように設けられたフィルタと、フィルタの温度を液体材料の気化温度範囲に制御する温度制御手段とを設けたことを特徴とする。
また、フィルタを、ガス流路上流側に設けられた目の粗い第１フィルタ層と、ガス流路下流側に設けられて第１フィルタ層を通過した未気化残留体を捕捉する目の細かい第２フィルタ層とから成る二層以上の多層構造としても良い。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照して本発明の実施の形態を説明する。
−第１の実施の形態−
図１は本発明による気化器を用いたＣＶＤシステムのブロック図である。システムは、ＣＶＤ装置１とそのＣＶＤ装置１に材料ガスを供給する材料ガス供給装置２とで構成されている。材料ガス供給装置２は、気化器３と、気化器３に液体有機金属や有機金属溶液等（以下では、これらを液体材料と呼ぶ）を供給する液体材料供給装置４とを備えている。例えば、液体有機金属としてはＣｕやＴａなどの有機金属があり、有機金属溶液としてはＢａ，Ｓｒ，Ｔｉ，Ｐｂ，Ｚｒなどの有機金属を有機溶剤に溶かしたものがある。
【０００９】
図１に示す例では、液体材料供給装置４には４つの材料容器４ａ〜４ｄが設けられており、各材料容器４ａ〜４ｄには材料Ａ〜Ｄが充填されている。例えば、ＢＳＴ（ＢａＳｒＴｉ）膜を成膜する場合には、原料であるＢａ、Ｓｒ、Ｔｉを有機溶剤ＴＨＦ（ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏｆｕｒａｎ）でそれぞれ溶解したものが液体材料Ａ，Ｂ，Ｃとして材料容器４ａ〜４ｃに充填され、溶剤容器４ｄにはＴＨＦが溶剤Ｄとして充填される。なお、材料容器４ｄ〜４ｄは原料の数に応じて設けられ、必ずしも４個とは限らない。
【００１０】
各材料Ａ〜Ｄは液送ラインＬ１に送出されて混合し、キャリアガスＧ１によって気化器３へと送られる。液送ラインＬ１の混合材料はガスラインＬ２のキャリアガスＧ２とともに気化器３の気化チャンバ内に噴出される。混合液体材料は気化器３で気化され、気化されてできた材料ガスはＣＶＤ装置１に送られる。なお、キャリアガスＧ１，Ｇ２には窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスが用いられる。
【００１１】
図２は気化器３の概略構成を示す断面図である。気化器３は気化ノズル部２０と気化チャンバ３０とを備えている。気化ノズル部２０には二重管２１が設けられていて、その内側の管２１ａに液送ラインＬ１が接続され、外側の管２１ｂにガスラインＬ２が接続されている。気化ノズル部２０の先端付近にはフランジ２４が設けられていて、このフランジ２４をボルト２５でチャンバ本体３１に締結することにより、気化ノズル部２０がチャンバ本体３１に固定される。このとき、二重管２１の先端（図示下端）はチャンバ本体３１の空洞３１ａに露出する。チャンバ本体３１には加熱用ヒータ（不図示）が設けられており、チャンバ３０の内壁３８の温度が液体材料の気化温度程度となるように加熱される。二重管２１の上部には冷却ジャケット２２が設けられており、冷却ジャケット２２の冷却水路２３内を冷却水が循環するような構成となっている。
【００１２】
チャンバ本体３１の空洞３１ａ内には、排出口３４を覆うように気化フィルタ３５が設けられている。気化フィルタ３５は、裏面側がチャンバ本体３１の壁面３８に密着するようにボルト３６で固定されている。チャンバ本体３１の気化フィルタ取付面近傍には、気化フィルタ３５を加熱するためのヒータ３９が設けられている。４０はフィルタ取付部の温度を計測する温度センサである。ヒータ３９および温度センサ４０は温度調節装置４１に接続されている。本実施の形態では、温度センサ４０の検出温度に基づいて、気化フィルタ３５の温度が液体材料の気化温度以上となるようにヒータ３９の電流を温度調節装置４１により制御する。内壁３８のクリーニングや気化フィルタ３５を交換する場合には、フランジ３２を外してクリーニング、交換等が行われる。フランジ３２はボルト３３によりチャンバ本体３１に固定されている。
【００１３】
管２１ａの内径は液送ラインＬ１の内径よりも小さく絞られており、混合状態の液体材料およびキャリアガスは管２１ａ内では気液２相流状態で流れ、管２１ａの先端から気化チャンバ３０の空洞３１ａ内に噴出する。一方、ガスラインＬ２からのキャリアガスは管２１ｂと管２１ａとの間の環状空間を流れて、二重管２１の先端から空洞３１ａへと噴出する。その結果、管２１ａの先端から噴出する液体材料は霧状となって空洞３１ａ内に噴出される。
【００１４】
符号２６は噴出された液体材料を示しており、霧状の液体材料２６は高温の内壁３８と接触して気化される。気化後の材料ガスは気化フィルタ３５を通過して排出口３４からＣＶＤ装置１へと排出される。しかしながら、二重管２１から噴出された霧状液体材料２６の一部２６ａは、粒子径によっては内壁３８に接触することなく排出口３４側へと流れ込む場合がある。また、内壁３８に接触しても材料によっては全てが気化されず、一部気化されない液体材料２６ｂが飛散する場合がある。さらに、気化した後に再凝縮してパーティクル２７が生成されることもある。気化されなかった霧状液体材料２６ｂやパーティクル２７も、キャリアガスによって排気口３４側に流れ込もうとする。
【００１５】
しかし、本実施の形態では、気化チャンバ３０の排気口３４を覆うように気化フィルタ３５が設けられているため、未気化の霧状液体材料２６ａ，２６ｂやパーティクル２７は気化フィルタ３５によりトラップされ、ＣＶＤ装置１側に排出されることが無い。さらに、気化フィルタ３５はヒータ３９によって気化温度以上に加熱されているため、気化フィルタ３５にトラップされた霧状液体材料２６ａ，２６ｂは気化され、気化された材料ガスは気化フィルタ３５を通過してＣＶＤ装置１へと排出される。その結果、気化フィルタ３５にはパーティクル２７が残留する。
【００１６】
図２に示した気化フィルタ３５には、耐食性の金網（例えば、ステンレスの金網）を積層圧縮したものや、金属繊維や金属粉末を焼結圧縮したものがエレメントとして用いられるが、気化器の圧力を上げないために圧損の小さなもの（例えば、ステンレスの微細繊維を圧縮焼結したものなど）が望ましい。気化フィルタ３５の濾過精度としては、気体での濾過精度で示すと１〜１５μｍ程度のものが好ましい。
【００１７】
図３は、気化フィルタ３５の効果を気化フィルタ３５を用いない場合と比較して示したものである。図４は、図３の評価値を得るための測定系の模式図である。この評価ではチャンバ内圧力Ｐを圧力計５０で検出し、圧力Ｐの変化の大小によってフィルタ抵抗の変化の度合いを比較した。未気化成分はほとんどが気化フィルタ３５またはフィルタＦによりトラップされるので、未気化成分の発生量が大きいほど圧力Ｐの上昇が大きくなる。
【００１８】
図４のフィルタＦは従来の気化装置に用いられているものと同様のフィルタであり、気化器３０から排出された材料ガスに混入しているパーティクルや霧状液体材料などの未気化成分をトラップするためのものである。気化フィルタ３５は、濾過精度が１５μｍで、直径４０ｍｍで厚さ１ｍｍの円形のフィルタとした。気化フィルタ３５の温度は気化チャンバ３０の温度と等しい温度に設定した。また、フィルタＦの濾過精度は１μｍとし、その有効面積は約１ｃｍ２である。なお、気化フィルタ３５を用いない場合には気化フィルタ３５を取り外し、図１に示した気化フィルタ用ヒータ３９は気化チャンバ３０のヒータと同じ温度にコントロールした。
【００１９】
ここでは、２種類の液体材料について評価した。図３において縦軸は圧力Ｐで、横軸は経過時間である。曲線Ｐ１，Ｐ２は気化フィルタ３５を用いなかった場合の圧力変化を示したものであり、曲線Ｐ１は第１の液体材料に曲線Ｐ２は第２の液体材料に関するものである。また、曲線Ｐ１１は気化フィルタ３５を用いた場合の圧力変化を示したものであって、第１の液体材料に関するものである。なお、第２の液体材料に関する圧力変化Ｐ１２はほぼ曲線Ｐ１１と同様であったので、図示を省略した。
【００２０】
気化開始時のチャンバ内圧力Ｐが約３０Ｔｏｒｒとるように、フィルタＦの２次側圧力Ｐ６を下流のバルブにより調圧してテストを開始し、チャンバ内圧力が３０Ｔｏｒｒから５０Ｔｏｒｒに変化するまでの時間を比較した。なお、気化フィルタ３５を用いた場合には、気化フィルタ３５の抵抗によって図３に示すように若干チャンバ内圧力が上昇する。上述した濾過精度１５μｍの気化フィルタ３５の場合には、ガス流量３００ＳＣＣＭのときのフィルタ前後の圧力差は圧力３０Ｔｏｒｒにおいて１Ｔｏｒｒ以下である。気化フィルタ３５が無い従来と同様の装置構成の場合には、第１の液体材料（曲線Ｐ１）では約１０分で５０Ｔｏｒｒに達し、第２の液体材料（曲線Ｐ２）では約２０分で５０Ｔｏｒｒとなった。一方、気化フィルタ３５を用いた場合には、１２０分経過しても気化開始時の圧力がほぼ維持された。
【００２１】
図３に示す結果から、気化フィルタ３５を用いない場合には霧状液体材料が固形化してフィルタＦの抵抗増大に大きく寄与しているものと考えられる。気化器３０から排出された霧状液体材料は配管中で固化したり、フィルタＦでトラップされた後に固化したりする。それらの未気化成分は全てフィルタＦにトラップされて目詰まりの原因となり、フィルタ抵抗が上昇する。その結果、チャンバ内圧力はＰ１，Ｐ２のように大きく上昇する。
【００２２】
一方、気化フィルタ３５を用いた場合には、チャンバ内壁面で気化されなかった霧状液体材料や気化ガスが再凝集したものは気化フィルタ３５にトラップされた後に気化される。また、液体材料が固化してできたパーティクルにおいて濾過精度よりも大きな粒径のものについても、気化フィルタ３５によりトラップされる。また、気化フィルタ３５の濾過精度よりも粒径の小さなパーティクルは、ほとんどが気化フィルタ３５を通過してフィルタＦによりトラップされる。その結果、気化フィルタ３５およびフィルタＦのトータルのフィルタ抵抗はほとんど上昇せず、図３に示すような曲線Ｐ１１となる。このように気化フィルタ３５を設けることにより、フィルタＦの延命効果を奏することができる。
【００２３】
図５は気化フィルタ３５の変形例を示す図である。図５（ａ）に示す気化フィルタ３５は二層構造を有しており、チャンバ側には目の粗いフィルタユニット３５Ａが設けられ、排出口側にはより目の細かいフィルタユニット３５Ｂが設けられる。例えば、フィルタユニット３５Ａの濾過精度を１５μｍとし、フィルタユニット３５Ｂの濾過精度を１μｍとする。霧状液体材料や材料ガスが凝集したものは目の粗いフィルタユニット３５Ａにトラップされて気化し、固化したパーティクルなどはフィルタユニット３５Ｂによりトラップされる。このような構成とすることにより、図４で示した気化器とＣＶＤ装置との間のフィルタＦを省略することができる。なお、パーティクルにより目詰まりした気化フィルタ３５の交換は、図２のフランジを外して行われる。
【００２４】
図５（ｂ）の気化フィルタ３５では、チャンバ側にはフィルタユニット３５Ｃが設けられ、排出口側には穴あき金属プレート３５Ｄが設けられる。金属プレート３５Ｄを設けたことにより加熱用ヒータ３９から気化フィルタ３５への熱伝達性能の向上が図れ、温度調節装置４１による温度制御性が向上する。また、金属プレート３５では、フィルタユニット３５Ｃを支持するサポートとしても機能する。
【００２５】
なお、変形例では気化フィルタ３５を２層構造としたが、１層構造でも良いし、３層以上の構成としても良い。また、気化フィルタ加熱用ヒータ３９を設けて気化フィルタ３５の温度を制御するようにしたが、これらの加熱手段を省略して高温に加熱されているチャンバ本体３１からの熱によって高温に保つようにしても良い。この場合は熱伝達性能によって気化フィルタ３５の温度は左右されるので、未気化成分の気化効率を高めるためには上述したように独立の加熱手段を設けて温度制御を行った方が好ましい。
【００２６】
−第２の実施の形態−
図６は本発明による気化器の第２の実施の形態を示す図であり、図２と同様の断面図である。なお、図２と同様の部分には同一符号を付し、以下では異なる部分を中心に説明する。気化チャンバ３０は、流路制御板３０１を有するノズル装着部３００を備えている。ノズル装着部３００は気化チャンバ３０に対して着脱可能に取り付けられている。気化ノズル部２０はフランジ２４を用いてノズル装着部３００に固定されている。
【００２７】
ノズル装着部３００に取り付けられた気化ノズル部２０は、円筒形状の流路制御板３０１に囲まれた内側空間に霧状の液体材料を噴出する。流路制御板３０１は気化チャンバ３０に対して熱的接触が良好に保たれほぼ同一温度となっており、噴出された霧状の液体材料２６は、気化器底面や流路制御板３０１に接触して気化される。気化後の材料ガスは流路制御板３０１と気化チャンバ底面との隙間を通り、さらに気化フィルタ３５を通過してＣＶＤ装置１へと供給される。
【００２８】
流路制御板３０１にはヒータ３０２および温度センサ３０３が設けられており、温度調節装置４１は温度センサ３０３の検出温度に基づいてヒータ３０２の出力を調節する。その結果、気化チャンバ３０の温度とは独立に、流路制御板３０１の温度を調節することができる。また、ヒータ３９が設けられた排気口３４の部分３０５を囲むようにスリット３０４を形成することにより、排気口部分３０５と気化チャンバ３０のその他の部分との間の熱移動を制限し両者の間に温度差を形成し易くした。
【００２９】
本実施の形態では、気化ノズル部２０の噴出口から排気口３４に設けられた気化フィルタ３５を遮蔽するように流路制御板３０１が設けられているので、噴霧された液体材料が気化フィルタ３５方向に飛散して付着するのを防止することができる。その結果、気化されず気化フィルタ３５にトラップされる霧状液体材料やパーティクルの量を低減することができる。
【００３０】
−第３の実施の形態−
図７は本発明による気化器の第３の実施の形態を示す図である。本実施の形態の気化器は気化チャンバ５０と気化ノズル２０とから成り、気化チャンバ５０は円筒形の容器５１と、気化ノズル部２０が装着されるノズル固定部５２とを有している。ノズル固定部５２の容器側の面には流路制御板５３が設けられている。この流路制御板５３は図６に示した流路制御板３０１と同様のものであり、気化ノズル部２０の噴出口から噴出された霧状の液体材料２６を気化する気化面として機能するとともに、霧状の液体材料が容器５１の側面に形成された排気口５４に達するのを防止している。
【００３１】
流路制御板５３と容器５１との間にはリング状の空間５５が形成され、そのリング状空間５５の下部にはリング状気化フィルタ５６ａ，５６ｂが上下に重ねて配設されている。すなわち、流路制御板５３で囲まれた噴霧空間５７と排気口５４が設けられているリング状空間５５とは、気化フィルタ５６ａ，５６ｂを開相手連通している。
【００３２】
ガス流路の上流側に設けられた気化フィルタ５６ａには目の粗いフィルタ部材が用いられ、下流側に設けられた気化フィルタ５６ｂには目の細かいフィルタ部材が用いられる。これは、図５（ａ）に示したフィルタユニット３５Ａ，３５Ｂと同様の構成であって、霧状液体材料や材料ガスが凝集したものは目の粗い気化フィルタ５６ａにトラップされて気化し、固化したパーティクルなどは気化フィルタ５６ｂによりトラップされる。その結果、気化チャンバ５０からＣＶＤ装置側へのパーティクルの流入が防止される。
【００３３】
本実施の形態の場合も、第２の実施の形態と同様に容器５１の気化フィルタ５６ａ，５６ｂに近接した部分にヒータ５８および温度センサ５９を設けて、温度調節装置４１により気化フィルタ５６ａ，５６ｂの温度を独立に調節するようにした。また、容器５１にはフィルタ部分５１ａとその他の部分との熱移動を制限するためのスリット５１ｃを設け、気化フィルタ５６ａ，５６ｂの温度設定をし易く構成した。なお、ヒータ５８および温度センサ５９を、容器５１ではなく流路制御板５３に設けてもよい。
【００３４】
上述した実施の形態では、気化器３に気化ノズル部２０が一つの場合を例に説明したが、気化ノズル部２０を複数備えていても良い。また、霧状液体材料２６ａ，２６ｂやパーティクル２７等の未気化成分は未気化残留体を、噴霧空間５７は第１の空間を、空間５５は第２の空間を、フィルタユニット３５Ａおよび気化フィルタ５６ａは第１フィルタ層を、フィルタユニット３５Ｂおよび気化フィルタ５６ｂは第２フィルタ層をそれそれ構成する。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、液体材料が固化してできたパーティクルや霧状液体材料などの未気化残留体は気化フィルタにより捕捉され、捕捉された霧状液体材料はフィルタにより気化される。その結果、ＣＶＤ装置側に未気化残留体が流入するのを防止することができるとともに、パーティクルの発生量を低減することができる。さらに、フィルタやその下流側に設けられるフィルタの目詰まりを軽減することができ、フィルタ寿命の延命化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による気化器を用いたＣＶＤシステムのブロック図である。
【図２】気化器３の概略構成を示す断面図である。
【図３】気化フィルタ３５の効果を、気化フィルタ３５を用いない場合と比較して示した図である。
【図４】評価用測定系の模式図である。
【図５】気化フィルタ３５の変形例を示す図であり、（ａ）は第１の変形例を、（ｂ）は第２の変形例を示す。
【図６】本発明による気化器の第２の実施の形態を示す図である。
【図７】本発明による気化器の第３の実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
１  ＣＶＤ装置
２  材料ガス供給装置
３  気化器
４  液体材料供給装置
４ａ〜４ｃ  材料容器
２０  気化ノズル部
２１  二重管
２６，２６ａ，２６ｂ  霧状液体材料
２７  パーティクル
３０，５０  気化チャンバ
３１  チャンバ本体
３４，５４  排出口
３５，５６ａ，５６ｂ  気化フィルタ
３５Ａ〜３５Ｄ  フィルタユニット
３９，５８，３０２  ヒータ
４０，５９，３０３  温度センサ
４１  温度調節装置
５１  容器
５１ｃ，３０４  スリット
５３，３０１  流路制御板
【図１】
2004211183.tif 000003
【図２】
2004211183.tif 000004
【図３】
2004211183.tif 000005
【図４】
2004211183.tif 000006
【図５】
2004211183.tif 000007
【図６】
2004211183.tif 000008
【図７】
2004211183.tif 000009