(57)【要約】【課題】ビルドアップ物を組み立てる作業を連続して行った場合でも、クリーンブース内に持ちこまれるプリプレグから発生する樹脂粉でクリーンブース内の雰囲気が次第に汚れていくことを防止できる積層装置を提供する。【解決手段】クリーンブース２と、上下動可能な積載テーブル１４と、集塵ダクト１５とを具備する銅張積層板製造用の積層装置１において、前記積載テーブル１４の周囲に、クリーンブース２内の粉塵量を検出するパーティクルカウンター１６を設け、このパーティクルカウンター１６で検出した粉塵量の値に基づいて、集塵ダクト１５に吸い込む空気量を制御するようにしていることを特徴とする銅張積層板製造用の積層装置。【選択図】　　　　図１
2004085065.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定枚数のプリプレグを重ねているシート材の少なくとも一方の表面に銅箔を配した銅張積層板となる積層物を、金属プレート間に挟み込んでいて、成形工程で加熱・加圧されることを予定しているビルドアップ物を組み立てる際に使用する銅張積層板製造用の積層装置であって、
間仕切り部材によって仕切られていて、その天井部に清浄空気を供給するための清浄空気供給口を有するクリーンブースと、このクリーンブース内に配置していて仕込み部となる上下動可能な積載テーブルと、クリーンブース内であり、前記積載テーブルの周囲に配していてクリーンブース内の空気を吸い込んで外部に排出する集塵ダクトとを具備する銅張積層板製造用の積層装置において、
前記積載テーブルの周囲に、クリーンブース内の粉塵量を検出するパーティクルカウンターを設け、このパーティクルカウンターで検出した粉塵量の値に基づいて、集塵ダクトに吸い込む空気量を制御するようにしていることを特徴とする銅張積層板製造用の積層装置。
【請求項２】
パーティクルカウンターで検出した粉塵量の値に基づいて、清浄空気供給口からクリーンブース内に供給する清浄空気の量を制御するようにしていることを特徴とする請求項１記載の銅張積層板製造用の積層装置。
【請求項３】
積載テーブルの周囲に、設置位置が近接している集塵ダクトとパーティクルカウンターとを複数組設ける共に、それぞれのパーティクルカウンターで検出した粉塵量の値に基づいて、それぞれのパーティクルカウンターに近接している集塵ダクトに吸い込む空気量を制御するようにしていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の銅張積層板製造用の銅張積層板製造用の積層装置。
【請求項４】
複数組設ける集塵ダクトとパーティクルカウンターについて、設置組数が４であり、各組を設置する位置が、積載テーブルの４辺それぞれの周囲としていることを特徴とする請求項３記載の銅張積層板製造用の積層装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、銅張積層板を製造する際に使用する積層装置に関し、具体的には所定枚数のプリプレグを重ねたシート材の少なくとも一方の表面に銅箔を配した銅張積層板となる積層物を、金属プレート間に挟み込んでいて、成形工程で加熱・加圧されることを予定しているビルドアップ物を組み立てる際に使用する銅張積層板製造用の積層装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、銅張積層板の成形工程の前工程において、所定枚数のプリプレグを重ねたシート材の少なくとも一方の表面に銅箔を配した銅張積層板となる積層物を、金属プレート間に挟み込んでいて、成形工程で加熱・加圧されることを予定しているビルドアップ物を組み立てることが行われている（例えば特開平６−１７１８１４号公報の図１６）。そして、ビルドアップ物を組み立てる際に使用する積層装置として、間仕切り部材によって仕切られていて、その天井部に清浄空気を供給するための清浄空気供給口を有するクリーンブースと、このクリーンブース内に配置していて仕込み部となる上下動可能な積載テーブルと、クリーンブース内であり、前記積載テーブルの周囲に配していてクリーンブース内の空気を吸い込んで外部に排出する集塵ダクトとを具備する銅張積層板製造用の積層装置が実用に供されている。
【０００３】
銅張積層板の原材料であるプリプレグは、ガラス布等の基材に熱硬化性樹脂を含浸・乾燥させて得られたシート状の材料であり、それを移動させたときに樹脂粉が飛散しやすい材料である。そのため、従来の銅張積層板製造用の積層装置では、複数の銅張積層板となる積層物を、複数の金属プレート間に挟み込んでいるビルドアップ物を組み立てる作業を連続して行った場合に、クリーンブース内に持ちこまれるプリプレグから発生する樹脂粉でクリーンブース内の雰囲気が次第に汚れて、その結果、ある時点から銅箔と金属プレートの間に樹脂粉が連続的に混入して、成形工程で成形を終えた製品に打痕不良が連続して発生することがあり、その改善策が求められている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点を改善するために成されたもので、その目的とする所は、ビルドアップ物を組み立てる作業を連続して行った場合でも、クリーンブース内に持ちこまれるプリプレグから発生する樹脂粉でクリーンブース内の雰囲気が次第に汚れていくことを防止でき、その結果、ある時点から成形工程で成形を終えた製品に樹脂粉による打痕不良が連続して発生するというトラブルを防止することが可能な銅張積層板製造用の積層装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明の銅張積層板製造用の積層装置は、所定枚数のプリプレグを重ねているシート材の少なくとも一方の表面に銅箔を配した銅張積層板となる積層物を、金属プレート間に挟み込んでいて、成形工程で加熱・加圧されることを予定しているビルドアップ物を組み立てる際に使用する銅張積層板製造用の積層装置であって、間仕切り部材によって仕切られていて、その天井部に清浄空気を供給するための清浄空気供給口を有するクリーンブースと、このクリーンブース内に配置していて仕込み部となる上下動可能な積載テーブルと、クリーンブース内であり、前記積載テーブルの周囲に配していてクリーンブース内の空気を吸い込んで外部に排出する集塵ダクトとを具備する銅張積層板製造用の積層装置において、前記積載テーブルの周囲に、クリーンブース内の粉塵量を検出するパーティクルカウンターを設け、このパーティクルカウンターで検出した粉塵量の値に基づいて、集塵ダクトに吸い込む空気量を制御するようにしていることを特徴とする。
【０００６】
なお、ここでいう所定枚数のプリプレグを重ねているシート材には、１枚のプリプレグのみからなるシート材の場合も含んで表現している。
【０００７】
請求項２に係る発明の銅張積層板製造用の積層装置は、請求項１記載の銅張積層板製造用の積層装置において、パーティクルカウンターで検出した粉塵量の値に基づいて、清浄空気供給口からクリーンブース内に供給する清浄空気の量を制御するようにしていることを特徴とする。
【０００８】
請求項３に係る発明の銅張積層板製造用の積層装置は、請求項１又は請求項２記載の銅張積層板製造用の銅張積層板製造用の積層装置において、積載テーブルの周囲に、設置位置が近接している集塵ダクトとパーティクルカウンターとを複数組設ける共に、それぞれのパーティクルカウンターで検出した粉塵量の値に基づいて、それぞれのパーティクルカウンターに近接している集塵ダクトに吸い込む空気量を制御するようにしていることを特徴とする。
【０００９】
請求項４に係る発明の銅張積層板製造用の積層装置は、請求項３記載の銅張積層板製造用の積層装置において、複数組設ける集塵ダクトとパーティクルカウンターについて、設置組数が４であり、各組を設置する位置が、積載テーブルの４辺それぞれの周囲としていることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１１】
図１は本発明の積層装置の一実施形態を示す概略平面図であり、積層装置１が備えるクリーンブース２の天井部を取り除いた状態を示している。図２は本発明の積層装置１で組み立てるビルドアップ物１１の構造を示す概略断面図である。
【００１２】
まず、図１に示す実施形態の積層装置１を用いて組み立てる、図２に示すビルドアップ物１１の構造を説明する。図２に示すように、ビルドアップ物１１は所定枚数（図２では３枚）のプリプレグ３を重ねたシート材４の両方の表面にそれぞれ銅箔５を配した銅張積層板となる積層物６を、金属プレート７間に挟み込んだ構造になっている。プリプレグ３は、ガラス布等の基材に熱硬化性樹脂を含浸・乾燥させて得られたシート状の材料である。そして、銅張積層板に形成する絶縁層の厚みに応じて所定枚数のプリプレグを重ねたシート材４が準備される。
【００１３】
そして、図２に示すビルドアップ物１１は、最下部の金属プレ−ト７の下にクッション材８を介して金属製のキャリアプレート９を、最上部の金属プレ−ト７の上にクッション材８を介して金属製のトップ板１０を配している。キャリアプレート９とトップ板１０は、成形工程で加熱・加圧する際に均一な加圧状態を達成するために用いられるゴムシートやクラフト紙等のクッション材８をビルドアップ物１１中に保持する役割をしている。このビルドアップ物１１は、成形工程で加熱・加圧されることを予定されているものである。なお、クッション材８、キャリアプレート９及びトップ板１０は銅張積層板の製造方法によっては省略することも可能である。また、図２に示すビルドアップ物１１は両面銅張積層板を製造する場合の構造であるため、シート材４の両方の表面にそれぞれ銅箔５を配しているが、片面銅張積層板を製造する場合には、シート材４の一方の表面のみに銅箔を配し、他方の表面には離型フィルム等を配することになる。
【００１４】
図１に示す実施形態の積層装置１は、上記のビルドアップ物１１を組み立てるために、使用するものである。この積層装置１は、間仕切り部材１２によって仕切られていて、その天井部（図示せず）に清浄空気を供給するための清浄空気供給口１３、１３を有するクリーンブース２と、このクリーンブース２内に配置していて仕込み部となる上下動可能な積載テーブル１４と、クリーンブース２内であり、前記積載テーブル１４の周囲に配していてクリーンブース２内の空気を吸い込んで外部に排出する集塵ダクト１５とを具備している。なお、集塵ダクト１５の吸込み口は積載テーブル１４側に向いて開口するように設けているので、積載テーブル１４上に持ち込まれたプリプレグ３（シート材４）から発生する樹脂粉を効率的に吸い込むことができる。
【００１５】
そして、積載テーブル１４の周囲に、クリーンブース２内の粉塵量を検出するパーティクルカウンター１６を設け、このパーティクルカウンター１６で検出した粉塵量の値に基づいて、集塵ダクト１５に吸い込む空気量を制御するようにしている。パーティクルカウンター１６は、ダストカウンターとも呼ばれる清浄度検出器であり、例えば所定体積の空間中に浮遊している塵埃の個数を検出できる装置のことを表している。なお、この実施形態では、集塵ダクト１５に吸い込む空気量の制御は、集塵ダクト１５に通じる経路に設けた排気ファン（図示せず）の回転数を制御することにより行うが、集塵ダクト１５に通じる経路にダンパーを設け、このダンパーの開度を制御することによって行うことも可能である。また、パーティクルカウンター１６の設置位置は、図３に示すように、積載テーブル１４の周囲に配している集塵ダクト１５に近接して設けることが好ましい。また、図３に示すように積載テーブル１４は上下動できるように、油圧式のテーブルリフターの上部に設けている。図３中の矢印は集塵ダクト１５に吸い込む空気の流れる方向を示している。
【００１６】
また、図１に示す実施形態の積層装置１は、所定枚数のプリプレグ３を重ねたシート材４をずらし積みしているシート材積載台１７と、このシート材積載台１７上のずらし積みしているシート材４から取り出して、仕込み部である積載テーブル１４に供給する一組のシート材４を仮置きするシート材準備台１８をクリーンブース２の外部に備えている。また、クリーンブース２内に第１の銅箔置き台１９と、第２の銅箔置き台２０と、シート材４の下側に用いる銅箔５と金属プレート７とを組み合せる下銅箔セット台２１と、シート材４の上側に用いる銅箔５を、下側銅箔５と金属プレート７とを組み合せたものに組み合せる上銅箔セット台２２とを備えている。そして、シート材４をシート材準備台１８から積載テーブル１４に移動させるのはホイスト（図示せず）を用いて行い、金属プレート７のクリーンブース２内への搬入はコンベヤ（図示せず）を用いて行い、クリーンブース２内に入った金属プレート７の移動はホイスト（図示せず）を用いて行うようにしている。なお、クリーンブース２を形成するための間仕切り部材１２については、ホイストやコンベヤが横切る位置には開口部を形成するようにしている。
【００１７】
次に、図１に示す実施形態の積層装置１によって、図２に示すビルドアップ物１１を組み立てる動作について説明する。図１中の矢印はシート材４、銅箔５、金属プレート７等が移動する方向を示している。まず、キャリアプレ−ト９とクッション材８とをクリーンブース２の外から、下銅箔セット台２１、上銅箔セット台２２の下方に設けたコンベヤ（図示せず）を用いてクリーンブース２内に搬入し、積載テーブル１４上にセットする。また、金属プレート７はクリーンブース２の外からコンベヤ（図示せず）を用いてクリーンブース２内に搬入し、プレート待機位置２３で待機させておく。そして、プレート待機位置２３で待機させていた金属プレート７をホイスト（図示せず）を用いて下銅箔セット台２１上に移動し、次いでこの金属プレート７上に第２の銅箔置き台２０上の下側銅箔５を載置して組み合わせ、次に下側銅箔５と金属プレート７とを組み合せたものをホイスト（図示せず）を用いて積載テーブル１４上にセットしているクッション材８上に搬送する。なお、ホイストには下側銅箔５と金属プレート７とを組み合せたものを把持できるチヤッキング部を備えておりこのチヤッキング部の働きで下側銅箔５と金属プレート７とを組み合せた状態で搬送できるようにしている。次にシート材４をシート材準備台１８から積載テーブル１４上に移動させて、下側銅箔５の上に組み合せる。
【００１８】
次に、次の金属プレート７をクリーンブース２内に搬入し、さらに、下銅箔セット台２１上に移動し、次いでこの金属プレート７上に第２の銅箔置き台２０上の下側銅箔５を載置して組み合わせる。次に、上銅箔セット台２２上に第１の銅箔置き台１９上の上側銅箔５を載置する。次に下側銅箔５と金属プレート７とを組み合せたものをホイスト（図示せず）を用いて上銅箔セット台２２上に載置されている上側銅箔５上に搬送し組み合せる。このようにして、下から上側銅箔５、金属プレート７、下側銅箔５の順で組み合せたものを、ホイスト（図示せず）を用いて積載テーブル１４上にセットしているシート材４上に搬送する。この動作を繰り返しすことで、図２に示すビルドアップ物１１を組み立てるが、最後にセットする金属プレート７は、下側銅箔５を組み合せることなしに、その下方に上側銅箔５を組み合せた状態で積載テーブル１４上にセットする。そして、この最後にセットした金属プレート７上に、クッション材８と、トップ板１０を順に組み合せてビルドアップ物１１の組み立てを完了する。
【００１９】
図１に示す実施形態の積層装置１では、ビルドアップ物１１の組み立てを行っている間中、クリーンブース２の天井部に備える清浄空気供給口１３から清浄な空気を供給すると共に、積載テーブル１４の周囲にもうけている集塵ダクト１５からクリーンブース内の空気を吸い込んで、外部に排出するようにしている。なお、集塵ダクトから吸い込んだ空気を、フィルター等を用いて清浄化して、清浄空気供給口１３からクリーンブース２内に戻すことも可能である。そして、図１に示す実施形態の積層装置１では、図３に示すように、クリーンブース２内の粉塵量を検出するパーティクルカウンター１６を集塵ダクト１５に近接して設けていて、このパーティクルカウンター１６で検出した粉塵量の値に基づいて、集塵ダクト１５に吸い込む空気量を制御するようにしている。そのため、クリーンブース２内に持ちこまれるプリプレグ３（シート材４）から発生する樹脂粉でクリーンブース２内の粉塵量が増した場合には、パーティクルカウンター１６で検出される粉塵量の値が増大するので、その値に応じて集塵ダクト１５に吸い込む空気量を増やせば、クリーンブース２内の粉塵量を少なくすることができる。また、パーティクルカウンター１６で検出した粉塵量の値に基づいて、清浄空気供給口１３からクリーンブース２内に供給する清浄空気の量を制御するようにしておくと、クリーンブース２内に持ちこまれるプリプレグ３（シート材４）から発生する樹脂粉でクリーンブース２内の粉塵量が増した場合に、より早くクリーンブース２内の粉塵量を少なくすることができる。なぜならば、クリーンブース２内に供給する清浄空気の量を増してクリーンブース２内の気圧を高めると、クリーンブース２内の粉塵量が増した空気が、シート材４の供給経路等の開口部から外部に排出されるためである。
【００２０】
従って、図１に示す実施形態の積層装置１を用いると、ビルドアップ物１１を組み立てる作業を連続して行った場合でも、クリーンブース２内に持ちこまれるプリプレグ３（シート材４）から発生する樹脂粉でクリーンブース２内の雰囲気が次第に汚れていくことを防止でき、その結果、ある時点から成形工程で成形を終えた製品に樹脂粉による打痕不良が連続して発生するというトラブルを防止することが可能である。
【００２１】
次に、図１に示す実施形態の積層装置１の変形例を図４を示して説明する。図４は、積層装置１の積載テーブル１４近傍を拡大して示した概略平面図であり、この変形例では、積載テーブル１４の４辺それぞれと対向する位置に、積載テーブル１４側に吸込み口の開口がある集塵ダクト１５を配しているのは図１に示す実施形態の積層装置１と同様である。そして、この４個の集塵ダクト１５上にそれぞれ、パーティクルカウンター１６を配置している。そして、設置位置が近接している集塵ダクト１５とパーティクルカウンター１６とよりなる組を複数組（図４に示す変形例では４組）設ける共に、それぞれのパーティクルカウンター１６で検出した粉塵量の値に基づいて、それぞれのパーティクルカウンター１６に近接している集塵ダクト１５に吸い込む空気量を制御するようにしている。この図４に示す変形例では、４個の集塵ダクト毎に異なる排気ファンで吸気するようにしているので、各パーティクルカウンター１６で検出した粉塵量の値に基づいて、それぞれのパーティクルカウンター１６に近接している集塵ダクト１５に吸い込む空気量を制御できるようにしている。そして、図４に示す変形例の積層装置は、上記以外の構成や動作については、図１に示す実施の形態の積層装置と同じにしている。
【００２２】
このように、設置位置が近接している集塵ダクト１５とパーティクルカウンター１６とよりなる組を複数組設ける共に、それぞれのパーティクルカウンター１６で検出した粉塵量の値に基づいて、それぞれのパーティクルカウンター１６に近接している集塵ダクト１５に吸い込む空気量を制御するようにすると、樹脂粉による汚れが増大している部分のみ吸込み量を大きくすることができ、吸込み量を増す必要がある部分と、ない部分とで吸込み量を変えれるので、無駄なエネルギーを消費することが防止できるという利点がある。特に、シート材４を仕込む積載テーブル１４は４辺を有する矩形であるので、設置位置が近接している集塵ダクト１５とパーティクルカウンター１６とよりなる組を４組設け、各組を設置する位置が、積載テーブル１４の４辺それぞれの周囲としていると、最も樹脂粉による汚れが増大している部分をカバーできるので、より早く清浄化できるという利点がある。
【００２３】
なお、図４に示す変形例では、設置位置が近接している集塵ダクト１５とパーティクルカウンター１６とよりなる組の数を４としたが、組の数は必要に応じて設定することができる。
【００２４】
【発明の効果】
請求項１に係る発明の銅張積層板製造用の積層装置は、積載テーブルの周囲に、クリーンブース内の粉塵量を検出するパーティクルカウンターを設け、このパーティクルカウンターで検出した粉塵量の値に基づいて、集塵ダクトに吸い込む空気量を制御するようにしているので、請求項１に係る発明の銅張積層板製造用の積層装置によれば、ビルドアップ物を組み立てる作業を連続して行った場合でも、クリーンブース内に持ちこまれるプリプレグから発生する樹脂粉でクリーンブース内の雰囲気が次第に汚れていくことを防止でき、ある時点から成形工程で成形を終えた製品に樹脂粉による打痕不良が連続して発生するというトラブルを防止することが可能となる。
【００２５】
請求項２に係る発明の銅張積層板製造用の積層装置は、パーティクルカウンターで検出した粉塵量の値に基づいて、清浄空気供給口からクリーンブース内に供給する清浄空気の量を制御するようにしているので、請求項１の発明の効果に加えて、樹脂粉でクリーンブース内の雰囲気が汚れた場合に、より早くクリーンブース内の雰囲気を清浄化できるという効果を奏する。
【００２６】
請求項３及び請求項４に係る発明の銅張積層板製造用の積層装置は、積載テーブルの周囲に、設置位置が近接している集塵ダクトとパーティクルカウンターとを複数組設ける共に、それぞれのパーティクルカウンターで検出した粉塵量の値に基づいて、それぞれのパーティクルカウンターに近接している集塵ダクトに吸い込む空気量を制御するようにしているので、請求項３及び請求項４に係る発明の銅張積層板製造用の積層装置によれば、請求項１の発明の効果に加えて、樹脂粉による汚れが増大している部分のみ集塵ダクトの吸込み量を大きくすることができ、吸込み量を増す必要がある集塵ダクトと、その必要がないない集塵ダクトとで吸込み量を変えれるので、無駄なエネルギーを消費することが防止できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を説明するための概略平面図である。
【図２】本発明の一実施形態で組み立てるビルドアップ物の構造を示す概略断面図である。
【図３】本発明の一実施形態を説明するための要部の側面図である。
【図４】本発明の一実施形態の変形例を説明するための積層装置の積載テーブル近傍を拡大して示した概略平面図である。
【符号の説明】
１　積層装置
２　クリーンブース
３　プリプレグ
４　シート材
５　銅箔
６　積層物
７　金属プレート
８　クッション材
９　キャリアプレート
１０　トップ板
１１　ビルドアップ物
１２　間仕切り部材
１３　積層物
１４　積載テーブル
１５　集塵ダクト
１６　パーティクルカウンター
１７　シート材積載台
１８　シート材準備台
１９　第１の銅箔置き台
２０　第２の銅箔置き台
２１　下銅箔セット台
２２　上銅箔セット台２２
２３　プレート待機位置
【図１】
2004085065.tif 000003
【図２】
2004085065.tif 000004
【図３】
2004085065.tif 000005
【図４】
2004085065.tif 000006