(57)【要約】【課題】容易にかつコストアップを招くことなく十分なシールにて真空装置内の監視を良好に行う。【解決手段】光ファイバ心線４２を束ねたバンドル光ファイバ４１に接着剤を塗り込み、固定パイプ４６を装着させて気密状態に接着固定する。真空装置２１の壁部２２の取付孔２３と連通するように筒状のファイバ保持具３２を気密状態に固定する。ファイバ保持具３２及び取付孔２３に、固定パイプ４６を装着したバンドル光ファイバ４１を挿通する。保持具本体３３にストッパ５５をねじ込み、固定パイプ４６を押し込んでＯリング５１により固定パイプ４６と保持具本体３３との間をシールし、カラー５２によって固定パイプ４６に締め付け力を作用させ、固定パイプ４６に挿通させたバンドル光ファイバ４１を締め付けてさらに気密性を高める。【選択図】　　　図２
2004061944.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数本の光ファイバを束ねたバンドル光ファイバからなり、真空装置内の状態を監視すべく前記真空装置の壁部に形成した取付孔へ挿通させ設置される真空用バンドル光ファイバであって、
前記真空装置の壁部には、前記取付孔と連通するように筒状のファイバ保持具が気密状態に固定され、
該ファイバ保持具及び前記取付孔には、中間部に筒状の固定パイプが気密状態に装着された前記バンドル光ファイバが挿通され、
前記ファイバ保持具には、挿通された前記バンドル光ファイバの前記固定パイプが気密状態に固定されることを特徴とする真空用バンドル光ファイバ。
【請求項２】
請求項１記載の真空用バンドル光ファイバにおいて、前記バンドル光ファイバの前記固定パイプの装着部分には、接着剤が塗り込まれ、該接着剤によって前記固定パイプが前記バンドル光ファイバに接着固定されていることを特徴とする真空用バンドル光ファイバ。
【請求項３】
請求項２記載の真空用バンドル光ファイバにおいて、前記固定パイプの両端に接着剤を塗布することにより樹脂盛り部が形成されていることを特徴とする真空用バンドル光ファイバ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項記載の真空用バンドル光ファイバにおいて、前記ファイバ保持具は、前記固定パイプが挿入される装着孔部及び前記固定パイプの挿入方向前方側に形成された小径孔部を有し、前記固定パイプの挿入方向後方側に、前記装着孔部に挿入された前記固定パイプを挿入方向前方側へ押し込むストッパと、該ストッパによって押し込まれて前記装着孔部と前記小径孔部との段部に押し付けられることにより前記固定パイプを気密状態に固定する固定手段とを有することを特徴とする真空用バンドル光ファイバ。
【請求項５】
請求項４記載の真空用バンドル光ファイバにおいて、前記固定手段は、前記固定パイプの外周部に形成されて前記ストッパによって押し込まれるフランジ部と、該フランジ部よりも挿入方向前方側における前記固定パイプの外周部に装着されたＯリングとを有し、前記ストッパによって前記フランジ部が押し込まれることにより、前記Ｏリングが前記フランジ部と前記段部との間にて圧縮されることにより前記固定パイプの外周と前記ファイバ保持具の装着孔部との間が気密されることを特徴とする真空用バンドル光ファイバ。
【請求項６】
請求項５記載の真空用バンドル光ファイバにおいて、前記固定手段は、前記Ｏリングよりも挿入方向前方側における前記固定パイプの外周部に装着されたカラーを有することを特徴とする真空用バンドル光ファイバ。
【請求項７】
請求項６記載の真空用バンドル光ファイバにおいて、前記固定パイプの外周部に、複数の前記Ｏリング及び前記カラーが交互に装着されていることを特徴とする真空用バンドル光ファイバ。
【請求項８】
請求項６または請求項７記載の真空用バンドル光ファイバにおいて、前記段部及び前記カラーは、それぞれ前記固定パイプの挿入方向前方側へ向かって次第に窄まる断面テーパ形状のテーパ面を有し、前記ストッパによる押し込み力により前記カラーに径方向内方へ向かう圧縮力を生じさせて前記固定パイプを締め付けることを特徴とする真空用バンドル光ファイバ。
【請求項９】
請求項４〜８のいずれか１項記載の真空用バンドル光ファイバにおいて、前記ファイバ保持具には、その内周面にめねじが形成され、前記ストッパには、その外周面におねじが形成され、このストッパのおねじを前記ファイバ保持具のめねじへ螺合させることにより前記ストッパが前記ファイバ保持具内にねじ込まれ、そのねじ込み力により前記固定パイプが挿入方向前方へ押し込まれることを特徴とする真空用バンドル光ファイバ。
【請求項１０】
内部を真空引きした状態にて各種の処理が行われる真空装置であって、
壁部に設けられた取付孔に、複数本の光ファイバを束ねたバンドル光ファイバが気密状態にて挿通されて設置され、該バンドル光ファイバの内部側の端部から入光あるいは受光し、前記内部の状態の監視が行われることを特徴とする真空装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の真空装置において、前記バンドル光ファイバの内部側の端部から入光あるいは受光し、真空蒸着により成膜した膜質の検査が行われることを特徴とする真空装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の光ファイバを束ねたバンドル光ファイバに係り、真空蒸着装置などの真空装置に設置されて装置内の監視を行う際に用いられる真空用バンドル光ファイバに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光ファイバは、通信用はもとより、センサなどにも多く用いられている。
真空環境下にて基板に蒸着して成膜を施す真空蒸着装置などの真空装置には、装置内部における成膜状態等を監視するために複数の光ファイバを束ねたバンドル光ファイバが用いられている。
ここで、バンドル光ファイバを成膜の監視センサとして真空装置に使用する場合の従来例を説明する。
【０００３】
図９において、符号１は真空装置である。この真空装置１には、その壁部２の一部に取付孔３が形成されており、この取付孔３には、装着用フランジ４が取り付けられている。この装着用フランジ４は、真空側フランジ本体４Ａと、大気側フランジ本体４Ｂとから構成されている。これら真空側フランジ本体４Ａ及び大気側フランジ本体４Ｂは、フランジ部５と、ボス部６とから構成されており、真空側フランジ本体４Ａのボス部６は、真空装置１の壁部２に形成された取付孔３に、外側から嵌合されている。真空側フランジ本体４Ａ及び大気側フランジ本体４Ｂには、フランジ部５に、互いに連通するボルト挿通孔７が形成されており、これらボルト挿通孔７は、真空装置１の壁部２に形成されたボルト固定孔８と連通されている。
【０００４】
そして、これら真空側フランジ本体４Ａ及び大気側フランジ本体４Ｂのフランジ部５に形成されたボルト挿通孔７には、ボルト９が挿通され、さらに、真空装置１の壁部２に形成されたボルト固定孔８へ挿通され、壁部２の内面側に設けられたナット１１にねじ込まれている。これにより、装着用フランジ４は、ボルト９及びナット１１によって真空側フランジ本体４Ａのボス部６を取付孔３へ嵌合させた状態にて真空装置１の壁部２に締結固定されている。
【０００５】
真空側フランジ本体４Ａには、大気側フランジ本体４Ｂとの対向面に、ガラス板装着凹部１２が形成されており、このガラス板装着凹部１２には、ガラス板１３が嵌め込まれている。また、真空側フランジ本体４Ａ及び大気側フランジ本体４Ｂには、それぞれ一対のファイバ挿通孔１４が形成されており、真空側フランジ本体４Ａのファイバ挿通孔１４には、真空側バンドル光ファイバ１５が挿入され、大気側フランジ本体４Ｂのファイバ挿通孔１４には、大気側バンドル光ファイバ１６が挿入されている。
【０００６】
これら真空側バンドル光ファイバ１５及び大気側バンドル光ファイバ１６は、複数の光ファイバを束ねたもので、その端面を成端してそれぞれガラス板装着凹部１２に嵌め込まれたガラス板１３に密着固定されている。真空側フランジ本体４Ａ及び大気側フランジ本体４Ｂのボス部６には、ファイバ挿通孔１４と連通するネジ孔１７が形成されており、これらネジ孔１７には、盲ネジ１８がねじ込まれ、これら盲ネジ１８によって真空側バンドル光ファイバ１５及び大気側バンドル光ファイバ１６が、ファイバ挿通孔１４に挿入された状態に固定されている。
【０００７】
なお、真空側フランジ本体４Ａのフランジ部５のボス部６との隅部及びガラス板装着凹部１４の底面における隅部には、それぞれシール溝１９が形成されている。これらシール溝１９には、Ｏリング２０が装着されており、真空装置１の内部と外部との間をシールするようになっている。
【０００８】
そして、上記のような真空装置１において、その内部を監視する際には、大気側のバンドル光ファイバ１６を構成する光ファイバから監視光を入光させる。このようにすると、この監視光がガラス板１３を透過して真空側バンドル光ファイバ１５に受光され、この真空側バンドル光ファイバ１５の端部から真空装置１内にて成膜中の基板に照射される。そして、その反射光が真空側バンドル光ファイバ１５からガラス板１３を介して大気側バンドル光ファイバ１６へ送られ、この大気側バンドル光ファイバ１６を介して図示しない測定装置にて測光され、基板の成膜状態が監視される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来技術では、大気側バンドル光ファイバ１６と真空側バンドル光ファイバ１５との間に結合仲介材としてのガラス板１３を介在させた構造であるので、このガラス板１３にて光を透過させる際に、ガラス板および光ファイバの端面にて光が反射、散乱してしまい、透過光量の低下を招き、良好な監視に影響を与える恐れがあった。
また、真空装置１の大気側及び真空側のそれぞれでバンドル光ファイバ１５、１６を接合しなければならず、そのための複雑な形状の装着用フランジ４及び複数のボルト９や盲ネジ１８などの多くの部材が必要であり、コストアップを招くとともに、その組立にも多大な労力を要するという問題があった。
しかも、ボルト９及びナット１１の締結力によるＯリング２０でのシールが十分行われないこともあった。
【００１０】
この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、容易にかつコストアップを招くことなく十分なシールにて真空装置内の監視を良好に行うことが可能な真空用バンドル光ファイバを提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の真空用バンドル光ファイバは、複数本の光ファイバを束ねたバンドル光ファイバからなり、真空装置内の状態を監視すべく前記真空装置の壁部に形成した取付孔へ挿通させ設置される真空用バンドル光ファイバであって、前記真空装置の壁部には、前記取付孔と連通するように筒状のファイバ保持具が気密状態に固定され、該ファイバ保持具及び前記取付孔には、中間部に筒状の固定パイプが気密状態に装着された前記バンドル光ファイバが挿通され、前記ファイバ保持具には、挿通された前記バンドル光ファイバの前記固定パイプが気密状態に固定されることを特徴としている。
【００１２】
そして、本発明の真空用バンドル光ファイバによれば、真空装置の壁部に固定したファイバ保持具にバンドル光ファイバを挿通させて気密状態に固定した簡単な構造であるので、従来装置のように、複雑かつ多数の部材を用いた場合と比較して、容易にかつコストアップを招くことなく真空装置内の監視を行うことができる。
【００１３】
さらに、前記バンドル光ファイバの前記固定パイプの装着部分には、接着剤が塗り込まれ、該接着剤によって前記固定パイプが前記バンドル光ファイバに接着固定されている。
また、前記固定パイプの両端に接着剤を塗布することにより樹脂盛り部が形成されている。
【００１４】
また、前記ファイバ保持具は、前記固定パイプが挿入される装着孔部及び前記固定パイプの挿入方向前方側に形成された小径孔部を有し、前記固定パイプの挿入方向後方側に、前記装着孔部に挿入された前記固定パイプを挿入方向前方側へ押し込むストッパと、該ストッパによって押し込まれて前記装着孔部と前記小径孔部との段部に押し付けられることにより前記固定パイプを気密状態に固定する固定手段とを有するものとしても良い。
【００１５】
さらに、前記固定手段を、前記固定パイプの外周部に形成されて前記ストッパによって押し込まれるフランジ部と、該フランジ部よりも挿入方向前方側における前記固定パイプの外周部に装着されたＯリングとを有するものとし、前記ストッパによって前記フランジ部が押し込まれることにより、前記Ｏリングが前記フランジ部と前記段部との間にて圧縮されることにより前記固定パイプの外周と前記ファイバ保持具の前記装着孔部との間が気密されるようにしても良い。
【００１６】
また、前記Ｏリングよりも挿入方向前方側における前記固定パイプの外周部に装着されるカラーを設けても良い。
また、前記固定パイプの外周部に、複数の前記Ｏリング及び前記カラーを交互に装着しても良い。
【００１７】
さらに、前記段部及び前記カラーに、それぞれ前記固定パイプの挿入方向前方側へ向かって次第に窄まる断面テーパ形状のテーパ面を形成し、前記ストッパによる押し込み力により前記カラーに径方向内方へ向かう圧縮力を生じさせて前記固定パイプを締め付けるようにしても良い。
【００１８】
また、前記ファイバ保持具の内周面にめねじを形成し、前記ストッパの外周面におねじを形成し、このストッパのおねじを前記ファイバ保持具のめねじへ螺合させることにより前記ストッパが前記ファイバ保持具内にねじ込まれ、そのねじ込み力により前記固定パイプが挿入方向前方へ押し込まれるようにしても良い。
【００１９】
また、本発明の真空装置は、内部を真空引きした状態にて各種の処理が行われる真空装置であって、壁部に設けられた取付孔に、複数本の光ファイバを束ねたバンドル光ファイバが気密状態にて挿通されて設置され、該バンドル光ファイバの内部側の端部から入光あるいは受光し、前記内部の状態の監視が行われることを特徴としている。
また、本発明に係る真空装置は、前記バンドル光ファイバの内部側の端部から入光あるいは受光し、真空蒸着により成膜した膜質の検査が行われていてもよい。
【００２０】
そして、本発明の真空装置によれば、壁部に形成された取付孔にバンドル光ファイバを挿通させて真空装置の内部の光をバンドル光ファイバによって直接大気側へ導いて測光したり、あるいは、バンドル光ファイバを介して真空装置内に照明光が導けるため、従来のように途中に結合仲介材としてガラス板などを介在させた場合と比較して、光の反射、散乱による効率低下をなくすことができ、極めて良好に真空状態の内部における蒸着等の成膜状態を監視することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の真空用バンドル光ファイバの実施形態例を図面を参照して説明する。
図１において、符号２１は、真空環境下にて基板に蒸着して成膜を施す真空蒸着装置などの真空装置である。この真空装置２１の壁部２２には、取付孔２３が形成されており、壁部２２には、真空用バンドル光ファイバ３１が固定されている。
【００２２】
図２及び図３に示すように、この真空用バンドル光ファイバ３１は、ファイバ保持具３２によって真空装置２１の壁部２２に固定されている。
ファイバ保持具３２は、保持具本体３３と、固定フランジ３４とから構成されている。固定フランジ３４は、一端にフランジ部３５を有する円筒状に形成されており、壁部２２の取付孔２３と連通した状態にてフランジ部３５を壁部２２へ、例えば、溶接することにより気密状態に固定されている。
【００２３】
保持具本体３３は、内部に挿通孔３６を有する円筒状に形成されており、固定フランジ３４との連結端３７は小径に形成されている。そして、この小径に形成された連結端３７が固定フランジ３４に嵌合され、嵌合部分を、例えば、溶接固定することにより気密状態に連結されている。
【００２４】
上記のように真空装置２１の壁部２２に固定された保持具本体３３には、バンドル光ファイバ４１が挿通されている。
このバンドル光ファイバ４１は、複数本の光ファイバ心線４２を束ねたものである。ここで、このバンドル光ファイバ４１として用いられる光ファイバ心線４２は、図４に示すように、コア４３及びクラッド４４からなるガラスファイバ４５に被覆４０を施した構造とされている。なお、ここで用いられる光ファイバ心線４２は、コア４３の外径が１９０μｍ、クラッド４４の外径が２００μｍ、被覆４０の外径が２４０μｍ程度とされており、通信用として用いられるものと比較して、コア４３の外径寸法が大きくされている。
そして、この光ファイバ心線４２を、約８０本束ねてバンドル光ファイバ４１が構成されている。
【００２５】
バンドル光ファイバ４１は、その中間部に、固定パイプ４６が装着されている。この固定パイプ４６は、その中心に挿通孔４７が形成されており、この挿通孔４７には、複数本の光ファイバ心線４２を束ねたバンドル光ファイバ４１が接着剤を塗り込んだ状態で挿通されている。また、この固定パイプ４６の両端部には、接着剤を周方向にわたって付着させた樹脂盛り部４８が形成されている。これにより、バンドル光ファイバ４１の中間部に、固定パイプ４６が気密状態に接着固定さて装着されている。
【００２６】
固定パイプ４６には、その外周部に、フランジ部４９が形成されている。固定パイプ４６には、フランジ部４９の保持具３３への挿入方向前方側、つまり、フランジ部４９の真空装置２１側に、交互に配置されたＯリング５１及びカラー５２が二組装着されている。
保持具本体３３の挿通孔３６は、真空装置２１側から段階的に内径が拡径されており、それぞれ真空装置２１側から小径孔部３６ａ、装着孔部３６ｂ、大径孔部３６ｃとされている。
【００２７】
小径孔部３６ａは、固定パイプ４６の外径よりも大きくかつ固定パイプ４６のフランジ部４９の外径よりも小さい内径に形成されている。装着孔部３６ｂは、固定パイプ４６のフランジ部４９の外径よりも僅かに大径に形成されている。大径孔部３６ｃは、その内径が装着孔部３６ｂよりもさらに大径に形成され、内周面にはめねじ５３が形成されている。
【００２８】
そして、固定パイプ４６に装着されたＯリング５１及びカラー５２は、保持具本体３３の小径孔部３６ａと装着孔部３６ｂとの段部５４と、固定パイプ４６のフランジ部４９との間に配置されている。
保持具本体３３の小径孔部３６ａと装着孔部３６ｂとの段部５４は、真空装置２１側へ向かって次第に窄まる断面テーパ形状に形成されたテーパ面５４ａを有しており、また、真空装置２１側に配置されたカラー５２は、真空装置２１側へ向かって次第に窄まる断面テーパ形状に形成されて、段部５４と当接されるテーパ面５２ａを有している。
【００２９】
保持具本体３３の大径孔部３６ｃには、円筒状に形成されたストッパ５５が装着されている。このストッパ５５は、その外周側におねじ５６が形成されており、このおねじ５６が大径孔部３６ｃに形成されためねじ５３に螺合されている。
このストッパ５５には、真空装置２１側に、押し込み部５７が形成されている。この押し込み部５７は、その内径が保持パイプ４６よりも僅かに大径に形成され、かつ外径が保持具本体３３の装着孔部３６ｂよりも僅かに小径に形成されている。そして、このストッパ５５を保持具本体３３の大径孔部３６ｃへねじ込みながら装着することにより、ストッパ５５の押し込み部５７の先端部が、保持パイプ４６のフランジ部４９に当接し、真空装置２１側へ押し込むようになっている。
【００３０】
このストッパ５５には、大気側の端部に、工具用溝部５８が形成されており、この工具用溝部５８に工具を嵌合させて回転させることにより、ストッパ５５を大径孔部３６ｃへねじ込むことができるようになっている。
【００３１】
バンドル光ファイバ４１は、その両端部を接着固定し、研磨することにより成端されている。また、このバンドル光ファイバ４１は、自在に屈曲可能なフレキシブル管６１に通されており、これらフレキシブル管６１によって保護されている。なお、符号６２は、真空装置２１内に導入されたバンドル光ファイバ４１の端部を真空装置２１内の図示しない固定部に固定するための固定具である。
【００３２】
フレキシブル管６１には、それぞれ端部に連結具６３、６４が固定されている。真空装置２１側のフレキシブル管６１の端部に設けられた連結具６３には、その外周面におねじ６５が形成されており、真空装置２１側における保持具本体３３の端部の挿通孔３６に形成されためねじ６６にねじ込むことにより保持具本体３３に連結固定されている。
【００３３】
大気側のフレキシブル管６１の端部に設けられた連結具６４は、図５に示すように、盲ネジ６７によって固定されている。
そして、このようにフレキシブル管６１に固定された連結具６４は、大気側における保持具本体３３の挿通孔３６に嵌め込まれ、盲ネジ６８によって固定されている。
【００３４】
次に、上記構造の真空用バンドル光ファイバ３１を組み立てる場合についてその手順に沿って説明する。
（１）複数本の光ファイバ心線４２を束ね、真空装置２１内へ設置させる端部を接着固化して研磨することにより成端する。
（２）次いで、このバンドル光ファイバ４１に、成端した端部から固定パイプ４６を装着させる。
【００３５】
（３）バンドル光ファイバ４１の固定パイプ４６の固定箇所に接着剤を塗り込み、固定パイプ４６を固定位置へ配置させる。
なお、このとき、光ファイバ心線４２の間に隙間や気泡が生じないように、十分に接着剤を塗布する。
（４）バンドル光ファイバ４１に固定パイプ４６を接着固定させたら、この固定パイプ４６の両端部にさらに接着剤を周方向にわたって塗布して付着させ、この接着剤からなる樹脂盛り部４８を形成し、固定パイプ４６の挿通孔４７を完全に気密させる。
【００３６】
（５）次に、固定パイプ４６にＯリング５１及びカラー５２を交互にならべて順に装着させる。
（６）バンドル光ファイバ４１の真空装置２１内へ配置させる端部を、保持具本体３３へ挿入し、保持具本体３３の装着孔部３６ｂ内へＯリング５１及びカラー５２を装着させた固定パイプ４６を挿入する。
【００３７】
（７）この状態において、バンドル光ファイバ４１の大気側の端部を、ストッパ５５へ挿入し、このストッパ５５を、保持具本体３３の大径孔部３６ｃへねじ込む。
このようにすると、ストッパ５５の押し込み部５７によって固定パイプ４６のフランジ部４９が挿入方向前方側へ押し込まれる。
これにより、固定パイプ４６に装着されてフランジ部４９と段部５４との間に配置されているＯリング５１及びカラー５２が、これらフランジ部４９と段部５４とに挟持されて圧縮される。
そして、Ｏリング５１は、圧縮されることにより径方向に変形しようとして保持具本体３３の装着孔部３６ｂの内周面及び固定パイプ４６の外周面に大きな力で密着し、これにより保持具本体３３と固定パイプ４６との間が完全に気密される。
【００３８】
また、真空装置２１側に配設されたカラー５２は、端面からなるテーパ面５２ａが小径孔部３６ａと装着孔部３６ｂとの段部５４に形成されたテーパ面５４ａに押し付けられることにより縮径する方向に力が生じる。
これにより、固定パイプ４６が、このカラー５２から縮径する力を作用され、固定パイプ４６が締め付けられ、バンドル光ファイバ４１が挿通された挿通孔４７内がさらに完全にシールされる。
【００３９】
（８）バンドル光ファイバ４１の大気側の端部を接着固化して研磨することにより成端する。
（９）その後、バンドル光ファイバ４１に、真空装置２１側及び大気側からフレキシブル管６１を装着し、これらフレキシブル管６１の端部に固定した連結具６３、６４を保持具本体３３に固定する。
【００４０】
上記のようにして真空用バンドル光ファイバ３１を組み立てたら、バンドル光ファイバ４１の真空装置２１側を真空装置２１の壁部２２の取付孔２３へ挿入し、ファイバ保持具３２の固定フランジ３４を真空装置２１の壁部２２へ固定する。そして、バンドル光ファイバ４１の真空装置２１側の端部を、固定具６２によって所定の場所に固定し、大気側の端部を図示しない測定装置に接続する。
【００４１】
上記のような真空用バンドル光ファイバ３１を装着した真空装置２１において、その内部を監視する際には、バンドル光ファイバ４１の大気側から監視光を入光させる。このようにすると、この監視光がバンドル光ファイバ４１を構成する光ファイバ心線４２のガラスファイバ４５を通り、バンドル光ファイバ４１の真空装置２１内に設置した端面から真空装置２１内にて成膜中の基板に照射される。そして、その反射光がバンドル光ファイバ４１の真空装置２１側の端面から入光し、ガラスファイバ４５を通り、バンドル光ファイバ４１の大気側の端面から測定装置にて測光され、基板の成膜状態が監視される。
【００４２】
このように、上記実施形態例の真空用バンドル光ファイバ３１によれば、真空装置２１の壁部２２に固定したファイバ保持具３２にバンドル光ファイバ４１を挿通させて気密状態に固定した簡単な構造であるので、従来装置のように、複雑かつ多数の部材を用いた場合と比較して、容易にかつコストアップを招くことなく真空装置２１内の監視を行うことができる。
また、光ファイバ４２を束ねたバンドル光ファイバ４１に接着剤を塗り込んで固定パイプ４６を接着固定したので、バンドル光ファイバ４１をファイバ保持具３２へ固定させる固定パイプ４６を、極めて高い気密性にてバンドル光ファイバ４１に装着させることができる。
【００４３】
さらには、固定パイプ４６の両端部に周方向へわたって接着剤を付着させて樹脂盛り部４８を形成したので、さらに高い気密性にて固定パイプ４６を装着させることができる。
また、ストッパ５５をファイバ保持具３２へねじ込むことにより、極めて容易にバンドル光ファイバ４１に装着させた固定パイプ４６をファイバ保持具３２に固定させることができる。
【００４４】
しかも、このストッパ５５によって固定パイプ４６をファイバ保持具３２へ固定することにより、Ｏリング５１によってファイバ保持具３２と固定パイプ４６との間を確実にシールすることができ、また、段部５４のテーパ面５４ａによってカラー５２に径方向内方へ向かう圧縮力を生じさせて固定パイプ４６に挿通されたバンドル光ファイバ４１を締め付けさせてさらなる気密性の向上を図ることができる。
【００４５】
そして、この真空用バンドル光ファイバ３１を備えた真空装置２１によれば、壁部２２に形成された取付孔２３にバンドル光ファイバ４１を挿通させて真空装置２１の内部の光をバンドル光ファイバ４１によって直接大気側へ導いて測光したり、あるいは、バンドル光ファイバ４１を介して真空装置２１内に照明光が導けるため（入光できるため）、従来のように途中に結合仲介材としてガラス板などを介在させた場合と比較して、光の反射、散乱による効率低下をなくすことができ、極めて良好に真空状態の内部における蒸着等の成膜状態を監視することができる。
【００４６】
なお、上記の例では、一対のＯリング５１及びカラー５２を二組用いたが、一組だけ用いても、三組以上用いても良い。
また、上記の真空装置２１に装着する真空用バンドル光ファイバ３１の装着数量は、一つに限定されることなく、内部における監視箇所などに応じて複数装着しても良いのは勿論である。
【００４７】
（試験例）
ガラス外径２００μｍ、被服外径２４０μｍの８５本の石英系光ファイバ４２を束ねてバンドル光ファイバ４１とし、外径５ｍｍ、内径２．５ｍｍ、長さ２２ｍｍの金属製の固定パイプ４６の挿通孔４７へ挿通させる。高性能エポキシ系接着剤であるアラルダイト（登録商標）によってバンドル光ファイバ４１と固定パイプ４６とを接着固定する。
このように組み立てたバンドル光ファイバ４１を３５本用意し、次のようなリーク試験を行った。
【００４８】
図６に示すように、試験用のバンドル光ファイバ４１の固定パイプ４６にＯリング５１を装着し、真空ホース７１が接続された真空パイプ７２に嵌合させる。真空ホース７１には、ヘリウムリーク検出器７３を接続しておく。
このように真空パイプ７２にバンドル光ファイバ４１を嵌合させて接続したら、図７に示すように、バンドル光ファイバ４１を、ヘリウムを充満させたビニール袋７４内へ入れ、ビニール袋７４の口を真空パイプ７２に密着させて閉じる。
【００４９】
この状態において、ヘリウムリーク検出装置７３によって、各段階の真空度にて真空引きを行い、１時間後のヘリウムのリークの有無をヘリウムリーク検出装置７３によって検出する。
【００５０】
図８に示すものは、ヘリウムリーク試験の結果である。この試験結果からわかるように、３５本の試験用バンドル光ファイバ４１の中で９０％が、真空度１．０×１０―７（Ｔｏｒｒ・Ｌ／ｓｅｃ）以下となりリークが認められた。つまり、この構造のバンドル光ファイバ４１によれば、かなりの気密性を有することがわかった。また、この試験ではアラルダイト（登録商標）を使用したが、真空用接着剤（Ｖａｒｉａｎ製）を使用すれば、より高い気密性を確保することができる。
【００５１】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明のバンドル光ファイバによれば、下記の効果を得ることができる。
この発明のバンドル光ファイバによれば、真空装置の壁部に固定したファイバ保持具にバンドル光ファイバを挿通させて気密状態に固定した簡単な構造であるので、従来装置のように、複雑かつ多数の部材を用いた場合と比較して、容易にかつコストアップを招くことなく真空装置内の監視を行うことができる。
さらに、この真空用バンドル光ファイバを備えた真空装置によれば、壁部に形成された取付孔にバンドル光ファイバを挿通させて真空装置の内部の光をバンドル光ファイバによって直接大気側へ導いて測光したり、あるいは、バンドル光ファイバを介して真空装置内に照明光が導けるため、従来のように途中に結合仲介材としてガラス板などを介在させた場合と比較して、光の反射、散乱による効率低下をなくすことができ、極めて良好に真空状態の内部における蒸着等の成膜状態を監視することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態例の真空用バンドル光ファイバの構成を説明する真空装置に固定された真空用バンドル光ファイバの側面図である。
【図２】本発明の実施形態例の真空用バンドル光ファイバの構造を説明する真空装置に固定された真空用バンドル光ファイバの断面図である。
【図３】本発明の実施形態例の真空用バンドル光ファイバを構成するファイバ保持具の構造を説明するファイバ保持具の断面図である。
【図４】本発明の実施形態例の真空用バンドル光ファイバに用いられる光ファイバの構造を説明する光ファイバの断面図である。
【図５】ファイバ保持具におけるフレキシブル管の固定構造を説明するファイバ保持具の断面図である。
【図６】本発明の実施形態例の真空用バンドル光ファイバの性能試験を説明する概略図である。
【図７】本発明の実施形態例の真空用バンドル光ファイバの性能試験を説明する概略図である。
【図８】本発明の実施形態例の真空用バンドル光ファイバの性能試験の試験結果を説明するグラフ図である。
【図９】バンドル光ファイバを監視装置として用いた真空装置の断面図である。
【符号の説明】
２１　真空装置
２２　壁部
２３　取付孔
３１　真空用バンドル光ファイバ
３２　ファイバ保持具
３６ａ　小径孔部
３６ｂ　装着孔部
４１　バンドル光ファイバ
４２　光ファイバ心線
４６　固定パイプ
４８　樹脂盛り部
４９　フランジ部（固定手段）
５１　Ｏリング（固定手段）
５２　カラー（固定手段）
５２ａ、５４ａ　テーパ面
５３　めねじ
５４　段部（固定手段）
５５　ストッパ
５６　おねじ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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