(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドにおいて、駆動させるインクチャンネル数が異なる場合でも安定した吐出速度での吐出を行うこと。【解決手段】隣接インクチャンネル４間の空気室１２内に支柱１３を設けることにより駆動させるインクチャンネル数が異なる場合でも駆動隔壁３の変形量を一定とすることにより吐出速度の変化を防ぐ構成とした。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを充填するための複数のインクチャンネルと、前記インクチャンネルとの間に設けられた空気室を有する基台と、前記貴台の前記インクチャンネルの溝部を覆う頂部シートを貼付して形成されたアクチュエータを用いたインクジェットヘッドにおいて、前記空気室は前記頂部シートと前記空気室の底部との間に支柱を有することを特徴としたインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記支柱が圧電材料からなる貴台と同一材料を用いたことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記基台をダイシングソーにより成形することを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記基台をサンドブラストにより成形することを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッド製造方法。
【請求項５】
前記支柱を、基台の材料である圧電材とは異なる材料により構成することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
インクを充填するための複数のインクチャンネルと、前記インクチャンネルとの間に設けられた空気室を有する基台と、前記貴台の前記インクチャンネルの溝部を覆う頂部シートを貼付して形成されたアクチュエータを用いたインクジェットヘッドにおいて、前記空気室の頂部シート側、あるいは前記頂部シートと反対方向の基台側の少なくともどちらか一方が切り離されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記空気室は、基台と頂部シートを貼付した後、前記空気室の頂部シート側、あるいは前記頂部シートと反対方向の基台側の少なくともどちらか一方を切り離し加工により形成することを特徴とする請求項６記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記空気室の切り離し面に、保護シートを貼り付けたことを特徴とした請求項６記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記保護シートは、基台の弾性率よりも低い弾性率を有する部材とすることを特徴とした請求項８記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
ヘッドを駆動するための基板やヘッド補強材に貼付する際、前記切り離し部に前記基板やヘッド補強材を直接貼付しないことを特徴とした請求項６記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電セラミックスの隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁に形成された信号電極への印加電圧に応じて、前記隔壁を変形せしめ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズル孔より選択的に突出せしめるインクジェットヘッド（国際特許分類Ｂ４１Ｊ　３／１０）に関するものであり、隣接インクチャンネルの相互干渉を抑えることを目的としたものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンタはＯＡ用途として広く普及しており、個人向けとしてはデジタルカメラの出力手段として用いられ写真印刷の目的から高画質、高精細が要求され、ヘッドの微細化や液滴制御性が求められている。一方、微粒子化されたインク液滴を噴出できるマイクロマシンとしての機能を生かし、ＦＡ用途としての注目を集めており、幅広い応用分野が期待されている。
【０００３】
図６ａはインクジェットヘッドの一例として、圧電形インクジェットヘッドの構成を示す斜視図である。また図６ｂは圧電形インクジェットヘッドのインクチャンネル４の長手方向の断面図である。圧電素子からなる基台１は、駆動隔壁３により形成されるインクの流路となるインクチャンネル４を有し、インクチャンネル４内に駆動隔壁３に電圧を加えるため基台１の後方にあるワイヤーボンディング領域８の電極部に至るまでの経路が接続されている電極２を有する。前記基台１と、硝子、セラミックス、樹脂材料または基台１と同一材料等からなりインクを供給する供給孔１１を有する頂部シート１０とを張り合わせることにより、インクチャンネル４を有するアクチュエータ部９を形成し、アクチュエータ部９の前端面７には樹脂材料やガラス材料などからなるノズル孔５を有するノズル板６を設けられ、インクジェットヘッドを形成する。
【０００４】
このようなインクジェットヘッドを用いて描画特にパターン印刷を行う場合、隣接するノズルからインク液滴を同時に吐出させることができないといった問題と、隣接するノズル間における相互干渉が発生するといった問題点があった。
【０００５】
このような問題点を解消する方法として、特開２０００−３７７１２９号公報に開示のように隣接するノズル間にスペーシングと言われる空気室を設け、このスペーシングにインクを入れないことで、密度の低い空気が駆動隔壁の振動を吸収し、隣接ノズルに与える影響を低く抑える方法を提案している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来例では、空気室による相互干渉の抑制に対してしか有効でなく、実際に実験を行った結果としても、同駆動電圧下においては全インクチャンネル駆動と１つのインクチャンネル駆動で吐出速度が異なっていた。また、理論解析による駆動隔壁の変形に基づくインクチャンネル断面積の変形量も、全インクチャンネル駆動と、１つのインクチャンネル駆動において相違が認められ、１つのインクチャンネル駆動時において駆動隔壁変形量が小さくなることが証明された。
【０００７】
駆動隔壁は電圧を加えた場合に“く”の字状に変形し、頂部シートとチャンネル底部を引っ張るようになる。このとき同じ駆動電圧で全ノズルから吐出させる場合と１ノズルのみ吐出させる場合では隔壁の変形量に差が現れ、実際の液滴吐出速度の変化にも影響を与えていると考えられる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明のインクジェット記録装置は、隣接するインクチャンネル間の空気室内に駆動しない支柱を設けることと、前記空気室の基台側もしくは頂部シート側の面を開放することにより、同電圧下において駆動させるインクチャンネル数の変更に関係なく常に吐出速度を一定にすることを目的とした。本発明によれば、駆動インクチャンネル数の違いによる吐出速度の変化を効果的に抑えることができ、印字品質及び印字速度を向上せしめることを可能とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載のインクジェットヘッドは、インクを充填するための複数のインクチャンネルと、前記インクチャンネルとの間に設けられた空気室を有する基台と、前記貴台の前記インクチャンネルの溝部を覆う頂部シートを貼付して形成されたアクチュエータを用いたインクジェットヘッドにおいて、前記空気室は前記頂部シートと前記空気室の底部との間に支柱を有することを特徴としたインクジェットヘッドであり、支柱を用いることにより同駆動電圧下における全インクチャンネル駆動と１つのインクチャンネル駆動時に駆動隔壁の動きを同等にすることにより吐出速度の速度変化及び吐出量変化を低減するものである。
【００１０】
本発明の請求項２に記載のインクジェットヘッドは、前記支柱が圧電材料からなる貴台と同一材料を用いたことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドであり、ヘッド製作において熱による材料間の歪が発生しないため精度良くインクジェットヘッドを製作することができる。
【００１１】
本発明の請求項３記載のインクジェットヘッドの製造法は、前記基台をダイシングソーにより成形することを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法であり、基台部を同一材料、同一工程で成形できるため寸法精度の良い基台部を成形することが可能である。
【００１２】
本発明の請求項４記載のインクジェットヘッドの製造方法は、前記基台をサンドブラストにより成形することを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッド製造方法であり、ダイサー加工による成形方法よりも短時間で大量に基台を成形することが可能である。
【００１３】
本発明の請求項５記載のインクジェットヘッドは、前記支柱を、基台の材料である圧電材とは異なる材料により構成することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドであり、ノズルの配列方向に対する垂直方向の動きを効果的に抑制することができる。
【００１４】
本発明の請求項６記載のインクジェットヘッドは、インクを充填するための複数のインクチャンネルと、前記インクチャンネルとの間に設けられた空気室を有する基台と、前記貴台の前記インクチャンネルの溝部を覆う頂部シートを貼付して形成されたアクチュエータを用いたインクジェットヘッドにおいて、前記空気室の頂部シート側、あるいは前記頂部シートと反対方向の基台側の少なくともどちらか一方が切り離されていることを特徴とするインクジェットヘッドであり、空気室部分の頂部シート側もしくは基台側の面を開放することにより、見かけ上各インクチャンネルとインクチャンネルを形成する駆動隔壁をノズル毎に独立させたものであり、空気室部分を外部に開放することにより駆動チャンネル数の変更に伴う吐出速度と吐出量の変化を抑えることを目的としており、各駆動隔壁が基台底部及び頂部シートに対して行う仕事量すなわち頂部シートと基台を引っ張る力を、全インクチャンネル駆動と１つのインクチャンネル駆動においてほぼ同等とすることによりノズルを選択的に使用し吐出する場合に速度変化と吐出量の変化を小さく抑えることを可能としたものである。
【００１５】
本発明の請求項７記載のインクジェットヘッドの製造方法は、前記空気室は、基台と頂部シートを貼付した後、前記空気室の頂部シート側、あるいは前記頂部シートと反対方向の基台側の少なくともどちらか一方を切り離し加工により形成することを特徴とする請求項６記載のインクジェットヘッドの製造方法であり、開放部を成形した状態で組み立てたヘッドに比べ強度を保った状態でハンドリングすることが可能でありヘッド破損を防ぐことに有効である。また開放部を頂部シート側と基台側の両面に形成する場合には後加工により開放部を成形するので組立工程における微細な位置合わせが不要となる。
【００１６】
本発明の請求項８記載のインクジェットヘッドは、前記空気室の切り離し面に、保護シートを貼り付けたことを特徴とした請求項６記載のインクジェットヘッドであり、開放部を保護シートによりカバーすることにより外部からインクが空気室内に侵入することを防ぐものである。
【００１７】
本発明の請求項９記載のインクジェットヘッドは、前記保護シートは、基台の弾性率よりも低い弾性率を有する部材とすることを特徴とした請求項８記載のインクジェットヘッドであり、基台部材以下の弾性率とすることにより、空気室を開放することによる速度変化対策の効果を妨げることなくインクなどが空気室内に侵入することを防ぐことが可能である。
【００１８】
本発明の請求項１０記載のインクジェットヘッドは、ヘッドを駆動するための基板やヘッド補強材に貼付する際、前記切り離し部に前記基板やヘッド補強材を直接貼付しないことを特徴とした請求項６記載のインクジェットヘッドであり、基板やヘッド補強材によりインクチャンネルの独立効果を妨げないようにしたものである。
【００１９】
（実施の形態１）
以下に、本発明の請求項１から請求項６に記載された発明の実施の形態について、図１、図２ａ、図２ｂ、図２ｃ、図５ａ、図５ｂ、図６ａ、図６ｂ、図６ｃを用いて説明する。なお図５ａと同様の部材については同じ番号を用いた。
【００２０】
図５ａに示す　従来型のインクジェットヘッドにおける駆動インクチャンネル数の違いによる液滴吐出速度の相違を図６ａ〜ｃを用いて説明する。なおここでは前端面におけるインクチャンネル４、駆動隔壁３等の位置関係を判りやすくするため、実際には存在しないノズル孔５もあわせて示した。図６ａ〜図６ｃは従来型インクジェットヘッドの前端面７における駆動状態の理論解析結果を示すもので、図６ａは従来型のインクジェットヘッド前端面７の静止状態を示すものである。
【００２１】
図６ｂは全インクチャンネル駆動時のヘッド状態で、図中破線部は図６ａのヘッド静止状態３６を示すものである。図６ｂに示すように全インクチャンネル駆動時に駆動隔壁３は全て“く”の字状に変形し、かつ頂部シート１０とインクチャンネル４底部の距離が相対的に縮まっている。図６ｃは同ヘッドにおいて１つのインクチャンネル駆動のヘッドの状態を示したものであり、図中一点鎖線は図６ｂに示す全インクチャンネル駆動３７のヘッドの状態を示したものである。全インクチャンネル駆動時３７に比較し、吐出しないチャンネルの隔壁は駆動しないため全インクチャンネル駆動時３７に比べ頂部シート１０とインクチャンネル４底部の相対距離は縮まらない。このように従来のヘッドにおいては全インクチャンネル駆動と１つのインクチャンネル駆動において駆動隔壁３の変形及び頂部シート１０とインクチャンネル４底部の相対距離の変化が異なってしまい液滴吐出に影響を与える吐出圧力の変化を引き起こし吐出速度の変化が生じる。
【００２２】
図１は本発明のインクジェットヘッドの斜視図である。基台１は、インクチャンネル４及び空気室１２を形成する駆動隔壁３、インク流路となるインクチャンネル４と、空気室１２となる溝、空気室１２内に形成される支柱１３から構成され、それらの配列は一部分を切り出してみると空気室１２、支柱１３、空気室１２、駆動隔壁３、インクチャンネル４、駆動隔壁３の順に繰り返し配列されている。
【００２３】
図２ａ〜ｃは請求項１から請求項５に記載した本発明のインクジェットヘッドの前端面７における静止状態、全インクチャンネル駆動、１つのインクチャンネル駆動の状態を示したイメージである。なおここでは前端面におけるインクチャンネル４、駆動隔壁３等の位置関係を判りやすくするため、実際には存在しないノズル孔５もあわせて示した。
【００２４】
図２ａは本発明のインクジェットヘッド前端面７の一例であり支柱１３の両脇に形成される空気室１２の幅とインクチャンネル４の幅の比率を１対１とした例であり、インクジェットヘッドの静止状態を示すものである。図２ｂは全インクチャンネル駆動時のヘッドの状態であり、図中破線部はヘッド静止状態１６を示した。図２ｃは１つのインクチャンネル駆動時のヘッドの様子を示したものであり、図中一点鎖線は全インクチャンネル駆動１７のヘッドの状態を示したものである。
【００２５】
本発明のヘッドにおいては、インクチャンネル４間に支柱１３が形成されているため、全インクチャンネル駆動させた場合において、１つのインクチャンネル４が頂部シート１０とインクチャンネル４の底部を引きつけようとする力がインクチャンネル間にある支柱１３により隣接するインクチャンネルには伝播しない。よって駆動するインクチャンネル数が異なる場合でも駆動隔壁３の変形及び頂部シート１０とインクチャンネル４底部の相対距離の変化がほぼ一定となり吐出速度及び吐出量が常に安定する。実際に空気室１２に支柱１３を形成しその他の寸法は変更せず本発明のヘッドを製作し、従来型との比較を行った。実験方法は全インクチャンネルを駆動させ、全ノズルから４ｍ／ｓで液滴を吐出させたときの電圧値を測定し、同電圧下で全インクチャンネルにおいて１つおきにインクチャンネル４を駆動（隔チャンネル駆動）させ液滴を吐出させたときの速度変化率と、１つのインクチャンネル４のみ駆動させた場合での速度変化率を本発明のインクジェットヘッド、従来型のインクジェットヘッドともに各２個のヘッドにおいて測定した。このときの結果を表１に示す。
【００２６】
【表１】
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【００２７】
本発明のヘッドではいずれの吐出条件下においても速度変化は＋３％程度となっており速度変化率が極めて少ないことが判る。従来型のヘッドは隔チャンネル駆動時の速度変化率が−１２％と大きく変化しており、１つのインクチャンネル駆動時においては約−１５％程度速度が低下し速度変化が非常に大きいことが判る。このように、本発明の空気室内に支柱を有するタイプのインクジェットヘッドは駆動させるインクチャンネル数によるクロストークの影響を受けにくく、インク液滴吐出速度を安定させることができる。
【００２８】
なおここで例として取り上げた本発明のインクジェットヘッドでは支柱形状が空気室を二つに分断する形としたが、支柱は空気室内に何箇所かに分散させる形でも良い。
【００２９】
支柱１３を形成する方法としては、ダイサーを用いインクチャンネル４や空気室１２を形成するとともに同工程中に基台材料を用い支柱１３を形成することができる。ダイサーで基台１を一体成形することで精度の高い基台１部を形成することを可能としている。
【００３０】
またサンドブラスト加工によりインクチャンネル４と空気室１２を形成すると同時に支柱１３を形成することも可能であり、短時間に大量に形成することを可能とする。
【００３１】
基台１材料である圧電材料とは異なる材料による支柱１３を形成する方法の一例としては頂部シート１０側に支柱１３を形成し、基台１と張り合わせることにより空気室１２内に支柱１３を形成することも可能である。このとき、基台１圧電材料より弾性率の高い材料を用いることにより基台１側に支柱１３を一体成形するよりも幅の狭い支柱１３を用いることが可能となり、ヘッドのノズル間隔の狭ピッチ化が必要とされる場合に有効である。
【００３２】
（実施の形態２）
以下に、本発明の請求項６から請求項１０に記載された発明の実施の形態について、図３、図４ａ、図４ｂ、図４ｃ、図５ａ、図５ｂを用いて説明する。なお前記記載の同様な部材については同じ番号を用いた。
【００３３】
図３は本発明の一例であるインクジェットヘッドの斜視図である。本発明におけるインクジェットヘッドは、基台１部をインクチャンネル４、空気室１２及び駆動隔壁３から構成され、空気室１２は頂部シート１０側もしくは基台１側の少なくとも一方を外面まで開放する開放部１５を有するものである。ここではその一例として、基台１側に開放部１５を有する形とした。
【００３４】
図４ａ〜ｃは本発明のインクジェットヘッドの前端面７における静止状態、全インクチャンネル駆動、１つのインクチャンネル駆動の状態を示したイメージである。なおここでは前端面におけるインクチャンネル４、駆動隔壁３等の位置関係を判りやすくするため、実際には存在しないノズル孔５もあわせて示した。図４ａは本発明におけるインクジェットヘッド静止状態の前端面７の拡大図である。図４ｂは全インクチャンネル駆動時のヘッドの状態であり、図中破線部はヘッド静止状態２６を示した。図４ｃは１つのインクチャンネル駆動のヘッドの様子を示したものであり、図中一点鎖線は全インクチャンネル駆動２７のヘッドの状態を示したものである。
【００３５】
本発明のヘッドにおいては、インクチャンネル間に開放部１５を有するため、１つのインクチャンネル４を形成する一対の駆動隔壁３とインクチャンネル４が夫々独立した形状となり、全インクチャンネル駆動させた状態でも１つのインクチャンネル駆動させた状態でも、１つのインクチャンネル４を形成する駆動隔壁３が頂部シート１０とインクチャンネル４底部を引っ張ろうとする力は常に一定となる。よって全インクチャンネル駆動と１つのインクチャンネル駆動において駆動隔壁３の変形及び頂部シート１０とインクチャンネル４底部の相対距離の変化がほぼ一定となり吐出ノズル数が変更される場合でも速度が常に安定する。実際に空気室１２を基台１面側に開放することにより本発明のヘッドを製作し、空気室の形状を除くノズル孔５の径、ノズル間ピッチ、駆動隔壁３の幅、インクチャンネル４の幅、深さ、及び長さ等全ての寸法を全て同じとした従来型のインクジェットヘッドとの比較を行った。
【００３６】
実験方法は全ノズルから４ｍ／ｓで液滴を吐出させたときの電圧値を測定し、同電圧下で全インクチャンネルにおいて１つおきにインクチャンネル４を駆動（隔チャンネル駆動）させ液滴を吐出させたときの速度変化率と、１つのインクチャンネル４のみ駆動させた場合での速度変化率を本発明のインクジェットヘッド、従来型のインクジェットヘッドともに各２個のヘッドにおいて測定した。このときの結果を表２に示す。
【００３７】
【表２】
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【００３８】
本発明のヘッドではいずれの吐出条件下においても速度変化は＋５％以内となっており速度変化率が極めて少ないことが判る。一方従来型のヘッドは隔チャンネル駆動時における速度変化率が−１２％と大きく変化しており、１つのインクチャンネル駆動時においては約−１５％程度速度が低下し速度変化が非常に大きいことが判る。このように、請求項６記載の本発明のインクジェットヘッドは駆動させるインクチャンネル数によるクロストークの影響を受けにくくインク液滴吐出速度を安定させることができる。
【００３９】
開放部１５の成形手順としては、あらかじめ開放する部分を成形した基台１、頂部シート１０を用意し夫々を貼付することも可能であるが、前もって開放部１５を基台１側、頂部シート１０側両面に成形し夫々を貼付する場合は高い位置合わせ制度が要求される。このため基台１と頂部シート１０を貼付した後に、ダイサーやサンドブラストにより所定の位置を加工する方法を取ることにより基台１と頂部シート１０貼付において高精度な位置合わせを要求すること無く開放部１５を形成することができる。
【００４０】
インクジェットヘッドを長時間駆動させる場合また基台１及び頂部シート１０に形成される開放部にインク液滴が進入しインクが溜まり、結果吐出速度が低下することや、描画中に溜まったインクが滴下し被印字物記録面を汚してしまうことが考えられる。そのため開放部１５にヘッドを構成する部材の弾性率以下の弾性率を有する保護シート１４を貼付することにより空気室１２内へのインクの侵入を防ぐことを可能とする。保護シート１４は接着剤によって容易に貼付することが可能であるが、完全にインク液滴が入らないようにするためには保護シート１４としてノズル板６を利用し、ノズル板を延長させることにより確実にインクの侵入を防ぐことを可能とするとともに保護シート材１４貼付の工程を簡略化し本発明のインクジェットヘッドを製造することも可能である。加えて、ヘッド前端面７から開放部へノズル板６を連続的に貼付する場合は、コーナーの部分において折り曲げる必要性があるのでこの部分にＲ処理もしくはＣ面取り加工を施すことによりノズル板の追従性を高め確実に貼付することを可能とする。
【００４１】
通常のインクジェットヘッドは電気信号を送るためにＰ板等の部材に貼付したり、ヘッド部の強度を保持するために補強材等に貼付されるが、開放部を有する部分には直接貼付しない方が好ましい。ただしこのときＰ板や補強材の弾性率が基台形成材料よりも低い場合は、保護シート１４を兼ねることは可能である。
【００４２】
【発明の効果】
以上のように、本発明のインクジェットヘッドによれば、隣接するノズル間の空気室に支柱を設けること、または空気室を頂部シート側もしくは基台側の外面までの少なくともどちらか一方を開放することにより、同駆動電圧下における全インクチャンネル駆動と１つのインクチャンネル駆動時の吐出速度を安定させることが可能であり、隣接ノズル間での相互干渉を低減したヘッドを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッドの斜視図
【図２】（ａ）本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッド前端面部の静止状態を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッド前端部の全インクチャンネル駆動状態を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態１におけるインクジェットヘッド前端部の１つのインクチャンネル駆動状態を示す図
【図３】本発明の実施の形態２におけるインクジェットヘッドのアクチュエータ部斜視図
【図４】（ａ）本発明の実施の形態２におけるインクジェットヘッド前端面部の静止状態を示す図
（ｂ）本発明の実施の形態２におけるインクジェットヘッド前端部の全インクチャンネル駆動状態を示す図
（ｃ）本発明の実施の形態２におけるインクジェットヘッド前端部の１つのインクチャンネル駆動状態を示す図
【図５】（ａ）従来のインクジェットヘッドの構成を示す図
（ｂ）従来のインクジェットヘッドインクチャンネル長手方向断面図
【図６】（ａ）従来型インクジェットヘッド前端面部の静止状態を示す図
（ｂ）従来型インクジェットヘッド前端部の全インクチャンネル駆動状態を示す図
（ｃ）従来型インクジェットヘッド前端部の１つのインクチャンネル駆動状態を示す図
【符号の説明】
１　基台
２　電極
３　駆動隔壁
４　インクチャンネル
５　ノズル孔
６　ノズル板
７　前端面
８　ワイヤーボンディング部
１０　頂部シート
１１　供給孔
１２　空気室
１３　支柱
１４　保護シート
１５　開放部
１６　ヘッド静止状態
１７　全インクチャンネル駆動状態
２６　ヘッド静止状態
２７　全インクチャンネル駆動状態
３６　ヘッド静止状態
３７　全インクチャンネル駆動状態
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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