(57)【要約】【課題】減速機構を構成するウォームホイールの樹脂製の歯と金属製ウォームの歯との間での潤滑状態を改善し、歯打ち音や振動音等の不快音の発生がなく、耐久性に優れ、信頼性の高い電動パワーステアリング装置を提供する。【解決手段】ウォームホイール３１は金属製の芯金４２の外周面にポリアミド樹脂で一体形成した円筒形の樹脂部４３を設け、樹脂部４３の外周面にギア歯４４を形成する。ウォーム３２は金属製とする。樹脂部４３にはガラス繊維、炭素繊維その他の強化材を配合するとよい。樹脂部４３の外周面に形成したギア歯４４の表面には、炭化水素ガスを断続的に発生させたプラズマで分解して成膜するプラズマＣＶＤ法、プラズマイオン注入法等により硬質炭素被膜を形成する。樹脂部４３の外周面に硬質炭素被膜を形成することで、グリースに対する濡れ性が改善され、噛合する歯車間の潤滑状態を改善することができる。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電動モータによる補助動力を歯車減速機構を介して車両のステアリング機構に伝達するように構成され、前記歯車減速機構の従動歯車は外周面に樹脂歯を有し、前記歯車減速機構の駆動歯車と従動歯車の間にグリースが介在する電動パワーステアリング装置において、
少なくとも前記従動歯車は、その樹脂歯の表面に硬質炭素被膜が形成されていること
を特徴とする電動パワーステアリング装置。
【請求項２】
前記樹脂歯を構成する合成樹脂の成分は、ポリアミド樹脂であること
を特徴とする請求項１に記載の電動パワーステアリング装置。
【請求項３】
前記歯車減速機構の駆動歯車及び従動歯車は、円筒ウォームギア、はすば歯車、平歯車、かさ歯車、ハイポイドギアのいずれかであること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電動パワーステアリング装置。
【請求項４】
前記樹脂歯の表面に形成される硬質炭素被膜は、炭化水素ガスを断続的に発生させたプラズマで分解して成膜するプラズマイオン注入法により形成される硬質炭素被膜であることを特徴とする請求項１に記載の電動パワーステアリング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
この発明は、電動パワーステアリング装置に関し、特にそのパワーアシスト部を構成する歯車減速機構に使用される歯車に関する。
【０００２】
【従来の技術】
車両用の電動パワーステアリング装置では、電動モータとして比較的高回転、低トルクのものが使用されるため、電動モータとステアリングシヤフトとの間に減速機構が組み込まれているが、減速機構としては一組で大きな減速比が得られる等の理由から、ウォームとウォームホイールから構成される周知のウォーム歯車減速機構を使用するものが一般的である。
【０００３】
このようなウォーム歯車減速機構では、ウォームとウォームホイールの両方を金属製にすると、ハンドル操作時に歯打ち音や振動音等の不快音が発生するという不都合がある。
【０００４】
この対策として、従来は、ウォームホイールとして金属製のハブ、即ち芯金の外周部に合成樹脂材からなるブランク円板を一体に形成し、このブランク円板の円周部に切削その他の手段で歯を形成して樹脂製の歯部が一体形成された合成樹脂製の歯部を備えたウォームホイールを使用し、歯打ち音や振動音等の不快音の発生を抑えていた。
【０００５】
上記樹脂製の歯部の材料としては、ポリアミド６、ポリアミド６６、ポリアセタール、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等のベース樹脂に、ガラス繊維や炭素繊維等の繊維強化材を配合した材料のほか、強化材を含有しないＭＣ（モノマーキャスト）ナイロン、ポリアミド６、ポリアミド６６等も使用されている。
【０００６】
寸法安定性やコストを考慮した場合は、繊維強化材を含有しないＭＣナイロンが使用されるほか、繊維強化材としてガラス繊維を含有したポリアミド６、ポリアミド６６、ポリアミド４６等が使用される（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
また、電動パワーステアリング装置のウォーム歯車減速機構においては、ウォームとウォームホイールを収納するギアケースの中のウォーム軸を保持する２つの玉軸受間の内部空間に、ウォームとウォームホイールの噛合面を潤滑するためにグリースが充填されている。そして、金属製のウォームと樹脂歯のウォームホイールを使用する場合には、基油として鉱物油や耐熱性を考慮してポリαオレフィン油を使用したグリースが使用されている。
【０００８】
【特許文献１】
特公平６−６０６７４号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記したグリースの基油である鉱物油やポリαオレフィン油は金属であるウォームに対する濡れ性は良いが、極性の大きいポリアミド樹脂に対する濡れ性は悪く、それによってウォームホイールの樹脂製の歯部分と金属製ウォームの歯部分との間での潤滑状態は、十分に良好であるとは言えるものではなかった。
【００１０】
この結果、長期間の電動パワーステアリング装置の運転によって一時的な油膜切れが発生し、徐々にウォームホイールの歯の摩耗が進行して、ウォームとウォームホイールの噛合部分におけるバックラッシュ（ガタ）が増大する。そして、バックラッシュの増大によりウォームの円滑な作動が妨げられ、操舵感が悪化したり、歯打ち音や振動音等の不快音が発生することがあった。更に、摩耗が進行すると、場合によってはウォームやウォームホイールの歯が変形したり、破損して装置として機能しなくなってしまうこともあった。
【００１１】
この発明は、上記課題を解決することを目的とするもので、歯車減速機構を構成する歯車の樹脂製の歯の表面に硬質炭素被膜を形成することにより、グリースに対する濡れ性を改善し、良好な潤滑状態を維持し、耐久性に優れ、信頼性の高い電動パワーステアリング装置を提供しようとするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明は上記課題を解決するもので、請求項１の発明は、電動モータによる補助動力を歯車減速機構を介して車両のステアリング機構に伝達するように構成され、前記歯車減速機構の従動歯車は外周面に樹脂歯を有し、前記歯車減速機構の駆動歯車と従動歯車の間にグリースが介在する電動パワーステアリング装置において、少なくとも前記従動歯車は、その樹脂歯の表面に硬質炭素被膜が形成されていることを特徴とする電動パワーステアリング装置である。
【００１３】
そして、前記樹脂歯を構成する合成樹脂の成分は、ポリアミド樹脂である。
【００１４】
また、前記歯車減速機構の駆動歯車及び従動歯車は、円筒ウォームギア、はすば歯車、平歯車、かさ歯車、ハイポイドギアのいずれかである。
【００１５】
そして、前記樹脂歯の表面に形成される硬質炭素被膜は、炭化水素ガスを断続的に発生させたプラズマで分解して成膜するプラズマイオン注入法により形成される硬質炭素被膜である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について説明する。
【００１７】
図１は、この発明を実施するに適した電動パワーステアリング装置の構成の一例を説明する正面図で、コラム式の電動パワーステアリング装置である。図１において、１１は舵輪軸、１２は舵輪軸ハウジング、１３は電動モータ、２０はラック・ピニオン式運動変換機構を示す。
【００１８】
舵輪軸１１は、図１では図示されていないが、上部舵輪軸１１ａと下部舵輪軸１１ｂとから構成され、舵輪軸１１は舵輪軸ハウジング１２の内部に軸心回りに回転自在に支承されており、舵輪軸ハウジング１２は、車室内部の所定位置に下部を前方に向けて傾斜した状態に固定されている。また、上部舵輪軸１１ａの上端には、図示されていない舵輪が固定されている。
【００１９】
さらに、上部舵輪軸１１ａと下部舵輪軸１１ｂとは、図示されていないトーションバーにより結合されており、舵輪から上部舵輪軸１１ａを経て下部舵輪軸１１ｂに伝達される操舵トルクが、トーションバーにより検出され、検出された操舵トルクに基づいて電動モータ１３の出力が制御される。
【００２０】
ラック・ピニオン式運動変換機構２０は、長手方向を車両の左右方向として車両前部のエンジンルーム内にほぼ水平に配置され、軸方向に移動自在なラック軸２１と、ラック軸２１の軸心に対して斜めに支承されてラック軸２１の歯部に噛合する歯部を備えたピニオン軸２２、及びラック軸２１とピニオン軸２２を支承する筒状のラック軸ケース２３とから構成される。
【００２１】
ピニオン軸２２と下部舵輪軸１１ｂの下部とは、２個の自在継手２５及び２６で連結されている。また、下部舵輪軸１１ｂの中間部分には後述するウォーム歯車減速機構３０が配置され、電動モータ１３から下部舵輪軸１１ｂに対して操舵補助力が供給されるように構成されている。
【００２２】
図２は、上記した電動パワーステアリング装置のウォーム歯車減速機構３０の構成を示す部分断面図で、３１はウォームホイール、３２はウォームホイール３１に噛合するウォーム、３３はギアケースである。ウォーム３２はその両端にウォーム軸３２ａ、３２ｂが一体に形成されており、ウォーム軸３２ａ、３２ｂはそれぞれギアケース３３に装着された玉軸受３４ａ、３４ｂにより回転自在に支承されている。また、ウォーム軸３２ｂは、電動モータ１３の駆動軸１３ａにスプライン結合している。
【００２３】
ウォームホイール３１のハブ、即ち芯金４２は下部舵輪軸１１ｂに結合し、電動モータ１３の回転はウォーム３２、ウォームホイール３１を経て下部舵輪軸１１ｂに伝達される。
【００２４】
図３は、この発明の実施の形態のウォーム歯車減速機構３０のウォームホイール３１の構成を示す斜視図で、ウォームホイール３１は、金属製のハブ、即ち芯金４２の外周面に、適宜クロスローレット加工を施すなどの加工を行い、その加工面に合成樹脂で一体形成した円筒形の樹脂部４３を設けたもので、樹脂部４３の外周面にギア歯４４を形成して構成されている。一方、ウォーム３２は従来のウォームと同じく金属製のものとする。
【００２５】
ウォームホイール３１の樹脂部４３は、ベース樹脂として、耐久性を考慮してポリアミド６、ポリアミド６６、ポリアミド４６等のポリアミド樹脂を使用する。これ等の樹脂は単独でも十分な耐久性を示し、ウォームホイール３１に噛合する金属製のウォーム３２の摩耗に対して有利に作用し、減速ギアとして十分に機能する。しかしながら、より過酷な使用条件で使用すると、ギア歯４４が摩耗したり破損することも予想されるので、信頼性を高めるために強化材を配合する。
【００２６】
強化材としては、ガラス繊維、炭素繊維、チタン酸カリウムウィスカー、ホウ酸アルミニウムウィスカー等が好ましく、前記したポリアミド樹脂との接着性を考慮してシランカップリング剤で表面処理したものが更に好ましい。
【００２７】
また、これ等の強化材は複数種類のものを組み合せて配合することができる。
衝撃強度を考慮すると、ガラス繊維や炭素繊維等の繊維状の強化材を配合することが好ましい。さらに、ウォームホイール３１に噛合する金属製のウォーム３２の損傷を考慮すると、ウィスカー状の強化材を配合することが好ましい。これ等の強化材を組み合せて配合する場合の組み合せ比率は、繊維状強化材及びウィスカー状強化材の種類により異なり、衝撃強度やウォーム３２の損傷を考慮して適宜選択するものとする。
【００２８】
これ等の強化材は、樹脂全体の５〜４０重量％、特に１０〜３０重量％の配合比率とすることが好ましい。強化材の配合比率が５重量％未満の場合は、ウォーム３２を損傷し易くなり、ウォーム３２の摩耗が促進されて減速ギアとしての耐久性が不足する可能性があり、好ましくない。
【００２９】
樹脂部４３の外周面に形成したギア歯４４の表面には、硬質炭素被膜（図示せず）が形成され、グリースに対する濡れ性が改善されている。
【００３０】
図４乃至図７も、この発明の実施の形態の歯車減速機構の構成を示す斜視図であって、図４は平歯車減速機構５０、図５ははすば歯車減速機構６０、図６はかさ歯車減速機構７０、図７はハイポイドギア減速機構８０である。
【００３１】
これ等の歯車減速機構においても、互いに噛合する一方の歯車、即ち、図４の平歯車減速機構５０では歯車５１、図５のはすば歯車減速機構６０では歯車６１、図６のかさ歯車減速機構７０では歯車７１、図７のハイポイドギア減速機構８０では歯車８１は、金属製の芯金５２（６２、７２、８２）の外周に合成樹脂で一体に形成した樹脂部５３（６３、７３、８３）にギア歯５４（６４、７４、８４）を形成して構成されており、一方、これ等の歯車に噛合する他方の歯車５５（６５、７５、８５）は金属により構成されている。
【００３２】
これ等の歯車減速機構においても、前記したウォーム歯車減速機構３０と同じく、歯車の樹脂部５３（６３、７３、８３）は、ベース樹脂として、耐久性を考慮してポリアミド６、ポリアミド６６、ポリアミド４６等のポリアミド樹脂を使用し、摩耗や破損に対する信頼性を高めるため、必要に応じて強化材、例えばガラス繊維、炭素繊維、チタン酸カリウムウィスカー、ホウ酸アルミニウムウィスカー等を１種又は複数種類配合するとよく、その組み合せ比率は、繊維状強化材及びウィスカー状強化材の種類により異なり、衝撃強度や歯車の形状等を考慮して適宜選択するものとする。
【００３３】
樹脂部５３（６３、７３、８３）の外周面に形成した歯車のギア歯５４（６４、７４、８４）の表面には、前記したウォーム歯車減速機構３０と同じく、グリースに対する濡れ性を改善するために、硬質炭素被膜（図示せず）が形成されている。
【００３４】
硬質炭素被膜の形成方法としては、炭化水素ガスを、パルス的、即ち断続的に発生させたプラズマで分解して成膜するプラズマＣＶＤ法、炭素又は炭化水素イオンを用いるイオンビーム蒸着法、プラズマイオン注入法等があるが、特にプラズマイオン注入法により得られた硬質炭素被膜が、樹脂表面と硬質炭素被膜との間に、つなぎの役割を果たす傾斜組織層が形成され、樹脂に対して優れた密着性を有し、特に好ましい。
【００３５】
以下、図８を参照してプラズマイオン注入法による硬質炭素被膜の形成プロセスの一例を説明する。
【００３６】
まず、真空装置９１の中に、表面に硬質炭素被膜を形成しようとする被加工物である樹脂歯を備えた歯車Ｗを配置する。
【００３７】
第１ステージでは、真空装置９１の排気口９６に接続された図示しない排気ポンプにより、真空装置９１の内部を排気する。
【００３８】
次に、ガス供給口９５からアルゴンとメタンの混合ガスを導入し、電源装置９８から電極９２と電極９３との間に−５ｋＶ〜−１０ｋＶ程度の第１段階のパルス状電圧を供給して混合ガスをプラズマ状態とし、歯車Ｗの樹脂歯表面のスパッタ処理をしてクリーニングを行う。
【００３９】
第２ステージでは、電極９２と電極９３との間に−１５ｋＶ〜−３５ｋＶ程度の第２段階のパルス状電圧を供給してメタンガスをプラズマ状態とし、メタンガスプラズマによるイオン注入を行い、厚みが０．１μｍ程度のカーボンミキシング傾斜層を形成する。
【００４０】
第３ステージでは、第２ステージと同じ第２段階のパルス状電圧を使用して、先に注入したカーボン単原子とアセチレンガスに代表される直鎖状炭化水素とバインディングを行う。
【００４１】
第４ステージは、硬質炭素被膜の成膜ステージであり、ここではイオン加速電圧を−２ｋＶ〜−５ｋＶ程度に低くすると共に、プラズマガス圧を高く、０．５〜２．０Ｐａ（パスカル）程度とし、パルス繰り返し数を２０００〜１００００パルス／秒程度にまで可能な限り高くして、高い成膜速度を得るようにした。
【００４２】
更に、必要に応じて、窒素やカーボン等のイオン注入やアルゴンによる表面処理を行う最終ステージを実行する。
【００４３】
硬質炭素被膜の膜厚は０．５〜１０μｍ、好ましくは１〜５μｍが望ましい。
さらに、硬質炭素被膜の成膜時間やガス圧のコントロール等の点からは、膜厚を１〜３μｍとすることが望ましい。膜厚が０．５μｍより薄い場合は、部分的に樹脂表面が露出し、グリースに対する濡れ性の改善が不十分となって好ましくない。一方、膜厚が１０μｍより厚くなると、硬質炭素被膜の内部応力が増大して自己破壊が発生しやすくなり、結果的にグリースに対する濡れ性の改善効果が長続きせず、好ましくない。
【００４４】
次に、グリースについて説明する。この発明に使用されるグリースは、鉱物油、ポリαオレフィン油、アルキルポリフェニルエーテル等の炭化水素系化合物を基油とし、アミンとイソシアネートからなるウレア化合物、Ｌｉ石けん、Ｌｉコンプレックス石けん、Ｂａ石けん、Ｂａコンプレックス石けん等を増ちょう剤として用いることができる。
【００４５】
これ等の炭化水素系化合物の基油は、通常のポリアミドなどの比較的極性の高い樹脂に対して濡れ性が良くなく、樹脂表面での油膜安定性があまり高くない。
そのため、長期間の使用により油膜切れが徐々に発生するようになり、ウォームホイールの樹脂製の歯部分の摩耗が進行し、それによりバックラッシュが大きくなって電動パワーステアリング装置の機能低下の原因の一つとされてきた。
【００４６】
これに対し、ウォームホイールの樹脂製の歯部分の表面に硬質炭素被膜を形成することにより、歯部分の最も外側の表面に炭素（Ｃ）と水素（Ｈ）のみで構成される極性の低い緻密な膜が存在し、この膜の存在により比較的極性の低いグリースの基油の濡れ性が大幅に改善され、歯部分に安定した油膜が形成されるので、長期間の使用によってもウォームホイールの樹脂製の歯部分の摩耗が少なく、バックラッシュの発生が少なく、耐久性と信頼性に優れた電動パワーステアリング装置とすることができる。
【００４７】
さらに、このグリースには、脂肪酸などの油性剤や、アミン系やフェノール系などの酸化防止剤、Ｃａスルホネートなどの防錆剤、ＭｏＤＴＣなどの極圧添加剤などを添加したものであってもよい。
【００４８】
次に、ウォームホイール試験体の製作、濡れ性の測定、及び耐久性の評価について説明する。
【００４９】
（１）ウォームホイール試験体の製作
外径４５ｍｍ、幅１３ｍｍ、材料記号Ｓ４５Ｃのスチール製の芯金の外周面にクロスローレット加工を施す。表面を脱脂処理した芯金を、スプール及びディスクゲートを装着した金型に配置し、射出成形機を用いて樹脂材料ＰＡ６６ＧＦ３０％（宇部興産（株）製ＵＢＥナイロン２０２０ＧＵ６）を充填して外径６０ｍｍ、幅１３ｍｍのウォームホイールブランク材を作成し、樹脂部の外周面に歯形を切削加工により形成して、ウォームホイール試験体とする。
【００５０】
（２）硬質炭素被膜を形成
（株）栗田製作所製の３Ｄプラズマパック表面処理装置を使用して、ウォームホイール試験体の樹脂部及びスチール製の芯金の外周面に膜厚１．５μｍの硬質炭素被膜を形成した。硬質炭素被膜の形成前に、窒素によるプラズマイオンスパッタクリーニング、その次にプラズマによるカーボンイオン注入を行ない、樹脂材料と硬質炭素被膜との間に、剥離強度を向上させるため膜厚０．１μｍのカーボンミキシング傾斜層を形成した。
【００５１】
（３）グリース基油での濡れ性の測定
ウォームホイールの樹脂部で使用しているものと同じ樹脂材料ＰＡ６６ＧＦ３０％（宇部興産（株）製ＵＢＥナイロン２０２０ＧＵ６）で、直径３０ｍｍの円板試験片を射出成形機を用いて成形し、この試験片の表面に前記ウォームホイール試験体と同じ膜厚１．５μｍの硬質炭素被膜を形成したもの（実施例）、硬質炭素被膜を形成してないもの（比較例１）、膜厚０．２μｍの硬質炭素被膜を形成したもの（比較例２）、膜厚２０μｍの硬質炭素被膜を形成したもの（比較例３）を準備し、グリースの基油として使用しているポリαオレフィン油（１００℃で８ｍｍ２  ／ｓ）を１滴たらして３秒後の動的接触角を測定した。測定装置はＧＢＸ社製ＤＩＧＩＤＲＯＰを使用し、室温で測定した。
【００５２】
図９のＡ欄は３秒後の接触角の測定結果を示すもので、実施例（硬質炭素被膜を形成したもの）、比較例２、及び比較例３では、基油の接触角が比較例１に比較して小さく、濡れ性に優れていることが分かる。膜厚が薄い比較例２は、膜厚が厚い実施例（硬質炭素被膜を形成したもの）や比較例３に比較して基油の接触角が若干大きく、濡れ性の改善効果が小さいことが分かる。
【００５３】
（４）耐久性の評価
ウォーム歯車機構のケースの内部空間に、ポリαオレフィン油（１００℃で８ｍｍ２  ／ｓ）を基油とし、ジウレア化合物を増ちょう剤とするベースグリース（増ちょう剤量：１３重量％）に、更に酸化防止剤を処方したグリースを充填して耐久性を評価した。なお、グリースには酸化防止剤として、４，４′−ジオクチルジフェニルアミンを２重量％、防錆剤として中性カルシウムスルホネートを０．５重量％添加した。
【００５４】
ウォームホイール試験体としては、上記実施例のほか、硬質炭素被膜を形成してないもの（比較例１）、膜厚０．２μｍの硬質炭素被膜を形成したもの（比較例２）、膜厚２０μｍの硬質炭素被膜を形成したもの（比較例３）を準備して、耐久性試験を実施した。
【００５５】
耐久性試験は、雰囲気温度を８０℃に制御して１０万回の操舵を行い、ウォームホイールの摩耗が初期状態から４０μｍ以下を合格とし、１万回毎に摩耗量の測定と硬質炭素被膜の外観観察を行った。
【００５６】
図９のＢ欄は耐久性試験の結果を示すもので、実施例（膜厚１．５μｍの硬質炭素被膜を有する）は、グリース基油である低極性のポリαオレフィン油に対する濡れ性が良く、安定した油膜が形成されて摩耗は殆ど発生しなかった。
【００５７】
それに対し、比較例１（硬質炭素被膜を形成してないもの）は濡れ性が良くなく徐々に摩耗が進行し、２万回の操舵で摩耗量が許容限界値４０μｍを越えてしまった。
【００５８】
また、比較例２（膜厚０．２μｍの硬質炭素被膜を有する）は、比較例１に比較して濡れ性が改善され、摩耗の発生は少なかったが、膜厚が薄すぎるために改善効果が安定せず、４万回の操舵で摩耗量が許容限界値４０μｍを越えてしまった。
【００５９】
比較例３（膜厚０．２μｍの硬質炭素被膜を有する）は、改善効果は十分であったが、膜厚が厚すぎて内部応力が高くなり、１万回の操舵で被膜に亀裂が発生してしまった。
【００６０】
以上、説明した実施の形態は、この発明をコラム式の電動パワーステアリング装置のウォーム歯車減速機構に適用した例であるが、この発明はコラム式の電動パワーステアリング装置のウォーム歯車減速機構への適用に限られるものではなく、その他の電動パワーステアリング装置の各種の歯車減速機構にも適用できることは言うまでもない。また、その他の一般の歯車機構において、一方が樹脂歯を備えた歯車、他方が金属製歯車からなる歯車機構にも適用できることは言うまでもない。
【００６１】
【発明の効果】
以上説明したとおり、この発明は、電動モータによる補助動力を歯車減速機構を介して車両のステアリング機構に伝達するように構成され、前記歯車減速機構の従動歯車は外周面に樹脂歯を有し、前記歯車減速機構の駆動歯車と従動歯車の間にグリースが介在する電動パワーステアリング装置において、少なくとも前記従動歯車の樹脂歯の表面に硬質炭素被膜を形成したものである。
【００６２】
樹脂歯の表面に硬質炭素被膜を形成することにより、鉱物油、ポリαオレフィン油、アルキルポリフェニルエーテル等の比較的極性の低い油に対する濡れ性が改善され、それ等の材料を基油とするグリースを、金属製ウォームと樹脂歯を備えたウォームホイールとの間を充填することにより、表面に硬質炭素被膜を備えた樹脂歯への付着性、歯車間の潤滑性が向上し、従来よりも長寿命で信頼性の高い電動パワーステアリング装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を実施するに適した電動パワーステアリング装置の構成の一例を説明する正面図。
【図２】図２に示す電動パワーステアリング装置のウォーム歯車減速機構の構成を示す部分断面図。
【図３】ウォーム歯車減速機構のウォームホイールの構成を示す斜視図。
【図４】平歯車減速機構の構成を示す斜視図。
【図５】はすば歯車減速機構の構成を示す斜視図。
【図６】かさ歯車減速機構の構成を示す斜視図。
【図７】ハイポイドギア減速機構の構成を示す斜視図。
【図８】プラズマイオン注入法による硬質炭素被膜の形成に使用される真空装置の構成の一例を説明する図。
【図９】ウォームホイール試験体の製作、濡れ性の測定、及び耐久性の評価結果を示す図。
【符号の説明】
１０  電動パワーステアリング装置
１１  舵輪軸
１１ａ  上部舵輪軸
１１ｂ  下部舵輪軸
１２  舵輪軸ハウジング
１３  電動モータ
１３ａ  駆動軸
２０  ラック・ピニオン式運動変換機構
２１  ラック軸
２２  ピニオン軸
２３  ラック軸ケース
２５、２６  自在継手
３０  ウォーム歯車減速機構
３１  ウォームホイール
３２  ウォーム
３２ａ、３２ｂ  ウォーム軸
３３  ギアケース
３４ａ、３４ｂ  玉軸受
４２  ハブ（芯金）
４３  樹脂部
４４  ギア歯
５０  平歯車減速機構
６０  はすば歯車減速機構
７０  かさ歯車減速機構
８０  ハイポイドギア減速機構
５１、６１、７１、８１  歯車
５２、６２、７２、８２  芯金
５３、６３、７３、８３  樹脂部
５４、６４、７４、８４  ギア歯
５５、６５、７５、８５  歯車
９１  真空装置
９２、９３  電極
９５  ガス供給口
９６  排気口
９８  電源装置
【図１】
2004155245.tif 000003
【図２】
2004155245.tif 000004
【図３】
2004155245.tif 000005
【図４】
2004155245.tif 000006
【図５】
2004155245.tif 000007
【図６】
2004155245.tif 000008
【図７】
2004155245.tif 000009
【図８】
2004155245.tif 000010
【図９】
2004155245.tif 000011