(57)【要約】【課題】小形化された圧電振動フィルタであっても電気的調整が行いやすく、品質の安定した圧電振動フィルタを得る。【解決手段】圧電振動板１０の一方の主面に入力電極、出力電極を所定のギャップ１３を在して形成され、他方の主面に共通電極１４が形成されてなり、当該共通電極の上面に形成される周波数調整するための重み付加部１５が施された圧電振動フィルタであって、前記重み付加部は、前記共通電極より小さく形成され、第１の共振領域部１５１と、第２の共振領域部１５２と、当該第１の共振領域と第２の共振領域間のギャップ領域に形成されるギャップ領域部１５３とを具備しており、前記重み付加部または重み軽減部は、前記第１の共振領域部と前記第２の共振領域部に対して、前記ギャップ領域部が少なく形成されている。【選択図】　図２
2004032267.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動板の一方の主面に入力電極、出力電極を所定のギャップを在して形成され、他方の主面に前記入力電極、出力電極、ギャップにそれぞれ対応する共通電極が形成されてなり、当該共通電極の上面に形成される周波数調整するための重み付加部または重み軽減部が施された圧電振動フィルタであって、
前記重み付加部または重み軽減部は、前記共通電極より小さく形成され、前記入力電極と当該入力電極に対応する共通電極からなる共振領域に形成される第１の共振領域部と、前記出力電極と当該出力電極に対応する共通電極からなる共振領域に形成される第２の共振領域部と、当該第１の共振領域と第２の共振領域間のギャップ領域に形成されるギャップ領域部とを具備しており、
前記重み付加部または重み軽減部は、前記第１の共振領域部と前記第２の共振領域部に対して、前記ギャップ領域部が少なく形成されてなることを特徴とする圧電振動フィルタ。
【請求項２】
前記重み付加部または重み軽減部が、前記第１の共振領域部と前記第２の共振領域部に対する面積が大きく、前記ギャップ領域部に対する面積が小さく形成されてなることを特徴とする特許請求項１記載の圧電振動フィルタ。
【請求項３】
前記ギャップ領域部は、前記重み付加部または重み軽減部の重心近傍にのみ形成され、前記第１の共振領域部と前記第２の共振領域部に対する面積より小さく形成されてなることを特徴とする特許請求項２記載の圧電振動フィルタ。
【請求項４】
前記重み付加部または重み軽減部が、前記第１の共振領域部と前記第２の共振領域部に対する厚みまたは深さが大きく、前記ギャップ領域部に対する厚みまたは深さが小さく形成されてなることを特徴とする特許請求項１〜３いずれか１項記載の圧電振動フィルタ。
【請求項５】
前記第１の共振領域部と前記第２の共振領域部の外周近傍には、重み付加または重み軽減の施されない切り欠き部が形成されてなることを特徴とする特許請求項１〜４いずれか１項記載の圧電振動フィルタ。
【請求項６】
圧電振動板の一方の主面に入力電極、出力電極を所定のギャップを在して形成され、他方の主面に前記入力電極、出力電極にそれぞれ対応する共通電極が形成されてなり、
前記入力電極と当該入力電極に対応する共通電極からなる第１の共振領域用と、前記出力電極と当該出力電極に対応する共通電極からなる第２の共振領域用と、当該第１の共振領域と第２の共振領域間のギャップ領域用の透過窓を有するマスク治具を用い、前記第１の共振領域と前記第２の共振領域、および前記ギャップ領域の周波数を調整し、前記圧電振動フィルタの中心周波数を調整してなる圧電振動フィルタの周波数調整方法であって、
前記第１の共振領域、および前記第２の共振領域に対して、前記ギャップ領域の調整量を少なくした状態で、前記圧電振動フィルタの中心周波数を調整してなることを特徴とする圧電振動フィルタの周波数調整方法。
【請求項７】
前記第１の共振領域、前記第２の共振領域に対して、前記ギャップ領域が、前記透過窓の重心付近で幅狭く露出された形状を有するマスク治具を用い、調整してなることを特徴とする特許請求項６記載の圧電振動フィルタの周波数調整方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は水晶板等を用いた圧電振動フィルタに関するものであり、特に周波数等の電気的特性を微調整するにあたり、信頼性を向上させたモノリシック圧電振動フィルタの周波数調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
水晶板等を用いたモノリシック圧電振動フィルタは、例えばハンディタイプの小型通信機器等の周波数選択手段として用いられている。従来のモノリシック圧電振動フィルタの一般的な構成を図とともに説明する。図１３はモノリシック圧電振動フィルタの側面図で、図１４は同平面図、図１５はモノリシック圧電振動フィルタの電気的特性を調整する工程図である。
【０００３】
圧電振動板９０の裏面には入力電極９１出力電極９２がギャップ９３を介して並列に形成されており、表面にはこれら入出力電極の領域に対応して若干大きな面積で共通電極９４が形成されている。これら電極膜はクロムを下地金属とし、その上部に銀を蒸着した構成が用いられている。
【０００４】
一般的に、モノリシック圧電振動フィルタの電気的特性を調整するための動作として、上記励振電極（入出力電極、共通電極）の上面に、重み付加部または重み軽減部が施され、「Ｆ１，Ｆ２のバランス調整手段」「ΔＦ調整手段」「Ｆ０調整手段」の順番で３工程が実施される。これらの調整は、前記圧電振動フィルタの特性に応じて選択的に実施され、調整の必要がない場合には調整手段の一部が省略される。なお、重み付加部は、上記励振電極の上面に、パーシャル蒸着などの手法により、付加質量（銀などの金属材料）を形成することで得られるものであり、付加質量が金属材料の場合、前記励振電極と区別して、パーシャル電極、２次電極、あるいは調整電極等と称される。また、重み軽減部は、上記励振電極の上面の一部を、イオンビーム等の手法により、除去する（凹部、溝、穴等を形成）ことで得られるものである。
【０００５】
「Ｆ１，Ｆ２のバランス調整手段」は、前記入力電極９１と前記共通電極９４からなる第１の共振領域Ｆ１と、前記出力電極９２と前記共通電極９４からなる第２の共振領域Ｆ２とがあり、前記Ｆ１とＦ２の各領域における周波数の合わせ込みを行う工程である。つまり、入力電極と共通電極との間における周波数特性と、出力電極と共通電極との間における周波数特性とを一致させる（Ｆ１＝Ｆ２）工程である。具体的には、図１５（ａ）に示すように、共振領域Ｆ１、共振領域Ｆ２のいずれかのみが露出される窓を有するマスク治具Ｍ１を用い、適宜所定量の金属材料（例えば銀）をパーシャル蒸着したり（重み付加）、前記電極の一部をイオンビーム等により除去する（重み軽減）ことにより、前記Ｆ１とＦ２の各領域における周波数の合わせ込みを行う。
【０００６】
「ΔＦ調整手段」は、フィルタの通過帯域幅の調整を行うものであって、ｆｓモード（厚みすべりの対称波、あるいは（１，１，１）モード）とｆａモード（厚みねじれの非対称波、あるいは（１，１，２）モード）の帯域を広げたり狭めたりする工程である。
【０００７】
具体的には、図１５（ｂ）に示すように、パーシャル蒸着による場合、入出力電極間のギャップ領域９３のみが露出される窓を有するマスク治具Ｍ２を用い、適宜所定量の金属材料（例えば銀）をパーシャル蒸着することにより、帯域を広げることができる。逆に、イオンビームによる場合、入出力電極間のギャップ領域９３のみが露出される窓を有するマスク治具Ｍ２を用い、共通電極の一部を除去することにより帯域を狭めることができる。
【０００８】
また、図１５（ｃ）に示すように、パーシャル蒸着による場合、前記第１の共振領域Ｆ１と、前記第２の共振領域Ｆ２のみが露出される窓を有するマスク治具Ｍ３を用い、適宜所定量の金属材料（例えば銀）をパーシャル蒸着することにより、帯域を狭めることができる。逆に、イオンビームによる場合、前記第１の共振領域Ｆ１と、前記第２の共振領域Ｆ２のみが露出される窓を有するマスク治具Ｍ３を用い、共通電極の一部を除去することにより帯域を広げることができる。
【０００９】
「Ｆ０調整」は、ＭＣＦの中心周波数の合わせ込みを行う工程であって、各電極およびギャップのそれぞれに調整電極を付加、または前記電極を除去することにより中心周波数の調整を行うものである。具体的には、図１５（ｄ）に示すように、前記第１の共振領域Ｆ１と、前記第２の共振領域Ｆ２と、入出力電極間のギャップ領域９３の全てが露出される窓を有するマスク治具Ｍ４を用い、適宜所定量の金属材料（例えば銀）をパーシャル蒸着したり、前記電極をイオンビーム等により除去することにより、中心周波数の調整を行うものである。
【００１０】
なお、前記Ｆ０調整（中心周波数の調整）では、図１３に示すように、ｆｓモードとｆａモードの帯域幅が変化しないように、つまりｆｓモード周波数域とｆａモードの周波数域とが同様にシフトさせる必要がある。この場合、ｆｓモードの振動変位領域とｆａモードの振動変位領域が均一に調整電極が付加（あるいは電極が除去）されるように、Ｆ０調整用マスクは、前記入出力電極形成エリアより大きな全面マスクとしていた。さらに、調整電極を付加（あるいは電極を除去）する共通電極についても、Ｆ０調整用マスクのずれ込み等を考慮し、このＦ０調整用マスクより大きく形成する必要があった。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、近年の電子部品の軽薄短小化の要求から、圧電振動フィルタも小形化され、前記入出力電極、共通電極の形成エリアも制限されてくるので、前記入出力電極と共通電極の形成エリアもほぼ同面積とする構成のものが求められている。これらの構成では、前述のような全面のＦ０調整用マスクを用いると、ｆｓモードのシフト量がｆａモードシフト量より大きくなり、結果として帯域が広がりやすくなったり、（１，３，１）モードと称される第１スプリアスが発生しやすくなり、保証減衰量特性に悪影響を与えるといった問題点があった。従来ではこれらの問題のために帯域幅の調整を再度実施する必要があり、工程の増大と効率の低下を招いていた。
【００１２】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、小形化された圧電振動フィルタであっても電気的調整が行いやすく、品質の安定した圧電振動フィルタを得るための圧電振動フィルタ、およびその周波数調整方法を提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、本発明の圧電振動フィルタは、圧電振動板の一方の主面に入力電極、出力電極を所定のギャップを在して形成され、他方の主面に前記入力電極、出力電極、ギャップにそれぞれ対応する共通電極が形成されてなり、当該共通電極の上面に形成される周波数調整するための重み付加部または重み軽減部が施された圧電振動フィルタであって、前記重み付加部または重み軽減部は、前記共通電極より小さく形成され、前記入力電極と当該入力電極に対応する共通電極からなる共振領域に形成される第１の共振領域部と、前記出力電極と当該出力電極に対応する共通電極からなる共振領域に形成される第２の共振領域部と、当該第１の共振領域と第２の共振領域間のギャップ領域に形成されるギャップ領域部とを具備しており、前記重み付加部または重み軽減部は、前記第１の共振領域部と前記第２の共振領域部に対して、前記ギャップ領域部が少なく形成されている。
【００１４】
また、ギャップ領域部を少なく形成する一つの構成として、前記重み付加部または重み軽減部が、前記第１の共振領域部と前記第２の共振領域部に対する面積が大きく、前記ギャップ領域部に対する面積が小さく形成されている。
【００１５】
そして、前記ギャップ領域部は、前記重み付加部または重み軽減部の重心近傍にのみ形成され、前記第１の共振領域部と前記第２の共振領域部に対する面積より小さく形成してもよい。
【００１６】
また、ギャップ領域部を少なく形成するもう一つの構成として、前記重み付加部または重み軽減部が、前記第１の共振領域部と前記第２の共振領域部に対する厚みまたは深さが大きく、前記ギャップ領域部に対する厚みまたは深さが小さく形成されている。
【００１７】
また、前記第１の共振領域部と前記第２の共振領域部の外周近傍には、重み付加または重み軽減の施されない切り欠き部が形成されている。
【００１８】
また、上記圧電振動フィルタを得るための調整方法として、圧電振動板の一方の主面に入力電極、出力電極を所定のギャップを在して形成され、他方の主面に前記入力電極、出力電極にそれぞれ対応する共通電極が形成されてなり、前記入力電極と当該入力電極に対応する共通電極からなる第１の共振領域用と、前記出力電極と当該出力電極に対応する共通電極からなる第２の共振領域用と、当該第１の共振領域と第２の共振領域間のギャップ領域用の透過窓を有するマスク治具を用い、前記第１の共振領域と前記第２の共振領域、および前記ギャップ領域の周波数を調整し、前記圧電振動フィルタの中心周波数を調整してなる圧電振動フィルタの周波数調整方法であって、前記第１の共振領域、および前記第２の共振領域に対して、前記ギャップ領域の調整量を少なくした状態で、前記圧電振動フィルタの中心周波数を調整してなることを特徴とする。
【００１９】
また、ギャップ領域を少なくした状態で中心周波数を調整する一つの方法として、前記第１の共振領域、前記第２の共振領域に対して、前記ギャップ領域が、前記透過窓の重心付近で幅狭く露出された形状を有するマスク治具を用い、調整している。
【００２０】
【発明の効果】
請求項１〜５によれば、重み付加部または重み軽減部は、前記第１の共振領域部と第２の共振領域部に対して、前記ギャップ領域部が少なく形成されているので、（１，３，１）モードと称される第１スプリアスも発生しにくくなり、保証減衰量特性に悪影響を与えることがない。従って、品質の安定した圧電振動フィルタが得られる。
【００２１】
請求項３によれば、上述の作用効果に加えて、前記ギャップ領域部は、前記重み付加部または重み軽減部の重心近傍にのみ形成されているので、圧電振動板の主面に沿う捻れ方向の振動が励起されにくくなる。従って、２次モードのスプリアスが発生しにくくなるので、より品質の安定した圧電振動フィルタが得られる。
【００２２】
請求項５によれば、上述の作用効果に加えて、前記第１の共振領域部と前記第２の共振領域部の外周近傍には、重み付加または重み軽減の施されない切り欠き部が形成されているので、（１，３，１）モード、あるいは（１，１，３）モードと称されるスプリアス振動が励起されにくくなるので、より品質の安定した圧電振動フィルタが得られる。
【００２３】
請求項６によれば、第１の共振領域、および前記第２の共振領域に対して、前記ギャップ領域の調整量を少なくした状態で、前記圧電振動デバイスの中心周波数調整（Ｆ０調整）しているので、ｆｓモードのシフト量がｆａモードシフト量より小さくなり、前記入出力電極の形成領域より小さい領域でのＦ０調整が可能となる。つまり、前記入出力電極の形成領域より小さい領域でＦ０調整してもｆｓモードのシフト量とｆａモードシフト量が同一程度になり、帯域幅が変化しにくくなる。また、前記ギャップ領域での調整量が少ないので、（１，３，１）モードと称される第１スプリアスも発生しにくくなり、保証減衰量特性に悪影響を与えることがない。従って、小形化された圧電振動フィルタであっても電気的調整が行いやすく、品質の安定した圧電振動フィルタが得られる。
【００２４】
請求項７によれば、上述の作用効果に加えて、前記第１の共振領域、前記第２の共振領域に対して、前記ギャップ領域が、前記透過窓の重心付近で幅狭く露出された形状を有するマスク治具を用いて調整することにより、ギャップ領域の端部で調整が実現されないので、圧電振動板の主面に沿う捻れ方向の振動が励起されにくくなる。従って、２次モードのスプリアスが発生しにくくなるので、より品質の安定した圧電振動フィルタが得られる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施例につき、モノリシック水晶フィルタを例にとり、図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施例を示す水晶板の側面図、図２は同裏面の平面図、図３は本発明の第１の実施例を示すマスク治具と水晶板の斜視図である。
【００２６】
水晶板（圧電振動板）１０はＡＴカット水晶板であり、矩形に加工されている。裏面には真空蒸着、スパッタリング等の公知のＰＶＤ（ＰＨＹＳＩＣＡＬ　ＶＡＰＯＲ　ＤＥＰＯＳＩＴＩＯＮ）法により、入力電極１１、出力電極１２がギャップ１３を介して並列に近接して設けられ、それぞれの電極から水晶板１０の端面に引出電極が引き出されている。表面には前記入出力電極形成エリアに対応してほぼ同面積で共通電極１４が設けられ、それぞれの電極から水晶板の端面に引出電極１４ａが引き出されている。なお、これら各電極に用いられる電極材料は、例えば下地金属がクロム、上部金属が銀の例を挙げることができるが、もちろん金、アルミニウム、ニッケル等他の公知の電極構成を用いてもよい。
【００２７】
以上のように構成された上記水晶板１０は、前記入力電極１１と前記共通電極１４からなる第１の共振領域（Ｆ１）と、前記出力電極１２と前記共通電極１４からなる第２の共振領域（Ｆ２）と、当該第１の共振領域と第２の共振領域間のギャップ領域１３のうち１カ所以上を露出してなるマスク治具を用い、電気的特性を調整するための動作として、「Ｆ１，Ｆ２のバランス調整手段」「ΔＦ調整手段」「Ｆ０調整手段」の順番で３工程が実施されるが、前記水晶板の特性に応じて選択的に実施される。
【００２８】
そして、本発明の実施例における「Ｆ０調整手段」では、前記第１の共振領域Ｆ１、および前記第２の共振領域Ｆ２に対して、前記ギャップ領域１３の調整量を少なくした状態で実現している。図３に示すように、前記第１の共振領域用の窓Ｍ４１１、前記第２の共振領域用の窓Ｍ４１２に対して、前記ギャップ領域用の窓Ｍ４１３が、重心付近で幅狭く露出された、略Ｈ形状のマスク窓を有するマスク治具Ｍ４１を用い、適宜所定量の金属材料（例えば銀）をパーシャル蒸着することにより、中心周波数の調整を行い、図１、図２に示すようなの略Ｈ形状のパーシャル電極１５（重み付加部）が形成される。つまり、前記パーシャル電極のうち、１５１は第１の共振領域部、１５２は第２の共振領域部、１５３はギャップ領域部をそれぞれ示しており、第１の共振領域部１５１と第２の共振領域部１５２に対する面積が大きく、ギャップ領域部１５３に対する面積が小さく形成されている。
【００２９】
従って、前記入出力電極の形成領域より小さい領域でのパーシャル蒸着によるＦ０調整が可能となり、前記ギャップ領域１３での蒸着量が少ない（前記パーシャル電極１５は、前記第１の共振領域部１５１と前記第２の共振領域部１５２に対して、前記ギャップ領域部１５３が少なく形成されている）ので、第１スプリアスも発生しにくくなり、保証減衰量特性に悪影響を与えることがない。さらに、前記ギャップ領域１３では重心付近でのみパーシャル蒸着されている（前記ギャップ領域部１５３は、前記パーシャル電極１５の重心近傍にのみ形成されている）ことにより、２次モードのスプリアスが発生しにくくなるので、より品質の安定した圧電振動フィルタが得られる。
【００３０】
次に、本発明の第２の実施例につき、モノリシック水晶フィルタを例にとり、図面を参照して説明する。図４は本発明の第２の実施例を示す水晶板の側面図、図５は同裏面の平面図、図６は本発明の第２の実施例を示すマスク治具の平面図である。
【００３１】
水晶板（圧電振動板）２０はＡＴカット水晶板であり、矩形に加工されている。表面には真空蒸着、スパッタリング等の公知のＰＶＤ（ＰＨＹＳＩＣＡＬ　ＶＡＰＯＲ　ＤＥＰＯＳＩＴＩＯＮ）法により、入力電極２１、出力電極２２がギャップ２３を介して並列に近接して設けられ、それぞれの電極から水晶板２０の端面に引出電極（図示せず）が引き出されている。裏面には前記入出力電極形成エリアに対応してほぼ同面積で共通電極２４が設けられ、それぞれの電極から水晶板の端面に引出電極２４ａが引き出されている。なお、これら各電極に用いられる電極材料は、例えば下地金属がクロム、上部金属が銀の例を挙げることができるが、もちろん金、アルミニウム、ニッケル等他の公知の電極構成を用いてもよい。
【００３２】
以上のように構成された上記水晶板２０は、前記入力電極２１と前記共通電極２４からなる第１の共振領域と、前記出力電極２２と前記共通電極２４からなる第２の共振領域と、当該第１の共振領域と第２の共振領域間のギャップ領域２３のうち１カ所以上を露出してなるマスク治具を用い、電気的特性を調整するための動作として、「Ｆ１，Ｆ２のバランス調整手段」「ΔＦ調整手段」「Ｆ０調整手段」の順番で３工程が実施されるが、前記水晶板の特性に応じて選択的に実施されてなる。
【００３３】
そして、本発明の実施例における「Ｆ０調整手段」では、前記第１の共振領域Ｆ１、および前記第２の共振領域Ｆ２に対して、前記ギャップ領域２３の調整量を少なくした状態で実現している。図６に示すように、前記第１の共振領域用の窓Ｍ４２１、前記第２の共振領域用の窓Ｍ４２２に対して、前記ギャップ領域用の窓Ｍ４２３が、重心付近で幅狭く露出された、略Ｈ形状のマスク窓を有するマスク治具Ｍ４２を用い、前記共通電極２４をイオンビームにてエッチングすることにより、中心周波数の調整を行い、図４、図５に示すようなの略Ｈ形状の凹部２５（重み軽減部）が形成される。つまり、前記凹部のうち、２５１は第１の共振領域部、２５２は第２の共振領域部、２５３はギャップ領域部をそれぞれ示しており、第１の共振領域部２５１と第２の共振領域部２５２に対する面積が大きく、ギャップ領域部２５３に対する面積が小さく形成されている。
【００３４】
従って、前記入出力電極の形成領域より小さい領域でのイオンビームによるエッチングによるＦ０調整が可能となり、前記ギャップ領域２４でのエッチングが少ない（前記凹部２５は、前記第１の共振領域部２５１と前記第２の共振領域部２５２に対して、前記ギャップ領域部２５３が少なく形成されている）ので、第１スプリアスも発生しにくくなり、保証減衰量特性に悪影響を与えることがない。さらに、前記ギャップ領域２４では重心付近でのみイオンビームエッチングされている（前記ギャップ領域部２５３は、前記凹部２５の重心近傍にのみ形成されている）ことにより、２次モードのスプリアスが発生しにくくなるので、より品質の安定した圧電振動フィルタが得られる。なお、イオンビームによるエッチング調整する場合、前記マスク窓を前記共通電極の形成エリアより、若干前大きく形成することもできる。
【００３５】
次に、本発明の第３の実施例につき、モノリシック水晶フィルタを例にとり、図面を参照して説明する。図７は本発明の第３の実施例を示す水晶板の裏面側平面図である。基本構成については上記第１、第２の実施例と同様なので、同番号付すとともに変更点を中心にして説明する。
【００３６】
図７（ａ）では、前記パーシャル電極１５（重み付加部）のうち、前記第１の共振領域部１５１と前記第２の共振領域部１５２が対向する方向の離隔部分の中央に、重み付加が施されない切り欠き部１５１１、１５２１が形成されている。
【００３７】
図７（ｂ）では、前記パーシャル電極１５（重み付加部）のうち、前記第１の共振領域部１５１と前記第２の共振領域部１５２が対向する方向に直交する方向であり前記各共振領域の両端部分に、重み付加が施されない切り欠き部１５１２、１５１３、１５２２、１５２３が形成されている。
【００３８】
図７（ｃ）では、前記電極の凹部２５（重み軽減部）のうち、前記第１の共振領域部２５１と前記第２の共振領域部２５２が対向する方向の離隔部分の中央に、重み軽減が施されない切り欠き部２５１１、２５２１が形成されている。
【００３９】
図７（ｄ）では、前記電極の凹部２５（重み軽減部）のうち、前記第１の共振領域部２５１と前記第２の共振領域部２５２が対向する方向に直交する方向であり前記各共振領域の両端部分に、重み軽減が施されない切り欠き部２５１２、２５１３、２５２２、２５２３が形成されている。
【００４０】
そして、図７（ａ）（ｃ）では、（１，１，３）モードが最も効率的に抑制される部分であり、図７（ｂ）（ｄ）では、（１，３，１）モードが最も効率的に抑制されやすい部分である。また、前記図７（ａ）と図７（ｂ）、図７（ｃ）と図７（ｄ）についてはそれぞれ組み合わせて形成することが可能である。
【００４１】
また、図７（ｅ）、図７（ｆ）に示すように、重み付加部、あるいは重み軽減部をそれぞれ独立させて形成してもよい。図７（ｅ）は、図７（ａ）、図７（ｃ）と同様の効果を有し、図７（ｆ）は、図７（ｂ）、図７（ｄ）と同様の効果を有する。
【００４２】
なお、上記第１〜第３の実施例以外に、前記第１の共振領域（Ｆ１）、および前記第２の共振領域（Ｆ２）に対して、前記ギャップ領域１３の調整量を少なくするために、重心付近で幅狭く露出された窓を有するマスク治具として、図８に示すようなものであってもよい。
【００４３】
次に、本発明の第４の実施例につき、モノリシック水晶フィルタを例にとり、図面を参照して説明する。図９は本発明の第３の実施例を示す水晶板の側面図、図１０は同裏面の平面図である。基本構成については上記第１の実施例と同様なので、同番号付すとともに変更点を中心にして説明する。
【００４４】
上記第１の実施例では、前記パーシャル電極１５（重み付加部）のうち、第１の共振領域部１５１と第２の共振領域部１５２に対する面積が大きく、ギャップ領域部１５３に対する面積が小さく形成することで、ギャップ領域部１５３を少なく形成させている。これに対して、第３の実施例では、前記パーシャル電極１６（重み付加部）のうち、前記第１の共振領域部１６１と前記第２の共振領域部１６２に対する厚みが大きく、前記ギャップ領域部１６３に対する厚みが小さく形成することで前記第１の実施形態と同様の効果を奏している。これらの構成を得るための方法としては、前記第１の共振領域と前記第２の共振領域とギャップ領域の全体を露出させる窓を有するマスク治具にて蒸着し、その後、前記第１の共振領域と前記第２の共振領域のみを露出させる窓を有するマスク治具に蒸着することで容易に実現できる。
【００４５】
次に、本発明の第５の実施例につき、モノリシック水晶フィルタを例にとり、図面を参照して説明する。図１１は本発明の第３の実施例を示す水晶板の側面図、図１２は同裏面の平面図である。基本構成については上記第２の実施例と同様なので、同番号付すとともに変更点を中心にして説明する。
【００４６】
上記第２の実施例では、前記電極の凹部２５（重み軽減部）のうち、第１の共振領域部２５１と第２の共振領域部２５２に対する面積が大きく、ギャップ領域部２５３に対する面積が小さく形成することで、ギャップ領域部２５３を少なく形成させている。これに対して、第４の実施例では、前記電極の凹部２６（重み軽減部）のうち、前記第１の共振領域部２６１と前記第２の共振領域部２６２に対する深さが大きく、前記ギャップ領域部２６３に対する深さが小さく形成することで前記第２の実施形態と同様の効果を奏している。これらの構成を得るための方法としては、前記第１の共振領域と前記第２の共振領域とギャップ領域の全体を露出させる窓を有するマスク治具にてイオンビームエッチングし、その後、前記第１の共振領域と前記第２の共振領域のみを露出させる窓を有するマスク治具にイオンビームエッチングすることで容易に実現できる。
【００４７】
なお、上記実施例では、圧電振動板として水晶板を取り上げたが、圧電セラミックス、あるいはタンタル酸リチウム等の圧電単結晶材料を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施例を示す側面図。
【図２】図１の裏面側平面図。
【図３】第１の実施例を示すマスク治具と水晶板の斜視図。
【図４】第２の実施例を示す水晶板の側面図。
【図５】図４の裏面側平面図。
【図６】第２の実施例を示すマスク治具の平面図。
【図７】第３の実施例を示す水晶板の裏面側平面図。
【図８】マスク治具の変形例を示す水晶板の平面図。
【図９】第４の実施例を示す水晶板の側面図。
【図１０】図９の裏面側平面図。
【図１１】第５の実施例を示す水晶板の側面図。
【図１２】図１１の裏面側平面図。
【図１３】従来のモノリシック圧電振動フィルタの側面図。
【図１４】図１３の裏面側平面図。
【図１５】モノリシック圧電振動フィルタの電気的特性を調整する工程図。
【符号の説明】
１０，２０，９０　水晶板
１１，２１，９１　入力電極
１２，２２，９２　出力電極
１４，２４，９４　共通電極
１３，２４，９３　ギャップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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