(57)【要約】【課題】インクジェット記録ヘッドの液滴吐出アクチュエータにおいて、耐インク性を有する有機接液膜を均一に吐出室基板表面に製膜し、残留応力の低い膜を製膜する製造方法により、高信頼性の吐出ヘッドを提供することを目的する。【解決手段】ノズル各孔４に連通する複数の独立圧力室６と、該圧力室の一方の壁に、電気的に変形する振動板５と、振動板駆動手段３０と、吐出室にインクを供給するインクキャビティ８とを有し、駆動手段にパルスを印加して、振動板により吐出室の圧力を上昇させ、ノズル孔よりインクを記録体に吐出するアクチュエータにおいて、液体に圧力を加えるための圧力室の基板の表面と、圧力室を形成する振動板の表面に、親インク性微粒子が耐インク性の有機膜に分散された複合薄膜を形成する。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連通する複数の独立した圧力室と、該圧力室の少なくとも一方の壁の一部が機械的に変形を起こすようになっている振動板と、該振動板を駆動する駆動手段と、前記複数の圧力室にインクを供給する共通のインクキャビティとを有する構造を備え、前記駆動手段に電気パルスを印加することによって、前記駆動手段に対応する前記振動板を前記圧力室の圧力が上昇する方向に変形させて、前記ノズル孔よりインクを記録媒体に向けて吐出させて記録するような液滴吐出アクチュエータにおいて、前記の液体に圧力を加えて吐出させるための圧力室を構成している基板の表面、少なくとも圧力室を形成する振動板の表面に、耐インク性のある有機膜に親インク性微粒子が分散されている複合薄膜が形成されていることを特徴とする液滴吐出アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の有機薄膜が、ポリイミド樹脂または、ポリベンゾオキサゾール樹脂、フッソ樹脂であることを特徴とする液滴吐出アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１に記載の親インク性微粒子が、窒化チタンであることを特徴とする液滴吐出アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の耐インク性の有機複合薄膜が、電着によって製膜されていることを特徴とする液滴吐出アクチュエータの製造方法。
【請求項５】
請求項１から３のいずれか１項に記載の耐インク性の有機複合薄膜が、静電吸着によって製膜されていることを特徴とする液滴吐出アクチュエータの製造方法。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の液滴吐出アクチュエータを用いたインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項７】
前記インクジェットヘッドが請求項１から５のいずれか１項に記載の液滴吐出アクチュエータを用いたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項７に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェット記録装置のプリントヘッドに関するものでプリンタ、ファクシミリ、コピア等の記録機構部分に応用可能な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット記録装置は、記録時の騒音がきわめて小さく、また、高速印字が可能であり、安価な普通紙にも印字が可能であるなど多くの利点を有しているが、中でも記録に必要な時にのみインク滴を吐出する、いわゆるインク・オン・デマンド方式が、記録に不要なインク滴の回収を必要としないため、現在主流である。特に近年高画質化、カラー化の進捗が著しい。
高画質化に関しては、インクジェットヘッドのノズル高密度化が果たした役割が大きく、様様な研究開発が行われてきている。とりわけマイクロマシンの技術を用いた高密度加工の果たした成果が大きい。このため、ヘッドの素材も金属、プラスチックといった材料から、シリコン、ガラス、セラミックスなどが使われてきている。
また、カラー化に関してはインクおよび、記録メディアの開発が主である。記録メディアにインクが付着した時の浸透性や発色性、混色防止性などの面からの最適化や、印字したメディアの長期保存性、インク自身の保存性などを高めるために、インクの成分・組成についても開発が進められてきている。
しかしながら、前記のインクジェットヘッドでは以下に記するような課題があった。即ち、インクとヘッド材料の組み合わせによっては、インクによってヘッド材料がインクに溶解してしまうことがある。こういう場合インク組成の調整や、ヘッド材料の変更で対応する事が一般的であった。しかしながら、ヘッドの材料を変更した場合、高密度加工の実現が困難になったり、加工精度の低下なども発生することが多い。また材料の変更は、加工プロセスの大幅な変更や、組立て工程の工夫が必要になったりする。その結果としてノズル密度の低下、ひいては印字品質の低下が引き起こされる。
さらに、インクの成分、組成は印字品質を高めるために記録メディアに対する浸透性、発色性が最適になるように、あるいは保存性が良くなるように調整されているので、成分の変更調整は高画質化を損ねる方向になる。
【０００３】
これらの問題の解決策として、ヘッド材料のインクに接する面に耐インク性の薄膜を形成し、ヘッド材料の溶出を防ぐ技術がよく知られている。例えば、ＷＯ９８／４２５１３公報に開示される技術では、ヘッド材料のインクに接する面に、チタンおよび、チタン化合物あるいは、酸化アルミニウムを形成するという対策を講じている。
また、特開平６−１４３５８８号公報、特開平６−２３８８９７号公報に開示される技術では、ヘッド材料のインクに接する面に、ポリパラキシレン膜を用いている。また、特開平５−２２９１１８号公報に開示される技術では、ヘッド材料のインクに接する面に酸化物膜を用いている。
ここでＷＯ９８／４２５１３公報や特開平５−２２９１１８公報に開示される無機系の耐インク膜は、インクのｐＨによって電気化学的に溶解しやすい領域があり、インクに対する要求が厳しくなりやすい。具体的な例ではシリコン酸化膜では、ｐＨ＞９のインクに対して溶解してしまうが、一般的に発色性の良いインクのｐＨは１０〜１１程度のアルカリ性である場合が多い。このため、耐インク性を確保するためには膜をかなり厚くする必要がある。こう言った無機系の膜を厚く付けることはプロセス面でも困難が伴うことが多い。
また特開平６−１４３５８８号公報、特開平６−２３８８９７号公報に開示されるポリパラキシレン膜を用いた耐インク膜は、有機膜でありアルカリ性の強いインクに対しても耐性があるが、膜自体にインクに対して撥インク性があるため、インク流路内での気泡防止や、初期充填などの面から、製膜後さらに親インク化処理を行う必要がある。
もう一つの課題として、これら公報に示されるようなスパッタなどの製膜方法では、立体形状への均一な膜厚を製膜することが困難であるという問題もある。このような課題を解決するための手段として、本発明者は、耐インク膜としてポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂の使用を提案してきた。これらの樹脂膜は非常に良好な耐インク性を示し、インクジェットヘッドの信頼性を確保する上で効果的である。
ところが、このような耐インク膜であっても、液状の樹脂を塗布すると塗布面が表面張力で丸まったり、角部分の膜厚が薄くなったりするという問題があり、均一な膜形成が出来ず、長期信頼性面での課題や、硬化収縮時の応力によるヘッドへの影響、たとえば振動板が硬化収縮応力で撓むなどの課題が排除出来ないでいた。
又、本件出願人の先願には、接液膜として、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾールを使用した例が記載されており、その表面を凹凸にすることで、ノズルプレートなどとの接着性を高めるという技術が知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので、インクジェット記録ヘッドの液滴吐出アクチュエータにおいて、耐インク性を有する有機接液膜を均一に圧力室基板表面に製膜し、その膜を低い残留応力で製膜する構造および製造方法を提供し、液滴吐出ヘッドの信頼性を高めることを目的する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するために、請求項１記載の発明では、複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連通する複数の独立した圧力室と、該圧力室の少なくとも一方の壁の一部が機械的に変形を起こすようになっている振動板と、該振動板を駆動する駆動手段と、前記複数の圧力室にインクを供給する共通のインクキャビティとを有する構造を備え、前記駆動手段に電気パルスを印加することによって、前記駆動手段に対応する前記振動板を前記圧力室の圧力が上昇する方向に変形させて、前記ノズル孔よりインクを記録媒体に向けて吐出させて記録するような液滴吐出アクチュエータにおいて、前記の液体に圧力を加えて吐出させるための圧力室を構成している基板の表面、少なくとも圧力室を形成する振動板の表面に、耐インク性のある有機膜に親インク性微粒子が分散されている複合薄膜が形成されている液滴吐出アクチュエータを最も主要な特徴とする。
請求項２記載の発明では、請求項１に記述する有機薄膜が、ポリイミド樹脂または、ポリベンゾオキサゾール樹脂、フッソ樹脂である液滴吐出アクチュエータを主要な特徴とする。
請求項３記載の発明では、請求項１に記述する親インク性微粒子が、窒化チタンである液滴吐出アクチュエータを主要な特徴とする。
請求項４記載の発明では、請求項１〜３に記述する耐インク性の有機複合薄膜が、電着によって製膜されている液滴吐出アクチュエータの製造方法を主要な特徴とする。
請求項５記載の発明では、請求項１〜３に記述する耐インク性の有機複合薄膜が、静電吸着によって製膜されている液滴吐出アクチュエータの製造方法を主要な特徴とする。
請求項６記載の発明では、請求項１〜５に記述する液滴吐出アクチュエータを用いたインクジェットヘッドを搭載したインクカートリッジを主要な特徴とする。
請求項７記載の発明では、前記インクジェットヘッドが請求項１〜５のいずれかに記載の液滴吐出アクチュエータを用いたインクジェットヘッドを主要な特徴とする。
請求項８の発明では、請求項７に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置を主要な特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施例に基づきより詳細に説明する。
本発明の液滴吐出アクチュエータの特徴的な構成は、図１において、複数のノズル孔４と、該ノズル孔の各々に連通する複数の独立した圧力室６と、該圧力室６の少なくとも一方の壁の一部が機械的に変形を起こすようになっている振動板５と、該振動板を駆動する駆動手段３０と、複数の圧力室にインクを供給する共通のインクキャビティ（共通液室）８とを有する構造を備え、駆動手段に電気パルスを印加することによって、駆動手段に対応する振動板を圧力室の圧力が上昇する方向に変形させて、ノズル孔よりインクを記録紙に向けて吐出させて記録するような液滴吐出アクチュエータにおいて、前記液体に圧力を加えて吐出させるための圧力室を構成している基板の表面に、耐インク性のある有機膜に親インク性微粒子が分散されている複合薄膜が形成されている点にある。
上記有機薄膜は、ポリイミド樹脂または、ポリベンゾオキサゾール樹脂、フッソ樹脂である。更に、上記親インク性微粒子は、窒化チタンである。
上記のような特徴を持つアクチュエータにおいて、耐インク性の有機複合薄膜が、電着によって製膜されている構成も特徴的である。耐インク性の有機複合薄膜を、静電吸着によって製膜してもよい。
例えば、上記のような耐インク接液膜を有し、また製造方法によって作られたアクチュエータを用いる事でインクジェット記録装置を得ることができる。
さらには、インク滴を吐出するインクジェットヘッドとこのインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、前記インクジェットヘッドが上記のような特徴を有するインクジェットヘッドとして構成してもよい。
【０００７】
（実施例１）
本発明の第１の実施例を図１を用いて説明する。本発明の形態によるインクジェットヘッドは、静電駆動方式が用いられており、図１に示すように３枚の基板１、２、３を重ねて接合した積層構造となっている。
上側の基板１は例えばシリコン、ガラス、ポリイミドなどのプラスチックなどからなり、複数のノズル孔４が設けられており、ノズルプレートとして機能している。中間の基板２は単結晶シリコンでできており、ノズル孔４に連通し、底壁を振動板５とする圧力室（吐出室）６を形成することになるインク流入口のための細溝７と各々の圧力室６にインクを供給するための共通液室（インクキャビティ）８を形成することになる溝部分からなる。
この中間の基板２は上側の基板１と接合されることにより、圧力室６、流体抵抗部７、共通液室８を形成しており、上側の基板１と共に流路ユニットを構成する。
中間の基板２の下面に接合される基板３はシリコン基板を熱酸化してシリコン酸化膜の絶縁層を形成した基板やガラス基板、プラスチック基板などで構成される。下側基板の表面には振動板に対応する各々の位置に電極３０（駆動手段）が形成されている。
電極３０は静電駆動を行うための個別電極部３１と電位取りだしのためのＰＡＤ部分３３を有する。さらに、ＰＡＤ部を除く電極部分は電気的絶縁膜３４で覆っており、振動板と電極との短絡を防止している。さらにこれら３枚の基板１、２、３が接合され、中間の基板２と電極部３０との間に夫々発信回路２４を接続してインクジェットヘッドが構成されている。
次に、前記インクジェットヘッドの動作について説明する。中間の基板２を接地電位にしておき、個別電極３１に発信回路から電圧パルスを印加し、個別電極の表面が正電圧に帯電すると、振動板基板との間で静電吸引力が働き、振動板５が個別電極３１側に引き寄せられ撓む。次に個別電極３１の電位を０Ｖにすると、静電吸引力が無くなり、振動板５の復元力で元に戻る。この時圧力室６のインク圧力が高くなり、ノズル孔４から記録メディアに向かってインク液滴を吐出する。その後、振動板が下に撓む時、共通液室８側から、流体抵抗部７を通ってインクが供給される。
発信回路２４は、パルス状に電圧を印加するものでも良いし、交流電源のような波形であっても構わない。
【０００８】
次に本発明の特徴である中間の基板２について図３に基づき説明する。中間の基板２はシリコン基板からできており、ＫＯＨ溶液の異方性エッチングによって形状６を作っている。また振動板５は高濃度のホウ素（５×１０１９／ｃｍ３）が拡散されたシリコンでできており、ＫＯＨ溶液に対するエッチングレートの違いから、自発的にエッチング停止し、高精度の振動板を作ることができている。
このポリイミド膜の形成方法を図４で説明する。ポリイミドの前駆物質であるポリアミド酸をＮメチルピロリドンなどの溶媒と低沸点の溶媒、ここでは１、３ジオキソランを用いて、５ｃＰ（２５℃）以下の粘度になるまで希釈する。この時、低沸点溶媒の量を多く配合することが肝要である。実施例では、３ｃＰ（２５℃）まで希釈して塗布に用いた。この液に粒径１μｍ以下に揃えた窒化チタン粉末を混合分散し、さらにこの液に水を加えることで水分散液を作る。この液中に圧力室が形成されたシリコン基板２Ａを入れ、電極として電界を加えることで、シリコン基板表面にポリイミド複合膜を電着させる事が出来る。このようにして形成したポリイミド複合膜は、電着によって均一に付着するため膜厚むらが発生することなく均質な膜とすることができる。こうすることで、窒化チタン微粒子が均質に分散されたポリイミド前駆体薄膜が形成され完成する。
【０００９】
次に、前記ポリイミド前駆体が塗布された基板２Ａを１００〜１８０℃の温度で加熱し、膜中に含まれる９０溶媒であるＮメチルピロリドンをゆっくりと蒸発させる。ここで用いたＮメチルピロリドンの沸点は２０３℃であるが、この温度に近い温度、あるいはより高い温度で急速に蒸発させると、発泡による膜の不均一化（ピンホール）が発生することがあるため、ゆっくりと蒸発させることが必要である。
次に、ポリイミド前駆体が形成された基板２Ａを、ゆっくりと加熱し脱水縮合させてポリイミド膜とした。本実施例では、１５０℃／１５分、２００℃／１５分、２５０℃／１０分、３００℃／１０分、３５０℃／１０分処理後、徐冷している。ゆっくりと加熱する目的は、脱水縮合によるイミド化によって、基板に余計な応力が加わらないようにするためである。ただし、この複合膜では膜中に窒化チタンの微粒子を含んでいるため、硬化収縮が発生する領域を細かく分断する事になるため、複合膜全体としての硬化収縮を非常に小さくでき、例えば振動板のように薄い板上に形成しても、撓みを発生させることがない。
ポリイミド膜は各種インクに対して高い接液性（不溶解性、耐膨潤性）を持っており、薄い膜であっても耐インク膜の役割を達成することができる。本実施例では、振動板５上の耐インク膜２８が、イミド化後約３μｍの厚さになるように製膜した。
この様にして形成したポリイミド膜には、粒状の窒化チタンが存在するため、その一部が膜から顔をのぞかせた状態になっている。このことで、ポリイミド膜よりも親インク性の高い窒化チタンによって、インクの濡れ性がよくなり、インク流路に気泡が付着する事が無くなる。加えて、表面に微細な凹凸ができる事になるので、次工程以降でのノズルプレート張り付けなどの組み立て工程において、接着面積増大によるアンカー効果が期待できる。
続いてノズルプレート１を接着剤で貼りつける。ここでは接着剤にエポキシ系接着剤を使用した。この時、接着される面が上記のように凹凸構造となっているため、接着面積が大きくでき、接着のアンカー効果などが良く効き、接着信頼性を高める事ができる。
図８は、ポリイミド膜の耐インク基材への溶出特性評価結果を示す図である。ここでは、紫外線吸収曲線によって評価している。リファレンスの溶液の吸収特性と、ポリイミド浸漬液の吸収特性に全く差がなく、ポリイミドの溶出がないことがわかる。なお、浸漬は５０℃で３日間超音波を印加した場合の結果である。
【００１０】
（実施例２）
本実施例では、中間の基板２以外は実施例１と同じである。本発明の特徴である中間の基板２について図５で説明する。中間の基板２Ａはシリコン基板からできており、ＫＯＨ溶液の異方性エッチングによって形状６Ａを作っている。また振動板５は高濃度のホウ素（５×１０１９／ｃｍ３）が拡散されたシリコンでできており、ＫＯＨ溶液に対するエッチングレートの違いから、自発的にエッチング停止し、高精度の振動板を作ることができている。
このポリイミド膜の形成方法を図５で説明する。ポリイミドの前駆物質であるポリアミド酸をＮメチルピロリドンなどの溶媒と低沸点の溶媒、ここでは１、３ジオキソランを用いて、５ｃＰ（２５℃）以下の粘度になるまで希釈する。この時、低沸点溶媒の量を多く配合することが肝要である。実施例では、３ｃＰ（２５℃）まで希釈して塗布に用いた。この液に粒径１μｍ以下に揃えた窒化チタン粉末を混合分散する。これを機械式霧化装置（例えば、超音波発生装置など）を用いて霧化させる。塗装機（霧化頭）の中心部（近傍）にある電極にマイナスの高電圧を印加する。この電極は針状で印加された高電圧により電極近傍の電界が著しく不均等な状態にすることができ、空気が局部的に絶縁破壊されることで、電極近傍にきわめて安定的なグローコロナ放電を継続させることができる。このグローコロナ放電によって空気をイオン化し、ここを霧化させたポリイミド前駆体を通過させ、このポリイミド前駆体をマイナス帯電させる。霧化塗布（粉霧塗装）装置とシリコン基板との間に形成した電界に沿ってポリイミド前駆体をシリコン基板表面に飛行吸着させる。
このようにして形成したポリイミド前駆体膜は、電界によってシリコン基板２Ａの表面に均一に付着させることができるため、段差などの部分にもムラを生じることなく一定の膜とすることができる。このあと、実施例２と同様の方法でポリイミド前駆体をポリイミド膜に加熱生成する。本例で形成したポリイミド膜も実施例１と同様の形状効果を持つことは特記するまでもない。
また、別の実施例としてフッソ樹脂を用いた場合も実施例１、２と同じ方法で形成する事が出来る。本来強い撥インク性を示すフッソ樹脂は、その優れた耐インク性があってもインクの流れる部分への適応が困難であった。しかし本発明のように、親インク性で耐インク性を持つ窒化チタン微粒子を混合し、窒化チタンが露出出来るような製膜を行う事で、凹凸効果と窒化チタンの親インク効果でフッソ樹脂複合膜として対インク濡れ性を改善できるのである。
フッソ樹脂は帯電しやすい性質をもっているので、特に実施例２のような静電吸着法による塗布が効果的である。
【００１１】
（実施例３）
更に、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。図６は本発明に係るインクジェット記録装置の要部構成の斜視説明図、図７は同構成の側面説明図である。
このインクジェット記録装置は、記録装置本体１０１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部１０２等を収納し、装置本体１０１の下方部には前方側から多数枚の用紙１０３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）１０４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙１０３を手差しで給紙するための手差しトレイ１０５　を開倒することができ、給紙カセット１０４或いは手差しトレイ１０５から給送される用紙１０３を取り込み、印字機構部１０２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１０６に排紙する。
印字機構部１０２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１１１と従ガイドロッド１１２とでキャリッジ１１３を主走査方向（図７で紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ１１３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出するインクジェットヘッドからなるヘッド１１４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００１２】
またキャリッジ１１３にはヘッド１１４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ１１５を交換可能に装着している。インクカートリッジ１１５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド１１４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。また本実施形態では静電型インクジェットヘッドを用いている。ここで、キャリッジ１１３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド１１１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向下流側）を従ガイドロッド１１２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ１１３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ１１７で回転駆動される駆動プーリ１１８と従動プーリ１１９との間にタイミングベルト１２０を張装し、このタイミングベルト１２０をキャリッジ１１３に固定しており、主走査モーター１１７の正逆回転によりキャリッジ１１３が往復駆動される。
【００１３】
一方、給紙カセット１０４にセットした用紙１０３をヘッド１１４の下方側に搬送するために、給紙カセット１０４から用紙１０３を分離給装する給紙ローラ１２１及びフリクションパッド１２２と、用紙１０３を案内するガイド部材１２３と、給紙された用紙１０３を反転させて搬送する搬送ローラ１２４と、この搬送ローラ１２４の周面に押し付けられる搬送コロ１２５及び搬送ローラ１２４からの用紙１０３の送り出し角度を規定する先端コロ１２６とを設けている。搬送ローラ１２４は副走査モータ１２７によってギヤ列を介して回転駆動される。
そして、キャリッジ１１３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１２４から送り出された用紙１０３を記録ヘッド１１４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１２９を設けている。この印写受け部材１２９の用紙搬送方向下流側には、用紙１０３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１３１、拍車１３２を設け、さらに用紙１０３を排紙トレイ１０６に送り出す排紙ローラ１３３及び拍車１３４と、排紙経路を形成するガイド部材１３５、１３６とを配設している。
記録時には、キャリッジ１１３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド１１４を駆動することにより、停止している用紙１０３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙１０３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙１０３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙１０３を排紙する。
また、キャリッジ１１３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド１１４の吐出不良を回復するための回復装置１３７を配置している。回復装置はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ１１３は印字待機中にはこの回復装置１３７側に移動されてキャッピング手段でヘッド１１４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド１１４の吐出口を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００１４】
（実施例４）
次に、本発明に係るインクカートリッジについて図９を参照して説明する。
このインクカートリッジは、ノズル８０等を有する上記各実施形態のいずれかのインクジェットヘッド８１と、このインクジェットヘッド８１に対してインクを供給するインクタンク８２とを一体化したものである。
このようにインクタンク一体型のヘッドの場合、ヘッドの歩留まり不良は直ちにインクカートリッジ全体の不良につながるので、上述したようにパーティクルなどによる製造不良を低減することで、インクカートリッジの歩留まりが向上し、ヘッド一体型インクカートリッジの低コスト化を図れる。
【００１５】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１、２に開示する本発明の効果として、耐インク信頼性の高いインクジェットヘッドを得ることができる。図８に示すように、リファレンスの溶液の吸収特性と、ポリイミド浸漬液の吸収特性に全く差がなく、ポリイミドの溶出がない。
請求項１、３に開示する本発明の効果として、耐インク性があるが親インク性が十分とは言えない有機膜に、親インク性の窒化チタンを分散することで、インクの塗れ性が高まりインク充填時などに気泡が発生しにくくなる。また窒化チタン微粒子が接液膜表面を凹凸あるいは、顔を覗かせるような構成とすることで接液膜表面の粗さ（接着時のアンカー効果）を高め組み立ての信頼性を高める事が可能となる。また接液膜の硬化時には、硬化領域を細かく分断する事になるため、硬化収縮時の応力発生を小さくできる。
請求項４に開示する本発明の効果として、電界によって膜材料を吸着させるため、垂直面のような部分にも均質に膜形成する事が可能となる。また、導電性を有する振動板にのみ電圧を印加することで、振動板表面にのみ有機複合膜を形成する事も可能である。
請求項５に開示する本発明の効果として、静電界によって膜材料を吸着させるため、垂直面のような部分にも均質に膜形成する事が可能となる。
請求項６に開示する発明の効果として、高画質（高密度）、カラー対応のインクジェット記録装置が実現できる。
請求項７に開示する発明の効果として、小型で高密度のインクジェットヘッドを得ることが出来るので、小型低コストのインクカートリッジを得ることができ、コストパフォーマンスを高めることができる。
請求項８に開示する発明の効果として、小型で高密度のインクジェットヘッドを得ることが出来るので、小型低コストのインクジェット装置を得ることができ、コストパフォーマンスを高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明インクジェットヘッドの３枚基板からなる積層構造の分解説明図。
【図２】本発明の上記３枚基板の中間基板の斜視図。
【図３】本発明の上記中間基板の断面図。
【図４】本発明の上記中間基板にポリイミド膜を電着形成する方法の説明図。
【図５】本発明の上記中間基板にポリイミド膜を粉霧塗装形成する方法の説明図。
【図６】本発明に係るインクジェット記録装置の要部構成の斜視説明図。
【図７】本発明に係るインクジェット記録装置の要部構成の側面説明図。
【図８】本発明の前記ポリイミド膜のインクへの溶出のＵＶ吸収曲線評価説明図。
【図９】本発明に係るインクカートリッジの外観図。
【符号の説明】
１　上側基板、２　中間基板、３　下側基板、４　ノズル孔、５　振動板、６圧力室、７　流体抵抗部、８　共通液室、２４　発振回路、２８　耐インク膜、３１　電極、３３　電位取りだしＰＡＤ、３４　電気的絶縁膜、８０　ノズル、８１　インクジェットヘッド、８２　インクタンク、１０１　記録装置本体、１０２　印字機構部、１０３　用紙、１０４　給紙カセット、１０５　手差しトレイ、１０６　排紙トレイ、１１１　主ガイドロッド、１１２　従ガイドロッド、１１３　キャリッジ、１１４　ヘッド、１１５　インクカートリッジ、１１７主走査モータ、１１８　駆動プーリ、１１９　従動プーリ、１２０　タイミングベルト、１２１　給紙ローラ、１２２　フリクションパッド、１２３　ガイド部材、１２４　搬送ローラ、１２５　搬送コロ、１２６　先端コロ、１２７　副走査モータ、１２９　印写受け部材、１３１　搬送コロ、１３２　拍車、１３３排紙ローラ、１３４　拍車、１３５　ガイド部材、１３６　ガイド部材、１３７　回復装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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