(57)【要約】【課題】  大型の被照射物に対しても所望の形状に露光を行なうことができ、かつ取扱いが容易で安価な露光用マスク、露光装置、露光方法および上記の露光方法を用いた液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】  露光用マスクは、フレーム４と、フレーム４の内側の領域を被覆するように、フレーム４に固定されたメッシュ材１とを備える。メッシュ材１には、樹脂２で遮光パターンが形成されている。好ましくは、樹脂２は、紫外線硬化型樹脂である。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、
前記フレームの内側の領域を被覆するように、前記フレームに固定されたメッシュ材と
を備え、前記メッシュ材には、樹脂で遮光パターンが形成されている、露光用マスク。
【請求項２】
前記メッシュ材は、金属ワイヤを含む、請求項１に記載の露光用マスク。
【請求項３】
前記樹脂は、紫外線硬化性を有する樹脂である、請求項１に記載の露光用マスク。
【請求項４】
真上から見たときに変化を起こさせるべき部分が内部に収まるように開口部が形成された、請求項１に記載の露光用マスク。
【請求項５】
被照射物を保持するための保持手段と、
前記被照射物の変化を起こさせるべき部分に光を照射するための光源と、
前記被照射物が保持される位置と前記光源との間に配置され、メッシュ材に樹脂で遮光パターンが形成された露光用マスクと
を備える、露光装置。
【請求項６】
前記光源と前記被照射物が保持される位置とに挟まれる空間の周りに反射板を備える、請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
光源と被照射物との間に、露光用マスクを配置して露光を行なう方法であって、
前記露光用マスクとして、メッシュ材に樹脂で遮光パターンが形成されたものを用いる、露光方法。
【請求項８】
前記メッシュ材として、金属ワイヤで形成されたものを用いる、請求項７に記載の露光方法。
【請求項９】
前記樹脂として、紫外線硬化性を有する樹脂を用いる、請求項７に記載の露光方法。
【請求項１０】
前記光源として、紫外線ランプを用いる、請求項７に記載の露光方法。
【請求項１１】
シール材を挟み込むように２枚の基板を重ねる工程と、
メッシュ材に樹脂で遮光パターンが形成された露光用マスクを、重ねられた前記２枚の基板と光源との間に配置して露光を行なうことによって、前記シール材を硬化させる工程と
を含む、液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被照射物の変化を起こさせるべき部分に、一定の形状で光を照射するための露光用マスク、露光装置、露光方法および上記の露光方法を用いた液晶表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルなどのフラットパネルディスプレイが携帯電話、携帯情報端末、テレビジョン受像機など、多種多様の機器において採用されている。これらの液晶パネルにおいては、所定の間隔を保って液晶を挟むように、１対の基板が形成されている。この１対の基板の間には、基板同士を固定する略環状のシール材が配置されている。液晶は、これらの１対の基板とシール材とに囲まれる空間に封入されている。
【０００３】
液晶の封入には、注入口を有する略環状のシール材を形成しておき、２枚の基板を貼り合わせてシール材を硬化させたものに対して、略環状のシール材と２枚の基板とに挟まれた空間に注入口から液晶を注入した後に封止する方法がある。または、近年、液晶パネルの製造方法として滴下貼合せ法あるいは滴下注入法と称される製造方法がある。この製造方法は、１対の基板のどちらか一方に予め環状のシール材を形成しておき、その枠形の内側に所定量の液晶を滴下するものである。この基板を減圧した雰囲気下において別の１枚の基板と貼り合せ、大気圧の雰囲気中に戻した後にシール材を硬化させて液晶パネルを製造する。この方法を採用することにより、液晶パネル内には気泡が残らず、液晶の封止と基板の貼り合せとを同時に行なえるものである。
【０００４】
上記のいずれの方法においても、基板同士を貼り合わせた後、シール材を硬化させる必要がある。シール材としては、熱硬化性や紫外線硬化性を有するシール材を使用することができる。熱硬化性のみを有するシール材においては、硬化のために非常に長い時間を要するために、少なくとも紫外線硬化性が付与されたシール材が好まれて使用されている。
【０００５】
紫外線硬化性を有するシール材に紫外線を照射する場合において、貼り合わされた基板全体に紫外線が照射されると、基板同士の内側に配置された配向膜の能力が低下したり、駆動素子が損傷したりすることがある。また、滴下貼合せ法においては、１対の基板の内部に配置された液晶自体が変質したりすることがある。よって、シール材が配置されている箇所のみに紫外線を照射することが好ましく、照射が不要な箇所には紫外線遮蔽のためのマスクを配置して紫外線を照射している（たとえば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−２３５７５６号公報（第６−８頁、第５−９図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年においては、表示画面の大型化に伴って、表示パネル自体も大きく製造することが要求されている。また、表示パネル自体は小型のものでも、生産性向上の観点から、１枚の大きな基板に対して多くのパターンを形成して、後に切断をするという、いわゆる多面取りを行なうことが好ましい。多面取りを行なう基板については、１辺が１ｍを超えるような大型のものを使用することが望まれている。
【０００７】
上記特許文献１には、紫外線遮蔽のための露光用マスクとして、石英製の基板の主表面に、遮光パターンをアルミニウム膜で形成したものが開示されている。または、同じ露光用マスクとして、石英製の基板にクロム膜が形成されたものもある。
【０００８】
しかし、これら従来の技術による露光用マスクは、石英などの材料自体が高価な上に、遮光パターンの形成にも手間がかかり、非常に高価なものになっていた。また、製造する表示パネルの大型化に伴って露光用マスクも大きくなる。その結果、非常に重くなり、移動する際に多くの人手が必要であるなど、取扱いにくいものとなっていた。露光用マスクの大型化には、露光用マスクの厚さを薄くすることも考えられる。しかし、石英製の基板の厚さを薄くした場合は、露光装置に据え付けられた際に、自重によって露光用マスクが撓んでしまい、所望の位置に対して遮光（露光）することができないという問題があった。
【０００９】
本発明の目的は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、大型の被照射物に対しても所望の形状に露光を行なうことができ、かつ取扱いが容易で安価な露光用マスク、露光装置、露光方法および上記露光方法を用いた液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明に基づく露光用マスクは、フレームと、上記フレームの内側の領域を被覆するように、上記フレームに固定されたメッシュ材とを備える。上記メッシュ材には、樹脂で遮光パターンが形成されている。この構成を採用することにより、大型の被照射物に対しても所望の形状に露光を行なうことができる。また、取扱いが容易で安価な露光用マスクを提供することができる。
【００１１】
上記発明において好ましくは、上記メッシュ材は、金属ワイヤを含む。この構成を採用することにより、上記メッシュ材の温度が上昇する露光に対しても、上記露光用マスクを使用することができる。また、上記メッシュ材表面の反射率を高くすることができ、上記メッシュ材表面での反射光も、効率よく被照射物に当てることができる。
【００１２】
上記発明において好ましくは、上記樹脂は、紫外線硬化性を有する樹脂である。この構成を採用することにより、複雑な形状の上記遮光パターンであっても、また、大型の上記露光用マスクであっても、容易に上記遮光パターンを形成することができる。
【００１３】
上記発明において好ましくは、真上から見たときに変化を起こさせるべき部分が内部に収まるように開口部が形成されている。この構成を採用することにより、確実に上記変化を起こさせるべき部分に露光を行なうことができる。また、上記変化を起こさせるべき部分の側面にも露光を行なうことができる。
【００１４】
上記目的を達成するため、本発明に基づく露光装置は、被照射物を保持するための保持手段と、上記被照射物の変化を起こさせるべき部分に光を照射するための光源とを備える。さらに、上記被照射物が保持される位置と上記光源との間に配置され、メッシュ材に樹脂で遮光パターンが形成された露光用マスクを備える。この構成を採用することにより、大型の上記被照射物に対しても所望の形状に露光を行なうことができる。また、上記露光用マスクの取扱いが容易であり、安価な露光装置を提供することができる。
【００１５】
上記発明において好ましくは、上記光源と上記被照射物が保持される位置とに挟まれる空間の周りに反射板を備える。この構成を採用することにより、上記反射板によって、上記露光装置の側方に向かう光を反射させて、上記被照射物に照射することができる。また、上記被照射物に対して、上記光源が配置されている方向以外の方向からも露光を行なうことができる。
【００１６】
上記目的を達成するため、本発明に基づく露光方法は、光源と被照射物との間に、露光用マスクを配置して露光を行なう方法であって、上記露光用マスクとして、メッシュ材に樹脂で遮光パターンが形成されたものを用いる。この方法を採用することにより、大型の上記被照射物に対しても、所望の形状に露光を行なうことができる。また、上記露光用マスクの取扱いが容易であり、上記露光を安価に行なうことができる。
【００１７】
上記発明において好ましくは、上記メッシュ材として、金属ワイヤで形成されたものを用いる。この方法を採用することにより、上記メッシュ材が高温になる露光においても、上記の露光方法を用いることができる。
【００１８】
上記発明において好ましくは、上記樹脂として、紫外線硬化性を有する樹脂を用いる。この方法を採用することにより、複雑または大型の上記遮光パターンであっても、上記遮光パターンを容易に形成することができる。
【００１９】
上記発明において好ましくは、上記光源として、紫外線ランプを用いる。この方法を採用することにより、上記露光方法を紫外線硬化性樹脂を硬化するための露光方法に適用することができる。
【００２０】
上記目的を達成するため、本発明に基づく液晶表示装置の製造方法は、シール材を挟み込むように２枚の基板を重ねる工程と、メッシュ材に樹脂で遮光パターンが形成された露光用マスクを、重ねられた上記２枚の基板と光源との間に配置して露光を行なうことによって、上記シール材を硬化させる工程とを含む。この方法を採用することにより、大型の表示パネルであっても、所望の形状の上記シール材を硬化させることができる。また、安価に上記シール材を硬化させることができる。
【発明の効果】
【００２１】
大型の被照射物に対しても所望の形状に露光を行なうことができ、取扱いが容易で安価な露光用マスク、露光装置、露光方法および液晶表示装置の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
（実施の形態１）
（構成）
図１を参照して、本発明に基づく実施の形態１における露光用マスク、露光方法について説明する。
【００２３】
図１は、本実施の形態における露光用マスクの説明図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＩＢ−ＩＢ線に関する矢視断面図である。本発明に基づく露光用マスクには、環状をしたフレーム４が枠体として形成されている。本実施の形態におけるフレーム４は、アルミニウムで形成され、外形の寸法が縦１４５０ｍｍ、横１７３０ｍｍ、厚さ５０ｍｍ、および幅５０ｍｍになるように形成されている。フレーム４の内側の領域を被覆するように、フレーム４の片面にメッシュ材１が張力を持った状態で接着固定されている。メッシュ材１は、ステンレス製のワイヤを材料として形成されている。本実施の形態におけるワイヤは、直径がφ０．０５８ｍｍの線材が用いられている。また、メッシュ材１は、網目の形状が四角形のものが用いられている。
【００２４】
メッシュ材１の主表面には、樹脂２が配置され、開口部３を有する遮光パターンが形成されている。樹脂２は、紫外線硬化性を有する樹脂が使用され、膜厚が１ｍｍになるように形成されている。開口部３は樹脂が配置されていない領域である。本実施の形態においては、平面形状の内周および外周が長方形であり、内周および外周が互いに略平行な枠形の開口部３が６つ形成されている。開口部３は、紫外線を照射すべき領域の平面形状に沿って形成されている。すなわち、本実施の形態における被照射物の変化を起こさせるべき部分の平面形状も枠形である。
【００２５】
本実施の形態においては、フレームがアルミニウム製で、メッシュ材がステンレス製の露光用マスクについて説明したが、特にこの形態に限られず、メッシュ材としては、ニッケル、ポリエステル、ナイロン、プラスチック、またはガラスファイバなどでもよい。フレームとしては、金属に限られず、プラスチックなどでもよい。フレームとしては、メッシュ材の張力に対しても変形しない強度を有する材料を使用すること、または、変形しない程度の太さで形成されることが好ましい。また、フレームの形状としては、環状のものに限られず、例えば、四角形の一辺を除去した、いわゆるコの字形のものなどでもよい。また、メッシュ材１の網目の形状についても、四角形に限定されるものではない。また、遮光パターンを形成する樹脂として、紫外線硬化性と共に熱硬化性を併せ持つ樹脂を用いても良く、その場合には紫外線照射による硬化の後に加熱による硬化を行なえばよい。
【００２６】
（作用・効果）
図１（ｂ）に示すように、たとえば、矢印３３に示すような方向に露光を行なうと、樹脂２が形成されている領域においては光が遮断され、開口部３の領域に入ってきた光のみが、矢印３４に示すように露光用マスクを通過する。このように開口部３の領域の形状のみに光を照射することができる。本実施の形態における露光用マスクは、枠形に光が照射できるように形成されている。
【００２７】
本実施の形態における露光用マスクは、環状をしたフレームと、メッシュ材と遮光パターンを形成する樹脂とから形成されている。この構成を採用することにより、従来の技術による露光用マスクより大幅に軽量化を行なうことができ、移動などの際にも取扱いが容易である。また、メッシュ材および樹脂を使用することによって、安価に露光用マスクを形成することができる。さらに、露光用マスクが大型であっても、露光用マスクが撓んで露光される領域の形状が変形してしまうことはなく、所望の形状に露光を行なうことができる。特に、メッシュ材に適度な張力を与えた状態でフレームに接合することによって、メッシュ材の撓みを防止することができる。
【００２８】
本実施の形態における露光用マスクの製造方法は、初めに環状のフレームにメッシュ材を貼り付けて、メッシュ材の表面全体に紫外線硬化樹脂を塗布する。この後に、紫外線硬化樹脂のパターニングをフォトリソグラフィ法によって行なう。紫外線硬化樹脂のパターニングを行なうことによって、光を通過させるべき開口部を形成する。
【００２９】
本実施の形態においては、上記のように遮光パターンに紫外線硬化樹脂を用いているが、特にこの形態に限られず、遮光パターンとして、ステンレス、ニッケルまたはコバルトなどの金属板を用いてもよい。メッシュ材にこれらの金属板の遮光パターンを貼り付ける際には、たとえば、紫外線硬化型樹脂を用いて貼り付ける。なお、金属板を貼り付ける面については、メッシュ材の表裏のいずれの面でもよい。
【００３０】
メッシュ材として金属ワイヤを含むことによって、露光用マスクの温度が上昇するような光の照射においても使用することができる。たとえば、紫外線照射を行なうと露光用マスクの温度が上昇するため、本実施の形態におけるような耐熱性のメッシュ材を用いることが好ましい。さらに、メッシュ材として金属ワイヤを含むことによって、金属ワイヤの表面で反射した反射光の一部も、被照射物に当てることができる。よって、メッシュ材は、金属ワイヤなどの反射率が高い材料によって形成されていることが好ましい。
【００３１】
メッシュ材を構成するワイヤは、開口率を大きくして多くの光を透過させることを考慮して、できるだけ細いものが好ましい。また、同様に開口率を大きくするため、メッシュ材の網目の粗さは粗いものが好ましい。但し、メッシュ材のワイヤが細すぎたり、網目の粗さが粗すぎたりすると、メッシュ材の主表面に樹脂を配置することが困難になるので、用いる樹脂の粘性などに応じて、網目１つ１つの大きさやメッシュ材のワイヤの太さを変更することが好ましい。
【００３２】
遮光パターンを樹脂で形成することによって、金属膜の遮光パターンなどと比較して、露光用マスクの軽量化を行なうことができる。樹脂としては、照射する光に対して遮光性の強い樹脂を選定することが好ましい。または、光を透過させない程度に厚くすることが好ましい。また、樹脂として紫外線硬化性を有する樹脂のような感光性樹脂を使用することによって、複雑な遮光パターンであっても容易に形成することができる。さらに、大きな露光用マスクであっても、容易に遮光パターンを形成することができる。
【００３３】
本願発明における露光用マスクは、被照射物の一部にマスクが必要な露光に用いることができる。たとえば、感光性樹脂を感光して一部のみを硬化させ、一定の形状を有する樹脂部品を製造する工程などに使用することができる。
【００３４】
（実施の形態２）
図２および図３を参照して、本発明に基づく露光用マスク、露光方法および液晶表示装置の製造方法について説明する。
【００３５】
図２は、液晶表示装置の製造方法のうち、２枚の基板をシール材で固定する工程の説明図である。本実施の形態においては、基板としてガラス基板が用いられている。本実施の形態におけるガラス基板は、縦１２００ｍｍ、横１５００ｍｍ、厚さ０．７ｍｍのものが用いられている。
【００３６】
図２（ａ）は、液晶表示装置のシール材に露光を行なっているときの断面図である。液晶表示装置は、前述の通り、基板同士の間に液晶が封入された構成を有している。滴下注入法においては、予め１枚の基板の主表面に枠形にシール材を形成し、２枚の基板を重ねたときにその枠形の内部に位置するよう適量の液晶をいずれかの基板に配置した後に、シール材を挟みこむように基板を重ねる。その結果、図２（ａ）に示すように、基板１０ａおよび基板１０ｂの間に液晶１２およびシール材１１が挟まれた構成を有する。シール材１１は液晶を封入する隔壁となっている。基板同士の間隔は、図示しないスペーサによって一定になっている。本実施の形態においては、基板同士の間隔が２μｍ〜５μｍになるように形成されている。
【００３７】
シール材１１は、紫外線硬化性を有する樹脂で形成されており、図２（ａ）においては、紫外線をシール材１１に照射して硬化させている。露光用マスクについては、実施の形態１における露光用マスクが使用されている。すなわち、露光用マスクはメッシュ材に樹脂で遮光パターンが形成されており、開口部３の平面形状は、内周および外周が長方形であって、内周および外周が互いに略平行な枠形の形状となっている。なお、シール材１１として、紫外線硬化性と共に熱硬化性を併せ持つ樹脂を用いてもよく、その場合には紫外線照射による硬化の後に加熱による硬化を行なえばよい。
【００３８】
光源としては紫外線ランプ（長さ２０００ｍｍ、径５０ｍｍ）を使用しており、光源からの紫外線は矢印３０に示すように照射される。本実施の形態における紫外線の照射量は、１〜３Jである。開口部３は、シール材１１が配置されている位置に対応して形成されている。被照射物と露光用マスクとの距離は１ｍｍである。紫外線は開口部３の領域を通り抜けて、シール材１１に照射されてシール材１１が硬化する。このように、光源として紫外線ランプを用いることによって、紫外線硬化性を有する樹脂を硬化させる露光方法に、本発明を適用することができる。
【００３９】
基板１０ａ，１０ｂにおいて、基板同士が対向する面には配向膜が形成されている。また、片方の基板の表示領域（アクティブ領域）とその周辺とには、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子や信号回線などが形成され、シール材１１の外側には駆動素子などが形成されている（図示せず）。これらの部分に紫外線を極力照射しないように、シール材１１が形成されている領域の真上以外は遮光パターンが形成されている。遮光パターンとして配置されている樹脂２は、紫外線の透過率の低い樹脂で形成されている。
【００４０】
このように、光源と被照射物との間に、メッシュ材に樹脂で遮光パターンが形成されているものを、露光用マスクとして用いることによって、大型の被照射物に対しても正確な位置および形状で露光を行なうことができる。また、取扱いが容易であり、安価に露光を行なうことができる。また、上述の露光方法でシール材を硬化させることによって、歩留まりが向上し、かつ作業性が向上した、安価な液晶表示装置の製造方法を提供することができる。
【００４１】
メッシュ材として金属ワイヤで形成されたものを用いること、または、遮光パターンの樹脂として紫外線硬化性を有する樹脂を用いることに対する作用および効果については、実施の形態１の露光用マスクにおける作用および効果と同様であるので、ここでは説明を繰返さない。
【００４２】
図２（ｂ）は、露光用マスクの開口部３の大きさの説明図である。開口部３は、変化を起こさせるべき部分であるシール材１１の真上に配置され、図２（ｂ）は、真上から開口部３を見たときの図である。開口部３の開口部幅１５は、シール材１１の幅であるシール幅１６より大きくなるように形成されている。このように、真上から見たとき、変化を起こさせるべき部分が、内部に収まるように開口部を形成することによって、変化を起こさせる部分に確実に光を照射することができる。その他に、本実施の形態のように、シール材を硬化させる場合などには、シール材の上面のみでなく側面に対しても、露光を行なうことができ、効率よくシール材１１を硬化させることができる。特に、メッシュ材が金属ワイヤで形成されていることによって、金属ワイヤ表面での反射光の一部をシール材の側面に照射することができる。
【００４３】
液晶表示装置の製造方法においては、前述の通り、先に２枚の基板を重ねるようにシール材で完全に固定した後に、液晶を基板とシール材とで囲まれる領域に注入してもよい。この製造方法において紫外線を照射する際には、内部に液晶が配置されていない状態で紫外線が照射される。しかし、配向膜の保護などの理由により、露光用マスクが必要である。この製造方法における露光用マスクの平面図を図３に示す。シール材の形状は、枠形の一部に注入口を有する形状である。露光用マスクの開口部３は、この形状に合わせて、内周および外周が長方形である枠形に上記の注入口に沿った形状が形成されている。そのほかの構成、作用および効果については、実施の形態１における図１に示した露光用マスクと同様であるので、ここでは説明を繰返さない。
【００４４】
（実施の形態３）
（構成）
図４を参照して本発明に基づく実施の形態３における露光装置について説明する。図４は露光装置の概略断面図である。露光装置として、実施の形態２において説明を行なった液晶表示装置のシール材の硬化を行なうための装置について説明する。
【００４５】
露光装置の上部には、光源としての紫外線ランプ２２が複数個配置されており、それぞれの紫外線ランプ２２の被照射物が配置されている側と反対側には、被照射物に向けて、紫外線を反射させるための反射板２３ｂが形成されている。反射板２３ｂは、断面が円弧形状になるように形成されている。
【００４６】
露光装置の下部には、被照射物を保持するための保持手段として吸着ステージ２５が形成されている。吸着ステージ２５は、真空吸着によって被照射物を保持することができるように形成されている。保持手段として吸着ステージを形成する場合、吸着ステージ２５は、吸着する基板１０ｂの大きさと同じものか、または基板１０ｂの大きさよりも大きくなるように形成されている。被照射物としての液晶表示パネルは、２枚の基板１０ａ，１０ｂの間に液晶１２が配置されている。シール材１１は、硬化前のものである。
【００４７】
吸着ステージ２５の両側の側方には、露光用マスク３５を保持するためのマスク支持部２４が形成されている。マスク支持部２４は、被照射物が保持される位置と紫外線ランプ２２との間を隔てるように露光用マスクを支持できるように形成されている。本実施の形態においては、マスク支持部２４は露光装置の側部に形成されている。露光用マスク３５は、基板１０ａの主表面と露光用マスク３５の主表面とが平行になるように支持されている。露光用マスク３５は、シール材１１の領域を対象として紫外線が通過できるように形成されており、開口部３の位置合わせを行なってマスク支持部２４に固定されている。露光用マスク３５は、図１に示したメッシュ材に樹脂で遮光パターンが形成されたものを用いている。
【００４８】
吸着ステージ２５の上面に保持されている液晶表示パネルの位置と紫外線ランプ２２とに挟まれる空間の周りには、反射板２３ａが形成されている。本実施の形態においては、マスク支持部２４の上側において、紫外線を反射させるための板状の反射板２３ａが形成されている。なお、反射板２３ａとしては、図４に示されるような平面形状に限られず、たとえば断面が円弧状などの曲面形状でもよい。
【００４９】
（作用・効果）
紫外線は、紫外線ランプの半径方向に等方的に発せられるが、上側に向かう紫外線は反射板２３ｂの表面で反射する。よって、多くの紫外線は矢印３１に示すように、下方すなわち被照射物の方向に向かう。発した紫外線は、露光用マスクの開口部３を通ってシール材１１に照射される。
【００５０】
このように、メッシュ材に樹脂で遮光パターンが形成された露光用マスクと、被照射物の保持手段と、光源とを備える露光装置を採用することによって、比較的大きな基板に対しても、所望の形状に露光を行なうことができる。また、露光パターンの変更が必要になった場合においても、露光用マスクが軽量であるために容易に露光パターンの変更、すなわち露光用マスクの取替えを容易に行なうことができる。
【００５１】
光源から発した光の中には、露光装置の側方に向かう光もあるが、被照射物が保持される位置と紫外線ランプ２２とに挟まれる空間の周りに反射板２３ａが形成されていることによって、矢印３２に示すように反射板２３ａで光を反射させて、被照射物の方向に光を集めることができる。特に、液晶表示装置の製造装置に対しては、反射板２３ａを備えることによって、露光用マスク３５の主表面に対して側方から光を入射させることができ、この光の入射およびメッシュ材の金属ワイヤ表面における反射によって、シール材１１の側方に対しても紫外線の照射を行なうことができる。
【００５２】
本実施の形態においては、液晶表示装置の製造工程における露光装置について主に説明を行なったが、この露光装置に限られず、マスクを介して露光を行なう装置全般に適用することができる。
【００５３】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明に基づく実施の形態１における露光用マスクの説明図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＩＢ−ＩＢ線に関する矢視断面図である。
【図２】本発明に基づく実施の形態２における露光方法および液晶表示装置の製造方法の説明図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。
【図３】本発明に基づく実施の形態２における露光用マスクの平面図である。
【図４】本発明に基づく実施の形態３における露光装置の概略断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  メッシュ材、２  樹脂、３  開口部、４  フレーム、１０ａ，１０ｂ  基板、１１  シール材、１２  液晶、１５  開口部幅、１６  シール幅、２２  紫外線ランプ、２３ａ，２３ｂ  反射板、２４  マスク支持部、２５  吸着ステージ、３０，３１，３２，３３，３４  矢印、３５  露光用マスク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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