(57)【要約】【課題】テーブル本体を高剛性で重心支持することができる微動テーブル装置等を提供する。【解決手段】微動ステージ装置１は、粗動ステージ装置２０１のＸスライダ２２５の側面２２５Ｘに取り付けられている。微動ステージ装置１のステージ支持部７には、ＸＹ平面に広がるセラミック製のテーブル本体３が支持されている。テーブル本体３の３点の支持点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３には、それぞれ対をなす伸縮ロッド２０が接続されている。各伸縮ロッド２０は、ピエゾ圧電素子で駆動するピエゾアクチュエータである。対をなす伸縮ロッド２０Ａと２０Ａ´、２０Ｂと２０Ｂ´、２０Ｃと２０Ｃ´は、テーブル本体３の表裏面両側からそれぞれ接続されており、テーブル本体３の３点の支持点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の作る三角形Ｔを含む平面を境にして、実質的に対称に配置されている。【選択図】　　　図１
2004146718.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブル本体と、
該テーブル本体の３点の支持点のそれぞれに表裏面両側から接続されたアクチュエータと、
該アクチュエータの前記支持点とは反対側が接続されたテーブルベースと、
を具備する微動テーブル装置であって、
該微動テーブル装置全体の重心が、前記３点の支持点の作る三角形の中であって、該三角形のなす平面の法線方向の近傍の位置にあることを特徴とする微動テーブル装置。
【請求項２】
テーブル本体と、
該テーブル本体の３点の支持点のそれぞれに表裏面両側から接続された、対をなす３組の伸縮ロッドからなるアクチュエータと、
該アクチュエータの前記支持点とは反対側が接続されたテーブルベースと、
を具備することを特徴とする微動テーブル装置。
【請求項３】
前記対をなす伸縮ロッドが、前記３点の支持点の作る三角形を含む平面を境にして、実質的に対称に配置されていることを特徴とする請求項２記載のステージ装置。
【請求項４】
前記各伸縮ロッドがピエゾ圧電素子で伸縮されるピエゾアクチュエータであり、該アクチュエータに伸縮量を計測する非接触センサが付設されていることを特徴とする請求項２記載のステージ装置。
【請求項５】
ある平面（ＸＹ平面）内で移動し、比較的粗く位置決めされるＸＹ粗動ステージと、
該粗動ステージ上に搭載された、請求項１〜４いずれか１項記載の微動ステージと、
を具備することを特徴とするステージ装置。
【請求項６】
感応基板上にエネルギ線を選択的に照射してパターン形成する露光装置であって、
前記感応基板を載置するステージ及び／又はパターン原版を載置するステージが、請求項５記載のステージ装置であることを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微動テーブル装置、微動テーブル装置を備えるステージ装置、及び、ステージ装置を備える露光装置に関する。特には、テーブル本体を高剛性で重心支持することができる微動テーブル装置等に関する。
【０００２】
【従来の技術】
露光装置に用いられるステージ装置として、例えば以下に述べる特許文献１や特許文献２に開示されたものが知られている。
特許文献１のステージ装置は、ステージ（Ｚレベリング・ステージ）上に複数の板バネを介してテーブル（ウェハテーブル）が載置された構成を有する。テーブルは、ステージに対して、Ｚ軸方向、Ｘ軸を中心とした回転方向（θｘ方向）、Ｙ軸を中心とした回転方向（θｙ方向）の３方向に移動可能である。ステージの内部の３箇所には、ＶＣＭ（ボイスコイルモーター）が配置されている。そして、これら３個のＶＣＭをそれぞれ駆動することで、テーブルをＺ方向、θｘ方向、θｙ方向に位置合わせすることができる。
【０００３】
テーブルは、板バネによりほぼ一定の力（自重）でステージ上に支えられているので、テーブルの位置合わせの際には、ＶＣＭの過大な駆動力を必要としない。そのため、ＶＣＭの余分な発熱を抑制できる。さらに、テーブルは板バネを介してステージ上に非接触で支持されているため、テーブル・ステージ両者間の摩擦によるヒステリシスや不感帯が存在しない。したがって、テーブルの高精度な位置決めが実現できる。
【０００４】
ところで、電子線露光装置（ＥＢ露光装置）では、前述のＶＣＭ等から発生する外乱磁場の影響により、パターンの転写に用いられる電子ビームの軌道に予期せぬ偏向が生じる。そこで、ＥＢ露光装置のステージ駆動系においては、外乱磁場が電子ビームの軌道に悪影響を与えないように、磁気シールドを強化した電磁アクチュエータや、非電磁アクチュエータを採用している。
【０００５】
非電磁アクチュエータとしてピエゾ素子を用いるステージ装置が、特許文献２に開示されている。
特許文献２のステージ装置は、６自由度（Ｘ、Ｙ、Ｚ、θｘ、θｙ、θｚ方向）で駆動できる。このステージ装置のステージ部は、下側から順に、下ステージ、四角枠、上ステージ、三角テーブルを備えている。下ステージは、リニアモータにより、ＸＹ平面のＹ軸方向に駆動される。四角枠は、１つのピエゾアクチュエータにより、θｚ方向に回動可能である。上ステージは、リニアモータにより、ＸＹ平面のＸ軸方向に駆動される。三角テーブルは、３つのピエゾアクチュエータにより、θｘ、θｙ、Ｚの３方向に回動可能である。
【０００６】
さらに、図９に示すようなステージ構成も考えられている。
図９は、レチクルステージの一例を概略的に示す図である。（Ａ）は正面図であり、（Ｂ）は側面図である。
図９には、ステージ装置のステージ本体３０１が示されている。このステージ本体３０１には、平板（テーブルベース）３０３を介して、Ｘ方向に延びる３本のピエゾアーム３０５（３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃ）がＹ方向に並んで取り付けられている。中央のピエゾアーム３０５ｂは、左右の２本３０５ａ、３０５ｃに比べて短くなっている。
【０００７】
各ピエゾアーム３０５の先端には、Ｚ方向に伸縮可能なピエゾ素子３０７（３０７ａ、３０７ｂ、３０７ｃ）がそれぞれ取り付けられている。各ピエゾ素子３０７の端部には、ＸＹ平面に広がる四角いテーブル３０９が固定されている。テーブル３０９の側面の２箇所には、移動鏡３１０ａ、３１０ｂが固定されており、テーブル位置をレーザ干渉計で測定することができる。このステージ装置においては、３本のピエゾ素子３０７を伸縮させることで、テーブル３０９をＺ方向、Ｘ軸回り（θｘ）及びＹ軸回り（θｙ）に移動・回転させることができる。なお、テーブル３０９のθｚの移動・回転機能は、ステージ本体３０１が有している。
【０００８】
【特許文献１】
特開平９−２７５０６９号公報（第２図、第３図）
【特許文献２】
特開２００２−１８４６６２号公報（第１図）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
図９に示すステージ装置は、図中符号Ｇで示すテーブル３０９の重心を、支持点（ピエゾ素子３０７ａ、３０７ｂ、３０７ｃ）の幾何学的中心に一致させることが困難である。また、図９（Ａ）中の矢印α１方向（Ｙ方向）、及び、図９（Ｂ）中の矢印α２方向（Ｚ方向）、α３方向（Ｘ方向）、α４方向（θｙ方向）のテーブル支持剛性が弱く、ステージ装置の高加速性への対応が容易ではない。
【００１０】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであって、テーブル本体を高剛性で重心支持することができる微動テーブル装置等を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するため、本発明の第１の微動テーブル装置は、テーブル本体と、　該テーブル本体の３点の支持点のそれぞれに表裏面両側から接続されたアクチュエータと、　該アクチュエータの前記支持点とは反対側が接続されたテーブルベースと、を具備する微動テーブル装置であって、　該微動テーブル装置全体の重心が、前記３点の支持点の作る三角形の中であって、該三角形のなす平面の法線方向の近傍の位置にあることを特徴とする。
【００１２】
この第１の微動テーブル装置によれば、テーブル本体の支持点での剛性を高めることができるとともに、テーブル本体の重心支持構造を実現できる。
【００１３】
本発明の第２の微動テーブル装置は、テーブル本体と、　該テーブル本体の３点の支持点のそれぞれに表裏面両側から接続された、対をなす３組の伸縮ロッドからなるアクチュエータと、　該アクチュエータの前記支持点とは反対側が接続されたテーブルベースと、を具備することを特徴とする。
【００１４】
この微動テーブル装置は、テーブル本体の３点の支持点が対をなす３組の伸縮ロッド（計６本）により支持された、いわゆるパラレルリンクの６自由度テーブル装置である。この第２の微動テーブル装置によれば、テーブル本体の表裏面両側から対をなす伸縮ロッドが各々接続されることにより、テーブル本体の支持点での剛性を高めることができる。
【００１５】
本発明の微動テーブル装置においては、前記対をなす伸縮ロッドが、前記３点の支持点の作る三角形を含む平面を境にして、実質的に対称に配置されているものとすることができる。
この場合、微動テーブル重心を駆動でき、テーブルを高剛性で支持できる利点がある。
【００１６】
本発明の微動テーブル装置においては、前記各伸縮ロッドがピエゾ圧電素子で伸縮されるピエゾアクチュエータであり、該アクチュエータに伸縮量を計測する非接触センサが付設されているものとすることができる。
この場合、ピエゾの電圧―変位の非線形性や温度ドリフトを補償でき、直接伸縮量サーボが可能となる利点がある。
【００１７】
本発明のステージ装置は、ある平面（ＸＹ平面）内で移動し、比較的粗く位置決めされるＸＹ粗動ステージと、　該粗動ステージ上に搭載された、請求項１〜４いずれか１項記載の微動ステージと、を具備することを特徴とする。
本発明の露光装置は、感応基板上にエネルギ線を選択的に照射してパターン形成する露光装置であって、　前記感応基板を載置するステージ及び／又はパターン原版を載置するステージが、請求項５記載のステージ装置であることを特徴とする。
【００１８】
本発明のテーブル装置は、テーブル本体の支持点での剛性を高めることができるとともに、テーブル本体の重心支持構造を実現できる。そのため、このテーブル装置を有する本発明の露光装置は、ステージの高加速化にも充分に対応でき、露光装置のスループットを向上できる。
なお、本発明の露光装置においては、パターンを転写するエネルギ線は特に限定されず、光、紫外線、Ｘ線（軟Ｘ線、ＥＵＶ等）、荷電粒子線（電子線、イオンビーム）等であってよい。また、露光方式も限定されず、縮小投影露光、近接等倍転写、直描式等に広く適用できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ説明する。
まず、図７を参照しつつ、本発明に係るステージ装置を搭載可能な荷電粒子ビーム（電子線）露光装置の例について説明する。なお、本発明に係るステージ装置は、大気中で使用することもでき、荷電粒子ビーム露光装置に限らず、様々な用途に使用できる。
【００２０】
図７は、本発明の一実施の形態に係る電子線露光装置を模式的に示す図である。
図７の電子線露光装置１００の上部には、照明光学系鏡筒１０１が示されている。この照明光学系鏡筒１０１には真空ポンプ１０２が接続されており、同鏡筒１０１内を真空排気している。照明光学系鏡筒１０１の上部には、電子銃１０３が配置されており、下方に向けて電子線を放射する。電子銃１０３の下方には、コンデンサレンズ１０４ａや電子線偏向器１０４ｂが配置されている。なお、図ではコンデンサレンズ１０４ａは一段であるが、実際の照明光学系には複数段のレンズやビーム成形開口等が設けられている。
【００２１】
照明光学系鏡筒１０１の下部には、定盤１１６上に載置されたレチクルチャンバ１１８が配置されている。このレチクルチャンバ１１８内は、図示せぬ真空ポンプで真空排気されている。レチクルチャンバ１１８内において、定盤１１６上にはレチクルステージ１１１が配置されている。レチクルＲは、このレチクルステージ１１１の上部に設けられたチャック１１０に静電吸着等により固定されている。レチクルステージ１１１には、図の左方に示す駆動装置１１２が接続されている。なお、実際の駆動装置１１２は、レチクルステージ１１１内に組み込まれている。この駆動装置１１２は、ドライバ１１４を介して制御装置１１５に接続されている。
【００２２】
レチクルステージ１１１には、図の右方に示すレーザ干渉計１１３が付設されている。このレーザ干渉計１１３は、制御装置１１５に接続されている。レーザ干渉計１１３で計測されたレチクルステージ１１１の位置情報が制御装置１１５に入力されると、レチクルステージ１１１の位置を目標位置とすべく、制御装置１１５からドライバ１１４に指令が送出され、駆動装置１１２が駆動される。その結果、レチクルステージ１１１の位置をリアルタイムで正確にフィードバック制御することができる。
【００２３】
照明光学系鏡筒１０１の電子銃１０３から放射された電子線は、コンデンサレンズ１０４ａによって収束される。続いて、偏向器１０４ｂにより図の横方向に順次走査（スキャン）され、レチクルチャンバ１１８内（光学系の視野内）のレチクルステージ１１１上に吸着されたレチクルＲの各小領域（サブフィールド）の照明が行われる。
【００２４】
定盤１１６の下面側には、投影光学系鏡筒１２１が配置されている。この投影光学系鏡筒１２１には真空ポンプ１２２が接続されており、同鏡筒１２１内を真空排気している。投影光学系鏡筒１２１内には、コンデンサレンズ（投影レンズ）１２４ａや偏向器１２４ｂ等を含む投影光学系１２４、及びウェハＷが配置されている。なお、図ではコンデンサレンズ１２４ａは一段であるが、実際の投影光学系中には複数段のレンズや収差補正用のレンズやコイルが設けられている。
【００２５】
投影光学系鏡筒１２１の下部には、定盤１３６上に載置されたウェハチャンバ１３８が配置されている。このウェハチャンバ１３８内は、図示せぬ真空ポンプで真空排気されている。ウェハチャンバ１３８内において、定盤１３６上にはウェハステージ１３１が配置されている。ウェハＷは、このウェハステージ１３１の上部に設けられたチャック１３０に静電吸着等により固定されている。ウェハステージ１３１には、図の左方に示す駆動装置１３２が接続されている。なお、実際の駆動装置１３２は、ウェハステージ１３１内に組み込まれている。この駆動装置１３２は、ドライバ１３４を介して制御装置１１５に接続されている。
【００２６】
ウェハステージ１３１には、図の右方に示すレーザ干渉計１３３が付設されている。このレーザ干渉計１３３は、制御装置１１５に接続されている。レーザ干渉計１３３で計測されたウェハステージ１３１の位置情報が制御装置１１５に入力されると、ウェハステージ１３１の位置を目標位置とすべく、制御装置１１５からドライバ１３４に指令が送出され、駆動装置１３２が駆動される。その結果、ウェハステージ１３１の位置をリアルタイムで正確にフィードバック制御することができる。
【００２７】
レチクルチャンバ１１８内のレチクルステージ１１１上のレチクルＲを通過した電子線は、投影光学系鏡筒１２１内のコンデンサレンズ１２４ａにより収束される。このコンデンサレンズ１２４ａを通過した電子線は、偏向器１２４ｂにより偏向され、ウェハＷ上の所定の位置にレチクルＲの像が結像される。
【００２８】
次に、本発明に係るステージ装置の例について説明する。
図８は、本発明の一実施の形態に係るステージ装置の粗動ステージの全体構成を示す斜視図である。
図８に示すステージ装置のＸＹ粗動ステージ２０１は、前述した図７のレチクルステージ１１１に相当する。ＸＹ粗動ステージ２０１は、定盤１１６（図７参照）上に設置されている。このＸＹ粗動ステージ２０１上に、後に図１〜図６を参照して説明する６自由度微動テーブル装置１が搭載される。なお、図８の粗動ステージ２０１は、ここではレチクルステージ１１１に相当するとして説明するが、ウェハステージに適用することもできる。
【００２９】
定盤１１６の上面の四隅近傍には、ガイド固定部２０５ａ〜２０５ｄがそれぞれ設けられている。ガイド固定部２０５ａと２０５ｂ間、並びに、ガイド固定部２０５ｃと２０５ｄ間には、Ｙ方向に延びる固定ガイド２０６Ａ、２０６Ｂが互いに平行に架設されている。これら２本の固定ガイド２０６Ａ、２０６Ｂ及びその周辺の部材のそれぞれは、基本的に同様の構成をしている。各固定ガイド２０６Ａ、２０６Ｂには、図示せぬ気体軸受（エアパッド）を介して、中空のボックス状をしたＹスライダ２０７Ａ、２０７ＢがＹ方向にスライド可能に外嵌している。固定ガイド２０６ＡとＹスライダ２０７Ａ、並びに、固定ガイド２０６ＢとＹスライダ２０７Ｂは、エアシリンダを構成している。
【００３０】
各Ｙスライダ２０７Ａ、２０７Ｂの外面には、前述のエアパッドにエアを供給するエア配管２０８Ａ、２０８Ｂが接続されている。各Ｙスライダ２０７Ａ、２０７Ｂのエアパッドに供給されたエアは、各固定ガイド２０６Ａ、２０６Ｂ内に形成された回収・排気通路等から排気される。各固定ガイド２０６Ａ、２０６Ｂの両端部には、エアシリンダ気体室（各Ｙスライダ２０７Ａ、２０７Ｂ内部室）のエア圧力を制御する圧空制御弁２２７が設けられている。この圧空制御弁２２７としては、例えばＶＣＭ（ボイスコイルモーター）で駆動されるサーボ弁を用いることができる。
【００３１】
両Ｙスライダ２０７Ａ、２０７Ｂ間には、Ｘ方向に延びる移動ガイド２２１が掛け渡されている。この移動ガイド２２１には、図示せぬ気体軸受（エアパッド）を介して、中空のボックス状をしたＸスライダ２２５がＸ方向にスライド可能に外嵌している。Ｘスライダ２２５の上面には、このエアパッドにエアを供給するエア配管２０８Ｃが接続されている。これら移動ガイド２２１とＸスライダ２２５とは、エアシリンダを構成している。なお、このエアシリンダ（移動ガイド・Ｘスライダ）の基本的な構成は、前述のエアシリンダ（固定ガイド・Ｙスライダ）と同様である。
【００３２】
続いて、本発明に係る微動テーブル装置について詳しく説明する。
図１は、本発明に係る微動テーブル装置をＸＹ粗動ステージ（図８のステージ）に搭載した状態を示す斜視図である。
図２は、同微動テーブル装置を単体で示す斜視図である。
図３（Ａ）は同微動テーブル装置の平面図であり、（Ｂ）は正面図であり、（Ｃ）は側面図である。
図４は、同微動テーブル装置の伸縮ロッドを示す図である。
図５は、同微動テーブル装置の重心支持状態を説明するための説明図である。
【００３３】
なお、以下の説明においては、特に断らない限り、上側・下側・右側・左側・前側・奥側とは、図１及び図２の左上に示す矢印方向を指すものとする。図１及び図２に示す矢印方向と図８の矢印方向の対応付けについては、右（左）側がＸ方向、前（奥）側がＹ方向、上（下）側がＺ方向である。
【００３４】
図１に示すように、微動ステージ装置１は、前述の図８に示す粗動ステージ装置２０１上において、Ｘスライダ２２５の側面２２５Ｘに取り付けられている。
この微動ステージ装置１は、固定プレート部８と突出部材９からなるステージ支持部（ステージベース）７を備えている。固定プレート部８は、Ｘスライダ２２５の側面２２５Ｘに貼り付けられている。突出部材９は、固定プレート部２５１の左寄り端部から前側に突出するように設けられている。
【００３５】
図１〜図３に示すように、微動ステージ装置１のステージ支持部７には、ＸＹ平面に広がるセラミック製のテーブル本体３が支持されている。図２及び図３にわかり易く示すように、テーブル本体３は、ほぼ中央部に円形の孔３ａが形成され、その右側に長方形の孔３ｂが形成された四角い平板状をしている。テーブル本体３の円孔３ａの周りには、円形枠部５が形成されている。この円形枠部５には、図示せぬ静電チャックが取り付けられ、この静電チャックにレチクルが静電吸着される。露光中には、円形孔３ａをレチクルでパターン化された電子線が通過する。テーブル本体３の孔３ｂには、マークプレートＭ（図１参照）が取り付けられる。なお、図中符号は付さないが、円形枠部５の外側には複数の抜き孔（重量軽減用）が形成されている。
【００３６】
図１〜図３に示すように、テーブル本体３は、３点の支持点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を有している。支持点Ｐ１と支持点Ｐ２は、テーブル本体３の左側辺の両端部にそれぞれ設定されている。支持点Ｐ３は、テーブル本体３の円形孔３ａと長方形孔３ｂ間の中央部に設定されている。テーブル本体３の各支持点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３には、それぞれ対をなす伸縮ロッド２０（２０Ａ・２０Ａ´、２０Ｂ・２０Ｂ´、２０Ｃ・２０Ｃ´）が接続されている。各伸縮ロッド２０は、ピエゾ圧電素子で駆動するピエゾアクチュエータである。
なお、図１に示すように、テーブル本体３のＸ方向・Ｙ方向に延びる外側端縁には、干渉計用のミラー１１、１２が取り付けられている。
【００３７】
ここで、図４を参照して、各伸縮ロッド２０の構成について説明する。前述の計６本の伸縮ロッドにおいて、伸縮ロッド２０Ｃ、２０Ｃ´は伸縮ロッド２０Ａ、２０Ａ´、２０Ｂ、２０Ｂ´よりも長いが、構造自体は同一であるため、ここでは同じものとして説明する。
【００３８】
図４に示すように、伸縮ロッド２０は、シリンダ部２１とロッド部２２とが伸縮可能に組み合わされてなる。前述したように、ロッド部２２は、シリンダ部２１に対してピエゾ圧電素子で伸縮される。ロッド部２２には、プローブ２４が取り付けられている。一方、このプローブ２４と対向するシリンダ部２１端部には、ターゲット２５が取り付けられている。これらターゲット２４及びプローブ２５は、両者間のギャップ（図４の符号ｔ）を測定して伸縮ロッド２０の伸縮量を計測する非接触の静電容量センサを構成し、１００〜２００μｍの寸法（一例）を計測できる。伸縮ロッド２０は、ロッド先端部２２ａがテーブル本体３に接続され、シリンダ側端部２１ａがテーブルベース側に接続される。
【００３９】
図１〜図３に戻って説明する。左手前の伸縮ロッド２０Ａのロッド先端部（図４の符号２２ａ）は、ジョイント３１Ａを介してテーブル本体３上面側の支持点Ｐ１に接続されている。同伸縮ロッド２０Ａのシリンダ側端部（基端部、図４の符号２１ａ）は、突出部材９内側の連結部材２３の前側上端部（以下これを固定点ＦＡと呼ぶ）に接続されている。一方、伸縮ロッド２０Ａ´のロッド先端部は、ジョイント３１Ａ´を介してテーブル本体３下面側の支持点Ｐ１に接続されている。同伸縮ロッド２０Ａ´のシリンダ基端部は、連結部材２３の前側下端部（以下これを固定点ＦＡ´と呼ぶ）に接続されている。これら伸縮ロッド２０Ａ、２０Ａ´は、テーブル本体３を挟んで互いに対称に配置されている。両伸縮ロッド２０Ａ、２０Ａ´の配置角度は、ＹＺ平面とのなす角が４５°（図３（Ａ）参照）となっており、ＸＹ平面とのなす角が２０°（図３（Ｂ）参照）となっている。
【００４０】
伸縮ロッド２０Ｂのロッド先端部は、ジョイント３１Ｂを介してテーブル本体３上面側の支持点Ｐ２に接続されている。同伸縮ロッド２０Ｂのシリンダ基端部は、突出部材９内側の連結部材２３の奥側上端部（以下これを固定点ＦＢと呼ぶ）に接続されている。一方、伸縮ロッド２０Ｂ´のロッド先端部は、ジョイント３１Ｂ´を介してテーブル本体３下面側の支持点Ｐ２に接続されている。同伸縮ロッド２０Ｂ´のシリンダ基端部は、連結部材２３の奥側下端部（以下これを固定点ＦＢ´と呼ぶ）に接続されている。これら伸縮ロッド２０Ｂ、２０Ｂ´は、テーブル本体３を挟んで互いに対称に配置されている。両伸縮ロッド２０Ｂ、２０Ｂ´の配置角度は、ＹＺ平面とのなす角が４５°（図３（Ａ）参照）となっており、ＸＹ平面とのなす角が２０°（図３（Ｂ）参照）となっている。
【００４１】
伸縮ロッド２０Ｃのロッド先端部は、ジョイント３１Ｃを介してテーブル本体３上面側の支持点Ｐ３に接続されている。同伸縮ロッド２０Ｃのシリンダ基端部は、固定プレート部８内側の連結部材２５の上部２５Ａ（以下これを固定点ＦＣと呼ぶ）に接続されている。一方、伸縮ロッド２０Ｃ´のロッド先端部は、ジョイント３１Ｃを介してテーブル本体３上面側の支持点Ｐ３に接続されている。同伸縮ロッド２０Ｃ´のシリンダ基端部は、連結部材２５の下部２５Ｂ（以下これを固定点ＦＣ´と呼ぶ）に接続されている。なお、伸縮ロッド２０Ｃ´のシリンダ部は、テーブル本体３の一部を切り欠いた凹部内に埋め込まれるように配置されている。図３（Ｃ）に示すように、伸縮ロッド２０Ｃは、ＸＹ平面に対して１０°傾いて配置されており、伸縮ロッド２０Ｃ´は、ＸＹ平面に対して５°傾いて配置されている。
【００４２】
このように、伸縮ロッド２０Ｃ、２０Ｃ´は、伸縮ロッド２０Ａ、２０Ａ´、あるいは、２０Ｂ、２０Ｂ´とは異なり、互いに非対称に配置されているが、両者の傾きの差（５°）は小さいので、実質的にほぼ対称であるとみなしてよいものとする。すると、これら各対をなす伸縮ロッド（２０Ａと２０Ａ´、２０Ｂと２０Ｂ´、２０Ｃと２０Ｃ´）は、テーブル本体３の表裏面両側からそれぞれ接続されており、テーブル本体３の３点の支持点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の作る三角形Ｔを含む平面を境にして、実質的に対称に配置されていることとなる。このとき、図５に模式的に示すように、微動テーブル装置１全体の重心Ｇは、３点の支持点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の作る三角形Ｔの中であって、この三角形Ｔのなす平面の法線方向の近傍の位置にある。
【００４３】
このような微動テーブル装置１においては、計６本の伸縮ロッド２０によってパラレルリンク機構を構成しており、これら６本の伸縮ロッド２０を伸縮させることでテーブル本体３を６自由度で（Ｘ、Ｙ、Ｚ、θｘ、θｙ、θｚの各方向）駆動できる。テーブル本体３は、表裏面両側から対をなす６本の伸縮ロッド２０で支持されることにより、支持点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３での剛性を高めることができる。さらに、微動テーブル装置１全体の重心は、３点の支持点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の作る三角形Ｔ（図５参照）の中であって、この三角形Ｔのなす平面の法線方向の近傍の位置にあるため、テーブル本体３の重心支持構造が実現されている。そのため、この微動テーブル装置１を有する露光装置（図７参照）は、高加速性にも充分に対応できる。
【００４４】
テーブル本体３の支持・駆動について、図６を参照しつつさらに説明する。
図６（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明に係る微動テーブルのテーブル本体の支持・駆動を説明するための説明図である。
図６では、前述した６本の伸縮ロッドのうち、代表して２本のみ（符号２０、２０´）が描かれている。図６（Ａ）に示すように、伸縮ロッド２０、２０´は、テーブル本体３を挟んで両側から、互いに対称に配置されている。このとき、前述した通り、テーブル本体３は、各支持点での剛性が高められるとともに、重心支持構造が実現されている。
【００４５】
この状態から、例えばテーブル本体３を押し出す（図６中上側に移動させる）には、伸縮ロッド２０、２０´のロッド部２２、２２´をともに進出させる（図６（Ｂ）参照）。あるいは、テーブル本体３を下げる（図６中右側に移動させる）には、伸縮ロッド２０のロッド部２２を進出させ、伸縮ロッド２０´のロッド部２２´を退避させる。このような伸縮ロッドの駆動の組み合わせにより、テーブル本体３は精密に移動・位置決めされる。
【００４６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、テーブル本体を高剛性で重心支持することができる微動テーブル装置等を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る微動テーブル装置をＸＹ粗動ステージ（図８のステージ）に搭載した状態を示す斜視図である。
【図２】同微動テーブル装置を単体で示す斜視図である。
【図３】（Ａ）は同微動テーブル装置の平面図であり、（Ｂ）は正面図であり、（Ｃ）は側面図である。
【図４】同微動テーブル装置の伸縮ロッドを示す図である。
【図５】同微動テーブル装置の重心支持状態を説明するための説明図である。
【図６】本発明に係る微動テーブルのテーブル本体の支持・駆動を説明するための説明図である。
【図７】本発明の一実施の形態に係る電子線露光装置を模式的に示す図である。
【図８】本発明の一実施の形態に係るステージ装置の粗動ステージの全体構成を示す斜視図である。
【図９】レチクルステージの一例を概略的に示す図である。（Ａ）は正面図であり、（Ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
１　微動ステージ装置　　　　　　　　３　テーブル本体
３ａ　円形孔　　　　　　　　　　　　３ｂ　長方形孔
５　円形枠部　　　　　　　　　　　　７　ステージ支持部（ステージベース）
８　固定プレート部　　　　　　　　　９　突出部材
２０（２０Ａ・２０Ａ´、２０Ｂ・２０Ｂ´、２０Ｃ・２０Ｃ´）　伸縮ロッド
２１　シリンダ部　　　　　　　　　　２１ａ　シリンダ基端部
２２　ロッド部　　　　　　　　　　　２２ａ　ロッド先端部
２４　プローブ　　　　　　　　　　　２５　ターゲット
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３　支持点
Ｔ　テーブル本体の３点の支持点の作る三角形
Ｇ　微動テーブル装置全体の重心
１００　電子線露光装置　　　　　　　２０１　粗動ステージ装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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