(57)【要約】      （修正有）【課題】リードタイムと稼働率とのバランスを最適化し、リードタイムの長時間化と稼働率の低下を抑制する。【解決手段】対象物を複数の工程を通過させることにより製品化する製造システムであって、各工程に１あるいは複数設けられ、対象物に所定の製造処理を施す製造装置と、各工程に対象物を搬入すると共に製造処理が完了した対象物を各工程から搬出する搬送手段と、各製造装置の稼動状態を逐次監視すると共に、１あるいは複数の工程からなる工程ブロック毎に対象物の個数に所定のしきい値を設定し、該しきい値を満足するように搬送手段を制御するシステム制御装置とを具備する。【選択図】      図４
2004295192.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を複数の工程を通過させることにより製品化する製造システムであって、
各工程に１あるいは複数設けられ、対象物に所定の製造処理を施す製造装置と、
各工程に対象物を搬入すると共に製造処理が完了した対象物を各工程から搬出する搬送手段と、
各製造装置の稼動状態を逐次監視すると共に、１あるいは複数の工程からなる工程ブロック毎に対象物の個数に所定のしきい値を設定し、該しきい値を満足するように搬送手段を制御するシステム管理手段と
を具備することを特徴とする製造システム。
【請求項２】
しきい値は、工程ブロック毎に対象物の最大個数を規定するブロック最大在庫数であることを特徴とする請求項１記載の製造システム。
【請求項３】
ブロック最大在庫数は、各製造装置の稼動状態に応じて可変されることを特徴とする請求項２記載の製造システム。
【請求項４】
ブロック最大在庫数は、その総和が一定範囲内となるように設定されることを特徴とする請求項２または３記載の製造システム。
【請求項５】
しきい値は、工程ブロック毎に対象物の最小個数を規定するブロック最小在庫数であることを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載の製造システム。
【請求項６】
ブロック最小在庫数は、製造装置のＭＴＴＲ（Ｍｅａｎ  Ｔｉｍｅ  Ｔｏ  Ｒｅｐａｉｒ）及び平均タクトタイムに基づいて設定されることを特徴とする請求項５記載の製造システム。
【請求項７】
ブロック最小在庫数は、製造装置のＭＴＴＲ（Ｍｅａｎ  Ｔｉｍｅ  Ｔｏ  Ｒｅｐａｉｒ）及び平均タクトタイムの変化に応じて逐次変更されることを特徴とする請求項６記載の製造システム。
【請求項８】
工程ブロックを構成する工程数は変更自在であることを特徴とする請求項１〜７いずれかに記載の製造システム。
【請求項９】
各工程に設けられる製造装置の台数は２以下であることを特徴とする請求項１〜８いずれかに記載の製造システム。
【請求項１０】
製品は半導体装置であることを特徴とする請求項１〜９いずれかに記載の製造システム。
【請求項１１】
対象物を複数の工程を通過させることにより製品化する製造方法であって、
各工程の製造装置の稼動状態を逐次監視すると共に、１あるいは複数の工程からなる工程ブロック毎に対象物の個数に所定のしきい値を設定し、該しきい値を満足するように対象物の搬送を管理することを特徴とする製造方法。
【請求項１２】
しきい値は、工程ブロック毎に対象物の最大個数を規定するブロック最大在庫数であることを特徴とする請求項１１記載の製造方法。
【請求項１３】
ブロック最大在庫数は、各製造装置の稼動状態に応じて可変されることを特徴とする請求項１２記載の製造方法。
【請求項１４】
ブロック最大在庫数は、その総和が一定範囲内となるように設定されることを特徴とする請求項１２または１３記載の製造方法。
【請求項１５】
しきい値は、工程ブロック毎に対象物の最小個数を規定するブロック最小在庫数であることを特徴とする請求項１１〜１４いずれかに記載の製造方法。
【請求項１６】
ブロック最小在庫数は、製造装置のＭＴＴＲ（Ｍｅａｎ  Ｔｉｍｅ  Ｔｏ  Ｒｅｐａｉｒ）及び平均タクトタイムに基づいて設定されることを特徴とする請求項１６記載の製造方法。
【請求項１７】
ブロック最小在庫数は、製造装置のＭＴＴＲ（Ｍｅａｎ  Ｔｉｍｅ  Ｔｏ  Ｒｅｐａｉｒ）及び平均タクトタイムの変化に応じて逐次変更されることを特徴とする請求項１７記載の製造方法。
【請求項１８】
工程ブロックを構成する工程数は変自在であることを特徴とする請求項１１〜１７いずれかに記載の製造方法。
【請求項１９】
各工程に設けられる製造装置の台数は２以下であることを特徴とする請求項１１〜１８いずれかに記載の製造方法。
【請求項２０】
製品は半導体装置であることを特徴とする請求項１１〜１９いずれかに記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製造システム及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、製品は複数の工程を経て製造され、例えばフォトリソグラフィ技術を駆使して製造される半導体装置の場合には工程数が多く、１００を超える工程を経て製造されることが多い。一方、近年の製造では、製造効率の向上を図る必要から、ＣＩＭ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｍａｎｉｆａｃｔｕｒｅｉｎｇ）化が進んでいる。このＣＩＭは、各工程の製造装置及び工程間の製品搬送をコンピュータを用いて管理するものである。特に、半導体装置の製造では、工程数が多いため、ＣＩＭを導入することにより製造効率の向上が図られている。例えば特開２０００−２６３３８８号公報あるいは特開２００２−２２９６１９号公報には、このようなＣＩＭ手法を用いた半導体装置の製造技術が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２６３３８８号公報
【０００４】
【特許文献２】
特開２００２−２２９６１９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、多工程かつＣＩＭ手法を用いた製造においては、各工程の製造装置の稼働率が向上するものの、何れかの工程の製造装置が停止した場合には、製造途中の仕掛品が多くなってリードタイムが長時間化かつ不安定になるという問題点がある。特に、各工程の製造装置の個数が比較的少ない小規模製造設備の場合には、製造装置のていしによるリードタイムの長時間化及び不安定の傾向が顕著となる。近年、投資額抑制の観点から小規模工場（小規模製造設備）が、またＳＣＭ（Ｓｕｐｐｌｙ  Ｃｈａｉｎ  Ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ）の観点からリードタイム管理が各々注目されており、小規模工場においてリードタイムを如何にして短縮するかという問題の解決が重要になってきている。
【０００６】
しかしながら、このようなリードタイムは、稼働率に対して二律背反関係つまりトレードオフ関係にあるために、稼働率の低下を抑えつつリードタイムを如何に短縮するか、つまりリードタイムと稼働率とのバランスを最適化する必要がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、以下の点を目的とするものである。
（１）リードタイムと稼働率とのバランスを最適化する。
（２）リードタイムの長時間化を抑制する。
（３）稼働率の低下を抑制する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、対象物を複数の工程を通過させることにより製品化する製造システムにおいて、各工程に１あるいは複数設けられ、対象物に所定の製造処理を施す製造装置と、各工程に対象物を搬入すると共に製造処理が完了した対象物を各工程から搬出する搬送手段と、各製造装置の稼動状態を逐次監視すると共に、１あるいは複数の工程からなる工程ブロック毎に対象物の個数に所定のしきい値を設定し、該しきい値を満足するように搬送手段を制御するシステム管理手段とを具備するという手段を採用する。
【０００９】
また、本発明では、対象物を複数の工程を通過させることにより製品化する製造方法において、各工程の製造装置の稼動状態を逐次監視すると共に、１あるいは複数の工程からなる工程ブロック毎に対象物の個数に所定のしきい値を設定し、該しきい値を満足するように対象物の搬送を管理するという手段を採用する。
【００１０】
【作用】
このような手段の作用について図１〜図３を参照して説明するが、最初に図１及び図２に示す模式図を参照して、ブロック最大在庫数を工程ブロックの対象物の個数を規定するしきい値に設定した場合について説明する。
【００１１】
なお、図１〜図３に示すように、以下の説明では、便宜的に合計６個からなる工程１〜６を対象とし、各工程１〜６における１個の対象物を処理するのに要する時間（タクトタイム）は１時間で同一、並列処理可能な対象物の個数は「１」とする。なお、□は各工程１〜６において処理中の対象物、一方、■は処理待ち状態にある対象物（処理待ち在庫）を示している。
【００１２】
図１（ａ）は、各工程１〜６が正常稼動している場合を示している。各工程１〜６では１個の対象物を１時間掛けて処理して次工程に順次引き渡すので、最上流に位置する工程１に対して１時間毎に１個の対象物を投入すれば、各工程１〜６は整然と流れて、最初に対象物を投入してから１２時間後には、最下流の工程６から１個の製品が出荷される。すなわち、対象物の投入から製品出荷までに要するリードタイムは１２時間である。
【００１３】
これに対して、図１（ｂ）は、工程５に故障が発生した状態（故障中）を示している。この場合、故障発生時から４時間後には製品の出荷が停止しすると共に、１０時間後には、図示するように工程５の直前工程である工程４には１０個の対象物が処理待ち在庫として溜まる。そして、このまま工程１への対象物の投入を続ければ、工程４の処理待ち在庫は無制限に増加することになる。
【００１４】
図１（ｃ）は、このような各工程１〜６を１つの工程ブロックに設定し、当該工程ブロックに対する対象物の最大値（ブロック最大在庫数）を「１８」に設定した場合を示している。工程ブロック内に存在する対象物の個数は１８個に制限されるので、工程５が停止してから１０時間後には工程１への対象物の投入が停止され、１２時間後には、図示するように工程５が処理しなければいけない処理待ち在庫の個数は１３個となる。
【００１５】
そして、さらに５時間後つまり工程５が停止してから１７時間後には、工程５の処理待ち在庫は、図１（ｄ）に示すように１８個となる。このような状態から工程５の故障が復旧して再稼動した場合、工程５は、１８個の処理待ち在庫の処理に１８時間を要するので、この場合のリードタイムは大幅に増大することになる。
【００１６】
これに対して、図２（ａ）は、各工程１〜６を各々個別の工程ブロックに設定し、当該各工程ブロックのブロック最大在庫数を「３」に設定した場合を示している。この場合、工程５が故障すると、製造処理した対象物を工程５に引き渡せない工程４は、処理待ち在庫の個数が「３」になると製造処理を停止し、さらに上流に位置する工程１〜３も同様に対象物の個数が「３」になると製造処理を停止するので、工程５の故障発生時から５時間後には工程１の製造処理が停止して図示するような状態で工場全体が停止する。すなわち、工程５の上流に位置する各工程１〜４の処理待ち在庫は各々に３個となるので、リードタイムは、上述した図１（ｄ）の場合に比較して大幅に短縮される。
【００１７】
さらに、図２（ｂ）は、隣り合う２つの工程を１つの工程ブロックとし、各工程ブロックのブロック最大在庫数を「６」に設定した場合を示している。この場合には、工程５の故障発生時から４時間後には工程１の製造処理が停止して対象物の新規投入が停止し、さらに３時間後には工場が停止して、最終的には各工程ブロックの在庫は図示するように各々６個となる。
【００１８】
このように、工程ブロックを細分化した場合はブロック最大在庫数を小さく設定し、また工程ブロックを粗く設定した場合には、ブロック最大在庫数を大きく設定することになる。そして、前者の場合は処理待ち在庫の最大値が小さくなってリードタイムが安定化する一方、工場が停止するまでの時間（＝稼働率）が低下する。これに対して、後者の場合には、処理待ち在庫の最大値が大きくなってリードタイムが不安定化する一方、工場が停止するまでの時間（＝稼働率）が上昇する。
【００１９】
なお、実際には稼働率が高くＭＴＴＲ（ｍｅａｎ  ｔｉｍｅ  ｔｏ  ｒｅｐａｉｒ）が小さい工場程、工程ブロックを構成する工程数を多くすることができる。したがって、例えば立ち上げ当初の工場については工程ブロックを細かく設定する一方、立ち上げから時間が経過してＭＴＴＲが収束した工場については、工程ブロックを粗く設定する。また、各ブロック最大在庫数の総和が一定範囲内となるように、各工程ブロックに設定するブロック最大在庫数の大小を調節することが好ましい。
【００２０】
次に、図３に示す模式図を参照して、ブロック最小在庫数を工程ブロックの対象物の個数を規定するしきい値に設定した場合について説明する。なお、図３（ａ）は各工程１〜６を各々個別の工程ブロックに設定した場合において、ロック最小在庫数を「２」に設定した状態を示し、一方、図３（ｂ）は同様の工程ブロック構成においてブロック最小在庫数を「３」に設定した状態を示している。すなわち、図３（ａ）では処理待ち在庫が「１」になるが、図３（ｂ）では処理待ち在庫が「２」になっている。
【００２１】
ここで、工程３が故障した場合、次工程である工程４が停止するまでに要する時間は、工程４の処理待ち在庫を工程４のタクトタイム（＝１時間）で除算した値となるので、ブロック最小在庫数を大きく設定する程に稼働率が低下し難くなることが分かる。一般に、稼働率を低下させないようにする場合、ブロック最小在庫数を下式によって見積もることができる。
（ブロック最小在庫数）＝（工程ブロックのＭＴＴＲ）／
（タクトタイム）・（安全係数）
この式から分かるように、安全係数を大きく設定する程に工場全体の総在庫数が増加すると共に、リードタイムが長時間化することになる。
【００２２】
なお、ＭＴＴＲやタクトタイムは、実際には諸条件によって変動するものである。したがって、ブロック最小在庫数については、このような変動をも考慮し、各工程あるいは工程ブロックを構成する製造装置のＭＴＴＲ及び平均タクトタイムに基づいて設定すると共に、これら緒量の変動に応じて逐次変更することが好ましい。
【００２３】
このように、所定のしきい値を設定することにより工程ブロックにおける対象物の個数を規制することにより、リードタイムと稼働率との関係を最適化することができる。すなわち、しきい値として工程ブロック毎に対象物の最大個数を規定するブロック最大在庫数を設定することにより何れかの製造装置の停止によるリードタイムの長時間化を抑制することが可能であり、さらに工程ブロック毎に対象物の最小個数を規定するブロック最小在庫数をもしきい値として設定することにより稼働率の低下を抑制することが可能であり、したがってリードタイムと稼働率とのバランスを最適化することができる。
【００２４】
なお、本願発明は、小規模な工場つまり各工程を構成する製造装置の台数が比較的少ない工場に適用した場合により有効に作用する。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。なお、本実施形態は、基板（ガラス基板）上にフォトリソグラフィ技術を用いてＴＦＴ等の液晶駆動回路が形成された液晶表示板の製造工程に関するものである。
【００２６】
図４は、本実施形態に係わる製造システムの機能構成を示すブロック図である。この図において、符号１はオートストッカー（収納手段）、２はＡＧＶ（無人搬送車：搬送手段）、３は自動搬送制御装置、４は製造管理装置、ｍ１１〜ｍ１００１は製造装置である。これら各構成要素のうち、自動搬送制御装置３及び製造管理装置４は本実施形態におけるシステム管理手段を構成している。また、これら各構成要素は、ＬＡＮを介して相互接続されると共にクリーンルーム内に設置されているが、自動搬送制御装置４及びシステム制御装置６については、必ずしもクリーンルームに設ける必要はない。
【００２７】
複数の製造装置ｍ１１〜ｍ１００１は、液晶表示板を製造するための各工程１〜１００において基板に所定の製造処理を施すものである。製造装置ｍ１１は最上流の製造工程である工程１に、製造装置ｍ２１，２２は当該工程１に続く肯定２に、製造装置ｍ３１は当該工程２に続く肯定３に、……、そして、製造装置ｍ１００１は最終工程である工程１００にそれぞれ設けられている。
【００２８】
オートストッカー１は、ＡＧＶ２から提供された基板（対象物）を自動収納する一方、収納していた基板を取り出してＡＧＶ２に提供するものである。ＡＧＶ２は、上記各工程１〜１００及びオートストッカー４の間を走行することによりこれら各装置間に基板を自動搬送するものである。自動搬送制御装置３は、これらＡＧＶ２とオートストッカー４とを製造管理装置４からの指示の下に制御するものである。
【００２９】
製造管理装置４は、所定の制御プログラムに基づいて上記各装置を統括的に制御・管理するものでありる。また、この製造管理装置４は、搬送管理テーブル４ａを備えており、各製造装置ｍ１１〜ｍ１００１の稼動状況及び搬送管理テーブル４ａの登録内容に応じて自動搬送制御装置３に基板の搬送を指示する。
【００３０】
図５は、上記搬送管理テーブル４ａの構成を示す模式図である。この搬送管理テーブル４ａは、最大で１５個の工程ブロック＃１〜＃１５が定義されると共に、各工程ブロック＃１〜＃１５毎に「工程構成」、「ブロック最大在庫数」、「ブロック最小在庫数」、「実在庫数」がテーブル要素として登録されるように構成されている。「工程構成」は、各工程ブロック＃１〜＃１５を構成する工程を示し、「ブロック最大在庫数」は、各工程ブロック＃１〜＃１５における基板のロット数の最大値を示し、「ブロック最小在庫数」は各工程ブロック＃１〜＃１５における基板のロット数の最小値を示し、また「実在庫数」は、時々刻々と変化する各工程ブロック＃１〜＃１５における基板のロット数を示す。
【００３１】
これらテーブル要素のうち、「工程構成」、「ブロック最大在庫数」及び「ブロック最小在庫数」は外部からの指定によって予め設定・登録され、「実在庫数」は、本製造システムの運転の各時刻において適宜更新登録される。図示するように、本実施形態では合計１００工程を１０工程ずつに分割して工程ブロック＃１〜＃１０に各工程１〜１００を割り当てている。
【００３２】
すなわち、本製造システムでは、最大で１５個まで設定可能な工程ブロック＃１〜＃１５のうち、１０個の工程ブロック＃１〜＃１０のみを用いる。工程ブロック＃１は互いに連続する各工程１〜１０によって、工程ブロック＃２は同じく連続する各工程１１〜２０によって、工程ブロック＃３は同じく連続する各工程２１〜３０によって、……、工程ブロック＃１０は同じく連続する各工程９１〜１００によって各々構成される。
【００３３】
そして、このように各工程１〜１００が分割・割り当てされた各工程ブロック＃１〜＃１０には、ブロック最大在庫数として同一のロット数「Ｘａ」が、またブロック最小在庫数として同様に同一のロット数「Ｘｂ」が設定されている。これら、ブロック最大在庫数及びブロック最小在庫数のうち、ブロック最大在庫数については、その総和つまり１０Ｘａが一定範囲内となるように、すなわち何れかの工程ブロックのブロック最大在庫数を増やした場合には、その増加分に相当する分だけ他の工程ブロックのブロック最大在庫数を減らすように設定される。一方、ブロック最小在庫数については、各製造装置ｍ１１〜ｍ１００１のＭＴＴＲ（Ｍｅａｎ  Ｔｉｍｅ  Ｔｏ  Ｒｅｐａｉｒ）及び平均タクトタイムに基づいて設定される。
【００３４】
次に、このように構成された製造システムの動作について、図６に示すフローチャートに沿って説明する。なお、このフローチャートは、制御プログラムに基づく製造管理装置４の処理手順を示すものである。
【００３５】
製造管理装置４は、稼動を開始すると、工程１の製造装置ｍ１１が使用可能かを判断し（ステップＳ１）、この判断が「Ｙｅｓ」の場合は、当該製造装置ｍ１１が空き状態にあるか否かを判断する（ステップＳ２）。そして、このステップＳ２の判断が「Ｙｅｓ」の場合は、上記搬送管理テーブル４ａを検索することにより下流工程つまり工程２の実在庫数がブロック最大在庫数Ｘａ以下であるか否かを判断し（ステップＳ３）、この判断がＹｅｓ」の場合は、同じく搬送管理テーブル４ａを検索することにより下流工程（この場合ない）の実在庫数がブロック最小在庫数Ｘｂ以上であるか否かを判断する（ステップＳ４）。そして、このステップＳ４の判断が「Ｙｅｓ」の場合は、自動搬送制御装置３に工程１への基板の搬送を指示する。
【００３６】
製造システムが運転を開始した初期状態では、上記各ステップＳ１〜Ｓ４の判断は全て「Ｙｅｓ」となる。そして、上記指示を受信した自動搬送制御装置３がオートストッカー１及びＡＧＶ２を制御することにより基板が工程１に順次搬送される。
【００３７】
工程１の製造装置ｍ１１は、このようにして順次搬送されてくる基板に対して所定の製造処理が完了すると、製造管理装置４に工程２への搬送を要求する。製造管理装置４は、この搬送要求に対して上記ステップＳ１〜Ｓ４の各判断が全て「Ｙｅｓ」となった場合にのみ、工程１から工程２への基板の搬送指示を自動搬送制御装置３に出力する。以下、工程２〜１００から搬送指示を受信した場合も、製造管理装置４は、ステップＳ１〜Ｓ４の各判断が全て「Ｙｅｓ」となった場合にのみ、自動搬送制御装置３に基板の搬送指示を出力する。
【００３８】
そして、製造管理装置４は、自らが自動搬送制御装置３に送信した送信指示に対する報告として、自動搬送制御装置３から搬送完了報告を受信する度に搬送管理テーブル４ａの「実在庫数」を順次更新する。このように基板が上流工程から下流工程に順次搬送されることによって、基板には各工程１〜１００の各製造装置ｍ１１〜ｍ１００１によって所定の製造処理が施される。そして、最下流の工程１００から最終的に製品である液晶表示板が出荷される。
【００３９】
また、製造管理装置４は、ステップＳ１の判断が「Ｎｏ」の場合及びステップＳ２の判断が「Ｎｏ」の場合はステップＳ１の判断を繰り返し、またステップＳ３の判断が「Ｎｏ」の場合及びステップＳ４の判断が「Ｎｏ」の場合には、一定時間待機した後に（ステップＳ５）、ステップＳ１の判断を繰り返す。このように各判断が「Ｎｏ」の場合の処理により、各工程ブロック＃１〜＃１０が基板を受け入れることができる状態になった時点で、基板が搬送される。
【００４０】
すなわち、製造管理装置４は、搬送が終了する度に「実在庫数」を順次更新し、かつ新規に搬送要求を受信するとステップＳ３，Ｓ４を判断することによって、各工程ブロック＃１〜＃１０内の実在庫数をブロック最大在庫数Ｘａ以下かつブロック最小在庫数Ｘｂ以上を維持させる。
【００４１】
このような本製造システムによれば、各工程ブロック＃１〜＃１０内の実在庫数がブロック最大在庫数Ｘａ以下かつブロック最小在庫数Ｘｂ以上に常時維持されるので、液晶表示板の製造に関するリードタイムが極端に長時間化することを防止すると共に稼働率が極端に低下することをも抑制することが可能、つまりリードタイムと稼働率とのバランスを最適化することが可能である。
【００４２】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような変形が考えられる。
（１）上記実施形態では、搬送管理テーブル４ａにブロック最大在庫数及びブロック最小在庫数を登録することにより、各工程ブロック＃１〜＃１０内の実在庫数をブロック最大在庫数Ｘａ以下かつブロック最小在庫数Ｘｂ以上に常時維持し、もってリードタイムと稼働率とのバランスを最適化したが、ブロック最大在庫数あるいはブロック最小在庫数の何れか一方を登録することによりリードタイムあるいは稼働率の何れかの低下を抑制するようにしても良い。
【００４３】
（２）上記実施形態では、１００工程を１０個の工程ブロック＃１〜＃１０に分割したが、この分割数は１０個に限定されるものではない。上述したように分割数に応じてリードタイムと稼働率とのバランスが左右されるので、分割数は何れを重視するかによって適宜設定される。
【００４４】
（３）また、ブロック最大在庫数については、各製造装置の稼動状態の変化に応じて適宜可変するようにしても良い。例えば、工程２は２台の製造装置ｍ２１，ｍ２２によって構成されており、何れかが故障しても製造処理を継続可能であるが、タクトタイムは半減する。このような場合には、当該工程２を含む工程ブロック＃１のブロック最大在庫数を変更する。
【００４５】
（４）また、ブロック最小在庫数については、製造装置ｍ１１〜ｍ１００１のＭＴＴＲ（Ｍｅａｎ  Ｔｉｍｅ  Ｔｏ  Ｒｅｐａｉｒ）及び平均タクトタイムの動的変化に応じて逐次変更するようにしても良い。このようにブロック最小在庫数を製造装置ｍ１１〜ｍ１００１の状態に応じて動的に変化させることによって、各製造装置ｍ１１〜ｍ１００１の実情に合わせた稼働率を実現することができる。
【００４６】
（５）さらに、上記実施形態では、図４に示したように各工程１〜１００を構成する製造装置ｍ１１〜ｍ１００１の台数が２以下（工程２は最大数の２台である）である場合に関するものである。本発明は、このように工程を構成する製造装置の台数が比較的少ない工場の場合について特に有効であるが、工程を構成する製造装置の台数についっては上記実施形態に限定されるものではない。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、工程ブロック毎に対象物の個数にしきい値としてブロック最大在庫数及びブロック最小在庫数を設定することにより、リードタイムと稼働率とのバランスを最適化することができる。すなわち、しきい値としてブロック最大在庫数を設定することによりリードタイムの長時間化が抑制され、またしきい値としてブロック最小在庫数を設定することにより稼働率の低下が抑制され、以ってリードタイムと稼働率のバランスを最適化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態におけるブロック最大在庫数を説明するための第１の模式図である。
【図２】本発明の一実施形態におけるブロック最大在庫数を説明するための第２の模式図である。
【図３】本発明の一実施形態におけるブロック最小在庫数を説明するための模式図である。
【図４】本発明の一実施形態に係わる製造システムの機能構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の一実施形態における搬送管理テーブル４ａの構成を示す模式図である。
【図６】本発明の一実施形態における製造管理装置４の搬送処理手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１……  オートストッカー（収納手段）
２……  ＡＧＶ（無人搬送車：搬送手段）
３……  自動搬送制御装置
４……  製造管理装置
４ａ……搬送管理テーブル
ｍ１１〜ｍ１００１……製造装置
【図１】
2004295192.tif 000003
【図２】
2004295192.tif 000004
【図３】
2004295192.tif 000005
【図４】
2004295192.tif 000006
【図５】
2004295192.tif 000007
【図６】
2004295192.tif 000008