(57)【要約】【課題】湾曲し易くするために、内周面に互いに独立した凹凸部が連続して設けられている従来のフレキシブルチューブでは、この凹凸部において、溶液の流れに乱れや滞留が生じ、金属等の微粒子が堆積し、チューブの詰まりを引き起こす原因になっていた。【解決手段】螺旋状部３３に至った溶液Ｌは案内導入溝３９によって案内され、螺旋状の流れとなるように導かれる。溶液Ｌは案内導入溝３９に案内されて螺旋状に流れるので、溶液Ｌの流れに乱れや滞留が生じることはなく円滑に流れる。従って、溶液Ｌに含まれる金属等の微粒子が堆積することはない。よって、チューブ５が詰まるのを防止することができる。【選択図】              図２
2004232680.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有し、管内流路を螺旋状に形成した螺旋状部が設けられたフレキシブルチューブにおいて、前記螺旋状部は直管部の間に設けられていることを特徴とするフレキシブルチューブ。
【請求項２】
請求項１に記載のフレキシブルチューブにおいて、螺旋状部の外径は直管部の外径以下で、且つ螺旋状部の肉厚が直管部の肉厚とほぼ同じに形成されていることを特徴とするフレキシブルチューブ。
【請求項３】
請求項１または２において、螺旋状部及び直管部は複数箇所に設けられており、且つ前記螺旋状部と前記直管部の少なくとも一方は長さ寸法の異なるものが混在していることを特徴とするフレキシブルチューブ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のフレキシブルチューブにおいて、フッ素系樹脂によって構成されていることを特徴とするフレキシブルチューブ。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のフレキシブルチューブにおいて、半導体製造ライン、液晶製造ラインあるいは化学薬品や食品等の製造ラインに適用される各種の溶液あるいは純水等を搬送する配管経路に使用されることを特徴とするフレキシブルチューブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフレキシブルチューブに係り、例えば半導体製造ラインや液晶製造ラインにおいて、各種の溶液や純水等を搬送するための配管として使用されるフレキシブルチューブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造ラインや液晶製造ライン等では強酸性や強アルカリ性の各種の溶液が使用されることから、耐薬品性に優れた材料によって成形されるチューブが配管材料として使用されている。ところが、耐薬品性に優れる材料は柔軟性に劣る傾向があり、直管タイプのチューブを湾曲させてそのまま使用するには無理がある。
そこで、図６に示す蛇腹状部Ｂを備えたチューブＣを使用している。この蛇腹状部Ｂの内周面には、互いに独立した凹凸部Ａが連続して設けられている。従って、チューブＣは、蛇腹状部Ｂにおいて容易に湾曲させることができ、配管の引き回しを楽に行うことができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
図７に示すようにチューブＣ内を流れる溶液Ｌは、その多くはチューブＣの形状に沿って長手方向へ平行に流れる。しかしながら、凹凸部Ａが設けられている部位では、溶液Ｌの流れに乱れや滞留が生じ、溶液Ｌに含まれる金属等の微粒子ａが析出し凹凸部Ａに付着して堆積し、チューブＣ内の溶液Ｌの円滑な流れを妨げて、チューブＣの詰まりを引き起こす原因になっていた。
【０００４】
本発明は上記従来の問題点に着目してなされたものであり、チューブ内周面における溶液等の流れの乱れ、滞留を生じることなく金属等の微粒子が析出し堆積するのを防止でき、しかも局所的な曲げや急激な力の変化に対応できる柔軟性に優れたフレキシブルチューブを提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項１の発明は、可撓性を有し、管内流路を螺旋状に形成した螺旋状部が設けられたフレキシブルチューブにおいて、前記螺旋状部は直管部の間に設けられていることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【０００６】
請求項２の発明は、螺旋状部の外径は直管部の外径以下で、且つ螺旋状部の肉厚が直管部の肉厚とほぼ同じに形成されていることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項１または２において、螺旋状部及び直管部は複数箇所に設けられており、且つ前記螺旋状部と前記直管部の少なくとも一方は長さ寸法の異なるものが混在していることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項１から３のいずれかに記載のフレキシブルチューブにおいて、フッ素系樹脂によって構成されていることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【０００９】
請求項５の発明は、請求項１から４のいずれかに記載のフレキシブルチューブにおいて、半導体製造ライン、液晶製造ラインあるいは化学薬品や食品等の製造ラインに適用される各種の溶液あるいは純水等を搬送する配管経路に使用されることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
本明細書で溶液Ｌと言った場合には、半導体製造ラインや液晶製造ラインあるいは化学薬品や食品の製造ライン等で使用される各種の溶液の他、半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄や液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄等に使用される純水等も包含する。
【００１１】
フレキシブルチューブ５は、ある程度の可撓性を有し、図２、３に示すように円形断面を有する軟質のパイプ状部材であり、中央に螺旋状部３３を挟んでその左右に直管部３５を有している。螺旋状部３３はフレキシブルチューブ５を湾曲させる部位である。
螺旋状部３３は外観形状を半円形断面のネジ山３７を有する丸ネジ様に構成し、その内部の管内流路が連続した螺旋状となっている。そして、ネジ山３７の内面に形成される凹陥部が管内の溶液Ｌの流れを螺旋状に導く案内導入溝３９となっている。従って、螺旋状部３３においてチューブ内周面における溶液等の流れの乱れ、滞留を防止でき、詰まりの原因となる微粒子が堆積するのを防止することができる。
【００１２】
また、フレキシブルチューブ５では、管内流路を螺旋状に形成した螺旋状部３３を設けたので、局所的な曲げや急激な力の変化に対応できる柔軟性を備えている。即ち、螺旋状部３３ではネジ山３７が連続しているので、螺旋状部３３が湾曲した際の応力が多数のネジ山３７に分散してかかることになり、このため湾曲に対する高い対応性能を備えている。
【００１３】
図３に示すように、螺旋状部３３の外径Ｍ１は、直管部３５の外径Ｍ２よりも小さく設定されている。
また、螺旋状部３３の肉厚は直管部３５の肉厚とほぼ同一に設定されており、全長を通してその肉厚はほぼ均一になっている。従って、螺旋状部３３と直管部３５は、ほぼ同じ耐圧性能を有することになる。
さらに、全長を通してその肉厚はほぼ均一になっているので、強酸性または強アルカリ性の液体によって、フレキシブルチューブ５が徐々に浸食されるのを前提に使用する場合等においても、螺旋状部３３と直管部３５の両方がほぼ同じ耐久性をもつことになる。
【００１４】
またフレキシブルチューブ５はＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素系樹脂材料によって構成されている。これらのフッ素系樹脂材料は、強酸性や強アルカリ性の薬品等に耐えられる耐薬品性を有し、しかも管内を流れる溶液Ｌからの内圧、ポンプの脈動等に耐えられるだけの耐圧性を有しており、さらに溶液Ｌの急激な温度変化に耐えられる。
【００１５】
上記フレキシブルチューブ５を半導体製造ラインや液晶製造ライン等の薬液等の供給ラインに適用した場合について説明する。
図１に示すように、フレキシブルチューブ５は、直管部３５の間に螺旋状部３３が２カ所形成されており、これら螺旋状部３３で曲げられて配管されている。そして直管部３５に固定具３が取り付けられており、この固定具３によってＬ型アングル２にフレキシブルチューブ５が固定されている。また、フレキシブルチューブ５の一端の直管部３５は継手４１に接続され、この継手４１を介してフレキシブルチューブ５はチューブ７に連結されている。
【００１６】
フレキシブルチューブ５は湾曲させやすい螺旋状部３３と剛性が大きく湾曲しにくい直管部３５を有しており、この直管部３５の間に螺旋状部３３が配置されているので、配管しやすい。即ち、直管部３５を固定具３によって固定すれば、直管部３５は高い剛性を有するので、しっかりと固定でき、螺旋状部３３は湾曲しやすいので、比較的小さな力で自由に所望の方向及び角度に湾曲させることができる。従って、配管作業を楽に行うことができ、配管敷設作業工数を削減できて、工期を短縮できると共に作業コストを抑えることが可能となる。
【００１７】
このようにフレキシブルチューブ５は螺旋状部３３で容易に湾曲させることができるので、エルボ継手を使用する必要がなくなる。従って、継手の使用を最小限にできて、資材コストを抑えることもできる。さらに、継手との連結部分からの液漏れの心配が減少し、しかも増締め等の定期メンテナンスの負担も軽減できる。また、エルボ継手を使用しないので、配管用のスペースが極端に狭い場合においても対応することが可能となる。
また、継手４１は直管のチューブ専用のものであるが、本発明のフレキシブルチューブ５では、継手４１に挿入される部分が直管部３５になっているので、継手４１にピッタリはまり込み、液漏れ等のおそれがない。
【００１８】
上記実施の形態では、フレキシブルチューブ５を半導体製造ライン、液晶製造ラインあるいは化学薬品や食品等の製造ラインに適用した例を示したが、本発明はこれに限定されずトラバーサ装置の駆動部等に薬液、純水等を供給する配管等に適用してもよい。
【００１９】
以上、本発明の実施の形態について詳述してきたが、具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計の変更などがあっても本発明に含まれる。
例えば、図４（ａ）に示すようにフレキシブルチューブ５を直管部３５が短く、螺旋状部３３が比較的長いものにすることも可能であるし、図４（ｂ）に示すように螺旋状部３３を複数個設けることも可能である。また図４（ｃ）に示すように螺旋状部３３と直管部３５に加えて、当初から管路が湾曲した曲管部４３を備えた構成のフレキシブルチューブ５を採用することも可能である。
【００２０】
さらに、螺旋状部３３、直管部３５の数は、上記実施の形態に限られるものではなく、螺旋状部３３は１箇所以上、直管部３５は２箇所以上に設けられていればよく、また、螺旋状部３３、直管部３５の長さ寸法もそれぞれ異なっていてもよい。即ち、螺旋状部３３、直管部３５共に複数箇所に形成して、螺旋状部３３どうしの長さ寸法、直管部３５どうしの長さ寸法は、同一である必要はなく、配管スペース等によって長さ寸法を適宜変更し、螺旋状部３３、直管部３５の少なくとも一方について長さ寸法の異なるものが混在する構成としてもよい。
また、上記実施の形態では、螺旋状部３３の外径Ｍ１は、直管部３５の外径Ｍ２よりも小さく設定したが、螺旋状部３３の外径Ｍ１が、直管部３５の外径Ｍ２以下であればよい。
【００２１】
また、螺旋状部３３のネジ山３７の形状は図５（ａ）に示すような三角形状、図５（ｂ）に示すような台形状、図５（ｃ）に示すような四角形状等、種々の形状が採用可能である。またネジ山の高さやピッチは管径や使用個所の条件に合わせて適宜変更可能である。
上記実施の形態では、フレキシブルチューブ５の一端の直管部３５が継手４１を介してチューブ７と連結する場合を示したが、フレキシブルチューブ５の両端に直管部３５を設け、これら両端の直管部３５が継手４１を介してチューブ７と連結するようにしてもよい。
【００２２】
【発明の効果】
本発明のフレキシブルチューブでは、管内流路を螺旋状に形成した螺旋状部を設けたので、局所的な曲げや急激な力の変化に対応できる柔軟性を備え、しかも螺旋状部においてチューブ内周面における溶液等の流れの乱れ、滞留を防止でき、詰まりの原因となる微粒子が堆積するのを防止することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るフレキシブルチューブを半導体製造ラインや液晶製造ライン等の薬液等の供給ラインに適用した場合の斜視図である。
【図２】図１のフレキシブルチューブを拡大して示す斜視図である。
【図３】図１のフレキシブルチューブを拡大して示す側断面図である。
【図４】フレキシブルチューブの構成を異ならせた他の実施の形態を示す側面図である。
【図５】フレキシブルチューブのネジ山の形状を異ならせた他の実施の形態を示す側面図である。
【図６】配管経路の湾曲部に蛇腹状部を適用した従来のチューブの構造を示す側面図である。
【図７】図６のチューブの一部を拡大し、その問題点を示す側断面図である。
【符号の説明】
Ｌ  溶液                            ２  Ｌ型アングル
３  固定具                          ５  フレキシブルチューブ
３３  螺旋状部                      ３５  直管部
３７  ネジ山                        ３９  案内導入溝
４１  継手                          ４３  曲管部
【図１】
2004232680.tif 000003
【図２】
2004232680.tif 000004
【図３】
2004232680.tif 000005
【図４】
2004232680.tif 000006
【図５】
2004232680.tif 000007
【図６】
2004232680.tif 000008
【図７】
2004232680.tif 000009