(57)【要約】【課題】光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせを不要とし、光結合する際のコスト低減を図る。【解決手段】光を出射する光出射側素子１と光を入射する光入射側素子１４とを光結合する導波路型光結合素子４が、低弾性体材料からなり、かつ、低弾性体材料の状態で自己支持可能である。これにより、光出射側素子１の光軸と光入射側素子１４の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子４が低弾性材料により形成されているためにそのずれに応じて変形し、光出射側素子１と光入射側素子１４とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が低弾性体材料からなり、かつ、低弾性体材料の状態で自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項２】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が伸縮性材料からなり、かつ、伸縮性材料の状態で自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項３】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が形状変形可能な材料からなり、かつ、形状変形可能な材料の状態で自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項４】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子がゴム弾性体材料からなり、かつ、ゴム弾性体材料の状態で自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項５】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が粘弾性体材料からなり、かつ、粘弾性体材料の状態で自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項６】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が０度以下のガラス転移点を有する材料からなり、かつ、ガラス転移点以上のときに自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項７】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が熱可塑性低弾性体材料からなり、かつ、熱可塑性低弾性体材料の状態で自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項８】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が感光性低弾性体材料からなり、かつ、自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項９】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が光の波長以下のミクロ相分離構造を有する低弾性体材料からなり、かつ、この低弾性体材料の状態で自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項１０】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子がゲルからなり、かつ、このゲル状態で自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項１１】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子がシリコーンからなり、自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項１２】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子がフッ素ゴムからなり、かつ、自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項１３】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子がアクリル酸又はメタクリル酸共重合体からなり、かつ、自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項１４】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が低弾性体材料を高弾性体化した材料からなり、かつ、低弾性体材料の状態で自己支持可能である導波路型光結合素子。
【請求項１５】
前記光出射側素子と前記光入射側素子とに密着固定された密着固定部を有し、この密着固定部での密着固定のみによりその形状が維持されている請求項１ないし１４のいずれか一記載の導波路型光結合素子。
【請求項１６】
前記光出射側素子と前記光入射側素子とに密着固定された密着固定部を有し、この密着固定部が引張力の作用による破損しない程度の引張強度を有している請求項１ないし１４のいずれか一記載の導波路型光結合素子。
【請求項１７】
周囲に高弾性体材料からなる被覆層が設けられている請求項１ないし１６のいずれか一記載の導波路型光結合素子。
【請求項１８】
光を出射する光出射側素子と、
光を入射する光入射側素子と、
前記光出射側素子と前記光出射側素子とを光結合する請求項１ないし１７のいずれか一記載の導波路型光結合素子と、
を有する光配線。
【請求項１９】
前記光出射側素子と前記光入射側素子との少なくともいずれか一方が導波路光配線を有する請求項１８記載の光配線。
【請求項２０】
前記導波路光配線がマルチモード導波路を有する請求項１９記載の光配線。
【請求項２１】
光を出射する光出射側素子と、
光を入射する光入射側素子と、
前記光出射側素子と前記光入射側素子との間に配置された導波路光配線と、
前記光出射側素子と前記導波路光配線とを光結合する請求項１ないし１７のいずれか一記載の導波路型光結合素子と、
前記光入射側素子と前記導波路光配線とを光結合する請求項１ないし１７のいずれか一記載の導波路型光結合素子と、
を有する光配線。
【請求項２２】
前記光出射側素子と前記導波路光配線と前記光入射側素子とが同一平面上に配置され、前記導波路光配線が光制御素子を有する請求項２１記載の光配線。
【請求項２３】
前記光出射側素子と前記導波路光配線とが光結合される方向と前記光入射側素子と前記導波路光配線とが光結合される方向とが略垂直であり、前記導波路光配線が光偏向素子を有する請求項２１記載の光配線。
【請求項２４】
基板と、
前記基板上に設けられて前記光出射側素子と前記光入射側素子とに接続された電気配線と、
を有する請求項１８ないし２３のいずれか一記載の光配線。
【請求項２５】
光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設ける工程と、
前記液体材料を低弾性体材料化する工程と、
を有する光配線の製造方法。
【請求項２６】
光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設ける工程と、
前記液体材料に流動運動を励起してこの液体材料の過剰分を落とす工程と、
前記液体材料を低弾性体材料化する工程と、
を有する光配線の製造方法。
【請求項２７】
光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設ける工程と、
前記光出射側素子と前記光入射側素子とを離間する位置へ移動させる工程と、
前記液体材料を低弾性体材料化する工程と、
を有する光配線の製造方法。
【請求項２８】
低弾性体材料化された前記低弾性体材料の周囲に高弾性体材料からなる被覆層を設ける工程を有する請求項２５ないし２７のいずれか一記載の光配線の製造方法。
【請求項２９】
光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設ける工程と、
前記液体材料を低弾性体材料化する工程と、
前記低弾性体材料を高弾性化する工程と、
を有する光配線の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導波路型光結合素子、光配線及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する方式としては、光出射側素子と光入射側素子との間に光結合のための素子を何も設けない方式（一般に、端面結合または直接結合よばれる方式）が知られている（特許文献１参照）。図１７は特許文献１に開示された発明であり、サブ基板１０１上にバンプ１０２を介して光素子（レーザダイオード）１０３が載置され、光素子１０３が光ファイバ１０４に直接光結合されている。この発明では、実装時に高精度な光実装機での位置制御を不要とするために、光素子１０３をバンプ１０２を介してサブ基板１０１上に実装することにより光素子１０３とサブ基板１０１との位置制御を行っている。さらに、サブ基板１０１にフォトリソ工程を用いて形成したＶ溝１０５を設け、このＶ溝１０５に光ファイバ１０４を挿入することにより光ファイバ１０４と光素子１０３との位置制御を行っている。
【０００３】
また、直接結合において、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子との間に空気のかわりに液体または接着剤を介在させる発明が提案されている（特許文献２、３参照）。この接着剤は、位置固定と屈折率差低減の２つの機能を有しており、空気層の存在をなくすためにディスペンス時は液体状態であり熱または光により適宜硬さを調整して硬度の高い材料または高弾性体に変化させられるものである。
【０００４】
また、光出射側素子と光入射側素子との間に光結合素子を設けた発明が提案されている（特許文献４参照）。この発明は、テーパ形状を有する部材の内部に柔軟な光透過体で充填した導光路を光結合素子として用いており、光ファイバの位置制御をテーパ形状で行っている。
【０００５】
【特許文献１】
特許第２６１６５５０号公報
【特許文献２】
特開平５−１０７４２５号公報
【特許文献３】
特開平７−２７９４６号公報
【特許文献４】
特開２００１−５９９１９号
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１に開示された発明では、実装時に高精度な光実装機は不要であるものの、バンプ１０２やＶ溝１０５を形成したサブ基板１０１が必要であり、光実装機を用いた実装コストと比較して決して安価にはならない。
【０００７】
特許文献２、３に開示された発明では、光出射側素子と光入射側素子との位置合わせのためには高精度な光実装機が必要であり、実装コストも高くなる。
【０００８】
特許文献４に開示された発明では、テーパ形状を有する部材と光ファイバとの位置合わせを光実装機を用いずに行えるが、テーパ形状を有する部材と光出射側素子（光半導体）との位置合わせのためには光実装機が必要であり、全体としての実装コストが高くなる。
【０００９】
本発明の目的は、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせを不要とし、光結合する際のコスト低減を図ることである。
【００１０】
本発明の別の目的は、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率を高めることである。
【００１１】
本発明の別の目的は、光出射側素子と光入射側素子との光結合の機械的強度や信頼性の向上を図ることである。
【００１２】
本発明の別の目的は、光出射側素子と光入射側との光結合に際しての低損失化を図ることである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が低弾性体材料からなり、かつ、低弾性体材料の状態で自己支持可能である。
【００１４】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が低弾性材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００１５】
本発明において、「低弾性」とは、柔らかく伸縮性のあるゲルまたはゴムまたは多くの高分子化合物が有する粘弾性に対する状態であり、セラミックスまたはガラスまたはＴｉＯ２やＳｉＯ２のような光学結晶が有する高弾性の状態とは異なる状態を示す。硬度としては低いビッカース硬度であり、弾性定数や粘度としては小さい値である。また、ここでの「低弾性」とは、光軸のずれ量に対して、導波路型光結合素子が引張力の作用により材料破壊することなく自己支持のまま変形できる状態であることを示す。より具体的には、弾性定数では、１０２ｄｙｎ／ｃｍ３以上１０８ｄｙｎ／ｃｍ３以下である。１０２ｄｙｎ／ｃｍ３未満では、自己支持することが困難であり、１０８ｄｙｎ／ｃｍ３より大きい場合には、その導波路型光結合素子の形状や受光素子および発光素子の特性と配置にもよるが、０．５ｕｍ以上の光軸のずれに対して、導波路型光結合素子の導波路に対して十分な光軸の偏向を実現することが困難である。より好ましくは、１０３ｄｙｎ／ｃｍ３以上１０６ｄｙｎ／ｃｍ３以下であり、十分な自己支持の強度と、１ｕｍ以上に相当する導波路型光結合素子の光軸の変形による高い光結合効率を実現することができるようになる。また、ビッカース硬度では、５以下であることが好ましい。
【００１６】
また、本発明及び以下の各発明において、「自己支持」とは、基板上に載置されていなくてもその両端を支持することによりその形状を維持できる強度を有していることを意味する。
【００１７】
また、本発明及び以下の各発明において、「導波路」とは、単なる接着剤などと異なり、その内部に光を閉じ込める作用を有するものである。このため、光出射側素子と光入射側素子との距離が、その導波路の断面積に対して十分に小さい必要はなく、断面積が与える等価直径よりも長い距離においても、低損失の光結合を実現することができる。
【００１８】
請求項２記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が伸縮性材料からなり、かつ、伸縮性材料の状態で自己支持可能である。
【００１９】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が伸縮性材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００２０】
ここで、伸縮性材料としては、構成する形状での破断時までの伸び率が、好ましくは１１０〜８００％、より好ましくは１５０〜４００％の材料である。
【００２１】
請求項３記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が形状変形可能な材料からなり、かつ、形状変形可能な材料の状態で自己支持可能である。
【００２２】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が形状変形可能な材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００２３】
ここで、形状変形可能な材料とは、構成する形状で、光軸に対するずれ応力に対応して、好ましくは導波路自体が１μｍずれても破断しないこと、より好ましくは１０μｍ以上ずれても破断しない材料である。
【００２４】
請求項４記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子がゴム弾性体材料からなり、かつ、ゴム弾性体材料の状態で自己支持可能である。
【００２５】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子がゴム弾性体材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００２６】
ここで、ゴム弾性体とはエラストマー材料を意味する。
【００２７】
請求項５記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が粘弾性体材料からなり、かつ、粘弾性体材料の状態で自己支持可能である。
【００２８】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が粘弾性材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００２９】
請求項６記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が０度以下のガラス転移点を有する材料からなり、かつ、ガラス転移点以上のときに自己支持可能である。
【００３０】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が０度以下のガラス転移点を有する材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００３１】
ここで、ガラス転移点を有する材料の温度がガラス転移転以上となることにより、その材料は固定状態での流動性が増加する。つまり、ガラス転移点が０度以下の材料を使用することにより、０度以上の環境下ではその導波路型光結合素子は変形が可能であり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となる。
【００３２】
請求項７記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が熱可塑性低弾性体材料からなり、かつ、熱可塑性低弾性体材料の状態で自己支持可能である。
【００３３】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が熱可塑性低弾性体材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００３４】
ここで、熱可塑性低弾性体とは、高温で熱可塑の状態にすることにより、より伸縮率、変形量等を増大することができ、光出射側素子と光入射側素子との光軸がより大きくずれている場合でもそのずれに応じて変形することが可能である。
【００３５】
請求項８記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が感光性低弾性体材料からなり、かつ、自己支持可能である。
【００３６】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が感光性低弾性体材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００３７】
ここで、感光性材料とは、光照射により形状形成が可能な材料である。
【００３８】
請求項９記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が光の波長以下のミクロ相分離構造を有する低弾性体材料からなり、かつ、この低弾性体材料の状態で自己支持可能である。
【００３９】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が光の波長以下のミクロ相分離構造を有する低弾性体材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００４０】
ここで、ミクロ層分離とは、ゴムがミクロ的に相分離を起こしている状態であり、この場合に、相分離の大きさを光の波長以下とすることにより、散乱を低減させ、光結合に際しての損失が低減される。
【００４１】
請求項１０記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子がゲルからなり、かつ、このゲル状態で自己支持可能である。
【００４２】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子がゲルにより形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００４３】
ここで、ゲルは、化学ゲル、物理ゲルのいずれでも適用可能。ゾル−ゲル遷移を利用して形状変形を増大することが可能であり、また、ゲル自体の形状を化学的、電気的に制御することができる。
【００４４】
請求項１１記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子がシリコーンからなり、自己支持可能である。
【００４５】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子がシリコーンにより形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００４６】
ここで、シリコーンとは、シロキサン結合を有する高分子からなり、シリコンゴム、高分子シリコンオイル、シリコーン−シラン複合体、シリコーン−アルコキシシラン共重合体、シリコーン側鎖アクリル共重合体等がる。シロキサン系は、吸収がなく広い波長で透明である。
【００４７】
請求項１２記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子がフッ素ゴムからなり、かつ、自己支持可能である。
【００４８】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子がフッ素ゴムにより形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００４９】
請求項１３記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子がアクリル酸又はメタクリル酸共重合体からなり、かつ、自己支持可能である。
【００５０】
したがって、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子がアクリル酸又はメタクリル酸共重合体により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストが低減される。さらに、光が導波路に閉じ込められた状態で進行するので、光出射側素子と光入射側素子との間での光結合効率が高くなる。
【００５１】
ここで、アクリル酸又はメタクリル酸共重合体は、溶媒または可塑剤を混合することによりその弾性定数を制御して、低弾性体とすることが可能であると同時に、光の吸収がなく広い波長で透明である。
【００５２】
請求項１４記載の発明は、光を出射する光出射側素子と光を入射する光入射側素子とを光結合する導波路型光結合素子において、この導波路型光結合素子が低弾性体材料を高弾性体化した材料からなり、かつ、低弾性体材料の状態で自己支持可能である。
【００５３】
したがって、導波路型光結合素子が低弾性体材料の状態で自己支持可能であるため、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも導波路型光結合素子が低弾性体材料の状態のときにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となる。さらに、低弾性体材料の高弾性体化により、機械的強度や信頼性が向上する。
【００５４】
請求項１５記載の発明は、請求項１ないし１４のいずれか一記載の導波路型光結合素子において、前記光出射側素子と前記光入射側素子とに密着固定された密着固定部を有し、この密着固定部での密着固定のみによりその形状が維持されている。
【００５５】
したがって、この構成により導波路型光結合素子の自己支持可能な構造が実現される。
【００５６】
請求項１６記載の発明は、請求項１ないし１４のいずれか一記載の導波路型光結合素子において、前記導波路型光結合素子は、前記光出射側素子と前記光入射側素子とに密着固定された密着固定部を有し、この密着固定部が引張力の作用による破損しない程度の引張強度を有している。
【００５７】
したがって、この構成により導波路型光結合素子の自己支持可能な構造が実現される。
【００５８】
請求項１７記載の発明は、請求項１ないし１６のいずれか一記載の導波路型光結合素子において、周囲に高弾性体材料からなる被覆層が設けられている。
【００５９】
したがって、この被覆層を設けることにより、導波路型光結合素子の機械的強度や信頼性が向上する。
【００６０】
請求項１８記載の光配線は、光を出射する光出射側素子と、光を入射する光入射側素子と、前記光出射側素子と前記光出射側素子とを光結合する請求項１ないし１７のいずれか一記載の導波路型光結合素子と、を有する。
【００６１】
したがって、この光配線が請求項１ないし１７のいずれか一記載の導波路型光結合素子を有することにより、この光配線は請求項１ないし１７のいずれか一記載の導波路型光結合素子の作用を得ることが可能になる。
【００６２】
請求項１９記載の発明は、請求項１８記載の光配線において、前記光出射側素子と前記光入射側素子との少なくともいずれか一方が導波路光配線を有する。
【００６３】
したがって、導波路光配線への光の出入りに伴う光の損失が導波路型光結合素子により低減され、伝播される光が低損失となる。
【００６４】
請求項２０記載の発明は、請求項１９記載の光配線において、前記導波路光配線がマルチモード導波路を有する。
【００６５】
したがって、光損失が生じやすいマルチモード導波路であっても、伝播される光が低損失となる。
【００６６】
請求項２１記載の発明の光配線は、光を出射する光出射側素子と、光を入射する光入射側素子と、前記光出射側素子と前記光入射側素子との間に配置された導波路光配線と、前記光出射側素子と前記導波路光配線とを光結合する請求項１ないし１７のいずれか一記載の導波路型光結合素子と、前記光入射側素子と前記導波路光配線とを光結合する請求項１ないし１７のいずれか一記載の導波路型光結合素子と、を有する。
【００６７】
したがって、光出射側素子と光入射側素子と導波路光配線との光軸がずれている場合でも、それらを高精度に位置合わせすることなく光結合することが可能となり、しかも、高い光結合効率が得られる。
【００６８】
請求項２２記載の発明は、請求項２１記載の光配線において、前記光出射側素子と前記導波路光配線と前記光入射側素子とが同一平面上に配置され、前記導波路光配線が光制御素子を有する。
【００６９】
したがって、光出射側素子と光入射側素子との間に光制御素子、例えば、光スイッチ、波長変換素子等を設ける場合に、光出射側素子と光入射側素子とを光制御素子の挿入による損失を低減しつつ光結合することができる。
【００７０】
請求項２３記載の発明は、請求項２１記載の光配線において、前記光出射側素子と前記導波路光配線とが光結合される方向と前記光入射側素子と前記導波路光配線とが光結合される方向とが略垂直であり、前記導波路光配線が光偏向素子を有する。
【００７１】
したがって、垂直方向の光を水平方向の光に変換する光偏向素子を有する導波路光配線を光出射方素子と光入射側素子とに光結合する場合に、光軸合わせの精度が低減されるので、光結合する際のコストが低減される。
【００７２】
請求項２４記載の発明は、請求項１８ないし２３のいずれか一記載の光配線において、基板と、前記基板上に設けられて前記光出射側素子と前記光入射側素子とに接続された電気配線と、を有する。
【００７３】
したがって、基板上に光出射側素子や光入射側素子を実装した光配線においても、光出射側素子と光入射側素子等の光結合する部材の光軸合わせの精度が低減されるので、基板上への実装を容易に行える。
【００７４】
請求項２５記載の発明の光配線の製造方法は、光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設ける工程と、前記液体材料を低弾性体材料化する工程と、を有する。
【００７５】
したがって、光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設け、この液体材料を低弾性体材料化することにより、光出射側素子と光入射側素子とを導波路型光結合素子で光結合することができる。この光配線の製造方法によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とを高精度な位置合わせをすることなく光配線の製造を簡単に行える。
【００７６】
請求項２６記載の発明の光配線の製造方法は、光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設ける工程と、前記液体材料に流動運動を励起してこの液体材料の過剰分を落とす工程と、前記液体材料を低弾性体材料化する工程と、を有する。
【００７７】
したがって、光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設け、この液体材料に流動運動を励起してこの液体材料の過剰分を落とし、残った液体材料を低弾性体材料化することにより、光出射側素子と光入射側素子とを導波路型光結合素子で光結合することができる。この光配線の製造方法によれば、この光配線の製造方法によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とを高精度な位置合わせをすることなく光配線の製造を簡単に行える。
【００７８】
請求項２７記載の発明の光配線の製造方法は、光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設ける工程と、前記光出射側素子と前記光入射側素子とを離間する位置へ移動させる工程と、前記液体材料を低弾性体材料化する工程と、を有する。
【００７９】
したがって、光出射側素子と光入射側素子とを目的とする間隔より近づけた状態に配置してその光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設け、その後、光出射側素子と光入射側素子とを離間する位置へ移動させることにより液体材料を光出射側素子と光入射側素子との間で適切な架橋構造とし、その架橋構造となって液体材料を低弾性体材料化することにより、光出射側素子と光入射側素子とを導波路型光結合素子で光結合することができる。この光配線の製造方法によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とを高精度な位置合わせをすることなく光配線の製造を簡単に行える。
【００８０】
請求項２８記載の発明は、請求項２５ないし２８のいずれか一記載の光配線の製造方法において、低弾性体材料化された前記低弾性体材料の周囲に高弾性体材料からなる被覆層を設ける工程を有する。
【００８１】
したがって、この被覆層を設けることにより、導波路型光結合素子の機械的強度や信頼性が向上する。
【００８２】
請求項２９記載の発明の光配線の製造方法は、光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設ける工程と、前記液体材料を低弾性体材料化する工程と、前記低弾性体材料を高弾性化する工程と、を有する。
【００８３】
したがって、光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設け、この液体材料を低弾性体材料化し、その後低弾性体材料を高弾性化することにより、光出射側素子と光入射側素子とを導波路型光結合素子で光結合することができる。この光配線の製造方法によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とを高精度な位置合わせをすることなく光配線の製造を簡単に行え、しかも、低弾性体材料の高弾性体化により機械的強度や信頼性が向上した光配線を製造できる。
【００８４】
【発明の実施の形態】
本発明の第一の実施の形態を図１ないし図３に基づいて説明する。図１は、光出射側素子である発光素子モジュール１と受光素子モジュール２とレンズ３と導波路型光結合素子４を有する光配線を示す概略図である。受光素子モジュール２とレンズ３とは図示しない連結手段により連結され、光入射側素子１４を構成している。
【００８５】
発光素子モジュール１は、発光素子用基板５と、発光素子用基板５上に実装された面型の発光素子６、発光素子６を囲む発光素子ケース７、発光素子ケース７の出射側の面に設けられたガラス窓８とにより構成されている。
【００８６】
受光素子モジュール２は、受光素子用基板９と、受光素子用基板９上に実装された受光素子１０と、受光素子１０を囲む受光素子ケース１１と、受光素子ケース１の受光側の面に設けられたガラス窓１２とにより構成されている。
【００８７】
レンズ３は、発光素子６から出射された光を受光素子１０上に結像させる役割を果たす。
【００８８】
導波路型光結合素子４は、一端に発光素子モジュール１のガラス窓８に密着固定された密着固定部４ａを有し、他端にレンズ３の表面に密着固定された密着固定部４ｂを有している。ここで、発光素子６から出射されたレーザ光１３ａは、ガラス窓８に密着固定された導波路型光結合素子４に光結合し、導波路型光結合素子４内を伝播され、光結合用のレンズ３により集光されて、空間伝播する受光光束１３ｂとなり、受光素子モジュール２内の受光素子１０に入射して光電変換される。このとき、レーザ光１３ａを情報に対応して変調することにより、発光素子モジュール１と受光素子モジュール２との間で情報を伝達することができる。
【００８９】
導波路型光結合素子４は、自己支持導波路であり、基板上に設けられていなくても自己支持できる導波路である。ここでの自己支持導波路とは、両端を支持することにより導波路構造を維持できる強度を有する導波路材料からなる導波路のことをいう。このため、この導波路型光結合素子４は、ガラス窓８とレンズ３とに両端を支持されて空中に設けることができる。
【００９０】
また、この導波路型光結合素子４は、自己支持であると同時に導波路であるため、導波路間に用いる接着剤と異なり、その内部に光を閉じ込める作用を有している。このため、ガラス窓８とレンズ３との距離とが、その断面積に対して十分に小さい必要はなく、断面積が与える等価直径よりも長い距離においても、低損失の光結合を実現することができる。
【００９１】
さらに、この自己支持導波路からなる導波路型光結合素子４は、低弾性材料からなる。低弾性材料からなるため、形状の変形性を有し、これにより導波路型光結合素子４の両端の発光素子６とレンズ３との光軸が一致していない場合においても、導波路自体の形状が変形してこの導波路型光結合素子４自体の光軸を自発的に偏向させることにより、高効率の光結合を実現することができる。
【００９２】
また、温度変化が生じ、膨張係数の差により位置がずれる場合においても、低弾性材料からなるため形状の変形性を有し、これにより導波路自体の形状が変形して膨張係数の差によるギャップの変化を吸収して、高効率の光結合を実現する。
【００９３】
ここでの低弾性とは、柔らかく伸縮性のあるゲルまたはゴムまたは多くの高分子化合物が有する粘弾性に対する状態であり、セラミックスまたはガラスまたはＴｉＯ２やＳｉＯ２のような光学結晶が有する高弾性の状態とは異なる状態を示す。硬度としては低いビッカース硬度であり、弾性定数や粘度としては小さい値である。また、ここでの低弾性とは、光軸のずれ量に対して、導波路型光結合素子４が引張力の作用により材料破壊することなく自己支持のまま変形できる状態であることを示す。より具体的には、弾性定数では、１０２ｄｙｎ／ｃｍ３以上１０８ｄｙｎ／ｃｍ３以下である。１０２ｄｙｎ／ｃｍ３未満では、自己支持することが困難であり、１０８ｄｙｎ／ｃｍ３より大きい場合には、その導波路型光結合素子４の形状や発光素子６の特性と配置にもよるが、０．５ｕｍ以上の光軸のずれに対して、導波路型光結合素子４の導波路に対して十分な光軸の偏向を実現することが困難である。より好ましくは、１０３ｄｙｎ／ｃｍ３以上１０６ｄｙｎ／ｃｍ３以下であり、十分な自己支持の強度と、１ｕｍ以上に相当する導波路型光結合素子４の光軸の変形による高い光結合効率を実現することができるようになる。また、ビッカース硬度では、５以下であることが好ましい。同時に、従来の導波路材料と異なり、柔らかい伸縮性を有することが好ましく、１２０％以上に伸縮しても破断しない材料を用いる。
【００９４】
この低弾性材料としては、導波路でもあることから材料としても低損失であることが好ましく、ゲルとしてはアクリレート材料を重合せしめた溶媒を内部に包含した材料もしくは溶媒構造を高分子化した材料、シロキサン結合を有するシリコーン材料等を用いることができる。ゴム材料としても同様に、通常のゴム材料を用いることができると同時に、シコーン材料等を用いることができる。さらに柔らかい高分子材料として、非結晶部分を多く有する高分子材料を用いることができる。
【００９５】
この低弾性体材料からなる導波路型光結合素子４は、自己支持であると同時に、自己形状成形導波路としても機能する。これは、低弾性体材料が変形能力を有しているので、その表面張力により、型で成形した導波路と異なり、導波路型光結合素子４の表面が平滑化されて低損失化ができると同時に、両端で支持する発光素子モジュール１とレンズ３とに対し張力が作用しその光軸の距離が最も小さくなるように形状が制御される。これにより、より低損失の導波路を実現することができる。また、この自己成形される形状は、導波路型光結合素子の量、弾性定数、レオロジ特性等の導波路型光結合素子４に関する物性値以外に、これを両端で支持する支持体の形状、さらには親水や疎水といったその表面性能でも制御することが可能である。
【００９６】
さらに、この低弾性材料からなる導波路型光結合素子４は、その両端の支持体に対して張力が作用するために、この導波路型光結合素子４を両端で支持する発光素子モジュール１又はレンズ３の少なくともどちらか一方に可動性をもたせることにより、その位置を制御することが可能となる。これにより、高精度のセルフアライメントを実現することもできる。
【００９７】
また、この低弾性材料からなる導波路型光結合素子４は、粘着性を付与することにより、レンズ３自体の組み付け設置作用を持たせることもできるようになる。シロキサン結合を有するシリコーン材料等を用いる場合には、親水処理を予めしておくことにより、良好な接着力を得ることができる。親水処理以外にもプリコート層を設けることにより、良好な接着力を得ることができる。
【００９８】
また、レンズ３を用いずに、単独で導波路型光結合素子４を設けてもよい。即ち、発光素子モジュール１のガラス窓８と、受光素子モジュール２のガラス窓１２とで両端に導波路型光結合素子４を支持する構成としてもよい。このとき、導波路型光結合素子４に光結合された発光素子６からの光は、直接に受光素子モジュール２のガラス窓１２から受光素子モジュール２内に放出され、受光素子１０に入射する。
【００９９】
また、導波路型光結合素子４の形状は、図１に示すような糸巻き状のテーパ形状に限定されるものではなく、たる形状でもよい。この形状は、セルフアライメントする場合の発光素子モジュール１と受光素子モジュール２との光軸のずれや、２つの間隔のずれ、さらには導波路型光結合素子４の材料の量や、両端の支持の方法等によって大きく変わる。
【０１００】
ここで、導波路型光結合素子４の材料としては、上述した各材料のほかに、以下に説明するものを用いることが可能である。例えば、０度以下のガラス転移点を有してガラス転移点以上で自己支持可能である材料、熱可塑性低弾性体材料からなりその熱可塑性低弾性体材料の状態で自己支持可能である材料、感光性低弾性体材料からなり自己支持可能である材料、光の波長以下のミクロ相分離構造を有する低弾性体材料からなりこの低弾性体材料の状態で自己支持可能である材料、自己支持可能なフッ素ゴム、自己支持可能なアクリル酸又はメタクリル酸共重合体等である。
【０１０１】
図２は、この導波路型光結合素子４自体の光軸を自発的に偏向する作用を説明するものであり、（ａ）は発光素子モジュール１とレンズ３の光軸が一致している場合であり、（ｂ）は発光素子モジュール１とレンズ３の光軸が一致していない場合である。
【０１０２】
図２（ａ）は、図１で説明したように、発光素子モジュール１とレンズ３との光軸が一致しているために、導波路型光結合素子４のテーパ形状とレンズ曲率とを、発光素子モジュール１と受光素子モジュール２との距離、導波路型光結合素子４およびレンズ３の屈折率等に対応させて最適に設計することにより、高効率の光結合を実現することができる。
【０１０３】
これに対して、図２（ｂ）は、発光素子モジュール１とレンズ３との光軸が、アライメントを高精度に行わないことによりずれて一致していない場合である。但し、導波路型光結合素子４が低弾性材料からなるために、その形状が光軸のずれに対応して変形し、このとき導波路構造であるために導波光が変形した導波路に閉じ込められたまま進行するので、導波路型光結合素子４内の導波光としてその主な進行方向（ポインティングベクトル）を偏向させることになり、これにより受光素子モジュール２内の受光素子１０へ高い光結合効率で結合させることができる。
【０１０４】
さらに、この低弾性体材料を用いた導波路型光結合素子４は、組み付け時の位置調整にとどまらず、組み付け後の熱変化による発光素子モジュール１とレンズ３との長時間の位置ずれや、振動による発光素子モジュール１とレンズ３との短時間の位置ずれに対しても、導波路型光結合素子４自体の形状が変形するので光結合効率の低下を低減することができるようになる。
【０１０５】
図３は、図１の構成から導波路型光結合素子４を省いた場合の比較例である。図３（ａ）は図２（ａ）に対応する状態であり、発光素子モジュール１とレンズ３との光軸が一致している。図３（ｂ）は図２（ｂ）に対応する状態であり、発光素子モジュール１とレンズ３との光軸が、アライメントを高精度に行わないことによりずれて一致していない。
【０１０６】
図３（ａ）では、発光素子６から出射されたレーザ光１３ａが受光素子モジュール２内の受光素子１０に良好に入射され、高い光結合効率が得られる。一方、が３（ｂ）では、レンズ３の実効的な光軸が傾くことにより、受光素子１０の面内に光を集光することができず、低い光結合効率となる。
【０１０７】
本発明の第二の実施の形態を図４に基づいて説明する。なお、図１ないし図３において説明した部分と同じ部分は同じ符号で示し、説明も省略する（以下の実施の形態でも同じ）。
【０１０８】
本実施の形態では、導波路型光結合素子４の周囲に、高弾性材料からなる被覆層１５が設けられている。
【０１０９】
このような被覆層１５を設けることにより、導波路型光結合素子４の機械的強度や信頼性が向上する。
【０１１０】
本発明の第三の実施の形態を図５に基づいて説明する。本実施の形態は、導波路型光結合素子１６を均質な構成材料から形成したものではなく、屈折率分布が異なるように形成したものである。図５の導波路型光結合素子１５において光軸付近の濃色部分は屈折率が高くなっており、界面付近の淡色部分は屈折率が小さくなっていることを意味する。屈折率分布は、５０ｕｍのマルチモードファイバのような半径の２乗に従う分布がより好ましいが、これに限定されるものではない。界面付近で屈折率が小さい屈折率分布型の導波路型光結合素子１６は、界面付近の形状変化による伝播損失の増大が生じにくいので、低損失の導波路型光結合素子１６を構成することができる。
【０１１１】
本発明の第四の実施の形態を図６に基づいて説明する。本実施の形態の光配線では、受光素子モジュール２に代えて導波路光配線１７が設けられ、この導波路光配線１７とレンズ３とによって光入射側素子１４が構成されている。導波路光配線１７は、屈折率の大きいコア１７ａと、このコア１７ａを囲んで位置する屈折率の小さいクラッド１７ｂとから構成されている。発光素子モジュール１とレンズ３との間には導波路型光結合素子４が設けられている。
【０１１２】
この光配線では、発光素子６から出射されたレーザ光１３ａは、発光素子モジュール１のガラス窓８に密着した導波路型光結合素子４に光結合し、この後に光結合用のレンズ３により集光されて空間伝播する受光光束１３ｂとなり、この受光光束１３ｂは導波路光配線１７のコア１７ａに入射して高効率で光結合することができる。
【０１１３】
一般に、基板上に設けられる光配線は、形成した導波路自体の位置ずれや、基板の熱膨張により、発光素子モジュール１と導波路光配線１７のコア１７ａとの光軸がずれたり、距離がずれたりしやすい。
【０１１４】
しかしながら、本実施の形態では図６に示すように、発光素子モジュール１からの光を、セルフアライメント機能を有する導波路型光結合素子４により導波路光配線１７に光結合することができるので、低損失の光配線を実現することができるようになる。
【０１１５】
また、この導波路光配線１７がマルチモード導波路の場合は、シングルモード導波路と異なり、多数のモードが存在するので、導波路型光結合素子４の界面となる曲面においてモード変換が生じた場合にも、他のモードに変換させるだけでよいので、シングルモードの導波路型光結合素子と比較して非常に低い損失となる。
【０１１６】
本発明の第五の実施の形態を図７に基づいて説明する。本実施の形態の光配線では、光発光側素子として発光素子モジュール１に代えて導波路光配線１８が設けられている。この導波路光配線１８は、屈折率の大きいコア１８ａと、このコア１８ａを挟んで位置する屈折率の小さいクラッド１８ｂとから構成されている。導波路光配線１８とレンズ３との間には導波路型光結合素子４が設けられている。
【０１１７】
この光配線では、導波路光配線１８からの出射光束は、導波路型光結合素子４に光結合し、この後に光結合用のレンズ３により集光されて、空間伝播する受光光束１３ｂとなり、この受光光束１３ｂが受光素子モジュール２の受光素子１０に高効率で光結合することができる。
【０１１８】
一般に、基板上に設ける光配線は、形成した導波路自体の位置ずれや、基板の熱膨張により、導波路光配線１８とレンズ３との光軸がずれたり距離がずれたりしやすい。
【０１１９】
しかしながら、本実施の形態では図７に示すように、導波路光配線１８のコア１８ａからの光を、セルフアライメント機能を有する導波路型光結合素子４により光結合することができるので、低損失の光配線を実現することができようになる。
【０１２０】
本発明の第六の実施の形態を図８に基づいて説明する。本実施の形態では、光出射側素子である導波路光配線２０と、光入射側配線である導波路光配線２１と、これらの導波路光配線２０、２１との間に位置して導波路光配線２２が水平方向に配置され、基板２３上に接着剤層２４で接着されている。これらの導波路光配線２０、２１、２２は、それぞれ、屈折率の大きいコア２０ａ、２１ａ、２２ａと、コア２０ａ、２１ａ、２２ａを囲んで位置する屈折率の小さいクラッド２０ｂ、２１ｂ、２２ｂとから構成されている。
【０１２１】
導波路光配線２０の光出射側の端面と、導波路光配線２２の一方の端面との間に導波路型光結合素子４が設けられ、導波路光配線２２の他方の端面と導波路光配線２１の入射側の端面との間に導波路型光結合素子４が設けられている。
【０１２２】
中央の導波路光配線２２の両端に、導波路型光結合素子４を設けてあるので、基板２３上の導波路光配線２２の光軸の基板２３からの高さが、他の２つの導波路光配線２０、２１の光軸とずれていても、導波路光配線２０と導波路光配線２１との間で高い結合効率を得ることができる。さらに、導波路光配線２０と導波路光配線２１との光軸の基板２３からの高さが互いにずれていても、導波路光配線２２の光軸の基板２３からの高さの作製精度をゆるくすることができ、水平方向に配線される複数の導波路光配線２０、２１、２２の水平方向のアライメント精度を低減することができる。さらに、基板２３と垂直方向の接着剤層２４の厚さの作製精度もゆるくすることができ、アライメント精度を上げることなく高い結合効率を得ることができる。
【０１２３】
また、本実施の形態において、中央の導波路光配線２２に光スイッチ、波長変換素子、偏光変換素子等の光制御素子を設ける場合でも、両端の２つの導波路光配線２０、２１を高い効率で結合することができ、光制御素子の挿入による損失を少なくすることができる。しかも、光制御素子を導波路光配線２０又は２１と一体で作製する必要がなくなるので、材料や作製プロセスの自由度が向上し、高機能の光制御素子を実現することができる。
【０１２４】
また、導波路光配線２０、２１の光軸の基板２３からの高さがずれていても、２つの導波路型光結合素子４を設けてあるので、高い結合効率を実現することができる。これは、中央の導波路光配線２２を設けない場合においても、導波路光配線２０、２１の間に一つの導波路型光結合素子を設けることによっても実現することができる。
【０１２５】
本発明の第七の実施の形態を図９に基づいて説明する。本実施の形態の光配線の基本的構造は第六の実施の形態（図８参照）の光配線と同じであり、導波路型光結合素子４の形状を、径に対する長さが１以下に設定した場合である。
【０１２６】
この光配線によれば、導波路光配線２０、２１、２２のずれがコア径よりも小さい場合に、高い光結合効率を得ることができると同時に、導波路型光結合素子４の長さが短いために、導波路型光結合素子４自体の導波損失が低減し、より高い結合効率を得ることができるようになる。
【０１２７】
本発明の第八の実施の形態を図１０に基づいて説明する。本実施の形態の光配線では、光入射側素子である導波路光配線２１と導波路光配線２５とが基板２３上に接着され、導波路光配線２５と光結合される位置に光出射側素子である発光素子モジュール１が配置されている。導波路光配線２５には導波光を９０度偏向する光偏向素子２６が設けられている。この光偏向素子２６は、コア２５ａに９０度に屈曲した部分を形成し、その屈曲部分におけるコア２５ａの外側に空気層２７を設けることにより形成されている。発光素子モジュール１と導波路光配線２５とを光結合する導波路型光結合素子４と、導波路光配線２５と導波路光配線２１とを光結合する導波路型光結合素子４とが設けられている。発光素子モジュール１と導波路光配線２５とが光結合される方向と、導波路光配線２５と導波路光配線２１とが光結合される方向とは略垂直である。
【０１２８】
この光配線において、発光素子モジュール１から基板２３方向に垂直に出射されたレーザ光１３ａは、基板２３に垂直な方向の導波路光配線２５のコア２５ａに導波路型光結合素子４により結合する。この導波路光配線２５のコア２５ａに入射した導波光は、光偏向素子２６で基板２３と平行にその進行方向を偏向され、さらに右側の端面から出射して導波路型光結合素子４に入射し、この導波路型光結合素子４から導波路光配線２１のコア２１ａに入射する。
【０１２９】
導波光の進行方向を９０度偏向する従来の光偏向部は、導波路光配線にドライエッチングやダイシングによりコア層を４５度加工することにより形成されており、導波路光配線と一体の構成であるのに対して、本実施の形態の光配線によれば、基板２３上に水平な導波路光配線２１とは別の導波路構造を有する導波路光配線２５に光偏向素子２６を設けているので、この光偏向素子２６を有する導波路光配線２５を多量に高精度に作製することができる。このため、より高い偏向効率とより低コストの光配線を実現することができる。
【０１３０】
一方、導波路光配線２１と導波路光配線２５とを別個に設けることにより、一般的には、これらの導波路光配線２１、２５の間で高精度のアライメントの必要性と結合損失が生じる。しかしながら本実施の形態では、導波路型光結合素子４を設けることにより、高い結合効率を簡単なアライメントで実現でき、その結果、基板２３に垂直方向に出射する発光素子モジュール１と基板２３に水平な導波路光配線２１とを簡単に高効率で光結合することができるようになる。ＶＣＳＥＬのような面型発光素子を表面実装した場合には、基板２３に垂直方向に光が出射されるので、ＶＣＳＥＬのような面型発光素子の実装を簡単に行うことができるようになる。
【０１３１】
本発明の第９の実施の形態を図１１に基づいて説明する。本実施の形態の光配線において、３１、３２は発光素子モジュール１または受光素子モジュール２を設けたマルチチップモジュールであり、半田バンプ３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄによって光電気複合基板３５上に設けられた水平銅配線３６ａ、３６ｂに接続されている。さらに、光電気複合基板３５上には光偏向素子２６を有する２つの導波路光配線２５と、これらの導波路光配線２５を光結合する導波路光配線３７とが接着されている。マルチチップモジュール３１、３２と導波路光配線２５との間、及び、導波路光配線２５と導波路光配線３７との間は、それぞれ導波路型光結合素子４により光結合されている。水平銅配線３６ａ、３６ｂは、スルーホール内銅配線３８ａ、３８ｂにより接続されている。
【０１３２】
この光配線では、マルチチップモジュール３１、３２への電気信号および電力は、水平銅配線３６ａ、３６ｂと垂直方向のスルーホール内銅配線３８ａ、３８ｂにより光電気複合基板３５内を伝送し、さらに光電気複合基板３５上で半田バンプ３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄを用いて伝送することができる。さらに、マルチチップモジュール３１、３２間の電気信号伝送も、これらの水平銅配線３６ａ、３６ｂおよびスルーホール内銅配線３８ａ、３８ｂを用いて実現することができる。
【０１３３】
このとき、マルチチップモジュール３１、３２間の光信号伝送は、マルチチップモジュール３１の発光素子モジュール１からの発光光束が、光偏向素子２６を設けた導波路構造を有する導波路光配線２５と導波路型光結合素子４で光結合し、さらにこの導波路光配線２５と導波路光配線３７のコア３７ａと導波路型光結合素子４で光結合することにより、高い効率と低いアライメント精度で光電気複合基板３５に水平方向に進行させて光信号として伝送することができる。さらに、この光電気複合基板３５を水平方向に進行された光信号としての導波光は、発光素子モジュール１とは別の光偏向素子２６を設けた導波路構造を有する導波路光配線２５により、別のマルチチップモジュール３２の受光素子モジュール２へ光結合し、マルチチップモジュール３１、３２間で伝送できる。
【０１３４】
また、光偏向素子２６を設けた導波路構造を有する導波路光配線２５を、光電気複合基板３５を貫通する構造とし、光電気複合基板３５の下側に光配線を設けることも可能である。これにより、光電気複合基板３５の上側を電気実装部、下側を光配線部と上下分離することができ、リフローによる電気実装工程のあとに光配線を設けることができ、導波路の耐熱性が低くてもよいので低損失の安価な導波路光配線を実現することができる。
【０１３５】
本発明の第十の実施の形態を図１２に基づいて説明する。本実施の形態は、上述した光配線の製造方法に関するものである。図１２（ａ）、（ｂ）は、光出射側素子である発光素子モジュール１と光入射側素子１４の一部であるレンズ３との間に、導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料４１を設ける工程を示している。液体材料４１はディスペンサ４２内に貯留されており、ディスペンサ４２の先端を発光素子モジュール１のガラス窓８近傍に配置または密着し（図１２（ａ））、ディスペンサ４２内の液体材料４１を滴下しながらレンズ３の方向にディスペンサ４２を移動させ、最終的に、レンズ３方向へ移動させたディスペンサ４２の先端をレンズ３近傍に配置または密着させる（図１２（ｂ））。これにより、最初の段階でガラス窓８に付着した液体材料４１がディスペンサ４２の移動に伴って自らの粘性と表面張力とによりレンズ３に向けて伸び出し、ガラス窓８とレンズ３との間で架橋構造が形成される。
【０１３６】
その後、架橋構造となった液体材料４１に対して紫外線ランプ４３により紫外線を照射する（図１２（ｃ））。この紫外線の照射により、液体材料４１が低弾性体化されたゴム状態に化学変化し、導波路型光結合素子４が形成される（図１２（ｄ））。
【０１３７】
この化学変化の結果としては、ゴム状態となる必要はなく、ゲル状態となってもよく、液体材料４１にアクリレートまたはメタクリレートを有するモノマー材料と光開始剤とを混合しておくことにより実現できる。熱重合開始剤を用いてもよい。また、液体材料４１としては、高温でのゾル状態と低温でのゲル状態となる物理ゲルを用いたり、溶媒や含有イオンの濃度変化によりゲル化する材料を用いてもよい。また、触媒を用いたシロキサン系材料、エポキシ材料、エチレンオキシド材料を用いることができる。
【０１３８】
また、この架橋構造は、液体材料４１の材料組成のみならず、粘度や滴下量、滴下移動速度、発光素子モジュール１のガラス窓８およびレンズ３の界面特性、粘性により調整でき、適切な構成の架橋構造を実現することができる。
【０１３９】
本発明の第十一の実施の形態を図１３に基づいて説明する。本実施の形態は、上述した光配線の製造方法に関するものである。本実施の形態の製造方法の図１３（ａ）〜図１３（ｄ）は第十の実施の形態の図１２（ａ）〜図１２（ｄ）と同じであり、その後、形成された導波路型光結合素子４に対して熱硬化処理することにより高弾性化している（図１３（ｅ））。この高弾性化処理を施すことにより、導波路型光結合素子４の機械的強度や信頼性が向上する。
【０１４０】
本発明の第十二の実施の形態を図１４に基づいて説明する。本実施の形態は、上述した光配線の製造方法に関するものである。本実施の形態の製造方法の図１４（ａ）〜図１４（ｄ）は第十の実施の形態の図１２（ａ）〜図１２（ｄ）と同じであり、その後、形成された導波路型光結合素子４の周囲に高弾性材料から被覆層１５を形成したものである（図１４（ｅ））。この被覆層１５は第二の実施の形態（図４参照）で説明した被覆層１５と同じものである。この被覆層１５の形成は、形成された導波路型光結合素子４に対して親水性を有するシランカップリングを蒸気で行い、さらにその後に親水性材料をこの導波路型光結合素子４に滴下することにより、親水性材料の粘性に応じた膜厚で導波路型光結合素子４を被覆する被覆層１５を形成することができる。この親水性材料に予めアクリレートモノマーを含有しておき、この形成された被覆層１５をゲル化、ゴム化させて硬い材料とすることにより、内側の低弾性材料に対して相対的に高弾性である材料で被覆することができる。
【０１４１】
本発明の第十三の実施の形態を図１５に基づいて説明する。本実施の形態は、上述した光配線４の製造方法に関するものである。図１５（ａ）は、導波路型光結合素子を光結合する箇所であるガラス窓８とレンズ３とに親水性塗布膜５１を塗布した工程である。この親水性塗布膜５１を塗布する部分以外は、予めシランカップリング剤により疎水化しておく。その後、ディスペンサ（図１２参照）により導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料４１を過剰に滴下する。この液体材料４１を滴下する作業では、最初液体材料４１をガラス窓８又はレンズ３に付着させ、その後、液体材料４１をゆっくり滴下させることにより、滴下された液体材料４１が自らの粘りと表面張力とにより次第に膨らんでいき、やがて、レンズ３又はガラス窓８に到達し、ガラス窓８とレンズ３との間に多量の液体材料４１からなる架橋構造が形成される（図１５（ｂ））。その後、図示しない超音波加振機により全体又は発光素子モジュール１とレンズ３とのどちらか一方を振動させることにより、液体材料４１に流体運動を励起させて液体材料４１の過剰分を落とす。これにより、残った液体材料４１は自らの表面張力により中央部分が細くなった形状の架橋構造となる（図１５（ｃ））。その後、架橋構造となった液体材料４１に対して紫外線を照射し、液体材料４１を低弾性体化して導波路型光結合素子４を形成する（図１５（ｄ））。
【０１４２】
この製造方法によれば、ディスペンサをガラス窓８とレンズ３との間で移動させる必要なく、作業が簡単になる。また、ディスペンサが挿入できない狭ギャップ中に導波路型光結合素子４を作製することもできる。液体材料４１に流体運動を励起させる方法としては、超音波加振機以外にも、ファンによる送風、モータ振動装置等を用いても効果的である。
【０１４３】
本発明の第十四の実施の形態を図１６に基づいて説明する。本実施の形態は上述した光配線の製造方法に関するものである。図１６（ａ）は、導波路型光結合素子を光結合する箇所であるガラス窓８とレンズ３とに親水性塗布膜５１を塗布した工程である。この親水性塗布膜５１を塗布する部分以外は、予めシランカップリング剤により疎水化しておく。また、発光素子モジュール１とレンズ３とを、最適なギャップに対して短いギャップとなるように配置しておく。その後、ディスペンサ（図１２参照）により導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料４１を適量滴下し、上述した図１５（ｂ）での工程と同じようにして、ガラス窓８とレンズ３との間に多量の液体材料４１からなる架橋構造を形成する（図１６（ｂ））。その後、図示していないピエゾ変位機により発光素子モジュール１とレンズ３との一方を離反方向へ変位させて適切なギャップとする。これにより、液体材料４１は自らの表面張力により中央部分が細くなった形状の架橋構造となる（図１６（ｃ））。その後、架橋構造となった液体材料４１に対して紫外線を照射し、液体材料４１を低弾性体化して導波路型光結合素子４を形成する（図１６（ｄ））。
【０１４４】
発光素子モジュール１とレンズ３とを変位させる場合には、半田バンプによるセルフアライメントを用いてもよい。
【０１４５】
【発明の効果】
請求項１記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が低弾性材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１４６】
請求項２記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が伸縮性材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１４７】
請求項３記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が形状変形可能な材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１４８】
請求項４記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子がゴム弾性体材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１４９】
請求項５記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が粘弾性材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１５０】
請求項６記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が０度以下のガラス転移点を有してそのガラス転移点以上のときに自己支持可能である材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１５１】
請求項７記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が熱可塑性低弾性体材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１５２】
請求項８記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が感光性低弾性体材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１５３】
請求項９記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子が光の波長以下のミクロ相分離構造を有する低弾性体材料により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１５４】
請求項１０記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子がゲルにより形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１５５】
請求項１１記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子がシリコーンにより形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１５６】
請求項１２記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子がフッ素ゴムにより形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１５７】
請求項１３記載の発明の導波路型光結合素子によれば、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも、導波路型光結合素子がアクリル酸又はメタクリル酸共重合体により形成されているためにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減できる。
【０１５８】
請求項１４記載の発明の導波路型光結合素子によれば、導波路型光結合素子が低弾性体材料の状態で自己支持可能であるため、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とがずれている場合でも導波路型光結合素子が低弾性体材料の状態のときにそのずれに応じて変形することが可能となり、光出射側素子と光入射側素子とを光結合する際に高精度の位置合わせが不要となり、光結合する際のコストを低減でき、さらに、低弾性体材料の高弾性体化により機械的強度や信頼性を向上させることができる。
【０１５９】
請求項１５記載の発明によれば、請求項１ないし１４のいずれか一記載の導波路型光結合素子において、前記光出射側素子と前記光入射側素子とに密着固定された密着固定部を有し、この密着固定部での密着固定のみによりその形状が維持されているので、この構成により導波路型光結合素子の自己支持可能な構造を実現できる。
【０１６０】
請求項１６記載の発明によれば、請求項１ないし１４のいずれか一記載の導波路型光結合素子において、前記導波路型光結合素子は、前記光出射側素子と前記光入射側素子とに密着固定された密着固定部を有し、この密着固定部が引張力の作用による破損しない程度の引張強度を有しているので、この構成により導波路型光結合素子の自己支持可能な構造を実現できる。
【０１６１】
請求項１７記載の発明によれば、請求項１ないし１６のいずれか一記載の導波路型光結合素子において、周囲に高弾性体材料からなる被覆層が設けられているので、導波路型光結合素子の機械的強度や信頼性を向上させることができる。
【０１６２】
請求項１８記載の光配線によれば、請求項１ないし１７のいずれか一記載の導波路型光結合素子を有するので、この光配線は請求項１ないし１７のいずれか一記載の導波路型光結合素子の効果を奏することができる。
【０１６３】
請求項１９記載の発明によれば、請求項１８記載の光配線において、前記光出射側素子と前記光入射側素子との少なくともいずれか一方が導波路光配線を有するので、導波路光配線への光の出入りに伴う光の損失が導波路型光結合素子により低減でき、伝播される光の損失を低減できる。
【０１６４】
請求項２０記載の発明によれば、請求項１９記載の光配線において、前記導波路光配線がマルチモード導波路を有するので、光損失が生じやすいマルチモード導波路であっても伝播される光の損失を低減できる。
【０１６５】
請求項２１記載の発明の光配線によれば、請求項１ないし１７のいずれか一記載の導波路型光結合素子を有するので、この光配線は請求項１ないし１７のいずれか一記載の導波路型光結合素子の効果を奏することができる。
【０１６６】
請求項２２記載の発明によれば、請求項２１記載の光配線において、前記光出射側素子と前記導波路光配線と前記光入射側素子とが同一平面上に配置され、前記導波路光配線が光制御素子を有するので、光出射側素子と光入射側素子との間に光制御素子、例えば、光スイッチ、波長変換素子等を設ける場合に、光出射側素子と光入射側素子とを光制御素子の挿入による損失を低減しつつ光結合することができる。
【０１６７】
請求項２３記載の発明によれば、請求項２１記載の光配線において、前記光出射側素子と前記導波路光配線とが光結合される方向と前記光入射側素子と前記導波路光配線とが光結合される方向とが略垂直であり、前記導波路光配線が光偏向素子を有するので、垂直方向の光を水平方向の光に変換する光偏向素子を有する導波路光配線を光出射方素子と光入射側素子とに光結合する場合に、光軸合わせの精度が低減されるので、光結合する際のコストを低減できる。
【０１６８】
請求項２４記載の発明によれば、請求項１８ないし２３のいずれか一記載の光配線において、基板と、前記基板上に設けられて前記光出射側素子と前記光入射側素子とに接続された電気配線と、を有するので、基板上に光出射側素子や光入射側素子を実装した光配線においても、光出射側素子と光入射側素子等の光結合する部材の光軸合わせの精度が低減されるので、基板上への実装を容易に行える。
【０１６９】
請求項２５記載の発明の光配線の製造方法によれば、光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設け、この液体材料を低弾性体材料化することにより、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とを高精度な位置合わせをすることなく光配線の製造を簡単に行える。
【０１７０】
請求項２６記載の発明の光配線の製造方法によれば、光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設け、この液体材料に流動運動を励起してこの液体材料の過剰分を落とし、残った液体材料を低弾性体材料化することにより、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とを高精度な位置合わせをすることなく光配線の製造を簡単に行える。
【０１７１】
請求項２７記載の発明の光配線の製造方法によれば、光出射側素子と光入射側素子とを目的とする間隔より近づけた状態に配置してその光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設け、その後、光出射側素子と光入射側素子とを離間する位置へ移動させることにより液体材料を光出射側素子と光入射側素子との間で適切な架橋構造とし、その架橋構造となって液体材料を低弾性体材料化することにより、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とを高精度な位置合わせをすることなく光配線の製造を簡単に行える。
【０１７２】
請求項２８記載の発明によれば、請求項２５ないし２８のいずれか一記載の光配線の製造方法において、低弾性体材料化された前記低弾性体材料の周囲に高弾性体材料からなる被覆層を設ける工程を有するので、被覆層を設けることにより導波路型光結合素子の機械的強度や信頼性を向上させることができる。
【０１７３】
請求項２９記載の発明の光配線の製造方法によれば、光出射側素子と光入射側素子との間に導波路型光結合素子を形成する低弾性体材料の前駆材料となる液体材料を設け、この液体材料を低弾性体材料化し、その後低弾性体材料を高弾性化することにより、光出射側素子の光軸と光入射側素子の光軸とを高精度な位置合わせをすることなく光配線の製造を簡単に行え、しかも、低弾性体材料の高弾性体化により機械的強度や信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態の光配線を示す概略図である。
【図２】導波路型光結合素子自体の光軸を自発的に偏向する作用を説明する説明図である。
【図３】光配線から導波路型光結合素子を省いた場合の比較例を説明する説明図である。
【図４】本発明の第二の実施の形態の光配線を示す概略図である。
【図５】本発明の第三の実施の形態の光配線を示す概略図である。
【図６】本発明の第四の実施の形態の光配線を示す概略図である。
【図７】本発明の第五の実施の形態の光配線を示す概略図である。
【図８】本発明の第六の実施の形態の光配線を示す概略図である。
【図９】本発明の第七の実施の形態の光配線を示す概略図である。
【図１０】本発明の第八の実施の形態の光配線を示す概略図である。
【図１１】本発明の第九の実施の形態の光配線を示す概略図である。
【図１２】本発明の第十の実施の形態の光配線の製造方法を示す概略図である。
【図１３】本発明の第十一の実施の形態の光配線の製造方法を示す概略図である。
【図１４】本発明の第十二の実施の形態の光配線の製造方法を示す概略図である。
【図１５】本発明の第十三の実施の形態の光配線の製造方法を示す概略図である。
【図１６】本発明の第十四の実施の形態の光配線の製造方法を示す概略図である。
【図１７】従来例の光配線の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
１      出射側素子
４      導波路型光結合素子
４ａ、４ｂ  密着固定部
１４      入手側素子
１５      被覆層
１６      導波路型光結合素子
１７      導波路光配線
１８      導波路光配線
２０      入射側素子
２１      出射側素子
２２      導波路光配線
２６      光偏向素子
３５      基板
３６ａ、３６ｂ  電気配線
４１      液体材料
【図１】
2004233896.tif 000003
【図２】
2004233896.tif 000004
【図３】
2004233896.tif 000005
【図４】
2004233896.tif 000006
【図５】
2004233896.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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