(57)【要約】【課題】ワークと治具との接触部におけるエッチングむらを抑制し、複数のワークの表裏面および側面の均一エッチングが可能な治具およびエッチング方法を提供する。【解決手段】治具は、板材４を両面から保持する台座１を２個以上有し、前記台座は、中央部が開口２をなし、外周部に板材に接触する２個以上の保持部材３を、板材を両面から保持したときに保持可能な位置に、かつ前記両面の台座の保持部材が対向しないように備え、前記保持部材は、板材に接触する部分が線状をなしている。この治具をエッチング液に浸漬して、板材の周方向に回転させる。前記保持部材と板材との接触部分が固定されないように可動自在に保持すれば、ワークと保持部材との接触部のエッチングむらの抑制効果が一層大きくなる。【選択図】図１
2004360014.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板材をエッチングする際に板材を保持するためのエッチング用治具であって、板材を両面から保持する台座を２個以上有し、前記台座は、中央部が開口をなし、外周部に板材に接触する２個以上の保持部材を、板材を両面から保持したときに保持可能な位置に、かつ前記両面の台座の保持部材が対向しないように備え、前記保持部材は、板材に接触する部分が線状をなし、板材を保持する際の板材と保持部材との接触箇所が板材の平面部と側面部がなす外周角部のみであることを特徴とする板材のエッチング用治具。
【請求項２】
前記台座が、保持部材を表裏両面に備えることを特徴とする請求項１に記載の板材のエッチング用治具。
【請求項３】
前記板材が、前記保持部材と板材との接触部分が固定されないように可動自在に保持されていることを特徴とする請求項１または２に記載の板材のエッチング用治具。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載のエッチング用治具を用いて板材を保持し、前記板材を保持した治具をエッチング液中で板材の周方向に回転させることを特徴とする板材のエッチング方法。
【請求項５】
請求項１〜３の何れかに記載のエッチング用治具を用い、複数の台座を板材の厚さ方向に連結して、略円盤状の、厚さが２ｍｍ以上の複数のシリコン板材を保持し、前記板材を保持した治具を洗浄液中で板材の周方向に回転させることを特徴とするシリコン板材の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状のスパッタリング用ターゲット（以下、「ターゲット材」という）をはじめ、オリエンテーションフラット付き（以下、「ＯＦ付き」という）のウェーハを含む各種のウェーハ等にも適用できるエッチング用治具およびその治具を用いるエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
板状のターゲット材や各種のウェーハ等（これらを、以下「板材」というが、通称に従い「ワーク」ともいう）は、例えばシリコン等の単結晶インゴットから、切断、研削、ラッピング等の機械加工を経て成形される。
【０００３】
加工が終了したターゲット材等の板材（ワーク）は、その表面の加工変質層（加工ダメージ層）や、汚れを除去するためにエッチング処理を施される。エッチングは、通常、専用の治具に保持された複数枚のワークを治具とともにエッチング液に浸漬することにより行われる。これにより、ワークの表面および側面がエッチングされ、表面の汚れ、加工ダメージや歪みが除去される。
【０００４】
このとき使用されるエッチング用治具としては、バスケットタイプ（溝タイプ）のものや、一定間隔でワークを設置するための多数の溝が形成された支持部を備えるタイプ（櫛歯タイプ）のものが主流である。
【０００５】
図９は、従来使用されているエッチング用治具例とワークの保持状態を示す概略外観図で、（ａ）は溝タイプの治具例、（ｂ）はそのときのワークの保持状態を示す図であり、（ｃ）は櫛歯タイプの治具例、（ｄ）はそのときのワークの保持状態を示す図である。
【０００６】
図９（ａ）に示したように、溝タイプの治具８では、多数形成された溝９のそれぞれにワークが保持され、治具８ごとエッチング液中に浸漬される。
【０００７】
一方、図９（ｃ）に示した櫛歯タイプの治具１０は、特許文献１に開示された治具で、ワークは、金属製の芯棒にフッ素系の樹脂をコーティングし、これに所定間隔の櫛歯状の溝１１を多数形成した支持ロッド１２の前記溝１１に載置される。なお、この治具１０は、一対の端板１３、１３の双方に、前記支持ロッド１２の端部を挿通、移動可能とした長穴１４が形成されているので、支持ロッド１２の架設位置を変更してワーク載置部の大きさを変更することができ、一つの治具でサイズの異なるワークを扱うことができるという特徴を有している。
【０００８】
また、特許文献２には、ＯＦ付きウェーハ用の治具として、軸線方向に多数の周溝が併設された複数個（５個以上）の溝付きローラがサイドプレート（端板）間に平行となるように掛け渡された構造を有する治具が提案されている。ウェーハを前記周溝によって保持し、治具ごとエッチング液中に浸漬して回転する。
【０００９】
このように、従来の治具は、溝または櫛歯状の溝でワークを保持するように構成されているが、ワークを安定して保持するためには、溝探さを深くし、または櫛歯の丈を長く採ることが必要である。しかし、これらを大きくすると次のような問題が生じる。
【００１０】
▲１▼ワークを直接保持する溝または櫛歯部分では、ワークが、他の部分に比べて過剰にエッチングされる。
【００１１】
▲２▼エッチング処理後、液中から治具を取り出した場合にも、前記図９（ｂ）に示すように、ワーク１５と治具の溝９との隙間部分、または図９（ｄ）に示すように、ワーク１６と櫛歯状の溝１１との隙間部分が狭いためにエッチング液が残留しやく、過剰エッチングされやすい。特に、閉塞部１７ができて液の滞留が生じる櫛歯溝（図９（ｄ）拡大図参照）では、この傾向が著しい。
【００１２】
▲３▼一方、ワークと治具が直接接触している部分では、液の進入が少ないため、他の部分に比べてエッチング量が少なくなり、所定のエッチング量を確保できない。
【００１３】
▲４▼さらに、複数枚のワークを同時にエッチングする場合、それぞれのワーク間の液の循環が十分ではないため、ワーク面内でのエッチングむらを生じる。
【００１４】
▲５▼ワークを直接保持する溝または櫛歯の幅が固定されているため、保持するワークの厚さが限定される。
【００１５】
ターゲット材の場合は、加工後の高い寸法精度、および表面状態（光沢等）の均一性が要求される。また、厚さがあるので、ワーク側面の寸法精度や表面状態の均一性も要求される。このため、前記のようにエッチング速度に差があると、部分的な寸法の差異を生じたり、規定のエッチング量を維持することができない。また、表面性状の不均一や、エッチング液成分が残留していると、スバッタ時のパーティクル発生の要因になる。
【００１６】
これらの点を解決するため、ＯＦ付きウェーハ用の治具等では、前述の溝深さ、櫛歯の丈を極力小さくすることが行われているが、これをなくすことは、ワークの安定保持ができなくなるため不可能であり、保持部における液の残留や、ワーク間の液の循環が不十分であることによるエッチング速度の差を完全に除去することはできない。
【００１７】
また、特許文献２では、ウェーハと治具との常時一定位置での接触を避けるために、駆動ローラでウェーハを回転させ、接触個所を一定としない方法が提案されているが、保持部分は櫛歯状で、図９（ｄ）の拡大図に示したように、ワークと治具の接触部に閉塞された空間１７ができるため、エッチング速度の差異抑制には不十分である。各ウェーハ間の液の循環の促進も考慮されておらず、治具の構造が複雑で、ウェーハを回転させるための駆動ローラを要する等、設備コストが高いという問題もある。
【００１８】
【特許文献１】
特開平８−２７４０５１号公報
【特許文献２】
特開２０００−２１８４３号公報
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、複数のワークの表裏面および側面を均一かつ効果的にエッチングすることができ、ワークと、治具との接触部におけるエッチングむらの発生を抑制できるエッチング用治具およびその治具を用いるエッチング方法を提供することを目的としている。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記の課題を解決するために、ワーク外周部を保持する複数の保持部（これを、「保持部材」という）を有する台座でワークを挟み込む治具について検討を重ねた。その結果、前記保持部材の形状、台座への取り付け位置、保持方法等を工夫することにより、ワークの表裏面および側面を均一かつ効果的にエッチングできることを知見し、本発明をなすに至った。
【００２１】
本発明の要旨は、下記（１）の板材のエッチング用治具、ならびに、（２）のその治具を用いる板材のエッチング方法、および（３）のその治具を用いるシリコン板材の洗浄方法にある。
【００２２】
（１）板材をエッチングする際に板材を保持するためのエッチング用治具であって、板材を両面から保持する台座を２個以上有し、前記台座は、中央部が開口をなし、外周部に板材に接触する２個以上の保持部材を、板材を両面から保持したときに保持可能な位置に、かつ前記両面の台座の保持部材が対向しないように備え、前記保持部材は、板材に接触する部分が線状をなし、板材を保持する際の板材と保持部材との接触箇所が板材の平面部と側面部がなす外周角部のみである板材のエッチング用治具。
【００２３】
前記の「台座」は、通常は板状のものが用いられるが、これに限定されず、棒状、管等であってもよい。その形状も、保持する板材に合わせて円形が普通であるが、例えば六角形、八角形などの多角形、その他の形状であってもよい。また、「保持部材」も、板状が普通であるが、板材を保持し得るものであれば、棒状、その他の形状であってもよい。
【００２４】
この治具において、前記台座が、保持部材を表裏両面に備えるものであれば、コンパクトな治具で多数のワークを保持することができる。
【００２５】
また、前記板材が、保持部材と板材との接触部分が固定されないように可動自在に保持されていれば、ワークと保持部材との接触部のエッチングむらを効果的に抑制できる。
【００２６】
（２）前記（１）に記載のエッチング用治具を用いて板材を保持し、前記板材を保持した治具をエッチング液中で板材の周方向に回転させる板材のエッチング方法。
【００２７】
（３）前記（１）に記載のエッチング用治具を用い、複数の台座を板材の厚さ方向に連結して、略円盤状の、厚さが２ｍｍ以上の複数のシリコン板材を保持し、前記板材を保持した治具を洗浄液中で板材の周方向に回転させるシリコン板材の洗浄方法。
【００２８】
ここで、前記（１）に記載の「板材を両面から保持する」とは、溝や、櫛歯状の溝で保持するのではなく、台座で板材の表面および裏面から挟み込むようにして保持することをいう。「保持可能な位置に（保持部材を備える）」とは、板材を両面から保持したときに、保持できずに治具から脱落することがないような位置に保持部材が設けられていることを意味する。また、「両面の台座の保持部材が対向しないように」とは、板材を両面から台座で保持したときに、両面の台座の保持部材が板材を挟んで対向する位置に来ないように、ということを意味する。
【００２９】
前記（３）に記載の「略円盤状」とは、円盤状または円盤に近い形状をいう。例えば、円周の一部に切れ込みがあるＯＦ付きウェーハ等もこの「略円盤状」に含まれる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の板材のエッチング用治具、ならびに、その治具を用いる板材のエッチング方法およびシリコン板材の洗浄方法について、図面を参照して詳細に説明する。なお、図面では、台座、保持部材のいずれも板状で、台座は円形としているが、これに限定されない。
【００３１】
図１は、本発明のエッチング用治具の主要構成要件である台座の一例の外観と板材（ワーク）の保持状態を模式的に示す図である。図示するように、台座１は、板状で、中央部が開口２をなし、外周部に２個以上（この例では、３個）の保持部材３を有している。中央部を開口２とするのは、ワークを両面から台座１で保持してエッチング液に浸漬したときに、液の流通を良好にするためである。保持部材３を２個以上とするのは、１個（もう一方の台座の保持部材を合わせても２個）ではワークの安定保持ができないからである。保持部材３とワーク４との接触箇所を減らすために、２個以上で極力少ないことが望ましい。なお、この例では、台座１は保持部材３を表裏両面に備えている。
【００３２】
ワーク４は、その両面から台座１により挟み込まれた状態で保持される。すなわち、図１に示したように、下方の台座１上に載置されたワーク４の上に上方の台座１が白抜き矢印で示すように載置され、ワーク４は、下方の台座１の保持部材３には下端外周部を（後述の図４参照）、上方の台座１の保持部材３には上端外周部を接触させた状態で保持される。
【００３３】
保持部材３は、ワーク４をその両面から保持したときに、保持可能な位置に、かつ両面の台座１の保持部材３が対向しないように設けられている。「保持可能な位置に」保持部材３を設けるのは、治具の使用時には、台座１を立てて、しかも回転させるので（後述の図６参照）、ワーク４が台座１から抜け落ちないようにする必要があるからである。例えば、ワークを挟む２個の台座のうちの一方の台座の保持部材が２個（保持部材の中心に対して対称位置にあるとする）で、他方の台座の保持部材が同じく２個（位置は任意とする）として、合計４個の保持部材でワークを保持する場合、前記一方の台座の保持部材の位置と前記他方の台座の保持部材の位置とが互い違いに（交互に）なっていなければ、治具の使用時に回転させるので、ワークは抜け落ちてしまう。
【００３４】
また、「両面の台座の保持部材が対向しないように」保持部材３を設けるのは、対向すると、ワークと治具の接触部が隣接し、エッチング液が滞留および残留しやすく、過剰エッチングされやすいからである。
【００３５】
図２は、ワークを両面から保持する台座と、そのそれぞれの保持部材の位置関係を示す図である。図示した例では、ワークの保持に同一形状の（すなわち、台座の形状、保持部材の取り付け位置や個数が同じ）２個の台座１ａ、１ｂが用いられ、保持部材３ａ、３ｂが対向しないように保持部材距離Ａを設けてワークを保持している。保持部材距離Ａは、１０ｍｍ以上とするのが望ましい。保持部材３ａが保持部材３ｂとそれに隣接する保持部材３ｃの中間位置に来るように台座１ａ、１ｂの位置を調整するのがより望ましい。
【００３６】
図２に示したように、台座１ａ、１ｂは同じ形状とし、ワークと交互に積層させる（前記図１参照）。台座１ａ、１ｂの互いの角度（円周方向の位置関係）は、通常は、各々の保持部材が対向しない位置とするために、一方の台座の二つの保持部材（図２でいえば、台座１ｂの保持部材３ｂ、３ｃ）の中間位置に他方の台座の保持部材（台座１ａの保持部材３ａ）が位置する角度となるように互いに位置決めされる。
【００３７】
また、後述するように「保持部材と板材との接触部分が固定されないように可動自在に保持」するためには、台座同士の位置が一定に保たれる構造であることが望ましいが、例えば、台座１ａの保持部材の先端部と台座１ｂとの接触部分を嵌め合わせ構造等にするのが合理的である。このような構造にすれば、前記台座の互いの角度（円周方向の位置関係）の保持も容易に行える。
【００３８】
図３は、台座の上面図である。保持部材３は台座１の上面に等間隔で３個、台座１の下面の同じ位置に等間隔で３個設けられている。保持部材３は、台座１の表面に対して垂直で、台座１の中心から放射状に配置されているのが望ましい。さらに、図示するように、台座１の中心線５に対して一定の角度で配置されていれば、エッチングの際に液の流れが生じ、均一なエッチングが行われるので、より望ましい。すなわち、図示した例では、保持部材３がインペラ（羽根車）状をなしており、しかも前記角度が台座１の上面と下面で逆向きになっているので、エッチング液中で治具を回転させたときに、台座の外周から内部へ、また内部から外周への液の流れができ、ワークの表裏面の液が常時循環する。なお、前記一定の角度は、１０〜６５度が望ましい。その角度が小さすぎると液の循環作用が十分には得られず、角度が大きすぎるとワークを確実に保持することが難しくなるからである。
【００３９】
前記保持部材は、ワークに接触する部分が線状、すなわち、直線状または曲線状をなしている。特に、ワークに対して凸となるような曲線状をなしている保持部材が望ましい。
【００４０】
図４は、ワークと保持部材との接触状態を示す図である。この例では、保持部材３は、ワーク４に接触する部分がワークに対して凸の曲線状をなしている。図中のＲ１が３０度を超え、その断面の厚さがワークを保持できる強度の範囲内で極力薄いものが望ましい。なお、図４に示すように、ワーク４と保持部材３との接触箇所は、ワーク４の平面部４ａと側面部４ｂがなす外周角部（エッジ部）のみである。
【００４１】
保持部材の断面形状については、例えば、図５（ａ）〜（ｃ）に示すような形状があるが、（ａ）に示した形状の場合は、保持部材３の厚さＴが５ｍｍ未満が望ましい。（ｂ）または（ｃ）に示した形状の場合でも、ワーク４との接触部における厚さＴは５ｍｍ未満で、かつワーク４と保持部材３がなす角度Ｒ２が３０度より大きい状態が望ましい。
【００４２】
このように、ワークと治具の隙間の角度が大きくなると、エッチング液の滞留および残留が少なくなり、過剰エッチングやエッチング液の残留を抑制する効果が向上する。
【００４３】
本発明のエッチング用治具は、対をなす槽取りつけ板の間に、前述した台座を２個以上有している。
【００４４】
図６は、このエッチング用治具の全体構成例とワークの保持状態を模式的に示す図である。図６に示した例では、槽取りつけ板６、６の間に、ワーク４を両面から保持する台座１が複数枚取り付けられ、３本の貫通シャフト７で連結、固定されている。槽取りつけ板６は、エッチング槽や、洗浄に使用する場合には洗浄槽への取り付けに適した形状とすればよい。前述の構造を有したものを、ワークの取りつけ取り外しが容易になるように、例えば、上下に分割（半割）可能な形状としてもよい。なお、図示した例では、台座１の両面に保持部材３が設けられているので、台座１とワーク４を交互に配置することができ、治具をコンパクトに構成することが可能である。
【００４５】
本発明のエッチング用治具で、ワークが、保持部材とワークとの接触部分が固定されないように可動自在に保持される場合には、可動自在に保持される範囲ならばワークの厚さが変わってもエッチング可能である。
【００４６】
また、台座１同士の間隔を変更できる構造にしておけば、エッチングするワークの厚さが変更されても同じエッチング用治具を用いることができる。
【００４７】
台座１同士の間隔を変更する方法としては、例えば、貫通シャフト７によって位置決めされる構造にして、貫通シャフト７を交換することにより台座１同士の間隔を変更できるようにしてもよいし、貫通シャフト７に沿った位置に位置決め部材を各シャフト７の外側からはめ込むことにより台座１同士の間隔を広げて固定するようにしてもよい。
【００４８】
このように、本発明のエッチング用治具では、保持するワークの厚さが限定されることがない。
【００４９】
図６に例示した槽取りつけ板６、６は必須ではない。例えば、台座１の外周部に複数本のフレーム（前記の貫通シャフト７を利用することも可能）を横に（台座１に直角またはそれに近い方向に）通してエッチング槽等に取り付け、治具全体を回転させてもよいし、前記の槽取りつけ板を「対」ではなく、片側だけとしてもよい。また、板に限定されず、枠などであってもよい。
【００５０】
図６に示したようにワークを保持した治具を用いてエッチングを行うには、この治具をエッチング槽に浸漬し、ワークの周方向に回転させる。回転速度や回転の仕方に特に制約はない。エッチング効果等を考慮して適切な条件を採択すればよい。
【００５１】
治具の材質は、エッチング液または洗浄液に侵食されない軟質の材料であればよい。構造上強度をもたせるため、ワークと接触する部分（保持部材）のみを軟質の材料とし、その他の部分は硬質の強度の高い材料を用いてもよい。
【００５２】
本発明のエッチング用治具はこのように構成されているので、ワークは治具内に安定して支えられ、しかも、ワークと治具の接触部分は、従来の溝や櫛歯状の溝で保持する場合とは異なり、ワークのエッジ部を最小限の保持部材で保持するので、治具とワーク間に狭い隙間や閉塞部分を生じない。このため保持部分の過剰エッチングおよびエッチング液の残留の抑制効果が向上する。
【００５３】
前記のエッチング用治具において、保持部材とワークとの接触部分が固定されないように可動自在に保持されていれば、ワークと保持部材との接触部のエッチングむらを抑制する効果を一層高めることができる。
【００５４】
図７は、ワークを可動自在に保持する場合の保持状態を模式的に示す図である。図示するように、ワーク４は２個の台座１ａ、１ｂの間に挟まれ、保持部材３ａ、３ｂにより保持されているが、可動自在に保持するためには、治具設計上のワーク保持径Ｒ３がワーク径Ｒ４より大きく、治具内径Ｒ５がワーク径Ｒ４より小さくなるようにする。すなわち、
Ｒ５＜Ｒ４＜Ｒ３
の関係を満たすように、台座を設計する。これにより、ワークは治具で囲われ、治具から脱落したり、横に倒れて、隣接して保持されているワークと干渉することなく、治具内で一定の自由度を持つこととなる。
【００５５】
このようにワークが保持された治具をエッチング液中に浸漬し、治具をワークの周方向に回転させると、図８に示すように、治具の回転に伴ってワーク４も回転するが、ワーク４は治具内（前記治具設計上のワーク保持径Ｒ３内）で一定の自由度をもっており、治具の回転中心Ｃに対してワーク４の中心Ｃｗがずれるので、ワークと治具間に回転差が生じる。その結果、保持部とワークとの接触位置が随時変化してワークと治具が同一位置で常時接触することがなくなり、接触部のエッチングむらの抑制効果が向上するとともに、ワークの側面も均一にエッチングされる。また、治具の回転によって槽内の液が攪拌され、さらに、保持部材にインペラの効果を持たせてあれば、治具の外周から内部へ、また内部から外周への液の流れができるので、ワークの表裏面の液が常時循環され、均一なエッチング、洗浄等が行われる。なお、洗浄の場合は、ＵＳ（超音波洗浄装置）を併用しても構わない。
【００５６】
本発明のエッチング用治具は、円盤状のターゲット材だけではなく、保持部材の数や取り付け位置に適切な配慮をすれば、円形以外の、例えばＯＦ付きウェーハや、楕円形、多角形の板材にも有効に活用できる。
【００５７】
また、エッチングに限定されず、洗浄、リンス等にも適用でき、有効である。特に、シリコン板材の洗浄において、前記エッチング用治具を用い、複数の台座を板材の厚さ方向に連結して、略円盤状の、厚さが２ｍｍ以上の複数のシリコン板材を保持し、前記板材を保持した治具を洗浄液中で板材の周方向に回転させる方法を用いれば、効果的な洗浄を行うことができる。
【００５８】
シリコン板材の厚さを２ｍｍ以上に限定したのは、２ｍｍ以上の厚い板材を例えば櫛歯状の溝で保持すると、エッチング液から引き上げて純水洗浄工程へ移動する際に、前記図９（ｄ）に示した閉塞部１７（Ｖ字部分）に、表面張力によりエッチング液が多量に残留し、板材の側面周辺のみが不均一にエッチングされるからである。前掲の特許文献２に記載の方法のように、板材を回転させても、櫛歯状の溝に板材を保持した場合にはエッチング液が残留するので、問題は完全には解決されない。
【００５９】
また、デバイス用シリコンウェーハでは、ウェーハ周辺部の面精度等は一般に要求されないが、厚さ２ｍｍ以上（一般に、５ｍｍ程度）のシリコンターゲット材に対しては側面の面精度も要求される。前掲の特許文献２に記載の方法を適用すると、前記のように側面の面精度が悪化し、さらには、Ｖ字部分に多量に残留したエッチング液が空気に曝されつつ局部的な過剰エッチングを生じさせることによって側面が不均一に着色し、使用上問題となる。
【００６０】
略円盤状の板材を対象としたのは、ターゲット材の多くが円盤状であることと、円盤またはそれに近い形状ならば、前記本発明の治具で可動自在に、「遊び」をもたせて保持し、治具を回転させることにより板材を台座内で自由に回転させ、局部的な洗浄不良を生じさせずに洗浄できるからである。
【００６１】
本発明のエッチング用治具およびその治具を用いるエッチング方法の効果を確認するために、直径２００ｍｍ、厚さ３ｍｍの単結晶シリコンターゲット材１０枚を同時に、フッ酸、硝酸および酢酸の混酸により、全面１００μｍを除去するエッチングを実施した。シリコンターゲット材を保持する際、保持部材とターゲット材との接触部分が固定されないように可動自在に保持した。なお、比較のため、従来の「溝タイプ」、「櫛歯タイプ」および「櫛歯＋ワーク移動タイプ」の治具を用いた場合についても同様のエッチングを行った。前記の「櫛歯＋ワーク移動タイプ」とは、ワークを櫛歯状の溝で保持し、かつワークをエッチング液中で回転させるタイプの治具である。
【００６２】
エッチング後のシリコンターゲット材を、外観観察および寸法測定を行って評価した結果を表１に示す。なお、「評価」の欄の○印は良好であることを、△印はやや不良であることを、×印は不良であることを表す。
【００６３】
【表１】
2004360014.tif 000003
【００６４】
表１に示したように、本発明のエッチング用治具を用いた場合は、ターゲット材１０枚の全てにおいて、表裏面および側面とも、エッチング速度差による表面層（１００μｍ）の除去むらおよび過剰エッチングのない、均一なエッチング面が得られた。
【００６５】
【発明の効果】
本発明のエッチング用治具およびその治具を用いるエッチング方法によれば、ワークと治具との接触部におけるエッチングむらを抑制し、複数のワークの表裏面および側面を均一かつ効果的にエッチングすることができる。この治具は、洗浄、リンス等で使用する治具としても有効で、厚さ２ｍｍ以上のシリコンターゲット材の洗浄に適用すれば、洗浄むらを生じさせずに効果的な洗浄を行うことができる。また、ワークの厚さが限定されないので、一つの治具で数種類の厚さのワークを処理することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエッチング用治具の主要構成要件である台座の一例の外観と板材（ワーク）の保持状態を模式的に示す図である。
【図２】板材を両面から保持する台座と、そのそれぞれの保持部材の位置関係を示す図である。
【図３】台座の上面図である。
【図４】ワークと保持部材との接触状態を示す図である。
【図５】保持部材の断面形状を例示する図である。
【図６】本発明のエッチング用治具の全体構成例を模式的に示す図である。
【図７】ワークを可動自在に保持する場合の保持状態を模式的に示す図である。
【図８】治具を回転させたときのワークの治具内における位置を模式的に示す図である。
【図９】従来使用されているエッチング用治具例とワークの保持状態を示す概略外観図である。
【符号の説明】
１：台座
２：開口
３：保持部材
４：ワーク
５：中心線
６：槽取りつけ板
７：貫通シャフト
８：溝タイプの治具
９：溝
１０：櫛歯タイプの治具
１１：櫛歯状の溝
１２：支持ロッド
１３：端板
１４：長穴
１５：ワーク
１６：ワーク
１７：閉塞部
【図１】
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【図２】
2004360014.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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