(57)【要約】【課題】物品の乾燥を行う際に、乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的に物品を乾燥させることのできる物品の乾燥装置及び乾燥方法を提供する。【解決手段】物品に自動的に乾燥を行う物品の自動乾燥装置であって、少なくとも、前記物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換を行う置換処理室と、該置換処理室内で物品に揮発性有機溶剤を噴射する噴射ノズルと、前記置換処理室の後段で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行う乾燥処理室と、前記物品を載置して置換処理室及び乾燥処理室に搬送する搬送ベルト機構とを具備することを特徴とする物品の自動乾燥装置。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品に自動的に乾燥を行う物品の自動乾燥装置であって、少なくとも、前記物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換を行う置換処理室と、該置換処理室内で物品に揮発性有機溶剤を噴射する噴射ノズルと、前記置換処理室の後段で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行う乾燥処理室と、前記物品を載置して置換処理室及び乾燥処理室に搬送する搬送ベルト機構とを具備することを特徴とする物品の自動乾燥装置。
【請求項２】
前記噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤を加熱する有機溶剤加熱手段を具備することを特徴とする請求項１に記載の物品の自動乾燥装置。
【請求項３】
前記乾燥処理室で物品に吹き付ける不活性ガスを加熱するガス加熱手段を具備することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の物品の自動乾燥装置。
【請求項４】
前記噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤及び／または前記乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用する再生循環システムを具備することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥装置。
【請求項５】
前記揮発性有機溶剤及び／または不活性ガスを循環して再利用する再生循環システムが、熱エネルギーを循環利用する熱循環手段を有するものであることを特徴とする請求項４に記載の物品の自動乾燥装置。
【請求項６】
前記搬送ベルト機構が、少なくとも、前記物品を載置する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーンと、該搬送ベルト駆動チェーンを駆動させる搬送ベルト駆動ギアとを具備し、前記搬送ベルト部が網状の構造を有するものであることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥装置。
【請求項７】
前記搬送ベルト機構の搬送ベルト部に、物品を誘導するためのホールドバーが設けられていることを特徴とする請求項６に記載の物品の自動乾燥装置。
【請求項８】
前記搬送ベルト機構に載置した物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト機構の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構を有することを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥装置。
【請求項９】
前記上部ネット機構が、少なくとも、前記物品を押さえる押さえネット部と、該押さえネット部の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーンと、該押さえネット駆動チェーンを駆動させる押さえネット駆動ギアとを具備し、前記押さえネット部が網状の構造を有するものであることを特徴とする請求項８に記載の物品の自動乾燥装置。
【請求項１０】
前記上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることを特徴とする請求項８または請求項９に記載の物品の自動乾燥装置。
【請求項１１】
前記置換処理室及び／または乾燥処理室の物品の出入口にシャッターが設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥装置。
【請求項１２】
前記乾燥処理室の後段に、さらに減圧処理室が設置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥装置。
【請求項１３】
物品を自動的に搬送しながら乾燥を行う物品の自動乾燥方法において、前記物品を搬送ベルト機構に載置して先ず置換処理室に搬送し、該置換処理室内で噴射ノズルから揮発性有機溶剤を噴射して物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換し、その後、該物品を乾燥処理室に搬送し、該乾燥処理室内で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行うことを特徴とする物品の自動乾燥方法。
【請求項１４】
前記噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤を加熱することを特徴とする請求項１３に記載の物品の自動乾燥方法。
【請求項１５】
前記噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤をアルコールとすることを特徴とする請求項１３または請求項１４に記載の物品の自動乾燥方法。
【請求項１６】
前記乾燥処理室で物品に吹き付ける不活性ガスを加熱することを特徴とする請求項１３ないし請求項１５のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥方法。
【請求項１７】
前記噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤及び／または前記乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用することを特徴とする請求項１３ないし請求項１６のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥方法。
【請求項１８】
前記揮発性有機溶剤及び／または不活性ガスを循環して再利用する際に、熱エネルギーを循環利用することを特徴とする請求項１７に記載の物品の自動乾燥方法。
【請求項１９】
前記物品を上部ネット機構を用いて上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト機構の搬送速度を同期させて物品を搬送することを特徴とする請求項１３ないし請求項１８のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥方法。
【請求項２０】
前記物品の寸法及び形状に合わせて、前記上部ネット機構の高さを調節することを特徴とする請求項１９に記載の物品の自動乾燥方法。
【請求項２１】
前記乾燥処理室で物品の乾燥を行った後、さらに該物品を減圧処理室に搬送し、該減圧処理室内で物品に付着している揮発性有機溶剤を揮発させて除去することを特徴とする請求項１３ないし請求項２０のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥方法。
【請求項２２】
前記乾燥を行う物品をウエーハのキャリアボックスとすることを特徴とする請求項１３ないし請求項２１のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、洗浄等が行われた物品に乾燥を行うための物品の自動乾燥装置及び自動乾燥方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、物品に例えば洗浄及び乾燥等の処理を施す際に、物品（被処理物）を搬送しながらその物品に純水や洗浄剤等を吹き付けて洗浄処理を行い、その後加熱した清浄空気（クリーンドライエア、以下、ＣＤＡと略すことがある）等を吹き付けて乾燥処理を行う方法が広く用いられている。
【０００３】
例えば、半導体ウエーハを出荷する際にウエーハを保持・収納するキャリアボックスには、通常ウエーハへの汚染を防止するために非常に清浄なものが求められている。そのため、一般的にウエーハを収納する前にキャリアボックスに洗浄及び乾燥等の処理を施し、キャリアボックスに付着している塵（パーティクル）や有機物等を除去することが行われている。このようなキャリアボックスを洗浄する方法としては、例えば、特許文献１に開示されているような方法等が知られている。
【０００４】
ここで、キャリアボックスの洗浄方法について簡単に説明する。
通常、このようなキャリアボックスに洗浄及び乾燥処理を行う場合、キャリアボックスは、先ず、ボックス本体、上蓋、インナーボックス、リテイナー、ガスケット等のパーツに分解され、その各パーツに分解されたキャリアボックスに純水による前洗浄を行う。続いて、前洗浄を行ったキャリアボックスに界面活性剤等の薬液を用いた薬液洗浄を行うことによって、付着しているパーティクルや有機物等を除去し、その後純水によるリンス（水洗）を十分に行う。
【０００５】
リンスが行われた後、キャリアボックスを十分に乾燥させる。キャリアボックスの乾燥を行う方法としては、リンス後のキャリアボックスを例えばクリーンオーブン内に搬送し、オーブン内を６０℃程度に保持して温風の循環により乾燥を行ったり、あるいはキャリアボックスの乾燥装置としてユニット内に組み込まれた回転機構を用いてキャリアボックスを装置内で回転させるとともに清浄な温風を吹き付ける、いわゆるスピンを利用した方法等を用いることによりキャリアボックスの乾燥が行われる。
【０００６】
また、上記のようなキャリアボックスの洗浄及び乾燥処理では、キャリアボックスに洗浄処理を行った後、乾燥を行う前にキャリアボックスに付着している水滴を落としておくことにより乾燥処理での乾燥時間を短縮できることから、キャリアボックスの水切りが行われている。例えば、リンスが施されたキャリアボックスに対して、ＣＤＡを高速で吹き付けるＣＤＡブローや、加圧した空気を利用するエアーナイフ等を用いて水切りが行われている。
【０００７】
しかしながら、このような従来のＣＤＡブローやエアーナイフ等によるキャリアボックスの水切りでは、キャリアボックスに付着している水滴を十分に水切りできているとは言えず、水切り後のキャリアボックスには多くの水滴が残存していた。そのため、その後の乾燥処理でキャリアボックスの乾燥を行う際に、キャリアボックスを均一に乾燥させることが難しく、乾燥ムラが生じやすいという問題があり、またキャリアボックスを完全に乾燥させるためには依然長い処理時間が必要とされ、スループットの低下やコストアップの要因の一つとなっている。
【０００８】
またその他に、洗浄が行われたキャリアボックスを乾燥させる方法として、例えば特許文献２において、キャリアボックスを浸漬槽内の温度制御された有機溶剤に浸漬し、次いでキャリアボックスを有機溶剤から引き上げて乾燥するようにしたキャリアボックスの乾燥装置及び乾燥方法が開示されている。しかしながら、この特許文献２では、キャリアボックスを有機溶剤に浸漬してキャリアボックス表面の水分を有機溶剤に置換する際に、キャリアボックスの昇降や浸漬にかかる時間が長くなるため、乾燥処理における処理時間を短縮することが困難であり、また装置自体が大型になるので大きな設置スペースが必要とされ、コストへの負担も大きいという問題があった。
【０００９】
そして、上記のような乾燥処理を行う際に処理時間が長くなったり、また乾燥ムラが生じる等といった問題は、半導体ウエーハのキャリアボックスを乾燥する場合に限定されて引き起こされるものではなく、洗浄処理等が行われた様々な物品に乾燥処理を行う場合に共通して引き起こされる問題である。
【００１０】
さらに上記の問題に加えて、物品（被処理物）を搬送しながら乾燥等の処理を行うときには、被処理物が搬送中に滑って落下したり、また例えば処理中に加圧した空気やＣＤＡの吹き付け等によって被処理物が飛散するのを防止して、被処理物を安定して搬送できるようにするため、一般的に専用のバスケットやラック等を用いて被処理物を保持・固定する必要があった。
【００１１】
しかしながら、このように被処理物を専用のバスケットやラックに固定して搬送する場合、被処理物を専用のバスケットやラックに固定する前準備が必要であり、さらに乾燥等の処理を行った後には搬送されてきたバスケットやラックから被処理物を取り出し、空のバスケットやラックを搬送装置の投入側に移動させて再び上記の前準備を開始しなければならないという手間が必要とされた。そのため、被処理物の搬送を効率的に行なうことができず、各種処理における処理時間の短縮やスループットの向上が妨げられ、大量処理を行うことが非常に困難であった。
【００１２】
【特許文献１】
特開２００１−１５６０３４号公報
【特許文献２】
特開平１１−３３７２６３号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、物品の乾燥を行う際に、乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的に物品を乾燥させることのできる物品の乾燥装置及び乾燥方法を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、物品に自動的に乾燥を行う物品の自動乾燥装置であって、少なくとも、前記物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換を行う置換処理室と、該置換処理室内で物品に揮発性有機溶剤を噴射する噴射ノズルと、前記置換処理室の後段で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行う乾燥処理室と、前記物品を載置して置換処理室及び乾燥処理室に搬送する搬送ベルト機構とを具備することを特徴とする物品の自動乾燥装置が提供される（請求項１）。
【００１５】
このように、少なくとも、置換処理室、噴射ノズル、乾燥処理室、搬送ベルト機構を具備する物品の自動乾燥装置であれば、物品を自動搬送しながら先ず置換処理室で噴射ノズルから揮発性有機溶剤を噴射して物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に短時間で置換でき、その後乾燥処理室で物品に不活性ガスを吹き付けることにより物品を乾燥させることができるので、物品に乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的に乾燥を行うことのできる自動乾燥装置とすることができる。
【００１６】
このとき、前記噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤を加熱する有機溶剤加熱手段を具備することが好ましい（請求項２）。
このように噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤を加熱する有機溶剤加熱手段を具備するものであれば、揮発性有機溶剤を予め加熱して噴射ノズルから噴射することが可能となるので、噴射ノズルから噴射された揮発性有機溶剤を蒸発させる際に有機溶剤の蒸発を促進することができるし、また揮発性有機溶剤が蒸発するときの気化潜熱を補って処理室内の雰囲気温度を容易に一定に保つことができるので、非常に効率的にかつ安定して物品を乾燥させることができる装置となる。
【００１７】
また、前記乾燥処理室で物品に吹き付ける不活性ガスを加熱するガス加熱手段を具備することが好ましい（請求項３）。
このように、物品に吹き付ける不活性ガスを加熱するガス加熱手段を具備するものであれば、乾燥処理室で物品の乾燥を行う際に揮発性有機溶剤の蒸発を促進するとともに雰囲気温度を一定に保つことが容易に可能となるので、非常に効率的に物品を乾燥させることができる自動乾燥装置となる。
【００１８】
この場合、前記噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤及び／または前記乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用する再生循環システムを具備することが好ましく（請求項４）、さらに前記揮発性有機溶剤及び／または不活性ガスを循環して再利用する再生循環システムが、熱エネルギーを循環利用する熱循環手段を有するものであることが好ましい（請求項５）。
【００１９】
このように本発明の自動乾燥装置が再生循環システムを具備するものであれば、噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤や乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用することができるので、コストの低減を図ることが可能となり、また資源の浪費が少なく地球環境にやさしい物品の自動乾燥装置とすることができる。さらに、再生循環システムが熱循環手段を有するものであれば、揮発性有機溶剤や不活性ガスを循環して再利用する際に熱エネルギーも循環利用することができるので、コストを一層低下させることができ、またエネルギーの浪費を更に抑えることが可能となる。
【００２０】
また、本発明の自動乾燥装置は、前記搬送ベルト機構が、少なくとも、前記物品を載置する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーンと、該搬送ベルト駆動チェーンを駆動させる搬送ベルト駆動ギアとを具備し、前記搬送ベルト部が網状の構造を有するものであることが好ましい（請求項６）。
【００２１】
搬送ベルト機構が、搬送ベルト部と、搬送ベルト駆動チェーンと、搬送ベルト駆動ギアとを具備するものであれば、物品を安定して載置して置換処理室及び乾燥処理室に搬送することができる。また、搬送ベルト機構の搬送ベルト部が網状の構造を有するものであれば、例えば置換処理室で物品に揮発性有機溶剤を噴射した際に物品から流れ落ちた有機溶剤等を搬送ベルト機構からすばやく滴下して容易に回収することができるし、さらに乾燥処理室で物品に不活性ガスを吹き付ける際に、物品の下方向からも不活性ガスの吹き付けを行うことが可能となり、非常に効果的に物品を乾燥させることができる。
【００２２】
この場合、前記搬送ベルト機構の搬送ベルト部に、物品を誘導するためのホールドバーが設けられていることが好ましい（請求項７）。
このように、搬送ベルト部にホールドバーが設けられていれば、物品を搬送する際に物品のズレを防止でき、物品の搬送を安定して行うことができる。
【００２３】
さらに、本発明の自動乾燥装置は、前記搬送ベルト機構に載置した物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト機構の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構を有することが好ましい（請求項８）。
このように、本発明の物品の自動乾燥装置が上部ネット機構を有するものであれば、物品を搬送する際に上部ネット機構で物品を上方から押さえることができ、従来のようなバスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止できる。したがって、物品を安定して自動搬送しながら効率的に乾燥を行うことができる自動乾燥装置とすることができる。
【００２４】
この場合、前記上部ネット機構が、少なくとも、前記物品を押さえる押さえネット部と、該押さえネット部の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーンと、該押さえネット駆動チェーンを駆動させる押さえネット駆動ギアとを具備し、前記押さえネット部が網状の構造を有するものであることが好ましい（請求項９）。
【００２５】
このように、上部ネット機構が押さえネット部と、押さえネット駆動チェーンと、押さえネット駆動ギアとを具備するものであれば、搬送ベルト機構で搬送される物品を上方から押さえて物品の飛散を確実に防止できるとともに、その搬送速度を制御して搬送ベルト機構と容易に同期させることができるものとなる。さらに、上部ネット機構の押さえネット部が網状の構造を有するものであれば、例えば置換処理室で噴射ノズルを物品の上方に設置して揮発性有機溶剤を物品全体に噴射することが可能となり、物品に付着している水滴を確実に揮発性有機溶剤に置換することができるし、また乾燥処理室で物品に不活性ガスを吹き付ける際に、物品の上方向から不活性ガスを吹き付けることもできるので、極めて効果的に物品を乾燥させることができる自動乾燥装置となる。
【００２６】
さらに、前記上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることが好ましい（請求項１０）。
このように上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていれば、物品の寸法や形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することができるため、物品が様々な寸法や形状を有していても、物品を上方から安定して押さえることができ、物品の落下や飛散を確実に防止できる。
【００２７】
また、本発明の自動乾燥装置は、前記置換処理室及び／または乾燥処理室の物品の出入口にシャッターが設けられていることが好ましい（請求項１１）。
このように、置換処理室及び／または乾燥処理室の物品の出入口にシャッターが設けられていれば、例えば上記の揮発性有機溶剤としてアルコールを使用する場合でも、処理室内の雰囲気を外部と遮断することができるので、置換処理室でのアルコールへの置換、及び乾燥処理室での物品の乾燥を安全に行うことができる。また、置換処理室内及び乾燥処理室内を外部からの汚染から防止することができる。
【００２８】
その上、前記乾燥処理室の後段に、さらに減圧処理室が設置されていることが好ましい（請求項１２）。
このように乾燥処理室の後段に減圧処理室がさらに設置されていれば、乾燥処理室で乾燥処理が行われた物品に揮発性有機溶剤が残存していたとしても、その後減圧処理室で揮発性有機溶剤を完全に揮発させて除去することができるので、物品をより確実に乾燥させることが可能となる。
【００２９】
また、本発明によれば、物品を自動的に搬送しながら乾燥を行う物品の自動乾燥方法において、前記物品を搬送ベルト機構に載置して先ず置換処理室に搬送し、該置換処理室内で噴射ノズルから揮発性有機溶剤を噴射して物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換し、その後、該物品を乾燥処理室に搬送し、該乾燥処理室内で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行うことを特徴とする物品の自動乾燥方法が提供される（請求項１３）。
【００３０】
このように、物品を搬送ベルト機構に載置して先ず置換処理室に搬送し、置換処理室内で噴射ノズルから揮発性有機溶剤を噴射して物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換することによって物品の乾燥を行いやすくすることができ、その後、物品を乾燥処理室に搬送し、乾燥処理室内で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行うことにより、物品に乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的に物品の乾燥を行うことができる。
【００３１】
このとき、前記噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤を加熱することが好ましい（請求項１４）。
このように、噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤を加熱することにより、物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換して蒸発させる際に、有機溶剤の蒸発を促進することができるし、また揮発性有機溶剤が蒸発するときの気化潜熱を補って処理室内の雰囲気温度を一定に保つことができるので、非常に効率的にかつ安定して物品を乾燥させることができる。
【００３２】
また、前記噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤をアルコールとすることが好ましい（請求項１５）。
このように噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤としてアルコールを使用することにより、置換処理室で物品に付着している水滴をアルコールに短時間で容易に置換することができるし、またその後乾燥処理室で不活性ガスを物品に吹き付けることによってアルコールを短時間で蒸発させて物品の乾燥を効果的に行うことができる。
【００３３】
さらに、前記乾燥処理室で物品に吹き付ける不活性ガスを加熱することが好ましい（請求項１６）。
このように乾燥処理室で物品に吹き付ける不活性ガスを加熱することにより、乾燥処理室での揮発性有機溶剤の蒸発を促進できるとともに、乾燥処理室の雰囲気温度を一定に保つことができるので、乾燥時間の遅延を抑制して、非常に効率的にかつ安定して物品を乾燥させることができる。
【００３４】
また本発明では、前記噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤及び／または前記乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用することができ（請求項１７）、さらに前記揮発性有機溶剤及び／または不活性ガスを循環して再利用する際に、熱エネルギーを循環利用することもできる（請求項１８）。
【００３５】
本発明は、再生循環システムを用いることにより噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤及び／または乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用することができるので、コストを大幅に節減することができるし、また資源の浪費を抑えて地球環境に与える影響も小さくすることができる。このとき、熱エネルギーも循環利用することによって、コストの一層の低減、資源の更なる節約を図ることができる。
【００３６】
また、前記物品を上部ネット機構を用いて上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト機構の搬送速度を同期させて物品を搬送することが好ましい（請求項１９）。
【００３７】
このように上部ネット機構を用いて物品を上方から押さえつつ、上部ネット機構と搬送ベルト機構の搬送速度を同期させて物品を搬送することにより、バスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止して、物品を安定して自動搬送しながら乾燥させることができる。さらに、このように上部ネット機構を用いれば、物品を連続的に搬送して乾燥を行うことができるため、スループットを著しく向上させることができ、処理量の大幅な増加を図ることが可能となる。
【００３８】
この場合、前記物品の寸法及び形状に合わせて、前記上部ネット機構の高さを調節することが好ましい（請求項２０）。
このように物品の寸法及び形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することによって、物品が様々な寸法や形状を有していても、物品を上方から安定して押さえることができ、搬送する物品の落下や飛散を確実に防止できる。
【００３９】
また、前記乾燥処理室で物品の乾燥を行った後、さらに該物品を減圧処理室に搬送し、該減圧処理室内で物品に付着している揮発性有機溶剤を揮発させて除去することができる（請求項２１）。
本発明では、乾燥処理室で物品の乾燥を行った後、さらに物品を減圧処理室に搬送して減圧処理を行うことにより、物品に付着している揮発性有機溶剤を完全に除去することができるので、物品の乾燥をより確実に行うことができる。
【００４０】
このとき、前記乾燥を行う物品をウエーハのキャリアボックスとすることができる（請求項２２）。
このように、本発明の物品の自動乾燥方法は、洗浄等が行われたウエーハのキャリアボックスを乾燥させる際に特に好適に用いることができ、それによって、キャリアボックスの乾燥処理を短時間で効果的に行うことができる。
【００４１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
先ず、本発明に係る物品の自動乾燥装置について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の物品の自動乾燥装置を具備した自動洗浄・乾燥処理装置の一例を示す概略説明図である。
【００４２】
図１に示すように、本発明の物品の自動乾燥装置１は、少なくとも、物品３０に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換する置換処理室５と、この置換処理室５内で物品３０に揮発性有機溶剤を噴射する噴射ノズル３と、置換処理室５の後段で物品３０に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行う乾燥処理室６と、物品３０を載置して置換処理室５及び乾燥処理室６に搬送する搬送ベルト機構２とを具備するものであり、また乾燥処理室６の後段にはさらに減圧処理室２９を設置することができる。このような自動乾燥装置１であれば、例えば前述した特許文献２の乾燥装置等に比べて設置スペースを小さくすることができ、コストへの負担を大幅に軽減することができる。
【００４３】
また、この自動乾燥装置１には、揮発性有機溶剤を加熱する有機溶剤加熱手段３１や、不活性ガスを加熱するガス加熱手段３２が具備されている。このように有機溶剤加熱手段３１が設置されていることにより、置換処理室５で噴射ノズル３から物品３０に噴射する揮発性有機溶剤を加熱することができるし、またガス加熱手段３２が設置されていることにより、乾燥処理室６で物品３０に吹き付ける不活性ガスを加熱することができる。
【００４４】
さらに、本発明の物品の自動乾燥装置１は、置換処理室５で噴射ノズル３から噴射した揮発性有機溶剤や、乾燥処理室６で物品３０に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用する再生循環システムを具備するものである。ここで、本発明で用いる再生循環システムの一例について、図２を参照しながら説明する。
【００４５】
本発明で用いる再生循環システム３３は、置換処理室５で噴射ノズル３から噴射された揮発性有機溶剤を循環して再利用するために、例えば物品３０から流れ落ちた有機溶剤を回収する有機溶剤槽３６と、置換処理室５の雰囲気ガス中に含まれている有機溶剤を雰囲気ガスの循環の際に冷却することによって凝縮させて回収する冷却槽３４と、これらの有機溶剤槽３６及び冷却槽３４等で回収された有機溶剤を集めて貯蔵する貯蔵タンク３５と、貯蔵タンク３５に集められた有機溶剤を再び噴射ノズル３に循環させる加圧器３９と、有機溶剤を噴射ノズル３に循環させる際に有機溶剤を浄化する清浄器４０が設置されている。
【００４６】
また、乾燥処理室６では、物品３０に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用するために、不活性ガスを冷却することによって不活性ガス中に含まれている水分及び有機溶剤をそれぞれ別々に凝縮して回収する第一冷却槽４１及び第二冷却槽４２と、これらの冷却槽４１、４２で水分及び有機溶剤を分離した不活性ガスを浄化してガス加熱手段に循環させるＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等のようなエアフィルター４３とが設置されている。
【００４７】
さらに、上記のような揮発性有機溶剤や不活性ガスを循環して再利用する再生循環システムには、熱エネルギーを循環利用する熱循環手段が設けられていることが好ましい。例えば、揮発性有機溶剤を循環して再利用する場合、図２に示したように、熱循環手段として加熱用の熱交換器４４及び冷却用の熱交換器４５をそれぞれ有機溶剤加熱手段３１と冷却槽３４に設置する。そして、これらの熱交換器４４、４５の一端を互いに加圧器３９と加熱ヒーター４６を介して接続し、また他方の一端を圧力調整バルブ４７を介して接続しておき、例えばノンフロン系ガスを加熱用の熱交換器４４と冷却用の熱交換器４５間で循環させることによって、有機溶剤加熱手段３１と冷却槽３４との間で熱エネルギーを循環利用することが可能となる。
【００４８】
また、不活性ガスを循環して再利用する場合は、ガス加熱手段３２に加熱用の熱交換器４４を設置し、また第一冷却槽４１及び第二冷却槽４２のそれぞれに冷却用の熱交換器４５ａ、４５ｂを連結して設置する。そして、例えば冷却用の熱交換器４５ａを加圧器３９と加熱ヒーター４６を介して加熱用の熱交換器４４の一端と接続し、また冷却用の熱交換器４５ｂを圧力調整バルブ４７を介して加熱用の熱交換器４４のもう一端と接続してノンフロン系ガスを循環させることによって、ガス加熱手段３２と冷却槽４１、４２との間で熱エネルギーを循環利用することが可能となる。
【００４９】
また、図１に示した本発明の自動乾燥装置１に設置されている搬送ベルト機構２は、図５に示すように、物品を載置する搬送ベルト部１０と、搬送ベルト部１０の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーン１１と、搬送ベルト駆動チェーン１１を駆動させる搬送ベルト駆動ギア１２とを具備している。この搬送ベルト部１０は、図７（ａ）に拡大図を示すように、細線径の網状の構造を有しており、様々な形状の物品を安定して載置することができる。このとき、網状の構造は所定の大きさの開口寸法（目）を有しており、この目の大きさは物品の形状、寸法、重量を考慮して調整すれば良いので特に限定されないが、例えば物品としてウエーハのキャリアボックスを搬送する場合には、搬送ベルト部１０の網状の構造における目の大きさを２５×２５ｍｍ以下にすることにより、耐荷重性が増し、キャリアボックスを安定して載置して搬送することができる。また、搬送ベルト駆動チェーン１１は、例えば５０ｍｍ程度の幅を有し、各コマ３７をピン３８で連結して構成することができる。
【００５０】
このとき、搬送ベルト部１０は、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることが好ましく、例えば搬送ベルト駆動チェーン１１の駆動方向に垂直な方向の搬送ベルト部１０の材質（Ａ材）には細いステンレス棒にＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）をコートしたものを用い、また駆動チェーン１１の駆動方向に平行な方向の搬送ベルト部１０の材質（Ｂ材）にはステンレスワイヤーにＰＴＦＥをコートしたものを用いることができる。搬送ベルト部１０がこのような材質からなるものであれば、優れた清浄度を維持できるだけでなく、耐熱性、耐薬品性、耐磨耗性に優れ、さらに搬送ベルト部に滑りを持たせることができるので、物品への引っかかりを防止して円滑に搬送することができる。このような搬送ベルト部１０において、Ａ材とＢ材との接合部１５を例えば図７（ｂ）に示したように形成することによって、搬送ベルト部１０の物品と接触する面を平坦にできる。
【００５１】
さらに、搬送ベルト機構２には、図７（ａ）に示すように、搬送ベルト部１０に物品を誘導するためのホールドバー１６が設けられていることが好ましい。例えば、シリコンラバー等の材質からなるホールドバーを搬送ベルト部１０のＡ材上に所定の間隔で設置していれば、物品を搬送ベルト機構２に載置して搬送する際に物品のズレを防止することができる。また、このようにホールドバーが設置されていることにより、例えば図１に示したように、リンス処理等の洗浄処理が行われる処理室から物品３０を自動乾燥装置１に受け入れる際や、自動乾燥装置１で置換処理室５から乾燥処理室６に物品３０を搬送する際等に、搬送ベルト機構間での物品の受け渡しを円滑に行うことが可能となる。
【００５２】
また、搬送ベルト機構２にホールドバー１６が設けられている場合、図８に示すように、ホールドバー１６の上面は櫛状に形成されていることが望ましい。このような形状を有するホールドバーであれば、例えば搬送ベルト機構間で物品の受け渡しを行う場合等に、それぞれの搬送ベルト機構に設置されているホールドバー同士がぶつかり合わず、物品の搬送及び受け渡しを円滑に行うことができる。
【００５３】
さらに、本発明の自動乾燥装置１は、図１に示したように、搬送ベルト機構２に載置した物品３０を上方から押さえるとともに、搬送ベルト機構２の搬送速度と同期させて物品３０を搬送する上部ネット機構４を有することが好ましい。このように自動乾燥装置１に上部ネット機構４が設置されていれば、従来のようなバスケットやラック等の専用の治具を用いずに、物品３０を上方から押さえて物品の落下や飛散を防止し、物品３０を連続的に安定して自動搬送することができる。
【００５４】
この上部ネット機構４は、例えば図４に示すように、柔軟性を有し物品を上方から押さえる押さえネット部７と、押さえネット部７の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーン８と、押さえネット駆動チェーン８を駆動させる押さえネット駆動ギア９とを具備している。この押さえネット部７は細線径の網状の構造を有しており、その網状の構造が、例えば図６に拡大図を示すように、所定の大きさの開口寸法（目）を有している。この押さえネット部７の網状の構造における目の大きさは、物品の寸法や形状を考慮して調整すれば良いので特に限定されないが、例えば物品としてウエーハのキャリアボックスを搬送する場合、開口寸法を５０×５０ｍｍ以下程度にすることにより、キャリアボックスを上方から安定して押さえることができる。また一方、押さえネット駆動チェーン８は、例えば５０ｍｍ程度の幅を有するものであれば良く、また各コマ２７をピン２８で連結して構成することができる。
【００５５】
このとき、押さえネット部７も前記搬送ベルト部１０と同様に、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることが好ましく、例えばＡ材には細いステンレス棒にＰＴＦＥをコートしたものを用い、またＢ材にはステンレスワイヤーにＰＴＦＥをコートしたものを用いることによって、前記搬送ベルト部１０と同様の効果を得ることができる。さらに、押さえネット部７のＡ材とＢ材との接合部についても図７（ｂ）と同様に形成することによって、押さえネット部７の物品と接触する面を平坦にできる。
【００５６】
また、上記のような搬送ベルト機構２及び上部ネット機構４において、搬送ベルト駆動チェーン１１の内面及び押さえネット駆動チェーン８の内面には、それぞれの駆動ギア１２及び９との噛み合わせを容易にするために、例えば図６に示すような内周歯１３、または図７（ａ）に示すようなギヤ溝１４が形成されている。このように搬送ベルト駆動チェーン１１及び押さえネット駆動チェーン８の内面に、内周歯１３またはギヤ溝１４が形成されていれば、搬送ベルト駆動ギア１２及び押さえネット駆動ギア９の駆動力を確実に駆動チェーンに伝えることができるし、またそれぞれの駆動ギアでその駆動力の大きさを制御することによって、搬送ベルト機構２及び上部ネット機構４のそれぞれの搬送速度を調節して、容易に同期させることができる。また、このような搬送ベルト機構２及び上部ネット機構４における駆動チェーン及び駆動ギアは、強化プラスチックやクリーン塩ビなどの塩化ビニル樹脂製とすることで、発塵や金属汚染を防止することができる。
【００５７】
さらに、本発明の自動乾燥装置１には、上記上部ネット機構４の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることが好ましい。例えば図９に示すように、高さ調節手段２６としては、上部ネット機構４の押さえネット駆動ギア９に駆動力を与えるモーター１９を、バネ２３を介して保持具２０で保持し、この保持具２０の外面に等間隔で歯２１を取り付けて上下調節回転ギア２２に噛み合わせる。そして、この上下調節回転ギア２２を回転させることによって、上部ネット機構４の高さを容易に調節することができる。
【００５８】
また、上下調節回転ギア２２にモーターを取り付け、物品各々の高さの記憶と、記憶させた高さへのモーター回転数制御ができるコントローラーシステム５０を設置すれば、さらに簡便に搬送を行うことができる。
【００５９】
本発明の自動乾燥装置１にこのような高さ調節手段２６が設置されていれば、物品の寸法や形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することができるため、物品が様々な寸法や形状を有し、また大幅に外寸が異なるものであっても、上部ネット機構４で上方から安定して押さえることができ、物品の落下や飛散を確実に防止できる。
【００６０】
また、このような高さ調節手段２６によって上部ネット機構４の高さを調節する場合、例えば保持具２０と上下調節回転ギア２２の接触部等から塵が発生することが考えられるので、高さ調整手段２６の周りに外枠２４を配置し、外枠２４内で発生した塵を強制排気できるように排出口２５を形成することが好ましい。このような発塵対策を施しておくことによって、上部ネット機構の高さを調節する場合でも装置内に塵が入り込むことを防止でき、装置内を優れた洗浄度に維持することができる。もちろん、高さ調節手段がない場合であっても、駆動ギア、駆動チェーン等は囲って、磨耗等により発生し得る塵等を強制排気するのが好ましい。
【００６１】
同様に、搬送ベルト機構２についても、駆動ギア、駆動チェーン等の駆動エリアを、物品が搬送されるエリアと隔離し、駆動系エリアを強制排気することによって物品搬送エリアを高い清浄度に保持できる構造とすることが好ましい。
【００６２】
また、本発明の自動乾燥装置１では、図１に示すように、置換処理室５及び乾燥処理室６、さらに減圧処理室２９の物品の出入口にシャッター４８が設けられていることが好ましい。このように、置換処理室５、乾燥処理室６、及び減圧処理室２９の物品の出入口にシャッター４８が設けられていれば、各処理室内の雰囲気を外部と遮断することができ、例えば揮発性有機溶剤としてアルコールを使用する場合でも、置換処理室で行われる揮発性有機溶剤の置換や、乾燥処理室で行われる物品の乾燥処理、減圧処理室で行われる減圧処理を安全に行うことができるし、また各処理室内を外部からの汚染から防止することもできる。さらに、置換処理室５、乾燥処理室６、及び減圧処理室２９が防爆構造を有するものであれば、装置の安全性を一層高めることができる。
【００６３】
次に、本発明の物品の自動乾燥方法について、図１に示した自動洗浄・乾燥処理装置の概略説明図、及び図３に示した洗浄・乾燥処理のフロー図を参照しながら詳細に説明する。
先ず、物品３０には洗浄処理が行われる。本発明では、この物品の洗浄処理については特に限定されないが、例えば物品３０を搬送ベルト機構２に載置し（ローダー）、物品３０を搬送ベルト機構２で搬送しながら洗浄処理室５１で薬液洗浄を行い、その後リンス処理室５２でリンス処理等を行うことができる。
【００６４】
このようにして物品３０に洗浄処理が行われた後、本発明の物品の自動乾燥装置１を用いて、物品３０を先ず置換処理室５に搬送し、この置換処理室５内で噴射ノズル３から揮発性有機溶剤を噴射（噴霧）して物品３０に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換する。このように水滴を揮発性有機溶剤に置換することによって、その後物品を乾燥させる際に物品の乾燥を行いやすくすることができる。
【００６５】
続いて、置換処理室５で揮発性有機溶剤への置換が行われた物品３０は乾燥処理室６に搬送され、この乾燥処理室６内で物品にアルゴンガスや窒素ガス等の不活性ガスを吹き付けることによって物品３０の乾燥が行われる。このようにして物品３０の乾燥を行うことによって、物品３０に乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的に物品を乾燥させることができる。
【００６６】
また、本発明では、乾燥処理室６で物品３０の乾燥を行った後、さらに物品３０を減圧処理室２９に搬送し、この減圧処理室２９内で物品３０に減圧処理を行うことができる。このように減圧処理室２９で物品３０に減圧処理を行うことによって、揮発性有機溶剤を完全に除去することができるので、物品３０の乾燥をより確実に行うことができる。
【００６７】
このような本発明の自動乾燥方法において、置換処理室５で噴射ノズル３から噴射する揮発性有機溶剤は、有機溶剤加熱手段３１を用いて加熱することが好ましい。例えば、有機溶剤加熱手段３１で３０〜５０℃程度に加熱した揮発性有機溶剤を噴射ノズル３から噴射することにより、物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換してその後蒸発させる際に、有機溶剤の蒸発を促進することができるし、また揮発性有機溶剤が蒸発するときにその気化潜熱を補って処理室内の雰囲気温度を一定に保つことができるので、乾燥時間の遅延を防止して、非常に効率的にかつ安定して物品を乾燥させることができる。
【００６８】
このとき、噴射ノズル３から噴射する揮発性有機溶剤としては、乾燥させる物品を溶解しない性質のものを用いる。例えばウエーハのキャリアボックスの場合、アルコールを用いることができ、特にアルコールの中でもイソプロピルアルコールを使用することが好ましい。このように揮発性有機溶剤としてアルコール、特にイソプロピルアルコールを使用して噴射ノズル３から噴射することにより、物品３０に付着している水滴をアルコールに短時間で容易に置換することができるし、またその後乾燥処理室６で不活性ガスを物品３０に吹き付けることによってアルコールを非常に短時間で蒸発させることができるので、物品３０の乾燥を効率的に行うことができる。
【００６９】
また、本発明では、乾燥処理室６で物品３０に吹き付ける不活性ガスをガス加熱手段３２で例えば８０〜１５０℃程度に加熱することが好ましい。それによって、乾燥処理室６で不活性ガスを吹き付けた際に揮発性有機溶剤の蒸発を促進できるとともに、乾燥処理室６内の雰囲気温度を一定に保つことができるので、乾燥時間の遅延を防止し非常に効率的にかつ安定して物品を乾燥させることができる。
【００７０】
さらに、上記のようにして物品３０の乾燥を行う場合、図２に示したような再生循環システム３３を用いることにより、置換処理室５で噴射ノズル３から噴射した揮発性有機溶剤や、乾燥処理室６で物品３０に吹き付けた不活性ガス等を循環して再利用することができる。
【００７１】
このような揮発性有機溶剤等の再利用について図２を参照しながら具体的に説明すると、置換処理室５で噴射ノズル３から噴射した揮発性有機溶剤については、例えば物品３０から流れ落ちた有機溶剤は有機溶剤槽３６で回収することができ、また噴射ノズル３からの噴射により置換処理室５の雰囲気ガスに含まれる有機溶剤は、雰囲気ガスを冷却層３４に循環して例えば０℃程度に冷却することによって有機溶剤を凝縮して回収することができる。また、物品３０に付着して置換処理室５から乾燥処理室６へ持ち出された有機溶剤については、後述するように、乾燥処理室６で物品３０に吹き付けた不活性ガスを第二冷却層４２に循環して、この第二冷却層４２で不活性ガスを０℃程度に冷却することによって有機溶剤を凝縮して回収することができる。そして、これらの有機溶剤槽３６、冷却層３４、及び第二冷却層４２で回収された有機溶剤は貯蔵タンク３５に集められた後、加圧器３９を用いることにより有機溶剤加熱手段３１に循環させて、再び噴射ノズル３から噴射することができる。
【００７２】
このとき、貯蔵タンク３５と有機溶剤加熱手段３１との間に清浄器４０を設置しておくことにより、有機溶剤の浄化を行うことができるので、常に清浄な有機溶剤を物品に噴射することができる。また、貯蔵タンク３５では揮発性有機溶剤の量を制御することができ、乾燥処理を行う物品の数が増えて揮発性有機溶剤が減少したときには、自動バルブ５３ａを開いて新たに揮発性有機溶剤を追加供給することができる。
【００７３】
一方、上記冷却層３４で有機溶剤と分離した置換処理室５の雰囲気ガスは、その後例えばＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等のエアフィルタ４３を介して置換処理室５に循環させることによって、およそその７０〜８０％程度またはそれ以上の割合で再利用することができる。さらに、自動バルブ５３ｃからは不足した分の雰囲気ガスを新たに追加供給して置換処理室５に導入することができる。尚、本発明で用いる置換処理室５の雰囲気ガスは特に限定されるものではないが、例えばアルゴンガスや窒素ガス等の不活性ガスを用いることが好ましい。
【００７４】
また、乾燥処理室６で物品３０に吹き付けた不活性ガスを再利用する場合は、物品３０に吹き付けて物品の乾燥に使用された不活性ガスを、先ず第一冷却槽４１に循環して冷却することにより、不活性ガス中に含まれている水分を凝縮させて分離することができる。また次に、水分を分離した不活性ガスを第二冷却槽４２に循環させて、第一冷却槽４１よりも低い温度で冷却することによって、不活性ガス中に含まれている有機溶剤を凝縮させて分離することができる。そして、このように水分及び有機溶剤を順に分離した不活性ガスは、エアフィルタ４３を通過させて浄化した後、ガス加熱手段３２で加熱して乾燥処理室６に循環することによって、不活性ガスの７０％以上、さらには８０％以上を再利用することができる。また、不足する不活性ガスについては、自動バルブ５３ｂから新たに追加供給することができる。また一方、第一冷却槽４１で不活性ガスと分離した水分は排水され、また第二冷却槽４２で分離して回収した有機溶剤については、上述のように貯蔵タンク３５に送られて再利用することができる。
【００７５】
本発明は、このように再生循環システムを用いることにより、噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤、置換処理室の雰囲気ガス、また乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用することができるので、コストを大幅に節減できるし、また資源の浪費を抑えて地球環境に与える影響を小さくすることができる。
【００７６】
さらに揮発性有機溶剤や不活性ガスを循環して再利用する際に、再生循環システムで熱循環手段を利用することにより、熱エネルギーを循環利用してエネルギー損失を小さくすることが可能となり、コストの一層の低減、資源の更なる節約を図ることができる。
【００７７】
例えば、熱循環手段として、有機溶剤加熱手段３１に設置した加熱用の熱交換器４４と、冷却槽３４に設置した冷却用の熱交換器４５とを前述のように互いに接続しておき、加熱用の熱交換器４４側では高圧となるように、また冷却用の熱交換器４５側では低圧となるように加圧器３９、加熱ヒーター４６、及び圧力調整バルブ４７を各々調節してノンフロン系ガスを循環させることによって、加熱用の熱交換器４４には熱媒体として加圧したガス（液体）を流通させることができ、有機溶剤加熱手段３１で有機溶剤を加熱することができる。また一方、冷却用の熱交換器４５には冷却媒体として気化ガスを流通させることができ、冷却槽３４で雰囲気ガスの冷却を行うことができる。
【００７８】
このように、加熱用の熱交換器４４と冷却用の熱交換器４５間でガスを循環させて、加熱用の熱交換器４４ではガスを熱媒体として利用し、また冷却用の熱交換器４５では冷却媒体として利用することにより、有機溶剤加熱手段３１と冷却槽３４との間で熱エネルギーを循環利用することができる。尚、図２において、ノンフロン系ガスの流通を示す矢印については、実線のものは加圧したガスの流れを示しており、また点線のものは気化ガスの流れを示している。
【００７９】
また、不活性ガスを循環して再利用する場合は、ガス加熱手段３２に設置した加熱用の熱交換器４４と、第一冷却槽４１及び第二冷却槽４２のそれぞれに設置した冷却用の熱交換器４５ａ、４５ｂとを接続しておき、加熱用の熱交換器４４側では高圧となるように、また冷却用の熱交換器４５ａ、４５ｂ側では低圧となるように加圧器３９、加熱ヒーター４６、及び圧力調整バルブ４７を各々調節してノンフロン系ガスを循環させることによって、上記と同様にガス加熱手段３２と、第一冷却槽４１及び第二冷却槽４２との間で熱エネルギーを循環利用することができる。
【００８０】
また、本発明の自動乾燥装置１には、図１に示すように柔軟性のある上部ネット機構４が設置されている。この上部ネット機構４を用いて搬送ベルト機構２に載置した物品３０を上方から押さえつつ、上部ネット機構４と搬送ベルト機構２との搬送速度を同期させて物品３０を自動的に搬送することによって、物品が様々な形状を有していたり、また種類の全く異なるものであっても、バスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止でき、物品を置換処理室や乾燥処理室等に安定して自動搬送することができる。さらに、このように上部ネット機構を用いれば、物品を連続的に搬送して乾燥処理を行うことが可能となるため、スループットを著しく向上させることができ、処理量の大幅な増加を図ることが可能となる。
【００８１】
このとき、自動乾燥装置１には上部ネット機構４の高さを調節する高さ調節手段が設置されているので、物品の寸法及び形状に合わせて上部ネット機構の高さを容易に調節することができる。したがって、搬送する物品の寸法や形状が大きく異なるものであっても、物品を上方から安定して押さえることができ、物品の落下や飛散を確実に防止できる。
【００８２】
そして、このような本発明の物品の自動乾燥方法は、ウエーハを保持・収納するキャリアボックスを乾燥させる際に特に好適に用いることができる。ウエーハのキャリアボックスの乾燥を本発明の自動乾燥方法で行うことによって、キャリアボックスに乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的にキャリアボックスを乾燥させることができる。
【００８３】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例）
図１に示した物品の自動乾燥装置１を具備する自動洗浄・乾燥処理装置を用いて、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスを搬送ベルト機構に載置して搬送しながら、先ず洗浄処理室５１で薬液洗浄を行い、続いてリンス処理室５２でリンス処理を行うことによってキャリアボックスに洗浄処理を施した。
【００８４】
その後、キャリアボックスを置換処理室５に搬送して噴射ノズル３から５０℃に加熱したイソプロピルアルコールを噴射して、キャリアボックスに付着していた水滴をアルコールに置換した。続いて、キャリアボックスを乾燥処理室６に搬送し、乾燥処理室６でアルゴンガスをキャリアボックスに吹き付けて乾燥を行った後、さらにキャリアボックスを減圧処理室２９に搬送して減圧処理を行った。
【００８５】
以上のようなキャリアボックスの乾燥処理を５時間連続して行い、１時間当たりのキャリアボックスの処理数を求めた。その結果、本発明の自動乾燥装置のスループットは、約４０個／ｈであることがわかった。また、減圧処理を行った直後のキャリアボックスを観察したところ、乾燥ムラは見当たらず、キャリアボックスの乾燥を均一に行うことができることが確認された。
【００８６】
（比較例）
比較例として、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスを搬送しながら、先ず洗浄処理室で薬液洗浄を行い、続いてリンス処理室でリンス処理を行うことによってキャリアボックスに洗浄処理を施した。この比較例においてキャリアボックスを洗浄処理する際の洗浄処理条件は、上記実施例と同じ条件となるようにした。
【００８７】
その後、従来行われているように、キャリアボックスを水切り処理室に搬送し、７０℃に加温したＣＤＡを吹き付けてキャリアボックスの水切りを行い、続いてキャリアボックスを乾燥処理室へ搬送し、高温・減圧雰囲気下で加温したＣＤＡをキャリアボックスに吹き付けることによって、キャリアボックスの乾燥を行った。尚、比較例では、キャリアボックスに上記洗浄処理及び乾燥処理を行う際に、キャリアボックスの飛散や落下を防止するために専用のラックを用いてキャリアボックスを保持・固定し、物品の搬送を行った。
【００８８】
以上のようなキャリアボックスの乾燥処理を５時間行い、１時間当たりのキャリアボックスの処理数を求めた。その結果、比較例における乾燥処理のスループットは、２０個／ｈ程度であることがわかった。また、乾燥処理を行った直後のキャリアボックスを観察したところ、若干の乾燥ムラが観察され、均一に乾燥が行われてないことがわかった。
【００８９】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００９０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、物品を置換処理室に搬送して物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換し、その後乾燥処理室で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行うことにより、物品に乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的に物品の乾燥を行うことができる。また、本発明では、揮発性有機溶剤や不活性ガス等の材料、また熱エネルギーを再利用することができるので、資源の浪費及びエネルギー損失が少なく、地球環境に悪影響を与えずに物品の乾燥を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の物品の自動乾燥装置を具備した自動洗浄・乾燥処理装置の一例を示す概略説明図である。
【図２】再生循環システム及び熱循環手段の構成の一例を説明する概略説明図である。
【図３】本発明の自動乾燥装置を用いて物品の洗浄・乾燥処理を行う方法の一例を示したフロー図である。
【図４】（ａ）は、上部ネット機構の概略断面図であり、（ｂ）は、上部ネット機構の概略平面図である。
【図５】（ａ）は、搬送ベルト機構の概略断面図であり、（ｂ）は、搬送ベルト機構の概略平面図である。
【図６】上部ネット機構を拡大した説明図である。
【図７】（ａ）は、搬送ベルト機構を拡大した説明図であり、（ｂ）は、Ａ材とＢ材の接合部をさらに拡大した説明図である。
【図８】ホールドバーの形状を説明する概略説明図である。
【図９】高さ調節手段の構成例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１…物品の自動乾燥装置、  ２…搬送ベルト機構、
３…噴射ノズル、  ４…上部ネット機構、
５…置換処理室、  ６…乾燥処理室、
７…押さえネット部、  ８…押さえネット駆動チェーン、
９…押さえネット駆動ギア、  １０…搬送ベルト部、
１１…搬送ベルト駆動チェーン、  １２…搬送ベルト駆動ギア、
１３…内周歯、  １４…ギヤ溝、  １５…接合部、
１６…ホールドバー、  １９…モーター、
２０…保持具、  ２１…歯、
２２…上下調節回転ギア、  ２３…バネ、
２４…外枠、  ２５…排出口、  ２６…高さ調節手段、
２７…コマ、  ２８…ピン、
２９…減圧処理室、  ３０…物品、
３１…有機溶剤加熱手段、  ３２…ガス加熱手段、
３３…再生循環システム、  ３４…冷却槽、
３５…貯蔵タンク、  ３６…有機溶剤槽、
３７…コマ、  ３８…ピン、  ３９…加圧器、  ４０…清浄器、
４１…第一冷却槽、  ４２…第二冷却槽、
４３…エアフィルタ、  ４４…加熱用の熱交換器、
４５，４５ａ，４５ｂ…冷却用の熱交換器、
４６…加熱ヒーター、  ４７…圧力調整バルブ、
４８…シャッター、  ５０…コントローラーシステム、
５１…洗浄処理室、  ５２…リンス処理室、
５３ａ，５３ｂ，５３ｃ…自動バルブ。
【図１】
2004360949.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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