(57)【要約】【課題】ＦＩＢ等で予め加工した薄片試料をガラス棒で静電気的に吸着して引き上げ、コロジョン膜付メッシュに移動させる所謂ピックアップ作業を容易化し、成功率を向上させること。【解決手段】ガラス棒８で静電気的に吸着した薄片試料１を予め電気的に設置したコロジョン膜無しメッシュ４のテーパー部１３に接触させて分離し、ガラス棒８で支持した状態で上記メッシュを水平にスライドさせることによってコロジョン膜付メッシュ２に移動させる。【選択図】        図１
2004233137.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単体装置としてのＳＴＥＭ（走査型透過電子顕微鏡）、またはＳＴＥＭ検出器を追加設置したＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）を用いたＳＴＥＭ像の観察に用いるＳＴＥＭ用試料の作製工程の、特に予めＦＩＢ（収束イオンビーム微細加工機）等を用いて加工された薄片試料を微細なガラス棒の先端に静電気を用いて吸着させ、メッシュに予め貼られたコロジョン膜上に移動させるピックアップ装置において、
少なくとも、コロジョン膜の貼られたコロジョン膜付メッシュと、該コロジョン膜付メッシュの支持手段と、上記とは別の予めコロジョン膜が貼られていない又はコロジョン膜を除去したコロジョン膜無しメッシュと、該コロジョン膜無しメッシュの支持手段と、該コロジョン膜無しメッシュの電気的接地手段と、該コロジョン膜無しメッシュのＸ軸、Ｙ軸方向移動手段と、該試料吸着用兼移動用ガラス棒と、該ガラス棒の支持手段と、該ガラス棒のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向移動手段と実体顕微鏡を具備することを特徴とするＳＴＥＭ用薄片試料のピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＳＴＥＭ用薄片試料のピックアップ装置に関し、単体装置としてのＳＴＥＭを用いた、又はＳＴＥＭ検出器を追加設置したＳＥＭを用いたＳＴＥＭ像の観察に用いる試料の作製方法の特にＦＩＢ等を用いて加工した薄片試料の所謂ピックアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、単体装置としてのＳＴＥＭを用いて、又はＳＴＥＭ検出器を追加設置したＳＥＭを用いてＳＴＥＭ像を観察する場合に用いる試料は、以下の工程で作製するのが通例であった。
【０００３】
まずＦＩＢを用いて例えば観察しようとするＩＣチップの一部を、縦横の長さが各々数１０μｍの矩形で厚さが約１μｍの薄片に加工する。次に、直径数μｍに先端を丸く加工し、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向に精密に移動可能な手段に支持させたガラス棒の先端を実体顕微鏡画像を参照しながら薄片試料に接近させ、静電気によって薄片試料をガラス棒の先端に吸着させた後、ガラス棒を移動させて薄片試料を上方に引き上げる。その後、ガラス棒を移動させ、薄片試料を予め用意したメッシュと呼ばれる直径約３ｍｍの円盤状の試料支持手段に移動させる。このメッシュには、単数の開口部または格子状に規則的に並んだ微細な複数の開口部があり、全面に支持膜として低硝化度セルロース膜（以下コロジョン膜と記す）が貼られている。薄片試料は、前述のガラス棒をＸ，Ｙ，Ｚ軸方向に移動させることによりメッシュのコロジョン膜に接近させ、コロジョン膜の表面に一部を接触させた状態で先のガラス棒をＸ，Ｙ，Ｚ軸方向に適宜操作することによって向きを徐々に変更し最終的にコロジョン膜の表面に水平に設置しガラス棒と分離させることによってＳＴＥＭ試料作製が完了する。
【０００４】
ＳＴＥＭ画像観察においては、上記のように薄片試料が設置されたメッシュをピンセットなどを用いてＳＴＥＭの装置専用のメッシュ支持具またはＳＴＥＭ検出器に付属のメッシュ支持部分に移動させて固定する。その後、メッシュ支持具をＳＴＥＭの試料室に設置して、または、ＳＴＥＭ検出器をＳＥＭの試料室に設置して観察するのが通例であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述の試料作製工程のうち、特にガラス棒を用いて薄片試料を静電気によって吸着させ、さらにメッシュに移動させてコロジョン膜上へ水平に設置させる所謂ピックアップ工程は、以下の２つの問題点があった。
【０００６】
１）ガラス棒の先端に静電気で一時的に吸着させた状態でコロジョン膜付近に移動させた薄片試料とコロジョン膜が接触した後、ガラス棒をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に適宜操作することにより薄片試料の向きを徐々に変化させ最終的にコロジョン膜の面に平行になった時点で、ガラス棒と薄片試料が分離せず、ガラス棒の操作を続けると、例えばコロジョン膜の弾性によって薄片試料が跳ね返されコロジョン膜上の所望の場所以外の場所やメッシュ外等のＳＴＥＭ観察に適当でない場所に移動してしまう場合があった。
【０００７】
２）ガラス棒の先端に静電気で一時的に吸着する薄片試料の向きがガラス棒の向きに対してその都度異なる為、薄片試料の一部をコロジョン膜に接触させ、ガラス棒をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に適宜操作することにより薄片試料の向きを徐々に変化させ最終的にコロジョン膜の面に平行に設置させる操作が経験と熟練を必要とし、例えば上記の操作中にコロジョン膜が薄片試料の角などによって破れ、薄片試料がコロジョン膜内に埋没してしまい、その後のＳＴＥＭ観察に適さない場合があった。
【０００８】
上記１）、２）は、いずれも例えば再度ガラス棒を用いて薄片試料を引き上げる等の修正作業が困難である。以上のように、ＳＴＥＭ用の薄片試料のピックアップ工程は、経験と熟練を必要とし、初心者では成功率が低いという問題点があった。
【０００９】
また、上記１）、２）は、例えば、別の試料をＦＩＢ等で改めて加工して上記工程を再度繰り返す、あるいは、予め同様の試料を数個加工しておき上記工程を連続して実施する等で解決可能な場合もあるが、いずれも１回で成功させる場合に比して費用、時間、手間がかかるという問題点があった。
【００１０】
以上の問題点に鑑み鋭意検討を重ねた結果、本発明においてはＦＩＢ等で予め加工した薄片試料をガラス棒で静電気的に吸着して引き上げコロジョン膜付メッシュに移動させる所謂ピックアップ作業を容易化し、成功率を向上させることのできるＳＴＥＭ用薄片試料のピックアップ装置の提供を目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために以下の構成を備えるものである。
【００１２】
単体装置としてのＳＴＥＭ（走査型透過電子顕微鏡）またはＳＴＥＭ検出器を追加設置したＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）を用いたＳＴＥＭ像の観察に用いるＳＴＥＭ用試料の作製工程の特に予めＦＩＢ（収束イオンビーム微細加工機）等を用いて加工された薄片試料を微細なガラス棒の先端に静電気を用いて吸着させ、メッシュに予め貼られたコロジョン膜上に移動させるピックアップ装置において、少なくともコロジョン膜の貼られたコロジョン膜付メッシュと該コロジョン膜付メッシュの支持手段と上記とは別の予めコロジョン膜の貼られていないまたはコロジョン膜を除去したコロジョン膜無しメッシュと該コロジョン膜無しメッシュの支持手段と該コロジョン膜無しメッシュの電気的接地手段と該コロジョン膜無しメッシュのＸ軸、Ｙ軸方向移動手段と該試料吸着用兼移動用ガラス棒と該ガラス棒の支持手段と該ガラス棒のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向移動手段と実体顕微鏡を具備することを特徴とするＳＴＥＭ用薄片試料のピックアップ装置。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施例１から実施例３に共通する装置の形態を図１を参照しながら説明する。
【００１４】
まず、本発明の装置の一部として使用するコロジョン膜無しメッシュ４は、必須条件として少なくとも１個以上の貫通した開口部を有するものであり、かつ開口部の周囲には片面側にのみテーパー加工の有るものであり、かつ導電性のものに限る。市販のものでコロジョン膜が貼られている場合は何らかの方法で除去して用いる。一方、コロジョン膜付メッシュ２は、少なくとも１個以上の貫通した開口部を有し、かつ片方の面のみにコロジョン膜が貼られたものを用いる。
【００１５】
次に本発明の装置の構成を説明する。
【００１６】
本発明の装置は、大きく分けてコロジョン膜付メッシュ支持部、コロジョン膜無しメッシュとコロジョン膜無しメッシュ支持及び移動操作部、ガラス棒の支持及び移動操作部から構成する。
【００１７】
コロジョン膜付メッシュ支持部３は、コロジョン膜付メッシュ２をコロジョン膜１５の付いた面を上にして水平に支持する為の支持部材であり、コロジョン膜付メッシュ支持手段３のみで構成する。コロジョン膜付メッシュ支持手段３には、使用するコロジョン膜付メッシュ２の直径にほぼ合致した平坦な部分と水平方向のずれの防止目的で凸部を外周部分の数箇所又は全外周に設ける。
【００１８】
次にコロジョン膜無しメッシュ支持及び移動操作部は、コロジョン膜無しメッシュ支持部５の上方に位置し、コロジョン膜付メッシュ２のコロジョン膜１５の面と平行にコロジョン膜無しメッシュ４を支持する部材（コロジョン膜無しメッシュ支持手段）５とコロジョン膜無しメッシュ４をＸ，Ｙ軸の方向に独立した例えば油圧を利用した精密に移動可能な手段（コロジョン膜無しメッシュのＸ軸、Ｙ軸方向移動手段）７で構成する。ここで、コロジョン膜無しメッシュ４の底面は後述のように下方に位置するコロジョン膜付メッシュ２との間隔を約１０μｍの距離にする必要がある為、予めコロジョン膜無しメッシュ４の外周部分にコロジョン膜無しメッシュ支持補助部材１６を追加して用いる。コロジョン膜無しメッシュ支持補助部材１６は、コロジョン膜無しメッシュ４のテーパー（メッシュ開口部のテーパー部）１３の有る面に、この面の延長となる面を形成し、コロジョン膜無しメッシュ支持手段５を用いて水平に支持可能な形状、寸法のものであることが必要であり、コロジョン膜無しメッシュ４の外周の一部または全部に設けても良い。実施例１、実施例２では、コロジョン膜無しメッシュ支持手段５は予め使用するコロジョン膜無しメッシュ４の厚さとコロジョン膜無しメッシュ支持補助部材１６の直径、厚さに応じてコロジョン膜無しメッシュ４の底面の高さをコロジョン膜１５とコロジョン膜無しメッシュ４の底面の上下方向の間隔が約１０μｍの距離となるように加工した固定式のものであり、一方実施例３においては、上記の移動操作部にＺ軸方向の精密な移動手段を備えており、コロジョン膜無しメッシュ４を上下方向に移動させ、コロジョン膜１５とコロジョン膜無しメッシュ４の底面との間隔を調節可能である点が異なる。
【００１９】
また、コロジョン膜無しメッシュ４は、コロジョン膜無しメッシュ支持手段５を介して電気的設置手段６を用いて電気的に接地する。具体的には、コロジョン膜無しメッシュ支持手段５は少なくともコロジョン膜無しメッシュ４との接触部分を導電性材料で作製し、それらの導電性部分に例えば被覆銅線を電気的に接続し、予め本装置の使用場所に用意した接地点と上記の被覆銅線を接続する。可能であれば上記のコロジョン膜無しメッシュ支持手段５全体を金属等の導電性材料とすることが望ましい。
【００２０】
次にガラス棒支持及び移動操作部は、後述の装置を用いて予め先端部を熱加工したガラス棒８を支持する部材（ガラス棒の支持手段）９とＸ，Ｙ，Ｚ軸方向に独立して例えば油圧を利用した精密に移動可能な手段（ガラス棒のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向移動手段）１０で構成する。
【００２１】
また、上記の３つの部分の上方には、実体顕微鏡１１を備え、薄片試料１やガラス棒８の先端部、コロジョン膜無しメッシュ４の開口部１２の位置確認に用いる。
【００２２】
次に本発明で用いた薄片試料１の作製方法について簡単に説明する。ここではＦＩＢでＳＴＥＭ観察に用いる試料を所望の寸法に加工する薄片試料の作製方法を一例として説明する。具体的な手順は以下の通りである。
【００２３】
まず、ＩＣデバイスの外装樹脂を薬品を用いて溶解除去することによって内部に位置するＩＣチップを露出させる。その後、ＳＴＥＭ観察しようとする部分にＩＣチップの表面側からＦＩＢのイオンビームを照射し、薄片試料１となる部分の両側の掘削加工、矩形の左右の辺、下辺の切り離し加工等を順に繰り返し、最終的にＩＣチップの表面に掘削された２つの矩形の穴の中央に矩形の薄片試料が垂直に立った状態となるように加工することで薄片試料１が完成する。薄片試料１の寸法は、縦横が数十μｍ、厚さが約１μｍとする。
【００２４】
次にガラス棒８の加工方法を簡単に説明する。まず市販の外径１ｍｍのガラス管を市販の「マイクロピペット製作器」を用いて、中央部に熱を加えて両端部を伸張することにより先端が１〜５μｍの太さの２本のマイクロピペットに加工し、そのうちの１本をさらに別の市販の「マイクロフォージ」装置を用いて先端を丸く熱加工したものを用意する。以上のガラス棒の加工方法及び用いた加工装置は、一例である。以下においては、上記のように予め加工したガラス管をガラス棒８と記す。
【００２５】
以下に、本発明の装置を用いて薄片試料１をピックアップし、コロジョン膜１５に移動する方法を説明する。
【００２６】
まず、装置のコロジョン膜付メッシュ支持手段３にコロジョン膜付メッシュ２をコロジョン膜１５を貼った面が上方となるようにピンセット等を用いてセットする。次に、コロジョン膜付メッシュ２の上方にあるコロジョン膜無しメッシュ支持手段５に予めコロジョン膜無しメッシュ支持補助部材１６を設置したコロジョン膜無メッシュ４を開口部１２のテーパー１３のある面を上方にしてセットする。尚、図１の概念断面図では、実際には複数ある開口部１２を図の煩雑さを避ける為、２個のみを示した。次にコロジョン膜無しメッシュ支持手段５をＸ軸，Ｙ軸方向に適宜移動させて位置合わせをする。その時、上方に位置するコロジョン膜無しメッシュ４のいずれか１個の開口部１２の周囲のテーパー部分１３上の１点が、下方に位置するコロジョン膜付メッシュ２のいずれか１個の開口部の中心に上方からみてほぼ重複する位置となるように調整する。可能であれば、複数の開口部１２に対して上記の位置とすることが望ましい。
【００２７】
一方、予めＦＩＢを用いて加工した薄片試料１のあるＩＣデバイスは本装置のコロジョン膜付メッシュ２の近傍に置き、ガラス棒８をガラス棒支持手段９にセットし、上方から実体顕微鏡１１を用いてガラス棒８の先端部を参照しながらＸ，Ｙ，Ｚ軸方向に適宜ガラス棒８を移動させ、ガラス棒８の先端を予めＦＩＢ加工した薄片試料１に接近させる。薄片試料１とガラス棒８の先端が接触し、薄片試料１が静電気でガラス棒８に吸着したことを確認し、ガラス棒のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向移動手段１０を用いてガラス棒８を上方に移動させる。ガラス棒８の先端に静電気によって吸着された薄片試料１を上方のコロジョン膜無しメッシュ４の先に位置合わせをした開口部１２のテーパー部１３に接触させる。この時、薄片試料１は、除電されることによってガラス棒８から分離し上方のコロジョン膜無しメッシュ４の開口部１２のひとつのテーパー部１３に横たわった状態で保持される。次に薄片試料１と一旦分離させたガラス棒８の先端部を再び薄片試料１に接近させ、薄片試料１の上方側の辺の一部に接触させる。最後に、コロジョン膜無しメッシュ４を支持手段をＸ、Ｙ軸方向に適宜移動させ、薄片試料１をコロジョン膜無しメッシュ４の開口部１２のテーパー部１３に沿ってテーパー部１３の先端側に徐々にスライドさせ、薄片試料１をコロジョン膜付メッシュ２のコロジョン膜１５上に移動させることにより本装置を用いた薄片試料１のピックアップ及びコロジョン膜１５への移動が完了する。
【００２８】
【実施例１】
本実施例の特徴は、装置の一部として用いるコロジョン膜無しメッシュ４に比較的安価で入手し易い市販の複数の開口部１２を有する直径約３ｍｍの銅製メッシュを用いている点である。本実施例で用いたメッシュは、２００個の開口部を有するもので、購入時にコロジョン膜が貼られたものだった為、約１００℃の熱水中に浸漬してコロジョン膜を剥離除去しコロジョン膜無しメッシュ４として用いた。コロジョン膜付メッシュ２も同様のものをコロジョン膜を除去せずに用いた。
【００２９】
また、薄片試料１として矩形部分の縦横の寸法が各々２５μｍ、３０μｍ、厚さが約１μｍのＩＣチップの一部を市販のＦＩＢで加工して用いた。
【００３０】
以下に、本実施例で試作した装置を図１を参照しながら詳細に説明する。
【００３１】
コロジョン膜付メッシュ支持手段３は、銅製で直径３ｍｍの円盤の外周部を約０．１ｍｍ高く成形したものを試作して用いた。コロジョン膜無しメッシュ支持部及び移動操作部は、コロジョン膜無しメッシュ支持手段５を銅製で外径約３ｍｍのドーナツ状の外周部を約０．１ｍｍ高く成形したものを試作し、移動操作部（コロジョン膜無しメッシュのＸ軸、Ｙ軸方向移動手段）７は市販のＸ、Ｙ軸に移動可能で油圧でミクロン単位の精密な操作が可能なマイクロメータ装置に上記のドーナツ状の支持部１６を設置する開口部を設けて両者を接着したものを用いた。コロジョン膜無しメッシュ支持補助部材１６は、コロジョン膜無しメッシュ４の周囲の開口部１２の無い部分の４点に別のコロジョン膜無しメッシュの一部をほぼ矩形に切断したものを導電性接着剤で接着して用いた。コロジョン膜無しメッシュ支持手段５は被覆銅線を接続し、予め本装置の使用場所に用意した接地点と上記の被覆銅線を接続して用いた。また、ガラス棒８の支持手段９、移動操作部分（ガラス棒のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向移動手段）１０は、各々市販の太さ１ｍｍのガラス棒支持スタンドとＸ、Ｙ、Ｚ軸に移動可能で油圧でミクロン単位の精密な操作が可能なマイクロメータ装置を利用した。また、実体顕微鏡１１は市販の実体顕微鏡を用いた。
【００３２】
以上のような部材を用いて構成した本発明の装置を用いて実際に薄片試料１をガラス棒８を用いてＩＣチップからコロジョン膜１５上に移動させる実験を試みた。その結果、一旦コロジョン膜無しメッシュ４のテーパー部１３に接触した薄片試料１はガラス棒８から分離し、その後薄片試料１に再びガラス棒８を接触させた状態でコロジョン膜無しメッシュ４をＸ，Ｙ軸方向に適宜移動させたところ、薄片試料１はテーパー部１３をスライドしコロジョン膜１５上に移動しコロジョン膜１５と水平に設置可能であった。上記の試行実験を経験のない作業者に繰り返し実施させたところ、従来の方法で１０回のうち２回の成功率だったところ、本発明の装置を用いることにより１０回のうち５回成功し、本発明の当初の目的が達成できたことを確認した。
【００３３】
【実施例２】
本実施例の特徴は、装置の一部として用いるコロジョン膜無しメッシュ４に市販の１個の開口部１２を有する直径約３ｍｍの銅製メッシュを用いている点である。実施例１においては、複数の開口部１２を有する市販のメッシュを用いた為コロジョン膜付メッシュ２とコロジョン膜無しメッシュ４の相対位置をコロジョン膜無しメッシュの移動操作部（Ｘ軸、Ｙ軸方向移動手段）７を用いて精密に調整することが必要であるが、実施例２の形態の場合、コロジョン膜付メッシュ２の開口部もコロジョン膜無しメッシュ４の開口部１２も比較的大きく１個である為、両者の位置調整が容易であるという長所がある。
【００３４】
実施例１と同様に実施例２で用いた市販のメッシュは購入時にコロジョン膜が貼られたものだった為、実施例１と同様の方法でコロジョン膜を剥離除去しコロジョン膜無しメッシュ４として用いた。コロジョン膜付メッシュ２は同様のものをコロジョン膜を除去せずに用いた。また、薄片試料１として矩形部分の縦横の寸法が各々２５μｍ、３０μｍ、厚さが約１μｍのＩＣチップの一部を市販のＦＩＢで加工して用いた。
【００３５】
実施例２においては、コロジョン膜付メッシュ支持部３、コロジョン膜無しメッシュ支持部５、移動操作部（コロジョン膜無しメッシュのＸ軸、Ｙ軸方向移動手段）７、コロジョン膜無しメッシュの電気的設置手段６に用いた被覆銅線、ガラス棒の支持手段９、移動操作部（ガラス棒のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向移動手段）１０及びコロジョン膜無しメッシュ支持補助部材１６は、実施例１と同様のものを用いて実施例１と同様の実験を試みた。
【００３６】
その結果、一旦コロジョン膜無しメッシュ４のテーパー部分１３に接触した薄片試料１はガラス棒８から分離し、その後薄片試料１に再びガラス棒８を接触させた状態でコロジョン膜無しメッシュ４をＸ，Ｙ軸方向に適宜移動させたところ、薄片試料１はテーパー部１３をスライドしコロジョン膜１５上に移動しコロジョン膜１５と水平に設置可能であった。上記の試行実験を経験のない作業者に繰り返し実施させたところ、本発明の装置を用いることにより１０回のうち６回成功し、本発明の当初の目的が達成できたことを確認した。
【００３７】
【実施例３】
本実施例の特徴は、コロジョン膜無しメッシュ支持及び移動操作部のうち、移動操作部にＸ、ＹのみならずＺ軸の方向に移動させる手段を有する点である。実施例１、実施例２の場合は、Ｚ軸方向の移動手段をもたず、コロジョン膜無しメッシュ４とコロジョン膜１５の間隔は一定であった。上記のようにＺ軸の方向に移動可能な手段を追加することによりコロジョン膜無しメッシュ４とコロジョン膜１５の間隔をより短くすることが可能となる。
【００３８】
薄片試料１をガラス棒８で支えた状態でコロジョン膜無しメッシュ４を平行移動させた時の薄片試料１の動きは、厳密には、まず薄片試料１の最下部がコロジョン膜１５に接するまで急角度でスライドし、薄片試料１の一部がテーパー部１３の先端にたてかけられた状態となる。その後、薄片試料１の一部を支えているテーパー部１３の先端が斜上方に移動して最後に支える部分がなくなることで薄片試料１がコロジョン膜１５と平行に倒れるというのが一連の動きである。上記の動作のうち、最初の急角度のスライド時と最後に支えがなくなり倒れる時に薄片試料１はコロジョン膜１５の弾性によって跳ね返される確率が高く、これらの失敗につながる確率はテーパー部１３の先端部とコロジョン膜１５の間隔が長いほど高くなると考えられる。
【００３９】
実施例３においては、上記を考慮しテーパー部１３の先端とコロジョン膜１５の距離を所望の値に調節可能とする目的で上記のＺ軸方向の移動手段を追加した。しかしながら、装置の煩雑さと価格の上昇という欠点はある。
【００４０】
実施例３においては、実施例２と同様に装置の一部として用いるコロジョン膜無しメッシュ４に市販の１個の開口部１２を有する直径約３ｍｍの銅製メッシュを用いた。本実施例でも用いたメッシュは購入時にコロジョン膜が貼られたものだった為、実施例１と同様の方法でコロジョン膜を剥離除去しコロジョン膜無しメッシュ４として用いた。コロジョン膜付メッシュ２は、同様のものをコロジョン膜を除去せずに用いた。また、薄片試料１として矩形部分の縦横の寸法が各々２５μｍ、３０μｍ、厚さが約１μｍのＩＣチップの一部を市販のＦＩＢで加工して用いた。
【００４１】
実施例３においては、上記のコロジョン膜無しメッシュ移動操作部（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向移動手段）１４を除いて、コロジョン膜無しメッシュ支持部５、コロジョン膜付メッシュ支持部３、コロジョン膜無しメッシュの電気的接地手段６に用いた被覆銅線、ガラス棒８の支持手段９、移動操作部（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向移動手段）１０及びコロジョン膜無しメッシュ支持補助部材１６は、実施例１、実施例２と同様のものを用いて実施例１、実施例２と同様の実験を試みた。その結果、一旦コロジョン膜無しメッシュ４のテーパー部分１３に接触した薄片試料１はガラス棒８から分離し、その後、コロジョン膜１５と薄片試料１が乗ったテーパー部１３の先端との距離を約５μｍに調整した後、薄片試料１に再びガラス棒８を接触させた状態でコロジョン膜無しメッシュ４をＸ、Ｙ軸方向に適宜移動させたところ、薄片試料１はテーパー部１３をスライドしコロジョン膜１５上に移動しコロジョン膜１５と水平に設置可能であった。上記の試行実験を経験のない作業者に繰り返し実施させたところ、本発明の装置を用いることにより１０回のうち９回成功し、本発明の当初の目的が達成できたことを確認した。
【００４２】
【発明の効果】
予め電気的に接地したコロジョン膜無しのメッシュにガラス棒に吸着して移動させた薄片試料を接触させ除電させて薄片試料とガラス棒を分離させることにより、従来の問題点であったガラス棒と薄片試料の分離の困難さは低減する。またコロジョン膜無しのメッシュ上に薄片試料を一旦乗せ、一旦分離したガラス棒を薄片試料の一部に接触させた状態でコロジョン膜無しのメッシュを平行移動させ薄片試料をコロジョン膜上にスライドさせて移動させることにより従来のもうひとつの問題点であった薄片試料をコロジョン膜上に水平に設置することの困難さは低減する。以上のように本発明の装置を用いることによって従来の問題点の困難さを低減させ、薄片試料をコロジョン膜上に容易に移動させることが可能となり、熟練者でなくても上記の作業の成功率を向上させる効果がある。また、市販のメッシュを利用することで、本発明の装置の精密で重要な構成要素であるコロジョン膜無しメッシュの開口部とテーパー部の微細な加工が必要なく、同様の部材を加工する場合に比して費用と手間が低減可能であるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１の特徴を表す概念断面図
【図２】本発明の実施例２の特徴を表す概念断面図
【図３】本発明の実施例３の特徴を表す概念断面図
【符号の説明】
１  薄片試料
２  コロジョン膜付メッシュ
３  コロジョン膜付メッシュ支持手段
４  コロジョン膜無しメッシュ
５  コロジョン膜無しメッシュ支持手段
６  コロジョン膜無しメッシュの電気的接地手段
７  コロジョン膜無しメッシュのＸ軸、Ｙ軸方向移動手段
８  ガラス棒
９  ガラス棒の支持手段
１０  ガラス棒のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向移動手段
１１  実体顕微鏡
１２  コロジョン膜無しメッシュの開口部
１３  メッシュの開口部のテーパー部
１４  コロジョン膜無しメッシュのＸ軸、Ｙ、Ｚ軸方向移動手段
１５  コロジョン膜
１６  コロジョン膜無しメッシュ支持補助部材
【図１】
2004233137.tif 000003
【図２】
2004233137.tif 000004
【図３】
2004233137.tif 000005