(57)【要約】【課題】マイクロフィニッシングフィルムの目詰まりを極力抑え、フィルムのツール寿命を向上させ、均一でより高いレベルの加工精度を確保すると共に、加工後のワークへの切屑付着を防止することができるフィルムラップ加工方法及び装置を提供。【解決手段】本発明の第１発明では、加工中に、ワーク１の被加工部１５がマイクロフィニッシングフィルム６に接触する加工領域とフイルム砥粒面６０とに向けて、外掛け超音波装置のクーラントをかけることにより、超音波をのせたクーラントを加工中及び加工後のツールに噴射することにより、また、本発明の第２発明では、ワークの被加工部がツールに接触する加工領域を、クーラント槽内に配置し、前記クーラント槽内に超音波発生装置を配置した。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高精度な表面粗さ、形状精度、を要求する部品を仕上げるツールであるマイクロフィニッシングフィルムを用いたフィルムラップ加工装置において、加工中に、ワークの被加工部がツールに接触する加工領域とツールのフイルム砥粒面とに向けてクーラントを噴射する、クーラント外掛け式の超音波装置を配置し、クーラントを噴射することにより、クーラントを媒体として超音波をあてることを特徴とするフィルムラップ加工方法。
【請求項２】
高精度な表面粗さ、形状精度、を要求する部品を仕上げるツールであるマイクロフィニッシングフィルムを用いたフィルムラップ加工装置において、ワークの被加工部がツールに接触する加工ポイント又は加工ゾーン即ちワークの被加工部がツールに接触する加工領域を、クーラント槽内に配置し、前記クーラント槽内に超音波発生装置を配置することにより加工中に前記クーラントを媒体として超音波をあてることを特徴とするフィルムラップ加工方法。
【請求項３】
高精度な表面粗さ、形状精度、を要求する部品を仕上げるツールであるマイクロフィニッシングフィルムを用いたフィルムラップ加工装置において、加工中に、ワークの被加工部がツールに接触する加工領域とツールのフイルム砥粒面とに向けてクーラントを噴射する、クーラント外掛け式の超音波装置を配置したことを特徴とするフィルムラップ加工装置。
【請求項４】
高精度な表面粗さ、形状精度、を要求する部品を仕上げるツールであるマイクロフィニッシングフィルムを用いたフィルムラップ加工装置において、ワークの被加工部がツールに接触する加工ポイント又は加工ゾーン即ちワークの被加工部がツールに接触する加工領域を、クーラント槽内に配置し、前記クーラント槽内に超音波発生装置を配置したことを特徴とするフィルムラップ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高精度な表面粗さ、形状精度、を要求する部品を仕上げるためのミクロ仕上げ機械である、ツールであるマイクロフィニッシングフィルムを用いたフィルムラップ加工方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のかかるミクロ仕上げ機械である、フィルムラップ加工装置は、例えば特公平５−９２２５号公報においては、本体に、ポリッシュツールであるマイクロフィニッシングフィルムをワークの外面または内面に押し当てて通過させるものが開示されている。同公報第１１図では、ワークをフィルムで加工する際に外部より加工ポイントを目掛けてノズルを介しクーラントをかけて加工しているが、加工ポイントが多ポイントもしくは加工ゾーン即ちワークの被加工部がツールと接触する加工領域となる加工部においては、均一なクーラント供給が得られないため、被加工部とツール間の切屑が排出されにくく、フィルムが目詰まりしやすく安定した加工精度を確保できなかった。また、排出されなかった切屑がワークに付着するという問題があった。特開２００２−１０３２２６　図１、図２では、ワークの被加工部がツールに接触する加工領域を、クーラント槽内に配置したものが開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特公平５−９２２５号　図１１、第１３欄７−１６行
【特許文献２】特開２００２−１０３２２６　図１、図２、第３頁
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ノズルを介しクーラントをかけて加工する従来のミクロ仕上げ機械では、ワーク自身、あるいは、ツールそのものが障害となって、加工ポイントにクーラントの潤沢な供給が妨げられ、また、マイクロフィニッシングフィルムを被加工部に密着し加工するミクロ仕上げ加工機械では、加工ポイントへのクーラントの浸透が妨げられるのでフィルムは、容易に目詰まりを起こし、均一で安定した加工表面を得ることができず、多量のクーラントを供給することや多量のフィルムを使用しなければならなかった。さらに、目詰まりしたフィルムのワークへの密着により、切屑がワークに付着するため、加工後に付着物の清掃を行っていた。特開２００２−１０３２２６号公報では、ワークの被加工部がツールに接触する加工領域をクーラント槽内に配置したが、マイクロフィニッシングフィルムの目詰まりを全くなくすことはできなかった。
本発明の課題は、マイクロフィニッシングフィルムの目詰まりを極力抑え、フィルムのツール寿命を向上させ、均一でより高いレベルの加工精度を確保すると共に、加工後のワークへの切屑付着を防止することができるフィルムラップ加工方法及び装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このため本発明の第１発明では、高精度な表面粗さ、形状精度、を要求する部品を仕上げるツールであるマイクロフィニッシングフィルムを用いたフィルムラップ加工装置において、加工中に、ワークの被加工部がツールに接触する加工領域とツールのフイルム砥粒面とに向けてクーラントを噴射する、クーラント外掛け式の超音波装置でクーラントを噴射することにより、クーラントを媒体として超音波をあてることを特徴とするフィルムラップ加工方法及び装置により上述した従来技術の課題を解決した。
本発明の第２発明では、高精度な表面粗さ、形状精度、を要求する部品を仕上げるツールであるマイクロフィニッシングフィルムを用いたフィルムラップ加工装置において、ワークの被加工部がツールに接触する加工ポイント又は加工ゾーン即ちワークの被加工部がツールに接触する加工領域を、クーラント槽内に配置し、前記クーラント槽内に超音波発生装置を配置することにより、加工中に、前記クーラントを媒体として超音波をあてることを特徴とするフィルムラップ加工方法及び装置により上述した従来技術の課題を解決した。
【０００６】
【発明の効果】本発明の第１発明では、加工中に、ワークの被加工部がツールに接触する加工領域とツールのフイルム砥粒面とに向けて、クーラント外掛け式の超音波装置で、超音波をのせたクーラントを加工中及び加工後のツールに噴射することにより、また、本発明の第２発明では、ワークの被加工部がツールに接触する加工領域を、クーラント槽内に配置し、前記クーラント槽内に超音波発生装置を配置することにより、加工中にクーラントを媒体として超音波をあてることにより、共に、目詰まり状態にあるフィルム砥粒面の付着物を剥離させ、クーラントでの洗浄効果を向上させ、マイクロフィニッシングフィルムの目詰まりを極力抑え、フィルムのツール寿命を向上させ、ツールのランニングコストを縮減し、均一でより高いレベルの加工精度を確保すると共に、被加工部とツールの接触部に挟まれる粉末状の切屑が固形化して加工後のワークに付着することを超音波の物理的効果により防止することができるフィルムラップ加工方法及び装置を提供するものとなった。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１（ａ）　は本発明の第１発明の実施の形態のクーラント外掛け方式の超音波装置を取付けたミクロ仕上げ機械であるフィルムラップ装置の一部切り欠いた要部正面図、（ｂ）　は（ａ）　のポリシュヘッドの側面図を示す。図１のフィルムラップ装置は、機械本体１０にそれぞれ取付けられたヘッドストック４に回転可能に支持されたヘッドセンター２と、テールストック９に回転可能に支持されたテールセンタ３と、高精度な表面粗さ、形状精度を要求する部品を仕上げるためのツールであるマイクロフィニッシングフィルム６が張られ、フィルム６を押すバックアップシュー７が配置されたポリシュヘッド８とを有する。ワーク１はヘッドセンター２とテールセンタ３とによりセンタリングされ支持され、ヘッドセンター２を回転駆動させるヘッドストック４はオシレーション機能を有しており、ワーク１をオシレーションさせることができる。クーラント外掛け式の超音波装置１６は、ワーク１の被加工部である被加工面１５がポリシュヘッド８に張られたマイクロフィニッシングフィルム６と接触する加工部位とフィルム砥粒面に向けてクーラントを噴射するように取付けられる。これにより、加工中にクーラント外掛け式の超音波装置１６からクーラントが噴射され、フィルム６に接触するワークの被加工領域とツールのフイルム砥粒面６０とは、クーラントを媒体として超音波があてられる。
【０００８】
図２（ａ）　は、本発明の第２発明の実施の形態の水中投げ込み式超音波装置１７を取付けたミクロ仕上げ機械であるフィルムラップ装置の一部切り欠いた要部正面図、（ｂ）　は（ａ）　のポリシュヘッド８及びクーラント槽５の断面側面図を示す。図２のフィルムラップ装置は、ワーク１の被加工面１５がツールであるマイクロフィニシングフィルム６と接触する加工部位を含むワーク１全体を囲むクーラント槽５を図示しない装置により機械本体１０に固定し、シール１１、１２を介してヘッドセンター２とテールセンター３とが貫通支持され、クーラント槽５内でワーク１をヘッドセンター２とテールストック９とによりセンタリングし、かつワーク１の加工領域をクーラント槽５内に配置し、クーラント槽５内部に水中投げ込み式超音波装置１７が固定されている。１３はクーラントの水位、１８は超音波装置アンプである。これにより、加工中に、ワーク１の被加工部１５がツールであるマイクロフィニシングフィルム６に接触する加工ポイント又は加工ゾーン即ちワークの被加工部にクーラントを媒体として超音波があてられる。
【０００９】
かかる構成により、図１の装置及び図２の装置は共に、目詰まり状態にあるフィルム砥粒面の付着物を剥離させ、クーラントでの洗浄効果を向上させ、フィルムの目詰まりを極力抑え、フィルムのツール寿命を向上させ、ツールのランニングコストを縮減し、均一でより高いレベルの加工精度を確保すると共に、被加工部とツールの接触部に挟まれる粉末状の切屑が固形化して加工後のワークに付着することを超音波の物理的効果により防止することができるフィルムラップ加工方法及び装置を提供するものとなった。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）　は本発明の第１発明の実施の形態のクーラント外掛け方式の超音波装置を取付けたフィルムラップ装置の一部を切り欠いた要部正面図、（ｂ）　は（ａ）　のポリシュヘッドの側面図。
【図２】（ａ）　は本発明の第２発明の実施の形態の水中投げ込み式超音波装置を取付けたを取付けたフィルムラップ装置の一部を切り欠いた要部正面図、（ｂ）　は（ａ）　のポリシュヘッド及びクーラント槽の断面側面図。
【符号の説明】
１　　ワーク　　　　　　　　　　　　　　５　　クーラント槽
６　　ツール（マイクロフィニッシングフィルム）
１０　　機械本体　　　　　　　　　　　　１５　　ワーク加工面
１６　　クーラント外掛け式超音波装置
１７　　水中投げ込み式超音波装置　　　　６０　フイルム砥粒面
【図１】
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【図２】
2004098193.tif 000004