(57)【要約】【課題】被検査デバイスの入出力信号波形の再捕捉方法を提供すること。【解決手段】被検査デバイスの入／出力信号の波形が表示される。入／出力信号のデータは第１のデータ捕捉機構に従って捕捉される。入／出力信号の波形は、捕捉データを使用して表示される。ユーザには、第２のデータ捕捉機構を使用して再捕捉するための波形の一部を選択させるインタフェースが提供される。再捕捉のために選択された波形の一部に対応する入／出力信号の一部のデータが再捕捉される。データの再構成は、第２のデータ捕捉機構を使用して実行される。入／出力信号の波形が再表示される。第２のデータ捕捉機構を使用して捕捉されたデータは、再捕捉のために選択された波形の一部の表示に使用される。第１のデータ捕捉機構に従って捕捉されたデータは、再捕捉のために選択されなかった波形の残りの部分の表示に使用される。【選択図】図１
2004061508.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　被検査デバイス用の入／出力信号に関する波形の表示方法であって、
（ａ）第１のデータ捕捉機構に従って入／出力信号に関するデータを捕捉するステップと、
（ｂ）ステップ（ａ）において捕捉した前記データを用いて入／出力信号に関する波形を表示するステップと、
（ｃ）第２のデータ捕捉機構を用い再捕捉用波形の一部をユーザに選択させるインタフェースをユーザに供給するステップと、
（ｄ）再捕捉用に選択された波形の一部に対応して入／出力信号の一部についてデータを再捕捉するステップであって、第２のデータ捕捉機構を用いてデータを再捕捉するステップと、
（ｅ）入／出力信号について波形を再表示するステップであって、
　（ｅ．１）再捕捉用に選択された波形の一部を表示するために、前記第２のデータ捕捉機構を用いてステップ（ｄ）において再捕捉したデータを用いるサブステップと、
　（ｅ．２）再捕捉用に選択されなかった波形の残りの部分を表示するために、前記第１のデータ捕捉機構に従ってステップ（ａ）において捕捉したデータを用いるサブステップと、
を含む前記方法。
【請求項２】
　ステップ（ｃ）において、インタフェースは、ユーザに再捕捉用波形の一部を画定させることで再捕捉用波形の一部をユーザに選択させる請求項１記載の波形の表示方法。
【請求項３】
　前記第２のデータ捕捉機構は、ユーザに捕捉用のタイミング分解能を調整させる請求項１記載の波形の表示方法。
【請求項４】
　前記第２のデータ捕捉機構が、再捕捉用のタイミング分解能の調整および再捕捉用の電圧レベル分解能の調整をユーザに行なわせる請求項１記載の波形の表示方法。
【請求項５】
　ステップ（ｃ）においてインタフェースが再捕捉用の波形の一部をユーザにグラフィック的に選択させる請求項１記載の波形の表示方法。
【請求項６】
　被検査デバイスを検査するのに用いる検査システムであって、
　ＤＵＴの検査を制御する検査装置であって、第１のデータ捕捉機構に従って入／出力信号に関するデータを捕捉する前記検査装置と、
　前記検査装置が捕捉したデータを用いて入／出力信号に関する波形を表示する波形表示モジュールであって、第２のデータ捕捉機構を用いてユーザに再捕捉用波形の一部を選択させるインタフェースをユーザに提供する前記波形表示モジュールと、
を備え、ユーザの再捕捉用波形の一部の選択に応答して前記検査装置が前記第２のデータ捕捉機構を用い、再捕捉用に選択された波形の一部に対応して入／出力信号の一部に関するデータを再捕捉し、再捕捉用に選択された波形の一部を前記検査装置により再捕捉されたデータを用いて前記波形表示モジュールが入／出力信号用の波形を再表示し、再捕捉用に選択されなかった波形の残りの部分を前記第１のデータ捕捉機構に従って前記検査装置が捕捉したデータを用いて表示する、検査システム。
【請求項７】
　前記波形表示モジュールは、ユーザに再捕捉用の最初の波形の一部を画定させることで前記再捕捉用の最初の波形の一部をユーザに選択させる請求項６記載の検査システム。
【請求項８】
　前記第２のデータ捕捉機構は、再捕捉のためのタイミング分解能をユーザに調整させる請求項６記載の検査システム。
【請求項９】
　前記第２のデータ捕捉機構は、再捕捉のためのタイミング分解能の調整および再捕捉のための電圧レベル分解能の調整をユーザに行なわせる請求項６記載の検査システム。
【請求項１０】
　前記インタフェースが再捕捉のための波形の一部をユーザにグラフィック的に選択させる請求項６記載の検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、検査装置に係り、特に波形ディスプレイにおいて既存データの損失を伴わない表示波形の一部再捕捉に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
　回路は、製造後、適正な性能を保証するため、詳しいテストが施される。例えば、メモリ・テスタを用いて、コンピュータ及び他の装置に用いられるランダム・アクセス・メモリのテストが実施される。テストは、一般に、被検査デバイス（ＤＵＴ）のピンに信号を加え、ピンから信号を読み取ることによって実施される。一般に、ＤＵＴのピンは、アドレス・ピン、データ・ピン、及び、制御ピンとして機能する。アドレス・ピン、データ・ピン、及び、制御ピンを含むＤＵＴの入力及び出力は、本明細書において、入力／出力ピンまたは単純にピンと呼ばれる。入力／出力ピンには、ただＤＵＴに信号を入力するだけのために用いられるものもある。他の入力／出力ピンには、ただＤＵＴから信号を出力するだけのために用いられるものもある。その他の入力／出力ピンには、ＤＵＴへの信号の入力と、ＤＵＴからの信号の出力の両方に用いられる、双方向性のものもある。
【０００３】
　テスト・システムには、ＤＵＴの入力／出力ピンにおける信号の波形を表示するプログラムを含んでいるものもある。各種機構を用いて、表示のための信号が捕捉される。
【０００４】
　例えば、テスト・システムには、テスト・パターンの命令を処理し、ハードウェア状態情報を読み取って、ＤＵＴの入力に加えられる信号波形を決定することが可能なものもある。同様にテスト・システムには、テスト・パターンの命令を処理し、ハードウェア状態情報を読み取って、テスト・システムがＤＵＴの出力において検出することを予測する信号波形を決定することが可能なものもある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
　テスト・システムには、実際の信号を測定するため、ＤＵＴの入力及び／または出力において測定を行うものもある。これによって、テスト中にＤＵＴの入力信号及び出力信号を実際に表示することが可能になる。しかし、テスト・システムのハードウェアの制約によって、データの表示分解能が制限を受ける場合が多い。
【０００６】
　例えば、テスト・システムには、一度に複数のＤＵＴを同時にテスト可能なものもある。３６までのＤＵＴを同時にテストするのが一般的である。各ＤＵＴは、多数の入力／出力ピンを備えている。６４ピン以上のＤＵＴが一般的である。電圧計またはオシロスコープを利用して、テスト・システムによってテストされる全てのＤＵＴの全てのピンの正確な電圧を測定する時間及び／またはコストは途方もないものになる。このため、テスト・システムには、一般に、テストされる各ＤＵＴの各ピン毎に、ピンの電圧とテスト電圧を比較するための比較回路が含まれている。電圧比較は、一般に、テスト・サイクル毎に１回ずつ、全てのピンで実施することが可能である。信号の電圧分解能が向上するように、いくつかのテスト・サイクルを実行することが可能であり、さまざまなテスト電圧で、電圧比較を実施することが可能である。信号のタイミング分解能が向上するように、いくつかのテスト・サイクルを実行することが可能であり、テスト・サイクルの開始時からの遅延量をさまざまに変えて、電圧比較を実施することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
　本発明の好適な実施形態によれば、被検査デバイス（ＤＵＴ）の入／出力信号に関する波形が表示される。入／出力信号用のデータは、第１のデータ捕捉機構に従って捕捉される。入／出力信号に関する波形は、捕捉データを用いて表示される。ユーザには、第２のデータ捕捉機構を用いて再捕捉用波形の一部をユーザに選択させるインタフェースが提供される。再捕捉用に選択された波形の一部に対応する入／出力信号の一部に関するデータが、再捕捉される。データの再捕捉は、第２のデータ捕捉機構を用いて実行される。入／出力信号用の波形は、再表示される。第２のデータ捕捉機構を用いて再捕捉されたデータは、再捕捉用に選択された波形の一部を表示するのに用いられる。第１のデータ捕捉機構に従って捕捉されたデータは、再捕捉用に選択されなかった波形の残る部分の表示に用いられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
　図１は、テスト・システムを示す簡易ブロック図である。被検査デバイス（ＤＵＴ）２８及びＤＵＴ３８は、テストを受ける装置を表している。典型的なシステムの場合、３６のＤＵＴを一度にテストすることが可能である。
【０００９】
　各ＤＵＴは、テスタ１７内のテスト・サイトとインタフェースする。例えば、図１には、テスト・サイト２０と対話するＤＵＴ２８、及び、テスト・サイト３０と対話するＤＵＴ３８が示されている。
【００１０】
　テスト・サイト２０には、テスト・サイト・コントローラ２１が含まれている。テスト・サイト・コントローラ２１には、ソフトウェアで実施される、データ処理ブロック２２と、波形表示ドライバ２３が含まれている。アルゴリズム・パターン生成器（ＡＰＧ）２４が、ＤＵＴ２８のテストに用いられるテスト・データを生成する。エラー捕捉ＲＡＭ（ＥＣＲ）には、ＤＵＴ２８からのエラー情報の捕捉に用いられるランダム・アクセス・メモリ（ＲＡＭ）が含まれている。ピン電子回路２６には、ＤＵＴ２８への信号の書き込み、及び、ＤＵＴ２８からの信号の読み取りに用いられるアナログ回路要素が含まれている。
【００１１】
　用いられるデータ捕捉機構に従って、波形表示ドライバ２３は、ＤＵＴ２８のモニタ・ピン、または、ＡＰＧ２４のテスト命令メモリ及びテスト・サイト２０のハードウェアの状態からデータを取得する。データ処理ブロック２２は、波形表示ドライバ２３を制御し、波形表示ドライバ２３にいかなるデータを取得するかを命じ、いつデータが有効になるかを決定する。データ処理ブロック２２は、さらに、波形表示モジュール１２にデータを送る前に、波形表示モジュール１２が予測するフォーマットをなすようにデータを構成する。
【００１２】
　テスト・サイト３０には、テスト・サイト・コントローラ３１が含まれている。テスト・サイト・コントローラ３１には、ソフトウェアで実施される、データ処理ブロック３２と、波形表示ドライバ３３が含まれている。アルゴリズム・パターン生成器（ＡＰＧ）３４が、ＤＵＴ３８のテストに用いられるテスト・データを生成する。エラー捕捉ＲＡＭ（ＥＣＲ）３５は、ＤＵＴ３８からのエラー情報の捕捉に用いられる。ピン電子回路３６には、ＤＵＴ３８への信号の書き込み、及び、ＤＵＴ３８からの信号の読み取りに用いられるアナログ回路要素が含まれている。
【００１３】
　用いられるデータ捕捉機構に従って、波形表示ドライバ３３は、ＤＵＴ３８のモニタ・ピン、または、ＡＰＧ３４のテスト命令メモリ及びテスト・サイト３０のハードウェアの状態からデータを取得する。データ処理ブロック３２は、波形表示ドライバ３３を制御し、波形表示ドライバ３３にいかなるデータを取得するかを命じ、いつデータが有効になるかを決定する。データ処理ブロック３２は、さらに、波形表示モジュール１２にデータを送る前に、波形表示モジュール１２が予測するフォーマットをなすようにデータを構成する。
【００１４】
　ホスト・コンピュータ１０には、テスタ制御モジュール１１と、波形表示モジュール１２が含まれている。テスタ制御モジュール１１は、例えば、テスタ１７によって実施されるテストを監視するソフトウェア・モジュールとして実施される。波形表示モジュール１２には、表示制御ブロック１４にデータを送るのに備えて、テスタ１７からのデータに処理を施すために用いられるデータ処理ブロック１５が含まれている。本発明の望ましい実施態様の場合、データ処理ブロック１５及び表示制御ブロック１４は、ソフトウェア・モジュールとして実施される。
【００１５】
　表示制御ブロック１４は、ディスプレイ１３における波形データ表示の制御に用いられる。テスト・システムには、テスト・サイト・コントローラの制御を可能にするために用いられるドライバ・モジュール２３も含まれている。波形表示モジュール１２は、表示データを得るため、テスト・サイトと通信する。データには、テスト中にテスト・サイト・コントローラによってＤＵＴの入力／出力ピンに印加されるテスト・パターン、テスト中にＤＵＴによってＤＵＴの入力／出力ピンに印加されることが予測されるテスト結果、及び／または、被測定装置の入力／出力ピンで測定される実際の信号を含むことが可能である。波形表示モジュール１２は、ディスプレイ１３に波形を表示する。
【００１６】
　図２には、ＤＵＴに関する信号を捕捉するための設定を入力するのに用いられる、ウィンドウ４０のグラフィックス・ユーザ・インタフェース・ディスプレイが示されている。ボックス４１において、ユーザは、データを得るテスト・サイトを選択する。ボックス４２において、ユーザは、波形が描かれるのがどのチャネル（ピンまたはピン・グループ）であるかを指示する。
【００１７】
　ボックス４５は、捕捉トリガーがアルゴリズムによるパターン生成（ＡＰＧ）状態に応じて条件付きとなるときに検査することができる。ボックス４６では、ユーザはデータ捕捉前にどれ位の数の検査ベクトルを無視するかを指示する。ボックス４７では、ユーザはどれ位の数の検査ベクトルデータ信号を捕捉するのかを指示する。
【００１８】
　ボックス４８において、ユーザは、タイミング分解能に関する値を指定することが可能である。ボックス４９において、ユーザは、ボックス４８において設定された値の単位を選択することが可能である。例えば、タイミング分解能を向上させるには、テストを繰り返して、各テスト・サイクル（すなわち、各入力サイクル及び各出力サイクル）内のさまざまな位置で、ＤＵＴの入力／出力ピンにおける値をサンプリングする必要がある。従って、タイミング分解能が高くなるほど、テスト結果を得るのに要する時間が長くなる。タイミング分解能の調整が必要になるのは、以下で定義されるスコープ・モード及びロジック・アナライザ・モードにおいてのみである。ユーザは、たとえスコープ・モードとロジック・アナライザ・モードが当初用いられていなくとも、使用するタイミング分解能をデフォルトとして設定することができる。これにより、再捕捉時点でのタイミング分解能に関する値をユーザが特定する必要なく、スコープ・モード或いはロジック・アナライザ・モードにおいてユーザはデフォルト設定にて信号の一部を後程再捕捉できるようになっている。
【００１９】
　ボックス５０において、ユーザは、電圧レベル分解能に関する値を指定することが可能である。ボックス５１において、ユーザは、ボックス５０で設定された値の単位を選択することが可能である。例えば、電圧レベル分解能を向上させるには、テストを繰り返して、さまざまな比較電圧に対して、ＤＵＴの入力／出力ピンにおける値をサンプリングする必要がある。従って、電圧レベル分解能が高くなるほど、テスト結果を得るのに要する時間が長くなる。電圧レベル分解能の調整が必要になるのは、以下で定義されるスコープ・モードにおいてのみである。ユーザは、たとえスコープ・モードが当初用いられなかったにしても、電圧分解能をデフォルトとして用いるよう設定することができる。これにより、再捕捉時の電圧分解能に関する値をユーザが特定する必要なく、スコープ・モードにおいてユーザはデフォルト設定にて信号の一部を後程再捕捉できるようになっている。
【００２０】
　ＯＫボタン４３は、ウィンドウ４０を利用してユーザが指示した捕捉設定の確認に用いられる。キャンセル・ボタン４４は、ウィンドウ４０を利用してユーザが指示した捕捉設定のキャンセルに用いられる。
【００２１】
　図３には、ＤＵＴに関する信号を捕捉するためのモード設定を指示するのに用いられる、ウィンドウ６０のグラフィックス・ユーザ・インタフェース・ディスプレイが示されている。ボックス６１において、ユーザは、ユーザによって特に指定されていないチャネルに関するデフォルト・モードを指定することが可能である。ボックス６７において、ユーザは、モードを選択することが可能である。ボックス６６において、ユーザは、ボックス６７の設定を適用するのがどのチャネル（ピンまたはピン・グループ）であるかを指示する。ユーザは、ウィンドウ６０のボックス６６及び６７を複数回数利用して、ピン及びピン・グループの異なるチャネルに異なる設定を割り当てることが可能である。
【００２２】
　ＯＫボタン６３は、ウィンドウ６０を利用してユーザが指示した捕捉設定の確認に用いられる。適用ボタン６４は、ウィンドウ６０を利用してユーザが指示した捕捉設定の適用に用いられる。キャンセル・ボタン６５は、ウィンドウ６０を利用してユーザが指示した捕捉設定のキャンセルに用いられる。
【００２３】
　ユーザがウィンドウ４０とウィンドウ６０を用いて捕捉を立ち上げた後、ユーザは捕捉コマンドを送出することで捕捉を開始することができる。これは、例えば捕捉開始釦を選択することで、或いはプルダウンメニュー上で捕捉開始コマンドを選択することで行なわれる。
【００２４】
　後述するように、本発明の実施態様の１つでは、６つのモードがある。各モード毎に、異なる方法でデータが捕捉される。
【００２５】
　再構成モードは、入力情報入手のためだけに用いられる。再構成モードでは、波形表示モジュール１２は電圧値を入手して表示する。電圧値は、選択されたテスト・サイト内での波形表示ドライバによるテスト・パターン・ファイルの実行により生成される。ＡＰＧ２４が生成するテスト・パターン・ファイルは、テスト・サイトによるＤＵＴのピンへの配置対象となる検査パターンを示す。
【００２６】
　予測データ・モードは、出力情報の入手にのみ用いられる。予測データ・モードでは、波形表示モジュール１２はテスト・パターン・ファイルを実行することで予想結果を入手して表示する。すなわち、テスト・サイト・コントローラ内の波形表示ドライバは、ＤＵＴが正常に動作している場合にテスト・サイトによるＤＵＴのピンへの配置対象となる検査パターンに応答して出力ピンに何を供給すべきかを計算する。
【００２７】
　高速モードを利用して、出力情報だけが求められる。高速モードでは、ＡＰＧは、テスト・パターン・ファイルを実行し、ピン電子回路に、ＤＵＴのピンにおける入力の駆動及び出力の比較を実施させる。
【００２８】
　各テスト・サイトのピン電子回路は、テスト・サイトのためにＡＰＧによって駆動される可変速クロックで動作する。ＡＰＧによって駆動されるクロックの各サイクルは、テスト・サイクルである。各テスト・サイクル毎に、新しいテスト命令が実行されることになる。例えば、テスト・サイクルが入力サイクルの場合、ピン電子回路は、入力サイクルにおいて、データ・ピンの入力データを駆動し、ＤＵＴの書き込み許可ピンを駆動することになる。あるいはまた、ピン電子回路は、１つの入力サイクルで、データ・ピンの入力データを駆動し、もう１つの入力サイクルで、ＤＵＴの書き込み許可ピンを駆動することになる。例えば、テスト・サイクルが出力サイクルの場合、ピン電子回路は、ＤＵＴの出力イネーブル・ピンを駆動し、テスト・サイトは、ＤＵＴから受信した出力データと単一出力サイクル内における予測データを比較することになる。あるいはまた、ピン電子回路は、１つの出力サイクルで、ＤＵＴの出力イネーブル・ピンを駆動し、テスト・サイトは、ＤＵＴから受信した出力データともう１つの出力サイクルにおける予測データを比較することになる。
【００２９】
　高速モードの場合、テスト全体が１回実行される。各出力サイクル毎に、各予測出力データに関して、単一比較を実施して、ＤＵＴのピンにおける実際の値が、テスト・パターンにおいて予測される、論理１（電圧出力高（ＶＯＨ））、論理０（電圧出力低（ＶＯＬ））、及び、高インピーダンス（Ｈｉ−Ｚ）のいずれであるかが判定される。
【００３０】
　ロジック・アナライザ・モードは入力信号と出力信号の両方の捕捉に利用される。ロジック・アナライザ・モードでは、ユーザが設定するタイミング分解能によって、波形は複数回のテストを実施することにより構成される。テストが実施される都度、テスト・サイクル毎単一比較が行われる。各出力サイクルの場合、比較を行ない、出力データが論理１（電圧出力高（ＶＯＨ））または論理０（電圧出力低（ＶＯＬ））であるかが判定される。各入力サイクル毎に、入力ピンにおける比較が実施される。入力が２値（論理１または論理０）のＤＵＴの場合、入力の分解には、単一比較で十分である。入力が、追加電圧レベルを有する可能性のある（例えば、潜在的入力電圧値がＶＨＨ、ＶＩＨ、ＶＩＬ、及び、ＨＩＺである）ＤＵＴの場合、入力電圧値の適正な分解能を得るには、テストを複数回数実行することが必要になる（入力テスト・サイクル毎に複数回数の比較を行う能力がないため）。
【００３１】
　実行しなければならないテスト回数は、必要なタイミング分解能によって決まる。例えば、テスト・サイクルの所要時間の１／５に等しいタイミング分解能を備えることが所望される場合、各テスト・サイクルの開始からのオフセット量が異なるようにして、５回のテストを実行する必要がある。これによって、ＤＵＴに対する入力及び出力の２値電圧分解能が得られる。
【００３２】
　ロジック・アナライザ・モードでは、「中間」速度データ捕捉が可能になる。波形遷移タイミングに関してより多くの情報が得られるが、電圧分解能は最低になる。
【００３３】
　スコープ・モードは、入力信号と出力信号の両方の捕捉に利用される。実行しなければならない各テストの回数は、ユーザが設定したタイミング分解能及びユーザが設定した電圧分解能によって決まる。スコープ・モードによれば、高タイミング分解能及び高電圧分解能による波形の構成が可能になる。高分解能のため、捕捉速度は遅い。
【００３４】
　例えば、テスト・サイクルの所要時間の１／５に等しいタイミング分解能、及び、３つの異なる電圧との比較に基づく電圧分解能を備えることが所望される場合、１５回のテストを実行する必要がある。これによって、各テスト・サイクル毎に、３つの異なる電圧レベルにおける、５つの異なるオフセット量での比較が可能になる。
【００３５】
　入／出力（Ｉ／Ｏ）組み合わせモードは、ＤＵＴに対する入力に関する再構成モードと、ＤＵＴの出力に関する高速モードを組み合わせたものである。ＤＵＴに対する入力にだけ用いられるピンに関して、波形表示モジュール１２は、テスト・パターン・ファイルを実行して、電圧値を取得し、表示する。ＤＵＴからの出力にだけ用いられるピンに関して、波形表示モジュール１２は、シングル・ショット捕捉によって波形を形成する（高速モードにおけるように）。シングル・ショット捕捉の場合、各出力テスト・サイクル毎に、信号の比較が１回だけ行われる。従って、タイミング分解能及び電圧値分解能は、単一出力サイクル中に、論理０、論理１、及び、高インピーダンス（テスト・パターンにおいて予測される）のうちのどれが生じるかの判定だけにしか十分ではない。タイミング分解能及び電圧値分解能が最低限であるため、これによって、情報の高速捕捉が可能になる。入力及び出力の両方に用いられるピンの場合、波形の構成方法は、ＤＵＴにデータが入力される期間、及び、ＤＵＴからデータが出力される期間に基づいている。ＤＵＴへの入力に対応する波形部分については、テスト・パターン・ファイルを実行することによって、波形が形成される。ＤＵＴからの出力に対応する波形部分については、シングル・ショット捕捉によって構成される。
【００３６】
　図４は、ユーザが、ピン及び／またはピン・グループに異なるデータ捕捉機構を割り当てた場合の、波形表示モジュール１２の動作を例示した簡易フローチャートである。全てのピンに関する波形が、単一画像によって一緒に表示される。これによって、波形表示モジュール１２は、単一セットアップに応答して、全てのピンに関するデータを捕捉し、ユーザが選択した異なるモードで波形を順次表示することが可能になる。波形表示モジュール１２による表示プロセスが完了すると、ユーザが要求する全ての波形が、ディスプレイ１３に同時に表示される。
【００３７】
　ブロック１７１おいて、波形表示モジュール１２は、ユーザが要求した波形表示プロセスを開始する。ブロック１７２において、波形表示モジュール１２は、チェックを行って、信号のいずれかを再構成（ＲＥＣＯＮ）モードで表示することになるか否かを確認する。そうする場合には、ブロック１７３において、波形表示モジュール１２は、選択されたテスト・サイトに、ＲＥＣＯＮモードで表示されることになる信号の捕捉要求を送る。入力信号に関する返信データを受信すると、ブロック１７４において、波形表示モジュール１２は、データ単位を表示座標に変換し、ディスプレイ１３に入力信号に関する波形を表示する。波形表示モジュール１２にデータを戻す際、テスト・サイトは、出力信号に未知であるとのマーク付けを施す。
【００３８】
　ブロック１７５において、波形表示モジュール１２は、チェックを行って、信号のいずれかを予測モードで表示することになるか否かを確認する。そうする場合には、ブロック１７６において、波形表示モジュール１２は、選択されたテスト・サイトに、予測モードで表示されることになる信号の捕捉要求を送る。出力信号に関する返信データを受信すると、ブロック１７７において、波形表示モジュール１２は、データ単位を表示座標に変換し、ディスプレイ１３に出力信号に関する波形を表示する。波形表示モジュール１２にデータを戻す際、テスト・サイトは、入力信号に無効であるとのマーク付けを施す。表示は累積型のため、波形は、ブロック１７４で表示された波形に加えて表示される。データを表示する際、波形表示モジュールは、波形をユーザの要求順に保つため、必要に応じて波形の挿入を利用することになる。
【００３９】
　ブロック１７８において、波形表示モジュール１２は、チェックを行って、信号のいずれかを高速モードで表示することになるか否かを確認する。そうする場合には、ブロック１７９において、波形表示モジュール１２は、選択されたテスト・サイトに、高速モードで表示されることになる信号の捕捉要求を送る。出力信号に関する返信データを受信すると、ブロック１８０において、波形表示モジュール１２は、データ単位を表示座標に変換し、ディスプレイ１３に出力信号に関する波形を表示する。波形表示モジュール１２にデータを戻す際、テスト・サイトは、入力信号に無効であるとのマーク付けを施す。データを表示する際、波形表示モジュールは、波形をユーザの要求順に保つため、必要に応じて波形の挿入を利用することになる。
【００４０】
　ブロック１８１において、波形表示モジュール１２は、チェックを行って、信号のいずれかをロジック・アナライザ（ＬＡ）・モードで表示することになるか否かを確認する。そうする場合には、ブロック１８２において、波形表示モジュール１２は、選択されたテスト・サイト・コントローラに、ロジック・アナライザ・モードで表示されることになる信号の捕捉要求を送る。捕捉要求には、ユーザが指示するタイミング分解能が含まれる。信号に関する返信データを受信すると、ブロック１８３において、波形表示モジュール１２は、データ単位を表示座標に変換し、ディスプレイ１３に信号に関する波形を表示する。データを表示する際、波形表示モジュールは、波形をユーザの要求順に保つため、必要に応じて波形の挿入を利用することになる。
【００４１】
　ブロック１８４において、波形表示モジュール１２は、チェックを行って、信号のいずれかをスコープ・モードで表示することになるか否かを確認する。そうする場合には、ブロック１８５において、波形表示モジュール１２は、選択されたテスト・サイト・コントローラに、スコープ・モードで表示されることになる信号の捕捉要求を送る。捕捉要求には、ユーザが指示するタイミング分解能及び電圧分解能が含まれる。信号に関する返信データを受信すると、ブロック１８６において、波形表示モジュール１２は、データ単位を表示座標に変換し、ディスプレイ１３に信号に関する波形を表示する。
【００４２】
　ブロック１８７において、波形表示モジュール１２は、チェックを行って、信号のどれかをＩ／Ｏ組み合わせモードで表示することになるか否かを確認する。そうする場合には、ブロック１８８において、波形表示モジュール１２は、選択されたテスト・サイト・コントローラに、Ｉ／Ｏ組み合わせモードで表示されることになる信号の捕捉要求を送る。信号に関する返信データを受信すると、ブロック１８９において、波形表示モジュール１２は、データ単位を表示座標に変換し、ディスプレイ１３に信号に関する波形を表示する。Ｉ／Ｏ組み合わせモードにおいて、選択されたテスト・サイトのためのテスト・サイト・コントローラのデータ処理モジュールは、どの信号部分が入力に関するものであり、どの信号部分が出力に関するものであるかを指示する。これによって、波形表示モジュール１２は、ユーザに対して、波形のどの部分がＤＵＴに対する入力を表し、波形のどの部分がＤＵＴからの出力を表わすかを表示することが可能になる。
【００４３】
　ブロック１９０において、波形表示モジュール１２は、波形表示を完了する。
【００４４】
　図５では、Ｉ／Ｏ組み合わせモードにおいて捕捉された波形の単純化されたサンプルが、単純化された形で波形表示モジュール１２によりディスプレイ１３上に表示される。信号ＡＤＤＲ０，ＡＤＤＲ１，ＡＤＤＲ２は、まさにＤＵＴへの入力に用いるピンからの信号である。波形表示モジュール１２は、テスト・パターン・ファイルを実行することで論理値を得るとともに、これらの波形について対応電圧値を表示する。
【００４５】
　信号ＤＡＴＡ０，ＤＡＴＡ１，ＤＡＴＡ２，ＣＮＴＲ０，ＣＮＴＲ１は、ＤＵＴに対する入力と出力の双方に用いるピンからの信号である。ＤＵＴへの入力に対応する波形の一部について、波形表示モジュール１２はテスト・パターン・ファイルを実行することで波形を組み立てる。ＤＵＴからの出力に対応する波形の一部について、波形表示モジュール１２はシングル・ショット捕捉により波形を組み立てる。
【００４６】
　ディスプレイ１３上には、メニューバー７３もまた表示される。メニューバー７３に示されるのは、釦７４と釦７５と釦７６である。メニューバー７３は通常、他の釦（図示せず）を含む。釦７４は、垂直カーソルをオンにするのに用いる「トリガーカーソルオン／オフ」釦である。釦７５は、ロジック・アナライザ・モードにおいて、波形の被選択部分を再捕捉するのに用いられる。釦７６は、スコープ・モードで波形の被選択部分を再捕捉するのに用いられる。一つの好適な実施形態では、釦７５は省略される。この場合、再捕捉はスコープ・モードにおいてのみ可能とされる。
【００４７】
　再捕捉用のタイミング分解能及び電圧レベル分解能に関する値は、チャンネルラベルのすぐ右にある釦を選択することで選択することができる。図５に示した例では、信号ＡＤＤＲ０を再捕捉するためタイミング及び／又は電圧分解能を調整するため、釦１２１が用いられる。釦１２１は、ＡＤＤＲ０が目下のところ一目盛当たり２ボルトで表示されていることを示す。信号ＡＤＤＲ１再捕捉用のタイミング及び／又は電圧の分解能を調整するのに、釦１２２が用いられる。釦１２２は、ＡＤＤＲ１が目下のところ一目盛当たり２ボルトで表示されていることを示す。信号ＡＤＤＲ２再捕捉用のタイミング及び／又は電圧の分解能を調整するのに、釦１２３が用いられる。釦１２３は、ＡＤＤＲ２が目下のところ一目盛当たり２ボルトで表示されていることを示す。信号ＤＡＴＡ０再捕捉用のタイミング及び／又は電圧の分解能を調整するのに、釦１２４が用いられる。釦１２４は、ＤＡＴＡ０が目下のところ一目盛当たり２ボルトで表示されていることを示す。信号ＤＡＴＡ１再捕捉用のタイミング及び／又は電圧の分解能を調整するのに、釦１２５が用いられる。釦１２５は、ＤＡＴＡ１が目下のところ一目盛当たり２ボルトで表示されていることを示す。信号ＤＡＴＡ２再捕捉用のタイミング及び／又は電圧の分解能を調整するのに、釦１２６が用いられる。釦１２６は、ＤＡＴＡ２が目下のところ一目盛当たり２ボルトで表示されていることを示す。信号ＣＮＴＲ０再捕捉用のタイミング及び／又は電圧の分解能を調整するのに、釦１２７が用いられる。釦１２７は、ＣＮＴＲ０が目下のところ一目盛当たり２ボルトで表示されていることを示す。信号ＣＮＴＲ１再捕捉用のタイミング及び／又は電圧分解能を調整するのに、釦１２８が用いられる。釦１２８は、ＣＮＴＲ１が目下のところ一目盛当たり２ボルトで表示されていることを示す。
【００４８】
　カーソル７１は、釦を選択するのに用いられる。例えば、ポインティングデバイス（例えばマウスやトラックパッド）のシングル・クリックをもって釦１２１〜１２８のうちの一つを選択するのにカーソル７１を用いたときに、これによりチャンネルが選択される。ポインティングデバイスのダブルクリックをもって釦１２１〜１２８の一つを選択するのにカーソル７１を用いたときに、これにより図６に示した分解能ウィンドウ８０が出現する。
【００４９】
　ウィンドウ４０（図２に示す）を用いて予め選択したタイミング分解能及び／又は電圧分解能に関するデフォルト設定の変更を望むときにだけ図示の分解能ウィンドウ８０を用いる必要がある。
【００５０】
　図６は、カーソル７１を用いて釦１２４を選択しその上でダブルクリック（「ダブルクリック」選択）するユーザにより出現した分解能ウィンドウ８０の一例を示す。ウィンドウ８０内には、指示８２が被選択チャンネルがデータ［０］用であることが示されている。ボックス８５では、ユーザはタイミング分解能用の値を特定することができる。ボックス８６では、ユーザはボックス８５内に配置されたデータについて単位を選択することができる。タイミング分解能の調整は、前記に規定した如く、スコープ・モードとロジック・アナライザ・モードに用いられる。ボックス８７では、ユーザは電圧レベル分解能に関する値を特定することができる。ボックス８８では、ユーザはボックス８７内に配置される値ついて単位を選択することができる。電圧分解能の調整は、前記に規定したように、スコープ・モードにおいてのみ必要となる。
【００５１】
　ＯＫ釦８９は、ウィンドウ８０を用いてユーザが指示した再捕捉設定を確認するのに用いられる。キャンセル釦９０は、現在の設定をそのままとするのに用いられる。
【００５２】
　例えば、ユーザはボックス８７を用い、毎秒２ｍＶの新規の電圧分解能を選択する。ユーザはそこで、ＯＫ釦８９を選択する。
【００５３】
　図７は、ユーザがＯＫ釦８９を選択し、以下の追加の動作を実行した後の結果を示す。ユーザは、釦１２４の「シングル・クリック」選択をなしており、ＤＡＴＡ０の選択（釦１２４内の「＊」により示される）に帰結している。ユーザは、釦１２８の「ダブルクリック」選択をなしており、信号ＣＮＴＲ１用に毎秒２ｍＶの新たな電圧分解能を選択している。ユーザは、釦１２８の「シングル・クリック」を選択していて、信号ＣＮＴＲ１が選択（釦１２８の範囲内で「＊」により示されるように）に帰結している。ユーザは、釦７４の「シングル・クリック」選択を行なっていて、垂直カーソル７８と垂直カーソル７９の外観はその結果である。
【００５４】
　垂直カーソル７８と垂直カーソル７９は、各選択された信号波形の一部の再捕捉を画定するのに（delineate）用いられる。ユーザは、カーソル７１を用いて垂直カーソルの菱形部分を選択することで、いずれの垂直カーソルの水平部分も移動させることができる。好適な実施形態では、垂直カーソルは最も近いベクトル境界にピタッと吸い寄せられる。垂直カーソル７８と垂直カーソル７９を位置決めすることで、ユーザは再捕捉対象である被選択波形（例えば、ＤＡＴＡ０，ＣＮＴＲ１）の一部を指示する。
【００５５】
　釦７５を選択することで、予め選択されたタイミング分解能でロジック・アナライザ・モードにおける予め選択した波形の被選択部分の即再捕捉に至る。釦７６を選択することで、予め選択されたタイミング分解能と予め選択された電圧分解能において、スコープ・モードにおける波形の被選択部分の即再捕捉に至る。
【００５６】
　再捕捉に関し、波形表示モジュール１２（図１に示す）は再捕捉データについて選択されたテスト・サイトに対しリクエストを送信する。テスト・サイト・コントローラは、再捕捉データを戻す。再捕捉されたデータはそこで、波形表示モジュール１２によりディスプレイ１３上に表示される。
【００５７】
　図８は、図７に示したディスプレイからユーザがスコープ・モード釦７６を選択したときの結果を示す。垂直カーソル７８と垂直カーソル７９により画定されたＤＡＴＡ０信号の一部及び垂直カーソル７８と垂直カーソル７９により画定されたＣＮＴＲ１信号の一部が、スコープ・モードにおいて再捕捉される。図８に示した楕円７２は、ＤＡＴＡ０の再捕捉部分にマークするものである。図８に示した楕円７７は、ＣＮＴＲ１の再捕捉部分にマークするものである。選択された波形の画定された部分だけが、再捕捉される。波形の残る部分は、それらが最初に捕捉された形のまま表示される。
【００５８】
　前述のように再捕捉機能の存在は、ユーザをして初回の迅速なパスにおいて自由に多数の低分解能波形データの表示を生成させる。ユーザは、そこで再捕捉特徴を用い、特に関心のある波形の特定部分の詳細を入手することができる。
【００５９】
　前述の説明は、単に本発明の例示的な方法と実施形態を開示し説明するに過ぎない。当業者には言うまでもないことであるが、本発明はその趣旨ならびに主要な特徴から逸脱することなく他の特定の形態でもって実施することもできる。従って、本発明の開示は例示を意図したものであり、特許請求の範囲に記載した本発明範囲を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の好適な実施形態になる検査システムの簡易ブロック線図。
【図２】本発明の好適な実施形態に従って信号を捕捉する設定の入力に用いるウィンドウのグラフィックス・ユーザ・インタフェース表示を示す図。
【図３】本発明の好適な実施形態に従って信号を捕捉するモードを選択するのに用いるウィンドウのグラフィックス・ユーザ・インタフェース表示を示す図。
【図４】本発明の好適な実施形態に従って波形を表示するときに波形表示モジュールの動作を示す簡易フローチャート。
【図５】本発明の好適な実施形態により入／出力（Ｉ／Ｏ）組み合わせモードにおいて捕捉した波形の単純化した表示を示す図。
【図６】本発明の代替実施形態により波形に関するタイミング分解能と電圧分解能を選択するのに用いるウィンドウのグラフィックス・ユーザ・インタフェース表示を示す図。
【図７】本発明の好適な実施形態により再捕捉用に選択した二つの波形の一部を含む波形の単純化した表示を示す図。
【図８】本発明の好適な実施形態により再捕捉した二つの波形の一部を含む波形の単純化した表示を示す図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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