(57)【要約】【課題】ローリング、ヨウイング、ピッチング等の発生を抑制しつつ、固有振動数を小さくすることができ（特に水平方向）、鉛直方向および水平方向のいずれにも極めて優れた除振性能を備える除振台装置（いわゆる柔らかい除振台装置）を提供する。【解決手段】除振対象物に直接または間接的に接する天井板を備える浮遊部と、この浮遊部と鉛直ベローズを介して連結される固定部を有し、前記浮遊部は、実質的に鉛直ベローズの上側部分と固定される浮遊機能部を有し、当該浮遊機能部は垂下する垂下体を備え、前記固定部は前記鉛直ベローズの中心軸方向に沿って上方に延出する上方延出体を備え、前記垂下体と前記上方延出体とは、所定の隙間を開けて対向面を形成できるようにいずれか一方が覆い被さるように組み合わされているとともに、前記垂下体と前記上方延出体の少なくとも一方が鉛直ベローズの中に入り込む関係に配置されており、前記垂下体と前記上方延出体とが対向する前記対向面の隙間には、実質的に水平方向に作動するダイヤフラムが介在されているように構成される。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
除振対象物に直接または間接的に敷設され、除振対象物の除振を行う除振台装置であって、
該除振台装置は、除振対象物に直接または間接的に接する天井板を備える浮遊部と、この浮遊部と鉛直ベローズを介して連結される固定部を有し、
前記浮遊部は、実質的に鉛直ベローズの上側部分と固定される浮遊機能部を有し、当該浮遊機能部は垂下する垂下体を備え、
前記固定部は前記鉛直ベローズの中心軸方向に沿って上方に延出する上方延出体を備え、
前記垂下体と前記上方延出体とは、所定の隙間を開けて対向面を形成できるようにいずれか一方が覆い被さるように組み合わされているとともに、前記垂下体と前記上方延出体の少なくとも一方が鉛直ベローズの中に入り込む関係に配置されており、
前記垂下体と前記上方延出体とが対向する前記対向面の隙間には、実質的に水平方向に作動するダイヤフラムが介在されていることを特徴とする除振台装置。
【請求項２】
前記浮遊機能部は、天井板を支持する天面板と、天面板の下方に空間凹部を形成するように天面板から垂下する垂下体を備え、前記垂下体は、鉛直ベローズの上側を固定するためのフランジ部を備え、
前記固定部に形成される上方延出体は、前記浮遊機能部の空間凹部内に入り込む凸部を形成するように構成され、
前記垂下体は前記上方延出体に覆い被さるように組み合わされているとともに、所定の隙間を開けて対向面が形成され、
前記対向面の上方延出体側にダイヤフラムの周縁フランジ部が固定され、前記対向面の垂下体側にダイヤフラムの受圧面部が固定されてなる請求項１に記載の除振台装置。
【請求項３】
前記垂下体と前記上方延出体の双方は、それぞれ、鉛直ベローズの中に入り込む関係に配置されており、これらの対向面の隙間に設置されるダイヤフラムの受圧面部の水平中心位置は、鉛直ベローズ内に存在してなる請求項１または請求項２に記載の除振台装置。
【請求項４】
前記ダイヤフラムの受圧面部の水平中心位置は、鉛直ベローズの水平中心位置と実質的に一致してなる請求項３に記載の除振台装置。
【請求項５】
前記垂下体と前記上方延出体のうち前記上方延出体のみが、鉛直ベローズの中に入り込む関係に配置されている請求項１または請求項２に記載の除振台装置。
【請求項６】
前記垂下体と前記上方延出体のうち前記垂下体のみが、鉛直ベローズの中に入り込む関係に配置されている請求項１または請求項２に記載の除振台装置。
【請求項７】
前記ダイヤフラムは、任意の水平方向に作動できるようにその方向に向けて少なくとも１対が鏡像関係に配置されてなる請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の除振台装置。
【請求項８】
前記鉛直ベローズの下側部分は固定部に固定されてなる請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の除振台装置。
【請求項９】
前記固定部にはダイヤフラムの数に対応する空気室が形成されており、各空気室が水平方向の荷重を支えるダイヤフラムの作動空間にそれぞれ連通されてなる請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の除振台装置。
【請求項１０】
前記鉛直ベローズの作動空間は空気室と連通されてなる請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の除振台装置。
【請求項１１】
前記固定部に形成される上方延出体は、空間凹部を形成するように構成され、
前記浮遊機能部は、天井板を支持する天面板と、天面板の下方に前記上方延出体の空間凹部内に入り込む凸部を形成するように垂下する垂下体を備え、当該垂下体は、鉛直ベローズの上側を固定するためのフランジ部を備え、
前記上方延出体は前記垂下体に覆い被さるように組み合わされているとともに、所定の隙間を開けて対向面が形成され、
前記対向面の上方延出体側にダイヤフラムの周縁フランジ部が固定され、前記対向面の垂下体側にダイヤフラムの受圧面部が固定されてなる請求項１に記載の除振台装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、除振台装置に関し、特に、除振対象物に直接または間接的に敷設され、除振対象物の除振を行う除振台装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開平１１−１３２２８５号公報
【０００３】
例えば、半導体製造装置においてメモリ、ＩＣを作る場合、ウエハ基板の上に回路を写真技術を応用した焼き付け装置を備えるステッパーが用いられる。実際のステッパーの使用に際しては、生産効率を上げるためにウエハ基板や焼き付け装置を所定位置に俊敏かつ精度よく動かして位置決めする必要がある。しかしながら、俊敏な移動および停止を行なおうとすればする程、ステッパーには振動の発生という問題が必然的に生じる。特に、ＩＣの高い集積度が求められている今日の仕様では、たとえ微振動であっても、これを完全に除去しないと、回路の線が二重になったりショートしたりする（回路のダブリの発生）という問題が生じる。
【０００４】
このような問題を解決するために従来よりステッパーの微振動を除去する除振台装置の提案が種々なされており、本願出願人は、すでに、特開平１１−１３２２８５号公報で特定される発明として、簡易かつコンパクトな構造で、固有振動数が小さく、鉛直方向および水平方向のいずれにも極めて優れた除振性能を備えた除振台装置を提案している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、半導体、液晶製造装置、高倍率（電子）顕微鏡用等に使用される除振装置においては、より一層の水平方向の低固有振動数化が求められてきており、この要求を満足させるべく種々の検討が行なわれつつある。
【０００６】
例えば、鉛直方向の荷重を受けるようにベローズを用いた空気ばね式除振装置においては、ベローズ固有の水平方向のバネ定数をできるだけ低くして対応する試みがなされているが、上記水平方向のバネ定数を低くすると、ベローズが倒れ、座屈を起こしやすくなるために例えば従来例のごとく水平方向ベローズの設置が必要となる。しかしながら、従来の装置は、鉛直ベローズの水平軸と水平ベローズ等の水平軸が離れ過ぎているために、除振に寄与しない不必要なモーメントが働き、ローリング、ヨウイング、ピッチング等を起こしやすいという不都合が生じていた。また、装置のさらなる小型化が実現できる新規な装置構造の提案も要求されている。
【０００７】
このような実状のもとに本発明は創案されたものであって、その目的は、ローリング、ヨウイング、ピッチング等の発生を抑制しつつ、固有振動数を小さくすることができ（特に水平方向）、鉛直方向および水平方向のいずれにも極めて優れた除振性能を備える除振台装置（いわゆる柔らかい除振台装置）を提供することにある。さらには、装置の小型化（特に、高さ方向のコンパクト化）が図られ、この小型化が除振に効果的に寄与することができる除振台装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、除振対象物に直接または間接的に敷設され、除振対象物の除振を行う除振台装置であって、該除振台装置は、除振対象物に直接または間接的に接する天井板を備える浮遊部と、この浮遊部と鉛直ベローズを介して連結される固定部を有し、前記浮遊部は、実質的に鉛直ベローズの上側部分と固定される浮遊機能部を有し、当該浮遊機能部は垂下する垂下体を備え、前記固定部は前記鉛直ベローズの中心軸方向に沿って上方に延出する上方延出体を備え、前記垂下体と前記上方延出体とは、所定の隙間を開けて対向面を形成できるようにいずれか一方が覆い被さるように組み合わされているとともに、前記垂下体と前記上方延出体の少なくとも一方が鉛直ベローズの中に入り込む関係に配置されており、前記垂下体と前記上方延出体とが対向する前記対向面の隙間には、実質的に水平方向に作動するダイヤフラムが介在されているように構成される。
【０００９】
また、本発明における好ましい態様として、前記浮遊機能部は、天井板を支持する天面板と、天面板の下方に空間凹部を形成するように天面板から垂下する垂下体を備え、前記垂下体は、鉛直ベローズの上側を固定するためのフランジ部を備え、前記固定部に形成される上方延出体は、前記浮遊機能部の空間凹部内に入り込む凸部を形成するように構成され、前記垂下体は前記上方延出体に覆い被さるように組み合わされているとともに、所定の隙間を開けて対向面が形成され、前記対向面の上方延出体側にダイヤフラムの周縁フランジ部が固定され、前記対向面の垂下体側にダイヤフラムの受圧面部が固定されてなるように構成される。
【００１０】
また、本発明における好ましい態様として、前記垂下体と前記上方延出体の双方は、それぞれ、鉛直ベローズの中に入り込む関係に配置されており、これらの対向面の隙間に設置されるダイヤフラムの受圧面部の水平中心位置は、鉛直ベローズ内に存在してなるように構成される。
【００１１】
また、本発明における好ましい態様として、前記ダイヤフラムの受圧面部の水平中心位置は、鉛直ベローズの水平中心位置と実質的に一致してなるように構成される。
【００１２】
また、本発明における好ましい態様として、前記垂下体と前記上方延出体のうち前記上方延出体のみが、鉛直ベローズの中に入り込む関係に配置されているように構成される。
【００１３】
また、本発明における好ましい態様として、前記垂下体と前記上方延出体のうち前記垂下体のみが、鉛直ベローズの中に入り込む関係に配置されているように構成される。
【００１４】
また、本発明における好ましい態様として、前記ダイヤフラムは、任意の水平方向に作動できるようにその方向に向けて少なくとも１対が鏡像関係に配置されてなるように構成される。
【００１５】
また、本発明における好ましい態様として、前記鉛直ベローズの下側部分は固定部に固定されてなるように構成される請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の除振台装置。
【００１６】
また、本発明における好ましい態様として、前記固定部にはダイヤフラムの数に対応する空気室が形成されており、各空気室が水平方向の荷重を支えるダイヤフラムの作動空間にそれぞれ連通されてなるように構成される。
【００１７】
また、本発明における好ましい態様として、前記鉛直ベローズの作動空間は空気室と連通されてなるように構成される。
【００１８】
また、本発明における好ましい態様として、前記固定部に形成される上方延出体は、空間凹部を形成するように構成され、前記浮遊機能部は、天井板を支持する天面板と、天面板の下方に前記上方延出体の空間凹部内に入り込む凸部を形成するように垂下する垂下体を備え、当該垂下体は、鉛直ベローズの上側を固定するためのフランジ部を備え、前記上方延出体は前記垂下体に覆い被さるように組み合わされているとともに、所定の隙間を開けて対向面が形成され、前記対向面の上方延出体側にダイヤフラムの周縁フランジ部が固定され、前記対向面の垂下体側にダイヤフラムの受圧面部が固定されてなるように構成される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００２０】
図１には、本発明の除振台装置１の好適な第１実施形態を説明するための断面図が示される。図２には、本発明の除振台装置１の好適な第２実施形態を説明するための断面図が示される。図３（ａ）および（ｂ）はそれぞれ、本発明の除振台装置１の使用状況を示す正面図および平面図である。
【００２１】
本発明の除振台装置１は、図３（ａ），（ｂ）に示されるように除振対象物である例えば、ステッパー３が載置された板状のステッパー支持台４の下に直接または間接的に敷設され、ステッパー３（除振対象物）により発生された振動を除去するように、また、床からの振動をステッパー３に伝えないように用いられる。
【００２２】
除振台装置１は、通常、載置の安定性を考慮して３つ以上用いられ、好適な位置に適宜、配置される。
【００２３】
第１実施形態の説明
図１に示されるように除振台装置１は、除振対象物に直接または間接的に接する天井板１０を備える浮遊部（鉛直ベローズ７０の上側に連結されている一群の部材）と、この浮遊部と鉛直ベローズ７０を介して連結される固定部（鉛直ベローズ７０の下側に連結されている一群の部材）に大別される。鉛直ベローズ７０とは、図示のごとく主として鉛直方向の荷重を支えるように配置されているベローズをいう。
【００２４】
本実施形態における浮遊部は、鉛直ベローズ７０の上側部分（上側周縁フランジ部７１）と固定されている浮遊機能部２０を有している。
【００２５】
浮遊機能部２０は、天井板１０を支持する天面板２１と、天面板２１の下方に空間凹部Ｐを形成するように天面板２１から垂下する垂下体２５を備えている。天面板２１は天井板１０と固定されていてもよいし（図示の例）、わずかな接触面積で揺動可能に軸支するような組み合わせ形態としてもよい。
【００２６】
本実施形態では、天面板２１は略正四角形状であり、その周縁から４つの板状の垂下体２５が垂下するように形成されている。これにより空間凹部Ｐが形成される。
【００２７】
さらに、垂下体２５は、鉛直ベローズ７０の上側部分（上側周縁フランジ部７１）を固定するための周縁リング状のフランジ部２７を備えている。フランジ部２７の周縁には、リング状の溝２７ａが形成されており、この溝２７ａ内に鉛直ベローズ７０の上側周縁フランジ部７１が挿着され、固定リング２９により挟持・固定される。一方、鉛直ベローズ７０の下側周縁フランジ部７５は図示のごとく固定部の固定板４７，４９により挟持され固定されている。
【００２８】
固定部は前記鉛直ベローズ７０の中心軸方向に沿って上方に延出する上方延出体４１を備えている。この上方延出体４１は、図示のごとく前記浮遊機能部２０の空間凹部Ｐ内に入り込む凸部を形成するように構成されている。
【００２９】
本発明においては、前記垂下体２５がこの上方延出体４１に覆い被さるように組み合わされているとともに、これらの組み合わせにより、所定の隙間を開けて互いの面同士が対向する対向面が形成されている。そして、この対向面の隙間には、図示のごとく実質的に水平方向に作動するダイヤフラム８０が介在されている。すなわち、対向面の上方延出体４１側にダイヤフラム８０の周縁フランジ部８１が図示のごとく所定の固定部材により固定され、対向面の垂下体２５側にダイヤフラム８０の受圧面部８５が図示のごとく所定の固定部材により固定されている。
【００３０】
なお、上記の『実質的に水平方向に作動する』とは、ダイヤフラム８０が主として水平方向の荷重を支えるように作用できるように配置されているという意味である。ダイヤフラム８０は、その作用においてローリングアクションを行なう、いわゆるＢＦダイヤフラムであってもよいし、ローリングアクションを行なわない、いわゆる一般的なダイヤフラムであってもよい。
【００３１】
本発明においては、前記垂下体２５と前記上方延出体４１の少なくとも一方が鉛直ベローズ７０の中に入り込む関係に配置されていることが必要である。ダイヤフラム８０の受圧面部８５の水平中心位置（図面中、ラインＬ２で表示される）を、鉛直ベローズの水平中心位置（図面中、ラインＬ１で表示される）の近傍に設置させることを可能ならしめるためである。図１に示される実施の形態においては、垂下体２５と上方延出体４１のうち上方延出体４１のみが、鉛直ベローズ７０の中に入り込む関係に配置されている。このような関係より、ラインＬ２とラインＬ１とを近接させることができ、不要なモーメントの発生を防止でき、装置全体としてのローリング、ヨウイング、ピッチング等の発生を抑制することができる。また、装置の小型化、特に装置の高さを抑えることができ、装置全体の揺れレベルの低減に寄与することができる。
【００３２】
なお、除振対象物に直接または間接的に敷設される除振台装置１の個数および配置の仕方によっては（図３参照）、すべての除振台装置１にそれぞれダイヤフラム８０を４つ備える必要はなく、対向する位置に２個のみ配置（１対を鏡像関係に配置）するようにしてもよい。
【００３３】
本発明の実施形態において、固定部の基台４５にはダイヤフラム８０の数に対応するだけの空気室６１，６２が形成されており、各空気室６１，６２が水平方向の荷重を支えるダイヤフラムの作動空間Ｓ２，Ｓ２にそれぞれ連通孔を介して連通されている。空気室を設けることによって、内容積を大きくすることができ、バネ定数を小さくすることができ、結果として装置の固有振動数を小さくすることができる。
【００３４】
同様に、鉛直ベローズ７０の内部空間Ｓ１もまた、図示していないが、別途形成された空気室と連通されるよう構成されることが望ましい。前述したように空気室を設けることによって、内容積を大きくすることができ、バネ定数を小さくすることができ、結果として装置の固有振動数を小さくすることができる。
【００３５】
本発明において、図１に示されるように除振対象物に直接または間接的に接する天井板１０は、その天井板１０の周縁から垂下する囲い板１１を四方に備えている。符号１１ａは、鉛直ベローズ７０との接触を避けるために部分的に切り欠かれた逃がし窓を示している。囲い板１１の下部は、隙間Ｇが設けられており、固定部との接触がないようになっている。なお、囲い板１１は主に保護部材として機能しているが、必須の部材ではない。
【００３６】
本発明で用いる鉛直ベローズ７０は、例えば、半加硫のゴム成形体にポリエステルなどで形成された布（好ましくは所定形状にプレフォーミングされた布）をゴム成形体表面に押圧・埋設し、その後、加硫することによって製造することができる。
【００３７】
鉛直ベローズ７０は、相対向する１組のリング状のゴム製の対向面部と、対向面部の各外周縁部を相互に連接するように設けられたゴム製の湾曲側面壁部とを備えている。対向面部は、それぞれリング状の略平板形状をなし、中心部に開口部を備えるとともに、開口部の内周縁部の内側ないし外側にはフランジ部７１，７５が形成されている。鉛直ベローズ７０は、対向面部および湾曲側面壁部に連続した布が埋め込まれている。
【００３８】
このような鉛直ベローズ７０の厚さは、０．１５〜３．０ｍｍ、好ましくは０．２〜２．０ｍｍ、より好ましくは０．３〜１．５ｍｍとされる。この値が大きくなり過ぎると、膜の剛性が大きくなり、水平方向のバネ定数を小さくすることができなくなるという不都合が生じる。また、この値が０．１５ｍｍ未満となると、使用する基布（布）が薄くなるため、（１）耐圧性がなくなる、（２）膜厚に占める基布厚の割合が増加するため膜としてのシール性が低下する、（３）突起物に接触した時破損し易くなり耐久性に乏しくなるという問題が生じる。
【００３９】
このような鉛直ベローズ７０を上記のごとく浮遊部と固定部との間に介在させることによって、鉛直方向の荷重をうけることができ（鉛直ベローズ）、主として鉛直方向の除振効果を発現させることができる。
【００４０】
なお、鉛直ベローズ７０の湾曲側面壁部を形成する半径Ｒの大きさは、設計仕様に応じて適宜選定すればよい。半径Ｒの大きさが大きくなれば水平方向のバネ定数は小さくなるが、その反面、座屈を生じやすくなるとともに耐圧性が低下するためである。
【００４１】
また、垂下体２５と上方延出体４１との隙間に設けられるダイヤフラム８０は布入りゴム製で構成される。このものによって実質的に水平方向の荷重が支えられている。特に、ＢＦダイヤフラム８０は、水平方向の荷重を受けることによって、いわゆる折り返し部（図面上、湾曲で描かれている）がローリング移動できるようになっている。ＢＦダイヤフラム８０は、有底円筒形状のものであって、折り返し装着により、折り返し部（Ｃｏｎｖｏｌｕｔｉｏｎ）を持ち、作動中にその有効受圧面積が一定不変に保たれる円筒形の布入りゴム部材である。
【００４２】
本発明の実施の形態において、ダイヤフラム８０の周縁を固定するリング状突起部材４４によっていわゆるシリンダ相当部が形成され、ダイヤフラム８０の中央を固定する円柱部材４５によっていわゆるピストン相当部が形成されている。
【００４３】
ダイヤフラム８０は、極めて薄く設計され（例えば、０．２５〜０．９ｍｍ程度の厚さ）構成的には強力なポリエステル布等の上にゴムを被覆したものである。なお、水平方向のアクチュエータは、上述したようにＢＦダイヤフラムに限らず、一般的なローリングアクションをしないダイアフラムでもよい。
【００４４】
第２実施形態の説明
次に、図２に示される第２実施形態について説明する。
【００４５】
図２に示される第２実施形態が前述した第１実施形態と異なる点は、垂下体２５と上方延出体４１の双方が、それぞれ、鉛直ベローズ７０の中に入り込む関係に配置されており、かつ、これらの対向面の隙間に設置されるダイヤフラム８０の受圧面部の水平中心位置（ラインＬ２で表示される）が、鉛直ベローズ内に存在するように構成されている点である。特に、図２に示されるごとくダイヤフラム８０の受圧面部の水平中心位置（ラインＬ２で表示される）と、鉛直ベローズの水平中心位置（ラインＬ１で表示される）とが実質的に一致してなるように構成することが好ましい。実質的に一致とは、±１０ｍｍ程度のずれ範囲内をも含む趣旨である。このような構成とすることにより、不要なモーメントの発生をより一層確実に防止することができ、装置全体としてのローリング、ヨウイング、ピッチング等の発生を抑制することができる。また、装置の小型化、特に装置の高さをより一層抑えることができ、装置全体の揺れレベルの低減に寄与することができる。
【００４６】
なお、図示していないが、第１実施形態および第２実施形態とは異なる他の実施形態として、垂下体２５のみが鉛直ベローズ７０の中に入り込む関係に配置され形態を採用してもよい。この場合、図１におけるラインＬ２の位置が、ラインＬ１の位置よりも下側に存在するように構成される。
【００４７】
また、上述してきた実施形態の凹凸関係を上下の部材で入れ替えるように構成しても、同様な作用効果を得ることが可能となる。すなわち、図示していないが、クレーム１１で示される態様である。つまり、（１）固定部に形成される上方延出体を空間凹部を形成するように構成する。（２）天面板の下方に上方延出体の空間凹部内に入り込む凸部を形成するように垂下する垂下体を構成する。（３）垂下体は、鉛直ベローズの上側を固定するためのフランジ部を備えるよう構成する。（４）上方延出体は垂下体に覆い被さるように組み合わされているとともに、所定の隙間を開けて対向面が形成されるように構成する。（５）対向面の上方延出体側にダイヤフラムの周縁フランジ部を固定し、対向面の垂下体側にダイヤフラムの受圧面部を固定するように構成する。
【００４８】
なお、前述したように除振対象物に直接または間接的に敷設される除振台装置１の個数および配置の仕方によっては、すべての除振台装置１にそれぞれダイヤフラム８０を４つ備える必要はなく、対向する位置に２個のみ配置するようにしてもよい。
【００４９】
【発明の効果】
本発明は、除振対象物に直接または間接的に敷設され、除振対象物の除振を行う除振台装置であって、該除振台装置は、除振対象物に直接または間接的に接する天井板を備える浮遊部と、この浮遊部と鉛直ベローズを介して連結される固定部を有し、前記浮遊部は、実質的に鉛直ベローズの上側部分と固定される浮遊機能部を有し、当該浮遊機能部は垂下する垂下体を備え、前記固定部は前記鉛直ベローズの中心軸方向に沿って上方に延出する上方延出体を備え、前記垂下体と前記上方延出体とは、所定の隙間を開けて対向面を形成できるようにいずれか一方が覆い被さるように組み合わされているとともに、前記垂下体と前記上方延出体の少なくとも一方が鉛直ベローズの中に入り込む関係に配置されており、前記垂下体と前記上方延出体とが対向する前記対向面の隙間には、実質的に水平方向に作動するダイヤフラムが介在されているように構成されている。従って、ローリング、ヨウイング、ピッチング等の発生を抑制しつつ、固有振動数を小さくすることができ（特に水平方向）、鉛直方向および水平方向のいずれにも極めて優れた除振性能を発現することができる。さらには、装置の小型化（特に、高さ方向のコンパクト化）を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の除振台装置の第１実施形態を示す概略正面断面図である。
【図２】本発明の除振台装置の第２実施形態を示す概略正面断面図である。
【図３】（ａ）は、除振対象物であるステッパーが載置された板状のステッパー支持台の下に、直接または間接的に除振台装置が敷設された状態を示す正面図であり、（ｂ）は（ａ）の平面図である。
【符号の説明】
１…除振台装置
１０…天井板
２０…浮遊機能部
２１…天面板
２５…垂下体
４１…上方延出体
７０…鉛直ベローズ
８０…ダイヤフラム
【図１】
2004183762.tif 000003
【図２】
2004183762.tif 000004
【図３】
2004183762.tif 000005