(57)【要約】【課題】アクチュエータユニットの活性部に含まれる電極間の静電容量およびアクチュエータユニットを駆動するのに必要な駆動電圧を最適化する。【解決手段】インクジェットヘッド１の製造時において、流路ユニット７とアクチュエータユニット６とを、流路ユニット７を形成する材料の線膨張係数とアクチュエータユニット６を形成する材料の線膨張係数との差に基づいて、両者が接合された後でそれらの温度が使用温度に戻ったときにアクチュエータユニット６に付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさでなるような硬化温度を有する熱硬化性接着剤を介して接合する。【選択図】            図５
2004160915.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端を吐出口に、他端を液体供給源にそれぞれ接続された圧力室が配置された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるために変形可能であって電極間に圧電シートが挟まれてなる活性部を有するアクチュエータユニットとが、前記圧力室と前記活性部とを対向させて接合された液滴噴射装置において、
前記アクチュエータユニットには、それと流路ユニットとの接合面に実質的に平行な方向に−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさの応力が付加されていることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項２】
一端を吐出口に、他端を液体供給源にそれぞれ接続された圧力室が配置された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるために変形可能であって電極間に圧電シートが挟まれてなる活性部を有するアクチュエータユニットとが、前記圧力室と前記活性部とを対向させて熱硬化型接着剤によって接合された液滴噴射装置の製造方法において、
前記熱硬化型接着剤として、前記流路ユニットとの接合面に実質的に平行な方向に使用温度下において前記アクチュエータユニットに付加される応力が前記流路ユニットの線膨張係数と前記アクチュエータユニットの線膨張係数との差に応じて−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲となるような硬化温度を有するものを用いることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばインクジェットプリンタにおいてインク室に収容されたインクに圧力が付与されることによりインクを噴射するインクジェットヘッドなどの液滴噴射装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットヘッドとしては、インクが収容された複数の圧力室を有する流路ユニット（キャビティプレート）と、流路ユニットの圧力室に収容されたインクに圧力を付与するアクチュエータユニット（圧電アクチュエータ）とが積層されたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
流路ユニットは、４２％ニッケル合金鋼板（４２合金）製の複数の金属板が積層された構造であって、インクを噴射するノズルおよびノズルに連通する圧力室を備えている。アクチュエータユニットは、セラミックス製の複数の圧電シートが積層された構造であって、流路ユニットの圧力室上に重なるように接着剤または接着シートを介して接合されている。
【０００４】
また、アクチュエータユニットには、流路ユニットの圧力室に対応する位置に配置された個別電極と、常にグランド電位に保持されている共通電極（コモン電極）とを有しており、個別電極と共通電極とによって挟まれた圧電シートの当該挟まれた領域は予めこれら電極によって電界が印加されることによって積層方向に分極した活性部となっている。ここで、個別電極に対して駆動パルス信号が与えられると、アクチュエータユニットの活性部に対応した部分により圧力室の容積が変化させられることによって、圧力室内に充填されたインクに噴射圧力が付与されてノズルからインクが噴射される。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−２３４１７１号公報（図３）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、アクチュエータユニットの活性部に含まれる電極間の静電容量が大きい場合またはアクチュエータユニットを駆動するのに必要な駆動電圧が大きい場合には、アクチュエータユニットを駆動するドライバ回路の消費電力（駆動電圧の２乗と静電容量の積に比例する）が大きくなり、発熱量が著しく大きくなって、加熱故障が発生し易くなる。そのため、ドライバとして比較的高価なものを使用しなければならなくなって、インクジェットヘッドの電気系統コストが高くなってしまう。ここで、アクチュエータユニットの活性部に含まれる電極間の静電容量は、電極の面積を小さくすると小さくなるが、そうすると、所定量の変位を得るために必要な駆動電圧が高くなる。つまり、静電容量とアクチュエータユニットを駆動するのに必要な駆動電圧との間には、一方が小さくなると他方が大きくなるという関係があるため、かかる問題を解消するためには、両者の大きさについてバランスがとれていることが望ましい。
【０００７】
本発明は、アクチュエータユニットの活性部に含まれる電極間の静電容量およびアクチュエータユニットを駆動するのに必要な駆動電圧が最適化された液滴噴射装置およびその製造方法を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者は、上記目的を達成するための研究を続けた結果、アクチュエータユニットに付加される応力の大きさを適正に設定することによって、アクチュエータユニットの活性部に含まれる電極間の静電容量およびアクチュエータユニットを駆動するのに必要な駆動電圧を最適化することができることを見出した。すなわち、請求項１の液滴噴射装置は、一端を吐出口に、他端を液体供給源にそれぞれ接続された圧力室が配置された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるために変形可能であって電極間に圧電シートが挟まれてなる活性部を有するアクチュエータユニットとが、前記圧力室と前記活性部とを対向させて接合された液滴噴射装置において、前記アクチュエータユニットには、それと流路ユニットとの接合面に実質的に平行な方向に−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさの応力が付加されていることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項１によると、アクチュエータユニットに付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさであるので、アクチュエータユニットの活性部に含まれる電極間の静電容量およびアクチュエータユニットを駆動するのに必要な駆動電圧のいずれもが比較的小さくなって、両者の値が最適化される。従って、アクチュエータユニットを駆動するドライバ回路での消費電力および発熱量を低減できるようになって、ドライバ回路の加熱故障を抑制できる。その結果、ドライバ回路として比較的安価なものを使用することが可能となる。また、上述のとおり、ドライバ回路で発生する熱量が少なくなるので、この熱量を放熱するための大きなヒートシンクを液滴噴射装置に取り付ける必要がなくなって、液滴噴射装置が大型化するのを防止することができる。
【００１０】
また、請求項２の液滴噴射装置の製造方法は、一端を吐出口に、他端を液体供給源にそれぞれ接続された圧力室が配置された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるために変形可能であって電極間に圧電シートが挟まれてなる活性部を有するアクチュエータユニットとが、前記圧力室と前記活性部とを対向させて熱硬化型接着剤によって接合された液滴噴射装置の製造方法において、前記熱硬化型接着剤として、前記流路ユニットとの接合面に実質的に平行な方向に使用温度下において前記アクチュエータユニットに付加される応力が前記流路ユニットの線膨張係数と前記アクチュエータユニットの線膨張係数との差に応じて−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲となるような硬化温度を有するものを用いることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項２によると、流路ユニットとアクチュエータユニットとが、流路ユニットを形成する材料の線膨張係数とアクチュエータユニットを形成する材料の線膨張係数との差に基づいて、アクチュエータユニットに付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさになるように、熱硬化性接着剤の種類および硬化温度を設定することによって、使用温度下におけるアクチュエータユニットに付加される応力の最適化が可能となるため、流路ユニットおよびアクチュエータユニットをそれぞれ形成する材料の選択の自由度が大きくなる。
【００１２】
なお、請求項１、２において、「アクチュエータユニットに付加される応力」とは、アクチュエータユニットと流路ユニットとの接合面に実質的に平行な方向である。また、「使用温度」とは、液滴噴射装置、例えばインクジェットヘッドで紙面などに印刷を行うときの通常の環境温度である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の好適な実施の形態を説明する。
【００１４】
本発明の実施の形態に係る液滴噴射装置であるインクジェットヘッドについて説明する。図１は、そのインクジェットヘッドの分解斜視図である。図１に示すように、本実施の形態による圧電式のインクジェットヘッド１は、ほぼ直方体の流路ユニット７上にこれとほぼ同形状のアクチュエータユニット６が積層され、アクチュエータユニット６上に外部回路との接続のためのフレキシブルフラットケーブル又はフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）５が貼付されたものである。インクジェットヘッド１は、流路ユニット７の下面側に開口したノズル９（図２及び図３参照）から下向きにインクを噴射する。
【００１５】
アクチュエータユニット６の上面には、ＦＰＣ５との電気的接続のために用いられる多数の表面電極３が設けられている。また、流路ユニット７の上面には、上方に開口した多数の圧力室（インク収容室）１０が設けられている。また、流路ユニット７の長手方向についての一端部近傍には、後述するマニホールド流路１５（図３参照）にそれぞれ連通した一対の供給孔４ａ、４ｂが穿設されている。供給孔４ａ、４ｂは、インクカートリッジ（図示せず）から供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ２で覆われている。
【００１６】
次に、インクジェットヘッド１の詳細な構造について図２及び図３をさらに参照して説明する。図２は、図１に示すインクジェットヘッドをその長手方向に沿って切断した部分断面図である。図３は、図１に示すインクジェットヘッドをその幅方向に沿って切断した部分断面図である。なお、図２及び図３において、アクチュエータユニット６上のＦＰＣ５の図示を省略している。
【００１７】
流路ユニット７は、金属材料、例えば４２％ニッケル合金鋼（以下、「４２合金」と称する）からなる薄板状の３枚のプレート（キャビティプレート７ａ、スペーサプレート７ｂ、マニホールドプレート７ｃ）と、インクを噴射するノズル９を備えたポリイミド等の合成樹脂製のノズルプレート７ｄとが積層されることによって構成されている。最上部のキャビティプレート７ａは、アクチュエータユニット６に接している。
【００１８】
キャビティプレート７ａの表面には、アクチュエータユニット６の動作により選択的に噴射されるインクを収容する複数の圧力室１０が長手方向に沿って２列に形成されている。複数の圧力室１０は、隔壁１０ａによって相互に隔てられ、その長手方向を平行に並べて配列されている。マニホールドプレート７ｃには、インクを圧力室１０に供給するマニホールド流路１５が複数の圧力室１０がなす列の下方においてその列方向に長く形成されている。また、マニホールド流路１５の一端は、図１に示した一対の供給孔４ａ、４ｂのいずれか一方を介して図示されないインク供給源に接続されている。
【００１９】
圧力室１０の一端は、スペーサプレート７ｂの連通孔１２を介してマニホールド流路１５に連通し、他端は、スペーサプレート７ｂおよびマニホールドプレート７ｃの連通孔１１、１３を介してノズル９に連通している。このようにして、マニホールド流路１５から連通孔１２、圧力室１０、連通孔１１、連通孔１３を経てノズル９に至るインク流路が形成されている。
【００２０】
アクチュエータユニット６においては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のセラミックス材料からなる６枚の圧電セラミックスプレート６ａ〜６ｆが積層されている。そして、圧電セラミックスプレート６ｂと圧電セラミックスプレート６ｃとの間、及び、圧電セラミックスプレート６ｄと圧電セラミックスプレート６ｅとの間にはそれぞれ共通電極２１、２３が、流路ユニット７の圧力室１０に対応した範囲内のみに配置されている。なお、共通電極２１、２３は、各圧電セラミックスプレートのほぼ全範囲を覆う広範囲にわたって配置されてもよい。一方、圧電セラミックスプレート６ｃと圧電セラミックスプレート６ｄとの間、及び、圧電セラミックスプレート６ｅと圧電セラミックスプレート６ｆとの間にはそれぞれ個別電極２２、２４が、流路ユニット７の圧力室１０に対応した範囲内にのみ配置されている。共通電極２１、２３および個別電極２２、２４は、アクチュエータユニット６の上面に設けた多数の表面電極３に接続されている。
【００２１】
共通電極２１、２３は常にグランド電位に保持されている。一方、個別電極２２、２４には駆動パルス信号が与えられる。共通電極２１、２３と個別電極２２、２４とによって挟まれた圧電セラミックスプレート６ｃ〜６ｅの当該挟まれた領域は予めこれら電極によって電界が印加されることによって積層方向に分極した活性部２５となっている。活性部２５は、平面視で圧力室１０と同じ方向に延びており且つ圧力室１０内に収まる矩形形状を有している。このように、本実施の形態において、アクチュエータユニット６には圧電セラミックスプレート６ａ〜６ｆの面方向に対して実質的に垂直な方向（圧電セラミックスプレート６ａ〜６ｆの積層方向）に変形可能な複数の活性部２５が形成されている。
【００２２】
個別電極２２、２４の電位が正の所定電位になると、圧電セラミックスプレート６ｃ〜６ｅの活性部２５は電界が印加されて積層方向に伸びようとする。ところが、圧電セラミックスプレート６ａ、６ｂにはこのような現象が現れないので、アクチュエータユニット６の活性部２５に対応した部分は、全体として圧力室１０側に伸びるように膨らむ。すると圧力室１０の容積が小さくなるので、圧力室１０内に充填されたインクに噴射圧力が付与されてノズル９からインクが噴射される。
【００２３】
図２に示された２つの圧力室１０のうち左側は、このように正の所定電位が与えられて圧力室１０側に伸びたアクチュエータユニット６によって圧力室１０の容積が縮小することで、当該圧力室１０に連通したノズル９からインクが噴射されようとする様子を描いたものである。また、右側は、駆動パルス信号が共通電極２１、２３の電位と同じくグランド電位に保持されているために、圧力室１０に連通したノズル９からインクが噴射されない様子を描いたものである。
【００２４】
なお、常態において、全圧力室１０に対応する個別電極２２、２４に電界を印加して、全圧力室１０を図２の左側のように縮小しておいて、インクを噴射しようとする圧力室１０に対応する個別電極２２、２４のみ電界を解除して図２の右側のように圧力室１０を拡大し、その後再びその個別電極２２、２４に電界を印加して圧力室１０内のインクに圧力を付与する（いわゆる引き打ち）ことによって、インクを噴射することもできる。
【００２５】
次に、本実施の形態のインクジェットヘッド１の製造方法についてその工程図である図４を参照しつつ説明する。図１〜図３で説明したようなインクジェットヘッド１を製造するには、流路ユニット７及びアクチュエータユニット６などの部品を別々に作製し、それから各部品を組み付ける。
【００２６】
流路ユニット７を作製するには、図２に描かれた４枚のプレート７ａ〜７ｄをそれぞれ独立して作製した後に、これらが位置合わせされて積層された状態で熱硬化性接着剤を用いてこれらを互いに接着する。なお、プレート７ａ〜７ｃに圧力室１０や連通孔１１などを形成するのにはエッチング加工が用いられ、プレート７ｄにノズル９を形成するのにはレーザ加工が用いられる（ステップＳ１）。
【００２７】
一方、アクチュエータユニット６を作製するには、まず、個別電極２２、２４が導電性ペーストでそれぞれスクリーン印刷された圧電セラミックスのグリーンシート２枚と、共通電極２１、２３が導電性ペーストでそれぞれスクリーン印刷された圧電セラミックスのグリーンシート２枚とを交互に積層し、さらにその上に、何も印刷されていない圧電セラミックスのグリーンシート１枚と、表面電極３が導電性ペーストでスクリーン印刷された圧電セラミックスのグリーンシート１枚とを順次積層する（ステップＳ２）。これによって、アクチュエータユニット６となる電極複合体が得られる。
【００２８】
そして、ステップＳ２で得られた電極複合体を公知のセラミックスと同様に脱脂し、所定の温度で焼成する（ステップＳ３）。これにより、上述したようなアクチュエータユニット６を比較的容易に作製することができる。なお、アクチュエータユニット６は、予め焼成による収縮量を見込んで設計される。
【００２９】
このように、流路ユニット７とアクチュエータユニット６とをそれぞれ別々に作製した後で、両者が熱硬化性接着剤によって貼り合わされる（ステップＳ４）。しかる後、アクチュエータユニット６と別途用意されたＦＰＣ５とが表面電極３とこれに対応するＦＰＣ５上の電極とがそれぞれ重なるように半田を用いて貼り合わされる（ステップＳ５）。以上の工程を経ることによって、インクジェットヘッド１が完成する。
【００３０】
上記ステップＳ４において、流路ユニット７とアクチュエータユニット６とを貼り合わせるとき、流路ユニット７の線膨張係数（ノズルプレート７ｄを除くプレート７ａ〜７ｃを形成する材料の線膨張係数）と、アクチュエータユニット６の線膨張係数（圧電セラミックスプレート６ａ〜６ｆを形成する材料の線膨張係数）との差に基づいて、アクチュエータユニット６に付加される応力が所定範囲の大きさになるように、両者を貼り合わせるときの接合温度、つまり、熱硬化性接着剤の硬化温度が決定されている。具体的には、上記接合温度は、エポキシ系接着剤を用いて１２０℃である。
【００３１】
なお、本実施の形態においては、アクチュエータユニット６に付加される応力は、アクチュエータユニット６と流路ユニット７との接合面に実質的に平行な方向であり且つアクチュエータユニット６の長手方向（インクジェットヘッド１の長手方向；図２では左右方向）に沿った方向の応力を意味している。これは、アクチュエータユニット６の長手方向が短手方向よりも著しく大きいので、膨張、収縮量が大きくなるためである。以下の説明において、アクチュエータユニット６の長手方向外側に向かう方向を正とし、アクチュエータユニット６の長手方向内側に向かう方向を負として表されている。従って、アクチュエータユニット６に正の応力が付加されている場合には、アクチュエータユニット６にはその長手方向の引張応力が作用しており、アクチュエータユニット６に負の応力が付加されている場合には、アクチュエータユニット６にはその長手方向の圧縮応力が作用していることになる。
【００３２】
ここで、流路ユニット７の線膨張係数がアクチュエータユニット６の線膨張係数よりも大きい場合には、両者が上記接合温度において貼り合わされる際に、流路ユニット７がアクチュエータユニット６と比較して伸長した状態で貼り合わされる。従って、両者が上記接合温度において貼り合わされた後で常温（使用温度）に戻ると、流路ユニット７がアクチュエータユニット６と比較してより収縮するため、アクチュエータユニット６には圧縮応力が生じる。一方、流路ユニット７の線膨張係数がアクチュエータユニット６の線膨張係数よりも小さい場合に、上述とは反対に、アクチュエータユニット６には引張応力が生じる。なお、本実施の形態では、上述の応力の所定範囲の大きさとは、後で詳述するように、−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさである。
【００３３】
上記のように、アクチュエータユニット６に付加される応力と、アクチュエータユニット６の活性部に含まれる電極間の静電容量および活性部が所定量変位するのに必要な駆動電圧との関係を調べるための行われた実験結果について、表１および図５を参照して説明する。
【００３４】
表１は、アクチュエータユニット６に付加される応力を７つの値に変化させた場合におけるアクチュエータユニット６の活性部に含まれる電極間の静電容量およびアクチュエータユニット６を駆動するのに必要な駆動電圧の測定結果を示している。
【００３５】
【表１】
2004160915.tif 000003
【００３６】
そして、上記の測定結果をグラフに表すと、図５（ａ）および図５（ｂ）が得られる。図５（ａ）は、アクチュエータユニットに付加される応力とアクチュエータユニットの活性部に含まれる電極間の静電容量との関係を示すグラフである。図５（ｂ）は、アクチュエータユニットに付加される応力とアクチュエータユニットを駆動するのに必要な駆動電圧との関係を示すグラフである。
【００３７】
図５（ａ）からは、アクチュエータユニット６に付加される応力が大きくなると、アクチュエータユニット６の活性部に含まれる電極間の静電容量も大きくなることが分かる。そして、アクチュエータユニット６に付加される応力が−５０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさである場合には、上記応力の増加量に対する上記静電容量の増加量の割合は比較的小さいことが分かる。これに対して、アクチュエータユニット６に付加される応力が１０ＭＰａを超える範囲の大きさである場合には、上記応力の増加量に対する上記静電容量の増加量の割合が著しく大きくなることが分かる。
【００３８】
また、図５（ｂ）からは、アクチュエータユニット６に付加される応力が大きくなると、活性部が所定量変位するのに必要な駆動電圧は小さくなることが分かる。そして、アクチュエータユニット６に付加される応力が−５０ＭＰａ〜−４０ＭＰａの範囲の大きさである場合には、上記応力の増加量に対する上記駆動電圧の減少量の割合が著しく大きいことが分かる。これに対して、アクチュエータユニット６に付加される応力が−４０ＭＰａを超える範囲の大きさである場合には、上記応力の増加量に対する上記駆動電圧の減少量の割合が比較的小さくなることが分かる。
【００３９】
このように、図５（ａ）および図５（ｂ）に示す実験結果を考慮すると、アクチュエータユニット６に付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさである場合に、上記応力の増加量に対する上記静電容量の増加量の割合および上記駆動電圧の減少量の割合のいずれもが比較的小さくなっている。従って、製造時のばらつき等があっても、安定した動作が実現できる。また、静電容量が大きくなると、アクチュエータユニット６に印可する駆動電圧の立ち上がり及び立ち下がりの傾斜が緩やかになって所定の動作が得られなくなるが、この問題も解消できる。さらに、駆動電圧または静電容量のいずれかが大きくなっても、ドライバ回路の仕様を上げなければならずコストが高くなるが、この問題も解消できる。その結果、アクチュエータユニット６の活性部に含まれる電極間の静電容量およびアクチュエータユニット６を駆動するのに必要な駆動電圧のいずれもが比較的小さくなって、両者の値が最適化されることが分かる。
【００４０】
従って、アクチュエータユニット６の活性部に含まれる電極間の静電容量およびアクチュエータユニット６を駆動するのに必要な駆動電圧を最適化するためには、アクチュエータユニット６に付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさになるように、インクジェットヘッド１を作製すればよいことになる。ここで、アクチュエータユニット６に付加される応力は、上述したように、流路ユニット７の線膨張係数と、アクチュエータユニット６の線膨張係数と、流路ユニット７とアクチュエータユニット６との貼り合わせ時の接合温度とによって変化する。
【００４１】
表２は、流路ユニット７の線膨張係数とアクチュエータユニット６の線膨張係数との差（以下、単に「線膨張係数差」と称する）および上記接合温度の組み合わせを変更した場合に、流路ユニット７とアクチュエータユニット６とが上記接合温度において接合された後で使用温度（ほぼ常温）に戻ったときのアクチュエータユニット６に付加される応力がどのように変化するかのシュミレーション結果を示している。
【００４２】
なお、表２の最左端列に記載されている線膨張係数差は、流路ユニット７の線膨張係数からアクチュエータユニット６の線膨張係数を差し引くことによって求められる値であって、最上段行に記載されている温度は、流路ユニット７とアクチュエータユニット６との貼り合わせ時の接合温度を示している。
【００４３】
ここで、上述のシュミレーションは、アクチュエータユニット６が、厚さ３０μｍの圧電セラミックスプレートが１０層に積層されており全体として厚さ３００μｍであり、それに含まれる活性部長さ（活性長）が１．８ｍｍであって、流路ユニット７の厚さ（ノズルプレート７ｄを除く全体の厚さ）が５００μｍであるインクジェットヘッド１について行ったものである。また、本シュミレーションは、インクジェットヘッド１が、常温２５℃の使用温度下で使用される場合についてのものである。
【００４４】
【表２】
2004160915.tif 000004
【００４５】
表２からは、上記線膨張係数差がそれぞれの値である場合に、上記接合温度がどの範囲の大きさであれば、アクチュエータユニット６に付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさになる（表２で太線で囲んだ部分）かが分かる。そこで、上記線膨張係数差と、その線膨張係数差においてアクチュエータユニット６に付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさになる場合の上記接合温度の最高値（以下、「最高接合温度」と称する）との関係をまとめると、表３のようになる。
【００４６】
【表３】
2004160915.tif 000005
【００４７】
表３からは、線膨張係数差の絶対値が０近傍において最高接合温度が最大となって、線膨張係数差の絶対値が大きくなると最高接合温度が低くなることがわかる。
【００４８】
ここで、上述の結果に基づいて、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のセラミックス製の複数の圧電シートから構成されるアクチュエータユニット６に対して、流路ユニット７を構成する金属板の材料を変更した場合に、アクチュエータユニット６に付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさになるようにするためには、上記接合温度を何度にすればよいか、すなわち、何度の硬化温度を有する熱硬化性接着剤によって流路ユニット７とアクチュエータユニット６とを接合すればよいかについて考える。
【００４９】
【表４】
2004160915.tif 000006
【００５０】
表４には、アクチュエータユニット６の材料であるＰＺＴの線膨張係数、流路ユニット７の材料であるＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３０４、４２合金の線膨張係数が示されている。また、流路ユニット７の材料としてＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３０４、４２合金が用いられた場合のそれぞれの線膨張係数とＰＺＴの線膨張係数との線膨張係数差が算出されている。そして、この線膨張係数差の場合の最高接合温度が、表３を参照して求められている。
【００５１】
従って、例えば、アクチュエータユニット６がＰＺＴにより形成されており、流路ユニット７がＳＵＳ４３０により形成されている場合には、１２０℃以下の硬化温度を有する熱硬化性接着剤が選定され、アクチュエータユニット６と流路ユニット７とが接合されれば、使用温度下においてアクチュエータユニット６に付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさになる。
【００５２】
以上、本実施の形態のインクジェットヘッド１においては、流路ユニット７とアクチュエータユニット６とが、流路ユニット７を形成する材料の線膨張係数とアクチュエータユニット６を形成する材料の線膨張係数との差に基づいて、アクチュエータユニット６に付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさになるような硬化温度を有する熱硬化性接着剤を介して接合されるため、アクチュエータユニット６の活性部に含まれる電極間の静電容量およびアクチュエータユニット６を駆動するのに必要な駆動電圧のいずれもが比較的小さくなって、両者の値が最適化される。従って、アクチュエータユニット６のドライバ回路の消費電力および発熱量を低減できるようになって、ドライバ回路の加熱故障を抑制できる。その結果、ドライバ回路として比較的安価なものを使用することが可能となる。また、上述のとおり、ドライバ回路で発生する熱量が少なくなるので、この熱量を放熱するための大きなヒートシンクを取り付ける必要がなくなって、インクジェットヘッド１を支持するキャリッジが大型化することによってキャリッジの移動に支障をきたすのを防止することができる。また、接合温度、すなわち、熱硬化性接着剤の種類を変更することによって、流路ユニット７とアクチュエータユニット６とが接合された後におけるアクチュエータユニット６に付加される応力の最適化が可能となるため、流路ユニット７およびアクチュエータユニット６をそれぞれ形成する材料の選択の自由度が大きくなる。
【００５３】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、上述の実施の形態では、アクチュエータユニット６の材料としてＰＺＴが用いられると共に、流路ユニット７の材料としてＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３０４および４２合金のいずれかが用いられる場合に、アクチュエータユニット６に付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさになる最高接合温度について具体的に説明しているが、アクチュエータユニット６の材料および流路ユニット７の材料はこれらに限られず、アクチュエータユニット６に付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさになる接合温度が存在する範囲において、それらの材料の組み合わせは任意に変更することが可能である。
【００５４】
また、上述の実施の形態では、インクの液滴を噴射するインクジェットヘッド１について説明しているが、これに限らず、インクジェットヘッド１と同様の構造であって、液滴を噴射可能な液滴噴射装置であれば、どのようなものであってもよい。
【００５５】
【発明の効果】
請求項１によると、アクチュエータユニットに付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさであるので、アクチュエータユニットの活性部に含まれる電極間の静電容量およびアクチュエータユニットを駆動するのに必要な駆動電圧のいずれもが比較的小さくなって、両者の値が最適化される。従って、アクチュエータユニットを駆動するドライバ回路での消費電力および発熱量を低減できるようになって、ドライバ回路の加熱故障を抑制できる。その結果、ドライバ回路として比較的安価なものを使用することが可能となる。また、上述のとおり、ドライバ回路で発生する熱量が少なくなるので、この熱量を放熱するための大きなヒートシンクを液滴噴射装置に取り付ける必要がなくなって、液滴噴射装置が大型化するのを防止することができる。
【００５６】
請求項２によると、流路ユニットとアクチュエータユニットとが、流路ユニットを形成する材料の線膨張係数とアクチュエータユニットを形成する材料の線膨張係数との差に基づいて、アクチュエータユニットに付加される応力が−４０ＭＰａ〜１０ＭＰａの範囲の大きさになるように、熱硬化性接着剤の種類および硬化温度を設定することによって、使用温度下におけるアクチュエータユニットに付加される応力の最適化が可能となるため、流路ユニットおよびアクチュエータユニットをそれぞれ形成する材料の選択の自由度が大きくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】図１に示すインクジェットヘッドをその長手方向に沿って切断した部分断面図である。
【図３】図１に示すインクジェットヘッドをその幅方向に沿って切断した部分断面図である。
【図４】図１のインクジェットヘッドの製造方法を示す工程図である。
【図５】アクチュエータユニットに付加される応力と、静電容量および駆動電圧との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１    インクジェットヘッド（液滴噴射装置）
５    ＦＰＣ
６    アクチュエータユニット
６ａ〜６ｆ    圧電セラミックスプレート（圧電シート）
７    流路ユニット
９    ノズル（吐出口）
１０    圧力室
１５    マニホールド流路（液体供給源）
２１、２３    共通電極（電極）
２２、２４    個別電極（電極）
２５    活性部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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