(57)【要約】【課題】ディスクに厚みむらや歪みがあっても良好にディスクを固定する。【解決手段】ディスク１００に厚さのむらや歪みなどがある場合、クランプ錘２５０のディスク当接部２５６はディスク当接部２５６に固定した球面滑軸受外輪部２５５共々、球面滑軸受外輪部２５５が球面滑軸受内輪部２５４に対して図中ｘを回転中心とする回転方向に摺動することにより、ディスク当接部２５６の下面がディスク１００の上面に沿って傾く。そして、このようにして、ディスク当接部２５６の下面とディスク１００上面との広い接触面積を確保することにより、クランプ錘２５０の重量によって、ディスク１００をクランプ本体２００に対して良好に固定する。【選択図】図３
2004171669.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動されるクランプ本体と、前記クランプ本体上に載置される中心孔を有するディスクの上面上に設置され、自身と前記クランプ本体との間に前記ディスクを固定するクランプ錘とを有するディスククランプであって、
前記クランプ本体は、
当該クランプ本体上に載置された前記ディスクの中心孔を貫通する軸部を有し、
前記クランプ錘は、
前記軸部と嵌合する嵌合部と、
前記嵌合部材に対して揺動または傾斜可能に前記嵌合部材に支持された、前記ディスクの上面に当接する当接面が設けられた当接部とを有することを特徴とするディスククランプ。
【請求項２】
請求項１記載のディスククランプであって、
前記勘合部は、外周側面が球面の部分を形成する球面軸受内輪部を有し、
前記当接部は、内周側面が球面の部分を形成する、前記球面軸受内輪部に摺接された球面軸受外輪部を有し、
前記球面軸受外輪部の球面軸受内輪部に対する摺動によって、前記当接部は前記嵌合部材に対して揺動することを特徴とするディスククランプ。
【請求項３】
回転駆動されるクランプ本体と、前記クランプ本体上に載置される中心孔を有するディスクの上面上に設置され、自身と前記クランプ本体との間に前記ディスクを固定するクランプ錘とを有するディスククランプであって、
前記クランプ本体は、
当該クランプ本体上に載置された前記ディスクの中心孔を貫通する軸部を有し、
前記クランプ錘は、前記軸部が挿入される空洞と、前記空洞の中心方向に向かって突起した複数の突起部とを有し、前記クランプ錘は、前記複数の突起部の先端で、前記空洞に挿入された前記軸部と嵌合することを特徴とするディスククランプ。
【請求項４】
回転駆動されるクランプ本体上に載置された中心孔を有するディスクを固定するディスククランプであって、
前記クランプ本体は、
当該クランプ本体上に載置された前記ディスクの中心孔を貫通する、中空の軸部と、
前記軸部の中空内に配置された、上方に向かって広がるテーパー部を有するテーパ部材と、
前記テーパ部材を上方に付勢する付勢部材と、
前記テーパ部材の下方への移動に伴い、前記テーパー部によって前記ディスクの外周方向に押し出され、前記載置されたディスクの内周側面に当接する、複数の芯出しピンとを有することを特徴とするディスククランプ。
【請求項５】
請求項４記載のディスククランプであって、
前記ディスクは２層構造を有し、
前記芯出しピンは、前記ディスクの下層の略中央高さで、前記載置されたディスクの内周側面に当接するよう配置されていることを特徴とするディスククランプ。
【請求項６】
請求項４または５記載のディスククランプであって、
前記テーパ部材は、当該テーパ部材の前記軸部に対する上下方向への移動を許容しつつ、当該テーパ部材の前記軸部に対する上下方向を回転軸の方向とする回転を抑止する回止部を有することを特徴とするディスククランプ。
【請求項７】
請求項４、５または６記載のディスククランプであって、
前記クランプ本体上に載置される中心孔を有するディスクの上面上に設置され、自身と前記クランプ本体との間に前記ディスクを固定する、前記軸部に嵌合するクランプ錘を有することを特徴とするディスククランプ。
【請求項８】
請求項１、２、３または７記載のディスククランプであって、
前記クランプ錘は、前記軸部に対する当該クランプ錘の回転を抑止する回止構造を有することを特徴とするディスククランプ。
【請求項９】
請求項１、２、３、４、５、６、７または８記載のディスククランプと、当該ディスククランプに固定され、前記クランプ本体と共に回転するディスクの機械的特性を測定する測定手段とを有することを特徴とするディスク検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスクその他のディスクが安定的に回転するようクランプするディスククランプに関するものであり、特にディスクの機械的諸特性を測定するディスク検査装置への適用に好適なディスククランプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ディスク検査装置に適用されるディスク固定装置としては、従来、たとえば、図７ａに示すようにスピンドルモータによって回転されるクランプ本体７１と、クランプ本体７１上に載置されたディスク１００を、その上から自重によって押さえるクランプ錘７２とより構成されるディスククランプが知られている。ここで、クランプ本体７１上部には、その回転中心に、上方に突起するように設けられた円柱状のボス部が設けられており、このボス部７１１がクランプ錘７２の中心に設けられた挿入孔に嵌挿されるように、クランプ錘７２はクランプ本体７１上に設置される。そして、これによりクランプ錘７２の中心が回転中心に一致するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記ディスククランプの技術によれば、図７ｂに示すように、ディスク１００に厚みむらや歪みがある場合などには、クランプ錘７２の下面の一部しかディスク１００上面に接しなくなるため、ディスク１００のクランプ本体７１への固定が不十分となる場合がある。また、このためにディスク１００の回転時に、クランプ錘７２やディスク１００がクランプ本体７１に対して回転、振動等してしまい、その影響によって、ディスク１００の機械的特性測定の精度が劣化してしまう場合がある。
【０００４】
そこで、本発明は、より安定的かつ適正にディスク固定することのできるディスククランプを提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記課題達成のために、本発明は、回転駆動されるクランプ本体と、前記クランプ本体上に載置される中心孔を有するディスクの上面上に設置され、自身と前記クランプ本体との間に前記ディスクを固定するクランプ錘とを有するディスククランプを、前記クランプ本体に、当該クランプ本体上に載置された前記ディスクの中心孔を貫通する軸部を設け、前記クランプ錘に、前記軸部と嵌合する嵌合部と、前記嵌合部材に対して揺動または傾斜可能に前記嵌合部材に支持された、前記ディスクの上面に当接する当接面が設けられた当接部とを設けて構成したものである。
このようなディスククランプによれば、ディスクに厚さのむらや歪みなどがある場合、当接部は、当接部の当接面がディスクの上面の傾きに沿うように、嵌合部に対して傾く。そして、このような傾きによって、当接面とディスク上面の広い接触面積を確保することによりディスクをクランプ本体に対して良好に固定することができるようになる。
ここで、このようなディスククランプは、たとえば、前記勘合部を、外周側面が球面の部分を形成する球面軸受内輪部を備えたものとし、前記当接部を、内周側面が球面の部分を形成する、前記球面軸受内輪部に摺接された球面軸受外輪部を備えたものとすることにより、前記球面軸受外輪部の球面軸受内輪部に対する摺動によって、前記当接部が前記嵌合部材に対して揺動するものとしても良い。
このようにすることにより、当接部を、少なくとも水平方向に関して軸部の中心（ディスクの中心）を回転中心として揺動させることができ、一方向に増減傾向を持つ厚さのむらや歪みに、より良好に対応することができるようになる。
また、前記課題達成のために、本発明は、回転駆動されるクランプ本体と、前記クランプ本体上に載置される中心孔を有するディスクの上面上に設置され、自身と前記クランプ本体との間に前記ディスクを固定するクランプ錘とを有するディスククランプを、前記クランプ本体に、当該クランプ本体上に載置された前記ディスクの中心孔を貫通する軸部を備え、前記クランプ錘に、前記軸部が挿入される空洞と、前記空洞の中心方向に向かって突起した複数の突起部とを備えて構成し、前記クランプ錘は、前記複数の突起部の先端で、前記空洞に挿入された前記軸部と嵌合するようにしたものである。
このようなディスククランプによれば、軸部とクランプ錘との接触は、突起部により形成されるために接触面積が極めて小さい。そして、このために、軸部とクランプ錘を広面で同じ公差をもって接触させる場合に比べ、比較的大きくクランプ錘は中空軸に対して傾くことができる。したがって、もし、ディスクに厚さのむらや歪みなどがある場合に、クランプ錘は、軸部に対してディスクに当接する面がディスクの上面に沿うように傾き、クランプ錘とディスク上面の、従来より広い接触面積を確保するようになる。そして、これにより、ディスクをクランプ本体に対して良好に固定することができるようになる。
また、さらに、本発明は、併せて、回転駆動されるクランプ本体上に載置された中心孔を有するディスクを固定するディスククランプであって、前記クランプ本体に、当該クランプ本体上に載置された前記ディスクの中心孔を貫通する中空の軸部と、前記軸部の中空内に配置された、上方に向かって広がるテーパー部を有するテーパ部材と、前記テーパ部材を上方に付勢する付勢部材と、前記テーパ部材の下方への移動に伴い、前記テーパー部によって前記ディスクの外周方向に押し出され、前記載置されたディスクの内周側面に当接する、複数の芯出しピンとを備えたディスククランプも提供する。
このようなディスククランプの前記テーパ部材と複数の芯出しピンによれば、上方よりテーパ部材に直接、または、適当な操作用レバーなどを介して押し下げることにより、複数の芯出しピンはディスクの外周方向に押し出され、その先端が小さい接触面積を持ってディスクの内周側面に当接し、各当接箇所において、ディスクの内周側面に外周側への力を加えることによりディスクの芯出しを行うので、ディスクの中心孔に部分的な歪みバリやなどがある場合にも、ディスクの適正な芯出しを実現することができる。また、テーパ部材を解放すれば、テーパ部材は上方に移動し、芯出しピンからディスクの内周側面へ力は加わらなくなるので、本ディスククランプをディスク検査装置に適用した場合などにおいて、この芯出しのための力がディスクの検査に悪影響を与えてしまうことがない。また、このように上方からテーパ部材を押し下げてディスクの芯出しを行う構成によれば、芯出しのための機構の構造を優れて簡略化することができる。
ここで、このようなディスククランプにおいては、ディスクが２層構造を有している場合には、前記芯出しピンは、前記ディスクの下層の略中央高さで、前記載置されたディスクの内周側面に当接するよう配置するのが良い。
このようにすることにより、ディスクの層の張り合わせにずれがあるような場合でも、下層を基準とした適正なディスクの芯出しを行うことができるようになる。
また、前記テーパ部材には、当該テーパ部材の前記軸部に対する上下方向の移動を許容しつつ、当該テーパ部材の前記軸部に対する上下方向の軸を回転軸とする回転を抑止する回止部を備え、回転駆動時にテーパ部材がクランプ本体に対して回転することに起因してセンタリング精度の劣化などの悪影響を与えないようにすることが好ましい。
また、このような芯出しピンを備えたディスククランプにおいては、前記クランプ本体上に載置される中心孔を有するディスクの上面上に設置され、自身と前記クランプ本体との間に前記ディスクを固定する、前記軸部に嵌合するクランプ錘を備えるようにしてもよい。
ここで、以上の各ディスククランプにおいては、前記クランプ錘に、前記軸部に対する当該クランプ錘の回転を抑止する回止構造を備えることが好ましい。
このように、クランプ錘が前記軸部に対して回転しないようにすることにより、高速な回転駆動時にも、クランプ錘がクランプ本体に対して回転してしまいディスクの位置ずれなどの悪影響を与えてしまったり、ディスクのクランプ本体に対する回転、振動その他の運動を誘因してしまうことを排除することができる。特に、前述したテーパ部材と芯出しピンによる芯出し機構によって、ディスクの芯出しを行い、ディスクにクランプ錘の自重以外の力を加えないようにする場合には、このようなクランプ錘のクランプ本体に対する回転抑止構造を採用することによって、ディスクに水平方向の力を加えてしまうことの悪影響を避けながら、ディスクの適正な芯出しと、ディスクの回転精度等の向上を図ることができるようになる。
さて、本発明は、これらのディスククランプを適用した、当該ディスククランプに固定され、前記クランプ本体と共に回転するディスクの機械的特性を測定する測定手段とを有するディスク検査装置も提供する。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
まず、第１の実施形態について説明する。
図１に、本実施形態に係るディスク検査装置１の構成を、ディスク１００が記録媒体の一つである光ディスクである場合を例にとり示す。
図示するように、ディスク検査装置１は、クランプ本体２００とクランプ錘２５０よりなるディスククランプ２、クランプ本体を回転するスピンドルモータ３、光ディスクであるところのディスク１００から信号を読み出すピックアップユニット４、ピックアップユニット４の出力する信号からサーボエラー信号などを検出するアンプ５、ピックアップユニット４のディスク径方向への移動を行うフィードモータ７を有している。また、ディスク検査装置１は、アンプ５が検出するエラー信号等に応じて、スピンドルモータ３やフィードモータ７やピックアップに内蔵されたファーカス機構を制御して、トラッキングサーボ制御やフォーカスサーボ制御や回転サーボ制御を行うサーボ制御部８を有している。そして、ディスク検査装置１は、ピックアップユニット４内の対物レンズのディスク径方向位置とディスク面と垂直な方向の位置を検出するピックアップ位置センサ９と、ピックアップ位置センサ９が検出した位置とアンプ５から出力されるサーボエラー信号とディスク１００の回転角などに応じて、ディスク１００の信号記録面の形状に関わる信号、データを取り込む計測信号処理部１０とを有する。また、ディスク検査装置１は、以上の各部を制御するシステムコントローラ１１と、ホスト装置１３とのシステムコントローラ１１や計測信号処理部１０との間の各種信号の入出力を制御するホストインタフェース１２とを有する。
【０００７】
そして、このような構成において、ホスト装置１３はホストインタフェース１２を介してシステムコントローラ１１に計測動作の開始を指示したり、計測信号処理部１０が算出したディスク１００の３次元形状データを読み込んで各種解析処理を行うことができるようになっている。
【０００８】
次に、このようなディスク検査装置１におけるディスククランプ２について説明する。
図２ａに、クランプ本体２００とクランプ錘２５０の断面を示す。
クランプ錘２５０は全体として中空円筒形状を有している。そして、図示するようにクランプ錘２５０は、固定フレーム２５１、固定フレーム２５１上部に固定された錘回転止プレート２５２、固定フレーム２５１に固定された内輪挟持部２５３、内輪挟持部２５３に固定された球面滑軸受内輪部２５４とを有し、これらはネジ止めなどにより一体化されている。また、クランプ錘２５０は、球面滑軸受内輪部２５４と摺接する球面軸受外輪部２５５と、球面軸受外輪部２５５に固定されたディスク当接部２５６とを有する。また、クランプ錘２５０の固定フレーム２５１には、ディスク当接部２５６上部に設けられた溝２５８に挿入された当接部回止ピン２５７が固定されている。
【０００９】
一方、クランプ本体２００は、中心穴を有するフレーム２０１、フレーム２０１上部に固定された中空円筒形状の中空軸２０２、中空軸２０２の内側に挿入されたプッシュレバー２０３、プッシュレバー２０３の下方に位置するように中空軸２０２の内側とフレーム２０１の中心穴に挿入されたテーパ部材２１０、フレーム２０１の中心穴の底に配置されたテーパ部材２１０を上方に付勢するテーパ用コイルバネ２０４、テーパ部材２１０の下方への移動に伴い外周方向に押し出される６つの芯出ピン２０５とを有している。そして、テーパ部材２１０には、中空軸２０２に設けた溝２０８に、挿入されたテーパ部材回止ピン２０６が固定されている。ここで、プッシュレバー２０３とテーパ部材２１０は連結されていない。これは、ユーザのプッシュレバー２０３の操作の非垂直方向の力などが直接加わって、テーパ部材２１０が偏心しないようにするためである。
【００１０】
さて、このようなクランプ錘２５０は、図２ｂに示すように、間にディスク１００を挟んだ状態でクランプ本体２００の上に、クランプ本体２００の中空軸２０２に載置される。
図２ｃは、図２ｂの状態を上方より表したものであり、図示するように中空軸２０２の上端には切り欠き２０７（図２ａ参照）が設けられており、この切り欠き２０７によって形成された平らな面に、クランプ錘２５０の錘回転止プレート２５２の内周側端のやはり平らな面が面接触の形態で当接することにより、クランプ錘２５０がクランプ本体２００に対して回転しないように回り止めされる。
【００１１】
次に、図２ｄは、図２ａの切断線Ａ−Ａによるクランプ本体２００の断面を模式的に表したものであり、図示するように、テーパ部材２１０に固定されたテーパ部材回止ピン２０６は、中空軸２０２に設けた溝２０８に挿入されており、これによりテーパ部材２１０が中空軸２０２に対して、したがって、クランプ本体２００に対して回転しないように回止めされている。
【００１２】
次に、図２ｅは、図２ａの切断線Ｂ−Ｂによるクランプ本体２００の断面を模式的に表したものであり、図示するように６個の芯出ピン２０５が、放射状に等角度間隔をもって配置されている。ただし、この芯出ピン２０５の数は、たとえば、図２ｆに示すように３つとしたりするなど、３つ以上の任意の数として良い。
【００１３】
そして、図２ｇは、図２ａの切断線Ｃ−Ｃによるクランプ錘２５０の断面を模式的に表したものであり、図示するように、クランプ錘２５０の固定フレーム２５１に固定された当接部回止ピン２５７が、ディスク当接部２５６上部に設けられた溝２５８に挿入されており、これにより、ディスク当接部２５６や球面軸受外輪部２５５が、固定フレーム２５１に対して、したがって、クランプ本体２００に対して回転しないように回止めされる。
【００１４】
さて、このような構成のディスククランプ２において、ディスク１００は図３ａに模式的に示すようにクランプ本体２００の上面とクランプ錘２５０のディスク当接部２５６の下面によって挟まれた状態において、クランプ錘２５０の自重によってクランプ本体２００に対して固定される。
【００１５】
そして、もし、ディスク１００に厚さのむらや歪みなどがある場合、図３ｂに示すように、クランプ錘２５０のディスク当接部２５６はディスク当接部２５６に固定した球面滑軸受外輪部２５５共々、球面滑軸受外輪部２５５が球面滑軸受内輪部２５４に対して図中ｘを回転中心とする回転方向に摺動することにより、ディスク当接部２５６の下面がディスク１００の上面に沿うように傾く。そして、このような傾きによって、ディスク当接部２５６の下面とディスク１００上面との広い接触面積を確保することによりディスク１００をクランプ本体２００に対して良好に固定する。
【００１６】
なお、クランプ錘２５０は、図３ｃに示すように構成し、ディスク当接部２５６がディスク１００の中心ｘを回転中止とする回転方向に動くように構成してもよい。このようにすることにより、ディスク１００の厚さのむらや歪みに、より整合する角度にディスク当接部２５６を傾けることができ、これにより、より良好にディスク１００を固定することができるようになる。
【００１７】
次に、図３ｄ、ｅは、クランプ本体２００の芯出ピン２０５によるディスク１００の芯出しの動作を模式的に示したものである。
図３ｄに示すようにクランプ本体２００にディスク１００を載置した状態において、オペレータが図３ｅに示すようにプッシュレバー２０３を押し下げると、テーパ部材２１０も押し下げられ、テーパ部材２１０の上方に向かって広がるテーパー部が芯出ピン２０５を外周方向に押し出す。押し出された各芯出ピン２０５は、載置されたディスク１００の内周側側面に当接してディスク１００の載置位置にずれがあれば、ディスク１００を移動し、ディスク１００中心をクランプ本体２００の回転中心に一致させる。この後、オペレータがプッシュレバー２０３を解放すると、テーパ部材２１０はテーパ用コイルバネ２０４の作用により上方に戻され、各芯出ピン２０５にはテーパ部材２１０からの力は加わらなくなる。したがって、回転中に芯出ピン２０５からディスク１００に力が加わることによって測定に影響がでることは排除される。なお、ディスク載置前に、外周方向に押し出された状態にある芯出ピン２０５は、ディスク１００の載置時に、芯出ピン２０５の外周側の先端の半球面にディスク１００の自重によって加わる内周方向への力によって、内周方向に押し戻される。
【００１８】
ここで、このような芯出ピン２０５の外周側先端のディスク１００の当接位置は、ディスク１００が２層貼合わせ形態のディスク１００である場合には、下の層のディスク厚み方向の中心に一致するように構成する。すなわち、たとえば、図３ｅに示すように２つの０．６ｍｍの層よりなる２層ディスクに対しては、下の層の厚み方向中心であるディスク下面（クランプ本体２００のディスク当接面）より０．３ｍｍの位置で、芯出ピン２０５の先端がディスク内周側側面に当接するようにする。
【００１９】
以上、本発明の第１の実施形態について説明した。
以下、本発明の第２の実施形態について説明する。
本第２実施形態は、前記第１実施形態に係るディスク検査装置１のディスククランプ２のクランプ錘を以下のように構成したものである。
図４ａに本第２実施形態に係るクランプ錘３００の構成を示す。本題２実施形態に係るクランプ本体２００の構成は、後に示す錘固定ピン用の溝が設けられていることを除き、前記第１実施形態のものと同様である。
図示するように本クランプ錘は、略中空円筒形状を有しており、図４ａ切断線Ｄ−Ｄ内による断面を模式的に示した図４ｂに示されるように、内周側面に３以上の複数の突部３０１が、突部３０１の内周側先端が同じ円上に位置するように設けられている。また、クランプ錘３００には内周側面より突出する錘固定ピン３０２が設けられており、この錘固定ピン３０２が、クランプ本体２００の中空軸２０２に設けられた溝２０９に挿入されることにより、クランプ錘３００のクランプ本体２００に対する回り止めが行われている。そして、クランプ本体２００の中空軸２０２の外周側面に、クランプ錘３００の内周側面の各突部３０１の先端が当接することにより、クランプ錘３００の中心が回転中心に位置決めされる。
【００２０】
ここで、たとえば、中空軸の直径は１０ｍｍ、突部３０１の内周側先端が通る円の直径と中空軸２０２の直径の差は例えば１５−２０μｍである。
さて、このような構成のディスククランプ２において、ディスク１００は図４ｃに模式的に示すようにクランプ本体２００の上面とクランプ錘３００の下面によって挟まれた状態において、クランプ錘３００の自重によってクランプ本体２００に対して固定される。
【００２１】
ここで、クランプ錘３００と中空軸２０２との突部３０１による接触は、その接触面積が極めて小さく、突部３０１の内周側先端は半球面となるように形成されているため、クランプ錘３００は、中空軸２０２に対してある程度傾くことができる。
したがって、もし、ディスク１００に厚さのむらや歪みなどがある場合、図４ｄに示すように、クランプ錘３００は、中空軸２０２に対して下面がディスク１００の上面に沿って傾く。したがって、このようにディスク１００に厚さのむらや歪みがある場合であっても、クランプ錘３００は下面によって良好にディスク１００をクランプ本体２００に固定することができるようになる。
【００２２】
以上、本発明の第２の実施形態について説明した。
以下、本発明の第３の実施形態について説明する。
本第３実施形態は、前記第１、第２実施形態に係るディスククランプ２におけるディスク１００の芯出しの機構を以下に示すように修正したものである。
すなわち、本第３実施形態では、図５ａ、ｃに示すように、クランプ本体５００のフレーム５０１に中心軸５０２をネジ止めなどにより固定し、中央に設けられた孔に中心軸５０２が挿入された状態で中心軸５０２をガイドとして上下に移動するテーパ部材５０３と、テーパ部材５０３を上方に付勢するテーパ部材用コイルバネ５０４とを、クランプ本体５００中央に設けた穴部に装着したものである。
【００２３】
なお、この場合のクランプ錘のクランプ本体５００に対する回り止めは、前記第１実施形態に示したクランプ錘２５０を用いる場合は、図５ｂにクランプ錘２５０がクランプ本体５００に装着された状態を上方からみた様子を模式的に示すように、第１実施形態と同様に、中心軸５０２上部に上端に設けた切り欠きによって形成された平らな面に、クランプ錘２５０の錘回転止プレート２５２の内周側端のやはり平らな面を面接触の形態で当接することにより行うようにする。一方、前記第２実施形態に示したクランプ錘３００を用いる場合は、図５ｄに図５ｃの断面線Ｅ−Ｅによる断面を模式的に示すように、前記第２実施形態と同様に、クランプ錘３００に設けた内周側面より突出する錘固定ピン３０２を、クランプ本体５００の中心軸５０２に設けられた溝５０５に挿入されることにより行う。
【００２４】
また、テーパ部材５０３のクランプ本体５００に対する回り止めは、図５ｅ、ｆ、ｇに図５ａの断面線Ｆ−Ｆの断面の例を模式的に示すように、テーパ部材５０３の中央の孔と、中心軸５０２のガイド部分の断面形状を、非円形とすることにより行う。
【００２５】
さて、このような構成において、第１実施形態のクランプ錘２５０を用いる場合を例にとり図５ｈに示したように、テーパ部材用コイルバネ５０４でテーパ部材５０３が上に持ち上げられている状態において、テーパ部材５０３の上端に設けた下に広がるテーパ部がディスク中央穴が嵌挿するようにディスク１００を載置すると、ディスク１００はテーパ部材５０３のテーパ部によって、クランプ本体５００に対して芯出しされる。そして、この状態で、クランプ錘２５０を設置すると、図５ｉに示すように、ディスクはテーパ部材共々、テーパ部材用コイルバネ５０４の作用により、ディスク１００下面が、クランプ本体５００の上面に当接する位置まで下降する。そして、この状態において、ディスク１００がクランプ本体５００上面とクランプ錘２５０下面に挟まれた状態で、クランプ本体５００に対して固定される。
【００２６】
なお、以上の各実施形態において、図６ａに第１実施形態に係るクランプ錘２５０とクランプ本体５００の組み合わせへの適用を例にとり示すように、クランプ錘２５０のクランプ本体に対する回り止めは、クランプ本体５００の中心軸５０２（または中空軸２０２）に設けた１または望ましくは複数の切り欠き６０１によって形成された平らな面に、クランプ錘２５０に対して固定したピン（又はネジ）６０２を当接させることにより行うようにしても良い。なお、図６ｂは、クランプ錘２５０がクランプ本体５００に装着された状態を上方からみた様子を模式的に示したものである。
【００２７】
または、図６ｃに示すように、クランプ錘２５０のクランプ本体に対する回り止めは、クランプ本体５００の中心軸５０２（または中空軸２０２）に設けた切り込み６０３に、クランプ錘２５０に対して固定したピン（又はネジ）６０４を差し入れることにより行うようにしても良い。なお、図６ｄは、クランプ錘２５０がクランプ本体５００に装着された状態を上方からみた様子を模式的に示したものである。
【００２８】
以上、本発明の実施形態について説明した。
なお、以上では、クランプ錘が自重によってディスクをクランプするディスククランプについて説明したは、以上の本ディスククランプの各構造は、クランプ錘とクランプ本体とに磁性を与え、クランプ錘とクランプ本体で相互に引き合う方向に働く磁力によって、または、磁力及びクランプ錘の自重によってディスクをクランプする方式のディスククランプについても同様に適用することができる。
【００２９】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、より安定的かつ適正にディスク固定することのできるディスククランプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係るディスク検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るディスククランプの構成を示す図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るディスククランプの動作を示す図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係るディスククランプの構成を示す図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係るディスククランプの動作を示す図である。
【図６】本発明のクランプ錘の回り止めの他の構成例を示す図である。
【図７】従来のディスククランプの構成を示す図である。
【符号の説明】
１：ディスク検査装置、２：ディスククランプ、３：スピンドルモータ、４：ピックアップユニット、５：アンプ、７：フィードモータ、８：サーボ制御部、９：ピックアップ位置センサ、１０：計測信号処理部、１１：システムコントローラ、１２：ホストインタフェース、１３：ホスト装置、７１：クランプ本体、７２：クランプ錘、１００：ディスク、２００：クランプ本体、２５０：クランプ錘、２０１：フレーム、２０２：中空軸、２０３：プッシュレバー、２０４：テーパ用コイルバネ、２０５：芯出ピン、２０６：テーパ部材回止ピン、２１０：テーパ部材、２５１：固定フレーム、２５２：錘回転止プレート、２５３：内輪挟持部、２５４：球面滑軸受内輪部、２５５：球面軸受外輪部、２５６：ディスク当接部、２５７：当接部回止ピン、３００：クランプ錘、３０１：突部、３０２：錘固定ピン、５００：クランプ本体、５０１：フレーム、５０２：中心軸、５０３：テーパ部材、５０４：テーパ部材用コイルバネ、７１１：ボス部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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