(57)【要約】【課題】サーボ情報を効率良く記録することができ、且つ、充分な出力変化量が得られてサーボ情報の読取精度が良い磁気記録媒体を提供する。【解決手段】磁性層１２をサーボ領域２８において、所定のサーボパターンをなす複数のサーボパターン単位部３０と、サーボパターン単位部３０の周囲のサーボパターン周囲部３２と、に分離し、且つ、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン周囲部３２と、が異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成した。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のデータ領域と、複数のサーボ領域と、に区分けされて情報が記録される磁性層を有してなり、該磁性層は前記各サーボ領域において、所定のサーボパターンをなす複数のサーボパターン単位部と、該サーボパターン単位部の周囲のサーボパターン周囲部と、に分離され、且つ、前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、は異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
請求項１において、
前記各サーボパターン単位部は、これよりも小さい複数のサーボパターン単位構成要素の集合から構成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記各サーボ領域に前記サーボパターン周囲部が一体で一つだけ形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項４】
請求項１において、
前記サーボパターン周囲部は前記サーボパターン単位部よりも小さく形成された複数のサーボパターン周囲要素の集合から構成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、は前記磁気特性として異なる保磁力を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、は前記磁気特性として異なる磁気異方性を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項７】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、は前記磁気特性として異なる残留磁化を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかにおいて、
前記磁性層は前記各データ領域において、多数の記録要素に形状的に分離された構成とされたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかにおいて、
前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、が反対の極性に磁化されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項１０】
基板上に磁性層を一様に形成する磁性層形成工程と、サーボ領域において前記磁性層を、所定のサーボパターンをなす複数のサーボパターン単位部と、該サーボパターン単位部の周囲のサーボパターン周囲部と、に分離する磁性層加工工程と、を含んでなることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記磁性層加工工程は、データ領域において前記磁性層を多数の記録要素に分離し、且つ、該記録要素と、前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、を同時に形成する工程であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１２】
請求項１０又は１１において、
前記磁性層加工工程は、前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、が異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成する工程であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１３】
請求項１０乃至１２のいずれかにおいて、
前記磁性層加工工程は、前記磁気特性として異なる保磁力を備えるように前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、を異なる大きさに形成するようにされ、且つ、該磁性層加工工程の後に、前記サーボパターン単位部及び前記サーボパターン周囲部双方の保磁力よりも大きな直流磁場を前記磁性層に一様に印加する第１の直流磁場印加工程と、前記の直流磁場に対して向きが反対で、前記サーボパターン単位部の保磁力及び前記サーボパターン周囲部の保磁力の中間の大きさの直流磁場を前記磁性層に一様に印加する第２の直流磁場印加工程と、が設けられたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えばハードディスク等の磁気記録媒体は、複数のデータ領域と、複数のサーボ領域とに区分けされて情報が記録される磁性層を有し、サーボ領域にはヘッドの位置決め等のための制御用のサーボ情報が所定のサーボパターンで磁気的に記録される。
【０００３】
サーボ情報の記録工程は、サーボ・トラック・ライティング方式により、各磁気記録媒体毎にサーボ領域のサーボパターン部及びその周囲部を反対の極性に順次磁化させていくものであり、生産性が低いという問題があった。特に近年、面記録密度の向上及びこれに伴うヘッドの浮上高さの低下のため、サーボ情報についても高密度で、高精度な記録が要求されるようになっており、サーボ情報の記録の効率改善に対するニーズが高まっている。
【０００４】
これに対し、サーボパターン部又はその周囲部のいずれか一方だけに磁性層を形成し、サーボパターンを形状的に形成するようにした磁気記録媒体が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。このようにすれば、磁気記録媒体に一様に直流磁場を印加することにより、磁性層がサーボパターンどおりに磁化されるので、サーボ情報の記録効率を大幅に改善することができる。
【０００５】
【特許文献１】
特開平６―１９５９０７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、サーボパターン部又はその周囲部のいずれか一方だけに磁性層を形成した場合、磁化されるのはサーボパターン部又はその周囲部のいずれか一方のみとなるため、サーボパターン部とその周囲部とが反対の極性に磁化される従来の磁気記録媒体に対して出力変化量が半分程度に低減し、サーボ情報の読取精度が低下するという問題があった。
【０００７】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、サーボ情報を効率良く記録することができ、且つ、充分な出力変化量が得られてサーボ情報の読取精度が良い磁気記録媒体を提供することをその課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、磁性層をサーボパターン単位部と、サーボパターン周囲部と、に形状的に分離して形成し、且つ、サーボパターン単位部と、サーボパターン周囲部と、が異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成することにより、上記課題を解決したものである。
【０００９】
本発明者は、本発明に至る過程で、磁性層を様々な形状に加工することを試みたところ、磁性層の磁気特性が、その形状的な大きさにより変化することに気付いた。一例を示すと、磁性層の保磁力は、その大きさが数百ｎｍ付近を下回ると著しく増大する傾向があることを発見した。
【００１０】
従って、サーボパターン単位部と、サーボパターン周囲部と、が異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成すれば、磁気特性の差異から両者を識別することが可能となると共に、サーボパターン単位部及びサーボパターン周囲部の双方を磁化して充分な出力変化量を得ることができる。
【００１１】
このように、本発明は従来の技術とは全く異なる知見に基づいて、磁性層のサーボ領域におけるサーボパターン部と、その周囲部とに、大きさが異なる磁性要素を配設し、両者をその磁気特性の差異で識別するようにしたものであり、サーボパターン部と、その周囲部とを磁性要素の有無で識別するという従来の技術とは構成が全く異なるものである。
【００１２】
即ち、次のような本発明により、上記課題の解決を図ったものである。
【００１３】
（１）複数のデータ領域と、複数のサーボ領域と、に区分けされて情報が記録される磁性層を有してなり、該磁性層は前記各サーボ領域において、所定のサーボパターンをなす複数のサーボパターン単位部と、該サーボパターン単位部の周囲のサーボパターン周囲部と、に分離され、且つ、前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、は異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
【００１４】
（２）前記各サーボパターン単位部は、これよりも小さい複数のサーボパターン単位構成要素の集合から構成されたことを特徴とする前記（１）の磁気記録媒体。
【００１５】
（３）前記各サーボ領域に前記サーボパターン周囲部が一体で一つだけ形成されたことを特徴とする前記（１）又は（２）の磁気記録媒体。
【００１６】
（４）前記サーボパターン周囲部は前記サーボパターン単位部よりも小さく形成された複数のサーボパターン周囲要素に形状的に分離された構成とされたことを特徴とする前記（１）の磁気記録媒体。
【００１７】
（５）前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、は前記磁気特性として異なる保磁力を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする前記（１）乃至（４）のいずれかの磁気記録媒体。
【００１８】
（６）前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、は前記磁気特性として異なる磁気異方性を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする前記（１）乃至（４）のいずれかの磁気記録媒体。
【００１９】
（７）前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、は前記磁気特性として異なる残留磁化を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴とする前記（１）乃至（４）のいずれかの磁気記録媒体。
【００２０】
（８）前記磁性層は前記各データ領域において、多数の記録要素に形状的に分離された構成とされたことを特徴とする前記（１）乃至（７）のいずれかの磁気記録媒体。
【００２１】
（９）前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、が反対の極性に磁化されたことを特徴とする前記（１）乃至（８）のいずれかの磁気記録媒体。
【００２２】
（１０）基板上に磁性層を一様に形成する磁性層形成工程と、サーボ領域において前記磁性層を、所定のサーボパターンをなす複数のサーボパターン単位部と、該サーボパターン単位部の周囲のサーボパターン周囲部と、に分離する磁性層加工工程と、を含んでなることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【００２３】
（１１）前記磁性層加工工程は、データ領域において前記磁性層を多数の記録要素に分離し、且つ、該記録要素と、前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、を同時に形成する工程であることを特徴とする前記（１０）の磁気記録媒体の製造方法。
【００２４】
（１２）前記磁性層加工工程は、前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、が異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成する工程であることを特徴とする前記（１０）又は（１１）のいずれかの磁気記録媒体の製造方法。
【００２５】
（１３）前記磁性層加工工程は、前記磁気特性として異なる保磁力を備えるように前記サーボパターン単位部と、前記サーボパターン周囲部と、を異なる大きさに形成するようにされ、且つ、該磁性層加工工程の後に、前記サーボパターン単位部及び前記サーボパターン周囲部双方の保磁力よりも大きな直流磁場を前記磁性層に一様に印加する第１の直流磁場印加工程と、前記の直流磁場に対して向きが反対で、前記サーボパターン単位部の保磁力及び前記サーボパターン周囲部の保磁力の中間の大きさの直流磁場を前記磁性層に一様に印加する第２の直流磁場印加工程と、が設けられたことを特徴とする前記（１２）の磁気記録媒体の製造方法。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２７】
図１は、本実施形態に係る磁気記録媒体の構造を模式的に示す平面図である。図２は、図１におけるＩＩ−ＩＩに沿う側断面図である。
【００２８】
磁気記録媒体１０は、複数のデータ領域１４と、複数のサーボ領域２８と、に区分けされて情報が記録される磁性層１２を有し、磁性層１２がデータ領域１４において、多数の記録要素１６に形状的に分離された垂直記録型のディスクリートタイプの磁気ディスクで、基板１８上に下地層２０、軟磁性層２２、配向層２４、磁性層１２、保護層２６、がこの順で形成されている。
【００２９】
磁気記録媒体１０は、磁性層１２が、各サーボ領域２８において、所定のサーボパターンをなす複数のサーボパターン単位部３０と、サーボパターン単位部３０の周囲のサーボパターン周囲部３２と、に分離され、且つ、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン周囲部３２と、が異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成されたことを特徴としている。
【００３０】
他の構成については、従来の磁気記録媒体と同様であるので説明を適宜省略することとする。
【００３１】
磁性層１２を構成する記録要素１６、サーボパターン単位部３０及びサーボパターン周囲部３２は、材質がＣｏＰｔ（コバルト−プラチナ）合金とされている。ＣｏＰｔ合金は、図３中に符号Ａで示される曲線のように、その形状が小さいほど保磁力が大きくなり、特に大きさが２００ｎｍ以下になると保磁力が著しく増大する性質を有している。
【００３２】
記録要素１６は、各データ領域１４に同心円状に多数並設されている。又、記録要素１６間の隙間部３６には材質がＳｉＯ２（二酸化珪素）の非磁性体３８が充填されている。
【００３３】
サーボパターン単位部３０は、これよりも小さい複数のサーボパターン単位構成要素３４の集合から構成されている。各サーボパターン単位構成要素３４は略円形の突起状体でサーボパターン周囲部３２よりも小さく形成され、サーボパターン周囲部３２よりも大きな保磁力を備えている。
【００３４】
一方、サーボパターン周囲部３２は、各サーボ領域２８に一体で一つだけ形成されている。
【００３５】
尚、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン周囲部３２と、は反対の極性に磁化されている。又、各サーボパターン単位構成要素３４とサーボパターン周囲部３２との間の隙間部４０にも非磁性体３８が充填されている。
【００３６】
基板１８の材質はガラス、下地層２０の材質はＣｒ（クロム）又はＣｒ合金、軟磁性層２２の材質はＦｅ（鉄）合金又はＣｏ（コバルト）合金、配向層２４の材質は、ＣｏＯ、ＭｇＯ、ＮｉＯ等、保護層２６の材質はＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｎｄ  Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ）とされている。
【００３７】
ここで、本明細書においてＤＬＣという用語は、炭素を主成分とし、アモルファス構造であって、ビッカース硬度測定で２００〜８０００ｋｇｆ／ｍｍ２程度の硬さを示す材料という意義で用いることとする。
【００３８】
次に、磁気記録媒体１０の作用について説明する。
【００３９】
磁気記録媒体１０は、サーボパターン単位部３０の周囲にサーボパターン周囲部３２が配設され、これらが反対の極性に磁化されているので、大きな出力変化量が得られ、サーボ情報の読取精度が良い。
【００４０】
又、磁気記録媒体１０は、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン周囲部３２と、が異なる保磁力を備えているので、後述するように、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン周囲部３２とを容易に反対の極性に磁化させることができ、サーボ情報の記録効率がよい。
【００４１】
更に、サーボパターン単位部３０は、複数のサーボパターン単位構成要素３４に形状的に分離されているので、それだけ各サーボパターン単位構成要素３４を小さく形成して大きな保磁力を付与することができ、サーボパターン単位部３０とサーボパターン周囲部３２との保磁力の差を大きくすることができる。これにより、サーボパターン単位部３０とサーボパターン周囲部３２とを容易、且つ、確実に反対の極性に磁化させることができる。
【００４２】
又、記録要素１２と、サーボパターン周囲部３２と、サーボパターン単位部３０と、を同時に形成できるため、本実施形態の磁気記録媒体１０は生産効率がよい。
【００４３】
尚、磁気記録媒体１０は、記録要素１２間の隙間部３６及びサーボパターン単位部３０とサーボパターン周囲部３２と間の隙間部４０に非磁性体３８が充填されているので表面が平坦であり、ヘッド浮上高さが安定する。
【００４４】
次に、磁気記録媒体１０の製造方法について説明する。
【００４５】
図４は、磁性記録媒体１０の製造工程の概要を示すフローチャートである。
【００４６】
まず、図５に示されるような、製造工程における出発体５０を用意する。この出発体５０は、基板１８上に、下地層２０を３００〜２０００Åの厚さで、軟磁性層２２を５００〜３０００Åの厚さで、配向層２４を３０〜３００Åの厚さで、連続磁性層５２を１００〜３００Åの厚さで、この順でスパッタリング法により形成する（Ｓ１０１）。更に、連続磁性層５２上に第１のマスク層５４を１００〜５００Åの厚さでスパッタリング法により形成し（Ｓ１０２）、更に第２のマスク層５６を３００〜３０００Åの厚さで、スピンコート又はディッピングにより形成し（Ｓ１０３）、ベーキングすることにより得られる。
【００４７】
尚、第１のマスク層５４の材質はＴｉＮ（窒化チタン）、第２のマスク層５６の材質はネガ型レジスト（ＮＥＢ２２Ａ  住友化学工業株式会社製）とされている。
【００４８】
このようにして得られた出発体５０の第２のマスク層５６に、まず転写手段（図示省略）を用いて、データ領域１４における記録要素１６の分離パターン、及びサーボ領域２８におけるサーボパターン単位部３０及びサーボパターン周囲部３２の分離パターンに相当する凹部をナノ・インプリント法により転写し（Ｓ１０４）、更に、酸素ガス又はオゾンガスを用いたプラズマにより、第２のマスク層５６の全面を均一にドライエッチング加工すると、図６に示されるように凹部底面の第２のマスク層５６が除去され（Ｓ１０５）、凹部底面に第１のマスク層５４が露出する。尚、第２のマスク層５６はドライエッチングにより凹部以外の領域も除去されるが、凹部底面との段差の分だけ残存する。
【００４９】
次に、ＣＦ４（４フッ化炭素）ガス又はＳＦ６（６フッ化硫黄）ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより、図７に示されるように、凹部底面の第１のマスク層５４を除去する（Ｓ１０６）。尚、この際、連続磁性層５２も微少量除去される。又、凹部以外の領域の第２のマスク層５６も大部分が除去されるが微小量が残存する。
【００５０】
次に、ＮＨ３（アンモニア）ガス及びＣＯ（一酸化炭素）ガスの混合ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより、図８に示されるように、凹部底面の連続磁性層５２を除去し、連続磁性層５２をデータ領域１４において多数の微細な記録要素１６に分離すると共に、サーボ領域２８においてサーボパターン単位部３０とサーボパターン周囲部３２とに分離する。又、同時に各サーボパターン単位部３０内の連続磁性層５２を、複数のサーボパターン単位構成要素３４に形状的に分離する。（Ｓ１０７）。尚、この際、凹部底面の配向層２４も微少量除去される。又、凹部以外の領域の第２のマスク層５６は完全に除去されるが、凹部以外の領域の第１のマスク層５４は記録要素１６、サーボパターン単位部３０及びサーボパターン周囲部３２上に若干量残存する。
【００５１】
この残存した第１のマスク層５４は、ＣＦ４ガス又はＳＦ６ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより、図９に示されるように完全に除去する（Ｓ１０８）。
【００５２】
次に、バイアススパッタリング法により、図１０に示されるように、データ領域１４における記録要素２０間の隙間部３６及びサーボ領域２８におけるサーボパターン単位部３０とサーボパターン周囲部３２との間の隙間部４０に非磁性体３８を充填する（Ｓ１０９）。尚、非磁性体３８は、記録要素１６、サーボパターン単位部３０及びサーボパターン周囲部３２を完全に被覆するように形成する。
【００５３】
次に、ＣＭＰ法により、図１１に示されるように余剰の非磁性体３８を除去し、表面を平坦化する（Ｓ１１０）。
【００５４】
更に、平坦化された表面に、ＣＶＤ法により、保護層２６を形成することにより（Ｓ１１１）、前記図１及び図２に示されるような磁気記録媒体１０が得られる。
【００５５】
尚、保護層２６の表面には必要に応じて、ディッピング法により、例えば材質がＰＦＰＥ（パーフロロポリエーテル）の潤滑層を１０〜２０Åの厚さで塗布する。
【００５６】
次に、磁気記録媒体１０へのサーボ情報の記録方法について説明する。
【００５７】
まず図１２に模式的に示されるように、磁気記録媒体１０にサーボパターン単位構成要素３４及びサーボパターン周囲部３２双方の保磁力よりも大きい直流の外部磁場を一様に印加してサーボパターン単位構成要素３４及びサーボパターン周囲部３２を等しい極性に磁化させる（Ｓ１１２）。
【００５８】
次に、図１３に示されるように前記外部磁場に対して向きが反対で、サーボパターン単位構成要素３４の保磁力よりも小さく、且つ、サーボパターン周囲部３２の保磁力より大きい直流の外部磁場を一様に印加すると、サーボパターン周囲部３２が逆の極性に磁化される（Ｓ１１３）。尚、サーボパターン単位構成要素３４は磁化の極性が反転しない。即ち、サーボパターン単位部３０とサーボパターン周囲部３２とが、反対の極性に磁化され、サーボ情報の記録が完了する。
【００５９】
このように、一様な直流の外部磁場を２段階で印加することにより、容易にサーボ情報を記録することができ、本実施形態に係る磁気記録媒体の製造方法は生産効率がよい。
【００６０】
又、サーボ領域２８において磁性層１２をサーボパターン単位部３０とサーボパターン周囲部３２とに分離する工程と、データ領域１４において磁性層１２を多数の記録要素１６に分離する工程とが、同時に行われるので、この点でも本実施形態に係る磁気記録媒体の製造方法は生産効率がよい。
【００６１】
尚、本実施形態において、磁性層１２の材質はＣｏＰｔ合金とされているが、本発明はこれに限定されるものではなく、磁性層１２の材質は例えば、Ｃｏ（コバルト）合金、ＣｏとＰｄ（パラジウム）との積層体、ＣｏとＰｔ（白金）との積層体、Ｆｅ（鉄）、Ｆｅ合金、Ｆｅ合金の積層体等の他の材質としてもよい。尚、ＣｏとＰｄとの積層体は、その形状的な大きさと保磁力とが図３中に符号Ｂの曲線で示される関係となる性質を有している。
【００６２】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１０は、サーボパターン単位部３０が図１に示されるようなパターンで配設された略円形の複数のサーボパターン単位構成要素３４で構成されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、サーボパターン単位部３０とサーボパターン周囲部３２とを磁気的に識別できれば、サーボパターン単位構成要素の形状、配設数、配設パターンは特に限定されない。
【００６３】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１０は、サーボパターン単位部３０が複数のサーボパターン単位構成要素３４に分離された構成とされているが、本発明はこれに限定されるものではなく、サーボパターン単位部３０とサーボパターン周囲部３２とを磁気的に識別できれば、各サーボパターン単位部は単一の磁性要素で構成してもよい。
【００６４】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１０は、サーボパターン単位部３０がサーボパターン周囲部３２よりも小さく形成されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、各サーボパターン単位部を一体で形成し、このサーボパターン単位部よりも小さく形成した複数のサーボパターン周囲要素の集合としてサーボパターン周囲部を構成するようにしてもよい。
【００６５】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１０は、サーボパターン単位部３０と、サーボパターン周囲部３２とは、異なる保磁力を備え、反対の極性に磁化されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、サーボパターン単位部と、サーボパターン周囲部とが、磁気異方性、残留磁化等の他の相異なる磁気特性を備えるように異なる大きさに形成し、これらの磁気特性の差異に基づいて両者を識別するようにしてもよい。
【００６６】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１０は、記録要素１２間の隙間部３６及びサーボパターン単位部３０とサーボパターン周囲部３２との間の隙間部４０に非磁性体３８が充填されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、安定したヘッド浮上が得られれば、隙間部３６及び隙間部４０には必ずしも非磁性体を充填する必要はない。隙間部を非磁性体で充填するか否かは、隙間部の大きさ、ヘッドの種類等に基づいてヘッド浮上の安定性、生産効率等を考慮し、適宜選択すればよい。非磁性体の充填工程を省略することにより、生産効率の一層の向上を図ることができる。尚、隙間部を非磁性体で充填しない場合、磁性層を分離加工した後、磁性層の上面に保護層を形成する際に、隙間部にも保護層を形成すればよい。
【００６７】
又、本実施形態において、磁気記録媒体１０はデータ領域１４に記録要素１６が径方向に多数並設された垂直記録型のディスクリートタイプの磁気ディスクであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、記録要素がトラックの周方向（セクタの方向）に微細な間隔で並設された磁気ディスク、トラックの径方向及び周方向の両方向に微細な間隔で並設された磁気ディスクの製造についても本発明は当然適用可能である。又、ＭＯ等の光磁気ディスク等の他の磁気記録媒体の製造に対しても本発明は適用可能である。
【００６８】
又、データ領域に連続磁性層を備える構成の磁気記録媒体についても、本発明を適用し、サーボ領域にサーボパターン単位部とサーボパターン周囲部とを分離して形成すれば、サーボ情報の記録効率を著しく向上する効果が得られる。
【００６９】
又、本実施形態において、第１のマスク層５４の材質はＴｉＮとされているが、第１のマスク層５４の材質はＣＯガス等を反応ガスとする反応性イオンエッチングで除去されにくい材質であれば、第１のマスク層５４の材質は特に限定されず、例えば、Ｔｉ（チタン）、Ｔａ（タンタル）、Ｍｇ（マグネシウム）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｓｉ（珪素）、Ｇｅ（ゲルマニウム）、Ｐｂ（鉛）の他、これらを主成分として含む合金、化合物等を用いることができる。
【００７０】
又、本実施形態において、第１のマスク層５４をドライエッチングで所定のパターンに加工するために第１のマスク層５４上に、更にネガ型レジストの第２のマスク層５６が形成され、２段階のドライエッチングで第１のマスク層５４が所定のパターンに加工されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、第１のマスク層５４を所定のパターンで加工することができれば、第１のマスク層５４上に形成する他のマスク層の材質、積層数等は特に限定されず、例えば３段階以上のドライエッチングで第１のマスク層５４を所定のパターンに加工してもよい。
【００７１】
又、本実施形態において、第１のマスク層５４を加工するためにＣＦ４又はＳＦ６を反応ガスとする反応性イオンエッチングを用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、上記のような第１のマスク層５４の材質と反応し、エッチングを促進するような反応ガスであれば反応ガスの種類は特に限定されず、例えばＮＦ３、ＣＨＦ３等の他のフッ素系ガス、Ｃｌ２、ＢＣｌ３、ＣＨＣｌ３等の塩素系ガス等を用いてもよい。
【００７２】
又、本実施形態において、非磁性体３８を充填するためにバイアススパッタリング法を用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、バイアス印加を有するプラズマＣＶＤ法を用いて非磁性体を充填してもよい。
【００７３】
又、本実施形態において、余剰の非磁性体３８を除去して表面を平坦化するためにＣＭＰ法を用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えばイオンビームエッチング、イオンミリング、反応性イオンエッチング等のプラズマドライ工程で余剰の非磁性体３８を除去し、平坦化してもよい。
【００７４】
（実施例）
上記実施形態により、磁気記録媒体１０を作製した。サーボパターン単位構成要素３４は直径が約５０〜６０ｎｍの大きさの略円形に形成した。
【００７５】
磁気記録媒体１０の電磁変換特性を測定したところ、図１４に示されるような波形が得られた。
【００７６】
（比較例）
上記実施形態に対し、サーボ領域２８にはサーボパターン周囲部３２だけを形成し、サーボパターン単位部３０は形成しなかった。即ち、サーボパターン単位部３０に相当する部分は凹部とし、磁性要素が存在しない比較試料を作成した。
【００７７】
この比較試料の電磁変換特性を測定したところ、図１５に示されるような波形が得られた。
【００７８】
図１４及び図１５より、実施例は比較例に対して、出力変位が大幅に増加していることが確認された。
【００７９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、サーボ情報を効率良く記録することができ、且つ、充分な出力変化量が得られてサーボ情報の読取精度が良い磁気記録媒体を実現することが可能となるという優れた効果がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態に係る磁気記録媒体の構造を模式的に示す平面図
【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩ線に沿う側断面図
【図３】同磁気記録媒体の磁性層の形状的な大きさと保磁力との関係を示すグラフ
【図４】同磁気記録媒体の製造工程を示すフローチャート
【図５】同磁気記録媒体の製造工程における出発体の構造を模式的に示す側断面図
【図６】前記出発体の第２のマスク層の加工工程を模式的に示す側断面図
【図７】前記出発体の第１のマスク層の加工工程を模式的に示す側断面図
【図８】前記出発体の磁性層の加工工程を模式的に示す側断面図
【図９】前記出発体の第１のマスク層の除去工程を模式的に示す側断面図
【図１０】前記出発体への非磁性体の充填工程を模式的に示す側断面図
【図１１】前記出発体の平坦化工程を模式的に示す側断面図
【図１２】前記磁気記録媒体への第１の外部磁場印加工程を模式的に示す側断面図
【図１３】前記磁気記録媒体への第２の外部磁場印加工程を模式的に示す側断面図
【図１４】本発明の実施例に係る磁気記録媒体の電磁変換特性を示すグラフ
【図１５】比較試料の電磁変換特性を示すグラフ
【符号の説明】
１０…磁気記録媒体
１２…磁性層
１４…データ領域
１６…記録要素
１８…基板
２０…下地層
２２…軟磁性層
２４…配向層
２６…保護層
２８…サーボ領域
３０…サーボパターン単位部
３２…サーボパターン周囲部
３４…サーボパターン単位構成要素
３６、４０…隙間部
３８…非磁性体
５０…製造工程における出発体
５２…連続磁性層
５４…第１のマスク層
５６…第２のマスク層
Ｓ１０１…磁性層形成工程
Ｓ１０７…磁性層加工工程
Ｓ１１２…第１の直流磁場印加工程
Ｓ１１３…第２の直流磁場印加工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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