(57)【要約】【課題】所定の硬度を確保した上で、熱処理変形を抑制した部材を含むスラスト玉軸受およびその製造方法を提供する。【解決手段】転動体１２が転走するレース部材１１を備え、スラスト玉軸受を構成する部材のうち、少なくともレース部材を形成する鋼材が、大気放冷（空冷）によって焼入れ硬化され、その焼入れ硬化された部材の表層部の硬度がＨＶ６５０以上である。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
転動体が転走するレース部材を備えたスラスト玉軸受であって、
前記スラスト玉軸受を構成する部材のうち、少なくとも前記レース部材を形成する鋼材が、大気放冷によって焼入れ硬化され、その焼入れ硬化された部材の表層部の硬度がＨＶ６５０以上である、スラスト玉軸受。
【請求項２】
転動体が転走するレース部材を備えたスラスト玉軸受であって、
前記スラスト玉軸受を構成する部材のうち、少なくとも前記レース部材を形成する鋼材が、合金元素の含有量（質量％）として、Ｃ：０．１〜０．８％、Ｓｉ：０．４〜１．５％、Ｍｎ：０．３〜１．８％、Ｃｒ：０．５〜２．０％、Ｍｏ：０〜０．３５％を含み、下記の（１）〜（４）の式を満たし、残部がＦｅおよび不可避的不純物からなる、スラスト玉軸受。
Ｈ  ＜  ２４０      ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１）
Ｈ＝１４２＋１２２×Ｃ（％）−８．８×Ｓｉ（％）＋１４．５×Ｍｎ（％）−２５×Ｃｒ（％）＋１１３×Ｍｏ（％）      ・・・・・・・・・・・・（２）
２．５  ＜  Ｋ  ＜  ４．５            ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・    （３）
Ｋ＝０．５×Ｓｉ（％）＋Ｍｎ（％）＋Ｃｒ（％）＋２×Ｍｏ（％）・・（４）
【請求項３】
前記レース部材には、前記転動体が転走する軌道溝がプレス加工により形成されている、請求項１または２に記載のスラスト玉軸受。
【請求項４】
前記鋼材において、質量％で、Ａｌ：０．０５０％以下、Ｔｉ：０．００３％以下、Ｏ：０．００１５％以下、およびＮ：０．０１５％以下とした、請求項１〜３のいずれかに記載のスラスト玉軸受。
【請求項５】
前記鋼材の表層部のＣ含有量を質量％で０．６％以上とし、表層部硬度をＨＶ６５０以上とした、請求項１〜４のいずれかに記載のスラスト玉軸受。
【請求項６】
前記鋼材の表層部が浸炭窒化処理されている、請求項１〜５のいずれかに記載のスラスト玉軸受。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のスラスト玉軸受であって、旋回部材と静止部材との間に挟まれるように配置されて用いられる、スクロール圧縮機用のスラスト玉軸受。
【請求項８】
内輪、外輪および転動体を備えるスラスト玉軸受の製造方法であって、
合金元素の含有量（質量％）として、Ｃ：０．１〜０．８％、Ｓｉ：０．４〜１．５％、Ｍｎ：０．３〜１．８％、Ｃｒ：０．５〜２．０％、Ｍｏ：０〜０．３５％を含み、下記の（１）〜（４）の式を満たし、残部がＦｅおよび不可避的不純物からなる、薄鋼板を準備する工程と、
プレス成形加工により前記薄鋼板に環状軌道溝を形成する工程と、
前記プレス成形加工された薄鋼板をＡ１点以上に加熱して、その表層部に硬化処理を施す工程と、
前記硬化処理の後、そのまま大気放冷する工程とを備える、スラスト玉軸受の製造方法。
Ｈ  ＜  ２４０      ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１）
Ｈ＝１４２＋１２２×Ｃ（％）−８．８×Ｓｉ（％）＋１４．５×Ｍｎ（％）−２５×Ｃｒ（％）＋１１３×Ｍｏ（％）              ・・・・・・・・・・（２）
２．５  ＜  Ｋ  ＜  ４．５            ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・    （３）
Ｋ＝０．５×Ｓｉ（％）＋Ｍｎ（％）＋Ｃｒ（％）＋２×Ｍｏ（％）・・（４）
【請求項９】
前記硬化処理の後に、さらに２次焼入れする、請求項８に記載のスラスト玉軸受の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スラスト玉軸受およびその製造方法に関し、とくに所定の硬化層を確保した上で、高い寸法精度の部材を組み込まれたスラスト玉軸受およびそのスラスト玉軸受の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
転がり軸受においては、応力を受ける軌道輪の軌道面や転動体の転動面は、その機能上、所定の硬化層を有する必要がある。この硬化層を得るため、部品には何らかの熱処理工程、たとえば、油焼入れや高周波焼入れ、レーザ焼入れ等を施して、鋼をマルテンサイトまたはベイナイトに変態させて製造している。しかし、熱処理工程中の冷却の不均一さなどが原因となって、上記部品に熱処理変形が発生する。この現象は、スラストニードル軸受における細い針状ころやスクロール圧縮機用軸受における薄肉のレース部材で顕著に現われる。
【０００３】
上記のレース部材が用いられるスラスト玉軸受としては、たとえばスクロール圧縮機の回転部分に使用される特殊な形状の軸受がある。上記のスクロール圧縮機では、旋回スクロール部材と静止スクロール部材のように、相互間で偏心回転運動を行なう２つの部材間に薄肉のスラスト玉軸受を介挿させる。上記スラスト玉軸受では、薄鋼板のレース部材にプレス加工による半球状窪み（軌道溝）が形成され、この軌道溝面を転走面として転動体（鋼球）はスピンしながら回転する。このような軸受では、転走面はプレス成形加工され、次いで研磨代の小さいバレル研磨により仕上げがなされる。このため、焼入れなどの熱処理時点で変形（反り、うねり）が出ると、その変形はほとんど修正されずそのまま軸受の精度に反映する。この結果、変形が大きい場合には、特定の転走面や、特定部分に異常に大きな応力が発生し、転動寿命が低下しやすい。
【０００４】
特に重要な点は、スクロール圧縮機用軸受のように単純な平板でなく鋼球を転動させる環状軌道溝が深絞り加工により周方向に等ピッチで複数個設けられているようなレース部材で、変形が一層大きくなることである。
【０００５】
従来から、転がり軸受部品の熱処理変形量を軽減するために、多くの提案がなされてきた。たとえば、軸受レース等の環状部品をオーステナイト化した後、マルテンサイトなどへの変態前に過冷オーステナイトの状態で、所定の型に装入し、マルテンサイト変態させる方法が提案されている（特許文献１、特許文献２参照）。また、焼入れ後に当該軸受部品を型に装入し、誘導加熱して焼戻しを行なうことにより焼入れ変形を修正する方法が知られている（特許文献３）。
【０００６】
上記の方法を適用することにより、焼入れ中または焼入れ後に型拘束して変形を抑制することができる。
【０００７】
また、溝付きレースを含むスラスト玉軸受については、形状や浸炭深さに関して多くの開示がなされてきた（たとえば、特許文献４および５）。
【０００８】
【特許文献１】
特公昭６０−３２６８９号公報
【０００９】
【特許文献２】
特開平０８−２２５８５１公報
【００１０】
【特許文献３】
特開平０８−２１０３６０公報
【００１１】
【特許文献４】
特開平５−３３８１１号公報
【００１２】
【特許文献５】
特開平１０−８９３５０号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の熱処理変形を抑える方法は、いずれも型を必要とし、その型へ軸受部品を装入しなければならない。当然ながら、上記方法は、熱処理工程を複雑にし、型製造のコスト増をもたらす。このため、より簡便な手段により熱処理変形を抑制しうる方法の開発が推進され、さらにその方法を適用するのに好ましい条件を備えた軸受部品の用途開発が求められてきた。
【００１４】
本発明は、所定の硬度を確保した上で、熱処理変形を抑制した部材を含むスラスト玉軸受およびその製造方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明のスラスト玉軸受は、転動体が転走するレース部材を備え、スラスト玉軸受を構成する部材のうち、少なくともレース部材を形成する鋼材が、大気放冷（空冷）によって焼入れ硬化され、その焼入れ硬化された部材の表層部の硬度がＨＶ６５０以上である。
【００１６】
上記のレース部材は、硬化処理および焼入れによって硬化され、この後、バレル研磨を行なってスラスト玉軸受に組み込まれる。このため、焼入れの際に変形（歪み）が発生すると、ほとんどその変形した状態のままレース部材は、スラスト玉軸受に配置される。レース部材の変形の程度が大きいと、スラスト玉軸受の性能は大きく阻害されることになる。上記のレース部材は、水焼入れ、油焼入れなどを施されると、変形が大きく発生する。上記のように、大気放冷により焼入れ硬化する場合（合金成分を調整して、小さい冷却速度でも焼きが入るようにすることにより実現される）、所定の硬度を確保した上で、大幅に変形を抑制することができる。
【００１７】
また、本発明の別の局面のスラスト玉軸受は、転動体が転走するレース部材を備え、スラスト玉軸受を構成する部材のうち、少なくともレース部材を形成する鋼材が、合金元素の含有量（質量％）として、Ｃ：０．１〜０．８％、Ｓｉ：０．４〜１．５％、Ｍｎ：０．３〜１．８％、Ｃｒ：０．５〜２．０％、Ｍｏ：０〜０．３５％を含み、上述の（１）〜（４）の式を満たし、残部がＦｅおよび不可避的不純物からなる。
【００１８】
この構成によれば、レース部材の大気放冷により所定の硬度を確保し、かつ焼入れに伴なう変形を抑制することができる。
【００１９】
次に鋼材の成分の限定理由について説明する。合金元素量の単位の％は、いずれも質量％である。
【００２０】
Ｃ：０．１〜０．８％
Ｃは、鋼の強度と靭性とを確保するために必要であり、０．１％未満では転がり要素として必要な強度や硬度を確保することができない。一方、０．８％を超えると強度は確保できるが靭性が劣化し、また、熱処理変形量も増える。
【００２１】
Ｓｉ：０．４〜１．５％
Ｓｉは、焼戻しする場合の焼戻し軟化抵抗を高め、また、強度の確保に有効であるので、０．４％以上含むこととする。一方、１．５％を超えると非常に脆くなる。このため、０．４〜１．５％の範囲とする。強度と靭性との均衡をとる上で、０．５〜１．３％の範囲とすることが望ましい。
【００２２】
Ｍｎ：０．３〜１．８％
Ｍｎは、０．３％以上の範囲内であれば、靭性も硬度も向上させるが、１．８％を超えると、部品に加工する前の材料の硬さを高め、著しく加工性を劣化させるので、１．８％以下とする。硬化と靭性とのより良好なバランスをとる上で、０．８〜１．６％の範囲とすることが望ましい。
【００２３】
Ｃｒ：０．５〜２．０％
Ｃｒは０．５％以上の範囲で強度に有効であるが、２．０％を超えると靭性の劣化が生じるので、０．５〜２．０％の範囲とする。強度と靭性とを両立させる上でより望ましくは、０．６〜１．５％の範囲とする。
【００２４】
Ｍｏ：０〜０．３５％
Ｍｏは、Ｍｎよりも硬化に有効であるが、高価である。このため、含有率ゼロでもよい。しかし、含有させることにより飛躍的に放冷により硬化させることができ、かつ靭性も向上させることができる。
【００２５】
上述の（１）〜（４）式を設けた理由は次のとおりである。
（１）〜（２）式におけるＨが２４０以上になると、機械加工性が劣化する。このため、Ｈは２４０未満とする。
【００２６】
（３）〜（４）式におけるＫは、放冷によって硬化させる場合の硬化能を示す指標である。Ｋが２．５以下では焼入性が不足して、空気焼入れによって硬化しない。一方、４．５以上では、部品の熱処理ひずみが大きくなり、空気焼入れによるひずみ低減効果を十分得ることができなくなる。このため、Ｋは２．５を超え、４．５未満の範囲とする。
【００２７】
上記大気放冷により焼入れ硬化させるための化学成分は、通常の転動寿命のみならず、本軸受特有のいわゆる味噌すり運動による滑りを伴いながらの転動寿命を向上させる成分とも一致するので、転動寿命に優れた軸受を得ることができる。
【００２８】
また、上記のレース部材には、転動体が転走する軌道溝がプレス加工により形成されていてもよい。
【００２９】
上記のように、大気放冷による焼入れを、軌道溝がプレス加工により設けられたレース部材に適用することにより、とくに従来困難であった熱処理変形を抑制することができる。
【００３０】
また、上記の鋼材において、Ａｌ：０．０５０％以下、Ｔｉ：０．００３％以下、Ｏ：０．００１５％以下、およびＮ：０．０１５％以下としてもよい。
【００３１】
このため、非金属介在物を減らし、転動寿命等を長寿命化することができる。
Ａｌ：０．０５０％以下
０．０５０％を超えると浸炭窒化中に大型窒化物を生じたり、溶解、凝固時に粗大なアルミナなどの非金属介在物を生じ、転動疲労寿命を劣化させる。このため、０．０５０％以下とする。
【００３２】
Ｔｉ：０．００３％以下
Ｔｉは０．００３％を超えると、粗大な非金属介在物を生じ、転動疲労寿命を劣化させる。このため、０．００３％以下にしなければならない。
【００３３】
酸素（Ｏ）：０．００５０％以下
酸素（Ｏ）は、０．００５０％を超えると、粗大な酸化物系の非金属介在物を生じ、転動疲労寿命を著しく低下する。このため、０．００５０％以下にしなければならない。より望ましくは０．００１５％以下とする。
【００３４】
Ｎ：０．０１５％以下
Ｎは、０．０１５％を超えて含まれると、Ａｌ、Ｓｉ、Ｍｎなどと窒化物を形成し、窒化物の量が多い場合または窒化物が大型な場合、転動疲労寿命を劣化させる。
【００３５】
また、上記の鋼材の表層部のＣ含有量を質量％で０．６％以上とし、表層部硬度をＨＶ６５０以上としてもよい。
【００３６】
上記鋼に対し、焼入れ後の表面炭素濃度を質量％で、０．６％以上にすれば、転がり要素として必要な表層たとえば表面からの深さが５０μｍの位置における硬度ＨＶ６５０以上を有し、かつ、転動寿命に優れた転がり要素の製造が可能となる。上記のように表面炭素濃度を上げる処理として、浸炭処理、浸炭窒化処理、および通常用いられるすべての表面硬化処理を用いることができる。
【００３７】
また、大気放冷にて焼入れ硬化を行なうので、変形が非常に少なくなる。このため、熱処理工程設備の簡素化や作業環境面の改善の他、研磨工程の簡略化や研磨取り代の削減が可能になる。さらに、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｍｏという長寿命化元素、特に、ＳｉやＭｏという耐熱性付与元素を従来の軸受用鋼以上に多く含む組成になる。このため、滑り発熱による材質変化（軟化）や表面起点型の亀裂発生を抑える効果が大きくなる。
【００３８】
さらに、上記の鋼材の表層部が浸炭窒化処理されていてもよい。この結果、表層部の硬度を高めることができる。
【００３９】
さらに、上記鋼材が浸炭窒化処理後に、２次焼入れされていてもよい。この結果、適量の残留オーステナイトを形成することができる。
【００４０】
上記のスラスト玉軸受は、旋回部材と静止部材との間に挟まれるように配置される、スクロール圧縮機用のスラスト玉軸受としてもよい。軌道溝などを設けられていても、大気冷却によって製造された高い寸法精度のレース部材を含むスラスト玉軸受であるので、スクロール圧縮機に用いることによりそのスクロール圧縮機の耐久性を高めることができる。
【００４１】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施の形態におけるスクロール圧縮機用スラスト玉軸受の製造方法を示す図である。図１（ａ）は、浸炭処理、浸炭窒化処理などの後、そのまま大気放冷して焼き入れる方法を示す図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）の処理の後に、再度、Ａ１点以上に加熱して大気放冷して焼き入れる２次焼入れ処理を行なう方法を示す図である。これらの図を参照して、本実施の形態におけるスクロール圧縮機用スラスト玉軸受を構成するレース部材は、まずプレス加工などの深絞り加工により転動体（鋼球）の軌道溝が形成される。次いで、Ａ１点以上に加熱され、浸炭処理または浸炭窒化処理などの表面硬化処理を受ける。この表面硬化処理の後、そのまま大気放冷することにより、レース部材を硬化させることができる。
【００４２】
上記のＡ１点以上にオーステナイト化する場合、ミクロ組織のすべてがオーステナイト化する温度（Ａ３点）以上に加熱してもよいし、オーステナイトと他の相たとえばフェライトなどとが共存する温度域（Ａ１点〜Ａ３点）に加熱してもよい。靭性が必要な場合、Ａ１点〜Ａ３点に加熱することにより、ミクロ組織が微細化されて靭性を向上させることができる。これは、図１（ａ）の場合のオーステナイト化でも、図１（ｂ）の２次焼入れのオーステナイト化でも同様である。図１（ｂ）において、Ａ１点〜Ａ３点の適当な温度域に加熱した場合、結晶粒度１０番以上、または１１番以上、さらには１２番以上の細粒を得ることができる。
【００４３】
図２は、上記の方法により製造されたレース部材を含むスラスト玉軸受を示す図である。このスラスト玉軸受は、環状のレース部材１１に軌道溝１３がプレス加工により形成され、その軌道溝に沿って転動体である鋼球１２が転走する。上記のスラスト玉軸受を構成する部材のうち、少なくともレース部材は、図１（ａ）および図１（ｂ）に示すいずれかの方法で製造されている。その結果、その部材は、表層部の硬度がＨＶ６５０以上であり、かつ熱処理変形量が抑制されている。
【００４４】
【実施例】
次に、実際に下記のサンプル１〜３の軸受部品を製作し、１．硬度および残留応力、２．熱処理変形、および３．転動疲労寿命を評価した結果について説明する。
【００４５】
（サンプル１）  内径６０ｍｍ×外径８５ｍｍ×厚み１ｍｍ：円盤状薄板の変形挙動調査
（サンプル２）  内径７５ｍｍ×外径１１５ｍｍ×厚み１ｍｍ：円盤状レース部材の変形挙動調査
（サンプル３）  内径７５ｍｍ×外径１１５ｍｍ×厚み１ｍｍ：円盤状レースと鋼球とを組合せたスクロール圧縮機軸受の転動寿命調査
上記の調査に用いた本発明例および比較例の試験サンプル一覧を表１に示す。
【００４６】
【表１】
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【００４７】
比較例としては、ＪＩＳ高炭素クロム軸受鋼２種、およびＪＩＳクロムモリブデン鋼ＳＣＭ４１５を用いた。実際の工程においては、浸炭鋼の方が加工性がよく、深絞り加工を行なうことができるが、実験では化学成分の影響度を明確にするために、ずぶ焼入れ鋼でも軸受レースを製作し、評価した。サンプルはすべてプレス成形により所定の形状にしたものである。以下に順を追って調査方法およびその結果について説明する。
１．硬度および残留応力調査
表１に示した本発明例および比較例の鋼材を用いて作製したサンプル１について、下記の条件で熱処理を行ない、その後の表層硬度（表面から５０μｍ深さ位置）および残留応力を測定した。
【００４８】
熱処理条件：
（Ｈ１）浸炭鋼；浸炭条件（浸炭時間８７０℃×３０分、カーボンポテンシャル（ＣＰ）値＝１．１）で浸炭処理後に大気放冷
（Ｈ２）ずぶ焼入れ鋼；オーステナイト化（８４０℃×３０分）後に大気放冷
硬度および残留応力の調査結果を表２に示す。
【００４９】
【表２】
2004183804.tif 000004
【００５０】
表２に示すように、本発明例では、すべて均一な表層硬度と圧縮残留応力が生成し、軸受部材として満たすべき性能を備えている。これに対して、比較例では、表層硬度は軸受部材の材料としては硬度不足のＨＶ６５０未満となっている。さらに残留応力も不完全焼入れであることを反映して、圧縮応力が生成されず、引張残留応力が生成しているものもある。
２．熱処理変形量調査
表１に示した本発明例および比較例の鋼種を用いて作製したサンプルに対し、以下の熱処理を行なった。比較例については大気放冷では硬度の確保ができないので、硬度が確保できる条件、すなわち衝風焼入れにより焼入れを行なった。
【００５１】
熱処理条件：
（本発明例１、２）：浸炭処理（８７０℃×３０分浸炭、ＣＰ値＝１．１）を行なった後、大気放冷
（本発明例３、４）：オーステナイト化（８４０℃×３０分）後に大気放冷
（比較例１１）：浸炭処理（８７０℃×３０分浸炭、ＣＰ値＝１．１）を行なった後に、衝風焼入れ
（比較例１２）：オーステナイト化（８４０℃×３０分）後に、衝風焼入れ
（２−１）  平板の熱処理変形量
図３に示すように試験片中央部の平面度（およそ、最大反り量の１／２）を熱処理変形量として定義して、これを測定した。大気放冷にて焼入れした本発明例および比較例（焼入れ硬化する条件で冷却＝衝風冷却）について、上記の熱処理変形量の測定結果を図４に示す。
【００５２】
比較例の熱処理変形量は、ばらつき、変形量ともに大きく、最大で２００μｍ以上変形するものがあった。これに対して本発明例１〜４での最大値は６７μｍであり、平均で３分の１以下に軽減されている。
（２−２）  溝付きレース部材の熱処理変形量
図３の試験片と同様に、図５に示した溝付き試験片中央部の最大反りが大きい直径部分における平面度を熱処理変形量として定義し、大気放冷にて焼入れした本発明例および比較例（焼入れ硬化する条件で冷却＝衝風冷却）について、熱処理変形量を測定した。測定結果を図６に示す。
【００５３】
平板試験片と同様に、溝付き試験片においても、比較例の熱処理変形量は、ばらつき、変形量ともに大きく、最大で２４０μｍ以上変形するものがあった。これに対して本発明例１〜４での最大値は８０μｍであり、平均で３分の１以下に軽減されている。
３．溝付きレースの転動寿命
上記の熱処理変形量調査を測定した内径７５ｍｍ×外径１１５ｍｍ×厚み１ｍｍの溝付きレース部材中に、直径５／１６インチの鋼球をセットし、図７に示す試験機を用いて、表３の条件により転動疲労試験を行なった。
【００５４】
【表３】
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【００５５】
静止スクロール部材に相当する部分２１と、回転駆動軸２２によって旋回される旋回スクロール部材に相当する部分２３との間に、鋼球１２と、軌道溝１３が設けられたレース部材１１とを有するスラスト玉軸受が配置されている。回転軸に沿う方向にスラスト力を加えながら回転軸を回転し、転動疲労寿命を測定した。
【００５６】
寿命に及ぼす不純物の影響を調査するため、転動寿命試験は表１に示した試験サンプルに加え、表４に示すように、本発明例２、３の不純物（Ａｌ、および酸素）量を増加させた２Ｂ、３Ｂについての試験も行なった。
【００５７】
【表４】
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【００５８】
試験結果を図８に示す。ここで試験はそれぞれ６個の軸受を試験し、１０％寿命の比率で表わした。すなわち、比較例１２（ＪＩＳ−ＳＣｒ４２０）の転動疲労寿命を１としたときの各試験片の寿命比を表している。図８によれば、比較例１１（ＳＵＪ２）は、比較例１２と大きな寿命差はない。本発明例１、２、４は約２．５〜３倍、本発明例３は約３．５倍の長寿命を示している。また、不純物量を増加させた本発明例２Ｂ、３Ｂは、比較例より長寿命ではあるものの、合金元素が同じである本発明例２、３より明らかに短寿命であった。
【００５９】
本発明例５、６は本発明例２、３に対し、また比較例１３は比較例１２に対してそれぞれ浸炭窒化したものである。いずれも浸炭窒化処理により、それを行なわない場合よりもさらに長寿命にできるが、本発明例のものではその伸びが非常に大きいことが分る。
【００６０】
以上の結果により、課題を解決するための手段において述べた合金成分の鋼は、加熱後に大気放冷しても焼入れ硬化され、熱処理変形量が軽減し、かつ、スクロール圧縮機軸受としての転動寿命が長寿命化されることがわかった。
【００６１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００６２】
【発明の効果】
本発明を用いることにより、所定の硬度を確保した上で、熱処理変形の小さいスラスト玉軸受およびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態におけるスラスト玉軸受の製造方法を説明する図であり、（ａ）はレース部材を表面硬化処理後にそのまま大気放冷して焼き入れる方法を説明する図であり、（ｂ）は（ａ）の後に再度、大気放冷による焼入れを付加する方法を説明する図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるスラスト玉軸受を示す図である。
【図３】実施例において、熱処理変形量を調査する試験片を示す図である。
【図４】実施例における熱処理変形量測定結果を示す図である。
【図５】実施例における溝付きレース部材の変形量を定義する図である。
【図６】溝付きレース部材の熱処理変形量を示す図である。
【図７】スクロール圧縮機用スラスト玉軸受の転動寿命試験機の概略図である。
【図８】スクロール圧縮機用スラスト玉軸受の転動寿命試験結果を示す図である。
【符号の説明】
１１  軌道輪、１２  転動体（ころ）、１３  軌道溝、２１  静止スクロール部相当部分、２２  回転駆動軸、２３  旋回スクロール部相当部分。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004183804.tif 000013
【図８】
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