(57)【要約】【課題】大きな接触跡の形成、接触不良の発生、および製造コストの高騰を回避しつつ、２つのプローブの相互絶縁状態を維持する。【解決手段】プローブ３ａ，３ｂは、ベース板２に固定するための固定部１１と、ヘッド部１２と、弾性変形可能に構成されて固定部１１に対してヘッド部１２を上下動可能に連結すると共に固定部１１に対してプローブ案内機構ＰＭの案内方向とは逆向き方向への先端Ｐａ，Ｐｂの直動を許容するリンク機構ＲＭとを備え、かつ先端Ｐａ，Ｐｂ同士が近接配置された状態でベース板２に固定され、プローブ３ａにおけるリンク機構ＲＭが案内方向と直交する平面に沿って変形させられたときに先端Ｐａが描く第１の軌跡と、プローブ３ｂにおけるリンク機構ＲＭがその平面に沿って変形させられたときに先端Ｐｂが描く第２の軌跡とが交差しない位置関係でベース板２に固定されている。【選択図】　　　　図１
2004061194.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ案内機構に取り付けるためのベース部と、当該ベース部に固定された第１のコンタクトプローブおよび第２のコンタクトプローブとを備え、当該両コンタクトプローブは、前記ベース部に固定するための固定部と、前記プローブ案内機構の案内に従ってプロービング対象体に接触させられるプローブ本体が配設されたヘッド部と、弾性変形可能に構成されて前記固定部に対して前記ヘッド部を上下動可能に連結すると共に当該固定部に対して前記プローブ案内機構の案内方向とは逆向き方向への前記プローブ本体における先端部の直動または近似直動を許容する連結部とをそれぞれ備え、かつ前記両プローブ本体同士が非接触で前記先端部同士が近接配置された状態で前記ベース部にそれぞれ固定されているコンタクトプローブ装置であって、
前記両コンタクトプローブは、当該第１のコンタクトプローブにおける前記連結部が前記案内方向と直交する平面に沿って変形させられたときに当該第１のコンタクトプローブに配設されている前記プローブ本体の前記先端部が描く第１の軌跡と、当該第２のコンタクトプローブにおける前記連結部が前記平面に沿って変形させられたときに当該第２のコンタクトプローブに配設されている前記プローブ本体の前記先端部が描く第２の軌跡とが交差しない位置関係で前記ベース部にそれぞれ固定されているコンタクトプローブ装置。
【請求項２】
プローブ案内機構に取り付けるためのベース部と、当該ベース部に固定された第１のコンタクトプローブおよび第２のコンタクトプローブとを備え、当該両コンタクトプローブは、前記ベース部に固定するための固定部と、前記プローブ案内機構の案内に従ってプロービング対象体に接触させられるプローブ本体が配設されたヘッド部と、弾性変形可能に構成されて前記固定部に対して前記ヘッド部を上下動可能に連結すると共に当該固定部に対して前記プローブ案内機構の案内方向とは逆向き方向への前記プローブ本体における先端部の直動または近似直動を許容する連結部とをそれぞれ備え、かつ前記両プローブ本体同士が非接触で前記先端部同士が近接配置された状態で前記ベース部にそれぞれ固定されているコンタクトプローブ装置であって、
前記両コンタクトプローブは、各々の前記両固定部、前記両連結部および前記両ヘッド部が前記案内方向と平行な同一平面に沿ってそれぞれ配置された状態で当該両固定部が前記ベース部にそれぞれ固定されているコンタクトプローブ装置。
【請求項３】
前記両コンタクトプローブは、前記案内方向に沿った平面を挟んで対向配置された状態で前記ベース部にそれぞれ固定されている請求項１または２記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項４】
前記両コンタクトプローブは、左右対称に形成されている請求項３記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項５】
前記両コンタクトプローブは、前記固定部と、前記ヘッド部と、その両端に形成された弾性変形部を介して前記固定部および前記ヘッド部を連結する２本以上の連結用アームで構成された前記連結部とを有するリンク機構をそれぞれ備えている請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項６】
前記両コンタクトプローブは、前記プローブ本体と前記ヘッド部とが一体的に形成されている請求項１から５のいずれかに記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項７】
前記両コンタクトプローブの前記両固定部と前記ベース部とが絶縁性材料で一体的に形成されると共に、前記ヘッド部には、当該ヘッド部とは別体に形成された前記プローブ本体が配設されている請求項１から５のいずれかに記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項８】
前記ベース部を前記プローブ案内機構に取り付けるための取付具を備え、当該取付具は、前記プローブ案内機構に固定するための取付具側固定部と、前記ベース部が取り付けられる取付具側ヘッド部と、弾性変形可能に構成されて前記取付具側固定部に対して前記取付具側ヘッド部を上下動可能に連結すると共に当該取付具側固定部に対して前記プローブ案内機構の案内方向とは逆向き方向への前記プローブ本体における先端部の直動または近似直動を許容する取付具側連結部とを備えている請求項１から７のいずれかに記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項９】
前記両コンタクトプローブは、前記固定部に配設されると共に前記連結部の弾性変形によって当該固定部に対して上動させられた前記ヘッド部の上動量を規制するストッパ部をそれぞれ備えている請求項８記載のコンタクトプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プロービング対象体にプローブ本体を接触させて電気的検査を行うためのコンタクトプローブ装置に関し、特に四端子法による電気的検査に適したコンタクトプローブ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば回路基板上の１対のプリントパターン間についての抵抗値を測定することにより、その回路基板の良否について電気的検査を行う場合、一般的には、例えば、その１対のプリントパターン間に定電流を供給するための１対のコンタクトプローブ（以下、「プローブ」という）と、その１対のプリントパターン間の両端電圧を測定するための１対のプローブとを各プリントパターンにそれぞれ接触させた状態で四端子法による抵抗値の測定を行っている。この場合、今日の回路基板は、ファインピッチ化が進んでいるため、検査対象のプリントパターンは、非常に狭幅に形成されている。したがって、電流供給用のプローブと、電圧測定用のプローブとを回路基板上の同一パターンに同時に接触させるためには、両プローブの先端部をできる限り接近させた状態でプロービングを行う必要がある。また、四端子法による測定を行うためには、両プローブの先端同士を直接接触させずに検査対象のプリントパターンに独立して接触させる必要がある。このため、相互に絶縁された状態で接近配置された２つのプローブを有する各種のコンタクトプローブ装置が開発されている。
【０００３】
この種のコンタクトプローブ装置として、図１１に示すプローブユニット７１が従来から知られている。このプローブユニット７１は、全体が絶縁性樹脂で平板状に形成されて図外のプローブ案内機構に取り付けるためのベース板７２と、金属材で互いにほぼ同一形状に形成されてベース板７２にボルトによって固定されたプローブ７３ａ，７３ｂ（以下、区別しないときには「プローブ７３」という）とを備えている。この場合、プローブ７３は、ベース板７２に固定するための固定用孔が形成された固定部７４と、先端Ｐａ（プローブ７３ｂでは先端Ｐｂ）がプロービング対象体に接触させられるヘッド部７５と、ヘッド部７５を上下動可能に固定部７４に連結固定するための角棒状のアーム部７６とで一体形成されている。また、両プローブ７３ａ，７３ｂは、その先端Ｐａ，Ｐｂ同士が非接触状態で近接配置されるように各々の固定部７４がベース板７２にそれぞれ固定されている。
【０００４】
このプローブユニット７１を用いたプロービングに際しては、まず、プローブ案内機構によって、プローブ７３ａ，７３ｂの先端Ｐａ，Ｐｂがプロービング対象体（図示せず）の上方にそれぞれ位置させられる。次に、プローブ案内機構の案内に従って図１１の矢印Ｚ１の向きでベース板７２が下動されることにより、プローブ７３ａ，７３ｂの先端Ｐａ，Ｐｂがプロービング対象体の表面にそれぞれ接触させられる。次いで、ベース板７２を矢印Ｚ１の向きでさらに下動させると、プローブ７３ａ，７３ｂのアーム部７６，７６が、同図に破線で示すように矢印Ｂ１１，Ｃ１１の向きに弾性変形し、その弾性力によって先端Ｐａ，Ｐｂが、矢印Ｚ１の向きでプロービング対象体側にそれぞれ付勢される。これにより、先端Ｐａ，Ｐｂとプロービング対象体の表面とが電気的に接続される。この後、例えば、同図のプローブユニット７１におけるプローブ７３ａおよび他のプローブユニット７１（図示せず）におけるプローブ７３ａを介してプロービング対象体Ｘに測定用電流を供給すると共に、同図のプローブユニット７１におけるプローブ７３ｂおよび他のプローブユニット７１におけるプローブ７３ｂを介してプロービング対象体間の電圧を測定することにより、所定の電気的検査を実行する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のプローブユニット７１には、以下の問題点がある。すなわち、従来のプローブユニット７１では、四端子法による測定を行うために、先端Ｐａ，Ｐｂ同士が非接触状態で近接配置されるようにプローブ７３ａ，７３ｂがベース板７２にそれぞれ固定されている。この場合、このプローブユニット７１によるプロービングに際しては、プローブ案内機構によって、プローブ７３ａ，７３ｂの先端Ｐａ，Ｐｂがプロービング対象体に接触させられた状態でさらに下動させられることにより、アーム部７６が矢印Ｂ１１，Ｃ１１の向きに弾性変形したときに、先端Ｐａ，Ｐｂは、固定部７４の位置を基準とすれば、アーム部７６側の固定用孔の近傍を中心とした円弧状の軌跡で固定部７４に対して上動させられる。この結果、図１１に破線で示すように、先端Ｐａ，Ｐｂ同士が常態（非プロービング時）と比較して接近させられる。したがって、このプローブユニット７１では、プローブ７３ａ，７３ｂのベース板７２への固定に際して、プロービング時における接触を回避可能なだけ先端Ｐａ，Ｐｂを十分に離間させた状態で各々の固定部７４がベース板７２にそれぞれ固定されている。しかし、このプローブユニット７１では、図１２に破線で示すように、プロービングに際してアーム部７６が矢印Ｄ１１，Ｅ１１の向きで変形することがある。かかる場合には、先端Ｐａ，Ｐｂ同士が接触して、四端子法による測定を行うことができなくなるという問題点がある。この場合、常態において先端Ｐａ，Ｐｂがさらに離間するようにプローブ７３ａ，７３ｂをベース板７２に固定することで、プロービング時における先端Ｐａ，Ｐｂ同士の接触をある程度回避することが可能となる。しかし、かかる構成を採用した場合には、ファインピッチ化が進む今日の回路基板における１のプリントパターンに先端Ｐａ，Ｐｂの双方を接触させること自体が困難となる。
【０００６】
また、従来のプローブユニット７１では、前述したように、プロービングの際にプローブ７３ａ，７３ｂの先端Ｐａ，Ｐｂがアーム部７６側の固定用孔の近傍を中心とした円弧状の軌跡で上動させられることに起因して先端Ｐａ，Ｐｂがプロービング対象体の表面上をプローブ７３ａ，７３ｂの長手方向に移動する。このため、プロービング対象体の表面に「ハ」字形の大きな接触痕が形成されるため、プロービング対象体の美観や機能を損なうという問題点がある。さらに、従来のプローブユニット７１では、プロービング対象体の表面側に付勢された際のプローブ７３ａ，７３ｂの許容変形量が小さいため、プローブ案内機構によってベース板７２が大きく下動させられたときに、両プローブ７３ａ，７３ｂが破損する可能性があるという問題が存在する。
【０００７】
一方、特開平６−５８９５５号公報には、絶縁膜を介して絶縁状態で接触させられた断面半円形状の２本のプローブ（１Ａ，１Ｂ）を備えたプローブヘッド（コンタクトプローブ装置）が開示されている。このプローブヘッドでは、両プローブが絶縁膜の厚み分だけ離間させられた状態に保持されているため、両プローブの電気的接触を回避しつつ、各々の先端をプロービング対象体上の極く近距離に接触させることができる。しかし、このプローブヘッドでは、両プローブの先端の高さ（プロービング対象体に対する高さ）が等しく調整されていないときに、一方のプローブ（プロービング対象体に近い側のプローブ）がプロービング対象体に接触した後に、他方のプローブが一方のプローブに対して滑動させられてからプロービング対象体に接触することとなる。この際に、一方のプローブに対して滑動させられるプローブと絶縁膜との間に介在する摩擦力に起因して、先に接触しているプローブがプロービング対象体に対して強く押し付けられることとなる。このため、プロービング対象体の表面に大きな接触跡が形成されるという問題点がある。また、上記の摩擦力が大きいときには、プロービング対象体に対する他方のプローブの接触が不完全となるという問題点もある。
【０００８】
この場合、両プローブの先端の高さを等しく調整することで上記問題点を解決することが可能となる。しかし、その調整作業が非常に困難な作業のため、この調整作業に起因してプローブユニット７１の製造コストが高騰するという問題が発生する。さらに、このプローブヘッドでは、上記したプローブと絶縁膜との間の摩擦力のみならず、プローブと第１絶縁板（２）との間に介在する摩擦力によってもプローブの円滑な上下動が妨げられる。このため、大きな接触跡の形成および接触不良の発生が深刻な問題点となる。また、このプローブヘッドでは、両プローブの先端をプロービング対象体上の極く近距離に接触させるために薄厚の絶縁膜を採用する必要がある。このため、薄厚の絶縁膜によって両プローブを確実に絶縁するのが困難になっているという問題点がある。
【０００９】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、大きな接触跡の形成、接触不良の発生、および製造コストの高騰を回避しつつ、２つのプローブの相互絶縁状態を維持し得るコンタクトプローブ装置を提供することを主目的とする。また、コンタクトプローブの破損を防止し得るコンタクトプローブ装置を提供することを他の目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクトプローブ装置は、プローブ案内機構に取り付けるためのベース部と、当該ベース部に固定された第１のコンタクトプローブおよび第２のコンタクトプローブとを備え、当該両コンタクトプローブは、前記ベース部に固定するための固定部と、前記プローブ案内機構の案内に従ってプロービング対象体に接触させられるプローブ本体が配設されたヘッド部と、弾性変形可能に構成されて前記固定部に対して前記ヘッド部を上下動可能に連結すると共に当該固定部に対して前記プローブ案内機構の案内方向とは逆向き方向への前記プローブ本体における先端部の直動または近似直動を許容する連結部とをそれぞれ備え、かつ前記両プローブ本体同士が非接触で前記先端部同士が近接配置された状態で前記ベース部にそれぞれ固定されているコンタクトプローブ装置であって、前記両コンタクトプローブは、当該第１のコンタクトプローブにおける前記連結部が前記案内方向と直交する平面に沿って変形させられたときに当該第１のコンタクトプローブに配設されている前記プローブ本体の前記先端部が描く第１の軌跡と、当該第２のコンタクトプローブにおける前記連結部が前記平面に沿って変形させられたときに当該第２のコンタクトプローブに配設されている前記プローブ本体の前記先端部が描く第２の軌跡とが交差しない位置関係で前記ベース部にそれぞれ固定されている。
【００１１】
また、請求項２記載のコンタクトプローブ装置は、プローブ案内機構に取り付けるためのベース部と、当該ベース部に固定された第１のコンタクトプローブおよび第２のコンタクトプローブとを備え、当該両コンタクトプローブは、前記ベース部に固定するための固定部と、前記プローブ案内機構の案内に従ってプロービング対象体に接触させられるプローブ本体が配設されたヘッド部と、弾性変形可能に構成されて前記固定部に対して前記ヘッド部を上下動可能に連結すると共に当該固定部に対して前記プローブ案内機構の案内方向とは逆向き方向への前記プローブ本体における先端部の直動または近似直動を許容する連結部とをそれぞれ備え、かつ前記両プローブ本体同士が非接触で前記先端部同士が近接配置された状態で前記ベース部にそれぞれ固定されているコンタクトプローブ装置であって、前記両コンタクトプローブは、各々の前記両固定部、前記両連結部および前記両ヘッド部が前記案内方向と平行な同一平面に沿ってそれぞれ配置された状態で当該両固定部が前記ベース部にそれぞれ固定されている。
【００１２】
さらに、請求項３記載のコンタクトプローブ装置は、請求項１または２記載のコンタクトプローブ装置において、前記両コンタクトプローブは、前記案内方向に沿った平面を挟んで対向配置された状態で前記ベース部にそれぞれ固定されている。
【００１３】
また、請求項４記載のコンタクトプローブ装置は、請求項３記載のコンタクトプローブ装置において、前記両コンタクトプローブは、左右対称に形成されている。
【００１４】
さらに、請求項５記載のコンタクトプローブ装置は、請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ装置において、前記両コンタクトプローブは、前記固定部と、前記ヘッド部と、その両端に形成された弾性変形部を介して前記固定部および前記ヘッド部を連結する２本以上の連結用アームで構成された前記連結部とを有するリンク機構をそれぞれ備えている。
【００１５】
また、請求項６記載のコンタクトプローブ装置は、請求項１から５のいずれに記載のコンタクトプローブ装置において、前記両コンタクトプローブは、前記プローブ本体と前記ヘッド部とが一体的に形成されている。
【００１６】
また、請求項７記載のコンタクトプローブ装置は、請求項１から５のいずれに記載のコンタクトプローブ装置において、前記両コンタクトプローブの前記両固定部と前記ベース部とが絶縁性材料で一体的に形成されると共に、前記ヘッド部には、当該ヘッド部とは別体に形成された前記プローブ本体が配設されている。
【００１７】
さらに、請求項８記載のコンタクトプローブ装置は、請求項１から７のいずれに記載のコンタクトプローブ装置において、前記ベース部を前記プローブ案内機構に取り付けるための取付具を備え、当該取付具は、前記プローブ案内機構に固定するための取付具側固定部と、前記ベース部が取り付けられる取付具側ヘッド部と、弾性変形可能に構成されて前記取付具側固定部に対して前記取付具側ヘッド部を上下動可能に連結すると共に当該取付具側固定部に対して前記プローブ案内機構の案内方向とは逆向き方向への前記プローブ本体における先端部の直動または近似直動を許容する取付具側連結部とを備えている。
【００１８】
また、請求項９記載のコンタクトプローブ装置は、請求項８記載のコンタクトプローブ装置において、前記両コンタクトプローブは、前記固定部に配設されると共に前記連結部の弾性変形によって当該固定部に対して上動させられた前記ヘッド部の上動量を規制するストッパ部をそれぞれ備えている。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブ装置の好適な実施の形態について説明する。
【００２０】
最初に、本発明に係るコンタクトプローブ装置に相当するプローブユニット１の構成について、図１〜４を参照して説明する。
【００２１】
プローブユニット１は、図１に示すように、本発明におけるベース部に相当するベース板２と、本発明における第１および第２のコンタクトプローブにそれぞれ相当するプローブ３ａ，３ｂ（以下、区別しないときには「プローブ３」ともいう）を備えている。ベース板２は、両プローブ３ａ，３ｂをプローブ案内機構ＰＭに取り付けるためのものであって、図１〜３に示すように、絶縁性樹脂で平板状に形成されている。また、ベース板２には、プローブ案内機構ＰＭに取り付けるためのボルトを挿通可能な挿通孔と、プローブ３を固定するためのボルトをねじ込み可能なボルト孔とが形成されている。この場合、ベース板２は、図２に示すように、プローブ３ａ，３ｂの取付け面２ａ（本発明における同一平面）がプローブ案内機構ＰＭの案内方向（矢印Ｚ１の方向）に沿って平行な平面となるようにプローブ案内機構ＰＭにボルト締めされる。
【００２２】
プローブ３ａ，３ｂは、図１に示すように、ベース板２に固定した状態で左右対称となるように同一形状に形成され、図４に示すように、固定部１１、ヘッド部１２および連結用アーム１３，１４が金属で一体的に形成され、全体として四節回転機構のリンク機構ＲＭを構成する。この場合、固定部１１には、同図に示すように、ベース板２にプローブ３を固定するためのボルトを挿通可能な挿通孔が形成されている。また、固定部１１には、ヘッド部１２が固定部１１に対して相対的に上動（矢印Ｚ２の向きで移動）したときにヘッド部１２の上端部が当接することでヘッド部１２の上動量を規制するストッパ部１９が形成されている。ヘッド部１２は、図２に示すように、テーパ状に形成され、その先端Ｐ（プローブ３ａでは、先端Ｐａ。プローブ３ｂでは、先端Ｐｂ。）は、プリントパターンなどのプロービング対象体Ｘに接触させられる際の接触痕を極限まで小さくできるように鋭利に切削されている。なお、ヘッド部１２における先端Ｐ近傍部分が本発明におけるプローブ本体に相当する。連結用アーム１３は、図４に示すように、長尺薄板状に形成され、その両端部分の一部を円弧状に切り欠いて形成した円弧切欠き支点（以下、「支点」ともいう）１５，１６を介して、固定部１１に対して上下動可能にヘッド部１２を連結する。一方、連結用アーム１４は、連結用アーム１３よりも長目の薄板状に形成され、その両端部分の一部を円弧状に切り欠いて形成した支点１７，１８を介して、固定部１１に対して上下動可能にヘッド部１２を連結する。この場合、支点１５〜１８が本発明における弾性変形部に相当する。また、連結用アーム１３，１４および支点１５〜１８によって本発明における連結部が構成されている。
【００２３】
このプローブユニット１の組立てに際しては、まず、金属平板を所定形状（プローブ３の側面視形状）に打ち抜いた後に先端Ｐａ，Ｐｂを切削することにより、プローブ３ａ，３ｂを製作する。次に、図１に示すように、プローブ案内機構ＰＭの案内方向（矢印Ｚ１の向き）と平行な直線（この場合、同図のＡ−Ａ線）に沿った平面を挟んで対向するように位置合わせした状態で両プローブ３ａ，３ｂの各々の固定部１１をベース板２の取付け面２ａに当接させ、その状態で、固定部１１の挿通孔を挿通させたボルトをベース板２のボルト孔にそれぞれ軽く締め付ける（仮締めする）。これにより、両プローブ３ａ，３ｂがベース板２に仮固定される。この際に、例えば、ボルトに導線を絡げて締め付けることにより、図外の検査装置とヘッド部１２とが電気的に接続される。次いで、図３に示すように、先端Ｐａ，Ｐｂが接触せず、かつ極く接近するようにプローブ３ａ，３ｂの位置を微調整した後に、仮締めされているボルトを強く締め付ける（本締めする）ことにより、プローブ３ａ，３ｂの各固定部１１，１１をベース板２の取付け面２ａに密着させる。この際に、ベース板２が平板状に形成されて取付け面２ａが平坦のため、同図に示すように、プローブ３ａ，３ｂの固定部１１、ヘッド部１２および連結用アーム１３，１４は、ベース板２の取付け面２ａに沿ってそれぞれ配置される。これにより、プローブユニット１が完成する。この後、図１〜３に示すように、完成したプローブユニット１をプローブ案内機構ＰＭにボルト締めして取り付けることにより、四端子法による測定の準備が完了する。
【００２４】
次いで、プロービング時のプローブユニット１の動作について、各図を参照して説明する。
【００２５】
まず、図１，２に示すように、プローブ案内機構ＰＭによって、プローブ３ａ，３ｂの先端Ｐａ，Ｐｂをプロービング対象体Ｘの上方に位置させる。次に、プローブ案内機構ＰＭが、矢印Ｚ１の向きにベース板２を下動させる。これにより、プローブ３ａ，３ｂがベース板２と共に下動し、その先端Ｐａ，Ｐｂがプロービング対象体Ｘの表面に接触させられる。この際に、プローブユニット１では、先端Ｐａ，Ｐｂが近接配置されているため、狭幅のプロービング対象体Ｘであっても、そのパターン幅内に先端Ｐａ，Ｐｂを確実に接触させることができる。次いで、プローブ案内機構ＰＭが両図の矢印Ｚ１の向きにベース板２をさらに下動させると、図５に示すように、支点１５〜１８が弾性変形する。なお、同図では、ヘッド部１２の上端部がストッパ部１９に当接した状態を図示しているが、実際には、プローブ案内機構ＰＭは、ヘッド部１２がストッパ部１９に対して当接しない程度にベース板２を下動させる。この際に、プローブ３ａ，３ｂは、固定部１１の位置を基準とすれば、連結用アーム１３，１４が、支点１５，１７を中心として、図４の矢印Ｂ１，Ｃ１の向きでそれぞれ相対的に回転させられる。同時に、ヘッド部１２が固定部１１に対して相対的に上動（矢印Ｚ２の向きで移動）して、支点１５〜１８の元の状態に復帰しようとする復帰力が両ヘッド部１２，１２の先端Ｐａ，Ｐｂに作用する。
【００２６】
この場合、このプローブユニット１では、両プローブ３ａ，３ｂが別個独立して（互いに非接触状態で）ベース板２に固定されている。このため、両プローブ３ａ，３ｂのいずれか一方の先端Ｐがプロービング対象体Ｘの表面に先に接触したとしても、両プローブ３ａ，３ｂ間に摩擦力は生じない。したがって、絶縁膜を介して２本のプローブが接触させられている従来のプローブヘッド（コンタクトプローブ装置）と比較して、先端Ｐａ，Ｐｂのプロービング対象体Ｘに対する付勢力の差が小さく、先端Ｐａ，Ｐｂがほぼ同一の付勢力でプロービング対象体Ｘに接触する。このため、プロービング対象体Ｘに対する先端Ｐａ，Ｐｂの接触抵抗がほぼ均一化される。また、このプローブユニット１では、リンク機構ＲＭが、連結用アーム１３，１４の長さ、支点１５，１７間の距離、支点１６，１８間の距離、支点１６，１８からヘッド部１２の先端Ｐまでの距離が、固定部１１に対して先端Ｐを直動可能な所定の比率で形成されている。したがって、両プローブ３ａ，３ｂの先端Ｐａ，Ｐｂは、固定部１１の位置を基準とした場合、等価的には、プローブ案内機構ＰＭによる矢印Ｚ１の案内方向とは逆向き方向の矢印Ｚ２の方向に直動または近似的に直動させられる。これにより、先端Ｐａ，Ｐｂは、プロービング対象体Ｘ上を移動することなく確実に点的接触させられて、プローブ案内機構ＰＭの案内方向である矢印Ｚ１の方向に付勢される。
【００２７】
一方、このプローブユニット１では、例えばプロービング対象体Ｘに対して高速にプロービングしたときに、連結用アーム１３，１４および支点１５〜１８が図４に示す矢印Ｂ１，Ｃ１以外（上下方向以外）の向きに変形することがある。具体的には、図６に破線で示すように、連結用アーム１３，１４および支点１５〜１８がプローブ案内機構ＰＭの案内方向と直交する面（例えばプロービング対象体Ｘの表面）に沿って変形することがあり、かかる場合には、ヘッド部１２の先端Ｐａ，Ｐｂが固定部１１における支点１５，１７近傍を中心として矢印Ｄ１，Ｅ１のような円弧状の軌跡（本発明における第１および第２の軌跡）で移動させられる。なお、同図では、本発明についての理解を容易とするために、各部の変形量を誇張して図示している。この場合、このプローブユニット１では、前述したように、両プローブ３ａ，３ｂの固定部１１、ヘッド部１２および連結用アーム１３，１４がベース板２の取付け面２ａに沿って配置されてヘッド部１２，１２同士が対向させられ、かつ、先端Ｐａ，Ｐｂが互いに離間するようにプローブ３ａ，３ｂがベース板２に取り付けられている。このため、先端Ｐａ，Ｐｂは、変形前の状態（図６に実線で示す状態）において最も接近する。したがって、この状態で非接触となるように固定部１１，１１をベース板２にそれぞれ固定している限り、たとえヘッド部１２が矢印Ｄ１，Ｅ１の方向に移動させられたとしても、先端Ｐａ，Ｐｂによって描かれる軌跡同士の交差は回避される。
【００２８】
このように、このプローブユニット１によれば、プローブ案内機構ＰＭの案内方向と直交する面（この場合、プロービング対象体Ｘの表面）に沿って連結用アーム１３，１４および支点１５〜１８が変形させられたときに両ヘッド部１２，１２の先端Ｐａ，Ｐｂが描く軌跡同士が交差しない位置関係で両プローブ３ａ，３ｂをベース板２に固定したことにより、連結用アーム１３，１４および支点１５〜１８がどのように変形したとしても先端Ｐａ，Ｐｂ同士が変形前の状態よりも接近することがないため、先端Ｐａ，Ｐｂ同士（両プローブ３ａ，３ｂ同士）の電気的な接触を回避することができる。これにより、他のプローブユニット１と相俟って四端子法によるプロービング対象体Ｘ，Ｘ間の抵抗値測定などを実施することができる。
【００２９】
また、このプローブユニット１によれば、プローブ３ａ，３ｂを別個独立してベース板２に固定したことにより、いずれか一方のプローブ３がプロービング対象体Ｘに対して先に接触したとしても、両プローブ３ａ，３ｂ間に摩擦力が生じることがないため、従来のプローブヘッド（コンタクトプローブ装置）と比較して、先端Ｐａ，Ｐｂのプロービング対象体Ｘに対する付勢力の差を小さくすることができる。したがって、両プローブ３ａ，３ｂの先端Ｐａ，Ｐｂをほぼ同一の付勢力でプロービング対象体Ｘに接触させることができる。このため、従来のプローブヘッド（コンタクトプローブ装置）とは異なり、いずれか一方のプローブ３がプロービング対象体Ｘに対して先に接触したとしても、そのプローブ３による大きな接触痕の形成を回避することができる。また、連結用アーム１３，１４および支点１５〜１８が固定部１１に対してプローブ案内機構ＰＭの案内方向（図１に示す矢印Ｚ１の方向）とは逆向き方向（矢印Ｚ２の方向）への先端Ｐの直動または近似直動を許容するように構成したことにより、プロービング時には、先端Ｐａ，Ｐｂが上下方向にほぼ直動させられるため、プロービング対象体Ｘに接触してから、さらに付勢されたときまでの間において、先端Ｐａ，Ｐｂがプロービング対象体Ｘの表面上を移動することで形成される接触痕を小さくすることができる。したがって、プロービング対象体Ｘの美観や機能を損なうことなくプロービングを行うことができる。
【００３０】
また、このプローブユニット１によれば、各々の固定部１１、連結用アーム１３，１４、支点１５〜１８およびヘッド部１２がプローブ案内機構ＰＭの案内方向と平行な同一面上（この場合、ベース板２の取付け面２ａ）に沿って配置された状態で両プローブ３ａ，３ｂをベース板２に固定したことにより、変形前の状態において先端Ｐａ，Ｐｂが最も接近することとなるため、組立てに際して両先端Ｐａ，Ｐｂが接触しない状態に両プローブ３ａ，３ｂを位置合わせしてベース板２に固定するだけで、プロービング時における先端Ｐａ，Ｐｂ同士（プローブ３ａ，３ｂ同士）の電気的な接触を確実に回避することができる。これにより、他のプローブユニット１と相俟って四端子法によるプロービング対象体Ｘ，Ｘ間の抵抗値測定などを実施することができる。さらに、このプローブユニット１によれば、プローブ３ａ，３ｂが、固定部１１、ヘッド部１２、連結用アーム１３，１４および支点１５〜１８を有するリンク機構ＲＭを備えたことにより、例えば、弾性率および長さ等を考慮した複雑な設計を要する板ばね型の連結部を採用したコンタクトプローブと比較して、連結用アーム１３，１４の長さ、支点１５，１７間の距離、支点１６，１８間の距離、および支点１６，１８からヘッド部１２の先端Ｐまでの距離を考慮するだけで固定部１１に対する先端Ｐの直動を許容するコンタクトプローブを設計することができる結果、プロービング対象体Ｘに形成される接触痕が極めて小さいプローブユニット１を安価に製作することができる。また、ヘッド部１２をテーパ状に形成することで本発明におけるプローブ本体とヘッド部とを一体的に形成したことにより、ヘッド部とは別体に形成したプローブ本体をヘッド部に取り付ける作業を不要とすることができ、これにより、プローブユニット１の製造コストを十分に低減することができる。
【００３１】
次に、本発明の他の実施の形態に係るプローブユニット１Ａについて、図７，８を参照して説明する。
【００３２】
プローブユニット１Ａは、図７に示すように、前述したプローブユニット１におけるベース板２およびプローブ３ａ，３ｂと、取付具５とを備えている。なお、ベース板２およびプローブ３については同一の符号を付して重複した説明を省略する。取付具５は、固定部２１、ヘッド部２２および連結用アーム２３，２４が例えば樹脂材料で一体的に形成され、全体として四節回転機構のリンク機構ＲＭを構成する。この場合、固定部２１は、本発明における取付具側固定部に相当し、同図に示すように、プローブ案内機構ＰＭに取付具５を固定するためのボルトを挿通可能な挿通孔が形成されている。ヘッド部２２は、本発明における取付具側ヘッド部に相当し、その前面にベース板２を固定可能に形成されている。連結用アーム２３は、板状または棒状に形成され、その両端部分の一部を円弧状に切り欠いて形成した支点２５，２６を介して、固定部２１に対して上下動可能にヘッド部２２を連結する。一方、連結用アーム２４は、連結用アーム２３よりも長目の板状または棒状に形成され、その両端部分の一部を円弧状に切り欠いて形成した支点２７，２８を介して、固定部２１に対して上下動可能にヘッド部２２を連結する。この場合、連結用アーム２３，２４および支点２５〜２８によって本発明における取付具側連結部が構成される。
【００３３】
このプローブユニット１Ａによってプロービング対象体Ｘに対するプロービングを実施するときには、図７に示すように、まず、プローブ案内機構ＰＭによってプローブ３ａ，３ｂの先端Ｐａ，Ｐｂをプロービング対象体Ｘの上方に位置させる。次に、プローブ案内機構ＰＭが、矢印Ｚ１の向きに取付具５を下動させる。これにより、プローブ３ａ，３ｂがベース板２と共に下動し、その先端Ｐａ，Ｐｂがプロービング対象体Ｘの表面に接触させられる。次いで、プローブ案内機構ＰＭが矢印Ｚ１の向きで取付具５をさらに下動させると、図５に示すように、その支点１５〜１８が弾性変形する。なお、同図はプローブ案内機構ＰＭに対してベース板２を直接取り付けた状態を図示しているが、取付具５を介して取り付けた状態であっても、支点１５〜１８が同様にして変形する。続いて、プローブ案内機構ＰＭが矢印Ｚ１の向きで取付具５をさらに下動させると、同図に示すように、ヘッド部１２の上端部がストッパ部１９に当接させられる。
【００３４】
この際に、プローブ３ａ，３ｂは、ヘッド部１２の上端部がストッパ部１９に当接した時点で、支点１５〜１８の弾性変形が停止させられる。この状態で、プローブ案内機構ＰＭが矢印Ｚ１の向きで取付具５をさらに下動させると、図８に示すように、取付具５の支点２５〜２８が弾性変形させられる。この際に、固定部２１の位置を基準とすれば、連結用アーム２３，２４が、支点２５，２７を中心として、それぞれ相対的に上向きに回転させられる。同時に、ヘッド部２２が固定部２１に対して相対的に上動（矢印Ｚ２の向きで移動）し、支点２５〜２８の元の状態に復帰しようとする復帰力がプローブ３ａ，３ｂの先端Ｐａ，Ｐｂに作用する。これにより、先端Ｐａ，Ｐｂは、プロービング対象体Ｘ上を移動することなく確実に点的接触させられて、プローブ案内機構ＰＭの案内方向である矢印Ｚ１の方向に付勢される。この場合、プローブ３単体の変形量が同図に示す高さＨ１だけであるのに対し、この取付具５を介してプローブ案内機構ＰＭに取り付けることにより、取付具５の変形量である高さＨ２分だけ多目にプローブ案内機構ＰＭをストローク（下動）させることができる。
【００３５】
このように、このプローブユニット１Ａによれば、支点２５〜２８が弾性変形することによって固定部２１に対してプローブ案内機構ＰＭの案内方向とは逆向き方向へのヘッド部２２（プローブ３ａ，３ｂ）の直動または近似直動を許容する取付具５を備えたことにより、プローブ案内機構ＰＭによって大きく下動させられたときに取付具５の支点２５〜２８が変形することでプローブ３ａ，３ｂにおける支点１５〜１８の過度の変形を回避することができ、これにより、プローブ３ａ，３ｂの破損を防止することができる。また、上記したプローブ３の破損回避のみならず、必要に応じて、プロービング対象体Ｘに対して先端Ｐａ，Ｐｂをより強く付勢することもできる。この場合、ヘッド部１２の上動量を規制するストッパ部１９をプローブユニット１におけるプローブ３の固定部１１に配設したことにより、ヘッド部１２の上端部がストッパ部１９に当接した時点で、支点１５〜１８の弾性変形が停止させられるため、プローブ３ａ，３ｂの破損を確実に防止することができる。また、このプローブユニット１Ａによれば、固定部２１、ヘッド部２２、連結用アーム２３，２４および支点２５〜２８を有するリンク機構ＲＭを備えたことにより、例えば、弾性率および長さ等を考慮した複雑な設計を要する板ばね型の連結部を採用した取付具と比較して、連結用アーム２３，２４の長さ、支点２５，２７間の距離、支点２６，２８間の距離、および支点２６，２８からプローブ３の先端Ｐまでの距離を考慮するだけで固定部２１に対するプローブ３における先端Ｐの直動を許容する取付具５を設計することができる。これにより、プロービング対象体Ｘに形成される接触痕を極めて小さくできる。
【００３６】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、ヘッド部１２の一端を鋭利に尖らせることによって先端Ｐａ，Ｐｂを形成した例を説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば図９に示すプローブユニット３１におけるプローブ３３ａ，３３ｂのように、金属針状のプローブ本体Ｎをヘッド部３４に取り付けて一体化することにより、本発明における第１および第２のコンタクトプローブを構成してもよい。また、本発明の実施の形態では、リンク機構ＲＭとして、２つの連結用アーム１３，１４でヘッド部１２および固定部１１を連結する例について説明したが、本発明は、これに限定されない。例えば、ヘッド部１２および固定部１１を３つの連結用アームで連結し、その連結部分に円弧切欠き支点を形成してもよい。さらに、リンク機構ＲＭを構成する支点１５〜１８の形状についても円弧切欠き支点に限定されず、双曲線切欠き支点や楕円切欠き支点などを用いることもできるし、その形状については適宜変更することができる。また、本発明の実施の形態では、その両端部に支点１５〜１８（弾性変形部）が形成された連結用アーム１３，１４を有するリンク機構ＲＭを備えたプローブ３を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば２枚の板ばね（一例として、図９に示すプローブユニット３１の連結用アーム３６，３７）を介して固定部１１およびヘッド部１２を連結する構成を採用することができる。さらに、リンク機構ＲＭを構成する連結用アーム１３，１４や、連結用アーム３６，３７などについては、本発明の実施の形態に例示した異なる長さの組み合わせに限定されず、上下の両連結用アームを等しい長さに形成して本発明における連結部を構成することもできる。同様にして、連結用アーム２３，２４についても互いに等しい長さに形成することができる。
【００３７】
また、本発明の実施の形態では、金属の平板を所定形状に打ち抜いた後に切削して本発明における第１および第２のコンタクトプローブを形成した例について説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば、エッチングによって本発明における第１および第２のコンタクトプローブを形成してもよい。さらに、本発明の実施の形態では、ベース板２に対してプローブ３ａ，３ｂの各々の固定部１１をボルトによって固定した例を説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば図９に示すプローブユニット３１のように、本発明における第１および第２のコンタクトプローブに相当するプローブ３３ａ，３３ｂと、本発明におけるベース部に相当するベース部３２とを例えば樹脂材料（絶縁性材料）で一体的に形成してもよい。この場合、このプローブユニット３１では、ベース部３２が本発明におけるベース部および固定部を構成する。この構成を採用することにより、ベース部に対する固定部の取り付け作業が不要となるため、その製造コストを低減することができる。なお、同図に示すプローブユニット３１では、板ばね型の連結用アーム３６，３７を採用しているが、前述したプローブ３のように、連結用アーム１３，１４および支点１５〜１８を有するリンク機構ＲＭを採用してもよい。
【００３８】
さらに、本発明の実施の形態では、プローブ３ａ，３ｂを左右対称に形成すると共にプローブ案内機構の案内方向に沿った平面を挟んで対向配置した状態でベース板２にそれぞれ固定したプローブユニット１を例に挙げて説明したが、本発明における第１および第２のコンタクトプローブの位置関係はこれに限定されない。例えば、図１０に示すプローブユニット４１のように、本発明における第１のコンタクトプローブに相当するプローブ４３ａと、本発明における第２のコンタクトプローブに相当するプローブ４３ｂとをプローブ案内機構の案内方向で重なるように配置することもできる。このプローブユニット４１では、プローブ４３ａの連結用アーム４６ａ，４７ａ（本発明における連結部）と、プローブ４３ｂの連結用アーム４６ｂ，４７ｂ（本発明における連結部）とがプローブ案内機構ＰＭの案内方向である矢印Ｚ１の方向で重なるように、固定部４４ａ，４４ｂがベース板４２（本発明におけるベース部）に固定されている。このプローブユニット４１では、前述したプローブユニット１と同様にして、ヘッド部４５ａ，４５ｂの先端Ｐａ，Ｐｂが常態よりも接近することがないため、先端Ｐａ，Ｐｂ同士（両プローブ４３ａ，４３ｂ同士）の電気的な接触を回避することができ、これにより、他のプローブユニット４１と相俟って四端子法によるプロービング対象体Ｘ，Ｘ間の抵抗値測定などを実施することができる。
【００３９】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載のコンタクトプローブ装置によれば、両コンタクトプローブの連結部が案内方向と直交する平面に沿ってそれぞれ変形させられたときに各々のプローブ本体における先端部が描く両軌跡同士が交差しない位置関係で両コンタクトプローブをベース部にそれぞれ固定したことにより、連結部がどのように変形したとしても両プローブ本体における先部同士が変形前の状態よりも接近することがないため、先端部同士（両コンタクトプローブ同士）の電気的な接触を回避することができる。これにより、他のコンタクトプローブ装置と相俟って四端子法によるプロービング対象体間の抵抗値測定などを実施することができる。
【００４０】
また、このコンタクトプローブ装置によれば、第１および第２のコンタクトプローブを別個独立してベース部に固定したことにより、いずれか一方のコンタクトプローブがプロービング対象体に対して先に接触したとしても、両コンタクトプローブ間に摩擦力が生じることがないため、従来のプローブヘッド（コンタクトプローブ装置）と比較して、両プローブ本体における先端部のプロービング対象体に対する付勢力の差を小さくすることができる。したがって、両コンタクトプローブの先端部をほぼ同一の付勢力でプロービング対象体に接触させることができる。このため、従来のプローブヘッド（コンタクトプローブ装置）とは異なり、いずれか一方のコンタクトプローブがプロービング対象体に対して先に接触したとしても、そのコンタクトプローブによる大きな接触痕の形成を回避することができる。また、連結部が固定部に対してプローブ案内機構の案内方向とは逆向き方向への先端部の直動または近似直動を許容するように構成したことにより、プロービング時には、両プローブ本体における先端部が上下方向にほぼ直動させられるため、プロービング対象体に接触してから、さらに付勢されたときまでの間において、先端部がプロービング対象体の表面上をそれぞれ移動することで形成される接触痕を小さくすることができる。したがって、プロービング対象体の美観や機能を損なうことなくプロービングを行うことができる。
【００４１】
また、請求項２から４に記載のコンタクトプローブ装置によれば、両固定部、両連結部および両ヘッド部を案内方向と平行な同一平面に沿って配置した状態で両コンタクトプローブをベース部にそれぞれ固定したことにより、両プローブ本体における先端部が変形前の状態において最も接近することとなるため、組立てに際して両先端部が接触しない状態に両コンタクトプローブを位置合わせしてベース部に固定するだけで、プロービング時における先端部同士（コンタクトプローブ同士）の電気的な接触を確実に回避することができる。これにより、他のコンタクトプローブ装置と相俟って四端子法によるプロービング対象体間の抵抗値測定などを実施することができる。
【００４２】
また、このコンタクトプローブ装置によれば、第１および第２のコンタクトプローブを別個独立してベース部に固定したことにより、請求項１記載のコンタクトプローブ装置と同様にして、いずれか一方のコンタクトプローブがプロービング対象体に対して先に接触したとしても、両コンタクトプローブ間に摩擦力が生じることがないため、従来のプローブヘッド（コンタクトプローブ装置）と比較して、両プローブ本体における先端部のプロービング対象体に対する付勢力の差を小さくすることができる。したがって、両コンタクトプローブの先端部をほぼ同一の付勢力でプロービング対象体に接触させることができる。このため、従来のプローブヘッド（コンタクトプローブ装置）とは異なり、いずれか一方のコンタクトプローブがプロービング対象体に対して先に接触したとしても、そのコンタクトプローブによる大きな接触痕の形成を回避することができる。また、連結部が固定部に対してプローブ案内機構の案内方向とは逆向き方向への先端部の直動または近似直動を許容するように構成したことにより、プロービング時には、両プローブ本体における先端部が上下方向にほぼ直動させられるため、プロービング対象体に接触してから、さらに付勢されたときまでの間において、先端部がプロービング対象体の表面上をそれぞれ移動することで形成される接触痕を小さくすることができる。したがって、プロービング対象体の美観や機能を損なうことなくプロービングを行うことができる。
【００４３】
さらに、請求項５記載のコンタクトプローブ装置によれば、両コンタクトプローブがリンク機構を備えたことにより、例えば、弾性率および長さ等を考慮した複雑な設計を要する板ばね型の連結部を採用したコンタクトプローブと比較して、連結用アームの長さ、弾性変形部間の距離、および弾性変形部からプローブ本体の先端部までの距離を考慮するだけで固定部に対する先端部の直動を許容するコンタクトプローブを設計することができ、これにより、プロービング対象体に形成される接触痕が極めて小さいコンタクトプローブ装置を安価に製作することができる。
【００４４】
また、請求項６記載のコンタクトプローブ装置によれば、プローブ本体とヘッド部とを一体的に形成したことにより、ヘッド部とは別体に形成したプローブ本体をヘッド部に取り付ける作業を不要とすることができ、これにより、コンタクトプローブ装置の製造コストを十分に低減することができる。
【００４５】
さらに、請求項７記載のコンタクトプローブ装置によれば、コンタクトプローブの両固定部とベース部とを絶縁性材料で一体的に形成すると共に、ヘッド部とは別体に形成したプローブ本体をヘッド部に配設したことにより、ベース部に対する固定部の取り付け作業が不要となるため、コンタクトプローブ装置の製造コストを低減することができる。
【００４６】
また、請求項８記載のコンタクトプローブ装置によれば、プローブ案内機構に固定するための取付具側固定部と、ベース部が取り付けられた取付具側ヘッド部と、取付具側固定部に対して取付具側ヘッド部を上下動可能に連結すると共に取付具側固定部に対してプローブ案内機構の案内方向とは逆向き方向への先端部の直動または近似直動を許容する取付具側連結部とを有する取付具を備えたことにより、プローブ案内機構によって大きく下動させられたときに取付具の連結部が変形することで両コンタクトプローブの連結部が過度に変形させられるのを回避することができ、これにより、コンタクトプローブの破損を防止することができる。また、上記したコンタクトプローブの破損回避のみならず、必要に応じて、プロービング対象体に対してプローブ本体の先端部をより強く付勢することもできる
【００４７】
さらに、請求項９記載の取付具によれば、連結部の弾性変形によって固定部に対して上動させられたヘッド部の上動両を規制するためのストッパ部を固定部に配設したことにより、ヘッド部の上端部がストッパ部に当接した時点で、連結部の弾性変形が停止させられるため、コンタクトプローブの破損を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るプローブユニット１の側面図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るプローブユニット１の底面図である。
【図４】プローブユニット１におけるプローブ３の側面図である。
【図５】プロービング時におけるプローブユニット１の側面図である。
【図６】プローブユニット１におけるプローブ３ａ，３ｂがプロービング対象体Ｘに沿って変形させられた状態の底面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態に係るプローブユニット１Ａの側面図である。
【図８】プロービング時におけるプローブユニット１Ａの側面図である。
【図９】本発明のさらに他の実施の形態に係るプローブユニット３１の側面図である。
【図１０】本発明のさらに他の実施の形態に係るプローブユニット４１の側面図である。
【図１１】従来のプローブユニット７１の外観斜視図である。
【図１２】従来のプローブユニット７１の平面図である。
【符号の説明】
１，１Ａ，３１，４１　プローブユニット
２，４２　ベース板
２ａ　取付け面
３ａ，３ｂ，３３ａ，３３ｂ，４３ａ，４３ｂ　プローブ
５　取付具
１１，４４ａ，４４ｂ　固定部
１２，３４，４５ａ，４５ｂ　ヘッド部
１３，１４，３６，３７，４６ａ，４６ｂ，４７ａ，４７ｂ　連結用アーム
１５〜１８　支点
１９　ストッパ部
２２　ヘッド部
２３，２４　連結用アーム
２５〜２８　支点
３２　ベース部
Ｎ　プローブ本体
Ｐａ，Ｐｂ　先端
ＰＭ　プローブ案内機構
ＲＭ　リンク機構
Ｘ　プロービング対象体
【図１】
2004061194.tif 000003
【図２】
2004061194.tif 000004
【図３】
2004061194.tif 000005
【図４】
2004061194.tif 000006
【図５】
2004061194.tif 000007
【図６】
2004061194.tif 000008
【図７】
2004061194.tif 000009
【図８】
2004061194.tif 000010
【図９】
2004061194.tif 000011
【図１０】
2004061194.tif 000012
【図１１】
2004061194.tif 000013
【図１２】
2004061194.tif 000014