(57)【要約】【課題】液体中の揮発成分の蒸発速度の予測結果に基づいて、濃度が一定となるように揮発成分を補充するための揮発成分供給装置を提供する。【解決手段】揮発成分を含む第１の液体を、第１の液体よりも濃度の低い揮発成分を含む第２の液体に対して供給するための揮発成分供給装置３００であって、第１の液体を貯蔵するための新液タンク８と、第１の液体を外部に供給するためのバルブ２４と、供給量を検知するための流量計２６と、揮発成分供給装置３００の動作を制御するための制御部２８とを備え、制御部２８は、循環タンク４中に貯蔵される第２の液体に含まれる揮発成分の濃度の実測に基づいて、揮発成分の濃度の時間変化の予測を行ない、第１の液体を供給するタイミングを決定して、供給タイミングに応じて、バルブ２４を制御する。【選択図】        図３
2004273819.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器中の液体に含まれる揮発成分の濃度の時間変化を、前記液体の実質的に矩形の液面上を前記揮発成分の濃度ｘｇである気体が流量ｗで流れるとの条件の下で予測するための揮発成分量予測プログラムであって、
前記容器内の前記気体が流れる方向に相当する前記液面の長さをＬ、前記液面の幅をＤとし、前記液体の液量をＷとするとき、
前記容器中に貯蔵した前記液体に含まれる揮発成分の濃度の初期濃度ｘｌ０と前記揮発成分の時間経過時の濃度ｘｌとを予め実測した結果に基づいて、対数比−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の時間に対する変化率ａを取得して
【数１】
2004273819.tif 000019
により得られる物質移動係数Ｋを記憶装置に格納するステップと、
前記液体中の前記揮発成分の初期濃度をｘｌ０´とするとき、前記記憶装置から読み出された前記物質移動係数Ｋに基づき、前記揮発成分の濃度ｘｌの時間変化を
【数２】
2004273819.tif 000020
を積分することに相当する処理により算出するステップと、をコンピュータに実行させるための揮発成分量予測プログラム。
【請求項２】
容器中の液体に含まれる揮発成分の濃度の時間変化を、前記液体の実質的に矩形の液面上を前記揮発成分の濃度ｘｇである気体が流量ｗで流れるとの条件の下で予測するための揮発成分量予測プログラムであって、
前記容器内の前記気体が流れる方向に相当する前記液面の長さをＬ、前記液面の幅をＤとし、前記液体の液量をＷとするとき、
前記液体に含まれる揮発成分の濃度の初期濃度ｘｌ０の実測と前記揮発成分の時間経過時の濃度ｘｌの実測とに基づいて、対数比−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の時間に対する変化率ａを取得して
【数３】
2004273819.tif 000021
により得られる物質移動係数Ｋを記憶装置に格納するステップと、
前記液体よりも前記揮発成分を多く含む新液を前記液体へ投入した場合に、前記新液投入時に前記液体から流出する前記液体の量をＦｏｕｔとし、投入される前記新液の量をＦｉｎとし、前記新液に含まれる揮発成分の濃度をｘｌｎとするとき、前記液体中の前記揮発成分の更新された濃度ｘｌ０´を
【数４】
2004273819.tif 000022
により算出するステップと、
前記記憶装置から読み出された前記物質移動係数Ｋに基づき、算出された前記更新された濃度ｘｌ０´を初期値として、前記揮発成分の濃度ｘｌの時間変化を
【数５】
2004273819.tif 000023
を積分することに相当する処理により算出するステップと、をコンピュータに実行させるための揮発成分量予測プログラム。
【請求項３】
容器中の液体に含まれる揮発成分の濃度の時間変化を、前記液体の実質的に矩形の液面上を前記揮発成分の濃度ｘｇである気体が流量ｗで流れるとの条件の下で予測するための揮発成分量予測方法であって、
前記容器内の前記気体が流れる方向に相当する前記液面の長さをＬ、前記液面の幅をＤとし、前記液体の液量をＷとするとき、
前記液体に含まれる揮発成分の濃度の初期濃度ｘｌ０の実測と前記揮発成分の時間経過時の濃度ｘｌの実測とに基づいて、対数比−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の時間に対する変化率ａを取得して
【数６】
2004273819.tif 000024
により物質移動係数Ｋを取得するステップと、
前記物質移動係数Ｋを記憶装置に格納するステップと、
前記液体よりも前記揮発成分を多く含む新液を前記液体へ投入した場合に、前記新液投入時に前記液体から流出する前記液体の量をＦｏｕｔとし、投入される前記新液の量をＦｉｎとし、前記新液に含まれる揮発成分の濃度をｘｌｎとするとき、前記液体中の前記揮発成分の更新された濃度ｘｌ０´を
【数７】
2004273819.tif 000025
により算出するステップと、
前記記憶装置から読み出された前記物質移動係数Ｋに基づき、算出された前記更新された濃度ｘｌ０´を初期値として、前記揮発成分の濃度ｘｌの時間変化を
【数８】
2004273819.tif 000026
を積分することに相当する処理により算出するステップとを備える、揮発成分量予測方法。
【請求項４】
揮発成分を含む第１の液体を、前記第１の液体よりも濃度の低い前記揮発成分を含む第２の液体に対して供給するための揮発成分供給装置であって、
前記第２の液体の液面上には前記揮発成分の濃度ｘｇである気体が流量ｗで流れているとし、前記気体が流れる方向に相当する前記第２の液体の実質的に矩形の前記液面の長さをＬ、前記液面の幅をＤとし、前記第２の液体の液量をＷとするとき、
前記第１の液体を貯蔵するための第１の容器と、
前記第１の容器中の前記第１の液体を外部に供給するための供給手段と、
前記供給手段による前記第１の液体の供給量を検知するための供給量検知手段と、
前記揮発成分供給装置の動作を制御するための制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記揮発成分供給装置の外部の第２の容器中に貯蔵される前記第２の液体に含まれる揮発成分の濃度の初期濃度ｘｌ０の実測と前記第２の液体の前記揮発成分の時間経過時の濃度ｘｌの実測とに基づいて、対数比−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の時間に対する変化率ａを取得して
【数９】
2004273819.tif 000027
により得られる物質移動係数Ｋを格納するための記憶手段と、
前記第２の液体へ前記第１の液体を投入した場合に、前記第１の液体の投入時に前記第２の液体から流出する前記第２の液体の量をＦｏｕｔとし、前記供給量検知手段により検知された投入される前記第１の液体の量をＦｉｎとし、前記第１の液体に含まれる揮発成分の濃度をｘｌｎとするとき、前記第２の液体中の前記揮発成分の更新された濃度ｘｌ０´を
【数１０】
2004273819.tif 000028
により算出する更新濃度算出手段と、
前記記憶手段から読み出された前記物質移動係数Ｋに基づき、算出された前記更新された濃度ｘｌ０´を初期値として、前記揮発成分の濃度ｘｌの時間変化を
【数１１】
2004273819.tif 000029
を積分することに相当する処理により算出する濃度予測手段と、
算出された前記濃度ｘｌに基づいて、前記第１の液体を前記第２の液体に供給するタイミングを決定するための供給タイミング決定手段とを含む、揮発成分供給装置。
【請求項５】
前記揮発成分は、水であり、
前記第２の液体は、レジスト剥離処理に用いる剥離剤を含む、請求項４記載の揮発成分供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薬液中の揮発成分量の経時変化を予測するための揮発成分量予測プログラム、揮発成分量予測方法および薬液に対して揮発成分を供給するための揮発成分供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
容器中の揮発成分を含む液体からは、特定の気体と液面とが接触することにより、液体に含まれる揮発成分が時間経過とともに蒸発していく。そして、液体中の揮発成分の濃度の減少により、液体の特性が変化することがあるため、その液体の用途によっては、不都合となることがある。そのため、従来、容器中の液体に含まれる揮発成分の濃度を測定し、液体中の揮発成分の濃度の測定値に基づいて、揮発成分を供給する制御が行なわれている。
【０００３】
具体的には、半導体製造工程において、ドライエッチングにより被エッチング材のパターニングを行なった後、形成されたポリマーを薬液槽内の水性の薬液（以下、剥離剤という場合がある。）による処理によって選択的に除去する場合に、剥離剤ライフを長くできる半導体製造方法、および半導体洗浄装置について、以下のような構成が公知である（たとえば、特許文献１を参照）。
【０００４】
すなわち、従来例では、半導体製造工程において、ドライエッチングにより被エッチング材のパターニングを行なった後、形成されたポリマーのみを選択的に除去する場合に、洗浄工程は薬液槽内の剥離剤による処理によって行ない、▲１▼薬液槽内の剥離剤の水分含有量を測定し、該測定値に基づき水分の補充、または処理の停止の制御を行なう。▲２▼薬液槽内の剥離剤の温度と、水分蒸発量との相関特性を調査し、該調査に基づいて、水分補充の制御を行なう。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−３３００３５号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、液体中の時間経過とともに減少する揮発成分の濃度について、上記特許文献１のように、容器（薬液槽）内の液体（剥離剤）に含まれる揮発成分（水分）量を測定して、得られた測定値に基づいて、揮発成分を補充すると、工業的には煩雑であるという問題が生じる。すなわち、液体は、容器に逐次、投入されることから、投入ごとに測定および揮発成分の補充を実施しなければならないという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記のような課題を解決するために、前記剥離剤のような液体を含む容器において、液体中の揮発成分の蒸発速度の予測を行なうための揮発成分量予測プログラム、揮発成分量予測方法および予測された結果に基づいて、液体中の揮発成分の濃度が一定となるように揮発成分を補充するための揮発成分供給装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明のある局面に係る揮発成分量予測プログラムは、容器中の液体に含まれる揮発成分の濃度の時間変化を、液体の実質的に矩形の液面上を揮発成分の濃度ｘｇである気体が流量ｗで流れるとの条件の下で予測するための揮発成分量予測プログラムであって、容器内の気体が流れる方向に相当する液面の長さをＬ、液面の幅をＤとし、液体の液量をＷとするとき、容器中に貯蔵した液体に含まれる揮発成分の濃度の初期濃度ｘｌ０と揮発成分の時間経過時の濃度ｘｌとを予め実測した結果に基づいて、対数比−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の時間に対する変化率ａを取得して
【０００９】
【数１２】
2004273819.tif 000003
【００１０】
により得られる物質移動係数Ｋを記憶装置に格納するステップと、液体中の揮発成分の初期濃度をｘｌ０´とするとき、記憶装置から読み出された物質移動係数Ｋに基づき、揮発成分の濃度ｘｌの時間変化を
【００１１】
【数１３】
2004273819.tif 000004
【００１２】
を積分することに相当する処理により算出するステップと、をコンピュータに実行させる。
【００１３】
この発明の他の局面に係る揮発成分量予測プログラムは、容器中の液体に含まれる揮発成分の濃度の時間変化を、液体の実質的に矩形の液面上を揮発成分の濃度ｘｇである気体が流量ｗで流れるとの条件の下で予測するための揮発成分量予測プログラムであって、容器内の気体が流れる方向に相当する液面の長さをＬ、液面の幅をＤとし、液体の液量をＷとするとき、液体に含まれる揮発成分の濃度の初期濃度ｘｌ０の実測と揮発成分の時間経過時の濃度ｘｌの実測とに基づいて、対数比−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の時間に対する変化率ａを取得して
【００１４】
【数１４】
2004273819.tif 000005
【００１５】
により得られる物質移動係数Ｋを記憶装置に格納するステップと、液体よりも揮発成分を多く含む新液を液体へ投入した場合に、新液投入時に液体から流出する液体の量をＦｏｕｔとし、投入される新液の量をＦｉｎとし、新液に含まれる揮発成分の濃度をｘｌｎとするとき、液体中の揮発成分の更新された濃度ｘｌ０´を
【００１６】
【数１５】
2004273819.tif 000006
【００１７】
により算出するステップと、記憶装置から読み出された物質移動係数Ｋに基づき、算出された更新された濃度ｘｌ０´を初期値として、揮発成分の濃度ｘｌの時間変化を
【００１８】
【数１６】
2004273819.tif 000007
【００１９】
を積分することに相当する処理により算出するステップと、をコンピュータに実行させる。
【００２０】
この発明の他の局面に係る揮発成分量予測方法は、容器中の液体に含まれる揮発成分の濃度の時間変化を、液体の実質的に矩形の液面上を揮発成分の濃度ｘｇである気体が流量ｗで流れるとの条件の下で予測するための揮発成分量予測方法であって、容器内の気体が流れる方向に相当する液面の長さをＬ、液面の幅をＤとし、液体の液量をＷとするとき、液体に含まれる揮発成分の濃度の初期濃度ｘｌ０の実測と揮発成分の時間経過時の濃度ｘｌの実測とに基づいて、対数比−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の時間に対する変化率ａを取得して
【００２１】
【数１７】
2004273819.tif 000008
【００２２】
により物質移動係数Ｋを取得するステップと、物質移動係数Ｋを記憶装置に格納するステップと、液体よりも揮発成分を多く含む新液を液体へ投入した場合に、新液投入時に液体から流出する液体の量をＦｏｕｔとし、投入される新液の量をＦｉｎとし、新液に含まれる揮発成分の濃度をｘｌｎとするとき、液体中の揮発成分の更新された濃度ｘｌ０´を
【００２３】
【数１８】
2004273819.tif 000009
【００２４】
により算出するステップと、記憶装置から読み出された物質移動係数Ｋに基づき、算出された更新された濃度ｘｌ０´を初期値として、揮発成分の濃度ｘｌの時間変化を
【００２５】
【数１９】
2004273819.tif 000010
【００２６】
を積分することに相当する処理により算出するステップとを備える。
この発明の他の局面に係る揮発成分供給装置は、揮発成分を含む第１の液体を、第１の液体よりも濃度の低い揮発成分を含む第２の液体に対して供給するための揮発成分供給装置であって、第２の液体の液面上には揮発成分の濃度ｘｇである気体が流量ｗで流れているとし、気体が流れる方向に相当する第２の液体の実質的に矩形の液面の長さをＬ、液面の幅をＤとし、第２の液体の液量をＷとするとき、第１の液体を貯蔵するための第１の容器と、第１の容器中の第１の液体を外部に供給するための供給手段と、供給手段による第１の液体の供給量を検知するための供給量検知手段と、揮発成分供給装置の動作を制御するための制御手段とを備え、制御手段は、揮発成分供給装置の外部の第２の容器中に貯蔵される第２の液体に含まれる揮発成分の濃度の初期濃度ｘｌ０の実測と第２の液体の揮発成分の時間経過時の濃度ｘｌの実測とに基づいて、対数比−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の時間に対する変化率ａを取得して
【００２７】
【数２０】
2004273819.tif 000011
【００２８】
により得られる物質移動係数Ｋを格納するための記憶手段と、第２の液体へ第１の液体を投入した場合に、第１の液体の投入時に第２の液体から流出する第２の液体の量をＦｏｕｔとし、供給量検知手段により検知された投入される第１の液体の量をＦｉｎとし、第１の液体に含まれる揮発成分の濃度をｘｌｎとするとき、第２の液体中の揮発成分の更新された濃度ｘｌ０´を
【００２９】
【数２１】
2004273819.tif 000012
【００３０】
により算出する更新濃度算出手段と、記憶手段から読み出された物質移動係数Ｋに基づき、算出された更新された濃度ｘｌ０´を初期値として、揮発成分の濃度ｘｌの時間変化を
【００３１】
【数２２】
2004273819.tif 000013
【００３２】
を積分することに相当する処理により算出する濃度予測手段と、算出された濃度ｘｌに基づいて、第１の液体を第２の液体に供給するタイミングを決定するための供給タイミング決定手段とを含む。
【００３３】
好ましくは、揮発成分は、水であり、第２の液体は、レジスト剥離処理に用いる剥離剤を含む。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。以下の説明では、同一の構成部分には同一の符号を付してあり、それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについて詳細な説明は繰り返さない。
【００３５】
以下に、本発明に係る揮発成分供給装置を、半導体ウエハの製造の際に使用するレジスト剥離処理装置に適用した例について説明する。すなわち、本発明に係る揮発成分供給装置により、時間とともに揮発するレジスト剥離剤中の水分濃度を一定に保つための剥離剤処理装置の構成を説明する。
【００３６】
一般に、半導体ウエハの製造においては、レジストと呼ばれる感光性樹脂が用いられる。レジストをマスクとして、エッチングのパターニングを行なった後に、レジストを剥離する工程が行なわれる。レジストを剥離する工程には、剥離剤と呼ばれる薬液を用いる。なお、剥離剤は、特に限定されないが、たとえば、有機アミン化合物と水とを含む。
【００３７】
［レジスト剥離処理装置の基本構成］
次に、本発明の実施の形態における揮発成分供給装置を説明する前提として、半導体ウエハ工程において、レジストを剥離するためのレジスト剥離処理装置１００の基本的構成の概要を説明しておく。
【００３８】
図１は、レジスト剥離処理装置１００の構成の概略を示す機能ブロック図である。
【００３９】
図１を参照して、レジスト剥離処理装置１００は、半導体ウエハのレジストの剥離処理を行なうためのウエハ処理チャンバ２と、剥離処理において使用された薬液を貯めておくための循環タンク４と、循環タンク４からの循環する薬液を剥離処理に再使用する際に、薬液中の不純物を除去するためのフィルタ６と、新たな剥離剤を貯めておくための新液タンク８とを備える。
【００４０】
剥離処理を行なう際には、ウエハ処理チャンバ２に新液タンク８からの薬液の新液が投入される。また、剥離処理にて使用された剥離剤の薬液は、一部を廃液として排出される。そして、残りの薬液は、循環タンク４に送られる。循環タンク４の薬液は、フィルタ６を介して、薬液に含まれる不純物が除去される。そして、新液タンク８から供給される新液と混合されて、再びレジストの剥離処理に使用される。
【００４１】
図２は、本発明の実施の形態における剥離剤処理装置１００に備えられる循環タンク４の概略を示す図である。
【００４２】
図２を参照して、循環タンク４は、剥離剤１８を貯めるための容器１６と、容器１６の上部開口部を覆うための蓋１４と、剥離剤１８を加熱するためのヒータ２０と、窒素を容器１６内に供給するための窒素ライン２２とを含む。
【００４３】
また、循環タンク４の形状は、直方体であって、その大きさは、容器１６の液面長さＬと、容器１６の高さＨと、容器１６の液面幅Ｄにより規定される。また、剥離剤１８は、液面高さｈまで容器１６内に貯められている。また、開口部の長さをｌと示す。
【００４４】
たとえば、一例として、この容器１６は、８インチ石英バスであって、容器１６内の剥離剤１８の液面長さＬ：２６５ｍｍ、容器１６の高さＨ：２６５ｍｍ、容器１６内の剥離剤１８の液面幅Ｄ：１１５ｍｍ、開口部長さｌ：２５ｍｍの寸法である。このとき、剥離剤１８を、たとえば、３０００ｃｍ３の液量を容器１６内に入れるとき、液面高さｈは、９７ｍｍとなる。そして、上部開口部の面積は、１１５ｍｍ×２５ｍｍ＝２８．７５ｃｍ２で表わすことができる。
【００４５】
ただし、循環タンク４の形状は、直方体に特に限定しない。たとえば、剥離剤１８を貯めるときの液面形状が実質的に矩形であればよい。「実質的に矩形」とは、いわゆる矩形そのものである場合だけでなく、液面形状の端部の矩形からのずれが液面の全体の面積に比べて十分小さい形状や、液面幅Ｄ方向に揮発成分の濃度分布がほとんど生じないことを満足する形状などを含む。
【００４６】
また、循環タンク４の底部には、ヒータ２０が設けられる。ヒータ２０は、たとえば、石英ヒータである。ヒータ２０は、循環タンク４内の剥離剤１８を、たとえば、７０℃まで加熱させることが可能である。
【００４７】
また、窒素ライン２２により、窒素を液面上にに流す。窒素の流速は、特に限定されないが、たとえば、毎分５０００ｃｍ３で流すことが可能である。
【００４８】
剥離剤として使用する薬液は、液面と空気が接触する場合、酸化劣化する。そして、酸化劣化した結果、剥離剤の剥離特性が変化してしまう。そのため、酸化劣化しないように液面上に窒素を流すことにより、液面と酸素との接触が防止されている。循環タンク４の液面よりも高い位置には、上述のとおり開口部が設けられている。窒素は、窒素ライン２２から容器１６内に供給される。そして、窒素は、液面上を流れたのち上部開口部より排出される。
【００４９】
しかし、窒素を容器１６内に流す結果、剥離剤１８に含まれる水分が蒸発する。そのため、剥離剤１８の粘度が変化してしまう。その結果、剥離処理が不安定となる。
【００５０】
本発明の実施の形態においては、剥離剤中の水分の濃度の変化を予め予測する。そして、所定の水分濃度以下となると予測されるタイミングで、所定の量の水分を供給することにより、剥離剤に含まれる水分濃度が一定となるように制御を行なう。
【００５１】
［実施の形態１］
次に、本発明の実施の形態１における、揮発成分供給装置３００の構成および動作について説明を行なう。
【００５２】
図３は、本発明の実施の形態１において、レジスト剥離処理装置２００に備えられ、レジスト剥離プロセス装置４００に新液を供給するための揮発成分供給装置３００の概略を示す機能ブロック図である。
【００５３】
図３を参照して、レジスト剥離処理装置２００は、揮発成分供給装置３００と、レジスト剥離プロセス４００装置とを備える。揮発成分供給装置３００は、新たな剥離剤の薬液を貯めるための新液タンク８と、新液タンク８内の薬液の液面の高さを検知するための液面計３２と、新液タンク８に含まれる薬液を循環させるための循環ライン３０と、循環ライン３０を介して、薬液を循環させる流れを生み出すためのポンプ１２と、循環ライン３０からウエハ処理チャンバ２までの経路上に設けられ、通過する薬液の量を検知するための流量計２６と、ウエハ処理チャンバ２からの廃液の通過量を検知するための流量計２５と、循環ライン３０からウエハ処理チャンバ２までの経路上に設けられ、開放および閉鎖を行なうためのバルブ２４と、バルブ２４の開放・閉鎖を制御するための制御部２８とを含む。
【００５４】
一方、レジスト剥離プロセス装置４００は、半導体ウエハのレジストの剥離処理を行なうためのウエハ処理チャンバ２と、剥離処理において使用された薬液を貯めておくための循環タンク４と、循環タンク４からの循環する薬液を剥離処理に再使用する際に薬液中の不純物を除去するためのフィルタ６と、ポンプ１０とを含む。循環タンク４内の剥離剤の液面には不活性な気体、たとえば、窒素が流されている。
【００５５】
揮発成分供給装置３００により、剥離剤が蓄えられて窒素が供給されている循環タンク４に対して、揮発成分である水分をより多く含む新液を供給することができる。なお、新液は、たとえば、揮発成分１００％の水であってもよい。
【００５６】
制御部２８は、経時変化する剥離剤中に含まれる水分の濃度を予測するためのシミュレーションを、後述する手順にしたがって行なう。そして、制御部２８は、予測された水分濃度の経時変化に基づいて、循環タンク４に含まれる薬液が所定の濃度以下となると予測される時刻に、バルブ２４を開放する。そして、制御部２８は、バルブ２４の開放により、ウエハ処理チャンバ２に循環タンク４から循環する薬液とともに新液の供給を行なわせる。制御部２８は、流量計２６により、供給する薬液の量を検知させる。そして、制御部２８は、所定の量の新液を供給した後に、バルブ２４を閉鎖する。制御部２８は、新液を供給した後の、循環タンク４内の水分濃度を算出する。そして、制御部２８は、算出した水分濃度に基づいて、再び水分濃度の予測を行なう。得られた水分濃度の予測データに基づいて、再び、所定の水分濃度以下となると予測される時刻になると、制御部２８は、同様にバルブ２４を開放して所定の量の新液を循環タンク４に供給する。
【００５７】
新液タンク８から循環タンク４へ新液を供給する方法は、好ましくはポンプ１２を用いる方法が望ましいが特に限定されない。たとえば、循環タンク４を新液タンク８よりも低い位置に設置し、高低差を利用して供給してもよい。
【００５８】
新液を予め設定された量を供給する方法は、好ましくは、制御部２８が流量計２６に流量を検知させて、バルブ２４の開度を調節する方法が望ましい。
【００５９】
また、ポンプ１２を用いて新液を循環タンク４に供給する場合には、ポンプ１２と循環タンク４を結ぶ配管のほかに、ポンプ１２から新液タンク８に新液を戻すための循環ライン３０を設ける。このとき、制御部２８は、常時ポンプ１２を運転させることにより、循環ライン３０において新液を循環させる。そして、循環タンク４内の剥離剤の水分濃度が所定の濃度以下になると予測される時刻になったときに、バルブ２４をあけて、新液を循環タンク４に供給する方法が好ましい。
【００６０】
また、新液の流量を検知する方法として、流量計２６を用いる方法に特に限定されない。たとえば、新液の流量を検知する方法は、新液タンク８に設置した、液面計３２により新液タンク８の新液の減少量から流量を検知する方法でもよい。または、新液の流量を検知する方法は、新液タンク８に設置した液量計３４により、新液タンク８内の液量の減少量から流量を検知する方法でもよい。
【００６１】
図４は、本発明の実施の形態１における揮発成分供給装置３００の制御部２８として機能するコンピュータシステム５００の構成を示す機能ブロック図である。
【００６２】
図４を参照して、コンピュータシステム５００は、演算処理を行なうためのＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）５１０と、データまたは、プログラム等を記憶するためのメモリ５１２と、固定ディスク５１４と、ＦＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｋ）駆動装置５１６と、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ−Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）駆動装置５１８と、外部と通信するための通信インターフェイス５２０を含むコンピュータ５０２と、モニタ５０４と、キーボード５０８と、マウス５０６とを備える。
【００６３】
ＦＤ駆動装置５１６には、ＦＤ５２２が装着可能である。また、ＣＤ―ＲＯＭ駆動装置５１８には、ＣＤ―ＲＯＭ５２４が装着可能である。
【００６４】
ＦＤ５２２または、ＣＤ―ＲＯＭ５２４には、所定のプログラムが格納されている。ＣＰＵ５１０は、ソフトウェアに対応するプログラムに基づいて、コンピュータシステム５００を構成するハードウェアの制御を行なう。
【００６５】
ここで、ＦＤ５２２または、ＣＤ―ＲＯＭ５２４に格納されたプログラムをＣＰＵ５１０が実行するときの動作について説明する。
【００６６】
ＦＤ５２２または、ＣＤ―ＲＯＭ５２４に格納された所定のプログラムは、ＦＤ駆動装置５１６または、ＣＤ―ＲＯＭ駆動装置５１８により読み取られる。そして、読み取られたプログラムは、直接メモリ５１２に読み出される。あるいは、一旦、固定ディスク５１４に格納されてからメモリ５１２に読み出されてもよい。ＣＰＵ５１０は、メモリ５１２に読み出されたプログラムに基づいて演算処理を行なう。
【００６７】
このようなプログラムを含むソフトウェアは、一般的に、ＦＤ５２２やＣＤ―ＲＯＭ５２４のような記録媒体に格納されて流通している。
【００６８】
本発明の実施の形態１におけるコンピュータシステム５００は、ハードウェアと、ハードウェアを制御するためのソフトウェアとで動作する。
【００６９】
本発明の実施の形態１において、コンピュータシステム５００は、揮発成分の供給の制御を行なうためのプログラムを動作させることにより、揮発成分供給装置３００の制御部２８として機能する。
【００７０】
したがって、本発明において最も本質的な部分の１つは、ＦＤ，ＣＤ―ＲＯＭ、メモリカード、固定ディスクなどの記録媒体に記録された揮発成分の供給を制御するためのプログラムである。
【００７１】
なお、図４に示したコンピュータシステム５００の動作は周知であるので、ここではその詳細な説明は行なわない。
【００７２】
［水分濃度予測シミュレーション］
次に、時間とともに変化する循環タンク４内の水分濃度を予測するために、循環タンク４の容器１６内に貯められる剥離剤１８に含まれる水分の濃度変化のシミュレーションについて説明する。
【００７３】
図５は、本発明の実施の形態１における水分の濃度変化を予測するための循環タンク４の簡略化モデルである。
【００７４】
図５を参照して、実際の循環タンク４では、槽内のガスの流れは複雑なものと考えられるが、簡単のため、実質的に矩形の液面上を窒素が一方向に流れる場合について考える。なお、窒素中および剥離剤中での濃度分布は考えないこととした。窒素中の水分の質量分率をｘｇ、剥離剤中の水分の質量分率をｘｌとする。また、気液界面での物質移動係数をＫ［Ｋｇ／ｍ２／ｓ］とする。剥離剤の液面の幅をＤ［ｍ］、液面の長さをＬ［ｍ］、剥離剤液量をＷ［ｋｇ］、窒素の質量流量をｗ［ｋｇ／ｓ］とする。微小区間Δｚでの窒素中の水分の物質収支を考えると以下の式（１）のようになる。そして、両辺をＤΔｚで割り、Δｚ→０とすると、以下の式（２）となる。微小時間Δｔの間は、ｘｌは一定値と考えてよいから、境界条件ｚ＝０→ｘｇ＝０のもとで式（２）を解くと、以下の式（３）となる。
【００７５】
【数２３】
2004273819.tif 000014
【００７６】
なお、式（３）ではｚ→∞でｘｇ＝ｘｌとなり、平衡関係が成り立っていない。正確には、式（１）のｘｌをｘｌ＊（ｘｌに平衡な窒素の中水分量）とする必要がある。しかしながら、今回の計算では、窒素が飽和することはないと考えられるので、ｘｌのままとする。
【００７７】
次に、微小時間Δｔでの剥離剤中の水分の収支をとると、以下の式（４）となる。そして、両辺をΔｔで割って、Δｔ→０とすると、以下の式（５）となる。式（５）に式（３）を代入して整理すると、以下の式（６）となる。
【００７８】
【数２４】
2004273819.tif 000015
【００７９】
初期条件、ｔ＝０→ｘｌ＝ｘｌ０（ｔ＝０での剥離剤中水分）のもとで式（６）を解くと、以下の式（７）となる。そして、式（７）の両辺の対数をとると、以下の式（８）となる。
【００８０】
【数２５】
2004273819.tif 000016
【００８１】
式（８）の左辺の−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）をｔに対してプロットすると、直線が得られる。そして、この直線の傾きからＫの値が求まる。直線の傾きをａとすると、以下の式（９）が得られる。
【００８２】
【数２６】
2004273819.tif 000017
【００８３】
上記のようにして求められる式（９）により算出されるＫの値を用いて、タンク内の水分濃度の変化の予測を行なう。
【００８４】
なお、時刻ｔに対応する水分濃度の変化は、式（７）を用いて求めてもよいが、式（５）を数値積分して求めてもよい。
【００８５】
図６および図７は、本発明の実施の形態１における水分の蒸発速度の予測、すなわち、残留水分量の予測を行なうシミュレーションを説明するためのフローチャートである。
【００８６】
図６は、初期データの導出方法を示すフローチャートである。
一方、図７は、装置関係および環境条件のパラメータと、得られた初期データに基づいて、制御部２８が新液の供給量を制御するプログラムのフローチャートである。
【００８７】
まず、図６を参照して、初期データを導出するために、まず、循環タンク４内の水分濃度の経時変化を実測する（ステップＳ１０１）。
【００８８】
そして、実測結果に基づいて、物質移動係数Ｋが求まる（ステップＳ１０２）。
【００８９】
求まった物質移動係数Ｋに基づいて、第１回目の新液投入を予測し、タイミングと投入量とが決定される（ステップＳ１０３）。
【００９０】
得られた物質移動係数Ｋ、第１回目の新液投入のタイミングおよび新液の投入量は、制御部２８として機能するコンピュータ５０２に含まれるメモリ５１２に記憶される。または、固定ディスク５１４に記憶されてもよい。
【００９１】
図７を参照して、まず、装置関係のパラメータの入力が行なわれる（ステップＳ２０１）。
【００９２】
「装置関係のパラメータ」とは、循環タンク４の容器１６の液面幅Ｄ、容器１６の液面長さＬを含む。入力されたパラメータは、制御部２８として機能するコンピュータ５０２に含まれるメモリ５１２に記憶される。または、固定ディスク５１４に記憶されてもよい。
【００９３】
次に、環境条件の入力が行なわれる。「環境条件」とは、循環タンク４内の液量および窒素の流量および剥離剤の初期水分濃度を含む（ステップＳ２０２）。
【００９４】
環境条件のパラメータは、制御部２８として機能するコンピュータ５０２に含まれるメモリ５１２に記憶される。または、固定ディスク５１４に記憶されてもよい。
【００９５】
そして、以上のように入力された装置関係および環境条件のパラメータと初期データに基づいて、所定の濃度を維持するための新液の投入のタイミングと投入量を決定するためのシミュレーションが行なわれる（ステップＳ２０３）。
【００９６】
制御部２８は、決定された時刻が経過したか否かを判断する（ステップＳ２０４）。
【００９７】
ステップＳ２０４において、決定された時刻が経過したと判断する場合、制御部２８は、新液投入の指示によりバルブ２４を開放させて、決定された量の新液を供給させる（ステップＳ２０５）。
【００９８】
そして、新液を投入した後の変化した水分濃度および剥離剤の液量に基づいて、新液投入後、再び所定の濃度以下となる時刻の予測をするための再シミュレーションを行なう（ステップＳ２０６）。
【００９９】
そして、制御部２８は、処理をステップＳ２０４に戻して、再シミュレーションの結果に基づいて決定された時刻が経過したときに、再シミュレーションの結果に基づいて決定された量の新液を再投入させる。
【０１００】
図８は、再シミュレーションにて次回の新液を投入するタイミングと投入量とを決定するフローチャートである。
【０１０１】
図８を参照して、まず、新液を投入された後の循環タンク４内の剥離剤に含まれる水分濃度を算出する（ステップＳ３０１）。
【０１０２】
そして、循環タンク４内の薬液の廃棄、および新液の投入により変化した剥離剤の液量と水分濃度とに基づいて、水分濃度の経時変化の予測を行なう（ステップＳ３０２）。
【０１０３】
つづいて、所定の濃度以下となる時刻が新液の投入のタイミングとして決定される（ステップＳ３０３）。このとき、新液の投入量も決定される。
【０１０４】
図９は、図２に示した循環タンク４を用いて実験により測定した、窒素の流速を毎分１００００ｃｍ３とした場合と、流速を毎分５０００ｃｍ３とした場合の水分濃度の時系列データである。
【０１０５】
図９を参照して、中央より左側の表は、窒素の流速を毎分１００００ｃｍ３とした場合に、加熱前の水分濃度と、加熱後、加温時間が１時間、２時間、３時間、６時間、９時間経過したときのそれぞれの測定結果を示す。一方、中央より右側の表は、窒素の流速を毎分５０００ｃｍ３とした場合に、加熱前の水分濃度と、加熱後、加温時間が１時間、２時間、５時間、８時間、１２時間、１５時間、２４時間経過したときのそれぞれの測定結果を示す。このとき、剥離剤として、カテコール１０％、水１８％、環状尿素化合物１２％を含む有機溶液を用いた。
【０１０６】
図１０は、図９の実測データに基づいて、それぞれの加温時間に対応する式（８）の左辺の値を示す。
【０１０７】
図１０を参照して、中央より左側の表は、窒素の流速を毎分１００００ｃｍ３とした場合に、図９に示した有機溶液中の加温時間に対応する水分濃度の変化の測定結果に基づいて、式（８）により算出されたｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の値と加温時間ｔとの関係を示す。一方、中央より右側の表は、窒素の流速を毎分５０００ｃｍ３とした場合に、図９に示した有機溶液中の加温時間に対応する水分濃度の変化の測定結果に基づいて、式（８）により算出されたｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の値と加温時間ｔとの関係を示す。なお、窒素の流速が毎分５０００ｃｍ３の場合に、有機溶液の測定結果において、時間ｔ＝０時間の水分濃度が不明であるので、図１０に示すとおり、ｘｌ０＝１８．９％と仮定した。これは、加熱前の剥離剤中の水分濃度を示す。
【０１０８】
図１１は、装置関係のパラメータ、水分濃度の環境条件および実験結果に基づいて、算出されたＫの値を示す。
【０１０９】
図１１を参照して、窒素の流速が毎分１００００ｃｍ３の場合および窒素の流速が毎分５０００ｃｍ３の場合にそれぞれ対応する、装置関係のパラメータと水分濃度の環境条件と実験結果とに基づいて、Ｋの値を求めた。また、傾きａは、図１０に示す、窒素の流速が毎分１００００ｃｍ３の場合および窒素の流速が毎分５０００ｃｍ３の場合の加温時間ｔにそれぞれ対応するｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の値を線形近似したときの直線の傾きである。
【０１１０】
図１２は、図１０に示された、窒素が毎分１００００ｃｍ３の流速で流れる場合の加温時間ｔに対応する−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の値のプロットと、プロットに基づいて、線形近似した直線を重ねたグラフを示す。
【０１１１】
一方、図１３は、図１０に示された、窒素が毎分５０００ｃｍ３の流速で流れる場合の加温時間ｔに対応する−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の値のプロットと、プロットに基づいて、線形近似した直線を重ねたグラフを示す。
【０１１２】
図１２および図１３を参照して、線形近似した直線を求めることにより、式（７）のモデルとして妥当性が検証された。
【０１１３】
次に、得られた物質移動係数Ｋに基づいて、時刻ｔに対応する水分濃度の予測を行なう。また、循環タンク４内の剥離剤は、所定時間ごとに所定の量を抜き出される。そして、抜き出された液量に応じて、所定の量の新たな剥離剤が追加される。新たな剥離剤を追加することにより、タンク内の剥離剤に含まれる水分濃度がどのようになるかを予測する。
【０１１４】
たとえば、タンク内からＦｏｕｔ［ｋｇ］だけ薬液が抜き出される。そして、水分濃度ｘｌｎの新たな薬液がＦｉｎ［ｋｇ］だけ追加されるとすると、タンク内の薬液の水分濃度は、次式で表現される。
【０１１５】
【数２７】
2004273819.tif 000018
【０１１６】
ここで、ｘｌ´は薬液追加後の濃度である。追加後の計算では、ｘｌ´の値をｘｌと置き換えて計算すればよい。また、排出量Ｆｏｕｔは、０であってもよい。
【０１１７】
なお、ＦｏｕｔとＦｉｎが常に一定である場合は、一定時間ｔａごとに、所定量の新液の投入を繰り返すこととしてもよい。
【０１１８】
次に、薬液の抜き出し、追加のない場合についての計算結果の一例を示す。シミュレーションの条件としては、図１１に示す値を用いることとする。計算結果を図１４および図１５に示す。
【０１１９】
図１４は、図１１に示され、窒素が毎分１００００ｃｍ３の流速で流れる場合の物質移動係数Ｋに基づいて、求められた水分濃度の予測グラフと実測データとを重ねたグラフである。
【０１２０】
一方、図１５は、図１１に示され、窒素が毎分５０００ｃｍ３の流速で流れる場合の物質移動係数Ｋに基づいて、求められた水分濃度の予測グラフと実測データとを重ねたグラフである。
【０１２１】
図１４および図１５を参照して、水分濃度の実測データは、それぞれ求めた水分濃度の予測グラフと良好に一致しており、今回のシミュレーションにより、時間とともに変化する実際の水分濃度の予測が可能であることを示す。
【０１２２】
次に、薬液の抜き出し、追加を同時に行なう場合について、計算結果の一例を示す。
【０１２３】
図１６は、計算に使用する循環タンク４の装置条件、および環境条件に対応する各パラメータを示す。
【０１２４】
図１７は、図１６に示されたパラメータに基づいて、薬液の抜き出し、追加を同じに行なう場合の計算結果を示す。
【０１２５】
図１７を参照して、シミュレーションは、薬液の追加の抜き出しの頻度を０．５時間ごとに行なう。このとき、薬液の追加、抜き出し量は、０．２５ｋｇとする。上記のような条件において、水分蒸発のシミュレーションを行なうことにより、時間とともに変化するタンク内の薬液の水分濃度の予測が可能である。
【０１２６】
以上の説明のとおり、本発明の実施の形態１の揮発成分供給装置３００において、時間とともに変化する揮発成分の濃度（たとえば、剥離剤における水分の濃度）の変化の予測を予め行なうことにより、所定の揮発成分の濃度以下となるときに蒸発した分を供給することにより、一定の濃度を保つことができる。
【０１２７】
また、時間とともに変化する揮発成分の濃度の予測は、シミュレーションを行なうことにより、装置の条件、環境条件、実験データに基づいて、予測することができる。
【０１２８】
なお、液体に含まれる揮発成分としては、水分に特に限定されない。たとえば、アルコール、エーテル系溶媒、エステル系溶媒、ケトン系溶媒などの揮発成分であってもよい。
【０１２９】
［実施の形態２］
次に、本発明の実施の形態２における揮発成分供給装置６００の構成および動作について説明する。
【０１３０】
図１８は、本発明の実施の形態２において、水を循環タンク４に直接供給するための揮発成分供給装置６００の構成の概略を示す機能ブロック図である。
【０１３１】
図１８を参照して、揮発成分供給装置６００は、水を貯めるための貯水タンク５０と、貯水タンク５０内の水の液面の高さを検知するための液面計５２と、貯水タンク５０の液量を検知するための液量計５４と、貯水タンク５０に含まれる水を循環させるための循環ライン４６と、循環ライン４６を介して、水を循環させる流れを生み出すためのポンプ４８と、循環ライン４６から循環タンク４までの経路上に設けられ、通過する水の量を検知するための流量計４２と、循環ライン４６から循環タンク４までの経路上に設けられ、開放および閉鎖を行なうためのバルブ４０と、バルブ４０の開放・閉鎖を制御するための制御部４４とを備える。
【０１３２】
循環タンク４には、貯水タンク５０と同様に、液面の高さを検知するための液面計３６と、循環タンク４に含まれる薬液の液量を検知するための液量計３８を含む。
【０１３３】
揮発成分供給装置６００により、剥離剤が蓄えられて不活性な気体、たとえば、窒素が供給されている循環タンク４に対して、揮発成分１００％である水を供給することができる。なお、水は、たとえば、循環タンク４内の薬液よりも水分を多く含む剥離剤の新液であってもよい。
【０１３４】
制御部４４は、経時変化する剥離剤中に含まれる水分の濃度を予測するためのシミュレーションを行なう。そして、制御部４４は、予測された水分濃度の経時変化に基づいて、循環タンク４に含まれる薬液が所定の水分濃度以下となると予測される時刻に、バルブ４０を開放する。そして、制御部４４は、バルブ４０の開放により、循環タンク４に水の供給を行なわせる。制御部４４は、流量計４２により、供給する水の量を検知させる。そして、制御部４４は、所定の量の水を供給した後に、バルブ４０を閉鎖する。制御部４４は、再び、所定の水分濃度以下となると予測される時刻になると、制御部４４は、同様にバルブ４０を開放して所定の量の水を循環タンク４に供給する。
【０１３５】
貯水タンク５０から循環タンク４へ水分を供給する方法は、好ましくはポンプ４８を用いる方法が望ましいが特に限定されない。たとえば、循環タンク４を貯水タンク５０よりも低い位置に設置し、高低差を利用して供給してもよい。
【０１３６】
水を予め設定された量を供給する方法は、好ましくは、制御部４４が流量計４２に流量を検知させて、バルブ４０の開度を調節する方法が望ましい。
【０１３７】
また、ポンプ４８を用いて水分を循環タンク４に供給する場合には、ポンプ４８と循環タンク４を結ぶ配管のほかに、ポンプ４８から貯水タンク５０に水を戻すための循環ライン４６を設ける。このとき、制御部４４は、常時ポンプ４８を運転させることにより、循環ライン４６において水を循環させる。そして、循環タンク４内の剥離剤の水分濃度が所定の濃度以下になると予測される時刻になった場合に、バルブ４０をあけて、水を循環タンク４に供給する方法が好ましい。
【０１３８】
また、水の流量を検知する方法としては、流量計４２を用いる方法に特に限定されない。たとえば、貯水タンク５０に設置した、液面計５２により、貯水タンク５０の水の減少量から流量を検知する方法でもよい。または、貯水タンク５０に設置した、液量計５４により、貯水タンク５０の水の減少量から流量を検知する方法でもよい。あるいは、循環タンク４に設置した液面計３６もしくは液量計３８により、循環タンク４の薬液の増加量を検知する方法でもよい。
【０１３９】
本発明の実施の形態２における揮発成分供給装置６００の制御部４４として機能するコンピュータシステムは、図４で説明した本発明の実施の形態１におけるコンピュータシステム５００の構成を示す機能ブロック図と同じである。そのため、コンピュータシステム５００の構成および動作についての説明は繰り返さない。
【０１４０】
［水分濃度予測シミュレーション］
時間とともに変化する循環タンク４内の水分濃度を予測して、所定の濃度を維持する水分供給のタイミングを決定するために、制御部４４は、シミュレーションを行なう。このとき、水分の濃度変化の予測のシミュレーションについては、本発明の実施の形態１と同様に図５で説明した循環タンク４の簡略化モデルに基づく。そのため、剥離剤中の水分の時間とともに変化する濃度の予測に関しての詳細な説明については繰り返さない。
【０１４１】
シミュレーションを行なう際の初期データの導出方法、制御部４４として機能するコンピュータシステム５００が実行するプログラムのフローチャートおよび投入後における次回の投入タイミングを決定する再計算のフローチャートは、実施の形態１における図６の初期データの導出方法、図７のプログラムのフローチャートおよび図８の再計算のフローチャートと同じである。そのため、詳細な説明については繰り返さない。
【０１４２】
以上、本発明の実施の形態２の揮発成分供給装置６００において、時間とともに変化する揮発成分の濃度（たとえば、剥離剤における水分の濃度）の変化の予測を予め行なうことにより、所定の揮発成分の濃度以下となるときに蒸発した分を供給することにより、一定の濃度を保つことができる。
【０１４３】
また、時間とともに変化する揮発成分の濃度の予測は、シミュレーションを行なうことにより、装置の条件、環境条件、実験データに基づいて、予測することができる。
【０１４４】
なお、液体に含まれる揮発成分としては、水分に特に限定されない。たとえば、アルコール、エーテル系溶媒、エステル系溶媒、ケトン系溶媒などの揮発成分であってもよい。
【０１４５】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【０１４６】
【発明の効果】
容器中に貯蔵した液体に含まれる揮発成分の初期濃度と揮発成分の時間経過時の濃度とを予め実測した結果に応じて得られる物質移動係数Ｋに基づき、揮発成分の濃度の時間変化を算出することにより、所定の揮発成分の濃度以下となるときに蒸発した分の供給を行ない、液体中の揮発成分を一定の濃度に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】レジスト剥離処理装置１００の構成の概略を示す機能ブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態における剥離剤処理装置１００に備えられる循環タンク４の概略を示す図である
【図３】本発明の実施の形態１において、レジスト剥離処理装置２００に備えられ、レジスト剥離プロセス装置４００に新液を供給するための揮発成分供給装置３００の概略を示す機能ブロック図である。
【図４】本発明の実施の形態１における揮発成分供給装置３００の制御部２８として機能するコンピュータシステム５００の構成を示す機能ブロック図である。
【図５】本発明の実施の形態１における水分の濃度変化を予測するための循環タンク４の簡略化モデルを示す図である。
【図６】初期データの導出方法を示すフローチャートである。
【図７】装置関係および環境条件のパラメータと、得られた初期データに基づいて、制御部２８が新液の供給量を制御するプログラムのフローチャートである。
【図８】再シミュレーションにて次回の新液を投入するタイミングと投入量とを決定するフローチャートである。
【図９】図２に示した循環タンク４を用いて実験により測定した、窒素の流速を毎分１００００ｃｍ３とした場合と、流速を毎分５０００ｃｍ３とした場合の水分濃度の時系列データを示す図である。
【図１０】図９の実測データに基づいて、それぞれの加温時間に対応する式（８）の左辺の値を示す図である。
【図１１】装置関係のパラメータ、水分濃度の環境条件および実験結果に基づいて、算出されたＫの値を示す図である。
【図１２】図１０に示された、窒素が毎分１００００ｃｍ３の流速で流れる場合の加温時間ｔに対応する−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の値のプロットと、プロットに基づいて、線形近似した直線を重ねたグラフである。
【図１３】図１０に示された、窒素が毎分５０００ｃｍ３の流速で流れる場合の加温時間ｔに対応する−ｌｎ（ｘｌ／ｘｌ０）の値のプロットと、プロットに基づいて、線形近似した直線を重ねたグラフである。
【図１４】図１１に示され、窒素が毎分１００００ｃｍ３の流速で流れる場合の物質移動係数Ｋに基づいて、求められた水分濃度の予測グラフと実測データとを重ねたグラフである。
【図１５】図１１に示され、窒素が毎分５０００ｃｍ３の流速で流れる場合の物質移動係数Ｋに基づいて、求められた水分濃度の予測グラフと実測データとを重ねたグラフである。
【図１６】計算に使用する循環タンク４の装置条件、および環境条件に対応する各パラメータを示す図である。
【図１７】図１６に示されたパラメータに基づいて、薬液の抜き出し、追加を同じに行なう場合の計算結果を示す図である。
【図１８】本発明の実施の形態２において、水を循環タンク４に直接供給するための揮発成分供給装置６００の構成の概略を示す機能ブロック図である。
【符号の説明】
２  ウエハ処理チャンバ、４  循環タンク、６  フィルタ、８  新液タンク、１０，１２  ポンプ、１４  蓋、１６  容器、１８  剥離剤、２０  ヒータ、２２  窒素ライン、２４  バルブ、２５，２６  流量計、２８  制御部、３０  循環ライン、３２  液面計、３４  液量計、３６  液面計、３８  液量計、４０  バルブ、４２  流量計、４４  制御部、４６  循環ライン、４８  ポンプ、５０貯水タンク、５２  液面計、５４  液量計、１００，２００  レジスト剥離処理装置、３００  揮発成分供給装置、４００  レジスト剥離プロセス装置、５００  コンピュータシステム、５０２  コンピュータ、５０４  モニタ、５０６  マウス、５０８  キーボード、５１０  ＣＰＵ、５１２  メモリ、５１４  固定ディスク、５１６  ＦＤ駆動装置、５１８  ＣＤ−ＲＯＭ駆動装置、５２０  通信インターファイス、５２２  ＦＤ、５２４  ＣＤ−ＲＯＭ、６００  揮発成分供給装置。
【図１】
2004273819.tif 000030
【図２】
2004273819.tif 000031
【図３】
2004273819.tif 000032
【図４】
2004273819.tif 000033
【図５】
2004273819.tif 000034
【図６】
2004273819.tif 000035
【図７】
2004273819.tif 000036
【図８】
2004273819.tif 000037
【図９】
2004273819.tif 000038
【図１０】
2004273819.tif 000039
【図１１】
2004273819.tif 000040
【図１２】
2004273819.tif 000041
【図１３】
2004273819.tif 000042
【図１４】
2004273819.tif 000043
【図１５】
2004273819.tif 000044
【図１６】
2004273819.tif 000045
【図１７】
2004273819.tif 000046
【図１８】
2004273819.tif 000047