(57)【要約】【課題】回転の安定性が得られ、かつ、熱膨張による破損の発生を防止できる回転陽極型Ｘ線管を提供すること。【解決手段】真空外囲器１１内に配置された陽極ターゲット１２と、陽極ターゲット１２と一体で回転する回転体１５と、軸受Ｒａ、Ｒｂ、Ｓａ、Ｓｂを介して回転体１５を回転可能に保持する固定シャフト１８と、固定シャフト１８を支持する支持機構２０とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、支持機構２０は、弾性変形する皿ばね部品２２と、皿ばね部品２２を、固定シャフト１８に対し管軸ｍ方向の力を付与する状態で、保持する第２保持部材２３とを有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、前記陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、軸受を介して前記回転体を回転可能に保持する固定シャフトと、前記固定シャフトを支持する支持機構とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記支持機構は、弾性変形する弾性部材と、前記弾性部材を、前記固定シャフトに対し管軸の延長方向に力を付与する状態で、支持する支持部材とを有することを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項２】
真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、前記陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、軸受を介して前記回転体を回転可能に保持する固定シャフトと、前記固定シャフトを支持する支持機構とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記支持機構は、弾性部材を縮んだ状態で支持する支持部材を有し、縮んだ状態の前記弾性部材による力が、前記固定シャフトの管軸を横切る方向の面に作用していることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項３】
真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、前記陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、軸受を介して前記回転体を回転可能に保持する固定シャフトと、前記固定シャフトを支持する支持機構とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記支持機構は、前記真空外囲器または前記真空外囲器と相対的に静止する静止部分に固定された支持部材と、前記固定シャフトの管軸を横切る方向の面と前記支持部材とで挟まれた領域に縮んだ状態で支持される弾性部材とを有することを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項４】
真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、前記陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、軸受を介して前記回転体を回転可能に保持する固定シャフトと、前記固定シャフトを支持する支持機構とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記支持機構は、前記固定シャフトの管軸を横切る方向の面と一部が接し、前記固定シャフトが貫通する貫通穴が形成された第１支持部材と、前記第１支持部材よりも外側に位置し前記真空外囲器または前記真空外囲器と相対的に静止する静止部分に固定された第２支持部材と、前記第１支持部材と前記第２支持部材とで挟まれた領域に縮んだ状態で配置される弾性部材とを有することを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項５】
真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、前記陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、軸受を介して前記回転体を回転可能に保持する固定シャフトと、前記固定シャフトを支持する支持機構とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記支持機構は、前記固定シャフトの管軸を横切る方向の面と一部が接し、前記固定シャフトが貫通する貫通穴を有する第１支持部材と、前記第１支持部材よりも外側に位置し前記真空外囲器または前記真空外囲器と相対的に静止する静止部分に固定され、前記固定シャフトが貫通する貫通穴が形成された第２支持部材と、前記第２支持部材よりも外側に位置し前記第２支持部材と固定部品により固定される第３支持部材と、前記第１支持部材と前記第２支持部材とで挟まれた領域に縮んだ状態で配置される第１弾性部材と、前記第２支持部材と前記第３支持部材とで挟まれた領域に縮んだ状態で配置される第２弾性部材とを有することを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項６】
弾性部材が１つまたは複数の皿ばね部品である請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の回転陽極型Ｘ線管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は回転陽極型Ｘ線管に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転陽極型Ｘ線管は回転状態にある陽極ターゲットに電子ビームを衝突させ、陽極ターゲットからＸ線を放出させる構造になっている。
【０００３】
ここで、従来の回転陽極型Ｘ線管について図５を参照して説明する。
【０００４】
回転陽極型Ｘ線管を構成する真空外囲器（図示せず）は、たとえば外径の大きい陰極側外囲器部と外径の小さい陽極側外囲器部などから構成されている。真空外囲器内に陽極ターゲット５２が配置されている。陽極ターゲット５２は継手部５３に固定され、継手部５３を介して回転機構５４に連結されている。回転機構５４は回転体５５およびこの回転体５５の外側に接合された回転子５６、回転体５５の開口部分を封止するスラストリング５７、回転体５５やスラストリング５７で囲まれた内部空間に配置され、回転体５５などを回転可能に保持する固定シャフト５８などから構成されている。
【０００５】
回転子５６は銅などの電気抵抗の低い金属で形成され、陽極ターゲット５２側に近い一部が回転体５５に接合され、残りの領域は隙間Ｇが設けられている。
【０００６】
固定シャフト５８の図示左端部５８ａは、スラストリング５７を貫通し、真空外囲器の外側まで伸びている。その図示左端部５８ａはネジ加工され、固定シャフト５８のたとえば段差面５８１とナット５９の間に支持機構５１を挟む形で、固定シャフト５８が固定されている。
【０００７】
固定シャフト５８のたとえば外周面にらせん溝６０ａ、６０ｂが形成されている。また、スラストリング５７の図示右側の面および回転体５５の底面に対向する固定シャフト５８の端面にらせん溝（図示せず）が形成されている。これら各らせん溝６０ａ、６０ｂが形成された領域に液体金属潤滑材が供給され、回転体５５やスラストリング５７と固定シャフト５８との間にラジアル方向の動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂおよびスラスト方向の動圧式すべり軸受Ｓａ、Ｓｂ形成されている。
【０００８】
上記した構成では、陽極ターゲット５２および継手部５３、回転機構５４などから構成される陽極構体部分が、固定シャフト５８の固定部たとえば固定シャフト５８と支持機構５１との固定部分で支持されている。
【０００９】
この場合、陽極構体部分の荷重で、固定シャフト５８の固定部に曲げモーメントが発生する。たとえば回転陽極型Ｘ線管がＣＴ装置などに組み込まれている場合は、被写体の撮影時に、回転陽極型Ｘ線管が診断対象である被写体の周囲を回転し、大きな曲げモーメントが発生する。その結果、固定シャフト５８の固定部を基点にして陽極構体部分が曲がり、陽極ターゲット５２など回転部分の回転が不安定になる場合がある。
【００１０】
このため、陽極構体部分が曲がらないように、固定シャフト５８の固定部たとえば支持機構５１の強度を強くする方法が考えられる。しかし、強度を強くすると、支持機構５１の壁厚が厚くなり、全体の重量が増え、大型化するという問題がある。
【００１１】
次に、従来の回転陽極型Ｘ線管の他の例について図６を参照して説明する。図６は、図５に対応する部分に同じ符号を付し重複する説明を一部省略する。
【００１２】
この例は、固定シャフト５８の図示右端部５８ｂが筒状の継手部５３を貫通し、陰極側外囲器部５１ｂの外側まで伸びている。そして、図示右端部５８ｂはネジ加工され、固定シャフト５８のたとえば段差面５８２とナット６１の間に支持機構５１を挟む形で、固定シャフト５８が固定されている。
【００１３】
上記した構成では、固定シャフト５８の左右両端が支持機構５１に固定されている。したがって、陽極構体部分の荷重が両端に分散し、固定シャフト５８の固定部に加わる曲げモーメントが小さくなる。
【００１４】
固定シャフト５８の両端を固定する構造は、図５のように一端を固定する構造に比べると、陽極構体部分の固有振動数が高くなり、回転数を上げても安定な回転が得られる。したがって、陽極ターゲットの回転数を高くすることができ、陽極ターゲットの焦点面の温度を低減できる利点がある。
【００１５】
また、回転機構の軸受構造に動圧式すべり軸受を用いる場合、実使用時の回転数が陽極構体部分の固有振動数よりも高いと、回転数が変動したり、振動が増大したりする。実使用時の回転数と固有振動数が近いと、陽極共振が生じ振動が大きくなる。しかし、固定シャフトの両端を固定した場合、陽極構体部分の固有振動数が高くなるため、実使用時の回転数が固有振動数よりも低くなり、管球の振動が小さくなるという利点がある。
【００１６】
一方、回転陽極型Ｘ線管は使用状態に入ると、電子ビームの衝突で陽極ターゲットが発熱し、同時に、軸受損失などで動圧式すべり軸受が発熱する。これらの熱が固定シャフトに伝達し、固定シャフトが熱膨張する。この場合、固定シャフトの両端が固定されていると、その固定部分に大きな熱応力が発生し、固定シャフトを固定する支持機構をさらに固定しているハウジングや真空外囲器が破損することがある。
【００１７】
次に、従来の回転陽極型Ｘ線管のもう１つの例について図７を参照して説明する。図７は、図５および図６に対応する部分に同じ符号を付し重複する説明を一部省略する。
【００１８】
この例は、陽極ターゲット４２の図示右側に保持部材７１が設けられている。保持部材７１は、固定シャフト５８の図示右端部５８ｂの外径よりも大きい内径の貫通穴が形成されている。そして、貫通穴の部分を固定シャフト５８が貫通し、固定シャフト５８の図示右端部５８ｂと保持部材７１の貫通穴内面との間に小さな隙間７２をもつ嵌め合い構造になっている。
【００１９】
この構造によれば、固定シャフト５８が熱膨張しても、固定シャフト５８が貫通穴内をスライドし熱応力は発生しない。また、被写体の撮影時などに、陽極構体部分に大きな遠心力が作用した場合、固定シャフト５８は図示左側の固定部を支点にして、隙間７２の大きさの分だけ管軸ｍに対し垂直方向に曲がる。しかし、陽極構体部分は曲がった状態で貫通穴の内面に拘束され、曲げモーメントは両端に分散される。
【００２０】
なお、嵌め合い構造の場合、陽極構体部分の曲がりが大きいと回転が不安定になるため、隙間を小さくする必要がある。しかし、隙間を小さくすると、固定シャフトと貫通穴の内面とが接触し、熱膨張および熱収縮の繰り返しで、接触面が摩耗するという問題がある。さらに、管球の静止状態などでは、嵌め合い部分は固定シャフトが浮いた状態となって拘束されない。そのため、陽極構体部分の固有振動数が低下するという問題がある。
【００２１】
その他、熱膨張で発生する熱応力を小さくするための固定シャフトの固定方法としては、公知技術になっていないものの、同一出願人によって出願された特許文献１や特許文献２などの方法がある。
【００２２】
特許文献１は、固定シャフトの端部をボール状の保持部材で保持している。この方法は、図７の方法と同様、固定シャフトが摩耗するという問題がある。
【００２３】
特許文献２は、固定シャフトの端部にベローズ状の保持部材が連結されている。この方法は、固定シャフトの保持部材との連結部分は実質的に拘束されない状態にあるため、陽極構体部分の固有振動数が低下するという問題がある。
【００２４】
【特許文献１】
特願２００１−１９９８１５
【特許文献２】
特願２００１−１９９８１４
【００２５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の回転陽極型Ｘ線管は、陽極構体部分を固定シャフトの一端で支持する方法あるいは両端で支持する方法、またはその一端を嵌め合いで支持する方法などがある。
【００２６】
一端で支持する方法は、耐荷重性や振動、回転数の向上などに問題があり、回転の安定性が低下する。両端で支持する方法は、一端で支持する方法の欠点が解消されるものの、熱膨張によって発生する熱応力で管球が破損するという問題がある。嵌め合いで支持する方法は、熱膨張による管球の破損を防止できる。しかし、一端で支持する方法と同様、回転の安定性が低下する。
【００２７】
本発明は、上記した欠点を解決し、回転の安定性が得られ、かつ、熱膨張による破損を防止できる回転陽極型Ｘ線管を提供することを目的とする。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、前記陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、軸受を介して前記回転体を回転可能に保持する固定シャフトと、前記固定シャフトを支持する支持機構とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記支持機構は、弾性変形する弾性部材と、前記弾性部材を、前記固定シャフトに対し管軸方向の力を付与する状態で、保持する保持部材とを有することを特徴とする。
【００２９】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態について図１の概略の断面図を参照して説明する。
【００３０】
回転陽極型Ｘ線管を構成する真空外囲器１１は、たとえば外径が大きい陰極側外囲器部１１ａおよびこれよりも外径が小さい陽極側外囲器部１１ｂなどから構成され、陰極側外囲器部１１ａに円盤状陽極ターゲット１２が配置されている。陽極ターゲット１２は筒状継手部１３に固定され、筒状継手部１３を介して回転機構１４と機械的に連結されている。
【００３１】
回転機構１４は、たとえば有底円筒状回転体１５および回転体１５の外側に接合された筒状回転子１６、回転体１５の開口部分を封止するスラストリング１７、回転体１５やスラストリング１７で囲まれた内部空間に配置され、回転体１５を回転可能に保持する円柱状固定シャフト１８などから構成されている。
【００３２】
回転子１６は電気抵抗の低い銅などの金属で形成され、陽極ターゲット１２側に近い一部が回転体１５に接合され、残りの領域に隙間Ｇが設けられている。
【００３３】
固定シャフト１８の図示左側は、スラストリング１７を貫通し、支持機構２６の外側まで伸びている。その図示左側部分には、たとえばスラストリング１７を貫通する直前部分および支持機構２６を貫通する直前部分に、径の大きさが変化する環状の第１段差面１８１および第２段差面１８２が設けられている。そして、図示左端部１８ａはネジ加工され、固定シャフト１８の第２段差面１８２とナット１９の間に支持機構２６を挟む形で、固定シャフト１８が固定されている。
【００３４】
固定シャフト１８の図示右側は回転体１５の底部および継手部１３を貫通し、継手部１３の外側まで伸びている。その図示右側部分には、たとえば回転体１５を貫通する直前部分および継手部１３の外側に、径の大きさが変化する環状の第３段差面１８３および第４段差面１８４が設けられている。そして、第４段差面１８４よりも先の右端部１８ｂが支持機構２０に接続されている。
【００３５】
支持機構２０は、たとえば固定シャフト１８の第４段差面１８４に接する第１支持部材２１たとえば座金、および、管軸ｍ方向に弾性変形する弾性部材たとえば複数（図１では４個）の皿ばね部品２２、皿ばね部品２２の外側に位置する第２支持部材２３などから構成されている。第２支持部材２３はたとえば支持体２４に固定され、支持体２４はたとえば真空外囲器１１（図１では陰極側外囲器部１１ａの部分）の一部に封止され、固定されている。
【００３６】
皿ばね部品２２は、図２に示すようにたとえば円錐状の金属板材で形成され、一方の側に径の小さい小開口２２ａが設けられ、他方の側に径の大きい大開口２２ｂが設けられている。
【００３７】
そして、図１では、４個の皿ばね部品２２が直列に、すなわち小開口２２ａどうしあるいは大開口２２ｂどうしが接する形で、隣接するどうしが逆向きに配置されている。また、図示左端部に位置する皿ばね部品２２はその大開口２２ｂ側が第１支持部材２１に接し、図示右端部に位置する皿ばね部品２２はその大開口２２ｂ側が第２支持部材２３に接している。
【００３８】
なお、皿ばね部品２２の小開口２２ａの内径は、固定シャフト１８が熱膨張しても皿ばね部品２２と接触しないように、たとえば固定シャフト１８の右端部１８ｂの外径よりも少し大きい寸法に選ばれている。
【００３９】
また、固定シャフト１８のたとえば外周面にらせん溝２５ａ、２５ｂが形成されている。また、固定シャフト１８の第１段差面１８１と対向するスラストリング１７の面および回転体１５の底面に対向する固定シャフト１８の端面にらせん溝（図示せず）が形成されている。これら各らせん溝２５ａ、２５ｂを形成した領域に液体金属潤滑材を供給し、回転体１５やスラストリング１７と固定シャフト１８との間にラジアル方向の動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂおよびスラスト方向の動圧式すべり軸受Ｓａ、Ｓｂ形成されている。固定シャフト１８は、動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂ、Ｓａ、Ｓｂを介して、固定シャフト１８は回転体１５を回転可能に保持する。
【００４０】
支持機構２０の組み立ては、まず、固定シャフト１８の第４段差面１８４に接するように第１支持部材２１たとえば座金を配置し、さらに、第１支持部材２１の外側に弾性部材たとえば４個の皿ばね部品２２を直列に配置する。次に、複数の皿ばね部品２２に対して管軸ｍ方向に荷重をかけ、弾性変形によって全体が縮むように与圧する。次に、その状態を保持するように第２支持部材２３を位置決めする。そして、第２保持部材２３を支持する支持体２４をたとえば真空外囲器１１に固定する。
【００４１】
上記した構成によれば、皿ばね部品２２が縮んだ状態に与圧されている。この与圧で、皿ばね部品２２が第１支持部材２１を固定シャフト１８の第４段差面１８４に押しつける。第４段差面１８４は、固定シャフト１８の管軸ｍを横切る方向たとえば管軸ｍに対して垂直に、かつ、管軸ｍを中心とする環状に形成されている。そのため、固定シャフト１８は第１支持部材２１によって全体が平均的に管軸ｍの延長方向に押しつけられ、固定シャフト１８および第１支持部材２１が強く接触する。
【００４２】
したがって、固定シャフト１８は実質的に両端支持となり、陽極構体部分の荷重が分散し、固定シャフト１８の固定部に加わる曲げモーメントが小さくなる。また、陽極構体部分の固有振動数が高くなるため、回転数を上げても安定な回転が得られる。さらに、陽極ターゲットの回転数を高くできるため、陽極ターゲットの焦点面の温度を低減できる。
【００４３】
また、使用時などに固定シャフト１８が熱膨張した場合、その熱膨張分は、皿ばね部品２２が管軸ｍの延長方向に縮んで吸収される。また、製造時などに真空外囲器１１が熱膨張した場合は、逆に、皿ばね部品２２が管軸ｍの延長方向に伸びて吸収される。
【００４４】
皿ばね部品２２に対する与圧は、固定シャフト１８の固定部に熱応力で発生する力に比較すると、１０〜１００倍程度も小さいため、熱膨張の吸収作用を阻害するようなことはない。
【００４５】
また、皿ばね部品２２は、管軸ｍの垂直方向に荷重がかかった場合の変位は管軸ｍの延長方向の変位と比べるとずっと小さく、固定シャフト１８を両端で保持した場合の耐荷重性能が十分得られる。
【００４６】
次に、本発明の他の実施形態について図３を参照して説明する。図３は図１に対応する部分に同じ符号を付し重複する説明は一部省略する。
【００４７】
この例は、固定シャフト１８と第２支持部材２３が嵌め合い構造になっている。たとえば第２保持部材２３に管軸ｍ方向に貫通する貫通穴が形成されている。貫通穴の内径は固定シャフト１８の右端部１８ｂの外径よりも大きく形成され、その右端部１８ｂが貫通穴に挿入されている。なお、第２支持部材２３は、図示しないもののの図１の場合と同様、支持部材などによってたとえば真空外囲器１１に固定されている。
【００４８】
この場合、第２支持部材２３に貫通穴が形成されている。しかし、第２支持部材２３に底のある貫通しない穴を設け、固定シャフト１８の先端部がその穴の中に挿入されるような構造にしてもよい。
【００４９】
上記の構造によれば、ＣＴ装置などに組み込まれ、実使用時に、管軸の垂直方向に大きな荷重が作用して、陽極構体部分が隙間の分だけ曲がっても、その状態で第２支持部材２３によって拘束される。したがって、陽極構体部分の曲がりが小さく抑えられる。
【００５０】
次に、本発明の他の実施形態について図４を参照して説明する。図４は支持機構部分を抜き出した図で、図１や図３に対応する部分に同じ符号を付し重複する説明を一部省略する。
【００５１】
固定シャフト１８の環状第４段差面１８４に接し、かつ、固定シャフト１８の右端部１８ｂを囲むように、第１支持部材４１たとえばリング状の座金が配置されている。第１支持部材４１の第４段差面１８４と反対側の面に環状凹部４１ａが形成され、この凹部４１ａに皿ばね部品２２が嵌め込まれている。
【００５２】
第１支持部材４１の外側にたとえば小さな間隔を保って、固定シャフト１８が貫通する筒状の第２支持部材４２が配置されている。第２支持部材４２と固定シャフト１８は嵌め合い構造になっており、第２支持部材４２の貫通穴の内面と固定シャフト１８右端部１８ｂの外周面との間に小さな隙間が設けられている。第２支持部材４２は左右両面に環状凹部４２ａ、４２ｂが形成され、その凹部４２ａ、４２ｂにそれぞれ皿ばね部品２２が嵌め込まれている。
【００５３】
第２支持部材４２の外側にたとえば小さな間隔を保って、第３支持部材４３たとえば座金が配置されている。第３支持部材４３は第２支持部材４２側の面に環状凹部４３ａが形成され、この凹部４３ａに皿ばね部品２２が嵌め込まれている。そして、凹部４３ａ内側の中央部の面が固定シャフト１８の右端部１８ｂの端面、たとえば固定シャフト１８の管軸ｍを垂直に横切る方向の面に接触している。
【００５４】
上記の配置において、第３支持部材４３と固定シャフト１８を固定部品４４たとえばボルトで固定する。このとき、固定部品４４の締め付けで、第１支持部材４１と第２支持部材４２の間隔、および、第２支持部材４２と第３支持部材４３の間隔が狭くなり、それぞれの皿ばね部品２２が縮んで与圧される。そして、この状態で、第２支持部材４２が真空外囲器（図示せず）などに固定される。
【００５５】
上記した構成の場合も、与圧された皿ばね部品２２の作用で、固定シャフト１８が支持機構によって強固に支持され、固定シャフト１８は、実質的に両端で固定される。
【００５６】
また、固定シャフト１８および第１支持部材４１、第３支持部材４３は、皿ばね部品２２の作用や固定部品４４による固定で機械的に一体化している。しかし、固定シャフト１８と第２支持部材４２との間は動きが自由であるため、固定シャフト１８や真空外囲器の熱膨張で発生する熱応力は皿ばね部品２２の伸縮で吸収される。
【００５７】
上記の構成では、皿ばね部品２２が各支持部材４１〜４３の凹部内に配置されている。この場合、皿ばね部品２２の管軸から離れる方向への動きが凹部の壁で規制され、皿ばね部品２２の配置が安定化する。
【００５８】
上記の各実施形態では弾性部品として皿ばね部品を用いている。しかし、弾性部品には棒状金属などをコイル状に巻いた弦巻ばね、あるいは、金属板などを複数重ねた重ね板ばねなどを使用でき、また、真空外で支持する場合は弾性ゴムなどを使用することもできる。
【００５９】
上記の各実施形態では、固定シャフトの一端だけが弾性部品などを用いた支持機構で支持されている。しかし、このような支持機構を用いて固定シャフトの両端を支持することもできる。
【００６０】
また、回転機構の軸受として動圧式すべり軸受が用いられているが、ボールベアリングなどの軸受を用いた場合にも適用できる。
【００６１】
また、上記した支持機構は、真空外囲器内に限らず、真空外囲器外で固定シャフトを支持する構造にすることもできる。また、支持部材の１つが、真空外囲器に固定されているが、真空外囲器に代えて、真空外囲器と相対的に静止する静止部分たとえば真空外囲器をハウジングに固定する固定部材などに固定することもできる。
【００６２】
また、固定シャフトの段差面に接する支持部品は、固定シャフトと別部品としてでなく、両者を一体構造で構成することもできる。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、陽極構体部分の固有振動数が高く、かつ、熱膨張で発生する熱応力を吸収できる回転陽極型Ｘ線管を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を説明するための概略の断面図である。
【図２】本発明に使用される皿ばね部品を説明するための斜視図である。
【図３】本発明の他の実施形態を説明するための概略の断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態を説明するための概略の断面図である。
【図５】従来例を説明するための概略の断面図である。
【図６】他の従来例を説明するための概略の断面図である。
【図７】他の従来例を説明するための概略の断面図である。
【符号の説明】
１１…真空外囲器
１２…陽極ターゲット
１３…継手部
１４…回転機構
１５…回転体
１６…回転子
１７…スラストリング
１８…固定シャフト
１９…ナット
２０、２６…支持機構
２１…第１支持部材
２２…皿ばね部品
２３…第２支持部材
２４…支持体
Ｒａ、Ｒｂ…ラジアル方向の動圧式すべり軸受
Ｓａ、Ｓｂ…スラスト方向の動圧式すべり軸受
ｍ…管軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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