(57)【要約】【課題】部品等を洗浄液で洗浄後に乾燥する際、水などの乾燥させにくい洗浄液で洗浄した場合でも、隙間などの乾燥しにくい場所に洗浄液が残ることがなく、素早く乾燥させる乾燥装置の提供をする。【解決手段】処理槽１０と、吸引装置１１と、真空減圧器１２と、流入外気加熱装置１３とを設けた乾燥装置１を用い、処理槽１０に被処理物を入れて、第１乾燥工程では吸引装置１１と流入外気加熱装置１３とにより、外気を加熱しながら処理槽１０内に導入しつつ減圧して乾燥し、さらに、第２乾燥工程では、真空減圧器１２を用いて、さらに減圧して乾燥させる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理槽と、外気導入手段と、真空減圧器と、加熱装置と、外気を処理槽に取り入れる外気取り入れ口と、処理槽内の空気を減圧器を介して外部に排気する真空排気管と、処理槽内の空気を真空減圧器を介さずに外部に排気する通常排気管を有し、前記外気導入手段は外気取り入れ口から取り入れた外気を処理槽内に導入すると共に通常排気管を経て外部に排気可能な様に処理槽と接続され、真空減圧器は処理槽内を減圧できると共に減圧排気管を経て外部に排気可能な様に処理槽と接続され、加熱装置は、処理槽内に流入する外気又は処理槽内部の空気を加熱できるものであり、外気取り入れ口と処理槽との間には開閉可能な第１開閉部が設けられ、処理槽と真空排気管との間には開閉可能な第２開閉部が設けられ、処理槽と通常排気管の間には開閉可能な第３開閉部が設けられ、処理槽内に被処理物を入れ、第１開閉部及び第３開閉部を開けて第２開閉部を閉じた状態で外気導入手段及び加熱装置を作動させると、処理槽内の被処理物を加熱することができ、第１開閉部及び第３開閉部を閉じて第２開閉部を開けた状態で、真空減圧器を作動させると、処理槽内が減圧されて被処理物の乾燥ができることを特徴とする乾燥装置。
【請求項２】
処理槽と、吸引装置と、真空減圧器と、流入外気加熱装置とを有し、前記吸引装置及び真空減圧器は処理槽内の気体を排出して減圧できるように処理槽と接続され、前記流入外気加熱装置は、処理槽に接続されて処理槽内の圧力と外気圧の差により処理槽内に流入する外気を加熱できるものであり、吸引装置と処理槽との間には開閉可能な第１開閉部が設けられ、真空減圧器と処理槽との間には開閉可能な第２開閉部が設けられ、処理槽と流入外気加熱装置との間には開閉可能な第３開閉部が設けられ、処理槽内に被処理物を入れ、第１開閉部及び第３開閉部を開けて第２開閉部を閉じた状態で吸引装置及び流入外気加熱装置を作動させると、外気が流入外気加熱装置により加熱されて処理槽内に流入し、処理槽内を加熱しつつ第１段階まで減圧することができ、第３開閉部及び第１開閉部を閉じて第２開閉部を開けた状態で、真空減圧器を作動させると、処理槽内が第１段階よりも圧力が低い第２段階まで減圧されて被処理物の乾燥を行うことができることを特徴とする乾燥装置。
【請求項３】
前記処理槽内には被処理物保持部と、前記流入外気加熱装置につながる流入孔と、前記吸引装置につながる排出孔とを有しており、前記被処理物保持部の位置は流入孔と排出孔との間であることを特徴とする請求項２に記載の乾燥装置。
【請求項４】
前記流入孔は前記排出孔よりも上側であり、流入孔から排出孔に流れが生じると、被処理物保持部では上から下に向かう流れが発生することを特徴とする請求項３に記載の乾燥装置。
【請求項５】
前記第１段階の状態は、処理槽内の圧力と大気圧との差が９．８ｋＰａ以下であり、前記第２段階の状態は、処理槽内の圧力と大気圧との差が１００〜１０１．２ｋＰａであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の乾燥装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の乾燥装置を用いる減圧乾燥方法であって、処理槽に被処理物を入れる工程と、処理槽内を第１段階まで減圧しつつ加熱された外気を導入する第１乾燥工程と、外気導入を停止してさらに第２段階まで減圧する第２乾燥工程と、被処理物を取り出す工程とを有し、第１乾燥工程の後に第２乾燥工程が行われることを特徴とする減圧乾燥方法。
【請求項７】
予備乾燥工程とドレン排出工程を有し、前記予備乾燥工程は処理槽内を減圧しつつ加熱された外気を導入し、前記加熱された外気を被処理物に当てて、表面の液体を離脱させることができる工程であり、前記ドレン排出工程は、被処理物から離脱した液体であるドレンを排出する工程であり、予備乾燥工程の後にドレン排出工程が行われ、更にその後に前記第１乾燥工程が行われることを特徴とする請求項６に記載の減圧乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、処理槽内を減圧して、被処理物の乾燥を行う乾燥装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
部品等を水などの洗浄液で洗浄した後には、洗浄液が付着している。この洗浄液の乾燥を促進するため、熱風乾燥装置や乾燥装置など、様々な乾燥装置が開発されている。
例えば、金属部品などをめっきし、その後にめっき液などの除去を行う場合に洗浄液で洗浄し、その後、洗浄液を除去する場合に上記の乾燥装置などが用いられている。
【０００３】
地球環境保護のため、オゾン層の破壊物質のひとつである洗浄用フロンの使用が規制されている。そして、フロン洗浄に代わる方法として、水系洗浄剤あるいは純水を使用した水系洗浄が採用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
水系洗浄では、環境的には優れているが、その後の乾燥に時間がかかるという欠点があった。
一方で、製品のサイズダウンや加工技術の進歩により、部品の大きさがより小さく、また部品の形状がより複雑が用いられるようになってきている。そして、かかる部品の乾燥には時間を要し、また、乾燥が不十分であることにより、加工上の問題が発生している。特に、細い隙間や、不貫通の細孔や奥行きの長い孔等の場合には、内部に残った水などの洗浄液は蒸発しにくく、最後まで蒸発せずに残るので、短時間で乾燥させることは非常に困難であった。
【０００５】
そして、従来の乾燥方法では、このようなものを短時間で乾燥させることは困難であった。
例えば、ヒータ等により空気などの気体を加熱し、その加熱された気体を被処理物に当てて、表面の洗浄液の温度を上げて蒸発させ、さらに被処理物の温度を上昇させて乾燥させる方法（温風乾燥方法）では、表面の洗浄液の乾燥は容易であるが、被処理物全体の温度が、洗浄液の蒸発する温度まで上昇しないと内部に残った水は難しい。
また、被処理物を密閉槽に入れて減圧し、洗浄剤の蒸気圧を低くすることにより、低い温度でも洗浄剤の蒸発を促進する方法（減圧乾燥方法）では、洗浄剤は蒸発しやすくなるが、槽内の気体が減少するので、洗浄液の蒸発熱に相当する熱量を被処理物へ供給しにくい。さらに、減圧度を高くして、槽内の気圧を低くすると、さらに被処理物への熱の供給が悪くなってしまう。
そして、減圧乾燥方法において、攪拌機等を槽内に設置することにより槽内に気体の流れを発生させ、被処理物への熱伝導率を改善する方法が考えられるが、装置が大きくなり複雑になり、また熱伝導率がそれほど向上しない。
【０００６】
また、従来の乾燥方法で、処理槽の温度や熱風の温度を高くすれば、乾燥速度は多少は速くなる。しかしながら、温度を上げすぎると被処理物が変化してしまうおそれがあり、また、上記した隙間に残った洗浄液の蒸発を促進させることができず、乾燥時間がほとんど短縮しなかった。
【０００７】
そこで、本発明は、洗浄後の被処理物の乾燥の際、上記のような乾燥しにくい部品でも短時間に乾燥が可能であり、構造が複雑でない乾燥装置の提供をすることを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
そして、上記した目的を達成するための請求項１に記載の発明は、処理槽と、外気導入手段と、真空減圧器と、加熱装置と、外気を処理槽に取り入れる外気取り入れ口と、処理槽内の空気を減圧器を介して外部に排気する真空排気管と、処理槽内の空気を真空減圧器を介さずに外部に排気する通常排気管を有し、前記外気導入手段は外気取り入れ口から取り入れた外気を処理槽内に導入すると共に通常排気管を経て外部に排気可能な様に処理槽と接続され、真空減圧器は処理槽内を減圧できると共に減圧排気管を経て外部に排気可能な様に処理槽と接続され、加熱装置は、処理槽内に流入する外気又は処理槽内部の空気を加熱できるものであり、外気取り入れ口と処理槽との間には開閉可能な第１開閉部が設けられ、処理槽と真空排気管との間には開閉可能な第２開閉部が設けられ、処理槽と通常排気管の間には開閉可能な第３開閉部が設けられ、処理槽内に被処理物を入れ、第１開閉部及び第３開閉部を開けて第２開閉部を閉じた状態で外気導入手段及び加熱装置を作動させると、処理槽内の被処理物を加熱することができ、第１開閉部及び第３開閉部を閉じて第２開閉部を開けた状態で、真空減圧器を作動させると、処理槽内が減圧されて被処理物の乾燥ができることを特徴とする乾燥装置である。
【０００９】
請求項１に記載の発明によれば、外気が導入され、処理槽内が加熱されて被処理物を加熱し、洗浄液の蒸気を排出しながら乾燥が可能であり、効率よく短時間で乾燥することができる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、処理槽と、吸引装置と、真空減圧器と、流入外気加熱装置とを有し、前記吸引装置及び真空減圧器は処理槽内の気体を排出して減圧できるように処理槽と接続され、前記流入外気加熱装置は、処理槽に接続されて処理槽内の圧力と外気圧の差により処理槽内に流入する外気を加熱できるものであり、吸引装置と処理槽との間には開閉可能な第１開閉部が設けられ、真空減圧器と処理槽との間には開閉可能な第２開閉部が設けられ、処理槽と流入外気加熱装置との間には開閉可能な第３開閉部が設けられ、処理槽内に被処理物を入れ、第１開閉部及び第３開閉部を開けて第２開閉部を閉じた状態で吸引装置及び流入外気加熱装置を作動させると、外気が流入外気加熱装置により加熱されて処理槽内に流入し、処理槽内を加熱しつつ第１段階まで減圧することができ、第３開閉部及び第１開閉部を閉じて第２開閉部を開けた状態で、真空減圧器を作動させると、処理槽内が第１段階よりも圧力が低い第２段階まで減圧されて被処理物の乾燥を行うことができることを特徴とする乾燥装置である。
【００１１】
請求項２に記載の発明によれば、第１段階まで減圧しつつ、加熱された外気の導入により被処理物を加熱しながら乾燥することができるので、乾燥が早く、特に洗浄液の蒸気を排出して、さらに減圧しているので、効率よく短時間で乾燥することができ、また、さらに、処理槽を第１段階よりも圧力が低い第２段階まで減圧することができるので、隙間などに残っている洗浄液を確実に蒸発することができる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、前記処理槽内には被処理物保持部と、前記流入外気加熱装置につながる流入孔と、前記吸引装置につながる排出孔とを有しており、前記被処理物保持部の位置は流入孔と排出孔との間であることを特徴とする請求項１に記載の乾燥装置である。
【００１３】
請求項３に記載の発明によれば、被処理物保持部の位置は流入孔と排出孔との間であり、流入孔から加熱された外気が排出孔に流れる際に、被処理物保持部を通過するので、攪拌機などを用いることなく被処理物に温風を当てることができ、処理槽を大きくすることなく、また効率的に乾燥させることができる。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、前記流入孔は前記排出孔よりも上側であり、流入孔から排出孔に流れが生じると、被処理物保持部では上から下に向かう流れが発生することを特徴とする請求項３に記載の乾燥装置である。
【００１５】
請求項４に記載の発明によれば、被処理物保持部における流れは、上から下に向かうので、強い流れが発生しても、被処理物が散乱することはない。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、前記第１段階の状態は、処理槽内の圧力と大気圧との差が９．８ｋＰａ以下であり、前記第２段階の状態は、処理槽内の圧力と大気圧との差が１００〜１０１．２ｋＰａであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の乾燥装置である。
【００１７】
請求項５に記載の発明によれば、前記第１段階は、処理槽内の圧力と大気圧との差が９．８ｋＰａ以下であり、前記第２段階の状態は、処理槽内の圧力と大気圧との差が１００〜１０１．２ｋＰａであり、水などの蒸発しにくい洗浄液を用いた乾燥の場合でも、短時間に乾燥することができる。
【００１８】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の乾燥装置を用いる減圧乾燥方法であって、処理槽に被処理物を入れる工程と、処理槽内を第１段階まで減圧しつつ加熱された外気を導入する第１乾燥工程と、外気導入を停止してさらに第２段階まで減圧する第２乾燥工程と、被処理物を取り出す工程とを有し、第１乾燥工程の後に第２乾燥工程が行われることを特徴とする減圧乾燥方法である。
【００１９】
請求項６に記載の発明によれば、処理槽内を第１段階まで減圧しつつ加熱された外気を導入する第１乾燥工程の後に、外気導入を停止してさらに第２段階まで減圧する第２乾燥工程が行われるので、第１乾燥工程で被処理物を加熱され、被処理物自身の温度が高い状態で、第２乾燥工程を行うので、より確実に乾燥することができる。
【００２０】
請求項７に記載の発明は、予備乾燥工程とドレン排出工程を有し、前記予備乾燥工程は処理槽内を減圧しつつ加熱された外気を導入し、前記加熱された外気を被処理物に当てて、表面の液体を離脱させることができる工程であり、前記ドレン排出工程は、被処理物から離脱した液体であるドレンを排出する工程であり、予備乾燥工程の後にドレン排出工程が行われ、更にその後に前記第１乾燥工程が行われることを特徴とする請求項６に記載の減圧乾燥方法である。
【００２１】
請求項７に記載の発明によれば、予備乾燥工程によって加熱された外気を被処理物に当てて、表面の液体を離脱させ、その後にドレン排出工程によって被処理物から離脱した液体であるドレンを排出するので、排出されたドレンの分の蒸発熱に相当する熱量を不要とすることができるので、乾燥時間を短縮し、効率よく乾燥することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下さらに本発明の具体的実施例について説明する。図１は、本発明の実施形態の乾燥装置の全体を示す斜視図である。図２は、本発明の実施形態の乾燥装置の全体を示す模式図である。図３は、本発明の実施形態の乾燥装置の処理槽を示す斜視図である。図４は、本発明の実施形態の乾燥装置の処理槽の内部を示す斜視図である。図５は、本発明の実施形態の乾燥装置を用いて行われる減圧乾燥方法を示すフローチャートである。図６は、本発明の実施形態の乾燥装置を用いて行われる減圧乾燥方法を示すタイムチャートである。図７は、本発明の変形例の被処理物保持部を示した斜視図である。
【００２３】
本実施形態における乾燥装置１は、図１に示されている。そして、乾燥装置１には、本体部８、移動蓋９、処理槽１０、吸引装置１１、真空減圧器１２、流入外気加熱装置１３を有している。
【００２４】
本体部８は箱状であり、本体部８の内部に移動蓋９、処理槽１０、吸引装置１１、真空減圧器１２及び流入外気加熱装置１３が配置されている。
移動蓋９は、本体部８の上に位置してスライド可能である。そして、移動蓋９を移動することにより、後述するように処理槽１０の上側の上部開口１５を密閉し、また、処理槽１０の上側の上部開口１５を開放して、処理槽１０内部に被処理物を出し入れすることができる。
移動蓋９の上部には取っ手９ａが設けられ、取っ手９ａを持って移動することができる。また、移動蓋９と本体部８との接触部には、図示しないローラが設けられ、本体部８上部に設けられたレール８ａ上を移動することができる。したがって、移動蓋９が重くても移動が楽である。
【００２５】
処理槽１０は、被処理物を内部に入れて乾燥させる槽である。処理槽１０の形状は、図３に示されており、側部１０ａと底部１０ｂとを有する釜の様な形状であり、上側には上部開口１５が設けられている。また、処理槽１０は内部を絶対真空付近まで減圧しても破損することのない容器である。そして上記したように、上部開口１５は移動蓋９により密閉可能である。
【００２６】
図４に示されるように、処理槽１０には、気体の排出、流入を可能にする孔が設けられている。具体的には、側部１０ａに、第１排出孔４１、第２排出孔４２、流入孔４３及び圧力開放孔４５が設けられ、底部１０ｂにドレン孔４４が設けられている。第１排出孔４１及び第２排出孔４２は処理槽１０下側に位置している。流入孔４３は処理槽１０の上側に位置し、２カ所有している。また、第１排出孔４１は、後述する被処理物保持部１６よりも下側に位置し、流入孔４３は後述する被処理物保持部１６の上側に位置し、被処理物保持部１６は第１排出孔４１と流入孔４３との間に位置している。
ドレン孔４４は、処理槽１０の底部１０ｂの最下部に位置している。
【００２７】
また、処理槽１０の内部には、図４に示されるように、被処理物保持部１６が設けられている。被処理物保持部１６は略水平に設置された網状の板であり、乾燥の際には、被処理物保持部１６の上に被処理物を直接置き、又は、別途設けられた網状の容器に被処理物を入れたものを被処理物保持部１６の上に置いて行われる。
そして、処理槽１０内で被処理物保持部１６付近に風が流れると、その風は、被処理物保持部１６内部を上から下へ通過することができる。本実施形態では、第１排出孔４１が被処理物保持部１６の下側に位置し、流入孔４３が被処理物保持部１６の上側に位置し、被処理物保持部１６が第１排出孔４１と流入孔４３との間に位置しているので、流入孔４３から第１排出孔４１に風が発生すると、被処理物保持部１６を通過する。
なお、被処理物保持部１６を図７に示されるように、筒状部１６ａと仕切部１６ｂとによって構成し、処理槽内に導入した外気が被処理物付近を流れるようにしてもよい。すなわち、筒状部１６ａは下側が網状部１６ｃを有する筒であり、被処理物は筒状部１６ａの中に保持される。また、仕切部１６ｂは、筒状部１６ａを保持することができ、網状部１６ｃ以外の部分は仕切られている。したがって、導入された外気は筒状部１６ａを通過して被処理物の付近を通って、被処理物の乾燥を促進する。
【００２８】
処理槽１０の側部１０ａには処理槽ヒータ１９が設けられ、処理槽１０自体を加熱することができる。
【００２９】
吸引装置１１及び真空減圧器１２は、一方側の気体を他方側に強制的に排出して、一方側に接続されている空間の圧力を低下させるものである。そして吸引装置１１及び真空減圧器１２は処理槽１０と接続されて、処理槽１０側の気体が強制的に排出されるように接続されている。したがって、吸引装置１１または真空減圧器１２を作動させると、処理槽１０内の圧力を低下させることができる。
【００３０】
吸引装置１１は具体的にはブロアであり、また、真空減圧器１２は具体的には真空ポンプである。したがって、吸引装置１１は真空減圧器１２よりもより排出速度を大きくすることができる減圧器であり、また、真空減圧器１２は吸引装置１１よりも真空度の高い状態まで、気体を排出することができる減圧器である。また、吸引装置１１の静圧は９．８ｋＰａであり、吸引装置１１を単体で、吸引側を締め切った状態で作動させると、吸引側と吐出側との圧力差が９．８ｋＰａとなるものである。したがって、後述するように、乾燥装置１の吸引装置１１を使用すると、処理槽１０内の圧力と外気圧との差は、９．８ｋＰａ以下となる状態で減圧される。
【００３１】
流入外気加熱装置１３は、内部に管路が設けられて、該管路内の気体を加熱することができる装置である。したがって、管路の両端の間に圧力差ができると圧力が高圧側から低圧側へと気体が流れて、低圧側に加熱された気体を供給することのできる装置である。
そして、本実施形態の乾燥装置１では、前記管路の一方を外気の導入をすることができるようにし、他方を処理槽１０側に接続して、処理槽１０内の圧力が大気圧よりも低くなると、外気取り入れ口１３ｂから外気が流入外気加熱装置１３内に入って加熱され、加熱された外気を処理槽１０側に供給することができる。なお、本実施形態の流入外気加熱装置１３の外気取り入れ口１３ｂには、フィルタ１３ａが設けられており、外気に含まれる塵などを除去することが可能である。
【００３２】
図２に示されるように、処理槽１０は、吸引装置１１、真空減圧器１２、流入外気加熱装置１３と配管で接続されている。具体的には、処理槽１０の第１排出孔４１と吸引装置１１とが第１の配管２１で接続され、第１の配管２１には開閉可能な第１の弁３１が設けられている。さらに、吸引装置１１には通常排気管２２ｂが設けられて、処理槽１０内の気体を外部に排出する。
処理槽１０の第２排出孔４２と真空減圧器１２とが第２の配管２２で接続され、第２の配管２２には開閉可能な第２の弁３２が設けられている。さらに、真空減圧器１２には、真空排気管２２ｂが設けられて、処理槽１０内の気体を外部に排出する。
処理槽１０の流入孔４３と流入外気加熱装置１３とが第３の配管２３で接続され、第３の配管２３には開閉可能な第３の弁３３が設けられている。なお、第３の配管２３は、中途部で二股に分かれて、２カ所の流入孔４３にそれぞれ接続している。
また、処理槽１０のドレン孔４４は第４の配管２４と接続され、第４の配管２４には開閉可能な第４の弁３４が設けられている。処理槽１０の圧力開放孔４５は第５の配管２５と接続され、第５の配管２５には開閉可能な第５の弁３５が設けられている。
【００３３】
これらの弁３１，３２，３３，３４，３５は、電磁弁であり、外部からの電気的信号等により開閉することができる。そして、これらの弁３１，３２，３３，３４，３５をすべて閉じ、移動蓋９で上部開口１５を閉じると、処理槽１０は密閉状態となる。
【００３４】
第１の弁３１を開いて、吸引装置１１を作動させると処理槽１０内を減圧させることができる。
また、第２の弁３２を開いて、真空減圧器１２を作動させると処理槽１０内を、減圧することができる。特に、第２の弁３２以外の弁３１、３３、３４，３５を閉じて作動させると、真空に近い程度にまで減圧することができる。
そして、処理槽１０内の圧力が大気圧よりも小さい状態で、第３の弁３３を開き、流入外気加熱装置１３をさせると、外気が流入外気加熱装置１３を通過し、加熱された外気を処理槽１０内に流入させることができる。配管２３の太さや流入孔４３、第１排出孔４１の大きさを調整して、流入する外気の量や処理槽１０内の圧力を調整することができる。
【００３５】
次に、乾燥装置１を用いて被処理物を乾燥する減圧乾燥方法について説明する。
まず、水などの洗浄液でぬれた乾燥させたい被処理物を処理槽１０内に入れて、移動蓋９を移動させて上部開口１５を閉じる。このとき、被処理物は被処理物保持部１６の上に置く。
【００３６】
そして、乾燥装置１の電源を入れ、被処理物に応じて所定の条件設定を行いスイッチを入れて作動させる。そうすると、乾燥装置１は、減圧器１１，１２や流入外気加熱装置１３，処理槽ヒータ１９等の作動や、弁３１，３２，３３，３４，３５の開閉を自動的に行い、図５、図６に示されるような内容で作動する。
【００３７】
まず、予備乾燥工程が行われる。処理槽用ヒータ１９を作動させる。そして、第１の弁３１及び第３の弁３３を開き、他の弁３２，３４，３５を閉じ、吸引装置１１及び流入外気加熱装置１３を作動させる（Ｓ１〜Ｓ４）。すると、処理槽１０内の空気は、第１排出孔４１から第１の配管２１を通じて吸引装置１１から排出され、処理槽１０内が減圧される。処理槽１０内が減圧されると、処理槽１０内の圧力が大気圧よりも小さくなるため、流入外気加熱装置１３により加熱された外気が、第３の配管２３を通じて、流入孔４３から処理槽１０内に流れ込む。
吸引装置１１が作動すると、最初は、第１排出孔４１からの排出速度が流入孔４３からの流入速度よりも大きいため、処理槽１０内は徐々に減圧する。さらに処理槽１０内が減圧されると、排出速度と流出速度が等しくなって、処理槽１０内が減圧の状態で、ほぼ一定の圧力となる。本実施形態における減圧乾燥方法ではこの処理槽１０内の圧力と大気圧の差圧は、９．８ｋＰａ以下である。
予備乾燥工程での時間や処理槽１０内の温度は、被処理物の内容などの条件により変更可能であり、通常は３０秒程度行う。そして、この設定時間が経過すると次の工程に移る（Ｓ５、Ｓ６）。
【００３８】
予備乾燥工程では、被処理物の表面についた洗浄液などを、処理槽１０内で発生する風によって取り除くことができるので、より短時間での乾燥が可能である。すなわち、処理槽１０内では、流入孔４３から第１排出孔４１へ外気が流れて風が発生する。そして、上記したように、この風は上から下へと流れて、被処理物保持部１６を通過して被処理物に当たり、被処理物の表面などに付着している洗浄液が離脱し、処理槽１０の下側へと貯まる。
【００３９】
予備乾燥工程の次は、ドレン排出工程が行われる。
ドレン排出工程は、上記の洗浄液を外部に排出するものである。具体的には、まず、吸引装置１１を停止する（Ｓ７）。そうすると、第１排出孔４１からの排出が停止し、大気開放タイマーが作動し（Ｓ８）、大気開放時間が経過するまでこの状態を維持する（Ｓ９）。この状態では、流入孔４３からの流入は処理槽１０内が大気圧になるまで続くが、大気開放時間は、処理槽１０が大気圧になるまでの充分な時間設定されているので、大気開放時間が経過する時点では処理槽１０が大気圧となっている。その後、第４の弁３４を開放する（Ｓ１０）。そうすると、処理槽１０の下側に貯まっていたドレンを排出し、所定の時間が経過するまで排出し、その後第４の弁３４を閉じる（Ｓ１１〜Ｓ１３）。
このように、本実施形態では、最初に被処理物の表面の洗浄液を離脱させて外部に排出することができるので、この洗浄液の蒸発エネルギーを行う必要がなく、効率的に素早く乾燥させることができる。
【００４０】
ドレン排出工程の次は、第１乾燥工程が行われる。
第１乾燥工程は、予備乾燥工程と同様の作動を行う。具体的には、第１の弁３１及び第３の弁３３を開き、他の弁３２，３４，３５を閉じ、吸引装置１１及び流入外気加熱装置１３を所定の時間の間、作動させる（Ｓ１４〜Ｓ２０）。
第１乾燥工程では、再び処理槽１０内が減圧状態となり、加熱された外気の風が上から下へと流れて、被処理物保持部１６を通過して、被処理物を加熱しながら、洗浄液を蒸発させる。このときの処理槽１０内の圧力は、第一段階まで減圧している。そして、処理槽１０内の大気圧との差圧は予備乾燥工程と同様であり、９．８ｋＰａ以下とすることができる。
第１乾燥工程での時間や処理槽１０内の温度は、タイマーの設定時間や、流入外気加熱装置１３での加熱条件により調整することができる。そして、これらの条件は、被処理物の温度が、後述する第２乾燥工程における処理槽１０内の圧力での、洗浄液の沸点より高い温度となるのが望ましい。
そして、第１乾燥工程では、被処理物の表面の洗浄液をほぼ蒸発させ、また、被処理物自体を素早く加熱することができる。
【００４１】
第１乾燥工程の次は、第２乾燥工程が行われる。
第２乾燥工程では、真空減圧器１２を用い、処理槽１０内の圧力を第１乾燥工程の第１段階からさらに減圧された第２段階まで減圧する。具体的には、第２の弁３２だけを開き、他の弁３１，３３，３４，３５を閉じ、真空減圧器１２を所定の時間の間、作動させる（Ｓ２１〜Ｓ２５）。
第１乾燥工程とは異なり、真空減圧器１２につながる第２の弁しか開いていないため外気等の流入はなく、また、真空減圧器１２は真空近くまで減圧が可能であるので、処理槽１０の圧力はより低下して、大気圧との差圧が大きくなる。そして、このときの処理槽１０内の大気圧との差圧は、約１００．７ｋＰａ（約５Ｔｏｒｒ）であり、また、乾燥装置１ではこの差圧を１００〜１０１．２ｋＰａ（１０〜１Ｔｏｒｒ）とすることができる。
そして、第２乾燥工程では、被処理物の隙間や不貫通の孔などに残った洗浄液を素早く蒸発することができる。すなわち、予備乾燥工程から第１乾燥工程までの工程により処理槽１０内の状態は、被処理物は表面の洗浄液の付着がほとんどなく、ある程度加熱されており、処理槽１０内の気体は、加熱された外気であり、洗浄液の蒸気がほとんど含まれていない。したがって、処理槽１０内には、被処理物の隙間以外には、蒸発していない洗浄液がほとんどなく、この状態でさらに減圧すると、被処理物の熱によって、被処理物の隙間に残った洗浄液を蒸発させる。
【００４２】
第２乾燥工程での時間は、被処理物の内容などの条件に応じて、タイマーで調整することができる。
【００４３】
第２乾燥工程が終了すると、大気開放工程となり、処理槽１０内の外気を導入して処理槽１０内の圧力を大気圧までもどす。具体的には、第５の弁３５を開いて、外気を処理槽１０内に導入する（Ｓ２６）。
処理槽１０内の圧力が大気圧まで上昇したのち、移動蓋９を移動させて、処理槽１０内の被処理物を取り出して乾燥作業が終了する。
【００４４】
上記の減圧乾燥方法では、予備乾燥工程（Ｓ１〜Ｓ６）、ドレン排出工程（Ｓ７〜Ｓ１３）、第１乾燥工程（Ｓ１４〜Ｓ２０）、第２乾燥工程（Ｓ２１〜Ｓ２５）及び大気開放工程（Ｓ２６）を有するものであったが、予備乾燥工程やドレン排出工程を省略することも可能である。さらに、第１乾燥工程のみ、又は第２乾燥工程のみで乾燥を行うこともできる。第１乾燥工程を有する減圧乾燥方法では、外気を導入しながら、減圧しつつ、加熱して、さらに、被処理物に温風を当てることが可能であるので、短時間で効果的に乾燥することができる。
【００４５】
また、本実施形態の乾燥装置１では、第１の弁３１は、処理槽１０と吸引装置１１との間の第１の配管２１に位置しているものであるが、通常排気管２１ｂにあってもよい。本実施形態の乾燥装置１では、第２の弁３２は、処理槽１０と真空減圧器１２との間の第２の配管２２に位置しているものであるが、真空排気管２２ｂにあってもよい。本実施形態の乾燥装置１では、第３の弁３３は、処理槽１０と流入外気加熱装置１３との間の第３の配管２３に位置しているものであるが、流入外気加熱装置１３の外気取り入れ口１３ｂ側に位置していても良い。本実施形態の乾燥装置１では、吸引装置１１によって処理槽１０内への加熱された外気を導入するものであったが、外気を吸入して処理槽に送り込むこともできる。
【００４６】
さらに、乾燥装置１から真空減圧器１２、第２の配管２２及び第２の弁３２を有しない構成とした乾燥装置を用いることができる。この構成の乾燥装置を用いて、第１乾燥工程を有する減圧乾燥方法によって、被処理物を乾燥させた場合には、外気を導入しながら、減圧しつつ、加熱して、さらに、被処理物に温風を当てることが可能であるので、短時間で効果的に乾燥することができる。
【００４７】
【発明の効果】
本発明の乾燥装置を用いることにより、洗浄後の被処理物の乾燥を、短時間に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の乾燥装置の全体を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態の乾燥装置の全体を示す模式図である。
【図３】本発明の実施形態の乾燥装置の処理槽を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態の乾燥装置の処理槽の内部を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施形態の乾燥装置を用いて行われる減圧乾燥方法を示すフローチャートである。
【図６】本発明の実施形態の乾燥装置を用いて行われる減圧乾燥方法を示すタイムチャートである。
【図７】本発明の変形例の被処理物保持部を示した斜視図である。
【符号の説明】
１    乾燥装置
１０  処理槽
１１  吸引装置
１２  真空減圧器
１３  流入外気加熱装置
１６  被処理物保持部
３１  第１の弁（第１開閉部）
３２  第２の弁（第２開閉部）
３３  第３の弁（第３開閉部）
４１  第１排出孔
４３  流入孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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