(57)【要約】【課題】磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて磁気転写行う際、スレーブ媒体に傷を発生させず、また十分な密着度を確保するとともに、連続して良好な磁気転写を可能とする。【解決手段】磁気転写用マスター担体１の中心孔１ａの径ｒｍａは、スレーブ媒体２の中心孔２ａの径ｒｓａ以上とし、マスター担体１の外周径ｒｍｂは、スレーブ媒体２の外周径ｒｓｂ以下とし、マスター担体１の中心孔１ａおよび外周１ｂの周縁１ｃを面取りする。なお、両者の接触面５における内周部の径の差Ｌａ＝０〜２ｍｍ、外周部の径の差Ｌｂ＝０〜５００μｍ程度とする。【選択図】          図２
2004310873.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状のスレーブ媒体に情報を転写するための転写パターンを表面に備えた、円盤状の磁気転写用マスター担体であって、
前記表面側の、外周の周縁が面取りされていることを特徴とする磁気転写用マスター担体。
【請求項２】
前記外周の径が前記スレーブ媒体の外周径以下であることを特徴とする請求項１記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項３】
中心孔を有し、
前記表面側の、該中心孔の周縁が面取りされていることを特徴とする請求項１または２記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項４】
前記スレーブ媒体が中心孔を有するものであり、
前記周縁が面取りされた中心孔の径が前記スレーブ媒体の中心孔の径以上であることを特徴とする請求項３記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項５】
外周の周縁が面取りされている円盤状のスレーブ媒体に情報を転写するための転写パターンを表面に備えた、円盤状の磁気転写用マスター担体であって、
外周径が、前記スレーブ媒体の外周径と略等しく、
前記表面側の、前記外周の周縁にバリを有し、
該バリが、該バリの内側の面が、前記スレーブ媒体の外周の面取り部の斜面に対向する範囲にあるものであることを特徴とする磁気転写用マスター担体。
【請求項６】
前記スレーブ媒体が、周縁が面取りされている中心孔を有するものであり、
前記スレーブ媒体の中心孔の径と略等しい、前記表面側の周縁にバリを有する中心孔を備え、
該中心孔の周縁のバリが、該バリの内側の面が、前記スレーブ媒体の中心孔の面取り部の斜面に対向する範囲にあるものであることを特徴とする請求項５記載の磁気転写用マスター担体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、転写情報が担持されたマスター担体から転写を受けるスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写方法に使用する磁気転写用マスター担体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００３】
上記スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、前記マスター担体も円盤状で、同心円状に形成された転写パターンを有し、スレーブ媒体の片面または両面にこのマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−４０５４４号公報
【０００５】
【特許文献２】
特開平１０−２６９５６６号公報
【０００６】
【特許文献３】
特開平１１−１７５９７３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような磁気転写を行う場合、スレーブ媒体とマスター担体とを密着させるが、この際一部にでも密着不良があると転写不良となる場合がある。密着不良の原因の一つとして、マスター担体表面にマスター担体作製時に周縁部に生じるバリの存在が考えられる。バリは密着不良を発生させると共にスレーブ媒体に傷を生じさせる場合があり大きな問題となっている。
【０００８】
そこで、マスター担体の形状を、マスター担体のバリがスレーブ媒体に接触しないように、例えば外形をスレーブ媒体と比較して十分に大きくすることによりバリによる影響を排除する方法が考えられる。
【０００９】
一方、スレーブ媒体は通常その周縁に面取りが施されているが、スレーブ媒体のクリーニング工程においてこの面取り部は、十分にクリーニングすることができず、塵埃が多く付着している。従って、マスター担体の外周をスレーブ媒体の外周と比較して大きいものとした場合、スレーブ媒体の外周周縁の塵埃がマスター担体外周部の表面に付着することとなる。マスター担体の外周部に付着した塵埃は、スレーブ媒体と接触する部分に移動する虞もあり、その場合、マスター担体とスレーブ媒体との密着不良を引き起こす原因となりうる。
【００１０】
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、磁気転写時にスレーブ媒体に傷を発生させることなく、またスレーブ媒体と十分な密着度を確保することができる磁気転写用マスター担体を提供することを目的とするものである。
【００１１】
さらに、本発明は、磁気転写時にスレーブ媒体に傷を発生させることなく、またスレーブ媒体と十分な密着度を確保することができると共に、スレーブ媒体の周縁部の塵埃により汚染されにくい磁気転写用マスター担体を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の磁気転写用マスター担体は、円盤状のスレーブ媒体に情報を転写するための転写パターンを表面に備えた、円盤状の磁気転写用マスター担体であって、
前記表面側の、外周の周縁が面取りされていることを特徴とするものである。
【００１３】
本発明の第１の磁気転写用マスター担体は、前記外周の径が前記スレーブ媒体の外周径以下であることが望ましい。
【００１４】
ここで、「面取り」とは、単にバリを取るのみならず、周縁の角を鈍角にする、もしくは丸み付けすることを意味するものである（以下において同様とする）。
【００１５】
さらに、本発明の第１の磁気転写用マスター担体が、中心孔を有する場合には、前記表面側の、該中心孔の周縁が面取りされていることが望ましい。
【００１６】
また、前記スレーブ媒体が中心孔を有するものである場合には、前記周縁が面取りされた中心孔の径が前記スレーブ媒体の中心孔の径以上であることが望ましい。
【００１７】
本発明の第２の磁気転写用マスター担体は、外周の周縁が面取りされている円盤状のスレーブ媒体に情報を転写するための転写パターンを表面に備えた、円盤状の磁気転写用マスター担体であって、
外周径が、前記スレーブ媒体の外周径と略等しく、
前記表面側の、前記外周の周縁にバリを有し、
該バリが、該バリの内側の面が、前記スレーブ媒体の外周の面取り部の斜面に対向する範囲にあるものであることを特徴とするものである。
【００１８】
本発明の第２の磁気転写用マスター担体は、前記スレーブ媒体が、周縁が面取りされている中心孔を有するものである場合、前記スレーブ媒体の中心孔の径と略等しい、前記表面側の周縁にバリを有する中心孔を備え、該中心孔の周縁のバリが、該バリの内側の面が、前記スレーブ媒体の中心孔の面取り部の斜面に対向する範囲にあるものであることが望ましい。
【００１９】
【発明の効果】
本発明の第１の磁気転写用マスター担体によれば、スレーブ媒体と密着する表面側の、外周の周縁が面取りされているので、スレーブ媒体に傷を生じさせることなく、また、スレーブ媒体との良好な密着性を確保することができる。
【００２０】
本発明の第１の磁気転写用マスター担体が、前記外周の径が前記スレーブ媒体の外周径以下であれば、スレーブ媒体の外周の周縁が面取りされ、塵埃が付着している場合にも、マスター担体表面にその塵埃が付着するのを防止することができる。
【００２１】
また、本発明の第１の磁気転写用マスター担体が、中心孔を有する場合、スレーブ媒体と密着する表面側の、該中心孔の周縁が面取りされていれば、スレーブ媒体に傷を生じさせることなく、また、スレーブ媒体との良好な密着性を確保することができる。
【００２２】
さらに、スレーブ媒体が中心孔を有するものである場合には、前記周縁が面取りされた中心孔の径が前記スレーブ媒体の中心孔の径以上であることが望ましい。
【００２３】
本発明の第２の磁気転写用マスター担体は、スレーブ媒体と密着する表面側の、外周の周縁のバリが、該バリの内側の面が、スレーブ媒体の外周の面取り部の斜面に対向する範囲にあるので、マスター担体とスレーブ媒体とを互いに中心軸に沿って密着させれば、スレーブ媒体に傷を生じさせず、また、スレーブ媒体との良好な密着性を確保することができる。さらに、外周径が、スレーブ媒体の外周径と略等しいので、スレーブ媒体の外周の周縁の面取り部に塵埃が付着している場合にも、マスター担体表面にその塵埃が付着するのを防止することができる。
【００２４】
スレーブ媒体が、周縁が面取りされている中心孔を有するものである場合、本発明の第２の磁気転写用マスター担体がスレーブ媒体と略同径の中心孔を有し、スレーブ媒体と密着する表面側の、該中心孔の周縁にバリを有する場合であっても、該中心孔の周縁のバリが、該バリの内側の面が、スレーブ媒体の中心孔の面取り部の斜面に対向する範囲にあれば、マスター担体とスレーブ媒体とを互いに中心軸に沿って密着させれば、スレーブ媒体に傷を生じさせず、また、スレーブ媒体との良好な密着性を確保することができる。さらに、中心孔の径が、スレーブ媒体の中心孔の径と略等しいので、スレーブ媒体の中心孔の周縁の面取り部に塵埃が付着している場合にも、マスター担体表面にその塵埃が付着するのを防止することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一つの実施形態に係る磁気転写用マスター担体およびスレーブ媒体の平面図である。なお、図は模式図であり、実際の寸法とは異なる比率で示している（以下の図についても同様）。
【００２６】
図１に示すように、マスター担体１は中心孔１ａを有する円盤状に形成され、片面（情報担持面）の内周部および外周部を除く円環状領域に転写パターン１０が形成されており、中心孔１ａの径はｒｍａ、外周１ｂの径はｒｍｂである。
【００２７】
上記転写パターン１０は、転写情報がサーボ信号の場合は、マスター担体１の中心部から等間隔でほぼ放射方向（図示の場合は、若干湾曲している）に延びる細幅の領域に同心円状にサーボパターンが形成されてなる。
【００２８】
スレーブ媒体２は、中心孔２ａを有する円盤状であり、内周部および外周部を除く円環状領域が記録再生を行う記録領域２ｃに設定され、ヘッド可動領域となり、この記録領域２ｃに前記転写パターン１０が密着されて対応する磁化パターンが転写記録される。スレーブ媒体２の中心孔２ａの径はｒｓａ、外周２ｂの径はｒｓｂである。
【００２９】
図２は、本発明の第１の実施形態のマスター担体１とスレーブ２を密着させた状態の断面図を示すものである。
【００３０】
マスター担体１は、スレーブ媒体と密着する面側の、外周部および内周部の周縁が面取りされている。同様に、スレーブ媒体２は、その外周部および内周部の周縁がすべて面取りされている。
【００３１】
マスター担体１の中心孔１ａの径ｒｍａは、スレーブ媒体２の中心孔２ａの径ｒｓａ以上とされ、マスター担体１の外周径ｒｍｂは、スレーブ媒体２の外周径ｒｓｂ以下とされている。なお、両者の接触面５における内周部の径の差Ｌａ＝０〜２ｍｍ、外周部の径の差Ｌｂ＝０〜５００μｍ程度とする。マスター担体１の面取りのＣ値は０．２〜０．３程度である。なお、面取りの角度は４５°に限るものではなく、また、丸み付けを行ったものでもよい。
【００３２】
マスター担体１は、基板上に磁性層による微細凹凸パターン（転写パターン）１０を備えてなるものである。マスター担体の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。磁性層の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより行う。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体が使用される。
【００３３】
上記マスター担体１の中心孔１ａおよび外周１ｂは打ち抜き加工で形成される。この打ち抜き加工は、転写パターンが形成された打ち抜き前のマスター原盤を打ち抜き装置の回転台に保持して行う。この回転台の中心と、打ち抜き金型の中心位置とは高精度に一致している。そして、マスター原盤の転写パターンの最外周のエッジをＣＣＤカメラで撮影し、画像処理でその座標位置を検出する。マスター原盤を９０度ずつ回転させて、４カ所の転写パターンのエッジ位置を検出する。その検出位置より転写パターンの中心位置を演算し、回転台の中心位置と比較し、ずれがある場合にはマスター原盤の位置を修正して、この修正を前述の必要精度が出るまで繰り返す。その後、打ち抜き金型を作動させて、中心孔１ａおよび外周１ｂを打ち抜き加工する。
【００３４】
この打ち抜き加工の際に、中心孔１ａおよび外周１ｂの周縁にバリが発生する。スレーブ媒体と密着する面側にバリがあるとスレーブ媒体との密着不良を発生させるとともに、スレーブ媒体に傷を生じさせる虞がある。また、バリがない場合であっても、周縁が直角もしくは鋭角になっていると、スレーブ媒体表面に傷を生じさせる虞がある。そのため、上述の通り、中心孔１ａおよび外周１ｂの周縁の面取りを行っている。
【００３５】
スレーブ媒体２は、両面または片面に磁性層が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁性層は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【００３６】
上記マスター担体１を使用して磁気転写を行う不図示の磁気転写装置は、接離移動可能なベースホルダーと押圧ホルダーとによるチャンバー状の転写ホルダーを備え、その内部に密閉形成される内部空間に、スレーブ媒体２の両側にマスター担体１を収容配置して相互に密着させ、転写用磁界を印加して磁気転写を行う。
【００３７】
ベースホルダーの押圧面には、スレーブ媒体２の片面にサーボ信号等の情報を転写する一方のマスター担体１およびスレーブ媒体２を吸着等により保持し、押圧ホルダーの押圧面には、スレーブ媒体２の他面にサーボ信号等の情報を転写する他方のマスター担体１を吸着等により保持する。
【００３８】
転写ホルダーへのマスター担体１およびスレーブ媒体２の位置決めは、転写ホルダーの中心部に設置した位置決め部材に、マスター担体１の中心孔１ａおよびスレーブ媒体２の中心孔２ａを装着して行う。外周１ｂを位置決め部材で規制して位置決めするようにしてもよい。
【００３９】
ベースホルダーおよび押圧ホルダーの背面の中心位置には、それぞれ支持軸が突設され、装置本体に支持され、回転機構に連係されて磁気転写時に回転駆動される。
【００４０】
また、転写ホルダーの内部空間は、密着時には所定の真空度に減圧されて、スレーブ媒体２とマスター担体１との密着力を得るととともに、密着面のエア抜きを行って密着性を高めるとともに、大気開放時および剥離時には圧縮空気の導入が行われる。また、密着力の印加のために、真空吸引に加えて、転写ホルダーを外部から機械的に加圧してもよい。
【００４１】
転写用磁界を印加する磁界印加装置は、面内記録の場合には、例えば、半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石が転写ホルダーの両側に配設されてなり、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。転写ホルダーを回転させて、スレーブ媒体２とマスター担体１の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石を転写ホルダーの両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、転写ホルダーを移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００４２】
磁気転写工程は、同じマスター担体１により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を連続的に行うものであり、転写ホルダーにマスター担体１を内径基準または外径基準によって位置決め保持しておく。この転写ホルダーを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットした後、転写ホルダーを閉作動する。そして、転写ホルダーの内部空間を閉じて、スレーブ媒体２とマスター担体１とに均一に密着力を加え密着させる。
【００４３】
その後、転写ホルダーに磁界印加装置を接近させ、転写ホルダーを回転させつつ磁界印加装置によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加する。印加された転写用磁界は、マスター担体１の転写パターンにおけるスレーブ媒体２と密着した磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体１の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。磁気転写後に転写ホルダーを開作動し、磁気転写後のスレーブ媒体２を取り出して搬出し、次の新しいスレーブ媒体２を供給し、以下同様の磁気転写を繰り返し行う。
【００４４】
本実施形態によれば、マスター担体１のスレーブ媒体と密着させる面側の内外周の周縁を面取りしているため、スレーブ媒体２と密着させて磁気転写を行う際に、スレーブ媒体２の表面に傷を生じさせることなく、また、バリを有しないので十分な密着性を確保することができる。また、さらに、マスター担体１の中心孔１ａの径ｒｍａをスレーブ媒体の中心孔２ａの径ｒｓａ以上、外周１ｂの径ｒｍｂをスレーブ媒体２の外周２ｂの径ｒｓｂ以下としていることにより、スレーブ媒体２の面取り部に付着している塵埃によりマスター担体表面が汚染されるのを防止しており、複数のスレーブ媒体に対して良好で高品位の磁気転写を継続することができる。
【００４５】
なお、スレーブ媒体２の片面にマスター担体１を密着させて片面転写を行い、必要に応じて両面逐次転写を行う場合もある。
【００４６】
図３から図５は、他の実施形態にかかる磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体との密着時の断面図を示すものである。
【００４７】
図３に示す第２の実施形態のマスター担体１１およびスレーブ媒体１２は中心孔を備えないものである。スレーブ媒体１２は、中心孔を備えない点を除いては上記実施形態のスレーブ媒体２と同様である。第２の実施形態のマスター担体１１は、中心孔を備えないこと、および、その外周径がスレーブ媒体１２の外周径よりも大きい点を除いては上記第１の実施の形態のマスター担体１と同様である。マスター担体１１の、スレーブ媒体１２との密着する面１５側の外周１１ｂの周縁１１ｃは面取りされているので、密着時にスレーブ媒体１２の表面に傷を作ったり、また、密着不良を生じさせることなく、良好な磁気転写が可能である。なお、本実施形態のマスター担体１１の外周径はスレーブ媒体１２の外周径より大きいが、マスター担体１１の外周径はスレーブ媒体１２の外周径以下であることがより望ましい。マスター担体１１の外周径がスレーブ媒体１２の外周径以下であれば、スレーブ媒体１２の外周の面取り部１２ｃに付着している塵埃のマスター担体１１表面への付着を防止することができる。
【００４８】
図４に示す第３の実施形態のマスター担体２１は、中心孔２１ａを有する円盤状に形成され、片面（情報担持面）の内周部および外周部を除く円環状領域には第１の実施形態の場合と同様に転写パターンが形成されており、中心孔２１ａの径はｒｍａ、外周２１ｂの径はｒｍｂである。一方、スレーブ媒体２２は、図１に示したスレーブ媒体２と同様のものである。なお、図４（ｂ）は、同図（ａ）の一部拡大図である。
【００４９】
マスター担体２１の中心孔２１ａの径ｒｍａは、スレーブ媒体２２の中心孔２２ａの径ｒｓａと略等しく、マスター担体２１の外周径ｒｍｂも、スレーブ媒体２２の外周径ｒｓｂと略等しい。
【００５０】
マスター担体２１は、スレーブ媒体２２と密着する面２５側の、外周部および内周部の周縁にバリ２１ｄを有する。但し、図４（ｂ）に示すように、マスター担体２１の周縁のバリ２１ｄは、そのバリ２１ｄの内側の面２１ｅがスレーブ媒体２１の周縁の面取り部２２ｃの斜面に対向する範囲にある。従って、マスター担体２１とスレーブ媒体２２との密着時にバリ２１ｄは、スレーブ媒体２２の表面に傷を生じさせることはなく、また、両者の密着不良を発生させることもない。また、マスター担体２１とスレーブ媒体２２との外周径および中心孔径が略等しいので、スレーブ媒体２２の周縁に付着している塵埃が、マスター担体２１の表面に付着せず、良好な磁気転写を連続して実施することができる。
【００５１】
図５に示す第４の実施形態のマスター担体３１はおよびスレーブ媒体３２は中心孔を備えないものである。スレーブ媒体３２は、中心孔を備えない点を除いては上記実施形態のスレーブ媒体２２と同様である。第４の実施形態のマスター担体３１は、中心孔を備えない点を除いては上記第３の実施の形態のマスター担体２１と同様である。
【００５２】
マスター担体３１の、スレーブ媒体３２との密着する面３５側の外周３１ｂの周縁にはバリ３１ｄがあるが、そのバリ３１ｄの内側の面３１ｅがスレーブ媒体２１の周縁の面取り部３２ｃの斜面に対向する範囲にある。従って、マスター担体３１とスレーブ媒体３２との密着時にバリ３１ｄは、スレーブ媒体３２の表面に傷を生じさせることはなく、また、両者の密着不良を発生させることもない。また、マスター担体３１とスレーブ媒体３２との外周径および中心孔径が略等しいので、スレーブ媒体３２の周縁に付着している塵埃が、マスター担体３１の表面に付着せず、良好な磁気転写を連続して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施形態に係る磁気転写用マスター担体およびスレーブ媒体の平面図
【図２】本発明の第１の実施形態に係る磁気転写用マスター担体およびスレーブ媒体の断面図
【図３】本発明の第２の実施形態に係る磁気転写用マスター担体およびスレーブ媒体の断面図
【図４】本発明の第３の実施形態に係る磁気転写用マスター担体およびスレーブ媒体の断面図
【図５】本発明の第４の実施形態に係る磁気転写用マスター担体およびスレーブ媒体の断面図
【符号の説明】
１、１１、２１、３１    マスター担体
１ａ、２１ａ    マスター担体の中心孔
１ｂ、１１ｂ、２１ｂ    マスター担体の外周
１ｃ、１１ｃ    面取り部
５、１５、２５、３５    接触面（密着面）
２、１２、２２、３２    スレーブ媒体
２ａ、２２ａ    スレーブ媒体の中心孔
２ｂ、１２ｂ、２２ｂ  スレーブ媒体の外周
２ｃ、１２ｃ、２２ｃ、３２ｃ    面取り部
１０    転写パターン
２１ｄ、３１ｄ    バリ
２１ｅ、３１ｅ    バリの内面
【図１】
2004310873.tif 000003
【図２】
2004310873.tif 000004
【図３】
2004310873.tif 000005
【図４】
2004310873.tif 000006
【図５】
2004310873.tif 000007