(57)【要約】【課題】  本発明のポンプは、小さな消費電力で振動板を振動させて流体を効率よく外部に吐出できると共に小型化が可能なポンプを提供すること。【解決手段】  本発明のポンプＰは、ポンプ室１２の外側で振動板９と対向する側には、筒体３ａに収納された電磁石６が配設され、振動板９には、筒体６ａの一端部に取り付けた第１の振動子３ｂが固着され、電磁石６の磁極の切換に同期して筒体３ａが振動し、第１の振動子３ｂを介して振動板９が振動することにより、吸入弁１７が吸入孔１５を開閉可能となっていると共に、吐出弁１８が吐出孔１６を開閉可能となっている。【選択図】      図１
2004211693.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ室と、前記ポンプ室内への流体の吸入を規制可能な吸入弁と、前記ポンプ室内に吸入した前記流体の前記ポンプ室外への吐出を規制可能な吐出弁とを備え、前記ポンプ室には、前記流体を吸入可能な吸入孔とこの吸入孔から吸入した前記流体を吐出可能な吐出孔とが形成されると共に、前記流体に吸入力および吐出力を付与可能な振動板を有し、
前記ポンプ室の外側で前記振動板と対向する側には、筒体に収納された電磁石が配設され、前記振動板には、前記筒体の一端部に取り付けた第１の振動子が固着され、前記電磁石の磁極の切換に同期して前記筒体が振動し、前記第１の振動子を介して前記振動板が振動することにより、前記吸入弁が前記吸入孔を開閉可能となっていると共に、前記吐出弁が前記吐出孔を開閉可能となっていることを特徴とするポンプ。
【請求項２】
前記第１の振動子と対向する側の前記筒体の他端部には第２の振動子が固着され、前記第１、第２の振動子が前記電磁石の磁極の切換に同期して前記電磁石に吸着または反発することで前記筒体がピストン運動して、前記振動板が振動するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のポンプ。
【請求項３】
ポンプ室と、前記ポンプ室内への流体の吸入を規制可能な吸入弁と、前記ポンプ室内に吸入した前記流体の前記ポンプ室外への吐出を規制可能な吐出弁とを備え、前記ポンプ室には、前記流体を吸入可能な吸入孔とこの吸入孔から吸入した前記流体を吐出可能な吐出孔とが形成されると共に、前記流体に吸入力および吐出力を付与可能な振動板を有し、
前記ポンプ室の外側で前記振動板と対向する側には、筒状鉄芯の外側に円筒状のコイルを配置することにより形成された電磁石が配設され、前記筒状鉄芯の内孔内には、両端がこの内孔から突出するように装着されると共に一端に前記振動板が連結された可動軸が軸方向に往復移動可能に配設され、前記可動軸の軸方向の両側には、前記振動板と対向する一端側に配置された第１の振動子と他端側に配置された第２の振動子とが前記筒状鉄芯を間において配設され、前記第１、第２の振動子のそれぞれには、環状に形成されると共に軸方向に着磁され前記コイルの軸方向両側に同極が対向するように配置された永久磁石が挟持されると共に、前記電磁石、磁石ホルダおよび永久磁石により前記可動軸の作動力を増加させる作動力増加手段が形成され、前記振動板には、前記可動軸の一端部に取り付けた第１の振動子が固着され、前記電磁石の磁極の切換に同期して前記可動軸が振動し、前記第１の振動子を介して前記振動板が振動することにより、前記吸入弁が前記吸入孔を開閉可能となっていると共に、前記吐出弁が前記吐出孔を開閉可能となっていることを特徴とするポンプ。
【請求項４】
前記作動力増加手段が、前記筒状鉄芯の両端面に径方向外側に向かうように形成されたフランジを有し、このフランジの径方向外側に前記永久磁石を配設すると共に、前記第１、第２の振動子を磁性体により形成し、前記第１、第２の振動子のうちの一方の振動子の永久磁石のコイルと対向する内端面に当接される当接面を、一方の振動子側に配置された前記フランジの内端面より軸方向内側に配置させることにより形成したことを特徴とする請求項３に記載のポンプ。
【請求項５】
前記コイルおよび永久磁石の径方向外側を囲う筒状外鉄芯を設けたことを特徴とする請求項４に記載のポンプ。
【請求項６】
前記振動板が前記第１の振動子を介して前記電磁石に吸着される方向に振動すると、前記ポンプ室内の気圧が低下して前記吸入孔から前記流体が吸入されると共に、前記吐出弁が前記吐出孔を閉じるようになっていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のポンプ。
【請求項７】
前記振動板が前記第１の振動子を介して前記電磁石と反発する方向に振動すると、前記ポンプ室内の気圧が上昇して前記吸入弁が前記吸入孔を閉じると共に、前記吸入孔から前記吸入した前記流体を前記吐出孔から吐出するようになっていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のポンプ。
【請求項８】
前記吸入弁および前記吐出弁が前記吸入孔および前記吐出孔を閉じているときは、前記流体が逆流しないようになっていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はポンプに係わり、特に、振動板の振動を利用してポンプ室内への流体の吸入とポンプ室外への流体の吐出とを行うのに好適なポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来提案されている燃料供給用のポンプの一例を図９で説明すると、従来のポンプＫは、コイル１０１ａが巻回された複数個の電磁石１０１が、ケース１０２に埋設されて配設されている。
【０００３】
また、互いに対向する電磁石１０１の間には、所定の隙間を有して一対の永久磁石１０３が棒状の振動子１０４に取り付けられて配設されている。
【０００４】
また、振動子１０４の両端部には、薄板状の振動板１０５が取り付けられ、この振動板１０５は、振動板１０５の外側に配設したポンプケーシング１０６とケース１０２との間に狭持されて固定されている。
【０００５】
前記ポンプケーシング１０６には、パッキン１０７ａを挟んで蓋体１０７が固着されて、互いに独立して密閉された吸入室１０８と吐出室１０９とが形成されている。
【０００６】
また、吸入室１０８には、ポンプ室１１０と連通するための吸入口１１１が形成されると共に吸入口１１１を開閉可能な吸入弁１１２が配設されている。
【０００７】
また、吐出室１０９には、ポンプ室１１０と連通するための吐出口１１３が形成されると共に吐出口１１３を開閉可能な吐出弁１１４とが配設されている。
【０００８】
これにより、電磁石１０１と永久磁石１０３との磁気的相互作用に基づいて、振動子１０４に連結された振動板１０５が振動して、外部から吸入室１０８を介して流体をポンプ室１１０に吸入すると共に、ポンプ室１１０に吸入し流体を吐出室１０９を介して吐出口４５から外部に吐出して、流体を供給することができるようになっている。
【０００９】
このような従来のポンプＫは、ケース１０２の左右に、２つのポンプ室１１０が配設されているので、２つの振動板１０５を振動させて、左右の吐出口４５から大量の流体を吐出することが可能である。
【００１０】
【特許文献１】特開２００２−１０６４７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
このような従来提案されているポンプＫは、電磁石１０１を複数個使用していたので、消費電力が大きくなる問題があった。
【００１２】
また、ポンプＫは、ケース１０２の左右両側に吸入室１０８、吐出室１０９、ポンプ室１１０をそれぞれ配設しているので小型化が難しかった。そのために、例えば携帯型の電子機器用燃料電池へ燃料を供給する小型ポンプには適さなかった。
【００１３】
本発明は、前述したした点に鑑みてなされたもので、小さな消費電力で振動板を振動させて流体を効率よく外部に吐出できると共に小型化が可能なポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記課題を解決するための第１の手段として本発明のポンプは、ポンプ室と、前記ポンプ室内への流体の吸入を規制可能な吸入弁と、前記ポンプ室内に吸入した前記流体の前記ポンプ室外への吐出を規制可能な吐出弁とを備え、前記ポンプ室には、前記流体を吸入可能な吸入孔とこの吸入孔から吸入した前記流体を吐出可能な吐出孔とが形成されると共に、前記流体を前記吸入可能および前記吐出可能な振動板を有し、前記ポンプ室の外側で前記振動板と対向する側には、筒体に収納された電磁石が配設され、前記振動板には、前記筒体の一端部に取り付けた第１の振動子が固着され、前記電磁石の磁極の切換に同期して前記筒体が振動し、前記第１の振動子を介して前記振動板が振動することにより、前記吸入弁が前記吸入孔を開閉可能となっていると共に、前記吐出弁が前記吐出孔を開閉可能となっている。
【００１５】
また、前記課題を解決するための第２の手段として、前記第１の振動子と対向する側の前記筒体の他端部には第２の振動子が固着され、前記第１、第２の振動子が前記電磁石の磁極の切換に同期して前記電磁石に吸着または反発することで前記筒体がピストン運動して、前記振動板が振動するようにしたことを特徴とする。
【００１６】
また、前記課題を解決するための第３の手段として、ポンプ室と、前記ポンプ室内への流体の吸入を規制可能な吸入弁と、前記ポンプ室内に吸入した前記流体の前記ポンプ室外への吐出を規制可能な吐出弁とを備え、前記ポンプ室には、前記流体を吸入可能な吸入孔とこの吸入孔から吸入した前記流体を吐出可能な吐出孔とが形成されると共に、前記流体に吸入力および吐出力を付与可能な振動板を有し、前記ポンプ室の外側で前記振動板と対向する側には、筒状鉄芯の外側に円筒状のコイルを配置することにより形成された電磁石が配設され、前記筒状鉄芯の内孔内には、両端がこの内孔から突出するように装着されると共に一端に前記振動板が連結された可動軸が軸方向に往復移動可能に配設され、前記可動軸の軸方向の両側には、前記振動板と対向する一端側に配置された第１の振動子と他端側に配置された第２の振動子とが前記筒状鉄芯を間において配設され、前記第１、第２の振動子のそれぞれには、環状に形成されると共に軸方向に着磁され前記コイルの軸方向両側に同極が対向するように配置された永久磁石が挟持されると共に、前記電磁石、磁石ホルダおよび永久磁石により前記可動軸の作動力を増加させる作動力増加手段が形成され、前記振動板には、前記可動軸の一端部に取り付けた第１の振動子が固着され、前記電磁石の磁極の切換に同期して前記可動軸が振動し、前記第１の振動子を介して前記振動板が振動することにより、前記吸入弁が前記吸入孔を開閉可能となっていると共に、前記吐出弁が前記吐出孔を開閉可能となっていることを特徴とする。
【００１７】
また、前記課題を解決するための第４の手段として、前記作動力増加手段が、前記筒状鉄芯の両端面に径方向外側に向かうように形成されたフランジを有し、このフランジの径方向外側に前記永久磁石を配設すると共に、前記第１、第２の振動子を磁性体により形成し、前記第１、第２の振動子のうちの一方の振動子の永久磁石のコイルと対向する内端面に当接される当接面を、一方の振動子側に配置された前記フランジの内端面より軸方向内側に配置させることにより形成したことを特徴とする。
【００１８】
また、前記課題を解決するための第５の手段として、前記コイルおよび永久磁石の径方向外側を囲う筒状外鉄芯を設けたことを特徴とする。
【００１９】
また、前記課題を解決するための第６の手段として、前記振動板が前記第１の振動子を介して前記電磁石に吸着される方向に振動すると、前記ポンプ室内の気圧が低下して前記吸入孔から前記流体が吸入されると共に、前記吐出弁が前記吐出孔を閉じるようになっていることを特徴とする。
【００２０】
また、前記課題を解決するための第７の手段として、前記振動板が前記第１の振動子を介して前記電磁石と反発する方向に振動すると、前記ポンプ室内の気圧が上昇して前記吸入弁が前記吸入孔を閉じると共に、前記吸入孔から前記吸入した前記流体を前記吐出孔から吐出するようになっていることを特徴とする。
【００２１】
また、前記課題を解決するための第８の手段として、前記吸入弁および前記吐出弁が前記吸入孔および前記吐出孔を閉じているときは、前記流体が逆流しないようになっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るポンプによれば、小さな消費電力で振動板を振動させて流体を効率よく外部に吐出できると共に小型化が可能になるなどの極めて優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を図面に示す実施形態により説明する。
【００２４】
本発明のポンプの第１実施形態を図１〜図５に基づいて説明する。図１は本発明に係るポンプの第１実施形態の要部断面図であり、図２は図１の２−２断面図であり、図３は平面図であり、図４、５は本発明のポンプの第１実施形態の動作を説明する要部断面図である。
【００２５】
まず、本発明の第１実施形態のポンプＰは、図２に示すように、外形が略円筒状のポンプ本体部１が配設されている。このポンプ本体部１は、内部が空洞状で樹脂材料等からなる第１のケース２が配設され、この第１のケース２は、図１に示すように、空洞内部の図示右側に側壁２ａを有し、図示左側が開放されている。前記側壁２ａには、外気が侵入可能な通気口２ｂが形成されている。
【００２６】
また、第１のケース２の空洞内部には、ピストン部材３が配設され、このピストン部材３は、第１のケース２の空洞内部にガイドされて、図示左右方向に振動自在に配設されている。
【００２７】
なお、本実施形態のポンプＰは、図１右側が駆動側ＤＳとされ、図１左側が流体の吸入と吐出とを行う流体側ＦＳとされている。
【００２８】
前記ピストン部材３は、円筒状の筒体３ａを有し、この筒体３ａの図示左側の一端部に第１の振動子３ｂが固着され、図示右側の他端部に第２の振動子３ｃが固着され、この第２の振動子３ｃには、通気孔３ｄが形成されている。前記第１、第２の振動子３ｂ、３ｃは、それぞれ樹脂材料からなり成形加工で形成されている。
【００２９】
また、第１、第２の振動子３ｂ、３ｃのそれぞれには、環状に形成された永久磁石４が相互に対向するように固着されている。
【００３０】
また、第１のケース２の空洞内部には、図２に示すように、２つの突起２ｃ、２ｃが所定の高さで突出形成され、この突起２ｃ、２ｃに第１のケース２側のネジ５でネジ締めされて電磁石６が固定されている。即ち、電磁石６は、第１のケース２の空洞内部に固定されている。
【００３１】
このような電磁石６の外周部を覆うように、ピストン部材３の筒体３ａが配設され、この筒体３ａが電磁石６の外周部にガイドされて、図１に示す左右方向に振動自在になっている。
【００３２】
また、電磁石６は、鉄芯６ａと、この鉄芯６ａの図示上下に第１磁極６ｂと第２磁極６ｃとが形成されている。前記鉄芯６ａには、２点鎖線で示すコイル７が巻回されて、外部の磁石端子８から所定の周波数の電圧をコイル７に印加することにより、電磁石６の第１磁極６ｂと第２磁極６ｃとに周期的な電磁力が発生するようになっている。
【００３３】
即ち、コイル７に所定周波数の電圧を印加することにより、第１、第２の磁極６ｂ、６ｃが、Ｎ極、Ｓ極に周期的に切り換わるようになっている。
【００３４】
また、第１ケース２の図示左側の開放端部には、薄板状でステンレス等の弾性を有する材料等からなる振動板９が配設され、この振動板９は、中央部のリベット１０によって第１の振動子３ｂに固着されている。
【００３５】
また、振動板９を取り付けた第１のケース２の図示左側外周部には、圧入あるいは接着等により第２のケース１１が取り付けられている。そして、第２のケース１１と第１のケース２とで振動板９が狭持されて、第２のケース１１内部のポンプ室１２の図示右側が遮蔽されている。
【００３６】
また、第２のケース１１には、仕切壁１１ａを介してポンプ室１２の図示左隣に、吸入室１３と吐出室１４とがそれぞれ独立して形成されている。
【００３７】
そして、ポンプ室１２と吸入室１３とは、仕切壁１１ａに形成した吸入孔１５で連結され、ポンプ室１２と吐出室１４とは、仕切壁１１ａに形成した吐出孔１６で連結されている。
【００３８】
また、吸入孔１５には、弾性を有するゴム等からなる傘状の吸入弁１７が保持されており、この吸入弁１７の中心軸の基部が、仕切壁１１ａに抜け止めされていると共に、ポンプ室１２側に位置する傘部分が吸入孔１５を遮蔽可能になっている。
【００３９】
また、吐出孔１６には、吸入弁１７と同材質で同型状の吐出弁１８が保持されており、この吐出弁１８の中心軸の基部が、仕切壁１１ａに抜け止めされていると共に、吐出室１４側に位置する傘部分が吐出孔１６を遮蔽可能になっている。  また、第２のケース１１の図示左端部には、吸入室１３および吐出室１４を遮蔽する遮蔽板１９が固着され、この遮蔽板１９には、吸入室１３に連結する吸入口１９ａを形成した吸入側継ぎ手１９ｂと、吐出室１４に連結する吐出口１９ｃを形成した吐出側継ぎ手１９ｄとが、それぞれ突出形成されている。
【００４０】
また、第１の振動子３ｂに固着している永久磁石４は、例えば電磁石６の第１の磁極６ｂと対向する側をＳ極とし、第２の磁極６ｃと対向する側をＮ極とし、第２の振動子３ｃに固着された永久磁石４は、第１の磁極６ｂと対向する側をＮ極とし、第２の磁極６ｃと対向する側をＳ極としている。
【００４１】
なお、本実施形態のポンプＰは、図１右側が駆動側ＤＳとされ、図１左側が流体の吸入と吐出とを行う流体側ＦＳとされている。
【００４２】
このような構成の本発明の第１実施形態のポンプＰの動作を図４、５で説明すると、まず、ポンプ室１２にメチルアルコ−ル等の液体燃料となる流体を吸入するには、磁石端子８から所定の周波数の電圧をコイル７に印加することにより、図４に示すように、第１の磁極６ｂがＮ極、第２の磁極６ｃがＳ極となる。
【００４３】
すると、第１磁極６ｂおよび第２の磁極６ｃに、第１の振動子３ｂ側の永久磁石４が吸着されると共に第２の振動子３ｃ側の永久磁石４が反発する。
【００４４】
このことにより、ピストン部材３が図示右方向に振動して、振動板９が右方向に引っ張られて変形する。
【００４５】
前記振動板９が右方向に変形することで、ポンプ室１２内部の体積が大きくなり、ポンプ室１２内の気圧が外気圧より低下して、吸入弁１７の傘部外周部が仕切壁１１ａから若干離間する。
【００４６】
このことにより、外部にある流体に吸力が付与されて、流体が吸入口１９ａを経由して吸入室１３に吸入され、吸入室１３から吸入孔１５を介して矢印方向に侵入してポンプ室１２内に流入する。
【００４７】
この吸入動作中における吐出室１４内の気圧は、ポンプ室１２より高くなっているので、吐出弁１８が吐出孔１６を遮蔽して、吐出室１４内にある流体がポンプ室１２側に逆流するのを防止している。
【００４８】
そして、吸入孔１５を介して体積が大きくなったポンプ室１２に流体が所定量流入すると、外部の制御部（図示せず）から磁石端子８を介して電磁石６の磁極が切り換えられる。このことにより、図５に示すように、第１磁極６ｂがＳ極となり、第２磁極６ｃがＮ極となる。
【００４９】
すると、第１磁極６ｂおよび第２の磁極６ｃに対して、第１の振動子３ｂ側の永久磁石４が反発すると共に第２の振動子３ｃ側の永久磁石４が吸着する。
【００５０】
このことにより、ピストン部材３が図示左方向に振動して、振動板９が左方向に押圧されて変形する。
【００５１】
前記振動板９が左方向に変形することで、ポンプ室１２内部の体積が小さくなり、ポンプ室１２内の気圧が外気圧より上昇して、吐出弁１８の傘部外周部が仕切壁１１ａから若干離間する。
【００５２】
このことにより、ポンプ室１２にある流体に吐出力が付与されて、流体が吐出孔１６から矢印方向に吐出されて、吐出口１９ｃから外部に吐出される。
【００５３】
この吐出動作中におけるポンプ室の圧力は、吸入室１３より高くなっているので、吸入弁１７が吸入孔１５を遮蔽して、ポンプ室１２内にある流体が吸入室１３側に逆流するのを防止している。
【００５４】
このような本発明の第１実施形態のポンプＰは、電磁石６の磁極の切換に同期して、ピストン部材３を振動すると共に振動板９が振動する。この振動板９の振動で、ポンプ室１２内の気圧が外気よりも上下するので、吸入弁１７および吐出弁１８を確実に動作させることができ、例えば外部の燃料電池にメチルアルコール等の液体燃料である流体を効率よく供給することができる。
【００５５】
また、第１の振動子３ｂと第２の振動子３ｃの両方に固着している永久磁石４を、電磁石６で吸引／反発しているので、コイル７に印加する電力が小さくても、ピストン部材３を確実に高速振動させることができる。
【００５６】
そのために、１つのポンプ室で多量の流体を吐出することができる。また、ポンプ室１２が１つなので、構造が簡単であると共に小型が可能である。
【００５７】
また、本発明では、第１、第２の２個の振動子３ｂ、３ｃを用いたもので説明したが、第１の振動子３ｂだけを用いたものでも良い。
【００５８】
即ち、振動板９は第１の振動子３ｂに固着され、この第１の振動子３ｂを筒体３ａの一端部に取り付け、振動可能な筒体３ａに収納した電磁石６に所定の周波数の電力を供給することで、電磁石６と独立して筒体３ａが振動し、振動板９が振動するようになっている。
【００５９】
このような本発明の第１実施形態のポンプＰは、第１の振動子３ｂだけでピストン部材３を振動させることができ、部品点数を削減することができると共に小型化が可能である。
【００６０】
本実施形態のポンプＰによれば、電磁石６の磁極６ｂ、６ｃの切換に同期して筒体３ａが振動し、第１の振動子３ｂを介して振動板９が振動することにより、吸入弁１７が吸入孔１５を開閉可能となっていると共に、吐出弁１８が吐出孔１６を開閉可能となっているので、筒体３ａの振動で振動板９を確実に振動させることができる。そのために、吸入弁１７および吐出弁１８が確実に動作して、流体を効率よく外部に供給できる。
【００６１】
また、第１、第２の振動子３ｂ、３ｃが電磁石６の磁極６ｂ、６ｃの切換に同期して電磁石９に吸着または反発することで筒体３ａがピストン運動して、振動板９が振動するようにしたので、第１、第２の振動子３ｂ、３ｃの両方に固着した永久磁石４で、筒体３ａをピストン運動させることができ、低消費電力のポンプを提供できる。
【００６２】
また、振動板９が第１の振動子３ｂを介して電磁石９に吸着される方向に振動すると、ポンプ室１２内の気圧が外気圧より低下して吸入孔１５から流体が吸入されると共に、吐出弁１８が吐出孔１６を閉じるようになっているので、吸入孔１５から流体を確実に吸入することができる。また、この時吐出弁１８で吐出孔１６が閉じられているので、外部に吐出した流体がポンプ室１２に逆流することがない。
【００６３】
また、振動板９が第１の振動子３ｂを介して電磁石９と反発する方向に振動すると、ポンプ室１２内の気圧が上昇して吸入弁１７が吸入孔１５を閉じると共に、吸入孔１５から吸入された流体が吐出孔１６から吐出されるようになっているので、ポンプ室１２に吸入した流体を確実に吐出孔１６から外部に吐出することができる。
【００６４】
また、吸入弁１７および吐出弁１８が吸入孔１５および吐出孔１６を閉じているときは、流体が逆流しないようになっているので、流体の吸入ロスおよび吐出ロスのない効率の良いポンプを提供できる。
【００６５】
本発明のポンプの第２実施形態を図６〜図８に基づいて説明する。図６は本発明のポンプの第２実施形態の流体の吸入状態の要部断面図、図７は図６の第１振動子近傍の拡大断面図、図８は流体の吐出状態における理想的な磁気回路を模式的に示す説明図である。
【００６６】
図６に示すように、本実施形態のポンプＰＡは、往復駆動機構２２と、この往復駆動機構２２の駆動力をもって作動する振動板２３と、この振動板２３の振動によって流体の吸入と吐出とを交互に行うことのできるポンプ本体部２４とを有している。そして、ポンプＰＡは、図６右側が駆動側ＤＳとされ、図６左側が流体の吸入と吐出とを行う流体側ＦＳとされている。
【００６７】
前記往復駆動機構２２は、円筒状に形成された筒状鉄芯２５を有している。この筒状鉄芯２５の図６の左右方向に示す軸方向の両端には、それぞれ径方向外側に向かう環状のフランジ２６が形成されている。そして、筒状鉄芯２５の外周には、筒状鉄芯２５の外側に円筒状のコイル２７を配置するためのコイル保持部材２８が固着されており、筒状鉄芯２５の内孔には、可動軸２９が軸方向に摺動可能かつ往復移動可能に支持されている。この可動軸２９の図６の左右方向に示す軸方向の長さ寸法は、筒状鉄芯２５の長さ寸法より長く形成されている。
【００６８】
前記コイル保持部材２８は、非磁性体、例えば樹脂により形成されている。このコイル保持部材２８は、筒状鉄芯２５の外周に固着される筒状の保持本体３０を有している。この保持本体３０の外径寸法は、筒状鉄芯２５の両端に形成されているフランジ２６の外径寸法より小さく形成されている。
【００６９】
さらに、保持本体３０の外周の両端近傍には、それぞれ径方向外側に向かうリング状の接続壁３１が形成されている。これらの接続壁３１の外径寸法は、コイル２７の外径寸法より大きく形成されている。
【００７０】
また、各接続壁３１の相互に対向する内端面の間隔は、コイル２７の軸方向の長さ寸法より若干大きく形成されている。そして、各接続壁３１の内端面と、これらの内端面の間に位置する保持本体３０の外周面とにより形成される凹部空間内に、図６の二点鎖線にて示すコイル２７が全体としてほぼ円筒状をなすように巻回されている。
【００７１】
前記筒状鉄芯２５、コイル保持部材２８およびコイル２７により、本実施形態の筒状鉄芯２５の外側に円筒状のコイル２７を配置することにより形成された電磁石３２が構成されている。
【００７２】
前記電磁石３２は、外部電源による所定の周波数の電圧を図示しない磁石端子を介してコイル２７に印加することで、電磁石３２の磁極の極性、詳しくは筒状鉄芯２５の左端に配置されている流体側ＦＳのフランジ２６に形成される第１の磁極３３と、筒状鉄芯２５の右端に配置されている駆動側ＤＳのフランジ２６に形成される第２の磁極３４とのそれぞれの相互に異なる極性を周期的に切り換えることができるようになっている。
【００７３】
即ち、コイル２７に所定周波数の電圧を印可することにより、例えば第１の磁極３３の極性をＮ極、Ｓ極、Ｎ極、Ｓ極・・・の順に周期的に切り換えることができ、第２の磁極３４の極性を第１の磁極３３の極性の切り換えと同一のタイミングで、Ｓ極、Ｎ極、Ｓ極、Ｎ極・・・の順に周期的に切り換えることができるようになっている。
【００７４】
前記コイル保持部材２８の各接続壁３１の軸方向外側に位置する外端面の外周には、それぞれ大径筒状部３５が軸方向に沿って形成されている。これらの大径筒状部３５は、保持本体３０と同軸となるように軸方向外側に向かって延出形成されている。そして、各大径筒状部３５の外周には、コイル２７の外側に配設された円筒状の筒状外鉄芯３６の内孔の両端部分が固着されている。さらに、駆動側ＤＳに位置する大径筒状部３５の先端は、保持ケース３７の流体側ＦＳに位置する内端面の外周近傍に形成された取付溝３７ａに固着されている。この保持ケース３７は、樹脂などの非磁性体により、ほぼ環状に形成されており、その内孔は、外気が侵入可能な通気口３７ｂとされている。
【００７５】
前記コイル保持部材２８の流体側ＦＳに位置する大径筒状部３５の先端には、接続筒状部３８が形成されている。この接続筒状部３８は、内径寸法が大径筒状部３５の内径寸法とほぼ同一寸法に形成された内側筒部３８ａと、この内側筒部３８ａの外側に間隔をおいて配置された大径の外側筒部３８ｂとにより二重環状に形成されている。さらに、外側筒部３８ｂの長さ寸法は、内側筒部３８ａの長さ寸法より長く形成されている。
【００７６】
前記外側筒部３８ｂの内周側には、ポンプ本体部２４の一部を構成する右端が開口とされたほぼ横向きコップ状の内ケース３９の開口端側が固着されており、外側筒部３８ｂの外周には、内ケース３９を内部空間に収納可能な右端が開口とされたほぼ横向きコップ状の外ケース４０が取着されている。この外ケース４０は、ポンプ本体部２４の他の一部を構成するものである。そして、内側筒部３８ａと内ケース３９とで振動板２３の外周部分が挟持されていると共に、振動板２３によって内ケース３９の内部空間により形成されたポンプ室４１の駆動側ＤＳの開口が閉塞されている。
【００７７】
前記可動軸２９は、可動子として機能するものであり、樹脂あるいはオーステナイト系ステンレスなどの非磁性体により形成されている。この可動軸２９は、軸方向に所定のストローク、例えば０．６ｍｍ程度のストロークをもって往復移動（振動）可能に配設されている。また、可動軸２９は、筒状鉄芯２５の内孔によって摺動可能に支持されるほぼ棒状に形成された軸本体４２を有している。この軸本体４２の長さ寸法は、筒状鉄芯２５の長さ寸法より長く形成されており、両端が常に筒状鉄芯２５の内孔から突出するように形成されている。即ち、可動軸２９は、筒状鉄芯２５の内孔内に両端がこの内孔から突出するように装着されている。
【００７８】
前記軸本体４２の流体側ＦＳには、全体としてほぼ筒状に形成された流体側ＦＳの磁石ホルダを兼ねた第１の振動子４４Ｆの内孔が固着されており、第１の振動子４４Ｆの流体側ＦＳの外端面と、可動軸２９の流体側ＦＳの端部に形成されている軸本体４２より大径の頭部４５の駆動側ＤＦに配置された内端面とで振動板２３の内周縁部分が挟持されている。これにより、可動軸２９の一端、本実施形態においては可動軸２９の流体側ＦＳに位置する端部に振動板２３が取り付けられて連結されている。
【００７９】
また、前記軸本体４２の駆動側ＤＳには、軸本体４２より小径とされた小径部４３が形成されており、この小径部４３には、全体としてほぼ筒状に形成された駆動側ＤＳの磁石ホルダを兼ねた第２の振動子４４Ｄの内孔が固着されている。
【００８０】
したがって、可動軸２９の軸方向の両側には、振動板２３と対向する一端側に配置された第１の振動子４４Ｆと他端側に配置された第２の振動子４４Ｄとが筒状鉄芯２５を間において配設されていると共に、振動板２３に振動子４４（符号４４は、第１の振動子４４Ｆおよび第２の振動子４４Ｄを総称する。）が連結されている。
【００８１】
前記振動板２３は、非磁性体で弾性を有する素材、例えばゴム様弾性体、樹脂、オーステナイト系ステンレスなどの非磁性金属などにより、全体としてほぼ環状の薄膜状に形成されている。なお、振動板２３の断面形状としては、設計コンセプトなどの必要に応じて、波状などの従来公知の各種の形状から選択使用することができる。
【００８２】
前記各振動子４４は、磁性体、例えば筒状鉄芯２５と同様の強磁性体により、全体としてほぼ環状に形成されている。これらの振動子４４は、コイル保持部材２８の各大径筒状部３５のそれぞれの内部空間に配置されており、筒状鉄芯２５を間において可動軸２９の軸方向の両側に配設されている。こららの振動子４４の内端面の外周側には、それぞれほぼ環状に形成された永久磁石４６の軸方向の両端が挟持されており、内周側には、防振ゴムなどによりほぼ段付き環状に形成されたダンパ４７の基部が保持されている。このダンパ４７の先端は、筒状鉄芯２５のフランジ２６の端面と対向するよう配置されている。
【００８３】
前記各振動子４４に配設されている永久磁石４６は、全体としてほぼ環状に形成されていると共に、軸方向に着磁されている。これらの各永久磁石４６は、それぞれ筒状鉄芯２５のフランジ２６の外周とコイル保持部材２８の大径筒状部３５の内周との間に配置されている。また、各永久磁石４６はコイル２７の両側、即ちコイル保持部材２８の接続壁３１を介してコイル２７の端面と向き合う内側が、それぞれ同極、例えばＳ極となるように各磁石ホルダ４４に固着されている。さらに、各永久磁石４６は、それぞれの内周が、筒状鉄芯２５のフランジ２６の外周と対向するように配置されている。なお、各永久磁石４６は、それぞれが各振動子４４に保持されることで、可動軸２９および各振動子４４と共に軸方向に往復移動可能に配設されている。
【００８４】
前記各振動子４４は、各振動子４４のうちの図７に示す吸入状態における第１の振動子４４Ｆの永久磁石４６のコイル２７と対向する内端面に当接される当接面４８Ｆが筒状鉄芯２５の流体側ＦＳのフランジ２６の内端面２６ａより軸方向内側に配置されている。
【００８５】
なお、流体の吸入状態においては、第２の振動子４４Ｄの永久磁石４６のコイル２７と対向する内端面に当接される当接面４８Ｄが筒状鉄芯２５の駆動側ＤＳのフランジ２６の内端面２６ａより軸方向外側に配置されており、この当接面４８Ｄは、後に詳しく述べるように、可動軸２９が流体側ＦＳに移動して流体の吐出状態（以下、単に吐出状態と記す。）とされた場合には、図６の破線にて示すように、筒状鉄芯２５の駆動側ＤＳのフランジ２６の内端面２６ａより軸方向内側に配置されるようになっている。
【００８６】
即ち、本実施形態の各振動子４４は、可動軸２９の移動位置にかかわらず、各振動子４４のうちの一方の振動子４４の永久磁石４６のコイル２７と対向する内端面に当接される当接面４８（符号４８は、流体側ＦＳの当接面４８Ｆおよび駆動側ＤＳの当接面４８Ｄを総称する。）を、一方の振動子４４側に配置された筒状鉄芯２５のフランジ２６の内端面２６ａより軸方向内側に配置させることができるように構成されている。
【００８７】
前記筒状鉄芯２５の両端面に径方向外側に向かうように形成されたフランジ２６を有し、このフランジ２６の径方向外側に永久磁石４６を配設すると共に、振動子４４を磁性体により形成し、これらの振動子４４のうちの一方の振動子４４の永久磁石４６のコイル２７と対向する内端面に当接される当接面４８を、一方の振動子４４側に配置された筒状鉄芯２５のフランジ２６の内端面２６ａより軸方向内側に配置させる構成により、本実施形態の電磁石３２、振動子４４および永久磁石４６により可動軸２９の作動力を増加させる作動力増加手段４９が構成されている。
【００８８】
また、本実施形態の往復駆動機構２２は、ポンプ室４１の外側で振動板２３と対向する側に配設された、筒状鉄芯２５の外側に円筒状のコイル２７を配置することにより形成された電磁石３２と、筒状鉄芯２５の内孔内に両端がこの内孔から突出するように装着され軸方向に往復移動可能に配設されると共に、一端に振動板２３が連結された可動軸２９と、筒状鉄芯２５を間において可動軸２９の軸方向の両側に配設された一対の振動子４４と、軸方向の両端が各振動子４４に挟持されており、環状に形成されると共に軸方向に着磁されコイル２７の軸方向両側に同極が対向するように配置された一対の永久磁石４６とを有する構成とされている。
【００８９】
前記ポンプ本体部２４は、前記内ケース３９と前記外ケース４０とを有しており、これらのケース３９，４０は、それぞれ右端が開口とされたほぼ横向きコップ状に形成されている。そして、ポンプ室４１の左隣に位置する内ケース３９と外ケース４０との間には、図６下方に示す吸入室５０と図６上方に示す吐出室５１とがそれぞれ独立して形成されている。そして、ポンプ室４１と吸入室５０とは、内ケース３９の流体側ＦＳに配置されている側壁３９ａにその厚さ方向に貫通するように形成された吸入孔５２によって接続されており、ポンプ室４１と吐出室５１とは、吸入孔５２と同様に、側壁３９ａにその厚さ方向に貫通するように形成された吐出孔５３によって接続されている。
【００９０】
前記内ケース３９の側壁３９ａの吸入孔５２の近傍には、ゴム様弾性体によりほぼ傘状に形成された吸入弁５４の基軸部が保持されている。この吸入弁５４は、逆止弁として機能するものであり、ポンプ室４１側に配置された傘部が吸入孔５２を遮蔽可能になっている。
【００９１】
前記内ケース３９の側壁３９ａの吐出孔５３の近傍には、ゴム様弾性体によりほぼ傘状に形成された吐出弁５５の基軸部が保持されている。この吐出弁５５は、逆止弁として機能するものであり、吐出室５１側に配置された傘部が吐出孔５３を遮蔽可能になっている。
【００９２】
前記外ケース４０の側壁４０ａの外端面には、吸入室５０に連通する吸入口５６ａを具備する吸入側継ぎ手５６と、吐出室５１に連通する吐出口５７ａを具備する吐出側継ぎ手５７とが軸方向外側に向かってそれぞれ突出形成されている。
【００９３】
つぎに、前述した構成からなる本実施形態の作用について説明する。
【００９４】
図６は、本実施形態のポンプＰＡにおける流体の吸入状態（以下、単に吸入状態と記す。）を示している。この吸入状態においては、可動軸２９が駆動側ＤＳに移動（振動）されており、この可動軸２９の駆動側ＤＳへの移動によって振動板２３の内周が駆動側ＤＳに引っ張られて変形している。この振動板２３の変形により、ポンプ室４１の容積が増加してポンプ室４１の圧力が低下し、吸入弁５４の傘部外周部が内ケース３９の側壁３９ａの駆動側ＤＳに位置する内端面から離間している。その結果、外部の流体が、吸入側継ぎ手５６から吸入室５０に吸入されると共に、吸入孔５２を介してポンプ室４１に流入する。
【００９５】
なお、このような吸入動作中におけるポンプ室４１内の圧力低下は、吐出室５１の圧力をポンプ室４１内の圧力より高くするので、吐出弁５５の傘部外周部が内ケース３９の側壁３９ａの流体側ＦＳに位置する外端面に当接して吐出孔５３を遮蔽して、吐出室５１の内部に存在する流体が逆流してポンプ室４１に流入するのを防止している。
【００９６】
また、吸入状態においては、可動軸２９と共に各振動子４４が共に駆動側ＤＳに移動しており、これらの振動子４４の駆動側ＤＳへの最大移動位置は、第１の振動子４４Ｆに配設されたダンパ４７の先端面を筒状鉄芯２５の流体側ＦＳに位置するフランジ２６の端面に当接することで確実かつ容易に制御することができるようになっている。また、第１の振動子４４Ｆの当接面４８Ｆは、図７に詳示するように、流体側ＦＳに位置するフランジ２６の軸方向内側に位置する内端面２６ａより軸方向内側に位置している。
【００９７】
そして、吸入孔５２を介して容積が増大したポンプ室４１に流体が所定量流入すると、図示しない制御部からの制御指令に基づいて電磁石３２の磁極３３、３４の極性が切り換えられる。即ち、第１の磁極３３をＮ極とし、第２の磁極３４をＳ極とするようにコイル２７に電流を流す。
【００９８】
すると、筒状鉄芯２５、第１の振動子４４Ｆ、筒状外鉄芯３６および第２の振動子４４Ｄがそれぞれ磁性体により形成されているので、筒状鉄芯２５、第１の振動子４４Ｆ、筒状外鉄芯３６および第２の振動子４４Ｄには、図８に模式的に示すような理想的な磁気回路が形成される。
【００９９】
このような磁気回路により、第１の磁極３３とこの第１の磁極３３と対向する流体側ＦＳに位置する第１の振動子４４Ｆとの間には、図８の白抜き矢印にて示す斥力ＦＲが発生し、電磁石３２の第２の磁極３４とこの第２の磁極３４と対向する駆動側ＤＳに位置する第２の振動子４４Ｄとの間には図８の白抜き矢印にて示す引力ＦＡが発生する。この引力ＦＡと斥力ＦＲとにより、可動軸２９が流体側ＦＳに移動する。
【０１００】
この時、本実施形態においては、作動力増加手段４９が形成されているので、図８に示すように、第１の磁極３３と、流体側ＦＳに位置する第１の振動子４４Ｆの内側支持部（永久磁石４６のコイル２７の端面と対向するする端面に当接されている当接面４８Ｆを具備する部分）４４Ｆａの内周との間に斜めの磁界が発生する。この磁界は、第１の磁極３３と第１の振動子４４Ｆの内側支持部４４Ｆａとの間に図８の白抜き矢印にて示す斜めの第２引力ＦＢを発生させる。そして、第２引力ＦＢの軸方向に沿った水平成分が、可動軸２９を流体側ＦＳに移動させる力として働く。
【０１０１】
即ち、本実施形態のポンプＰＡにおいては、可動軸２９を流体側ＦＳに移動させる際に、一対の永久磁石４６と電磁石３２との相互間に働く引力ＦＡおよび斥力ＦＲに加えて、第１の磁極３３と第１の振動子４４Ｆの内側支持部４４Ｆａとの間に働く第２引力ＦＢの水平成分が可動軸２９を流体側ＦＳに移動させる力として加算されることになるので、可動軸２９の駆動力を向上することができる。
【０１０２】
なお、各振動子４４を非磁性体により形成すると共に、一対の永久磁石４６の間に単に電磁石３２を配設した構成では、一対の永久磁石４６と電磁石３２との相互間に、可動軸２９を駆動するための引力ＦＡおよび斥力ＦＲを形成することはできるものの、理想的な磁気回路および第２引力ＦＢを形成する磁界を形成することはできない。
【０１０３】
そして、可動軸２９の流体側ＦＳへの移動によって振動板２３の内周が流体側ＦＳに引っ張られて変形し、この振動板２３の変形により、ポンプ室４１の容積が減少してポンプ室４１の圧力が上昇し、吐出弁５５の傘部外周部が内ケース３９の側壁３９ａの流体側ＦＳに位置する端面から離間する。その結果、ポンプ室４１の流体に圧力が付与されて、ポンプ室４１の流体が、吐出孔５３を介して吐出室５１に吐出されると共に、吐出側継ぎ手５７を介して外部に吐出され、ポンプＰＡは、流体を吐出する吐出状態となる。
【０１０４】
なお、このような吐出動作中におけるポンプ室４１内の圧力上昇は、吸入室５０の圧力をポンプ室４１内の圧力より高くするので、吸入弁５４の傘部外周部が内ケース３９の側壁３９ａの駆動側ＤＳに位置する端面に当接して吸入孔５２を遮蔽して、ポンプ室４１の内部に存在する流体が逆流して吸入室５０に流入するのを防止している。
【０１０５】
また、流体の吐出状態においては、各振動子４４が共に流体側ＦＳに移動しており、これらの振動子４４の流体側ＦＳへの最大移動位置は、第２の振動子４４Ｄに配設されたダンパ４７の先端面を筒状鉄芯２５の駆動側ＤＳに位置するフランジ２６の端面に当接することで確実かつ容易に制御することができるようになっている。この時、第２の振動子４４Ｄの当接面４８Ｄは、駆動側ＤＳのフランジ２６の内端面２６ａより軸方向内側に位置することになる。
【０１０６】
そして、吐出孔５３を介して容積が減少したポンプ室４１の流体が外部に所定量流出すると、図示しない制御部からの制御指令に基づいて電磁石３２の磁極３３、３４の極性が切り換えられる。即ち、第１の磁極３３をＳ極、第２の磁極３４をＮ極とするようにコイル２７に電流を流す。すると、各部は逆方向に動作して図６に示す吐出状態に復帰する。
【０１０７】
即ち、可動軸２９を駆動側ＤＳに移動させる際には、電磁石３２の第１の磁極３３とこの第１の磁極３３と対向する流体側ＦＳに位置する第１の振動子４４Ｆとの間には引力ＦＡが発生し、第２の磁極３４とこの第２の磁極３４と対向する駆動側ＤＳに位置する振動子４４Ｄとの間には斥力ＦＲが発生し、第２の磁極３４と駆動側ＤＳに位置する第２の振動子４４Ｄの内側支持部４４Ｄａとの間には可動軸２９を駆動側ＤＳに移動させる水平成分を含む第２引力ＦＢが発生することになる。なお、可動軸２９を駆動側ＤＳに移動させる際に生じる引力ＦＡ、第２引力ＦＢおよび斥力ＦＲの方向は、図８に示す引力ＦＡ、第２引力ＦＢおよび斥力ＦＲの白抜き矢印の方向とは左右反対方向になる。
【０１０８】
以下、電磁石３２の磁極３３、３４の極性を周期的に切り換えることで、可動軸２９を軸方向に往復移動することで振動板２３を振動させ、これにより流体の吸入と吐出とを交互に繰り返すことができる。
【０１０９】
このような構成の本実施形態のポンプＰＡによれば、前述した第１実施形態のポンプＰと同様に、小さな消費電力で振動板２３を振動させて流体を効率よく外部に吐出できると共に小型化が可能であるなどの極めて優れた効果を奏することができる。
【０１１０】
即ち、本実施形態のポンプＰＡによれば、１つの電磁石３２の磁極３３、３４の切り換えに同期して、可動軸２９と連動して往復動する一対の永久磁石４６を、固定配置された電磁石３２との間に働く引力ＦＡおよび斥力ＦＲを用いて一方の永久磁石４６を吸引すると共に他方の永久磁石４６を反発することで振動板２３を振動させているので、コイル２７に印可する電力が少なくても振動板２３を高速振動させることが確実かつ容易にできる。そのために、吸入弁５４および吐出弁５５が確実に動作して、流体を効率よく外部に供給できる。
【０１１１】
さらに、各振動子４４が電磁石３２の磁極３３、３４の切換に同期して電磁石３２に吸着または反発することで可動軸２９がピストン運動して、振動板２３が振動するようにしたので、第１、第２の振動子４４Ｆ、４４Ｄの両方に固着した永久磁石４６で、可動軸２９をピストン運動させることができ、低消費電力のポンプを提供できる。
【０１１２】
また、本実施形態のポンプＰＡによれば、一対の永久磁石４６と１つの電磁石３２との相互間に働く引力ＦＡおよび斥力ＦＲに加えて、作動力増加手段４９により、水平成分が可動軸２９を移動させる方向に働く第２引力ＦＢを発生させることができるので、可動軸２９の駆動効率、ひいては振動板２３の駆動効率を向上させることが容易にできる。その結果、近年の高性能化の要求に応えることが確実にできる。
【０１１３】
また、本実施形態のポンプＰＡによれば、ポンプ室４１が１つなので、構造が簡単であると共に、小型化を容易に図ることができる。
【０１１４】
また、本実施形態のポンプＰＡの作動力増加手段４９によれば、水平成分が可動軸２９を移動させる方向に働く第２引力ＦＢをより容易かつ確実に発生させることができる。
【０１１５】
また、本実施形態のポンプＰＡの筒状外鉄芯３６によれば、理想的な磁気回路を明確に形成することができるので、可動軸２９の作動効率を容易に向上することができる。その結果、消費電力を小さくできる。
【０１１６】
さらにまた、本実施形態のポンプＰＡによれば、可動軸２９の移動範囲を、振動子４４に配設されたダンパ４７によって、確実かつ容易に制御することができる。その結果、永久磁石４６とこの永久磁石４６に対向する電磁石３２のコイル２７の端面との間隔を狭く、しかも間隔のバラツキを従来の１／１０以下と高精度にすることが容易かつ確実にできる。その結果、電磁石３２のコイル２７に供給する電力を少なくしても、振動板２３の安定した動作を容易に得ることができる。
【０１１７】
また、振動板２３が第１の振動子４４Ｆを介して電磁石３２に吸着される方向、即ち駆動側ＤＳに移動すると、ポンプ室４１内の気圧が外気圧より低下して吸入孔５２から流体が吸入されると共に、吐出弁５５が吐出孔５２を閉じるようになっているので、吸入孔５２から流体を確実に吸入することができる。また、この時吐出弁５５で吐出孔５３が閉じられているので、外部に吐出した流体がポンプ室４１に逆流することがない。
【０１１８】
また、振動板２３が第１の振動子４４Ｆを介して電磁石３２と反発する方向、即ち流体側ＦＳに移動すると、ポンプ室４１内の気圧が上昇して吸入弁５４が吸入孔５２を閉じると共に、吸入孔５２から吸入された流体が吐出孔５３から吐出されるようになっているので、ポンプ室４１に吸入した流体を確実に吐出孔５３から外部に吐出することができる。
【０１１９】
また、吸入弁５４および吐出弁５５が吸入孔５２および吐出孔５３を閉じているとき（吸入状態と吐出状態との中間状態）は、流体が逆流しないようになっているので、流体の吸入ロスおよび吐出ロスのない効率の良いポンプを提供できる。
【０１２０】
本発明のポンプは、消費電力が小さく小型なので、携帯可能な電子機器のバッテリとして用いられる小型の燃料電池の燃料供給ポンプとして好適である。即ち、本発明のポンプは、消費電力が小さく小型なので、燃料電池自身の電力によって往復駆動機構を効率よく駆動することができる。
【０１２１】
前述したような本発明のポンプの使用例として、最近、大気汚染等の環境問題を背景として、環境汚染を引き起こさないクリーンな電力供給手段が求められている。その一例として燃料となるメチルアルコールを分解化学反応させることによって所望の電力を得ることができる燃料電池が開発されている。
【０１２２】
このような燃料電池は、例えば自動車用のバッテリとか種々の分野においてその有用性が期待されている。更に、近年においては、携帯可能な電子機器用のバッテリとしても、小型の燃料電池を用いるという新たな発想が生まれている。    このような携帯可能な電子機器用の小型の燃料電池に、本発明のポンプＰを用いて、メチルアルコール等の流体からなる燃料を短時間で供給することができる。
【０１２３】
なお、本発明は、前述した各実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２４】
【図１】本発明のポンプの第１実施形態の要部断面図
【図２】図１の２−２断面図
【図３】図１の平面図
【図４】図１のポンプの動作の流体の吸入状態を説明する図１と同様の図
【図５】図１のポンプの動作の流体の吐出状態を説明する図１と同様の図
【図６】本発明のポンプの第２実施形態の流体の吸入状態における要部断面図
【図７】図６の第１振動子近傍の拡大断面図
【図８】図６のポンプの流体の吐出状態における理想的な磁気回路を模式的に示す説明図
【図９】従来のポンプを説明する概略図
【符号の説明】
【０１２５】
１、２４  ポンプ本体部
２  第１のケース
２ａ  側壁
２ｂ  通気口
３  ピストン部材
３ｂ、４４Ｆ  第１の振動子
３ｃ、４４Ｄ  第２の振動子
４、４６  永久磁石
５  ネジ
６、３２  電磁石
６ａ  鉄芯
６ｂ、３３  第１の磁極
６ｃ、３４  第２の磁極
７、２７  コイル
８  磁石端子
９、２３  振動板
１０  リベット
１１  第２のケース
１１ａ  仕切板
１２、４１  ポンプ室
１３、５０  吸入室
１４、５１  吐出室
１５、５２  吸入孔
１６、５３  吐出孔
１７、５４  吸入弁
１８、５５  吐出弁
１９  遮蔽板
１９ａ、５６ａ  吸入口
１９ｂ、５６  吸入側継ぎ手
１９ｃ、５７ａ  吐出口
１９ｄ、５７  吐出側継ぎ手
２２  往復駆動機構
２５  筒状鉄芯
２６  フランジ
２６ａ  内端面
２８  コイル保持部材
２９  可動軸
３９  内ケース
４０  外ケース
４４  振動子（第１、第２の振動子４４Ｆ、４４Ｄの総称）
４７  ダンパ
４８、４８Ｄ、４８Ｆ  当接面
４９  作動量増加手段
Ｐ、ＰＡ  ポンプ
ＤＳ  駆動側
ＦＳ  流体側
ＦＲ  斥力
ＦＡ  引力
ＦＢ  第２引力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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