(57)【要約】【課題】中間部品在庫引当方式において納期遅れの発生を防ぐ。【解決手段】生産工程のスケジューリング装置において、受注情報に基づいて在庫から顧客の要求規格を満足する中間部品を選び顧客へ引当てる手段と、顧客引当した中間部品が顧客規格を満足するか検査結果から判定する手段と、前記顧客引当結果と前記判定結果から、製品の引当状態を判定する手段と、顧客引当した製品の生産計画については顧客引当日または最新の工程実績日から必要な生産工程の順方向に負荷を割り付け、一方顧客未引当の製品の生産計画については納期から必要な生産工程の逆方向に負荷を割り付ける工程能力割付手段を有するようにした。【選択図】図２
2004118472.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品の生産するための作業工程のスケジューリングを行う生産スケジューリング装置であって、
前記製品が中間部品の段階で、顧客からの受注情報に基づいて該受注情報と中間部品とを対応づける顧客引当を行う顧客引当手段と、
前記顧客引当した中間部品を検査し該中間部品が顧客が要求する規格を満足するかどうか検査結果から判定する検査結果判定手段と、
前記検査結果判定手段における判定結果から前記中間部品の引当状態を判定する引当状態判定手段と、
前記引当状態判定手段において判定した引当状態に基づいて、前記顧客引当を行った中間製品については、作業工程の負荷を顧客引当日または最新の工程実績日から生産工程の順方向に割り付ける工程能力割付手段を有することを特徴とする生産スケジューリング装置。
【請求項２】
請求項１に記載の生産スケジューリング装置において、
前記工程能力割付手段は、顧客未引当の中間製品については、作業工程の負荷を納期から生産工程の逆方向に割り付けることを特徴とする生産スケジューリング装置。
【請求項３】
請求項１または２のいずれかに記載の生産スケジューリング装置であって、
前記検査結果判定手段における判定の結果から前記引当状態判定手段における引当状態が変化し作業工程が追加された場合、
前記工程能力割付手段は該追加された作業工程を作業マスタとして登録するとともに該作業マスタを利用して前記追加された作業工程の負荷を工程実績日から生産工程の順方向に割り付けることを特徴とする生産スケジューリング装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の生産スケジューリング装置であって、
前記検査結果判定手段の判定結果によって、前記顧客引当をした中間部品が顧客が要求する規格を満たさない場合、
前記顧客引当手段は、再度中間部品を顧客引当し、生産指示する生産指示手段を有することを特徴とする生産スケジューリング装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の生産スケジューリング装置であって、
前記工程能力割付手段は、受注前の顧客からの要求に対しては、作業工程の負荷を納期予定日から生産工程の逆方向に割り付けることで納期を求めることを特徴とする生産スケジューリング装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の生産スケジューリング装置であって、
表示手段を有し、該表示手段に中間部品の状態別にガントチャートを示す画面および作業工程の負荷を示す画面を表示することを特徴とする生産スケジューリング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生産スケジューリング技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
受注による顧客引当方式は、受注対象製品の生産方式の形態によって次の３つに大別できる。一つめは完成品在庫引当であり受注対象製品が見込み生産である製品に関して用いられることが多い。二つめは中間部品在庫引当である。三つめは原材料在庫引当であり、受注対象製品が個別生産である製品に関して用いられることが多い。
【０００３】
昨今では、多品種少量生産が主流であり、かつ受注から納入までの期間が短くなってきている。そのため、上記２つめの中間部品在庫引当が多く行われている。中間部品在庫引当は、多くの製品に共通する部品を中間製品として見込み生産し、その後受注案件に基づいて、顧客引当を行い、顧客規格・仕様に基づく工程フローに沿って、加工・組立し、最終製品とする。中間部品在庫引当は、顧客が必要とするものだけを生産するため、無駄な仕掛在庫が無くなるという利点があり、組立品やプロセス品といった製品種類を問わず行われている。中間在庫引当方式においては、顧客が指定する納期に間に合うように生産スケジュールを立てて生産することが重要である。
【０００４】
従来のプロセス製品の在庫引当方式について、半導体ウェハの生産管理方式を例として具体的に説明する。半導体ウェハでは、結晶成長後にロットの結晶特性を把握するため、いくつかの特性について検査している。この特性検査結果から製品の用途に合わせ、顧客引当し、その後の顧客規格・仕様に基づいてスライス工程、研磨工程を行い、出荷している。つまり、結晶成長工程までを見込み生産し、中間在庫を持って引当を行う、中間在庫顧客引当方式である（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３参照）。
【０００５】
一方、生産スケジューリングについてもすでに多くの技術が開示されている。スケジューリングの際に、ロット毎に一連の生産工程において必要となる総所要時間の長さに応じた優先度を付けて、予定線表に割り付けていく機能を有する生産工程スケジューラを開示しているものもある（例えば、特許文献４参照）。また、オーダを納期に応じて単純に負荷割り付けした後、人手による負荷調整をして、なおかつ納期遅れなどが生じた場合に、オーダ毎のリードタイムを変更して再スケジューリングする機能を有する生産スケジューリング装置を開示しているものもある（例えば、特許文献５参照）。
【０００６】
更に工程展開手法を混在した生産スケジューリング技術も多く開示されている。その一つとして、工程順序に沿って工程計画をバックワードスケジューリングにより決定し、製造時期になった時点でフォワードスケジューリングを実行しているものがある（例えば、特許文献６参照）。また、生産する単位である投入データを完成予定順に並べ、完成予定日から生産工程を遡って負荷を割り付けていくバックワードシミュレーションと、投入予定日から生産工程の順方向に負荷を割り付けていくフォワードシミュレーションとをペアで実行し、両シミュレーションの結果のずれを評価することによって、投入データの並びを調整し直し、シミュレーションを繰り返すという製造管理システムを開示しているものもある（例えば、特許文献７参照）。
【０００７】
また、各設備のスケジューリング用の加工時間の総計である正味リードタイムに一定の余裕時間を加えた、仕掛指示リードタイムという時間値を用いてスケジューリングすることにより、生産工程におけるイレギュラに対応できる工場スケジューラやスケジューラ支援システムを開示しているものもある（例えば、特許文献８参照）。この特許文献８では、余裕時間は、ロット毎に一定の値をデータとして設定しておいたり、人手により入力したりするようになっている。
【０００８】
【特許文献１】
特開平９−３００１７９号公報
【特許文献２】
特開平１１−３５３３９３号公報
【特許文献３】
特開平１１−３４５７５０号公報
【特許文献４】
特開平５−３２４６６４号公報
【特許文献５】
特開平７−１４１４３５号公報
【特許文献６】
特開平３−１４９１６２号公報
【特許文献７】
特開平８−３１４５２６号公報
【特許文献８】
特開平８−２１５９９４号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
中間部品在庫引当を行ったものの、顧客引当後の検査工程で、要求された顧客の規格を満たすロットが完成しないことがある。この場合の一般的な対策として、中間部品在庫に対して、この顧客を再度引当する方法や、同じ工程を繰り返す再作業を行う方法、および規格から外れた特性を補う追加工程で作業を行う方法が考えられる。
【００１０】
しかし、その結果、予め設定された生産計画よりも多くの作業時間がかかることになり、それによって全体的な作業遅れが発生する。従来の見込み生産方式においては、安全余裕分の製品在庫を持つことによって、不良などのイレギュラ要因に対処できた。しかし、顧客が指定する規格、納期に応じて、生産する中間部品在庫引当方式では、不良によって作業遅れが生じると、直接的に納期遅れの発生につながる可能性があり、深刻な問題をもたらす。従って、中間部品在庫引当方式における生産スケジューリングでは、顧客引当後の不良を考慮した処理が必要である。
【００１１】
従来の技術で述べた特許文献１〜３においては、顧客引当後に不良が発生した場合に生産スケジューリングを変更する配慮はされていない。
【００１２】
また、生産スケジューリングに関する従来技術でも、上記課題は解決されていない。例えば計画遅れが発生した場合、特許文献４の優先度による自動スケジューリング方法や特許文献５のオーダ毎にリードタイムを変更し際スケジューリングする方法があるが、いずれも顧客引当後の不良に対応した方法ではない。また、いずれもパラメータを人手で調整するため、例えば半導体ウェハのような多品種少量生産であるような製品の生産スケジューリングには現実的ではない。
【００１３】
特許文献６および特許文献７の様にフォワード、バックワードの２種類の工程展開方法を使い分けることにより、生産計画の精度は向上するが、これらについても顧客引当後の不良に対して配慮されていない。
【００１４】
また、特許文献８の様に、余裕時間を考慮することでイレギュラ処理に対応できるが、最初の工程の作業着手から最終工程の作業完了までのリードタイムが長くなる傾向になるため、納期の短期化が求められている個別受注生産には不向きである。
【００１５】
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、その目的は、顧客引当後の不良に関する問題を解消することにある。つまり、その目的は、注文生産方式において、生産工程における不良の発生を考慮して生産をスケジューリングすることにより納期遅れの発生を抑止することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明は、中間部品の段階で受注製品に対する顧客引当を行う生産スケジューリング装置において、受注情報に基づいて、在庫から顧客の要求規格を満足する中間部品を選び、顧客へ引当てする顧客引当手段と、
顧客引当した中間部品について、検査結果から顧客規格を満足するか判定する検査結果判定手段と、顧客引当手段と検査結果判定手段から、中間部品の引当状態を判定する引当状態判定手段と、顧客引当した生産計画について顧客引当日または最新の工程実績日から作業工程の負荷を生産工程の順方向に割り付け、一方顧客未引当の生産計画について納期から作業工程の負荷を生産工程の逆方向に割り付ける工程能力割付手段を有するようにしたものである。
【００１７】
この装置により、不良品の発生による作業遅れを再スケジューリングすることで精度の高い作業完了予定日の計算ができ、納期遅れを防止した生産計画を作成することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は本発明の実現形態にかかわる半導体ウェハの製造プロセスである。
図１において、比抵抗などの特性を成長条件として、見込み生産でインゴットを結晶成長させる結晶成長工程（１０１）、インゴットの特性評価（１０２）を行い、インゴット在庫（１０３）とする。インゴット在庫にあるインゴットは、サイズと特性毎に仕分けており、複数の顧客へ引当可能な中間製品である。インゴットは、在庫から顧客引当（１０４）し、顧客の規格通りに仕上げる後工程を行い、半導体ウェハとなる。顧客へはインゴット単位の半導体ウェハを引当、出荷するため、これを１ロットと定義する。後工程は、インゴットをウェハに切断するスライス工程（１０５）、半導体ウェハの特性を評価する評価工程（１０６）、評価したロットが顧客の規格に適合している場合は、研磨工程（１０７）で鏡面研磨し、出荷（１０８）する。
【００１９】
しかし、評価工程（１０６）の結果から、ロットが顧客の規格を満たさなくなった場合、再度、インゴット在庫（１０３）から顧客引当（１０４）し、スライス（１０５）する再作業を行う。この場合、顧客の規格を満たさなくなったロットは、ウェハ在庫（１０７）へ入庫し、別の顧客の規格に適合する場合は、顧客引当（１１０）を行い、研磨（１０７）し、出荷（１０８）する。
また、評価工程（１０６）の結果から、ロットが顧客の規格を満たさないが、別工程であるラップ工程（１１１）を追加作業することで、顧客の規格を満たすような場合がある。
【００２０】
図２は、本発明による生産スケジューリング装置の要素的特徴を示すブロック図である。
図示するように、本実施形態の生産スケジューリング装置は、キーボード、ＣＲＴから構成され、情報の入出力を行う入手力部（２１０）と、生産管理に用いる情報を記憶する記憶部（２３０）と、処理部（２２０）を有する。
【００２１】
処理部（２２０）は、受注情報に基づいて在庫から顧客の要求規格を満足する中間部品を選び顧客へ引当てする顧客引当手段（２２１）と、顧客引当した中間部品について検査結果から顧客規格を満足するか判定する検査結果判定手段（２２２）と、顧客引当手段（２２１）と検査結果判定手段（２２２）から受注情報と関連する生産計画の状態を判定し各生産計画の優先度を決定するロット状態判定手段（２２３）と、ロット状態判定手段（２２３）が作成した各生産計画の状態から工程の生産計画を作成する方法を切り替えて生産計画を各工程または各設備単位の能力に割り付けることができる工程能力割付手段（２２４）と、工程能力割付手段（２２４）から各工程へ生産指示を出力する生産指示手段（２２５）と、を有する。
【００２２】
記憶部（２３０）は、顧客からの受注情報を登録する受注情報ＤＢと、インゴットおよびウェハそれぞれの在庫情報を登録する在庫情報ＤＢと、インゴットおよびウェハそれぞれの仕掛り情報を登録する仕掛情報ＤＢと、インゴットおよびウェハそれぞれの検査情報を登録する検査情報ＤＢと、インゴットおよびウェハそれぞれの生産計画情報を登録する生産計画情報ＤＢと、顧客引当情報を登録する顧客引当情報ＤＢと、を有する。
【００２３】
図３に受注情報ＤＢの登録内容例を示す。
図示するように、受注情報ＤＢに登録される各レコードは、受注番号を登録するためのフィールド、顧客名を識別するフィールド、納期を登録するフィールド、要求数量を登録するためのフィールド、顧客の要求規格（比抵抗、ウェハ厚さ）を登録するフィールド、作業する工程を登録している工程マスタＤＢのどのデータを利用するか識別する情報である工程マスタのフィールド、を備えている。
【００２４】
図４に検査情報ＤＢの例を示す。
図示するように検査情報ＤＢの各レコードは、中間部品の識別番号であるロットＮＯのフィールド、検査結果（比抵抗）の情報を登録するフィールド、ウェハ厚さの検査結果を登録するフィールドを備えている。図４においては、比抵抗を例としているが、その他の特性情報、形状情報でも同様とし、複数の構成要素からなる検査情報でもよい。
【００２５】
図５に顧客引当情報ＤＢの例を示す。
顧客引当情報ＤＢは、受注ＮＯ、枝番、ロットＮＯ、数量、ロット状態で構成される。図３の受注ＮＯの要求数量は１つのインゴット（ロットＮＯに相当）で満たさない場合、受注ＮＯに対して複数のロットを引当する。この引当した単位（インゴット単位）に受注ＮＯの枝番を採番する。ロット状態については図１０および図１１の説明の中で詳しく述べる。
【００２６】
図６に生産計画情報ＤＢの例を示す。
生産計画情報ＤＢは、受注ＮＯ，枝番、工程ＮＯ、工程名称、完了予定日で構成されている。工程ＮＯとは、あるロット（受注ＮＯ―枝番）を作業する順番である。
【００２７】
図７に生産能力マスタ情報ＤＢの例を示す。
生産能力マスタ情報ＤＢは、工程名称、設備ＮＯ，処理枚数で構成されている。処理時間とは、ウェハ１枚あたりの設備処理時間を示している。
【００２８】
図８に工程マスタ情報ＤＢの例を示す。
工程マスタ情報ＤＢは、工程マスタ、工程ＮＯ、工程名称で構成されている。
【００２９】
上記構成の生産スケジューリング装置は、例えば図９に示すような、ＣＰＵとメモリとハードディスク装置等の外部記憶装置と、ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ−ＲＯＭ等の可搬性を有する記憶媒体からデータを読み取る装置とキーボードやマウス等の入力装置と、ＣＲＴやＬＣＤ等の出力装置とインターネット等のネットワークを介して通信を行う通信装置と、これらの各装置を接続するバス等を備えた、一般的な構成を有するコンピュータシステム、あるいは、このコンピュータシステムを複数備えたネットワークシステム上に構築できる。
【００３０】
図１０に本発明の生産スケジューリング方式の動作フローを示す。
以下のこの動作フローに従って、説明する。
最初にロット状態の判定を行う。ロット状態とは、受注データと中間部品の引当の関係を段階で示すものである。
【００３１】
図１１は受注データと中間部品の引当の関係を段階で示したロット状態を説明する図である。ロット状態０とは、受注に対して、中間部品が引当する前の段階で、どの中間部品に引き当てするか確定していない状態である。この状態の時、作業工程は仮に確定していて、検査結果で代わる場合がある。次にロット状態１とは、受注に対して中間部品を引当したが、検査結果によって、引当関係を解消し、別の中間部品と引当する可能性がある状態である。ロット状態１においても、作業工程は仮に確定していて、検査結果で代わる場合がある。最後に、ロット状態２は、受注に対して中間部品が引当されており、この関係が確定した状態を指す。ロット状態２においては、作業工程も確定している。本実施形態では、図１で示した半導体ウェハの製造プロセスにおいて、上記３つのロット状態を定義したが、さらに多くのロット状態を定義することもできる。
【００３２】
ロット状態の判定は、図２のロット状態判定手段で行う。まず、新規受注データを最初に受付した際、すべてのロットのロット状態は０である。引当されたロットを確認したら、ロット状態を０から１にする。引当したかどうかの確認は、引当情報で行う。また、評価判定の結果からロット状態の判定を行う。評価判定の結果、ＯＫの場合はロット状態を１から２にする。評価判定の結果、ＮＧの場合はロット状態を１から０にする。ロット状態が０になったロットは再度引当する必要がある。
【００３３】
次に工程能力の生成を行う。工程能力とは、各作業工程で、単位時間あたり何枚ウェハを作業することができるのか設定する。本実施例では、生産能力マスタを準備しておく。
【００３４】
工程能力枠を生成後、ロット状態２のロットの生産計画を評価工程の実績日から後の作業に向かって順次工程展開（フォワード展開）し、先に作成した工程能力枠に生産計画を割り当てていく。当日の工程の能力を超過した場合は翌日に割り付けてゆく。また、この際、評価工程の判定の結果、追加作業がある場合があるので、生産計画を作成する場合、評価判定結果で指示した作業工程マスタを利用して、工程展開を行う。
【００３５】
次に、ロット状態１のロットの生産計画を引当日から後の作業に向かって順次工程展開（フォワード展開）し、先に作成した工程能力枠に生産計画を割り当てていく。当日の工程の能力を超過した場合は翌日に割り付けてゆく。
【００３６】
最後に、ロット状態０のロットの生産計画を出荷日から前の作業に向かって順次工程展開（バックワード展開）し、先に作成した工程能力枠に生産計画を割り当てていく。当日の工程の能力を超過した場合は前日に割り付けてゆく。以上で動作フローは終了である。
【００３７】
図１２にロット状態別の工程展開方式をまとめる。本方式では、ロットの引当状態別に出荷予定日を決定し、工程展開を行い、負荷の割付をする。未引当のロット（ロット状態０）については、受注時に決めた出荷予定日から、各作業工程の順番でバックワード展開して引当指示予定日を決定する。次に引当指示済みのロット（ロット状態１）に対しては、引当指示実績枚数に応じてロットを自動生成し、引当指示実績日を基準にフォワード展開して、出荷予定日を決める。また、スライス工程後の特性評価結果で、インゴットが不良になった場合は引当解除により、スライス工程へ生産指示を行う。引当指示と同様に、評価判定ＯＫのロット（ロット状態２）に対しては、引当実績枚数に応じてロットを自動生成し、評価判定日を基準にフォワード展開をして、出荷予定日を最終決定する。
【００３８】
図１３に工程展開時のガントチャート画面例を具体的に示す。まず、
（１）未引当状態（ロット状態０）では、納期（２／２６）を出荷予定日として、出荷予定日を基準としたバックワード展開を行う。ガントチャートでは各工程を異なる色で表示している。
（２）引当指示工程で１５０枚の作業実績を受けてロットを自動生成する。この時４００枚の計画が２５０枚の未引当ロットと１５０枚の引当ロットへ分割される。同時に、スライス指示実績日（２／８）を基準としたフォワード展開する。この例では納期２／２６に対して、出荷予定日２／２８が２日遅れていることが分かる。そこで、
（３）納期に間に合うように計画の修正を行う。この場合、スライス完了予定日が２／１５から２／１３になる。
（４）引当実績が入力されると、ロットが自動生成され、引当実績日を基準としたフォワード展開をする。この場合、出荷予定日は２／２０となり、当初計画より早くなる。また、工程途中でロットが不良になった時は、
（５）引当解除となり、スライス指示へ生産指示をする。画面例では、スライス指示済みの１５０枚の計画が未引当状態の２５０枚の計画に加算されて、４００枚の計画となり、スライス指示工程へ生産指示される。納期遅れが発生していた場合は、スライス指示完了予定日（２／５）を調整して対応する。
【００３９】
図１４に引当状態別工程負荷山崩しの画面例を示す。
この画面から、優先度の低い未引当ロットが後に割りつき、優先度の高い引当済みロットが先に割りついていることがわかる。また、未引当のロットが移動され、工程能力内に収まるように平準化されていることがわかる。
【００４０】
顧客引当処理手段を図１５で説明する。
最初に、前工程の評価工程が終了したロットの検査情報を取得する（１５０１）。次に、受注情報から対象となる受注情報を１レコード取得する（１５０２）。この時、対象となる受注情報は、この時点での注残情報全てである。しかし、サイズや品名など評価項目以外の項目で明らかに引当条件から外れる場合は、この時点で対象外とする。ここで取得した受注データの特性範囲を顧客規格情報から取得する（１５０３）。顧客規格情報の特性範囲とウェハＮＯと検査情報を利用して、取得枚数を計算する（１５０４）。但し、半導体ウェハの場合、この時点ではウェハは数枚のサンプル数しか特性結果ないため、取得枚数は換算枚数を利用する。対象の受注データ全てに対して、処理が終了（１５０６）したとき、その結果を顧客引当情報ファイルへ登録する（１５０７）。
【００４１】
検査結果判定手段を図１６で説明する。
最初に、評価工程が終了したロットの検査情報を取得する。次に、引き当てした顧客の特性範囲を顧客規格情報から取得する。顧客規格情報の特性範囲とウェハＮＯと検査情報を利用して、規格を満たしているか判定する。判定結果がＯＫの場合は、作業工程に変更が無いか判定する。この判定方法は、評価工程時にデータ入力することで判定する。変更ない場合は、ロット状態を１から２にして、終了する。変更がある場合は、生産計画時に参照する作業工程マスタを変更し、終了する。また、評価判定がＮＧの場合は、ロット状態を０にして、終了する。
【００４２】
図１７で生産指示手段について説明する。
生産指示手段では、検査結果判定手段でロット状態が１から０になったロットを優先的にスライス工程へ生産指示する方法である。具体的には、評価工程において、入力して検査情報にもとづいて、本生産スケジューラ装置で、図１６で説明した検査結果判定手段を用いて、顧客引当情報ＤＢのロット状態を１から０へ更新したロットに関して、引当処理手段で当ロットを対象とした引当処理を行い、スライス工程へネットワークを利用し、作業着手の指示を行う。この方法により、中間検査において作業遅れが発生した場合のロットを優先的に工程へ指示することができる。
【００４３】
図１８で納期回答機能について説明する。
まず顧客情報を登録する。顧客情報とは、受注仮ＮＯ、顧客名、顧客規格、要求数、納期を入力する。次に中間在庫に対象となる中間部品があるか確認する。ある場合は、生産計画の単位であるロットを生成し、納期よりバックワード展開を行う。着手予定日が今日以降の場合は、初期に入力した納期のまま回答する。着手予定日が今日以前であれば、今日からフォワード展開し、出荷日を納期回答する。また、在庫が無い場合は、いつ在庫ができるか登録する。次に在庫登録日からフォワード展開し、出荷日を納期回答する。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の生産スケジューリング装置は、顧客引当後の不良の発生を考慮するため、ロットの引当状態に対して、スケジューリング方式を変更し、工程に対して計画を割り付けていくことで、精度の高い生産計画を実現し、顧客からの要求である短納期、納期遵守を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本対象となる製造ラインの工程フローを示す図である。
【図２】本発明の一実現形態である構成要素を示すブロック図を示す図である。
【図３】本発明の一実現形態である受注情報ＤＢを示す図である。
【図４】本発明の一実現形態である検査情報ＤＢを示す図である。
【図５】本発明の一実現形態である顧客引当情報ＤＢを示す図である。
【図６】本発明の一実現形態である生産計画情報ＤＢを示す図である。
【図７】本発明の一実現形態である生産能力マスタ情報ＤＢを示す図である。
【図８】本発明の一実現形態である工程マスタ情報ＤＢを示す図である。
【図９】本発明の一実現形態である生産スケジューリング装置のハードウェハ構成を示す図である。
【図１０】本発明の一実現形態である生産スケジューリング装置の動作フローを示す図である。
【図１１】本発明の一実現形態であるロット状態を定義した図である。
【図１２】本発明の一実現形態であるロット状態別工程展開方法を示した図である。
【図１３】本発明の一実現形態であるロット状態別工程展開方法をガントチャートで示した図である。
【図１４】本発明の一実現形態であるロット状態別の工程負荷山積みの画面例を示した図である。
【図１５】本発明の一実現形態である顧客引当手段の動作フローを示した図である。
【図１６】本発明の一実現形態である検査情報登録手段の動作フローを示した図である。
【図１７】本発明の一実現形態である生産指示手段の動作フローを示した図である。
【図１８】本発明の一実現形態である納期回答手段の動作フローを示した図である。
【符号の説明】
２１０　入出力部
２２０　処理部
２２１　顧客引当手段
２２２　検査結果判定手段
２２３　ロット状態判定手段
２２４　工程能力割付手段
２２５　生産指示手段
２２６　納期回答手段
２３０　記憶部
【図１】
2004118472.tif 000003
【図２】
2004118472.tif 000004
【図３】
2004118472.tif 000005
【図４】
2004118472.tif 000006
【図５】
2004118472.tif 000007
【図６】
2004118472.tif 000008
【図７】
2004118472.tif 000009
【図８】
2004118472.tif 000010
【図９】
2004118472.tif 000011
【図１０】
2004118472.tif 000012
【図１１】
2004118472.tif 000013
【図１２】
2004118472.tif 000014
【図１３】
2004118472.tif 000015
【図１４】
2004118472.tif 000016
【図１５】
2004118472.tif 000017
【図１６】
2004118472.tif 000018
【図１７】
2004118472.tif 000019
【図１８】
2004118472.tif 000020