(57)【要約】      （修正有）【課題】小型の軽いウエハでも大型の重いウエハでも最適な強さで確実に支持する。【解決手段】複数のウエハを収納支持する容器本体と、容器本体を塞いで内部を密封する蓋体とを備えたウエハ収納容器である。蓋体の内側面に設けられてウエハを１枚ずつ一定間隔を空けて支持する薄板支持部材２１を備えた。薄板支持部材２１は、ウエハの周縁に嵌合してウエハを支持する当接片２２と、当接片２２を弾性的に支持する支持部２３と、支持部２３を並列に複数本一定間隔を空けて一体的に支持して蓋体の内側面側に取り付けられる基端支持棒部２４とを備えた。支持部２３の基端が基端支持棒部２４に一体的に連結され、支持部２３の先端が蓋体の支持台の嵌合部に当接して、当接片２２をその両側から弾性的に支持する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の薄板を収納支持する容器本体と、当該容器本体を塞いで内部を密封する蓋体とを備えた薄板収納容器において、
上記蓋体の内側面に設けられて上記薄板を１枚ずつ一定間隔を空けて支持する薄板支持部材を備え、
当該薄板支持部材が、上記薄板の周縁に嵌合して薄板を支持する当接片と、当該当接片を弾性的に支持する支持部と、当該支持部を並列に複数本一定間隔を空けて一体的に支持して上記蓋体の内側面側に取り付けられる基端支持棒部とを備え、
上記支持部の基端が上記基端支持棒部に一体的に連結されると共に、上記当接片が上記支持部の途中に設けられ、上記支持部の先端が上記蓋体の内側面側に当接して上記当接片をその両側から弾性的に支持することを特徴とする薄板収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載の薄板収納容器において、
上記支持部の基端側が長く成形されると共に先端側が短く成形されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の薄板収納容器において、
上記支持部が、上記当接片の両側で容器本体内の薄板側へ隆起させて成形されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記蓋体の内側面に、上記支持部の先端側を支持する支持台を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項５】
請求項４に記載の薄板収納容器において、
上記支持台に、上記支持部の先端側が嵌合して支持される嵌合部を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項６】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記支持部の先端側に、上記蓋体の内側面に当接して上記当接片を先端側から弾性的に支持する支持台部を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記薄板支持部材を２つ互いに向き合わせて取り付けられ、
各薄板支持部材の当接片が交互に組み合って一列に並び、上記薄板を１枚ずつ一定間隔を空けて支持することを特徴とする薄板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、容器本体内に収納された複数の薄板を確実に支持することができる薄板収納容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
薄板収納容器としては、半導体シリコンウエハを内部に複数枚収納して保管したり移送したりする容器が一般的に知られている。このようなウエハ収納容器では、収納される複数のウエハを互いに接触しないように一定間隔を空けて支持する必要がある。このため、容器本体内に、ウエハを一定間隔を空けて支持する支持部材が設けられていると共に、蓋体の内側面にも支持部材が設けられている。
【０００３】
この蓋体の支持部材の一例を図２に示す。
【０００４】
図中の１は上部カバーである。上部カバー１の内側面（下側面）にはウエハ３を上側から支持する支持部材としてのウエハ押え２が設けられている。上部カバー１の下側には、容器本体（図示せず）内に収納されたウエハ３が位置している。
【０００５】
ウエハ押え２は、左右から交互に延びた支持腕部４を備えている。この支持腕部４は、その基端が上部カバー１側に固定され、その先端がウエハ３側へ延出されている。そして、支持腕部４の先端のホールドダウン部材５がウエハ３の周縁部に嵌合して、ウエハ３を１枚ずつ一定間隔を空けて支持するようになっている。
【０００６】
【特許文献１】
特表平４−５０５２６３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記構成の薄板収納容器では、ウエハ押え２の支持腕部４が、その基端を上部カバー１側に固定されて先端を自由端にした片持ち状態になっているため、支持腕部４は比較的弱い力でウエハ３を支持することになり、ウエハ３を強く支持することは難しい。このため、大径で質量の大きいウエハ３を支持する場合は、ウエハ３を確実に支持することは難しく、ウエハ３が容器内でぐらついてしまうという問題がある。
【０００８】
また、片持ちのウエハ押え２の場合、その先端のホールドダウン部材５が基端部を中心にして回動するため、ウエハ３がずれると、ウエハ押え２の先端のホールドダウン部材５とウエハ３の周縁との間で摩擦が生じて、塵埃等が発生してしまうという問題点がある。
【０００９】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、収納された薄板を確実に支持すると共に、塵埃等の発生を押さえる薄板収納容器を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために第１の発明に係る薄板収納容器は、内部が清浄に保たれた状態で複数の薄板を収納支持する容器本体と、当該容器本体を塞いで内部を密封する蓋体とを備えた薄板収納容器において、上記蓋体の内側面に設けられて上記薄板を１枚ずつ一定間隔を空けて支持する薄板支持部材を備え、当該薄板支持部材が、上記薄板の周縁に嵌合して薄板を支持する当接片と、当該当接片を弾性的に支持する支持部と、当該支持部を並列に複数本一定間隔を空けて一体的に支持して上記蓋体の内側面側に取り付けられる基端支持棒部とを備え、上記支持部の基端が上記基端支持棒部に一体的に連結されると共に、上記当接片が上記支持部の途中に設けられ、上記支持部の先端が上記蓋体の内側面側に当接して上記当接片をその両側から弾性的に支持することを特徴とする。
【００１１】
上記構成により、支持部が当接片をその両側から弾性的に支持するため、大径で質量の大きい薄板に対しても確実に支持することができる。
【００１２】
第２の発明に係る薄板収納容器は、第１の発明に係る薄板収納容器において、上記支持部の基端側が長く成形されると共に先端側が短く成形されたことを特徴とする。
【００１３】
上記構成により、支持部は、基端支持棒部が蓋体の内側面側に取り付けられて基端部が固定された状態で当接片を支持する。このとき、基端支持棒部から当接片までを長く成形したので、当接片が薄板の周縁に当接する当初においては、支持部が当接片を弱い力で薄板の周縁に押し当てる。そして、支持部のうち当接片の先端側が蓋体の内側面側に当接すると、当接片はその両側から弾性的に支持される。このとき、当接片から先の先端側が短く成形されたので、当接片を強い力で薄板の周縁に押し当てる。支持部は、当接片の両側でその弾性係数はほとんど変わらないが、先端側の方が短いため、強い力で当接片を支持する。
【００１４】
第３の発明に係る薄板収納容器は、第１又は第２の発明に係る薄板収納容器において、上記支持部が、上記当接片の両側で容器本体内の薄板側へ隆起させて成形されたことを特徴とする。
【００１５】
上記構成により、支持部を当接片の両側で容器本体内の薄板側へ隆起させることで、この隆起して斜めになった部分が、強い弾性力を発揮する。
【００１６】
第４の発明に係る薄板収納容器は、第１乃至第３の発明のいずれかに係る薄板収納容器において、上記蓋体の内側面に、上記支持部の先端側を支持する支持台を設けたことを特徴とする。
【００１７】
上記構成により、蓋体の内側面に設けた支持台が支持部の先端側を支持することで、支持部が両側から支持される。これにより、当接片が支持部によって両側から支持される。
【００１８】
第５の発明に係る薄板収納容器は、第４の発明に係る薄板収納容器において、上記支持台に、上記支持部の先端側が嵌合して支持される嵌合部を設けたことを特徴とする。
【００１９】
上記構成により、支持台の嵌合部に支持部の先端側が嵌合することで、支持部の先端側が安定して支持される。これにより、当接片が支持部によって安定して支持される。
【００２０】
第６の発明に係る薄板収納容器は、第１乃至第５の発明のいずれかに係る薄板収納容器において、上記支持部の先端側に、上記蓋体の内側面に当接して上記当接片を先端側から弾性的に支持する支持台部を設けたことを特徴とする。
【００２１】
上記構成により、支持台部が蓋体の内側面に当接することで、当接片を先端側から弾性的に支持する。
【００２２】
第７の発明に係る薄板収納容器は、第１乃至第６の発明のいずれかに係る薄板収納容器において、上記薄板支持部材を２つ互いに向き合わせて取り付けられ、各薄板支持部材の当接片が交互に組み合って一列に並び、上記薄板を１枚ずつ一定間隔を空けて支持することを特徴とする。
【００２３】
上記構成により、多数の薄板を１枚ずつ一定間隔を空けて支持することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００２５】
本実施形態では薄板としての半導体シリコンウエハを収納して輸送する収納容器を例に説明する。
【００２６】
このウエハ収納容器１１は、図３，４に示すように、内部に半導体シリコンウエハ（図示せず）を多数枚収納する容器本体１２と、この容器本体１２内の対向する側壁にそれぞれ設けられ、内部に収納された多数枚の半導体シリコンウエハを一定間隔をおいて平行にその両側から保持するウエハ支持板１３と、容器本体１２の上側開口を気密に塞いで内部を清浄に保つ蓋体１４とから構成されている。
【００２７】
容器本体１２の上端部には、蓋体１４が嵌合するための蓋体受け部１５が設けられている。この蓋体受け部１５は容器本体１２の上端部を、蓋体の寸法まで広げて形成されている。蓋体１４と蓋体受け部１５の間には、蓋体１４を容器本体１２側に固定するための種々の固定手段（図示せず）が設けられる。
【００２８】
なお、図３中の１６は製造ライン等に設けられた搬送装置（図示せず）で搬送される際にその腕部で掴まれる搬送用フランジ部である。１７は作業者が手で持って容器本体１２を持ち運んだり、持ち上げて縦にしたり横にしたりするためのハンドル１７である。
【００２９】
蓋体１４の内側面（図４中の上側面）には薄板支持部材２１が設けられている。この薄板支持部材２１は、容器本体１２に収納された半導体シリコンウエハをその上側から１枚ずつ一定間隔を空けて支持するための部材である。この薄板支持部材２１を、図１及び図４から図８に基づいて説明する。
【００３０】
薄板支持部材２１は主に、半導体シリコンウエハの周縁に嵌合して半導体シリコンウエハを支持する当接片２２と、当接片２２を弾性的に支持する支持部２３と、支持部２３を並列に複数本一定間隔を空けて一体的に支持して蓋体１４の内側面側（図４中の上側面側）に取り付けられる基端支持棒部２４とから構成されている。
【００３１】
当接片２２の半導体シリコンウエハに対向する面には嵌合溝２６が設けられている。この嵌合溝２６は、半導体シリコンウエハの周縁に嵌合して半導体シリコンウエハを支持するための部分である。当接片２２の両側には支持部２３が一体的に設けられている。
【００３２】
支持部２３は、当接片２２と一体的に成形されて当接片２２を支持するための部材である。支持部２３は、弾性を有する合成樹脂で棒状に成形されて、当接片２２を弾性的に支持する。当接片２２は支持部２３の途中に設けられている。これにより、支持部２３は当接片２２を境にして基端支持部２３Ａと先端支持部２３Ｂに分かれている。基端支持部２３Ａは、当接片２２と基端支持棒部２４に一体的に成形されて、基端支持棒部２４に支持された状態で当接片２２を支持する。先端支持部２３Ｂは、その基端が当接片２２と一体的に成形されている。先端支持部２３Ｂの先端には当て板部２５が形成されている。当て板部２５は、後述する支持台３２の嵌合部３２Ａに嵌合して（図８の状態）、先端支持部２３Ｂを支持する。これにより、当接片２２は、基端支持部２３Ａ及び先端支持部２３Ｂによって両側から弾性的に支持されている。
【００３３】
基端支持部２３Ａは長く成形され、先端支持部２３Ｂは短く成形されている。基端支持部２３Ａを長く成形することで、当接片２２が半導体シリコンウエハの周縁に当接する当初において、基端支持部２３Ａが当接片２２を弱い力で半導体シリコンウエハの周縁に押し当てる。また、先端支持部２３Ｂを短く成形することで、その先端の当て板部２５が蓋体１４の内側面側に当接して、当接片２２を強い力で支持する。これにより、当接片２２を強い力で半導体シリコンウエハの周縁に押し当てることができる。
【００３４】
先端支持部２３Ｂは、支持台３２の嵌合部３２Ａとの間に一定の隙間を設ける場合と、隙間を設けない場合とがある。隙間を設ける場合は、当接片２２が半導体シリコンウエハの周縁に当接した状態で、当接片２２が基端支持部２３Ａだけで片側から支持され、半導体シリコンウエハを弱い力で支持する。そして、ウエハ収納容器１１が揺すられる等の外力によって半導体シリコンウエハが大きく揺れると、当接片２２が押されて、先端支持部２３Ｂが支持台３２の嵌合部３２Ａに接触して、半導体シリコンウエハを両側から強い力で弾性的に支持することになる。隙間を設けない場合は、最初から半導体シリコンウエハを強い力で支持することになる。
【００３５】
支持部２３のうち当接片２２の両側部は、当接片２２を容器本体１２内の半導体シリコンウエハ側へ隆起させるように成形されている。支持部２３のうち、隆起によって斜めになった部分で弾性力を強めている。
【００３６】
基端支持棒部２４は、各支持部２３を一定間隔を保った状態で平行に支持するための部材である。この基端支持棒部２４は、各支持部２３を支持すると共に、後述する支持溝３４に嵌合して、蓋体１４の内側面に固定されるようになっている。
【００３７】
蓋体１４の内側面には帯状突起３１が設けられている。この帯状突起３１は、支持部２３の先端を支持するための部材である。帯状突起３１は、支持台３２と支持凹部３３とが交互に配設されて構成されている。帯状突起３１は、蓋体１４の内側面に平行に２つ設けられている。これは、対向して２つ設けられる薄板支持部材２１の各当て板部２５をそれぞれ支持するためである。各帯状突起３１の支持台３２と支持凹部３３は互いにずらして設けられている。即ち、支持台３２と支持凹部３３とが互いに対向するように配設されている。
【００３８】
帯状突起３１の支持台３２は、支持部２３の先端の当て板部２５を支持するための部材である。支持台３２には嵌合部３２Ａが設けられている。この嵌合部３２Ａは、支持部２３の先端の当て板部２５を嵌合して支持するための部分である。嵌合部３２Ａは、当て板部２５が嵌合する凹状に形成されて、左右へのズレも支持している。
【００３９】
支持凹部３３は、基端支持部２３Ａを通して支持するための部分である。支持凹部３３は、支持台３２に比べて低く形成されている。支持凹部３３の高さは支持部２３の使用態様に応じて適宜設定される。半導体シリコンウエハを強い力で支持したいときは、支持台３２と支持凹部３３とで支持する。このため、支持凹部３３を、基端支持部２３Ａが当接できる程度の高さに設定する。半導体シリコンウエハをあまり強くない力で支持したいときは、基端支持棒部２４と支持台３２とで支持する。このため、支持凹部３３は、基端支持部２３Ａが接触しないように低く設定する。
【００４０】
２つの帯状突起３１の外側には、薄板支持部材２１の基端支持棒部２４を嵌合して支持するための支持溝３４が設けられている。支持溝３４は、基端支持棒部２４が嵌合できる寸法の溝状に形成されている。この２つの支持溝３４に２つの互いに対向した薄板支持部材２１の基端支持棒部２４がそれぞれ嵌合することで、各薄板支持部材２１の当接片２２が交互に組み合って一列に並び、半導体シリコンウエハを１枚ずつ一定間隔を空けて支持するようになっている。２つの薄板支持部材２１は全く同じ構造で、互いに対向して配設される。
【００４１】
［動作］
以上のように構成された薄板収納容器は、次のようにして使用される。
【００４２】
まず、容器本体１２内に複数の半導体シリコンウエハが収納される。このとき、各半導体シリコンウエハは、ウエハ支持板１３によって一定間隔を空けた状態で支持される。
【００４３】
この状態で、容器本体１２の蓋体受け部１５に蓋体１４が取り付けられる。これにより、各薄板支持部材２１の当接片２２が各半導体シリコンウエハに嵌合して支持する。
【００４４】
当接片２２が嵌合した状態で、蓋体１４が蓋体受け部１５内に深くはめ込まれると、当接片２２が蓋体１４の内側面側へ押し上げられる。これにより、支持溝３４に固定された基端支持棒部２４に支持された基端支持部２３Ａで比較的弱き力によって当接片２２を支持して各半導体シリコンウエハを支持する。または、支持部２３の当て板部２５が支持台３２の嵌合部３２Ａに嵌合して当接片２２をその両側から支持して、強い力で各半導体シリコンウエハを支持する。または、基端支持部２３Ａが支持凹部３３に当接して、対向する支持台３２と支持凹部３３とで当接片２２を支持する。即ち、対向する支持台３２と支持凹部３３とで直接的に支持部２３を支持して、間接的に当接片２２を支持する。これにより、さらに強い力で各半導体シリコンウエハを支持する。
【００４５】
［効果］
以上により、小型の軽い半導体シリコンウエハでも、大型の重い半導体シリコンウエハでも、最適な強さで確実に支持することができるようになる。
【００４６】
また、接触部分での摩擦がほとんど発生せず、塵埃等の発生を抑えることができる。
【００４７】
薄板支持部材２１は、互いに対向して各当接片２２が交互に配設されるようになっているため、１つの薄板支持部材２１の各当接片２２及び支持部２３の間隔が広く取れるため、金型による成形が容易になる。金型自体も、あまり複雑にならないため、安価に製造することができる。これにより、薄板支持部材２１の製造コストを低く抑えることができる。
【００４８】
［変形例］
（１）  上記実施形態では、薄板支持部材２１を互いに対向して２つ設けたが、収納する半導体シリコンウエハの枚数に応じて１つだけ設けたり、３つ以上設けたりしてもよい。この場合も、上記同様の作用、効果を奏することができる。
【００４９】
（２）  上記実施形態では、蓋体１４の内側面に支持台３２を設けて支持部２３の先端側を支持するようにしたが、図９に示すように、支持部２３の先端の当て板部２５に支持台部４１を直接取り付けてもよい。また、図１０に示すように、先端支持部２３Ｂの部分を蓋体１４の内側面まで延ばして支持片４２としてもよい。この場合も、上記同様の作用、効果を奏することができる。
【００５０】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の薄板収納容器によれば次のような効果を奏する。
【００５１】
小型の軽い薄板でも、大型の重い薄板でも、最適な強さで確実に支持することができるようになる。
【００５２】
接触部分での摩擦がほとんど発生せず、塵埃等の発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る薄板収納容器の薄板支持部材を上側から示す斜視図である。
【図２】従来の薄板支持部材を示す要部断面図である。
【図３】本発明に係る薄板収納容器の容器本体を示す斜視図である。
【図４】本発明に係る薄板収納容器の蓋体を示す斜視図である。
【図５】本発明に係る薄板収納容器の薄板支持部材を下側から示す斜視図である。
【図６】本発明に係る薄板収納容器の薄板支持部材を示す側面図である。
【図７】本発明に係る薄板収納容器の蓋体の帯状突起を示す斜視図である。
【図８】本発明に係る薄板収納容器の薄板支持部材を示す斜視図である。
【図９】第１変形例示す側面図である。
【図１０】第２変形例示す側面図である。
【符号の説明】
１１：ウエハ収納容器、１２：容器本体、１３：ウエハ支持板、１４：蓋体、１５：蓋体受け部、２１：薄板支持部材、２２：当接片、２３：支持部、２４：基端支持棒部、２５：当て板部、２６：嵌合溝、３１：帯状突起、３２：支持台、３３：支持凹部、３４：支持溝。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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