(57)【要約】【課題】　樹脂と搬送テープとの密着性が良く、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂硬化方法を提供すること。【解決手段】　この樹脂硬化方法は、筐体（１）と気密性を有する炉体（２）とを有してなり、炉体（２）を通る搬送テープ（３）にはボンディングされた素子（４）を封止する樹脂（５）が塗布されている。この炉体（２）内に、搬送テープ（３）を反転させる複数個のキュアガイド（６、７）と、樹脂（５）を加熱硬化させる複数個の発熱体（８、９、１０）と、発熱体（８、９、１０）により加熱される複数個の熱板（１１、１２、１３）と、搬送テープ（３）の裏面側を加熱させる反射板（１４）とを配設している。それにより、樹脂（５）を加熱硬化させている。【選択図】　図１
2004098063.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　本発明は、筐体（１）と気密性を有する炉体（２）とを有してなり、前記炉体（２）を通る搬送テープ（３）にはボンディングされた素子（４）を封止する樹脂（５）が塗布されており、前記炉体（２）内に、前記搬送テープ（３）を反転させる複数個のキュアガイド（６、７）と、前記樹脂（５）を加熱硬化させる複数個の発熱体（８、９、１０）と、前記発熱体（８、９、１０）により加熱される複数個の熱板（１１、１２、１３）と、前記搬送テープ（３）の裏面側を加熱させる反射板（１４）とを配設し、前記樹脂（５）を加熱硬化させることを特徴とする樹脂硬化方法。
【請求項２】
　前記熱板（１１、１２、１３）を前記搬送テープ（３）と前記発熱体（８、９、１０）との間に配設させてなることを特徴とする請求項１記載の樹脂硬化方法。
【請求項３】
　加熱硬化の開始段階に、前記反射板（１４）を前記搬送テープ（３）を挟んで前記熱板（１１、１２、１３）と対向する位置に配設させてなることを特徴とする請求項２記載の樹脂硬化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、搬送テープ上の素子を樹脂で封止し、封止された樹脂を加熱硬化させる樹脂硬化方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
　従来の封止された樹脂を加熱硬化させる方法は、搬送テープに封止された樹脂を、発熱体として遠赤外線を用いて直接加熱して硬化させたり、樹脂を温風を用いて直接加熱して硬化させたりして樹脂硬化が行われていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
　しかしながら、従来方法では遠赤外線や温風により樹脂を直接加熱するため、樹脂表面に「焼け」と呼ぶ樹脂の変質が発生したり、樹脂の形状変形が頻繁に発生したりしていた。特に、直接加熱のために樹脂表面が早く硬化し、表面の硬化皮膜により閉じこめられた溶剤が蒸発する際に硬化皮膜を押し上げ、「ふくれ」と呼ぶ品質欠陥が発生したりするという問題点を有していた。また、樹脂の周辺部が加熱によって早く硬化するために、周辺部の樹脂が搬送テープ面まで廻り込めず、搬送テープとの接着が悪く、剥離してしまうという問題点も有していた。
【０００４】
　本発明は、従来方法における問題点を解消するためになされたもので、搬送テープの表面側と裏面側を間接的に均一に加熱して樹脂を硬化させ搬送テープとの密着が良く、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂硬化方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
　本発明による樹脂硬化方法は、筐体と炉体とを有してなり、炉体を通る搬送テープにはボンディングされた素子を封止する樹脂が塗布されており、炉体内に、搬送テープを反転させる複数個のキュアガイドと、樹脂を加熱硬化させる複数個の発熱体と、発熱体による加熱される複数個の熱板と、搬送テープの裏面側を加熱させる反射板とを配設し、樹脂を加熱硬化させたものである。
　そして、上記熱板は、それぞれ搬送テープと発熱体との間に配設されている。
　また、加熱硬化の開始段階では、上記反射板は、搬送テープを挟んで熱板と対向する位置に配設されている。
【０００６】
　このように構成すると、搬送テープの走行上に、熱板を搬送テープと発熱体との間に配設させたことにより、発熱体の熱は熱板をとおして間接的に樹脂面を均一に加熱するので、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂硬化ができる。
　また、加熱硬化の開始段階に、反射板を搬送テープを挟んで熱板と対向する位置に配設させることにより、熱板の熱が反射板により輻射され搬送テープの裏面側を間接的に加熱するので、搬送テープへの樹脂周辺部の廻り込みを容易にし、搬送テープと樹脂との密着性を高めることができる。
【発明の効果】
【０００７】
　本発明によれば、反射板を利用して搬送テープを間接的に加熱して樹脂を硬化させるため、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂硬化方法を得ることができる。
　また、本発明による樹脂硬化方法によれば、熱板を搬送テープと発熱体との間に配設させると共に、加熱硬化の開始段階に、反射板を搬送テープを挟んで熱板と対向する位置に配設させたことにより、搬送テープの表面側と裏面側が間接的に均一加熱され、「焼け」、「ふくれ」、形状変形もなく樹脂を硬化させることができると共に、搬送テープ面への樹脂周辺部の廻り込みを容易にし、搬送テープと樹脂との密着性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
　本発明による実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明による実施の形態を示す筐体と炉体の断面図である。図２は、本発明の実施の形態を示す図１のＡ−Ａ拡大断面図である。
【０００９】
　図において、１は筐体、２は筐体１上に設けられている炉体、３は搬送テープで、素子４がボンディングされ、樹脂５により封止されている。６、７は、炉体内で搬送テープ３を反転させるためのキュアガイド、８、９は、搬送テープ３とキュアガイド６で反転された搬送テープ３との間に設けられている加熱硬化手段の一部となる発熱体、１０は、キュアガイド７で反転された搬送テープ３の上方に設けられている加熱硬化手段の一部となる発熱体である。
【００１０】
　１１は、搬送テープ３と発熱体８との間に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる熱板、１２は搬送テープ３と発熱体９との間に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる熱板、１３は、搬送テープ３と発熱体１０との間に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる熱板、１４は、搬送テープ３を挟んで熱板１１と対向する位置に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる反射板である。
【００１１】
　搬送テープ３は、テープ入口１５から供給され、キュアガイド６と７により反転させられてテープ出口１６から排出される。テープ入口１５から供給された搬送テープ３は、キュアガイド６で反転されるまでの加熱開始段階において、次のように加熱される。
【００１２】
　すなわち、素子４を封止した樹脂５は、遠赤外線等の発熱体８により加熱された熱板１１により間接的に加熱されると共に、熱板１１と対向する位置に配設された反射板１４により熱板１１の熱が輻射され搬送テープ３の裏面側を間接的に加熱する。この結果、搬送テープ３の表面側と裏面側が均一に加熱される。これにより、樹脂５は、熱板１１により間接的に加熱されるために、「焼け」、「ふくれ」、形状変形もなく樹脂を硬化させることができる。また、搬送テープ３面への樹脂５の廻り込みを容易にし、搬送テープ３と樹脂５の周辺部との密着性が高められ、搬送テープ３に樹脂５を密着させることができる。
【００１３】
　キュアガイド７で反転されるまでの加熱中間段階において、搬送テープ３は発熱体９により加熱された熱板１２により間接的に加熱される。これにより、樹脂５の硬化が促進される。キュアガイド７で反転されてテープ出口１６までの加熱最終段階において、搬送テープ３は発熱体１０により加熱された熱板１３により間接的に加熱される。これにより、樹脂５の硬化が更に促進される。また、炉体２は、気密性を保つようになっているので、筐体１に設けられた導入口１７から窒素ガス等を導入し、炉体２に設けられた排出口１８から排出するようにすれば、炉体２内を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の安定化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明による実施の形態を示す筐体と炉体の断面図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す図１のＡ−Ａ拡大断面図である。
【符号の説明】
【００１５】
１　筐体
２　炉体
３　搬送テープ
４　素子
５　樹脂
６，７　キュアガイド
８，９，１０　発熱体（加熱硬化手段の一部）
１１，１２，１３　熱板（加熱硬化手段の一部であり間接加熱手段）
１４　反射板（加熱硬化手段の一部であり間接加熱手段）
１５　テープ入口
１６　テープ出口
１７　導入口
１８　排出口
【図１】
2004098063.tif 000003
【図２】
2004098063.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月5日(2003.11.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープを炉体内に送入するテープ入口と、上記炉体内に配設された加熱機構と、上記搬送テープの送り方向を反転させる反転機構と、上記搬送テープを上記炉体外へ送出するテープ出口を有する樹脂硬化装置において、
　上記炉体内の雰囲気を上記炉体に設けられた排出口から上記炉体外へ排出することを特徴とする樹脂硬化装置。
【請求項２】
素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープを炉体内に送入するテープ入口と、上記炉体内に配設された加熱機構と、上記搬送テープを上記炉体外へ送出するテープ出口を有する樹脂硬化装置において、
　上記炉体内の雰囲気を上記炉体に設けられた排出口から上記炉体外へ排出することを特徴とする樹脂硬化装置。
【請求項３】
前記排出口は、前記テープ入口の付近に配設されたことを特徴とする請求項１または２記載の樹脂硬化装置。
【請求項４】
前記炉体内に導入された窒素ガスは、上記排出口から上記炉体外へ排出されることを特徴とする請求項１または２記載の樹脂硬化装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、搬送テープ上の素子を樹脂で封止し、封止された樹脂を加熱硬化させる樹脂硬化装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
　従来の封止された樹脂を加熱硬化させる方法は、搬送テープに封止された樹脂を、発熱体として遠赤外線を用いて直接加熱して硬化させたり、樹脂を温風を用いて直接加熱して硬化させたりして樹脂硬化が行われていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
　しかしながら、従来方法では遠赤外線や温風により樹脂を直接加熱するため、樹脂表面に「焼け」と呼ぶ樹脂の変質が発生したり、樹脂の形状変形が頻繁に発生したりしていた。特に、直接加熱のために樹脂表面が早く硬化し、表面の硬化皮膜により閉じこめられた溶剤が蒸発する際に硬化皮膜を押し上げ、「ふくれ」と呼ぶ品質欠陥が発生したりするという問題点を有していた。また、樹脂の周辺部が加熱によって早く硬化するために、周辺部の樹脂が搬送テープ面まで廻り込めず、搬送テープとの接着が悪く、剥離してしまうという問題点も有していた。
【０００４】
　また、搬送テープに塗布されている樹脂は、テープ入口に到達した段階では、加熱されていないため、乾いていない。そのため、かかる樹脂から生じるガスが、炉体の内壁、および炉体の内部で搬送されている搬送テープに付着する等の悪影響を及ぼす場合がある。
【０００５】
　本発明は、従来方法における問題点を解消するためになされたもので、樹脂から生じるガスが炉体の内部に入り込むのを防止することのできる樹脂硬化装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
　本発明による樹脂硬化装置は、素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープを炉体内に送入するテープ入口と、炉体内に配設された加熱機構と、搬送テープを炉体外へ送出するテープ出口を有する樹脂硬化装置において、炉体内の雰囲気を炉体に設けられた排出口から炉体外へ排出することとしたものである。
【０００７】
　また、本発明による他の樹脂硬化装置は、素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープを炉体内に送入するテープ入口と、炉体内に配設された加熱機構と、搬送テープを炉体外へ送出するテープ出口を有する樹脂硬化装置において、炉体内の雰囲気を炉体に設けられた排出口から炉体外へ排出することとしたものである。
【０００８】
　さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、排出口は、テープ入口の付近に配設されたものである。
【０００９】
　また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、炉体内に導入された窒素ガスは、排出口から炉体外へ排出されるものである。
【００１０】
　このように構成すると、加熱機構によって、搬送テープの走行経路において、樹脂硬化が為される。また、炉体に設けられている排出口を介して、炉体内の雰囲気が外部に排出される。
【発明の効果】
【００１１】
　本発明によれば、炉体内の雰囲気が、排出口を介して外部に排出されるため、炉体内でテープに塗布されている樹脂から生じるガスが、外部に排出される。それにより、炉体内でテープに塗布されている樹脂から生じるガスを、外部に排出させることができる。特に、排出口をテープ入口の付近に配設した場合、搬送テープに塗布されている樹脂から生じるガスを、いち早く取り除くことができる。このため、当該ガスが炉体の内部に入り込んで、当該炉体の内部で搬送されている搬送テープに付着したり、炉体の内壁に付着する等の悪影響を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
　本発明による実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明による実施の形態を示す筐体と炉体の断面図である。図２は、本発明の実施の形態を示す図１のＡ−Ａ拡大断面図である。
【００１３】
　図において、１は筐体、２は筐体１上に設けられている炉体、３は搬送テープで、素子４がボンディングされ、樹脂５により封止されている。６、７は、炉体内で搬送テープ３を反転させるためのキュアガイド、８、９は、搬送テープ３とキュアガイド６で反転された搬送テープ３との間に設けられている加熱硬化手段の一部となる発熱体、１０は、キュアガイド７で反転された搬送テープ３の上方に設けられている加熱硬化手段の一部となる発熱体である。
【００１４】
　１１は、搬送テープ３と発熱体８との間に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる熱板、１２は搬送テープ３と発熱体９との間に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる熱板、１３は、搬送テープ３と発熱体１０との間に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる熱板、１４は、搬送テープ３を挟んで熱板１１と対向する位置に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる反射板である。
【００１５】
　搬送テープ３は、テープ入口１５から供給され、キュアガイド６と７により反転させられてテープ出口１６から排出される。テープ入口１５から供給された搬送テープ３は、キュアガイド６で反転されるまでの加熱開始段階において、次のように加熱される。
【００１６】
　すなわち、素子４を封止した樹脂５は、遠赤外線等の発熱体８により加熱された熱板１１により間接的に加熱されると共に、熱板１１と対向する位置に配設された反射板１４により熱板１１の熱が輻射され搬送テープ３の裏面側を間接的に加熱する。この結果、搬送テープ３の表面側と裏面側が均一に加熱される。これにより、樹脂５は、熱板１１により間接的に加熱されるために、「焼け」、「ふくれ」、形状変形もなく樹脂を硬化させることができる。また、搬送テープ３面への樹脂５の廻り込みを容易にし、搬送テープ３と樹脂５の周辺部との密着性が高められ、搬送テープ３に樹脂５を密着させることができる。
【００１７】
　キュアガイド７で反転されるまでの加熱中間段階において、搬送テープ３は発熱体９により加熱された熱板１２により間接的に加熱される。これにより、樹脂５の硬化が促進される。キュアガイド７で反転されてテープ出口１６までの加熱最終段階において、搬送テープ３は発熱体１０により加熱された熱板１３により間接的に加熱される。これにより、樹脂５の硬化が更に促進される。また、炉体２は、気密性を保つようになっているので、筐体１に設けられた導入口１７から窒素ガス等を導入し、炉体２に設けられた排出口１８から排出するようにすれば、炉体２内を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の安定化を図ることができる。
【００１８】
　以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明については、上述の実施の形態に限られず、種々変形可能である。例えば、上述の実施の形態では、導入口１７から窒素ガス等を導入し、排出口１８から排出する構成について説明している。しかしながら、例えば当該導入口１７および排出口１８に接続されるポンプおよび窒素ガス等のガス供給源の接続を変更（逆転）させることにより、図１における導入口１７を排出口として機能させると共に、図１における排出口１８を導入口として機能させることも、可能である。排出口１８を導入口として機能させる場合、図１に示されるように、当該導入口がテープ入口１５の付近に設けられる構成となる。
【００１９】
　それにより、搬送テープ３に塗布されている樹脂５が乾いていない状態のために生じるガスは、当該導入口を介していち早く外部に排出される。そのため、当該ガスが炉体２の内部に入り込んで、当該炉体２の内部で搬送されていて、既に樹脂が乾燥している搬送テープ３に付着したり、炉体２の内壁に付着する等の悪影響を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明による実施の形態を示す筐体と炉体の断面図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す図１のＡ−Ａ拡大断面図である。
【符号の説明】
【００２１】
１　筐体
２　炉体
３　搬送テープ
４　素子
５　樹脂
６，７　キュアガイド
８，９，１０　発熱体（加熱硬化手段の一部）
１１，１２，１３　熱板（加熱硬化手段の一部であり間接加熱手段）
１４　反射板（加熱硬化手段の一部であり間接加熱手段）
１５　テープ入口
１６　テープ出口
１７　導入口
１８　排出口