(57)【要約】【課題】基板への液状物質の滴下動作の良否を当該基板への滴下工程段階でチェックし、作業効率や歩留りを向上すること。【解決手段】液状物質（Ｌ）を基板１上に滴下する液状物質滴下装置１００において、液状物質滴下ディスペンサ２０と、液状物質が所定の滴下位置に滴下されたことを確認する液状物質検出装置３０と、液状物質滴下ディスペンサ２０と基板１を相対的に移動させる移動装置１１と、液状物質検出装置３０と基板１を相対的に移動させる移動装置１１とを備えたもの。【選択図】　図１
2004122086.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状物質を基板に滴下する液状物質滴下装置において、
前記基板上の複数の滴下位置に対して設定された滴下量で液状物質を滴下する液状物質滴下手段と、
この液状物質滴下手段と前記基板とを相対的に移動させる移動手段と、
前記基板上の各滴下位置に滴下された液状物質の実際の滴下量を検出する液状物質検出手段と、
この液状物質検出手段にて検出された前記液状物質の実際の滴下量を積算する積算手段と、
この積算手段で得られた前記基板上に滴下された液状物質の実際の総量と前記基板上に対して滴下される前記液状物質の設定された総量とを比較し、前記実際の総量が前記設定された総量に対して不足していた場合には、前記液状物質滴下手段と前記移動手段を制御して前記不足する量の前記液状物質を前記基板に滴下する制御手段と、
を有することを特徴とする液状物質滴下装置。
【請求項２】
液状物質を基板に滴下する液状物質滴下装置において、
前記基板上の複数の滴下位置に対して設定された滴下量で液状物質を滴下する液状物質滴下手段と、
この液状物質滴下手段と前記基板とを相対的に移動させる移動手段と、
前記基板上の各滴下位置に滴下された液状物質の実際の滴下量を検出する液状物質検出手段と、
この液状物質検出手段にて検出された前記液状物質の実際の滴下量を積算する積算手段と、
前記基板に対して設定された滴下位置の位置情報と前記液状物質検出手段にて検出された各滴下位置に滴下された前記液状物質の実際の滴下量の情報とを記憶する記憶手段と、
前記積算手段で得られた前記基板上に滴下された液状物質の実際の総量と前記基板上に対して滴下される前記液状物質の設定された総量とを比較し、前記実際の総量が前記設定された総量に対して不足していた場合には、前記記憶手段に記憶された情報に基づいて前記液状物質滴下手段と前記移動手段を制御し、前記基板に滴下された各液状物質によって基板面上に作用される荷重の合力が前記基板面上において作用する位置が前記基板における液状物質の滴下領域の中心位置に近づくように不足する量の液状物質を基板上に滴下する制御手段と、
を有することを特徴とする液状物質滴下装置。
【請求項３】
前記制御装置は、前記記憶手段に記憶された情報に基づいて、滴下量が不足している滴下位置に対して、当該滴下位置において不足している量の液状物質を滴下するように前記液状物質滴下手段と前記移動手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の液状物質滴下装置。
【請求項４】
前記液状物質検出手段は、前記液状物質滴下手段が前記基板に液状物質を滴下する毎に前記基板に滴下された液状物質の実際の滴下量を検出し、
前記積算手段は、前記液状物質検出手段が液状物質の実際の滴下量を検出する毎に検出された前記実際の滴下量を積算し、
前記制御装置は、前記基板に対して所定数の前記液状物質を滴下した時点での、前記積算手段によって算出された積算滴下量と予定された滴下量の積算値とを比較し、前記算出された積算滴下量が予定された滴下量の積算値を超過している場合には、超過した液状物質の量に応じて、その後の滴下位置の数、および滴下位置に対する前記液状物質の滴下量の少なくともいずれか一方を減ずるように前記液状物質滴下手段と前記移動手段を制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液状物質滴下装置。
【請求項５】
液状物質を基板上に滴下する液状物質滴下方法において、
基板に対して設定された滴下位置に液状物質を滴下する滴下工程と、
前記滴下位置に滴下された液状物質の実際の滴下量を検出する検出工程と、
前記検出工程で検出された実際の滴下量をその滴下量の前記液状物質が滴下された滴下位置の位置情報とともに記憶する記憶工程と、
前記検出工程で検出された前記実際の滴下量を積算する積算工程と、
前記積算工程で得られた前記基板に滴下された前記液状物質の実際の総量と前記基板に滴下される液状物質の設定された総量とを比較し、前記実際の総量の過不足を判定する第１の判定工程と、
前記判定工程で前記実際の総量の不足が判定されたことを条件に、前記記憶工程で記憶された情報に基づいて、前記実際の滴下量が設定された滴下量に対して不足している滴下位置に、不足している量の液状物質を追加滴下する補正滴下工程と、
を有することを特徴とする液状物質滴下方法。
【請求項６】
前記検出工程は、前記滴下工程にて前記基板に前記液状物質が滴下される毎に実行され、
前記積算工程は、前記検出工程にて前記液状物質の実際の滴下量が検出される毎に実行されるものであり、
さらに、前記基板に対して所定数の前記液状物質を滴下した時点での、前記積算工程で算出された積算滴下量と前記液状物質が滴下された滴下位置に対する予定された滴下量の積算値とを比較し、算出された積算滴下量の過不足を判定する第２の判定工程と、
この第２の判定工程で、前記算出された積算滴下量の超過が判定されたとき、超過した液状物質の量に応じて、その後の滴下位置の数、および各滴下位置に対する前記液状物質の滴下量の少なくともいずれかを減ずる工程と、
を有することを特徴とする請求項５に記載の液状物質滴下方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶等の液状物質滴下装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶を間に介在させた状態で２枚のガラス基板を貼り合わせる基板貼合わせ工程においては、貼り合わせの前段階で、液晶滴下装置を用いて一方のガラス基板の上に必要量の液晶を滴下することが行なわれる。
【０００３】
そして、従来、液晶滴下装置は、基板と液晶滴下ディスペンサとを相対的に移動させ、１枚の基板上に予め設定した滴下パターン、例えば、滴下位置を何行何列に配列し、各滴下位置での滴下量を何ｍｌにするか等により決定されるパターンで液晶を滴下することとしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術では、液晶滴下装置による基板への滴下動作の良否を当該基板への滴下作業中にチェックしていない。このため、液晶滴下装置の滴下量にばらつきを生じた場合、液晶の基板上に滴下すべき滴下量に対する実際の滴下量の過少、過多等に起因する不都合を後工程で発見するものになり、作業効率や歩留りの低下を招く。
【０００５】
本発明の課題は、基板への液状物質の滴下状態の良否を当該基板への滴下工程段階でチェックし、歩留りを向上することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、液状物質を基板に滴下する液状物質滴下装置において、前記基板上の複数の滴下位置に対して設定された滴下量で液状物質を滴下する液状物質滴下手段と、この液状物質滴下手段と前記基板とを相対的に移動させる移動手段と、前記基板上の各滴下位置に滴下された液状物質の実際の滴下量を検出する液状物質検出手段と、この液状物質検出手段にて検出された前記液状物質の実際の滴下量を積算する積算手段と、この積算手段で得られた前記基板上に滴下された液状物質の実際の総量と前記基板上に対して滴下される前記液状物質の設定された総量とを比較し、前記実際の総量が前記設定された総量に対して不足していた場合には、前記液状物質滴下手段と前記移動手段を制御して前記不足する量の前記液状物質を前記基板に滴下する制御手段とを有するようにしたものである。
【０００７】
請求項２の発明は、液状物質を基板に滴下する液状物質滴下装置において、前記基板上の複数の滴下位置に対して設定された滴下量で液状物質を滴下する液状物質滴下手段と、この液状物質滴下手段と前記基板とを相対的に移動させる移動手段と、前記基板上の各滴下位置に滴下された液状物質の実際の滴下量を検出する液状物質検出手段と、この液状物質検出手段にて検出された前記液状物質の実際の滴下量を積算する積算手段と、前記基板に対して設定された滴下位置の位置情報と前記液状物質検出手段にて検出された各滴下位置に滴下された前記液状物質の実際の滴下量の情報とを記憶する記憶手段と、前記積算手段で得られた前記基板上に滴下された液状物質の実際の総量と前記基板上に対して滴下される前記液状物質の設定された総量とを比較し、前記実際の総量が前記設定された総量に対して不足していた場合には、前記記憶手段に記憶された情報に基づいて前記液状物質滴下手段と前記移動手段を制御し、前記基板に滴下された各液状物質によって基板面上に作用される荷重の合力が前記基板面上において作用する位置が前記基板における液状物質の滴下領域の中心位置に近づくように不足する量の液状物質を基板上に滴下する制御手段とを有するようにしたものである。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項２に記載の液状物質滴下装置において、前記制御装置は、前記記憶手段に記憶された情報に基づいて、滴下量が不足している滴下位置に対して、当該滴下位置において不足している量の液状物質を滴下するように前記液状物質滴下手段と前記移動手段を制御するようにしたものである。
【０００９】
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかの液状物質滴下装置において、前記液状物質検出手段は、前記液状物質滴下手段が前記基板に液状物質を滴下する毎に前記基板に滴下された液状物質の実際の滴下量を検出し、前記積算手段は、前記液状物質検出手段が液状物質の実際の滴下量を検出する毎に検出された前記実際の滴下量を積算し、前記制御装置は、前記基板に対して所定数の前記液状物質を滴下した時点での、前記積算手段によって算出された積算滴下量と予定された滴下量の積算値とを比較し、前記算出された積算滴下量が予定された滴下量の積算値を超過している場合には、超過した液状物質の量に応じて、その後の滴下位置の数、および滴下位置に対する前記液状物質の滴下量の少なくともいずれか一方を減ずるように前記液状物質滴下手段と前記移動手段を制御するようにしたものである。
【００１０】
請求項５の発明は、液状物質を基板上に滴下する液状物質滴下方法において、基板に対して設定された滴下位置に液状物質を滴下する滴下工程と、前記滴下位置に滴下された液状物質の実際の滴下量を検出する検出工程と、前記検出工程で検出された実際の滴下量をその滴下量の前記液状物質が滴下された滴下位置の位置情報とともに記憶する記憶工程と、前記検出工程で検出された前記実際の滴下量を積算する積算工程と、前記積算工程で得られた前記基板に滴下された前記液状物質の実際の総量と前記基板に滴下される液状物質の設定された総量とを比較し、前記実際の総量の過不足を判定する第１の判定工程と、前記判定工程で前記実際の総量の不足が判定されたことを条件に、前記記憶工程で記憶された情報に基づいて、前記実際の滴下量が設定された滴下量に対して不足している滴下位置に、不足している量の液状物質を追加滴下する補正滴下工程とを有するようにしたものである。
【００１１】
請求項６の発明は、請求項５に記載の液状物質滴下装置において、前記検出工程は、前記滴下工程にて前記基板に前記液状物質が滴下される毎に実行され、前記積算工程は、前記検出工程にて前記液状物質の実際の滴下量が検出される毎に実行されるものであり、さらに、前記基板に対して所定数の前記液状物質を滴下した時点での、前記積算工程で算出された積算滴下量と前記液状物質が滴下された滴下位置に対する予定された滴下量の積算値とを比較し、算出された積算滴下量の過不足を判定する第２の判定工程と、この第２の判定工程で、前記算出された積算滴下量の超過が判定されたとき、超過した液状物質の量に応じて、その後の滴下位置の数、および各滴下位置に対する前記液状物質の滴下量の少なくともいずれかを減ずる工程とを有するようにしたものである。
【００１２】
【作用】
請求項１〜６の本発明によれば下記▲１▼の作用がある。
▲１▼基板に滴下された液状物質の実際の滴下量を検出し、この実際の滴下量から基板に滴下された液状物質の実際の総量を求め、これを基板に滴下される液状物質の設定された総量と比較し、実際の総量が不足していたときには、不足する量の液状物質を基板に滴下するようにしたので、液状物質の滴下量不足に起因する製品不良が防止でき、歩留りを向上させることができる。
【００１３】
請求項２の発明によれば下記▲２▼の作用がある。
▲２▼基板に滴下された液状物質の実際の総量が基板に滴下される液状物質の設定された総量に対して不足していたときには、記憶した液状物質の滴下位置と液状物質の実際の滴下量の情報に基づいて、前記基板に滴下された各液状物質によって基板面上に作用される荷重の合力が前記基板面上において作用する位置が基板における液状物質の滴下領域の中心位置に近付くように、不足する量の液状物質を基板上に滴下するようにしたので、基板上での液状物質の分布を滴下領域の中心に関してほぼ対称に得ることができ、基板上で液状物質の均一な広がりを得ることができる。
【００１４】
請求項３、５の発明によれば下記▲３▼の作用がある。
▲３▼基板に滴下された液状物質の実際の総量が基板に滴下される液状物質の設定された総量に対して不足していたときには、記憶した液状物質の滴下位置と液状物質の実際の滴下量の情報に基づいて、滴下量が不足する滴下位置に対して、その滴下位置において不足している量の液状物質を滴下するようにしたので、基板上での液状物質の分布を滴下領域の中心に関してほぼ対称に得ることができ、基板上で液状物質の均一な広がりを得ることができる。
【００１５】
請求項４、６の発明によれば下記▲４▼の作用がある。
▲４▼基板に対して所定数の液状物質を滴下した時点での、液状物質の積算滴下量が、液状物質の予定された滴下量の積算値を超過していたときには、その後の滴下位置の数、および滴下位置に対する液状物質の滴下量の少なくともいずれか一方を減ずるようにしたので、基板に滴下された液状物質の実際の総量が設定された総量を超過することによる不良を未然に防ぐことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１は液状物質滴下装置を示す模式図、図２は液状物質滴下装置を示すブロック図、図３は基板への液状物質の滴下パターンを示す模式図、図４は滴下された液状物質の断面積の測定方法を示す模式図、図５は滴下された液状物質の滴下量の測定方法を示す模式図、図６は滴下された液状物質の断面積の測定方法の他の例を示す模式図である。
【００１７】
液状物質滴下装置１００は、図１に示す如く、基板１を搬送する基板搬送ステージ１０と、液状物質滴下ディスペンサ２０（液状物質滴下手段）と、液状物質検出装置３０（液状物質検出手段）とを有し、基板１上に予め定めた所定の滴下パターンで液晶等の液状物質（Ｌ）を滴下する。
【００１８】
基板１への液状物質の滴下パターンは、図３に示す如く、滴下領域内に多数の滴下位置２を何行何列で配列し、各滴下位置２での滴下量（体積又は質量）を例えば０．１０ｍｌにする等で決定する。
【００１９】
基板搬送ステージ１０は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部を備えた移動装置１１を有し、基板１を液状物質滴下ディスペンサ２０と液状物質検出装置３０のそれぞれに対しＸ方向とＹ方向に相対的に移動させる。移動装置１１の各駆動部はサーボモータにより構成される。
【００２０】
液状物質滴下ディスペンサ２０は、基板１上の滴下位置に対し設定された量の液状物質を滴下する。液状物質滴下ディスペンサ２０は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部、Ｚ軸駆動部を備えた移動装置２１を有し、基板搬送ステージ１０上の基板１に対しＸ方向とＹ方向とＺ方向に相対的に移動する。移動装置２１の各駆動部はサーボモータにより構成される。
【００２１】
液状物質検出装置３０は、液状物質が所定位置に滴下されたことを確認する。
この液状物質検出装置３０は、例えば、レーザ光の反射を利用して基板１や液状物質との対向間隔を計測可能な光学的距離センサを有して構成される。
【００２２】
そして、液状物質検出装置３０は、液状物質滴下ディスペンサ２０に対して、移動装置２２を介して、液状物質滴下ディスペンサ２０の周りを回動自在に設けられる。これにより、液状物質検出装置３０は、液状物質滴下ディスペンサ２０による基板１への滴下作業中、その計測位置が、液状物質滴下ディスペンサ２０に関して基板１に対する液状物質滴下ディスペンサ２０の相対移動方向（矢印Ａ方向）の後方側で、かつ相対移動方向において液状物質滴下ディスペンサ２０の吐出口２２とほぼ同一直線上となるように位置付けることが可能とされる。
【００２３】
液状物質滴下装置１００は、図２に示す如く、基板搬送ステージ１０、液状物質滴下ディスペンサ２０、液状物質検出装置３０を制御する制御装置４０を有する。制御装置４０は、マン・マシンインターフェイス４１とメインコントローラ４２を有し、搬送コントローラ４３を介して基板搬送ステージ１０（移動装置１１）を制御し、液状物質吐出コントローラ４４を介して液状物質滴下ディスペンサ２０（移動装置２１）を制御し、液状物質検出コントローラ４５を介して液状物質検出装置３０を制御する。
【００２４】
また、制御装置４０は、液状物質検出装置３０とともに、液状物質滴下ディスペンサ２０から基板１上に滴下された液状物質の滴下量を下記（ａ）〜（ｃ）のいずれかの手法で測定する滴下量測定手段を構成する。
【００２５】
（ａ）滴下された液状物質における中央部を横切る直線に沿って切断した断面積を算出し、この断面積をもとに求めた液状物質の体積から液状物質の滴下量を得る。
【００２６】
すなわち、図５（Ａ）〜（Ｅ）に示すように、液状物質検出装置３０は、基板１に対する液状物質滴下ディスペンサ２０の相対移動方向（矢印Ａ方向）に対する後方側に位置しており、液状物質滴下ディスペンサ２０の矢印Ａ方向への移動によって、基板１上に滴下された液状物質上を通過する。このとき、液状物質検出装置３０は、図４に示すように、予め設定された距離間隔ｄ毎に基板１（液状物質）との対向間隔を計測する。
【００２７】
このときの各計測点Ｐ１、Ｐ２・・・Ｐｎでの測定値から、測定点毎の液状物質の高さｈ１、ｈ２・・・ｈｎを求める。液状物質の高さは、基板１との対向間隔の測定値Ｒ０を基準とすれば、各計測点Ｐ１、Ｐ２・・・Ｐｎでの測定値Ｒ１、Ｒ２・・・Ｒｎを測定値Ｒ０から減算することで容易に求めることができる。求めた特定点Ｐ１、Ｐ２・・・Ｐｎ毎の液状物質の高さｈ１、ｈ２・・・ｈｎと測定点間の距離ｄとに基づいて下記式（１）から液状物質の中央部の断面積Ｓを近似的に算出する。
【００２８】
Ｓ＝Ｑ１＋Ｑ２・・・＋Ｑｎ　　　…（１）
Ｑｉ＝ｈｉ×ｄ　（ｉ＝１〜ｎ）
【００２９】
そして、求めた断面積Ｓと、予め実験等により求めておいた、滴下された液状物質の中央部での断面積と液状物質の体積との相関関係に基づいて滴下された液状物質の体積を近似的に求める。求めた液状物質の体積から滴下量を得る。
【００３０】
（ｂ）滴下された液状物質のほぼ中央を横切る直線と液状物質の端部とが交わる位置ａ、ｂを検出し、この端部位置ａ、ｂ間の距離をもとに求めた液状物質の体積から液状物質の滴下量を得る。
【００３１】
すなわち、液状物質検出装置３０を、基板１の表面との対向間隔以上であればＯＦＦ信号、基板１の表面との対向間隔より少であればＯＮ信号を出力するように設定しておく。そして、図５（Ａ）〜（Ｅ）に示すように、基板１に対する液状物質滴下ディスペンサ２０の相対移動によって、液状物質検出装置３０が基板１上に滴下された液状物質の上を通過する間、液状物質検出装置３０にて連続的に基板１（液状物質）との対向間隔を計測し、液状物質検出装置３０の出力がＯＦＦからＯＮに転じるタイミング（図５（Ｂ））、ＯＮからＯＦＦに転じるタイミング（図５（Ｄ））、およびそれぞれのタイミングでの液状物質検出装置３０と基板１との相対位置に基づいて、液状物質の端部位置ａ、ｂを求める。
【００３２】
そして、求めた端部位置ａ、ｂ間の距離と、予め実験等により求めておいた、滴下された液状物質の端部位置ａ、ｂ間の距離と液状物質の体積との相関関係に基づいて滴下された液状物質の体積を近似的に求める。求めた液状物質の体積から滴下量を得る。
【００３３】
ここで、手法（ａ）によれば、たとえば、環境温度の変化や液状物質の経時的な変化等により液状物質の粘度が変動し、滴下された液状物質の広がり具合が変化した場合であっても、広がり具合の変動に対する断面積の変化量は、液状物質の外形の変化量に比べて小さいことから、端部位置ａ、ｂの間隔に基づいて体積を求める手法（ｂ）に比べて、滴下された液状物質の体積を正確に求めることができ、液状物質の滴下量を正確に求めることができる。
【００３４】
一方、手法（ｂ）によれば、液状物質の２つの端部位置ａ、ｂを検出するだけで良いので、多数の測定点毎に液状物質の高さの計測を必要とする手法（ａ）に比べて制御装置４０の負担の軽減が図れ、液状物質の体積を迅速に求めることが可能となり、液状物質の滴下量を迅速に求めることができる。
【００３５】
これら（ａ）、（ｂ）の手法は、品質重視、生産性重視等の生産計画等の情報から選択することができる。
なお、本実施の形態では、（ａ）の手法を選択した例で説明する。
【００３６】
また、制御装置４０は、液状物質検出装置３０により液状物質が正しく滴下されていないことを検出したときに、下記（Ａ）〜（Ｃ）の補正動作により、基板１上の任意の位置に、任意の滴下量の液状物質を滴下する滴下補正手段を兼用する。
【００３７】
すなわち、制御装置４０は、上述の手法（ａ）を用いて、滴下位置２毎に滴下された液状物質の実際の滴下量を求め、求めた滴下量を積算部（不図示）において積算するとともに、滴下位置毎の滴下量を、記憶部（不図示）に各滴下位置の位置情報と対で記憶する。
【００３８】
基板１に対する液状物質の滴下が完了した時点で、積算部にて積算された液状物質の実際の滴下量の総量（滴下総量）と、予め設定された基板１上に滴下すべき液状物質の滴下量（基準滴下総量）とを制御装置４０の有する比較部（不図示）で比較し、滴下された液状物質の実際の滴下総量が基準滴下総量に達しているか否かを判定する。
【００３９】
実際の滴下総量が基準滴下総量に満たないと判定された場合には、不足分の液状物質を基板１上に滴下する。
【００４０】
具体例としては、例えば、次の（Ａ）〜（Ｃ）のいずれかの手段を用いることが考えられる。
【００４１】
（Ａ）基準滴下総量に対する実際の滴下総量の不足分を予め設定した領域内に滴下する。
【００４２】
基板１上に不足分の液状物質を滴下する領域を予め設定しておき、その領域内に不足分の液状物質をまとめて、或いは分割して滴下する。例えば、この領域としては、基板の中央部や、シール材３に沿う周辺部に設定することができる。
【００４３】
また、この領域は、基板１上に一つだけでも良く、また複数設けても良い。
さらに、記憶部に記憶された滴下位置情報と滴下位置毎の滴下量の情報に基づいて得られる滴下量が過小或いは過多の滴下位置の分布状態から不足分の液状物質を滴下する領域を決定するようにしても良い。この場合、不足分の液状物質を滴下することによって、基板１上に滴下されて分布された各液状物質によって基板１面上に作用される荷重の合力が基板１面上において作用する位置が、基板１上の滴下領域１ａの中心位置に近付くように液状物質を滴下することが考えられる。この場合、例えば、液状物質の滴下量の過小な滴下位置が多く存在する位置に不足分の液状物質を滴下する領域を設定するようにすれば良い。
【００４４】
なおここで、各液状物質によって基板１面上に作用される荷重の合力が基板１面上において作用する位置は、基板１上に滴下された各液状物質の平面視における重心位置（ｃ１、ｃ２、ｃ３、・・・ｃｎ）と各液状物質の重量（ｗ１、ｗ２、ｗ３、・・・ｗｎ）とに基づいて幾何学的な計算手法によって求めることが可能である。
【００４５】
（Ｂ）滴下量が不足する滴下位置２に不足分の液状物質を滴下する。
１滴あたり０．１０ｍｌの液状物質を６０点滴下する滴下パターンの場合であって、記憶部に記憶された各滴下位置２とその滴下位置２での滴下量のデータから、滴下量が０．０５ｍｌの滴下位置２、つまり滴下量が０．０５ｍｌ不足している滴下位置２が１箇所だけ存在していたことが確認された場合、滴下量が不足している滴下位置２と同位置に不足分である０．０５ｍｌの液状物質を滴下する。
【００４６】
なお、滴下量が不足する滴下位置２が複数存在するときには、各滴下位置２に不足分の液状物質を滴下する。
【００４７】
（Ｃ）滴下量が不足する隣接した複数の滴下位置を１つのグループとし、液状物質をまとめて滴下する。
【００４８】
１滴あたり０．１０ｍｌの液状物質を６０点滴下する滴下パターンの場合であって、記憶部に記憶された各滴下位置２とその滴下位置２での滴下量のデータから、図３（Ａ）に示すように、滴下量が０．０５ｍｌの滴下位置２が２箇所（符号ａ、ｂ）隣接して存在していた場合、２つの滴下位置ａ、ｂの中間位置ｃに不足分である０．１０ｍｌの液状物質を滴下する。
【００４９】
また、図３（Ｂ）に示すように、２つの滴下位置ａ、ｂそれぞれの滴下量の不足分が同量ではなく、例えば、一方の滴下位置ａの不足分が０．０４ｍｌ、他方の滴下位置ｂの不足分が０．０８ｍｌで、合計０．１２ｍｌであった場合、不足分の液状物質の滴下位置ｃを、２つの滴下位置ａ、ｂの間で、かつ各滴下位置ａ、ｂまでの距離の比が、不足分の液状物質の体積比の逆数となる位置、つまり、距離ａ−ｃ：距離ｂ−ｃが２：１（０．０８：０．０４）となる位置に設定し、この位置に０．１２ｍｌの液状物質を滴下する。
【００５０】
なお、本実施の形態においては、上述の手段（１）を適用した例で説明する。
液状物質滴下装置１００は以下の如くに動作する。
【００５１】
（１）基板搬送ステージ１０により基板１を滴下開始位置に位置付ける。基板１は滴下領域の周囲にシール材３を塗布されている。
【００５２】
（２）液状物質滴下ディスペンサ２０を滴下開始位置に位置付ける。
（３）液状物質滴下ディスペンサ２０の液状物質吐出口に対し、基板１に定めた滴下パターンの各滴下位置を順に位置付けるように、移動装置１１により基板搬送ステージ１０を移動する。液状物質滴下ディスペンサ２０の液状物質吐出口から基板１の各滴下位置に液状物質を滴下する。つまり、制御装置４０は、移動装置１１の各駆動部を構成するサーボモータのエンコーダの出力値、および液状物質滴下ディスペンサ２０の移動装置の各駆動部を構成するサーボモータの出力値から基板１と液状物質滴下ディスペンサ２０との相対的な位置を検出しており、この位置情報と予め設定されている基板１上の滴下位置２の位置情報とに基づいて、各滴下位置２に液状物質滴下ディスペンサ２０が位置付けられるタイミングで液状物質滴下ディスペンサ２０に吐出指令を出力するのである。
【００５３】
（４）基板１に対する液状物質滴下ディスペンサ２０の相対移動方向に関して後方側に配置された液状物質検出装置３０は、上述（３）の滴下作業中、液状物質滴下ディスペンサ２０が液状物質を基板１上の所定の滴下位置２に滴下を完了してから次の滴下位置２に移動する間に、所定の滴下位置２に滴下された液状物質上を通過する。このとき、液状物質検出装置３０は、基板１或いは液状物質との対向間隔に応じた計測値を出力する。そして、制御装置４０は、液状物質検出装置３０の計測値に基づいて、上述の手法（ａ）により、液状物質の実際の滴下量を求め、求めた滴下量を記憶部に滴下位置の位置情報と対で記憶する。また同時に、積算部において各滴下位置の実際の滴下量を積算する。
【００５４】
なお、液状物質検出装置３０は、液状物質滴下ディスペンサ２０による滴下作業中、設定された間隔毎に基板１との対向間隔を常時計測するものでも、液状物質検出装置３０が滴下された液状物質上を通過する期間中とその前後の所定期間で対向間隔を計測するものでも、いずれでも良い。
【００５５】
（５）基板１の全ての滴下位置に対して液状物質の滴下が完了した後、比較部により、積算部にて積算された液状物質の実際の滴下総量と基準滴下総量とを比較する。
【００５６】
この比較の結果、実際の滴下総量が基準滴下総量の許容範囲内であれば、後工程、例えば、基板１の貼合わせ工程へ基板１を搬送する。
【００５７】
また、実際の滴下総量が基準滴下総量の許容範囲に満たない場合には、上述の手段（Ａ）にて、基板１上の予め設定された領域に不足分の液状物質を滴下する。
【００５８】
また、実際の滴下総量が基準滴下総量の許容範囲を超えていた場合、後工程の基板１の貼合わせ時に、貼り合わされた２枚の基板間から液状物質が溢れ出る不具合が発生するおそれがあるため、警報等によりその旨を作業者に報知し、基板１の取り除きを促す。
【００５９】
本実施の形態によれば以下の作用がある。
▲１▼基板１への液状物質の滴下工程段階で、各滴下位置に滴下された液状物質の実際の滴下量を確認することにより、基板に対する液状物質の滴下総量の過不足を判定することができる。そして、滴下総量が過小であれば、不足する量の液状物質を基板に滴下し、過多であれば、警報を発し、その基板の基板貼り合わせ工程への搬送を阻止する。したがって、液状物質の滴下総量の過小、或いは過多に起因して貼り合わされた基板が不良となることが防止でき、この結果、歩留りを向上させることができる。
【００６０】
▲２▼液状物質滴下ディスペンサ２０と液状物質検出装置３０との移動手段を単一の移動手段２１により共通化した。従って、液状物質滴下装置１００を簡素化できる。
【００６１】
▲３▼液状物質の滴下総量が過小であった場合に、不足分の液状物質を滴下することによって、滴下された各液状物質によって基板１面上に作用される荷重の合力が基板１面上において作用する位置が基板１上の滴下領域１ａの中心位置に近付くように、不足分の液状物質を滴下する領域の位置を記憶部に記憶した滴下位置情報と滴下位置毎の滴下量の情報に基づいて設定すれば、基板貼り合わせ工程において、基板１上での液状物質の均一な広がりを得ることができるので、貼り合わされた基板の製品品質を向上させることができる。
【００６２】
つまり、各液状物質によって基板１面上に作用される荷重の合力が基板１面上において作用する位置が基板１上の滴下領域１ａの中心位置に対して位置ずれしていると言うことは、位置ずれの方向とは反対側において液状物質の滴下量が不足していることを示す。そこで、滴下領域１ａにおいて液状物質が不足している部分に対して不足分の液状物質を滴下することで、基板貼り合わせ工程での液状物質の均一な広がりを得ることができるのである。
【００６３】
なおこれは、手段（Ｂ）および（Ｃ）を用いた場合も同様である。
つまり、手段（Ｂ）においては、液状物質の滴下量が不足している滴下位置２に対してその滴下位置２で不足している量の液状物質を追加滴下することから、結果的に、各滴下位置２に対して設定された量の液状物質が滴下される。この結果、基板貼り合わせ工程で、各滴下位置２で液状物質が過不足なく広がることができるので、基板１上での液状物質の均一な広がりを得ることができるのである。
【００６４】
また、手段（Ｃ）においては、液状物質の滴下量が不足する隣接した複数の滴下位置を１つのグループとして、そのグループ内で不足している量の液状物質を、グループ内の各滴下位置２で不足している液状物質の量に基づいて決定した各滴下位置２に近接する位置に追加滴下することから、基板貼り合わせ工程で、前記グループ内での液状物質の広がり具合の不足を追加滴下した液状物質の広がりで補うことができるので、結果として、基板１上での液状物質の均一な広がりを得ることができるのである。
【００６５】
▲４▼滴下された液状物質の実際の滴下量を測定することにより、液状物質の滴下量の過少、過多を正しく判定できる。
【００６６】
▲５▼液状物質を滴下する工程と、液状物質の実際の滴下量を検出する工程とを並行して行なうことによっても、作業効率を向上できる。
【００６７】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、上記の実施の形態において、基板１の全ての滴下位置に対して液状物質の滴下が完了した後、比較部により液状物質の実際の滴下総量と基準滴下総量とを比較し、この比較の結果、実際の滴下総量が基準滴下総量の許容範囲を超えていた場合に、その旨を作業者に報知するようにした例で説明したが、下記のようにしても良い。
【００６８】
すなわち、制御装置４０は、積算部にて液状物質の実際の滴下量が積算される度に、その積算結果（積算滴下量）と基準積算滴下量、すなわち、滴下済みの滴下位置に予定された滴下量で液状物質が滴下された場合の積算滴下量とを比較する。そして、積算滴下量≦基準積算滴下量の場合には、その後の滴下が予定されている各滴下位置に対して予定された滴下量で継続して液状物質を滴下する。
【００６９】
他方、積算滴下量＞基準積算滴下量の場合には、その後の滴下が予定されている各滴下位置、予定された滴下量等の滴下データの修正を実行する。つまり、このまま予定された滴下位置に予定どおりの滴下量で液状物質を滴下すると、滴下総量が基準滴下総量を上回り、後の貼合わせ工程で液状物質の溢れ出し等の不良が生じると予測される場合には、超過分に相当する量だけ液状物質の滴下量を減らすように、滴下データに修正を加える。
【００７０】
この滴下データの修正は、例えば、下記（ｉ）〜（ｉｉｉ）のいずれか手段を用いて行なうことが考えられる。
【００７１】
（ｉ）液状物質の超過分に相当する量を、液状物質が未滴下の滴下位置の一つの滴下位置に対する滴下量から減じ、その滴下位置に対して減じた滴下量で液状物質を滴下する。
【００７２】
（ｉｉ）液状物質の超過分に相当する量を液状物質が未滴下の滴下位置の数で除算し、その商に相当する量を各滴下位置に対する予定された滴下量から減ずる。
【００７３】
（ｉｉｉ）液状物質が未滴下の滴下位置の数から、液状物質の超過分に相当する量を−の滴下位置に対する予定滴下量で除算した商に応じた数を減らし、残りの数の滴下位置を上記未滴下の滴下位置が配置される領域内に均等に配置する。
【００７４】
このように構成することで、基板１に滴下された液状物質の滴下量（滴下総量）が過多になることによる不良が未然に防止できるので、歩留りをさらに向上させることができる。
【００７５】
なお、上述の手段（ｉｉｉ）において、液状物質の超過分に相当する量を−の滴下位置に対する予定滴下量で除算した商に余りが生じる場合には、この余りに対して上述の手段（ｉ）または（ｉｉ）を適用することができる。
【００７６】
また、上述の変形例において、積算部にて液状物質の実際の滴下量が積算される度に、積算滴下量と基準積算滴下量との比較を行なうように説明したが、滴下作業の序盤から中盤までは、その後の滴下位置に対する滴下量のばらつき等により、滴下データに修正を加えなくとも、積算滴下量の超過分が相殺されることもあるので、滴下位置の残数が少なくなった終盤のみで上記比較を行なうようにしても良い。
【００７７】
また、積算滴下量と基準積算滴下量との比較結果に基づいて滴下データを修正する例で説明したが、例えば、積算滴下量と基準滴下総量とを比較して求めた両者の差分の量と、液状物質が未滴下の滴下位置に対する予定された滴下量の総量とに基づいて、滴下データを修正するようにしても良い。
【００７８】
また、液状物質の滴下量は、体積で求めても、重量で求めても、いずれでも良い。
【００７９】
また、上述の手法（ａ）においては、液状物質の中央部のみの断面積から液状物質の体積を求めたが、液状物質を複数箇所で切断する切断線に沿う断面毎に断面積を求め、この断面積と切断線の間隔に基づいて液状物質の体積を求めるようにしても良い。
【００８０】
例えば、図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、等間隔で設定した７つの切断線Ｌ１〜Ｌ７毎に、手法（ａ）と同様にして、液状物質の高さを測定し、切断線Ｌ１〜Ｌ７毎に液状物質の断面積Ｓ１〜Ｓ７を求める。そして、求めた断面積と各切断線Ｌ１〜Ｌ７の間隔ｔとに基づく、下記式（２）から、液状物質の体積Ｖを近似的に求める。
【００８１】
Ｖ＝Ｃ１＋Ｃ２＋・・・＋Ｃ７　　　…（２）
ここで、Ｃｉ＝Ｓｉ×ｔ　（ｉ＝１〜７）
【００８２】
なおこの場合、液状物質検出装置３０は、切断線に対応した数に距離センサを設けることが好ましい。
【００８３】
また、上記実施の形態では、液状物質検出装置３０を、光学的距離センサを用いて構成されたものとして説明したが、例えば、ＣＣＤカメラなどの撮像装置を用いるものであっても良い。この場合、ＣＣＤカメラを用いて滴下された液状物質を真上から撮像して得た画像データに基づいて、液状物質の滴下面積（真上から見た面積）を算出し、滴下面積と体積との相関関係とに基づいて、液状物質の体積を近似的に求めることができる。なお、滴下面積と体積との相関関係は、実験等により求めることが可能である。
【００８４】
また、上記実施の形態では、液状物質滴下ディスペンサ２０と液状物質検出装置３０を単一の移動装置２１で移動させる例で説明したが、互いに個別の移動装置を設けても良い。
【００８５】
また、上記実施の形態では、移動装置１１および移動装置２１がともにＸ軸駆動部とＹ軸駆動部を有する例で説明したが、Ｘ軸駆動部とＹ軸駆動部は、双方の移動装置１１、２１で合わせて１つずつ有していれば、基板１に対する液状物質の滴下作業を行なうことが可能である。
【００８６】
また、上記実施の形態では、滴下された液状物質の実際の滴下量を液状物質滴下ディスペンサ２０による滴下作業中に並行して検出する例で説明したが、液状物質滴下ディスペンサ２０による滴下作業が完了した後に、滴下された液状物質の滴下量を検出するようにしてもよい。
【００８７】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、基板への液状物質の滴下状態の良否を当該基板への滴下工程段階でチェックし、歩留りを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は液状物質滴下装置を示す模式図である。
【図２】図２は液状物質滴下装置を示すブロック図である。
【図３】図３は基板への液状物質の滴下パターンを示す模式図である。
【図４】図４は滴下された液状物質の断面積の測定方法を示す模式図である。
【図５】図５は滴下された液状物質の滴下量の測定方法を示す模式図である。
【図６】図６は滴下された液状物質の断面積の測定方法の他の例を示す模式図である。
【符号の説明】
１　基板
２　滴下位置
１０　基板搬送ステージ
１１　移動装置（移動手段）
２０　液状物質滴下ディスペンサ（液状物質滴下手段）
２１　移動装置（移動手段）
３０　液状物質検出装置（液状物質検出手段）
４０　制御装置
１００　液状物質滴下装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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