(57)【要約】【課題】小型で動作信頼性高く手軽構造のＳＱＵＩＤ非破壊検査装置の提供。【解決手段】蓄冷式冷凍機本体２、圧縮機３、高低圧圧力切換え手段６及び高低圧圧力差制御手段７を備えて両者２、３を連結する作業流体配管系統５からなる小型冷凍機１と、筒体９及び非磁性材の蓋１０を有し蓄冷式冷凍機本体２が気密挿入されて内部が真空に保たれる真空容器８と、冷却ステージ４に対し間隔をおいた位置で蓋１０底壁部に至近・対向させて真空容器８内に配設して該容器８に熱絶縁的に支持されるＳＱＵＩＤセンサ１１と、真空容器８内で冷却ステージ４とＳＱＵＩＤセンサ１１との間に介挿し両者４、１１間の熱結合を行わせる非磁性材の伝熱ワイヤ１２と、冷却ステージ４を取巻いて設けた非磁性材の真空維持吸着シート１３と、ＳＱＵＩＤセンサ１１を取囲ませて蓋１０内側に添設した非磁性材の放射シールド膜１４とを含んでなるＳＱＵＩＤ非破壊検査装置。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性材の冷却ステージ（４）を端部に備える蓄冷式冷凍機本体（２）、圧縮機（３）、圧縮作業流体の圧送流と減圧作業流体の還流とに切換える高低圧圧力切換え手段（６）及び温度調節のための作動圧力を制御する高低圧圧力差制御手段（７）を備えて、蓄冷式冷凍機本体（２）と圧縮機（３）を連結する作業流体配管系統（５）からなる小型冷凍機（１）と、
筒体（９）及びこの筒体（９）に気密結合される非磁性材の蓋（１０）を有し、蓄冷式冷凍機本体（２）が筒体（９）内に気密に挿入され、かつ内部が真空に保たれる真空容器（８）と、
冷却ステージ（４）に対し間隔をおいた位置で検出端部としての蓋（１０）底壁部に至近・対向させて真空容器（８）内に配設され、かつ該容器（８）に熱絶縁的に支持されるＳＱＵＩＤセンサ（１１）と、
振動吸収能及び高熱伝達能を有し、真空容器（８）内で冷却ステージ（４）とＳＱＵＩＤセンサ（１１）との間に介挿されて両者（４、１１）間の熱結合を行わせる非磁性材の伝熱ワイヤ（１２）と、
冷却ステージ（４）を取巻いて真空容器（８）内に設けられる非磁性材の真空維持吸着シート（１３）と、
ＳＱＵＩＤセンサ（１１）を取囲ませて蓋（１０）の内側に添設される非磁性材の放射シールド膜（１４）と、を含むことを特徴とするＳＱＵＩＤ非破壊検査装置。
【請求項２】
蓄冷式冷凍機本体（２）がパルス管冷凍機である請求項１記載のＳＱＵＩＤ非破壊検査装置。
【請求項３】
高低圧圧力差制御手段（６）が、圧縮機（３）の高圧配管（２１）と低圧配管（２２）とに亘らせて連結される配管（２４）と、この配管（２４）中に介設される圧力差制御弁（２５）と、冷却ステージ（４）またはＳＱＵＩＤセンサ（１１）の検出温度信号（Ｓ）を圧力差制御弁（２５）にフィードバックして弁開度を調節することにより、ＳＱＵＩＤセンサ（１１）の温度調節が成される弁制御手段（２８）とを含む請求項１または２に記載のＳＱＵＩＤ非破壊検査装置。
【請求項４】
放射シールド膜（１４）が、反射面を片面側にもつ２層膜に形成され、反射面をＳＱＵＩＤセンサ（１１）に対面する内方に向けて蓋（１０）の内側に添設されてなる請求項１、２または３に記載のＳＱＵＩＤ非破壊検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＳＱＵＩＤ非破壊検査装置に関し、更に詳細には、極低温レベルで超伝導状態となるＳＱＵＩＤ（超伝導量子干渉素子：Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ  Ｑｕａｎｔｕｍ  Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ  Ｄｅｖｉｃｅ）を利用して非磁性体の被検査体からの僅かな漏洩磁束密度を測定して、被検査体の内部に生じる傷やクラックなどの欠陥を非破壊的に検査するのに適したＳＱＵＩＤ非破壊検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
非破壊検査としては、超音波探傷試験や放射線透過試験などがあるが、超伝導ＳＱＵＩＤをセンサとして用いる装置が提案されている（例えば、「ＳＱＵＩＤを用いた非破壊評価」葛西直子論、「低温工学  Ｖｏｌ．３１  Ｎｏ．２（１９９６）」）。
この場合の超伝導体の一つの応用としてのＳＱＵＩＤは非常に微弱な磁場を計測することが出来る。即ち、ＳＱＵＩＤを使用して微弱磁場の変化や変動を計測することにより材料の欠陥や割れを検出することで非破壊検査が可能である。
【０００３】
これまでのＳＱＵＩＤ非破壊検査装置は、ＳＱＵＩＤの冷却手段として液体窒素（７７Ｋ）または液体ヘリウム（４．２Ｋ）などの低温冷媒を用いている。この場合、低温冷媒は室温部からの熱侵入により徐々に蒸発するため、定期的に低温冷媒を補充する必要がある。
【０００４】
従来は、ＳＱＵＩＤ非破壊検査装置のＳＱＵＩＤを冷却する手段に小型冷凍機を用いたものが多くある（例えば、特許文献１参照）。
また、小型冷凍機の振動がＳＱＵＩＤに入らないようにするため、小型冷凍機を予冷系としたＪＴ冷凍機で冷却する方法を提案したものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
一方、別の例として、冷却手段として液体窒素（７７Ｋ）または液体ヘリウム（４．２Ｋ）などの低温冷媒を用いるが、熱侵入を小型冷凍機で防止し、低温冷媒の蒸発を減らして補充間隔を長くする例として発明されたものがある（例えば、特許文献３，４参照）。
さらに、低温冷媒の蒸発ガスを再液化して補充の手間を無くした例として提案された発明もある（例えば、特許文献５，６参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平６−１１５５４号公報（第３頁段落番号［００１１］、図１）
【特許文献２】
特開平２−３０２６８０号公報（第４頁左上欄第５行〜右上欄第１５行、第２図）
【特許文献３】
特開２００１−６６３５４号公報（第４頁［００２１］〜［００２３］、図１）
【特許文献４】
特開２００２−２３２０２９号公報（第４頁［００１６］〜第５頁［００２４］、図１）
【特許文献５】
特許第３０８４０４６号公報（第３頁左欄第８行〜右欄第２６行、第１図）
【特許文献６】
特開平５−２９７０９２号公報（第３頁［０００８］〜［００１０］、図１）
【０００７】
特許文献１の先行技術では小型冷凍機の振動がＳＱＵＩＤに直接伝達することから、大きな検査ノイズを生じる問題があった。また、特許文献２の先行技術でも小型冷凍機から伝達する振動の影響は矢張り避けられなかった。
一方、特許文献３，４の例では、補充間隔を長くし得るが依然として補充の手間を解消することはできなく、また、特許文献５，６の例では、補充の手間を解消できるが、装置が大掛かりとなり、手軽に利用し得ない問題がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来の各特許文献に記載の先行技術では、それぞれ実用面での問題点を抱えている事実に鑑みて本発明は成されたものであり、従って、本発明の目的は、ＳＱＵＩＤを直接冷却する手段として低温冷媒（極低温の液化ガス）を用いないようにし、さらに、小型冷凍機からの振動をＳＱＵＩＤセンサに伝達させず、かつＳＱＵＩＤセンサへの磁気ノイズを低減できる構成と成すことによって、小型で動作信頼性が高くしかも手軽な構造のＳＱＵＩＤ非破壊検査装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するためとして本発明に係るＳＱＵＩＤ非破壊検査装置は以下に述べる構成を備える。
即ち、請求項１に記載の発明は、非磁性材の冷却ステージ４を端部に備える蓄冷式冷凍機本体２、圧縮機３、圧縮作業流体の圧送流と減圧作業流体の還流とに切換える高低圧圧力切換え手段６及び温度調節のための作動圧力を制御する高低圧圧力差制御手段７を備えて、蓄冷式冷凍機本体２と圧縮機３を連結する作業流体配管系統５からなる小型冷凍機１と、筒体９及びこの筒体９に気密結合される非磁性材の蓋１０を有し、蓄冷式冷凍機本体２が筒体９内に気密に挿入され、かつ内部が真空に保たれる真空容器８と、冷却ステージ４に対し間隔をおいた位置で検出端部としての蓋１０底壁部に至近・対向させて真空容器８内に配設され、かつ該容器８に熱絶縁的に支持されるＳＱＵＩＤセンサ１１と、振動吸収能及び高熱伝達能を有し、真空容器８内で冷却ステージ４とＳＱＵＩＤセンサ１１との間に介挿されて両者４、１１間の熱結合を行わせる非磁性材の伝熱ワイヤ１２と、冷却ステージ４を取巻いて真空容器８内に設けられる非磁性材の真空維持吸着シート１３と、ＳＱＵＩＤセンサ１１を取囲ませて蓋１０の内側に添設される非磁性材の放射シールド膜１４と、を含むことを特徴とするＳＱＵＩＤ非破壊検査装置である。
【００１０】
また、上記の課題を解決するためとして請求項２に記載の発明は、上記の請求項１記載のＳＱＵＩＤ非破壊検査装置において、蓄冷式冷凍機本体２がパルス管冷凍機である構成を特徴とする。
【００１１】
また、上記の課題を解決するためとして請求項３に記載の発明は、上記の請求項１または２に記載のＳＱＵＩＤ非破壊検査装置において、高低圧圧力差制御手段６が、圧縮機３の高圧配管２１と低圧配管２２とに亘らせて連結される配管２４と、この配管２４中に介設される圧力差制御弁２５と、冷却ステージ４またはＳＱＵＩＤセンサ１１の検出温度信号Ｓを圧力差制御弁２５にフィードバックして弁開度を調節することにより、ＳＱＵＩＤセンサ１１の温度調節が成される弁制御手段２８とを含んでなる構成を特徴とする。
【００１２】
また、上記の課題を解決するためとして請求項４に記載の発明は、上記の請求項１、２または３に記載のＳＱＵＩＤ非破壊検査装置において、放射シールド膜１４が、反射面を片面側にもつ２層膜に形成され、反射面をＳＱＵＩＤセンサ１１に対面する内方に向けて蓋１０の内側に添設されてなる構成を特徴とする。
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、冷却ステージ４を介してのＳＱＵＩＤセンサ１１の温度調節を、圧縮機３の近くの作業流体配管系統５側において高低圧圧力差制御手段７により行わせて、ＳＱＵＩＤセンサ１１の近傍での温度制御操作をさせないようにしたから、温度制御に伴う計測ノイズをなくすることができる。
さらに、冷却ステージ４とＳＱＵＩＤセンサ１１との間の寒冷伝達に対して、振動吸収能及び高熱伝達能を備える非磁性材の伝熱ワイヤ１２を用いる構成としたので、蓄冷式冷凍機本体２側で生じる微小な振動を伝熱ワイヤ１２に及ぼさないようにすることができて、ＳＱＵＩＤセンサ１１の計測精度をより高めることが可能である。
【００１４】
また、請求項１に記載の発明によれば、冷却ステージ４とＳＱＵＩＤセンサ１１の間における構成要素部材を全て非磁性材としたことにより、ＳＱＵＩＤセンサ１１への磁気ノイズを大幅に低減できて計測精度をさらに高め得る。さらに、冷却ステージ４を取巻いて真空維持吸着シート１３を設けることで真空容器８内部の真空維持を確実・容易に図ることが可能であり、さらにまた、ＳＱＵＩＤセンサ１１を取囲ませて蓋１０の内側に放射シールド膜１４を設けたので、真空容器８の室温部からＳＱＵＩＤセンサ１１に入る放射熱を減らしてＳＱＵＩＤセンサ１１の低温維持を安定して果たすことができる。
【００１５】
一方、請求項２に記載の発明によれば、蓄冷式冷凍機本体２をパルス管冷凍機としたことにより、冷却手段としての冷凍機本体２がより低振動な構造となり、ＳＱＵＩＤセンサ１１への振動の影響を一層少なくできる。
【００１６】
また、請求項３に記載の発明によれば、圧力差制御弁２５のフィードバックによる弁開度調節でＳＱＵＩＤセンサ１１の定温度制御を簡単かつ確実に実施することが可能である。
【００１７】
また、請求項４に記載の発明によれば、２層膜に形成した放射シールド膜１４を、反射面をＳＱＵＩＤセンサ１１に対面する内方に向けて蓋１０の内側に添設してなることにより、室温部からＳＱＵＩＤセンサ１１に入る放射熱をより効果的に減らしてＳＱＵＩＤセンサ１１の低温維持を一層果たすことができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るＳＱＵＩＤ非破壊検査装置の実施形態について、各図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係るＳＱＵＩＤ非破壊検査装置の全体の系統図を示し、図２は、図１図示のＳＱＵＩＤ非破壊検査装置の主要部構造を一部破断して表す正面図、図３は、図２における破断部の拡大正面図をそれぞれ示す。
【００１９】
図示のＳＱＵＩＤ非破壊検査装置は、小型冷凍機１と、真空容器８と、ＳＱＵＩＤセンサ１１と、伝熱ワイヤ１２と、真空維持吸着シート１３と、放射シールド膜１４とを主要構成部材に含んで装置全体が構成される。
【００２０】
小型冷凍機１は、ヘリウムガス等の気体を作業流体として１５０Ｋ〜４Ｋの低温度範囲の冷却を行うことができる蓄冷式冷凍機本体２と、圧縮機３と、両者２、３を連結する作業流体配管系統５とにより構成される。
蓄冷式冷凍機本体２は、室温部と、膨張部と、この両部を温度的に分離する蓄冷器（Ｒｅｇｅｎｅｒａｔｏｒ）の３要素によって達成される、気体を作業流体とする蓄冷式冷凍サイクルを形成する公知の冷凍機であって、本実施形態の場合は各種蓄冷式冷凍機のうちのパルス管冷凍機が適用される。パルス管冷凍機は、低温の可動部（膨張機）を必要としなくて低振動性の点で優れる利点を備えているところから、本発明の趣旨に叶うとして用いられるものであり、図示のパルス管冷凍機からなる蓄冷式冷凍機本体２は、上下に延びるパルス管の下端部に接する端部に非磁性材から形成される冷却ステージ４を備える構造である。
【００２１】
作業流体配管系統５は、電動切換弁を要素部材に備えて圧縮作業流体の圧送流と減圧作業流体の還流とに切換える高低圧圧力切換え手段６と、圧力差制御弁２５を介設して有する配管２４を要素部材に備えて温度調節のための作動圧力を制御する高低圧圧力差制御手段７とが配管系統中に設けられていて、圧縮機３の吐出口と高低圧圧力切換え手段６の高圧ポートを高圧配管２１で連結し、圧縮機３の吸入口と高低圧圧力切換え手段６の低圧ポートを低圧配管２２で連結し、高低圧圧力切換え手段６の切換ポートと蓄冷式冷凍機本体２の作業流体配管ポート２７を連結管２３で連結し、配管２４を高圧配管２１と低圧配管２２とに亘らせて連結することによって、所定の配管系統が構成される。
【００２２】
上記の高低圧圧力差制御手段７における圧力差制御弁２５は、手動操作による弁開度調節を行わせるものであってもよいが、図示の実施形態ではフィードバック制御方式に基づく弁開度調節を行わせるようになっており、冷却ステージ４または後述のＳＱＵＩＤセンサ１１で検出した温度信号Ｓをフィードバック信号として弁制御手段２８に戻し、該手段２８からの制御出力によって圧力差制御弁２５の弁を開かせ、或いは閉じさせるように自動制御が成される。
【００２３】
このような小型冷凍機１は、圧縮機３を駆動し、圧力差制御弁２５を絞り、高低圧圧力切換え手段６を切換え作動させて、連結管２３を高圧配管２１と低圧配管２２とに交互に繰り返して切換え連通させることにより、蓄冷式冷凍機本体２としてのパルス管冷凍機に対し圧縮作業流体の圧送流と減圧作業流体の還流とを反復して行わせて低温冷却運転が続行されるものであり、その結果、冷却ステージ４は、１５０Ｋ〜４Ｋの低温度範囲内の所定の低温に保持される。この場合、弁制御手段２８の作動により、温度上昇時には圧力差制御弁２５の弁を絞らせ、逆に温度下降時には圧力差制御弁２５の弁を開かせるように自動制御されるので、冷却ステージ４は一定の低温に維持される。
【００２４】
次いで図２、３を参照して、真空容器８は蓄冷式冷凍機本体２としてのパルス管冷凍機におけるパルス管及び冷却ステージ４と、後述のＳＱＵＩＤセンサ１１と、同じく伝熱ワイヤ１２とを真空保持下にて収容するための気密性容器であって、金属製の筒体９と、この筒体９と等径の有底筒状で非磁性材の蓋１０とからなり、例えば表面がアルマイト処理されたアルミニウム製の筒体９とアクリル樹脂製の蓋１０とを同軸に気密結合することで、所望の真空容器８が形成される。この真空容器８は、蓄冷式冷凍機本体２のパルス管及び冷却ステージ４が挿入され、かつ上記の各他部材が収容されて気密結合により組付けが終わった後に、容器の直上方部に設けられる真空排気ポート２０からの抽気によって器内が高真空に保持されるものである。
【００２５】
なお、図示の筒体９は、蓋１０との結合端部から少し引っ込んだ内壁部にリング状の内鍔が一体に形成されて、この内鍔の外側面部に対して熱絶縁性を有する略同形のリング２６が接着などにより固着されており、さらに、リング２６の適当個所には、熱絶縁性及び振動吸収能を有する非磁性材の、例えばガラスエポキシ樹脂製の支持棒１７が筒体９の軸に平行に突設して固定されている。
【００２６】
図２、３において、符号１６で示す部材は後述のＳＱＵＩＤセンサ１１を支持するためのサンプルステージであり、このサンプルステージ１６は高熱伝達能を有する非磁性材の、例えば銅製のブロックであって、検出端部としての蓋１０底壁部に近い位置の真空容器８内に配設して、前記支持棒１７の下端部に支持固定されている。また、符号１８で示す部材は後述の伝熱ワイヤ１２の一端部を固定するためのワイヤアンカであり、このワイヤアンカ１８は高熱伝達能を有する非磁性材の、例えば銅製のブロックであって、冷却ステージ４の下端面部に合着により一体的に固定されている。
【００２７】
ＳＱＵＩＤセンサ１１は、バイクリスタル基板の接合面に形成される粒界ジョセフソン接合とした酸化物超伝導体ＹＢａＣｕＯの超伝導薄膜と、これを取囲ませて設けたダイレクトカップリング型の磁界検出コイルとを要素部材に備えてなるチップ構造体であって、冷却ステージ４に対し間隔をおいた位置で検出端部としての蓋１０底壁部に至近・対向させて真空容器８内に配設されるとともに上記サンプルステージ１６の下面に密着させて固定される。このように設けてなるＳＱＵＩＤセンサ１１は、真空容器８内において該容器８に熱絶縁的に支持された状態で所定位置に固定されている。
【００２８】
伝熱ワイヤ１２は、高熱伝達能を有する非磁性材の、例えば銀被覆された銅製の線材から形成されていて、この銅線の多数本を束ね、かつ、ジグザグ状に折り曲げて振動吸収能を持たせた状態のワイヤに構成したものが用いられる。この伝熱ワイヤ１２は一端部がワイヤアンカ１８に固着され、他端部が高熱伝達能を有する非磁性材の例えば銅製の小板片からなるサーマルアンカ１５を介してサンプルステージ１６に固定されて真空容器８内に配設される。このような伝熱ワイヤ１２は、真空容器８内で冷却ステージ４とＳＱＵＩＤセンサ１１との間に介挿されて両者４、１１間の熱結合を行わせる役割を成す部材として設けられるものである。なお、符号１９で示される部材は非磁性材からなる固定用のネジである。
【００２９】
真空維持吸着シート１３は、非磁性材の吸着シート例えば活性炭シートから形成されていて、冷却ステージ４を取巻いて真空容器８内に設けられる。この吸着シート１３は、真空容器８内の部材から発生する僅かなアウトガス、または筒体９や蓋１０を透過して真空容器８内に入ってくる僅かな透過ガスが真空度を下げる原因となると考えられることに基づき、アウトガスや透過ガスを吸着シート１３に吸着させることによって長期間に亘って高真空度を維持することができてランニングコストの低減を果たし得る利点を有する。
【００３０】
放射シールド膜１４は、非磁性材の薄いシートから形成されていて、ＳＱＵＩＤセンサ１１を取囲ませて蓋１０の内側に添って配設される。この放射シールド膜１４は、室温に接する蓋１０の表面とこれに比して低温のＳＱＵＩＤセンサ１１、サンプルステージ１６の表面との間において温度差に基づく真空容器８内での熱放射移動が行われて、これが蓄冷式冷凍機本体２に対する負荷増につながる虞があるところから、かかる熱放射移動を防止するためとして設けられたものである。なお、放射シールド膜１４を例えばポリエステル膜の片面にアルミ蒸着法によるアルミ鏡膜を形成してなる如き、反射面を片面側にもつ２層膜としたものを用いて、この反射面をＳＱＵＩＤセンサ１１に対面する内方に向けて蓋１０の内側に添設することは好適な実施態様であり、これによって、放射シールド効果はより一段と奏されることが明らかである。
【００３１】
このように構成してなるＳＱＵＩＤ非破壊検査装置は、蓄冷式冷凍機本体２から生じる微小な振動は、冷却ステージ４とＳＱＵＩＤセンサ１１の間の寒冷伝達のためとして用いてなる伝熱ワイヤ１２の振動吸収作用で、ＳＱＵＩＤセンサ１１に直接伝達することが無いため、振動ノイズを大きく低減することが可能である。
【００３２】
また、冷却ステージ４とＳＱＵＩＤセンサ１１の間の各部材は全て非磁性材としているので、ＳＱＵＩＤセンサ１１への磁気ノイズも小さくすることが出来る。さらに、真空維持吸着シート１３を冷却ステージ４に取巻かせて設けているので、アウトガスや透過ガスの影響による真空度の低下を抑制できる。なお、この真空維持吸着シート１３による真空維持作用が十分に機能し得るようにするには、伝熱ワイヤ１２の本数を調整して冷却ステージ４の温度がＳＱＵＩＤセンサ１１よりも例えば５Ｋ〜２０Ｋ低くなるように設定すればよい。
【００３３】
また、放射シールド膜１４をＳＱＵＩＤセンサ１１に取囲ませて蓋１０の内側に添って設けることにより、真空容器８の室温部からＳＱＵＩＤセンサ１１へ入る放射熱を大幅に減らすことができる。
【００３４】
【発明の効果】
本発明によれば、ＳＱＵＩＤセンサの近傍での温度制御操作をさせないようにしたから、温度制御に伴う計測ノイズをなくすることができる。さらに、ＳＱＵＩＤセンサへの寒冷伝達に対して、振動吸収能を備える非磁性材の伝熱ワイヤを用いる構成としたので、蓄冷式冷凍機本体側で生じる微小な振動を伝熱ワイヤに及ぼさないようにすることができて、ＳＱＵＩＤセンサの計測精度をより高めることが可能である。
【００３５】
また、本発明によれば、冷却ステージとＳＱＵＩＤセンサの間における構成要素部材を全て非磁性材としたことにより、ＳＱＵＩＤセンサへの磁気ノイズを大幅に低減できて計測精度をさらに高め得る。さらに、冷却ステージを取巻いて真空維持吸着シートを設けることで真空容器内部の真空維持を確実かつ容易に図ることが可能であり、さらにまた、ＳＱＵＩＤセンサを取囲ませて蓋の内側に放射シールド膜を設けたので、真空容器の室温部からＳＱＵＩＤセンサに入る放射熱を減らしてＳＱＵＩＤセンサの低温維持を安定させることができる。
【００３６】
また、請求項２に記載の発明によれば、蓄冷式冷凍機本体をパルス管冷凍機としたことにより、冷却手段としての冷凍機本体がより低振動な構造となり、ＳＱＵＩＤセンサへの振動の影響を一層少なくできる。
【００３７】
また、請求項３に記載の発明によれば、圧力差制御弁のフィードバックによる弁開度調節でＳＱＵＩＤセンサの定温度制御を簡単かつ確実に実施することが可能である。さらにまた、請求項４に記載の発明によれば、２層膜に形成した放射シールド膜を、反射面をＳＱＵＩＤセンサに対面する内方に向けて蓋の内側に添設してなることにより、室温部からＳＱＵＩＤセンサに入る放射熱をより効果的に減らしてＳＱＵＩＤセンサの低温維持を一層果たすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るＳＱＵＩＤ非破壊検査装置の全体の系統図である。
【図２】図１図示のＳＱＵＩＤ非破壊検査装置の主要部構造を一部破断して表す正面図である。
【図３】図２における破断部の拡大正面図である。
【符号の説明】
１…小型冷凍機  ２…蓄冷式冷凍機本体  ３…圧縮機  ４…冷却ステージ  ５…作業流体配管系統  ６…高低圧圧力切換え手段  ７…高低圧圧力差制御手段  ８…真空容器  ９…筒体  １０…蓋  １１…ＳＱＵＩＤセンサ  １２…伝熱ワイヤ１３…真空維持吸着シート  １４…放射シールド膜  ２１…高圧配管  ２２…低圧配管  ２４…配管  ２５…圧力差制御弁  ２８…弁制御手段  Ｓ…検出温度信号
整理番号  ＩＷＰ０３０１０２                    ページ（１／３）
【図１】
2004226161.tif 000003
【図２】
2004226161.tif 000004
【図３】
2004226161.tif 000005