(57)【要約】【課題】生産状況を的確に把握する。【解決手段】判断装置２０００は、基板１４０についての表面電位を入力する通信インターフェイス２０６と、基板１４０の１つについて測定された時期が異なる表面電位に基づいて各々特定される複数の電位情報が、それぞれに対する要件を満足するか否かの組合せに基づいて、基板１４０の帯電状況を判断するＣＰＵ２０２と、判断の結果を表わす判断情報を出力するネットワークインターフェイス２１０とを含む。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物についての表面電位を入力するための入力手段と、
前記対象物の１つについて測定された時期が異なる表面電位に基づいて各々特定される複数の電位情報が、それぞれに対する要件を満足するか否かの組合せに基づいて、前記対象物の帯電状況を判断するための判断手段と、
前記判断の結果を表わす判断情報を出力するための出力手段とを含む、判断装置。
【請求項２】
前記複数の電位情報は、前記表面電位の大小を特定する特定情報を含む、請求項１に記載の判断装置。
【請求項３】
前記特定情報のいずれかは、前記表面電位の絶対値の平均値を表わす情報である、請求項２に記載の判断装置。
【請求項４】
前記特定情報のいずれかは、前記表面電位の絶対値の最大値を表わす情報である、請求項２に記載の判断装置。
【請求項５】
前記時期は、前記対象物に対する動作が開始される時を基準として定められた時期である、請求項１から４のいずれかに記載の判断装置。
【請求項６】
前記動作は、前記対象物が剥離される動作である、請求項５に記載の判断装置。
【請求項７】
前記動作は、前記対象物に前記対象物とは異なるものが接触する動作である、請求項５に記載の判断装置。
【請求項８】
前記判断手段は、前記複数の電位情報のうち２以上がそれぞれ前記要件を満足することに相当する前記組合せに基づいて、前記状況を判断するための手段を含む、請求項１から７のいずれかに記載の判断装置。
【請求項９】
前記判断手段は、前記複数の電位情報のすべてがそれぞれ前記要件を満足することに相当する前記組合せに基づいて、前記状況を判断するための手段を含む、請求項１から７のいずれかに記載の判断装置。
【請求項１０】
対象物についての表面電位を入力する入力ステップと、
前記対象物の１つについて測定された時期が異なる表面電位に基づいて各々特定される複数の電位情報が、それぞれに対する要件を満足するか否かの組合せに基づいて、前記対象物の帯電状況を判断する判断ステップと、
前記判断の結果を表わす判断情報を出力する出力ステップとを含む、判断方法。
【請求項１１】
対象物についての表面電位を入力する入力ステップと、
前記対象物の１つについて測定された時期が異なる表面電位に基づいて各々特定される複数の電位情報が、それぞれに対する要件を満足するか否かの組合せに基づいて、前記対象物の帯電状況を判断する判断ステップと、
前記判断の結果を表わす判断情報を出力する出力ステップとをコンピュータに実行させるための判断プログラム。
【請求項１２】
判断プログラムを記録した記録媒体であって、
対象物についての表面電位を入力する入力ステップと、
前記対象物の１つについて測定された時期が異なる表面電位に基づいて各々特定される複数の電位情報が、それぞれに対する要件を満足するか否かの組合せに基づいて、前記対象物の帯電状況を判断する判断ステップと、
前記判断の結果を表わす判断情報を出力する出力ステップとをコンピュータに実行させるための判断プログラムを記録した、コンピュータ読取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は生産状況を把握する判断装置、判断方法、その判断方法を実現するためのプログラム、およびそのプログラムを記憶したコンピュータ読取り可能な記録媒体に関し、特に、対象物の表面電位に基づいてその生産状況を的確に把握する判断装置、判断方法、その判断方法を実現するためのプログラム、およびそのプログラムを記憶したコンピュータ読取り可能な記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に半導体装置に対し、各種製造工程における除電は不可欠である。除電とは静電気を取除くことをいう。半導体装置は静電気を嫌うからである。一部の基板が導電性の金属部に接触した場合、静電気によってＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）が破壊されることが知られている。接触した瞬間に急激な電荷の移動が起きるからである。このような基板の例として、たとえば液晶ディスプレイパネルに用いるガラス基板（以下、「液晶基板」と称する）がある。導電性の金属部の例として、たとえば搬送装置の導電性ハンドや位置決めピンなどがある。
【０００３】
このため、除電装置を用いて液晶基板に帯電した静電気の電荷を除去する作業が行なわれる。除電装置は一般にイオナイザと呼ばれる。
【０００４】
しかし、そのような電荷の量は一定ではない。そのような量はさまざまな要因によって変化するからである。その要因は主に製造工程にある。イオナイザの除電能力も影響を及ぼす。その影響の強さは、イオナイザの運転時間や運転条件に基づく放電電極の劣化や異物の付着等に因る。電荷の量が一定ではないことは、除電に要する時間や液晶基板などの歩留まりに大きな影響を及ぼす。
【０００５】
特許文献１には、警告を発したり、自己の動作・停止を制御したりする搬送装置が開示されている。そのような動作は、許容量との比較に基づいて行なわれる。そのような比較は、被測定物の帯電量を計測することで可能になる。特許文献２には、イオナイザの極性バランスを制御する搬送装置が開示されている。そのような制御は、基板の帯電状態を測定した結果に基づく。特許文献３には、基板の搬送速度を制御する露光装置が開示されている。この装置は、あわせて基板の帯電位を監視する。基板の帯電位は、基板の静電気から求められる。基板の静電気は、ステージから剥離された際に生じることが多い。特許文献４には、基板剥離の直前にイオン供給を開始する中和方法が開示されている。この方法においては、あわせて基板帯電が測定される。基板電位が０になったら、イオナイザが切り換えられる。特許文献５には、放出イオン量を制御する除電装置が開示されている。この装置は、あわせて対象物の帯電圧を測定する。
【０００６】
【特許文献１】
特開平３−１９５６２４号公報
【０００７】
【特許文献２】
特開平６−２２２５６３号公報
【０００８】
【特許文献３】
特開平８−１３７１１２号公報
【０００９】
【特許文献４】
特開平１１−３２９７８３号公報
【００１０】
【特許文献５】
特開平１１−１３５２９３号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に開示されているように、被測定物の動作を制御する場合には、単に被測定物の帯電量が許容量の範囲に収まっているか否かを判断するに過ぎない。被測定物の生産過程を判断することはできない。その判断ができないので、帯電自体を未然に防ぐことはできない。帯電自体が防止されないので、帯電量が多い被測定物はなくならない。そのような被測定物がなくならないので、いつまでも搬送動作に特別な制御を加える必要性が生じる。
【００１２】
特許文献２に開示されているように、イオナイザの極性バランスを制御する場合には、基板の帯電状態を判断するに過ぎない。特許文献１の場合と同様に、基板の生産過程を判断することはできない。
【００１３】
特許文献３に開示されているように、基板の搬送速度を制御する場合にも、基板の帯電自体が防止されているわけではない。基板の帯電量は搬送速度に大きな影響を及ぼす。帯電の影響により搬送速度が低下すると、基板を生産するための能率は低下する。基板の生産工程を把握すればこのような問題は解決する。基板の帯電を防止するための対策を的確にとることができるからである。しかしそのための技術は何ら開示されていない。
【００１４】
特許文献４に開示されているように、基板剥離と直前にイオン供給を開始する場合にも、特許文献３と同様の問題がある。
【００１５】
特許文献５に開示されているように、対象物の帯電圧を測定しながら、放出イオン量を制御する場合にも、特許文献３または４と同様の問題がある。
【００１６】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、帯電状況に影響をおよぼす生産状況を的確に把握できる判断装置、判断方法、その判断方法を実現するためのプログラム、およびそのプログラムを記憶したコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供することである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明のある局面にしたがうと、判断装置は、対象物についての表面電位を入力するための入力手段と、対象物の１つについて測定された時期が異なる表面電位に基づいて各々特定される複数の電位情報が、それぞれに対する要件を満足するか否かの組合せに基づいて、対象物の帯電状況を判断するための判断手段と、判断の結果を表わす判断情報を出力するための出力手段とを含む。
【００１８】
すなわち、入力手段には、表面電位が入力される。判断手段は、複数の電位情報が、それぞれに対する要件を満足するか否かの組合せに基づいて、対象物の帯電状況を判断する。これにより、出力手段は、判断情報を出力する。その結果、帯電状況に影響をおよぼす生産状況を的確に把握できる判断装置を提供できる。
【００１９】
また、上述の複数の電位情報は、表面電位の大小を特定する特定情報を含むことが望ましい。
【００２０】
すなわち、複数の電位情報は、表面電位の大小により特定される。これにより、判断手段は表面電位の大小に基づいて対象物の帯電状況を判断できる。その結果、帯電状況に影響をおよぼす生産状況をより的確に把握できる判断装置を提供できる。
【００２１】
また、上述の特定情報のいずれかは、表面電位の絶対値の平均値を表わす情報であることが望ましい。
【００２２】
すなわち、表面電位の平均値が判断に用いられる。これにより、判断手段はより的確に判断できる。その結果、帯電状況に影響をおよぼす生産状況をより的確に把握できる判断装置を提供できる。
【００２３】
もしくは、上述の特定情報のいずれかは、表面電位の絶対値の最大値を表わす情報であることが望ましい。
【００２４】
すなわち、表面電位の絶対値の最大値が判断に用いられる。これにより、判断手段はより的確に判断できる。その結果、帯電状況に影響をおよぼす生産状況をより的確に把握できる判断装置を提供できる。
【００２５】
また、上述の時期は、対象物に対する動作が開始される時を基準として定められた時期であることが望ましい。
【００２６】
すなわち、表面電位が測定された時期は、対象物に対する動作が開始される時を基準とする。これにより、判断手段はより的確に判断できる。その結果、帯電状況に影響をおよぼす生産状況を容易かつ的確に把握できる判断装置を提供できる。
【００２７】
また、上述の動作は、対象物が剥離される動作であることが望ましい。
すなわち、表面電位が測定された時期は、動作が開始される時を基準とする。この動作は、対象物が剥離される動作である。これにより、判断手段はさらに的確に判断できる。その結果、帯電状況に影響をおよぼす生産状況をさらに的確に把握できる判断装置を提供できる。
【００２８】
もしくは、上述の動作は、対象物に対象物とは異なるものが接触する動作であることが望ましい。
【００２９】
すなわち、表面電位が測定された時期は、動作が開始される時を基準とする。この動作は、対象物に対象物とは異なるものが接触する動作である。これにより、判断手段はさらに的確に判断できる。その結果、帯電状況に影響をおよぼす生産状況をさらに的確に把握できる判断装置を提供できる。
【００３０】
また、上述の判断手段は、複数の電位情報のうち２以上がそれぞれ要件を満足することに相当する組合せに基づいて、状況を判断するための手段を含むことが望ましい。
【００３１】
すなわち、判断手段は、複数の電位情報のうち２以上がそれぞれ要件を満足することに相当する組合せに基づいて、状況を判断する。これにより、判断手段の判断はより的確になる。その結果、帯電状況に影響をおよぼす生産状況をより的確に把握できる判断装置を提供できる。
【００３２】
もしくは、上述の判断手段は、複数の電位情報のすべてがそれぞれ要件を満足することに相当する組合せに基づいて、状況を判断するための手段を含むことが望ましい。
【００３３】
すなわち、判断手段は、複数の電位情報のすべてがそれぞれ要件を満足することに相当する組合せに基づいて、状況を判断する。これにより、判断手段の判断はさらに的確になる。その結果、帯電状況に影響をおよぼす生産状況をさらに的確に把握できる判断装置を提供できる。
【００３４】
本発明の他の局面にしたがうと、判断方法は、対象物についての表面電位を入力する入力ステップと、対象物の１つについて測定された時期が異なる表面電位に基づいて各々特定される複数の電位情報が、それぞれに対する要件を満足するか否かの組合せに基づいて、対象物の帯電状況を判断する判断ステップと、判断の結果を表わす判断情報を出力する出力ステップとを含む。
【００３５】
すなわち、入力ステップでは、表面電位を入力する。判断ステップでは、複数の電位情報が、それぞれに対する要件を満足するか否かの組合せに基づいて、対象物の帯電状況を判断する。これにより、出力ステップでは、判断情報を出力する。その結果、帯電状況に影響をおよぼす生産状況を的確に把握できる判断方法を提供できる。
【００３６】
本発明の他の局面にしたがうと、判断プログラムは、対象物についての表面電位を入力する入力ステップと、対象物の１つについて測定された時期が異なる表面電位に基づいて各々特定される複数の電位情報が、それぞれに対する要件を満足するか否かの組合せに基づいて、対象物の帯電状況を判断する判断ステップと、判断の結果を表わす判断情報を出力する出力ステップとをコンピュータに実行させる。
【００３７】
すなわち、帯電状況に影響をおよぼす生産状況を的確に把握できる判断方法を実現するプログラムを提供することができる。
【００３８】
本発明の他の局面にしたがうと、記録媒体は、判断プログラムを記録した記録媒体であって、対象物についての表面電位を入力する入力ステップと、対象物の１つについて測定された時期が異なる表面電位に基づいて各々特定される複数の電位情報が、それぞれに対する要件を満足するか否かの組合せに基づいて、対象物の帯電状況を判断する判断ステップと、判断の結果を表わす判断情報を出力する出力ステップとをコンピュータに実行させるための判断プログラムを記録した、コンピュータ読取り可能な記録媒体である。
【００３９】
すなわち、帯電状況に影響をおよぼす生産状況を的確に把握できる判断方法を実現するプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供することができる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同一である。したがって、それらについての詳細な説明は繰返さない。
【００４１】
図１を参照して、本実施の形態に係る除電システム１０００は、表面電位計１００と、イオナイザ１１０と、搬送装置１２０と、基板固定を目的とするステージ１３０と、判断装置２０００と、工場ＣＩＭ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ−Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｍａｎｕｆａｃ−ｔｕｒｉｎｇ）３０００と、制御装置４０００とを含む。この除電システム１０００は、液晶ディスプレイ用の基板１４０（ガラス製）をステージ１３０から剥離するシステムである。基板１４０は、搬送装置１２０により搬送される。
【００４２】
表面電位計１００は、基板１４０の表面電位を検知する。表面電位計１００は、表面電位を判断装置２０００に出力する。イオナイザ１１０は、正負のイオンを基板１４０上に吹付ける。正負のイオンは空気の分子を用いて生成される。搬送装置１２０は、基板１４０の搬入および搬出を行なう。ステージ１３０は、基板１４０を吸着する。吸着には図示しない吸引装置が用いられる。制御装置４０００は、判断装置２０００が判断した結果に基づいてイオナイザ１１０および搬送装置１２０を制御する。制御装置４０００は、警告灯（図示せず）を含む。本実施の形態において、警告灯の種類は赤色のものと黄色のものとの２種類である。これらの警告灯は、基板１４０の表面電位に異常があるとき、異常の内容に応じて点灯する。制御装置４０００は、工場ＣＩＭ３０００に、基板１４０の生産に関する情報を出力する。工場ＣＩＭ３０００は、その情報に基づいて、次の処理を行なう。その処理の第１は、生産の日程に関する計画である。その処理の第２は、制御装置４０００を始めとする生産用の各設備への指示である。その処理の第３は、生産の状況や実績を表わすデータの採取である。
【００４３】
表面電位計１００は、センサ１０２と本体１０４とを含む。センサ１０２は、基板１４０の表面電位を検知する。本体１０４は、センサ１０２が検知した表面電位を表わすデータを作成する。本体１０４は、作成したデータを判断装置２０００に出力する。基板１４０は、ステージ１３０の上に載せられている。
【００４４】
図２を参照して、本実施の形態に係る判断装置２０００の機能ブロック図を示し、判断装置２０００の機能を説明する。
【００４５】
図２を参照して、判断装置２０００は、コンピュータ２００と、モニタ２０８と、マウス２１２と、キーボード２１４とを含む。コンピュータ２００は、基板１４０の帯電に基づいて生産状況を判断する。モニタ２０８は、画面に情報を表示する。マウス２１２およびキーボード２１４は、それぞれユーザからの入力を受付る。
【００４６】
コンピュータ２００は、相互にバスで接続されたＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）２０２と、固定ディスク２０４と、通信インターフェイス２０６と、ネットワークインターフェイス２１０と、メモリ２１６と、ＦＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｋ）駆動装置２１８およびＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ−Ｄｉｓｃ−Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）駆動装置２２０とを含む。ＣＰＵ２０２は、各回路や判断装置２０００の各装置などを制御する。ＣＰＵ２０２は、基板１４０が生産される状況の判断も行なう。この判断は、測定された時期が異なる複数の表面電位の値がその値ごとに定められた要件を満足するか否かの組合せに基づいて判断される。固定ディスク２０４は、ソフトウェア（以下の「ソフトウェア」も同一物とする。）を記憶する。このソフトウェアは、本実施の形態にかかる判断装置を実現する。通信インターフェイス２０６は、表面電位計１００との間で情報の入力と出力とを行なう。ネットワークインターフェイス２１０は、制御装置４０００との間で情報の入力と出力とを行なう。メモリ２１６は、ＣＰＵ２０２がソフトウェアを実行する際に、固定ディスク２０４が記憶するソフトウェアやその他のデータを一時的に記憶する。ＦＤ駆動装置２１８にはＦＤ２２２が装着される。ＣＤ−ＲＯＭ駆動装置２２０にはＣＤ−ＲＯＭ２２４が装着される。
【００４７】
既に述べたように、この装置は、コンピュータハードウェアとＣＰＵ２０２により実行されるソフトウェアにより実現される。一般的にこうしたソフトウェアは、ＦＤ２２２、ＣＤ−ＲＯＭ２２４などの記録媒体に格納されて流通し、ＦＤ駆動装置２１８またはＣＤ−ＲＯＭ駆動装置２２０などにより記録媒体から読取られる。読取られたソフトウェアは固定ディスク２０４に一旦格納される。さらにこのソフトウェアは固定ディスク２０４からメモリ２１６に読出される。このソフトウェアは、ＣＰＵ２０２により実行される。これらに示したコンピュータ２００のハードウェア自体は一般的なものである。したがって、本発明の最も本質的な部分は、ＦＤ２２２、ＣＤ−ＲＯＭ２２４、固定ディスク２０４などの記録媒体に記録されたソフトウェアである。
【００４８】
なお、これらの図に示したコンピュータ２００自体の動作は周知であるので、ここではその詳細な説明は繰返さない。
【００４９】
図３を参照して、本実施の形態に係るステージ１３０は、プレート１３２と、吸着孔１３４と、昇降ピン１３６と、吸引装置（図示せず）とを含む。プレート１３２には、基板１４０が載せられる。吸着孔１３４は、吸引装置に通じる。吸引装置により吸着孔１３４内の空気が吸引されると、基板１４０はプレート１３２に吸着される。昇降ピン１３６は、基板１４０を下から押上げる。この押上げは、基板１４０の吸着が解除された後である。基板１４０が押上げられると、搬送装置１２０は自己のハンド１２２を基板１４０とプレート１３２との間に挿入する。搬送装置１２０はハンド１２２を用いて基板１４０を取出す。
【００５０】
なお、いうまでもなく、除電システム１０００の形態は、図１から図３のいずれかに示される具体例に限定されるものではない。図１から図３のいずれかに記載されない他の機能が含まれてもよいし、図１から図３のいずれかに記載されている機能の必ずしもすべてが含まれていなくても構わない。たとえば、ネットワークインターフェイス２１０は、工場ＣＩＭ３０００との間で直接情報の入力と出力とを行なってもよい。その場合、ＣＰＵ２０２は、状況の判断結果を直接工場ＣＩＭ３０００に出力できる。状況とは基板１４０が生産される状況である。あるいは、判断装置２０００が工場ＣＩＭ３０００の一部であってもよい。
【００５１】
図４を参照して、本実施の形態に係る除電システム１０００で実行されるプログラムは、基板１４０の帯電に基づく生産状況の判断に関し、以下のような制御構造を有する。
【００５２】
ステップ（以下、ステップをＳと略す。）１００にて、搬送装置１２０は、新たな基板１４０をステージ１３０上に搬送し、上昇している昇降ピン１３６に受け渡し、搬送装置１２０が退避した後、昇降ピン１３６が下降し、ステージ１３０に基板１４０を移載する。ステージ１３０の吸引装置は、基板１４０を吸着する。
【００５３】
なお、Ｓ１００とＳ１０２との間では、基板１４０上の埃の吸引、基板１４０の洗浄、基板１４０の検査、基板１４０への光照射などを施すことができる。
【００５４】
Ｓ１０２にて、ステージ１３０の吸引装置は、基板１４０の吸着を解除する。ＣＰＵ２０２は、表面電位計１００に測定の準備をさせる。そのために、ＣＰＵ２０２は、通信インターフェイス２０６を用いる。
【００５５】
Ｓ１０４にて、ステージ１３０の昇降ピン１３６は、基板１４０の押上げを開始する。ＣＰＵ２０２は、その開始と同時に、表面電位計１００を用いて基板１４０の表面電位の取込みを開始する。
【００５６】
Ｓ１０６にて、昇降ピン１３６は、基板１４０を所定の高さまで押上げると、待機する。イオナイザ１１０は、昇降ピン１３６が待機する間に、イオン化した空気を基板１４０に吹付ける。イオン化した空気は、電荷を中和する。基板１４０は次第に除電される。ＣＰＵ２０２は、基板１４０の表面電位を連続して取込む。取込まれた表面電位の値は、メモリ２１６に記憶される。
【００５７】
Ｓ１０８にて、ＣＰＵ２０２は、ソフトウェア上で設定された時間が経過すると、表面電位の取込みを終了する。Ｓ１１０にて、ＣＰＵ２０２は、メモリ２１６に記憶された基板１４０の表面電位の絶対値の、最大値、最小値および平均値を（以下、それぞれ単に「最大値」、「最小値」、および「平均値」と称する。ただし特に明示する場合を除く。）算出する。これらの値は、時間Ａから時間Ｂまで（領域１）、および時間Ｃから時間Ｄまで（領域２）の２箇所における値である。これらの時間は、昇降ピン１３６が基板１４０の押上げを開始した時点を基準とする時間である。これらの時間の長さは任意に設定できる。搬送装置１２０は、自己のハンド１２２をステージ１３０と基板１４０との間に挿入する。
【００５８】
Ｓ１１２にて、ＣＰＵ２０２は、２つの領域ごとに条件を満たすか否かを判断する。領域１における判断条件は、表面電位の絶対値の最大値が上限のしきい値以下であるか否かである。領域２における判断条件は、表面電位の平均値が下限のしきい値以下であるか否かである。ただし、表面電位の最小値が下限のしきい値以下であれば平均値が下限のしきい値を上回っていてもよい。ＣＰＵ２０２は、それらの判断の結果に基づいて、基板１４０の帯電状況を判断して、基板１４０が生産される状況を判断する。本実施の形態においては、領域１および領域２についてそれぞれ判断条件を満たす生産（通常生産）か否かを判断する。ネットワークインターフェイス２１０は、以下の情報を制御装置４０００に出力する。情報のその１は、判断の結果を表わす情報である。情報のその２は、領域１ならびに領域２における表面電位の絶対値の、最大値および平均値を表わす情報である。
【００５９】
Ｓ１１４にて、制御装置４０００は、ＣＰＵ２０２が出力した情報に基づいて判断結果が良好か否か判断する。本実施の形態において良好と判断される場合とは、ＣＰＵ２０２が通常生産と判断した場合である。良好と判断した場合には（Ｓ１１４にてＹＥＳ）、処理はＳ１２０へと移される。もしそうでないと（Ｓ１１４にてＮＯ）、処理はＳ１１６へと移される。
【００６０】
Ｓ１１６にて、制御装置４０００は、以下の情報を工場ＣＩＭ３０００に出力する。第１の情報は、判断結果が良好でない旨の情報である。第２の情報は、領域１ならびに領域２における表面電位の絶対値の、最大値および平均値を表わす情報である。工場ＣＩＭ３０００は、出力された情報をもとにその原因を解析する。本実施の形態において、領域１における表面電位の絶対値の最大値が上限のしきい値を上回る場合は、帯電量が過大と解析される。領域１の最大値と領域２の平均値の差が、ソフトウェアにおいて設定されたしきい値を下回る場合、イオナイザ１１０の状態が異常と解析される。工場ＣＩＭ３０００は、解析した結果を制御装置４０００に出力する。制御装置４０００は、その結果に応じて必要な処理を行なう。必要な処理とは、例えば警告灯を点灯すること、および除電時間を延長することである。本実施の形態において、制御装置４０００は、イオナイザ１１０の状態が異常な場合に赤色の警告灯を点灯する。制御装置４０００は、帯電量が過大な場合以下の制御を実施する。第１の制御は黄色の警告灯を点灯する制御である。第２の制御は、除電時間を延長する制御である。
【００６１】
Ｓ１１８にて、工場ＣＩＭ３０００は、生産ラインの停止が必要か否か判断する。本実施の形態においては、工場ＣＩＭ３０００は、帯電量が過大で、かつイオナイザ１１０の状態が異常な場合に、生産ラインの停止が必要と判断する。生産ラインの停止が必要と判断した場合には（Ｓ１１８にてＹＥＳ）、工場ＣＩＭ３０００は、制御装置４０００を通じてその旨を表わす信号を判断装置２０００に出力する。判断装置２０００の処理は終了する。もしそうでないと（Ｓ１１８にてＮＯ）、処理はＳ１２０へと移される。Ｓ１２０にて、搬送装置１２０は、基板１４０を取出す。
【００６２】
以上のような構造およびフローチャートに基づく、制御装置４０００、判断装置２０００、工場ＣＩＭ３０００の動作について説明する。
【００６３】
［通常生産の場合］
図５および図６を参照して、領域１および領域２がともに要件を満足する（通常生産）場合の、状況判断および除電システム１０００の動作について説明する。
【００６４】
図５は、本実施の形態に係る除電システム１０００の動作と時間の経過との関係を表す図である。図６は、基板１４０が昇降ピン１３６によってプレート１３２から押上げられる際の、表面電位の変化の例を表わす図である。図６の実線および破線は、互いに異なる２枚の基板の表面電位の変化を表わす。
【００６５】
基板１４０が移載され、ステージ１３０に吸着されている間（Ｓ１００）、静電気の放電の危険性は低い。基板１４０の静電容量が大きいため基板の表面電位は低くなるためである。ステージ１３０の吸引装置が基板１４０の吸着を解除すると（Ｓ１０２）、基板１４０が昇降ピン１３６によって押上げられる（Ｓ１０４）。基板１４０はステージ１３０との間で剥離帯電により帯電し、押上げられてステージ１３０から離れるにつれて静電容量が減少し表面電位は上昇する。図５の「上昇位置到達」までと、図６の実線の原点からピン上昇点までの間とがこの状況を表わす。ＣＰＵ２０２は、昇降ピン１３６による押上げの開始と同時に、表面電位計１００を用いて基板１４０の表面電位の取込みを開始する。
【００６６】
昇降ピン１３６は所定の高さ（ピン上昇点）で待機する。図５の「上昇位置到達」付近がこの状況を表わす。ＣＰＵ２０２は、基板１４０の表面電位を取込み、メモリ２１６に記憶させる。イオナイザ１１０は基板１４０を除電する（Ｓ１０６）。基板１４０の表面電位は、ピークに達した後、次第に減少する。図６の実線において表面電位がピークに達した後のカーブはこの状況を表わす。
【００６７】
時間が図５および図６の時間Ｅに達すると、ＣＰＵ２０２は、表面電位の取込みを終了する（Ｓ１０８）。表面電位の取込みが終了すると、ＣＰＵ２０２は、領域１および領域２における基板１４０の表面電位の絶対値の、最大値、最小値および平均値を算出する。搬送装置１２０は、自らのハンド１２２をステージ１３０と基板１４０との間に挿入する（Ｓ１１０）。
【００６８】
搬送装置１２０がハンド１２２を挿入すると、ＣＰＵ２０２は、基板１４０の帯電状況を判断して、基板１４０が生産される状況を判断する。基板１４０の表面電位が図６の実線または破線のように推移した場合、領域１および領域２のいずれも判断条件を満足することは明らかである。ＣＰＵ２０２は、「通常生産」と判断する。ネットワークインターフェイス２１０は、情報を制御装置４０００に出力する（Ｓ１１２）。
【００６９】
ネットワークインターフェイス２１０が情報を出力すると、制御装置４０００は判断結果を「良好」と判断するので、（Ｓ１１４にてＹＥＳ）、搬送装置１２０は、基板１４０を取出す（Ｓ１２０）。
【００７０】
［帯電量とイオナイザとに異常が発生している場合］
図７を参照して、帯電量とイオナイザ１１０とに異常が発生している場合の、状況判断および除電システム１０００の動作について説明する。
【００７１】
搬送装置１２０がハンド１２２を挿入すると、ＣＰＵ２０２は、基板１４０の帯電状況を判断して、基板１４０が生産される状況を判断する。基板１４０の表面電位が図７のように推移した場合、領域１および領域２が判断条件を満足しないことは明らかである。ＣＰＵ２０２は、判断結果を「良好ではない」と判断する。ネットワークインターフェイス２１０は、情報を制御装置４０００に出力する（Ｓ１１２）。
【００７２】
ネットワークインターフェイス２１０が情報を出力すると、制御装置４０００は、判断結果を「良好ではない」と判断するので（Ｓ１１４にてＮＯ）、制御装置４０００は、情報を工場ＣＩＭ３０００に出力する。工場ＣＩＭ３０００は、出力された情報をもとにその原因を解析する。この場合、領域１における表面電位の絶対値の最大値が上限のしきい値を上回るので、帯電量が過大と解析される。領域１の最大値と領域２の平均値の差が、ソフトウェアにおいて設定されたしきい値を下回るので、イオナイザ１１０の状態が異常と解析される。工場ＣＩＭ３０００は、解析した結果を制御装置４０００に出力する。制御装置４０００は、赤色および黄色の警告灯をともに点灯し、かつイオナイザ１１０における除電時間を延長する（Ｓ１１６）。
【００７３】
解析した結果を制御装置４０００に出力すると、工場ＣＩＭ３０００は、生産ラインの停止が必要か否か判断する（Ｓ１１８）。生産ラインの停止が必要な場合は（Ｓ１１８にてＹＥＳ）、工場ＣＩＭ３０００は、制御装置４０００を通じて判断装置２０００に停止が必要な旨の信号を出力する。判断装置２０００は処理を終了する。
【００７４】
［イオナイザに異常が発生している場合］
図８を参照して、イオナイザ１１０に異常が発生している場合の、状況判断および除電システム１０００の動作について説明する。
【００７５】
搬送装置１２０がハンド１２２を挿入すると、ＣＰＵ２０２は、基板１４０の帯電状況を判断して、基板１４０が生産される状況を判断する。基板１４０の表面電位が図８のように推移した場合、領域２は平均値も最小値も下限のしきい値を上回る。判断条件を満足しないことは明白である。ＣＰＵ２０２は、判断結果を「良好ではない」と判断する。ネットワークインターフェイス２１０は、情報を制御装置４０００に出力する（Ｓ１１２）。
【００７６】
ネットワークインターフェイス２１０が情報を出力すると、制御装置４０００は、判断結果を「良好ではない」と判断するので（Ｓ１１４にてＮＯ）、制御装置４０００は、情報を工場ＣＩＭ３０００に出力する。工場ＣＩＭ３０００は、出力された情報をもとにその原因を解析する。この場合、領域１の最大値と領域２の平均値の差が、ソフトウェアにおいて設定されたしきい値を下回るので、イオナイザ１１０の状態が異常と解析される。工場ＣＩＭ３０００は、解析した結果を制御装置４０００に出力する。制御装置４０００は、赤色の警告灯を点灯する（Ｓ１１６）。
【００７７】
解析した結果を制御装置４０００に出力すると、工場ＣＩＭ３０００は、生産ラインの停止が必要か否か判断する（Ｓ１１８）。生産ラインの停止は必要ない場合は（Ｓ１１８にてＮＯ）、搬送装置１２０は基板１４０を取出す（Ｓ１２０）。
【００７８】
［帯電量に異常が発生している場合］
図９を参照して、基板１４０の帯電量に異常が発生している場合の、状況判断および除電システム１０００の動作について説明する。
【００７９】
搬送装置１２０がハンド１２２を挿入すると、ＣＰＵ２０２は、基板１４０の帯電状況を判断して、基板１４０が生産される状況を判断する。基板１４０の表面電位が図９のように推移した場合、領域１は上限のしきい値を上回る。判断条件を満足しないことは明らかである。ＣＰＵ２０２は、判断結果を「良好ではない」と判断する。ネットワークインターフェイス２１０は、情報を制御装置４０００に出力する（Ｓ１１２）。
【００８０】
ネットワークインターフェイス２１０が情報を出力すると、制御装置４０００は、判断結果を「良好ではない」と判断するので（Ｓ１１４にてＮＯ）、制御装置４０００は、情報を工場ＣＩＭ３０００に出力する。工場ＣＩＭ３０００は、出力された情報をもとにその原因を解析する。この場合、領域１における表面電位の絶対値の最大値が上限のしきい値を上回るので、帯電量が過大と解析される。工場ＣＩＭ３０００は、解析した結果を制御装置４０００に出力する。制御装置４０００は、黄色の警告灯を点灯する（Ｓ１１６）。
【００８１】
図１０を参照して、以上の各場合における、異常が発生した原因と対処する事項とを説明する。領域１のみが要件を満たさない場合、帯電量に異常がある。この場合、イオナイザ１１０以外の生産ラインに問題がある。制御装置４０００は黄色の警告灯を点灯する。工場ＣＩＭ３０００は、制御装置４０００が出力した情報のうち、帯電量が異常なデータの履歴などを解析して別途の対策を講じてもよい。領域２のみに異常がある場合、イオナイザ１１０に異常がある。制御装置４０００は赤色の警告灯を点灯し注意を促す。領域１と領域２との双方に異常がある場合、領域１の最大値と領域２の平均値の差を求める。その差から除電量が明らかになる。除電量が異常ならばイオナイザ１１０に異常がある。制御装置４０００は除電時間を延長し、かつ赤色および黄色の警告灯を点灯する。除電量に異常がなければ、帯電量に異常がある。制御装置４０００はイオナイザ１１０による除電時間を延長し、かつ黄色の警告灯を点灯する。領域１のみまたは領域２のみを判断した場合、イオナイザ１１０に問題があるか否かがわからない。複数の要件の組合せを判断すると、１つの要件だけでは得られない判断材料を得ることができる。これにより、基板１４０が生産される状況を的確に把握できる。
【００８２】
以上のようにして、本実施の形態に係る判断装置２０００は、複数の要件の組合せに基づいて判断する処理をすることができる。組合せが判断されると、判断材料の数が要件の数より多くなる。判断装置２０００は、それらの判断条件を用いて基板１４０の帯電状況を判断し基板１４０が生産される状況を判断する。これにより、判断装置２０００は、要件ごとの判断のみに基づいて判断する場合より、基板１４０が生産される状況を的確に判断することができる。その結果基板１４０が生産される状況を的確に判断できる判断装置を提供することができる。判断装置２０００の判断結果に応じて、例えば、制御装置４０００により搬送装置１２０を制御して、次の製造工程に搬送したり、検査工程に搬送したりするなど、搬送先を制御してもよい。
【００８３】
なお、上述の説明において、基板１４０の帯電状況が判断されて、基板１４０が生産される状況が判断されるにあたり、判断の対象は、２つ以上の値であれば特に限定されない。たとえばある瞬間の値に対してぞれぞれ設定された要件を満足するか否かの組合せに基づいて生産される状況が判断されてもよい。それらの値は、３つ以上であってもよい。
【００８４】
また、上述の説明において、Ｓ１１２にて説明した判断条件は一例である。たとえばイオナイザ１１０の正常、異常の判断は各々の値の差で説明したが、領域１と領域２における値の比によっても構わない。例えば判断条件は、領域２の平均値が領域１の最大値の１／１０であるか否かであっても良い。領域１および領域２のすべての要件を満足した時だけ判断条件をすべて満たす生産と判断してもよい。判断条件は、表面電位の実測値の平均値や、その絶対値についての条件であってもよい。
【００８５】
さらに、上述の説明において、表面電位の計測を開始する時は、搬送装置１２０が基板１４０に接触する予定の時を基準として定められてもよい。この基準は特に限定されない。表面電位の計測は、ソフトウェアにより設定された時間によらず、何らかの信号に応答して開始されてもよい。
【００８６】
その他、上述の説明において、除電システム１０００は、基板１４０上の埃を吸着する吸引クリーナの一部であってもよい。除電システム１０００は、基板１４０を洗浄する洗浄装置の一部であってもよい。除電システム１０００は、基板１４０を検査する検査装置の一部であってもよい。除電システム１０００は、基板１４０に光を照射する露光装置の一部であってもよい。
【００８７】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る除電システムの全体構成図である。
【図２】本実施の形態に係る判断装置の機能ブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る搬送装置のハンド部分およびステージの構造を表わす構成図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る除電システムの制御の手順を示すフローチャートである。
【図５】本実施の形態に係る除電システムの動作と時間の経過との関係を表す図である。
【図６】基板が昇降ピンによって押上げられる際の、表面電位の変化の例を表わす図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る、帯電量とイオナイザとに異常が発生した場合の表面電位の変化の例を表わす図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る、イオナイザに異常が発生した場合の表面電位の変化の例を表わす図である。
【図９】本発明の実施の形態に係る、帯電量に異常が発生した場合の表面電位の変化の例を表わす図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る、表面電位の異常と原因と対処する事項との対応を表わす図である。
【符号の説明】
１００  表面電位計、１０２  センサ、１０４  本体、１１０  イオナイザ、１２０  搬送装置、１２２  ハンド、１３０  ステージ、１３２  プレート、１３４  吸着孔、１３６  昇降ピン、１４０  基板、２００  コンピュータ、２０２  ＣＰＵ、２０４  固定ディスク、２０６  通信インターフェイス、２０８  モニタ、２１０  ネットワークインターフェイス、２１２  マウス、２１４  キーボード、２１６  メモリ、２１８  ＦＤ駆動装置、２２０  ＣＤ−ＲＯＭ駆動装置、１０００  除電システム、２０００  判断装置、３０００  工場ＣＩＭ、４０００  制御装置。
【図１】
2004281124.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004281124.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2004281124.tif 000008
【図７】
2004281124.tif 000009
【図８】
2004281124.tif 000010
【図９】
2004281124.tif 000011
【図１０】
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