(57)【要約】【課題】洩れ検査の精度、信頼性を高める。【解決手段】被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気圧を印加し、所定の時間が経過後に被検査体内部の空気圧の変化量を測定し、空気圧の低下が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置において、乾燥された洩れの無い被検査体を用いてドリフト補正値を被検査体とシール治具との間の温度差毎に求めて記憶し、更に被検査体を濡らした状態で蒸気圧変化を測定しこの蒸気圧変化から湿度補正係数ｋを求め、これらドリフト補正値と湿度補正係数によりドリフト補正と湿度補正を施す。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気圧を封じ込め、この空気圧の変化を測定して空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置において、
校正モードで上記被検査体に洩れの無い乾燥された常温乾燥被検査体を用意し、この常温乾燥被検査体と上記シール治具との間に所定の温度差を与えた状態に設定し、この所定の温度差が与えられている状態で上記常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、その空気圧の変動量をドリフト値として測定することを複数の温度差毎に実行し、複数の温度差のドリフト値をドリフト記憶器に記憶することを特徴とする洩れ検査装置のドリフト値取得方法。
【請求項２】
被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体と基準タンクに空気圧を封じ込め、両者間に圧力差が発生するか否かにより上記被検査体に洩れが有る否かを判定する洩れ検査装置において、
校正モードで上記被検査体に洩れの無い乾燥された常温乾燥被検査体を用意し、この常温乾燥被検査体と上記シール治具との間に所定の温度差を与えた状態に設定し、この所定の温度差が与えられている状態で上記常温乾燥被検査体と基準タンクとに空気を封じ込め、上記圧力差の変動量をドリフト値として測定することを複数の温度差毎に実行し、複数の温度差のドリフト値をドリフト記憶器に記憶することを特徴とする洩れ検査装置のドリフト値取得方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の洩れ検査装置のドリフト取得方法の何れかにより、上記ドリフト記憶器に被検査体とシール治具との間の温度差に対応するドリフト値を記憶した洩れ検査装置において、
校正モードで洩れの無い乾燥された常温乾燥被検査体を用意すると共に、この常温乾燥被検査体と上記シール治具との間の温度差を測定し、この温度差に対応するドリフト値を上記ドリフト記憶器から導出すると共に、上記常温乾燥被検査体に空気圧を印加してドリフト値と環境温度を測定し、この測定して得られたドリフト値と上記ドリフト記憶器から導出したドリフト値との偏差を求め、この偏差値を上記測定した環境温度に対応するゼロ点変動値としてゼロ点変動記憶器に記憶することを特徴とする洩れ検査装置のゼロ点変動値取得方法。
【請求項４】
請求項１又は２記載の洩れ検査装置のドリフト値取得方法の何れかにより、上記ドリフト記憶器に被検査体とシール治具との間の温度差に対応するドリフト値を記憶した洩れ検査装置において、
校正モードで洩れの有無が不明な乾燥された常温乾燥被検査体を用意する共に、この洩れの有無が不明な乾燥された常温乾燥被検査体とシール治具との間の温度差をゼロの状態に設定し、この設定状態で上記被検査体に空気圧を印加して仮ドリフト値と環境温度とを測定すると共に、ドリフト測定タイミングより長時間経過したタイミングで洩れのみによる圧力変化を測定してこの圧力変化を上記仮ドリフト値から差し引くことにより真のドリフト値を求め、この求められたドリフト値と上記ドリフト記憶器の温度差ゼロに該当するアドレスに記憶しているドリフト値との偏差を求め、この偏差値を上記測定した環境温度に対応するゼロ点変動値としてゼロ点変動記憶器に記憶することを特徴とする洩れ検査装置のゼロ点変動値取得方法。
【請求項５】
請求項３又は４記載の洩れ検査装置のゼロ点変動値取得方法の何れかにおいて、
上記ゼロ点変動値取得方法で取得するゼロ点変動値を複数の環境温度毎に取得し、各環境温度毎に取得したゼロ点変動値をゼロ点変動値記憶器に記憶することを特徴とするゼロ点変動値取得方法。
【請求項６】
被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気圧を印加し、所定時間が経過後の上記被検査体内部の空気圧の変化量を測定し、空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法において、
校正モードで洩れの無い常温乾燥被検査体を用意し、この常温乾燥被検査体の開口部分をシール治具により閉塞し、その閉塞状態で所定時間の経過後の被検査体の内部の圧力変化値をシール治具によるシール誤差値ΔＰ０として計測する過程と、
この常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定時間が経過する間の圧力変化値をドリフト値ΔＰ０１として計測する過程と、
上記常温乾燥被検査体の内面に水滴を付着させ上記常温乾燥被検査体を常温濡れ被検査体に変換する過程と、
この常温濡れ被検査体の開口部を上記シール治具によって閉塞し、所定時間が経過する間の圧力変化値を蒸気圧ΔＰ１として計測する過程と、
上記常温濡れ被検査体に空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定の時間が経過する間の空気圧変化値を濡れ被検査体のドリフト値ΔＰ１１として計測する過程と、
上記各計測値から湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）により求める過程と、
上記シール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋを記憶器に記憶する過程と、
を実行することを特徴とする洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法。
【請求項７】
被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、両者間に圧力差が発生するか否かにより上記被検査体に洩れが有るか否かを判定する洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法において、
校正モードで洩れの無い常温乾燥被検査体を用意し、この常温乾燥被検査体の開口部分をシール治具により閉塞し、その閉塞状態で所定時間の経過後の上記常温乾燥被検査体と上記基準タンクとの間に発生する差圧値をシール治具によるシール誤差値ΔＰ０として計測する過程と、
上記常温乾燥被検査体と上記基準タンクに空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定時間が経過する間に発生する差圧値をドリフト値ΔＰ０１として計測する過程と、
上記常温乾燥被検査体の内面に水滴を付着させ上記常温乾燥被検査体を常温濡れ被検査体に変換する過程と、
この常温濡れ被検査体の開口部を上記シール治具によって閉塞し、所定時間が経過する間の上記差圧の変化値を蒸気圧ΔＰ１として計測する過程と、
上記常温濡れ被検査体及び基準タンクに空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定の時間が経過する間の上記差圧変化値を濡れ被検査体のドリフト値ΔＰ１１として計測する過程と、
上記各計測値から湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）により求める過程と、
上記シール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋを記憶器に記憶する過程と、
を実行することを特徴とする洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法。
【請求項８】
請求項６又は７記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法の何れかによりシール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋを記憶した洩れ検査装置の湿度補正方法において、
検査モードで被検査体の開口部分をシール治具により閉塞し、この閉塞状態で上記被検査体の内部の圧力変化値又は被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧値がΔＰＸとして計測された場合、湿度補正値ＭをＭ＝（ΔＰＸ−ΔＰ０）ｋにより算出し、この湿度補正値Ｍを洩れ検査時に発生するドリフト値から除去して湿度補正を施すことを特徴とする洩れ検査装置の湿度補正方法。
【請求項９】
請求項１記載の洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対応したドリフト値を記憶すると共に、請求項６記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法によりシール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋとを記憶した洩れ検査装置の洩れ検査方法又は請求項２記載の洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対応したドリフト値を記憶すると共に、請求項７記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法によりシール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋとを記憶した洩れ検査装置の洩れ検査方法の何れかにおいて、
検査モードでは被検査体とシール治具との間の温度差を測定し、その温度差に対応したドリフト補正値を上記ドリフト記憶器から読み出し、このドリフト値を被検査体に封入された空気圧の変化量から減算し、洩れ検査時に発生するドリフト成分を除去すると共に、被検査体の開口部を大気圧の環境下においてシール治具で密封し、その密封状態から所定時間を経過した時点までの圧力変化値ΔＰＸを測定し、この圧力変化値ΔＰＸから上記シール誤差値ΔＰ０を減算した値（ΔＰＸ−ΔＰ０）に上記湿度補正係数ｋを乗算して検査モードにおける湿度補正値ＭをＭ＝（ΔＰＸ−ΔＰ０）ｋで求め、この湿度補正値Ｍを上記ドリフト成分を除去した空気圧の変化量から減算し、この減算結果と洩れの有無を判定する判定値とを比較することを特徴とする洩れ検査方法。
【請求項１０】
Ａ．被検査体の開口部を閉塞するシール治具と、
Ｂ．このシール治具と被検査体との間の温度差を測定する温度センサと、
Ｃ．上記被検査体の内部の空気圧の変化を測定する圧力センサと、
Ｄ．校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体と上記シール治具との間の温度差毎に上記常温乾燥被検査体の内部で発生する圧力変化をドリフト値として取得するドリフト値取得手段と、
Ｅ．このドリフト値取得手段が取得した上記各温度差毎のドリフト値を記憶するドリフト記憶器と、
Ｆ．校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体の開口部を大気圧の環境下において上記シール治具で閉塞し、その閉塞状態で上記圧力センサで計測される圧力変化からシール誤差値ΔＰ０を測定するシール誤差測定手段と、
Ｇ．このシール誤差測定手段が測定したシール誤差値ΔＰ０を記憶するシール誤差記憶器と、
Ｈ．校正モードにおいて洩れの無い常温濡れ被検査体の開口部を大気圧の環境下において上記シール治具で閉塞し、その閉塞状態で上記圧力センサで計測される圧力変化値ΔＰ１と、上記常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する上記常温乾燥被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ０１と、洩れの無い常温濡れ検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する上記常温濡れ被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ１１とをそれぞれ計測し、これらの計測結果と、上記シール誤差値ΔＰ０とにより湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）によって求める湿度補正係数取得手段と、
Ｉ．この湿度補正係数取得手段で取得した湿度補正係数ｋを記憶する湿度補正係数記憶器と、
Ｊ．検査モードにおいて、上記温度センサにより測定した被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリフト値を上記ドリフト記憶器から読み出すドリフト書込読出手段と、
Ｋ．検査モードにおいて、被検査体の開口部を大気圧の環境下で上記シール治具によって閉塞し、この閉塞期間における被検査体の内部の圧力変化を計測する湿度補正のための蒸気圧測定手段と、
Ｌ．この蒸気圧測定手段で測定した測定値ΔＰＸから上記シール誤差値ΔＰ０を減算し、その減算値（ΔＰＸ−ΔＰ０）に上記湿度補正係数ｋを乗算して湿度補正値Ｍを求める湿度補正値算出手段と、
Ｍ．検査モードにおいて、上記被検査体に封じ込めた空気圧の変化量から上記ドリフト書込読出手段が読み出したドリフト値と上記湿度補正値Ｍとを減算し、ドリフト補正と湿度補正を施す減算手段と、
Ｎ．この減算手段で減算した結果と設定値とを比較し、被検査体の洩れの有無を判定する判定手段と、
によって構成したことを特徴とする洩れ検査装置。
【請求項１１】
Ａ．被検査体の開口部を閉塞するシール治具と、
Ｂ．このシール治具と被検査体との間の温度差を測定する温度センサと、
Ｃ．上記被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧の変化を測定する差圧センサと、
Ｄ．校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体と上記シール治具との間の温度差毎に上記常温乾燥被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧変化をドリフト値として取得するドリフト値取得手段と、
Ｅ．このドリフト値取得手段が取得した上記各温度差毎のドリフト値を記憶するドリフト記憶器と、
Ｆ．校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体の開口部を大気圧の環境下において上記シール治具で閉塞し、その閉塞状態で上記差圧センサで計測される差圧変化からシール誤差値ΔＰ０を測定するシール誤差測定手段と、
Ｇ．このシール誤差測定手段が測定したシール誤差値ΔＰ０を記憶するシール誤差記憶器と、
Ｈ．校正モードにおいて洩れの無い常温濡れ被検査体の開口部を大気圧の環境下において上記シール治具で閉塞し、その閉塞状態で上記差圧センサで計測される差圧変化値ΔＰ１と、上記常温乾燥被検査体と上記基準タンクに空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する上記常温乾燥被検査体と基準タンクの間の差圧変化値ΔＰ０１と、洩れの無い常温濡れ検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に上記常温濡れ被検査体と上記基準タンクの差圧変化値ΔＰ１１とをそれぞれ計測し、これらの計測結果と、上記シール誤差値ΔＰ０とにより湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）によって求める湿度補正係数取得手段と、
Ｉ．この湿度補正係数取得手段で取得した湿度補正係数ｋを記憶する湿度補正係数記憶器と、
Ｊ．検査モードにおいて、上記温度センサにより測定した被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリフト値を上記ドリフト記憶器から読み出すドリフト書込読出手段と、
Ｋ．検査モードにおいて、被検査体の開口部を大気圧の環境下で上記シール治具によって閉塞し、この閉塞期間における被検査体の内部の圧力変化を計測する湿度補正のための蒸気圧測定手段と、
Ｌ．この蒸気圧測定手段で測定した測定値ΔＰＸから上記シール誤差値ΔＰ０を減算し、その減算値（ΔＰＸ−ΔＰ０）に上記湿度補正係数ｋを乗算して湿度補正値Ｍを求める湿度補正値算出手段と、
Ｍ．検査モードにおいて、上記被検査体に封じ込めた空気圧の変化量から上記ドリフト書込読出手段が読み出したドリフト値と上記湿度補正値Ｍとを減算し、ドリフト補正と湿度補正を施す減算手段と、
Ｎ．この減算手段で減算した結果と設定値とを比較し、被検査体の洩れの有無を判定する判定手段と、
によって構成したことを特徴とする洩れ検査装置。
【請求項１２】
被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気圧を印加し、所定時間が経過後の上記被検査体内部の空気圧の変化量を測定し、空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置又は被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、両者間に圧力差が発生するか否かにより上記被検査体に洩れが有るか否かを判定する洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法の何れかにおいて、
校正モードで洩れの無い常温乾燥被検査体を用意し、この常温乾燥被検査体の外側面に閉塞された空間を形成するための計測用治具をシール治具を介して被着し、この閉塞された空間を所定時間閉塞し、その閉塞状態で所定時間の経過後の圧力変化値をシール治具によるシール誤差値ΔＰ０として計測する過程と、
この常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定時間が経過する間の圧力変化値をドリフト値ΔＰ０１として計測する過程と、
上記計測治具が形成する空間に面する上記常温乾燥被検査体の内面と外面に均一に水滴を付着させ上記常温乾燥被検査体を常温濡れ被検査体に変換する過程と、
この常温濡れ被検査体の濡れた部分を上記計測治具により覆って閉塞し、所定時間が経過する間の圧力変化値を蒸気圧ΔＰ１として計測する過程と、
上記常温濡れ被検査体に空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定の時間が経過する間の空気圧変化値を濡れ被検査体のドリフト値ΔＰ１１として計測する過程と、
上記各計測値から湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）により求める過程と、
上記シール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋを記憶器に記憶する過程と、
を実行することを特徴とする洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法。
【請求項１３】
請求項１２記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法によりシール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋを記憶した洩れ検査装置の湿度補正方法において、
検査モードで被検査体の外表面の一部を上記計測冶具により覆って閉塞空間を形成し、所定時間が経過する間の上記閉塞空間内の圧力変化値をΔＰＸとして計測された場合、湿度補正値ＭをＭ＝（ΔＰＸ−ΔＰ０）ｋにより算出し、この湿度補正値Ｍを洩れ検査時に発生するドリフト値から除去して湿度補正を施すことを特徴とする洩れ検査装置の湿度補正方法。
【請求項１４】
請求項１記載の洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対応したドリフト値を記憶すると共に、請求項１２記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法によりシール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋとを記憶した洩れ検査装置の洩れ検査方法又は請求項２記載の洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対応したドリフト値を記憶すると共に、請求項１２記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法によりシール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋとを記憶した洩れ検査装置の洩れ検査方法の何れかにおいて、
検査モードでは被検査体とシール治具との間の温度差を測定し、その温度差に対応したドリフト補正値を上記ドリフト記憶器から読み出し、このドリフト値を被検査体に封入された空気圧の変化量から減算し、洩れ検査時に発生するドリフト成分を除去すると共に、被検査体の外表面の一部を上記計測冶具により覆って閉塞し、大気圧の環境下において密封し、その密封状態から所定時間を経過した時点までの圧力変化値ΔＰＸを測定し、この圧力変化値ΔＰＸから上記シール誤差値ΔＰ０を減算した値（ΔＰＸ−ΔＰ０）に上記湿度補正係数ｋを乗算して検査モードにおける湿度補正値ＭをＭ＝（ΔＰＸ−ΔＰ０）ｋで求め、この湿度補正値Ｍを上記ドリフト成分を除去した空気圧の変化量から減算し、この減算結果と洩れの有無を判定する判定値とを比較することを特徴とする洩れ検査方法。
【請求項１５】
Ａ．被検査体の開口部を閉塞するシール治具と、
Ｂ．このシール治具と被検査体との間の温度差を測定する温度センサと、
Ｃ．上記被検査体の内部の空気圧の変化を又は被検査体と基準タンクとの間に発生する圧力差を測定する圧力センサと、
Ｄ．校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体と上記シール治具との間の温度差毎に上記常温乾燥被検査体の内部で発生する圧力変化をドリフト値として取得するドリフト値取得手段と、
Ｅ．このドリフト値取得手段が取得した上記各温度差毎のドリフト値を記憶するドリフト記憶器と、
Ｆ．校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体の外側に被着され、凹部により閉塞された空間を形成する計測治具と、
Ｇ．この計測治具で形成される空間を閉塞し、その閉塞状態で蒸気圧測定用圧力センサで計測される圧力変化からシール誤差値ΔＰ０を測定するシール誤差測定手段と、
Ｈ．このシール誤差測定手段が測定したシール誤差値ΔＰ０を記憶するシール誤差記憶器と、
Ｉ．校正モードにおいて洩れの無い常温濡れ被検査体を大気圧の環境下において上記計測用治具で閉塞し、その閉塞状態で上記蒸気圧測定用圧力センサで計測される圧力変化値ΔＰ１と、上記常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する上記常温乾燥被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ０１と、上記常温濡れ検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する上記常温濡れ被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ１１とをそれぞれ計測し、これらの計測結果と、上記シール誤差値ΔＰ０とにより湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）によって求める湿度補正係数取得手段と、
Ｊ．この湿度補正係数取得手段で取得した湿度補正係数ｋを記憶する湿度補正係数記憶器と、
Ｋ．検査モードにおいて、上記温度センサにより測定した被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリフト値を上記ドリフト記憶器から読み出すドリフト書込読出手段と、
Ｌ．検査モードにおいて、上記計測治具で形成される空間を大気圧の環境下で閉塞し、この閉塞期間における上記空間の内部の圧力変化を計測する湿度補正のための蒸気圧測定手段と、
Ｍ．この蒸気圧測定手段で測定した測定値ΔＰＸから上記シール誤差値ΔＰ０を減算し、その減算値（ΔＰＸ−ΔＰ０）に上記湿度補正係数ｋを乗算して湿度補正値Ｍを求める湿度補正値算出手段と、
Ｎ．検査モードにおいて、上記被検査体に封じ込めた空気圧の変化量から上記ドリフト書込読出手段が読み出したドリフト値と上記湿度補正値Ｍとを減算し、ドリフト補正と湿度補正を施す減算手段と、
Ｏ．この減算手段で減算した結果と設定値とを比較し、被検査体の洩れの有無を判定する判定手段と、
によって構成したことを特徴とする洩れ検査装置。
【請求項１６】
被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気圧を印加し、所定時間が経過後の上記被検査体内部の空気圧の変化量を測定し、空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置又は被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、両者間に圧力差が発生するか否かにより上記被検査体に洩れが有るか否かを判定する洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法の何れかにおいて、
校正モードで洩れの無い常温乾燥被検査体を用意し、この常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定時間が経過する間の圧力変化値をドリフト値ΔＰ０１として計測する過程と、
上記常温乾燥被検査体の外面と、上記常温乾燥被検査体の内面に均一に水滴を付着させ上記常温乾燥被検査体を常温濡れ被検査体に変換する過程と、
この常温濡れ被検査体の濡れた部分を計測治具により覆って閉塞空間を形成し、この閉塞空間に、所定の負圧を印加し、負圧の印加後所定時間が経過する間の上記閉塞空間内の圧力変化値を蒸気圧ΔＰ１として計測する過程と、
上記常温濡れ被検査体に空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定の時間が経過する間の空気圧変化値を濡れ被検査体のドリフト値ΔＰ１１として計測する過程と、
上記各計測値から湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／ΔＰ１により求める過程と、
上記湿度補正係数ｋを記憶器に記憶する過程と、
を実行することを特徴とする洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法。
【請求項１７】
請求項１６記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法により湿度補正係数ｋを記憶した洩れ検査装置の湿度補正方法において、
検査モードで被検査体の外表面の一部を上記計測冶具によって覆って閉塞空間を形成し、所定時間が経過する間の上記閉塞空間内の圧力変化値をΔＰＸとして計測された場合、湿度補正値ＭをＭ＝ΔＰＸ・ｋにより算出し、この湿度補正値Ｍを洩れ検査時に発生するドリフト値から除去して湿度補正を施すことを特徴とする洩れ検査装置の湿度補正方法。
【請求項１８】
請求項１記載の洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対応したドリフト値を記憶すると共に、請求項１６記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法により湿度補正係数ｋを記憶した洩れ検査装置の洩れ検査方法又は請求項２記載の洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対応したドリフト値を記憶すると共に、請求項１６記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法により湿度補正係数ｋを記憶した洩れ検査装置の洩れ検査方法の何れかにおいて、
検査モードでは被検査体とシール治具との間の温度差を測定し、その温度差に対応したドリフト補正値を上記ドリフト記憶器から読み出し、このドリフト値を被検査体に封入された空気圧の変化量から減算し、洩れ検査時に発生するドリフト成分を除去すると共に、被検査体と計測冶具によって形成される閉塞空間を負圧の環境下において密封し、その密封状態から所定時間を経過した時点までの上記閉塞空間内の圧力変化値ΔＰＸを測定し、この圧力変化値ΔＰＸに上記湿度補正係数ｋを乗算して検査モードにおける湿度補正値ＭをＭ＝ΔＰＸ・ｋで求め、この湿度補正値Ｍを上記ドリフト成分を除去した空気圧の変化量から減算し、この減算結果と洩れの有無を判定する判定値とを比較することを特徴とする洩れ検査方法。
【請求項１９】
Ａ．被検査体の開口部を閉塞するシール治具と、
Ｂ．このシール治具と被検査体との間の温度差を測定する温度センサと、
Ｃ．上記被検査体の内部の空気圧の変化を又は被検査体と基準タンクとの間に発生する圧力差を測定する圧力センサと、
Ｄ．校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体と上記シール治具との間の温度差毎に上記常温乾燥被検査体の内部で発生する圧力変化をドリフト値として取得するドリフト値取得手段と、
Ｅ．このドリフト値取得手段が取得した上記各温度差毎のドリフト値を記憶するドリフト記憶器と、
Ｆ．校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体の外側に被着され、凹部により閉塞された空間を形成する計測治具と、
Ｇ．校正モードにおいて洩れの無い常温濡れ被検査体の外表面の一部を上記計測用治具で被覆し、上記計測冶具で形成される閉塞空間に負圧を印加し、この負圧の印加状態で所定時間が経過する間に上記蒸気圧測定用圧力センサで計測される圧力変化値ΔＰ１と、上記常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する上記常温乾燥被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ０１と、上記常温濡れ検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する上記常温濡れ被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ１１とをそれぞれ計測し、これらの計測結果により湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／ΔＰ１によって求める湿度補正係数取得手段と、
Ｈ．この湿度補正係数取得手段で取得した湿度補正係数ｋを記憶する湿度補正係数記憶器と、
Ｉ．検査モードにおいて、上記温度センサにより測定した被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリフト値を上記ドリフト記憶器から読み出すドリフト書込読出手段と、
Ｊ．検査モードにおいて、上記計測治具で形成される空間に負圧を印加し、この負圧印加状態で上記空間の内部の圧力変化を計測する湿度補正のための蒸気圧測定手段と、
Ｋ．この蒸気圧測定手段で測定した測定値ΔＰＸに上記湿度補正係数ｋを乗算して湿度補正値Ｍを求める湿度補正値算出手段と、
Ｌ．検査モードにおいて、上記被検査体に封じ込めた空気圧の変化量から上記ドリフト書込読出手段が読み出したドリフト値と上記湿度補正値Ｍとを減算し、ドリフト補正と湿度補正を施す減算手段と、
Ｍ．この減算手段で減算した結果と設定値とを比較し、被検査体の洩れの有無を判定する判定手段と、
によって構成したことを特徴とする洩れ検査装置。
【請求項２０】
請求項１０、１１又は１５、１９記載の洩れ検査装置の何れかにおいて、検査モードで上記温度センサが測定した被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリフト値が上記ドリフト記憶器に存在しない場合は、上記ドリフト記憶器に記憶されている複数のドリフト値から直線近似により該当する温度差に対応するドリフト値を算出する直線近似演算手段を設けた構成としたことを特徴とする洩れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は各種の容器、エンジンのシリンダブロック、ガス器具などの洩れが有ってはならない機器の洩れの有無を検査する洩れ検査装置に関し、特に被検査体が濡れている状態でも正確に洩れの有無を判定することができる洩れ検査装置の校正方法及び装置を提案しようとするものである。
【０００２】
【従来の技術】
洩れ検査装置は被検査体に加圧した空気を封入し、その空気圧の変化を測定して洩れの有無を検査している。然し乍ら、空気は被検査体の温度、或は被検査体に接触する治具等の温度の影響を受け、洩れが無いのに洩れの有るような圧力変動（これをドリフトと称している）を来し、洩れの有無の判定を難しいものとしている。
このため、本出願人は従来より各種の洩れ検査方法及び洩れ検査装置のドリフト補正に関して各種の提案を行なってきた。
【０００３】
過去において提案したドリフト補正方法はドリフトの発生原因を被検査体に印加した加圧気体の温度変化（加圧印加時の断熱変化）が主な発生原因と見て被検査体に印加した空気の圧力変化からドリフト補正係数を導き出す手法を採っていた（例えば特許文献１）。
この特許文献１で提案したドリフト補正方法によれば校正モードにおいて、ドリフト補正係数を求めた条件の範囲に限れば適正にドリフト補正が働くのであるが、その条件の範囲から外れると、正しくドリフト補正が行なわれなくなる欠点がある。
【０００４】
この状況を解消すべく本出願人は被検査対の開口部を閉塞するシール治具と被検査体との温度差に着目し、この温度差がドリフト発生要因と特定し、校正モードにおいてこの温度差毎にドリフト補正値を求めてテーブルとして記憶し、検査モードではシール治具と被検査体との温度差を計測し、その温度差に従ってドリフト補正値をテーブルから読み出して補正するドリフト補正方法（特許文献２及び特許文献３）を提案した。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−５０８５４  公報
【特許文献２】
特開２００２−２２５９２  公報
【特許文献３】
特開２００３−１０６９２３  公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本出願人が過去に提案した各種のドリフト補正方法によれば被検査体が完全に乾燥状態であればほぼ完全に正しいドリフト補正を行なうことができる。然し乍ら、被検査体が濡れた状態（わずかでも水滴が付着している状態）にある場合には誤って判定を下す状況が発生することが判明した。
例えばエンジンブロックの場合には加工が終了すると洗浄水により洗浄が行なわれ、洗浄工程を経て検査工程にまわされる。洗浄工程の終了時点で乾燥工程が設けられているが、短時間に完全な乾燥を行なうことは難しい、このため、エンジンブロックの内壁にわずかな水滴が付着した状況で洩れ検査を行なう場面が多々存在する。
【０００７】
液体の水滴は常時被検査体温度における飽和蒸気圧に向かって蒸発を続ける。つまり、被検査体内に水滴が付着している場合、仮に被検査体の温度が常温でその開口部分がシール治具で閉塞された状況でも水滴は被検査体温度における飽和蒸気圧に向かって蒸発を続ける。この結果、水滴が存在した場合は被検査体内の圧力はわずかではあるが上昇を続け、この蒸発による圧力上昇が存在するためわずかな洩れが有るにも係わらず「洩れ無し」とする誤った判定を下すおそれがある。
【０００８】
因みに図２４に温度対飽和蒸気圧の対応を示す（理科年表より抜粋）。この図から明らかなように、温度が１０℃の場合と、３０℃の場合とでは飽和蒸気圧は約４倍の違いがあるから被検査体の温度が高い場合程水滴の影響が大きいことが分かる。
この発明の目的は被検査体とシール治具との間に温度差があっても、また被検査体に水滴が付着した状態であっても正しくドリフト補正を行なうことができる洩れ検査装置のドリフト値取得方法・温度補正係数取得方法・ゼロ点変動値取得方法・洩れ検査装置の校正方法及びこの校正方法により校正されて動作する洩れ検査装置を提案しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明では先願（特許文献３）で提案したドリフト値取得方法において、校正モードでドリフト値を取得する際に用いる被検査体を洩れのない乾燥された被検査体に特定し、乾燥状態にある被検査体を用いてシール治具と被検査体との間の温度差毎にドリフト値を取得し、検査モードではこのドリフト値を用いて従前どおりドリフト補正を施す。
これと共に、この発明では校正モードにおいて乾燥状態にある被検査体に水滴を付着し、濡れ被検査体に変換し、この濡れ被検査体を用いて水滴から発生する蒸気圧を測定し、この蒸気圧を利用して湿度補正係数ｋを求め、検査モードでは各被検査体毎に蒸気圧を測定し、この蒸気圧を湿度補正係数ｋにより正規化して湿度補正値Ｍを求め、この湿度補正値Ｍを先にドリフト補正されたドリフト値から減算して湿度補正を施す点を特徴とするものである。
【００１０】
従って、この発明によればシール治具と被検査体との間の温度差によって発生するドリフトと、水滴から発生する蒸気圧によるドリフトの双方を補正することが出来、これにより信頼性の高い洩れ検査装置を提供することができる。
具体的な解決手段としては以下の如くである。
この発明では被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気圧を封じ込め、この空気圧の変化を測定して空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置において、
校正モードで被検査体に洩れの無い乾燥された常温乾燥被検査体を用意し、この常温乾燥被検査体とシール治具との間に所定の温度差を与えた状態に設定し、この所定の温度差が与えられている状態で常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、その空気圧の変動量をドリフト値として測定することを複数の温度差毎に実行し、複数の温度差のドリフト値をドリフト記憶器に記憶する洩れ検査装置のドリフト値取得方法を提案する。
【００１１】
この発明では更に被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体と基準タンクに空気圧を封じ込め、両者間に圧力差が発生するか否かにより被検査体に洩れが有る否かを判定する洩れ検査装置において、
校正モードで被検査体に洩れの無い乾燥された常温乾燥被検査体を用意し、この常温乾燥被検査体とシール治具との間に所定の温度差を与えた状態に設定し、この所定の温度差が与えられている状態で常温乾燥被検査体と基準タンクに空気を封じ込め、圧力差の変動量をドリフト値として測定することを複数の温度差毎に実行し、複数の温度差のドリフト値をドリフト記憶器に記憶することを特徴とする洩れ検査装置のドリフト値取得方法を提案する。
【００１２】
この発明では更に洩れ検査装置のドリフト取得方法の何れかにより、ドリフト記憶器に被検査体とシール治具との間の温度差に対応するドリフト値を記憶した洩れ検査装置において、
校正モードで洩れの無い乾燥された常温乾燥被検査体を用意すると共に、この常温乾燥被検査体とシール治具との間の温度差を測定し、この温度差に対応するドリフト値をドリフト記憶器から導出すると共に、常温乾燥被検査体に空気圧を印加してドリフト値と環境温度を測定し、この測定して得られたドリフト値とドリフト記憶器から導出したドリフト値との偏差を求め、この偏差値を測定した環境温度に対応するゼロ点変動値としてゼロ点変動記憶器に記憶する洩れ検査装置のゼロ点変動値取得方法を提案する。
【００１３】
この発明では更に洩れ検査装置のドリフト値取得方法の何れかにより、ドリフト記憶器に被検査体とシール治具との間の温度差に対応するドリフト値を記憶した洩れ検査装置において、
校正モードで洩れの有無が不明な乾燥された常温乾燥被検査体を用意する共に、この洩れの有無が不明な乾燥された常温乾燥被検査体とシール治具との間の温度差をゼロの状態に設定し、この設定状態で被検査体に空気圧を印加して仮ドリフト値と環境温度とを測定すると共に、ドリフト測定タイミングより長時間経過したタイミングで洩れのみによる圧力変化を測定してこの圧力変化を仮ドリフト値から差し引くことにより真のドリフト値を求め、この求められたドリフト値とドリフト記憶器の温度差ゼロに該当するアドレスに記憶しているドリフト値との偏差を求め、この偏差値を測定した環境温度に対応するゼロ点変動値としてゼロ点変動記憶器に記憶する洩れ検査装置のゼロ点変動値取得方法を提案する。
【００１４】
この発明では更に洩れ検査装置のゼロ点変動値取得方法の何れかにおいて、
ゼロ点変動値取得方法で取得するゼロ点変動値を複数の環境温度毎に取得し、各環境温度毎に取得したゼロ点変動値をゼロ点変動値記憶器に記憶するゼロ点変動値取得方法を提案する。
この発明では更に被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気圧を印加し、所定時間が経過後の被検査体内部の空気圧の変化量を測定し、空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法において、
校正モードで洩れの無い常温乾燥被検査体を用意し、この常温乾燥被検査体の開口部分をシール治具により閉塞し、その閉塞状態で所定時間の経過後の被検査体の内部の圧力変化値をシール治具によるシール誤差値ΔＰ０として計測する過程と、この常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定時間が経過する間の圧力変化値をドリフト値ΔＰ０１として計測する過程と、常温乾燥被検査体の内面に水滴を付着させ常温乾燥被検査体を常温濡れ被検査体に変換する過程と、この常温濡れ被検査体の開口部をシール治具によって閉塞し、所定時間が経過する間の圧力変化値を蒸発空気圧ΔＰ１として計測する過程と、上記常温濡れ被検査体に空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定の時間が経過する間の空気圧変化値を濡れ被検査体のドリフト値ΔＰ１１として計測する過程と、各計測値から湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）により求める過程と、シール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋを記憶器に記憶する過程とを実行する洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法を提案する。
【００１５】
この発明では更に被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、両者間に圧力差が発生するか否かにより被検査体に洩れが有るか否かを判定する濡れ検査装置の補正係数取得方法において、
校正モードで洩れの無い常温乾燥被検査体を用意し、この常温乾燥被検査体の開口部分をシール治具により閉塞し、その閉塞状態で所定時間の経過後の常温乾燥被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧値をシール治具によるシール誤差値ΔＰ０として計測する過程と、上記常温乾燥被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定時間が経過する間に発生する差圧値をドリフト値ΔＰ０１として計測する過程と、常温乾燥被検査体の内面に水滴を付着させ上記常温乾燥被検査体を常温濡れ被検査体に変換する過程と、この常温濡れ被検査体の開口部を上記シール治具によって閉塞し、所定時間が経過する間の差圧の変化値を蒸発空気圧ΔＰ１として計測する過程と、常温濡れ被検査体及び基準タンクに空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定の時間が経過する間の差圧の変化値を濡れ被検査体のドリフト値ΔＰ１１として計測する過程と、各計測値から湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）により求める過程と、シール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋを記憶器に記憶する過程とを実行する洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法を提案する。
【００１６】
この発明では更に濡れ検査装置の湿度補正係数取得方法の何れかによりシール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋを記憶した洩れ検査装置の湿度補正方法において、
検査モードで被検査体の開口部分をシール治具により閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部の圧力変化値又は被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧値がΔＰＸとして計測された場合、湿度補正値ＭをＭ＝（ΔＰＸ−ΔＰ０）ｋにより算出し、この湿度補正値Ｍを洩れ検査時に発生するドリフト値から除去して湿度補正を施す洩れ検査装置の湿度補正方法を提案する。
【００１７】
この発明では更に洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対応したドリフト値を記憶すると共に、請求項６記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法によりシール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋとを記憶した洩れ検査装置の洩れ検査方法又は請求項２記載の洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対応したドリフト値を記憶すると共に、請求項７記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法によりシール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋとを記憶した洩れ検査装置の洩れ検査方法の何れかにおいて、
検査モードでは被検査体とシール治具との間の温度差を測定し、その温度差に対応したドリフト補正値をドリフト記憶器から読み出し、このドリフト値を被検査体に封入された空気圧の変化量から減算し、洩れ検査時に発生するドリフト成分を除去すると共に、被検査体の開口部を大気圧の環境下においてシール治具で密封し、その密封状態から所定時間を経過した時点までの圧力変化値ΔＰＸを測定し、この圧力変化値ΔＰＸからシール誤差値ΔＰ０を減算した値（ΔＰＸ−ΔＰ０）に湿度補正係数ｋを乗算して検査モードにおける湿度補正値ＭをＭ＝（ΔＰＸ−ΔＰ０）ｋで求め、この湿度補正値Ｍを上記ドリフト成分を除去した空気圧の変化量から減算し、この減算結果と洩れの有無を判定する判定値とを比較する洩れ検査方法を提案する。
【００１８】
この発明では更に被検査体の開口部を閉塞するシール治具と、このシール治具と被検査体との間の温度差を測定する温度センサと、被検査体の内部の空気圧の変化を測定する圧力センサと、校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体と上記シール治具との間の温度差毎に常温乾燥被検査体の内部で発生する圧力変化をドリフト値として取得するドリフト値取得手段と、このドリフト値取得手段が取得した各温度差毎のドリフト値を記憶するドリフト記憶器と、校正モードにおいて洩れの無い常温濡れ被検査体の開口部を大気圧の環境下においてシール治具で閉塞し、その閉塞状態で圧力センサで計測される圧力変化からシール誤差値ΔＰ０を測定するシール誤差測定手段と、このシール誤差測定手段が測定したシール誤差値ΔＰ０を記憶するシール誤差記憶器と、校正モードにおいて洩れの無い常温濡れ被検査体の開口部を大気圧の環境下においてシール治具で閉塞し、その閉塞状態で圧力センサで計測される圧力変化値ΔＰ１と、常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する常温乾燥被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ０１と、常温濡れ検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する常温濡れ被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ１１とをそれぞれ計測し、これらの計測結果と、シール誤差値ΔＰ０とにより湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）によって求める湿度補正係数取得手段と、この湿度補正係数取得手段で取得した湿度補正係数ｋを記憶する湿度補正係数記憶器と、検査モードにおいて、温度センサにより測定した被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリフト値をドリフト記憶器から読み出すドリフト書込読出手段と、検査モードにおいて、被検査体の開口部を大気圧の環境下でシール治具によって閉塞し、この閉塞期間における被検査体の内部の圧力変化を計測する湿度補正のための蒸気圧測定手段と、この蒸気圧測定手段で測定した測定値ΔＰＸからシール誤差値ΔＰ０を減算し、その減算値（ΔＰＸ−ΔＰ０）に湿度補正係数ｋを乗算して湿度補正値Ｍを求める湿度補正値算出手段と、検査モードにおいて、被検査体に封じ込めた空気圧の変化量からドリフト書込読出手段が読み出したドリフト値と湿度補正値Ｍとを減算し、ドリフト補正と湿度補正を施す減算手段と、この減算手段で減算した結果と設定値とを比較し、被検査体の洩れの有無を判定する判定手段とによって構成した洩れ検査装置を提案する。
【００１９】
この発明では更に被検査体の開口部を閉塞するシール治具と、このシール治具と被検査体との間の温度差を測定する温度センサと、被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧の変化を測定する差圧センサと、校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体とシール治具との間の温度差毎に常温乾燥被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧変化をドリフト値として取得するドリフト値取得手段と、このドリフト値取得手段が取得した各温度差毎のドリフト値を記憶するドリフト記憶器と、校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体の開口部を大気圧の環境下においてシール治具で閉塞し、その閉塞状態で差圧センサで計測される差圧変化からシール誤差値ΔＰ０を測定するシール誤差測定手段と、このシール誤差測定手段が測定したシール誤差値ΔＰ０を記憶するシール誤差記憶器と、校正モードにおいて洩れの無い常温濡れ被検査体の開口部を大気圧の環境下においてシール治具で閉塞し、その閉塞状態で差圧センサで計測される差圧変化値ΔＰ１と、常温乾燥被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する常温乾燥被検査体と基準タンクの間の差圧変化値ΔＰ０１と、常温濡れ検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に常温濡れ被検査体と基準タンクの差圧変化値ΔＰ１１とをそれぞれ計測し、これらの計測結果と、シール誤差値ΔＰ０とにより湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）によって求める湿度補正係数取得手段と、この湿度補正係数取得手段で取得した湿度補正係数ｋを記憶する湿度補正係数記憶器と、検査モードにおいて、温度センサにより測定した被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリフト値をドリフト記憶器から読み出すドリフト書込読出手段と、検査モードにおいて、被検査体の開口部を大気圧の環境下でシール治具によって閉塞し、この閉塞期間における被検査体の内部の圧力変化を計測する湿度補正のための蒸気圧測定手段と、この蒸気圧測定手段で測定した測定値ΔＰＸからシール誤差値ΔＰ０を減算し、その減算値（ΔＰＸ−ΔＰ０）に湿度補正係数ｋを乗算して湿度補正値Ｍを求める湿度補正値算出手段と、検査モードにおいて、被検査体に封じ込めた空気圧の変化量からドリフト書込読出手段が読み出したドリフト値と湿度補正値Ｍとを減算し、ドリフト補正と湿度補正を施す減算手段と、この減算手段で減算した結果と設定値とを比較し、被検査体の洩れの有無を判定する判定手段とによって構成した洩れ検査装置を提案する。
【００２０】
この発明では更に被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気圧を印加し、所定時間が経過後の上記被検査体内部の空気圧の変化量を測定し、空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置又は被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、両者間に圧力差が発生するか否かにより上記被検査体に洩れが有るか否かを判定する洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法の何れかにおいて、校正モードで洩れの無い常温乾燥被検査体を用意し、この常温乾燥被検査体の外側面に閉塞された空間を形成するための計測用治具をシール治具を介して被着し、この閉塞された空間を所定時間閉塞し、その閉塞状態で所定時間の経過後の圧力変化値をシール治具によるシール誤差値ΔＰ０として計測する過程と、この常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定時間が経過する間の圧力変化値をドリフト値ΔＰ０１として計測する過程と、上記計測治具が形成する空間に面する上記常温乾燥被検査体の内面と外面に均一に水滴を付着させ上記常温乾燥被検査体を常温濡れ被検査体に変換する過程と、この常温濡れ被検査体の濡れた部分を上記計測治具により覆って閉塞し、所定時間が経過する間の圧力変化値を蒸気圧ΔＰ１として計測する過程と、上記常温濡れ被検査体に空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定の時間が経過する間の空気圧変化値を濡れ被検査体のドリフト値ΔＰ１１として計測する過程と、上記各計測値から湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）により求める過程と、上記シール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋを記憶器に記憶する過程とを実行する洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法を提案する。
【００２１】
この発明では更に洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法によりシール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋを記憶した洩れ検査装置の湿度補正方法において、検査モードで被検査体の外表面の一部を上記計測冶具により覆って閉塞空間を形成し、所定時間が経過する間の上記閉塞空間内の圧力変化値をΔＰＸとして計測された場合、湿度補正値ＭをＭ＝（ΔＰＸ−ΔＰ０）ｋにより算出し、この湿度補正値Ｍを洩れ検査時に発生するドリフト値から除去して湿度補正を施す洩れ検査装置の湿度補正方法を提案する。
【００２２】
この発明では更に洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対応したドリフト値を記憶すると共に、請求項１２記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法によりシール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋとを記憶した洩れ検査装置の洩れ検査方法又は請求項２記載の洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対応したドリフト値を記憶すると共に、請求項１２記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法によりシール誤差値ΔＰ０と湿度補正係数ｋとを記憶した洩れ検査装置の洩れ検査方法の何れかにおいて、検査モードでは被検査体とシール治具との間の温度差を測定し、その温度差に対応したドリフト補正値を上記ドリフト記憶器から読み出し、このドリフト値を被検査体に封入された空気圧の変化量から減算し、洩れ検査時に発生するドリフト成分を除去すると共に、被検査体の外表面の一部を上記計測冶具により覆って閉塞し、大気圧の環境下において密封し、その密封状態から所定時間を経過した時点までの圧力変化値ΔＰＸを測定し、この圧力変化値ΔＰＸから上記シール誤差値ΔＰ０を減算した値（ΔＰＸ−ΔＰ０）に上記湿度補正係数ｋを乗算して検査モードにおける湿度補正値ＭをＭ＝（ΔＰＸ−ΔＰ０）ｋで求め、この湿度補正値Ｍを上記ドリフト成分を除去した空気圧の変化量から減算し、この減算結果と洩れの有無を判定する判定値とを比較する洩れ検査方法提案する。
【００２３】
この発明では更に被検査体の開口部を閉塞するシール治具と、このシール治具と被検査体との間の温度差を測定する温度センサと、上記被検査体の内部の空気圧の変化を又は被検査体と基準タンクとの間に発生する圧力差を測定する圧力センサと、校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体と上記シール治具との間の温度差毎に上記常温乾燥被検査体の内部で発生する圧力変化をドリフト値として取得するドリフト値取得手段と、このドリフト値取得手段が取得した上記各温度差毎のドリフト値を記憶するドリフト記憶器と、校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体の外側に被着され、凹部により閉塞された空間を形成する計測治具と、この計測治具で形成される空間を閉塞し、その閉塞状態で蒸気圧測定用圧力センサで計測される圧力変化からシール誤差値ΔＰ０を測定するシール誤差測定手段と、このシール誤差測定手段が測定したシール誤差値ΔＰ０を記憶するシール誤差記憶器と、校正モードにおいて洩れの無い常温濡れ被検査体を大気圧の環境下において上記計測用治具で閉塞し、その閉塞状態で上記蒸気圧測定用圧力センサで計測される圧力変化値ΔＰ１と、上記常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する上記常温乾燥被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ０１と、上記常温濡れ検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する上記常温濡れ被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ１１とをそれぞれ計測し、これらの計測結果と、上記シール誤差値ΔＰ０とにより湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）によって求める湿度補正係数取得手段と、この湿度補正係数取得手段で取得した湿度補正係数ｋを記憶する湿度補正係数記憶器と、検査モードにおいて、上記温度センサにより測定した被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリフト値を上記ドリフト記憶器から読み出すドリフト書込読出手段と、検査モードにおいて、上記計測治具で形成される空間を大気圧の環境下で閉塞し、この閉塞期間における上記空間の内部の圧力変化を計測する湿度補正のための蒸気圧測定手段と、この蒸気圧測定手段で測定した測定値ΔＰＸから上記シール誤差値ΔＰ０を減算し、その減算値（ΔＰＸ−ΔＰ０）に上記湿度補正係数ｋを乗算して湿度補正値Ｍを求める湿度補正値算出手段と、検査モードにおいて、上記被検査体に封じ込めた空気圧の変化量から上記ドリフト書込読出手段が読み出したドリフト値と上記湿度補正値Ｍとを減算し、ドリフト補正と湿度補正を施す減算手段と、この減算手段で減算した結果と設定値とを比較し、被検査体の洩れの有無を判定する判定手段とによって構成した洩れ検査装置を提案する。
【００２４】
この発明では更に被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体の内部に空気圧を印加し、所定時間が経過後の上記被検査体内部の空気圧の変化量を測定し、空気圧の低下量が大きいとき洩れ有り、空気圧の低下量が小さいとき洩れ無しと判定する洩れ検査装置又は被検査体の開口部分をシール治具によって閉塞し、この閉塞状態で被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、両者間に圧力差が発生するか否かにより上記被検査体に洩れが有るか否かを判定する洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法の何れかにおいて、校正モードで洩れの無い常温乾燥被検査体を用意し、この常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定時間が経過する間の圧力変化値をドリフト値ΔＰ０１として計測する過程と、上記常温乾燥被検査体の外面と、上記常温乾燥被検査体の内面に均一に水滴を付着させ上記常温乾燥被検査体を常温濡れ被検査体に変換する過程と、この常温濡れ被検査体の濡れた部分を計測治具により覆って閉塞空間を形成し、この閉塞空間に、所定の負圧を印加し、負圧の印加後所定時間が経過する間の上記閉塞空間内の圧力変化値を蒸気圧ΔＰ１として計測する過程と、上記常温濡れ被検査体に空気圧を印加し、空気圧の印加後の所定の時間が経過する間の空気圧変化値を濡れ被検査体のドリフト値ΔＰ１１として計測する過程と、上記各計測値から湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／ΔＰ１）により求める過程と、上記湿度補正係数ｋを記憶器に記憶する過程とを実行する洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法を提案する。
この発明では更に洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法により湿度補正係数ｋを記憶した洩れ検査装置の湿度補正方法において、検査モードで被検査体の外表面の一部を上記計測冶具によって覆って閉塞空間を形成し、所定時間が経過する間の上記閉塞空間内の圧力変化値をΔＰＸとして計測された場合、湿度補正値ＭをＭ＝ΔＰＸ・ｋにより算出し、この湿度補正値Ｍを洩れ検査時に発生するドリフト値から除去して湿度補正を施す洩れ検査装置の湿度補正方法を提案する。
【００２５】
この発明では更に洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対応したドリフト値を記憶すると共に、請求項１６記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法により湿度補正係数ｋを記憶した洩れ検査装置の洩れ検査方法又は請求項２記載の洩れ検査装置のドリフト値取得方法によりドリフト記憶器に被検査体とシール治具間の温度差に対応したドリフト値を記憶すると共に、請求項１６記載の洩れ検査装置の湿度補正係数取得方法により湿度補正係数ｋを記憶した洩れ検査装置の洩れ検査方法の何れかにおいて、検査モードでは被検査体とシール治具との間の温度差を測定し、その温度差に対応したドリフト補正値を上記ドリフト記憶器から読み出し、このドリフト値を被検査体に封入された空気圧の変化量から減算し、洩れ検査時に発生するドリフト成分を除去すると共に、被検査体と計測冶具によって形成される閉塞空間を負圧の環境下において密封し、その密封状態から所定時間を経過した時点までの閉塞空間内の圧力変化値ΔＰＸを測定し、この圧力変化値ΔＰＸに上記湿度補正係数ｋを乗算して検査モードにおける湿度補正値ＭをＭ＝ΔＰＸ・ｋで求め、この湿度補正値Ｍを上記ドリフト成分を除去した空気圧の変化量から減算し、この減算結果と洩れの有無を判定する判定値とを比較する洩れ検査方法を提案する。
【００２６】
この発明では更に被検査体の開口部を閉塞するシール治具と、このシール治具と被検査体との間の温度差を測定する温度センサと、上記被検査体の内部の空気圧の変化を又は被検査体と基準タンクとの間に発生する圧力差を測定する圧力センサと、校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体と上記シール治具との間の温度差毎に上記常温乾燥被検査体の内部で発生する圧力変化をドリフト値として取得するドリフト値取得手段と、このドリフト値取得手段が取得した上記各温度差毎のドリフト値を記憶するドリフト記憶器と、校正モードにおいて洩れの無い常温乾燥被検査体の外側に被着され、凹部により閉塞された空間を形成する計測治具と、校正モードにおいて洩れの無い常温濡れ被検査体の外表面の一部を上記計測用治具で被覆し、上記計測冶具で形成される閉塞空間に負圧を印加し、この負圧の印加状態で所定の時間が経過する間に上記蒸気圧測定用圧力センサで計測される圧力変化値ΔＰ１と、上記常温乾燥被検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する上記常温乾燥被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ０１と、上記常温濡れ検査体に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間に発生する上記常温濡れ被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ１１とをそれぞれ計測し、これらの計測結果により湿度補正係数ｋをｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／ΔＰ１によって求める湿度補正係数取得手段と、この湿度補正係数取得手段で取得した湿度補正係数ｋを記憶する湿度補正係数記憶器と、検査モードにおいて、上記温度センサにより測定した被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリフト値を上記ドリフト記憶器から読み出すドリフト書込読出手段と、検査モードにおいて、上記計測治具で形成される空間に負圧を印加し、この負圧印加状態で上記空間の内部の圧力変化を計測する湿度補正のための蒸気圧測定手段と、この蒸気圧測定手段で測定した測定値ΔＰＸに上記湿度補正係数ｋを乗算して湿度補正値Ｍを求める湿度補正値算出手段と、検査モードにおいて、上記被検査体に封じ込めた空気圧の変化量から上記ドリフト書込読出手段が読み出したドリフト値と上記湿度補正値Ｍとを減算し、ドリフト補正と湿度補正を施す減算手段と、この減算手段で減算した結果と設定値とを比較し、被検査体の洩れの有無を判定する判定手段とによって構成した洩れ検査装置を提案する。
この発明では更に洩れ検査装置の何れかにおいて、検査モードで上記温度センサが測定した被検査体とシール治具との間の温度差に対応したドリフト値が上記ドリフト記憶器に存在しない場合は、上記ドリフト記憶器に記憶されている複数のドリフト値から直線近似により該当する温度差に対応するドリフト値を算出する直線近似演算手段を設けた構成とした洩れ検査装置を提案する。
【００２７】
作用
この発明による洩れ検査装置のドリフト値取得方法によれば、被検査体とシール治具との間の温度差をドリフト発生要因として特定し、被検査体とシール治具間の温度差毎にドリフト値を取得し、ドリフト記憶器に記憶したから、ドリフト記憶器に用意したドリフト値と、検査モードで発生するドリフト値とが良く一致し、精度の高いドリフト補正を施すことができる利点が得られる。また、この発明による洩れ検査装置の湿度補正値取得方法を適用することにより、水滴が付着した状態の被検査体であっても予め湿度補正値を取得してあるから検査前又は検査終了時点を除く検査中の何れかにおいて、その検査すべき被検査体の蒸発空気圧を測定すれば、その測定値から湿度補正値を求めることができる。この結果、被検査体とシール治具間の温度差に基づいて発生するドリフトも、水滴の付着によって発生する蒸気圧による誤差も検査結果で得られるドリフト値から除去できるから、水滴がわずかでも付着した被検査体でも正しく検査を行なうことができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
図１にこの発明による洩れ検査装置の一実施例を示す。この洩れ検査装置によればこの発明による洩れ検査用のドリフト値取得方法及び湿度補正係数取得方法を実行することができる。また、このドリフト値取得方法で取得したドリフト値及び湿度補正係数取得方法で取得した湿度補正係数を利用して信頼性の高い洩れ検査を実行することができる。
図中Ｗは被検査体を示す。被検査体Ｗは基台となる第１シール治具１の上に載置され、オーリングのようなシール部材ＣＣで気密を保持される。被検査体Ｗの上部側の開口部には第２シール治具２が搭載され、被検査体Ｗの上部側の開口部を閉塞する。この場合第２シール治具２に装着されたシール部材ＣＣで気密を保持して閉塞する。
【００２９】
被検査体Ｗは例えばエンジンのシリンダブロック或はガス器具の部品等各種の製品が適用される。エンジンのシリンダブロックのように形状が大きい場合は中子１４を挿入し、被検査体Ｗ内の内容積を可及的に小さくするように配慮される。
第２シール治具２には空気の注入口２Ａが設けられ、この注入口２Ａに配管１５が連通される。配管１５には圧力センサ１６と、電磁弁１７と、３方電磁弁１８と、調圧弁１９を通じて空圧源２０が接続される。調圧弁１９を調整して圧力計２１の指示に従って被検査体Ｗに印加する空気圧を設定する。
【００３０】
３方電磁弁１８をａ−ｂ間を開放状態に制御し、電磁弁１７を開くことにより被検査体Ｗに空気圧を印加することができる。被検査体Ｗに空気圧を印加した後で電磁弁１７を閉じることにより、被検査体Ｗに空気圧を封じ込めることができる。この封じ込んだ空気圧を圧力センサ１６で測定することにより所定の時間に渡って一定値を維持すれば洩れ無しと判定することができる。
然し乍ら、一般的には被検査体Ｗと第１シール治具１及び第２シール治具２の温度に対応して空気圧が変動（ドリフト）し、あたかも洩れが有るかの如く挙動する。更に、そのドリフト量は被検査体Ｗが乾燥状態にある場合と、濡れている場合とで異なる値を呈する。
【００３１】
このため、この発明では被検査体Ｗが乾燥状態にあることを想定して施すドリフト補正を実行するドリフト補正手段と、濡れた状態を想定して施す湿度補正を実行する湿度補正手段とを備えた洩れ検査装置を提供するものである。図１に示す洩れ検査装置本体１００は概略ドリフト補正手段３０と湿度補正手段５０と、判定手段７０とを備えた洩れ検査装置本体を示す。この発明による洩れ検査装置本体１００の内部の詳細は図２で説明することにするが、ここでは洩れ検査装置本体１００の概要を説明する。
【００３２】
ドリフト補正手段３０には予め校正モードにおいて取得したドリフト補正値を記憶しているドリフト記憶器３０Ｂが設けられる。このドリフト記憶器３０Ｂに記憶されているドリフト補正値は洩れの無い乾燥状態にある被検査体Ｗを用意する。この洩れの無い被検査体には洩れの有無を検査すべき製品と同一形状で、同一の材質であることが要件として求められる。この被検査体Ｗに空気圧を印加し、空気圧の印加後、所定の安定時間を経て、所定の測定期間（例えば２〜４秒程）を設定し、この測定期間に被検査体Ｗの内部の圧力変化をドリフト値として取得する。このとき、被検査体Ｗと第１シール治具１との間の温度差を測定し、その温度差におけるドリフト値としてドリフト記憶器３０Ｂに記憶する。校正モードでは被検査体Ｗを加熱又は冷却して被検査体Ｗと第１シール治具１との間の温度差を異なる温度差に設定し、各温度差毎にドリフト値を取得し、その取得したドリフト値をドリフト記憶器３０Ｂに記憶する。
【００３３】
被検査体Ｗとシール治具（図１に示す例では第１シール治具１）との間の温度差を測定するために、第１シール治具１に温度センサ３を設けている。この温度センサ３は図３に示すように第１シール治具１の被検査体Ｗと接触する面に穴Ｈを形成し、この穴Ｈの内部にセンサホルダ１３を装着する。センサホルダ１３は軸芯に貫通孔１３Ａを有し、この貫通孔１３Ａの両端に温度センサＳ１、Ｓ２を装着して支持させる。温度センサＳ１、Ｓ２は貫通孔１３Ａの両端面に露出して配置し、温度センサＳ１は第１シール治具１に接触して第１シール治具１の温度を測定する、また、センサＳ２は貫通孔１３Ａの上端面に露出して配置される。これらセンサＳ１とＳ２は貫通孔１３Ａの内部で樹脂剤或は接着剤等でセンサホルダ１３に固定される。
【００３４】
温度センサＳ２は第１シール治具１の表面と面一に配置され、その上に被検査体Ｗを搭載すると、被検査体ＷがセンサＳ２に接触し、被検査体Ｗの温度を測定する。尚、センサＳ２の表面には保護のために銅のような熱伝導率の高い材質の金属板等を配置し、この金属板を介して被検査体Ｗに接触するように構成することもできる。
温度差測定器４はセンサＳ１とＳ２の測定温度の差を求め、被検査体Ｗと第１シール治具１との間の温度差を洩れ検査装置本体１００に入力する。
【００３５】
このようにしてドリフト記憶器３０Ｂには校正モードにおいて予め被検査体Ｗとシール治具１との間の温度差毎に取得したドリフト値が記憶される。
検査モードでは検査に先だって被検査体Ｗとシール治具１との間の温度差を測定し、その温度差に対応したドリフト値をドリフト記憶器３０Ｂから読み出し、このドリフト値を被検査体を検査した場合に発生するドリフト値から減算してドリフト補正を施す。
一方、湿度補正値算出手段５０には湿度補正係数取得手段５０Ｃと、湿度補正係数記憶器５０Ｄと、被検査体Ｗに水滴が付着している度合を測定する蒸気圧測定手段５０Ｅとが設けられている。湿度補正係数取得手段５０Ｃには、予め校正モードにおいて常温乾燥状態にある洩れの無い被検査体と、水滴を付着した濡れた常温被検査体とを用いてそれぞれの被検査体で発生するドリフト値を測定し、そのドリフト値から湿度補正係数ｋを取得し、この湿度補正係数ｋを湿度補正係数記憶器５０Ｄに記憶して用意する。
【００３６】
これと共に検査モードでは蒸気圧測定手段５０Ｅにより各被検査体毎に水滴が存在する場合に発生する蒸気圧を測定し、この蒸気圧と湿度補正係数ｋとにより湿度補正値Ｍを求め、この湿度補正値Ｍを被検査体で発生するドリフト値（詳しくはドリフト補正が施されたドリフト値）から減算し、湿度補正を施す。
判定手段７０はドリフト補正と湿度補正が施されたドリフト値と予め設定した判定値とを比較し、ドリフト値が判定値を超えている場合を洩れ有り、判定値以下の場合を洩れ無しと判定し、その判定結果を表示器２００に表示する。
【００３７】
図２に洩れ検査装置本体１００の内部構成を示す。洩れ検査装置本体１００は一般にコンピュータによって構成される。コンピュータはＣＰＵと呼ばれている中央演算処理装置１０１と、基本プログラムを格納したＲＯＭ１０２と、実動プログラム等を記録し、実行させるＲＡＭ１０３と、入力ポート１０４、出力ポート１０５等により構成される。
図２に示す実施例ではＲＡＭ１０３に外部の例えば磁気ディスク等から実動プログラムを読み込んで、これらの各実動プログラムをＲＡＭ１０３上で実行させる構成とした場合を示す。尚、実動プログラムをＲＯＭ１０２に焼き付けＲＯＭ１０２上で実行させる場合もある。
【００３８】
ＲＡＭ１０３にはドリフト補正手段３０を構成する手段としてドリフト値取得手段３０Ａと、ドリフト記憶器３０Ｂと、ドリフト書込読出手段３０Ｃとが設けられる。
更に、湿度補正手段５０を構成する手段としてシール誤差測定手段５０Ａと、シール誤差記憶器５０Ｂと、湿度補正係数取得手段５０Ｃと、湿度補正係数記憶器５０Ｄと、蒸気圧測定手段５０Ｅと、湿度補正値算出手段５０Ｆとが設けられる。また、減算手段６０と、判定手段７０とが設けられる。
【００３９】
入力ポート１０４には圧力センサ１６からの圧力測定値と、温度差測定器４からの被検査体Ｗとシール治具１との間の温度差の値が入力される。また出力ポート１０５には表示器２００が接続され、判定手段７０の判定結果を表示器２００に表示する。
ドリフト値取得手段３０Ａはプログラムによって構成される。このドリフト値取得手段３０Ａを構成するプログラムは校正モードにおいて選択されて起動される。ドリフト値取得手段３０Ａを構成するプログラムが起動されると、図４に示す手順に従って被検査体Ｗとシール治具１との間の温度差毎のドリフト値を取得する。
【００４０】
図４に示すステップＳ４１では洩れの無い乾燥された被検査体を用意し、シール治具１の上に載置する。
ステップＳ４２では被検査体Ｗに熱を加えて、シール治具１との温度差を所望の温度差に設定する。
ステップＳ４３では第２シール治具２（図１参照）で被検査体Ｗの開口部を閉塞し、電磁弁１７を開いて被検査体Ｗに空気圧を与える。
ステップＳ４４では測定期間Ｔ３（図５参照）で発生する圧力変化値Ｄをドリフト値として測定し、その測定結果をドリフト書込読出手段３０Ｃ（図１）によりドリフト記憶器３０Ｂに記憶する。尚、図５は被検査体Ｗに空気圧を印加するシーケンスを示す。Ｔ１は加圧期間、Ｔ２は平衡期間、Ｔ３は測定期間を示す。各期間は３〜５秒程度に設定される。
【００４１】
ステップＳ４５では所望の温度差の全てに渡ってドリフト値が取得されたか否かを判定する。所望の温度差の一部が未だに未取得である場合はステップＳ４２に戻り、ステップＳ４２〜Ｓ４４を再度実行する。全ての温度差に渡ってドリフト値が取得できた場合は終了する。図６にドリフト記憶器３０Ｂに取得したドリフト値の一例を示す。図６に横軸に示すように各記憶アドレスに温度差が割当られ、各温度差毎にドリフト値が記憶される。
次に湿度補正係数取得方法について説明する。湿度補正係数取得も校正モードで実行される。図７に湿度補正係数取得方法の手順を示す。
【００４２】
ステップＳ７１で洩れの無い常温乾燥被検査体を用意し、シール治具１の上に載置する。被検査体の温度が常温であることのよりシール治具１との温度差は０である。
ステップＳ７２では大気圧の環境下において第２シール治具２で被検査体の開口部を閉塞し、被検査体Ｗの内部に大気圧を封じ込める。
ステップＳ７３では所定の時間（例えば数秒程度）経過する間の被検査体の内部の圧力変化値ΔＰ０を計測する。この圧力変化値は乾燥時の蒸気圧変化に該当し、これはシール治具２のシール誤差値（シール治具の形状変形等によって発生する誤差）にも該当する。以下ΔＰ０をシール誤差値と称することにする。
【００４３】
ステップＳ７４では常温乾燥被検査体に空気圧を与え、乾燥状態におけるドリフト値ΔＰ０１を計測する。
ステップＳ７５では同じ被検査体に対し、被検査体の内面に水滴を付着させて濡れ被検査体に変換し、この状態で被検査体の開口部を閉塞し、被検査体に大気圧を封じ込め、所定時間経過する間の蒸気圧変化値ΔＰ１を計測する。
ステップＳ７６では被検査体に空気圧を印加し、測定期間Ｔ３（図５参照）で発生する圧力変化値ΔＰ１１を計測する。
【００４４】
ステップＳ７７では湿度補正係数ｋを
ｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）
で算出し終了する。
尚、ステップＳ７７で演算したΔＰ１−ΔＰ０は濡れた被検査体の蒸気圧変化から、シール誤差値ΔＰ０を差し引いた蒸気圧変化である。また、ΔＰ１１−ΔＰ０１は濡れた被検査体のドリフト値ΔＰ１１から乾燥した被検査体のドリフト値ΔＰ０１を差し引いた蒸気圧によるドリフト値である。
【００４５】
湿度補正係数ｋが算出されると、この湿度補正係数ｋは図２に示した湿度補正係数記憶器５０Ｄに記憶される。
以上により校正モードを終了することができる。上述した校正モードは被検査体（検査対象となる製品）が変更されない限りにおいてはしばしば行なう必要がなく、被検査体の品種が変換される毎に行なえばよい。但し、各製品毎に予め校正を行なって必要なデータを記憶してある場合は必ずしもその必要はない。
次に、検査モードについて説明する。検査モードでは第１シール治具１の上に被検査体Ｗを載置し、この被検査体Ｗの開口部も第２シール治具２で閉塞する。この閉塞状態で被検査体Ｗに大気圧を封じ込める。この閉塞状態で図２に示した蒸気圧測定手段５０Ｅにより測定する。任意の被検査体Ｗで測定された蒸気圧変化値がΔＰＸであるとき、湿度補正値算出手段５０Ｆは湿度補正値Ｍを、
Ｍ＝（ΔＰＸ−ΔＰ０）ｋ
で算出する。
【００４６】
減算手段６０ではドリフト補正手段３０で各被検査体Ｗ毎に被検査体Ｗの温度とシール治具１との温度差から求めたドリフト値補正値Ｄ０と湿度補正手段５０で求めた湿度補正値Ｍとを加算（Ｄ０＋Ｍ）し、この加算結果を各検査毎に測定される圧力変化値Ｅから減算し、ドリフト補正と湿度補正された値Ｆを、
Ｆ＝Ｅ−（Ｄ０＋Ｍ）
で求める。
判定手段７０はこのドリフト補正された値Ｆと洩れ判定のための判定値Ｙとを比較し、Ｆ＜Ｙであれば洩れ無し、Ｆ＞Ｙであれば洩れ有りと判定する。
【００４７】
図８に検査の様子を示す。ここでは検査に先だって各被検査体毎に蒸気圧変化値ΔＰＸを測定する蒸気圧変化値測定期間Ｔ０を設けた場合を示す。蒸気圧変化値測定期間Ｔ０で各被検査体毎に蒸気圧変化値ΔＰＸを測定する。測定後、加圧期間Ｔ１、平衡期間Ｔ２を経て測定期間Ｔ３に至る。測定期間Ｔ３で被検査体Ｗの内部の圧力変化値Ｅ（図８参照）を測定する。これと共に、ドリフト補正手段３０は被検査体Ｗとシール治具１との間の温度差に従ってドリフト記憶器３０Ｂからドリフト補正値Ｄ０を読み出す。更に、湿度補正手段５０は湿度補正値Ｍを算出する。
【００４８】
減算手段６０は測定した圧力変化値Ｅからドリフト補正値Ｄ０と湿度補正値Ｍとを加算した値（Ｄ０＋Ｍ）を減算し、ドリフト補正と湿度補正が施されたドリフト補正された値Ｆを上述したようにＦ＝Ｅ−（Ｄ０＋Ｍ）で求める。
被検査体Ｗに洩れが無ければＥ≒Ｄ０＋Ｍとなり、この場合はＦ≒０となるからＦ＜Ｙとなり、洩れ無しと判定される。もし洩れが有る場合はＥ＞Ｄ０＋Ｍとして測定されるから、Ｙ＜Ｅ−（Ｄ０＋Ｍ）となる率が高くなり洩れ有りと判定される確率が高まる。
【００４９】
ところで、上述した実施例では図６に示したようにドリフト記憶器３０Ｂの各アドレスの全てに各温度差ごとのドリフト値を記憶した例を説明したが、このドリフト値を取得するには被検査体Ｗの温度を適当な温度に設定し、その温度によりシール治具１との温度差を設定してドリフト値を測定する方法を採るから、ドリフト値を取得するアドレスの数が大きい程その労力は大きい。
このために、ドリフト記憶器３０Ｂには数点のアドレスのみにドリフト値を記憶させ、他のアドレスのドリフト値は直線近似によって求める方法が考えられる。
【００５０】
図９はその実施例を示す。つまりこの実施例ではドリフト補正手段３０に図２に示した構成に加えて直線近似演算手段３０Ｄを設けた構成とした点を特徴とするものである。
この直線近似演算手段３０Ｄを設けたことにより、図１０に示すように例えば温度差として０℃と＋１５℃と＋３０℃の３点程度を設定し、これらの各温度差毎のドリフト値Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３を記憶して用意すれば、他の温度のドリフト値は直線近似演算手段３０Ｄで算出することができる。また、算出する温度差として小数点以下も算出することができる構成とすれば、測定した温度差が例えば１３．５℃のように小数点を含む場合もその温度差に対応したドリフト値ＤＭを求めることができる。
【００５１】
従って、図９に示した実施例によればドリフト補正のためのドリフト値を取得する労力を大きく低減することができる効果と、測定した温度差に対応したドリフト値を正確に求めることができる利点とが得られる。
図１１はこの発明の更に他の実施例を示す。この実施例では図９に示した洩れ検査装置本体１００にゼロ点変動値記憶器３０Ｅとゼロ点変動書込読出手段３０Ｆを設けた構成を特徴とするものである。このゼロ点変動値記憶器３０Ｅには例えば季節の変化などによりドリフト値Ｄが変動した量ΔＤをゼロ点変動値として記憶させる。このゼロ点変動値ΔＤが発生する理由としては、被検査体Ｗ及びシール治具１の平均温度（環境温度）が季節に応じて変動した場合、被検査体Ｗに封入した空気の温度変化（断熱変動）によるドリフト量が変動することが主因であると考えられている。このドリフト値Ｄが変動した量、ゼロ点変動値ΔＤを取得する方法を説明する。
【００５２】
ゼロ点変動値ΔＤを取得する方法は以下の２つの方法がある。
▲１▼  洩れの無い被検査体Ｗを用意し、この被検査体Ｗと第１シール治具１との間の温度差をドリフト記憶器３０Ｂに存在する温度差Ｎ℃に設定する。この状態で加圧期間Ｔ１、平行期間Ｔ２を経て測定期間Ｔ３でドリフト値Ｇと、この時点における環境温度（シール治具の温度又は大気温度）を計測する。このドリフト値Ｇとドリフト記憶器１１ＦのＮ℃に対応するアドレスに記憶しているドリフト値Ｄとの偏差ΔＤ＝Ｇ−Ｄを求める。この偏差ΔＤがこの校正を行なった時点の環境温度下におけるゼロ点変動値である。
【００５３】
▲２▼  被検査体Ｗと第１シール治具１との間の温度差を０℃に設定する。この場合被検査体Ｗは洩れの有無を問わない。洩れが有る被検査体（但しその洩れは大きい洩れではなくわずかな洩れであるものとする）を使ってドリフト値を測定できる理由は後に説明することとするが、ここでは手順のみを図１３を用いて簡素に説明する。加圧期間Ｔ１と、平衡期間Ｔ２を経て測定期間Ｔ３の終了時点で圧力計１６の圧力変化Ｄ１を測定する。その後、充分な時間（ドリフトが終息するまでの時間、数分程度）が経過した時点Ａから、先の測定期間Ｔ３と同じ時間Ｔ３が経過する間に変化する圧力変化値Ｄ２とＤ３を測定し、これらの差ΔＤ２＝Ｄ２−Ｄ３を求める。この差ΔＤ２が洩れによって発生する圧力変化値であるから、初回の測定値Ｄ１から、この差ΔＤ２を差し引くことにより、真のドリフト値Ｇを得ることができる。つまりＧ＝Ｄ１−ΔＤ２となる。このドリフト値Ｇがドリフト記憶器３０Ｂに温度差０℃のアドレスに記憶しているドリフト値Ｄとの間に偏差ΔＤ＝Ｇ−Ｄが存在すれば、その偏差ΔＤがその時点の環境温度下におけるゼロ点変動値である。偏差ΔＤは正か負かの極性を持つ（図１２参照）。
【００５４】
▲１▼、▲２▼の何れの方法でゼロ点変動値ΔＤを求めたとしても、このゼロ点変動値ΔＤをゼロ点変動値記憶器３０Ｅにゼロ点変動書込読出手段３０Ｆにより書き込んで記憶させればよい。検査モードではドリフト記憶器３０Ｂからドリフト書込読出手段３０Ｃにより読み出されるドリフト値Ｄにゼロ点書込読出手段３０Ｆにより読み出されるゼロ点変動値ΔＤを加算し、その加算結果を減算手段６０で検査中の被検査体Ｗで得られた圧力変化値Ｅ（図８）から減算し、その減算結果を判定手段７０に送り込む。また、湿度補正値Ｍも湿度補正手段５０で求められ、この湿度補正値Ｍも減算手段６０に送り込まれ湿度補正が施される。
検査モードでドリフト記憶器３０Ｂから読み出される全てのドリフト値Ｄにゼロ点変動値ΔＤを加算してドリフト補正することにより、図１２に示す本来の曲線Ａは補正曲線Ｂ又はＣに平行移動されて修正される。尚、図９に示した実施例と図１１に示した実施例は併合して実施することができることは容易に理解できよう。
【００５５】
図１４はこの発明の更に他の実施例を示す。この実施例では被検査体Ｗの開口部が１箇所の場合を示す。この場合には第２シール治具２と被検査体Ｗとの間の温度差を温度センサ３で測定し、その温度差を温度差測定器４で求めて洩れ検査装置本体１００に入力すればよい。従って、この場合も温度差測定器４で求めた温度差に従って、ドリフト記憶器３０Ｂからドリフト値Ｄを読み出し、このドリフト値Ｄを図２に示した実施例と同様に検査中の被検査体Ｗで測定した圧力変化値Ｅ（図４参照）から減算してドリフト補正を施す。また、この実施例にも図９及び図１１に示した実施例を併用することができる。また、湿度補正手段５０で湿度補正値Ｍを求め、この湿度補正値Ｍにより湿度補正を施す。
図１５はこの発明の更に他の実施例を示す。この実施例では温度センサ３を接触式の温度センサ３Ａ、３Ｂで構成した場合を示す。接触式の温度センサ３Ａ、３Ｂを用いることにより、被検査体Ｗ及び第２シール治具２に対する接触位置を任意に設定し、変更することができるから、温度差を測定するのに適した位置を自由に選択することができる利点が得られる。尚、被検査体Ｗに関して接触式の温度計で温度を測定できない品種もある。このような場合には非接触式の例えば赤外線放射温度計等を用いて被検査体Ｗの温度を測定することも考えられる。
【００５６】
図１６はこの発明を差圧検出型の洩れ検査装置に適用した場合を示す。差圧検出型洩れ検査装置はよく知られているように被検査体Ｗに対して洩れの無い基準タンクＭＳを設け、これら被検査体Ｗと基準タンクＭＳに電磁弁１７Ａ、１７Ｂを開閉して空気圧を封入する。空気圧の封入状態（電磁弁１７Ａ、１７Ｂを閉じた状態）において、基準タンクＭＳと被検査体Ｗとの間に設けた差圧計１６Ａにより基準タンクＭＳと被検査体Ｗとの間に圧力差が発生するか否かを測定する。差圧が発生した場合は、被検査体Ｗに洩れが有ると判定する型式の洩れ検査装置である。
【００５７】
この差圧検出型の洩れ検査の場合は被検査体Ｗに印加した空気圧と同じ空気圧が基準タンクＭＳに封じ込んでいるから、差圧計１６Ａは本来圧力差ゼロを検出するはずである。然し乍ら、図１及び図２に示した実施例と同様に、被検査体Ｗに封入した空気に圧力変化（ドリフト）が発生し、あたかも洩れが有るかの如き差圧が発生する。
この発明ではまず校正モードにおいて、洩れの無い常温乾燥被検査体Ｗを用意し、この被検査体Ｗに温度を与えて図１６に示す例では第２シール治具２との間に所望の温度差を与えた状態を設定する。この状態で加圧期間Ｔ１と、平衡期間Ｔ２を経て測定期間Ｔ３を実行し、各温度差毎にドリフト値を測定し、このドリフト値をドリフト記憶器３０Ｂの複数のアドレスにドリフト値Ｄを取得する。更に、図７で説明した手順に従って湿度補正係数ｋを求め、校正モードを終了し、その後検査を実施することができる。
【００５８】
検査モードでは図１７に示すように各検査の開始毎に被検査体Ｗ内の蒸気圧変化値ΔＰＸ（差圧式の洩れ検査装置では被検査体Ｗ内の圧力が上昇する蒸気圧変化は図１７に示すように負極性の差圧として検出される）を測定する。湿度補正手段５０は測定した蒸気圧変化値ΔＰＸと湿度補正係数ｋとにより湿度補正値Ｍを算出する。
加圧期間Ｔ１を経て検査モードにおいて、平衡期間Ｔ２で急激に差圧値が上昇した場合（図１７に示す直線Ｘ）には検査中の被検査体Ｗに「大きな洩れが有る」と判定する。判定期間Ｔ３の期間の終了時点で検査中の被検査体Ｗと基準タンクＭＳとの間に発生する差圧の値Ｅからドリフト記憶器３０Ｂから読み出したドリフト値Ｄ０と先に求めた湿度補正値Ｍとの和を差し引いた値ＦをＦ＝Ｅ−（Ｄ０＋Ｍ）で求める。ここで湿度補正値Ｍは蒸気圧変化値がΔＰＸで決めるため湿度補正値ＭはＭ＝（ΔＰＸ−ΔＰ０）ｋで求める。従ってＦ＝Ｅ−（Ｄ０＋Ｍ）で表記される。Ｅ−（Ｄ０＋Ｍ）≒０であればほぼＦ≒０となる。この場合は「洩れ無し」と判定する。Ｆが判定値Ｙより大きい場合は「洩れ有り」と判定する。
【００５９】
図１６に示した実施例にも図９と図１１及び図１５に示した実施例を併用することができることは容易に理解できよう。
図１８はこの発明の更に他の実施例を示す。この実施例は図７に示した実施例の変形例である。つまり、図１１に示した実施例ではゼロ点変動値記憶器３０Ｅを設け、このゼロ点変動値記憶器３０Ｅに各季節毎にゼロ点変動値を記憶させ、このゼロ点変動値によりドリフト記憶器３０Ｂから読み出されるドリフト値を補正し、環境温度の変化に伴うドリフト値の変動を修正する構成を付加した実施例を説明した。この図１１に示した実施例によれば各季節毎にゼロ点変動値を取得するための校正モードを実行しなければならない不都合が生じる。
【００６０】
図１８に示す実施例はこの不都合を解消することができる洩れ検査装置を提案するものである。
このために図１１に示したゼロ点変動値記憶器３０Ｅを複数の環境温度のゼロ点変動値を記憶することができるゼロ点変動値記憶器３０Ｅ´に変更するものとし、更に環境温度測定手段５を設けた構成を特徴とするものである。
図１８に示す環境温度測定手段５は例えば温度センサ３において第１シール治具１の温度を測定した温度測定値を環境温度として流用するように構成することができる。
【００６１】
図１１で説明したゼロ点変動値取得方法▲１▼又は▲２▼の何れかにより、ゼロ点変動値を求め、その時点の環境温度をゼロ点変動値記憶器３０Ｅ´のアドレスに対応させて記憶させる。図１９に環境温度ＴＳに対するゼロ点変動値ΔＤの傾向を示す。図１９に環境温度ＴＳが上昇するに伴ってゼロ点変動値ΔＤが漸次小さくなる傾向を呈する場合を示す。
洩れ検査装置が製造され、利用者に引き渡された時点ではドリフト記憶器３０Ｂ（図２参照）及びゼロ点変動値記憶器３０Ｅ´にはデータが全く書き込まれていない。ドリフト記憶器３０Ｂにはこの発明で提案したドリフト値取得方法によりドリフト値を取り込む。これと共に、ゼロ点変動値記憶器３０Ｅ´にも、その時点の環境温度のゼロ点変動値を書き込むことができる。従って、運用開始時点ではゼロ点変動値記憶器３０Ｅには１個のゼロ点変動値のみが書き込まれた状態にある。このゼロ点変動値はその季節（環境温度下）では有効に利用することができる。
【００６２】
季節が終わり、環境温度が変わる毎にゼロ点変動値を取得し、ゼロ点変動値記憶器３０Ｅ´に書き込むことを年間を通じて実行することにより、図１９に示すほぼ全体のアドレスにゼロ点変動値を取り込むことができる。ゼロ点変動値を取り込みができないアドレス（環境温度）が存在しても、そのアドレスのゼロ点変動値は直線近似演算手段３０Ｄで直線近似により求めることができる。従って、この実施例では直線近似演算手段３０Ｄはドリフト記憶器３０Ｂから読み出すべきドリフト値が存在しない場合と、ゼロ点変動値記憶器３０Ｅ´から読み出すべきゼロ点変動値が存在しない場合の双方の直線近似を実行する手段として動作する。
【００６３】
年間を通じてゼロ点変動値を測定し、その測定結果をゼロ点変動記憶器３０Ｅ´に書き込むことにより、その後は環境温度に対応したゼロ点変動値をゼロ点変動値記憶器３０Ｅ´から直接又は直線近似演算手段３０Ｄから得ることができる。
従って、このゼロ点変動値を利用してドリフト記憶器３０Ｂから読み出されるドリフト値を修正し、その修正されたドリフト値を検査中の被検査体Ｗで発生する圧力変化値Ｅ（図８及び図１７参照）から差し引くことにより、四季を通じて正しくドリフト値を除去することができる。従って、ゼロ点変動値記憶器３０Ｅ´に複数の環境温度に渡ってゼロ点変動値を取り込むことができた時点からは校正モードを全く実行せずに全自動で洩れ検査を行なうことができる利点が得られる。
【００６４】
図２０は図１８に示した実施例を差圧式の洩れ検査装置に適用した場合を示す。差圧式の洩れ検査装置の場合でも、洩れ検査装置本体１００に各環境温度毎にゼロ点変動値を記憶することができるゼロ点変動値記憶器３０Ｅ´を設ける点と環境温度測定手段５が設けられる。この実施例では、第２シール治具２の温度を環境温度として洩れ検査装置本体１００に取り込む構成とした場合を示す。
差圧式の洩れ検査装置の場合でも、まず洩れの無い被検査体を使ってドリフト記憶器３０Ｂ（図２参照）に被検査体とシール治具間の温度差毎のドリフト値を用意すると共に、図１１及び図１２で説明したゼロ点変動値取得方法▲１▼又は▲２▼によりゼロ点変動値を求め、その時点の環境温度に対応したゼロ点変動記憶器３０Ｅ´のアドレスにその求めたゼロ点変動値を記憶させる。このゼロ点変動値の取得を各環境温度毎に実行して、ゼロ点変動値記憶器３０Ｅ´の複数のアドレスにゼロ点変動値を取り込むと共に、湿度補正値算出手段５０において湿度補正係数ｋを求めておくことにより、その後は全自動で洩れ検査を行なうことができる。
【００６５】
ところで、上述の実施例では湿度補正値Ｍを求めるために被検査体Ｗの内部の蒸気圧変化を測定したが、この方法を採った場合は検査の開始前の時点で被検査体Ｗの内部の蒸気圧変化を測定しなければならない。
このために、検査に要する時間が蒸気圧変化の測定時間Ｔ０（図８又は図１７参照）分だけ長くなる。この時間の延長は被検査体Ｗの個数が多くなる程総計として長くなり、高価な検査装置を長い時間専用することになり、検査コストが高価になる欠点がある。
【００６６】
このため、この発明では更に被検査体Ｗの外部の面を代用して被検査体Ｗの濡れの状態を検出する洩れ検査装置を提案する。
図２１はその実施例を示す。この実施例では被検査体Ｗの外側面（平面）に計測治具８０をシール部材ＣＣを介して接触させ、この計測治具８０の凹部８１によって被検査体Ｗの外側面に密閉された空間８２を形成し、この空間８２の圧力変化と蒸気圧測定用圧力センサ８３で測定して空間８２の蒸気圧変化を計測する構成としたものである。
【００６７】
この構成を採る場合、校正モードでは、
▲１▼  シール誤差は洩れの無い乾燥された常温の被検査体Ｗの外壁に計測治具８０を圧接し、圧接状態が安定した状態（圧接時点から数秒程度経過した時点）で電磁弁８４を開いて空間８２の内部を大気圧にリセットし、再び電磁弁８４を閉じる。電磁弁８４を閉じた時点から更に数秒程度経過した時点の圧力変化を蒸気圧測定用圧力センサ８３で計測し、この計測値をシール誤差ΔＰ０とする。
▲２▼  次に、同じ被検査体Ｗに空気圧を印加し、被検査体Ｗ内の圧力変化値を図２１の例では差圧計１６Ａで測定する。その差圧値を乾燥された常温被検査体における被検査体Ｗとシール治具１との間の温度差０℃の状態のドリフト値ΔＰ０１として取得する。
【００６８】
▲３▼  同じ被検査体Ｗを用いて、被検査体Ｗの内側と外側に均等に水滴を付着させ、濡れ被検査体に変換する。（ワーク全体を濡らし、しばらく放置させた状態では内外とも均等に塗れた状態になる。）
▲４▼  水滴が付着した被検査体の外面に計測治具８０を被せ、シール誤差ΔＰ０の測定時と同様に電磁弁８４を開いて空間８２を大気圧にリセット後、電磁弁８４を閉じて、数秒後の圧力変化値を蒸気圧測定用圧力センサ８３で計測する。この値をΔＰ１とし、濡れた被検査体の蒸気圧変化値とする。
【００６９】
▲５▼  同じ被検査体Ｗでシール治具２で開口部を閉塞し、被検査体Ｗの内部に空気圧を印加し、所定の時間が経過する間の圧力変化値をこの例では差圧計１６Ａで計測し、この値を濡れ被検査体のドリフト値ΔＰ１１として取得する。
▲６▼  これらの測定結果から、湿度補正係数ｋを
ｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／（ΔＰ１−ΔＰ０）
で求め、この湿度補正係数ｋとシール誤差値ΔＰ０を湿度補正手段５０に格納する。
以上により図２１に示した実施例における校正モードが終了する。
【００７０】
検査モードでは
▲１▼  被検査体Ｗの外壁に計測治具８０を装着し、被検査体Ｗの外壁の濡れによる蒸気圧変化ΔＰＸを計測する。
▲２▼  この蒸気圧変化ΔＰＸからシール誤差ΔＰ０を減算した値に湿度補正係数ｋを乗算し、湿度補正値Ｍを求める。
Ｍ＝（ΔＰＸ−ΔＰ０）ｋ
▲３▼  被検査体Ｗの内部の圧力変化Ｅ（ドリフト値）を計測し、この圧力変化Ｅから被検査体Ｗとシール治具２との間の温度差に従って読み取ったドリフト補正値Ｄ０（ドリフト補正手段３０に格納されている）と湿度補正値Ｍを減算し、ドリフト補正と湿度補正が施された値Ｆを求める。
Ｆ＝Ｅ−（Ｄ０＋Ｍ）
▲４▼  Ｆと判定値Ｙとを比較し、Ｙ＞Ｆならば洩れ無し、Ｙ＜Ｆならば洩れ有り、と判定し検査を終了する。
このように、被検査体Ｗの外側で被検査体Ｗの濡れの状態を計測しても、内部と外部とでは濡れの状態に関して相関性を持つと考えられるため、被検査体Ｗの内部を用いて校正した場合と同様に、湿度補正が施された洩れ検査を行なうことができる。
【００７１】
ここで特に検査モードで各被検査体毎に行なう蒸気圧測定は図２２Ａに示すように、被検査体Ｗの内部の圧力変化を計測するための加圧期間Ｔ１と、平衡期間Ｔ２と、測定期間Ｔ３を実行している間の任意の時間に実行すればよく、従来の検査に要した時間と同じ時間で湿度補正を施した洩れ検査を行なうことができる点が大きな特徴である。
ところで、蒸気圧変化を測定する際に計測冶具８０の内部を大気圧で測定した場合、蒸気圧変化を精度よく測定するには測定時間Ｔ０（図８又は図１７参照）を比較的長く採らなければならない不都合が生じる。これに対し、計測冶具８０の内部を負圧にした状態で蒸気圧変化を測定すると短時間に精度よく蒸気圧変化を測定できることが判明した。その理由としては、計測冶具８０の内部を負圧にすることにより、水分の蒸発が促され、短時間に水分の蒸発による圧力変化が大幅に発生するためと考えられる。
【００７２】
図２３に計測冶具８０の内部を負圧にして蒸気圧を測定し、被検査体Ｗに付着している水分の量を計測する場合の実施例を示す。
この実施例では電磁弁８４の開放端部に負圧発生器（真空ポンプ）８５を接続し、電磁弁８４の一端側に負圧を印加する。蒸気圧を測定する際には、計測冶具８０を被検査体Ｗの外壁に付着させた後、電磁弁８４を開に制御し、蒸気圧測定用圧力センサ８３で所定の負圧に達したことを検出し、その負圧で電磁弁８４を閉じ、その時点から所定の時間が経過する間の計測冶具８０の内部の圧力変化を蒸気圧変化値ΔＰ１として計測する。
校正モードでこの蒸気圧変化値ΔＰ１を測定した後の処理は上述と同じであるが、この場合、特にシール誤差ΔＰ０を測定し、記憶しておく必要がない利点が得られる。つまり、計測冶具８０の内部の空気を負圧に吸引してしまうため、計測冶具８０の内部の圧力がシール部材ＣＣの変形等によって変動する現象が発生しないためである。
従って、校正モードで求める湿度補正係数ｋは
ｋ＝（ΔＰ１１−ΔＰ０１）／ΔＰ１
で求められる。
更に検査モードでは、検査モードで測定した蒸気圧変化値がΔＰｘであるものとすると、検査モードで求める湿度補正値Ｍは、
Ｍ＝ΔＰｘ・ｋ
で求められる。
従って、計測冶具８０の内部を負圧にして蒸気圧を測定して湿度補正を行う場合には、蒸気圧変化を短時間に精度よく測定できる利点に加えてシール誤差ΔＰ０の測定を行わなくて済む利点が得られる。
【００７３】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によればドリフト補正値は乾燥された被検査体を用いて取得し、湿度補正値Ｍは濡れた被検査体を用いて求めた湿度補正係数ｋにより算出したから、ドリフト補正から湿度の影響を除去することができる。また、湿度補正には乾燥時のドリフト補正の影響を除去することができる。
この結果、乾燥状態のドリフトと、濡れた被検査体で発生する湿度によるドリフトとをほぼ完全に除去することができ、信頼性の高い洩れ検査を行なうことができる。
【００７４】
また、複数の環境温度で発生するゼロ点変動値をそれぞれゼロ点変動値記憶器３０Ｅ´に記憶させる構成とした場合には、複数の環境温度にゼロ点変動値を記憶した時点以後は、どの環境温度に変化しても、その時点の環境温度のゼロ点ドリフト値を得ることができるから、四季を通じて全自動で洩れ検査装置駆動させることができる。この結果、定期的に校正モードを実行しなくてすむから、洩れ検査装置の実動率を向上させることができ、検査コストの低減も期待することができる利点も得られる。
更に、図２１及び図２３に示した実施例によれば湿度補正を施しても検査に要する時間が長くなることがないから、多量の被検査体を検査する場合に好適である。また、図２３に示した実施例によれば、蒸気圧を短時間に精度よく測定できる利点に加えてシール誤差ΔＰ０を測定し、記憶しなくて済むため、装置を簡素化できる利点も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による洩れ検査装置の一実施例を説明するためのブロック図。
【図２】図１に示した洩れ検査装置の要部の構成を説明するためのブロック図。
【図３】図１に示した洩れ検査装置に用いる温度センサの構造の一例を説明するための断面図。
【図４】この発明のドリフト値取得方法の手順を説明するためのフローチャート。
【図５】図１に示した洩れ検査装置の動作を説明するためのグラフ。
【図６】図２に示したドリフト記憶器に記憶したドリフト値の一例を説明するためのグラフ。
【図７】この発明の湿度補正係数取得方法の手順を説明するためのフローチャート。
【図８】図１及び図２に示した洩れ検査装置の検査モードの動作を説明するためのグラフ。
【図９】この発明の変形実施例を説明するためのブロック図。
【図１０】図９に示した変形実施例の動作を説明するためのグラフ。
【図１１】この発明の更に他の変形実施例を説明するためのブロック図。
【図１２】図１１に示した変形実施例の要部の動作を説明するためのグラフ。
【図１３】図１１に示した実施例で用いるゼロ点変動値取得方法を説明するためのグラフ。
【図１４】この発明の更に他の変形実施例を説明するためのブロック図。
【図１５】この発明の更に他の実施例を説明するためのブロック図。
【図１６】この発明の更に他の実施例を説明するためのブロック図。
【図１７】図１６に示した実施例の動作を説明するためのグラフ。
【図１８】図１６に示した実施例の他の実施例を説明するためのブロック図。
【図１９】図１８に示した実施例の動作を説明するためのグラフ。
【図２０】図１６に示した実施例の他の実施例を説明するためのブロック図。
【図２１】この発明の更に他の実施例を説明するためのブロック図。
【図２２】図２１に示した実施例の動作を説明するためのグラフ。
【図２３】図２１に示した実施例の他の実施例を説明するためのブロック図。
【図２４】温度と飽和蒸気圧の関係を説明するための図。
【符号の説明】
１      第１シール治具          ３０Ｆ  ゼロ点変動書込読出手段
２      第２シール治具          ５０    湿度補正手段
３      温度センサ              ５０Ａ  シール誤差測定手段
４      温度差測定器            ５０Ｂ  シール誤差記憶器
５      環境温度測定手段        ５０Ｃ  湿度補正係数取得手段
１４    中子                    ５０Ｄ  湿度補正係数記憶器
１５    配管                    ５０Ｅ  蒸気圧測定手段
１６    圧力センサ              ５０Ｆ  湿度補正値算出手段
１６Ａ  差圧計                  ６０    減算手段
１７、１７Ａ、１７Ｂ  電磁弁    ７０    判定手段
１８    ３方電磁弁              ８０    計測冶具
１９    調圧弁                  ８５    負圧発生器
２０    空圧源                  １００  洩れ検査装置本体
３０    ドリフト補正手段        １０１  中央演算処理装置
３０Ａ  ドリフト値取得手段      １０２  ＲＯＭ
３０Ｂ  ドリフト記憶器          １０３  ＲＡＭ
３０Ｃ  ドリフト書込読出手段    １０４  入力ポート
３０Ｄ  直線近似演算手段        １０５  出力ポート
３０Ｅ、３０Ｅ´  ゼロ点変動値記憶器        ２００  表示器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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