(57)【要約】【課題】製造工程が簡単で電極等の形成に伴う熱処理に起因する歪み等を抑制でき且つ駆動効率を低下させることなく大きな発光面積を確保できる３電極構造のＡＣ型ガス放電表示装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】シート部材２０の一面４０に第１維持配線層４２が、他面４４に第２維持配線層４６がそれぞれ設けられると共に、それらの帯状厚膜導体５４，５６は、各発光区画内において隣接するもの相互間でそれらに設けられた維持電極５２が書込電極２８の長手方向に沿った複数箇所で放電させられるように備えられるため、発光区画の中心間隔が大きい場合にも駆動電圧を高くすることなく発光面積を大きくできる。また、シート部材２０上に維持電極５２を構成するための厚膜導体層すなわち維持配線層４２、４６が備えられていることから、前面板および背面板の間にそのシート部材２０を配置するだけで維持電極５２を設けることができる。【選択図】                    図３
2004281095.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性を有する第１平板と、その第１平板から所定距離隔てて内面が相互に向かい合うように平行に配置された第２平板と、それら第１平板および第２平板間に一方向に沿って形成され且つ各々が複数の発光区画に区分される複数本の放電空間と、それら複数本の放電空間の各々でガス放電を発生させるためにその一方向に交叉する他方向に沿って形成された複数本の維持電極と、それら維持電極との間でガス放電を発生させることにより前記発光区画を選択するために前記一方向に沿って形成された複数本の書込電極とを備え、前記複数本の維持電極間のガス放電で発生した光を前記第１平板を通して射出する形式のＡＣ型ガス放電表示装置であって、
格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア誘電体層と、
前記一方向に交叉する他方向に沿って互いに平行に伸びるように前記コア誘電体層に積層されると共に相互に隣接するものとの間で放電可能な複数の放電面をそれぞれ有し且つ前記複数の発光区画の各々のその一方向における複数箇所に複数対の放電面が位置させられることにより前記複数本の維持電極として機能させられる複数本の帯状厚膜導体を備えた導体層と、
前記導体層を覆う厚膜誘電体から成る誘電体皮膜と
を備えて、前記第１平板および前記第２平板の間にそれらに平行に配置された格子状のシート部材を含むことを特徴とするＡＣ型ガス放電表示装置。
【請求項２】
前記複数本の帯状厚膜導体は、相互に隣接するものの前記放電面が、前記シート部材の格子の交点間においてその格子の内壁面上で相互に対向させられたものである請求項１のＡＣ型ガス放電表示装置。
【請求項３】
前記複数本の帯状厚膜導体は、相互に隣接するものが前記コア誘電体層の一面および他面に交互に配置され、前記放電面は、それら一面および他面上にそれぞれ位置する部分から前記内壁面上まで連続して設けられた対向部によって構成されたものである請求項２のＡＣ型ガス放電表示装置。
【請求項４】
前記複数本の帯状厚膜導体は、各々の両側に隣接する両方の帯状厚膜導体との間で放電させられるものである請求項１のＡＣ型ガス放電表示装置。
【請求項５】
前記複数の発光区画の各々は複数の小区画に区分され、前記複数本の帯状厚膜導体は、それら複数の発光区画の相互間またはそれら複数の小区画の相互間を通るものである請求項４のＡＣ型ガス放電表示装置。
【請求項６】
前記複数本の帯状厚膜導体は、一の放電空間内の複数の発光区画毎に独立の配線に接続された複数本の独立厚膜導体と、それら複数の発光区画相互に共通の配線に接続された複数本の共通厚膜導体とを含み、それら複数本の独立厚膜導体および共通厚膜導体が前記一方向において交互に設けられ且つ前記発光区画相互間にはそれら複数本の共通厚膜導体が位置させられたものである請求項５のＡＣ型ガス放電表示装置。
【請求項７】
透光性を有する第１平板と、その第１平板から所定距離隔てて内面が相互に向かい合うように平行に配置された第２平板と、それら第１平板および第２平板間に一方向に沿って形成され且つ各々が複数の発光区画に区分される複数本の放電空間と、それら複数本の放電空間の各々でガス放電を発生させるために前記一方向に交叉する他方向に沿って形成された複数本の維持電極と、それら維持電極との間でガス放電を発生させることにより前記発光区画を選択するために前記一方向に沿って形成された複数本の書込電極とを備え、前記複数本の維持電極間のガス放電で発生した光を前記第１平板を通して射出する形式のＡＣ型ガス放電表示装置を、前記第１平板および前記第２平板を重ね合わせて気密に封着することにより製造する方法であって、
格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア誘電体層と、
前記一方向に交叉する他方向に沿って互いに平行に伸びるように前記コア誘電体層に積層されると共に相互に隣接するものとの間で放電するための複数の放電面がそれぞれ設けられ且つ前記複数の発光区画の各々のその一方向における複数箇所に複数対の放電面が位置させられることにより前記複数本の維持電極として機能させられる複数本の帯状厚膜導体が形成された導体層と、
その導体層を覆う厚膜誘電体から成る誘電体皮膜と
を備えた格子状のシート部材を、前記第１平板および前記第２平板の一方の内面上に固着するシート部材固着工程を含むことを特徴とするＡＣ型ガス放電表示装置の製造方法。
【請求項８】
所定の第１温度よりも高い融点を有する粒子が樹脂で結合されて成る高融点粒子層で構成された膜形成面を有する支持体を用意する支持体準備工程と、
前記第１温度で焼結させられる厚膜誘電体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る誘電体ペースト膜を前記膜形成面上に前記コア誘電体層に対応する格子状パターンで形成する誘電体ペースト膜形成工程と、
前記第１温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る導体ペースト膜を前記複数本の帯状厚膜導体に対応する複数に分割された所定パターンで前記誘電体ペースト膜に積層して形成する導体ペースト膜形成工程と、
前記支持体を前記第１温度で加熱処理することにより、前記高融点粒子層を焼結させることなく前記導体ペースト膜および前記誘電体ペースト膜を焼結させて、それら導体ペースト膜および誘電体ペースト膜から前記導体層および前記コア誘電体層を生成する焼成工程と
を、含む工程により前記シート部材を製造するものである請求項７のＡＣ型ガス放電表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記支持体準備工程は、所定の基板の表面に前記高融点粒子層を形成するものである請求項８のＡＣ型ガス放電表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記基板は、前記焼成温度で変形しないものである請求項９のＡＣ型ガス放電表示装置の製造方法。
【請求項１１】
厚膜スクリーン印刷法を用いて前記導体ペースト膜および前記誘電体ペースト膜をそれぞれ形成するものである請求項８乃至請求項１０の何れかのＡＣ型ガス放電表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＡＣ（交流放電）型ガス放電表示装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
透光性を有する第１平板（前面板）と、その前面板から所定距離隔てて内面が相互に向かい合うように平行に配置された第２平板（背面板）と、それら前面板および背面板間に備えられ且つ所定のガスが封入された気密空間内に一方向に沿って形成され且つ各々が複数の発光区画に区分される複数本の放電空間と、それら複数本の放電空間の各々で選択的にガス放電を発生させるための誘電体で覆われた複数対の維持電極とを備え、その気密空間内のガス放電を利用して発光させることにより、文字、記号、或いは図形等の所望の画像を表示する形式のプラズマ・ディスプレイ・パネル（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ：ＰＤＰ）等のＡＣ型ガス放電表示装置が知られている。
【０００３】
このようなガス放電表示装置は、例えば、ガス放電によって生じたプラズマの生成に伴うネオン・オレンジ等の発光を直接利用し、或いは、発光区画（画素或いはセル）内に蛍光体が備えられてプラズマによって生じた紫外線により励起させられたその蛍光体の発光を利用して画像を表示する。そのため、平板型で大画面化、薄型化、および軽量化が容易であると共に、ＣＲＴ並の広い視野角および早い応答速度を有しているため、ＣＲＴに代わる画像表示装置として期待されている。上記ＡＣ型ガス放電表示装置の形式の一つに、上記の維持電極を相互に平行な複数対で構成すると共に、その維持電極との間で書込放電を発生させることにより発光区画を選択するための書込電極を備えた３電極構造のものがある（例えば非特許文献１参照）。
【０００４】
なお、「一方向に沿った放電空間」は、例えば真っ直ぐな隔壁で気密空間を区画することで形成されるが、本願においては、その隔壁が幅方向の両側に交互に屈曲しながら一方向に向かって延びることにより、相互に隣接する発光区画、例えばＲＧＢ三色がそれぞれ割り当てられた３区画がデルタ配列となるようなものも含まれる。
【０００５】
【非特許文献１】
谷  千束著「ディスプレイ先端技術」初版第１刷、共立出版、１９９８年１２月２８日、ｐ．７８−８８
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような３電極構造の表示装置では、例えば光の射出側となる前面板に維持電極が設けられ、背面板側に書込電極が設けられることから、可及的に光を透過させる必要がある前面板は、維持電極がＩＴＯ（酸化インジウム錫）膜等から成る透明電極およびその導電性を補うための金属または厚膜導体から成るバス電極で構成される。そのため、前面板の製造工程では、ガラス基板上に（ａ）ＩＴＯ膜と基板との密着性を確保するためのＳｉＯ２膜、（ｂ）ＩＴＯ膜、（ｃ）バス電極、（ｄ）ブラック・ストライプ、（ｅ）誘電体層、（ｆ）ＭｇＯ膜等から成る保護膜が順次形成されていた。上記のＩＴＯ膜は、例えばスパッタ等で設けられた後、レジスト塗布・露光・現像・エッチング処理・レジスト剥離を行うフォト法でパターン形成される。また、バス電極は、Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒ等の薄膜で構成される場合にはＩＴＯ膜の場合と同様な方法で、厚膜銀等の厚膜導体で構成される場合には厚膜スクリーン印刷法等の厚膜プロセスで形成される。また、誘電体層およびＭｇＯ膜は、高い透光性を有するように高い品質が要求される。すなわち、従来の３電極構造では、前面板側に透光性が要求されることに起因して、その内面に形成される導体膜や誘電体膜等の製造工程が複雑になっていた。
【０００７】
しかも、上記の製造工程のうち誘電体層や厚膜導体で構成される場合のバス電極を形成する際には、それらの焼成のために基板に加熱処理が施される。そのため、基板内の温度分布に基づく熱膨張量のばらつきや、誘電体および厚膜導体との熱膨張係数の相違等に起因して、前面板に歪みが生じると共に厚膜導体にも亀裂や変形等が生じる問題もあった。
【０００８】
更に、上記のような構造では、選択された発光区画内のうち発光させられるのは、プラズマや紫外線の及ぶ範囲すなわち対を成す維持電極よりも僅かに外側までの範囲に留まる。そのため、大型表示装置を構成する場合に、発光区画の各々における発光面積をその発光区画の大きさに応じて大きくしようとする場合には、維持電極の面積を大きくする必要が生じる。しかしながら、対を成す維持電極の相互間隔は、放電開始電圧を駆動ドライバに要求される耐電圧が過大とならない適正な値とするためにガス圧との関係で発光区画の大きさに拘わらず略一定の値に保つ必要がある。一方、放電効率は対を成す他方の電極からの距離（すなわち放電距離）が増大するほど低下する。したがって、放電開始電圧を適正に保ちつつ発光区画を大きくすると、維持電極の面積が大きくなることに起因して電極全体としての放電効率が低下するため、放電装置としての効率が著しく低下する問題もあった。しかも、放電距離が長くなると、放電によって電極間に形成される陽光柱が長くなるため、発光区画のうちその陽光柱が形成された部分の輝度が相対的に高くなって、輝度斑が生じる不都合もある。
【０００９】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的は、製造工程が簡単で電極等の形成に伴う熱処理に起因する歪み等を抑制でき且つ駆動効率を低下させることなく大きな発光面積を確保できる３電極構造のＡＣ型ガス放電表示装置およびその製造方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための第１の手段】
斯かる目的を達成するため、第１発明のＡＣ型ガス放電表示装置の要旨とするところは、透光性を有する第１平板と、その第１平板から所定距離隔てて内面が相互に向かい合うように平行に配置された第２平板と、それら第１平板および第２平板間に一方向に沿って形成され且つ各々が複数の発光区画に区分される複数本の放電空間と、それら複数本の放電空間の各々でガス放電を発生させるためにその一方向に交叉する他方向に沿って形成された複数本の維持電極と、それら維持電極との間でガス放電を発生させることにより前記発光区画を選択するために前記一方向に沿って形成された複数本の書込電極とを備え、前記複数本の維持電極間のガス放電で発生した光を前記第１平板を通して射出する形式のＡＣ型ガス放電表示装置であって、（ａ）格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア誘電体層と、（ｂ）前記一方向に交叉する他方向に沿って互いに平行に伸びるように前記コア誘電体層に積層されると共に相互に隣接するものとの間で放電可能な複数の放電面をそれぞれ有し且つ前記複数の発光区画の各々のその一方向における複数箇所に複数対の放電面が位置させられることにより前記複数本の維持電極として機能させられる複数本の帯状厚膜導体を備えた導体層と、（ｃ）前記導体層を覆う厚膜誘電体から成る誘電体皮膜とを備えて、前記第１平板および前記第２平板の間にそれらに平行に配置された格子状のシート部材を含むことにある。
【００１１】
【第１発明の効果】
このようにすれば、第１平板および第２平板間に、格子状を成すコア誘電体層に導体層が層状に設けられたシート部材が配置されるが、その導体層内には、複数の発光区画内の各々において放電空間の長手方向に沿った複数箇所で放電させられる放電面を設けるための複数本の帯状厚膜導体が備えられ、それら複数本の帯状厚膜導体で複数本の維持電極が構成される。そのため、シート部材を第１平板および第２平板の間に配置するだけで複数本の維持電極が設けられることから、これを内面に形成するための熱処理を第１平板に施す必要がない。また、電極や誘電体等が光の射出側となる第１平板内面に形成されないので、その第１平板側に高い透光性が要求されることに起因して電極等の形成工程が複雑になることもない。しかも、発光区画毎に放電空間および書込電極の長手方向において複数箇所で放電させられるように複数対の放電面がそれぞれ備えられることから、それらの長手方向における発光区画の中心間隔が大きくされる場合にも、各発光区画内の一箇所だけで放電するように構成されていた従来に比較して駆動電圧を高くすることなく発光面積を大きくできる。したがって、製造工程が簡単で電極等の形成に伴う熱処理に起因する歪み等の抑制され且つ発光面積を大きくし得る３電極構造のＡＣ型ガス放電表示装置が得られる。
【００１２】
なお、上記導体層は、コア誘電体層の表面または裏面の一面に積層して設けることができるが、両面に積層して設けても良く、或いは、コア誘電体層を二層以上の厚膜誘電体層の積層体で構成することにより、その厚膜誘電体層と交互に積層された一層または二層以上の厚膜導体層で構成しても良い。
【００１３】
【第１発明の他の態様】
ここで、好適には、前記複数本の帯状厚膜導体は、相互に隣接するものの前記放電面が、前記シート部材の格子の交点間においてその格子の内壁面上で相互に対向させられたものである。このようにすれば、シート部材の格子内で互いに対向させられた放電面間で放電させられる対向放電構造に構成されるため、一平面上に維持電極が配置された従来の３電極構造に比較して効率が高められると共に、局部的に放電が強くなることに起因する維持電極を覆う誘電体層（ＭｇＯ等から成る保護膜が設けられる場合には誘電体層および保護膜）の局部的な劣化が抑制され延いては表示装置の寿命が長くなる利点がある。特に、放電空間内に蛍光体層が設けられた形式のガス放電表示装置では、放電面が第１平板と第２平板との中間の高さ位置に位置し且つ放電方向がそれらの内面に沿った方向となることから、第１平板内面および第２平板内面上における放電ガス・イオンの影響が少ないので、その広い範囲に蛍光体層を設けて輝度を高め得る利点もある。
【００１４】
因みに、従来の面放電型のガス放電表示装置では、一平面上に配置された互いに平行な維持電極間で放電させられることから、その放電面の大きさや相互間隔がセル・ピッチ等の制限を受けるため、設計上の制約が大きい問題があった。しかも、対を成す維持電極の放電面間距離がその内側と外側とで著しく相違することから、発光区画（画素すなわちセル）全体から発光させるために維持電極の外側位置でも放電を発生させようとすると放電効率が低くなると共に、放電の生じ易い内側では放電集中による誘電体層の劣化が生じ易くなる不都合もあった。
【００１５】
また、好適には、前記複数本の帯状厚膜導体は、相互に隣接するものが前記コア誘電体層の一面および他面に交互に配置され、前記放電面は、それら一面および他面上にそれぞれ位置する部分から前記内壁面上まで連続して設けられた対向部によって構成されたものである。このようにすれば、相互に隣接する帯状厚膜導体がコア誘電体層の互いに反対側の面に固着されていることから、帯状厚膜導体のうちそのコア誘電体層の一面および他面にそれぞれ固着されている部分による面放電が抑制される利点がある。なお、相互に対向する放電面は、このような内壁面上にコア誘電体層の一部を覆って設けられた対向部で構成されない場合には、例えば、帯状厚膜導体のその内壁面上に位置する側面によって構成される。
【００１６】
また、好適には、前記複数本の帯状厚膜導体は、各々の両側に隣接する両方の帯状厚膜導体との間で放電させられるものである。このようにすれば、帯状厚膜導体がそれに隣接する一方の帯状厚膜導体との間だけで放電させられる場合に比較して放電が発生させられる面積を飛躍的に大きくすることができると共に、少ない帯状厚膜導体本数で高い輝度を得ることができる。
【００１７】
また、上記のように両側の帯状厚膜導体との間で放電させられる場合において、一層好適には、前記複数の発光区画の各々は複数の小区画に区分され、前記複数本の帯状厚膜導体は、それら複数の発光区画の相互間またはそれら複数の小区画の相互間を通るものである。このようにすれば、発光区画相互間を通る帯状厚膜導体が両側の発光区画に共通の電極として用いられることになるので、その本数を多くすることなく広い範囲で放電を発生させ得る。
【００１８】
また、好適には、前記複数本の帯状厚膜導体は、一の放電空間内の複数の発光区画毎に独立の配線に接続された複数本の独立厚膜導体と、それら複数の発光区画相互に共通の配線に接続された複数本の共通厚膜導体とを含み、それら複数本の独立厚膜導体および共通厚膜導体が前記一方向において交互に設けられ且つ前記発光区画相互間にはそれら複数本の共通厚膜導体が位置させられたものである。このようにすれば、発光区画毎の実質的な電極本数は発光区画内の一箇所で放電させられていた従来と同様の２本で足りるので、駆動を何ら複雑にすることなく発光区画内の複数箇所で放電させることができる。
【００１９】
また、好適には、前記ガス放電表示装置は、前記複数本の書込電極に平行な一方向に沿って伸びる複数本の凹溝をそれら複数本の書込電極の相互間に対応するの位置において前記第１平板の内面に備えたものである。すなわち、第１平板の内面には、シート部材がそこに密着することを抑制するための隔壁を上記一方向に沿って伸びるように設けることができるが、上記のようにすれば、その隔壁が実質的に凹溝間の凸部によって構成されることになるため、隔壁を設けるために焼成処理を伴う厚膜プロセスを用いる必要が無くなる。特に、放電空間内に蛍光体層を備える形式のカラー表示用表示装置では、シート部材と蛍光体層との接触を防止しつつその凹溝内に蛍光体層を設けて輝度を高め得る利点がある。本発明によれば第１平板に維持電極を設ける必要がないので、上記のような凹溝を設けることが可能となる。
【００２０】
また、好適には、上記の凹溝或いは放電空間を形成するために第１平板および第２平板の少なくとも一方に設けられるリブ状壁は、シート部材の格子の一方向に沿って伸びる部分が、第１平板および第２平板の相対的に凸に成った部分上に位置させられる位置関係に設けられる。このようにすれば、放電空間内のうちシート部材を挟んで観視側とは反対側の部分で生じた光、例えばその反対側の部分に備えられている蛍光体層の発光がシート部材によって遮られることが抑制されるので、ガス放電表示装置の輝度が一層高められる。
【００２１】
【課題を解決するための第２の手段】
また、前記目的を達成するための第２発明の製造方法の要旨とするところは、透光性を有する第１平板と、その第１平板から所定距離隔てて内面が相互に向かい合うように平行に配置された第２平板と、それら第１平板および第２平板間に一方向に沿って形成され且つ各々が複数の発光区画に区分される複数本の放電空間と、それら複数本の放電空間の各々でガス放電を発生させるために前記一方向に交叉する他方向に沿って形成された複数本の維持電極と、それら維持電極との間でガス放電を発生させることにより前記発光区画を選択するために前記一方向に沿って形成された複数本の書込電極とを備え、前記複数本の維持電極間のガス放電で発生した光を前記第１平板を通して射出する形式のＡＣ型ガス放電表示装置を、前記第１平板および前記第２平板を重ね合わせて気密に封着することにより製造する方法であって、（ａ）格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア誘電体層と、（ｂ）前記一方向に交叉する他方向に沿って互いに平行に伸びるように前記コア誘電体層に積層されると共に相互に隣接するものとの間で放電するための複数の放電面がそれぞれ設けられ且つ前記複数の発光区画の各々のその一方向における複数箇所に複数対の放電面が位置させられることにより前記複数本の維持電極として機能させられる複数本の帯状厚膜導体が形成された導体層と、（ｃ）その導体層を覆う厚膜誘電体から成る誘電体皮膜とを備えた格子状のシート部材を、前記第１平板および前記第２平板の一方の内面上に固着するシート部材固着工程を含むことにある。
【００２２】
【第２発明の効果】
このようにすれば、第１平板および第２平板を重ね合わせて固着することによりガス放電表示装置を製造するに際して、複数の発光区画の各々において放電空間および書込電極の長手方向に沿った複数箇所で放電可能な放電面を設けるための複数本の帯状厚膜導体を備えた導体層が格子状のコア誘電体層に積層されて成る格子状のシート部材が第１平板または第２平板に固着されることにより、維持電極が放電空間内に備えられる。そのため、シート部材上に維持電極を構成するための帯状厚膜導体が備えられていることから、第１平板および第２平板の間にそのシート部材を配置するだけで発光区画毎に複数の維持電極対を設けることができるため、第１平板上に維持電極を設ける場合におけるその形成時の熱処理に起因する第１平板および維持電極の歪みが好適に抑制される。また、発光区画毎に書込電極の長手方向において複数箇所で放電させられる複数対の放電面がそれぞれ備えられることから、その長手方向における発光区画の中心間隔が大きくされる場合にも、一箇所だけで放電するように構成されていた従来に比較して駆動電圧を高くすることなく発光面積を大きくできる。したがって、電極等の形成に伴う熱処理に起因する歪み等の抑制され且つ発光面積を大きくし得る３電極構造のＡＣ型ガス放電表示装置を簡単な製造工程で得ることができる。
【００２３】
【第２発明の他の態様】
ここで、好適には、前記のガス放電表示装置の製造方法は、（ｄ）所定の第１温度よりも高い融点を有する粒子が樹脂で結合されて成る高融点粒子層で構成された膜形成面を有する支持体を用意する支持体準備工程と、（ｅ）前記第１温度で焼結させられる厚膜誘電体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る誘電体ペースト膜を前記膜形成面上に前記コア誘電体層に対応する格子状パターンで形成する誘電体ペースト膜形成工程と、（ｆ）前記第１温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る導体ペースト膜を前記複数本の帯状厚膜導体に対応する複数に分割された所定パターンで前記誘電体ペースト膜に積層して形成する導体ペースト膜形成工程と、（ｇ）前記支持体を前記第１温度で加熱処理することにより、前記高融点粒子層を焼結させることなく前記導体ペースト膜および前記誘電体ペースト膜を焼結させて、それら導体ペースト膜および誘電体ペースト膜から前記導体層および前記コア誘電体層を生成する焼成工程とを、含む工程により前記シート部材を製造するものである。
【００２４】
このようにすれば、厚膜誘電体材料および厚膜導体材料の焼結温度（第１温度）よりも高い融点を有する高融点粒子層で構成された膜形成面に厚膜誘電体材料および厚膜導体材料のペースト膜がそれぞれ所定パターンで形成された後、それら厚膜誘電体材料および厚膜導体材料の焼結させられる第１温度で加熱処理が施されることにより、コア誘電体層の表面に導体層が形成されたシート部材が生成される。そのため、その加熱処理温度では焼結させられない高融点粒子層は樹脂が焼失させられることにより高融点粒子のみが並ぶ層となることから、生成された厚膜は支持体に固着されないため、その膜形成面から容易に剥離することができる。このとき、厚膜誘電体材料および厚膜導体材料のペースト膜は、材料や用途に応じた適宜の方法を用いることにより、簡便な設備を用いて所望のパターンで膜形成面に形成することが可能である。しかも、加熱処理により焼結させられるまでは膜形成面に塗布されることにより一時的に固着された状態で取り扱われることから、取扱いが容易である。したがって、維持電極を設けるためのシート部材を容易に製造し且つガス放電表示装置の製造に用いることができる。
【００２５】
なお、上記の導体ペースト膜形成工程は、シート部材の構成に応じて、誘電体ペースト膜形成工程に先立って或いはそれに続いて、誘電体ペースト膜の一方の面だけに対して行われ、または、誘電体ペースト膜形成工程の前後の両方に、誘電体ペースト膜の両面に対して行われ、または、誘電体ペースト膜形成工程の中間段階で、形成しようとする厚さ寸法よりも薄い厚さ寸法まで形成された誘電体ペースト膜の上面に対して行われる。また、上記のように高融点粒子のみが並ぶ層の上で焼結させられる厚膜は、通常の厚膜形成とは異なり、その収縮時に何ら形成面に拘束されない。そのため、形成面との間の収縮抵抗に起因する反りや変形等が抑制され、延いてはそれら反りや変形に伴う亀裂等の発生も抑制される。したがって、維持電極の歪み等が一層抑制される利点がある。
【００２６】
また、好適には、前記シート部材は、前記誘電体ペースト膜の格子の内壁面に前記第１温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る壁面導体ペースト膜を前記対向部に対応するパターンで形成する壁面導体ペースト膜形成工程を含むものである。このようにすれば、前記対向部を備えた帯状厚膜導体を形成することができる。
【００２７】
また、好適には、前記支持体準備工程は、所定の基板の表面に前記高融点粒子層を形成するものである。このようにすれば、ペースト膜が基板上に形成されることから、加熱処理後にも支持体の形状が維持されるため、高融点粒子層のみで支持体が構成されている場合（例えば、セラミック生シートで支持体が構成されている場合）に比較して放電空間内に維持電極を設けるためのシート部材の取扱いが容易になる利点がある。しかも、このような支持体が用いられる場合には、ペースト膜との間に高融点粒子層が介在させられる基板は加熱処理の際にそのペースト膜を何ら拘束せず、且つそのペースト膜の表面粗度は高融点粒子層の表面粗度のみが反映されることから、基板の平坦度、表面粗度、膨張係数等のシート部材の品質に及ぼす影響が小さくなるため、基板に高い品質は要求されない。
【００２８】
また、好適には、前記基板は、前記焼成温度で変形しないものである。このようにすれば、厚膜誘電体層および厚膜導体層を生成するための加熱処理が施される際にも膜形成面が当初の形状に保たれるため、高融点粒子層を表面に形成することにより、支持体として繰り返し使用可能となる利点がある。基板は、上記の条件を満たす適宜のものが選ばれるが、例えば、一般ガラス、耐熱ガラス、セラミック板、金属板等を用いることができる。
【００２９】
また、好適には、前記製造方法は、前記厚膜導体層が積層された前記コア誘電体層の外周に厚膜誘電体ペーストを塗布して加熱処理を施すことにより前記誘電体皮膜を設ける被覆工程を含むものである。このようにすれば、導体層を覆う誘電体皮膜を容易に設けることができる。一層好適には、上記厚膜誘電体ペーストの塗布は、ディッピング処理によって行われる。
【００３０】
また、好適には、前記ペースト膜を形成する工程は、厚膜スクリーン印刷法を用いて前記導体ペースト膜および前記誘電体ペースト膜をそれぞれ形成するものである。ペースト膜の形成方法としては、例えば、印刷、サンド・ブラスト、リフトオフ、感光性ペーストを用いたフォト・プロセス等の種々の方法からコスト、必要精度、他の工程との兼ね合い等に応じて選択した適宜の方法を用いることができるが、上記のように印刷法による場合には、膜形成面のうち無用な部分には膜構成材料が塗布されないことから、材料の無駄がない利点がある。すなわち、セラミック生シートのプレス加工、或いはセラミック・シートのレーザ加工や金属材料の化学エッチング等によるもの等に比較して加工時に除去される材料の無駄が極めて少なくなる。
【００３１】
また、好適には、前記高融点粒子は、セラミックス或いはガラス・フリット等の無機材料から成るものである。高融点粒子としては、高融点粒子層を構成する樹脂が焼失した後も何ら軟化等するものでなければ、適宜の無機材料を用いることができる。なお、具体的な材質は、シート部材を構成する厚膜材料の種類やその焼成温度等に応じて適宜選択される。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。
【００３３】
図１は、本発明のガス放電表示装置の一例であるＡＣ型カラーＰＤＰ（以下、単にＰＤＰという）１０の構成を一部を切り欠いて示す斜視図である。図において、ＰＤＰ１０は、それぞれの略平坦な一面１２，１４が対向するように所定間隔を隔てて互いに平行に配置された前面板１６および背面板１８を備えている。それら前面板１６および背面板１８は、格子状のシート部材２０を介してその周縁部において気密に封着されており、これによりＰＤＰ１０の内部に気密空間が形成されている。これら前面板１６および背面板１８は、何れも１．１〜３（ｍｍ）程度の均一な厚さ寸法であって透光性を有し且つ軟化点が７００（℃）程度の相互に同様なソーダライム・ガラス等から成るものであって、単独の表示装置として用いられる場合には例えば９００×５００（ｍｍ）程度の大きさを備え、複数枚が縦横に密接して並べられることにより所謂タイル型表示装置として用いられる場合には例えば４５０×３５０（ｍｍ）程度の大きさを備えるものである。本実施例においては、上記の前面板１６が第１平板に、背面板１８が第２平板にそれぞれ相当する。
【００３４】
上記の背面板１８上には、一方向に沿って伸び且つ互いに平行な複数本の長手状の隔壁２２が０．２〜３（ｍｍ）の範囲内、例えば１．０（ｍｍ）程度の一定の中心間隔で備えられており、前面板１６および背面板１８間の気密空間が複数本の放電空間２４に区分されている。この隔壁２２は、例えば、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＴｉＯ２系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラスを主成分とする厚膜材料から成り、６０（μｍ）〜１．０（ｍｍ）程度の範囲内、例えば２００（μｍ）程度、高さ寸法が５〜３００（μｍ）程度の範囲内、例えば５０（μｍ）程度の大きさを備えたものである。また、隔壁２２には、例えばアルミナ等の無機充填材（フィラー）やその他の無機顔料等が適宜添加されることにより、膜の緻密度や強度、保形性等が調節されている。前記のシート部材２０は、その一方向に沿って伸びる部分がこの隔壁２２の頂部上に重なる位置関係にある。
【００３５】
また、背面板１８上には、その内面１４の略全面を覆う低アルカリ・ガラス或いは無アルカリ・ガラス等から成るアンダ・コート２６が設けられ、その上に厚膜銀等から成る複数本の書込電極２８が前記複数の隔壁２２の長手方向に沿ってそれらの間の位置に、低軟化点ガラスおよび白色の酸化チタン等の無機フィラー等から成るオーバ・コート３０に覆われて設けられている。上記の隔壁２２は、このオーバ・コート３０上に突設されている。
【００３６】
また、オーバ・コート３０の表面および隔壁２２の側面には、放電空間２４毎に塗り分けられた蛍光体層３２が例えば１０〜２０（μｍ）程度の範囲で色毎に定められた厚みで設けられている。蛍光体層３２は、例えば紫外線励起により発光させられるＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）等の発光色に対応する３色の蛍光体の何れかから成るものであり、隣接する放電空間２４相互に異なる発光色となるように設けられている。なお、前記のアンダ・コート２６およびオーバ・コート３０は、厚膜銀から成る書込電極２８と背面板１８との反応および上記の蛍光体層３２の汚染を防止する目的で設けられたものである。
【００３７】
一方、前記の前面板１６の内面１２には、前記隔壁２２に対向する位置に隔壁３４がストライプ状に設けられている。この隔壁３４は、例えば隔壁２２と同じ材料から成るものであるが、例えばブラック・ストライプとしても機能させる場合には、例えば隔壁２２と同じ材料系に黒色顔料粉末（例えば黒色金属酸化物粉末）を分散させた材料で構成され、何れの場合にも、例えば５〜３００（μｍ）程度の範囲内、例えば５０（μｍ）程度の高さ寸法（厚さ寸法）で設けられたものである。前面板内面１２のこの隔壁３４相互間には、蛍光体層３６が例えば３〜５０（μｍ）程度の範囲内例えば５（μｍ）程度の厚さ寸法でストライプ状に設けられている。この蛍光体層３６は、放電空間２４毎に単一の発光色が得られるように、背面板１８上に設けられた蛍光体層３２と同じ発光色のものが設けられている。上記隔壁３４の高さ寸法は、シート部材２０が蛍光体層３６に接することを防止するために、その表面が蛍光体層３６の表面よりも高くなるように定められている。
【００３８】
図２は、隔壁２２の長手方向に沿い且つ前記書込電極２８の幅方向における中央部を通る断面において、ＰＤＰ１０の断面構造を説明する図である。前記のシート部材２０は、例えば全体で５０〜５００（μｍ）の範囲内、例えば１５０（μｍ）程度の厚さ寸法を備えたものであって、その骨格を構成する格子状（前記図１参照）のコア誘電体層３８と、その一面４０（図における上面）から側面（すなわち格子の内壁面）の一方に亘る範囲に積層して固着された第１維持配線層４２と、コア誘電体層３８の他面４４（図における下面）から側面の他方（第１維持配線層４２とは異なる側面）に亘る範囲に積層して固着された第２維持配線層４６と、これらを覆って設けられた被覆誘電体層（すなわち誘電体皮膜）４８と、その被覆誘電体層４８を更に覆って設けられてシート部材２０の表層部を構成する保護膜５０とから構成されている。本実施例においては、上記の第１維持配線層４２および第２維持配線層４６（以下、特に区別しないときは維持配線層４２，４６という）が導体層に相当する。
【００３９】
上記のコア誘電体層３８は、５０〜１００（μｍ）程度、例えば７０（μｍ）程度の厚さ寸法を備えたものであって、格子を構成する縦横に沿ってそれぞれ伸びる部分の幅寸法は、例えば隔壁２２の幅寸法と同程度かアライメント・マージンを考慮してそれよりも若干広く、例えば７０（μｍ）〜１．１（ｍｍ）の範囲内、例えば３００（μｍ）程度である。また、このコア誘電体層３８は、例えばＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＴｉＯ２系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラスおよびアルミナ等のセラミック・フィラー等の厚膜誘電体材料で構成されている。
【００４０】
また、上記の第１維持配線層４２および第２維持配線層４６は、例えば銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）等を導電成分として含む厚膜導体であり、線抵抗値は材料の固有抵抗値、線幅、厚み寸法で設定されるが、例えば３〜５０（μｍ）の範囲内、例えば３０（μｍ）程度の厚さ寸法で設けられている。これら第１維持配線層４２および第２維持配線層４６のうちコア誘電体層３８の側面を覆う対向部５２は、放電空間２４内でガス放電を発生させるための維持電極として実質的に機能させられるものである。図に示されるように、対向部５２は、シート部材２０を構成する格子の内壁面において互いに平行且つ対向する位置に配置されている。すなわち、ＰＤＰ１０は、その放電空間２４内において互いに対向する対向部５２，５２間で放電させられる対向放電構造に構成されている。なお、放電空間２４毎に一対が備えられているこれら対向部５２、５２のうちの一方は、後述するように発光区画（セル）選択のために前記の書込電極２８との間で書込放電させられる走査電極としても機能させられるものであり、他方は維持放電のみに用いられる。なお、発光区画の区切りの定め方についても後述する。
【００４１】
また、前記の被覆誘電体層４８は、例えば対向部５２上で例えば１０〜５０（μｍ）程度の範囲内、例えば２０（μｍ）程度の厚さ寸法を備え、例えばＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＴｉＯ２系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラス等から成る厚膜である。この被覆誘電体層４８は、表面に電荷を蓄えることにより対向部５２、５２間で交流放電をさせるために設けられたものであるが、同時に、厚膜材料で構成される対向部５２を露出させないことによって、これからのアウト・ガスによる放電空間２４内の雰囲気変化を抑制する役割も有する。
【００４２】
また、前記の保護膜５０は、例えば０．５（μｍ）程度の厚さ寸法を備え、ＭｇＯ等を主成分とする薄膜或いは厚膜である。保護膜５０は、放電ガス・イオンによる被覆誘電体層４８のスパッタリングを防止するものであるが、二次電子放出係数の高い誘電体で構成されていることから、実質的に放電電極として機能する。
【００４３】
図３は、シート部材２０の一部を切り欠いて維持配線層４２，４６の構成を詳しく説明する図である。図において、維持配線層４２，４６は、シート部材２０を構成する格子の一方向に沿って伸びる複数本の帯状厚膜導体５４，５６をそれぞれ備えている。これら帯状厚膜導体５４，５６の長手方向は、前記の隔壁２２の長手方向に垂直な方向すなわち書込電極２８の長手方向と垂直を成す向きである。また、帯状厚膜導体５４，５６は、何れも５０〜１３０（μｍ）程度の一定の幅寸法を備えたものであり、格子状のコア誘電体層３８の各構成部分の幅方向における中央部に位置する。このため、本実施例においては、これら帯状厚膜導体５４，５６が電極リードとしてのみ機能し、前記の対向部５２が維持電極として機能するのである。
【００４４】
また、帯状厚膜導体５４，５６には、その長手方向における複数箇所にその側方すなわちその長手方向に略垂直な向きにその幅寸法を拡大するように突き出す突出部５８がそれぞれ備えられている。前記の維持電極５２は、この突出部５８の先端部から連続し且つそれと垂直を成すように設けられている。また、突出部５８の突き出し方向は、帯状厚膜導体５４においては隣接する帯状厚膜導体５６に向かう方向であり、帯状厚膜導体５６においては隣接する帯状厚膜導体５４に向かう方向である。このため、維持電極５２は、帯状厚膜導体５４および帯状厚膜導体５６に設けられたものが相互に対向するように配置されている。これら突出部５８および維持電極５２の幅寸法（帯状厚膜導体５４の長手方向における寸法）は、例えば１００（μｍ）程度であり、維持電極５２の高さ寸法はシート部材２０の厚さ寸法に略等しい５０〜１００（μｍ）程度、例えば７０（μｍ）程度である。すなわち、維持電極５２はコア誘電体層３８の側面の一部を覆って設けられている。
【００４５】
図４に上記の帯状厚膜導体５４，５６の接続関係を書込電極２８との位置関係も含めて模式的に示した。格子状のコア誘電体層３８の図における左右方向に沿って伸びる部分には、その全てに帯状厚膜導体５４，５６の両方が一本ずつ或いは一方が一本だけ設けられている。すなわち、帯状厚膜導体５４，５６が共に設けられた部分が図の上下方向において２本置きに備えられ、残る部分には帯状厚膜導体５４，５６が図の上下方向において交互に備えられている。なお、図においては、一面４０上に形成されている帯状厚膜導体５４を実線で、他面４４上に形成されている帯状厚膜導体５６を破線で示した。また、上記帯状厚膜導体５４，５６の一方、図においては帯状厚膜導体５４は、図の右端に示すように全て共通の配線に接続されることにより、一斉に駆動電圧を印加されるものである。但し、図においては全ての帯状厚膜導体５４が共通の配線に接続されているが、２−１インタレース等の駆動方法に応じて、例えば帯状厚膜導体５４を複数例えば２つに区分し、共通となる配線をその区分数に応じて設けても良い。一方、他方の帯状厚膜導体、図においては帯状厚膜導体５６は、帯状厚膜導体５４，５６が共に設けられている格子の構成部分に位置するものと、それに隣接して位置するものとが共通の配線に接続されているが、この配線は他の全ての配線から独立させられており、この２本ずつの組合せを単位として任意に選択されたものに駆動電圧を印加できるようになっている。
【００４６】
なお、シート部材４２の格子構成部分の相互間隔は、格子の２方向においてそれぞれ一定である。すなわち、帯状厚膜導体５４に沿って伸びる部分は例えば１００（μｍ）程度の相互間隔Ｇｓで設けられており、それに垂直な方向に沿って伸びる部分は例えば２００（μｍ）程度の相互間隔Ｇｗで設けられている。また、図４における左端中央に例示するように、本実施例では、対向させられた維持電極５２，５２間で表示のための維持放電を発生させるので、放電ギャップは相互間隔Ｇｓに略等しい１００（μｍ）程度である。また、図４を前記の図１と対比すれば明らかなように、シート部材２０は、帯状厚膜導体５４に垂直な方向に沿って伸びる格子の構成部分が隔壁２２の頂部上に位置させられている。なお、前記の図２は、上記の図４におけるＡ−Ａ視断面等に対応する図である。
【００４７】
このため、複数本の帯状厚膜導体５６に所定の交流パルスを印加して順次走査すると共に、その走査のタイミングに同期して書込電極２８のうちのデータに対応する所望のもの（すなわち発光させる区画として選択されたものに対応する書込電極）に所定の交流パルスを印加すると、それらの間で書込放電が発生させられ、その帯状厚膜導体５６に備えられている維持電極５２上の保護膜５０上に電荷が蓄積される。このようにして走査電極として機能させられる全ての維持電極５２を走査した後、全ての維持電極５２，５２間に帯状厚膜導体５４、５６を介して所定の交流パルスを印加すると、電荷が蓄積された発光区画では印加電圧にその蓄積電荷による電位が重畳されて放電開始電圧を越えるため、維持電極５２，５２間で放電が発生させられ、且つ保護膜５０上に改めて発生させられた壁電荷等により予め定められた所定時間だけ維持される。これにより、ガス放電で発生した紫外線で選択された区画内の蛍光体層３２、３６が励起発光させられ、その光が前面板１６を通して射出されることにより、一画像が表示される。そして、走査側電極（維持電極５２）の１周期毎に、交流パルスを印加されるデータ側電極（書込電極２８）が変化させられることにより、所望の画像が連続的に表示されることとなる。なお、上記の説明から明らかなように、維持電極５２のうち、帯状厚膜導体５６に接続されている一方は、書込電極２８との間で走査電極として機能させられるが、他方の維持電極５２との間では維持電極（表示放電電極）として機能させられる。
【００４８】
このとき、前述したように帯状厚膜導体５６は相互に隣接する２本を対として共通の配線に接続されているため、書込電極２８との間の書込放電はそれら２本の帯状厚膜導体５６の各々に備えられている維持電極５２との間で同時に発生させられる。そのため、発光区画の選択はそれら対を成す帯状厚膜導体５６を一体として成されることになり、発光区画の単位は、図４に一点鎖線で模式的に示すように２つの放電部を含む範囲となる。すなわち、複数本の帯状厚膜導体５２は、一の放電空間２４内の複数の発光区画毎に独立の配線に接続された複数本の独立厚膜導体と、それら複数の発光区画に共通の配線に接続された複数本の共通厚膜導体とから構成されている。また、図４に示されるように、放電は、１００（μｍ）程度の僅かな距離Ｇｓだけ相互に離隔させられた電極５２，５２間で発生させられるが、放電空間２４は図における上下方向に連続しているため、その放電により発生させられた紫外線は、上記一点鎖線で示されるように、その放電空間２４の長手方向に沿って２対の放電電極５２のうち外側に位置するものの更に外側に広がる。そのため、放電空間２４内に設けられている蛍光体層３２，３６のうち、その一点鎖線で囲まれた範囲内に位置するものが、図の左端中央に示す２対の電極５２間の放電で発生した紫外線で励起発光させられることとなる。
【００４９】
したがって、ＰＤＰ１０における発光単位（セル）の区切りは、隔壁２２に垂直な方向すなわち図における左右方向ではその隔壁２２によって区切られ、隔壁２２の長手方向すなわち図における上下方向では実質的にはこの紫外線の及ぶ範囲によって画定される。この結果、発光単位の中心間隔は、図の左右方向においてはＰｃ＝０．５（ｍｍ）程度のカラー・セル・ピッチに、図の上下方向においてはＰｄ＝１．５（ｍｍ）程度のドット・ピッチになっている。なお、本実施例のようなＲＧＢ３色から成るカラー表示用のＰＤＰ１０においては、図の左右方向において相互に隣接する３つの発光区画で一画素が構成されている。そのため、画素ピッチは、左右方向および上下方向の何れにおいても０．９（ｍｍ）程度である。
【００５０】
ここで、本実施例においては、格子状のシート部材２０の一面４０に第１維持配線層４２が、他面４４に第２維持配線層４６がそれぞれ設けられると共に、それらの帯状厚膜導体５４，５６は、各発光区画内において隣接するもの相互間でそれらに設けられた維持電極５２が書込電極２８の長手方向に沿った複数箇所で放電させられるように備えられる。そのため、本実施例のようにその長手方向における発光区画の中心間隔が大きい場合にも、一箇所だけで放電するように構成されていた従来に比較して駆動電圧を高くすることなく発光面積を大きくできる。また、放電面が互いに平行に設けられた対向放電構造であることから、一平面上に維持電極が配置された従来の３電極構造に比較して効率が高められると共に、局部的に放電が強くなることに起因する被覆誘電体層４８および保護膜５０の局部的な劣化が抑制され延いてはＰＤＰ１０の寿命が長くなる利点がある。また、対向放電構造であることから、隔壁２２の頂部や前面板１６にうねり等があったとしても、それによって隔壁２２と前面板１６との間に生じる隙間に起因してクロストークの生じることが抑制される。
【００５１】
しかも、維持電極５２の放電面が前面板１６および背面板１８の何れからも離隔したこれらの中間の高さ位置に位置し且つ放電方向がそれらの内面１２，１４に沿った方向となることから、前面板内面１２および背面板内面１４上における放電ガス・イオンの影響が少ないので、前述したようにそれらの何れにも広い範囲に亘って蛍光体層３２，３６が設けられる。そのため、蛍光体層３２を維持電極が固着された基板とは反対側の基板上にのみ設けることが可能であった面放電構造の場合に比較して輝度を飛躍的に高め得る利点もある。
【００５２】
また、維持電極５２が前面板１６上に設けられていないため、厚膜銀から構成される場合にもその銀の黄変色が観察されることがない。したがって、酸化ルテニウム等の高価な黒色導電材料を維持電極５２の構成材料に用いる必要もない利点もある。
【００５３】
ところで、上記のようなＰＤＰ１０は、例えば図５に示される工程図に従って別々に処理（或いは製造）されたシート部材２０，前面板１６，および背面板１８を組み立てることで製造される。
【００５４】
背面板１８の処理工程においては、先ず、アンダ・コート形成工程６０で、用意された平坦な背面板１８の内面１４に厚膜絶縁体ペーストを塗布して焼成することにより前記のアンダ・コート２６を形成する。次いで、書込電極形成工程６２では、そのアンダ・コート２６上に例えば厚膜スクリーン印刷法やリフトオフ法等を用いて厚膜銀ペースト等の厚膜導電材料ペーストで前記書込電極２８を形成する。続くオーバ・コート形成工程６４においては、この書込電極２８上から低軟化点ガラスおよび無機フィラーを含む厚膜絶縁ペーストをアンダ・コート２６の略全面を覆って繰り返し塗布して焼成することにより前記オーバ・コート３０を形成する。
【００５５】
次いで、隔壁形成工程６６では、例えば低軟化点ガラスおよび無機フィラー等を主成分とする厚膜絶縁ペーストを塗着し、乾燥後、例えば５００〜６５０（℃）程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の隔壁２８を形成する。なお、一回の印刷で隔壁２８の所望の高さ寸法を確保できない場合には、印刷および乾燥が必要な回数だけ繰り返される。上述したアンダ・コート形成工程６０乃至オーバ・コート形成工程６４も同様である。そして、蛍光体層形成工程６８においては、ＲＧＢ３色に対応する３種の蛍光体ペーストを隔壁２８相互間であって色毎に定められた所定位置に厚膜スクリーン印刷法等によって或いは流し込みによって塗布し、例えば４５０（℃）程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の蛍光体層３２を設ける。
【００５６】
一方、前面板１６の処理工程においては、先ず、隔壁形成工程７０において、上記の工程６６と同様に、例えば低軟化点ガラスおよび無機フィラー等を主成分とする厚膜絶縁ペーストを厚膜スクリーン印刷法等の厚膜形成技術を用いて内面１２上に繰り返し塗布、乾燥して、更に厚膜絶縁ペーストの種類に応じて定められる例えば５００〜６５０（℃）程度の範囲内の熱処理温度で焼成することにより、前記の隔壁３４を形成する。次いで、蛍光体層形成工程７２において、ＲＧＢ３色に対応する３種の蛍光体ペーストを隔壁３４相互間であって色毎に定められた所定位置に、隔壁３４上から厚膜スクリーン印刷或いは落とし込み印刷等の手法で塗布し、例えば４５０（℃）程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の蛍光体層３６を設ける。
【００５７】
そして、シート部材作製工程７４において作製された前記のようなシート部材２０を介して上記の前面板１６および背面板１８を重ね合わせ、封着工程７６において加熱処理を施すことにより、それらの界面に予め塗布されたシールガラス等の封着剤でこれらを気密に封着する。なお、封着に先立ち、必要に応じてシート部材２０が前面板１６および背面板１８の何れかにガラスフリット等を用いて固着される。そして、排気・ガス封入工程７８において、形成された気密容器内から排気し且つ所定の放電ガスを封入することにより、前記のＰＤＰ１０が得られる。
【００５８】
上記の製造工程において、シート部材作製工程７４は、よく知られた厚膜印刷技術を応用した例えば図６に示される示す工程に従って実施される。以下、シート部材２０の製造方法を、製造工程の要部段階における状態を表した図７（ａ）〜（ｆ）および図８（ｇ）〜（ｉ）を参照して説明する。
【００５９】
先ず、基板を用意する工程８０では、厚膜印刷を施す基板８２（図７参照）を用意し、その表面８４等に適宜の清浄化処理を施す。この基板８２は、後述する加熱処理の際に殆ど変形や変質の生じないものであって、例えば、熱膨張係数が８７×１０−７（／℃）程度で、７４０（℃）程度の軟化点および５１０（℃）程度の歪み点を備えたソーダライム・ガラス等から成るガラス基板が好適に用いられる。なお、基板８２の厚さ寸法は例えば２〜３（ｍｍ）程度の範囲内、例えば２．８（ｍｍ）程度であり、その表面８４の大きさは前記のシート部材２０よりも十分に大きくされている。
【００６０】
次いで、剥離層形成工程８６では、高融点粒子が樹脂で結合させられた剥離層８８を、基板８２の表面８４に例えば５〜５０（μｍ）程度の範囲内、好適には１０〜２０（μｍ）程度の厚さ寸法で設ける。上記の高融点粒子は、例えば平均粒径が０．５〜３（μｍ）程度の高軟化点ガラスフリットおよび平均粒径が０．０１〜５（μｍ）程度の範囲内、例えば１（μｍ）程度のアルミナやジルコニア等のセラミック・フィラーを、例えば３０〜５０（％）程度の割合で混合したものである。上記の高軟化点ガラスは、例えば５５０（℃）程度以上の軟化点を備えたものであり、混合物である高融点粒子の軟化点は、例えば５５０（℃）程度以上になっている。また、樹脂は、例えば３５０（℃）程度で焼失させられるエチルセルロース系樹脂等である。この剥離層８８は、例えば、上記の高融点粒子および樹脂がブチルカルビトールアセテート（ＢＣＡ）やテルピネオール等の有機溶剤中に分散させられた無機材料ペースト９０を、例えば図７（ａ）に示すようにスクリーン印刷法を用いて基板８２の略全面に塗布し、乾燥炉或いは室温において乾燥させることで設けられるが、コータやフィルム・ラミネートの貼り付け等で設けることもできる。なお、乾燥炉は、膜の表面粗度が優れ且つ樹脂が一様に分散するように、好適には給排気を十分に行い得る遠赤外線乾燥炉が用いられる。図７（ｂ）は、このようにして剥離層８８を形成した段階を示している。なお、図７（ａ）において、９２はスクリーン、９４はスキージである。本実施例においては、上記の剥離層８８を備えた基板８２が支持体に、その剥離層８８の表面が膜形成面にそれぞれ相当し、上記の基板用意工程８０および剥離層形成工程８６が支持体準備工程に対応する。
【００６１】
続く厚膜ペースト層形成工程９６では、前記の維持配線層４２，４６および維持電極５２を形成するための厚膜導体ペースト９８と、前記のコア誘電体層３８を形成するための厚膜誘電体ペースト１００（図７（ａ）参照）を、無機材料ペースト９０と同様にスクリーン印刷法等を利用して剥離層８８上に所定のパターンで順次に塗布・乾燥する。これにより、第２維持配線層４６の帯状厚膜導体５６および突出部５８を形成するための導体印刷層１０２、コア誘電体層３８を形成するための誘電体印刷層１０４、第１維持配線層４２のうちの帯状厚膜導体５４および突出部５８を形成するための導体印刷層１０６、維持電極５２を形成するための導体印刷層１０８が順に形成される。上記の厚膜導体ペースト９８は、例えば、銀粉末等の導体材料粉末、ガラスフリット、および樹脂が有機溶剤中に分散させられたものである。また、厚膜誘電体ペースト１００は、例えば、アルミナやジルコニア等の誘電体材料粉末、ガラスフリット、および樹脂が有機溶剤中に分散させられたものである。なお、上記のガラスフリットは、例えばＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２系の低軟化点ガラス等が用いられ、樹脂および溶剤は例えば無機材料ペースト９０と同様なものが用いられる。
【００６２】
このとき、第２維持配線層４６の帯状厚膜導体５６，第１維持配線層４２の帯状厚膜導体５４、突出部５８、およびコア誘電体層３８を形成する際には、スクリーン８６は、前記の図１および図３等に示されるようなそれらの形状にそれぞれ対応する開口パターンを備えたものが用いられ、焼成収縮後にそれぞれ前記の膜厚が得られるように設定された所定の厚さ寸法で厚膜導体ペースト９８および厚膜誘電体ペースト１００が塗布される。一方、維持電極５２を形成する際には、例えばコア誘電体層３８により形成された格子の内壁面よりも僅かに内側にはみ出した形状の開口を備えたスクリーン９２を用いることにより、厚膜導体ペースト９８が誘電体印刷層１０４の上面からその内壁面に沿って流れ落ちるように塗布される。図７（ｃ）〜（ｆ）は、導体印刷層１０２，誘電体印刷層１０４、導体印刷層１０６、導体印刷層１０８がそれぞれ形成された段階を示している。なお、導体印刷層１０２，１０６，１０８は、５〜１０（μｍ）程度の厚さ寸法であるため、一回の印刷で形成されるが、誘電体印刷層１０４は３０（μｍ）程度の厚さ寸法であることから、適当な厚さ寸法が得られるまで３回程度の印刷および乾燥を繰り返して積層形成される。また、導体印刷層１０８を形成する際に用いられる厚膜導体ペースト９８は、内壁面に沿って流れ落とすべく例えば１０〜５０（Ｐａ・ｓ）程度の比較的低粘度に調製される。流れ落ちた厚膜導体ペースト９８は、剥離層８８に溶剤が吸収されるため、その剥離層８８の表面で広がることはない。
【００６３】
上記のようにして厚膜印刷層１０２〜１０８を形成し、乾燥して溶剤を除去した後、焼成工程１１０においては、基板８２を所定の焼成装置の炉室１１２内に入れ、厚膜導体ペースト９８および厚膜誘電体ペースト１００の種類に応じた例えば５５０（℃）程度の焼成温度で加熱処理を施す。図８（ｇ）は加熱処理中の状態を示している。
【００６４】
上記の加熱処理過程において、厚膜印刷層１０２〜１０８は、その焼結温度が例えば５５０（℃）程度であるため、その樹脂成分が焼失させられると共に誘電体材料、導体材料、およびガラスフリットが焼結させられ、コア誘電体層３８および維持配線層４２，４６すなわちシート部材２０の基本的部分が生成される。図８（ｈ）は、この状態を示している。このとき、剥離層８８は、前述したようにその無機成分粒子が５５０（℃）以上の軟化点を備えたものであるため、樹脂成分は焼失させられるが高融点粒子（ガラス粉末およびセラミック・フィラー）は焼結させられない。そのため、加熱処理の進行に伴って樹脂成分が焼失させられると、剥離層８８は高融点粒子１１４（図９参照）のみから成る粒子層１１６となる。
【００６５】
図９は、図８（ｈ）の右端の一部を拡大して、上記の加熱処理における焼結の進行状態を模式的に示した図である。剥離層８８の樹脂成分が焼失させられて生成された粒子層１１６は、単に高融点粒子１１４が積み重なっただけの層であり、その高融点粒子１１４は互いに拘束されていない。そのため、図に一点鎖線で示される焼成前の端部位置から厚膜印刷層１０２〜１０８が収縮するときには、その高融点粒子１１４がコロの如き作用をする。これにより、厚膜印刷層１０２〜１０８の下面側でも基板８２との間にその収縮を妨げる力が作用しないので、上面側と同様に収縮させられることから、収縮量の相違に起因する密度差や反り等は何ら生じていない。
【００６６】
なお、本実施例においては、厚膜印刷層１０２〜１０８の焼結が開始するときには、上述したように粒子層１１６の作用によって基板８２はその焼成収縮を何ら妨げない。したがって、基板８２の熱膨張は生成される厚膜の品質に実質的に影響しない。なお、基板８２を繰り返し使用する場合や熱処理温度が高くなる場合には、歪み点の一層高い耐熱性ガラス（例えば、熱膨張係数が３２×１０−７（／℃）程度で軟化点が８２０（℃）程度の硼珪酸ガラスや、熱膨張係数が５×１０−７（／℃）程度で軟化点が１５８０（℃）程度の石英ガラス等）を用いることができる。この場合にも、誘電体材料粉末等の結合力が小さい温度範囲では基板８２の熱膨張量が極めて小さくなるので、その熱膨張が生成される厚膜の品質に影響することはない。
【００６７】
図６に戻って、剥離工程１１８では、生成された厚膜すなわちコア誘電体層３８および維持配線層４２，４６の積層体を基板８２から剥離する。それらの間に介在させられている粒子層１１６は高融点粒子１１４が単に積み重なっただけであるので、上記剥離処理は何らの薬品や装置を用いることなく容易に行い得る。このとき、積層体の裏面には高融点粒子１１４が一層程度の厚みで付着し得るが、この付着粒子は、必要に応じて粘着テープやエアブロー等を用いて除去する。なお、厚膜が剥離された基板８２は、前述したように前記の焼成温度では変形および変質し難いものであるため、同様な用途に繰り返し用いられる。
【００６８】
次いで、誘電体ペースト塗布工程１２０においては、剥離した積層体をディッピング槽１２２内に蓄えられた誘電体ペースト１２４中にディッピングすることにより、全外周面に誘電体ペースト１２４が塗布される（図８（ｉ）参照）。この誘電体ペースト１２４は、例えば、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＴｉＯ２系或いはこれらを組み合わせた系等のガラス粉末およびＰＶＡ等の樹脂が水等の溶剤中に分散させられたものであり、前記の厚膜誘電体ペースト１００に比較して低粘度に調製されている。なお、上記のガラス粉末は鉛を含まない軟化点が６３０（℃）程度以上のものも使用可能である。これは、前記の厚膜誘電体ペースト１００に含まれるものの軟化点と同程度かそれよりも高いものである。また、低粘度に調製されたペーストを用いるのは、塗布の際に気泡が巻き込まれ延いては焼成後に欠陥の残ることを防止するためであり、積層体は、例えば水平な向きで金網１２６等に載せられた状態で誘電体ペースト１２４中に静かに沈められ、且つ取り出される。
【００６９】
続く焼成工程１２８では、ディッピング槽１２２から取り出され且つ十分に乾燥させられた積層体が焼成炉内に投入され、前記誘電体ペースト１２４に含まれるガラス粉末の種類に応じて定められる例えば５５０〜５８０（℃）程度の所定温度で加熱処理（焼成処理）を施される。この焼成温度は、例えば、ガラス粉末が十分に軟化して緻密な誘電体層（被覆誘電体層４８）が得られるように、ガラス粉末の軟化点に対して十分に高い温度に設定される。このため、このようにして形成された被覆誘電体層４８は、ガラス粉末相互の粒界に起因する空隙等が殆ど無く、高い耐電圧を有するものとなる。本実施例においては、これら誘電体ペースト塗布工程１２０および焼成工程１２８から被覆工程が構成されている。
【００７０】
このとき、上記の焼成工程１２８が比較的高温に設定される場合には、内側に位置するコア誘電体層３８および維持配線層４２、４６から残留していた有機成分が焼失させられること等によりガスが発生する。このガスは、被覆誘電体層４８内に気泡を生成するものであるが、ガスの移動方向は図１０に矢印で示されるように上方となる。そのため、被覆誘電体層４８内に生成する気泡は、専ら図における上部に形成され、維持配線層４２、４６のうち放電面として機能させられる部分すなわちコア誘電体層３８の側面を覆う部分には発生しない。したがって、焼成工程１２８における処理温度が高温であっても、それに起因して維持電極５２上の被覆誘電体層４８内に気泡が生じることがないので、その焼成温度を高くして緻密化させ、耐電圧等の特性を高めることが可能となる。
【００７１】
そして、保護膜形成工程１３０において、上記の被覆誘電体層４８の表面に例えばディッピング処理および焼成処理により、或いは電子ビーム法やスパッタ等の薄膜プロセスにより、前記の保護膜５０が所望の厚さ寸法で略全面に設けられることにより、前記のシート部材２０が得られる。なお、保護膜５０は、前述したように薄い膜であるので、ディッピング等の厚膜プロセスでは一様な膜を形成することが比較的困難である。しかしながら、本実施例においては維持電極５２，５２間で対向放電させることから電極表面間距離が一様であるため、保護膜５０の表面形状の如何に拘わらず放電集中は生じ難い。したがって、面放電構造を採る場合ほどの一様性は保護膜５０に要求されないのである。また、保護膜５０は光の射出経路上に存在しないので、その透明性も要求されない。
【００７２】
ここで、本実施例においては、前面板１６および背面板１８を重ね合わせて固着することによりＰＤＰ１０を製造するに際して、隣接するもの相互間で放電させられる複数本の帯状厚膜導体５４，５６が発光区画毎に書込電極２８の長手方向に沿った複数箇所で放電し得るように備えられた維持配線層４２，４６が格子状のコア誘電体層３８の一面４０および他面４４に積層されて成るシート部材２０が背面板１８または前面板１６に固着されることにより、維持電極５２が放電空間２４内に備えられる。そのため、シート部材２０上に維持電極５２を構成するための厚膜導体層すなわち維持配線層４２，４６が備えられていることから、前面板１６および背面板１８の間にそのシート部材２０を配置するだけで発光区画毎に二対以上の維持電極５２を設けることができるため、前面板１６上に維持電極を設ける場合におけるその形成時の熱処理に起因する前面板１６および維持電極の歪みが好適に抑制される。また、帯状厚膜導体５４，５６が書込電極２８の長手方向において発光区画毎に複数箇所で放電し得るように設けられていることから、その長手方向における発光区画の中心間隔が大きくされる場合にも、一箇所だけで放電するように構成されていた従来に比較して駆動電圧を高くすることなく発光面積を大きくできる。したがって、電極等の形成に伴う熱処理に起因する歪み等の抑制され且つ発光面積の大きい３電極構造のＡＣ型ＰＤＰ１０を簡単な製造工程で得ることができる。すなわち、ＳｉＯ２のコートやＩＴＯ、バス電極等を設ける複雑なプロセスが無用になる。
【００７３】
また、本実施例においては、厚膜導体ペースト９８および厚膜誘電体ペースト１００の焼結温度よりも高い融点を有する剥離層８８で構成された膜形成面に厚膜印刷層１０２乃至１０８等が所定パターンで形成された後、それらの焼結させられる温度で加熱処理が施されることにより、コア誘電体層３８の一面４０および他面４４に維持配線層４２、４６をそれぞれ構成する厚膜導体層が形成されたシート部材２０が生成される。そのため、その加熱処理温度では焼結させられない剥離層８８は樹脂が焼失させられることにより高融点粒子１１４のみが並ぶ粒子層１１６となることから、生成された厚膜は基板８２に固着されないため、その表面８４から容易に剥離することができる。したがって、維持電極５２を構成するためのシート部材２０を容易に製造し且つＰＤＰ１０の製造に用いることができる。
【００７４】
また、本実施例においては、厚膜ペースト９２，９４の塗布される支持体は、基板８２の表面に剥離層８８が形成されることにより構成されるため、加熱処理後にも支持体の形状が維持されるため、剥離層８８のみで支持体が構成されている場合に比較してシート部材２０の生成後の取扱いが容易になる利点がある。なお、厚膜印刷層１０２〜１０８と基板８２との間には剥離層８８が介在させられていることから、加熱処理の際にその厚膜印刷層１０２〜１０８を何ら拘束しないため、基板８２の平坦度や表面粗度等は特に問題にならない。すなわち、基板表面８４が反っている場合には、厚膜印刷層１０２〜１０８はその表面８４に倣って反りを有して形成されるが、生成されるシート部材２０は焼成後にも十分な柔軟性があるため、平坦面に置いた場合にその面に倣ってシート部材２０も平坦になるのである。
【００７５】
また、本実施例においては、厚膜印刷層１０２〜１０８は、厚膜スクリーン印刷法を用いて形成されることから、装置が簡単且つ材料の無駄が少ないため、低コストとなる利点がある。
【００７６】
また、本実施例によれば、厚膜スクリーン印刷法を用いて膜形成がされることから所謂ウェット・プロセスがないため、排水処理が容易になる利点もある。因みに、ウェット・プロセスでは、溶液が膜内に浸透して残存すると、前面板１６および背面板１８を接着して真空容器を構成した後のアウトガスの原因になり得る。これを避けるためには、構成材料の耐熱温度を高くして気密封着後の排気温度を高め、或いは排気時間を長くする等の工程負荷が重くなるような処置が必要となる。
【００７７】
図１１は、本発明の他の実施例のＰＤＰに用いられるシート部材１３２の構成を説明するための図２に対応する図である。この実施例においては、前記の第１維持配線層４２に代えて、第１維持配線層１３４が一面４０に設けられると共に、その反対側の他面４４に第２維持配線層１３６が設けられている。これら維持配線層１３４，１３６は、何れも前述した実施例と同様に書込電極２８および隔壁２２の長手方向に直交する方向に沿って伸びるものである。但し、本実施例では、他面４４側の第２維持配線層１３６がコア誘電体層３８の格子の２本置きに備えられ、一面４０側の第１維持配線層１３４がコア誘電体層３８の格子のうちその第２維持配線層１３６が存在しないものに備えられている。このため、第２維持配線層１３６の帯状厚膜導体５６は、その両隣に第１維持配線層１３４の帯状厚膜導体５４が位置させられているが、その帯状厚膜導体５４は、両隣の一方に第２維持配線層１３６の帯状厚膜導体５６が位置させられ且つ他方に第１維持配線層１３４の帯状厚膜導体５４が位置させられている。
【００７８】
上記の維持配線層１３４，１３６は、前記の維持配線層４２，４６と同様に長手方向の複数箇所に維持電極５２を備えたものである。但し、一方の第２維持配線層１３６は、発光区画（セル）毎に一対の維持電極５２を、その複数本の帯状厚膜導体５６の各々からコア誘電体層３８の格子の両内壁面に沿って伸びるように備えている。これに対して、第１維持配線層１３４は、発光区画毎に、その複数本の帯状厚膜導体５４の各々から隣接する帯状厚膜導体５６側の格子の一方の内壁面に沿って伸びる一つの維持電極５２を備える。このため、図１１にＰｄで示した１セルの範囲内には、一対の維持電極５２を備えた帯状厚膜導体５６が中央に位置し、その維持電極５２に対向する維持電極５２をそれぞれ備えた一対の帯状厚膜導体５４，５４がこれを挟んで外側に対称的に位置する。そして、対峙させられた維持電極５２，５２間で放電が発生させられる。したがって、本実施例においても、各発光区画内の２箇所に放電部分が備えられることになるため、広い範囲で放電が生ずることに基づき、駆動電圧を高くすることなく発光面積を増大できる等の前述の実施例と同様な利点がある。
【００７９】
なお、本実施例においても、駆動方法は前述の実施例の場合と同様である。すなわち、第２維持配線層１３６の複数本の帯状厚膜導体５６は相互に電気的に独立させられており、書込電極２８との間で発光区画を選択するための書込放電をさせられるものに構成されている。また、第１維持配線層１３４の複数本の帯状厚膜導体５４の各々は例えば全てが共通の配線に接続されることによって一括して電圧を印加されるようになっており、発光区画が選択された後に第２維持配線層１３６との間で放電させられることにより、所望の発光区画が選択的に発光させられる。要するに、コア誘電体層３８の格子の相互間の各々で放電が発生するように構成されていれば、維持電極５２の構成は、前述の実施例のような４電極構造に限られず、本実施例のような３電極構造であっても差し支えない。
【００８０】
図１２は、更に他の実施例を説明するための図２に対応する断面図である。この実施例のＰＤＰにおいては、シート部材２０に代えてシート部材１３８が備えられている。シート部材１３８は、コア誘電体層３８の一面４０に第１維持配線層１４０を、他面４４に第２維持配線層１４２をそれぞれ備えている。第１維持配線層１４０は、書込電極２８の長手方向に沿った方向において、コア誘電体層３８を構成する格子の一本おきに帯状厚膜導体５４を有するものである。一方、第２維持配線層１４２も、帯状厚膜導体５４が存在しない格子に帯状厚膜導体５６を有するものである。すなわち、帯状厚膜導体５６も格子の一本おきに設けられており、これら帯状厚膜導体５４，５６は、書込電極２８の長手方向において交互に配置されている。
【００８１】
そして、これら帯状厚膜導体５４，５６には、相互に隣接するもののうちの一方との間で放電させるための維持電極５２がコア誘電体層３８の一方の内壁面に設けられている。本実施例においては、図に示される合計４本の帯状厚膜導体５４，５６がＰｄで範囲を示された一つの発光区画内に備えられているが、維持放電は、図において左側に位置する一対の間、および右側に位置する一対の間でそれぞれ発生させられる。そのため、この実施例においても、一つの発光区画内の２箇所で維持放電が発生させられることから、前述した各実施例と同様に、駆動電圧を高くすることなく発光面積を増大できる等の利点がある。
【００８２】
図１３は、上記の図１２に示されるシート部材１３８と同様に帯状厚膜導体５４，５６が設けられた他のシート部材１４４において、一面４０における第１維持配線層１４６の配線状態の一例を説明するための図である。この実施例においては、第１維持配線層１４６の帯状厚膜導体５４は、その長手方向と直交する方向に沿って伸びる連結帯状厚膜導体１５０によって相互に連結させられている。同時に駆動電圧を印加される帯状厚膜導体５４は、ＰＤＰ１０およびその駆動回路の任意の位置において、気密空間の内外を問わず連結させることができるが、このようにすれば、外部配線等によって別途帯状厚膜導体５４を連結する必要が無くなるので、製造コストを一層低下させ得る利点がある。本実施例においては、対を成す維持配線層１４６，１４８がコア誘電体層３８の一面４０および他面４４に分離して設けられているので、一面４０を第２維持配線層１４８の形状とは関係なく自由に利用することができるのである。
【００８３】
なお、上記の実施例において、帯状厚膜導体５４は相互に隣接する２本だけが連結されているが、例えば走査電極として複数対に順次に駆動電圧を印加される場合にはこのように導体を形成すればよい。常に同時に駆動電圧を印加される維持電極として用いられる帯状厚膜導体については、このような連結部を一面に設けて全てを連結することもできる。また、第２維持配線層１４８は、先の他の実施例の場合と同様に帯状厚膜導体５６が個々に独立させられている。
【００８４】
図１４は、前面板１６に代えて用いられる前面板１５２の構成を説明する図である。図において、前面板１５２は、前記の前面板１６と同様な寸法および形状を備え且つ同様な材料で構成されたものであるが、気密空間内に位置させられることとなるその一面１５４には、隔壁３４に代えて互いに平行な一方向に沿って伸びる複数本の凹溝１５６が設けられている。この凹溝１５６は、相互間に形成される凸部が前記の隔壁３４に対応する位置に位置するように設けられており、その内部には蛍光体層１５８が設けられている。このような前面板１５２を用いても、蛍光体層１５８をシート部材２０等と接触させることなく前面板内面１５４に設け得るので、隔壁３４を設けた場合と同様に高い輝度を得ることができる。しかも、凹溝１５６は、研削加工等によって容易に形成できるので、厚膜プロセスを用いて隔壁３４を形成する場合に比較して製造工程が一層簡単になる利点もある。
【００８５】
図１５は、更に他の実施例に用いられるシート部材１６０の要部であって、ＲＧＢの三色から成る１画素に対応する部分を示した平面図である。図における上下方向が隔壁２２および書込電極２８の長手方向に一致する。隔壁２２は、図において破線で示したように、シート部材１６０のその上下方向に沿って伸びる複数本の縦方向部分１６２の各々の直下に備えられている。その縦方向部分１６２の幅寸法Ｗｈは、隔壁２２よりも大きい例えば７０（μｍ）〜１．１（ｍｍ）の範囲内、例えば３００（μｍ）程度の大きさにである。また、複数本の縦方向部分１６２の中心間隔は隔壁２２と同様な例えば１．０（ｍｍ）程度であり、隣接するもの相互の間隔Ｇｈは例えば７００（μｍ）程度になっている。
【００８６】
一方、上記縦方向部分１６２と直交する方向に沿って伸びる複数本の横方向部分１６４の幅寸法Ｗｖは、例えばその縦方向部分１６２よりも十分に小さい例えば６０（μｍ）〜１．０（ｍｍ）の範囲内、例えば１５０（μｍ）程度である。この横方向部分１６４の中心間隔は例えば２００（μｍ）〜１．０（ｍｍ）の範囲内、例えば５００（μｍ）程度であり、隣接するもの相互の間隔Ｇｖは例えば３５０（μｍ）程度になっている。そのため、このシート部材１６０の格子の開口部１６６の大きさは例えば７００×３５０（μｍ）程度であり、その開口部１６６は、隔壁２２の長手方向に垂直な図における左右方向においては３００（μｍ）程度の相互間隔で、隔壁２２の長手方向に沿った図における上下方向においては１５０（μｍ）程度の相互間隔で、多数が設けられている。
【００８７】
また、図における上端部に記したように、縦方向部分１６２の相互間に位置する部分は、左から順にＲ、Ｇ、Ｂの各色を表示させるためのものであり、この三色で１画素が構成されることから、隔壁２２の長手方向に垂直な方向においては、１画素の長さ寸法すなわち画素ピッチＰｈは縦方向部分１６２の中心間隔の３倍の大きさ、例えば３．０（ｍｍ）程度である。
【００８８】
また、隔壁２２に沿った方向においては、同色の放電空間２４が連続しているが、先の実施例でも説明したように、この方向における発光区画の区分は放電の及ぶ範囲で画定され、具体的には、書込電極２８に入力されたデータ・パルスに対応してその書込電極２８との間で同時に書込放電を発生させられる走査電極の配置に応じて定められる。この範囲は、本実施例においては、図にαで示されるように６つの開口部１６６において放電が同時に発生させられることにより、隔壁２２の長手方向に沿って連なるその６つの開口部１６６で一つの発光区画が構成されている。このため、この方向における発光区画の大きさすなわち１画素の長さ寸法Ｐｖは、開口部１６６の中心間隔の６倍に相当する例えば３．０（ｍｍ）程度である。
【００８９】
図１６に図１５におけるＸ−Ｘ視断面を示すように、本実施例においては、横方向部分１６４の厚み方向の中間位置、例えばシート部材１６０の厚み方向の中央の位置に、上側誘電体層１６８および下側誘電体層１７０に挟まれた状態で導体層１７２が備えられている。この導体層１７２も、前述した実施例と同様に厚膜導体で構成されたものであり、前記横方向部分１６４に沿って伸び、且つその横方向部分１６４の各々に一本ずつが設けられた複数本の帯状厚膜導体１７４を備えている。
【００９０】
上記の誘電体層１６８，１７０は、何れも例えば１０〜２００（μｍ）の範囲内、例えば５０（μｍ）程度の厚さ寸法を備えたものであって、それらの平面形状は互いに同様であって格子状を成す。なお、誘電体層１６８，１７０は、例えば、前記の誘電体層３８等と同様な厚膜誘電体材料で構成されている。
【００９１】
また、上記の導体層１７２は、例えばアルミニウム（Ａｌ）等を導電成分として含む例えば３０（％）程度の気孔率を有する比較的多孔質な厚膜導体であって、例えば１０〜５０（μｍ）の範囲内、例えば３０（μｍ）程度の厚さ寸法を有するものである。また、この導体層１７２に備えられた帯状厚膜導体１７４は、例えば誘電体層１６８，１７０と同程度かそれよりも僅かに幅方向の両側にはみ出す程度の幅寸法を備えている。本実施例のシート部材１６０は、このような一定の断面構造を有する横方向部分１６４が図１５における上下方向に等間隔で並んだ構造を備えている。
【００９２】
但し、図１５において右端部に「Ｄ」と記したものに備えられた帯状厚膜導体１７４は全面で共通の表示電極として機能させられるものであり、一方、「Ｓ」と記したものに備えられた帯状厚膜導体１７４は、図の上下方向に並ぶ画素毎すなわち発光区画毎に異なる配線に接続されることにより走査電極として機能させられるものである。すなわち、表示電極と走査電極とが交互に配置された構造となっており、本実施例においても、一の放電空間２４内の複数の発光区画毎に独立の配線に接続された複数本の独立厚膜導体と、全面で共通の共通厚膜導体とが導体層内に備えられている。そのため、本実施例においては、この帯状厚膜導体１７４の格子内壁面上に位置する両側の側面１７６が放電電極として機能させられるようになっており、これを覆う保護膜５０の表面１７８が放電面として機能する。すなわち、図３に示される実施例のような対向部５２は備えられていないが、本実施例においても、放電面１７８が前面板１６の内面１２に平行な方向に放電させられるように対向させられた対向放電構造となっている。
【００９３】
しかも、本実施例においては、放電面１７８，１７８の相互間隔が、前述した各部の寸法から明らかなように３５０（μｍ）程度になっているので、１画素が３（ｍｍ）×３（ｍｍ）もの大寸法に構成されているにも拘わらず、例えば２００（Ｖ）以下の低電圧で安定して表示放電を発生させることが可能である。１画素内においては、開口部１６６に対応する複数の小区画に区分されて各々で放電が発生させられるので、画素寸法に拘わらず電極間隔が小さくなるのである。この結果、大画面表示装置でありながら、家庭用テレビジョンに用いられる駆動用ドライバＩＣで駆動回路を構成することが可能になると共に、画素相互の輝度ばらつきが例えば１０（％）程度以下と極めて小さくなって高い表示品質を得ることができる。
【００９４】
また、本実施例においては、画素相互の境界にシート部材１６０の横方向部分１６４が設けられているので、そこに備えられた帯状厚膜導体１７４すなわち表示電極として機能させられるものは、両側に存在する画素の何れが発光させられる場合にも、その発光させられる画素内において隣接する帯状厚膜導体１７４との間で放電させられる。すなわち、図１５に示される画素の上側或いは下側の画素が発光させられる場合には、図にβで示される放電が発生させられることになる。これにより、各画素の略全面で表示のための放電が発生することとなるので、低電圧で駆動しながら、従来に比較して高輝度を得ることができる。
【００９５】
なお、上述したシート部材１６０は、例えば、１画素内で走査電極として機能させられる３本の帯状厚膜導体１７４が共通の配線に接続されることによって一括して駆動パルスが印加されるが、それら３本が相互に独立させられていても差し支えない。例えば、１本或いは２本の走査電極との間だけで表示放電を発生させれば、時分割駆動による輝度変化に加えて、放電面積による輝度変化も生じさせ得るので、階調表示が一層容易になる。
【００９６】
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施できる。
【００９７】
例えば、実施例においては、カラー表示用のＡＣ型ＰＤＰ１０およびその製造方法に本発明が適用された場合について説明したが、本発明は、モノクロ表示用のＡＣ型ＰＤＰおよびその製造方法にも同様に適用される。
【００９８】
また、実施例のＰＤＰ１０は、３色の蛍光体層３２、３６を備えてフルカラー表示をさせる形式のものであったが、本発明は、１色或いは２色の蛍光体層を備えたＰＤＰにも同様に適用される。
【００９９】
また、シート部材２０、１３２等の厚さ寸法およびそれを構成するコア誘電体層３８や配線層４２、４６等の厚さ寸法や幅寸法等は、シート部材２０等に取扱い上で要求される機械的強度や、導体に求められる導電性等に応じて定められるものであり、実施例に示した数値に限られずガス放電表示装置の大きさや構造等に応じて適宜定められる。
【０１００】
また、実施例においては、シート部材２０等に設けられた配線層４２，４６等が被覆誘電体層４８で完全に覆われていたが、これらは表示のための放電や気密容器内の雰囲気等に影響を及ぼさない範囲で部分的に露出させられていても差し支えない。
【０１０１】
また、実施例においては、シート部材２０が厚膜スクリーン印刷法を利用してコア誘電体層３８や配線層４２等を設けることで製造されていたが、コータやフィルム・ラミネート等を用いて膜形成面に「ベタ」に厚膜ペースト層を設け、フォト・プロセスを用いてパターニングすることもできる。
【０１０２】
また、実施例においては、シート部材２０を製造するための支持体を、基板８２の表面８４に剥離槽８２を設けることで構成していたが、セラミック生シート（未焼成のシート状セラミックス）を支持体として用いることもできる。この場合には、焼成工程１１０における熱処理温度が、このセラミック生シートは焼結しないがそれに含まれている樹脂成分は十分に燃え抜けるような温度となるように生シートの構成を定めればよい。
【０１０３】
また、実施例においては、シート部材２０の内壁面を覆う維持電極５２等の相互間で放電させられる対向放電構造に構成されていたが、この内壁面を覆う部分が設けられていないような面放電構造に構成することもできる。但し、その場合でも、所望の位置で放電を確実に発生させるためには、少なくとも突出部５８が設けられることが好ましい。
【０１０４】
また、実施例においては、隔壁２２がストライプ状に設けられていたが、封着後の排気・ガス封入に問題が無ければ格子状の隔壁で放電空間を区画形成してもよい。また、実施例においては、前面板１６および背面板１８の両方に隔壁２２，３４が形成されていたが、一方だけに設けても差し支えない。その場合、シート部材２０と蛍光体との接触を避けるためには、隔壁を設けない側には蛍光体層を設けないことが好ましい。
【０１０５】
また、実施例では内面１２，１４の何れにも蛍光体層３２，３６が設けられていたが、何れか一方のみとすることもできる。
【０１０６】
また、放電空間２４の相互の区切りと成る部分、すなわち、実施例においては隔壁２２、３４の頂部や基部または前面板１６の凹溝１５６相互間となる部分には、黒色顔料を含むガラス・ペースト（厚膜絶縁体）等によってブラック・ストライプ（ブラック・マスク）を設けてもよい。
【０１０７】
また、実施例においては、一つの発光区画が２つまたは６つの小区画に区分される場合について説明したが、その区分数は、例えばその発光区画の大きさや許容される印加電圧或いは輝度斑の程度に応じて適宜定められる。すなわち、３つ乃至５つ或いは７つ以上に区分することもできる。一般には、横軸に放電空間２４内の圧力ｐと電極間距離ｄとの積ｐｄをとり、縦軸に放電開始電圧Ｖをとったパッシェン曲線において、可及的に放電開始電圧Ｖが低くなり且つ発光区画の区分数が整数となるように電極間距離が定められ、区分数はそれに対応したものとなる。
【０１０８】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の３電極構造ＡＣ型ガス放電表示装置の一例であるカラーＰＤＰを一部を切り欠いて示す斜視図である。
【図２】隔壁の長手方向に沿った断面において、図１のＰＤＰの断面構造を説明する図である。
【図３】図１のＰＤＰに備えられたシート部材の構成を説明する図である。
【図４】図３のシート部材内における配線層の形成状態を説明する図である。
【図５】図１のＰＤＰの製造方法を説明する工程図である。
【図６】シート部材の製造方法を説明する工程図である。
【図７】（ａ）〜（ｆ）は、図６の製造工程の要部段階における基板および厚膜の状態を示す図である。
【図８】（ｇ）〜（ｉ）は、図６の製造工程の要部段階における基板および厚膜の状態を示すための図７（ｆ）に続く図である。
【図９】図６の焼成工程における収縮挙動を説明するための図である。
【図１０】被覆誘電体層の焼成工程におけるガスの抜ける方向を説明する図である。
【図１１】本発明の他の実施例のＰＤＰの要部を説明するための図２に対応する断面図である。
【図１２】本発明の更に他の実施例のＰＤＰの要部を説明するための図２に対応する断面図である。
【図１３】本発明の更に他の実施例のＰＤＰに用いられるシート部材の構成を説明するための図３に対応する図である。
【図１４】図１のＰＤＰに用いられ得る前面板の他の構成例を説明する図である。
【図１５】本発明の他の実施例のＰＤＰに用いられるシート部材の要部構成を説明するための平面図である。
【図１６】図１５のシート部材の断面構造を説明する図である。
【符号の説明】
１０：ＰＤＰ
１６：前面板
１８：背面板
２０：シート部材
２４：放電空間
３８：コア誘電体層
４２：第１維持配線層
４６：第２維持配線層
５２：維持電極
５４，５６：帯状厚膜導体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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