(57)【要約】【課題】本発明は超高圧水銀ランプ等の光源を用いた測定対象物の応答特性測定装置に関し、特に光源からの発光に含まれるリップル成分によって応答時間の測定が困難になる問題を解決し、正確な測定対象物の応答特性を測定することが可能な応答特性測定装置を提供するものである。【解決手段】光源１からの発光は集光光学系３によって液晶パネ４に集光され、液晶パネル４を透過し、旋光角が変化した光は検光子１１を透過して集光光学系１２によって光検出器１３に集光される。光検出器１３は検知した光強度に従って電圧信号を電子回路８に出力し、ハーフミラー５による反射光の検知に基づく電圧信号と共に時系列データとして測定される。そして、光検出器１３から供給された電圧信号を光検出器７から供給された電圧信号で割り算することによって光源に含まれるリップル成分を除去し、正確な液晶素子の応答特性を測定する構成である。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
出射光の光量が変動する光源と、
該光源から出射された光を偏光し、液晶素子に照射する偏光手段と、
該偏光手段の偏光角に対して所定角ずれた偏光面を有し、前記液晶素子を通過した光を透過させる検光手段と、
該検光手段を透過した光の光量を測定する第１の光量測定手段と、
前記液晶素子に照射される前に、前記光源からの発光を測定する第２の光量測定手段と、
前記第１の光量測定手段によって測定した測定値と、前記第２の光量測定手段によって測定した測定値に基づいて演算し、前記光源の発光に含まれる光量の変動成分を補正し、前記液晶素子の応答特性データを出力する演算・出力手段と、
を有することを特徴とする応答特性測定装置。
【請求項２】
出射光の光量が変動する光源と、
該光源から出射された光を透過又は遮断する液晶素子と、
該液晶素子を透過した光量を測定する第１の光量測定手段と、
前記液晶素子に照射される前に、前記光源からの発光を測定する第２の光量測定手段と、
前記第１の光量測定手段によって測定した測定値と、前記第２の光量測定手段によって測定した測定値に基づいて演算し、前記光源の発光に含まれる変動成分を補正し、前記液晶素子の応答特性データを出力する演算・出力手段と、
を有することを特徴とする応答特性測定装置。
【請求項３】
出射光の光量が変動する光源と、
該光源から出射された光を通過又は遮断する測定対象物と、
該測定対象物を通過した光量を測定する第１の光量測定手段と、
前記測定対象物に照射される前に、前記光源からの発光を測定する第２の光量測定手段と、
前記第１の光量測定手段によって測定した測定値と、前記第２の光量測定手段によって測定した測定値に基づいて演算し、前記光源の発光に含まれる変動成分を補正し、前記測定対象物の応答特性データを出力する演算・出力手段と、
を有することを特徴とする応答特性測定装置。
【請求項４】
前記第２の光量測定手段は、前記光源からの出射光を直接検出する光検出手段と、該光検出手段で検出した光量に対応する電圧信号を測定する手段より成ることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の応答特性測定装置。
【請求項５】
前記光検出手段には、ハーフミラーで反射した前記光源からの発光の一部が入射することを特徴とする請求項４記載の応答特性測定装置。
【請求項６】
前記光源は、超高圧水銀ランプであることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の応答特性測定装置
【請求項７】
前記光量の変動は、一定周期のリップル成分であり、前記液晶素子の応答時間に近い周期のリップル成分であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の応答特性測定装置。
【請求項８】
前記第１、第２の光量測定手段の光量測定は、前記液晶素子の駆動期間に対して行われることを特徴とする請求項１、又は請求項２記載の応答特性測定装置。
【請求項９】
前記第１、第２の光量測定手段の光量測定は、前記測定対象物の駆動期間に対して行われることを特徴とする請求項３記載の応答特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光源からの発光にリップル成分が含まれる光を液晶パネル等の測定対象物に照射し、その応答特性を測定する応答特性測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
今日、液晶パネルは液晶プロジェクタ、携帯電話やＰＤＡ（ｐｅｒｓｏｎａｌ  ｄｉｇｉｔａｌａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）のディスプレイ等に広く使用されている。このような液晶パネルは、駆動信号を印加した際の応答特性が重要である。
【０００３】
そこで、従来特許文献１に開示する液晶素子の応答特性測定装置が提案されている。この発明は、図３に示すように液晶素子に直流電源から直流電圧を印加し、パルスジェネレータからパルス信号を与え、液晶素子を駆動する。また、同時に赤外光源から赤外光を分散素子に出力し、特定波長の赤外光を分光し、偏光子を通して液晶素子に照射する。そして、液晶素子を透過した光をＭＣＴ（水銀・カドミウム・テルル）検出器によって検出し、電気信号に変換する。この電気信号は増幅器で増幅され、オシロスコープに供給され、時間分解して積算され、液晶素子の応答特性が測定される。コンピュータは上記特性から特定の変化量を求め、この変化量に基づいて直流電圧を除去した時点からの経時変化を求める。
【０００４】
【特許文献１】
特開平９−３０４２２７号公報（図１）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、液晶素子の応答特性の測定では以下の問題がある。例えば、液晶プロジェクタに使用する液晶パネルでは、実使用時と同等な光量や温度を与えて液晶素子の応答特性を測定する為、光源に超高圧水銀ランプを使用する。しかし、超高圧水銀ランプの発光には６ｍｓ程度の周期で、１０％のリップル成分が含まれる。このリップル成分はランプに供給する交流電圧の周期や内部のガス圧の影響によるものであるが、上記リップル成分が存在することによって液晶素子の応答特性を正確に測定することができない。
【０００６】
すなわち、液晶素子の応答時間は上記リップル成分の周期に近く、例えば５ｍｓ〜１０ｍｓ程度であり、液晶素子を駆動する際の立ち上がり時間、又は立ち下がり時間に影響を与え、正確な応答時間を測定することができない。
上記問題は、液晶パネルに限らず、リップル成分を含む光源を使用する測定対象物についても同様であり、特に立ち上がり立ち下がりの駆動特性が重要である素子や装置について同様な問題である。
【０００７】
そこで、本発明は、光源に実使用時と同じランプを用いた液晶素子等の測定対象物の応答特性測定装置において、光源からの発光に含まれるリップル成分によって応答時間の測定が困難になる課題を解決し、正確な測定対象物の応答特性を測定することが可能な応答特性測定装置を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、請求項１記載の発明によれば、出射光の光量が変動する光源と、該光源から出射された光を偏光し、液晶素子に照射する偏光手段と、該偏光手段の偏光角に対して所定角ずれた偏光面を有し、前記液晶素子を通過した光を透過させる検光手段と、該検光手段を透過した光の光量を測定する第１の光量測定手段と、前記液晶素子に照射される前の光源からの発光を測定する第２の光量測定手段と、前記第１の光量測定手段によって測定した測定値と、前記第２の光量測定手段によって測定した測定値に基づいて演算し、前記光源の発光に含まれる光量の変動成分を補正し、前記液晶素子の応答特性データを出力する演算・出力手段とを有する応答特性測定装置を提供することによって達成できる。
【０００９】
ここで、液晶素子は、例えばツイステッドネマチック液晶等の液晶材料が使用された液晶パネルで構成され、電圧の印加、非印加によって液晶材料を所定角度（例えば、９０°）ねじり、前後に配設された偏光手段と検光手段によって光の透過、遮断を行い、例えば液晶パネルに供給された検査パターンに基づいて欠陥検査が行われる。また、液晶パネルのガラス面にはラビング処理が施され、液晶材料が規則正しく配列されるよう配向膜が形成されている。
【００１０】
また、上記偏光手段と検光手段は互いに所定角（９０°）ずれた偏光面を有し、偏光手段によって一方向の直線偏光成分のみを液晶パネルに供給し、検光手段は液晶パネルを透過した光を透過し、上記第１の光量測定手段に出力する。
【００１１】
第１の光量測定手段は、フォトダイオード、フォトトランジスタ等で構成され、上記検光手段を透過した光の光量を検出し、電圧信号に変換する。一方、第２の光量測定手段は、上記液晶パネルを通過する前の光源から発光光量を検出するものであり、上記と同様フォトダイオード、フォトトランジスタ等で構成され、光源からの発光光量を、例えば直接検出し、電圧信号に変換する。
【００１２】
演算・出力手段は、上記第１の光量測定手段によって測定した測定値を、第２の光量測定手段によって測定した測定値によって割り算し、前記光源の発光に含まれる変動成分に影響されない液晶パネルの応答特性を出力する。
【００１３】
このように構成することにより、光源からの発光に含まれるリップル成分が除去された液晶パネルの応答特性を直接得ることができ、この特性を計測することによって液晶素子の応答特性を正確に知ることができる。
【００１４】
上記課題は、請求項２記載の発明によれば、出射光の光量が変動する光源と、該光源から出射された光を透過又は遮断する液晶素子と、該液晶素子を透過した光量を測定する第１の光量測定手段と、前記液晶素子に照射される前の光源からの発光を測定する第２の光量測定手段と、前記第１の光量測定手段によって測定した測定値と、前記第２の光量測定手段によって測定した測定値に基づいて演算し、前記光源の発光に含まれる変動成分を補正し、前記液晶素子の応答特性データを出力する演算・出力手段とを有する応答特性測定装置を提供することによって達成できる。
【００１５】
ここで、本例の液晶素子は、例えばゲストホスト型の液晶材料等で構成され、電圧の印加、非印加によって液晶材料が所定角度（例えば、９０°）移動し、液晶パネルに入射する光を選択的に透過、又は遮断する構成である。
【００１６】
したがって、本例では液晶パネルの前後に偏光手段、及び検光手段を設ける必要はなく、光源の光は直接液晶パネルに照射され、液晶パネルを透過した光は第１の光量測定手段に入射する。
【００１７】
第１の光量測定手段は、上記請求項１と同様、フォトダイオード、フォトトランジスタ等で構成され、液晶パネルを透過した光の光量を検出し、例えば電圧信号に変換して測定する。また、第２の光量測定手段も上記と同様光源から出射された発光光量を、例えば直接検出し、電圧信号に変換して測定する。
【００１８】
演算・出力手段は、上記第１の光量測定手段によって測定した測定値を、第２の光量測定手段によって測定した測定値によって割り算し、前記光源の発光に含まれる変動成分に影響されない液晶パネルの応答結果を出力する。
【００１９】
このように構成することによっても、光源からの発光に含まれるリップル成分が除かれた液晶パネルの応答特性を直接得ることができ、この特性を計測することによって容易に液晶パネルの応答特性を正確に知ることができる。
【００２０】
上記課題は、請求項３記載の発明によれば、出射光の光量が変動する光源と、該光源から出射された光を通過又は遮断する測定対象物と、該測定対象物を通過した光量を測定する第１の光量測定手段と、前記測定対象物に照射される前の光源からの発光を測定する第２の光量測定手段と、前記第１の光量測定手段によって測定した測定値と、前記第２の光量測定手段によって測定した測定値に基づいて演算し、前記光源の発光に含まれる変動成分を補正し、前記測定対象物の応答特性データを出力する演算・出力手段とを有する応答特性測定装置を提供することによって達成できる。
【００２１】
本発明は測定対象物が液晶パネルに限定されるものではなく、液晶パネル以外の測定対象物であり、光源にリップル成分を含む場合の応答特性の測定に適用される。
【００２２】
本発明においても、第１、第２の光量測定手段、演算・出力手段の構成は上記請求項１及び請求項２の構成と同様であり、このように構成することにより、光源からの発光に含まれるリップル成分が除かれた測定対象物の応答特性を直接得ることができ、この特性を計測することによって容易に測定対象物の応答特性を正確に知ることができる。
【００２３】
請求項４に記載の発明は、前記請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の発明において、前記第２の光量測定手段は、例えば前記光源からの出射光を直接検出する光検出手段と、該光検出手段で検出した光量に対応する電圧信号を測定する手段より成る。
【００２４】
ここで、上記光検出手段は、例えば光源の散乱光を検出し、電圧信号に変換する。このように構成することにより、ハーフミラー等を使用することなく液晶パネルを透過する前の光源からの発光特性を直接検出でき、装置のコストを抑えることができる。
【００２５】
請求項５に記載の発明は、前記請求項４に記載の発明において、前記光検出手段には、ハーフミラーで反射した前記光源からの発光の一部が入射する構成である。
このように構成することにより、光源からの発光を確実に検出することができ、例えば測定装置の構造等から光検出器を光路近傍に配置できない場合等においても、確実に光源からの発光特性を検出することができる。
【００２６】
請求項６に記載の発明は、前記請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の発明において、前記光源は、超高圧水銀ランプである。
超高圧水銀ランプは、例えば６ｍｓ程度の周期で１０％のリップル成分を含む光源であるが、本構成によれば当該リップル成分が除去され、正確な液晶素子等の測定対象物の応答特性の測定に使用することができる。
尚、超高圧水銀ランプに限らず、リップル成分を含む他の光源を使用しても本構成により、リップル成分を除去でき、正確な液晶素子の応答特性測定装置に使用することができる。
【００２７】
請求項７の記載は、前記請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の発明において、前記光量の変動は、例えば一定周期のリップル成分であり、前記液晶素子の応答時間に近い周期のリップル成分である。
この場合、例えば液晶素子等の測定対象物の立ち上がり特性に影響を与え、応答時間の正確な測定が困難であるが、本例の構成によって自動的にリップル成分が除去され、正確な測定対象物の応答特性を得ることができる。
【００２８】
請求項８の記載は、前記請求項１、又は請求項２に記載の発明において、前記第１、第２の光量測定手段の光量測定は、例えば前記液晶素子の駆動期間に対して行われる構成である。
【００２９】
また、請求項９に記載の発明は、前記請求項３記載の発明において、前記第１、第２の光量測定手段の光量測定は、例えば前記測定対象物の駆動期間に対して行われる構成である。
このように構成することにより、液晶素子等の測定対象物の応答特性の測定に必要な時間のみ本例の補正処理を行うことができ、極めて効率のよい応答特性測定装置を提供できる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の応答特性測定装置について、図面を参照しながら実施形態を詳述する。
【００３１】
図１は本実施形態の応答特性測定装置のシステム構成図である。同図において、ランプ１は超高圧水銀ランプであり、電源２によって駆動する。超高圧水銀ランプは、例えば石英ガラス製の放電管に水銀を希ガス及び少量のハロゲンガスと共に封入して構成されている。尚、ランプ１にはランプリフレクタが覆設され、平行光を集光光学系３に照射する。
【００３２】
集光光学系３は複数のレンズで構成され、ランプ１の発光を液晶パネル４に集光する。液晶パネル４は測定対象物であり、液晶パネル４に形成された液晶素子の応答特性が測定される。また、上記集光光学系３と液晶パネル４間にはハーフミラー５及び偏光子６が配設されている。ハーフミラー５はランプ１から出力された光の一部を光検出器７に反射し、偏光子６はハーフミラー５を透過した光を偏光する。
【００３３】
光検出器７は、例えばフォトダイオードで構成され、検出する光量に従った電圧信号を電子回路８に出力する。ここで、電子回路８は例えばオシロスコープであり、後述する制御回路９によって制御される。
【００３４】
一方、偏光子６はハーフミラー５を透過した光の中で、一方向の直線偏光成分のみを透過させ、液晶パネル４に照射する。液晶パネル４にはネマチック液晶等の液晶材料が封入され、例えば液晶パネル４の両面に配設された電極に信号発生器１０から後述する電圧を印加することによって液晶パネル４を駆動する。例えば、上記信号の入力によって一定方向に配向された液晶は所定角度（例えば、９０°）ねじれ、入射光に旋光角を与えて検光子１１に出力する。
【００３５】
検光子１１は前述の偏光子６に対して直交する偏光面を有し、液晶パネル４を透過した光を集光光学系１２に出力する。集光光学系１２も複数のレンズで構成され、検光子１１から出力された光を光検出器１３に集光する。光検出器１３は前述の光検出器７と同様、例えばフォトダイオードで構成され、入力した光量に対応する電圧信号を電子回路８に出力する。
【００３６】
電子回路８はこの光検出器１３から供給される電圧信号と、前述の光検出器７から供給される電圧信号を測定し、電圧信号の時系列データを作成する。この時系列データの作成は、例えば制御回路９から出力されるスタート信号を基点として上記両電圧信号の変化を求めたものである。
【００３７】
次に、上記構成の応答特性測定装置において、以下に具体的な測定処理を図２に示すタイムチャートを使用して説明する。
先ず、電源２を駆動し、ランプ１を点灯して集光光学系３に平行光を照射する。この光は前述のように一部がハーフミラー５で反射し、光検出器７で光量が検出され、電圧信号として電子回路８に出力される。図２（ｃ）はこの電圧信号の変化を示すものである。一方、ハーフミラー５を透過した光は偏光子６で偏光され、液晶パネル４に集光される。
【００３８】
この状態において、信号発生器１０は図２（ａ）に示す電圧Ｖｂを液晶パネル４に印加している。この電圧Ｖｂが印加される間、例えば液晶素子にはねじれが発生せず、液晶パネル４に入射した光はそのまま検光子１１に出力される。したがって、この時検光子１１に達する光の殆どは遮断され、光検出器１３の電圧信号は同図（ｂ）に示すように略０Ｖである。
【００３９】
尚、この時、ハーフミラー５で反射した光は光検出器７に入射し、入射光の光量に対応した電圧信号が電子回路８に入力しており、前述のように同図（ｃ）に示す信号が入力している。
【００４０】
次に、あるタイミング（Ｔ０）において、制御回路９が不図示のスタート信号を出力し、信号発生器１０から同図（ａ）に示す電圧Ｖａを液晶パネル４に出力する。この電圧Ｖａの印加によって液晶素子は９０°のねじれを生じ、液晶パネル４に入射した光の旋光角が変化し、検光子１１に出力される。したがって、検光子１１に出力した光は検光子１１を透過し、集光光学系１２によって光検出器１３に集光する。光検出器１３では入力した光強度に対応した電圧信号を電子回路８に出力し、同図（ｂ）に示す電圧信号が電子回路８によって測定される。
【００４１】
また、この時電子回路８には光検出器７から同図（ｃ）に示す電圧信号も入力しており、電子回路８は両電圧信号の系列データを測定する。尚、同図（ｂ）、（ｃ）に示す両電圧信号の波形変化から分かるように、共に両電圧信号にはリップル成分が含まれている。
【００４２】
制御回路９は電子回路８によって測定された電圧信号を取り込み、両電圧信号から補正処理を行う。この処理は光検出器１３から出力された電圧信号（以下、電圧信号Ｓａで示す）を光検出器７から出力された電圧信号（以下、電圧信号Ｓｂで示す）で割り算することによって電圧信号Ｓａの補正を行う。
【００４３】
例えば、制御回路９からスタート信号が出力されたタイミングＴ０から所定時間が経過したタイミングＴ１において電圧信号Ｓａ及び電圧信号Ｓｂの電圧値は共にリップル成分を含まない電圧値である。ここで、同図（ｂ）に示すようにリップル成分を含まない電圧信号Ｓａの電圧値を１．０Ｖとし、同図（ｃ）に示すようにリップル成分を含まない電圧信号Ｓｂの電圧値を５．０Ｖとすると、Ｓａ／Ｓｂは１／５である。
【００４４】
次に、同図に示すタイミングＴ２においては、電圧信号Ｓａ及び電圧信号Ｓｂの電圧信号は共にリップル成分を含む電圧値である。この場合、同図（ｂ）に示すようにリップル成分を含む電圧信号Ｓａの電圧値を１．１Ｖとし、同図（ｃ）に示すようにリップルを含む電圧信号Ｓｂの電圧値を５．５Ｖとすると、Ｓａ／Ｓｂは１／５である（尚、上記電圧値は、リップル成分が１０％であるとした場合の例である）。
【００４５】
したがって、上記スタート信号のタイミングＴ０に同期して系列データに基づいて上記補正処理を行うとリップル分が補正され、一定の電圧出力を得ることができる。上記演算例では０．２Ｖの一定出力が得られ、この補正処理はスタート信号が出力された直後から実行されるので、電圧信号Ｓａの立ち上がり時点においても同様に実行され、リップル分が補正された出力信号を得ることができる。同図（ｄ）は上記演算結果に基づいて制御回路９から出力される電圧信号を示す。
【００４６】
すなわち、同図（ｄ）の立ち上がり特性にはリップル成分が含まれず、正確な液晶素子の応答時間を測定することが可能となる。このことは、液晶素子の駆動を停止する場合も同様であり、リップル成分を含まない信号波形に基づいて、正確な液晶素子の応答時間（オフ駆動の応答時間）を測定することができる。
【００４７】
尚、上記例では、同図（ｂ）に示す電圧信号Ｓａの電圧値を１．０Ｖとし、同図（ｃ）に示す電圧信号Ｓｂの電圧値を５．０Ｖとしたが、増幅器を各光検出器７及び１３の出力に挿入することによって電圧値は変更でき、従って得られる制御回路９の出力も０．２Ｖに限らず所望の出力レベルの電圧信号を得ることができる。
【００４８】
また、制御回路９からスタート信号が出力されるタイミングＴ０以前についは、電圧信号Ｓａの電圧値は、タイミングＴ０後の電圧値の数百分の１のレベルであり、電圧信号Ｓｂは高い電圧値であることから限りなく０に近づき、リップル分は無視できるレベルである。
【００４９】
以上のように、本実施形態によればリップル成分を含む発光であっても、液晶パネル４に入射する前の発光を検出し、液晶パネル４を透過した光の測定結果との間で割り算処理を行うことによって補正でき、リップル分が除去された正確な液晶パネル４の応答波形を得ることができる。したがって、本実施形態の液晶素子の応答特性測定装置を使用することによって、より正確な液晶パネル４の応答特性を測定することができる。
【００５０】
尚、制御回路９としてコンピュータを使用してもよく、専用の制御回路を作成してもよい。また、電子回路８はオシロスコープを使用してもよく、電圧信号Ｓａ及びＳｂの時系列データを測定できる装置であれば他の回路を使用することもできる。
【００５１】
また、本実施形態の説明ではランプ１として超高圧水銀ランプを使用したが、超高圧水銀ランプに限るものではない。
さらに、本実施形態の説明ではハーフミラー５を使用してランプ１の発光の一部を反射させて光検出器７に取り込む構成としたが、ハーフミラー５を使用することなく、ランプ１の発光の一部を検出できる位置に光検出器７を配置し、直接ランプ１の発光（散乱光）を検出する構成としてもよい。
また、光検出器７及び１３はフォトダイオードに限らず、フォトトランジスタ、ＣＣＤセンサ等の他の光検出器で構成してもよい。
【００５２】
また、本実施形態では測定対象物として液晶パネルの例で説明したが、素子の立ち上がり、立ち下がりに特性をもつ他の部材や素子、及び装置等に同様に適用することができる。
さらに、上記実施形態の説明では、液晶素子の駆動に偏光子と検光子を使用する構成としたが、液晶素子のみによって光の透過、遮断を行うタイプの液晶パネルを使用する場合には本発明の構成に上記偏光子と検光子を含まない。
【００５３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば液晶素子の応答特性を測定する際、リップル成分を含む発光を使用してもリップル成分を除去でき、正確な液晶素子の応答特性を測定することができる。
また、使用する液晶素子の特性によって液晶パネルを構成し、偏光子と検光子を使用しない応答特性測定装置を提供することもできる。
さらに、液晶素子に限らず、他の素子や部材、及び装置等の測定対象物に対し、リップル成分を含む発光を使用しても、リップル成分を除去でき、正確な測定対象物の応答特性を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の液晶素子の応答特性測定装置のシステム構成図である。
【図２】具体的な測定処理を説明するタイムチャートである。
【図３】従来の液晶素子の応答特性測定装置を説明する図である。
【符号の説明】
１  ランプ
２  電源
３  集光光学系
４  液晶パネル
５  ハーフミラー
６  偏光子
７  光検出器
８  電子回路
９  制御回路
１０  信号発生器
１１  検光子
１２  集光光学系
１３  光検出器
【図１】
2004226087.tif 000003
【図２】
2004226087.tif 000004
【図３】
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