(57)【要約】【課題】窒化アルミニウム焼結体からレーザビームを使用して窒化アルミニウムの成形体を切り出して切削端面を形成したり、得られた成形体の表面にレーザビームを使用して切削溝を形成したりして成形体に切削加工面を形成する際、前記切削加工面を電導的に不導体にする。【解決手段】窒化アルミニウムの焼結体７にレーザ加工を施して切削溝５ａ又は切削端面５ｂ等の切削加工面５を有する成形体１を得るとき、前記焼結体７の被切削部７ａを酸素雰囲気又は窒素雰囲気Ａ下において、その被切削部７ａにレーザビーム４を照射する。前記雰囲気Ａを酸素ガスにするとレーザビームにより形成された切削加工面５に窒化アルミニウムの原料成分であるアルミニウムが酸化されて酸化アルミニウムＭが形成される。前記雰囲気Ａを不活性ガスにすると窒化アルミニウムの切断面に窒化アルミニウムそのものが露出する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
切削溝（５ａ）又は切削端面（５ｂ）等の切削加工面（５）に酸化アルミニウム（Ｍ）が形成されている電気不導窒化アルミニウム成形体。
【請求項２】
窒化アルミニウム焼結体（７）にレーザ加工を施して切削溝（５ａ）又は切削端面（５ｂ）等の切削加工面（５）を有する成形体１を得るとき、前記焼結体の被切削部（７ａ）をレーザビームとともに気体の噴出雰囲気（Ａ）におくことを特徴とする電気不導窒化アルミニウム成形体の製造方法。
【請求項３】
前記気体が酸素ガスである請求項２記載の電気不導窒化アルミニウム成形体の製造方法。
【請求項４】
前記気体が不活性ガスである請求項２記載の電気不導窒化アルミニウム成形体の製造方法。
【請求項５】
前記不活性ガスが窒素ガスである請求項４記載の電気不導窒化アルミニウム成形体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ加工された窒化アルミニウム成形体の切削加工面が電気的に不導化されている窒化アルミニウム成形体及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開２０００−１３３５０６号公報
従来から窒化アルミニウム焼結体からなる電子基板は、特開２０００−１３３５０６号公報その他により公知である。この電子基板を製造する際、前記焼結体をレーザビームにより所定の大きさ・形状に切削加工してみると、切削加工面に金属アルミニウムができる。これは前記焼結体を形成している窒化アルミニウムがレーザビームの高温で分解されて窒素が飛散するため窒化アルミニウムを構成しているアルミニウム成分が前記切削加工面に金属として析出するからであると思われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
もし、電子基板の切削加工面に金属アルミニウムが析出すると、前記切削加工面で電気導体になるので、その電子基板をベースとする電子部品を実装して得られた電子・通信機器はその作動安定性を欠くという問題がある。
【０００４】
そこで本発明者は、レーザビームを使用して得られた窒化アルミニウム成形体の切削加工面を電気的に不導体化する目的で、鋭意、研究したところ、窒化アルミニウム焼結体の切削加工面に酸化アルミニウムのような電気不導体を形成させるか、窒化アルミニウムがそのまま露出するように窒化アルミニウムを切削すればよいという事実を見出し、本発明を完成した。従って、本発明の課題は、レーザビームを使用して窒化アルミニウムの焼結体を切り出して切削端面を有する成形体を得たり、得られた成形体の表面にレーザビームを使用して切削溝を形成して切削加工面を形成したりする際、前記切削加工面を電気的に不導体化することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本請求項１発明は前記課題を解決するために、窒化アルミニウム成形体の切削端面又は切削溝等の切削加工面に酸化アルミニウムを形成させるという手段を採用する。そして窒化アルミニウム焼結体にレーザ加工を施して切削溝又は切削端面等の切削加工面を有する成形体を得るとき前記焼結体の被切削部をレーザビームとともに気体の噴出雰囲気におくという手段を採用する（請求項２発明）。この態様において前記気体として酸素ガスを使用するか（請求項３発明）、不活性ガスを使用するか（請求項４発明）のいずれかの方法を採用する。もし、窒化アルミニウム焼結体の被切削部を酸素ガスの雰囲気下におくと、前記焼結体がレーザビームにより切削されるとき、窒化アルミニウムを構成している成分であるアルミニウムが酸素で酸化されて切削面に酸化アルミニウムができる。その結果、切削面が電気不導窒化アルミニウムになる。
【０００６】
他方、不活性ガス、特に窒素ガスを使用する（請求項５発明）と、窒化アルミニウムがレーザビームで切削される個所は絶えず不活性ガスに被覆されるから前記窒化アルミニウムはそのまま切削され、他の化合物に変化することなくレーザビームで切断された面として露出する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
（実施例１）
次に図面を参照しながら、本発明の最も好ましい実施の形態について説明する。まず公知の方法により窒化アルミニウム焼結体を製造する。すなわち、主原料としての窒化アルミニウムに焼結助剤及び有機溶媒を混合して得た泥漿をドクタプレード法やカレンダーロール法によりグリーンシートして成形し、得られたグリーンシートを所定の形状に打ち抜いて多数枚のグリーンシート片を製造する。そして得られたグリーンシート片を複数枚積層して圧着し、次いで得られた圧着シートを約５００℃に加熱することにより脱溶媒処理を行ない、最後に脱溶媒された圧着シートを約１８００℃で焼成して、厚さが５ｍｍ以下の本発明に係る窒化アルミニウム焼結体を得る。
【０００８】
次に、図１に示すように、得られた窒化アルミニウムの焼結体７をステージ２の上に置くとともに、レーザ装置から発射されるレーザビーム４が通る通路に酸素ガスＧを誘導するガス管３を設ける。そしてそのガス管３のノズル６から酸素ガスＧを前記焼結体７上に噴出してその焼結体７の少なくとも被切削部７ａを酸素雰囲気Ａで被覆する。それから前記焼結体７にレーザビーム４を照射して、図２に示すように、焼結体７の上に切削面５として深さ約０．５ｍｍの切削溝５ａを有する窒化アルミニウム成形体１を得た。この成形体１の切削溝５ａを観察したら、その切削溝５ａは、他の手段で切削して得た端面１ａと同様に全く着色されていなかった。この切削溝５ａに通電してみたらそれは電気を導通しなかった。
【０００９】
（比較例１）
比較のために前記ノズル３から酸素ガスを噴出させることなく前記同様に窒化アルミニウム成形体１に切削溝５ａを形成して、該切削溝５ａを観察したら、それは肉眼でもはっきりわかる程度に黒色に着色していた。前記同様に前記切削溝５に通電したらその切削溝５ａは電気的に感応した。以上の結果から本発明に係る成形体１の切削溝５ａは電気的に不導体であることが判った。
【００１０】
（実施例２）
前記実施例１においてガス管３から吹き込まれる酸素ガスの代わりに窒素ガスをガス管３から吹き込みながら図４に示すような板状の窒化アルミニウム焼結体７にレーザビーム４を照射して、その焼結体７を切削し、図５に示すような窒化アルミニウム成形体１を得た。この成形体１の切削端面５ｂを肉眼で検査したら、その切削端面５ｂは他の表面と遜色のない色彩をしており、通電させても通電しなかった。
【００１１】
本発明は、その根本的技術思想を踏襲し発明の効果を著しく損なわない限度において、前記実施の形態の一部分を、例えば、酸素ガスをレーザビームとともに非切削部に存在させるとき、図３に示すように、窒化アルミニウム成形体１を所定の形状・大きさに切断する態様に変更して実施できる。この場合、成形体１の切削端面５ｂに酸化アルミニウムＭが形成される。また、不活性として窒素ガスの代わりにヘリウムやアルゴンを使用することもできる。
【００１２】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明は、レーザビームを使用して窒化アルミニウム焼結体を切削加工しても得られた成形体の切削加工面を電気的に不導にできるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る窒化アルミニウム成形体の製造方法を示す工程図である。
【図２】本発明に係る実施例１で得られた窒化アルミニウム成形体の部分断面図である。
【図３】本発明法に係る別の態様で得られた窒化アルミニウム成形体の部分断面図である。
【図４】本発明に係る実施例２に使用される焼結体の部分側面図である。
【図５】前記実施例２で得られた窒化アルミニウム成形体の部分側面図である。
【符号の説明】
１：成形体
１ａ：切削端面
２：ステージ
３：ノズル
４：レーザビーム
５：切削加工面
５ａ：切削溝
５ｂ：切削端面
６：吐出孔
７：焼結体
７ａ：非切削部
Ｍ：酸化アルミニウム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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