(57)【要約】【課題】振動板と電極とのスティッキングを簡単な構成で防止することができない。【解決手段】振動板１０と電極１５との間のギャップ空間１６に連通するスリット４０、第一の空気室４１、引き出し用スリット４２及び空気室、第二の空気室４３を形成し、アダプタ４５を介して加熱装置４６から加熱気体を第二の空気室４３に送風して、ギャップ空間１６内の気体を加熱する。【選択図】　図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルが連通している液室の壁面を構成する振動板を備え、これに対向する電極とを備え、前記振動板を静電力で変形させて前記液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板と電極との間のギャップ空間の流体を加熱する手段を備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ギャップ空間を加熱する手段は発熱手段と送風手段とを備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ギャップ空間に連通する送風用通路は前記電極を設ける基板に形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項５】
変形可能な振動板と、これに対向する電極とを備えて、前記振動板を静電力で変形させる静電型アクチュエータにおいて、前記振動板と電極との間のギャップ空間の流体を加熱する手段を備えていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド、静電型アクチュエータ及びインクジェット記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置（画像形成装置）として用いるインクジェット記録装置において使用する液滴吐出ヘッドの１つであるインクジェットヘッドとして、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室（インク流路、加圧室、吐出室、圧力室、加圧液室等とも称される。）と、この液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極を有し、振動板と電極との間に電圧を印加することで発生する静電力により振動板を変形させて、液室内の圧力／体積を変化させることによりノズルからインク滴を吐出させる静電型インクジェットヘッドがある。
【０００３】
このような静電型インクジェットヘッドにあっては、低電圧駆動が要請されることから、例えば特開平６−７１８８２号公報に記載されているように振動板と電極間の距離（ギャップ長）を０．０５〜２．０μｍという微小ギャップにしなければならない。また、同じく低電圧駆動のためにはインク滴吐出が可能な範囲で振動板の板厚をできるだけ薄くする必要がある。さらに、振動板の振動変位を一定にし均一なインク滴吐出を得るためには特開平７−２１４７６９号公報に記載されているように振動板を対向する電極側に接触させる当接駆動方式が望ましい。
【０００４】
ところが、このように振動板と電極との間ギャップが小さく、振動板の板厚が薄く、当接駆動を行う場合、振動板が変位した状態から復帰する振動板の剛性が小さくなり、その結果として、振動板変形による当接時に振動板が対向する電極側にスティッキングし振動板の振動変形が阻害され、所望の変位量が得られず、インク滴吐出ができなくなる現象が発生する。
【０００５】
このような現象はマイクロマシンの分野ではスティッキングとして知られた現象であり、振動板と対向電極側の液架橋力、水素結合力、接触による静電力、ｖａｎ　ｄｅｒ　Ｗａａｌｓ力等がその要因と考えられている。
【０００６】
そこで、このスティッキング現象を防止するために、例えば特開平１０−１８１０２８号公報には疎水膜としてＨＭＤＳを形成する方法が、特開平１１−１１５１８９号公報にはＨＭＤＳ濃度を一定に気密封止する方法が、更に特開平１１−１７９９１９号公報には疎水膜封止工程を改良する方法がそれぞれ提案されている。
【０００７】
また、疎水膜形成以外の方法としては、振動板が当接する電極側の表面を疎面化したり、振動板又は電極側に部分的に突起を設け振動板と電極側との接触面積を低減する方法などが提案されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、微小ギャップ空間内に疎水膜を形成する方法にあっては、上述した各公報に記載されているように、疎水膜形成工程が複雑であるばかりでなく、疎水膜濃度を一定に保つ必要があるため、長期使用が可能な信頼性の高い気密封止工程が必要となり、このため封止工程が複雑となる。
【０００９】
また、気密封止を行った場合、振動板と前記電極との間のギャップ空間が気密に外部と遮断されなければならないため、周囲の気圧変化や温度変化によりギャップ空間の内部圧力が変化し、その結果として振動板が変形し、例えば特開平１１−２８６１０９号公報やＷＯ９９／４７３５７号公報に記載されるようなギャップ空間内の圧力変化補償手段が必要となる。
【００１０】
さらに、電極側を均一に疎面化することや電極側に部分的突起を設けて接触面積を減らす方法はアクチュエータ製作のプロセスが煩雑となるばかりでなく、コスト増加につながってしまうという課題を生じる。
【００１１】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、本発明らは実験を繰り返したところ、上記スティッキング現象は液架橋力による影響が最も大きな支配要因であることをつきとめた。この液架橋現象は、振動板と電極が電圧印加に伴う変形で当接した場合に、振動板又は電極表面に存在する水膜の影響により、その毛管力で振動板と電極が強い力で接触し振動板の復元力よりもその力が大きいため、振動板が正常に復帰しなくなる現象である。具体的には振動板と電極の間の空間が温度変化を受けた場合に過飽和状態の水分が微小水膜として発生することによって、このようなスティッキングが発生する。
【００１２】
さらに、本発明者らは実験を繰り返したところ、これらスティッキングの発生は振動板と前記電極との間のギャップ空間を加熱し、ギャップ空間の水分を除去することにより防止でき信頼性の高い振動変位が得られることをつきとめた。
【００１３】
これより、本発明は上記知見に基づいてなされたものであり、スティッキングや周囲温度変化に伴うギャップ空間の圧力変化により振動板の変形を防止でき安定した振動板変位が得られる液滴吐出ヘッド及びこのヘッドを搭載したインクジェット記録装置、並びに安定した振動板変位が得られる静電型アクチュエータを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、振動板と電極との間のギャップ空間の流体を加熱する手段を備えている構成とした。
【００１５】
ここで、ギャップ空間を加熱する手段は発熱手段と送風手段とを備えていることが好ましく、この場合、ギャップ空間に連通する送風用通路の一部が電極を設ける基板に形成されていることが好ましい。
【００１６】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するインクジェットヘッドが本発明に係る液滴吐出ヘッドである構成としたものである。
【００１７】
本発明に係る静電型アクチュエータは、振動板と電極との間のギャップ空間の流体を加熱する手段を備えている構成としたものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。先ず、本発明に係るインクジェットヘッドの第１実施形態の全体構成について図１乃至図４を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドの振動板長手方向に沿う断面説明図、図３は同ヘッドの振動板短手方向に沿う要部拡大断面図、図４は同ヘッドの電極基板の平面説明図である。
【００１９】
このインクジェットヘッドは、単結晶シリコン基板、ＳＯＩ基板などのシリコン基板等を用いた第一基板である流路基板（振動板基板）１と、この流路基板１の下側に設けたシリコン基板又はガラス基板或いはセラミックス基板等を用いた第二基板である電極基板２と、流路基板１の上側に設けた第三基板であるノズル板３とを備え、インク滴を吐出するノズル４が連通するインク液室である吐出室６、各吐出室６にインク供給路を兼ねた流体抵抗部７を介して連通する共通液室８などを形成している。
【００２０】
流路基板１にはノズル４が連通する複数の吐出室６及びこの吐出室６の壁面である底部をなす振動板１０（電極を兼ねている）を形成する凹部を形成し、ノズル板３にはノズル４となる孔及び流体抵抗部７を形成する溝を形成し、また流路基板１と電極基板２には共通液室８を形成する貫通部を形成している。
【００２１】
ここで、流路基板１は、例えば単結晶シリコン基板を用いた場合、予め振動板厚さにボロンを注入してエッチングストップ層となる高濃度ボロン層を形成し、電極基板２と接合した後、吐出室６となる凹部をＫＯＨ水溶液などのエッチング液を用いて異方性エッチングすることにより、このとき高濃度ボロン層がエッチングストップ層となって振動板１０が高精度に形成される。
【００２２】
また、流路基板１としては、シリコン基板であるベース基板と活性層基板とを酸化膜を介して接合したＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ　Ｏｎ　Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板を用いることもできる。この場合、厚さ１〜３μｍほどのシリコン活性層を振動板１０に用いる。
【００２３】
なお、振動板１０に別途第一電極となる電極膜を形成してもよいが、上述したようにシリコン基板を用いて振動板が電極を兼ねるようにしている。また、振動板１０の電極基板２側の面に絶縁膜を形成することもできる。この絶縁膜としてはＳｉＯ２等の酸化膜系絶縁膜、Ｓｉ３Ｎ４等の窒化膜系絶縁膜などを用いることができる。絶縁膜の成膜は、振動板表面を熱酸化して酸化膜を形成したり、成膜手法を用いたりすることができる。
【００２４】
また、電極基板２にはｐ型或いはｎ型の単結晶シリコン基板を用いて、熱酸化法などで酸化膜２ａを形成し、この酸化膜２ａにギャップ空間１６を形成するための凹部１４（凹部１４、１４間は隔壁１４ａとなる。）を形成して、この凹部１４底面に振動板１０に所定のギャップを置いて対向する電極１５を設け、これらの振動板１０と電極１５とによって静電型アクチュエータを構成している。この電極基板２にはギャップ空間１６に連通する空気室等を形成しているが、その詳細については後述する。
【００２５】
また、電極１５表面にはＳｉＯ２膜などの酸化膜系絶縁膜、Ｓｉ３Ｎ４膜などの窒化膜系絶縁膜からなる絶縁膜１７を成膜している。なお、上述したように電極１５表面に絶縁膜１７を形成しないで、振動板１０側に絶縁膜を形成することもできる。さらに、電極１５としては、金、或いは、通常半導体素子の形成プロセスで一般的に用いられるＡｌ、Ｃｒ、Ｎｉ等の金属材料や、Ｔｉ、ＴｉＮ、Ｗ等の高融点金属などを用いることができる。
【００２６】
これらの流路基板１と電極基板２とはシリコンの直接接合で接合している。
【００２７】
ノズル板３には、多数のノズル４を形成するとともに、共通液室８と吐出室６を連通するための流体抵抗部７を形成する溝部を形成している。ここでは、インク吐出面（ノズル表面側）には撥水性皮膜を成膜している。このノズル板３にはステンレス基板を用いているが、この他、エレクトロフォーミング（電鋳）工法によるニッケルメッキ膜、ポリイミド等の樹脂にエキシマレーザー加工をしたもの、金属プレートにプレス加工で穴加工をしたもの等でも用いることができる。
【００２８】
また、撥水性皮膜は、フッ素系樹脂微粒子であるポリテトラフルオロエチレン微粒子を分散させた電解又は無電解ニッケル共析メッキ（ＰＴＦＥ−Ｎｉ共析メッキ）によるメッキ皮膜で形成することができる。
【００２９】
このインクジェットヘッドではノズル４を二列（ノズル列４Ａと４Ｂ）配置し、この各ノズル列４Ａ、４Ｂに対応して吐出室６、振動板１０、電極１５なども二列配置し、各ノズル列の中央部に共通液室８を配置して、左右の吐出室６にインクを供給する構成を採用している。これにより、簡単なヘッド構成で多数のノズルを有するマルチノズルヘッドを構成することができる。
【００３０】
そして、電極１５は外部に延設して接続部（電極パッド部）１５ａとし、これにヘッド駆動回路であるドライバＩＣ２０をワイヤボンドによって搭載したＦＰＣケーブル２１を異方性導電膜などを介して接続している。
【００３１】
さらに、インクジェットヘッド全体をフレーム部材２５上に接着剤で接合している。このフレーム部材２５にはインクジェットヘッドの共通液室８に外部からインクを供給するためのインク供給穴２６を形成しており、またＦＰＣケーブル２１等はフレーム部材２５に形成した穴部２７に収納される。
【００３２】
このフレーム部材２５とノズル板３との間はエポキシ樹脂等の接着剤を用いたギャップ封止剤２８にて封止し、撥水性を有するノズル板３表面のインクが電極基板２やＦＰＣケーブル２１等に回り込むことを防止している。
【００３３】
そして、このヘッドのフレーム部材２５にはインクカートリッジとのジョイント部材３０が連結されて、フレーム部材２５に熱融着したフィルタ３１を介してインクカートリッジからインク供給穴２６を通じて共通液室８にインクが供給される。
【００３４】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、振動板１０を共通電極とし電極１５を個別電極として、振動板１０と電極１５との間に駆動波形を印加することにより、振動板１０と電極１５との間に静電力（静電吸引力）が発生して、振動板１０が電極１５側に変形変位する。これにより、吐出室６の内容積が拡張されて内圧が下がるため、流体抵抗部７を介して共通液室８から吐出室６にインクが充填される。
【００３５】
次いで、電極１５への電圧印加を断つと、静電力が作用しなくなり、振動板１０はそれ自身のもつ弾性によって復元する。この動作に伴い吐出室６の内圧が上昇し、ノズル５からインク滴が吐出される。再び電極に電圧を印加すると、再び静電吸引力によって振動板は電極側に引き込まれる。
【００３６】
そこで、このインクジェットヘッドにおける本発明の構成について図３及び図４を参照して詳細に説明する。
電極基板２の絶縁膜２ａには、振動板１０と電極１５が臨むギャップ室１６に電極１５の一部を取り除いてスリット４０を形成し、電極基板２の主基板（ここではシリコン基板）にはこのスリット４０介して連通する第一の空気室４１を設けている。これらのスリット４０及び第一の空気室４１の一端側は流路基板１の電極取出し部の端部から大気に連通させている。
【００３７】
また、これらのスリット４０及び第一の空気室４１の他端側は各々の端部が共通に連通するように、更に千鳥上に配置された２列のスリット４０及び第一の空気室４１にも連通するように、引き出し用のスリット４２及び空気室を共通液室８に隣接して形成し、これらの引き出し用のスリット４２及び空気室は電極基板２の裏面側で大気に開口した第二の空気室４３に連通している。この第二の空気室４３はシリコンの異方性エッチングにより形成している。
【００３８】
これらのスリット４０、第一の空気室４１、引き出し用のスリット４２及び空気室、第二の空気室４３によって、ギャップ空間１６に加熱気体を流す通路を形成している。
【００３９】
そこで、ギャップ空間１６の流体を加熱するための手段について図５を参照して説明する。
液滴吐出ヘッドＨの第二の空気室４３を形成する裏面開口部にアダプタ４５を取り付けている。このアダプタ４５は、具体的には図２のフレーム部材２５、ジョイント部材３０に設けることができる。そして、発熱手段である発熱体及び送風手段であるファンを備えた加熱装置４６を設け、この加熱装置４６から吹き出される加熱気体を、塵埃を除去するためのフィルタ４７、アダプタ４５を介して液滴吐出ヘッドＨの第二の空気室４３に送り込むようにしている。
【００４０】
このように構成したので、この加熱装置４６から液滴吐出ヘッドＨに導入された加熱気体は、第二の空気室４３から引き出し用スリット４２及び空気室を経て第一の空気室４１を通り、電極基板２の電極取りだし部の端部から大気に開放される。
【００４１】
ここで、電極基板２として熱伝導率の高いシリコン基板を用いることで、加熱装置４６から液滴吐出ヘッドＨの静電型アクチュエータ部に加熱気体を送風すると、各ギャップ空間１６内の流体（この実施形態では、空気）は略均一に加熱される。
【００４２】
このように、ギャップ空間１６の空気が均一に加熱されるため、振動板１０及び電極保護膜１７上の特に液架橋力の原因となる水膜が除去されるので、スティッキングが防止され、安定した振動板変位が得られるので、安定した滴吐出特性を得ることができる。
【００４３】
この場合、例えば周知の温度センサを用いた温度制御を行うことにより、各ギャップ空間をほぼ同じ温度に制御することができる。この設定温度を常温よりやや高めに設定し、記録装置の電源ＯＮ時に所定時間静電型アクチュエータ部の加熱を行うことにより、ギャップ空間の空気が均一に加熱されるため、より効率的にスティッキングを防止することができる。
【００４４】
また、温度制御の点から冷却が必要な場合は発熱体の発熱を止め外気を送風することで液滴吐出ヘッドの冷却も可能である。
【００４５】
さらに、このヘッド構成では、第一の空気室４１はギャップ空間１６に連通し、第一の空気室４１とギャップ空間１６の容積を加えた容積は振動板１０が振動変位する場合の排除容積に比べて非常に大きい構成となっている。このため，振動板１０を変形させるための駆動電圧を低くすることができ、高周波数駆動時の振動板変位低減を防止することができる。
【００４６】
また、ギャップ空間１６はスリット４０、第一の空気室４１などを通じて大気に開放しているため、ギャップ空間１６が封止された場合に周囲温度変化に伴って発生するギャップ空間内圧力変化に起因する振動板１０の変形を防止することができる。
【００４７】
なお、第一の空気室の容積は比較的大きいためその流体抵抗が小さく加熱装置４６内に含まれる送風装置（送風機）の出力をそれ程大きくする必要はない。ただし、必要であれば、第一の空気室の容積を更に大きくすること、第一の空気室を１つのギャップ空間に対して電極の両側に２個設けることなどもできる。
【００４８】
ここで、上記実施形態における静電型アクチュエータに係る部分の製作工程の一例について説明する。
電極基板２としては面方位（１００）で、熱酸化膜２ａが形成されたシリコン基板を用いた。このシリコン基板上の熱酸化膜にドライエッチング法により振動板１０と電極基板２で形成されるギャップ空間１６となる凹部１４を形成した。
【００４９】
そして、凹部１４底面にはＴｉＮからなる電極１５をスパッタリングにより成膜し、ドライエッチングによりパターニングした。電極保護膜１７としてＳｉＯ２をＰ−ＣＶＤ法で成膜し、ドライエッチングによりパターニングした。電極１５の中央部にはスリット４０をドライエッチングによりシリコン基板に到達する深さまで形成した。
【００５０】
そして、レジストにより、スリット部のみを露出させ、ドライエッチングを行うことにより、等方性エッチングで得られる形状とほぼ同じ形状の第一の空気室４１を形成した。第一の空気室４１の大きさはエッチング時間で変えることができ、第一の空気室４１の形状を台形で近似したとき、上辺長、下辺長さ、及び深さを制御して形成することができる。
【００５１】
一方、流路基板（振動板基板）１としては２枚のＳｉ基板が熱酸化膜を介して接合された所謂ＳＯＩ基板を使用した。このＳＯＩ基板と電極基板２を温度９００℃の条件で直接接合した。そして、ＳＯＩ基板と電極基板２を接合後に面方位（１１０）のシリコン基板をウエットエッチングによりエッチングして、液室６を形成すると同時に液室６の底部に振動板１０を形成した。
【００５２】
次に、本発明の第２実施形態について図６及び図７を参照して説明する。なお、図６は同実施形態に係るヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図、図７は同ヘッドの電極基板の要部平面図である。
この実施形態では、電極１５の中央部に絶縁膜２ａを貫通するスリット５０を形成している。このスリット５０は電極１５の長手方向では振動板１０が当接する領域よりも長く形成している。
【００５３】
そして、電極基板２にはノズル配列方向に各ギャップ空間１６にスリット５０を介して連通する開口部５１を形成している。この開口部４１は絶縁膜２ａをエッチングストップ層として電極基板２を形成するシリコン基板をエッチングして形成したものである。
【００５４】
この場合、フレーム部材２５及びジョイント部材３１に電極基板２の裏面開口部５１に連通する通路を設けることで、加熱気体を電極基板２の裏面開口部５１に送り込むことができ、加熱気体は電極基板２の裏面開口部５１の一端部からノズル配列方向に送風され、電極基板２の他端から大気に開放される。
【００５５】
このように構成すれば、加熱気体を流すための大きな通路を確保することができて、加熱気体の送風の流体抵抗を大幅に低減することができる。
【００５６】
次に、ギャップ空間を加熱するための手段の他の例について図８を参照して説明する。
この例では、加熱装置４６と減圧装置４８とを設けて、これらの加熱装置４６及び減圧装置４８を切換え弁４９を介してアダプタ４５に接続している。これにより、例えば記録装置の電源ＯＮ時、あるいは待機中に、ギャップ空間１６の流体を置換したい場合は、切換え弁４９を所定のシーケンスで開閉し、減圧装置４８による減圧、加熱装置４６による加熱気体の送風を繰り返すことによりギャップ空間１６内の流体を置換することができる。
【００５７】
次に、本発明に係るインクジェット記録装置の一例について図９及び図１０を参照して説明する。なお、図９は同記録装置の斜視説明図、図１０は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【００５８】
このインクジェット記録装置は、記録装置本体１１１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部１１２等を収納し、装置本体１１１の下方部には前方側から多数枚の用紙１１３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）１１４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙１１３を手差しで給紙するための手差しトレイ１１５を開倒することができ、給紙カセット１１４或いは手差しトレイ１１５から給送される用紙１１３を取り込み、印字機構部１１２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１１６に排紙する。
【００５９】
印字機構部１１２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１２１と従ガイドロッド１２２とでキャリッジ１２３を主走査方向（図１０で紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ１２３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドからなるヘッド１２４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ１２３にはヘッド１２４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ１２５を交換可能に装着している。なお、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドとこれにインクを供するインクタンクとを一体化したヘッド一体型のインクカートリッジを搭載するようにすることもできる。
【００６０】
インクカートリッジ１２５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
【００６１】
また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド１２４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【００６２】
ここで、キャリッジ１２３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド１２１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド１２２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ１２３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ１２７で回転駆動される駆動プーリ１２８と従動プーリ１２９との間にタイミングベルト１３０を張装し、このタイミングベルト１３０をキャリッジ１２３に固定しており、主走査モーター１２７の正逆回転によりキャリッジ１２３が往復駆動される。
【００６３】
一方、給紙カセット１１４にセットした用紙１１３をヘッド１２４の下方側に搬送するために、給紙カセット１１４から用紙１１３を分離給装する給紙ローラ１３１及びフリクションパッド１３２と、用紙１１３を案内するガイド部材１３３と、給紙された用紙１１３を反転させて搬送する搬送ローラ１３４と、この搬送ローラ１３４の周面に押し付けられる搬送コロ１３５及び搬送ローラ１３４からの用紙１１３の送り出し角度を規定する先端コロ１３６とを設けている。搬送ローラ１３４は副走査モータ１３７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００６４】
そして、キャリッジ１２３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１３４から送り出された用紙１１３を記録ヘッド１２４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１３９を設けている。この印写受け部材１３９の用紙搬送方向下流側には、用紙１１３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１４１、拍車１４２を設け、さらに用紙１１３を排紙トレイ１１６に送り出す排紙ローラ１４３及び拍車１４４と、排紙経路を形成するガイド部材１４５，１４６とを配設している。
【００６５】
記録時には、キャリッジ１２３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド１２４を駆動することにより、停止している用紙１１３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙１１３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙１１３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙１１３を排紙する。
【００６６】
また、キャリッジ１２３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド１２４の吐出不良を回復するための回復装置１４７を配置している。回復装置１４７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ１２３は印字待機中にはこの回復装置１４７側に移動されてキャッピング手段でヘッド１２４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００６７】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド１２４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００６８】
このように、このインクジェット記録装置においては本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載しているので、スティキングのない安定した滴吐出特性が得られるので、長期にわたり高い画像品質で画像を記録することができる。
【００６９】
なお、上記実施形態においては、本発明を振動板変位方向とインク滴吐出方向が同じになるサイドシュータ方式のインクジェットヘッドに適用したが、振動板変位方向とインク滴吐出方向と直交するエッジシュータ方式のインクジェットヘッドにも同様に適用することができる。さらに、インクジェットヘッドだけでなく液体レジスト、ＤＮＡ試料等を吐出させる液滴吐出ヘッドなどにも適用できる。また、振動板と液室基板とを同一基板から形成したが、振動板と液室基板とを別体にして接合することもできる。
【００７０】
また、本発明に係る静電型アクチュエータを液滴吐出ヘッドに適用した例で説明したが、光変調デバイスなどの光学デバイス、光スイッチ、マイクロポンプなどのマイクロデバイスのアクチュエータにも適用することができる。
【００７１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、振動板と電極との間のギャップ空間の流体を加熱する手段を備えているので、安定した振動板特性が得られ、安定した滴吐出を行うことができる。
【００７２】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インク滴を吐出するインクジェットヘッドが本発明に係る液滴吐出ヘッドであるので、高い画像品質で画像を記録することができる。
【００７３】
本発明に係る静電型アクチュエータによれば、振動板と電極との間のギャップ空間の流体を加熱する手段を備えているので、安定したアクチュエート動作特性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る液滴吐出ヘッドの第１実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図２】同ヘッドの振動板長手方向に沿う断面説明図
【図３】同ヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図
【図４】同ヘッドの電極基板の要部平面説明図
【図５】同ヘッドのギャップ空間内流体を加熱する手段の一例を説明する構成図
【図６】本発明に係る液滴吐出ヘッドの第２実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図７】同ヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図
【図８】ギャップ空間内流体を加熱する手段の他の例を説明する構成図
【図９】本発明に係るインクジェット記録装置の斜視説明図
【図１０】同記録装置の機構部の側面説明図
【符号の説明】
１…流路基板、２…電極基板、１０…振動板、１５…電極、４０…スリット、４１…第一の空気室、４３…第二の空気室、５１…スリット、５２…裏面開口部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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