(57)【要約】【課題】ブラックマトリックス（ＢＭ）に一部を重ねてＲ，Ｇ，Ｂの着色画素を形成する際にできる重なり突起を、液晶配向乱れやＩＴＯクラックが起こらないようなレベルに抑える。【解決手段】仮支持体上に少なくとも着色感光性樹脂層を形成した転写フィルムを透明ガラス基板にラミネートし、露光、現像を行い、着色画素を形成する工程を有するカラーフィルターの製造方法において、予めブラックマトリックスを形成した透明ガラス基板に、少なくとも赤色、緑色、及び青色の着色画素を形成するに際し、前記着色画素の現像後に前記透明ガラス基板の裏面側から、前記着色画素を硬化しうる波長域の光を照射した後、加熱処理する工程を前記着色画素の色の数に応じて行う。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
仮支持体上に少なくとも着色感光性樹脂層を形成した転写フィルムを透明ガラス基板にラミネートし、露光、現像を行い、着色画素を形成する工程を有するカラーフィルターの製造方法において、予めブラックマトリックスを形成した透明ガラス基板に、少なくとも赤色、緑色、及び青色の着色画素を形成するに際し、前記着色画素の現像後に前記透明ガラス基板の裏面側から、前記着色画素を硬化しうる波長域の光を照射した後、加熱処理する工程を前記着色画素の色の数に応じて行うことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項２】
前記ブラックマトリックスが、金属薄膜からなることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項３】
前記ブラックマトリックスが、仮支持体上に少なくとも遮光性物質を含む樹脂層を有する転写材料によるラミネートで形成されることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はカラーフィルターの製造方法に関し、詳しくは、ＬＣＤ用のカラーフィルターの製造方法に好適なカラーフィルターの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＣＤ用のカラーフィルターの製造方法としては、着色レジストをスピンナーやロールコーターで塗布し、露光現像して画素形成する方法、電着法、転写法等が知られている。
着色レジストコーティング法や転写法においては着色レジスト膜をガラス基板上に形成後、パターン露光し、現像によって未露光部を溶解除去し、画素を形成する。色の数だけこの工程を繰り返すことになる。
【０００３】
転写法においては、仮支持体に着色層がコーティングされた転写フィルムを、ラミネーターを用いて洗浄済み基板に熱転写する。その後、仮支持体を剥がしてパターン露光し、現像するという工程を着色画素の色の数だけ繰り返す。
着色画素の形成順としては、Ｒ，Ｇ，Ｂの画素を形成後にブラックマトリクスである黒を形成する方法（後付けＢＭともいう）と、先にブラックマトリクスを形成し、その後Ｒ，Ｇ，Ｂ画素を形成する方法がある（先付けＢＭともいう）。先付けＢＭ法にはＣｒのようなメタルを用いる場合と、遮光性物質を含んだ樹脂を用いる場合がある。
【０００４】
先付けＢＭ法で樹脂を用いる場合は、ブラックマトリックスを高濃度とするためにブラックマトリックスの厚みを１μ以上の膜厚にせざるを得ず、このためにブラックマトリクスと着色画素との重なり部に突起ができる。
一方、転写法によるカラーフィルターの製造方法においては、加熱処理による膜減りや未硬化樹脂の融け出しを抑制するために、現像後に基板の両面からＵＶ光を照射するポスト露光という処理が行われる。（例えば、特許文献１等）
【０００５】
このポスト露光処理を行うと、膜の硬化が進み、ベーク処理を行った後も突起がそのまま残ってしまう。この突起はカラーフィルターを液晶素子に用いた場合、液晶の配向乱れの原因になったり、ＩＴＯのクラックの原因になったりする。Ｒ，Ｇ，Ｂの各着色画素を液レジストで作製する場合は、レベリングの効果により、重なり部の突起は高くなりにくいが、転写法による場合は、突起の高さが高くなることが問題となる。
【０００６】
また、Ｒ，Ｇ，Ｂの各着色画素形成時の現像がオーバー気味になると、サイドエッチと称する着色画素の断面がえぐられる現象が起きる。この状態でそのままポスト露光することなく、加熱処理（ベーク処理）をすると、加熱処理時の熱によって着色画素のエッジが融けて順テーパになるが、ポスト露光を行うと膜の硬化が進み、ベーク処理で着色画素はエッジが融けずに現像後のままの逆台形やキノコ状の断面になることがある。この場含も、カラーフィルターにＩＴＯを成膜する時にクラックの原因になるので好ましくない。この現象は樹脂を用いた先付けＢＭ法に限るものではなく、金属を用いた先付けＢＭ法の場合にも起こり得る。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−７１９２８号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第１の目的は、転写法によるカラーフィルターの作製方法において、先付けＢＭ法で形成したブラックマトリックス（ＢＭ）に一部を重ねてＲ，Ｇ，Ｂの着色画素を形成する際にできる重なり突起を、液晶配向乱れやＩＴＯクラックが起こらないようなレベルに抑えることができるカラーフィルターの製造方法を提供することにある。
また、本発明の第２の目的は、着色画素の断面形状が逆台形やキノコ状にならないようにすることができるカラーフィルターの製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記した課題は、以下の発明によって達成される。
（１）  仮支持体上に少なくとも着色感光性樹脂層を形成した転写フィルムを透明ガラス基板にラミネートし、露光、現像を行い、着色画素を形成する工程を有するカラーフィルターの製造方法において、予めブラックマトリックスを形成した透明ガラス基板に、少なくとも赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）の着色画素を形成するに際し、前記着色画素の現像後に前記透明ガラス基板の裏面側から、前記着色画素を硬化しうる波長域の光を照射した後、加熱処理する工程を前記着色画素の色の数に応じて行うことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
（２）  前記ブラックマトリックスが、金属薄膜からなることを特徴とする（１）に記載のカラーフィルターの製造方法。
（３）  前記ブラックマトリックスが、仮支持体上に少なくとも遮光性物質を含む樹脂層を有する転写材料によるラミネートで形成されることを特徴とする（１）に記載のカラーフィルターの製造方法。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に本発明の好ましい実施の形態を説明する。
本発明のカラーフィルターのカラーフィルターの製造方法においては、まず、透明基板上に予め遮光性の材料でブラックマトリックスが形成される。
このブラックマトリックスの形成手段は、特に制約はないが、（１）金属薄膜によってブラックマトリックスを形成する場合、（２）遮光性物質を含む樹脂を用いてブラックマトリックスを形成する場合等が挙げられる。
（２）遮光性物質を含む樹脂を用いてブラックマトリックスを形成する方法としては、仮支持体上に少なくとも遮光性物質を含む樹脂層を有する転写材料によるラミネートでブラックマトリックスを形成する場合、等が挙げられる。
【００１１】
［ブラックマトリックスの作製］
（１）金属薄膜によって形成されるブラックマトリックスを形成する場合において、金属薄膜によるブラックマトリックスの遮光層は、約１ｍｍ厚のガラス基板にスパッタリング或いは真空蒸着等の方法により、厚さ１００〜３００ｎｍの金属Ｃｒ膜を形成し、フォトリソグラフィーによりマトリックス状にパターニングすることにより得られる。金属薄膜としては金属Ｃｒ以外にも種々の材料を用いることが可能であるが、膜が黒色であること、更にガラス基板との密着性、膜の緻密性、光遮断性能の点からは金属Ｃｒが好ましい。
【００１２】
（２）転写材料によってブラックマトリックスを作製する場合、転写材料として感光性樹脂層に遮光性物質を含有する層が形成されている点が赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）の着色画素を形成する場合の転写材料と異なり、転写材料の各層の組成、形成手段は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）の着色画素を形成する場合と実質的に同じである。ブラックマトリックスを形成する場合の遮光性物質としては、例えば、カーボンブラック等の黒色顔料、及び染料等が使用される。ブラックマトリックスを形成するための転写材料の各層の構成、ブラックマトリックスの形成手段は、後記する赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）の着色画素を形成する説明と重複するので、ここでは、割愛する。
【００１３】
上記のようにして基板上のブラックマトリックスが形成された面側に転写材料を用いたラミネート法によって赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）の着色画素を形成される。
以下、転写材料について説明する。
−転写材料−
本発明の感光性転写材料は、仮支持体上に熱可塑性樹脂層、中間層、及び感光性記録層を有してなる。
＜熱可塑性樹脂層＞
前記熱可塑性樹脂層は、下地の凹凸（即ち、既に形成されている画素による凹凸）を吸収することができるように、クッション性を有し、アルカリ現像液で除去できるように、アルカリ可溶性であることが好ましい。熱可塑性樹脂層に含まれる樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、及び（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の（メタ）アクリル酸エステル共重合体などのケン化物から少なくとも１つを選んで使用することが好ましい。さらに「プラスチック性能便覧」（日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、１９６８年１０月２５日発行）による有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができ、またこれらの熱可塑性樹脂は軟化点が８０℃以下のものが好ましい。
【００１４】
熱可塑性樹脂層の厚みは６〜１００μｍが好ましく、６〜５０μｍがより好ましい。熱可塑性樹脂層の厚みが６〜１００μｍの範囲では、下地の凹凸を完全に吸収することができ、現像性、製造適性の面からも問題がない。
【００１５】
前記有機高分子物質中には、仮支持体との接着力を調節するために、可塑剤、各種ポリマー、界面活性剤、離型剤等を加えることが可能である。これにより熱可塑性樹脂のＴｇの調整も可能である。
【００１６】
好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エポキシ樹脂とポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアネートとポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアネートとポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、ビスフェノールＡとポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの縮合反応生成物等を挙げることができる。熱可塑性樹脂層層中の、可塑剤の量は熱可塑性樹脂に対して２００質量％以下が一般的で、２０〜１００質量％の範囲が好ましい。
【００１７】
前記各種ポリマーとしては、前記「プラスチック性能便覧」に掲載されているもので、質量平均分子量８０００以下のポリエステルオリゴマー、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、およびそれらの共重合体を挙げることができる。また前記界面活性剤としては、ドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ等のアニオン系、ポリエチレン誘導体等のノニオン系、およびベタイン系等の両性界面活性剤を挙げることができる。前記離型剤としては、金属石鹸、シリコーンポリマー、フッ素ポリマーを挙げることができる。熱可塑性樹脂のＴｇは、前記可塑材を添加することにより調整することができる。
【００１８】
＜仮支持体＞
上記転写材料の仮支持体としては、熱可塑性樹脂層と良好な剥離性を有し、化学的および熱的に安定であって、また可撓性の物質で構成されることが好ましい。具体的にはテフロン（Ｒ）、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等の薄いシートもしくはこれらの積層物が好ましい。良好な剥離性を得るためには、グロー放電等の表面処理はせず、またゼラチン等の下塗も設けないのが一般的である。支持体の厚みは５〜３００μｍが適当であり、特に２０〜１５０μｍが好ましい。
【００１９】
＜中間層＞
中間層は、酸素を遮断する機能を有する層で、感光性樹脂層の露光による重合を、空気中であっても酸素の重合阻害なく進めることができ、膜厚も薄いので解像力に悪影響を与えない。上記中間層は、また上記熱可塑性樹脂層の形成により生じる、下地の凹凸（即ち、既に形成されている画素による凹凸）を吸収することができる。これらの層は、アルカリ可溶性なので、現像時に除去することができる。
【００２０】
中間層の形成材料としては水またはアルカリ水溶液に分散または溶解し、低い酸素透過性を示すものであれば良く、公知のものが使用できる。例えば、特開昭４６−２１２１号公報や特公昭５６−４０８２４号公報に記載のポリビニルエーテル／無水マレイン酸重合体、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコール、変性ポリビニルアルコール（カルボキシル基、末端アルキル基、アミノ基、スルホン酸基、末端チオール基、シラノール基、及びアミド基またはそれらの組み合わせ）、
【００２１】
ポリビニルピロリドン、各種のポリアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチン類、エチレンオキサイド重合体、各種の澱粉およびその類似物のいずれかの水溶性塩、スチレン／マレイン酸の共重合体（スチレン−マレイン酸共重合体加水分解物、スチレン−マレイン酸共重合物ハーフエステル加水分解物）、イソブチレン−無水マレイン酸共重合体加水分解物、マレイネート樹脂、アラビアゴム、カゼインスチレン−マレイン酸共重合体加水分解物、スチレン−マレイン酸共重合物ハーフエステル加水分解物、イソブチレン−無水マレイン酸共重合体加水分解物、ポリスチレンスルホン酸ソーダ及びアルギン酸ソーダ、さらにこれらの２種以上の組合わせを挙げることができる。
【００２２】
酸素遮断性等が要求され中間層塗布液の調製には、結晶性の高いバインダーを主バインダーとして用いるのが好ましい。水溶性樹脂の結晶性は、樹脂の重合度や鹸化度等によって変化するので、これらの値を適当な値にすることにより樹脂の結晶性を調整すればよい。例えば、ポリビニルアルコールの場合は、鹸化度、およびエチレン変性度によって、結晶性を制御できる。鹸化度が８０モル％以上のものが、結晶性が高く、好ましい。また、ポリビニルアルコールは、他の官能基でさらに変性されていてもよい。前記他の官能基の具体例としては、イタコン酸、アクリル酸、マレイン酸などのカルボキシル基、シラノール基、末端アルキル基、末端チオール基４、アミノ基、エチレン基などが挙げられる。
【００２３】
また、隣接した層間密着を高めるには、特に、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンの組み合わせが好ましい。ポリビニルアルコールは鹸化率が８０％以上であるものが好ましく、ポリビニルピロリドンの含有率は中間層固形物の１〜７５質量％が一般的であり、１〜６０質量％が好ましく、特に好ましくは、１０〜５０質量％である。１〜７５質量％の範囲では、感光性樹脂層との充分な接着性が得られ、且つ酸素遮断能が低下することもない。中間層の厚みは非常に薄く、約０．１〜５μｍ、特に０．５〜２μｍが好ましい。約０．１〜５μｍの範囲では酸素遮断能が低下することもなく、現像時または中間層除去時に時間がかかりすぎることもない。中間層の溶媒としては水の他メタノール、エタノールなど熱可塑性樹脂層を膨潤させ、ゲル化剤を抽出しやすい溶媒の併用が有効である。この中間層上に、感光性着色樹脂層が形成される。
【００２４】
＜感光性着色樹脂層＞
感光性樹脂層は、アルカリ可溶性バインダーポリマー、光の照射によって付加重合することができるエチレン性不飽和二重結合含有モノマー、光重合開始剤そして着色剤からなる感光性樹脂組成物より形成される層である。
【００２５】
アルカリ可溶性バインダーポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するポリマー、例えば、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報、及び特開昭５９−７１０４８号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルローズ誘導体も挙げることができる。この他に水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。特に、米国特許第４１３９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸の共重合体やベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。
【００２６】
アルカリ可溶性バインダーポリマーは、３０〜４００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲の酸価と１０００〜３０００００の範囲の重量平均分子量を有するものを選択して使用される。以上の他に、種々の性能、例えば硬化膜の強度を改良するために、現像性等に悪影響を与えない範囲で、アルカリ不溶性のポリマーを添加することができる。これらのポリマーとしてはアルコール可溶性ナイロンあるいはエポキシ樹脂が挙げることができる。感光性樹脂組成物の全固形分に対するバインダーの含有量は、１０〜９５質量％で、さらに２０〜９０質量％が好ましい。１０〜９５質量％の範囲では感光性着色樹脂層の粘着性が高すぎず、形成される層の強度及び光感度の点で劣ることもない。
【００２７】
上記光重合開始剤としては、米国特許第２３６７６６０号明細書に開示されているビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第２４４８８２８号明細書に記載されているアシロインエーテル化合物、米国特許第２７２２５１２号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３０４６１２７号明細書及び同第２９５１７５８号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第３５４９３６７号明細書に記載のトリアリールイミダゾール二量体とｐ−アミノケトンの組合せ、特公昭５１−４８５１６号公報に記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、米国特許第４２３９８５０号明細書に記載されているトリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、米国特許第４２１２９７６号明細書に記載されているトリハロメチルオキサジアゾール化合物等を挙げることができる。特に、トリハロメチル−ｓ−トリアジン、トリハロメチルオキサジアゾール及びトリアリールイミダゾール二量体が好ましい。感光性樹脂組成物は、全固形分に対する光重合開始剤の含有量は、０．５〜２０質量％が一般的で、１〜１５質量％が好ましい。０．５〜２０質量％の範囲では光感度や画像の強度が維持され、性能向上への効果が認められる。
【００２８】
上記光の照射によって付加重合することのできるエチレン性不飽和二重結合含有モノマーとしては、分子中に少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し沸点が常圧で１００℃以上の化合物を挙げることができる。ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート及びフェノキシエチル（メタ）アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート、
【００２９】
ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）シアヌレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート；トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシドにプロピレンオキシドを付加した後（メタ）アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートを挙げることができる。
【００３０】
さらに特公昭４８−４１７０８号公報、特公昭５０−６０３４号公報及び特開昭５１−３７１９３号公報に記載されているウレタンアクリレート類；特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報及び特公昭５２−３０４９０号公報に記載されているポリエステルアクリレート類；エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレートやメタクリレートを挙げることができる。これらの中で、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートが好ましい。エチレン性不飽和二重結合を有する光の照射によって付加重合するモノマーは単独でも、２種類以上を混合して用いても良く、その遮光性の感光性樹脂組成物の全固形分に対する含有量は５〜５０質量％が一般的で、１０〜４０質量％が好ましい。５〜５０質量％の範囲では光感度や画像の強度が低下することもなく、感光性樹脂層の粘着性が過剰になり過ぎることもない。
【００３１】
着色剤は、ブラックマトリックスを形成する場合、あるいは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）等の着色画素を形成する場合に応じて任意の顔料、染料等が選択される。
上記着色剤としては、赤色、緑色、青色、黄色、紫色、マゼンタ色、シアン色、黒色の公知の顔料および染料を使用することができる。これらの好ましい例としては、ビクトリア・ピュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、モノライト・エローＧＴ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１２）、パーマネント・エローＧＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１７）、パーマネント・エローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー８３）、パーマネント・カーミンＦＢＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１４６）、ホスターバームレッドＥＳＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１９）、パーマネント・ルビーＦＢＨ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１１）、ファステル・ピンクＢスプラ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド８１）、モナストラル・ファースト・ブルー（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５）、モノライト・ファースト・ブラックＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック１）及びカーボンブラックを挙げることができる。
【００３２】
更にカラーフィルターの作成に特に好適な顔料として、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー２２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３等を挙げることができる。上記顔料および染料は、一般に５μｍ以下の平均粒径を有しており、１μｍ以下が好ましい。カラーフィルターを作成する場合は、０．５μｍ以下の平均粒径のものを使用することが好ましい。
【００３３】
上記成分の他に、更に熱重合防止剤を含むことが好ましい。熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
【００３４】
さらに必要に応じて公知の添加剤、例えば可塑剤、界面活性剤、溶剤等を添加することができる。感光性樹脂組成物より形成される感光性着色樹脂層の層厚は、０．５〜１０μｍの範囲が好ましく、特に１〜５μｍの範囲が好ましい。
【００３５】
＜感光性転写材料の形成＞
仮支持体上に熱可塑性樹脂層を塗布した後に、中間層及び感光性樹脂層が設けられる。例えば、仮支持体上に、熱可塑性樹脂層形成用塗布液を塗布乾燥して、熱可塑性樹脂層を設け、その上に熱可塑性樹脂層と溶解しない中間層形成用塗布液を塗布して乾燥し、その後中間層と溶解しない感光性着色樹脂層形成用塗布液を塗布、乾燥して感光性着色樹脂層を設けることにより得ることができる。また、仮支持体上に熱可塑性樹脂層を形成し、この上に、被覆シート上に感光性着色樹脂層と中間層を形成したシートを張り合せることにより作製しても良い。
【００３６】
本発明の熱可塑性樹脂層、中間層、及び感光性樹脂層は各組成物の塗布液を、公知の方法で設けることができる。例えば、スピナー、ホワイラー、ローラーコーター、カーテンコーター、ナイフコーター、ワイヤーバーコーター、エクストルーダー等の塗布機を用いて、それらの塗布液を塗布し、乾燥させることにより形成することができる。
【００３７】
次に、感光性着色樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するため、薄い被覆シートを設けることが好ましい。被覆シートは、仮支持体と同種か又は類似の材料からなるものでも良いが、感光性着色樹脂層から容易に分離できるものであることが要求される。その好ましい被覆シートの例としては、シリコーン紙、ポリオレフィンシートあるいはポリテトラフルオロエチレンのシートを挙げることができる。被覆シートの厚さは、一般に５〜１００μｍであり、１０〜３０μｍが好ましい。
【００３８】
ガラス基板等の永久支持体上に、感光性多層シートの感光性着色樹脂層を貼り合わせ、仮支持体を剥離する場合に、帯電した支持体（フィルム）と人体とが不快な電気ショックを受けることがあり、あるいは帯電した支持体に塵埃が付着する等の問題がある。このため、支持体上に導電層を設けたり、支持体自体に導電性を付与する処理を施すことが好ましい。また、導電層を、支持体の反対側に（感光性着色樹脂層を持たない側）設けた場合は、耐傷性を向上させるために疎水性重合体層を設けることが好ましい。
【００３９】
上記感光性転写材料を用いてカラーフィルターを製造する場合、まず、透明ガラス基板上にブラックマトリックスが形成された面側に、例えば、上記赤、緑、青の各画素を形成するには、赤画素用の感光性赤色樹脂層を有する転写材料を用いて、感光性赤色樹脂層を基板表面に転写される。上記転写材料の基板表面への貼り合わせ（転写）は、一般に、転写材料の感光性着色樹脂層上の被覆シートを除去した後、転写材料を基板表面に重ね、加圧、加熱下に行なわれる。貼り合わせには、ラミネーター、真空ラミネーター、およびより生産性を高めることができるオートカットラミネーター等の公知のラミネーターを使用することができる。その後、仮支持体を剥し取った後、所定のマスク、熱可塑性樹脂及び中間層を介して感光性着色樹脂層をパターン露光し、次いで未露光領域を除去する（現像）。上記パターン露光に使用される光源は、感光性着色樹脂層の感光性に応じて選択される。例えば、超高圧水銀灯、キセノン灯、カーボンアーク灯、アルゴンレーザー等の公知の光源を使用することができる。特開平６−５９１１９号公報に記載のように、４００ｎｍ以上の波長の光透過率が２％以下である光学フィルター等を併用しても良い。
【００４０】
上記の感光性着色樹脂層の現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液を使用するが、さらに、水と混和性の有機溶剤を少量添加したものを用いても良い。適当なアルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類（例、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム）、アルカリ金属炭酸塩類（例、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム）、アルカリ金属重炭酸塩類（例、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム）、アルカリ金属ケイ酸塩類（例、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム）、アルカリ金属メタケイ酸塩類（例、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム）、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類（例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキシド）または燐酸三ナトリウムを挙げることができる。アルカリ性物質の濃度は、０．０１質量％〜３０質量％であり、ｐＨは８〜１４が好ましい。
【００４１】
上記水と混和性のある適当な有機溶剤としては、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドンを挙げることができる。水と混和性の有機溶剤の濃度は、０．１〜４０質量％が一般的である。
【００４２】
現像液は浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。感光性着色樹脂層の未硬化部分を除去は、現像液中で回転ブラシにて擦るか湿潤スポンジで擦るなどの方法、あるいは現像液を噴霧した際の噴霧圧を利用する方法等を適宜利用することができる。現像液の温度は、通常室温付近から４０℃の範囲が好ましい。現像処理の後に水洗工程を入れることも可能である。また現像は、熱可塑性樹脂層、中間層及び感光性着色樹脂層を一度に行なっても良いが、現像ムラや感光性着色樹脂層の現像時の現像液による層の劣化を少なくするため、熱可塑性樹脂層及び中間層を先に溶解除去した後感光性着色樹脂層の現像を行なうことが好ましい。後で感光性着色樹脂層の現像を行なう場合、熱可塑性樹脂層及び中間層の除去に使用する現像液は、感光性着色樹脂層を劣化させないようなものを選択することが好ましい。この方法は、熱可塑性樹脂層及び中間層と、感光性着色樹脂層との溶解速度の差を考慮して現像液を選ぶことにより、あるいは液温、スプレー圧、擦る際の圧力等の現像処理条件の適宜組み合わせることにより行なうことができる。この方法により、現像ムラの発生を抑制できる。
【００４３】
１つ色の着色画素の現像工程の後、透明ガラス基板の裏面（ブラックマトリックスが形成されていない面側）から全面ポスト露光を行った後、加熱処理すると、１色目の着色画素が完成する。同様な方法で他の色の着色画素も形成することができる。
【００４４】
透明ガラス基板の裏面から全面ポスト露光は、各着色画素を硬化しうる波長域に光が照射される。この波長域としては、感光性樹脂層の組成により異なるが、３００〜５００ｎｍが好ましく、より好ましくは３５０〜４２０ｎｍである。
光源としては超高圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等が好ましい。全面ポスト露光の露光量は、５０〜３０００ｍｊ／ｃｍ２  好ましい範囲は１００〜２０００ｍｊ／ｃｍ２、更に好ましい範囲は２００〜１０００ｍｊ／ｃｍ２である。露光量は少ないと効果が無く、多いとコストや生産性（タクト、設備の大型化）に不利となる。
【００４５】
透明ガラス基板の裏面から全面ポスト露光した場合は、ブラックマトリックスに重なった着色画素の部分はポスト露光の効果が及ばないため、着色画素のエッジは加熱処理（ベーク）で融けて順テーパとなるとともに、重なり部分の突起の高さも軽減する。一方、ブラックマトリックスに重ならない着色画素の開口部はポスト露光により十分に硬化し、ベーク時に、好ましくない膜減りや樹脂のしみ出しが起こることもない。
【００４６】
全面ポスト露光後の加熱処理（ベーク）の方法としては、透明ガラス基板上にブラックマトリックスと着色画素を有する透明ガラス基板を、電気炉、乾燥器等の中で加熱するか、または着色画素面に赤外線を照射して加熱する方法等が挙げられる。加熱の温度及び時間は、使用した重合性組成物の組成や形成された層の厚みに依存するが、一般に、充分な耐溶剤性、耐アルカリ性を獲得するのに、約１２０℃から約２５０℃の範囲で約１０分から約３００分間加熱することが好ましい。
【００４７】
同様にしてそれぞれの着色画素においてもパターン露光・現像、及び透明ガラス基板の裏面からの全面ポスト露光・加熱処理を行うことによって、各着色画素におけるブラックマトリックスとの重なり部分は、順テーパとなるとともにブラックマトリックスに重ならない着色画素の開口部は加熱処理（ベーク）時に、好ましくない膜減りや樹脂のしみ出しが起こることもない。
【００４８】
本発明のカラーフィルターの製造方法によって得られるカラーフィルターは、液晶の配向乱れやＩＴＯのクラック等が解消できる点で、特にＬＣＤ用のカラーフィルターに好適である。
【００４９】
【実施例】
実施例１
１）転写フィルムの用意
厚さ７５μのポリエチレンテレフタレートフィルム支持体上に下記処方Ａからなる塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が１５μの熱可塑性樹脂層を設けた。
熱可塑性樹脂層処方Ａ：
・メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート
／べンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
［共重合組成比（モル比）＝５５／１１．７／４．５／２３．８
重量平均分子量＝８００００］                            ４．５重量部
・スチレン／アクリル酸共重合体［共重合組成比（重量比）
＝７／３  重量平均分子量＝８０００］                  １０．５重量部
・ＢＰＥ−５００（新中村化学社製）                            ７重量部
・Ｆ１７７Ｐ（大日本インキ社製  界面活性剤）            ０．２６重量部
・メチルエチルケトン                                    １８．６重量部
・メタノール                                            ３０．６重量部
・１−メトキシ−２−プロパノール                          ９．３重量部
【００５０】
次に、上記熱可塑性樹脂層上に下記処方Βからなる塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が１．６μの中間層を設けた。
中間層処方Ｂ；
・ポリビニルアルコール（クラレ社製ＰＶＡ２０５）            １３重量部
・ポリビニルピロリドン（五協産業社製ＰＶＰ−Ｋ３０）          ６重量部
・メタノール                                              １７３重量部
・水                                                  ２１１．４重量部
上記中間層上に、表１の処方を有する黒色、赤色、緑色、青色の感光性溶液を塗布乾燥させ、それぞれ乾燥膜厚が１．７μの黒色感光は樹脂槽と、２μの赤色、緑色、青色感光性樹脂層を形成した。さらに、着色感光性樹脂層表面に厚さ１２μのポリプロピレン製のフィルムをカバーフィルムとして貼り付けた。
【００５１】
【表１】
2004170517.tif 000002
【００５２】
＊顔料分散液１の組成
・カーボンブラック                                          １３．１ｇ
・下記に示す願料分散剤１                                      ０．７ｇ
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
［モル比＝７２／２８、分子量＝３００００）の４０％プロピレングリコールモ
ノメチルアセテート溶液］                                    １６．６ｇ
・プロピレングリコールモノメチルアセテート                  ６９．７ｇ
【００５３】
【化１】
2004170517.tif 000003
【００５４】
上記組成の黒色顔料組成物をモーターミルＭ−５０（アイガー社製）で、直径０．６５ｍｍのジルコニアビーズを用い．周速９ｍ／ｓで９時間分散し、黒色の顔料分散液を調整した。
２）カラーフィルターの形成
上記転写フィルムを用いて、以下の方法でラミネートした。
先ず、洗浄した厚さ０．７ｍｍ、４００ｍｍ×３００ｍｍのガラス基板（コーニング＃１７３７）をシランカップリング剤（信越化学社製ＫＢＭ−６０３）０．３％水溶液中に３０秒間浸漬後、３０秒間純水でリンスし、エアーナイフで乾燥した。この工程は着色感光性樹脂層とガラスとの密着性を高めるためのものである。
【００５５】
次に上記黒色転写フィルムのカバーフィルムを剥離しながら着色感光性樹脂層面を１００℃に加熱した透明ガラス基板に向けてラミネー夕（ソマール社製オートカットラミネータＡＳＬ−２４）を用いて、加圧（２ＭＰａ）、加熱（１３０℃）して貼り合わせた。基板が常温になった後、剥離界面と基板裏面をイオナイザーで除電しながら仮支持体を剥離した。
【００５６】
次にフォトマスクを介して露光し、現像し、ポスト露光後、コシベクションオーブンで加熱処理してブラックマトリクスパターンを形成した。ブラックマトリクスパターンは画面サイズ１０インチで画素数は４８０×６４０、ブラックマトリックス幅は２４μで、画素部の開口は８６μ×３０４μである。次に赤色フィルムを用い、黒色フィルムと同じ方法で転写〜現像までの処理を行った。このとき、画素の各辺をブラックマトリクスに約３μずつオーバーラップさせた。つまり、画素のサイズは９２μ×３１０μである。
現像後、基板の表面から高圧水銀ランプで５００ｍｊ／ｃｍ２（３６５ｎｍ光をモニター）照射し、その後コンべクションオーブンで加熱処理して赤色画素を形成した。緑色フィルム、青色フィルムで同様の工程を繰り返しカラーフィルターを形成した。
転写、露光、現像その他の条件は表２に示す通りである。
【００５７】
【表２】
2004170517.tif 000004
【００５８】
その他の条件、表２の補足説明は次のとおり。
露光：４０５ｎｍモニター
ポスト露光：３６５ｎｍモニター
（１）  現像１は、熱可塑性樹脂層、中間層を溶解除去するための現像で、現像液としては富士写真フイルム製トランサー現像液Ｔ−ＰＤ−２の１０％希釈液を用い、黒については３０℃、Ｒ，Ｇ，Ｂの各着色画素については３８℃てシャワー現像した。
（２）  現像２では着色感光性樹脂層を現像し、現像液としては富士写真フイルム製トランサー現像液Ｔ−ＣＤ−１の２０％希釈液を用い、黒は２６℃、Ｒ，Ｇ，Ｂの各着色画素は３３℃でシャワー現像した。
（３）  現像３は残渣を除去するための処理で、Ｒ，Ｇ，Ｂ各画素は富士写真フイルム製トランサー現像液Ｔ−ＳＤ−１の１０％希釈法を用い、３３℃の液をシャワーでかけながら、繊維径４５μ、毛足２０ｍｍのアクリルロールブラシを１００ｒｐｍで回転させて基板搬送速度２ｍ／分で行った。
（４）  ポスト露光は、高圧水銀ランプで、黒は表裏から５００ｍｊ／ｃｍ２、ＲＧＢは裏から５００ｍｊ／ｃｍ２照射した。
（５）  加熱処理は、コンべクションオーブンで基板が設定温度に達してからの保持時間を示す。
上述の条件で処理したカラーフィルターは重なり部の突起が０．５μ以下であり、また、画素のエッジ部の断面は順テーパをなしており、ＩＴＯ成膜後もクラックが発生しなかった。ＩＴＯを１４００Å形成したところ、シート抵抗値は２０Ω／□であった。更にＬＣＤに組み上げた後も液晶の配向乱れは見られなかった。
【００５９】
比較例１
Ｒ，Ｇ，Ｂ後の現像後のポスト露光を表（膜面）から行った他は実施例と同じ方法でカラーフィルターを作った。
着色画素のエッジはＲ画素とＧ画素がキノコ状、Ｂは逆台形となっており、更にブラックマトリックスと着色画素との重なり部の突起は約１μあった。このカラーフィルターにＩＴＯを実施例と同じように形成したところ、シート抵抗値はばらつき、２０〜４０Ω／□であった。詳細に調べたところ、着色画素とＢＭの境界部でＩＴＯのクラックが散見された。
また、ＬＣＤに組み上げて点灯したところ、画策の周囲からの光漏れが見られた。ＢＭと着色画素との重なり部の突起が原因で液晶の配向乱れが発生したためである。
【００６０】
【発明の効果】
ブラックマトリックスとそれぞれの着色画素との重なり部にできる突起を小さく抑えることができ、それぞれの着色画素のエッジも順テーパになるため、その上に形成されたＩＴＯにクラックが発生せず、液晶の配向乱れも起こらない。