(57)【要約】【課題】元素分析において、形態観察像と元素分布像とをリアルタイムで表示すること。【解決手段】試料上の走査により形態観察像を取得する手段（１〜６）と元素分布像を取得する手段（１１〜１６）とを備える。元素分布像取得手段は、測定データ点数を減少させて走査する間引き走査を行うことにより、形態観察像取得手段が取得する画素数よりも少ない画素数の画像データを取得する。取得する画素数を減らすことにより各画素当たりで得られる信号強度を高め、形態観察像を得る走査速度と同じ高速の走査速度であっても元素分布像を取得することができる。これにより、形態観察像と元素分布像とのリアルタイムでの取得を可能とする。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料上を走査することにより、形態観察像を取得する手段と元素分布像を取得する手段とを備え、
前記形態観察像取得手段及び元素分布像取得手段は、同一の走査周期で走査を行い、
前記元素分布像取得手段は、測定データ点数を減少させて走査する間引き走査を行って、形態観察像取得手段が取得する画素数よりも少なくい画素数の画像データを取得し、
前記形態観察像取得手段が取得する画像データと元素分布像取得手段が取得する画像データとを重ね合わせることを特徴とする、元素分析解析装置。
【請求項２】
前記元素分布像取得手段は、複数回の走査で取得する複数画像データを積算して元素分布像の一画面分の画像データを形成することを特徴とする、請求項１に記載の元素分析解析装置。
【請求項３】
形態観察像を取得する一回の走査と、元素分布像を取得する複数回の走査とを一測定周期とし、
各測定周期内において、一回の走査で取得した形態観察像の画像データと、複数回の走査で取得した画像データを逐次積算して形成される元素分布像の画像データとを重ね合わせることを特徴とする、請求項１に記載の元素分析解析装置。
【請求項４】
前記元素分布像取得手段は、形態観察像の取得中に元素分布像の検出信号強度を測定し、
当該検出信号強度に基づいて元素分布像を取得する測定データ点数及び／又は走査回数を定めることを特徴とする、請求項１乃至３の何れかに記載の元素分析解析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、分光スペクトルを用いて、元素分析や元素分布の解析を行う元素分析解析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子線マイクロアナライザー、Ｘ線分光器付き走査電子顕微鏡、蛍光Ｘ線分析装置等の元素分析装置では、試料表面の形状を表す形態観察像や、試料の元素分布を表す元素分布像の試料表面の二次元的情報を取得する。これら分析結果に基づいて試料分析を行ったり、より詳細な分析を行うには、試料上の分析領域において形態観察像と元素分分布像を比較する必要がある。
【０００３】
従来、このような２種類の画像比較を行う場合には、各画像の信号を切り替えて個別に表示したり、各画像を一つの表示画面上にそれぞれ並べて表示することが行われている。
【０００４】
この信号の切り替えにより画像表示する場合には、形態観察像と元素分布像を同時に表示することができないため、試料形態と構成元素の分布とを同時に比較することができないという問題がある。また、各画像を一つの表示画面上に並列表示する場合には、試料形態と構成元素の分布を同時に比較することができるものの、試料上の位置を正確に特定することが難しいという問題がある。
【０００５】
このような問題に対して、一つの２次元的情報の画像の上側に他の２次元的情報の画像を重ね合わせて表示し、一つの２次元的情報の画像と他の２次元的情報の画像との重なり部分において、上側の２次元的情報の画像を下側の２次元的情報の画像に優先して表示することにより、複数の２次元的情報を同一画面に同時に画像表示する画像表示方法が、例えば特許文献１に提案されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開平８−３２０２９８号公報（段落番号００１１，００１２）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記した、一つの２次元的情報の画像の上側に他の２次元的情報の画像を重ね合わせて表示する方法では、表面分析によって、試料の凹凸を表す表面形状像と元素の分布状態を表す元素分布像等の複数の２次元的情報を予め求めて記録しておき、その後、２次元的情報に色付け処理や重ね合わせ処理を行っている。
【０００８】
そのため、画像表示を行う前にマッピング分析を行っておく必要であり、分析時と表示時との間に時間差が生じることになる。通常、分析結果の表示画像を観察し、この表示画像を参照しながら、分析視野を探したり、分析位置を特定してより詳細な分析を行うため、このように分析時と表示時との間に時間差があると、分析に要する時間が長くなるという問題が生じる。また、試料が時間変化する場合には、分析結果が表示された時点では既に試料の状態や分析位置が変化している可能性があるため、リアルタイムでの分析ができないという問題がある。
【０００９】
形態観察像と元素分布像とのリアルタイムの表示には、試料の走査中に両像の信号を同時に取得することにより可能となるが、像を表示するために試料を走査している間に十分な信号強度が取得されている必要がある。しかしながら、信号強度とリアルタイム性との間にはトレードオフの関係がある。例えば、電子線励起により特性Ｘ線を検出して元素分布像を得る場合には、Ｘ線強度は電子線の励起時間に依存する。そのため、速い走査速度では一測定点当たりのビーム照射時間が短くなって、特性Ｘ線を励起する励起時間が短くなり、元素分布像を表示するのに十分な信号強度が得られなくなる。
【００１０】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、元素分析において、形態観察像と元素分布像とをリアルタイムで表示することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、形態観察像と元素分布像の画像データの取得において、元素分布像の一走査において取得する画素数を減少させることにより各画素当たりの信号量を増やし、これにより形態観察像の走査とほぼ同時に元素分布像の走査を可能としリアルタイムでの表示を可能とする。
【００１２】
また、元素分布像を複数画面で取得し、これらの複数画面で各画素の信号を積算することにより信号強度を高めることもできる。
【００１３】
本発明の元素分析解析装置は、試料上の走査により形態観察像を取得する手段と元素分布像を取得する手段とを備える。元素分布像取得手段は、測定データ点数を減少させて走査する間引き走査を行うことにより、形態観察像取得手段が取得する画素数よりも少ない画素数の画像データを取得する。取得する画素数を減らすことにより各画素当たりで得られる信号強度を高め、形態観察像を得る走査速度と同じ高速の走査速度であっても元素分布像を取得することができる。これにより、形態観察像と元素分布像とのリアルタイムでの取得を可能とする。
【００１４】
形態観察像取得手段で取得した画像データと元素分布像取得手段で取得する画像データとを重ね合わせ、この重ね合わせ像を表示することにより形態観察像と元素分布像とをリアルタイムで表示することができる。
【００１５】
また、元素分布像取得手段は、複数回の走査で取得した複数画像データを積算して元素分布像の一画面分の画像データを形成する構成を備える。複数画像データを積算することにより、一走査で得られる信号強度が不十分な場合であってもて元素分布像の信号強度を十分なものとすることができる。
【００１６】
また、形態観察像を取得する一回の走査と、元素分布像を取得する複数回の走査との組み合わせを一測定周期として画像取得を行い、各測定周期内において、一回の走査で取得した形態観察像の画像データと、複数回の走査で取得した画像データを逐次積算して形成される元素分布像の画像データとを重ね合わせる。
【００１７】
また、元素分布像取得手段は、形態観察像の取得中に元素分布像の検出信号強度を測定し、この検出信号強度に基づいて元素分布像を取得する測定データ点数及び／又は走査回数を定めるようにしてもよい。分析・解析精度とリアルタイム性は、測定データ点数及び走査回数について逆の相関関係にあり、測定データ点数と走査回数を減少させると、リアルタイム性は向上するが分析・解析精度は低下する。そこで、測定データ点数は、例えば各画素当たりの信号強度が元素分布像を得るに十分な大きさの内で最も大きな数に設定し、走査回数は、例えば積算した像の信号強度が元素分布像を得るに十分な大きさの内で最も少ない回数に設定する。
【００１８】
測定データ点数及び／又は走査回数は、形態観察像の走査と元素分布像の走査とを組む合わせた一測定周期毎に定めてもよく、これによれば、リアルタイム性を維持しながら試料の状態に応じて最適な分析・解析精度で像を得ることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
【００２０】
図１は本発明の元素分析解析装置による分析手順の概略を説明するための図である。
本発明の元素分析解析装置は、電子線マイクロアナライザー、Ｘ線分光器付き走査電子顕微鏡、蛍光Ｘ線分析装置などの分光分析装置において、形態観察像を取得する手段と、分析試料の元素分布像を取得する手段とを備える。
【００２１】
形態観察像としては、例えば、ＳＥ像（二次電子像），ＢＳＥ像（反射電子像），ＣＬ像（カソード・ルミネッセンス像），ＳＩＭ像（二次イオン像），ＡＥＳ像（オージェ電子像）等のＳＥＭ像、ＴＥＭ像（透過・回折像）、光学顕微鏡像がある。また、元素分布を得る信号としては、例えば、特性Ｘ線，光電子，オージェ電子，イオン，可視光，紫外線光，赤外光等がある。
【００２２】
分光スペクトルを用いて元素分析や元素分布の解析を行うには、はじめに、試料上に含まれる元素の種類を確認するために、広域定性分析により分光スペクトルを求め（ステップＳ１）、この分光スペクトルから試料に含まれる元素を抽出する（ステップＳ２）。
【００２３】
試料中において、分析を行う関心領域（ＲＯＩ）を選出すると共に、試料中に含まれる元素の中から元素分布を求める元素を選択する。ＲＯＩについて形態観察像を取得し（ステップＳ３）、元素分布像を取得する（ステップＳ４）。求めた形態観察像は例えばモノクロ表示する画像信号とし、元素分布像はカラー表示する画像信号として、これらの画像信号を合成する（ステップＳ５）。
【００２４】
合成した画像信号を記録媒体に記録し（ステップＳ６）、表示装置に表示する。表示された合成画像は、例えば、形態観察像はモノクロで表示され、元素分布像はカラーで色分けされて同一画面上に表示される。これにより、形態観察像と元素分布像は、画面の切り替え等の操作を行うことなく表示することができる（ステップＳ７）。
【００２５】
図２は、元素分布像、形態観察像、及び合成画像の一例を示している。図２（ａ），（ｂ），（ｃ）は、それぞれ関心領域Ａ，関心領域Ｂ，関心領域Ｃにおける元素Ａ，Ｂ，Ｃの分布を表す元素分布像を模式的に表し、図２（ｄ）は形態観察像を模式的に表している。元素分布像は例えば特性Ｘ線から求めたＸ線像とすることができ、形態観察像は例えば二次電子から求めたＳＥ像とすることができる。
【００２６】
なお、図２（ａ），（ｂ），（ｃ）の元素分布像は、後述するように、複数回の走査で取得した複数の元素分布像を積算して得るようにしてもよく、例えば、１０回の走査により得た１０フレーム分の画像を積算して画像を形成する。これにより、高速の走査速度で走査した場合であっても、表示するに十分な信号強度を得ることができる。
【００２７】
図３は、フレーム画像の積算を説明するための図である。例えば、電子線を照射して得られる特性Ｘ線を検出することにより元素分布像を取得する場合では、特性Ｘ線の検出信号強度は電子線励起時間に依存するため、試料上を走査する電子線の走査速度が速い場合には十分な励起時間を得ることができず、十分なＸ線強度が得られない。
【００２８】
そこで、各走査で得られる元素分布像を１フレームとし、複数回の走査で得られる複数フレームを積算することでＸ線強度を高める。図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は、それぞれ５フレーム，１０フレーム，１００フレーム分の元素分布像を積算した状態を模式的に示している。
【００２９】
図２（ｅ）は、取得した元素分布像（ここでは元素Ａの元素分布像）と形態観察像との合成画像を模式的に表しているが、他の元素分布像と形態観察像との組み合わせ、及び複数の元素分布像と形態観察像との組み合わせの合成画像を表示することもできる。この表示において、元素分布像をカラー表示することで形態観察像、及び元素分布像間の識別が容易となる。
【００３０】
次に、本発明の元素分析解析装置の構成例について図４を用いて説明する。
なお、図４に示す例では、形態観察像として二次電子像を用い、元素分布像としてＸ線像を用いた構成について示している。
【００３１】
図４に示す元素分析解析装置の構成例では、検出器として二次電子検出器１及びエネルギー分散型検出器１１を備え、二次電子検出器１で検出した二次電子により試料の表面形状を表す形態観察像線を形成し、エネルギー分散型検出器１１で検出した特性Ｘ線により試料の元素分布を表す元素分布像を形成する。
【００３２】
形態観察像は、二次電子検出器１で検出した二次電子をプロセスアンプ２により増幅した後、Ａ／Ｄ変換器３によりデジタル信号に変換する。また、元素分布像は、エネルギー分散型検出器１１で検出した特性Ｘ線を波形成形・エッジ検出器１２により波形成形した後、Ａ／Ｄ変換器１３によりデジタル信号に変換する。
【００３３】
二次電子及び特性Ｘ線の検出は、試料上の励起線（例えば、電子線）の走査と連動して行われる。この走査において、Ｘ方向の電子線の移動は、Ｘカウンタ２２においてメインクロック２１で形成したクロック信号を計数して一ライン上の画素に対応する二進数（例えば、０〜６４０）を出力し、Ｘ−Ｄ／Ａ変換器２４によりＸ方向の走査信号を形成し、この走査信号により走査手段（図示しない走査コイル等）を駆動することで行う。また、Ｙ方向の電子線の移動は、Ｙカウンタ２３においてメインクロック２１で形成したクロック信号を計数して全ラインに対応する二進数（例えば、０〜４８０）を出力し、Ｙ−Ｄ／Ａ変換器２５によりＹ方向の走査信号を形成し、この走査信号により走査手段（図示しない走査コイル等）を駆動することで行う。この走査は、二次電子の検出及び特性Ｘ線の検出のいずれにおいても同じ走査速度で行われる。
【００３４】
二次電子信号及び特性Ｘ線信号の取り込みは、Ａ／Ｄ変換器３，１３におけるサンプリングにより行う。このサンプリングレートは、メインクロック２１から出力されるサンプリングクロックにより設定され、高速のサンプリングクロックによれば一走査周期内で多数の検出信号が取り込まれ、低速のサンプリングクロックによれば一走査周期内で取り込まれる出信号は少なくなる。
【００３５】
二次電子信号の取り込みを行うＡ／Ｄ変換器３には、メインクロック２１から高速のサンプリングクロックが入力され、一走査周期内で多数の二次電子信号が取り込まれる。これにより、一フレーム内の画素数を増加させることができ、形態観察像のデータ数を増やして解像度を高めることができる。
【００３６】
一方、特性Ｘ線信号の取り込みを行うＡ／Ｄ変換器１３には、メインクロック２１から低速のサンプリングクロックが入力され、一走査周期内において取り込む特性Ｘ線信号の数を少なくして間引き走査が行われる。これにより、一フレーム内の画素数を減少させ、一画素当たりの電子線の励起時間を長くすることにより、二次電子信号と同じ信号強度を高めることができる。
【００３７】
二次電子信号は、Ａ／Ｄ変換器３において高速で取り込まれた後、記録手段６（メモリＩ）に記録される。なお、二次電子信号は、データ処理回路５により積算することもできる。この二次電子信号の積算は、一走査周期で取得した各画面のフレームデータを複数画面について求め、これらを信号加算することにより得ることができる。この二次電子信号の積算により、二次電子信号の信号強度が低い場合でも、十分な信号強度とすることができる。
【００３８】
特性Ｘ線信号はＡ／Ｄ変換器１３において高速で取り込まれた後、カウンタ１４においてエネルギー値に応じたカウント数が計数される。カウンタ１４は、例えば、波高弁別（エネルギー値）弁別回路により構成され、Ａ／Ｄ変換値と設定値とを比較するウィンドウコンパレータの機能を備える。このウィンドウコンパレータの設定値を異ならせた複数のカウンタ１４Ａ〜カウンタ１４Ｃを用意し、Ａ／Ｄ変換器１３からのＡ／Ｄ変換値をぞれぞれの設定値と比較し、一致した場合にカウント値を計数する。このウィンドウコンパレータの設定値を元素の種類に応じて設定することにより、各カウンタ１４（１４Ａ〜１４Ｃ）を各元素の種類に対応させる。このカウンタ１４の各カウント値は試料中に含まれる各元素の濃度を表す。
【００３９】
各カウンタ１４（１４Ａ〜１４Ｃ）が計数したカウント値は、記録手段１６Ａ（メモリＡ）〜記録手段１６Ｃ（メモリＣ）に記録される。
【００４０】
前記した各記録手段６，１６Ａ〜１６Ｃへのデータ記録は、書き込みアドレス発生器３１で形成されるアドレス信号に基づいて各画素毎に行われる。したがって、記録手段６には各画素に二次電子信号強度に基づくデータが記録され、一走査周期で取得される一フレーム内に形態観察像が記録される。また、記録手段１６には各画素に特性Ｘ線信号強度に基づくデータが記録され、一走査周期で取得される一フレーム内に各元素の元素分布像が記録される。
【００４１】
なお、書き込みアドレス発生器３１には、Ｘカウンタ２２からの水平周期信号及びＹカウンタ２３からの垂直周期信号が入力される。これより、Ｘ走査及びＹ走査との同期がとられる。また、記録手段６に記録される形態観察像と、記録手段１６に記録される元素分布像と間において、各画素間の対応付けを行うことができる。
【００４２】
また、カウンタ１４（１４Ａ〜１４Ｃ）と記録手段１６（１６Ａ〜１６Ｃ）との間にそれぞれデータ処理回路１５（１５Ａ〜１５Ｃ）を設ける。このデータ処理回路１５は、カウンタ１４で計数した複数のフレームの各カウント値を、各画素毎に積算し、これにより、記録手段１６に記録される元素分布像の信号量を増やし、元素分布像の解像度を高める。
【００４３】
記録手段６に記録された形態観察像、及び記録手段１６に記録された元素分布像は、各記録手段６，１６から色変換・ミキシング回路３２に読み出された後、カラー信号に変換される共に画像合成され、Ｄ／Ａ変換器及びビデオ変換器３４でビデオ信号に変換され、合成画像が表示手段３５に表示される。各記録手段６，１６から形態観察像及び元素分布像を読み出す際には、読み出しアドレス発生器３２からのビデオ系周期信号で行われ、データ処理回路５，１５からの書き込みとは非同期で行われる。書き込みと読み出しを非同期で行うために、記録手段６，１６はデュアルポート構成とする。
【００４４】
形態観察像のデータを格納する記録手段６は、電子線走査により一走査周期で取得する一画面分のデータ数を格納可能とする。例えば、一走査周期で６４０点×４８０ラインの二次電子検出を行う場合には、少なくとも６４０×４８０点のデータを格納する容量を備える。一方、元素分布像のデータを格納する記録手段１６は、低速のサンプリングクロックによって間引き走査を行うためデータ量が少なくなるため、必ずしも記録手段６と同じ記憶容量を備える必要はない。
【００４５】
次に、図５のフローチャート及び図６の画像例を用いて元素分析解析装置の動作例について説明する。
【００４６】
形態観察像と元素分布像の取り込みは、所定の取得周期（図６（ａ））で行う。取得周期は、試料上の分析領域を１回走査する走査周期に対応し、この一走査周期中に、一画面分の形態観察像及び元素分布像を取得する。図６（ａ）において、取得周期は、形態観察像を取得する１回の形態観察像取得周期と、元素分布像を取得する複数回の元素分布像取得周期（元素分布像取得周期１〜元素分布像取得周期ｎ）を備える。１回の形態観察像取得周期と複数回の元素分布像取得周期は一測定周期を構成し、このす測定周期を一単位として各像に取得処理を行う。
【００４７】
そこで、はじめに、高速のサンプリングクロックで二次電子信号を取り込み（ステップＳ１１）、得られた二次電子信号（ＳＥ信号）をＡ／Ｄ変換し（ステップＳ１２）、Ａ／Ｄ変換されたＳＥ信号データを記録手段に記録する（ステップＳ１３）。この処理を、一走査周期内で行って一画面分の形態観察像データを取得する。この取得周期により、図６（ｂ）に示すように、はじめの１回の走査周期で１画面分の形態観察像が取得される（ステップＳ１４）。
【００４８】
次に、その後のｎ回の走査周期でｎ画面分の元素分布像を取得する。元素分布像の取得では、低速のサンプリングクロックでエネルギー分散型検出器からの特性Ｘ線信号（ＥＤＳ信号）を取り込み（ステップＳ１５）、得られたＥＤＳ信号を波形成形及びエッジ検出してＡ／Ｄ変換し（ステップＳ１６）、Ａ／Ｄ変換されたＥＤＳ信号データを波高弁別回路でエネルギー弁別してカウントし（ステップＳ１７）、記録手段に記録する（ステップＳ１８）。この処理を、一走査周期内で行って一画面分の元素分布像データを取得し、さらに、同処理を複数の走査周期で行って複数画面分の元素分布像データを取得する。この取得周期により、図６（ｂ）に示すように、複数の走査周期で複数画面分の形態観察像が取得される。
【００４９】
各回の走査周期で取得される元素分布像の信号量は少ないが、これらの各元素分布像の信号を積算することにより十分な信号量とすることができる。図６（ｃ）は、各取得周期で取得された元素分布像を逐次積算することにより形成される積算画像１〜積算画像ｎを示している。なお、図６（ｃ）では、積算画像１は元素分布像１と同じ画像としている（ステップＳ２０）。各元素分布像（元素分布像１〜元素分布像ｎ）を取得し積算している間は、形態観察像は静止画像となる（図６（ｄ））。
【００５０】
取得した形態観察像及び積算した元素分布像をビデオ系周期信号で読み出し（ステップＳ２１）、色変換回路により元素分布像を例えば各元素毎に色分けし、ミキシング回路により形態観察像と元素分布像とを重ね合わせる（ステップＳ２２）。重ね合わせた画像データをビデオ系周期信号でＤ／Ａ変換し、表示手段に表示する。図６（ｅ）は取得した形態観察像と元素分布像とを重ね合わせて重ね合わせ像を示している（ステップＳ２３）。
【００５１】
なお、上記例では、図６（ｃ）に示すように、元素分布像取得周期１〜元素分布像取得周期ｎの画像を順次積算しているため、初期段階の元素分布像取得周期では元素分布像の信号量が少なく、元素分布像の解像度が低くなる。この場合には、各積算画像の形成において、例えば最新の元素分布像とその元素分布像から複数回前（例えば過去ｎ取得周期分）の複数回分の元素分布像を積算することにより、常に十分な信号量とすることができる。
【００５２】
ここで、電子線走査の例として、６４０点×４８０ラインの一画面を３０ｍ秒で生成するとしたとき、形態観察像と元素分布像の画像信号を同じ走査速度で取得すると、一点当たりの電子線励起時間は８３ｎ秒となり、元素分布像に十分なＸ線強度は得られない。
【００５３】
そこで、６４０点×４８０ラインを８０点×６０ラインに間引いて元素分布像を描画すると、一点当たりの電子線励起時間は５．３５μ秒となる。この場合、画面間の積算を１０回行うと一点当たりの電子線励起時間は５３．５μ秒となり、十分なＸ線強度が得られる。
【００５４】
このように元素分布像について間引きを行った場合にも、３０ｍ秒毎に画像データは更新され、リアルタイム性は十分維持される。
【００５５】
なお、間引きの程度は、信号強度に応じて変えることができ、例えば、信号強度が強い元素については画素数及びデータ数を増やして（例えば、３２０点×２４０ライン）分析を行うことができる。
【００５６】
図７は、間引きの程度を信号強度に応じて変える構成例である。この構成例は、前記図４に示した構成において、切り替え制御回路４１を設け、カウンタ１４から各元素の信号強度を取り込み、この信号強度に応じてＡ／Ｄ変換器１３の送るサンプリングクロックの信号レートを切り替える。例えば、信号強度が弱い場合には、サンプリングクロックを低速として間引きの程度を大きく設定する。
【００５７】
上記態様は、形態観察像を二次電子により求め、元素分布像を特性Ｘ線により求める例を用いて説明しているが、本発明は、形態観察像及び元素分布像は他の検出信号により求める構成にも適用することができる。
【００５８】
本発明の態様によれば、電子線の走査は高速で行うため、分析位置を移動させた場合にも、リアルタイムで元素分布を把握することができる。また、形態観察像（ＳＥ像）と元素分布像（Ｘ線像）とを重ね合わせて表示することができるため、分析位置の確認が容易となり、それぞれを表示していた場合と比べて、形態観察像（ＳＥ像）と元素分布像（Ｘ線像）とを頻繁に切り替える必要が無く、従来長時間を行っていた面分析を省くことも可能となる。
【００５９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、元素分析において、形態観察像と元素分布像とをリアルタイムで表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の元素分析解析装置による分析手順の概略を説明するための図である
【図２】本発明による元素分布像、形態観察像、及び合成画像の一例を示す図である。
【図３】フレーム画像の積算を説明するための図である。
【図４】本発明の元素分析解析装置の構成例を説明するための概略ブロック図である。
【図５】本発明の元素分析解析装置の動作例を説明するためのフローチャートである。
【図６】本発明の元素分析解析装置の動作例を説明するための画像例である。
【図７】本発明の元素分析解析装置において間引きの程度を信号強度に応じて変える構成例を説明するための概略ブロック図である。
【符号の説明】
１…二次電子検出器、２…プロセスアンプ、３…Ａ／Ｄ変換器、５…データ処理回路、６…記録手段、１１…エネルギー分散型検出器、１２…波形成形・エッジ検出器、１３…Ａ／Ｄ変換器、１４，１４Ａ〜１４Ｃ…カウンタ、１５，１５Ａ〜１５Ｃ…データ処理回路、１６，１６Ａ〜１６Ｃ…記録手段、２１…メインクロック、２２…Ｘカウンタ、２３…Ｙカウンタ、２４…Ｘ−Ｄ／Ａ変換器、２５…Ｙ−Ｄ／Ａ変換器、３１…書き込みアドレス発生器、３２…読み出しアドレス発生器、３３…色変換・ミキシング回路、３４…Ｄ／Ａ変換器，ビデオ変換器、３５…表示手段、４１…切り替え制御回路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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