(57)【要約】　　　（修正有）【課題】移送時等において被梱包体の結露を確実に防止することができ、被梱包物が結露が生じる状態となっているか否かを把握することを可能にする手段を提供する。【解決手段】被梱包体７を梱包している梱包体６には、梱包体内雰囲気の温湿度を管理し結露を防止するために、結露防止装置本体１を備えた結露防止装置が設けられている。結露防止装置には、結露防止装置本体１とケーブルで電気的に接続された、表面温度計２と、梱包体内雰囲気の温度及び湿度を測定する第１温湿度計３と、外気の温度及び湿度を測定する第２温湿度計４と、種々の情報をオペレータ等に報知するための警報部５と、バッテリ１７とが設けられている。結露防止装置は、梱包状態での移送時あるいは開梱時に、結露が生じるおそれがあるか否かを判定し、結露しないように梱包体内雰囲気を改善する。【選択図】　　　　図１
2004123203.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被梱包体を梱包体で密封梱包する梱包方法において、
被梱包体と温湿度計と電気で動作する結露防止装置とを、梱包体内部に空間が形成されるように梱包体で梱包する工程と、
前記空間に低湿度の気体を充填する工程と、
温湿度計によって測定された温湿度の値が所定値に達すれば、結露防止装置を動作させて、梱包体内雰囲気を結露が生じない方向に改善する工程とを含み、
結露防止装置の電源を、梱包体に内蔵されたバッテリと外部電源とに切り替えることを特徴とする梱包方法。
【請求項２】
結露防止装置を、梱包体の外部から無線で制御することを特徴とする請求項１に記載の梱包方法。
【請求項３】
被梱包体を梱包体で密封梱包する梱包方法において、
被梱包体と温湿度計と結露防止装置とを、梱包体内部に空間が形成されるように梱包体で梱包する工程と、
前記空間に低湿度の気体を充填する工程と、
温湿度計によって測定された温湿度の値が所定値に達すれば、結露防止装置を動作させて、梱包体内雰囲気を結露が生じない方向に改善する工程と、
梱包体の外部の温湿度を測定し、該測定値に応じて、梱包体を開梱しても結露しないように梱包体内の温湿度を調整し、該調整の完了を表示する工程とを含むことを特徴とする梱包方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造・樹脂封止装置や電子部品などの梱包（包装）方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体装置ないし電子部品の製造分野では、種々の装置ないし部品が梱包体で梱包されて移送され、あるいは保管される。そして、例えば半導体製造・樹脂封止装置や電子部品など（以下、「被梱包体」という。）の梱包（包装）方法は、従来は、ビニールシート等（梱包体）で覆うだけであった。このため、冬期などにおいては、屋外ないし普通の倉庫内に置かれている、被梱包体が梱包体によって梱包されてなる物体（以下、「梱包物」という。）は、大気により冷却されて低温状態となる。
【０００３】
この状態で、梱包物が、クリーンルームなどの、被梱包体とは温度差のある場所（高温の場所）に移送されると、急激な温度変化により、被梱包体の表面に結露が発生し、その結果、被梱包体である基板・電子部品等に故障やサビが発生することがある。このため、このような場合は、被梱包体を、結露が発生しないように開梱室に仮置きするなどして、段階的に昇温しなければならない（被梱包体を急激に昇温できない）ので、被梱包体の搬入に時間がかかるといった問題がある。そこで、被梱包体表面での結露を防止し、あるいは梱包体内を除湿するための種々の手法が提案されている（例えば、特許文献１〜５参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−２９４２３８号公報（段落番号［００１１］、図２）
【特許文献２】
特開２００２−１２２３８２号公報（段落番号［００１７］、図１）
【特許文献３】
特開平６−３２３６０３号公報（段落番号［００１５］、図１）
【特許文献４】
特開昭６０−１６７４１４号公報（第１８〜第１９頁、第２図）
【特許文献５】
特開平２−１３９３７５号公報（第４頁、第７頁）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の結露防止手法ないし除湿手法では、移送時における結露を確実に防止することは困難であるといった問題がある。そこで、移送時における被梱包体表面での結露やサビの発生を防止するため、温度調整器付きの移送手段（例えば、トラック）で移送するといった対応も考えられるが、この場合、移送費用が非常に高くつくといった問題がある。
【０００６】
また、被梱包体を梱包体（例えば、ビニールシート等）で梱包する際、梱包体内に除湿剤を入れ、結露やサビを防止するといった対応も考えられる。しかし、吸湿剤は吸湿速度が小さいので、梱包体内の雰囲気の除湿に時間がかかる。なお、この場合、被梱包体が結露が生じない状態となっているか否かを把握することが困難であるといった問題もある。そして、除湿が完了するまで、梱包物を急激な温度変化が生じる場所へ移送することはできないので、被梱包体の搬入・搬出に時間がかかるといった問題がある。
【０００７】
本発明は、上記従来の問題を解決するためになされたものであって、移送時等において被梱包体の結露を確実に防止することができる手段を提供することを目的ないし解決すべき課題とする。また、被梱包物が結露が生じる状態となっているか否かを把握することを可能にする手段を提供することも目的ないし解決すべき課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためになされた本発明にかかる梱包方法は、（ｉ）被梱包体を梱包体で密封梱包する梱包方法において、（ｉｉ）被梱包体と温湿度計と電気で動作する結露防止装置とを、梱包体内部に空間が形成されるように梱包体で梱包する工程と、（ｉｉｉ）前記空間に低湿度の気体を充填する工程と、（ｉｖ）温湿度計によって測定された温湿度の値が所定値に達すれば、結露防止装置を動作させて、梱包体内雰囲気を結露が生じない方向に改善する工程とを含み、（ｖ）結露防止装置の電源を、梱包体に内蔵されたバッテリと外部電源とに切り替えることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明にかかるもう１つの梱包方法は、（ｉ）被梱包体を梱包体で密封梱包する梱包方法において、（ｉｉ）被梱包体と温湿度計と結露防止装置とを、梱包体内部に空間が形成されるように梱包体で梱包する工程と、（ｉｉｉ）前記空間に低湿度の気体を充填する工程と、（ｉｖ）温湿度計によって測定された温湿度の値が所定値に達すれば、結露防止装置を動作させて、梱包体内雰囲気を結露が生じない方向に改善する工程と、（ｖ）梱包体の外部の温湿度を測定し、該測定値に応じて、梱包体を開梱しても結露しないように梱包体内の温湿度を調整し、該調整の完了を表示する工程とを含むことを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ具体的に説明する。
実施の形態１．
図１は、被梱包体（例えば、半導体製造・樹脂封止装置、電子部品等）が、本発明にかかる梱包方法により梱包体内に梱包（包装）されてなる梱包物を透視的に示している。また、図２は、図１に示す梱包体に付設された、梱包体内雰囲気での結露を防止するための結露防止装置の内部構成を示している。なお、この明細書において、「梱包方法」は、被梱包体を梱包する方法と、梱包されている被梱包物を開梱する方法とを含む概念である。
【００１１】
図１に示すように、この結露防止装置には、電気で動作する結露防止装置本体１が設けられている。さらに、結露防止装置には、それぞれこの結露防止装置本体１とケーブル（導線）を用いて電気的に接続された、被梱包体表面の温度を測定する表面温度計２と、梱包体内雰囲気の温度及び湿度を測定する第１温湿度計３と、外気（梱包体外の大気）の温度及び湿度を測定する第２温湿度計４と、所定の情報（例えば、リークの発生、結露が生じ易い状態の発生等）をオペレータ等に通知するための警報部５（例えば、ＬＥＤ、ブザー等）と、バッテリ１７とが設けられている。
【００１２】
ここで、結露防止装置本体１と、表面温度計２と、第１温湿度計３と、バッテリ１７とは、梱包体６内の空間部に収容されている。なお、表面温度計２は、被梱包体７の表面上の複数（もちろん、１つでもよい）の部位に取り付けられている。他方、第２温湿度計４と警報部５とは、梱包体６の外部に設けられている。電気で動作する結露防止装置本体１の電源は、梱包物が置かれた状況に応じて、バッテリ１７と外部電源とに任意に切り替えることができるようになっている。例えば、外部電源との接続が容易な状態であれば外部電源を使用し、外部電源との接続が困難又は不可能な状態であればバッテリ１７を使用することができる。
【００１３】
梱包体６の１つの側面（図１では、右側の側面）には、低湿度の気体（例えば、低湿度の空気又は不活性ガス）を梱包体６内（空間部）に導入するための気体入口８が設けられ、上記側面と対向する側面（図１では、左側の側面）には、梱包体６内の気体を外部へ排出するための気体出口９が設けられている。
【００１４】
以下、結露防止装置本体１の内部構成を説明する。
図２に示すように、結露防止装置本体１には、第１演算回路１０と第２演算回路１１とが設けられている。第１演算回路１０には、第２温湿度計４によって測定された外気の温度及び湿度が入力され、第１演算回路１０は、この温度及び湿度から、外気の露点温度を演算する。他方、第２演算回路１１には、第１温湿度計３によって測定された梱包体内の空間部の温度及び湿度が入力され、第２演算回路１１は、この温度及び湿度から、梱包体６内の空間部（梱包体内雰囲気）の露点温度を演算する。
【００１５】
第１、第２演算回路１０、１１によって算出された各露点温度は、それぞれ、第１、第２加減算回路１２、１３を介して、第１、第２比較回路１４、１５に送られる。第１、第２比較回路１４、１５には、表面温度計２によって測定された被梱包体７の表面温度も入力される。なお、第１、第２加減算回路１２、１３及び第１、第２比較回路１４、１５の機能は、後で説明する。また、結露防止装置本体１には、第３演算回路１６が設けられ、この第３演算回路１６には、第１温湿度計３によって測定された梱包体内の空間部の温度及び湿度が入力される。第３演算回路１６は、後で説明するように、密封されている梱包体６の空間部のリークの有無を判定する。
【００１６】
以下、図１及び図２を参照しつつ、実施の形態１にかかる梱包方法を具体的に説明する。
梱包体６（例えば、耐湿シート等）には、予め、結露防止装置本体１と、表面温度計２と、両温湿度計３、４と、警報部５と、バッテリ１７とがセットされている。そして、被梱包体７を梱包体６で梱包する際には、まず、梱包体６内（空間部）に被梱包体７を収容し、被梱包体７の表面の所定の部位に表面温度計２を取り付ける。なお、図１から明らかなとおり、梱包体６内の空間部は被梱包体７で埋め尽くされるわけではなく、梱包体６と被梱包体７との間には、かなりの空間部（すなわち、梱包体内雰囲気）が残存する。
【００１７】
次に、気体入口８から梱包体６内に、低湿度の気体、例えば低湿度の空気又は不活性ガスを注入し、梱包体６内の空気を気体出口９から排出し、梱包体内雰囲気の除湿を行う。なお、図１に示す梱包体６では、気体入口８と気体出口９とが、それぞれ、１つずつ設けられているが、これらは複数設けられてもよい。また、気体出口９から梱包内空間部を吸引し、除湿速度を高めるようにしてもよい。
【００１８】
ここで、梱包体内雰囲気の湿度を温湿度計３で測定し、該湿度が目標湿度値（例えば、０％）まで低下（除湿）すれば、気体入口８と気体出口９とを閉止して梱包体内雰囲気を密封し、梱包体内雰囲気に外気が入り込まないようにする。気体入口８及び気体出口９の閉止は、梱包体６の壁部の熱溶着、圧着等で行う。なお、気体入口８及び気体出口９にそれぞれ開閉弁を設け、該開閉弁を閉じることにより梱包体内雰囲気を密封するようにしてもよい。
【００１９】
結露防止装置本体１は、リークチェック機能を有している。すなわち、結露防止装置本体１の第３演算回路１６は、梱包体内雰囲気が密封された時点から設定時間内での、梱包体内雰囲気の湿度の変化量から、梱包体６のリーク穴の有無を判断する。梱包体６にリーク穴が有ると判断した場合は、警報部５に警報を出力する。
【００２０】
梱包体内雰囲気を密封した後、梱包体内雰囲気の温度及び湿度を第１温湿度計３で測定（モニタリング）し、測定結果を結露防止装置本体１の第２演算回路１１に出力させる。第２演算回路１１は、この温度及び湿度から、例えば相対湿度表を参照するなどして梱包体内雰囲気の露点温度（以下、「梱包体内露点温度」という。）を算出し、この梱包体内露点温度を第２加減算回路１３を介して第２比較回路１５に出力する。なお、加減算回路１３により、梱包体内露点温度を任意に補正ないし変更することができる。例えば、一定のマージンをとりたい場合は、梱包体内露点温度に補正値α（℃）を加算する。
【００２１】
かくして、第２比較回路１５は、表面温度計２によって測定された被梱包体７の表面温度を、梱包体内露点温度又はこれに補正値を加算した値（以下、単に「梱包体内露点温度」という。）と比較する。そして、被梱包体７の表面温度が梱包体内露点温度以下の場合は、被梱包体７の表面に結露が生じるおそれがあるので、その旨を警告する警報を警報部５に出力する。さらに、結露防止装置を動作させ、梱包体内雰囲気を結露が生じない方向に改善する。例えば、
【００２２】
以下、結露防止装置の開梱可否判断機能を説明する。
被梱包体７を開梱する際、被梱包体７の表面温度が外気の露点温度以下であれば、被梱包体７の表面に結露が生じてしまう。そこで、この結露防止装置は、その場所で被梱包体７を開梱しても結露しないかを判定し、その判定結果を通知する。
【００２３】
被梱包体７を開梱する際には、まず、梱包体６の外側に配設された第２温湿度計４で、外気（梱包体６の外雰囲気）の温度及び湿度を測定（モニタリング）し、測定結果を結露防止装置本体１の第１演算回路１０に出力する。第１演算回路１０は、この温度及び湿度から、例えば相対湿度表を参照するなどして外気の露点温度（以下、「外気露点温度」という。）を算出し、この外気露点温度を第１加減算回路１２を介して第１比較回路１４に出力する。なお、第１加減算回路１２により、外気露点温度を任意に補正ないし変更することができる。例えば、一定のマージンをとりたい場合は、外気露点温度に補正値α（℃）を加算する。
【００２４】
かくして、第１比較回路１４は、表面温度計２によって測定された被梱包体７の表面温度を、外気露点温度又はこれに補正値を加算した値（以下、単に「外気露点温度」という。）と比較する。そして、被梱包体７の表面温度が外気露点温度以下の場合は、開梱により被梱包体７の表面に結露が生じるおそれがあるので、開梱を禁止する通知を警報部５に出力する。さらに、結露防止装置を動作させ、梱包体内雰囲気を結露が生じない方向に改善する。例えば、梱包体内雰囲気を昇温して被梱包体７の表面温度を高め、該表面温度が外気露点温度よりも高くなるようにする。
【００２５】
実施の形態１にかかる梱包方法によれば、被梱包体７が梱包体６によって梱包された状態にあるときには、梱包体内雰囲気の温度及び湿度と被梱包体７の表面温度とに基づいて、被梱包体７の表面に結露が生じるおそれがあるか否かが判定され、判定結果が警報部５を介して通知される。したがって、オペレータ等は、被梱包体７の表面に結露が生じるおそれがあるか否かを確実に把握することができる。さらに、被梱包体７の表面に結露が生じるおそれがある場合は、結露を防止する方向に梱包体内雰囲気が改善されるので、被梱包体７の表面に結露が生じるのを確実に防止することができる。
【００２６】
また、梱包された被梱包体７を開梱する際には、結露防止装置によって、外気の温度及び湿度と被梱包体７の表面温度とに基づいて、開梱時に被梱包体７の表面に結露が生じるおそれがあるか否かが判定され、判定結果が警報部５を介して通知される。したがって、オペレータ等は、被梱包体を開梱してもよいか否かを確実に把握することができる。さらに、被梱包体７の表面に結露が生じるおそれがある場合は、結露を防止する方向に梱包体内雰囲気が改善されるので、被梱包体７を迅速に開梱することが可能となる。
【００２７】
さらに、結露防止装置（結露防止装置本体１）の電源を、バッテリ１７と外部電源とに任意に切り替えることができるので、外部電源に接続するのが困難あるいは不可能な場合でも、内蔵のバッテリ１６で結露防止装置を動作させることができる。このため、梱包物の移送時においても、被梱包体表面に結露が生じるのを確実に防止することができる。
以上、実施の形態１によれば、安価で信頼性の高い梱包方法を実現することができ、例えば半導体製造・樹脂封止装置や電子部品などの被梱包体に結露やサビが生じるのを有効に防止することができる。
【００２８】
実施の形態２．
以下、図３を参照しつつ、本発明の実施の形態２を説明する。しかしながら、実施の形態２にかかる梱包方法は、実施の形態１にかかる梱包方法と多くの共通点を有する。そこで、以下では、説明の重複を避けるため、主として実施の形態１と異なる点を説明する。なお、図３に示す梱包物ないし結露防止装置において、図１に示す梱包物ないし結露防止装置と共通の部材には、同一の参照番号が付されている。
【００２９】
図３に示すように、実施の形態２では、結露防止装置本体１は、表面温度計２、第１温湿度計３、第２温湿度計４及び警報部５とは、ケーブル接続で信号をやり取りするのではなく、コードレス通信で信号をやり取りする。なお、実施の形態２では、表面温度計２、第１温湿度計３、第２温湿度計４及び警報部５は、それぞれ、個別に通信用の電源を備えている。その他の点については、実施の形態１の場合と同様である。実施の形態２にかかる梱包方法によれば、梱包体６に、ケーブルを通すための穴を開ける必要がないので、梱包体内雰囲気から低湿度の気体（低湿度の空気又は不活性ガス）がリークする可能性が低くなる。
【００３０】
実施の形態２においては、複数の梱包物中の１つの梱包物（以下、「メイン梱包物」という。）のみを上記構成とし、その他の梱包物には結露防止装置本体１を設けずに表面温度計２と第１温湿度計３と第２温湿度計４と警報部５とだけを設け、メイン梱包物の結露防止装置本体１で、その他の梱包物の温湿度ないし結露発生状況を管理するようにしてもよい。この場合、複数の梱包物に対して結露防止装置本体１を１つ設けるだけでよいので、梱包に要する費用を節減することができる。また、遠隔地への警告信号の出力が可能となる。ただし、メイン梱包物自体については、実施の形態１と同様の温湿度の管理ないし結露防止動作を行うことができるが、その他の梱包物については、温湿度ないし結露状況の通知ないし警告を行うことはできるが、結露防止動作を行うことはできない。
【００３１】
実施の形態３．
以下、図４を参照しつつ、本発明の実施の形態３を説明する。しかしながら、実施の形態３にかかる梱包方法は、実施の形態１にかかる梱包方法と多くの共通点を有する。そこで、以下では、説明の重複を避けるため、主として実施の形態１と異なる点を説明する。なお、図４に示す梱包物ないし結露防止装置において、図１に示す梱包物ないし結露防止装置と共通の部材には、同一の参照番号が付されている。
【００３２】
図４に示すように、実施の形態３では、結露防止装置に圧力計１８が設けられ、圧力計１８によって検出される梱包体内雰囲気の圧力変動に基づいてリークチェックを行うようにしている。その他の点については、実施の形態１の場合と同様である。実施の形態３にかかる梱包方法によれば、実施の形態１にかかる梱包方法と同様の作用・効果が得られるほか、梱包体内雰囲気のリークの有無をより正確にかつ迅速に検出することができる。
【００３３】
実施の形態４．
以下、図５を参照しつつ、本発明の実施の形態４を説明する。しかしながら、実施の形態４にかかる梱包方法は、実施の形態１にかかる梱包方法と多くの共通点を有する。そこで、以下では、説明の重複を避けるため、主として実施の形態１と異なる点を説明する。なお、図５に示す梱包物ないし結露防止装置において、図１に示す梱包物ないし結露防止装置と共通の部材には、同一の参照番号が付されている。
【００３４】
図５に示すように、実施の形態４では、結露防止装置に、除湿ユニット２１（除湿機又は水分吸着体）と、第１発熱体２２と、第２発熱体２３とが設けられている。その他の点については、実施の形態１の場合と同様である。そして、第１、第２比較回路１４、１５（図２参照）によって、被梱包体７の表面に結露が発生するおそれがあると判定された場合は、結露の発生を防止するために、除湿ユニット２１により梱包体内雰囲気を除湿するとともに、第１、第２発熱体２２、２３により梱包体内雰囲気及び被梱包体表面を昇温させる。
【００３５】
実施の形態４にかかる梱包方法によれば、実施の形態１にかかる梱包方法と同様の作用・効果が得られるほか、結露を防止するために梱包体６ないし被梱包体７を昇温する際には、実施の形態１の場合などに比べて、その昇温に要する時間（待ち時間）が短縮され、あるいは皆無となるので、被梱包体７の搬入時間を短縮することができる。
【００３６】
【発明の効果】
本発明にかかる１つの梱包方法によれば、被梱包体の結露を確実に防止することができ、かつ被梱包物が結露が生じる状態となっているか否かを正確に把握することができ、梱包体内の結露防止管理を確実に行うことができる。このため、梱包体内の結露による被梱包体の劣化を確実に防止することができる。さらに、結露防止装置の電源を、バッテリと外部電源とに任意に切り替えることができるので、外部電源に接続するのが困難あるいは不可能な場合でも、内蔵のバッテリで結露防止装置を動作させることができる。このため、梱包物の移送時においても、被梱包体表面に結露が生じるのを確実に防止することができる。
【００３７】
また、本発明にかかるもう１つの梱包方法によれば、梱包体から開梱までの結露防止管理を確実に行うことができるだけでなく、開梱可能になったことが表示されるので、的確な開梱をタイムリーに行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる、被梱包体が梱包体に梱包されてなる梱包物の透視図である。
【図２】図１に示す梱包物に付設された結露防止装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態２にかかる、被梱包体が梱包体に梱包されてなる梱包物の透視図である。
【図４】本発明の実施の形態３にかかる、被梱包体が梱包体に梱包されてなる梱包物の透視図である。
【図５】本発明の実施の形態４にかかる、被梱包体が梱包体に梱包されてなる梱包物の透視図である。
【符号の説明】
１　結露防止装置本体、　２　表面温度計、　３　第１温湿度計、　４　第２温湿度計、　５　警報部、　６　梱包体、　７　被梱包体、　８　気体入口、　９　気体出口、　１０　第１演算回路、　１１　第２演算回路、　１２　第１加減算回路、　１３　第２加減算回路、　１４　第１比較回路、　１５　第２比較回路、　１６　第３演算回路、　１７　バッテリ、　１８　圧力計、　２１　除湿ユニット、　２２　第１発熱体、　２３　第２発熱体。
【図１】
2004123203.tif 000003
【図２】
2004123203.tif 000004
【図３】
2004123203.tif 000005
【図４】
2004123203.tif 000006
【図５】
2004123203.tif 000007