(57)【要約】【課題】非大気雰囲気内に於いて位置決め対象の高速・高精度位置決めを可能とする小型化可能な装置構成の位置決め装置に於ける衝撃吸収装置である。【解決手段】ステージ装置１００と、ステージ装置１００が搭載される本体装置２００と、ステージ装置１００を搭載する領域を真空またはパージされた雰囲気に保つ容器２０２を含む位置決め装置に於いて、衝撃吸収装置３００は、ステージ装置１００のストロークエンドに配置され、ステージ装置１００とは別体の支持部材２０２ｂに固定されている。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ装置と、前記ステージ装置が搭載される本体装置と、前記ステージ装置を搭載する領域を真空またはパージされた雰囲気に保つ容器を含む位置決め装置に於いて前記ステージ装置のストロークエンドに配置される衝撃吸収装置であって、前記ステージ装置とは別体の支持部材に固定されていることを特徴とする衝撃吸収装置。
【請求項２】
前記支持部材が前記容器の隔壁部材であることを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収装置。
【請求項３】
衝撃吸収体と、一端が前記容器内に挿入され、他方の端部が前記容器外にある前記衝撃吸収体に圧接している棒状部材と、一端が前記棒状部材に気密性をもって固定され、他方の端部が前記衝撃吸収体または衝撃吸収体の取付部材に気密性をもって固定されているシール部材と、前記棒状部材のガイド部材と、前記衝撃吸収体または取付部材を前記容器の隔壁部材に気密性を持って固定する、前記棒状部材と略同軸上に配置されるフランジ部材から構成されることを特徴とする請求項１または２に記載の衝撃吸収装置。
【請求項４】
前記衝撃吸収体の取付部材には、衝撃吸収体と略同心状に薄肉部が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の衝撃吸収装置。
【請求項５】
前記衝撃吸収体の取付部材には、梁状の薄肉部が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の衝撃吸収装置。
【請求項６】
衝撃吸収装置を構成する衝撃吸収体が前記本体装置に設けられた支持部材に支持されていることを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収装置。
【請求項７】
衝撃吸収体と、一端が前記容器内に挿入され、他方の端部が前記容器外にある前記衝撃吸収体に圧接している棒状部材と、前記棒状部材を隔壁部材に気密性をもって固定する、棒状部材と略同軸上に配置されるフランジ部材と、前記棒状部材のガイド部材と、一端が前記棒状部材に気密性をもって固定され、他方の端部が前記フランジ部材に気密性をもって固定されているシール部材と、前記本体装置のベース定盤に設けられた、前記衝撃吸収体または衝撃吸収体の取付部材を保持する支持部材から構成されることを特徴とする請求項６に記載の衝撃吸収装置。
【請求項８】
前記シール部材と前記支持部材とで構成される前記容器外の空間を気密性をもって覆う第２のシール部材と、前記棒状部材と前記支持部材の隙間の気密を保つ第３のシール部材と、前記第２のシール部材で覆われた空間を略真空に引く手段を更に設けたことを特徴とする請求項７に記載の衝撃吸収装置。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れかに記載の衝撃吸収装置を有することを特徴とする位置決め装置。
【請求項１０】
前記ステージ装置は２次元的に位置決めを行うＸＹステージであることを特徴とする請求項９に記載の位置決め装置。
【請求項１１】
前記本体装置が電子ビーム描画装置であることを特徴とする請求項９または１０に記載の位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子線描画装置、精密計測機等の非大気雰囲気中で高速移動、精密位置決めを繰り返す或いは高精度にスキャン移動する移動案内・位置決め装置に於ける衝撃吸収装置、該装置を用いた露光装置等に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１３は従来の位置決め装置であるＸＹステージの平面図で、図１４は図１３の正面図である。これらの図に於いて、５０１はベース基板、５０２はＸ移動基板、５０３はＹ移動基板である。ベース基板５０１には、Ｘ移動基板５０２を第１の位置決め方向であるＸ軸方向に案内する案内部材５０４が設けられ、Ｘ移動基板５０２には、Ｙ移動基板５０３を第２の位置決め方向であるＹ軸方向に案内する案内部材５０５が設けられている。Ｘ移動基板５０２の裏面には、案内部材５０４に沿って移動が可能な案内ブロック部材５０６が設けられ、同じくＹ移動基板５０３の裏面には、案内部材５０５に沿って移動が可能な案内ブロック部材５０７が設けられている。Ｙ移動基板５０３上には、試料を搭載するためのチャッキング装置等を搭載する天板部材５０９があり、位置計測のための反射ミラー５１０、５１１が取付けられている。ベース基板５０１には、Ｘ移動基板５０２のストロークエンド相当位置に衝撃吸収装置であるショックアブソーバ５１２が取付け部材５１３を介して配置されている。Ｘ移動基板５０２には、Ｙ移動基板５０３のストロークエンド相当位置に衝撃吸収装置であるショックアブソーバ５１２が取付け部材５１４を介して配置されている。
【０００３】
また、真空容器内に収められた搬送アームの駆動系にショックアブソーバを用いている例もある（特許文献１参照）。この例では、ロードロック室内のウェハーカセットを載置するカセット台を回転、昇降させる駆動機構を設け、駆動機構はロータリーアクチュエータ、カセットエレベータからなり、ロードロック室外部のハウジングに収容されている。駆動軸の周囲には軸方向運動時の気密を確保するようにベローズが設けられており、カセットエレベータ下降端部には下降端での位置決め時の衝撃を吸収するショックアブソーバが構成されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−３４０９３８号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１３、図１４に示される従来例に於いては、ＸＹステージを真空容器内に設置する場合、真空対応で且つ小型軽量の衝撃吸収装置であるショックアブソーバを容易に入手することが難しい。また、例えばベローズ部材を用いて密閉構造のカバーを設置する場合も、小型化設計は難しく、ステージ装置の大型化を招き、それに伴って真空容器も大型化し、真空ポンプ等の付帯設備も大型となり装置コストアップに繋がる。また、大型化した真空容器を所望の圧力に達するまで排気するには長い時間を要し、メンテナンス時間等が長くなり、生産性を低下させる。また更には、ショックアブソーバが繰り返し機能したとき、容器内に於いてショックアブソーバ内部の流体のリークの懸念がある。
【０００６】
他方、特開平１０−３４０９３８号公報の例では、ショックアブソーバを真空容器の外に配置することで上記の課題（大型化の問題、リークの懸念）を解決している。しかしながら、この従来例では、高剛性な送り系を構成するのが難しく、また、軸方向駆動時の気密性を確保するために駆動軸周囲にベローズが設けられているが、このベローズを介して外乱が位置決め対象に伝達され得る構造になっている。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、非大気雰囲気内に於いて高速・高精度位置決めを可能とする小型化可能な装置構成の位置決め装置に於ける衝撃吸収装置、該装置を用いた位置決め装置等を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段および作用】
上記目的を達成する本発明の衝撃吸収装置は、ステージ装置と、ステージ装置が搭載される本体装置と、ステージ装置を搭載する領域を真空またはパージされた雰囲気に保つ容器を含む位置決め装置に於いてステージ装置のストロークエンドに配置される衝撃吸収装置であって、ステージ装置とは別体の支持部材に固定されていることを特徴とする。この構成では、衝撃吸収装置が、駆動系を含むステージ装置とは別体の支持部材に固定されているので、ステージ装置の大型化を防ぎ、非大気雰囲気内に於いて位置決め対象の高速・高精度位置決めを可能とする。
【０００９】
上記基本構成に基づいて、以下の如き態様が可能である。
上記衝撃吸収装置の支持部材は容器の隔壁部材であり得る。この場合、より具体的には、衝撃吸収装置は、衝撃吸収体と、一端が前記容器内に挿入され、他方の端部が容器外にある衝撃吸収体に圧接している棒状部材と、一端が棒状部材に気密性をもって固定され、他方の端部が衝撃吸収体または衝撃吸収体の取付部材に気密性をもって固定されているシール部材と、棒状部材のガイド部材と、衝撃吸収体または取付部材を前記容器の隔壁部材に気密性を持って固定する、棒状部材と略同軸上に配置されるフランジ部材から構成され得る。これらの構成によれば、衝撃吸収体は容器の隔壁部材の外側に配置されるので、衝撃吸収体内からの流体のリークによる容器内部の環境汚染を防ぐことができる。
【００１０】
また、上記衝撃吸収体の取付部材には薄肉部が設けられ得る。この構成によれば、衝撃吸収装置に過大な力が作用した場合も、この薄肉部が変形または破損することで容器の破損を確実に防ぎ、内部の環境を保持することができる。
【００１１】
また、前記衝撃吸収装置を構成する衝撃吸収体は、前記本体装置に設けられた支持部材に支持され得る。この構成によっても、衝撃吸収装置に過大な力が作用した場合も、支持部材側が変形または破損することで容器の破損を確実に防ぎ、内部の環境を保持することができる。この場合、より具体的には、衝撃吸収装置は、衝撃吸収体と、一端が容器内に挿入され、他方の端部が容器外にある衝撃吸収体に圧接している棒状部材と、棒状部材を隔壁部材に気密性をもって固定する、棒状部材と略同軸上に配置されるフランジ部材と、棒状部材のガイド部材と、一端が棒状部材に気密性をもって固定され、他方の端部がフランジ部材に気密性をもって固定されているシール部材と、本体装置のベース定盤に設けられた、衝撃吸収体または衝撃吸収体の取付部材を保持する支持部材から構成され得る。
【００１２】
この場合、衝撃吸収装置には、シール部材と支持部材とで構成される容器外の空間を気密性をもって覆う第２のシール部材と、棒状部材と支持部材の隙間の気密を保つ第３のシール部材と、第２のシール部材で覆われた空間を略真空に引く手段を更に設け得る。この構成によれば、容器の内部と外部の差圧により衝撃吸収装置に作用する力をキャンセルすることができ、効率的に且つ確実に衝突エネルギーをソフトに吸収することができる。
【００１３】
更に、上記目的を達成する本発明の位置決め装置は、上記の衝撃吸収装置を有することを特徴とする。この構成によれば、ステージ装置がＸＹステージである場合、非大気雰囲気内で高速・高精度な２次元的な位置決めが可能である。また、本体装置が電子ビーム描画装置である場合、高精度で低コストな装置の実現を可能とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を明らかにすべく実施例を図面に沿って説明する。
【００１５】
（第１実施例）
図１は、本発明に係る位置決め装置の第１実施例の平面図で、図２は図１のＡ−Ａ断面図、図３は図１のＢ−Ｂ断面図である。本実施例のＸＹステージ装置１００は以下の構成要素により構成される。１はベース定盤で、２はＸ軸静圧ラジアル軸受、３はＸ軸静圧平面軸受で、対向する軸受３ａ、３ｂで構成される。４はＹ軸静圧ラジアル軸受、５はＹ軸静圧平面軸受で、対向する軸受５ａ、５ｂで構成される。６はＸ軸ラジアル移動体、７はＸ軸平面移動体、８はＸ軸駆動体、９はＸ軸リニアモータ、１０はＹ軸ラジアル移動体、１１はＹ軸平面移動体、１２はＹ軸駆動体、１３はＹ軸リニアモータである。
【００１６】
更に、１４はＸＹ移動体で、Ｘ移動体１４ａとＹ移動体１４ｂと天板１４ｃからなり、夫々一体的に固定されている。Ｙ移動体１４ｂ下面には、軸受１５と予圧手段である永久磁石１６が設けられており、ＸＹ移動体１４をベース定盤１の上面基準に沿って非接触で案内する。Ｘ移動体１４ａのＹ駆動軸１２の側面に対向する面には軸受１７が設けられており、Ｘ移動体１４ａをＹ駆動体１２の側面をガイドとしてＸ軸方向に移動可能に支承する。Ｙ移動体１４ｂのＸ駆動軸８の側面に対向する面には軸受１８が設けられており、Ｙ移動体１４ｂをＸ駆動体８の側面をガイドとしてＹ軸方向に移動可能に支承する。天板１４ｃ上には試料を載置するためのチャッキング装置等を搭載する天板部材１９があり、位置計測のための反射ミラー２０、２１が取付けられる。
【００１７】
本体装置２００は以下の構成要素により構成される。２０１は本体定盤、２０２は真空容器であり、底板２０２ａ、側板２０２ｂ、天板２０２ｃから構成され、ベース定盤２０１上に固定される。本体定盤２０１は図示しない除振台等の支持機構上に載置される。２０３はスペーサで、ＸＹステージ装置１００の重心近傍を中心とした略３等分位置に配置される。２０４はＸＹステージ装置１００を載置する面２０４ａを有する搭載板で、スペーサ２０３で３点支持される。上記構成でＸＹステージ装置１００は載置面２０４ａ上に搭載され、位置決めピン２０５で本体装置２００に対して位置決めされ固定される。真空容器２０２には図示しない排気管路および真空ポンプが接続されており、真空容器２０２内部を真空またはＮ２、Ｈｅ等でパージできるように構成されている。
【００１８】
図４は、Ｘ軸静圧ラジアル軸受２およびＹ軸静圧ラジアル軸受４の概念的な断面図である。１０１はＸ軸ラジアル移動体６またはＹ軸ラジアル移動体１０に相当する断面円形状の円筒軸部材である。１０２は軸部材１０１と略同軸状に配置されたハウジングで、内径部には軸受ブッシュ１０３が設けられている。１０４は、軸受ブッシュ１０３の両端部に設けられたラビリンス溝１０４ａ、ランド部１０４ｂで構成される差動排気部で、少なくとも２段以上の溝とランド部より構成される。上記構成に於いて、真空容器２０２の側板２０２ｂに設けられた図示しないフィードスルーを経由して、給気口１０５より加圧流体を軸受ブッシュ１０３に供給すると、円筒軸部材１０１は非接触支持される。軸受ブッシュ１０３から噴出した加圧流体は、真空容器２０２の側板２０２ｂに設けられた図示しないフィードスルーを経由して、排気管路１０６および排気管路１０７に接続された図示しない真空ポンプにより強制的に排気され、微小隙間１０８からは極微量の圧力流体が漏れ出すだけとなる。
【００１９】
図５は、Ｘ軸静圧平面軸受３およびＹ軸静圧平面軸受５を構成する軸受３ａ、３ｂ、５ａ、５ｂ、および軸受１５、１７、１８の概念的な断面図である。１０９はＸ軸平面移動体７、Ｙ軸平面移動体１１、Ｘ軸駆動体８、Ｙ軸駆動体１２、ベース定盤１に相当する平面軸部材である。１１０は平面軸部材１０９と並行に配置されたハウジングで、中央部には軸受パッド１１１が設けられている。１１２は、軸受パッド１１１を略同心状に取り囲むように設けられたラビリンス溝１１２ａ、ランド部１１２ｂで構成される差動排気部で、少なくとも２段以上の溝とランド部より構成される。上記構成に於いて、真空容器２０２の側板２０２ｂに設けられた図示しないフィードスルーを経由して、給気口１１３より加圧流体を軸受パッド１１１に供給すると、平面軸部材１０９とハウジング１１０とは相対的に非接触支持される。軸受パッド１１１から噴出した加圧流体は、真空容器２０２の側板２０２ｂに設けられた図示しないフィードスルーを経由して、排気管路１１４および排気管路１１５に接続された図示しない真空ポンプにより強制的に排気され、微小隙間１１６からは極微量の圧力流体が漏れ出すだけとなる。
【００２０】
図６は図２および図３の部分拡大図で、本実施例の特徴部分である衝撃吸収装置３００の構造を示している。衝撃吸収装置３００は側板２０２ｂに固定されている。３０１はロッド、３０２はロッド３０１と略同軸状に構成され側板２０２ｂにＯリング３０２ａを介在して気密性をもって固定されるフランジ部材、３０３はフランジ部材３０２の蓋で、Ｏリング３０３ａによって接合面は気密を保たれている。３０４はロッド３０１端部に突き当てられている衝撃吸収体であるショックアブソーバ、３０４ａはその取付板である。３０５はシール部材であるベローズで、一端はロッド３０１に溶接等の手段で気密性をもって固定され、他方の端部は蓋３０３に溶接等の手段で気密性をもって固定される。３０６はロッド３０１のガイド部材である。上記構成に於いて、ロッド３０１は、ベローズ３０５によって気密性を保ちながら真空容器２０２内部へ挿入されており、真空容器内部側の端部に入力される衝突によるエネルギーを、真空容器２０２の気密性を保ちつつ、真空容器外部に配置されているショックアブソーバ３０４へ伝達し、吸収することができる。
【００２１】
以上の構成に於いて、ＸＹステージ装置１００のＸＹ移動体１４は、真空またはパージされた雰囲気内に於いて、Ｘ軸リニアモータ９およびＹ軸リニアモータ１３により高速に且つ高精度にＸＹ方向に位置決め又はスキャン駆動される。このとき、静圧軸受２、３、４、５からの加圧流体の洩れは差動排気され極微量の圧力流体のみが真空容器２０２内に洩れ出るので、真空またはパージされた雰囲気の圧力の劣化、汚染等を防止できる。また、不慮のトラブルによる暴走時の衝撃エネルギーを、ショックアブソーバ３０４内部の流体の真空容器２０２内へのリークの懸念なく、衝撃吸収装置３００で効率的に吸収するので、ＸＹステージ装置１００および真空容器２０２の変形または破損を防止し、真空容器２０２の真空度劣化を防止し、ターボ分子ポンプ等の付帯設備の破損も合わせて防止することができる。更に、衝撃吸収装置３００が、駆動系を有するステージ装置以外の支持部材（本実施例では真空容器２０２の隔壁部材）にコンパクトに取り付けられているだけであるので、衝撃吸収装置による装置の大型化が避けられ、高速且つ高精度な位置決め駆動に悪影響を与えることもない。
【００２２】
（第２実施例）
図７は、図２および図３の部分拡大図で、第２実施例の特徴部分である衝撃吸収装置３００の構造を示している。図８は図７の部分矢視図である。本実施例の衝撃吸収装置３００は側板２０２ｂに固定されている。３０１はロッド、３０２は、ロッド３０１と略同軸状に構成され側板２０２ｂにＯリング３０２ａを介在して気密性をもって固定されるフランジ部材、３０３はフランジ部材３０２の蓋で、Ｏリング３０３ａによって接合面は気密を保たれている。３０４はロッド３０１端部に突き当てられている衝撃吸収体であるショックアブソーバ、３０４ａはその取付板である。３０５はシール部材であるベローズで、一端はロッド３０１に溶接等の手段で気密性をもって固定され、他方の端部は蓋３０３に溶接等の手段で気密性をもって固定される。３０６はロッド３０１のガイド部材である。取付板３０４ａにはショックアブソーバ３０４と略同軸状の円形薄肉部３０７が設けられている（図８参照）。
【００２３】
上記構成に於いても、ロッド３０１は、ベローズ３０５によって気密性を保ちながら真空容器２０２内部へ挿入されており、真空容器内部側の端部に入力される衝突によるエネルギーを真空容器外部に配置されているショックアブソーバ３０４へ伝達し、吸収することができる。このとき過大な力が作用した場合、円形薄肉部３０７が変形または破損し、真空容器２０２の側板２０２ｂの変形または破損を更に確実に防止する。その他の点は第１実施例と同じである。
【００２４】
（第３実施例）
図９は、第３実施例における図７の部分矢視図である。取付板３０４ａには、ショックアブソーバ３０４と梁状薄肉部３０８が設けられている。この構成に於いても、ロッド３０１はベローズ３０５によって気密性を保ちながら真空容器２０２内部へ挿入されており、真空容器内部側の端部に入力される衝突によるエネルギーを真空容器外部に配置されているショックアブソーバ３０４へ伝達し、吸収することができる。このときも過大な力が作用した場合、梁状薄肉部３０８が変形または破損し、真空容器２０２の側板２０２ｂの変形または破損を更に確実に防止する。その他の点は第１実施例と同じである。
【００２５】
（第４実施例）
図１０は、第４実施例の位置決め装置の部分断面図で、図１１はその特徴部分である衝撃吸収装置３００ａの拡大図である。図１０に於いては、図２と同じ部材に関しては同じ符号で示して説明を省略する。２２はベース定盤２０１に固定された支持部材で、衝撃吸収装置３００ａが固定される。図１１に於いては、図６と同一部材に関しては同じ符号で示して説明を省略する。上記構成に於いても、ロッド３０１は、シール部材であるベローズ３０５によって気密性を保ちながら真空容器２０２内部へ挿入されており、真空容器内部側の端部に入力される衝突によるエネルギーを真空容器外部に配置されている衝撃吸収体であるショックアブソーバ３０４へ伝達し、吸収することができる。このとき過大な力が作用した場合、ショックアブソーバ３０４は支持部材２２に固定されているので、真空容器２０２の側板２０２ｂの変形または破損を確実に防止できる。その他の点は第１実施例と同じである。
【００２６】
（第５実施例）
図１２は、第５実施例の衝撃吸収装置３００ａ部の拡大図である。図１２に於いて、図６と同一部材に関しては同じ符号で示して説明を省略する。２２は、第４実施例と同様にベース定盤２０１に固定された支持部材で、衝撃吸収装置３００ａが固定される。２３は、一端を蓋３０３に気密性をもって固定され、他方の端部を支持部材２２に気密性をもって固定される第２のシール部材であるベローズである。２４は支持部材２２に設けられた排気管路で、２５はロッド３０１と支持部材２２との隙間をシールする第３のシール部材であるＯリングである。
【００２７】
上記構成に於いても、ロッド３０１は、ベローズ３０５によって気密性を保ちながら真空容器２０２内部へ挿入されており、真空容器内部側の端部に入力される衝突によるエネルギーを真空容器外部に配置されているショックアブソーバ３０４へ伝達し、吸収することができる。このとき過大な力が作用した場合、ショックアブソーバ３０４は支持部材２２に固定されているので、真空容器２０２の側板２０２ｂの変形または破損を確実に防止できる。また、第２のベローズ２３とＯリング２５により気密性を確保された空間を排気管路２４から図示しない真空ポンプ等で排気し負圧にすることで、真空容器２０２内との差圧を１気圧以下にすることができる。それにより、ロッド３０１に作用する力（ベローズ３０５の取付部面積に外部の圧力を乗じた力）をキャンセルすることができ、効率的且つ確実に衝突エネルギーをよりソフトに吸収できる。
【００２８】
尚、上記各実施例の説明におけるＸＹステージ装置は静圧軸受を用いているが、案内としてはこれに限らず、転がり案内等を用いた場合でも、本発明の衝撃吸収装置は応用可能である。また、ステージ装置は一軸構成の場合も応用可能であり、さらには、必ずしも３点受けで搭載される必要はなく、要求精度によってはベタ置きでも良い。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１乃至１１に係る本発明によれば、ステージ装置に衝撃吸収装置を固定する必要がないのでステージ装置の大型化を防ぎ、装置の総コストアップを防ぐことができ、衝撃吸収装置がステージ装置の駆動性能に悪影響を及ぼす懸念もないので非大気雰囲気内での高速、高精度な位置決めを達成できる。また、不慮のトラブルによる暴走時の衝撃エネルギーをステージ装置とは別体側の衝撃吸収装置で効率的に吸収するので、ステージ装置の変形または破損を防止することができる。
【００３０】
更に、請求項２乃至１１に係る本発明によれば、衝撃吸収体であるショックアブソーバは容器の外側に配置されるので、ショックアブソーバ内部の流体のリークによる容器内の汚染が防止できる。また、ステージ装置とは別体の容器の隔壁部材に固定された衝撃吸収装置により不慮のトラブルによる暴走時の衝撃エネルギーを効率的に吸収するので、ステージ装置及び容器の変形または破損を防止することができる。
【００３１】
請求項４、５に係る本発明によれば、衝撃吸収装置の取付部に薄肉部を設け、過大な力が作用した時に積極的に変形または破損するような構造とすることで、容器の変形または破損を確実に防止し、真空度の劣化を防ぎ、ターボ分子ポンプ等の付帯設備の破損も合わせて防止することができる。
【００３２】
請求項６乃至８に係る本発明によれば、衝撃吸収装置の衝撃吸収体を容器とは別体の支持部材に取付けることで、容器の変形または破損をより確実に防止し、真空度劣化の劣化を防ぎ、ターボ分子ポンプ等の付帯設備の破損も合わせて防止することができる。
【００３３】
請求項８に係る本発明によれば、衝撃吸収装置に外側から作用する１気圧分の力をキャンセルすることができ、効率的に且つ確実に衝突エネルギーをよりソフトに吸収することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の第１実施例に係わる位置決め装置の平面図である。
【図２】図２は図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図３は図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】図４は、図１の構成の静圧ラジアル軸受の断面図である。
【図５】図５は、図１の構成の静圧平面軸受の断面図である。
【図６】図６は、本発明の第１実施例に係わる位置決め装置の衝撃吸収装置の断面図である。
【図７】図７は第２実施例に係わる衝撃吸収装置の断面図である。
【図８】図８は図７の部分矢視図である。
【図９】図９は第３実施例に係わる衝撃吸収装置の部分矢視図である。
【図１０】図１０は第４実施例に係わる位置決め装置の部分断面図である。
【図１１】図１１は第４実施例に係わる位置決め装置の衝撃吸収装置の断面図である。
【図１２】図１２は第５実施例に係わる衝撃吸収装置の断面図である。
【図１３】図１３は従来例の上面図である。
【図１４】図１４は図１３の正面図である。
【符号の説明】
１；ベース定盤
２；Ｘ軸静圧ラジアル軸受
３；Ｘ軸静圧平面軸受
４；Ｙ軸静圧ラジアル軸受
５；Ｙ軸静圧平面軸受
６；Ｘ軸ラジアル移動体
７；Ｘ軸平面移動体
８；Ｘ軸駆動体
９；Ｘ軸リニアモータ
１０；Ｙ軸ラジアル移動体
１１；Ｙ軸平面移動体
１２；Ｙ軸駆動体
１３；Ｙ軸リニアモータ
１４；ＸＹ移動体
１５、１７、１８；軸受
１６；永久磁石
１９；天板部材
２０、２１；反射ミラー
２２；支持部材
２３；第２のシール部材
２４；排気管路
２５；第３のシール部材
１００；ＸＹステージ装置
１０３；軸受ブッシュ
１１１；軸受パッド
２００；本体装置
２０１；本体定盤
２０２；真空容器
２０２ｂ；側板
３００；衝撃吸収装置
３０１；ロッド
３０２；フランジ部材
３０３；フランジ部材の蓋
３０４；ショックアブソーバ
３０４ａ；取付板
３０５；シール部材
３０６；ガイド部材
３０７；円形薄肉部
３０８；梁状薄肉部
【図１】
2004100820.tif 000003
【図２】
2004100820.tif 000004
【図３】
2004100820.tif 000005
【図４】
2004100820.tif 000006
【図５】
2004100820.tif 000007
【図６】
2004100820.tif 000008
【図７】
2004100820.tif 000009
【図８】
2004100820.tif 000010
【図９】
2004100820.tif 000011
【図１０】
2004100820.tif 000012
【図１１】
2004100820.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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