(57)【要約】【課題】ガラス基板等の大型薄板状材の搬送装置の床面積を小さくし、ガラス基板等のサイズの変更があっても搬送ローラの調整が不要であり、搬送中に蛇行が生じないようにする。【解決手段】搬送装置１０は、大型薄板状の基板１２を鉛直面又はこれに近い傾斜角度の搬送面１４に沿って水平方向に搬送するものであり、基板１２の下端縁１２Ａを搬送ローラ列１６により支持すると共に、基盤１２の高さ方向中央部１２Ｂ部分を、浮上チャンバ１８の面板２０と基板１２との間に形成される静圧気体からなる流体膜Ｆによって浮上、支持し、この状態で、搬送ローラ列１６により搬送力を付与して搬送する。【選択図】　　　図２
2004123254.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型薄板状材の、略水平の搬送方向に対して直交する幅方向一方の端縁を下側にして、且つ、幅方向他方の縁端を上側にして、前記下側の端縁を搬送ローラ列により下方から接触支持すると共に、面板に形成された多数の気体噴出孔から気体を噴出して面板と大型薄板状材との間に静圧気体からなる流体膜を形成し、前記大型薄板状材の幅方向少なくとも中間部を、大型薄板状材厚さ方向の少なくとも一方から、前記流体膜により押し、且つ、前記流体膜が途切れる位置で、動圧気体により前記大型薄板状材の搬送方向先端を押して、大型薄板状材を、その板面が鉛直又は鉛直に近い状態で傾斜する姿勢となるように支持しつつ、前記搬送ローラ列により搬送することを特徴とする大型薄板状材の搬送方法。
【請求項２】
請求項１において、前記板面の、搬送方向と平行な鉛直面に対する傾斜角度θを、５°＜θ≦３０°とすると共に、前記静圧気体からなる流体膜を傾斜した大型薄板状材の裏側に形成し、且つ、大型薄板状材の表側に、前記流体膜により押される位置よりも高い位置で、気流を吹き付けて、大型薄板状材の倒れ防止をすることを特徴とする大型薄板状材の搬送方法。
【請求項３】
請求項２において、前記大型薄板状材の表側に吹き付ける気流を斜め下向きとしたことを特徴とする大型薄板状材の搬送方法。
【請求項４】
請求項１において、前記板面の、鉛直面に対する傾斜角度θを０≦θ≦５°とすると共に、前記静圧気体からなる流体膜を、大型薄板状材を挟み込むように対向して、大型薄板状材の両面に沿って形成したことを特徴とする大型薄板状材の搬送方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記流体膜の幅Ｗｔを、前記大型薄板状材における上下方向の幅Ｗｓに対して、Ｗｓ／６≦Ｗｔ≦Ｗｓ／２の範囲となるように形成することを特徴とする大型薄板状基板の搬送方法。
【請求項６】
鉛直面又はこれから３０°以内の傾斜面を搬送面として、大型薄板状材を、その上下方向の下端縁を、搬送ローラ列により支持して搬送する搬送装置であって、前記搬送面上の大型薄板状材における上下方向の少なくとも中央部に相当する位置に配置された搬送方向に長い箱状体の浮上チャンバを、前記搬送面に沿って少なくとも１個を有してなり、この浮上チャンバは、前記搬送面と平行で、これと隣接する面板を備え、この面板には多数の気体噴出孔が形成され、この気体噴出孔から気体を供給して前記面板と大型薄板状材との間に、前記中央部を前記面板から離間させる静圧気体からなる流体膜を形成するようにされたことを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【請求項７】
請求項６において、前記搬送面は、搬送方向と平行な鉛直面に対する傾斜角度θが、５°＜θ≦３０°に設定され、前記浮上チャンバは、前記搬送面上の前記大型薄板状材の裏面側に配置されてなり、前記搬送面を挟んで前記浮上チャンバの反対側で、且つ、これよりも高い位置に配置され、前記大型薄板状材の表側に気流を吹き付ける気体吹出ノズルを設けたことを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【請求項８】
請求項６において、前記搬送面は、鉛直面に対する傾斜角度θが、０≦θ≦
５°とされてなり、前記浮上チャンバは、前記搬送面を挟んで対向して一対配置され、前記搬送面上の大型薄板状材の両側に、これを挟み込む流体膜を形成するようにされたことを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【請求項９】
請求項７又は８において、前記搬送ローラ列は、各搬送ローラの回転軸が、水平面に対して角度θだけ傾斜して配置されたことを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【請求項１０】
請求項６乃至９のいずれかにおいて、前記浮上チャンバにおける搬送方向後側の端部位置に、前記搬送面に向けて直角又は僅かに斜めに、前記大型薄板状材の搬送方向先端を押す動圧気体を噴出する動圧浮上手段を設けたことを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【請求項１１】
請求項１０において、前記動圧浮上手段は、前記浮上チャンバを構成する箱状体の搬送方向後側端面板の搬送面側端縁と前記面板の搬送方向後側端縁との間の、前記面板の表面よりも、前記搬送面から退った位置での隙間から加圧気体を噴出させるように構成されたことを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【請求項１２】
請求項１１において、前記隙間は、前記端面板の内側面と前記面板の前記搬送方向後側端縁との間に形成され、前記端面板の搬送面側端縁は、前記面板の表面よりも低く、且つ、内側面よりも突出する位置に配置されたことを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【請求項１３】
請求項１１又は１２において、前記端面板の搬送面側端における、前記隙間と反対側の角部が面取りされた傾斜面とされていることを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【請求項１４】
請求項６乃至１３のいずれかにおいて、前記浮上チャンバの少なくとも１個所に気体を送り込むブロワーと、このブロワーと前記浮上チャンバとの間の気体通路に配置され、前記ブロワーからの気体の供給速度を一定にするフィルターと、を設けたことを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶表示（ＬＣＤ）パネル、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）などの平面板ディスプレイに用いる大型で薄いガラス基板、装飾用金属薄板、金属箔に高分子フィルムをラミネートした積層材のような大型薄板状材を搬送する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
大型のＬＣＤ用ガラス基板は、サイズが、例えば７５０ｍｍ×９５０ｍｍ、厚さが０．７ｍｍなどであって、大きさに比べて非常に薄く、近い将来、１２００ｍｍ×１５００ｍｍあるいは１４００ｍｍ×１７００ｍｍと更に大型化が考えられている。
【０００３】
上記のような大型のガラス基板を水平に搬送する際に、その幅方向両端のみならず、幅方向中央部を支持しなければ大きく垂れ下がってしまうが、このようなガラス基板は、特にその外周端部を除いた部分に搬送装置などが接触しないことが要求されている。
【０００４】
このための手段としては、例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３等に開示されるような、空気などの気体を用いて基板を浮上させ非接触で搬送する技術が提案されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−１３９１６０号公報
【０００６】
【特許文献２】
特開平１１−２６８８３０号公報
【０００７】
【特許文献３】
特開平１１−２６８８３１号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような搬送装置は、複数のノズルから圧縮空気などを噴出するようにし、且つ、その噴出方向、噴出及び停止を複雑に制御することによって、基板を浮上させ、目的の方向に搬送させるようにしているので、製造コスト及び運転コストが非常に高くなると共に、例えばクリーンルーム内においては、複数のノズルから比較的高い圧力の空気などが噴出するので、クリーンルーム内に気流の乱れを生じてしまうという問題点がある。
【０００９】
更に、このような問題点を解決するために、例えば多孔質セラミクス板を水平に配置し、その下側から空気を送り込んで、搬送されるガラス基板と多孔質セラミクス板との間に流体膜を形成し、これによってガラス基板を浮上させるようにしたものがある。
【００１０】
しかしながら、この多孔質セラミクス板は非常に高価であり、製造コストが増大してしまうと共に、大型の薄いガラス基板を多孔質セラミクス板からなる搬送装置から他の搬送手段に渡したり、逆に受け取ったりする際に、ガラス基板の中央部の垂れ下がりに対応できないので、フォーク状のリフト装置を用いなければならないという問題点がある。
【００１１】
又、上記いずれの場合でも基板の搬送面が水平であるために、搬送装置の床面積が大きく、面積効率が低いという問題点があり、更に、このように搬送装置の床面積が大きいと、搬送装置のラインを作業者が横断し難く、装置のメンテナンスや基板の点検作業姿勢が悪く作業効率が低くなるという問題点も生じる。
【００１２】
更に又、上記のような、空気等の気体を用いて基板を浮上させて非接触で搬送する際に、そのガイド及び搬送力付与のために、基板の搬送方向に対して幅方向両端を搬送ローラによって支持するものが提案されているが、搬送する基板のサイズが異なる場合、その基板幅に応じて両端の搬送ローラ間距離あるいはガイドローラ間距離を調整する必要があり、更には、ガラス基板のサイズが同一の場合であっても、その幅に対して両端の搬送ローラ間距離やガイドローラ幅が大きい場合にはガラス基板が蛇行して発塵の原因となり易いという問題点がある。
【００１３】
この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、低コストで、搬送のための装置の床面積が小さく、且つ、ガラス基板等の幅が変更されても搬送ローラの調整が不要であり、搬送中にガラス基板等の蛇行が生じないようにした大型薄板状材の搬送方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本方法発明は、大型薄板状材の、略水平の搬送方向に対して直交する幅方向一方の端縁を下側にして、且つ、幅方向他方の縁端を上側にして、前記下側の端縁を搬送ローラ列により下方から接触支持すると共に、面板に形成された多数の気体噴出孔から気体を噴出して面板と大型薄板状材との間に静圧気体からなる流体膜を形成し、前記大型薄板状材の幅方向少なくとも中間部を、大型薄板状材厚さ方向の少なくとも一方から、前記流体膜により押し、且つ、前記流体膜が途切れる位置で、動圧気体により前記大型薄板状材の搬送方向先端を押して、大型薄板状材を、その板面が鉛直又は鉛直に近い状態で傾斜する姿勢となるように支持しつつ、前記搬送ローラ列により搬送することを特徴とする大型薄板状材の搬送方法により、上記目的を達成するものである。
【００１５】
又、前記大型薄板状材の搬送方法において、前記板面の、搬送方向と平行な鉛直面に対する傾斜角度θを、５°＜θ≦３０°とすると共に、前記静圧気体からなる流体膜を傾斜した大型薄板状材の裏側に形成し、且つ、大型薄板状材の表側に、前記流体膜により押される位置よりも高い位置で、気流を吹き付けて、大型薄板状材の倒れ防止をするようにしてもよい。
【００１６】
更に、前記大型薄板状材の表側に吹き付ける気流を斜め下向きとしてもよい。
【００１７】
又、前記基板面の、鉛直面に対する傾斜角度θを０≦θ≦５°とすると共に、前記静圧気体からなる流体膜を、大型薄板状材を挟み込むように対向して、大型薄板状材の両面に沿って形成してもよい。
【００１８】
更に又、前記流体膜の幅Ｗｔを、前記大型薄板状材における上下方向の幅Ｗｓに対して、Ｗｓ／６≦Ｗｔ≦Ｗｓ／２の範囲となるように形成してもよい。
【００１９】
本装置発明は、鉛直面又はこれから３０°以内の傾斜面を搬送面として、大型薄板状材を、その上下方向の下端縁を、搬送ローラ列により支持して搬送する搬送装置であって、前記搬送面上の大型薄板状材における上下方向の少なくとも中央部に相当する位置に配置された搬送方向に長い箱状体の浮上チャンバを、前記搬送面に沿って少なくとも１個を有してなり、この浮上チャンバは、前記搬送面と平行で、これと隣接する面板を備え、この面板には多数の気体噴出孔が形成され、この気体噴出孔から気体を供給して前記面板と大型薄板状材との間に、前記中央部を前記面板から離間させる静圧気体からなる流体膜を形成するようにされたことを特徴とする大型薄板状材の搬送装置により、上記目的を達成するものである。
【００２０】
又、前記大型薄板状材の搬送装置において、前記搬送面は、搬送方向と平行な鉛直面に対する傾斜角度θが、５°＜θ≦３０°に設定され、前記浮上チャンバは、前記搬送面上の前記大型薄板状材の裏面側に配置されてなり、前記搬送面を挟んで前記浮上チャンバの反対側で、且つ、これよりも高い位置に配置され、前記大型薄板状材の表側に気流を吹き付ける気体吹出ノズルを設けるようにしてもよい。
【００２１】
更に、前記搬送面は、鉛直面に対する傾斜角度θが、０≦θ≦５°とされてなり、前記浮上チャンバは、前記搬送面を挟んで対向して一対配置され、前記搬送面上の大型薄板状材の両側に、これを挟み込む流体膜を形成するようにしてもよい。
【００２２】
又、前記搬送ローラ列は、各搬送ローラの回転軸が、水平面に対して角度θだけ傾斜して配置されるようにしてもよい。
【００２３】
又、前記浮上チャンバにおける搬送方向後側の端部位置に、前記搬送面に向けて直角又は僅かに斜めに、前記大型薄板状材の搬送方向先端を押す動圧気体を噴出する動圧浮上手段を設けてもよい。
【００２４】
更に又、前記動圧浮上手段は、前記浮上チャンバを構成する箱状体の搬送方向後側の端面板の搬送面側端縁と前記面板の搬送方向後側端縁との間の、前記面板の表面よりも、前記搬送面から退った位置での隙間から加圧気体を噴出させるように構成してもよい。
【００２５】
又、前記隙間は、前記端面板の内側面と前記面板の前記搬送方向後側端縁との間に形成され、前記端面板の搬送面側端縁は、前記面板の表面よりも低く、且つ、内側面よりも突出する位置に配置してもよい。
【００２６】
又、前記端面板の搬送面側端における、前記隙間と反対側の角部が面取りされた傾斜面としてもよい。
【００２７】
面板に形成された多数の気体噴出孔から気体を噴出して面板と大型薄板状材との間に静圧気体からなる流体膜を形成し、更に又、前記浮上チャンバの少なくとも１個所に気体を送り込むブロワーと、このブロワーと前記浮上チャンバとの間の気体通路に配置され、前記ブロワーからの気体の供給速度を一定にするフィルターと、を設けるようにしてもよい。
【００２８】
この発明においては、大型薄板状材を垂直あるいはこれから一定角度傾けられた搬送面に沿って、下端を搬送ローラにより支持し、且つ上下方向中間部を静圧気体からなる流体膜により押して非接触で支持しつつ搬送するので、低コストで前記流体膜装置面積の大幅な低減、粉塵の発生等を防止することができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して詳細に説明する。
【００３０】
図１、図２に示されるように、本発明の実施の形態の第１例に係る大型薄板状材の搬送装置１０は、大型薄板状材（以下基板）１２を、鉛直面から３０°以内の傾斜面を搬送面１４としてその下端縁１２Ａを、搬送ローラ列１６より支持して搬送するものであって、前記搬送面１４上の基板１２における上下方向の中央部１２Ｂに相当する位置に配置された搬送方向に長い箱状体の浮上チャンバ１８を搬送面１４に沿って１又は複数設け、この浮上チャンバ１８により、基板１２の前記中央部１２Ｂを非接触で斜め下側から支持するように構成されている。
【００３１】
前記浮上チャンバ１８は、前述のように、搬送方向に長い箱状体であって、前記搬送面１４と平行でこれと隣接する面板２０を有し、この面板２０には多数の気体噴出孔２２が形成され、この気体噴出孔２２から気体を供給して前記面板２０と基板１２との間に、該１２基板の中央部１２Ｂを面板２０に接触しない程度に僅かに離間させる静圧気体からなる流体膜Ｆを形成できるようにされている（詳細後述）。
【００３２】
前記搬送面１４は、更に詳細には、図２に示されるように、搬送方向と平行な鉛直面に対する傾斜角度θが、５°＜θ≦３０°に設定され、前記浮上チャンバ１８は、前記搬送面１４上の前記基板１２の裏面側に配置されている。
【００３３】
又、前記搬送面１４を挟んで、前記浮上チャンバ１８の反対側で、且つ、これよりも高い位置には、前記基板１２の表側に、斜め下向の気流を吹きつける気体吹出ノズル２６が配置されている。
【００３４】
又、前記搬送ローラ列１６は、複数の搬送ローラ１７を搬送面１４の下端に沿って一列に並べたものであり、各搬送ローラ１７は、その回転軸１７Ａが水平面に対して角度θだけ傾斜し、且つ、前記搬送面１４と直交して配置されている。更に、この搬送ローラ１７は、支持する基板１２の下端縁１２Ａにおける裏面側が接触可能な大径の鍔部１７Ｂを備えていて、いわゆる段付ローラとされている。
【００３５】
図１、図２の符号１９は、前記各搬送ローラ１７毎にその下側及び各搬送ローラ１７間の適宜位置に配置された吸引ノズルを示す。この吸引ノズル１９は一本の集合吸気管１９Ａを介して負圧が印加されて、搬送ローラ１７との接触により基板１２の下端縁１２Ａから発生する微塵を吸引して排出するようにされている。
【００３６】
ここで、前記浮上チャンバ１８における面板２０の上下方向の幅Ｗｔは、基板１２における上下方向の幅Ｗｓに対して、Ｗｓ／６≦Ｗｔ≦Ｗｓ／２の範囲となるようにされている。
【００３７】
前記浮上チャンバ１８は、図３に示されるように、その搬送方向後側の端部位置に、前記搬送面１４に向けて直角又は僅かに斜めに、前記基板１２の搬送方向先端を押す動圧気体を噴出する動圧浮上手段２４を備えている。
【００３８】
この動圧浮上手段２４は、前記浮上チャンバ１８を構成する箱状体の搬送方後側の端面板２１の搬送面側端縁２１Ａと前記面板２０の搬送方向後側端縁２０Ａとの間の、前記面板２０の表面よりも前記搬送面１４から退った位置での隙間２８から加圧気体を噴出させるように構成されている。
【００３９】
更に詳細には、前記隙間２８は、前記面板２０の内側面２０Ｂと前記搬送方向後側端縁２０Ａとの間に形成され、前記端面板２１の搬送面側端縁２１Ａは、前記面板２０の表面よりも低く、且つ、内側面２０Ｂよりも突出する位置に配置されている。
【００４０】
前記箱状の浮上チャンバ１８に対しては、図４に示されるように、ブロワー３２からフィルター３４を介して、ダクトホース３６により比較的低圧の空気が供給され、前記多数の気体噴出孔２２及び隙間２８から噴出されるようになっている。
【００４１】
前記気体噴出小孔２２の径は隙間２８と比較して小さくされ、ここから噴出した空気が基板１２の裏面と、面板２０の表面との間に静圧領域である空気膜Ｆを形成できるようにされている。又、前記隙間２８からは気体噴出小孔２２と比較して大量の空気が噴出されるので、この部分では動圧気体である空気流が形成されることになる。
【００４２】
前記のような浮上チャンバ１８は、搬送面１４に沿って必要に応じて１又は複数整列して配置されるが、搬送方向最前位置にある浮上チャンバ１８においては、図３の右半分に示されるように、その搬送方向前端の端面板２５の上端縁２５Ａと、面板２０の前側端縁２０Ｄとの間に隙間３０が形成され、この隙間３０を含んで、前述の動圧浮上手段２４と同様の前側動圧浮上手段３８が設けられている。
【００４３】
この隙間３０は前述の隙間２８と同様に形成され、ここから動圧気体としての空気流を噴出して、基板１２の搬送方向後端を斜め下方から噴き上げて、該後端の幅方向中央部１２Ｂが斜め下向きの凸形状に湾曲しないようにする。
【００４４】
この実施の形態の例に係る搬送装置１０に対しては、例えば搬送ロボットにより基板１２を上方から搬入したり、あるいは搬送方向上流側からコンベア等によって搬入するが、このとき、浮上チャンバ１８において、その面板２０における気体噴出小孔２２から所定の圧力で空気流を噴出させると共に、前記隙間２８から動圧気体としての空気流を噴出させる。
【００４５】
このようにすると、搬入されてくる基板１２の先端の幅方向中央部１２Ｂが斜め下向きの凸形状に湾曲することを防止されて、該湾曲した幅方向中央部１２Ｂが搬送装置１０に衝突して損傷することがない。
【００４６】
このとき、前記気体吹出ノズル２６は、基板１２の上部に、浮上チャンバ１８の反対側から空気を吹き付けて基板１２を浮上チャンバ１８方向に押すので、基板１２は、浮上チャンバ１８から離間する方向に傾いたりすることがなく安定して、搬送面１４上に維持される。
【００４７】
又、搬送ローラ１７の回転軸１７Ａが水平面に対して角度θ傾けられているので、基板１２の下端縁１２Ａに対して垂直になり、この下端縁１２Ａを安定して支持でき、且つ、鍔部１７が下端縁１２Ａの横滑りを抑制しているので、搬送中の基板１２の、搬送面１４からのずれを規制する。
【００４８】
基板１２の搬送は、浮上チャンバ１８によって基板１２の幅方向中央部１２Ｂを斜め下側から浮上させた状態で、該基板１２の下端縁１２Ａを搬送ローラ列１６で支持し、且つ搬送力を付与してなされるので、浮上チャンバ１８における気体噴出小孔２２から供給される空気は、単に流体膜Ｆを形成して基板１２が浮上チャンバ１８に接触しないようにしているのみであって、搬送力を発生させる必要がない。
【００４９】
従って、気体噴出小孔２２から噴出される空気の量及び圧力は従来の動圧気体による搬送装置と比較して少なく、且つ、低圧であってもよい。又、搬送ローラ列１６は、基板１２の荷重のかなりの部分を支えるが、基板１２は薄板状であり、１個当たりの搬送ローラ１７が負担する荷重が少ないので、僅かな搬送力によって基板１２を搬送面１４に沿って搬送することができると共に、搬送ローラ１７との接触による下端縁１２Ａの損傷を少なくすることができる。
【００５０】
ここで、前記浮上チャンバを搬送面１４に沿って搬送方向に長く、例えば１つの箱状体から形成した場合、基板１２が通過中の位置における気体噴出孔２２から流出された気体は流体膜Ｆを形成できるが、基板１２が通過中でない位置の気体噴出孔２２からは無駄に気体が流出してしまって、気体の消費量が増大してしまう。又、場合によっては、大部分の気体が、基板１２がない位置から流出してしまって、基板１２と面板２０との間に流体膜Ｆを形成できないことも有り得る。
【００５１】
この実施の形態の例に係る搬送装置１０においては、浮上チャンバ１８が搬送方向に複数直列に配置され、その各々に、ブロワー３２から空気が供給される構成となっている。
【００５２】
従って、基板１２が通過中の気体噴出孔２２の位置では、確実に流体膜Ｆを形成することができると共に、例えば、基板１２の通過センサを設け、基板１２が通過中でない浮上チャンバ１８では、空気供給を停止させることによって、無駄な気体の消費を抑制することができる。
【００５３】
基板１２が浮上チャンバ１８及び搬送ローラ列１６により搬送面１４に沿って搬送されていき、搬送装置１０の搬送面１４から他の搬送装置に渡されるとき、当然、該他の搬送装置側では基板１２を支えて湾曲しないようにする。
【００５４】
しかし、搬送面１４から基板１２が抜け出すとき、その後端が斜め下方に凸に湾曲して浮上チャンバ１８の搬送方向前側端縁２０Ｄに衝突することが考えられる。
【００５５】
この搬送装置１０においては、搬送方向最前端の浮上チャンバ１８における搬送方向前端には前述の如く前側動圧浮上手段３８が設けられていて、隙間３０から動圧気体としての空気流が噴出されるので、該基板１２の後端が斜め上向きに持ち上げられて、搬送方向前側端縁２０Ｄに衝突して損傷したりすることがない。
【００５６】
又、上記のように、搬送装置１０においては、気体吹出ノズル２６が基板１２に対して斜め下向きに気体を吹き出すようにされているので、基板１２の表面に付着している埃等が吹き飛ばされ、且つこれが下方に運ばれて、吸気ノズル１９から吸引搬出される。
【００５７】
更に、気体吹出ノズル２６から吹き出した気体によって、基板１２を流体膜Ｆに押し付けるようにしているので、装置周囲の微風、基板１２に対する横風、地震等の遥動に対して、基板１２を安定して搬送面１４に位置させたりすることができる。
【００５８】
更に又、吸気ノズル１９は、例えばクリーンルーム内で基板１２に沿って流下する気体中に含まれる浮遊微塵、基板１２のエッジ、特に下端縁１２Ａと搬送ローラ列１６あるいは４８との接触によるチッピング片を吸入して排出させることができる。
【００５９】
上記搬送装置１０は、搬送面１４の上下方向中央位置における水平方向に１列の浮上チャンバ１８と下端縁１２Ａを支持する搬送ローラ列１６、及び気体吹出ノズル２６とにより構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、浮上チャンバは基板１２における幅方向中央部１２Ｂを少なくとも斜めに浮上させるものであればよく、又、他の位置に別個の浮上チャンバを設けてもよい。更に、搬送力付与手段としての搬送ローラ列は、コンベア等の他の搬送手段としてもよい。
【００６０】
なお、上記搬送装置１０において、搬送面１４を鉛直面に近い角度に設定すると、搬送装置１０の装置面積が減少し、且つ、浮上チャンバ１８から噴出される空気による基板１２の支持荷重が減少する。
【００６１】
従って、傾斜角θが小さい程本発明の効果が大きいことになるが、搬送面１４を鉛直に近い状態とすると、基板１２を搬送面１４内に維持するためには、次の実施の形態の第２例に係る搬送装置４０におけるように、浮上チャンバを基板１２の両側に設けなければならない。
【００６２】
従って、基板１２の片側にのみ浮上チャンバ１８を設ける場合は、傾斜角の最小値は５°を越えるものとする。又、傾斜角があまりにも大きいと装置面積の減少率が少なく、浮上チャンバ１８における空気消費量も増大してしまうので、傾斜角θの限界は３０°とする。
【００６３】
搬送装置１０における搬送面１４の傾斜角θと、搬送装置１０の装置面積（床面積）減少率と、浮上チャンバ１８での空気消費量との関係を次の表に示す。
【００６４】
【表１】
2004123254.tif 000003
【００６５】
次に、図５に示されるように、傾斜角θが５°以下の場合の、本発明の実施の形態の第２例に係る搬送装置４０について説明する。
【００６６】
この搬送装置４０は、搬送面４２の鉛直面に対する傾斜角度θを、０≦θ≦
５°とすると共に、この搬送面４２を挟んで対向して一対の浮上チャンバ４４、４６を搬送方向に配置し、基板１２の幅方向中央部１２Ｂを挟み込むようにして流体膜Ｆがその両側に形成されるようにしたものである。
【００６７】
なお、浮上チャンバ４４、４６の構成は、前記浮上チャンバ１８と同一であり、これらに対する気体供給手段も同一であるので、詳細な説明は省略する。
【００６８】
この搬送装置４０においても、搬送面１４上の基板１２の下端縁１２Ａを下方から支持する搬送ローラ列４８が設けられているが、この搬送ローラ列４８を構成する搬送ローラ４９はその回転軸４９Ａが水平に配置され、且つ搬送ローラ４９の軸方向中間部が細径となった鼓形状とされている。
【００６９】
又、各搬送ローラ４９の下側には、搬送装置１０におけると同様に、吸気ノズル１９、吸気集合管１９Ａが配置されている。
【００７０】
この実施の形態の第２例に係る搬送装置４０においては、基板１２をその両側から挟み込むように流体膜Ｆが形成され、且つ、基板１２は鉛直面又は略鉛直面上にあって、その両側から均等な面圧を受けるので、湾曲したりすることがない。
【００７１】
従って、搬送装置４０においては、搬送装置１０におけるような気体吹出ノズル２６が設けられていない。
【００７２】
ここで、搬送面４２に対する一対の浮上チャンバ４４、４６の距離（隙間）は、それぞれをＧ１、Ｇ２としたとき、Ｇ１＝Ｇ２であってもよいが、例えばＧ１＞Ｇ２に設定しておいて、更に、浮上チャンバ４４の空気吹出し量を一定にした上で、浮上チャンバ４６側からの空気吹出し量を調整することにより、基板１２が搬送面４２上に位置されるように設定するとよい。
【００７３】
なお、この搬送装置４０の場合、前述のように、搬送装置１０におけるような気体吹出ノズル２６が設けられていないので、浮上チャンバ４４、４６の位置が低く設定されると、これよりも上方に突出した位置で基板１２が湾曲し易くなる。この湾曲を抑制するために、浮上チャンバ４４、４６は基板１２の重心（１／２Ｗｓ）よりもやや高めの位置に設定するとよい。
【００７４】
図６は、前記浮上チャンバ１８又は４４、４６における面板と端面板との間に形成される隙間からなる動圧浮上手段の変形例を示す断面図である。
【００７５】
この変形例は、浮上チャンバ５０における搬送方向後側（図において左側）の端面板５１を、面板５２の搬送方向後側端縁５２Ａよりも更に搬送方向に離間して配置して、隙間５４を形成したものである。
【００７６】
端面板５１の上端縁は、前記面板５２の厚さ方向中間位置になるように設けられ、且つ、該上端縁の搬送方向後側の角部は面取りされて傾斜面５６とされている。
【００７７】
これによって、隙間５４から噴出される動圧気体としての空気流は、面板５２とほぼ垂直に向けられ、搬送されてきた基板１２の前端の幅方向中央部１２Ｂを効果的に浮上させることができる。
【００７８】
又、このときガラス基板１２の前端が、浮上チャンバ５０側に凸に若干湾曲していても、傾斜面５６が設けられているので、浮上チャンバ５０の角部に衝突して損傷したりすることがない。
【００７９】
上記のような各実施の形態の例において、浮上チャンバは単純な箱型であり、上面板に気体噴出小孔を形成して、且つ面板と端面板との間に隙間を設ければよく、従って、低コストで簡単に製造することができる。
【００８０】
特に、気体噴出小孔２２は搬送されてくる基板１２と面板１２、５２との間に流体膜を形成するものであればよく、その孔の方向、大きさ等の設計の自由度が大きい。
【００８１】
又、動圧気体による従来の浮上搬送手段と比較すると、ブロワー３２から低圧の気体を供給するのみで足りるので、ブロワー３２を含めた装置の製造コストを大幅に低減させることができ、更に、エアノズルの複雑な制御が不要であるので、構造が簡単である。
【００８２】
なお、上記の実施の形態の例は、ガラス基板を搬送するためのものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、面積に比較して板厚の薄い大型薄板状材を搬送する場合について適用されるものである。従って、金属薄板、樹脂の薄板等の撓みを生じ易い材料の搬送の場合に適用される。
【００８３】
又、浮上用の気体は、空気に限定されるものでなく、窒素ガス、希ガス等であってもよい。
【００８４】
【発明の効果】
本発明は、上記のように構成したので、低コストで、且つ、クリーンルーム内等の空気の乱れを生じたりすることがなく、又装置床面積を小さくして大型ガラス基板等の大型薄板状材を安定して搬送することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の例に係る搬送装置を示す正面図
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図
【図３】同搬送装置における浮上チャンバを示す断面図
【図４】同搬送装置における浮上用空気供給系を示すブロック図
【図５】本発明の実施の形態の第２例に係る搬送装置を示す断面図
【図６】本発明の搬送装置における動圧浮上手段の変形例を示す断面図
【符号の説明】
１０、４０…搬送装置
１２…大型薄板状材（基板）
１２Ａ…下端縁
１２Ｂ…中央部
１４、４２…搬送面
１６、４８…搬送ローラ列
１７…搬送ローラ
１７Ａ、４９Ａ…回転軸
１７Ｂ…鍔部
１８、４４、４６、５０…浮上チャンバ
１９…吸気ノズル
２０、５２…面板
２０Ａ…搬送面方向後側端縁
２０Ｂ…内側面
２０Ｃ…傾斜面
２０Ｄ…前側端縁
２１、２５、５１…端面板
２２…気体噴出孔
２４…動圧浮上手段
２５Ａ…上端縁
２６…気体吹出ノズル
２８、３０、５４…隙間
３２…ブロワー
３４…フィルター
３８…前側動圧浮上手段
５６…傾斜面
【図１】
2004123254.tif 000004
【図２】
2004123254.tif 000005
【図３】
2004123254.tif 000006
【図４】
2004123254.tif 000007
【図５】
2004123254.tif 000008
【図６】
2004123254.tif 000009