(57)【要約】【課題】物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路と、該走行路の下方に配置される物品載置箇所とを備え、該走行路における物品載置箇所の上方位置に切欠が形成されて、前記搬送車と前記物品載置箇所との間の物品の受け渡しが、搬送車又は物品載置箇所に設けられた昇降装置によって、該切欠を通過させて行われる天井搬送車システムにおいて、該切欠上で搬送車をスムースに走行させることができる天井搬送車システムを提供することを課題とする。【解決手段】前記切欠の上方に水平な走行面（水平部位３７ｂの上面）を備えた支持レール３７を架設するとともに、前記搬送車１０には該支持レール３７の走行面を走行する、補助車輪３８・３８を設ける。【選択図】  図１
2004189360.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路と、該走行路の下方に配置される物品載置箇所とを備え、該走行路における物品載置箇所の上方位置に切欠が形成されて、前記搬送車と前記物品載置箇所との間の物品の受け渡しが、搬送車又は物品載置箇所に設けられた昇降装置によって、該切欠を通過させて行われる天井搬送車システムであって、
前記切欠の上方に、水平な走行面を備えた支持レールを架設するとともに、前記搬送車には該支持レールの走行面上を走行する、軸心を水平方向に向けた補助車輪を設けたことを特徴とする天井搬送車システム。
【請求項２】
前記補助車輪は前記搬送車の車体の走行方向の前部と後部に配置されることを特徴とする請求項１に記載の天井搬送車システム。
【請求項３】
前記支持レールは、前記補助車輪の走行面と、該走行面の短手方向両端部に立設される立設部とを備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の天井搬送車システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路と、該走行路の下方に配置される物品載置箇所とを備えた天井搬送車システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工場等クリーンルームでは、処理装置等に沿って走行路が敷設され、該走行路上に天井搬送車を自動走行させて、物品を搬送する天井搬送車システムが知られている。
【０００３】
走行路は所定間隔をあけて配置される一対のレールから成り、該一対のレールは多数の繋ぎ部材で連結されて、該繋ぎ部材の長手方向両端部が「門」字型の吊り下げ部材を介してクリーンルーム内の天井面等から吊り下げられている。そして、この走行路に沿って処理装置や自動倉庫等が配置され、これらの装置の入出庫口には物品（半導体ウエハを収納したカセット等）の載置箇所としてのステーションが設けられて、このステーションは装置本体から突出して、走行路の下方に配置されている。
【０００４】
このステーション上方の走行路には、レール間に物品が上下に通過可能な通過口が形成されており、該ステーションと走行路上の搬送車との間の物品の受け渡しは、搬送車に搭載したチャック付きのホイストで物品を保持し、該ホイストを昇降させることで、該通過口を上下に通過させて行われる。
以上のような発明は、特開平１０−２０３６４７号公報で開示されている。この構成では、走行路上の搬送車は、その下方のステーションとの間で、安定した状態で、物品の受け渡しを行なうことができる。
【０００５】
ところで、処理装置等の装置本体からステーションまでの距離は規格で定められており、このような事情から、該ステーションを、走行路の真下から、レールの幅方向で処理装置側に、少しずらして配置しなければならないこともある。このように走行路から見て、斜め下方にステーションが配置された場合、走行路上の搬送車とステーションとの間で物品を受け渡す際、上下に昇降する物品と、装置側の一方のレールとが十字に交叉するレイアウトとなり、そこで、該ステーションの上方位置で、該一方のレールを切除して、この切欠により形成される該一方のレールの端部と、切欠しなかったもう一方のレールとを補強部材で連結されることが検討されている。
【０００６】
さらに、この一方のレールの切欠箇所を含む通過口の上方には支持レールをレールの走向方向に沿って架設し、搬送車の上部に設けられた、分岐部で経路を選択するための分岐装置のガイドローラを利用して、該支持レールを挟み込み、該通過口上で搬送車の走行輪が前記一方のレールの切欠箇所に落ち込まないように支持されて、該通過口前後でも搬送車がスムースに走行できるように構成することが検討されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１０−２０３６４７号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
その後の研究開発の過程で、一方のレールの切欠箇所を含む通過口上を搬送車が通過する場合、物品がそれほど重くない場合には、前記構成でも支障はないが、かなり重量のある物品を搬送する場合には、該通過口上でよりしっかりと搬送車を支持する必要があることが判った。
そこで、本発明では、前記記載の従来技術をさらに改良し、通過口で一方のレールに切欠箇所が形成されていても、該通過口上で搬送車をスムースに走行させることができる天井搬送車システムを提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段は、以下に示すとおりである。
まず、請求項１に記載のように、物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路と、該走行路の下方に配置される物品載置箇所とを備え、該走行路における物品載置箇所の上方位置に切欠が形成されて、前記搬送車と前記物品載置箇所との間の物品の受け渡しが、搬送車又は物品載置箇所に設けられた昇降装置によって、該切欠を通過させて行われる天井搬送車システムであって、前記切欠の上方に、水平な走行面を備えた支持レールを架設するとともに、前記搬送車には該支持レールの走行面上を走行する、軸心を水平方向に向けた補助車輪を設ける。
【００１０】
また、請求項２に記載のように、前記補助車輪は前記搬送車の車体の走行方向の前部と後部に配置される。
【００１１】
さらに、請求項３に記載のように、前記支持レールは、前記補助車輪の走行面と、該走行面の短手方向両端部に立設される立設部とを備える。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の一形態を、図面を参照しながら説明する。
図１は通過口２０を有する走行路２上の搬送車１０の斜視図、図２は搬送車１０の正面図、図３は同じく平面図、図４はガイドローラ１２・１２が緩挿されるレール２４Ｌの正面断面図、図５は補助車輪３８・３８が係合されるレール３７の正面図である。
なお、以下の説明では、天井搬送車１０については、その進行方向を前方として各構成部材の前後左右位置を説明し、走行路２については、その走向方向を前方として各構成部材の前後左右位置を説明するものとする。
【００１３】
まず、天井搬送車システムの概略構成から説明する。
図１に示すように、半導体製造工場等のクリーンルーム内には天井搬送車１０の移動経路となる走行路２が敷設されており、該走行路２に沿って処理装置や自動倉庫等の装置４が配置されている。該装置４の入出庫口には物品（半導体ウエハを収納したカセット等）９の載置箇所としてのステーション４１が設けられ、該ステーション４１は装置４の本体から突出して、走行路２の下方に配置されている。ステーション４１は移載装置を備え、該移載装置によって物品９をステーション４１と装置４内との間で移載搬送するように構成されている。
【００１４】
ステーション４１の上方の走行路２には、物品９が上下に通過可能な通過口２０が形成されており、該ステーション４１と走行路２上の搬送車１０との間の物品９の受け渡しは、搬送車１０に搭載される昇降可能なホイスト７で物品９を保持し、該通過口２０を上下に通過させて行われる。
【００１５】
次に、走行路２の構成について説明する。
図１及び図２に示すように、走行路２は、一対のレール２４Ｌ・２４Ｒと、該レール２４Ｌ・２４Ｒの下面間を連結する繋ぎ部材２５・２５・・・と、該レール２４Ｌ・２４Ｒの間で走行路２の走向方向に向けて架設される落下防止部材２６・２６を備え、吊り下げ部材３０・３０・・・を介してクリーンルーム内の天井付近に吊設されている。
【００１６】
吊り下げ部材３０は、一対の吊り下げロッド３１・３１と、吊り下げフレーム３２とを備え、該吊り下げフレーム３２は上部フレーム３２ａと側部ロッド３２ｂ・３２ｂとにより「門」字型に構成されている。
吊り下げロッド３１・３１はクリーンルームの天井、又は床面に立設した「門」字型の支持フレームから垂設されて、該吊り下げロッド３１・３１の下端部に上部フレーム３２ａの左右両側部が締結固定されている。
また、該上部フレームの左右両端部に側部ロッド３２ｂ・３２ｂの上端部が締結固定され、該側部ロッド３２ｂ・３２ｂの下端部に繋ぎ部材２５の左右両端部が締結固定されている。
【００１７】
このように繋ぎ部材２５・２５・・・は吊り下げ部材３０・３０・・・によって懸吊されており、該繋ぎ部材２５・２５・・・の上面の左右両側部にレール２４Ｌ・２４Ｒの下面が載置固定されている。この繋ぎ部材２５・２５・・・は走行路２の走行方向に間隔を開けて多数配置され、該繋ぎ部材２５・２５・・・により、２本のレール２４Ｌ・２４Ｒの間隔が、一定幅に保たれている。
また、必要に応じ、単にレール２４Ｌ・２４Ｒをその下面にて連結するのみで吊り下げ部材３０・３０・・・に懸吊されない繋ぎ部材２５・２５を適宜設けても良い。
【００１８】
但し、繋ぎ部材２５・２５・・・は、前記処理装置や自動倉庫等の装置４のステーション４１の上方位置には配置されず、該ステーション４１の上方位置における、レール２４Ｌ・２４Ｒの下面間は繋ぎ部材２９・２９で連結されている。なお、ステーション４１の上方位置に関しては、装置４側の一方のレール２４Ｒは切欠されており、該繋ぎ部材２９・２９と、もう一方のレール２４Ｌとで「コ」字状に包囲されて通過口２０が形成されている。ここで、通過口２０には前記レール２４Ｒが切欠された箇所も含まれるものとする。
【００１９】
本実施例では、後述する搬送車１０の駆動輪１１と従動輪１４・１４との左右間隔ができるだけ狭く構成されて車体のコンパクト化が図られており、これに対応してレール２４Ｌ・２４Ｒの幅も狭く構成される結果、走行路２上の搬送車１０とステーション４１との間で物品９を受け渡す際に、上下に昇降する物品９と、装置４側の一方のレール２４Ｒとが十字に交叉するレイアウトとなる。
【００２０】
前記レール２４Ｌ（２４Ｒ）は、適宜長さに形成された、複数のレール体２４ｌ・２４ｌ・・・（２４ｒ・２４ｒ・・・）から成り、少なくとも該レール体２４ｌ（２４ｒ）の長手方向両端部が繋ぎ部材２５・２５に支持固定されている。このレール体２４ｌ・２４ｌ・・・（２４ｒ・２４ｒ・・・）が走行路２の走向方向に継ぎ足されて、レール２４Ｌ（２４Ｒ）が連綴されている。
【００２１】
レール体２４ｌ（２４ｒ）は、水平な走行部２４ｂ（２４ｊ）と、その左右外側部に立設されるガイド部２４ｃ（２４ｋ）とを備え、断面視「Ｌ」字型の形状に形成されている。
さらに、図４に示すように、レール体２４ｌについては、走行部２４ｂの左右内側部にガイド部２４ｄが立設され、該ガイド部２４ｄの上端部には、前記ガイド部２４ｃ側へ向けた突出部２４ｆが形成されている。また、該突出部２４ｆと対向させて、ガイド部２４ｃの上下中途部に、ガイド部２４ｄ側へ向けた突出部２４ｅが突設されている。この走行部２４ｂと、ガイド部２４ｃ・２４ｄと、突出部２４ｅ・２４ｆとで囲われる凹部スペースがガイド溝２４ｇとなり、該ガイド溝２４ｇに、後述する搬送車１０のガイドローラ１２・１２が緩挿され、該突出部２４ｅ・２４ｆにより、該ガイドローラ１２・１２が浮き上がって該ガイド溝２４ｇから抜け出さないように構成されている。
【００２２】
以上のように、レール２４Ｌ（２４Ｒ）は、複数のレール体２４ｌ・２４ｌ・・・（２４ｒ・２４ｒ・・・）が継ぎ足されて構成されており、正確には、通過口２０では、一方のレール２４Ｒのレール体２４ｒが切欠されている。そして、切欠により前後に分断されたレール体２４ｒ・２４ｒの端部（通過口２０を挟んで対向するレール体２４ｒ・２４ｒの端部）はやや下方に曲げられ、該端部の上面は、水平な走行部２４ｄの上面から斜下方へ傾斜させている。図１に示すように、このレール体２４ｒの端部の下面と、もう一方のレール２４Ｌのレール体２４ｌの下面とを繋ぎ部材２９・２９で連結する。該繋ぎ部材２９・２９はレール２４Ｌ・２４Ｒと直交する方向に配置され、該繋ぎ部材２９・２９によって、走行路２の剛性が維持され、切欠の形成によるレール体２４ｒの端部での強度の低下が防止される。
【００２３】
前記落下防止部材２６は、適宜長さに形成された、複数の落下防止バー２６ａ・２６ａ・・・が長手方向に継ぎ足されて構成されている。繋ぎ部材２５（２９）の上面には、左右に一定間隔を開けて、ブラケットが２個固設されている。このブラケットは断面「凹」字型の形状で、該ブラケットの凹部に上方から、落下防止バー２６ａが着脱自在に嵌合されている。
【００２４】
このような構成で、落下防止バー２６ａ・２６ａ・・・が繋ぎ部材２５・２５・・・、２９・２９・・・間に架設され、ただし、該落下防止バー２６ａ・２６ａ・・・は、前記通過口２０には配置しないものとする。
このように、本実施例では、安全面の観点から、レール２４Ｌ・２４Ｒ間に２筋の落下防止部材２６・２６が架設されて、万一、搬送車１０等から物品９がレール２４Ｌ・２４Ｒ間に落下したときにも、該落下防止部材２６・２６に引っ掛かって、床面までは落下しないように構成されている。
なお、落下防止部材２６・２６の本数や配置の仕方等については特に限定はしないものとする。
【００２５】
また、走行路２の通過口２０の上方では、ガイドレール３４と、支持レール３７とが、通過口２０の前後の吊り下げ部材３０・３０間に走行路２の走向方向に向けて架設されている。このガイドレール３４と、支持レール３７とは略同じ長さに形成され、通過口２０上方の略同じ区間に、平行に配置されている。該ガイドレール３４の前部と後部、及び該支持レール３７の前部と後部とは、それぞれ通過口２０の前方と後方の走行路２の一部とラップして配置されている。
【００２６】
図１及び図２に示すように、ガイドレール３４は吊り下げ部材３０の上部フレーム３２ａの略左右中央部から垂設されており、該ガイドレール３４の前後の先端部３４ａ・３４ａは尖形形状に形成されて、先端へいくほど肉厚が薄く（自由端が細く）形成され、該ガイドローラ３４の先端部３４ａが、後述する搬送車１０の分岐装置１７のガイドローラ１８と分岐ローラ１９との間にスムースに挿入されるように構成されている。
【００２７】
支持レール３７は、吊り下げ部材３０の上部フレーム３２ａのレール２４Ｒ側の側部から垂設されており、後述する搬送車１０の補助車輪３８・３８が係合するように構成されている。図５に示すように、支持レール３７は、上下の水平部位３７ａ・３７ｂと、該水平部位３７ａ・３７ｂと繋ぐ垂直部位３７ｃとで、正面断面視、「コ」字型に形成され、該垂直部位３７ｃは水平部位３７ａ・３７ｂの左右外側の反補助車輪３８側に配置されて、該水平部位３７ａ・３７ｂの左右内側の補助車輪３８側の端部には、それぞれ垂下部３７ｄと立設部３７ｅとが形成されて、該垂下部３７ｄと立設部３７ｅとは対向するように配置されている。そして、上側の水平部位３７ａが吊り下げフレーム３２の上部フレーム３２ａに取り付けられ、下側の水平部位３７ｂの上面が搬送車１０の補助車輪３８・３８の走行面として構成されている。なお、立設部３７ｅは、水平部位３７ｂ上面を走行する補助車輪３８・３８の車軸と干渉しない高さに構成されている。
【００２８】
この支持レール３７は走行路の走向方向が長手方向となる長手部材で、走行面となる水平部位３７ｂの短手方向両端部（左右両端部）に立設した垂直部位３７ｃと、立設部３７ｅとにより、水平部位３７ｂ上面を走行する補助車輪３８・３８が脱輪しないように構成されている。
【００２９】
次に、搬送車１０の構成について説明する。
図１及び図２に示すように、搬送車１０には、車体本体１０ａの中央部に物品収納空間１０ｂが設けられており、該物品収納空間１０ｂの下方と左右一側部とは、物品９が通過可能なように外部へ開口されて、該車体本体１０ａの下側部及び左右一側部が「門」字型に形成されている。
【００３０】
図３に示すように、車体本体１０ａの下端部において、左右他側端部には、駆動モータ１５が取り付けられ、該駆動モータ１５の外側方に駆動輪１１が車軸を左右水平方向に向けて取り付けられ、該駆動輪１１の前方と後方に、ガイドローラ１２・１２が車軸を鉛直方向に向けて取り付けられている。駆動輪１１は車体本体１０ａの前後中央位置に配置されており、平面視で、ガイドローラ１２・１２は駆動輪１１の車軸に対して前後対称位置に配置されている。
【００３１】
図２に示すように、駆動輪１１の一部分は車体本体１０ａの下面から下方へ突出しており、前記レール２４Ｌの走行部２４ｂと当接するように構成されている。そして、ガイドローラ１２・１２は該レール２４Ｌのガイド溝２４ｇに緩挿され、走行部２４ｂの左右両端部に立設されるガイド部２４ｃ・２４ｄで案内されるように構成されている。このガイド溝２４ｇに緩挿されたガイドローラ１２・１２は前記ガイド部２４ｃ・２４ｄから突出する突出部２４ｅ・２４ｆによってガイド溝２４ｇから抜け出さないようになっている。
【００３２】
車体本体１０ａの下端部における左右一側端部には、一対の従動輪１４・１４が垂設されている。この従動輪１４・１４は方向転換自在なキャスター輪で構成され、車体本体１０ａ下面における前端部と後端部とに、車軸を水平方向に向けて配置されている。さらに、図３に示すように、従動輪１４・１４の上方には補助輪１３・１３が、車軸を鉛直方向に向けて取り付けられている。
【００３３】
図２及び図３に示すように、車体本体１０ａの上面においては、前部と後部とに分岐装置１７・１７が設けられている。分岐装置１７は車体本体１０ａの上面の左右中央部に配置されるガイドローラ１８と、その左側方と右側方とに配置される分岐ローラ１９・１９とを備え、該ローラ１８・１９・１９は車軸を鉛直方向に向けて配置されて、該分岐ローラ１９・１９については上下動自在に構成されている。
【００３４】
また、車体本体１０ａの上面には、分岐装置１７・１７の従動輪１４・１４側、側方にブラケット３９・３９が立設され、該ブラケット３９に補助車輪３８が軸心を左右水平方向に向けて取り付けられている。つまり、補助車輪３８・３８は、従動輪１４・１４の略上方で、車体本体１０ａ上面の前部と後部とに一対配置されて、走行路２の通過口２０上方で、前記支持レール３７と係合するように構成されている。
【００３５】
さらに、車体本体１０ａの上面には、左右両側部に、給電線６・６から電力を得るためのピックアップユニット６０・６０が配設されている。このピックアップユニット６０・６０は、車体に占める重量比が多いため、車体の左右両側に配置することで、車体全体の重量バランスを保ち、例えば、曲線部をなめらかに走行することを可能にしている。また、走行路２は分岐路を有するため、該走行路２の一側に敷設される給電線６・６は、分岐路等、所により、該走行路２のこれとは反対側に敷設される箇所もあり、該ピックアップユニット６０・６０を車体本体１０ａの左右両側部に配置することで、このような分岐路等においても、走行する搬送車１０へ、瞬断することなく電力を供給することができる。
【００３６】
前記ピックアップユニット６０は、正面断面視にて略「Ｅ」字型をしたフェライト製のコア６１と、ピックアップコイル６２とを備え、該コア６１は車体本体１０ａの上面にブラケット６３を介して取り付けられている。
該コア６１の上中下３箇所の突出部は左右外方向へ向けられており、中央の突出部にはピックアップコイル６２が巻回されている。該コア６１は、上の突出部と中央の突出部との間、及び中央の突出部と下の突出部との間にそれぞれ形成された、上下２つの凹部スペース内に、給電線ホルダ６５・６５・・・の先端部に保持された給電線６・６が、それぞれ一本ずつ位置するように配置されている。
【００３７】
図２に示すように、給電線ホルダ６５は、正面断面視において略「Ｆ」字を上下反転した形状の部材で、吊り下げフレーム３２の上部フレーム３２ａにおける、少なくとも左右の一方側から、取付部材３６を介して垂設されている。給電線ホルダ６５の上下２箇所の突出部は左右内方向へ向けられて、その先端部に給電線６・６が保持され、前記コア６１の、上下の突出部と、その中央の突出部との間に形成された、上下２つの凹部スペース内に、位置するように配置されている。
【００３８】
この給電線６・６に高周波電流を流すことによって発生する磁界を、ピックアップコイル６２で受けるようにしている。そして、電磁誘導現象を利用し、ピックアップコイル６２に発生する誘導電流から電力を取り出す。このようにして、給電線６・６からピックアップユニット６０に非接触で電力が供給され、駆動輪１１の駆動モータ１５を駆動したり、制御機器に電力を供給したりしている。
【００３９】
また、図１に示すように、搬送車１０には、物品９の保持装置として、物品収納空間１０ｂ内に、チャックを備えたホイスト７が搭載されている。物品収納空間１０ｂ上方の天井面には横移動装置が垂設されており、横移動装置にホイスト本体が取り付けられている。ホイスト本体には、チャックを昇降させるための昇降手段が設けられており、横移動装置で、ホイスト本体を車体進行方向に対して左右横方向（直交する方向）に移動させることができる。このため、ホイスト７の真下から、ステーション４１が進行方向に対して直交する方向に据え付け誤差などにより多少ずれていた場合にも、物品９をステーション４１の物品載置部の真上となるように、ホイスト本体を移動させることで、物品９をステーションの載置部へ正確に移載することができる。
【００４０】
また、ステーション４１が、平面視で車体本体１０ａに形成されている側壁開口側（レール２４Ｒ側）にあって、車体進行方向に対して左右横方向（直交する方向）で、レール２４Ｒより側方にずれた位置にあった場合でも、横移動装置の移動量を増やすことで対応することが可能になる。
【００４１】
なお、どのステーション４１・４１・・・も走行路２上の搬送車１０の真下に位置するようにレイアウトして、搬送車１０に横移動装置を搭載しない構成としてもよい。この場合は、物品収納空間１０ｂ上方の車体本体１０ａ天井面に直接ホイスト本体が取り付けられる。
【００４２】
このホイスト７の本体には４組の巻取ドラムが取り付けられており、該巻取ドラムにはそれぞれベルト７３・７３・・・が巻回されて、該ベルト７３・７３・・・を介して昇降部７２が昇降自在に吊設されている。このようにして昇降部７２が昇降自在に構成されており、該昇降部７２の下部に物品９を保持するためのチャックが設けられている。チャックは、物品９の上部に形成されている図示されない上部フランジを把持するようになっている。
【００４３】
以上、搬送車１０の構成であり、該搬送車１０は走行路２上を自動走行している。搬送車１０が走行路２上の通過口２０に接近すると、該通過口２０の手前で分岐装置１７を作動させて、一方の分岐ローラ１９を上昇させる。
この制御は、通過口２０の手前（下流側）で、一方のレール体２４ｌの左右外側のガイド部２４ｂからプレート２３（図２参照）を立設し、該プレート２３の左右内側面（搬送車１０と対向する側の側面）に、位置情報を記録したバーコードを貼付しておき、搬送車１０の下部には読取リーダを搭載して、該読取リーダで該バーコードを読み取ることによって、該一方の分岐ローラ１９を上昇させるようにしている。
【００４４】
さらに、搬送車１０は自車自身でも現在の走行位置を時々刻々把握している。搬送車１０には機上コントローラが内蔵されており、該機上コントローラには、走行路２に関する地図情報（データ）が記憶されている。また、搬送車１０にはエンコーダが搭載されていて、走行距離が判るようになっており、該機上コントローラでは該地図情報と該走行距離とから現在位置が認識されている。
【００４５】
従って、搬送車１０の機上コントローラでは、走行路２上に貼付されている多数のバーコードの位置も把握されており、搬送車１０が読取リーダでバーコードを検出することにより、現在どの位置を走行中なのかをポイントポイントで正確な位置情報が認識されるようになっている。そして、読取リーダでバーコードを検出したとき、エンコーダによる走行距離から求めた現在位置が、地図情報上のバーコード位置のデータと一致していなければ、走行距離から求めた現在位置を、地図情報上のバーコード位置のデータとなるように補正する。
【００４６】
このように搬送車１０では、機上コントローラに記憶された地図情報とエンコーダで検出した走行距離とにより常時現在位置が認識されるとともに、読取リーダでバーコードを検出することによりピンポイントで現在位置が認識され、２重のシステムで現在位置が認識されている。
【００４７】
以上のようにして、搬送車１０は通過口２０の手前で分岐装置１７の一方の分岐ローラ１９を上昇させることで、該一方の分岐ローラ１９とガイドローラ１８との間に前記ガイドレール３４の先端部３４ａが挿入される。これとともに、搬送車１０の上方の補助車輪３８・３８が支持レール３７の水平部位３７ｂの上面に乗り上げる。
【００４８】
こうして搬送車１０の走行は、通過口２０の手前から、ガイドローラ１２・１２のレール２４Ｌのガイド溝２４ｇによる案内に加えて、分岐装置１７のガイドローラ１８と一方の分岐ローラ１９とで挟まれたガイドレール３４によって左右にブレないように案内され、また、補助車輪３８・３８が走行する支持レール３７によって下方に沈まないように案内される。このステーション４１上に設けられるガイドレール３４は、以下の説明のように、搬送車１０の案内よりも、むしろ搬送車１０を支持する目的で架設されており、該ガイドレール３４と分岐装置１７のローラ１８・１９とが係合することで、搬送車１０の左右方向への傾きが支持されている。
【００４９】
そして、搬送車１０は通過口２０へ向けて走行し、該通過口２０では、一方のレール２４Ｒが途絶えて、搬送車１０の前側の従動輪１４がレール体２４ｒの走行部２４ｊから脱輪して中空に浮くが、搬送車１０は、その上方と下方とで支持されているために、レール２４Ｒが切欠された箇所で通過口２０に落ち込んだり、沈み込んだりすることはない。
【００５０】
すなわち、搬送車１０は、下方では、駆動輪１１がもう一方のレール２４Ｌの走行部２４ｂで支持され、上方では、分岐装置１７のローラ１８・１９とガイドレール３４との係合により、該レール２４Ｌの走行部２４ｂと駆動輪１１との接触点を回転支点とした、搬送車１０の左右方向への回転が防止されるとともに、補助車輪３８・３８と支持レール３７との係合により搬送車１０の下方への沈み込みが支持されている。
【００５１】
このように搬送車１０は、通過口２０上では、少なくとも上方で２組の支持機構と、下方でレール２４Ｌ上の駆動輪１１とで支持されて、その走行姿勢が揺らぐことなく、スムースに通過口２０を走行することができる。従って、搬送車１０が物品９を保持して、通過口２０を通過したり、移載のために通過口２０上で停止する場合も、該物品９が傾いたり、揺れたりすることが殆どない。特に、物品９が多数のウエハを収納したカセットである場合には、該ウエハが精密でデリケートな製品であるために、搬送中の揺れや傾きなどによる振動や衝撃などは極力避けたいものであり、このように通過口２０において搬送車１０の上方と下方とでしっかりと支持する構成は有効である。
【００５２】
また、走行路２の通過口２０上は搬送車１０の停止位置ともなり、該通過口２０で、搬送車１０が停車や発進など加減速を伴う走行をしても、前後の補助車輪３８・３８が支持レール３７で支持されている結果、搬送車１０が進行方向に傾くことがなく、走行安定性の向上が図られている。
【００５３】
なお、図２に示すように、前記補助車輪３８・３８については、搬送車１０の車体本体１０ａの上面において、できるだけ従動輪１４・１４側に寄せて配置し、この補助車輪３８・３８に配置位置に対応した位置で、支持レール３７を吊り下げフレーム３２の上部フレーム３２ａに架設することが望ましい。このように補助車輪３８・３８を従動輪１４・１４側に寄せて配置することで、該補助車輪３８・３８と支持レール３７とが係合するポイントと、分岐装置１７・１７のローラ１８・１９、１８・１９とガイドレール３４とが係合するポイントと、駆動輪１１がレール２４Ｌの走行部２４ｂ上で支持されるポイントとを結ぶ幾何学的図形の重心位置と、実際の搬送車１０の重心位置とが近くなり、通過口２０上で搬送車１０がより一層安定するようになる。さらに理想的には、この幾何学的図形の重心位置と、実際の搬送車１０の重心位置とが一致するように、補助車輪３８・３８を従動輪１４・１４側に寄せて配置することが望ましい。
【００５４】
そして、この搬送車１０が通過口２０を通過中に、該通過口２０を挟んで向かい合う、レール２４Ｒの上流側の走行部２４ｊと、下流側の走行部２４ｊとの間で、脱輪して中空に浮いた状態の従動輪１４が、仮に該走行部２４ｊ・２４ｊの上面の高さ位置から若干下方へ沈んでいても、上流側の走行部２４ｊの端部の傾斜に案内されて、難なく該上流側の走行部２４ｊに乗り上げるように構成されている。
【００５５】
そうして、搬送車１０が通過口２０上で物品９の移載を行なう場合は、前側の従動輪１４が上流側の走行部２４ｊに乗り上げ、且つ、後側の従動輪１４が下流側の走行部２４ｊから脱輪する前の、搬送車１０が安定した状態で一旦停止させて、物品９の移載が行われる。
【００５６】
この状態では、搬送車１０の下方には通過口２０が位置し、ステーション４１から搬送車１０に物品９を積み込む場合は、まず、ホイスト本体を保持する横移動装置を左右方向に移動させて、該ホイスト本体をステーション４１上に載置された物品９の直上方に位置させる。このとき、ホイスト本体と物品９との間に、前記レール体２４ｒの切欠箇所が位置し、該ホイスト本体の昇降部７２を下降させて、該レール体２４ｒの切欠箇所を含む通過口２０を上下方向に通過させる。
【００５７】
そして、昇降部７２のチャックでステーション４１上の物品９を把持し、物品９を把持した状態で昇降部７２を上昇させる。このとき、物品９の重みによって、搬送車１０はレール２４Ｒ側へ傾こうとするが、搬送車１０は、上方で、分岐装置１７のローラ１８・１９とガイドレール３４との係合により左右方向への傾きが支持されるとともに、補助車輪３８・３８と支持レール３７との係合により下方への沈み込みが支持されていて、転倒が防止されている。そして、再び前記レール体２４ｒの切欠箇所を含む通過口２０を通過させ、ベルト７３・７３の巻き上げを終えたところで、ホイスト本体を保持する横移動装置を左右方向に移動させ、物品９を搬送車１０の物品収納空間１０ｂ内に収納する。このようにして、ステーション４１上の物品９が搬送車１０へ移載される。
【００５８】
また逆に、搬送車１０から物品９をステーション４１へ移載する場合も、同じようにして、横移動装置で左右方向の位置を調節し、通過口２０より物品９を把持したホイスト７の昇降部７２を下降させて、該物品９を搬送先のステーション４１上に載置する。
【００５９】
このように搬送車１０は物品９を保持して走行路２上を走行する搬送車でありながら、ホイスト７により走行路２に形成された通過口２０から、その下方のステーション４１へ容易に物品９を受け渡すことができる。この搬送車１０によれば、装置４・４・・・毎にステーション４１・４１・・・の高さ位置が異なる場合であっても、何ら問題はなく簡単に物品９を受け渡すことができる。
【００６０】
その上、物品９の受け渡しの際には、搬送車１０は下方で、駆動輪１１が一方のレール２４Ｌの走行部２４ｂ上で、従動輪１４・１４が前記通過口２０の切欠部位を挟んで対向する、もう一方のレール２４Ｒの走行部２４ｊ・２４ｊ上で支持され、また上方では、分岐装置１７のローラ１８・１９とガイドレール３４との係合により左右方向への傾きが支持されるとともに、補助車輪３８・３８と支持レール３７との係合により下方への沈み込みが支持される結果、搬送車１０は物品９の重量等によって傾くことはなく、安定した状態で物品９を移載することができる。
【００６１】
こうして移載が完了すると、搬送車１０の走行を再開させ、前記のように、搬送車１０は上方と下方とで支持されながら、後側の従動輪１４が下流側の走行部２４ｊから脱輪した後、上流側の走行部２４ｊに乗り上げ、こうして搬送車１０は通過口２０を完全に通過し終える。この後、ガイドレール３４と支持レール３７とは途絶え、該ガイドレール３４による案内及び支持と、該支持レール３７による支持とがなくなって、搬送車１０は、元のように、ガイドローラ１２・１２がレール２４Ｌのガイド溝２４ｇだけで案内されながら走行する。
【００６２】
以上のような構成で、ホイスト７による物品９の昇降軌跡と搬送車１０の従動輪１４・１４の走行軌跡とが十字に交叉するレイアウトで、ステーション４１上方では、レール体２４ｒが切欠されており、該切欠の上方に支持レール３７が架設されるとともに、搬送車１０には該支持レール３７に係合する補助車輪３８・３８が設けられている。搬送車１０が微調整用の横移動装置を搭載していれば、物品９の載置箇所であるステーション４１の配置位置が据え付け誤差等により所定位置から多少ずれていても、該横移動装置により微調整することができる。
【００６３】
前記搬送車１０の分岐装置１７・１７について補足すると、該分岐装置１７・１７は、本来、走行路２の分岐部、又は合流部の手前で作動して、搬送車１０自体で、その進行方向を選択するための装置であり、上記のように、通過口２０上で、ガイドレール３４と係合させて、搬送車１０を支持することにも利用されている。
【００６４】
走行路２の分岐部と、合流部とには、走行路の走向方向に沿って２本のガイドレールが架設されている。この２本のガイドレールの一側部は、分岐前（合流後）の１本の走行経路では平行に配置されるが、他側部は分岐後（合流前）の２本の走行経路に沿って、互いに別れるように配置されている。このガイドレールは前記吊り下げフレーム３２を構成する上部フレーム３２ａの左右中央部から垂設され、走行路２の走行方向に、複数の上部フレーム３２ａ・３２ａ・・・間に渡って架設されている。該ガイドレールの両端部は、前記ガイドレール３４と同様に、尖形形状に形成されていて、先端へいくほど肉厚が薄く形成され、該ガイドローラの端部が、搬送車１０の分岐装置１７のガイドローラ１８と分岐ローラ１９との間にスムースに係入されるように構成されている。
【００６５】
また、走行路２の分岐部と、合流部とには、レール２４Ｌ・２４Ｒ、２４Ｌ・２４Ｒの替わりに、プレート状の乗り移り部材が敷設されている。すなわち、分岐部（合流部）とでは、分岐前（合流後）の１本の走行経路と、分岐後（合流前）の２本の走行経路との間で、２組のレール２４Ｌ・２４Ｒ、２４Ｌ・２４Ｒが交錯する構成となるため、分岐部（合流部）においては、該２組のレール２４Ｌ・２４Ｒ、２４Ｌ・２４Ｒの配置位置に、搬送車１０の走行面となる乗り移り部材が介設されている。この乗り移り部材の上面は水平面に形成されており、前記レール体２４ｌの走行部２４ｂの上面、及びレール体２４ｒの走行部２４ｊの上面と同じ高さ位置に配置されている。
【００６６】
以上のような構成で、分岐部と、合流部については、レール２４Ｌのガイド溝２４ｇもなくなり、該分岐部と、合流部においては、搬送車１０は、該ガイド溝２４ｇの替わって、その上方に架設されているガイドレールによって案内されるようになっている。
【００６７】
搬送車１０が分岐部へ向かう場合、搬送車１０は分岐部領域の入口部で分岐装置１７を作動させて、一方の分岐ローラ１９を上昇させる。この制御は、分岐部領域の入口部に、位置情報を記録したバーコードを貼付しておき、該バーコードを搬送車１０に搭載した読取リーダで読み取ることによって、走行すべき方向に対応する分岐ローラ１９を上昇させるようにしている。
【００６８】
さらに、前記のように搬送車１０は自車自身でも現在の走行位置を時々刻々把握しており、従って、搬送車１０の機上コントローラでは、搬送車１０が読取リーダでバーコードを検出することで、現在どの分岐位置を走行中なのかを再確認している。
【００６９】
そして、一方の分岐ローラ１９が上昇した後、該一方の分岐ローラ１９とガイドローラ１８との間に、該分岐部領域の入口部の上方で平行に架設されている、２本のガイドレールのうちの一方のガイドレールの端部が入り込む。このようにして、該一方の分岐ローラ１９とガイドローラ１８とによって該一方のガイドレールが挟まれ、該一方のガイドレールによって、搬送車１０が案内され始める。この直後、搬送車１０の下方では、レール２４Ｌのガイド溝２４ｇが途絶えて、搬送車１０のガイドローラ１２・１２が案内されなくなる。こうして、搬送車１０は、レール２４Ｌのガイド溝２４ｇに替わって、上方のガイドレールで案内されながら、前記乗り移り部材の上面を走行し、選択した分岐方向へ向けて進行する。
【００７０】
そして、走行路２が分岐した後の分岐部領域の出口部で、途絶えていたレール２４Ｌのガイド溝２４ｇが再び敷設されて、ここで、搬送車１０のガイドローラ１２・１２がレール２４Ｌのガイド溝２４ｇに入り込む。この直後、先ほどまで案内されていたガイドレールが途絶えて、搬送車１０の分岐装置１７のローラ１８・１９は案内されなくなる。こうして、搬送車１０は、分岐部上方に架設されたガイドレールに替わって、再び、レール２４Ｌのガイド溝２４ｇによって案内される。
【００７１】
同様に、搬送車１０が合流部に差し掛かると、合流部領域の入口部で分岐装置１７・１７を作動させて、一方の分岐ローラ１９を上昇させ、該一方の分岐ローラ１９とガイドローラ１８とで合流部上方に架設されたガイドレールを挟み込み、搬送車１０は該ガイドレールに案内されながら合流部を通過する。その際の、搬送車１０を案内するガイドレール３５と前記ガイド溝２４ｇの関係は前述した分岐部の場合と同様で自明であるので省略する。
【００７２】
【発明の効果】
以上のように構成した本発明では、次のような効果を奏する。
まず、請求項１に記載の発明では、天井搬送車は、走行路における物品載置箇所の上方の切欠箇所で、補助車輪が支持レールに支持されて、搬送車が該切欠箇所にはまり込むことなく、該切欠箇所上をスムースに走行することができる。従って、搬送車に物品を搭載して、走行路の切欠箇所を通過する場合も、該物品が揺れたり、傾いたりすることも殆どなくなる。
【００７３】
また、請求項２に記載の発明では、走行路の切欠箇所で、搬送車が発進や停車など加減速を伴った走行をしても、前後の補助車輪が支持レールで支持されているので、搬送車が進行方向に傾くことがなく、走行安定性が向上する。
【００７４】
さらに、請求項３に記載の発明では、支持レールの走行面の短手方向両端部に立設される立設部によって、該走行面を走行する補助車輪の脱輪が防止されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】通過口２０を有する走行路２上の搬送車１０の斜視図。
【図２】搬送車１０の正面図。
【図３】同じく平面図。
【図４】ガイドローラ１２・１２が緩挿されるレール２４Ｌの正面断面図。
【図５】補助車輪３８・３８が係合されるレール３７の正面図。
【符号の説明】
２    走行路
４    装置
７    ホイスト
９    物品
１０    搬送車
１１    駆動輪
１４    従動輪
１７    分岐装置
１８    ガイドローラ
１９    分岐ローラ
２０    通過口
２４Ｌ  レール
２４Ｒ  レール
３４    ガイドレール
３７    支持レール
３７ｂ  水平部位
３７ｃ  垂直部位
３７ｅ  立設部
３８    補助車輪
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004189360.tif 000006
【図５】
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