(57)【要約】【課題】本発明は、対物レンズの焦点深度を利用して、測定面の微小な凹凸、段差等の深さ高さを測定する新規のスリット光平行往復型深さ高さ測定顕微鏡を提供するものである。【解決手段】スリット光照射用光学系の光軸と光切断像観測用光学系の光軸が測定面上で交る状態として備えられ、且つ上記光切断像観測用光学系が一つ視野内で同時に観測できる正像と反転像を得るための２光路システムとされ、この２光路システムがビームスプリッターとプリズムの組み合せで構成されたことを特徴とするものである。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリット光照射用光学系の光軸と光切断像観測用光学系の光軸が測定面上で交る状態として備えられ、且つ上記光切断像観測用光学系が一つ視野内で同時に観測できる正像と反転像を得るための２光路システムとされたことを特徴とするスリット光平行往復型深さ高さ測定顕微鏡。
【請求項２】
光切断像観測用光学系の２光路システムがビームスプリッターとプリズムの組み合せで構成されたことを特徴とする請求項１記載のスリット光平行往復型深さ高さ測定顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、対物レンズの焦点深度を利用して、測定面の微小な凹凸、段差等の深さ高さを測定する形式のスリット光平行往復型深さ高さ測定顕微鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来知られているこの種の、スリット光を利用した深さ高さ測定顕微鏡は、対物レンズの焦点深度を利用して、微妙な段差やＶ溝等を測定する形式のものであった（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特許第２６８９３５９号公報
【０００４】
しかしながら、この種の従来形式には、対物レンジ固有の焦点深度と、肉眼で判断する焦点合わせの中に、生理的な感覚が作用して、ピント合わせ操作ごとに幾分かの差異が生じ、測定の再現性に欠けたまま現在に至っているという問題点があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点を解決する工夫を施した新規のスリット光平行往復型深さ高さ測定顕微鏡を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明に係るスリット光平行往復型深さ高さ測定顕微鏡は、ものである。
【０００７】
そして、光切断像観測用光学系がビームスプリッターとプリズムの組み合せで２光路システムとされたこものである。
【０００８】
【実施例】
図１に示す第１実施例は、測定面１にスリット光２を照射するスリット光照射用光学系３と当該スリット光照射用光学系３が形成する光切断像４を観察する観測用光学系５とを備えたものである。これ等両系３、５の光軸６，７は、測定面１の上方に配置される対物レンズ８を介して測定面個所で交錯した状態で結像する。以下、スリット光照射用光学系３の光軸は照射系光軸６と記し、観測用光学系５の光軸は観察系光軸７と記すこととする。
【０００９】
スリット光照射用光学系３は、第１コンデンサレンズ９と第１プリズム１０とスリット板１１とから構成されている。また、観測用光学系５は、第２コンデンサレンズ１２と接眼レンズ（図示せず）とから構成される。更に第２コンデンサ１２と接眼レンズとの間には第１ビームスプリッター１３と第２ビームスプリッター１４が装入され、且つこれ等第１ビームスプリッター１３、第２ビームスプリッター１４の横には、ペンタプリズム１５と直角プリズム１６が設けられている。
【００１０】
この第１ビームスプリッター１３は、上記観測系光軸７を分岐するためのものである。この分技光軸１７は、ペンタプリズム１５と直角プリズム１６と第２ビームスプリッター１４を介して再び観察系光軸７に戻され、接眼レンズに入るようにされている。
【００１１】
本発明は、分岐光軸１７の途中にシャッターを設けて反転像を一時的に消すようにしたり、同分岐光軸１７の途中に色ガラスを入れて反転像に色を着けたり、視野の中央に基準線を設けたりして、使い勝手をよくすることは自由であり、これ等にも本発明は及ぶものである。
【００１２】
【作用】
すなわち、上記第１実施例によれば、例えばこれを使用して図３に示すような段差１８を観察することができる。次に、この観察の手順を具体的に説明する。
【００１３】
まず、観察面を覗き、ピント合せ操作を行って、視野１９内にピントの合っていない正像Ａおよび反転像Ｂができていることを確認する（図２の（１）参照）。なお、この図２の（１）は、同図の上方に位置する符号イで示す個所が段差１８の上位部分イ’を示し、同じく同図の中央に位置する符号ロで示す個所が段差１８の傾斜部分ロ’を示し、また同図の下方に位置する符号ハで示す個所が段差１８の下位部分ハ’を示している。
【００１４】
符号イで示す個所には、正像Ａが左に位置した状態で表れ、反転像Ｂが位置した状態で表れている。また符号ハで示す個所には、反転像Ｂが左に位置し、正像Ａが右に位置した状態で表れている。そして符号ロで示す個所には、傾斜部分ロ’の反射率の関係で見えるか見えないかの状態で正像Ａと反転像Ｂが交差した状態の像が表れている。この符号ロで示す個所に表れる像は、計測の操作には必ずしも重要ではない。
【００１５】
次いで、ピント合せ操作を行って、符号イで示す個所に存在する正像Ａと反転像Ｂとが重なって１本に見えるように一致させる（図２の（２）参照）と共に当該ピント合わせ位置（ピントの合った所）をゼロとしてデジタルゲージ（図示せず）のカウンターに表示させる。
【００１６】
更に、ピント合せ操作を行って、符号ハで示す個所に存在する反転像Ｂと正像Ａとが重なって１本に見えるように一致させる（図２の（３）参照）と共に当該ピント合わせ位置（ピントの合った所）を上記デジタルゲージのカウンターに表示させる。このカウンターに表示された数値が段差の量である。
【００１７】
また、図４に示す第２実施例は、上記第１実施例とは、第１、第２ビームスプリッター、ビームスプリッター、ペンタプリズムおよび直角プリズム等の配列が異なっているものであって、概念上同様の構成であるので、その詳細の説明は省略する。本発明は、反転像を得るための２光軸が形成されるのであればよく、上記プリズム等の配列およびレンズの種類は、他のものでも実施できる。
【００１８】
【発明の効果】
本発明に係るスリット光平行往復型深さ高さ測定顕微鏡は、今までにない、高い精度と、測定の再現性が得られ、深さ、高さ、Ｖ溝などを無接触で素早く測定できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す構成図である。
【図２】各操作時の視野を示すその状態図である。
【図３】計測部分を示す拡大斜視図である。
【図４】本発明の第１実施例を示す構成図である。
【符号の説明】
１  測定面
２  スリット光
３  スリット光照射用光学系
４  光切断像
５  観測用光学系
６  照射系光軸
７  観察系光軸
９  第１対物レンズ
１０  第１プリズム
１１  スリット板
１２  第２対物レンズ
１３  第１ビームスプリッター
１４  第２ビームスプリッター
１５  ペンタプリズム
１６  直角プリズム
１７  分岐光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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