(57)【要約】【課題】流速計測部の流速分布を均一化することによって、超音波送受信器の設置位置や流量の変化に関係なく計測精度を高める。【解決手段】Ｌ型流路５を流路断面積の広い上流部５ａと、上流部５ａと直交する流路断面積の挾い下流部５ｂに分けるとともに、流速計測部１０を下流部５ｂに設け、かつ、下流部５ｂの上流部側突出部５ｃに下流部内の流速分布を制御する流速制御手段５ｄを有する構成としたもので、上流部から下流部に流入する際に流れの攪拌によって、下流部の上流端で縮流や偏流を生じさせ、流量で決まる層流あるいは乱流の発達した流速分布破壊するとともに、流速制御手段５ｄによって縮流の壁面近くの流速を増速したり、偏流を抑える流れを作り出したりして均一な流速分布を実現する働きし、超音波送受信器の設置位置や流量の変化に関係なく計測精度を高めることができる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入口端と出口端を有し、略直角に曲がった管状のＬ型流路と、少なくとも一対の超音波送受信器を備えた流速計測部と、前記超音波送受信器の信号波形より流量を算出する演算制御手段を備えた超音波流量計であって、前記Ｌ型流路は、流路断面積の広い上流部と、前記上流部と直交し、流路断面積が狭く、流速計測部を設けた下流部からなり、前記下流部には、前記上流部に突出する突出部を設け、前記突出部には、下流部内の流速分布を制御する流速制御手段を設けたことを特徴とする超音波流量計。
【請求項２】
前記流速制御手段は、突出部の上流端の下部より上部に向って、突出部の長さを短縮する方向に傾斜する傾斜部であることを特徴とする請求項１記載の超音波流量計。
【請求項３】
前記流速制御手段は、突出部側壁の上部または下部に設けた少なくとも１個の開口部であることを特徴とする請求項１記載の超音波流量計。
【請求項４】
前記流速制御手段は、突出部の上部側壁に設けた開口部と、前記開口部に隣接して突出部外壁に設けられ、上流部の流れの一部を下流部に導くガイド部であることを特徴とする請求項１あるいは３記載の超音波流量計。
【請求項５】
前記流速制御手段は、突出部側壁に設けた開口部と、前記開口部に隣接した突出部内壁に設けられ、下流部の流れを整流するガイド部であることを特徴とする請求項１あるいは３記載の超音波流量計。
【請求項６】
開口部は、突出部の上側から下流部の流れ方向に傾斜する傾斜開口部であることを特徴とする請求項３記載の超音波流量計。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれかに記載の超音波流量計２個を、流速計測部を共有するようにＵ字型に接続したことを特徴とする超音波流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波により気体や液体の流量流速を計測する超音波流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来この種の超音波流量計は、図１３に示すように、流体を一方から他方に流す配管１の中心線を挾んで対向し、かつ中心線に対して所定角度を傾けて、上流側の超音波送受信器２ａと下流側の送受信器２ｂとを対向して設けるとともに、配管１の流体吸入口３に、配管１と同一方向の向きに平行に配列された複数の細管４ａから構成した整流体４が設けられている〔特許文献１参照〕。
【０００３】
そして、配管１を流れる流体の流速を、超音波送受信器２ａ、２ｂ間で超音波を送受信して得られる伝播時間差から計測し、配管１の断面積より流量を算出している。このとき、配管１に入る流れは整流体４を構成する細管４ａにより、その流れ方向は配管１と同一方向に規制されて、計測部での流線の傾きを低減したり渦の発生を抑制し、流れの乱れの境界面での超音波の反射や屈折による超音波の受信レベルの変動を低減し、測定精度の悪化を防止している。このような整流体４により流れを安定化させた状態で、配管１の計測断面の幅Ｗ方向に超音波を伝搬させ、配管１内を直接伝搬した直接波を、対向する超音波送受信器で受信するとともに、流れの乱れの境界面の超音波の反射や屈折による超音波の受信レベルの変動を低減して測定精度の悪化を防止し、高精度の流量計測を行なっていた。
【０００４】
【特許文献１】
特開平９−１８９５９１号公報（３頁、図１、３）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の超音波流量計では、超音波送受信器２ａ、２ｂ間で計測される流速は、主として対向する超音波送受信器２ａ、２ｂに挟まれた領域内の平均流速であり、配管１内の全体の平均流速とは異なる。つまり、配管１内の流速は、同様ではなく、中心部と内壁近傍で異なり、さらにその分布形状は流量、つまり、層流か乱流かによっても違ってくる。したがって、その計測流速と配管１の断面積から算出された流量は、必ずしも真の流量ではなく、真の流量を算出するためには、超音波送受信器２ａ、２ｂの取り付け位置と流量に応じた流速補正係数が必要になるという課題があった。さらに、細管４ａで構成した整流体４は、長期間の使用において、目詰まりなどの問題を起こす可能性があることことも課題である。
【０００６】
本発明は上記課題を解決するもので、流路内に抵抗物を置かない流速制御部を設けることによって、流速計測部の流速分布を均一化し、超音波送受信器の設置位置や流量の変化に関係なく計測精度を高めることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、Ｌ型流路を流路断面積の広い上流部と、流路断面積の狭い下流部に分けるとともに、流速計測部を下流部に設け、かつ、下流部の上流端は上流部に突出し、突出部に下流部内の流速分布を制御する流速制御手段を設ける構成としたものである。
【０００８】
上記発明によれば、流路がＬ型に構成されているため、上流部から下流部に流入する際に流れの攪拌が生じるとともに、流路断面積の狭い下流部の上流端では、中央部の流速が速くなる縮流や周囲の形状による偏流が生じ、流量によって決まる層流あるいは乱流の発達した流速分布を維持しなくなる。また、下流部に設けられた流速制御手段は、流路内に抵抗物を設けずに、縮流の壁面近くの流速を増速したり、偏流を抑える流れを作り出したりして、均一な流速分布を実現する働きをするので、目詰まりなどを起こさずに超音波送受信器の設置位置や流量の変化に関係なく計測精度を高めることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、入口端と出口端を有し、略直角に曲がった管状のＬ型流路と、少なくとも一対の超音波送受信器を備えた流速計測部と、前記超音波送受信器の信号波形より流量を算出する演算制御手段を備えた超音波流量計であって、前記Ｌ型流路は、流路断面積の広い上流部と、前記上流部と直交し、流路断面積が狭く流速計測部を設けた下流部からなり、前記下流部には、上流部に突出する突出部を設け、前記突出部には、下流部内の流速分布を制御する流速制御手段を設けたものである。
【００１０】
この構成により、流路がＬ型になっており、上流部から下流部に流入する際に流れの攪拌が生じるため、流路断面積の狭い下流部の上流端では、中央部の流速が速くなる縮流や、周囲の形状による偏流が生じ、流量によって決まる層流あるいは乱流の発達した流速分布を維持しなくなるが、下流部に設けられた流速制御手段は、この縮流や偏流を是正し、縮流の壁面近くの流速を増速したり、偏流を抑える流れを作り出したりして、均一な流速分布を実現する働きをするので、超音波送受信器の設置位置や流量の変化に関係なく、計測精度を高めることができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、前記流速制御手段は、突出部の上流端の下部より上部に向かって、突出部の長さを短縮する方向に傾斜する傾斜部であり、この構成により、上流部から流入した流れの一部が直接下流部へ流れ易くなり、上流部底部から巻き上がる流れを少なくできるため、上側に片寄った流速分布が是正され、均一な流速分布を実現する働きをするので、超音波送受信器の設置位置や流量の変化に関係なく計測精度を高めることができる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、前記流速制御手段は、突出部側壁の上部または下部に設けた少なくとも１個の開口部であり、下流部の上流端で生じた縮流の壁近傍に、側壁を通して流れを供給することにより、壁近傍の速度の遅い流れを増速させることとなり、下流部内の流速分布を均一化させることができる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、前記流速制御手段は、突出部の上部側壁に開口部と、前記開口部に隣接して突出部外壁に設けられ、上流部の流れの一部を下流部に導くガイド部であり、側壁に設けた開口部を通してＬ型流路の下流部に流れを供給する際に、隣接して設けられたガイド部の働きによって、下流部の外部から内部にスムースな流れを供給することができるので、下流部内の流速分布をより均一化させることができる。
【００１４】
また、請求項５に記載の発明は、前記流速制御手段は、突出部側壁に設けた開口部と、前記開口部に隣接した突出部内壁に設けられ、下流部の流れを整流するガイド部であり、側壁に設けた開口部を通してＬ型流路の下流部に流れを供給する際に、隣接して設けられたガイド部の働きによって、開口部を通過して流入した流れを下流部内の流れに沿わせて流すため、下流部の上流端から流入する流れを均一化できるので、下流部内の流速分布をより均一化させることができる。
【００１５】
また、請求項６に記載の発明は、開口部は、突出部の上側から下流部の流れ方向に傾斜する傾斜開口部であることを特徴とするもので、上側の壁近傍の流速の遅い部分にスムーズに流れが供給でき、流速分布をさらに均一化させることができる。
【００１６】
また、請求項７に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載の超音波流量計２個を、流速計測部を共有するようにＵ字型に接続したもので、流路全体を上流と下流で対称な構成にし、流速計測部を共有化するこによって、一方向の流れだけでなく、逆流を含む双方向の流れを同じ精度で計測することができる。
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１８】
【実施の形態】
図１および図２は本発明の実施の形態１を示す超音波流量計の横断面図および縦断面図である。図において、５はＬ型流路であり、上流部５ａと上流部５ａと直交する下流部５ｂでＬ型流路を構成する。上流部５ａの流路断面は下流部５ｂの流路断面よりも大きくなっており、下流部５ｂの上流端は上流部５ａ内に突出した突出部５ｃとなっている。この突出部５ｃには流速制御手段５ｄが設けられている。また、上流部５ａには下流部５ｂの反対側に邪魔板６が設けられていることが多い。しかし、邪魔板６は必ず必要なものではない。７および８は下流部５ｂで互いに対向し、上流側から下流側に傾斜して設けた超音波送受信器である。上流側の超音波送受信器７と下流側の超音波送受信器８はＬ型流路５の幅Ｗ方向を横切るように距離Ｌを隔てるととも、下流部５ｂの流体の流動方向に対して角度θ傾けて設置され、下流部５ｂの高さＨ方向に対してその高さのほぼ中心に設置されている。９ａ、９ｂは超音波送受信器７、８をＬ型流路５に臨ませる上流側および下流側の開口である。１０は対向する超音波送受信器７および８間で送信された超音波が壁面に反射すること無く直接相手側の超音波送受信器に伝搬する流速計測部（二点鎖線で領域を示す）である。１１は超音波送受信器７、８に接続され、超音波の送受信信号を基に流速を計算し流量を算出する演算制御手段である。
【００１９】
次に、超音波による流量計測動作について説明する。Ｌ型流路５の流速計測部１０では、演算制御手段１１の作用により超音波送受信器７、８間で、Ｌ型流路５を横切るようにして超音波の送受が行われ、上流側の超音波送受信器７から発せられた超音波が下流側の超音波送受信器８で受信されるまでの伝搬時間Ｔ１を計測する。また一方、下流側の超音波送受信器８から発せられた超音波が上流側の超音波送受信器７で受信されるまでの伝搬時間Ｔ２を計測する。
【００２０】
このようにして測定された伝搬時間Ｔ１およびＴ２を基に、以下の演算式により流量が算出される。
【００２１】
いま、Ｌ型流路５の長手方向の被計測流体の流速Ｖと超音波伝播路とのなす角度をθとし、超音波送受信器７、８間の距離をＬ、被測定流体の音速をＣとすると、流速Ｖは以下の式にて算出される。
【００２２】
Ｔ１−Ｌ／（Ｃ＋Ｖｃｏｓθ）
Ｔ２−Ｌ／（Ｃ−Ｖｃｏｓθ）
Ｔ１の逆数からＴ２の逆数を引き算する式より音速Ｃを消去して、
Ｖ＝（Ｌ／２ｃｏｓθ）＊（（１／Ｔ１）−（１／Ｔ２））
θおよびＬは既知であり、Ｔ１およびＴ２の値より流速Ｖが算出できる。いま、空気の流量を計測することを考え、角度θ＝４５度、距離Ｌ＝７０ｍｍ、音速Ｃ＝３４０ｍ／ｓ、流速Ｖ＝８ｍ／ｓを想定すると、Ｔ１＝２．０×１０−４秒、Ｔ２＝２．１×１０−４秒であり、瞬時に計測ができる。
【００２３】
ところが、ここで求めた流速Ｖは計測流路５を斜めに横切る流速計測部１０で計測した平均流速であり、この平均流速は高さＨ方向の断面では流路全域を計測していないため、Ｌ型流路５に直交する横断面全域から求めた平均流速とは差を生じる。つまり、流速制御手段５ｄを設けない構成では、通常、図３に示すように、上方に片寄った流速分布Ｕ２となっている。これは上流部５ａの入口側から流入した流れが、直接、下流部５ｂへ流入するのではなく、一旦、底に到着してから巻き上がるような流れが生じるためである。このため高さ方向のどの位置で計測するかによって流速の計測値が大きく異なってくる。しかも、流速計測部１０内の超音波の強度分布は、超音波送受信器７、８の中心軸上である中央が強くなる特性を持つため、流速計測部１０内の中心部を主体的に計測することになる。
【００２４】
この測定誤差を無くすためには、高さＨ方向の流速分布を均一にすれば良い。高さ方向の流速分布が均一であれば、高さ方向のどの位置に流速計測部１０を設けても同じ流速を計測することができる。
【００２５】
本実施の形態では、流速制御手段５ｄとして、下流部５ａの上流側突出部５ｃの上流端部に、下部より上部に向って突出部長を短縮する傾斜部を設け、かつ、上部の突出部の上流端部は邪魔板６の端部と略一致する長さに構成されている。こうすることによって、図２に示すように、上流部５ａの入口側から流入した流れの一部が、直接、下流部５ｂへ流れ易くなり、一方、上流部５ａの底に到達してから巻き上がって下流部５ｂへ流入する流れを弱める働きをする。つまり、上流側突出部５Ｃの上方側の壁を邪魔板６の端部とほぼ同じ程度に短くしたことにより、邪魔板６を迂回してくる流れが大きく曲がることなく下流部５ｂに流入することができるので、突出部５Ｃに上から下に向かう流れを作るだけでなく、下から巻き上がる流れを少なくすることになる。したがって、図３に示すように、上方に片寄った流速分布Ｕ２が矯正され、図２に示すように、略均一な流速分布Ｕ１が得られる。このように高さＨ方向の流速分布が均一になれば、流速計測部１０の高さ方向の位置に関係なく、正確な平均流速を測定できるという効果が得られる。
（実施の形態２）
図４は本発明の実施の形態２を示す超音波流量計の断面図である。図４において、図１、２の実施の形態と同一部材、同一機能は同一符号を付して詳細な説明は省略し、異なるところを中心に説明する。以下、他の実施の形態も同様とする。
【００２６】
図４において、実施の形態１と構成が異なるところは、流速制御手段５ｄとして、開口部１２を設けたことである。この開口部１２は下流部５ｂの突出部５ｃの下側の壁に設けられており、下から巻き上がる流れの一部を下流部５ｂ内に導く働きをする。こうすることによって、突出部５ｃの入口から流入する巻き上がりの流れが弱まるだけでなく、下側の壁近傍の流速の遅い部分に開口部１２から流れが供給されるので、全体の流速分布を均一化し、正確な平均流速が測定できるという効果が得られる。
（実施の形態３）
図５は本発明の実施の形態３を示す超音波流量計の縦断面図である。図において、実施の形態２と構成が異なるところは、開口部１２を下流部５ｂの突出部５ｃの上側の壁に設けたことである。上流部５ａの入口側から流入した流れは、邪魔板６を迂回したあと、下流部５ｂの上側の壁に当たって流れの向きを変え、その大部分は底を回って下から巻き上がり、突出部５ｃへ流入する流れとなる。ここで下流部５ｂの突出部５ｃの上側に開口部１２を設けたことにより、上流部５ａの入口側からの流れの一部はこの開口部１２を通って、直接、下流部５ｂ内に流入する。したがって、底を回って下から巻き上がる流れが弱まるだけでなく、開口部１２から流入する流れが上から下向きの流れを作るので、下流部５ｂ内の流速分布を均一化し、正確な平均流速が測定できるという効果が得られる。
（実施の形態４）
図６は本発明の実施の形態４を示す超音波流量計の縦断面図である。図において、実施の形態３と構成が異なるところは、上流部５ａの入口側に邪魔板６が設けられていないことである。このような場合、上流部５ａから下流部５ｂへ向かう流れの様子が違ってくるため、流速制御手段として開口部１２の作用も変わってくる。まず、邪魔板のないこのような構成では、上流部５ａの入口側から流入した流れは、邪魔板６を迂回する必要が無いため、下流部５ｂに直接入りやすくなり、突出部５ｃ付近では上から下に向う流れが生じる。したがって、図７に示すように、下流部５ｂ内には下側に片寄った流速分布が形成される。ここで、本実施の形態に示すように、流速制御手段として、下流部５ｂの突出部５ｃの上側の壁に開口部１２を設けると入口側からの流れの一部がこの開口部１２を通って、直接、下流部５ｂに流れ込み、突出部５ｃの入口から流入する下向きの流れが弱まるだけでなく、上側の壁近傍の流速の遅い部分に開口部１２から流れが供給されるので全体の流速分布を均一化し、正確な平均流速が測定できるという効果が得られる。
（実施の形態５）
図８は本発明の実施の形態５を示す超音波流量計の縦断面図である。図において、実施の形態３と構成が異なるところは、複数の開口部１２を下流部５ｂの突出部５ｃの上側の壁に設けたことである。複数の開口部１２は場所によって大きさが変えられており、壁面付近の静圧が低いところほど大きい開口が設けられている。基本的な流れは実施の形態３で述べたのと同様であり、上流部５ａの入口側から流入した流れは、邪魔板６を迂回したあと、下流部５ｂの上側の壁に当たって流れの向きを変え、その大部分は底を回って下から巻き上がり、突出部５ｃへ流入する流れとなる。さらに、下流部５ｂの突出部５ｃの上側に複数の開口部１２を設けたことにより、上流部５ａの入口側からの流れの一部はこの開口部１２を通って下流部５ｂ内に流入する。ここで、通常は静圧の高いところのほうが開口部１２を通って流入しやすく、静圧の低いところは流入しにくくなるが、本実施の形態では、静圧の低いところほど大きな開口を設けるようにしているので、ひとつの開口に片寄らず、複数の開口部１２からバランスよく流入する。したがって、開口部１２から流入する流れが上から下向きの流れを作る際に、一箇所でなく複数の開口部１２からバランスよく流入するので、下流部５ｂ内の流速分布の均一化を促進し、より正確な平均流速が測定できるという効果が得られる。
【００２７】
なお、静圧に応じた複数の開口部１２の大きさ分布を決定するためには、開口部１２のない状態で下流部５ｂの突出部５ｃ付近の静圧分布を計測したり、シミュレーションしたりすることによって決定される。さらに、同様の効果を得るためには、開口部の大きさを変えるのではなく、開口部の密度を変えたり、開口部に粗さの異なるメッシュを張って通路抵抗を調整することなどによっても可能である。
（実施の形態６）
図９は本発明の実施の形態６を示す超音波流量計の縦断面図である。図において、実施の形態４と構成が異なるところは、下流部５ｂの突出部５ｃの上側の壁に設けたられた傾斜開口部１３が内部の流れの方向に沿って傾斜していることである。こうすることによって、この傾斜開口部１３を通って流れ込む流れが、下流部５ｂ内の流れに沿って流入するので、上側の壁近傍の流速の遅い部分にスムーズに流れが供給できる。したがって、全体の流速分布をさらに均一化し、正確な平均流速が測定できるという効果が得られる。
（実施の形態７）
図１０は本発明の実施の形態７を示す超音波流量計の縦断面図である。図において、実施の形態３と構成が異なるところは、ガイド部１４を下流部５ｂの突出部５ｃの上側の外壁に設けたことである。このガイド部１４は開口部１２に隣接して設けられ、上流部５ａの入口側から流入した流れの一部を下流部５ｂ内に導く働きをする。さらに、ガイド部１４の大きさや形状によって、開口部１２に流れ込む量や向きを制御することも可能である。したがって、底を回って下から巻き上がる流れが弱まるだけでなく、開口部１２から流入する流れが上から下向きの流れを作るので下流部５ｂ内の流速分布を均一化し、正確な平均流速が測定できるという効果が知られる。
（実施の形態８）
図１１は本発明の実施の形態８を示す超音波流量計の縦断面図である。図において、実施の形態７と構成が異なるところは、ガイド部１４を下流部５ｂの突出端５ｃの内壁にも設けたことである。このガイド部１４は、開口部１２に隣接して設けられ、開口部１２を通過して流入した流れを下流部５ｂ内の流れに沿わせる働きをする。さらにガイド部１４の大きさや形状によって下流部５ｂ内の流れを制御することも可能である。つまり、ガイド部１４で下流部５ｂ内に絞り形状を設けることによって、縮流による整流効果が得られ、下流部５ｂの突出部５ｃから流入する流れを均一化することができる。したがって、下から巻き上がる流れを弱めるだけでなく、開口部１２から流入する流れをスムーズに流入させ、かつ、下流部５ｂ内部の流れも整流するので、流速分布を均一化し、正確な平均流速が測定できるという効果が得られる。
（実施の形態９）
図１２は本発明の実施の形態９を示す超音波流量計の縦断面図である。本実施の形態は、上述した１〜８の実施の形態のうちいずれか２つの超音波流量計を、流量計測部１０を共有する形で接合したＵ字型の超音波流量計である。こうすことによって、正逆両方の流れに対して同じ精度で流量計測をすることが可能であり、流量計測部１０を共有することによって形状的にも小型化を図ることができるという効果が得られる。
【００２８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の超音波流量計によれば、流路がＬ型になっているため、上流部から下流部に流入する際に流れの攪拌が生じるとともに、流路断面積の狭い下流部の上流部側突出部では中央部の流速が速くなる縮流や周囲の形状による偏流が生じ、流量によって決まる層流あるいは乱流の発達した流速分布を維持しなくなるとともに、下流部に設けられた流速制御手段は、流路内に抵抗物を設けずに、この縮流や偏流を是正する働きをし、縮流の壁面近くの流速を増速したり、偏流を抑える流れを作り出したりして、均一な流速分布を実現する働きをするので、目詰まりなどを起こさずに、また超音波送受信器の設置位置や流量の変化に影響されずに計測精度を高めることができるという効果が得られる。
【００２９】
また、超音波流量計をＵ字型に接続することで、正逆両方の流れに対して同じ高精度で流量計測が可能で、かつ、小型の超音波流量計を実現することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１の超音波流量計の横断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１の超音波流量計の縦断面図である。
【図３】流速制御部がない場合の流れを表わす説明図である。
【図４】本発明の実施の形態２の超音波流量計の縦断面図である。
【図５】本発明の実施の形態３の超音波流量計の縦断面図である。
【図６】本発明の実施の形態４の超音波流量計の縦断面図である。
【図７】流速制御部がない場合の流れを表わす説明図である。
【図８】本発明の実施の形態５の超音波流量計の縦断面図である。
【図９】本発明の実施の形態６の超音波流量計の縦断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態７の超音波流量計の縦断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態８の超音波流量計の縦断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態９の超音波流量計の縦断面図である。
【図１３】従来の超音波流量計の構成図である。
【符号の説明】
５  Ｌ型流路
５ａ  上流部
５ｂ  下流部
５ｃ  突出部
５ｄ  流速制御手段
７、８  超音波送受信器
９ａ、９ｂ  開口
１０  流速計測部
１１  演算制御手段
１２  開口部
１３  傾斜開口部
１４  ガイド部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004340634.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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