(57)【要約】【課題】ワークの被洗浄面に付着した粘着力の強い異物を除去可能な洗浄装置、洗浄方法を得る。【解決手段】ワークの被洗浄面に洗浄剤を霧吹き状に噴射塗布する洗浄剤噴射塗布部１、洗浄剤が塗布されたワークの被洗浄面にブラシローラ８を摺接させて、異物と洗浄剤を擦り落とす回転ブラシローラ部５、ワーク上に残留した洗浄剤にエアを噴射し、乾燥を促す乾燥部１３を備えた洗浄装置とする。また、ワークの被洗浄面に洗浄剤を霧吹き状に噴射塗布し、洗浄剤が塗布されたワークの被洗浄面にブラシローラ８を摺接させて、異物と洗浄剤を擦り落とし、ワーク上に残留した洗浄剤にエアを噴射し、乾燥を促すような洗浄方法とする。洗浄剤によって異物の粘着剤を溶かした上で、ブラッシングして異物と洗浄剤を擦り落とすシステムであり、洗浄力が高い。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの被洗浄面に付着した異物を除去する洗浄装置において、上記ワークの被洗浄面に洗浄剤を噴射塗布する洗浄剤噴射塗布部、上記ワークの被洗浄面にブラシローラを摺接させて異物を擦り落とす回転ブラシローラ部、上記ワークの被洗浄面にエアを吹掛けて乾燥を促す乾燥部、上記ワークを吸着保持し、上記各部に上記ワークを搬送するワーク搬送部を備えたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
上記ワークは、上記ワーク搬送部によって、上記洗浄剤噴射塗布部から上記回転ブラシローラ部へ、上記洗浄剤が塗布された状態で搬送されることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
上記洗浄剤は、シリコンを基材とした揮発性の界面活性剤であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の洗浄装置。
【請求項４】
上記洗浄剤噴射塗布部は、上記洗浄剤を噴射するノズルを備え、上記ノズルから、圧力、流量、供給時間が制御可能なエアを介して上記洗浄剤を噴射することを特徴とする請求項１または請求項２記載の洗浄装置。
【請求項５】
上記乾燥部は、常温のエアを上記ワークの被洗浄面に吹掛ける常温乾燥エアブロー方式であることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項６】
上記回転ブラシローラ部は、上記ブラシローラと、上記ブラシローラを覆うブラシローラカバーよりなる洗浄部を備え、上記洗浄部は上下動可能に構成され、上記洗浄部を上下方向に移動させて、上記ワークと上記洗浄部とを接触または非接触の状態とすることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項７】
上記ワーク搬送部は、上記ワークを吸着保持するための吸着パッドを備え、上記吸着パッドの真空度が計測可能に構成されることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項８】
上記ブラシローラは、植毛されたブラシ毛が導電性ナイロンによって構成されることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項９】
上記回転ブラシローラ部の後段に、上記ワークの静電気を除去する除電ブロー装置を備えたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の洗浄装置。
【請求項１０】
上記洗浄剤噴射塗布部、上記回転ブラシローラ部、並びに上記乾燥部を覆うカバーを備え、上記カバーには、上記ワークを取出すためのワーク取出し口を設けたことを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項１１】
ワークの被洗浄面に付着した異物を除去する洗浄方法において、上記ワークの被洗浄面に洗浄剤を噴射塗布し、上記ワークの被洗浄面にブラシローラを摺接させて異物を擦り落とし、上記ワークの被洗浄面にエアを吹掛けて乾燥を促すようにした洗浄方法。
【請求項１２】
ワークの被洗浄面に付着した異物を除去する洗浄方法において、上記ワークの被洗浄面に洗浄剤を噴射塗布する工程、上記ワークの被洗浄面にブラシローラを摺接させて異物を擦り落とす工程、上記ワークの被洗浄面にエアを吹掛けて乾燥を促す工程、及び、上記ワークを吸着保持し、上記各部に上記ワークを制御された速度で搬送する工程を施すようにした洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、表示画面の表面に施す透明アクリル板などの表面を洗浄する洗浄装置及び洗浄方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年の携帯電話の表示画面の表面に施す透明アクリル板などは、搬送中に生じる傷、表面欠陥の発生を防止するために、最終的な組み立ての直前まで、粘着性のある保護シートなどを貼って搬送されている。
その保護シートには、微量の粘着性のある粘着剤が塗布されており、保護シートを剥離した後に、透明アクリル板の表面に異物として残る粘着剤成分を完全に除去する必要があった。
【０００３】
従来の異物除去のための洗浄装置としては、一つは、洗浄液に被洗浄物を浸漬して超音波洗浄する洗浄装置があり、この洗浄装置による洗浄では、洗浄液が満たされた洗浄槽に被洗浄物を浸漬して、超音波洗浄を行い、洗浄後の被洗浄物は、乾燥処理（温風による蒸発、乾燥ローラによる吸引、シートによる拭き取り）が施される。なお洗浄に用いた洗浄液は排水処理される。
また、特許第２９２８４５９号公報には、異物除去のための除塵装置が開示されており、この除塵装置によれば、粘着力のある部材へ、塵埃を吸着させることで除塵を行う。
さらに、特許第３１２２３７０号公報には、別の除塵装置が開示されており、この除塵装置によれば、回転ブラシによって塵埃を擦り落とし、さらに吸引装置で塵埃を吸引することで除塵し、異物の再付着を防止する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような洗浄装置や除塵装置を用いて洗浄（除塵）を行う場合、次のような問題がある。まず、超音波洗浄の場合は、洗浄能力は十分であるが、洗浄液の貯水槽や洗浄後の排水処理装置ならびに乾燥装置も必要となり、全体のシステムが大きくなってしまう。
特許第２９２８４５９号公報に開示された技術では、洗浄液タンクに貯水している洗浄水の処理装置などの付帯設備が大掛かりとなり、システム的にコストが高くなってしまう。
【０００５】
特許第３１２２３７０号公報に開示された技術では、回転ブラシの作用によって異物を擦り落とすため、粘着力の強い異物を除去する場合は、太いブラシ毛や短いブラシ毛のブラシを用いる必要があり、そのため洗浄対象となる表面への傷付けの問題があり、また、回転ブラシの汚れによる異物の再付着という問題があった。回転ブラシを清浄に保つためには、ブラシの交換と洗浄を頻繁に行う必要があり、メンテナンスに時間を要するなどの問題があった。
【０００６】
この発明は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、システムの小型化、粘着性の強い異物に対する洗浄能力向上、メンテナンス性の向上、コストを安価に抑えるという要件を満足させる、携帯電話の表示画面の表面に施す透明アクリル板などの表面の洗浄に適した洗浄装置及び洗浄方法を得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明に係わる洗浄装置は、ワークの被洗浄面に付着した異物を除去する洗浄装置において、上記ワークの被洗浄面に洗浄剤を噴射塗布する洗浄剤噴射塗布部、上記ワークの被洗浄面にブラシローラを摺接させて異物を擦り落とす回転ブラシローラ部、上記ワークの被洗浄面にエアを吹掛けて乾燥を促す乾燥部、上記ワークを吸着保持し、上記各部に上記ワークを搬送するワーク搬送部を備えたものである。
【０００８】
また、この発明に係わる洗浄装置は、上記のような構成において、上記ワークは、上記ワーク搬送部によって、上記洗浄剤噴射塗布部から上記回転ブラシローラ部へ、上記洗浄剤が塗布された状態で搬送されるものである。
【０００９】
さらに、この発明に係わる洗浄装置は、上記のような構成において、上記洗浄剤として、シリコンを基材とした揮発性の界面活性剤を用いるものである。
【００１０】
また、この発明に係わる洗浄装置は、上記のような構成において、上記洗浄剤噴射塗布部は、上記洗浄剤を噴射するノズルを備え、上記ノズルから、圧力、流量、供給時間が制御可能なエアを介して上記洗浄剤を噴射するものである。
【００１１】
さらに、この発明に係わる洗浄装置は、上記のような構成において、上記乾燥は、常温のエアを上記ワークの被洗浄面に吹掛ける常温乾燥エアブロー方式とするものである。
【００１２】
また、この発明に係わる洗浄装置は、上記のような構成において、上記回転ブラシローラ部は、上記ブラシローラと、上記ブラシローラを覆うブラシローラカバーよりなる洗浄部を備え、上記洗浄部は上下動可能に構成され、上記洗浄部を上下方向に移動させて、上記ワークと上記洗浄部とを接触または非接触の状態とするものである。
【００１３】
さらに、この発明に係わる洗浄装置は、上記のような構成において、上記ワーク搬送部は、上記ワークを吸着保持するための吸着パッドを備え、上記吸着パッドの真空度が計測可能に構成されるものである。
【００１４】
また、この発明に係わる洗浄装置は、上記のような構成において、上記ブラシローラは植毛されたブラシ毛が導電性ナイロンによって構成されるものである。
【００１５】
さらに、この発明に係わる洗浄装置は、上記のような構成において、上記回転ブラシローラ部の後段に、上記ワークの静電気を除去する除電ブロー装置を備えたものである。
【００１６】
また、この発明に係わる洗浄装置は、上記のような構成において、上記洗浄剤噴射塗布部、上記回転ブラシローラ部、並びに上記乾燥部を覆うカバーを備え、上記カバーには上記ワークを取出すためのワーク取出し口を設けたものである。
【００１７】
さらに、この発明に係わる洗浄方法は、ワークの被洗浄面に付着した異物を除去する洗浄方法において、上記ワークの被洗浄面に洗浄剤を噴射塗布し、上記ワークの被洗浄面にブラシローラを摺接させて異物を擦り落とし、上記ワークの被洗浄面にエアを吹掛けて乾燥を促すようにしたものである。
【００１８】
また、この発明に係わる洗浄方法は、ワークの被洗浄面に付着した異物を除去する洗浄方法において、上記ワークの被洗浄面に洗浄剤を噴射塗布する工程、上記ワークの被洗浄面にブラシローラを摺接させて異物を擦り落とす工程、上記ワークの被洗浄面にエアを吹掛けて乾燥を促す工程、及び、上記ワークを吸着保持し、上記各部に上記ワークを制御された速度で搬送する工程を施すようにしたものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１の洗浄装置の側面図で、図において、符号１は洗浄剤噴射塗布部であり、この洗浄剤噴射塗布部１は、洗浄対象となるワークの被洗浄面に洗浄剤を噴射塗布する洗浄剤噴射ノズル２と、洗浄剤を溜める洗浄剤供給タンク３と、洗浄剤供給タンク３から洗浄剤噴射ノズル２に洗浄剤を供給する洗浄剤供給パイプ４によって構成されている。
【００２０】
洗浄剤供給タンク３には、例えば、揮発性シリコンをベースにした石油系の界面活性剤よりなる洗浄剤が供給されている。また、洗浄剤噴射ノズル２には、所定の洗浄剤を霧吹き状に拡散させるためのエア供給口（図示しない）があり、圧力、流量、供給時間が制御可能なエアが供給され、エアの調節によって洗浄剤の噴射量、霧吹き形状を設定することが可能であり、噴射タイミングを制御可能に、かつ、均一に適量を被洗浄物（ワーク）の表面に塗布可能に構成されている。
【００２１】
５は、洗浄剤が塗布されたワークが搬送され、ブラシローラ８を回転させ、ワークに摺接させることによって、異物と洗浄剤が除去される回転ブラシローラ部であり、この回転ブラシローラ部５は、円筒状部材６に放射状にブラシ毛７が植毛されたブラシローラ８と、このブラシローラ８の上方と側方をそれぞれ側壁９ａ、９ｂと上壁９ｃによって覆うブラシローラカバー９によりなる洗浄部１０を備えている。ブラシローラ８の円筒状部材６の軸方向と、ワークの表面とが平行となるように、さらに、ワークが搬送される方向とは直角をなして重畳するように、ブラシローラ８は配置される。このブラシローラ８は図示しない駆動モータと動力伝達ベルトによって回転する。また、洗浄部１０は、空圧アクチュエータ１１を介して上下方向に伸びるブラケット１２に対して上下２位置に移動可能に接合されている。洗浄部１０の上下位置とは、上の位置が、ワークとブラシローラ８とが非接触となるブラシローラ８の待機位置であり、下の位置が、ワークとブラシローラ８とが接触するブラシローラ８の動作位置である。
【００２２】
１３は、回転ブラシローラ部５での処理が施されたワークが搬送され、エアの噴射によりワーク表面の乾燥を促す乾燥部を示し、この乾燥部１３は、１箇所または複数箇所に配置され、ワーク表面に向って、大気中に常温の乾燥エア（エア）を吹掛ける乾燥ノズル１４と、その乾燥ノズル１４に高圧エアを供給するエア供給パイプ１５によって構成される（常温乾燥エアブロー方式）。エア供給パイプ１５には、図示しない高圧エア供給タンクが制御弁を介して接続される。
【００２３】
１６は、前記各部（洗浄剤噴射塗布部１、回転ブラシローラ部５、乾燥部１３）間にわたり、ワークを移動させるためのワーク搬送部であり、各部にわたって配置される搬送アクチュエータ１７と、その搬送アクチュエータ１７を作動させることで動く可動部１８と、可動部１８の上部に設けられ、吸着パッド２０によりワークを吸着固定するためのワーク吸着ステージ１９とによって構成されている。また、この吸着パッド２０の真空度は計測可能に構成されている。なお、搬送アクチュエータ１７の一端には駆動モータ１７ａが設けられている。
【００２４】
１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ、１９ｆは、ワーク吸着ステージ１９の移動位置（ワーク位置）を示し、添字がその代表的な位置を示す。添字ａが洗浄剤噴射塗布位置、添字ｂ、ｃ間は、回転ブラシローラ部５による洗浄位置、添字ｄ、ｅ間は、乾燥ノズル１４から供給される高圧エアによる乾燥位置、添字ｆはワーク供給排出位置をそれぞれ示している。
【００２５】
次に、図１で示した洗浄装置の動作、洗浄方法について、図２、図３を用いて説明する。図２、図３は、合わせて、この発明による洗浄装置を用いた場合の洗浄工程を順に示す工程図であり、図２の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）工程の後に、図３の（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）工程が続く。図において符号２１は洗浄対象となるワークを示しており、ワーク２１は、例えば携帯電話の表示画面の表面に施す透明アクリル板であり、洗浄前のワーク２１の表面は、それまで透明アクリル板の傷付き等を防止するために貼り付けられていた保護シートが剥がされ、その保護シートの粘着剤が異物として僅かに付着している状態である。
【００２６】
まず、図２（ａ）に示すように、ワーク供給排出位置１９ｆに存在するワーク吸着ステージ１９にワーク２１を設置し、スタートボタン（図示せず）を押すと、吸着パッド２０がワーク２１の裏面を吸着固定する。その後、ワーク吸着ステージ１９が洗浄剤噴射塗布位置１９ａまで最高速度で移動する。この際、ワーク２１がワーク吸着ステージ１９上に無い場合や、ワーク２１の配置がずれて設置されている場合には、吸着パッド２０の真空度によりその異常を感知し、搬送アクチュエータ１７は動作しない。またこの時、回転ブラシローラ部５は、ブラシローラ８がワーク２１に摺接しない位置（待機位置）２２ａまで上昇している。
【００２７】
次に、図２（ｂ）に示すように、洗浄剤噴射塗布位置（１９ａ）で洗浄剤をワーク２１の表面に噴射塗布する。ワーク２１表面に洗浄剤３ｂが塗布された状態にて、設定した時間だけ待機し、洗浄開始位置（１９ｂ）まで最高速度で移動する。
ワーク吸着ステージ１９が洗浄開始位置（１９ｂ）へ向かう動作が開始するとともに、回転ブラシローラ部５の洗浄部１０は、ブラシローラ８がワーク２１に摺接可能な位置（動作位置）２２ｂまで下降し、下降完了後、回転ブラシローラ部５のブラシローラ８は回転を開始する。
【００２８】
図２（ｃ）に示すように、ワーク吸着ステージ１９は、洗浄開始位置（１９ｂ）から洗浄終了位置（１９ｃ）まであらかじめ設定された所定の速度で移動し、ブラシローラ８をワーク２１表面に摺接させることにより、ワーク２１表面に付着する異物はワーク２１表面に塗布された洗浄剤３ｂとともに擦り取られ、ワーク２１の表面にはブラシローラ８で摺接後の残留洗浄剤３ｃが残留した状態となる。
図３（ｄ）に示すように、ブラシローラ８による洗浄が終了するとともに、ブラシローラ８の回転は停止し、洗浄部１０は待機位置２２ａまで上昇する。ワーク吸着ステージ１９は、洗浄終了位置（１９ｃ）から乾燥開始位置（１９ｄ）まで最高速度で移動する。
【００２９】
次に、図３（ｅ）に示すように、ワーク吸着ステージ１９は乾燥開始位置（１９ｄ）から乾燥終了位置（１９ｅ）まで予め設定した所定の速度で移動し、乾燥ノズル１４から噴射される乾燥エア２３をワーク２１の表面に吹掛けることで、ワーク２１の表面に残留した残留洗浄剤３ｃを乾燥させる。
その後、図３（ｆ）に示すように、ワーク吸着ステージ１９は、ワーク供給排出位置（１９ｆ）まで最高速度で移動し、吸着パッド２０とワーク２１裏面間の真空を解除して、洗浄済みのワーク２１は作業者によって取り出される。複数個のワークの洗浄を行う場合は、作業者が新たに洗浄前のワーク２１をワーク供給排出位置（１９ｆ）に設置し、同様の洗浄工程を繰り返すことで洗浄を行う。
【００３０】
この発明の洗浄装置は、ワーク２１に霧吹き状に洗浄剤を塗布し、その後、ブラシローラ８で異物を擦り落とすシステムであるため、洗浄剤の作用によって、異物の粘着力の緩和を促進させることができ、従来のドライタイプの洗浄（除塵）装置では落としにくかった粘着力の強い異物の除去を可能としている。
【００３１】
さらに、ワーク２１の表面に洗浄剤を霧吹き状に塗布し、湿らせた状態で、ブラシローラ８によってブラッシングする順序であるため、静電気の発生を抑制でき、透明アクリル板に異物が再付着することを抑制できる。また、ワーク表面を湿らせてからブラッシング洗浄を行うため、ワーク表面を傷付けにくく、ブラシの寿命も延ばすことができる。さらに、ブラシローラ８の磨耗によって生じるブラシ磨耗粉の発生を抑制でき、それにともなってブラシ磨耗粉の再付着も防止できるため、品質の安定した洗浄が行えるという相乗効果がある。また、洗浄剤による化学的な洗浄の後に、ブラッシングによる物理的な洗浄を行うため、少量の洗浄剤でも十分な洗浄能力が得られるという効果がある。
【００３２】
また、洗浄剤噴射塗布部１に用いる洗浄剤として、シリコンを基材とした揮発性の界面活性剤を用いることによって、異物である粘着剤を溶かし、粘着力の強い異物除去が実現できるとともに、洗浄後の乾燥設備が簡素化でき、また、乾燥を即座に行えるという効果を得られる。
【００３３】
また、洗浄剤噴射塗布部１に、圧力、流量、供給時間が制御可能なエアを介して洗浄剤を噴射できる洗浄剤噴射ノズル２を用いているため、洗浄剤をワーク２１の表面に洗浄面全域に均一に塗布でき、且つ、洗浄能力を維持できる最小限の量の洗浄剤供給が可能となる。そのため、従来では高い洗浄能力を確保するために必要であった洗浄液の浸漬設備やそれに伴う排水設備などが全く不要となり、経済性が向上するという効果がある。
また、乾燥部１３の方式を常温乾燥エアブロー方式としたことにより、乾燥部１３のシステムが容易に、且つ、安価に構築できるという効果がある。
【００３４】
さらに、回転ブラシローラ部５は、洗浄部１０がワーク２１と非接触時には、ブラシの回転を停止させ、上方に待機する機構であるため、必要時以外はブラシの回転を停止させ、回転機構の寿命延長や、装置の稼動時の省電力化に効果がある。
また、ワーク搬送部１６のワーク吸着ステージ１９には吸着パッド２０を設け、この吸着パッド２０の真空度を計測可能に構成しているため、吸着パッド２０の真空度情報を、この洗浄装置の制御装置側フィードバックすることで、ワーク吸着保持確認が可能となり、ワークの設置忘れ、配置のズレなどの人為的ミスが防止できるという効果がある。さらに、ワーク搬送部１６によるワーク２１の搬送スピードを搬送アクチュエータ１７により調節できるため、各工程に適したスピードを実現して効率良く処理を施すことができ、各部間をすばやく移動させることで、洗浄に要する時間を短縮することができる。
【００３５】
なお、ワーク２１が携帯電話の表示画面の表面に施す透明アクリル板である場合、図１に示した洗浄装置全体の寸法は、およそ長さ６００ｍｍ、幅３００ｍｍ、高さ３００ｍｍ程度の大きさに構成でき、ワーク吸着ステージ１９の大きさは、およそ長さ５０ｍｍ、幅４０ｍｍ程度の大きさとなる。
なお、携帯電話の表示画面の表面に施す透明アクリル板の洗浄以外にも、この洗浄装置を用いることが可能であることは言うまでもない。
【００３６】
実施の形態２．
上述の実施の形態１において説明した洗浄装置において、ブラシローラ８による洗浄後に静電気の発生に起因する塵埃などの再付着を防止するために、ブラシローラ８のブラシ毛７に、導電性ナイロンを採用し、ブラッシングによる静電気の発生を抑制することで、洗浄能力をより向上させることができる。
【００３７】
実施の形態３．
図４は、この発明の実施の形態を示す斜視図であり、符号２５は除電ブロー装置を、２６は洗浄装置全体（洗浄剤噴射塗布部１、回転ブラシローラ部５、乾燥部１３）を覆うカバーを、２７はカバー２６に設けられたワーク取出し口をそれぞれ示している。ブラシローラ８による洗浄により、ワーク２１表面に静電気が発生し、この静電気で異物が再付着するのを防止するために、回転ブラシローラ部５の後段に、除電ブロー装置２５を設置して使用する方法も洗浄能力向上に有効である。除電ブロー装置２５は、空気をイオン化し、そのイオンをワーク２１表面に吹掛けることで、ワーク２１の表面に帯電した静電気の除去を行うと共に、静電気の帯電を抑制する装置である。
【００３８】
さらに、図４に示すように、洗浄装置への塵埃の混入を防止するために、ワーク取出し口２７のみ開口した、洗浄装置全体を覆うカバー２６を設置することで、ワーク２１の清浄性をより高めることができる。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の洗浄装置によれば、ワークの被洗浄面に付着した異物を除去する洗浄装置において、上記ワークの被洗浄面に洗浄剤を噴射塗布する洗浄剤噴射塗布部、上記ワークの被洗浄面にブラシローラを摺接させて異物を擦り落とす回転ブラシローラ部、上記ワークの被洗浄面にエアを吹掛けて乾燥を促す乾燥部、上記ワークを吸着保持し、上記各部に上記ワークを搬送するワーク搬送部を備えたため、洗浄剤による化学的な洗浄と、ブラシローラによる物理的な洗浄を被洗浄面に対して施すことができ、粘着力の強い異物の除去が可能となる。
【００４０】
また、この発明の洗浄装置によれば、上記ワークは、上記ワーク搬送部によって、上記洗浄剤噴射塗布部から上記回転ブラシローラ部へ、上記洗浄剤が塗布された状態で搬送されるため、ブラシローラによる洗浄時に、被洗浄面の傷付けを防止でき、ブラシローラの磨耗を抑制でき、また静電気の発生を抑制することができる。
【００４１】
さらに、この発明の洗浄装置によれば、上記洗浄剤は、シリコンを基材とした揮発性の界面活性剤であるため、異物である粘着剤を溶かし、粘着力の強い異物を除去することが可能であり、さらに乾燥接設備を簡素化できる。
【００４２】
また、この発明の洗浄装置によれば、上記洗浄剤噴射塗布部は、上記洗浄剤を噴射するノズルを備え、上記ノズルから、圧力、流量、供給時間が制御可能なエアを介して上記洗浄剤を噴射するため、洗浄面全域に均一に洗浄剤を塗布でき、必要とする少量の洗浄剤供給で効果的な洗浄が可能となり、経済性が向上する。
【００４３】
さらに、この発明の洗浄装置によれば、上記乾燥部は、常温のエアを上記ワークの被洗浄面に吹掛ける常温乾燥エアブロー方式であるため、乾燥部のシステムが容易に、且つ安価に構築できる。
【００４４】
また、この発明の洗浄装置によれば、上記回転ブラシローラ部は、上記ブラシローラと、上記ブラシローラを覆うブラシローラカバーよりなる洗浄部を備え、上記洗浄部は上下動可能に構成され、上記洗浄部を上下方向に移動させて、上記ワークと上記洗浄部とを接触または非接触の状態にすることが可能となり、必要時以外はブラシの回転を停止させ、回転機構の寿命延長や、装置の稼動時の省電力化が可能である。
【００４５】
さらに、この発明の洗浄装置によれば、上記ワーク搬送部は、上記ワークを吸着保持するための吸着パッドを備え、上記吸着パッドの真空度が計測可能に構成されているため、吸着パッドの真空度情報から、ワーク吸着保持確認が可能である。
【００４６】
また、この発明の洗浄装置によれば、上記ブラシローラは、植毛されたブラシ毛が導電性ナイロンによって構成されるため、静電気の発生を抑制することが可能である。
【００４７】
さらに、この発明の洗浄装置によれば、上記回転ブラシローラ部の後段に、上記ワークの静電気を除去する除電ブロー装置を備えたため、回転ブラシローラ部によりワークに生じた静電気を除去することが可能である。
【００４８】
また、この発明の洗浄装置によれば、上記洗浄剤噴射塗布部、上記回転ブラシローラ部、並びに上記乾燥部を覆うカバーを備え、上記カバーには、上記ワークを取出すためのワーク取出し口を設けたため、洗浄装置への塵埃の混入を防止することができ、ワークの清浄性をより高めることが可能となる。
【００４９】
この発明の洗浄方法によれば、ワークの被洗浄面に付着した異物を除去する洗浄方法において、上記ワークの被洗浄面に洗浄剤を噴射塗布し、上記ワークの被洗浄面にブラシローラを摺接させて異物を擦り落とし、上記ワークの被洗浄面にエアを吹掛けて乾燥を促すようにしたため、洗浄剤による化学的な洗浄と、ブラシローラによる物理的な洗浄を被洗浄面に対して施すことができ、粘着力の強い異物の除去が可能となる。
【００５０】
また、この発明の洗浄方法によれば、ワークの被洗浄面に付着した異物を除去する洗浄方法において、上記ワークの被洗浄面に洗浄剤を噴射塗布する工程、上記ワークの被洗浄面にブラシローラを摺接させて異物を擦り落とす工程、上記ワークの被洗浄面にエアを吹掛けて乾燥を促す工程、上記ワークを吸着保持し、上記各部に上記ワークを制御された速度で搬送する工程を施すようにしたため、ワークの搬送スピードを調節し、各工程に適したスピードを実現して効率良く処理を施すことができ、各部間をすばやく移動させることで、洗浄に要する時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１における洗浄装置を示す側面図である。
【図２】この発明の実施の形態１の洗浄工程を示す工程図である。
【図３】この発明の実施の形態１の洗浄工程を示す工程図で、図２と合わせて、全工程を示す。
【図４】この発明の実施の形態３の洗浄装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
１　洗浄剤噴射塗布部　　　　　　　　２　洗浄剤噴射ノズル
３　洗浄剤供給タンク　　　　　　　　４　洗浄剤供給パイプ
３ｂ　洗浄剤　　　　　　　　　　　　３ｃ　残留洗浄剤
５　回転ブラシローラ部　　　　　　　６　円筒状部材
７　ブラシ毛　　　　　　　　　　　　８　ブラシローラ
９　ブラシローラカバー　　　　　　　９ａ、９ｂ　側壁
９ｃ　上壁　　　　　　　　　　　　１０　洗浄部
１１　空圧アクチュエータ　　　　　　１２　ブラケット
１３　乾燥部　　　　　　　　　　　　１４　乾燥ノズル
１５　エア供給パイプ　　　　　　　　１６　ワーク搬送部
１７　搬送アクチュエータ　　　　　　１７ａ　駆動モータ
１８　可動部　　　　　　　　　　　　１９　ワーク吸着ステージ
１９ａ〜１９ｆ　移動位置　　　　　　２０　吸着パッド
２１　ワーク　　　　　　　　　　　　２２ａ、２２ｂ　位置
２３　乾燥エア　　　　　　　　　　　２５　除電ブロー装置
２６　カバー　　　　　　　　　　　　２７　ワーク取出し口。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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