(57)【要約】【課題】皺や弛みを発生させずにワークをワークホルダに保持し、更にそのワークホルダを多段状に積み重ねたり、ワークを保持するワークホルダをスタックマガジンに多段状にスタックできるようにすることである。【解決手段】平面視枠状を呈し複数箇所に位置決めピン１１を突設したワークホルダ１と、該ワークホルダ１を載置し且つワークホルダ１の中央空間３１に配置されて同ワークホルダ１上面と面一状のワーク均し面２３を有する吸着テーブル３と、前記位置決めピン１１の係合孔１２を開孔しワークホルダ１とでワークＷを解除可能に吸着するマグネット枠体２ａとを備え、マグネット枠体２ａを、ワークホルダ１に上下回動可能に設ける。【選択図】　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面視枠状を呈し複数箇所に位置決めピンを突設したワークホルダと、前記位置決めピンの係合孔を開孔しワークホルダ上のワークを解除可能に挟持する枠状クランプ体とを備えていることを特徴とするワーク保持装置。
【請求項２】
前記枠状クランプ体がワークホルダに上下回動可能に設けられ且つ同ワークホルダとでワークを吸着するマグネット枠体であることを特徴とする請求項１記載のワーク保持装置。
【請求項３】
平面視枠状を呈するワークホルダの平行する一対の構成枠部に、ワークの平行する一対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体を設け、一方のクランプ体または双方のクランプ体を平行状に移動可能とし、前記ワークホルダ内に、該移動可能なクランプ体を他方のクランプ体から離間する方向に所定の付勢力で付勢する付勢手段を設けていることを特徴とするワーク保持装置。
【請求項４】
平面視枠状を呈するワークホルダの平行する一対の構成枠部に、ワークの平行する一対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体を設け、一方のクランプ体または双方のクランプ体を平行状に移動可能とし、前記ワークホルダ内に、該移動可能なクランプ体を他方のクランプ体から離間する方向に所定の弾撥力で付勢する弾撥手段を設け、前記ワークホルダを支持部に抜き差し可能に支持し、該支持部はその抜き差し部として、クランプ体を弾撥手段の弾撥力に抗して他方のクランプ体に接近する方向に押動する押動子を設け、該押動子は、ワークホルダを支持部から外した際、ワークホルダから自動的に抜き取られることを特徴とするワーク保持装置。
【請求項５】
平面視枠状を呈するワークホルダと、該ワークホルダを載置し且つワークホルダの中央空間に配置されて同ワークホルダ上面と面一状のワーク均し面を有する吸着テーブルと、前記ワークホルダとでワークの平行する一対または二対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体もしくはワークホルダとでワークを解除可能に吸着するマグネット枠体とを備えていることを特徴とするワーク保持装置。
【請求項６】
平面視枠状を呈し複数箇所に位置決めピンを突設したワークホルダと、該ワークホルダを載置し且つワークホルダの中央空間に配置されて同ワークホルダ上面と面一状のワーク均し面を有する吸着テーブルと、前記位置決めピンの係合孔を開孔しワークホルダとでワークを解除可能に吸着するマグネット枠体とを備えていることを特徴とするワーク保持装置。
【請求項７】
前記マグネット枠体が、ワークホルダに上下回動可能に設けられていることを特徴とする請求項５または６記載のワーク保持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、裏打フィルムで補強したセラミックスグリーンシート、フレキシブル配線基板、可撓性フィルム、金属箔等の薄板状物等のワークを保持し穿孔部に搬送してそのワークに所要の穿孔加工を施す前にワークを保持させるワーク保持装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術】
裏打フィルムで補強したセラミックスグリーンシート、フレキシブル配線基板、可撓性フィルム、金属箔等の薄板状物等の可撓性を有するワークは、ワークホルダと呼称される平面視枠状の治具に保持される。
そして、そのワークホルダを移動機構先端のチャックで挟持して機台の上面に沿うようにＸ・Ｙ軸線方向に制御動して穿孔部でワークの所要の穿孔加工が行われる。
そのワークホルダにワークを保持する方式としては、位置決めピンによる係合方式（Ａ号）、テープによる貼着方式（Ｂ号）が挙げられる。
そして、係合方式（Ａ号）は、ワークホルダの対角コーナー等に位置決めピンを突設形成し、該位置決めピンにワークの対角コーナーに開孔した位置決め孔を係合させることによってワークを保持する。
また、貼着方式（Ｂ号）は、ワークホルダの構成枠部４辺または対向する構成枠部２辺に１０ｍｍ程度幅寸法のテープでワークを貼着する。
【０００３】
前記する貼着方式（Ｂ号）の場合、皺や弛み等を無くしてワークを保持し難いばかりでなく、枠張機を使用して１０ｍｍ程度幅のテープで小さな面積をもって貼着されるものであるから、ワークを保持するために比較的大きな強度でテープを貼着する必要があり、穿孔加工後のテープの剥離作業が非常に面倒であり、剥離する際に時としてワークホルダを擦る作業を強いりワークホルダを痛めたり、ワークの貼着面を傷つける問題があり、また特殊な剥離機も必要とする。
その点で、前記する係合方式（Ａ号）は、ワークの貼着面やワークホルダを痛めることはなく、無論特殊な剥離機も必要としない。
【０００４】
しかしながら、係合方式（Ａ号）は、ワークに皺や弛み等が生じないように張力を与えて位置決め孔を位置決めピンに係合させるが、位置決め孔間のワーク部分は固定されていないため、位置決め孔間のワーク部分に経時的な弛みが発生し易く、穿孔対象であるワークの大形化に比例してその弛み量も大きく穿孔精度を悪くする問題がある。
また、位置決めピンを位置決め孔に係合させる際にワークに人為的な張力を与えるため、アクシデントでワークに無理な塑性変形力が生じて、ワークが損傷してしまう虞れもある。
そして、ワークホルダをチャックで挟持し移動機構をＸ・Ｙ軸線方向に制御動してワークの所要個所に穿孔加工を行う場合、ワークホルダの制御動が高速で行われることから、ワークには各ストップ時に大きな慣性力が生じて、基準孔を兼務する位置決め孔がその慣性力を受け拡径して、ガタつき、穿孔精度を悪くする問題もあった。
ちなみに、ワークを保持するワークホルダは直接積み重ねておき、それを人為的や機械的に穿孔部に搬入したり、穿孔部の作業テーブル面を天面とするスタックマガジンにワークを保持するワークホルダを１枚宛抜き差し可能に支承し、該スタックマガジンを昇降動可能に構成して、そのスタックマガジンを所定高さ上昇させる度に、ワークホルダを前記チャックで１枚宛抜き取って、穿孔部で所要の穿孔加工を行うようになっており、ワークホルダを多段状への積み重ね状態が安定するものでなくてはならないし、全厚が厚いものにあってはスタックマガジンに多段状に確保されている収容空間にワークホルダを収容できない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記従来事情に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、皺や弛み等を無くしてワークをワークホルダに保持し、しかも経時的にもワークが弛み難くすることである。
他の目的とする処は、ワークを保持するワークホルダを多段状に積み重ねたり、ワークを保持するワークホルダをスタックマガジンに多段状にスタックできるようにすることである。
更に他の目的とする処は、ワークを損傷させずにワークをワークホルダに保持することができるようにすることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を解決するために講じた技術的手段は、平面視枠状を呈し複数箇所に位置決めピンを突設したワークホルダと、前記位置決めピンの係合孔を開孔しワークホルダ上のワークを解除可能に挟持する枠状クランプ体とを備えていることを特徴とするワーク保持装置である（請求項１）。
以上の手段にあっては、皺や弛みを無くすように位置決めピンにワークに開孔されている位置決め孔を係合した後、ワークホルダ上のワークの全縁を枠クランプ体で挟持して、経時的（穿孔時を含む）なワークの弛みを防止する。
【０００７】
そして、前記枠状クランプ体がワークホルダに上下回動可能に設けられ、同ワークホルダとでワークを吸着するマグネット枠体であると更に好適なものである（請求項２）。
以上の手段によれば、ワークが弛んだり、移動しないようにワークホルダとでワークの全縁を吸着（挟持）するマグネット枠体を該ワークホルダに備え付けることができる。
【０００８】
また、平面視枠状を呈するワークホルダの平行する一対の構成枠部に、ワークの平行する一対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体を設け、一方のクランプ体または双方のクランプ体を平行状に移動可能とし、前記ワークホルダ内に、該移動可能なクランプ体を他方のクランプ体から離間する方向に所定の付勢力で付勢する付勢手段を設けている場合も有効なものである（請求項３）。
上記付勢手段の一例としては、弾撥体（バネ）が挙げられる。
上記所定の付勢力とは、ワークに発生する皺や波立ち等を伸ばす程度とし、保持対象になっているワークの材質、面積に応じてその力を設定する。
以上の手段にあっては、クランプ体でワークの平行する一対の縁部分を各々別個に挟持した後、付勢手段を作動させることによって、ワークに皺や波立ち等がない状態まで張力を与えることができる。
また、付勢手段が弾撥体である場合には、その弾撥体が圧縮されるように一方または双方のクランプ体を人為的に接近方向に移動させた状態でそのクランプ体各々で平行する縁部分を挟持してから手を離すことによって自動的にワークを皺や波立ち等がない状態まで張力を与えることができる。
【０００９】
そして、平面視枠状を呈するワークホルダの平行する一対の構成枠部に、ワークの平行する一対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体を設け、一方のクランプ体または双方のクランプ体を平行状に移動可能とし、前記ワークホルダ内に、該移動可能なクランプ体を他方のクランプ体から離間する方向に所定の弾撥力で付勢する弾撥手段を設け、前記ワークホルダを支持部に抜き差し可能に支持し、該支持部はその抜き差し部として、クランプ体を弾撥手段の弾撥力に抗して他方のクランプ体に接近する方向に押動する押動子を設け、該押動子は、ワークホルダを支持部から外した際、ワークホルダから自動的に抜き取られる構成を採用することもできる（請求項４）。
この所定の弾撥力とは、ワークに発生する皺や波立ち等を伸ばす程度とし、保持対象になっているワークの材質、面積に応じてその力を設定する。
以上の手段にあっては、ワークホルダを支持部で支持する状態にあってはそのクランプ体は弾撥手段の弾撥力に抗して接近方向に押動子で押動された状態にあり、その状態の双方のクランプ体でワークの平行する一対の縁部分を個別に挟持させる。そして、押動子が抜き取られるようにワークホルダを持ち上げることによって、クランプ体が弾撥手段の弾撥力を受けて相互に離間する方向に自動的に押動されて、ワークに皺や波立て等がない状態まで張力を与えることができる。
【００１０】
また、平面視枠状を呈するワークホルダと、該ワークホルダを載置し且つワークホルダの中央空間に配置されて同ワークホルダ上面と面一状のワーク均し面を有する吸着テーブルと、前記ワークホルダとでワークの平行する一対または二対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体もしくはワークホルダとでワークを解除可能に吸着するマグネット枠体とを備えている場合も有効である（請求項５）。
以上の手段にあっては、ワークの皺や波打ち等を手で擦って無くしながら吸着テーブルでワークを吸着し、その状態でワークの平行する一対または二対の縁部分をワークホルダと平面視帯板状のクランプ体とで挟持したり、ワークの全縁をワークホルダに吸着されるマグネット枠体とで挟持する。挟持後、吸着テーブルでの吸着を解除する。これによって、経時的（穿孔時を含む）なワークの弛みを防止する。
【００１１】
また、平面視枠状を呈し複数箇所に位置決めピンを突設したワークホルダと、該ワークホルダを載置し且つワークホルダの中央空間に配置されて同ワークホルダ上面と面一状のワーク均し面を有する吸着テーブルと、前記位置決めピンの係合孔を開孔しワークホルダとでワークを解除可能に吸着するマグネット枠体とを備えている場合も有効なものである（請求項６）。
以上の手段にあっては、ワークの皺や波打ち等を手で擦って無くしながら吸着テーブルでワークを吸着し、ワークの全縁をワークホルダに吸着されるマグネット枠体とで挟持する。挟持後、吸着テーブルでの吸着を解除する。これによって、経時的（穿孔時を含む）なワークの弛みを防止する。
【００１２】
更に、マグネット枠体が、ワークホルダに上下回動可能に設けられている場合も有効なものである（請求項７）。
以上の手段にあっては、ワークホルダとでワークを吸着するマグネット枠体をワークホルダに備え付けることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
次に、本発明ワーク保持装置の実施の形態を説明すると、図１〜図５は第１の実施の形態を、図６〜図９は第２の実施の形態を、図１０及び図１１は第３の実施の形態を、図１２及び図１３は第４の実施の形態を、図１４〜図１８は第５の実施の形態を、図１９及び図２０は第６の実施の形態を各々示している。
先ず、第１の実施の形態について説明すると、図１〜図５において符号１はワークホルダ、２は枠状クランプ体、３は吸着テーブルである。
ワークホルダ１は、ステンレス製であって、従来から周知なように平面視矩形枠状を呈してなり、４コーナーに位置決めピン１１…を突設状に有している。
【００１４】
枠状クランプ体２は、図２、図５に示すように、ワークホルダ１と同等の大きさを有する枠状体であり、位置決めピン１１…と対応する位置にその位置決めピン１１…が係合する係合孔１２…を開孔してなり、ワークホルダ１の上面に重なり合うようにそのワークホルダ１上面に蝶番４を介して上下回動可能に軸着されている。
また、枠状クランプ体２には、その下面にマグネットシート２２が貼着されており、それによってこの枠状クランプ体２はマグネット枠体（後述では符号２ａを付して説明する）を構成している。
【００１５】
このマグネットシート２２は、枠状クランプ体２を構成する各構成枠部下面に係合孔１２…部分を除いて連続して環状に貼着されている。
【００１６】
一方、ワークホルダ１は、前記する枠状クランプ体２を重なり合うように下方に回動させた際、マグネットシート２２に吸着させるべく各構成枠部において位置決めピン１１を除いてその上面に連続してマグネットシート２１を環状に貼着して、マグネットタイプのワークホルダ１を構成している。
【００１７】
吸着テーブル３は、図２〜図４に示すように、前記ワークホルダ１と対応する部分にそのワークホルダ１を載置する凹段部１３を凹設し、その凹段部１３にワークホルダ１を載置することによって凹段部１３に囲繞される中央部上面がワークホルダ１の中央空間３１に配置されてワークホルダ１の上面と面一状のワーク均し面２３を形成するようにしてなり、そのワーク均し面２３にエアー吸引装置（図示せず）に連絡されたバキューム孔３３…を散在状に開孔させてある。
【００１８】
斯様に構成されているワーク保持装置は、図２、図３に示すように、前記ワークホルダ１のワーク均し面２３にワークＷを載置してワークＷの皺や波打ちを手で擦って無くしながら、バキューム孔３３…からワークＷを吸着させ、そのバキュームによる固定状態でワークＷに開孔されている位置決め孔５を位置決めピン１１に係合させた後、マグネット枠体２ａを回動させてマグネット枠体２ａとワークホルダ１とのマグネットシート２１、２２の吸着力でワークＷの全縁をしっかりと挟持する。
これによって、ワークＷは皺や波打ちの無い状態に保持される。しかる後、エアー吸引装置（図示せず）の作動を停止して、吸着テーブル３から上方に抜き取ることによって、直接多段状に積み重ねたり、スタックマガジンに抜き差し可能に収容される（図４、図５）。
尚、ワークホルダ１とマグネット枠体２ａとの合計厚みはせいぜい２〜３ｍｍである。
【００１９】
次に、図６〜図９に示す第２の実施の形態を説明すると、この実施の形態は位置決めピン１１の無いワークホルダ１と、吸着テーブル３と、マグネット枠体２ａとでワークＷを固定する実施の形態を示している。ワークホルダ１に位置決めピン１１が無く、マグネット枠体２ａにその位置決めピン１１が係合する係合孔１２がない点を除いて前記する実施の形態と構成は同一である。
そして、吸着テーブル３のワーク均し面２３でワークＷの皺や波打ちを手で擦って無くしながら、バキューム孔３３…からワークＷを吸着させ、そのバキュームによる固定状態で、マグネット枠体２ａを回動させてマグネット枠体２ａとワークホルダ１とのマグネットシート２１、２２の吸着力でワークＷの全縁を挟持する（図６、図７）。
挟持後、前記と同様にエアー吸引装置（図示せず）の作動を停止し吸着テーブル３から外す点も前記実施の形態と同様である（図８、図９）。
【００２０】
次に、図１０及び図１１に示す第３の実施の形態を説明すると、この実施の形態は前記する第１の実施の形態における吸着テーブルをバキューム手段の無い単なるテーブル６にした場合の実施の形態である。
この場合には、テーブル６の凸面をワーク均し面１６として利用してワークＷの皺や波打ち等を手で擦って無くしながらワークＷに開孔されている位置決め孔５を位置決めピン１１に係合させた後、マグネット枠体２ａを回動させてマグネット枠体２ａとワークホルダ１とのマグネットシート２１、２２の吸着力でワークＷの全縁を挟持する。
【００２１】
更に、図１２及び図１３に示す第４の実施の形態を説明すると、ワークホルダ１が位置決めピンのない構成である点を除いて同第３の実施の形態と同様であるため具体的な説明は省略するが、ワーク均し面１６を利用してワークＷの皺や波打ち等を人為的に無くしながらマグネット枠体２ａを回動させてマグネット枠体２ａとワークホルダ１とのマグネットシート２１、２２の吸着力でワークＷの全縁を挟持する。
【００２２】
図１４〜図１８に示す第５の実施の形態を説明すると、符号１は、ワークホルダであり、内部中空状に形成されている。
そして、そのワークホルダ１において平行する一対の構成枠部４１、４１には、移動体７を接近・離間方向に移動可能に設け、その移動体７にワークＷの平行する一対の縁部分を解除可能に挟持する平面視帯板状のクランプ体８を設け、そのクランプ体８を構成枠部４１内において移動体７との間に介在されている弾撥手段９で互いに離間する方向に弾撥させてある。
【００２３】
移動体７は、図１８に示すように、前記構成枠部４１内に相互に接近・離間方向に移動可能に収容されている本体１７から連結用の凸部２７を構成枠部４１上に突出してなり、その凸部２７に前記平面視帯板状のクランプ体８が設けられている。
また、クランプ体８は、ワークホルダ１の上面に摺接可能な下クランプ体１８に対して上クランプ体２８を上下回動可能に軸着した構成になっており、この上クランプ体２８、下クランプ体１８は相互に当接する面にマグネットシート２８ａ、１８ａを貼着しており、ワークＷの平行する一対の縁部分をこの上下一対のクランプ体２８、１８の吸着力で挟持するようになっている。
符号４１ａは、前記凸部２７の案内孔で、ワークホルダ１の前記構成枠部４１上面に開孔されている。また、符号１０ａは、前記弾撥手段９の弾撥力に抗して移動体７を相互に接近する方向に押動する押動子で、構成枠部４１に抜き差し可能に設けられている。この押動子１０ａは、図面に示すようにテーブル状の支持部１０から突出形成されている。
従って、押動子１０ａを挿入して移動体７を弾撥手段９の弾撥力に抗して互いに接近する方向に移動させた状態で上クランプ体２８を上方に回動させてワークＷの平行する両縁を上下一対のクランプ体１８、２８の吸着力で挟持した状態で、押動子１０ａが抜き取られるようにワークホルダ１自体を上方に引き抜くことよって移動子７及び上下一対のクランプ体１８、２８は弾撥手段９の弾撥力を受けて離間方向に押動され、それによってワークＷは皺や波打ちを自動的に無くした状態でワークホルダ１に保持される。
尚、内部中空なワークホルダ１と、クランプ体８との合計厚みはワークホルダ厚が２〜３ｍｍであるため、せいぜい４〜５ｍｍである。
【００２４】
次に、図１９及び図２０に示す第６の実施の形態を説明すると、この実施の形態は前記第５の実施の形態で示す一方もしくは双方のクランプ体８を弾撥手段（付勢手段）８の弾撥力に抗して人為的に接近方向に押動可能にした例である。
この実施の形態では、一方のクランプ体８を構成枠部４１に上下回動可能に軸着すると共に、そのクランプ体８が当接する構成枠部４１との双方にマグネットシート８ａ、４１ｂを貼着してワークＷの平行する一対の縁部の片方を解除可能に吸着し、他方のクランプ体８を前記する第５の実施の形態と同様に弾撥手段（付勢手段）９の弾撥力に抗して人為的に押動することによって前記一方のクランプ体８方向に人為的に接近できるように構成してある。
前記他方のクランプ体８は、前記する第５の実施の形態と同様に上下一対のクランプ体２８、１８とで構成されており、一方のクランプ体８方向に移動体７を弾撥手段９の弾撥力に抗して押動させた状態で上クランプ体２８を下方に回動させてマグネットシート２８ａ、１８ａの吸着力でワークＷの平行する他側の縁部分を挟持させ、人為的な力を排除することによって、前記する一方のクランプ体８に対して離間方向に自動的に移動してワークＷに発生している皺や波打ちを無くすことができるようになっている。
【００２５】
前記するクランプ体８は、回動支持部に設けたバネの弾撥力で互いに圧接する構成とし、バネの弾撥力でワークを挟持する構成を採用しても任意なものである。無論、ワークを挟持する際にはそのバネ力に抗して上クランプ体を上方に回動させるものである。
尚、本実施の形態では、図面からも明らかなように穿孔対象になっているワークが磁力を透過する場合の例について説明しているが、磁力が透過しないワークを吸着対象とする場合には、無論のマグネットシート同士で吸着させ、その吸着力でワークを挟持するようにすること言うまでもないものである。
【００２６】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成したから、皺や弛みを無くしてワークをワークホルダに保持し、しかも経時的にもワークが弛み難く、穿孔精度の向上を図ることができる。
しかも、ワークホルダの平行する一対の構成枠部に平面視帯板状のクランプ体を重ねる形態、平面視枠状を呈するワークホルダに枠状クランプ体やマグネット枠体を重ねる形態であって、全高も実施の形態で示すように１０ｍｍ以下に抑制され、しかも多段状に積み重ねてもバランスを崩すことのない状態でワークを保持する。
従って、ワーク保持状態で多段状に積み重ねても安定するし、スタックマガジンに多段状に抜き差し可能にスタックすることもできる。
その上、ワークホルダに設けられている位置決めピンにワークの位置決め孔を係合させるタイプにあって、特に吸着テーブルを使用する場合には、ワークの皺や波打ち等を手で擦って無くしながら吸着テーブルでワークをいったん吸着し、その状態でワークの位置決め孔を位置決めピンに係合することができるので、ワークの位置決め孔をワークホルダの位置決めピンに張力を与えて係合する際に、ワークに不意に強い引っ張り力がかかってワークが塑性変形したり、損傷したりすることが無くなるし、枠状クランプ体やマグネット枠体がワークの全縁を挟持してワークを移動不能に挟持するため、位置決め孔（係合部）部分に局部的に穿孔加工時の慣性力が集中することもなく、慣性力で穿孔精度が悪くなる虞れもない。
しかも、マグネット枠体がワークホルダに備え付けられている場合には、いちいちワークホルダとは別に管理する必要もないし、在庫スペースを占有しない。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態におけるワーク保持装置の使用状態を示す斜視図。
【図２】ワークを吸着テーブルのワーク均し面に載置した状態を示す縦断正面図。
【図３】吸着テーブルで吸着しながらワーク均し面で皺や波立ち等を均している状態を示す縦断正面図。
【図４】枠状クランプ体（マグネット枠体）とワークホルダとでワークを挟持している状態を示す縦断正面図。
【図５】枠状クランプ体（マグネット枠体）とでワークが挟持されたワークホルダを吸着テーブルから外した状態を示す縦断正面図。
【図６】第２の実施の形態においてワークを吸着テーブルのワーク均し面に載置した状態を示す縦断正面図。
【図７】吸着テーブルで吸着しながらワーク均し面で皺や波立ちを均している状態を示す縦断正面図。
【図８】枠状クランプ体（マグネット枠体）とワークホルダとでワークを挟持している状態を示す縦断正面図。
【図９】枠状クランプ体（マグネット枠体）とでワークが挟持されたワークホルダを吸着テーブルから外した状態を示す縦断正面図。
【図１０】第３の実施の形態においてワークをテーブルのワーク均し面に載置した状態を示す縦断正面図。
【図１１】テーブルのワーク均し面で皺や波立ち等を均している状態を示す縦断正面図。
【図１２】第４の実施の形態においてワークをテーブルのワーク均し面に載置した状態を示す縦断正面図。
【図１３】テーブルのワーク均し面で皺や波立ち等を均している状態を示す縦断正面図。
【図１４】第５の実施の形態におけるワーク保持装置の使用状態を示す斜視図。
【図１５】ワークの平行する縁を一対のクランプ体で挟持する前の状態を示す縦断正面図。
【図１６】ワークの平行する縁を一対のクランプ体で挟持した状態を示す縦断正面図。
【図１７】押動子を抜き取った状態を示す縦断正面図。
【図１８】クランプ体部分の拡大断面図で、（ａ）は、ワークをクランプする前の状態を示す。（ｂ）は、ワークをクランプした状態を示す。（ｃ）は押動子を抜き取った状態を示す。
【図１９】第６の実施の形態におけるワーク保持装置の縦断面図で、（ａ）は、ワークホルダにワークを載置した状態を示す。（ｂ）は、クランプ体でワークの平行する一対の縁部分をクランプ体で吸着する状態を示す。（ｃ）は、皺や波立ち等を無くすようにクランプ体が弾撥手段の弾撥力を受けて押動される状態を示す。（ｄ）は、ワークに張力を与えている状態を示す。
【図２０】クランプ体部分の拡大断面図。（ａ）は、前記図１９（ｂ）を示す。（ｂ）は、図１９（ｃ）を示す。（ｃ）は図１９（ｄ）を示す。
【符号の説明】
１：ワークホルダ　　　　　　１１：位置決めピン
１２：係合孔　　　　　　　　２：枠状クランプ体
４１：構成枠部　　　　　　　８：クランプ体（平面視帯板状のクランプ体）
９：弾撥手段（付勢手段）　　１０：支持部
１０ａ：押動子　　　　　　　２３、１６：ワーク均し面
３：吸着テーブル　　　　　　Ｗ：ワーク
５：位置決め孔　　　　　　　２ａ：マグネット枠体
３１：中央空間
２１、２２、１８ａ、２８ａ、８ａ、４１ｂ：マグネットシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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