(57)【要約】【課題】濃度むらの少ない良好な画像を形成することが可能な高性能のインクジェットヘッド及びそれを用いたインクジェットプリンタを提供することにある。【解決手段】単結晶シリコンからなるベースプレート２の上面に酸化珪素を主成分とする絶縁層２ａを形成するとともに該絶縁層２ａ上に複数個の発熱抵抗体４を配列してなるヘッド基板１と、該ヘッド基板１上に間に所定の間隙を形成するように配設される天板７とを備え、前記ヘッド基板１−天板７間にインク１０を充填して成るインクジェットヘッドにおいて、前記発熱抵抗体４−前記絶縁層２ａ間で、且つ発熱抵抗体４の配列領域にわたり窒化珪素を主成分とする酸化防止層３を介在させるとともに、隣接する発熱抵抗体４間の領域に位置する酸化防止層３に凹部３ａを設け、該凹部３ａの底面より絶縁層２ａを露出させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶シリコンからなるベースプレートの上面に酸化珪素を主成分とする絶縁層を形成するとともに該絶縁層上に複数個の発熱抵抗体を配列してなるヘッド基板と、該ヘッド基板上に間に所定の間隙を形成するように配設される天板とを備え、前記ヘッド基板−天板間にインクを充填して成り、前記発熱抵抗体の発する熱によって前記インクの一部をインク吐出孔より吐出させて印画を形成するインクジェットヘッドにおいて、
前記発熱抵抗体−前記絶縁層間で、且つ少なくとも発熱抵抗体の配列領域にわたり窒化珪素を主成分とする酸化防止層を介在させるとともに、隣接する発熱抵抗体間に位置する酸化防止層に凹部を設け、該凹部の底面より絶縁層を露出させたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記発熱抵抗体が窒化珪素を主成分とする保護膜で被覆されており、該保護膜中の酸素含有量が５質量％以下に設定されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッドと、該インクジェットヘッドのインク吐出孔上に記録紙を搬送する搬送手段とを具備することを特徴とするインクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録紙にインク滴を所定パターンに付着させて画像等を形成するインクジェットヘッド及びそれを用いたインクジェットプリンタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、記録紙に画像を形成するための記録デバイスとしてインクジェットヘッドが幅広く用いられている。
【０００３】
インクジェットヘッドの記録方式には、インク滴を記録紙に向けて吐出させるのに発熱抵抗体の発する熱エネルギーを利用するものや圧電素子の変形を利用するもの，更には電磁波の照射に伴って発生する熱を利用するもの等があり、これらの中でも発熱抵抗体の熱エネルギーを利用するサーマルジェットタイプのものは、発熱抵抗体のパターニングが容易である上に、小さな面積の発熱抵抗体であっても比較的大きな熱エネルギーを発生させることができることから、高密度記録への対応に適したものとして注目されている。
【０００４】
かかるサーマルジェットタイプのインクジェットヘッドとしては、例えば図５に示す如く、ベースプレート２２の上面に酸化珪素からなる絶縁層２２ａを形成するとともに該絶縁層上に多数の発熱抵抗体２４を直に被着・配列したヘッド基板２１と、複数個のインク吐出孔２８を有した天板２７とを間に所定の間隔を形成するようにして配設させた上、この両者間に形成される間隙にインク３０を充填した構造のものが知られており、多数の発熱抵抗体２４を外部からの画像データに基づき個々に選択的にジュール発熱させ、これらの熱エネルギーによってインク３０中に気泡Ａを発生させるとともに、該気泡Ａの発生に伴う圧力でもってインク３０の一部をインク吐出孔２８より記録紙に向けて吐出させ、記録紙に所定の印画を形成することによってインクジェットヘッドとして機能する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のインクジェットヘッドにおいては、先の述べたように、前記複数個の発熱抵抗体２４が酸化珪素からなる絶縁層２２ａ上に直に被着されていることから、記録動作時、発熱抵抗体２４を高温で繰返し発熱させた場合、その熱によって前記絶縁層２２ａ中の酸素が発熱抵抗体２４を構成する抵抗材料と反応して発熱抵抗体２４の下部領域が酸化され、発熱抵抗体２４の抵抗値が上昇してしまう。それ故、発熱抵抗体２４を所望の温度で発熱させることができず、記録紙に形成される画像に濃度むらが形成される欠点を有していた。
【０００６】
本発明は上記欠点に鑑み案出されたもので、その目的は、濃度むらの少ない良好な画像を形成することが可能な高性能のインクジェットヘッド及びそれを用いたインクジェットプリンタを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のインクジェットヘッドは、単結晶シリコンからなるベースプレートの上面に酸化珪素を主成分とする絶縁層を形成するとともに該絶縁層上に複数個の発熱抵抗体を配列してなるヘッド基板と、該ヘッド基板上に間に所定の間隙を形成するように配設される天板とを備え、前記ヘッド基板−天板間にインクを充填して成り、前記発熱抵抗体の発する熱によって前記インクの一部をインク吐出孔より吐出させて印画を形成するインクジェットヘッドにおいて、前記発熱抵抗体−前記絶縁層間で、且つすくなくとも発熱抵抗体の配列領域にわたり窒化珪素を主成分とする酸化防止層を介在させるとともに、隣接する発熱抵抗体間の領域に位置する酸化防止層に凹部を設け、該凹部の底面より絶縁層を露出させたことを特徴とするものである。
【０００８】
また本発明のインクジェットヘッドは、前記発熱抵抗体が窒化珪素を主成分とする保護膜で被覆されており、該保護膜中の酸素含有量が５質量％以下に設定されていることを特徴とするものである。
【０００９】
そして本発明のインクジェットプリンタは、上述のインクジェットヘッドと、該インクジェットヘッドのインク吐出孔上に記録紙を搬送する搬送手段とを具備することを特徴とするものである。
【００１０】
本発明のインクジェットヘッドによれば、前記発熱抵抗体−前記絶縁層間で、且つ少なくとも発熱抵抗体の配列領域にわたり窒化珪素を主成分とする酸化防止層を介在させたことから、記録動作時、発熱抵抗体を高温で繰返し発熱させた場合であっても、絶縁層中の酸素と発熱抵抗体を構成する抵抗材料との反応が酸化防止層でもって有効に防止され、発熱抵抗体の抵抗値が略一定に保たれることとなる。従って、発熱抵抗体を所望の温度で発熱させることができ、記録紙に濃度むらの少ない良好な画像を記録することが可能となる。
【００１１】
しかもこの場合、前記酸化防止層のうち、隣接する発熱抵抗体間の領域に凹部を設け、該凹部の底面より絶縁層を露出させたことから、隣接する発熱抵抗体間には熱伝導率が高い窒化珪素からなる酸化防止層が存在しなくなり、発熱抵抗体の発する熱が酸化防止層を介して隣接する発熱抵抗体まで多量に伝達することが有効に防止される。従って、各発熱抵抗体について他の発熱抵抗体からの熱の影響を小さく抑え、各発熱抵抗体を所望の温度で発熱させることができ、記録紙に鮮明な画像を記録することが可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図、図２は図１のインクジェットヘッドの断面図、図３は図１のインクジェットヘッドを構成するヘッド基板１の平面図であり、図１に示すインクジェットヘッドは、大略的にヘッド基板１と天板７とで構成され、この両者間にはインク１０が充填されている。
【００１３】
前記ヘッド基板１は、単結晶シリコンから成るベースプレート２の上面に、絶縁層２ａ及び酸化防止層３を順次形成するとともに、該酸化防止層３の上面に、複数個の発熱抵抗体４や一対の給電配線５を被着・配列させ、これらを単一の保護膜６で共通に被覆した構造を有している。
【００１４】
前記ベースプレート２は、その上面で絶縁層２ａや酸化防止層３、複数個の発熱抵抗体４等を支持するための支持母材として機能するものであり、このようなベースプレート２は、従来周知のチョコラルスキー法（引き上げ法）等によって形成した単結晶シリコンのインゴット（塊）を、所定厚みにスライスすることにより製作される。
【００１５】
また前記ベースプレート２の上面に形成されている絶縁層２ａは、酸化珪素を主成分とする無機質材料によって、例えば０．０５μｍ〜０．５μｍの厚みに形成されており、電気絶縁性と適度な熱伝導性（熱伝導率１〜２Ｗ／ｍ・Ｋ）とを兼ね備えているため、ベースプレート２を形成する単結晶シリコンと発熱抵抗体４及び一対の給電配線５等とを確実に絶縁するとともに、その内部で発熱抵抗体４の発する熱の一部を蓄熱してインクジェットヘッドの熱応答特性を向上させる作用、すなわち、発熱抵抗体４の温度をインク１０中で気泡を発生させるのに必要な所定の温度まで短時間で上昇させる蓄熱層としての作用を為す。
【００１６】
このような絶縁層２ａは、従来周知の熱酸化法等を採用することにより、ベースプレート２を形成する単結晶シリコンをその表面より所定の深さ領域（０．０５μｍ〜０．５μｍ）まで酸化することによって形成される。
【００１７】
そして、前記絶縁層２ａ上の酸化防止層３は、後述する発熱抵抗体４の配列領域にわたり設けられており、更に、かかる酸化防止層３のうち、隣接する発熱抵抗体４間の領域には略長方形状を成す多数の凹部３ａが設けられている。
【００１８】
前記酸化防止層３は、窒化珪素を主成分とする無機質材料により形成されており、発熱抵抗体４が酸素を多量に含む酸化珪素からなる絶縁層２ａに直に接触するのを有効に防止するようになっている。このため、記録動作時、発熱抵抗体４を６００℃以上の高温で繰返し発熱させた場合であっても、絶縁層２ａ中の酸素と発熱抵抗体４を構成する抵抗材料との反応することはほとんどなく、発熱抵抗体４の下部領域が酸化されることを有効に防止し、発熱抵抗体４の抵抗値を略一定に保つことができる。従って、発熱抵抗体４を所望の温度で発熱させることができ、記録紙に濃度むらの少ない良好な画像を記録することが可能となる。
【００１９】
また、前記酸化防止層３に設けられる多数の凹部３ａは、酸化防止層３の一部が主走査方向（発熱抵抗体４の配列方向）にわたり連続的に繋がった状態にすべく、その長手方向の長さが酸化防止層３の副走査方向の幅よりも短く形成されており、その底面より酸化防止層３の下地となる絶縁層２ａを露出させ、発熱抵抗体４間の領域に酸化防止層３が存在しない部位を形成している。
【００２０】
このため、発熱抵抗体４の発する熱が熱伝導率の高い酸化防止層３（窒化珪素の熱伝導率：７０〜８０Ｗ／ｍ・Ｋ）を介して隣接する発熱抵抗体４まで多量に伝達することが有効に防止されることとなり、各発熱抵抗体４に対する他の発熱抵抗体４からの熱の影響を小さく抑え、各発熱抵抗体４を所望の温度で発熱させることができ、記録紙に鮮明な画像を記録することが可能となる。
【００２１】
尚、前記酸化防止層３は、従来周知の薄膜手法、具体的には、スパッタリングや真空蒸着法等を採用し、絶縁層２ａの上面に窒化珪素等を所定の厚み（０．０５μｍ〜０．５μｍ）に被着させることによって形成される。このとき、酸化防止層３は０．０５μｍ〜０．１５μｍの厚みに設定しておけば、インクジェットヘッドを長時間にわたり繰返し使用した場合であっても、絶縁層２ａ中の酸素と発熱抵抗体４を構成する抵抗材料との反応をより確実に防止することができる上に、絶縁層２ａや発熱抵抗体４に対する密着性を高くすることができる。ここで、酸化防止層３の厚みが０．０５μｍよりも小さいと、インクジェットヘッドを長時間にわたり使用した場合、絶縁層２ａ中の酸素と発熱抵抗体４を構成する抵抗材料との反応を有効に防止することがやや難しくなり、一方、酸化防止層３の厚みが０．１５μｍよりも大きいと、酸化防止層３の内部応力が大きくなり、絶縁層２ａや発熱抵抗体４に対する密着性が低下する傾向にある。従って、酸化防止層３の厚みを０．０５μｍ〜０．１５μｍの範囲内に設定しておくことが好ましい。
【００２２】
また、前記酸化防止層３を、窒化珪素を主成分とする材料により形成するのは、窒化珪素が適度なヤング率（３．０〜３．８×１０１１Ｎ／ｍ２）を有しているため、酸化珪素層３に対して応力が印加された場合であっても、適度に応力を吸収して酸化防止層３に欠けが生じることを有効に防止できるからであり、例えば、酸化防止層を窒化珪素よりも軟らかい材料により形成した場合、インクジェットヘッドに強い外力が印加された場合に酸化防止層が変形することがあり、一方、酸化防止層を炭化珪素等の硬い材料により形成した場合、インクジェットヘッドに強い外力が印加された場合、応力をあまり吸収できずに酸化防止層に欠けを生じることがある。従って、前記酸化防止層３を、窒化珪素を主成分とする材料で形成することが重要である。
【００２３】
そして、前記酸化防止層３の上面に設けられる複数個の発熱抵抗体４は、例えば６００ｄｐｉ（ｄｏｔ　ｐｅｒ　ｉｎｃｈ）の密度で主走査方向に直線状に配列されており、その各々がＴａＮやＴａＳｉＯ，ＴａＳｉＮＯ，ＴｉＳｉＯ，ＴｉＳｉＣＯ，ＮｂＳｉＯ等の抵抗材料により形成されているため、その両端に接続される一対の給電配線５等を介して電源電力が供給されるとジュール発熱を起こし、発熱抵抗体４上のインク１０中で気泡を発生させるのに必要な所定の温度（１００℃〜１０００℃）となる。
【００２４】
また前記複数個の発熱抵抗体４に電気的に接続される一対の給電配線５は、例えばアルミニウムやアルミニウム・銅合金等の金属材料によって所定パターンで所定厚み（０．１μｍ〜１．０μｍ）に形成されており、外部から供給される電源電力を発熱抵抗体４に印加する作用を為している。
【００２５】
このような発熱抵抗体４や一対の給電配線５は、従来周知の薄膜手法、具体的には、絶縁層２ａや酸化防止層３の上面にわたって前述の抵抗材料と金属材料とをスパッタリングにより順次被着させ、これを従来周知のフォトリソグラフィー及びエッチングにて所定パターンに微細加工することにより形成される。
【００２６】
更に、前記発熱抵抗体４や一対の給電配線５等を被覆する保護膜６は、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）を主成分とする無機質材料によって例えば０．２μｍ〜２．０μｍの厚みに形成されており、その内部の酸素含有量が２質量％〜５質量％と小さく設定されている。
【００２７】
このため、発熱抵抗体４を６００℃以上の高温で繰返し発熱させた場合であっても、保護膜６中の酸素と発熱抵抗体４を構成する抵抗材料との反応することはほとんどなく、発熱抵抗体４の上部領域の酸化が有効に防止される。
【００２８】
ここで、保護膜中の酸素含有量が５質量％よりも大きいと、発熱抵抗体４を６００℃以上の高温で使用した場合、保護膜６中の酸素と発熱抵抗体４を構成する抵抗材料とが反応する恐れがわずかに存在し、一方、保護膜中の酸素含有量が２質量％よりも小さいと、発熱抵抗体４との密着性が低下する傾向にある。従って、前記保護膜６中の酸素含有量を２質量％〜５質量％の範囲内に設定することが好ましい。
【００２９】
尚、上述した保護膜６は、インク１０中に含まれているアルカリイオンや水分等が発熱抵抗体４や給電配線５等に接触してこれらを腐食したり、或いは、インク１０中に含まれている染料の固まりなどが発熱抵抗体４の表面に付着したりするのを有効に防止するためのものであり、従来周知のスパッタリングや真空蒸着法等を採用することにより、絶縁層２ａや酸化防止層３、発熱抵抗体４、給電配線５等の上面に前述の窒化珪素を主成分とする無機質材料を所定厚みに被着させることにより形成される。尚、この場合、保護膜６の表面には、酸化防止層３の凹部３ａの形状に応じた窪みが形成される。
【００３０】
一方、前記天板７は、上述したヘッド基板１上に、間に所定の間隙を形成するようにして配設される。
【００３１】
前記天板７は、ヘッド基板１上の発熱抵抗体３と１対１に対応する多数のインク吐出孔８を有しており、これらのインク吐出孔８が対応する発熱抵抗体３の真上に位置するようにしてヘッド基板１に対し取着・固定されている。
【００３２】
また前記インク吐出孔８は、各々の直径が１０μｍ〜１００μｍの大きさに設定されており、インクジェットヘッドの記録動作時、発熱抵抗体３の発熱に伴いインク１０中に気泡Ａが発生すると、気泡Ａの発生に伴う圧力でもってインク１０の一部をインク吐出孔７より記録紙に向けて吐出するようになっている。
【００３３】
このような天板７は、モリブデン等の金属材料やアルミナセラミックス等の電気絶縁性材料あるいはエポキシ樹脂やポリイミド樹脂等の合成樹脂材料、あるいは、これらの材料を組み合わせることによって形成され、例えばモリブデンから成る場合、モリブデンのインゴット（塊）を従来周知の金属加工法によって所定厚みの板体と成し、得られた板体に従来周知のレーザー加工によってインク吐出孔７を厚み方向に穿設することにより製作され、得られた天板６をヘッド基板１上に図示しないスペーサを介して載置することでヘッド基板１に対し固定される。
【００３４】
そして、ヘッド基板１−天板７間に形成される間隙はインク１０が充填されている。
【００３５】
前記インク１０は、図示しないインクタンクからヘッド基板１−天板７間の間隙に供給されるようになっており、上述した発熱抵抗体４からの熱エネルギーによってインク１０中に気泡Ａが発生すると、該気泡発生時の圧力によってインク１０の一部がインク吐出孔８側に押し上げられ、インク１０の一部がインク滴ｉとなってインク吐出孔８より外部に吐出される。
【００３６】
このようなインク１０としては、例えば水性染料インク等が好適に使用され、その粘度は例えば０．３ｍＰａ・ｓ〜３．０ｍＰａ・ｓ（２５℃）に調整される。
【００３７】
次に上述したインクジェットヘッドを用いて構成されたインクジェットプリンタについて図４を用いて説明する。図４は、上述したインクジェットヘッドを用いて構成されたインクジェットプリンタの概略図であり、同図に示すインクジェットプリンタは、筐体内に、上述したインクジェットヘッドＩＪと、該インクジェットヘッド上に記録紙を搬送する搬送手段ＴＲとを配置させた構造を有している。
【００３８】
前記搬送手段ＴＲは、ＳＵＳ等の金属材料により形成された円柱状を成す軸心に、ブタジエンゴムやシリコーンゴム等の弾性材をロール状に巻きつけて構成される複数の搬送ローラを具備し、これら複数の搬送ローラを、インクジェットヘッドに対して記録紙の搬送方向上流側と下流側に、それぞれ回転可能な状態で配設させており、上述したインクジェットヘッドＩＪのインク吐出孔８上に記録紙を安定的に搬送する作用を為している。
【００３９】
かくして上述したインクジェットプリンタは、搬送手段ＴＲによって記録紙をインク吐出孔上に搬送しながら、発熱素子４を発熱素子列毎に選択的に発熱させ、この熱エネルギーによってインク１０中に気泡Ａを発生させるとともに、該発生した気泡Ａによる圧力でもってインク吐出孔８よりインク滴ｉを外部に吐出させ、吐出したインク滴ｉを記録紙に付着させることによって所定の画像が記録される。
【００４０】
尚、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【００４１】
例えば上述の実施形態において、図５に示す如く、ヘッド基板１−天板７間に、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂などの樹脂材料により形成された隣接する発熱抵抗体４を隔てる隔壁部と、これら隔壁部の一端側で共通に繋がる帯状部とを組み合わせて櫛歯状を成すように形成された隔壁部材９を介在させるようにしても良く、この場合、発熱抵抗体４上のインク１０中で発生する気泡Ａからの圧力が主走査方向へ分散するのを隔壁部で有効に防止することができ、気泡Ａからの圧力をインク滴ｉの吐出に効率的に寄与させることが可能となる。
【００４２】
また、前記隔壁部材９の隔壁部の下部を、図６に示す如く、隣接する発熱抵抗体４間の保護膜表面に形成される窪みに嵌合させるようにしておけば、隔壁部材をヘッド基板１に対して強固に固定しておくことができ、インクジェットヘッドの取扱時に強い衝撃が加えられた場合であっても、隔壁部材がヘッド基板より外れることはほとんどないという利点がある。尚、前記隔壁部材９は、前述した樹脂材料を、従来周知の厚膜手法、具体的には、スピンナー装置等を用いて保護膜６の表面に塗布するとともに、これを従来周知のフォトリソグラフィー技術及びエッチング技術により所定パターンに加工することにより製作される。
【００４３】
また上述の実施形態においては、インク吐出孔８を天板７に設けるようにしたが、これに代えて、インク滴をヘッド基板１のエッジより吐出させるエッジシュータータイプのインクジェットヘッドに本発明を適用するにあたり、インク吐出孔を天板には設けず、ヘッド基板の一端側でヘッド基板と天板との間にインク吐出孔を設けても構わない。
【００４４】
更に上述の実施形態においては、前記酸化防止層３を主走査方向にわたり一部連続的に繋がった状態に形成するようにしたが、これに代えて、図７に示す如く、前記凹部を酸化防止層３の副走査方向に延在させ、かかる凹部３’ａによって酸化防止層３’を発熱抵抗体４間の領域で個々に複数個に分離するようにしても良い。
【００４５】
また更に上述の実施形態においては、前記酸化防止層３を発熱抵抗体４の配列領域にのみ設けるようにしたが、酸化防止層は少なくとも発熱抵抗体４の配列領域に存在すればよく、例えば、図８に示す如く、ベースプレート２の略全面（絶縁層２ａの略全面）にわたり設けるようにしても良い。
【００４６】
更にまた上述の実施形態において、ヘッド基板１上に、発熱抵抗体３の発熱を制御するためのドライバーＩＣを搭載しても良いことは言うまでもない。
【００４７】
【発明の効果】
本発明のインクジェットヘッドによれば、前記発熱抵抗体−前記絶縁層間で、且つ少なくとも発熱抵抗体の配列領域にわたり窒化珪素を主成分とする酸化防止層を介在させたことから、記録動作時、発熱抵抗体を高温で繰返し発熱させた場合であっても、絶縁層中の酸素と発熱抵抗体を構成する抵抗材料との反応が酸化防止層でもって有効に防止され、発熱抵抗体の抵抗値が略一定に保たれることとなる。従って、発熱抵抗体を所望の温度で発熱させることができ、記録紙に濃度むらの少ない良好な画像を記録することが可能となる。
【００４８】
しかもこの場合、前記酸化防止層のうち、隣接する発熱抵抗体間の領域に凹部を設け、該凹部の底面より絶縁層を露出させたことから、隣接する発熱抵抗体間には熱伝導率が高い窒化珪素からなる酸化防止層が存在しなくなり、発熱抵抗体の発する熱が酸化防止層を介して隣接する発熱抵抗体まで多量に伝達することが有効に防止される。従って、各発熱抵抗体について他の発熱抵抗体からの熱の影響を小さく抑え、各発熱抵抗体を所望の温度で発熱させることができ、記録紙に鮮明な画像を記録することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの横断面図である。
【図３】図１のインクジェットヘッドを構成するヘッド基板の平面図である。
【図４】図１のインクジェットヘッドを用いて構成したインクジェットプリンタの概略図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図６】図５のインクジェットヘッドの横断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係るインクジェットヘッドを構成するヘッド基板の平面図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係るインクジェットヘッドを構成するヘッド基板の平面図である。
【図９】従来のインクジェットヘッドの断面図である。
【符号の説明】
１・・・ヘッド基板
２・・・ベースプレート
２ａ・・・絶縁層
３・・・酸化防止層
４・・・発熱抵抗体
５・・・給電配線
６・・・保護膜
７・・・天板
８・・・インク吐出孔
９・・・隔壁部材
１０・・・インク
ＩＪ・・・インクジェットヘッド
ＴＲ・・・搬送手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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