(57)【要約】【課題】隣接するワーク同士がくっつくと、その部分には液だまりが生じるので、これを防ぐことで、液の次槽への持ちこみ防止による、洗浄、リンス性の向上、ワーク表面への液残り防止による、リンス性の向上、ワーク配置の狭ピッチ化による、洗浄効率の向上を実現する。【解決手段】液中引き上げ時に、治具をワーク長手方向に平行な軸に対して回転、傾斜させる洗浄治具の載置機構及び棒状部材の洗浄方法。【選択図】　　　　図１
2004074048.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
棒材が複数、載置され、かつ棒材同士が略平行となるように位置決めする手段を有する治具と、
前記治具を載置する部材と、その中に液体を満たした水槽と、
前記治具載置部材を、前記水槽内で上下動させる手段とを有し、
前記治具載置部材に、前記治具載置部材の一辺に平行な軸を中心に回動する板状の部材を設け、
前記板状部材の、前記回転軸を挟んで対向する第１、第２の端部を、第１の端部は前記載置部材の外側に、第２の端部は前記治具載置時に該洗浄治具の下側に位置するように、それぞれ配置し、
前記水槽内側面の、前記治具載置部材の上昇による前記治具の液体からの引き上げ時に前記第１の端部が到達する位置に、前記第１の端部と接触するように凸部を設けたことを特徴とする洗浄治具の載置機構。
【請求項２】
前記液体が、洗浄液であることを特徴とする請求項１記載の洗浄治具の載置機構。
【請求項３】
前記液体が、洗浄液の置換液（リンス液）であることを特徴とする請求項１記載の洗浄治具の載置機構。
【請求項４】
前記棒材が、電子放出素子を使用した画像表示装置の、構造支持部材（スペーサ７）であることを特徴とする請求項１ないし３いずれか記載の洗浄治具の載置機構。
【請求項５】
治具に、複数の棒状部材を該複数の棒状部材の長手方向が互いに略平行になるように配置する工程と、
治具に配置された複数の棒状部材を、液体に浸す工程と、
液体に浸した複数の棒状部材を、液体から引き上げる工程とを有する棒状部材の洗浄方法であって、
棒状部材の前記引き上げ工程は、複数の棒状部材が、液体面から時間差をもって順次引き上げられるように、治具を傾けて行われることを特徴とする棒状部材の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、その機能上、表面への付着物が問題となるような棒材、主に電子放出素子を使用した画像表示装置の、リアプレート、フェースプレート間の構造支持部材（以下、スペーサ７とする）の、洗浄に関する洗浄治具の載置機構及び棒状部材の洗浄方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子放出素子を使用した画像表示装置は、薄型で省スペース、かつ軽量であるため、従来のブラウン管を使用した画像表示装置にかわるものとして、開発が進められている。
【０００３】
以下に、画像表示装置の一般的な構造を示す。図５（ａ）は、平面型の画像表示装置の概略構造を示した断面図である。図中、１はリアプレート、２は側壁、３はフェースプレートで、前記フェースプレート３の前記リアプレート１に対向する面には蛍光膜４、前記蛍光膜４の上にはメタルバック５が形成されている。そして、リアプレート１、側壁２、及びフェースプレート３で囲まれた空間６は、１０のマイナス４乗［Ｐａ］程度の真空に維持されている。そのため、外部と真空容器中との圧力差による、リアプレート１、及びフェースプレート３の変形を防止するための構造支持部材としてスペーサ７が設けられている。
【０００４】
前記画像表示装置は、電子放出素子より電子の放出が行われると同時に、前記メタルバックに数百から数千［Ｖ］の高電圧を印可して電子を加速し、前記フェースプレート３に衝突させ、前記蛍光膜４をなす蛍光体が励起されて発光し、画像を表示する。
【０００５】
ここで、前記スペーサ７は画像表示領域内に配置、固定されるので、画像への影響を考慮すると、前記スペーサ７は前記電子放出素子間で、かつ前記電子放出素子から適度に離れた位置に存在する必要がある。また、前記スペーサ７は固定時の作業性を考慮すると、前記スペーサ７の端部を前記画像表示領域の外側に引き出して、前記スペーサ７端部を固定するのが好ましい。
【０００６】
そのため、前記スペーサ７の前記フェースプレート３、及びリアプレート１との当接面８は、縦横比が２０００〜１００００程度の細長い形状となっている。
【０００７】
前記スペーサ７は、前記メタルバック５に高電圧が印加されているため、その表面は高電界中にさらされている。また、前記電子放出素子から放出された電子の一部は、図５（ｂ）の矢印ａで示すように、前記スペーサ７表面にも衝突するので、前記スペーサ７表面から二次電子が放出される。一般に前記スペーサ７表面の二次電子放出係数は１を超える値であるので、前記スペーサ７表面は正に帯電する。そのため、前記スペーサ７の前記フェースプレート３、及びリアプレート１との当接面８からの放電（以下、沿面放電とする）が発生しやすい。
【０００８】
また、前記スペーサ７表面に付着物９がある場合には、前記付着物に電界が集中するため、前記付着物からの放電も発生する。
【０００９】
これらの放電が発生すると、前記リアプレート１上に形成された前記電子放出素子、及び配線が焼損することが問題となる。
【００１０】
この問題の解決策として、前記沿面放電については、前記スペーサ７表面に微小な電流が流れるようにして、帯電を除去する提案がなされている（特開昭５７−１１８３５５号公報、特開昭６１−１２４０３１号公報）。この提案によれば、前記スペーサ７の構成として、電気的絶縁性を示すスペーサ基材の表面に、高抵抗薄膜を形成したものを採用している。この構成とすることで、前記メタルバックに高電圧が印加される場合、前記スペーサ７表面に微小な電流が流れ、前記スペーサ７表面の除電が行なわれる。よって、沿面耐圧の向上がなされ、沿面放電の発生を防止することができる。
【００１１】
一方、前記スペーサ７表面の付着物９からの放電については、前記付着物９の除去を実現するための、効果的な洗浄方法が必要となる。
【００１２】
図６、図７、図８、図９に、前記スペーサ７表面の付着物除去を目的とする効果的な洗浄方法の一例を示す。
【００１３】
洗浄に使用する治具の形状を、図６（ａ），（ｂ），（ｃ）、図７を使用して説明する。
【００１４】
洗浄治具１０は枠体１１と、複数のスペーサ支持部材１２で構成され、前記支持部材１２は、前記枠体１１の内側に、各々の前記支持部材１２が略平行となるように固定されている。また、前記支持部材１２には溝部１３が形成されている。前記洗浄部材への前記スペーサ７の載置は、前記スペーサ７が、複数配置された前記支持部材１２のすべてを横断、かつ前記スペーサ端面８が前記溝部１３の底面に当接するように配置されることで行なわれる。さらに、図７に示すように前記溝部１３の幅ｗは、前記スペーサ７配置時の作業性を考慮し、前記スペーサ７幅ｔの３〜４倍と大きめに設定されている。
【００１５】
前記スペーサ７の載置終了後、前記支持部材１２上にスペーサおさえ部材２６を載置、固定し、前記洗浄治具１０が洗浄液、またはリンス液中へ投入、引き上げの際に生じる抵抗力で、前記スペーサ７が前記洗浄治具１０から落下するのを防いでいる。
【００１６】
次に、実際の洗浄方法について、図８、図９（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）を使用して説明する。
【００１７】
使用する洗浄装置は、洗浄液を満たした洗浄槽１４、洗浄液置換用の液（以下、リンス液）を満たしたリンス槽１５、及び乾燥槽１８が並列に配置され、また前記洗浄槽１４、リンス槽１５の底部には、超音波発生源１６が配置され、前記超音波発生源１６により、前記洗浄液中にキャビテーションを発生させ、このキャビテーションによって発生する衝撃波を利用して付着物を除去するのが一般的である。
【００１８】
前記洗浄槽１４、前記リンス槽１５の上方には、それぞれ前記洗浄治具載置部材１７が配置され、この前記治具載置部材１７を、図中矢印ｃの方向に移動可能とすることで、前記洗浄治具の、前記洗浄槽１４、第１、２リンス槽１５内への投入、及び超音波洗浄、または超音波によるリンス促進の際、前記洗浄治具を超音波伝播方向に揺動させることが可能になっている。
【００１９】
まず、前記スペーサ７を載置した前記洗浄治具１０を、前記洗浄槽１４に投入する（図中矢印ｂの方向）。このとき、前記洗浄治具１０に載置された前記スペーサ７の端面が前記超音波発生源１６に対向するような姿勢をとる。その理由は、超音波洗浄を効果的に実施するため、前記洗浄槽１４内での前記スペーサ７の姿勢を、前記超音波発生源１６から、前記超音波伝播方向に観察した場合、前記スペーサ７同士が互いに重なり合わないようにするためである。
【００２０】
また、超音波はその伝播方向に強度分布を持っていることから、前記スペーサ７に加わる衝撃を均一にするため、前記洗浄液中では、前記洗浄治具１０を超音波の伝播方向と平行に揺動（図中矢印ｃの方向）させる。
【００２１】
次に、前記洗浄治具１０を前記洗浄槽１４から取り出し（図中矢印ｄの方向）、前記リンス槽１５に投入し、前記洗浄槽１４の場合と同様に、前記洗浄治具１０の揺動、及び超音波による洗浄液の置換を行なう。
【００２２】
最後に、前記洗浄治具１０を前記リンス槽１５から取り出し、前記洗浄治具１０、及び前記スペーサ７の表面に付着したリンス液をブローで減じた後、加熱、前記リンス液を蒸発させて、前記スペーサ７を乾燥させる。
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような洗浄方法には、以下のような問題がある。
【００２４】
前記スペーサ７は、前記スペーサ７の洗浄、またはリンス時に、洗浄液、またはリンス液中で前述のような姿勢をとっている。
【００２５】
そのため、洗浄、またはリンス終了後、前記洗浄液、またはリンス液中から、前記スペーサ７を大気中に引き上げるとき、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、前記洗浄液、またはリンス液の抵抗、及び前記スペーサの前記溝部１３内での傾き具合によって、前記スペーサ７が前記スペーサ７の変形しやすい方向、すなわち図中の矢印ｅ方向にたわみ、隣り合う前記スペーサ７同士が接触する。ここで、前記スペーサ７表面に前記洗浄液、またはリンス液が付着した状態で、前記スペーサ７同士が接触すると、液の表面張力によって、接触したままとなる。
【００２６】
このとき、前記洗浄液、またはリンス液が、前記スペーサ７同士が接触している図中Ｆ部に多く残るので、前記洗浄液が前記リンス液中に持ちこまれたり、前記リンス液は前記スペーサ７表面に付着したまま加熱、乾燥されたりすることになる。
【００２７】
前記洗浄液がリンス液中に持ちこまれると、超音波洗浄によって前記スペーサ７表面から除去され前記洗浄液中に混入した異物も前記リンス液中に持ちこまれる。よって、前記洗浄液が前記リンス液中に、より多く持ち込まれると、前記リンス液中の前記異物の量も増大することになる。このため、リンス時に前記異物の前記スペーサ７表面への再付着が発生する。
【００２８】
また、前記リンス液が多量に付着したまま前記スペーサ７を加熱、乾燥させると、前記リンス液が完全に蒸発せず、一部が前記スペーサ７表面に付着したままとなる。
【００２９】
これらの再付着物、及び付着リンスは、前記スペーサ７が前記画像表示装置の真空容器内に収納されたときにガス放出の原因となるので、ガスに起因した前記電子放出素子の劣化が発生するおそれがある。
【００３０】
また、前記スペーサ７表面に前記高抵抗薄膜を形成したときに、前記膜が剥れる原因ともなり、前記付着物と同様、前記膜が剥れた個所への電界集中によって、前記放電の発生が助長されるおそれがある。
【００３１】
このような前記スペーサ７同士の接触を防止する方法として、
（１）図１１（１），（２）に示すように、前記洗浄治具１０の前記支持部材１２の数を増やし、配置間隔を小さくすることで、前記スペーサ７の変形可能な量を小さくし、前記スペーサ７同士が接触しないようにする。
【００３２】
（２）図１２（１），（２）に示すように、前記支持部材１２上に形成された前記溝部１３の配置間隔を大きくすることで、前記スペーサ７の載置間隔を大きくし、前記スペーサ７同士が接触しないようにする。
【００３３】
が考えられるが、
（１）前記支持部材１２の数をむやみに増やすと、前記溝部１３の内側面と前記スペーサ７との間にも、前記洗浄液、またはリンス液は進入するので、前記スペーサ７同士の接触と同様、前記洗浄液の前記リンス液中への持ちこみ、及び前記スペーサ７表面に前記リンス液が付着したままの加熱、乾燥を助長し、前記スペーサ７表面の汚損が発生することになり好ましくない。
【００３４】
（２）前記スペーサ７の載置間隔を大きくすると、前記スペーサ７の前記洗浄治具１０上に同時載置可能な個数が減少するので、洗浄効率の低下が発生し、好ましくない。
【００３５】
本発明は、以上の点に着目して成されたもので、ロッド状ワーク洗浄時の、洗浄性、リンス性、及び効率の向上を図る洗浄治具の載置機構及び棒状部材の洗浄方法を提供することを目的とする。
【００３６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述の問題を鑑みて提案されたもので、
前記洗浄治具１０を前記洗浄槽１４、またはリンス槽１５内に投入する前記治具載置部材１７に、前記治具載置部材１７の一辺に平行な軸を中心に回動する板状の部材を設け、
前記板状部材の、前記回転軸を挟んで対向する第１、第２の端部を、第１の端部は前記載置部材の外側に、第２の端部は前記洗浄治具１０載置時に前記洗浄治具１０の下側に位置するように、それぞれ配置し、
前記洗浄槽１４、またはリンス槽１５内側面の、前記治具載置部材１７の上昇による前記治具の洗浄液、またはリンス液からの引き上げ時に前記第１の端部が到達する位置に、前記第１の端部と接触するように凸部を設ける。
【００３７】
なお、さらに詳細に説明すれば、本発明は下記の構成によって前記課題を解決できた。
【００３８】
（１）棒材が複数、載置され、かつ棒材同士が略平行となるように位置決めする手段を有する治具と、
前記治具を載置する部材と、その中に液体を満たした水槽と、
前記治具載置部材を、前記水槽内で上下動させる手段とを有し、
前記治具載置部材に、前記治具載置部材の一辺に平行な軸を中心に回動する板状の部材を設け、
前記板状部材の、前記回転軸を挟んで対向する第１、第２の端部を、第１の端部は前記載置部材の外側に、第２の端部は前記治具載置時に該洗浄治具の下側に位置するように、それぞれ配置し、
前記水槽内側面の、前記治具載置部材の上昇による前記治具の液体からの引き上げ時に前記第１の端部が到達する位置に、前記第１の端部と接触するように凸部を設けたことを特徴とする洗浄治具の載置機構。
【００３９】
（２）前記液体が、洗浄液であることを特徴とする前記（１）記載の洗浄治具の載置機構。
【００４０】
（３）前記液体が、洗浄液の置換液（リンス液）であることを特徴とする前記（１）記載の洗浄治具の載置機構。
【００４１】
（４）前記棒材が、電子放出素子を使用した画像表示装置の、構造支持部材（スペーサ７）であることを特徴とする前記（１）ないし（３）いずれか記載の洗浄治具の載置機構。
【００４２】
（５）治具に、複数の棒状部材を該複数の棒状部材の長手方向が互いに略平行になるように配置する工程と、
治具に配置された複数の棒状部材を、液体に浸す工程と、
液体に浸した複数の棒状部材を、液体から引き上げる工程とを有する棒状部材の洗浄方法であって、
棒状部材の前記引き上げ工程は、複数の棒状部材が、液体面から時間差をもって順次引き上げられるように、治具を傾けて行われることを特徴とする棒状部材の洗浄方法。
【００４３】
【作用】
前記洗浄液、またはリンス液中から、前記洗浄治具１０を大気中に引き上げるとき、前記第１の端部が前記凸部に接触し、前記板状部材２１は前記回転軸を中心に回動する。前記板状部材２１の前記第２の端部は、前記洗浄治具１０の下側に配置されているので、前記板状部材２１が回動することで、前記洗浄治具１０は傾斜する。前記洗浄治具１０が傾斜することで、前記スペーサ７も、前記溝部１３内で同方向に傾斜するので、前記スペーサ７の変形しやすい方向にそろうことになる。よって、前記洗浄液、またはリンス液の抵抗によって、前記スペーサ７が変形した場合でも、隣り合う前記スペーサ７同士が接触することはない。
【００４４】
【発明の実施の形態】
【００４５】
【実施例１】
以下に本発明の実施例を、図１、図２、図３、図４、図５を用いて説明する。
【００４６】
図１、図２に、本発明を採用した洗浄治具１０、及び洗浄装置の概略構造を示す。
【００４７】
まず、使用する洗浄治具１０の形状を、図１を使用して説明する。
【００４８】
洗浄治具１０は枠体１１と、複数のスペーサ７支持部材１２で構成され、前記支持部材１２は、前記枠体１１の内側に、各々の前記支持部材１２が略平行となるように固定されている。
【００４９】
また、前記支持部材１２には溝部１３が形成されている。前記洗浄部材への前記スペーサ７の載置は、前記スペーサ７が、複数配置された前記支持部材１２のすべてを横断、かつ前記スペーサ７端面が前記溝部１３の底面に当接するように配置されることで行なわれる。このとき、前記溝部１３の幅は、前記スペーサ７配置時の作業性を考慮して、前記スペーサ７寸法の３〜４倍と大きく設定されている。
【００５０】
前記スペーサ７の載置終了後、前記支持部材１２上にスペーサおさえ部材２６を載置、固定し、前記洗浄治具１０が洗浄液、またはリンス液中へ投入、引き上げの際に生じる抵抗力で、前記スペーサ７が前記洗浄治具１０から落下するのを防いでいる。
【００５１】
これらスペーサ７、及び洗浄治具１０の各部寸法について一例を示すと、前記スペーサ７のサイズは１０００×２×０．２ｍｍ程度、前記洗浄治具１０の前記支持部材１２配置間隔、前記溝部１３の幅、溝部１３の配置間隔は、それぞれ２５０ｍｍ、０．７ｍｍ、８ｍｍ程度である。このスペーサ７を洗浄治具１０に載置する場合、１０００×０．２ｍｍの面を前記スペーサ端面８とし、この面を前記溝部１３の底面に当接させることとなる。
【００５２】
次に、使用する洗浄装置の構成を、図２、図３（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）を使用して説明する。
【００５３】
前記洗浄装置には、洗浄槽１４、第１リンス槽１９、第２リンス槽２０、及び乾燥槽１８が並列に配置されており、また前記洗浄槽１４、第１、２リンス槽１９、２０の底部には、超音波発生源１６が配置されている。
【００５４】
前記洗浄槽１４、第１、２リンス槽１９、２０の上方には、それぞれ前記洗浄治具載置部材１７が配置され、この前記治具載置部材１７を、図中矢印ｂの方向に移動可能とすることで、前記洗浄治具１０の、前記洗浄槽１４、第１、２リンス槽内への投入、及び超音波洗浄、または超音波によるリンス促進の際、前記洗浄治具１０を超音波伝播方向に揺動させることが可能になっている。
【００５５】
洗浄、第１、２リンス、及び乾燥は、この順に実施され、前記洗浄治具１０の槽間移動は、各槽上方に配置された前記治具載置部材１７から、次工程の槽上方に配置された前記治具載置部材１７上へ、洗浄治具移動手段（図示せず）を使用して行なう。
【００５６】
前記治具載置部材１７は、その一辺に平行な軸２５を中心に回動する板状部材２１が設けられ、前記板状部材２１は、その第１、第２の端部２２、２３が、第１の端部２２は、前記治具載置部材１７の外側に位置、第２の端部２３は、前記洗浄治具１０載置時には前記洗浄治具１０の下側に位置するように、それぞれ配置されている。
【００５７】
また、前記洗浄槽１４、第１リンス槽１９、及び第２リンス槽２０の内側面には、前記洗浄治具１０の前記洗浄槽１４、第１、２リンス槽１９、２０からの引き上げ時に前記第１の端部２２が到達する位置に凸部２４を設け、前記第１の端部２２と接触するようにする。
【００５８】
次に、実際の洗浄手順について、図４（ａ），（ｂ）、図５（ａ），（ｂ）を使用して説明する。
【００５９】
前記洗浄治具１０にスペーサ７を載置、固定した後、前記洗浄槽１４上方に配置された、前記治具載置部材１７上に載置する。
【００６０】
また、前記洗浄槽１４、前記第１、２リンス槽１９、２０は、それぞれ洗浄液、リンス液で満たされている。実際に使用する洗浄液、リンス液の一例を示すと、
洗浄液としてアルパス７７７ＳＷ（ヘンケル・ジャパン）
リンス液としてＰ３ラフィニットＧ（ヘンケル・ジャパン）
である。
【００６１】
次に、前記治具載置部材１７を下降（図中矢印ｂの方向）させ、前記洗浄治具１０を前記洗浄槽１４内に投入、洗浄液中に浸漬させた状態で、前記超音波発振源から超音波を発振し、適当な時間、超音波洗浄を行なう。この超音波洗浄の間、前記スペーサ７に加わる衝撃を均一にするため、前記治具載置部材１７を上下動（図中矢印ｃの方向）させる。
【００６２】
次に、超音波発振を停止し、前記治具載置部材１７を、凡そ１０ｍｍ／ｓの速度で上昇させ（図中矢印ｄの方向）、前記洗浄治具１０を洗浄液から引き上げる。
【００６３】
このとき、前記第１の端部２２が前記凸部に接触し、前記板状部材２１は前記回転軸を中心に回動する（図中矢印ｈの方向）。
【００６４】
前記板状部材２１の前記第２の端部は２３、前記洗浄治具１０の下側に配置されているので、前記板状部材２１が回動することで、前記洗浄治具１０は傾斜する。
【００６５】
前記洗浄治具１０が傾斜すると、前記スペーサ７も、前記溝部１３内で同方向に傾斜するので、前記スペーサ７の変形しやすい方向も図中矢印ｊの方向にそろうことになる。
【００６６】
よって、前記洗浄液の抵抗によって、前記スペーサ７が変形した場合でも、図中矢印ｊの方向にたわみ、隣り合う前記スペーサ７同士が接触することはなくなるので、前記スペーサ７同士が接触した部分に残った前記洗浄液が残ったまま、前記第１リンス槽１９に持ちこまれることはなくなる。
【００６７】
この後、前記洗浄治具１０が同様の動作を行なうことで、前記第１リンス槽１９から前記第２リンス槽２０への移動、前記第２リンス槽２０から前記乾燥槽１８への移動、いずれの場合においても、前記スペーサ７同士が接触した部分に残った前記洗浄液、またはリンス液が残ったまま、次工程へ持ちこまれることは防止される。
【００６８】
【実施例２】
先の実施例では、洗浄槽１４、第１、２リンス槽、および乾燥槽で構成される、４槽式の洗浄装置について説明したが、これ以外の構成の洗浄装置についても同様の効果が期待できる。
【００６９】
このように、本発明の効果は、洗浄、リンス、及び乾燥の各槽の数、順番、及び投入する洗浄液、リンス液の種類に依存しない。
【００７０】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明の洗浄治具１０、及び洗浄治具載置機構を使用することで、前記洗浄液、またはリンス液中から、前記洗浄治具１０を大気中に引き上げるとき、前記洗浄液、またはリンス液の抵抗によって、前記スペーサ７が変形した場合でも、図中の矢印方向にのみ変形し、隣り合う前記スペーサ７同士が接触することはない。
【００７１】
そのため、前記スペーサ７同士が接触する部分に残った前記洗浄液、またはリンス液が、前記洗浄液は前記リンス液中に持ちこまれたり、前記リンス液が前記スペーサ７表面に付着したまま加熱、乾燥されたりすることがないので、前記リンス液中異物の前記スペーサ７表面への再付着、前記リンス液の一部が前記スペーサ７表面に付着したままとなることもなく、これらの再付着物、及び付着リンスからのガス放出に起因した前記電子放出素子の劣化防止、長寿命化が期待できる。
【００７２】
また、前記再付着物、及び付着リンスに起因した前記スペーサ７表面の前記高抵抗薄膜の剥れが防止されることで、放電の発生を防ぎ、前記スペーサ７沿面耐圧の向上も期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である、洗浄治具、及び洗浄治具載置機構の概略構造を示す図
【図２】前記洗浄治具、及び洗浄治具載置機構を採用した、洗浄装置の概略構造を示す断面図
【図３（ａ）】洗浄作業中の前記洗浄治具、及び洗浄治具載置機構の動作を示す図
【図３（ｂ）】洗浄作業中の前記洗浄治具、及び洗浄治具載置機構の動作を示す図
【図３（ｃ）】洗浄作業中の前記洗浄治具、及び洗浄治具載置機構の動作を示す図
【図３（ｄ）】洗浄作業中の前記洗浄治具、及び洗浄治具載置機構の動作を示す図
【図４（ａ）】（１），（２）は洗浄作業中の前記洗浄治具上に載置されたスペーサの挙動を示す図
【図４（ｂ）】洗浄作業中の前記洗浄治具上に載置されたスペーサの挙動を示す図
【図５（ａ）】構造支持部材としてのスペーサを有する画像表示装置の概略構造を示す断面図
【図５（ｂ）】構造支持部材としてのスペーサを有する画像表示装置の概略構造を示す断面図
【図６（ａ）】従来の洗浄治具の構造、及び洗浄治具上へのスペーサ載置手順を示す図
【図６（ｂ）】従来の洗浄治具の構造、及び洗浄治具上へのスペーサ載置手順を示す図
【図６（ｃ）】従来の洗浄治具の構造、及び洗浄治具上へのスペーサ載置手順を示す図
【図７】スペーサ支持部に形成された溝部内での、スペーサの姿勢を示す図
【図８】従来の洗浄装置の概略構造を示す図
【図９（ａ）】従来の洗浄作業中の前記洗浄治具、及び洗浄装置の動作を示す図
【図９（ｂ）】従来の洗浄作業中の前記洗浄治具、及び洗浄装置の動作を示す図
【図９（ｃ）】従来の洗浄作業中の前記洗浄治具、及び洗浄装置の動作を示す図
【図９（ｄ）】従来の洗浄作業中の前記洗浄治具、及び洗浄装置の動作を示す図
【図１０（ａ）】（１），（２）は従来の洗浄作業中の前記洗浄治具上に載置されたスペーサの挙動を示す図
【図１０（ｂ）】従来の洗浄作業中の前記洗浄治具上に載置されたスペーサの挙動を示す図
【図１１】（１），（２）は、従来の液から引き上げた際の、スペーサ同士の接触対策を示す図
【図１２】（１），（２）は、従来の液から引き上げた際の、スペーサ同士の接触対策を示す図
【符号の説明】
１　リアプレート
２　側壁
３　フェースプレート
４　蛍光体
５　メタルバック、
６　密閉空間
７　スペーサ
８　スペーサ端面
９　スペーサ表面の付着物
１０　洗浄治具
１１　枠体
１２　スペーサ支持部材
１３　溝部
１４　洗浄槽
１５　リンス槽
１６　超音波発生源
１７　洗浄治具載置部材
１８　乾燥槽
１９　第１リンス槽、
２０　第２リンス槽
２１　板状部材
２２　板状部材２１の第１の端部
２３　板状部材２１の第２の端部
２４　槽内側面の凸部
２５　板状部材の回転軸、
２６　スペーサ７のおさえ部材
【図１】
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【図２】
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【図３（ａ）】
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【図３（ｂ）】
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【図３（ｃ）】
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【図３（ｄ）】
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【図４（ａ）】
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【図４（ｂ）】
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【図５（ａ）】
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【図５（ｂ）】
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【図６（ａ）】
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【図６（ｂ）】
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【図６（ｃ）】
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【図７】
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【図８】
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【図９（ａ）】
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【図９（ｂ）】
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【図９（ｃ）】
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【図９（ｄ）】
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【図１０（ａ）】
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【図１０（ｂ）】
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【図１１】
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【図１２】
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