(57)【要約】【課題】特定の曲率を持って湾曲しているプラスチック成型品の内面に高精度のアンテナ導体パターンが形成できるミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターンの形成方法を提供することを目的とする。【解決手段】プラスチック成形加工にて所定の曲率を有するパラボラ状のプラスチック成型品１０を作製し、プラスチック成型品１０の内面に無電解銅めっき等によりめっき下地層を形成し、めっき下地層をカソードにして電解銅めっきを行い、所定厚の銅からなる導体層２１を形成する。さらに、導体層２１を波長５３２ｎｍのレーザにてパターン加工を行い導体パターン２１ａを、さらに、導体パターン２１ａの表面に所定厚のニッケル層を形成し、ミリ波用レーダーアンテナ２０を得る。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミリ波用レーダーアンテナの導体パターンの加工方法であって、少なくとも以下の工程を備えることを特徴とするミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターンの形成方法。
（ａ）プラスチック成形加工にて所定の曲率を有するパラボラ状のプラスチック成型品（１０）を作製する工程。
（ｂ）プラスチック成型品（１０）の内面に無電解銅めっき等によりめっき下地層を形成し、めっき下地層をカソードにして電解銅めっきを行い、所定厚の銅からなる導体層（２１）を形成する工程。
（ｃ）導体層（２１）を波長５３２ｎｍのレーザにてパターン加工を行い、所定のパターン幅、ピッチのアンテナ導体パターン（２１ａ）を形成する工程。
（ｄ）電解ニッケルめっき等により導体パターン（２１ａ）の表面に所定厚のニッケル層を形成する工程。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターンの形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
最近、安全上の問題から自動車の追突防止等を目的としてミリ波用レーダーアンテナを用いて走行中の自動車の車間距離を自動計測する自動運転支援システムの開発、一部実用化が行われている。
このシステムに用いられるミリ波用レーダーアンテナは所定の曲率を持ったパラボラ型のプラスチック成型品の内面に導体幅１００μｍ前後の導体パターンを形成したアンテナが形成されている。
【０００３】
以下、ミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターンの形成方法について説明する。
図２（ａ）〜（ｆ）に、従来のミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターンの形成方法の工程の一例を示す。
まず、プラスチックの成型加工にて特定の曲率を有するパラボラ状のプラスチック成型品１０を作製する（図２（ａ）参照）。
【０００４】
次に、プラスチック成型品１０の内面１０ａを粗化処理、触媒核付与及び活性化処理を行った後、無電解銅めっき等により、プラスチック成型品１０の内面にめっき下地導体層を形成する（特に、図示せず）。さらに、めっき下地層をカソードにして電解銅めっきを行い、所定厚の銅からなる導体層２１を形成する（図２（ｂ）参照）。
【０００５】
次に、回転塗布法、ドライフィルムの貼付法等により、導体層２１上に所定厚の感光層（レジスト）３１を形成する（図２（ｃ）参照）。
【０００６】
次に、遮光パターン４１が形成された露光マスク４０を用いて、パターン露光を行い、感光層（レジスト）にパターン潜像を形成する（図２（ｄ）参照）。
ここで、露光マスク４０はガラス基板等の透明な剛体に遮光パターンを形成したものであるから、今回のような湾曲したプラスチック成型品１０の内面の感光層（レジスト）３１に露光マスク４０を密着させることができない。そのため、露光マスクの位置によって距離が変わり、パターン位置によってパターン形状に形状差及びバラツキを生じることになる。
【０００７】
次に、専用の現像液で感光層（レジスト）３１を現像処理し、乾燥、ポストベークを行って、導体層２１上にレジストパターン３１ａを形成する（図２（ｅ）参照）。
【０００８】
次に、レジストパターン３１ａをエッチングマスクにして、塩化第２鉄液等のエッチング液で導体層２１をエッチング処理し、専用の剥離液でレジストパターン３１ａを除去して、プラスチック成型品１０の内面にアンテナ導体パターン２１ａを形成し、ミリ波用レーダーアンテナ３０を得る（図２（ｆ）参照）。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記アンテナ導体パターンの形成方法でも分かるように、プラスチック成型品１０の内面がある曲率を持って湾曲しているため、従来のフォトエッチング法を適用した場合フォトリソ工程の感光層（レジスト）及びパターン露光工程がそのまま適用できず、特に、パターン露光工程での位置によるパターン形状歪み、パターン幅バラツキが発生する。
導体幅１００μｍ前後の導体パターンを歪み無く、パターン幅バラツキを所定の値に入れようとすると、１０％程度の製造歩留まりとなり、問題となっていた。
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、特定の曲率を持って湾曲しているプラスチック成型品の内面に高精度のアンテナ導体パターンが形成できるミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターンの形成方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に於いて上記課題を達成するために、本発明では、ミリ波用レーダーアンテナの導体パターンの加工方法であって、少なくとも以下の工程を備えることを特徴とするミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターンの形成方法としたものである。
（ａ）プラスチック成形加工にて所定の曲率を有するプラスチック成型品１０を作製する工程。
（ｂ）プラスチック成型品１０の内面に無電解銅めっき等によりめっき下地層を形成し、めっき下地層をカソードにして電解銅めっきを行い、所定厚の銅からなる導体層２１を形成する工程。
（ｃ）導体層２１を波長５３２ｎｍのレーザにてパターン加工を行い、所定のパターン幅、ピッチのアンテナ導体パターン２１ａを形成する工程。
（ｄ）電解ニッケルめっき等により導体パターン２１ａの表面に所定厚のニッケル層を形成する工程。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態につき説明する。
本発明のミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターンの形成方法は、特定の曲率を持って湾曲しているプラスチック成型品の内面に形成された銅からなる導体層を選択加工性を有する波長５３２ｎｍのレーザ（グリーンレーザ）ビームを用いてパターン加工することにより、パターン形状歪みのない、パターン加工精度に優れた導体パターンを特定の曲率を持って湾曲しているプラスチック成型品の内面に形成することができる。
【００１２】
以下、本発明のミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターンの形成方法について説明する。
図１（ａ）〜（ｃ）に、本発明のミリ波用レーダーアンテナの導体パターンの形成方法の工程の一例を示す。
まず、プラスチック成型加工にて特定の曲率を有するパラボラ状のプラスチック成型品１０を作製する（図１（ａ）参照）。
【００１３】
次に、プラスチック成型品１０の内面１０ａを粗化処理、触媒核付与及び活性化処理を行った後、無電解銅めっき等により、プラスチック成型品１０の内面にめっき下地導体層を形成する（特に、図示せず）。さらに、めっき下地層をカソードにして電解銅めっきにて所定厚の銅からなる導体層２１を形成する（図１（ｂ）参照）。
ここで、導体層２１は、膜厚２〜３μｍの銅からなる導体層が用いられる。
【００１４】
次に、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ（基本波：１０６４ｎｍ）の第２高調波レーザ（波長：５３２ｎｍ）を用いて、レーザビーム径、出力を調整して、導体層２１上をビームスキャンして、所定幅の導体パターン加工を行い、パラボラ状のプラスチック成型品１０の内面にアンテナ導体パターン２１ａ形成して、ミリ波用レーダーアンテナ２０を得る（図１（ｃ）参照）。
ここで、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ（基本波：１０６４ｎｍ）の第２高調波レーザ（波長：５３２ｎｍ）はグリーンレーザとも呼ばれ、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ（基本波：１０６４ｎｍ）に対して、ビーム径は半分に、エネルギー密度は４倍にすることができ、銅等の反射率の高い金属の加工適性に優れているのが特徴である。
【００１５】
上記したように、銅からなる導体層をＮｄ：ＹＡＧレーザ（基本波：１０６４ｎｍ）の第２高調波レーザ（波長：５３２ｎｍ）を用いて、パターン加工することにより、パターン形状歪みのない、高精度の導体パターンを高歩留まりで得ることができる。
また、フォトリソ工程の感光層（レジスト）形成、パターン露光、現像工程の一連のパターニング処理を必要としないため、導体パターンの形成工程が簡略化され、コストダウンを図ることができる。
【００１６】
【実施例】
以下実施例により本発明を詳細に説明する。
まず、プラスチック成型加工にて、スチロール変性樹脂（ザレック１２０：出光石油化学製）を用いて、厚み１．７ｍｍ、直径８０ｍｍ、曲率半径Ｒ−４０ｍｍのパラボラ状のプラスチック成型品１０を作製した（図１（ａ）参照）。
【００１７】
次に、過マンガン酸カリウム溶液でプラスチック成型品１０の内面１０ａを粗面化処理した後、パラジウム溶液で触媒核付与し、無電解銅めっきにより０．２μｍ厚のめっき下地層を形成し、めっき下地層をカソードにして電解銅めっきを行い、３μｍ厚の銅からなる導体層２１を形成した（図１（ｂ）参照）。
【００１８】
次に、ＹＡＧグリーンスキャンマーカ（ＥＣＯＭＡＲＫＥＲ（商品名）：ＭＬ９０１０Ａ、ミヤチテクノス株式会社製）を用いて波長：５３２ｎｍでのレーザパターン加工を行い、パターン幅１３０μｍ、ピッチ５７０μｍのアンテナ導体パターン２１ａを形成した。さらに、電解ニッケルめっきにて０．２μｍ厚のニッケル層を形成し、ミリ波用レーダーアンテナ２０を得た（図１（ｃ）参照）。
【００１９】
得られたミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターン２１ａのパターン幅を測長顕微鏡にて測定した結果、パターン幅設定値１３０μｍに対し、アンテナ導体パターン２１ａのパターン幅は、ミリ波用レーダーアンテナの全域にわたって、±２０μｍの範囲に入っており、許容できるものであった
【００２０】
【発明の効果】
上記したように、本発明のミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターンの形成方法を用いることにより、特定の曲率で湾曲したパラボラ状のプラスチック成型品の内面に、パターン形状歪みのない、高精度の導体パターンを高歩留まりで得ることができる。
また、フォトリソ工程の感光層（レジスト）形成、パターン露光、現像工程の一連のパターニング処理を必要としないため、導体パターンの形成工程が簡略化され、製造コストのコストダウンを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）〜（ｃ）は、本発明のミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターンの形成方法の一例を示す模式構成断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｆ）は、従来のミリ波用レーダーアンテナのアンテナ導体パターンの形成方法の一例を示す模式構成断面図である。
【符号の説明】
１０……プラスチック成型品
１ａ……プラスチック成型品の内面
２０、３０……ミリ波用レーダーアンテナ
２１……導体層
２１ａ……アンテナ導体パターン
３１……感光層（レジスト）
３１ａ……レジストパターン
４０……露光マスク
４１……遮光パターン
【図１】
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【図２】
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