(57)【要約】【課題】本発明は、試験波形を被試験ＩＣに供給して試験を行う試験装置および試験方法に関し、波形成形ファイルおよびスケジュールファイルを作成してこれらをもとに被試験ＩＣのバーイン試験を行い、初心者でも簡易にバーイン試験を可能にすることを目的とする。【解決手段】被試験ＩＣに供給して試験を行う複数の波形をそれぞれ０と１のつながりからなる文字列で記述した波形生成ファイルと、試験のスケジュールを記述したスケジュールファイルと、波形生成ファイルに記述された複数の波形の０と１のつながりの文字列に対応した波形パターンをそれぞれ発生させる波形生成手段と、スケジュールファイルに記述されたスケジュールに従い、波形生成手段によって生成された波形パターンを被試験ＩＣに供給して試験を行う試験手段とを備える。【選択図】  図１
2004264131.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験波形を被試験ＩＣに供給して試験を行う試験装置において、
前記被試験ＩＣに供給して試験を行う複数の波形をそれぞれ０と１のつながりからなる文字列で記述した波形生成ファイルと、
試験のスケジュールを記述したスケジュールファイルと、
前記波形生成ファイルに記述された複数の波形の０と１のつながりの文字列に対応した波形パターンをそれぞれ発生する波形生成手段と、
前記スケジュールファイルに記述されたスケジュールに従い、前記波形生成手段によって生成された波形パターンを前記被試験ＩＣに供給して試験を行う試験手段と
を備えたことを特徴とする試験装置。
【請求項２】
前記波形生成ファイルに記述した複数の０と１のつながりからなるそれぞれの文字列として、前記被試験ＩＣの試験に必要なクロック信号、アドレス信号、データなどの信号に対応する０と１からなるそれぞれの文字列としたことを特徴とする請求項１記載の試験装置。
【請求項３】
試験波形を被試験ＩＣに供給して試験を行う試験方法において、
前記被試験ＩＣに供給して試験を行う複数の波形をそれぞれ０と１のつながりからなる文字列で記述した波形生成ファイルと、
試験のスケジュールを記述したスケジュールファイルとを設け、
前記スケジュールファイルに記述されたスケジュールに従い、前記波形生成ファイルに記述された複数の波形の０と１のつながりの文字列に対応した波形パターンをそれぞれ発生し、当該発生した波形パターンを前記被試験ＩＣに供給して試験を行う試験ステップを有する試験方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試験波形を被試験ＩＣに供給して試験を行う試験装置および試験方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
記憶素子などのＩＣを高温の状態にして当該記憶素子をアクセスする波形などを供給して試験（加速試験）を行ういわゆるバーイン試験がある。当該バーイン試験は、従来、ＬＳＩテスタ上で波形成形（複雑なテストパターンやタイミングなど）を作成およびそのスケジュール（バーインスケジュール）を作成し、これらをバーイン試験装置に送信してバーイン試験を行うようにしていた。
【０００３】
また、テストパターン波形図の各部分を文字コードで表し、文字コード列を対応するテストパターン波形に変換してバーイン試験に使用するようにしていた（特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平０５−１８１６９４号公報の図３およびその説明の〔００１５〕など参照。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述した前者の技術では、ＬＳＩテスタ上で波形生成を行う必要があり、作成するのに多くの手間が必要となってしまうという問題があると共に、スケジュールを作成するにはＬＳＩテスト上で作成するために当該ＬＳＩテストが使用する言語を理解して記述する必要があり大変であるという問題があった。
【０００６】
また、上述した後者の技術では、テストパターン波形ができても、これを使用してバーイン試験を行うスケジュールを記述するには特定の言語を理解してそれを使用して記述する必要があったり大変であるという問題があった。
【０００７】
本発明は、これらの問題を解決するため、波形成形ファイルおよびスケジュールファイルを作成してこれらをもとに被試験ＩＣのバーイン試験を行い、初心者でも簡易にバーイン試験を可能にすることを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
図１を参照して課題を解決するための手段を説明する。
【０００９】
図１において、パソコン１は、利用者がスケジュールファイル１２および波形生成ファイル１３を作成したり、バーイン装置２に送信したりなどするものである。
【００１０】
スケジュールファイル１２は、試験のスケジュールを記述したものである。
波形生成ファイル１３は、被試験ＩＣ２７に供給して試験を行う複数の波形をそれぞれ０と１のつながりからなる文字列で記述したものである。
【００１１】
バーイン装置２は、被試験ＩＣ２７の試験を行うものであって、ここでは、波形生成手段２１、バーイン試験手段２２などから構成されるものである。
【００１２】
波形生成手段２１は、波形生成ファイル１３をもとに試験用の波形を生成するものである。
【００１３】
バーイン試験手段２２は、スケジュールファイル１２に従い、波形生成手段２１で生成された波形を被試験ＩＣ２７に供給して試験を行うものである。
【００１４】
次に、動作を説明する。
スケジュールファイル１２および波形生成ファイル１３をバーイン装置２が受信し、当該バーイン装置２を構成するバーイン試験手段２２がスケジュールファイル１２に記述されたスケジュールに従い、波形生成手段２１によって波形生成ファイル１３をもとに生成された波形パターンを被試験ＩＣ２７に供給して試験を行うようにしている。
【００１５】
この際、波形生成ファイル１３に記述した複数の０と１のつながりからなるそれぞれの文字列として、被試験ＩＣ２７の試験に必要なクロック信号、アドレス信号、データなどの信号に対応する０と１からなるそれぞれの文字列とするようにしている。
【００１６】
また、スケジュールファイル１２に、被試験ＩＣ２７の試験を行う温度、時間、電圧を少なくともテキストで記述するようにしている。
【００１７】
従って、波形成形ファイル１３およびスケジュールファイル１２を作成してこれらをもとに被試験ＩＣ２７のバーイン試験を行うことにより、初心者でも簡易にバーイン試験用のスケジュールファイル１２および波形生成ファイル１３を作成・編集してバーイン試験を行うことが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に、図１から図５を用いて本発明の実施の形態および動作を順次詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明のシステム構成図を示す。
図１において、パソコン１は、利用者がスケジュールファイル１２および波形生成ファイル１３を作成したり、バーイン装置２に送信したりなどするものであって、コントロール部１１、スケジュールファイル１２、および波形生成ファイル１３などから構成されるものである。
【００２０】
コントロール部１１は、本願発明に係わるバーイン試験を行うための各種制御（スケジュールファイル１２、波形生成ファイル１３の作成など）を統括するものである。
【００２１】
スケジュールファイル１２は、試験のスケジュールを記述したものであって、試験を行う条件を記述したものである（図２の（ａ）参照）。
【００２２】
波形生成ファイル１３は、被試験ＩＣ２７に供給して試験を行う複数の波形をそれぞれ０と１のつながりからなる文字列で記述したものである（図２の（ｂ）参照）。
【００２３】
バーイン装置２は、被試験ＩＣ２７の試験を行うものであって、ここでは、波形生成手段２１、バーイン試験手段２２，温度制御手段２３、電圧制御手段２４、およびバーイン試験機構２５などから構成されるものである。
【００２４】
波形生成手段２１は、波形生成ファイル１３をもとに試験用の波形を生成するものである（図２の（ｂ）、図５参照）。
【００２５】
バーイン試験手段２２は、スケジュールファイル１２に従い、波形生成手段２１で生成された波形を被試験ＩＣ２７に供給して試験を行うものである（図２の（ａ），図４参照）。
【００２６】
温度制御手段２３は、バーイン試験機構２５中に挿入した被試験ＩＣ２７の周囲の温度を制御（例えば１００℃）に制御するものである（図２の（ａ）、図４参照）。
【００２７】
電圧制御機構２４は、バーイン試験機構２５中に挿入した被試験ＩＣ２７に供給する電圧を制御するものである（図２の（ａ）、図４参照）。
【００２８】
バーイン試験機構２５は、バーイン試験対象の被試験ＩＣ２７を挿入して試験を行う機構であって、ここでは、バーインカード２６などから構成されるものである。
【００２９】
バーインカード２６は、被試験ＩＣ２７を装着（ソケットに挿入して装着）してバーイン試験機構２５の内部に挿入（装着）するためのものである。
【００３０】
被試験ＩＣ２７は、バーイン試験を行う対象のＩＣである。
図２は、本発明のファイル例を示す。
【００３１】
図２の（ａ）は、スケジュールファイルの例を示す。スケジュールファイル１２は、被試験ＩＣ２７のバーイン試験を行うスケジュールと条件をテキストデータとして記述したものであって、図示の下記の情報を記述したものである。
【００３２】
・バーイン電源ＯＮ
・電源電圧設定：Ｖ１＝３．３Ｖ  Ｖ２＝２．５Ｖ
・温度設定：Ｔａ＝１００℃
・バーインタイマ開始  ２４時間スタート
・波形出力
・・・
・バーイン電源ＯＦＦ
ここで、「バーイン電源ＯＮ」は図１のバーイン装置２の電源をＯＮにする。「電源電圧設定：Ｖ１＝３．３Ｖ  Ｖ２＝２．５Ｖ」は電圧制御機構２４が被試験ＩＣ２７に供給する電圧、Ｖ１＝３．３Ｖ  Ｖ２＝２．５Ｖに設定する。「温度設定：Ｔａ＝１００℃」は温度制御手段２３がバーイン試験機構２５の内部の温度を１００℃に恒温制御する。「バーインタイマ開始  ２４時間スタート」はバーイン試験を開始してから、２４時間タイマを起動し、２４時間経過したときにバーイン試験を終了する。「波形出力」は波形生成ファイル１３に記述された波形を生成して被試験ＩＣ２７に供給する。バーイン電源ＯＦＦ」はバーインタイマがタイムオーバー（ここでは、２４時間経過）したときに波形出力を終了し、バーイン試験を終了したのでバーイン装置２の電源をＯＦＦにする。
【００３３】
以上のように、テキストデータとしてバーイン装置２に指示するスケジュールを記述することにより、バーイン試験のスケジュールを立案することが可能となる。
【００３４】
図２の（ｂ）は、波形生成ファイルの例を示す。波形生成ファイル１３は、図示のように、波形毎に時系列に０と１の数字のならびで当該波形を定義したものであって、図示の下方が時間の経過方向であり、Ｐ１，Ｐ２などが同時並列に発生する波形である。
【００３５】
以上のように、波形毎に表中に０あるいは１を時系列に並べることで波形を簡易に定義することが可能となる。
【００３６】
次に、図３のフローチャートの順番に従い、図１の構成の動作を詳細に説明する。
【００３７】
図３は、本発明の動作説明フローチャートを示す。ここで、パソコン１、バーイン装置２は、図１のパソコン１、およびバーイン装置２である。
【００３８】
図３において、Ｓ１は、スケジュールファイルを作成する。これは、試験者が図１のパソコン１を操作し、被試験ＩＣ２７のバーイン試験を行うためのスケジュールとして、テキストエディタで例えば図２の（ａ）のスケジュールファイル１２に示すように記述し、当該スケジュールファイル１２を作成する。
【００３９】
Ｓ２は、波形生成ファイルを作成する。Ｓ１と同様に、試験者が図１のパソコン１を操作し、被試験ＩＣ２７のバーイン試験を行うための波形として、テキストエディタで例えば図２の（ｂ）の波形生成ファイル１３に示すように記述（例えば表中に０，１の数字を波形毎に記入）し、当該波形生成ファイル１３を作成する。
【００４０】
Ｓ３は、送信する。これは、Ｓ１、Ｓ２で作成したスケジュールファイル１２および波形生成ファイル１３をパソコン１がバーイン装置２に送信する。
【００４１】
Ｓ４は、バーイン装置２がＳ３で送信されたスケジュールファイル１２および波形生成ファイル１３を受信する。
【００４２】
Ｓ５は、波形生成ファイルをパターンジェネレータへセットする。これは、Ｓ４で受信した波形生成ファイル１３をパターンジェネレータである図１の波形生成手段２１にセットする。
【００４３】
Ｓ６は、バーイン試験する。これにより、図１のバーイン試験手段２２がスケジュールファイル１２に従い、温度設定、電圧設定した後、波形生成手段２１が波形生成ファイル１３をもとに生成した波形パターン（信号）を被試験ＩＣ２７に供給してバーイン試験を開始する。そして、所定時間経過などしたときにバーイン試験を終了する。
【００４４】
Ｓ７は、ＩＣを取り出す。これは、図１のバーインカード２６を引き出し被試験ＩＣ２７をソケットから取り出す。
【００４５】
Ｓ８は、ＬＳＩテスタで良否を判定する。これは、Ｓ６でバーイン試験を行った後の被試験ＩＣ２７について、ＬＳＩテスタでその機能の良否の判定を行う。
【００４６】
以上によって、試験者はパソコン１の上で、図２の（ａ）のスケジュールファイル１２をテキストエディタで記述および図２の（ｂ）の波形生成ファイル１３を表作成ソフト上で表を作成して波形毎に０あるいは１を時間経過に従って記述することで当該波形生成ファイル１３を作成し、バーイン装置２に送信するのみで簡易かつ迅速に被試験ＩＣ２７のバーイン試験を行うことが可能となる。
【００４７】
図４は、本発明の試験フローチャートを示す。これは、バーイン試験の詳細フローチャートである。
【００４８】
図４において、Ｓ１１は、バーインカードのソケットにＩＣを取り付ける。これは、被試験ＩＣ２７をバーインカード２６のソケットに取り付ける。
【００４９】
Ｓ１２は、バーイン装置２にバーインカード２６を装着する。
Ｓ１３は、温度設定（Ｔａ＝１００℃）する。これは、図２の（ａ）のスケジュールファイル１２中の、温度設定Ｔａ＝１００℃に従い、１００℃に設定し、加温を開始する。
【００５０】
Ｓ１４は、温度到達か判別する。これは、設定したここでは１００℃の温度に到達か判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ１５に進む。ＮＯの場合には、待機する。
【００５１】
Ｓ１５は、電源電圧を設定する。これは、図２の（ａ）のスケジュールファイル１２中の、電源電圧設定  Ｖ１＝３．３Ｖ  Ｖ２＝２．５Ｖに設定する。
【００５２】
Ｓ１６は、バーンイン２４時間開始（タイマースタート）する。これは、図２の（ａ）のスケジュールファイル１２中の、バーンインタイマ開始  ２４時間スタートに対応して、タイマを２４時間にセットして計数開始する。
【００５３】
Ｓ１７は、電源電圧をＯＮにする。
以上のＳ１１からＳ１７によって、被試験ＩＣ２７をバーイン試験機構２５中に装着し、温度１００℃に到達したときに、設定した電源電圧Ｖ１＝３．３Ｖ  Ｖ２＝２．５Ｖ・・・などを被試験ＩＣ２７に供給し、試験信号を供給して試験する準備が完了したこととなる。
【００５４】
Ｓ１８は、波形出力する。これは、既述した図２の（ｂ）の波形生成ファイル１３に従い、波形生成手段２１（パターンジェネレータ）が０，１で記述された文字列に対応する波形をそれぞれ生成して被試験ＩＣ２７に供給し、試験を開始する。
【００５５】
Ｓ１９は、タイムアウトか判別する。これは、Ｓ１６で起動したタイマがタイムアウトか判別する。ＹＥＳの場合には、ここでは、２４時間経過したのでＳ２０に進む。ＮＯの場合には、Ｓ１８を繰り返し待機する。
【００５６】
Ｓ２０は、電源ＯＦＦする。これは、Ｓ１５で電源電圧ＯＮしたことに対応して、電源ＯＦＦして被試験ＩＣ２７に供給する電圧をＯＦＦにする。
【００５７】
Ｓ２１は、温度ＯＦＦする。これは、Ｓ１３でバーイン試験機構２５の内部温度を１００℃に加温したことに対応して、加温をＯＦＦにする。
【００５８】
Ｓ２２は、バーインカードを抜く。
Ｓ２３は、ソケットからＩＣ（被試験ＩＣ２７）を抜く。
【００５９】
Ｓ２４は、ＬＳＩテスターで測定する。
Ｓ２５は、良否判定する。これらＳ２４、Ｓ２５は、被試験ＩＣ２７をＬＳＩテスタでその機能試験を行い、当該バーイン試験の結果、良否を判定する。
【００６０】
以上によって、所定の温度環境化で、所定の電源電圧を被試験ＩＣ２７に供給および試験波形を供給してバーイン試験を行い、バーイン試験後の被試験ＩＣ２７をＬＳＩテスタで試験してその良否を判定することが可能となる。
【００６１】
図５は、本発明の波形例を示す。図示の波形例は、図２の（ｂ）の波形生成ファイル１３に記述した波形Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４・・・の具体的な波形例であって、ここでは、被試験ＩＣ２７がメモリの場合の試験用の波形であり、
・Ｐ１がＣＬＫ（クロック）
・Ｐ２がＲＡＳ（ローアドレスストローブ）
・Ｐ３がＣＡＳ（コラムアドレスストローブ）
・Ｐ４がＷＥ（ライト信号）
・Ｐ５がＤＡＴＡ（データ）
・Ｐ６がＡＤＤＲＥＳＳ（アドレス）
である。波形生成ファイル１３の０，１の文字列は、Ｐ１からＰ６の波形を表現するために必要な幅を持ち、当該幅の時間の間、０あるいは１のいずれかをつなげて文字列として記述したものを、図示のＰ１からＰ６に示すように展開（パターンジェネレータがパターンを発生して展開）すればよい。そして、図中のＴの波形を繰り返す（但し、データ、アドレスは順次変更）ことでメモリ（被試験ＩＣ２７）のバーイン試験を行うことができる。
【００６２】
（付記１）
試験波形を被試験ＩＣに供給して試験を行う試験装置において、
前記被試験ＩＣに供給して試験を行う複数の波形をそれぞれ０と１のつながりからなる文字列で記述した波形生成ファイルと、
試験のスケジュールを記述したスケジュールファイルと、
前記波形生成ファイルに記述された複数の波形の０と１のつながりの文字列に対応した波形パターンをそれぞれ発生する波形生成手段と、
前記スケジュールファイルに記述されたスケジュールに従い、前記波形生成手段によって生成された波形パターンを前記被試験ＩＣに供給して試験を行う試験手段と
を備えたことを特徴とする試験装置。
【００６３】
（付記２）
前記波形生成ファイルに記述した複数の０と１のつながりからなるそれぞれの文字列として、前記被試験ＩＣの試験に必要なクロック信号、アドレス信号、データなどの信号に対応する０と１からなるそれぞれの文字列としたことを特徴とする付記１記載の試験装置。
【００６４】
（付記３）
前記スケジュールファイルに、前記被試験ＩＣの試験を行う温度、時間、電圧を少なくともテキストで記述したことを特徴とする付記１記載の試験装置。
【００６５】
（付記４）
試験波形を被試験ＩＣに供給して試験を行う試験方法において、
前記被試験ＩＣに供給して試験を行う複数の波形をそれぞれ０と１のつながりからなる文字列で記述した波形生成ファイルと、
試験のスケジュールを記述したスケジュールファイルとを設け、
前記スケジュールファイルに記述されたスケジュールに従い、前記波形生成ファイルに記述された複数の波形の０と１のつながりの文字列に対応した波形パターンをそれぞれ発生し、当該発生した波形パターンを前記被試験ＩＣに供給して試験を行う試験ステップを有する試験方法。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、波形成形ファイル１３およびスケジュールファイル１２を作成してこれらをもとに被試験ＩＣ２７のバーイン試験を行う構成を採用しているため、初心者でも簡易にバーイン試験用のスケジュールファイル１２および波形生成ファイル１３を作成・編集してバーイン試験を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のシステム構成図である。
【図２】本発明のファイル例である。
【図３】本発明の動作説明フローチャートである。
【図４】本発明の試験フローチャートである。
【図５】本発明の波形例である。
【符号の説明】
１：パソコン
１１：コントロール部
１２：スケジュールファイル
１３：波形生成ファイル
２：バーイン装置
２１：波形生成手段
２２：バーンイン試験手段
２３：温度制御手段
２４：電圧制御手段
２５：バーンイン試験機構
２６：バーインカード
２７：被試験ＩＣ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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