(57)【要約】【課題】省スペース化、および、測定時間の短縮を図ることができる測定機を提供する。【解決手段】先端に検出部を有するアーム４と、このアーム４をその軸方向に移動可能に支持するアームガイド５３とを備え、検出部の位置から被測定物の寸法測定を行う測定機１であって、アーム４は、アームガイド５３に順次段階的に配置されるとともに、それぞれの前段に対して移動可能に支持されたメインアーム４１およびサブアーム４２を備え、基端側のメインアーム４１と次段のサブアーム４２を、メインアーム４１の軸方向へ移動させる同期駆動手段５４を備えた。【選択図】            図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に検出部を有するアームと、このアームをその軸方向に移動可能に支持する支持部とを備え、前記検出部の位置から被測定物の寸法測定を行う測定機であって、
前記アームは、前記支持部に順次段階的に配置されるとともに、それぞれの前段に対して移動可能に支持された複数の短尺アームを備え、
基端側の短尺アームと次段以降の短尺アームを、基端側の短尺アームの軸方向へ移動させるそれぞれの駆動手段を備えた、
ことを特徴とする測定機。
【請求項２】
請求項１に記載の測定機において、
前記それぞれの駆動手段は相互に同期して駆動する同期駆動手段とされ、前記基端側の短尺アームと前記次段以降の短尺アームは連動して移動される、
ことを特徴とする測定機。
【請求項３】
請求項２に記載の測定機において、
前記短尺アームは、前記支持部に支持された第１短尺アームと、この第１短尺アームの次段に設けられるとともに先端に前記検出部を有する第２短尺アームとを含み、
前記同期駆動手段は、前記第１短尺アームを軸方向に移動させる第１移動機構と、
この第１移動機構に同期して前記第２短尺アームを、前記第１短尺アームの移動方向と同方向へ移動させる第２移動機構とを含む、
ことを特徴とする測定機。
【請求項４】
請求項３に記載の測定機において、
前記第１移動機構は、前記支持部に前記第１短尺アームの移動方向に沿って設けられたラックと、前記第１短尺アームに回転可能に設けられ前記ラックに噛合するピニオンと、このピニオンの軸を回転させる回転付与手段とを含み構成され、
前記第２移動機構は、前記ピニオンの軸に固定されたプーリと、前記第１短尺アームの先端側に回転可能に支持されたプーリと、これらプーリ間に掛け回され一部が前記第２短尺アームに連結されたベルトとを含み構成されている、
ことを特徴とする測定機。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の測定機において、
前記支持部および前記第１短尺アームは、筒状に形成され、
前記第１短尺アームが前記支持部内に、前記第２短尺アームが前記第１短尺アーム内に収納される、
ことを特徴とする測定機。
【請求項６】
請求項５に記載の測定機において、
前記支持部と前記第１短尺アームとの間、および、前記第１短尺アームと前記第２短尺アームとの間に、エアーベアリング機構が設けられている、
ことを特徴とする測定機。
【請求項７】
請求項３〜請求項６に記載の測定機において、
前記第１短尺アームの先端から前記第２短尺アームの先端にかけて、前記第２短尺アームを覆うとともに、前記第２短尺アームの移動に伴ってその移動方向に伸縮するカバーが設けられている、
ことを特徴とする測定機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検出部の位置から被測定物の寸法測定を行う測定機に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来より、先端に検出部としての測定子が設けられたアームと、このアームをその軸方向に移動可能に支持する支持部とを備え、測定子の位置から被測定物の寸法測定を行う測定機が知られている（例えば、特許文献１参照）。
実用新案文献１の測定機は、基台の水平面の一方向に移動可能に設けられた支柱と、この支柱に水平面の鉛直方向へ移動自在に支持されたビームと、このビームに、支柱の移動方向およびビームの移動方向に対して直交する方向へ移動自在に支持されたスライダと、このスライダに設けられたアームと、このアームの先端に設けられた測定子とを備えている。
この測定機を用いて、被測定物の寸法測定を行うときには、支柱、ビームおよびスライダを移動させ、測定子を被測定物に当接させることにより寸法測定を行っていた。
【０００３】
【特許文献１】
実開平４−４５９１１号公報（第１図）
【０００４】
また、横型三次元タイプの測定機として、図７に示す測定機７が知られている。
この測定機７は、基台７１と、この基台７１の水平面に垂直に設けられた支柱７２と、この支柱７２に昇降自在に支持された支持部７３と、この支持部７３の移動方向に対して直交する方向へ移動自在に支持されたスライダ７４と、このスライダ７４に設けられたアーム７５と、このアーム７５の先端に設けられた図示されない検出部としての測定子とを備えている。
この測定機７を用いて、被測定物の寸法測定を行うときには、スライダ７４を移動させ、測定子を被測定物に当接させることにより寸法測定を行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、実用新案文献１の測定機および測定機７では、設置スペースを測定子のストローク（以下、検出部ストローク、と略す）の２倍以上とする必要があった。
例えば、測定機７では、測定子が検出部ストロークＳ１だけ移動したときに、スライダ７４も検出部ストロークＳ１だけ移動するので、スライダ７４を支持する支持部７３の長さを少なくとも検出部ストロークＳ１とスライダ７４の長さＸの和とする必要があった。
したがって、測定機７の設置スペースＷ７を少なくとも、２（Ｓ１）＋Ｘ、つまり、検出部ストロークＳ１の２倍以上とする必要があった。
また、測定の効率化、高速化などの要請から、測定子を被測定物に接離させるための移動時間の短縮が望まれている。
【０００６】
本発明の目的は、省スペース化、および、測定時間の短縮を図ることができる測定機を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の測定機は、先端に検出部を有するアームと、このアームをその軸方向に移動可能に支持する支持部とを備え、前記検出部の位置から被測定物の寸法測定を行う測定機であって、前記アームは、前記支持部に順次段階的に配置されるとともに、それぞれの前段に対して移動可能に支持された複数の短尺アームを備え、基端側の短尺アームと次段以降の短尺アームを、基端側の短尺アームの軸方向へ移動させるそれぞれの駆動手段を備えたことを特徴とする。
【０００８】
この発明によれば、アームを、支持部に順次段階的に配置されるとともに、それぞれの前段に対して移動可能に支持された複数の短尺アームを備えた構成としたので、検出部ストロークを、それぞれの短尺アームのストロークの総和とすることができる。
それぞれの短尺アームの長さを、検出部ストロークよりも短くすることができるので、これらの短尺アームを支持する支持部の長さも検出部ストロークより短くすることができる。
したがって、設置スペース、すなわち、検出部ストロークと支持部の長さとの和を、検出部ストロークの２倍以下とすることができるので、従来の測定機（以下、従来測定機、と略す）と比べて省スペース化を図ることができる。
【０００９】
本発明の検出部の移動量（以下、検出部移動量、と略す）は、それぞれの短尺アームの移動量の総和となり、一方で、従来測定機の検出部移動量は、１本のアームの移動量となる。
本発明のそれぞれの短尺アームのうち少なくとも１つの短尺アームの移動速度と、従来測定機のアームの移動速度がほぼ等しいときには、それぞれの短尺アームを任意の時間だけ移動させたときの本発明の検出部移動量は、従来測定機のそれよりも長くなる。
したがって、本発明の検出部を任意の量だけ移動させる時間を、従来測定機と比べて短くすることができる。つまり、検出部を被測定物に接離させるための移動時間を短縮させることができる。
【００１０】
また、基端側の短尺アームと次段以降の短尺アームを、基端側の短尺アームの軸方向へ移動させるそれぞれの駆動手段を備えた構成としたので、短尺アームを選択的に移動させることができる。たとえば、測定部位までの距離が長いときには複数の短尺アームを移動させ、距離が短いときには１つの短尺アームだけを移動させることができる。
【００１１】
本発明は、前記それぞれの駆動手段は相互に同期して駆動する同期駆動手段とされ、前記基端側の短尺アームと前記次段以降の短尺アームは連動して移動されることが望ましい。
【００１２】
この発明によれば、それぞれの駆動手段を相互に同期して駆動する同期駆動手段とし、基端側の短尺アームと次段以降の短尺アームとが連動して移動する構成としたので、本発明のそれぞれの短尺アームの移動速度と、従来測定機のアームの移動速度がほぼ等しいときには、それぞれの短尺アームを任意の時間だけ移動させたときの本発明の検出部移動量は、従来測定機のそれに短尺アームの数を乗じた量とほぼ等しくなる。
したがって、検出部を被測定物に接離させるための移動時間を、従来測定機のそれを短尺アームの数で除した時間とすることができる。
【００１３】
本発明は、前記短尺アームは、前記支持部に支持された第１短尺アームと、この第１短尺アームの次段に設けられるとともに先端に前記検出部を有する第２短尺アームとを含み、前記同期駆動手段は、前記第１短尺アームを軸方向に移動させる第１移動機構と、この第１移動機構に同期して前記第２短尺アームを、前記第１短尺アームの移動方向と同方向へ移動させる第２移動機構とを含むことが望ましい。
【００１４】
この発明によれば、アームを、支持部に支持された第１短尺アームと、この第１短尺アームの次段に設けられた第２短尺アームとを含んだ構成としたので、第１，２短尺アームおよび支持部の長さを略同じにすれば、それぞれの長さを検出部ストロークの約半分とすることができる。したがって、設置スペースを検出部ストロークの３／２、すなわち、従来測定機のそれの約３／４とすることができる。
また、検出部を被測定物に接離させるための移動時間も、従来測定機のそれと比べて約半分とすることができる。
また、第１，２移動機構をそれぞれ設けたので、第１，２短尺アームの長さに応じてそれぞれを異なる速度で移動させることができる。
【００１５】
本発明は、前記第１移動機構は、前記支持部に前記第１短尺アームの移動方向に沿って設けられたラックと、前記第１短尺アームに回転可能に設けられ前記ラックに噛合するピニオンと、このピニオンの軸を回転させる回転付与手段とを含み構成され、前記第２移動機構は、前記ピニオンの軸に固定されたプーリと、前記第１短尺アームの先端側に回転可能に支持されたプーリと、これらプーリ間に掛け回され一部が前記第２短尺アームに連結されたベルトとを含み構成されていることが望ましい。
この発明によれば、第１移動機構および第２移動機構を、それぞれ安価でかつ単純構造のラックピニオン機構およびベルトプーリ機構を含んだ構成としたので、同期駆動手段を低コストで構成できるとともに、修理を容易に行うことができる。
しかも、ピニオンの軸にプーリを設け、この軸を回転付与手段で回転させる構成としたので、１つの駆動源で２つの短尺アームを移動させることができる。
【００１６】
本発明は、前記支持部および前記第１短尺アームは、筒状に形成され、前記第１短尺アームが前記支持部内に、前記第２短尺アームが前記第１短尺アーム内に収納されることが望ましい。
この発明によれば、筒状に形成された支持部および第１短尺アームの内部に、それぞれの次段に設けられた第１短尺アームおよび第２短尺アームが収納される構成としたので、支持部および第１短尺アームの内周に沿って、それぞれの次段に設けられた部材を移動可能に支持する、複数の支持部材等を設けることができる。
したがって、第１短尺アームおよび第２短尺アームの移動方向と直交する方向へのずれを抑えることができ、検出部の位置ずれも抑えることができるので、測定誤差を抑えることができる。
また、この構成では、第２短尺アームが第１短尺アームよりも細く、第１短尺アームが支持部よりも細く形成される。
したがって、アームが伸びたときに、第１短尺アームおよび第２短尺アームの自重によるたわみを抑えることができ、検出部の位置ずれを抑えることができるので、測定誤差を抑えることができる。
【００１７】
本発明は、前記支持部と前記第１短尺アームとの間、および、前記第１短尺アームと前記第２短尺アームとの間に、エアーベアリング機構が設けられていることが望ましい。
この発明によれば、支持部および第１短尺アームとの間、および、第１短尺アームと第２短尺アームとの間にエアーベアリング機構を設けたので、支持部に対する第１短尺アームの移動、および、第１短尺アームに対する第２短尺アームの移動を円滑に行うことができる。
【００１８】
本発明は、前記第１短尺アームの先端から前記第２短尺アームの先端にかけて、前記第２短尺アームを覆うとともに、前記第２短尺アームの移動に伴ってその移動方向に伸縮するカバーが設けられていることが望ましい。
この発明によれば、第１短尺アームの先端から第２短尺アームの先端にかけて、第２短尺アームを覆うとともに、第２短尺アームの移動に伴ってその移動方向に伸縮するカバーを設けたので、第１短尺アームと第２短尺アームとの間の汚れを防止することができ、この両者間の移動を円滑に行うことができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１には、本実施形態に係る横型二次元測定機１（以後、測定機１、と略す）の正面図が示されている。
この測定機１は、図１に示すように、ベース２と、測定手段３とを備えている。
測定手段３は、図示されない検出部としての測定子が先端に設けられたアーム４と、このアーム４を被測定物に対して相対移動させる相対移動機構５とを備えている。
【００２０】
アーム４は、相対移動機構５に備えられた支持部としてのアームガイド５３に支持された第１短尺アームとしてのメインアーム４１と、このメインアーム４１の次段に設けられるとともに先端に測定子を有する第２短尺アームとしてのサブアーム４２とを備えている。
アームガイド５３およびメインアーム４１は略円筒形状に形成され、サブアーム４２は略円柱形状に形成されており、図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、メインアーム４１がアームガイド５３の内部に、サブアーム４２がメインアーム４１の内部に収納される構成となっている。
アームガイド５３、メインアーム４１およびサブアーム４２は、軸方向の長さがほぼ等しくなるように形成されている。
メインアーム４１の基端（図２（Ａ）における右側）側の外周には、この外周に沿って複数のエアーベアリング４１１が設けられている。
メインアーム４１の先端側の内周には、この内周に沿って複数のエアーベアリング４１２が備えられている。
【００２１】
相対移動機構５は、ベース２の水平面に垂直に設けられた支柱５１と、この支柱５１に沿って移動可能に支持されたキャレッジ５２と、キャレッジ５２に嵌合されたアームガイド５３と、メインアーム４１およびサブアーム４２を同時にかつ同方向へ移動させる同期駆動手段５４とを備えている。
キャレッジ５２は、軸方向の長さがアームガイド５３のそれよりも長いＬ１に形成されている。
【００２２】
同期駆動手段５４は、図３および図４に示すように、メインアーム４１を軸方向へ移動させる第１移動機構としてのメインアーム移動機構５５と、このメインアーム移動機構５５に同期して、サブアーム４２をメインアーム４１の移動方向と同方向へ移動させる第２移動機構としてのサブアーム移動機構５６とを含んで構成されている。
【００２３】
メインアーム移動機構５５は、アームガイド５３にメインアーム４１の移動方向に沿って設けられたラック５５１と、メインアーム４１に回転可能に設けられラック５５１に噛合するピニオン５５２と、このピニオン５５２の回転軸５５３を回転させる回転付与手段５５４とを含んで構成されている。
回転軸５５３の先端側（図３における上側）は、メインアーム４１から突出されており、この突出された先端にピニオン５５２が取り付けられている。
回転付与手段５５４は、モータ５５５と、このモータ５５５の回転を回転軸５５３に伝えるギア列５５６とを備えている。
ギア列５５６は、モータ５５５の回転軸５５５Ａに取り付けられた駆動ギア５５６Ａと、この駆動ギア５５６Ａに噛合された伝達ギア５５６Ｂと、この伝達ギア５５６Ｂに噛合されるとともに回転軸５５３の基端に取り付けられた従動ギア５５６Ｃとを備えている。
【００２４】
サブアーム移動機構５６は、回転軸５５３の略中央に固定された駆動側プーリ５６１と、メインアーム４１の先端側に回転可能に支持された従動側プーリ５６２と、駆動側プーリ５６１および従動側プーリ５６２との間に掛け回されたタイミングベルト５６３と、このタイミングベルト５６３とサブアーム４２の基端との間に設けられた結合部５６４とを備えている。
【００２５】
同期駆動手段５４の駆動により、メインアーム４１およびサブアーム４２が任意の時間だけ移動したときに、アームガイド５３に対するメインアーム４１の移動量（以下、メインアーム移動量、と略す）と、メインアーム４１に対するサブアーム４２の移動量（以下、サブアーム移動量、と略す）とが等しくなるように、ピニオン５５２、駆動側プーリ５６１および従動側プーリ５６２は同じ径に形成されている。
アームガイド５３に対するメインアーム４１のストローク（以下、メインアームストローク、と略す）と、メインアーム４１に対するサブアーム４２のストローク（以下、サブアームストローク、と略す）とが等しくなり、この両者の和、すなわち、検出部ストロークがＳ１となるように、ラック５５１の長さと、駆動側プーリ５６１および従動側プーリ５６２との間の距離が調整されている。
【００２６】
測定機１を用いた被測定物の寸法測定方法を説明する。
被測定物の測定点の高さに合わせて、キャレッジ５２を支柱５１に沿って移動させる。
このとき、図２（Ａ）に示すように、メインアーム４１およびサブアーム４２はそれぞれの前段に備えられた、アームガイド５３およびメインアーム４１に収納されている（以後、初期状態、と称す）。
同期駆動手段５４が駆動すると、メインアーム４１およびサブアーム４２は同時に測定点の方向に移動する。
【００２７】
具体的には、モータ５５５が駆動し、駆動ギア５５６Ａが図３に示すＲ方向に回転すると、従動ギア５５６ＣもＲ方向に回転する。
従動ギア５５６ＣがＲ方向に回転すると、回転軸５５３に備えられたピニオン５５２および駆動側プーリ５６１もＲ方向に回転する。
ピニオン５５２がＲ方向に回転すると、ラックピニオン機構により、メインアーム４１はＦ方向に移動し、このときのメインアーム移動量は図示されないメインアーム位置検出器により検出される。
駆動側プーリ５６１がＲ方向に回転すると、ベルトプーリ機構により、サブアーム４２はＦ方向に移動し、このときのサブアーム移動量は図示されないサブアーム位置検出器により検出される。
【００２８】
検出部移動量は、メインアーム移動量とサブアーム移動量との和となり、この検出部移動量は図示されない測定子位置検出器により計算される。
例えば、図２（Ｂ）に示すように、初期状態からＴ秒後に、メインアーム移動量およびサブアーム移動量が、それぞれ（Ｓ１）／２となったときには、検出部移動量は検出部ストロークＳ１となる。
【００２９】
このようにして得られた、測定子が測定点に当接されたときの検出部移動量から、被測定物の寸法を得ることができる。
アーム４を初期状態に戻すときには、モータ５５５で駆動ギア５５６ＡをＬ方向に回転させることにより、それぞれの部材が上述した方向と逆方向に回転、移動し、初期状態に戻る。
【００３０】
上述のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
アーム４を、複数の短尺アームを備えた構成とし、これらの短尺アームを同時にかつ同方向に移動させる同期駆動手段５４を備えたので、検出部ストロークＳ１を、それぞれの短尺アームのストロークの和とすることができ、それぞれの短尺アームの長さを検出部ストロークＳ１よりも短くすることができる。
したがって、これらの短尺アームを支持するアームガイド５３が嵌合されるキャレッジ５２の長さを、検出部ストロークＳ１よりも短くすることができるので、測定機１の設置スペースＷ１を、測定機７の設置スペースＷ７と比べて短くすることができ、省スペース化を図ることができる。
特に、本実施形態の測定機１では、アーム４を、それぞれの長さを略等しくしたメインアーム４１とサブアーム４２とを含み、キャレッジ５２の長さをＬ１（ただし、Ｌ１≒（１／２）Ｓ１）とする構成としたので、測定機１の設置スペースＷ１（＝Ｓ１＋Ｌ１≒（３／２）Ｌ１）を、測定機７の設置スペースＷ７（＝２（Ｓ１）＋Ｘ）の約３／４とすることができる。
【００３１】
測定機１のそれぞれの短尺アームの移動速度と、測定機７のアーム７５の移動速度がほぼ等しい場合には、測定機１のそれぞれの短尺アームの移動量と、アーム７５の移動量は等しいので、測定機１の検出部移動量は、測定機７のそれに短尺アームの数を乗じた量とほぼ等しくなる。
したがって、測定機１の測定子を任意の量だけ移動させる時間を、測定機７と比べて短くすることができるので、測定子を被測定物に離接させるための移動時間を短縮させることができる。
特に、本実施形態の測定機１では、アーム４を、メインアーム４１とサブアーム４２とを含んだ構成としたので、測定子を被測定物に離接させるための移動時間を、測定機７のそれと比べて約半分とすることができる。
また、メインアーム移動機構５５およびサブアーム移動機構５６をそれぞれ設けたので、メインアーム４１およびサブアーム４２の長さに応じてそれぞれを異なる速度で移動させることができる。
【００３２】
メインアーム移動機構５５およびサブアーム移動機構５６を、それぞれ安価でかつ単純構造のラックピニオン機構およびベルトプーリ機構を含んだ構成としたので、同期駆動手段５４を低コストで構成できるとともに、修理を容易に行うことができる。
しかも、ピニオン５５２の回転軸５５３に駆動側プーリ５６１を設け、この回転軸５５３を回転付与手段５５４のモータ５５５で回転させる構成としたので、１つの駆動源で２つの短尺アームを移動させることができる。
【００３３】
略円筒状に形成されたアームガイド５３およびメインアーム４１の内部に、それぞれの次段に設けられたメインアーム４１およびサブアーム４２が収納される構成としたので、アームガイド５３に対してメインアーム４１を移動可能に支持する複数のエアーベアリング４１１をメインアーム４１の基端側の外周に沿って設けることができ、メインアーム４１に対してサブアーム４２を移動可能に支持する複数のエアーベアリング４１２をメインアーム４１の先端側の内周に沿って設けることができる。
したがって、メインアーム４１およびサブアーム４２の移動方向と直交する方向へのずれを抑えることができるので、測定誤差を抑えることができる。
【００３４】
サブアーム４２はメインアーム４１よりも細く、メインアーム４１はアームガイド５３よりも細く形成されており、アーム４が伸びたときの、メインアーム４１およびサブアーム４２の自重によるたわみを抑えることができるので、測定誤差を抑えることができる。
また、エアーベアリング４１１，４１２により、アームガイド５３に対するメインアーム４１の移動、および、メインアーム４１に対するサブアーム４２の移動を円滑に行うことができる。
【００３５】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は本発明に含まれるものである。
例えば、アーム４を、２本の短尺アームを含んだ構成としたが、３本以上の短尺アームを含んだ構成としても良い。
同期駆動手段５４の駆動により、メインアーム４１およびサブアーム４２が任意の時間だけ移動したときに、メインアーム移動量とサブアーム移動量とが等しくなるように、ピニオン５５２、駆動側プーリ５６１および従動側プーリ５６２を同じ径に形成したが、それらを異なる径に形成して、メインアーム移動量とサブアーム移動量とが等しくならないようにしても良い。
【００３６】
メインアームストロークとサブアームストロークとが等しくなるように、ラック５５１の長さと、駆動側プーリ５６１および従動側プーリ５６２との間の長さを調整したが、メインアームストロークとサブアームストロークとが等しくならないように調整しても良い。
ただし、検出部ストロークＳ１が同じならば、本実施形態の方が、キャレッジ５２の長さＬ１を最小にすることができるので、設置スペースＷ１を最小にすることができる。
【００３７】
メインアーム移動機構５５にラックピニオン機構を備え、サブアーム移動機構５６にベルトプーリ機構を備えた構成としたが、メインアーム４１をアームガイド５３に対して移動させることができ、サブアーム４２をメインアーム４１に対して移動させることができれば、他の相対移動機構を設けても良い。
【００３８】
メインアーム４１およびサブアーム４２を１つの同期駆動手段５４で移動させる構成としたが、これらメインアーム４１およびサブアーム４２を独立的に駆動させるそれぞれの駆動手段を設けた構成としても、これらを同時に駆動させれば上述した効果と同様の効果が期待できる。また、このような構成において、例えば選択的にメインアーム４１のみを移動させれば、このメインアーム４１はサブアーム４２よりも剛性が高いので、サブアーム４２のみを移動させるときと比べてアーム４の変形量を少なくすることができる。また、移動させるアームが１つなので、メインアーム４１とサブアーム４２を移動させるときと比べてアーム４の変形量を少なくすることができる。したがって、アーム４の移動真直度を確保でき、測定精度を良くすることができる。一方で、サブアーム４２のみを移動させれば、狭所の測定に対応できる。
【００３９】
図５に示すように、サブアーム４２の先端に図示されない測定子が設けられた測定子保持台４３を備え、この測定子保持台４３の基端とメインアーム４１の先端との間に伸縮するカバー４４を取り付けても良い。このようにすれば、メインアーム４１とサブアーム４２との間の汚れを防止することができ、この両者間の移動を円滑に行うことができる。
また、メインアーム４１の外側に伸縮カバーを取り付けても良く、さらに、メインアーム４１とサブアーム４２との両者にまたがる１つの伸縮カバーを取り付けても良い。
【００４０】
メインアーム４１、サブアーム４２および同期駆動手段５４を横型二次元測定機１に備えたが、横型もしくは縦型の一次元もしくは三次元測定機に備えても良い。例えば、図６に示すように、縦型三次元測定機６０に備えれば縦方向の省スペース化を図ることができる。
検出部として測定子を設けたが、ＣＣＤカメラやレーザ光等を応用した非接触式検出器を設けても良い。要は、検出部の位置から被測定物の寸法測定を行う測定機ならば、その種類は問われない。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば、省スペース化、および、測定時間の短縮を図ることができる測定機を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る測定機の正面図。
【図２】前記実施形態における要部動作の模式図。
【図３】前記実施形態における要部断面模式図。
【図４】前記実施形態における要部断面模式図。
【図５】前記実施形態における変形例の正面図。
【図６】前記実施形態における変形例の正面図。
【図７】従来の測定機の正面図。
【符号の説明】
１                横型二次元測定機
４                アーム
４１              メインアーム（第１短尺アーム）
４２              サブアーム（第２短尺アーム）
４４              カバー
５３              アームガイド（支持部）
５４              同期駆動手段
５５              メインアーム移動機構（第１移動機構）
５６              サブアーム移動機構（第２移動機構）
４１１，４１２    エアーベアリング
５５１            ラック
５５２            ピニオン
５５３            回転軸（ピニオンの軸）
５５４            回転付与手段
５６１            駆動側プーリ
５６２            従動側プーリ
５６３            タイミングベルト（ベルト）
【図１】
2004226298.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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