(57)【要約】【課題】大量の画像データを処理する検査装置において、１つの検査項目に対する測定回数および検査装置に取り込まれるデータ量を減らす。【解決手段】被測定デバイス２ｄから入力された画像データ１は、リアルタイムランクフィルタ２ｈにて局所的な傷が除去され、画像データ処理部２ｊにてノイズ成分が除去されると共に検査に影響を与えない範囲でデータ圧縮されて画像メモリ２ｍに格納される。減算器２ｋでは、画像データ１と局所的な傷が除去された画像データ２から局所的な傷を表す画像データ３が生成され、比較器２ｏにて閾値データにより条件を満たすと判断された場合には、そのアドレスと共に画像メモリ２ｎに格納される。テスト制御装置２ｑは、画像メモリ２ｍに格納された画像データ４を用いて画像特性検査を行い、画像メモリ２ｎに格納された画像データ３を用いて傷検査を行う。【選択図】　　図１
2004045052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大量の画像データを処理する検査装置であって、
検査対象画像データに対して、検査項目に応じて前処理を行う前処理部と、
該前処理部で前処理された後の画像データが格納されるメモリ部と、
該メモリ部に格納された画像データを用いて検査を行う検査部とを備えた画像データ検査装置。
【請求項２】
前記前処理部は、検査対象画像データに対して、ノイズ成分を除去する処理を行う請求項１に記載の画像データ検査装置。
【請求項３】
前記前処理部は、検査対象画像データに対して、ランダムに発生する異常データを除去する処理を行う請求項１に記載の画像データ検査装置。
【請求項４】
前記前処理部は、検査対象画像データに対して、検査に必要なデータに絞り込む処理を行う請求項１に記載の画像データ検査装置。
【請求項５】
前記前処理部は、検査対象画像データに対して、検査に影響を与えない範囲でデータを圧縮する処理を行う請求項１に記載の画像データ検査装置。
【請求項６】
前記前処理部が複数設けられ、複数の前処理が同時に行われる請求項１に記載の画像データ検査装置。
【請求項７】
前記メモリ部が複数設けられ、前記前処理部にて検査項目毎に異なる前処理が施された画像データが、それぞれ、異なるメモリ部に格納される請求項１に記載の画像データ検査装置。
【請求項８】
前記検査部は、前記前処理部にてノイズ成分が除去された画像データと、該前処理部にて検査に必要なデータに絞り込まれた画像データとを、別々に検査する請求項６または請求項７に記載の画像データ検査装置。
【請求項９】
検査対象画像データに対してランダムに発生する異常データを除去した後、所定の処理を施して第１の画像メモリへ格納するステップと、
該検査対象画像データとランダムに発生する異常データが除去された後の画像データとを比較して、比較結果が予め定められた条件を満たす検査対象画像データと、その画像データのアドレスとを第２の画像メモリへ格納するステップと、
該第１の画像メモリに格納された画像データ、または該第２の画像メモリに格納された画像データを用いて検査を行うステップとを含む画像データ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージセンサー、液晶表示パネル等の画像デバイス製造工程における検査、撮像画像データを用いた検査等を行って被検査画像デバイスの良否判断を行う画像データ検査装置および画像データ検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
画像デバイス製造工程における検査、および撮像素子による撮像画像データを用いた検査としては、例えば、画素それぞれに対する測定値から特性異常の画素を検出する傷検査、画素それぞれの測定値を集合的に解析する画像特性検査等が行われる。傷検査には、例えば、個々の画素の出力レベルを測定し、画像データを解析して、周辺画素よりも出力レベルが高い画素を検出する白傷検査、周辺画素よりも出力レベルが低い画素を検出する黒傷検査等がある。また、画像特性検査には、例えば、一定光量供給時における出力レベルを測定し、画像データを解析して検査を行う感度検査、表示画面内の感度ばらつきを検査する均一性評価等がある。
【０００３】
従来の画像データ検査方法では、全画素の測定値を画像データ検査装置に取り込んだ後、取り込まれた画像データを用いて検査処理を行っている。
【０００４】
図４（ａ）〜図４（ｃ）は、それぞれ、従来の画像データ検査方法の処理フローーを示す概略図である。
【０００５】
まず、画像データ検査装置に画像データを取り込む。この場合の画像データ１を図４（ａ）に示す。取り込まれた画像データ１に対して、ランクフィルタ処理が行われる。このランクフィルタ処理では、被処理画素の周辺において指定された領域の画像データが、大きい値（または小さい値）順にランキング（順位付け）されて、被処理画素の画像データが特定のランキング値（例えば中間値）と置き換えられる。これによって、図４（ｂ）に示すように、局所的な傷が除去された均一性検査用の画像データ２が作成される。
【０００６】
次に、図４（ａ）に示す画像データ１と、図４（ｂ）に示す均一性検査用の画像データ２との差分から、図４（ｃ）に示すような局所的な傷のみが表された傷検査用の画像データ３が作成される。
【０００７】
そして、このようにして作成された画像データ２および画像データ３を解析することによって、均一性検査、傷検査等が行われる。
【０００８】
このように、従来の画像データ検査方法では、画像データ検査装置に画像データが取り込まれる時点において、全画素のデータが全ての検査に使用される可能性があり、全画素のデータ測定精度を、最も高い精度が要求される検査項目に合わせる必要がある。従って、全画素のデータ測定中に、クロックのジッタ−、外来ノイズ等の影響によって発生するランダムな測定値誤差を除去するために、データ測定が複数回行われ、全測定値を加算して測定回数で割る平均化処理、または複数回の測定値からノイズによる特異データを除去するフィルタリング処理等が行われている。
【０００９】
このようなランダムな測定値誤差・ノイズを低減するために、例えば、特開昭６１−１８８６７１号公報には、撮像画像データを所定のブロック毎に加算して、その合計値をメモリに格納するように構成した画像処理装置が開示されている。しかしながら、この特開昭６１−１８８６７１号公報に開示されている画像処理装置では、画像データをブロック毎に加算することによって局所的な傷が無くなるため、傷検査を行うことができない。また、ブロック間に跨るデータの変化も少なくなるため、画像特性検査についても十分に行うことができない。
【００１０】
また、特開平２−２０００６０号公報には、量子化誤差ノイズの除去を図るために、原稿の同一個所を複数回読み取って、データを平均化するように構成した画像信号読取処理装置が開示されている。しかしながら、この特開平２−２０００６０号公報に開示されている画像信号読取処理装置では、全画素の画像データをメモリに格納した後、データを平均化するため、従来の画像データ検査方法と同様に、全画素のデータが装置に取り込まれる時点では、データ測定精度を最も高い精度が要求される検査項目に合わせる必要がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上記図４（ａ）〜図４（ｃ）に示す従来の画像検査データ方法、特開昭６１−１８８６７１号公報に開示されている画像処理装置、および特開平２−２０００６０号公報に開示されている画像信号読取処理装置においては、全画素のデータが画像データ検査装置に一旦取り込まれた後、検査項目に対応した画像データの加工処理、ノイズ除去処理等が行われるため、画像データ検査装置に画像データが取り込まれる時点では、データの測定精度を、最も高い精度が要求される画素個々の傷検査に合わせる必要がある。
【００１２】
従って、全画素それぞれのデータ測定精度を向上させるため、全画素のデータ測定を複数回繰り返す必要があり、画素数が多いイメージセンサー、表示パネル等のデバイスでは、データ処理能力向上に伴って画像データ検査装置の高価格化、測定時間の増大等が問題となっている。特に、イメージセンサー、表示パネル等のデバイスにおいては、急速に高画素化が進んでおり、画像データ検査装置の低価格化、測定時間の短縮化が重要な課題となっている。
【００１３】
本発明は、このような従来技術の課題を解決するためになされたものであり、大量の画像データを検査する際に検査測定時間の短縮化を図ることができると共に、検査装置の低価格化を図ることができる画像データ検査装置および画像データ検査方法を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の画像データ検査装置は、大量の画像データを処理する検査装置であって、検査対象画像データに対して、検査項目に応じて前処理を行う前処理部と、該前処理部で前処理された後の画像データが格納されるメモリ部と、該メモリ部に格納された画像データに対して検査を行う検査部とを備え、そのことにより上記目的が達成される。
【００１５】
前記前処理部は、検査対象画像データに対して、ノイズ成分を除去する処理を行うことができる。
【００１６】
前記前処理部は、検査対象画像データに対して、ランダムに発生する異常データを除去する処理を行うことができる。
【００１７】
前記前処理部は、検査対象画像データに対して、検査に必要なデータに絞り込む処理を行うことができる。
【００１８】
前記前処理部は、検査対象画像データに対して、検査に影響を与えない範囲でデータを圧縮する処理を行うことができる。
【００１９】
好ましくは、前記前処理部が複数設けられ、複数の前処理が同時に行われる。
【００２０】
好ましくは、前記メモリ部が複数設けられ、前記前処理部にて検査項目毎に異なる前処理が施された画像データが、それぞれ、異なるメモリ部に格納される。
【００２１】
前記検査部は、前記前処理部にてノイズ成分が除去された画像データと、該前処理部にて検査に必要なデータに絞り込まれた画像データとを、別々に検査することができる。
【００２２】
本発明の画像データ検査方法は、検査対象画像データに対してランダムに発生する異常データを除去した後、所定の処理を施して第１の画像メモリへ格納するステップと、該検査対象画像データとランダムに発生する異常傷データが除去された後の画像データとを比較して、比較結果が予め定められた条件を満たす検査対象画像データと、その画像データのアドレスとを第２の画像メモリへ格納するステップと、該第１の画像メモリに格納された画像データ、または該第２の画像メモリに格納された画像データに対して検査を行うステップとを含み、そのことにより上記目的が達成される。
【００２３】
以下に、本発明の作用について説明する。
【００２４】
画像デバイスの検査、撮像画像データに対する検査等の画像データ検査において、例えば傷検査では画素個々の測定値が必要であり、感度、均一性等の画像特性検査では複数の画素を集合的に見る必要がある。このため、それぞれの検査項目に要求される測定精度および必要なデータ量は、それぞれ異なっている。
【００２５】
そこで、本発明にあっては、検査対象画像データをメモリ部に記憶させる前に、ノイズ成分を除去する処理、ランダムに発生する異常データを除去する処理、検査に必要なデータに絞り込む処理、検査に影響を与えない範囲でデータを圧縮する処理等、各々の検査項目に応じた前処理を行って、データの取り込み回数の適正化、取り込みデータ量の低減化を図る。
【００２６】
例えば、傷検査は、傷（黒傷、白傷等）を有する特異点に対する検査であり、傷の無い領域は検査対象では無くなるため、傷を有する特異画素（またはその周辺）に絞り込んで、測定データを高精度で画像データ検査装置のメモリ部に格納すれば良い。従って、画素数を大幅に低減した上で、複数回の測定データをメモリ部に格納して平均化することによって、データ精度を向上させることができる。
【００２７】
また、画像特性検査は、画素個々のデータ精度が不要であり、周辺の画素データを参考に測定値を確定することが可能である。従って、複数回の測定データによる平均化処理を行う必要がないため、検査時間を大幅に低減することができる。
【００２８】
このように、それぞれの検査項目に応じて前処理を行うことによって、データ取り込み回数の削減による検査時間の短縮化と、画像データ検査装置における画像データ記憶用メモリ容量の縮小による装置の低価格化を図ることができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
【００３０】
（実施形態１）
図１は、本発明の一実施形態である画像データ検査装置の構成を示す機能ブロック図である。
【００３１】
この画像データ検査装置１００は、駆動信号発生器２ａおよびドライバ回路２ｂを有している。駆動信号発生器２ａでは、検査対象であるイメージセンサー、液晶表示パネルなどの被測定デバイス２ｄの駆動、データ測定に必要とされる各種クロック信号、同期信号等が生成され、ドライバ回路２ｂによって被測定デバイス２ｄを駆動するための信号波形に変換される。この駆動信号波形が、被測定デバイス２ｄに印加されることによって、被測定デバイス２ｄが動作するようになっている。また、駆動信号発生器２ａで生成された信号は、アドレス信号発生器２ｃにも供給され、アドレス信号発生器２ｃでは、駆動信号発生器２ａからの信号に基づいて、被測定デバイス２ｄの画像アドレスデータが生成される。なお、被測定デバイス２ｄがイメージセンサー等の画像デバイスである場合には、検査のために光照射装置、電源装置等が必要であるが、本発明とは直接関係無いため、ここでは説明を省略している。
【００３２】
被測定デバイス２ｄから出力されるアナログ信号（画像データ）は、ＣＤＳ／ＡＧＣ２ｆに供給されてサンプルホールドおよび増幅され、ＡＤＣ　２ｇにでデジタル値に変換される。ＡＤＣ　２ｇでデジタル値に変換された画像データ１は、リアルタイムランクフィルタ２ｈに供給力される。この画像データ１は、図４（ａ）に示す画像データ１と同様である。なお、デバイス内部にＡＤＣを内蔵している最近のＣＭＯＳイメージセンサー等では、ＣＤＳ／ＡＧＣ２ｆおよびＡＤＣ　２ｇは不要である。
【００３３】
リアルタイムランクフィルタ２ｈでは、順次入力される画像データ１がリアルタイムに処理されてランダムに発生する異常データが除去され、画像データ２として画像データ処理部２ｊに供給される。このリアルタイムランクフィルタ２ｈにより処理された画像データ２は、図４（ｂ）に示す画像データ２と同様である。なお、リアルタイムランクフィルタ２ｈは、被処理画素周辺の特定領域の画像データをランキング処理した後、指定されたランキングデータと置き換えるランクフィルタ処理をリアルタイムに行う機能ブロックであり、既知のパイプライン処理手法によって実現可能である。
【００３４】
画像データ処理部２ｊでは、ランクフィルタ処理によってランダムな異常データが除去された画像データ２に対して、ローパスフィルタ処理により感度・画像の均一性評価に影響しない範囲でノイズが除去されてデータが強調されると共に、画素データの間引きもしくは加算処理により検査に影響を与えない範囲でデータ圧縮が行われる。データ圧縮では、検査に必要な最小画素数にデータが圧縮され、例えば、第１の画像メモリ２ｍの記憶容量に格納可能なデータ量に圧縮される。画像データ処理部２ｊで処理された画像データ４は、第１の画像メモリ２ｍに格納される。
【００３５】
一方、ＡＤＣ　２ｇから出力される画像データ１は、同時に、ディレイメモリ２ｉにも供給される。ディレイメモリ２ｉでは、リアルタイムランクフィルタ２ｈにて生じる遅延時間と同じ期間だけ画像データ１が遅延され、画像データ１’として減算器２ｋに供給される。ディレイメモリ２ｉで生成された遅延時間は、アドレス信号補正器２ｅにも供給され、アドレス信号補正器２ｅでは、ランクフィルタ処理によって生じるアドレスデータのずれが補正される。
【００３６】
また、減算器２ｋには、リアルタイムランクフィルタ２ｈから出力される画像データ２も供給される。
【００３７】
減算器２ｋでは、入力された画像データ２と画像データ１’との差がリアルタイムに演算され、画像データ３が生成されて比較器２ｏおよび第２の画像メモリ２ｎに供給される。この減算器２ｋにより生成された画像データ３は、図４（ｃ）に示す画像データ３と同様である。
【００３８】
また、閾値発生器２ｌでは、個々の画像データを傷検査の対象にするべきか否かを判断するための閾値データが生成される。閾値発生器２１では、テスト制御装置２ｑから書き込まれるデータ、プリセットされたデータ等に基づいて、アドレス信号補正器２ｅから供給されるアドレス信号に応じて、画像エリア毎に異なる閾値データが生成されて比較器２ｏに供給される。
【００３９】
比較器２ｏでは、アドレス信号補正器２ｅからのアドレス信号に応じた比較領域（画像エリア）に対して、画像データ３と閾値発生器２１で生成された閾値データとがリアルタイムに比較されて、傷検査の対象にするべきか否かが判断される。例えば、画像データ３のうち、閾値発生器２１で生成された閾値データよりも大きい（または小さい）値のデータが傷検査の対象にするべきであると判断される。そして、この判断結果に従って、第２の画像メモリ２ｎを制御する制御信号が出力される。
【００４０】
第２の画像メモリ２ｎでは、比較器２ｏからの制御信号に従って、減算器２ｋから供給された画像データ３と、アドレス信号補正器２ｅから供給された画像データのアドレス信号とが格納される。これによって、第２の画像メモリ２ｎでは、画像データ３のうち、比較器２ｏで傷検査の対象にするべきであると判断されたデータのみが格納される。
【００４１】
以上の動作によって、第１の画像メモリ２ｍには感度、画像の均一性等の画像特性検査に必要な画像データが格納され、第２の画像メモリ２ｎには画素個々の測定データから得られた傷検査に必要な画素の画像データが格納される。
【００４２】
テスト制御装置２ｑでは、テスト制御インターフェイス２ｐを介して第１の画像メモリ２ｍから画像データ４が読み出され、読み出された画像データ４を用いて感度、画像の均一性等の画像特性検査が行われる。また、テスト制御装置２ｑでは、テスト制御インターフェイス２ｐを介して第２の画像メモリ２ｎから画像データ３が読み出され、読み出された画像データ３を用いて白傷、黒傷等の傷検査が行われる。テスト制御装置２ｑでは、これらの検査結果に基づいて、被検査デバイス２ｄの良否を判定することができる。
【００４３】
傷検査は、第２の画像メモリ２ｎに画像データ３が格納された時点で、テスト制御インターフェース２ｐを介してテスト制御装置２ｑによって、リアルタイムに処理を行なうことが可能である。しかしながら、ランダムに発生するノイズ成分によって誤った傷検査用データが第２の画像メモリ２ｎに格納されるおそれがあるため、閾値発生器２１にて生成される閾値データを、傷検出に必要とされるレベルよりもノイズによる誤差分だけ低く設定し、複数回の測定データを比較することによってノイズ成分を除去することが望ましい。以下に、傷検査用データからノイズ成分を除去する方法について説明する。
【００４４】
図２は、ランダムに発生するノイズ成分を傷検査用データから除去する処理フローを説明するためのフロー図である。
【００４５】
まず、図２（ａ）に示すように、被測定デバイス２ｄから（またはＣＤＳ／ＡＧＣ２ｆおよびＡＤＣ２ｆを介して）１回目の画像データ１−１が供給されて図２（ｂ）に示すような１回目の傷検査用データ２−１が抽出される。このとき、閾値データが傷検出に必要とされるレベルよりもノイズによる誤差分だけ低く設定されているため、傷検査用データ２−１の傷候補１〜傷候補３には、ノイズ成分が含まれているおそれがある。
【００４６】
次に、図２（ｃ）に示すように、被測定デバイス２ｄから（またはＣＤＳ／ＡＧＣ２ｆおよびＡＤＣ２ｆを介して）２回目の画像データ１−２が供給されて図２（ｄ）に示すような２回目の傷検査用データ２−２が抽出される。このとき、傷検査データ２−２の傷候補１〜傷候補４には、ノイズ成分が含まれているおそれがある。
【００４７】
次に、図２（ｅ）に示すように、１回目の傷検査用データ２−１および２回目の傷検査用データ２−２を比較することによって、ノイズ成分を含む画素が検出される。
【００４８】
このように、閾値発生器２１にて生成される閾値データを、傷検出に必要とされるレベルよりもノイズによる誤差分だけ低く設定し、複数回の測定データを比較することによって、ランダムに発生するノイズ画素を判別して、傷検査用データから除去することができる。また、複数回の傷検査用データを平均化処理することによって、ノイズ成分以外の傷検査用データの精度を向上させることも可能である。
【００４９】
このようにして生成される傷検査用データは、全画素を対象としないためにデータ量が少なく、また、テスト制御インターフェイス２ｐを介してテスト制御装置２ｑによってデータ測定回数を必要最小限に留める等の制御を行うことも可能である。テスト制御装置２ｑによる制御内容は、一般的なパーソナルコンピュータ等によって実現可能である。
【００５０】
一方、感度、均一性などの画像特性検査は、１回のデータ測定によって検査可能であり、第１の画像メモリ２ｍに画像データ４が格納された後、直ちにテスト制御インターフェース２ｐを介してテスト制御装置２ｑによって画像データ４の解析を行なうことができる。また、傷検査において複数回のデータ測定が必要とされる場合には、そのデータ測定時間を有効活用して、画像データ４の生成および解析を行うことも可能である。
【００５１】
以上のように、本実施形態の画像データ検査装置によれば、検査項目別に前処理された画像データ３および４が個別の画像メモリ２ｎおよび２ｍにそれぞれ格納されるため、確定された画像データから順に、または同時に、検査に必要なデータに絞り込んだデータ解析を行うことが可能となる。
【００５２】
（実施形態２）
図３は、本実施形態の画像データ検査装置２００の構成を示す機能ブロック図である。
【００５３】
この画像データ検査装置２００は、図１に示す画像データ検査装置１００を一般的な構成としたものである。
【００５４】
この画像データ検査装置２００は、データ同期信号発生器４ａおよび制御信号発生器４ｃを有している。データ同期信号発生器４ａでは、画像デバイス駆動、データ測定のために必要とされる同期信号、クロック信号等のデータ同期信号が生成され、このデータ同期信号に同期して、被測定画像データが複数の前処理部４ｈ〜４ｊにそれぞれ供給されるようになっている。また、制御信号発生器４ｃでは、データ同期信号発生器４ａで生成されたデータ同期信号に同期して、画像のアドレスデータ等の制御信号が生成されてテスト制御インターフェイス４ｐを介してテスト制御装置４ｑ、前処理ブロック４ｈ〜４ｊ、画像メモリ４ｋ〜４ｍ等に供給されるようになっている。
【００５５】
前処理部は、第１の前処理部４ｈ〜第ｎの前処理部４ｊのｎ個が設けられており、それぞれ、検査項目に応じた前処理が行われるようになっている。例えば、第１の前処理部４ｈでは、実施形態１で説明した感度、均一性評価等の画像特性検査用データ（画像データ４）を生成するための前処理が行われ、第２の前処理部４ｉでは実施形態１で説明した傷検査用データ（画像データ３）を生成するための前処理が行われる。各前処理部４ｈ〜４ｊによる処理は、並行して同時に行われ、処理後の画像データが、それぞれ、第１の画像メモリ４ｋ〜第ｎの画像メモリ４ｍに格納されるようになっている。
【００５６】
各画像メモリ４ｋ〜４ｍに格納された画像データは、それぞれ、テスト制御インターフェース２ｐを介してテスト制御装置２ｑによって読み出され、順にまたは同時に検査が行われる。これによって、検査に必要なデータに絞り込まれ、それぞれに要求される測定精度を満たした画像データによって、データ解析を行うことができる。
【００５７】
なお、本実施形態の画像データ検査装置は、ハードウェアによって構成することも可能であるが、パーソナルコンピュータなどのデータ処理装置におけるパラレル処理機能を用いた仮想的な信号処理構造を適用することも可能である。
【００５８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、画像データに対して検査項目に応じた前処理を施すことによって、リアルタイムに検査処理を行うと共に、各検査項目に応じた繰り返し測定回数の適正化、画像メモリの記憶容量削減、および検査処理時間の削減を図ることができる。
【００５９】
例えば、傷検査用データでは、傷検査対象画素のデータに絞り込む前処理を行うことによって、再度データ測定が必要であるか否かを判断しながら検査を行なうことができるため、データ測定回数を最適化することが可能となる。また、繰り返しデータ測定を行う場合であっても、処理データ量を大幅に減らすことができるため、検査時間を削減することが可能となる。
【００６０】
また、感度、画像の均一性評価等の画像特性検査用データでは、繰り返し測定は不要であり、全画素のデータも不要であるため、ランクフィルタ処理、ローパス処理、データ圧縮処理等の前処理を行うことによって、データ格納に用いられるメモリ容量を画像デバイスの画素数以下に削減して、検査装置の低価格化を図ることが可能となる。
【００６１】
さらに、傷検査用データ、画像特性検査用データに限られず、同一の画像データに対して、複数の検査項目に応じて前処理を行い、検査に必要なデータに絞り込んでメモリ部に格納することによって、画像データを用いた検査の効率を向上し、画像データ検査装置の低価格化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態１の画像データ検査装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図２】（ａ）〜（ｅ）は、実施形態１の画像データ検査装置において、ランダムに発生するノイズ成分を傷検査用データから除去する処理フローを説明するためのフロー図である。
【図３】実施形態２の画像データ検査装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、従来の画像データ検査方法の処理フローを説明するためのフロー図である。
【符号の説明】
２ａ　　駆動信号発生器
２ｂ　　ドライバ回路
２ｃ　　アドレス信号発生器
２ｄ　　被測定デバイス
２ｅ　　アドレス信号補正器
２ｆ　　ＣＤＳ／ＡＧＣ
２ｇ　　ＡＤＣ
２ｈ　　リアルタイムランクフィルタ
２ｉ　　ディレイメモリ
２ｊ　　画像データ処理部
２ｋ　　減算器
２ｌ　　閾値発生器
２ｍ、２ｎ、４ｋ〜４ｍ　　画像メモリ
２ｏ　　比較器
２ｐ、４ｐ　　テスト制御インターフェイス
２ｑ、４ｑ　　テスト制御装置
４ａ　　データ同期信号発生器
４ｃ　　制御信号発生器
４ｄ　　被測定画像データ
４ｈ〜４ｊ　　前処理部
１００、２００　　画像データ検査装置
【図１】
2004045052.tif 000003
【図２】
2004045052.tif 000004
【図３】
2004045052.tif 000005
【図４】
2004045052.tif 000006