(57)【要約】【課題】アウトガスの発生が極めて少なく、ＯＡ機器、通信機器及びクリーンルーム等に使用して最適な乾式シーリング材を提供する。【解決手段】弾性体で形成されるシーリング基材の、少なくとも片面に接着剤層とその接着剤層を保護する離型紙が積層されてなるシーリング材において、これらの構成部材がアウトガスの発生の極めて少ないものであり、シーリング基材を形成する弾性体は、ポリウレタン又はＥＰＤＭの発泡体又は非発泡体で構成され、接着剤層はシリコーンや溶剤を含有しない接着剤で構成され、離型紙はフッ素コーティング処理されている。【選択図】　　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性体で形成されるシーリング基材の、少なくとも片面に接着剤層とその接着剤層を保護する離型紙が積層されてなるシーリング材において、これらの構成部材がアウトガスの発生の極めて少ないものであることを特徴とする乾式シーリング材。
【請求項２】
弾性体で形成されるシーリング基材の、少なくとも片面に接着剤層とその接着剤層を保護する離型紙が積層されてなるシーリング材において、
前記接着剤層はシリコーンや溶剤を含有しない接着剤で構成され、離型紙はフッ素コーティング処理されているものであることを特徴とする請求項１記載の乾式シーリング材。
【請求項３】
前記シーリング基材を形成する弾性体は、ポリウレタン又はＥＰＤＭの発泡体又は非発泡体であり、ＥＰＤＭにおいてはＢＨＴの酸化防止剤が０．０５μｇ／ｇ以下であることを特徴とする請求項１または２記載の乾式シーリング材。
【請求項４】
前記発泡体は、密度０．０２〜１．０ｇ／ｃｍ３であることを特徴とする請求項３記載の乾式シーリング材。
【請求項５】
前記ポリウレタンの発泡体で形成するシーリング基材と接着剤層は、テープ一体発泡形成により一体構造となっていることを特徴とする請求項３記載の乾式シーリング材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ハードディスクドライブ等のＯＡ機器、携帯電話等の通信機器および半導体、食品、医薬品関連の工場や研究所、病院等のクリーンルーム等に最適な乾式シーリング材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のクリーンルームにおいては、専ら湿式のシリコーン系シーリング材が使用されていた。また、ハードディスクドライブ等のＯＡ機器、携帯電話等の通信機器および半導体、食品、医薬品関連の工場や研究所、病院等のクリーンルーム等のクリーンな環境で使用する乾式シーリング材は、通常は接着剤（粘着剤も含む）で接着することも多い。例えば、図３はハードディスクドライブケース２３の筺体２４と蓋体２５との間において蓋体２５のシール部位に、シーリング材２１が粘着剤２２で接着されている場合を示している。
この粘着剤で接着しての取付けは、シーリング材の一面に粘着剤をテープ状にした、いわゆる両面テープを張り付けた後、両面テープの離型紙（剥離ライナー）を剥がし、シール部位に接着する方法が一般に行われている。
【０００３】
病院および半導体、食品、医薬品関連の工場や研究所等のクリーンルームにおいては、空気導入経路にフィルターを設置して室内の空気を清浄に保っているが、塵埃だけでなくガス状汚染物質（以下、アウトガスという）も問題になっている。例えば、半導体基板（シリコンウエハ）表面に吸着した空気汚染物質によるゲート酸化膜の耐圧劣化や、レジスト斑、撥水、露光機内のレンズ・ミラーの曇り、等の悪影響を与えるからである。
ハードディスクドライブ等のＯＡ機器、携帯電話等の通信機器においても、アウトガスは、これらのコンダミとしてトラブルの原因となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のクリーンルームに用いられている湿式のシリコン系シーリング材は、シリコーンや低粘度性に必要なトルエンを含有するため、アウトガス（例えば、低分子量の環状シロキサン）を発生し、これがクリーンルーム内の汚染原因となっている。
【０００５】
また、いわゆる両面テープ等で接着する接着剤（粘着剤）も粘着付与剤や粘度低下のためオイル分が大量に含まれており、これがアウトガスとして発生し、やはりＯＡ機器や通信機器のコンダミとしてトラブルの原因となっている。
【０００６】
また、いわゆる両面テープには粘着剤を保護するため離型紙（剥離ライナー）が使用されているが、この離型紙にはシリコーンがコーティングされているため、これが微小だが粘着剤に転移（転写）し、汚染原因となっている。しかも、両面テープは、通常、長尺な製品であるため、図４に示すように渦巻き状に巻き回されて商品となっており、使用に際して必要量を引き出して切断して使用するようになっている。従って、両面テープ１２が直線状の場合には、離型紙１４は一面しか粘着剤１３に接しないが、図４に示すようにうず巻き状に巻き回すと両面が粘着剤１３に接することとなるため、シリコーンのコーティングは離型紙１４の両面に施されているのが通常であり、その分粘着剤１３へのシリコーンの転移も多くなる。
【０００７】
さらに、シーリング基材がＥＰＤＭのゴムで形成されているような場合には、ＥＰＤＭのゴムなどにＢＨＴの酸化防止剤を含有するため、これらも汚染原因となっている。
【０００８】
この発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、アウトガスの発生が極めて少なくＯＡ機器、通信機器及びクリーンルーム等に使用して最適な乾式シーリング材を提供することにある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
前記課題を解決するため、この発明の乾式シーリング材は、弾性体で形成されるシーリング基材の、少なくとも片面に接着剤層とその接着剤層を保護する離型紙が積層されてなるシーリング材において、これらの構成部材がアウトガスの発生の極めて少ないものであることを特徴とする。
具体的には、前記接着剤層の接着剤は、シリコーンや溶剤を含有しないものであり、これによりアウトガス（有機汚染物質）の発生を少なくできる。また、離型紙は、フッ素コーティング処理されているものであり、これによりシリコーンの悪影響を回避することができる。
【００１０】
また、前記シーリング基材を形成する弾性体は、ポリウレタン又はＥＰＤＭの発泡体又は非発泡体が、シール面への追従性、シール性、気密・防水または防湿性、防塵性及びクッション性、等の性能の点から好ましく、ＥＰＤＭにおいてはＢＨＴの酸化防止剤が０．０５μｇ／ｇ以下とするのが、有機汚染物質等のアウトガスを少なくできるので好ましい。
特に、発泡体の場合には、密度０．０２〜１．０ｇ／ｃｍ３での範囲が好ましい。即ち、密度が０．０２ｇ／ｃｍ３未満では、柔軟になりすぎてシーリング材のシール性、気密・防水または防湿性、防塵性及びクッション性、等が低下し、逆に１．０ｇ／ｃｍ３を超えると変形し難くなりシール面への追従性に欠け、それによりやはりシール性、気密・防水または防湿性、防塵性及びクッション性が低下するからである。
【００１１】
さらに、ポリウレタンの発泡体で形成するシーリング基材と接着剤層は、テープ一体発泡形成により一体構造にすると、離型紙のフッ素コーティングが片面で済むため、安価となるので好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面と共に詳細に説明する。図１はこの発明の実施の形態を示すシーリング材の拡大側面説明図である。
同図において、シーリング材１は、弾性体で形成されるシーリング基材２の片面に接着剤（粘着剤）層３が積層され、この接着剤層３に離型紙４が積層されて構成されている。
【００１３】
このシーリング材１を構成するシーリング基材２、接着剤層３の接着剤及び離型紙４は、ガス状汚染物質等のアウトガスの発生の極めて少ないもので構成される。このようなガス状汚染物質等のアウトガスの発生の極めて少ない構成部材としては次のとおりである。
シーリング基材２を形成する弾性体としては、ポリウレタン、ＥＰＤＭ等の発泡体および非発泡体をアウトガスが少なく、シール性に富むので、好ましいものとして例示できる。発泡体の場合には、密度０．０２〜１．０ｇ／ｃｍ３の範囲が好ましい。シーリング基材２は、被シール部位の防水・防湿性、防塵性等のシール性を確保するものであるため、被シール部位によって適宜であるが、クッション性、圧縮状態等を考慮したときのシール性においてこの範囲から選択するのが好ましい。即ち、密度が０．０２ｇ／ｃｍ３未満では、柔軟になりすぎてシーリング材のシール性、気密・防水または防湿性、防塵性及びクッション性、等が低下し、逆に１．０ｇ／ｃｍ３を超えると変形し難くなりシール面への追従性に欠け、それによりやはりシール性、気密・防水または防湿性、防塵性及びクッション性が低下するから、密度は前記範囲が好ましい。
【００１４】
ＥＰＤＭのゴムなどには、ＢＨＴの酸化防止剤を含有するが、これは、アウトガスを発生する。従って、この場合には、ＢＨＴの酸化防止剤を０．０５μｇ／ｇ以下に押えたものとし、アウトガスの発生を少ないものとする。
【００１５】
また、接着剤層３の接着剤としては、シリコーンやトルエンなどの溶剤を含有しないものとする。湿式のシリコーン系シーリング材と異なり、乾式である為、粘度を低減させるためのトルエンなどの溶剤を使用しなくてもよいし、また、シリコーンを含有しない接着剤を選択できる。一例として粘着性ホットメルト接着剤を挙げることができる。これによりアウトガスの発生を少なくできる。
前記シーリング基材２を、ポリウレタンの発泡体とする場合には、接着剤層３とテープ一体発泡形成により一体構造とするのが好ましい。これにより離型紙の離型剤のコーティングが片面で済むため、安価となる利点がある。テープ一体発泡形成としては、従来公知の手段、方法を採用できる。
【００１６】
さらに、離型紙４としては、フッ素コーティング処理されたものとする。離型剤としてシリコーンを使用しないので、シリコーンの悪影響を回避することができる。
【００１７】
しかして、前記乾式のシーリング材１によれば、ガス状汚染物質（酸性ガス、塩基性ガス、有機物質、ドーパント等）のトータルアウトガス量は極めて少ない。従って、シーリング材１をクリーンルームに使用しても、シーリング材１からのアウトガスが少ないため、クリーンルーム内をガス状汚染物質で汚染されることがない。特に、シリコーン等の有機汚染物質も少ないため半導体分野においても最適となる。さらに、シーリング基材２と接着剤層３とは、テープ一体発泡構造とすることにより離型紙４へのフッ素コーティング処理は片面で済む為、安価に提供できる。
【００１８】
なお、前記実施の形態は、この発明を制限するものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が許容される。
図２はこの発明の他の実施の形態を示すシーリング材の拡大側面説明図であり、前記実施の形態と同一構成要素には同一符号を付して詳細な説明は省略する。本例のシーリング材１は、弾性体で形成されるシーリング基材２の片面に補強材５が積層され、この補強材５に接着剤層３が積層され、この接着剤層３に離型紙４が積層されて構成されており、前記実施の形態に補強材５が追加されているものである。
【００１９】
シーリング基材２は、弾性体で形成され、しかも厚みが薄く、幅も小さいため剛性がなく柔らかいものであり、そのために被シール部位への装着時に形状が安定化せず、取付けが難しく作業性が悪く、また、製造工程においても過大な伸縮を生じたり、テンションコントロールが難しいため生産性も低下する。このようなため前記補強材５は、シーリング基材２に剛性を付与したり、伸縮を抑制するものである。補強材５としては、シート状物、網状体または線状体を挙げることができ、シート状物としては、プラスチックフィルム、紙、布または不織布を挙げることができる。シート状物としてプラスチックフィルムを選択する場合には、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴＰ）、ポリプロピレン（ＰＰ）およびＥＰＤＭ等を挙げることができる。
【００２０】
しかして、この実施の形態のシーリング材１によれば、前記実施の形態の作用、効果の他に、さらに補強材５を具備するのでシーリングの作業性が向上するし、製造が容易となり生産性も向上する。
なお、補強材５の設けられる位置および数は前記実施の形態に限定されるものではなく種々の態様が許容される。
【００２１】
【実施例】
シーリング基材２としてポリウレタンの発泡体、シート状物としてポリエチレンのフィルム、接着剤層３として粘着性ホットメルト接着剤および離型紙４としてフッ素コーティング処理されたものを使用して、図２に示す構造のシーリング材１を得た。
この実施例のシーリング材１のトータルアウトガス量の測定結果によれば、トータルアウトガス量は５．００μｇ／ｇ以下であった。比較例としてクリーンルーム用の湿式シーリング材（無溶剤ウレタン系）のアウトガス量を測定したところ１４．９μｇ／ｇであり、この実施例のシーリング材より約３倍のトータルアウトガス量を示した。
この測定結果から、この発明のシーリング材におけるトータルアウトガス量は、極めて少ないことが理解できる。
上記トータルアウトガスの測定条件は、次の通りである。
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【００２２】
【発明の効果】
以上詳細に説明した通り、この発明の乾式シーリング材は、弾性体で形成されるシーリング基材の、少なくとも片面に接着剤層とその接着剤層を保護する離型紙が積層されてなり、接着剤層はシリコーンや溶剤を含有しない接着剤で構成され、離型紙はフッ素コーティング処理されているものであり、ガス状汚染物質としてのアウトガスの発生の極めて少ないものであるから、ＯＡ機器、通信機器及びクリーンルーム等のシーリング材として最適であり、シリコーン等の有機ガスの発生も極めて少ないので半導体分野にも最適となる。
【００２３】
また、シーリング材を形成する弾性体は、ポリウレタン又はＥＰＤＭの発泡体又は非発泡体で構成されているので、シール面への追従性、気密・防水または防湿性、防塵性及びクッション性、等のシール性能に富むものである。発泡体の場合には、密度を０．０２〜１．０ｇ／ｃｍ３の範囲としたので、前記シール性能は最良である。また、ＥＰＤＭのゴムなどではＢＨＴの酸化防止剤を０．０５μｇ／ｇ以下としたので、ガス状汚染物質の発生が少ない。
【００２４】
さらに、ポリウレタンの発泡体で形成するシーリング基材と接着剤層は、テープ一体発泡形成により一体構造となっているので、離型紙のフッ素コーティング処理は片面で済み安価に提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態を示すシーリング材の拡大側面説明図である。
【図２】この発明の他の実施の形態を示すシーリング材の拡大側面説明図である。
【図３】従来の使用例を説明する部分断面図である。
【図４】従来の粘着テープが製品化された状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１　シーリング材
２　シーリング基材
３　接着剤層
４　離型紙
５　補強材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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