(57)【要約】【目的】ＣＶＤ装置内全体で安定して下地の非酸化膜との密着性が優れるα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜が成膜でき、その結果、品質のばらつきが少なく優れた特性を有する酸化アルミニウム被覆工具を提供する【構成】皮膜表面に結合層を介してα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜が形成されている酸化アルミニウム被覆工具において、該結合層が少なくとも基体側から順にＴｉ及びＡｌの酸化物、酸炭化物、酸窒化物又は酸炭窒化物からなる層とα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜側に形成されたＴｉの酸化物、酸炭化物、酸窒化物又は酸炭窒化物からなる層とにより構成されており、該結合層表面が略膜厚方向に突き出た多数の突起を有していることを特徴とする酸化アルミニウム被覆工具。【選択図】図４
2004074324.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体表面に周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物、酸炭化物、酸窒化物及び酸炭窒化物のいずれか１種の単層皮膜又は２種以上からなる多層皮膜が形成され、該皮膜表面に結合層を介してα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜が形成されている酸化アルミニウム被覆工具において、該結合層が少なくとも基体側から順にＴｉ及びＡｌの酸化物、酸炭化物、酸窒化物又は酸炭窒化物からなる層とα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜側に形成されたＴｉの酸化物、酸炭化物、酸窒化物又は酸炭窒化物からなる層とにより構成されており、該結合層表面が略膜厚方向に突き出た多数の突起を有していることを特徴とする酸化アルミニウム被覆工具。
【請求項２】
請求項１記載の被覆工具において、該結合層が少なくとも基体側から順にＴｉの酸化物、酸炭化物又は酸窒化物からなる層、Ｔｉ及びＡｌの酸化物、酸炭化物、酸窒化物又は酸炭窒化物からなる層及びＴｉの酸化物、酸炭化物、酸窒化物又は酸炭窒化物からなる層の３層により構成されていることを特徴とする酸化アルミニウム被覆工具。
【請求項３】
請求項１又は２記載の被覆工具において、前記結合層表面の突起が鉤型に屈曲していることを特徴とする酸化アルミニウム被覆工具。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の被覆工具において、前記突起の先端が丸くなっていることを特徴とする酸化アルミニウム被覆工具。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の被覆工具において、前記結合層の少なくとも一部の層の断面が略膜厚方向に細長い結晶粒郡からなっていることを特徴とする酸化アルミニウム被覆工具。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の被覆工具において、前記α型酸化アルミニウムを主とする酸化膜の表面に少なくともＴｉ、Ｚｒ又はＨｆの窒化物、炭化物又は炭窒化物のいずれか１種の単層皮膜又は２種以上からなる多層皮膜が形成されていることを特徴とする酸化アルミニウム被覆工具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、切削用及び耐摩耗用の酸化アルミニウム被覆工具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、被覆工具は超硬質合金、高速度鋼、特殊鋼よりなる基体表面に硬質皮膜を化学蒸着法（以下、ＣＶＤ法と称する。）や物理蒸着法により成膜することにより作製される。このような被覆工具は皮膜の耐摩耗性と基体の強靭性とを兼ね備えており、広く実用に供されている。特に、高硬度材を高速で切削する場合に、切削工具の刃先温度は１０００℃前後まで上がるとともに、このような高温で被削材との接触による摩耗や断続切削等の機械的衝撃に耐える必要があり、耐摩耗性と強靭性及び耐熱性を兼ね備えた被覆工具が重宝されている。硬質皮膜には、耐摩耗性と靭性とが優れる周期律表４ａ、５ａ、６ａ族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物からなる非酸化膜や耐酸化性が優れる酸化膜が単層或いは多層膜として用いられる。非酸化膜では例えばＴｉＣ、ＴｉＮ、Ｔｉ（ＣＮ）が利用され、酸化膜では特にκ型酸化アルミニウム（以下、κ−Ａｌ２Ｏ３と称する。）やα型酸化アルミニウム（以下、α−Ａｌ２Ｏ３と称する。）が利用されている。上記非酸化膜の欠点は酸化され易いことであり、この欠点を補うため、これらの非酸化膜の上に耐酸化性が優れる酸化アルミニウムを形成することにより非酸化膜の酸化を防止することが一般に行われている。この非酸化膜／酸化アルミニウム膜の多層膜構造の欠点は非酸化膜と酸化アルミニウム膜との間の密着性が低いこと、或いは高温で機械強度が安定しないことである。このようなα−Ａｌ２Ｏ３膜の欠点を解消するため、特開平０９−２９５１２号公報及び特開平０８−２７６３０５号公報では、α−Ａｌ２Ｏ３層の下地層となる結合層にＴｉ（ＣＮＯ）を用い、この結合層の表面形態が等軸又は針状の結晶粒となっていることが開示されている。更に、特許第３２５０１３４号公報では、酸化アルミニウム層の下地層としてＴｉ（ＣＮＯ）を用い、該下地層の表面状態を先鋭化針状結晶とすることにより、酸化アルミニウム層とＴｉ（ＣＮＯ）からなる下地層との密着性を向上しようとする事例を開示している。しかし、これらＴｉ系の酸炭窒化物単独から成る結合層ではその表面にα−Ａｌ２Ｏ３膜との密着性を高める効果が期待される突起が形成し難く、このためその化学蒸着装置内全体で結合層の表面にα−Ａｌ２Ｏ３膜を密着性良く成膜することは困難であった。一方、比較的容易に突起を形成しやすい結合層としてＴｉとＡｌの両者を含有した結合層も提案されている。すなわち、特開平０３−１３８３６８号公報では、炭化物結合焼結体からなる基体上にα−Ａｌ２Ｏ３層とκ−Ａｌ２Ｏ３層とを積層する場合において、（ＡｌＴｉ）（ＯＣ）からなる２種類の結合層（α変態層、κ変態相）を使い分ける事により、純粋なα−Ａｌ２Ｏ３層とκ−Ａｌ２Ｏ３層との堆積の制御を可能とした事例が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、これらの結合層が酸素を含有することによる酸化膜の生成基点と、突起構造による密着性が強化されるアンカー効果の両機能が１つの層により担われているため、例えば突起組織のみを強化することによりα−Ａｌ２Ｏ３の密着性を更に高める、或いは結合層の酸素含有量を高めることによりα−Ａｌ２Ｏ３が安定して成膜されるようにする等の調整が難しいという欠点がある。また、ＴｉとＡｌの両者を含有した結合層では酸素含有量の制御が難しく、酸素が少ないとその表面にα−Ａｌ２Ｏ３よりもむしろκ−Ａｌ２Ｏ３が生成されやすくなり、酸素量が多すぎると結合層自体が機械的に脆くなり、結合層の部分からα−Ａｌ２Ｏ３が剥離しやすくなる欠点がある。例えば、現状の量産型のＣＶＤ装置では内径２６０ｍｍ×高さ７００ｍｍの範囲内に約５０００個のインサート工具をセットし成膜するが、装置内全体のインサート工具にα−Ａｌ２Ｏ３を安定して成膜するために、酸素量を上げると、装置内の一部が酸素量過剰になりα−Ａｌ２Ｏ３が剥がれやすくなり、一方α−Ａｌ２Ｏ３の密着性を高めるため酸素量を下げると、ＣＶＤ装置内に多数個セットしたインサート工具の一部にα−Ａｌ２Ｏ３が成膜されずκ−Ａｌ２Ｏ３が成膜されてしまう欠点があらわれる。上記問題を踏まえて、本発明が解決しようとする課題は、ＣＶＤ装置内全体で安定して下地の非酸化膜との密着性が優れるα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜が成膜でき、その結果、品質のばらつきが少なく優れた特性を有する酸化アルミニウム被覆工具を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記課題を解決するために、基体表面に周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物、酸炭化物、酸窒化物及び酸炭窒化物のいずれか１種の単層皮膜又は２種以上からなる多層皮膜が形成され、該皮膜表面に結合層を介してα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜が形成されている酸化アルミニウム被覆工具において、該結合層が少なくとも基体側から順にＴｉ及びＡｌの酸化物、酸炭化物、酸窒化物又は酸炭窒化物からなる層とα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜側に形成されたＴｉの酸化物、酸炭化物、酸窒化物又は酸炭窒化物からなる層とにより構成されており、該結合層表面が略膜厚方向に突き出た多数の突起を有していることを特徴とする酸化アルミニウム被覆工具である本発明を適用することによりα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜とその下地である非酸化膜との間にあり両膜に直接接触する結合層を複層構造にし、各層にアンカー効果による密着性強化機能と酸化膜生成機能とを別個に担わせることにより、下地非酸化膜との密着性が優れるα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜がＣＶＤ装置内全体で安定して成膜されるようになり、上記問題点が解消する。また、本発明のα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜とは、８０ｖｏｌ％以上のα−Ａｌ２Ｏ３を含み、残りがκ−Ａｌ２Ｏ３、γ型酸化アルミニウム、θ型酸化アルミニウム、δ型酸化アルミニウム、χ型酸化アルミニウム等、他の構造の酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等の酸化物からなる混合組織のものをいう。
【０００５】
第１に、結合層を二層に分けることによりα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜との密着性を強化する機能とα−Ａｌ２Ｏ３が生成されやすくする機能とが分離でき各機能を別個に制御することができ下地非酸化膜との密着性が優れるα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜がＣＶＤ装置内全体で安定して成膜できるようになる。即ち、Ｔｉ及びＡｌの酸化物、酸炭化物、酸窒化物又は酸炭窒化物から成る層が略膜厚方向に突き出た多数の突起を有する組織から成っていることにより、いわゆるアンカー効果等により上層のα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜の密着性を高めることができ、しかも結合層の表面側にＴｉの酸化物、酸炭化物、酸窒化物又は酸炭窒化物から成る層を形成しその酸素含有量を最適化することによりＣＶＤ装置内全体でα−Ａｌ２Ｏ３が安定して成膜されるようになる。
【０００６】
第２に、結合層内に略膜厚方向に突き出た多数の突起を有する組織が含有されているため結合層の表面も略膜厚方向に突き出た多数の突起を有する組織になる。尚、上記のように結合層を層別に区分けしたのは成膜過程から区分けしたものであり、成膜後の皮膜を観察した時には外観上からは明確に区分け出来ないことが多い。この場合も、エネルギー分散型Ｘ線分析装置（以下、ＥＤＸと称する。）や電子プローブマイクロアナライザー装置（以下、ＥＰＭＡと称する。）を用いてＡｌとＴｉの分布を膜厚方向に分析した時、ある膜厚領域にＡｌ成分が多く検出され、他の膜厚領域ではＡｌがほとんど検出されないことから結合層が上記のような複層構造で形成されていることがわかる。特に、結合層の厚さが数１００ｎｍであり、結合層を層別に明確に分析することが出来ない場合はＡｌとＴｉを膜厚方向に線分析した時、Ａｌ／Ｔｉ比がある膜厚領域で明確に高くなることにより上記のような層状に結合層が形成されていることがわかる。透過電子顕微鏡（以下、ＴＥＭと称する。）に内蔵されたＥＤＸを用いて数１０ｎｍの微少領域を分析する場合はＴＥＭ用の薄い試料を作製する時にイオンミリング等で掘られたＡｌやＴｉ、Ｗ、Ｃｏ等の元素がＴＥＭ試料に再付着する。この時、ＡｌやＴｉは膜中から、ＷやＣｏは超硬合金製基体から再付着する。このためＡｌやＴｉ等の有無が明確に識別出来ないことがある。この時も上記と同様に膜厚方向に異なる位置でＡｌ／Ｔｉ比を分析することにより結合層が上記のような層状に形成されていることがわかる。この場合、ＴＥＭ試料作製時の付着により検出されるＡｌ／Ｔｉ比量、即ちＡｌ／Ｔｉ比のゼロ点はＴｉＣＮ等の本来Ａｌを含有していない下地非酸化膜のＡｌ／Ｔｉ比を測定することにより得られる。
【０００７】
第３に、本発明は、該結合層が少なくとも基体側から順にＴｉの酸化物、酸炭化物又は酸窒化物からなる層、Ｔｉ及びＡｌの酸化物、酸炭化物、酸窒化物又は酸炭窒化物からなる層及びＴｉの酸化物、酸炭化物、酸窒化物又は酸炭窒化物からなる層の３層により構成されている。下地の非酸化膜の上にＴｉと酸素を含有した皮膜から成る第１層を介してＴｉ、Ａｌ及び酸素を含有する第２層を成膜することにより下地の非酸化膜と第２層間の密着性が更に高まり、結合層と下地非酸化膜の間に更に高い密着性が得られる。また、成膜ガスとして、より少ない酸素ガス供給量で略膜厚方向に突き出た多数の突起を有する第２層の組織が安定して成膜出来るようになり第２層の高い機械強度と上層の酸化膜との密着性が更に高まり、更に優れた工具特性を有する被覆工具が得られる。
【０００８】
第４に、本発明は、該結合層表面の略膜厚方向に突き出た多数の突起が鉤型に屈曲している。鉤型に屈曲させることにより、結合層とα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜との間に更に高い密着性が得られ、更に優れた工具特性を有する被覆工具が得られる。
【０００９】
第５に、本発明は、該結合層表面の略膜厚方向に突き出た多数の突起の先端が丸くなっている。先端が丸くなっているとは先端が先鋭でなく緩やかな曲面で形成されていることをいい、突起先端の断面積が大きくなり突起自体の機械強度が高まり、結合層とα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜との間に更に高い密着性が得られ、更に優れた工具特性を有する被覆工具が得られる。
【００１０】
第６に、本発明は、結合層の少なくとも一部の層の断面が基体と略垂直方向に細長い結晶粒郡からなっていることより、結合層の表面が突起に富みアンカー効果等によりα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜の密着性を更に高めることができる。層の断面が基体と略垂直方向に細長い結晶粒郡からなっていることはＳＥＭ又はＴＥＭで観察することにより確認できる。
【００１１】
第７に、本発明は、α−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜の表面に少なくとも有色のＴｉ、Ｚｒ又はＨｆの窒化物、炭化物、炭窒化物、酸化物、酸窒化物、酸炭化物、酸炭窒化物のいずれか１種の単層皮膜又は２種以上からなる多層皮膜が形成されており、工具表面の摺動性がより高まり更に優れた工具特性が得られるとともに、有色の皮膜で工具の外層部分を構成することになり工具として使用済みの有無が容易に判別出来るようになる。
【００１２】
第８に、本発明は、上記皮膜を形成した後に少なくとも刃先部周辺の最外層の一部が除去され、α−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜が露出させることにより、被削材との接触頻度が高い刃先部の少なくとも１部が耐酸化性と耐溶着性とが特に優れているα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜で構成されていることになり被削材と溶着することが特に少なくなり特に優れた切削耐久特性が実現できる。
【００１３】
本発明における被覆方法には既知の成膜方法を適用することが可能である。例えば、通常の熱化学蒸着法、プラズマを付加した化学蒸着法等を用いることができる。用途は切削工具に限るものではなく、α−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜を含む単層或いは多層の硬質皮膜により被覆された耐摩耗材や金型、溶湯部品等でも良い。酸化膜はα−Ａｌ２Ｏ３単層に限るものではなく、α−Ａｌ２Ｏ３が主であれば、他の酸化物、例えばα−Ａｌ２Ｏ３とκ−Ａｌ２Ｏ３との混合膜や、γ型酸化アルミニウム、θ型酸化アルミニウム、δ型酸化アルミニウム、χ型酸化アルミニウム等、他の構造の酸化アルミニウムとの混合膜或いはα−Ａｌ２Ｏ３と酸化ジルコニウム等他の酸化物との混合膜であっても同様の作用効果を得ることが可能である。次に、本発明の被覆工具を実施例により具体的に説明するが、これら実施例により本発明が限定されるものではない。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（実施例１）
本発明例１としてまず、ＷＣ：７２質量％、ＴｉＣ：８質量％、（ＴａＮｂ）Ｃ：１１質量％、Ｃｏ：９質量％の成分組成よりなるＪＩＳ規格ＣＮＭＧ１２０４０８形状の切削工具用超硬合金基体２００個を万遍なくセットした内径２６０ｍｍ、高さ２５ｍｍのカーボン製トレーを２３段、縦方向に積み上げ、ＣＶＤ反応装置内にセットした。尚、成膜の安定性を確保するため、有効な２３段のトレーの上下にダミートレーをそれぞれ２段と３段セットした。そして、Ｈ２キヤリヤーガスとＴｉＣｌ４ガスとＮ２ガスとを原料ガスに用いて０．５μｍ厚さのＴｉＮ膜を９００℃で形成後、Ｈ２キャリヤーガスとＴｉＣｌ４ガス、Ｎ２ガス、ＣＨ３ＣＮガスを原料ガスに用いて６μｍ厚さのＴｉＣＮ膜を８９０℃で形成した後、１０００℃でＨ２キヤリヤーガスとＴｉＣｌ４ガス、ＣＨ４ガス、Ｎ２ガスとを原料ガスに用いてＴｉ（ＣＮ）膜を１５分間成膜した。その後、Ｔｉ（ＣＮ）の成膜に用いたのと同じ構成からなるガス郡にＣＯガスとＡｌＣｌ３ガスとを追加して（ＴｉＡｌ）（ＣＮＯ）膜を１０００℃で１０分間成膜し、そのまま更にＨ２キヤリヤーガスとＴｉＣｌ４ガス、ＣＨ４ガス、Ｎ２ガス及びＣＯ２ガスとＣＯガスとを原料ガスに用いてＴｉ（ＣＮＯ）膜を７分間成膜することにより（ＴｉＡｌ）（ＣＮＯ）とＴｉ（ＣＮＯ）との２層からなる結合層を成膜した。その後、Ｈ２キャリヤーガス、ＡｌＣｌ３ガス、ＣＯ２ガスを原料ガスに用いて４μｍ厚さのＡｌ２Ｏ３膜を１０２０℃で形成し、更に、Ｈ２キヤリヤーガスとＨｆＣｌ４ガス及びＮ２ガスとを原料ガスに用いて厚さ１μｍのＨｆＮ膜を１０５０℃で形成した後、室温まで冷却した。次に、ＣＶＤ装置から取り出した試料の刃先部のホーニング部分周辺をラバー砥石により研磨することによって、内層のＡｌ２Ｏ３膜を露出させ本発明の酸化膜被覆工具を作製した。
【００１５】
作製した本発明例の皮膜を理学電気製のＸ線回折装置（ＲＵ−２００ＢＨ）でＸ線源にＣｕＫα１線を用いて２θ−θ走査法によりＸ線回折図形を測定した結果、有効トレーの最上段２３段目の内側、外側の試料番号を２３Ａ、２３Ｂ、中段１２段目の内側、外側の試料位置番号を１２Ａ、１２Ｂ及び最下段１段目の内側、外側の試料位置番号を１Ａ、１Ｂの何れの位置にセットした試料もα−Ａｌ２Ｏ３のＸ線回折ピークのみが検出されκ−Ａｌ２Ｏ３等のピーク強度は検出限界以下であった。このことから、有効トレー内全体の試料にα−Ａｌ２Ｏ３が成膜されたと考えられる。
【００１６】
本発明例を１７度傾けて研磨し基体表面からα−Ａｌ２Ｏ３膜迄を倍率１０００倍で撮影した光学顕微鏡写真を図１に、またその模式図を図２に示す。図１、２には、超硬合金製基体１の表面にＴｉＮ膜２とＴｉ（ＣＮ）膜３が形成され、その上に結合層４を介してα−Ａｌ２Ｏ３膜５が形成されていることが示されている。図１、２より、結合層４の表面から多数の突起がα−Ａｌ２Ｏ３膜５側に突き出ておりα−Ａｌ２Ｏ３膜５中に食い込んでいることがわかる。また、図３は上記試料の結合層４とα−Ａｌ２Ｏ３膜５間の界面近傍をＳＥＭにより倍率５０００倍で撮影したもの、図４はその模式図である。図３、４より、結合層）の表面に略膜厚方向に多数の突起が突き出ており、しかも先端が鉤型に屈曲していることが、特に図３、４の左から３番目と右から３番目の突起から良くわかる。また、これらの突起の先端が先鋭ではなく丸くなっていることがわかる。
【００１７】
本発明例の成膜面の膜断面を厚さ２０μｍ以下に研磨した後、更に、イオンミリングにより膜断面の厚さを極端に薄くしてＴＥＭ観察用の試料を作製した。そして日立製作所製のＴＥＭ（Ｈ−８００）を用い、加速電圧２００ｋＶの条件でＴｉ（ＣＮ）膜部とＡｌ２Ｏ３膜部の間にある薄い結合層部を同定した後、ＴＥＭ内蔵のＮＯＲＡＮ社製のＥＤＸで元素分析した結果、結合層は２層に分離でき、基体側の第１層はＴｉとＡｌ、第２層はＴｉのみから形成されていることがわかった。尚、ＥＤＸ分析のため軽元素であるＣ、Ｎ、Ｏは分析できなかった。また、ＴＥＭ試料作製時に発生した再付着物量を求めるため結合層直下のＴｉＣＮ皮膜中央部でＷとＣｏ量及びＡｌ２Ｏ３膜直上のＨｆＮ膜中央部でＴｉとＡｌ量とを測定し、その値を再付着物量として結合層部の分析値から差し引いた。また、上記ＴＥＭ観察の結果、結合層中でＡｌが多い膜厚領域は断面が略膜厚方向に細長い結晶粒郡で形成されておりその一部が膜厚方向に突き出し突起が形成されていること、そして結合層の表面にＴｉは分析されるがＡｌは再付着物量分しか分析されない膜厚領域がありこの領域は粒状の結晶粒郡から形成されていることが観察された。
【００１８】
（実施例２）
本発明例２としてまず、本発明例１と同じ材質と形状の基体を本発明例１と同様にＣＶＤ反応装置内に設置し、本発明例１と同じ条件でＴｉＮ膜と２種類のＴｉ（ＣＮ）膜を成膜した。その後、２番目のＴｉ（ＣＮ）の成膜に用いたのと同じ構成からなるガス郡にＣＯガスを追加してＴｉ（ＣＮＯ）膜を１０００℃で１５分間成膜した後、更にＡｌＣｌ３ガスを追加して（ＴｉＡｌ）（ＣＮＯ）膜を１０分間成膜し、そして更にＨ２キヤリヤーガスとＴｉＣｌ４ガス、ＣＨ４ガス、Ｎ２ガス及びＣＯ２ガスとＣＯガスとを原料ガスに用いてＴｉ（ＣＮＯ）膜を７分間成膜することによりＴｉ（ＣＮＯ）−（ＴｉＡｌ）（ＣＮＯ）−Ｔｉ（ＣＮＯ）の３層からなる結合層を成膜した。その後、本発明例１と同じ条件でＡｌ２Ｏ３膜をした後、更に、Ｈ２キヤリヤーガスとＣＨ４ガス、Ｎ２ガス及びＺｒＣｌ４ガスとを原料ガスに用いて厚さ１μｍのＺｒ（ＣＮ）膜を１０２０℃で形成した後、室温まで冷却した。次に、ＣＶＤ装置から取り出した試料の刃先部のホーニング部分周辺をダイヤモンド砥粒とブラシにより研磨することによって内層のＡｌ２Ｏ３膜を露出させ本発明例２を作製した。本発明例２のＸ線回折図形を本発明例１と同じ方法で試料位置番号：２３Ａ、２３Ｂ、１２Ａ、１２Ｂ、１Ａ、１Ｂの試料を測定した結果、全てα−Ａｌ２Ｏ３のＸ線回折ピークのみが検出されκ−Ａｌ２Ｏ３等のピーク強度は検出限界以下であった。本発明例１と同様に有効トレー内全体の試料にα−Ａｌ２Ｏ３が成膜された。また、本発明例１と同様に本発明例２の研磨面を光学顕微鏡とＳＥＭで観察した結果、結合層の表面に略膜厚方向に多数の突起が突き出ており、しかもその多くの先端が鉤型に屈曲しており、突起の先端も丸くなっていることが確認された。本発明例２の成膜面の膜断面を本発明例１と同様にＴＥＭ−ＥＤＸにより分析した結果、結合層は３層に分離でき、基体側の第１層はＴｉのみ、第２層はＴｉとＡｌ、第３層はＴｉのみから形成されていることがわかった。軽元素であるＣ、Ｎ、Ｏは本発明例１と同様に分析できなかった。結合層の第１層は粒状の結晶粒郡で形成されており、第２層は断面が略膜厚方向に細長い結晶粒郡で形成されておりその１部が膜厚方向に突起を形成しており、第３層は再び粒状の結晶粒郡で形成されていることが観察された。
【００１９】
（実施例３）
比較例３としてまず、結合層の構造の差異によるα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜の密着性及び切削特性への影響を明らかにするために、本発明例１と同じ材質と形状の基体を本発明例１と同様にＣＶＤ反応装置内に設置し、本発明例１と同じ条件でＴｉＮ膜と２種類のＴｉ（ＣＮ）膜を成膜した。その後、Ｈ２キャリヤーガスとＴｉＣｌ４ガスとＣＨ４ガスを原料ガスに用い１０１０℃で５〜３０分間反応させＴｉＣ膜を成膜した後、そのままＴｉＣｌ４ガスとＣＨ４ガスとを止めＨ２キャリヤーガスとＣＯ２ガスとを１５分間流し既に成膜したＴｉＣ膜表面を酸化することにより結合層を作製した。その後、本発明例１と同じ条件で４μｍ厚さのＡｌ２Ｏ３膜と厚さ１μｍのＨｆＮ膜を形成した後室温まで冷却し、比較例３を作製した。比較例３のＸ線回折図形を本発明例１と同じ方法で試料位置番号：２３Ａ、２３Ｂ、１２Ａ、１２Ｂ、１Ａ、１Ｂの試料を測定した結果、全てα−Ａｌ２Ｏ３のＸ線回折ピークのみが検出されκ−Ａｌ２Ｏ３等のピーク強度は検出限界以下であった。有効トレー内全体の試料にα−Ａｌ２Ｏ３が成膜されたと考えられる。比較例３の研磨面を光学顕微鏡とＳＥＭで観察した結果、結合層の表面は粒状の結晶粒からなっており穏やかな曲面が形成されており、本発明１、本発明例２のような突起は形成されていないことがわかった。比較例３の皮膜断面をＴＥＭで観察した結果、基体表面から順にＴｉＮ、Ｔｉ（ＣＮ）、ＴｉＣ、結合層、Ａｌ２Ｏ３の各層が形成されていること、また、結合層は粒状の結晶粒から構成され膜厚方向に細長い結晶粒郡からは構成されていないことが判明した。また、結合層の組成をＥＤＸで分析した結果、Ｔｉのみが検出されＡｌは再付着量分しか検出されず、結合層は金属成分としてＴｉのみを含有しておりＡｌは含有していないことがわかった。
【００２０】
（実施例４）
比較例４として、結合層の構造の差異によるα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜のＣＶＤ装置内全体での安定成膜性及び切削特性への影響を明らかにするために、本発明例１と同じ材質と形状の基体を本発明例１と同様にＣＶＤ反応装置内に設置し、本発明例１と同じ条件でＴｉＮ膜と２種類のＴｉ（ＣＮ）膜を成膜した。その後、Ｔｉ（ＣＮ）の成膜に用いたのと同じ構成からなるガス郡にＣＯガスとＡｌＣｌ３ガスとを追加して（ＴｉＡｌ）（ＣＮＯ）膜を１０分間成膜した。上記の（ＴｉＡｌ）（ＣＮＯ）単層からなる結合層の表面に直接、本発明例１と同じ条件で４μｍ厚さのＡｌ２Ｏ３膜と厚さ１μｍのＨｆＮ膜を形成した。そして、本発明例１と同じ条件でホーニング部分周辺を研磨することにより内層のＡｌ２Ｏ３膜を露出させて比較例４を作製した。比較例４のＸ線回折図形を本発明例１と同じ方法で試料位置番号：２３Ａ、２３Ｂ、１２Ａ、１２Ｂ、１Ａ、１Ｂの試料を測定した結果、試料位置番号：２３Ａ、２３Ｂ、１２Ａ、１Ｂの試料はα−Ａｌ２Ｏ３のＸ線回折ピークのみが検出されκ−Ａｌ２Ｏ３等のピーク強度は検出限界以下であったが、試料位置番号：１２Ａ、１Ａの試料はκ−Ａｌ２Ｏ３のピークが大部分であり、α−Ａｌ２Ｏ３は（１０４）のピークが弱く検出されるだけであった。比較例４では安定してα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜が製作できないことがわかる。比較例４の研磨面を光学顕微鏡とＳＥＭで観察した結果、結合層の表面には略膜厚方向に多数の突起が突き出てはいるが、これらの突起先端は鋭くなっており丸くないことが確認された。比較例４の成膜面の膜断面を本発明例１と同じ条件でＴＥＭ観察した結果、結合層はＴｉとＡｌの両者を含有する単一層から成っておりその上にＴｉのみからなる第２層は形成されていないことがわかった。
【００２１】
次に、本発明例１、本発明例２の条件で製作した切削工具と比較例３、４の条件で製作した工具の各５個を用いて、以下の切削条件で１分間と１０分間連続切削試験した後に酸化アルミニウム皮膜の剥離状況を倍率２００倍の光学顕微鏡により観察し、評価した。切削諸元は、被削材：ＦＣＤ７００、切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ、送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ、切り込み：２．０ｍｍ、水溶性切削油使用である。この切削試験の結果、比較例３は１分間切削後にすくい面の酸化アルミニウム皮膜が大きく剥離したのに対して、本発明例１、本発明例２と比較例４はいずれも１分間連続切削後も酸化アルミニウム皮膜の剥離が見られず、下地膜に対する酸化アルミニウム膜の密着性が優れていることが判明した。更に１０分間連続切削した後に本発明１、２と比較例４を観察すると、κ−Ａｌ２Ｏ３のＸ線回折ピークが強く現れた比較例４の試料位置番号：１２Ｂ、１Ｂの試料はすくい面の酸化アルミニウム皮膜中に大きくクラックが発生しており、所々で皮膜が大きく剥離していることが観察された。これは、１０分間の連続切削により皮膜表面の温度が上がり、κ−Ａｌ２Ｏ３の一部がα−Ａｌ２Ｏ３に変態し、体積が収縮したためクラックが発生し、そこを起点にして膜が剥離したと考えられる。そして残った試料を更に１０分間連続切削した結果、比較例４の試料位置番号：２３Ａ、２３Ｂ、１２Ａ、１Ｂの試料は、すくい面が剥離したのに対して、本発明例１、本発明例２はいずれの試料も剥離しなかった。本発明例１、本発明例２はＣＶＤ装置内全体で下地膜との密着性と耐熱・耐クラック性が優れた酸化アルミニウム膜が形成されていることがわかる。
【００２２】
【発明の効果】
上述のように、本発明によれば、下地の非酸化膜との密着性が優れるα−Ａｌ２Ｏ３を主とする酸化膜がＣＶＤ装置内全体で安定して成膜できるようになり、その結果、品質のばらつきが少なく、多層膜間の密着性と耐熱・耐クラック性とが優れ、優れた工具特性有し、工具寿命の長い優れた酸化アルミニウム被覆工具が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明例の組織写真を示す。
【図２】図２は、図１の模式図を示す。
【図３】図３は、図１の結合膜とα−Ａｌ２Ｏ３膜間の界面近傍組織写真を示す。
【図４】図４は、図３の模式図を示す。
【符号の説明】
１　超硬合金製基体
２　ＴｉＮ膜
３　ＴｉＣＮ膜
４　結合層
５　Ａｌ２Ｏ３膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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