(57)【要約】【課題】針先の位置を容易にかつ正確に決定することができるようにすることにある。【解決手段】プローブは、一方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から他方向へ伸びる針先部であって被検査体に押圧される針先を有する針先部と、前記針先と異なる箇所に形成された基準部とを含むことを特徴とする。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向と交差する第２の方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から前記第１の方向へ伸びる針先部であって被検査体に押圧される針先を有する針先部と、前記針先と異なる箇所に形成された基準部とを含む、支持部材に片持ち梁状に支持される通電試験用プローブ。
【請求項２】
前記基準部は、これの隣の少なくとも一部の領域と異なる前記第１の方向への光反射特性を有する、請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
さらに、前記針先部及び前記アーム部のいずれか一方から前記第２の方向へ突出する突出部を含み、該突出部は、当該突出部の軸線に対して傾斜する少なくとも１つの傾斜面部と、該傾斜面部の先端に続きかつ前記軸線に垂直の平坦面部であって前記針先より前記アーム部側に後退された平坦面部とを備え、前記基準部は前記平坦面部とされている、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項４】
前記突出部は前記針先部又は前記アーム部から突出されている、請求項３に記載のプローブ。
【請求項５】
前記基準部は、前記第１の方向への光反射特性が異なる周囲領域に囲まれた領域を含む、請求項１から３のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項６】
さらに、請求項１に記載のアーム部から前記第１の方向に間隔をおいて前記第２の方向へ伸びる第２のアーム部と、両アーム部をそれらの先端部及び基端部においてそれぞれ連結する第１及び第２の連結部とを含む、請求項１から５のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項７】
前記両アーム部の少なくとも一方は、当該アーム部の全体、当該アーム部の前記第１の方向における一方側の縁部、及び当該アーム部の前記第１の方向における他方側の縁部の少なくとも１つを弧状とされている、請求項６に記載のプローブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路のような平板状被検査体の通電試験に用いるプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路のような平板状被検査体は、それが仕様書通りに製造されているか否かの通電試験をされる。この種の通電試験は、被検査体の電極に個々に押圧される複数のプローブを備えた、プローブカード、プローブブロック、プローブユニット等、電気的接続装置を用いて行われる。この種の電気的接続装置は、被検査体の電極と、テスターとを電気的に接続するために利用される。
【０００３】
この種の電気的接続装置に用いられるプローブとしては、導電性金属細線から製造されたニードルタイプのもの、板状に形成されたブレードタイプのもの、電気絶縁シート（フィルム）の一方の面に形成された配線に突起電極を形成したプローブ要素を用いるプローブ要素タイプのもの等がある。
【０００４】
ブレードタイプのプローブには、導電性金属板から製造された単一板タイプのものと、ホトレジストの露光及びエッチングとそのエッチングされた箇所へのメッキとを１回以上行う積層タイプのもの等がある。
【０００５】
いずれのタイプのプローブも、配線基板のような支持部材に片持ち梁状に支持されて、針先を被検査体の電極に押圧される。針先が被検査体の電極に押圧されると、オーバードライブがプローブに作用し、プローブは弾性変形により湾曲される。
【０００６】
ブレードタイプのプローブの１つとして、第１の方向に間隔をおいて第２の方向へ伸びる第１及び第２のアーム部と、該第１及び第２のアーム部をそれらの先端部及び基端部においてそれぞれ連結する第１及び第２の連結部と、第１の連結部の第１の方向における一方側に続く針先部と、第２の連結部の第１の方向における他方側に続く取り付け部とを含むＺ字状のものがある（特許文献１）。
【０００７】
ブレードタイプのプローブの他の１つとして、第１の方向に間隔をおいて第２の方向へ伸びる第１及び第２のアーム部と、該第１及び第２のアーム部をそれらの基端部において連結する連結部と、第１のアーム部の先端部の第１の方向における一方側に続く針先部と、第２のアーム部の先端部の第１の方向における他方側に続く取り付け部とを含むものがある（特許文献２）。
【０００８】
従来のプローブは、いずれも、取り付け部が適宜な支持部材に取り付けられて、その支持部材に片持ち梁状に支持され、その状態で針先を被検査体の電極に押圧される。これにより、オーバードライブがプローブに作用し、プローブは第１及び第２のアーム部において弾性変形により湾曲される。
【０００９】
【特許文献１】
特開平７−１１５１１０号公報
【特許文献２】
特開２００３−５７２６４号公報
【００１０】
【解決しようとする課題】
被検査体の通電試験に用いられるプローブは、一般に、プローブカードのような電気的接続装置に組み立てられて、テスターに組み付けられた後、テレビカメラのようなエリアセンサにより針先側（被検査体側）から撮影されて、エリアセンサの出力信号を画像処理することにより、テスター又は被検査体の電極に対する針先の位置を求め、その座標位置を決定する位置合わせをされる。
【００１１】
プローブは、一般に、通電試験のたびに、針先を被検査体の電極に押圧されると共に、電極に針先による擦り作用を与えるから、擦り作用による削りくずが針先に付着することを避けることができない。しかし、従来のプローブは、いずれも、針先に付着している削りくずにより、針先とその隣の箇所とを識別することが難しく、その結果針先の正確な座標位置を決定することが難しい。これを防止するためには、プローブのクリーニングを頻繁に行わなければならない。
【００１２】
上記のように針先の位置を決定することができないと、テスター又は被検査体とプローブとの正確な位置合わせをすることができないから、プローブの針先が所定の被検査体の電極に押圧されず、その結果正しい通電試験が行われない。
【００１３】
本発明の目的は、針先の位置を容易にかつ正確に決定することができるようにすることにある。
【００１４】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係るプローブは、第１の方向と交差する第２の方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から前記第１の方向へ伸びる針先部であって被検査体に押圧される針先を有する針先部と、前記針先と異なる箇所に形成された基準部とを含む。
【００１５】
上記プローブは、アーム部の基端部の側において支持部材に片持ち梁状に支持され、その状態で針先を被検査体の電極に押圧される。針先を電極に押圧されると、オーバードライブがプローブに作用して、アーム部が弾性変形して湾曲される。
【００１６】
テスター又は被検査体に対する位置合わせ時、プローブは針先側（被検査体側）からエリアセンサにより撮影される。各プローブの位置は、エリアセンサの出力信号を画像処理することにより、エリアセンサの撮影領域内における針先の座標位置として求められる。
【００１７】
上記プローブは針先と異なる箇所に形成された基準部を備えているから、基準部はエリアセンサの出力信号を用いて周囲と容易に識別することができ、したがって基準部の座標位置も容易に決定することができる。また、基準部と針先との位置関係は不変であるから、針先の位置は基準部の位置から容易に決定することができる。
【００１８】
前記基準部は、これの隣の少なくとも一部の領域と異なる前記第１の方向への光反射特性を有することができる。そのようにすれば、他方向への反射光量の差を利用して、基準部を決定することができる。
【００１９】
プローブは、さらに、前記針先部及び前記アーム部のいずれか一方から前記第２の方向へ突出する突出部を含み、該突出部は、当該突出部の軸線に対して傾斜する少なくとも１つの傾斜面部と、該傾斜面部の先端に続きかつ前記軸線に垂直の平坦面部であって前記針先より前記アーム部側に後退された平坦面部とを備え、前記基準部は前記平坦面部とされていてもよい。
【００２０】
前記突出部は前記針先部又は前記アーム部から突出されていてもよい。前記基準部は、前記第１の方向への光反射特性が異なる周囲領域に囲まれた領域を含むことができる。
【００２１】
プローブは、さらに、請求項１に記載のアーム部から前記第１の方向に間隔をおいて前記第２の方向へ伸びる第２のアーム部と、両アーム部をそれらの先端部及び基端部においてそれぞれ連結する第１及び第２の連結部とを含むことができる。
【００２２】
前記両アーム部の少なくとも一方は、当該アーム部の全体、当該アーム部の前記第１の方向における一方側の縁部、及び当該アーム部の前記第１の方向における他方側の縁部の少なくとも１つを弧状とされていてもよい。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図１（Ａ）において、上下方向を第１の方向、左右方向を第２の方向、紙面に垂直の方向を第３の方向とするが、それらの方向は、通電すべき被検査体を受けるテスターのチャックトップに応じて異なる。
【００２４】
図１（Ａ）及び（Ｂ）を参照するに、プローブ１０は、第１の方向（上下方向）に間隔をおいて第２の方向（左右方向）へ伸びる第１及び第２のアーム部１２，１４と、第１及び第２のアーム部１２，１４をそれらの先端部及び基端部においてそれぞれ連結する第１及び第２の連結部１６，１８と、第１の連結部１６の第１の方向における一方側（下縁側）に続く針先部２０と、第１及び第２のアーム部１２，１４に対し第１の方向における他方側（上縁側）に位置する取り付け部２２と、取り付け部２２から第１の方向における一方側に伸びて第２の連結部１８に続く延長部２４とを含む。
【００２５】
針先部２０は、第１の連結部１６の下縁部と第２のアーム部１４の先端側の下縁部とに一体的に続く台座部２６と、台座部２６の下縁部から突出する接触部２８とを備えている。
【００２６】
アーム部１２，１４、第１及び第２の連結部１６，１８、取り付け部２２、延長部２４及び台座部２６は、ほぼ同じ厚さ寸法を有する一体的な板の形状とされており、したがってプローブ１０は、全体的に平坦なブレードタイプのプローブとされている。
【００２７】
これに対し、接触部２８は、截頭円錐形又は截頭角錐形の形状を有しており、またそのような円錐形又は角錐形の底面に対応する箇所において台座部２６の下面に一体的に形成されている。
【００２８】
接触部２８は、上下方向に垂直の仮想的な水平面に対し０．１°から５°の角度θを有する先端面を有している。この先端面は、図示の例では、被検査体の電極に押圧される針先３０として作用する。
【００２９】
針先３０は、左右方向における第１の連結部１６の側（先端側）の箇所ほど上方側となる傾斜面とされている。しかし、針先３０を、上下方向に垂直の面としてもよいし、半球状の面としてもよい。また、針先３０を、面とする代わりに、先鋭な針先としてもよい。
【００３０】
第１のアーム部１２は、全体的に、適宜な曲率半径Ｒを有して上方に突出する弧状とされている。曲率半径Ｒは、上下方向における両アーム１２，１４の間隔Ｈ、左右方向における両連結部１６，１８の間隔Ｗ、及び第２の連結部１８から接触部２８の中心までの距離（アーム部の有効長さ寸法）Ｌと共に、針先３０を被検査体の電極に押圧したときの両者の擦り合わせ量に応じた値とすることができる。
【００３１】
プローブ１０の素材として、ニッケル・リン合金（Ｎｉ−Ｐ）、ニッケル・タングステン合金（Ｎｉ−Ｗ）、ロジウム（Ｒｈ）、燐青銅（ＢｅＣｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、パラジウム・コバルト合金（Ｐｄ−Ｃｏ）、及びパラジウム・ニッケル・コバルト合金（Ｐｄ−Ｎｉ−Ｃｏ）等の導電性金属材料をあげることができる。
【００３２】
プローブ１０は、その全体を上記材料で製作されていてもよい。しかし、接触部２８は、少なくとも台座部２６と異なる材料で製作してもよい。この場合、台座部２６は、両アーム部１２，１４、両連結部１６，１８、取り付け部２２及び延長部２４と同じ材料で製作されていてもよいし、異なる材料で製作されていてもよい。
【００３３】
プローブ１０の全体を同じ材料で製作するか、又は接触部２８を除く箇所を同じ材料で製作すれば、プローブ１０の製造が容易になる。
【００３４】
プローブ１０は、後に説明する図４から図８に示すように、プローブカードのような電気的接続装置８０に組み立てられる。電気的接続装置１０の詳細については後に説明するが、以下に簡単に説明する。
【００３５】
電気的接続装置８０は、テスターに接続される円形の配線基板８２と、配線基板８２の上面に配置された円形の補強板８４と、配線基板８２の下面に配置されたリング８６とを複数のボルト８８により重ねた状態に同軸的に取り付けている。円形の接続基板９０及び取り付け基板９２は、リング８６の内側にあって配線基板８２の下側に配置されている。
【００３６】
配線基板８２、リング８６、接続基板９０及び取り付け基板９２は、プローブ１０の支持部材すなわち支持基板として作用する。半導体ウエーハ上の集積回路のような被検査体９４は、検査ステージのチャックトップ９６の上に水平に配置されて、支持される。
【００３７】
プローブ１０は、取り付け部２２において取り付け基板９２に片持ち梁状に支持され、その状態で針先３０を被検査体９４の電極に押圧される。針先３０が被検査体９４の電極に押圧されると、オーバードライブがプローブ１０に作用して、両アーム部１２，１４が弾性変形して湾曲される。
【００３８】
しかし、プローブ１０は、第１のアーム部１２が全体的に弧状に湾曲されているから、弧状の第１のアーム部１２の機械的強度が大きくなる。このため、大きなオーバードライブがプローブ１０に作用しても、両アーム部１２，１４が折損することなく、両アーム部１２，１４が弾性変形して湾曲される。
【００３９】
上記の結果、オーバードライブ量を大きくして、被検査体９４の電極に対する針先３０の押圧力（針圧）を大きくすることができるから、被検査体９４の電極と針先３０とを良好な電気的接続状態にすることができる。
【００４０】
また、被検査体９４の通電試験には、上記のような構造を有する複数のプローブ１０が支持部材（特に、取り付け基板９２）に取り付けられる。この場合、隣り合うプローブ１０の上下方向における針先３０の位置が高精度に一致していなくても、オーバードライブ量を大きくして、上下方向における針先３０の位置が被検査体９４の電極に近いプローブほど大きく弾性変形させることにより、被検査体９４の電極と針先３０とを確実に接触させることができ、正確な検査をすることができる。
【００４１】
プローブ１０は、また、針先３０と異なる箇所に基準部６０を有している。基準部６０は、台座部２６の下面に凹所６２を形成して台座部２６から下方に突出する突出部６４を形成し、突出部６４の下端の平坦面部とされている。
【００４２】
突出部６４は、プローブ１０の厚さ方向に伸びており、また平坦面部すなわち基準部６０と、突出部６４の軸線に対して傾斜する左右一対の傾斜面部６６とにより、台形の断面形状とされている。
【００４３】
基準部（平坦面部）６０は、両傾斜面部６６の先端に続きかつ突出部６４の軸線に垂直とされており、また針先３０よりアーム部１４側に後退されており、さらにプローブ１０の厚さ方向に伸びる帯状とされている。
【００４４】
テスター又は被検査体に対する位置合わせ時、プローブ１０は針先３０の側（被検査体の側）からエリアセンサにより撮影される。プローブ１０の位置は、エリアセンサの出力信号を画像処理することにより、エリアセンサの撮影領域内における針先の座標位置として求められる。
【００４５】
プローブ１０は針先３０と異なる箇所に形成された基準部６０を備えているから、エリアセンサの出力信号を用いて基準部６０を周囲と容易に識別することができ、したがって基準部６０の座標位置も容易に決定することができる。また、基準部６０と針先３０との位置関係は不変であるから、針先３０の位置は基準部６０の位置から容易に決定することができる。
【００４６】
基準部６０は、これが平坦面部であるから、隣の少なくとも一部の領域と異なる下方への光反射特性を有する。このため、下方への反射光量の差を利用して、基準部６０を容易に決定することができる。
【００４７】
図２を参照するに、プローブ１０は、突出部６４をアーム部１４の左端部から下方に突出させて、突出部６４の下端の平坦面部を基準部６０としている。
【００４８】
図３を参照するに、プローブ１０は、プローブ１０は、台座部２６の下面に周囲領域６８を形成し、周囲領域６８の内側の領域を基準部７０としている。基準部７０は、下方への光反射特性が周囲領域６８より高く、また平坦面である。周囲領域６８は、光を乱反射させるような粗面とされている。
【００４９】
図示の例では、周囲領域６８は、円形であるが、三角形、四角形、星形等、他の形状であってもよい。また、周囲領域６８及び基準部７０を、台座部２６に形成する代わりに、アーム部１４の下面に形成してもよい。
【００５０】
基準部６０及び７０を平坦面とする代わりに、先鋭な箇所としてもよい。また、基準部６０及び７０は、下方への光反射特性が周囲又は隣の領域６６，６８と異なればよく、したがって基準部６０及び７０は、下方への光反射特性が周囲又は隣の領域６６，６８よりも、大きくしてもよいし、小さくしてもよい。
【００５１】
図２及び図３に示すいずれのプローブ１０も、図１に示すプローブと同じ作用効果を奏する。
【００５２】
図１，図２及び図３に示すいずれのプローブ１０も、基準部６０又は７０がその隣の領域に対し高い又は低い光反射特性を有していればよいが、基準部６０又は７０とその隣の領域との光反射特性が大きく異なることが好ましい。このため、基準部６０又は７０を平坦面とし、その周囲を、基準部に対し傾斜する傾斜面、光乱反射面、低光反射面等としてもよい。
【００５３】
本発明に係るプローブは、種々変更することができる。
【００５４】
例えば、アーム部１２の全体を弧状に湾曲させる代わりに、アーム部１４の全体を弧状に湾曲させてもよいし、アーム部１２又は１４の上下方向における一方側の縁部及びアーム部１２又は１４の上下方向における他方側の縁部の少なくとも１つを弧状としてもよい。また、アーム部１２又は１４を上方に弧状に湾曲させる代わりに、下方に弧状に湾曲させてもよい。
【００５５】
取り付け部２２はこれの厚さ方向に貫通する穴３２を左右方向に間隔をおいた複数箇所のそれぞれに有していてもよいし、取り付け部２２から上方に伸びる突起３４を左右方向に間隔をおいた複数箇所のそれぞれに形成してもよい。
【００５６】
取り付け部２２に穴３２を有するプローブ１０によれば、穴３２を取り付け基板９２に対するプローブ１０の位置決め穴として利用することができるから、取り付け基板９２へのプローブ１０の取り付け作業が容易になる。
【００５７】
また、取り付け部２２から上方に伸びる突起３４を備えるプローブ１０によれば、取り付け基板９２に突起嵌合用の穴を形成し、突起３４をその嵌合用穴に差し込むことにより、取り付け基板９２に対するプローブ１０の位置決めが行われるから、取り付け基板９２へのプローブ１０の取り付け作業がより容易になる。
【００５８】
左右方向における台座部２６の幅寸法を左右方向における第１の連結部１６の幅寸法と同じにしてもよいし、左右方向における第１及び第２のアーム部１２及び１４の長さ寸法を同じにしてもよい。特に、後者によれば、第２のアーム部１４がより弾性変形しやすくなるから、大きなオーバードライブをプローブ１０に作用させても、両アーム部１２，１４がより折損することなく、両アーム部１２，１４がより確実に弾性変形する。
【００５９】
接触部２８をその円錐形又は角錐形の底面に対応する箇所において台座部２６の下面に一体的に形成する代わりに、接触部２８を少なくとも台座部２６と別個に製作し、その接触部２８を円錐形又は角錐形の底面に対応する箇所において台座部２６の下面に半田のような導電性接着剤により接着してもよい。また、全体的に同じ厚さ寸法を有する台形をした板状の接触部３８としてもよい。
【００６０】
上記いずれのプローブも、例えば、ホトレジストの塗布、そのホトレジストへの露光、現像及びエッチング処理、並びに、電鋳法による電気メッキ処理を複数回行うことにより製造することができる。
【００６１】
次に、上記のプローブを用いた電気的接続装置の実施例について説明する。
【００６２】
図４から図８を参照するに、既に述べたように、電気的接続装置８０は、円形の配線基板８２と、配線基板８２の上面に配置された円形の補強板８４と、配線基板８２の下面に配置されたリング８６とを複数のボルト８８により重ねた状態に同軸的に取り付けている。リング８６の内側には、円形の接続基板９０と取り付け基板９２とが配線基板８２の下面に配置されている。
【００６３】
配線基板８２は、テスターの電気回路に接続される複数のテスタランド１００を上面の周縁部に有しており、また図示してはいないがテスターランドに個々に接続された複数の配線を下面又は内部に有している。
【００６４】
補強板８４は、中央部に円形の穴１０２を有していると共に、その周りに三日月状の複数の穴１０４を有している。リング８６は、取り付け基板９２を内側に受けるべく下端縁から中心に向けて水平に伸びる板状の複数（図示の例では、３つ）の保持部１０６をリング８６の軸線の周りに等角度間隔に有している。
【００６５】
配線基板８２、補強板８４及びリング８６は、これらを厚さ方向に貫通する複数の位置決めピン１０８により、相対的位置決めをされている。
【００６６】
接続基板９０は、これの下面に形成された複数の第１の接続ランド１１０を備えており、複数の接続子１１２を第１の接続ランド１１０に個々に半田付けし、接続座１１０を複数の配線（図示せず）により配線基板８２の配線に個々に接続している。
【００６７】
接続基板９０は、これが配線基板８２に押圧された状態に、ボルトのような適宜な止め具により配線基板８２に取り付けられている。配線基板８２、リング８６及び接続基板９０は、プローブ１１４のための支持基板を構成している。接続基板９０は、配線基板８２と一体的に製作してもよい。
【００６８】
各接続子１１２は、図示の例では、基準部６０を示していないが、図１に示すプローブであり、針先部２０が下方に向くと共にアーム部１２，１４が左右方向へ伸びる状態に、取り付け部２２において対応する第１の接続ランド１１０に片持ち梁状に半田付けされている。
【００６９】
取り付け基板９２は、円板状の主体部の上端外周部に円形のフランジ部を形成しており、下面に複数のプローブ１１４を取り付けている。取り付け基板９２は、プローブ１１４に個々に押圧される複数の第２の接続ランド１１６と、第２のプローブ１１４が個々に取り付けられる複数のプローブ座１１８と、第２の接続ランド１１６及びプローブ座１１８を一対一の関係に接続する複数の配線１２０とを備えている。
【００７０】
各プローブ１１４は、図示の例では、図３に示すプローブであり、針先部２０が下方に向くと共にアーム部１２，１４が横方向へ伸びる状態に状態に取り付け部２２において対応するプローブ座１１８に片持ち梁状に半田付けされている。
【００７１】
取り付け基板９２は、これが保持部１０６に載せられて第２の接続ランド１１６を対応する接続子１１２の針先部２０に押圧された状態に、ボルト１２４でリング８６の下面に等角度間隔に取り付けられた複数（図示の例では、３つ）の位置決め板１２２によりリング８６に組み付けられている。
【００７２】
各位置決め板１２２は、位置決めピン１２６によりリング８６ひいては配線基板８２に対し位置決められている。各位置決め板１２２は、取り付け基板９２を接続基板９０に向けて付勢するように、又はプローブ１１４が被検査体９４に押圧されたとき弾性変形するように、ばね板とすることができる。
【００７３】
取り付け基板９２は、複数のボルト１２８により位置決め板１２２の上面に取り付けられていると共に、位置決めピン１３０により各位置決め板１２２に対して位置決めされている。
【００７４】
取り付け基板９２は、接触子１１２により保持部１０６に向けて付勢されており、これにより各第２の接続ランド１１６及び対応する接続子１１２の針先部２０とは相対的に押圧されている。
【００７５】
位置決め板１２２はリング８６の軸線の周りに等角度間隔に位置されており、これにより接続子１１２への第２の接続ランド１１６の押圧力は同じとされている。
【００７６】
プローブ状の接続子１１２を、針先部２０が下方に突出する状態に第１の接続ランド１１０に取り付ける代わりに、針先部２０が上方に突出して第１の接続ランド１１０に針先部２０を接触する状態に、第２の接続ランド１１６に取り付けてもよい。
【００７７】
電気的接続装置８０は、図８に示すように、各プローブ１１４の針先３０を被検査体９４の電極に押圧される。これにより、オーバードライブが各プローブ１１４に作用して、両アーム部１２，１４が弾性変形して湾曲される。
【００７８】
接続基板９０と取り付け基板９２との間に片持ち梁状に配置されたプローブ状の複数の接続子１１２は、プローブ１１４と被検査体９４とが押圧されたときに、図１５に示すように、片持ち針状のアーム部１２，１４において湾曲されて、プローブ１１４と被検査体９４とが押圧されたときに接続基板９０ひいては配線基板８２に伝達される力の一部を吸収する。これにより、プローブ１１４と被検査体９４とが押圧されたときに接続基板９０及び配線基板８２に伝達される力が低減される。
【００７９】
特に、接続子１１２及びプローブ１１４として、アーム部１２，１４の少なくとも一方が、当該アーム部の全体、当該アーム部の上方側の縁部、及び当該アーム部の下方側の縁部の少なくとも１つを弧状とされているプローブ１０を用いれば、既に述べたように、弧状部分を有するアーム部の機械的強度が大きくなるから、大きなオーバードライブがプローブに作用しても、両アーム部が折損することなく、両アーム部が弾性変形して湾曲される。
【００８０】
その結果、オーバードライブ量を大きくして、被検査体９４の電極に対する針先の押圧力（針圧）を大きくすることができるから、被検査体９４の電極と針先とを良好な電気的接続状態にすることができるし、上下方向における針先の位置を高精度に一致させることなく、被検査体９４の電極と針先とを確実に接触させることができ、正確な検査をすることができる。
【００８１】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るプローブの第１の実施例を示す図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は針先部の底面図である。
【図２】本発明に係るプローブの第２の実施例を示す図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は底面図である。
【図３】本発明に係るプローブの第３の実施例を示すであって、（Ａ）は針先部の正面図、（Ｂ）は針先部の底面図である。
【図４】本発明に係るプローブを用いた電気的接続装置の一実施例を示す平面図である。
【図５】図４に示す電気的接続装置の底面図である。
【図６】図４に示す電気的接続装置の補強板及びリングを縦方向に断面して示す図である。
【図７】図４に示す電気的接続装置における接続基板及び取り付け基板の一部を拡大して示す図である。
【図８】図４に示す電気的接続装置においてプローブと被検査体とを相対的に押圧した状態を示す図である。
【符号の説明】
１０  プローブ
１２，１４  アーム部
１６，１８  連結部
２０  針先部
２２  取り付け部
２４  延長部
２６  台座部
２８，３８  接触部
３０  針先
３２  穴
３４  突起
６０，７０  基準部
６２  凹所
６４  突出部
６６  傾斜面部
６８  周囲領域
８０  電気的接続装置
８２  配線基板
８４  補強板
８６  リング
９０  接続基板
９２  取り付け基板
１００  テスターランド
１０６  保持部
１０８，１２６，１３０  位置決めピン
１１０，１１６  第１及び第２の接続ランド
１１２  接続子
１１４  プローブ
１１８  プローブ座
１２０  配線
１２２  位置決め板（板部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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