(57)【要約】【課題】集積した熱電対を備えると共に半導体製造装置を用いて形成した熱電変換デバイスに比して低コストで形成できる熱電変換デバイスを提供する。【解決手段】頂部１２ａと底部１２ｂとを有する断面波形状の絶縁性シート１２に対して互いに直列接続した複数の熱電対１３を形成する。各熱電対１３はその第１接点１９を頂部１２ａに位置させると共にその第２接点２０を底部１２ｂに位置させる。また、この熱電変換デバイスにおける複数の熱電対１３は真空蒸着法により形成した。即ち、熱電対１３を半導体製造装置を用いずに形成している。従って、半導体製造装置のような大がかりな装置を用いずに熱電変換デバイスを製造できるため、半導体製造装置を用いて熱電変換デバイスを製造する場合と比べて、低コストで熱電変換デバイスを製造できる。【選択図】  図３
2004281666.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
断面波形状とされていることにより複数の頂部と複数の底部とが形成された絶縁性シートと、
前記絶縁性シートに対して互いに直列接続された複数の熱電対とを備え、
前記絶縁性シートの前記頂部に前記各熱電対の第１接点を設け、
前記絶縁性シートの前記底部に前記各熱電対の第２接点を設けたことを特徴とする熱電変換デバイス。
【請求項２】
前記絶縁性シートには可撓性を備え、
前記絶縁性シートには、波打ち方向に対して直交する方向への可撓性を向上させるための可撓性向上用スリットが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の熱電変換デバイス。
【請求項３】
前記絶縁性シートの形状を維持する形状維持手段を備えたことを特徴とする請求項２に記載の熱電変換デバイス。
【請求項４】
前記形状維持手段は、前記絶縁性シートの両面に対してそれぞれ固定する一対の形状維持シートを備えたことを特徴とする請求項３に記載の熱電変換デバイス。
【請求項５】
前記形状維持手段は、前記熱電対よりも熱伝導率が低い特性を有すると共に前記両形状維持シート間に充填された形状維持部材を備えたことを特徴とする請求項４に記載の熱電変換デバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子デバイスの供給電源や補助電源、及び温度センサや赤外線センサ等として利用可能な素子であって、温接点と冷接点との温度差により発電するゼーベック効果を利用した熱電変換デバイスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、複数の熱電対を集積した熱電変換デバイスが提案されている。上記熱電変換デバイスの一例として、シリコン基板上に複数の熱電対を互いに直列接続した熱電変換デバイスが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１の熱電変換デバイスは、半導体製造装置を用いてＬＰＣＶＤ、ＡＰＣＶＤ、ドーピング、ＲＩＥ、蒸着、ウェットエッチング等の処理を経て製造されている。ＬＰＣＶＤは、「ｌｏｗ  ｐｒｅｓｓｕｒｅ  ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ」であり、ＡＰＣＶＤは、「ａｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃ  ｐｒｅｓｓｕｒｅ  ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ」であり、ＲＩＥ「ｒｅａｃｔｉｖｅ  ｉｏｎ  ｅｔｃｈｉｎｇ」である。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−５０８０１号公報（段落番号「００２０」〜「００２３」、第３図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、特許文献１の熱電変換デバイスにおいては、半導体製造装置を用いるため、製造工程が複雑でかつコスト高となってしまうという問題があった。このため、半導体製造装置を用いずにかつ集積した熱電対を有する熱電変換デバイスが望まれていた。
【０００５】
本発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、その目的は集積した熱電対を備えると共に半導体製造装置を用いて形成した熱電変換デバイスに比して低コストで形成できる熱電変換デバイスを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、断面波形状とされていることにより複数の頂部と複数の底部とが形成された絶縁性シートと、前記絶縁性シートに対して互いに直列接続された複数の熱電対とを備え、前記絶縁性シートの前記頂部に前記各熱電対の第１接点を設け、前記絶縁性シートの前記底部に前記各熱電対の第２接点を設けたことを要旨とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の熱電変換デバイスにおいて、前記絶縁性シートには可撓性を備え、前記絶縁性シートには、波打ち方向に対して直交する方向への可撓性を向上させるための可撓性向上用スリットが設けられていることを要旨とする。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の熱電変換デバイスにおいて、前記絶縁性シートの形状を維持する形状維持手段を備えたことを要旨とする。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の熱電変換デバイスにおいて、前記形状維持手段は、前記絶縁性シートの両面に対してそれぞれ固定する一対の形状維持シートを備えたことを要旨とする。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の熱電変換デバイスにおいて、前記形状維持手段は、前記熱電対よりも熱伝導率が低い特性を有すると共に前記両形状維持シート間に充填された形状維持部材を備えたことを要旨とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図１０に従って説明する。
図１に示すように、本実施形態の熱電変換デバイス１１は、断面波形状をなす絶縁性シート１２、複数の熱電対１３（図２参照）、形状維持シート１４，１５、及び発泡ウレタン１６を備えている。前記形状維持シート１４，１５は形状維持手段に相当し、前記発泡ウレタン１６は形状維持手段及び形状維持部材に相当する。前記絶縁性シート１２は可撓性を備え、同絶縁性シート１２は、例えばポリイミド樹脂から形成されている。前記ポリイミド樹脂は加工性がよく、耐熱性が高く、一般的な高分子材料と比較して熱伝導率が同じレベル、即ち、熱伝導率が低い特性を備えている。前記絶縁性シート１２は、図６に示す平面視長方形状をなすシートから構成されている。また、図３に示すように前記絶縁性シート１２は一対の短手辺Ｓと一対の長手辺Ｌを備えている。
【００１１】
図４及び図５に示すように、本実施形態では、絶縁性シート１２は断面波形状とされていることにより、同絶縁性シート１２の一面（以下、熱電対形成面Ｍ１という）には５つの頂部１２ａと、６つの底部１２ｂとが形成されている。前記頂部１２ａと前記底部１２ｂは、連結部１２ｃを介して連結されている。前記各頂部１２ａ、前記各底部１２ｂ、及び前記連結部１２ｃは、前記絶縁性シート１２の短手辺Ｓに沿って延びるように形成されている。前記頂部１２ａ、前記底部１２ｂ、及び前記連結部１２ｃは平面状に形成されている。即ち、この平面状をなす各頂部１２ａと、平面状をなす各底部１２ｂと、平面状をなす各連結部１２ｃとにより断面波形状の絶縁性シート１２が構成されている。
【００１２】
なお、本発明でいう断面波形状とは、図１５に示すような断面がサインカーブをなすものや図１６に示すような断面がジグザグ状をなすものも含むものとする。
【００１３】
図３に示すように、絶縁性シート１２の熱電対形成面Ｍ１には複数の熱電対１３が物理蒸着法としての真空蒸着法により形成されている。前記各熱電対１３は、ニッケル（Ｎｉ）からなる第１金属線１７と、クロム（Ｃｒ）からなる第２金属線１８とをそれぞれ備えている。前記各熱電対１３の中央部は長手辺Ｌに平行に形成され、前記各熱電対１３の両端部は短手辺Ｓに平行に形成されている。
【００１４】
各熱電対１３において、第１金属線１７の一端及び第２金属線１８の一端をそれぞれ第１接点１９といい、その第１接点１９同士が互いに接続されている。また、各熱電対１３において、第１金属線１７の他端及び第２金属線１８の他端をそれぞれ第２接点２０という。そして、各熱電対１３における第１金属線１７の第２接点２０と、隣接する他の熱電対１３における第２金属線１８の第２接点２０とが接続されている。
【００１５】
前記絶縁性シート１２において、一つの頂部１２ａに対して複数（本実施形態では１１個）の熱電対１３が跨るように配置されている。詳しく述べると、各熱電対１３の第１接点１９は、頂部１２ａに位置するように配置され、各熱電対１３の両第２接点２０は前記頂部１２ａに対して隣り合う両底部１２ｂにそれぞれ配置されている。そして、一つの頂部１２ａに対して設けられた複数の熱電対１３は、互いに直列接続されて熱電対群２１を構成している。前記熱電対群２１は平面視において蛇行状をなすように形成されている。さらに、隣り合う熱電対群２１同士が互いに直列接続されている。言い換えると、前記絶縁性シート１２の熱電対形成面Ｍ１においては、全ての第１金属線１７と全ての第２金属線１８とが交互に直列接続されて、一本の金属線を構成している。
【００１６】
前記絶縁性シート１２において、前記熱電対１３が設けられていない部位には、複数の可撓性向上用スリット２２が形成されている。前記可撓性向上用スリット２２は長手辺Ｌに平行となるように形成されている。即ち、可撓性向上用スリット２２は波打ち方向へ向けて形成されている。前記複数の可撓性向上用スリット２２のうち短手辺Ｓに臨む可撓性向上用スリット２２は、連結部１２ｃ、頂部１２ａ、連結部１２ｃ、及び短手辺Ｓを有する底部１２ｂに掛けて形成されている。また、上記短手辺Ｓに臨んだ可撓性向上用スリット２２以外の残りの可撓性向上用スリット２２は、連結部１２ｃ、頂部１２ａ、連結部１２ｃ、底部１２ｂ、連結部１２ｃ、頂部１２ａ、連結部１２ｃに掛けて形成されている。
【００１７】
前記形状維持シート１４，１５は、非導電性材料であり可撓性及び伸縮性を備えている。前記形状維持シート１４，１５は、例えばシリコーン樹脂から形成されている。前記シリコーン樹脂は、一般的な高分子材料に比較して熱伝導率が一桁以上高い値を有している。また、形状維持シート１４，１５は平面状とされている。前記絶縁性シート１２の熱電対形成面Ｍ１とは反対の面（以下、下面Ｍ２という）において、各底部１２ｂと対応する部位が前記形状維持シート１４に対して非導電性接着剤にてそれぞれ固定されている。この下面Ｍ２における前記各底部１２ｂと対応する部位は、それぞれ平面とされている。また、前記絶縁性シート１２の熱電対形成面Ｍ１において、前記各頂部１２ａに対応する部位が前記形状維持シート１５に対して非導電性接着剤にてそれぞれ固定されている。この熱電対形成面Ｍ１における前記各頂部１２ａと対応する部位は、それぞれ平面とされている。
【００１８】
即ち、熱電変換デバイス１１は、この絶縁性シート１２、形状維持シート１４，１５により段ボールと同様の断面構造とされている。
両形状維持シート１４，１５間には、前記発泡ウレタン１６が充填されている。前記発泡ウレタン１６は弾性を備えている。前記発泡ウレタン１６は、熱電対１３及び絶縁性シート１２よりも熱伝導率が低い特性を備えていると共に非導電性の特性を備えている。
【００１９】
なお、本実施形態では、前記熱電変換デバイス１１の厚さｔは１ｍｍとされている（図２参照）。また、前記形状維持シート１４，１５は、伸縮性（図２における左右方向への伸縮性）を備えているため、熱電変換デバイス１１全体が撓み変形可能とされている。
【００２０】
次に、本実施形態のように構成された熱電変換デバイス１１の製造方法について説明する。
まず、図６に示す平面状をなす絶縁性シート１２の熱電対形成面Ｍ１にニッケル層を物理蒸着法としての真空蒸着法により形成し、そのニッケル層をウェットエッチング等にて所定のパターンに形成することにより複数の四角状の第１金属膜３０を形成する（図７参照）。詳しく述べると、絶縁性シート１２の熱電対形成面Ｍ１には、複数の第１金属膜３０が形成されている部位と第１金属膜３０が形成されていない部位とによりチェック柄状となるように前記各第１金属膜３０をそれぞれ形成する。
【００２１】
次に、前記第１金属膜３０上にマスクを施し、そのマスク上及び露出している熱電対形成面Ｍ１に対してクロム層を真空蒸着法により形成し、その後、前記マスクを除去することにより、同マスク上のクロム層も共に除去される。すると、前記露出していた熱電対形成面Ｍ１には第２金属膜３１が形成される。前記各第２金属膜３１がそれぞれ形成された際、前記第１金属膜３０と前記第２金属膜３１とがなす境界部は互いに接続される。この結果、絶縁性シート１２の熱電対形成面Ｍ１側には、図７に示すように、前記複数の第１金属膜３０と、前記複数の第２金属膜３１とからなるチェック柄が形成される。
【００２２】
そして、図８に示すように、前記各第１金属膜３０及び前記各第２金属膜３１に対してウェットエッチングを施して、第１金属線１７及び第２金属線１８を形成する。即ち、このウェットエッチングを施すことにより、第１金属膜３０と第２金属膜３１との接続部分が制限され、この結果、第１金属膜３０と第２金属膜３１とが蛇行状に接続される。
【００２３】
この第１金属膜３０と第２金属膜３１とが蛇行状に連結形成する際、同図に示すように蛇行状の列を複数列形成するとともに、隣の列とは線対称に形成する。すなわち、図８に示すように蛇行状をなす部位は、隣接した他の蛇行状をなす列の部位とは半ピッチずれて配置されている。そして、この第１金属膜３０、第２金属膜３１が第１金属線１７、第２金属線１８にそれぞれ相当する。
【００２４】
以下、上記第１金属線１７（第１金属膜３０）及び第２金属線１８（第２金属膜３１）を形成する工程を、熱電対形成工程という。
次に、図９に示すように、絶縁性シート１２に対して打ち抜き加工（せん断加工）により可撓性向上用スリット２２を形成する（以下、この工程をスリット形成工程という）。
【００２５】
そして、図１０に示すような公知の一対の成形プレス型３５にて、前記絶縁性シート１２を断面波形状に成形する（以下、この工程をシート成形工程という）。この結果、図９に示す絶縁性シート１２が、図３に示す絶縁性シート１２となる。次に、絶縁性シート１２の下面Ｍ２における底部１２ｂと対応する部位を形状維持シート１４に対して非導電性接着剤にて固定し、熱電対形成面Ｍ１における頂部１２ａに対応する部位を形状維持シート１５に対して非導電性接着剤にて固定する（以下、この工程をサンドイッチ工程という）。そして、両形状維持シート１４，１５間に発泡ウレタン１６を充填する（以下、この工程を充填工程という）。
【００２６】
従って、本実施形態の熱電変換デバイス１１によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）本実施形態では、頂部１２ａと底部１２ｂとを有する断面波形状の絶縁性シート１２に対して互いに直列接続した複数の熱電対１３を形成した。各熱電対１３はその第１接点１９を頂部１２ａに位置させると共にその第２接点２０を底部１２ｂに位置させるように形成した。また、この熱電変換デバイス１１における複数の熱電対１３は真空蒸着法により形成した。即ち、熱電対１３を半導体製造装置を用いずに形成している。従って、集積した熱電対１３を半導体製造装置のような大がかりな装置を用いずに形成できるため、半導体製造装置を用いて熱電変換デバイスを製造する場合と比べて、低コストで熱電変換デバイス１１を製造することができる。
【００２７】
（２）絶縁性シート１２は、１ｃｍ角、１ｍ角或いはそれ以上の面積となるように形成できる。即ち絶縁性シート１２は自由な大きさで製造することが容易である。そして、絶縁性シート１２の大きさを変更することにより、絶縁性シート１２の熱電対形成面Ｍ１に形成可能な熱電対１３の数を容易に変更できる。従って、熱電変換デバイス１１は熱電変換量を容易に変更することができる。
【００２８】
（３）本実施形態では、各第１接点１９を各頂部１２ａにそれぞれ形成し、各第２接点２０を各底部１２ｂにそれぞれ形成することにより、各第１接点１９と各第２接点２０とを絶縁性シート１２の高さ方向（図２における上下方向）において互いに離間させている。このように、各第１接点１９と各第２接点２０とを絶縁性シート１２の高さ方向において離間させることにより熱電変換を効率よく行うことができる。
【００２９】
（４）本実施形態では、絶縁性シート１２及び形状維持シート１４，１５は可撓性を備えた。また、熱電変換デバイス１１全体が撓み変形可能となるように、形状維持シート１４，１５は伸縮性を備えた。ところで、特許文献１の熱電変換デバイスにおいては、シリコンからなる基板上に熱電対群を形成していた。このシリコンからなる基板は可撓性がないため、この特許文献１の熱電変換デバイスは、例えば湾曲した設置場所に対してぴったりと接触させることができなかった。しかしながら、本実施形態の熱電変換デバイス１１は、その全体が撓み変形可能なため湾曲した設置場所に対してもぴったりと接触させることができる。このため、熱電変換デバイス１１の利用範囲を広げることができる。
【００３０】
（５）また、絶縁性シート１２は断面波形状をなすと共に可撓性を備えているため、頂部１２ａと連結部１２ｃとの連結点を中心に、その頂部１２ａとその連結部１２ｃとがなす角度を変化させることができる。加えて、底部１２ｂと連結部１２ｃとの連結点を中心に、その底部１２ｂとその連結部１２ｃとがなす角度を変化させることができる。このように、頂部１２ａと連結部１２ｃとがなす角度の変更と、底部１２ｂと連結部１２ｃとがなす角度の変更とを組み合わせることにより、絶縁性シート１２は両短手辺Ｓを支点として自在に湾曲させることができる。
【００３１】
（６）本実施形態では、絶縁性シート１２には、波打ち方向に対して直交する方向への可撓性を向上させるための可撓性向上用スリット２２を形成した。即ち、前記可撓性向上用スリット２２は長手辺Ｌに平行となるように形成した。従って、絶縁性シート１２は、短手辺Ｓに沿う方向への湾曲させることができる。
【００３２】
（７）本実施形態では、絶縁性シート１２の形状を維持するために、絶縁性シート１２の両面に対して形状維持シート１４，１５をそれぞれ固定した。即ち、前記絶縁性シート１２及び前記形状維持シート１４，１５により段ボールと同様の構造とした。従って、絶縁性シート１２は型くずれを起こしにくい。この結果、形状維持シート１４，１５が変形していない（動いていない）際に、絶縁性シート１２の高さ方向（図２における上下方向）における各第１接点１９と各第２接点２０との距離を維持することができ、熱電変換の効率を低下させにくい。
【００３３】
なお、本実施形態でいう「形状維持」及び「形状を維持する」とは、形状維持シート１４，１５及び発泡ウレタン１６が変形していない（動いていない）状態において、絶縁性シート１２の形状を変化させないことをいう。なお、「形状維持シート１４，１５及び発泡ウレタン１６が変形していない（動いていない）」とは、形状維持シート１４，１５及び発泡ウレタン１６が撓み変形、弾性変形、伸縮変形、及び熱膨張変形を起こしていないことをいう。
【００３４】
（８）また、絶縁性シート１２を形状維持シート１４，１５に接着固定する際には、下面Ｍ２における各底部１２ｂと対応する部位を形状維持シート１４に固定し、熱電対形成面Ｍ１における各頂部１２ａに対応する部位を形状維持シート１５に固定した。前記下面Ｍ２における各底部１２ｂと対応する部位、及び前記熱電対形成面Ｍ１における各頂部１２ａと対応する部位は、それぞれ平面とされているため、接着面積を十分に確保できる。従って、絶縁性シート１２を形状維持シート１４，１５に対して確実に固定できる。
【００３５】
（９）さらに、熱電変換デバイス１１を構成する絶縁性シート１２及び形状維持シート１４，１５は可撓性を備えており、熱電変換デバイス１１の厚さは１ｍｍとした。また、熱電変換デバイス１１全体が撓み変形可能となるように、形状維持シート１４，１５は伸縮性を備えた。従って、熱電変換デバイス１１は紙のような可撓性を得ることができる。
【００３６】
（１０）本実施形態では、両形状維持シート１４，１５間に発泡ウレタン１６を充填した。従って、絶縁性シート１２は型くずれをより一層起こしにくい。即ち、熱電変換デバイス１１を湾曲した設置場所に対してぴったりと接触させた際に、両形状維持シート１４，１５間に発泡ウレタン１６が充填されていることにより、形状維持シート１４と形状維持シート１５とがなす距離が狭くなりにくい。このため、第１接点１９と第２接点２０とがなす距離も狭くなりにくく、熱電変換デバイス１１の熱電変換効率を低下させにくい。また、前記発泡ウレタン１６は熱電対１３及び絶縁性シート１２よりも熱伝導率が低い特性を備えているため、熱電変換デバイス１１の熱電変換効率を低下させにくい。
【００３７】
（１１）本実施形態では、絶縁性シート１２に対して互いに直列接続した複数の熱電対１３を真空蒸着法にて形成する熱電対形成工程と、絶縁性シート１２を断面波形状に成形するシート成形工程とを備えた製造工程により絶縁性シート１２を製造した。真空蒸着法を行う場合には半導体製造装置のような大がかりで高価な装置を用いる必要がなく、かつこの真空蒸着法により集積した熱電対１３を得られる。従って、集積した熱電対１３を備えると共に半導体製造装置を用いて熱電変換デバイスを製造する場合と比べて、低コストで熱電変換デバイス１１を製造することができる。
【００３８】
（１２）本実施形態では、シート成形工程を行う前に熱電対形成工程を行った。即ち、絶縁性シート１２を断面波形状に成形する前に、平面状をなす絶縁性シート１２に対して熱電対１３を形成するため、真空蒸着法を良好に行うことができる。
【００３９】
（１３）本実施形態では、シート成形工程を行う前にスリット形成工程を行った。従って、平面状をなす絶縁性シート１２に対して可撓性向上用スリット２２を形成した後で絶縁性シート１２を断面波形状に成形するため、絶縁性シート１２が型くずれすることなく可撓性向上用スリット２２を良好に形成できる。
（他の実施形態）
なお、上記実施形態は以下のような他の実施形態に変更して具体化してもよい。
【００４０】
・前記実施形態では、熱電対１３を真空蒸着法にて形成していた。これに限らず、塗布法や、メッキ法や、物理蒸着法としてのスパッタリング法にて熱電対１３を形成してもよい。
【００４１】
・前記実施形態では、熱電対形成工程、スリット形成工程、シート成形工程の順で熱電変換デバイス１１を製造していた。これに限らず、どの順で工程を実施してもよい。即ち、熱電対形成工程、シート成形工程、スリット形成工程の順。スリット形成工程、熱電対形成工程、シート成形工程の順。スリット形成工程、シート成形工程、熱電対形成工程の順。シート成形工程、熱電対形成工程、スリット形成工程の順。シート成形工程、スリット形成工程、熱電対形成工程の順。
【００４２】
・前記実施形態では、絶縁性シート１２を平面状から断面波形状にするために、一対の成形プレス型３５を用いていた。これに限らず、図１１に示すように一対の成形ローラ３６にて、前記絶縁性シート１２を断面波形状に成形してもよい（この工程は、シート成形工程に相当する）。このようにすると、短手辺Ｓ同士が互いに接続された複数の絶縁性シート１２においても連続して断面波形状に成形できる。
【００４３】
・前記実施形態では、前記形状維持シート１４，１５は平面状とされていた。これに限らず、形状維持シート１４，１５における互いの離間距離がどの部位でも同じとなるように、かつ両形状維持シート１４，１５を湾曲するようにして熱電変換デバイス１１を構成してもよい。この場合、形状維持シート１４，１５は可撓性でなく弾性又は剛性を備えていてもよい。
【００４４】
・前記実施形態では、絶縁性シート１２、及び形状維持シート１４，１５の３つが可撓性を備えるように構成していた。これに限らず、前記３つの部材に剛性又は可撓性を備えるように構成してもよい。
【００４５】
・前記実施形態では、絶縁性シート１２の形状を維持するために、絶縁性シート１２の両面に対して形状維持シート１４，１５をそれぞれ固定し、かつ両形状維持シート１４，１５間に発泡ウレタン１６を充填していた。これに限らず、前記両形状維持シート１４，１５を省略して熱電変換デバイス４１を構成してもよい。即ち、図１２に示すように、この熱電変換デバイス４１における絶縁性シート１２は断面波形状とされていることにより、その両面に複数の溝部４０を備えている。そして、形状維持手段及び形状維持部材としての前記発泡ウレタン１６をその各溝部４０に充填する。この場合における「形状維持」及び「形状を維持する」とは、発泡ウレタン１６が変形していない（動いていない）状態において、絶縁性シート１２の形状を変化させないことをいう。なお、「発泡ウレタン１６が変形していない（動いていない）」とは、発泡ウレタン１６が弾性変形、伸縮変形、及び熱膨張変形を起こしていないことをいう。
【００４６】
・前記実施形態の熱電変換デバイス１１において、発泡ウレタン１６を省略してもよい。この場合における「形状維持」及び「形状を維持する」とは、形状維持シート１４，１５が変形していない（動いていない）状態において、絶縁性シート１２の形状を変化させないことをいう。なお、「形状維持シート１４，１５が変形していない（動いていない）」とは、形状維持シート１４，１５が撓み変形、伸縮変形、及び熱膨張変形を起こしていないことをいう。
【００４７】
・前記実施形態の熱電変換デバイス１１において、発泡ウレタン１６の代わりに、熱電対１３及び絶縁性シート１２よりも熱伝導率が低い特性を備えると共に非導電性の特徴を備える材料（形状維持手段及び形状維持部材に相当）ならどのようなものを用いてもよい。例えば、形状維持手段及び形状維持部材としての合成ゴムを用いてもよい。
【００４８】
・前記実施形態では、絶縁性シート１２の形状を維持するために、絶縁性シート１２の両面に対して形状維持シート１４，１５をそれぞれ固定し、かつ両形状維持シート１４，１５間に発泡ウレタン１６を充填していた。しかしながら、図１３に示すように、前記形状維持シート１４，１５及び発泡ウレタン１６を省略して熱電変換デバイス５１を構成してもよい。このように構成すると、熱電変換デバイス５１は、前記第１実施形態の熱電変換デバイス１１に比してより一層フレキシブルとなる。また、この場合、絶縁性シート１２は可撓性を備えるのではなく、弾性又は剛性を備えるようにしてもよい。さらに、可撓性向上用スリット２２を省略してもよい。
【００４９】
・前記実施形態では、絶縁性シート１２に対して可撓性向上用スリット２２を形成していたが省略してもよい。この際、熱電対形成工程の後に、シート成形工程を行って熱電変換デバイス１１を製造してもよいし、シート成形工程の後に、熱電対形成工程を行って熱電変換デバイス１１を製造してもよい。
【００５０】
・前記実施形態では、絶縁性シート１２の絶縁性シート１２の一面に複数の熱電対１３を形成して熱電変換デバイス１１を構成していた。これに限らず、図１４に示すように、絶縁性シート１２の両面にそれぞれ互いに互いに直列接続された複数の熱電対１３を形成して熱電変換デバイス６１を構成してもよい。
【００５１】
・前記実施形態では、第１金属線１７をニッケル（Ｎｉ）、第２金属線１８をクロム（Ｃｒ）から構成していた。これに限らず、前記第１金属線１７及び前記第２金属線１８の材料（金属）は、熱電対として機能するものであれば、他の材料（金属）を採用してもよい。即ち、前記第１金属線１７及び前記第２金属線１８は、互いに異なる材料（金属）で熱電変換が行える材料（金属）であればどのような材料（金属）を採用してもよい。特に、ゼーベック係数の差が大きな２種類の材料（金属）を用いるほど、熱電対１３の出力電圧（熱電変換効率）は大きくなる。また、熱電対１３を構成する一方の材料及び他方の材料は、半導体、合金、酸化物でもよい。
【００５２】
次に、上記実施形態及び他の実施形態から把握できる技術的思想について以下に追記する。
（イ）前記絶縁性シートは断面波形状とされていることにより、その両面に複数の溝部を備え、前記形状維持手段は前記熱電対よりも熱伝導率が低い特性を有すると共に前記溝部に充填された形状維持部材を備えたことを特徴とする請求項３に記載の熱電変換デバイス。
【００５３】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、集積した熱電対を備えると共に半導体製造装置を用いて形成した熱電変換デバイスに比して低コストで形成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態における熱電変換デバイスの斜視図。
【図２】本実施形態における熱電変換デバイスの正面図。
【図３】本実施形態における絶縁性シート及び熱電対の平面図。
【図４】本実施形態における絶縁性シートの斜視図。
【図５】図４におけるＡ−Ａ線矢視の部分断面図。
【図６】本実施形態における熱電変換デバイスの製造工程を示す説明図。
【図７】本実施形態における熱電変換デバイスの製造工程を示す説明図。
【図８】本実施形態における熱電変換デバイスの製造工程を示す説明図。
【図９】本実施形態における熱電変換デバイスの製造工程を示す説明図。
【図１０】公知の成形プレス型を示す概略斜視図。
【図１１】公知の成形ローラを示す概略斜視図。
【図１２】他の実施形態における熱電変換デバイスを示す正面図。
【図１３】他の実施形態における熱電変換デバイスを示す正面図。
【図１４】他の実施形態における熱電変換デバイスを示す正面図。
【図１５】断面波形状の概念を示す説明図。
【図１６】断面波形状の概念を示す説明図。
【符号の説明】
１１，４１，５１，６１…熱電変換デバイス、１２…絶縁性シート、
１２ａ…頂部、１２ｂ…底部、１３…熱電対、
１４，１５…形状維持手段としての形状維持シート、
１６…形状維持手段及び形状維持部材としての発泡ウレタン、
１９…第１接点、２０…第２接点、２２…可撓性向上用スリット、４０…溝部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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