(57)【要約】【課題】排気孔が板ガラスの周縁部に設けられたガラスパネルにおいて、減圧層の減圧を安定して行うことができる減圧処理装置を提供する。【解決手段】排気カップ１００は、ＰＤＰ２００の背面板ガラス２０３への接触面においてほぼ全面に亘って開口する差動排気部１０２と、同じく本体１０１の角部１０３の近傍において接触面に開口する本排気部１０４と、角部１０３において本体１０１から下方に向けて突出して形成されたストッパ１０７を備え、排気カップ１００が背面板ガラス２０３に装着される際に、ストッパ１０７は背面板ガラス２０３の角部における周縁に係合し、本排気部１０４は背面板ガラス２０３の角部において配設された封止部３００を内包し、差動排気部１０２の角部１０３の近傍における外周縁形状は背面板ガラス２０３の角部近傍の周縁形状に沿うと共に、本排気部１０４の角部１０３の近傍における外周縁形状は背面板ガラス２０３の角部近傍の周縁形状に沿う。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の板ガラス、該複数の板ガラスの間に設けられた減圧層、及び前記板ガラスの周縁部に配設されて前記減圧層と連通する排気孔を有するガラスパネルの前記板ガラスに接触する接触面と、該接触面に開口し且つ前記排気孔と対向する減圧室とを備える減圧処理装置において、
前記減圧室の前記接触面における外周縁形状の少なくとも一部が、前記接触する板ガラスの周縁形状に沿うことを特徴とする減圧処理装置。
【請求項２】
前記減圧室の前記接触面における外周縁形状の少なくとも一部が角部を成し、該角部は少なくとも互いに直交する２本の直線を有することを特徴とする請求項１記載の減圧処理装置。
【請求項３】
前記減圧室の外側に設けられ且つ前記接触面に開口する他の減圧室の前記接触面における外周縁形状の少なくとも一部が前記接触する板ガラスの周縁形状に沿うことを特徴とする請求項１又は２記載の減圧処理装置。
【請求項４】
前記他の減圧室の前記接触面における外周縁形状の少なくとも一部が角部を成し、該角部は少なくとも互いに直交する２本の直線を有することを特徴とする請求項３記載の減圧処理装置。
【請求項５】
前記ガラスパネルに装着される際に、前記板ガラスの周縁と係合する係合部を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の減圧処理装置。
【請求項６】
前記接触面における前記他の減圧室の開口面積が５００ｍｍ２以上であることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載の減圧処理装置。
【請求項７】
前記開口面積が２０００ｍｍ２以上であることを特徴とする請求項６記載の減圧処理装置。
【請求項８】
前記他の減圧室の容積は２０００ｍｍ３以上であることを特徴とする請求項３乃至７のいずれか１項に記載の減圧処理装置。
【請求項９】
前記容積は５０００ｍｍ３以上であることを特徴とする請求項８記載の減圧処理装置。
【請求項１０】
前記接触面において、前記他の減圧室は前記減圧室を囲む環状を呈し、前記減圧室の外周縁と前記他の減圧室の内周縁との距離が２．０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項３乃至９のいずれか１項に記載の減圧処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、減圧処置装置に関し、特に、複数の板ガラスと、該板ガラスの間に形成された減圧層とを有するガラスパネルの減圧処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、真空ガラス、例えば「スペーシア」（登録商標）やプラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」という。）等に好適な基本構造を有するガラスパネルとして、図７（ａ）及び（ｂ）に示すような対向する２枚の板ガラス７００，７０１と、該板ガラス７００，７０１の間に形成される減圧層７０２と、該減圧層７０２の周縁をシールする低融点ガラスからなる周縁シール材７０３と、板ガラス７００を貫通する穴に一端が埋め込まれ、該一端側において低融点ガラスからなるシール材７０４によって板ガラス７００に溶着される排気管７０５とを備えるガラスパネル７０６が知られている。このガラスパネル７０６における減圧層７０２は、真空ガラスにおいては真空とされ、ＰＤＰにおいては減圧された後、キセノン（Ｘｅ）やネオン（Ｎｅ）等の希ガスが充填される。
【０００３】
そして、このガラスパネル７０６は、ペアリングされた板ガラス７００，７０１の周縁部に塗布された周縁シール材７０３と、板ガラス７００及び排気管７０５の接合部に塗布されたシール材７０４とを焼成によって溶融して板ガラス７００，７０１を接合し且つ排気管７０５を板ガラス７００に溶着した後、排気管７０５を介して減圧層７０２を減圧し、さらに排気管７０５の他端を封じ切ることによって作製される。
【０００４】
減圧層７０２の減圧の際には、排気管７０５の他端にニトリルゴム（ＮＢＲ）等からなるＯ−リング７０７を介して減圧管７０８が接続される。減圧管７０８は、一端において径が拡大されて形成されたゲッタ室７０９を有する円管であり、その他端は不図示のターボ分子ポンプ（以下「ＴＭＰ」という。）に接続され、ゲッタ室７０９内に非蒸発型ゲッタ７１０を有する（図７（ｂ））。そして、ガラスパネル７０６及び減圧管７０８を不図示の炉内において所定温度まで加熱して減圧層７０２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させると共に、非蒸発型ゲッタ７１０を活性化し、その後、ＴＭＰを稼働させて上記ガス及び空気を減圧層７０２から除去して減圧層７０２を減圧すると共に、活性化された非蒸発型ゲッタ７１０によって減圧管７０８を流れる上記ガスを吸着して除去するが、Ｏ−リング７０７は高温に耐えることができないため、非蒸発型ゲッタ７１０を高温で活性化することができず、減圧層７０２の減圧の効率低下を招くという問題があり、特に、この効率低下により、減圧層７０２の減圧は長時間となるため、ＰＤＰにおいては蛍光体膜の劣化等を招くという問題があった。
【０００５】
そして、近年、この長時間に亘る減圧層７０２の減圧を避けるため、Ｏ−リングを使用しない全金属製の排気装置が減圧層７０２の減圧に用いられるようになった。
【０００６】
この全金属製の排気装置である排気カップ８００は、図８（ａ）に示すように、ステンレスからなる円柱であって、その中心軸上を穿孔して形成された本排気部８０１と、該本排気部８０１と連通する金属製の本排気系８０２と、溝状の差動排気部８０３と、該差動排気部８０３と連通する金属製の差動排気系８０４と、本排気部８０１内に配設される横置きのコイル状のフィラメント８０５とを備え、図８（ｂ）に示すように、本排気部８０１は、板ガラス７００に接触する接触面においてそのほぼ中央に設けられ、差動排気部８０３は、同じく上記接触面において本排気部８０１を囲うように排気カップ８００の中心軸と同心円上に設けられる。
【０００７】
そして、減圧層７０２の減圧の際において、排気カップ８００は、フィラメント８０５がガラスパネル７０６の排気管７０５に対向するように、板ガラス７００上に装着される。このとき、差動排気部８０３は不図示のロータリーポンプ（以下「ＲＰ」という。）によって減圧されるので、排気カップ８００は板ガラス７００に吸着する（例えば、特許文献参照。）。
【０００８】
この排気カップ８００では、Ｏ−リングを使用しないため、非蒸発型ゲッタを高温で活性化することができ、減圧層７０２の減圧における効率を向上することができる。
【０００９】
【特許文献】
特表２００２−５３０１８４号公報（第１図）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
通常、ＰＤＰとして使用されるガラスパネル７０６では、図９に示すように、板ガラス７０１における表示部９００に対応して板ガラス７００の内面に設けられたリブ（不図示）の形成範囲９０１に排気管７０５を配設することができないため、排気管７０５は板ガラス７００における周縁部、特に角部に設けられる。したがって、排気管７０５から板ガラス７００の端部までの距離は非常に短いものとなる。
【００１１】
しかしながら、上述した排気カップ８００は、その接触面において円形を呈するため、排気カップ８００を排気管７０５が板ガラス７００の角部に設けられたガラスパネル７０６に装着した場合、本排気部８０１及び差動排気部８０３が板ガラス７００から脱落して排気カップ８００を板ガラス７００に吸着させることができず、当該ガラスパネル７０６において、安定して減圧層７０２を減圧することができないという問題がある。
【００１２】
本発明の目的は、排気孔が板ガラスの周縁部に設けられたガラスパネルにおいて、減圧層の減圧を安定して行うことができる減圧処理装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の減圧処理装置は、複数の板ガラス、該複数の板ガラスの間に設けられた減圧層、及び前記板ガラスの周縁部に配設されて前記減圧層と連通する排気孔を有するガラスパネルの前記板ガラスに接触する接触面と、該接触面に開口し且つ前記排気孔と対向する減圧室とを備える減圧処理装置において、前記減圧室の前記接触面における外周縁形状の少なくとも一部が、前記接触する板ガラスの周縁形状に沿うことを特徴とする。
【００１４】
請求項１記載の減圧処理装置によれば、減圧室の接触面における外周縁形状の少なくとも一部が、接触する板ガラスの周縁形状に沿うので、減圧室が板ガラスから脱落することなく、排気孔が板ガラスの周縁部に設けられたガラスパネルにおいて、減圧層の減圧を安定して行うことができる。
【００１５】
請求項２記載の減圧処理装置は、請求項１記載の減圧処理装置において、前記減圧室の前記接触面における外周縁形状の少なくとも一部が角部を成し、該角部は少なくとも互いに直交する２本の直線を有することを特徴とする。
【００１６】
請求項２記載の減圧処理装置によれば、減圧室の接触面における外周縁形状の少なくとも一部が角部を成し、該角部は少なくとも互いに直交する２本の直線を有するので、排気孔が板ガラスの角部に設けられたガラスパネルにおいて、減圧層の減圧を安定して行うことができる。
【００１７】
請求項３記載の減圧処理装置は、請求項１又は２記載の減圧処理装置において、前記減圧室の外側に設けられ且つ前記接触面に開口する他の減圧室の前記接触面における外周縁形状の少なくとも一部が前記接触する板ガラスの周縁形状に沿うことを特徴とする。
【００１８】
請求項３記載の減圧処理装置によれば、減圧室の外側に設けられ且つ接触面に開口する他の減圧室の接触面における外周縁形状の少なくとも一部が接触する板ガラスの周縁形状に沿うので、他の減圧室が板ガラスから脱落することなく、排気孔が板ガラスの周縁部に設けられたガラスパネルにおいて、減圧層の減圧をより安定して行うことができる。
【００１９】
請求項４記載の減圧処理装置は、請求項３記載の減圧処理装置において、前記他の減圧室の前記接触面における外周縁形状の少なくとも一部が角部を成し、該角部は少なくとも互いに直交する２本の直線を有することを特徴とする。
【００２０】
請求項４記載の減圧処理装置によれば、他の減圧室の接触面における外周縁形状の少なくとも一部が角部を成し、該角部は少なくとも互いに直交する２本の直線を有するので、排気孔が板ガラスの角部に設けられたガラスパネルにおいて、減圧層の減圧をさらに安定して行うことができる。
【００２１】
請求項５記載の減圧処理装置は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の減圧処理装置において、前記ガラスパネルに装着される際に、前記板ガラスの周縁と係合する係合部を備えることを特徴とする。
【００２２】
請求項５記載の減圧処理装置によれば、ガラスパネルに装着される際に、板ガラスの周縁と係合する係合部を備えるので、ガラスパネルにおける当該減圧処理装置の位置決めを容易に行うことができると共に、減圧層の減圧の際に、減圧処理装置がずれることがないため、減圧層の減圧を確実に安定して行うことができる。
【００２３】
請求項６記載の減圧処理装置は、請求項３乃至５のいずれか１項に記載の減圧処理装置において、前記接触面における前記他の減圧室の開口面積が５００ｍｍ２以上であることを特徴とする。
【００２４】
請求項６記載の減圧処理装置によれば、接触面における他の減圧室の開口面積が５００ｍｍ２以上であるので、当該減圧処理装置を板ガラスに確実に接触させる荷重を確保でき、減圧室のシールを安定して行うことができる。
【００２５】
請求項７記載の減圧処理装置は、請求項６記載の減圧処理装置において、前記開口面積が２０００ｍｍ２以上であることを特徴とする。
【００２６】
請求項７記載の減圧処理装置によれば、接触面における他の減圧室の開口面積が２０００ｍｍ２以上であるので、板ガラスの接触面において面圧を従来の減圧処理装置より大きく確保することができ、減圧室のシールを従来の減圧処理装置より安定して行うことができる。
【００２７】
請求項８記載の減圧処理装置は、請求項３乃至７のいずれか１項に記載の減圧処理装置において、前記他の減圧室の容積は２０００ｍｍ３以上であることを特徴とする。
【００２８】
請求項８記載の減圧処理装置によれば、他の減圧室の容積は２０００ｍｍ３以上であるので、減圧室の減圧の際、外乱により他の減圧室と外気とが連通しても、外気の侵入圧力を吸収することができると共に、他の減圧室の排気におけるコンダクタンスを確保することでき、排気効率を向上することができる。
【００２９】
請求項９記載の減圧処理装置は、請求項８記載の減圧処理装置において、前記容積は５０００ｍｍ３以上であることを特徴とする。
【００３０】
請求項９記載の減圧処理装置によれば、他の減圧室の容積は５０００ｍｍ３以上であるので、外気の侵入圧力を確実に吸収することができると共に、より排気効率を向上することができる。
【００３１】
請求項１０記載の減圧処理装置は、請求項３乃至９のいずれか１項に記載の減圧処理装置において、前記接触面において、前記他の減圧室は前記減圧室を囲む環状を呈し、前記減圧室の外周縁と前記他の減圧室の内周縁との距離が２．０ｍｍ以下であることを特徴とする。
【００３２】
請求項１０記載の減圧処理装置によれば、接触面において、他の減圧室は減圧室を囲む環状を呈し、減圧室の外周縁と他の減圧室の内周縁との距離が２．０ｍｍ以下であるので、板ガラスの接触面において所定の面圧を確保することができ、減圧室のシールをより安定して行うことができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る減圧処理装置について図面を参照しながら説明する。
【００３４】
図１は、本発明の実施の形態に係る減圧処理装置の概略構成を示す図であり、（ａ）はガラスパネルの接触面から眺めた平面図であり、（ｂ）は図１（ａ）の線Ｉ−Ｉに沿う断面図である。
【００３５】
図１において、排気カップ１００は、直方体状の本体１０１と、後述するＰＤＰ２００における背面板ガラス２０３への接触面にほぼその全面に亘って開口する差動排気部１０２と、同じく本体１０１の角部１０３の近傍において接触面に開口する本排気部１０４と、差動排気部１０２と連通する管状の差動排気系１０５と、本排気部１０４と連通する管状の本排気系１０６と、差動排気部１０２が開口する角部１０３において本体１０１から下方に向けて突出して形成されたストッパ１０７と、本排気部１０４内に配設される横置きのコイル状のフィラメント１０８とを備える。
【００３６】
上記接触面において、本排気部１０４は角部１０３より所定の距離だけ離れた位置に開口するため、本排気部１０４の外周は差動排気部１０２に囲まれる。このとき、本排気部１０４の外周縁と差動排気部１０２の内周縁との距離（以下「シール幅」という。）は２．０ｍｍ以下、例えば０．５ｍｍであり、差動排気部１０２及び本排気部１０４の角部１０３の近傍における外周縁形状は、本体１０１における角部１０３の形状に対応して少なくとも互いに直交する２本の直線を有する角形状を呈する。
【００３７】
また、上記接触面における差動排気部１０２の開口面積は５００ｍｍ２以上であり、差動排気部１０２の容積は２０００ｍｍ３以上である。
【００３８】
差動排気系１０５は不図示のＲＰに接続される一方、本排気系１０６は不図示のＴＭＰに接続され、差動排気系１０５及び本排気系１０６は、排気カップ１００がＰＤＰ２００に装着された際に、ＲＰ及びＴＭＰの作動によって減圧される。
【００３９】
本排気部１０４内に配設されたフィラメント１０８は、上記接触面から眺めたときに角部１０３の近傍に設けられ、接触面からの高さは約５ｍｍである。
【００４０】
ここで、排気カップ１００の材質はステンレスであり、特に、０〜５００℃の間において背面板ガラス２０３の膨張係数（８．５×１０−６／℃）と排気カップ１００の膨張係数との差の絶対値が２０×１０−６／℃以下となるステンレス、例えばＳＵＳ３０４等が用いられる。また、本排気系１０６及び差動排気系１０５の材質は金属であり、排気カップ１００と同様ステンレスであるのが好ましい。
【００４１】
次に、排気カップ１００が装着されるＰＤＰについて図面を参照しながら説明する。
【００４２】
図２は、排気カップ１００が装着されるガラスパネルとしてのＰＤＰの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は部分断面図である。
【００４３】
図２において、ＰＤＰ２００は、厚さが、例えば２．８ｍｍの前面板ガラス２０１と、前面板ガラス２０１との間に減圧層２０２を形成すべく前面板ガラス２０１から、例えば０．１ｍｍの間隔を隔てて配設され、厚さが、例えば２．８ｍｍの背面板ガラス２０３とから成り、前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３は、その外周縁において低融点ガラスフリットからなる封着部２０４により封着される。
【００４４】
前面板ガラス２０１の内面上には、透明電極２０５ａ及び金属電極２０５ｂとから成る表示電極２０５がパターン形成され、該表示電極２０５を覆うように誘電体ガラス層２０６が積層され、誘電体ガラス層２０６上には、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）製誘電体保護層２０７が積層されている。
【００４５】
また、背面板ガラス２０３の内面上には、後述する蛍光体２１２〜２１４の発光を制御するアドレス電極２０８が所定のピッチでパターン形成され、該アドレス電極２０８を覆うように誘電体ガラス層２０９が積層され、該誘電体ガラス層２０９上には、複数のチャンネル状放電空間２１０を画成する複数のガラス製リブ２１１がサンドブラスト法やブレード成型法によってパターン成形され、各放電空間２１０におけるリブ２１１の表面には、カラー表示をすべく赤色（Ｒ）の蛍光体２１２、緑色（Ｇ）の蛍光体２１３、及び青色（Ｂ）の蛍光体２１４が順に連続して塗布されている。
【００４６】
リブ２１１は、その高さが、例えば０．１ｍｍであり、前面板ガラス２０１と背面板ガラス２０３との間隔を約０．１ｍｍに保持する。また、放電空間２１０には、希ガスが封入されている。希ガスは、例えばネオン（Ｎｅ）とキセノン（Ｘｅ）を組成とする混合ガス系が用いられており、その封入圧力は約４０〜７０ｋＰａの範囲に設定される。
【００４７】
そして、蛍光体２１２〜２１４は、放電空間２１０への放電によって発生する波長の短い紫外線により励起発光する。
【００４８】
図３は、図２（ａ）における背面板ガラス２０３の構造を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は図３（ａ）の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図である。
【００４９】
図３（ａ）及び図３（ｂ）において、背面板ガラス２０３は、減圧層２０２に希ガスを封入する封止部３００を有する。この封止部３００は、図２（ｂ）におけるリブ２１１が形成されるリブ形成範囲３０１の外側且つ封着部２０４の内側に形成された内径２ｍｍの貫通孔３０２と、貫通孔３０２に内嵌された外径２ｍｍのガラス管３０３と、ガラス管３０３と背面板ガラス２０３とを接合する低融点ガラス３０４とからなる。このとき、貫通孔３０２はリブ形成範囲３０１の外側且つ封着部２０４の内側に形成されるので、封止部３００は背面板ガラス２０３の角部近傍に配設される。また、ガラス管３０３は、後述する減圧層２０２の減圧処理においてフィラメント１０８から加熱されることによってその先端が溶融されて封止される。
【００５０】
図４は、図２のＰＤＰ２００に装着された排気カップ１００を示す図であり、（ａ）は排気カップ１００を上方から眺めた平面図であり、（ｂ）は図４（ａ）の線ＩＶ−ＩＶに沿う断面図である。
【００５１】
図４において、排気カップ１００は、ＰＤＰ２００における背面板ガラス２０３の表面上に不図示のガスケットを介して装着される。このとき、排気カップ１００のストッパ１０７は、背面板ガラス２０３の角部における周縁に係合することによって排気カップ１００の角部１０３と背面板ガラス２０３の角部とを一致させて排気カップ１００の背面板ガラス２０３に対する位置を定める。また、本排気部１０４は、接触面において角部１０３の近傍に配設されているので、背面板ガラス２０３の角部に配設された封止部３００を内包し、フィラメント１０８は、上述したように本排気部１０４において角部１０３の近傍に設けられているので、封止部３００のガラス管３０３の先端と対峙する。
【００５２】
排気カップ１００がＰＤＰ２００に装着されると、差動排気部１０２及び本排気部１０４の開口部は背面板ガラス２０３によって塞がれて、差動排気部１０２及び本排気部１０４は密閉空間となる。上述したように接触面において本排気部１０４の外周は差動排気部１０２に囲まれると共に、差動排気部１０２の角部１０３の近傍における外周縁形状は、本体１０１における角部１０３の形状に対応して少なくとも互いに直交する２本の直線を有する角形状を呈し、これにより、差動排気部１０２の角部１０３の近傍における外周縁形状は背面板ガラス２０３の角部近傍の周縁形状に沿い且つ本排気部１０４の角部１０３の近傍における外周縁形状は、本体１０１における角部１０３の形状に対応して少なくとも互いに直交する２本の直線を有する角形状を呈し、これにより、本排気部１０４の角部１０３の近傍における外周縁形状も背面板ガラス２０３の角部近傍の周縁形状に沿うので、本排気部１０４と背面板ガラス２０３の角部近傍の周縁との間において差動排気部１０２によって密閉空間を形成することができる。
【００５３】
そして、差動排気部１０２は、差動排気系１０５を介して接続されたＲＰの作動により減圧されて、排気カップ１００と背面板ガラス２０３とを吸着する吸着力を発生する。
【００５４】
次に、ＰＤＰ２００における減圧層２０２の減圧処理について説明する。
【００５５】
図５は、図２のＰＤＰ２００における減圧層２０２の減圧処理の工程図である。
【００５６】
図５において、まず、背面板ガラス２０３上にスパッタリングやスクリーン印刷によってアドレス電極２０８，誘電体ガラス層２０９，リブ２１１及び蛍光体２１２〜２１４を形成すると共に、その角部において封止部３００を形成する一方、前面板ガラス２０１上にスパッタリングによって表示電極２０５，誘電体ガラス層２０６及び誘電体保護層２０７を形成する。そして、前面板ガラス２０１と背面板ガラス２０３とを、誘電体保護層２０７とリブ２１１とが対向するようにペアリングし、ペアリングされた前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３の全周縁に低融点ガラスフリット５００を塗布すると共に、ガラス管３０３の周りに低融点ガラス３０４を塗布する（図５（ａ））。
【００５７】
次いで、排気カップ１００を、ストッパ１０７が背面板ガラス２０３の角部の周縁に係合するように、背面板ガラス２０３上に装着する。
【００５８】
そして、ＲＰを作動させて差動排気部１０２及び背面板ガラス２０３によって形成された密封空間の圧力を１０〜１０３Ｐａまで減圧し、排気カップ１００を背面板ガラス２０３に吸着させる。このとき、排気カップ１００の角部１０３と背面板ガラス２０３の角部とが一致し、封止部３００が本排気部１０４に内包され、フィラメント１０８が封止部３００のガラス管３０３の先端と対峙するのは上述した通りである（図５（ｂ））。
【００５９】
その後、ペアリングされた前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３を、排気カップ１００が装着されたまま、不図示の炉の内部で焼成して低融点ガラスフリット５００及び低融点ガラス３０４を溶融させた後、当該ペアリングされた前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３を冷却して低融点ガラスフリット５００及び低融点ガラス３０４を凝固させることによって前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３を封着すると共に、ガラス管３０３を背面板ガラス２０３に接合する（図５（ｃ））。これにより、前面板ガラス２０１及び背面板ガラス２０３の間に減圧層２０２が形成されるが、上述した処理は大気中で実行されるので、減圧層２０２の圧力は大気圧である。
【００６０】
次いで、炉内の温度を一定時間維持することによって減圧層２０２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させると共に、ＴＭＰを稼働させて当該ガス及び空気を本排気系１０６及び本排気部１０４を介して減圧層２０２から除去することによって減圧層２０２を減圧するベーキングを行い、減圧層２０２の圧力が約１０−１〜１０−２Ｐａを下回ると、希ガスを本排気系１０６及び本排気部１０４を介して減圧層２０２へ充填し、減圧層２０２の圧力が約４０〜７０ｋＰａを上回ると、ＰＤＰ２００の冷却を開始すると共に、フィラメント１０８に通電して、これを発熱させる。これにより、フィラメント１０８が対向するガラス管３０３の先端を溶融させて減圧層２０２を封止する（図５（ｄ））。
【００６１】
その後、ＲＰの作動を停止して排気カップ１００を背面板ガラス２０３から離脱させる。
【００６２】
減圧層２０２の減圧処理において、ＲＰは、排気カップ１００が背面板ガラス２０３に装着された後、常に作動し、差動排気部１０２及び背面板ガラス２０３から形成される減圧空間を減圧することによって排気カップ１００を背面板ガラス２０３に吸着させるだけでなく、外乱により排気カップ１００と背面板ガラス２０３とが口開いた際に、差動排気部１０２へ侵入した空気を排出することによって本排気部１０４への空気の侵入を防止する。
【００６３】
本発明の実施の形態に係る排気カップ１００によれば、差動排気部１０２の角部１０３の近傍における外周縁形状は、本体１０１における角部１０３の形状に対応して少なくとも互いに直交する２本の直線を有する角形状を呈し、これにより、差動排気部１０２の角部１０３の近傍における外周縁形状は背面板ガラス２０３の角部近傍の周縁形状に沿うと共に、本排気部１０４の角部１０３の近傍における外周縁形状は、本体１０１における角部１０３の形状に対応して少なくとも互いに直交する２本の直線を有する角形状を呈し、これにより、本排気部１０４の角部１０３の近傍における外周縁形状も背面板ガラス２０３の角部近傍の周縁形状に沿うので、本排気部１０４と背面板ガラス２０３の角部近傍の周縁との間において差動排気部１０２によって密閉空間を形成することができ、封止部３００が背面板ガラス２０３の周縁部に設けられたＰＤＰ２００において、減圧層２０２の減圧を安定して行うことができる。
【００６４】
差動排気部１０２及び本排気部１０４の角部１０３の近傍における外周縁形状は、必ずしも互いに直交する２本の直線を有する角形状を呈する必要はなく、当該動排気部１０２及び本排気部１０４の角部１０３の近傍部分が接触する背面板ガラス２０３の周縁形状に沿う形状を呈していれば、上述した効果を奏することができるが、背面板ガラス２０３の開口面積を有効に利用できる観点から、特に直角が好ましい。
【００６５】
上述した排気カップ１００では、シール幅が０．５ｍｍ以下であり、背面板ガラス２０３の接触面において所定の面圧を容易に確保することができる。その結果、排気カップ１００と背面板ガラス２０３とが口開きにくくなるため、本排気部１０４のシールをより安定して行うことができる。
【００６６】
上述した排気カップ１００では、接触面における差動排気部１０２の開口面積が５００ｍｍ２以上であるので、当該排気カップ１００を背面板ガラス２０３に確実に接触させる荷重を確保でき、上述した効果と同様に、背面板ガラス２０３の接触面において所定の面圧を容易に確保することができる。
【００６７】
また、上述した排気カップ１００では、差動排気部１０２の容積は２０００ｍｍ３以上であるので、減圧層２０２の減圧の際、外乱により排気カップ１００と背面板ガラス２０３とが口開き、差動排気部１０２と外気とが連通しても、外気の侵入圧力を吸収することができると共に、差動排気部１０２の排気におけるコンダクタンスを確保することでき、排気効率を向上することができる。
【００６８】
さらに、上述した排気カップ１００では、ＰＤＰ２００に装着される際に、背面板ガラス２０３の周縁と係合するストッパ１０７を備えるので、ＰＤＰ２００における当該排気カップ１００の位置決めを容易に行うことができると共に、減圧層２０２の減圧の際に、排気カップ１００がずれることがないため、減圧層２０２の減圧を確実に安定して行うことができる。
【００６９】
また、上述したように、排気カップ１００を背面板ガラス２０３に装着する際には、排気カップ１００と背面板ガラス２０３との間にガスケットを挟んだが、当該ガスケットは必ずしも挟み込まれる必要はない。但し、排気カップ１００においてはシール幅が０．５ｍｍと狭小であるため、背面板ガラス２０３の表面に傷が付きやすくなる。この傷を防止する観点からは、排気カップ１００と背面板ガラス２０３との間にガスケットを挟むのが好ましい。
【００７０】
ここで、差動排気部１０２の接触面における開口面積は、２０００ｍｍ２以上であるのがより好ましい。従来の排気カップ８００における差動排気部８０３の開口面積は２０００ｍｍ２であるが、これにより、差動排気部１０２が発生する吸着力の荷重を従来の排気カップ８００よりも大きくすることができ、本排気部１０４のシールを従来の排気カップ８００より安定して行うことができる。
【００７１】
また、差動排気部１０２の容積は、５０００ｍｍ３以上であるのがより好ましい。従来の排気カップ８００における差動排気部８０３の容積は５０００ｍｍ３であるが、これにより、外気の侵入圧力に対するバッファゾーンを従来の排気カップ８００よりも大きくすることができ、外気の侵入圧力を確実に吸収することができると共に、従来の排気カップ８００よりもコンダクタンスを大きくすることができ、より排気効率を向上することができる。
【００７２】
上述したＰＤＰ２００では、封止部３００が背面板ガラス２０３の角部近傍に配設されたが、減圧層２０２の減圧効率向上のため、封止部３００が背面板ガラス２０３の角部以外の周縁部において複数箇所設けられることもある。このような背面板ガラス２０３の角部以外の周縁部において設けられた封止部３００を介して減圧層２０２を減圧するには、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、排気カップ１００がストッパ１０７を本体１０１の１辺にのみ有し、本排気部１０４が接触面における当該１辺の近傍において開口するのがより好ましい。これにより、排気カップ１００は、背面板ガラス２０３の角部以外の周縁部において設けられた封止部３００を介して減圧層２０２を減圧することができる。
【００７３】
また、排気カップ１００が装着されるガラスパネルは、上述したＰＤＰ２００に限られず、減圧層２０２が真空にされた真空ガラスであってもよく、この他、建築物や乗り物（自動車、鉄道車両、船舶）用の窓ガラス、又は、冷蔵庫や保温装置等のような各種装置の扉や壁部等、種々の用途に使用されるガラスパネルであってもよい。
【００７４】
また、ガラス管３０３に熱を与える熱源としては、フィラメント１０８だけでなく赤外線輻射ヒータ等を用いてもよい。
【００７５】
上述した本実施の形態では、封着部２０４を形成する材料として低融点ガラスフリット５００を使用する例を示したが、これに代えて、金属製の溶融ハンダを使用してもよい。
【００７６】
前面板ガラス２０１，背面板ガラス２０３に使用される板ガラスとしては、フロートガラスに限られるものではなく、ガラスパネルの用途や目的に応じて、例えば、型板ガラス、表面処理により光拡散機能を備えたすりガラス、網入りガラス、線入りガラス、強化ガラス、倍強度ガラス、低反射ガラス、高透過ガラス、セラミック印刷ガラス、熱線や紫外線吸収機能を備えた特殊ガラス、又は、これらの組み合わせ等、種々のガラスを適宜選択して使用することができる。
【００７７】
ガラスの組成についても、ソーダ珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ほう珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、各種結晶化ガラス等を使用することができ、前面板ガラス２０１，背面板ガラス２０３の厚みについても、適宜選択自由である。
【００７８】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、請求項１記載の減圧処理装置によれば、減圧室の接触面における外周縁形状の少なくとも一部が、接触する板ガラスの周縁形状に沿うので、減圧室が板ガラスから脱落することなく、排気孔が板ガラスの周縁部に設けられたガラスパネルにおいて、減圧層の減圧を安定して行うことができる。
【００７９】
請求項２記載の減圧処理装置によれば、減圧室の接触面における外周縁形状の少なくとも一部が角部を成し、該角部は少なくとも互いに直交する２本の直線を有するので、排気孔が板ガラスの角部に設けられたガラスパネルにおいて、減圧層の減圧を安定して行うことができる。
【００８０】
請求項３記載の減圧処理装置によれば、減圧室の外側に設けられ且つ接触面に開口する他の減圧室の接触面における外周縁形状の少なくとも一部が接触する板ガラスの周縁形状に沿うので、他の減圧室が板ガラスから脱落することなく、排気孔が板ガラスの周縁部に設けられたガラスパネルにおいて、減圧層の減圧をより安定して行うことができる。
【００８１】
請求項４記載の減圧処理装置によれば、他の減圧室の接触面における外周縁形状の少なくとも一部が角部を成し、該角部は少なくとも互いに直交する２本の直線を有するので、排気孔が板ガラスの角部に設けられたガラスパネルにおいて、減圧層の減圧をさらに安定して行うことができる。
【００８２】
請求項５記載の減圧処理装置によれば、ガラスパネルに装着される際に、板ガラスの周縁と係合する係合部を備えるので、ガラスパネルにおける当該減圧処理装置の位置決めを容易に行うことができると共に、減圧層の減圧の際に、減圧処理装置がずれることがないため、減圧層の減圧を確実に安定して行うことができる。
【００８３】
請求項６記載の減圧処理装置によれば、接触面における他の減圧室の開口面積が５００ｍｍ２以上であるので、当該減圧処理装置を板ガラスに確実に接触させる荷重を確保でき、減圧室のシールを安定して行うことができる。
【００８４】
請求項７記載の減圧処理装置によれば、接触面における他の減圧室の開口面積が２０００ｍｍ２以上であるので、板ガラスの接触面において面圧を従来の減圧処理装置より大きく確保することができ、減圧室のシールを従来の減圧処理装置より安定して行うことができる。
【００８５】
請求項８記載の減圧処理装置によれば、他の減圧室の容積は２０００ｍｍ３以上であるので、減圧室の減圧の際、外乱により他の減圧室と外気とが連通しても、外気の侵入圧力を吸収することができると共に、他の減圧室の排気におけるコンダクタンスを確保することでき、排気効率を向上することができる。
【００８６】
請求項９記載の減圧処理装置によれば、他の減圧室の容積は５０００ｍｍ３以上であるので、外気の侵入圧力を確実に吸収することができると共に、より排気効率を向上することができる。
【００８７】
請求項１０記載の減圧処理装置によれば、接触面において、他の減圧室は減圧室を囲む環状を呈し、減圧室の外周縁と他の減圧室の内周縁との距離が２．０ｍｍ以下であるので、板ガラスの接触面において所定の面圧を確保することができ、減圧室のシールをより安定して行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る減圧処理装置の概略構成を示す図であり、（ａ）はガラスパネルの接触面から眺めた平面図であり、（ｂ）は図１（ａ）の線Ｉ−Ｉに沿う断面図である。
【図２】排気カップ１００が装着されるガラスパネルとしてのＰＤＰの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は部分断面図である。
【図３】図３は、図２（ａ）における背面板ガラス２０３の構造を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は図３（ａ）の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図である。
【図４】図２のＰＤＰ２００に装着された排気カップ１００を示す図であり、（ａ）は、排気カップ１００を上方から眺めた平面図であり、（ｂ）は図４の（ａ）の線ＩＶ−ＩＶに沿う断面図である。
【図５】図２のＰＤＰ２００における減圧層２０２の減圧処理の工程図である。
【図６】本発明の他の実施の形態に係る減圧処理装置の概略構成を示す図であり、（ａ）はガラスパネルの接触面から眺めた平面図であり、（ｂ）は図１（ａ）の線ＶＩ−ＶＩに沿う断面図である。
【図７】従来のガラスパネルの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は断面図である。
【図８】従来の排気カップの概略構成を示す図であり、（ａ）は断面図であり、（ｂ）はガラスパネルの接触面から眺めた平面図である。
【図９】ＰＤＰとして使用されるガラスパネルの概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１００，８００  排気カップ
１０２，８０３  差動排気部
１０４，８０１  本排気部
１０７  ストッパ
１０８，８０５  フィラメント
２００  ＰＤＰ
２０３  背面板ガラス
３００  封止部
３０３  ガラス管
７００，７０１  板ガラス
７０５  排気管
７０６  ガラスパネル
７０７  Ｏ−リング
７０８  減圧管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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