(57)【要約】【課題】プローバ装置のプローブカードの交換作業の労力を軽減できると共に、交換作業の効率化を図れるプローブカード搬送台車を提供する。【解決手段】プローブカード２の交換作業に用いるプローブカード搬送台車１が、交換される前後の新・旧のプローブカードを載置する載置部４と、該載置部を上下に昇降する昇降機構部６と、該載置部を前後に摺動させるスライド機構部５と、新・旧のプローブカードを一時的に保管する保管部７と、搬送台車を前後左右に移動させるキャスタ８とを備えている。また、該載置部の上下の動きを案内するガイド部６４も備えている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ装置のプローブカードの交換作業に使用されるプローブカード搬送台車が、
交換される前後の新・旧のプローブカードを載置する載置部と、
前記載置部を上下に昇降する昇降機構部と、
前記載置部を前後に摺動させるスライド機構部と、
前記新・旧のプローブカードを一時的に保管する保管部と、
前記プローブカード搬送台車を前後左右に移動させるキャスタと、
を具備していることを特徴とするプローブカード搬送台車。
【請求項２】
前記載置部の上下の動きを案内するガイド部を更に具備することを特徴とする請求項１に記載のプローブカード搬送台車。
【請求項３】
前記昇降機構部がカムを含んでいて、前記カムの回動によって前記載置部を上下動することを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブカード搬送台車。
【請求項４】
前記載置部の下降の動きを緩衝する緩衝部と、前記載置部の前進及び後退の動きに伴なう前記載置部前後の衝突を緩和するショックアブソーバとを更に具備していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のプローブカード搬送台車。
【請求項５】
前記保管部が、プローブカードを収容するカードケースを載置する少なくとも２つの保管棚を有していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のプローブカード搬送台車。
【請求項６】
前記保管部が、前記カードケースを引き出すことができる引き出しを有していることを特徴とする請求項５に記載のプローブカード搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブ装置のプローブカードの交換に際して使用されるプローブカード搬送台車に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウェハの表面には同一の電気素子回路が形成された多数の半導体デバイスが形成されており、この電気素子回路を個々の半導体デバイス（チップ）として切断する前に、各電気素子回路の電気的特性を検査するために、プローブ装置によってその良・不良を判定している。このプローブ装置は、一般にウェハの各半導体デバイスに対応する触針を有し、テスタに接続されたプローブカードと、ウェハの各半導体デバイスとを順次対応させて、半導体デバイスの電極パッドに触針を接触させるようにして、電気的な測定を行うように構成されている。
【０００３】
ところで、触針を有するプローブカードは半導体デバイスの電気素子回路に対応して形成されており、異なる半導体デバイスに対して別のプローブカードを使用する必要がある。即ち、プローブカードはウェハの種類に応じて交換される。そのため、従来においては、特開昭６３−２８０４３１号公報により知られるように、プローブ装置に多種類のプローブカードを保有するプローブカード格納部を設け、測定するウェハに対応したプローブカードを取り出して自動的に装着することで対応していた。
【０００４】
しかしながら、近年ウェハの高集積化が進むにつれ、プローブ装置での測定内容が複雑化し、測定に要する時間が長くなっている。また、生産効率向上のためウェハの大口径化が図られており、ウェハ一枚当りのチップ数も増大し、一枚のウェハを検査するのにかなりの時間を要するようになっている。そのため、或る程度以上の半導体の生産規模の工場では多数のプローブ装置を並行して配置して使用している。
【０００５】
その一方、半導体生産工程の関係からも測定するウェハの種類が次々に変わることはほとんどなく、一旦プローブカードを装着した後はかなりの長時間、プローブカードの交換の必要がないのが実状である。そのため、上述の従来技術のプローブカード格納部を備えたプローバ装置では、それぞれのプローバ装置が多数のプローブカードを収納する必要があり、全体として膨大な数のプローブカードを備える必要がある。しかもそのうちの多くが使用されない状態となり、プローブカードの使用効率が悪いという問題があった。その上、各々のプローブ装置にプローブカード格納部を設けるため、装置がその分大型化し、コストもかかるという欠点があった。
【０００６】
そのため現状においては、プローブカードをプローブ装置とは離れた個所で集中管理するプローブカードのストッカを配置し、プローブカードの交換の際に、プローブ装置から旧プローブカードを取り外してストッカに運び、新プローブカードをストッカから出してプローブ装置に運んで取り付けている。この場合、プローブ装置の位置とストッカの位置とはかなり離れており、プローブカードを人手で運搬することは労力が必要であった。特に、プローブカードの交換作業では、プローブカードがカードホルダー（保持リング）によってプローブ装置に着脱自在に装着される構造であるため、プローブカードとカードホルダとを一緒にして取り扱う必要があり、８インチ（約２０ｃｍ）ウェハでは、それに使用するプローブカードとカードホルダの総重量が約１０ｋｇ程であったのに対し、近年における１２インチ（約３０ｃｍ）ウェハでは、これが約３０ｋｇ程になり、その作業が非常に労働が厳しいものとなっており、この解決が契緊の課題であった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題に鑑みなされたものであり、その目的は、プローバ装置のプローブカードの交換作業の労力を大巾に軽減できると共に、作業の効率化が図れるプローブカード搬送台車を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するための手段として、特許請求の範囲の各請求項に記載のプローブカード搬送台車を提供する。
請求項１に記載のプローブカード搬送台車は、プローブカードを載せる載置部を上下昇降自在にすると共に前後にも摺動可能とし、かつ新・旧のプローブカードを一時的に保管する保管部を設けたものである。これにより、特にウェハが大径化した際のプローバ装置のプローブカードの交換作業の労力を軽減でき、交換作業の時間の短縮化が可能となる。また、プローブカードを運搬する際は、載置部を下降位置の安定した位置で運搬でき、プローブ装置に移載する際は、載置部を上昇位置にし、かつ前進させることで、プローブカードの移載作業も容易に行うことができる。更に、新・旧のプローブカードを一時的に保管する保管部を備えているので、プローブカード保管棚とプローブ装置間の移動回数を低減できる。
【０００９】
請求項２のプローブカード搬送台車は、載置部の上下の動きを案内するガイド部を更に具備するようにしたものであり、これにより、載置部の上下の昇降が安定して行える。
請求項３のプローブカード搬送台車は、載置部を上下動させる昇降機構部がカムを含んでいて、カムの回動によって載置部を上下動させているものであり、非常に単純な機構で載置部を上下動することができる。
【００１０】
請求項４のプローブカード搬送台車は、載置部の下降の動きを緩衝する緩衝部と、載置部の前進及び後退の動きに伴なう載置部前後の衝突を緩和するショックアブソーバとを更に備えるようしたものであり、これにより、載置部の動きに伴なう衝撃を緩和でき、損傷を防止できる。
請求項５のプローブカード搬送台車は、保管部がプローブカードを収容するカードケースを載置する少くとも２つの保管棚を有するようにしたものであり、これにより、プローブカード搬送台車のプローブカード保管棚への移動回数を低減でき、プローブカードの交換作業を効率的に行うことができる。
【００１１】
請求項６のプローブカード搬送台車は、保管部がカードケースを引き出すことができる引き出しを有するようにしたものであり、これにより、新・旧のプローブカードのカードケース内への出し入れ作業が容易に行える。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面に従って本発明の実施の形態のプローブカード搬送台車について説明する。図１は、本発明のプローブカード搬送台車の概略の全体構成を示す斜視図である。プローブカード搬送台車１（以下、単に搬送台車と称す）は、プローブカード２及び保持リング（カードホルダ）３を載置する載置部４と、載置部４を前後方向に移動するスライド機構部５と、載置部４を上下方向に昇降する昇降機構部６と、交換用のプローブカード２と交換後のプローブカード２を一時的に保管する保管部７及びプローブ搬送台車１を前後左右に移動させるキャスタ８等により構成されている。なお、保持リング３は、環状をしていてその内周面には、環状の棚部３１が形成されており、この環状棚部３１にプローブカード２が載置される。
【００１３】
図２は、搬送台車１の部分拡大側面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ線の矢視図である。
図４は、載置部４の平面図である。
図４に示すように、プローブカード２を収容・保持する保持リング３を載置する載置部４には、その上面部が略半円状に切り込まれ凹部４１が形成されていて、その凹部４１の周縁部で保持リング３を保持し、プローブカード２の触針が載置部４に当接して変形しないようになっている。この載置部４は、昇降機構部６により上下に昇降自在であると共に、スライド機構部５によって前後方向にも摺動可能である。載置部４の前後には、載置部４の衝突を緩衝するショックアブソーバ４２が設けられている。
【００１４】
昇降機構部６は、公知の適宜の昇降機構を採用可能であるが、図２，３においては、カム６１を採用している。即ち、載置部４の下面に当接するカム６１の起伏によって載置部４を上下動させている。このカム６１は、後述するスライド部材上に固定された支持部材６２に回動自在に支持されたハンドル６３に固着されている。したがって、ハンドル６３を回動することによって、カム６１が回動し、載置部４は図３の実線で示す上昇位置と破線で示す下降位置との間を上下動する。スライド部材には、載置部４の上下動を案内するガイド部６４が設けられている。このガイド部６４は、載置部４の両側面に沿って直立して設けられている通常のリニアガイド機構である。載置部４のの両側面には、ガイド部６４を遊嵌する孔を有する係合部６５が設けられていて、この係合部６５がガイド部６４に沿って摺動する。また、スライド部材上には、載置部４の下降の動きを緩衝する緩衝部６６が設けられている。この緩衝部６６は、例えば一般によく知られたシリンダ６６ａ、ピストン６６ｂ及びバネ６６ｃとより構成されている。
【００１５】
載置部４を前後方向に移動するスライド機構部５は、公知の適宜の直線移動機構を採用可能であるが、図２，３においてはリニアガイド機構を採用している。保管部７の上部部材の上面には、２本のシャフト部材５１が平行して架設して設けられており、このシャフト部材５１の摺動自在に支持されるようにしてスライド部材５２が設けられている。即ち、シャフト部材５１とスライド部材５２の貫通孔との間にはボール５３が介在している。スライド部材５２上には、載置部４の上下の動きを案内するガイド部６４と、ハンドル６３の支持部材６２及び緩衝部６６とが固定して設けられている。したがって、載置部４を人が手で押したり、引いたりすることによって、スライド部材５２とガイド部６４を介して連結している載置部４は、前後に摺動することができる。
【００１６】
交換前と交換後の新旧のプローブカード２を一時的に保管する保管部７は、４つの支柱７１と上部部材７２、保管棚である中間部材７３及び同じく保管棚である下部部材７４とで略直方体状に形成されている。上部部材７２の上面には、上記した平行な２本のシャフト部材５１を固定支持する４つの支持部７２ａが設けられている。図５に示すように、上部部材７２と下部部材７４との略中間に位置する中間部材７３上には、新又は旧のプローブカード２を収容するカードケース２１を載置するための引き出し７５が設けられており、この引き出し７５は、載置部４の前後方向の動きに直交する方向に引き出し可能である。同様に下部部材７４上にも、プローブカード２を収容するカードケース２１を載置するための引き出し７５が設けられており、中間部材７３上の引き出し７５と同じ方向に引き出し可能である。これらの引き出し７５の摺動機構は、例えば図５に示されるように、中間部材７３及び下部部材７４のそれぞれの両側面に引き出し方向に設けられた溝部７３ａ（７４ａ）と引き出し７５の突出部７５ａとを摺動可能に係合することにより形成されている。また、この溝部７３ａ（７４ａ）に、摺動を良くするために転動材を設けるようにしてもよい。なお、上述の説明では、保管部７に２つの引き出し７５を設けているが、必要に応じ、更に引き出しを増加してもよい。
【００１７】
保管部７の下面の４隅には、キャスタ８が取り付けられており、搬送台車１を前後左右に人手により移動することができる。
【００１８】
上記構成のプローブカード搬送台車１の作業手順（動作）について説明する。まず、プローブカード２を収納している収納棚から、交換前の新プローブカード２を収容しているカードケース２１を搬送台車１の一方の引き出し７５上に載置する。他方の引き出し７５上には空のカードケース２１が載置されている。次に搬送台車１をプローブ装置にまで運ぶ。プローブ装置のトレイ上には、プローブ装置から保持リング３と一緒に取り外された旧プローブカード２が載置されて待機している。搬送台車１の載置部４は、ハンドル６３を回動して上昇位置に上げられると共に、手で押すことによって前進し、プローブ装置のトレイと隣接した位置に運ばれる。次いで、人手又は移載機構によって、トレイ上の保持リング３と旧プローブカード２とを搬送台車１の載置部４上に移す。ここで、旧プローブカード２を保持リング３から外し、他方の引き出し７５上の空のカードケース２１内に収納する。
【００１９】
次に、交換前の新プローブカード２を一方の引き出し７５上のカードケース２１から取り出し、載置部４上の保持リング３に取り付ける。人手又は移載機構によって、新プローブカード２を取り付けた保持リング３を、搬送台車１の載置部４上からプローブ装置のトレイ上に移す。トレイ上の新プローブカード２が保持リング３と共にプローブ装置にセットされる。搬送台車１の載置部４は、スライド機構部５と昇降機構部６によって元の位置に後退すると共に下降位置に戻される。搬送台車１は、収納棚まで移動され、旧プローブカード２が収容されたカードケース２１が収納棚に収められている。
【００２０】
なお、上記説明において、昇降機構、スライド機構、ガイド機構、及び緩衝機構等の機構について、図面に従って説明しているが、これらの機構については、適宜公知の機構を採用可能である。また、これら機構は全て手動であるが、必要に応じて自動で作動する機構も採用可能である。
以上説明したように、本発明においては、プローブ装置におけるプローブカードの交換作業の労力を軽減できると共に、その交換作業を迅速に行うことが可能となった。また、新旧プローブカードの保管棚を設けることで、搬送台車の移動回数を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態のプローブカード搬送台車の概略の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明のプローブカード搬送台車の載置部、スライド機構部及び昇降機構部の部分側面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線矢視図である。
【図４】載置部の平面図である。
【図５】本発明のプローブカード搬送台車の保管部の引き出し摺動機構を説明する図である。
【符号の説明】
１…プローブカード搬送台車（搬送台車）
２…プローブカード
３…保持リング
４…載置部
４２…ショックアブソーバ
５…スライド機構部
５１…シャフト部材
５２…スライド部材
５３…ボール
６…昇降機構部
６１…カム
６２…支持部材
６３…ハンドル
６４…ガイド部
６５…係合部
６６…緩衝部
７…保管部
７１…支柱
７２…上部部材
７３…中間部材
７４…下部部材
７５…引き出し
８…キャスタ
【図１】
2004170267.tif 000003
【図２】
2004170267.tif 000004
【図３】
2004170267.tif 000005
【図４】
2004170267.tif 000006
【図５】
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