(57)【要約】【課題】ミラーを高速かつ高精度に位置決めすることができる光学スキャナおよびレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】棒状の駆動力伝達部材８と、駆動力伝達部材８の軸線方向の一端が固定され駆動力伝達部材８を軸線方向に移動させる圧電素子５を設け、ミラー１を回転軸線の回りに回転自在に支持すると共に、駆動力伝達部材８の他端をミラー１の当該回転軸線から外れた位置に固定する。圧電素子５を伸縮させると、駆動力伝達部材８が撓みながらミラー１を当該回転軸線の回りに回転させるので、例えばばね等により圧電素子５が縮小する方向にミラー１を付勢する場合に比べてミラー１を回転させるための駆動力を大幅に低減できる。【選択図】　　　　図１
2004074166.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミラーにより光ビームを反射して前記光ビームを位置決めする光学スキャナにおいて、
棒状の駆動力伝達部材と、前記駆動力伝達部材の軸線方向の一端が固定され前記駆動力伝達部材を前記軸線方向に移動させる直線移動手段と、を設け、
前記ミラーを回転軸線の回りに回転自在に支持すると共に、
前記駆動力伝達部材の他端を前記ミラーの前記回転軸線から外れた位置に固定し、前記直線移動手段を移動させることにより前記ミラーを回転させることを特徴とする光学スキャナ。
【請求項２】
ミラーにより光ビームを反射して前記光ビームを位置決めする光学スキャナにおいて、
棒状の駆動力伝達部材と、前記駆動力伝達部材の軸線方向の一端が固定され前記駆動力伝達部材を前記軸線方向に移動させる直線移動手段と、を２組設け、
前記ミラーを回転軸線の回りに回転自在に支持すると共に、
前記駆動力伝達部材の一方の他端と前記駆動力伝達部材の他方の他端とを、前記ミラーの前記回転軸線から外れた前記回転軸線に関して点対称の位置に固定し、２つの前記直線移動手段を移動させることにより前記ミラーを回転させることを特徴とする光学スキャナ。
【請求項３】
ミラーにより光ビームを反射して前記光ビームを位置決めする光学スキャナにおいて、
棒状の駆動力伝達部材と、前記駆動力伝達部材の軸線方向の一端が固定され前記駆動力伝達部材をその軸線方向に移動させる直線移動手段と、を４組設け、
前記駆動力伝達部材の他端を前記ミラーの反射面の背面側かつ互いに直交する軸線上の交点を挾む位置にそれぞれ固定し、前記直線移動手段のいずれかを移動させることにより前記ミラーを三次元方向に回転させることを特徴とする光学スキャナ。
【請求項４】
前記直線移動手段の変位方向の剛性値は、前記直線移動手段の固有振動数が前記ミラーの最高応答周波数よりも高くなるように設定されることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の光学スキャナ。
【請求項５】
前記駆動力伝達部材の前記軸線方向の剛性値は、これと直角方向のせん断剛性値および曲げ剛性値よりも大きく設定されることを特徴とする請求項１ないし請求項４に記載の光学スキャナ。
【請求項６】
前記駆動力伝達部材は、前記軸線方向に直交する断面が概略円あるいは略長方形の梁であり、その直径あるいは曲げ方向の厚さをｄ、軸方向の締結点間の距離をＬ、縦弾性係数をＥ、降伏応力をσｂ、ミラーの最大変位角度をθｍとするとき、ｄがσｂ・Ｌ／（２・Ｅ・θｍ）よりも小さく設定されることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の光学スキャナ。
【請求項７】
前記ミラーをダンパー部材で拘束することを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の光学スキャナ。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７に記載の光学スキャナを備えることを特徴とするレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ光等の光ビームを走査するために使用される光学スキャナおよび光学スキャナを用いて光ビームを位置決めするレーザ加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザ加工装置は、レーザ光と加工対象とを相対的に移動させながら加工対象を加工する装置である。
【０００３】
例えば、レーザ加工装置の一つである従来のプリント基板穴明け用レーザ加工機は、プリント基板を搭載して水平なＸＹ方向にプリント基板を移動させるＸＹテーブルサーボ機構と、レーザ光をプリント基板上のＸＹ方向に走査させる一対のガルバノミラーサーボ機構とを備えている。ＸＹテーブルサーボ機構は、ＸＹテーブルを移動方向を互いに９０度にして重ねた２つの案内装置に支持させ、この案内装置をモータによりボールねじを介して駆動し、テーブルの位置またはモータの回転角度を検出してフィードバックするサーボ機構を構成したものである。また、ガルバノミラーサーボ機構は、揺動型の電磁アクチュエータの回転軸にミラーを取り付け、回転軸の回転角度を検出してフィードバックするサーボ機構を構成したものである。
【０００４】
ＸＹテーブルはプリント基板を移動できる領域が広いが、質量が大きいためにサーボ機構の応答周波数は低い。一方、ガルバノミラーサーボ機構は質量が小さいためサーボ機構の応答周波数は高いが、レーザ光を走査できる領域はプリント基板のサイズに比べて小さい。
【０００５】
そこで、プリント基板に穴を加工する際には、ＸＹテーブルを駆動して加工しようとする対象領域をガルバノミラーの走査可能領域に一致させてから、加工を開始する。レーザ源からパルス状に照射されるレーザ光は、いくつかのミラーにより光路を導かれて一対のガルバノミラーに達し、ミラー角度に応じて、プリント基板上のＸ方向及びＹ方向に対応する直交２方向に進行方向を変えられた後、Ｆθレンズを経てプリント基板上の穴加工位置に至り、プリント基板にレーザ光の直径（ビームスポット径）に応じた穴を加工する。ガルバノミラーの位置決めとレーザ光の照射を繰り返し、ガルバノミラーの走査可能領域の加工が終了すると、ＸＹテーブルを移動させて次の加工対象領域をガルバノミラーの走査可能領域に一致させる。以下、加工が終了するまで、上記の動作を繰り返す。
【０００６】
近年、電子機器の小型高機能化の進展に伴い、プリント基板の多層化、パターンの微細化が進む一方で、常に生産効率の向上が求められており、レーザ加工機においても作業の高速化が求められている。
【０００７】
プリント基板に穴を加工する場合、加工が終了した走査可能領域から次の走査可能領域に移動するための移動時間に比べて、走査可能領域内においてレーザ光を位置決めするための時間（すなわちミラーの移動時間）の比率がはるかに大きい。このため、走査可能領域内におけるレーザ光の位置決め（すなわちストロークが比較的短い場合におけるレーザ光の位置決め）応答性の向上が強く求められていた。
【０００８】
そこで、特開平８−１５２５７５号公報（以下、「第一の従来技術」という。）では、弾性ヒンジによりミラーを回転自在に支持すると共にミラーの回転中心から半径方向に離れた一点を圧電素子に接続し、圧電素子を直線変位させることによりミラーの角度を変えるようにしている。
【０００９】
図１１は第一の従来技術を説明する模式図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。
【００１０】
ミラー１を保持するための保持器等を取り付けた軸２は一対の軸支持部材２８により回転自在に支持されている。回転中心１０４から径方向にｅだけ離れた位置（以下、「荷重点」という）Ａと対向する位置には圧電素子５が、また、回転中心１０４に関して圧電素子５と対称の位置（以下、「拘束点」という）１０２にはばね２９が配置されている。ばね２９はミラー１を反時計回りに付勢している。そして、圧電素子５を動作させることによりばね２９に抗してミラー１を時計回りに回転させてミラー１を回転中心１０４の回りに位置決めする。
【００１１】
ここで、ばね２９を設ける理由は以下の通りである。
【００１２】
一般に、圧電素子は、圧縮方向の強度は非常に大きいが引張方向の強度は小さい。すなわち、自然長から伸びる方向には非常に大きな力を発生することができるが、縮ませる場合のように引張方向の力が負荷されると容易に破壊する。このため、圧電素子５を荷重点Ａを押す方向にしか動作させることができないからである。
【００１３】
なお、ばね２９はミラー１を圧電素子５に対して付勢する手段を象徴的に表したものであり、第一の従来技術のように、軸支持部材２８を弾性ヒンジとした場合には弾性ヒンジの回転ばね剛性を表す。また、回転ばねや板ばねを用いて軸２を回転方向に付勢する場合には設けた回転ばねや板ばねに対応する。
【００１４】
光学スキャナをこのように構成すると、電磁アクチュエータ方式の光学スキャナよりもさらに高速にミラーを位置決めすることができる。
【００１５】
また、図示を省略するが、特開平１１−２１２０１３号公報（以下、「第二の従来技術」という。）においても、圧電素子をアクチュエータとする光学スキャナの技術が開示されている。なお、この第二の従来技術の場合、復元力を発生するばね２９は明示されていない。
【００１６】
そして、上記第一と第二の従来技術によれば、走査可能領域内おけるレーザ光の位置決めを高速化することができた。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、第一の従来技術の場合、次のような問題点がある。
【００１８】
すなわち、ミラー１の揺動振動の固有振動数をｆ、ミラー１の慣性モーメントをＪ、ばね２９の回転ばね定数をｋθとすると、ｆとＪおよびｋθとの間には式１の関係がある。
【００１９】
ｆ＝１／２π√（ｋθ／Ｊ）・・・式１
ミラー１の反時計回りの変位はばね２９の復元力によってなされるので、固有振動数ｆよりも高い応答周波数でミラー１を位置決めすることはできない。したがって、応答周波数を上げるためには、固有振動数ｆを大きくしなければならない。
【００２０】
式１から明らかなように、固有振動数ｆを大きくするためには慣性モーメントＪを小さくするか、あるいは回転ばね定数ｋθを大きくすればよい。
【００２１】
しかし、ミラー１の大きさはレーザ光の径など光学系の要請により最低限度の大きさが決まるので、Ｊをある大きさ以下にすることはできない。
【００２２】
また、回転ばね定数ｋθを大きくすると、ミラー１を回転させるために大きな力が必要になる。荷重点Ａに加わる力が大きくなると、例えばミラー１の変形が無視できなくなり、圧電素子５の変位が吸収されて所望の回転変位が得られない場合が起こり得る。また、大きな駆動力が必要になるため、ミラー１を含めた構造全体に発生する振動も大きくなる。
【００２３】
このように、慣性モーメントＪと回転ばね定数ｋθの値を選択できる範囲が狭いため、ミラー１を高速かつ高精度に位置決めすることは困難である。
【００２４】
また、第二の従来技術のようにばね２９に相当する要素を設けずに圧電素子だけでミラーを回転させる場合、荷重点Ａを圧電素子が縮む方向に移動させる際に慣性力によって圧電素子５に加わる引張力が圧電素子の引張強度を越えない範囲に加速度を制限しなければならない。このため、ミラー１を高速に位置決めすることは困難である。
【００２５】
本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、ミラーを高速かつ高精度に位置決めすることができる光学スキャナおよびレーザ加工装置を提供するにある。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の第一の手段は、ミラーにより光ビームを反射して前記光ビームを位置決めする光学スキャナにおいて、棒状の駆動力伝達部材と、前記駆動力伝達部材の軸線方向の一端が固定され前記駆動力伝達部材を前記軸線方向に移動させる直線移動手段と、を設け、前記ミラーを回転軸線の回りに回転自在に支持すると共に、前記駆動力伝達部材の他端を前記ミラーの前記回転軸線から外れた位置に固定し、前記直線移動手段を移動させることにより前記ミラーを回転させることを特徴とする。
【００２７】
また、本発明の第二の手段は、ミラーにより光ビームを反射して前記光ビームを位置決めする光学スキャナにおいて、棒状の駆動力伝達部材と、前記駆動力伝達部材の軸線方向の一端が固定され前記駆動力伝達部材を前記軸線方向に移動させる直線移動手段と、を２組設け、前記ミラーを回転軸線の回りに回転自在に支持すると共に、前記駆動力伝達部材の一方の他端と前記駆動力伝達部材の他方の他端とを、前記ミラーの前記回転軸線から外れた前記回転軸線に関して点対称の位置に固定し、２つの前記直線移動手段を移動させることにより前記ミラーを回転させることを特徴とする。
【００２８】
また、本発明の第三の手段は、ミラーにより光ビームを反射して前記光ビームを位置決めする光学スキャナにおいて、棒状の駆動力伝達部材と、前記駆動力伝達部材の軸線方向の一端が固定され前記駆動力伝達部材をその軸線方向に移動させる直線移動手段と、を４組設け、前記駆動力伝達部材の他端を前記ミラーの反射面の背面側かつ互いに直交する軸線上の交点を挾む位置にそれぞれ固定し、前記直線移動手段のいずれかを移動させることにより前記ミラーを三次元方向に回転させることを特徴とする。
【００２９】
【発明の実施の形態】
（第一の実施形態）
以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。
【００３０】
図１は本発明の第一の実施形態に係る光学スキャナの斜視図、図２は構成図、図３は制御ブロック線図であり、図１１と同じものまたは同一機能のものは同一の符号を付して説明を省略する。なお、図２における（ａ）は正面一部断面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は平面図である。
【００３１】
軸２の正面側には加工用のレーザ光を反射するミラー１が、また背面側にはミラー１の角度計測用のレーザ光を反射する小ミラー１１が、それぞれ取り付けられている。軸２の両端を回転自在に支持する転がり軸受４の外輪４ａは、ハウジング３に保持されている。転がり軸受４の内輪４ｂは、軸受スペーサ３５を介して、ナット２６により、軸２に固定されている。
【００３２】
軸２には締結端子３４が設けられており、ねじ締結により駆動力伝達部材８の一端を保持している。駆動力伝達部材８の他端は、変位台６に固定されている。駆動力伝達部材８は、例えばピアノ線で形成されている。後述するように、締結端子３４には駆動力伝達部材８を介して押し付け力、引張り力が伝達される。すなわち、締結端子３４が駆動力伝達部材８を保持する位置が荷重点Ａである。
【００３３】
なお、ミラー１は駆動力伝達部材８のばね作用によってばね−質点系を構成するので、駆動力伝達部材８の軸方向の剛性値は、系の固有振動数が所望の最高応答周波数よりも高くなる値に選択されている。
【００３４】
変位台６は弾性部材７により台座１２に支持され、弾性部材７（例えば、板ばね）が縮む方向（図２の右方）に付勢されている。台座１２はボルト１２ａによりハウジング３に固定されている。弾性部材７の剛性値は、変位台６の変位方向の固有振動数が、ミラー１の所望の最高応答周波数よりも高くなるように、選定されている。
【００３５】
圧電素子５は、変位台６と台座１２との間に配置されている。ねじ１６はスペーサ１４を介して、最も縮んだ時の圧電素子５の左端と右端がそれぞれ変位台６とスペーサ１４とから離れないように、圧電素子５を位置決めしている。この結果、圧電素子５の変位は確実に変位台６に伝わる。ゆるみ止めナット１５はねじ１６が弛むことを防止している。また、変位台６と台座１２の間には、圧電素子５および弾性部材７と並列に、ダンパー部材１３が配置されている。
【００３６】
小ミラー１１に対向するようにして、計測用レーザ光を連続的に出射する光源９と、小ミラー１１で反射されたレーザ光を受光するセンサ１０とが配置されている。
【００３７】
図３に示すように、圧電素子５を駆動する圧電素子駆動アンプ１８とセンサ１０は、コントローラ１７に接続されている。
【００３８】
次に、この実施形態の動作を図３を参照しながら説明する。なお、圧電素子５のストロークをｓとすると、圧電素子５をｓ／２だけ伸長させる電圧を印加したとき、ミラー１は回転（揺動）の中心位置（中立点）にある。
【００３９】
コントローラ１７は、図示を省略する上位のコントローラから目標値を入力されると、センサ１０の出力信号から得られる現在値と目標値との偏差を演算し、偏差が０になるまで、偏差に応じた駆動信号を圧電素子駆動アンプ１８に出力する。
【００４０】
そして、図示の状態から圧電素子５に印加する電圧を増加させた場合、圧電素子５は弾性部材７を弾性変形させながら伸長して変位台６を右方に変位させる。変位台６の直線変位に伴って駆動力伝達部材８も変位し、荷重点Ａに軸力（加圧力）を伝達する。荷重点Ａは回転中心から半径方向にｅずれているので、発生したモーメントにより、ミラー１および小ミラー１１は反時計回りに回転する。そして、ミラー１の回転に伴い駆動力伝達部材８は下に凸状に撓む。なお、この変形の様子は後述する図９に示されている。
【００４１】
また、図示の状態から圧電素子５に印加する電圧を減少させた場合、圧電素子５は縮小し、弾性部材７の付勢力（復元力）により変位台６は左方に直線変位する。変位台６の直線変位に伴って駆動力伝達部材８も変位し、荷重点Ａに軸力（引張力）を伝達してミラー１を時計回りに回転させる。ミラー１の回転に伴って、駆動力伝達部材８は上に凸状に撓む。
【００４２】
なお、ミラー１を回転変位させるのに必要な軸力の大きさは、非常にゆっくりと変位させた場合には回転に伴う摩擦力よりも大きい値、角加速度をもって急峻に変位させた場合には慣性力と摩擦力との合計よりも大きい値である。
【００４３】
このように、ミラー１の中立点を圧電素子５の伸縮量の中間とし、その状態で印加電圧を上下するので、ミラー１を正方向および逆方向に揺動駆動することができる。
【００４４】
以上説明したように、本発明によれば、駆動力伝達部材８を変位させることにより、小さな駆動力でミラー１を位置決めすることができる。この結果、構造系の変形や振動の発生を抑えることができるので、高速かつ高精度な位置決め動作が可能になる。
【００４５】
なお、弾性部材７は板ばねに限られるものではなく、コイルばねや平行ばね構造等、変位台６と台座１２の間に復元力を与えるものであればよい。
【００４６】
次に、ダンパー部材１３の動作を説明する。
【００４７】
図４は、上記第一の実施形態におけるダンパー部材の動作を説明する模式図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。
【００４８】
圧電素子５は振動減衰性が非常に小さい。このため、高速で駆動させる（高い周波数で伸縮させる）と、圧電素子の軸方向（伸縮方向）の残留振動により駆動力伝達部材８が振動する結果、ミラー１が静止するまでの時間が長くなる。
【００４９】
また、ミラー１は駆動力伝達部材８のばね作用による揺動振動の固有モードを有し、ステップ応答的な位置決め動作を高応答でさせると、この揺動振動が励振されて整定時に振動が残留する。
【００５０】
しかし、変位台６と台座１２との間に、圧電素子５および弾性部材７と並列にオイルダンパ等のダンパー部材１３を配置すると、圧電素子５に発生する残留振動の振動エネルギはダンパー部材１３により吸収される。この結果、短時間で駆動力伝達部材８すなわちミラー１を静止させることができる。したがって、作業能率を向上させることができると共に加工精度を向上させることができる。
【００５１】
次に、上記第一の実施形態の第一の変形例について説明する。
【００５２】
図５は、上記第一の実施形態の第一の変形例を示す光学スキャナの構成図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
【００５３】
同図に示すように、図示を省略するキーによりダンパー押え２４を軸２に対して径方向に一体に支持させると共に、ハウジング３とダンパー押え２４との間にダンパー材２５を挟む。そして、ナット２６によりダンパー押え２４を介してダンパー材２５をハウジング３に押し付ける。このように構成すると、ダンパー材２５とダンパー押え２４との間に働く摩擦力により軸２すなわちミラー１に加わる回転力を減衰させることができるので、短時間でミラー１を静止させることができる。したがって、作業能率を向上させることができると共に加工精度を向上させることができる。
【００５４】
なお、ミラー１に発生する揺動振動を減衰させるやり方はこれらに限られるものでなく、例えば、ミラー１を直接ダンパー材で押えてもよいし、軸２にオイルダンパーを取り付けてもよい。また、第一の変形例と第二の変形例の両者を採用するようにしてもよい。
【００５５】
図６は、上記第一の実施形態の第二の変形例を示す光学スキャナの構成図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は平面図である。
【００５６】
この第二の変形例では、変位台６を変位させるアクチュエータを、圧電素子５に代えて電磁アクチュエータを用いるように構成したものである。すなわち、コイル３０の一方に連結ロッド３３を、他方にコイル支持ロッド３６を固定し、ハウジング３に設けた軸受部により水平方向移動自在に支持する。また、コイル３０を挾みハウジング３に永久磁石３１を配置する。そして、連結ロッド３３に変位台６を接続する。
【００５７】
以上の構成であるから、コイル３０に電流を流すと、永久磁石３１が形成する磁界により電磁力がコイル３０に作用し、コイル３０すなわち変位台６を移動させるので、ミラー１を回転させることができる。
【００５８】
そして、この第二の変形例においても、ダンパー部材１３あるいは弾性部材７を採用することにより、ミラー１を速やかに位置決めすることができる。
【００５９】
なお、本発明におけるアクチュエータとしては上記した圧電素子や電磁アクチュエータに限られるものではなく、磁歪素子や油圧アクチュエータ等の直線変位が可能な他の装置を採用することができる。
【００６０】
（第二の実施形態）
図７は、本発明の第二の実施形態に係る光学スキャナの斜視図であり、図１と同じものまたは同一機能のものは同一符号を付して説明を省略する。
【００６１】
この第二の実施形態では、軸２を挟み軸２の両側に一対の締結端子３４を配置し、締結端子３４のそれぞれに駆動力伝達部材８を固定する。駆動力伝達部材８が固定されている位置は回転中心から等距離ｅであり、駆動力伝達部材８を駆動するアクチュエータ（すなわち、変位台６、圧電素子５および弾性部材７）は、ミラー１の回転中心に関して点対称の位置に配置されている。
【００６２】
このように構成すると、２つの駆動力伝達部材８を介して軸２に伝達される駆動力は対向し、かつ大きさが等しいので、軸２に対して偶力として作用する。
【００６３】
この結果、並進力成分が相殺されるので、ミラー１を高速で駆動しても軸２には曲げ振動が発生しない。したがって、ミラー１を高精度に位置決めすることができる。
【００６４】
なお、ここでは、アクチュエータを一対にする場合について説明したが、複数対のアクチュエータをそれぞれ回転中心に関して点対称に配置し、軸２に偶力が作用するように構成してもよい。
【００６５】
（第三の実施形態）
図８は、本発明の第三の実施形態に係る光学スキャナの構造図であり、図１と同じものまたは同一機能のものは同一符号を付して説明を省略する。なお、同図における（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。
【００６６】
ミラー１はミラーホルダ２７に支持されている。ミラーホルダ２７には４個の駆動力伝達部材８の一端が固定されている。駆動力伝達部材８が固定されている位置（すなわち荷重点Ａ）はミラー１の反射面と平行な平面内にあり、かつ４点が正方形を成す関係にある。なお、この実施形態の場合、アクチュエータ部の空間的な干渉を避けるため駆動力伝達部材変位台６の形状は図２の場合と相違する。また、センサ１０は２次元センサである。
【００６７】
次に、この実施形態の動作を説明する。
【００６８】
対向する１組の圧電素子５を伸縮させると、その変位が駆動力伝達部材８を介してミラー１に伝達され、他の１組の圧電素子５の荷重点Ａを通る直線を回転軸として、ミラー１を回転させることができる。
【００６９】
したがって、このスキャナ１台だけで、レーザ光を、加工面上において２次元的に位置決めすることができる。そして、光源９から出射されるレーザ光をミラー１の反射面またはミラーホルダ２７に取り付けた図示を省略する小ミラーで反射させ、反射光をセンサ１０で受光することにより、ミラー１の角度を検出する。
【００７０】
なお、ここでは、４個のアクチュエータを使用する構成を示したが、４個に限られることはない。
【００７１】
また、ミラー１を４個の駆動力伝達部材８だけで支持するようにしたが、ミラー１の中心部をボールジョイントで支持し、駆動力伝達部材８によってミラー１を所望の方向に傾ける（揺動させる）ようにしてもよい。
【００７２】
次に、駆動力締結部材８が破壊しない条件について説明する。
【００７３】
図９は、駆動力締結部材８の説明図であり、（ａ）は変形挙動を模式的に示した図、（ｂ）はたわみ線図、（ｃ）はせん断力線図、（ｄ）は曲げモーメント線図である。
【００７４】
変位台６が直線変位するとミラー１はＣ点を中心として回転変位し、ミラー１と駆動力伝達部材８の荷重点Ａは図中の点Ａ’に移動する。そして、荷重点Ａの移動に伴い、駆動力伝達部材８にはせん断力Ｐと曲げモーメントＭが同図に示す向きに作用する。
【００７５】
いま、回転中心である点Ｃから点Ａまでの偏心量をｅ、駆動力伝達部材８の長さをＬ、ミラー１の回転角をθ、変位台６のストロークをｓ、駆動力伝達部材８のたわみ量をｗ、駆動力伝達部材８の縦弾性係数をＥ、断面２次モーメントをＩ、駆動力伝達部材８の断面係数をＺ、ミラー１の最大回転角をθｍとし、駆動力伝達部材８とミラー１および変位台６との締結は固定支持条件であるとする。
【００７６】
締結による拘束条件からミラー１の回転角と駆動力伝達部材８のたわみ角は等しいので、ｓ、ｅおよびθの間には、式２、３の関係がある。そして、θは微小角であるので、式２、３は、式４、５に近似できる。
【００７７】
ｓ＝ｅ×ｓｉｎθ　・・・（式２）
ｗ＝ｅ（１−ｃｏｓθ）　・・・（式３）
ｓ≒ｅ×θ　・・・（式４）
ｗ≒ｅ×θ２　・・・（式５）
荷重点Ａに荷重Ｐと曲げモーメントＭが同時に作用するときの駆動力伝達部材８のたわみｗとたわみ角θは、各々の力が独立に作用するときの結果に重ね合わせの原理を適用して、それぞれ式６、７で表される。
【００７８】
また、式５〜７によりＰ、Ｍをθで表すと、Ｐ、Ｍはそれぞれ式８、９で表される。
【００７９】
さらに、θは微小角であるので、式８、９における（ｅ／Ｌ）・θ２の項を無視すると、式８、９は式１０、１１に置き換えることができる。
【００８０】
【数１】
2004074166.tif 000003
【００８１】
また、駆動力伝達部材８のせん断力線図および曲げモーメント線図は図９（ｃ）、（ｄ）に示す通りである。そして、合成した負荷としての曲げモーメントの最大値Ｍｍａｘは荷重点Ａで発生し、最大曲げモーメントＭｍａｘの絶対値と応力の最大値σｍａｘはそれぞれ式１２、１３で表される。
【００８２】
ここで、駆動力伝達部材８の降伏応力をσｂとすると、駆動力伝達部材８の塑性変形を防止するため、最大曲げ応力σｂｍａｘはσｂよりも小さくなければならない。そこで、駆動力伝達部材８の断面形状を円あるいは長方形と仮定し、直径あるいはたわみ方向の厚さをｄとすると、Ｉ／Ｚ＝ｄ／２および式１３より、ｄは式１４を満足しなければならない。
【００８３】
【数２】
2004074166.tif 000004
【００８４】
最大曲げ応力σｂｍａｘを小さくするためにはｄが小さいことが望ましい。しかし、ｄを小さくし過ぎると、軸方向の剛性が下がって固有振動数が低下する。したがって、ｄの値は式１４を満足し、かつ固有振動数がミラー１の応答周波数の最大値よりも高くなるように定める必要がある。
【００８５】
したがって、駆動力伝達部材８の材質として、ピアノ線や板ばねのような弾性部材を採用すると、軸方向の剛性が大きいので、ミラー１の揺動振動を抑えることができる。しかも、曲げ剛性を小さくできるので、ミラー１を回転させるときに生じる強制的な変形を吸収することができる。
【００８６】
図１０は、本発明の光学スキャナを採用したレーザ加工機の構成図であり、図３と同じものまたは同一機能のものは同一符号を付して説明を省略する。
【００８７】
このレーザ加工機は、本発明に係る光学スキャナと、公知のガルバノスキャナを光路中に直列に配置し、光学スキャナとガルバノスキャナによりレーザ光を同じ方向に偏向するように構成したものであり、図示を省略する上位コントローラによってシステム制御される。
【００８８】
加工時には、上位コントローラから、レーザ光の走査を一括制御するコントローラ１７に目標値が送られる。コントローラ１７は、本発明に係る光学スキャナおよびガルバノミラー２１を取り付けたガルバノスキャナ２０の現在位置と目標位置との偏差を演算し、その偏差に応じた駆動信号を圧電素子駆動アンプ１８とガルバノスキャナ駆動アンプ１９に出力する。
【００８９】
これに応じて、圧電素子駆動アンプ１８とガルバノスキャナ駆動アンプ１９はそれぞれのスキャナへ駆動電圧または駆動電流を出力する。コントローラ１７はセンサから出力される角度信号により各スキャナの時々刻々の位置を把握し、両者を協調動作させて目標値に最短時間で到達するように駆動信号を制御する。
【００９０】
そして、目標位置に達すると、レーザ発射指令により加工用レーザ光源２２からレーザが発射され、被加工物２３に照射される。本発明のスキャナシステムは、ガルバノスキャナシステムと比較して、偏向角は小さいが応答は速いという特徴を持つので、このようにスキャナを組み合わせることにより、特に小ストロークの加工の繰り返しにおいて、レーザ照射点の位置決めを従来の加工機よりも高速に行うことができる。
【００９１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ミラーにより光ビームを反射して前記光ビームを位置決めする光学スキャナにおいて、棒状の駆動力伝達部材と、前記駆動力伝達部材の軸線方向の一端が固定され前記駆動力伝達部材を前記軸線方向に移動させる直線移動手段と、を設け、前記ミラーを回転軸線の回りに回転自在に支持すると共に、前記駆動力伝達部材の他端を前記ミラーの前記回転軸線から外れた位置に固定し、前記直線移動手段を移動させることによりミラーを回転させるので、ミラーに作用する駆動力を大幅に低減できると共に、ミラーを高速かつ高精度に位置決めすることができる。そして、本発明に係る光学スキャナをレーザ加工装置に採用すると、特に短い距離での走査速度を向上させることができるので、作業時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る光学スキャナの斜視図である。
【図２】本発明の第一の実施形態に係る光学スキャナの構成図である。
【図３】本発明の第一の実施形態に係る光学スキャナの制御ブロック線図である。
【図４】本発明におけるダンパー部材の動作を説明する模式図である。
【図５】本発明の第一の実施形態の第一の変形例を示す光学スキャナの構成図である。
【図６】本発明の第一の実施形態に係る光学スキャナの第二の変形例である。
【図７】本発明の第二の実施形態に係る光学スキャナの斜視図である。
【図８】本発明の第三の実施形態に係る光学スキャナの構造図である。
【図９】本発明における駆動力締結部材８の説明図である。
【図１０】本発明の光学スキャナを採用したレーザ加工機の構成図である。
【図１１】従来技術の説明図である。
【符号の説明】
１　ミラー
５　圧電素子
８　駆動力伝達部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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