(57)【要約】【課題】フッ素含有排水にＣａ（ＯＨ）２を添加して排水中のＦをＣａＦ２として沈殿除去するに当たり、Ｃａ（ＯＨ）２を有効に作用させてＦを効率的に除去する。【解決手段】フッ素含有排水にＣａ（ＯＨ）２を添加してｐＨ１０〜１１とした後過剰分のＣａ２＋１２０〜２５０ｍｇ／Ｌに相当するＣａ（ＯＨ）２２２０〜４６０ｍｇ／Ｌを注入すると共にＨＣｌを添加してｐＨ６〜８に中和する。或いは、過剰分のＣａ２＋１２０〜２５０ｍｇ／Ｌに相当するＣａ（ＯＨ）２２２０〜４６０ｍｇ／Ｌを注入した後ＨＣｌを添加してｐＨ５．８〜８．６に中和する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素含有排水に水酸化カルシウムを添加してフッ化カルシウムを生成させ、これを固液分離して処理する方法において、
該排水に水酸化カルシウムを添加してｐＨを１０〜１１にする第１反応工程と、
該第１反応工程の反応液に過剰分のカルシウムイオン１２０〜２５０ｍｇ／Ｌに相当する水酸化カルシウム２２０〜４６０ｍｇ／Ｌを注入すると共に、塩酸を添加してｐＨを５．８〜８．６にする第２反応兼中和工程と
を有することを特徴とするフッ素含有排水の処理方法。
【請求項２】
フッ素含有排水に水酸化カルシウムを添加してフッ化カルシウムを生成させ、これを固液分離して処理する方法において、
該排水に水酸化カルシウムを添加してｐＨを１０〜１１にする第１反応工程と、
該第１反応工程の反応液に過剰分のカルシウムイオン１２０〜２５０ｍｇ／Ｌに相当する水酸化カルシウム２２０〜４６０ｍｇ／Ｌを注入する第２反応工程と、
該第２反応工程の反応液に塩酸を添加してｐＨを５．８〜８．６にする中和工程と
を有することを特徴とするフッ素含有排水の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフッ素含有排水にカルシウム（Ｃａ）塩として水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）２）を添加してフッ素をフッ化カルシウム（ＣａＦ２）として固液分離する方法に係り、特に、排水中のフッ素に対してＣａ（ＯＨ）２を有効に作用させて、高水質の処理水を得るフッ素含有排水の処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体部品製造におけるシリコンウェハ製造工程から排出されるフッ素含有廃水、ステンレス鋼板製造工程から排出される酸洗廃水、アルミニウム表面処理廃水、フッ酸製造廃水、肥料製造廃水、ゴミ焼却廃水等のフッ素含有排水は、一般に、次のような二段処理で処理されている。即ち、まず、一段目でフッ素含有排水にＣａ塩を添加して排水中のフッ素の大部分をＣａＦ２として沈殿分離し、次に二段目でアルミニウム（Ａｌ）塩を添加して残留するフッ素を共沈させて分離する二段沈殿法、或いは、二段目でキレート樹脂で残留フッ素を吸着除去する方法が採用されている。
【０００３】
このうち、一段目のＣａ塩によるＣａＦ２の沈殿除去は、図３に示す如く、反応中和槽１１において、原水に一定量のＣａ（ＯＨ）２又は鉱酸を添加し、これに対して鉱酸又はＣａ（ＯＨ）２でｐＨ６〜８に調整する方法と、図４に示す如く、反応槽１２で原水のＦに対して過剰となるようにＣａ（ＯＨ）２を添加し、その後中和槽１３で鉱酸を添加してｐＨ６〜８に調整する方法とがある。図３，４のいずれの方法においても、Ｃａ（ＯＨ）２及び鉱酸を添加してＣａＦ２を析出させた後は、凝集槽１４で高分子凝集剤（ポリマー）を添加して凝集処理し、その後沈殿槽１５で固液分離して処理水を得る。
【０００４】
図３，４のいずれの方法でも、処理水をそのまま放流することができるように、鉱酸でｐＨ６〜８にｐＨ調整している。このｐＨ調整のための鉱酸としては、通常、操作性やコストの面から硫酸（Ｈ２ＳＯ４）が使用されている。
【０００５】
また、図３，４のいずれの方法でも、次の理由により原水中のＦに対してＣａ（ＯＨ）２が過剰添加されている。即ち、フッ素含有排水中には、通常、フッ酸（ＨＦ）以外に、硝酸（ＨＮＯ３）、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸（Ｈ２ＳＯ４）、リン酸（Ｈ３ＰＯ４）などの１種又は２種以上が含まれており、これらはＣａ（ＯＨ）２で中和することにより、以下のように反応する。
【０００６】
２ＨＦ＋Ｃａ（ＯＨ）２→ＣａＦ２（沈殿）＋２Ｈ２Ｏ          ……（１）
２ＨＮＯ３＋Ｃａ（ＯＨ）２→Ｃａ２＋＋２ＮＯ３−＋２Ｈ２Ｏ  ……（２）
２ＨＣｌ＋Ｃａ（ＯＨ）２→Ｃａ２＋＋２Ｃｌ−＋２Ｈ２Ｏ      ……（３）
Ｈ２ＳＯ４＋Ｃａ（ＯＨ）２→Ｃａ２＋＋ＳＯ４２−＋２Ｈ２Ｏ  ……（４）
２Ｈ３ＰＯ４＋３Ｃａ（ＯＨ）２→Ｃａ３（ＰＯ４）２（沈殿）＋３Ｈ２Ｏ……（５）
【０００７】
従って、ｐＨ中性の時点で原水中のＦをＣａＦ２として沈殿させるためのＣａ（ＯＨ）２は確保されている。
【０００８】
しかし、上記（１）式の反応で原水中のフッ素含有排水をＣａＦ２として完全に沈殿させるためには、溶解性のＣａ２＋を系内に２００〜３００ｍｇ／Ｌ程度存在させる必要があると考えられていた。この過剰分のＣａ２＋を確保するために、従来においては、原水中のＨＣｌ，ＨＮＯ３，Ｈ２ＳＯ４等の共存量が少ない場合には、図３に示す如く、原水に鉱酸として安価なＨ２ＳＯ４を予め添加するかＣａ（ＯＨ）２と共に添加し、これをＣａ（ＯＨ）２で中和する。即ち、図３の中和槽１１へのＨ２ＳＯ４添加分に対応するＣａ（ＯＨ）２が２００〜３００ｍｇ／Ｌの過剰のＣａ２＋に相当するようにしていた。また、図４に示す方法では、反応槽１４でＣａ（ＯＨ）２を過剰添加してその後Ｈ２ＳＯ４で中和することにより、２００〜３００ｍｇ／Ｌの過剰のＣａ２＋を確保している。
【０００９】
なお、従来において、Ｃａ（ＯＨ）２の添加量の決定方法としては、原水の水質変動の範囲において、Ｆ濃度が最大となる濃度に対応して所定のＣａ（ＯＨ）２添加量を決定して定量注入する方法と、Ｃａ（ＯＨ）２添加後のｐＨが１１〜１２となるようにＣａ（ＯＨ）２添加量を制御する方法とがあるが、このうち、原水の水質変動にかかわらず、Ｃａ（ＯＨ）２を定量注入する方法は、常にＣａ（ＯＨ）２が過剰注入されることとなり、薬注量の無駄が発生する。従って、Ｃａ（ＯＨ）２はｐＨに基いて薬注制御する方法が好ましい。
【００１０】
これら、図３，４の方法は、一般的にはその処理水の水質に大差はないが、図４に示す方法で処理した方が良好な水質の処理水が得られる場合がある。この水質の差と原水の水質との関係は明確には解明されていないが、原水のＦ濃度が数百ｐｐｍ以下の場合に、図４に示す方法の方が図３に示す方法よりも良好な水質の処理水が得られる傾向にある。
【００１１】
この処理水の水質の差が起こる原因は定かではないが、図３に示す如く、鉱酸とＣａ（ＯＨ）２を同時に添加してｐＨを６〜８に調整する方法では、添加したＣａ（ＯＨ）２が急速に溶解してＣａ２＋イオンになると同時にＦ−イオンと反応し、ＣａＦ２の沈殿が生成するが、系内に沈殿の核となる懸濁物質が存在しないため、一部溶解性のコロイダルＣａＦ２が生成し、このコロイダルＣａＦ２のために処理水の水質が悪くなるためと考えられる。
【００１２】
一方、図４に示す如く、Ｃａ（ＯＨ）２を先に添加する方法では、Ｃａ（ＯＨ）２の添加によりアルカリ性となるためＣａ（ＯＨ）２の溶解速度が遅くなり、溶解過程のＣａ（ＯＨ）２粒子の表面にＣａＦ２が析出する。そして、析出したＣａＦ２が結晶の核となって逐次初期析出ＣａＦ２の表面に新たなＣａＦ２が析出することで、溶解性のコロイダルＣａＦ２の発生を制御することができ、このために、処理水質が良好なものになるものと推定される。
【００１３】
このようなことから、Ｃａ（ＯＨ）２によるフッ素含有排水の処理法としては、図４に示す如く、Ｃａ（ＯＨ）２を過剰添加し、その際、反応槽１２におけるｐＨが１１〜１２となるように薬注制御し、その後中和槽１３でＨ２ＳＯ２により中和する方法が有望であると考えられる。
【００１４】
ところで、フッ素含有排水については、その排水基準が平成１３年度にＦ濃度１５ｍｇ／Ｌから８ｍｇ／Ｌに強化されたことに伴い、前述のフッ素含有排水の二段処理における一段目におけるＣａＦ２の沈殿除去を効果的に行い、二段目におけるフッ素含有排水負荷をできるかぎり軽減する処理システムの開発が望まれている。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明はフッ素含有排水にＣａ（ＯＨ）２を添加して排水中のフッ素をＣａＦ２として沈殿除去するに当たり、Ｃａ（ＯＨ）２を有効に作用させてフッ素を効率的に除去するフッ素含有排水の処理方法を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
請求項１のフッ素含有排水の処理方法は、フッ素含有排水に水酸化カルシウムを添加してフッ化カルシウムを生成させ、これを固液分離して処理する方法において、該排水に水酸化カルシウムを添加してｐＨを１０〜１１にする第１反応工程と、該第１反応工程の反応液に従来より少ない過剰分のカルシウムイオン１２０〜２５０ｍｇ／Ｌに相当する水酸化カルシウム２２０〜４６０ｍｇ／Ｌを注入すると共に、塩酸を添加してｐＨを５．８〜８．６にする第２反応兼中和工程とを有することを特徴とする。
【００１７】
請求項２のフッ素含有排水の処理方法は、フッ素含有排水に水酸化カルシウムを添加してフッ化カルシウムを生成させ、これを固液分離して処理する方法において、該排水に水酸化カルシウムを添加してｐＨを１０〜１１にする第１反応工程と、該第１反応工程の反応液に過剰分のカルシウムイオン１２０〜２５０ｍｇ／Ｌに相当する水酸化カルシウム２２０〜４６０ｍｇ／Ｌを注入する第２反応工程と、該第２反応工程の反応液に塩酸を添加してｐＨを５．８〜８．６にする中和工程とを有することを特徴とする。
【００１８】
なお、本発明において、過剰分のカルシウムイオン（Ｃａ２＋）とは、原水中のＦ−をＣａＦ２とする場合に必要な理論Ｃａ２＋量に対して過剰分となるＣａ２＋に相当し、従来法において、この過剰分のＣａ２＋は前述の如く２００〜３００ｍｇ／Ｌが適当であるとされていた。
【００１９】
本発明者らは、図４に示す従来法において、処理水の水質を向上させるべく、次のような検討を行った。
【００２０】
即ち、図４に示す従来法においては、Ｃａ（ＯＨ）２の過剰添加のために、反応槽１２におけるｐＨが１１〜１２、一般的には１１．５となるようにＣａ（ＯＨ）２の薬注制御が行われているが、ｐＨ１１を超えるアルカリ性では、Ｃａ（ＯＨ）２と空気中の二酸化炭素（ＣＯ２）とが反応して炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）が析出する傾向が著しくなる。そして、このＣａＣＯ３スケールがｐＨ計電極等に析出し、ｐＨ制御が困難になったり、煩雑なｐＨ計の洗浄を頻繁に行う必要が生じる。また、高アルカリ側では、Ｃａ（ＯＨ）２の溶解が遅くなり、Ｃａ（ＯＨ）２注入量が多くなる傾向にある。従って、ｐＨ１１以下での薬注制御が好ましい。
【００２１】
ところで、原水中にアンモニアのようなｐＨ緩衝性の化合物が存在した場合、薬注量に対するｐＨ変化が緩慢となるため、ｐＨ制御に基く薬注制御が困難となるが、最近の半導体部品製造工場では、バッファードフッ酸と称されるエッチング力の弱いフッ酸が使用されている。このバッファードフッ酸には多量のフッ化アンモニウム（ＮＨ４Ｆ）が含まれているが、ＮＨ４ＦはｐＨ中性であるため、前述のＨＮＯ３やＨＣｌ等の酸のようにＣａ（ＯＨ）２によりｐＨ中性にするのみでは、原水中のＦ−をＣａＦ２にするためのＣａ（ＯＨ）２を確保し得ず、従って、過剰の溶解性Ｃａ２＋も確保し得ない場合がある。
【００２２】
アンモニアの解離特性は、下記（６）式で示され、
ｐＨ９．２では    ＮＨ３／ＮＨ４＋＝１／１、
ｐＨ１０．２では  ＮＨ３／ＮＨ４＋＝１０／１、
ｐＨ１０．５では  ＮＨ３／ＮＨ４＋＝１５／１、
ｐＨ１１では      ＮＨ３／ＮＨ４＋＝６０／１
となり、ｐＨ１０〜１１の範囲で大部分のアンモニアはＮＨ３の形となる。
【００２３】
ＮＨ３＋Ｈ＋⇔ＮＨ４＋（ｐＫ＝９．２）    …（６）
このｐＨ１０〜１１の範囲での状態を、ＮＨ４ＦとＣａ（ＯＨ）２との反応で表すと、下記（７），（８）式の通りである。
２ＮＨ４Ｆ＋Ｃａ（ＯＨ）２→ＣａＦ２＋２ＮＨ４ＯＨ    …（７）
ＮＨ４ＯＨ⇔ＮＨ３＋Ｈ２Ｏ    …（８）
【００２４】
上記（６），（７），（８）式より、ＮＨ４ＦがＮＨ３になるｐＨ、即ち、ｐＨ１０〜１１、好ましくはｐＨ１０．２〜１０．５の範囲で制御することにより、ＮＨ４ＦがＣａＦ２となるＣａ（ＯＨ）２が確保されること、そして、この状態から更に過剰のＣａ（ＯＨ）２を添加すると、ＣａＦ２を完全に沈殿させるための過剰の溶解性Ｃａ２＋を確保することができることが明らかである。
【００２５】
このようなことから、本発明においては、原水にＣａ（ＯＨ）２を添加してｐＨ１０〜１１とし、その後、所定量の溶解性Ｃａ２＋が存在するように過剰分のＣａ（ＯＨ）２を更に添加する。
【００２６】
また、本発明者らの検討により、このように、Ｃａ（ＯＨ）２を添加した後の中和のための鉱酸としてＨＣｌを用いることにより、Ｈ２ＳＯ４を用いる場合に比べて、処理水の水質を大幅に向上させることができることが見出された。これは、ＨＣｌとＨ２ＳＯ４との中和機能に差異はないが、Ｃａ２＋とＣｌ−の反応性と、Ｃａ２＋とＳＯ４２−との反応性には次のように差異があることによる。
【００２７】
即ち、Ｈ２ＳＯ４の添加で生成するＣａＳＯ４の溶解度は約２０００ｍｇ／Ｌであるが、溶解度以下のＣａ２＋，ＳＯ４２−濃度でもＣａ２＋とＳＯ４２−は溶解状態で結合していると考えられ、分子状のＣａＳＯ４となっていると推察される。このため過剰のＣａ（ＯＨ）２を添加してもＣａ２＋はＳＯ４２−と結合することにより、溶解性Ｃａ２＋としてＣａＦ２の沈殿に有効に作用しないものと考えられる。このことは、原水中のＮａ２ＳＯ４濃度が高いと、処理水のＦ濃度が高くなることからも裏付けられる。
【００２８】
一方、ＨＣｌの添加で生成するＣａＣｌ２はＣａ２＋とＣｌ−に解離しており、過剰添加されたＣａ（ＯＨ）２のＣａ２＋は溶解性Ｃａ２＋としてＣａＦ２の沈殿に有効に作用する。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して本発明のフッ素含有排水の処理方法の実施の形態を詳細に説明する。
【００３０】
図１，２は本発明のフッ素含有排水の処理方法の実施の形態を示す系統図である。
【００３１】
図１の方法では、原水を反応槽１に導入してＣａ（ＯＨ）２をｐＨ１０〜１１となるように添加して反応させた後、反応中和槽２において、過剰分のＣａ（ＯＨ）２を添加すると共に、ＨＣｌを添加してｐＨ５．８〜８．６に中和する。この反応中和槽２の液は、次いで凝集槽４に導入してポリマーを添加して凝集処理した後、沈殿槽５で固液分離して処理水を得る。
【００３２】
図２の方法では、原水を第１反応槽１Ａに導入してＣａ（ＯＨ）２をｐＨ１０〜１１となるように添加して反応させた後、第２反応槽２Ｂにおいて更に過剰分のＣａ（ＯＨ）２を添加して反応させ、その後中和槽３でＨＣｌを添加してｐＨ５．８〜８．６に中和する。この中和槽３の液は、次いで凝集槽４に導入してポリマーを添加して凝集処理した後、沈殿槽５で固液分離して処理水を得る。
【００３３】
本発明において、このように、Ｃａ（ＯＨ）２を２回に分けて分割添加する際に、前段におけるＣａ（ＯＨ）２の添加でｐＨを１０〜１１に調整することは極めて重要であり、このｐＨが１１を超えると、前述の如く、ＣａＣＯ３スケールの問題が生起する。また、このｐＨが１０未満であればＮＨ４Ｆ由来のＦ−をＣａＦ２として十分に沈殿させることができなくなる。特に、この調整ｐＨは１０．２〜１０．５とすることが好ましい。
【００３４】
本発明においては、このように、ｐＨ１０〜１１となるようにＣａ（ＯＨ）２を添加して反応させた後、更に過剰分のＣａ（ＯＨ）２を添加する。この過剰分の添加は、従来においては、Ｃａ２＋として２００〜３００ｍｇ／Ｌが好ましいとされていたが、本発明においては、ｐＨ調整にＨＣｌを用いたことによる前述の効果から、この過剰分のＣａ２＋は、２００ｍｇ／Ｌよりも少なく、１２０ｍｇ／Ｌ程度でも処理水中のＦを大幅に改善することができた。
【００３５】
ＨＣｌによる中和ｐＨは、処理水の放流、或いは後段の処理の点から、ｐＨ５．８〜８．６、特に６．０〜７．５とすることが好ましい。
【００３６】
各反応槽における反応時間は、ＣａＦ２が十分に析出するような時間であれば良く、通常、図１の方法における反応槽１、反応中和槽２、図２の方法における第１反応槽、第２反応槽の滞留時間はいずれも２０〜３０分程度とするのが好ましい。
【００３７】
なお、図１，２において、沈殿槽５の代りに膜分離装置や遠心分離装置を用いても良い。
【００３８】
本発明の方法は、各種のフッ素含有排水に適用可能であるが、特にｐＨ制御が困難なアンモニアを含有する排水、とりわけＮＨ４Ｆを５０ｍｇ／Ｌ以上含有する排水の処理に好適である。
【００３９】
【実施例】
以下に比較例及び実施例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
【００４０】
なお、以下の実施例及び比較例においては、下記水質のアルミニウム表面処理工場排水を原水として処理した。
【００４１】
［原水水質］
ｐＨ：６．８
ＳＳ：２９ｍｇ／Ｌ
ＣＯＤ：６ｍｇ／Ｌ
Ｆ：１６０ｍｇ／Ｌ
ＳｉＯ２：２２．４ｍｇ／Ｌ
ＰＯ４−Ｐ：４．６ｍｇ／Ｌ
ＳＯ４２−：５６ｍｇ／Ｌ
ＮＨ４−Ｎ：５５．４ｍｇ／Ｌ
【００４２】
この原水に必要なＣａ２＋は従来法では次の通り▲１▼，▲２▼，▲３▼の合計の約３７０ｍｇ／Ｌであり、Ｃａ（ＯＨ）２として約６８５ｍｇ／Ｌに相当する。なお、理論量は▲１▼，▲２▼の合計の約１７７ｍｇ／ＬでありＣａ（ＯＨ）２として約３２７ｍｇ／Ｌである。
【００４３】
Ｆと当量分のＣａ２＋＝１６０×４０／３８＝１６８ｍｇ／Ｌ    …▲１▼
ＰＯ４−Ｐと当量分のＣａ２＋
＝４．６×４０×３／（３１×２）＝９ｍｇ／Ｌ    …▲２▼
過剰分のＣａ２＋＝２００ｍｇ／Ｌ              …▲３▼
【００４４】
比較例１（実験Ｎｏ．１〜３）
図３の方法に準じて原水の処理を行った。
【００４５】
原水にＨ２ＳＯ４を表１に示す量添加すると共に、Ｃａ（ＯＨ）２を表１に示す量添加してｐＨが６．５となるように添加して１０分間反応させた後、反応液を濾紙（Ｎｏ．５Ａ）で濾過し、濾液（処理水）の分析を行い、結果を表１に示した。
【００４６】
【表１】
2004283759.tif 000003
【００４７】
表１より、この方法では、Ｃａ（ＯＨ）２添加量が６８５ｍｇ／Ｌ以上となるＮｏ．２，３でも、処理水の水質は殆ど改善されず、Ｃａ（ＯＨ）２の過剰添加を行っても良好な処理水は得られないことが分かる。
【００４８】
比較例２（実験Ｎｏ．４〜６）
図４の方法に準じて原水の処理を行った。
【００４９】
原水にＣａ（ＯＨ）２を表２に示すｐＨとなるように添加して１０分間反応させた後、ｐＨ６．５となるようにＨ２ＳＯ４を添加して１０分間反応させた。反応液を濾紙（Ｎｏ．５Ａ）で濾過し、濾液（処理水）の分析を行い、結果を表２に示した。
【００５０】
【表２】
2004283759.tif 000004
【００５１】
表２より明らかなように、この方法では、比較例１の場合よりも改善され、Ｃａ（ＯＨ）２の過剰添加で処理水Ｆ濃度は低減されるが、次の実施例には及ばない。
【００５２】
実施例１（実験Ｎｏ．７〜９）
図１の方法に準じて原水の処理を行った。
【００５３】
原水にｐＨ１０．２となるようにＣａ（ＯＨ）２を添加して１０分間反応させた。このときのＣａ（ＯＨ）２添加量は３１０ｍｇ／Ｌであった。その後、表３に示す量のＣａ（ＯＨ）２を添加すると同時にＨＣｌ（３５％ＨＣｌ）を添加してｐＨ６．５に調整して１０分間反応させた。
【００５４】
このときの３５％ＨＣｌ添加量は表３に示す通りであった。この反応液を濾紙（Ｎｏ．５Ａ）で濾過し、濾液（処理水）の分析を行い、結果を表３に示した。
【００５５】
【表３】
2004283759.tif 000005
【００５６】
表３より明らかなように、この方法では、Ｃａ（ＯＨ）２をｐＨ１０〜１１となるように添加した後、過剰分のＣａ（ＯＨ）２を添加することにより、良好な水質の処理水を得ることができる。
【００５７】
なお、図２に示すフローに従って、第１反応槽及び第２反応槽で各々上記と同量のＣａ（ＯＨ）２を添加しても、同様の結果が得られた。このとき、第２反応槽におけるｐＨは、過剰分Ｃａ（ＯＨ）２を１６０ｍｇ／Ｌ添加した場合は１１．３、過剰分Ｃａ（ＯＨ）２を２５０ｍｇ／Ｌ添加した場合は１１．６、過剰分Ｃａ（ＯＨ）２を５００ｍｇ／Ｌ添加した場合は１１．９であった。
【００５８】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明のフッ素含有排水の処理方法によれば、フッ素含有排水にＣａ（ＯＨ）２を添加して排水中のフッ素をＣａＦ２として沈殿除去するに当たり、Ｃａ（ＯＨ）２を有効に作用させてフッ素を効率的に除去することができ、これにより高水質処理水を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフッ素含有排水の処理方法の実施の形態を示す系統図である。
【図２】本発明のフッ素含有排水の処理方法の別の実施の形態を示す系統図である。
【図３】従来法を示す系統図である。
【図４】従来法を示す系統図である。
【符号の説明】
１  反応槽
１Ａ  第１反応槽
１Ｂ  第２反応槽
２  反応中和槽
３  中和槽
４  凝集槽
５  沈殿槽
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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