(57)【要約】【課題】カセット収容部内への微細な粉塵などの異物の進入を防止し、モジュールの品質を向上させる。【解決手段】扉本体６ａの枠体内の高さ方向に一対の棒状のローラ７ａ，７ｂが回転自在に配設され、このローラ７ａとローラ７ｂとの間には矢印Ｃ方向及び矢印Ｃ´方向にそれぞれ可動自在に往復運動を行うタイミングベルト８が張設されている。この扉本体６の開閉部３ａと対向する領域６ｂを十分にカバーできる領域には、この枠体の左右側面の上下方向に一対の案内溝９ａ，９ｂを有する凹状のレール９が形成されている。このレ−ル９内には、上下方向に一対のガイドローラ１０ａ，１０ｂを装着した開閉扉６ａが可動自在に装着され、この開閉扉６ａはタイミングベルト８に取付け板１１を介して取付け固定され、また、この開閉扉６ａの開閉部３ａと対向する内壁面には、マグネットシート１２が貼り付け固定されている。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にモジュールを収容したカセットを搬入出させる開口部及び前記開口部と対向配置され、かつ前記開口部を開閉させる開閉扉を有し、前記開閉扉を開放して前記カセットを収容した後に前記開閉扉を閉塞させるカセット収容部を搭載し、前記カセット収容部の内部を密閉させて前記カセットを搬送する台車を備え、
前記開閉扉の前記開口部と対向する内壁面にマグネットシートを配設することを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示素子（ＬＣＤと呼ぶ）などのモジュール製造工程におけるＬＣＤカセット搬送工程で適用される搬送装置に係わり、特にＬＣＤを収容したＬＣＤカセットをカセット収容部内に搬入出させる開閉扉の密閉構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般にＬＣＤなどのモジュール製造工程におけるＬＣＤカセット搬送工程では、モジュールをクリーンルーム内に設けた加工室で加工し、加工されたモジュールをカセット内に多段積みに載置して収容し、カセット毎に次工程の加工を行うクリーンルーム内へ移動することが行われている。
【０００３】
ここで、加工済みのモジュールが収容されたカセットは、開口部及びこの開口部に結合された開閉扉並びに内部にローラコンベアを有するカセット収容部を搭載した台車を用いて搬送される。このモジュールを収容したカセットは、カセット収容部に設けられた開閉扉を開放させ、開口部を介してカセット収容部内に自動的に供給された後、開閉扉を閉塞させ、台車を人手にて次工程の加工を行うクリーンルームへ搬送することが行われている。なお、この種の従来技術に関しては、例えば下記特許文献１を挙げることができる。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−２８７８３１号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、モジュールを搬送する台車は、一連のクリーンルーム相互間を搬送するに当り、一般通路を走行するため、台車に搭載されているカセット収容部内に開閉扉の隙間から微細な粉塵等の異物が進入し、カセット内に収容されているモジュールに付着して品質を低下させ、信頼性を損なう場合がある。
【０００６】
また、近年、モジュール製造工程の大型化に伴ない、クリーンルーム内の全体を高清浄環境下にすると、環境維持に多大な費用を要することから、搬送ラインを箱（トンネル）で覆い、その部分のみを清浄化するようにしたクリーントンネル方式が実施されているが、クリーントンネル方式は、常時、送風ファンからフィルタを通して清浄な空気を吹き出させ、その空気を多孔床板を通して排気ファンにより外部に排出することによってトンネル内を清浄化させているので、設備が大掛かりとなり、多大な費用を要する。
【０００７】
したがって、本発明は、前述した従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、開閉扉を密閉構造とすることにより、カセット収容部内への微細な粉塵等の異物の進入を防止し、モジュールの品質及び信頼性を向上させることができるとともに、低コストで高密閉性を実現可能とする搬送装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために本発明による搬送装置は、開閉扉の開口部と対向する内壁面にマグネットシートを配設することにより、開口部の密閉性を向上させ、カセット収容部内への粉塵等の異物の進入を防止させる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明による搬送装置の一実施例による構成を説明する斜視図であり、図２は図１の側面図である。図１及び図２において、１は台車本体１ａの下面の四隅に走行用ローラ１ｂを有する台車であり、この台車１の上段側には、図示しないが加工済みの複数のモジュールＭを内部に多段積みに載置して収容されたカセット２を搬入出させる開口部３ａを有する金属性板材からなる略箱型状のカセット収容部３が搭載されている。
【００１０】
また、略箱型に形成されたカセット収容部３には、その開口部３ａから内部へカセット２を手前から奥（矢印Ａ方向）へ搬送して収容または奥へ収容したカセット２を手前（矢印Ａ´方向）へ搬送させる２基のローラコンベア４ａ，４ｂが併設されて配設されている。なお、矢印Ｂ方向はカセット２の搬入方向を、矢印Ｂ´方向はカセット２の搬出方向をそれぞれ示している。
【００１１】
また、台車１に搭載されるカセット収容部３のローラコンベア４ａ，４ｂの下部側には、この台車１の自走制御を行う図示しない走行制御回路，自走用電源，後述する開閉扉の開閉制御回路，扉開閉制御用電源５ａ，台車１の自走制御を駆動させるスタート・ストップスイッチ５ｂ及びそれらの駆動装置などが収容された駆動装置収容部５が配設され、台車１の下段側に搭載されている。
【００１２】
また、このカセット収容部３の開口部３ａ及び駆動装置収容部５の前面側には、この開口部３ａの開放，閉塞を行う枠体状に形成された扉開閉部３Ａが配設されている。この扉開閉部３Ａは、図３に枠体の内側左側面（図１の矢印Ｄ方向）から見た拡大側面図で示すように枠体状に形成された扉本体６の高さ方向（上下方向）に一対の棒状のローラ７ａ，７ｂが回転自在に取付け固定されており、このローラ７ａとローラ７ｂとの間には矢印Ｃ方向及び矢印Ｃ´方向にそれぞれ可動自在に往復移動を行うタイミングベルト８が張設されている。なお、図３中では、開口部３ａに向かって枠体の内側の左側面のみを示したが、同様に右側面にも線対称で同一構造を有して形成される構成となっている。
【００１３】
また、この扉本体６の図１に示す開口部３ａと対向する領域６ｂを十分にカバーできる領域でこの扉本体６の左右内側面には、上下方向に一対の案内溝９ａ，９ｂを一体的に有する凹状のレール９が形成されている。また、このレ−ル９内には、上下方向に一対のガイドローラ１０ａ，１０ｂを装着した金属性板材からなる開閉扉６ａが可動自在に装着され、この開閉扉６ａはタイミングベルト８に金属性板材からなる取付け板１１を介して取付け固定される構造となっている。したがって、この開閉扉６ａは、タイミングベルト８の矢印Ｃ方向及び矢印Ｃ´方向の往復移動に伴なって伴走されることになる。また、この開閉扉６ａには、図１に示す開口部３ａと対向する内壁面にマグネットシート１２が貼り付け固定されている。
【００１４】
このような構成において、カセット収容部３に設けられた開口部３ａを閉塞する際には、まず、内壁面にマグネットシート１２を有する開閉扉６ａが固定されたタイミングベルト８を矢印Ｃ方向に駆動させることにより、開閉扉６ａが上方向（矢印Ｃ方向）にスライドする。このとき、開閉扉６ａに装着されているガイドローラ１０ａ，１０ｂがレール９の溝内を走行してそれぞれ案内溝９ａ，９ｂ内に進入して走行が停止される。このとき、開閉扉６ａが開口部３ａ側にシフトされ、この開閉扉６ａの内壁面に貼り付けられたマグネットシート１２が開口部３ａに磁気力により吸着され、開閉扉６ａが開口部３ａに密閉されることになる。
【００１５】
また、開閉扉６ａを開放する際には、タイミングベルト８を矢印Ｃ´方向に駆動させることにより、レール９の案内溝９ａ，９ｂ内に係止されている一対のガイドローラ１０ａ，１０ｂが案内溝９ａ，９ｂからレール９内に引出されてレール９内を走行する。これによって図１に示す開口部３ａを閉塞させていた開閉扉６ａの内壁面に貼り付けられているマグネットシート１２が離間し、開閉扉６ａが図３に示すような状態に戻り、図１に示す開口部３ａが開放され、カセット収容部３内にカセット２の搬入出を行うことができる。
【００１６】
なお、これらの一連の駆動は、扉本体６の内側に配設される一対のセンサ１３ａ，１３ｂにより、図１及び図２に示すカセット収容部３内に搬入出されるカセット２の通過を検知し、その検出信号に対応して自動的に行われる。この場合、開閉扉６ａの開閉は、人手を全く介在させることなく、図１及び図２に示す駆動装置収容部５内に収容されている図示しない扉開閉制御回路の制御により行われる。
【００１７】
このような構成によれば、開閉扉６ａの内壁面に貼り付けたマグネットシート１２の磁気力により開閉扉６ａがカセット収容部５の開口部３ａに吸着されるので、カセット収容部３と開閉扉６ａとが簡単な構成で確実に密閉され、密閉度が向上できるので、カセット収容部３内への微細な粉塵等の異物の進入を確実に防止することができる。これによってカセット収容部３に収容されているカセット２内に載置されるモジュールＭに粉塵等の異物の付着が皆無となり、品質向上効果が得られる。
【００１８】
なお、前述した実施例においては、カセット収容部３の高さ方向（上下方向）に開閉するスライド構造の開閉扉６の内壁面にマグネットシート１２を貼り付けた場合について説明したが、本発明はこの構成に限定されるものではなく、横方向（左右方向）に開閉するスライド構造の開閉扉に適用しても前述と全く同様の効果が得られることは言うまでもない。
【００１９】
また、前述した実施例においては、スライド構造の開閉扉の内壁面にマグネットシートを貼り付けた場合について説明したが、本発明はこの構成に限定されるものではなく、開閉扉と開口部との間に蝶番を介在させて結合し、開閉扉を上下方向または左右方向に開閉する開閉構造の開閉扉に適用しても前述と全く同様の効果が得られることは勿論である。
【００２０】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明による搬送装置によれば、開閉扉の内壁面にマグネットシートを貼り付けてカセットを搬入出する開口部を密閉することにより、カセット収容部に対する密閉度が大幅に向上できるので、一般通路とクリーンルームとの間におけるカセットの搬送に対してカセット収容部内への微細な粉塵等の異物の進入を確実に防止でき、カセット内に載置されているモジュールへの付着も皆無となり、品質及び信頼性を大幅に向上させることができるという極めて優れた効果が得られる。
【００２１】
また、本発明による搬送装置によれば、開閉扉の内壁面にマグネットシートを貼り付けるのみの簡易な構成で密閉度の高い開閉構造が実現できるので、構成部品の点数及び組立工数を大幅に削減でき、製作コストを顕著に低減できるという極めて優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による搬送装置の一実施例による構成を説明する斜視図である。
【図２】図１に示す搬送装置の概略側面図である。
【図３】図１及び図２に示す扉開閉部に設けられた扉本体の構成を説明する平面図である。
【符号の説明】
１  台車
１ａ  台車本体
１ｂ  走行用ローラ
２  カセット
３  カセット収容部
３ａ  開口部
３Ａ  扉開閉部
４  ローラコンベア
５  駆動装置収容部
５ａ  扉開閉制御用電源
５ｂ  スタート・ストップスイッチ
６  扉本体
６ａ  開閉扉
６ｂ  扉本体の開閉部と対向する領域
７ａ  ローラ
７ｂ  ローラ
８  タイミングベルト
９ａ  案内溝
９ｂ  案内溝
１０ａ  ガイドローラ
１０ｂ  ガイドローラ
１１  取付け板
１２  マグネットシート
１３ａ  センサ
１３ｂ  センサ
Ｍ  モジュール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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