(57)【要約】【課題】一次樹脂被覆された光ファイバを冷却するに際し、光ファイバから揮散し凝縮した光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が装置下方へ液垂れすることを防止できる光ファイバ線引き装置用冷却装置を得ること。【解決手段】光ファイバ通過孔を有し、一次樹脂被覆された光ファイバを光ファイバ通過孔２２ａを上方より下方へ通過させて冷却する冷却筒体２２と、冷却筒体２２からの前記光ファイバを通過させうるように冷却筒体２２の下端に連結されており、前記光ファイバから揮散し、光ファイバ通過孔２２ａの内側面に付着し凝縮して該内側面に沿って流下する光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を導き回収する液垂れ受け具２４と、を備えたことを特徴とする光ファイバ線引き装置用冷却装置。【選択図】          図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバ通過孔を有し、一次樹脂被覆された光ファイバを前記光ファイバ通過孔を上方より下方へ通過させて冷却する冷却筒体と、
前記冷却筒体からの前記光ファイバを通過させうるように前記冷却筒体の下端に連結されており、前記光ファイバから揮散し、前記光ファイバ通過孔の内側面に付着し凝縮して該内側面に沿って流下する光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を導き回収する液垂れ受け具と、
を備えたことを特徴とする光ファイバ線引き装置用冷却装置。
【請求項２】
前記液垂れ受け具は、前記冷却筒体からの光ファイバを通過させる光ファイバ挿通孔と、前記冷却筒体の前記光ファイバ通過孔よりも大径の環状空間室をなし、当該通過孔に連通して前記光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を導き回収するとともに、該光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分の排出口を有する回収部とを備えた構成とされていることを特徴とする請求項１記載の光ファイバ線引き装置用冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバ線引き装置用冷却装置に関し、一次樹脂被覆された光ファイバを冷却するに際し、光ファイバから揮散し凝縮した光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が装置下方へ液垂れすることを防止できるようにした、光ファイバ線引き装置用冷却装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバは、光ファイバ母材を線引き炉で加熱溶融して引き出し、細径化して製造される。この場合、樹脂の１次被覆、２次被覆を施し、光ファイバとして機械的な特性や取り扱い性の向上を図っている。図１０は光ファイバ線引き装置の全体構成を示す概略図である。
【０００３】
図１０に示すように、光ファイバ線引き装置においては、光ファイバ母材２を線引き炉３で加熱溶融させて光ファイバ１として引き出し、この所定線径に線引きされた光ファイバ１を、一次被覆用の冷却装置（一次冷却装置）４により冷却する。この一次被覆用の冷却装置４は、例えば、低温不活性ガスを光ファイバ１に吹き付けて冷却している。光ファイバ１は、冷却された後、このままの状態では表面に傷が付きやすく、機械的強度も弱いので外部環境から保護するために、一次コーティングダイス５において、アクリル酸塩，アクリル酸エステル，アクリル酸樹脂などの紫外線硬化樹脂が一次被覆として被覆処理される。次いで、一次樹脂硬化炉６において、紫外線を照射することにより、光ファイバ１に被覆された紫外線硬化樹脂を硬化して光ファイバ１’を得る。前記一次コーティングダイス５において紫外線硬化樹脂を被覆する場合、線引きされた光ファイバ１の温度が高いと、該樹脂が軟化して該樹脂の粘度が低下し、樹脂被覆厚さが不均一になって樹脂被覆が正常に行われない。このため、線引き炉３で線引きされた直後の光ファイバ１を、前記一次被覆用の冷却装置４により一次被覆処理に適した温度に冷却している。
【０００４】
一次樹脂被覆された紫外線硬化樹脂を硬化してなる光ファイバ１’は、二次被覆用の冷却装置（二次冷却装置）７により冷却される。冷却装置７により冷却された光ファイバ１’は、外部環境から保護するために、二次コーティングダイス８において、紫外線硬化樹脂（あるいはシリコン樹脂）が二次被覆として被覆処理される。次いで、二次樹脂硬化炉９において、紫外線を照射することにより、光ファイバ１’に二次被覆された紫外線硬化樹脂を硬化して光ファイバ１”を得る。
【０００５】
前記二次コーティングダイス８において紫外線硬化樹脂（あるいはシリコン樹脂）を被覆する場合、一次被覆された光ファイバ１’の温度が高いと、前述と同様の問題が発生し、樹脂被覆が正常に行われない。このため、一次樹脂硬化炉６からの光ファイバ１’を前記二次被覆用の冷却装置７により二次被覆処理に適した温度に冷却している。そして、二次樹脂硬化炉９を通過した光ファイバ１”は、ガイドローラ１０を介してキャプスタン１１により下方向に引き出され、しかる後、巻取り装置１２に巻き取られるようになっている。
【０００６】
図１１は従来の二次被覆用の冷却装置の一例を示す概略構成図である。
【０００７】
従来の二次被覆用の冷却装置（二次冷却装置）は、図１１に示すように、光ファイバ通過孔５１ａを有し、一次樹脂硬化炉からの一次樹脂被覆された光ファイバを光ファイバ通過孔５１ａを上方より下方へ通過させて冷却する冷却筒体５１を備えている。冷却筒体５１は、光ファイバ通過孔５１ａを形成する内筒５２Ａと、内筒５２Ａの外側に間隔をあけて同心状に配置された外筒５２Ｂとにより構成されている。外筒５２Ｂには冷却水供給口５１ｂと冷却水排出口５１ｃとが設けられており、内筒５２Ａと外筒５２Ｂとの間の円筒状空間に、冷却水が流れるようになっている。また、内筒５２Ａには不活性ガス供給口５１ｄが設けられており、光ファイバ通過孔５１ａ内に、乾燥状態の不活性ガスが充満されるようになっている。この不活性ガスは、光ファイバと冷却筒体５１との熱交換を促進させるためのものである。光ファイバ通過孔５１ａ内に充満された不活性ガスが、水冷されている内筒５２Ａと熱交換して冷却されるので、この冷却された不活性ガスによって光ファイバが冷却されるようになっている。
【０００８】
ところが、この従来の二次被覆用の冷却装置では、一次樹脂被覆された光ファイバを冷却筒体５１を通過させて冷却するに際し、光ファイバから紫外線硬化樹脂成分が揮散し、水冷されている内筒５２Ａ内面（光ファイバ通過孔５１ａの内側面）に付着して凝縮し、この光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が、内筒５２Ａ内面に沿って流下し冷却筒体５１から下方へ液垂れする。
【０００９】
このため、この液垂れした光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が、下方に位置する二次コーティングダイス上に落下して溜まり、ついには二次コーティングダイスにて二次樹脂被覆されている光ファイバに付着する。液垂れした前記被覆樹脂揮発凝縮分が付着した光ファイバ部分は、被覆すべき樹脂がつかず、二次樹脂被覆がなされず、その表面が硬化不足の状態で下流のプーリに導かれ、ついには断線を生じる。このように、従来の二次被覆用の冷却装置では、光ファイバから揮散し凝縮した光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が冷却筒体５１から液垂れし、このため、二次コーティングダイスでの二次樹脂被覆において悪影響が生じるという問題があった。
【００１０】
ところで、従来、線引き炉によって線引きされた直後の光ファイバを冷却する一次被覆用の冷却装置においては、光ファイバに付着した冷却液を除去する技術が、特開平１０−２１２１３１号公報、特開平６−１４８４７２号公報などに提案されている。しかしながら、前述した二次被覆用の冷却装置においては、前記液垂れの問題を解消する適切なものがなかった。
【００１１】
【特許文献１】
特開平１０−２１２１３１号公報（図１）
【特許文献２】
特開平６−１４８４７２号公報（図２）
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の目的は、一次樹脂被覆された光ファイバを冷却するに際し、光ファイバから揮散し凝縮した光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が装置下方へ液垂れすることを防止し、二次樹脂被覆における悪影響を防ぐことができる光ファイバ線引き装置用冷却装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本願発明は次のように構成されている。
【００１４】
請求項１の発明は、光ファイバ通過孔を有し、一次樹脂被覆された光ファイバを前記光ファイバ通過孔を上方より下方へ通過させて冷却する冷却筒体と、前記冷却筒体からの前記光ファイバを通過させうるように前記冷却筒体の下端に連結されており、前記光ファイバから揮散し、前記光ファイバ通過孔の内側面に付着し凝縮して該内側面に沿って流下する光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を導き回収する液垂れ受け具と、を備えたことを特徴とする光ファイバ線引き装置用冷却装置である。
【００１５】
請求項２の発明は、請求項１記載の光ファイバ線引き装置用冷却装置において、前記液垂れ受け具は、前記冷却筒体からの光ファイバを通過させる光ファイバ挿通孔と、前記冷却筒体の前記光ファイバ通過孔よりも大径の環状空間室をなし、当該通過孔に連通して前記光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を導き回収するとともに、該光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分の排出口を有する回収部とを備えた構成とされていることを特徴とするものである。
【００１６】
本発明による光ファイバ線引き装置用冷却装置によれば、一次樹脂被覆された光ファイバを冷却筒体の光ファイバ通過孔を通過させて該冷却筒体により冷却するに際し、前記光ファイバから揮散し、前記光ファイバ通過孔の内側面に付着し凝縮して該内側面に沿って流下する光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を導き回収する液垂れ受け具を、冷却筒体の下端に連結しているので、光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が装置下方へ液垂れすることを防止することができる。
【００１７】
本発明による光ファイバ線引き装置用冷却装置では、液垂れ受け具は、冷却筒体の光ファイバ通過孔と略同一内径を持つ光ファイバ挿通孔により、冷却筒体からの光ファイバを通過させるとともに、この光ファイバ挿通孔よりも大径の環状空間室をなし、冷却筒体の光ファイバ通過孔に連通する回収部を備え、この回収部にて冷却筒体からの光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を収容し回収するように構成されている。これにより、光ファイバを通過させる孔の内径を冷却装置軸線方向（光ファイバ走行方向）全体にわたって適切な略一定値に保持して、光ファイバを支障なく通過させながら、冷却筒体からの光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を回収することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。本発明の光ファイバ線引き装置用冷却装置は、一次樹脂被覆された光ファイバの冷却に適用される。
【００１９】
図１は本発明の第１実施形態による光ファイバ線引き装置用冷却装置の冷却筒体の縦断面図、図２は図１の冷却筒体の下端に取り付けられた液垂れ受け具の縦断面図、図３は図２の液垂れ受け具による光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分の回収を説明するための模式図である。
【００２０】
第１実施形態の光ファイバ線引き装置用冷却装置の冷却筒体２２は、図１に示すように、長尺円筒状をなし、内側に光ファイバ通過孔２２ａを形成する内筒２３Ａと、内筒２３Ａの外側に間隔をあけて同心状に配置された外筒２３Ｂとにより構成されている。長尺円筒状をなす外筒２３Ｂには、冷却水供給口２２ｂと冷却水排出口２２ｃとが設けられており、内筒２３Ａと外筒２３Ｂとの間の円筒状空間に、冷却水が流れるようになっている。内筒２３Ａの下端には、後述の液垂れ受け具２４が連結されるようになっている。
【００２１】
この第１実施形態の冷却装置の液垂れ受け具２４は、冷却筒体２２からの光ファイバ２１’を通過させる光ファイバ挿通孔２４ａと、光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を導き回収するための回収部２４ｂとを備えている。液垂れ受け具２４は、図２に示すように、下部体２５Ａと上部体２５Ｂとを接合することにより、上下方向に貫通する光ファイバ挿通孔２４ａと、この光ファイバ挿通孔２４ａに連通し、半径方向外方へ下方傾斜する末広がり空間室に続き水平空間室を有して環状空間室をなす回収部２４ｂとを備えている。光ファイバ挿通孔２４ａと冷却筒体２２の光ファイバ通過孔２２ａとは中心線を一致させており、光ファイバ挿通孔２４ａの内径寸法は、冷却筒体２２の光ファイバ通過孔２２ａと同一にしてある。液垂れ受け具２４は、冷却筒体２２の内筒２３Ａの下端に、上部体２５Ｂのネジ部を螺合することで固定されている。これにより、冷却筒体２２の光ファイバ通過孔２２ａと回収部２４ｂとが連通した状態となっている。回収部２４ｂの水平空間室床部には、収容した光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を装置外部へ排出するための揮発凝縮分排出口２４ｂ１が設けられている。
【００２２】
この液垂れ受け具２４の下端に、図２に示すように、光ファイバ２１’を通過させる光ファイバ挿通孔２６ａを有する不活性ガス供給用カプラ２６が連結されている。光ファイバ挿通孔２６ｂと冷却筒体２２の光ファイバ通過孔２２ａとは中心線を一致させており、光ファイバ挿通孔２６ａの内径寸法は、冷却筒体２２の光ファイバ通過孔２２ａと同一にしてある。不活性ガス供給用カプラ２６には、不活性ガス供給口２６ｂが設けられており、光ファイバ通過孔２２ａ内に、乾燥状態の不活性ガスが充満されるようになっている。光ファイバ通過孔２２ａ内に充満された不活性ガスが、水冷されている内筒２３Ａと熱交換して冷却されるので、この冷却された不活性ガスによって光ファイバ２１’が冷却されるようになっている。
【００２３】
このように構成される第１実施形態の冷却装置では、一次樹脂被覆された光ファイバ２１’を冷却筒体２２を通過させて冷却するに際し、図３に示すように、光ファイバ２１’から紫外線硬化樹脂成分が揮散し、水冷されている内筒２３Ａ内面（光ファイバ通過孔２２ａの内側面）に付着して凝縮し、この光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が、重力により内筒２３Ａ内面に沿って流下する。この内筒２３Ａからの光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分は、図３に示すように、液垂れ受け具２４に到達し、半径方向外方へ下方傾斜する面に沿って回収部２４ｂに導かれて溜まる。回収部２４ｂに溜められた光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分は、ドレインとして適宜のタイミングにて揮発凝縮分排出口２４ｂ１から配管を経て装置外部へ排出される。
【００２４】
このように、第１実施形態の冷却装置によれば、一次樹脂被覆された光ファイバ２１’を冷却筒体２２の光ファイバ通過孔２２ａを通過させて該冷却筒体２２により冷却するに際し、光ファイバ２１’から揮散し、光ファイバ通過孔２２ａの内側面（内筒２３Ａ内面）に付着し凝縮して該内側面に沿って流下する光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を導き回収する液垂れ受け具２４を、冷却筒体２２の下端に連結しているので、光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が装置下方へ液垂れすることを防止することができる。
【００２５】
図４は本発明の第２実施形態による光ファイバ線引き装置用冷却装置の全体構成を示す側面図、図５は図４のＡ−Ａ線断面図、図６は図４に示す光ファイバ線引き装置用冷却装置の要部縦断面図、図７は図６における液垂れ受け具の平面図、図８は液垂れ受け具左半部を示す斜視図である。
【００２６】
第２実施形態の光ファイバ線引き装置用冷却装置は、前記第１実施形態とは違って、冷却筒体及び液垂れ受け具のそれぞれを、上下方向に延びる光ファイバ通過孔の中心線を中心としてその左右両側に２分割して左半部と右半部を形成し、これらを開閉機構により開閉可能とした２分割構造のものである。
【００２７】
この第２実施形態の冷却装置は、図４〜図６に示すように、光ファイバ通過孔３２ａを有する冷却筒体３２と、冷却筒体３２の下端に連結された液垂れ受け具３４とにより構成されている。冷却筒体３２は、上下方向に延びる光ファイバ通過孔３２ａの中心線（冷却筒体軸心線）を中心としてその左右両側に２分割して冷却筒体左半部３３Ｌと冷却筒体右半部３３Ｒを形成し、これらを図示しない開閉機構により開閉可能に構成したものである。左右両半部３３Ｌ、３３Ｒには、それぞれ、上下方向に延びる冷却水通路３２ｂが設けられており、冷却水供給口３２ｃからの冷却水が冷却水通路３２ｂを通って冷却水排出口３２ｄから排出されるようになっている。また、左右両半部３３Ｌ、３３Ｒには、それぞれ、複数の不活性ガス供給口３２ｅが設けられており、光ファイバ通過孔３２ａ内に、乾燥状態の不活性ガスが充満されるようになっている。光ファイバ通過孔３２ａ内に充満された不活性ガスが、水冷されている左右両半部３３Ｌ、３３Ｒと熱交換して冷却されるので、この冷却された不活性ガスによって光ファイバ３１’が冷却されるようになっている。
【００２８】
次に、図６〜図９を参照して冷却筒体３２の下端に連結された液垂れ受け具３４について説明する。液垂れ受け具３４は、上下方向に延びる光ファイバ挿通孔３４ａを有し、該光ファイバ挿通孔３４ａの中心線（液垂れ受け具軸心線）を中心としてその左右両側に２分割して液垂れ受け具左半部３５Ｌと液垂れ受け具右半部３５Ｒを形成し、これらを図示しない開閉機構により開閉可能に構成したものである。
【００２９】
液垂れ受け具３４は、液垂れ受け具左半部３５Ｌと同右半部３５Ｒとを閉じて合わせることにより、冷却筒体３２からの光ファイバ３１’を通過させる光ファイバ挿通孔３４ａを有して、全体として有底四角筒状をなしている。この液垂れ受け具３４は、図６に示すように、冷却筒体３２の下端面にネジ止め固定されることにより、該下端面とによって画成される環状空間室をなす回収部３４ｂを備えている。光ファイバ挿通孔３４ａと冷却筒体３２の光ファイバ通過孔３２ａとは中心線を一致させており、光ファイバ挿通孔３４ａの内径寸法は、冷却筒体３２の光ファイバ通過孔３２ａと同一にしてある。回収部３４ｂは、光ファイバ挿通孔３４ａ及び光ファイバ通過孔３２ａに連通している。なお、光ファイバ通過孔３２ａの下端出口の周囲には面取り部やアール部（Ｒ部）を設けることができる。これにより、より確実に揮発凝縮分を回収部３４ｂ内に導くことができる。また、光ファイバ通過孔３２ａに連接するこれと略同一内径の孔を有し、その孔を介して回収部３４ｂが設けられている構造の液垂れ受け具とすることもできる。この場合も前記と同様に、その孔の下端出口の周囲に面取り部やアール部を設けることができる。
【００３０】
この回収部３４ｂには、図７〜図９に示すように、液垂れ受け具左右両半部３５Ｌ、３５Ｒの合わせ面に沿って延びる上方へ突出する堰３４ｂ２が設けられている。また、回収部３４ｂの環状空間室床部には、収容した光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を装置外部へ排出するための揮発凝縮分排出口３４ｂ１が設けられている。
【００３１】
このように構成される第２実施形態の冷却装置では、一次樹脂被覆された光ファイバ３１’を冷却筒体３２を通過させて冷却するに際し、光ファイバ３１’から紫外線硬化樹脂成分が揮散し、水冷されている冷却筒体左右両半部３３Ｌ、３３Ｒの光ファイバ通過孔形成面（光ファイバ通過孔３２ａの内側面）に付着して凝縮し、この光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が、重力により前記光ファイバ通過孔形成面に沿って流下する。この冷却筒体３２からの光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分は、冷却筒体３２下面を伝わり、その途中で重力により落下して回収部３４ｂ内に導かれて溜まる。この場合、回収部３４ｂには前述した堰３４ｂ２を設けてあるので、液垂れ受け具左右両半部３５Ｌ、３５Ｒの合わせ面部分から光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が漏れることを確実に阻止することができる。回収部３４ｂに溜められた光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分は、ドレインとして適宜のタイミングにて揮発凝縮分排出口３４ｂ１から配管を経て装置外部へ排出される。なお、ドレインを揮発凝縮分排出口３４ｂ１から常時排出せず、一時溜めた後に排出するような場合は、回収部３４ｂ内監視用の覗き窓を設けたり、回収部３４ｂ内に溜まっているドレイン量（揮発凝縮分量）を知るための液面センサを設けたりして、ドレインの量を監視することが望ましい。こうすることで、ドレインのオーバーフローを確実に防ぐことができる。
【００３２】
このように、第２実施形態の冷却装置によれば、一次樹脂被覆された光ファイバ３１’を冷却筒体３２の光ファイバ通過孔３２ａを通過させて該冷却筒体３２により冷却するに際し、光ファイバ３１’から揮散し、光ファイバ通過孔３２ａの内側面（冷却筒体左右両半部３３Ｌ、３３Ｒの光ファイバ通過孔形成面）に付着し凝縮して該内側面に沿って流下する光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を導き回収する液垂れ受け具３４を、冷却筒体３２の下端に連結しているので、光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が装置下方へ液垂れすることを防止することができる。
【００３３】
【発明の効果】
本発明による光ファイバ線引き装置用冷却装置は、一次樹脂被覆された光ファイバを冷却筒体の光ファイバ通過孔を通過させて該冷却筒体により冷却するに際し、前記光ファイバから揮散し、前記光ファイバ通過孔の内側面に付着し凝縮して該内側面に沿って流下する光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分を導き回収する液垂れ受け具を、冷却筒体の下端に連結するように構成されている。よって、本発明による光ファイバ線引き装置用冷却装置によれば、光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分が装置下方へ液垂れすることを防止することができ、これにより二次樹脂被覆における悪影響を防いで光ファイバの断線などをなくし、製品歩留まりの向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態による光ファイバ線引き装置用冷却装置の冷却筒体の断面図である。
【図２】図１の冷却筒体の下端に取り付けられた液垂れ受け具の断面図である。
【図３】図２の液垂れ受け具による光ファイバ被覆樹脂揮発凝縮分の回収を説明するための模式図である。
【図４】本発明の第２実施形態による光ファイバ線引き装置用冷却装置の全体構成を示す側面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】図４に示す光ファイバ線引き装置用冷却装置の要部断面図である。
【図７】図６における液垂れ受け具の平面図である。
【図８】図７のＢ−Ｂ線断面図である。
【図９】液垂れ受け具左半部を示す斜視図である。
【図１０】光ファイバ線引き装置の全体構成を示す概略図である。
【図１１】従来の二次被覆用の冷却装置の一例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
２１’…光ファイバ  ２２…冷却筒体  ２２ａ…光ファイバ通過孔  ２２ｂ…冷却水供給口  ２２ｃ…冷却水排出口  ２３Ａ…内筒  ２３Ｂ…外筒  ２４…液垂れ受け具  ２４ａ…光ファイバ挿通孔  ２４ｂ…回収部  ２４ｂ１…揮発凝縮分排出口  ２５Ａ…下部体  ２５Ｂ…上部体  ２６…不活性ガス供給用カプラ  ２６ａ…光ファイバ挿通孔  ２６ｂ…不活性ガス供給口  ３１’…光ファイバ  ３２…冷却筒体  ３２ａ…光ファイバ通過孔  ３２ｂ…冷却水通路  ３２ｃ…冷却水供給口  ３２ｄ…冷却水排出口  ３２ｅ…不活性ガス供給口  ３３Ｌ…冷却筒体左半部  ３３Ｒ…冷却筒体右半部  ３４…液垂れ受け具  ３４ａ…光ファイバ挿通孔  ３４ｂ…回収部  ３４ｂ１…揮発凝縮分排出口  ３４ｂ２…堰  ３５Ｌ…液垂れ受け具左半部  ３５Ｒ…液垂れ受け具右半部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004244244.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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