(57)【要約】【課題】高い耐久性と信頼性が容易に得られる反射鏡及びそれを有する光学機器を得ること。【解決手段】樹脂基板上に該樹脂基板側から順に、下引き層、反射層、保護層を設けてなる反射鏡において、該反射層はＡｇ膜、該下引き層と保護層は、共に１層以上のＴｉＯ２膜と１層以上のＡｌ２Ｏ３膜とで形成されており、該下引き層の該樹脂基板に接する膜はＴｉＯ２膜であることを特徴とする反射鏡。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂基板上に該樹脂基板側から順に、下引き層、反射層、保護層を設けてなる反射鏡において、該反射層はＡｇ膜、該下引き層と保護層は、共に１層以上のＴｉＯ２膜と１層以上のＡｌ２Ｏ３膜とで形成されており、該下引き層の該樹脂基板に接する膜はＴｉＯ２膜であることを特徴とする反射鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は反射鏡及びそれを用いた光学機器に関し、たとえば可視域（波長４００〜７００ｎｍ）における所定の波長帯に対して安定して耐久性が良く、高い反射率が得られるテレビカメラ、ビデオカメラ、デジタルカメラ等の光学系において用いられる光学部材に適用するときに好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、反射鏡としてはＡｌ膜を用いた例が多く知られているが、近年、広い可視域の波長範囲で高い反射率が得られる銀膜を、樹脂基板に蒸着した銀反射鏡が知られている。
【０００３】
反射膜としての銀膜は、高い反射率が得られるが、外気に晒されると腐食し、反射率が低下する等、耐環境性に弱い。
【０００４】
この為、銀膜を用いた反射鏡は、環境に対する耐久性を高める為に銀層を包み込む保護膜を施す等の手段が必要となっている。
【０００５】
銀膜の下引き層（基板と銀膜との間に設ける膜）又は保護膜に硫化物を用いた反射鏡が知られている（例えば特許文献１、２）。
【０００６】
又銀膜の下引き層又は保護膜に金層膜を用いた反射鏡が知られている（例えば特許文献３〜５）。
【０００７】
この他銀膜に他材料（例えば、Ｐｄ，Ａｌ，Ａｕ）を添加した反射鏡も知られている。
【特許文献１】
特開平０５−１２７００５号公報
【特許文献２】
特開平０６−３１３８０３号公報
【特許文献３】
特公平０７−００５３０９号公報
【特許文献４】
特開平０８−３２７８０９号公報
【特許文献５】
特開２００１−７４９２２号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
前述した各公報で提案されている反射鏡は、ガラス基板に換えて樹脂基板を用い、Ａｌ膜に換えてＡｇ膜を用いたときに生じる耐久性や、信頼性（膜ハクリ、クモリ等）の低下を改善する方法がとられている。
【０００９】
前述した各公報で提案されている反射鏡は、耐久性や信頼性の改善は認められるが、成膜後の初期反射率が不安定になる傾向があった。又、テープによる密着テストや温度８０度、１００時間の高温テストや温度６０度、湿度９０％で１０００時間の環境テスト等の信頼性試験の結果、膜ハクリ、クモリ等が生ずる場合があった。
【００１０】
本発明は、樹脂基板を用い、そこに反射膜として銀膜を施すとき下引き層や保護膜を適切に施すことにより高い耐久性と信頼性が容易に得られる反射鏡及びそれを有する光学機器の提供を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明の反射鏡は樹脂基板上に該樹脂基板側から順に、下引き層、反射層、保護層を設けてなる反射鏡において、該反射層はＡｇ膜、該下引き層と保護層は、共に１層以上のＴｉＯ２膜と１層以上のＡｌ２Ｏ３膜とで形成されており、該下引き層の該樹脂基板に接する膜はＴｉＯ２膜であることを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の反射鏡（銀反射鏡）の実施形態の要部断面概略図である。本実施形態の反射鏡は樹脂基板１０上に順次、下引き層２０、銀層３０、保護層４０を設けている。
【００１３】
具体的には、樹脂基板１０上に３つの層２１、２２、２３からなる下引き層２０を設け、次いで反射層（銀層）３０、更に２つの層４１、４２からなる保護層４０を設けた構成より成っている。
【００１４】
尚、下引き層２０と保護層４０の層数は図１に示す以外、以下に示す条件を満足すればいくつであっても良い。
【００１５】
下引き層２０と保護層４０は共に少なくとも１層のＡｌ２Ｏ３膜を含む構成としている。これは、検討の結果、銀層３０の耐久の信頼性を改善する為には、銀層３０の両側（上下側）に、透湿率が低く、基板１０からの脱ガス成分に対する遮蔽効果の高い膜を設けることが有効であることを見出したことによる。
【００１６】
保護層４０がＴｉＯ２膜とＡｌ２Ｏ３膜の交互層で形成される構成としている。これは、表面反射鏡の場合には高反射率を得るだけでなく、反射鏡の信頼性を改善するにはＴｉＯ２膜とＡｌ２Ｏ３膜の組み合わせが最適であることを見出したことによる。
【００１７】
下引き層２０がＴｉＯ２膜とＡｌ２Ｏ３膜の交互層で形成される構成としている。これは、裏面反射鏡の場合には高反射率を得るだけでなく、反射鏡の信頼性、特に銀層３０と下引き層２０間の密着力、又は銀層３０と保護層４０間の密着力を改善するには、銀層３０の両側の交互層が同一材料、略同一構成、であることが有効である事を見出したことによる。
【００１８】
下引き層２０の樹脂基板１０に接する膜２１がＴｉＯ２膜で形成される構成としている。これは、反射鏡の信頼性、特に樹脂基板１０と下引き層２０間の密着力を改善するには、ＴｉＯ２膜が有効であることを見出したことによる。
【００１９】
下引き層２０の銀層３０に接する膜２３がＴｉＯ２膜で形成される構成としている。これは、反射鏡の信頼性、特に銀層３０と下引き層２０間の密着力を改善するには、ＴｉＯ２膜が有効であることを見出したことによる。
【００２０】
次に各層の好ましい幾何学的膜厚（膜厚をｄ、膜の屈折率をｎとするときの光学的膜厚ｎｄでは無く、物理的膜厚）について説明する。
【００２１】
下引き層２０に含まれるＡｌ２Ｏ３膜の幾何学的合計膜厚が１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下としている。これは、銀層３０の信頼性、特に吸湿、基板１０からの脱ガス成分による銀層３０のクモリを改善するためのＡｌ２Ｏ３膜の幾何学的合計膜厚としては、１０ｎｍ以上の厚さが無いと効果が無いことを見出したことによる。又温度６０度、湿度９０％で１０００Ｈ（時間）の環境テストによる膜浮きを改善するためのＡｌ２Ｏ３膜の幾何学的合計膜厚としては、１００ｎｍ以下の厚さが好ましいことを見出したことによる。
【００２２】
下引き層２０の樹脂基板１０に接するＴｉＯ２膜２１の膜厚が８０ｎｍ以下で形成される構成としている。これは、温度６０度、湿度９０％で１０００Ｈ（時間）の環境テストによる膜浮きを改善するためのＴｉＯ２膜の幾何学的膜厚としては、８０ｎｍ以下の厚さが好ましいことを見出したことによる。
【００２３】
尚、本実施形態においてはＴｉＯ２膜とＡｌ２Ｏ３膜の交互層で形成される保護層４０上に、幾何学的膜厚が１〜２０ｎｍ以下のＳｉＯｘ（１＜ｘ＜２）からなる第２の保護層を設けても良い。これによれば反射鏡の信頼性、特に表面の耐擦傷性の改善に有効である。
【００２４】
次に本発明の各実施形態の具体的な膜構成について説明する。
【００２５】
（実施形態１）
樹脂基板１０として不透明ポリカーボネート基板（黒色成分を含む）を用い、真空蒸着法により銀表面反射鏡を作成した。膜構成は、基板１０側から順に、下引き層２０としてＴｉＯ２膜（屈折率〜２．１５）、Ａｌ２Ｏ３膜（屈折率〜１．６）、反射膜３０としてＡｇ膜、保護層４０としてＡｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の５層構成である。
【００２６】
保護層４０の幾何学的膜厚は、Ａｌ２Ｏ３膜が〜５５ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍであり、下引き層２０の各材料の幾何学的膜厚も略同様とした。成膜時の基板加熱は無加熱とし、蒸発手段としては全て電子銃を用いた。この銀表面反射鏡の初期反射率は９７％以上（５５０ｎｍの波長）で良好であった。
【００２７】
信頼性を評価するのに、テープの引き剥がしによる成膜後の初期密着テスト、及び温度８０度、１００時間の高温放置テスト、温度６０度、湿度９０％で１０００Ｈ（時間）の環境テストを行った。結果を表１に示す。密着、外観とも実用上全く問題なかった。尚、表１において、○印又は◎印は実用上問題のないことを示し、●は問題があることを表している。
【００２８】
（実施形態２）
実施形態１と同様にして、銀表面反射鏡を作成した。膜構成は、基板１０側から順に、下引き層２０としてＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、  ＴｉＯ２膜、反射膜３０としてＡｇ膜、保護層４０としてＡｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の順に６層構成である。膜構成の模式図は図１と同様である。保護層４０の幾何学的膜厚は、Ａｌ２Ｏ３膜が〜５５ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍであり、下引き層２０の各材料の幾何学的膜厚も略同様とした。この銀表面反射鏡の初期反射率は９７％以上（５５０ｎｍの波長）で良好であった。
【００２９】
信頼性を評価するのに、テープの引き剥がしによる初期密着テスト、及び温度８０度、１００時間の高温放置テスト、温度６０度、湿度９０％で１０００Ｈ（時間）の環境テストを行った。結果を表１に示す。密着、外観とも良好であった。
【００３０】
（実施形態３）
実施形態１と同様にして、銀表面反射鏡を作成した。膜構成は、基板側１０から順に、下引き層２０としてＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、  ＴｉＯ２膜、  Ａｌ２Ｏ３膜、反射膜３０としてＡｇ膜、保護層４０としてＡｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の９層構成である。保護層４０の幾何学的膜厚は、  銀層３０側から順に、Ａｌ２Ｏ３膜が〜６０ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍ、Ａｌ２Ｏ３膜が〜９５ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜４０ｎｍであり、下引き層２０の各材料の幾何学的膜厚は、基板１０側から順に、  ＴｉＯ２膜が〜４０ｎｍ、Ａｌ２Ｏ３膜が〜５０ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍ、Ａｌ２Ｏ３膜が〜５０ｎｍであり、銀層３０を挟んで略同様の構成とした。この銀表面反射鏡の初期反射率は９８％以上（５５０ｎｍの波長）で良好であった。
【００３１】
信頼性を評価するのに、テープの引き剥がしによる初期密着テスト、及び温度８０度、１００時間の高温放置テスト、温度６０、湿度度９０％１０００Ｈ（時間）の環境テストを行った。結果を表１に示す。環境テストの結果、目視では判別できない微少な膜浮きが発生したが、密着、外観とも実用上全く問題なかった。
【００３２】
（実施形態４）
実施形態１と同様にして、銀表面反射鏡を作成した。膜構成は、基板１０側から順に、下引き層２０としてＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、  ＴｉＯ２膜、  Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、反射膜３０としてＡｇ膜、保護層４０として、ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、の１１層構成である。保護層４０の幾何学的膜厚は、  銀層側から順に、ＴｉＯ２膜が〜９５ｎｍ、Ａｌ２Ｏ３膜が〜８５ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍ、Ａｌ２Ｏ３膜が〜５５ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜２０ｎｍであり、下引き層２０の各材料の幾何学的膜厚は、基板側１０から順に、ＴｉＯ２膜が〜４０ｎｍ、Ａｌ２Ｏ３膜が〜１０ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍ、Ａｌ２Ｏ３膜が〜１０ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜９５ｎｍであり、銀層３０を挟んで対称に略同様とした。下引き層２０の各材料の幾何学的膜厚も銀層３０を挟んで略同様の構成とした。この銀表面反射鏡の初期反射率は９７％以上（５５０ｎｍの波長）で良好であった。
【００３３】
信頼性を評価するのに、テープの引き剥がしによる初期密着テスト、及び温度８０度、１００時間の高温放置テスト、温度６０度、湿度９０％、１０００Ｈ（時間）の環境テストを行った。結果を表１に示す。密着、外観とも良好であった。
【００３４】
（実施形態５）
実施形態１と同様にして、銀表面反射鏡を作成した。膜構成は、基板側１０から下引き層２０としてＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、反射膜３０としてＡｇ膜、保護層４０としてＡｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、ＳｉＯｘ膜（１＜ｘ＜２）の７層構成である。保護層４０の幾何学的膜厚は、Ａｌ２Ｏ３膜が〜５５ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜５５ｎｍ、ＳｉＯｘ膜が〜１０ｎｍ  であり、下引き層２０の各材料の幾何学的膜厚も略同様とした。この銀表面反射鏡の初期反射率は９７％以上（５５０ｎｍの波長）で良好であった。
【００３５】
信頼性を評価するのに、テープの引き剥がしによる初期密着テスト、及び温度８０度、１００時間の高温放置テスト、温度６０度、湿度９０％で１０００Ｈ（時間）の環境テストを行った。結果を表１に示す。密着、外観とも良好であった。又、シルボン紙による擦りテストの結果では、実施形態２に対して改善が見られた。
【００３６】
（実施形態６）
実施形態１と同様にして、銀裏面反射鏡を作成した。但し、樹脂基板１０として透明ポリカーボネート基板を用いた。膜構成は、基板１０側から順に、下引き層２０としてＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、反射膜３０としてＡｇ膜、保護層４０として、ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の７層構成である。下引き層２０の幾何学的膜厚は、樹脂基板１０側からＴｉＯ２膜が〜８０ｎｍ、Ａｌ２Ｏ３膜が〜８０ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜１０５ｎｍであり、保護層４０の各材料の幾何学的膜厚も銀層を対称に略同様とした。この銀裏面反射鏡の初期反射率は９７％以上（５５０ｎｍの波長）で良好であった。
【００３７】
信頼性を評価するのに、テープの引き剥がしによる初期密着テスト、及び温度８０度、１００時間の高温放置テスト、温度６０度、湿度９０％で１０００Ｈ（時間）の環境テストを行った。結果を表１に示す。環境テストの結果、目視では判別できない微少な膜浮きが発生したが、密着、外観とも実用上全く問題なかった。
【００３８】
（実施形態７）
実施形態２と同様にして、銀表面反射鏡を作成した。膜構成は、基板１０側から順に、下引き層２０としてＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、反射膜３０としてＡｇ膜、保護層４０としてＡｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の６層構成である。保護層４０の幾何学的膜厚は、Ａｌ２Ｏ３膜が〜５５ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍであり、下引き層２０の各材料の幾何学的膜厚は、基板１０側から順に、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍ、Ａｌ２Ｏ３膜が〜１０ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍであり、銀層３０を挟んで略同様の構成とした。この銀表面反射鏡の初期反射率は９７％以上（５５０ｎｍの波長）で良好であった。
【００３９】
信頼性を評価するのに、テープの引き剥がしによる初期密着テスト、及び温度８０度、１００時間の高温放置テスト、温度６０度、湿度９０％で１０００Ｈ（時間）の環境テストを行った。結果を表１に示す。高温放置テストの結果、目視では判別できない軽微なクモリが発生したが、密着、外観とも実用上全く問題なかった。
【００４０】
（実施形態８）
実施形態１と同様にして、銀表面反射鏡を作成した。膜構成は、基板１０側から順に、下引き層２０としてＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、反射膜３０としてＡｇ膜、保護層４０としてＡｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の順に６層構成である。保護層４０の幾何学的膜厚は、Ａｌ２Ｏ３膜が〜５５ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍであり、下引き層２０の各材料の幾何学的膜厚は、基板側１０から順に、  ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍ、Ａｌ２Ｏ３膜が〜１００ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍであり、銀層３０を挟んで略同様の構成とした。この銀表面反射鏡の初期反射率は９７％以上（５５０ｎｍの波長）で良好であった。
【００４１】
信頼性を評価するのに、テープの引き剥がしによる初期密着テスト、及び温度８０、度１００時間の高温放置テスト、温度６０度、湿度９０％で１０００Ｈ（時間）の環境テストを行った。結果を表１に示す。環境テストの結果、目視では判別できない微少な浮きが発生したが、密着、外観とも実用上全く問題なかった。
【００４２】
次に本発明の実施形態との比較例を示す。
【００４３】
（比較例１）
実施形態１と同様にして、不透明ポリカーボネート樹脂基板１０（黒色成分を含む）を用い、真空蒸着法により銀表面反射鏡を作成した。膜構成は、基板１０側から下引き層２０としてＴｉＯ２膜、反射膜３０としてＡｇ膜、保護層４０としてＡｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の順に４層構成である。
【００４４】
保護層４０の幾何学的膜厚は、Ａｌ２Ｏ３膜が〜５５ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍであり、下引き層２０の幾何学的膜厚は〜１００ｎｍとした。この銀表面反射鏡の初期反射率は９７％以上（５５０ｎｍの波長）で良好であった。
【００４５】
信頼性を評価するのに、テープの引き剥がしによる成膜後の初期密着テスト、及び温度８０度、１００時間の高温放置テスト、温度６０度、湿度９０％で１０００Ｈ（時間）の環境テストを行った。結果を表１に示す。密着は良好であったが、外観にクモリが発生し実用上不適であった。
【００４６】
（比較例２）
比較例１と同様にして、銀表面反射鏡を作成した。膜構成は、基板１０側から順に、下引き層２０としてＡｌ２Ｏ３膜、反射膜３０としてＡｇ膜、保護層４０としてＡｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の順に４層構成である。
【００４７】
保護層の幾何学的膜厚は、Ａｌ２Ｏ３膜が〜５５ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍであり、下引き層２０の幾何学的膜厚は〜１００ｎｍとした。この銀表面反射鏡の初期反射率は９７％以上（５５０ｎｍの波長）で良好であった。
【００４８】
信頼性を評価するのに、テープの引き剥がしによる成膜後の初期密着テスト、及び温度８０度、１００時間の高温放置テスト、温度６０度、湿度９０％で１０００Ｈ（時間）の環境テストを行った。結果を表１に示す。外観については、クモリは発生しなかったが、環境テストの結果、目視で判別出来る浮きが発生した。又、密着に関しては、基板１０とＡｌ２Ｏ３膜間、又はＡｌ２Ｏ３膜と銀層３０間でハクリが発生するものが有り実用上不適であった。
【００４９】
（比較例３）
比較例１と同様にして、銀表面反射鏡を作成した。膜構成は、基板１０側から順に、下引き層２０としてＳｉＯｘ（１＜ｘ＜２）膜、ＴｉＯ２膜、反射膜３０としてＡｇ膜、保護層４０としてＡｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の順に５層構成である。
【００５０】
保護層４０の幾何学的膜厚は、Ａｌ２Ｏ３膜が〜５５ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍであり、下引き層２０の幾何学的膜厚は、基板１０側から順に〜５０ｎｍ  、〜１００ｎｍとした。この銀表面反射鏡の初期反射率は９７％以上（５５０ｎｍの波長）で良好であった。
【００５１】
信頼性を評価するのに、テープの引き剥がしによる成膜後の初期密着テスト、及び温度８０度、１００時間の高温放置テスト、温度６０度、湿度９０％で１０００Ｈ（時間）の環境テストを行った。結果を表１に示す。外観にクモリが発生したこと、及び密着テストの結果基板とＳｉＯｘ膜間でハクリが発生するものが有ることから、実用上不適であった。
【００５２】
（比較例４）
比較例１と同様にして、銀表面反射鏡を作成した。膜構成は、基板１０側から順に、下引き層２０として、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、反射膜３０としてＡｇ膜、保護層４０としてＡｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の順に５層構成である。保護層４０の幾何学的膜厚は、Ａｌ２Ｏ３膜が〜５５ｎｍ、ＴｉＯ２膜が〜６０ｎｍであり、下引き層２０の各材料の幾何学的膜厚については、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜とも略同様とした。この銀表面反射鏡の初期反射率は９７％以上（５５０ｎｍの波長）で良好であった。
【００５３】
信頼性を評価するのに、テープの引き剥がしによる初期密着テスト、及び８０度、１００時間の高温放置テスト、６０度、９０％で１０００Ｈ（時間）の環境テストを行った。結果を表１に示す。密着テストの結果、基板とＡｌ２Ｏ３膜間でハクリが発生するものが有る、又、環境テストの結果、目視で判別出来る浮きが発生したことから、実用上不適であった。
【００５４】
【表１】
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【００５５】
以上の構成を有する反射鏡をテレビカメラ、ビデオカメラ、デジタルカメラ等の光学系において用いられる光学部材に適用すれば、良好なる光学特性が容易に得られる。
以下、本発明の、各種態様を示す。
【００５６】
＜態様１＞  樹脂基板上に該樹脂基板側から順に、下引き層、反射層、保護層を設けてなる反射鏡において、該反射層はＡｇ膜、該下引き層と保護層は、共に１層以上のＴｉＯ２膜と１層以上のＡｌ２Ｏ３膜とで形成されており、該下引き層の該樹脂基板に接する膜はＴｉＯ２膜であることを特徴とする反射鏡。
【００５７】
＜態様２＞  前記下引き層と保護層は、共にＴｉＯ２膜とＡｌ２Ｏ３膜の交互層で形成されていることを特徴とする態様１の反射鏡。
【００５８】
＜態様３＞  前記下引き層の前記反射層に接する膜はＴｉＯ２膜であることを特徴とする請求項１又は２に記載の反射鏡。
【００５９】
＜態様４＞  前記下引き層に含まれるＡｌ２Ｏ３膜の幾何学的合計膜厚が１０ｎｍ以上であることを特徴とする態様１〜３のいずれか１態様に記載の反射鏡。
【００６０】
＜態様５＞  前記下引き層に含まれるＡｌ２Ｏ３膜の幾何学的合計膜厚が１００ｎｍ以下であることを特徴とする態様４に記載の反射鏡。
【００６１】
＜態様６＞  前記下引き層の前記樹脂基板に接するＴｉＯ２膜の幾何学的膜厚が８０ｎｍ以下であることを特徴とする態様５に記載の反射鏡。
【００６２】
＜態様７＞  前記保護層は更に、幾何学的膜厚が１〜２０ｎｍのＳｉＯｘ（１＜ｘ＜２）からなる保護層を有することを特徴とする態様１〜６のいずれか１態様に記載の銀反射鏡。
【００６３】
＜態様８＞  前記下引き層は、前記樹脂基板側から順に、
ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜の２層又は、
ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の３層又は、
ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜の４層又は、
ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ３膜の５層
より成ることを特徴とする態様１に記載の反射鏡。
【００６４】
＜態様９＞  前記保護層は、前記反射層側から順に、
Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の２層又は、
Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の４層又は、
ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の３層又は、
ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜の５層又は、
Ａｌ２Ｏ３膜、ＴｉＯ２膜、ＳｉＯｘ膜（１＜ｘ＜２）の３層
より成ることを特徴とする態様１又は７の反射鏡。
【００６５】
＜態様１０＞  態様１から９のいずれか１態様の反射鏡を有することを特徴とする光学部材。
【００６６】
＜態様１１＞  態様１０の光学部材を有することを特徴とする光学機器。
【００６７】
【発明の効果】
本発明によれば樹脂基板を用い、そこに反射層として銀膜を施すとき高い耐久性と信頼性が容易に得られる反射鏡及びそれを有する光学機器を達成することができる。
【００６８】
特に本発明によれば、樹脂基板を用いても反射特性、信頼性に優れた銀反射鏡を製作することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の膜構成模式図
【符号の説明】
１０    樹脂基板
２０    下引き層
３０    銀層
４０    保護層
【図１】
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