(57)【要約】【課題】ホルダを上下方向及び左右方向に揺動できると共に、ホルダ上に保持されている基板を近くで目視観察すること。【解決手段】基板を保持する四辺形状のホルダと、このホルダを所定の角度に立てた状態で前方側から見てホルダの左端部と右端部とにそれぞれ設けられた回転軸と、左端部側の回転軸と右端部側の回転軸とを固定状態とフリーの状態とに交互に切り換える切り換え手段と、この切り換え手段により固定状態に切り換えられた左端部側の回転軸又は右端部側の回転軸を中心にしてホルダに前後方向の回動力を加えるアクチュエータとを具備する。【選択図】    図２
2004226322.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する四辺形状のホルダと、
このホルダを所定の角度に立てた状態で前方側から見て前記ホルダの左端部と右端部とにそれぞれ設けられた回転軸と、
前記左端部側の前記回転軸と前記右端部側の前記回転軸とを固定状態とフリーの状態とに交互に切り換える切り換え手段と、
この切り換え手段により固定状態に切り換えられた前記左端部側の前記回転軸又は前記右端部側の前記回転軸を中心にして前記ホルダに前後方向の回動力を加えるアクチュエータと、を具備することを特徴とする基板揺動装置。
【請求項２】
前記アクチュエータは、前記ホルダの左右両端部側に対応して設けられた各回転源と、
前記ホルダの左右両端部側にそれぞれ設けられ、各一端部をそれぞれ前記各回転源の回転軸に連結し、各他端部をそれぞれ前記ホルダにおける上端辺又は下端辺のいずれか一方又は両方に対して摺動可能に設けた各リンクとを有し、
前記各回転源の一方を停止し、他方向を回転駆動することにより、停止した一方の前記回転源側の前記リンクの他端部を固定回転軸とし、他方の前記回転源により前記リンクを介して前記ホルダを左又は右方向に揺動する、ことを特徴とする請求項１記載の基板揺動装置。
【請求項３】
前記アクチュエータは、前記ホルダの左右両端部側に対応して設けられ、伸縮自在で伸縮量を調整可能なロッドを有する各シリンダからなり、前記各ロッドの先端を前記ホルダの左右両端部に対してそれぞれ回転自在に設け、前記左又は右両端部側の前記シリンダの一方を停止し、他方の前記シリンダを駆動することにより、停止した一方の前記シリンダの先端を固定回転軸とし、他方の前記シリンダの前記ロッドを伸縮することにより前記ホルダを左又は右方向に回動する、ことを特徴とする請求項１項記載の基板揺動装置。
【請求項４】
前記アクチュエータは、前記ホルダの上端辺又は下端辺のいずれか一方又は両方に対応して設けられ、伸縮自在で伸縮量を調整可能なロッドを有するシリンダからなり、前記ロッドの先端を前記ホルダの中心部に対して回転自在に設け、さらに前記回転軸は、前記ホルダの左又は右両端部に対して着脱可能に設けられ、前記右又は左両端部の前記回転軸の一方の前記ホルダに対して離脱させ、他方の前記回転軸を固定させた状態で前記ロッドを伸縮することにより前記ホルダを左又は右方向に回動する、ことを特徴とする請求項１項記載の基板揺動装置。
【請求項５】
前記アクチュエータは、前記ホルダの後方側に設けられたベースと、
前記ホルダと前記ベースとの左右両端部にそれぞれ設けられた各エキスパンダとを有し、
前記左又は右端部側の一方の前記エキスパンダを伸縮させ、前記ホルダと連結する他方の前記エキスパンダの先端を固定回転軸として左又は右方向に回動する、ことを特徴とする請求項１項記載の基板揺動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）基板をホルダに保持し、目視観察のためにホルダを揺動する基板揺動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば液晶デイスプレイに用いられるガラス基板に対する欠陥検査は、ガラス基板に対して照明光を照射し、ガラス基板からの反射光の光学的変化を観察者の目視により観察してガラス基板表面上に存在する傷、欠け、汚れ、ダストの付着などの欠陥部を検出する。
【０００３】
このようなガラス基板の基板検査装置は、例えば特許文献１に記載されている。この特許文献１は、ガラス基板をホルダ上に保持し、ガラス基板の表面を目視観察する際に、ホルダの前辺を回転中心にして観察者から見て前後方向に所定の角度に傾斜させたり、又は同傾斜方向に揺動させ、ガラス基板からの反射光の光学的変化を観察者の目視により観察してガラス基板表面上に存在する欠陥部を検出することを記載する。
【０００４】
このようにガラス基板に照明光を照射して目視検査を行う場合、照明光の入射角度を変化させることにより、欠陥部の見え方が変わる。このような事から欠陥部の検出の確度を高めるために、ガラス基板を保持するホルダを観察者から見て前後方向と左右方向とに揺動させることが要求されている。
【０００５】
このようなホルダを前後方向と左右方向とに揺動させる技術として特許文献２がある。この特許文献２は、ガラス基板を保持するホルダを有する装置本体を手動にてＺ軸を中心に回転可能としてガラス基板を左右方向に揺動し、かつホルダを手動にてＺ軸と直交するＸ軸を中心に回転可能として上下方向に揺動することを記載する。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−９４７５３号公報
【０００７】
【特許文献２】
特開２０００−２７５１４０号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１は、ガラス基板表面上に存在する欠陥部を検出するためにホルダを観察者から見て前後方向に揺動するのみであり、左右方向に揺動することは出来ない。
【０００９】
特許文献２は、ガラス基板を保持するホルダの中央部を通るＺ軸を中心にしてホルダを左右方向に揺動するため、ホルダを左右方向に揺動した場合、ホルダの右側端部又は左側端部が観察者側に飛び出る。この装置を手動から自動に変える場合、検査装置の前面から外に飛び出ないようにホルダを後方に配置する必要性が生じる。ホルダを後方に配置すると、ホルダと観察者との間隔が遠くなり、ガラス基板上の欠陥部が見難くなると共に、ホルダを後方に移動させた分だけ装置が大きくなってしまう。
【００１０】
そこで本発明は、ホルダを上下方向及び左右方向に揺動できると共に、ホルダ上に保持されている基板を近くで目視観察できる基板揺動装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板を保持する四辺形状のホルダと、このホルダを所定の角度に立てた状態で前方側から見てホルダの左端部と右端部とにそれぞれ設けられた回転軸と、左端部側の回転軸と右端部側の回転軸とを固定状態とフリーの状態とに交互に切り換える切り換え手段と、この切り換え手段により固定状態に切り換えられた左端部側の回転軸又は右端部側の回転軸を中心にしてホルダに前後方向の回動力を加えるアクチュエータとを具備する基板揺動装置である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１３】
図１乃至図３は基板揺動装置の構成図であって、図１は正面図、図２は上面図、図３は側面図である。装置本体１は、底部板１ａと、この底部板１ａの左右両側にそれぞれ立設された各側面板１ｂ、１ｃとからなる。
【００１４】
この装置本体１の各側面板１ｂ、１ｃの前方側に各軸２ａ、２ｂを介してホルダ支持枠３が回転自在に設けられている。各軸２ａ、２ｂのホルダ支持枠３に設けられる位置は、ホルダ支持枠３の両側面における前方側の下部である。又、各軸２ａ、２ｂは、同一軸上に設けられる。
【００１５】
ホルダ支持枠３は、図１に示すように四辺形状に形成され、かつ図３に示すように上半分が前後方向に奥行きが短い枠部３ａと、下半分が前後方向に奥行きが深い枠部３ｂとを有している。
【００１６】
このホルダ支持枠３の各側面と装置本体１との各側面板１ｂ、１ｃとの間には、それぞれ各上下揺動用リンク４ａ、４ｂを設けている。これら上下揺動用リンク４ａ、４ｂは、それぞれバー状に形成されている。これら上下揺動用リンク４ａ、４ｂの各一端５ａ、５ｂは、装置本体１の各側面板１ｂ、１ｃの内面に設けられた図示しないがガイド、例えばボールネジに沿って上下方向に移動可能に設けられている。又、これら上下揺動用リンク４ａ、４ｂの各他端６ａ、６ｂは、ホルダ支持枠３の枠部３ａ、３ｂの前方側の上部に回転可能に設けられている。
【００１７】
これら上下揺動用リンク４ａ、４ｂの各一端５ａ、５ｂは、例えば図示しない各上下揺動駆動部として機能するボールネジにナットを介して連結し、それぞれのボールネジをモータにより同期して回転駆動することで各上下揺動用リンク４ａ、４ｂの各一端５ａ、５ｂを図３に示すように上下方向ｄ１に直線移動させる。
【００１８】
これら上下揺動用リンク４ａ、４ｂの各一端５ａ、５ｂが上下方向ｄ１に移動すると、これら上下揺動用リンク４ａ、４ｂの各他端６ａ、６ｂに連結されたホルダ支持枠３が各軸２ａ、２ｂを回転中心として水平位置から垂直位置の略９０°の範囲で矢印ｄ２方向に回動する。
【００１９】
各上下揺動用リンク４ａ、４ｂの各一端５ａ、５ｂをガイドに沿って所定距離だけ上方に移動させ、図４はホルダ支持枠３を水平位置から所定の角度に傾斜させた状態を示す。図３は上下揺動用リンク４ａ、４ｂの各一端５ａ、５ｂを図４の位置からさらに上方に移動させ、ホルダ支持枠３を垂直位置に押し上げた状態を示す。
【００２０】
なお、各上下揺動用リンク４ａ、４ｂの各他端６ａ、６ｂは、各軸２ａ、２ｂを回転中心として各他端６ａ、６ｂと各軸２ａ、２ｂとを半径とする湾曲した軌跡ｆ上を移動する。又、図３において点線で示した各上下揺動用リンク４ａ、４ｂは、各端５ａ、５ｂをガイドに沿って最下端まで移動させ、ホルダ支持枠３を水平位置に設定した状態である。
【００２１】
ホルダ支持枠３内にホルダ７が左右方向に揺動可能に設けられている。このホルダ７は、四辺形状の枠状に形成され、例えば液晶ディスプレイのガラス基板を吸着保持する。なお、ホルダ７は、枠内に複数の桟を設け、これら桟上に複数の支持ピンを設けている。これら支持ピンによってホルダ７上に吸着保持されるガラス基板は、平面状態に保たれる。
【００２２】
図１に示すようにホルダ支持枠３とホルダ７との間における各四隅部に４つの左右揺動用リンク８〜１１が設けられている。具体的に、例えばホルダ支持枠３を垂直にした状態で、上部となるホルダ支持枠３の枠部３ａとホルダ７との間の左右両端部に左揺動用リンク８、右揺動用リンク９が設けられ、かつ下部となるホルダ支持枠３の枠部３ｂとホルダ７との間の左右両端部に各左と右揺動用リンク１０、１１が設けられている。これら左と右揺動用リンク８、１０、９、１１は、図２に示すようにそれぞれバー状に形成されている。
【００２３】
左揺動用リンク８は、一端部８ａをホルダ支持枠３の枠部３ａに対して回転可能に設け、他端部８ｂをホルダ７の上枠部７ａに形成された摺動溝１２ａに対して摺動可能に設けられている。
【００２４】
右揺動用リンク９も左揺動用リンク８と同様に、一端部９ａをホルダ支持枠３の枠部３ｂに対して回転可能に設け、他端部９ｂをホルダ７の上枠部７ａに形成された摺動溝１２ｂに対して摺動可能に設けられている。
【００２５】
これら摺動溝１２ａ、１２ｂは、ホルダ７の上枠部７ａの左右両端側に対称的にそれぞれライン状に形成されている。これら摺動溝１２ａ、１２ｂの長さは、それぞれホルダ７を左又は右方向に揺動させるときの最大傾き角度を決定する。
【００２６】
左及び右揺動用リンク８、９の各一端部８ａ、９ａには、それぞれ各駆動モータ１４、１５の軸に接続されている。これら左及び右揺動用リンク８、９は、それぞれ各駆動モータ１４、１５の駆動により各一端部８ａ、９ａを中心に各回転方向ｄ３、ｄ４に回転する。
【００２７】
左及び右揺動用リンク８、９の各他端部８ｂ、９ｂにピン部を形成し、これらピン部を各摺動溝１２ａ、１２ｂ内に嵌め込んで摺動機構を構成しているが、このような摺動機構に限らず、摺動可能にする構造であれば如何なる構造でもよい。
【００２８】
左及び右揺動用リンク１０、１１も各左及び右揺動用リンク８、９と同様に、一端部１０ａ、１１ａをホルダ支持枠３の枠部３ｂに対して回転可能に設け、他端部１０ｂ、１１ｂを下部となるホルダ７の下枠部７ｂに形成された各摺動溝１３ａ、１３ｂに対してそれぞれ摺動可能に設けられている。又、これら左右揺動用リンク１０、１１の各一端部１０ａ、１１ａには、それぞれ各駆動モータ１６、１７の軸が接続されている。
【００２９】
各左揺動用リンク８、１０の各一端部８ａ、１０ａは、ホルダ支持枠３に対して同一軸上に設けられ、各右揺動用リンク９、１１の各一端部９ａ、１１ａもホルダ支持枠３に対して同一軸上に設けられている。又、各左揺動用リンク８、１０の各他端部８ｂ、１０ｂは同一軸上に設けられ、各右揺動用リンク９、１１の各他端部９ｂ、１１ｂもホルダ支持枠３に対して同一軸上に設けられている。
【００３０】
４つの駆動モータ１４〜１７は、例えばサーボモータ、ステッピングモータなど各種モータを使用可能である。
【００３１】
なお、本実施形態では、各左及び右揺動用リンク８〜１１の各一端部８ａ、９ａにそれぞれ各駆動モータ１４〜１７の各軸を接続しているが、これら全ての駆動モータ１４〜１７を設ける必要はなく、例えば同一軸上に設けられた左揺動用リンク８、１０又は右揺動用リンク９、１１の各一端部を一本の軸で連結して２つの駆動モータ１６、１５で駆動させてもよい。４つの駆動モータ１４〜１７を設けた場合、２つの駆動モータ１４と１６とが同期して駆動し、２つの駆動モータ１５と１７とが同期して駆動する。
【００３２】
以下、説明を簡単にするために２つの駆動モータ１４、１５を用いた場合について説明する。例えば左側の駆動モータ１４が駆動すると、この駆動モータ１４の軸の回転駆動力が左揺動用リンク８の一端部８ａに伝達される。この左揺動用リンク８は、図２に示すように駆動モータ１４の回転駆動力を受けて一端部８ａを中心に回転方向ｄ３に回転する。
【００３３】
この回転方向ｄ３が例えば図面上右回りであれば、左揺動用リンク８の回転により他端部８ｂは、当該左揺動用リンク８の長手方向の長さを半径として回転方向ｄ３に回転し、他端部８ｂは、ホルダ７の摺動溝１２ａ内を摺動する。この他端８ｂの移動に伴いホルダ７に右揺動用リンク９の他端部９ｂ、１１ｂを回転軸にして矢印ｄ５方向の回転力が作用し、ホルダ７の左側端部が後方側に移動する。反対に、回転方向ｄ３を図面上左回りに変えれば、ホルダ７の左側端部が後方側から前方側に移動する。
【００３４】
このとき右側の駆動モータ１５は停止状態にある。つまり右揺動用リンク９は、回転せずに固定された状態にある。この結果、ホルダ７は、ホルダ支持枠３内において、固定された各右揺動用リンク９、１１の各他端９ｂ、１１ｂを通る軸を中心に揺動方向ｄ５に揺動する。図５はホルダ７を右揺動用リンク９の他端部９ｂを回転中心にして右回りに揺動させ、ホルダ７の左側端部を後方側に移動させた状態を示している。
【００３５】
一方、右側の駆動モータ１５が駆動すると、この駆動モータ１５の軸の回転駆動力が右揺動用リンク９の一端部９ａに伝達される。この右揺動用リンク９は、図２に示すように駆動モータ１５の回転駆動力を受けて一端部９ａを中心に回転方向ｄ４に回転する。
【００３６】
この回転方向ｄ４が例えば図面上右回りであれば、右揺動用リンク９の回転により他端部９ｂは、当該右揺動用リンク９の長手方向の長さを半径として回転方向ｄ４に回転し、他端部９ｂは、ホルダ７の摺動溝１２ｂ内を摺動する。この他端９ｂの移動に伴いホルダ７に左揺動用リンク８の一端部８ｂを回転軸にして矢印ｄ６方向の回転力が作用し、ホルダ７の右側端部が後方側に移動する。反対に、回転方向ｄ４を図面上左回りに変えれば、ホルダ７の右側端部が後方側から前方側に移動する。
【００３７】
このとき左側の駆動モータ１４は停止状態にある。つまり左揺動用リンク８は、回転せずに固定された状態にある。この結果、ホルダ７は、ホルダ支持枠３内において、固定された左揺動用リンク８の他端部８ｂを通る軸を中心に揺動方向ｄ６に揺動する。
【００３８】
操作制御装置２０は、ホルダ支持枠３の前後方向の揺動及びホルダ７の左右方向の揺動を制御する。ジョイステック２１は、観察者Ｑによるホルダ支持枠３の前後方向の揺動及びホルダ７の左又は右方向の揺動の操作指示を受け、これら揺動の操作量に応じた操作信号を発生する。
【００３９】
なお、ホルダ支持枠３の前後方向の揺動及びホルダ７の左又は右方向の揺動の操作量に応じた操作信号を発生するものであれば、ジョイステック２１に限らず、他の操作端部を用いてもよい。
【００４０】
パーソナルコンピータ２２は、ジョイステック２１で発生した操作信号を入力し、この操作信号からホルダ支持枠３の前後方向の揺動とホルダ７の左又は右方向の揺動とを分離し、これら揺動別にそれぞれ各揺動指令を発する。
【００４１】
コントローラ２３は、パーソナルコンピータ２２から発せられたホルダ支持枠３の前後方向の揺動指令を受けると、各上下揺動用リンク４ａ、４ｂの各一端５ａ、５ｂを上下方向ｄ１に移動する上下揺動駆動部、例えばホールネジを回転くどうするモータに対して駆動制御信号Ｓ１を送出する。
【００４２】
又、コントローラ２３は、パーソナルコンピュータ２２から発せられたホルダ７の左右方向の揺動指令を受けると、ホルダ７の各左揺動用リンク８、１０又は各右揺動用リンク９、１１の各駆動モータ１４、１６（１５、１７）に対して駆動制御信号Ｓ２を送出する。
【００４３】
コントローラ２３は、左側の駆動モータ１４、１６に駆動制御信号Ｓ２を送出しているとき、右側の駆動モータ１５、１７への駆動制御信号Ｓ２の送出を禁止して当該駆動モータ１５、１７を停止し、かつ右側の駆動モータ１５、１７に駆動制御信号Ｓ２を送出しているとき、左側の駆動モータ１４、１６への駆動制御信号Ｓ２の送出を禁止して当該駆動モータ１４、１６を停止する。
【００４４】
なお、ホルダ７の下方及び上方には、それぞれ図示しないが各照明装置が設けられている。
【００４５】
次に、上記の如く構成された装置の動作について説明する。
【００４６】
観察者Ｑは、ジョイステック２１を操作してホルダ支持枠３を前後方向に揺動させたり、ホルダ７を左右方向に揺動させる指示を与える。ジョイステック２１は、観察者Ｑの操作指示を受け、前後方向又は左右方向のいずれか一方又は両方の各揺動の操作量に応じた操作信号を発生する。
【００４７】
パーソナルコンピータ２２は、ジョイステック２１で発生した操作信号を入力し、この操作信号からホルダ支持枠３の前後方向の揺動とホルダ７の左右方向の揺動とを分離し、このジョイステック２１の操作角度、方向、速度に応じた各揺動指令をコントローラ２３に発する。
【００４８】
コントローラ２３は、パーソナルコンピータ２２から発せられたホルダ支持枠３の前後方向の揺動指令とホルダ７の左右方向の揺動指令とを受けると、各上下揺動駆動部に駆動制御信号Ｓ１を送出する。
【００４９】
これら上下揺動駆動部は、それぞれ駆動制御信号Ｓ１に従って各上下揺動用リンク４ａ、４ｂの各一端５ａ、５ｂを同期して図３に示すように上下方向ｄ１に移動する。これら上下揺動用リンク４ａ、４ｂの各一端５ａ、５ｂが例えば上方に移動すると、各上下揺動用リンク４ａ、４ｂは、ホルダ支持枠３の中央部を上方に押し上げる。これにより、ホルダ支持枠３は、各前後揺動軸２ａ、２ｂを中心に前後方向ｄ２に揺動する。
【００５０】
このホルダ支持枠３の前後揺動では、ジョイステック２１に対して操作された前後方向の操作量に応じた角度で前後方向に揺動し、ジョイステック２１の操作を停止した操作角度に応じた任意の角度で停止する。
【００５１】
図３はホルダ支持枠３を垂直方向に設定した状態を示し、図４はホルダ支持枠３を任意の角度に傾斜させた状態を示す。
【００５２】
又、コントローラ２３は、パーソナルコンピュータ２２から発せられたホルダ７の左又は右方向の揺動指令を受けると、各リンク８〜１１の各駆動モータ１４（１６）又は１５（１７）を駆動するための駆動制御信号Ｓ２を送出する。
【００５３】
例えば、ホルダ支持枠３を垂直方向に設定した状態において、ジョイステック２１を左方向に操作すると、コントローラ２３から左側の駆動モータ１４（１６）を駆動する駆動制御信号Ｓ２が送出され、左側の駆動モータ１４、１６が左回りに回転して左揺動用リンク８（１０）を図２面上左回りに回転させる。この左揺動用リンク８（１０）の左回りの回転により他端部８ｂ、１０ｂがホルダ７の摺動溝１２ａ内を摺動し、図５に示すように右側揺動用リンク９、１１の他端部９ｂ、１１ｂを中心軸として右方向に回動し、ホルダ７の左側端部が後方側に移動する。
【００５４】
このとき右側の駆動モータ１５（１７）は停止状態にあるので、右揺動用リンク９は回転せずに固定された状態にある。この結果、ホルダ７は、図５に示すように固定された各右揺動用リンク９、１１の各他端９ｂ、１１ｂを通る軸を中心に揺動方向ｄ５に揺動する。
【００５５】
図５に示す状態からジョイステック２１を中心に向けて右方向に操作すると、左側の駆動モータ１５、１７が右回りに回動して、ホルダ７は右揺動用リンク９、１１の他端部９ｂ、１１ｂを中心軸として左方向に回動し、ホルダ７の左側端部が前方側に移動する。
【００５６】
逆にジョイステック２１を中心から右方向に操作すると、コントローラ２３から左側の各駆動モータ１４（１６）に送出された駆動制御信号Ｓ２が停止し、右側の各駆動モータ１５（１７）に駆動制御信号Ｓ２が送出される。この駆動制御信号Ｓ２を受けた右側の各駆動モータ１５（１７）は、右回りに回転し、右揺動用リンク９（１１）を図２面上右回りに回転する。この右揺動用リンク９（１１）の右回りの回転により他端部９ｂ（１１ｂ）がホルダ７の揺動溝１２ｂ（１３ｂ）内を摺動し、左側揺動リンク８（１０）の他端部８ｂ（１０ｂ）を中心軸として左方向に回動し、ホルダ７の右側端部が後方に移動する。
【００５７】
ジョイステック２１の操作量に応じて各駆動モータ１４（１６）又は１５（１７）の回転量と回転方向を制御することにより、左及び右揺動用リンク８（１０）又は９（１１）の回転方向ｄ３又はｄ４の回転量と回転方向が制御される。この結果としてホルダ７は、左揺動用リンク８（１０）の他端部８ｂ（１０ｂ）及び右揺動用リンク９（１１）の他端部９ｂ（１１ｂ）の一方を回転軸にして左右方向に揺動し、かつ任意の角度に停止させることができる。図６はジョイステック２１に対して操作された観察者Ｑの操作量に応じてホルダ７の左側端部を最も後方側に揺動させた状態における正面図を示し、図７は同状態における側面図を示す。
【００５８】
このようにホルダ支持枠３を前後揺動させたり、ホルダ７を左右揺動させた状態に、ガラス基板に対して照明光を照射し、ガラス基板からの反射光の光学的変化を観察者Ｑの目視により観察することにより、ガラス基板表面上に存在する傷、欠け、汚れ、ダストの付着などの欠陥部の検出が行なわれる。
【００５９】
このように上記一実施の形態においては、ホルダ７の左右両端部側にそれぞれ左及び右揺動用リンク８（１０）、９（１１）を設け、これら左及び右揺動用リンク８（１０）、９（１１）の各一端部８ａ（１０ａ）、９ａ（１１ａ）をそれぞれホルダ支持枠３の後部の各駆動モータ１４（１６）、１５（１７）に連結し、各他端部８ｂ（１０ｂ）、９ｂ（１１ｂ）をそれぞれホルダ７における上下端辺に対して摺動可能に設け、各他端部８ｂ（１０ｂ）又は９ｂ（１１ｂ）の一方を回転軸にしてホルダ７の左方向ｄ５又は右方向ｄ６に揺動可能にした。
【００６０】
これにより、ホルダ７は、左右揺動してもホルダ支持枠３から前方側に飛び出ることがなく、ホルダ７を装置本体１の前面に近接して配置することができる。
このようにホルダ７を装置本体１の前面に近接して配置することで、ホルダ７を観察者Ｑに対して近付けることができ、ガラス基板からの反射光をガラス基板の間近で観察できる。この結果、ガラス基板表面上に存在する傷、欠け、汚れ、ダストの付着などの欠陥部の検出が容易になる。
【００６１】
観察者Ｑは、ホルダ支持枠３を前後方向に揺動させて、ホルダ７上に保持されたガラス基板からの反射光の光学的変化を良好に観察し易い角度に任意に設定することができ、ガラス基板上の欠陥部の検出精度を高めることができる。
【００６２】
又、ホルダ７を装置本体１の前面に近接して配置することが可能になることから、装置本体１の前面との間隔を小さくし、基板揺動装置全体が小型化を図ることができる。
【００６３】
以下、本発明の基板揺動装置に備えられる左右揺動機構の各種構成について図面を参照して説明する。なお、図１乃至図３と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００６４】
図８は左右揺動機構の構成図である。ホルダ支持枠３上におけるホルダ７の上枠部と下枠部左右両端部にそれぞれ対応する各位置にそれぞれ伸縮自在で伸縮量を調整可能な各アクチュエータ３０、３１が設けられている。これらアクチュエータ３０、３１の各ロッド３０ａ、３１ａの先端部には、それぞれ各回転軸３２、３３を介してホルダ７の上部枠部が回転可能に設けられている。
【００６５】
これらアクチュエータ３０、３１は、ホルダ７の各四隅に設けるのが好ましく、ホルダ７を垂直に立てた状態における上枠部の左右両端側、中間部の左右両端側にそれぞれ設けてもよい。
【００６６】
このような構成であれば、各アクチュエータ３０、３１が各ロッド３０ａ、３１ａを伸ばした状態にあれば、ホルダ７は左右方向に揺動しない。
【００６７】
例えば、右側のアクチュエータ３１のロッド３１ａを伸ばして、左側のアクチュエータ３０のロッド３０ａを縮めると、ホルダ７は、回転軸３３を中心に左方向に回動し、ホルダ７の左側端部が後方側に移動する。このとき、ジョイステック２１の操作量に応じてアクチュエータ３０のロッド３０ａの縮め量を制御すれば、ホルダ７を左回動方向の任意の角度に停止できる。
【００６８】
一方、左側のアクチュエータ３０のロッド３０ａを伸ばして、右側のアクチュエータ３１のロッド３１ａを縮めると、ホルダ７は、上記と反対に回転軸３２を中心に右方向に回動し、ホルダ７の右側端部が後方側に移動する。
【００６９】
図９は左右揺動機構の構成図である。ホルダ支持枠３の上枠部と下枠部の中央部に伸縮自在で伸縮量を調整可能なアクチュエータ４０が設けられている。このアクチュエータ４０のロッド４０ａの先端部には、回転軸４１を介してホルダ７の上枠部と下枠部の各中間部が回転自在に設けられている。
【００７０】
ホルダ７の上枠部と下枠部の左右両端部には、それぞれ軸受け部が設けられている。これら軸受け部と対応するホルダ支持枠３の各四隅から延出した延出部の先端に回転軸となるロッドを進入可能なシリンダ４２、４２、４３、４３が設けられている。
【００７１】
ホルダ７を左揺動する場合、左側の各軸受け部から各シリンダ４２のロッドがが外され、右側の各軸受け部に各シリンダ４３のロッドが挿入される。反対にホルダ７を右揺動する場合、右側の各軸受け部から各シリンダ４３のロッドが外され、左側の各軸受け部に各シリンダ４２のロッドが挿入される。
【００７２】
このような構成であれば、左側の各軸受け部から各シリンダ４２のロッドを外し、右側の各軸受け部に各シリンダ４３のロッドを挿入した状態で、アクチュエータ４０のロッド４０ａを縮めることにより、ホルダ７は、各シリンダ４３のロッドを回転軸として左方向に回動する。
【００７３】
一方、右側の各軸受け部から各シリンダ４３のロッドを外し、左側の各軸受け部に各シリンダ４２のロッドを挿入した状態で、アクチュエータ４０のロッド４０ａを縮めることにより、ホルダ７は、各シリンダ４２のロッドを回転軸として右方向に回動する。
【００７４】
なお、上記構成では、ホルダ７に設けた各軸受け部に対して各シリンダ４２、４３のロッドを挿脱可能にしているが、これに限らず、左右の回転軸を交互に切り換え可能なヒンジを用いてもよい。
【００７５】
図１０は左右揺動機構の構成図である。ホルダ支持枠３上における上枠部と下枠部左右両端部には、それぞれ各アクチュエータ５０（５０）、５１（５１）が各回転軸５２（５２）、５３（５３）を介して回転可能に設けられている。左側のアクチュエータ５０（５０）のロッド５０ａ（５０ａ）の先端部５０ｂ（５０ｂ）は、ホルダ７における右側の摺動溝１２ｂ（１３ｂ）に摺動可能に設けられている。右側のアクチュエータ５１（５１）のロッド５１ａ（５１ａ）の先端部５０ｂ（５０ｂ）は、ホルダ７における左側の摺動溝１２ａ（１３ａ）に摺動可能に設けられている。
【００７６】
このような構成であれば、右側のアクチュエータ５１を停止し、左側のアクチュエータ５０のロッド５０ａを矢印ｄ１０方向へ縮めると、ロッド５０ａの先端部５０ｂが摺動溝１２ｂ内を右方向に摺動する。これに伴なってアクチュエータ５０は、回転軸５２を中心に矢印ｄ１１方向に右側回転すると共に、ホルダ７は、右側のアクチュエータ５１のロッド５１ａの先端部５１ｂを回転軸として矢印ｄ１２方向に回動する。
【００７７】
一方、左側のアクチュエータ５０を停止し、右側のアクチュエータ５１のロッド５１ａを矢印ｄ１３方向へ縮めると、ロッド５１ａの先端部５１ｂが摺動溝１２ａ内を左方向に摺動する。これに伴なってアクチュエータ５１は、回転軸５３を中心に矢印ｄ１４方向に左回り回動すると共に、ホルダ７は、左側のアクチュエータ５０のロッド５０ａの先端部５０ｂを回転軸として矢印ｄ１５方向に回動する。
【００７８】
図１１乃至図１３は左右揺動機構の構成図であって、図１１は上面図、図１２は左側面図、図１３は右側面図である。ホルダ支持枠３とホルダ７との左右両端部には、それぞれ各エキスパンダ６０、６１が設けられている。これらエキスパンダ６０、６１は、それぞれ伸ばし動作、縮め動作を行う。
【００７９】
このような構成であれば、ホルダ７を矢印ｄ１６方向に回動する場合、右側のエキスパンダ６１を伸ばした状態で左側のエキスパンダ６０は縮めることにより、ホルダ７は、右側のエキスパンダ６１の回転軸６１ａ（６１ｄ）を中心として回動する。この回動では、ホルダ７の左側端部を後方側に移動する。
【００８０】
反対に、ホルダ７を矢印ｄ１７方向に回動する場合、左側のエキスパンダ６０を伸ばした状態で右側のエキスパンダ６１は縮めることにより、ホルダ７は、左側のエキスパンダ６０の回転軸６０ａ（６０ｂ）を中心として回動する。この回動では、ホルダ７の右側端部を後方側に移動する。
【００８１】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００８２】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００８３】
例えば、上記各左右揺動機構において、各アクチュエータ３０，３１，４０，５０，５１を用いているが、これに限らず、モータの軸にボールネジを設け、このボールネジの回転によりホルダ７を左右方向に回動させてもよい。この回動であれば、モータの回転数を制御することにより、ホルダ７を左右揺動させたときの角度を任意に制御できる。又、エアーシリンダを用いてホルダ７を左右揺動させてもよい。
【００８４】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、ホルダを上下方向及び左右方向に揺動できると共に、ホルダ上に保持されている基板を近くで目視観察できる基板揺動装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる基板揺動装置の一実施の形態を示す正面構成図。
【図２】本発明に係わる基板揺動装置の一実施の形態を示す上面構成図。
【図３】本発明に係わる基板揺動装置の一実施の形態を示す側面構成図。
【図４】本発明に係わる基板揺動装置の一実施の形態においてホルダ枠を前後方向に揺動させた状態を示す図。
【図５】本発明に係わる基板揺動装置の一実施の形態においてホルダを揺動方向に揺動させた状態を示す図。
【図６】本発明に係わる基板揺動装置の一実施の形態においてホルダの左側端部を後方側に揺動させた状態を示す上面図。
【図７】本発明に係わる基板揺動装置の一実施の形態においてホルダの左側端部を後方側に揺動させた状態を示す面図。
【図８】本発明に係わる基板揺動装置における左右揺動機構の別の構成図。
【図９】本発明に係わる基板揺動装置における左右揺動機構の別の構成図。
【図１０】本発明に係わる基板揺動装置における左右揺動機構の別の構成図。
【図１１】本発明に係わる基板揺動装置における左右揺動機構の上面構成図。
【図１２】同左右揺動機構の左側面図。
【図１３】同左右揺動機構の右側面図。
【符号の説明】
１：装置本体、１ａ：底部板、１ｂ，１ｃ：側面板、２ａ，２ｂ：軸、３：ホルダ支持枠、３ａ，３ｂ：枠部、４ａ，４ｂ：上下揺動用リンク、５ａ，５ｂ：上下揺動用リンクの一端、６ａ，６ｂ：上下揺動用リンクの他端、７：ホルダ、７ａ：ホルダの上枠部、７ｂ：ホルダの下枠部、８，１０：左揺動用リンク、９，１１：右揺動用リンク、８ａ，１０ａ：左揺動用リンクの一端部、８ｂ，１１ａ：左揺動用リンクの他端部、９ａ，１０ｂ：右揺動用リンクの一端部、９ｂ，１１ｂ：右揺動用リンクの他端部、１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ：摺動溝、１４，１５，１６，１７：駆動モータ、２０：操作制御装置、２１：ジョイステック、２２：パーソナルコンピータ、２３：コントローラ、３０，３１，４０，５０，５１：アクチュエータ、３０ａ，３１ａ，４０ａ，５０ａ，５１ａ：ロッド、３２，３３，５２，５３：回転軸、４１：回転軸、４２，４３：シリンダ、６０，６１：エキスパンダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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