(57)【要約】【課題】オゾンの溶存率を上昇させることができ、ひいては、オゾンガス発生に伴う危険性の低下およびオゾン水の有する洗浄力・殺菌力の向上を容易に図ることができるオゾン水生成装置を提供する。【解決手段】酸素供給手段５およびオゾナイザー１０を有し、前記酸素供給手段５からの酸素の流量が可変であるオゾン供給部１と、水Ｗを供給するための給水部２と、前記オゾン供給部１からのオゾンを給水部２からの水Ｗに溶存させてオゾン水Ａとする混合部３とを備えたオゾン水生成装置Ｄであって、前記混合部３が、内壁面が下に凸のほぼ球面状に形成されたオーバーフロー槽２７，２７…を上下方向に複数有し、合流したオゾンおよび水Ｗが各オーバーフロー槽２７を順次経るように構成するとともに、前記各オーバーフロー槽２７が溶解タンク２６内に収容されており、この溶解タンク２６を、前記オゾン水Ａを貯留するための貯留タンクに兼用させてある。【選択図】　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素供給手段およびオゾナイザーを有し、前記酸素供給手段からの酸素の流量が可変であるオゾン供給部と、水を供給するための給水部と、前記オゾン供給部からのオゾンを給水部からの水に溶存させてオゾン水とする混合部とを備えたオゾン水生成装置であって、前記混合部が、内壁面が下に凸のほぼ球面状に形成されたオーバーフロー槽を上下方向に複数有し、合流したオゾンおよび水が各オーバーフロー槽を順次経るように構成するとともに、前記各オーバーフロー槽が溶解タンク内に収容されており、この溶解タンクを、前記オゾン水を貯留するための貯留タンクに兼用させてあることを特徴とするオゾン水生成装置。
【請求項２】
前記溶解タンク内のオゾンガスを排出するための排出流路が設けられており、この排出流路が、前記オゾンガスを分解・無害化するための植物繊維からなるフィルタ部材を備えている請求項１に記載のオゾン水生成装置。
【請求項３】
前記オゾナイザーが、複数の電極と、これらの電極を収容するケースとを備え、前記ケースの外面に互いに平行となる冷却用フィンを突設するとともに、前記冷却用フィンに対して風を送る送風手段を設けてある請求項１または２に記載のオゾン水生成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、食品の洗浄・殺菌に用いられるオゾン水を生成するためのオゾン水生成装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のオゾン水生成装置として、図８に示すように、オゾン供給部４８からのオゾンと、給水部４９からの水Ｗとを、ポンプ５０内で混合してオゾン水Ａを生成するものがある。
【０００３】
なお、前記オゾン供給部４８は、上流側から順に、酸素ボンベ５１と、流量計５２と、前記酸素ボンベ５１からの酸素をオゾンへと変換するためのオゾナイザー５３と、電磁弁５４とを備え、また、前記給水部４９は、上流側から順に、給水源（図示せず）と、減圧弁５５とを備えていた。さらに、前記ポンプ５０の下流側には、圧力計５６が設けられており、また、前記オゾナイザー５３の近傍には、オゾナイザー５３を冷却するためのファン５７が設けられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のオゾン水生成装置では、オゾンと水とをポンプ５０内で混合してオゾン水を生成していたのであるが、ポンプ５０により流れるオゾンおよび水の流速が大きすぎ、水に対するオゾンの溶存が不充分であった。そのため、前記水に溶けず、ガスの状態で無駄に流れてしまうオゾンが多く、有害なオゾンガスが多く発生することは、危険性が増大することにもつながるという問題があった。また、生成されたオゾン水におけるオゾンの溶存率が低く、前記オゾン水の洗浄力・殺菌力の向上を図ることが難しいという問題があった。
【０００５】
本発明は、かゝる実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、オゾンの溶存率を上昇させることができ、ひいては、オゾンガス発生に伴う危険性の低下およびオゾン水の有する洗浄力・殺菌力の向上を容易に図ることができるオゾン水生成装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明のオゾン水生成装置は、酸素供給手段およびオゾナイザーを有し、前記酸素供給手段からの酸素の流量が可変であるオゾン供給部と、水を供給するための給水部と、前記オゾン供給部からのオゾンを給水部からの水に溶存させてオゾン水とする混合部とを備えたオゾン水生成装置であって、前記混合部が、内壁面が下に凸のほぼ球面状に形成されたオーバーフロー槽を上下方向に複数有し、合流したオゾンおよび水が各オーバーフロー槽を順次経るように構成するとともに、前記各オーバーフロー槽が溶解タンク内に収容されており、この溶解タンクを、前記オゾン水を貯留するための貯留タンクに兼用させてある（請求項１）。
【０００７】
また、前記溶解タンク内のオゾンガスを排出するための排出流路が設けられており、この排出流路が、前記オゾンガスを分解・無害化するための植物繊維からなるフィルタ部材を備えているとしてもよい（請求項２）。
【０００８】
上記の構成によれば、オゾンの溶存率を上昇させることができ、ひいては、オゾンガス発生に伴う危険性の低下およびオゾン水の有する洗浄力・殺菌力の向上を容易に図ることができるオゾン水生成装置を提供することが可能となる。
【０００９】
また、前記酸素供給手段から供給される酸素の流量を可変としてあることから、生成するオゾン水のオゾン濃度を自在に設定することが可能となる。
【００１０】
さらに、前記溶解タンクを、前記オゾン水を貯留するための貯留タンクに兼用させてあることから、オゾンを水に溶解させてオゾン水を生成するための手段と、生成したオゾン水を貯留するための貯留手段とを別に設ける場合に比して、構造をコンパクトにすることが可能となる。
【００１１】
また、前記オーバーフロー槽の内壁面が、下に凸のほぼ球面状に形成されていることから、例えば、前記オーバーフロー槽の内壁面を断面がコの字形状となるように形成した場合に比して、オーバーフロー槽内に導入されたオゾンおよび水の対流がより理想に近い状態で行われることとなり、オーバーフロー槽内によどみなどが生じにくくなることから、オゾンおよび水の混合がより促進されることとなる。
【００１２】
また、前記オゾナイザーが、複数の電極と、これらの電極を収容するケースとを備え、前記ケースの外面に互いに平行となる冷却用フィンを突設するとともに、前記冷却用フィンに対して風を送る送風手段を設けてあるとしてもよい（請求項３）。この場合には、前記電極に電圧をかけて放電を行ったときに、高温となった前記電極を効率よく冷却することが可能となり、ひいては、オゾンの発生率を長時間維持して、オゾン発生率の低下を防止することが可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の一実施例に係るオゾン水生成方法（以下、生成方法という）を実施するためのオゾン水生成装置（以下、生成装置という）Ｄの構成を概略的に示す説明図、図２は、前記生成装置Ｄの要部の構成を概略的に示す説明図である。
生成装置Ｄは、オゾン供給部１と、給水部２と、前記オゾン供給部１からのオゾン（Ｏ３　）を前記給水部２からの水Ｗに溶存（溶解）させてオゾン水Ａとする混合部３と、この混合部３からのオゾン水Ａを取り出す取り出し部４とを備えている。
【００１４】
前記オゾン供給部１は、上流側から順に、例えば酸素ボンベからなる酸素供給手段５と、圧力スイッチ６と、電磁弁７と、レギュレーター８と、流量計９と、オゾナイザー１０と、ストレーナー１１と、電磁弁１２と、水逆戻り防止スイッチ１３と、逆止弁１４とを備えている。
【００１５】
前記酸素供給手段５は、レギュレーター５ａを有しており、酸素ガスを一定圧（例えば、０．２ｍｐａ）で下流側へと供給する。そして、前記酸素供給手段５は、供給する酸素の圧を自在に設定できるように構成されており、これにより、供給する酸素の流量が可変となっている。
【００１６】
前記レギュレーター８は、前記酸素供給手段５からの酸素ガスを一定圧（例えば、０．１ｍｐａ以下）にして、さらに下流側へと送るように構成されている。
【００１７】
前記流量計９は、例えば、風量計であり、前記酸素供給手段５からの酸素ガスは、例えば、前記計量計９の計測値が２Ｌ／ｍｉｎとなるように供給されている。
【００１８】
前記オゾナイザー１０は、図３に示すように、対向する状態で配置された２つの電極１５，１６と、これら２つの電極１５，１６に交流電圧を加える印加手段１７と、一方の電極１６に固定された誘電体１８と、これら２つの電極１５，１６および誘電体１７を収容するケース１９とを備えている。
【００１９】
前記電極１５，１６は、例えばステンレスからなり、また、前記誘電体１８は、例えばガラスからなる。
【００２０】
前記ケース１９は、例えば、アルミニウムからなり、その上流側にガスを導入するためのガス導入口（図示せず）を、また、その下流側に、内部のガスを導出するためのガス導出口１９ａをそれぞれ有している。さらに、ケース１９の外面（左右両側面）には、互いに平行となる複数の冷却用フィン１９ｂ，１９ｂ…が突設されている。
【００２１】
また、前記ケース１９の近傍には、ケース１９の前記冷却用フィン１９ｂ，１９ｂ…に向けて風を送るための送風手段としてのファン２０，２０が設けられている。
【００２２】
すなわち、上記の構成からなるオゾナイザー１０では、前記印加手段１７のスイッチ１７ａをＯＮにするとケース１９内で放電（無声放電）が行われることになり、この状態で、ケース１９内に酸素ガスを導入すると、前記放電によってオゾンが発生することとなる。そして、このとき、前記放電により、オゾナイザー１０全体が高温となるが、前記冷却用フィン１９ｂ，１９ｂに向けてファン２０，２０からの風が送られることにより、効率良くケース１９が冷却され、ひいてはオゾナイザー１０全体が冷却されることとなる。
【００２３】
また、前記印加手段１７のスイッチ１７ａをＯＦＦにすると、ケース１９内で放電が行われない状態となるため、前記酸素供給手段５からの酸素はオゾンとなることなく、オゾナイザー１０を通過することとなる。
【００２４】
前記ストレーナー１１は、前記オゾナイザー９内で放電を行ったときに生じる金属粉を除去するためのフィルタ１１ａを有している。
【００２５】
前記給水部２は、上流側から順に、給水源（図示せず）と、減圧弁２１と、フロースイッチ２２と、１次側圧力計２３と、逆止弁２４とを備えている。
【００２６】
そして、前記給水部２は、任意の流量で水Ｗをその下流側に供給できるように構成されている。
【００２７】
前記混合部３は、上流側から順に、前記オゾン供給部１からのオゾンおよび前記給水部２からの水Ｗが合流する合流部２５と、合流したオゾンおよび水Ｗが導入される溶解タンク２６とを備えている。
【００２８】
図４（Ａ）は、前記溶解タンク２６の構成を概略的に示す縦断面図、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。
前記溶解タンク２６は、内壁面が下に凸のほぼ球面形状（半球面形状）に形成されたオーバーフロー槽２７を上下方向に複数（本実施例では３つ）有するとともに、各オーバーフロー槽２７の上方に導入管２８を有し、前記合流部２５にて合流したオゾンおよび水が、各オーバーフロー槽２７および導入管２８を交互に順次経るように構成してある。
【００２９】
詳しくは、前記溶解タンク２６の内部は、隔離壁２９によって上下方向に複数（本実施例では３つ）の区画室３０，３０…に分け隔てられており、各区画室３０内のほぼ中央部には、各区画室３０（溶解タンク２６）の側壁に対して複数（本実施例では３つ）のブリッジ２７ａ，２７ａ…を介して前記オーバーフロー槽２７が設けられている。また、各オーバーフロー槽２７の周縁には、オーバーフローするオゾンおよび水Ｗを下方へと流し落とすための溝２７ｂが設けられている。
【００３０】
そして、各区画室３０内には、下端が前記オーバーフロー槽２７に臨むようにして前記導入管２８が配置されている。また、前記隔離壁２９のほぼ中央部には、貫通孔２９ａが形成されており、溶解タンク２６内の上から２つめ以下の各区画室３０内（すなわち、溶解タンク２６内の最も上の区画室３０を除いた各区画室３０内）に設けられた各導入管２８は、各区画室３０の上壁を形成する前記隔離壁２９の貫通孔２９ａを挿通する状態となっており、その上端部２８ａが隔離壁２９を介して上側にある区画室３０の内側に突出した状態となっている。
【００３１】
なお、溶解タンク２６内の上から２つめ以下の各区画室３０内に設けられた前記各導入管２８は、その上端部２８ａが、上側ほど径の大きくなるテーパ状となっており、また、その上端が、挿通した隔離壁２９の上面よりも上方に位置している。一方、前記溶解タンク２６内の一番上の区画室３０内に設けられた前記導入管２８は、上記他の導入管２８とは異なり、前記合流部２５からのオゾンおよび水Ｗを溶解タンク２６内に導入するためのものであることから、前記上端部２８ａを有していてもよいが、有していなくてもよい。
【００３２】
また、溶解タンク２６の適宜の箇所（本実施例では、上から２つめの区画室３０の側壁）に、溶解タンク２６の内部の圧力を測定し、表示するための圧力計３１が設けられている。
【００３３】
さらに、溶解タンク２６の底壁（すなわち、最も下にある区画室３０の底壁）には、溶解タンク２６内で生成されたオゾン水Ａを取り出すための取り出し口３２が設けられている。
【００３４】
また、溶解タンク２６内の上から２つめ以下の各区画室３０内に配置された各オーバーフロー槽２７の上端から適宜の距離だけ上方に離れた位置には、前記導入管２８に挿通される隔壁３３が設けられている。なお、前記隔壁３３は、設けなくともよい。
【００３５】
また、溶解タンク２６の上部には溶解タンク２６内において前記水に溶存せずにガスの状態となっているオゾンを、分解・無害化した状態で外部に排出するための排出流路３４が接続されている。
【００３６】
前記排出流路３４は、上流側から順に、バッファタンク３５と、逆止弁（圧力止弁）３６と、オゾン（オゾンガス）を分解・無害化するためのフィルタ部材３７ａをほぼチューブ状（円筒状）のケース体３７ｂに内蔵させてなるオゾン処理部３８とを備えている。
【００３７】
前記フィルタ部材３７は、例えば、オゾン（オゾンガス）を吸収する手段（吸着剤）となるオガクズなどの植物繊維からなる。なお、前記オガクズとしては、例えば、杉材，ヒノキ材，竹材等のオガクズを用いることができる。
【００３８】
一方、溶解タンク２６の内部には、溶解タンク２６内のオゾンガスを前記排出流路３４へと送り出すための送出流路３９が設けられている。ここで、前記送出流路３９は、各区画室３０内の上方を連通させた状態で設けられており、これにより、各区画室３０内にて存在するオゾンガスが、前記送出流路３９を経て、前記排出流路３４へと至ることとなる。
【００３９】
また、上記の構成からなる溶解タンク２６の上流側、すなわち、溶解タンク２６と前記合流部２５との間には、逆止弁４０を有する流路４１が接続されている。
【００４０】
上記の構成からなる溶解タンク２６に導入された合流部２５からのオゾンおよび水Ｗは、まず、一番上の区画室３０内にあるオーバーフロー槽２７内に収容され、オーバーフロー槽２７内に所定量以上のオゾンおよび水Ｗが貯留されると、オーバーフローして前記オーバーフロー槽２７の周縁に設けられた溝２７ｂから下方にある隔離壁２９の上面に向かって流れ落ちることとなる。
【００４１】
そして、隔離壁２９の上面よりも、溶解タンク２６内において一番上の区画室３０からその直下にある区画室（上から２つめの区画室）３０に続く導入管２８の上端部２８ａの上端のほうが高い位置にあることから、前記オゾンおよび水Ｗは前記隔離壁２９の上方においても所定量だけ貯留され、オーバーフローすることによって、前記導入管２８内へと流れ込むこととなる。
【００４２】
上記のようにして導入管２８内に流れ込んだオゾンおよび水Ｗは、溶解タンク２６内において上から２つめの区画室３０内にあるオーバーフロー槽２７内に収容され、その後も、上記と同様にして１つずつ下の区画室３０に向かい、最終的には、前記取り出し口３２から溶解タンク２６の下流側へと導出されるのである。
【００４３】
そして、溶解タンク２６内に導入されたオゾンおよび水Ｗが溶解タンク２６の下側に向かうに伴い、オゾンが水Ｗに溶解し、前記水Ｗ中におけるオゾンの溶存率が上昇し、これにより、供給したオゾンのほとんど全て（この実施例では、９８％以上）が水Ｗに溶解してなるオゾン水Ａが生成されるのである。
【００４４】
一方、上記各区画室３０内において、水Ｗに溶けずにガスの状態となっているオゾン（オゾンガス）は、各区画室３０の上側の空間内に至り、各区画室３０の上側に接続されている前記送出流路３９から溶解タンク２６の上側の空間へと向かう。その後、溶解タンク２６の上側の空間と連通する状態の前記排出流路３４を経て、外部へと排出されることとなる。
【００４５】
そして、前記溶解タンク２６は、上述したように、前記オゾンおよび水Ｗを、前記各オーバーフロー槽２７内と、各隔離壁２９上とに貯留することができる構造を有していることから、前記溶解タンク２６を、前記オゾン水Ａを貯留するための貯留タンクとしても用いることができるのである。
【００４６】
前記取り出し部４は、上流側から順に、２次側圧力計４２と、逆止弁４３とを有しており、また、その上流端が、前記混合部３の溶解タンク２６の取り出し口３２に接続されており、溶解タンク２６からのオゾン水Ａをその下流端側より供給対象へと送りだすように構成されている。
【００４７】
上記の構成からなるオゾン水生成装置Ｄでは、前記オゾン供給部１からのオゾンおよび前記給水部２からの水Ｗは、前記混合部３の合流部２５で合流した後、溶解タンク２６内の上下方向に複数配置されたオーバーフロー槽を順次経ることによって、オゾンが水Ｗに溶解し、高濃度のオゾン水Ａが生成されるのである。
【００４８】
そして、上記の構成からなるオゾン水生成装置Ｄでは、前記混合部３の溶解タンク２６にて、オゾンおよび水Ｗの流速を落とすことにより、確実にオゾンを水Ｗに溶解させることができるため、オゾンの溶存率（オゾン濃度）を上昇させることができ、オゾン水の有する洗浄力・殺菌力の向上を容易に図ることができる。
【００４９】
また、オゾンの溶存率を上昇させることにより、水Ｗに溶解せずにガス状態となるオゾンの量を減らすことができるため、オゾンガス発生に伴う危険性が低下することとなる。
【００５０】
さらに、前記酸素供給手段５から供給される酸素の流量を可変としてあり、これに伴って、前記オゾナイザー１０にて発生させるオゾンの量も可変であることから、生成するオゾン水Ａのオゾン濃度を自在に設定することが可能となる。また、前記オゾン供給部１からのオゾンの流量だけでなく、前記給水部２からの水Ｗの流量をも調整することによって、生成するオゾン水Ａの流量およびオゾン濃度をより容易にかつ細かく設定することが可能となる。
【００５１】
また、上記の構成からなるオゾン水生成装置Ｄにおいて、前記オゾナイザー１０のスイッチ１７ａをＯＦＦにし、酸素供給手段５からの酸素をそのまま混合部３へと送り、前記混合部３にて、前記酸素を前記給水部２からの水Ｗに溶存させるようにすれば、高酸素水を生成することも可能となる。
【００５２】
また、前記オゾナイザー１０の前記ケース１９が、外面に冷却用フィン１９ｂ，１９ｂ…を有することから、前記２つの電極１５，１６に電圧をかけて放電を行ったときに、高温となった前記オゾナイザー１０を前記ファン２０によって効率よく冷却することが可能となる。
【００５３】
また、前記溶解タンクを、前記オゾン水Ａを貯留するための貯留タンクとしても用いることから、オゾンを水に溶解させてオゾン水Ａを生成するための手段と、生成したオゾン水Ａを貯留するための貯留手段とを別に設ける場合に比して、構造をコンパクトにすることが可能となる。
【００５４】
なお、上記実施例では、図４（Ａ）に示すように、前記溶解タンク２６の各導入管２８はほぼ直線状となっているが、このような構成に限るものではなく、例えば、図５に示すように、前記各導入管２８を螺旋状に形成してもよい。このように構成した場合には、前記導入管２８内を通過する際のオゾンおよび水Ｗの移動時間および移動距離をかせぐことができ、水Ｗに対するオゾンの溶解がより促進されることとなる。
【００５５】
また、上記実施例では、図２に示すように、前記排出流路３４に、オゾン（オゾンガス）を分解・無害化するためのフィルタ部材３７ａをほぼチューブ状（円筒状）のケース体３７ｂに内蔵させてなるオゾン処理部３８を設けているが、前記フィルタ部材３７ａに代えて、図６に示す構成を有する袋状体４４を、前記ケース体３７ｂ内に内蔵させるようにしてもよい。
【００５６】
すなわち、前記袋状体４４は、オゾン（オゾンガス）を吸収する手段（吸着剤）となるものであり、例えば綿製で通気性を有する袋４５内に、植物片・粉（オガクズ）などの植物繊維を収容してなる。
【００５７】
なお、前記フィルタ部座３７ａおよび袋状体４４に用いるオガクズとしては、例えば、杉材，ヒノキ材，竹材等のオガクズを用いることができる。
【００５８】
そして、内部をオゾンが通過することによってオゾンを吸収した状態の前記袋状体４４は、例えば、土壌に返す（具体的には、埋設・散布などする）と、自然分解し、このとき、土壌改良材としての機能を発揮することともなるため、前記オゾンを有効活用できるというメリットが得られる。
【００５９】
なお、前記オゾン処理部３８は、上記二つの構成からなるものに限られず、例えば、ヒータなどの加熱手段によってオゾンを加熱して、その分解・無害化を図るものであってもよい。
【００６０】
また、前記給水部３に、図７に示す純水化手段４５を設けてもよい。すなわち、前記純水化手段４５は、前記給水部３の給水源からの水Ｗを純水化するためのものであり、ほぼチューブ状（円筒状）のケース体４５ａ内に、上流側から順に、イオン交換膜４６と、ＲＯ膜４７とを設けてなる。そして、前記給水源からの水Ｗがイオン交換膜４６およびＲＯ膜４７を透過した後に、下流側の混合部３へと送られるように構成されている。
【００６１】
そして、前記給水源からの水Ｗは、前記イオン交換膜４６を透過することで、水Ｗ中に含まれるＮａ，Ｍｇ等が除去されるのであり、前記ＲＯ膜４７を透過することで、水Ｗ中に含まれるＦｅ，ＳｉＯ２　等が除去されることになる。
【００６２】
上記のように純水化された水Ｗに、前記オゾン供給部１からのオゾンを混合部３にて溶解させて生成したオゾン水Ａは、その純度が高いことから、殺菌力が上昇し、また、例えば、半導体ウエハの洗浄に用いることも可能となる。
【００６３】
また、上記実施例では、溶解タンク２６内に設けるオーバーフロー槽２７の数を３つとしているが、このような構成に限るものではない。例えば、前記水Ｗに溶存させるオゾン（あるいは酸素）の濃度を高濃度（８ｐｐｍ以上）とする場合には、前記オーバーフロー槽２７を５段以上設けるなどすればよい。
【００６４】
また、上記実施例では、前記オゾン供給部１に、酸素ガスを供給する酸素供給手段５を設けているが、このような構成に限るものではなく、例えば、前記酸素供給手段５に代えて、空気供給手段（図示せず）を設け、酸素ガスに代えて空気を供給するようにしてもよい。ただし、この場合には、空気を前記オゾナイザー１０に通過させるとＮＯＸ　が生じるため、このＮＯＸ　を除去する手段等を前記オゾン供給部１中のオゾナイザー１０の下流側に別途設けることが望ましい。
【００６５】
なお、本実施例の生成方法は、上記の構成からなる生成装置Ｄを用いて実施できるものであり、前記生成装置Ｄと同様の効果を得ることができるものである。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、オゾンの溶存率を上昇させることができ、ひいては、オゾンガス発生に伴う危険性の低下およびオゾン水の有する洗浄力・殺菌力の向上を容易に図ることができるオゾン水生成装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係るオゾン水生成方法を実施するためのオゾン水生成装置の構成を概略的に示す説明図である。
【図２】上記実施例の要部の構成を概略的に示す説明図である。
【図３】上記実施例におけるオゾナイザーの構成を概略的に示す説明図である。
【図４】（Ａ）は、上記実施例における溶解タンクの構成を概略的に示す縦断面図、（Ｂ）は、前記溶解タンクの要部を概略的に示す横断面図である。
【図５】上記実施例における導入管の変形例の構成を概略的に示す説明図である。
【図６】上記実施例におけるオゾン処理部の変形例の構成を概略的に示す説明図である。
【図７】上記実施例における純水化手段の構成を概略的に示す説明図である。
【図８】従来のイオン水生成装置の構成を概略的に示す説明図である。
【符号の説明】
１…オゾン供給部、２…給水部、３…混合部、５…酸素供給手段、１０…オゾナイザー、２６…溶解タンク、２７…オーバーフロー槽、Ａ…オゾン水、Ｄ…オゾン水生成装置、Ｗ…水。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004057940.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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