(57)【要約】【課題】ミラーの回動制御が短時間で容易に行える光スイッチ装置を提供する。【解決手段】ミラー１１５を電極の平面へ投影した領域内で、ミラー１１５の中心部を囲うように４つの電極１０２，１０３，１０４，１０５を配列し、ミラー１１５の中心で対向配置する一方の２つの電極１０２，１０４は、可動枠回動軸を平面に投影した直線に線対称な形状に形成し、他方の２つの電極１０３，１０５は、ミラー回動軸を平面に投影した直線に線対称な形状に形成する。【選択図】        図１
2004264729.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の所定領域内に設けられた複数の電極と、
前記基板から所定距離離間して配設されかつ前記領域の上方に位置する開口部を有する枠部材と、
この枠部材の開口内に前記基板と略平行な第１の回動軸のまわりに回動可能に配置されかつ前記領域の上方に位置する開口部を有する可動枠と、
この可動枠の開口内に前記第１の回動軸と所定の角度をなして前記基板と略平行な第２の回動軸のまわりに回動可能に配置され、前記電極と対向する板状のミラーとを備え、
前記複数の電極は、
前記第１の回動軸と第２の回動軸との交点から前記基板の上におろした足を取り囲み、
前記第１の回動軸を前記基板の上へ投影した直線に対して線対称に形成された少なくとも一対の電極と、
前記第２の回動軸を前記基板の上へ投影した直線に対して線対称に形成された少なくとも一対の電極と
を含むことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項２】
請求項１記載の光スイッチ装置において、
前記第１の回動軸，第２の回動軸を前記基板の上に投影した２つの直線に対して各々線対称に形成された２対の電極は、前記第１の回動軸と第２の回動軸との交点から等距離に配置されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光のスイッチングを利用する通信，計測，ディスプレイ等に使用する光スイッチ素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
薄膜形成技術やフォトリソグラフィ技術を基本にしてエッチングすることなどで立体的に微細加工を行うマイクロマシン技術を利用して作製された、光スイッチ装置がある。この光スイッチ装置は、例えば、固定構造体と可動する部分を備えた反射構造体とから構成されている。反射構造体は、枠部と可動部を有し、可動部が、トーションバースプリングなど、ねじりを受けて弾性変形する棒状や板状のばね部材によって枠部に接続されている。このように構成された光スイッチ装置は、固定構造体と可動する反射構造体との間に働く引力、あるいは反発力によって反射構造体が可動することで光路を切り替えるスイッチング動作を行う（特許文献１，２、非特許文献１，２参照）。
【０００３】
このような光スイッチ装置の製造方法として、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｏｎ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板を用いる方法が提案されている。この方法によるミラー（可動部）の作製工程を説明する。まず、図２（ａ）に示すように、ＳＯＩ基板２１１の埋め込み絶縁層２１２が形成されている側（主表面：ＳＯＩ層）より、公知のフォトリソグラフィ技術とＤＥＥＰ  ＲＩＥなどのエッチングによって単結晶シリコン層（ＳＯＩ層）２１３に溝２１３ａを形成する。
【０００４】
ＤＥＥＰ  ＲＩＥは、例えばシリコンをドライエッチングするときに、ＳＦ６とＣ４Ｆ８のガスを交互に導入し、エッチングと側壁保護膜形成とを繰り返すことにより、アスペクト比が５０にもなる溝または穴を、毎分数μｍのエッチング速度で形成する技術である。
【０００５】
つぎに、ＳＯＩ基板２１１の裏面に溝２１３ａなどが形成された所定の領域が開口したレジストパターンを形成し、水酸化カリウム水溶液などのエッチング液を用い、ＳＯＩ基板２１１の裏面より選択的にシリコンをエッチングする。このエッチングでは、埋め込み絶縁層２１２をエッチングストッパ層として用い、図２（ｂ）に示すように、ＳＯＩ基板２１１の裏面に開口部２１１ａを形成する。
【０００６】
次いで、図２（ｃ）に示すように、埋め込み絶縁層２１２の開口部２１１ａに露出している領域を、フッ酸を用いて選択的に除去する。この結果、ＳＯＩ層２１３を枠部２１３とし、この枠部２１３に図示しない連結部を介して連結する可動枠２１４と、可動枠２１４にミラー連結部２６２ａ，２６２ｂを介して連結するミラー２１５が形成された状態となる。連結部，ミラー連結部２６２ａ，２６２ｂが、ねじりを受けて弾性変形する棒状や板状のばね部材となる。ここで、ミラー２１５の反射率を向上させるために、開口部２１１ａ側のミラー２１５表面に金などの金属膜を形成する場合もある。
【０００７】
一方、シリコン基板２０１をシリコン窒化膜あるいはシリコン酸化膜からなる所定のマスクパターンをマスクとし、水酸化カリウム水溶液で選択的にエッチングすることで、図２（ｄ）に示すように、凹部２０１ａが形成された状態とする。次いで、凹部２０１ａの上に蒸着法などにより金属膜を形成し、この金属膜を公知の超深度露光を用いたフォトリソグラフィ技術とエッチング技術とによりパターニングし、図２（ｅ）に示すように、ミラー駆動用の制御電極などを含む電極部２０２を形成する。
【０００８】
この後、ＳＯＩ基板２１１及びシリコン基板２０１各々をダイシングし、チップに切り出すことでミラーチップ及び電極チップを形成し、これらを貼り合わせることで、図２（ｆ）に示すように、電極部２０２に対する電界印加によってミラー２１５が可動する光スイッチ装置が製造できる。なお、各チップに切り出した後で、ミラーの反射率を向上させるためにミラー表面に金などの金属膜を形成してもよい。
【０００９】
枠部２１３，可動枠２１４，ミラー２１５は、図３の平面図に示すように構成されている。可動枠２１４は、枠部２１３の切欠き内に設けられた一対の連結部２６１ａ，２６１ｂにより、枠部２１３に連結されている。また、可動枠２１４は、一対の連結部２６１ａ，２６１ｂを通る回動軸（可動枠回動軸）を中心に、回動可能とされている。同様に、ミラー２１５は、可動枠２１４の切欠き内に設けられた一対のミラー連結部２６２ａ，２６２ｂにより、可動枠に連結されている。また、ミラー２１５は、一対のミラー連結部２６２ａ，２６２ｂを通る回動軸（ミラー回動軸）を中心に、回動可能とされている。なお、可動枠回動軸とミラー回動軸とは、直交している。
【００１０】
また、図２に示した電極部２０２は、図４の平面図に示すように、４つの制御電極２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃ，２０２ｄを備えている。なお、図２は、図４のＸＸ’線の断面を模式的に示している。
制御電極２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃ，２０２ｄは、ミラー２１５の領域内に配置されている。また、制御電極２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃ，２０２ｄは、可動枠回動軸を通り電極形成面に垂直な平面とミラー回動軸を通り電極形成面に垂直な平面とにより４分割された領域に、各々配置されている。
【００１１】
前述したように、可動枠２１４は、一対の連結部２６１ａ，２６１ｂにより枠部２１３に軸着し、ミラー２１５は、一対のミラー連結部２６２ａ，２６２ｂにより可動枠２１４に軸着している。従って、ミラー２１５は、２つの回動軸による２軸動作が可能となっている。この結果、ミラー２１５の中心を通る図４の紙面の法線方向よりミラー２１５に入射する光線を、ミラー２１５の回動動作により、上記法線を中心とした３６０°の方向に反射させることが可能となっている。
【００１２】
また、上述した３６０°方向への反射を可能とするミラー２１５の回動動作は、前述したように配置された制御電極２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃ，２０２ｄに対して印加する信号（駆動電位）を制御することにより行える。
この光スイッチ装置において、ミラー２１５をグランド（接地）電位に固定し、例えば、電極２０２ａに駆動電位を印加すると、ミラー２１５と電極２０２ａの一部との間に静電力が生じる。この静電力によって、ミラー２１５には回転モーメントが発生する。
【００１３】
ここで、電極２０２ａに駆動電位を印加した場合、ミラー２１５が、ミラー連結部２６２ａとミラー連結部２６２ｂとを通るミラー回動軸を中心として回動するとともに、可動枠２１４も連結部２６１ａと連結部２６１ｂとを通る可動枠回動軸を中心として回動する。従って、ＳＯＩ層２１３の平面から見た場合、ミラー２１５は、ミラー回動軸とともに可動枠回動軸の２つの軸を中心として回動し、図４の方向Ａに傾く。
【００１４】
このとき、連結部２６１ａ，２６１ｂ及びミラー連結部２６２ａ，２６２ｂの各々は、ミラー２１５の回動動作によりねじれを生じ、各部分には、ミラー２１５の回動角度に応じた上記静電力と逆方向の回転モーメントが発生する。この逆方向の回転モーメントは、ミラー回動軸と可動枠回動軸の両方に発生する。言い換えると、電極２０２ａに駆動電位を印加することで、ミラー回動軸と可動枠回動軸の両方に、前述した静電力による回転モーメントが作用する。
【００１５】
上述した静電力による回転モーメントと、連結部２６１ａ，２６１ｂ及びミラー連結部２６２ａ，２６２ｂの各々ねじれによる回転モーメントとが釣り合うと、ミラー２１５は回動動作を停止し、方向Ａに傾いた状態で静止する。
同様に、電極２０２ｄに駆動電位を印加した場合、この静電力による回転モーメントと、連結部２６１ａ，２６１ｂ及びミラー連結部２６２ａ，２６２ｂの各々ねじれによる回転モーメントとが釣り合うと、ミラー２１５は回動動作を停止し、方向Ｂに傾いた状態で静止する。
【００１６】
また、電極２０２ａと電極２０２ｂとなど、隣り合う電極に各々所定の制御電位を印加することで、ミラー２１５をいずれかの回動軸方向へ傾かせることが可能となる。
これらのように、いずれかの制御電極２０２ａ，２０２ｂ，２０２ｃ，２０２ｄに対する駆動電位の印加を組み合わせることで、前述した３６０°方向への反射動作を可能としている。
【００１７】
なお、出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を本件の出願時までに発見するには至らなかった。
【００１８】
【特許文献１】
特開２００１−１９８８９７号公報
【特許文献２】
特開２００２−１８９１７８号公報
【非特許文献１】
Ｒｅｎｓｈｉ  Ｓａｗａｄａ，Ｅｉｊｉ  Ｈｉｇｕｒａｓｈｉ，Ａｋｉｒａ  Ｓｉｍｉｚｕ，ａｎｄ  Ｔｏｈｒｕ  Ｍａｒｕｎｏ，”Ｓｉｎｇｌｅ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  Ｍｉｒｒｏｒ  Ａｃｔｕａｔｅｄ  Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃａｌｌｙ  ｂｙ  Ｔｅｒｒａｃｅｄ  Ｅｒｅｃｔｒｏｄｅｓ  Ｗｉｔｈ  Ｈｉｇｈ−Ａｓｐｅｃｔ  Ｒａｔｉｏ  Ｔｏｒｓｉｏｎ  Ｓｐｒｉｎｇ，”  Ｏｐｔｉｃａｌ  ＭＥＭＳ  ２００１，ｐｐ．２３−２４（Ｏｋｉｎａｗａ  Ｊａｐａｎ），２００１
【非特許文献２】
Ｒｅｎｓｈｉ  Ｓａｗａｄａ，Ｊｏｈｊｉ  Ｙａｍａｇｕｃｈｉ，Ｅｉｊｉ  Ｈｉｇｕｒａｓｈｉ，Ａｋｉｒａ  Ｓｉｍｉｚｕ，Ｔｓｕｙｏｓｈｉ  Ｙａｍａｍｏｔｏ，Ｎｏｂｕｙｕｋｉ  Ｔａｋｅｕｃｈｉ，ａｎｄ  Ｙｕｊｉ  Ｕｅｎｉｓｈｉ，”Ｓｉｎｇｌｅ  Ｓｉ  Ｃｒｙｓｔａｌ  １０２４ｃｈ  ＭＥＭＳ  Ｍｉｒｒｏｒ  Ｂａｓｅｄ  ｏｎ  Ｔｅｒｒａｃｅｄ  Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓ  ａｎｄ  ａ  Ｈｉｇｈ−Ａｓｐｅｃｔ  Ｒａｔｉｏ  Ｔｏｒｓｉｏｎ  Ｓｐｒｉｎｇ  ｆｏｒ  ３−Ｄ  Ｃｒｏｓｓ−Ｃｏｎｎｅｃｔ  Ｓｗｉｔｃｈ，”Ｏｐｔｉｃａｌ  ＭＥＭＳ  ２００２，ｐｐ．１１−１２（Ｌｕｇａｎｏ  Ｓｗｉｔｚｅｒｌａｎｄ），２００２
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の光スイッチ装置では、１つの電極に制御電位を印加することにより、静電力による回転モーメントが２つの回動軸に作用する。
ここで、例えば、電極２０２ａと電極２０２ｄとに制御電位を印加する場合を考える。前述したように、電極２０２ａだけに制御電極を印加しても、ミラー回動軸に加えて可動枠回動軸にも、静電力による回転モーメントが作用する。このため、２つの電極２０２ａと電極２０２ｄとに制御電位を印加すると、ミラー回動軸に加えて可動枠回動軸にも、静電力による各々異なる２つの回転モーメントが作用する。
【００２０】
従って、２つの電極に制御電位を印加してミラー２１５を回動させる場合、各々４組の異なる方向の回転モーメントの釣り合いを制御することになる。ここで、ミラー２１５を所望の角度に回動させて停止させるためには、電極に対する制御電極を帰還制御することになる。従って、２つの電極に制御電位を印加する場合、ミラー２１５を所望の回動角で静止させるためには、複雑な帰還制御を繰り返し行うことになる。また、このように帰還制御を繰り返し行うため、ミラー２１５を、短時間で安定して静止させることが容易ではなかった。
【００２１】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、ミラーの回動制御が短時間で容易に行える光スイッチ装置を提供することを目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光スイッチ装置は、基板上の所定領域内に設けられた複数の電極と、基板から所定距離離間して配設されかつ領域の上方に位置する開口部を有する枠部材と、この枠部材の開口内に基板と略平行な第１の回動軸のまわりに回動可能に配置されかつ領域の上方に位置する開口部を有する可動枠と、この可動枠の開口内に第１の回動軸と所定の角度をなして基板と略平行な第２の回動軸のまわりに回動可能に配置され、電極と対向する板状のミラーとを備え、複数の電極は、第１の回動軸と第２の回動軸との交点から基板の上におろした足を取り囲み、第１の回動軸を基板の上へ投影した直線に対して線対称に形成された少なくとも一対の電極と、第２の回動軸を基板の上へ投影した直線に対して線対称に形成された少なくとも一対の電極とを備えるようにしたものである。
【００２３】
この光スイッチ装置によれば、第１の回動軸を基板の上に投影した直線に対して線対称に形成された１対の電極のいずれかに制御電位を印加すると、ミラーは回動するが可動枠は回動しない。また、第２の回動軸を基板の上に投影した直線に対して線対称に形成された１対の電極のいずれかに制御電位を印加すると、可動枠は回動するがミラーは回動しない。
上記光スイッチ装置において、第１の回動軸，第２の回動軸を基板の上に投影した２つの直線に対して各々線対称に形成された２対の電極は、第１の回動軸と第２の回動軸との交点から等距離に配置してもよい。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
図１（ａ）は、本発明の実施の形態における光スイッチ装置の構成例を示す模式的な断面図である。また、図１（ｂ）は、本発明の実施の形態における光スイッチ装置の構成例を示す模式的な平面図である。これらは、主に光スイッチ装置の１構成単位である１つのミラーを備えたスイッチ素子を部分的に示している。
【００２５】
この光スイッチ装置の構成について説明すると、まず、例えば、単結晶シリコンからなる基板１０１を備え、基板１０１には、１つのスイッチ素子に対応して凹部１０１ａを備える。凹部１０１ａの内部の中央部には、平面視正方形の４つの電極１０２，１０３，１０４，１０５を備える。
また、基板１０１の上には、枠部１１３，この内側に配置されたリング状の可動枠１１４，この内側に配置された円板状のミラー１１５を備える。ミラー１１５は、電極１０２，１０３，１０４，１０５の上方に、所定の間隙を開けて対向配置している。
【００２６】
可動枠１１４は、連結部１６１ａ，１６１ｂにより、枠部１１３に吊設しかつ軸着している。ミラー１１５は、ミラー連結部１６２ａ，１６２ｂにより、可動枠１１４に吊設しかつ軸着している。連結部１６１ａ，１６１ｂ及びミラー連結部１６２ａ，１６２ｂは、例えば、トーションバースプリングなど、ねじりを受けて弾性変形する棒状や板状のばね部材である。
【００２７】
枠部１１３，可動枠１１４，ミラー１１５は、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｏｎ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板１１１の上に埋め込み絶縁層１１２を介して設けられたＳＯＩ層を、公知のフォトリソグラフィ技術と「ＤＥＥＰ  ＲＩＥ」などのエッチングによってパターニングすることで形成されたものである。ＳＯＩ基板１１１，絶縁層１１２には、可動枠１１４及びミラー１１５が回動可能となるように、開口部１１１ａ及び開口部１１２ａが形成されている。
【００２８】
このように、可動枠１１４やミラー１１５が形成されたＳＯＩ基板１１１を、ミラー１１５が形成されている面で、基板１０１に貼り合わせることで、凹部１０１ａの上部に、可動枠１１４やミラー１１５が配置された状態が得られる。ここで、まず、ミラー１１５は、電極１０２，１０３，１０４，１０５に対向して配置されている。また、開口部１１１ａ，１１２ａの位置は、凹部１０１ａの位置に重なっている。
【００２９】
可動枠１１４は、連結部１６１ａ，１６１ｂを通る可動枠回動軸を中心に回動する。また、ミラー１１５は、ミラー連結部１６２ａ，１６２ｂを通るミラー回動軸を中心に回動する。また、本実施の形態では、可動枠回動軸とミラー回動軸とは、直交している。
【００３０】
電極１０２，１０３，１０４，１０５は、可動枠回動軸とミラー回動軸との交点を通る基板１０１の面の法線を中心として分割される４つの領域に配置されている。
この４つの領域は、可動枠回動軸とミラー回動軸とで形成される平面内で、可動枠回動軸とミラー回動軸とを２分する２つの線分を通る、基板１０１の面に垂直な２つの平面で４つに分割される領域である。
【００３１】
また、電極１０２と電極１０４との各々の中心は、可動枠回動軸の上に配置され、電極１０３と電極１０５との各々の中心は、ミラー回動軸の上に配置されている。従って、電極１０２と電極１０４とは、各々可動枠回動軸を中心に線対称な形状に形成され、電極１０３と電極１０５とは、各々ミラー回動軸を中心に線対称な形状に形成されている。
また、電極１０２，１０３，１０４，１０５は、各々の中心が上記法線（ミラー１１５の中心）より等距離となるように配置されている。
【００３２】
以上のように構成された本実施の形態の光スイッチ装置によれば、まず、ミラー１１５を接地電位に固定し、電極１０２に所定の駆動電位を印加すると、ミラー１１５の電極１０２の対向面と電極１０２との間に静電力が生じる。この静電力によって、ミラー１１５には回転モーメントが発生する。
【００３３】
この結果、ミラー１１５は、ミラー連結部１６２ａ，１６２ｂを通るミラー回動軸を中心として回動し、連結部１６１ａの配置されている側に傾く。このとき、静電力による回転モーメントは、ミラー連結部１６２ａ，１６２ｂに作用し、ミラー連結部１６２ａ，１６２ｂは、ミラー１１５の回動動作によりねじれを生じる。このことにより、ミラー連結部１６２ａ，１６２ｂには、ミラー１１５の回動角度に応じた静電力によるものと逆方向の回転モーメントが発生する。これらの、ミラー回動軸を中心とした回転モーメントの関係は、電極１０４に所定の駆動電位を印加した場合も同様である。
【００３４】
以上のことに対し、電極１０３もしくは電極１０５に駆動電位を印加した場合、ミラー１１５は、可動枠１１４とともに、連結部１６１ａ，１６１ｂを通る可動枠回動軸を中心に回動する。このときの静電力による回転モーメントは、連結部１６１ａ，１６１ｂに作用し、連結部１６１ａ，１６１ｂは、ミラー１１５とともに回動する可動枠１１４の回動動作によりねじれを生じる。このことにより、連結部１６１ａ，１６１ｂには、ミラー１１５とともに回動する可動枠１１４の回動角度に応じた逆方向の回転モーメントが発生する。
【００３５】
このように、本実施の形態によれば、１つの電極に制御電位を印加することで発生する静電力による回転モーメントは、いずれか１つの回動軸に作用する。従って、従来のように、１つの電極に制御電位を印加することで、静電力による回転モーメントが２つの回動軸に作用する場合に比較し、本実施の形態によれば、回転モーメントの釣り合いを制御することが容易となる。この結果、本実施の形態によれば、より短時間で、ミラー１１５を所望の回動角度に安定して静止させることが可能となる。
特に、電極１０２，１０３，１０４，１０５を、ミラー１１５の中心より等距離となるように配置することで、２つ以上の電極を組み合わせた回動制御が、より精度良く行えるようになる。
【００３６】
ところで、上記実施の形態では、連結部１６１ａ，１６１ｂを、枠部１１３に形成した切欠き内に配置し、ミラー連結部１６２ａ，１６２ｂを、可動枠１１４に形成した切欠き内に配置するようにしたが、これに限るものではない。例えば、連結部１６１ａ，１６１ｂは、可動枠１１４に形成した切欠き内に配置するようにしても良い。また、ミラー連結部１６２ａ，１６２ｂは、ミラー１１５に形成した切欠き内に配置するようにしても良い。また、連結部１６１ａ，１６１ｂは、枠部１１３と可動枠１１４の間の間隙に配置し、ミラー連結部１６２ａ，１６２ｂは、可動枠１１４とミラー１１５の間の間隙に配置してもよい。
【００３７】
また、ミラー１１５は、円形に限るものではなく、正方形などの矩形に形成しても良い。また、可動枠１１４は、リング状に限るものではなく、矩形の枠状に形成しても良い。また、電極１０２，１０３，１０４，１０５は、平面視正方形に限るものではなく、円形や三角形などの他の形状であっても良い。
また、図１では、ミラー回動軸と可動枠回動軸とが直交した状態を示しているが、これに限るものではなく、ミラー回動軸と可動枠回動軸とが、９０°以外の角度で配置されているようにしても良い。
【００３８】
なお、電極１０２は、可動枠回動軸を電極１０２が形成されている平面に投影した直線に線対称な形状に形成されていればよい。また、電極１０４も、可動枠回動軸を電極１０４が形成されている平面に投影した直線に線対称な形状に形成されていればよい。
一方、電極１０３は、ミラー回動軸を電極１０３が形成されている平面に投影した直線に線対称な形状に形成されていればよい。また、電極１０５は、ミラー回動軸を電極１０５が形成されている平面に投影した直線に線対称な形状に形成されていればよい。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、ミラーを電極が形成されている平面へ投影した領域内で、ミラーの中心部を囲うように４つの電極を配列し、上記中心で対向配置する一方の２つの電極は、可動枠回動軸を平面に投影した直線に線対称な形状に形成し、他方の２つの電極は、ミラー回動軸を平面に投影した直線に線対称な形状に形成した。
【００４０】
この結果、本発明によれば、まず、上述した一方の２つの電極のいずれかに制御電位を印加すると、ミラーは回動するが可動枠は回動しない。また、上述した他方の２つの電極のいずれかに制御電位を印加すると、可動枠は回動するがミラーは回動しない。
従って、本発明によれば、１つの電極に制御電位を印加することで発生する静電力による回転モーメントは、いずれか１つの回動軸に作用するだけなので、ミラーの回動制御が短時間で容易に行えるようになるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における光スイッチ装置の構成例を示す模式的な断面図（ａ），及び平面図（ｂ）である。
【図２】従来よりある光スイッチ装置の製造過程を示す工程図である。
【図３】従来よりある光スイッチ装置の部分的な構成を示す平面図である。
【図４】従来よりある光スイッチ装置の部分的な構成を示す平面図である。
【符号の説明】
１０１…基板、１０１ａ…凹部、１０２，１０３，１０４，１０５…電極、１１１…ＳＯＩ基板、１１１ａ…開口部、１１２…埋め込み絶縁層、１１２ａ…開口部、１１３…枠部、１１４…可動枠、１１５…ミラー、１６１ａ，１６１ｂ…連結部、１６２ａ，１６２ｂ…ミラー連結部。
【図１】
2004264729.tif 000003
【図２】
2004264729.tif 000004
【図３】
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【図４】
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