(57)【要約】【課題】アームが複数の基板を載置した基板載置治具を正しく保持しなかったために、基板載置治具が落下して収容されている基板が破損するという問題があった。【解決手段】複数の基板１を載置した基板載置治具２を複数のアーム４で保持して移送する基板移送装置であって、上記複数のアーム４間に電流を流して前記基板載置治具２を検知し、アーム４が基板載置治具２を正しく保持していることを確認し、もって移送開始当初や移送中の基板の落下による破損を防止する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を載置した基板載置治具を複数のアームで保持して移送する基板移送装置において、前記複数のアーム間に電流を流して前記基板載置治具を検知することを特徴とする基板移送装置。
【請求項２】
複数の基板を載置した基板載置治具を複数のアームで保持して移送する基板移送装置において、前記複数のアーム間に電流を流して抵抗値を測定して予め設定された抵抗値と比較し、その差が所定値以上であれば異常として検知することを特徴とする基板移送装置。
【請求項３】
前記基板載置治具における前記複数のアームとの接点の間は導電材料で接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板移送装置。
【請求項４】
前記基板載置治具は導電材料で構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板移送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板移送装置に関し、特に複数の基板を載置した基板載置治具を複数のアームで保持して移送する基板移送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
複数の基板を化学処理したり、複数の基板の電極にはんだ付けしたり、複数の基板を洗浄や乾燥する場合、基板同士が接触しないように複数のスリットを有する基板載置治具に基板を収容して処理するのが一般的である（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
この場合、複数の基板が収容された基板載置治具を移送する必要が生じる。基板載置治具を移送する場合、図５に示すように、例えばテーブル５の上に置かれた基板載置治具２をアーム４で挟んで上方に持ち上げて移送するという手段がとられる。
【０００４】
このように基板載置治具２を上方に持ち上げて移送する場合、基板載置治具２が正しく保持されていなければ移送開始当初や移送中に基板載置治具２が落下して収容されている基板１が破損するという問題を発生することがある。
【０００５】
このような問題を回避するために、テーブル５に位置決めピン６を取り付け、この位置決めピン６の間に基板載置治具２が正しい位置に設置されているようにしてアーム４で確実に保持できるようにする方法がある。この方法では基板載置治具２がテーブル５の正しい位置に設置されていれば問題は解決するが、この方法でも基板載置治具２がテーブル５の上の正しい位置に設置されていることは目視で判断するしかなく、基板載置治具２を確実に保持できない場合が発生してしまう。
【０００６】
このような問題を解決するために、基板載置治具２の両側にある位置決めピン６の一方に投光部（不図示）を設けるとともに、他方に受光部（不図示）を設けて基板載置治具２がテーブル５の上の正しい位置に存在することを更に確実に認識しようとする試みもなされている。この方法によれば、投光部と受光部とにセンサ機能を持たせることによって目視によらずに基板載置治具２がテーブル５の上の正しい位置に設置してあることを認識することができ、自動化することが可能になる。しかし、この方法によれば、投光部もしくは受光部にごみが付着したり故障によって投光できなかった場合にも、基板載置治具２がテーブル５の上の正しい位置に設置してあると認識してしまうため、誤動作の原因になるという問題があった。
【０００７】
上述のようなセンサ機能はアーム４に設けることも可能である。しかし、この方法によっても投光部もしくは受光部にごみが付着したり故障によって投光できなかった場合には基板載置治具２があると認識してしまうため、誤動作の原因になるという問題は解決できなかった。
【０００８】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、アームが基板載置治具を正しく保持しないために基板載置治具が落下して収容されている基板が破損するという従来の問題を解消した基板移送装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００２−３１９６１６号公報参照
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に係る基板載置治具の移送装置では、複数の基板を載置した基板載置治具を複数のアームで保持して移送する基板移送装置において、前記複数のアーム間に電流を流して前記基板載置治具を検知することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項２に係る基板移送装置では、複数の基板を載置した基板載置治具を複数のアームで保持して移送する基板移送装置において、前記複数のアーム間に電流を流して抵抗値を測定して予め設定された抵抗値と比較し、その差が所定値以上であれば異常として検知することを特徴とする。
【００１２】
上記基板移送装置では、前記基板載置治具における前記複数のアームとの接点の間は導電材料で接続されていることが望ましい。
【００１３】
また、上記基板載置治具は導電材料で構成されていてもよい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
本発明においても複数の基板を載置する基板載置治具およびその移送装置の基本的な構造は従来のものと同様である。つまり、基板載置治具２の基本構造は、図１および図２に示すように、所定間隔に維持された二枚の側板に複数のスリット３を設けて隣同士が接触しないように複数の基板１を略平行となるように立てて収容するものである。図２は基板載置治具２を側面側からみた図である。図２において、１は基板、２は基板載置治具、３はスリット、４はアーム、５はテーブル、６は位置決めピンを示す。
【００１５】
この基板載置治具２を移送する場合、図１に示すように、例えばテーブル５の上に置かれた基板載置治具２をアーム４で挟んで上方に持ち上げて移送する。
【００１６】
本発明によれば、基板載置治具２を保持する複数のアーム４間に電流を流して基板載置治具２の有無を認識することを特徴とする。アーム４はステンレスなどの導電材料から成り、このアーム４に電源７から例えば１０ｍＡ程度の微弱電流を流す。この微弱電流を電流計８で検知してアーム４間に基板載置治具２が正しく保持されているかどうかを検知する。
【００１７】
つまり、一方のアーム４ａ側から微弱電流を流して他方のアーム４ｂ側の電流計８で導通を確認する。このときアーム４（４ａ、４ｂ）の間に導電部材があれば電流は流れるが、導電部材がない場合には電流は流れない。このことを利用してセンサ機能を持たせれば、アーム４ａ、４ｂが基板載置治具２を正しく保持しているかを判断でき、基板載置治具２の落下による基板１の破損を防止できる。
【００１８】
また、電流計８の代わりに抵抗計を設け、アーム４ａ、４ｂ間の抵抗値をモニターして正常状態の抵抗値と比較することによって異常状態を検知することもできる。すなわち、正常状態の抵抗値を記憶させておけば、定常状態よりも低い値になったときには導電性の高い物質が付着したことが考えられるし、高い値になったときにはアーム４が完全に基板移送治具２と接触していないことや基板載置治具２が破損していることが考えられ、このような異常状態を自動的に検知できる。
【００１９】
このとき使用する基板載置治具２はアーム４との複数の接点の間がステンレスなどの導電材料で接続されている。このようにすることにより、微弱電流が正確に流れるために導通を確実に確認できるとともに、抵抗値をモニターする場合でも定常状態の抵抗値が低くなることから、異常状態がより明確になる。よって、基板載置治具２の落下による基板１の破損などのトラブルを未然により確実に防ぐことができる。
【００２０】
また、基板載置治具２はステンレスなどの導電材料で構成されていてもよい。このようにすれば、導電材料の剥離や欠落といった問題が発生することはなくなり、誤動作を未然に防ぐことができる。導電材料が例えば金属であり、基板１を処理する処理液が酸などであった場合には、そのまま使用すると処理液中で基板載置治具２が反応を起すという問題が発生することがある。この問題を防ぐにはアーム４との複数の接点以外の部分の基板載置治具２を耐薬品性のコーティング材でコーティングすればよい。
【００２１】
以上のような基板移送装置では、複数の基板１を載置した基板載置治具２をテーブル５の上に置いてアーム４を開いた状態で上方から下降させる。その後、アーム４を閉じて基板載置治具２を挟むとともに二つのアーム４間に微弱電流を流して導通を確認してから微弱電流をとめてアーム４を上昇させて基板載置治具２を移送する。また、微弱電流は基板載置治具２の移送中流しつづけておくことも可能である。一つの基板載置治具２の移送が完了すれば隣接する基板載置治具２を移送する。以後、同様に順次基板載置治具２を移送する。
【００２２】
複数の基板１を化学処理したり、複数の基板１の電極（不図示）にはんだ付けしたり、複数の基板１を洗浄や乾燥などする場合、薬液、洗浄液、はんだ融液などの入った槽に基板１を収容した基板載置治具２を浸漬して処理する。
【００２３】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で多くの修正および変更を加えることができる。例えば基板載置治具２は、図１に示すように、上方からアーム４で保持してもよいし、図３および図４に示すように、アーム４を基板載置治具２の下方に挿入して底面を持ち上げるように保持してもよい。なお、図４は図３に示す基板載置治具２を側面側からみた図である。図３および図４において、１は基板、２は基板載置治具、３はスリット、４はアーム、５はテーブル、６は位置決めピンである。また、上方からのアーム４が基板載置治具２の底面を保持する構成であってもよい。
【００２４】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１に係る基板移送装置によれば、複数の基板を収容した基板載置治具を保持する複数のアーム間に電流を流して基板載置治具の有無を検知することから、アームが基板載置治具を正しく保持したことを正確に検知でき、もって基板の移送開始当初や移送中に基板載置治具を落下させることなく確実に移送でき、基板載置治具の落下による基板の破損を防止できる。
【００２５】
また、請求項２に係る基板移送装置によれば、複数の基板を収容した基板載置治具を保持する複数のアーム間に電流を流して抵抗値を測定して予め設定された抵抗値と比較し、その差が所定値以上であれば異常として検知することから、アーム間に導電性の高い物質が付着したことや、アームが完全に基板移送治具と接触していないことや、基板載置治具が破損していることなどの異常状態を正確に検出できる。
【００２６】
このとき、基板載置治具における複数のアームとの接点の間を導電材料で接続すると、電流が正確に流れて導通を確実に確認できるとともに、抵抗値をモニターする場合でも正常状態の抵抗値が低くなることから、異常状態がより明確になって異常状態をより正確に検知できる。
【００２７】
また、基板載置治具を導電材料で構成すると、導電材料の剥離や欠落といった問題が発生することがなく、誤動作も未然に防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板移送装置を示す図である。
【図２】本発明に係る基板移送装置を側面側からみた図である。
【図３】本発明に係る他の基板移送装置を示す図である。
【図４】本発明に係る他の基板移送装置を側面側からみた図である。
【図５】従来の基板移送装置を示す図である。
【符号の説明】
１：基板、２：基板載置治具、３：スリット、４：アーム、５：テーブル、６：位置決めピン
【図１】
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【図２】
2004281795.tif 000004
【図３】
2004281795.tif 000005
【図４】
2004281795.tif 000006
【図５】
2004281795.tif 000007