(57)【要約】【課題】光スイッチ及びその使用方法に関し、損失にパス依存性が生じず小型化に適した光スイッチ及びその使用方法の提供が主な目的である。【解決手段】本発明による光スイッチは、各々第１及び第２の入力端並びに第１及び第２の出力端を有し、ｎ×ｎ行列（ｎは整数）に配置された複数のスイッチセルＳＣと、２（ｎ−１）個の反射セルＲＣとを備えている複数のスイッチセルは、第１列のスイッチセルの入力端の一つと第ｎ列のスイッチセルの出力端の一つが光学的に接続されるように選択的に駆動される。（ｎ−１）個の反射セルは、第１行、第ｉ列（ｉは１≦ｉ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第１の出力端を第１行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続するように配置される。残りの（ｎ−１）個の反射セルは、第ｎ行、第ｊ列（ｊは１≦ｊ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第２の出力端を第ｎ行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続するように配置される。【選択図】　　　　図１
2004077854.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々第１及び第２の入力端並びに第１及び第２の出力端を有し、ｎ×ｎ行列（ｎは整数）に配置された複数のスイッチセルと、
２（ｎ−１）個の反射セルとを備え、
前記複数のスイッチセルは、第１列のスイッチセルの入力端の一つと第ｎ列のスイッチセルの出力端の一つが光学的に接続されるように選択的に駆動され、
（ｎ−１）個の反射セルは、第１行、第ｉ列（ｉは１≦ｉ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第１の出力端を第１行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続するように配置され、
残りの（ｎ−１）個の反射セルは、第ｎ行、第ｊ列（ｊは１≦ｊ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第２の出力端を第ｎ行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続するように配置される光スイッチ。
【請求項２】
第１行、第ｉ列のスイッチセルの第２の出力端は第２行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続され、
第ｎ行、第ｊ列のスイッチセルの第１の出力端は第（ｎ−１）行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続され、
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルの第１の出力端は第（ｋ−１）行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続され、
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルの第２の出力端は第（ｋ＋１）行、第（ｉ＋１）行のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続される請求項１記載の光スイッチ。
【請求項３】
光スイッチの使用方法であって、
前記光スイッチは、各々第１及び第２の入力端並びに第１及び第２の出力端を有し、ｎ×ｎ行列（ｎは整数）に配置された複数のスイッチセルと、２（ｎ−１）個の反射セルとを備え、
前記複数のスイッチセルは、第１列のスイッチセルの入力端の一つと第ｎ列のスイッチセルの出力端の一つが光学的に接続されるように選択的に駆動され、
（ｎ−１）個の反射セルは、第１行、第ｉ列（ｉは１≦ｉ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第１の出力端を第１行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続するように配置され、
残りの（ｎ−１）個の反射セルは、第ｎ行、第ｊ列（ｊは１≦ｊ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第２の出力端を第ｎ行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続するように配置され、
前記第１列及び前記第ｎ列のうち奇数行及び偶数行のいずれか一方のスイッチセルに関連するスイッチセルのみを使用することを特徴とする光スイッチの使用方法。
【請求項４】
第１の光ファイバ伝送路群及び第２の光ファイバ伝送路群に適用可能な光スイッチであって、
各々第１及び第２の入力端並びに第１及び第２の出力端を有し、ｎ×ｎ行列（ｎは整数）に配置された複数のスイッチセルと、
２（ｎ−１）個の反射セルとを備え、
前記複数のスイッチセルは、第１列のスイッチセルの入力端の一つと第ｎ列のスイッチセルの出力端の一つが光学的に接続されるように選択的に駆動され、
（ｎ−１）個の反射セルは、第１行、第ｉ列（ｉは１≦ｉ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第１の出力端を第１行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続するように配置され、
残りの（ｎ−１）個の反射セルは、第ｎ行、第ｊ列（ｊは１≦ｊ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第２の出力端を第ｎ行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続するように配置され、
第１行、第ｉ列のスイッチセルの第２の出力端は第２行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続され、
第ｎ行、第ｊ列のスイッチセルの第１の出力端は第（ｎ−１）行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続され、
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルの第１の出力端は第（ｋ−１）行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続され、
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルの第２の出力端は第（ｋ＋１）行、第（ｉ＋１）行のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続され、
奇数行、第１列のスイッチセルの第１の入力端と奇数行、第ｎ列のスイッチセルの第２の出力端とが前記第１の光ファイバ伝送路群に挿入され、
偶数行、第１列のスイッチセルの第２の入力端と偶数行、第ｎ列のスイッチセルの第１の出力端とが前記第２の光ファイバ伝送路群に挿入される光スイッチ。
【請求項５】
Ｎ入力Ｎ出力（Ｎは整数）の光スイッチであって、
ｎ（ｎ＝２Ｎ−１）行、（ｎ＋１）列のマトリックスの格子上に配置された複数のスイッチセルと、
前記複数のスイッチセルを挟むように互いに平行に配置された２つのミラーとを備え、
前記複数のスイッチセルの数及び配置位置は、前記Ｎ入力に対応する入力パス及び前記Ｎ出力に対応する出力パスが互いに平行になり且つ各入力パスと各出力パスを接続する光パスでの反射回数が２になるように設定されている光スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光スイッチ及び光スイッチの使用方法に関し、特に、波長分割多重（ＷＤＭ）を用いたフォトニックネットワークにおけるノード装置に適した光スイッチに関する。
【０００２】
【従来の技術】
波長分割多重（ＷＤＭ）システムは、伝送容量を飛躍的に増大することができる通信システムとして、開発及び実用化が進められている。ＷＤＭシステム同士を接続して、広大なフォトニックネットワークを構築するために、各装置間を光ファイバによりループ状に接続するリング型ネットワークやメッシュ状に接続するメッシュ型ネットワークが検討されている。
【０００３】
リング型ネットワークでは、ネットワークの規模が大きくなると、ループ内の伝送容量が増大するが、各ノードでは比較的小規模な光スイッチを用いた処理で足りる。これに対して、メッシュ型ネットワークでは、ルート毎の伝送容量が少なくて済むのに対して、各ノードにおいて大規模な光スイッチを用いた処理が必要になる。
【０００４】
一方、一点対一点のシステムにおいては、従来、ノードにおいて低次群の信号を取り出すために電気スイッチが用いられていた。この電気スイッチを光スイッチにすることにより、ノード内のコストを削減することができる。
【０００５】
このように、大規模な光スイッチの開発は、様々の形態のネットワークを構築する上でのキーテクノロジーである。
【０００６】
従来から実用化されている小規模な光スイッチとして、導波路型の光スイッチがある。導波路型光スイッチは、スイッチ素子と、スイッチ素子に接続される入力及び出力のためのファイバアレイとを備えている。
【０００７】
例えば、通過するスイッチセルの数による損失のバラツキを解消するために、パイロス（ＰＩＬＯＳＳ）型と称される光スイッチ（特表昭６３−５００１４０）が開発されている。この光スイッチは各々２入力２出力のＮ２個のスイッチセルをＮ行Ｎ列のマトリックスの格子上に配置し、損失のパス依存性が生じないようにスイッチセルの入力及び出力を適切に接続して構成される。
【０００８】
最近、低損失で集積規模を拡大することができる光スイッチとして、交差型光導波路の交差点にバルクを形成し、その中でバブルを発生させることにより全反射条件を得るようにしたものが開発されている。各セルにおいては、透過と全反射とが切換えられ、それにより２入力２出力のスイッチ機能が得られる。
【０００９】
一方、伝統的な技術として、光を空間的にスイッチングさせる構成が考えられる。光路を変更する素子として、反射ミラーを用いれば、導波路スイッチで問題となるオン／オフ比、クロストークなどの性能はほとんど問題ない。しかし、スイッチの体積が大きくなるので、その大きさの観点から大規模化が困難であった。
【００１０】
このような状況を打破するために、最近、この空間スイッチを半導体技術で小さくするようにした技術が開発されている。この技術は、ＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍ）と称され、特に光分野に適用したものは光ＭＥＭＳと言われることもある。
【００１１】
ＭＥＭＳによる光スイッチは、小さなミラーを半導体製造技術で基板上に作製し、静電気によりこのミラーを立ち上げて、光路を切り換えるというものである。
【００１２】
尚、ＭＥＭＳに関しては、ＩＥＥＥ　Ｐｈｏｔｏｎｉｃ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｌｅｔｔｅｒｓ，　ｖｏｌ．１０，　Ｎｏ．４，　ＡＰＲＩＬ　１９９８，ＰＰ５２５−５２７を参照されたい。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
導波路型の光スイッチを大規模化させるには、スイッチ素子上に形成される各スイッチセル自身の歩留まりを上げる必要があるが、製造トレランスが狭いのでこれは比較的難しい。従って、導波路型の光スイッチを大規模化させるためには、製造方法を改良することによる歩留まりの向上だけでなく、素子性能を各段にアップさせる必要がある。
【００１４】
バブル型の光スイッチでは、各スイッチセルで全反射の原理を用いてスイッチングが行われるので、スイッチセルの２つの入力及び２つの出力を結ぶ２本の光導波路の交差角度が概ね９０°と大きく、スイッチサイズが大きくなるという問題がある。即ち、最も外側に配列されたスイッチセル間を結ぶ光導波路の曲げ曲率を小さくすると損失が増大するので、ある程度の曲げ曲率にしなければならず、これに追随してスイッチセルのピッチが決定され、結果としてスイッチサイズが大きくなってしまうのである。
【００１５】
また、導波路型あるいはバブル型の光スイッチでは、入力及び出力において導波路同士が交差する部分が必要になることがあり、これにより生じる損失も無視できないものとなる。
【００１６】
更に、ＭＥＭＳ型光スイッチでは、その動作の態様によっては、ミラーでの反射回数がパスにより異なる事態が生じ、ミラーの反射損失が無視できない場合には、ミラーでの反射回数の違いによりパス依存性損失が生じるという問題がある。
【００１７】
よって、本発明の目的は、小型化に適した光スイッチを提供することである。
【００１８】
本発明の他の目的は、損失にパス依存性のない光スイッチを提供することである。
【００１９】
本発明の更に他の目的は光導波路の交差部を排除して損失の小さな光スイッチを提供することである。
【００２０】
本発明の別の目的は、以下の説明から明らかになる。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、各々第１及び第２の入力端並びに第１及び第２の出力端を有し、ｎ×ｎ行列（ｎは整数）に配置された複数のスイッチセルと、２（ｎ−１）個の反射セルとを備えた光スイッチが提供される。複数のスイッチセルは、第１列のスイッチセルの入力端の一つと第ｎ列のスイッチセルの出力端の一つが光学的に接続されるように選択的に駆動される。（ｎ−１）個の反射セルは、第１行、第ｉ列（ｉは１≦ｉ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第１の出力端を第１行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続するように配置される。残りの（ｎ−１）個の反射セルは、第ｎ行、第ｊ列（ｊは１≦ｊ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第２の出力端を第ｎ行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続するように配置される。
【００２２】
この構成によると、複数の反射セルを複数のスイッチセルに対して特定の位置に設けているので、前述の曲げ曲率を大きくすることに起因する大型化を避けることができ、小型な光スイッチの提供が可能になる。
【００２３】
本発明の他の側面によると、光スイッチの使用方法が提供される。この光スイッチは、各々第１及び第２の入力端並びに第１及び第２の出力端を有し、ｎ×ｎ行列（ｎは整数）に配置された複数のスイッチセルと、２（ｎ−１）個の反射セルとを備えている。複数のスイッチセルは、第１列のスイッチセルの入力端の一つと第ｎ列のスイッチセルの出力端の一つが光学的に接続されるように選択的に駆動される。（ｎ−１）個の反射セルは、第１行、第ｉ列（ｉは１≦ｉ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第１の出力端を第１行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続するように配置される。残りの（ｎ−１）個の反射セルは、第ｎ行、第ｊ列（ｊは１≦ｊ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第２の出力端を第ｎ行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続するように配置される。そして、この方法では、第１列及び第ｎ列のうち奇数行及び偶数行のいずれか一方のスイッチセルに関連するスイッチセルのみが使用される。
【００２４】
この方法によると、任意の入力と任意の出力を結ぶ光パスにおける反射回数が常に２回になると共に、光パスの光路長がパスによらずに一定になるので、パス依存性損失が生じない。また、入力及び出力において交差部が生じないので、過剰損失が増大することもなくなる。
【００２５】
本発明の更に他の側面によると、第１の光ファイバ伝送路群及び第２の光ファイバ伝送路群に適用可能な光スイッチが提供される。この光スイッチは、各々第１及び第２の入力端並びに第１及び第２の出力端を有し、ｎ×ｎ行列（ｎは整数）に配置された複数のスイッチセルと、２（ｎ−１）個の反射セルとを備えている。複数のスイッチセルは、第１列のスイッチセルの入力端の一つと第ｎ列のスイッチセルの出力端の一つが光学的に接続されるように選択的に駆動される（ｎ−１）個の反射セルは、第１行、第ｉ列（ｉは１≦ｉ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第１の出力端を第１行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続するように配置される。残りの（ｎ−１）個の反射セルは、第ｎ行、第ｊ列（ｊは１≦ｊ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第２の出力端を第ｎ行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続するように配置される。第１行、第ｉ列のスイッチセルの第２の出力端は第２行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続される。第ｎ行、第ｊ列のスイッチセルの第１の出力端は第（ｎ−１）行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続される。第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルの第１の出力端は第（ｋ−１）行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続される。
【００２６】
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルの第２の出力端は第（ｋ＋１）行、第（ｉ＋１）行のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続される。そして、奇数行、第１列のスイッチセルの第１の入力端と奇数行、第ｎ列のスイッチセルの第２の出力端とが第１の光ファイバ伝送路群に挿入され、偶数行、第１列のスイッチセルの第２の入力端と偶数行、第ｎ列のスイッチセルの第１の出力端とが第２の光ファイバ伝送路群に挿入される。
【００２７】
この構成によると、本発明による方法を双方向伝送に適用することにより、前述した本発明による方法での技術的効果の他に、スイッチセルの効率的な使用が可能になるという効果が得られる。
【００２８】
本発明の別の側面によると、Ｎ入力Ｎ出力（Ｎは整数）の光スイッチが提供される。この光スイッチは、ｎ（ｎ＝２Ｎ−１）行、（ｎ＋１）列のマトリックスの格子上に配置された複数のスイッチセルと、複数のスイッチセルを挟むように互いに平行に配置された２つのミラーとを備えている。複数のスイッチセルの数及び配置位置は、Ｎ入力に対応する入力パス及びＮ出力に対応する出力パスが互いに平行になり且つ各入力パスと各出力パスを接続する光パスでの反射回数が２になるように設定される。
【００２９】
この構成によると、ｎ（ｎ＝２Ｎ−１）行、（ｎ＋１）列のマトリックスの格子上の所定の位置にＮ２個のスイッチセルを配置することにより、任意の入力と任意の出力を結ぶ光パスでの反射回数を常に２回にすることができ、損失のパス依存性を排除することができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の望ましい実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００３１】
図１は本発明による光スイッチの実施形態を示す平面図である。この光スイッチは、スイッチ基板２上に複数のスイッチセルＳＣ及び複数の反射セルＲＣを特定の位置関係に設けて構成される。この位置関係を説明するのに先立ち、各スイッチセルＳＣの構成及び動作を説明する。
【００３２】
図２は本発明に適用可能なスイッチセルＳＣの構成及び動作を説明するための図である。スイッチセルＳＣは２つの入力端ＩＮ１及びＩＮ２と２つの出力端ＯＵＴ１及びＯＵＴ２とを有しており、入力端ＩＮ１と出力端ＯＵＴ１が接続され且つ入力端ＩＮ２と出力端ＯＵＴ２が接続されるバー状態と、入力端ＩＮ１と出力端ＯＵＴ２が接続され且つ入力端ＩＮ２と出力端ＯＵＴ１が接続されるクロス状態とを切換えるように電気的に駆動される。
【００３３】
スイッチセルＳＣとしては、従来からの導波路型のものの他、後で詳しく説明するＭＥＭＳ型のもの、バルブ型のもの等を用いることができる。
【００３４】
図３は本発明に適用可能なバルブ型のスイッチセルの構成を説明するための図である。入力端ＩＮ１及びＩＮ２と出力端ＯＵＴ１及びＯＵＴ２を結ぶための光導波路が形成される基板上にバルク４を形成し、バルク４内に液体を充填し、バルブの発生の有無を切換えることにより選択的に反射状態及び透過状態を得、これらをバー状態及びクロス状態にそれぞれ対応させるものである。バルク４に重なるように交差する２本の光導波路の交差角は全反射条件を得るために概ね９０°となる。
【００３５】
図４は図３に示されるバブル型のスイッチセルを用いたパイロス型の光スイッチの構成例を示す平面図である。ここでは４入力４出力の光スイッチが得られるように、１６個のスイッチセルＳＣが４×４（４行４列）マトリックスの格子上に位置するようにされている。
【００３６】
この場合、スイッチセルＳＣで交差する２本の光導波路の交差角が概ね９０°であるから、最も外側で並ぶ２つのスイッチセルＳＣを接続する光導波路湾曲部６の曲率半径Ｒに対して、これらのセル間の距離は√２Ｒとなる。従って、導波路損失を生じさせない最小の曲げ半径が数ｍｍであることを考慮すると、光スイッチの小型化が困難であることがわかる。
【００３７】
また、入力側及び出力側に光導波路の交差部８が形成されることとなり、無視できない損失が発生する。
【００３８】
図１に示される実施形態においては、４入力４出力の光スイッチが提供されており、チャネル＃１〜＃４の４つの入力ポートの任意の一つとチャネル＃１〜＃４の４つの出力ポートの任意の一つとを選択的に接続可能になっている。入力のチャネル＃１〜＃４は、それぞれ、第１行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１、第２行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２、第３行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１、及び第４行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２に割り当てられ、出力のチャネル＃１〜＃４は、それぞれ、第１行、第４列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２、第２行、第４列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１、第３行、第４列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２、及び第４行、第４列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１に割り当てられている。
【００３９】
また、この実施形態では、第１行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２、第２行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１、第３行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２、及び第４行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１は未使用ポートであり、第１行、第４列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１、第２行、第４列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２、第３行、第４列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１、及び第４行、第４列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２も未使用ポートである。
【００４０】
この実施形態では、前述した光導波路湾曲部の曲率に起因する大型化を避けるために、６つの反射セルＲＣを用いている。そのうち半分の３つの反射セルＲＣは、第１行、第１列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１と第１行、第２列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１とを接続し、第１行、第２列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１と第１行、第３列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１とを接続し、第１行、第３列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１と第１行、第４列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１とを接続するように設けられる。残りの３つの反射セルＲＣは、第４行、第１列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２と第４行、第２列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２とを接続し、第４行、第２列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２と第４行、第３列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２とを接続し、第４行、第３列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２と第４行、第４列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２とを接続するように設けられる。
【００４１】
この実施形態では４×４光スイッチについて説明しているが、接続関係等をより一般的に記述すると次の通りである。
【００４２】
即ち、ｎ入力ｎ出力（ｎは整数）の光スイッチを提供するために、ｎ×ｎ行列に配置されたｎ２個のスイッチセルＳＣと、２（ｎ−１）個の反射セルＲＣとが用いられる。
【００４３】
（ｎ−１）個の反射セルＲＣは、第１行、第ｉ列（ｉは１≦ｉ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１を第１行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１に光学的に接続するように配置される。
【００４４】
残りの（ｎ−１）個の反射セルＲＣは、第ｎ行、第ｊ列（ｊは１≦ｊ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２を第ｎ行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２に光学的に接続するように配置される。
【００４５】
第１行、第ｉ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２は第２行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１に光学的に接続される。
【００４６】
第ｎ行、第ｊ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１は第（ｎ−１）行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２に光学的に接続される。
【００４７】
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１は第（ｋ−１）行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２に光学的に接続される。
【００４８】
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２は第（ｋ＋１）行、第（ｉ＋１）行のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１に光学的に接続される。
【００４９】
奇数行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１及び偶数行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２がこの光スイッチの入力ポートのチャネル＃１〜＃ｎとなる。
【００５０】
奇数行、第ｎ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２及び偶数行、第ｎ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１がこの光スイッチの出力ポートのチャネル＃１〜＃ｎとなる。
【００５１】
この実施形態では、各スイッチセルＳＣのバー状態及びクロス状態がそれぞれスイッチ制御信号のオン及びオフに対応していることを前提としている。この前提でのスイッチセルＳＣの駆動条件を説明する。
【００５２】
図５は図１に示される実施形態におけるスイッチセルＳＣの駆動条件を説明するための図である。各スイッチセルＳＣを表す円の中に記載されている（ｐ，ｑ）は、入力ポートのチャネル＃ｐと出力ポートのチャネル＃ｑとの間にパスをはるときにオンにされるセルを示している。例えば、入力ポートのチャネル＃１と出力ポートのチャネル＃１との間にパスをはる場合には、第２行、第２列のスイッチセルＳＣの制御信号をオンにしてバー状態とする。これにより、そのスイッチセルＳＣでの１回の反射と反射セルＲＣでの１回の反射、更に２つのスイッチセルＳＣでの３回の透過により、入力ポートのチャネル＃１と出力ポートのチャネル＃１とが光学的に接続される。尚、この動作は非閉塞なものであることは明らかである。
【００５３】
この実施形態によると、反射セルＲＣを上述のように配置してあるので、隣り合う２つのスイッチセルＳＣの距離を小さくすることができ、小型な光スイッチの提供が可能になる。
【００５４】
反射セルＲＣとしては、固定反射部を有するようなスイッチセルＳＣと異なる構成のものを用いることもできるが、光スイッチの製造工程の簡略化のために、スイッチセルＳＣを反射セルＲＣの代わりに配置し、これを常にバー状態で使用するようにしても同じ動作が可能である。
【００５５】
図６は本発明による光スイッチの第２実施形態を示す平面図である。図１に示される実施形態であると、入力ポートのチャネル＃２及び＃３の間と、出力ポートのチャネル＃１及び＃２の間と、出力ポートのチャネル＃３及び＃４の間に光導波路の交差部が生じてしまうので過剰損失が増大するおそれがある。そこで、この実施形態では、入力ポート及び出力ポートの設定並びにスイッチセルＳＣの駆動制御の工夫によりこの問題に対処している。図１の実施形態を一般的に説明したのと同様に、ｎ入力ｎ出力の光スイッチとして、これを一般的に説明する。
【００５６】
先ず、図１の実施形態と重複するが、共通する部分についても詳述しておく。ｎ入力ｎ出力（ｎは整数）の光スイッチを提供するために、ｎ×ｎ行列に配置されたｎ２個のスイッチセルＳＣと、２（ｎ−１）個の反射セルＲＣとが用いられる。
【００５７】
（ｎ−１）個の反射セルＲＣは、第１行、第ｉ列（ｉは１≦ｉ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１を第１行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１に光学的に接続するように配置される。
【００５８】
残りの（ｎ−１）個の反射セルＲＣは、第ｎ行、第ｊ列（ｊは１≦ｊ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２を第ｎ行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２に光学的に接続するように配置される。
【００５９】
第１行、第ｉ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２は第２行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１に光学的に接続される。
【００６０】
第ｎ行、第ｊ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１は第（ｎ−１）行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２に光学的に接続される。
【００６１】
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１は第（ｋ−１）行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２に光学的に接続される。
【００６２】
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２は第（ｋ＋１）行、第（ｉ＋１）行のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１に光学的に接続される。
【００６３】
次に、図６に示される実施形態が図１に示される実施形態と対比されるべき部分を説明する。
【００６４】
奇数行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２及び偶数行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２がこの光スイッチの入力ポートのチャネル＃１〜＃４となる。
【００６５】
奇数行、第ｎ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１及び偶数行、第ｎ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１がこの光スイッチの出力ポートのチャネル＃１〜＃４となる。
【００６６】
そして、図１の実施形態では、全てのスイッチセルＳＣのバー状態及びクロス状態がそれぞれオン及びオフに対応していたのと対比して、図６の実施形態では、特定のセルの条件を逆にしている。即ち、奇数行、第１列及び奇数行第ｎ列の各スイッチセルＳＣのバー状態及びクロス状態をそれぞれオフ及びオンに対応させ、それ以外のスイッチセルＳＣのバー状態及びクロス状態をそれぞれオン及びオフに対応させている。
【００６７】
これにより図５で説明したスイッチセルＳＣの駆動条件をそのまま用いることができ、小型な光スイッチの提供が可能になるという技術的効果の他に、光導波路の交差部を無くして過剰損失増大及びばらつきを抑えることができるという優れた効果が得られる。また、入力ポート及び出力ポートにおいて光導波路を容易に平行かつ等間隔にすることができるので、光ファイバ伝送路等の他の光学要素との接続が容易になるという効果もある。
【００６８】
図７及び図８はそれぞれ図１及び図５に示される実施形態において、入力から出力に至る光パスでの反射回数を表として示した図である。図中「ＳＷ」に添えられた数字はスイッチセルＳＣでの反射回数、「固」に添えられた数字は固定ミラー即ち反射セルＲＣでの反射回数、各欄の右側に示された数字はトータルの反射回数を示している。図１に示される実施形態では、トータルの反射回数は１回、２回及び３回の３通りがあり、図６に示される実施形態では、トータルの反射回数は０回、２回及び４回の３通りがある。
【００６９】
また、図９及び図１０はそれぞれ本発明による光スイッチの第３及び第４実施形態を示す平面図である。図９の実施形態は図１の実施形態を８入力８出力の光スイッチに拡張したものに対応しており、図１０の実施形態は図６の実施形態を同じく８入力８出力に拡張したものに対応している。更に、図１１及び図１２はそれぞれ図９及び図１０に示される実施形態において、入力から出力に至る光パスでの反射回数を表として示した図である。
【００７０】
このように、８入力８出力の光スイッチにおいても、図９に示される実施形態では、図１の実施形態と同様、トータルの反射回数は１回、２回及び３回の３通りがあり、図１０に示される実施形態では、図６に示される実施形態と同様、トータルの反射回数は０回、２回及び４回の３通りがある。
【００７１】
反射率による損失が無視できない場合、その損失が要因となり、パス依存性損失が発生することが懸念される。
【００７２】
ここで、図９及び図１１により説明した実施形態における反射回数を考察すると、偶数チャネルのみあるいは奇数チャネルのみを使用することによって、反射回数がパスに依存せずに常に２回であることがわかる。従って、第１列及び第ｎ列のうち奇数行のスイッチセルＳＣに関連するスイッチセルＳＣのみを使用し、あるいは第１列及び第ｎ列のうち偶数行のスイッチセルＳＣに関連するスイッチセルＳＣのみを使用することによって、反射回数がパスに依存せずに常に２回となり、パス依存性損失を排除することができる。
【００７３】
図１３及び図１４は、図９に示される実施形態の光スイッチの上述した使用方法を説明するための図である。図１３では第１列及び第ｎ列のうち偶数行のスイッチセルＳＣに関連するスイッチセルＳＣのみが使用され、図１４では第１列及び第ｎ列のうち奇数行のスイッチセルＳＣに関連するスイッチセルＳＣのみが使用されている。これにより、反射回数は、スイッチセルＳＣで１回、反射セルＲＣで１回のトータル２回で常に等しくなり、パス依存性損失を排除することができる。このように、本発明による光スイッチの使用方法によると、小型化が可能で過剰損失が増大することのない光スイッチを、パス依存性損失の発生を防止しつつ有効に利用することができる。
【００７４】
ここでは、図９に示される光スイッチの使用方法によりパス依存性損失の発生を防止することを説明したが、図１３あるいは図１４に示されるようにスイッチセルＳＣ及び反射セルＲＣを配置して構成される光スイッチを製造してこれを使用しても同じ効果が得られる。
【００７５】
尚、図１０に示される光スイッチに関して、パス依存性損失を発生させることなく使用するには、第１列及び第ｎ列のうち偶数行のスイッチセルＳＣに関連するスイッチセルＳＣのみを使用するようにすればよい。
【００７６】
図１５は本発明による光スイッチの第５実施形態を示す平面図である。ここでは、図９に示される８×８光スイッチを２つの４×４光スイッチとして効果的に用いている。
【００７７】
図１６は図１５に示される光スイッチの使用例を説明するためのブロック図である。この光スイッチ１２を上り及び下りの光ファイバ伝送路１４及び２２に適合させるために、光スイッチ１２は４×４光スイッチ１２Ａ及び１２Ｂの機能を有している。光ファイバ伝送路１４及び２２には波長分割多重が適用されている。
【００７８】
光ファイバ伝送路１４は、光デマルチプレクサ１６及び光マルチプレクサ１８により複数の光ファイバ伝送路からなる光ファイバ伝送路群２０に接続され、光ファイバ伝送路群２０におけるルーティング等の処理が４×４光スイッチ１２Ａにより行われる。また、光ファイバ伝送路２は、光デマルチプレクサ２４及び光マルチプレクサ２６により複数の光ファイバ伝送路からなる光ファイバ伝送路群２８に接続され、光ファイバ伝送路群２８におけるルーティング等の処理が４×４光スイッチ１２Ｂにより行われる。
【００７９】
再び図１５を参照すると、奇数行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ１（図２参照）と奇数行、第ｎ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ２とが光ファイバ伝送路群２０に挿入され、偶数行、第１列のスイッチセルＳＣの入力端ＩＮ２と偶数行、第ｎ列のスイッチセルＳＣの出力端ＯＵＴ１とが光ファイバ伝送路群２８に挿入されている。
【００８０】
従って、光ファイバ伝送路群２０に対しては、この光スイッチ１２は図１４に示されるように動作し、光ファイバ伝送路群２８に対しては、光スイッチ１２は図１３に示されるように動作することとなり、パス依存性損失を生じさせることなく、ルーティング等のスイッチング動作を効率的に行うことができる。また、効率的なスイッチセルＳＣの集積化が可能になるので、反射セルＲＣの採用による小型化に相俟って、大規模な光スイッチを小型に提供することが可能になる。
【００８１】
次に、ＭＥＭＳ型光スイッチにおいてパス依存性損失を排除することができる構成について説明する。
【００８２】
図１７はＭＥＭＳ型光スイッチの斜視図である。この光スイッチは、ＭＥＭＳによって形成された１６個のスイッチセルＳＣを一体に有する基板３２と、基板３２の主面３２Ａに対して垂直で且つ互いに平行なミラー３４及び３６と、入力チャネル（入力ポート）＃１〜＃４のための入力パスＰ１及び出力チャネル（出力ポート）＃１〜＃４のための出力パスＰ２を提供する光学ユニット３８とを備えている。
【００８３】
光学ユニット３８は、入力チャネル＃１〜＃４にそれぞれ対応して設けられた光ファイバ４０と、出力チャネル＃１〜＃４にそれぞれ対応して設けられた光ファイバ４２とを含み、光ファイバ４０と光ファイバ４２との間には図示しないレンズによってコリメート光学系が形成されている。光ファイバ４０は、入力パスＰ１が互いに平行で且つミラー（反射手段）３４及び３６に対して傾斜するように設けられており、光ファイバ４２は、出力パスＰ２が互いに平行で且つミラー３４及び３６に対して傾斜するように設けられている。ここでは、光ファイバ４０及び４２は同一平面上で平行になるように設けられている。
【００８４】
スイッチセルＳＣは基板３２の主面３２Ａ上に設けられている。各スイッチセルは、基板３２に対して可動的に設けられたスイッチミラー４４を含み、スイッチミラー４４が主面３２Ａに平行な第１の状態とスイッチミラー４４が主面３２Ａに垂直な第２の状態とを切り換えることができる。ここでは、第２の状態では、スイッチミラー４４はミラー３４及び３６に対して平行である。
【００８５】
各スイッチセルＳＣは、小さなミラーを半導体製造技術で基板３２上に作製し、静電力によりこのミラーを駆動して光路を切り換えることができるようになっている。
【００８６】
この光スイッチにあっては、ミラーを用いているので、スイッチ性能は導波路型よりも優れており、しかも、サイズを導波路型と同等に小さくすることができる。
【００８７】
図１８は本発明による光スイッチの第６実施形態を示す平面図である。ここでは４×４光スイッチが得られており、入力パスＰ１及び出力パスＰ２におけるピッチをｄｆとすると、４×４マトリックスにおける格子間隔ｄｓは、ｄｓ＝√２ｄｆとなる。
【００８８】
この実施形態では、格子間隔がｄｓ／２であるマトリックスを想定し、入力から出力に至る光パスにおける反射回数がどのパスにおいても同じ数（２）になるように、スイッチセルＳＣの配置位置及び数が設定される。これをより一般的に説明する。
【００８９】
図１９は本発明による光スイッチの第７実施形態を示す平面図である。この実施形態は、図１８に示される４×４光スイッチをＮ×Ｎ光スイッチ（Ｎは整数）に拡張して一般的に記述するものである。
【００９０】
Ｎ２のスイッチセルＳＣは、ｎ（ｎ＝２Ｎ−１）行、（ｎ＋１）列のマトリックスの格子上に配置される。
【００９１】
このマトリックスを定義付ける平面に垂直で且つスイッチセルＳＣを挟むように、ミラー３４及び３６（図１７参照）が互いに平行に配置される。
【００９２】
スイッチセルＳＣの数及び配置位置は、Ｎ入力に対応する入力パスＰ１及びＮ出力に対応する出力パスＰ２が互いに平行になり且つ各入力パスＰ１と各出力パスＰ２を接続する光パスでの反射回数が２になるように設定される。より特定的には次の通りである。
【００９３】
Ｎ２のスイッチセルＳＣは、入力側に位置するＮ（Ｎ＋１）／２個のスイッチセルからなる第１のスイッチセル群ＳＣＧ１と、出力側に位置するＮ（Ｎ−１）／２個のスイッチセルからなる第２のスイッチセル群ＳＣＧ２とを含む。
【００９４】
第１のスイッチセル群ＳＣＧ１は、第１列のｎ個の格子を含む線分を一辺とする三角形によって定義される領域に含まれる全ての格子を埋めるように配置される。
【００９５】
第２のスイッチセル群ＳＣＧ２は、第（ｎ＋１）列の（ｎ−１）個の格子を含む線分を一辺とする三角形によって定義される領域に含まれる全ての格子を埋めるように配置される。
【００９６】
具体的には、ｎ行、（ｎ＋１）列のマトリックスを座標にみたてると、
第１列は、１，３，５，…，ｎの位置、
第２列は、２，４，６，…，（ｎ−１）の位置、
第３列は、３，５，…，（ｎ−２）の位置、
…
第Ｎ列は、Ｎの位置、
第（Ｎ＋２）列は、（Ｎ−１）の位置、
第（Ｎ＋３）列は、（Ｎ−２），Ｎの位置、
…
第（ｎ＋１）列は、１，３，５，…，（Ｎ−２）の位置にそれぞれスイッチセルＳＣが配置される。
【００９７】
この実施形態によると、反射回数はスイッチセルＳＣで１回、ミラー３４又は３６で１回のトータル２回で常に一定であるので、パス依存性損失が生じない。また、スイッチサイズとしては半ピッチの増大で済むので、光スイッチの小型化が阻害されない。更に、光路長もパスによらず一定であり、しかも、入力及び出力の方向が同じになるので、他の光学装置との接続が容易である。
【００９８】
本発明は以下の付記を含む。
【００９９】
（付記１）　各々第１及び第２の入力端並びに第１及び第２の出力端を有し、ｎ×ｎ行列（ｎは整数）に配置された複数のスイッチセルと、
２（ｎ−１）個の反射セルとを備え、
前記複数のスイッチセルは、第１列のスイッチセルの入力端の一つと第ｎ列のスイッチセルの出力端の一つが光学的に接続されるように選択的に駆動され、
（ｎ−１）個の反射セルは、第１行、第ｉ列（ｉは１≦ｉ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第１の出力端を第１行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続するように配置され、
残りの（ｎ−１）個の反射セルは、第ｎ行、第ｊ列（ｊは１≦ｊ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第２の出力端を第ｎ行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続するように配置される光スイッチ。
【０１００】
（付記２）　第１行、第ｉ列のスイッチセルの第２の出力端は第２行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続され、
第ｎ行、第ｊ列のスイッチセルの第１の出力端は第（ｎ−１）行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続され、
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルの第１の出力端は第（ｋ−１）行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続され、
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルの第２の出力端は第（ｋ＋１）行、第（ｉ＋１）行のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続される付記１記載の光スイッチ。
【０１０１】
（付記３）　各スイッチセルは、前記第１の入力端と前記第１の出力端が接続され且つ前記第２の入力端と前記第２の出力端が接続されるバー状態と前記第１の入力端と前記第２の出力端が接続され且つ前記第２の入力端と前記第１の出力端が接続されるクロス状態とを切換える付記１記載の光スイッチ。
【０１０２】
（付記４）　奇数行、第１列のスイッチセルの第１の入力端及び偶数行、第１列のスイッチセルの第２の入力端が前記光スイッチの入力ポートとなり、
奇数行、第ｎ列のスイッチセルの第２の出力端及び偶数行、第ｎ列のスイッチセルの第１の出力端が前記光スイッチの出力ポートとなる付記３記載の光スイッチ。
【０１０３】
（付記５）　各スイッチセルのバー状態及びクロス状態がそれぞれオン及びオフに対応している付記４記載の光スイッチ。
【０１０４】
（付記６）　奇数行、第１列のスイッチセルの第２の入力端及び偶数行、第１列のスイッチセルの第２の入力端が前記光スイッチの入力ポートとなり、
奇数行、第ｎ列のスイッチセルの第１の出力端及び偶数行、第ｎ列のスイッチセルの第１の出力端が前記光スイッチの出力ポートとなる付記３記載の光スイッチ。
【０１０５】
（付記７）　奇数行、第１列及び奇数行第ｎ列の各スイッチセルのバー状態及びクロス状態はそれぞれオフ及びオンに対応し、
それ以外のスイッチセルのバー状態及びクロス状態はそれぞれオン及びオフに対応している付記６記載の光スイッチ。
【０１０６】
（付記８）　光スイッチの使用方法であって、
前記光スイッチは、各々第１及び第２の入力端並びに第１及び第２の出力端を有し、ｎ×ｎ行列（ｎは整数）に配置された複数のスイッチセルと、２（ｎ−１）個の反射セルとを備え、
前記複数のスイッチセルは、第１列のスイッチセルの入力端の一つと第ｎ列のスイッチセルの出力端の一つが光学的に接続されるように選択的に駆動され、
（ｎ−１）個の反射セルは、第１行、第ｉ列（ｉは１≦ｉ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第１の出力端を第１行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続するように配置され、
残りの（ｎ−１）個の反射セルは、第ｎ行、第ｊ列（ｊは１≦ｊ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第２の出力端を第ｎ行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続するように配置され、
前記第１列及び前記第ｎ列のうち奇数行及び偶数行のいずれか一方のスイッチセルに関連するスイッチセルのみを使用することを特徴とする光スイッチの使用方法。
【０１０７】
（付記９）　第１の光ファイバ伝送路群及び第２の光ファイバ伝送路群に適用可能な光スイッチであって、
各々第１及び第２の入力端並びに第１及び第２の出力端を有し、ｎ×ｎ行列（ｎは整数）に配置された複数のスイッチセルと、
２（ｎ−１）個の反射セルとを備え、
前記複数のスイッチセルは、第１列のスイッチセルの入力端の一つと第ｎ列のスイッチセルの出力端の一つが光学的に接続されるように選択的に駆動され、
（ｎ−１）個の反射セルは、第１行、第ｉ列（ｉは１≦ｉ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第１の出力端を第１行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続するように配置され、
残りの（ｎ−１）個の反射セルは、第ｎ行、第ｊ列（ｊは１≦ｊ≦（ｎ−１）を満たす整数）のスイッチセルの第２の出力端を第ｎ行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続するように配置され、
第１行、第ｉ列のスイッチセルの第２の出力端は第２行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続され、
第ｎ行、第ｊ列のスイッチセルの第１の出力端は第（ｎ−１）行、第（ｊ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続され、
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルの第１の出力端は第（ｋ−１）行、第（ｉ＋１）列のスイッチセルの第２の入力端に光学的に接続され、
第ｋ行（ｋは２≦ｋ≦（ｎ−１）を満たす整数）、第ｉ列のスイッチセルの第２の出力端は第（ｋ＋１）行、第（ｉ＋１）行のスイッチセルの第１の入力端に光学的に接続され、
奇数行、第１列のスイッチセルの第１の入力端と奇数行、第ｎ列のスイッチセルの第２の出力端とが前記第１の光ファイバ伝送路群に挿入され、
偶数行、第１列のスイッチセルの第２の入力端と偶数行、第ｎ列のスイッチセルの第１の出力端とが前記第２の光ファイバ伝送路群に挿入される光スイッチ。
【０１０８】
（付記１０）　前記第１の光ファイバ伝送路群及び前記第２の光ファイバ伝送路群はそれぞれ上り回線及び下り回線に対応し、それにより双方向伝送に適用可能な付記９記載の光スイッチ。
【０１０９】
（付記１１）　Ｎ入力Ｎ出力（Ｎは整数）の光スイッチであって、
ｎ（ｎ＝２Ｎ−１）行、（ｎ＋１）列のマトリックスの格子上に配置された複数のスイッチセルと、
前記マトリックスを定義付ける平面に垂直で且つ前記複数のスイッチセルを挟むように互いに平行に配置された２つのミラーとを備え、
前記複数のスイッチセルの数及び配置位置は、前記Ｎ入力に対応する入力パス及び前記Ｎ出力に対応する出力パスが互いに平行になり且つ各入力パスと各出力パスを接続する光パスでの反射回数が２になるように設定されている光スイッチ。
【０１１０】
（付記１２）　前記複数のスイッチセルの数はＮ２である付記１１記載の光スイッチ。
【０１１１】
（付記１３）　前記複数のスイッチセルは、入力側に位置するＮ（Ｎ＋１）／２個のスイッチセルからなる第１のスイッチセル群と、出力側に位置するＮ（Ｎ−１）／２個のスイッチセルからなる第２のスイッチセル群とを含む付記１１記載の光スイッチ。
【０１１２】
（付記１４）　前記第１のスイッチセル群は、第１列のｎ個の格子を含む線分を一辺とする三角形によって定義される領域に含まれる全ての格子を埋めるように配置され、
前記第２のスイッチセル群は、第（ｎ＋１）列の（ｎ−１）個の格子を含む線分を一辺とする三角形によって定義される領域に含まれる全ての格子を埋めるように配置される付記１３記載の光スイッチ。
【０１１３】
（付記１５）　各スイッチセルは前記平面に対して可動的に設けられたスイッチミラーを含む付記１１記載の光スイッチ。
【０１１４】
（付記１６）　各スイッチセルは、前記スイッチミラーが前記平面に平行な第１の状態と、前記スイッチミラーが前記平面に垂直な第２の状態とを切換える付記１１記載の光スイッチ。
【０１１５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、損失にパス依存性が生じない光スイッチの提供が可能になるという効果が生じる。また、本発明によると、小型化に適した光スイッチの提供が可能になるという効果もある。更に、本発明によると、光導波路の交差部を排除して損失の小さな光スイッチの提供が可能になるという効果もある。
【０１１６】
本発明の特定の実施形態に得られる効果は以上説明した通りであるので、その説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明による光スイッチの第１実施形態を示す平面図である。
【図２】図２はスイッチセルの構成及び動作を説明するための図である。
【図３】図３スイッチセルの構成例を示す図である。
【図４】図４はパイロス型光スイッチの平面図である。
【図５】図５はスイッチセルの駆動条件を説明するための図である。
【図６】図６は本発明による光スイッチの第２実施形態を示す平面図である。
【図７】図７は図１に示される光スイッチにおける反射回数を表として示す図である。
【図８】図８は図６に示される光スイッチにおける反射回数を表として示す図である。
【図９】図９は本発明による光スイッチの第３実施形態を示す平面図である。
【図１０】図１０は本発明による光スイッチの第４実施形態を示す平面図である。
【図１１】図１１は図９に示される光スイッチにおける反射回数を表として示す図である。
【図１２】図１２は図１０に示される光スイッチにおける反射回数を表として示す図である。
【図１３】図１３は本発明による光スイッチの使用方法の実施形態を説明するための図である。
【図１４】図１４は本発明による光スイッチの使用方法の他の実施形態を説明するための図である。
【図１５】図１５は本発明による光スイッチの第５実施形態を示す平面図である。
【図１６】図１６は図１５に示される光スイッチの使用例を説明するための図である。
【図１７】図１７はＭＥＭＳ型光スイッチの斜視図である。
【図１８】図１８は本発明による光スイッチの第６実施形態を示す平面図である。
【図１９】図１９は本発明による光スイッチの第７実施形態を示す平面図である。
【符号の説明】
２　基板
３４，３６　ミラー
４０，４２　光ファイバ
４４　スイッチミラー
Ｐ１　入力光路
Ｐ２　出力光路
ＲＣ　反射セル
ＳＣ　スイッチセル
【図１】
2004077854.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2004077854.tif 000018
【図１７】
2004077854.tif 000019
【図１８】
2004077854.tif 000020
【図１９】
2004077854.tif 000021