(57)【要約】【課題】寸法精度の高い微細構造体およびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明における微細構造体の製造方法は、金型１により素材４を鍛造加工する工程を備える微細構造体５の製造方法であって、金型１における少なくとも加圧面のロックウェル硬度（ＨｒＣ）は２０以上であり、かつヤング率が１×１０５ＭＰａ以上であり、かつ引張り耐力が９８１ＭＰａ以上である。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹部を備え、
前記凹部の側壁および底面の表面から少なくとも１μｍ以内に存在する結晶粒の縦横比の平均値が１．５以上である、微細構造体。
【請求項２】
ビッカーズ硬さ（Ｈｖ）が１９０以上であり、かつヤング率が２．２×１０５ＭＰａ以上であり、かつ引張り耐力が５００ＭＰａ以上であることを特徴とする、請求項１に記載の微細構造体。
【請求項３】
ガラスよりなる微細構造体であって、
凹部を備え、
前記凹部の側壁には、深さ方向に１μｍ以上１０００μｍ以下の長さを有する平面が形成されていることを特徴とする、微細構造体。
【請求項４】
金型により素材を鍛造加工する工程を備える微細構造体の製造方法であって、
前記金型における少なくとも加圧面のロックウェル硬度（ＨｒＣ）は２０以上であり、かつヤング率が１×１０５ＭＰａ以上であり、かつ引張り耐力が９８１ＭＰａ以上であることを特徴とする、微細構造体の製造方法。
【請求項５】
前記金型のロックウェル硬度（ＨｒＣ）は５８以上であることを特徴とする、請求項４に記載の微細構造体の製造方法。
【請求項６】
前記金型のヤング率は２．１×１０５ＭＰａ以上であることを特徴とする、請求項４または５に記載の微細構造体の製造方法。
【請求項７】
前記金型の引張り耐力は１６７０ＭＰａ以上であることを特徴とする、請求項４〜６のいずれかに記載の微細構造体の製造方法。
【請求項８】
金型により素材を加工する工程を備えるガラスよりなる微細構造体の製造方法であって、
前記金型における加圧面は窒化クロムを含むことを特徴とする、微細構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細構造体およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
数ｍｍオーダーの構造体に対して数１００μｍ以下のパターンの微細加工が施される微細構造体を金属で大量に製造する場合、ＬＩＧＡ（Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｅ  Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ  Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ）プロセスは有用である。Ｘ線の中でも指向性の高いシンクロトロン放射（ＳＲ）光を用いるＬＩＧＡプロセスは、ディープなリソグラフィが実施可能であり、数１００μｍの高さの構造体をミクロン領域の精度で加工することが可能であり、高いアスペクト比を有する金属微細構造体を容易に製造することができるなどの特徴を有するため、広範な分野での応用が期待されている。
【０００３】
ＬＩＧＡプロセスは、リソグラフィ、電鋳などのメッキおよびモールドを組合わせた加工技術である。ＬＩＧＡプロセスによれば、たとえば導電性基板上にレジスト膜が形成され、このレジスト膜に所定形状のパターンを有する吸収体マスク（レチクル）を介してＳＲ光が照射される。このようなリソグラフィにより吸収体マスクの形状パターンに応じたレジスト構造体（樹脂型）が形成される。このレジスト構造体の空孔部内に電鋳によって金属を堆積させることにより、金属微細構造体が得られる。
【０００４】
また、ガラスよりなる微細構造体を製造する場合には、ウエットエッチングによりガラスを微細加工する方法が用いられている。なお、ガラスと金型との離型性が悪いために、金型を用いた打ち抜きによる微細加工は行なわれていない。
【０００５】
以上、本発明についての従来の技術を出願人の知得した一般的技術情報に基づいて説明したが、出願人の記憶する範囲において、出願前までに先行技術文献情報として開示すべき情報を出願人は有していない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
送液・混合・反応・分析といった一連の機能を一枚のチップ上に集積するμＴＡＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｔｏｔａｌ  Ａｎａｌｙｓｉｓ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）の開発などに伴ない、近年、さらに寸法精度の高い微細構造体を製造する必要性が高まっている。しかしながら、従来の微細構造体の製造方法では寸法精度が低いという問題があった。
【０００７】
すなわち、ＬＩＧＡプロセスは電鋳可能なＮｉ（ニッケル）、Ｃｕ（銅）などの金属に適用が限定されている。ＮｉやＣｕは機械的強度が低いので、機械的強度の高い材料（たとえば鋼）を用いて機械的強度の高い微細構造体を製造するためには、たとえば機械的加工や鋳造などの他の方法を採用せざるを得なかった。しかし、これらの製造方法は寸法精度が低いため、寸法精度の高い金属微細構造体を得ることは困難であった。
【０００８】
また、ガラスよりなる微細構造体が製造される場合には、ウエットエッチングが等方性エッチングであるため、深さ方向および幅方向に等方的にエッチングされる。このため、急峻な側壁を有する凹部を形成することができない。また、開口部に対する深さの比（アスペクト比）の高い凹部を形成できない。したがって、寸法精度の高いガラスよりなる微細構造体を得ることは困難であった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、寸法精度の高い微細構造体およびその製造方法を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の一の局面における微細構造体は、凹部を備え、凹部の側壁および底面の表面から少なくとも１μｍ以下に存在する結晶粒の縦横比の平均値が１．５以上である。
【００１１】
本発明の一の局面における微細構造体では、機械的強度の高い金型を用いて素材が鍛造加工されることにより、微細構造体における凹部の側壁および底面に、結晶粒の縦横比の平均値が１．５以上となる繊維状組織が形成される。したがって、結晶粒の塑性硬化により微細構造体の機械的強度が向上する。
【００１２】
本発明の一の局面における微細構造体において好ましくは、ビッカーズ硬さ（Ｈｖ）が１９０以上であり、かつヤング率が２．２×１０５ＭＰａ以上であり、かつ引張り耐力が５００ＭＰａ以上である。
【００１３】
本願発明者らは、機械的強度の高い金型を用いて素材を鍛造加工することにより、電鋳可能なＮｉ、Ｃｕなどよりも機械的強度の高い素材に対して寸法精度の高い１００μｍ以下のパターンの微細加工が可能となることを見出した。また、鍛造加工時に素材が塑性硬化する効果により、微細構造体の機械的強度をさらに向上できることを見出した。これにより、ビッカーズ硬さ（Ｈｖ）が１９０以上であり、かつヤング率が２．２×１０５ＭＰａ以上であり、かつ引張り耐力が５００ＭＰａ以上であり、かつ寸法精度の高い微細構造体が得られる。
【００１４】
なお、本明細書中で「微細構造体」という語句は、１００μｍ以下のパターンの加工が施されている数ｍｍオーダーの構造体を意味している。
【００１５】
本発明の他の局面における微細構造体は、ガラスよりなる微細構造体であって、凹部を備え、凹部の側壁には、深さ方向に１μｍ以上１０００μｍ以下の長さを有する平面が形成されている。
【００１６】
本願発明者らは、加圧面に窒化クロムを含む金型は、ガラスとの離型性が良好であり、加圧面に窒化クロムを含む金型を用いればガラスの微細加工が可能となることを見出した。このようにして加工された微細構造体の凹部においては、深さ方向に１μｍ以上１０００μｍ以下の長さを有する平面が凹部の側壁に形成可能である。これにより、急峻な側壁を有する凹部が形成可能である。また、アスペクト比の高い凹部が形成可能である。したがって、寸法精度の高いガラスよりなる微細構造体が得られる。
【００１７】
本発明の一の局面における微細構造体の製造方法は、金型により素材を鍛造加工する工程を備える微細構造体の製造方法であって、金型における少なくとも加圧面のロックウェル硬度（ＨｒＣ）は２０以上であり、かつヤング率が１×１０５ＭＰａ以上であり、かつ引張り耐力が９８１ＭＰａ以上である。
【００１８】
本発明における微細構造体の製造方法によれば、硬度、ヤング率および引張り耐力という機械的強度が高い金型を用いた鍛造加工により微細構造体が製造される。これにより、電鋳可能なＮｉ、Ｃｕなどよりも機械的強度の高い素材について、寸法精度の高い１００μｍ以下のパターンの微細加工が可能となる。また、本発明における微細構造体の製造方法によれば、素材が鍛造加工により塑性硬化するので、さらに機械的強度が向上する。したがって、機械的強度が高く、寸法精度の高い微細構造体が得られる。さらに、金型の硬度、ヤング率および引張り耐力が高いので、金型の摩耗および損傷が抑止でき、鍛造時の衝撃による金型の変形および破損が抑止でき、鍛造時の圧力による金型の破損が抑止できる。
【００１９】
なお、本明細書中で「加圧面」という語句は、素材と接触して素材を加圧する面のことを意味している。
【００２０】
上記製造方法において好ましくは、金型のロックウェル硬度（ＨｒＣ）は５８以上である。これにより、一層機械的強度の高い素材について、寸法精度の高い１００μｍ以下のパターンの微細加工が可能となる。また、金型の耐久性が向上し、金型の摩耗および損傷がさらに抑止できる。
【００２１】
上記製造方法において好ましくは、金型のヤング率は２．１×１０５ＭＰａ以上である。これにより、一層機械的強度の高い素材について、寸法精度の高い１００μｍ以下のパターンの微細加工が可能となる。また、鍛造時の衝撃による金型の変形および破損が一層抑止できる。
【００２２】
上記製造方法において好ましくは、金型の引張り耐力は１６７０ＭＰａ以上である。これにより、一層機械的強度の高い素材について、寸法精度の高い１００μｍ以下のパターンの微細加工が可能となる。また、鍛造時の圧力による金型の破損が一層抑止できる。
【００２３】
本発明の他の局面における微細構造体の製造方法は、金型により素材を加工する工程を備えるガラスよりなる微細構造体の製造方法であって、金型における加圧面は窒化クロムを含んでいる。
【００２４】
本発明の他の局面における微細構造体の製造方法によれば、加圧面に窒化クロムを含む金型により素材が加工される。ガラスは窒化クロムとの離型性が良好である。したがって、ガラスについて、金型を用いて寸法精度の良い１００μｍ以下のパターンの微細加工が可能となる。これにより、従来のウエットエッチングにより加工された場合と比較して、アスペクト比の高い孔を形成できる。また、急峻な側壁を有する溝を形成することができる。したがって、寸法精度の高いガラスよりなる微細構造体が得られる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を用いて説明する。
【００２６】
（実施の形態１）
図１〜図３は、本発明の実施の形態１における微細構造体の製造方法を工程順に示す断面図である。
【００２７】
図１を参照して、金型１と、素材４とが用意される。金型１は、加圧面のロックウェル硬度（ＨｒＣ）が２０以上、好ましくは５８以上、ヤング率が１×１０５ＭＰａ以上、好ましくは２．１×１０５ＭＰａ以上、引張り耐力が９８１ＭＰａ以上、好ましくは１６７０ＭＰａ以上という機械的強度を有している。ここで、上記の機械的強度を有する金型１はたとえば以下の方法で製造される。
【００２８】
１つの方法としては、２５０℃以上の耐熱を有するメッキ用型を用いて溶融塩電鋳することにより、Ｃｒ（クロム）やＷ（タングステン）などの良好な機械的強度を有する材質から金型１が製造される。
【００２９】
また他の方法としては、水溶液を用いる電鋳でＦｅ（鉄）とＣ（炭素）よりなる材質の金型１が製造される。
【００３０】
さらに他の方法としては、水溶液を用いる電鋳でＮｉを電鋳した後、Ａｌ（アルミニウム）をＮｉ中に注入拡散することにより金型１が製造される。
【００３１】
素材４は、たとえばＳＣｒ４２０鋼（Ｃ：０．１８％、Ｓｉ：０．１５％、Ｍｎ：０．６０％、Ｃｒ：０．９％）よりなる。
【００３２】
図２を参照して、金型１を用いて素材４を圧縮することにより、素材４が所望の形状に鍛造加工される。ここで、素材４に加えられる荷重はたとえば９．８ＭＰａ以上９８ＭＰａ以下である。これは、９．８ＭＰａ未満の荷重では素材４の変形抵抗により成形できないおそれがあり、９８ＭＰａを超える荷重では金型１を損傷する可能性があるという理由による。また、加工温度はたとえば室温（約２０℃）で行なわれる。また、加工速度はたとえば１．６７ｍｍ／ｓ以下である。これは、加工速度が１．６７ｍｍ／ｓを超えると素材４に亀裂が入るおそれがあるためである。
【００３３】
図３を参照して、金型１が素材４から取り外された後で、素材４が焼き鈍される。ここで、素材４の焼き鈍し温度は、たとえば６５０℃以上７２６℃未満である。これは、６５０℃未満では焼き鈍しの進行が遅く、７２６℃を超える温度ではオーステナイト変態が起こるためである。オーステナイト変態が起こると、鍛造加工により形成された素材４中の繊維状組織が消失し、素材４の機械的強度が低下するおそれがあるためである。また、焼き鈍し時間は１時間が好ましい。さらに、焼き鈍しはＮ２（窒素）ガス雰囲気中で行なわれるのが好ましい。
【００３４】
以上の製造方法により、たとえば幅（図３中横方向）５０μｍ、深さ（図３中縦方向）５０μｍの凹部６を備えた鋼よりなる微細構造体５が得られる。
【００３５】
図４（ａ）は、本発明の実施の形態１において製造された微細構造体の凹部の結晶粒を模式的に示した概略断面図である。
【００３６】
図４（ａ）を参照して、本実施の形態における微細構造体５は、鍛造加工により凹部６が形成されている。このため、凹部６の側壁および底面の表面には、凹部の形状に沿った細長い結晶粒３よりなる繊維状組織が形成されている。この繊維状組織は、素材４が金型１に加圧されて塑性変形することにより結晶粒３が特定の結晶方位に規則的に揃ったものである。
【００３７】
図４（ｂ）は本実施の形態における繊維状組織を形成している結晶粒を示す模式図である。図４（ｂ）を参照して、金型１により結晶粒３が加工される方向の長さ（図４（ｂ）中縦方向）が長さａとされる。また、金型１により結晶粒３が加工される方向に対して垂直方向の長さ（図４（ｂ）中横方向）が長さｂとされる。そして、長さａを長さｂで割った値が結晶粒の縦横比として規定される。本実施の形態における微細構造体５では、凹部６の側壁および底面の表面から少なくとも１μｍ以下に存在する結晶粒の縦横比の平均値は１．５以上であった。
【００３８】
なお、本実施の形態における微細構造体５は、ビッカーズ硬さ（Ｈｖ）が３００であった。これは従来のＬＩＧＡプロセスにより製造された微細構造体のビッカーズ硬さ（Ｈｖ）が１８０であることと比較して、ビッカーズ硬さの値が大幅に向上している。
【００３９】
本実施の形態における微細構造体の製造方法によれば、硬度、ヤング率および引張り耐力という機械的強度が高い金型１を用いた鍛造加工により微細構造体５が製造される。これにより、電鋳可能なＮｉ、Ｃｕなどよりも機械的強度の高い素材４について、寸法精度の高い１００μｍ以下のパターンの微細加工が可能となる。また、上記製造方法によれば、素材４が鍛造加工により塑性硬化するので、さらに機械的強度が向上する。したがって、機械的強度が高く、寸法精度の高い微細構造体５が得られる。さらに、金型１の硬度、ヤング率および引張り耐力が高いので、金型１の摩耗および損傷が抑止でき、鍛造時の衝撃による金型１の変形および破損が抑止でき、鍛造時の圧力による金型１の破損が抑止できる。
【００４０】
本実施の形態において好ましくは、金型１のロックウェル硬度（ＨｒＣ）は５８以上である。これにより、一層機械的強度の高い素材４について、寸法精度の高い１００μｍ以下のパターンの微細加工が可能となる。また、金型１の耐久性が向上し、金型１の摩耗および損傷がさらに抑止できる。
【００４１】
本実施の形態において好ましくは、金型１のヤング率は２．１×１０５ＭＰａ以上である。これにより、一層機械的強度の高い素材４について、寸法精度の高い１００μｍ以下のパターンの微細加工が可能となる。また、鍛造時の衝撃による金型１の変形および破損が一層抑止できる。
【００４２】
本実施の形態において好ましくは、金型１の引張り耐力は１６７０ＭＰａ以上である。これにより、一層機械的強度の高い素材４について、寸法精度の高い１００μｍ以下のパターンの微細加工が可能となる。また、鍛造時の圧力による金型１の破損が一層抑止できる。
【００４３】
本実施の形態における微細構造体５は、凹部６を備え、凹部６の側壁および底面の表面から少なくとも１μｍ以下に存在する結晶粒３の縦横比の平均値が１．５以上である。これにより、凹部６の側壁および底面の結晶粒３が繊維状組織を形成するので、結晶粒３の塑性硬化により微細構造体５の機械的強度が向上する。
【００４４】
本実施の形態においては、上記製造方法により製造されることにより、ビッカーズ硬さ（Ｈｖ）が１９０以上、ヤング率が２．２×１０５ＭＰａ以上、引張り耐力が５００ＭＰａ以上という機械的強度を有し、寸法精度の高い微細構造体５を得ることができる。
【００４５】
（実施の形態２）
図５〜図７は、本発明の実施の形態２における微細構造体の製造方法を工程順に示す断面図である。
【００４６】
図５を参照して、金型１と、素材４とが用意される。金型１の加圧面にはＣｒＮ（窒化クロム）層２が形成されている。金型１はたとえばＣｒよりなる。金型１はたとえば実施の形態１と同様の方法で製造される。その後、イオン窒化法やプラズマ窒化法を用いて金型１の表層をたとえば１μｍ窒化することによりＣｒＮ層２が形成される。
【００４７】
素材４はたとえばホウケイ酸ガラスよりなる。素材４は、たとえば１５００℃以上の温度に加熱されることにより溶融した状態とされている。
【００４８】
図６を参照して、金型１を用いて素材４を圧縮することにより、素材４が所望の形状に打ち抜き加工される。打ち抜き加工の際、素材４の温度は８５０℃以上９５０℃未満とされる。これは、８５０℃未満では粘度が大きすぎて、成形が困難となり、９５０℃を超える温度では粘度が小さすぎて成形の際の精度が低下するためである。
【００４９】
図７を参照して、金型１が素材４から取り外された後、素材４が自然冷却される。この際６００℃まで自然冷却されたところで６００℃の温度で１時間保持される。これにより、素材４中の永久ひずみが除去されるので、素材４にクラックや変形などが生じることが抑止できる。
【００５０】
以上の製造方法により、たとえば幅（図７中横方向）５０μｍ、深さ（図７中縦方向）５０μｍの凹部６を備えたガラスよりなる微細構造体５が得られる。
【００５１】
本実施の形態における微細構造体の製造方法によれば、加圧面にＣｒＮ層２が形成されている金型１により素材４が加工される。素材４はガラスよりなるので、ＣｒＮとの離型性が良好である。したがって、素材４の金型による加工が可能となる。これにより、従来、ウエットエッチングにより加工された場合と比較して、アスペクト比の高い孔を形成できる。また、急峻な側壁を有する溝を形成することができる。したがって、寸法精度の高い微細構造体５が得られる。
【００５２】
図８は従来のウエットエッチングにより製造されたガラスよりなる微細構造体の凹部の概略断面図である。図９は本発明の実施の形態２により製造されたガラスよりなる微細構造体の凹部の概略断面図である。
【００５３】
図８および図９を参照して、従来の微細構造体５の凹部６は、凹部６の深さ方向（図８中縦方向）および凹部６の幅方向（図８中横方向）に同じ深さ（長さ）ｘだけ等方的にエッチングされるので、凹部６は球面形状となっている。一方、本実施の形態により製造されたガラスよりなる微細構造体５の凹部６には急峻な側壁６ａが形成されている。
【００５４】
本願発明者らは、本実施の形態における微細構造体５の構造上の特徴を、微細構造体５の凹部６の側壁６ａに形成される平面が有する深さ方向の長さによって評価した。
【００５５】
すなわち、ウエットエッチングにより製造された微細構造体５においては、凹部６は球面形状となっているので、凹部６の側壁６ａは曲面である。したがって、凹部６の深さ方向に１μｍ以上の長さを有する平面が凹部６の側壁６ａに形成されることはない。一方、本実施の形態により製造された微細構造体５においては、凹部６の深さ方向（図９中縦方向）に１μｍ以上の長さを有する平面を凹部６の側壁６ａに形成することができる。また、他の機械的方法によれば、深さ方向に１０００μｍを超える長さを有する平面を凹部６の側壁６ａに形成することは可能であるが、１０００μｍ以下の長さを有する平面を凹部６の側壁６ａに形成することはできない。
【００５６】
以上の理由により、本実施の形態により製造された微細構造体５の凹部６の側壁６ａには、深さ方向に１μｍ以上１０００μｍ以下の長さを有する平面が形成されている。このような微細構造体５においては、急峻な側壁６ａを有する凹部６が形成可能である。また、アスペクト比の高い凹部６が形成可能である。したがって、寸法精度の高い微細構造体５となる。
【００５７】
実施の形態１における金型１は、上記の方法で製造されるものに限定されず、上記の機械的強度を有していればいかなる方法により製造されるものであってもよい。
【００５８】
実施の形態１においては、素材４としてＳＣｒ４２０鋼が用いられたが、本発明の微細構造体の製造方法はこのような素材に限定されるものではなく、鍛造加工可能な素材であればよい。
【００５９】
実施の形態１においては、素材４の鍛造加工および焼き鈍しについての具体的な条件について示したが、本発明はこのような条件に限定されるものではなく、他の条件で行なわれてもよい。
【００６０】
実施の形態２においては、素材４としてホウケイ酸ガラスが用いられたが、本発明の微細構造体の製造方法はこのような素材に限定されるものではなく、素材はガラスであればよい。
【００６１】
実施の形態２においては、金型１の加圧面にＣｒＮ層２が形成されている場合について示したが、本発明はこのような場合に限定されるものではなく、金型における加圧面が窒化クロムを含んでいればよい。
【００６２】
以上に開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正や変形を含むものと意図される。
【００６３】
【発明の効果】
以上のように、本発明における微細構造体の製造方法によれば、硬度、ヤング率および引張り耐力という機械的強度が高い金型を用いた鍛造加工により微細構造体が製造される。これにより、電鋳可能なＮｉ、Ｃｕなどよりも機械的強度の高い素材について、寸法精度の高い１００μｍ以下のパターンの微細加工が可能となる。また、本発明における微細構造体の製造方法によれば、素材が鍛造加工により塑性硬化するので、さらに機械的強度が向上する。したがって、機械的強度が高く、寸法精度の高い微細構造体が得られる。さらに、金型の硬度、ヤング率および引張り耐力が高いので、金型の摩耗および損傷が抑止でき、鍛造時の衝撃による金型の変形および破損が抑止でき、鍛造時の圧力による金型の破損が抑止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における微細構造体の製造方法の第１工程を示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１における微細構造体の製造方法の第２工程を示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１における微細構造体の製造方法の第３工程を示す断面図である。
【図４】（ａ）本発明の実施の形態１において製造された微細構造体の凹部の結晶粒を模式的に示した概略断面図、（ｂ）本発明の実施の形態１における繊維状組織を形成している結晶粒を示す模式図である。
【図５】本発明の実施の形態２における微細構造体の製造方法の第１工程を示す断面図である。
【図６】本発明の実施の形態２における微細構造体の製造方法の第２工程を示す断面図である。
【図７】本発明の実施の形態２における微細構造体の製造方法の第３工程を示す断面図である。
【図８】従来のウエットエッチングにより製造されたガラスよりなる微細構造体の凹部の概略断面図である。
【図９】本発明の実施の形態２により製造されたガラスよりなる微細構造体の凹部の概略断面図である。
【符号の説明】
１  金型、２  ＣｒＮ層、３  結晶粒、４  素材、５  微細構造体、６  凹部、６ａ  側壁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004268169.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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