(57)【要約】【課題】着色領域の画定が容易で複雑形状の着色領域にも容易に対応でき、しかも着色領域の周りに生じる着色ぼけ現象を抑制できるようにした固体型ＥＣ素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】基板３４の上に下部電極層３６、ＥＣ層４０、上部電極層４２を順次成膜する。下部電極層３６には、分割線３８を所望の着色領域３７の輪郭上に沿って該着色領域３７を取り囲むように非直線に形成する。下部電極層３６は、着色領域３７を含む着色領域形成部３６ａと着色領域３７を含まない非着色領域形成部３６ｂとに互いに非導通の状態に分割される。ＥＣ層４０の各層および上部電極層４２は着色領域３７の全体を覆うように形成される。上部電極層４２を下部電極層３６の着色領域形成部３６ａに非導通とする。上部電極層４２を下部電極層３６の非着色領域形成部３６ｂに導通させる。【選択図】  図１
2004170477.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
該基板の上に形成された下部電極層と、
該下部電極層の上に形成されたＥＣ層と、
該ＥＣ層の上に形成された上部電極層とを具備してなる固体型ＥＣ素子であって、
前記下部電極層は、所望の着色領域の輪郭上に沿って該着色領域を取り囲むように非直線に形成された単一または複数の分割線により、該着色領域を含む着色領域形成部と該着色領域を含まない非着色領域形成部とに互いに非導通の状態に分割され、
前記ＥＣ層を構成する各層および前記上部電極層は前記着色領域の全体を覆うように形成され、
前記上部電極層を前記下部電極層の前記着色領域形成部に非導通とし、かつ該上部電極層を該下部電極層の前記非着色領域形成部に導通させてなる固体型ＥＣ素子。
【請求項２】
基板と、
該基板の上に形成された下部電極層と、
該下部電極層の上に形成されたＥＣ層と、
該ＥＣ層の上に形成された上部電極層とを具備してなる固体型ＥＣ素子であって、
前記下部電極層は、所望の着色領域の輪郭上に沿って該着色領域を取り囲むように非直線に形成され両端が該着色領域の輪郭から外れて前記下部電極層の外周縁の相互に異なる位置にそれぞれ達して形成された単一または複数の分割線により、該着色領域を含む着色領域形成部と該着色領域を含まない非着色領域形成部とに互いに非導通の状態に分割され、
前記ＥＣ層を構成する各層および前記上部電極層は前記着色領域の全体を覆うように形成され、
前記ＥＣ層の外周縁は、全体が前記着色領域よりも外側に形成され、
前記上部電極層の外周縁は、前記下部電極層の前記非着色領域形成部に対面する区間では全体が前記着色領域よりも外側でかつ少なくとも一部が前記ＥＣ層の外周縁よりも外側にはみ出して形成され、該ＥＣ層の外周縁よりも外側にはみ出して形成された部分で該上部電極層は前記下部電極層の前記非着色領域形成部に導通し、
該上部電極層の外周縁は、前記下部電極層の前記着色領域形成部に対面する区間では全体が前記ＥＣ層の外周縁よりも内側で前記着色領域の輪郭上に沿って形成され、
該上部電極層の外周縁は、前記分割線と交差する位置の前後適宜の区間にわたり前記ＥＣ層の外周縁よりも内側に形成され、もって該上部電極層は該下部電極層の該着色領域形成部と非導通とされ、
前記下部電極層の前記着色領域形成部と前記ＥＣ層を構成する各層と前記上部電極層とがすべて重なり合う領域の輪郭をもって前記着色領域の輪郭を画定してなる固体型ＥＣ素子。
【請求項３】
前記分割線が該着色領域の輪郭の主要部を構成し、前記上部電極層の外周縁が該着色領域の輪郭の残りの部分を構成してなる請求項１または２記載の固体型ＥＣ素子。
【請求項４】
前記下部電極層の前記着色領域形成部が、前記着色領域の外形を特徴づける形状を有してなる請求項１から３のいずれかに記載の固体型ＥＣ素子。
【請求項５】
前記下部電極層の前記着色領域形成部が、前記上部電極層の外周縁位置を境に、前記着色領域を構成する第１の領域と、該第１の領域に連続しかつ前記着色領域を構成することなく該下部電極層の外周縁に至る第２の領域とを有してなり、前記ＥＣ層が前記下部電極層の前記着色領域形成部の前記第１の領域全体から前記第２の領域の一部にかけて覆い、前記上部電極層が該下部電極層の前記着色領域形成部の前記第１の領域全体を覆い前記第２の領域を覆わない状態に形成されている請求項１から４のいずれかに記載の固体型ＥＣ素子。
【請求項６】
前記基板が透明基板で構成され、前記下部電極層が透明電極膜で構成され、前記上部電極層が金属反射膜で構成され、前記基板に別の板材を接着剤で貼り合わせて、前記下部電極層、前記ＥＣ層、前記上部電極層を該基板と該別の板材との間に挟み込んでなり、ＥＣミラーを構成している請求項１から５のいずれかに記載の固体型ＥＣ素子。
【請求項７】
前記基板に別の板材を接着剤で貼り合わせて、前記下部電極層、前記ＥＣ層、前記上部電極層を該基板と該別の板材との間に挟み込んでなり、前記基板が透明基板で構成され、前記下部電極層および前記上部電極層が共に透明電極膜で構成され、前記接着剤が透明接着剤で構成され、前記別の板材が透明板材で構成されて透過形ＥＣ素子を構成している請求項１から５のいずれかに記載の固体型ＥＣ素子。
【請求項８】
前記基板が透明基板で構成され、前記下部電極層が透明電極膜で構成され、前記上部電極層が透明電極膜または金属反射膜で構成され、前記着色領域が任意の文字、記号、図形のいずれかの形状に形成されて表示素子を構成してなる請求項１から５のいずれかに記載の固体型ＥＣ素子。
【請求項９】
前記分割線が前記着色領域の輪郭の全長の半分以上の長さを構成してなる請求項１から８のいずれかに記載の固体型ＥＣ素子。
【請求項１０】
前記下部電極層の着色領域形成部が前記着色領域の最大幅に対し幅が狭くなった部分を有し、前記着色領域の輪郭のうち前記上部電極層の外周縁で構成される部分が、該着色領域形成部の該幅が狭くなった部分に形成されてなる請求項１から９のいずれかに記載の固体型ＥＣ素子。
【請求項１１】
前記着色領域の輪郭のうち前記上部電極層の外周縁で構成される部分の長さが、該着色領域の最大外形寸法よりも短く構成されている請求項１から１０のいずれかに記載の固体型ＥＣ素子。
【請求項１２】
前記分割線が前記基板の外周縁よりも内側の位置で該基板の外周縁の全長の半分以上の長さに沿って形成されている請求項１から１１のいずれかに記載の固体型ＥＣ素子。
【請求項１３】
基板の上に下部電極層を成膜する工程と、
該下部電極層の面にレーザ光走査によるエッチングを施して、分割線を、所望の着色領域の輪郭上に沿って該着色領域を取り囲むように非直線に形成して、該下部電極層を該着色領域を含む着色領域形成部と該着色領域を含まない非着色領域形成部とに互いに非導通となるように分割する工程と、
該分割線が形成された前記下部電極層の上に、前記着色領域の全体を覆うようにＥＣ層を構成する各層を成膜する工程と、
該ＥＣ層の上に、前記着色領域の全体を覆いかつ前記下部電極層の前記着色領域形成部に非導通で前記非着色領域形成部に導通するように上部電極層を成膜する工程と
を具備してなる固体型ＥＣ素子の製造方法。
【請求項１４】
基板の上に下部電極層を成膜する工程と、
該下部電極層の面にレーザ光走査によるエッチングを施して、分割線を、所望の着色領域の輪郭上に沿って該着色領域を取り囲むように非直線にかつ両端が該着色領域の輪郭から外れて前記下部電極層の外周縁の相互に異なる位置にそれぞれ達するように形成し、もって該下部電極層を該分割線により該着色領域を含む着色領域形成部と該着色領域を含まない非着色領域形成部とに互いに非導通となるように分割する工程と、
該分割線が形成された前記下部電極層の上に発色層および固体電解質層を、前記着色領域の全体を覆うように、かつ該発色層および該固体電解質層の外周縁全体が前記着色領域よりも外側に形成されるように、共通のマスクを使用して積層成膜してＥＣ層を形成する工程と、
該ＥＣ層の上に上部電極層を、前記着色領域の全体を覆うように、かつ該上部電極層の外周縁が、前記下部電極層の前記非着色領域形成部に対面する区間では全体が前記着色領域よりも外側でかつ少なくとも一部が前記ＥＣ層の外周縁よりも外側にはみ出して形成されて、該ＥＣ層の外周縁よりも外側にはみ出して形成された部分で該上部電極層は前記下部電極層の前記非着色領域形成部に導通し、前記下部電極層の前記着色領域形成部に対面する区間では全体が前記ＥＣ層の外周縁よりも内側で前記着色領域の輪郭上に沿って形成され、もって該上部電極層は該下部電極層の該着色領域形成部と非導通とされるように、マスクを使用して成膜する工程と
を具備してなる固体型ＥＣ素子の製造方法。
【請求項１５】
前記各工程が１枚の基板上に複数のＥＣ素子を形成するようにして行われ、該各工程終了後に、該基板を個々のＥＣ素子に切断する請求項１３または１４記載の固体型ＥＣ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、固体型ＥＣ（エレクトロクロミック）素子およびその製造方法に関し、着色領域の画定が容易で複雑形状の着色領域にも容易に対応でき、しかも着色領域の周りに生じる着色ぼけ現象を抑制できるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＥＣ素子は電圧の印加により光透過率が可変する素子で、車両用防眩ミラー、調光窓、表示素子等に利用されている。固体型ＥＣ素子はＥＣ素子を構成する各層が固体材料で構成されたものである。従来実施されていた、固体型ＥＣ素子を使用した車両用ＥＣミラー（インナーミラー）の構造を図２に示す。基板１０は透明ガラス基板で構成され、その裏面にはＩＴＯ等の透明電極膜で構成された下部電極層１２が全面に形成されている。下部電極層１２の下辺部付近には該下辺部に沿って分割線１４（溝）が水平に形成され、これにより下部電極層１２は該分割線１４を境に、互いに非導通な上下２つの領域１２ａ，１２ｂに分割されている。
【０００３】
下部電極層１２の上にはＥＣ層１６が、該下部電極層１２の２つの領域１２ａ，１２ｂにまたがるように成膜されている。ＥＣ層１６は、例えば、酸化イリジウム・酸化スズ混合物等による酸化発色層、Ｔａ２Ｏ５等による固体電解質層、ＷＯ３等による還元発色層を順次積層して構成されている。ＥＣ層１６の上には、Ａｌ、Ｃｒ等の金属反射膜による上部電極層１８が成膜されている。上部電極層１８の、下部電極層１２の領域１２ｂに対面する領域１８ｂは、一部がＥＣ層１６よりも外側にはみ出して形成されて、該はみ出した部分で下部電極層１２の領域１２ｂに導通している。上部電極層１８の、下部電極層１２の領域１２ａに対面する領域１８ａは、全体がＥＣ層１６の面内に形成され、下部電極層１２の領域１２ａと非導通とされている。基板１０の上下両辺部には電極引出部としてクリップ電極２０，２２が装着されている。クリップ電極２０は下部電極層１２の領域１２ａに導通し、クリップ電極２２は下部電極層１２の領域１２ｂを介して上部電極層１８に導通している。
【０００４】
以上の構成によれば、クリップ電極２０，２２間に着色方向の電圧を印加すると、ＥＣ層１６は着色する。この場合、ＥＣ層１６の全領域のうち、上部電極層１８の外周縁と分割線１４で囲まれた領域が着色する。次いで、クリップ電極２０，２２間に逆方向の電圧（消色方向の電圧）を印加しまたはクリップ電極２０，２２間を短絡するとＥＣ層１６は消色する。
【０００５】
この従来の車両用ＥＣミラーの製造工程を図３を参照して説明する。
（１）下部電極層としてＩＴＯ膜１２が全面に成膜されたＩＴＯ付きガラス基板１０を用意し、ＩＴＯ膜１２の下辺付近に該下辺に平行にレーザ光によるエッチングで分割線１４を直線状に形成し、ＩＴＯ膜１２を２つの領域１２ａ，１２ｂに分割する。
（２）基板１０の周縁部をミラー形状に切断する。
（３）基板１０の所定位置にＥＣ層形成用マスク部材２４を位置決めして被せて蒸着装置に収容し、ＥＣ層を構成する酸化発色層材料、固体電解質層材料、還元発色層材料を順次蒸着してＥＣ層１６を形成する。
（４）基板１０を蒸着装置から取り出し、ＥＣ層形成用マスク部材２４を取り外す。
（５）基板１０の所定位置に上部電極層形成用マスク部材２６を位置決めして被せて蒸着装置に収容し、上部電極層を構成する金属材料を蒸着して上部電極層１８を形成する。
（６）基板１０を蒸着装置から取り出し、上部電極層形成用マスク部材２６を取り外す。
（７）基板１０の上下両辺にクリップ電極２０，２２を装着する。さらに、基板１０に封止ガラスを接着剤で貼り合わせて、積層形成した膜を封止し、完成する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来の車両用ＥＣミラーによれば、ＥＣ層１６の着色領域（着色させるべき領域）１７は主に上部電極層１８の形状で定まるため、着色領域１７の形状がわずかしか異ならないような製品どうしであっても、上部電極層１８を形成する際｛図３工程（５）｝に、上部電極層形成用マスク部材２６を別々に用意する必要があった。また、着色領域１７の形状が複雑な場合には、それに対応した複雑な形状の上部電極層形成用マスク部材２６が必要であった。
【０００７】
また、前記従来の車両用ＥＣミラーは、消色方向に駆動した場合に、着色領域１７の輪郭のうち上部電極層１８の外周縁で構成される部分の周り（図２にハッチングで示した部分Ｂ）に着色ぼけ（着色がぼやけて残る状態をいう。）が生じる問題があった。この着色ぼけ現象を図４を参照して説明する。図４（ａ）は、着色領域１７の輪郭が上部電極層１８の外周縁で構成される部分の断面図を示したものである。ＥＣ層１６が、下層側から、酸化発色層として酸化イリジウム・酸化スズ混合層２８、固体電解質層としてＴａ２Ｏ５層３０、還元発色層としてＷＯ３層３２を順次積層して構成されているものとする。このような構造で、図４（ｂ）に示すように上側を−極、下側を＋極にして電圧を印加すると、Ｔａ２Ｏ５層３０に含まれている水分により、ＷＯ３層３２にＨ＋イオンが取り込まれて、ＷＯ３層３２が青色に着色する。同時に、酸化イリジウム・酸化スズ混合層２８にＯＨ−イオンが取り込まれて、酸化イリジウム・酸化スズ混合層２８も青色に着色する。次いで、図４（ｃ）に示すように上側を＋極、下側を−極にして電圧を印加しまたは上下両極を短絡すると、ＷＯ３層３２に取り込まれていたＨ＋イオンおよび酸化イリジウム・酸化スズ混合層２８に取り込まれていたＯＨ−イオンがそれぞれＴａ２Ｏ５層３０に戻されて、ＷＯ３層３２および酸化イリジウム・酸化スズ混合層２８は消色する。ところが、図４（ａ）に示すように上部電極層１８の外周縁よりも外側にＥＣ層１６および下部電極層１２が張り出した構造では、着色時に図４（ｄ）に示すようにＨ＋イオンがＷＯ３層３２の外側に張り出した領域３２’（正負電極が対向していない領域）に拡散し、ＯＨ−イオンが酸化イリジウム・酸化スズ混合層２８の外側に張り出した領域２８’（正負電極が対向していない領域）に拡散して、これら外側に張り出した領域３２’，２８’が着色するものの、逆電圧を印加して消色しようとしても、Ｈ＋イオンおよびＯＨ−イオンがこれら外側に張り出した領域３２’，２８’からＴａ２Ｏ５層３０に戻りきれなくなり、その結果これらの領域３２’，２８’｛着色領域１７の輪郭のうち上部電極層１８の外周縁で構成される部分の周り（図２にハッチングで示した部分Ｂ）｝に着色ぼけが生じていた。
【０００８】
この発明は上述の点に鑑みてなされたもので、着色領域の画定が容易で複雑形状の着色領域にも容易に対応でき、しかも着色領域の周りに生じる着色ぼけ現象を抑制できるようにした固体型ＥＣ素子およびその製造方法を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明の固体型ＥＣ素子は、基板と、該基板の上に形成された下部電極層と、該下部電極層の上に形成されたＥＣ層と、該ＥＣ層の上に形成された上部電極層とを具備してなる固体型ＥＣ素子であって、前記下部電極層は、所望の着色領域（着色させるべき領域）の輪郭上に沿って該着色領域を取り囲むように非直線に形成された単一または複数の分割線により、該着色領域を含む着色領域形成部と該着色領域を含まない非着色領域形成部とに互いに非導通の状態に分割され、前記ＥＣ層を構成する各層および前記上部電極層は前記着色領域の全体を覆うように形成され、前記上部電極層を前記下部電極層の前記着色領域形成部に非導通とし、かつ該上部電極層を該下部電極層の前記非着色領域形成部に導通させてなるものである。
【００１０】
また、この発明の固体型ＥＣ素子は、基板と、該基板の上に形成された下部電極層と、該下部電極層の上に形成されたＥＣ層と、該ＥＣ層の上に形成された上部電極層とを具備してなる固体型ＥＣ素子であって、前記下部電極層は、所望の着色領域の輪郭上に沿って該着色領域を取り囲むように非直線に形成され両端が該着色領域の輪郭から外れて前記下部電極層の外周縁の相互に異なる位置にそれぞれ達して形成された単一または複数の分割線により、該着色領域を含む着色領域形成部と該着色領域を含まない非着色領域形成部とに互いに非導通の状態に分割され、前記ＥＣ層を構成する各層および前記上部電極層は前記着色領域の全体を覆うように形成され、前記ＥＣ層の外周縁は、全体が前記着色領域よりも外側に形成され、前記上部電極層の外周縁は、前記下部電極層の前記非着色領域形成部に対面する区間では全体が前記着色領域よりも外側でかつ少なくとも一部が前記ＥＣ層の外周縁よりも外側にはみ出して形成され、該ＥＣ層の外周縁よりも外側にはみ出して形成された部分で該上部電極層は前記下部電極層の前記非着色領域形成部に導通し、該上部電極層の外周縁は、前記下部電極層の前記着色領域形成部に対面する区間では全体が前記ＥＣ層の外周縁よりも内側で前記着色領域の輪郭上に沿って形成され、該上部電極層の外周縁は、前記分割線と交差する位置の前後適宜の区間にわたり前記ＥＣ層の外周縁よりも内側に形成され、もって該上部電極層は該下部電極層の該着色領域形成部と非導通とされ、前記下部電極層の前記着色領域形成部と前記ＥＣ層を構成する各層と前記上部電極層とがすべて重なり合う領域の輪郭をもって前記着色領域の輪郭を画定してなるものである。
【００１１】
この発明の固体型ＥＣ素子によれば、下部電極層に所望の着色領域の輪郭上に沿って該着色領域を取り囲むように分割線を非直線に形成したので、該分割線により着色領域を容易に画定でき、複雑形状の着色領域も容易に対応することができる。また、後述するように、着色ぼけ現象が生じる区間を狭めることができる。
【００１２】
この発明の固体型ＥＣ素子は次のように様々に構成することができる。前記ＥＣ層を構成する各層（着色層、電解質層等）を相互に同一形状で同一位置に積層形成する。前記基板に別の板材を接着剤で貼り合わせて、前記下部電極層、前記ＥＣ層、前記上部電極層を該基板と該別の板材との間に挟み込む。前記分割線が前記着色領域の輪郭の主要部を構成し、前記上部電極層の外周縁が該着色領域の輪郭の残りの部分を構成する。前記下部電極層の前記着色領域形成部が、前記着色領域の外形を特徴づける形状を有する。前記下部電極層の前記着色領域形成部が、前記上部電極層の外周縁位置を境に、前記着色領域を構成する第１の領域と、該第１の領域に連続しかつ前記着色領域を構成することなく該下部電極層の外周縁に至る第２の領域とを有し、前記ＥＣ層が前記下部電極層の前記着色領域形成部の前記第１の領域全体から前記第２の領域の一部にかけて覆い、前記上部電極層が該下部電極層の前記着色領域形成部の前記第１の領域全体を覆い前記第２の領域を覆わない状態に形成されている。前記基板が透明基板で構成され、前記下部電極層が透明電極膜で構成され、前記上部電極層が金属反射膜で構成され、前記基板に別の板材を接着剤で貼り合わせて、前記下部電極層、前記ＥＣ層、前記上部電極層を該基板と該別の板材との間に挟み込んでＥＣミラーを構成する。前記基板が車両用ミラー形状に形成され、前記下部電極層の前記着色領域形成部の前記第１の領域が前記基板の外形に倣ってミラー形状に形成されて車両用ＥＣミラーを構成する。前記基板に別の板材を接着剤で貼り合わせて、前記下部電極層、前記ＥＣ層、前記上部電極層を該基板と該別の板材との間に挟み込んでなり、前記基板が透明基板で構成され、前記下部電極層および前記上部電極層が共に透明電極膜で構成され、前記接着剤が透明接着剤で構成され、前記別の板材が透明板材で構成されて透過形ＥＣ素子を構成する。前記基板の外形が円形に形成され、前記下部電極層および前記上部電極層が共に透明電極膜で構成され、前記下部電極層の前記着色領域形成部の前記第１の領域が前記基板の外形に倣って円形に形成されて車両用メータの輝度調整機能付き前面カバー板を構成する。前記基板が透明基板で構成され、前記下部電極層および前記上部電極層が共に透明電極膜で構成され、前記下部電極層の前記着色領域形成部の前記第１の領域が円形に形成されてデジタルカメラの撮像素子の光軸上に配置される露出調整素子を構成する。前記基板が透明基板で構成され、前記下部電極層が透明電極膜で構成され、前記上部電極層が透明電極膜または金属反射膜で構成され、前記着色領域が任意の文字、記号、図形のいずれかの形状に形成されて表示素子を構成する。前記下部電極層の前記着色領域形成部の前記第１の領域が任意の文字、記号、図形のいずれかの形状に形成されて表示素子を構成する。前記分割線が前記着色領域の輪郭の全長の半分以上の長さを構成する。前記下部電極層の着色領域形成部が前記着色領域の最大幅に対し幅が狭くなった部分を有し、前記着色領域の輪郭のうち前記上部電極層の外周縁で構成される部分が、該着色領域形成部の該幅が狭くなった部分に形成される。前記着色領域の輪郭のうち前記上部電極層の外周縁で構成される部分の長さが、該着色領域の最大外形寸法よりも短く構成されている。前記分割線が前記基板の外周縁よりも内側の位置で該基板の外周縁の全長の半分以上の長さに沿って形成されている。前記下部電極層が前記基板の全面にわたり形成され、前記分割線の両端が該基板の外周縁の相互に異なる位置にそれぞれ達して形成され、前記ＥＣ層および前記上部電極層の外周縁全体が、前記基板の外周縁よりも内側の位置で該基板の外周縁に沿って形成され、かつ前記下部電極層の前記非着色領域形成部に対面する位置で前記基板の外周縁と前記分割線との間を通り、  前記上部電極層の外周縁は、前記下部電極層の前記着色領域形成部に対面する位置では前記ＥＣ層の外周縁よりも内周側に位置し、前記下部電極層の前記非着色領域形成部に対面する位置では半分以上の長さが前記ＥＣ層の外周縁よりも外周側に位置し、該非着色領域形成部に対面する位置で前記ＥＣ層の外周縁と交差して該ＥＣ層の外周縁との内外位置関係を入れ替えるように形成されている。前記上部電極層の外周縁が前記ＥＣ層の外周縁と交差して該ＥＣ層の外周縁との内外位置関係を入れ替える位置が、前記非着色領域形成部に対面する位置でかつ該非着色領域形成部と前記着色領域形成部との境界部分と交差する位置の直前位置である。前記分割線が前記下部電極層をレーザ光走査によるエッチングで一定幅の細線状に欠落させた溝で構成されている。前記分割線の幅が０．１ｍｍ以下に形成されている。前記下部電極層の前記着色領域形成部および前記非着色領域形成部がそれぞれ前記基板の外周縁に達して形成され、前記着色領域形成部の電極引出部が該着色領域形成部が臨む前記基板の外周縁部に装着されたクリップ電極で構成され、前記非着色領域形成部の電極引出部が該非着色領域形成部が臨む前記基板の外周縁部に装着されたクリップ電極で構成されされている。前記下部電極層が前記基板の全面にわたり形成され、前記ＥＣ層および前記上部電極層がそれぞれ前記基板の外周縁よりも内側の領域に形成されている。
【００１３】
この発明の固体型ＥＣ素子の製造方法は、基板の上に下部電極層を成膜する工程と、該下部電極層の面にレーザ光走査によるエッチングを施して、分割線を、所望の着色領域の輪郭上に沿って該着色領域を取り囲むように非直線に形成して、該下部電極層を該着色領域を含む着色領域形成部と該着色領域を含まない非着色領域形成部とに互いに非導通となるように分割する工程と、該分割線が形成された前記下部電極層の上に、前記着色領域の全体を覆うようにＥＣ層を構成する各層を成膜する工程と、該ＥＣ層の上に、前記着色領域の全体を覆いかつ前記下部電極層の前記着色領域形成部に非導通で前記非着色領域形成部に導通するように上部電極層を成膜する工程とを具備してなるものである。
【００１４】
また、この発明の固体型ＥＣ素子の製造方法は、基板の上に下部電極層を成膜する工程と、該下部電極層の面にレーザ光走査によるエッチングを施して、分割線を、所望の着色領域の輪郭上に沿って該着色領域を取り囲むように非直線にかつ両端が該着色領域の輪郭から外れて前記下部電極層の外周縁の相互に異なる位置にそれぞれ達するように形成し、もって該下部電極層を該分割線により該着色領域を含む着色領域形成部と該着色領域を含まない非着色領域形成部とに互いに非導通の状態に分割する工程と、該分割線が形成された前記下部電極層の上に発色層および固体電解質層を、前記着色領域の全体を覆うように、かつ該発色層および該固体電解質層の外周縁全体が前記着色領域よりも外側に形成されるように、共通のマスクを使用して積層成膜してＥＣ層を形成する工程と、該ＥＣ層の上に上部電極層を、前記着色領域の全体を覆うように、かつ該上部電極層の外周縁が、前記下部電極層の前記非着色領域形成部に対面する区間では全体が前記着色領域よりも外側でかつ少なくとも一部が前記ＥＣ層の外周縁よりも外側にはみ出して形成されて、該ＥＣ層の外周縁よりも外側にはみ出して形成された部分で該上部電極層は前記下部電極層の前記非着色領域形成部に導通し、前記下部電極層の前記着色領域形成部に対面する区間では全体が前記ＥＣ層の外周縁よりも内側で前記着色領域の輪郭上に沿って形成され、もって該上部電極層は該下部電極層の該着色領域形成部と非導通とされるように、マスクを使用して成膜する工程とを具備してなるものである。
【００１５】
なお、この発明の固体型ＥＣ素子の製造方法は、前記各工程を１枚の基板上に複数のＥＣ素子を形成し、該各工程終了後に、該基板を個々のＥＣ素子に切断するようにして行うことができる。この場合、基板を個々のＥＣ素子に切断するのに伴って各ＥＣ素子の着色領域形成部と非着色領域形成部とが相互に非導通にされるようにすることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を以下説明する。
（実施の形態１）
図１はこの発明による車両用ＥＣミラーの実施の形態を示す。基板３４は外形がミラー形状に形成された透明ガラス基板で構成され、その片面（外光の入射面側から見て裏面）にはＩＴＯ等の透明電極膜で構成された下部電極層３６が全面に形成されている。下部電極層３６には、所望の着色領域３７の輪郭上の主要部に沿って分割線３８が、着色領域３７を内側に取り囲むように四角形に形成されている。分割線３８は、下部電極層３６の面にレーザ光走査によるエッチングを施して、下部電極層３６を一定幅（例えば０．１ｍｍ以下）の細線状に欠落させた溝で構成されている。分割線３８の両端３８ａ，３８ｂは着色領域３７の輪郭から外れて基板３４の外周縁の相互に異なる位置にそれぞれ達して形成されている。これにより下部電極層３６は、分割線３８を境に、互いに非導通な内外２つの領域３６ａ，３６ｂに分割されている。内側の領域３６ａは着色領域３７を含む着色領域形成部を構成し、着色領域の外形を特徴づける形状を有している。外側の領域３６ｂは着色領域３７を含まない非着色領域形成部を構成する。
【００１７】
下部電極層３６の上にはＥＣ層４０が成膜されている。ＥＣ層４０は例えば酸化イリジウム・酸化スズ混合物等による酸化発色層、Ｔａ２Ｏ５等による固体電解質層、ＷＯ３等による還元発色層を相互に同一形状で同一位置に順次積層して構成されている。ＥＣ層４０の各層は着色領域３７の全体を覆うように形成されている。ＥＣ層４０の外周縁は、基板３４の外周縁よりも内側で、基板３４の外周縁に沿ってミラー形状に形成されている。ＥＣ層４０の外周縁は、全体が着色領域３７よりも外側に形成されている。
【００１８】
ＥＣ層４０の上には、Ａｌ、Ｃｒ等の金属反射膜による上部電極層４２が成膜されている。上部電極層４２は着色領域３７の全体を覆うように形成されている。上部電極層４２の外周縁は全体が基板３４の外周縁よりも内側で、基板３４の外周縁に沿ってミラー形状に形成されている。上部電極層４２の外周縁は、下部電極層３６の非着色領域形成部３６ｂに対面する区間では全体が着色領域３７よりも外側でかつ一部がＥＣ層４０の外周縁よりも外側にはみ出して形成されている。これにより、上部電極層４２はＥＣ層４０の外周縁よりも外側にはみ出して形成された部分で下部電極層３６の非着色領域形成部３６ｂに導通する。上部電極層４２の外周縁は、下部電極層３６の着色領域形成部３６ａに対面する区間４２ａでは全体がＥＣ層４０の外周縁よりも内側で着色領域３７の輪郭上に沿って形成されている。また、上部電極層４２の外周縁は、分割線３８と交差する位置Ｐ１，Ｐ２の前後適宜の区間にわたりＥＣ層４０の外周縁よりも内側（すなわちＥＣ層４０の上）に形成されている。これにより、上部電極層４２は下部電極層３６の着色領域形成部３６ａと非導通とされている。
【００１９】
以上のようにして、ＥＣ層４０および上部電極層４２の外周縁全体が、基板３４の外周縁よりも内側の位置で基板３４の外周縁に沿ってミラー形状に形成され、かつ下部電極層３６の非着色領域形成部３６ｂに対面する位置で基板３４の外周縁と分割線３８との間に通されている。また、上部電極層４２の外周縁は、下部電極層３６の着色領域形成部３６ａに対面する位置ではＥＣ層４０の外周縁よりも内周側に位置し、下部電極層３６の非着色領域形成部３６ｂに対面する位置では多くの部分（半分以上の長さ）がＥＣ層４０の外周縁よりも外周側に位置し、非着色領域形成部３６ｂに対面する領域内の位置Ｐ３，Ｐ４でＥＣ層４０の外周縁と交差してＥＣ層４０の外周縁との内外位置関係を入れ替えるように形成されている。そして、下部電極層３６の着色領域形成部３６ａとＥＣ層４０と上部電極層４２とがすべて重なり合う領域の輪郭をもって着色領域３７の輪郭が画定されている。すなわち、分割線３８が着色領域３７の輪郭の主要部を構成し、上部電極層４２の外周縁が着色領域３７の輪郭の残りの部分（上部電極層４２の外周縁の区間４２ａ）を構成している。また、下部電極層３６の着色領域形成部３６ａは、上部電極層４２の外周縁位置４２ａを境に、基板３４の外形に倣ってミラー形状に形成されて着色領域３７を構成する領域３６ａａ（第１の領域）と、該領域３６ａａに連続しかつ着色領域３７を構成することなく基板３４の外周縁に至る領域３６ａｂ（第２の領域）とに分けられている。これら両領域３６ａａ，３６ａｂの境界部分の幅（上部電極層４２の外周縁の区間４２ａの長さ）は、着色領域３７の最大幅（着色領域３７の最大外形寸法）よりも短く構成されている。
【００２０】
基板３４の上下両辺部には電極引出部としてクリップ電極４４，４６が装着されている。クリップ電極４４は下部電極層３６の非着色領域形成部３６ｂを介して上部電極層４２に導通し、クリップ電極４６は下部電極層３６の着色領域形成部３６ａに導通している。基板３４には封止ガラス（図示せず）が接着剤で貼り合わされて積層膜が封止されている。クリップ電極４４，４６間に着色方向の電圧を印加するとＥＣ層４０の着色領域３７は着色する。次いで、クリップ電極４４，４６間に逆方向の電圧（消色方向の電圧）を印加しまたはクリップ電極４４，４６間を短絡するとＥＣ層４０は消色する。消色時に着色ぼけが生じるのは着色領域３７の輪郭のうち上部電極層４２の外周縁で構成される部分４２ａの周り（図１にハッチングで示した部分Ｅ）であり、この部分の長さは短いので着色ぼけが生じる区間を図２の従来構造に比べて短くすることができる。また、分割線３８が着色領域３７の輪郭の全長の多くの部分（半分以上の長さ）を構成しているので、分割線３８により着色領域３７の輪郭の主要部を構成して、該着色領域３７の外形を特徴づけることができる。
【００２１】
消色時に着色ぼけを生じる箇所が着色領域３７の輪郭のうち上部電極層４２の外周縁で構成される部分４２ａの周りだけである理由について説明する。図５は、図１のＩ部、ＩＩ部、ＩＩＩ部の断面構造をそれぞれ示したものである。ＥＣ層４０が、下層側から、酸化発色層として酸化イリジウム・酸化スズ混合層４８、固体電解質層としてＴａ２Ｏ５層５０、還元発色層としてＷＯ３層５２を順次積層して構成されているものとする。このような構造で、上側を−極、下側を＋極にして電圧を印加すると、Ｔａ２Ｏ５層５０に含まれている水分により、ＷＯ３層５２にＨ＋イオンが取り込まれて、ＷＯ３層５２が青色に着色する。同時に、酸化イリジウム・酸化スズ混合層４８にＯＨ−イオンが取り込まれて、酸化イリジウム・酸化スズ混合層４８も青色に着色する。このとき、図５（ａ）に示すＩ部では、ＥＣ層４０の分割線３８よりも外側に張り出した領域４０’は、その上下を同一電位の電極層４２，３６ｂで挟まれているのでＨ＋イオンやＯＨ−イオンは拡散せず、着色しない。したがって、上側を＋極、下側を−極にして消色電圧を印加しまたは上下両極を短絡して着色領域３７を消色したときに、領域４０’に着色ぼけは生じない。また、図５（ｂ）に示すＩＩ部においても同様に、ＥＣ層４０の分割線３８よりも外側に張り出した領域４０’のうち内側の部分４０’ａは、その上下を同一電位の電極層４２，３６ｂで挟まれているのでＨ＋イオンやＯＨ−イオンは拡散せず、着色しない。また、領域４０’のうち外側の部分４０’ｂは、上部電極層４２が存在しないものの、その内側の部分４０’ａにＨ＋イオンやＯＨ−イオンが拡散しないので、該外側の部分４０’ｂにもＨ＋イオンやＯＨ−イオンは拡散せず、着色しない。したがって、上側を＋極、下側を−極にして消色電圧を印加しまたは上下両極を短絡して着色領域３７を消色したときに、４０’に着色ぼけは生じない。これに対し、図５（ｃ）に示すＩＩＩ部では、ＥＣ層４０の分割線３８よりも外側に張り出した領域４０’に上側の電極層がないので、Ｈ＋イオンがＷＯ３層５２の該外側に張り出した領域４０’に拡散し、ＯＨ−イオンが酸化イリジウム・酸化スズ混合層４８の該外側に張り出した領域４０’に拡散して、この外側に張り出した領域４０’が着色する。この状態では、逆電圧を印加して消色しようとしても、Ｈ＋イオンおよびＯＨ−イオンがこの外側に張り出した領域４０’からＴａ２Ｏ５層５０に戻りきれなくなり、その結果この領域４０’の周り｛着色領域３７の輪郭のうち上部電極層４２の外周縁で構成される部分４２ａの周り（図１にハッチングで示した部分Ｅ）｝に着色ぼけが生じる。しかし、着色領域３７の輪郭のうち上部電極層４２の外周縁で構成される部分４２ａの長さは短いので、着色ぼけが生じる区間を短くすることができる。
【００２２】
図１の車両用ＥＣミラーの製造工程の一例を図６を参照して説明する。
（１）下部電極層としてＩＴＯ膜３６が全面に成膜されたＩＴＯ付きガラス基板３４を用意し、ＩＴＯ膜３６にレーザ光によるエッチングで分割線１４をミラー形状に形成し、ＩＴＯ膜３６を２つの領域３６ａ，３６ｂに分割する。
（２）基板３４の周縁部をミラー形状に切断する。
（３）基板３４の所定位置にＥＣ層形成用マスク部材５４を位置決めして被せて蒸着装置に収容し、ＥＣ層を構成する酸化発色層材料、固体電解質層材料、還元発色層材料を順次蒸着してＥＣ層４０を形成する。
（４）基板３４を蒸着装置から取り出し、ＥＣ層形成用マスク部材５４を取り外す。
（５）基板３４の所定位置に上部電極層形成用マスク部材５６を位置決めして被せて蒸着装置に収容し、上部電極層を構成する金属材料を蒸着して上部電極層４２を形成する。
（６）基板３４を蒸着装置から取り出し、上部電極層形成用マスク部材５６を取り外す。
（７）基板３４の上下両辺にクリップ電極４４，４６を装着する。さらに、基板３４に封止ガラスを接着剤で貼り合わせて、積層形成した膜を封止し、完成する。
【００２３】
（実施の形態２）
この発明による車両用メータの輝度調整機能付き前面カバー板の実施の形態を説明する。図７は車両のインストゥルメント・パネルを示す。インストゥルメント・パネル５８には、タコメータ６０やスピードメータ６２が配置されている。これらメータ６０，６２は円形に形成され、ＥＬ（エレクトロ・ルミネッサンス）による発光式文字表示や、バックライトを利用した数字・文字表示がなされる。メータ６０，６２その前面には輝度調整機能付き前面カバー板６４，６６がそれぞれ装着されている。前面カバー板６４，６６は、運転者の輝度調整操作により透過率が調整され、その結果輝度が調整される。
【００２４】
前面カバー板６４，６６の構造を図８に示す。基板６８は外形が円形の透明ガラス基板で構成され、その片面にはＩＴＯ等の透明電極膜で構成された下部電極層７０が全面に形成されている。下部電極層７０には、所望の円形の着色領域７２の輪郭上の主要部に沿って分割線７４が、着色領域７２を内側に取り囲むように円形に形成されている。分割線７４はレーザ光走査によるエッチングで下部電極層７０を一定幅（例えば０．１ｍｍ以下）の細線状に欠落させた溝で構成されている。分割線７４の両端７４ａ，７４ｂは着色領域７２の輪郭から外れて基板６８の外周縁の相互に異なる位置にそれぞれ達して形成されている。これにより下部電極層７０は分割線７４を境に、互いに非導通な内外２つの領域７０ａ，７０ｂに分割されている。内側の領域７０ａは着色領域７２を含む着色領域形成部を構成し、着色領域の外形を特徴づける形状を有している。外側の領域７０ｂは着色領域７２を含まない非着色領域形成部を構成する。
【００２５】
下部電極層７０の上にはＥＣ層７６が成膜されている。ＥＣ層７６は例えば酸化イリジウム・酸化スズ混合物等による酸化発色層、Ｔａ２Ｏ５等による固体電解質層、ＷＯ３等による還元発色層を相互に同一形状で同一位置に順次積層して構成されている。ＥＣ層７６の各層は着色領域７２の全体を覆うように形成されている。ＥＣ層７６の外周縁は、基板６８の外周縁よりも内側で、基板６８の外周縁に沿って円形に形成されている。ＥＣ層７６の外周縁は、全体が着色領域７２よりも外側に形成されている。
【００２６】
ＥＣ層７６の上には、ＩＴＯ等の透明電極膜で構成された上部電極層７８が成膜されている。上部電極層７８は着色領域７２の全体を覆うように形成されている。上部電極層７８の外周縁は全体が基板６８の外周縁よりも内側で、基板６８の外周縁に沿って円形に形成されている。上部電極層７８の外周縁は、下部電極層７０の非着色領域形成部７０ｂに対面する区間では全体が着色領域７２よりも外側でかつほぼ全部がＥＣ層７６の外周縁よりも外側にはみ出して形成されている。これにより、上部電極層７８はＥＣ層７６の外周縁よりも外側にはみ出して形成された部分で下部電極層７０の非着色領域形成部７０ｂに導通する。上部電極層７８の外周縁は、下部電極層７０の着色領域形成部７０ａに対面する区間７８ａでは全体がＥＣ層７６の外周縁よりも内側で着色領域７２の輪郭上に沿って形成されている。また、上部電極層７８の外周縁は、分割線７４と交差する位置Ｐ５，Ｐ６の前後適宜の区間にわたりＥＣ層７６の外周縁よりも内側（すなわちＥＣ層７６の上）に形成されている。これにより、上部電極層７８は下部電極層７０の着色領域形成部７０ａと非導通とされている。
【００２７】
以上のようにして、ＥＣ層７６および上部電極層７８の外周縁全体が、基板６８の外周縁よりも内側の位置で基板６８の外周縁に沿って円形に形成され、かつ下部電極層７０の非着色領域形成部７０ｂに対面する位置で基板６８の外周縁と分割線７４との間に通されている。また、上部電極層７８の外周縁は、下部電極層７０の着色領域形成部７０ａに対面する位置ではＥＣ層７６の外周縁よりも内周側に位置し、下部電極層７０の非着色領域形成部７０ｂに対面する位置ではほぼ全部がＥＣ層７６の外周縁よりも外周側に位置し、非着色領域形成部７０ｂに対面する領域内の位置Ｐ７，Ｐ８でＥＣ層７６の外周縁と交差してＥＣ層７６の外周縁との内外位置関係を入れ替えるように形成されている。そして、下部電極層７０の着色領域形成部７０ａとＥＣ層７６と上部電極層７８とがすべて重なり合う領域の輪郭をもって着色領域７２の輪郭が画定されている。すなわち、分割線７４が着色領域７２の輪郭の主要部を構成し、上部電極層７８の外周縁が着色領域７２の輪郭の残りの部分（上部電極層７８の外周縁の区間７８ａ）を構成している。また、下部電極層７０の着色領域形成部７０ａは、上部電極層７８の外周縁位置７８ａを境に、基板６８の外形に倣って円形に形成されて着色領域７２を構成する領域７０ａａ（第１の領域）と、該領域７０ａａに連続しかつ着色領域７２を構成することなく基板６８の外周縁に至る領域７０ａｂ（第２の領域）とに分けられている。これら両領域７０ａａ，７０ａｂの境界部分の幅（上部電極層７８の外周縁の区間７８ａの長さ）は、着色領域７２の最大幅（着色領域７２の最大外形寸法）よりも短く構成されている。
【００２８】
基板６８の相互に対向する上下辺部には電極引出部としてクリップ電極８０，８２が装着されている。クリップ電極８０は下部電極層７０の非着色領域形成部７０ｂを介して上部電極層７８に導通し、クリップ電極８２は下部電極層７０の着色領域形成部７０ａに導通している。基板６８には透明封止ガラス（図示せず）が透明接着剤で貼り合わされて積層膜が封止され、これにより前面カバー板６４，６６は全体が透明に構成されている。クリップ電極８０，８２間に着色方向の電圧を印加するとＥＣ層７６の着色領域７２は着色する。次いで、クリップ電極８０，８２間に逆方向の電圧（消色方向の電圧）を印加しまたはクリップ電極８０，８２間を短絡するとＥＣ層７６は消色する。消色時に着色ぼけが生じるのは着色領域７２の輪郭のうち上部電極層７８の外周縁で構成される部分７８ａの周り（図８にハッチングで示した部分Ｉ）であり、この部分の長さは短いので着色ぼけが生じる区間を短くすることができる。また、分割線７４が着色領域７２の輪郭の全長の多くの部分（半分以上の長さ）を構成しているので、分割線７４により着色領域７２の輪郭の主要部を構成して、該着色領域７２の外形を特徴づけることができる。
【００２９】
（実施の形態３）
この発明によるデジタルカメラ（スチルカメラ、ビデオカメラ等）用フィルタの実施の形態を図９に示す。１０ｍｍ×５ｍｍ程度の大きさの四角形の透明ガラス基板８４の片面にはＩＴＯ等の透明電極膜で構成された下部電極層８６が全面に形成されている。下部電極層８６には、所望の円形（例えば直径５ｍｍ）の着色領域８７の輪郭上の主要部に沿って分割線８８が着色領域８７を内側に取り囲むようにレーザ光走査によるエッチングで円形に形成され、これにより下部電極層８６は着色領域形成部８６ａと非着色領域形成部８６ｂに分割されている。下部電極層８６の上にはＥＣ層９０および上部電極層９２が着色領域８７全体を取り囲むように順次成膜されている。下部電極層８６の着色領域形成部８６ａ、同非着色領域形成部８６ｂ、ＥＣ層９０、上部電極層９２の位置関係は前記実施の形態２で説明したのと同じである。透明ガラス基板８４の対向する両辺にはクリップ電極９４，９６が装着されている。クリップ電極９４は下部電極層８６の非着色領域形成部８６ｂを介して上部電極層９２に導通し、クリップ電極９６は下部電極層８６の着色領域形成部８６ａに導通している。基板８４には透明封止ガラス（図示せず）が透明接着剤で貼り合わされて積層膜が封止され、これにより該フィルタは全体が透明に構成されている。このフィルタはデジタルカメラ内のＣＣＤ等の撮像素子の光軸上に配置され、別途配置される測光素子で測光される被写体の輝度が所定値以内のときは着色領域８７は消色され、所定値以上のときは着色領域８７は着色される。消色時に着色ぼけが生じるのは着色領域８７の輪郭のうち上部電極層９２の外周縁で構成される部分９２ａの周り（図９にハッチングで示した部分Ｊ）であり、この部分の長さは短いので着色ぼけが生じる区間を短くすることができる。また、分割線８８が着色領域８７の輪郭の全長の多くの部分（半分以上の長さ）を構成しているので、分割線８８により着色領域８７の輪郭の主要部を構成して、該着色領域８７の外形を特徴づけることができる。
【００３０】
なお、このような小型のＥＣ素子は、透明電極膜付きの１枚の大きな透明ガラス基板（例えば３００ｍｍ四方の正方形の基板）を用意し、これに複数のＥＣ素子の着色領域の輪郭に相当する位置に倣ってレーザエッチングで連続した単一または複数の分割線を形成し、基板全体を覆う１枚の大きなマスクを用いて個々のＥＣ素子の位置にＥＣ層を成膜し、さらに基板全体を覆う１枚の大きなマスクを用いて個々のＥＣ素子の位置に上部電極層を成膜し、積層膜を形成後基板を個々のＥＣ素子に切断して製造することもできる。このような方法によれば、一度に複数のＥＣ素子を製造することができ、大量生産が可能となる。
【００３１】
（実施の形態４）
この発明による表示素子の実施の形態を図１０に示す。基板９８は四角形の透明ガラス基板で構成され、その片面にはＩＴＯ等の透明電極膜で構成された下部電極層１００が全面に形成されている。下部電極層１００には、所望の着色領域１０２の輪郭上の主要部に沿って分割線１０４，１０６が、着色領域１０２を取り囲むように形成されている。分割線１０４，１０６はレーザ光走査によるエッチングで下部電極層１００を一定幅（例えば０．１ｍｍ以下）の細線状に欠落させた溝で構成されている。分割線１０４の両端１０４ａ，１０４ｂおよび分割線１０６の両端１０６ａ，１０６ｂは着色領域１０２の輪郭から外れて基板９８の外周縁の相互に異なる位置にそれぞれ達して形成されている。これにより下部電極層１００は分割線１０４，１０６を境に、互いに非導通な３つの領域１００ａ，１００ｂ，１００ｃに分割されている。領域１００ａは着色領域１０２を含む着色領域形成部を構成し、着色領域の外形（図１０の例では、アルファベットの「Ｍ」の形）を特徴づける形状を有している。領域１００ｂ，１００ｃは着色領域１０２を含まない非着色領域形成部を構成する。
【００３２】
下部電極層１００の上にはＥＣ層１０８が成膜されている。ＥＣ層１０８は例えば酸化イリジウム・酸化スズ混合物等による酸化発色層、Ｔａ２Ｏ５等による固体電解質層、ＷＯ３等による還元発色層を相互に同一形状で同一位置に順次積層して構成されている。ＥＣ層１０８の各層は着色領域１０２の全体を覆うように形成されている。ＥＣ層１０８の外周縁は、基板９８の外周縁よりも内側で、基板９８の外周縁に沿って四角形に形成されている。ＥＣ層１０８の外周縁は、全体が着色領域１０２よりも外側に形成されている。
【００３３】
ＥＣ層１０８の上には、ＩＴＯ等の透明電極膜で構成された上部電極層１１１が成膜されている。上部電極層１１１は着色領域１０２の全体を覆うように形成されている。上部電極層１１１の外周縁は全体が基板９８の外周縁よりも内側で、基板９８の外周縁に沿って四角形に形成されている。上部電極層１１１の外周縁は、下部電極層１００の非着色領域形成部１００ｂに対面する区間では全体が着色領域１０２よりも外側でかつほぼ全部がＥＣ層１０８の外周縁よりも外側にはみ出して形成されている。これにより、上部電極層１１１はＥＣ層１０８の外周縁よりも外側にはみ出して形成された部分で下部電極層１００の非着色領域形成部１００ｂに導通する。上部電極層１１１の外周縁は、下部電極層１００の着色領域形成部１００ａに対面する区間１１１ａ，１１１ｂでは全体がＥＣ層１０８の外周縁よりも内側で着色領域１０２の輪郭上に沿って形成されている。また、上部電極層１１１の外周縁は、分割線１０４と交差する位置Ｐ９，Ｐ１０，Ｐ１１，Ｐ１２の前後適宜の区間にわたりＥＣ層１０８の外周縁よりも内側（すなわちＥＣ層１０８の上）に形成されている。これにより、上部電極層１１１は下部電極層１００の着色領域形成部１００ａと非導通とされている。
【００３４】
以上のようにして、ＥＣ層１０８および上部電極層１１１の外周縁全体が、基板９８の外周縁よりも内側の位置で基板９８の外周縁に沿って四角形に形成され、かつ下部電極層１００の非着色領域形成部１００ｂに対面する位置で基板９８の外周縁と分割線１０４との間に通されている。また、上部電極層１１１の外周縁は、下部電極層１００の着色領域形成部１００ａに対面する位置ではＥＣ層１０８の外周縁よりも内周側に位置し、下部電極層１００の非着色領域形成部１００ｂに対面する位置ではほぼ全部がＥＣ層１０８の外周縁よりも外周側に位置し、非着色領域形成部１００ｂ、１００ｃに対面する領域内の位置Ｐ１３，Ｐ１４，Ｐ１５，Ｐ１６でＥＣ層１０８の外周縁と交差してＥＣ層１０８の外周縁との内外位置関係を入れ替えるように形成されている。そして、下部電極層１００の着色領域形成部１００ａとＥＣ層１０８と上部電極層１１１とがすべて重なり合う領域の輪郭をもって着色領域１０２の輪郭が画定されている。すなわち、分割線１０４，１０６が着色領域１０２の輪郭の主要部を構成し、上部電極層１１１の外周縁が着色領域１０２の輪郭の残りの部分（上部電極層１１１の外周縁の区間１１１ａ，１１１ｂ）を構成している。
【００３５】
基板９８の相互に対向する辺部には電極引出部としてクリップ電極１１３，１１５ａ，１１５ｂ（クリップ電極１１５ａ，１１５ｂのうち一方を省くこともできる。）が装着されている。クリップ電極１１３は下部電極層１００の非着色領域形成部１００ｂを介して上部電極層１１１に導通し、クリップ電極１１５（１１５ａ，１１５ｂ）は下部電極層１００の着色領域形成部１００ａに導通している。下部電極層１００の領域１００ｃは上部電極層１１１に導通している。基板９８には透明封止ガラス（図示せず）が透明接着剤で貼り合わされて積層膜が封止され、これにより表示素子は全体が透明に構成されている。クリップ電極１１３，１１５間に着色方向の電圧を印加するとＥＣ層１０８の着色領域１０２は着色し、アルファベットの「Ｍ」を表示する。次いで、クリップ電極１１３，１１５間に逆方向の電圧（消色方向の電圧）を印加しまたはクリップ電極１１３，１１５間を短絡するとＥＣ層１０８は消色する。消色時に着色ぼけが生じるのは着色領域１０２の輪郭のうち上部電極層１１１の外周縁で構成される部分１１１ａ、１１１ｂの周り（図１０にハッチングで示した部分Ｍ）であり、この部分の長さは短いので着色ぼけが生じる区間を短くすることができる。また、分割線１０４，１０６が着色領域１０２の輪郭の全長の多くの部分（半分以上の長さ）を構成しているので、分割線１０４，１０６により着色領域１０２の輪郭の主要部を構成して、該着色領域１０２の外形を特徴づけることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による車両用ＥＣミラーの実施の形態を示す背面図および断面図である。
【図２】従来実施されていた、固体型ＥＣ素子を使用した車両用ＥＣミラーを示す背面図および断面図である。
【図３】図２の車両用ＥＣミラーの製造工程を示す図である。
【図４】図２の車両用ＥＣミラーで生じる着色ぼけ現象を説明する図である。
【図５】図１のＩ部、ＩＩ部、ＩＩＩ部の断面構造をす図である。
【図６】図１の車両用ＥＣミラーの製造工程の一例を示す図である。
【図７】車両のインストゥルメント・パネルを示す正面図である。
【図８】図７のメータの前面に装着されている前面カバー板の構造を示す背面図および断面図である。
【図９】この発明による、デジタルカメラの撮像素子の光軸上に配置される露出調整素子の実施の形態を示す正面図である。
【図１０】この発明による表示素子の実施の形態を示す背面図および断面図である。
【符号の説明】
３４，６８，８４，９８…基板、３６，７０，８６，１００…下部電極層、３６ａ，７０ａ，８６ａ，１００ａ…着色領域形成部、３６ｂ，７０ｂ，８６ｂ，１００ｂ，１００ｃ…非着色領域形成部、３６ａａ，７０ａａ…第１の領域、３６ａｂ，７０ａｂ…第２の領域、３８，７４，８８，１０４，１０６…分割線、３８ａ，３８ｂ，７４ａ，７４ｂ…分割線の両端、４０，７６，９０，１０８…ＥＣ層、４２，７８，９２，１１１…上部電極層、４２ａ，７８ａ，９２ａ，１１１ａ，１１１ｂ…着色領域の輪郭のうち上部電極層の外周縁で構成される部分、４４，４６，８０，８２，９４，９６，１１３，１１５ａ，１１５ｂ…クリップ電極、４８，５２…発色層、５０…固体電解質層、５４，５６…マスク、６４，６６…車両用メータの輝度調整機能付き前面封止板。
【図１】
2004170477.tif 000003
【図２】
2004170477.tif 000004
【図３】
2004170477.tif 000005
【図４】
2004170477.tif 000006
【図５】
2004170477.tif 000007
【図６】
2004170477.tif 000008
【図７】
2004170477.tif 000009
【図８】
2004170477.tif 000010
【図９】
2004170477.tif 000011
【図１０】
2004170477.tif 000012