(57)【要約】【目的】装置の設置面積および装置自体を大型化することなく、かつワークに対するエージング時間を長くすることが出来る試験装置を提供する。【構成】被試験体が載置されるトレイを所定ピッチ毎に奇数個支持部材に配設し、トレイを搬送する際には支持部材をトレイが配設される所定ピッチの倍ピッチ分移動するよう駆動してこれを単位搬送量とするよう構成した。また、支持部材を回転駆動可能に形成し、その回転中心に対して同じ所定の角度をなすよう奇数個のトレイを環状に支持し、トレイを搬送する際には支持部材を所定の角度の倍角度回転駆動してこれを単位搬送量とするよう構成した。【選択図】　　　　図１
2004045057.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験体が載置され、装置内を搬送されるトレイを有する電子部品試験装置において、
上記トレイが奇数個所定ピッチ毎に配設される支持部材と、当該支持部材を駆動することにより上記トレイを搬送する駆動手段とからなり、上記トレイを搬送する際には、上記支持部材を上記所定ピッチの倍ピッチ分駆動して、これを単位搬送量とする搬送機構を有することを特徴とする電子部品試験装置。
【請求項２】
上記支持部材は回転駆動可能に形成されるとともに、その回転中心に対して同じ所定の角度をなすよう奇数個のトレイが環状に支持され、上記トレイを搬送する際には、上記支持部材を上記所定の角度の倍角度回転駆動して、これを単位搬送量とすることを特徴とする請求項１記載の電子部品試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子或いはこれを含む電子回路、基板、部品等の試験を行う装置に関し、更に詳しくは、大量の被試験体を所定の温度下に所定時間保持して環境試験を行う試験装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図３は電子部品等の環境試験を行う試験装置を示す図であり、図において１は試験装置本体、２は恒温槽、３は一対のスプロケットおよびこれに歯合，巻回されるチェーンよりなる搬送機構、４はトレイ、５はワークである。この種の試験装置は、被試験体である電子部品等（以下ワークという）の生産工程中に試験が行えるように、ワーク５が試験装置１の投入口２１から恒温槽２内に投入され、搬送機構により順次搬送されて所定の環境下に晒された後、排出口２２より排出されるよう構成されている。
ワーク５が載置されて恒温槽２内を搬送されるトレイ４（図３下図に示す）は、恒温槽２の投入口２１および排出口２２側に設けられる一対のスプロケット３１，３２に歯合、巻回されるチェーン３３に一定間隔をもって複数個固定され、このスプロケット３１，３２を回転駆動することによりトレイ４上に載置されたワーク５を上記投入口２１から搬出口２２まで搬送するよう構成されている。
この試験装置により環境試験を行う場合、恒温槽２の投入口２１よりローダ或いはロボット等の手段によりワーク５をトレイ４に載置し、スプロケット３１，３２を所定量回転させることによりトレイ４を単位距離分移動させてワーク５を搬送する。また、これにより恒温槽２の投入口２１の近傍には新たなトレイ４が位置づけられ、上記投入口２１より続くワーク５をトレイ４に載置するとともに、ワーク５の搬送経路下流側となる排出口２２においては、スプロケット３１，３２が所定量回転される毎に一定期間恒温槽２の環境下に晒されたワーク５が位置づけられ、アンローダ或いはロボット等の手段により排出口２２からこれを取り出して、ワーク５の生産工程における次の工程、或いは特性試験に供するよう構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
大量のワークを長時間所定の環境下に晒して試験を行う場合は、図３上図の平面図に示されるように、複数のワークが搬送方向に直行する方向に配列して載置できるようにトレイを構成してこれを一つの群とし、この一群毎に搬送方向に順次搬送するいわゆる多列搬送方式の構造を採用するのが一般的であるが、例えばワークが熱伝達率の低い素材であり、これに対して高温度特性試験を行うような場合においては、ワークを十分な温度にするためにこれを恒温槽内に長時間格納する、すなわちエージング時間を長くする必要があるが、上述の試験装置においては、ワークの搬送動作の間隔を長くするか、或いはワークの搬送方向に配設されるトレイの数を増やすことにより恒温槽内の搬送距離を長くすることが考えられる。しかしながら、前者の場合は時間当たりに処理できるワークの数が減少して処理効率の低下を招くこととなり、後者の場合は試験装置自体がワークの搬送方向に著しく大型化してしまうといった不具合を生じていた。更に、排出口においてワークが取り出されたトレイから、スプロケットを経由して投入口に搬送される間のトレイにはワークを載置することが出来ないので、処理するワークの数が増えるとこれに応じて部品点数が略倍程度増えることとなり、装置の大型化のみならず製作コストの上昇を招いてしまうといった不具合を生じていた。
【０００４】
本発明はこれら不具合を解決するためになされたもので、装置の設置面積および装置自体を大型化することなく、かつワークに対するエージング時間を長くすることが出来る試験装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の電子部品試験装置においては、被試験体が載置されるトレイを所定ピッチ毎に奇数個支持部材に配設し、トレイを搬送する際には支持部材をトレイが配設される所定ピッチの倍ピッチ分移動するよう駆動してこれを単位搬送量とするよう構成した。また、支持部材を回転駆動可能に形成し、その回転中心に対して同じ所定の角度をなすよう奇数個のトレイを環状に支持し、トレイを搬送する際には支持部材を所定の角度の倍角度回転駆動してこれを単位搬送量とするよう構成した。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の電子部品試験装置を詳細に説明する。
図１は本発明の電子部品試験装置の構成を示す図で、上述の従来の試験装置と同等な構成については同一符号を以て示されている。
図において６は恒温槽２内に設けられるトレイ支持部であり、図示しない回転駆動機構により回転駆動される回転軸６１と、この回転軸６１の両端部に固定される円板状に形成された一対のトレイ支持部材６０により構成されている。本願発明の電子部品試験装置においては、図１下図の側面図に示されるように、被試験体であるワークを載置する複数のトレイ４がトレイ支持部材６０に環状に配設されている。また、トレイ４は各々支持部材６０に対して回動自在に吊り下げられるようゴンドラ状に取り付けられており、これによりトレイ支持部６が回動してどの位置に位置づけられていても、水平姿勢が保たれるよう構成されている。更に、これら複数のトレイ４は回転軸６１に対してそれぞれ所定角度θをなすように、支持部材６０に奇数個環状に取り付けられている。本実施例においては、支持部材６０には９個のトレイ４が取り付けられており、各々所定角度θが４０°をなすよう構成されている。
【０００７】
次に本発明の電子部品試験装置の動作について説明する。
図１下図に示される状態（即ちトレイ４の何れか一つが支持部材６０の最上位位置に位置づけられる状態）において、投入口２１に対向してワーク５の載置が行われるトレイ４の位置をＡ、排出口２２に対向してワーク５の取り出しが行われるトレイの位置をＢとする。
ここで説明の便宜上、図２（Ａ）に示すように何れのトレイ４にもワーク５が載置されていない初期状態からの動作を考える。この状態で、ローダー或いはロボット等の手段を用いて、投入口２１より位置Ａに位置づけられたトレイ４０にワーク５を載置する。（この時、位置Ｂのトレイ４にはワーク５は載置されていないので、取り出し動作は行われない。）
本発明の電子部品試験装置においては、ワーク５が載置されたトレイ４を搬送するために、上記所定角度θの倍角度、即ち本実施例の場合は８０°トレイ支持部６を回転駆動してこれを単位搬送動作とするよう構成されている。これにより、トレイ４０は図２（Ｂ）に示される位置に位置づけられ、この時位置Ａには図２Ａにおいて位置Ｂに位置づけられていたトレイ４が位置づけられ、これにワーク５の載置動作が行われる。以降同様に、単位搬送動作によりトレイ４は２θ、即ち本実施例の場合は８０°ずつ回転して移動する。図２（Ｂ）の状態から２回搬送動作が行われると、最初にワーク５が載置されたトレイ４０は図２（Ｃ）に示す位置に位置づけられ、更にもう１回搬送動作が行われると、トレイ４０は更に８０°回転移動して図２（Ｄ）に示すように、ワーク取り出し位置であるＢを通過して支持部材６０の最上位位置に位置づけられ、更に単位搬送動作が行われると、トレイ４０はワーク載置位置であるＡを通過する（図２（Ｅ））。即ち、トレイ４０にワーク５が載置されてから支持部材６０が一回転するように搬送動作が行われても、ワーク５の取り出し動作が行われることなく二回転目の搬送動作に移行するよう構成されている。
続いて３回の単位搬送動作が行われることにより、トレイ４０はワーク取り出し位置であるＢに位置づけられる（図２（Ｆ））。この位置Ｂにおいて、アンローダ或いはロボット等の手段によりトレイ４０上に載置されているワーク５の取り出し動作が行われる。
【０００８】
このように、本願発明の電子部品試験装置においては、ワークを載置するトレイを所定の角度をなして奇数個環状に支持するとともに、単位搬送動作によりトレイを所定角度の倍角度回転させるよう構成したのでワークの載置から取り出しまでに恒温槽内において支持部材が略二回転することとなり、ワークを十分恒温槽内の環境に晒すことができる。即ち、上述の従来の装置と比較すると、図３に示す装置も恒温槽内においてワークを載置することが可能なトレイの数が八個であり、かつワークの載置から取り出しまでの搬送動作が八回と同じであるが、本願発明によれば、搬送経路の方向、即ちワークの投入口２１から排出口２２の方向について要する装置のスペースが少なくてよく、尚かつ十分（同等）なエージング時間を確保することが可能となる。更に、恒温槽内でワークを載置することが出来ないトレーの数を少なくする、即ち部品点数を削減することが可能となる。
【０００９】
本実施例においては、トレイ支持部を回転駆動機構により回転駆動される回転軸６１と、この両端部に固定される円板状に形成された一対のトレイ支持部６０により構成し、このトレイ支持部６０に奇数個のトレイ４を環状に回動自在に吊り下げられるようゴンドラ状に取り付けて構成したが、これに限定されるものではなく、例えば図４に示すように、円板状に形成された支持部材を水平方向に回動自在に配設してターンテーブルを形成し、このトレイ支持部材としてのターンテーブル上に、ワークを載置するトレイを環状に奇数個、回転軸６１に対して同じ所定の角度をなすように支持して構成しても良い。また、トレイ支持部材としてのターンテーブルを図に示すように多段に形成すれば、より大量のワークを試験することが可能となる。更に、ターンテーブル状に配設されるトレイを、回転軸６１の方向に多段に載置可能なマガジン状に構成しても良い。
【００１０】
更に、本実施例のようにトレイ支持部材を円板状に形成せず、図３に示すようなチェーンおよびこれに巻回，歯合する一対のスプロケットで形成してもよい。即ち、この場合はトレイ４を本実施例の如くトレイ支持部材、即ちチェーンに対して回動自在に吊り下げられるようゴンドラ状に取り付け、スプロケットを回転駆動してチェーン（トレイ）がどの位置に位置づけられていても、水平姿勢が保たれるよう構成する。これにより、図３に示す搬出口からスプロケットを経由して投入口に搬送される間のトレイにもワークを載置することが可能となる。更に、このトレイをチェーンに対してそれぞれ所定ピッチ毎に奇数個取り付け、ワークの搬送時にはチェーンを所定ピッチの倍ピッチ分駆動してこれを単位搬送量として、所定の位置に設けた投入口並びに排出口によりワークの投入，取り出しを行うよう構成する。これにより、ワークの載置から取り出しまでに恒温槽内において支持部材が略二巡することとなり、ワークを十分恒温槽内の環境に晒すことができ、尚かつ搬送経路の方向について要するスペースを省いて小型化することが可能となる。
【００１１】
以上詳述したとおり、本発明の電子部品試験装置においては、被試験体が載置されるトレイを所定ピッチ毎に奇数個支持部材に配設し、トレイを搬送する際には支持部材をトレイが配設される所定ピッチの倍ピッチ分移動するよう駆動してこれを単位搬送量とするよう構成したので、装置の設置面積を削減し、装置自体を小型化することができるとともに、複雑な制御，管理を必要とすることなくワークに対するエージング時間を長くすることが出来るという効果を奏する。
【発明の効果】
以上詳述したとおり、本発明の電子部品試験装置においては、被試験体が載置され、装置内を搬送されるトレイを支持部材に複数個環状に配設し、この支持部材を回転することによりトレイに載置された被試験体を順次装置内を搬送するよう構成したので、装置の設置面積の削減および装置自体を小型化することができ、また支持部材にはその回転中心より同じ所定の角度をなして奇数個のトレイが環状に支持されるとともに、トレイを搬送する際には、支持部材を上記所定角度の倍角度回転させて、これを単位搬送量とするよう構成したので、複雑な制御を必要とせずワークに対するエージング時間を長くすることが出来るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電子部品試験装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の電子部品試験装置の動作を示す説明図である。
【図３】従来の電子部品試験装置の構成を示す図である。
【図４】トレイ支持部の他の実施態様を示す図である。
【符号の説明】
１　　　試験装置本体
２　　　恒温槽
３　　　搬送機構
４　　　トレイ
５　　　ワーク
６　　　トレイ支持部
【図１】
2004045057.tif 000003
【図２】
2004045057.tif 000004
【図３】
2004045057.tif 000005
【図４】
2004045057.tif 000006