(57)【要約】【課題】ＥＵＶ露光装置等において、ミラーを、或いはミラーを支持する支持部材を６軸方向に微動調整が可能で、高い剛性を有する駆動機構を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の駆動機構は、３個の一体型平面３節または一体型平面４節リンク機構を、可動部と固定部の間に、それぞれ回転の自由度を持つ軸受けを介して配置する事を特徴としている。【選択図】        図１
2004281644.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
３個の一体型平面３節または一体型平面４節リンク機構を、可動部と固定部の間に、それぞれ回転の自由度を持つ軸受けを介して配置する事を特徴とする駆動機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、精密な調整駆動装置、特に半導体や液晶デバイスを製造する工程において使用する露光装置の光学要素（レンズやミラーなど）の姿勢を微調整するための装置に関する。さらに詳細には、この姿勢調整とは、光学要素を原版（たとえばマスクあるいはレチクルなど）の像を対象物（たとえばウエハ）に投影露光する際、より正確な結像関係を得るために行う。
【０００２】
なお本発明で述べる機構は、上記のような光学要素調整以外には、３次元測定器や工作機械のワーク、精密移動テーブル、顕微鏡の試料台など可動部を６軸に走査させる用途に使用可能である。
【０００３】
【従来の技術】
半導体露光装置は、数多くの異なる種類のパターンを有する原版（レチクル）をシリコンウエハ（基盤）に転写する装置である。高集積度の回路を作成するためには、解像性能だけでなく重ね合わせ精度の向上が不可欠である。
【０００４】
半導体露光装置における重ね合わせ誤差はアライメント誤差、像歪み、および倍率誤差に分類される。アライメント誤差は、原版（レチクル）と基盤（ウエハ）との相対位置調整によって軽減することができる。一方、像ひずみや倍率誤差は、光学系の一部の光学要素を移動させることによって調整可能である。光学要素を光軸の方向に移動させる際には、この光学要素の移動方向への移動量の誤差や、移動方向以外の方向への移動成分、とりわけ平行偏芯、および傾き偏芯成分が大きくならないようにしなければならない。
【０００５】
従来の半導体露光装置用の光学要素移動装置としては、特開２０００−３５７６５１号公報に記載されているような、平行板ばねを用いた機構による装置が考案されている。
【０００６】
図１６（ａ）および（ｂ）は、従来の光学要素移動装置の上面図および断面図である。同図に示すように、従来の光学要素移動装置は、光学系の倍率、収差等の調整を行うための調整レンズ７と調整レンズ７を支持するセル８とを保持する可動台１および投影光学系の固定部分の一部をなす固定台２を有するリング状の板ばね１１は、可動台１、固定台２の両端面にそれぞれ封止するように固定されている。可動台１は円筒形状であるが、上面の外径と下面の外径が異なっている。また、同様に、固定台２も円筒形状であるが、上面の開口部の内径と下面の開口部の内径が異なっている。固定台２は、少なくとも１ヶ所の穴を有し、駆動流体の圧力変化、もしくは体積変化により、可動部の位置を変化させることができる。
【０００７】
その他の従来例としては、米国特許５９８６８２７号公報にあるような光学要素微調整装置があるが、この構造では、３軸の微動にとどまり、光学要素面内の調整を行うことができないため、高精度の光学要素の位置および姿勢調整を必要とする、用途には不十分である。
【０００８】
また別の従来例として、特開２００２−１３１６０５号公報があるが、腕の長いてこ（支点から力点或いは作用点との距離が長い）を用いた縮小機構によるため、低い固有振動数を持つことが予想される。固有振動数が低いと、装置外部からの振動を可動部に伝えてしまうため、高精度の位置、姿勢調整に用いるには好ましく無い上に、高速駆動が難しいという問題がある。
【０００９】
【特許文献１】
特開２０００−３５７６５１号公報
【特許文献２】
米国特許５９８６８２７号公報
【特許文献３】
特開２００２−１３１６０５号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
特開２０００−３５７６５１号公報では、光学要素の移動に伴う平行偏芯や傾き偏芯等の成分は、板ばねガイドの案内精度に依存している。また光学要素の初期位置および姿勢は、装置の組み立て精度に依存している。しかしながら半導体デバイスパターンの高精細化に伴い、光学要素には従来に比べて高い位置精度、姿勢精度、および収差等補正のための駆動位置決め精度が要求されるようになってきている。このため、特開２０００−３５７６５１号公報や米国特許５９８６８２７号公報に開示されているような、１軸あるいは３軸のみを駆動する装置では不十分であり、並進方向に直交３軸、およびその並進軸回り３軸の合計６軸を調整可能な装置が求められている。
【００１１】
また装置外部から入る振動による光学要素の位置ずれを軽減するために、上記６軸調整機構には同時に高い剛性が求められている。
【００１２】
そこで、本発明は、６軸方向に微動調整が可能で、高い剛性を有する駆動機構もしくは位置決め機構を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本願発明の駆動機構は、３個の一体型平面３節または一体型平面４節リンク機構を、可動部と固定部の間に、それぞれ回転の自由度を持つ軸受けを介して配置する事を特徴としている。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（第１の実施例）
図１に、本発明の第１の実施例の駆動機構の概要斜視図を示す。可動台１は、同図では貫通した穴が設けられてあるが、貫通した穴が開いていない部材であっても構わない。また、この可動台１は、例えば光学要素であるミラーやレンズでも良いし、あるいはレンズやミラーを支持するための保持部材であっても良い。また、ここでの光学要素は、露光装置、例えばＥＵＶ光を用いた露光装置の照明光学系や投影光学系に用いられる光学要素であることが好ましい。
【００１５】
図１に記載されているように、可動台１と、固定台２の間には、概ね円周上の等間隔に一体型差動リンク機構４が３個配置されている。ここで用いる一体型差動リンク機構４は、一体型平面４節リンク機構である。勿論、一体型平面４節リンク機構は３個である必要は無く、３個以上設けても構わないし、また、可動体の位置を拘束する他の部材がある場合には、１個或いは２個しか用いなくても構わない。
【００１６】
その一体型平面４節リンク機構の詳細を図３に示す。一体型平面４節リンク機構とは、５個のリンク部材が４つの節を介して所定の平面内で直列に連結されており、その５個のリンク部材と４つの節のすべてが前述の所定の平面内において移動可能であるような機構である。この一体型差動リンク機構４を図１のような６軸微動へ適用する場合には、リンク機構を形成する平面を、可動部１に取り付ける３点を通る円の概ね接線方向に一致させて配置しなくてはならない。
【００１７】
この一体型平面４節リンク機構の５つのリンク部材を、直接に連結している順に、第１リンク、第２リンク、第３リンク、第４リンク、第５リンクとし、第１リンクと第２リンクとの間の節を第１節、第２リンクと第３リンクとの間の節を第２節、第３リンクと第４リンクとの間の節を第３節、第４リンクと第５リンクとの間の節を第４節とすると、変位、或いは力を入力する入力リンク（図３における入力リンク１４）は、第１リンク、第５リンクの両者あるいはいずれか一方であり、可動台１（変位させる対象）にほぼ直接的に変位を与えるのは、第３リンク（図３における出力リンク１３）である。その入力リンクと出力リンクの間にあるリンクは、連結リンク１０と称している。本実施例では、入力リンク１４が２つ、連結リンク１０が２つ、出力リンク１３が１つあり、それらを弾性ヒンジ５を介して直列に連結している。
【００１８】
この第１の実施例においては、節の部分に弾性を持たせているが、必ずしも弾性を有していないといけない訳ではなく、５個のリンク部材を所定の平面内での移動を可能にしつつ連結していれば、特に弾性部材（弾性ヒンジ、板ばね等）に限られない。例えば、蝶番のように弾性が無いが所定の平面内でしか移動できないような部材を節として採用しても構わない。
【００１９】
また、本実施例では、一体型平面４節リンク機構の４つの節のうち、１つのリンクの両端の節（第１節と第２節、第２節と第３節、第３節と第４節）の距離が常に一定であり、可動台（変位させる対象）の位置が互いに異なるような変位を可動台に与える場合に関しては、両端の節（第１節と第４節）間の距離も互いに異なるように構成されている。さらに、両端の節（第１節と第４節）とその両端の節と隣り合う節との距離（ここでは、第１節と第２節間の距離、第３節と第４節間の距離）を等しくすると、構成上バランスが取れ安定性に優れた構造になる。
【００２０】
一体型差動リンク機構４と固定台２の間には、可動台の半径方向（一体型差動リンク機構の平面と垂直な方向）に回転可能（変位可能）な弾性ヒンジを、一体型差動リンク機構４と可動台１の間には、可動台の接線方向（一体型差動リンク機構の平面と平行で、可動台と略平行な方向）に回転可能（変位可能）な弾性ヒンジが設けられている。
【００２１】
固定台２と一体型差動リンク機構４の間の弾性ヒンジには、図２（ａ）、および（ｂ）に示すような円弧状の切り欠きを有し、所定の１方向に回転可能な弾性ヒンジを１つだけ用いている。一方、可動台１と一体型差動リンク機構４の間の弾性ヒンジには、図２（ａ）、（ｂ）に示すような円弧状の切り欠きを有し、所定の１軸に関して回転可能な弾性ヒンジを複数組み合わせたもの、あるいは図２（ｃ）のような回転対称形状の切り欠きを有し、所定の２軸に関して回転可能な（２軸の回転自由度を有する）弾性ヒンジを用いても良い。勿論、可動台１と一体型差動リンク機構４との間に図２（ａ）および（ｂ）に示すような円弧状の切り欠きを有し、所定の１方向に回転可能な弾性ヒンジを１つだけ用い、固定台２と一体型差動リンク機構４との間に、所定の１軸に関して回転可能な弾性ヒンジを複数組み合わせたもの、あるいは図２（ｃ）のような回転対称形状の切り欠きを有し、所定の２軸に関して回転可能な（２軸の回転自由度を有する）弾性ヒンジを用いても良い。また、可動台１と一体型差動リンク機構４との間、固定台２と一体型差動リンク機構４との間に、可動台の接線方向に回転可能な（一体型差動リンク機構が変位可能な平面内での回転が可能な）弾性ヒンジと、可動台の反径方向に回転可能な（一体型差動リンク機構が変位可能な平面及び可動台と一体型差動リンク機構との３点の接点で定義される平面の両者と垂直な平面内で回転が可能な）弾性ヒンジと、可動台の接線方向にも反径方向にも回転可能な弾性ヒンジ（図２の（ａ）（ｂ）の組み合わせでも、図２（ｃ）を用いても良い）とのいずれを用いても良い。なお図２（ａ）は、片欠き弾性ヒンジ、図２（ｂ）は両欠き弾性ヒンジである。
【００２２】
この第１の実施例においては、可動台１或いは固定台２と一体型差動リンク機構との間に、弾性を有する部材（例えば弾性ヒンジ、板ばね等）を用いているが、特に弾性部材に限られない。例えば、蝶番のように弾性が無いが所定の平面内でしか移動できないような部材を採用しても構わない。また、可動台１とリンク機構との間、固定台２とリンク機構との間の一方にのみ弾性（ヒンジ）部材を配置してもよいし、その両者に弾性部材を配置しなくても良い。但し、リンク機構全体の固有振動数を高く保つ方が好ましいという観点で考えると、一体型差動リンク機構４と可動台１或いは固定台２との間には、弾性を有する部材を配置するのが好ましい。
【００２３】
この機構の概要および基本動作図を図４（ａ）に示す。二つの入力要素３による入力変位をそれぞれｘ１とｘ２とする。この入力変位に伴って、弾性ヒンジ５が回転し、出力リンク１３は水平方向にｘ１２、垂直方向にｚ１２だけ変位する。この関係は幾何学的に求めることができ、概ね
【外１】
2004281644.tif 000003
2004281644.tif 000004
と求めることができる。ここに、ａ、およびｌは形状を決定するパラメータであり、図４（ａ）に示すとおりである。
【００２４】
図５は、ステージが各軸方向へ移動した場合の、それぞれの微動機構の移動量との関係を幾何学的に示している。三つの微動機構の接線方向変位量をそれぞれｘ１２、ｘ３４、およびｘ５６（それぞれ反時計方向を正）とし、中心方向への移動量をそれぞれｒ１２、ｒ３４、およびｒ５６とする。ステージが剛であるとすると、各微動機構の移動量は概略次のように求めることができる。
【００２５】
【外２】
2004281644.tif 000005
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【００２６】
【外３】
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【００２７】
【外４】
2004281644.tif 000009
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ここにＲは中心から微動機構までの半径である。
【００２８】
式（１）を式（２）および（４）に代入して整理すると、各入力要素３の変位と、ステージの６軸方向の関係を求めることができる。
【００２９】
【外５】
2004281644.tif 000011
2004281644.tif 000012
【００３０】
このような機構の入力要素３（変位付与手段）としては、圧電素子や、ベローズやシリンダなどの流体を封入したアクチュエータや、リニアモータなどの電磁式直動アクチュエータ、あるいは回転モータを、直動変換機構を介して用いることもできる。圧電素子を入力元とした送りねじなども同様に使用可能である。
【００３１】
ステージの姿勢計測は、駆動させる６軸行うのが望ましい。その手段としては、レーザ干渉計、渦電流センサ、静電容量変位計、リニアエンコーダ、差動トランスなどを必要精度に応じて用いることが出来る。
【００３２】
精密なステージ駆動のためには、図６に示すようなサーボ制御系を組むのが好ましい。この例では、上述の計測手段によるステージの姿勢計測結果を用いて、位置制御を行う。なお本実施例の場合、各入力要素３への指令値は、式（５）に従った推力分配を用いて行うのがよい。
【００３３】
本実施例で示した一体型平面４節リンク機構は、図３で示した配置以外に、図４（ｂ）、（ｃ）のような変形が考えられる（ここでは概要・基本動作図のみ示す）。図４（ｂ）はリンクの配置を折り返した場合、図４（ｃ）は図４（ａ）の配置を９０度回転させた配置であり、入力要素３にせん断方向の力（可動部の重さなど）が掛かるのを軽減している。この場合、式（１）で示した入出力変位間の関係は、文字変数の入れ替えにしたがって、入れ替えて考えなければならない。この他、図４（ｃ）の配置で、リンクを紙面左右に折り返した配置（図４（ａ）と（ｂ）の関係のような折り返し）などもこの一変形として実現可能であるが、ここでは図示しない。
【００３４】
ここで、入力リンクに与えられる変位（或いは力）は、一体型平面４節リンク機構が変位可能な平面内の方向ならどのような方向の変位（或いは力）でも構わない。その具体的な例については後述する第３実施例に示す。
【００３５】
（第２の実施例）
図７に、本発明の第２の実施例の概要斜視図を示す。第１の実施例との共通の部材に関しては共通の符号を付す。可動台１は、光学要素であるミラーあるいはレンズ、もしくはレンズやミラーを支持するための保持部材である。
【００３６】
可動台１と、固定台２の間には、概ね円周上等間隔に一体型差動リンク機構４が３個配置されている。一体型差動リンク機構４と可動台１の間、および一体型差動リンク機構４と固定台２の間には、半径方向（一体型差動リンク機構が変位可能な平面と垂直な方向）と接線方向に回転可能な弾性ヒンジの両方、またはいずれかがそれぞれ設けてある。
【００３７】
この可動台１と一体型差動リンク機構４の間、および固定台２と一体型差動リンク機構４の間の弾性ヒンジは、図２（ａ）、および（ｂ）に示すような、円弧状切り欠きの弾性ヒンジのいずれか一方を用いても、その両者を組み合わせても、図２（ｃ）のような回転対称形状でも良い。その他代替手段に関しては、第１の実施例と同様である。
【００３８】
この第２の実施例と第１の実施例との違いは、一体型差動リンク機構として、図８に示すような一体型平面３節リンク機構を用いた点である。図８はその一体型平面３節リンク機構の詳細図である。図８に記載のように、４つのリンク部材を３つの節を介して直列に連結したリンク機構である。
【００３９】
この一体型平面３節リンク機構の４つのリンク部材を、直接に連結している順に、第１リンク、第２リンク、第３リンク、第４リンクとし、第１リンクと第２リンクとの間の節を第１節、第２リンクと第３リンクとの間の節を第２節、第３リンクと第４リンクとの間の節を第３節とすると、変位、或いは力を入力する入力リンク（図８における入力リンク１４）は、第１リンク、第４リンクの両者あるいはいずれか一方であり、可動台１（変位させる対象）にほぼ直接的に変位を与えるのは、第２リンク或いは第３リンク（図８における連結リンク１３）である。本実施例では、入力リンク１４が２つ、連結リンク１０が２つあり、それらを弾性ヒンジ５を介して直列に連結している。
【００４０】
この第２の実施例においても、第１の実施例と同様に節の部分に弾性を持たせているが、必ずしも弾性を有していないといけない訳ではなく、４個のリンク部材を所定の平面内での移動を可能にしつつ連結していれば、特に弾性部材（弾性ヒンジ、板ばね等）に限られない。例えば、蝶番のように弾性が無いが所定の平面内でしか移動できないような部材を節として採用しても構わない。また、可動台１とリンク機構との間、固定台２とリンク機構との間の一方にのみ弾性（ヒンジ）部材を配置してもよいし、その両者に弾性部材を配置しなくても良い。但し、リンク機構全体の固有振動数を高く保つ方が好ましいという観点で考えると、一体型差動リンク機構４と可動台１或いは固定台２との間には、弾性を有する部材を配置するのが好ましい。
【００４１】
また、この第２の実施例では、一体型平面３節リンク機構の３つの節のうち、１つのリンクの両端の節（第１節と第２節、第２節と第３節）の距離が常に一定であり、また、可動台（変位させる対象）の位置が互いに異なるような変位を可動台に与える場合に関しては、両端の節（第１節と第３）間の距離も互いに異なるように構成されている。さらに、両端の節（第１節と第３節）とその両端の節と隣り合う節との距離（ここでは、第１節と第２節間の距離、第２節と第３節間の距離）を等しくすると、構成上バランスが取れ安定性に優れた構造になる。
【００４２】
この一体型平面３節リンク機構４を図７のような６軸微動へ適用する場合には、リンク機構を形成する平面を、可動部１に取り付ける３点を通る円の概ね接線方向に一致させて配置しなくてはならない。
【００４３】
また、本実施例のリンク機構の場合、リンク機構の出力部１５は、連結リンク１０で挟まれた弾性ヒンジの近傍に置くのがよい。このように構成すると、出力部１５が連結リンク１０で挟まれた弾性ヒンジから離れて配置された場合に比較して、入力リンクへの入力変位（力）に対する出力部の変位を大きくすることができるという利点がある。連結リンクに挟まれた節（第２節）と出力部（の中心）との距離は、第２節とその隣の節（第１節、第３節）との間の距離の半分より短い、好ましくは４分の１より短いことが好ましい。ただし、出力部は、第２節に設けられている弾性ヒンジの運動に影響を与えないような距離だけ離れている必要があるため、連結リンクに挟まれた節（第２節）と出力部（の中心）との距離は、第２節とその隣の節（第１節、第３節）との間の距離の１０分の１より長い、もしくは出力部に取り付ける部材（可動台との連結に用いる部材）の幅の２倍より長い方が好ましい。
【００４４】
ここで、可動台との連結には、この出力部に接続された弾性ヒンジを介して行うのがよい。
【００４５】
この機構の概要図を図９（ａ）に示す。二つの入力要素３による入力変位をそれぞれｘ１とｘ２とする。この入力変位に伴って、弾性ヒンジ５が回転し、出力リンク１３は水平方向にｘ１２、垂直方向にｚ１２だけ変位する。この関係は幾何学的に求めることができ、概ね式（１）を用いることができる。
【００４６】
ステージの移動変位と、各入力要素３との関係は、第１の実施例と同様に求めることができ、本実施例の場合は、式（５）を用いることができる。
【００４７】
このような機構の入力要素３としては、圧電素子や、ベローズやシリンダなどの流体を封入したアクチュエータや、リニアモータなどの電磁式直動アクチュエータ、あるいは回転モータを、直動変換機構を介して用いることもできる。圧電素子を入力元とした送りねじなども同様に使用可能である。
【００４８】
ステージの姿勢計測は、駆動させる６軸行うのが望ましい。その手段としては、レーザ干渉計、渦電流センサ、静電容量変位計、リニアエンコーダ、差動トランスなどを必要精度に応じて用いることが出来る。
【００４９】
精密なステージ駆動のためには、図６に示すようなサーボ制御系を組むのが好ましい。この例では、上述の計測手段によるステージの姿勢計測結果を用いて、位置制御を行う。なお本実施例の場合、各入力要素３への指令値は、式（５）に従った推力分配を用いて行うのがよい。
【００５０】
本実施例で示した一体型平面３節リンク機構は、図８で示した配置以外に、図９（ｂ）、（ｃ）のような変形が考えられる（ここでは概要・基本動作図のみ示す）。図９（ｂ）はリンクの配置を折り返した場合、図９（ｃ）は図９（ａ）の配置を９０度回転させた配置であり、入力要素３にせん断方向の力（可動部の重さなど）が掛かるのを軽減している。この場合、式（１）で示した入出力変位間の関係は、文字変数の入れ替えにしたがって、入れ替えて考えなければならない。この他、図９（ｃ）の配置で、リンクを紙面左右に折り返した配置（図９（ａ）と（ｂ）の関係のような折り返し）などもこの一変形として実現可能であるが、ここでは図示しない。
【００５１】
ここで、入力リンクに与えられる変位（或いは力）は、一体型平面３節リンク機構が変位可能な平面内の方向ならどのような方向の変位（或いは力）でも構わない。その具体的な例については後述する第４実施例に示す。
【００５２】
（第３の実施例）
図１０に、本発明の第３の実施例の概要斜視図を示す。下に詳細に説明を記載しない部分に関しては第１の実施例と同様である。
【００５３】
本実施例では、可動台１と、固定台２の間には、概ね円周上等間隔に一体型差動リンク機構４が３個配置されている。この実施例において、一体型差動リンク機構は、一体型平面４節リンク機構である。
【００５４】
この第３実施例と第１実施例との違いは、図１０、１１、１２に示すように、入力リンクに与える変位或いは力の方向が第１実施例とは異なる点である。
【００５５】
第１実施例では、一体型平面４節リンク機構が変位可能な平面と平行で、且つ可動台１と略平行な方向の変位或いは力を、５つあるリンク部材のうちの両端の入力リンク（第１リンク、第５リンク）の両方或いは一方に与えていた。しかしながら、この第３実施例では、一体型平面４節リンク機構が変位可能な平面と平行で、且つ可動台１とリンク機構との３つの連結部とで定義される平面とほぼ垂直な方向の変位或いは力を、入力リンクの両方或いは一方に与える点において異なる。すなわち、入力リンクに与える変位或いは力の方向が異なる。
【００５６】
この機構の概要図を図１２（ａ）に示す。二つの入力要素３による入力変位をそれぞれｘ１とｘ２とする。この変位に伴って、弾性ヒンジ５が回転し、出力リンク１３は水平方向にｘ１２、垂直方向にｚ１２だけ変位する。この関係は幾何学的に求めることができ、概ね
【外６】
2004281644.tif 000013
2004281644.tif 000014
と求めることができる。ここに、ａ、およびｌは形状を決定するパラメータであり、図１２（ａ）に示すとおりである。
【００５７】
第１の実施例と同様に、式（６）を用いて、各入力要素３の変位と、ステージの６軸方向の関係を求めることができる。
【００５８】
このような機構の入力要素３としては、圧電素子や、ベローズやシリンダなどの流体を封入したアクチュエータや、リニアモータなどの電磁式直動アクチュエータ、あるいは回転モータを、直動変換機構を介して用いることもできる。圧電素子を入力元とした送りねじなども同様に使用可能である。
【００５９】
ステージの姿勢計測は、駆動させる６軸行うのが望ましい。その手段としては、レーザ干渉計、渦電流センサ、静電容量変位計、リニアエンコーダ、差動トランスなどを必要精度に応じて用いることが出来る。
【００６０】
精密なステージ駆動のためには、図６に示すようなサーボ制御系を組むのが好ましい。この例では、上述の計測手段によるステージの姿勢計測結果を用いて、位置制御を行う。なお本実施例の場合、各入力要素３への指令は、推力分配算出して行うのがよい。
【００６１】
本実施例で示した一体型平面４節リンク機構は、図１１で示した配置以外に、図１２（ｂ）のような変形が考えられる（ここでは概要・基本動作図のみ示す）。図１２（ｂ）は図１２（ａ）の配置を折り返した場合である。これにより省スペースで機構および入力要素３の配置が可能となる。この他に図１２（ａ）の配置を９０度回転させた構成や、さらにそのリンク機構を折り返した構成などが、これらの一変形として実現可能であるが、ここでは図示しない。
【００６２】
（第４の実施例）
図１３に、本発明の第４の実施例の概要斜視図を示す。下に詳細に説明を記載しない部分に関しては第２の実施例と同様である。
【００６３】
本実施例では、可動台１と、固定台２の間には、概ね円周上等間隔に一体型差動リンク機構４が３個配置されている。この実施例において、一体型差動リンク機構は、一体型平面３節リンク機構である。
【００６４】
この第４実施例と第２実施例とは、図１３、１４、１５に示すように、入力リンクに与える変位或いは力の方向が第２実施例とは異なる点である。
【００６５】
第２実施例では、一体型平面３節リンク機構が変位可能な平面と平行で、且つ可動台１と略平行な方向の変位或いは力を、４つあるリンク部材のうちの両端の入力リンク（第１リンク、第４リンク）の両方或いは一方に与えていた。しかしながら、この第４実施例では、一体型平面３節リンク機構が変位可能な平面と平行で、且つ可動台１とリンク機構との３つの連結部とで定義される平面とほぼ垂直な方向の変位或いは力を、入力リンクの両方或いは一方に与える点において異なる。すなわち、入力リンクに与える変位或いは力の方向が異なる。
【００６６】
図１４に一体型平面３節リンク機構の詳細図を示す。この一体型差動リンク機構４を図１３のような６軸微動へ適用する場合には、リンク機構を形成する平面を、可動部１に取り付ける３点を通る円の概ね接線方向に一致させて配置しなくてはならない。
【００６７】
また、本実施例のリンク機構の場合、リンク機構の出力部１５は、連結リンク１０で挟まれた弾性ヒンジの近傍に置くのがよい。このように構成すると、出力部１５が連結リンク１０で挟まれた弾性ヒンジから離れて配置された場合に比較して、入力リンクへの入力変位（力）に対する出力部の変位を大きくすることができるという利点がある。連結リンクに挟まれた節（第２節）と出力部（の中心）との距離は、第２節とその隣の節（第１節、第３節）との間の距離の半分より短い、好ましくは４分の１より短いことが好ましい。ただし、出力部は、第２節に設けられている弾性ヒンジの運動に影響を与えないような距離だけ離れている必要があるため、連結リンクに挟まれた節（第２節）と出力部（の中心）との距離は、第２節とその隣の節（第１節、第３節）との間の距離の１０分の１より長い、もしくは出力部に取り付ける部材（可動台との連結に用いる部材）の幅の２倍より長い方が好ましい。
【００６８】
ここで、可動台との連結には、この出力部に接続された弾性ヒンジを介して行うのが好ましい。
【００６９】
この機構の概要図を図１５に示す。二つの入力要素３による入力変位をそれぞれｘ１とｘ２とする。この変位に伴って、各弾性ヒンジ５が回転し、出力部１５は水平方向にｘ１２、垂直方向にｚ１２だけ変位する。この関係は幾何学的に求めることができ、概ね式（６）を用いて計算することができる。ここに、ａ、およびｌは形状を決定するパラメータであり、図９に示すとおりである。
【００７０】
第１の実施例と同様に、式（６）を用いて、各入力要素３の変位と、ステージの６軸方向の関係を求めることができる。
【００７１】
このような機構の入力要素３としては、圧電素子や、ベローズやシリンダなどの流体を封入したアクチュエータや、リニアモータなどの電磁式直動アクチュエータ、あるいは回転モータを、直動変換機構を介して用いることもできる。圧電素子を入力元とした送りねじなども同様に使用可能である。
【００７２】
ステージの姿勢計測は、駆動させる６軸行うのが望ましい。その手段としては、レーザ干渉計、渦電流センサ、静電容量変位計、リニアエンコーダ、差動トランスなどを必要精度に応じて用いることが出来る。
【００７３】
精密なステージ駆動のためには、図６に示すようなサーボ制御系を組むのが好ましい。この例では、上述の計測手段によるステージの姿勢計測結果を用いて、位置制御を行う。なお本実施例の場合、各入力要素３への指令は、推力分配算出して行うのがよい。
【００７４】
本実施例で示した一体型平面３節リンク機構は、図１４で示した配置以外に、図１５（ｂ）のような変形が考えられる（ここでは概要・基本動作図のみ示す）。図１５（ｂ）は図１５（ａ）の配置を折り返した場合である。これにより省スペースで機構および入力要素３の配置が可能となる。この他に図１５（ａ）の配置を９０度回転させた構成や、さらにそのリンク機構を折り返した構成などが、これらの一変形として実現可能であるが、ここでは図示しない。
【００７５】
上述してきた第１乃至４実施例は、上述のようなリンク機構を有する駆動機構に限られるものではない。例えば、上述のような駆動機構における可動台（可動部）がミラーやレンズ等の光学素子、もしくは光学素子を支持する支持部材であり、これらの光学素子を用いた光学機器であっても構わない。特に、光源からの光で被露光体を露光するような露光装置に適用することも可能である。その際、露光装置が有する、光源からの光でマスク等のパターンを照明する照明光学系、或いはマスク等のパターンからの光を被露光体上に投影する投影光学系のいずれが上記の駆動機構を有していても構わない。
【００７６】
さらに好ましくは、上記の露光装置で用いる光源がＥＵＶ光（波長１３ｎｍ〜１４ｎｍ）であり、光源からマスク、被露光体までの光路、すなわち光学素子周辺の雰囲気が真空であるような露光装置に適用するのが好ましい。その場合、光学素子はＭｏ膜とＳｉ膜或いはＭｏ膜とＢｅ膜を複数ずつ積層した多層膜を表面に形成した反射部材であり、ＥＵＶ光に対する反射率が６０％以上であることが好ましい。
【００７７】
（第５の実施例）
次に、図１７及び図１８を参照して、上述の露光装置（上述の駆動機構を有する露光装置）を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。図１７は、デバイス（ＩＣやＬＳＩなどの半導体チップ、ＬＣＤ、ＣＣＤ等）の製造を説明するためのフローチャートである。本実施形態においては、半導体チップの製造を例に説明する。ステップ１（回路設計）では、デバイスの回路設計を行う。ステップ２（マスク製作）では、設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。ステップ３（ウェハ製造）では、シリコンなどの材料を用いてウェハを製造する。ステップ４（ウェハプロセス）は、前工程と呼ばれ、マスクとウェハを用いてリソグラフィー技術によってウェハ上に実際の回路を形成する。ステップ５（組み立て）は、後工程と呼ばれ、ステップ４によって作成されたウェハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６（検査）では、ステップ５で作成された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テストなどの検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷（ステップ７）される。
【００７８】
図１８は、ステップ４のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。ステップ１１（酸化）では、ウェハの表面を酸化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）では、ウェハの表面に絶縁膜を形成する。ステップ１４（イオン打ち込み）では、ウェハにイオンを打ち込む。ステップ１５（レジスト処理）では、ウェハに感光剤を塗布する。ステップ１６（露光）では、露光装置１によってマスクの回路パターンをウェハに露光する。ステップ１７（現像）では、露光したウェハを現像する。ステップ１８（エッチング）では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジスト剥離）では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによってウェハ上に多重に回路パターンが形成される。本実施形態のデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。このように、上述の露光装置を使用するデバイス製造方法、並びに結果物としてのデバイスも本発明の一側面を構成する。
【００７９】
また、本発明の実施態様は以下のように記載することができる。
【００８０】
（実施態様１）
固定部と、可動部と、前記固定部と前記可動部とを連結する連結部材とを有し、前記連結部材が少なくとも１つの一体型平面３節リンク機構または一体型平面４節リンク機構を有することを特徴とする駆動機構（位置決め機構）。
【００８１】
（実施態様２）
前記固定部と少なくとも１つの一体型平面３節リンク機構または一体型平面４節リンク機構との間及び前記可動部と少なくとも１つの一体型平面３節リンク機構または一体型平面４節リンク機構との間の少なくとも一方に、第１方向に関しては変形可能で前記第１方向と直交する第２方向に関しては剛体である変形部材を有することを特徴とする実施態様１記載の駆動機構。
【００８２】
（実施態様３）
前記固定部と少なくとも１つの一体型平面３節リンク機構または一体型平面４節リンク機構との間及び前記可動部と少なくとも１つの一体型平面３節リンク機構または一体型平面４節リンク機構との間の少なくとも一方に、第１方向に関しては変形可能で前記第１方向と直交する第２方向に関しても変形可能な変形部材を有することを特徴とする実施態様１又は２記載の駆動機構。
【００８３】
（実施態様４）
前記変形部材は、弾性部材であることを特徴とする実施態様２又は３いずれかに記載の駆動機構。
【００８４】
（実施態様５）
前記一体型平面３節リンク機構は、第１入力リンク、第１連結リンク、第２連結リンク、第２入力リンクの順に、第１節、第２節、第３節を介して直列に連結されていることを特徴とする実施態様１乃至４いずれかに記載の駆動機構。
【００８５】
（実施態様６）
前記第１入力リンクと前記第２入力リンクのうち少なくとも一方に変位（もしくは力）を与える入力要素（変位付与手段）を有することを特徴とする実施態様５記載の駆動機構。
【００８６】
（実施態様７）
前記入力要素が前記第１入力リンクと前記第２入力リンクのうちの少なくとも一方に与える変位の方向が、前記一体型平面３節リンク機構が有する前記第１節、第２節、第３節により定義される平面と平行であることを特徴とする実施態様６記載の駆動機構。
【００８７】
（実施態様８）
前記入力要素が前記第１入力リンクと前記第２入力リンクのうちの少なくとも一方に与える変位の方向が、前記第１節と前記第３節とを結ぶ直線と実質的に平行であることを特徴とする実施態様６又は７記載の駆動機構。
【００８８】
（実施態様９）
前記第１連結リンクと前記第２連結リンクとの少なくとも一方が出力部を有し、前記入力要素が前記第１入力リンクと前記第２入力リンクのうち少なくとも一方に変位を与えることにより、前記出力部が変位することを特徴とする実施態様６乃至８いずれかに記載の駆動機構。
【００８９】
（実施態様１０）
前記第１節と前記第２節との距離、及び前記第２節と前記第３節との距離が実質的に一定であることを特徴とする実施態様５乃至９いずれかに記載の駆動機構。
【００９０】
（実施態様１１）
前記第１節と前記第２節との距離と前記第２節と前記第３節とが実質的に等しいことを特徴とする実施態様５乃至１０いずれかに記載の駆動機構。
【００９１】
（実施態様１２）
前記一体型平面４節リンク機構は、第１入力リンク、第１連結リンク、出力リンク、第２連結リンク、第２入力リンクの順に、第１節、第２節、第３節、第４節を介して直列に連結されていることを特徴とする実施態様１乃至４いずれかに記載の駆動機構。
【００９２】
（実施態様１３）
前記第１入力リンクと前記第２入力リンクのうち少なくとも一方に変位（もしくは力）を与える入力要素（変位付与手段）を有することを特徴とする実施態様１２記載の駆動機構。
【００９３】
（実施態様１４）
前記入力要素が前記第１入力リンクと前記第２入力リンクのうちの少なくとも一方に与える変位の方向が、前記一体型平面３節リンク機構が有する前記第１節、第２節、第３節により定義される平面と平行であることを特徴とする実施態様１３記載の駆動機構。
【００９４】
（実施態様１５）
前記入力要素が前記第１入力リンクと前記第２入力リンクのうちの少なくとも一方に与える変位の方向が、前記第１節と前記第３節とを結ぶ直線と実質的に平行であることを特徴とする実施態様１３又は１４記載の駆動機構。
【００９５】
（実施態様１６）
前記第１連結リンクと前記第２連結リンクとの少なくとも一方が出力部を有し、前記入力要素が前記第１入力リンクと前記第２入力リンクのうち少なくとも一方に変位を与えることにより、前記出力部が変位することを特徴とする実施態様１３乃至１５いずれかに記載の駆動機構。
【００９６】
（実施態様１７）
前記第１節と前記第２節との距離、及び前記第２節と前記第３節との距離が実質的に一定であることを特徴とする実施態様１２乃至１６いずれかに記載の駆動機構。
【００９７】
（実施態様１８）
前記第１節と前記第２節との距離と前記第２節と前記第３節とが実質的に等しいことを特徴とする実施態様１２乃至１７いずれかに記載の駆動機構。
【００９８】
（実施態様１９）
前記節は、弾性を有していることを特徴とする実施態様５乃至１８いずれかに記載の駆動機構。
【００９９】
（実施態様２０）
前記節は、弾性ヒンジであることを特徴とする実施態様１９記載の駆動機構。
【０１００】
（実施態様２１）
前記少なくとも１つの一体型平面３節リンク機構または一体型平面４節リンク機構が有する複数のリンクは、一体的に形成されていることを特徴とする実施態様１乃至２０いずれかに記載の駆動機構。
【０１０１】
（実施態様２２）
前記固定部と前記可動部との間に、前記連結手段が少なくとも３つ有し、前記可動部が前記固定部に対して６軸方向に位置制御可能であることを特徴とする実施態様１乃至２１いずれかに記載の駆動機構。
【０１０２】
（実施態様２３）
前記変形部材が、１自由度の回転方向に変形可能であることを特徴とする実施態様２記載の駆動機構。
【０１０３】
（実施態様２４）
前記変形部材が、２自由度の回転方向に変形可能であることを特徴とする実施態様３記載の駆動機構。
【０１０４】
（実施態様２５）
前記直動入力要素は、流体シリンダ、圧電素子、ベローズなどの流体封入手段、リニアモータ、送りねじを有することを特徴とする実施態様６乃至１０、１３乃至１７いずれかに記載の駆動機構。
【０１０５】
（実施態様２６）
前記可動部と前記固定部との相対位置を６軸方向に測定するセンサを備えていることを特徴とする実施態様１乃至２５いずれかに記載の駆動機構。
【０１０６】
（実施態様２７）
前記センサは、静電容量センサ、レーザ干渉計、渦電流センサ、オートコリメータ、差動トランス、エンコーダ等からなることを特徴とする実施態様１記載の駆動機構。
【０１０７】
（実施態様２８）
前記センサの出力信号を用いて、前記各入力要素の出力を調節することを特徴とする実施態様２６又は２７記載の駆動機構。
【０１０８】
（実施態様２９）
前記可動部と前記固定部の間にベローズ、または反発磁石、または吸引磁石、またはばねを備えていることを特徴とする実施態様１乃至２８いずれかに記載の駆動機構。
【０１０９】
（実施態様３０）
実施態様１乃至２９いずれかに記載の駆動機構を有することを特徴とする露光装置。
【０１１０】
（実施態様３１）
前記可動部が光学素子であることを特徴とする実施態様３０記載の露光装置。
【０１１１】
（実施態様３２）
前記可動部が光学素子を支持する支持部材であることを特徴とする実施態様３０記載の露光装置。
【０１１２】
（実施態様３３）
前記露光装置で用いる光がＥＵＶ光であり、前記光学素子が反射部材であることを特徴とする実施態様３１又は３２記載の露光装置。
【０１１３】
（実施態様３４）
実施態様３０乃至３３いずれかに記載の露光装置で被露光体を露光する露光ステップと、露光された前記被露光体を現像する現像ステップとを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【０１１４】
（実施態様３５）
実施態様１乃至２９いずれかに記載の駆動機構を有し、前記可動部が光学素子又は光学素子を支持する支持部材であり、前記駆動機構を用いて前記光学素子を駆動することを特徴とする光学機器。
【０１１５】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば比較的等方的で高い固有振動数を備えたパラレルリンク機構を有する駆動機構を提供することが可能となり、それによると従来に比べて高い振動遮断性を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例の一体型平面４節リンク機構を用いたパラレルリンク６軸機構の概要斜視図
【図２】第１実施例の円弧状切り欠きばね（弾性ヒンジ）
【図３】第１実施例の一体型平面４節リンク機構の詳細
【図４】第１実施例の一体型平面４節リンク機構の概要および動作
【図５】第１実施例のリンク機構と６軸機構の関係
【図６】第１実施例の６軸機構の位置制御系
【図７】第２実施例の一体型平面３節リンク機構を用いたパラレルリンク６軸機構の概要斜視図
【図８】第２実施例の一体型平面３節リンク機構の詳細
【図９】第２実施例の一体型平面３節リンク機構の概要および動作
【図１０】第３実施例の一体型平面４節リンク機構を用いたパラレルリンク６軸機構の概要斜視図
【図１１】第３実施例の一体型平面４節リンク機構の詳細
【図１２】第３実施例の一体型平面４節リンク機構の概要および動作
【図１３】第４実施例の一体型平面３節リンク機構を用いたパラレルリンク６軸機構の概要斜視図
【図１４】第４実施例の一体型平面３節リンク機構の詳細
【図１５】第４実施例の一体型平面３節リンク機構の概要および動作
【図１６】従来技術の板ばね式光学要素微動機構の説明図
【図１７】デバイス（ＩＣやＬＳＩなどの半導体チップ、ＬＣＤ、ＣＣＤ等）の製造を説明するためのフローチャートである。
【図１８】図１７に示すステップ４のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。
【符号の説明】
１  可動台
２  固定台
３  入力要素
４  一体型差動リンク機構
５  弾性ヒンジ
６  板ばね押さえ
７  レンズ
８  セル
９  支持ブロック
１０  連結リンク
１１  リング状板ばね
１２  Ｏリング
１３  出力リンク
１４  入力リンク
１５  出力部
１８  継手
２０  光軸
【図１】
2004281644.tif 000015
【図２】
2004281644.tif 000016
【図３】
2004281644.tif 000017
【図４】
2004281644.tif 000018
【図５】
2004281644.tif 000019
【図６】
2004281644.tif 000020
【図７】
2004281644.tif 000021
【図８】
2004281644.tif 000022
【図９】
2004281644.tif 000023
【図１０】
2004281644.tif 000024
【図１１】
2004281644.tif 000025
【図１２】
2004281644.tif 000026
【図１３】
2004281644.tif 000027
【図１４】
2004281644.tif 000028
【図１５】
2004281644.tif 000029
【図１６】
2004281644.tif 000030
【図１７】
2004281644.tif 000031
【図１８】
2004281644.tif 000032