(57)【要約】【課題】照明光に逆行するガイド光を用いた光軸チェック方法および光学調整方法の提供。【解決手段】照明光Ｌ１〜Ｌ３と逆向きに進行するガイド光Ｇを光ファイバ７の出射端７ｂに入射させ、光ファイバ７の入射端７ａから出射したガイド光Ｇの光路とレーザ光源１ａ〜１ｃから光ファイバ７の入射端７ａに入射する照明光Ｌ１〜Ｌ３の光路との一致の度合いをチェックする。そして、ガイド光Ｇと照明光Ｌ１〜Ｌ３の光路が一致するように、レーザ光源１ａ〜１ｃの取り付け状態を調整する。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出射された所定波長の照明光を、照明光学系により光ファイバの入射端に入射させ、その光ファイバの出射端から顕微鏡本体に入射させた照明光により試料を照明して観察を行う走査型共焦点顕微鏡の光軸チェック方法において、
前記照明光と逆向きに進行するガイド光を前記出射端から前記光ファイバに入射させ、前記光ファイバの入射端から出射したガイド光の光路と前記光源から前記光ファイバに入射する照明光の光路との一致の度合いにより、前記光源の光軸状態をチェックすることを特徴とする走査型共焦点顕微鏡の光軸チェック方法。
【請求項２】
光源から出射された所定波長の照明光を、照明光学系により光ファイバの入射端に入射させ、その光ファイバの出射端から顕微鏡本体に入射させた照明光により試料を照明して観察を行う走査型共焦点顕微鏡の光学調整方法において、
前記照明光と逆向きに進行するガイド光を前記出射端から前記光ファイバに入射させ、前記光ファイバの入射端から出射したガイド光の光路と前記光源から前記光ファイバに入射する照明光の光路とが一致するように、前記光源および前記照明光学系の少なくとも一方の光軸状態を調整することを特徴とする走査型共焦点顕微鏡の光学調整方法。
【請求項３】
光源から出射された所定波長の照明光を、照明光学系により光ファイバの入射端に入射させ、その光ファイバの出射端から顕微鏡本体に入射させた照明光により試料を照明して観察を行う走査型共焦点顕微鏡において、
前記光ファイバの出射端に設けられ、前記照明光に逆行するガイド光を前記光ファイバに入射させる補助光源が接続可能な接続部と、
前記ガイド光と前記照明光の光路が一致するように、前記光源および前記照明光学系の光軸状態の少なくとも一方を調整する調整機構とを備えたことを特徴とする走査型共焦点顕微鏡。
【請求項４】
請求項３に記載の走査型共焦点顕微鏡において、
各々波長の異なる照明光を出射する複数の光源を備え、
前記照明光学系は、前記複数の光源から出射された各照明光を前記光ファイバの入射端に入射させることを特徴とする走査型共焦点顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、走査型共焦点顕微鏡、および走査型共焦点顕微鏡の光源の光軸チェック方法および光学調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の走査型共焦点顕微鏡では、レーザ光源からのレーザ光（照明光）を標本上に照射し、標本上に照射されたスポット状の光を２次元的に走査して観察を行う。レーザ光源からのレーザ光は、レーザ光源と顕微鏡とを接続する１本の光ファイバにより顕微鏡側に伝達される。標本にレーザ光が照射されると、標本の光学的な特性によって反射、吸収、蛍光、散乱などが照射領域において生じる。照射領域で発生した反射光や蛍光は、対物レンズで集光された後に検出器により検出される。検出器からの電気信号はマイクロコンピュータ等の処理装置に取り込まれて、その電気信号に基づく標本の観察像が構成される。この観察像はＣＲＴモニタ、液晶ディスプレイ等に表示される。
【０００３】
走査型共焦点顕微鏡で蛍光観察を行う場合は、通常、複数の蛍光試薬で染色した標本に複数の波長のレーザ光を同時に照射する。従って、複数のレーザ光源が用いられる。複数のレーザ光源から発せられる複数の波長のレーザ光は、１本の光ファイバの一端に集められて入射し他端から同時に出射するように構成されている。このとき、レーザ光を１本の光ファイバの一端から入射させるためには、レーザ光源から発するレーザ光の出射角度と出射位置を光ファイバのコアに対して正確に合わせ込む必要がある。
【０００４】
標本の各組織は、複数の蛍光試薬によって組織特有の染色がなされる。レーザ光は蛍光を発生させる励起光として作用する。標本にレーザ光が照射されると、蛍光試薬で染色された各組織から試薬に応じた蛍光が発せられる。発生した蛍光は、フィルタ等を用いて波長分離され、所望の波長の蛍光が検出器で検出される（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−２２１６６３号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来の走査型共焦点顕微鏡においては、レーザ光源からのレーザ光を顕微鏡本体側に導く１本の光ファイバには、ほとんど総てシングルモードファイバが使用される。シングルモードファイバは、一般にコア径が５μｍ以下と小さく、ＮＡも０．１２程度と小さい。そのため、レーザ光の出射角度と出射位置を光ファイバのコアに対して正確に合わせ込むことは困難である。
【０００７】
本発明は、照明光に逆行するガイド光を用いた光軸チェック方法および光学調整方法、および、照明光に逆行するガイド光を用いて光軸チェックや光学調整を行う走査型共焦点顕微鏡を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、光源から出射された所定波長の照明光を、照明光学系により光ファイバの入射端に入射させ、その光ファイバの出射端から顕微鏡本体に入射させた照明光により試料を照明して観察を行う走査型共焦点顕微鏡の光軸チェック方法に適用され、照明光と逆向きに進行するガイド光を出射端から光ファイバに入射させ、光ファイバの入射端から出射したガイド光の光路と光源から光ファイバに入射する照明光の光路との一致の度合いにより、光源の光軸状態をチェックすることを特徴とする。
請求項２の発明は、光源から出射された所定波長の照明光を、照明光学系により光ファイバの入射端に入射させ、その光ファイバの出射端から顕微鏡本体に入射させた照明光により試料を照明して観察を行う走査型共焦点顕微鏡の光学調整方法に適用され、照明光と逆向きに進行するガイド光を出射端から光ファイバに入射させ、光ファイバの入射端から出射したガイド光の光路と光源から光ファイバに入射する照明光の光路とが一致するように、光源および照明光学系の少なくとも一方の光軸状態を調整することを特徴とする。
請求項３の発明は、光源から出射された所定波長の照明光を、照明光学系により光ファイバの入射端に入射させ、その光ファイバの出射端から顕微鏡本体に入射させた照明光により試料を照明して観察を行う走査型共焦点顕微鏡に適用され、光ファイバの出射端に設けられ、照明光に逆行するガイド光を光ファイバに入射させる補助光源が接続可能な接続部と、ガイド光と照明光の光路が一致するように、光源および照明光学系の光軸状態の少なくとも一方を調整する調整機構とを備えたことを特徴とする。
また、各々波長の異なる照明光を出射する複数の光源を備え、複数の光源から出射された各照明光を光ファイバの入射端に入射させるようにしても良い。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照して本発明の実施の形態を説明する。先ず、図１を参照して本発明の走査型共焦点顕微鏡の全体構成を説明する。図１は、本発明による走査型共焦点顕微鏡の概略構成を示す模式図であり、落射型蛍光顕微鏡と基本的に同様な構成をなす。この走査型共焦点顕微鏡は、顕微鏡本体１０、光源部１、走査ユニット１２および検出ユニット２６とからなり、顕微鏡本体１０の鏡筒部１１には走査ユニット１２が装着されている。光源部１と走査ユニット１２とはシングルモード光ファイバ７で接続されている。また、走査ユニット１２と検出ユニット２６とはマルチモード光ファイバ２１により接続されている。
【００１０】
光源部１で発生したレーザ光は、光ファイバ７により走査ユニット１２に入力される。走査ユニット１２により走査されたレーザ光は、第２対物レンズ２２、対物レンズ２３を経て、標本２４を照射する。標本２４からの光は、対物レンズ２３、第２対物レンズ２２、走査ユニット１２および光ファイバ２１を介して検出ユニット２６に伝達され、検出される。検出ユニット２６により検出されたアナログ信号は、処理装置３０に設けられたＡ／Ｄ変換器でデジタル信号に変換され、ＣＰＵに送られて画像処理される。画像処理により得られた観察像は不図示のモニタに表示される。
【００１１】
図２は走査ユニット１２の拡大図であり、光走査部１９の詳細を示したものである。光ファイバ７（図１参照）により走査ユニット１２に伝送されたレーザ光はファイバ端面から所定のＮＡで出射され、走査ユニット１２内のコリメータレンズ１５により平行光に変換される。コリメータレンズ１５からの平行光はダイクロイックミラー１８により反射され、光走査部１９に入射する。
【００１２】
光走査部１９には一対の可動式全反射ミラー１９１，１９２が設けられており、全反射ミラー１９１，１９２を連動して傾き角度を変更することができる。そして、全反射ミラー１９１，１９２の角度を変えることにより、ダイクロイックミラー１８から光走査部１９に入射したレーザ光を、レーザ光と直交する２方向に２次元的に走査することが可能となる。
【００１３】
光走査部１９から出射されたレーザ光は、走査レンズ２０を介して一次像面２１に結像された後に、第２対物レンズ２２および対物レンズ２３によって標本２４上に結像される。標本２４上に結像したレーザビームの像は点像となっており、対物レンズ２３のＮＡで決まる大きさに集光されている。従って、この点における標本２４の光学的な特性により、反射、吸収、蛍光発生、散乱などの現象が照射領域で生ずる。
【００１４】
標本２４からの蛍光や反射光は、対物レンズ２３および第２対物レンズ２２により一次像面２１に結像された後に、走査レンズ２０で平行光とされて光走査部１９に入射する。標本２４からの蛍光は光走査部１９によって走査されることにより、すなわちデスキャンされることにより、ダイクロイックミラー１８から光走査部１９の反射ミラー１９１に入射したレーザ光と同一の光路に常に戻されることになる。
【００１５】
光走査部１９からダイクロイックミラー１８に出射された蛍光は、ダイクロイックミラー１８を透過して全反射ミラー１７に入射する。全反射ミラー１７により反射された蛍光は、集光レンズ１６により遮光板１４上に結像される。遮光板１４と標本２４とは共役な位置関係にあるので、標本２４上の蛍光出射点の像が遮光板１４に形成された開口（ピンホール）１３の位置に形成される。
【００１６】
そして、開口１３を通過した光のみが光ファイバ２１を介して検出ユニット２６に伝達される。すなわち、標本２４上の他の点から発生した光があったとしても、遮光板１４で遮られて検出ユニット２６には到達しない。その結果、走査型共焦点顕微鏡においては、横分解能が高いだけではなく、縦分解能も高い標本観察が可能となる。
【００１７】
以下、レーザ光源からの照明光が光ファイバの入射端に正確に入射しているかの光軸チェック方法とそれに基づいた光学調整方法を詳しく説明する。図３は、複数のレーザ光源１ａ〜１ｃ、照明光学系２、光ファイバ７およびガイド光発光部８の配置を示す光路図である。レーザ光源１ａは空冷Ａｒレーザ（波長４８８ｎｍ）、レーザ光源１ｂはＧ／Ｈｅ−Ｎｅレーザ（波長５４３ｎｍ）、レーザ光源１ｃはＲ／Ｈｅ−Ｎｅレーザ（波長６３３ｎｍ）である。それぞれの照明光（レーザ光）の光路中には、電動シャッタ３ａ、３ｂ、３ｃ、ＮＤフィルタ４ａ、４ｂ、４ｃ、ダイクロイックミラー５ａ、５ｂ、５ｃが順に配置されている。電動シャッタ３ａ、３ｂ、３ｃとＮＤフィルタ４ａ、４ｂ、４ｃはレーザ光の調光に用いられ、ダイクロイックミラー５ａ、５ｂ、５ｃは、波長選択と光路合成に用いられる。
【００１８】
図４は、ダイクロイックミラーの分光特性を示すグラフである。図４（ａ）はダイクロイックミラー５ａ、図４（ｂ）はダイクロイックミラー５ｂ、図４（ｃ）はダイクロイックミラー５ｃの分光特性を示す。図４（ａ）のダイクロイックミラー５ａは、レーザ光源１ａの波長４８８ｎｍで反射率が最大となる。また、波長６３３ｎｍでも１０％程度の反射率をもつ。同様に、図４（ｂ）のダイクロイックミラー５ｂは、レーザ光源１ｂの波長５４３ｎｍで反射率が最大となり、波長６３３ｎｍでも１０％程度の反射率をもつ。図４（ｃ）のダイクロイックミラー５ｃは、レーザ光源１ｃの波長６３３ｎｍで反射率が最大となる。
【００１９】
再び図３を参照すると、各ダイクロイックミラー５ａ，５ｂ，５ｃで波長選択と光路合成がなされたレーザ光は、１本の光路に合成され、集光レンズ６によって集光され、光ファイバ７の入射端７ａに入射する。レーザ光は、光ファイバ７のコアを伝播し、出射端７ｂから外部に放射し、走査ユニット１２に導かれる。
【００２０】
本発明による光軸チェックを行う場合は、光ファイバ７と走査ユニット１２との接続が外され、ガイド光を放射する発光部８が接続部材９を介して光ファイバの出射端７ｂに接続される。なお、光ファイバ７と走査ユニット１２との接続を外さずに、光ファイバの出射端７ｂからの光路を２つに分岐して、その一方を発光部８側に、他方を走査ユニット１２側に導くように構成することもできる。
【００２１】
接続部材９は、光ファイバの出射端７ｂに取り付けられるＦＣコネクタ９ａと発光部８に取り付けられるファイバカプラ９ｂとから構成される。ＦＣコネクタ９ａとファイバカプラ９ｂとを一体に結合してもよい。
【００２２】
発光部８から発するガイド光Ｇは、ファイバカプラ９ｂ、ＦＣコネクタ９ａを介して出射端７ｂから光ファイバ７のコアに入射する。そして、コアを伝播し、入射端７ａから外部に放射し、集光レンズ６に導かれる。ガイド光Ｇは、集光レンズ６により平行光束となり、ダイクロイックミラー５ａ、５ｂ、５ｃに入射し、各ダイクロイックミラーの波長選択特性に応じて一部分が反射され、各レーザ光源へと向かう。すなわち、ガイド光Ｇは照明光Ｌと逆に進行する。
【００２３】
ガイド光Ｇと照明光Ｌとの光軸チェックは次の手順で行われる。本実施の形態では、発光部８としてＲ／Ｈｅ−Ｎｅレーザ（波長６３３ｎｍ）が用いられる。なお、発光部８としては、ダイクロイックミラーで反射する波長域をもつものであれば本実施の形態に限らない。先に、図４の分光特性について説明したとおり、中心波長６３３ｎｍのガイド光Ｇは、いずれのダイクロイックミラーでも反射されるので、それぞれのレーザ光源へと向かう。
【００２４】
例えば、レーザ光源１ａ（波長４８８ｎｍ）から発する照明光Ｌ１が正確に光ファイバの入射端７ａに入射しているならば、照明光Ｌ１はガイド光Ｇの光路と一致する。すなわち、レーザ光源１ａから光ファイバの入射端７ａに至る光路は、両者で一致する。しかし、照明光Ｌ１が正確に光ファイバの入射端７ａに入射していない場合は、照明光Ｌ１の光路とガイド光Ｇの光路とは一致せず、照明光Ｌ１の光路にズレが生じていると言える。レーザ光源１ｂ、１ｃから放射する照明光Ｌ２、Ｌ３についても同様である。
【００２５】
照明光Ｌ１の光軸とガイド光Ｇの光軸との一致の度合いは、照明光学系２中であれば光路上のいずれの場所でもチェックできる。照明光Ｌ１のビームがガイド光Ｇのビームに対して傾斜している場合は、レーザ光源１ａの角度に誤差が生じていると判る。また、２本のビームが分離していたり、重なり合って太くなっている場合は、レーザ光源１ａがガイド光Ｇの光軸と垂直方向に位置ズレを生じていると判定できる。
【００２６】
本実施の形態における光学調整方法は次の手順で行われる。図３においてガイド光Ｇを照射したときに照明光Ｌ１が正確に光ファイバの入射端７ａに入射している場合は、照明光Ｌ１の光路とガイド光Ｇの光路とが一致するので、光路上のいずれの場所でもビーム径は照明光Ｌ１だけの場合と同じになる。レーザ光源１ａの角度に誤差が生じていることがチェックされた場合には、照明光Ｌ１の光軸がガイド光Ｇの光軸に対して傾いているので、両者の光軸方向が一致するようにレーザ光源１ａの取付角度およびダイクロイックミラー５ａの角度の双方または一方を調整する。
【００２７】
一方、レーザ光源１ａがガイド光Ｇの光軸に対して垂直方向にずれていることがチェックされた場合は、ガイド光Ｇのビームと照明光Ｌ１のビームとが重なり合ったビームの径は照明光Ｌ１だけの場合よりも太くなる。そこで、重なり合ったビームの径が細くなるように、レーザ光源１ａの位置をガイド光Ｇの光軸に対して垂直方向に動かして調整する。
【００２８】
レーザ光源１ａは、保持具を兼用する一対の調整部材３９ａによって保持されている。調整部材３９ａは、レーザ光源１ａの取付位置および照明光Ｌ１の出射方向を調整する機構を有している。他のレーザ光源１ｂ、１ｃに対しても同様の調整部材３９ｂ、３９ｃが設けられている。
【００２９】
また、ダイクロイックミラー５ａを動かして照明光Ｌ１の光軸の角度を調整するために、調整部材２９ａが設けられる。調整部材２９ａは、ダイクロイックミラー５ａをチルトさせる回転ノブである。他のレーザ光源１ｂ、１ｃに対しても同様の調整部材２９ｂ、２９ｃが設けられている。
【００３０】
図５は、レーザ光源１ａ〜１ｃの保持・調整機構の一例を示す図である。レーザ光源１ａは保治具４０によりステージ４１に固定されている。ステージ４１は第２のステージ４２上に載置されている。ステージ４１はステージ４２に対して軸４３を中心に回転することができ、ステージ４１を回転させることによってステージ４２に対するステージ４１の角度を変えることができる。通常は、ボルト４４が締め付けることによりステージ４１はステージ４２に固定されているが、ステージ４１の角度調整をする際にはボルト４４を緩めて角度を変更する。また、第２のステージ４２は、光源部１の基部（不図示）に、左右方向に移動可能に取り付けられている。
【００３１】
光源部１の基部には、ステージ４１，４２の位置を調整するための送りネジ４５〜４８が設けられている。送りネジ４５，４６の先端はステージ４２の上部側面に当接しており、送りネジ４７，４８の先端はステージ４１の下部側面に当接している。送りネジ４５〜４８を同一送り量だけ右側に送り出すとステージ４１，４２は一体で右側に移動し、逆に同一送り量だけ左側に送り出すとステージ４１，４２は一体で左側に移動する。
【００３２】
また、ボルト４４を緩めて送りネジ４７，４８を同一送り量だけ右側に送り出すとステージ４１のみが左側に傾き、照明光Ｌ１の光路も左側に傾く。送りネジ４７，４８を同一送り量だけ左側に送り出すとステージ４１のみが右側に傾き、照明光Ｌ１の光路も右側に傾く。バネ４９，５０は、ステージ４１の上部およびステージ４２の下部を図示右側に付勢するバネである。
【００３３】
《光軸調整方法》
次に、図５の保持・調整機構を用いたレーザ光源１ａの光軸調整方法を、図５，６を参照して説明する。図６（ａ）は調整前のレーザ光源１ａの状態を示す図である。ガイド光Ｇはダイクロイックミラー５ａにより反射されてレーザ光源１ａの出射口付近に照射され、オペレータはその輝点を観察することができる。図６（ａ）に示すように、レーザ光源１ａの出射口は観察された輝点よりも左側にずれていて、さらに照明光Ｌの光路はガイド光Ｇに対して右側に傾いているのが分かる。
【００３４】
まず、レーザ光源１ａの出射口とガイド光Ｇによる輝点とが一致するように、送りネジ４５，４７を同一量だけ右側に送り出し、バネ４９，５０の付勢力によりステージ４１，４２を一体で右側に移動させる。出射口と輝点とが一致したならば、送りネジ４６，４８を右側に送り出して位置決めする。その結果、照明光Ｌの光路は図６（ｂ）に示すようになる。
【００３５】
次いで、ボルト４４を緩めるとともに送りネジ４７を右側に送り、ステージ４１の傾きを調節して照明光Ｌの光路の傾きを矢印Ｑ方向に修正する。傾き修正により照明光Ｌの光路とガイド光Ｇの光路とが図６（ｃ）のように一致したならば、送りネジ４８を右側に送ってステージ４１の位置決めをした後に、ボルト４４を締め付けてステージ４１をステージ４２に固定する。なお、図６（ｃ）では見やすいように照明光Ｌの光路とガイド光Ｇの光路とずらして図示しているが、実際には一致して一本の線のように見える。
【００３６】
このように、図５に示した調整機構では、レーザ光源１ａの位置ズレおよび角度ずれを個別に調整することができる。なお、図５では紙面に平行な面内における２次元的な調整をする場合について例示したが、同様な機構を更に追加することにより３次元的に調整することができる。レーザ光源１ｂ、１ｃから放射する照明光Ｌ２、Ｌ３についても同様の手順で光学調整がなされる。
【００３７】
また、図７（ａ），（ｂ）に示すように、輝点と出射口との位置ズレをダイクロイックミラー５ａの角度を調整して一致させ、レーザ光源１ａ側の調整機構では角度調整のみを行うようにしても良い。図７（ａ）は調整前の状態を示す図であって、図６（ａ）と同様の図である。図７（ｂ）に示すようにダイクロイックミラー５ａをＲ方向に角度変更し、ダイクロイックミラー５ａからレーザ光源１ａまでのガイド光Ｇの光路方向をＧ１からＧ２へと変えて、ガイド光Ｇの輝点とレーザ光源１ａの出射口とを一致させる。その後、照明光Ｌの光路とガイド光Ｇの光路Ｇ２とが一致するようにレーザ光源１ａの傾きを調整すれば良い。
【００３８】
ここで、比較のために、他の光軸チェック方法および光学調整方法を簡単に説明する。図８は、他の光軸チェック方法および光学調整方法を説明するための光路図である。複数のレーザ光源１ａ〜１ｃ、照明光学系２および光ファイバ７の配置は、図３に示す本実施の形態のものと同じであり、同一の符号を付す。
【００３９】
図８において、レーザ光源１ａ（波長４８８ｎｍ）から発する照明光Ｌ１が正確に光ファイバの入射端７ａに入射しているか否かをチェックする場合、例えば、ダイクロイックミラー５ａの反射点付近にピンホール付きターゲット板３１を置き、更に、集光レンズ６の中心付近にもピンホール付きターゲット板３２を置く。ピンホールの径は０．１ｍｍ程度である。
【００４０】
照明光Ｌ１の光路がずれている場合は、ターゲット板上に照明光Ｌ１のスポットの一部または全部が生ずるので、光軸のチェックができる。すなわち、ピンホールという点を用いて光軸チェックが行われる。また、光学調整を行うときも同様にピンホールという点を用いて、照明光Ｌ１が２つのピンホールを通過するように、レーザ光源１ａの角度ズレと位置ズレを調整する。
【００４１】
図８のように２つのピンホール３１，３２を用いて調整を行う場合、例えば、レーザ光源１ａに近い方のピンホール３１をビームが通過するようにレーザ光源１ａの位置および角度を調整しても、ピンホール３１を通過したビームが必ずしも他方のピンホール３２を通過するとは限らない。そのため、ビームが両方のピンホール３１，３２を同時に通過するようにレーザ光源１ａの位置および角度の調整を行う必要があり、調整が難しいとともに煩雑である。また、手作業で調整を行うため、ピンホール３１，３２の径は０．１ｍｍ程度と光ファイバ７のコア径に対してかなり大きくならざるを得ず、コアに対してビームを正確に合わせ込むことは困難であった。
【００４２】
一方、本実施の形態では、ガイド光Ｇ照射による輝点がレーザ光源１ａの出射口付近に形成されるため、レーザ光源１ａの出射口がこの輝点と一致するようにレーザ光源１ａの位置ズレを調整できる。その調整後に、両方のビームの光軸が一致するようにレーザ光源１ａの角度を調整すれば良い。そのため、容易にかつ正確にレーザ光源１ａの光学調整を行うことができる。また、照明光Ｌおよびガイド光Ｇの光路が一致しているか否かは、ビームの太さや方向を観察することによって容易に確認することができる、特に、ガイド光Ｇのビーム色を照明光Ｌ１のビーム色と異なるようにすれば、ビームの一致・不一致を容易に見分けることができる。
【００４３】
なお、上述した実施の形態では、光源部１にレーザ光源が３種類設けられている場合を例に説明したが、照明光学系（ダイクロイックミラーやレンズ）を介して照明光を光ファイバのコア内に入射させる構成であれば、光源は何種類設けられていても良いし、一種類だけであっても良い。
【００４４】
以上説明した実施の形態では、例えば、発光部８により補助光源を、接続部材９により接続部を、調整部材３９ａ、３９ｂ、３９ｃ、２９ａ、２９ｂ、２９ｃ、ステージ４１，４２，ボルト４４，送りネジ４５〜４８およびバネ４９，５０により調整機構をそれぞれ実施している。しかし、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、光源から光ファイバに入射する照明光の光路をガイド光の光路と比較することにより、容易にかつ正確に光源の光軸状態をチェックすることができる。また、照明光の光路がガイド光の光路に一致するように光源の光軸状態を調整することにより、正確な光学調整を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による走査型共焦点顕微鏡の概略構成を示す模式図である。
【図２】本発明による走査型共焦点顕微鏡の光学系の構成を示す光路図である。
【図３】本発明による光軸チェック方法および光学調整方法を説明する図である。
【図４】ダイクロイックミラー５ａ，５ｂ，５ｃの分光特性を示すグラフである。
【図５】レーザ光源１ａ〜１ｃの保持・調整機構の一例を示す図である。
【図６】光軸調整方法を説明する図であり、（ａ）〜（ｃ）に各手順を示す。
【図７】ダイクロイックミラー５ａの角度を変えて調整を行う場合の調整手順を示す図であり、（ａ）は角度調整前、（ｂ）は角度調整後を示す。
【図８】光学調整方法の比較例を説明する図である。
【符号の説明】
１  光源部
１ａ〜１ｃ  レーザ光源
２  照明光学系
５ａ、５ｂ、５ｃ  ダイクロイックミラー
７  光ファイバ
７ａ  入射端
７ｂ  出射端
８  発光部
９  接続部材
１０  顕微鏡本体
１２  走査ユニット
２４  標本
２６  検出ユニット
２９ａ、２９ｂ、２９ｃ、３９ａ、３９ｂ、３９ｃ  調整部材
４１，４２  ステージ
４４  ボルト
４５〜４８  送りネジ
４９，５０  バネ
Ｌ，Ｌ１〜Ｌ３  照明光
Ｇ，Ｇ１，Ｇ２  ガイド光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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