(57)【要約】【課題】光ファイバの端に設けらるレンズ径を光ファイバと同径にすることで、光軸調整が極めて容易となるレンズ付き光ファイバ端末の製造方法を提供する。【解決手段】本発明のレンズ付き光ファイバ端末は、コアレスファイバ１をＳＭＦ２の端に融着接続する接続工程と、接続後コアレスファイバ１を一定長に切断する切断工程と、切断された端面をＳＭＦ２の径の３／４に相当する研磨角度で研磨して略所定の曲率半径となるように円錐状に研磨する研磨工程と、研磨後、所定時間熱溶融して研磨表面を整形する熱溶融工程とを備えることで、コアレスファイバ１の先端部にＳＭＦど同径でかつレンズとして機能する所望の曲率半径Ｒを形成することができるので、光軸調整が極めて容易となるレンズ付き光ファイバ端末の製造方法を提供することができる。【選択図】      図１
2004198976.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の光ファイバの先端に、該第一の光ファイバのクラッド部の屈折率と等価な単一屈折率を有し、且つ該第一の光ファイバと同一外径を有する第二の光ファイバを融着接続したのち、該第二の光ファイバを一定長を残して切断した先端を所望の曲率半径に成形するレンズ付光ファイバ端末の製造方法において、
前記第二の光ファイバを融着接続後、該第二の光ファイバの先端を所定の研磨角度で円錘状に研磨加工する研磨工程と、
該円錐状の先端を所定時間熱溶融する熱溶融工程と、
を有することを特徴とするレンズ付光ファイバ端末の製造方法。
【請求項２】
前記研磨工程は、研磨角度を２段階に変化させることを特徴とする請求項１記載のレンズ付光ファイバ端末の製造方法。
【請求項３】
前記研磨角度は、所望の曲率半径を想定した球面の内接角により決定されることを特徴とする請求項１又は２に記載のレンズ付光ファイバ端末の製造方法。
【請求項４】
前記熱溶融工程に代えて、円錐状に研磨された先端をバフ研磨により研磨するバフ研磨工程を有することを特徴とする請求項１記載のレンズ付光ファイバ端末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光スイッチ、光合分波器、光アイソレータ等、光ファイバー間に機能性素子を挿入した各種光学部品に用いられるレンズ付光ファイバ端末の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信の発達に伴って利用する光デバイス、光学部品等の小型化が望まれており、光アイソレータ，光サーキュレータ，光合分波器等において光ファイバとの結合状態で小型化や構造の簡素化が要求されている。
【０００３】
一般に両端に光ファイバを伴うピッグテイル型光アイソレータの場合、図７に示すように光ファイバ１０１から出射された光は球レンズ１０２もしくは屈折率分布型レンズ１０４で平行光にして光学デバイス１０３に入射させ、光学デバイス１０３から出射後に光ファイバ１０１へ集光することにより光学結合を行っている。図７に示すような従来の光学結合系では光ファイバ１０１とレンズ１０２，１０４の光軸位置調整がサブミクロンの範囲で調整しなければならない問題があり、組立装置等に費用がかかるために、光ファイバコリメータ製品や光ファイバ結合系を含む光学システム製品として高価である。
【０００４】
また、近年微小ファイバコリメータ光を形成する試みがなされている。Journal of Lightwave Technology Vol. LT-5 No.9(1987)には、William L.Emkey等らによる単一モード光ファイバに多モード屈折率分布光ファイバを融着した微小ファイバコリメータ光の結合が提案されている。これによると、およそ４０μｍの平行光線を、約３ｍｍの空間距離、０．１〜１．６ｄＢの結合損失で光学結合することができることが報告されている。
【０００５】
また、特許第３２７４６９１号公報には、図８（ａ）に示すようにシングルモード光ファイバ（Single mode fiber：ＳＭＦ）１１３に非ドープシリカファイバ光線拡大部分１１６及び非ドープシリカ球レンズ部１１５を連続的に構成してなる光学結合用光ファイバ端末１１２の製造方法が提案されている。
【０００６】
具体的な構成は、ＳＭＦ１１３と、ＳＭＦ１１３のコア部分の屈折率が略等価屈折率を有し且つ同一外径からなる非ドープシリカファイバ１１４を接合するときに、非ドープシリカファイバ１１４の光線拡大部分１１６と球レンズ部１１５を合わせて形成することで実質的にＳＭＦ１１３から球レンズ部１１５に伝播した光線をガウス法則にしたがって拡大結合するものである。
【０００７】
ここで図８（ｂ）に示すように、光線拡大部分１１６と球レンズ部１１５からなる部分の長さをＬ、球レンズの曲率半径をＲとしたときに、光ファイバ端末の製造はＬとＲを制御するための非ドープシリカファイバ１１４の長さＭを厳密に設定し、この非ドープシリカファイバ１１４にＳＭＦ１１３を融着する融着工程と、非ドープシリカファイバ１１４の他端に球レンズ部１１５を形成する球体積を設計曲率半径Ｒを用いて略等価体積分のシリカファイバ長Ｍを算出する工程と、非ドープシリカファイバ１１４の先端部を下方に向け、光ファイバ全体を鉛直に固定した後、シリカファイバの溶融温度を発生する一対の電極１１０よりなる加熱源に非ドープシリカファイバ１１４の先端からＭの距離だけ加熱源に向かって下げる工程とを順に行うことで光学結合用光ファイバ端末１１２を作製している。
【０００８】
【特許文献１】
特許第３２７４６９１号公報
【０００９】
【特許文献２】
特開昭６１−２６４３０４号公報
【００１０】
【特許文献３】
特許第２９９２０９３号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
特許第３２７４６９１号公報に記載の従来の製造方法は、ＳＭＦ１１３の先端に曲率半径Ｒの球レンズ部１１５を形成するために、先端部を溶融することで加熱ゾーンとファイバ先端位置、加熱時間、加熱温度等によって行っているが、任意，所望の曲率半径Ｒと非ドープシリカファイバの長さＭを同時に制御することは困難であるという問題がある。
【００１２】
つまり、従来の製造方法は、光線拡大部分の長さＬと球レンズの曲率半径Ｒを同時に制御できる点に特徴があり、曲率半径Ｒと非ドープシリカファイバ１１４の長さＭを同時に制御することは考慮されていないためである。
【００１３】
また、ＳＭＦ１１３の先端部の球レンズ部１１５は形状が球状であり、その径がＳＭＦ１１３の外径よりも大きいため、Ｖ溝に固定する場合に球レンズ部１１５を前方に突出させる必要があり、光学装置が大きくなるという問題がある。またフェルールに固定する場合、球レンズ部１１５より大きな内径を有するフェルールを必要とし、更に球レンズ部１１５をフェルールの先端から突出さなければならないため、これも光学装置が大きくなると共に更にフェルールにＳＭＦ１１３を固定させる固定手段が必要になるので部品コストがかかるという問題がある。
【００１４】
また、球状加工時はＳＭＦ１１３に熱がかかり、溶融部分近傍での強度が劣化し、この劣化した部分が固定材（Ｖ溝、フェルール）の前方に突出されていると破損の懸念が極めて高くなるという問題がある。
【００１５】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、光ファイバの端に融着接続させるレンズ径を光ファイバと同径にすることで、光軸調整が極めて容易かつ省スペース化できるレンズ付光ファイバ端末の製造方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項１記載の本発明は、第一の光ファイバの先端に、この第一の光ファイバのクラッド部の屈折率と等価な単一屈折率を有し、且つこの第一の光ファイバと同一外径を有する第二の光ファイバを融着接続したのち、この第二の光ファイバを一定長を残して切断した先端を所望の曲率半径に成形するレンズ付光ファイバ端末の製造方法において、第二の光ファイバを融着接続後、この第二の光ファイバの先端を所定の研磨角度で円錘状に研磨加工する研磨工程と、この円錐状の先端を所定時間熱溶融する熱溶融工程とを有することを特徴とする。
【００１７】
本発明にあっては、第一の光ファイバとしてシングルモード光ファイバ（single mode fiber:ＳＭＦ）を使用し、第二の光ファイバとしてＳＭＦのクラッド部と同一屈折率を有し、且つコア部のない単一屈折率を備えるコアレスファイバを使用する。このコアレスファイバはＳＭＦと同一外径を有している。このようなコアレスファイバをＳＭＦの端に融着接続した後に一定長に切断し、このコアレスファイバの先端をＳＭＦの径の３／４に相当する研磨角度で研磨して略所定の曲率半径となるように円錐状に研磨した後に、これを所定時間熱溶融して整形することで、レンズとして機能する所望の曲率半径を備えるレンズ付き光ファイバを作製する。
【００１８】
また請求項２記載の本発明は、請求項１記載のレンズ付き光ファイバ端末の製造方法において、研磨工程は、研磨角度を２段階に変化させることを特徴とする。
【００１９】
本発明にあっては、請求項１記載の研磨工程において、研磨角度は１段階に限らず２段階に変化させながら研磨することで、より高い精度の曲率を得ることに特徴がある。このとき２段階目の研磨角度は、１段階目の研磨角度より小さいものとする。また研磨角度の変化は、２段階に限らず、３，４，５・・・と複数段階にしてもよい。研磨角度を複数段階にすることにより、更に精度を向上させることができる。
【００２０】
更に請求項３記載の本発明は、請求項１又は２記載のレンズ付き光ファイバ端末の製造方法において、研磨角度は、所望の曲率半径を想定した球面の内接角により決定あれることを特徴とする。
【００２１】
本発明にあっては、研磨角度は、コアレスファイバ径に３／４を乗算して得られる曲率半径の範囲の外周上の点と、最終的に得る曲面との接線が形成する角度のことを指している。この研磨角度に従って研磨することで、略所望の曲率半径を容易に得ることができる。
【００２２】
また更に請求項４記載の本発明は、請求項１記載のレンズ付き光ファイバ端末の製造方法において、熱溶融工程に代えて、先端部をバフ研磨により研磨することを特徴とする。
【００２３】
本発明にあっては、円錐状に研磨されたコアレスファイバの先端を熱溶融加工して所望の曲率半径を得ることに代えて、研磨されたコアレスファイバの先端をバフ研磨することで所望の曲率半径を得るものである。これにより粗削りされた先端表面を面取りして滑らかな表面を整形することができる。このバフ研磨加工は、特に研磨角度は１段に限るものではなく、複数段階に変化させながらバフ研磨することが望ましい。これにより更に精度の良い先端曲率を得ることができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００２５】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明のレンズ付き光ファイバ端末の構成を示す図である。
【００２６】
本発明のレンズ付き光ファイバ端末は、シングルモードファイバ（ＳＭＦ）２の先端に、このＳＭＦ２と同径のコアレスファイバを接続し、このコアレスファイバ１の先端に一定の曲率半径Ｒを有するレンズを付与した構成を有しており、ＳＭＦ２内を伝播した光がコアレスファイバ１に入射すると、この光はコアレスファイバ１内で拡散し、曲率半径Ｒのレンズで平行光化されて外部に出力される。また逆に、レンズの外部からコアレスファイバ１内に光が入射すると、この光はレンズ面で集光されＳＭＦ２のコア２１に結合される。
【００２７】
ここでＳＭＦ２は、コア２１の径が１０μｍ、クラッドの２２径が１２５μｍの標準的な光ファイバ素線であり、比屈折率差は約０．３％である。
【００２８】
コアレスファイバ１は、ＳＭＦ２のクラッド２２の屈折率と略等価な屈折率を有するコア部のない単一屈折率型ファイバであり、このコアレスファイバ１の外径はＳＭＦ２と同じく１２５μｍを有している。
【００２９】
コアレスファイバ長ｘは、８００〜１０００μｍであり、このとき曲率半径Ｒはそれぞれ１８０〜２００μｍである。またコアレスファイバ長ｘの延長上に厚さｈ（１０μｍ）のレンズが形成されている。
【００３０】
このレンズは、コアレスファイバ１の先端を所定の研磨角度で円錘状に加工後に、この円錘状に研磨された先端部をアーク放電により加熱溶融加工して形成したものである。
【００３１】
図１において、研磨角度は、ＳＭＦ２径の３／４相当における接触角で決められる。この接触角の大きさは、最終的に得ようとする曲率半径Ｒにより変化するものであり、この曲率半径Ｒは、コアレスファイバ長ｘと密接に相関している。
【００３２】
そこで図２を参照して、ビーム径Ｗ（ｘ）とコアレスファイバ長ｘの相関関係を説明する。図２は、屈折率差０．３５％のＳＭＦ２に接続したコアレスファイバ長ｘとコアレスファイバ先端におけるビーム径Ｗ（ｘ）の関係を示したグラフであり、測定波長を１．３１μｍとした場合のものである。同図に示すように、コアレスファイバ長ｘが長くなるに従い先端部から出射されるビーム径Ｗ（ｘ）も大きくなる特性を有している。
【００３３】
本グラフよりコアレスファイバ長ｘに対する接触角を求める部位が決められる。つまりコアレスファイバ内を通過するビーム径Ｗ（ｘ）は、ガウス法則に基づいてファイバ内を拡散するため、本グラフより、例えばコアレスファイバ径が１２５μｍの場合、コアレスファイバ長ｘが８００μｍのときビーム径Ｗ（ｘ）が径（１２５μｍ）一杯に拡散することがわかる。そのためコアレスファイバ長が８００μｍの位置で切断すると最大ビーム径Ｗ（ｘ）を得ることができる。しかし厳密にはコアレスファイバ１の先端を所定の研磨角度で研磨するので、研磨により短くなることを考慮して予め１０μｍ程度長く切断するのが望ましい。
【００３４】
ここで研磨角度とは、コアレスファイバ１の径に３／４を乗算して得られる曲率半径の範囲の外周上の点と、最終的に得る曲面との接線が形成する角度（接触角）のことを指している。図３を参照して研磨角度の規定方法について詳述する。
【００３５】
図３は、コアレスファイバ１の先端部の拡大図である。同図に示すように、コアレスファイバの１の径はＳＭＦと同径の１２５μｍである。また曲率半径の範囲は、コアレスファイバ１の径に３／４を乗算して得られる、すなわち９３．７５μｍ（＝１２５μｍ×３／４）である。そして最終的に得る曲面（ここでは熱溶融後先端ライン１２が、最終的に得たい曲面に相当する。）と、曲率半径の範囲の外周上の点における接線（ここでは研磨後先端ライン１１が、接線に相当する。）とがなす角度が、本発明における研磨角度となる。つまり図３においては研磨角度は１５．０９５°である。
【００３６】
また、ＳＭＦ２の長さは任意長であるが、コアレスファイバ長ｘは上述したように８００〜１０００μｍである。この値はガウス法則（式１）に基づき拡散するビーム径Ｗ（ｘ）を考慮して決定されている。以下に、コアレスファイバ長ｘに対するビーム径Ｗ（ｘ）の関係式を示す。
【００３７】
【数１】
2004198976.tif 000003
2004198976.tif 000004
（式１）において、Ｗ0はＳＭＦ２の出射端の径（ｍ）、λは波長（ｍ）、ｎ2はコアレスファイバの屈折率、ｘはコアレスファイバ長を示している。
【００３８】
（式１）に所定の条件値を代入すると、ＳＭＦ２のコア端から出射したビーム径Ｗ0の焦点において最小の直径（ビームウエスト：beam waist）と平坦な波面をもつガウス分布が示される。この波面の曲率と等価な曲率半径Ｒを有するレンズを、コアレスファイバ１の先端に形成することができればビームを効率よく平行光化することができる。
【００３９】
そこで図４を参照して、研磨角度と曲率半径Ｒの関係グラフを説明する。本グラフは、コアレスファイバ径が１２５μｍ、コアレスファイバ長ｘが８００μｍ、測定波長が１．３１μｍの条件下におけるビーム波面の曲率半径を算出し、この曲率半径Ｒを得るための研磨角度を測定した測定結果である。
【００４０】
本グラフによるとビーム波面の曲率半径が１８０である場合、これと同等の曲率半径Ｒをコアレスファイバ１の先端に付与するときは、研磨角度１５．０９５°で研磨する必要がある。これによりビーム波面の曲率半径と同等の曲率半径Ｒを得ることができる。
【００４１】
次に、レンズ付き光ファイバ端末の製造方法及び作用効果を説明する。
【００４２】
本発明のレンズ付き光ファイバ端末は、コアレスファイバ１をＳＭＦ２の端に融着接続する接続工程と、接続後コアレスファイバ１を一定長に切断する切断工程と、切断された端面をＳＭＦ２の径の３／４に相当する研磨角度で研磨する研磨工程と、研磨後、所定時間熱溶融して研磨表面を整形する熱溶融工程とを備えることで、コアレスファイバ１の先端部にレンズとして機能する所望の曲率半径Ｒを形成する。
【００４３】
そこで先ず、任意長の標準的なＳＭＦ２を用意し、このＳＭＦ２の先端に適当な長さを有するコアレスファイバ１を融着接続機を用いて融着接続して、ファイバカッター等を用いて接続部から８１０μｍの位置でコアレスファイバ１を切断する。そして図２及び図４のグラフを参照して諸条件に一致するコアレスファイバ長ｘに対する研磨角度を読み出し、その研磨角度に基づきコアレスファイバ１の先端部を円錐研磨する。研磨方法は、例えば光ファイバのテーパ加工に用いる研磨機を使用すればよい。つまり研磨機の固定台にコアレスファイバ１の先端を固定し、このコアレスファイバ１の先端と研磨盤とが読み出した研磨角度となるように配置する。そしてコアレスファイバ１の先端を中心に、研磨盤をコアレスファイバ１の外周に接触させながら回転させることで、図３に示すような研磨後の先端ライン１１を形成する。
【００４４】
次いで研磨された先端部を融着装置３に配置して先端表面を熱溶融させて整形する。図５（ａ）〜（ｃ）は、円錐研磨された先端部を熱溶融する熱溶融工程を示す図である。図５（ａ）に示すように、対向した一対の電極３１間にコアレスファイバ１の先端部を配置する。そして図５（ｂ）に示すように、電極３１間にアーク放電を発生させて先端ラインを溶融することで先端表面の粗面状態を表面張力により滑らかな曲面とする。図５（ｃ）は熱溶融により完成した熱溶融後の先端ライン１２を示す図である。このとき熱溶融時間は５００ｍｓ程度である。
【００４５】
尚、先端部の曲面整形は上記熱溶融に限らず、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、バフ研磨により先端部を整形することもできる。すなわち図６（ａ）に示すように、バフ研磨機４に備えられるバフ（研磨輪）４１に種々の研磨剤などを付けて回転させる。そして図６（ｂ）に示すように、このバフ４１に研磨後の先端ライン１１を接触させて先端表面を微粒の研磨剤で面取りすることで滑らかな曲面を形成する。図６（ｃ）はバフ研磨により完成した研磨後の先端ライン１２を示す図である。
【００４６】
尚、このバフ研磨加工については、特に、研磨角度は１段に限るものではなく、複数段階に変化させながらバフ研磨することが望ましい。これにより更に精度の良い先端曲率を得ることができる。
【００４７】
（作用効果）
従来の方法は、コアレスファイバの平坦面を加熱手段のみによって球状化していたので、先端部の溶融による表面張力により所望の曲率を得ていたが、本発明は得ようとする曲率に合わせて、予め先端を研磨しているので、所望の曲率を得やすい。またファイバ径と同径を有しつつ、容易に所望の曲率を得ることができるので光軸調整が不要となる。
【００４８】
また、熱溶融工程及びバフ研磨工程による加熱及びバフ研磨による曲率付与は、主として頂点の円錘突出部分の曲率化が中心となっているが、ファイバ径が１２５μｍと細いために、自動的に端面全体の曲率化に寄与するという効果がある。
【００４９】
また、従来の方法では球状レンズの形成に伴うコアレスファイバ長の変動が生じるのに対し、本発明はコアレスファイバ長の制御が極めて容易となる。
【００５０】
つまり、コアレスファイバを加熱し過ぎると、コアレスファイバ長が次第に短くなるとともに逆に球状レンズが拡大するため、加熱制御には微調節が必要であり作業が繁雑であったが、本発明はコアレスファイバ長の制御が極めて容易となる。
【００５１】
更に本発明のレンズ付き光ファイバ端末の製造方法によれば、ＳＭＦ２の先端にＳＭＦ２のクラッド２２の屈折率と等価な単一屈折率を有するコアレスファイバ１を融着接続し所定長を残して切断した後、曲率半径Ｒと研磨角度の関係グラフから読み出した研磨角度に基づいてコアレスファイバ１の先端を円錘状に研磨して、先端部を加熱装置で加熱溶融することで所望の曲率半径Ｒを形成するので、この結果、研磨工程と熱溶融工程とで所望の曲率半径Ｒを形成することができ、従来と比べて製造方法が容易となる。
【００５２】
またこれにともない所望の曲率半径Ｒと、コアレスファイバの長さを同時に制御することができるので、従来のように球レンズを生成するためのコアレスファイバ長の算出が必要なくなる。更に球レンズを成形する際に加熱時間に細心の注意を払う必要がなくなる。
【００５３】
つまり、従来はＳＭＦの先端に予め球状体積分のファイバ長を接続しておき加熱時間を調節して球レンズを形成していたが、このような製造方法では、過加熱により球が大きくなり過ぎることや、加熱具合により所望の曲率半径Ｒが得られない（つまり変形レンズが形成されてしまう。）ことがあり得たが、本発明によれば、加熱は表面を滑らかに整形するために行っているだけなので、加熱調整が容易であり、かつ製造方法を簡単化することができる。
【００５４】
〔実施例１〕
本発明のレンズ付き光ファイバ端子の製造方法に基づき、実際にＳＭＦ２にコアレスファイバ１を接続してコアレスファイバ１の端に所望の曲率半径Ｒからなるレンズを形成した。
【００５５】
先ず１ ．３１μｍ用ＳＭＦの先端にコアレスファイバ１を融着した後、コアレスファイバ長ｘが８１０μｍとなる位置で切断する。そしてコアレスファイバの先端を角度１５．０９５°で円錘研磨した後、融着装置を用いて５００ｍｓのアーク放電処理を施した。得られた端面の曲率半径を測定した結果、端面の９０％（約１１０μｍ径の範囲）で均一な曲率半径Ｒ１８０μｍが得られた。
【００５６】
【発明の効果】
従って請求項１記載の本発明によれば、シングルモード光ファイバ（ＳＭＦ）に、ＳＭＦのクラッド部と同一屈折率を有し、且つコア部のない単一屈折率を備えるＳＭＦと同径を有するコアレスファイバを融着接続した後に一定長に切断し、このコアレスファイバの先端をＳＭＦの径の３／４に相当する研磨角度で研磨して略所定の曲率半径となるように円錐状に研磨した後に、これを所定時間熱溶融して整形することで、レンズとして機能する所望の曲率半径を備え、且つＳＭＦと同径のレンズ付光ファイバ端末を作製することができるので、光軸調整が極めて容易となる。
【００５７】
また請求項２記載の本発明によれば、研磨工程において、研磨角度は１段階に限らず２段階に変化させながら研磨することで、より高い精度の曲率を得ることができる。また研磨角度の変化を、２段階に限らず、３，４，５・・・と複数段階にすることで、更に精度を向上させることができる。
【００５８】
更に請求項３記載の本発明によれば、研磨角度は、コアレスファイバの径に３／４を乗算して得られる曲率半径の範囲の外周上の点と、最終的に得たい曲面との接線が形成する角度で定められ、この研磨角度と曲率半径の関係グラフをもとに、所望の曲率半径に対応する研磨角度でコアレスファイバを研磨することで、容易に略所望の曲率半径を得ることができる。
【００５９】
また更に請求項４記載の本発明によれば、円錐状に研磨されたコアレスファイバの先端を熱溶融加工して所望の曲率半径を得ることに代えて、研磨されたコアレスファイバの先端をバフ研磨することで所望の曲率半径を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のレンズ付き光ファイバ端末の構成を示す断面図である。
【図２】コアレスファイバ長に対するコアレスファイバ先端におけるビーム径の関係を示すグラフである。
【図３】コアレスファイバ１の先端部を拡大した拡大加工図である。
【図４】研磨角度と曲率半径Ｒの関係を示すグラフである。
【図５】円錐研磨された先端部を熱溶融する熱溶融工程を示す図である。
【図６】円錐研磨された先端部をバフ研磨するバフ研磨工程を示す図である。
【図７】従来のピッグテイル型光アイソレータの構成を示す図である。
【図８】従来の微小レンズ付き光ファイバ端末の製造方法を示す図である。
【符号の説明】
１…コアレスファイバ
２…ＳＭＦ
３…融着装置
４…バフ研磨機
１１…研磨後先端ライン
１２…熱溶融後先端ライン
２１…コア
２２…クラッド
３１…電極
４１…バフ
１０１…光ファイバ
１０２…球レンズ
１０３…光学デバイス
１０４…屈折率分布型レンズ
１１０…電極
１１２…光学結合用光ファイバ端末
１１３…ＳＭＦ
１１４…非ドープシリカファイバ
１１５…球レンズ部
１１６…光線拡大部分
【図１】
2004198976.tif 000005
【図２】
2004198976.tif 000006
【図３】
2004198976.tif 000007
【図４】
2004198976.tif 000008
【図５】
2004198976.tif 000009
【図６】
2004198976.tif 000010
【図７】
2004198976.tif 000011
【図８】
2004198976.tif 000012