(57)【要約】【課題】プローブと被検査体とを押圧したときに支持基板に伝達される力を低減することにある。【解決手段】電気的接続装置は、複数のテスターランドを上面に備えると共に該テスターランドに個々に接続された複数の第１の接続ランドを下面に備える支持基板と、第１の接続ランドに個々に対応された複数の第２の接続ランドを上面に有すると共に該第２の接続ランドに個々に接続された複数のプローブ座を下面に有する取り付け基板であって支持基板の下側に配置された取り付け基板と、第１及び第２の接続ランドのいずれか一方に片持ち梁状に個々に取り付けられて他方に接触されたプローブ状の複数の接続子と、プローブ座に片持ち梁状に個々に取り付けられた複数のプローブとを含むことを特徴とする。【選択図】          図１７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のテスターランドを上面に備えると共に該テスターランドに個々に接続された複数の第１の接続ランドを下面に備える支持基板と、前記第１の接続ランドに個々に対応された複数の第２の接続ランドを上面に有すると共に該第２の接続ランドに個々に接続された複数のプローブ座を下面に有する取り付け基板であって前記支持基板の下側に配置された取り付け基板と、前記第１及び第２の接続ランドのいずれか一方に片持ち梁状に個々に取り付けられて他方に接触されたプローブ状の複数の接続子と、前記プローブ座に片持ち梁状に個々に取り付けられた複数のプローブとを含む、通電試験用電気的接続装置。
【請求項２】
前記支持基板は、前記テスターランドを上面に備える配線基板と、該配線基板の下面に組み付けられたリングと、前記リング内にあって前記配線基板の下側に配置された接続基板であって前記第１の接続ランドを下面に有する接続基板とを含み、前記取り付け基板は前記リング内にあって前記接続基板の下側に配置されている、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記リングは、前記取り付け基板を受けるべく下端縁から中心に向けて伸びる複数の保持部を有すると共に、前記取り付け基板を受ける前記下端縁に取り付けられた複数の板部材を当該リングの軸線の周りに等角度間隔に有する、請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項４】
前記接続子及び前記プローブのそれぞれは、基端部から先端側に横に伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から上下方向のいずれか一方へ伸びる針先部であって接続ランド又は被検査体に押圧される針先を有する針先部とを含み、また前記アーム部の基端部側において対応する接続ランド又はプローブ座に取り付けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記アーム部から上下方向に間隔をおいて基端部から先端部に横に伸びる第２のアーム部と、両アーム部をそれらの先端部及び基端部においてそれぞれ連結する第１及び第２の連結部とを含む、請求項４に記載の電気的接続装置。
【請求項６】
前記両アーム部の少なくとも一方は、当該アーム部の全体、当該アーム部の上下方向における一方側の縁部、及び当該アーム部の上下方向における他方側の縁部の少なくとも１つを弧状とされている、請求項５に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路のような平板状被検査体の通電試験に用いる電気的接続装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路のような平板状被検査体は、それが仕様書通りに製造されているか否かの通電試験をされる。この種の通電試験は、被検査体の電極に個々に押圧される複数のプローブを備えた、プローブカード、プローブブロック、プローブユニット等、電気的接続装置を用いて行われる。この種の電気的接続装置は、被検査体の電極と、テスターとを電気的に接続するために利用される。
【０００３】
この種の電気的接続装置として、特許文献１，２，３，４等に記載されているように種々提案されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開昭６１−１６４１６５号公報
【特許文献２】
特開平７−２０１９３５号公報
【特許文献３】
特開平７−２２９９４９号公報
【特許文献４】
特開平７−２０１９３５号公報
【特許文献５】
特開平７−１１５１１０号公報
【特許文献６】
特開２００３−５７２６４号公報
【０００５】
【解決しようとする課題】
しかし、従来の電気的接続装置は、いずれも、プローブ数が多くなるほど、プローブと被検査体との相対的な押圧力を大きくしなければならないにもかかわらず、プローブと被検査体とを押圧したときにプローブに作用する力がそのまま配線基板のような支持基板に伝達するため、配線基板の機械的強度を高くしなければならない。
【０００６】
本発明の目的は、プローブと被検査体とを押圧したときに支持基板に伝達される力を低減することにある。
【０００７】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係る電気的接続装置は、複数のテスターランドを上面に備えると共に該テスターランドに個々に接続された複数の第１の接続ランドを下面に備える支持基板と、前記第１の接続ランドに個々に対応された複数の第２の接続ランドを上面に有すると共に該第２の接続ランドに個々に接続された複数のプローブ座を下面に有する取り付け基板であって前記支持基板の下側に配置された取り付け基板と、前記第１及び第２の接続ランドのいずれか一方に片持ち梁状に個々に取り付けられて他方に接触されたプローブ状の複数の接続子と、前記プローブ座に片持ち梁状に個々に取り付けられた複数のプローブとを含む。
【０００８】
支持基板と取り付け基板との間に片持ち梁状に配置されたプローブ状の複数の接続子は、プローブと被検査体とが押圧されたときに、片持ち針状の部分で湾曲されて、プローブと被検査体とが押圧されたときに支持基板に伝達される力の一部を吸収する。これにより、プローブと被検査体とが押圧されたときに支持基板に伝達される力が低減される。
【０００９】
前記支持基板は、前記テスターランドを上面に備える配線基板と、該配線基板の下面に組み付けられたリングと、前記リング内にあって前記配線基板の下側に配置された接続基板であって前記第１の接続ランドを下面に有する接続基板とを含み、前記取り付け基板は前記リング内にあって前記接続基板の下側に配置されていてもよい。
【００１０】
前記リングは、前記取り付け基板を受けるべく下端縁から中心に向けて伸びる複数の保持部を有すると共に、前記取り付け基板を接続基板に向けて付勢すべく下端縁に取り付けられた複数のばね板を当該リングの軸線の周りに等角度間隔に有していてもよい。
【００１１】
前記接続子及び前記プローブのそれぞれは、基端部から先端側に横に伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から上下方向のいずれか一方へ伸びる針先部であって接続ランド又は被検査体に押圧される針先を有する針先部とを含み、また前記アーム部の基端部側において対応する接続ランド又はプローブ座に取り付けられていることができる。そのようにすれば、プローブと被検査体とが押圧されたときに、接続子のアーム部が確実に湾曲されて、プローブと被検査体とが押圧されたときに接続子で吸収される力が多くなり、支持基板に伝達される力の一部がより低減される。
【００１２】
前記アーム部から上下方向に間隔をおいて基端部から先端部に横に伸びる第２のアーム部と、両アーム部をそれらの先端部及び基端部においてそれぞれ連結する第１及び第２の連結部とを含むことができる。
【００１３】
前記両アーム部の少なくとも一方は、当該アーム部の全体、当該アーム部の上下方向における一方側の縁部、及び当該アーム部の上下方向における他方側の縁部の少なくとも１つを弧状とされていることができる。そのようにすれば、弧状部分を有するアーム部の機械的強度が大きくなるから、大きなオーバードライブがプローブに作用しても、両アーム部が折損することなく、両アーム部が弾性変形して湾曲される。
【００１４】
上記の結果、オーバードライブ量を大きくして、被検査体の電極に対する針先の押圧力（針圧）を大きくすることができるから、被検査体の電極と針先との電気的接続状態を希望する状態にすることができるし、上下方向における針先の位置を高精度に一致させることなく、被検査体の電極と針先とを確実に接触させることができ、正確な検査をすることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図１（Ａ）において、上下方向を第１の方向、左右方向を第２の方向、紙面に垂直の方向を第３の方向とするが、それらの方向は、通電すべき被検査体を受けるテスターのチャックトップに応じて異なる。
【００１６】
先ず、本発明で用いるプローブの実施例について説明する。
【００１７】
図１（Ａ）及び（Ｂ）を参照するに、プローブ１０は、第１の方向（上下方向）に間隔をおいて第２の方向（左右方向）へ伸びる第１及び第２のアーム部１２，１４と、第１及び第２のアーム部１２，１４をそれらの先端部及び基端部においてそれぞれ連結する第１及び第２の連結部１６，１８と、第１の連結部１６の第１の方向における一方側（下縁側）に続く針先部２０と、第１及び第２のアーム部１２，１４に対し第１の方向における他方側（上縁側）に位置する取り付け部２２と、取り付け部２２から第１の方向における一方側に伸びて第２の連結部１８に続く延長部２４とを含む。
【００１８】
針先部２０は、第１の連結部１６の下縁部と第２のアーム部１４の先端側の下縁部とに一体的に続く台座部２６と、台座部２６の下縁部から突出する接触部２８とを備えている。
【００１９】
アーム部１２，１４、第１及び第２の連結部１６，１８、取り付け部２２、延長部２４及び台座部２６は、ほぼ同じ厚さ寸法を有する一体的な板の形状とされており、したがってプローブ１０は、全体的に平坦なブレードタイプのプローブとされている。
【００２０】
これに対し、接触部２８は、截頭円錐形又は截頭角錐形の形状を有しており、またそのような円錐形又は角錐形の底面に対応する箇所において台座部２６の下面に一体的に形成されている。
【００２１】
接触部２８は、上下方向に垂直の仮想的な水平面に対し０．１°から５°の角度θを有する先端面を有している。この先端面は、図示の例では、被検査体の電極に押圧される針先３０として作用する。
【００２２】
針先３０は、左右方向における第１の連結部１６の側（先端側）の箇所ほど上方側となる傾斜面とされている。しかし、針先３０を、上下方向に垂直の面としてもよいし、半球状の面としてもよい。また、針先３０を、面とする代わりに、先鋭な針先としてもよい。
【００２３】
第１のアーム部１２は、全体的に、適宜な曲率半径Ｒ１を有して上方に突出する弧状とされている。曲率半径Ｒ１は、上下方向における両アーム１２，１４の間隔Ｈ、左右方向における両連結部１６，１８の間隔Ｗ、及び第２の連結部１８から接触部２８の中心までの距離（アーム部の有効長さ寸法）Ｌと共に、針先３０を被検査体の電極に押圧したときの両者の擦り合わせ量に応じた値とすることができる。
【００２４】
プローブ１０の素材として、ニッケル・リン合金（Ｎｉ−Ｐ）、ニッケル・タングステン合金（Ｎｉ−Ｗ）、ロジウム（Ｒｈ）、燐青銅（ＢｅＣｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、パラジウム・コバルト合金（Ｐｄ−Ｃｏ）、及びパラジウム・ニッケル・コバルト合金（Ｐｄ−Ｎｉ−Ｃｏ）等の導電性金属材料をあげることができる。
【００２５】
プローブ１０は、その全体を上記材料で製作されていてもよい。しかし、接触部２８は、少なくとも台座部２６と異なる材料で製作してもよい。この場合、台座部２６は、両アーム部１２，１４、両連結部１６，１８、取り付け部２２及び延長部２４と同じ材料で製作されていてもよいし、異なる材料で製作されていてもよい。
【００２６】
プローブ１０の全体を同じ材料で製作するか、又は接触部２８を除く箇所を同じ材料で製作すれば、プローブ１０の製造が容易になる。
【００２７】
プローブ１０は、後に説明する図１５から図１９に示すように、プローブカードのような電気的接続装置８０に組み立てられる。電気的接続装置１０の詳細については後に説明するが、以下に簡単に説明する。
【００２８】
電気的接続装置８０は、テスターに接続される円形の配線基板８２と、配線基板８２の上面に配置された円形の補強板８４と、配線基板８２の下面に配置されたリング８６とを複数のボルト８８により重ねた状態に同軸的に取り付けている。円形の接続基板９０及び取り付け基板９２は、リング８６の内側にあって配線基板８２の下側に配置されている。
【００２９】
配線基板８２、リング８６、接続基板９０及び取り付け基板９２は、プローブ１０の支持部材すなわち支持基板として作用する。半導体ウエーハ上の集積回路のような被検査体９４は、検査ステージのチャックトップ９６の上に水平に配置されて、支持される。
【００３０】
プローブ１０は、取り付け部２２において取り付け基板９２に片持ち梁状に支持され、その状態で針先３０を被検査体９４の電極に押圧される。針先３０が被検査体９４の電極に押圧されると、オーバードライブがプローブ１０に作用して、両アーム部１２，１４が弾性変形して湾曲される。
【００３１】
しかし、プローブ１０は、第１のアーム部１２が全体的に弧状に湾曲されているから、弧状の第１のアーム部１２の機械的強度が大きくなる。このため、大きなオーバードライブがプローブ１０に作用しても、両アーム部１２，１４が折損することなく、両アーム部１２，１４が弾性変形して湾曲される。
【００３２】
上記の結果、オーバードライブ量を大きくして、被検査体９４の電極に対する針先３０の押圧力（針圧）を大きくすることができるから、被検査体９４の電極と針先３０とを良好な電気的接続状態にすることができる。
【００３３】
また、被検査体９４の通電試験には、上記のような構造を有する複数のプローブ１０が支持部材（特に、取り付け基板９２）に取り付けられる。この場合、隣り合うプローブ１０の上下方向における針先３０の位置が高精度に一致していなくても、オーバードライブ量を大きくして、上下方向における針先３０の位置が被検査体９４の電極に近いプローブほど大きく弾性変形させることにより、被検査体９４の電極と針先３０とを確実に接触させることができ、正確な検査をすることができる。
【００３４】
図２を参照するに、取り付け部２２はこれの厚さ方向に貫通する穴３２を左右方向に間隔をおいた複数箇所のそれぞれに有していてもよいし、取り付け部２２から上方に伸びる突起３４を左右方向に間隔をおいた複数箇所のそれぞれに形成してもよい。
【００３５】
取り付け部２２に穴３２を有するプローブ１０によれば、穴３２を取り付け基板９２に対するプローブ１０の位置決め穴として利用することができるから、取り付け基板９２へのプローブ１０の取り付け作業が容易になる。
【００３６】
また、取り付け部２２から上方に伸びる突起３４を備えるプローブ１０によれば、取り付け基板９２に突起嵌合用の穴を形成し、突起３４をその嵌合用穴に差し込むことにより、取り付け基板９２に対するプローブ１０の位置決めが行われるから、取り付け基板９２へのプローブ１０の取り付け作業がより容易になる。
【００３７】
図３に示すように、第１のアーム１２を弧状に湾曲させる代わりに、第２のアーム部１４を、適宜な曲率半径Ｒ２を有して上方に突出する弧状に湾曲させてもよい。そのようにすれば、第２のアーム部１４の機械的強度が大きくなるから、大きなオーバードライブがプローブ１０に作用しても、両アーム部１２，１４が折損することなく、両アーム部１２，１４が弾性変形して湾曲される。
【００３８】
図４に示すように、第１及び第２のアーム部１４をそれぞれ適宜な曲率半径Ｒ１及びＲ２で上方に突出する弧状に湾曲させてもよいし、図５に示すように第２のアーム部１４を適宜な曲率半径Ｒ２で下方に突出する弧状に湾曲させてもよく、さらに図６に示すように第１及び第２のアーム部１２及び１４をそれぞれ適宜な曲率半径Ｒ１及びＲ２を有して下方に突出する弧状に湾曲させてもよい。
【００３９】
図４、図５及び図６に示すいずれのプローブにおいても、第２のアーム部１４の機械的強度もが大きくなるから、大きなオーバードライブがプローブ１０に作用しても、両アーム部１２，１４がより折損することなく、両アーム部１２，１４がより弾性変形しなすくなる。
【００４０】
上記いずれの実施例においても、左右方向における台座部２６の幅寸法を左右方向における第１の連結部１６の幅寸法と同じにしてもよいし、図７に示すように左右方向における第１及び第２のアーム部１２及び１４の長さ寸法を同じにしてもよい。特に、後者によれば、第２のアーム部１４がより弾性変形しやすくなるから、大きなオーバードライブをプローブ１０に作用させても、両アーム部１２，１４がより折損することなく、両アーム部１２，１４がより確実に弾性変形する。
【００４１】
上記いずれの実施例においても、接触部２８をその円錐形又は角錐形の底面に対応する箇所において台座部２６の下面に一体的に形成する代わりに、図８（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、接触部２８を少なくとも台座部２６と別個に製作し、その接触部２８を円錐形又は角錐形の底面に対応する箇所において台座部２６の下面に半田のような導電性接着剤により接着してもよい。
【００４２】
図９に示すように、全体的に同じ厚さ寸法を有する台形をした板状の接触部３８としてもよい。図９に示すプローブ１０は、図１０に示すように製作することができる。
【００４３】
先ず、図１０（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ベース板４０が用意され、そのベース板４０の上にホトレジスト４２が塗布され、そのホトレジスト４２のうち、接触部３８以外のプローブ領域に対応する領域が露光及び現像処理をされて、露光及び現像処理された領域に凹所が形成され、その凹所に導電性金属材料が電鋳法を用いる電気メッキにより充填される。
【００４４】
次いで、図１０（Ｃ）及び（Ｄ）に示すように、ホトレジスト４２及び充填物４４の上にホトレジスト４６が塗布され、そのホトレジスト４６のうち、接触部３８を含む先端領域に対応する領域が露光及び現像処理をされて、露光及び現像処理された領域に凹所が形成され、その凹所に導電性金属材料が電鋳法を用いる電気メッキにより充填される。
【００４５】
図１０（Ｅ）及び（Ｆ）に示すように、ホトレジスト４６及び充填物４８の上にホトレジスト５０が塗布され、そのホトレジスト５０のうち、接触部３８以外のプローブ領域に対応する領域が露光及び現像処理をされて、露光及び現像処理された領域に凹所がホトレジスト４６及び５０に形成され、その凹所に導電性金属材料が電鋳法を用いる電気メッキにより充填される。
【００４６】
その後、全てのホトレジスト４２，４６及び５０が除去され、充填物４４，４８及び５２が一体となったプローブ１０がベース板４０から取り外される。
【００４７】
円錐形、角錐形の接触部２８とする代わりに、図１１に示すように、プローブ１０の厚さ方向に長いかまぼこ状の接触部５６としてもよい。接触部５６は、プローブ１０の厚さ方向から見て、台形の形状を有している。接触部５６を備えたプローブ１０も、上記したようなホトレジストの露光現像処理と電気メッキ処理とを複数回行うことにより容易に製作することができる。
【００４８】
通電試験用のプローブは、一般に、テスターに配置された状態において、テスター又は被検査体に対する位置合わせをされる。このため、プローブ１０は針先３０の側（被検査体の側）からエリアセンサにより撮影される。各プローブ１０の位置は、エリアセンサの出力信号を画像処理することにより、エリアセンサの撮影領域内における針先３０の座標位置として求められる。
【００４９】
それゆえに、プローブ１０は、図１２に示すように、針先３０と異なる箇所に基準部６０を有している。図１２に示す基準部６０は、台座部２６の下面に凹所６２を形成して台座部２６から下方に突出する突出部６４を形成し、突出部６４の下端の平坦面部とされている。
【００５０】
突出部６４は、プローブ１０の厚さ方向に伸びており、また平坦面部すなわち基準部６０と、突出部６４の軸線に対して傾斜する左右一対の傾斜面部６６とにより、台形の断面形状とされている。
【００５１】
基準部（平坦面部）６０は、両傾斜面部６６の先端に続きかつ突出部６４の軸線に垂直とされており、また針先３０よりアーム部１４側に後退されており、さらにプローブ１０の厚さ方向に伸びる帯状とされている。
【００５２】
テスター又は被検査体に対する位置合わせ時、プローブ１０は針先３０の側（被検査体の側）からエリアセンサにより撮影される。プローブ１０の位置は、エリアセンサの出力信号を画像処理することにより、エリアセンサの撮影領域内における針先の座標位置として求められる。
【００５３】
図１２に示すプローブ１０は針先３０と異なる箇所に形成された基準部６０を備えているから、エリアセンサの出力信号を用いて基準部６０を周囲と容易に識別することができ、したがって基準部６０の座標位置も容易に決定することができる。また、基準部６０と針先３０との位置関係は不変であるから、針先３０の位置は基準部６０の位置から容易に決定することができる。
【００５４】
基準部６０は、これが平坦面部であるから、隣の少なくとも一部の領域と異なる下方への光反射特性を有する。このため、下方への反射光量の差を利用して、基準部６０を容易に決定することができる。
【００５５】
図１３を参照するに、プローブ１０は、突出部６４をアーム部１４の左端部から下方に突出させて、突出部６４の下端の平坦面部を基準部６０としている。
【００５６】
図１４を参照するに、プローブ１０は、台座部２６の下面に周囲領域６８を形成し、周囲領域６８の内側の領域を基準部７０としている。基準部７０は、下方への光反射特性が周囲領域６８より高く、また平坦面である。周囲領域６８は、光を乱反射させるような粗面とされている。
【００５７】
図示の例では、周囲領域６８は、円形であるが、三角形、四角形、星形等、他の形状であってもよい。また、周囲領域６８及び基準部７０を、台座部２６に形成する代わりに、アーム部１４の下面に形成してもよい。
【００５８】
基準部６０及び７０を平坦面とする代わりに、先鋭な箇所としてもよい。また、基準部６０及び７０は、下方への光反射特性が周囲又は隣の領域６６，６８と異なればよく、したがって基準部６０及び７０は、下方への光反射特性が周囲又は隣の領域６６，６８よりも、大きくしてもよいし、小さくしてもよい。
【００５９】
図１３及び図１４に示すいずれのプローブ１０も、図１２に示すプローブと同じ作用効果を奏する。
【００６０】
図１１，図１２，図１３及び図１４に示すいずれのプローブ１０も、基準部６０又は７０がその隣の領域に対し高い又は低い光反射特性を有していればよいが、基準部６０又は７０とその隣の領域との光反射特性が大きく異なることが好ましい。このため、基準部６０又は７０を平坦面とし、その周囲を、基準部に対し傾斜する傾斜面、光乱反射面、低光反射面等としてもよい。
【００６１】
上記実施例では、いずれも、アーム部１２又は１４の全体を弧状に湾曲させているが、これの代わりに、アーム部１２又は１４の上下方向における一方側の縁部及びアーム部１２又は１４の上下方向における他方側の縁部の少なくとも１つを弧状としてもよい。
【００６２】
図１から図７及び図１１から図１４に示すいずれのプローブも、図７に示すプローブと同様に、図８に示す手法により製造することができる。
【００６３】
次に、上記のプローブを用いた電気的接続装置の実施例について説明する。
【００６４】
図１５から図１９を参照するに、既に述べたように、電気的接続装置８０は、円形の配線基板８２と、配線基板８２の上面に配置された円形の補強板８４と、配線基板８２の下面に配置されたリング８６とを複数のボルト８８により重ねた状態に同軸的に取り付けている。リング８６の内側には、円形の接続基板９０と取り付け基板９２とが配線基板８２の下面に配置されている。
【００６５】
配線基板８２は、テスターの電気回路に接続される複数のテスタランド１００を上面の周縁部に有しており、また図示してはいないがテスターランドに個々に接続された複数の配線を下面又は内部に有している。
【００６６】
補強板８４は、中央部に円形の穴１０２を有していると共に、その周りに三日月状の複数の穴１０４を有している。リング８６は、取り付け基板９２を内側に受けるべく下端縁から中心に向けて水平に伸びる板状の複数（図示の例では、３つ）の保持部１０６をリング８６の軸線の周りに等角度間隔に有している。
【００６７】
配線基板８２、補強板８４及びリング８６は、これらを厚さ方向に貫通する複数の位置決めピン１０８により、相対的位置決めをされている。
【００６８】
接続基板９０は、これの下面に形成された複数の第１の接続ランド１１０を備えており、複数の接続子１１２を第１の接続ランド１１０に個々に半田付けし、接続座１１０を複数の配線（図示せず）により配線基板８２の配線に個々に接続している。
【００６９】
接続基板９０は、これが配線基板８２に押圧された状態に、ボルトのような適宜な止め具により配線基板８２に取り付けられている。配線基板８２、リング８６及び接続基板９０は、プローブ１１４のための支持基板を構成している。接続基板９０は、配線基板８２と一体的に製作してもよい。
【００７０】
各接続子１１２は、図示の例では、図１又は図２に示すプローブであり、針先部２０が下方に向くと共にアーム部１２，１４が左右方向へ伸びる状態に、取り付け部２２において対応する第１の接続ランド１１０に片持ち梁状に半田付けされている。
【００７１】
取り付け基板９２は、円板状の主体部の上端外周部に円形のフランジ部を形成しており、下面に複数のプローブ１１４を取り付けている。取り付け基板９２は、プローブ１１２に個々に押圧される複数の第２の接続ランド１１６と、第２のプローブ１１４が個々に取り付けられる複数のプローブ座１１８と、第２の接続ランド１１６及びプローブ座１１８を一対一の関係に接続する複数の配線１２０とを備えている。
【００７２】
各プローブ１１４は、図示の例では、図１又は図２に示すプローブであり、針先部２０が下方に向くと共にアーム部１２，１４が横方向へ伸びる状態に状態に取り付け部２２において対応するプローブ座１１８に片持ち梁状に半田付けされている。
【００７３】
取り付け基板９２は、これが保持部１０６に載せられて第２の接続ランド１１６を対応する接続子１１２の針先部２０に押圧された状態に、ボルト１２４でリング８６の下面に等角度間隔に取り付けられた複数（図示の例では、３つ）の位置決め板１２２によりリング８６に組み付けられている。
【００７４】
各位置決め板１２２は、位置決めピン１２６によりリング８６ひいては配線基板８２に対し位置決められている。各位置決め板１２２は、取り付け基板９２を接続基板９０に向けて付勢するように、又はプローブ１１４が被検査体９４に押圧されたとき弾性変形するように、ばね板とすることができる。
【００７５】
取り付け基板９２は、複数のボルト１２８により位置決め板１２２の上面に取り付けられていると共に、位置決めピン１３０により各位置決め板１２２に対して位置決めされている。
【００７６】
取り付け基板９２は、接触子１１２により保持部１０６に向けて付勢されており、これにより各第２の接続ランド１１６及び対応する接続子１１２の針先部２０とは相対的に押圧されている。
【００７７】
位置決め板１２２はリング８６の軸線の周りに等角度間隔に位置されており、これにより接続子１１２への第２の接続ランド１１６の押圧力は同じとされている。
【００７８】
プローブ状の接続子１１２を、針先部２０が下方に突出する状態に第１の接続ランド１１０に取り付ける代わりに、針先部２０が上方に突出して第１の接続ランド１１０に針先部２０を接触する状態に、第２の接続ランド１１６に取り付けてもよい。
【００７９】
電気的接続装置８０は、図１９に示すように、各プローブ１１４の針先３０を被検査体９４の電極に押圧される。これにより、オーバードライブが各プローブ１１４に作用して、両アーム部１２，１４が弾性変形して湾曲される。
【００８０】
接続基板９０と取り付け基板９２との間に片持ち梁状に配置されたプローブ状の複数の接続子１１２は、プローブ１１４と被検査体９４とが押圧されたときに、図１９に示すように、片持ち針状のアーム部１２，１４において湾曲されて、プローブ１１４と被検査体９４とが押圧されたときに接続基板９０ひいては配線基板８２に伝達される力の一部を吸収する。これにより、プローブ１１４と被検査体９４とが押圧されたときに接続基板９０及び配線基板８２に伝達される力が低減される。
【００８１】
特に、接続子１１２及びプローブ１１４として、図１から図１４に示すプローブのように、アーム部１２，１４の少なくとも一方が、当該アーム部の全体、当該アーム部の上方側の縁部、及び当該アーム部の下方側の縁部の少なくとも１つを弧状とされているプローブ１０を用いれば、既に述べたように、弧状部分を有するアーム部の機械的強度が大きくなるから、大きなオーバードライブがプローブに作用しても、両アーム部が折損することなく、両アーム部が弾性変形して湾曲される。
【００８２】
その結果、オーバードライブ量を大きくして、被検査体９４の電極に対する針先の押圧力（針圧）を大きくすることができるから、被検査体９４の電極と針先とを良好な電気的接続状態にすることができるし、上下方向における針先の位置を高精度に一致させることなく、被検査体９４の電極と針先とを確実に接触させることができ、正確な検査をすることができる。
【００８３】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明で用いるプローブの第１の実施例を示す図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は右側面図である。
【図２】本発明で用いるプローブの第２の実施例を示す図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は右側面図である。
【図３】本発明で用いるプローブの第３の実施例を示す正面図である。
【図４】本発明で用いるプローブの第４の実施例を示す正面図である。
【図５】本発明で用いるプローブの第５の実施例を示す正面図である。
【図６】本発明で用いるプローブの第６の実施例を示す正面図である。
【図７】本発明で用いるプローブの第７の実施例を示す正面図である。
【図８】接触部を台座部に取り付ける手法の一例を示す斜視図であって、（Ａ）は取り付け前の状態を示し、（Ｂ）は取り付け後の状態を示す。
【図９】本発明で用いるプローブの第８の実施例を示す図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は右側面図である。
【図１０】図９に示すプローブの製造方法を説明するための図であって、（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ第１のステップにおける縦断面図及び平面図、（Ｃ）及び（Ｄ）はそれぞれ第２のステップにおける縦断面図及び平面図、（Ｅ）及び（Ｆ）はそれぞれ第３のステップにおける縦断面図及び平面図である。
【図１１】本発明で用いるプローブの第９の実施例を示す斜視図である。
【図１２】本発明で用いるプローブの第１０の実施例を示す図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は針先部の底面図である。
【図１３】本発明で用いるプローブの第１１の実施例を示す図であって、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は底面図である。
【図１４】本発明で用いるプローブの第１２の実施例を示す図であって、（Ａ）は針先部の正面図、（Ｂ）は端先部の底面図である。
【図１５】本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す平面図である。
【図１６】図１５に示す電気的接続装置の底面図である。
【図１７】図１５に示す電気的接続装置の補強板及びリングを縦方向に断面して示す図である。
【図１８】図１５に示す電気的接続装置における接続基板及び取り付け基板の一部を拡大して示す図である。
【図１９】図１５に示す電気的接続装置においてプローブと被検査体とを相対的に押圧した状態を示す図である。
【符号の説明】
１０  プローブ
１２，１４  アーム部
１６，１８  連結部
２０  針先部
２２  取り付け部
２４  延長部
２６  台座部
２８，３８，５６  接触部
３０  針先
３２  穴
３４  突起
６０，７０  基準部
６２  凹所
６４  突出部
６６  傾斜面部
６８  周囲領域
８０  電気的接続装置
８２  配線基板
８４  補強板
８６  リング
９０  接続基板
９２  取り付け基板
１００  テスターランド
１０６  保持部
１０８，１２６，１３０  位置決めピン
１１０，１１６  第１及び第２の接続ランド
１１２  接続子
１１４  プローブ
１１８  プローブ座
１２０  配線
１２２  位置決め板（板部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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