(57)【要約】【課題】研磨時に研磨対象物に生じる衝撃を十分に抑制すると共に、研磨対象物を容易に装着可能なキャリアプレートを提供する。【解決手段】前記研磨対象物装着孔２が、研磨対象物３の半径と同一な半径を有する第１の扇孔２１と研磨対象物３の半径以上の半径を有する第２の扇孔２２とからなり略円形状を形成しているので、研磨対象物３を第２の扇孔２２から第１の扇孔２１へ挿入することで円滑に研磨対象物装着孔２に装着できる。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨対象物が装着される略円形の穴からなる研磨対象物装着孔を有する研磨用キャリアプレートにおいて、
前記研磨対象物装着孔が、装着される研磨対象物の半径と同一半径を有する頂角が１８０度以下となる扇状の第１の扇孔と、当該研磨対象物の半径以上の半径を有する扇状の第２の扇孔とから少なくとも形成されることを
特徴とする研磨用キャリアプレート。
【請求項２】
前記請求項１に記載の研磨用キャリアプレートにおいて、
前記研磨対象物装着孔の第１の扇孔が研磨時に研磨対象物に対して生じる水平方向の力のベクトル方向に形成されることを
特徴とする研磨用キャリアプレート。
【請求項３】
前記請求項１または２に記載の研磨用キャリアプレートにおいて、
前記研磨対象物装着孔の端面を前記研磨対象物装着孔を形成するプレート本体より低硬度材質の樹脂からなる保護部で被覆することを
特徴とする研磨用キャリアプレート。
【請求項４】
前記請求項３に記載の研磨用キャリアプレートにおいて、
前記保護部の外周にくさび型の凸部を複数形成し、
前記研磨対象物装着孔の端面に前記保護部の凸部に対応した凹部を形成し、
前記研磨対象物装着孔の凹部に前記保護部の凸部を嵌合させたことを
特徴とする研磨用キャリアプレート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨する研磨対象物を装着するキャリアプレートに関し、特に、研磨時に研磨対象物に対する衝撃を抑えるキャリアプレートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
第１の従来のキャリアプレートとしては、特開２０００−３０１４５１号公報に開示されるものがあり、以下に図１０ないし図１２に基づいて説明していく。図１０はキャリアプレートの平面図、図１１は図１０のＡ−Ａ断面図でワーク保持孔の内周端面を示す図および図１２はワーク保持孔に曲面凹部を形成した場合のキャリアプレートとワークの関係を示す断面図を示す。
【０００３】
この従来のキャリアプレート１は、前記図１０においてワークを保持するワーク保持孔２を備えたキャリアプレートであって、少なくとも前記ワーク保持孔２の周縁部分に含まれる領域は、樹脂を含浸したガラス繊維が同心円状に配向して構成される（図１１参照）。
このような従来のキャリアプレート１によれば、前記ワーク保持孔２の周縁部分を、樹脂を含浸したガラス繊維を同心円状に配向させて構成しているため、すべての繊維がワーク保持孔２の円周方向に沿って形成され、内面が平滑面となって、ワークの外周面の傷や磨耗を抑制できる。
【０００４】
また、この従来のキャリアプレート１は、図１２に示すように、前記ワーク保持孔２の端面には、厚み方向に沿って中間部が湾曲して陥没する曲面凹部２４が形成されることで、ワークの端面との接触面積が増えて、研磨中のワーク端面の傷や磨耗が更に抑制される。
【０００５】
第２の従来のキャリアプレートとして、特開２００１−３５１８８１号公報に開示されるものもあり、以下に図１３に基づいて説明していく。図１３はプラスチックからなるテンプレートで穴を覆うキャリアプレートを示す。
この従来のキャリアプレートは、前記図１３においてテンプレート５が、半導体ウェーハ３のエッジとキャリアプレート１との間の自由空間を複数の別々の空隙７に分割するように形成されていることを特徴とする、プラスチックからなるテンプレート５で覆われた半導体ウェーハ３のための穴を有するものである。
【０００６】
この従来のキャリアプレート１によれば、研磨中に、キャリアプレート１が回転し、かつそれに伴ってテンプレート５も回転し、その際歯６は、空隙７を満たす液状の研磨助剤（研磨剤及びストップ剤）の恒常的な緊密混合を生じさせる。また、このキャリアプレート１は、図１３に示すように、ウェーハ３を各歯が点接触により支持固定しているため、研磨中にある程度のウェーハ３に対する衝撃を抑えることができる。
【０００７】
【特許文献１】特開平２０００−３０１４５１号公報
【特許文献２】特開２００１−３５１８８１号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
第１の従来のキャリアプレートは以上のように構成されているが、通常、ウェーハ装着孔が自動装置によりウェーハを装着・脱着され、この自動装置によるウェーハの装着・脱着の円滑化のためにウェーハの半径よりも若干大きめの半径のウェーハ装着孔が用いられており、この場合確かにウェーハ装着孔の端面厚み方向を湾曲にすることで厚み方向の接触面積は増えるものの、未だ平面方向の接触は点接触によるのみで、研磨時のウェーハにかかる衝撃を十分に抑制できず、ウェーハ端面の傷や磨耗が生じ、時としてウェーハに亀裂が生じる場合もあるという課題を有する。また、前記ウェーハ装着孔の端面厚み方向を湾曲することで、研磨時に切削剤がこの湾曲部分に詰まり、ウェーハを切削するためにウェーハより高い硬度を有する切削剤が詰まった湾曲部分によりウェーハの端面に傷が生じるという課題を有する。
【０００９】
第２の従来のキャリアプレートも以上のように構成されており、前記歯が複数形成されておりこの歯全てにウェーハを接触させる形態ではウェーハと同一半径に略近いウェーハ装着孔となっている必要があり、このようなウェーハ装着孔にウェーハを装着する際にウェーハと略同一半径であるために円滑に装着することができないという課題を有し、また、前記歯によりウェーハを点接触する支持構造により一応の衝撃の抑制が図れるものの十分ではなく、さらにまた、研磨時に生じる力により容易に歯が変形し、歯が変形した後は予期しない不規則な衝撃がウェーハにかかりウェーハを破損するという課題を有する。
【００１０】
そこで、本発明は上記課題を解決する為になされたもので、研磨時に研磨対象物に生じる衝撃を十分に抑制すると共に、研磨対象物を容易に装着可能なキャリアプレートを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る研磨用キャリアプレートは、研磨対象物が装着される略円形の穴からなる研磨対象物装着孔を有する研磨用キャリアプレートにおいて、前記研磨対象物装着孔が、装着される研磨対象物の半径と同一半径を有する頂角が１８０度以下となる扇状の第１の扇孔と、当該研磨対象物の半径以上の半径を有する扇状の第２の扇孔とから少なくとも形成されるものである。このように本発明においては、前記研磨対象物装着孔が、研磨対象物の半径と同一な半径を有する第１の扇孔と研磨対象物の半径以上の半径を有する第２の扇孔とからなり略円形状を形成しているので、研磨対象物を第２の扇孔から第１の扇孔へ挿入することで円滑に研磨対象物装着孔に装着できる。
【００１２】
また、本発明に係る研磨用キャリアプレートは必要に応じて、前記研磨対象物装着孔の第１の扇孔が研磨時に研磨対象物に対して生じる水平方向の力のベクトル方向に形成されるものである。このように本発明においては、研磨対象物の半径と同一な半径を有する第１の扇孔と研磨対象物の半径以上の半径を有する第２の扇孔とからなり、装着完了後は研磨対象物と同一半径を有する第１の扇孔に研磨対象物が面接触し、研磨時には研磨対象物に対して生じる合力のベクトル方向に第１の扇孔を形成しているため面接触を維持したまま研磨対象物が固定され、衝撃が研磨対象物に生じない。
【００１３】
また、本発明に係る研磨用キャリアプレートは必要に応じて、前記研磨対象物装着孔の端面を前記研磨対象物装着孔を形成するプレート本体より低硬度材質の樹脂からなる保護部で被覆するものである。このように本発明においては、研磨対象物装着孔の端面に保護部が形成されているので、装着動作中及び研磨動作中の研磨対象物装着孔での研磨対象物の水平移動により研磨対象物が前記保護部に接触しても衝撃が吸収され、研磨対象物に対する過大な衝撃とならず損傷を与えない。また、保護部と研磨対象物の端面との間に研磨剤が入り込んだ状態で、保護部と研磨対象物とが接触しても保護部が柔かいために研磨対象物の端面に傷が生じない。
【００１４】
また、本発明に係る研磨用キャリアプレートは必要に応じて、前記保護部の外周にくさび型の凸部を複数形成し、前記研磨対象物装着孔の端面に前記保護部の凸部に対応した凹部を形成し、前記研磨対象物装着孔の凹部に前記保護部の凸部を嵌合させたものである。このように本発明においては、前記保護部の外周に形成された凸部と、この凸部に対応して研磨対象物装着孔の端面に形成された凹部とを嵌合させているので、取り替え等のための脱着が容易にできる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
（本発明の第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係る研磨用キャリアプレートを、図１ないし図４に基づいて説明する。図１は本実施形態に係る研磨用キャリアプレート、図２は図１の要部断面図、図３は本実施形態に係る研磨用キャリアプレートを配設したラッピング装置の平面図、図４は図３に示すラッピング装置にウェーハを装着した形態図を示す。
【００１６】
前記各図において本実施形態に係る研磨用キャリアプレート１は、ガラス繊維１２入りエポキシ板１１からなる円盤状の板体からなり、この板体に研磨対象物であるウェーハ３が装着される略円形の孔からなるウェーハ装着孔２が板体の中央から偏倚して形成されるプレート本体１０からなるものである。
【００１７】
前記ウェーハ装着孔２は、装着されるウェーハ３の半径と同一半径を有する頂角が１８０度以下となる扇状の第１の扇孔２１（点２ａ、点２ｃ及び点２ｄで囲まれる扇）と、当該ウェーハ３の半径より大きな半径を有する頂角が１８０度以上となる扇状の第２の扇孔２２（点２ｂ、点２ｃ及び点２ｄで囲まれる扇）とから少なくとも形成され、前記第１の扇孔２１と第２の扇孔２２とが合わせって略円形の孔を形成する。第１の扇孔２１の弧と第２の扇孔２２の弧との接合部分（図１では２ｃおよび２ｄに該当）に角が突出する場合は、ある一点で第１の扇孔２１の弧から第２の扇孔２２の弧へかわるのではなく、緩やかに所定部分を介して第１の扇孔２１の弧から徐々に第２の扇孔２２の弧へ接合する形態が望ましい。このような緩やかな接合部分をウェーハ装着孔２に有することで、実際にウェーハ３が装着されて研磨時に、研磨による摩擦力及び回転による遠心力等によりウェーハ３がウェーハ装着孔２のどの部分に接触しても角の突出部分がないため、大きな衝撃を受けることがないため好ましい。
【００１８】
また、ウェーハ装着孔２における第１の扇孔２１と第２の扇孔２２との形成位置は、第１の扇孔２１の弧の中央２１ａが、ウェーハ装着孔２にウェーハ３を装着し、研磨した場合に、ウェーハ３に生じる水平方向の合力のベクトル方向に位置するように形成し、当該ベクトル方向と逆方向に第２の扇孔２２の弧の中央２２ａが位置するように形成されるものである。ここで、研磨時にウェーハ３に生じる力としては、ウェーハ３を研磨する定盤による摩擦力（下定盤４１及び上定盤４２の回転並びにキャリアプレートの自転から生じる）、および、キャリアプレート１が配設され当該キャリアプレート１を回転させるラッピング装置４によるキャリアプレート１の回転に伴い生じる遠心力等がある。例えば、研磨時に遠心力がベクトルαあり、摩擦力がベクトルβあった場合に、その合力がベクトルγとなり、このベクトルγの方向成分に応じて第１の扇孔２１を形成することとなる。ただし、水平方向に生じる力として、他の要素を考慮しなければならない場合、当然にその要素も勘案して第１の扇孔２１を形成しなければないない。また、ウェーハ３を第１の扇孔２１に固定することができる場合には、どの方向に第１の扇孔２１を形成しても構わない。
【００１９】
本実施形態に係るキャリアプレートを配設され、ウェーハ３を研磨するラッピング装置４は、ウェーハ３を下方向から研磨する下定盤４１と、ウェーハを上方向から研磨する上定盤４２とからなり、これら下定盤４１と上定盤４２との中間位置に複数のキャリアプレート１が配設される構成である。前記下定盤４１と上定盤４２とは互いに逆方向に回転するものであり、例えば、下定盤４１が時計回りに回転するとすれば、上定盤４２が逆時計回りに回転する。また、前記キャリアプレート１が配設される位置には複数の歯車が設けられ、これら複数の歯車が回転することで、キャリアプレート１は自転する。なお、本実施形態に係るキャリアプレート１は、前記説明したラッピング装置４に配設されて用いられるだけに限定されるのではなく、当然に他の多様なラッピング装置に配設されても用いることができる。
【００２０】
次に、本実施形態に係るキャリアプレートにウェーハを装着する動作について説明する。キャリアプレート１に装着するウェーハ３を真空吸引機（図示しない）や専用の取り出し装置（図示しない）により保持し、キャリアプレート１のウェーハ装着孔２の直上にウェーハ３を水平移動させる。ウェーハ装着孔２の直上に移動させたウェーハ３をさらに精確に移動させて、ウェーハ装着孔２の第２の扇孔２２の弧の中点２２ａとウェーハ３とを鉛直上方向から見た場合に接触しているようにする。かかる状態のウェーハ３をそのまま鉛直下方向に降下させることで、実際に第２の扇孔２２の弧の中点２２ａにウェーハ３が接した状態でウェーハ装着孔２に嵌合する。ここで、第２の扇孔２２の半径がウェーハ３の半径よりも大きく形成されているので、第２の扇孔２２に合わせてウェーハ３を装着することは容易に実行することができる。さらに、第２の扇孔２２の弧の中点２２ａに接したウェーハを第１の扇孔２１方向に水平移動させることで、ウェーハ３がウェーハ装着孔２に面接触した状態となる。
【００２１】
次に、本実施形態に係るキャリアプレートを用いたウェーハの研磨動作について説明する。
前記装着動作によりウェーハ３が装着されたキャリアプレート１の上下に位置するラッピング装置４の上定盤４２と下定盤４１をウェーハ３に当接させる。ラップ液をウェーハ３の上下表面に注入し、前記上定盤４２と下定盤４１を回転させると共に、前記複数歯車を回転させることでキャリアプレート１自体を自転させる。この上定盤４２の回転によりウェーハ３の上表面が研磨され、下定盤４１の回転によりウェーハ３の下表面が研磨される。また、キャリアプレート１自体の自転により、一層迅速に上定盤４１・下定盤４２が両表面を研磨することができる。この研磨時に前述した通り、ウェーハ３に対して遠心力及び摩擦力が生じる。
【００２２】
このように本実施形態に係るキャリアプレートによれば、前記ウェーハ装着孔２が、ウェーハ３の半径と同一な半径を有する第１の扇孔２１とウェーハ３の半径より大きな半径を有する第２の扇孔２２とからなり略円形状を形成しているので、ウェーハ３を第２の扇孔２２から挿入することで円滑に装着が可能となり、また、装着完了後はウェーハ３と同一半径を有する第１の扇孔２１にウェーハ３が面接触し、研磨時にはウェーハ３に対して生じる合力のベクトル方向に第１の扇孔２１を形成しているため面接触を維持したままウェーハ３が固定され、衝撃がウェーハ３に生じない。
【００２３】
なお、本実施形態に係るキャリアプレートにおいて、第１の扇孔２１及び第２の扇孔２２の弧の両端同士接した形態でウェーハ装着孔２を形成しているが、図５に示すように、第１の扇孔２１の弧の両端点２ｃ及び点２ｄと第２の扇孔２２の弧の両端点２ｃ´及び点２ｄとをそれぞれ直線で結線してウェーハ装着孔２を形成することもできる。
【００２４】
また、本実施形態に係るキャリアプレートにおいて、図６に示すように、ウェーハ装着孔２が同一半径を有する半円である第１の扇孔２１（点２ａ、点２ｃ及び点２ｄで囲まれる扇）及び第２の扇孔２２（点２ｂ、点２ｃ´及び点２ｄ´で囲まれる扇）からなり、第１の扇孔２１の弧の両端点２ｃ及び点２ｄと第２の扇孔２２の弧の両端点２ｃ´及び点２ｄ´とをそれぞれ直線で結線してウェーハ装着孔２を形成することもできる。この場合、装着動作は、ウェーハ３をウェーハ装着孔２の直上に移動させ、精確に水平移動させて鉛直上方向からみた場合に線間２ｃ−２ｃ´及び線間２ｄ−２ｄ´に接した状態にする。かかる状態のウェーハ３をそのまま鉛直下方向に降下させることで、実際に線間２ｃ−２ｃ´及び線間２ｄ−２ｄ´に接した状態でウェーハ装着孔２に嵌めることができる。。ここで、線間２ｃ−２ｃ´から線間２ｄ−２ｄ´までの距離は少なくとも半径以上あり、ウェーハ３とウェーハ装着孔２とは２点だけの点接触であるため、第１の扇孔２１方向にウェーハ３を水平移動させることで面接触となり、装着を容易に行うことができる。
【００２５】
さらにまた、本実施形態に係るキャリアプレートにおいて、図７に示すように、ウェーハ装着孔２が同一半径を有する第１の扇孔２１（点２ａ、点２ｃ及び点２ｄで囲まれる扇）及び第２の扇孔２２（点２ｂ、点２ｃ´及び点２ｄ´で囲まれる扇）からなり、第１の扇孔２１の弧の両端点２ｃ及び点２ｄと第２の扇孔２２の弧の両端点２ｃ´及び点２ｄ´とをそれぞれ緩やかな曲線で結線してウェーハ装着孔２を形成することもできる。この場合、装着動作は、ウェーハ３をウェーハ装着孔２の直上に移動させ、精確に水平移動させて鉛直上方向からみた場合にウェーハ３の中央がウェーハ装着孔２の中央と重なる様にする。かかる状態のウェーハ３をそのまま鉛直下方向に降下させることで、ウェーハ装着孔２に容易に嵌めることができる。ここで、曲線間２ｃ−２ｃ´から曲線間２ｄ−２ｄ´までの距離は少なくとも半径以上あり、第１の扇孔２１方向にウェーハ３を水平移動させることで面接触となり、装着を容易に行うことができる。
【００２６】
（本発明の第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態について、図８または図９に基づいて説明する。図８及び図９は本実施形態に係る研磨用キャリアプレートを示す。
本実施形態に係るキャリアプレートは、前記第１の実施形態に係るキャリアプレートと同様に構成され、ウェーハ装着孔２の端面にＡＢＳ樹脂からなる保護部である介在層２３が形成されることを異にする構成である。
前記ウェーハ装着孔２は、端面に介在層２３が形成されたとしても、前記第１の実施形態と同様の第１の扇孔２１と第２の扇孔２２とから形成され、ウェーハ３が円滑に装着されるものであって、第１の扇孔２１と第２の扇孔２２の各半径が小さくするものではない。
【００２７】
前記ウェーハ装着孔２の端面に形成される介在層２３は、ウェーハ装着孔２の断面と同一断面を有する金型から射出成形される。したがって、前記介在層２３が磨耗等により変形した等取替えの必要が生じた場合には、研磨時におけるウェーハ３に対する衝撃を考慮して、ウェーハ装着孔２の端面から介在層２３を切り取る等して除去し、再び新たな介在層２３を前記金型から射出成形する。
ウェーハ３の装着動作及び研磨動作は前記第１の実施形態と同様であり、説明を略す。
【００２８】
このように本実施形態に係るキャリアプレートによれば、ウェーハ装着孔２の端面にＡＢＳ樹脂からなる介在層２３が形成されているので、装着動作中及び研磨動作中のウェーハ装着孔２でのウェーハ３の水平移動によりウェーハ３が前記樹脂に接触しても衝撃が吸収され、ウェーハ３に対する過大な衝撃とならず損傷を与えない。また、介在層２３とウェーハ３の端面との間に研磨剤が入り込んだ状態で、介在層２３とウェーハ３との接触しても介在層が柔かいためにウェーハ３の端面に傷が生じない。
【００２９】
なお、本実施形態に係るキャリアプレートにおいて、図９に示すように、前記介在層２３の外周に円弧状くさび型の凸部２３ａを複数形成し、ウェーハ装着孔２の端面に前記介在層２３の凸部２３ａに対応した凹部２３ｂを形成し、前記ウェーハ装着孔２の凹部２３ｂに前記介在層２３の凸部２３ａを嵌合させることもでき、取り替え等のための脱着が容易である。ここで、凸部２３ａを円弧状くさび型としたが、Ｖ字状くさび型等多種多様なくさび型とすることができ、凸部２３ａと凹部２３ｂとが嵌合して固定できると共に取り替え等のための脱着が容易であれば、いかような形状のくさび型でも構わない。
【００３０】
また、本実施形態に係るキャリアプレートにおいて、前記ウェーハ装着孔２にウェーハ３が装着され、前記介在層２３の内周端面とウェーハ３とが接触した場合に、所定摩擦力が生じるように、介在層２３の表面に凹凸を形成し、または、介在層２３の構成物質を変更することもでき、面接触で広く支持すると共に、所定摩擦力で一層強固に支持することができ、研磨時にウェーハを確実に動かさないようにすることができる。
【００３１】
（本発明のその他の実施形態）
前記各実施の形態において、研磨対象物がウェーハ３となっているが、これに限定されるものでなく、レンズ等の光学部品も研磨対象物となる。
【００３２】
【発明の効果】
以上のように本発明においては、前記研磨対象物装着孔が、研磨対象物の半径と同一な半径を有する第１の扇孔と研磨対象物の半径以上の半径を有する第２の扇孔とからなり略円形状を形成しているので、研磨対象物を第２の扇孔から第１の扇孔へ挿入することで円滑に研磨対象物装着孔に装着できるという効果を奏する。
【００３３】
また、本発明においては、研磨対象物の半径と同一な半径を有する第１の扇孔と研磨対象物の半径より大きな半径を有する第２の扇孔とからなり、装着完了後は研磨対象物と同一半径を有する第１の扇孔に研磨対象物が面接触し、研磨時には研磨対象物に対して生じる合力のベクトル方向に第１の扇孔を形成しているため面接触を維持したまま研磨対象物が固定され、衝撃が研磨対象物に生じないという効果を有する。
【００３４】
また、本発明においては、研磨対象物装着孔の端面に保護部が形成されているので、装着動作中及び研磨動作中の研磨対象物装着孔での研磨対象物の水平移動により研磨対象物が前記保護部に接触しても衝撃が吸収され、研磨対象物に対する過大な衝撃とならず損傷を与えない。また、保護部と研磨対象物の端面との間に研磨剤が入り込んだ状態で、保護部と研磨対象物とが接触しても保護部が柔かいために研磨対象物の端面に傷が生じないという効果を有する。
【００３５】
また、本発明においては、前記保護部の外周に形成された凸部と、この凸部に対応して研磨対象物装着孔の端面に形成された凹部とを嵌合させているので、取り替え等のための脱着が容易にできるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る研磨用キャリアプレートである。
【図２】図１の要部断面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る研磨用キャリアプレートを配設したラッピング装置の平面図である。
【図４】図３に示すラッピング装置にウェーハを装着した形態図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る研磨用キャリアプレートである。
【図６】本発明の第１の実施形態に係る研磨用キャリアプレートである。
【図７】本発明の第１の実施形態に係る研磨用キャリアプレートである。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る研磨用キャリアプレートである。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る研磨用キャリアプレートである。
【図１０】従来のキャリアプレートの平面図である。
【図１１】図１０のＡ−Ａ断面図でワーク保持孔の内周端面を示す図である。
【図１２】ワーク保持孔に曲面凹部を形成した場合の従来のキャリアプレートとワークの関係を示す断面図である。
【図１３】プラスチックからなるテンプレートで穴を覆う従来のキャリアプレートである。
【符号の説明】
１　キャリアプレート
２　ウェーハ装着孔
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ　点
３　ウェーハ
４　ラッピング装置
５　テンプレート
６　歯
７　空隙
１０　プレート本体
１１　エポキシ板
１２　ガラス繊維
１３　歯車
２１　第１の扇孔
２１ａ　第１の扇孔の弧の中央
２２　第２の扇孔
２２ａ　第２の扇孔の弧の中央
２３　介在層
２３ａ　介在層の凸部
２３ｂ　介在層の凸部
２４　曲面凹部
４１　下定盤
４２　上定盤
【図１】
2004122346.tif 000003
【図２】
2004122346.tif 000004
【図３】
2004122346.tif 000005
【図４】
2004122346.tif 000006
【図５】
2004122346.tif 000007
【図６】
2004122346.tif 000008
【図７】
2004122346.tif 000009
【図８】
2004122346.tif 000010
【図９】
2004122346.tif 000011
【図１０】
2004122346.tif 000012
【図１１】
2004122346.tif 000013
【図１２】
2004122346.tif 000014
【図１３】
2004122346.tif 000015