(57)【要約】【課題】処理する基板が大型化することによっても吐出精度が低下することのない基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置において、レジスト液をスリットノズル４１に送液する送液機構８０に、レジスト液を送液する複数のレジストポンプ８１，８３、複数のレジストポンプ８１，８３をそれぞれ駆動する複数の駆動部８２０，８４０、およびレジスト液を導く第１ないし第３配管８５ないし８７を設ける。スリットノズル４１がレジスト液を吐出する場合には、駆動部８２０によりレジストポンプ８１を駆動してレジスト液を第１配管８５に吐出するとともに、駆動部８４０によりレジストポンプ８４０を駆動してレジスト液を第２配管８６に吐出する。それぞれから吐出されたレジスト液を合流させて第３配管８７によりスリットノズル４１に導く。【選択図】        図３
2004281645.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に所定の処理液の薄膜を形成する基板処理装置であって、
基板を保持する保持台と、
前記保持台に保持された基板の主面に対して前記所定の処理液を吐出するスリットノズルと、
前記スリットノズルと前記保持台に保持された基板とを相対的に移動させる移動機構と、
前記スリットノズルに前記所定の処理液を送液する送液機構と、
を備え、
前記送液機構が、
少なくとも２つの送液ポンプと、
前記少なくとも２つの送液ポンプを駆動する駆動機構と、
前記少なくとも２つの送液ポンプと前記スリットノズルとの間で前記所定の処理液の流路を形成する送液配管と、
を有することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記スリットノズルが、少なくとも２つの処理液供給口を有し、
前記送液配管が、
前記少なくとも２つの処理液供給口と前記少なくとも２つの送液ポンプとを一対一に接続することを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置であって、
基板の表面に形成された前記薄膜の厚さを検出する膜厚検出手段と、
前記膜厚検出手段による検出結果に応じて、前記薄膜の厚さが均一になるように前記駆動機構を制御する制御手段と、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記駆動機構が、
前記少なくとも２つの送液ポンプをそれぞれ独立して駆動することを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項１ないし３に記載の基板処理装置であって、
前記駆動機構が、
前記少なくとも２つの送液ポンプを連結して駆動することを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板処理装置であって、
前記少なくとも２つの送液ポンプのそれぞれから前記スリットノズルまでの間の前記送液配管の流路の長さおよび太さが、互いに略同一とされていることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板の表面に所定の処理液の薄膜を形成する技術に関する。より詳しくは、所定の処理液の吐出精度を向上させる技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体基板や液晶用のガラス基板などの表面にレジスト液（処理液）を塗布することにより、当該レジスト液の薄膜を形成する基板処理装置が知られている。このような基板処理装置は、レジスト液を塗布する手法によって、基板を回転させて処理（スピンコーティング）するスピンコータと、基板を所定の位置に保持し、基板の表面を直線状のスリットノズルで走査しつつ、スリットノズルからレジスト液を吐出して処理（スリットコーティング）するスリットコータとに大別される。
【０００３】
一方、昨今の基板製造においては、主に製造効率を向上させる目的で基板の大型化が一層望まれている。このような状況にあって、処理する基板の大型化により基板重量および面積が増加すると、安定的に回転させることが難しくなるためスピンコータよりも、スリットコータが一般化する傾向にある。
【０００４】
従来より、スリットコーティングを行う基板処理装置に関する技術が提案されており、例えば、このような基板処理装置が特許文献１に記載されている。特許文献１に記載されている基板処理装置では、駆動ポンプによって供給機構からレジトス液を汲み上げて、スリットノズルの長手方向における中央部に設けられた供給口からスリットノズルに供給する。また、供給されたレジスト液は、スリットノズルの長手方向に沿って設けられたスリット（吐出口）から基板の主面に対して吐出される。
【０００５】
ここで、スリットコーティングにおいて形成される薄膜（レジスト膜）の膜厚は、各位置においてスリットノズルから吐出されたレジスト液の量に大きく左右される。また、スリットノズルから吐出されるレジスト液の量は、その時点でスリットノズルに供給されるレジスト液の量に依存し、スリットノズルへの送液流量に大きく影響されるという特色がある。
【０００６】
スリットコーティングを行う基板処理装置では、基板が大型化した場合には、スリットノズルに処理液を送液するポンプを大型化させてスリットノズルから吐出されるレジスト液の吐出量を確保するとともに、スリットノズルを大型化して対応することとなる。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−３３４３５５公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、特許文献１に記載されている従来の基板処理装置のように、駆動ポンプを大型化させた場合において、大型の駆動ポンプは、１ストローク当たりの吐出量精度を確保することは可能であるものの、吐出中の流量精度が低いために、レジスト液の送液流量精度が低下して、基板の表面に形成される薄膜の膜厚が不均一になるという問題があった（スリットノズルの走査方向における不均一）。
【０００９】
また、特許文献１に記載されている基板処理装置のように、レジスト液を一カ所からスリットノズルに供給する場合、基板の大型化にともなってスリットノズルを大型化させると、当該供給口から各吐出位置（スリット上の各位置）までの距離の差が大きくなる。したがって、スリットノズルの長手方向についてレジスト液の供給量にバラツキが生じ、吐出流量が不均一になるという問題があった（スリットノズルの長手方向における不均一）。
【００１０】
また、スリットノズルの大型化にともなってスリットノズルの加工精度が低下するために、スリットノズルの長手方向の吐出バランスが不均一になるという問題があった。
【００１１】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、基板が大型化した場合にも高精度に安定してスリットノズルから処理液を吐出させることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、基板に所定の処理液の薄膜を形成する基板処理装置であって、基板を保持する保持台と、前記保持台に保持された基板の主面に対して前記所定の処理液を吐出するスリットノズルと、前記スリットノズルと前記保持台に保持された基板とを相対的に移動させる移動機構と、前記スリットノズルに前記所定の処理液を送液する送液機構とを備え、前記送液機構が、少なくとも２つの送液ポンプと、前記少なくとも２つの送液ポンプを駆動する駆動機構と、前記少なくとも２つの送液ポンプと前記スリットノズルとの間で前記所定の処理液の流路を形成する送液配管とを有する。
【００１３】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る基板処理装置であって、前記スリットノズルが、少なくとも２つの処理液供給口を有し、前記送液配管が、前記少なくとも２つの処理液供給口と前記少なくとも２つの送液ポンプとを一対一に接続する。
【００１４】
また、請求項３の発明は、請求項１または２の発明に係る基板処理装置であって、基板の表面に形成された前記薄膜の厚さを検出する膜厚検出手段と、前記膜厚検出手段による検出結果に応じて、前記薄膜の厚さが均一になるように前記駆動機構を制御する制御手段とをさらに備える。
【００１５】
また、請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれかの発明に係る基板処理装置であって、前記駆動機構が、前記少なくとも２つの送液ポンプをそれぞれ独立して駆動する。
【００１６】
また、請求項５の発明は、請求項１ないし３の発明に係る基板処理装置であって、前記駆動機構が、前記少なくとも２つの送液ポンプを連結して駆動する。
【００１７】
また、請求項６の発明は、請求項５の発明に係る基板処理装置であって、前記少なくとも２つの送液ポンプのそれぞれから前記スリットノズルまでの間の前記送液配管の流路の長さおよび太さが、互いに略同一とされている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００１９】
＜１．  第１の実施の形態＞
＜１．１  構成の説明＞
図１は、本発明の実施の形態である基板処理装置１の概略を示す斜視図である。図２は、基板処理装置１の本体２の正面図である。
【００２０】
基板処理装置１は、本体２と制御系６とに大別され、液晶表示装置の画面パネルを製造するための角形ガラス基板を被処理基板９０としており、基板９０の表面に形成された電極層などを選択的にエッチングするプロセスにおいて、基板９０の主面にレジスト液を塗布する塗布装置（スリットコータ）として構成されている。したがって、この実施の形態では、スリットノズル４１は基板９０に対してレジスト液を吐出するようになっている。なお、基板処理装置１は、液晶表示装置用のガラス基板だけでなく、一般に、フラットパネルディスプレイ用の種々の基板に処理液（薬液）を塗布する装置として変形利用することもできる。
【００２１】
本体２は、被処理基板９０を載置して保持するための保持台として機能するとともに、付属する各機構の基台としても機能するステージ３を備える。ステージ３は直方体形状の一体の石製であり、その上面（保持面３０）および側面は平坦面に加工されている。
【００２２】
ステージ３の上面は水平面とされており、基板９０の保持面３０となっている。保持面３０には多数の真空吸着口が分布して形成されており、各真空吸着口は、図示しない真空ポンプに連通接続されている。基板処理装置１において基板９０を処理する間、保持面３０は当該真空吸着口により基板９０を吸着し、基板９０を所定の水平位置に保持する。
【００２３】
この保持面３０のうち基板９０の保持エリア（基板９０が保持される領域）を挟んだ両端部には、略水平方向に平行に伸びる一対の走行レール３１ａが固設される。走行レール３１ａは、架橋構造４の両端部に固設される支持ブロック３１ｂとともに、架橋構造４の移動を案内する（移動方向を所定の方向に規定する）。すなわち、架橋構造４を保持面３０の上方に支持するリニアガイドを構成する。
【００２４】
ステージ３の上方には、このステージ３の両側部分から略水平に掛け渡された架橋構造４が設けられている。架橋構造４は、カーボンファイバ樹脂を骨材とするノズル支持部４０と、その両端を支持する昇降機構４３，４４とから主に構成される。
【００２５】
ノズル支持部４０には、スリットノズル４１、２つのギャップセンサ４２、および送液機構８０が取り付けられている。
【００２６】
水平Ｙ方向に伸びるスリットノズル４１には、スリットノズル４１へ処理液（レジスト液）を供給する供給口４１０が設けられており、送液機構８０が連通接続される（図３参照）。また、スリットノズル４１の下面には図示しないスリットがＹ軸方向に沿って設けられている。スリットノズル４１は、送液機構８０によりレジスト液が送られ、基板９０の表面を走査することにより、基板９０の主面の所定の領域（以下、「レジスト塗布領域」と称する。）にレジスト液を吐出する。ここで、レジスト塗布領域とは、基板９０の主面のうちでレジスト液を塗布しようとする領域であって、通常、基板９０の全面積から、端縁に沿った所定幅の領域を除いた領域である。
【００２７】
各ギャップセンサ４２は、架橋構造４のノズル支持部４０に保持面３０と対向する位置に取り付けられ、所定の方向（−Ｚ方向）の存在物（例えば、基板９０やレジスト膜）との間の距離（ギャップ）を検出して、検出結果を制御系６に出力する。なお、それぞれのギャップセンサ４２は、レジスト塗布領域のＹ軸方向の両端部付近の上方となる位置に取り付けられることが好ましい。これにより、２つのギャップセンサ４２のそれぞれの取付位置は、Ｙ軸方向の位置が異なる位置に配置される。
【００２８】
このように、ノズル支持部４０にスリットノズル４１とギャップセンサ４２とがそれぞれ取り付けられることにより、これらの相対的な位置関係が固定される。したがって、制御系６は、ギャップセンサ４２の検出結果に基づいて、基板９０の表面とスリットノズル４１との距離を検出することができる。なお、本実施の形態における基板処理装置１では２つのギャップセンサ４２を備えているが、ギャップセンサ４２の数はこれに限られるものではなく、さらに、多くのギャップセンサ４２を備えていてもよい。
【００２９】
ノズル支持部４０には、図２に示すように、スリットノズル４１の上方となる位置に送液機構８０が設けられている。図３は、送液機構８０とスリットノズル４１との接続関係を示す概略図である。なお、図３では、図示を省略しているが、各構成は必要に応じて制御系６と信号の送受信が可能な状態で接続されており、制御系６からの制御信号に応じてそれぞれ動作することが可能とされている。
【００３０】
送液機構８０は、２つのレジストポンプ８１，８３、および駆動機構８２を備え、図示しないバッファタンクなどから構成される供給機構からスリットノズル４１にレジスト液を送液する機能を有する。
【００３１】
図４は、レジストポンプ８１，８３および駆動機構８２の駆動部８２０，８４０を示す図である。レジストポンプ８１とレジストポンプ８３とは、互いにほぼ同様の構造を有しており、また同様に、駆動部８２０と駆動部８４０とは、互いにほぼ同様の構造を有しているため、適宜同符号を付して説明を省略する。
【００３２】
レジストポンプ８１は、第１ベローズ８１１、第２ベローズ８１２、接合部材８１３、チューブ８１４を有している。また、レジストポンプ８１には、吸引動作（レジスト液をチューブ８１４内に吸引する動作）においてレジスト液の入口となる吸引口８１５と、吐出動作（レジスト液をチューブ８１４から吐出する動作）においてレジスト液の出口となる吐出口８１６とがそれぞれ設けられている。吸引口８１５は図示しない配管を介して前述の供給機構に連通接続され、吐出口８１６は第１配管８５に連通接続される。なお、前述のように、レジストポンプ８３もレジストポンプ８１と同様の機能および構成を有しているが、レジストポンプ８３の接合部材８１３は駆動部８４０の取付部材８２４に固定され、レジストポンプ８３の吐出口８１６は第２配管８６に連通接続されている。
【００３３】
なお、スリットノズル４１からの吐出精度を向上させるためには、レジストポンプ８１，８３のそれぞれの吐出口８１６からスリットノズル４１（供給口４１０）までの距離を短くすることが望ましい。本実施の形態における基板処理装置１では、送液機構８０がノズル支持部４０の中央部付近に取り付けられており、当該距離を短くするように配置されている。したがって、スリットノズル４１の応答精度を向上させることができるため、スリットノズル４１の吐出精度を向上させることができる。
【００３４】
第１ベローズ８１１および第２ベローズ８１２は、Ｚ軸方向に沿って伸縮可能な部材で構成されており、接合部材８１３を介して第１ベローズ８１１の（−Ｚ）側の端部と、第２ベローズ８１２の（＋Ｚ）側の端部とが互いに固着されている。また、第１ベローズ８１１の内径面積（Ｚ軸に垂直な面の面積）は、第２ベローズ８１２の内径面積より小さい。したがって、第１ベローズ８１１が伸びた状態と、第２ベローズ８１２が伸びた状態との間で状態を変化させることにより、レジストポンプ８１の容積を変更することができる。
【００３５】
第１ベローズ８１１および第２ベローズ８１２の内部にはチューブ８１４が配置されている。チューブ８１４は管状の可塑性部材で構成され、両端がそれぞれ吸引口８１５および吐出口８１６に連通接続されている。すなわち、チューブ８１４はレジスト液の流路を構成している。なお、本実施の形態における基板処理装置１では、図４に示すように、チューブ８１４はＺ軸に沿って略垂直方向に配置される。
【００３６】
第１・第２ベローズ８１１，８１２とチューブ８１４とによって囲まれた空間には、間接液ＬＱが内封されている。間接液ＬＱとしては、圧力や温度等の変化に対して体積変化率の低い液体が用いられる。これによって、第１ベローズ８１１および第２ベローズ８１２が伸縮により変形した場合であっても、間接液ＬＱが内封されている空間の容積はほとんど変化することはない。
【００３７】
このような構成により、本実施の形態における基板処理装置１では、第１ベローズ８１１が伸びる（接合部材８１３が下方に移動する）と、レジストポンプ８１の容積が減少するため、間接液ＬＱが加圧される。間接液ＬＱは加圧によっても体積がほとんど減少しない液体であるから、加圧された間接液ＬＱによってチューブ８１４が収縮して（絞られて）、チューブ８１４内が加圧される。このとき吸引口８１５側の配管には逆止弁（図示せず）が設けられているため、チューブ８１４内のレジスト液が吸引口８１５から逆流することはない。また、開閉バルブ８８が開放状態であれば、チューブ８１４内のレジスト液は吐出口８１６から吐出され、スリットノズル４１に向かって送液される。
【００３８】
一方、第２ベローズが伸びる（接合部材８１３が上方に移動する）と、レジストポンプ８１の容積が増加するため、間接液ＬＱが減圧される。間接液ＬＱは減圧によっても体積がほとんど増加しない液体であるから、レジストポンプ８１の容積の増加よってチューブ８１４が膨張し、チューブ８１４内が減圧される。このとき開閉バルブ８８を閉鎖状態にしておけば、吐出口８１６からレジスト液がチューブ８１４内に流入することはなく、吸引口８１５を介して供給機構からレジスト液を吸引することができる。
【００３９】
すなわち、レジストポンプ８１は接合部材８１３をＺ軸方向に沿って往復移動させることにより、レジスト液の吸引動作と吐出動作とを繰り返し行うことができ、レジスト液を送液する機能を有している。
【００４０】
駆動機構８２は、２つの駆動部８２０，８４０を備えており、それぞれの駆動部８２０，８４０は、駆動モータ８２１、ボールネジ８２２、ナット部材８２３、取付部材８２４、およびガイド８２５をそれぞれ有している。
【００４１】
駆動モータ８２１は、ＤＤ（Ｄｉｒｅｃｔ  Ｄｒｉｖｅ）モータであって、それぞれが独立して制御系６に接続されている。本実施の形態における基板処理装置１では、駆動モータ８２１により生成される回転駆動力を、主にボールネジ８２２とナット部材８２３とからなる構成によって直動駆動力に変換してレジストポンプ８１，８３の駆動力とする。なお、本実施の形態における基板処理装置１の駆動モータ８２１は、低速回転時の精度を考慮して、ＤＤモータとしているが、ＡＣサーボモータ、ステッピングモータなどであってもよい。すなわち、制御系６からの制御信号によって回転位置決め可能なモータであればどのような周知の回転モータが用いられてもよい。
【００４２】
ボールネジ８２２は、中心軸Ｐ１（Ｐ２）を有する円筒棒状の部材であり、円筒表面には、ナット部材８２３と螺合するための螺旋状のリードが設けられている。このボールネジ８２２のリードピッチＤは３ｍｍないし６ｍｍとされている。
【００４３】
ナット部材８２３は、ボールネジ８２２と螺合するための貫通口が設けられており、当該貫通口の内壁にはボールネジ８２２に設けられたリードとかみ合う向きに螺旋状の溝が形成されている。また、ナット部材８２３には取付部材８２４が固定されており、取付部材８２４が接合部材８１３に取り付けられることにより、ナット部材８２３と接合部材８１３との相対位置が固定される。
【００４４】
ナット部材８２３の貫通口にボールネジ８２２が回転しつつ螺入されると、ナット部材８２３は中心軸Ｐ１（Ｐ２）に沿って、ボールネジ８２２に対して所定の方向に直線的に移動する。ナット部材８２３と接合部材８１３とは取付部材８２４を介して連結されていることから、ナット部材８２３を前述のように移動させると、接合部材８１３が連動して同一方向に移動する。このようにして基板処理装置１では、駆動モータ８２１による中心軸Ｐ１（Ｐ２）回りの回転駆動力が、レジストポンプ８１，８３のＺ軸方向の直動駆動力に変換される。なお、ナット部材８２３がボールネジ８２２に沿って駆動モータ８２１側に移動するときの駆動モータ８２１の回転方向を、「正方向」と称する。
【００４５】
ガイド８２５は、Ｚ軸方向に沿うように配置された棒状の部材であって、ナット部材８２３と迎合することにより、ボールネジ８２２の回転によって移動するナット部材８２３の移動方向を規定する機能を有する。ボールネジ８２２が回転すると、ナット部材８２３は、前述のようにボールネジ８２２の中心軸Ｐ１（Ｐ２）に沿って移動するが、中心軸Ｐ１（Ｐ２）の方向はボールネジ８２２の駆動振動などによって変動する。したがって、ボールネジ８２２だけではナット部材８２３の移動方向を精度よく規定することはできない。
【００４６】
しかし、基板処理装置１では、駆動部８２０，８４０がそれぞれガイド８２５を有しており、ガイド８２５は駆動されることなく静止していることから、ガイド８２５がナット部材８２３の移動方向を規定することにより、ナット部材８２３の移動速度および移動方向の精度を向上させることができる。
【００４７】
本実施の形態における基板処理装置１では、駆動部８２０の取付部材８２４がレジストポンプ８１の接合部材８１３に固定され、駆動部８４０の取付部材８２４がレジストポンプ８３の接合部材８１３に固定される。すなわち、駆動部８２０がレジストポンプ８１の駆動力を生成し、駆動部８４０がレジストポンプ８３の駆動力を生成する機能を有する。
【００４８】
このように、２つのレジストポンプ８１，８３がそれぞれ独立した駆動部８２０，８４０によって駆動されることから、制御系６はレジストポンプ８１とレジストポンプ８３とをそれぞれ独立して制御することができ、レジスト液の送液を状況に合わせて柔軟に制御することができる。なお、詳細は後述する。
【００４９】
また、図３に示すように、送液機構８０は、スリットノズル４１にレジスト液を導くための送液配管として、第１配管８５、第２配管８６、第３配管８７を備える。
【００５０】
第１配管８５は、レジストポンプ８１の吐出口８１６に連通接続されており、レジストポンプ８１から吐出されるレジスト液を導く機能を有する。また、第２配管８６は、レジストポンプ８３の吐出口８１６に連通接続されており、レジストポンプ８３から吐出されるレジスト液を導く配管である。第１配管８５と第２配管８６とは、それらにおけるレジスト液の流路の長さおよび太さが略同一とされている。第１配管８５と第２配管８６とは連結部ＣＰにおいて第３配管８７と連通接続されており、それぞれによって導かれたレジスト液は、連結部ＣＰにおいて合流した後、第３配管８７によって導かれる。
【００５１】
第３配管８７は、スリットノズル４１のＹ軸方向（長手方向）中央部に設けられた供給口４１０に連通接続されている。また、第３配管８７には、制御系６からの制御信号によりレジスト液の流路を開閉する開閉バルブ８８が設けられている。第３配管８７は、レジスト液をスリットノズル４１に導く機能を有する。
【００５２】
図１および図２に戻って、昇降機構４３，４４はスリットノズル４１の両側に分かれて、ノズル支持部４０によりスリットノズル４１と連結されている。昇降機構４３，４４はスリットノズル４１を並進的に昇降させるとともに、スリットノズル４１のＹＺ平面内での姿勢を調整するためにも用いられる。
【００５３】
架橋構造４の両端部には、ステージ３の両側の縁側に沿って別れて配置された一対のＡＣコアレスリニアモータ（以下、単に、「リニアモータ」と略する。）５０，５１が、それぞれ固設される。
【００５４】
リニアモータ５０は、固定子（ステータ）５０ａと移動子５０ｂとを備え、固定子５０ａと移動子５０ｂとの電磁的相互作用によって架橋構造４をＸ軸方向（基板９０の表面に沿った方向）に移動させるための駆動力を生成するモータである。また、リニアモータ５０による移動量および移動方向は、制御系６からの制御信号により制御可能となっている。なお、リニアモータ５１もほぼ同様の機能、構成を有する。このように、架橋構造４がＸ軸方向に移動することにより、スリットノズル４１とステージ３との相対位置が移動する。すなわち、リニアモータ５０，５１が、主に本発明における移動手段に相当する。
【００５５】
リニアエンコーダ５２，５３は、それぞれスケール部および検出子（図示せず）を備え、スケール部と検出子との相対的な位置関係を検出して、制御系６に伝達する。各検出子は架橋構造４の両端部にそれぞれ固設されており、リニアエンコーダ５２，５３は架橋構造４の位置検出を行う機能を有している。
【００５６】
制御系６は、プログラムに従って各種データを処理する演算部６０、プログラムや各種データを保存する記憶部６１を内部に備える。また、前面には、オペレータが基板処理装置１に対して必要な指示を入力するための操作部６２、および各種データを表示する表示部６３を備える。
【００５７】
制御系６は、図示しないケーブルにより本体２に付属する各機構と接続されており、操作部６２および各種センサなどからの信号に基づいて、ステージ３、架橋構造４、昇降機構４３，４４、リニアモータ５０，５１、および送液機構８０などの各構成を制御する。
【００５８】
特に制御系６は、制御信号によって駆動モータ８２１の回転方向、１ストローク当たりの回転量、および回転速度を制御する。基板処理装置１では、駆動モータ８２１の１ストローク当たりの回転量によってレジストポンプ８１，８３の接合部材８１３の移動量が決定され、これによりレジストポンプ８１，８３の容積変化量が決定される。したがって、当該回転量を制御することは、レジストポンプ８１が１ストローク中に送液するレジスト液の送液量を制御することに相当し、当該回転量を所定の値に固定することにより、レジストポンプ８１，８３は定量ポンプとして機能する。
【００５９】
また、基板処理装置１では、駆動モータ８２１の回転速度によって接合部材８１３の移動速度が決定され、これによりレジストポンプ８１，８３の容積変化速度が決定される。したがって、当該回転速度を制御することは、レジストポンプ８１，８３によるレジスト液の流量を制御することに相当する。
【００６０】
さらに、制御系６は、演算部６０によりギャップセンサ４２の出力結果に基づいて、基板９０の主面に形成されたレジスト液の薄膜の膜厚を演算する機能を有する。
【００６１】
制御系６の具体的な構成としては、記憶部６１はデータを一時的に記憶するＲＡＭ、読み取り専用のＲＯＭ、および磁気ディスク装置などが該当し、可搬性の光磁気ディスクやメモリーカードなどの記憶媒体、およびそれらの読み取り装置などであってもよい。また、操作部６２は、オペレータが基板処理装置１に対する指示を入力するためのボタンおよびスイッチ類（キーボードやマウスなどを含む。）などであるが、タッチパネルディスプレイのように表示部６３の機能を兼ね備えたものであってもよい。表示部６３は、液晶ディスプレイや各種ランプなどが該当する。
【００６２】
＜１．２  動作の説明＞
次に、基板処理装置１の動作について説明する。なお、以下の基板処理装置１の動作は、特に明示しないかぎり、制御系６の制御に基づいて行われるものである。基板処理装置１では、オペレータまたは図示しない搬送機構により、所定の位置に基板９０が搬送されると、ステージ３が保持面３０上の所定の位置に基板９０を吸着して保持する。
【００６３】
続いて、制御系６からの制御信号に基づいて、昇降機構４３，４４が、ノズル支持部４０に取り付けられたギャップセンサ４２を基板９０の厚み分よりも高い所定の高度（以下、「測定高度」と称する。）に移動させる。
【００６４】
ギャップセンサ４２が測定高度にセットされると、リニアモータ５０，５１が、架橋構造４をＸ方向に移動させることにより、ギャップセンサ４２をレジスト塗布領域の上方まで移動させる。このとき、制御系６は、リニアエンコーダ５２，５３の検出結果に基づいて、それぞれのリニアモータ５０，５１に制御信号を与えることにより、ギャップセンサ４２のＸ軸方向の位置を制御する。
【００６５】
次に、ギャップセンサ４２が基板９０表面のレジスト塗布領域における基板９０表面とスリットノズル４１とのギャップの測定を開始する。測定が開始されると、リニアモータ５０，５１が架橋構造４をさらにＸ方向に移動させることでギャップセンサ４２がレジスト塗布領域を走査し、走査中の測定結果を制御系６に伝達する。このとき、制御系６は、ギャップセンサ４２の測定結果を、リニアエンコーダ５２，５３によって検出される水平位置と関連づけて記憶部６１に保存する。
【００６６】
架橋構造４が基板９０の上方をＸ方向に通過して、ギャップセンサ４２による走査が終了すると、制御系６は架橋構造４をその位置で停止させるとともに、演算部６０により、ギャップセンサ４２からの検出結果に基づいて、スリットノズル４１のＹＺ平面における姿勢が、適切な姿勢（スリットノズル４１とレジスト塗布領域との間隔がレジスト液を塗布するために適切な間隔となる姿勢。以下、「適正姿勢」と称する。）となるノズル支持部４０の位置を算出し、演算部６０の算出結果に基づいて、それぞれの昇降機構４３，４４に制御信号を与える。その制御信号に基づいて、それぞれの昇降機構４３，４４がノズル支持部４０をＺ軸方向に移動させ、スリットノズル４１を適正姿勢に調整する。
【００６７】
このように、レジスト液の均一な塗布を実現するためには、スリットノズル４１と基板９０の表面との距離を厳密に調整する必要がある。基板処理装置１では、制御系６がギャップセンサ４２の検出結果に基づいて、昇降機構４３，４４を制御することにより、当該距離の調整を行っている。
【００６８】
さらに、リニアモータ５０，５１が架橋構造４を−Ｘ方向に移動させ、スリットノズル４１を吐出開始位置に移動させる。ここで、吐出開始位置とは、レジスト塗布領域の一辺にスリットノズル４１がほぼ沿う位置である。
【００６９】
スリットノズル４１が吐出開始位置まで移動すると、制御系６が制御信号をリニアモータ５０，５１に与える。その制御信号に基づいて、リニアモータ５０，５１が架橋構造４を−Ｘ方向に移動させることでスリットノズル４１が基板９０の表面を走査する。
【００７０】
また、制御系６は開閉バルブ８８および駆動機構８２の２つの駆動モータ８２１に対しても制御信号を与え、スリットノズル４１によって走査が行われている間、開閉バルブ８８を開放状態にするとともに、それぞれの駆動モータ８２１を正方向に回転駆動して、レジストポンプ８１，８３の接合部材８１３を（−Ｚ）方向に移動させる。
【００７１】
この動作により、レジストポンプ８１，８３の第１ベローズ８１１が伸長するとともに、第２ベローズ８１２が収縮するため、間接液ＬＱが加圧される。間接液ＬＱが加圧されると、チューブ８１４が収縮し、チューブ８１４内に吸引されていたレジスト液がそれぞれの吐出口８１６から吐出される。すなわち、レジストポンプ８１の吐出口８１６から第１配管８５にレジスト液が吐出されるとともに、レジストポンプ８３の吐出口８１６から第２配管８６にレジスト液が吐出される。
【００７２】
このようにして吐出されたレジスト液は連結部ＣＰで互いに合流し、第３配管８７によって供給口４１０に導かれてスリットノズル４１に供給される。すなわち、基板処理装置１におけるスリットノズル４１の吐出量は、レジストポンプ８１の吐出量とレジストポンプ８３の吐出量との合計量となる。これにより、大型の基板９０に対してレジスト液を塗布する場合であって、スリットノズル４１が比較的多くのレジスト液を吐出しなければならない場合であっても、送液機構８０のポンプを大型化することなく、必要な吐出量を確保することができる。したがって、基板処理装置１は、高精度の小型ポンプ（レジストポンプ８１，８３）を用いることができるため、吐出精度を低下させることなく基板９０の大型化に対応することができる。
【００７３】
このとき、制御系６は、スリットノズル４１から吐出されるレジスト液の流量を所望する膜厚の薄膜を形成するために必要な流量となるように、レジストポンプ８１の吐出流量と、レジストポンプ８３の吐出流量とを制御する。本実施の形態における基板処理装置１では、レジストポンプ８１の吐出流量とレジストポンプ８３の吐出流量とがほぼ等しくなり、かつ、それらの合計流量が所望するスリットノズル４１の吐出流量となるように、レジストポンプ８１およびレジストポンプ８３のそれぞれの接合部材８１３の移動速度を制御する。
【００７４】
基板処理装置１では、各接合部材８１３の移動速度は、駆動部８２０および駆動部８４０のそれぞれの駆動モータ８２１の回転速度を制御することにより実現される。一方、基板処理装置１では、図４に示すように、レジストポンプ８１とレジストポンプ８３とがほぼ同様の構成となっている。また、駆動部８２０と駆動部８４０についても互いにほぼ同様の構成とされている。さらに、第１配管８５と第２配管８６とにおいて、レジスト液の流路の長さおよび太さが略同一とされている。基板処理装置１の送液機構８０が、このような構造（いわゆる相似構造）を有していることにより、制御系６が２つの駆動モータ８２１を互いに同期するように制御すれば、レジストポンプ８１の吐出流量とレジストポンプ８３の吐出流量とを等しくなるように容易に制御することができる。
【００７５】
また、レジストポンプ８１の吐出量とレジストポンプ８３の吐出量との合計流量を、所望する膜厚の薄膜を形成するために必要な流量とするための駆動モータ８２１の速度分布は、予め実験や予備塗布処理などによって求められており、当該結果に基づいて、前述のような同期的制御が行われる。
【００７６】
なお、基板処理装置１の制御系６により各駆動モータ８２１に対して行われる制御は、前述のような同期的制御に限られるものではなく、非同期的な制御が行われてもよい。例えば、基板処理装置１では、レジストポンプ８１，８３および駆動機構８２に使用される各部材の使用環境や劣化状態などの相違、あるいはこれらの部材の加工精度の相違によって、制御系６が各駆動モータ８２１を前述のように同期的に制御すると、レジストポンプ８１の吐出量とレジストポンプ８３の吐出量とにかえってバラツキを生じる場合がある。しかし、基板処理装置１は駆動機構８２が駆動部８２０と駆動部８４０とを有しており、レジストポンプ８１とレジストポンプ８３とを独立して制御することができるように構成されていることから、このような場合には制御系６は同期的制御を行うことなく、これらのバラツキをうち消すような制御を行ってもよい。
【００７７】
また、レジストポンプ８１とレジストポンプ８３とが同時に駆動されなくてもよい。例えばスリットノズル４１から吐出を開始する際に、まずレジストポンプ８１のみを駆動し、レジストポンプ８１による吐出を完了した時点で、レジストポンプ８３が吐出を引き継ぐような制御としてもよい。
【００７８】
すなわち、スリットノズル４１がレジスト塗布領域を走査する間、スリットノズル４１からのレジスト液の吐出流量が適切に制御されていればどのような制御が行われてもよい。このように、基板処理装置１は各駆動モータ８２１を独立して制御することができるように構成されているため、状況に応じて柔軟に送液状態を制御することができ、スリットノズル４１の高精度な吐出を実現することができる。
【００７９】
以上のような動作により、スリットノズル４１がレジスト塗布領域にレジスト液を吐出し、基板９０の表面上にレジスト液の層（薄膜）が形成される。
【００８０】
スリットノズル４１が吐出終了位置まで移動すると、制御系６が制御信号を駆動機構８２、開閉バルブ８８、昇降機構４３，４４およびリニアモータ５０，５１に与える。その制御信号に基づいて、駆動機構８２が停止するとともに、開閉バルブ８８が閉鎖状態になることによってスリットノズル４１からのレジスト液の吐出が停止し、昇降機構４３，４４がギャップセンサ４２を測定高度に移動させる。
【００８１】
次に、リニアモータ５０，５１が架橋構造４をＸ方向に移動させることでギャップセンサ４２がレジスト塗布領域を走査し、基板９０上に形成されたレジスト膜とのギャップを測定して制御系６に伝達する。制御系６は、レジスト塗布前に測定したギャップの値（基板９０の表面との間の距離）と、レジスト塗布後に測定したギャップの値（レジスト膜の表面との間の距離）との差を計算することにより、基板９０上に形成されたレジスト膜の厚さ寸法を算出する。
【００８２】
さらに、算出した厚さ寸法を、許容される厚さ寸法の範囲として予め設定されている所定値と比較することにより、基板９０に対して行われた塗布処理の良否を判定し、判定結果を表示部６３に表示するようにしてもよい。この場合、基板９０の表面上に処理液の層（レジスト膜）を形成した後、速やかに良否判定を行うことができることことから、表示部６３に表示された判定結果に基づいて、例えば、オペレータなどが処理状況に迅速に対応できる。ギャップセンサ４２を用いた検査では、主にＸ軸方向の異常の検出を行うことができることから、例えば、レジスト液が塗布されていない（レジスト液の不足）、吐出開始位置や吐出終了位置がずれている、塗布終了位置において厚膜化現象が生じているといった異常を検出することもできる。
【００８３】
このように、形成されたレジスト膜についての測定が行われている間に、制御系６は、制御信号により駆動機構８２の各駆動モータ８２１を逆回転させ、ナット部材８２３を（＋Ｚ）方向に移動させる。これにより、各接合部材８１３がそれぞれ（＋Ｚ）方向に移動するため、レジストポンプ８１，８３の第１ベローズ８１１が収縮するとともに、第２ベローズ８１２が伸長する。したがって、間接液ＬＱが減圧されてチューブ８１４が膨張し、吸引口８１５を介してチューブ８１４内にレジスト液が吸引される。これにより、次に処理される基板９０に吐出するための準備が完了する。
【００８４】
レジスト膜の検査が終了すると、ステージ３は基板９０の吸着を停止し、オペレータまたは搬送機構が基板９０を保持面３０から取り上げ、次の処理工程に搬送する。
【００８５】
以上のように、本実施の形態における基板処理装置１では、複数のレジストポンプ８１，８３を備えることによって、スリットノズル４１が吐出するレジスト液の吐出量を確保するように構成されている。したがって、高精度の小型ポンプを使用することができるため、大型ポンプを使用する場合に比べてスリットノズル４１の吐出精度を向上させることができる。一般に、１ストローク当たりの吐出量が２００ｃｃ以下、吐出流量が０．２ないし１０ｃｃ／ｓｅｃ程度の小型ポンプであれば、吐出流量精度を±５％程度に製造することが可能であり、基板９０にレジスト膜を形成する際に必要な吐出精度を得ることができる。
【００８６】
また、駆動機構８２が、複数の駆動部８２０，８４０を備え、複数のレジストポンプ８１，８３をそれぞれ独立に駆動制御することにより、状況状態に応じて送液流量を柔軟に制御することができる。
【００８７】
なお、上記実施の形態における基板処理装置１では、２つのレジストポンプ８１，８３を備えているが、スリットノズル４１にレジスト液を送液するポンプの数は、これに限られるものではなく、さらに多くのポンプが用いられてもよい。以下の実施の形態においても同様である。
【００８８】
＜２．  第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、２つのレジストポンプ８１，８３を駆動するために、駆動機構８２が２つの駆動部８２０，８４０を備えており、それぞれの駆動部８２０，８４０によってそれぞれのレジストポンプ８１，８３が独立して駆動されていた。したがって、レジストポンプ８１とレジストポンプ８３の吐出流量を等しくするためには、制御系６が駆動部８２０，８４０を同期するように制御していた。しかし、２つのレジストポンプ８１，８３を同期的に駆動する手法は、制御系６によって制御される場合に限られるものではなく、例えば、機械的に行われてもよい。
【００８９】
図５は、このような原理に基づいて構成した第２の実施の形態における基板処理装置１の送液機構８０とスリットノズル４１との接続関係を示す概略図である。なお、本実施の形態における基板処理装置１について、第１の実施の形態と同様の機能を有する構成については、適宜同符号を付し、説明を省略する。
【００９０】
第２の実施の形態における駆動機構８２ａは、１つの駆動部８２０ａのみを備えている。駆動部８２０ａのナット部材８２３ａには２つの取付部材８２４ａ，８２４ｂが固定されている。取付部材８２４ａは、第１の実施の形態における駆動部８２０の取付部材８２４と同様の機能を有する部材であって、ナット部材８２３ａのレジストポンプ８１側に固定されている。一方、取付部材８２４ｂは、ナット部材８２３ａのレジストポンプ８３側に固定されており、かつ、レジストポンプ８３の接合部材８１３に取り付けられている。
【００９１】
また、第１配管８５と第２配管８６とは、レジスト液の流路としての長さおよび太さが略同一とされており、これにより、レジストポンプ８１から吐出されたレジスト液の流路の長さおよび太さと、レジストポンプ８３から吐出されたレジスト液の流路の長さおよび太さとが略同一とされ、スリットノズル４１からレジスト液を吐出する場合に、容易に高精度な吐出を実現することができる。
【００９２】
次に、第２の実施の形態における基板処理装置１の動作について説明する。本実施の形態における基板処理装置１が基板９０の表面にレジスト膜を形成する動作は、第１の実施の形態における基板処理装置１とほぼ同様の動作によって行われるため、適宜省略しつつ説明する。
【００９３】
まず、基板９０が基板処理装置１に搬送されることにより処理が開始され、リニアモータ５０，５１が架橋構造４を（＋Ｘ）方向に移動させつつ、ギャップセンサ４２によるギャップ測定を行い、ギャップセンサ４２の出力に基づいて、昇降機構４３，４４がスリットノズル４１の姿勢を調整する。
【００９４】
次に、リニアモータ５０，５１が架橋構造４を（−Ｘ）方向に移動させることによりスリットノズル４１を吐出開始位置に移動し、スリットノズル４１による走査を開始する。
【００９５】
このスリットノズル４１による走査の開始にともなって、第２の実施の形態における基板処理装置１においてもスリットノズル４１からレジスト液を吐出させる。
【００９６】
まず、制御系６が開閉バルブ８８を開放状態にするとともに、駆動部８２０ａの駆動モータ８２１を正回転させて、ナット部材８２３ａを（−Ｚ）方向に移動させる。これにより、レジストポンプ８１の接合部材８１３とレジストポンプ８３の接合部材８１３とが一体として同じ速度で（−Ｚ）方向に移動する。レジストポンプ８１とレジストポンプ８３とが、ほぼ同じ構造の部材で構成されているため、それぞれの接合部材８１３が等しい速度で移動すると、第１の実施の形態における基板処理装置１と同様に、それぞれのレジストポンプ８１，８３から吐出されるレジスト液の量が等しくなる。
【００９７】
架橋構造４が（−Ｘ）方向に移動して、スリットノズル４１が吐出終了位置にまで移動すると、制御系６が開閉バルブ８８を閉鎖状態にするとともに、駆動モータ８２１の回転を停止させて、スリットノズル４１からレジスト液の吐出を停止する。
【００９８】
以後、第１の実施の形態における基板処理装置１と同様の動作および制御が行われ、基板９０に対する処理が終了すると、基板９０が基板処理装置１から装置外に搬出される。
【００９９】
以上のように、第２の実施の形態における基板処理装置１においても第１の実施の形態における基板処理装置１とほぼ同様の効果を得ることができる。
【０１００】
また、第２の実施の形態における基板処理装置１では、１つの駆動部８２０ａを有する駆動機構８２ａが、複数の取付部材８２４ａ，８２４ｂを有するナット部材８２３ａによって、２つのレジストポンプ８１，８３を連結して駆動することにより、制御系６による複雑な制御を行うことなく、それぞれの吐出流量が容易に等しくなるようにレジストポンプ８１，８３を駆動することができる。
【０１０１】
＜３．  第３の実施の形態＞
上記実施の形態では、スリットノズル４１にレジスト液を一カ所から供給する場合について説明したが、レジスト液を供給する位置は１つに限られるものではない。
【０１０２】
図６は、このような原理に基づいて構成した第３の実施の形態における基板処理装置１の本体２の正面図である。なお、本実施の形態における基板処理装置１においても、第１の実施の形態と同様の機能を有する構成については、適宜同符号を付し、説明を省略する。
【０１０３】
本実施の形態における本体２には、上記実施の形態と同様に架橋構造４が設けられている。また、架橋構造４は、昇降機構４３，４４およびノズル支持部４０から構成される。
【０１０４】
ノズル支持部４０のＹ軸方向両側には、送液機構８０ａと送液機構８０ｂとがそれぞれ分かれて配置される。すなわち、それぞれの送液機構８０ａ，８０ｂは、スリットノズル４１の長手方向の両端部上方に配置されている。このような配置とすることにより、本実施の形態における基板処理装置１は、各レジストポンプ８１，８３からスリットノズル４１までのレジスト液の流路を短くすることができ、スリットノズル４１の応答性を向上させることができる。
【０１０５】
図７は、第３の実施の形態における基板処理装置１のスリットノズル４１と送液機構８０（８０ａ，８０ｂ）との接続関係を示す概略図である。
【０１０６】
スリットノズル４１には、レジスト液を供給するための２つの供給口（供給口４１０ａおよび供給口４１０ｂ）が、Ｙ軸方向に配列するように設けられている。すなわち、供給口４１０ａおよび供給口４１０ｂの配置位置は、スリットノズル４１の長手方向の位置がそれぞれ異なっている。
【０１０７】
送液機構８０ａと送液機構８０ｂとは、ほぼ同様の構成を有しており、送液機構８０ａはレジストポンプ８１、駆動部８２０、第４配管８５ａ、および開閉バルブ８８ａを有し、送液機構８０ｂはレジストポンプ８３、駆動部８４０、第５配管８６ａ、および開閉バルブ８８ｂを有する。
【０１０８】
本実施の形態においては、レジストポンプ８１の吐出口８１６は第４配管８５ａに連通接続されており、第４配管８５ａは開閉バルブ８８ａを介してスリットノズル４１の供給口４１０ａに取り付けられている。また、レジストポンプ８３の吐出口８１６は第５配管８６ａに連通接続されており、第５配管８６ａは開閉バルブ８８ｂを介してスリットノズル４１の供給口４１０ｂに取り付けられている。すなわち、レジストポンプ８１およびレジストポンプ８３は、供給口４１０ａおよび供給口４１０ｂと一対一に接続されている。
【０１０９】
制御系６は、２つのギャップセンサ４２の出力に基づいて求められた薄膜の膜厚値を互いに比較することによって、形成された薄膜のＹ軸方向のバラツキを検出して、当該バラツキをうち消すように供給口４１０ａおよび供給口４１０ｂに供給するレジスト液の送液流量を調整する。供給口４１０ａおよび供給口４１０ｂに供給されるレジスト液の送液流量は、それぞれのレジストポンプ８１，８３を駆動する各駆動モータ８２１の回転速度により決定されるため、本実施の形態における基板処理装置１の制御系６は、それぞれの駆動モータ８２１に対して、ギャップセンサ４２の出力に応じたフィードバック制御を行う。
【０１１０】
次に、第３の実施の形態における基板処理装置１の動作について説明する。本実施の形態における基板処理装置１が基板９０の表面にレジスト膜を形成する動作は、第１の実施の形態における基板処理装置１とほぼ同様の動作によって行われるため、適宜省略しつつ説明する。
【０１１１】
まず、基板９０が基板処理装置１に搬送されることにより処理が開始され、リニアモータ５０，５１が架橋構造４を（＋Ｘ）方向に移動させつつ、ギャップセンサ４２によるギャップ測定を行い、ギャップセンサ４２の出力に基づいて、昇降機構４３，４４がスリットノズル４１の姿勢を調整する。
【０１１２】
次に、リニアモータ５０，５１が架橋構造４を（−Ｘ）方向に移動させることによりスリットノズル４１を吐出開始位置に移動し、スリットノズル４１による走査を開始する。
【０１１３】
このスリットノズル４１による走査の開始にともなって、第３の実施の形態における基板処理装置１においてもスリットノズル４１からレジスト液を吐出させる。
【０１１４】
まず、制御系６が開閉バルブ８８ａ，８８ｂをそれぞれ開放状態にするとともに、各駆動部８２０，８４０の各駆動モータ８２１を正回転させて、それぞれのナット部材８２３を（−Ｚ）方向に移動させる。これにより、第１の実施の形態と同様にレジストポンプ８１，８３からレジスト液が吐出される。
【０１１５】
ここで、第１および第２の実施の形態における基板処理装置１では、２つのレジストポンプ８１，８３から吐出されたレジスト液は、スリットノズル４１に送液される途中で合流して、１つの供給口４１０からスリットノズル４１に供給されていた。
【０１１６】
第１および第２の実施の形態における基板処理装置１のように、レジスト液を一カ所からスリットノズル４１に供給するスリットコータでは、基板９０の大型化にともなってスリットノズル４１を大型化させると、供給口４１０から最も近い位置と、供給口４１０から最も遠い位置との間で供給口４１０からの距離差が増加する。したがって、それらの位置におけるレジスト液の供給量にバラツキが生じて、前述のように、スリットノズル４１の吐出流量がＹ軸方向について不均一になる。また、スリットノズル４１が大型化すると、スリットノズル４１の加工精度が低下することにより、吐出流量がＹ軸方向について不均一となる。
【０１１７】
しかし、第３の実施の形態における基板処理装置１では、各レジストポンプ８１，８３から吐出されるレジスト液は、それぞれが独立の流路（第４配管８５ａおよび第５配管８６ａ）を通ってスリットノズル４１の異なる位置に供給される。したがって、本実施の形態における基板処理装置１は、供給口に最も近い位置と供給口から最も離れた位置とにおける供給口からの距離差を、第１および第２の実施の形態における基板処理装置１に比べて、小さく抑えることができるため、スリットノズル４１の長手方向における吐出流量のバラツキを抑制することができる。これにより、スリットノズル４１の吐出精度を向上させることができる。
【０１１８】
架橋構造４が（−Ｘ）方向に移動して、スリットノズル４１が吐出終了位置にまで移動すると、制御系６が開閉バルブ８８を閉鎖状態にするとともに、駆動モータ８２１の回転を停止させて、スリットノズル４１からレジスト液の吐出を停止する。
【０１１９】
次に、第１の実施の形態における基板処理装置１と同様の動作によって、ギャップセンサ４２により、基板９０の表面に形成されたレジスト膜とのギャップが測定される。演算部６０は、２つのギャップセンサ４２からの出力に基づいて、それぞれの位置におけるレジスト膜の厚さ寸法を求め、それらの値を互いに比較することにより、形成されたレジスト膜の膜厚についてＹ軸方向のバラツキ（膜厚差）を検出する。
【０１２０】
制御系６は、次に処理する基板９０に対してレジスト液を吐出する際に、演算部６０により求めた膜厚差に応じて、各駆動モータ８２１を制御する。すなわち、形成されるレジスト膜の膜厚がＹ軸方向について均一（求められた膜厚差が「０」）となるように、駆動モータ８２１の回転速度を制御する。
【０１２１】
このように、基板処理装置１は、ギャップセンサ４２の出力に基づいて、制御対象であるレジスト膜の膜厚値に応じて各駆動モータ８２１を独立的にフィードバック制御することができる。これにより、例えば、スリットノズル４１の加工精度が大型化によって低下した場合であっても、Ｙ軸方向の吐出流量のバラツキをうち消すようにレジストポンプ８１，８３の送液流量を制御することができることから、スリットノズル４１の吐出精度を向上させることができる。
【０１２２】
第１の実施の形態における基板処理装置１と同様に、レジスト膜の検査が終了すると、ステージ３は基板９０の吸着を停止し、オペレータまたは搬送機構が基板９０を保持面３０から取り上げ、次の処理工程に搬送する。
【０１２３】
以上のように、第３の実施の形態における基板処理装置１においても、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【０１２４】
また、基板９０の大型化にともなって長手方向（Ｙ軸方向）の長さが１ｍ以上の大型のスリットノズルを用いる場合には、前述のように、スリットノズル４１のＹ軸方向における吐出精度が問題となるが、本実施の形態における基板処理装置１は、送液機構８０ａ，８０ｂがそれぞれスリットノズル４１の両端部に分かれて配置され、それぞれが独立して２カ所からスリットノズル４１にレジスト液を供給することにより、スリットノズル４１の長手方向におけるレジスト液の供給量を均一化させることができる。したがって、スリットノズル４１の吐出精度を向上させることができる。
【０１２５】
また、ギャップセンサ４２の出力に基づいて、各レジストポンプ８１，８３を駆動する各駆動モータ８２１をフィードバック制御することにより、実測値に応じた制御を行うことができ、さらに吐出精度を向上させることができる。
【０１２６】
なお、本実施の形態における基板処理装置１では、レジスト液をスリットノズル４１に２カ所から供給する場合について説明したが、さらに多くの位置からレジスト液を供給するように構成してもよい。
【０１２７】
＜４．  変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【０１２８】
例えば、上記実施の形態においては、第３の実施の形態における基板処理装置１のように、スリットノズル４１が複数の供給口４１０ａ，４１０ｂを有している場合に、スリットノズル４１のＹ軸方向の吐出不均一を是正するためにフィードバック制御を用いるとして説明したが、フィードバック制御が有効であるのは、このような場合に限られるものではない。すなわち、第１および第２の実施の形態のようにスリットノズル４１が単一の供給口４１０のみを有している場合であっても、スリットノズル４１から吐出されるレジスト液の流量を適正量に制御するために、ギャップセンサ４２の出力から求めたレジスト膜の膜厚に基づいて、各駆動モータ８２１のフィードバック制御を行ってもよい。すなわち、予め実験等によって求められている駆動モータ８２１の速度分布をフィードバック制御により補正するようにしてもよい。
【０１２９】
また、上記実施の形態では、レジストポンプ８１，８３として、ベローズを用いたチューブポンプを使用する例について説明したが、スリットノズル４１に供給する処理液を送液するポンプの構造はこれに限られるものではない。例えば、シリンジポンプ（ピストンポンプ）、ベローズポンプ、ギアポンプ、ダイヤフラムポンプなどの定量ポンプであってもよい。
【０１３０】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明では、スリットノズルに所定の処理液を送液する送液機構が、少なくとも２つの送液ポンプを有することにより、送液精度の高い送液ポンプを使用することができるため、スリットノズルの吐出精度を向上させることができる。
【０１３１】
請求項２に記載の発明では、送液配管が、少なくとも２つの処理液供給口と少なくとも２つの送液ポンプとを一対一に接続することにより、処理液をスリットノズルに対して１カ所から供給する場合に比べて、スリットノズルの吐出バランスを均一化させることができる。
【０１３２】
請求項３に記載の発明では、膜厚検出手段による検出結果に応じて、薄膜の厚さが均一になるように駆動機構を制御することにより、実測値に応じた制御が可能となることから、所望する薄膜を形成することができる。
【０１３３】
請求項４に記載の発明では、駆動機構が、少なくとも２つの送液ポンプをそれぞれ独立して駆動することにより、処理液の吐出状態の状況に応じて柔軟に送液ポンプによる送液状態を制御することができる。
【０１３４】
請求項５に記載の発明では、駆動機構が、少なくとも２つの送液ポンプを連結して駆動することにより、複雑な制御を行うことなく、容易に複数の送液ポンプを同期的に駆動することができる。
【０１３５】
請求項６に記載の発明では、少なくとも２つの送液ポンプのそれぞれからスリットノズルまでの間の送液配管の流路の長さおよび太さが、互いに略同一とされていることにより、送液ポンプを連結して駆動した場合の吐出精度を、さらに向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理装置の外観斜視図である。
【図２】第１の実施の形態における基板処理装置の本体部の正面図である。
【図３】第１の実施の形態における送液機構とスリットノズルとの接続関係を示す概略図である。
【図４】第１の実施の形態におけるレジストポンプおよび駆動機構の駆動部を示す図である。
【図５】第２の実施の形態における基板処理装置のスリットノズルと送液機構との接続関係を示す概略図である。
【図６】第３の実施の形態における基板処理装置の本体部の正面図である。
【図７】第３の実施の形態における基板処理装置のスリットノズルと送液機構との接続関係を示す概略図である。
【符号の説明】
１  基板処理装置
３  ステージ（保持台）
４１  スリットノズル
４１０，４１０ａ，４１０ｂ  供給口
４２  ギャップセンサ（膜厚検出手段）
５０，５１  リニアモータ（移動手段）
６  制御系（制御手段）
６０  演算部
８０，８０ａ，８０ｂ  送液機構
８１，８３  レジストポンプ
８２，８２ａ  駆動機構
８５  第１配管（送液配管）
８６  第２配管（送液配管）
８７  第３配管（送液配管）
８５ａ  第４配管（送液配管）
８６ａ  第５配管（送液配管）
９０  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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