(57)【要約】【課題】ロツキング振動を減衰させることができると共に、保守が容易でかつ装置の大きさを小型にしたアクティブマスダンパを提供すること。【解決手段】錘１８を移動させるモータ１１ｂに備えられたエンコーダ１７の出力に基づいて錘１８の移動原点からの変位を求め、求めた変位と、この変位から演算した速度とを、Ｘテーブルを移動させるドライバ４３のトルク指令値にフィードバックしてモータ１１ｂを回転させる。そして、ドライバ４３のトルク指令値が０になった場合（Ｘテーブルは停止）は、エンコーダ１７の出力に基づいて錘を移動原点（移動ストロークの中心）に位置決めする。【選択図】　　　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
錘を水平方向に移動自在に支持する支持装置と、前記錘を駆動する錘駆動装置と、前記錘駆動装置を制御するコントローラと、からなり、前記錘の移動方向が加工機の移動部の移動方向と平行になるようにして、前記加工機に配置されるアクティブマスダンパにおいて、
前記コントローラは、前記移動部の駆動部に指令されるトルク指令値によるフィードフォワード制御と前記錘の変位に基づくフィードバック制御とにより、前記錘駆動装置を駆動することを特徴とするアクティブマスダンパ。
【請求項２】
前記移動部が停止状態に入ったことを判断する判断手段をさらに備え、
前記移動部が停止状態であると前記判断手段により判断された場合、前記コントローラは、前記錘の変位の積分値に基づいて前記錘を当該移動ストロークの中心に位置決めすることを特徴とする請求項１に記載のアクティブマスダンパ。
【請求項３】
前記移動部が停止状態に入ったことを判断する判断手段をさらに備え、
前記移動部が停止状態であると前記判断手段により判断された場合、前記コントローラは、前記錘の変位に関する制御ゲインを高ゲインに切換えることを特徴とする請求項１または２に記載のアクティブマスダンパ。
【請求項４】
錘を水平方向に移動自在に支持する支持装置と、前記錘を駆動する錘駆動装置と、前記錘駆動装置を制御するコントローラと、からなり、前記錘の移動方向が加工機の移動部の移動方向と平行になるようにして、前記加工機に配置されるアクティブマスダンパにおいて、
トルク指令値が指令された時から予め設定された時間位相を進める位相進め手段と、
前記位相進め手段から出力される位相が進められた前記トルク指定値と前記錘の変位に基づくフィードバック制御とにより、前記錘駆動装置を駆動するコントローラと、
を備えていることを特徴とするアクティマスダンパ。
【請求項５】
前記予め設定された時間が、前記トルク指令値が指令された時から前記錘駆動装置に指令が出力されるまでの時間に略等しい時間であることを特徴とする請求項４に記載のアクティブマスダンパ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ベッド上に、水平方向に移動自在の水平移動部を備える加工機に採用されるアクティブマスダンパに係り、水平移動部の移動に伴って発生する床振動を低減することができるアクティブマスダンパに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、レーザ光を用いてプリント基板等に穴明け加工をするレーザ穴明け加工機は、ベッド上に水平方向に移動するＸテーブルと、Ｘテーブル上に載置されＸテーブルの移動方向と直交する水平方向に移動するＹテーブルと、固定のレーザ光源と、回転自在に支持され、レーザ光を走査させるための反射ミラー等と、を備えている。
【０００３】
そして、加工をする時には、プリント基板を予め定める大きさの加工領域に区分し、区分した任意の加工領域の中心をレーザ光の中心に位置決めした後、レーザ光を走査させて加工を行い、当該加工領域内の加工が終了すると、ＸテーブルとＹテーブルを動作させてプリント基板を次の加工領域に移動させる。以下、加工が終了するまで、上記の動作を繰り返す。
【０００４】
ここで、Ｘテーブルを移動させると、レーザ穴明け加工機には、ＸテーブルおよびＸテーブルに載置された部材の質量に加速度を掛けた大きさの加振力が水平方向に発生する。この加振力の作用点は床よりも高い所にあるため、この加振力と作用点の高さで決まるモーメント力により、レーザ穴明け加工機には、床の剛性とレーザ穴明け加工機の回転慣性によって決まる固有振動数の回転振動（ロッキング振動）が発生する。そして、レーザ穴明け加工機の重心を挟み、レーザ穴明け加工機の両側に配置されたレベリングボルトの一方から伝達される加振力は床を押し下げる方向に作用し、他方から伝達される加振力は床を引き上げる方向に作用する。この結果、床は上下方向の振動が発生する。
【０００５】
また、Ｙテーブルを移動させる場合も、Ｘテーブルを移動させた時と同様に、床には上下方向の振動が発生する。
【０００６】
したがって、加工能率を向上させようとして、ＸテーブルまたはＹテーブル（以下、両者をまとめてＸテーブルという。）を高速で移動させると、床の振動が大きくなる。
【０００７】
レーザ穴明け加工機が基礎のしっかりした建物の１階に設置された場合、床振動はそれほど大きくならない。しかし、レーザ穴明け加工機が２階以上の床に設置された場合、これらの床は１階ほどの剛性や質量を持たないことが多いため、レーザ穴明け加工機を稼動させると、床に大きな振動とこれに伴う騒音が発生する場合がある。このような振動や騒音は、作業者にとって不快感を引き起こすだけでなく、加工精度および加工能率の低下を招く。さらに、繰り返し振動により建物の強度が低下する場合がある。
【０００８】
ところで、機器の振動を床に伝達させないようにするために、従来から弾性体とダンパとからなる防振部材を機器の基礎部に設ける振動対策がなされている。しかし、レーザ穴明け加工機をこのような防振部材で柔に支持すると、ロッキング振動が大きくなってしまうため、Ｘテーブルの水平変位が防振部材で支持しない場合に比べて大幅に増大し、位置決め制御性が低下する。また、レーザ穴明け加工機を柔支持した場合、Ｘテーブルが移動することにより各防振装置の支持荷重が変化するため、レーザ穴明け加工機の水平度が変化して高精度な加工を行うことが困難になる。したがって、レーザ穴明け加工機を防振部材により柔に支持することは適切ではない。
【０００９】
そこで、特開平６―３３６３９４号公報では、ガーダ上を移動自在の移動台車に伝達される鉛直方向の振動を低減するため、移動台車に、直動拘束機構により拘束された付加質量と付加質量を移動させるサーボモータとからなるアクティブ方式の動吸振器（アクティブマスダンパ）と、加速度検出器とを設けている。そして、移動台車に伝達された鉛直方向の振動を加速度検出器により検出し、検出値に応じてアクティブマスダンパを制御することにより、吊り荷の巻き上げ作業時に発生するインパルス的な上下加振力等を減衰させている。したがって、このようなアクティブマスダンパの原理を採用すれば、レーザ穴明け加工機のテーブル等の質量に基づく上下方向の加振力を減衰させることができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記技術の場合、上記のロツキング振動を減衰させることは考慮されていない。
【００１１】
また、振動が発生してからアクティブマスダンパを動作させるため、時間遅れが発生する。
【００１２】
ところで、レーザ穴明け加工機の場合、作業能率を向上させるため、テーブルを高速で移動させることが多く、テーブルの加振力は大きい。
【００１３】
ここで、アクティブマスダンパの錘の質量が大きい場合、テーブルの加振力を抑制することは比較的容易であるが、レーザ加工機全体が大きくなる。
【００１４】
そこで、装置全体を小型にすることを目的として錘の質量を小さくすると、錘の加速度を相対的に大きくする必要がある。錘にボールナットを保持させボールねじにより錘を駆動する場合、ボールナットとボールねじとの間に隙間があると、錘を移動させる際あるいは移動方向を急激に変更する際、両者が衝突して錘とボールねじの支持剛性で決まる高次振動成分が励起される。そこで、ボールねじとボールナット間に与圧をかけて隙間を取り除くと、両者間の摩擦力により錘は移動の原点に戻らない。そこで、保守間隔を短くして、錘の位置を調整する必要がある。
【００１５】
本発明の目的は、ロツキング振動を減衰させることができると共に、保守が容易でかつ装置の大きさを小型にしたアクティブマスダンパを提供するにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の第１の手段は、錘を水平方向に移動自在に支持する支持装置と、前記錘を駆動する錘駆動装置と、前記錘駆動装置を制御するコントローラと、からなり、前記錘の移動方向が加工機の移動部の移動方向と平行になるようにして、前記加工機に配置されるアクティブマスダンパにおいて、前記コントローラは、前記移動部の駆動部に指令されるトルク指令値によるフィードフォワード制御と前記錘の変位に基づくフィードバック制御とにより、前記錘駆動装置を駆動することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の第２の手段は、錘を水平方向に移動自在に支持する支持装置と、前記錘を駆動する錘駆動装置と、前記錘駆動装置を制御するコントローラと、からなり、前記錘の移動方向が加工機の移動部の移動方向と平行になるようにして、前記加工機に配置されるアクティブマスダンパにおいて、トルク指令値が指令された時から予め設定された時間位相を進める位相進め手段と、前記位相進め手段から出力される位相が進められた前記トルク指定値と前記錘の変位に基づくフィードバック制御とにより、前記錘駆動装置を駆動するコントローラとを備えていることを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
（第一の実施形態）
以下、本発明の図示の実施の形態に基づいて説明する。
【００１９】
図１は、本発明の第一の実施形態に係るレーザ穴明け加工機の正面図、図２はアクティブマスダンパの平面断面図、図３はアクティブマスダンパの制御ブロック図である。
【００２０】
レーザ穴明け加工機２のベッド６は、レベリングボルト５とブロック部材４とを介して床に支持されている。ベッド６の上面には、リニアガイド１５ａのレール９ａが固定されている。Ｘテーブル７は、リニアガイド１５ａのスライドユニット８ａに固定され、図の左右方向（Ｘ方向）に移動自在である。Ｘテーブル７に保持された図示を省略するボールナットは、ボールネジ１０ａに螺合している。ボールネジ１０ａは、モータ１１ａにより駆動される。
【００２１】
モータ１１ａは、テーブル駆動用コントローラ４２から出力される制御信号に基づいてドライバ４３により駆動される。
【００２２】
なお、Ｘテーブル７には、図示を省略するＹテーブルが紙面に垂直なＹ方向に移動自在に支持されており、このＹテーブル上に基板が載置されている。そして、Ｘテーブル７とＹテーブルをそれぞれ移動させることにより、Ｙテーブル上の基板を水平方向任意の位置に位置決めすることができる。
【００２３】
ベッド６の上面に固定された門型フレーム１２には、図示を省略するレーザ源と、このレーザ源から出力されるレーザ光を加工位置まで案内する光学系とが配置されている。
【００２４】
図２に示すように、アクティブマスダンパ３の構成要素であるモータスタンド１３、軸受けスタンド１９ａ、１９ｂおよびリニアガイド１５ｂのレール９ｂは、架台２０に固定されている。錘１８は、リニアガイド１５ｂのスライドユニット８ｂに支持され、Ｘ方向に移動自在である。錘１８の内部に固定されたボールナット１６は、ボールねじ１０ｂに螺合している。ボールねじ１０ｂは軸受スタンド１９ａに回転自在に支持され、一方の端部は、カップリング１４を介して、モータスタンド１３に支持されたモータ１１ｂの出力軸に接続されている。モータ１１ｂに設けられたエンコーダ１７は、モータ１１ｂのドライバ４１を介してコントローラ４０に接続されている。コントローラ４０は、モータ１１ａのドライバ４３の信号出力線６０に接続されている。
【００２５】
図３に示すように、コントローラ４０の乗算器４４と判断器５０の入力側は、信号出力線６０に接続されている。そして、判断器５０は、予め定める制御期間ｔｃ（例えば１ｍｓ）毎に、ドライバ４３からモータ１１ａに出力されるトルク指令値信号（モータ駆動電流値またはモータ駆動電圧値である。以下、「トルク指令値」という。）を比較し、現在のトルク指令値と前回の制御期間ｔｃにおけるトルク指令値のいずれもが予め設定された値Ｔ０以下の場合は、スイッチ５３の端子ｃを端子ｂに接続し、その他の場合は端子ｃを端子ａに接続する。
【００２６】
加算器５２の入力側は、乗算器４４の出力側、スイッチ５３の端子ａ、積分器５１の出力側および乗算器４９の出力側に接続され、出力側はドライバ４１の入力側に接続されている。
【００２７】
エンコーダ１７は、パルスカウンタ４５および変換機４６を介して乗算器４７および微分器４８の入力側に接続されている。スイッチ５３の端子ｃは乗算器４７の出力側に、端子ｂは積分器５１の入力側に接続されている。微分器４８の出力側は乗算器４９の入力側に接続されている。
【００２８】
次に、この実施形態の動作を説明する。
【００２９】
図４は、ドライバ４３から出力されたトルク指令値の時刻歴の一例を示す図であり、縦軸はトルク指令値、横軸は時間である。同図に示されているように、Ｘテーブル７は急激な加速・減速パターンで移動および停止を繰り返し、定速で移動する場合は僅かである。そして、すべてのテーブルが停止している間に、レーザ光を照射して基板に穴明けを行う。
【００３０】
次に、アクティブマスダンパ３の動作を説明する。なお、錘１８の移動の原点は錘１８の移動ストロークの中央である。
【００３１】
（１）　時刻ｔ０から時刻ｔ１まで
トルク指令値は０であり、加算器５２に入力される信号はいずれも０であるので、モータ１１ｂは停止している。また、判断器５０により、スイッチ５３は端子ｃと端子ｂが接続されている。
【００３２】
（２）時刻ｔ１から時刻ｔ２まで
Ｘテーブル７の加速期間であり、トルク指令値は０からＴｍまで増加する。ドライバ４３から出力されたトルク指令値は乗算器４４により係数倍され、積分器５１の出力と乗算器４９の出力が加算されて、ドライバ４１に入力される。ここで、ドライバ４１に入力される信号の符号は、モータ１１ａに出力される電流値の符号によって決まり、錘１８の加速方向がＸテーブル７の加速方向と逆になるように決定される。
【００３３】
この結果、Ｘテーブル７が移動を開始する際に発生する水平方向の加振力は、錘１８が移動されることによって発生する水平方向の加振力に相殺（あるいは、低減）される。したがって、レーザ穴明け加工機２にはロッキング振動が発生せず、床振動は発生しない。
【００３４】
このように、この実施形態では、トルク指令値信号により錘をフィードフォワード制御するので、時間遅れなく床振動の発生を防止できる。
【００３５】
また、エンコーダ１７から出力されたパルス信号をパルスカウンタ４５によりカウントして錘１８の変位に換算し、得られた変位を乗算器４７により係数倍して加算器５２に入力（すなわち、錘１８の変位をモータ１１ｂの駆動信号にフィードバック）すると共に、微分器４８により速度信号に変換し、さらに乗算器４９により係数倍して加算器５２に入力（すなわち、錘１８の速度をモータ１１ｂの駆動信号にフィードバック）するようにしたので、錘１８が過大に変位して軸受スタンド１９ａ、１９ｂ等に衝突することを予防することができる。
【００３６】
ここで、フィードバック制御が強すぎると、錘１８の加速度が小さくなり、床振動を低減する効果が低下するので、乗算器４７の係数は実験等により、適切な値に定められている。
【００３７】
また、トルク指令値がＴ０を超えてから略制御期間ｔｃが経過すると、判断器５０によりスイッチ５３の接点ｃは接点ａに接続される。
【００３８】
（３）時刻ｔ２から時刻ｔ３まで
Ｘテーブル７の減速期間であり、トルク指令値はＴｍから−Ｔｍに反転した後０まで増加する。この場合、錘１８の減速方向がＸテーブル７の減速方向と逆になり、上記（２）の場合と同様に、Ｘテーブル７が移動を停止する際に発生する水平方向の加振力を相殺（あるいは低減）する。したがって、レーザ穴明け加工機２にはロッキング振動が発生せず、床振動は発生しない。
【００３９】
なお、トルク指令値がＴ０以下になってから略制御期間ｔｃが経過すると、判断器５０によりスイッチ５３の接点ｃは接点ｂに接続される。
【００４０】
（４）時刻ｔ３から時刻ｔ４まで
（ａ）錘１８が原点に復帰している場合
トルク指令値は０であり、また、パルスカウンタ４５の出力も０である。したがって、モータ１１ｂは停止する。
【００４１】
（ｂ）錘１８が原点からずれている場合
トルク指令値は０であるが、パルスカウンタ４５からは原点からの距離に相当する信号が出力される。この信号は小さいが、積分器５１により積分されることによりモータ１１ｂを駆動し、錘１８を原点に戻すことができる。
【００４２】
なお、この際、基板の加工が行われているので、錘１８はレーザ穴明け加工機２に影響を与えないよう、小さな加速度で移動される。
【００４３】
さらに、上記実施形態では連続する制御期間ｔｃにおけるトルク指令値がＴ０以下の場合、パルスカウンタ４５から出力される小さい信号値を積分するようにしたが、信号値を直接利用するようにしてもよい。
【００４４】
すなわち、図５に示すように、図３における積分器５１に代えて乗算器５４を配置し、図３における乗算器４７をスイッチ５３の端子ａと加算器５２との間に配置する。そして、乗算器５４の係数値を乗算器４７の係数値よりも十分に大きくしておく。
【００４５】
あるいは、図６に示すように、図３における積分器５１を乗算器５４に代えると共に、２連のスイッチ６１を加算器５２とドライバ４１との間に配置する。そして、トルク指令値が変化する場合は、判断器５０によりＡ側を有効にして加算器５２をドライバ４１に接続し、連続する制御期間ｔｃにおけるトルク指令値がＴ０以下の場合は、Ｂ側を有効にして乗算器５４をドライバ４１に接続してパルスカウンタ４５から出力される小さい信号値を直接利用する。
【００４６】
そして、いずれの場合も上記の場合と実質的に同一の動作をする。すなわち、Ｘテーブル７が移動を停止したときに錘１８が原点からずれていても、モータ１１ｂを回転させることにより錘１８を原点に戻すことができる。なお、錘１８の位置ずれを修正する場合は、上記の場合と同様に、錘１８はレーザ穴明け加工機２に影響を与えないよう、小さな加速度で移動される。
【００４７】
なお、判断器５０の判断方法はこの実施形態に限らず、Ｘテーブル７がほぼ停止していることが確認できればどのような判断方法（例えば、Ｘテーブル７に加速度センサを設けて、その加速度信号によりモータ１１ｂを駆動させたり、テーブル駆動用コントローラ４２から指令されるテーブルの移動開始信号や停止信号等）を用いてもよい。
【００４８】
ところで、テーブル駆動用コントローラ４２は、任意の目標位置Ｑに対応する制御信号をドライバ４３に出力する際、若干の処理時間Δｔａを必要とする。
【００４９】
また、ドライバ４３は、入力された制御信号に対応するトルク指令値を乗算器４４に出力する際、若干の処理時間Δｔｂを必要とする。
【００５０】
また、加算器５２は、乗算器４４の出力信号（上記トルク指令値の係数倍）に、積分器５１の出力と乗算器４９の出力を加算（減算）した信号をドライバ４１に出力する際、若干の処理時間Δｔｃを必要とする。
【００５１】
さらに、ドライバ４１は、加算器５２の出力信号に対応する駆動信号をモータ１１ｂに出力する際、若干の処理時間Δｔｄを必要とする。
【００５２】
したがって、モータ１１ｂに駆動信号が出力されるのは、テーブル駆動用コントローラ４２が目標位置Ｑを演算してから時間ΔＴ（＝Δｔａ＋Δｔｂ＋Δｔｃ＋Δｔｄ。以下、時間ΔＴを「制御系の遅れ時間」という。）経過後、すなわち、Ｘテーブル７の加速・減速タイミングよりも制御系の遅れ時間ΔＴ後に、錘１８の加速・減速が行われる。
【００５３】
このため、上記第一の実施形態では、Ｘテーブル７が移動・停止する際に発生する水平方向の加振力を抑制できない場合がある。
【００５４】
（第二の実施形態）
次に、本発明の第二の実施形態を説明する。
【００５５】
図７は、本発明の第二の実施形態における制御ブロック図であり、図３と同じものまたは同一機能のものは同一符号を付して説明を省略する。
【００５６】
ドライバ４３と乗算器４４との間には、ハイパスフィルタ１００が配置されており、ドライバ４３からモータ１１ａに出力されるトルク指令値６０は、ハイパスフィルタ１００を介して乗算器４４に入力される。また、加算器５２には乗算器４４の出力側と、乗算器４７、４９の出力側が接続されている。
【００５７】
図８は、ハイパスフィルタ１００の特性例を示す図であり、実線はハイパスフィルタ１００の入力であるドライバ４３からのトルク指令値６０を、破線はハイパスフィルタ１００の出力値１０１を、それぞれ示している。
【００５８】
同図に示されているように、ハイパスフィルタ１００の出力値１０１はトルク指令値６０に対して位相が進む。ここで、制御系の遅れ時間ΔＴは装置固有の値であるから、位相差に対応する進み時間Δｔが制御系の遅れ時間ΔＴに等しくなるような折点周波数のハイパスフィルタ１００を選定すると、制御系の遅れ時間ΔＴを進み時間Δｔにより相殺することができる。すなわち、錘１８をＸテーブル７の加速・減速方向と逆方向に同一タイミングで加速・減速させることができる。
【００５９】
この結果、Ｘテーブル７が移動を開始あるいは停止する際に発生する水平方向の加振力は、錘１８が移動することによって発生する水平方向の加振力に相殺（あるいは、低減）されるので、レーザ穴明け加工機２にはロッキング振動が発生せず、床振動は発生しない。
【００６０】
なお、進み時間Δｔの値としては、減速時においてトルク指令値が０になるときの値を用いればよい。
【００６１】
ところで、以上においては、加速時の最大トルクと減速時の最大トルクは絶対値が同じであるとして説明してきた。しかし、ボールねじ１０ａとボールナット１６との間には摩擦があるので、通常、加速時の最大トルクの絶対値を減速時の最大トルクの絶対値よりも大きくする必要がある。
【００６２】
そこで、Ｘテーブル７が停止している場合のトルク指令値６０をボールねじ１０ａとボールナット１６との間に働く摩擦力よりも僅かに小さい値にしておくと（トルク指令値６０にオフセットを設けておくと）、起動時におけるＸテーブル７の応答速度を速くすることができる。
【００６３】
図９は、そのような場合、すなわちトルク指令値６０にオフセットを設けた場合の、ハイパスフィルタ１００の特性例を示す図である。
【００６４】
同図に示されているように、トルク指令値６０にオフセットαが設けられている場合も、停止状態における出力値１０１は０になるので、錘１８を概ね原点に戻すことができる。
【００６５】
なお、ハイパスフィルタ１００に代えてトルク指令値が指令された時から予め設定された時間位相を進める位相進め手段を用いてもよい。また、この場合の位相進み時間は、トルク指令値が指令された時から錘駆動装置に指令が出力されるまでの時間に略等しい時間に設定される。
【００６６】
以上説明したように、本発明では、Ｘテーブル７の移動に合わせて錘１８を繰返し移動させても、錘１８を常に原点付近から移動させることができるので、錘１８の位置調整をする必要がなく、保守が容易である。
【００６７】
また、ボールねじ１０ｂに付加する与圧を大きくすることができるので（ボールねじ１０ｂとボールナット間の摩擦力は大きくなる）、両者間の隙間を確実になくすことができ、位置決め精度を向上させることができる。
【００６８】
さらに、アクティブマスダンパをコンパクトに構成することができるので、既に稼動中であるアクティブマスダンパを備えていないレーザ穴明け加工機等に対しても、容易に後付で適用することができる。
【００６９】
また、Ｘテーブルの加振力による床振動の低減について説明したが、必要があれば、Ｙテーブルに対するアクティブマスダンパを設けてもよい。
【００７０】
さらに、テーブル駆動用コントローラ４２から出力されるＸテーブル７の速度制御信号を錘１８の制御に用いて、ドライバ４１によりモータ１１ｂを速度制御するようにしてもよい。
【００７１】
また、アクティブマスダンパを１個設ける場合について説明したが、アクティブマスダンパを２個設け、ベッド６の両側に設置してもよい。両側に設置する場合、ベッド６に対して水平方向の力のみを加えることができるので、１個の場合に比べてさらに有効である。
【００７２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、アクティブマスダンパの錘を制御することにより、テーブル移動により発生するレーザ穴明け加工機のロッキング振動を時間遅れなく確実に抑制できるので、床振動を防止することができる。また、錘を常に原点から移動させるようにしたので、錘の位置調整をする必要がなく、保守が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施形態に係るレーザ穴明け加工機の正面図である。
【図２】本発明に係るアクティブマスダンパの平面断面図である。
【図３】本発明に係るアクティブマスダンパの制御ブロック図である。
【図４】ドライバ４３から出力されたトルク指令値の時刻歴の一例である。
【図５】本発明の変形例を示すアクティブマスダンパの制御ブロック図である。
【図６】本発明の変形例を示すアクティブマスダンパの制御ブロック図である。
【図７】本発明の第二の実施形態に係るアクティブマスダンパの制御ブロック図である。
【図８】ハイパスフィルタの入出力特性の時刻歴の一例である。
【図９】ハイパスフィルタの入出力特性の時刻歴の一例である。
【符号の説明】
１１ｂ　モータ
１　７　エンコーダ
１８　錘
４３　ドライバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004090211.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004090211.tif 000008
【図７】
2004090211.tif 000009
【図８】
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【図９】
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