(57)【要約】【課題】走査検査装置の取像方法の提供。【解決手段】少なくとも一つの画像キャプチャ装置を提供して行進中の取像を行い、並びに周期性特徴を具えた被検査物に対して重畳の画像キャプチャを行い、連続性の間接露光を行い非明晰な画像の重畳画像を発生させ、最後に重畳画像中の相対差異を取り出して被検査物の善し悪しを快速判定する根拠となす。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
行進間取像を利用し、周期性特徴を有する被検査物に対して取像を行う走査検査装置の取像方法において、
少なくとも一つの画像キャプチャ装置を提供して行進間取像を行うステップと、
被検査物に対して重畳の画像キャプチャを行うステップと、
連続性の間接露光を行い曖昧な重畳画像を発生させるステップと、
重畳画像中の相対差異を取り出して被検査物の善し悪しを快速判定する根拠となすステップと、
を具えたことを特徴とする、走査検査装置の取像方法。
【請求項２】
請求項１に記載の走査検査装置の取像方法において、保全監視、医療監視、半導体設備画像検査、ＰＣＢ検査、ＬＣＤパネル検査、ＬＥＤ輝度及び色検査、大面積印刷品のキズ検査のいずれかに応用されうることを特徴とする、走査検査装置の取像方法。
【請求項３】
請求項１に記載の走査検査装置の取像方法において、行進間取像がプログレッシブスキャン又はラインスキャンのいずれかとされることを特徴とする、走査検査装置の取像方法。
【請求項４】
請求項１に記載の走査検査装置の取像方法において、相対差異が非周期性出現の特徴を指すことを特徴とする、走査検査装置の取像方法。
【請求項５】
少なくとも一つの画像キャプチャ装置を提供して行進間取像を行うと共に周期性特徴を具えた被検査物に対して連続性の間接露光を行う走査検査装置の取像方法において、
被検査物に対して重畳の画像キャプチャを行い、曖昧な重畳画像を発生させ、並びに該重畳画像中の相対差異を被検査物の善し悪しを快速判定する根拠となすことを特徴とする、走査検査装置の取像方法。
【請求項６】
請求項５に記載の走査検査装置の取像方法において、保全監視、医療監視、半導体設備画像検査、ＰＣＢ検査、ＬＣＤパネル検査、ＬＥＤ輝度及び色検査、大面積印刷品のキズ検査のいずれかに応用されうることを特徴とする、走査検査装置の取像方法。
【請求項７】
請求項５に記載の走査検査装置の取像方法において、行進間取像がプログレッシブスキャン又はラインスキャンのいずれかとされることを特徴とする、走査検査装置の取像方法。
【請求項８】
請求項５に記載の走査検査装置の取像方法において、相対差異が非周期性出現の特徴を指すことを特徴とする、走査検査装置の取像方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は一種の走査検査装置の取像方法に係り、特に、行進中の取像を行い、並びに周期性特徴を具えた被検査物に対して連続性の間接露光を行い、被検査物の善し悪しを快速判定する、走査検査装置の取像方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイ製造工場中、ディスプレイ中に液晶を注入するため、上下２片のガラス板中に微粒子（ｐａｒｔｉｃｌｅ）を充填して空間を保留する必要があり、検査作業において、固定領域中に含まれる微粒子数量を計数してそれが検査標準に達するようにする必要がある。現行の方法は顕微鏡を利用して人工目視により検査するが、これには時間がかかり、また不確実であり、改善の必要がある。
【０００３】
さらに既に一種の液晶ディスプレイ材料の微細な塾片計数システムの記載があるが、その主要な目的は、機械視覚技術で液晶ディスプレイ工場の自動化をグレードアップすることにある。このシステムはＣＣＤカメラを利用し、画像キャプチャシステム及びパソコンで機械視覚自動化検査設備を組成しており、表面微粒子を検出する自動計算システムにより現在の人工計算の検査方式を改善することができ、数量統計のほか、微粒子分布の不均一の有無の状況を検出することができる。
【０００４】
ある工場内では通常、微細塾片をスプレー開始する時、作業員は生産開始する３枚或いは４枚の液晶ディスプレイのガラスに対して目視検査を実施し、ノズルの噴出量を調整してから大量作業を開始する。実際には液晶ディスプレイパネル材料の微細な塾片の分布状況は液晶ディスプレイ製造工程上にあって、液晶ディスプレイの歩留りに関わる重要な因子である。このため微細塾片計数システムは液晶ディスプレイ製造工程の品質簡易方面において十分に重要性を有している。
【０００５】
外来異物の検出には一般に、画像キャプチャシステムが利用されてＬＣＤの微粒子画像がキャプチャされ、通常は静態取像或いは行進間取像が採用され、さらに露光後に明晰画像が取得され、検査が行われる。しかし、行進間取像は露光不足で、検出時間を短縮できず、またＬＣＤセルフ発光の露光強度が不足するため、行進間取像には制限があり、検査の作業が効率的に行えなかったり、高解析度の画像キャプチャシステムを提供し、さらにソフトウエアの高速計算を組み合わせなければ検査の効果を達成できない。このため被検査物の善し悪しを快速判定できる取像方法の提供が、走査検査装置にとっての注目を集める議題となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の主要な目的は、一種の走査検査装置の取像方法を提供することにあり、それは規律性を有する被検査物に対するプログレッシブスキャン（ｐｒｏｇｒｅｓｓｉｖｅ  ｓｃａｎ）、ラインスキャン（ｌｉｎｅ  ｓｃａｎ）のような行進間取像を透過し、連続性の間接露光を行い、その重畳の画像キャプチャにより、曖昧な画像を発生させ、その重畳画像中の相対差異を取り出して被検査物の善し悪しを快速判定する根拠となし、これにより周知の行進間取像走査に必要であったショートシャッター制御による重畳露光防止を不要とした方法であるものとする。
【０００７】
本発明の次の目的は、重畳露光の現象を善用して露光行進距離を被検査物の特徴周期の整数倍となし、これにより異常の特徴を明らかに表示できるようにすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、行進間取像を利用し、周期性特徴を有する被検査物に対して取像を行う走査検査装置の取像方法において、
少なくとも一つの画像キャプチャ装置を提供して行進間取像を行うステップと、
被検査物に対して重畳の画像キャプチャを行うステップと、
連続性の間接露光を行い曖昧な重畳画像を発生させるステップと、
重畳画像中の相対差異を取り出して被検査物の善し悪しを快速判定する根拠となすステップと、
を具えたことを特徴とする、走査検査装置の取像方法としている。
請求項２の発明は、請求項１に記載の走査検査装置の取像方法において、保全監視、医療監視、半導体設備画像検査、ＰＣＢ検査、ＬＣＤパネル検査、ＬＥＤ輝度及び色検査、大面積印刷品のキズ検査のいずれかに応用されうることを特徴とする、走査検査装置の取像方法としている。
請求項３の発明は、請求項１に記載の走査検査装置の取像方法において、行進間取像がプログレッシブスキャン又はラインスキャンのいずれかとされることを特徴とする、走査検査装置の取像方法としている。
請求項４の発明は、請求項１に記載の走査検査装置の取像方法において、相対差異が非周期性出現の特徴を指すことを特徴とする、走査検査装置の取像方法としている。
請求項５の発明は、少なくとも一つの画像キャプチャ装置を提供して行進間取像を行うと共に周期性特徴を具えた被検査物に対して連続性の間接露光を行う走査検査装置の取像方法において、
被検査物に対して重畳の画像キャプチャを行い、曖昧な重畳画像を発生させ、並びに該重畳画像中の相対差異を被検査物の善し悪しを快速判定する根拠となすことを特徴とする、走査検査装置の取像方法としている。
請求項６の発明は、請求項５に記載の走査検査装置の取像方法において、保全監視、医療監視、半導体設備画像検査、ＰＣＢ検査、ＬＣＤパネル検査、ＬＥＤ輝度及び色検査、大面積印刷品のキズ検査のいずれかに応用されうることを特徴とする、走査検査装置の取像方法としている。
請求項７の発明は、請求項５に記載の走査検査装置の取像方法において、行進間取像がプログレッシブスキャン又はラインスキャンのいずれかとされることを特徴とする、走査検査装置の取像方法としている。
請求項８の発明は、請求項５に記載の走査検査装置の取像方法において、相対差異が非周期性出現の特徴を指すことを特徴とする、走査検査装置の取像方法としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
いわゆる行進間取像は、非交錯走査（Ｎｏｎ−ｉｎｔｅｒｌａｃｅ）であり、いわゆる順序走査（直接走査）であり、その特性は一回に一つの全体画面の走査を完了し、画面のビデオ信号線条は連続する方式でスクリーンに描かれ、これにより垂直範囲の電子ビームが全体画面を組成する。伝統的な一般のテレビ或いは走査検査はいずれも交錯式走査方式又はいわゆる間接走査を採用し、また即ち二つの画像のフィールドを交錯するよう重畳させて一つの画面を形成する方式で処理され、奇数１、３、５、７、９・・・、偶数２、４、６、８・・・で交錯式走査し、さらに二つのフレームを組み合わせて一つの画面を組成するが、画面のちらつきをもたらしやすい。
【００１０】
本発明の提供する走査検査装置の取像方法は、プログレッシブスキャンやラインスキャンのような行進間取像で検査する時、キャプチャする画像を明晰としなければならない問題を解決し、極めて短時間の露光を以て重畳露光の形成するトレール現象（ｔｒａｉｌｉｎｇ）を防止する。
【００１１】
図１は本発明の走査検査装置の取像フローチャートである。本発明は、まず、少なくとも一つの画像キャプチャ装置を提供して行進間取像を行い（ステップ１００）、続いて、被検査物に対して重畳の画像キャプチャを行い（ステップ１１０）、並びに連続性の間接露光を行い曖昧な（ｆｕｚｚｙ）重畳画像を発生させ（ステップ１２０）、最後に重畳画像中の相対差異を取り出して被検査物の善し悪しを快速判定する根拠となす（ステップ１３０）。そのうち、上述の曖昧な重畳画像は、伝統的な行進間取像におけるショートシャッター制御による重畳露光防止の必要を不要とする。これは、行進間取像がいずれも重畳露光の問題に突き当たるが、本発明の方法を運用することで、明晰画像の条件制限を免除でき、さらに露光距離の制御を利用して異常を明らかとすることができることによる。
【００１２】
本発明の第１実施例はＬＣＤパネルを標的検査物とし、本発明の取像方法の運用の実行性を説明する。図２は第１被検査物の原始画像図であり、図示されるように、この原始画像の第７列は正常列とされ、第９列には一つの異常特徴画像点が出現している。図３は第１被検査物の原始画像の正常列の輝度統計図であり、この図は原始画像の第７列が正常列であることを表示し、図４は第１被検査物の原始画像の異常列の輝度統計図であり、この図は原始画像の第９列が異常列であることを表示している。
【００１３】
図５は第１被検査物の走査画像の条紋画像図であり、図示されるように、この走査画像の第７列は正常列で、第９列に異常特徴画像点が出現している。図６は第１被検査物の走査画像の正常列の輝度統計図であり、この図は走査画像の第７列が正常列であることを表示し、本発明に記載の方法を運用し、重畳露光した後の原始画像のＲＧＢ周期特徴の振幅が相互に相殺して明らかに減衰している。図７は第１被検査物の走査画像の異常列の輝度統計図であり、この図は走査画像の第９列が異常列であることを表示し、本発明に記載の方法を運用すると、異常の特徴強度は相互に相殺されず、僅かに均一化されて僅かに減衰する現象があるのみであり、異常サイズは露光行進距離が大きい時には僅かに異常の両端にあって減衰し、中心部分の強度は不変である。
【００１４】
本発明の第２実施例もまたＬＣＤパネルを標的検査物としており、本発明の取像方法の運用の実行性を説明する。第１実施例との違いは第２画像の重畳露光距離が比較的画像ＲＧＢの周期に接近し、輝度が比較的均一で、縦向き条紋が比較的明らかでないことである。図８は第２被検査物の原始画像図であり、図示されるように、この原始画像の第１１列は正常列で、第１３列に異常特徴画像点が出現している。図９は第２被検査物の原始画像の正常列の輝度統計図であり、この図は原始画像の第１１列が正常列であることを示し、図１０は第２被検査物の原始画像の異常列の輝度統計図であり、この図は原始画像の第１３列が異常列であることを示している。
【００１５】
図１２は第２被検査物の走査画像の条紋画像図であり、同様に、図示されるように、この走査画像の第１１列は正常列で、第１３列に異常特徴画像点が出現している。図１２は第２被検査物の走査画像の正常列の輝度統計図であり、本発明に記載の方法を運用し、重畳露光後に、原始画像のＲＧＢ周期特徴の振幅が相互に相殺して明らかに減衰している。図１３は第２被検査物の走査画像の異常列の輝度統計図であり、この図は原始画像の第１３列が異常列であることを表示し、本発明に記載の方法を運用し、異常の特徴強度は相互に相殺されず、僅かに減衰する現象があるだけである。
【００１６】
本発明の提出する実施例はＬＣＤパネルを標的の被検査物としており、この方法の実現上、画像キャプチャの段階に外部光源は不要であり、その理由は、ＬＣＤパネル検査がＬＣＤのバックライトパネルによるセルフ発光を光源とし、外部光源を必要としないことにある。しかしこれは本発明の応用であって、本発明の応用範囲を限定するものではなく、一般の行進間取像の応用範囲である保全監視、医療監視、半導体設備画像検査、ＰＣＢ検査、ＬＣＤパネル検査、ＬＥＤ輝度及び色検査、大面積印刷品のキズ検査等は、いずれも本発明の訴求の方法を採用することができ、そのトレール（重畳）の画像キャプチャにより、連続性の間接露光を進行し、並びに曖昧な（ｆｕｚｚｙ）画像を発生させ、その重畳画像中の相対差異を取り出して、被検査物の善し悪しを快速判定する根拠となすことができる。
【００１７】
【発明の効果】
本発明の長所は以下のとおりである。
１．明晰画像の条件制限を免除する。
２．露光距離の制御を利用して異常を明らかに表示させることができる。
なお、以上の実施例は本発明の実施範囲を限定するものではなく、本発明に基づきなしうる細部の修飾或いは改変は、いずれも本発明の請求範囲に属するものとする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の走査検査装置の取像フローチャートである。
【図２】本発明による第１被検査物の原始画像図である。
【図３】本発明による第１被検査物の原始画像の正常列の輝度統計図である。
【図４】本発明による第１被検査物の原始画像の異常列の輝度統計図である。
【図５】本発明による第１被検査物の走査画像の条紋画像図である。
【図６】本発明による第１被検査物の走査画像の正常列の輝度統計図である。
【図７】本発明による第１被検査物の走査画像の異常列の輝度統計図である。
【図８】本発明による第２被検査物の原始画像図である。
【図９】本発明による第２被検査物の原始画像の正常列の輝度統計図である。
【図１０】本発明による第２被検査物の原始画像の異常列の輝度統計図である。
【図１１】本発明による第２被検査物の走査画像の条紋画像図である。
【図１２】本発明による第２被検査物の走査画像の正常列の輝度統計図である。
【図１３】本発明による第２被検査物の走査画像の異常列の輝度統計図である。
【符号の説明】
１００  少なくとも一つの画像キャプチャ装置を提供して行進間取像を行う
１１０  被検査物に対して重畳の画像キャプチャを行う
１２０  連続性の間接露光を行い曖昧な重畳画像を発生させる
１３０  重畳画像中の相対差異を取り出して被検査物の善し悪しを快速判定する根拠となす
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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