(57)【要約】【課題】簡単な構造でスロー排気と急速排気を行うことができ、スロー排気時の排気流量を微小流量から調整することができる小流量排気弁付開閉弁を提供すること。【解決手段】シリンダ２１に収納されるピストン２２を摺動させることにより、チャンバポート３３とポンプポート３４とを連通する大オリフィス３５の開閉を行う第１の弁と、第１の弁に設けられた小オリフィス４３の開閉を行う第２の弁とを相対的に駆動させる小流量排気弁付開閉弁１に、ピストン２２の摺動量を調整することにより、第２の弁が小オリフィス４３を開口する際の駆動量を調整する微小調整機構５０を設ける。【選択図】        図１
2004324793.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダに収納されるピストンを摺動させることにより、入力ポートと出力ポートとを連通する大オリフィスの開閉を行う第１の弁と、前記第１の弁に設けられた小オリフィスの開閉を行う第２の弁とを相対的に駆動させる小流量排気弁付開閉弁において、
前記ピストンの摺動量を調整することにより、前記第２の弁が前記小オリフィスを開口する際の駆動量を調整する微小調整機構を有すること、を特徴とする小流量排気弁付開閉弁。
【請求項２】
請求項１に記載する小流量排気弁付開閉弁において、
前記ピストンは、前記シリンダを第１圧力室と第２圧力室とに区画し、前記第２圧力室から前記第１の弁、前記第２の弁へと貫き通されるピストンロッドを固設されていること、
前記第１の弁は、前記大オリフィスの周りに設けられた弁座と、前記弁座に当接又は離間する第１弁体とを有し、前記第１弁体が前記ピストンロッドを摺動可能に貫き通されてピストンと反対方向に付勢されていること、
前記第２の弁は、前記第１弁体に形成された小オリフィスを前記第１弁体に当接又は離間することにより開閉する第２弁体を有し、前記第２弁体が前記ピストンロッドに固設されてピストン方向に付勢されていること、を特徴とする小流量排気弁付開閉弁。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する小流量排気弁付開閉弁において、
前記微小調整機構は、
前記ピストンに固設され、前記シリンダに摺動可能に貫き通される摺動軸と、
前記摺動軸の前記シリンダから突出する部分に位置調節可能に取り付けられるストッパ部材と、を有すること、を特徴とする小流量排気弁付開閉弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空処理装置の排気系における排気ポンプと真空処理槽との間に配置する開閉弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程においては、酸化・拡散装置、気相成膜装置のように、処理槽の真空排気を要する装置がある。かかる真空使用装置においては、真空排気に要する時間が１回の処理に要する時間を大きく左右し全体の生産性にも影響する。従って、これらの真空使用装置においては、真空排気時間の短縮のために処理槽の容積を可能な限り小さくしたり、排気速度の大きな排気ポンプを採用する等の工夫がなされている。
【０００３】
しかし、ここで排気ポンプの排気速度を大きくすることを選択した場合、真空排気時間の短縮化の面では有効であるものパーティクルの巻き上げを引き起こすといった問題があった。すなわち、パーティクルは、クリーンルームの環境下においてもなお発生し、真空処理槽やその配管内のように清掃しにくい部位の底部などに堆積する。そこで、排気ポンプによって大気圧状態から速い排気速度で急激に排気が開始されると、排気に伴う風圧により堆積していたパーティクルが巻き上げられ、それがウエハに付着することがある。特に、半導体製造工程中には、微細回路加工工程があるため、このようなウエハ上へのパーティクルの付着は、全工程を通じて防ぐ必要がある。
【０００４】
そのため、処理槽を大気圧から真空排気する際、排気開始後しばらくの間は、速い排気を避ける必要がある。そして、処理槽の圧力がある程度低下すると、パーティクルの巻き上げ等の不具合が起こらなくなるので、その後は、排気速度を制限する理由はなくなり、前述した排気時間短縮の観点からなるべく速い排気速度での排気が望まれる。すなわち、スロー排気及び急速排気の２段階制御が必要とされる。そのため、従来より、スロー排気及び急速排気の２段階排気を可能とする小流量排気弁付開閉弁が種々提案されている。
【０００５】
図４は、第１従来例の小流量排気弁付開閉弁１００の断面図である。
小流量排気弁付開閉弁１００は、ピストン１０２をシリンダ１０１内で摺動させることにより第１弁体１１３と第２弁体１１５の作動を制御し、大オリフィス１１１と小オリフィス１１４との連通を切り換えて排気速度を調整するものである。
【０００６】
シリンダ１０１には、ピストン１０２が摺動可能に嵌装され、シリンダ１０１を第１圧力室１０３と第２圧力室１０４に気密に区画している。第１圧力室１０３と第２圧力室１０４には、第１，第２呼吸孔１０５，１０６が開設され、エアを供給又は排気するようになっている。シリンダ１０１には、弁本体１０７が固設され、ピストン１０２に垂設されたピストンロッド１０８がシリンダ１０１から弁本体１０７へと貫き通されている。弁本体１０７には、入力ポート１１０と出力ポート１０９とを連通する大オリフィス１１１が形成され、大オリフィス１１１の周りに弁座１１２が設けられている。弁座１１２に当接又は離間する第１弁体１１３は、ピストンロッド１０８が摺動可能に挿通され、小オリフィス１１４が形成されている。小オリフィス１１４は、ピストンロッド１０８の下端部に固設される第２弁体１１５により開閉され、入力ポート１１０と出力ポート１０９との連通状態を切り換えられる。第１弁体１１３は、復帰バネ１１６により図中下向きに付勢される一方、第２弁体１１５は、復帰バネ１１７で図中上向きに付勢されており、大オリフィス１１１と小オリフィス１１４が同時に閉口されるようになっている。
【０００７】
そこで、小流量排気弁付開閉弁１００は、第１呼吸孔１０５にエアを供給して第１圧力室１０３を加圧すると、ピストンロッド１０８は、復帰バネ１１７に抗して第１弁体１１３内を下向きに移動し、第２弁体１１５を第１弁体１１３から離間させる。このとき、第１弁体１１３は、復帰バネ１１６の付勢力で弁座１１２に当接して大オリフィス１１１を閉口している。よって、処理槽の排気空気が小オリフィス１１４から小流量で排出され、スロー排気が行われる。そして、処理槽がパーティクルを巻き上げない程度の圧力に達したら、第１圧力室１０３の加圧を停止した後、第２呼吸孔１０６に操作エアを供給して第２圧力室１０４を加圧する。ピストンロッド１０８は、復帰バネ１１７の弾発力で上昇し、第２弁体１１５を第１弁体１１３に当接させ、さらに、第２弁体１１５を介して第１弁体１１３を復帰バネ１１６に抗して持ち上げる。よって、処理槽の排気空気が大オリフィス１１１から大流量で排出され、急速排気が行われる（例えば、特許文献１参照。）。
【０００８】
図５は、第２従来例の小流量排気弁付開閉弁２００の断面図である。
小流量排気弁付開閉弁２００は、第１ボディ部材２０１と第２ボディ部材２０２とから構成され、第１ボディ部材２０１内には、主弁機構２０３及び副弁機構２０４とが、第２ボディ部材２０２内には、主弁体駆動部材２０５及び副弁体駆動部材２０６とが設けられている。主弁機構２０３は、ポート２１１，２１２を結ぶ流路を開閉するものであり、主弁座２１３に対する主弁体２１４が主軸２１５を介して主弁体駆動部材２０５と連結されている。そして、主弁体２１４は、ベローズ２１６に内包された復帰バネ２１７によって主弁座２１３方向（下方）に付勢され、主弁体駆動部材２０５下方の主圧力作用室２３１に圧力流体が供給されることによって開放するようになっている。
【０００９】
一方、副弁機構２０４は、主弁体２１４に形成された流路２１８の副弁座２１９を開閉する副弁体２２０が、副軸２２１によって副弁体駆動部材２０６に連結されている。副弁座２１９と副弁体２２０とは、ニードル弁構造をなす。そして、主軸２１５内に設けられた復帰バネ２２２によって副弁座２１９方向（下方）に付勢され、副弁体駆動部材２０６下方の副圧力作用室２３２に圧力流体が供給されると、副弁体駆動部材２０６が調整ネジ２３３に当接するまで上昇し、それによって副弁体２２０が副弁座２１９を開放するようになっている。調整ネジ２３３は、ダイヤル２３４を回転させることにより主弁体駆動部材２０５内を上下方向に螺進し、副弁体駆動部材２０６の移動量を調整するようになっている。
【００１０】
そこで、小流量排気弁付開閉弁２００は、先ず、副圧力作用室２３２内に圧力流体が供給されると、副弁体駆動部材２０６が調整ネジ２３３に当接する位置まで上昇し、副弁座２１９が開放される。そのため、処理槽に接続するポート２１１から排気空気が制限的にポンプポート２１２へと徐々に流れ、処理槽は、スロー排気される。ここで、スロー排気時の排気流量は、調整ネジ２３３で副弁体駆動部材２０６の移動量を調節すれば、副弁体２２０が副弁座２１９から離間する量を調節して任意に設定されるため、スロー排気に要する時間を変更することができる。次いで、処理槽内の圧力が十分に低下し、パーティクルを巻き上げない程度の圧力に達したところで弁本体２１４が引き上げられ、急速で排気される（例えば、特許文献２参照。）。
【００１１】
【特許文献１】
特許３０３３９４７号公報（第３〜５頁、第１図。）
【特許文献２】
特開平９−１３７８７９号公報（第３〜５頁、第１図。）
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の小流量排気弁付開閉弁１００，２００には、以下の問題があった。
（１）第１従来例の小流量排気弁付開閉弁１００は、スロー排気時に、小オリフィス１１４から排気空気を排気するため、流量調整することができなかった。スロー排気は、処理槽におけるパーティクルの巻き上げを回避する上で極めて重要であり、真空対象の変更や処理槽の大きさなどに応じてスロー排気時の排気流量を調整したい場合もありうる。そのため、流量調整を全くできない小流量排気弁付開閉弁１００は、使用又は用途が制限されるという問題があった。
【００１３】
（２）第２従来例の小流量排気弁付開閉弁２００は、調整ネジ２３３によりスロー排気時の流量調整を行うことができるものの、主弁体２１４と副弁体２２０とを同一方向に移動させ、スロー排気と急速排気とを行うため、主弁機構２０３や副弁機構２０４の構造などが複雑であった。
【００１４】
そこで、本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、簡単な構造でスロー排気と急速排気を行うことができ、スロー排気時の排気流量を微小流量から調整することができる小流量排気弁付開閉弁を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る小流量排気弁付開閉弁は、次のような構成を有している。
（１）シリンダに収納されるピストンを摺動させることにより、入力ポートと出力ポートとを連通する大オリフィスの開閉を行う第１の弁と、第１の弁に設けられた小オリフィスの開閉を行う第２の弁とを相対的に駆動させる小流量排気弁付開閉弁において、ピストンの摺動量を調整することにより、第２の弁が小オリフィスを開口する際の駆動量を調整する微小調整機構を有すること、を特徴とする。
【００１６】
上記構成を有する発明では、ピストンを所定方向に移動させると、第２の弁が小オリフィスを開口する一方、第１の弁が大オリフィスを閉口する。排気流体は小オリフィスから小流量で排気され、スロー排気が行われる。ここで、第２の弁は、ピストンの摺動量に応じて駆動するので、微小調整機構でピストンの摺動量を調整すれば、第２の弁が小オリフィスを開口する際の駆動量を同時に調整することが可能である。小オリフィスを流れる排気流量は、第２の弁の駆動量に比例するので、微小調整機構でピストンの摺動量を微小調整すれば、小オリフィスを流れる排気流量を微小流量から調整することが可能である。このため、スロー排気時の流量調整幅が広く確保される。その後、ピストンを所定方向と反対方向に移動させると、第１の弁が大オリフィスを開口する一方、第２の弁が小オリフィスを閉口する。排気流体は、大オリフィスから大流量で排気され、急速排気が行われる。
従って、本発明によれば、簡単な構造でスロー排気と急速排気を行うことができ、スロー排気時の排気流量を微小流量から調整することができる。
【００１７】
（２）（１）に記載の発明において、ピストンは、シリンダを第１圧力室と第２圧力室とに区画し、第２圧力室から第１の弁、第２の弁へと貫き通されるピストンロッドを固設されていること、第１の弁は、大オリフィスの周りに設けられた弁座と、弁座に当接又は離間する第１弁体とを有し、第１弁体がピストンロッドを摺動可能に貫き通されてピストンと反対方向に付勢されていること、第２の弁は、第１弁体に形成された小オリフィスを第１弁体に当接又は離間することにより開閉する第２弁体を有し、第２弁体がピストンロッドに固設されてピストン方向に付勢されていること、を特徴とする。
【００１８】
上記構成を有する発明では、第１圧力室と第２圧力室を加圧しないときには、第１弁体が弁座に当接して大オリフィスを閉口し、また、第２弁体が第１弁体に当接して、小オリフィスを閉口している。そこで、第１圧力室を加圧すると、ピストンが加圧方向に移動（下降）し、ピストンロッドを介して第２弁体を付勢力に抗して第１弁体から離間させる。これにより小オリフィスが開口する。このとき、第１の弁では、第１弁体が付勢されて弁座に当接し、大オリフィスを閉口している。よって、排気流体が小オリフィスを小流量で流れ、スロー排気が行われる。
【００１９】
次いで、第１圧力室の加圧を停止すると、第２弁体が付勢されて第１弁体に当接し、ピストンロッドを介してピストンを摺動させる。そして、第２圧力室を加圧すると、ピストンが加圧方向に移動（上昇）し、ピストンロッド及び第２弁体を介して第１弁体を付勢力に抗して弁座から持ち上げ、大オリフィスを開口する。よって、排気流体が大オリフィスを大流量で流れ、急速排気が行われる。
【００２０】
従って、本実施の形態によれば、ピストンの加圧方向を変えて、スロー排気と急速排気とを切り換えるので、構造を簡素化して省スペース化を図ることができる。
【００２１】
（３）（１）又は（２）に記載の発明において、微小調整機構は、ピストンに固設され、シリンダに摺動可能に貫き通される摺動軸と、摺動軸のシリンダから突出する部分に位置調節可能に取り付けられるストッパ部材と、を有すること、を特徴とする。
すなわち、ピストンは、位置調節されたストッパ部材をシリンダに係止させるまで移動（下降）し、第２の弁を駆動させて小オリフィスを開口するので、ストッパ部材の位置によってスロー排気時の動作状態を外部から確認することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係る小流量排気弁付開閉弁の実施の形態について図面を参照して説明する。図１〜図３は、小流量排気弁付開閉弁１の断面図である。
小流量排気弁付開閉弁１は、半導体製造装置の処理槽と真空ポンプとに接続し、処理槽の排気空気をスロー排気及び急速排気するために用いられるものであり、シリンダ部２弁部３とから構成されている。シリンダ部２は、一般的なピストンシリンダであり、シリンダ２１内を１つのピストン２２が摺動可能に嵌装され、第１圧力室２３と第２圧力室２４とを気密に区画している。シリンダ２１には、第１呼吸孔２５と第２呼吸孔２６とが第１圧力室２３と第２圧力室２４にそれぞれ連通するよう開設され、第１圧力室２３と第２圧力室２４に操作流体であるエアを供給又は排出するようになっている。
【００２３】
弁部３は、弁本体３１が接続部３２を介してシリンダ２１に一体に固設されている。弁本体３１には、処理槽に接続するチャンバポート（「入力ポート」に相当するもの。）３３と、真空ポンプに接続するポンプポート（「出力ポート」に相当するもの。）３４とが形成され、チャンバポート３３とポンプポート３４とを連通させる大オリフィス３５が設けられている。大オリフィス３５の周りには、大オリフィス３５を通過する排気空気の流量調整を行うために弁座３６が形成されている。弁本体３１には、弁座３６に対して当接又は離間する第１弁体３７が内設され、第１弁体３７の弁座３６に当接する面に弁ゴム３８が円周状に嵌合されてシール性を確保している。尚、弁座３６、第１弁体３７などにより「第１の弁」が構成されている。
【００２４】
一方、ピストン２２の中心部には、ピストンロッド２７が垂設され、シリンダ２１から弁本体３１へと貫き通されている。ピストンロッド２７は、下端部に向かって段差部２８，２９が形成され、下端部が上端部より細くなっている。ピストンロッド２７は、復帰バネ３９，４０が接続部３２とピストンロッド２７の段差部２８にそれぞれ突き当たるように取り付けられ、復帰バネ３９，４０を圧縮するように下端部から第１弁体３７が摺動可能に挿通されている。さらに、ピストンロッド２７の下端部は、第２弁体４１に貫き通され、第２弁体４１に固定されている。尚、第１弁体３７と、第２弁体４１などにより「第２の弁」が構成されている。
【００２５】
ここで、復帰バネ３９は、復帰バネ４０より付勢力の大きいものを使用している。そのため、第１弁体３７は、復帰バネ３９により常に下向きの力が作用し、第２弁体４１は、復帰バネ４０により常に上向きの力が作用しており、第１弁体３７がピストン２２から独立して作動するよう構成されている。こうした接続部３２と第１弁体３７には、ベローズ４２が復帰バネ３９，４０を覆うように固着し、復帰バネ３９，４０の弾性変形などにともなって発生するパーティクルが排気流路に排出されることを防止している。
【００２６】
第１弁体３７には、大オリフィス３５閉鎖時にチャンバポート３３とポンプポート３４とを接続する小オリフィス４３が形成され、ピストンロッド２７の下端部に設けられた第２弁体４１で開閉されるようになっている。第２弁体４１は、有底円筒形状をなし、第１弁体３７と接触する当接面に弁ゴム４４が円周状に装着されてシール性を確保している。第１弁体３７と第２弁体４１には、ピストンロッド２７を覆うようにベローズ４５が固着され、ピストンロッド２７の摺動に伴って発生するパーティクルなどが排気流路に排出されることを防止している。
【００２７】
ここで、第２弁体４１とピストン２２とは、ピストンロッド２７を介して一体的に連結しており、第１圧力室２３を加圧したときにおけるピストン２２の摺動量は、第２弁体４１との駆動量と一致する。ピストン２２及び第２弁体４１は、第１圧力室２３を加圧されたときに、第２弁体４１が第１弁体３７に当接する位置からピストンロッド２７の段差部２９が第１弁体３７に当接する位置までの範囲Ａ内で移動可能である。そこで、小流量排気弁付開閉弁１には、ピストン２２の摺動量を範囲Ａ内で調整することにより、第２弁体４１が第１弁体３７から離間する駆動量を調整する微小調整機構５０が設けられている。
【００２８】
微小調整機構５０は、摺動軸５１、ストッパ５２、調整ネジ５３とから構成される。摺動軸５１は、ピストン２２に対してピストンロッド２７と反対向きに垂設され、シリンダ２１から外部に向かって摺動可能に貫き通されている。摺動軸５１がシリンダ２１から突出する部分には、断面コの字形のストッパ５２が螺設され、摺動軸５１の摺動に従ってシリンダ２１に当接又は離間するようになっている。ストッパ５２は、摺動軸５１に螺合する調整ネジ５３により位置調整され、ストッパ５２と調整ネジ５３とで「ストッパ部材」が構成されている。
【００２９】
このような、小流量排気弁付開閉弁１は、第１呼吸孔２５と第２呼吸孔２６にエアを供給して第１圧力室２３と第２圧力室２４を加圧しないときには、図１に示すように、第１弁体３７が、復帰バネ３９により下向きに付勢されて弁座３６に当接し、大オリフィス３５を閉口し、また、第２弁体４１が、復帰バネ４０により上向きに付勢されて第１弁体３７に当接し、小オリフィス４３を閉口している。よって、処理槽は、排気空気が排気されず、大気圧状態になっている。
【００３０】
そこで、大気圧状態から排気を開始する場合には、パーティクルの巻き上げを防止するために、先ず、スロー排気を行う。第１呼吸孔２５から第１圧力室２３にエアを供給して第１圧力室２３を加圧すると、図２に示すように、ピストン２２が、復帰バネ４０の付勢力に抗して下降し、ピストンロッド２７を介して第２弁体４１を押し下げる。これにより、第２弁体４１が、第１弁体３７から離間して、小オリフィス４３を開口する。このとき、第１弁体３７は、復帰バネ３９に付勢されて弁座３６に当接し、大オリフィス３５を閉口している。従って、処理槽の排気空気が、小オリフィス４３を小流量で流れ、スロー排気が行われる。
【００３１】
ここで、ピストン２２は、微小調整機構５０で設定された量だけ、すなわち、ストッパ５２がシリンダ２１に係止されるまで下降し、第２弁体４１を第１弁体３７から離間させる。第２弁体４１は、ピストンロッド２７を介してピストン２２と一体的に連結され、ピストン２２の下降量に応じて第１弁体３７から離間する。そのため、微小調整機構５０で第１圧力室２３を加圧したときにおけるピストン２２の摺動量を微小調整すれば、第２弁体４１が第１弁体３７から離間して小オリフィス４３を開口する際の駆動量を同時に調整することが可能である。小オリフィス４３を流れる排気流量は、第２弁体４１が第１弁体３７から離間する駆動量に比例するので、微小調整機構５０でピストンの摺動量を微小調整すれば、小オリフィス４３を流れる排気流量を微小流量から調整することが可能である。このため、スロー排気時の流量調整幅が広く確保される。
【００３２】
このようにしてスロー排気を行い、処理槽がパーティクルを巻き上げない程度の圧力まで達したら、急速排気を行う。すなわち、先ず、第１呼吸孔２５へのエアの供給を停止する。ピストン２２は、図１に示すように、ピストンロッド２７を介して復帰バネ４０の付勢力で押し上げられ、第２弁体４１を第１弁体３７に当接させる。これにより、小オリフィス４３が閉口される。次いで、第２呼吸孔２６から第２圧力室２４にエアを供給して第２圧力室２４を加圧すると、図３に示すように、ピストン２２が上昇して、ピストンロッド２７、第２弁体４１を介して第１弁体３７を復帰バネ３９に抗して弁座３６から持ち上げ、大オリフィス３５を開口する。このとき、微小調整機構５０は、摺動軸５１がシリンダ２１を摺動するので、急速排気の機能を阻害しない。従って、処理槽は、排気空気が大オリフィス３５を大流量で流れ、急速排気が行われる。
【００３３】
その後、排気を終了する場合には、第２呼吸孔２６へのエアの供給を停止すれば、図１に示すように、ピストン２２が、復帰バネ３９，４０がバランスする位置まで下降し、大オリフィス３５と小オリフィス４３とが閉口される。
【００３４】
従って、本実施の形態の小流量排気弁付開閉弁１によれば、シリンダ２１に収納されるピストン２２を摺動させることにより、チャンバポート３３とポンプポート３４とを連通する大オリフィス３５の開閉を行う第１の弁と、第１の弁に設けられた小オリフィス４３の開閉を行う第２の弁とを相対的に駆動させるものであって、ピストン２２の摺動量を調整することにより、第２の弁が小オリフィス４３を開口する際の駆動量を調整する微小調整機構５０を有しているので、簡単な構造でスロー排気と急速排気を行うことができ、スロー排気時の排気流量を微小流量から調整することができる。
【００３５】
また、本実施の形態の小流量排気弁付開閉弁１によれば、ピストン２２は、シリンダ２１を第１圧力室２３と第２圧力室２４とに区画し、第２圧力室２３から第１の弁、第２の弁へと貫き通されるピストンロッド２７を固設され、また、第１の弁は、大オリフィス３５の周りに設けられた弁座３６と、弁座３６に当接又は離間する第１弁体３７とを有し、第１弁体３７がピストンロッド２７を摺動可能に貫き通されてピストン２２と反対方向に付勢され、さらに、第２の弁は、第１弁体３７に形成された小オリフィス４３を第１弁体４１に当接又は離間することにより開閉する第２弁体４１を有し、第２弁体４１がピストンロッド２７に固設されてピストン２２方向に付勢されており、ピストン２２の加圧方向を変えて、スロー排気と急速排気とを切り換えるので、構造を簡素化して省スペース化を図ることができる。
【００３６】
また、本実施の形態の小流量排気弁付開閉弁１によれば、微小調整機構５０は、ピストン２２に固設され、シリンダ２１に摺動可能に貫き通される摺動軸５１と、摺動軸のシリンダ２１から突出する部分に位置調節可能に取り付けられるストッパ５２及び調整ネジ５３と、を有しており、ピストン２２は、位置調節されたストッパ５２をシリンダ２１に係止させるまで移動（下降）し、第２弁体４１を第１弁体３７から離間させて小オリフィス４３を開口するので、ストッパ５２の位置によってスロー排気時の動作状態を外部から確認することができる。
【００３７】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【００３８】
（１）例えば、上記実施の形態では、第１，第２圧力室２３，２４を加圧する操作流体としてエア圧を利用したが、油圧を利用してもよい。
【００３９】
（２）例えば、上記実施の形態では、ストッパ５２と調整ネジ５３とで「ストッパ部材」を構成したが、調整機能を備えるストッパ１つで「ストッパ部材」を構成してもよい。
【００４０】
（３）例えば、上記実施の形態の小流量排気弁付開閉弁１に開閉状態を検出する検出部材を設け、小流量排気弁付開閉弁１の動作信号を制御装置などに送信するようにしてもよい。具体的には、例えば、ストッパ５２がシリンダ２１に当接する位置にスイッチを設け、ストッパ５２が下降してシリンダ２１に当接するときにスイッチをオンし、ストッパ５２が上昇してシリンダ２１から離間したときにスイッチをＯＦＦするようにしてもよい。このようにスイッチが簡単に設けられるのは、微小調整機構５０をシリンダ２１の外部に設けたからであり、かかるスイッチがオンされたときに、第１圧力室２３の圧力を維持するように圧力制御すれば、第１圧力室２３を過剰に加圧することを防止できる。
【００４１】
（４）上記実施の形態の小オリフィス４３にオリフィス部材を着脱可能に設け、オリフィス部材と微小調整機構５０とでスロー排気時の流量調整を行うようにしてもよい。この場合、スロー排気時の流量調整幅をさらに広げることができる。
【００４２】
（５）上記実施の形態の小流量排気弁付開閉弁１では、第１弁体３７に第２弁体４１の上端面を面接触させ、第１弁体３７と第２弁体４１との間の隙間の量を調整することにより、流量調整を行うようにした。それに対して、第１弁体３７と第２弁体４１の接触面にニードル弁構造を設けてもよい。すなわち、例えば、第１弁体３７の下端面に小オリフィス４３に連通する凹部を形成して、その凹部の内壁に沿って挿入される環状の突起を第２弁体４１の上端面に突設し、さらに、第２弁体４１に設けた突起の外周面に第１弁体３７側（上方）に向かって小径となるテーパを形成してもよい。かかる構造によれば、第２弁体４１が第１弁体３７に対して上下動したときに、第１弁体４１と第２弁体３７の隙間で排気流体を流量調整した後、さらに、第２弁体４１に突設した突起のテーパ面と第１弁体３７の凹部内壁との間に形成される隙間の面積に応じて排気流体を流量調整して小オリフィス４３に供給するので、上記実施の形態の小流量排気付開閉弁１と比較して、調整ネジ５３の回転数に対する流量変動を小さくすることができ、スロー排気時の排気流量をより微小流量から調整することができる。
【００４３】
（６）上記実施の形態では、チャンバポート３３を処理槽に接続し、ポンプポート３４を真空ポンプに接続した。それに対して、処理槽、真空ポートは、チャンバポート３３、ポンプポート３４の何れに接続してもよく、ポンプポート３４を処理槽に接続し、チャンバポート３３を真空ポンプに接続してもよい。
【００４４】
（７）上記実施の形態では、弁ゴム４４を第２弁体４１に設けた。それに対して、弁ゴム４４を第１弁体３７の第２弁体４１に接触する部分に装着してもよい。
【００４５】
【発明の効果】
本発明の小流量排気弁付開閉弁によれば、シリンダに収納されるピストンを摺動させることにより、入力ポートと出力ポートとを連通する大オリフィスの開閉を行う第１の弁と、第１の弁に設けられた小オリフィスの開閉を行う第２の弁とを相対的に駆動させるものであって、ピストンの摺動量を調整することにより、第２の弁が小オリフィスを開口する際の駆動量を調整する微小調整機構を有しているので、簡単な構造でスロー排気と急速排気を行うことができ、スロー排気時の排気流量を微小流量から調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係り、全閉時における小流量排気弁付開閉弁の断面図である。
【図２】同じく、スロー排気時における小流量排気弁付開閉弁の断面図である。
【図３】同じく、急速排気時における小流量排気弁付開閉弁の断面図である。
【図４】第１従来例の小流量排気弁付開閉弁の断面図である。
【図５】第２従来例の小流量排気弁付開閉弁の断面図である。
【符号の説明】
１  小流量排気弁付開閉弁
２１  シリンダ
２２  ピストン
２３  第１圧力室
２４  第２圧力室
３３  チャンバポート
３４  ポンプポート
３５  大オリフィス
３６  弁座
３７  第１弁体
４１  第２弁体
４３  小オリフィス
５０  微小調整機構
５１  摺動軸
５２  ストッパ
５３  調整ネジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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