(57)【要約】【課題】低い誘電正接及び誘電吸収を持つコンデンサ用誘電体、特にコンデンサ用フィルムを提供すること。【解決手段】有機高分子を主成分とし空孔を含有する誘電体。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機高分子を主成分とし、空孔を含有することを特徴とする誘電体。
【請求項２】
ボイド率が１０〜７０ｖｏｌ％である請求項１に記載の誘電体。
【請求項３】
請求項１または２に記載の誘電体を少なくとも一つ含む複合誘電体。
【請求項４】
請求項１〜３に記載の誘電体であることを特徴とするコンデンサ用フィルム。
【請求項５】
有機高分子が、ポリマー（ａ）と、ポリマー（ａ）に非相溶なポリマー（ｂ）からなる請求項４に記載のコンデンサ用フィルム。
【請求項６】
ポリマー（ａ）が、ポリエステルまたはポリオレフィンまたはポリフェニレンスルフィドである請求項５に記載のコンデンサ用フィルム。
【請求項７】
ポリマー（ｂ）がポリメチルペンテンまたはシクロオレフィンポリマーである請求項５に記載のコンデンサ用フィルム。
【請求項８】
少なくとも片面の表面粗さＲａが２００ｎｍ以下である請求項４〜７のいずれかに記載のコンデンサ用フィルム。
【請求項９】
フィルム厚みが０．３〜２５μｍである請求項４〜８のいずれかに記載のコンデンサ用フィルム。
【請求項１０】
少なくとも片面に金属層を設けたことを特徴とする請求項４〜９のいずれかに記載のコンデンサ用フィルム。
【請求項１１】
請求項１〜３のいずれかに記載の誘電体、または請求項４〜１０のいずれかに記載のフィルムを用いたコンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、誘電体及びコンデンサ用フィルム並びにそれらを用いたコンデンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、有機高分子を誘電体として用いたコンデンサは広く用いられている。例えば、及びフィルム状の高分子誘電体と金属箔を交互に巻回するか、あるいはフィルムに金属を蒸着することで金属層を形成し、これを巻回または積層することによりコンデンサを得る技術が知られている（特許文献１、２参照）。
【０００３】
この際誘電体として用いられる高分子フィルムは、ポリエステル、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリエチレンなどが多く用いられている。
【０００４】
【特許文献１】特開昭６３−１８２３５１号公報
【０００５】
【特許文献２】特開昭６３−１９４３１８号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
近年、電子機器の高周波化やインバータの普及により、電子部品の高周波での特性が要求されてきている。コンデンサにおける主な問題は、高周波での誘電正接及び誘電吸収の二つである。いずれも低い方が好ましく理想的にはゼロである。これらの値が高いと、エネルギー損失やそれに伴う発熱が生じたり、高周波回路の動作が不安定となるなどの原因となる。
【０００７】
コンデンサでは、ポリプロピレンフィルムコンデンサが誘電正接及び誘電吸収の観点から他のコンデンサに比べても非常に良好であり、そうした用途に好んで用いられてきた。しかし部品のチップ化や使用環境の過酷化（特に高温化）が進んでいる現在、耐熱性が低いポリプロピレンが使用できない状況も多くなってきている。さらに用途によっては、ポリプロピレンフィルムコンデンサよりも誘電正接及び誘電吸収の良好なコンデンサが求められてきている。
【０００８】
本発明の目的は、従来では得られなかった極めて低い誘電正接及び誘電吸収を持つコンデンサ用誘電体、特にコンデンサ用フィルムを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、かかる問題を解決するために主として次の構成を有する。即ち、本発明は、有機高分子を主成分とする空孔を含有する誘電体、ならびに有機高分子を主成分とし、空孔を含有するコンデンサ用フィルムである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の誘電体は有機高分子を主成分とする。ここで主成分とは、後述する空孔を除いた全体の５０重量％を占める成分を指す。
【００１１】
本発明で主成分として好適に用いられる有機高分子としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリスチレン、ポリフェニレンスルフィド、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリフッ化ビニリデン、ポリパラキシレンなどのフィルムが挙げられる。また、これらの共重合体や、他の有機重合体との混合体、積層体であっても良い。これらの高分子化合物に、公知の添加剤、例えば、滑剤や可塑剤などが含まれても良い。
【００１２】
より好ましくは、主成分となる有機高分子としては、ポリエステルまたはポリオレフィンまたはポリフェニレンスルフィドであることが、誘電正接の改良効果が著しく、コンデンサ電気特性も良好で好ましい。より好ましくは６０重量％以上がポリエステル、ポリフェニレンスルフィドまたはポリエチレンナフタレートである。特に好ましくは、７０重量％以上がポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンスルフィド、またはポリエチレンナフタレート、及びこれらの共重合体であることがコンデンサの電気特性上、また本発明の効果が著しく、好ましい。
【００１３】
本発明の誘電体は、空孔を含有することが誘電正接及び誘電吸収を低く抑える観点から必要である。誘電正接や誘電吸収は、原理的には分極の遅い双極子が存在し、その双極子の分極（充放電）が完了するのに時間がかかることに起因する。電気用の高分子材料を俯瞰すると、誘電率の高いものほど双極子の動きが遅い傾向となり誘電正接は高くなるのが一般的である。
【００１４】
本発明の誘電体は、主成分の有機高分子に空孔を含有させることにより、有機高分子と空孔内部の気体（もしくは真空）に由来するいわゆる複合誘電体の形態をなし、誘電率は両者の中間の値となる。
【００１５】
本発明の誘電体は、誘電正接や誘電吸収についても誘電率と同様に、その値は有機高分子と空孔内部の気体（もしくは真空）に由来する値の複合となる。気体は一般的に誘電正接や誘電吸収が非常に小さいので、本発明の誘電体は、主成分の有機高分子に空孔を含有させることにより誘電正接や誘電吸収が改良できる。
【００１６】
本発明の誘電体の空孔内部には、通常、周辺環境の空気が充填されるが、真空であっても良いし、製法上その他の気体が充填されることも可能である。より好ましくは窒素（Ｎ２）や六フッ化硫黄（ＳＦ６）などのガスが、１気圧以上の圧力で充填されていれば、誘電体の耐電圧が高くなるので好ましい。
【００１７】
本発明の誘電体に含有する空孔のボイド率は、体積比にして１０〜７０ｖｏｌ％であることが、好ましい。１０ｖｏｌ％以上であれば、誘電正接や誘電吸収の改良効果が十分に得られ好ましい。７０ｖｏｌ％以下であれば、誘電率が十分に得られコンデンサのサイズを小さくできるので好ましい。より好ましくは、２０〜５０％である。
【００１８】
本発明の誘電体に含有する空孔の形態は問わないが、独立空孔でないと、コンデンサ作製の際の熱や圧力などのストレスで空孔がつぶれたり変形したりする場合があるので、球状もしくは扁平楕円断面の独立空孔であることが好ましく、空孔の平均径は、１０μｍ以下であることが好ましい。より好ましくは５μｍ以下さらに好ましくは１μｍ以下である。また、誘電体の形状を厚み１０μｍ以下のフィルムとする場合には、製膜を容易にする観点から、フィルム厚みの１／３以下、好ましくは１／１０以下の平均径であることが好ましい。
【００１９】
本発明の誘電体は、空孔を含有する誘電体とそれ以外の１種類以上の誘電体を、厚み方向に積層したり、厚みと垂直な方向に２次元的にあるいは３次元的に配置して、複合誘電体とすることができる。
【００２０】
本発明の誘電体の一例としては、コンデンサ用フィルムが挙げられる。誘電体がフィルム状であれば、工業上容易に大きな静電容量で小型のコンデンサが得られるため好ましい。本発明で好適に用いられる高分子フィルムの厚みは、本発明の効果を奏する限りにおいて特に限定されないが、実用的なサイズのコンデンサを得る目的から、０．３μｍ〜２５μｍの範囲が好ましく、より好ましくは０．７μｍ〜２０μｍの範囲であり、さらに好ましくは１．０μｍ〜６μｍの範囲である。かかる好ましい範囲内であれば、誘電正接や誘電吸収の低減効果が得られやすいので好ましい。
【００２１】
本発明のコンデンサ用フィルムは、誘電体のみからなる単層フィルムであってもよいし、誘電体の少なくとも片面に他の高分子フィルムが積層されている積層フィルムであってもよい。
【００２２】
本発明の積層フィルムの様態は特に限定されるものではないが、空孔を有する誘電体層の主成分と同種の高分子を、空孔を有する層の片側もしくは両側に積層する様態や、中央の層に本発明の空孔を有する誘電体とは異なる高分子を、その上下層に本発明の誘電体を配する構成が例示できる。本発明の空孔を含有する層を、空孔径や空孔の量を変化させて複数積層する構成や、異なる主成分の空孔を含有する層を複数積層する構成も例示できる。さらに２種ないしそれ以上の種類の層を、交互に１０層から数百層積層することで、空孔を微細・均一に制御でき、製膜時の破れなどが低減し生産性が向上する。
【００２３】
本発明の積層フィルムの製法についても特に限定されないが、複合口金を持つ複合製膜機で押出・キャスト時に積層する方法や、ラミネートなどの方法で２種類以上のフィルムを製膜後に積層する方法、接着層を設けて接着、積層する方法、単に圧着して積層する方法などがあげられる。
【００２４】
本発明のコンデンサ用誘電体は、溶融比抵抗が１．０×１０９Ω・ｃｍ以上であることが絶縁抵抗の観点から好ましい。より好ましくは１．５×１０９Ω・ｃｍ以上である。
【００２５】
溶融比抵抗を上記の範囲内にするためには、本発明のコンデンサ用誘電体は、電気伝導性のイオンなどを少なくすることが絶縁抵抗の観点から好ましい。有機高分子中には、ポリマー（ポリエステルなど）を重合する際の触媒などとして、方法によってはやむなく金属化合物を添加する必要があるが、金属イオンはリン酸で失活されるので、誘電体中のＣａ、Ｍｇ、Ｌｉ、Ｍｎなどの金属元素の合計量Ｍからリン量Ｐを差し引いたＭ−Ｐなる量をこの指標とすることができる。この金属イオン残存量Ｍ−Ｐは、０〜２００ｐｐｍであることが、絶縁抵抗の観点から好ましい。より好ましくは０〜１７０ｐｐｍであり、さらに好ましくは０〜１５０ｐｐｍである。
【００２６】
また、本発明のコンデンサ用誘電体に電極を形成する方法は特に限定されないが、フィルム状であれば金属箔を重ねて巻回・積層する方法や、金属を片面もしくは両面に蒸着して巻回・積層する方法が挙げられる。
【００２７】
金属を蒸着して電極を形成してコンデンサとする際には、蒸着する面には空孔が表面に露出していないことが好ましい。さらに蒸着膜を均一に形成するためには、本発明の誘電体は、蒸着する面の表面粗さをＲａにして２００ｎｍ以下であることが好ましい。より好ましくは１００ｎｍ以下であり、さらに好ましくは２０〜６０ｎｍの範囲である。２０ｎｍより小さい場合はフィルムのすべりが悪くなり、加工性に若干劣る場合がある。
【００２８】
上記の表面粗さを満足するためには、空孔を含有させる方法を選択し空孔径、空孔の量を制御するか、さもなくば蒸着する面に薄い皮膜を形成し積層誘電体とする方法などが挙げられる。フィルム状であれば、Ｔダイ複合口金内で空孔を含有もしくは生成する層と、通常の高分子の層を別々の押出機から供給した後に口金内で積層し、積層フィルムを得る方法が工業上好ましい。
【００２９】
本発明のコンデンサ用誘電体に空孔を含有させる方法は、特に限定されないが、発泡剤の添加や微粒子の添加、または主成分たる有機高分子と非相溶の高分子を添加しそれを１軸もしくは２軸延伸することにより微細な空孔を形成する方法のいずれかまたはその組み合わせが挙げられる。工業生産上、有機高分子と非相溶の高分子を添加し延伸する方法が好ましい。
【００３０】
主成分たる有機高分子に非相溶な高分子を混在させると、示差走査熱量計（ＤＳＣ）等の公知の相転移温度の測定において、主成分に相当する有機高分子と非相溶高分子とを溶融した系において主成分に相当するガラス転移温度（以下Ｔｇ）と、それ以外の非相溶高分子に相当するＴｇが別に観測される。主成分に非相溶な成分は主成分中では粒子状に存在し、延伸により主成分中に空所を形成せしめる。この非相溶成分は、好ましくは熱可塑性高分子であり、より好ましくはその融点は主成分の融点よりも低温でありかつ主成分を配向させるためにかける温度よりも高温であることが好ましい。かかる点からポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のオレフィン系の重合体またはその共重合体、シクロオレフィンポリマーなどが好ましい。中でもポリメチルペンテン、シクロオレフィンポリマーが好ましく、特にポリメチルペンテンは他の高分子との表面張力差が大きく、延伸の際に微細空孔を生じやすく好ましい。
【００３１】
さらに、熱可塑性樹脂にカルボキシル基やエポキシ基などの極性基や主成分と反応性のある官能基を持ったオレフィン系の重合体及び共重合体、ポリアルキレングリコールなどを相溶化剤として併用した場合、非相溶成分の分散径が小さくなり、引いては延伸による空孔を微細化でき製膜安定性が向上し、コンデンサ電気特性も安定し好ましい。
【００３２】
主成分に対する非相溶成分の含有量は特に限定されないが、１〜３５重量％が好ましく、３〜２５重量％にあるのがより好ましい。添加量が上記より少ない場合は空孔の生成が少なく誘電正接や誘電吸収の改良効果が小さくなり、上記範囲より多い場合は生産性に不都合を生じたり、誘電率が実用上低くなることがある。
【００３３】
本発明の誘電体をコンデンサとする際には、いずれかの面もしくは部分に金属層を設けることが好ましい。金属層の形成方法は特に限定されないが、例えば、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティングあるいはメッキなどの方法を用いて形成することができる。好ましくは真空蒸着を用いる。真空蒸着を用いると、効率的に本発明のフィルムを製造することができる。
【００３４】
本発明における金属層の材質としては、例えば、アルミニウム、亜鉛、スズ、ニッケル、クロム、鉄、銅、チタン、あるいはこれらを含有する合金等が挙げられる。コンデンサの電気特性や生産性の面からは、亜鉛、アルミニウム、またはそれらを含む合金が好ましく用いられる。
【００３５】
金属層の膜抵抗は０．５〜１０Ω／□の範囲であることが好ましい。膜抵抗が０．５Ω／□未満では、セルフヒーリング不良を発生し絶縁抵抗が悪化するなど本来のコンデンサ特性が得られないことがある。また、１０Ω／□を越えると直列等価抵抗が増大し、誘電正接（ｔａｎδ）が悪化することがある。より好ましくは２〜８Ω／□、さらに好ましくは３〜６Ω／□である。膜抵抗を上記範囲にするには、金属種の選定および金属層の厚みで制御することが可能である。
【００３６】
本発明の誘電体は、公知の方法でコンデンサとすることができる。フィルム状であれば、公知の方法で積層もしくは巻回してフィルムコンデンサを得ることができる。２種類以上のフィルムを重ねて積層もしくは巻回する場合は、そのうちのいずれか少なくとも１種類が本発明の誘電体であれば、本発明の改良効果である誘電正接や誘電吸収の改善が得られる。
【００３７】
次に、本発明のコンデンサ用誘電体の製造方法を、主成分を熱可塑性樹脂としフィルム状に製造する場合を例に取り記載する。以下は好ましい一態様であり、形態、製造方法共に本発明はこれに限定されるものではない。
【００３８】
押出機（Ａ）と、押出機（Ｂ）を有する複合製膜装置において、押出機（Ａ）には主成分たる熱可塑性樹脂に表面粗さを形成するために必要な添加粒子を添加したものを供給し溶融、押出しする。押出機（Ｂ）には主成分たる熱可塑性樹脂に反れと非相溶な成分を添加したものを供給し、押出しする。Ｔダイ複合口金内で押出機（Ａ）のポリマーに対し、（Ｂ）のポリマーが表層（片面）あるいは表裏面（両面）に来る様に積層してシート状に形成し、溶融された積層シートを得る。
【００３９】
この溶融された積層シートを、表面温度がＴｇ以下に冷却されたドラム上にキャストし冷却固化し未延伸フィルムを作製する。該未延伸フィルムをＴｇ−３０℃以上、＋７０℃以下の加熱したロール群に導き、長手方向（縦方向、フィルムの進行方向）に２〜５倍延伸し、２０〜５０℃の冷却ロールで冷却する。
【００４０】
次いでこの１軸延伸フィルムの両端をクリップで把持しながらテンターに導き、Ｔｇ−３０℃以上、＋７０℃以下の雰囲気中で長手方向と垂直な方向に横延伸する。
【００４１】
こうして得られたフィルムをテンター内で続けて１５０〜２３０℃の熱処理を行い、均一に徐冷後、室温まで冷却して巻き取り、本発明のコンデンサ用フィルムを得る。
【００４２】
さらに、片面に金属層を設け、巻回型フィルムコンデンサにする場合を例示する。フィルムに金属層を形成する際に、長手方向に走るマージン部を有するストライプ状に蒸着する。次に、表面の各蒸着部の中央と各マージン部の中央に刃を入れてスリットし、左側もしくは右側にマージンを有するテープ状の巻取リールにする。得られたリールのうち、左側にマージンを有するフィルムと、右側にマージンを有するフィルム各１本ずつを、幅方向に非マージン側のフィルム端面がマージン側のフィルム端面からはみ出すように２枚を少しずらして重ね合わせて巻回し、巻回体を得る。この巻回体から芯材を抜いてプレスし、両端面にメタリコンを溶射して外部電極とし、メタリコンにリード線を溶接して巻回型コンデンサ素子を得る。
【００４３】
本発明で得られるコンデンサは、サンプルホールド回路のコンデンサ、あるいはＡＣアクティブフィルター、ＡＣアンプリファイアーなどのコンデンサ等に、また、チップコンデンサーの形態とし、携帯電話などのＰＬＬ回路などに特に好適に用いられる。
【００４４】
［物性の測定方法並びに効果の評価方法］
（１）ガラス転移点（Ｔｇ）
マックサイエンス社製示差走査熱量計ＤＳＣ３１００を用いてサンプルを３００℃で５分間保持し、液体窒素で急冷した後、昇温速度２０℃／分で測定した。
（２）表面粗さ  Ｒａ
ＪＩＳ  Ｂ０６０１に従い、（株）小坂研究所製の高精度薄膜段差測定器ＥＴ−１０を用いて下記の条件にて測定した。
【００４５】
触針先端径  ：０．５μｍ
触針加重    ：５ｍｇ
測定長      ：１ｍｍ
カットオフ値：０．０８ｍｍ
上記の条件で、位置ｘについて粗さ曲線ｆ（ｘ）が得られたとき、Ｒａは下式（１）で与えられる。
【００４６】
【数１】
2004281677.tif 000002
【００４７】
（３）ボイド率
空孔を含有する誘電体の厚み方向断面を走査型顕微鏡（ＳＥＭ）で１０００〜５００倍に拡大して観察し、イメージアナライザで単位面積当たりの空孔の合計の面積を測定し、１０回測定を行った平均値を算出する。
（４）空孔の平均径
上記の走査型顕微鏡観察で少なくとも１００個の空孔をイメージアナライザにかけ、ボイドの面積に相当する円の直径の分布を求めた。この分布の体積平均径を空孔の平均球相当径とする。
（５）誘電体厚み
定規、もしくはノギスで読みとる。薄いフィルム状の場合はＪＩＳ  Ｃ  ２１５１に従い、１０枚重ねのフィルムの厚みを電子マイクロメータで測定し、５点平均した平均値をフィルム枚数（１０）で除してフィルム厚みとした。
（６）金属層の膜抵抗
４端子法により、１００ｍｍの電極間の金属膜の抵抗を測定し、測定値を測定幅と電極間距離で除し、幅１０ｍｍ、電極間距離１０ｍｍ当たりの膜抵抗を算出した。単位はΩ／□と表示する。
（７）金属層の組成
フィルムサンプル９ｃｍ２を希硝酸で溶解した後、２０ｍｌに定溶し、この定溶液をＩＣＰ発光分光分析法により各金属の組成を定量する。ＩＣＰ発光分光分析装置はセイコー電子工業製ＳＰＳ１２００ＶＲを用いた。
（８）溶融比抵抗
押出機の出口短管部に２５ｃｍ２の電極を２枚対立して設置し（この際、電極間の空の絶縁抵抗を１０１２Ω・ｃｍ以上にする。）、試料を溶融温度以上（＋１０〜３０℃程度）で押出しする。ついで電極間に直流５ｋＶを印加し、その際に流れる電流Ｉ（ｍＡ）を測定する。２８０℃における溶融比抵抗ρは、下式（２）から求められる。
【００４８】
ρ（Ω・ｃｍ）＝１．２５×１０８／Ｉ・・・（２）
（９）金属イオン残存量  Ｍ−Ｐ
誘電体中のＣａ、Ｍｇ、Ｌｉ、Ｍｎなどの金属元素の定量を原子吸光法により行い、リン元素量は比色法により測定する。
（１０）誘電正接
ＪＩＳ  Ｃ  ５１０２に準じて１ｋＨｚ、１Ｖの条件で測定した。
（９）誘電吸収
測定原理はＪＩＳ  Ｃ  ５１０２に準じるが、測定条件としてを充電電圧１０Ｖ、充電時間１ｍｓ、放電時間０．１ｍｓ、計測時間を１ｍｓとし、充電と放電を連続して行った後、計測時間内で観測される最大の電圧を吸収電圧とした。
【００４９】
測定に際しては、図１に図示の回路（ナショナルセミコンダクター社ホームページ  ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｎａｔｉｏｎａｌ．ｃｏｍ／ｒａｐ／Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ／０，１５７０，２８，００．ｈｔｍｌ参照）を用い、１０ｎＦのコンデンサを作成して測定した。
【００５０】
得られた吸収電圧に基づき、下式（３）によって誘電吸収を算出した。
【００５１】
【数２】
2004281677.tif 000003
【００５２】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づき詳細に説明する。
【００５３】
［実施例１］
主成分たる有機高分子としてポリエチレンテレフタレート（以後ＰＥＴと称す）を用いた。重合段階で、平均粒径０．４μｍの凝集シリカ粒子（一次径が０．３μｍ）を０．５重量％、平均粒径２．０μｍ、凝集シリカ粒子を０．０７５重量％、それぞれ添加しＰＥＴチップを製造した。ジメチルフェニルフォスフォネートの添加量を調整し、溶融比抵抗を１．３×１０９Ω・ｃｍとした。
【００５４】
このチップを１８０℃で３時間真空乾燥し、押出機（Ａ）に供給し、２９０℃で溶融させた後Ｔダイ複合口金に導入した。
【００５５】
一方で、ＰＥＴチップにポリメチルペンテン（以後ＰＭＰと称する）を３０重量％、さらに相溶化剤として分子量４０００のポリエチレングリコール（以後、ＰＥＧと称する）を３重量％添加し、同様にジメチルフェニルフォスフォネートの添加量を調整し、溶融比抵抗を１．３×１０９Ω・ｃｍとしたものを、一旦冷却してチップ化し、重量比にしてこのＰＭＰを含有したチップを３３．３重量％に対し、元のＰＥＴチップを６６．７％添加し混合したものを、１８０℃で３時間真空乾燥し、押出機（Ｂ）にて２９０℃に溶融、押出しして複合口金に導入し、押出機（Ａ）からのポリマー（Ａ）が、押出機（Ｂ）からのポリマー（Ｂ）の両表層に積層してなる積層溶融体シートを得た。該積層溶融体シートを表面温度２５℃の冷却ドラム上で静電密着法で密着冷却固化させ未延伸フィルムとして一旦巻き取り機にて巻き取った。
【００５６】
該未延伸フィルムを、フィルムストレッチャーにかけ、１２０℃で長手方向、横方向共に３倍に延伸し、２５℃雰囲気で冷却した。次いでこの延伸フィルムを２４０℃、１０分の緊張熱処理の後に徐冷して、順に、ポリマー（Ａ）層２μｍ／ポリマー（Ｂ）層１６μｍ／ポリマー（Ａ）層２μｍの構成である、厚み２０μｍの積層誘電体を得た。
【００５７】
この積層誘電体のの表面粗さは両面とも５０ｎｍ、溶融比抵抗は１．２×１０９Ω・ｃｍであり、ボイド率は２９％であった。空孔の平均径は０．５μｍであった。
【００５８】
得られた積層誘電体の両面に、蒸着部が表裏で対向し電極となるように、かつ端部が１ｃｍずつ未蒸着となるように四角形状のマスクをして、ベルジャー蒸着機でアルミニウムを表裏とも２Ω／□になるように蒸着した。有効電極面積を静電容量が１０ｎＦとなるように調整した。
【００５９】
この両面蒸着誘電体（以後モデルコンデンサと称する）に、アルミホイルを両面から押しつけ、電極を取り出した。
【００６０】
１ｋＨｚの誘電正接は０．２７％、誘電吸収は１．７％であった。
【００６１】
［比較例１］
押出機（Ｂ）に供給するポリマー（Ｂ）を、ＰＥＴチップのみとした以外は実施例１と同様の２０μｍの誘電体を作成し、これを用いてモデルコンデンサを得た。実施例１と同様の評価を行ったところ、１ｋＨｚの誘電正接は０．５１％、誘電吸収３．０％であった。
【００６２】
上記の実施例と比較例の比較で明らかな通り、本発明による誘電体は、従来のものに比べて誘電正接、誘電吸収が改善されていることがわかる。
【００６３】
実施例、比較例の誘電体サンプルを、２枚作成し、それぞれ２０ｍｍ幅に切断してマージンが１ｍｍとなるように蒸着し、２枚を重ね合わせて外径６ｍｍのプラスチックコアに巻回し、巻回型フィルムコンデンサを作成した。このコンデンサの誘電吸収は実施例１の場合で２．１％、比較例１の場合４．０％であり、改善効果は明らかであった。
【００６４】
【発明の効果】
本発明によれば、従来では得られなかった極めて低い誘電正接及び誘電吸収を持つコンデンサ用誘電体、特にコンデンサ用フィルムを提供することができる。本発明によるコンデンサを用いることで、高周波回路のさらなる安定化が可能となり、工業的に極めて高い価値のあるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】誘電吸収を測定するための回路の回路図である。
【図１】
2004281677.tif 000004