(57)【要約】【課題】検出精度が向上されるとともに低コストで製造されるエンコーダおよびエンコーダ製造方法を提供する。【解決手段】本尺１１と、本尺１１に対して相対移動可能に設けられたスライダ２１とを備え、本尺１１に対するスライダ２１の相対移動量を検出するエンコーダにおいて、本尺１１は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂からなる絶縁部材で形成され、本尺１１の表面には所定のピッチで配列された導電性の電極１５が形成されている。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を検出するエンコーダにおいて、
前記固定部材および前記可動部材の少なくともいずれか一方は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂からなる絶縁部材で形成された本体と、前記本体の表面に所定のピッチで配列された導電性の電極とを備えて構成されていることを特徴とするエンコーダ。
【請求項２】
請求項１に記載のエンコーダにおいて、
前記本体は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂の射出成形によって形成されていることを特徴とするエンコーダ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のエンコーダにおいて、
前記電極は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂で形成されていることを特徴とするエンコーダ。
【請求項４】
固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を検出するエンコーダを製造するエンコーダ製造方法において、
ナノスケール物質を含んだ合成樹脂による絶縁部材によって前記固定部材および前記可動部材の少なくともいずれか一方の本体を射出成形する本体形成工程と、
前記本体の表面に導電層を積層する導電層形成工程と、
前記導電層を所定のピッチで剥離する剥離工程とを備えていることを特徴とするエンコーダ製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載のエンコーダ製造方法において、
前記導電層形成工程は、ナノスケール物質を含んだ導電性の合成樹脂を前記本体の上に射出成形することを特徴とするエンコーダ製造方法。
【請求項６】
固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を測定するエンコーダを製造するエンコーダ製造方法において、
ナノスケール物質を含んだ合成樹脂による絶縁部材によって前記固定部材および前記可動部材の少なくともいずれか一方の本体を射出成形する本体形成工程と、
前記本体の表面に所定のピッチで溝を形成する溝形成工程と、
ナノスケール物質を含んだ導電性の合成樹脂を前記本体の上に射出成形して前記本体表面の溝に電極を形成する溝充填工程とが設けられていることを特徴とするエンコーダ製造方法。
【請求項７】
固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を測定するエンコーダにおいて、
絶縁性を有する基材と、
ナノスケール物質を含んだ導電性インキにて形成され前記基材上に所定のピッチで設けられた電極と、
前記電極および前記基材を前記可動部材および前記固定部材のいずれか一方に貼り付ける粘着部材と、を備える
ことを特徴としたエンコーダ。
【請求項８】
固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を測定するエンコーダを製造するエンコーダ製造方法において、
基材上にナノスケール物質を含んだ導電性のインクにより電極層を印刷する電極印刷工程と、
前記電極層上に粘着層を形成する粘着層形成工程と、
前記基材を前記粘着層を介して前記本体の上に貼り付ける基材貼付工程と、
を備えることを特徴とするエンコーダ製造方法。
【請求項９】
固定部材と、前記固定部材に対して所定のギャップを維持しつつ相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を検出するエンコーダにおいて、
前記可動部材を前記固定部材に向かって付勢する付勢手段と、
前記固定部材および前記可動部材の対向面のいずれか一方には、他方の対向面に当接して前記ギャップを一定に維持するギャップ保持手段が設けられ、
前記ギャップ保持手段は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂によって形成されていることを特徴とするエンコーダ。
【請求項１０】
請求項９に記載のエンコーダにおいて、
前記付勢手段は、摺動面に対して略平行に前記可動部材から突設された押圧力伝達部材であって、
可動部材および前記押圧力伝達部材は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂によって一体成形されていることを特徴とするエンコーダ。
【請求項１１】
固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を検出するエンコーダにおいて、
前記固定部材および前記可動部材の少なくともいずれか一方は、ナノスケール物質および磁性材を含んだ合成樹脂で形成された本体と、前記本体の表面に所定のピッチで交互に配列された磁極とを備えていることを特徴とするエンコーダ。
【請求項１２】
固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を検出するエンコーダにおいて、
前記固定部材および前記可動部材の少なくともいずれか一方は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂で形成され表面が鏡面状である本体と、前記本体の表面に所定のピッチで形成された光非反射部とを備えていることを特徴とするエンコーダ。
【請求項１３】
請求項１、２、３、７、９、１０、１１、１２のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記ナノスケール物質は、カーボンナノファイバまたはカーボンナノチューブに代表されるカーボンナノスケール物質のいずれかであることを特徴とするエンコーダ。
【請求項１４】
請求項４、５、６、８のいずれかに記載のエンコーダ製造方法において、
前記ナノスケール物質は、カーボンナノファイバまたはカーボンナノチューブに代表されるカーボンナノスケール物質のいずれかであることを特徴とするエンコーダ製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エンコーダおよびエンコーダの製造方法に関する。
【０００２】
【背景技術】
デジタル式の測定器、例えば、デジタル式ノギスやデジタル式マイクロメータなどは、固定部材に対する可動部材の移動量を検出するエンコーダを備えている。
例えば、ノギスにおいては、固定部材としての本尺と、この本尺の長手方向に沿って摺動自在に設けられた可動部材としてのスライダとを備えている。この本尺とスライダとの摺動面にエンコーダが設けられている。
エンコーダは、図１０に示すように、本尺１１の長手に沿って導電部１５および絶縁部１６が交互に所定のピッチで配列された電極パターンを有するメインスケール１４５と、スライダ２１に設けられ前記メインスケール１４５と静電容量結合して本尺に対するスライダの相対移動量を検出する検出ヘッド２５とを備えて構成されている。
【０００３】
メインスケール１４５は、絶縁部材１６１（例えば、ガラスやポリカーボネイトなど）と、この絶縁部材１６１の表面に所定のピッチで設けられた導電部１５とを備えて構成されている。絶縁部材１６１は、接着層１６２を介して本尺１１に固定（貼り付け）られている。
検出ヘッド２５からの検出値は、電気回路２６に出力されて演算処理された後、測定値として図示しない表示部に表示される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなエンコーダを製造する場合、メインスケール１４５を本尺１１に接着する工程が必要となる。その分製造工程が増えるので、手間とコストが増大するという問題がある。
メインスケール１４５を本尺１１に接着するため、メインスケール１４５に反りが生じたり、メインスケール１４５が本尺１１から剥離する可能性がある。その結果、検出誤差に繋がり易いという問題がある。
【０００５】
検出精度を維持するためには、メインスケール１４５の線膨張を一定の範囲内に抑える必要がある。そこで、一般には、測定条件として、例えば、温度を２０±１０度に制限することによって線膨張による誤差を抑えている。しかしながら、高温や低温など過酷な測定環境においては、線膨張による検出誤差を生じるという問題がある。
本尺１１を手で握って操作する場合、手の熱による温度分布のため場所により異なる線膨張がメインスケール１４５に生じる。その結果、検出誤差に繋がるという問題がある。
【０００６】
以上の問題は、デジタル式ノギスに限らず、デジタル式マイクロメータやデジタル式ダイヤルゲージなど、固定部材に対する可動部材の相対移動量を検出するエンコーダを備える測定器に生じる問題である。
【０００７】
本発明の目的は、検出精度が向上されるとともに、小型化、軽量化でき、低コストで製造されるエンコーダおよびこのエンコーダを製造するエンコーダ製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のエンコーダは、固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を検出するエンコーダにおいて、前記固定部材および前記可動部材の少なくともいずれか一方は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂からなる絶縁部材で形成された本体と、前記本体の表面に所定のピッチで配列された導電性の電極とを備えて構成されていることを特徴とする。
【０００９】
ナノスケール物質（例えば、カーボンナノファイバ）を合成樹脂に添加し、適宜諸条件を設定することにより、合成樹脂の母材（例えば、ポリスチレン）に導電性または絶縁性を付与することができる。一般に、合成樹脂は、脆弱で線膨張率が大きいものであるが、ナノスケール物質を合成樹脂に添加することにより、剛性の強化、線膨張の抑制、耐摩耗性の向上、摩擦係数の低下、熱伝導率の向上などの効果が得られる。この理由は正確には分かっていないが、ナノスケール物質が合成樹脂内でネットワークを築くことに基づくとされている。
【００１０】
そこで、固定部材および可動部材の少なくともいずれか一方を、ナノスケール物質を含んで絶縁体の合成樹脂で形成して、これを本体とする。さらに、この本体の表面に導電性の電極を所定のピッチで設ける。すると、本体の表面には、本体自体である絶縁部と、表面に設けられた導電部とが交互に配列される。よって、この表面に導電部が配列された本体自体をエンコーダのスケールとすることができる。
ここで、電極は、金属性でもナノスケール物質を含んだ合成樹脂で導電性を有するものであってもよい。
【００１１】
従来は、ガラスなどの絶縁体の表面に導電性の電極を形成したスケールを固定部材または可動部材の表面に接着していた。そのため、接着工程が必要となることに加え、スケールの反りや剥離などが生じていた。
しかしながら本発明によれば、固定部材または可動部材自体がスケールとなるので、別個に形成したスケールを接着する必要はない。よって、エンコーダの製造工程を簡略化でき、低コスト化を図ることができる。固定部材または可動部材自体がスケールとなるので、スケールの反りや剥離が生じることがない。その結果、エンコーダの検出精度が向上されるとともに、検出精度を長期に亘って維持することができる。固定部材または可動部材自体がスケールとなることから、このエンコーダを使用する測定器を小型化することができる。
【００１２】
ナノスケール物質を含んだ合成樹脂は線膨張係数を小さくできるので、本体の線膨張を小さくできる。すなわち、スケールの線膨張が小さくなる。よって、線膨張による誤差を排除し精密な測定精度を有するエンコーダとすることができる。スケールの線膨張係数が小さければ、測定の温度に制限を受けることなく高温や低温など過酷な条件でも精密な測定を行うことができるエンコーダとすることができる。
【００１３】
ナノスケール物質を含んだ合成樹脂は熱伝導率がよい。よって、本体を手で握って測定するような測定器としてこのエンコーダを使用した場合でも、手の熱が瞬時に拡散し場所による膨張の差異を生じることがない。よって、手で握って使用するハンドツールタイプであっても、手の熱による測定誤差を生じることがなく、精密な測定を行うことができる。
【００１４】
ナノスケール物質を含んだ合成樹脂は剛性が強化される。よって、剛性を維持したままで、本体を薄型化、小型化することができる。その結果、このエンコーダを組み込んだ測定器を薄型化、小型化することができる。
【００１５】
請求項２に記載のエンコーダは、請求項１に記載のエンコーダにおいて、前記本体は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂の射出成形によって形成されていることを特徴とする。
【００１６】
ナノスケール物質を含んだ合成樹脂は、成形性能に優れ、型転写性がよい。よって、射出成形によって固定部材または可動部材の本体をエンコーダのスケールとして使用可能な精度に形成することができる。この場合、射出成形の後に機械加工や表面仕上げなどを行う必要もなく簡便である。よって、生産ラインや製造工程を簡略化することができ、低コスト化を図ることができる。
【００１７】
請求項３に記載のエンコーダは、請求項１または２に記載のエンコーダにおいて、前記電極は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂で形成されていることを特徴とする。
【００１８】
ナノスケール物質は導電性付与材として合成樹脂に導電性を与えることができる。そこで、固定部材または可動部材の本体表面に、このナノスケール物質を含み導電性を付与された合成樹脂の電極を形成する。すると、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂の性質により、剛性の強化、線膨張の抑制、耐摩耗性の向上、摩擦係数の低下、熱伝導率の向上などの効果を備えた電極を形成することができる。特に、耐摩耗性の向上、摩擦係数の低下が得られることから、エンコーダの摺動面を直接接触させて摺動させる場合でも、電極が摩耗することなく円滑な摺動性が得られるエンコーダとすることができる。
【００１９】
請求項４に記載のエンコーダ製造方法は、固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を検出するエンコーダを製造するエンコーダ製造方法において、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂による絶縁部材によって前記固定部材および前記可動部材の少なくともいずれか一方の本体を射出成形する本体形成工程と、前記本体の表面に導電層を積層する導電層形成工程と、前記導電層を所定のピッチで剥離する剥離工程とを備えていることを特徴とする。
【００２０】
まず、本体形成工程において、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂の射出成形によって、固定部材または可動部材の本体を絶縁体として形成する。導電層形成工程において、この本体の表面に導電層を形成する。この導電層は、本体の表面に金属を薄層状にメッキしてもよく、また、ナノスケール物質を含んだ導電性を有する合成樹脂を本体の表面に薄層状に設けてもよい。剥離工程においては、導電層形成工程で形成した導電層を所定のピッチで剥離して、電極パターンを形成する。
【００２１】
このような構成によれば、絶縁性に形成された固定部材または可動部材の本体に直接電極を形成することができる。つまり、固定部材または可動部材の本体自体がエンコーダのスケールとなる。よって、従来のように別個に形成したスケールを固定部材または可動部材の本体に貼り付ける必要がなく、本発明によれば、簡便にエンコーダを形成することができる。その結果。製造ラインを簡略化することができ、低コスト化を図ることができる。さらに、本体自体がスケールとなるので、従来のようにスケールに反りが生じたり、スケールが剥離したりすることがないので、測定精度が向上される。
本体自体は、射出成形で形成するので簡便であるとともに、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂は成形性能に優れ、型転写性がよいので、射出成形後に機械加工や表面仕上げをする必要もない。
【００２２】
請求項５に記載のエンコーダ製造方法は、請求項４に記載のエンコーダ製造方法において、前記導電層形成工程は、ナノスケール物質を含んだ導電性の合成樹脂を前記本体の上に射出成形することを特徴とする。
【００２３】
まず、本体形成工程において、ナノスケール物質を含み絶縁性の合成樹脂で射出成形により本体を形成する。続いて、この本体の上に、ナノスケール物質を含み導電性の合成樹脂で導電層を射出成形によって二重成形する。このような構成によれば、本体の上に金属のメッキを施す場合に比べて格段に簡便であり、製造工程の簡略化により、製造効率の向上を図ることができる。
本体と導電部材がともにナノスケール物質を含んだ合成樹脂であることにより、接合面の相性がよい（濡れ性がよい）ので、導電層の剥離などが生じにくく、測定精度を長期に亘って維持できるエンコーダとなる。
【００２４】
請求項６に記載のエンコーダ製造方法は、固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を測定するエンコーダを製造するエンコーダ製造方法において、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂による絶縁部材によって前記固定部材および前記可動部材の少なくともいずれか一方の本体を射出成形する本体形成工程と、前記本体の表面に所定のピッチで溝を形成する溝形成工程と、ナノスケール物質を含んだ導電性の合成樹脂を前記本体の上に射出成形して前記本体表面の溝に電極を形成する溝充填工程とが設けられていることを特徴とする。
【００２５】
まず、本体形成工程において、ナノスケール物質を含み絶縁性の合成樹脂で射出成形により本体を形成する。続いて、溝形成工程において、電極を形成する位置に合わせて、この本体の表面に溝を所定のピッチで形成する。溝充填工程において、ナノスケール物質を含んだ導電性の合成樹脂を、溝形成工程で形成した溝に射出成形によって充填する。すると、溝に充填された合成樹脂が電極となり、エンコーダのスケールを形成することができる。
【００２６】
ここで、溝形成工程は、本体の表面を削って溝を形成してもよい。カーボンナノスケール物質を含んだ合成樹脂は、金属と同等の剛性を有しているので、機械加工による精密成形が可能である。
溝形成工程は、本体を射出成形する型に溝を形成する凸部を設けることによって本体の表面に溝を形成してもよい。カーボンナノスケール物質は、成形性能に優れ、型転写性もよいので、射出成形であっても精密なピッチで溝を形成することができる。続けて溝充填工程において、二重成形により電極を形成すれば、簡便であり、製造ラインを簡略化して製造効率を向上させることができる。
【００２７】
溝を設けて、この溝に電極を形成するので、電極の凹凸のないスケールとすることができる。すると、このスケール部分を摺動面とすることができる。ナノスケール物質を含んだ合成樹脂は、耐摩耗性の向上、摩擦係数の低下などの性質を有する。よって、このスケール部分を摺動させた場合でも、摩耗することなく、かつ、円滑な摺動をすることができる。
【００２８】
請求項７に記載のエンコーダは、固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を測定するエンコーダにおいて、絶縁性を有する基材と、ナノスケール物質を含んだ導電性インキにて形成され前記基材上に所定のピッチで設けられた電極と、前記電極および前記基材を前記可動部材および前記固定部材のいずれか一方に貼り付ける粘着部材と、を備えることを特徴とする。
【００２９】
このような構成によれば、基材上に印刷成形によって電極を簡便に形成することができる。そして、電極が印刷された基材を可動部材あるいは固定部材に両面テープなどの粘着材で貼り付ければ製造工程を簡略化して製造コストを削減することができる。
ここで、メインスケールを粘着部材で本体に貼り付けると剥離やそりが生じるケースも考えられ、また、貼り付ける工程も必要であることから製造に手間もかかるところではあるが、電極を印刷によって簡便に製造することにより全体としてみれば手間やコストを大きく下げることができる。
なお、可動部材および固定部材の少なくともいずれか一方がナノスケール物質を含む合成樹脂で形成されていてもよく、あるいは、可動部材および固定部材は従来の合成樹脂や金属部材で形成されていてもよい。
【００３０】
請求項８に記載のエンコーダ製造方法は、固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を測定するエンコーダを製造するエンコーダ製造方法において、基材上にナノスケール物質を含んだ導電性のインクにより電極層を印刷する電極印刷工程と、前記電極層上に粘着層を形成する粘着層形成工程と、前記基材を前記粘着層を介して前記本体の上に貼り付ける基材貼付工程と、を備えることを特徴とする。
【００３１】
このような構成によれば、電極印刷工程において印刷により基材上に電極が形成される。そして、この電極が基材貼付工程により本体に貼り付けられる。すると、電極を印刷によって簡便に形成することができ、製造工程を簡便にすることができる。
なお、可動部材および固定部材は従来の合成樹脂や金属部材で形成されていてもよいが、可動部材および固定部材の少なくともいずれか一方をナノスケール物質を含む合成樹脂で形成する場合には、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂による絶縁部材によって前記固定部材および前記可動部材の少なくともいずれか一方の本体を射出成形する本体形成工程を備えていてもよい。
【００３２】
請求項９に記載のエンコーダは、固定部材と、前記固定部材に対して所定のギャップを維持しつつ相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を検出するエンコーダにおいて、前記可動部材を前記固定部材に向かって付勢する付勢手段と、前記固定部材および前記可動部材の対向面のいずれか一方に設けられ他方の対向面に当接して前記ギャップを一定に維持するギャップ保持手段とを備え、前記ギャップ保持手段は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂によって形成されていることを特徴とする。
【００３３】
このような構成において、固定部材と可動部材との間には、ギャップを保持するギャップ保持手段が設けられるとともに、可動部材が付勢手段によって固定部材に付勢される。すると、固定部材と可動部材との間に設けられたエンコーダ、例えば、固定部材側のスケールと可動部材側の検出ヘッドとが常に一定のギャップを保ちながら摺動し、エンコーダの検出精度が一定に維持される。
【００３４】
ギャップ保持手段は、固定部材および可動部材のいずれか一方から他方側に当接するものであり、例えば、可動部材の検出ヘッドの周囲に所定個数設けられた凸部であって、凸部の先端が固定部材に当接することによって固定部材と可動部材とのギャップを保持するものであればよい。このギャップ保持手段がナノスケール物質を含む合成樹脂で形成されることにより、耐摩耗性の向上、摩擦係数の低下などの効果が得られる。すると、ギャップ保持手段が、摩耗することがないので、長期に亘ってギャップを一定に保つことができる。その結果、測定精度を長期に亘って維持することができる。摩擦係数が低下することから、固定部材と可動部材との摺動を滑らかなものとすることができ、潤滑剤などを用いる必要もない。
【００３５】
請求項１０に記載のエンコーダは、請求項９に記載のエンコーダにおいて、前記付勢手段は、摺動面に対して略平行に前記可動部材から突設された押圧力伝達部材であって、可動部材および前記押圧力伝達部材は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂によって一体成形されていることを特徴とする。
【００３６】
ナノスケール物質を含んだ合成樹脂に弾性を付与することができる。そこで、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂で、例えば、薄片部材を形成してこの薄片部材に所定の方向から力を作用させると、板ばねのように作用する。この薄片部材を可動部材に設け、この薄片部材に押圧力を作用させると、この薄片部材が押圧力伝達部材として押圧力を伝達し、可動部材が付勢される。
従来は、付勢手段を別個に形成して、可動部材に付設することにより可動部材を固定部材に付勢していた。しかしながら、押圧力伝達手段を可動部材とともに、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂によって一体的に射出成形することにより、製造工程（組立工程）を簡略化することができる。よって、製造効率を向上させるとともに、低コスト化を図ることができる。
【００３７】
請求項１１に記載のエンコーダは、固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を検出するエンコーダにおいて、前記固定部材および前記可動部材の少なくともいずれか一方は、ナノスケール物質および磁性材を含んだ合成樹脂で形成された本体と、前記本体の表面に所定のピッチで交互に配列された磁極とを備えていることを特徴とする。
【００３８】
ナノスケール物質を含む合成樹脂にさらに磁性材を添加することにより、磁性を付与することができる。ナノスケール物質および磁性材を含んだ合成樹脂で形成された本体の表面を所定のピッチでＮ極およびＳ極に着磁することにより、電磁式エンコーダのセンサパターンを形成することができる。このような構成によれば、射出成形によって本体を形成した後、着磁させるのみなので、簡便であり、製造効率の向上および低コスト化を図ることができる。
【００３９】
請求項１２に記載のエンコーダは、固定部材と、前記固定部材に対して相対移動可能に設けられた可動部材とを備え、前記固定部材に対する前記可動部材の相対移動量を検出するエンコーダにおいて、前記固定部材および前記可動部材の少なくともいずれか一方は、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂で形成され表面が鏡面状である本体と、前記本体の表面に所定のピッチで形成された光非反射部とを備えていることを特徴とする。
【００４０】
ナノスケール物質を含んだ合成樹脂は、表面を鏡面状にすることができる。そこで、ナノスケール物質を含んだ合成樹脂で鏡面状の表面を有する本体を形成し、この表面に所定のピッチで光を反射しない光非反射部を形成すれば、光電式エンコーダのスケールを形成することができる。光非反射部は、本体を射出成形した後、本体の表面上にナノスケール物質を含んだ合成樹脂を非反射となるように二重成形することによって形成されてもよい。光非反射部は、本体の表面に非反射部材を貼り付けてもよく、または、表面を光を反射しないように削ってもよい。このような構成によれば、簡便に反射型の光電式エンコーダを形成することができ、製造効率を向上させるとともに、低コスト化を図ることができる。
【００４１】
請求項１３に記載のエンコーダは、請求項１、２、３、７、８、９、１０、１１、１２のいずれかに記載のエンコーダにおいて、前記ナノスケール物質は、カーボンナノファイバまたはカーボンナノチューブに代表されるカーボンナノスケール物質のいずれかであることを特徴とする。
【００４２】
請求項１４に記載のエンコーダ製造方法は、請求項４、５、６、８のいずれかに記載のエンコーダ製造方法において、前記ナノスケール物質は、カーボンナノファイバまたはカーボンナノチューブに代表されるカーボンナノスケール物質のいずれかであることを特徴とする。
【００４３】
カーボンナノスケール物質とは、カーボンナノファイバを代表として、カーボンナノチューブ、フラーレンなど炭素原子によって構成されるナノスケール物質を意味する。このようなカーボンナノスケール物質を合成樹脂（例えば、ポリスチレンなど）の母材に添加すると、剛性の強化、線膨張の抑制、耐摩耗性の向上、摩擦係数の低下、熱伝導率の向上などの効果が得られる。その他、適宜諸条件を設定することにより、導電性または絶縁性を付与することもできる。よって、このようなカーボンナノスケール物質を含んだ合成樹脂を用いて固定部材または可動部材の本体や電極などを形成することにより、エンコーダの性能を向上させることができる。合成樹脂であるので、射出成形によって成形することができる。その結果、製造工程を簡略化することができ、低コスト化を図ることができる。
【００４４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図示例と共に説明する。
（第１実施形態）
図１に、本発明の第１実施形態として、本発明のエンコーダを用いたデジタル式ノギス１を示す。
このノギス１は、固定部材としての本尺１１と、本尺１１の長手に沿ってスライド可能に設けられた可動部材としてのスライダ２１とを備えて構成されている。
本尺１１は、長手の一端側に設けられた外側用測定ジョー１２および内側用測定ジョー１３と、本尺１１の長手に沿って設けられた静電容量式エンコーダのメインスケール１４とを備えて構成されている。
【００４５】
メインスケール１４は、図２の拡大図に示すように、本尺１１の長手に沿って所定のピッチで形成された電極としての導電部１５および絶縁部１６からなる電極パターンである。本尺１１は、外側用測定ジョー１２、内側用測定ジョー１３およびメインスケール１４を含めてナノスケール物質としてカーボンナノファイバを含んだ合成樹脂によって形成されている。
この形成は射出成形によるが、詳しくは、図３を用いて後述する。
【００４６】
スライダ２１は、スライダ本体２２と、このスライダ２１の一端側に設けられ本尺１１の外側用測定ジョー１２および内側用測定ジョー１３とともに被測定物の被測定部位に当接される外側用測定ジョー２３および内側用測定ジョーとを備える。スライダ本体２２の内部には、メインスケール１４の電極パターンと静電結合してメインスケール１４に対する相対移動量を検出する検出ヘッドと、検出ヘッドからの検出値を演算処理する電気回路と、演算処理された結果を測定値として表示する表示部２７とを備えて構成されている。検出ヘッドおよび電気回路の取り付け位置については背景技術の図１０に示すものと同様である。スライダ２１は、スライダ本体２２、外側用測定ジョー２３および内側用測定ジョーを含んでカーボンナノファイバを含んだ合成樹脂によって射出成形により一体成形されている。スライダ２１は、カーボンナノファイバを含んだ合成樹脂によって導電性に形成されている。
ここで、本尺１１のメインスケール１４とスライダ２１の検出ヘッドによって静電容量式のエンコーダが構成されている。
【００４７】
図３を参照して、本尺１１のメインスケール１４の製造方法について説明する。
メインスケール１４の製造方法は、本尺１１を形成する本尺形成工程（本体形成工程）と、本尺１１の表面に導電層１７を積層する導電層形成工程と、導電層１７を所定のピッチで剥離する剥離工程とを備えている。
本尺形成工程においては、カーボンナノファイバを含んで絶縁性の合成樹脂によって本尺１１を射出成形する（図３（Ａ）参照）。このとき、外側用測定ジョー１２および内側用測定ジョー１３を含めて本尺１１を一体的に射出成形する。カーボンナノファイバを含んだ合成樹脂は、成形性能に優れ、型転写性が良いので、射出成形後に機械加工や表面仕上げを行う必要はない。
【００４８】
導電層形成工程においては、カーボンナノファイバを含んだ導電性の合成樹脂を本尺形成工程に続いて薄層状に射出成形（二重成形）する（図３（Ｂ）参照）。導電層１７は、本尺１１の長手部分でスライダ２１の検出ヘッドと対向する面に形成される。
剥離工程においては、導電層形成工程において形成された導電層１７を本尺１１の長手に沿って所定のピッチで剥離していく。すると、本尺１１である絶縁部１６が導電部１５の間に現れる。よって、この本尺１１に静電容量式エンコーダのメインスケール１４が直接形成される。
【００４９】
このような構成によれば、次の効果を奏することができる。
（１）本尺１１自体が絶縁部１６であり、導電部１５も直接本尺１１に形成されている。つまり、本尺１１自体にメインスケール１４が直接形成されている。よって、本尺１１とは別個に形成したスケールを接着剤で貼り付ける場合とは違って、メインスケール１４に反りが生じたり、メインスケールが本尺１１から剥離することがない。その結果、エンコーダの測定精度を向上させることができ、さらに、長年に亘って測定精度を維持することができる。
【００５０】
（２）本尺１１を射出成形した後、さらに導電層１７を射出成形によって形成する。よって、メインスケール１４を簡便に形成することができ、製造効率の向上と低コスト化を図ることができる。本尺１１と導電層１７とが同じカーボンナノファイバを含んだ合成樹脂であるので、ぬれ性がよく、導電層１７（電極）が本体から剥離しにくい。よって、エンコーダの耐用年数を長くすることができる。
【００５１】
（３）本尺１１およびスライダ２１は、カーボンナノファイバを含んだ合成樹脂によって形成されているので、剛性の強化、線膨張の抑制、耐摩耗性能の向上、摩擦係数の低下、熱伝導率の向上などの効果がある。
【００５２】
（４）線膨張係数が小さいので、線膨張による本尺１１の変形を抑えることができる。つまり、エンコーダのメインスケール１４の線膨張を抑えることができるので、精密な測定を行うことができる。線膨張係数が小さいので、測定の温度に制限を受けることなく高温や低温などの周囲の環境に影響されることなく精密な測定を行うことができる。
【００５３】
（５）熱伝導率がよいことから、本尺１１を手で握って測定する場合でも手の熱が瞬時に全体に拡散し、本尺１１の場所による膨張の差異を生じることがない。つまり、メインスケール１４の場所による膨張の差異が生じない。よって、手の熱による測定誤差を生じることがなく、精密な測定を行うことができる。
【００５４】
（６）耐摩耗性能が向上することから、スライダ２１を本尺１１に対して繰り返し摺動させても磨耗することがなく、耐用年数が長く、かつ測定精度を長きに渡って維持することができる。特に、メインスケール１４に対してスライダ２１を直接接触させて摺動させることもできるので、メインスケール１４とスライダ２１との間のギャップを維持するなどの機構も必要ない。
【００５５】
（７）摩擦係数が小さいことから、本尺１１とスライダ２１の摺動性がよく、潤滑剤なしで使用できる。よって、汚れやゴミがつきにくいものとできる。
【００５６】
（８）本尺１１およびスライダ２１が共に合成樹脂で形成されているので、ノギス１を軽いものとすることができる。よって、持ち運びやすく、操作性に優れたものとできる。合成樹脂であるので、金属に比べて、本尺１１を握ったときに手になじみやすく、金属アレルギーなどの心配もない。
【００５７】
（９）射出成形によって形成することができるので、ノギス１の製造が簡便であり、低コストで生産することができる。この際、カーボンナノファイバを含む合成樹脂は、型転写性が良いので、射出成形の後に機械加工や表面加工を施す必要がなく簡便である。
【００５８】
（１０）スライダ本体２２が導電性を有するので、スライダ２１が電磁シールドとなり、内部の電気回路が外部の磁界および電界から遮蔽される。その結果、スライダ２１内部の電気回路が保護されるので、破損や誤作動を防ぐことができ、測定精度を精密に保つことができる。
【００５９】
（１１）スライダ２１は導電性を有しているので、スライダ２１と本尺１１との間に静電気が帯電することがなく、メインスケール１４および検出ヘッドの破損や誤作動を防止することができる。帯電を防ぐことにより、静電気によるゴミの付着なども防ぐことができる。その結果、測定精度を精密に保つことができる。
【００６０】
（１２）剛性が強化されることから、測定ジョー（本尺１１の外側用測定ジョー１２および内側用測定ジョー１３、スライダ２１の外側用測定ジョー２３および内側用測定ジョー２４）を剛性を保ちつつ薄く形成することができる。よって、狭い被測定部位であっても測定することができる。測定ジョーの剛性が向上すれば、被測定物に測定ジョーを当接させた場合でも、しなりなどの変形を生じることがなく、測定精度を向上させることができる。
【００６１】
（変形例１）
第１実施形態の変形例１として、メインスケール１４１およびメインスケール１４１の製造方法の変形例１を示す。
図４（Ｃ）に示すように、このメインスケール１４１は、基本的には、第１実施形態のメインスケール１４と同様である。つまり、カーボンナノファイバを含んで絶縁性の合成樹脂で形成された本尺１１の表面に、カーボンナノファイバを含んで導電性の合成樹脂で形成された導電部１５が所定のピッチで配列されている。この変形例１が第１実施形態と異なる点は、次の点である。つまり、導電部１５は、本尺１１に形成された溝１８に充填されている。よって、本尺１１の表面は導電部１５の凸部が存在せず平面状である。本尺１１の表面に、絶縁性の絶縁膜１９が設けられている。
【００６２】
このメインスケール１４１の製造方法について説明する。
メインスケール１４１の製造方法は、本尺１１を形成する本尺形成工程（本体形成工程）と、本尺１１の表面に所定のピッチで溝１８を形成する溝形成工程と、導電部材をこの溝１８に充填する溝充填工程とを備えている。
本尺形成工程においては、第１実施形態と同様に、カーボンナノファイバを含んだ絶縁性の合成樹脂で射出成形により本尺１１を形成する。ただし、この本尺形成工程を行う射出成形の型には、導電部１５を形成するピッチに対応した位置に凸部が設けられている。すなわち、本尺形成工程の際に同時に本尺１１の表面に所定のピッチで溝１８を形成する溝形成工程が行われる（図４（Ａ）参照）。
【００６３】
溝充填工程においては、本尺形成工程に続いて、カーボンナノファイバを含んだ導電性の合成樹脂を溝１８に充填する射出成形（二重成形）を行う。すると、溝１８を埋めて導電部１５が所定のピッチで形成される（図４（Ｂ）参照）。さらに、本尺１１の表面に絶縁膜１９を貼る（図４（Ｃ）参照）。すると、静電容量式のメインスケール１４１となる。
【００６４】
このような変形例１によれば、第１実施形態と同様の効果に加えて、次の効果を奏することができる。
溝に埋め込むように導電部１５が形成されるので、メインスケール１４１の表面が平面状に形成される。さらに、メインスケール１４１の表面には絶縁膜１９が設けられている。よって、メインスケール１４１の上を絶縁膜１９を挟んで直接にスライダ２１を摺動させることができる。
【００６５】
射出成形を行うだけであるので、簡便であり、製造ラインを簡略化して低コスト化を図ることができる。電極を形成するために、第１実施形態のように電極を剥離するなどの工程も必要ないため簡便である。
【００６６】
（変形例２）
第１実施形態の変形例２として、メインスケール１４２の変形例２を図５に示す。
第１実施形態においては、静電容量式エンコーダであってメインスケール１４は導電部１５および絶縁部１６から構成されたが、この変形例２は光電式エンコーダであって、メインスケール１４２は光反射部３１と光非反射部３２とからなる光学格子を備えて構成されている。
【００６７】
このメインスケール１４２は、カーボンナノファイバを含んだ合成樹脂で表面が鏡面状に形成された本尺１１（本体）の表面に所定のピッチで光非反射部３２が形成された構成である。この光非反射部３２は、表面を粗く削って光を反射しないようにしたものである。
スライダ２１の検出ヘッドは、メインスケール１４２に光を照射する光源と、メインスケール１４２から反射された光を受光する光受光部とを備えたものとすればよい。
【００６８】
このような構成によれば、第１実施形態と同様の効果に加えて、簡便に光電式エンコーダを形成することができ、製造効率を向上させることができるとともに、低コスト化を図ることができる。
【００６９】
（変形例３）
第１実施形態の変形例３として、メインスケール１４３の変形例３を図６に示す。
この変形例３は、磁気式エンコーダであって、メインスケール１４３は、Ｎ極３３およびＳ極３４が所定のピッチで交互に配列された構成である。
このメインスケール１４３は、カーボンナノファイバを含む合成樹脂に磁性材をさらに添加したものによって本尺１１（本体）を射出成形したものである。磁極は、本尺１１を形成した後、例えば、磁気記録媒体を着磁させる要領で、電磁石や磁石を近づけて着磁すればよい。
スライダ２１の検出ヘッドは、メインスケール１４３の磁気によって誘導電流が変化されるコイルを備えた構成であればよい。
【００７０】
このような構成によれば、第１実施形態と同様の効果に加えて、射出成形によって本体を形成した後、着磁させるのみなので、簡便であり、製造効率の向上および低コスト化を図ることができる。
【００７１】
（変形例４）
第１実施形態の変形例４として、メインスケールの変形例を図７に示す。
第１実施形態は、ノギスであって、メインスケール１４は、本尺１１の長手に沿って形成されていた。変形例４においては、ノギスではなく、例えば、マイクロメータやダイヤルゲージのスピンドル４１にエンコーダのメインスケールが形成された例である。
【００７２】
図７（Ａ）において、可動部材の本体であるスピンドル４１Ａの軸方向に沿って静電容量式エンコーダのメインスケール１４４Ａが形成されている。
これは、カーボンナノファイバを含んで絶縁性の合成樹脂によって形成されたスピンドル４１Ａの表面に、軸を中心とした環状の導電部１５が、軸方向に沿って所定のピッチで形成されている。メインスケール１４４Ａの製造方法は、第１実施形態の例に倣ってもよく、また、変形例１の例に倣ってもよい。
【００７３】
図７（Ｂ）において、スピンドル４１Ｂの円周に静電容量式エンコーダのメインスケール１４４Ｂが形成されている。
これは、カーボンナノファイバを含んで絶縁性の合成樹脂によって形成されたスピンドル４１Ｂの表面に、軸方向に伸びる導電部１５が、軸を中心とした円周上に所定の間隔で形成されている。メインスケール１４４Ｂの製造方法は、第１実施形態の例に倣ってもよく、また、変形例１の例に倣ってもよい。
【００７４】
このような構成によれば、マイクロメータやダイヤルゲージのスピンドル４１Ａ、４１Ｂに直接エンコーダのメインスケール１４４Ａ、１４４Ｂを形成することができる。よって、マイクロメータやダイヤルゲージなどスピンドルの移動量を測定する測定器について、簡便にエンコーダを組み込んで、デジタル式とすることができる。
【００７５】
メインスケール１４４Ａ、１４４Ｂが、同一面に形成されているので、このメインスケール１４４Ａ、１４４Ｂの部分も摺動部として用いることができる。すると、スケール部分を避けて摺動部分を確保する必要がなくなるので、スピンドルを短くすることが可能となる。従来、スピンドルのスケールを摺動部とすることができなかったため、スピンドルは、スケールの長さとさらに摺動部分の長さを有していなければならなかった。しかし、メインスケールを摺動部として使用すると、スピンドルを短くすることができる。その結果、マイクロメータやダイヤルゲージを小型化することができる。
【００７６】
（第２実施形態）
図８に、本発明のエンコーダの第２実施形態を示す。
このエンコーダは、固定部材５１と、この固定部材５１に設けられたメインスケール５１１と、固定部材５１に沿って相対移動可能な可動部材６１と、この可動部材６１に設けられメインスケール５１１と静電容量結合してメインスケール５１１に対する相対移動量を検出する検出ヘッド６２とを備えて構成されている。図８中、可動部材６１の摺動方向は紙面に略直交方向である。
可動部材６１には、可動部材６１から固定部材５１側に向かって凸状に形成されメインスケール５１１と検出ヘッドとのギャップを保持するためのギャップ保持手段としてのギャップ保持部６３が設けられている。ギャップ保持部６３は、検出ヘッドを挟んで両側に設けられている。
【００７７】
可動部材６１には、可動部材６１の移動面と略平行で薄片状に形成された付勢手段としての押圧力伝達部材６４が設けられている。可動部材６１は、ギャップ保持部６３および押圧力伝達部材６４を含めて一体的にカーボンナノファイバを含んだ合成樹脂によって形成されている。押圧力伝達部材６４の端部６４１は、固定された部材８１から可動部材６１の側に向かって力Ｆ１で押圧されている。押圧力伝達部材６４がその途中を固定された支持部材７１によって固定支持されることにより、可動部材６１は、力Ｆ２で固定部材５１に向かって付勢される。
【００７８】
このような構成によれば、次の効果を奏することができる。
ギャップ保持部６３が、カーボンナノファイバを含んだ合成樹脂によって形成されている。カーボンナノファイバを含んだ合成樹脂は、耐摩耗性が高く、摩擦係数が小さいので、ギャップ保持部６３が摩耗することがなく、長期に亘って、メインスケール５１１と検出ヘッドとのギャップを一定に維持することができる。よって、検出精度を長期に亘って維持することができる。
【００７９】
ギャップ保持部６３が、可動部材６１とともに一体成形されているので、ギャップ保持機構などを別個に設ける場合に比べて、組み付け工程が必要ないので簡便である。付勢手段としての押圧力伝達部材６４が可動部材６１に一体的に設けられているので、可動部材６１とは別個に付勢手段を設ける場合に比べて部品点数を削減できて簡便である。このように、ギャップ保持部６３および押圧力伝達部材６４を可動部材６１とともに一体成形するので、製造工程が格段に簡略化されるとともに、別個にギャップ保持機構や付勢手段などを設ける必要もないので、小型化を図ることができる。
【００８０】
尚、本発明のエンコーダおよびエンコーダ製造方法は、上記実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
第１実施形態、変形例１、変形例２、変形例３および変形例４において、メインスケールを本尺１１やスピンドル４１に直接形成する例について説明したが、メインスケールを本尺１１やスピンドル４１とは別個に形成した後、本尺１１やスピンドル４１にメインスケールを貼り付けてもよい。
例えば、図９（Ａ）に示されるメインスケール１４５は、長手方向を有する帯状で光透過性の基材１５１と、基材１５１の一面に印刷された装飾印刷層１５２と、装飾印刷層１５２の基材１５１とは反対側面に長手方向に沿って所定のピッチで設けられた導電部１５と、装飾印刷層１５２および導電部１５を覆って貼着された接着層１５４とを備えて構成されている。
基材１５１は、柔軟性および絶縁性を有する薄いポリエステル製の透明フィルムを所定の形状に裁断して形成される。装飾印刷層１５２は、基材１５１の表面に直接印刷されたインクの層であって目盛りや縞模様などの文字あるいは模様が印刷される。なお、装飾印刷層１５２に印刷された文字や模様は基材１５１を通して視認可能である。導電部１５は、カーボンナノファイバを含む合成樹脂を含有する導電性インクを装飾印刷層１５２の上に印刷することで形成される（電極印刷工程）。導電部１５が所定ピッチで設けられることにより、図２に示されるのと同様の電極パターンが長手方向に沿って形成される。接着層１５４は、両面に粘着材が塗布されて両面に接着力を有する両面テープ（粘着部材）であり、導電部１５の間に位置する非導電部１５３では装飾印刷層１５２に接着されている（粘着層形成工程）。そして、図９（Ｂ）に示されるように、接着層１５４によりメインスケール１４５を本尺１１に貼り付ける（基材貼付工程）。すると、メインスケール１４５を印刷によって簡便に製造可能であるので、製造工程を簡略化して製造コストを削減することができる。
なお、別個に形成されたメインスケールを接着する製造方法は、静電容量式エンコーダのメインスケールに限らず、光電式あるいは磁気式エンコーダにおいても適用できる。すなわち、基材１５１の一面に光反射部と光非反射部とを交互に印刷してもよく、あるいは、基材１５１の一面に磁性材を含むインクを印刷してＮ極Ｓ極の磁極を交互に着磁してもよい。また、メインスケール１４５は、ノギスの本尺１１に貼り付けるのみならず、マイクロメータやダイヤルゲージのスピンドル４１に貼り付けてもよいことはもちろんである。
また、本尺１１、スピンドル４１はカーボンナノファイバを含んだ合成樹脂で形成されていてもよく、あるいは、従来のノギスやマイクロメータ、ダイヤルゲージと同様に合成樹脂や金属部材で形成されていてもよい。
【００８１】
第１実施形態では、導電層形成工程において、カーボンナノファイバを含んだ導電性の合成樹脂で導電層１７を射出成形によって形成するとしたが、本尺１１の表面に金属メッキを行って導電層１７を形成してもよい。
【００８２】
変形例１では、溝形成工程は、本尺１１を射出成形際に同時に行うとしたが、本尺１１を射出成形した後に機械加工で溝１８を削って形成してもよい。カーボンナノファイバを含んだ合成樹脂は、金属的な剛性を備えているので、機械加工をすることができるからである。
【００８３】
変形例２では、光非反射部３２は、本尺１１の表面を削って光を反射しないようにするとしたが、光を反射しない部材を貼ってもよく、また、光を反射しない塗料を塗ってもよい。
または、本尺１１を光を反射しない面粗さに射出成形したあと、光反射部３１を本尺１１の表面上に形成してもよい。
【００８４】
変形例４では、スピンドルに静電容量式エンコーダのスケールを形成するとしたが、光電式エンコーダのスケールでも磁気式エンコーダのスケールでもスピンドル上に形成できることはもちろんである。
スケールは、スピンドルの軸を中心として螺旋状に形成してもよい。
【００８５】
第２実施形態において、ギャップ保持部６３は、可動部材６１の側に設けられていたが、ギャップ保持部６３は固定部材５１の側に設けられていてもよい。つまり、スケールパターンを挟んで、可動部材６１の摺動方向に沿ってギャップ保持部６３が設けられていてもよい。この場合にも、ギャップ保持部６３は、固定部材５１とともにカーボンナノファイバを含む合成樹脂によって一体成形されることが望ましい。
また、第２実施形態においては、直線的に摺動するエンコーダについて説明したが、ロータリーエンコーダなど摺動面が回転面であってもよい。例えば、ロータとステータとの間のギャップ保持手段として、カーボンナノファイバを含んだ合成樹脂を用いれば、第２実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００８６】
以上において、主として、固定部材の側にエンコーダのスケールを形成する場合について説明したが、可動部材の側にエンコーダのスケールを形成してもよいことはもちろんである。つまり、可動部材の本体をカーボンナノファイバを含んだ合成樹脂で形成して、その表面にスケールパターンを形成してもよい。
【００８７】
ナノスケール物質としては、カーボンナノファイバに限らず、カーボンナノチューブ、フラーレンなど炭素を主要構成要素とするナノスケール物質を用いることができる。
合成樹脂の母材としては、ポリスチレンやポリカーボネイトなどを用いることができる。
【００８８】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明のエンコーダおよびエンコーダ製造方法によれば、検出精度が向上されるとともに、小型化、軽量化でき、低コストで製造できるという優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態として、本発明のエンコーダを用いた測定器としてデジタル式ノギスを示す図である。
【図２】前記第１実施形態において、メインスケールの拡大図である。
【図３】前記第１実施形態において、エンコーダの製造方法を示す図である。
【図４】前記第１実施形態の変形例１のエンコーダおよびエンコーダ製造方法を示す図である。
【図５】前記第１実施形態の変形例２として、光電式エンコーダのメインスケールを示す図である。
【図６】前記第１実施形態の変形例３として、磁気式エンコーダのメインスケールを示す図である。
【図７】前記第１実施形態の変形例４として、可動部材であるスピンドルにスケールを形成した例を示す図である。
【図８】本発明の第２実施形態として、押圧力伝達部材およびギャップ保持部を備えたエンコーダを示す図である。
【図９】変形例として、本体とは別に製造されたメインスケールを本体に貼り付ける工程を示す図である。
【図１０】従来のエンコーダを示す図である。
【符号の説明】
１１　　　本尺（固定部材）
１５　　　導電部（電極）
１６　　　絶縁部
１７　　　導電層
１８　　　溝
２１　　　スライダ（可動部材）
３１　　　光反射部
３２　　　光非反射部
３３　　　Ｎ極（磁極）
３４　　　Ｓ極（磁極）
４１Ａ、４１Ｂ　　　スピンドル（可動部材）
５１　　　固定部材
６１　　　可動部材
６３　　　ギャップ保持部（ギャップ保持手段）
６４　　　押圧力伝達部材（付勢手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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