(57)【要約】【課題】可動部材を有する液体吐出ヘッドの、画像処理による基板と可動部材との位置合わせは、画像処理装置を用いて行う場合に、作業時間が比較的長く懸かると言う問題がある。【解決手段】発熱体を有し、液流路を形成する溝付部材が固着された基板に設けられた台座部上に、前部に櫛歯を有する可動部材を載置し、前記基板と一緒に前記可動部材を傾けて前記可動部材を前記台座部上で滑らせて、前記可動部材の櫛歯部を前記溝付部材の液流路内に突入させ、前記櫛歯間部分が前記溝付部材と当接したときに前記基板の傾きを元の平坦に戻し、前記台座部上に液室部材を固着する、工程から成る。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱体を有し、液流路を形成する溝付部材が設けられた基板に固着された台座部上に、前部に櫛歯を有する可動部材を載置し、
前記基板と一緒に前記可動部材を傾けて前記可動部材を前記台座部上で滑らせて、
前記可動部材の櫛歯を前記溝付部材の液流路内に突入させ、
前記櫛歯間部分が前記溝付部材の液流路間の壁端部と当接したときに前記基板の傾きを元の平坦な位置に戻し、
前記台座部上に液室部材を取付ける、
工程から成ることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記発熱体と前記可動部材の櫛歯との間に気泡発生領域が形成されることを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記可動部材の櫛歯が第１の位置と第２の位置との間を変位するようにできることを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第１の位置は、前記台座部により高さが規定されることを特徴とする請求項３記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第２の位置は、前記気泡発生領域で発生された気泡によって変位される位置であることを特徴とする請求項３記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載される液体吐出ヘッドの製造方法により製造される液体吐出ヘッドを有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項７】
気泡の発生によって液体を吐出する吐出口と、発熱体と、液体に気泡を発生させる気泡発生領域と、該気泡発生領域に面して配置され、第１の位置と該第１の位置よりも気泡発生領域から遠い第２の位置との間を変位可能な可動部材とを有し、
該可動部材を、前記気泡発生領域での気泡の発生に基づく圧力によって、前記第１の位置から前記第２の位置へ変位させ、前記可動部材の変位によって前記気泡を前記吐出口に向かう方向の上流よりも下流に大きく膨張させることで液体を吐出し、
前記可動部材の支点側一部と前記気泡発生領域を形成している部材の液体が流れる上流側の一部とが接しており、
前記可動部材が前記第１の位置の高さを規定する台座部上に配置されている液体吐出ヘッドを有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項８】
前記液体吐出ヘッドは、前記発熱体が発生した熱を液体に伝えて液体に膜沸騰現象を生じさせ、該膜沸騰現象によって前記気泡の発生が行われることを特徴とする請求項７記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記液体吐出ヘッドは、前記可動部材の形状が櫛歯型形状であることを特徴とする請求項７記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記液体吐出ヘッドは、インクを吐出するために利用されるエネルギーとして、通電に応じて熱エネルギーを前記発熱体により発生することを特徴とする請求項８記載の液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出装置、特に、気泡の発生によって液体を吐出する液体吐出ヘッドおよび該液体吐出ヘッドを有する液体吐出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
気泡の発生によって液体を吐出する液体吐出ヘッドの気泡発生領域に可動部材を配置することにより、吐出エネルギー効率の向上および良好な画質の記録を得ることが可能であることが特願平７−４１０９号明細書に開示されており、周知である（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
そして、従来、可動部材を有する液体吐出ヘッドにおいては、画像処理によって基板と可動部材との位置を合わせ込み、両部材を接着した後に、液流路を形成するための溝付部材を取付ける構成となっている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−２９３０９号公報（第５−７頁、第２−６図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の方法を用いた場合に、画像処理装置を用いて高精度な位置合わせを行うことが可能であるが、作業時間が比較的長く懸かると言う問題がある。
【０００６】
従って、本発明の目的は、このような従来における問題を解決するために、溝付部材が一体的に設けられた基板に対して可動部材を短時間に正確に位置決めすることができる液体吐出ヘッドの製造方法および該液体吐出ヘッドを有する液体吐出装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、発熱体を有し、液流路を形成する溝付部材が固着された基板に設けられた台座部上に、前部に櫛歯を有する可動部材を載置し、前記基板と一緒に前記可動部材を傾けて前記可動部材を前記台座部上で滑らせて、前記可動部材の櫛歯を前記溝付部材の液流路内に突入させ、前記櫛歯間部分が前記溝付部材の液流路間の壁端部と当接したときに前記基板の傾きを元の平坦に戻し、前記台座部上に液室部材を取付ける、工程から成ることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、発熱体と可動部材の櫛歯部の間に気泡発生領域が形成されることを特徴とする。
【０００９】
さらに、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、前記可動部材の櫛歯が第１の位置と第２の位置との間を変位するようにできることを特徴とする。
【００１０】
さらにまた、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、前記第１の位置が、前記台座部により高さが規定されることを特徴とする。
【００１１】
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、前記第２の位置が、前記気泡発生領域で発生された気泡によって変位される位置であることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の液体吐出装置は、上記いずれかに記載される液体吐出ヘッドの製造方法により製造される液体吐出ヘッドを有することを特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明の液体吐出装置は、気泡の発生によって液体を吐出する液体吐出口と、液体に気泡を発生させる気泡発生領域と、該気泡発生領域に面して配置され、第１の位置と該第１の位置よりも気泡発生領域から遠い第２の位置との間を変位可能な可動部材とを有するヘッドを有し、該可動部材を、前記気泡発生部での気泡の発生に基づく圧力によって、前記第１の位置から前記第２の位置へ変位させ、前記可動部材の変位によって前記気泡を吐出口に向かう方向の上流よりも下流に大きく膨張させることで液体を吐出し、前記可動部材支点側一部と前記気泡発生領域を形成している部材の液体が流れる上流側の一部とが接しており、前記可動部材は、前記第１の位置の高さを規定する台座部上にある、液体吐出ヘッドを有することを特徴とする。
【００１４】
さらにまた、本発明の液体吐出装置は、発熱体が発生した熱を液体に伝えて、液体に膜沸騰現象を生じさせ、該膜沸騰現象によって前記気泡の発生が行われることを特徴とする。
【００１５】
本発明の液体吐出装置は、前記液体吐出ヘッドの前記可動部材の形状が櫛歯型形状であることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の液体吐出装置は、前記液体吐出ヘッドが、インクを吐出するために利用されるエネルギーとして、通電に応じて熱エネルギーを前記発熱体により発生することを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
上述したように、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出装置においては、発熱体を有し、液流路を形成する溝付部材が固着された基板に設けられた台座部上に櫛歯を有する可動部材を載置し、可動部材と一緒に基板を傾けて可動部材を台座部上で滑らせて、可動部材の櫛歯を溝付部材の液流路内に突入させ、櫛歯間部分が溝付部材の液流路間の壁端部と当接したときに基板の傾きを元の平坦に戻し、台座部上に液室部材を取付ける、工程から成ると共に、気泡の発生によって液体を吐出する吐出口と、液体に気泡を発生させる気泡発生領域と、該気泡発生領域に面して配置され、第１の位置と該第１の位置よりも気泡発生領域から遠い第２の位置との間を変位可能な可動部材とを有し、該可動部材を、前記気泡発生部での気泡の発生に基づく圧力によって、前記第１の位置から前記第２の位置へ変位させ、前記可動部材の変位によって前記気泡を吐出口に向かう方向の上流よりも下流に大きく膨張させることで液体を吐出し、可動部材の支点側の一部と気泡発生領域を形成している部材の液体が流れる上流側の一部とが接することにより、可動部材の平面方向の位置決めを行い、さらに、台座部を設けて、その上に可動部材を配置することによって可動部材の高さをも規定することができ、可動部材の平面方向と高さ方向の高精度な位置合わせを短時間で行って液体記録ヘッドを生産することが可能になる。
【００１８】
本発明のその他の目的や特徴および利点は添付図面に沿っての以下の詳細な説明から明らかになろう。
【００１９】
以下に、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法によって製造される液体吐出装置の好ましい実施例に就いて図面を参照して詳細に説明する。
【００２０】
（実施例）
図１は本発明を実施した液体吐出ヘッドの可動部材が溝付部材に対して位置決めされた状態を示す縦断面概略図で、図２は図１に示される液体吐出ヘッドの平断面図である。
【００２１】
図１および図２に示されるように、本発明の液体吐出ヘッド１は、液体に気泡を発生させるための熱エネルギーを与える発熱体２と、発熱体２が設けられた基板３と、発熱体２上に形成される気泡発生領域４と、この気泡発生領域４に面して基板３上に配置されて前方の部分に櫛歯部６を有する可動部材５と、基板３上に設けられていて可動部材５が配置されることによって発熱体２と可動部材５との距離を規定する台座部７と、液体を吐出するための液流路８と、液流路８を基板３と共に構成する複数個の溝を有する溝付部材９と、液室１１および液体導入口１２が設けられた液室部材１０と、吐出口１５を有するオリフィスプレート１４とから主に構成されている。
【００２２】
本実施例の液体吐出ヘッド１において、発熱体２は熱を発生して液体に伝えることによって、液体に膜沸騰現象を生じ、これによって気泡が発生されて液体が吐出口１５から吐出されるものである。なお、このような膜沸騰現象による液体吐出のメカニズムは本発明の主要部を構成するものではないので、その詳細に就いてはここでは省略する。
【００２３】
このような基板３上には、発熱体２に対向して櫛歯部６が形成された可動部材５が設けられている。可動部材５の櫛歯部６は、図２に明示されるように、複数個の櫛歯６ａが等間隔に櫛歯型状に設けられて成り、後述するように、各櫛歯６ａが溝付部材９の各液流路８内に位置されるように配置されるものである。このような可動部材５の櫛歯部６と発熱体２との間には、気泡発生領域４が形成されている。また、この可動部材５は、基板３上に固着して設けられた台座部７上に取付けられており、櫛歯部６の各櫛歯６ａ部分が溝付部材９の各液流路８内に位置されて整列するように配置されている。従って、各櫛歯６ａは片持梁形状を成し、図１に実線で示される水平な第１の位置から、図１に鎖線で示される上方に変位した第２の位置とに可動できるようになっている。
【００２４】
従って、可動部材５の櫛歯部６は、発熱体２を発熱させることによって可動部材５と発熱体２との間の気泡発生領域４の液体に熱を作用して、液体に膜沸騰現象による気泡を発生させ、気泡の発生に基づく圧力と気泡とによって可動部材５の櫛歯部６の各櫛歯６ａが支点６ｂを中心にして上方に変位する。いま、この可動部材５の図１の変位しない位置を第１の位置とし、変位した位置を第２の位置（図１に鎖線で示される）とする。従って、可動部材５は、第１の位置の高さを規定して気泡発生領域４を形成するよう台座部７上に配置されている。
【００２５】
なお、発熱体２や可動部材５の種類や形状と配置、さらに気泡発生領域４の大きさ等は以上の図示のものに限られるものではなく、種々適宜に決めることができるものである。
【００２６】
図３乃至図６は、上述したように構成される本発明の液体吐出ヘッド１の製造工程を順に模式的に示す図で、図３（Ａ）乃至図６（Ａ）は正面図で、図３（Ｂ）乃至図６（Ｂ）は側面図である。
【００２７】
先ず、本発明の液体吐出ヘッド１の製造方法において、第１の工程として、図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示されるように、台座部７を有する基板３と溝付部材９とを接合して液流路８を形成し、台座部７のある基板３と溝付部材９との一体構造の接合体を準備する。
【００２８】
次に、第２の工程として、図４（Ａ）および図４（Ｂ）に示されるように、基板３の台座部７の上に、櫛歯部６を前方にして可動部材５を載置して、可動部材５の櫛歯部６が液流路８と整列するように仮置きする。これは、単に基板３の台座部７の一側に可動部材５の一側が平行になるように配置したり、あるいは揃えたりすることで簡単に行うことができる。
【００２９】
第３の工程として、図５（Ａ）および図５（Ｂ）に示されるように、基板３と溝付部材９の接合体を、可動部材５の櫛歯部６の各櫛歯６ａ部分が自重によって各液流路８内に入り込むように傾ける。なお、基板３と溝付部材９の接合体および可動部材５の傾斜は、前部を下げても良く、また、後部を持上げるようにしても、いずれの手段でも良い。
【００３０】
これによって、可動部材５の各櫛歯６ａ部分が各液流路８を形成する溝内に入って行って可動部材５の櫛歯６ａの支点６ｂ部分と液流路８の上流側部分との位置において突当って当接する。すなわち、図２に示されるように、櫛歯６ａ、６ａ間の部分が液流路８、８間の壁の端部に当接する。
【００３１】
次いで、図６（Ａ）および図６（Ｂ）に示されるように、上記第３の工程によって可動部材５の櫛歯部６が溝付部材９の液流路８内に突入されて整列配置され、可動部材５の平面方向の位置決めが決まると共に、可動部材５が、台座部７上に配置されているために、可動部材５の高さ方向の位置も決まっているので、第４の最終工程として、このように位置決めされた可動部材５を台座部７と接着剤等で接着して、液室部材１０とオリフィスプレート１４を、基板３と溝付部材９との接合体に取付けることによって、液体吐出ヘッド１が完成される。
【００３２】
上述したように、本実施例は、何等画像処理装置を用いることなく、簡便な方法で短時間に可動部材５を位置決めして液体吐出ヘッド１を作ることができるものであり、製造作業時間の短縮が可能な液体吐出ヘッド１を得ることができる。
【００３３】
（その他）
なお、本発明は、特にインクジェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネルギネルーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーによりインクの状態変化を生起させる方式の記録ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすものである。かかる方式によれば記録の高密度化、高精細化が達成できるからである。
【００３４】
その代表的な構成や原理については、例えば、米国特許第４、７２３、１２９号明細書、同第４、７４０、７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持されているシートや液路に対応して配置されている電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４、４６３、３５９号明細書、同第４、３４５、２６２号明細書に記載されているようなものが適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４、３１３、１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことができる。
【００３５】
記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体の組合せ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許第４、５５８、３３３号明細書、米国特許第４、４５９、６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基いた構成としても本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録を確実に効率よく行うことができるようになるからである。
【００３６】
さらに、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのような記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによってその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。
【００３７】
加えて、上例のようなシリアルタイプのものでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
【００３８】
また、本発明の記録装置の構成として、記録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できるので、好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げることができる。
【００３９】
また、搭載される記録ヘッドの種類ないし個数についても、例えば単色のインクに対応して１個のみが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数のインクに対応して複数個数設けられるものであってもよい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるかいずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極めて有効である。
【００４０】
さらに加えて、以上説明した本発明実施例においては、インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もしくは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェット方式ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよい。加えて、熱エネルギーによる昇温を、インクの固形状態から液体状態への状態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化するインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も本発明は適用可能である。このような場合のインクは、特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向するような形態としてもよい。本発明においては、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。
【００４１】
さらに加えて、本発明インクジェット記録装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１記載の液体吐出ヘッドの製造方法は、発熱体を有し、液流路を形成する溝付部材が固着された基板に設けられた台座部上に、前部に櫛歯を有する可動部材を載置し、前記基板と一緒に前記可動部材を傾けて前記可動部材を前記台座部上で滑らせて、前記可動部材の櫛歯を前記溝付部材の液流路内に突入させ、前記櫛歯間部分が前記溝付部材の液流路間の壁端部と当接したときに前記基板の傾きを元の平坦な位置に戻し、前記台座部上に液室部材を固着する、工程から成るので、可動部材の平面方向の位置決めを行い、台座部上に可動部材を配置することによって可動部材の高さをも規定することができ、可動部材の平面方向と高さ方向の高精度な位置合わせを短時間で行って液体吐出ヘッドを生産することが可能になる。
【００４３】
本発明の請求項２記載の液体吐出ヘッドの製造方法は、前記発熱体と前記可動部材の櫛歯部の間に気泡発生領域が形成されているので、発熱体が発生した熱を液体に伝えて、液体に膜沸騰現象を生じさせ、該膜沸騰現象によって前記気泡の発生が好適に行われて液体が良好に吐出される。
【００４４】
本発明の請求項３記載の液体吐出ヘッドの製造方法は、前記可動部材の櫛歯が第１の位置と第２の位置との間を変位するようにできるので、気泡の発生を好適に行うことができる。
【００４５】
本発明の請求項４記載の液体吐出ヘッドの製造方法は、前記第１の位置が、前記台座部により高さが規定されるので、第１の位置を所定の高さに確実に規定することができる。
【００４６】
本発明の請求項５記載の液体吐出ヘッドの製造方法は、前記第２の位置が、前記気泡発生領域で発生された気泡によって変位される位置であるので、可動部材の櫛歯が好適に変位されて液体を吐出することができる。
【００４７】
本発明の請求項６記載の液体吐出装置は、請求項１乃至５のいずれかに記載される液体吐出ヘッドの製造方法により製造される液体吐出ヘッドを有するので、可動部材の位置決めが容易にでき、液体吐出装置をコンパクトに短時間に製造することができる。
【００４８】
本発明の請求項７記載の液体吐出装置は、気泡の発生によって液体を吐出する吐出口と、液体に気泡を発生させる気泡発生領域と、該気泡発生領域に面して配置され、第１の位置と該第１の位置よりも気泡発生領域から遠い第２の位置との間を変位可能な可動部材とを有し、該可動部材を、前記気泡発生領域での気泡の発生に基づく圧力によって、前記第１の位置から前記第２の位置へ変位させ、前記可動部材の変位によって前記気泡を前記吐出口に向かう方向の上流よりも下流に大きく膨張させることで液体を吐出し、前記可動部材の支点側一部と前記気泡発生領域を形成している部材の液体が流れる上流側の一部とが接しており、前記可動部材が、前記第１の位置の高さを規定する台座部上に配置されている液体吐出ヘッドを有するので、溝付部材が一体的に設けられた基板に対して可動部材の平面方向と高さ方向の高精度な位置合せを短時間に正確に行うことができる。
【００４９】
本発明の請求項８記載の液体吐出装置は、発熱体が発生した熱を液体に伝えて、液体に膜沸騰現象を生じさせ、該膜沸騰現象によって前記気泡の発生が行われる液体吐出吐出ヘッドを有するので、液体が好適に吐出される。
【００５０】
本発明の請求項９記載の液体吐出装置は、前記液体吐出ヘッドの前記可動部材の形状が櫛歯型形状であるので、可動部材が好適に作動して液体を吐出することができる。
【００５１】
本発明の請求項１０記載の液体吐出装置は、前記液体吐出ヘッドが、インクを吐出するために利用されるエネルギーとして、通電に応じて熱エネルギーを前記発熱体により発生するので、液体吐出ヘッドをコンパクトに製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施した液体吐出ヘッドの縦断面概略図である。
【図２】図１の液体吐出ヘッドの可動部材が溝付部材に対して位置決めされた状態を示す平断面図である。
【図３】本発明の液体吐出ヘッドの製造工程の第１の工程を摸式的に示す図で、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【図４】本発明の液体吐出ヘッドの製造工程の第２の工程を摸式的に示す図で、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【図５】本発明の液体吐出ヘッドの製造工程の第３の工程を摸式的に示す図で、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【図６】本発明の液体吐出ヘッドの製造工程の第４の工程を摸式的に示す図で、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
１　　液体吐出ヘッド
２　　発熱体
３　　基板
４　　気泡発生領域
５　　可動部材
６　　櫛歯部
７　　台座部
８　　液流路
９　　溝付部材
１０　液室部材
１１　液室
１２　液体導入口
１４　オリフィスプレート
１５　吐出口
【図１】
2004090572.tif 000003
【図２】
2004090572.tif 000004
【図３】
2004090572.tif 000005
【図４】
2004090572.tif 000006
【図５】
2004090572.tif 000007
【図６】
2004090572.tif 000008