(57)【要約】【課題】セラミックグリーンシートに配線パターンを印刷するまでの複数の工程の装置を１つの機械にコンパクトに集約して、製造設備の小型化、組付工数低減、低コスト化を実現できるようにする。【解決手段】セラミックグリーンシート１２を巻回したロール１３からセラミックグリーンシート１２を送り出すシート送出し装置１１のシート送出し方向に、工程集約台１５を設置し、この工程集約台１５上に、セラミックグリーンシート１２を空気吸引力により吸着保持した状態で搬送する吸着搬送テーブル１６を設置する。工程集約台１５上には、ビアホール加工装置２２、ビアホール加工検査装置２３、充填印刷装置２４、充填印刷検査装置２５、配線パターン印刷装置２６をシート搬送方向に並べて設置する。【選択図】　図１
2004087561.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多層基板形成用のシートを巻回したロールから送り出されたシートを空気吸引力により吸着保持して搬送する吸着搬送テーブルを設置すると共に、前記吸着搬送テーブルを搬送方向とその反対方向に往復移動可能に支持する工程集約台上に、少なくとも、前記シートにビアホールを加工するビアホール加工装置と、前記ビアホールに導体ペーストを充填印刷する充填印刷装置と、前記シートに配線パターンを印刷する配線パターン印刷装置とを搬送方向に配列したことを特徴とする多層基板製造工程集約機。
【請求項２】
前記ビアホール加工装置と前記充填印刷装置との間に前記ビアホールの加工不良を検査するビアホール検査装置を設置し、前記充填印刷装置と前記配線パターン印刷装置との間に前記ビアホールの充填印刷の良否を検査する充填印刷検査装置を設置したことを特徴とする請求項１に記載の多層基板製造工程集約機。
【請求項３】
前記ビアホール加工装置と前記充填印刷装置と前記配線パターン印刷装置との間の距離を、ビアホール加工、充填印刷、配線パターン印刷の３つの工程を同時に実行できるように設定したことを特徴とする請求項１又は２に記載の多層基板製造工程集約機。
【請求項４】
前記シートは、キャリアフィルム上に成形したセラミックグリーンシートであり、
前記ビアホール加工装置は、前記ビアホールが前記キャリアフィルムを貫通しないように前記セラミックグリーンシートのみに前記ビアホールを形成することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の多層基板製造工程集約機。
【請求項５】
前記吸着搬送テーブルの上面は、多数の微小な孔が形成された少なくとも２枚の金属板を積層した積層多孔板により構成され、その上側の金属板の孔を下側の金属板の孔と対向させると共に、上側の金属板の孔を下側の金属板の孔よりも小さく形成し、前記積層多孔板の多数の孔を通して空気を下側に吸引することで、前記積層多孔板上に前記シートを吸着保持することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の多層基板製造工程集約機。
【請求項６】
前記吸着搬送テーブルの搬入側と搬出側にそれぞれ吸着固定テーブルを設置し、搬入側吸着固定テーブルと搬出側吸着固定テーブルとの間を前記吸着搬送テーブルを往復移動させることで前記シートを搬送するように構成し、前記吸着搬送テーブル上に前記シートを吸着して搬送するときには、前記搬入側吸着固定テーブルと前記搬出側吸着固定テーブルによる前記シートの吸着を解除し、前記吸着搬送テーブルを搬送方向と反対方向に後戻りさせるときには、前記吸着搬送テーブルによる前記シートの吸着を解除すると共に、前記搬入側吸着固定テーブルと前記搬出側吸着固定テーブルに前記シートを吸着して前記シートがずれるのを防止することを特徴とすることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の多層基板製造工程集約機。
【請求項７】
前記搬出側吸着固定テーブルは、その上面が搬出側に向かって下がり傾斜するように設けられていることを特徴とする請求項６に記載の多層基板製造工程集約機。
【請求項８】
前記吸着搬送テーブルから送り出された前記シートを掛けて垂れ下がらせる送りローラと、
前記送りローラから垂れ下がった前記シートの幅方向両端部にクランプ手段によって吊り支持されることで前記シートにテンションを付与するテンション付与装置と、
前記テンション付与装置を上昇させる上昇装置と、
前記テンション付与装置のクランプ手段及び前記上昇装置の動作を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記テンション付与装置が所定の下降位置まで下降する毎に、前記クランプ手段のクランプを解除して前記上昇装置により前記テンション付与装置を所定の上昇位置まで上昇させた後、前記クランプ手段をクランプ動作させて前記シートの幅方向両端部に前記テンション付与装置を吊り支持させることを特徴とする請求項１乃至７に記載の多層基板製造工程集約機。
【請求項９】
前記制御手段は、前記上昇装置により前記テンション付与装置を所定の上昇位置まで上昇させる動作を前記吸着搬送テーブルの停止中に実行することを特徴とする請求項８に記載の多層基板製造工程集約機。
【請求項１０】
前記テンション付与装置の上方において前記シートの幅方向両端部をクランプして固定する固定クランプ装置を備え、
前記制御手段は、前記テンション付与装置が所定の下降位置まで下降する毎に、前記吸着搬送テーブルの停止中に前記固定クランプ装置により前記シートの幅方向両端部をクランプして前記シートの位置を固定した後、前記テンション付与装置のクランプ手段のクランプを解除して前記上昇装置により前記テンション付与装置を所定の上昇位置まで上昇させ、その後、前記テンション付与装置のクランプ手段をクランプ動作させて前記シートの幅方向両端部に前記テンション付与装置を吊り支持させた後、前記固定クランプ装置のクランプを解除することを特徴とする請求項９に記載の多層基板製造工程集約機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、少なくとも、ビアホール加工、充填印刷、配線パターン印刷の３つの工程を実行できるようにした多層基板製造工程集約機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、セラミック多層基板は、グリーンシート積層法で製造される。このグリーンシート積層法は、複数枚のセラミックグリーンシートに層間接続用のビアホールをパンチング加工等により形成した後、各セラミックグリーンシートのビアホールに導体ペーストを充填印刷すると共に、各セラミックグリーンシートの上面に配線パターンをスクリーン印刷し、その後、これら複数枚のセラミックグリーンシートを積層・熱圧着して一体化し、これを焼成してセラミック多層基板を製造するようにしている。
【０００３】
このように、セラミック多層基板を製造する場合は、少なくとも、ビアホール加工、充填印刷、配線パターン印刷の各工程を実行する必要があるが、従来の一般的な製造ラインでは、ドクターブレード法でテープ成形したセラミックグリーンシートを一定サイズの四角形に裁断してから、ビアホール加工、充填印刷、配線パターン印刷の各工程を実行するようにしていた。このため、各工程毎にセラミックグリーンシートの位置決め・位置検出を行う必要があり、各工程の装置が複雑化・大型化すると共に、各工程の装置間の搬送装置が必要となり、製造ラインが大型化・高コスト化すると共に、各工程の装置毎のセットアップが必要となるという欠点があった。
【０００４】
そこで、近年、特開２００２−４３７４８号公報に示すように、セラミックグリーンシートを巻回したロールから送り出されたシートを切断せずにビアホール加工ステーションへ搬送し、ビアホールを加工した後、該シートを充填印刷ステーションへ搬送してビアホールに導体ペーストを充填印刷し、その後、配線パターンの印刷等を順次行うようにしたロールツーロール又はロールツーシートと呼ばれる製造装置が提案されている。従来のロールツーロール又はロールツーシート方式は、ロールから送り出されたセラミックグリーンシートをテンションローラ等でテンションをかけながらコンベアや巻取リールの巻取力によって搬送するようにしている（特許第２５０４２７７号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような搬送方法では、セラミックグリーンシートの搬送方向の相対的な位置関係がテンションローラ等によるセラミックグリーンシートの撓み量によって変化してしまうため、各工程の装置毎にセラミックグリーンシートの位置決め・位置検出を行う必要があり、各工程の装置が複雑で高価になるという欠点がある。しかも、セラミックグリーンシートの厚みや材質によってローラのテンションの調整が必要となる。また、各ローラの取付精度がセラミックグリーンシートの搬送精度に影響を与えるため、組付工数が多く必要となるという欠点もある。
【０００６】
本発明はこれらの事情を考慮してなされたものであり、従ってその目的は、複数の工程の装置を１つの機械にコンパクトに集約して、製造設備の小型化、組付工数低減、低コスト化を実現できると共に、多層基板形成用のシートの厚みや材質に応じてローラのテンションを調整しなくても、安定したシート搬送精度を確保することができ、品質の優れた製品を能率良く製造することができる多層基板製造工程集約機を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の多層基板製造工程集約機は、多層基板形成用のシートを巻回したロールから送り出されたシートを空気吸引力により吸着保持して搬送する吸着搬送テーブルを設置すると共に、前記吸着搬送テーブルを搬送方向とその反対方向に往復移動可能に支持する工程集約台上に、少なくとも、前記シートにビアホールを加工するビアホール加工装置と、前記ビアホールに導体ペーストを充填印刷する充填印刷装置と、前記シートに配線パターンを印刷する配線パターン印刷装置とを搬送方向に配列した構成としたものである。
【０００８】
このように、多層基板形成用のシートを巻回したロールから送り出されたシートを搬送する手段として吸着搬送テーブルを使用し、該シートを吸着搬送テーブル上に空気吸引力（バキューム圧）により吸着保持した状態で搬送するようにするようにすれば、シートの搬送途中でテンションローラ等によってシートを屈曲させてテンションをかける必要がなくなり、シートを平面状に真っ直ぐに伸ばした状態で搬送することができるので、シートの搬送方向の相対的な位置ずれがなくなる。これにより、シートの送りピッチ精度を確保することができて、各工程の装置毎にシートの位置決め・位置検出を行う必要がなくなり、各工程の装置を簡単化することができる。その結果、吸着搬送テーブルを支持する工程集約台上に複数の工程の装置をコンパクトに集約することができて、製造設備の小型化、組付工数低減、低コスト化を実現できる。しかも、多層基板形成用のシートの厚みや材質に応じてローラのテンションを調整しなくても、安定したシート搬送精度を確保することができ、品質の優れた製品を能率良く製造することができる。
【０００９】
この場合、請求項２のように、ビアホール加工装置と充填印刷装置との間にビアホールの加工不良を検査するビアホール検査装置を設置し、充填印刷装置と配線パターン印刷装置との間にビアホールの充填印刷の良否を検査する充填印刷検査装置を設置した構成としても良い。このようにすれば、１台の多層基板製造工程集約機に、ビアホール検査と充填印刷検査の機能も持たせることができ、ビアホールの加工不良や充填印刷不良がある製品を不良品として自動的に排除することができる。
【００１０】
更に、請求項３のように、ビアホール加工装置と充填印刷装置と配線パターン印刷装置との間の距離を、ビアホール加工、充填印刷、配線パターン印刷の３つの工程を同時に実行できるように設定しても良い。つまり、ビアホール加工装置でシートにビアホールを加工しているときに、充填印刷装置の位置に、何回か前にビアホールが加工された部分が位置し、且つ、配線パターン印刷装置の位置に、何回か前に充填印刷された部分が位置するように、ビアホール加工装置と充填印刷装置と配線パターン印刷装置との間の距離を設定しても良い。このようにすれば、ビアホール加工、充填印刷、配線パターン印刷の３つの工程を同時に実行することができ、生産能率を高めることができる。
【００１１】
尚、多層基板形成用のシートは、セラミックグリーンシート又は多層基板形成用のプラスチックシートのいずれであっても良いが、セラミックグリーンシートの場合は、請求項４のように、キャリアフィルム付きのセラミックグリーンシートを使用し、ビアホールがキャリアフィルムを貫通しないようにセラミックグリーンシートのみにビアホールを形成するようにすると良い。このようにすれば、セラミックグリーンシートのうちの吸着搬送テーブルに吸着される部分にビアホールが形成されていても、ビアホールの下面側がキャリアフィルムで塞がれて、吸着搬送テーブルの空気吸引力（バキューム圧）がビアホールから漏れることを防止できて、吸着搬送テーブル上にキャリアフィルムを介してセラミックグリーンシートを安定して吸着保持することができる。尚、キャリアフィルムは、セラミックグリーンシートの積層工程前にセラミックグリーンシートから剥離すれば良い。
【００１２】
ところで、吸着搬送テーブルの上面は、シートに空気吸引力（バキューム圧）を及ぼすために多孔質板により形成する必要があるが、この多孔質板の孔径が大きいと、シートが空気吸引力によって変形してしまうため、多孔質板の孔径を微小化する必要がある。多孔質板の形成方法として、金属板をパンチング加工して多孔質板を形成することが考えられるが、吸着搬送テーブルの上面として要求される強度を確保するために、板厚をある程度厚くした金属板にパンチング加工により微小な孔を形成することは困難である。そこで、連続気孔性の焼結金属により多孔質板を形成することが考えられるが、焼結金属は非常に高価であるという欠点がある。
【００１３】
このような問題を解決するために、請求項５のように、吸着搬送テーブルの上面を、多数の微小な孔が形成された少なくとも２枚の金属板を積層した積層多孔板により構成し、その上側の金属板の孔を下側の金属板の孔と対向させると共に、上側の金属板の孔を下側の金属板の孔よりも小さく形成するようにすると良い。つまり、板厚の薄い金属板は、パンチング加工等により微小な孔を形成できるが、吸着搬送テーブルの上面として要求される強度を確保できない。一方、板厚の厚い金属板は、要求される強度を確保できるが、パンチング加工等により微小な孔を形成できない。その点、パンチング加工等により微小な孔を形成した薄い金属板の下面に、この微小な孔よりも大きい孔をパンチング加工等により形成した厚い金属板を積層した積層多孔板を用いれば、微小な孔を形成した薄い金属板をその下面側から強度のある厚い金属板で補強することができ、吸着搬送テーブルの上面として要求される微小な孔径と大きな強度を両立させることができる。しかも、積層多孔板は連続気孔性の焼結金属と比較して格段に安価であるという利点がある。
【００１４】
また、請求項６のように、吸着搬送テーブルの搬入側と搬出側にそれぞれ吸着固定テーブルを設置し、搬入側吸着固定テーブルと搬出側吸着固定テーブルとの間を吸着搬送テーブルを往復移動させることでシートを搬送するように構成し、前記吸着搬送テーブル上にシートを吸着して搬送するときには、前記搬入側吸着固定テーブルと前記搬出側吸着固定テーブルによるシートの吸着を解除し、前記吸着搬送テーブルを搬送方向と反対方向に後戻りさせるときには、前記吸着搬送テーブルによるシートの吸着を解除すると共に、前記搬入側吸着固定テーブルと前記搬出側吸着固定テーブルにシートを吸着して該シートがずれるのを防止するようにすると良い。このようにすれば、吸着搬送テーブルを搬送方向と反対方向に後戻りさせるときにシートがずれるのを防止することができるので、シートの送りピッチ精度を良好に維持できると共に、シートを平面状に真っ直ぐに伸ばした状態を維持しながら搬送することができる。
【００１５】
この場合、請求項７のように、搬出側吸着固定テーブルを、その上面が搬出側に向かって下がり傾斜するように設けるようにすると良い。例えば、多層基板製造工程集約機の最終工程を配線パターン印刷とする場合、配線パターンの印刷に用いるスクリーンマスクの一部が搬出側吸着固定テーブル上に跨がった状態になる可能性がある。この場合、搬出側吸着固定テーブル上に位置するシートの配線パターンはまだ乾燥していないため、搬出側吸着固定テーブルが水平に設置されていると、搬出側吸着固定テーブル上のシートの未乾燥配線パターンにスクリーンマスクが密着して未乾燥配線パターンの線幅が滲んで広がったり、かすれてしまう可能性が有り、配線パターンの印刷品質が低下する。その点、請求項７では、搬出側吸着固定テーブルを、その上面が搬出側に向かって下がり傾斜するように設けるため、搬出側吸着固定テーブル上のシートの未乾燥配線パターンにスクリーンマスクが密着することを防止できて、未乾燥配線パターンの滲みやかすれを防止することができる。
【００１６】
ところで、吸着搬送テーブル上にシートを吸着保持して搬送する際に、吸着搬送テーブルから送り出されたシートに対して、搬送方向に引っ張るテンションを作用させると、吸着搬送テーブルから送り出されたシートを搬送方向に真っ直ぐに伸ばした状態で搬送することができ、シート送りピッチ精度を一層向上できる。しかし、シートにテンションを作用させる手段としてテンションローラを用いると、シートの未乾燥配線パターンにテンションローラが接触して未乾燥配線パターンの線幅が滲んで広がったり、かすれてしまう可能性が有り、配線パターンの印刷品質が低下する。
【００１７】
そこで、請求項８のように、吸着搬送テーブルから送り出されたシートを掛けて垂れ下がらせる送りローラと、この送りローラから垂れ下がった前記シートの幅方向両端部にクランプ手段によって吊り支持されることで前記シートにテンションを付与するテンション付与装置と、このテンション付与装置を上昇させる上昇装置と、前記テンション付与装置のクランプ手段及び前記上昇装置の動作を制御する制御手段とを備え、前記テンション付与装置が所定の下降位置まで下降する毎に、前記クランプ手段のクランプを解除して前記上昇装置により前記テンション付与装置を所定の上昇位置まで上昇させた後、前記クランプ手段をクランプ動作させて前記シートの幅方向両端部に前記テンション付与装置を吊り支持させるようにすると良い。このようにすれば、テンション付与装置がシートの未乾燥配線パターンに接触することなく、シートにテンションを作用させることができる。
【００１８】
この場合、テンション付与装置を所定の上昇位置まで上昇させるときには、シートにテンションを作用させることができないため、請求項９のように、テンション付与装置を上昇させる動作を吸着搬送テーブルの停止中に実行するようにすると良い。吸着搬送テーブルの停止中であれは、シートにテンションを作用させなくても、シートが真っ直ぐに伸びた状態に維持されるためである。
【００１９】
更に、請求項１０のように、前記テンション付与装置の上方において前記シートの幅方向両端部をクランプして固定する固定クランプ装置を設け、前記テンション付与装置が所定の下降位置まで下降する毎に、前記吸着搬送テーブルの停止中に前記固定クランプ装置により前記シートの幅方向両端部をクランプしてシートの位置を固定した後、前記テンション付与装置のクランプ手段のクランプを解除して前記上昇装置により前記テンション付与装置を所定の上昇位置まで上昇させ、その後、前記テンション付与装置のクランプ手段をクランプ動作させて前記シートの幅方向両端部に前記テンション付与装置を吊り支持させた後、前記固定クランプ装置のクランプを解除するようにしても良い。このようにすれば、テンション付与装置を上昇させるときに、シートの位置を固定クランプ装置により固定することができるので、テンション付与装置を上昇させるときのシートのずれを確実に防止することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。まず、複数の工程の装置を１台の装置に集約したロールツーロール方式の多層基板製造工程集約機全体の概略構成を図１に基づいて説明する。
【００２１】
シート送出し装置１１は、セラミックグリーンシート１２（多層基板形成用のシート）を巻回したロール１３をアウタロータ型のモータ１４のロータ（回転シリンダ）に装着して回転駆動することでセラミックグリーンシート１２を送り出すようにしている。
【００２２】
シート送出し装置１１のシート送出し方向には、工程集約台１５が設置され、この工程集約台１５上には、セラミックグリーンシート１２を空気吸引力により吸着保持した状態で搬送する吸着搬送テーブル１６が設置されている。工程集約台１５のシート搬入側（図１の左側）には、セラミックグリーンシート１２を吸着搬送テーブル１６上へ送る送りローラ１７と搬入側吸着固定テーブル１８が設けられている。搬入側吸着固定テーブル１８は、吸着搬送テーブル１６を搬送方向と反対方向に後戻りさせる際にセラミックグリーンシート１２を吸着保持して、セラミックグリーンシート１２が後戻りするのを防止する。送りローラ１７の内部には、該送りローラ１７を回転駆動するアウタロータ型のモータ（図示せず）が内蔵されている。
【００２３】
セラミックグリーンシート１２を搬入側吸着テーブル１８に吸着する前に、送りローラ１７をシート搬送方向と逆方向に回転させてセラミックグリーンシート１２にテンションを作用させることで、搬入側吸着テーブル１８上でのセラミックグリーンシート１２のしわの発生を防止する。この搬入側吸着テーブル１８上でのセラミックグリーンシート１２のしわ防止は、送りローラ１７の逆回転の他に、吸着搬送テーブル１６上でのセラミックグリーンシート１２の常時吸着も考えられる。尚、送りローラ１７は、粘着性のある材料で形成しても良い。
【００２４】
一方、工程集約台１５のシート搬出側（図１の右側）には、搬出側吸着固定テーブル１９と送りローラ２０とが設けられている。搬出側吸着固定テーブル１９は、吸着搬送テーブル１６を搬送方向と反対方向に後戻りさせる際にセラミックグリーンシート１２を吸着保持して、セラミックグリーンシート１２が後戻りするのを防止する。この搬出側吸着固定テーブル１９は、その上面が搬出側に向かって下がり傾斜するように固定されている。送りローラ２０から送り出されたセラミックグリーンシート１２は、シート巻取り装置２１によって巻き取られる。尚、セラミックグリーンシート１２を搬出側吸着テーブル１９に吸着する前に、送りローラ２０をシート搬送方向に回転させてセラミックグリーンシート１２にテンションを作用させることで、搬出側吸着テーブル１９上でのセラミックグリーンシート１２のしわの発生を防止する。
【００２５】
工程集約台１５上には、ビアホール加工装置２２、ビアホール加工検査装置２３、充填印刷装置２４、充填印刷検査装置２５、配線パターン印刷装置２６がシート搬送方向に並べて設置されている。
【００２６】
ビアホール加工装置２２は、例えばサンドブラスト装置により構成され、セラミックグリーンシート１２上にサンドブラスト用マスク３１をセットして、その上方に配置したサンドブラスト用ノズル３２からサンド（ブラスト粉末）を下向きにブラスト（噴射）することで、セラミックグリーンシート１２にビアホール３３（図２参照）を形成する。この場合、図２に示すように、セラミックグリーンシート１２の下面には、キャリアフィルム３４がラミネートされ、ビアホール３３がキャリアフィルム３４を貫通しないようにセラミックグリーンシート１２のみにビアホール３３を形成する。サンドブラストは、セラミックグリーンシート１２のみにビアホール３３を形成する加工法として用いられている。
【００２７】
ビアホール加工検査装置２３は、ビアホール加工装置２２と充填印刷装置２４との間に設置され、セラミックグリーンシート１２の下側に第１の光源３５が配置され、セラミックグリーンシート１２の上側に一次元カメラ３６（ラインセンサ）が配置され、この一次元カメラ３６がセラミックグリーンシート１２を挟んで第１の光源３５と対向した構成となっている。一次元カメラ３６は、セラミックグリーンシート１２の検査領域の幅全体（搬送方向と直角方向の幅全体）を視野に収めるように設置され、第１の光源３５は、例えば蛍光灯、ハロゲン光源、ファイバ光源（ハロゲン光源等の光をファイバで導く光源）等を用いれば良い。尚、複数台の一次元カメラ３６を並設して、複数台の一次元カメラ３６によってセラミックグリーンシート１２の検査領域の幅全体を視野に収めるようにしても良い。
【００２８】
充填印刷装置２４は、スクリーン印刷装置により構成され、セラミックグリーンシート１２上にスクリーンマスク３７をセットして、このスクリーンマスク３７上に供給した導体ペーストをスキージ３８で押し広げることで、該スクリーンマスク３７の開口部から導体ペーストをビアホール３３に充填する。
【００２９】
充填印刷検査装置２５は、充填印刷装置２４と配線パターン印刷装置２６との間に設置され、ビアホール加工検査装置２３と同一の構成となっている。この充填印刷検査装置２５は、セラミックグリーンシート１２の下側に第２の光源４１が配置され、セラミックグリーンシート１２の上側に一次元カメラ４２（ラインセンサ）が配置され、この一次元カメラ４２がセラミックグリーンシート１２を挟んで第２の光源４１と対向した構成となっている。一次元カメラ４２は、セラミックグリーンシート１２の検査領域の幅全体（搬送方向と直角方向の幅全体）を視野に収めるように設置され、第２の光源４１は、例えば蛍光灯、ハロゲン光源、ファイバ光源（ハロゲン光源等の光をファイバで導く光源）等を用いれば良い。尚、複数台の一次元カメラ４２を並設して、複数台の一次元カメラ４２でセラミックグリーンシート１２の検査領域の幅全体を視野に収めるようにしても良い。
【００３０】
配線パターン印刷装置２６は、充填印刷装置２４と同じく、スクリーン印刷装置により構成され、セラミックグリーンシート１２上にスクリーンマスク４３をセットして、このスクリーンマスク４３上に供給した導体ペーストをスキージ４４で押し広げることで、該スクリーンマスク４３の開口部から導体ペーストをセラミックグリーンシート１２上に押し出して配線パターンを印刷する。
【００３１】
この場合、ビアホール加工装置２２と充填印刷装置２４と配線パターン印刷装置２６との間の距離は、ビアホール加工、充填印刷、配線パターン印刷の３つの工程を同時に実行できるように設定されている。つまり、ビアホール加工装置２２でセラミックグリーンシート１２にビアホール３３を加工しているときに、充填印刷装置２４の位置に、何回か前にビアホール３３が加工された部分が位置し、且つ、配線パターン印刷装置２６の位置に、何回か前に充填印刷された部分が位置するように、ビアホール加工装置２２と充填印刷装置２４と配線パターン印刷装置２６との間の距離が設定されている。
【００３２】
次に、図４乃至図９に基づいて吸着搬送テーブル１６の構成を説明する。ここで、図４は吸着搬送テーブル１６の斜視図、図５は吸着搬送テーブル１６の正面図、図６は吸着搬送テーブル１６の側面図、図７は吸着搬送テーブル１６の平面図、図８は吸着搬送テーブル１６の駆動機構の主要部の斜視図、図９は吸着ボックス４５の部分断面図である。
【００３３】
吸着搬送テーブル１６は、複数の吸着ボックス４５をベース板４６上に搬送方向に一列に配列して構成されている。そして、図６に示すように、ベース板４６の下面両側に設けたスライド部材４７のレール溝４８を工程集約台１５上に設けたレール４９にスライド可能に嵌め込むことで、吸着搬送テーブル１６がレール４９にスライド可能に支持されている。レール４９は、シート搬送方向に平行に延びている。
【００３４】
図９に示すように、各吸着ボックス４５は、金属製の本体ボックス５１の上面に、多数の微小な孔が形成された２枚の金属板５２，５３を積層した積層多孔板５４を取り付けたものであり、上側の金属板５２の孔を下側の金属板５３の孔と対向させると共に、上側の金属板５２は、パンチング加工しやすい板厚の薄い金属板を使用して微小な孔をパンチング加工等により形成し、下側の金属板５３は、強度のある板厚の厚い金属板を使用して、上側の金属板５２の孔よりも大きい孔をパンチング加工等により形成している。各吸着ボックス４５の空気吸入口５５（図４及び図５参照）は、ゴムホース（図示せず）と圧力切換バルブ（図示せず）等を介して真空ポンプ（図示せず）に接続されている。圧力切換バルブは、各吸着ボックス４５内に真空ポンプのバキューム圧を導入する位置と大気圧を導入する位置とに切り換える三方電磁バルブ等により構成されている。
【００３５】
尚、搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９もそれぞれ吸着ボックス４５により構成されている。搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９は、吸着搬送テーブル１６とは別系統の圧力切換バルブ（図示せず）を介して真空ポンプ（図示せず）に接続されている。そして、吸着搬送テーブル１６上にセラミックグリーンシート１２を吸着して搬送するときには、搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９に大気圧を導入して搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９によるセラミックグリーンシート１２の吸着を解除する。その後、吸着搬送テーブル１６を搬送方向と反対方向に後戻りさせるときには、吸着搬送テーブル１６の各吸着ボックス４５に大気圧を導入して吸着搬送テーブル１６によるセラミックグリーンシート１２の吸着を解除すると共に、搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９にバキューム圧を導入して搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９とによってセラミックグリーンシート１２を吸着し、吸着搬送テーブル１６を後戻りさせる際にセラミックグリーンシート１２がずれるのを防止する。
【００３６】
吸着搬送テーブル１６の駆動源となるモータ５６は、工程集約台１５上に固定され、このモータ５６の回転軸には、送りねじ５７（図８参照）が連結され、モータ５６の回転運動を送りねじ５７によって直線運動に変換して吸着搬送テーブル１６を直線スライド移動させる構成となっている。この場合、吸着搬送テーブル１６は、モータ５６の正逆回転によって搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９との間を往復移動する。この際、吸着搬送テーブル１６の停止位置の判定方法は、センサ等で吸着搬送テーブル１６の位置を検出するようにしたり、或は、モータ５６の回転量（回転角）から吸着搬送テーブル１６の位置を推定するようにしても良い。尚、吸着搬送テーブル１６の往復駆動機構は、モータ５６と送りねじ５７の組み合わせに限定されず、例えばエアシリンダ、油圧シリンダ等を用いても良い。
【００３７】
図３に示すように、吸着搬送テーブル１６のうち、ビアホール加工検査装置２３と充填印刷検査装置２５が設置される部分は、吸着ボックス４５が設けられておらず空間となっており、その空間部分の上面に透明板５８（例えば透明ガラス板、透明プラスチック板等）がその両側の吸着ボックス４５の上面と同一高さとなるように固定され、この透明板５８の下側の空間部分に光源３５，４１が配置されている。
尚、光源３５，４１と一次元カメラ３６，４２の位置関係は上下反対であっても良い。
【００３８】
次に、送りローラ２０から送り出されたセラミックグリーンシート１２にテンションを付与する機構を図１０乃至図１４に基づいて説明する。ここで、図１０はテンション付与機構及びその周辺部の正面図、図１１は同斜視図、図１２は同上面図、図１３はテンション付与機構の斜視図、図１４は同上面図である。
【００３９】
送りローラ２０の両側に、セラミックグリーンシート１２の幅方向の位置決めをする２枚のガイド板６０が設けられ、両ガイド板６０間を送りローラ２０によって送り出されるセラミックグリーンシート１２が、送りローラ２０の送出し側下方部に設けられたシート導出スリット６１（図１１及び図１２参照）から真下に導出される。
【００４０】
シート導出スリット６１の下方には、固定クランプ装置６２と移動クランプ装置６３（テンション付与装置）とが支持フレーム６４に支持されている。固定クランプ装置６２は、シート導出スリット６１の直下に固定され、一方、移動クランプ装置６３は、支持フレーム６４に上下方向に取り付けられたレール６５にスライド嵌合部材６６（図１３参照）を介して上下方向にスライド可能に支持されている。
【００４１】
固定クランプ装置６２は、コ字形アーム６７の両側に電磁石６８で動作するクランプ部材６９を設けた構成であり、移動クランプ装置６３を上昇させるときに両側のクランプ部材６９でセラミックグリーンシート１２の幅方向両端部をクランプすることでセラミックグリーンシート１２を固定する。
【００４２】
一方、移動クランプ装置６３も、固定クランプ装置６２と同じく、コ字形アーム７０の両側に電磁石７１で動作するクランプ部材７２（クランプ手段）を設けた構成であり、両側のクランプ部材７２でセラミックグリーンシート１２の幅方向両端部をクランプしてセラミックグリーンシート１２に移動クランプ装置６３の重量を支えさせることで、セラミックグリーンシート１２にテンションを付与する。尚、移動クランプ装置６３にテンション調整用の重りを取り付けるようにしても良く、この場合は、移動クランプ装置６３に取り付けるテンション調整用の重りを、要求されるテンションに合わせて取り替えるようにすると良い。
【００４３】
また、支持フレーム６４の下端部には、エアシリンダ７３（上昇装置）が上向きに取り付けられ、このエアシリンダ７３のピストンロッド７４を上方に突出させることで、このピストンロッド７４によって移動クランプ装置６３を上限位置まで押し上げるようにしている。尚、エアシリンダ７３に代えて、油圧シリンダ等を用いても良く、或は、モータと送りねじとを組み合わせて、移動クランプ装置６３を上昇させる上昇装置を用いても良い。
【００４４】
これら移動クランプ装置６３、固定クランプ装置６２、エアシリンダ７３の動作は、吸着搬送テーブル１６の搬送動作を制御する搬送制御用マイクロコンピュータ（制御手段）によって制御される。
【００４５】
以上のように構成した多層基板製造工程集約機の動作について説明する。シート送出し装置１１から送り出されたセラミックグリーンシート１２を吸着搬送テーブル１６上面に吸着し、モータ５６によって吸着搬送テーブル１６を搬送方向に移動させることで、セラミックグリーンシート１２を搬送する。これにより、ビアホール加工装置２２の位置にセラミックグリーンシート１２のビアホール加工対象部位が到達した時点で、吸着搬送テーブル１６の搬送動作を停止する。この場合、ビアホール加工装置２２の位置にセラミックグリーンシート１２のビアホール加工対象部位が到達すると、これと同時に、充填印刷装置２４の位置に、何回か前にビアホール３３が加工された部分が到達し、且つ、配線パターン印刷装置２６の位置に、何回か前に充填印刷された部分が到達する。従って、ビアホール加工装置２２の位置にセラミックグリーンシート１２のビアホール加工対象部位が到達した時点で、吸着搬送テーブル１６の搬送動作を停止し、ビアホール加工、充填印刷、配線パターン印刷の３つの工程を同時に実行する。
【００４６】
これら３つの工程を終了した時点で、吸着搬送テーブル１６によるセラミックグリーンシート１２の搬送を再開し、次のビアホール加工対象部位がビアホール加工装置２２の位置に到達するまで、吸着搬送テーブル１６の搬送動作を続行する。
【００４７】
この際、吸着搬送テーブル１６は、搬送方向の限界位置まで移動すると、吸着搬送テーブル１６の各吸着ボックス４５に大気圧を導入して吸着搬送テーブル１６によるセラミックグリーンシート１２の吸着を解除し、その代わりに、搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９にバキューム圧を導入して搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９とによってセラミックグリーンシート１２を吸着し、セラミックグリーンシート１２がずれるのを防止する。この状態で、吸着搬送テーブル１６を搬送方向と反対方向に移動させ、その限界位置に到達した時点で、吸着搬送テーブル１６の各吸着ボックス４５にバキューム圧を導入して吸着搬送テーブル１６上にセラミックグリーンシート１２を吸着すると共に、搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９に大気圧を導入して搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９によるセラミックグリーンシート１２の吸着を解除する。この状態で、吸着搬送テーブル１６を搬送方向に移動させることで、セラミックグリーンシート１２を搬送する。
【００４８】
吸着搬送テーブル１６上面にセラミックグリーンシート１２を吸着して搬送するときは、固定クランプ装置６２の電磁石６８の通電をオフしてクランプ部材６９をクランプ解除位置に移動させることで、セラミックグリーンシート１２のクランプ（固定）を解除すると共に、移動クランプ装置６３の電磁石７１に通電してクランプ部材７２をクランプ位置に移動させて、両側のクランプ部材７２でセラミックグリーンシート１２の幅方向両端部をクランプしてセラミックグリーンシート１２に移動クランプ装置６３の重量を支えさせることで、セラミックグリーンシート１２にテンションを付与する。この状態では、セラミックグリーンシート１２の搬送に応じて移動クランプ装置６３が下降する。
【００４９】
そして、移動クランプ装置６３が所定の下降位置まで下降する毎に、吸着搬送テーブル１６の停止中に固定クランプ装置６２によりセラミックグリーンシート１２の幅方向両端部をクランプして該セラミックグリーンシート１２の位置を固定した後、移動クランプ装置６３のクランプを解除してエアシリンダ７３により移動クランプ装置６３を固定クランプ装置６２近傍の上限位置まで上昇させる。その後、移動クランプ装置６３をクランプ動作させてセラミックグリーンシート１２の幅方向両端部に移動クランプ装置６３を吊り支持させて該セラミックグリーンシート１２にテンションを作用させた後、固定クランプ装置６２のクランプを解除する。この後は、セラミックグリーンシート１２の搬送に応じて移動クランプ装置６３が下降する。
【００５０】
このセラミックグリーンシート１２の搬送中に、検査用マイクロコンピュータは、ビアホール加工検査装置２３の一次元カメラ３６の出力から得られた画像情報によってビアホール３３の加工不良を検査し、更に、充填印刷検査装置２５の一次元カメラ４２の出力から得られた画像情報によってビアホール３３の充填印刷の不良を検査する。
【００５１】
この場合、検査用マイクロコンピュータは、ビアホール３３の充填印刷に使用するスクリーンマスク３７（又はビアホール加工に使用するサンドブラスト用マスク３１）のデータを取り込んでビアホール３３の位置のデータを取得する。ビアホール３３の充填印刷に使用するスクリーンマスク３７（又はビアホール加工に使用するサンドブラスト用マスク３１）の開口部の位置がビアホール３３の位置と正確に合致しているため、スクリーンマスク３７（又はサンドブラスト用マスク３１）の開口部の位置のデータをビアホール３３の位置のデータとして使用することができる。従って、スクリーンマスク（又はサンドブラスト用マスク３１）のデータに基づいてビアホール３３の位置のデータを取得するようにすれば、改めてビアホール３３の位置のデータを作成する必要がなく、セットアップに要する時間を短くすることができる。
【００５２】
或は、予めビアホール加工されたサンプルグリーンシートを、ビアホール加工装置２２を停止させた状態で吸着搬送テーブル１６により搬送し、ビアホール加工検査装置２３でサンプルグリーンシートのビアホール３３を検出させることで、ビアホール３３の位置のデータを取得するようにしても良い。このようにすれば、ビアホール充填印刷検査装置２３を使用して実際のビアホール３３の位置を正確に検出できるため、ビアホール３３の位置の正確なデータを作成することができる。
【００５３】
本実施形態では、ビアホール加工検査装置２３と充填印刷検査装置２５は、共にセラミックグリーンシート１２の幅全体を視野に収める一次元カメラ３６，４２を使用し、セラミックグリーンシート１２の搬送動作と同期してセラミックグリーンシート１２の検査領域を幅方向（搬送方向と直角方向）に走査する。一次元カメラ３６，４２は、セラミックグリーンシート１２が一定ピッチ移動する毎に、セラミックグリーンシート１２の表面を幅方向に高速で走査して一次元画像情報を検査用マイクロコンピュータに出力し、この一次元画像情報を時系列に蓄積することで、セラミックグリーンシート１２の検査領域の二次元画像を作り出す。
【００５４】
検査用マイクロコンピュータは、ビアホール加工検査装置２３の一次元カメラ３６の出力から得られた画像情報を用いて、ビアホール３３が記憶データ通りの位置に形成されているか否かを判定し、ビアホール３３の加工不良を検査する。
【００５５】
更に、検査用マイクロコンピュータは、充填印刷検査装置２５の一次元カメラ４２の出力から得られた画像情報を用いて、各ビアホール３３の位置における透過光量を計測し、予め設定した光量以上の透過光がビアホール３３の位置にあるか否かで、充填印刷の有無を検査する。
この場合、光源３５，４１は、安全で安価な光源（例えば可視光、近赤外線の光源）を使用できるという利点がある。
【００５６】
尚、セラミックグリーンシート１２が光源からの光を少し透過する場合は、予めサンプルの透過光量を測定して、サンプルの透過光量を基準にして充填印刷の良否の判定基準値を設定するようにしても良い。或は、光源４１として近赤外線を用いて、ＩＲフィルタを通して透過光を検出するようにすれば、セラミックグリーンシート１２の色やシートを透過する光に左右されず、近赤外線の波長のみを検出して充填印刷の良否を精度良く検査することができる。
【００５７】
ところで、従来のロールツーロール又はロールツーシート方式は、ロールから送り出されたシートをテンションローラ等でテンションをかけながらコンベアや巻取リールの巻取力によって搬送するようにしている（特許第２５０４２７７号公報参照）。しかし、このようなシート搬送方法では、シートの搬送方向の相対的な位置関係がテンションローラ等によるシートの撓み量によって変化してしまうため、各ステーション毎にシートの位置決め・位置検出を行う必要があり、構成が非常に複雑で高価になるという欠点があった。
【００５８】
これに対して、本実施形態では、ロール１３から送り出されたセラミックグリーンシート１２を搬送する手段として吸着搬送テーブル１６を使用し、セラミックグリーンシート１２を吸着搬送テーブル１６上に空気吸引力（バキューム圧）により吸着保持した状態で搬送するようにしているため、セラミックグリーンシート１２の搬送途中でテンションローラ等によってセラミックグリーンシート１２のしわ取りを行う必要がなくなり、セラミックグリーンシート１２を平面状に真っ直ぐに伸ばした状態で搬送することができる。このため、セラミックグリーンシート１２の搬送方向の相対的な位置ずれがなくなり、セラミックグリーンシート１２の送りピッチ精度を確保することができて、各工程の装置毎にセラミックグリーンシート１２の位置決め・位置検出を行う必要がなくなり、各工程の装置を簡単化することができる。これにより、吸着搬送テーブル１６を支持する工程集約台１５上に複数の工程の装置をコンパクトに集約することができて、製造設備の小型化、組付工数低減、低コスト化を実現できる。しかも、セラミックグリーンシート１２の厚みや材質に応じてローラのテンションを調整しなくても、安定したシート搬送精度を確保することができ、品質の優れた製品を能率良く製造することができる。
【００５９】
ところで、吸着搬送テーブル１６の上面は、セラミックグリーンシート１２に空気吸引力（バキューム圧）を及ぼすために多孔質板により形成する必要があるが、この多孔質板の孔径が大きいと、セラミックグリーンシート１２が空気吸引力によって変形してしまうため、多孔質板の孔径を微小化する必要がある。多孔質板の形成方法として、金属板をパンチング加工して多孔質板を形成することが考えられるが、吸着搬送テーブル１６の上面として要求される強度を確保するために、板厚をある程度厚くした金属板にパンチング加工により微小な孔を形成することは困難である。そこで、連続気孔性の焼結金属により多孔質板を形成することが考えられるが、焼結金属は非常に高価であるという欠点がある。
【００６０】
これに対して、本実施形態では、吸着搬送テーブル１６の上面を、多数の微小な孔が形成された２枚の金属板５２，５３を積層した積層多孔板５４により構成し、その上側の金属板５２の孔を下側の金属板５３の孔と対向させると共に、上側の金属板５２の孔を下側の金属板５３の孔よりも小さく形成するようにしている。つまり、板厚の薄い金属板５２は、パンチング加工等により微小な孔を形成できるが、吸着搬送テーブル１６の上面として要求される強度を確保できない。一方、板厚の厚い金属板５３は、要求される強度を確保できるが、パンチング加工等により微小な孔を形成できない。この点を考慮して、本実施形態では、パンチング加工等により微小な孔を形成した薄い金属板５２の下面に、この微小な孔よりも大きい孔をパンチング加工等により形成した厚い金属板５３を積層した積層多孔板５４を用いるようにしたので、微小な孔を形成した薄い金属板５２をその下面側から強度のある厚い金属板５３で補強することができ、吸着搬送テーブルの上面として要求される微小な孔径と大きな強度を両立させることができる。しかも、積層多孔板５４は連続気孔性の焼結金属と比較して格段に安価であるという利点がある。尚、積層多孔板５４は、多数の微小な孔が形成された３枚以上の金属板を積層して構成しても良い。
しかしながら、本発明は、積層多孔板５４に代えて、連続気孔性の焼結金属板を用いても良く、この場合でも、本発明の所期の目的を達成することができる。
【００６１】
また、本実施形態では、吸着搬送テーブル１６の搬入側と搬出側にそれぞれ吸着固定テーブル１８，１９を設置し、搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９との間を吸着搬送テーブル１６を往復移動させることで、セラミックグリーンシート１２を搬送するように構成し、吸着搬送テーブル１６上にセラミックグリーンシート１２を吸着して搬送するときには、搬入側吸着固定テーブル１８と搬出側吸着固定テーブル１９によるセラミックグリーンシート１２の吸着を解除し、吸着搬送テーブル１６を搬送方向と反対方向に後戻りさせるときには、吸着搬送テーブル１６によるセラミックグリーンシート１２の吸着を解除すると共に、搬入側吸着固定テーブル１０と搬出側吸着固定テーブル１９にセラミックグリーンシート１２を吸着するようにしているため、吸着搬送テーブル１６を搬送方向と反対方向に後戻りさせるときにセラミックグリーンシート１２がずれるのを防止することができ、セラミックグリーンシート１２の送りピッチ精度を良好に維持できると共に、セラミックグリーンシート１２を平面状に真っ直ぐに伸ばした状態を維持しながら搬送することができる。
【００６２】
ところで、本実施形態のように、多層基板製造工程集約機の最終工程を配線パターン印刷とする場合、配線パターンの印刷に用いるスクリーンマスク３７の一部が搬出側吸着固定テーブル１９上に跨がった状態になる可能性がある。この場合、搬出側吸着固定テーブル１９上に位置するセラミックグリーンシート１２の配線パターンはまだ乾燥していないため、搬出側吸着固定テーブル１９が水平に設置されていると、搬出側吸着固定テーブル１９上のセラミックグリーンシート１２の未乾燥配線パターンにスクリーンマスク４３が密着して未乾燥配線パターンの線幅が滲んで広がったり、かすれてしまう可能性が有り、配線パターンの印刷品質が低下する。
【００６３】
これに対し、本実施形態では、搬出側吸着固定テーブル１９を、その上面が搬出側に向かって下がり傾斜するように設置しているため、搬出側吸着固定テーブル１９上のセラミックグリーンシート１２の未乾燥配線パターンにスクリーンマスク４３が密着することを防止できて、未乾燥配線パターンの滲みやかすれを防止することができる。
【００６４】
ところで、吸着搬送テーブル１６上にセラミックグリーンシート１２を吸着保持して搬送する際に、吸着搬送テーブル１６から送り出されたセラミックグリーンシート１２に対して、搬送方向に引っ張るテンションを作用させると、吸着搬送テーブル１６から送り出されたセラミックグリーンシート１２を搬送方向に真っ直ぐに伸ばした状態で搬送することができ、シート送りピッチ精度を一層向上できる。しかし、セラミックグリーンシート１２にテンションを作用させる手段としてテンションローラを用いると、セラミックグリーンシート１２の未乾燥配線パターンにテンションローラが接触して未乾燥配線パターンの線幅が滲んで広がったり、かすれてしまう可能性が有り、配線パターンの印刷品質が低下するという不具合が生じる。
【００６５】
これに対して、本実施形態では、吸着搬送テーブル１６から送り出されたセラミックグリーンシート１２を送りローラ２０に掛けて垂れ下がらせると共に、そのセラミックグリーンシート１２の幅方向両端部に移動クランプ装置６３をクランプさせて、その重量によってセラミックグリーンシート１２にテンションを付与するようにしたので、テンション付与装置である移動クランプ装置６３がセラミックグリーンシート１２の未乾燥配線パターンに接触することなく、セラミックグリーンシート１２にテンションを付与することができ、配線パターンの印刷品質を低下させずに済む。
【００６６】
更に、本実施形態では、移動クランプ装置６３の上方に固定クランプ装置６２を設け、移動クランプ装置６３が所定の下降位置まで下降する毎に、吸着搬送テーブル１６の停止中に固定クランプ装置６２によりセラミックグリーンシート１２の幅方向両端部をクランプして該セラミックグリーンシート１２の位置を固定した後、移動クランプ装置６３のクランプを解除してエアシリンダ７３により移動クランプ装置６３を固定クランプ装置６２近傍の上限位置まで上昇させ、その後、移動クランプ装置６３をクランプ動作させてセラミックグリーンシート１２の幅方向両端部に移動クランプ装置６３を吊り支持させて該セラミックグリーンシート１２にテンションを作用させた後、固定クランプ装置６２のクランプを解除するようにしたので、移動クランプ装置６３を上昇させるときに、セラミックグリーンシート１２の位置を固定クランプ装置６２により固定することができ、移動クランプ装置６３を上昇させるときのセラミックグリーンシート１２のずれを確実に防止することができる。
【００６７】
一方、ビアホール加工検査装置２３と充填印刷検査装置２５の受光手段は、一次元カメラに代えて、ＣＣＤカメラ等の二次元カメラを使用するようにしても良い。二次元カメラを使用する場合は、セラミックグリーンシート１２の検査領域を複数の撮影領域に区画し、ビアホール３３の充填印刷のためにセラミックグリーンシート１２の搬送を一時的に停止している期間中に、二次元カメラで１つの撮影領域を撮影した後、その隣の撮影領域へ二次元カメラを移動させて当該撮影領域を撮影するという処理を繰り返すことで、セラミックグリーンシート１２の検査領域全体の画像情報を取り込むようにしても良い。このようにすれば、ビアホール３３の充填印刷のためにセラミックグリーンシート１２の搬送を一時的に停止している期間中に、先にビアホール加工された部分や充填印刷された部分を検査することができ、ビアホール加工と充填印刷と検査とを同時に行うことができる。
【００６８】
尚、二次元カメラを移動させる場合、二次元カメラと光源とを一体的に移動させるようにしても良い。但し、検査対象部分全体を照明できる面光源を使用する場合は、面光源を移動させる必要はない。
【００６９】
本実施形態の多層基板製造工程集約機は、工程集約台１５上に、ビアホール加工装置２２、ビアホール加工検査装置２３、充填印刷装置２４、充填印刷検査装置２５、配線パターン印刷装置２６を配置したが、例えば、ビアホール加工検査装置２３及び／又は充填印刷検査装置２５を省略したり、或は、配線パターン印刷装置２６の後に、配線パターンをカメラ等で検査する配線パターン検査装置を追加するようにしても良い。また、ビアホール加工装置２２の前に、位置決め孔を加工する位置決め孔加工装置を追加したり、配線パターン印刷装置２６の後（又は配線パターン検査装置の後）に、配線パターンを乾燥する乾燥装置を追加するようにしても良い。或は、工程集約台１５上の最終工程で、セラミックグリーンシート１２を製品基板サイズに切断するシート切断装置を追加するようにしても良い。
【００７０】
要するに、本発明は、工程集約台１５上に、少なくとも、ビアホール加工装置２２、充填印刷装置２４、配線パターン印刷装置２６を配置すれば良く、必要に応じて他の装置を追加すれば良い。
【００７１】
その他、本発明は、セラミックグリーンシートに代えて、多層基板形成用のプラスチックシートを用いても良く、また、ビアホールの加工方法として、サンドブラストに代えて、レーザー加工又はパンチング加工等を用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す工程集約装置全体の正面図
【図２】キャリアフィルム付きのセラミックグリーンシートの部分拡大縦断面図
【図３】ビアホール加工検査装置（充填印刷検査装置）の構成を説明する正面図
【図４】吸着搬送テーブルの斜視図
【図５】吸着搬送テーブルの正面図
【図６】吸着搬送テーブルの側面図
【図７】吸着搬送テーブルの平面図
【図８】吸着搬送テーブルの駆動機構の主要部の斜視図
【図９】吸着ボックスの部分断面図
【図１０】テンション付与機構及びその周辺部の正面図
【図１１】テンション付与機構及びその周辺部の斜視図
【図１２】搬出側吸着固定テーブルと送りローラ及びその周辺部の上面図
【図１３】テンション付与機構の斜視図
【図１４】テンション付与機構の上面図
【符号の説明】
１１…シート送出し装置、１２…セラミックグリーンシート（多層基板形成用のシート）、１３…ロール、１５…工程集約台、１６…吸着搬送テーブル、１８…搬入側吸着固定テーブル、１９…搬出側吸着固定テーブル、２１…シート巻取り装置、２２…ビアホール加工装置、２３…ビアホール加工検査装置、２４…充填印刷装置、２５…充填印刷検査装置、２６…配線パターン印刷装置、３１…サンドブラスト用マスク、３２…サンドブラスト用ノズル、３３…ビアホール、３４…キャリアフィルム、３５…第１の光源、３６…一次元カメラ、３７…スクリーンマスク、３８…スキージ、４１…第２の光源、４２…一次元カメラ、４３…スクリーンマスク、４４…スキージ、４５…吸着ボックス、４８…レール溝、４９…レール、５２，５３…金属板、５４…積層多孔板、５６…モータ、５７…送りねじ、５８…透明板、６２…固定クランプ装置、６３…移動クランプ装置（テンション付与装置）、６８…電磁石、６９…クランプ部材、７１…電磁石、７２…クランプ部材（クランプ手段）、７３…エアシリンダ（上昇装置）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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