(57)【要約】【課題】有機塩素化合物、生物処理では脱色困難な色度成分を含む被処理水を処理し、ＴＯＣも同時に低減することができる水処理方法と装置を提供する。【解決手段】不純物を含有する被処理水１０を、電子ビーム照射５しながら電気分解７処理することを特徴とする水処理方法としたものであり、前記水処理は、被処理水中に酸化剤を添加して行うことができ、また、前記電気分解処理は、電気分解に用いる電極を電子ビーム照射方向に対して垂直に設置し、該電極にプラス電圧を印加して行うことができ、前記電子ビーム照射は略水平方向から行い、該電子ビーム照射及び電気分解処理は、被処理水の流れがアップフローで行うのがよい。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理水を、電子ビーム照射しながら電気分解処理することを特徴とする水処理方法。
【請求項２】
前記水処理は、被処理水中に酸化剤を添加して行うことを特徴とする請求項１記載の水処理方法。
【請求項３】
前記電気分解処理は、該電気分解に用いる電極を電子ビーム照射方向に対して垂直に設置し、該電極にプラス電圧を印加して行うことを特徴とする請求項１又は２記載の水処理方法。
【請求項４】
前記電子ビーム照射は、略水平方向から行い、該電子ビーム照射及び電気分解処理において、被処理水の流れがアップフローであることを特徴とする請求項１、２又は３に記載の水処理方法。
【請求項５】
被処理水に電子ビームを照射する電子ビーム照射装置と、該被処理水を電気分解処理する電極を備えた反応容器とを有することを特徴とする水処理装置。
【請求項６】
前記電子ビーム照射装置は、電子ビームを反応容器に供給するための一次窓箔と、後段に更に二次窓箔とを有し、該二次窓箔を反応容器内壁の一部とし、同時に電気分解のマイナス電極として用いることを特徴とする請求項５記載の水処理装置。
【請求項７】
前記電子ビーム照射装置には、一次窓箔表面に含酸素気体を供給する含酸素気体供給装置と、含酸素気体中で発生するオゾンと被処理水を接触させるオゾン溶解装置とを付設することを特徴とする請求項６記載の水処理装置。
【請求項８】
前記電子ビーム照射装置は、一次窓箔を反応容器内壁の一部とし、被処理水を用いて該一次窓箔を冷却し、更に該一次窓箔を電気分解処理のマイナス電極として用いることを特徴とする請求項５記載の水処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機塩素化合物を含む被処理水や、染料等に用いられる色度成分を含む被処理水を処理する技術に係り、特に、低濃度の有機塩素化合物を含む被処理水や生物処理では脱色困難な被処理水を処理する水処理方法と装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
水環境の浄化には、一般的に凝集沈殿法や活性汚泥法が用いられている。凝集沈殿法では、凝集剤を被処理水に添加して汚濁物質を凝集させ、汚泥の形で水に含まれているＣＯＤ成分、浮遊物を除去させる。
この汚泥は、焼却等により炭酸ガスに変換されて、無機化の処理が完結する形になる。また、活性汚泥法では、微生物の培養により水溶液中のＣＯＤ成分、汚濁物質は菌体に取り込まれ、汚泥の形で水溶液から分離させる。ここでも汚泥が発生し、汚泥の焼却で無機化処理が完結することになる。なお、被処理水に含まれる化学成分によっては、これらの方法では処理が困難なものも存在する。色度成分は、生物処理では分解困難な典型的例である。例えば、フミン質、メラノイジン、リグニン等由来の黒色成分は、生物的には処理困難であることが公知である。また、有機性の色度成分が含まれている工場廃水の活性汚泥処理では、ＢＯＤ、ＣＯＤが排出基準を満たすことができても、色度を低減できない場合が多い。
【０００３】
また、ダイオキシン等で代表される有機塩素化合物は、長期にわたり安定性があり、生物処理では菌体中に濃縮される傾向があり、分解無害化はほとんど進行しない。このような成分が含まれている場合の処理方法として、活性炭吸着法又はオゾン処理、過酸化水素処理、紫外線照射の物理化学処理法がある。オゾン処理、紫外線照射、過酸化水素酸化は、通常組合せて相乗効果が得られる促進酸化法として実用化されている。
これらの物理化学法は、水溶液中のＣＯＤ、ＢＯＤ成分を低減するのには、生物処理と比較するとコストが掛かる。そのため、特定の用途で用いられることが多い。例えば、活性炭吸着法は、色度、有機塩素化合物を水溶系から除去するのに、特に優れている。なお、活性炭の価格高、使用済み活性炭の処理コストの問題があり、小規模低濃度汚水等の限定された用途でしか使われないのが現状である。
【０００４】
紫外線、オゾン等を用いた促進酸化法でも、大半の色度成分、有機塩素化合物が分解無害化されることが知られている。この促進酸化法で酸化分解反応が進むメカニズムとしては、紫外線照射により過酸化水素、オゾンからＯＨラジカルが生成するためである。促進酸化法は、ＯＨラジカルの酸化分解効果を利用するもので、生物処理に比較すれば短時間で処理が進行するが、例えば、ダイオキシンで汚染された水を処理する場合、１時間近く滞留時間を設ける必要性があるので、あまり有効な方法とはいえない。紫外線より強力な放射線法であるγ線や電子ビームを用いてＯＨラジカルを発生させ、水処理を行う技術の開発も進行している。例えば、低濃度（数〜数十ｐｐｍ）有機塩素化合物で汚染された地下水の処理に、電子ビーム照射処理が用いられたことがある。この電子ビーム水処理では、電子ビームが水分子に衝突し、水分子からＯＨラジカルが発生すると考えられている。
【０００５】
近年、微量有害成分や有害微生物を含む地下水、河川水の浄化や生物処理では、処理困難な着色廃水の処理が問題となっている。このような廃水処理に関しては、前述の処理方法のうち放射線法、特に電子ビーム法が適していることが報告されている。電子ビーム水処理は、前述したように水からＯＨラジカルを発生させるものであるが、ＯＨラジカルの生成効率は必ずしも高くない。これは、水が電子ビームの透過を阻止するためである。電子ビームを水に照射した場合、電子ビームの大半は水を加熱するのに使われ、ＯＨラジカル発生に利用されるのは照射エネルギーの極一部に過ぎない。したがって、通常水処理に電子ビームを用いる場合には、高エネルギータイプ（５ＭｅＶ〜）の電子ビーム発生装置が必要となる。透過率を確保するために、電子ビームが照射される被処理水の流路を、数ミリ程度に設定することも提案されているが、大量処理を行う場合に、このようなラミネート又はフイルム状の流れを照射面積全体に形成させるのは困難である。
【０００６】
また、被処理水を噴霧させて、霧状の被処理水に電子ビームを照射させる方法も考えられるが、噴霧機構を設ける必要性があり、大量処理を行うのには装置構造が複雑化する。さらに、被処理水に含まれている汚染物質の一部は、必然的に気相に移るため、排気設備が必要となる。別のアプローチでは、例えば、オゾンを酸化剤として併用する方法が記述されている。オゾンを併用することで、ＯＨラジカルは水から直接生成される以外に、オゾン分解物と水との反応により間接的にＯＨラジカルが生成される。しかしながら、このオゾンを併用した電子ビーム水処理でも、水中の汚染物質を分解するのに必ずしも応用範囲が広くなく、汚染物質が低濃度に含まれている被処理水にしか使われていない。すなわち、水溶液中の有機塩素化合物の脱塩素化、又は色度の分解には効果があるものの、ＴＯＣ等が指標となる水中の有機物負荷を下げるのには、十分な効果が発揮されない場合がある。有機塩素化合物の無害化脱塩素化反応、色度成分の分解以外にＴＯＣも同時に低減させる電子ビーム処理が望まれている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記従来技術に鑑み、有機塩素化合物を含む被処理水や生物処理では脱色困難な被処理水を処理すると共に、ＴＯＣも同時に低減することができる水処理方法と装置を提供することを課題をとする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明では、被処理水を、電子ビーム照射しながら電気分解処理することを特徴とする水処理方法としたものである。
前記水処理方法において、水処理は、被処理水中に酸化剤を添加して行うことができ、また、前記電気分解処理は、該電気分解に用いる電極を電子ビーム照射方向に対して垂直に設置し、該電極にプラス電圧を印加して行うことができ、前記電子ビーム照射は、略水平方向から行い、該電子ビーム照射及び電気分解処理において、被処理水の流れがアップフローであるのがよい。
また、本発明では、被処理水に、電子ビームを照射する電子ビーム照射装置と、該被処理水を電気分解処理する電極を備えた反応容器とを有することを特徴とする水処理装置としたものである。
前記水処理装置において、電子ビーム照射装置は、電子ビームを反応容器に供給するための一次窓箔と、後段に更に二次窓箔とを有し、該二次窓箔を反応容器内壁の一部とし、同時に電気分解のマイナス電極として用いることができ、また、一次窓箔表面に含酸素気体を供給する含酸素気体供給装置と、含酸素気体中で発生するオゾンと被処理水を接触させるオゾン溶解装置とを付設することができ、また、前記電子ビーム照射装置は、一次窓箔を反応容器内壁の一部とし、被処理水を用いて該一次窓箔を冷却し、更に該一次窓箔を電気分解処理のマイナス電極として用いることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明者らは、鋭意研究を行った結果、電子ビーム照射に電気分解を併用することで、良好な脱塩素化反応、脱色反応を維持しながら、水溶液のＴＯＣ等も低減できる効果を見出し、電子ビーム水処理の効率化に至った。
本発明は、有機塩素化合物を含む被処理水や、染料等に用いられる色度成分を含む被処理水の処理に電子ビームを用いる方法であり、電子ビームを被処理水に照射すると同時に被処理水の電気分解を行うものである。通常電子ビームの液相における反応では、水分子に電子ビームが作用してＯＨラジカルを生成し、このＯＨラジカルによって有機物の結合が切断され酸化分解反応が進行する。一方、同時に還元剤であるＨラジカルやｅ−も生成され、これらは酸化反応を阻害する。このため、電子ビームの照射のみでは分解効率は向上しない。本発明では、電気分解により生じた発生期状態の酸素が還元剤と反応し、ＯＨラジカルを生成すると考えられる。このため、電子ビームが透過する領域のみならず、被処理水内にＯＨラジカルがいき渡るため、酸化剤を外部より添加することと同等、もしくはそれ以上の効果が得られる。
【００１０】
一般的に、電子の加速エネルギーが高いほど、物質に対する透過率（飛程）は大きくなる。また、電子の飛程は、物質の密度に反比例する。通常電子ビームの液相での飛程は数ミリ程度であり、連続的に処理を行う場合には、液相の深部まで電子ビームを透過させる必要がある。したがって、電子ビームを用いる場合には、高エネルギータイプの電子ビーム発生装置が必要となる。前述のＯＨラジカルの生成は、いわゆる“カスケード反応”であり、高速電子が水分子と非弾性衝突することによって、なだれ的にＯＨラジカルと運動エネルギーをもった電子を次々に発生させ、この電子によりさらにＯＨラジカルを生成させる。
【００１１】
高速電子は、その運動エネルギーを失うまで、この非弾性衝突をランダムに繰り返す。本発明では、電気分解で生じる電位勾配を利用して、前述のカスケード反応で生じた大量の電子をプラス電極方向に引き寄せる効果により、カスケード反応が増進する。また、本発明では、電気分解で発生する気泡については、流路をアップフローとすることにより、被処理水と良好な混合をさせて、むらがない酸化分解反応を進行させる作用をもつ。従来のように、電子ビーム照射を受ける被処理水の流路が横流れである場合、気泡は流路上側に蓄積し、気液の二層を形成するため均一に反応が進行せず、処理効率が低下する。
上記述べたように、電気分解反応を併用すること、さらに電子ビーム照射を受ける被処理水流路をアップフローにすることにより、高エネルギータイプの電子ビーム発生装置を用いることなく、中エネルギータイプ（１ＭｅＶ未満）の発生装置でも効率的に水処理が可能となる。
【００１２】
次に、本発明を図面により詳細に説明する。
本発明に用いる装置のそれぞれの構成図を図１〜図７に示す。
図１は、静電圧走査型電子ビーム加速器を用いた場合の構成例を示す。なお加速器は静電圧型の他に高周波型を用いてもよい。
図１において、１は電子ビーム用電源（加速エネルギー１ＭｅＶ未満）、２は１の電子ビーム用電源で発生した電力を供給するためのケーブルであり、３は加速管タンクで電子銃及び加速管より構成され、４は加速した電子ビームを磁場により偏向するための走査コイルで、５は走査管である。６は反応容器であり、被処理水は反応容器６内部をアップフローで流通する。７は電気分解用直流電源（出力電流数Ａ〜数十Ａ）で、反応容器６内部の電極に電力を給電する。８は冷却装置、９は冷却風用ブロワ、１０は被処理水タンク、１１は流量計、１２は被処理水供給ポンプ、１３は処理済液タンクである。
【００１３】
被処理水タンク１０に貯蔵された被処理水は、被処理水供給ポンプ１２により反応容器６に送り込まれ、電子ビームの照射を受けると同時に、電気分解用直流電源７の通電により電気分解され、生成するＯＨラジカルの作用により有機塩素化合物の脱塩素化や染料に含まれる色度成分の脱色化が起きる。電子ビームの照射によって反応容器本体及び被処理水の温度が上昇するため、冷却装置８の冷媒を反応容器６内部の冷却水路を通して循環させ冷却する。
処理された被処理水は、処理済液タンク１３に貯蔵される。
図２は、図１の実施形態にオゾン、過酸化水素、ＰＳＡ酸素、酸素富化空気、液体酸素などの酸化剤の供給設備を付加した構成例である。図２において、１４はオゾン発生装置であり、１５は過酸化水素供給ポンプ、１６は過酸化水素貯蔵タンク、１７は流量計である。酸化剤は、反応容器６の入口付近で被処理水と混合され反応容器６内に導入される。本発明では、電子ビームを概ね水平方向から照射するため反応容器６は縦型に配置される。この結果、被処理水は、酸化剤を同伴しながら反応容器６内部を下から上へ流れるため、特別な混合手段を必要としない。
【００１４】
図３は、図１及び図２に示した処理装置に用いる反応容器の詳細図である。図３の（ａ）と（ｂ）は反応容器概観図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図であり、（ｃ）は（ｂ）のＡ部、（ａ）は（ｄ）のＢ部の詳細図であり、（ｅ）は分解構成概要図である。図３において、１８は金属製のフランジ、１９は耐放射線耐熱性に優れたエンジニアリングプラスチック（ポリイミドやＰＥＥＫ）製の本体枠である。２０は導電性薄膜（二次窓箔、代表的には純チタンもしくはチタン合金で厚さ数十μｍ程度）で接地される。２１は純金属、合金もしくは貴金属をコーティングした金属からなる電極、２２は冷却水路の蓋板であり、２３は被処理水の流入・流出口で上下２箇所に設けられる。２４はシールパッキンであり、２５は冷却水の流入・流出口で上下２箇所に配置され、冷却装置８に接続される。２６は冷却水流路、２７は被処理水流路である。２８は電極への給電部品で、電気分解用直流電源７のプラス端子に接続され、２９は冷却水路蓋板２２の押え板、３０は冷却水流路のスペーサ、３１は導電性薄膜２０のスペーサである。被処理水は、反応容器下部の流入口より反応容器内部に導入され、被処理水流路２７を上部に向かって通過する際に電子ビームの照射を受ける。同時に、対面に配置された電極２１にプラス電圧が印加され電気分解が行われる。その際、導電性薄膜２０は接地されているためマイナス電極として作用する。
【００１５】
図４は、図１及び図２に示した処理装置に用いる照射部分の配置図で、（ａ）は俯瞰図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ方向の断面図である。図４において、３２は加速器側の導電性薄膜であり（一次窓箔、代表的には純チタンもしくはチタン合金で厚さ数＋μｍ程度）、真空と大気を遮断する。導電性薄膜３２の上側は、真空状態の空間であり、真空中で加速された電子ビームは、導電性薄膜３２を貫通し大気中に放出される。その際にエネルギーの一部が熱に変換し、導電性薄膜３２は発熱する。３３は、導電性薄膜３２の温度上昇を抑制するための冷却風を供給するダクトであり、冷却風用ブロワ９に接続され、先端のスリットより高速の気体３４（代表的には空気、窒素ガス）を、導電性薄膜３２の表面にあてて冷却を行う。なお、図４には、図３で示した反応容器の冷却構造については省略してある。
【００１６】
図５及び図６は、本発明の処理装置の他の例を示す構成図で、図５は全体構成図であり、図６は照射部分の配置図で、（ａ）は俯瞰図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ方向の断面図である。
図５において、冷却風用ブロワ９から供給される気体（図５の場合には空気）は、導電性薄膜３２を冷却すると共に、空気中の酸素の一部がオゾンとなる。こうして生じたオゾンを含む気体を、被処理水タンク１０に吹込み、処理前の被処理水にオゾンを溶解させ反応容器６に送り込む。図６において、３５は冷却風吸込みダクトで、冷却風供給ダクト３３から吹出した冷却風を、被処理水タンク１０に送り込むように構成される。なお、冷却風吸込みダクト３５のスリット幅は、圧力損失を低減させるため、冷却風供給ダクト３３のスリット幅より広い構造となる。
本処理装置は、電子ビーム発生装置によって生成されるオゾンを有効活用するもので、図２に示したような特別な酸化剤供給装置や手段を必要としない。なお、図６には図３で示した反応容器の冷却構造については省略してある。
【００１７】
図７は、本発明の装置に用いる照射部分の他の例を示す配置図で、（ａ）は俯瞰図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ方向の断面図である。図７においては、導電性薄膜３２の直後に本体枠１９及び電極２１を取付け、導電性薄膜３２と本体枠１９の間に被処理水流路２７を設ける構造である。この装置の特徴は、被処理水によって導電性薄膜３２を冷却することである。本装置では、フランジ１８、導電性薄膜２０、冷却風用ブロワ９及び冷却風供給ダクト３３が不要となる。さらに、図４の配置図では、電子ビームは導電性薄膜３２（一次窓箔）、気体層及び導電性薄膜２０（二次窓箔）を通過する際にそれぞれエネルギーの一部を失うが、図７の配置図では、導電性薄膜３２（一次窓箔）でのエネルギー損失しかないのでエネルギー利用効率が向上する。
【００１８】
【実施例】
以下、本発明を実施例より具体的に説明する。
実施例１
本実施例では、有機塩素化合物含有の被処理廃水のモデル物質としてクロロフェノール水溶液、有機化合物含有の被処理水のモデル物質としてフェノール水溶液、色度成分を含む被処理水のモデル物質として８−アミノ−１−ナフトール−３，６−ジスルホン酸モノナトリウム塩及びアシッドレッド水溶液を用いて、分解実験を行った。実験は、図８に示す装置で、バッチ処理で実施し、貯蔵タンク１０に貯めた２リットルの被処理水を、流量０．７５Ｌ／ｍｉｎで循環させ、電子ビームを１５分間照射した。加速器は、中エネルギー静電圧走査型を用い、出力は、加速電圧５００ｋＶ、ビーム電流１０ｍＡである。
【００１９】
まず、有機塩素化合物のＴＯＸ分解特性を評価するため、クロロフェノールを試薬として実験を行った。図９（ａ）に、クロロフェノール水溶液のＴＯＸ分解結果を示す。この場合の実験条件は、被処理水濃度；２４３及び３０２ｍｇ／Ｌ、電解条件；３０Ｖ×８．２Ａである。図９（ａ）におけるＥＢは、電子ビームの単独照射を、ＥＢ＋電解は電子ビームの照射と電気分解を同時に行った場合を表している。いずれの場合においても、ＴＯＸの分解率は９５％以上であった。したがって、有機塩素化合物の脱塩素化には、電子ビーム照射が有効に作用することが確認された。
また、図９（ｂ）に、電子ビーム照射と電気分解を同時に行った場合における被処理水原液中のＴＯＸ濃度と塩素イオン濃度、処理済液中のＴＯＸ濃度と塩素イオン濃度の変化を示す。この結果から、原液中のＴＯＸ成分は、電子ビームの照射により脱塩素化され、処理済液中に塩素イオンとして存在していることがわかる。すなわち、脱塩素化で生成した塩素は、気相に拡散せず処理済液中に留まるため、特別な排気設備やガス処理設備を必要としない。
【００２０】
次に、有機化合物のＴＯＣ分解特性を評価するため、フェノールを試薬として実験をおこなった。図１０（ａ）に、フェノール水溶液のＴＯＣ分解結果を示す。この場合の実験条件は、被処理水濃度；７１〜８６ｍｇ／Ｌ、酸化剤；Ｈ２Ｏ２（３０％）１ｍＬ／２Ｌ、電解条件；７０Ｖ×４Ａである。図１０（ａ）におけるＥＢ＋酸化剤は、酸化剤を添加した被処理廃水に電子ビームを照射した場合を表している。電子ビーム単独で照射するよりも、電気分解及び酸化剤を併用した場合にＴＯＣ分解率が２０％程度向上した。また、電気分解と酸化剤の併用については、ほぼ同等のＴＯＣ分解率が得られた。
【００２１】
さらに、色度成分を含む被処理水の脱色性能及びＴＯＣ分解特性を評価するため、８−アミノ−１−ナフトール−３，６−ジスルホン酸モノナトリウム塩及びアシッドレッドを試薬に用いて実験を行った。
図１０（ｂ）は、８−アミノ−１−ナフトール−３，６−ジスルホン酸モノナトリウム塩のＴＯＣ分解結果である。図１０（ｂ）においてＥＢ＋電解＋酸化剤は、酸化剤を添加した被処理廃水に電子ビームの照射と電気分解を同時に行った場合を表している。この場合の実験条件は、被処理水濃度；７４〜９９ｍｇ／Ｌ、電解条件；３０Ｖ×５Ａ、酸化剤；Ｈ２Ｏ２（３０％）１ｍＬ／２Ｌである。
電気分解に酸化剤を併用すると、３０％程度分解率が向上した。したがって、電子ビーム単独の照射では分解困難な物質も、電気分解、さらに場合によっては酸化剤を添加することにより高分解率が得られる。
【００２２】
図１１はアシッドレッドの実験結果で、図１１（ａ）は、ＴＯＣ分解率、図１１（ｂ）及び（ｃ）は、脱色効果を吸光分析計で測定した結果である。実験条件は、被処理水濃度；７４〜９９ｍｇ／Ｌ、酸化剤；Ｈ２Ｏ２（３０％）１ｍＬ／２Ｌ、電解条件；３０Ｖ×４．７Ａである。ＴＯＣ分解率は、前述の実験と同様に電子ビーム単独で照射するよりも、電気分解を併用した場合の方が著しく向上する。また、各波長領域における吸光度も、電気分解を併用した場合のほうが低くなっており、これは処理液の透明度が増すことを表している。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、電子ビームの照射に加え電気分解反応を併用することによって、従来の水処理技術では困難であった低濃度の有機塩素化合物を含む被処理水や、生物処理では脱色困難な被処理水を処理することが可能であり、ＴＯＣの分解も同時に行うことができる。前述の実験結果によれば、電気分解にかかわる電力は０．１５ｋＷ〜０．２８ｋＷであり、電子ビームの電力５００ｋＶ×１０ｍＡ＝５ｋＷと比較して非常に小さいにも係わらず、ＴＯＣ分解率は大幅に向上する。この分解率の向上は、電子ビーム照射に酸化剤を添加する処理方法に匹敵する。さらに、難分解性の物質においては、電気分解に加えて酸化剤としてオゾンや過酸化水素を添加することで、高分解率が得られる。また、色度成分を含む被処理水の脱色にも電気分解を併用することで効果が増す。このように、電子ビーム照射と電気分解を組合せた方法により、高度な水処理が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の処理装置の一例を示す構成図。
【図２】本発明の処理装置の他の例を示す構成図。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は、図１及び図２の処理装置に用いる反応容器の詳細図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、図１及び図２の処理装置に用いる照射部分の配置図。
【図５】本発明の処理装置の他の例を示す構成図。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、図５の処理装置に関する照射部分の配置図。
【図７】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の処理装置に用いる照射部分の他の例の配置図。
【図８】実施例に用いた処理装置の構成図。
【図９】（ａ）及び（ｂ）は、実施例１のクロロフェノール水溶液を用いた実験結果のグラフ。
【図１０】（ａ）及び（ｂ）は、実施例１のフェノール水溶液及び８−アミノ−１−ナフトール−３，６−ジスルホン酸モノナトリウム塩水溶液を用いた実験結果のグラフ。
【図１１】（ａ）〜（ｃ）は、実施例１の水溶液を用いたアシッドレッドの実験結果のグラフ。
【符号の説明】
１：電子ビーム用電源（加速エネルギー１ＭｅＶ未満）、２：ケーブル、３：加速管タンク、４：走査コイル、５：走査管、６：反応容器、７：電気分解用直流電源（出力電流数Ａ〜数十Ａ）、８：冷却装置、９：冷却風用ブロワ、１０：被処理水タンク、１１：流量計、１２：被処理水供給ポンプ、１３：処理済液タンク、１４：オゾン発生装置、１５：過酸化水素供給ポンプ、１６：過酸化水素貯蔵タンク、１７：流量計、１８：フランジ、１９：本体枠、２０：導電性薄膜、２１：電極、２２：冷却水路の蓋板、２３：被処理水の流入・流出口、２４：シールパッキン、２５：冷却水の流入・流出口、２６：冷却水流路、２７：被処理水流路、２８：給電部品、２９：押え板、３０、３１：スペーサ、３２：導電性薄膜、３３、３５：ダクト、３４：気体、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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