(57)【要約】【課題】荷物等を収容する収容室の開口部が室外に対し開放された場合でも収容室内の清浄度を確保することができ、且つ搬送車自体の外径寸法を極力抑えるのに有効な搬送車の構成技術を提供する。【解決手段】搬送車１００は、走行台車１０上に製品Ｗを収容する第２の収容室３０を備え、この第２の収容室３０は走行台車１０側に対して旋回動作する。第２の収容室３０へ清浄空気を供給するファンフィルタユニット（ＦＦＵ）４０を、第２の収容室３０の上方であって、しかも第２の収容室３０の開口部３２に清浄空気による空気幕を形成させることができる構成とする。これにより、開口部３２が室外に対し開放された場合でも第２の収容室３０内の清浄度を確保することができ、且つ第２の収容室３０の旋回動作に関わらず搬送車１００自体の外径寸法を極力抑えることが可能となる。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行台車と、この走行台車上に設けられ台車平面に垂直な軸線を中心に旋回可能な収容室と、この収容室に設けられその旋回動作に伴って室外に対し開放ないし閉鎖される開口部と、前記収容室へ清浄空気を供給する清浄空気供給装置とを備え、前記収容室に収容された荷物等の搬送を行う搬送車であって、
前記清浄空気供給装置は、前記収容室の上方に設けられ、しかも前記開口部が開放されるとき前記収容室へ供給する清浄空気によって前記開口部を遮断するように構成されていることを特徴とする搬送車。
【請求項２】
請求項１に記載した搬送車であって、
前記清浄空気供給装置は、清浄空気を供給する排出口を備え、この排出口はその清浄空気が前記開口部を横切る方向へ向けて設けられた箇所を有する構成であることを特徴とする搬送車。
【請求項３】
請求項１に記載した搬送車であって、
前記清浄空気供給装置から供給された清浄空気が前記開口部を横切るようにこの清浄空気を誘導する誘導手段を備えていることを特徴とする搬送車。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載した搬送車であって、
前記清浄空気供給装置は、前記走行台車側に固定されていることを特徴とする搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、荷物を搬送する搬送車に係り、詳しくは、走行台車上に設けられた荷物移載用の収容室の清浄度を確保するのに有効な搬送車の構成技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置や半導体などの製造工場では、製造途中の製品等の移動に自動搬送車が使用される。搬送される製品等に塵埃等が付着しないようにするためには、搬送車が使用される工場内をそれぞれの区画の清浄度（クリーン度）を高めることも考えられるが、広い区画の清浄度を高めるためには設備に膨大な費用が必要となる。そこで、従来、走行台車上に製品等を収容する収容室を設け、この収容室内の清浄度を高めることで、清浄度の低い区画を搬送する際に製品等に空気中の塵埃等が付着しないようにした構成の搬送車が考えられている（例えば、特許文献１参照。）。この搬送車は、その収容室に製品等の移載を行う開口部を有し、この開口部は収容室が台車平面に垂直な所定の軸線を中心にして旋回する際に、室外に対し開放ないし閉鎖される構成になっている。すなわち、製品等の移載時に開口部が開放され、走行時に開口部が閉鎖される。この収容室の開口部と対向する側方に、空気浄化装置としてのファンフィルタユニット（ＦＦＵ）が縦置きに取付けられ、収容室の旋回動作に伴ってこのファンフィルタユニットも旋回される。そして、収容室の開口部が閉鎖された状態でファンフィルタユニットから供給される清浄空気によって、収容室内が正圧（陽圧）に保持され収容室内の清浄度が確保される構成になっている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−５３０３９号公報（段落番号（００２２），（００２３）、図３）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成の搬送車は、収容室の開口部と対向する側方に縦置きにファンフィルタユニットが取付けられているため、開口部が室外に対し開放されたときに開口部付近での清浄空気の気流が弱まる場合がある。このような場合には、収容室内の清浄度を確保するのが難しくなるという問題がある。この問題を解消するために清浄空気の供給量を増加させて収容室への外気の侵入を極力回避することも考えられるが、清浄空気の供給量を上げ過ぎると、開口部が閉鎖されたときに空気の流れを乱す要因となる。とりわけ、収容室に収容される製品等が長くなるとこのような問題が顕著となる。
また、上記従来の搬送車では、収容室とともにファンフィルタユニットも旋回する構成であるため、旋回動作時にファンフィルタユニットが搬送車の側面から張り出し、搬送車自体の外径寸法を増大させるという問題がある。
そこで本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、荷物等を収容する収容室の開口部が室外に対し開放された場合でも収容室内の清浄度を確保することができ、且つ搬送車自体の外径寸法を極力抑えるのに有効な搬送車の構成技術を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の搬送車は、請求項１〜４に記載の通りに構成される。なお、これら各請求項に係る発明は、収容室へ清浄空気を供給する清浄空気供給装置を収容室の上方に設け、しかも収容室の開口部がその収容室の旋回に伴って室外に対し開放されるとき、清浄空気供給装置から供給される清浄空気によって開口部を遮断する構成を用いることで、荷物等を収容する収容室の開口部が室外に対し開放された場合でも収容室内の清浄度を確保することができ、且つ収容室の旋回動作に関わらず搬送車自体の外径寸法を極力抑えることができるようにした技術である。
【０００６】
請求項１に記載した搬送車には、走行台車、収容室、開口部、清浄空気供給装置等が設けられている。走行台車は、各種の荷物等を収容する収容室を支持するとともに車輪等の手段によって搬送車自体を走行可能とする。収容室は、走行台車上に設けられ、その台車平面に垂直な軸線を中心に旋回可能になっている。そして、この収容部が旋回動作されるときにそれに伴って開口部が室外に対し開放ないし閉鎖されるようになっている。例えば、収容室が走行台車側に対し旋回したとき、走行台車側に設けられた部材によって収容室の開口部が室外に対し遮断ないしこの遮断が解除されるような構成を好適に用いる。移載時には、開口部が室外に対し開放されて室内外が連通された状態となり、この開口部を通じて荷物等が移載される。一方、走行時には、開口部が室外に対し閉鎖されて室内外が隙間等以外では連通されない状態となる。清浄空気供給装置は、収容室外の空気を吸気するための吸気口、ファン、このファンによって吸気した空気を濾過処理するためのフィルタ、このフィルタで濾過処理された清浄空気を収容室内へ排気する排気口等によって構成される。すなわち、搬送車自体が清浄空気を製造する手段を有する。なお、この清浄空気供給装置から供給される清浄空気は、開口部が閉鎖されているときの収容室内の空気の流れを乱すことのない供給量に設定されるのが好ましい。
【０００７】
本発明では、この清浄空気供給装置が収容室の上方に設けられている。清浄空気供給装置を収容室の側方に設けると、この清浄空気供給装置が搬送車の側面から張り出し、搬送車自体の外径寸法を増大させる場合があるが、本発明のように構成することで、収容室の旋回動作に関わらず搬送車自体の外径寸法を極力抑えるのに有効である。
また、本発明では、開口部が収容室の旋回動作に伴って室外に対し開放されるとき、清浄空気供給装置から供給される清浄空気によって開口部が遮断されるようになっている。清浄空気による開口部の遮断は、開口部が室外に対し開放されるときにのみ行われてもよいし、或いは開口部の開閉に関わらず常時行われてもよい。例えば、清浄空気供給装置の排気口自体をその排出口から供給された清浄空気が開口部を下向きに横切る向きに設けた構成や、排気口から供給された清浄空気が開口部を下向きに横切るようにその清浄空気を誘導する誘導手段を設けた構成などを好適に用いる。これにより、排気口から噴出される清浄空気によって開口部に空気幕を形成することが可能となり、この空気幕によって収容室内が室外に対して遮断された状態となる。しかも、収容室内は清浄空気供給装置から供給される清浄空気によって正圧（陽圧）になるため、収容室外の空気が収容室内へ侵入するのを阻止することができる。従って、収容室内が所望の清浄度に保たれ、収容室内の製品等に空気中の塵埃等が付着するの防止することができる。
以上のように請求項１に記載した発明によれば、荷物等を収容する収容室の開口部が室外に対し開放された場合でも収容室内の清浄度を確保することができ、且つ収容室の旋回動作に関わらず搬送車自体の外径寸法を極力抑えることが可能となる。
【０００８】
ここで、請求項１に記載した清浄空気供給装置は、請求項２に記載のように清浄空気を供給する排出口を備え、この排出口はその清浄空気が開口部を横切る方向へ向けて設けられた箇所を有する構成であるのが好ましい。すなわち、排気口から噴出された清浄空気がそのまま開口部に空気幕を形成し、この空気幕が開口部を遮断することとなる。この排出口はその一部が開口部を横切る方向へ向けて設けられてもよいし、あるいはその全てが開口部を横切る方向へ向けて設けられてもよい。このような構成によれば、排気口の下流に他の部材を介在させることなく開口部を遮断することが可能な簡便な構成を実現することができる。
従って、請求項２に記載の発明によれば、清浄空気によって開口部を遮断するのに簡便な構成を用いることが可能となる。
【０００９】
また、請求項３に記載した搬送車には、請求項１に記載の構成において更に誘導手段が設けられている。この誘導手段は、清浄空気供給装置から供給された清浄空気が開口部を横切るようにこの清浄空気を誘導する構成を有する。すなわち、排気口から噴出された清浄空気は、誘導手段を介して開口部へ誘導されるとともに開口部を横切るように誘導され、これにより形成される空気幕が開口部を遮断することとなる。この誘導手段としては、例えば清浄空気を誘導する板状の仕切板を、清浄空気供給装置の排気口と開口部との間に設けた構成を好適に用いる。その他、パイプ状の部材を用いて誘導手段を構成してもよい。このような誘導手段を用いることにより、誘導手段による誘導径路の長さを種々設定することで、清浄空気供給装置自体を小型化したとしても、清浄空気を確実に開口部へ誘導し、清浄空気による空気幕を開口部に確実に形成させることができる。
従って、請求項３に記載の発明によれば、清浄空気供給装置のコンパクト化を図ることが可能となる。
【００１０】
ここで、請求項１〜３に記載の清浄空気供給装置は、請求項４に記載のように収容室の上方において更に走行台車側に固定される構成であるのが好ましい。清浄空気供給装置を走行台車に直接的に固定してもよいし、或いは走行台車に取付けられた他の部材を介して走行台車に間接的に固定してもよい。例えば、従来の如く旋回動作する収容室側に清浄空気供給装置を固定する場合は、収容室の旋回径によってはこの清浄空気供給装置が搬送車の側面から張り出し、搬送車の外径寸法を増大させることが懸念される。本発明のように清浄空気供給装置を収容室の上方であって、しかも走行台車側に固定することで、収容室の旋回動作に関わらず搬送車自体の外径寸法を抑える構成がより確実になる。
従って、請求項４に記載の発明によれば、搬送車の外径寸法が増大するのをより確実に防止することが可能となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。ここで図１は、本発明の一実施の形態の搬送車１００の外観を示す側面図である。図２は図１中のＡ−Ａ線断面矢視図であって搬送車１００の移載時の状態を示している。図３は図２における搬送車１００の走行時の状態を示している。図４は、旋回駆動機構５０の構成を示す側面図である。
なお、本実施の形態は、クリーンルーム内で液晶表示装置の部品、製造途中の製品等の搬送に用いられる搬送車に関するものである。この実施の形態は、建物内のクリーンルームの清浄度が場所によって異なり、液晶等の製造プロセスに関係する場所では清浄度を高め、それ以外の場所では清浄度を低くしたときに、清浄度の低い場所で製品等を移載する搬送車に適用される。
【００１２】
図１〜図３に示すように、搬送車１００は、大別して走行台車１０、第１の収容室２０、第２の収容室３０、ファンフィルタユニット（以下、「ＦＦＵ」という。）４０、旋回駆動機構５０等を備えている。なお、図２に示す移載時では、例えば製品Ｗ（本発明における荷物に対応している）をカセットステーション２００に移載するために、第２の収容室３０を図３に示す走行時の位置から反時計方向に９０°旋回させたときの状態を示している。
【００１３】
走行台車１０の下面には、前輪１１および後輪１２が各々２個ずつ設けられている。これら前輪１１および後輪１２は、クリーンルームの床面に埋設された走行用レールＲによって走行可能に支持されている。なお、この走行用レールＲは床面に埋設されていなくてもよい、この走行用レールＲが床とほぼ同一レベルに設置された構成とすることもできる。また、例えば一方の前輪１１および一方の後輪１２がモータ（図示省略）によって駆動される駆動輪となり、残りの車輪が従動輪となっている。走行台車１０の前部及び後部には安全スイッチを内蔵したバンパー１３，１４が設けられており、これらバンパー１３，１４に衝撃が加わると搬送車１００が停止するようになっている。
【００１４】
第１の収容室２０の前後には、走行方向（図１中の左右方向）と直交する方向へ延出するアウターケース２１が設けられている。また、第１の収容室２０には、走行方向の左右（２中の上下）に開口部２２が設けられている。この第１の収容室２０のフレーム、すなわち走行台車１０側にＦＦＵ４０が取付固定されている。このＦＦＵ４０は、図示していないが、クリーンルーム内の空気を吸気するための吸気口、ファン、このファンによって吸気した空気を濾過処理するためのフィルタ等を備え、フィルタで濾過処理された清浄空気は排気口４２から第２の収容室３０内へ排気されるようになっている。この排気口４２は、ＦＦＵ４０自体の下面全体にわたって設けられており、このＦＦＵ４０の下面の面積が排気口４２自体の排気面積とほぼ一致するようになっている。そして、本実施の形態のＦＦＵ４０は、第２の収容室３０の旋回位置に関わらず、常にその排気口４２自体の排気面積が製品Ｗの投影面積よりも大きくなるように設定されている。すなわち、製品Ｗのうち排気口４２に面する箇所に対して排気口４２から排気された清浄空気が供給されるようになっている。このＦＦＵ４０が本発明における清浄空気供給装置に対応している。
【００１５】
本発明における収容室としての第２の収容室３０は箱状に形成され、この第２の収容室３０内に製品Ｗが収容可能になっている。また、この第２の収容室３０は、第１の収容室２０内に後述する旋回駆動機構５０を介して旋回動作可能に取り付けられている。この第２の収容室３０の内部には、製品Ｗをカセットステーション２００へ移載するためのローラコンベア３１が設置されている。第２の収容室３０には、１つの側面に開口部３２が設けられ、この開口部３２を通じて製品Ｗがカセットステーション２００との間で移載される。また、第２の収容室３０の上部は、ＦＦＵ４０の排気口４２と連通する構成になっている。更に、この第２の収容室３０には、ローラコンベア３１の搬送方向と平行な左右の側面にシャッタ３３が形成され、このシャッタ３３は、走行時に第１の収容室２０の開口部２２を塞ぐようになっている。
なお、前記した排気口４２は、この排気口４２から排気される清浄空気が開口部３２を下向きに横切る方向へ向けて配置された箇所を有している。従って、第２の収容室３０内へ排気される清浄空気のうち、開口部３２付近に排気される清浄空気によって開口部３２を遮断する空気幕が形成されるようになっている。
【００１６】
図４に示すように、旋回駆動機構５０は、第２の収容室３０の下部に取付けられた円盤状の回転板５１、この回転板５１の内周面に取り付けられたチェーン５２、このチェーン５２を回転駆動させるモータ５３、回転板５１を回転可能に支持するベアリング５４等によって構成されている。モータ５３が回転駆動されることによって回転板５１が台車平面に垂直な軸線Ｌを中心に回転され、第２の収容室３０はこの軸線Ｌを中心に旋回動作することとなる。この軸線Ｌが本発明における軸線に対応している。
【００１７】
次に、上記構成の搬送車１００の動作について図２、図３および図５を参照しながら説明する。ここで図５は、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）４０から第２の収容室３０へ供給される清浄空気の流れを示す模式図である。
搬送車１００の移載時には、第２の収容室３０はその開口部３２が第１の収容室２０の開口部２２と一致する位置まで旋回駆動機構５０により旋回される（図２参照）。これにより、第２の収容室３０の開口部３２は、室外に対し開放され、第２の収容室３０は室外と連通された状態になる。このとき、本実施の形態では、ＦＦＵ４０の排気口４２は、この排気口４２から排気される清浄空気が開口部３２を下向きに横切る方向へ向けて配置された箇所を有する構成ゆえ、図５に示すように、開口部３２付近に清浄空気による空気幕が形成される。従って、この清浄空気の空気幕によって開口部３２は室外に対して遮断されることとなる。また、排気口４２から排気された清浄空気は、開口部３２以外の箇所ではローラコンベア３１に載せられた製品Ｗに均一にかかり第２の収容室３０内は正圧（陽圧）に保持されることとなる。このように、第２の収容室３０内を正圧にしたうえで、しかも開口部３２を空気幕によって遮断することで、室外の空気が第２の収容室３０内へ侵入して室外の空気に含まれる塵埃等が製品Ｗに付着するのを防止することができる。
【００１８】
一方、搬送車１００の走行時には、第２の収容室３０のシャッタ３３がこの旋回駆動機構５０を介して第１の収容室２０の開口部２２を塞ぐ位置まで、すなわち搬送時の位置から時計方向に９０°旋回する。これにより、第２の収容室３０の開口部３２は、室外に対し閉鎖される。このとき、ＦＦＵ４０の排気口４２から排気される清浄空気が第２の収容室３０に収容された製品Ｗに沿って流れ、シャッタ３３と第１の収容室２０の開口部２２との隙間から室外へ排出される。これにより搬送車１００の走行中は、常にＦＦＵ４０によって第２の収容室３０内は外気に対して正圧（陽圧）となるため、室外の空気が第２の収容室３０内へ侵入して室外の空気に含まれる塵埃等が製品Ｗに付着するのが防止される。
【００１９】
以上のように本実施の形態によれば、ＦＦＵ４０の排気口４２に、この排気口４２から排気される清浄空気が開口部３２を下向きに横切る方向へ向けて配置された箇所を設けたため、その清浄空気の空気幕によって開口部３２を遮断することができる。また、排気口４２から排気された清浄空気によって第２の収容室３０内が正圧（陽圧）に保持されるため、製品Ｗに室外の塵埃等が付着するのを防止することができる。
また、本実施の形態によれば、ＦＦＵ４０を第２の収容室３０の上方であってしかも第１の収容室２０のフレーム（走行台車１０側）に固定した構成としたため、第２の収容室３０の旋回動作に関わらず確実に搬送車１００自体の外径寸法を抑えることができる。
【００２０】
なお、本発明は上記の実施の形態のみに限定されるものではなく、種々の応用や変形が考えられる。例えば、上記実施の形態を応用した次の各形態を実施することもできる。
【００２１】
上記実施の形態にかえて、図６〜図８に示す実施の形態を用いることもできる。ここで、図６は別の実施の形態の搬送車３００の外観を示す側面図である。図７は図６中のＢ−Ｂ線断面矢視図であって搬送車３００の移載時の状態を示し、図８は図７における搬送車３００の走行時の状態を示している。なお、これらの図において図１〜図３に示す要素と同一の要素には同一の符号を付している。
図６〜８に示す搬送車３００には、第１の収容室２０のフレームに上記実施の形態のＦＦＵ４０に比して外径の小さい小型のＦＦＵ１４０が取付けられている。このＦＦＵ１４０は、ＦＦＵ４０と同様に清浄空気を供給する機能を有する。このＦＦＵ１４０が本発明における清浄空気供給装置に対応している。このＦＦＵ１４０の排気口１４２と第２の収容室３０との間には仕切板６０が例えばスカート状に設置されている。仕切板６０は、ＦＦＵ１４０側、或いは第１の収容室２０のフレームに固定されており、第２の収容室３０が旋回動作しても旋回しない構成になっている。この仕切板６０が本発明における誘導手段に対応している。搬送車３００のその他の構成は、搬送車１００と同様になっている。
このような仕切板６０を設けることにより、ＦＦＵ１４０が小型であってもＦＦＵ１４０の排気口１４２から供給された清浄空気が、この仕切板６０によって開口部３２へ誘導され、またこの開口部３２を下向きに横切るように誘導される。すなわち、ＦＦＵ４０と同様に開口部３２に清浄空気による空気幕を形成させることが可能となる。したがって、ＦＦＵ１４０のコンパクト化を図ることができ合理的である。
【００２２】
また、上記実施の形態では、第２の収容室３０の１箇所に開口部３２が設けられる場合について記載したが、第２の収容室３０の両側の２箇所に開口部を設け、図２に示す移載時には、搬送車１００の両側に設置されたカセットステーション間の製品等の移動を両方の開口部を通じて行うようにしてもよい。
【００２３】
また、上記実施の形態では、ＦＦＵ４０を第１の収容室２０のフレームに固定する場合について記載したが、このＦＦＵ４０の形状が第２の収容室３０の旋回動作の際に搬送車１００自体の外径寸法を増大させるものでなければ、ＦＦＵ４０を第２の収容室３０側に固定することも可能である。
【００２４】
また、図６等に記載の実施の形態では、ＦＦＵ１４０から排気された清浄空気を開口部３２を下向きに横切るように誘導する誘導手段として、板状の仕切板６０を用いる場合について記載したが、この誘導手段としては板状の部材以外に、パイプ状に形成された部材等、各種の形状のものを適宜用いることができる。
【００２５】
また、第２の収容室３０を旋回駆動させるための旋回駆動機構５０は、チェーンを用いたものにに限らず、ベルト、歯車等、各種の伝達機構を用いてもよい。
【００２６】
また、上記実施の形態では、第２の収容室３０の内部にローラコンベア３１を設け、このローラコンベア３１によって製品Ｗを移載する場合について記載したが、このローラコンベア３１にかえて、フォークリフト等に用いるフォーク機構を設け、このフォーク機構によって製品Ｗを移載するように構成してもよい。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、荷物等を収容する収容室の開口部が室外に対し開放された場合でも収容室内の清浄度を確保することができ、且つ搬送車自体の外径寸法を極力抑えるのに有効な搬送車の構成技術を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の搬送車１００の外観を示す側面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面矢視図であって搬送車１００の移載時の状態を示している。
【図３】図２における搬送車１００の走行時の状態を示している。
【図４】旋回駆動機構５０の構成を示す側面図である。
【図５】ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）４０から第２の収容室３０へ供給される清浄空気の流れを示す模式図である。
【図６】別の実施の形態の搬送車３００の外観を示す側面図である。
【図７】図６中のＢ−Ｂ線断面矢視図であって搬送車３００の移載時の状態を示している。
【図８】図７における搬送車３００の走行時の状態を示している。
【符号の説明】
１０…走行台車
２０…第１の収容室
２２，３２…開口部
３０…第２の収容室
３１…ローラコンベア
４０，１４０…ファンフィルタユニット（清浄空気供給装置）
４２，１４２…排気口
５０…旋回駆動機構
６０…仕切板（誘導手段）
１００，３００…搬送車
２００…カセットステーション
Ｗ…製品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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