(57)【要約】【課題】印刷検査において求められた検査諸量を有効に活用し、印刷検査の有用性を向上させることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】マスクプレートのパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷において、印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷量過多の「にじみ」および印刷量過小の「かすれ」を検査項目に含む印刷検査を行い、判定結果として合否判定とともに警告判定を出力する。ここで警告内容が全てがかすれ傾向である場合には、印刷済みの基板に対して「かすれ」の状態改善を目的として再度ペーストを印刷する重ね刷り印刷を実行する。これにより、印刷検査において求められた検査諸量を有効に活用し、印刷検査の有用性を確保することができる。【選択図】　図９
2004122613.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記基板をマスクプレートに対して相対的に位置決めする基板位置決め機構と、この基板位置決め機構を位置決めデータに基づいて制御する位置決め制御手段と、前記スキージをマスクプレート上で移動させるスキージ移動手段と、一の基板を位置決めして印刷したときの位置決めデータを各基板毎に記憶する印刷位置記憶手段と、印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷対象部位における印刷範囲からペーストがはみ出した「にじみ」および印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含んだ印刷検査を行い、前記検査項目について所定の検査しきい値に基づく判定結果を出力する印刷検査手段と、印刷済みの基板に対して「かすれ」の状態改善を目的として再度ペーストを印刷する重ね刷り印刷を実行するか否かを前記印刷検査手段による検査結果に基づき判定する重ね刷り印刷実行判定手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記マスクプレートの下面およびまたはパターン孔内に残留付着したペーストを除去するクリーニング動作を行うクリーニング手段と、前記マスクプレートを対象としてクリーニング動作を実行するか否かを前記印刷検査手段による検査結果に基づき判定するクリーニング動作実行判定手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
自動運転時における前記重ね刷り印刷の実行・不実行および前記クリーニング動作の実行・不実行を組み合わせた作業動作モードを予め設定するモード設定手段を備えたことを特徴とする請求項２記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
パターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷対象部位における印刷範囲からペーストがはみ出した「にじみ」および印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含む印刷検査を行い、前記検査項目について所定の検査しきい値に基づく判定結果を出力する印刷検査工程と、印刷済みの基板に対して「かすれ」の状態改善を目的として再度ペーストを印刷する重ね刷り印刷を実行するか否かを前記印刷検査工程の検査結果に基づき判定する重ね刷り印刷実行判定工程と、重ね刷り印刷実行の対象と判定された基板をマスクプレートに再度当接させてペーストを印刷する重ね刷り印刷工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項５】
前記マスクプレートの下面およびまたはパターン孔内に残留付着したペーストを除去するクリーニング動作を実行するか否かを前記印刷検査手段による検査結果に基づき判定するクリーニング動作実行判定工程と、クリーニング動作実行と判定されたならばクリーニング手段によりマスクプレートのクリーニングを行うクリーニング工程とを含むことを特徴とする請求項４記載のスクリーン印刷方法。
【請求項６】
自動運転時における前記重ね刷り印刷の実行・不実行および前記クリーニング動作の実行・不実行を組み合わせた作業動作モードを予め設定することを特徴とする請求項５記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の実装においては、基板への電子部品の搭載に先立って基板の表面にクリーム半田が塗布される。クリーム半田塗布の方法としてはスクリーン印刷による方法が広く用いられており、印刷工程の後にはクリーム半田の印刷状態を検査する印刷検査が行われる。
【０００３】
この印刷検査は、スクリーン印刷後の基板をカメラにより撮像し、撮像結果を画像認識処理することにより印刷部位に正しくクリーム半田が印刷されているか否かを判定するものであり、印刷対象部位におけるペーストの印刷量が過大で印刷範囲から外側にはみ出した「にじみ」および印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」などの検査項目について、検査結果が出力される。
【０００４】
これらの検査は、一般に画像認識処理によって算出された印刷面積などの検査諸量を、予め設定された検査しきい値と比較することによって行われ、検査しきい値を境として良否の判定がなされる。またこれとともに、所定の検査項目については、算出された検査諸量を良否判定以外の目的、例えば印刷状態の特定項目の傾向を判断して、所定のフィードバック動作の要否を判断するためのデータとしても用いられるようになっている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−１９０７１号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のスクリーン印刷においては、印刷検査処理において求められた検査諸量の活用は、マスクプレートのクリーニング動作に関して用いられる例（例えば特開２００２−１９０７１（００４１）参照）があるのみであり、求められた検査諸量を有効に活用しているとはいえず、印刷検査の有用性が十分に確保されていなかった。
【０００７】
そこで本発明は、印刷検査において求められた検査諸量を有効に活用し、印刷検査の有用性を向上させることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記基板をマスクプレートに対して相対的に位置決めする基板位置決め機構と、この基板位置決め機構を位置決めデータに基づいて制御する位置決め制御手段と、前記スキージをマスクプレート上で移動させるスキージ移動手段と、一の基板を位置決めして印刷したときの位置決めデータを各基板毎に記憶する印刷位置記憶手段と、印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷対象部位における印刷範囲からペーストがはみ出した「にじみ」および印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含んだ印刷検査を行い、前記検査項目について所定の検査しきい値に基づく判定結果を出力する印刷検査手段と、印刷済みの基板に対して「かすれ」の状態改善を目的として再度ペーストを印刷する重ね刷り印刷を実行するか否かを前記印刷検査手段による検査結果に基づき判定する重ね刷り印刷実行判定手段とを備えた。
【０００９】
請求項２記載のスクリーン印刷装置は、請求項１記載のスクリーン印刷装置であって、前記マスクプレートの下面およびまたはパターン孔内に残留付着したペーストを除去するクリーニング動作を行うクリーニング手段と、前記マスクプレートを対象としてクリーニング動作を実行するか否かを前記印刷検査手段による検査結果に基づき判定するクリーニング動作実行判定手段とを備えた。
【００１０】
請求項３記載のスクリーン印刷装置は、請求項２記載のスクリーン印刷装置であって、自動運転時における前記重ね刷り印刷の実行・不実行および前記クリーニング動作の実行・不実行を組み合わせた作業動作モードを予め設定するモード設定手段を備えた。
【００１１】
請求項４記載のスクリーン印刷方法は、パターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷対象部位における印刷範囲からペーストがはみ出した「にじみ」および印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含む印刷検査を行い、前記検査項目について所定の検査しきい値に基づく判定結果を出力する印刷検査工程と、印刷済みの基板に対して「かすれ」の状態改善を目的として再度ペーストを印刷する重ね刷り印刷を実行するか否かを前記印刷検査工程の検査結果に基づき判定する重ね刷り印刷実行判定工程と、重ね刷り印刷実行の対象と判定された基板をマスクプレートに再度当接させてペーストを印刷する重ね刷り印刷工程とを含む。
【００１２】
請求項５記載のスクリーン印刷方法は、請求項４記載のスクリーン印刷方法であって、前記マスクプレートの下面およびまたはパターン孔内に残留付着したペーストを除去するクリーニング動作を実行するか否かを前記印刷検査手段による検査結果に基づき判定するクリーニング動作実行判定工程と、クリーニング動作実行と判定されたならばクリーニング手段によりマスクプレートのクリーニングを行うクリーニング工程とを含む。
【００１３】
請求項６記載のスクリーン印刷方法は、請求項４記載のスクリーン印刷方法であって、自動運転時における前記重ね刷り印刷の実行・不実行および前記クリーニング動作の実行・不実行を組み合わせた作業動作モードを予め設定する。
【００１４】
本発明によれば、印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷対象部位からペーストがはみ出した「にじみ」および印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を含む検査項目について印刷検査を行い、印刷済みの基板に対して「かすれ」の状態改善を目的として再度ペーストを印刷する重ね刷り印刷を実行するか否かを印刷検査の検査結果に基づき判定することにより、印刷検査において求められた検査諸量を有効に活用し、印刷検査の有用性を確保することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図、図２は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図、図３は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図、図４は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図、図５は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のプログラム記憶部およびデータ記憶部の記憶内容を示す図、図６は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の検査しきい値データを示す図、図７は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷における印刷不良状態の説明図、図８は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の表示画面を示す図、図９、図１０，図１１、図１２は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法の動作フロー図である。
【００１６】
まず図１、図２，図３を参照してスクリーン印刷装置の構造を説明する。図１、図２において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部１の上方にスクリーン印刷部１０を配設して構成されている。基板位置決め部１は、Ｙ軸テーブル４、Ｘ軸テーブル５およびθ軸テーブル６を段積みし、更にその上にＺ軸テーブル７を載置して構成されている。Ｚ軸テーブル７上には基板９をクランパ８ａによって挟み込んで保持する基板保持部８が設けられている。基板９は搬入コンベア１５Ａによって搬入され、印刷後の基板９は搬出コンベア１５Ｂによって搬出される。
【００１７】
基板位置決め部１の上方には、スクリーン印刷部１０が配設されている。スクリーン印刷部１０は、ホルダ枠１１に展張されたマスクプレート１２を備えている。マスクプレート１２上にはスキージユニット１３が配設されており、スキージユニット１３はスキージ移動手段（図示省略）によりＹ方向に移動する。スキージユニット１３のプレート１３ａにはスキージ昇降機構１３ｂが設けられており、スキージ昇降機構１３ｂはスキージ１４をマスクプレート１２に対して昇降させる。
【００１８】
基板９をマスクプレート１２の下面に当接させた状態で、ペーストであるクリーム半田Ｓが供給されたマスクプレート１２上でスキージ１４を摺動させることにより、パターン孔１２ａ（図３参照）を介して基板９の各印刷対象部位にはクリーム半田Ｓが印刷される。この印刷動作において、基板位置決め部１（基板位置決め機構）を駆動することにより、基板保持部８に保持された基板９はマスクプレート１２に対して相対的に位置決めされ、所定の印刷位置に位置合わせされる。
【００１９】
次にクリーニングユニットについて説明する。図２において、基板位置決め部１の側方にはクリーニングユニット２が配設されている。クリーニングユニット２の本体部２０の下面にはスライダ２１が設けられており、スライダ２１は基板位置決め部１のＹ軸テーブル４のガイドレール４ａにスライド自在に嵌合している。クリーニングユニット２は基板搬送方向と直交するＹ方向に可動となっている。
【００２０】
クリーニングユニット２にはクリーニングテープ２３の供給リール２４および巻き取りリール２５を備えている。供給リール２４から送給されたクリーニングテープ２３は、本体部２０の上面に上下動自在に設けられたクリーニングヘッド２６の上面を周回して巻き取りリール２５に巻き取られる。クリーニングユニット２をスクリーン印刷部１０の下方に位置させてクリーニングヘッド２６を上昇させることにより、クリーニングテープ２３は清掃対象であるマスクプレート１２の下面に押し当てられる。この状態でクリーニングユニット２をＹ方向に移動させることにより、マスクプレート１２の下面のクリーニングが行われる。
【００２１】
また、クリーニングヘッド２６に吸引部を設けることにより、印刷時に基板に転写されずマスクプレート１２のパターン孔１２ａ内に残量したクリーム半田を吸引して除去することができる。すなわち、クリーニングユニット２は、マスクプレート１２の下面およびまたはパターン孔１２ａ内に残留付着したクリーニング半田を除去するクリーニング動作を行うクリーニング手段となっている。
【００２２】
本体部２０の基板位置決め部１側の側面には、シリンダ２２が配設されている。シリンダ２２は上下両方向に突没するロッドを有する両ロッドタイプのシリンダであり、図２に示す状態では上側ロッド２２ａは没入し、下側ロッド２２ｂが突出している。この状態では下側ロッド２２ｂの下端部は基台面を押圧しており、これによりクリーニングユニット２の位置が固定される。このとき、シリンダ２２は清掃手段であるクリーニングユニット２に設けられているため、クリーニングユニット２の位置を任意位置で固定することが可能となっている。
【００２３】
基板位置決め部１のＸ軸テーブル５には連結部材５ａが設けられており、連結部材５ａには上側ロッド２２ａが嵌入する連結穴５ｂが設けられている。Ｙ軸テーブル４を駆動して基板位置決め部１を移動させ、連結部材５ａをシリンダ２２の上方に位置させて、連結穴５ｂを上側ロッド２２ａに位置合わせした状態で上側ロッド２２ａを突出させることにより、上側ロッド２２ａは連結穴５ｂ内に嵌入する。これによりクリーニングユニット２は基板位置決め部１と連結され、下側ロッド２２ｂは同時に没入し、これによりクリーニングユニット２の位置固定が解除される。この連結により、クリーニングユニット２を基板位置決め部１によって所望のＹ方向位置へ移動させることができるようになっている。
【００２４】
スクリーン印刷部１０の上方には、カメラ１８が設けられている。図３に示すように、カメラ１８はＸ軸テーブル１７およびＹ軸テーブル１６によってＸＹ方向に水平移動する。Ｘ軸テーブル１７およびＹ軸テーブル１６は、カメラ１８を移動させるカメラ移動手段となっている。カメラ１８をカメラ移動手段によってマスクプレート１２に対して移動させることにより、カメラ１８はマスクプレート１２の任意の位置を撮像する。
【００２５】
基板位置決め部１は、図２に示すようにＹ軸テーブル４によってスクリーン印刷部１０の下方からＹ方向に移動して、保持した基板９を基板認識位置まで移動させることができるようになっており、この状態でカメラ１８を基板位置決め部１上の基板９に移動させることにより、カメラ１８によって基板９の任意の位置を撮像することができる。
【００２６】
次に、図４を参照してスクリーン印刷装置の制御系の構成について説明する。図４において、演算部３０はＣＰＵであり、プログラム記憶部３１に記憶された各種プログラムを実行することにより、後述する各種演算・処理を行う。これらの演算・処理においては、データ記憶部３２に記憶された各種のデータが用いられる。
【００２７】
操作・入力部３３は、キーボードやマウスなどの入力手段であり、各種の制御コマンドやデータの入力を行う。通信部３４はスクリーン印刷装置とともに電子部品実装ラインを構成する他装置との間でデータの授受を行う。画像処理部３５は、カメラ１８によって基板９を撮像して得られた画像データを画像処理することにより、後述するように、印刷検査のための半田印刷部の認識を行う。
【００２８】
機構制御部３６は、基板位置決め部１、クリーニングユニット２およびスクリーン印刷部１０の動作を制御する。表示部３７はディスプレイ装置であり、カメラ１８によって取得された画像や印刷検査の検査結果のほか、後述するように、自動運転時において自動的に印刷検査の検査結果を参照して行われるフィードバック動作の実行・不実行を予め設定する作業動作モード設定用の操作画面の表示を行う。
【００２９】
次に図５を参照して、プログラム記憶部３１およびデータ記憶部３２にそれぞれ記憶されるプログラムおよびデータについて説明する。プログラム記憶部３１には、印刷動作プログラム３１ａ、画像処理プログラム３１ｂ、印刷検査プログラム３１ｃ、フィードバック処理プログラム３１ｄなどの各種プログラムが記憶されている。
【００３０】
印刷動作プログラム３１ａは、基板位置決め部１およびスクリーン印刷部１０の動作を制御して基板９へのクリーム半田の印刷を行う印刷動作のためのプログラムである。画像処理プログラム３１ｂは、画像処理部３５がカメラ１８の撮像結果に基づき、基板位置検出および印刷後の基板９を撮像した撮像結果を認識処理することにより、基板９の印刷対象部位に印刷された半田印刷部の面積などの検査諸量を算出するためのプログラムである。
【００３１】
印刷検査プログラム３１ｃは、画像処理部３５によって算出された半田印刷部の面積などの検査諸量を検査しきい値と比較することによって、印刷対象部位毎に印刷状態の検査を行うためのプログラムである。ここでは、印刷対象部位における正規半田印刷面積との比率により、印刷量が過小であることを示す「かすれ」、印刷量が過大であることを示す「にじみ」、正規の印刷範囲からずれた位置に半田が印刷される「位置ずれ」および隣接した半田印刷部位の間で半田が不正常に連結される「ブリッジ」について、検査結果が出力される。
【００３２】
画像処理部３５および演算部３０が印刷検査プログラム３１ｃを実行することにより実現される機能は、「にじみ」、「かすれ」を検査項目に含む印刷検査を行い、これらの検査項目について所定の検査しきい値に基づく判定結果を出力する印刷検査手段を構成する。ここで検査しきい値に基づく判定には、後述するように、良・不良の切り分けを示す合否判定と、不良とは判定されないものの何らかの処置をするのが望ましいことを示す警告判定とを含んでいる。
【００３３】
フィードバック処理プログラム３１ｄは、上述の印刷検査において検査結果が不良判定には該当しないものの不良に移行する可能性のある一定の傾向を示している場合に、特定条件下で選択・実行されるフィードバック動作の選択・実行に関する処理を行うプログラムである。本実施の形態では、フィードバック動作として、印刷済みの基板に対して「かすれ」の状態改善を目的として再度クリーム半田を印刷する重ね刷り印刷と、印刷動作を実施する途中において実行されるマスクプレートのクリーニングとが設定されており、自動運転においては予め選択・設定された作業動作モードに基づいてこれらのフィードバック動作が選択的に実行できるようになっている。これにより、印刷対象の基板の印刷難度や特性に応じた適切な印刷動作が実現される。
【００３４】
図８は、この作業動作モード設定のための操作画面を示している。図８において、表示部３７の表示画面４０には、自動運転において印刷検査後クリーニングをフィードバック動作として実行するか否かを選択するための操作スイッチ４１ａ、４１ｂおよび同様に自動運転において印刷検査後重ね刷りをフィードバック動作として実行するか否かを選択するための操作スイッチ４２ａ、４２ｂが表示されている。
【００３５】
ここで、操作スイッチ４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂをそれぞれ選択することにより、後述するように、自動運転時の作業動作モードが予め設定される。従って、演算部３０がフィードバック処理プログラム３１ｄを実行することによって実現される機能は、自動運転時における重ね刷り印刷の実行・不実行およびクリーニング動作の実行・不実行を組み合わせた作業動作モードを予め設定するモード設定手段となっている。
【００３６】
さらに演算部３０がフィードバック処理プログラム３１ｄを実行することによって実現される機能は、印刷済みの基板に対して「かすれ」の状態改善を目的として再度ペーストを印刷する重ね刷り印刷を実行するか否かを、印刷検査手段による検査結果に基づき判定する重ね刷り印刷実行判定手段と、マスクプレート１２を対象としてクリーニング動作を実行するか否かを印刷検査手段による検査結果に基づき判定するクリーニング動作実行判定手段とを兼ねたものとなっている。
【００３７】
データ記憶部３２には、実装データ３２ａ、部品データライブラリ３２ｂ、印刷位置データ３２ｃおよび検査しきい値データ３２ｄが記憶されている。実装データ３２ａは、クリーム半田印刷後の基板に対して電子部品を実装する実装動作において用いられるデータ、すなわち実装される電子部品の種類を基板上における実装位置座標と関連させたデータである。部品データライブラリ３２ｂは、基板に実装される個々の電子部品に関するデータである。
【００３８】
印刷位置データ３２ｃは、搬入された各基板を基板位置決め部１によってマスクプレート１２に対して位置決めした際のＸ，Ｙ，θ各軸の座標値を示す位置決めデータであり、個々の基板について記憶される。そして読み出された印刷位置データに基づいて機構制御部３６が基板位置決め部１を制御することにより、印刷後に一旦位置決めを解除された基板を再び印刷実行時と同一位置に位置合わせすることが可能となっている。すなわち、データ記憶部３２は、一の基板を位置決めして印刷したときの位置決めデータを各基板毎に記憶する印刷位置記憶手段となっており、機構制御部３６は基板位置決め部１を位置決めデータに基づいて制御する位置決め制御手段となっている。
【００３９】
検査しきい値データ３２ｄは、印刷検査において、各印刷対象部位毎に検査項目毎に合否判定やフィーダバック動作の要否判定を行うためのしきい値データである。図６に示すように、検査しきい値データは、「かすれ」、「にじみ」、「位置ずれ」および「ブリッジ」の各項目について、印刷対象部位としての電極種類毎に数値データが設定されている。
【００４０】
ここで図７を参照して、これらの検査項目について説明する。図７（ａ）は、正規の印刷範囲ａに対して印刷されたクリーム半田Ｓの位置そのものがずれている「位置ずれ」を示している。また図７（ｂ）、（ｃ）は、印刷範囲ａ内におけるクリーム半田Ｓの印刷量（印刷面積で代用する）が過小の「かすれ」、およびこの反対にクリーム半田Ｓの印刷量が過大で印刷範囲ａをはみ出して印刷されている「にじみ」をそれぞれ示している。図７（ｄ）は、２つの隣接した印刷範囲ａの間でクリーム半田Ｓが連結した「ブリッジ」を示している。
【００４１】
これらの数値データのうち、「かすれ」、「にじみ」については、印刷範囲ａの正規印刷面積に対する比率に基づいてしきい値が設定されている。「かすれ」の場合には、−ＮＧ（％）以下の場合に不良判定がなされ、−ＮＧ（％）を超えていれば合格と判定される。但しこのとき、−ＦＢ（％）以下であれば、合格判定ではあるものの、フィードバック対象として警告が出力される。また「にじみ」の場合には、＋ＮＧ（％）を超えていれば不良判定がなされ、＋ＮＧ（％）以下であれば合格と判定される。但しこのとき、＋ＦＢ（％）を超えていれば合格判定ではあるものの、フィーダバック対象として警告が出力される。
【００４２】
「位置ずれ」については、正規印刷位置からの位置ずれ量Ｘｍｍ、Ｙｍｍによって合否判定がなされる。また「ブリッジ」については、画像認識処理において個々の印刷範囲ａの周囲に設定される検査用ウインドウＷの境界線がクリーム半田Ｓを横切っている範囲の幅寸法Ｂのウインドウ幅全体に対する比率によって「ブリッジ」の合否が判定され、幅寸法Ｂの比率がしきい値以上であれば、リフロー時に半田接合異常を発生する可能性の高い有害な「ブリッジ」であると判定する。
【００４３】
このスクリーン印刷装置は上記のように構成されており、次に図９〜図１２を参照して、スクリーン印刷方法について説明する。以下に示すスクリーン印刷においては、印刷動作の自動運転開始に先立って、自動運転において印刷検査後にクリーニングおよび重ね印刷をフィードバック動作として実行するか否かを予め選択するための作業動作モードが設定される。
【００４４】
図９は、この作業動作モードの設定においてクリーニングおよび重ね印刷の双方が選択された場合の動作フローを示している。まず、搬入された基板９を対象として印刷動作が実行される（ＳＴ１）。すなわち、パターン孔１２ａが設けられたマスクプレート１２を基板９に当接させ、マスクプレート１２上にクリーム半田を供給してスキージ１４を摺動させることにより、パターン孔１２ａを介して基板９にクリーム半田を印刷する。
【００４５】
次いで印刷後の基板９を対象として半田検査が実行される（ＳＴ２）。すなわち、印刷後の基板におけるクリーム半田の印刷状態について、「にじみ」、「かすれ」を含む検査項目について検査を行い、各検査項目について所定の検査しきい値に基づく判定結果を出力する（印刷検査工程）。そしてこの判定結果より不良の有無が判断される（ＳＴ３）。ここで、いずれかの印刷対象部位について不良有りならばその旨報知され、装置動作がシングル停止する（ＳＴ４）。
【００４６】
そして、不良無しの場合には、警告の有無、すなわち検査諸量がフィードバック対象として設定された検査しきい値を超えているか否かを判定し（ＳＴ５）、警告無しであれば印刷状態は正常であると判断して次の基板を対象とした印刷動作へ移行する（ＳＴ６）。（ＳＴ５）にて警告有りの場合には、警告内容が全てかすれ傾向であるか否か（ＳＴ７）、すなわち警告対象となった検査項目が全て「かすれ」について検出された警告であるか否かを判定する。
【００４７】
ここで警告対象となった検査項目が「かすれ」以外の「にじみ」などの検査項目を含んでいる場合には、クリーニングを実行し（ＳＴ８）、次の基板を対象とした印刷動作へ移行する（ＳＴ６）。すなわち、ここではクリーニング動作を実行するか否かを、印刷検査手段による検査結果に基づき判定し（クリーニング動作実行判定工程）、クリーニング動作実行と判定されたならば、クリーニングユニット２によりマスクプレート１２のクリーニングを行う（クリーニング工程）。このクリーニングにより、「にじみ」などによってマスクプレート１２に付着したクリーム半田Ｓを除去した後に次基板の印刷が行われ、警告有りの状態を放置することによる不良の発生が防止される。
【００４８】
そして、（ＳＴ７）にて全てかすれ傾向である場合には、まずクリーニングを実行し（ＳＴ９）、その後に重ね刷りを実行し（ＳＴ１０）、（ＳＴ６）に移行する。重ね刷り印刷では、当該基板についての印刷位置決めデータを読み出して基板９を再度マスクプレート１２に対して位置合わせし、スキージ１４を摺動させて基板９にクリーム半田の重ね刷り印刷を行った上で、当該基板の印刷動作を終了する。
【００４９】
すなわち、上記処理においては、印刷済みの基板に対して「かすれ」の状態改善を目的として再度ペーストを印刷する重ね刷り印刷を実行するか否かを、印刷検査工程の検査結果に基づき判定し（重ね刷り印刷実行判定工程）、重ね刷り印刷実行の対象と判定された基板９をマスクプレート１２に再度当接させてクリーム半田を印刷する（重ね刷り印刷工程）。これにより、前回の印刷動作において印刷量がやや少ない「かすれ」傾向の状態が改善され、印刷品質が向上する。
【００５０】
図１０は、動作モードの設定において重ね印刷のみが選択された場合の動作フローを示している。この場合には、図９と同様に（ＳＴ１）、（ＳＴ２）、（ＳＴ３）、（ＳＴ５）、（ＳＴ７）の各ステップが実行される。そして（ＳＴ７）にて全てかすれ傾向に該当しない場合には、クリーニングを実行することなくそのまま（ＳＴ４）に移行してシングル停止する。これ以外の各ステップについては、図９と同様である。
【００５１】
また図１１は、作業動作モードの設定においてクリーニングのみが選択された場合の動作フローを示している。この場合においても図９と同様に（ＳＴ１）、（ＳＴ２）、（ＳＴ３）、（ＳＴ５）、（ＳＴ７）の各ステップが実行される。そして（ＳＴ７）にて全てかすれ傾向に該当する場合には、そのまま（ＳＴ４）に移行してシングル停止する。これ以外の各ステップについては、図９と同様である。
【００５２】
さらに、図１２は、作業動作モードの設定においてクリーニングおよび重ね印刷のいずれも選択されなかった場合の動作フローを示している。この場合には、図９と同様に（ＳＴ１）、（ＳＴ２）、（ＳＴ３）、（ＳＴ５）の各ステップが実行され、警告有りの場合にはそのまま（ＳＴ４）に移行してシングル停止し、警告無しの場合にのみ（ＳＴ６）に移行して次の基板への印刷動作を行うようにしている。図９〜図１２に示す印刷動作フローは、印刷対象の基板の特性や、必要とされる印刷品質レベルに応じて選択される。なお、装置のシングル停止の頻度を減らして生産性を向上させるためには、作業動作モードの設定においてクリーニングおよび重ね印刷の双方を選択するのが望ましい。
【００５３】
上記説明したように、本実施の形態に示すスクリーン印刷においては、印刷後の基板におけるクリーム半田の印刷状態について、「にじみ」、「かすれ」を含む検査項目について検査を行い、印刷済みの基板に対して「かすれ」の状態改善を目的として再度クリーム半田を印刷する重ね刷り印刷を実行するか否かを印刷検査において得られた検査諸量に基づいて判定するようにしている。これにより、印刷検査において求められた検査諸量を有効に活用し、印刷検査の有用性を向上させることができる。
【００５４】
【発明の効果】
本発明によれば、印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷対象部位における印刷範囲からペーストがはみ出した「にじみ」および印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を含む検査項目について検査を行い、印刷済みの基板に対して「かすれ」の状態改善を目的として再度ペーストを印刷する重ね刷り印刷を実行するか否かを印刷検査の検査結果に基づき判定するようにしたので、印刷検査において求められた検査諸量を有効に活用し、印刷検査の有用性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図
【図２】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図
【図４】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図
【図５】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のプログラム記憶部およびデータ記憶部の記憶内容を示す図
【図６】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の検査しきい値データを示す図
【図７】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷における印刷不良状態の説明図
【図８】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の表示画面を示す図
【図９】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法の動作フロー図
【図１０】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法の動作フロー図
【図１１】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法の動作フロー図
【図１２】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法の動作フロー図
【符号の説明】
１　基板位置決め部
２　クリーニングユニット
９　基板
１０　スクリーン印刷部
１２　マスクプレート
１３　スキージユニット
３０　演算部
３１　プログラム記憶部
３１ｃ　印刷検査プログラム
３１ｄ　フィードバック処理プログラム
３２　データ記憶部
３２ｃ　印刷位置データ
３２ｄ　検査しきい値データ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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