(57)【要約】【課題】円滑な駆動と正確な位置決めとが可能であり、配線のトラブルを防止することができ、大きな移動範囲を有するＸＹテーブルを提供する。【解決手段】ＸＹテーブルに、ベース板１と、ベース板１がＹ方向に移動自在になるようにして載置された第１の移動部材２と、第１の移動部材２がＸ方向に移動自在になるようにして載置されたＸ方向用固定部材４と、ベース板１に固定された連結用部材６と、連結用部材６の下端部に係合し連結用部材６がＸ方向に移動自在になるようにして設けられた第２の移動部材８と、第２の移動部材８がＹ方向に移動自在になるようにして載置されたＹ方向用固定部材９とを備え、Ｘ方向用固定部材４とＹ方向用固定部材９とが装置本体に固定されている。これにより、Ｙ方向用固定部材９がＸ方向用固定部材４の荷重を受けずに、ベース板１がＸ方向とＹ方向とに移動するので、円滑な移動と正確な位置決めとが可能になる。【選択図】　　図１
2004074359.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置本体に搭載され、一定の平面内においてベース板をＸ方向と該Ｘ方向に直交するＹ方向とに移動させるＸＹテーブルであって、
前記ベース板が前記Ｙ方向に移動自在になるようにして搭載されている第１の移動部材と、
前記装置本体に固定され、前記第１の移動部材が前記Ｘ方向に移動自在になるようにして搭載されているＸ方向用固定部材と、
前記ベース板に一体的に設けられた連結用部材と、
前記連結用部材に係合しており、該連結用部材を介して前記ベース板と前記第１の移動部材とが前記Ｘ方向に移動自在になるようにして設けられた第２の移動部材と、
前記装置本体に固定され、前記第２の移動部材が前記Ｙ方向に移動自在になるようにして搭載されているＹ方向用固定部材と、
前記第１の移動部材を前記Ｘ方向に移動させるＸ方向移動機構と、
前記第２の移動部材を前記Ｙ方向に移動させるＹ方向移動機構とを備えるとともに、
前記第１の移動部材は前記ベース板を搭載した状態で前記Ｘ方向に移動することができ、かつ、前記第２の移動部材は前記連結用部材に係合した状態で前記Ｙ方向に移動することができることを特徴とするＸＹテーブル。
【請求項２】
請求項１記載のＸＹテーブルにおいて、
前記ベース板と前記連結用部材と前記第１の移動部材との荷重の一部分が前記Ｘ方向用固定部材に加わるとともに、
前記ベース板と前記連結用部材と前記第１の移動部材との荷重の残りの部分及び前記第２の移動部材の荷重が前記Ｙ方向用固定部材に加わることを特徴とするＸＹテーブル。
【請求項３】
請求項１又は２のいずれかに記載されたＸＹテーブルにおいて、
前記ベース板には電子部品用の基板が載置されることを特徴とするＸＹテーブル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、直交する２方向に移動することによって、載置された対象物を位置決めする場合に使用される、ＸＹテーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、載置された対象物を正確に位置決めする場合に使用されるＸＹテーブルは、次のような構造を有していた。まず、対象物が載置されるベース板が、一方向、例えば、Ｘ方向に移動自在になるようにして、第１の移動機構の上に設けられた直動ガイドの上に載置される。そして、ベース板が載置された第１の移動機構が、前述の一方向に直交する別方向、例えば、Ｙ方向に移動自在になるようにして、第２の移動機構の上に設けられた直動ガイドの上に載置される。この構造により、ベース板はＸ方向とＹ方向との双方向に移動することができるので、移動範囲内において任意の位置決めが可能になる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のＸＹテーブルによれば、次のような問題が発生するおそれがある。近年、技術分野によっては、ＸＹテーブルに対して大きな移動範囲が要求されている。例えば、電子部品の製造に使用されるＸＹテーブルに対しては、シリコンウエーハ（シリコン基板）の大径化、半導体チップが装着されるプリント基板やセラミック基板等の多数個取り化及び大型化等の動向が顕著になっている。したがって、シリコン基板に対する検査、露光、切断等の諸工程や、プリント基板等に対する半導体チップのボンディング工程、更には、プリント基板等に半導体チップを樹脂封止した後の検査工程、切断工程等において、ＸＹテーブルに対して大きな移動範囲が必要になる。
【０００４】
このことにより、ベース板をＸ方向に移動させる第１の移動機構と、第１の移動機構が載置されこれをＹ方向に移動させる第２の移動機構とについても、大型化・重量化している。したがって、第２の移動機構の上に載置された第１の移動機構の荷重が第２の移動機構に対して加わることにより、第２の移動機構を構成するボールねじ等の機構に微小なたわみ等の変形が生じるので、ベース板の円滑な移動と正確な位置決めとが阻害されるおそれがある。
また、上側に位置する第１の移動機構において、モータ等への配線の引き回しの長さと配線の移動距離とが増大するので、断線等のトラブルが生じるおそれがある。
【０００５】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、大きな移動範囲を有するＸＹテーブルであって、円滑な駆動と正確な位置決めとが可能であり、配線のトラブルを防止することができるＸＹテーブルを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の技術的課題を解決するために、本発明に係るＸＹテーブルは、装置本体に搭載され、一定の平面内においてベース板をＸ方向と該Ｘ方向に直交するＹ方向とに移動させるＸＹテーブルであって、ベース板がＹ方向に移動自在になるようにして搭載されている第１の移動部材と、装置本体に固定され、第１の移動部材がＸ方向に移動自在になるようにして搭載されているＸ方向用固定部材と、ベース板に一体的に設けられた連結用部材と、連結用部材に係合しており、該連結用部材を介してベース板と第１の移動部材とがＸ方向に移動自在になるようにして設けられた第２の移動部材と、装置本体に固定され、第２の移動部材がＹ方向に移動自在になるようにして搭載されているＹ方向用固定部材と、第１の移動部材をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構と、第２の移動部材をＹ方向に移動させるＹ方向移動機構とを備えるとともに、第１の移動部材はベース板を搭載した状態でＸ方向に移動することができ、かつ、第２の移動部材は連結用部材に係合した状態でＹ方向に移動することができることを特徴とする。
【０００７】
これによれば、一体的に設けられたベース板及び連結用部材は、次のようにしてＹ方向に移動する。すなわち、第１の移動部材上を移動するとともに、連結用部材に係合する第２の移動部材を介してＹ方向用固定部材上を移動する。また、ベース板及び連結用部材は、次のようにしてＸ方向に移動する。すなわち、第１の移動部材を介してＸ方向用固定部材上を移動するとともに、連結用部材に係合する第２の移動部材に沿って移動する。更に、Ｘ方向用固定部材とＹ方向用固定部材との双方が、装置本体に固定されている。したがって、Ｘ方向用固定部材の下方に位置するＹ方向用固定部材がＸ方向用固定部材の荷重を受けることなく、ベース板がＸ方向とＹ方向との双方向に移動することが可能になる。
【０００８】
また、本発明に係る樹脂成形装置は、上述したＸＹテーブルにおいて、ベース板と連結用部材と第１の移動部材との荷重の一部分がＸ方向用固定部材に加わるとともに、ベース板と連結用部材と第１の移動部材との荷重の残りの部分及び第２の移動部材の荷重がＹ方向用固定部材に加わることを特徴とする。
【０００９】
これによれば、ベース板と連結用部材と第１の移動部材との荷重が、Ｘ方向用固定部材とＹ方向用固定部材とに分散して加えられる。これにより、Ｘ方向用固定部材の下方に位置するＹ方向用固定部材に加えられる荷重が減少するので、Ｙ方向用固定部材において微小な変形が生じにくくなる。したがって、Ｘ方向及びＹ方向の双方において、ベース板が円滑に移動するとともに正確に位置決めされる。
【００１０】
また、本発明に係るＸＹテーブルは、上述したＸＹテーブルにおいて、ベース板には電子部品用の基板が載置されることを特徴とする。
【００１１】
これによれば、電子部品用の基板に対する処理や実装等を行う工程において、基板を載置したベース板が円滑に移動して正確に位置決めされる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るＸＹテーブルを、図１を参照して説明する。図１は、本発明に係るＸＹテーブルの構造を示す斜視図である。ここでは、ＸＹテーブルがボンディング装置に搭載される場合を例にとって、説明する。この場合には、ＸＹテーブルには電子部品用の基板が載置され、その基板が、水平面におけるＸ方向と、水平面においてＸ方向に直交するＹ方向とに移動して、位置決めされる。
【００１３】
図１及び図２（Ａ），（Ｂ）において、電子部品用の基板が載置されるベース板１は、第１の移動部材２が有する直動ガイド３の上において、Ｙ方向に移動自在に設けられている。第１の移動部材２は、装置本体に固定されたＸ方向用固定部材４が有する直動ガイド５の上を、Ｘ方向に移動自在に設けられている。ベース板１の側面に固定された連結用部材６は、第１の移動部材２の底板に設けられた開口７を通って下方へと伸びている。そして、連結用部材６は、その下端部付近が、Ｌ字状の形状を有する第２の移動部材８の立上り部に設けられた直動ガイド（図示なし）に係合して、第２の移動部材８に沿ってＸ方向に移動自在に設けられている。したがって、一体的に設けられたベース板１及び連結用部材６は、Ｘ方向において、第１の移動部材２を介してＸ方向用固定部材４の直動ガイド５の上を移動するとともに、連結用部材６に係合する第２の移動部材８の直動ガイド（図示なし）に沿って移動することができる。
【００１４】
第２の移動部材８は、装置本体に固定されたＹ方向用固定部材９が有する直動ガイド１０の上においてＹ方向に移動自在に設けられている。したがって、一体的に設けられたベース板１及び連結用部材６は、Ｙ方向において、第１の移動部材２の直動ガイド３の上を移動するとともに、連結用部材６に係合する第２の移動部材８を介してＹ方向用固定部材９の直動ガイド１０の上を移動することができる。
【００１５】
サーボモータ１１は、Ｘ方向用固定部材４に取り付けられ、ボールねじ１２とブロック（図示なし）とを介して、第１の移動部材２をＸ方向に移動させる駆動源である。直動ガイド５とサーボモータ１１とボールねじ１２とは、併せてＸ方向移動機構１３を構成する。
同様に、サーボモータ１４は、Ｙ方向用固定部材９に取り付けられ、ボールねじ１５とブロック（図示なし）とを介して、第２の移動部材８をＹ方向に移動させる駆動源である。直動ガイド１０とサーボモータ１４とボールねじ１５とは、併せてＹ方向移動機構１６を構成する。
【００１６】
ここで、Ｘ方向用固定部材４とＹ方向用固定部材９とは、互いに独立して、ＸＹテーブルが使用される装置本体に、直接又は架台を介して固定されている。これにより、Ｘ方向用固定部材４の下方に位置するＹ方向用固定部材９がＸ方向用固定部材４の荷重を受けることなく、ベース板１がＸ方向とＹ方向との双方向に移動することができる。そして、ベース板１の上に載置された電子部品用の基板（図示なし）は、Ｘ方向とＹ方向との双方向に円滑に移動して正確に位置決めされる。したがって、正確な位置決めが要求されるフリップチップボンディングにおいて大型の基板を使用した場合においても、広い移動範囲にわたって、円滑な移動と正確な位置決めとが可能になる。
【００１７】
以上説明したように、本発明に係るＸＹテーブルによれば、Ｙ方向用固定部材９がＸ方向用固定部材４の荷重を受けることなく、ベース板１がＸ方向とＹ方向との双方向に移動する。このことにより、例えば、２００ｍｍを超えるような大きな移動距離を有するＸＹテーブルにおいても、Ｙ方向用固定部材９においてボールねじ１５等に微小なたわみ等の変形が生じにくくなる。したがって、ベース板１が、Ｘ方向及びＹ方向の双方において、特にＺ方向（Ｘ方向とＹ方向とが形成する平面に直交する方向）に振れを生じることなく、円滑に移動する。また、ベース板１が、Ｚ方向に振れを生じることなく、Ｘ方向及びＹ方向の双方において正確に位置決めされる。
【００１８】
また、それぞれサーボモータ１１，１４が取り付けられているＸ方向用固定部材４，Ｙ方向用固定部材９がいずれも装置本体に固定されているので、サーボモータ１１，１４への配線が移動することがなくなる。したがって、断線等のトラブルの発生が防止されるとともに、移動範囲に対応する長さを有するケーブルを収納するためのケーブルベアが不要になる。
更に、Ｙ方向用固定部材９が受ける荷重が低減されるので、サーボモータ１４として低容量・低トルクのモータを使用することができる。
【００１９】
なお、これまでの説明では、水平面におけるＸ方向とＹ方向とについて説明したが、これに限らず、Ｘ方向とＹ方向とが直交していれば本発明を適用することができる。
【００２０】
また、本発明に係るＸＹテーブルを、Ｚ方向への移動機構と、Ｘ方向とＹ方向とが形成する平面において回転するθ方向の回転機構と組み合わせて、使用することもできる。
【００２１】
なお、連結用部材６は、ベース板１とは別部材であることとしたが、ベース板１と一体物であってもよい。また、平板状の連結用部材６をベース板１の側面に固定したが、連結用部材６を逆Ｌ字状としてその上部をベース板１の下面に固定してもよい。更に、他の構成であっても、ベース板１と連結用部材６とが一体的に設けられていればよい。
【００２２】
また、電子部品用の基板が載置されるベース板１について説明した。ここでいう基板には、シリコン基板等の半導体基板、半導体チップが装着されるプリント基板やセラミック基板等、半導体チップが樹脂封止された後のプリント基板やセラミック基板等が含まれる。また、このような基板以外の、例えば、被切削物等の被加工物が載置されるベース板についても、同様に本発明を適用することができる。
【００２３】
また、本発明に係るＸＹテーブルが使用される工程としては、電子部品用の基板に対する、検査、露光、切断、ダイボンディング、フリップチップボンディング等の各工程が考えられる。また、被加工物に対する切断、切削、開孔等の各工程が考えられる。
【００２４】
また、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に変更・選択して採用できるものである。
【００２５】
【発明の効果】
本発明によれば、Ｘ方向用固定部材の下方に位置するＹ方向用固定部材がＸ方向用固定部材の荷重を受けることなく、ベース板がＸ方向とＹ方向との双方向に移動する。したがって、Ｙ方向用固定部材において微小な変形が生じにくくなるので、Ｘ方向及びＹ方向の双方において、ベース板が円滑に移動するとともに正確に位置決めされる。また、Ｘ方向用固定部材とＹ方向用固定部材との双方が固定されているので、これらにおいて使用されている配線が移動することがない。したがって、配線に荷重が加えられないので、断線等の発生が防止される。
したがって、本発明は、円滑な駆動と正確な位置決めとが可能であり、配線のトラブルを防止することができるＸＹテーブルを提供できるという、優れた実用的な効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＸＹテーブルの構造を示す斜視図である。
【符号の説明】
１　ベース板
２　第１の移動部材
３，５，１０　直動ガイド
４　Ｘ方向用固定部材
６　連結用部材
７　開口
８　第２の移動部材
９　Ｙ方向用固定部材
１１，１４　サーボモータ
１２，１５　ボールねじ
１３　Ｘ方向移動機構
１６　Ｙ方向移動機構
【図１】
2004074359.tif 000003