(57)【要約】【課題】オーバーハング部を有する振動板を用いたヘッドには高集積化に限界がある。【解決手段】振動板２は圧電素子７が当接する厚肉部１２と、この厚肉部１２の周囲の薄肉部１１とを有し、厚肉部１２はパターンエッジ部分が薄肉部１１に対して二段のオーバーハング形状であり、かつ、薄肉部１１と厚肉部１２とを合わせた総厚Ｔが１０μｍ以上である。【選択図】　図２
2004090297.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルが連通する液室の少なくとも１つの壁面を形成する変形可能な振動板と、この振動板を変形させて前記液室内の圧力を変化させる駆動手段とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は駆動手段が当接する厚肉部と、この厚肉部の周囲の薄肉部とを有し、前記厚肉部はパターンエッジ部分が前記薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、かつ、前記薄肉部と厚肉部とを合わせた総厚が１０μｍ以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
液滴を吐出するノズルが連通する液室の少なくとも１つの壁面を形成する変形可能な振動板と、この振動板を変形させて前記液室内の圧力を変化させる駆動手段とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は駆動手段が当接する厚肉部と、この厚肉部の周囲の薄肉部とを有し、前記厚肉部はパターンエッジ部分が前記薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、かつ、前記薄肉部から一段目のオーバーハング部で薄肉部と接する点から該オーバーハング面の該接点に対向する点までの角度は、薄肉部上面から見て５°以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
液滴を吐出するノズルが連通する液室の少なくとも１つの壁面を形成する変形可能な振動板と、この振動板を変形させて前記液室内の圧力を変化させる駆動手段とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は駆動手段が当接する厚肉部と、この厚肉部の周囲の薄肉部とを有し、前記厚肉部はパターンエッジ部分が前記薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、かつ、隣接する厚肉部の１段目のオーバーハング部間の距離が１５μｍ以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
液滴を吐出するノズルが連通する液室の少なくとも１つの壁面を形成する変形可能な振動板と、この振動板を変形させて前記液室内の圧力を変化させる駆動手段とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は駆動手段が当接する厚肉部と、この厚肉部の周囲の薄肉部とを有し、前記厚肉部はパターンエッジ部分が前記薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、かつ、前記薄肉部から１段目のオーバーハング部から対向する厚肉部上部へ引いた接線の角度は、薄肉部上面から見て４５°以下であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
インク滴を吐出するインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置（画像形成装置）として用いるインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通するインク流路（吐出室、圧力室、加圧液室、液室、インク室等とも称される。）と、このインク流路内のインクを加圧する駆動手段とを備えた液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドを搭載したものである。なお、液滴吐出ヘッドとしては例えば液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどもあるが、以下ではインクジェットヘッドを中心に説明する。
【０００３】
このようなインクジェット記録装置において多色化、高画質化、高速化を達成するためには、ノズル数を増加することが有効であるが、単純にノズル数を増加させると、ヘッドが大型化し、このことがコストアップの原因となる。そこで、ヘッド自体の集積度を上げることによってノズル数を増加させつつヘッドの大型化を防ぐ必要がある。
【０００４】
ところで、インクジェットヘッドとしては、液室内で気化熱によって気泡を発生させるサーマル型のもの、圧電体などの電気機械変換素子を用いて液室の壁面を構成する振動板を変形させて液室内に圧力を発生させるピエゾ型のものが良く知られている。
【０００５】
このうち、後者のピエゾ型ヘッドは、インク選択の自由度が大きく、さらに内部圧力を精密にコントロールすることによって、吐出滴の大きさを自由にコントロールすることができるので、高画質化にとって有利である。しかし、サーマル型ヘッドに比べて、構造が複雑であるため、集積化に限界があり、その集積化を阻む要因の一つとして振動板の高密度化が挙げられる。
【０００６】
すなわち、積層圧電体を用いた一般的なインクジェットヘッドは、図９に示すように、液室隔壁２０１を形成する流路板と、ノズル２０２を形成したノズル板２０３と、振動板２０４を積層接合して、ノズル２０２が連通する液室（圧力室）２０５を形成し、振動板２０５には厚肉部２０６とその周囲の薄肉部２０７とを形成して、厚肉部２０６に積層型圧電素子２１０を当接して接合し、圧電素子２０１を駆動することによって液室２０５内の圧力を変化させてノズル２０２からインク的を吐出させる。
【０００７】
ここで、このような振動板の作製方法としては、例えば特開平６−１４３５７３号公報に記載されているように電鋳を用いる方法が知られている。この電鋳による振動板の作製工程について、図１０を参照して説明する。
【０００８】
同図（ａ）に示すように電鋳支持基板２１１に薄肉部２０８を形成する第一層２１２を形成し、同図（ｂ）に示すように厚肉部２０７間に相当する部分が窓２１３となるレジストパターン２１４を形成して例えばニッケル電鋳を行うことで、同図（ｃ）に示すように、第一層２１２上にニッケルが析出され堆積してニッケル層２１５が形成され、更に電鋳を継続することで、同図（ｄ）に示すように、窓２１３から突出するまでニッケル層２１５が成長すると、エッジ効果によりパターン２１４，２１４の表面方向にも肥大してオーバハング部２１５ａが生じる。このプロセスを継続していくと、同図（ｅ）に示すようにニッケル層２１５は厚み方向と平面方向にさらに伸長し、所定の成長の段階で電鋳を終了した後、パターン２１４を除去することで、同図（ｆ）に示すように、凹部２１６により囲まれた断面鋲型のアイランド状厚肉部２０６を備えた振動板が得られる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上述したような振動板の作製方法を用いることで、振動板の薄肉部と厚肉部を同一の工程で作製できる。また、厚肉部のパターン形成にフォトリソグラフィーを用いることができ、高いパターン精度が期待できる。
【００１０】
しかしながら、部品としてのハンドリング等を考慮した場合、厚肉部は或る一定以上の厚みが必要であり、このためオーバーハング２１５ａが発生するのは避けられない。このためパターン２１４間の間隔を狭くした場合、このオーバーハング形状が重なってしまうため、微細化には限界が生じる。
【００１１】
また、微細化するためオーバーハング間の距離を小さくすると、レジストパターンを剥離するときにレジストが剥離しきれずにオーバーハング部に残ってしまう不都合が生じる。
【００１２】
さらに、オーバーハング間の距離に対して相対的にオーバーハング長さが長くなるため、オーバーハング下の薄肉部にもしピンホール等が発生していた場合、発見する事ができなくなり、部品の信頼性が低くなる。
【００１３】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ヘッドの高集積化を可能とする信頼性の高い振動板を備えた液滴吐出ヘッド及びこの液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、振動板は駆動手段が当接する厚肉部と、この厚肉部の周囲の薄肉部とを有し、厚肉部はパターンエッジ部分が薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、かつ、薄肉部と厚肉部とを合わせた総厚が１０μｍ以上である構成としたものである。
【００１５】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、振動板は駆動手段が当接する厚肉部と、この厚肉部の周囲の薄肉部とを有し、厚肉部はパターンエッジ部分が薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、かつ、薄肉部から一段目のオーバーハング部で薄肉部と接する点から該オーバーハング面の該接点に対向する点までの角度は、薄肉部上面から見て５°以上である構成としたものである。
【００１６】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、振動板は駆動手段が当接する厚肉部と、この厚肉部の周囲の薄肉部とを有し、厚肉部はパターンエッジ部分が薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、かつ、隣接する厚肉部の１段目のオーバーハング部間の距離が１５μｍ以上である構成としたものである。
【００１７】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、振動板は駆動手段が当接する厚肉部と、この厚肉部の周囲の薄肉部とを有し、厚肉部はパターンエッジ部分が薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、かつ、薄肉部から１段目のオーバーハング部から対向する厚肉部上部へ引いた接線の角度は、薄肉部上面から見て４５°以下である構成としたものである。
【００１８】
本発明に係るインクジェット記録装置は、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載したものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドの実施形態について図１を参照して説明する。なお、同図は同ヘッドの振動板短辺方向に沿う要部断面説明図である。
【００２０】
このインクジェットヘッドは、液室間隔壁１ａを有する流路板１と、振動板２と、ノズル４を形成したノズル板３とを接合することによって、ノズル４が連通する液室６を形成し、また、図示しないが、液室６に流体抵抗部を介してインクを供給するための共通液室を形成している。
【００２１】
そして、振動板２の外面側には振動板２を変形させて液室６内のインクを加圧するための駆動手段（アクチュエータ手段）である電気機械変換素子としての積層型圧電素子７と支柱部８とを設けている。これらの圧電素子７及び支柱部８の他端部は基板９に接合している。
【００２２】
ここで、流路板１は、例えば結晶面方位（１１０）の単結晶シリコン基板を水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ）などのアルカリ性エッチング液を用いて異方性エッチングすることで、液室６などの流路パターンを形成したものであるが、単結晶シリコン基板に限られるものではなく、その他のステンレス基板や感光性樹脂などを用いることもできる。
【００２３】
振動板２は、ニッケルの金属プレートから形成したもので、例えばエレクトロフォーミング法（電鋳法）で作製している。この振動板２は液室１６に対応する部分に変形を容易にするための薄肉部１１及び圧電素子７と当接して接合するための厚肉部１２を形成するとともに、隔壁１ａに対応する部分にも厚肉部１２を形成し、平坦面側を流路板１に接着剤接合し、厚肉部１２を圧電素子７に接着剤接合し、更に他の厚肉部１２を支柱部８に接着剤で接合している。なお、支柱部８は圧電素子７と同じに形成したものであるが、駆動電圧を印加しないため単なる支柱として機能する。この振動板２の構造の詳細については後述する。
【００２４】
ノズル板３は各液室６に対応して直径１０〜３０μｍのノズル４を形成し、流路板１に接着剤接合している。このノズル板３としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、金属とポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂との組み合せ、、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。
【００２５】
圧電素子７は、圧電材料９ａと内部電極９ｂとを交互に積層した積層型圧電素子（ここではＰＺＴ）である。この実施形態では、圧電素子７の圧電方向としてｄ３３方向の変位を用いて液室６内インクを加圧する構成としている。
【００２６】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、圧電素子７に対して選択的に２０〜５０Ｖの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された圧電素子７が積層方向に伸長して振動板２をノズル４方向に変形させ、液室６の容積／体積変化によって液室６内のインクが加圧され、ノズル４からインク滴が吐出（噴射）される。
【００２７】
そして、インク滴の吐出に伴って液室６内の液圧力が低下し、このときのインク流れの慣性によって液室６内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、圧電素子７への電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板２が元の位置に戻って液室６が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。このとき、共通液室から液室１６内にインクが充填される。そこで、ノズル４のインクメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次のインク滴吐出のために圧電素子７にパルス電圧を印加しインク滴を吐出させる。
【００２８】
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや引き−押し打ちを行うこともできる。
【００２９】
そこで、振動板２の構造の詳細について図２以降をも参照して説明する。
振動板２の厚肉部１２のパターンエッジ部分は２段のオーバーハング部１２ａ、１２ｂを有するオーバハング形状をしている。ここで、振動板２の厚肉部１２を拡大して図２に、更にこの図２のＡ部を拡大して図３に示している。
【００３０】
厚肉部１２はパターンエッジ部分が薄肉部１１に対して２段のオーバーハング形状であり、薄肉部１１と厚肉部１２とを合わせた総厚Ｔを１０μｍ以上、この例では２７μｍとしている。
【００３１】
このように、厚肉部１２の厚みを１０μｍ以上とすることによって部品単体でのハンドリング性を確保することができ、また、２段のオーバーハング形状とすることによってオーバーハング長さｄを小さくすることができるので、厚肉パターン間の距離を微細化することも可能になり、ヘッドの高集積化を図ることができる。
【００３２】
なお、この例におけるその他の各部の寸法は、オーバーハング長さｄ＝９、オーバーハング高さｅ＝３、厚肉部幅ｇ＝４０、薄肉部幅ｆ＝４０（単位はすべてμｍ）としている。
【００３３】
また、薄肉部１１から１段目のオーバーハング部１２ａで薄肉部１１との接する点ｃからオーバーハング面の接点ｃとこれに対向する点ａとの接線２１が振動板２の薄肉部１１の上面となす角度θ１は５°以上、この例では約１８°としている。
【００３４】
このように薄肉部から一段目のオーバーハング部で薄肉部と接する点から該オーバーハング面の該接点に対向する点までの角度は、薄肉部上面から見て５°以上とする（θ１＝５°以上とする）ことによって、部品製作時におけるレジスト剥離性を確保でき、更にオーバーハング部分と薄肉部の間を間接的に照明することが可能となり、たとえば部分２２にピンホールがあるような場合でも、振動板２に対して厚肉部１２の側から４５°程度の斜め照明をすることによって、反対側（平坦側）から観測することができ、オーバーハング部１２ａの陰となる薄肉部１１のピンホールを逃さず検査することができるようになり、信頼性が向上する。
【００３５】
さらに、隣接する厚肉部１２、１２間の１段目のオーバーハング部１２ａ間の距離ｈは１５μｍ以上、この例では２２μｍとしている。
【００３６】
このように隣接する厚肉部１２、１２間の１段目のオーバーハング部１２ａ間の距離ｈは１５μｍ以上の間隔を保つことによって、振動板製作時のレジスト剥離性を確保することが可能となり、信頼性が向上する。
【００３７】
さらにまた、薄肉部１１から１段目のオーバーハング部１２ａから対向する厚肉部１２の上部ｂへ引いた接線２３が振動板２の薄肉部１１上面となす角度θ２は４５°以下、この例では３４°としている。
【００３８】
前述したように薄肉部１１のピンホール検査は斜め４５°程度からの照明をすることが好ましいが、この角度θ２が４５°よりも大きくなった場合、薄肉部１１は、厚肉部１２の完全に陰となってしまい、ピンホール検査が不充分になる。そこで、多段オーバーハング形状とした場合でも、薄肉部から１段目のオーバーハング部から対向する厚肉部上部へ引いた接線の角度は、薄肉部上面から見て４５°以下（θ２＝４５°以下にする。）ことによって、ピンホール検査が可能となり、信頼性の高い振動板の製造が可能となる。
【００３９】
次に、上記振動板の製作工程の一例を図４及び図５を参照して説明する。
先ず、図４（ａ）に示すように、シリコン基板４１の主平面側には導電層としてＴｉ４２をスパッタリングを用いて１００ｎｍ成膜し、次いで電解メッキによってＴｉ４２上にＮｉ４３を３μｍ成膜する。
【００４０】
その後、同図（ｂ）に示すように、フォトリソグラフィーによってＮｉ膜４３上の薄肉部となる部分にレジストパターン４４を形成する。レジストは通常用いられるノボラック系のポジ型レジストを用い、厚さは３μｍとした。
【００４１】
次いで、同図（ｃ）に示すように、電解メッキを用いてＮｉ膜４５を１２μｍ成膜する。このときレジスト厚さが３μｍであるため、厚肉部となるＮｉ膜４５のオーバーハング量は堆積厚さからレジスト厚さを引いた９μｍとなる。
【００４２】
さらに、同図（ｄ）に示すように、フォトリソグラフィを用いてレジストパターン４６を形成する。レジストパターン４４に対してレジストパターン４６は外側に３μｍオーバーラップさせて設計する。これにより、マスク間のアライメントずれやパターンの仕上がりばらつきを考慮しても、確実にパターン４６をパターン４４に対してオーバーラップした位置関係に保つことができる。レジストは通常用いられるノボラック系のポジ型レジストを用い、厚さは３μｍとした。
【００４３】
次に、図５（ａ）に示すように、電解メッキを用いてＮｉ膜４７を１２μｍ成膜する。このときレジスト厚さが３μｍであるため、厚肉部となるＮｉ膜４７のオーバーハング量は堆積厚さからレジスト厚さを引いた９μｍとなる。このとき、レジストパターン４６はレジストパターン４４に対してオーバーラップした位置関係となっているため、厚肉部となるＮｉ膜４７のパターンの側面部分は確実に２段のオーバーハング形状とすることができる。
【００４４】
その後、同図（ｂ）に示すように、レジストパターン４６、４４を剥離する。隣接するオーバーハング間距離（図３の距離ｈ）が１５μｍ以上に保たれており、また図３の角度θ１が１５°以上になっているため、オーバーハング下のレジストに対して剥離液が充分に拡散することができ、レジスト剥離が可能となる。
【００４５】
そして、同図（ｃ）に示すように、Ｎｉ膜をＴｉ４２との界面から引き剥がすことにより、２段のオーバハング形状を有する厚肉部１２を備えた振動板部材が得られる。このようにして、電鋳を用いて高密度化が可能な振動板を作製できる。
【００４６】
次に、この振動板２の薄肉部１１のピンホール検査方法の概略について図６を参照して説明する。振動板２の凸部面側（厚肉部１２を形成した面側）には少なくても２方向から主面に対して４５°の角度を持って検査光５１を照明する。一方、振動板の凸部裏面側（平坦面側）には光検出器５２を配置する。
【００４７】
これにより、もし薄肉部１１にピンホールが存在する場合にはピンホールを介して検査光５１が裏面側に漏れるため、それによってピンホールの有無を検出でき、確実な検査が可能となる。これにより、高い信頼性を有する振動板が得られる。
【００４８】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について図７及び図８を参照して説明する。なお、図７は同記録装置の斜視説明図、図８は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【００４９】
このインクジェット記録装置は、記録装置本体１１１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部１１２等を収納し、装置本体１１１の下方部には前方側から多数枚の用紙１１３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）１１４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙１１３を手差しで給紙するための手差しトレイ１１５を開倒することができ、給紙カセット１１４或いは手差しトレイ１１５から給送される用紙１１３を取り込み、印字機構部１１２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１１６に排紙する。
【００５０】
印字機構部１１２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１２１と従ガイドロッド１２２とでキャリッジ１２３を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ１２３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドからなるヘッド１２４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ１２３にはヘッド１２４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ１２５を交換可能に装着している。なお、ヘッド一体型インクカートリッジを用いることもできる。
【００５１】
インクカートリッジ１２５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
【００５２】
また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド１２４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【００５３】
ここで、キャリッジ１２３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド１２１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド１２２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ１２３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ１２７で回転駆動される駆動プーリ１２８と従動プーリ１２９との間にタイミングベルト１３０を張装し、このタイミングベルト１３０をキャリッジ１２３に固定しており、主走査モーター１２７の正逆回転によりキャリッジ１２３が往復駆動される。
【００５４】
一方、給紙カセット１１４にセットした用紙１１３をヘッド１２４の下方側に搬送するために、給紙カセット１１４から用紙１１３を分離給装する給紙ローラ１３１及びフリクションパッド１３２と、用紙１１３を案内するガイド部材１３３と、給紙された用紙１１３を反転させて搬送する搬送ローラ１３４と、この搬送ローラ１３４の周面に押し付けられる搬送コロ１３５及び搬送ローラ１３４からの用紙１１３の送り出し角度を規定する先端コロ１３６とを設けている。搬送ローラ１３４は副走査モータ１３７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００５５】
そして、キャリッジ１２３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１３４から送り出された用紙１１３を記録ヘッド１２４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１３９を設けている。この印写受け部材１３９の用紙搬送方向下流側には、用紙１１３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１４１、拍車１４２を設け、さらに用紙１１３を排紙トレイ１１６に送り出す排紙ローラ１４３及び拍車１４４と、排紙経路を形成するガイド部材１４５，１４６とを配設している。
【００５６】
記録時には、キャリッジ１２３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド１２４を駆動することにより、停止している用紙１１３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙１１３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙１１３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙１１３を排紙する。この場合、ヘッド１２４を構成する本発明に係るインクジェットヘッドはインク滴噴射の制御性が向上し、特性変動が抑制されているので、安定して高い画像品質の画像を記録することができる。
【００５７】
また、キャリッジ１２３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド１２４の吐出不良を回復するための回復装置１４７を配置している。回復装置１４７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ１２３は印字待機中にはこの回復装置１４７側に移動されてキャッピング手段でヘッド１２４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００５８】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド１２４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００５９】
このように、このインクジェット記録装置においては本発明に係る高集積化を図った信頼性の高い振動板を備えたインクジェットヘッドを搭載しているので、高画質記録が可能になる。
【００６０】
なお、上記実施形態においては、本発明に係る液滴吐出ヘッドをインクジェットヘッドに適用したが、インク以外の液体の滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する液滴吐出ヘッド、遺伝子分析試料を吐出する液滴吐出ヘッドなどにも適用することできる。
【００６１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、振動板は駆動手段が当接する厚肉部と、この厚肉部の周囲の薄肉部とを有し、厚肉部はパターンエッジ部分が薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、かつ、薄肉部と厚肉部とを合わせた総厚が１０μｍ以上である構成としたので、高集積化を図ることができる。
【００６２】
本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、振動板は駆動手段が当接する厚肉部と、この厚肉部の周囲の薄肉部とを有し、厚肉部はパターンエッジ部分が薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、かつ、薄肉部から一段目のオーバーハング部で薄肉部と接する点から該オーバーハング面の該接点に対向する点までの角度は、薄肉部上面から見て５°以上である構成としたので、高集積化及び信頼性の向上を図ることができる。
【００６３】
本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、振動板は駆動手段が当接する厚肉部と、この厚肉部の周囲の薄肉部とを有し、厚肉部はパターンエッジ部分が薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、かつ、隣接する厚肉部の１段目のオーバーハング部間の距離が１５μｍ以上である構成としたので、高集積化及び信頼性の向上を図ることができる。
【００６４】
本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、振動板は駆動手段が当接する厚肉部と、この厚肉部の周囲の薄肉部とを有し、厚肉部はパターンエッジ部分が薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、かつ、薄肉部から１段目のオーバーハング部から対向する厚肉部上部へ引いた接線の角度は、薄肉部上面から見て４５°以下である構成としたので、高集積化及び信頼性の向上を図ることができる。
【００６５】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたので、高画質記録化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドの実施形態を示す振動板短手方向に沿う断面説明図
【図２】同ヘッドの振動板の要部拡大説明図
【図３】図２のＡ部の拡大説明図
【図４】同振動板の製作工程の一例を説明する断面説明図
【図５】図４に続く工程を説明する断面説明図
【図６】同振動板のピンホール検査の説明に供する説明図
【図７】本発明に係るインクジェット記録装置の一例を示す斜視説明図
【図８】同記録装置の機構部の側面説明図
【図９】従来のインクジェットヘッドの要部を説明する断面説明図
【図１０】従来の振動板の製作工程を説明する断面説明図
【符号の説明】
１…流路板、１ａ…隔壁、２…振動板、３…ノズル板、４…ノズル、６…液室、７…圧電素子、８…支柱部、１１…薄肉部、１２…厚肉部、１２ａ…オーバーハング部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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