(57)【要約】【課題】作業効率を向上でき、不純物の混入による測定誤差への影響を最小限に抑制することができる光学的測定装置を提供すること。【解決手段】長手方向に長さ寸法が可変の真空容器１１の一端面を固定窓１７で密封する。また、真空容器１１の他端面を反射膜１３を有する光学的透明体１２で密封する。屈折率測定装置１の使用前に、真空容器１１に設けられた排気配管１８に真空ポンプを接続して真空容器１１内を真空にした状態で排気配管１８を溶着により封止する。繰り返し真空ポンプを接続する必要がないので、作業効率を向上できる。また、真空容器１１に塵埃等の混入するのを防止でき、測定誤差への影響を最小限に抑えることができる。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一つのレーザ光を分波して、一方の分波光束を長手方向の長さ寸法が可変の可変長真空光路セルへ入射させ、この可変長真空光路セルからの反射光束と前記他方の分波光束との干渉を利用して変位、屈折率等を計測する可変長真空光路セルを用いた光学的測定装置において、
前記可変長真空光路セルは、長手方向の一端に密封して設けられ、レーザ光が透過可能な光出入射部と、
前記可変長真空光路セルの他端に密封して設けられ、前記光出入射部から入射されたレーザ光を前記光出入射部へ反射する反射鏡と、
前記可変長真空光路セルに連通し、前記可変長真空光路セル内が真空の状態で先端が封止された排気配管とを備えている
ことを特徴とする可変長真空光路セルを用いた光学的測定装置。
【請求項２】
一つのレーザ光を分波して、一方の分波光束を長手方向の長さ寸法が可変の可変長真空光路セルへ入射させ、この可変長真空光路セルからの反射光束と前記他方の分波光束との干渉を利用して変位、屈折率等を計測する光学的測定装置に用いられる前記可変長真空光路セルの製造方法であって、
前記可変長真空光路セルの長手方向の一端にレーザ光が透過可能な光出入射部を密封し、
前記可変長真空光路セルの他端に前記光出入射部から入射されたレーザ光を前記光出入射部へ反射する反射鏡を密封するとともに、
一端が可変長真空光路セル内に連通し、かつ、他端が前記可変長真空光路セル外に突出した排気配管を設け、
使用前に予め前記可変長真空光路セルに連通する前記排気配管から空気を吸引して前記可変長真空光路セル内を真空にした後に、
前記排気配管の先端を真空を保持した状態で封止する
ことを特徴とする可変長真空光路セルの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の可変長真空光路セルの製造方法において、
前記排気配管の封止は、溶着によって行う
ことを特徴とする可変長真空光路セルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可変長真空光路セルを用いた光学的測定装置および可変長真空光路セルの製造方法に関する。より詳しくは、レーザ光の干渉を利用した、例えば気体屈折率測定装置や、光学的変位検出器などの光学的測定装置およびその光学的測定装置に用いられる可変長真空光路セルの製造方法に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来より、大気の屈折率を測定するのに屈折率計が用いられている。屈折率計は、レーザ干渉計からのレーザ光束の光路が内部に形成された容器を有し、この容器内が真空状態のときのレーザ干渉計の測定値と、容器内に大気が充填されている時のレーザ干渉計の測定値との差から大気の屈折率を求めるものである。
このような屈折率計には、例えば真空中を進むレーザ光束を用いたレーザ干渉計と、大気中を進むレーザ光束を用いたレーザ干渉計との二つのレーザ干渉計を用いるものがある。
【０００３】
この屈折率計は、一つのレーザ光束から分波された二つのレーザ光束を用いている。これらのレーザ光束のうち、一方の光路の途中には、金属ベローズで形成された可変長真空光路セルが設けられ、この可変長真空光路セルの可動端面には両面に反射鏡が設けられている。一方のレーザ光束は可変長真空光路セル内を進んでこの反射鏡の片面で反射されて一方のレーザ干渉計に入射する。一方、他方のレーザ光束は、大気中を進んで反射鏡のもう一方の片面、つまり一方のレーザ光束が反射される側とは反対側の面によって反射され、他方のレーザ干渉計に入射する。
このような構成を有する屈折率計では、可変長真空光路セルの可動端面の移動によって生じる真空光路の移動量を一方のレーザ干渉計で計測し、大気光路の移動量を他方のレーザ干渉計で計測し、これらの計測値から大気の屈折率を求めている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような構造の屈折率計では、通常可変長真空光路セルには排気口が設けられており、この排気口に真空ポンプを接続して可変長真空光路セル内を真空にする。しかしながら、排気口から真空ポンプまでの経路には、真空バルブや、配管継手、シール部材などが設けられており、これらの部材から微量ずつ空気が流入するため、長期間にわたって真空を保つことができない。したがって、測定の度に可変長真空光路セル内を真空にする作業が必要となる。このため、真空ポンプの可変長真空光路セルへの接続や、真空ポンプで空気を抜く作業などに時間がかかり、作業効率が悪い。また、測定の度に真空ポンプを接続するので、排気口から塵埃や、ポンプの油などの不純物が混入する可能性があり、測定精度に大きく影響する可能性がある。
【０００５】
本発明の目的は、作業効率を向上でき、不純物の混入による測定誤差への影響を最小限に抑制することができる可変長真空光路セルを用いた光学的測定装置および可変長真空光路セルの製造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そのため、本発明の請求項１に記載の可変長真空光路セルを用いた光学的測定装置は、一つのレーザ光を分波して、一方の分波光束を長手方向の長さ寸法が可変の可変長真空光路セルへ入射させ、この可変長真空光路セルからの反射光束と他方の分波光束との干渉を利用して変位、屈折率等を計測する光学的測定装置において、可変長真空光路セルは、長手方向の一端に密封して設けられ、レーザ光が透過可能な光出入射部と、可変長真空光路セルの他端に密封して設けられ、光出入射部から入射されたレーザ光を光出入射部へ反射する反射鏡と、可変長真空光路セルに連通し、可変長真空光路セル内が真空の状態で先端が封止された排気配管とを備えていることを特徴とする。
【０００７】
この構成の本発明では、可変長真空光路セル内の空気を抜く排気配管が設けられており、予め可変長真空光路セル内が真空になった状態でこの排気配管の先端が封止されている。よって、可変長真空光路セル内は真空状態で密閉され、半永久的に真空状態が保持される。このため、従来とは異なり測定の度に真空状態を作る必要がないので、測定の作業効率が向上する。
また、これにより、使用前に一回だけ排気配管に真空ポンプを接続して可変長真空光路セル内の空気を抜けばよいので、可変長真空光路セルへの塵埃等の不純物の混入が防止され、不純物の混入による測定誤差への影響が最小限に抑制される。
【０００８】
ここで、このような光学的測定装置は、例えば変位を測定する光学的変位検出器や、気体の屈折率を測定する気体屈折率測定装置等に適用することができる。光学的測定装置を光学的変位検出器に適用する場合には、可変長真空光路セルの長さ寸法が可変の方の一端に測定子などを取り付ける。この光学的測定装置では、可変長真空光路セルからの反射光束と他方の分波光束との干渉が得られるので、測定子の移動と共に可変長真空光路セルの寸法が変化すると、干渉の状態も変化する。この干渉の状態の変化から変位を計測できる。
また、光学的測定装置を気体屈折率測定装置に適用する場合には、本発明の光学的測定装置から得られる、可変長真空光路セルからの反射光束と他方の分波光束との干渉とは別に、気体に入射する前後の光束による干渉が得られるように構成する。そして、気体に入射させて得た光束の干渉と、可変長真空光路セルに入射させて得た光束の干渉とを比較することにより気体の屈折率を計測できる。
【０００９】
本発明の請求項２に記載の可変長真空光路セルの製造方法は、一つのレーザ光を分波して、一方の分波光束を長手方向の長さ寸法が可変の可変長真空光路セルへ入射させ、この可変長真空光路セルからの反射光束と他方の分波光束との干渉を利用して変位、屈折率等を計測する光学的測定装置に用いられる可変長真空光路セルの製造方法であって、可変長真空光路セルの長手方向の一端にレーザ光が透過可能な光出入射部を密封し、可変長真空光路セルの他端に光出入射部から入射されたレーザ光を光出入射部へ反射する反射鏡を密封するとともに、一端が可変長真空光路セル内に連通し、かつ、他端が可変長真空光路セル外に突出した排気配管を設け、使用前に予め可変長真空光路セルに連通する排気配管から空気を吸引して可変長真空光路セル内を真空にした後に、排気配管の先端を真空を保持した状態で封止することを特徴とする。
【００１０】
この方法の本発明では、使用前に予め可変長真空光路セル内の空気を排気配管から吸引して、真空状態で排気配管を封止する。よって、可変長真空光路セルは真空状態で密閉され、半永久的に真空状態が保持される。従来とは異なり、測定の度に真空状態を作る必要がないので、測定の作業効率が向上する。
また、これにより、使用前に一回だけ排気配管に真空ポンプを接続して可変長真空光路セル内の空気を抜けばよいので、可変長真空光路セルへの塵埃等の不純物の混入が防止され、不純物の混入による測定誤差の発生が最小限に抑制される。
ここで、使用前とは、可変長真空光路セルを製品として出荷する前や、可変長真空光路セルを光学的測定装置に組み込んで製品として出荷する前などをいう。
【００１１】
本発明の請求項３に記載の可変長真空光路セルの製造方法は、請求項２に記載の可変長真空光路セルの製造方法において、排気配管の封止は、溶着によって行うことを特徴とする。
この方法の本発明では、排気配管の先端を溶着によって封止するため、開口が良好に密着・密閉され、可変長真空光路セルの真空状態が確実かつ良好に長期間にわたって保持される。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１には、本発明の一実施形態に係る光学的測定装置としての気体屈折率測定装置１の概略構成図が示されている。
気体屈折率測定装置１は、長手方向の長さ寸法が可変の可変長真空光路セルとしての真空容器１１内を進む真空レーザ光束Ｐａを有し、この真空レーザ光束Ｐａを用いた真空レーザ干渉計２０と、真空レーザ光束Ｐａと平行かつ被検気体の空間内を進む気体レーザ光束Ｐｂを有し、この気体レーザ光束Ｐｂを用いた気体レーザ干渉計３０とを備えている。このうち、真空レーザ光束Ｐａおよび気体レーザ光束Ｐｂは、レーザ光源４１から出射された一つのレーザ光束Ｐを分波したものである。
【００１３】
真空容器１１は金属製のベローズ部１４およびこのベローズ部１４の両端に固定された金属製のブロック１５，１６によって構成されている。ベローズ部１４およびブロック１５，１６は溶接などによりそれぞれの接触部分が密封されている。真空容器１１の内部は真空状態となっており、真空容器１１の外側は被検気体の空間となっている。
真空容器１１の一端に固定されたブロック１５には、レーザ光束Ｐａが透過可能な光出入射部としての固定窓１７が密封されて設けられている。また、真空容器１１は、ブロック１５において真空レーザ干渉計２０に固定されている。
【００１４】
真空容器１１の他端に固定されたブロック１６の端面は、真空容器１１の長手方向に沿って移動可能な可動端面となっている。ブロック１６には、光学的透明体１２が密封されて配置され、この光学的透明体１２の一方の側面には反射膜１３が形成されている。この反射膜１３は、両側面に高反射率の反射面を有している。つまり、反射膜１３の真空側の反射面が反射鏡としての真空側反射鏡１３Ａとなり、被検気体側の反射面が気体側反射鏡１３Ｂとなっており、これらの反射鏡１３Ａ，１３Ｂは、それぞれ真空レーザ光束Ｐａおよび気体レーザ光束Ｐｂに対して略直角に配置されている。
また、ブロック１５には、真空容器１１に連通した排気配管１８が一体的に設けられており、この排気配管１８の先端が封止されることで、真空容器１１内が密閉されて真空状態に保たれている。
【００１５】
このような真空容器１１は、次のように製造される。
まず、ブロック１５，１６をベローズ部１４の両端に溶接する。そして、固定窓１７を、溶着などの方法によりブロック１５に固定し、取付面を全周にわたって密封する。同様に、反射膜１３を備えた光学的透明体１２を溶着などの方法により、ブロック１６に固定し、全周にわたって密封する。なお、この段階においては、ブロック１５に一体的に設けられた排気配管１８は、先端が真空容器１１外に突出した開口となっている。
ここで、ブロック１５と固定窓１７との溶着が良好となるように、両者の材料は熱膨張係数が近いものを採用することが望ましい。また、同様に、ブロック１６および光学的透明体１２は、両者の溶着が良好となるように熱膨張係数が近いものを採用することが望ましい。
【００１６】
次に、図２（Ａ）に示されるように、排気配管１８に真空ポンプを接続し、真空ポンプによって真空容器１１内の空気を吸引して真空状態にする。この時、真空容器１１内の真空度は、気体屈折率の影響を受けない程度に調節されることが望ましい。
この状態で、図２（Ｂ）に示されるように、排気配管１８を溶着や溶断によって封じ切る。この時、真空容器１１から突出した先端が突出した状態で残っていてもよく、あるいは封じ切りによって真空容器１１からの突出部分を取り除いてもよい。これにより、真空容器１１内は、真空の状態で密閉される。
【００１７】
なお、真空レーザ光束Ｐａおよび気体レーザ光束Ｐｂは、真空容器１１の可動端面、すなわち光学的透明体１２を挟んで同軸線上に位置している。また、真空レーザ干渉計２０および気体レーザ干渉計３０も光学的透明体１２を挟んで配置され、真空レーザ光束Ｐａおよび気体レーザ光束Ｐｂがそれぞれ各レーザ干渉計２０，３０と反射鏡１３Ａ，１３Ｂとの間に光学的測長光路を形成している。
【００１８】
光学的透明体１２は、駆動機構５０によりレーザ光束に沿って移動可能とされており、光学的透明体１２が移動することで真空容器１１が伸縮するようになっている。
駆動機構５０は、光学的透明体１２が固定された駆動体５１と、この駆動体５１に接触した状態で駆動体５１の駆動方向へ回転して駆動体５１を等速移動させる１つの駆動ローラ５２と、この駆動ローラを駆動させる駆動手段５３と、駆動体５１を流体を介して所定姿勢で保持するガイド機構５５とを含んで構成されている。この駆動機構５０は、後述する駆動制御手段５４によって定速制御されている。
【００１９】
レーザ光源４１から出射された一つのレーザ光束Ｐは、ビームスプリッタ４２で二つのレーザ光束Ｐ１，Ｐ２に分波される。これらのレーザ光束Ｐ１，Ｐ２は、それぞれ偏波面保存ファイバ４３，４４を経由して真空レーザ干渉計２０および気体レーザ干渉計３０へ導かれている。
レーザ光束Ｐ１は偏波面保存ファイバ４３を経由して真空レーザ干渉計２０内へ導かれた後、偏光ビームスプリッタ２１によって二つのレーザ光束Ｐ３，Ｐａに分波される。偏光ビームスプリッタ２１で反射されたレーザ光束Ｐ３は、１／４波長板２２を透過して固定鏡２３に反射され、再び１／４波長板２２を透過して偏光ビームスプリッタ２１へ戻る。一方、偏光ビームスプリッタ２１を透過した真空レーザ光束Ｐａは、１／４波長板２４および固定窓１７を透過して真空容器１１内を進み、真空側反射鏡１３Ａに反射され、再び固定窓１７および１／４波長板２４を透過して偏光ビームスプリッタ２１へ戻る。レーザ光束Ｐ３と真空レーザ光束Ｐａとの間には光路差が生じているので、偏光ビームスプリッタ２１において干渉縞（図示せず）が形成される。
【００２０】
偏光ビームスプリッタ２１で一つになったレーザ光束Ｐ４は、１／２波長板２５を透過してビームスプリッタ２６で二つのレーザ光束Ｐ５，Ｐ６に分波される。
ビームスプリッタ２６で反射されたレーザ光束Ｐ５は、偏光ビームスプリッタ２７でさらに二つのレーザ光束Ｐ７，Ｐ８に分波される。これら二つのレーザ光束Ｐ７，Ｐ８は、それぞれ検出器２０Ａ，２０Ｂでその干渉縞の周波数が検出される。
一方、ビームスプリッタ２６を透過したレーザ光束Ｐ６は、１／４波長板２８を透過して偏光ビームスプリッタ２９でさらに二つのレーザ光束Ｐ９，Ｐ１０に分波される。これら二つのレーザ光束Ｐ９，Ｐ１０は、それぞれ検出器２０Ｃ，２０Ｄでその干渉縞の周波数が検出される。
【００２１】
一方、レーザ光束Ｐ２は偏波面保存ファイバ４４を経由して気体レーザ干渉計３０内へ導かれた後、偏光ビームスプリッタ３１によって二つのレーザ光束Ｐ１１，Ｐｂに分波される。偏光ビームスプリッタ３１で反射されたレーザ光束Ｐ１１は、１／４波長板３２を透過して固定鏡３３に反射され、再び１／４波長板３２を透過して偏光ビームスプリッタ３１へ戻る。一方、偏光ビームスプリッタ３１を透過した気体レーザ光束Ｐｂは、１／４波長板３４を透過して被検気体の空間内を進み、気体側反射鏡１３Ｂに反射され、再び１／４波長板３４を透過して偏光ビームスプリッタ３１へ戻る。レーザ光束Ｐ１１と気体レーザ光束Ｐｂとの間には光路差が生じているので、偏光ビームスプリッタ３１において干渉縞（図示せず）が形成される。
偏光ビームスプリッタ３１で一つになったレーザ光束Ｐ１２は、偏光板３５を透過して検出器３０Ａでその干渉縞の周波数が検出される。
【００２２】
真空レーザ干渉計２０の検出器２０Ａ，２０Ｂで検出された干渉縞の周波数は、逓倍手段としての逓倍回路６０Ａで１０００倍されて１０ＭＨｚにまで高められ、周波数計数器７０の基準クロックとして計数されている。一方、気体レーザ干渉計３０の検出器３０Ａで検出された干渉縞の周波数は、逓倍手段としての逓倍回路６０Ｂで１０００倍されて周波数計数器７０の計数クロックとして計数されている。
真空レーザ干渉計２０の干渉縞の周波数と、気体レーザ干渉計３０の干渉縞の周波数との比は、周波数測定値ｆｃと基準クロック１０ＭＨｚとの比で表され、被検気体の真空に対する屈折率ｎは、ｎ＝ｆｃ／１０ＭＨｚとなる。
【００２３】
ここで、光学的透明体１２（すなわち、駆動体５１）の等速移動は、真空レーザ干渉計２０で計測された計測値を駆動制御手段５４にフィードバックし、このフィードバックされた情報と、予め設定された移動速度の指令値との比較をもとに制御されている。
駆動制御手段５４において、真空容器１１の可動端面（光学的透明体１２）の位置の検出および移動方向の判別には、真空レーザ干渉計２０の検出器２０Ａ〜２０Ｄで検出される干渉縞の周波数が用いられている。具体的には、９０°位相の２相の正弦波を用い、この２相の正弦波を安定な信号として得るのに、各々９０°の位相差をもつ４相の正弦波を検出している。これら４相の正弦波の差動から安定な２相の正弦波を作成し、この情報と、予め設定された移動速度の指令値との比較をもとに可動端面（各反射鏡１３Ａ，１３Ｂ）の等速移動を制御している。
【００２４】
次に、本実施形態の作用を説明する。
まず、被検気体の屈折率測定を行うにあたって、偏波面保存ファイバ４３，４４の姿勢および光学的透明体１２（各反射鏡１３Ａ，１３Ｂ）の姿勢を固定する。
偏波面保存ファイバ４３，４４の姿勢は、各レーザ光束Ｐ１，Ｐ２が光学的に略同軸上に位置するように、偏波面保存ファイバ４３から出射されたレーザ光束Ｐ１が偏波面保存ファイバ４４に入射するように、かつ偏波面保存ファイバ４４から出射されたレーザ光束Ｐ２が偏波面保存ファイバ４３に入射するように調整する。
偏波面保存ファイバ４３，４４の姿勢を固定した後、光学的透明体１２の姿勢を固定する。光学的透明体１２の姿勢は、反射鏡１３Ａ，１３Ｂが各レーザ光束Ｐａ，Ｐｂに対して略直角に位置するように、真空側反射鏡１３Ａに反射されたレーザ光束Ｐａが偏波面保存ファイバ４３に戻るように調整する。
【００２５】
このような調整を行うことにより、基準尺である真空レーザ光束Ｐａが形成する光学的測長光路と、被測定寸法である気体レーザ光束Ｐｂが形成する光学的測長光路とを真空容器１１の可動端面を挟んで同軸線上に位置する。よって、基準尺と被測定物は測定方向において一直線上に配列しなければならないというアッベの原理を満たすことができる。これにより、気体屈折率測定における測定誤差を低減でき、測定精度を向上させることができる。
【００２６】
偏波面保存ファイバ４３，４４および光学的透明体１２（各反射鏡１３Ａ，１３Ｂ）の姿勢を固定した後、被検気体の屈折率測定を行う。
【００２７】
前述のような本実施形態によれば、次のような効果が得られる。
真空容器１１に排気配管１８が設けられ、真空容器１１を真空にした状態で排気配管１８の先端が封止されているので、真空容器１１内が完全に密封され、長期間にわたって真空状態を保持できる。よって、測定の度に真空ポンプを接続して真空容器１１内の空気を抜く作業を不要にでき、測定の作業効率を向上できる。また、これにより屈折率測定装置１のランニングコストを向上できる。
【００２８】
真空容器１１内の空気を吸引する作業は使用前の最初の一回のみとなるので、排気配管１８を通して塵埃等が真空容器１１内に混入する可能性を最小限に抑制することができる。これにより真空ポンプに油回転ポンプを使用する場合でも、油が混入する可能性を最小限に抑えることができる。したがって、真空容器１１内への不純物の混入を防止できるので、これによる気体屈折率測定装置１の測定誤差への影響を最小限に抑制することができる。
【００２９】
気体屈折率測定装置１を製品としての出荷する場合には、予め真空容器１１内を真空状態にして、排気配管１８を封止してから出荷することができる。つまり、真空ポンプを屈折率測定装置１の付属部品として製造する必要がないので、屈折率測定装置１の価格を廉価に抑えることができる。また、真空ポンプが不要なので、屈折率測定装置１の据え付けスペースを小さくでき、これにより屈折率測定装置１の小型化を促進できる。
【００３０】
排気配管１８の封止は、溶着によって行われているので、排気配管１８の開口部分を確実に密着・密封でき、良好な真空状態をより確実にかつ長期間にわたって保持できる。
【００３１】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は、本発明に含まれるものである。
例えば、気体屈折率測定装置１は、真空レーザ光束Ｐａおよび気体レーザ光束Ｐｂを同軸線上に配置してアッベの原理を利用して測定するものであったが、これに限らない。例えば、真空レーザ光束Ｐａおよび気体レーザ光束Ｐｂが互いに平行に配置されていてもよい。
【００３２】
排気配管１８は、ブロック１５に一体的に設けられていたが、これに限らず、ベローズ部１４に設けられていてもよい。あるいは、ブロック１５やベローズ部１４と別体に設けられ、溶接などによってブロック１５あるいはベローズ部１４に固定されていてもよい。
【００３３】
反射膜１３は、真空側反射鏡１３Ａと気体側反射鏡１３Ｂとを兼ねていたが、これに限らず、例えば光学的透明体１２の両側に反射膜を貼ってもよい。あるいは、被検気体側反射鏡は別部材として設けられていてもよい。
【００３４】
光学的測定装置は気体屈折率測定装置１であったが、これに限らず例えば、真空容器の可動端面の移動量を検出することにより、変位などを求める光学的変位検出器であってもよい。要するに一つのレーザ光を分波して、一方が真空容器を通過する光路とし、この光路ともう一方の光路との干渉を利用して変位、屈折率などを計測する光学的測定装置であればよい。
【００３５】
【発明の効果】
本発明によれば、光学的測定装置において、可変長真空光路セルを予め真空にした状態で排気配管を封じきりにしたので、半永久的に可変長真空光路セルを真空状態に保持できる。よって、測定の度に排気配管に真空ポンプを接続して可変長真空光路セルを真空にするという作業を省くことができ、作業効率を向上できる。また、使用前に一度可変長真空光路セルを真空状態にすればよいので、可変長真空光路セル内に塵埃等の不純物が混入するのを防止でき、不純物の混入による測定誤差への影響を最小限に抑制することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る気体屈折率測定装置を示す概略構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る真空容器の製造方法を示す図である。
【符号の説明】
１　　　気体屈折率測定装置（光学的測定装置）
１１　　真空容器（可変長真空光路セル）
１２　　光学的透明体
１３　　反射膜
１３Ａ　真空側反射鏡（反射鏡）
１３Ｂ　気体側反射鏡
１７　　固定窓（光出入射部）
１８　　排気配管
２０　　真空レーザ干渉計
３０　　気体レーザ干渉計
４３，４４　偏波面保存ファイバ
５０　　駆動機構
５１　　駆動体
５２　　駆動ローラ
５４　　駆動制御手段
５５　　ガイド機構
６０Ａ，６０Ｂ　逓倍回路
７０　　周波数計数器
Ｐａ　　真空レーザ光束
Ｐｂ　　気体レーザ光束
【図１】
2004077194.tif 000003
【図２】
2004077194.tif 000004