(57)【要約】【課題】ワイヤ供給ノズルの揺動支持部の耐久性を向上する。【解決手段】溶接ワイヤ２１を送出するチップ３ａを先端に備えたワイヤ供給ノズル３を電動アクチュエータ１６によって揺動させる溶接トーチである。ワイヤ供給ノズル３の周囲に配設したカバー部材５と、ワイヤ供給ノズル３をカバー部材５に揺動可能に支持させる支軸７とを備える。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶接ワイヤを送出するチップを先端に備えたワイヤ供給ノズルを電動アクチュエータによって揺動させる溶接トーチであって、
前記ワイヤ供給ノズルの周囲に配設したカバー部材と、
前記ワイヤ供給ノズルを前記カバー部材に揺動可能に支持させる支軸と、
を備えることを特徴とする溶接トーチ。
【請求項２】
電動アクチュエータは、前記ワイヤ供給ノズルを挟むように前記カバー部材に配設された一対のソレノイドであり、これらのソレノイドによって前記ワイヤ供給ノズルを所定の周期で交互に吸引するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の溶接トーチ。
【請求項３】
前記ワイヤ供給ノズルの揺動幅を規定する揺動幅規定手段を更に備えることを特徴とする請求項１または２に記載の溶接トーチ。
【請求項４】
前記揺動幅規定手段が、
前記ワイヤ供給ノズルが貫通する揺動幅調整孔を形成したプレートと、
前記カバー部材に前記プレートを着脱自在に支持させる支持手段と、
を備えることを特徴とする請求項３に記載の溶接トーチ。
【請求項５】
前記揺動幅規定手段が、
前記ワイヤ供給ノズル側に形成され、該ワイヤ供給ノズルの軸線に対して対称な第１のテーパ面と、
前記第１のテーパ面に対向して前記カバー部材側に形成された第２のテーパ面と、
前記第２のテーパ面を前記第１のテーパ面に対して変位させる変位手段と、
を備えることを特徴とする請求項３に記載の溶接トーチ。
【請求項６】
前記変位手段が変位用の電動アクチュエータを含むことを特徴とする請求項５に記載の溶接トーチ。
【請求項７】
前記電動アクチュエータがソレノイドである請求項６に記載の溶接トーチ。
【請求項８】
前記揺動幅規定手段が、
前記ワイヤ供給ノズルが貫通する環状部材と、
前記環状部材の傾き角が調整可能となるように該環状部材を前記カバー部材に支持する支持手段と、
を備えることを特徴とする請求項３に記載の溶接トーチ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、溶接ワイヤを使用する溶接トーチに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
溶接ワイヤを使用する溶接トーチにおいては、脚長を確保するために、アークをウィービングさせることが実施される。
しかし、上記ウィービングのために、溶接トーチ全体を揺動することは望ましくない。なぜなら、溶接トーチは重量が大きく、しかも、硬質のケーブルが接続されるので、溶接速度が高い場合、この溶接速度に見合う周期で溶接トーチ全体を揺動することが困難になるからである。
【０００３】
そこで、溶接ワイヤを送出するチップを先端に備えたワイヤ供給ノズルを、その基端に取付けた板バネ等の弾性可撓部材を支点として揺動させるという技術が提案されている（特許第３１１７２８８号）。
この技術によれば、軽量なワイヤ供給ノズルを揺動させるので、ウィービングの高速化を図ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記弾性可撓部材は、ワイヤ供給ノズルの揺動に伴って繰り返し変形し、しかも、溶接電流のパスの途中に位置することから発熱を伴う。このため、高温状態下で繰り返し疲労を受けることになり、その結果、劣化による損傷が避けられない。
【０００５】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑み、弾性可撓部材を使用することなくワイヤ供給ノズルを揺動することができる溶接トーチを提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、溶接ワイヤを送出するチップを先端に備えたワイヤ供給ノズルを電動アクチュエータによって揺動させる溶接トーチであって、前記ワイヤ供給ノズルの周囲に配設したカバー部材と、前記ワイヤ供給ノズルを前記カバー部材に揺動可能に支持させる支軸と、を備えることを特徴としている。
好ましい実施の形態では、前記電動アクチュエータは、前記ワイヤ供給ノズルを挟むように前記カバー部材に配設された一対のソレノイドであり、これらのソレノイドによって前記ワイヤ供給ノズルを所定の周期で交互に吸引するようにしている。
【０００７】
前記溶接トーチは、前記ワイヤ供給ノズルの揺動幅を規定する揺動幅規定手段を更に備えることができる。
前記揺動幅規定手段は、前記ワイヤ供給ノズルが貫通する揺動幅調整孔を形成したプレートと、前記カバー部材に前記プレートを着脱自在に支持させる支持手段と、を備えても良い。
【０００８】
また、前記揺動幅規定手段は、前記ワイヤ供給ノズル側に形成され、該ワイヤ供給ノズルの軸線に対して対称な第１のテーパ面と、前記第１のテーパ面に対向して前記カバー部材側に形成された第２のテーパ面と、前記第２のテーパ面を前記第１のテーパ面に対して変位させる変位手段と、を備えても良い。
前記変位手段には、変位用の電動アクチュエータ、例えばソレノイドを含ませることができる。
【０００９】
前記揺動幅規定手段が、前記ワイヤ供給ノズルが貫通する環状部材と、前記環状部材の傾き角が調整可能となるように該環状部材を前記カバー部材に支持する支持手段と、を備えても良い。
【００１０】
【発明の実施の形態】
第１の実施形態
図１は、本発明に係る溶接トーチの第１の実施形態を示す半裁断面図である。また図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。
図１に示す溶接トーチ１−１は、ワイヤ供給ノズル３と、このワイヤ供給ノズル３の周囲を覆うカバー部材５とを備えている。
【００１１】
ワイヤ供給ノズル３は、その後端部両側に支軸７をそれぞれ突設し、これらの支軸７をカバー部材５に設けた各軸受９に回動可能に支持させてある（図２を参照）。なお、軸受９は、電気絶縁性の材料で形成されている
図１のＢ−Ｂ拡大断面図である図３に示すように、ワイヤ供給ノズル３は、上記支軸７から所定距離だけ先端側に寄った部位の両側にプランジャ（可動鉄心）１１をそれぞれ突設してある。各プランジャ１１は、上記支軸７の軸線に直交する方向に突出し、カバー部材５に配設された一対の電磁コイル１３の一方と他方にそれぞれの一端部が挿入されている。
【００１２】
各電磁コイル１３には、対応するプランジャ１１と所定のギャップおいて向き合う固定鉄心１５が配設されている。上記プランジャ１１、電磁コイル１３および固定鉄心１５は、プル型のソレノイド１６を構成している。したがって、一方のソレノイド１６と他方のソレノイド１６とを交互に付勢すれば、ワイヤ供給ノズル３が上記支軸７を中心として図１の紙面に垂直な面に沿って（図３の紙面に平行な面に沿って）揺動する。
【００１３】
カバー部材５には、電気絶縁材料からなる揺動幅調整プレート１７が取り付けられている。この揺動幅調整プレート１７は、図４にその平面形状を示すように、中央部に揺動幅調整孔１７ａを貫通形成するとともに、この揺動幅調整孔１７ａの周囲に複数の通気孔１７ｂを貫通形成した構成を有する。
【００１４】
カバー部材５は、後端部要素５ａ、中間部要素５ｂ、電気絶縁材料からなる中間キャップ要素５ｃおよび先端キャップ要素５ｄを着脱自在に結合した構成を有し、中間部要素５ｂと中間キャップ要素５ｃとの間において上記揺動幅調整プレート１７を狭持している。上記ワイヤ供給ノズル３は、上記揺動幅調整プレート１７の揺動幅調整孔１７ａを挿通している。
揺動幅調整プレート１７の揺動幅調整孔１７ａは、ワイヤ供給ノズル３の周面との間に所定の間隔が形成されるような幅Ｗ１を有している。したがって、ワイヤ供給ノズル３の揺動幅は、上記幅Ｗ１によって規定されることになる。つまり、上記幅Ｗ１が大きいほど、ワイヤ供給ノズル３の揺動幅が大きく設定される。
【００１５】
図１に示すように、カバー部材５の後端部要素５ａには、ケーブル１９が結合されている。このケーブル１９は、溶接ワイヤ２１をワイヤ供給ノズル３内に送給するとともに、該ワイヤ供給ノズル３とカバー部材５の間にシールドガスを供給する。なお、溶接ワイヤ２１は、図示していないワイヤ供給装置によってケーブル１９に送り込まれる。
【００１６】
上記構成の溶接トーチ１−１は、カバー部材５を省略した図５に示すように、被溶接体（母材）２３の溶接線２３ａに沿って移動される。このとき、図示していない制御装置が上記各ソレノイド１６の電磁コイル１３を所定周期で交互に付勢するので、ワイヤ供給ノズル３が支軸７を中心として溶接線２３ａと交差する方向に揺動する。また、溶接ワイヤ２１と被溶接体２３との間に図示していない溶接電源の出力が印加されるので、ワイヤ供給ノズル３のチップ３ａから繰り出されるワイヤ２１と被溶接体２３との間にアークが発生する。
この結果、被溶接体２３の溶接線２３ａには、上記所定周期のウィービングを伴った隅肉溶接が施される。なお、溶接時には、溶接ワイヤ２１の周辺にシールドガスが供給される。
【００１７】
上記溶接トーチ１−１によれば、ワイヤ供給ノズル３が支軸７を支点として揺動するので、板バネ等の弾性可撓部材によってワイヤ供給ノズルを揺動可能に支持するように構成された前記従来の溶接トーチの問題点を解消することができる。
すなわち、前述したように、従来の溶接トーチでは、上記弾性可撓部材が高温状態下で繰り返し疲労を受けて劣化損傷することになるが、上記構成の本発明に係る溶接トーチ１−１によれば、このような不都合を生じない。
【００１８】
一方、上記溶接トーチ１−１によれば、揺動幅調整プレート１７をワイヤ供給ノズル３の揺動幅規定手段として使用しているので、カバー部材５に揺動幅調整プレート１７をセットするだけでもって、所定の揺動幅を容易に設定することができる。
【００１９】
上記ワイヤ供給ノズル３の揺動幅は、被溶接体２３の大きさや開先形状等の変更に応じて調整する必要がある。そこで、上記トーチ１−１では、揺動幅調整孔１７ａの幅Ｗ１を互いに相違させた複数枚の揺動幅調整プレート１７を予め用意しておき、それらの中から被溶接体２３の大きさや開先形状等に適合した揺動幅調整プレート１７を選択的に適用するようにしている。揺動幅調整プレート１７の交換に際しては、カバー部材５の中間部要素５ｂと中間キャップ要素５ｃの結合（この例では、ネジ結合）を一旦解いた後、再び、両者を結合すればよい。
なお、揺動幅調整プレート１７の通気孔１７ｂ（図４参照）は、前記シールドガスを流通させる役目をなす。
【００２０】
ところで、従来においては、ワイヤ供給ノズルの両側方に位置させた各調整ネジの押し込み量に基づいてワイヤ供給ノズルの揺動幅を設定しているが、このような揺動幅調整手段では、上記各調整ネジの押し込み量に相違を生じて、ワイヤ供給ノズルの左右の揺動幅がアンバランスになることが多い。
これに対して、上記揺動幅調整プレート１７を使用すれば、カバー部材５に該揺動幅調整プレート１７をセットするだけでもって、上記アンバランスを伴わない適正な揺動幅を容易に設定することができる。
【００２１】
第２の実施の形態
図６は、本発明に係る溶接トーチの第２の実施形態を示す要部断面図である。また、図７は、図６のＣ−Ｃ断面図である。なお、これらの図においては、図１〜図３に示す要素と共通な機能を有する要素に共通の符号を付してある。
この溶接トーチ１−２は、ソレノイド１６よりも先端側に寄った部位に可変揺動幅調整機構２５を設けてある。この可変揺動幅調整機構２５は、カバー部材５の一部を構成する支持部２７と、この支持部２７の円筒状内周面に嵌合させた移動筒２９と、この移動筒２９の内方に同軸状に固定配設した電気絶縁材料からなるリング部材３１とを備えている。
【００２２】
上記移動筒２９は、支持部２７の内周面に螺合するネジ部２９ａと、その外周面から突出するノブ２９ｂとを有している。ノブ２９ｂは、支持部２７の周面に沿って設けた開口２７ａを介して該支持部２７の外方に露出しているので、このノブ２９ｂを円周方向に操作することによって、移動筒２９を所望の方向に回転させることができる。
移動筒２９を回転させると、上記ネジ部２９ａによってその回転運動が直線運動に変換されるので、該移動筒２９がその軸線方向に変位する。つまり、図６、図７における上下方向に変位する。なお、移動筒２９の移動量は、支持部２７の開口２７ａの上下幅Ｗ２によって規定される。
【００２３】
移動筒２９が移動すると、前記リング部材３１も一体移動する。リング部材３１は、ワイヤ供給ノズル３に形成された錐形ブロック３３のテーパ面に対向するテーパ面をその内周に有している。
図示していないが、この第２の実施形態におけるワイヤ供給ノズル３も、前記第１の実施形態におけるワイヤ供給ノズル３と同様に、支軸７を介してカバー部材５に支持されている（図１参照）。しかし、移動筒２９のノブ２９ｂが支持部２７の開口２７ａの上縁に当接した図示の状態においては、上記錐形ブロック３３のテーパ周面にリング部材３１のテーパ面が当接するので、ワイヤ供給ノズル３の揺動が不可能である。
【００２４】
図８は、移動筒２９を回動して上記錐形ブロック３３のテーパ面とリング部材３１のテーパ面との間に隙間を形成した状態を示している。この状態では、各ソレノイド１６の切換え作動によって上記隙間に対応した揺動幅でワイヤ供給ノズル３を揺動させることができる。
以上の説明から明らかなように、この第２の実施形態に係る溶接トーチ１−２によれば、移動筒２９の回動操作によってワイヤ供給ノズル３の揺動幅（ウィービング幅）を任意かつ容易に調整することができる。したがって、溶接中においても、ウィービング幅を溶接姿勢や開先形状の変化に適合する大きさに調整することが可能になる。上記移動筒２９は、非操作時に図６に示すロックボルト３０によってロックされる。
なお、上記移動筒２９をモータ等の電動アクチュエータを用いて回動させることも可能である。
【００２５】
第３の実施の形態
図９は、本発明に係る溶接トーチの第３の実施形態を示す半裁断面図である。なお、この図９においては、図１〜図３に示す要素と共通な機能を有する要素に共通の符号を付してある。
この溶接トーチ１−３は、ワイヤ供給ノズル３の支軸７をソレノイド１６よりも先端側に寄った部位に設けるとともに、可変揺動幅調整機構３５を該ソレノイド１６よりも後方側の部位に設けてある。可変揺動幅調整機構３５は、図１０に拡大して示すように、環状部３７と、この環状部３７の一側および他側に設けた支軸３９および４１と、支軸３９に設けたハンドル４３とを備え、環状部３７にワイヤ供給ノズル３が貫通した状態で両支軸３９，４０をカバー部材７に回動可能に支持させてある。
【００２６】
この第３の実施形態に係る溶接トーチ１−３も、支軸７を支点としてワイヤ供給ノズル３が揺動する。このとき、上記可変揺動幅調整機構３５のハンドル４３を操作して、カバー部材５の軸線に直交した平面に対する環状部３７の傾きを変化させることにより、ワイヤ供給ノズル３の揺動幅を調整することができる。すなわち、上記環状部３７の傾きが増すに伴ってワイヤ供給ノズル３の揺動幅（ウィービング幅）が減少する。
【００２７】
このように、この第３の実施形態に係る溶接トーチ１−３によれば、前記第２の実施形態に係る溶接トーチ１−２と同様に、ワイヤ供給ノズル３の揺動幅（ウィービング幅）を任意かつ容易に調整することができる。
なお、上記可変揺動幅調整機構３５の環状部３７の傾きをモータ等の電動アクチュエータを用いて変化させることも可能である。また、ワイヤ供給ノズル３の支軸７をソレノイド１６よりも後方側の部位に設けるとともに、可変揺動幅調整機構３５を該ソレノイド１６よりも前方側の部位に設けても良い。
【００２８】
第４の実施の形態
図１１は、本発明に係る溶接トーチの第４の実施形態を示す縦断面図である。なお、この図１１においては、図１〜図３に示す要素と共通な機能を有する要素に共通の符号を付してある。
この第４の実施形態に係る溶接トーチ１−４は、ワイヤ供給ノズル３の支軸７をソレノイド１６よりも先端側に寄った部位に設けるとともに、該ソレノイド１６よりも後方側の部位に電動式の可変揺動幅調整機構４５を設けてある。
可変揺動幅調整機構４５は、図１２にその拡大断面を示すように、ソレノイド４７を構成する電磁コイル４７、プランジャ（可動鉄心）５１および固定鉄心５３を備えている。
【００２９】
プランジャ５１は、パイプ状のロッド５５をその軸線に沿って挿通して固定してある。ロッド５５の一部は、プランジャ５１の先端から突出して固定鉄心５３を摺動可能に貫通し、その貫通した先端に錐形ブロック５６を取付けてある。
上記プランジャ５１は、バネ５９によって常時図示の位置まで後退している。このとき、錐形ブロック５６が固定鉄心５３の端面に当接して、該固定鉄心５３とプランジャ５１との間に所定の隙間が形成されている。
なお、ソレノイド４７は、支持プレート４８を介してカバー部材５に支持されている。支持プレート４８は、電気絶縁性の材料で形成され、シールドガスを流通させるための通気孔４８ａを備えている。
【００３０】
上記錐形ブロック５６に対向するワイヤ供給ノズル３の後端には、錐形ブロック５６のテーパ面に対向するテーパ面を有した錐形凹部５９が形成されている。なお、溶接ワイヤ２１は、上記ロッド５５、錐形ブロック５６およびワイヤ供給ノズル３を貫通している。
【００３１】
この第４の実施形態に係る溶接トーチ１−４のワイヤ供給ノズル３も、支軸７を支点として揺動可能である。そして、このワイヤ供給ノズル３の揺動幅は、上記可変揺動幅調整機構４５によって調整することができる。すなわち、図示していないソレノイドコントローラからソレノイド４７のコイル４９に電力が供給されると、プランジャ５１に固定鉄心５３側に向かう吸引力が作用する。したがって、上記電力を徐々に増大すれば、上記吸引力によってプランジャ５１がバネ５９の弾性に抗して固定鉄心５３側に移動し、上記吸引力とバネ５９の弾性力とがつりあった位置でその移動が停止する。
【００３２】
上記プランジャ５１が変位することは、錐形ブロック５６が変位することを意味する。したがって、ソレノイド４７のコイル４９に対する供給電力を制御することによって、錐形ブロック５６のテーパ面と錐形凹部６０のテーパ面とのなす間隔Ｌを調整することができる。この間隔Ｌは、ワイヤ供給ノズル３の揺動幅（ウィービング幅）を規定し、該間隔Ｌが小さいほどその揺動幅が小さくなる。
【００３３】
上記のように、上記可変揺動幅調整機構４５を有するこの第４の実施形態に係る溶接トーチ１−４によれば、ワイヤ供給ノズル３の揺動幅を電気的に制御することができる。
それゆえ、溶接中に開先センサ等によって母材の開先形状の変化を検出し、その検出結果に基づいて、変化した開先形状に適合するようにワイヤ供給ノズル３の揺動幅を自動的に設定することが可能になる。この場合、上記ソレノイドコントローラは、個々の開先形状に適合するワイヤ供給ノズル３の揺動幅を記憶手段に予め記憶しておき、この記憶手段の記憶内容と上記開先形状の検出結果とに基づいて、最適なワイヤ供給ノズル３の揺動幅が実現される電力を上記ソレノイド４７のコイル４９に供給する。
【００３４】
第５の実施の形態
図１３は、本発明に係る溶接トーチの第５の実施形態を示す要部断面図である。なお、この図１３においては、図１〜図３に示す要素と共通な機能を有する要素に共通の符号を付してある。
この第５の実施形態に係る溶接トーチ１−５は、ワイヤ供給ノズル３の比較的先端部側に位置した部位に電動式の可変揺動幅調整機構６１を設けてある。
可変揺動幅調整機構６１は、ソレノイド６３を構成する電磁コイル６５、可動子６７および固定鉄心６９を備えている。
【００３５】
上記可動子６７は、中央部にテーパ状の内周面を有し、常時にはバネ７１によって図示の位置まで押し下げられて、固定鉄心６９から所定距離だけ離れた状態にある。
一方、ワイヤ供給ノズル３には、可動子６７のテーパ面に対向するテーパ面を有した錐形ブロック７３が設けられている。なお、ソレノイド６３の非付勢時には、図示のように、上記押し下げられた可動子６７のテーパ面が錐形ブロック７３のテーパ面に当接する。
【００３６】
この第５の実施形態に係る溶接トーチ１−５のワイヤ供給ノズル３は、図１に示した支軸７に対応した支軸（図示せず）によって揺動可能に支持されている。そして、このワイヤ供給ノズル３の揺動幅は、上記可変揺動幅調整機構６１によって調整することができる。
すなわち、図示していないソレノイドコントローラからソレノイド６３のコイル６５に電力が供給されると、可動子６７に固定鉄心６９側に向かう吸引力が作用する。したがって、上記電力を徐々に増大すれば、上記吸引力によって可動子６７がバネ７１を圧縮しながら固定鉄心６９側に移動し、この吸引力とバネ７１の弾性力とがつりあった位置でその移動が停止する。
これは、ソレノイド６３のコイル６５に対する供給電力を制御することによって、可動子６７のテーパ面と錐形ブロック７３のテーパ面とのなす間隔を調整することができることを意味する。上記両テーパ面の間隔は、ワイヤ供給ノズル３の揺動幅（ウィービング幅）を規定し、該間隔が小さいほどその揺動幅が小さくなる。
【００３７】
このように、上記可変揺動幅調整機構６１を有するこの第５の実施形態に係る溶接トーチ１−５は、前記第４の実施形態に係る溶接トーチ１−４と同様に、ワイヤ供給ノズル３の揺動幅を電気的に制御することができる。それゆえ、溶接中における開先形状の変化に対応して、ワイヤ供給ノズル３の揺動幅を自動的に変更することが可能になる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明に係る溶接トーチによれば、ワイヤ供給ノズルの周囲に配設したカバー部材と、該ワイヤ供給ノズルの揺動支点をこのカバー部材に揺動可能に支持させる支軸とを備えるので、上記ワイヤ供給ノズルが上記支軸を揺動支点として揺動する。
したがって、板バネ等の弾性可撓部材によってワイヤ供給ノズルを揺動可能に支持するように構成された従来の溶接トーチの問題点、つまり、上記弾性可撓部材が高温状態下で繰り返し疲労を受けて劣化損傷するという問題点が解消され、その結果、長期に亘って安定かつ良好なウィービング溶接を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る溶接トーチの第１の実施形態を示す半裁断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】揺動幅調整プレートの平面図である。
【図５】本発明に係る溶接トーチによる隅肉溶接の実施態様を示す斜視図である。
【図６】本発明に係る溶接トーチの第２の実施形態を示す要部断面図である。
【図７】図６のＣ−Ｃ断面図である。
【図８】移動筒が変位した状態を示す断面図である。
【図９】本発明に係る溶接トーチの第３の実施形態を示す半裁断面図である。
【図１０】第３の実施形態における可変揺動幅調整機構の構成を概念的に示す斜視図である。
【図１１】本発明に係る溶接トーチの第４の実施形態を示す縦断面図である。
【図１２】第４の実施形態における可変揺動幅調整機構の構成を示す断面図である
【図１３】本発明に係る溶接トーチの第５の実施形態を示す要部断面図である。
【符号の説明】
１−１〜１−５　トーチ
３　ワイヤ供給ノズル
３ａ　チップ
５　カバー部材
７　支軸
９　軸受
１６　ソレノイド
１７　揺動幅調整プレート
２１　溶接ワイヤ
２３　被溶接体
２５　可変揺動幅調整機構
２９　移動筒
３１　リング部材
３３，５７，７３　錐形ブロック
３５　可変揺動幅調整機構
４５　可変揺動幅調整機構
６１　可変揺動幅調整機構
６７　可動子
【図１】
2004074206.tif 000003
【図２】
2004074206.tif 000004
【図３】
2004074206.tif 000005
【図４】
2004074206.tif 000006
【図５】
2004074206.tif 000007
【図６】
2004074206.tif 000008
【図７】
2004074206.tif 000009
【図８】
2004074206.tif 000010
【図９】
2004074206.tif 000011
【図１０】
2004074206.tif 000012
【図１１】
2004074206.tif 000013
【図１２】
2004074206.tif 000014
【図１３】
2004074206.tif 000015