(57)【要約】【課題】ワーク搬送装置において、多数のロッドのうち任意の１つだけを突出移動させるよう操作できるとともに構成を簡易にして製造コストを低く抑える。【解決手段】支持ブロック２に複数行、複数列のマトリックス配置でシリンダ室７が形成され、それらの内部に駆動ピストンとロッド１１が連結して設けられている。支持ブロック２内に各行に対応する入側流路１５Ａ〜１５Ｈと各列に対応する出側流路１２ａ〜１２ｆが形成され、各入側流路は各行のシリンダ室７の入側圧力室９に連通し、各出側流路は各列のシリンダ室７の出側圧力室１０に連通しており、支持ブロック２内は簡易な構成となっている。１つの被選択シリンダ室７Ｑに対し、披選択シリンダ室７Ｑに連通する以外の入側流路に流体を供給し、披選択シリンダ室７Ｑに連通する出側流路に流体を供給することにより披選択シリンダ室７Ｑに収容された被選択ロッド１１Ｑのみを前進移動させる。【選択図】    図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の入側流路と複数の出側流路が形成された支持ブロックと、
前記支持ブロック内に形成されて、前記複数の入側流路のうち一方の端部に連通させる入側流路と、前記複数の出側流路のうち他方の端部に連通させる出側流路の組み合わせがそれぞれ異なる複数のシリンダ室と、
前記シリンダ室内を前記入側流路に連通する入側圧力室と前記出側流路に連通する出側圧力室とに区画して進退移動自在に装着された駆動ピストンと、
前記駆動ピストンに設けられ、前記入側圧力室から突出してワークに接触するロッドとを有し、
前記複数のシリンダ室のうち任意に選択された１つの被選択シリンダ室に対し、前記披選択シリンダ室に連通する以外の前記入側流路に流体を供給し、前記披選択シリンダ室に連通する前記出側流路に流体を供給することにより前記披選択シリンダ室に収容された被選択ロッドのみを前進移動させることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載のワーク搬送装置において、前記ロッドが鉛直方向の下方に向かって前進移動するよう前記支持ブロックが設置されていることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のワーク搬送装置において、前記入側圧力室内に前記駆動ピストンを後退側に押圧する圧縮ばねが挿入されていることを特徴とするワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は多数のワークに対して個別に接触し移動させる多数のロッドを備えたワーク搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば電子基板の製造工程のように、プリント基板上へＩＣ、ＬＳＩやその他多数の電子部品を取り付ける場合には、各電子部品に対して個別にその把持と移動と取り付けの工程を部品数だけ繰り返し行うよりも、多数の電子部品を一度に把持してまとめて移動し個別に取り付ける作業を行う方が効率がよい。
【０００３】
そのため各部品をそれぞれ個別に把持できるロッドを備えた流体圧アクチュエータを多数個備え、それら全体を一体に移動させることのできるワーク搬送装置がある。各ロッドの先端に設けた把持装置などによってワークの把持と離脱を行い、各ロッドの進退移動によって各ワークのトレイからの抜き出しと基板上への載置が行われるようになっている。通常はこのようなワークの抜き出し移動と載置移動のためのロッドの進退移動は１本ずつ行われる。
【０００４】
しかし、多数のロッドをそれぞれ個別に操作するために制御用の開閉弁を各ロッドに対応させて個別に設ける場合、高価で大型の開閉弁の必要設置個数が多数のロッドと同じ数となるため、製造コストが増大するとともに装置が大型化してしまう要因となる。
【０００５】
このような多数のロッドを個別に制御する装置として類似するワーク支持装置の例においては、開閉弁の設置数を削減するための従来の構成として、多数のシリンダ室を複数行、複数列のマトリックス配置で形成し、各行ごとで各シリンダ室に共通に流体圧力を供給する共通流路を設けるとともに、各シリンダ室の出側圧力室がそれぞれ対応する共通流路との連通と閉止を各列ごとに切り換える弁軸を各列に対応して設け、流体を供給する共通流路と作動させる弁軸のそれぞれの組み合わせにより任意に選択したロッドを前進移動させる構成がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
これは各弁軸をそれぞれ単動型の流体圧シリンダに連結し、これら単動型シリンダと各供給流路のそれぞれに開閉弁を接続して個別に流体の供給を切り換え操作するようになっており、すなわち開閉弁は供給流路の数（行数）と弁軸の数（列数）の和の数だけ設置すればよく、ロッドの総設置数（共通流路の数と弁軸の数を掛け合わせた数）と同数個設置する構成と比較して大幅に削減できた構成となっている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−３４４１９８号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら前述したような従来の構成では、装置内部に単動型シリンダで駆動する弁軸をマトリックス配列の列数と同数本設ける必要があるため構成が複雑となってしまい、さらに全てのシリンダ室の入側圧力室に連通する入側用の共通流路およびその開閉弁も加えて設ける必要があることから、結果的に装置全体における製造コストを大幅に削減する構成とはなっていなかった。
【０００９】
本発明の目的は、多数備えたロッドのうち任意の１つだけを突出移動させるよう操作できるとともに、簡易な構成として製造コストを低くできるワーク搬送装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のワーク搬送装置は、複数の入側流路と複数の出側流路が形成された支持ブロックと、支持ブロック内に形成されて連通させる入側流路と出側流路の組み合わせがそれぞれ異なる複数のシリンダ室と、シリンダ室内を入側流路に連通する入側圧力室と出側流路に連通する出側圧力室とに区画する駆動ピストンと、駆動ピストンに連結して入側圧力室から突出するロッドとを有し、複数のシリンダ室のうち任意に選択された１つの被選択シリンダ室に対し、披選択シリンダ室に連通する以外の入側流路に流体を供給し、披選択シリンダ室に連通する出側流路に流体を供給することにより披選択シリンダ室に収容された被選択ロッドのみを前進移動させることを特徴とする。
【００１１】
本発明のワーク搬送装置は、ロッドが鉛直方向の下方に向かって前進移動するよう支持ブロックが設置されていることを特徴とする。
【００１２】
本発明のワーク搬送装置は、入側圧力室内に駆動ピストンを後退側に押圧する圧縮ばねが挿入されていることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１４】
図１は本発明の一実施の形態のワーク搬送装置の要部を示す図であって水平姿勢の状態となっているところを斜め下方から見た斜視図であり、図２は図１におけるＪ−Ｊ線に沿う断面図であり、図３は図２におけるＫ−Ｋ線に沿う断面図であり、図４は図３における１つのシリンダ室の拡大断面図である。本実施の形態のワーク搬送装置１はワークを直接扱う要部の収容体として図１に示すような支持ブロック２を有し、この支持ブロック２は直方体の本体部３と、この下面に複数本のねじ部材４で固定されたカバー部材５とからなる。
【００１５】
図２に示すように支持ブロック２の本体部３の内部には、上下鉛直方向に沿って平行に配置された複数のシリンダ穴６が形成されており、カバー部材５がそれらの下端開口部を塞いでいることによりそれぞれの内部が圧縮空気を封入可能なシリンダ室７を形成している。各シリンダ室７の内部には軸方向に往復動自在に駆動ピストン８が装着されており、シリンダ室７の内部はこの駆動ピストン８によって図中下側の入側圧力室９と図中上側の出側圧力室１０とに区画されている。駆動ピストン８の図中下側にはシリンダ室７の軸方向と平行なロッド１１が取り付けられており、このロッド１１はカバー部材５から突出して駆動ピストン８とともに前進限位置（下方限位置）と後退限位置（上方限位置）との間を進退自在に移動できるようになっている。
【００１６】
本実施の形態のワーク搬送装置においては、図３に示す支持ブロック２の水平断面上でＸ方向に対し８本のシリンダ室７が一直線上に配列し、Ｙ方向に対しては６本のシリンダ室７が一直線上に配列して、全体で６行８列のマトリックス配置でシリンダ室７が形成されている。また図１に示すように各シリンダ室７と同じ配置でロッド１１がカバー部材５を貫通して下方に突出している。ただし、シリンダ室７の数は６行８列の４８本に限られることなく、任意の数に設定することができる。また、それぞれのシリンダ室７は、Ｘ、Ｙ両方向に一定のピッチで形成されているが、シリンダ室７どうしの間隔も任意に設定することができる。
【００１７】
図２、図３に示すように、支持ブロック２の本体部３の上方にはＸ方向と平行な配置の６本の出側流路１２ａ〜１２ｆがシリンダ室７のマトリックス配置における各行にそれぞれ対応して形成されており、これらは各行における８本のシリンダ室７の出側圧力室１０に対してそれぞれ出側連通路１３を介して共通に連通している。各出側流路１２ａ〜１２ｆの一端部は本体部３の側面３ａに形成した出側用給排ポート１４ａ〜１４ｆに連通しており、各出側連通路１３は各シリンダ室７の上端面（後退側端面７ｒ）において駆動ピストン８の断面積より小さい面積で開口している。
【００１８】
また本体部３の下方にはＹ方向と平行な配置の８本の入側流路１５Ａ〜１５Ｈがシリンダ室７のマトリックス配置における各列にそれぞれ対応して形成されており、これらは各列における６本のシリンダ室７の入側圧力室９に対し、それぞれ後述する連通チャンバ１７を貫通して共通に連通している。各入側流路１５Ａ〜１５Ｈの一端部は本体部３の側面３ａに直交する側面３ｂに形成した入側用給排ポート１４Ａ〜１４Ｈに連通している。以上のようにして４８本のシリンダ室７は、それぞれに連通する出側流路１２ａ〜１２ｆと入側流路１５Ａ〜１５Ｈの組み合わせが全て異なる接続構成となっている。
【００１９】
図４に示すように、駆動ピストン８は上方の大径部８ａと下方の小径部８ｂが同心上で一体に形成されたものであり、大径部８ａの外周にはＯリング１６が装着されてシリンダ室７の内周に密接し、入側圧力室９と出側圧力室１０との間の気密性を維持しつつ軸方向に往復自在に摺動できるようになっている。
【００２０】
シリンダ室７の下端にはシリンダ穴６より大きい径の連通チャンバ１７が形成されており、その内部にはロッドカバー１８がシリンダ穴６と同心上に取り付けられている。このロッドカバー１８は連通チャンバ１７より大きい径の本体筒部１８ａとその上方に一体に形成されたシリンダ穴６より小さい径の小径筒部１８ｂとを有している。前述の入側流路１５Ａ〜１５Ｈは小径筒部１８ｂの周囲に位置する連通チャンバ１７を介して入側圧力室９と連通している。本体筒部１８ａの外周にはＯリング１９が装着されて本体部３と密着し、またロッド１１と摺接する本体筒部１８ａの内周にはＶパッキン２０が装着されてそれぞれシリンダ室７内部の気密性を保持している。
【００２１】
ロッドカバー１８の本体筒部１８ａと駆動ピストン８の大径部８ａの間に挟まれるように圧縮ばね２１が装着されており、駆動ピストン８の小径部８ｂとロッドカバー１８の小径筒部１８ｂがそれぞれ圧縮ばね２１の内部に挿入し、ロッド１１が圧縮ばね２１の軸中心上を貫通している。この圧縮ばね２１は駆動ピストン８の軸方向の移動により伸縮されるとともに、駆動ピストン８に対して常に上方に向けて押圧力を付加するようになっている。
【００２２】
この圧縮ばね２１の押圧力は、出側圧力室１０のみに規定圧の圧縮空気が供給された場合に駆動ピストン８がその後退側端面８ｃで受ける前進空気圧推力より小さい押圧力となるよう設定されている。したがって圧縮空気が入側圧力室９に供給されずに出側圧力室１０にだけ供給された場合には駆動ピストン８およびロッド１１は前進移動することになる。
【００２３】
また駆動ピストン８は、上方の後退側端面８ｃよりも下方の前進側端面８ｄ（大径部８ａと小径部８ｂのそれぞれの前進側の端面露出部分を合わせた投影面）の方がロッド１１の設置面積分だけ空気圧を受ける受圧面積が小さくなっている。そのため圧縮ばね２１を設けない構成を仮定して入側圧力室９と出側圧力室１０の両方に同じ圧力の圧縮空気が供給された場合には、前進空気圧推力が優先して駆動ピストン８およびロッド１１は前進移動することになる。
【００２４】
そこで入側圧力室９と出側圧力室１０の両方に同じ圧力の圧縮空気が供給された場合には後退方向に作用する推力を優先させるよう、圧縮ばね２１の押圧力は最低でも前記の前進空気圧推力から後退空気圧推力を差し引いた分の推力よりも大きい押圧力を常に付加できるように設定されている。これにより入側圧力室９内の圧縮空気から受ける後退空気圧推力と圧縮ばね２１の押圧力との和の後退方向推力は、出側圧力室１０の圧縮空気から受ける前進空気圧推力（前進方向推力）と比較して常に上回る大きさで作用して駆動ピストン８およびロッド１１を後退移動させることになる。
【００２５】
以上の構成の本実施の形態のワーク搬送装置１は、４８本のうちから任意に選択した１本のロッド１１のみを進退移動させてワークの接触と載置を行わせるものである。たとえば各ロッド１１の先端に針状の検体採取治具を取り付けることによって、複数のシャーレ等で培養した複数種の菌等（ワーク）をロッド１１ごとに採取してから一度にまとめて搬送し、分析ステーションでの複数の試験管等に１つずつ分配することで効率の高い搬送を可能とするものである。またプリント基板上へ電子部品を装着する電子部品実装機に応用する場合には、各ロッド１１の先端に電子部品を吸着できる真空吸着治具などを取り付ければよい。
【００２６】
以下、本実施の形態のワーク搬送装置１の動作について説明する。
【００２７】
まず全ての入側流路１５Ａ〜１５Ｈおよび出側流路１２ａ〜１２ｆに対して圧縮空気の供給を止めて大気開放した場合、全ての駆動ピストン８には圧縮ばね２１から上方に向かう押圧力のみしか付加されないため、各ロッド１１とともに上方の後退限位置まで引き込んだ状態となり、この状態がワーク搬送装置１の初期状態となる。
【００２８】
図５はワーク搬送装置１の要部の平面図であり、作動制御の一例として図中５行３列目に位置するロッド１１のみを被選択ロッド１１Ｑとして突出させる場合に、圧縮空気を供給すべき入側流路と出側流路の組み合わせを示す図である。図５に示すように選択された被選択ロッド１１Ｑは、図示するマトリックス配置のうちの上から５行目で左から３列目に位置するものであり、この被選択ロッド１１Ｑを収容する被選択シリンダ室７Ｑは５行目に対応する出側流路１２ｂと３列目に対応する入側流路１５Ｃに連通している。
【００２９】
そして被選択ロッド１１Ｑのみを前進突出移動させる操作としては、３列目の入側流路１５Ｃ以外の入側流路１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｄ〜１５Ｈに圧縮空気を供給し、また５行目の出側流路１２ｂに圧縮空気を供給する操作となる。これにより、３列目以外の列に対応して位置する大部分のシリンダ室は入側圧力室９に圧縮空気が供給されるため、前述したようにこれらに収容される駆動ピストン８が上方へ後退移動してロッド１１とともに後退限位置に引き込むことになる。そしてこれら以外の３列目に対応する位置の６本のシリンダ室７Ｃａ〜７Ｃｆのうちで５行目に対応する位置のシリンダ室７Ｃｂ（被選択シリンダ室７Ｃｂ）のみが出側圧力室１０に圧縮空気を供給されるため、そこに収容されている駆動ピストン８のみが前進限位置まで移動し、すなわち被選択ロッド１１Ｑのみが突出移動することになる。
【００３０】
ここで被選択ロッド１１Ｑを収容する被選択シリンダ室７Ｑ（シリンダ室７Ｃｂ）以外で３列目に対応する他の５本のシリンダ室７Ｃａ，７Ｃｃ〜７Ｃｆにおいては、入側圧力室９および出側圧力室１０のどちらにも圧縮空気が供給されずに初期状態と同じ状態となっているため、圧縮ばね２１の押圧力により駆動ピストン８およびロッド１１が後退限位置まで引き込んだ状態となっている。
【００３１】
また被選択シリンダ室７Ｑ以外で５行目に対応する他の７本のシリンダ室７Ａｂ，７Ｂｂ，７Ｄｂ〜７Ｈｂにおいては、入側圧力室９および出側圧力室１０のどちらにも同じ圧力の圧縮空気が供給されることになるため、前述したように後退方向推力（入側圧力室９内の圧縮空気による後退空気圧推力と圧縮ばね２１の押圧力の和の推力）が優先し、この場合でも駆動ピストン８およびロッド１１が後退限位置まで引き込んだ状態となる。この結果、任意選択された５行３列目に位置する被選択ロッド１１Ｑだけを前進限位置まで突出移動させるよう作動制御することができる。
【００３２】
以上のようにして本実施の形態のワーク搬送装置１は、複数形成された入側流路のうちで被選択シリンダ室に連通する以外の入側流路に圧縮空気を供給し、複数形成された出側流路のうちで被選択シリンダ室に連通する出側流路のみに圧縮空気を供給することにより被選択ロッドのみを突出させることができる。
【００３３】
図６はワーク搬送装置１の作動を制御する制御部を示す空気圧回路図であり、１つの空気圧供給源２２と６つの出側用給排ポート１４ａ〜１４ｆの間にはそれぞれ第１流路２３ａ〜２３ｆが接続され、同じ空気圧供給源２２と８つの入側用給排ポート１４Ａ〜１４Ｈの間にはそれぞれ第２流路２３Ａ〜２３Ｈが接続されている。各第１流路２３ａ〜２３ｆおよび各第２流路２３Ａ〜２３Ｈには、流路を開閉する開閉弁２４ａ〜２４ｆ，２４Ａ〜２４Ｈが設けられている。
【００３４】
各開閉弁２４ａ〜２４ｆ，２４Ａ〜２４Ｈはソレノイドにより作動する電磁弁であり、はじめに全ての開閉弁２４ａ〜２４ｆ，２４Ａ〜２４Ｈのソレノイドを無通電状態とすることにより、全ての入側用給排ポート１４Ａ〜１４Ｈおよび出側用給排ポート１４ａ〜１４ｆが大気開放されて全てのシリンダ室７には何も圧縮空気が供給されない状態となり、前述したように全ての駆動ピストン８およびロッド１１は圧縮ばね２１の押圧力により後退限位置まで引き込んで初期状態となる。
【００３５】
その後に前記例のように５行３列目に位置するロッド１１Ｃｂのみを被選択ロッドとして突出移動させるよう制御する場合には、入側流路１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｄ〜１５Ｈに対応する開閉弁２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｄ〜２４Ｈと、出側流路１２ｂに対応する開閉弁２４ｂのソレノイドに通電して各流路に圧縮空気を供給すればよい。
【００３６】
このように本実施の形態のワーク搬送装置１は、作動制御の対象となるロッド１１を最大でマトリックス配置の行数と列数の乗算値（積）に相当する多くの本数で備えていながら、実際に切り換え操作を行う開閉弁２４ａ〜２４ｆ，２４Ａ〜２４Ｈの設置個数は前記の行数と列数の加算値（和）と同数でよいことになる。
【００３７】
したがって本実施の形態の例にあっては４８本もの多数のロッド１１を制御することに対し、開閉弁をそれぞれに個別に対応する４８個もの多数個設ける必要がなく、前述したように開閉弁２４の必要設置個数を行数と列数の和である１４個に抑えることができるため、制御部を含めたワーク搬送装置１全体を小型軽量かつ簡易に構成することができる。
【００３８】
また図２、図３に示すように、支持ブロック２の内部においても単純な構成のシリンダ室７と各行各列にそれぞれ対応する本数の圧縮空気用の流路を形成しているだけの非常に簡易な構成となっているため、支持ブロック２が収容するワーク搬送装置１の主要部のみにおいても製造コストを低く抑えることができる。
【００３９】
以上により本実施の形態のワーク搬送装置１は、多数備えたロッド１１のうち任意に１つだけ選択された被選択ロッド１１Ｑだけを突出移動させるよう作動制御できるとともに、低コストで製造できる簡易な構成となっている。
【００４０】
なお、本実施の形態は前述したように各シリンダ室７を設ける配置が長方形のマトリックス配置となって全ての行と列に形成したが、本発明はそれに限られるものではない。たとえばマトリックス配置上においても部分的にシリンダ室７を形成することも可能であり、また各行と各列に対応する流路が曲線状に形成されて互いに平行となっていない配置としてもよい。このような場合でも各シリンダ室７が連通する入側流路１５Ａ〜１５Ｈと出側流路１２ａ〜１２ｆの組み合わせがそれぞれ異なる連通構成となっていれば、行数と列数の加算値と同数の開閉弁２４ａ〜２４ｆを備えるだけで１つの被選択ロッド１１Ｑのみを前進突出移動させる作動制御が可能となる。
【００４１】
また、出側流路１２ａ〜１２ｆに供給する圧縮空気よりも入側流路１５Ａ〜１５Ｈに供給する圧縮空気の方の圧力を十分高く設定することで、シリンダ室７内の圧縮ばね２１の装着は不要となる。たとえば入側用と出側用の圧縮空気の圧力をそれぞれＰ１、Ｐ２とし、駆動ピストン８の前進側端面８ｄと後退側端面８ｃにおける受圧面積をそれぞれＳ１、Ｓ２とした場合、（Ｓ２／Ｓ１）×Ｐ２＜Ｐ１を満たす関係であれば後退空気圧推力は常に前進空気圧推力より優先して駆動ピストン８を後退移動させることができる。
【００４２】
ここで圧縮ばね２１を備えない構成の場合には、必ず全ての駆動ピストン８を後退限位置まで後退移動させた初期状態としてから被選択ロッド１１Ｑを突出させる制御を行うようにする必要がある。またＶパッキン２０との摩擦によってロッド１１および駆動ピストン８の自重による落下を防ぐことができる。
【００４３】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、各ロッド１１およびシリンダ室７は鉛直方向に沿って相互に平行となる配置で形成されるものに限られず、また全てのロッド１１は下方向に向かって突出する構成に限られるものではない。たとえば各シリンダ室７が鉛直方向と直交して横方向に沿う配置で形成され、各ロッド１１が同じ方向に向かって突出移動する構成としてもよく、さらには支持ブロックを円柱形状に形成して各シリンダ室７や各ロッド１１を放射状の配置で設けるなど多様な配置構成が考えられる。
【００４４】
【発明の効果】
本発明によれば、マトリックス配置の行数と列数の加算値と同数個の開閉弁を設けるだけで多数のロッドのうちの１つの被選択ロッドだけを突出移動させるよう作動制御することができ、また支持ブロックの内部において単純な構成のシリンダ室と各行各列にそれぞれ対応する本数の圧縮空気用の流路を形成しているだけの非常に簡易な構成となっているため製造コストを低く抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のワーク搬送装置の要部を示す図であって水平姿勢の状態となっているところを斜め下方から見た斜視図である。
【図２】図１におけるＪ−Ｊ線に沿う断面図である。
【図３】図２におけるＫ−Ｋ線に沿う断面図である。
【図４】図３における１つのシリンダ室の拡大断面図である。
【図５】ワーク搬送装置の要部の平面図であり、図中５行３列目に位置するロッドのみを突出させる場合に圧縮空気を供給すべき入側流路と出側流路の組み合わせを示す図である。
【図６】ワーク搬送装置の作動を制御する制御部を示す空気圧回路図である。
【符号の説明】
１        ワーク搬送装置
２        支持ブロック
３        本体部
４        ねじ部材
５        カバー部材
６        シリンダ穴
７，７Ａａ〜７Ｈｆ  シリンダ室
７Ｑ      被選択シリンダ室
８        駆動ピストン
８ｃ      後退側端面
８ｄ      前進側端面
９        入側圧力室
１０      出側圧力室
１１，１１Ａａ〜１１Ｈｆ  ロッド
１１Ｑ    被選択ロッド
１２ａ〜１２ｆ  出側流路
１３      出側連通路
１４ａ〜１４ｆ  出側用給排ポート
１４Ａ〜１４Ｈ  入側用給排ポート
１５Ａ〜１５Ｈ  入側流路
１６      Ｏリング
１７      連通チャンバ
１８      ロッドカバー
１９      Ｏリング
２０      Ｖパッキン
２１      圧縮ばね
２２      空気供給源
２３ａ〜２３ｆ  第１流路
２３Ａ〜２３Ｈ  第２流路
２４ａ〜２４ｆ，２４Ａ〜２４Ｈ  開閉弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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