(57)【要約】【課題】凹凸を有する下地に対しても、目的とする地点に確実に液滴を塗布することが可能な液滴吐出装置、および、液滴吐出方法を提供する。【解決手段】液滴吐出装置１００は、駆動波形に応じて液滴を吐出する吐出ヘッド１３０と、吐出ヘッド１３０に対して基板１９０を走査させる基板キャリッジ１１２に加え、液滴の飛行予定距離を検出する距離センサ１４０を有している。液滴吐出装置１００においては、距離センサ１４０により検出された飛行予定距離が短いほど、吐出ヘッド１３０に供給する駆動波形の出力タイミングを遅らせる。【選択図】        図５
2004255277.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室に貯えられた液体を、供給された駆動波形の指示により加圧して、前記圧力室に連通する吐出口から液滴化し、被塗布体に吐出させる吐出ヘッドであって、前記被塗布体に対し相対移動する吐出ヘッドと、
前記吐出口と前記被塗布体との間の距離を取得する距離取得手段と、
前記距離取得手段により取得された距離が小さくなる方向に変化するとき、前記駆動波形を前記吐出ヘッドに供給するタイミングを遅らせる一方、距離が大きくなる方向に変化するとき、前記駆動波形を供給するタイミングを進めさせる制御手段と、
を具備することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記駆動波形が複数繰り返し出力されて駆動波形群を構成し、
前記制御手段は、前記距離が小さくなる方向に変化するとき、前記駆動波形群のうち、時間的に後方に位置する前記駆動波形を選択する一方、前記距離が大きくなる方向に変化するとき、前記駆動波形群のうち、時間的に前方に位置する前記駆動波形を選択すること
を特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
圧力室に貯えられた液体を、供給された駆動波形の指示により加圧して、前記圧力室に連通する吐出口から液滴化し、被塗布体に吐出させる吐出ヘッドであって、前記被塗布体に対し相対移動する吐出ヘッドから液滴を吐出させる液滴吐出方法において、
前記吐出口と前記被塗布体との間の距離を取得する距離取得過程と、
前記距離取得過程において取得された距離が小さくなる方向に変化するとき、前記駆動波形を前記吐出ヘッドに供給するタイミングを遅らせる一方、距離が大きくなる方向に変化するとき、前記駆動波形を供給するタイミングを進めさせるタイミング制御過程と、
前記圧力室に貯えられた液体を、供給された前記駆動波形の指示により、前記吐出口から液滴化して吐出する液滴吐出過程と、
を有することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項４】
前記駆動波形が複数繰り返し出力されて駆動波形群を構成し、
前記タイミング制御過程において、前記距離が小さくなる方向に変化するとき、前記駆動波形群のうち、時間的に後方に位置する前記駆動波形を選択する一方、前記距離が大きくなる方向に変化するとき、前記駆動波形群のうち、時間的に前方に位置する前記駆動波形を選択すること
を特徴とする請求項３に記載の液滴吐出方法。
【請求項５】
配線、カラーフィルタ、フォトレジスト、マイクロレンズアレイ材料、エレクトロ・ルミネセンス材料、または、生体物質のうちいずれか１の吐出に用いることを特徴とする請求項３あるいは４に記載の液滴吐出方法。
【請求項６】
請求項３あるいは４に記載の液滴吐出方法により吐出された液滴によって薄膜層を形成する過程を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載のデバイス製造方法を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の電気光学装置の製造方法により製造されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
請求項８に記載の電気光学装置を含むことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被塗布体に向けて液滴を吐出して、液滴を被塗布体に塗布する液滴吐出方法および液滴吐出装置、ならびに、デバイス製造方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
配線などのパターニングに用いられる液滴吐出装置は、導電性微粒子を含む液滴を吐出する吐出ヘッドと、吐出ヘッドに対して、基板を走査する基板キャリッジとを有する構成が一般である。この構成の下、液滴吐出装置においては、吐出ヘッドから液滴を吐出させる一方で、基板キャリッジにより基板を走査して、基板上に配線を形成する（例えば、特許文献１参照）。このようなパターニング法によれば、シャドウマスクを用いた蒸着法などと比較して、設備構成が簡易であり、低コストでパターニングできるという利点がある。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−２６１０４８号公報
【０００４】
ところで、プリント基板、有機ＥＬディスプレイ、プラズマディスプレイなどに含まれる配線などを形成する場合、配線は、基板上にあらかじめ形成された電極や素子などの構造物を部分的に跨ぐようにパターニングされる。また、基板が大きくなると、配線パターンの下地となる基板にそりが生じる場合もある。これらのような場合、配線は、平面状の下地ではなく、凹凸状の下地にパターニングされることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来における液滴吐出装置により、凹凸状の下地に対して液滴を塗布すると以下のような問題が生じる。ここで、図１２（ａ）および図１２（ｂ）は、凹部を有する基板に向けて吐出された液滴が、基板に着弾するまでの様子を時系列的に示した図である。図１２（ａ）において、基板１２Ｓは、深さ「Ｙ」の凹部を有しており、図示せぬ基板キャリッジにより、吐出ヘッド１２Ｈに対して図中Ｘ方向に走査される。一方、吐出ヘッド１２Ｈは、基板１２Ｓが凹部を有さないという前提の下、基板１２Ｓ上の地点Ｘ１に向けて液滴を吐出する。ここで、図１２（ａ）には、吐出ヘッド１２Ｈから吐出された液滴が、基板１２Ｓの上面を含む水平面内に到達した時点の様子が示されている。この図に示すように、仮に基板１２Ｓに凹部がなければ、液滴は、この時点に基板１２Ｓ上の地点Ｘ１に着弾するが、実際には凹部があるため、液滴は、さらに下方へと距離「Ｙ」だけ落下する。
【０００６】
このように液滴が距離「Ｙ」だけ落下する期間においても、基板１２ＳはＸ方向に搬送される。したがって、液滴は、図１２（ｂ）に示すように、地点Ｘ１よりＸ方向後方の地点Ｘ２に着弾する。つまり、液滴を形成する下地が凹凸を有している場合、液滴は、本来着弾されるべき地点Ｘ１とは異なる地点Ｘ２に、塗布されてしまう。
【０００７】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的のするところは、凹凸を有する下地に対しても、目的とする地点に確実に液滴を塗布することが可能な液滴吐出装置、および、液滴吐出方法、ならびに、デバイス製造方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明にかかる液滴吐出装置は、圧力室に貯えられた液体を、供給された駆動波形の指示により加圧して、前記圧力室に連通する吐出口から液滴化し、被塗布体に吐出させる吐出ヘッドであって、前記被塗布体に対し相対移動する吐出ヘッドと、前記吐出口と前記被塗布体との間の距離を取得する距離取得手段と、前記距離取得手段により取得された距離が小さくなる方向に変化するとき、前記駆動波形を前記吐出ヘッドに供給するタイミングを遅らせる一方、距離が大きくなる方向に変化するとき、前記駆動波形を供給するタイミングを進めさせる制御手段と、を具備することを特徴とする。
かかる液滴吐出装置によれば、吐出口と被塗布体との間の距離が小になるほど、吐出ヘッドに駆動波形を供給するタイミングが遅れるため、液滴の飛行時間が短いほど、該液滴の吐出タイミングが遅らせられる。これにより、凹凸を有する下地に対しても、目的とする地点に確実に液滴を塗布することが可能となる。
【０００９】
ここで、前記駆動波形が複数繰り返し出力されて駆動波形群を構成し、前記制御手段は、前記距離が小さくなる方向に変化するとき、前記駆動波形群のうち、時間的に後方に位置する前記駆動波形を選択する一方、前記距離が大きくなる方向に変化するとき、前記駆動波形群のうち、時間的に前方に位置する前記駆動波形を選択することが好ましい。
このような制御を行うことにより、駆動波形が繰り返し出力された駆動波形群を用いて液滴を吐出する液滴吐出装置であっても、吐出口と被塗布体との間の距離が小になるほど、液滴の吐出タイミングを遅らせることが可能である。
【００１０】
また、本発明は、上述した液滴吐出装置の他、該液滴吐出装置を実現するための液滴吐出方法を提供し、この液滴吐出方法においても、吐出口と被塗布体との間の距離に応じて、液滴の吐出タイミングを制御して、液滴を目的とする位置に確実に塗布させるという効果を奏する。
このような液滴吐出方法によれば、配線や、カラーフィルタ、フォトレジスト、エレクトロ・ルミネセンス材料、マイクロレンズアレイ材料、生体物質などを含む液滴を高品質に塗布することができる。
【００１１】
また、本発明は、上記液滴吐出方法により吐出された液滴によって、薄膜層を形成する過程を含むことを特徴とするデバイス製造方法、そのデバイス製造方法を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法、ならびに、当該製造方法により製造されたことを特徴とする電気光学装置、および、電気光学装置を含むことを特徴とする電子機器を提供する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１３】
＜第１実施形態＞
この第１実施形態においては、数ミクロン程度の微少な凹凸を有する基板に好適な液滴吐出装置について説明する。
【００１４】
図１は、本発明の第１実施形態にかかる液滴吐出装置の構成を示す図である。この図に示すように、液滴吐出装置１００は、制御部１１０を有している。制御部１１０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）や、メモリなどを含み、吐出ヘッド１３０、基板キャリッジ１１２および距離センサ１４０の各々に駆動信号を供給し、液滴吐出装置１００全体を制御する。制御部１１０に含まれるメモリには、基板１９０上の各塗布地点において、液滴を吐き出すか否かが規定されたドットデータが記憶されている。このドットデータは、基板上に形成する配線パターンを示す情報である。
【００１５】
溶液タンク１２０は、配線のパターニングに用いられる溶液を貯蔵する。より具体的には、溶液タンク１２０には、Ｃ１４Ｈ３０（ｎ−ｔｅｔｒａｄｅｃａｎｅ）などの有機溶液に、配線材料となる銀粒子が混合された溶液が貯蔵される。溶液タンク１２０に貯蔵される溶液は、吐出ヘッド１３０に供給され、吐出ヘッド１３０において液滴化されて吐出される。
【００１６】
図２は、吐出ヘッド１３０の詳細を示す図である。この図において、圧力室１３２は、溶液タンク１２０内部と連通しており、溶液タンク１２０に貯蔵される溶液を流入し、流入した溶液を一時的に貯える。圧電素子１３４は、制御部１１０から供給される駆動波形に応じて変形し、圧力室１３２内の溶液を減圧あるいは増圧させて、吐出ヘッド１３０から液滴を吐出させる。
【００１７】
図３は、液滴吐出一回につき、制御部１１０から圧電素子１３４に供給される駆動波形を示す図である。吐出ヘッド１３０においては、この駆動波形に応じて、次のようにして液滴を吐出する。まず、駆動波形の信号レベル（電圧）が「Ｖ０」から「ＶＨ」まで上がると、圧電素子１３４は、圧力室１３２内の溶液を減圧させるように変形する。このように溶液が減圧されると、溶液タンク１２０から圧力室１３２に溶液が流入する。
【００１８】
次いで、駆動波形の信号レベルが「ＶＨ」から「ＶＬ」に下がると、圧電素子１３４は、圧力室１３２の溶液を増圧するように変形し、吐出ヘッド１３０に設けられたノズル１３６から、溶液が連なった状態で吐き出される。この状態の下、駆動波形の信号レベルが、「ＶＬ」から「Ｖ０」に上がると、圧電素子１３４は、圧力室１３２内の溶液を減圧するように変形し、一旦吐き出された溶液はノズル１３６を介して圧力室側に引き戻されようとするが、慣性力の働きにより溶液にくびれが生じ、そのくびれ部分で分裂して、液滴がおおよそ５ｍ／ｓの初速度で吐出ヘッド１３０から吐出する。
なお、説明の便宜上、この実施形態においては、ノズル１３６の数は、ひとつである例を説明するが、複数のノズル１３６を吐出ヘッド１３０に設ける構成としても良い。
【００１９】
再び図１に説明を戻す。基板キャリッジ１１２は、凹凸を有する基板１９０を保持する共に、制御部１１０の制御の下、吐出ヘッド１３０に対して基板１９０を走査する。この際、基板キャリッジ１１２は、Ｘ方向に、一定の速度「Ｖ」にて基板１９０を搬送する。
【００２０】
距離センサ１４０は、例えばレーザレーダであり、基板１９０に向けてレーザビームを略垂直方向に出射するレーザと、基板１９０から反射して戻ってくるレーザビームを受光するフォトダイオードとを含む。この構成の下、距離センサ１４０においては、レーザビームの出射タイミングと、その反射光の受光タイミングとの時間差を用いて、ノズル１３６先端から、基板１９０上面までの距離を検出し、距離信号ＤＳとして制御部１１０に供給する。
【００２１】
なお、距離センサ１４０は、その検出地点１４０Ｐと、吐出ヘッド１３０から吐出された液滴の着弾位置１３０Ｐとを結ぶ直線が、基板１９０の走査方向Ｘと同一方向に略平行であり、かつ、着弾地点１３０Ｐからみて検出地点１４０Ｐが走査方向Ｘの上流側に位置するように設けられている。従って、距離センサ１４０は、ノズル１３６先端から、基板１９０上における液滴の着弾が予定される地点までの距離を測定することができる。
後述するように、制御部１１０においては、距離センサ１４０から供給された距離信号ＤＳを用いて、圧電素子１３４に供給する駆動波形の出力タイミングを制御して、目的とする地点に位置ずれなく液滴を塗布する。
【００２２】
次に、液滴吐出装置１００における液滴吐出の動作について説明する。
この動作説明においては、液滴吐出装置１００により、基板１９０上面における塗布予定地点Ｓａ、塗布予定地点Ｓｂおよび塗布予定地点Ｓｃの各々に、一滴ずつ液滴を塗布する場合を想定する。塗布予定地点Ｓａ、塗布予定地点Ｓｂおよび塗布予定地点Ｓｃの各々は、この順で吐出ヘッド１３０におけるノズル１３６先端から垂直方向に遠ざかるように位置し、ノズル１３６先端と塗布予定地点Ｓａとの垂直距離は「Ｌ−ｄ」であり、ノズル１３６先端と塗布予定地点Ｓｂとの垂直距離は「Ｌ」であり、ノズル１３６先端と塗布予定地点Ｓａとの垂直距離は「Ｌ＋ｄ」である。これらの垂直距離の各々は、吐出ヘッド１３０から吐出された液滴が、対応する塗布予定地点Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃに着弾するまでに移動（飛行）する距離を示す。そこで、以降においては、ノズル１３６先端から各塗布予定地点Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃまでの垂直距離を、飛行予定距離と称することとする。
なお、基板１９０上における塗布予定地点Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃの各々は、ドットデータとして制御部１１０に含まれるメモリに記憶されている。
【００２３】
また、飛行予定距離（「Ｌ−ｄ」〜「Ｌ＋ｄ」）は十分に短く、液滴の飛行速度は、重力加速度や空気抵抗などの影響により、変化しないものとみなす。つまり液滴は、吐出時における初速度５ｍ／ｓのまま等速運動して、塗布予定地点Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃに着弾するものとみなす。
【００２４】
まず、液滴吐出の動作説明に先立ち、動作の前提となる標準駆動信号について、図４を参照して説明する。
標準駆動信号ＳＳは、全ての塗布予定地点Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃについての飛行予定距離が「Ｌ」であるという仮定の下、塗布予定地点Ｓａに液滴を塗布するための駆動波形Ｐａと、塗布予定地点Ｓｂに液滴を塗布するための駆動波形Ｐｂと、塗布予定地点Ｓｃに液滴を塗布するための駆動波形Ｐｃとを含む。言い換えれば、標準駆動信号ＳＳは、基板が平坦であるという仮定の下、該基板における塗布予定地点に液滴を塗布させるための信号であり、飛行予定距離「Ｌ」の他、メモリに記憶されるドットデータや、基板１９０の走査速度「Ｖ」に応じて制御部１１０により生成される。以降においては、標準駆動信号ＳＳの生成に用いられる飛行予定距離「Ｌ」については、他の飛行予定距離と区別するために、標準距離と称することとする。
なお、標準駆動信号ＳＳの生成にかかる処理については、従来の液滴吐出装置において一般に行われている処理であり、本件発明とは直接関係しないためその詳細については省略する。
一方、同図に示す補正駆動信号ＡＳは、制御部１１０において、各塗布予定地点Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃについての飛行予定距離に応じて、標準駆動信号ＳＳが補正された信号であり、続く動作説明において詳述する。
【００２５】
はじめに、制御部１１０は、図１に示すように、基板キャリッジ１１２により、基板１９０をＸ方向に速度「Ｖ」で走査する。このように基板１９０が走査されると、図５（ａ）に示すように、基板１９０上の塗布予定地点Ｓａが、距離センサ１４０の検出地点を通過する。距離センサ１４０は、塗布予定地点Ｓａが検出地点を通過する際に、当該塗布予定地点Ｓａについての飛行予定距離「Ｌ−ｄ」を検出し、その検出結果「Ｌ−ｄ」を距離信号ＤＳとして制御部１１０に供給する。
【００２６】
ところで、従来の液滴吐出装置においては、各塗布予定地点Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃが互いに異なる水平面内に含まれていたとしても、全ての塗布予定地点Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃについての飛行予定距離が一定（本実施形態では標準距離「Ｌ」）であるという仮定の下で生成された標準駆動信号ＳＳ（図４参照）に応じて液滴を吐出させていた。したがって、塗布予定地点Ｓａのように、その飛行予定距離が標準距離「Ｌ」よりも短い塗布予定地点Ｓａに向けて、標準駆動信号ＳＳに応じて液滴を吐出させた場合、液滴は、塗布予定地点Ｓａよりも、Ｘ方向の上流側に着弾してしまう。
【００２７】
さらに具体的に説明すると、仮に、塗布予定地点Ｓａについての飛行予定距離が、標準距離「Ｌ」であると仮定した場合、飛行速度「ｖ」の液滴が、吐出されてから着弾するまでに要する時間ｔ１は、ｔ１＝Ｌ／ｖと表現することができる。
【００２８】
しかしながら、実際には塗布予定地点Ｓａについての飛行予定距離は、「Ｌ−ｄ」である。このため、液滴が塗布予定地点Ｓａに着弾するのに要する時間ｔ２は、ｔ２＝（Ｌ−ｄ）／ｖとなる。したがって、液滴は、塗布予定地点Ｓａについての飛行予定距離が標準距離「Ｌ」であると仮定した場合と比較して、時間Δｔａ＝ｔ１−ｔ２＝ｄ／ｖだけ早く塗布予定地点Ｓａに着弾してしまう。
【００２９】
そこで、本実施形態にかかる液滴吐出装置１００においては、液滴を確実に塗布予定地点Ｓａに着弾させるべく、時間Δｔａ（以下「補正時間Δｔａ」と記す。）を用いて、以下のようにして液滴を吐出する。まず、制御部１１０は、距離センサ１４０から飛行予定距離「Ｌ−ｄ」を受け取ると、標準距離「Ｌ」から飛行予定距離「Ｌ−ｄ」を差し引いて、距離差「ｄ」を得る。次いで、制御部１１０は、距離差「ｄ」を用いて、補正時間Δｔａ＝ｄ／ｖを算出する。ここで、飛行速度「ｖ」は「５ｍ／ｓ」であり、仮に、距離差「ｄ」が「５μｍ」であるとすれば、補正時間Δｔａは、「１μｓ」となる。
【００３０】
次いで、制御部１１０は、補正時間Δｔａ「１μｓ」を用いて標準駆動信号ＳＳを補正する。より具体的には、制御部１１０は、図４に示すように、標準駆動信号ＳＳに示す駆動波形Ｐａの出力タイミングから、補正時間Δｔａ「１μｓ」だけ遅らせた駆動波形Ｐａを有する補正駆動信号ＡＳを生成する。制御部１１０は、補正駆動信号ＡＳにおける出力タイミングにて、駆動波形Ｐａを圧電素子１３４に供給する。このように、標準駆動波形ＳＳにおける駆動波形Ｐａの出力タイミングを補正時間Δｔａ「１μｓ」だけ遅らせると、吐出ヘッド１３０からの液滴の吐出タイミングが補正時間Δｔａ「１μｓ」だけ遅くなる。この結果、液滴は、吐出されてから時間ｔ３＝（Ｌ−ｄ）／ｖが経過した時点で、塗布予定地点Ｓａに着弾する。
【００３１】
次いで、制御部１１０が、引き続き基板キャリッジ１１２によって基板１９０を走査すると、図６（ａ）に示すように、基板１９０上の塗布予定地点Ｓｂが、距離センサ１４０の検出地点を通過する。距離センサ１４０は、塗布予定地点Ｓｂが検出地点を通過する際に、当該塗布予定地点Ｓｂについての飛行予定距離「Ｌ」を検出し、その検出結果「Ｌ」を距離信号ＤＳとして制御部１１０に供給する。
【００３２】
制御部１１０は、距離センサ１４０から飛行予定距離「Ｌ」を示す距離信号ＤＳを受け取ると、標準距離「Ｌ」から飛行予定距離「Ｌ」を差し引いて、それらの距離差「０」を求める。次いで、制御部１１０は、距離差「０」を用いて、補正時間Δｔｂを計算し、補正時間Δｔｂ＝０／ｖ＝０を得る。
【００３３】
このように飛行予定距離「Ｌ」と、標準距離「Ｌ」とが一致して、補正時間Δｔｂが「０」となる場合、制御部１１０は、図４に示すように、標準駆動信号ＳＳに含まれる駆動波形Ｐｂの出力タイミングを修正することなく、補正駆動信号ＡＳに含め、該補正駆動信号ＡＳに含まれる駆動波形Ｐｂを圧電素子１３４に供給する。これにより、吐出ヘッド１３０から吐出された液滴は、塗布予定地点Ｓｂに着弾する。
【００３４】
次いで、制御部１１０が、引き続き基板キャリッジ１１２により基板１９０を走査すると、図７（ａ）に示すように、塗布予定地点Ｓｃが、距離センサ１４０の検出地点を通過する。距離センサ１４０は、塗布予定地点Ｓｃが検出地点を通過する際に、当該塗布予定地点Ｓｃについての飛行予定距離「Ｌ＋ｄ」を検出し、その検出結果「Ｌ＋ｄ」を距離信号ＤＳとして制御部１１０に供給する。
【００３５】
ここで、塗布予定地点Ｓｃについての飛行予定距離「Ｌ＋ｄ」は、標準距離「Ｌ」よりも長い。したがって、仮に標準駆動信号ＳＳにおける駆動波形Ｐｃの出力タイミングにより、液滴を吐出させた場合、液滴は、飛行予定距離が標準距離「Ｌ」の塗布予定地点に着弾する場合と比較して、時間「ｄ／ｖ」だけ遅く塗布予定地点Ｓｃに着弾する。
【００３６】
これに対処すべく、制御部１１０は、標準駆動信号ＳＳにおける駆動波形Ｐｃの出力タイミングを、次のように補正する。まず、制御部１１０は、距離センサ１４０から飛行予定距離「Ｌ＋ｄ」を示す距離信号ＤＳを受け取ると、標準距離「Ｌ」から飛行予定距離「Ｌ＋ｄ」を差し引いて、それらの距離差「−ｄ」を取得する。
【００３７】
制御部は、塗布予定地点Ｓｃの距離差「−ｄ」を取得すると、補正時間Δｔｃ＝−ｄ／ｖを算出し、標準駆動信号ＳＳに含まれる駆動波形Ｐｃの出力タイミングを、時間「ｄ／ｖ」だけ進めて、駆動波形Ｐｃを補正駆動信号ＡＳに含め、補正駆動信号ＡＳに含まれる駆動波形Ｐｃを圧電素子１３４に供給する。これにより、駆動波形Ｐｃに応じて吐出ヘッド１３０から吐出された液滴は、位置ずれを起こすことなく塗布予定地点Ｓｃに塗布される。
【００３８】
以上説明したように、本実施形態にかかる液滴吐出装置１００によれば、飛行予定距離が標準距離「Ｌ」と比較して短いほど、駆動波形の出力タイミングを遅らせる一方、飛行予定距離が標準距離「Ｌ」と比較して長いほど、駆動波形の出力タイミングを進める。これにより、塗布予定地点が同一平面上になくとも、目的とする塗布予定地点に確実に液滴を塗布することが可能となる。
【００３９】
なお、上述した実施形態においては、ノズル１３６数は１個であったが、複数のノズル１３６を有する液滴吐出装置であっても、ノズル１３６毎に、飛行予定距離に応じて液滴の吐出タイミングを制御することにより、上記実施形態と同様の効果が得られる。ただし、ノズル１３６を複数にした場合、各圧電素子１３４は、互いにずれたタイミングで駆動されるため、各圧力室１３２間において相互に吐出動作に影響を与える、いわゆるクロストークが生じる可能性がある。このような、クロストークが生じると、液滴の飛行速度や液滴の重量が変化するおそれがある。これに対処する技術としては、例えば、飛行速度や、液滴の重量が異なる液滴を吐出可能な複数の駆動波形をあらかじめ用意しておき、クロストークの影響をうち消すような駆動波形を選択して圧電素子１３４に供給する方法が考え得る。
【００４０】
また、ノズル１３６の個体差を起因として、飛行速度にばらつきが生じることがある。このように飛行速度がばらつくと、液滴の着弾位置がずれるおそれがある。この問題に対処する技術としては、飛行速度が異なる複数の液滴を吐出可能な複数の駆動波形をあらかじめ用意しておき、各ノズル１３６の飛行速度を測定し、その測定結果に応じて、飛行速度が設計値となるような駆動波形をノズル１３６毎に選択して、飛行速度を補正する方法や、飛行速度のずれによる影響を吸収するように、駆動波形の出力タイミングを補正する情報を、上記補正時間Δｔａ、Δｔｂ、Δｔｃの初期値に含める方法などが考え得る。
【００４１】
＜第２実施形態＞
上述した第１実施形態においては、数μｍ程度の比較的小さな凹凸を有する基板に好適な液滴吐出装置１００について説明した。これに対し、第２実施形態においては、数百μｍ程度の比較的大きな凹凸を有する基板に好適な液滴吐出装置について説明する。なお、以下の説明においては、上述した液滴吐出装置１００と同様の構成については、同一の符号を用いて説明する。
【００４２】
図８は、本発明の第２実施形態にかかる液滴吐出装置の構成を示す図である。この図に示すように、液滴吐出装置２００は、上述した第１実施形態にかかる液滴吐出装置１００と略同様の構成をしているが、制御部２１０において実行される制御内容が異なっている。
【００４３】
なお、第２実施形態においては、基板２９０の凹凸が数百μｍ程度と大きいため、吐出ヘッド１３０は、基板２９０から数百μｍ程度離れた位置に設けられる。このように、吐出ヘッド１３０と基板２９０との距離が離れ、飛行予定距離が長くとなると、空気抵抗の影響により、液滴の飛行曲がりが生じるおそれがある。これが問題となる場合には、液滴の飛行経路を減圧環境下にすることにより、液滴を直進させることができる。
【００４４】
図９は、制御部２１０において実行される各種処理のうち、圧電素子１３４に駆動波形を供給する処理に関する機能ブロック図である。また、図１０は、同処理にかかるタイミングチャートである。
なお、上述した制御部１１０と同様に、制御部２１０は、圧電素子１３４に駆動波形を供給する処理の他、基板キャリッジ１１２により基板２９０を走査する処理や、距離センサ１４０により飛行予定距離を検出する処理などの種々の処理を実行する。
【００４５】
以下、図９および図１０を参照して、制御部２１０における駆動波形の供給に係る構成について説明する。
駆動波形生成部２１２は、８つの駆動波形Ｐ１、Ｐ２、・・・、Ｐ８が１組になった駆動波形群ＰＳを生成し、該駆動波形群ＰＳを繰り返しトランスファーゲート２１４に供給する。本実施形態においては、ひとつの駆動波形群ＰＳにつき、該駆動波形群ＰＳに含まれる駆動波形Ｐ１、Ｐ２、・・・、Ｐ８のいずれかが、飛行予定距離に応じて選択された後、ドットデータに応じて圧電素子１３４に供給される。
【００４６】
駆動波形群ＰＳにおいて、先頭に位置する駆動波形Ｐ１は、飛行予定距離が標準距離「Ｌ」の塗布予定地点に、液滴を着弾させることが可能な駆動波形である。言い換えれば、基板が平坦であり、かつ、その基板にかかる飛行予定距離が「Ｌ」である場合、駆動波形群ＰＳのうち、駆動波形Ｐ１を圧電素子１３４に供給することにより当該塗布予定地点に液滴を着弾させることが可能である。駆動波形Ｐ１、Ｐ２、・・・、Ｐ８の各々の周期ｔは「２０μｓ」であり、駆動波形群ＰＳの周期Ｔは「ｔ・８＝１６０μｓ」である。なお、以下の説明において、駆動波形Ｐ１、Ｐ２、・・・、Ｐ８の各々を特に区別する必要のない場合においては、その符号を「Ｐ」と記す。
また、駆動波形生成部２１２は、駆動波形群ＰＳを１周期Ｔ出力する毎に、駆動波形群ＰＳの出力タイミングと合わせて、ラッチ信号ＬＳをディレイコントローラ２１６およびラッチ２１８の各々に供給する。
【００４７】
ディレイコントローラ２１６は、距離センサ１４０によって出力される距離信号ＤＳに応じて、ラッチ信号ＬＳを遅延させ、ディレイラッチ信号ＤＬとして出力するものである。ここで、ディレイコントローラ２１６は、距離信号ＤＳで示される距離が小なるほどに、ラッチ信号ＬＳの遅延時間を大きくさせる。なお、ディレイコントローラ２１６におけるラッチ信号ＬＳの遅延時間は、本実施形態では、遅延時間ゼロから駆動波形Ｐの７周期ｔ分までであって、駆動波形Ｐの１周期ｔで段階的に刻んだ時間のいずれかである。すなわち、０段から７段までの多段的に遅延時間が切り替えられる。
【００４８】
一方、メモリ２１７は、基板２９０上の各塗布地点において、液滴を吐き出すか否かを示すドットデータＤＤを記憶する。ここで、吐出ヘッド１３０が、ある塗布地点に移動する前に、当該塗布地点に対応するドットデータＤＤが事前に読み出される。ラッチ信号ＬＳは、メモリ２１７から読み出されたドットデータＤＤを、ラッチ信号ＬＳ（の立ち上がり）でラッチして、ドットデータＤＤ’として出力する。
【００４９】
抽出波形生成部２１９は、８つの駆動波形Ｐのいずれか１つを抽出するためのパルスを生成するものである。詳細には、抽出波形生成部２１９は、ドットデータＤＤ’によって、液滴の吐き出しが指示された場合に、ディレイラッチ信号ＤＬが立ち上がったら、駆動波形Ｐの１周期ｔ分に相当する期間だけアクティブ（ハイレベル）となる抽出パルスＷＳを生成する。なお、抽出波形生成部２１９は、ドットデータＤＤ’によって液滴の吐き出しが指示されない場合には、抽出パルスＷＳを出力せずに、非アクティブ（ローレベル）を維持する。トランスファーゲート２１４は、抽出パルスＷＳがアクティブとなるときだけ、オンとなるスイッチである。
【００５０】
次に、制御部２１０において実行される、飛行予定距離に応じて液滴を吐出する動作について図８、図９および図１０を参照しつつ説明する。
この動作説明においては、基板２９０上の塗布予定地点Ｓｄ、Ｓｅ、Ｓｆの各々に液滴を一滴ずつ塗布する場合を想定する。ここで、塗布予定地点Ｓｄについての飛行予定距離は標準距離「Ｌ」であり、塗布予定地点Ｓｅについての飛行予定距離は「Ｌ−ｄ」であり、塗布予定地点Ｓｅについての飛行予定距離は「Ｌ−２ｄ」である。なお、「ｄ」は、「３００μｍ」である。
【００５１】
まず、制御部２１０は、基板キャリッジ１１２により、基板２９０をＸ方向に速度「Ｖ」で走査する。このように基板１９０が走査されると、基板１９０上の塗布予定地点Ｓｄが、距離センサ１４０の検出地点１４０Ｐを通過する。距離センサ１４０は、塗布予定地点Ｓｄが検出地点１４０Ｐを通過する際に、当該塗布予定地点Ｓｄについての飛行予定距離「Ｌ」を検出し、その検出結果「Ｌ」を示す距離信号ＤＳを制御部２１０に供給する。
【００５２】
制御部２１０においては、距離センサ１４０から供給される距離信号ＤＳに応じて、以下のようにして液滴を吐出させる。まず、ディレイコントローラ２１６は、距離信号ＤＳにより示される飛行予定距離「Ｌ」と、標準距離「Ｌ」との距離差を求める。塗布予定地点Ｓｄの場合、飛行予定距離「Ｌ」が標準距離「Ｌ」と等しいため、その距離差は「０」となる。続いて、制御部２１０は、取得した距離差を用いて、上述した第１実施形態と同様に補正時間Δｔｄを求める。いま、液滴の飛行速度が「５ｍ／ｓ」であれば、補正時間Δｔｄは、Δｔｄ＝０／５＝０となる。
【００５３】
この後、さらに基板２９０をＸ方向に走査すると、図１０に示すように、塗布予定地点Ｓｄに液滴を吐出させるための駆動波形Ｐを含む駆動波形群ＰＳが、駆動波形生成部２１２から出力開始される。なお、ラッチ２１８からは、着目する駆動波形群ＰＳを用いて、塗布予定地点Ｓｄに液滴を吐き出させる指示を示すドットデータＤＤ’が出力されている。
【００５４】
ディレイコントローラ２１６は、補正時間Δｔｄに応じて、ラッチ信号ＬＳを遅延させるが、塗布予定地点Ｓｄについての補正時間Δｔｄは「０」であるため、ラッチ信号ＬＳを遅延することなく、ディレイラッチ信号ＤＬｄとして、抽出波形生成部２１９に供給する。
【００５５】
抽出波形生成部２１９は、ディレイコントローラ２１６からディレイラッチ信号ＤＬｄを受け取ると、該ディレイラッチ信号ＤＬｄが立ち上がったら、駆動波形Ｐ１の１周期ｔに相当する期間（２０μｓ）だけ、「ハイレベル」となり、それ以外においては「ローレベル」となる抽出パルスＳＰｄをトランスファーゲート２１４に供給する。
【００５６】
トランスファーゲート２１４は、抽出パルスＳＰｄを受け取ると、当該抽出パルスＳＰｄが「ハイレベル」を示す期間に限り、すなわち、駆動波形Ｐ１が出力される期間に限り、駆動波形生成部２１２から出力された駆動波形群ＰＳを圧電素子１３４に供給する。これにより、駆動波形群ＰＳに含まれる８つの駆動波形Ｐ１、…、Ｐ８のうち、駆動波形Ｐ１のみがトランスファーゲート２１４において抽出され、圧電素子１３４に供給される。
この結果、圧電素子１３４には、印加パルスＩＰｄ（図１０参照）に示すような信号（電圧）が供給される。これにより、圧電素子１３４は、駆動信号Ｐ１の供給に応じて変形し、吐出ヘッド１３０から液滴が吐出され、該液滴が塗布予定地点Ｓｄに着弾する。
【００５７】
引き続き、制御部２１０は、塗布予定地点Ｓｅに液滴を塗布すべく、基板キャリッジ１１２により、基板２９０をＸ方向に走査する。このように基板１９０が走査されると、基板１９０上の塗布予定地点Ｓｅが、距離センサ１４０の検出地点を通過する。距離センサ１４０は、塗布予定地点Ｓｅが検出地点を通過する際に、当該塗布予定地点Ｓｅについての飛行予定距離「Ｌ−ｄ」を検出し、その検出結果「Ｌ−ｄ」を示す距離信号ＤＳを制御部２１０に供給する。
【００５８】
制御部２１０に含まれるディレイコントローラ２１６は、距離センサ１４０から距離信号ＤＳを受け取ると、標準距離「Ｌ」から、距離信号ＤＳにより示される飛行予定距離「Ｌ−ｄ」を差し引いて、距離差「ｄ＝３００μｍ」を求める。次いで、ディレイコントローラ２１６は、補正時間Δｔｅを求め、補正時間Δｔｅ＝３００／５＝６０（μｓ）を得る。
【００５９】
この後、さらに基板２９０をＸ方向に走査すると、図１０に示すように、塗布予定地点Ｓｅに液滴を吐出させるための駆動波形Ｐを含む駆動波形群ＰＳが、駆動波形生成部２１２から出力開始される。なお、ラッチ２１８からは、着目する駆動波形群ＰＳを用いて、塗布予定地点Ｓｅに液滴を吐き出させる指示を示すドットデータＤＤ’が出力されている。
【００６０】
ディレイコントローラ２１６は、補正時間Δｔｅを用いて、ディレイラッチ信号ＤＬｅを生成する。いま、駆動波形Ｐの周期ｔは「２０μｓ」であるため、駆動波形Ｐの出力タイミングは、「２０μｓ」の周期で訪れる。このため、補正時間Δｔｅが周期「２０μｓ」×Ｎと等しくなるようなＮを見つけることにより、駆動波形Ｐの出力タイミングを補正時間Δｔｅだけ遅らせることができる。塗布予定地点Ｓｅの場合、その補正時間Δｔｅが「６０μｓ」であるため、Ｎは「３」となる。したがって、ラッチ信号ＬＳの立ち上がりタイミングを、駆動波形の３周期分遅らせて、すなわち、駆動波形群ＰＳに含まれる駆動波形Ｐ４の出力タイミングで立ち上がるような信号を、ディレイラッチ信号ＤＬｅとして、波形抽出部２１９に供給する。
【００６１】
抽出波形生成部２１９は、ディレイコントローラ２１６からディレイラッチ信号ＤＬｅを受け取ると、該ディレイラッチ信号ＬＤｅを入力してから、駆動波形Ｐ４の１周期に相当する期間ｔ（２０μｓ）だけ、「ハイレベル」となり、それ以外においては「ローレベル」となる抽出パルスＳＰｅをトランスファーゲート２１４に供給する。
【００６２】
トランスファーゲート２１４は、抽出パルスＳＰｅを受け取ると、当該抽出パルスＳＰｅが「ハイレベル」を示す期間に限り、すなわち、駆動波形Ｐ４が出力される期間に限り、駆動波形生成部２１２から出力された駆動波形群ＰＳを圧電素子１３４に供給する。これにより、駆動波形群ＰＳに含まれる８つの駆動波形Ｐ１、…、Ｐ８のうち、駆動波形Ｐ４のみがトランスファーゲート２１４において抽出されて、図１０に示す印加パルスＩＰｅが圧電素子１３４に供給される。
【００６３】
ここで、圧電素子１３６に供給される駆動波形Ｐ４は、塗布予定地点Ｓｅの飛行予定距離「Ｌ−ｄ」と、標準距離「Ｌ」との距離差「ｄ」に応じて、駆動波形Ｐ１から遅延させたものである。したがって、駆動波形Ｐ４に応じて、吐出ヘッド１３０から出力された液滴は、塗布予定地点Ｓｅに位置ずれなく着弾する。
【００６４】
引き続き、制御部２１０は、塗布予定地点Ｓｆに液滴を塗布すべく、基板キャリッジ１１２により、基板２９０をＸ方向に走査する。このように基板１９０が走査されると、基板１９０上の塗布予定地点Ｓｆが、距離センサ１４０の検出地点を通過する。距離センサ１４０は、塗布予定地点Ｓｆが検出地点を通過する際に、当該塗布予定地点Ｓｆについての飛行予定距離「Ｌ−２ｄ」を検出し、その検出結果「Ｌ−２ｄ」を示す距離信号ＤＳを制御部２１０に供給する。
【００６５】
制御部２１０に含まれるディレイコントローラ２１６は、距離センサ１４０から距離信号ＤＳを受け取ると、標準距離「Ｌ」から、距離信号ＤＳにより示される飛行予定距離「Ｌ−２ｄ」を差し引いて、距離差「２ｄ＝６００μｍ」を求める。次いで、ディレイコントローラ２１６は、補正時間Δｔｆを求め、補正時間Δｔｆ＝６００／５＝１２０（μｓ）を得る。
【００６６】
この後、さらに基板２９０をＸ方向に走査すると、図１０に示すように、塗布予定地点Ｓｆに液滴を吐出させるための駆動波形を含む駆動波形群ＰＳが、駆動波形生成部２１２から出力開始される。なお、ラッチ２１８からは、着目する駆動波形群ＰＳを用いて、塗布予定地点Ｓｆに液滴を吐き出させる指示を示すドットデータＤＤ’が出力されている。
【００６７】
ディレイコントローラ２１６は、補正時間Δｔｆを用いて、ディレイラッチ信号ＤＬｆを生成する。塗布予定地点Ｓｆの場合、補正時間Δｔｆ「１２０μｓ」が周期「２０μｓ」×Ｎと等しくなるようなＮは「６」である。したがって、ラッチ信号ＬＳの立ち上がりタイミングを、駆動波形Ｐの６周期ｔ分遅らせて、すなわち、駆動波形群ＰＳに含まれる駆動波形Ｐ７の出力タイミングで立ち上がるような信号を、ディレイラッチ信号ＤＬｆとして、波形抽出部２１９に供給する。
【００６８】
抽出波形生成部２１９は、ディレイコントローラ２１６からディレイラッチ信号ＤＬｆを受け取ると、該ディレイラッチ信号ＬＤｆを入力してから、駆動波形Ｐ７の１周期に相当する期間（２０μｓ）だけ、「ハイレベル」となり、それ以外においては「ローレベル」となる抽出パルスＳＰｆをトランスファーゲート２１４に供給する。
【００６９】
トランスファーゲート２１４は、抽出パルスＳＰｆを受け取ると、当該抽出パルスＳＰｆが「ハイレベル」を示す期間に限り、すなわち、駆動波形Ｐ７が出力される期間に限り、駆動波形生成部２１２から出力された駆動波形群ＰＳを圧電素子１３４に供給する。これにより、駆動波形群ＰＳに含まれる８つの駆動波形Ｐ１、…、Ｐ８のうち、駆動波形Ｐ７のみがトランスファーゲート２１４において抽出されて、図１０に示す印加パルスＩＰｆが圧電素子１３４に供給される。
【００７０】
ここで、圧電素子１３６に供給される駆動波形Ｐ７は、塗布予定地点Ｓｆの飛行予定距離「Ｌ−２ｄ」と、標準距離「Ｌ」との距離差「２ｄ」に応じて、駆動波形Ｐ１から出力タイミングを遅延させたものである。したがって、駆動波形Ｐ４に応じて、吐出ヘッド１３０から出力された液滴は塗布予定地点Ｓｆに位置ずれなく着弾する。
【００７１】
以上説明したように、本実施形態にかかる液滴吐出装置２００によれば、飛行予定距離が短いほど、繰り返し出力される駆動波形のうち時間的に後方の駆動波形Ｐを選択することにより、飛行予定距離に応じて液滴の吐出タイミングを制御することができる。これにより、上記第１実施形態と同様に塗布予定地点が同一平面上になくとも、目的とする塗布予定地点に確実に液滴を塗布することが可能である。
【００７２】
なお、上述した実施形態においては、補正時間Δｔが、駆動波形Ｐの周期ｔ（この例では「２０μｓ」）の倍数と等しくなる例を示したため、駆動波形Ｐの供給タイミングを、正確に補正時間Δｔだけずらすことが可能であったが、補正時間Δｔが、駆動波形の周期ｔの倍数とならない場合であっても、補正時間Δｔに充分近くなるように、駆動波形Ｐの供給タイミングをずらすことにより、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００７３】
また、この実施形態においては、飛行予定距離が基準距離「Ｌ」より短い塗布予定地点を対象として、当該塗布予定地点にかかる駆動波形の出力タイミングを遅らせるものとしたが、本発明はこれに限らない。すなわち、飛行予定距離が基準距離「Ｌ」より長い塗布予定地点を対象として、当該塗布予定地点にかかる駆動波形の出力タイミングを進めるものとしても良い。このように、駆動波形の出力タイミング進める構成とする場合、飛行予定距離が基準距離「Ｌ」の塗布予定地点にかかる駆動波形の出力タイミングは、駆動波形群ＰＳの先頭における駆動波形Ｐ１以外の出力タイミングとなる。
【００７４】
なお、本発明は上述した各実施形態に限られず、各実施形態に種種の変形や改良を加えることが可能である。
例えば、上記各実施形態においては、距離センサ１４０を有する液滴吐出装置１００、２００を示したが、本発明においては、距離センサ１４０は必須の構成ではない。例えば、基板１９０、２９０における塗布予定地点の高低差を示す情報が記憶されたメモリから、塗布予定地点の高低差を示す情報を読み出し、その高低差と、吐出ヘッド１３０および基板１９０、２９０の相対位置関係とから、各塗布予定地点についての飛行予定距離を取得しても良い。
【００７５】
また、基板１９０、２９０の凹凸が大きい場合には、吐出ヘッド１３０自体を液滴の吐出方向に駆動して、基板１９０、２９０までの距離が一定になるように調整しても良い。このような方法を、上述した各実施形態と組み合わせることにより、駆動波形の出力タイミングの制御のみにより追随できない細かい変化にも対応することができる。
【００７６】
上記実施形態においては、液滴の飛行予定距離に応じて、液滴の吐出タイミングを制御して、液滴を位置ずれなく着弾させたが、着弾位置の位置ずれを防止する方法はこれに限らない。例えば、飛行予定距離に応じて、液滴の吐出速度を制御しても良い。さらに詳述すると、液滴の吐出タイミングが固定であれば、液滴の飛行予定距離が大きくなるほど、液滴の吐出速度を速めれば良い。もちろん、飛行予定距離に応じて、液滴の吐出タイミングと、吐出速度との両方を制御しても良い。
【００７７】
各実施形態においては、位置が固定された吐出ヘッド１３０に対して、基板１９０、２９０を走査して、パターニングする例を示したがこれに限らない。例えば、位置が固定された基板１９０、２９０に対して、吐出ヘッド１３０を走査して、パターニングしても良いし、基板１９０、２９０および吐出ヘッド１３０の双方を走査して、パターニングしても良い。
【００７８】
＜液滴吐出装置の適用例＞
最後に、以上説明した液滴吐出装置１００、２００の適用例について説明する。図１１（ａ）は、液滴吐出装置１００、２００によりパターニングされた配線を有するＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）タグを示す図である。ここに示すＲＦＩＤタグは、いわゆる電波方式認識システムで用いられる電子回路であり、ＩＣ（ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ）カードなどに搭載される。さらに詳述すると、ＲＦＩＤタグ８００は、ＰＥＴ（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）基板上に設けられたＩＣ８０４と、ＩＣ８０４に接続され、渦巻状に形成されたアンテナ８０６と、アンテナ８０６上の一部に設けられたソルダーレジスト８０８と、ソルダーレジスト８０８上に形成されアンテナ８０６の両端を接続してループ状にする接続線８１０とを含む。このうち、アンテナ８０６は、上述した液滴吐出装置１００、２００のいずれかにより形成されたものである。したがって、アンテナ８０６は、塗布予定地点から位置ずれすることなく液滴が塗布されており、断線や短絡などが生じている可能性が低い。
【００７９】
また、液滴吐出装置１００、２００の用途は、配線パターニングに限らず、例えば、電気光学装置の一種である液晶表示装置に含まれるカラーフィルタのパターニングなどにも適用可能である。図１１（ｂ）は、液滴吐出装置１００、２００によりパターニングされたカラーフィルタを示す上面図である。この図において、カラーフィルタの各々は、液晶表示装置におけるサブ画素に対応する位置に、液滴吐出装置１００、２００によってパターニングされたものである。より具体的には、着色部８２０Ｒには赤色の顔料を含む溶液（カラーフィルタ）が、微小液滴にてパターニングされ、着色部８２０Ｇには緑色の顔料を含む溶液（カラーフィルタ）が、微小液滴にてパターニングされ、着色部８２０Ｂには青色の顔料を含む溶液（カラーフィルタ）が、微小液滴にてパターニングされる。これらのカラーフィルタ８２０Ｒ、８２０Ｇおよび８２０Ｂの各々は、対応する色の波長の光を透過させる。このカラーフィルタにおいても、各々の色に対応する液滴（カラーフィルタ）は、塗布予定地点に着弾されており、隣接するカラーフィルタ８２０Ｒ、８２０Ｇおよび８２０Ｂにおいて混色など起こすことがない。
【００８０】
これ以外にも、液滴吐出装置１００、２００は、例えば立体造形に用いられる熱硬化樹脂や、紫外線硬化樹脂などの他、ＥＬ（エレクトロ・ルミネセンス）表示素子に含まれるＥＬ材料や、マイクロレンズアレイ材料などのデバイスの製造や、印刷用の顔料系インク、また、ＤＮＡ（ｄｅｏｘｙｒｉｂｏｎｕｃｌｅｉｃ  ａｃｉｄ）やたんぱく質といったの生体物質などの様々な材料を含む液滴を塗布予定地点に確実に塗布することが可能である。
【００８１】
最後に、以上説明した液滴吐出装置１００、２００により形成されたカラーフィルタ８２０Ｒ、８２０Ｇおよび８２０Ｂを有する電気光学装置を搭載した電子機器について説明する。図１３は、カラーフィルタ８２０Ｒ、８２０Ｇおよび８２０Ｂを有する液晶パネル３４０を表示部として搭載した携帯電話機３００の外観図である。この図において、携帯電話機３００は、複数の操作ボタン３１０の他、受話口３２０、送話口３３０とともに、電話番号などの各種情報を表示する表示部として、液晶パネル３４０を備えている。
また、携帯電話機３００以外にも、液滴吐出装置１００を用いて製造された電気光学装置は、コンピュータや、プロジェクタ、デジタルカメラ、ムービーカメラ、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）、車載機器、複写機、オーディオ機器などの各種電子機器の表示部として用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる液滴吐出装置の構成を示す図である。
【図２】同液滴吐出装置に含まれる吐出ヘッドの構成を示す図である。
【図３】駆動波形を示す図である。
【図４】標準駆動波形と補正駆動波形を示す図である。
【図５】同液滴吐出装置の動作を説明するための図である。
【図６】同液滴吐出装置の動作を説明するための図である。
【図７】同液滴吐出装置の動作を説明するための図である。
【図８】本発明の第２施形態にかかる液滴吐出装置の構成を示す図である。
【図９】同滴吐出装置に含まれる制御部の機能ブロック図である。
【図１０】同制御部において生成される各種信号のタイミングチャートである。
【図１１】同液滴吐出装置の適用例を示す図である。
【図１２】従来の液滴吐出装置を説明するための図である。
【図１３】本実施形態に係る液滴吐出装置により製造された電気光学装置を有する携帯電話機の斜視図である。
【符号の説明】
１００，２００  液滴吐出装置、１１０，２１０  制御部、１２０  溶液タンク、１３０  吐出ヘッド、１３４  圧電素子、１４０  距離センサ、１９０，２９０  基板、Ｓａ，Ｓｂ，Ｓｃ，Ｓｄ，Ｓｅ，Ｓｆ  塗布予定地点、３００  携帯電話機。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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