(57)【要約】【課題】基板に負担をかけることなく短時間のうちに現像液の回収ができる現像装置を提供する。【解決手段】現像液供給部２に配置される複数のコロ１０のうち、中間部に位置するコロ１０ａは昇降動自在とされ、このコロ１０ａから上流側および下流側に基板Ｗの長辺の長さの略１／２となる位置の下方に樋状回収部材６が設けられ、この樋状回収部材６には蓋体７が開閉自在に取り付けられている。そして、前記コロ１０ａを上昇せしめると、ガラス基板Ｗの中央が持ち上げられ両端が下がった山型に湾曲し、ガラス基板Ｗの表面に盛られた現像液は両端から流下する。このとき、蓋体７は回転して開となっているので現像液は樋状回収部材６内に回収される。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
現像液が表面に盛り付けられた基板を複数のコロからなる搬送ラインによって現像液回収部まで搬送し、この現像液回収部で基板を一旦停止するとともに基板の下面中央部を昇降部材にて上昇させて、基板を中央部が高く搬送方向の両端部が低くなるように撓ませ、基板表面の現像液を前記低くなった両端部から流下させるようにした基板の現像方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板の現像方法において、前記昇降部材として現像液回収部に設けられる複数のコロのうちの１つを上昇せしめることを特徴とする基板の現像方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の基板の現像方法において、前記現像液を流下させた後にリンス液を供給し、このリンス液を前記現像液の回収と同様の方法で基板から流下させることを特徴とする基板の現像方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３に記載の基板の現像方法において、前記基板から流下した現像液またはリンス液を回収することを特徴とする基板の現像方法。
【請求項５】
基板の搬送方向と直交する方向に軸を合わせた複数のコロからなる搬送ラインと、この搬送ラインの上に設けられる現像液供給部と、現像液回収部とを備えた現像装置であって、前記現像液回収部には基板の搬送方向の中央部を下から押し上げる昇降部材が設けられていることを特徴とする基板の現像装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板の現像装置において、前記昇降部材は前記現像液回収部に配置される複数のコロのうちの１つを昇降動可能とすることで構成したことを特徴とする基板の現像装置。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載の現像装置において、前記現像液回収部はリンス液の供給・回収部を兼ねることを特徴とする基板の現像装置。
【請求項８】
請求項５乃至請求項７のいずれかに記載の現像装置において、前記現像液回収部下流側の搬送ライン上にリンス液の供給・回収部が設けられ、このリンス液の供給・回収部にも基板の中央を下から押し上げる昇降部材が配置されていることを特徴とする基板の現像装置。
【請求項９】
請求項５乃至請求項８のいずれかに記載の現像装置において、前記昇降部材の上流側及び下流側の搬送ライン下方に現像液またはリンス液の回収手段が配置されていることを特徴とする基板の現像装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板などの薄く撓みやすい基板表面に盛られた現像液を使用することによる現像方法と現像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶基板などとして用いるガラス基板に所定パターンのレジスト膜を形成するには、レジスト膜に所定パターンの露光を施し、現像により所定パターンのレジスト膜のみを残すようにしている。
【０００３】
また、現像が終了した後は現像液を基板表面から除去する必要があるが、従来から基板をカップ内で回転させ、遠心力で現像液を基板から飛散させていたが、回転による現像液の除去は現像液が周りに飛散し周囲の装置を汚してしまい、また回収も困難で、回収しても回収率が悪く、汚染を伴っていた。
【０００４】
そこで、ノズルによって現像液を吸引して回収する方法が提案されている（特許文献１）。また、同様に、基板の周辺から現像液を吸引して回収する方法（特許文献２）、基板にケーシングを被せて上方から現像液を供給し、側方から吸引して回収する方法も提案されている。（特許文献３）
また、基板の一端を２本のピンで持ち上げて基板を斜めにして現像液を流下させる方法も提案されている。（特許文献４）
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−４５８３２号公報（段落００１６）
【特許文献２】
特開平９−３１００２８号公報（段落００１８）
【特許文献３】
特開平１０−１２５４０号公報（段落００３２、図１）
【特許文献４】
特開平７−１４２３４０号公報（段落００１８、図３）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１〜３に開示されるように、ノズルで現像液を吸引する構造のものは、吸引に時間がかかり、特に最近では処理の効率を上げるため基板の面積が大きく（長辺が２ｍ）なる傾向にあるので、ますます時間がかかるようになってしまう。また、基板面積が大きくなると一部に吸引できずに現像液が残り現像ムラが生じやすい。
【０００７】
一方、特許文献４の方法によれば、基板面積が大きくなっても現像液を除去する時間は短くできるが、基板の撓みの問題が生じる。即ち、特許文献４の図３では基板は撓むことなく斜めに持ち上げられているが、このように撓みが問題とならないのは半導体ウェーハや極めて小さなガラス基板に限られる。
【０００８】
上記したようにガラス基板は大型化する傾向にあり、且つ基板面積が大きくなっても厚さは０．７ｍｍ程度と薄いため、一辺を持ち上げると側面視で円弧状になってしまい対辺から現像液が流下せず横にこぼれてしまい、しかも対辺近くは水平に近いので現像液が残ってしまう。
【０００９】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、基板に負担をかけることなく短時間のうちに現像液の回収ができる基板の現像方法及び現像装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく本発明に係る現像方法は、現像液が表面に盛り付けられた基板を複数のコロ（円柱状ローラ）からなる搬送ラインによって現像液回収部まで搬送し、この現像液回収部で基板を一旦停止するとともに基板の下面中央部を昇降部材にて上昇させて、基板を中央部が高く搬送方向の両端部が低くなるように撓ませ、基板表面の現像液を前記低くなった両端部から流下させるようにした。前記昇降部材としては、昇降動可能としたコロを用いることができる。
このように、基板の中央部を持ち上げることで自重により搬送方向の両端部が下がり、短時間のうちに現像液が流下する。
【００１１】
また、流下した現像液を停止した基板の両端部下方に位置する樋状回収部で回収すれば無駄がなくなり、リンス液についても同様の流下・回収を行うようにしてもよい。
【００１２】
また、本発明に係る現像装置は、基板の搬送方向と直交する方向に軸を合わせた複数のコロからなる搬送ラインと、この搬送ラインの上に設けられる現像液供給部と、現像液回収部とを備え、前記現像液回収部には基板の搬送方向の中央部を下から押し上げる昇降部材が設けられている。コロを昇降部材としてもよい。
【００１３】
また、リンス液についても同様の流下・回収を行う場合には、現像液回収部とリンス液の供給・回収部とを同一箇所に設けてもよい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る現像装置の全体平面図、図２は現像液回収部の斜視図であり、基板の搬送ライン１に沿って、上流側から順に、現像液供給部２、現像液回収部３、リンス液供給・回収部４及び乾燥部５が配置されている。
【００１５】
前記搬送ライン１は複数のコロ（円筒状ローラ）１０からなり、これらコロ１０は等間隔に離され且つ基板の搬送方向と直交する方向に軸が配置され、その長さは搬送される基板Ｗの幅よりも若干長く設定され、更に図示しないモータによって同期回転せしめられる。
【００１６】
現像液供給部２に配置される複数のコロ１０のうち、中間部に位置するコロ１０ａは昇降動自在とされ、このコロ１０ａから上流側および下流側に基板Ｗの長辺の長さの略１／２となる位置の下方に樋状回収部材６が設けられ、この樋状回収部材６には蓋体７が開閉自在に取り付けられている（図３（ｂ）、（ｃ）参照）。
【００１７】
リンス液供給・回収部４においても同様に、昇降動自在とされたコロ１５ａ、蓋体１７（図３（ｄ）参照）を備えた樋状回収部材１６が配置されている。
【００１８】
次に、具体的な現像方法を図３に基づいて説明する。先ず、図３（ａ）に示すように、コロ搬送されてきたガラス基板を現像液供給部２において停止し、ガラス基板の幅と略等しい長さの吐出口を有するスリットノズル８にて現像液をガラス基板表面に盛り付ける。
【００１９】
所定時間静置して現像処理したならば、図３（ｂ）に示すように、隣接する現像液回収部３までコロ搬送し、昇降可能なコロ１０ａがガラス基板の搬送方向（長手方向）の中間に位置した時点でガラス基板を停止せしめる。
【００２０】
次いで、図３（ｃ）に示すように、コロ１０ａを上昇せしめる。すると、ガラス基板の中央が持ち上げられ両端が下がった山型に湾曲し、ガラス基板表面に盛られた現像液は両端から流下する。このとき、蓋体７は回転して開となっているので現像液は樋状回収部材６内に回収される。
【００２１】
この後、図３（ｄ）に示すように、ガラス基板はコロ搬送されて、リンス液の供給・回収部４まで移動し、停止する。そして、図３（ｅ）に示すように、このリンス液の供給・回収部４では、コロ１５ａを上昇せしめてガラス基板を山型に湾曲せしめると同時に最も高くなったガラス基板の中央にノズル９からリンス液を供給する。供給されたリンス液はガラス基板表面に沿って両端に向かって流下する。
【００２２】
リンス液については、供給当初のリンス液は汚れているためそのまま排出し、所定時間経過した後に、図３（ｆ）に示すように、蓋体１７を回転させて開とし、リンス液を樋状回収部材１６内に回収する。この後、ガラス基板は乾燥部５に向かってコロ搬送される。
【００２３】
尚、中間位置のコロを上昇させる代わりに、中間位置のコロの上流側及び下流側のコロを下降させて、基板を撓ませるようにしてもよい。
また、樋状回収部材６，１６は、基板のサイズに適用できるように位置を移動可能としてもよい。
【００２４】
図４〜図６は昇降部材としてコロの代わりに昇降バー２１（ロッド）を用いた例を示す。即ちこの別実施例にあっては現像液回収部及び／またはリンス液供給・回収部を構成する複数のコロ１０の下方に、昇降動する支持体２０を配置し、この支持体２０に３本の昇降バー２１を取り付けている。そして、３本の昇降バー２１はそれぞれが平面視でコロ１０…の間に配置され、且つ中央の昇降バー２１が左右の昇降バー２１よりも若干高く設定されている。
【００２５】
而して、待機状態では図５に示すように３本の昇降バー２１ともコロ１０の下方に位置し、ガラス基板が所定位置に停止した後は図６に示すように支持体２０が上昇し、３本の昇降バー２１にてガラス基板の中央部を持ち上げ両端を垂れ下げる。
【００２６】
また、図７〜図９は昇降部材としてコロの代わりにバー３１及び櫛状支持体３２を用いた別の実施例を示す。図７は、別の実施例に係る現像装置の平面図（ａ）及びその断面図（ｂ）、図８は図７に示した現像装置の昇降装置が降りた状態の側面図、図９は図７に示した現像装置の昇降装置が上昇した状態の側面図である。
【００２７】
図７に示すように、現像液回収部及び／またはリンス液供給・回収部を構成する複数のコロ１０の下方に、昇降バー３１を配置し、薄板状の櫛状支持体３２がこの昇降バー３１に対して垂直の位置に複数枚取り付けられていると同時に、２本の昇降部材３３もこの昇降バー３１に取り付けられている。櫛状支持体３２を位置ずれなく保持し続けるために２本の支持体連結棒３４で昇降バー３１と共に櫛状支持体３２同士をつなげている。更に、図７（ｂ）に示すように、昇降バー３１と２本の支持体連結棒３４とは、櫛状支持体３２を連結している位置（高さ）が異なる。昇降部材３３は、昇降バー３１に取り付けられ、昇降バー３１を昇降している（支持体連結棒３４には取り付けられていない）。
【００２８】
図８に示すように、櫛状支持体３２は、その上部が基板支持部３２ａとなっており、ここで基板Ｗを支持する。この基板支持部３２ａは、中央から左右が少々下がっている形状（山型をしている）にして、即ち、中央から左右にかけて若干高さを変えている。このような形状にすることで、基板Ｗを持ち上げた時に基板Ｗの自然な撓みに沿った形状で支持することができる。
【００２９】
また、櫛状支持体３２は、断面から見ると、櫛型をしている。７つの基板支持部３２ａは下方でつながっている。この櫛型にしているのは上昇したときに搬送用コロ１０が邪魔にならないようにしている。さらに、櫛状支持体３２は、昇降バー３１によって中心部分にある基板支持部３２ａを連結され、２本の支持体連結棒３３によって櫛状支持体３２の下部を連結している。
【００３０】
而して、待機状態では図８に示すように昇降バー３１及び櫛状支持体３２ともコロ１０の下方に位置し、ガラス基板Ｗが所定位置に停止した後は図９に示すように昇降バー３１が昇降部材３３によって上昇されると共に、昇降バー３１及び櫛状支持体３２にてガラス基板Ｗの中央部を持ち上げ両端を垂れ下げる。このとき、ガラス基板Ｗを支持しているのは、基板支持部３２ａであり、支持面積がかなり広い。
【００３１】
このように、一枚の櫛状支持体３２が７点の基板支持部３２ａで基板Ｗを支持しているので、６枚であると合計４２点で基板Ｗを支持している、もちろん、図７に示している限りではなく、基板Ｗがもっと大型化すればそれに合わせて櫛状支持体３２の枚数を増やしたり、基板支持部３２ａを増やしたりすれば支持点も増える。
【００３２】
１本の昇降バー或いはコロにてガラス基板の中央部を持ち上げると、基板の折れ角が急激になって基板にかかる負荷が大きくなるが、３本あるいは２本の昇降バー、或いは昇降バー及び櫛状支持体を用いてガラス基板を持ち上げるようにすれば、基板の撓みが緩やかになって負荷が軽減される。
【００３３】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明に係る基板の現像方法（装置）によれば、薄く且つ大型化した基板の撓み易いという特性を利用し、基板の中央部を持ち上げ、基板の両端を垂れ下げ、これにより現像液を落下させ、必要に応じて回収するようにしたので、基板に負担をかけず、無理なく短時間のうちに現像処理を行うことができる。
【００３４】
特に、基板の中央部を持ち上げる部材として、基板を搬送するコロの１つを昇降動可能とすることで、部品点数の増加なく、上記の効果を達成できる。
【００３５】
また、リンス液の回収についても同様の方法を適用することができ、ライン構成が簡略化できる。特に現像液の回収部をリンス液の供給・回収部に兼用することで、更に簡略化が図れる。
また、リンス液の供給に際しても、山型になった最も高い箇所にリンス液を供給するため、リンス液の流れが一定方向になり、均一な処理が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る現像装置の全体平面図
【図２】現像液回収部の斜視図
【図３】（ａ）〜（ｆ）は現像液の供給からリンス液の回収までの工程を説明した図
【図４】別実施例に係る現像装置の要部平面図
【図５】図４に示した現像装置の昇降装置が降りた状態の側面図
【図６】図４に示した現像装置の昇降装置が上昇した状態の側面図
【図７】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ他の別の実施例に係る現像装置の平面図及びその断面図
【図８】図７に示した現像装置の昇降装置が降りた状態の側面図
【図９】図７に示した現像装置の昇降装置が上昇した状態の側面図
【符号の説明】
１…搬送ライン、  ２…現像液供給部、  ３…現像液回収部、  ４…リンス液供給・回収部、  ５…乾燥部、  ６，１６…樋状回収部材、  ７，１７…蓋体、８…スリットノズル、９…リンス液供給ノズル、  １０…搬送用コロ、  １０ａ、１５ａ…昇降自在とされたコロ、  ２１、３１…昇降バー、  ３２…櫛状支持体、  ３２ａ…基板支持部、  ３３…昇降部材、  ３４…支持体連結棒。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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