(57)【要約】【課題】真空破壊機構において被吸着物が吹き飛ばされることなく、シリンダ機構の動作用の気体切換装置を備えた真空発生機構装置を提供することである。【解決手段】真空経路、真空吸気ポート並びに破壊駆動装置及び破壊空圧調整器よりなる真空破壊ユニットからなり、該真空破壊ユニットからの真空破壊経路が該真空経路または該真空吸気ポートに導通されていて、前記真空破壊ユニットに破壊流量調整装置を組み込み、前記真空経路にメイン空圧供給経路、真空発生器駆動装置及び真空発生器が組み込まれた真空発生機構装置である。【選択図】図１
2004324500.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空経路、真空吸気ポート及び破壊空圧調整器よりなる真空破壊ユニットからなり、該真空破壊ユニットからの真空破壊経路が該真空経路または該真空吸気ポートに導通されていることを特徴とする真空発生機構装置。
【請求項２】
前記真空破壊ユニットに破壊駆動装置及び／または破壊流量調整装置を組み込んだことを特徴とする請求項１に記載の真空発生機構装置。
【請求項３】
前記真空経路にメイン空圧供給経路、真空発生器駆動装置及び真空発生器が組み込まれたことを特徴とする請求項１または２に記載の真空発生機構装置。
【請求項４】
前記真空吸気ポートに真空計及びエアフィルタを設置したことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の真空発生機構装置。
【請求項５】
シリンダ駆動装置が組み込まれたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の真空発生機構装置。
【請求項６】
前記真空発生器がエジェクタ方式であることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の真空発生機構装置。
【請求項７】
前記真空発生器が一体ピストン方式のエジェクタ方式の真空発生器であることを特徴とする請求項３〜６のいずれかに記載の真空発生機構装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エジェクタ方式の真空発生器及び制御・調整機構を一体化した真空発生機構装置である。
【０００２】
【従来技術】
従来技術は、ＯＮ−ＯＦＦ切換弁付き真空発生器、エアフィルタ、真空計並びに真空破壊機構用の切換弁及び流量調整機構より構成された真空発生コントロール機構装置が提案されている。例えば、特開平８−３０９６８４号に、真空流量切換電磁弁によりピストンを駆動して真空路を開閉してワークを吸着保持する。真空破壊電磁弁装置を介して加圧空気を供給し、真空破壊流量調整ニードルで流量を調整して真空破壊を行う。更に、真空センサ装置、フィルタ、真空の排気ポート、等が装着された真空吸着装置が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の真空破壊機構においては流量調整機構を付けて正圧の流量をコントロールして負圧をスピーディーに解除する方法であるが軽薄短小で微細な被吸着物が高圧力の正圧の流量で吹き飛ばされる問題がある。また、シリンダ機構を動作させて被吸着物を吸着する機械構成が多用されていて該シリンダ機構を作動させる気体切換弁が別途設置されている問題がある。真空破壊機構において被吸着物が吹き飛ばされることなく、シリンダ機構の動作用の気体切換装置を備えた、問題を解決した真空発生機構装置を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
真空経路、真空吸気ポート及び破壊空圧調整器よりなる真空破壊ユニットからなり、該真空破壊ユニットからの真空破壊経路が該真空経路または該真空吸気ポートに導通されている真空発生機構装置は真空破壊ユニットの破壊空圧調整器により破壊圧力がコントロールされており、被吸着物の真空解放及び真空破壊による吹き飛ばしの問題が解決された真空発生機構装置を提供することができる。また、前記真空破壊ユニットに破壊駆動装置及び／または破壊流量調整装置を組み込んだ真空発生機構装置は吹き飛ばし防止により有用である。また、前記真空経路にメイン空圧供給経路、真空発生器駆動装置及び真空発生器が組み込まれ、また、前記真空吸気ポートに真空計及びエアフィルタを設置した真空発生機構装置は、自己真空発生がなされ真空圧コントロールができる。また、シリンダ駆動装置が組み込まれた真空発生機構装置は、シリンダ装置の動作用の気体切換装置でありシリンダを制御することができる。また、前記真空発生器がエジェクタ方式である真空発生機構装置、前記真空発生器が一体ピストン方式のエジェクタ方式の真空発生器である真空発生機構装置は、圧縮気体のみで真空を発生することができる。
【０００５】
本発明に係る真空発生機構装置は、真空経路、真空吸気ポート及び破壊空圧調整器よりなる真空破壊ユニットからなり、該真空破壊ユニットからの真空破壊経路が該真空経路または該真空吸気ポートに導通されている。また、前記真空破壊ユニットに破壊駆動装置及び／または破壊流量調整装置が組み込まれたものである。また、前記真空経路にメイン空圧供給経路、真空発生器駆動装置及び真空発生器が組み込まれたものである。また、前記真空吸気ポートに真空計及びエアフィルタを設置したものである。また、シリンダ駆動装置が組み込まれたものである。また、前記真空発生器がエジェクタ方式であるものである。前記真空発生器が一体ピストン方式のエジェクタ方式の真空発生器であることである。
【０００６】
これらの構成は、金属、樹脂、等の材料よりなり、空圧回路、装置、等が内部に形成され、外部に装置、空圧回路、等が形成されたブロック状の一体をなしたものである。例えば、金属、樹脂、等より成る略直方体の内部に排気経路、空圧供給経路、真空経路、真空吸気ポート、真空破壊経路、等の空圧回路をネット状に形成し、真空発生器、真空発生器駆動装置、破壊空圧調整器、破壊駆動装置、破壊流量調整装置、エアフィルタ、真空計、消音装置、シリンダ駆動装置、等を内在させる、または、駆動装置の一部である電磁弁を表面に取り付けたブロック状の一体をなした真空発生機構装置である。本発明に係る真空発生機構装置について、以下に詳細を説明する。尚、本発明に係る真空発生機構装置は、以下の説明、実施例に限定されるものでない。説明に使用する図は、構成概念を示すものであり配置、構成順序、等を特に限定するものでない。
【０００７】
真空破壊ユニットは、破壊駆動装置（例えば、切換弁、電磁弁及び／または（ポペット弁、すべり弁、スプール弁、ボール弁、回転弁、等））、破壊空圧調整器（例えば、空気圧用の小型の圧力制御弁、減圧弁、等）及び真空破壊経路（空圧回路）より成るものであり、好ましくは、更に破壊流量調整装置（例えば、流量制御弁、絞り弁、等）を設けたものであり、供給された正圧気体を一定圧力・一定流量放出する。該真空破壊ユニットからの破壊気体は、真空破壊経路１４、４４より真空経路５、３５に吹き出されて真空吸気ポート７、３７の先の図示しない被吸着物を解放する。
【０００８】
真空経路５、３５は、負圧の真空を供給する経路であり、直接的に外部の真空源と接続してもよく、真空発生器を配置してもよい。例えば、エジェクタ方式による真空発生器４、３４が好ましく、後記の実施例に示す図３の如きシリンダ方式、図４の如き固定方式である。エジェクタ方式の該真空発生器は圧縮気体が供給されて真空を発生するものである。また、真空吸気ポート、真空経路にエアフィルタ、真空計、等を設けてもよい。
【０００９】
外部のシリンダを稼動させるためのシリンダ駆動装置２０、５０は、例えば、切換弁、電磁弁及び／または（ポペット弁、すべり弁、スプール弁、ボール弁、回転弁、等）より成るものであり、シリンダの消費流量により電磁弁のみでもよく、各々の弁と組み合わせてもよい。また、シリンダの種類（単動シリンダ、複動シリンダ）に適したシリンダ駆動装置とし、駆動のためのシリンダ経路５２、５３、２２、２３を単式、複式とし、排気ポート５１、２１、等を設ける。
【００１０】
このような本発明に係る真空発生機構は、被吸着物の吸着、解放において該被吸着物を吹き飛ばすことなく解放することができる。また、シリンダ駆動装置により外部のシリンダを稼動することができる。
【００１１】
【実施例】
本発明に係る真空発生機構装置の実施例により説明する。尚、本発明に係る真空発生機構装置は、以下の実施例に限定されるものでない。
（実施例１）
概略構成を示す図１により説明する。尚、空圧機器においての一般的事項、気体回路、気体経路に関しては詳細な実施説明を省略するまたは省略することがある。真空発生機構装置３０は、アルミニウム材のブロックであり、気体経路の穴を内面・表面に縦横に形成し、各種機構を内面・表面に取り付けして構成された一体のものである。メイン空圧供給経路３１が直径８ｍｍで形成されていて入口には継ぎ手が構成されている。該メイン空圧供給経路３１から真空発生器駆動装置３２、一体ピストン方式のエジェクタ方式の真空発生器３４、破壊駆動装置３９及びシリンダ駆動装置５０に気体の経路が各々形成されている。
【００１２】
真空発生器３４は、図３に示すようなエジェクタ方式の一体ピストン方式の真空発生器であり、真空発生ユニット部分がピストンとなり外壁のシリンダ部分と一体となり埋め込まれている。真空破壊ユニットは、破壊駆動装置３９、破壊空圧調整器３８，破壊流量調整装置４１及び各々を導通する真空破壊経路４０、４４、４５からなる。該破壊駆動装置３９は、真空破壊のための空圧をＯＮ−ＯＦＦする装置であり、流量が少量ですむために二方弁の電磁弁のみの破壊駆動装置３９である。該破壊空圧調整器３８は、メイン空圧供給経路３１に供給されている空圧を更に減圧一定にする調整器であり、流量及び圧力弁で調整して余圧を外部に放出して一定に調整している。破壊流量調整装置４１は、真空破壊経路４４への破壊流量を調整するためのニードル式の調整器である。
【００１３】
尚、該真空破壊ユニットの構成順序は、本実施例の順序でなくともよい。例えば、真空破壊経路４０、破壊空圧調整器３８、破壊駆動装置３９、破壊流量調整装置４１、真空破壊経路４４である、また、破壊空圧調整器、破壊駆動装置、破壊流量調整装置の組み合わせ順序を適宜に変更してもよい。即ち、該真空破壊ユニットは、一定圧、一定流量の真空破壊のための正圧である気体を供給する働きをなすものである。また、本実施例においては、真空発生器３４が破壊駆動をＯＮ−ＯＦＦする機能を有する破壊口６８を形成しているために破壊駆動装置３９を装着しなくても真空発生機構装置３０としての機能を果たす、破壊駆動装置３９を装着することにより真空破壊の未使用時、不要時の気体消費を停止することができる。
【００１４】
例えば、図３に示す真空発生器３４の例においては、外周部が真鍮で作製されたシリンダ部分であり、真空発生器駆動装置３２からの経路３３と導通するピストン稼動の供給口６９が形成され、メイン空圧供給経路３１と導通する圧縮空気源口６５が形成され、真空破壊経路４４と導通する破壊口６８が形成され、真空経路３５と導通する真空口６６が形成され、排気経路３６と導通する消音排気路６７が形成されている。
【００１５】
シリンダ部分の内部には、真空を発生するエジェクタ方式のピストン部分が配置されている。ピストン部分は、真鍮材よりなるディフューザユニット６３であり、ディフューザ６２を形成し、ノズル６１及び圧縮空気源口６５を有するノズルユニット６４を挿入固着し、ノズルの周りに拡散室を形成し、拡散室が真空口６６に導通されており、排気部に消音装置７０及びスプリング７１が配置されており、排気部が消音排気路６７を経由して排気経路３６に導通される。ピストン部分は、真空発生器駆動装置３２の働きにより経路３３より供給された空圧が供給口６９に供給されピストン部分が押されて真空発生がＯＮとなる。圧縮空気源口６５に圧縮空気が供給され、ノズル６１より高速で送り出された空気が拡散室の空気を巻き込んでディフューザ６２を経由して消音装置７０、消音排気路６７より排気経路３６に排気される。
【００１６】
また、真空発生器駆動装置３２をＯＦＦにして経路３３への空圧の供給を停止することによりピストン部分がスプリング７１に押されて戻り、真空発生がＯＦＦとなり、真空破壊が作動する。圧縮空気源口６５が閉鎖されて真空発生が停止し、消音排気路６７が閉鎖され、破壊口６８が導通されて真空破壊のための正圧気体が供給され、真空破壊の気体が真空口６６から真空経路３５、真空吸気ポート３７へ供給されて真空破壊が行われる。
【００１７】
真空経路３５より吸引される負圧（真空）は、エアフィルタ４２、真空吸気ポート３７を経由して該真空吸気ポート３７に設けられる継ぎ手により外部配管に接続される。また、該真空吸気ポート３７の途中に真空計４３を配置して真空度の検出を行う。
【００１８】
メイン空圧供給経路３１より枝分かれされた供給路が電磁弁よりなるシリンダ駆動装置５０のＩＮに接続され、排気ポート５１が外部に解放され、駆動ポートがシリンダ経路５２、５３へ別々に継ぎ手で外部に導通している。該シリンダ経路５２、５３は、外部のシリンダを駆動するための空気圧経路である。シリンダの種類によりシリンダ経路を一経路とすることができる。また、シリンダの消費気体量により電磁弁のみによるシリンダ駆動装置でもよく、消費気体量の多いシリンダには電磁弁とポペット弁を組み合わせたシリンダ駆動装置でもよい。
【００１９】
実施例１を空気圧回路で記載すると図５の概念である。真空発生器駆動装置３２である電磁弁、真空発生器３４である真空発生器（シリンダ−ピストン方式）・消音装置、破壊空圧調整器３８である減圧弁、破壊流量調整装置４１である流量調整ニードル並びにシリンダ駆動装置５０であるシリンダ電磁弁及びスプールバルブ、（エアフィルタ及び真空計を図示せず）よりなる真空発生機構装置である。メイン空圧供給経路に圧縮気体を供給し、前記スプールバルブに接続されたシリンダを駆動させ、真空発生器からの真空吸気ポートに接続された吸着装置に被吸着体を吸着・真空破壊させる真空発生機構装置である。
【００２０】
このような真空発生機構装置は、外部のシリンダ装置を駆動することができ、真空発生器駆動装置３２を作動させることにより真空吸気ポート３７に接続された吸着装置に被吸着体を吸着し、真空破壊により急速に被吸着体を解放することができ、吸着ミス、吸着解放ミス、被吸着体の吹き飛ばし、等のないものである。
【００２１】
（実施例２）
概略構成を示す図２により説明する。尚、空圧機器においての一般事項、気体回路、気体経路に関しては詳細な実施説明を省略するまたは省略することがある。真空発生機構装置２５は、アルミニウム材の略直方体のブロックであり、空気経路の穴を内面・表面に縦横に形成し、各種機構を内面・表面に取り付けして構成されているものである。メイン空圧供給路１が形成されていて入口には継ぎ手が構成されている。該メイン空圧供給路１から真空発生器駆動装置２、破壊空圧調整器８及びシリンダ駆動装置２０に気体経路が各々形成されている。
【００２２】
該真空発生器駆動装置２は、電磁弁及びポペット弁より構成されていてエジェクタ方式の真空発生器４の気体消費量を補っている。気体消費量が少ない場合には電磁弁だけの構成でもよい。該真空発生器駆動装置２は、電気信号により経路３への供給をＯＮ−ＯＦＦする。ＯＮにより圧縮気体は、真空発生器４の圧縮空気源５５に供給されて真空を真空口５６に発生させる。ＯＦＦにより圧縮気体の供給が停止して真空口が真空でなくなる。
【００２３】
シリンダ駆動装置２０は、電磁弁及びポペット弁よりなる装置であり、該シリンダ駆動装置２０のＩＮにメイン空圧供給経路１から枝分かれされた供給路が接続され、排気ポート２１が外部に解放され、駆動ポートがシリンダ経路２２に継ぎ手で外部に解放導通されている。該シリンダ経路２２には単動式のシリンダを接続してシリンダ稼動をさせることができる。図２の如くに駆動ポートがシリンダ経路２２、２３である場合には複動シリンダを稼動させることができる。
【００２４】
真空破壊ユニットは、破壊空圧調整器８、破壊駆動装置９、破壊流量調整装置１１及び各々を導通する真空破壊経路１０、１４、１５よりなるものである。実施例１で説明したように各々の配置順序を限定することなく組み換えを行った真空破壊ユニットでもよい。該破壊空圧調整器８は、供給される空圧を減圧一定にする調整器である。該破壊駆動装置９は、真空破壊のための空圧をＯＮ−ＯＦＦするものである。該破壊流量調整装置１１は、真空破壊のための空圧の流量を調整するためのニードル式の調整器である。真空破壊のタイミングに該破壊駆動装置９をＯＮして真空破壊用の空圧を真空破壊経路１４を経由して真空経路５に供給するものであり、ＯＦＦにより供給を停止する。
【００２５】
真空経路５は、フィルタ１２を経由して真空吸気ポート７より外部に継ぎ手で配管される。該真空吸気ポート７に真空計１３が接続されていて真空度を監視する。
【００２６】
真空発生器４は、例えば図４に示すエジェクタ方式の構造の例である。圧縮空気源５５及びノズル５１を有するノズルユニット５４をディフューザ５２及び真空口５６を有するディフューザユニット５３に図のように挿入固着する。このような該真空発生器４を経路３及び圧縮空気源５５、真空経路５及び真空口５６並びにディフューザからの排気口及び消音装置に通じる排気経路６が一致する位置に配置挿入して固着した。破壊駆動装置９をＯＦＦとし、真空発生器駆動装置２をＯＮすることによりメイン空圧供給経路１と経路３が導通して圧縮空気が圧縮空気源５５に供給され、ノズル５１より高速で放射された気体が拡散室の気体を伴ってディフューザ５２より消音装置１６及び排気経路６を経由して排気する。拡散室内の気体は、負圧（真空）となり真空口５６、真空経路５、真空吸気ポート７を経由して負圧を供給する。
【００２７】
該真空発生器駆動装置２をＯＦＦすることにより経路３、圧縮空気源５５への圧縮空気の供給を停止して真空経路５、真空吸気ポート７への負圧供給を停止し、破壊駆動装置９をＯＮして真空破壊経路１４、１５に正圧を供給し、接続された真空経路５に正圧を導通させて真空破壊を行う。図示しない逆止弁が真空口５６及び真空経路５の間に設けられている。真空破壊経路１４の接続は、真空経路５、真空吸気ポート７のいずれに行ってもよい。
【００２８】
複動シリンダにおいては、真空吸気ポート７、シリンダ経路２２、２３を同一場所に集中させて３系路を一つの接続機構とし、３系路を有する配管チューブ８３でシリンダ８０の駆動口８１、８２への配管、吸着用の吸着パッド８４へ配管することにより一本の配管で済むことができる。
【００２９】
このような真空発生機構装置は、外部のシリンダ装置を駆動することができ、真空発生器駆動装置２を作動させることにより真空経路７に接続された吸着装置に被吸着体を吸着して搬送することができ、解放するときに真空破壊により急速に被吸着体を解放することができ、吸着ミス、吸着解放ミス、被吸着体を吹き飛ばすことがない。
【００３０】
【発明の効果】
本発明に係る真空発生機構装置は、真空経路、真空吸気ポート及び破壊空圧調整器よりなる真空破壊ユニットから成り、該真空破壊ユニットからの真空破壊経路が該真空経路または該真空吸気ポートに導通されたものである。また、シリンダ駆動装置が組み込まれたものである。また、該真空経路に真空発生器が組み込まれたものである。これらの真空発生機構装置は、被吸着物の吸着−解放において真空吸気ポートの真空をＯＦＦすると共に真空破壊ユニットをＯＮすることにより被吸着物の解放を行い、該被吸着物の吹き飛びを防止することができる。また、シリンダ駆動装置が外部のシリンダを稼動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る真空発生機構装置の一実施態様を示す図である。
【図２】本発明に係る真空発生機構装置の一実施態様を示す図である。
【図３】本発明に係る真空発生機構装置に組み込まれるエジェクタ式の真空発生器の一実施態様を示す図である。（ａ）図は、真空発生状態の位置図である。（ｂ）図は、真空停止状態の位置図である。
【図４】本発明に係る真空発生機構装置に組み込まれるエジェクタ式の真空発生器の一実施態様を示す図である。
【図５】本発明に係る真空発生機構装置の実施例１の空気圧回路である。
【符号の説明】
１  ３１  メイン空圧供給経路
２  ３２  真空発生器駆動装置
４  ３４  真空発生器
６  ３６  排気経路
５  ３５  真空経路
７  ３７  真空吸気ポート
８  ３８  破壊空圧調整器
９  ３９  破壊駆動装置
１１  ４１  破壊流量調整装置
１２  ４２  エアフィルタ
１３  ４３  真空計
１６  消音装置
２０  ５０  シリンダ駆動装置
２５  ３０  真空発生機構装置
【図１】
2004324500.tif 000003
【図２】
2004324500.tif 000004
【図３】
2004324500.tif 000005
【図４】
2004324500.tif 000006
【図５】
2004324500.tif 000007