(57)【要約】【課題】高速移送，高位置決め精度が保証され，かつ装置構成の簡素化された非同期移送方式で回転型のコンベア装置を提供する。【解決手段】中心軸１１の周りに略円筒形状の４つの回転体１３〜１６を同心状に取り付ける。各回転体１３〜１６の下面には，パレットがそれぞれ取り付けられる。各回転体１３〜１６の上端部には，プーリ４０〜４３が取り付けられる。各プーリ４０〜４３は，ベルトを介してそれぞれのモータに連動されている。各パレットは，異なるモータの動力によって，同一円軌道上を自在に回転できる。各パレットに保持された被移送物は，前記円軌道上に配置された複数の作業ステーションに順に搬送される。【選択図】  図２
2004189374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被移送物を複数のステーションに順に移送するコンベア装置であって，
被移送物を保持可能な複数の保持部材と，
前記各保持部材が各々固着され，共通の軸周りに回転可能な複数の回転体と，
前記複数の回転体を，前記軸周りに個別に回転させるための駆動部と，を備え，
前記複数の保持部材における被移送物の保持部は，最外周の回転体の外側であって，前記軸を中心とした同一円周上に配置されていることを特徴とする，コンベア装置。
【請求項２】
前記複数の回転体は，互いに径の異なる環状の形態を有し，前記軸周りに同心状に配置されていることを特徴とする，請求項１に記載のコンベア装置。
【請求項３】
前記保持部材は，板状に形成され，
当該保持部材の一端部側は，回転体に固着され，他端部側は，径方向の外方側に向けられていること特徴とする，請求項２に記載のコンベア装置。
【請求項４】
前記保持部材の保持部には，被移送物を吸着するための吸引口が設けられていることを特徴とする，請求項１，２又は３のいずれかに記載のコンベア装置。
【請求項５】
前記保持部材は，複数の被移送物を保持できることを特徴とする，請求項１，２，３又は４のいずれかに記載のコンベア装置。
【請求項６】
前記複数の回転体の下端部は，同じ高さに揃えられており，
前記保持部材は，前記回転体の下端部に固着されていることを特徴とする，請求項１，２，３，４又は５のいずれかに記載のコンベア装置。
【請求項７】
前記各回転体には，プーリがそれぞれ固定され，
当該各プーリは，伝動部材を介して前記駆動部に連動していることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５又は６のいずれかに記載のコンベア装置。
【請求項８】
前記回転体を上方から支持するアームを備えたことを特徴とする，請求項７に記載のコンベア装置。
【請求項９】
前記アームは，垂直部と当該垂直部の上端から水平に向けて形成された水平部とを有し，
前記回転体とプーリは，前記アームの水平部に支持され，
前記駆動部は，前記アームの垂直部であって，かつ前記プーリと同じ高さの位置に取り付けられていることを特徴とする，請求項８に記載のコンベア装置。
【請求項１０】
前記駆動部は，ダイレクトドライブモータであることを特徴とする，請求項１，２，３，４又は５のいずれかに記載のコンベア装置。
【請求項１１】
前記回転体と駆動部を上方から支持するアームを備えたことを特徴とする，請求項１０に記載のコンベア装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，被移送物の回転型のコンベア装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば半導体部品，精密部品の製造工程では，加工処理，組立処理，検査処理等が行われる。これらの各種処理は，通常複数の作業工程を有し，これらの作業工程は，半導体部品などの被処理物を複数の作業ステーションに順に移送することよって行われている。このような複数の作業ステーションに渡る被処理物のライン移送は，被処理物を保持した複数のパレットを連続的に移動させるコンベア装置によって行われている。コンベア装置には，各パレットの各作業ステーション間の移動タイミングを同期させる，いわゆる同期移送方式と，各パレットの移送を独立して行う，いわゆる非同期移送方式がある。また，コンベア装置には，各作業ステーションが直線的に並べられパレットを直線状に移動する直線型と，各作業ステーションが環状に配置され，パレットを円軌道上で回転移動する回転型がある。
【０００３】
いわゆる同期移送方式のコンベア装置は，総ての作業ステーション間の移送が同時に行われるので，パレットの移動タイミングを，最長の作業時間を有する作業ステーションの停留時間に合わせて行う必要がある。このため，他の作業ステーションでは，作業が終了後に待機時間が生じ，被処理物のトータルの処理時間が長くなる。一方，非同期移送方式のコンベア装置は，個々の移動タイミングを変えることができるので，作業が終了し次第次の作業ステーションに移動することもできる。つまり，非同期移送方式のコンベア装置の方が，同期移送方式のものよりも処理効率という点で優れている。また，回転型のコンベア装置は，作業ステーションが集約的に配置されており，装置の小型化が図れるので，直線型のコンベア装置に比べて，より狭いスペースにより多くの装置を設置することができる。
【０００４】
このような点に鑑みて，非同期移送方式で回転型のコンベア装置が提案されている（例えば，特許文献１参照。）。ここで提案されたコンベア装置では，連続回転する駆動円板に対し，複数のパレットを機械式の機構により各々離脱自在にし，パレットが，駆動円板の回転により各作業ステーションに移動する度に，当該パレットが，パレット位置決め部材によって駆動円板から離脱され，停止されるように構成されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開昭５２―２０７０７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，上述のコンベア装置によると，駆動円板とパレットが，各作業ステーションにおいて逐次離脱されるため，パレットの停留位置にズレやばらつきが生じる恐れがある。上記コンベア装置には，確かにパレット位置決め部材が取り付けられているが，これはストッパの当接により実現されるものであり，位置決め精度には限界がある。特に，近年半導体部品等の被処理物の微細化が進むにつれて，数μｍ単位のより高い位置決め精度が要求されており，上記コンベア装置の位置決め精度では十分でない。
【０００７】
加えて，上記コンベア装置では，パレットがパレット位置決め部材によって停止するので，高速移送，高速位置決めには不向きであり，仮に高速移送を行うと，パレットのパレット位置決め部材との衝突による破損や，パレットの停止位置精度の低下を招く恐れがある。高速移送や高速位置決めは，処理効率を向上させる上で重要な問題である。
【０００８】
また，上記コンベア装置によると，所定位置のパレット位置決め部材によりパレットが停止するので，パレットの動停止を任意の場所で行うことはできない。このためパレットの動作パターンが限定され，各パレット毎の，より複雑な移動を実現できない。これは，各パレットの動作を最適化し，処理効率の向上を図る上で障害となる。
【０００９】
さらに，上記コンベア装置では，パレットの離脱機構などの多くの機構が用いられているため，部品点数が増大し装置構成が複雑化している。このような装置の複雑化は，例えば装置の維持コストの増大，メンテナンス作業の煩雑化を招くものであり，好ましくない。
【００１０】
本発明は，かかる点に鑑みてなされたものであり，被処理物を初めとする被移送物を移送する非同期移送方式で回転型のコンベア装置であって，パレットである保持部材の高速移送，高位置決め精度が保証され，保持部材の停止位置の自由度が拡大され，さらに装置構成が簡素化されるコンベア装置を提供することをその目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明によれば，被移送物を複数のステーションに順に移送するコンベア装置であって，被移送物を保持可能な複数の保持部材と，前記各保持部材が各々固着され，共通の軸周りに回転可能な複数の回転体と，前記複数の回転体を，前記軸周りに個別に回転させるための駆動部と，を備え，前記複数の保持部材における被移送物の保持部は，最外周の回転体の外側であって，前記軸を中心とした同一円周上に配置されていることを特徴とするコンベア装置が提供される。
【００１２】
この発明によれば，各保持部材は，当該保持部材が固着された回転体の回転によって自在に回転できる。そして，各保持部材は，被移送物を同一円周上で移送して，被移送物を各ステーションに順に移送することができる。従来のように保持部材の停止時に保持部材と回転体とを脱着させる必要がなく，保持部材をより正確かつ迅速に停止させることができる。この結果，被移送物の高速，高精度の位置決めが保証される。また，被移送物の高速移送も可能になり，例えば被移送物が被作業物の場合，作業効率の向上が図られる。上述した従来例のように保持部材と回転体との離脱機構を取り付ける必要がないので，装置の部品点数が少なくなり，装置構成の簡素化が図られる。この結果，例えば装置の維持コストの低減，メンテナンスの容易化が図られる。さらに，保持部材を任意の場所で停止させることができるので，例えば作業効率を向上させるために，保持部材のより複雑な動作が可能になる。
【００１３】
前記複数の回転体は，互いに径の異なる環状の形態を有し，前記軸周りに同心状に配置されていてもよい。前記保持部材は，一端部側が回転体に固着され，他端部側が径方向側に突出するように形成されていてもよい。この場合，他端部側に被移送物を保持させて，被移送物を円軌道上に移送することができる。
【００１４】
前記保持部材は，板状に形成され，当該保持部材の一端部側は，回転体に固着され，他端部側は，径方向の外方側に向けられていてもよい。前記保持部材の保持部には，被移送物を吸着するための吸引口が設けられていてもよい。この場合，吸引口からの吸引により，被移送物を確実に保持できるので，被移送物のより速く移送することができる。また，前記保持部材は，複数の被移送物を保持できるように構成されていてもよい。かかる場合，被移送物を効率よく移送し，例えば被移送物が被処理物の場合，作業効率の向上が図られる。
【００１５】
前記複数の回転体の下端部は，同じ高さに揃えられており，前記保持部材は，前記回転体の下端部に固着されていてもよい。また，前記各回転体には，プーリがそれぞれ固定され，当該各プーリは，伝動部材を介して前記駆動部に連動していてもよい。かかる場合，駆動部により，各プーリが回転され，そのプーリの回転により，各回転体を独立して回転させることができる。
【００１６】
前記コンベア装置は，前記回転体を上方から支持するアームを備えていてもよい。かかる場合，回転体を下から支持した場合に比べて，回転体の下方に広いスペースができるので，このスペースに例えば各ステーションの作業で用いられる構造物を設置することができる。また，前記アームは，垂直部と当該垂直部の上端から水平に向けて形成された水平部とを有し，前記回転体とプーリは，前記アームの水平部に支持され，前記駆動部は，前記アームの垂直部であって，かつ前記プーリと同じ高さの位置に取り付けられていてもよい。このように，駆動部をプーリと同じ高さに配置することによって，例えば伝動部材と保持部材との接触，伝動部材の捻れ等を防止し，回転体のより厳格な回転駆動を行うことができる。
【００１７】
前記駆動部は，ダイレクトドライブモータであってもよい。この場合，ダイレクトドライブモータによって，各回転体を，プーリ等の伝達部材を介さないで直接回転させて，各保持部材の移動を行うことができる。したがって，保持部材の停止位置の精度が向上し，回転体の操作性も向上する。なお，このコンベア装置は，前記回転体と駆動部を上方から支持するアームを備えていてもよい。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は，本実施の形態にかかるコンベア装置１の構成の概略を示す斜視図である。
【００１９】
コンベア装置１は，被移送物を所定の円軌道上で回転移送するためのヘッド２と，ヘッド２を支持するアーム３と，アーム３を固定する基台４により主に構成されている。
【００２０】
ヘッド２は，上部に円筒状の釣支部１０を有し，この釣支部１０には，図２に示すように垂直の中心軸１１が支持されている。中心軸１１は，例えば釣支部１０の下面の中央部から上方に向けて挿入されており，釣支部１０は，中心軸１１の上部側を保持している。中心軸１１と釣支部１０との固定は，例えば釣支部１０の側部から挿入され，中心軸１１の外周面を押圧して固定するボルト１２によって行われている。
【００２１】
中心軸１１の下部側には，複数，例えば４つの回転体１３，１４，１５，１６が設けられている。４つの回転体１３，１４，１５，１６は，互いに径の異なる略円筒形状を有し，中心軸１１の周りに同心状に設けられている。回転体１３は，例えば２つの軸受１７を介在して中心軸１１の外側に取付けられ，回転体１４は，２つの軸受１８を介して回転体１３の外側に取り付けられている。また，回転体１５は，２つの軸受１９を介在して回転体１４の外側に取り付けられ，回転体１６は，２つの軸受２０を介在して回転体１５の外側に取り付けられている。このように各回転体１３〜１６の間には，それぞれ軸受１７〜２０が介在されており，回転体１３〜１６は，中心軸１１を中心に互いに独立した状態で回転できる。
【００２２】
回転体１３〜１６の下端部は，同一平面に揃えられている。各回転体１３〜１６の下端部には，図３に示すように被移送物を載置し保持する保持部材としてのパレット３０，３１，３２，３３がそれぞれ固着されている。各パレット３０〜３３は，各回転体１３〜１６毎に同じ高さに取り付けられている。パレット３０〜３３は，細長の板形状に形成され，一端部側がボルト３４によって各回転体１３〜１６に取り付けられ，他端部側が外側の径方向に向けられている。パレット３０〜３３の他端部側は，最外周の回転体１６よりも外側に突出しており，その突出した部分の上面に被移送物を保持する保持部３０ａ，３１ａ，３２ａ，３３ａがそれぞれ位置している。保持部３０ａ〜３３ａは，中心軸１１を中心とする同一円軌道Ｒ上に配置されている。このような構成により，各回転体１３〜１６を回転させると，各パレット３０〜３３が回転し，各パレット３０〜３３の保持部３０ａ〜３３ａが同一円軌道Ｒ上を円運動する。
【００２３】
図４に示すようにパレット３０〜３３の保持部３０ａ〜３３ａには，同一円軌道Ｒに沿って複数，例えば２つの吸引口３５が形成されている。２つの吸引口３５は，所定間隔，例えば円軌道Ｒの中心角が１．８°程度になるような間隔（以下「１ピッチ」とする。）を空けて形成されている。各吸引口３５は，図５に示すようにパレット３０〜３３内を通る各吸引通路３６を通じて，コンベア装置１の外部に設置された吸引装置（図示しない）に連通している。したがって，各パレット３０〜３３は，吸引口３５からの吸引によって，各保持部３０ａ〜３３ａ上に２つの被移送物を１ピッチ間隔で吸着保持できる。
【００２４】
各パレット３０〜３３が取り付けられている回転体１３〜１６は，図２に示すように内側に近いもの程軸方向に長くなるように形成されている。つまり，回転体１３〜１６の上端部は，内側程高い階段状に形成されている。各回転体１３〜１６の上端部には，中心軸１１を回転中心とするプーリ４０，４１，４２，４３がそれぞれ取り付けられている。各プーリ４０〜４３は，例えばボルト４４によって各回転体１３〜１６に固定されており，各プーリ４０〜４３とそれに対応する回転体１３〜１６は，一体となって回転する。各プーリ４０〜４３は，例えば総て同じ回転半径を有し，上下方向に並列されている。
【００２５】
各プーリ４０〜４３は，図１に示すように伝達部材としての各ベルト５０，５１，５２，５３によって駆動プーリ５４，５５，５６，５７にそれぞれ連結されている。各駆動プーリ５４〜５７は，後述する駆動部としてのモータ５８〜６１により各々所定の速度で回転できる。したがって，各モータ５８〜６１を動力源として，各駆動プーリ５４〜５７及びベルト５０〜５３を通じて各プーリ４０〜４３が回転され，各回転体１３〜１６が個別に回転される。こうして，各パレット３０〜３３上の被移送物が同一円軌道Ｒ上で各々移送される。各モータ５８〜６１の駆動は，例えばコントローラ６２（図６に示す）によって制御されており，コントローラ６２は，例えば予め設定された移送プログラムに従って各モータ５８〜６１を動停止する。
【００２６】
アーム３は，例えば図１及び図６に示すように垂直部７０と水平部７１からなるＬ字型形状を有している。垂直部７０の下端部は，基台４に固定され，垂直部７０の上端部には，水平部７１が接合されている。この接合部の反対側の水平部７１の先端部には，ヘッド２の釣支部１０が取り付けられている。垂直部７０の側壁には，上述の駆動プーリ５４〜５７を備えたモータ５８〜６１が取り付けられている。モータ５８〜６１は，例えば垂直部７０の両壁に２つずつ取り付けられ，それぞれの一組のモータ５８，６０及び５９，６１は，各駆動プーリ５４，５６及び５５，５７がそれそれ対向するように取り付けられている。また，ベルト５０〜５３がパレット３０〜３３と干渉したり，捻れたりしないように，各モータ５８〜６１は，各プーリ４０〜４３と同程度の高さになるようにアーム３に取り付けられている。
【００２７】
基台４上には，図７に示すように平面から見てヘッド２の外周に，複数の作業ステーション，例えば４つの作業ステーションＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄを環状に配置できる。作業ステーションＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄは，例えば４方向に等間隔で配置される。各作業ステーションＡ〜Ｄには，それぞれ所定の作業位置Ａ１，Ｂ１，Ｃ１，Ｄ１が設定されており，これらの作業位置Ａ１〜Ｄ１は，パレット３０〜３３の円軌道Ｒ上，つまり被移送物の移送ライン上に９０°間隔で配置されている。
【００２８】
例えば，コンベア装置１が，被移送物としての半導体素子（以下「チップ」とする。）の検査装置として用いられた場合，作業ステーションＡは，チップをパレット３０〜３３上に搬入する搬入作業ステーションとして用いられる。この搬入作業は，例えば未検査のチップが１〜２万個程度収容された粘着シートから，搬入機構により，所定のチップを取り出し，作業位置Ａ１で停留しているパレット３０〜３３上にそのチップを載置することによって行われる。なお，搬入機構は，搬入するチップの位置を検出するカメラ，チップを保持して移送する移送部材，粘着シートの位置を移動させるＸ−Ｙステージなどで構成されていてもよい。
【００２９】
作業ステーションＢは，例えば作業位置Ｂ１において測定子をチップに接触させ，チップの諸特性を検査する検査作業ステーションとして用いられる。さらに作業ステーションＣは，検査済みのチップをパレット３０〜３３から搬出する搬出作業ステーションとして用いられる。この搬出作業は，例えば作業位置Ｃ１に移送されたチップを，搬出機構により，チップの品質に応じて分けられたコンテナに分別収容することによって行われる。作業ステーションＣには，例えばチップを品質別に分けて収容するための複数のコンテナや，チップをパレット３０〜３３からコンテナまで搬送するアンローダ，コンテナの位置を移動させるＸ―Ｙステージなどが備えられている。作業ステーションＤは，例えばチップの作業が行われず，作業ステーションＡに送られるパレット３０〜３３の待機部として用いられる。
【００３０】
このようにコンベア装置１を検査装置として用いた場合を例にとって，以下，コンベア装置１の作用について説明する。
【００３１】
コンベア装置１の起動時には，図７に示したように，パレット３０〜３３は，９０度間隔で，各作業ステーションＡ〜Ｄ上にそれぞれ配置される。チップの検査処理が開始されると，先ず，作業ステーションＡの作業位置Ａ１において，パレット３０に２つのチップＴ１，Ｔ２が１ピッチ間隔で載置される。これは，図８に示すように作業位置Ａ１において，一つ目のチップＴ１がパレット３０に載置された後に，回転体１３によりパレット３０が１ピッチ分回転し，その後２つ目のチップＴ２が載置されることによって行われる。載置された各チップＴ１，Ｔ２は，吸引口３５からの吸引によりパレット３０に吸着保持される。
【００３２】
作業ステーションＡにおいて，パレット３０上にチップＴ１，Ｔ２が保持されると，回転体１３が時計周りにおよそ９０°回転し，図９に示すようにパレット３０が作業ステーションＢの作業位置Ｂ１に移動する。このとき，作業ステーションＤのパレット３３は，作業ステーションＡに，作業ステーションＣのパレット３２は，作業ステーションＤに，作業ステーションＢのパレット３１は，作業ステーションＣにそれぞれ移動する。作業ステーションＢにおいては，作業位置Ｂ１の測定子により，最初チップＴ１の検査が行われ，その後パレット３０が１ピッチ分移動してチップＴ２の検査が行われる。また，作業ステーションＡにおいては，パレット３０の場合と同様にパレット３３上に２つのチップが載置される。
【００３３】
チップＴ１，Ｔ２の作業ステーションＢの検査が終了すると，回転体１３がおよそ９０°時計回りに回転し，パレット３０が作業ステーションＣに移動する。作業ステーションＣにおいては，作業位置Ｃ１においてチップＴ１が搬出され，その後回転体１３が１ピッチ分移動してチップＴ２が搬出される。搬出されたチップＴ１，Ｔ２は，検査結果に応じて所定のコンテナに収容される。
【００３４】
チップＴ１，Ｔ２が搬出され，空になったパレット３０は，作業ステーションＤの作業位置Ｄ１に移動し，作業ステーションＡの作業位置Ａ１が空くまで待機する。パレット３０の前方に位置するパレット３１が作業位置Ａ１から移動し，作業位置Ａ１が空になると，パレット３０は，作業ステーションＡの作業位置Ａ１に移動し，パレット３０上に新たなチップが載置される。新たなチップが載置されると，パレット３０は，再度作業ステーションＡからＤに順に移動し，各作業ステーションにおいて所定の作業が行われる。このようにパレット３０は，多数のチップを作業ステーションＡからＤに順に繰り返し移送する。
【００３５】
他のパレット３１〜３３もパレット３０と同様に，パレット３１は，回転体１４により，パレット３２は，回転体１５により，パレット３３は，回転体１６により，前方のパレットに追従するように作業ステーションＡ〜Ｄを順に移動する。こうして，作業ステーションＡの未検査のチップは，４つのパレット３０〜３３によりコンベア移送される。
【００３６】
各パレット３０〜３３は，前方のパレットに追従するため，次の作業ステーションに前方のパレットが停留している場合には，待機せざるを得ないが，各パレット３０〜３３の動作は，パレット３０〜３３間の衝突を防止しつつも，可能な限り待ち時間がないように制御される。例えば作業ステーションＡで搬入作業が終了したパレット３３は，前方のパレット３０が作業ステーションＢに停留しているか否かを確認し，停留していない場合には，作業ステーションＢまで止まらずに移動する。パレット３０が停留している場合には，パレット３３は，図１０に示すように作業ステーションＡ，Ｂ間，例えば作業ステーションＢの２８°程度手前まで移動し，停留する。このとき，パレット３３の後ろのパレット３２は，作業ステーションＡに移動し，搬入作業が行われる。そしてパレット３０が作業ステーションＢから移動すると，パレット３３が作業ステーションＢに移動する。このように，前方のパレットが次の作業ステーションに停留している場合には，後方のパレットが現在の作業ステーションと次の作業ステーションとの間の所定位置まで移動して待機し，前方のパレットが次の作業ステーションから移動した後に，直ちに後方のパレットが次の作業ステーションに移動する。こうすることによって，前方のパレットの作業が終了次第，直ちに次のパレットが作業ステーションに移動するので，各パレットの待ち時間を最小限に抑えることができる。
【００３７】
なお，各パレット３０〜３３は，次に進む作業ステーションに前方のパレットが停留している場合に，現在の作業ステーションで待機し，次の作業ステーションが空き次第，次の作業ステーションに移動するようにしてもよい。
【００３８】
以上の実施の形態によれば，各パレット３０〜３３の取り付けられた各回転体１３〜１６が，モータ５８〜６１によって個別に移動できるので，被移送物であるチップを，非同期移送方式で移送できる。コンベア装置１のパレット３０〜３３が各回転体１３〜１６に固着された状態で移動するので，従来に比べてパレット３０〜３３の停留位置のばらつきがなくなり，パレットの位置決め精度の向上が図られる。また，パレット３０〜３３が回転体１３〜１６に固着されているので，パレットをより高速に移動させることもでき，作業効率も向上できる。各パレット１３〜１６を任意の場所で動停止させることができるので，例えばパレット３０〜３３上に複数のチップを所定間隔で順に載置することもできるし，隣り合う作業ステーションの間でパレット３０〜３３を待機させることもできる。この非同期移送方式の回転型のコンベア装置１は，比較的単純な機構で構成されており，部品点数も少ないので，装置の維持コストの低減，メンテナンス作業の容易化等が図られる。
【００３９】
以上の実施の形態によれば，パレット３０〜３３の保持部３０ａ〜３３ａに，吸引口３５を設けたので，チップを確実に保持できる。したがって，移送中にチップが落下することもなく，チップを高速で移送することもできる。
【００４０】
以上の実施の形態では，回転体３０〜３３の駆動源が，プーリ４０〜４３及びベルト５０〜５３等の伝達部材を介して間接的に駆動するモータ５８〜６１であったが，駆動源として，回転体を直接駆動する，中空軸型モータであるダイレクトドライブモータを用いてもよい。図１１は，かかる一例を示すものであり，ヘッド７０の釣支部７１には，複数のダイレクトドライブモータを収容する円柱状の筐体７２が支持されている。筐体７２内には，中央部が開口した，複数段，例えば４段のモータ設置板７３が設けられている。各モータ設置部７３には，ダイレクトドライブモータ７４，７５，７６，７７が下から順にそれぞれ設置されている。ダイレクトドライブモータ７４〜７７は，同一軸（中心軸７８）上に設けられている。各ダイレクトドライブモータ７４〜７７は，モータ設置板７３に固定された環状のステータ７４ａ〜７７ａと，ステータ７４ａ〜７７ａの内周で回転する環状のロータ７４ｂ〜７７ｂをそれぞれ有している。
【００４１】
各ロータ７４ｂ〜７７ｂの内側には，回転体８０〜８３がボルト８４によってそれぞれ締結されている。したがって，回転体８０〜８３は，各ダイレクトドライブモータ７４〜７７によって回転される。各回転体８０〜８３は，略円筒形状を有し，中心軸７８の周りに同心状に配置されている。最下位置のダイレクトドライブモータ７４に連動する回転体８０の径が最も大きく形成され，ダイレクトドライブモータ７４〜７７が上に行くにつれて，それに連動する回転体８０〜８３の内径は小さくなっている。回転体８０〜８３の下端部は，筐体７２の下面から突出しており，その突出部にパレット８５〜８８がそれぞれ固着されている。
【００４２】
かかる構成から各ダイレクトドライブモータ７４〜７７によって，各パレット８５〜８８が個別に回転される。したがって，パレット８５〜８８を互いに独立した状態で円運動させて，上述したような非同期移送方式のチップの移送が実現される。特に，ダイレクトドライブモータ７４〜７７を用いた場合，ダイレクトドライブモータ７４〜７７の動力が，プーリ，ベルト等を介することなく，直接パレット８５〜８８に伝達されるので，パレット８５〜８８の位置決め精度が向上し，より細かい作業を正確に行うことができる。
【００４３】
以上，本発明の実施の形態の一例について説明したが，本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。パレット及び回転体の数は，４つに限られず，任意に選択できる。パレットに載置する被移送物の数も任意に選択できる。本実施の形態では，コンベア装置１をチップの検査処理時の移送に用いたが，本発明は，チップの加工，組立時等の他の処理時の移送にも適用できる。また，被移送物は，チップに限られず，精密部品，機械部品等の他の被移送物の移送にも本発明を適用できる。コンベア装置１の大きさも限定されず，比較的大型の部品を移送する場合にも，本発明を適用できる。
【００４４】
【発明の効果】
本発明によれば，非同期移送方式で回転型のコンベア装置において，停留位置の高速，高精度の位置決めが実現される。停留位置の自由度が広がるので，被移送物の間欠移送により作業効率を向上できる。装置構成が簡素化され，装置の維持管理コストの削減が図られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態におけるコンベア装置の斜視図である。
【図２】コンベア装置のヘッドの縦断面の説明図である。
【図３】ヘッドの下面図である。
【図４】パレットの先端部の平面図である。
【図５】パレットの先端部の縦断面図である。
【図６】コンベア装置の側面図である。
【図７】作業ステーションの配置を示すコンベア装置のヘッド周りの平面図である。
【図８】チップを載置する際のパレットの動作を説明するためのパレットの平面図である。
【図９】パレットの動作を説明するためのヘッド周りの平面図である。
【図１０】作業ステーション間に停留するパレットの動作を説明するためのヘッド周りの平面図である。
【図１１】ダイレクトドライブモータを用いた場合のヘッドの構成を示す縦断面の説明図である。
【符号の説明】
１    コンベア装置
２    ヘッド
１１    中心軸
１３〜１６  回転体
３０〜３３  パレット
４０〜４３  プーリ
５８〜６１  モータ
Ａ〜Ｄ  作業ステーション
Ｔ１，Ｔ２  チップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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