(57)【要約】【課題】厚さ１００μｍ以下の薄いワークを破損することなく安全に搬送でき且つワークの位置決めを容易に行うことができる搬送装置を提供する。【解決手段】厚さ１００μｍ以下の薄いウェーハを、その載置箇所から他の箇所に搬送する搬送装置であって、該搬送装置には、移動可能で且つ回動可能に設けられた板状部材２０と、板状部材２０を移動し且つ回動する移動・回動手段とを具備し、板状部材２０には、前記載置箇所に載置されているウェーハを、その全体を均等に持ち上げるリフト手段と、前記リフト手段で持ち上げられたウェーハを、その全体を均等に板状部材２０のウェーハ吸着面２０ａに吸着して保持する保持手段とが併設され、且つ前記リフト手段としての複数個のベルヌーイノズル３０，３０・・と保持手段としての複数個の真空吸着ノズル３２，３２・・とが、板状部材２０の外周縁近傍のウェーハ吸着面２０ａに、前記外周縁に沿って交互に開口されていることを特徴とする。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ等の厚さ１００μｍ以下の薄いワークを、その載置箇所から他の箇所に搬送する搬送装置であって、
該搬送装置には、移動可能で且つ回動可能に設けられた板状部材と、前記板状部材を移動し且つ回動する移動・回動手段とを具備し、
前記板状部材には、前記載置箇所に載置されているワークを、その全体を均等に持ち上げるリフト手段と、前記リフト手段で持ち上げられたワークを、その全体を均等に前記板状部材のワーク吸着面に吸着して保持する保持手段とが併設され、
且つ前記リフト手段としての複数個のベルヌーイノズルが、前記板状部材の外周縁近傍のワーク吸着面に、前記外周縁に沿って開口されていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
保持手段が、複数個の真空吸着ノズルから構成され、リフト手段を構成する複数個のベルヌーイノズルと前記複数個の真空吸着ノズルとが、板状部材の外周縁近傍のワーク吸着面に、前記外周縁に沿って交互に開口されている請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
真空吸着ノズルの吸着パッドに、多孔体が用いられている請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
保持手段が、１個又は複数個の静電吸着プレートから構成され、前記静電吸着プレートが板状部材のワーク吸着面に設けられている請求項１記載の搬送装置。
【請求項５】
リフト手段と保持手段との駆動時期を制御する制御部が設けられている請求項１〜４のいずれか一項記載の搬送装置。
【請求項６】
板状部材の外周縁に、複数個のベルヌーイノズルによって持ち上げられたワークの一部が前記板状部材から外れることを防止する外れ防止部材が設けられている請求項１〜５のいずれか一項記載の搬送装置。
【請求項７】
外れ防止部材が、その先端部が板状部材のワーク吸着面から突出する方向に弾性部材によって付勢されている請求項６記載の搬送装置。
【請求項８】
複数個のベルヌーイノズルから成るリフト手段で持ち上げられたワークを、保持手段による保持に切り換える際に、前記ワークの落下を防止するように、前記ワークの下方から圧空を吹出す複数個の圧空吹出ノズルが設けられている切換ステーションを具備する請求項１〜７のいずれか一項記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は搬送装置に関し、更に詳細にはウェーハ等の厚さ１００μｍ以下の薄いワークを、その載置箇所から他の箇所に搬送する搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウェーハ等の薄いワークを、その載置箇所から他の箇所に搬送する際に、例えば下記に示す特許文献１に記載された搬送装置を用いることができる。
【０００３】
【特許文献１】
米国特許第４，５６６，７２６号明細書（Ｆｉｇ．２Ａ、Ｆｉｇ．２Ｂ）
【０００４】
この特許文献１に記載された搬送装置を図８（ａ）（ｂ）に示す。搬送装置は、ウェーハ等のワーク１００を搬送する搬送装置であって、板状部材１０２の一面側１０２ａの中央部にベルヌーイノズル１０４が開口されている。このベルヌーイノズル１０４は、ノズル部に邪魔板１０４ａが配設されており、圧空吹出口１０４ｂが三日月状に形成されている。このため、ベルヌーイノズル１０４からの圧空は、図８（ｂ）に示す様に、板状部材１０２の外周縁に設けられたストッパ１０６の方向に強く吹出す。
かかるベルヌーイノズル１０４によれば、いわゆるベルヌーイの定理に基づく揚力がワーク１００に作用し、ワーク１００は板状部材１０２の一面側１０２ａに当接することなく持ち上げられる。
但し、ベルヌーイノズル１０４は、ストッパ１０６の方向に強く吹出すため、ベルヌーイノズル１０４で吸引されて持ち上げられたワーク１００は、ストッパ１０６の方向に移動し、ワーク１００の側面がストッパ１０６に当接する。
【０００５】
また、板状部材１０２の一面側１０２ａには、板状部材１０２の外周縁近傍に、外周縁に沿って３個の真空吸引ノズル１０８，１０８，１０８が配設されている。これらの真空吸引ノズル１０８，１０８，１０８は、図８（ａ）に示す様に、真空ポンプ等の真空発生装置（図示せず）と、チューブ１１２及び板状部材１０２内に形成された導管１１０を介して繋がれている。
かかる真空吸引ノズル１０８，１０８，１０８の各先端部は、図８（ａ）に示す様に、板状部材１０２の一面側１０２ａから突出して設けられている。このため、ベルヌーイノズル１０４で持ち上げられてストッパ１０６に当接したワーク１００は、板状部材１０２の一面側１０２ａに当接することなく真空吸引ノズル１０８，１０８，１０８の各先端部に吸着される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
図８に示す搬送装置によれば、ベルヌーイノズル１０４によって、板状部材１０２の一面側１０２ａと非接触状態で持ち上げられたワーク１００は、その周縁部近傍が真空吸引ノズル１０８，１０８，１０８の各先端部に吸着されているため、ワーク１００を板状部材１０２に実質的に非接触状態で搬送できる。
また、真空吸引ノズル１０８，１０８，１０８の各先端部に吸着されたワーク１００は、板状部材１０２に固定状態にあるため、板状部材１０２を回動することによって、ワーク１００の位置決めを容易に行うことができる。
ところで、近年、半導体装置に用いられるウェーハは薄化されつつあり、厚さ１００μｍ以下のウェーハも市場に提供されつつある。
この様な薄いウェーハを、図８に示す搬送装置を用いて搬送すると、搬送途中にウェーハが割れる等の事態が発生し易いことが判明した。
そこで、本発明の課題は、厚さ１００μｍ以下の薄いワークを破損することなく安全に搬送でき且つワークの位置決めを容易に行うことができる搬送装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、前記課題を解決すべく検討した結果、複数個のベルヌーイノズルと複数個の真空吸着ノズルとを、移動可能に設けた板状部材の外周縁近傍のワーク吸着面に、その外周縁に沿って交互に開口した板状部材を用いることによって、厚さ１００μｍ以下の薄いワークを破損することなく安全に搬送でき且つワークの位置決めを容易に行うことができることを見出し、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、ウェーハ等の厚さ１００μｍ以下の薄いワークを、その載置箇所から他の箇所に搬送する搬送装置であって、該搬送装置には、移動可能で且つ回動可能に設けられた板状部材と、前記板状部材を移動し且つ回動する移動・回動手段とを具備し、前記板状部材には、前記載置箇所に載置されているワークを、その全体を均等に持ち上げるリフト手段と、前記リフト手段で持ち上げられたワークを、その全体を均等に前記板状部材のワーク吸着面に吸着して保持する保持手段とが併設され、且つ前記リフト手段としての複数個のベルヌーイノズルが、前記板状部材の外周縁近傍のワーク吸着面に、前記外周縁に沿って開口されていることを特徴とする搬送装置にある。
【０００８】
かかる本発明において、保持手段として、複数個の真空吸着ノズルを用い、リフト手段を構成する複数個のベルヌーイノズルと前記複数個の真空吸着ノズルとを、板状部材の外周縁近傍のワーク吸着面に、前記外周縁に沿って交互に開口することによって、板状部材を簡単な構造とすることができる。
この真空吸着ノズルの吸着パッドに多孔体を用いることにより、ワークに吸着痕を付けるおそれを解消できる。
また、保持手段として、１個又は複数個の静電吸着プレートを用い、前記静電吸着プレートを板状部材のワーク吸着面に設けることにより、静電吸着可能なワークの場合には、板状部材を更に簡単な構造とすることができる。
本発明においては、リフト手段と保持手段とを併用するため、両者の各々の駆動時期を制御する制御部を設けることにより、両手段の駆動・停止を予め定めた時期に正確に行うことができ、ワークの搬送を確実に行うことができる。
更に、板状部材の外周縁に、複数個のベルヌーイノズルによって持ち上げられたワークの一部が前記板状部材から外れることを防止する外れ防止部材を設けることにより、ワークを板状部材の一面側に確実に位置させることができる。
この外れ防止部材としては、その先端部を板状部材のワーク吸着面から突出する方向に弾性部材によって付勢することにより、板状部材のワーク吸着面から突出する外れ防止部材の突出長を弾性部材の付勢力の調整等によって容易に変更できる。
また、複数個のベルヌーイノズルから成るリフト手段で持ち上げられたワークを、保持手段による保持に切り換える際に、前記ワークの落下を防止するように、前記ワークの下方から圧空を吹出す複数個の圧空吹出ノズルが設けられている切換ステーションを具備することによって、リフト手段から保持手段への切り換えを、ワークが落下して損傷される事態を確実に防止できる。
【０００９】
本発明によれば、載置箇所に載置されている厚さが１００μｍ以下のワークを、板状部材の外周縁近傍のワーク吸着面に、この外周縁に沿って開口されている複数個のベルヌーイノズルによって、ワーク全体を板状部材のワーク吸着面に当接することなく均等に持ち上げることができる。
更に、持ち上げられたワークは、板状部材に設けられている保持手段によって、全体を均等に板状部材のワーク吸着面に吸着して保持する。
この様に、板状部材のワーク吸着面に吸着したワークの位置状態を容易に認識でき、その認識に基づいて板状部材を、移動・回動手段によって移動及び／又は回動してワークの位置決めを行うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明に搬送装置の一例を図１に示す。図１は、基台１０の載置箇所に載置されているカセット１２に、層間紙を挟んで積層されている複数枚のワークとしての厚さ１００μｍ以下のシリコンウェーハ１４（以下、単にウェーハ１４と称することがある）を、カセット１２から取り出し位置決めして接着リング１６に貼られたテープに貼着する搬送装置を示す。
図１に示す搬送装置では、多関節ロボット１８が設けられた基台１０の周囲に、カメラ２２ａが設けられている位置測定エリア２２と、接着リング１６に貼られたテープに位置決めされたウェーハ１４を貼付する貼付エリア２４と、貼られたテープにウェーハ１４が貼付された接着リング１６を次工程に送るレール２６，２６とが設けられている。
【００１１】
この多関節ロボット１８の先端部には、板状部材２０が回動自在に装着されており、この板状部材２０によって、カセット１２に積層されている複数枚のウェーハ１４，１４・・のうちから一枚のウェーハ１４を取り出す。
板状部材２０により取り出されたウェーハ１４は、多関節ロボット１８による板状部材２０の移動によって、位置測定エリア２２に移動する。この位置測定エリア２２では、取り出されたウェーハ１４の位置を認識する。
次いで、多関節ロボット１８によって板状部材２０を貼付エリア２４上に移動し、位置測定エリア２２で認識されたウェーハ１４の位置データに基づいて板状部材２０を回動してウェーハ１４を位置決めした後、接着リング１６のテープに載置して貼着する。
その後、テープにウェーハ１４が貼付された接着リング１６は、裏返しにされてレール２６，２６上に載置されて次工程に搬送される。
この搬送装置では、カセット１２にウェーハ１４，１４・・の間に挟まれていた層間紙は、板状部材２０によってカセット１２の隣の基台１０上に載置されている容器２８に搬送される。
【００１２】
多関節ロボット１８の先端部の回転軸１９に装着され、ウェーハ１４をカセット１２から取り出し搬送する板状部材２０には、カセット１２に積層されているウェーハ１４を持ち上げるリフト手段と、このリフト手段で持ち上げられたウェーハ１４を板状部材２０のワーク吸着面に吸着し保持する保持手段とが併設されている。
かかる板状部材２０を図２（ａ）（ｂ）に示す。図２（ａ）（ｂ）に示す板状部材２０には、板状部材２０の外周縁に沿って、リフト手段としての複数個のベルヌーイノズル３０，３０・・の開口部３０ａの各々と、保持手段としての複数個の真空吸着ノズル３２，３２・・の吸着部３２ａの各々とが、板状部材２０の外周縁近傍のウェーハ吸着面２０ａに開口されている。
【００１３】
この様に、板状部材２０の外周縁近傍のウェーハ吸着面２０ａに、ベルヌーイノズル３０，３０・・の開口部３０ａの各々を開口することによって、ウェーハ１４の全体をベルヌーイノズル３０，３０・・により均等に持ち上げることができる。このため、図８に示す板状部材１０２の中央部に開口部１０４ｂが開口されたベルヌーイノズル１０４によってウェーハ１４を持ち上げた場合の如く、持ち上げたウェーハ１４に発生する反りを可及的に小さくできる。
従って、ベルヌーイノズル３０，３０・・を駆動して厚さ１００μｍ以下の薄いウェーハ１４を、カセット１２から持ち上げる際に、ウェーハ１４が反ることに因る割れ等の破壊を防止できる。
【００１４】
ベルヌーイノズル３０は、図３に示す様に、板状部材２０のウェーハ吸着面２０ａにテーパ状の開口部３０ａが開口されており、いわゆるベルヌーイの定理に基づく揚力がウェーハ１４に作用する。
つまり、図３に示すテーパ状の開口部３０ａからは円錐状の空気流が吹き出される。この円錐状の空気流のうち、開口部３０ａの傾斜面に沿って吹き出される空気流は、開口部３０ａの中心部から吹き出される空気流よりも高速となる。この開口部３０ａの中心部から吹き出される空気流は、高速に吹き出される開口部３０ａの傾斜面に沿って吹き出される空気流側に引っ張られるため、円錐状の空気流の中心部近傍（開口部３０ａの真下部分）は負圧となり、ウェーハ１４は持ち上げられる。
一方、ウェーハ１４が開口部３０ａの傾斜面に沿って吹き出される空気流を遮るまで持ち上げられると、円錐状の空気流の中心部近傍に生じた負圧が解消され、持ち上げられたウェーハ１４は降下する。しかし、ウェーハ１４が降下し、開口部３０ａの傾斜面に沿って吹き出される空気流が再現し、円錐状の空気流の中心部近傍に負圧が再生されると、ウェーハ１４は再度持ち上げられる。このため、ウェーハ１４は、板状部材２０のウェーハ吸着面２０ａに当接することなく所定高さに持ち上げられる。
かかるベルヌーイノズル３０，３０・・によって持ち上げられたウェーハ１４は、ウェーハ吸着面２０ａに固定されておらず板状部材２０のウェーハ吸着面２０ａに沿って流れる空気流によって移動する。このため、ウェーハ１４が、板状部材２０の一部がウェーハ吸着面２０ａから外れないように、板状部材２０の側壁面には、外れ防止部材としての板体３４，３４・・が設けられている。
尚、ベルヌーイノズル３０，３０・・によれば、カセット１２に積層されたウェーハ１４の間の層間紙も持ち上げることができ、カセット１２から容器２８に搬送できる。
【００１５】
唯、ベルヌーイノズル３０，３０・・のみでは、ウェーハ１４を板状部材２０のウェーハ吸着面２０ａに固定できず移動するため、位置測定エリア２２でウェーハ１４の位置を認識できず、ウェーハ１４の位置決めを行うことができない。
このため、図２に示す板状部材２０では、板状部材２０の外周縁に沿って、真空吸着ノズル３２，３２・・の吸着部３２ａの各々を、板状部材２０の外周縁近傍のウェーハ吸着面２０ａに開口している。このため、ベルヌーイノズル３０，３０・・によって持ち上げられたウェーハ１４を、真空吸着ノズル３２，３２・・によって板状部材１０のウェーハ吸着面２０ａに固定し、位置測定エリア２２で認識したウェーハ１４の位置データに基づいて板状部材２０を回動して、ウェーハ１４の位置決めを行うことができる。
【００１６】
図２に示す板状部材２０の真空吸着ノズル３２の吸着部３２ａには、図４に示す様に、吸着パッドとしての多孔体３２ｂが装着されている。かかる多孔体３２ｂを吸着パッドに用いることによって、吸着痕を付けることなくウェーハ１４を吸着できる。この多孔体３２ｂとしては、例えばセラミック製の多孔体を好適に用いることができる。
更に、真空吸着ノズル３２の吸着部３２ａは、板状部材２０のウェーハ吸着面２０ａに開口され、多孔体３２ｂの端面もウェーハ吸着面２０ａと面一に吸着部３２ａに装着されている。このため、ウェーハ１４は、板状部材２０のウェーハ吸着面２０ａに密着されて吸着される。
この様に、図２に示す板状部材２０では、真空吸引ノズル１０８の先端部が、板状部材１０２の一面側１０２ａから突出して設けられた図８に示す板状部材１０２の如く、真空吸引ノズル１０８の先端部の先端部に吸着されたワーク１００と板状部材１０２の一面側１０２ａとの間に隙間が存在しない。
従って、真空吸着ノズル３２，３２・・によって板状部材２０のウェーハ吸着面２０ａに吸着したウェーハ１４に発生する反りを可及的に少なくでき、ウェーハ１４の反りに因る割れ等の破壊を解消できる。
【００１７】
しかも、図２に示す板状部材２０では、ベルヌーイノズル３０，３０・・の各開口部３０ａと、真空吸着ノズル３２，３２・・の各吸着部３２ａとが、板状部材２０の外周縁近傍のウェーハ吸着面２０ａに交互に開口されている。
このため、板状部材２０の外周縁近傍に、ベルヌーイノズル３０，３０・・の各開口部３０ａを均等に分散配置できると共に、真空吸着ノズル３２，３２・・の各吸着部３２ａも均等に分散配置できる。その結果、ベルヌーイノズル３０，３０・・によるウェーハ１４の持ち上げ及び真空吸着ノズル３２，３２・・によるウェーハ吸着面２０ａの吸着を、ウェーハ１４の全体に更に均等に行うことができ、ウェーハ１４の割れ等の破壊を更に一層防止できる。
【００１８】
図２に示す板状部材２０に設けられたベルヌーイノズル３０，３０・・と真空吸着ノズル３２，３２・・との駆動時期は、図２に示す制御部３６によって制御されている。
つまり、カセット１２からウェーハ１４を持ち上げる際には、制御部３６からベルヌーイノズル３０，３０・・を駆動する信号を発すると共に、真空吸着ノズル３２，３２・・の駆動を停止する信号を発する。
次いで、ベルヌーイノズル３０，３０・・によって持ち上げられたウェーハ１４を、真空吸着ノズル３２，３２・・によって板状部材２０のウェーハ吸着面２０ａに吸着する際には、真空吸着ノズル３２，３２・・を駆動する信号を発すると共に、ベルヌーイノズル３０，３０・・の駆動を停止する信号を発する。
このベルヌーイノズル３０，３０・・と真空吸着ノズル３２，３２・・との駆動切り換えのタイミングは、ベルヌーイノズル３０，３０・・で持ち上げられたウェーハ１４が落下することがなければ、真空吸着ノズル３２，３２・・の駆動と同時にベルヌーイノズル３０，３０・・の駆動を停止してもよいが、両者が重複して駆動する時間を設けた後、ベルヌーイノズル３０，３０・・の駆動を停止することが安全である。
【００１９】
かかるベルヌーイノズル３０，３０・・と真空吸着ノズル３２，３２・・との駆動切り換えの際に、持ち上げられたウェーハ１４の落下を確実に防止するには、図１に示すカセット１２と位置測定エリア２２との間に切換ステーション３８を設けることが好ましい。この切換ステーション３８には、図５に示す様に、板状部材２０のベルヌーイノズル３０，３０・・によって持ち上げられているウェーハ１４の下方から圧空を吹出す複数個の圧空吹出ノズルが設けられた板状のステーション部４０が配設されている。このステーション部４０には、複数個の圧空吹出ノズルに圧空を供給する供給配管４２が接続されている。
かかる切換ステーション３８上でベルヌーイノズル３０，３０・・と真空吸着ノズル３２，３２・・との駆動切り換えを行うことによって、両者の駆動切り換えのタイミングがズレても、ウェーハ１４の落下を確実に防止できる。
【００２０】
図１〜図５に示す板状部材２０に設けられた外れ防止部材としての板体３４，３４・・は、板状部材２０の側壁面に固着されている。このため、板状部材２０の真空吸着ノズル３２，３２・・によってウェーハ吸着面２０ａに吸着されたウェーハ１４を、図１に示す貼付エリア２４で真空吸着ノズル３２，３２・・の駆動を停止して取り出して載置面に載置する際に、板体３４，３４・・の各先端が貼付エリア２４の載置面に当接し、板状部材２０のウェーハ吸着面２０ａと載置面との間に所定の間隙が形成される。このため、真空吸着ノズル３２，３２・・の駆動を停止すると、ウェーハ１４が所定距離落下して載置面に当接する。
かかる板状部材２０のウェーハ吸着面２０ａと載置面との間の間隙を可及的に少なくするには、図６に示す様に、板体３４を、その先端部が板状部材２０のウェーハ吸着面２０ａから突出する方向に弾性部材としてのバネ４４によって付勢する外れ防止部材を用いることが好ましい。
図６に示す外れ防止部材によれば、板体３４の先端が貼付エリア２４の載置面に当接したとき、バネ４４の付勢力に抗して板状部材２０を載置面に近接することができ、ウェーハ吸着面２０ａと貼付エリア２４の載置面との間の間隙を可及的に少なくできるからである。
この様に、ウェーハ吸着面２０ａと貼付エリア２４の載置面との間の間隙を可及的に短縮できれば、ウェーハ１４の落下距離を短縮でき、ウェーハ１４が貼付エリア２４の載置面に当接した際の衝撃も小さくできる。
【００２１】
また、図１〜図５に示す板状部材２０には、真空吸着ノズル３２，３２・・を保持手段として用いているが、ウェーハ１４が静電気を用いて問題ない場合には、図７に示す様に、保持手段として静電吸着プレート４６をウェーハ吸着面２０ａに配設できる。
かかる静電吸着プレート４６は、ウェーハ１４の全体を均等に吸着することを要するため、図７に示す様に、板状部材２０の中央部を含む部分を覆うように一枚の静電吸着プレート４６を配設してもよく、図２（ｂ）に示す複数の吸着部３２ａ，３２ａ・・に代えて、複数枚の静電吸着プレートを配設してもよい。この場合も、複数個のベルヌーイノズル３０，３０・・の各開口部３０ａと複数枚の静電吸着プレートを、板状部材２０の外周縁近傍のウェーハ吸着面２０ａに、外周縁に沿って交互に設ける。
この様に、静電吸着プレート４６を用いることによって、真空吸着ノズル３２，３２・・を用いる場合の様に、真空ポンプ等の配設を省略でき、搬送装置の簡略化を可能にできる。
【００２２】
【発明の効果】
本発明によれば、厚さ１００μｍ以下の薄いワークを破損することなく安全に搬送でき且つワークの位置決めを容易に行うことができる。このため、ワークの薄化の進展に対応できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る搬送装置の一例の概略を説明する概略図である。
【図２】図１で用いる板状部材２０を説明する正面図及び底面図である。
【図３】図２の板状部材２０に設けられたベルヌーイノズル３０を説明する部分断面図である。
【図４】図２の板状部材２０に設けられた真空吸着ノズル３２を説明する部分断面図である。
【図５】図１に示す切換ステーション３８の構造を説明する正面図である。
【図６】外れ防止部材の他の例を説明する部分正面図である。
【図７】板状部材２０の他の例を説明する底面図である。
【図８】従来の板状部材を説明する部分断面正面図及び部分底面図である。
【符号の説明】
１４  ウェーハ（ワーク）
１８  多関節ロボット
２０  板状部材
２０ａ  ウェーハ吸着面（ワーク吸着面）
３０  ベルヌーイノズル
３０ａ  ベルヌーイノズルの開口部
３２  真空吸着ノズル
３２ａ  真空吸着ノズルの吸着部
３２ｂ  多孔体
３４  板体
３６  制御部
３８  切換ステーション
４０  ステーション部
４２  供給配管
４４  バネ（弾性部材）
４６  静電吸着プレート
【図１】
2004193195.tif 000003
【図２】
2004193195.tif 000004
【図３】
2004193195.tif 000005
【図４】
2004193195.tif 000006
【図５】
2004193195.tif 000007
【図６】
2004193195.tif 000008
【図７】
2004193195.tif 000009
【図８】
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