(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドにおいて、振動板とアクチュエータ、振動板と流路板の接合性を良好とし、印写特性の安定したインクジェットヘッドを得る。【解決手段】電鋳メッキにより作製されるインクジェットヘッドの振動板の振動部領域の偏肉は、振動板−アクチュエータ接合、振動板−流路板接合の際の接合不良、接着剤はみだしの原因となる。本発明は、振動部領域での電鋳メッキ総膜厚の偏肉量を３μｍ以下、望ましくは２μｍ以下とし、また、振動板全体での電鋳メッキ総膜厚の偏肉量を５μｍ以下に抑える。微細パターンが形成された部分に、パターンが形成されていないパターン抜き部６を形成することにより、振動板作製時における膜厚低減化ができる。【選択図】　　　　図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電鋳めっきにより作製され、微細パターンが形成された振動部領域の電鋳めっき総膜厚の偏肉量が３μｍ以下である振動板を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
電鋳めっきにより作製され、微細パターンが形成された振動部領域と該振動部領域の外周を含む全面の電鋳めっき総膜厚の偏肉量が５μｍ以下である振動板を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記振動板には、膜厚補正パターンが形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記膜厚補正パターンは、前記微細パターン集中部に形成されたパターン抜き部であることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記微細パターンは複数の振動部列からなり、前記パターン抜き部は前記振動部列の列間に形成されていることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記膜厚補正パターンは、前記振動部領域の外周に形成された複数の溝パターンであることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記複数の溝パターンは、前記振動部列の配列方向外方部分の一部もしくは全域に設けられていることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記振動板には、前記振動部領域における振動部に対応して個々にインク供給口が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記インク供給口は、前記振動部列の配列方向と同方向に同ピッチで配列され、配列方向に垂直な方向の幅が配列方向の幅に対して３倍以上であることを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載のインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関し、さらに詳しくは、圧電素子等のアクチュエータの伸縮を加圧液室に伝達する振動板の膜厚を適当寸法にすることにより、振動板とアクチュエータ、振動板と流路板の接合時に接着不良等が生じないようにしたインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、電極基板に非導電性のレジストでパターンを形成して電鋳めっきを行う場合、レジストの遮蔽面積が大きくなるほど、その部位の電界がレジスト端部の電極部に集中し、めっき膜厚が厚くなる傾向がある。
例えば、ノズルプレートのように比較的パターンが少ない構成要素であれば、これらの偏肉はそれほど気にならないレベルであるが、インクジェットヘッドの振動板等多くの微細パターンが形成されている構成要素では、パターンによる膜厚の変動が大きく、偏肉が大きくなってしまう。
【０００３】
これらの偏肉は、振動板と流路板、また振動板とアクチュエータの接合の際に大きな問題となる。偏肉量が大きいと、完全に接合するにはその偏肉量以上の接着剤が必要になる。
具体的には、偏肉量が１０μｍあれば、それを完全に接合するには１０μｍ以上の厚さの接着剤を塗布する必要がある。ここで、接着剤量が増えることは振動板の厚肉部でははみ出しとなり、微細パターン部では近接パターンと接してしまったり、振動板のダイアフラム部が接着剤で埋まってしまったりする。
これらは、インクジェットヘッドの印写特性にとって重大な欠陥である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、振動板の振動部領域の偏肉は、振動板とアクチュエータの接合に影響し、振動板全面の偏肉は、振動板と流路板の接合に影響を与える。
そこで、本発明は、電鋳めっきにより作製される振動板のめっき総膜厚の偏肉量を振動部領域で３μｍ以下、振動板全面で５μｍ以下と規定することで、振動板とアクチュエータ間、振動板と流路板間の接合性が良好で、印写特性の安定したインクジェットヘッドを得ることを目的とする。（請求項１、２）
また、振動板を作製するための均膜化のための膜厚補正パターンを得ることを目的とする。（請求項３〜９）
さらに、得らえたインクジェットヘッドを用いて記録装置を形成することにより、高品質印字の可能なインクジェット記録装置を得ることを目的とする。（請求項１０）
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するためのものであって、請求項１の発明は、電鋳めっきにより作製され、微細パターンが形成された振動部領域の電鋳めっき総膜厚の偏肉量が３μｍ以下である振動板を有するインクジェットヘッドであることを特徴とする。
請求項２の発明は、電鋳めっきにより作製され、微細パターンが形成された振動部領域と該振動部領域の外周を含む全面の電鋳めっき総膜厚の偏肉量が５μｍ以下である振動板を有するインクジェットヘッドであることを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１または２に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記振動板には、膜厚補正パターンが形成されていることを特徴とする。
【０００６】
請求項４の発明は、請求項３に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記膜厚補正パターンは、前記微細パターン集中部に形成されたパターン抜き部であることを特徴とする。
請求項５の発明は、請求項４に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記微細パターンは複数の振動部列からなり、前記パターン抜き部は前記振動部列の列間に形成されることを特徴とする。
請求項６の発明は、請求項３に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記膜厚補正パターンは、前記振動部領域の外周に形成された複数の溝パターンであることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
請求項７の発明は、請求項６に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記複数の溝パターンは、前記振動部列の配列方向外方部分の一部もしくは全域に設けられていることを特徴とする。
【０００７】
請求項８の発明は、請求項１または２に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記振動板は、前記振動部領域における振動部に対応して個々にインク供給口が設けられていることを特徴とする。
請求項９の発明は、請求項８に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記インク供給口は、前記振動部列の配列方向と同方向に同ピッチで配列され、配列方向に垂直な方向の幅が配列方向の幅に対して３倍以上であることを特徴とする。
請求項１０の発明は、請求項１〜９に記載のインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置であることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１〜１１に示す実施例に基づいて説明する。
（第１実施例）
図１は、本発明のインクジェットヘッドで用いる第１実施例の振動板を示す模式的平面図、図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。
図１、図２に示す第１実施例の振動板１は、電鋳めっきで形成される。振動板１の中央部には、図示しない流路板に形成された複数の加圧液室に対応して配置された振動部列の微細パターンを有する。振動部列は、等間隔に形成された複数のダイアフラムからなり、それぞれのダイアフラムが個別の振動部２として機能し、微細パターンの部分が全体として振動部領域となっている。また、隣接する振動部２間、及び振動部領域の外周部分は、図示しない流路板が接合される接合部３であり、厚肉に形成されている。
振動部列の配列方向と交差する両側方には、流路板に形成された共通液室にインクを供給するインク供給口４が形成されている。
また、振動部領域の外周部分の適宜個所に、振動板１と流路板を組み付ける際等に利用されるアライメントマーク５が形成されている。
【０００９】
図１に示す振動板は、図１の表面に図示しない流路板が接合され、複数の振動部２のそれぞれに流路板に形成されたそれぞれの加圧液室が対応するように、厚肉に形成された接合部３で接合される。流路板のさらに表面側には、加圧液室に対応するノズル孔が形成されたノズル板が接合される。
また、振動板の図１の裏面には図示しない圧電素子等からなるアクチュエータが接合される。
【００１０】
図３は、本発明のインクジェットヘッドで用いる振動板の製造方法の実施例を示す製造工程図である。
まず、導電性基板１１を用意し（図３（Ａ））、導電性基板１１のインク供給口４を形成する部分にレジスト１２を形成し（図３（Ｂ））、薄膜電鋳を実施してダイアフラムとなる薄膜１３を形成する（図３（Ｃ））。
その後、非導電性のレジスト１４にて複数のダイアフラムを形成するためのパターニングを行い（図３（Ｄ））、電鋳を実施して接合領域となる厚肉部１５を形成する（図３（Ｅ））。
次に、レジスト１２，１４を除去し（図３（Ｆ））、導電性基板１１を剥離することにより、振動部２、接合部３、インク供給口４が形成された振動板１が形成される（図３（Ｇ））。
【００１１】
このような振動板を電鋳によって形成する場合、レジストで被覆された領域の外周部は電界が集中し、電鋳膜厚が厚くなる傾向がある。このため、ヘッドの集積度が高まり、微細なパターンが集中して形成されるほど、電鋳めっき振動板を均一な膜厚で形成することは困難となる。
図１で示す振動板１において、同じ振動部領域であるＢ部とＣ部を比べても、外周をすべて振動部領域で囲まれたＢ部は膜厚が厚く、三方に振動部領域のないＣ部は膜厚が薄く形成される。この膜厚差は、電鋳メッキ総膜厚３０μｍの振動板の場合、４〜５μｍに達する。また、外周が振動部領域で囲まれておらず、パターンのないＤ部においては、さらに膜厚が薄くなっており、振動板全域での偏肉量は１０μｍ近くになる。
【００１２】
この偏肉量が、振動板−流路板接合、振動板−アクチュエータ接合の際の接合不良、接着剤はみだしの原因となる。
このため、本発明は、振動部領域での電鋳メッキ総膜厚の偏肉量を３μｍ以下、望ましくは２μｍ以下とし、また、振動板全体での電鋳メッキ総膜厚の偏肉量を５μｍ以下に抑えることにより、接合性良好なインクジェットヘッドを得ることが可能となる。
【００１３】
（第２実施例）
図４は、本発明のインクジェットヘッドで用いる第２実施例の振動板を示す模式的平面図である。
電鋳メッキにより作製される振動板に生ずる偏肉の低減には、厚膜部すなわち接合部３の膜厚を低減するか、薄膜部すなわち振動部２の膜厚を厚くするか、もしくは両方を併用する方法が考えられる。
厚膜部の膜厚低減は、図４に示すように微細パターンが形成された部分に、パターンが形成されていないパターン抜き部６を形成することにより膜厚低減化の効果を得る。このパターン抜き部６は、広ければ広いほど効果は大きくなるが、２００〜３００μｍ程度の幅でも０．５μｍ程度の偏肉低減を図ることが可能である。より偏肉を均一するには、パターン中央部ほどパターンの抜き幅を広くするという手段も可能である。
【００１４】
（第３実施例）
ここで問題となるのは、このパターン抜き部６を設けることにより振動部の特性が変化し、ヘッド特性が変化してしまう懸念があることである。
図５は、この点に対する解決手段を示すものであって、本発明のインクジェットヘッドで用いる第３実施例の振動板を示す模式的平面図である。
図５に示す第３実施例の振動板１は、振動部２の列、すなわち振動部列を２列有するものであって、それぞれの列毎のアクチュエータ接合位置７にそれぞれのアクチュエータが接合される。
図５に示すように、パターン抜き部６は、振動部領域の振動部列の列間部（アクチュエータと接合しない部位）に設けることが有効である。これにより振動特性に影響がなく、接合性の良好なインクジェットヘッドが形成される。
【００１５】
（第４実施例）
図６は、薄膜部の膜厚を厚くする手段を示すものであって、本発明のインクジェットヘッドで用いる第４実施例の振動板を示す模式的平面図である。
これには、図６に示すように振動板１の振動部列の列方向の外方部分に溝パターン８形成することが有効である。この溝パターン８は、振動部領域の振動部列と同等のピッチで形成されることが望ましい。
【００１６】
（第５実施例）
図７は、本発明のインクジェットヘッドで用いる第５実施例の振動板を示す模式的平面図である。
第４実施例の振動板１は全面に溝パターンを設けているが、第５実施例の振動板は振動板と流路板の接合のシール性を確保するために、溝パターン８を振動部領域の外周の最も膜厚の薄い領域にのみ設ける。
【００１７】
（第６実施例）
図８は、本発明のインクジェットヘッドで用いる第６実施例の振動板を示す模式的平面図である。
図８に示す第６実施例の振動板１は、振動部領域とインク供給口近傍部の膜厚をそろえる手段として、インク供給口４を個別の振動部２に対応して個々に設ける。個々のインク供給口４は、個別の振動部２の配列と同ピッチで配列することによりインク供給口間の隔壁部の膜厚が厚くなり、振動部領域の膜厚と略等しくなる。
また、この効果に関しては隔壁部の長さが与える影響が大きい。長さが短いと外周部の影響が大きく膜厚の変動は小さいが、この長さが長くなると振動部の形状に近くなり、隔壁中央部の膜厚が高くなる。十分な効果を出すためには、幅方向の３倍程度の長さが必要である。
【００１８】
（第７実施例）
図９は、本発明のインクジェットヘッドで用いる第７実施例の振動板を示す模式的平面図である。
第１〜６実施例の構成を併用し、電鋳めっきの総膜厚が３０μｍとなるように、図９に示すような振動板１を形成したところ、実測値にて、振動部領域で２８．７〜３０．９μｍ、偏肉量２．２μｍ、振動板全域において２７．０〜３０．９μｍ、偏肉量３．９μｍを達成していることが確認できた。
【００１９】
（第８実施例）
次に、第１〜第７実施例のインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の実施例について説明する。
図１０は、本発明の実施例によるインクジェット記録装置の要部を示す斜視図、図１１は、同インクジェット記録装置の機構部の側断面図である。
本実施例のインクジェット記録装置は、記録装置本体２１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ３３、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド３４、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ３５等で構成される印字機構部２２等を収納する。
また、記録装置本体２１の下方部には、前方側から多数枚の用紙２３を積載可能な給紙カセット（或いは、給紙トレイでもよい。）２４を抜き差し自在に装着し、また用紙２３を手差しで給紙するための手差しトレイ２５を開倒することができ、給紙カセット２４或いは手差しトレイ２５から給送される用紙２３を取り込み、印字機構部２２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ２６に排紙する。
【００２０】
印字機構部２２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド３１と従ガイドロッド３２とでキャリッジ３３を主走査方向（図１１で紙面垂直方向）に摺動自在に保持する。キャリッジ３３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドからなる記録ヘッド３４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ３３には記録ヘッド３４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ３５を交換可能に装着している。
インクカートリッジ３５は上方に大気と連通する大気口、下方には記録ヘッド３４へインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により記録ヘッド３４へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
また、記録ヘッド３４として、本実施例では各色の記録ヘッドを用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個の記録ヘッドでもよい。
【００２１】
さらに、記録ヘッド３４として用いるインクジェットヘッドは、圧電素子等の電気機械変換素子で液室壁面を形成する振動板を介してインクを加圧するピエゾ型、あるいは発熱抵抗体により気泡を生じさせてインクを加圧するバブル型、もしくはインク流路壁面を形成する振動板とこれに対向する電極との間で静電力で振動板を変位させてインクを加圧する静電型等を使用することができるが、本実施例ではピエゾ型インクジェットヘッドを用いている。
【００２２】
ここで、キャリッジ３３は、後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド３１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド３２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ３３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ３７で回転駆動される駆動プーリ３８と従動プーリ３９との間にタイミングベルト４０を張装し、このタイミングベルト４０をキャリッジ３３に固定しており、主走査モータ３７の正逆回転によりキャリッジ３３が往復駆動される。
【００２３】
一方、給紙カセット２４にセットした用紙２３を記録ヘッド３４の下方側に搬送するために、給紙カセット２４から用紙２３を分離給装する給紙ローラ４１及びフリクションパッド４２と、用紙２３を案内するガイド部材４３と、給紙された用紙２３を反転させて搬送する搬送ローラ４４と、この搬送ローラ４４の周面に押し付けられる搬送コロ４５及び搬送ローラ４４からの用紙２３の送り出し角度を規定する先端コロ４６とを設けている。搬送ローラ４４は副走査モータ４７によってギヤ列を介して回転駆動される。そして、キャリッジ３３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ４４から送り出された用紙２３を記録ヘッド３４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材４９を設けている。この印写受け部材４９の用紙搬送方向下流側には、用紙２３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ５１、拍車５２を設け、さらに用紙２３を排紙トレイ２６に送り出す排紙ローラ５３及び拍車５４と、排紙経路を形成するガイド部材５５，５６とを配設している。
【００２４】
記録時には、キャリッジ３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド３４を駆動することにより、停止している用紙２３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙２３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙２３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙２３を排紙する。この場合、記録ヘッド３４を構成する本発明に係るインクジェットヘッドはインク滴噴射の制御性が向上し、特性変動が抑制されているので、安定して高い画像品質の画像を記録することができる。
【００２５】
また、キャリッジ３３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド３４の吐出不良を回復するための回復装置５７を配置している。回復装置５７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ３３は印字待機中にはこの回復装置５７側に移動されてキャッピング手段で記録ヘッド３４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中等に記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で記録ヘッド３４の吐出口を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された図示しない廃インク溜に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００２６】
【発明の効果】
請求項１に記載のインクジェットヘッドは、電鋳めっきで形成した振動板の振動部の総膜厚の偏肉量を３μｍ以下に規定することによって、振動板−アクチュエータの接合時に接着材量を低減でき、接着剤はみだしによる接合不良等のない均一な印写特性をもつインクジェットヘッドを得ることができる。
請求項２に記載のインクジェットヘッドは、電鋳めっきで形成した振動板全面の総膜厚の偏肉量を５μｍ以下に規定することによって、流路板−振動板の接合時に接着材量を低減でき、接着剤はみだしによる接合不良等のない均一な印写特性をもつインクジェットヘッドを得ることができる。
請求項３に記載のインクジェットヘッドは、前記振動板に膜厚を均一化するための膜厚補正パターンを形成することによって、振動板の総膜厚の偏肉量を低減でき、請求項１、２に記載の均一な印写特性をもつインクジェットヘッドを得ることができる。
【００２７】
請求項４に記載のインクジェットヘッドは、微細なパターンの集中した部位にパターンを抜いた部位を形成することによって、電鋳時の電界の集中が抑制され、この部位の部分的な厚膜化を防ぐことができ、請求項３に記載の均一な印写特性をもつインクジェットヘッドを得ることができる。
請求項５に記載のインクジェットヘッドは、前記パターン抜き部を振動板の個別振動板列の列間部に設けることによって、パターン抜き部によるヘッドの印写特性への影響を排除し、効率の低下を招くことなく、請求項４に記載の均一な印写特性をもつインクジェットヘッドを得ることができる。
請求項６に記載のインクジェットヘッドは、電鋳めっき薄膜部に複数の溝パターンを形成することによって、溝部の電界を集中させることにより薄膜部のめっき総膜厚を厚くすることができ、請求項３に記載の均一な印写特性をもつインクジェットヘッドを得ることができる。
請求項７に記載のインクジェットヘッドは、前記複数の溝部を個別振動部群の外周の一部もしくは全域に配置することによって、振動部脇での急激な膜厚低下を抑え、接合不良等を防止し、均一な印写特性をもつインクジェットヘッドを歩留まりよく生産することができる。
【００２８】
請求項８に記載のインクジェットヘッドは、電鋳めっきで形成する振動板に形成するインク供給口を個別流路に対応して個々に設けることによって、インク供給口部の膜厚を厚くし、個別振動部の膜厚とほぼ同等とすることができ、請求項１、２に記載の均一な印写特性をもつインクジェットヘッドを得ることができる。
請求項９に記載のインクジェットヘッドは、インク供給口の配列方向と垂直方向の長さを配列ピッチの３倍以上とすることによって、外周部への電界の逃げを抑制でき、前記の厚膜化が効果的に実施できる。
請求項１０に記載のインクジェット記録装置は、請求項１〜９に記載されたインクジェットヘッドを搭載することによって、均一な印写が可能となり、高画質の画像を作像することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェットヘッドで用いる第１実施例の振動板を示す模式的平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】インクジェットヘッドで用いる振動板の製造方法の実施例を示す製造工程図である。
【図４】本発明のインクジェットヘッドで用いる第２実施例の振動板を示す模式的平面図である。
【図５】本発明のインクジェットヘッドで用いる第３実施例の振動板を示す模式的平面図である。
【図６】本発明のインクジェットヘッドで用いる第４実施例の振動板を示す模式的平面図である。
【図７】本発明のインクジェットヘッドで用いる第５実施例の振動板を示す模式的平面図である。
【図８】本発明のインクジェットヘッドで用いる第６実施例の振動板を示す模式的平面図である。
【図９】本発明のインクジェットヘッドで用いる第７実施例の振動板を示す模式的平面図である。
【図１０】本発明の実施例によるインクジェット記録装置の要部を示す斜視図である。
【図１１】図１０に示すインクジェット記録装置の機構部の側断面図である。
【符号の説明】
１…振動板、２…振動部、３…接合部、４…インク供給口、５…アライメントマーク、６…パターン抜き部、７…アクチュエータ接合位置、８…溝パターン、１１…導電性基板、１２…レジスト、１３…薄膜、１４…レジスト、１５…厚肉部、２１…記録装置本体、２２…印字機構部、２３…用紙、２４…給紙カセット、２５…手差しトレイ、２６…排紙トレイ、３１…主ガイドロッド、３２…従ガイドロッド、３３…キャリッジ、３４…記録ヘッド、３５…インクカートリッジ、３７…主走査モータ、３８…駆動プーリ、３９…従動プーリ、４０…タイミングベルト、４１…給紙ローラ、４２…フリクションパッド、４３…ガイド部材、４４…搬送ローラ、４５…搬送コロ、４６…先端コロ、４７…副走査モータ、４９…印写受け部材、５１…搬送コロ、５２，５４…拍車、５３…排紙ローラ、５５，５６…ガイド部材、５７…回復装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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