(57)【要約】【課題】構造の簡素化及び装置の小型化が図れる乾燥空気供給装置を提供することを目的とする。【解決手段】水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する装置であって、吸着剤を担持して構成されると共に直列に連接してそれぞれ回転可能に支持された複数のロータ２ａ，２ｂと、これらロータ２ａ，２ｂの最外端部及びロータ間に配置され、ロータ２ａ，２ｂの回転域を吸着ゾーンＳ、再生ゾーンＵ及び冷却ゾーンＴに仕切する仕切部材３（３Ａ，３Ｂ）と、前記吸引した空気を前記吸着ゾーンＳに通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を前記目的空間に供給する供給経路５と、前記乾燥空気の一部を前記冷却ゾーンＴに通過させた後、加熱して前記再生ゾーンＵに通過させて吸着剤から水分及び有機物を脱離させる排気経路６とを備えている。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する装置であって、吸着剤を担持して構成されると共に直列に連接してそれぞれ回転可能に支持された複数のロータと、これらロータの最外端部及びロータ間に配置され、ロータの回転域を吸着ゾーン、再生ゾーン及び冷却ゾーンに仕切する仕切部材と、前記ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を前記吸着ゾーンに通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を前記目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を前記冷却ゾーンに通過させた後、加熱して前記再生ゾーンに通過させて吸着剤から水分及び有機物を脱離させる排気経路とを備えたことを特徴とする乾燥空気供給装置。
【請求項２】
前記仕切部材は、周方向シール部を有する周方向部材と、径方向シール部を有する径方向部材とからなることを特徴とする請求項１記載の乾燥空気供給装置。
【請求項３】
前記周方向シール部は、ロータの端部外縁部に同心円状に設けられた回転側フィンと、該回転側フィンと交互に非接触で重なるように仕切部材に同心円状に設けられた固定側フィンとからなることを特徴とする請求項２記載の乾燥空気供給装置。
【請求項４】
前記径方向シール部は、前記径方向部材に平行に設けられた複数のフィンを有し、これらフィンの略中央部に空気を通流させる構造としたことを特徴とする請求項２記載の乾燥空気供給装置。
【請求項５】
前記ロータは、それぞれ最適の特性を出す回転数に設定されていることを特徴とする請求項１記載の乾燥空気供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、乾燥空気供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造においては、被処理体例えば半導体ウエハに酸化、拡散、ＣＶＤ等の各種の処理を施す工程があり、これらの工程を実行するために各種の処理装置（例えば熱処理装置等）が使用されている。例えば、縦型の熱処理装置においては、複数例えば２５枚のウエハを収容した運搬容器と、前記ウエハを収容して所定の処理を施す処理容器との間でウエハの搬送を行う搬送空間（ローディングエリアとも言う）を有している。
【０００３】
従来、前記搬送空間におけるウエハの自然酸化膜の成長を抑制するために、搬送空間に不活性ガス例えば窒素ガスを多量（２５０〜４００リットル／分）に供給して、搬送空間の酸素濃度を３０ｐｐｍ以下の雰囲気にしていた。また、前記搬送空間における有機系のガスを除去するために、ケミカルフィルタを設けていた。しかしながら、高価な窒素ガスを多量に消費するためランニングコストが多くかかるだけでなく、窒素ガスによる酸欠の危険性があった。また、ケミカルフィルタにより有機物を除去することは可能であったが、ケミカルフィルタに付着した有機物を除去しケミカルフィルタを再生することは困難であった。
【０００４】
そこで、この問題を解決するために、本出願人は、搬送空間に不活性ガスの代りに乾燥空気を供給することにより被処理体の自然酸化膜の成長を抑制することができ、また酸欠の危険性を回避することができると共にパーティクルの発生を防止することができる乾燥空気供給装置及び処理装置を先に出願した（特願２００２−２７４２１４号、未公開）。
【０００５】
なお、関連する技術として、搬送空間に低露点の乾燥気体を供給する発明（例えば、特開平６−２６７９３３号公報参照）や、低露点の乾燥気体を得る乾式減湿装置の発明（例えば、特開２０００−２９６３０９号公報、特開昭６３−５００４７号公報等参照）がなされている。
【０００６】
【特許文献１】
特開平６−２６７９３３号公報
【特許文献２】
特開２０００−２９６３０９号公報
【特許文献３】
特開昭６３−５００４７号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記低露点の乾燥気体を得る乾式減湿装置や乾燥空気供給装置においては、吸着剤を担持して構成される二つ（二段）のロータ間には配管や冷却手段が配置されているため、構造の繁雑化及び装置の大型化を招いている。また、ロータの端面に仕切部材のシール部材が摺接しているため、パーティクルが発生する恐れがある。
【０００８】
本発明は、前記事情を考慮してなされたもので、構造の簡素化及び装置の小型化が図れる乾燥空気供給装置を提供することを目的とする。また、本発明の他の目的は、ロータの端面に仕切部材のシール部材が摺接することによるパーティクルの発生を抑制することができる乾燥空気供給装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明のうち、請求項１の発明は、水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する装置であって、吸着剤を担持して構成されると共に直列に連接してそれぞれ回転可能に支持された複数のロータと、これらロータの最外端部及びロータ間に配置され、ロータの回転域を吸着ゾーン、再生ゾーン及び冷却ゾーンに仕切する仕切部材と、前記ロータを回転駆動する駆動手段と、前記吸引した空気を前記吸着ゾーンに通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を前記目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を前記冷却ゾーンに通過させた後、加熱して前記再生ゾーンに通過させて吸着剤から水分及び有機物を脱離させる排気経路とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１記載の乾燥空気供給装置において、前記仕切部材は、周方向シール部を有する周方向部材と、径方向シール部を有する径方向部材とからなることを特徴とする。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項２記載の乾燥空気供給装置において、前記周方向シール部は、ロータの端部外縁部に同心円状に設けられた回転側フィンと、該回転側フィンと交互に非接触で重なるように仕切部材に同心円状に設けられた固定側フィンとからなることを特徴とする。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項２記載の乾燥空気供給装置において、前記径方向シール部は、前記径方向部材に平行に設けられた複数のフィンを有し、これらフィンの略中央部に空気を通流させる構造としていることを特徴とする。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１記載の乾燥空気供給装置において、前記ロータは、それぞれ最適の特性を出す回転数に設定されていることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面に基いて詳述する。図１は本発明の第１実施形態を示す乾燥空気供給装置の概略的縦断面図、図２はシール部を説明するための概略的斜視図、図３は図２のＡ−Ａ線拡大断面図、図４は図２のＢ−Ｂ線拡大断面図、図５はロータの一例を示す斜視図、図６はロータを回転自在に支持する支持枠の一例を示す斜視図である。
【００１５】
図１において、１は例えば半導体製造装置の搬送空間等の目的空間に低露点の乾燥空気（ドライエア）を供給するための乾燥空気供給装置であり、この乾燥空気供給装置１は、水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する装置であって、吸着剤を担持して構成されると共に直列に連接してそれぞれ回転可能に支持された複数（本実施例では２つ）のロータ２ａ，２ｂと、これらロータ２ａ，２ｂの最外端部及びロータ間に配置され、ロータの回転域を吸着ゾーンＳ、再生ゾーンＵ及び冷却ゾーンＴに仕切する仕切部材３（３Ａ，３Ｂ）と、前記ロータ２ａ，２ｂを回転駆動する駆動手段であるモータ４Ａ，４Ｂと、前記吸引した空気を前記吸着ゾーンに通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を前記目的空間に供給する供給経路５と、前記乾燥空気の一部を前記冷却ゾーンＴに通過させた後、加熱して前記再生ゾーンＵに通過させて吸着剤から水分及び有機物を脱離させる排気経路６とを備えている。
【００１６】
前記ロータ２ａ，２ｂは、両端が開口された金属製の円筒体７と、この円筒体７内に取付けられ基材に吸着剤が含浸されたハニカム構造体８とから主に構成されている。ロータ２ａ，２ｂは、外周部をローラ等で支えて回転可能に支持さていても良く、或いは図５に示すようにロータの軸心部に設けた回転軸１０を用いて回転可能に支持されていても良い。回転軸１０を用いる場合には、円筒体７内には回転軸１０から放射状に延びて円筒体７内を複数例えば８つの断面扇形の部屋に仕切るスポーク１１が設けられ、各部屋内に断面扇形に成形したハニカム構造体８が取付けられる。ハニカム構造体８はロータ２ａ，２ｂの軸方向に空気を通流させる過程で、空気中に含まれる水分や有機物を吸着剤に吸着させて除去し、乾燥空気を得ることができる。
【００１７】
前段のロータ２ａの吸着剤としては、プレ除湿（出口露点温度−２０℃）として水分を効率良く吸着すると共に有機物をも効率よく吸着するために、例えばフォージャサイトＹ型のゼオライト（Ａ５６Ｓｉ１３６Ｏ３８４）が好ましい。後段のロータ２ｂの吸着剤としては、低露点除湿（出口露点温度−８０℃）として水分を吸着するために、例えばフォージャサイトＸ型のゼオライト（Ａ９６Ｓｉ９６Ｏ３８４）が好ましい。
【００１８】
一方、ハニカム構造体８の基材としては、耐熱性、耐摩耗性等に優れることから、無機繊維紙が好ましい。ハニカム構造体８は、無機繊維紙をハニカム状に成形してなる。前記基材に吸着剤を担持させる方法としては、例えば、吸着剤を含有するスラリーをスプレーや刷毛塗り等により基材に含浸させ、乾燥する方法が用いられる。
【００１９】
ロータ２ａ，２ｂは、回転軸１０を有する場合には、例えば図６に示すような箱状または枠状の支持枠１２に回転可能に支持されている。図示例の場合、支持枠１２の両端部にはロータ２ａ，２ｂの両端部と対応する開口部１３が形成され、この開口部１３に仕切部材３が取付けられ、この仕切部材３の中央部にロータの回転軸１０が軸受１４を介して回転自在に支持されている。仕切部材３は、具体的には、両ロータ２ａ，２ｂの最外端部（図１の左右両端）に配置される最外端仕切部材３Ａと、両ローラ２ａ，２ｂ間に配置される中間仕切部材３Ｂとに大別されるが、これらは略同一構造である。ただ、最外端仕切部材３Ａが片面にシール部を有しているのに対し、中間仕切部材３Ｂは両面にシール部を有している。最外端切部材３Ａ及び中間仕切部材３Ｂは支持枠１２に固定されている。最外端仕切部材３Ａにはその外側を覆うカバー部材１５が設けられ、このカバー部材１５に各ゾーンＳ，Ｕ，Ｔと連通する配管が連結されている。
【００２０】
仕切部材３は、ロータないし円筒体７の端部の周縁部に対応する環状の周方向部材３ａと、その中心例えば軸受から周方向部材３ａにかけて設けられた径方向部材３ｂとからなり、径方向部材３ｂにはハニカム構造体８の端面（ロータの端面）に近接して隣接するゾーンＳ，Ｕ，Ｔ間をシールする径方向シール部１６ｂを有している。周方向部材３ａには、ロータないし円筒体７の端縁に有するフランジ７ａに近接してその内部と外部間をシールする周方向シール部１６ａを有している。本実施例ではシール部としてロータに非接触のラビリンス構造が採用されている。
【００２１】
前記周方向シール部１６ａは、図３に示すようにロータ２ａ，２ｂの端縁部であるフランジ７ａに同心円状に設けられた複数例えば４枚の回転側フィン１７と、該回転側フィン１７と交互に非接触で重なるように周方向仕切部材３ａに同心円状に設けられた複数例えば４枚の固定側フィン１８とからなる。これらのフィン１７，１８は、金属または耐熱性樹脂例えばＰＴＦＥにより形成されている。
【００２２】
前記径方向シール部１６ｂは、図４に示すように前記径方向部材３ｂに平行に設けられた複数例えば４枚のフィン１９と、これらフィン１９の略中央部に空気を通流させる構造、すなわちフィン１９の略中央部に設けられた通流孔（例えばスリット孔）２０とからなっている。径方向シール部１６ｂとしては、ロータ側と非接触状態となるように、径方向仕切部材３ｂ側のみの片側フィン構造とされている。この片側フィン構造だけではシール性能が劣るため、フィン１９の略中央部（径方向シール部１６ｂの幅方向略中央部、或いはフィン１９群の略中央部ともいう）に設けた通流孔２０から空気を通流させることにより、空気がロータに向って流れ、あるいはロータから通流孔２０に向って流れるため、この空気の流れにより各ゾーン間の空気の回り込みを防止し、シール性能を確保している。
【００２３】
前記供給経路５として、前段のロータ２ａのカバー部材１５には熱処理装置の搬送空間内または通常の大気空間内の空気を吸引して吸着ゾーンＳに送り込むファン２１を有する空気取り込み配管５ａが接続され、後段のロータ２ｂのカバー部材１５には各ロータの吸着ゾーンＳを通って有機物及び水分が除去された低露点の乾燥空気を目的空間（例えば熱処理装置の搬送空間）に供給する乾燥空気供給配管５ｂが接続されている。図示例の乾燥空気供給配管５ｂにはパーティクルを除去するためのフィルタ２２が設けられていることが好ましいが、非接触のシール構造でパーティクルの発生が非常に少ない場合にはフィルタ２２が設けられていなくても良い。
【００２４】
一方、前記排気経路６として、乾燥空気供給配管５ｂから分岐された第１配管６ａが前段のロータ２ａのカバー部材１５の冷却ゾーンＴと連通するように接続されている。この第１配管６ａには乾燥空気を所定の温度例えば１５℃程度に冷却するための冷却手段であるクーラー２３が設けられていることが好ましい。後段のロータ２ｂのカバー部材１５には冷却ゾーンＴと再生ゾーンＵとを連通する第２配管６ｂが接続されている。この第２配管６ｂには再生ゾーンＵの吸着剤を再生するために再生用の空気を所定の温度に加熱する加熱手段例えばヒータ２４が設けられている。
【００２５】
通常運転時には、ヒータ２４により再生用の空気を１３０〜２００℃程度の温度に加熱して再生ゾーンＵに供給することにより吸着剤に吸着している水分やガス状不純物（有機物）を脱離させ、高沸点有機化合物を吸着剤から脱離させる場合には、再生用の空気をヒータ２４により２５０〜４００℃程度の高温に加熱して再生ゾーンＵに定期的に供給するようにすることが好ましい。前段のロータ２ａのカバー部材１５には再生ゾーンＵから再生用の空気を排気するためのファン２５を有する第３配管６ｃが接続されている。
【００２６】
前記ロータ２ａ，２ｂを回転するために、本実施例では２つのモータ４Ａ，４Ｂが用いられている。モータ４Ａ，４Ｂの回転軸にはそれぞれベルト車（プーリとも言う）２６ａ，２６ｂが取付けられ、各ベルト車２６ａ，２６ｂと各ロータ２ａ，２ｂとの間に無端ベルト２７ａ，２７ｂが巻き掛けられている。そして、二つのベルト車２６ａ，２６ｂの径を異ならせたり、或いはモータ４Ａ，４Ｂの回転を制御することにより二つのロータ２ａ，２ｂは、それぞれ最適の特性を出す回転数に設定ないし制御されている。なお、ロータ２ａ，２ｂの駆動手段としては、共通の１つのモータであってもよい。
【００２７】
この場合、前段のロータ２ａ側のベルト車２６ａの径を後段のロータ２ｂ側のベルト車２６ｂの径よりも大きくすることにより前段のロータ２ａが、後段のロータ２ｂよりも速い回転数で回転するように設定されている。前段のロータ２ａ，２ｂには水分の高いまた有機物の含まれた空気が導入されるため、より多くの水分及び有機物を効率よく吸着させ、且つその吸着した水分及び有機物を吸着剤から脱離させて吸着剤を効率よく再生するために、ロータの吸着ゾーンＳと再生ゾーンＵと冷却ゾーンＴの面積比（図示例では２：１：１）にもよるが、実施例の場合、例えば、前段のロータ２ａの回転数は１０ｒ．ｐ．ｈとされている。後段のロータ２ｂには水分及び有機物の除去された空気が導入されるため、より低露点の乾燥空気を得るために、後段のロータ２ｂの回転数は０．５ｒ．ｐ．ｈに設定されている。また、同様の理由により、前段のロータ２ａの長さ（例えば２００ｍｍ）は、後段のロータ２ｂの長さ（例えば４００ｍｍ）よりも短いことが好ましい。
【００２８】
以上の構成からなる乾燥空気供給装置１によれば、吸着剤を担持して構成されると共に直列に連接してそれぞれ回転可能に支持された複数のロータ２ａ，２ｂと、これらロータ２ａ，２ｂの最外端部及びロータ間に配置され、ロータ２ａ，２ｂの回転域を吸着ゾーンＳ、再生ゾーンＵ及び冷却ゾーンＴに仕切する仕切部材３と、前記吸引した空気を前記吸着ゾーンＳに通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を前記目的空間に供給する供給経路５と、前記乾燥空気の一部を前記冷却ゾーンＴに通過させた後、加熱して前記再生ゾーンＵに通過させて吸着剤から水分及び有機物を脱離させる排気経路６とを備えており、前後のロータ２ａ，２ｂを仕切部材３を介して連結（接続）した一体化構造が採用されているため、従来使用されていた前後のロータ２ａ，２ｂを連結する配管及びクーラをなくすことができ、構造の簡素化及び装置のコンパクト化が図れる。前記仕切部材３は、周方向シール部１６ａを有する周方向部材３ａと、径方向シール部１６ｂを有する径方向部材３ｂとからなるため、ロータ２ａ，２ｂの端面を各ゾーンＳ，Ｕ，Ｔに確実に区画することができると共に隣接するゾーンへの空気の混入や漏れを防止することができる。
【００２９】
隣接するゾーンからの空気の流入は、上記仕切部材３の構造によって防止することができると共に、各ゾーンを通過する空気の圧力差によっても防止することができる構造になっている。本発明では吸着ゾーンＳの空気の圧力を高めておき、冷却ゾーンＴ及び再生ゾーンＵの順に通過する空気の圧力が低くなるようにされている。具体的に説明すると、吸着ゾーンＳに空気を送り込むファンを吸着ゾーンＳの上流前に配置し、また再生ゾーンＵに空気を送り込むファンを再生ゾーンＵの下流側に配置して、吸着ゾーンＳ、冷却ゾーンＴ、再生ゾーンＵの順に通過する空気の圧力が低くなるように構成されている。
【００３０】
前記周方向シール部１６ａは、ロータ２ａ，２ｂの端部外縁部に同心円状に設けられた回転側フィン１７と、該回転側フィン１７と交互に非接触で重なるように仕切部材３に同心円状に設けられた固定側フィン１８とからなるため、いわゆる非接触型のラビリンス構造によりパーティクルの発生を抑制ないし防止することができる。前記径方向シール部１６ｂは、前記径方向部材３ｂに平行に設けられた複数のフィン１９を有し、、これらフィン１９の略中央部に空気を通流させる構造（例えば通流孔２０）としているため、片側フィン構造だけのシール性能を補完することができ、各ゾーンＳ，Ｕ，Ｔからの空気の回り込みを防止することができる。前記ロータ２ａ，２ｂは、それぞれ最適の特性を出す回転数に設定されているため、清浄な低露点の乾燥空気を効率良く得ることができる。
【００３１】
図７は本発明の第２実施形態を示す乾燥空気供給装置の概略的分解斜視図である。この第２実施形態を示す図７において、前記第１実施形態と同一ないし均等の部分は同一参照符号を付して説明を省略する。前段及び後段のロータ２ａ，２ｂ間には両面にシール部を有する仕切部材３（中間仕切部材３Ｂ）が配置され、両ロータ２ａ，２ｂの最外端部には仕切部材３（外端部仕切部材３Ａ）を有するカバー部材１５が配置されている。
【００３２】
他の実施形態では、シール部として接触型のシール部材が用いられていてもよい。この接触型のシール部材としては、例えば母材が発泡フッ素ゴムからなり、その摺接面を耐熱、耐摩耗、低摩擦係数の樹脂（ＰＴＦＥ）シートで被覆してなるものが用いられる。本実施形態の乾燥空気供給装置においても、前記実施形態と同様に、前後のロータ２ａ，２ｂを仕切部材３を介して連結（接続）した一体化構造が採用されているため、前後のロータ２ａ，２ｂを連結する配管及びクーラをなくすことができ、構造の簡素化及び装置のコンパクト化が図れる。本実施形態では、接触型のシール部材が採用されており、パーティクルの発生が予想されるため、乾燥空気供給配管にフィルタを設けることが好ましい。
【００３３】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。
【００３４】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００３５】
（１）請求項１の発明によれば、水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する装置であって、吸着剤を担持して構成されると共に直列に連接してそれぞれ回転可能に支持された複数のロータと、これらロータの最外端部及びロータ間に配置され、ロータの回転域を吸着ゾーン、再生ゾーン及び冷却ゾーンに仕切する仕切部材と、前記吸引した空気を前記吸着ゾーンに通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を前記目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を前記冷却ゾーンに通過させた後、加熱して前記再生ゾーンに通過させて吸着剤から水分及び有機物を脱離させる排気経路とを備えているため、前後のロータを連結する配管及びクーラをなくすことができ、構造の簡素化及び装置の小型化が図れる。
【００３６】
（２）請求項２の発明によれば、前記仕切部材は、周方向シール部を有する周方向部材と、径方向シール部を有する径方向部材とからなるため、ロータの端面を各ゾーンに確実に区画することができると共に隣接するゾーンへの空気の混入や漏れを防止することができる。
【００３７】
（３）請求項３の発明によれば、前記周方向シール部は、ロータの端部外縁部に同心円状に設けられた回転側フィンと、該回転側フィンと交互に非接触で重なるように仕切部材に同心円状に設けられた固定側フィンとからなるため、いわゆる非接触型のラビリンス構造によりパーティクルの発生を抑制ないし防止することができる。
【００３８】
（４）請求項４の発明によれば、前記径方向シール部は、前記径方向部材に平行に設けられた複数のフィンを有し、これらフィンの略中央部に空気を通流させる構造とされているため、片側フィン構造だけのシール性能を補完することができ、各ゾーンからの空気の回り込みを防止することができる。
【００３９】
（５）請求項５の発明によれば、前記ロータは、それぞれ最適の特性を出す回転数に設定されているため、清浄な低露点の乾燥空気を効率良く得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を示す乾燥空気供給装置の概略的縦断面図である。
【図２】シール部を説明するための概略的斜視図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線拡大断面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ線拡大断面図である。
【図５】ロータの一例を示す斜視図である。
【図６】ロータを回転自在に支持する支持枠の一例を示す斜視図である。
【図７】本発明の第２実施形態を示す乾燥空気供給装置の概略的分解斜視図である。
【符号の説明】
１  乾燥空気供給装置
２ａ，２ｂ  ロータ
３（３Ａ，３Ｂ）  仕切部材
４Ａ，４Ｂ  モータ（駆動手段）
Ｓ  吸着ゾーン
Ｕ  再生ゾーン
Ｔ  冷却ゾーン
５  供給経路
６  排気経路
１７  回転側フィン
１８  固定側フィン
１９  フィン
２０  通流孔
【図１】
2004321964.tif 000003
【図２】
2004321964.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004321964.tif 000006
【図５】
2004321964.tif 000007
【図６】
2004321964.tif 000008
【図７】
2004321964.tif 000009