(57)【要約】【課題】本発明は、時間をかけることなく表面実装型光アイソレータを検査用カメラの画郭内に正確に安定して置くことを可能とする検査支持台と、この検査支持台を用いた安価な検査装置と、この検査装置を用いる検査方法の提供を目的とする。【解決手段】照明と内部に空洞を有するホルダーと透明板とから構成され、照明がホルダーの下部に設けられており、透明板がホルダーの上部に設けられており、透明板の所望箇所にワークの大きさより小さな一つの開口部が設けられ、ホルダーの側面に吸引口が設けられており、透明板の開口部上にワークを搭載し、ホルダー側面の吸引口より真空吸引したときにホルダー内の空洞が減圧状態となるように構成されているものであり、透明板のワーク搭載面表面が荒らされている試料支持台を用いて表面実装型光アイソレータ検査装置を構成する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像処理によってワークを検査する検査装置に用いられる試料支持台であり、照明と内部に空洞を有するホルダーと透明板とから構成され、照明がホルダーの下部に設けられており、透明板がホルダーの上部に設けられており、透明板の所望箇所にワークの大きさより小さな一つの開口部が設けられ、ホルダーの側面に吸引口が設けられており、透明板の開口部上にワークを搭載し、ホルダー側面の吸引口より真空吸引したときにホルダー内の空洞が減圧状態となるように構成されているものであり、透明板のワーク搭載面表面が荒らされていることを特徴とする試料支持台。
【請求項２】
請求項１記載の照明がフラット照明であり、ホルダー底内部に設けられたものである試料支持台。
【請求項３】
ホルダーが金属製のものである請求項１又は２記載の試料支持台。
【請求項４】
記透明板がアクリル板、ガラス板、石英ガラス板のいずれか一つである請求項１〜３記載のいずれかの試料支持台。
【請求項５】
請求項１〜４記載のいずれかの試料支持台を用いる表面実装型光アイソレータ検査装置であり、未検査のワークを前記試料支持台上に搭載し、検査済みのワークを所定位置に搬出するためのワーク搬送機構と、請求項１〜４記載のいずれかの試料支持台と、試料支持台上のワークの画像を取り込み、画像処理によりワークの良否を判定する画像処理機構とから主として構成されることを特徴とする表面実装型光アイソレータ検査装置。
【請求項６】
請求項５に係る検査装置の使用方法であり、以下の順序操作するものである。
１）未検査のワークをワーク搬入機構で保持し、試料支持台の透明板の開口部直上に搬        送する。
２）吸引口より前記開口部を介して大気を吸引する。
３）ワーク搬送機構よりワークを開放して前記開口部上に設置し、吸着させる。
４）ワーク上方よりワークの画像を取り込み、画像処理により良否の判定を行う。
５）検査終了のワークをワーク搬送機構により保持し、ワークを持ち上げる。
６）吸引口よりの大気吸引を停止する。
７）検査結果に基づきワークを所定のワーク保管場所に搬送する。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本考案は表面実装型光アイソレータの検査装置、具体的には検査装置に用いる試料支持台に関し、かつこの試料支持台を用いた検査装置の使用方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
表面実装型光アイソレータは、例えば、それぞれ１〜２ｍｍ角の２枚の偏光子と磁気光学素子と磁気光学素子に飽和磁界を与えるための磁石とを２〜４ｍｍ角程度の金属やセラミックの平板状、又は凹状のホルダー上に搭載して形成される。これらの表面実装型光アイソレータはレーザー発信器への戻り光を防止する目的で用いられるため、これら搭載された偏光子や磁気光学素子や磁石の位置関係が極めて重要視される。
【０００３】
この位置関係を精度良く測定検査する方法として画像処理が用いられる。前記したように表面実装型光アイソレータのホルダーの形状や材質は様々で、平板状のものもあれば凹字形の物もあるが、こうした偏光子、磁気光学素子、磁石等を搭載したホルダー（以下、本明細書ではこれを単に「ワーク」と示す。）の認識を行うには透過照明を使用して認識する方法がとられる。この方法は、具体的には透過照明上に透明なガラス板やアクリル板等の透明な板を設け、チャッキング等を利用したワーク搬送装置によりワークを侠持し、該透明な板の上の所定位置直上に搬送し、ワークを開放して落下して透明な板の上に載せ、ＣＣＤカメラを移動させてワークが検査範囲内になるようにし、あるいは透過照明と透明な板とが設けられた検査ステージを移動させてワークをＣＣＤカメラの検査範囲内に移動させ、検査を行うものである。
【０００４】
こうした方法では所定位置直上でワークを開放して透明な板の上に落下させるため、ワークが回転したり、移動したりしてＣＣＤカメラの移動や検査ステージの移動による位置調整が不可欠となっている。こうした問題点を解消する物として、予め透明な板の所定箇所にワークを搭載するためのガイド用の彫り込みや凸状のガイドを設け、ワークをこれらの彫り込み内に入れたり、凸状のガイドに突き当てたりしてワークを正確に検査位置に搭載し、位置調整の手間を軽減しようとする方法がある。更にワークを置いた後、機械的に位置決めを行う方法もある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、彫り込みや凸状のガイドを用いても、ワークを搭載するに際しては、ワークを保持する部位で透明な板を傷つけないようにするには、ワークを所定位置の直上で開放して落下させて搭載せざるを得ない。この落下距離が微小距離であっても透明の板の表面でワークが滑る。また、侠持具としてチャックを用いている場合には、チャックの開時にワークが引っ張られるなどして、正確に検査画郭内に収まらないものが多発する。
【０００６】
そのため、検査用カメラ又は透過照明上のステージをＸ，Ｙ，θ方向に移動させる機構が検査装置の必須の構成とされ、検査後のワークを取り出す際にも、ワークが置かれた位置がランダムであるため、ワーク取り出し側のハンドリング機構もランダムに置かれたワークを取り出す機能が必要とされ、検査装置が非常に複雑で高価なものとなる。
【０００７】
本発明は、こうした問題点を解消するためになされたものであり、時間をかけることなく表面実装型光アイソレータを検査用カメラの画郭内に正確に安定して置くことを可能とする検査支持台と、この検査支持台を用いた安価な検査装置と、この検査装置を用いる検査方法の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の請求項に係る発明は、画像処理によってワークを検査する検査装置に用いられる試料支持台であり、照明と内部に空洞を有するホルダーと透明板とから構成され、照明がホルダーの下部に設けられており、透明板がホルダーの上部に設けられており、透明板の所望箇所にワークの大きさより小さな一つの開口部が設けられ、ホルダーの側面に吸引口が設けられており、透明板の開口部上にワークを搭載し、ホルダー側面の吸引口より真空吸引したときにホルダー内の空洞が減圧状態となるように構成されているものであり、透明板のワーク搭載面表面が荒らされているものである。
【０００９】
そして、第２の請求項に係る発明は、前記照明がフラット照明であり、ホルダー底内部に設けられたものである。
【００１０】
そして、第３の請求項に係る発明は、前記ホルダーが金属製のものである。
【００１１】
そして、第４の請求項に係る発明は、前記透明板がアクリル板、ガラス板、石英ガラス板のいずれか一つであるものである。
【００１２】
そして、第５の請求項に係る発明は、第１〜第４の請求項のいずれかに係る試料支持台を用いる表面実装型光アイソレータ検査装置であり、未検査のワークを前記試料支持台上に搭載し、検査済みのワークを所定位置に搬出するためのワーク搬送機構と、第１〜第４の請求項のいずれかに係る試料支持台と、試料支持台上のワークの画像を取り込み、画像処理によりワークの良否を判定する画像処理機構とから主として構成されるものである。
【００１３】
そして、第６の請求項に係る発明は、請求項５に係る検査装置の操作方法であり、以下の順序操作するものである。
【００１４】
１）検査のワークをワーク搬入機構で保持し、試料支持台の透明板の開口部直上に搬送      する。
２）吸引口より前記開口部を介して大気を吸引する。
３）ワーク搬送機構よりワークを開放して前記開口部上に設置し、吸着させる。
４）ワーク上方よりワークの画像を取り込み、画像処理により良否の判定を行う。
５）検査終了のワークをワーク搬送機構により保持し、ワークを持ち上げる。
６）吸引口よりの大気吸引を停止する。
７）検査結果に基づきワークを所定のワーク保管場所に搬送する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の請求項に係る発明において、試料支持台を照明と内部に空洞を有するホルダーと透明板とから構成し、照明がホルダーの下部に設けられており、透明板がホルダーの上部に設けられており、透明板の所望箇所にワークの大きさより小さな一つの開口部が設けられ、ホルダーの側面に吸引口が設けられており、透明板の開口部上にワークを搭載し、ホルダー側面の吸引口より真空吸引したときに金属製ホルダー内の空洞が減圧状態となるように構成するのは、ワークを試料支持台上に設置する際に、ワークを吸引吸着できるようにするものである。そして、透明板のワーク搭載面表面を荒らすのは、吸着時にワークが横滑りしたりすることを防止するためである。
【００１６】
なお、本発明に用いる照明としてはフラット照明を用いると構成に有利であり、好ましい。また、ホルダーの材質としてはワークを吸着する際の圧力に耐えることができ、照明の発熱に耐えうるものであれば限定されないが、簡便にするには金属製とすることが好ましい。
【００１７】
また、用いる透明板の材質としても、前途同程度の耐圧性、耐熱性が確保でき、表面を簡単に荒らすことが可能であれば何でも使用可能であるが、簡便さよりアクリル板、ガラス板、石英ガラス板等が好ましい。
【００１８】
本発明の表面実装型光アイソレータ検査装置は前記本発明の試料台を用いることに特徴があり、ワークの搬送機構、画像処理機構は一般的なものを用いることができる。とはいえ、吸引状態の透明板に設けられた開口部上にワークを設置するためには、ワークの搬送機構はチャッキング機構を用いたものとすることが好ましい。
【００１９】
本発明の検査装置の操作方法を以下の順序とするものが、重要なのは、開口部を負圧状態としつつワークをワークの搬入機構より該開口部上面に設置すること、そして、吸引状態でワークの払い出し機構により保持することである。こうすることで、透明板を傷つけることなく、確実に所定位置にワークを保持することができる。
【００２０】
１）検査のワークをワーク搬入機構で保持し、試料支持台の透明板の開口部直上に搬送      する。
２）吸引口より前記開口部を介して大気を吸引する。
３）ワーク搬送機構よりワークを開放して前記開口部上に設置し、吸着させる。
４）ワーク上方よりワークの画像を取り込み、画像処理により良否の判定を行う。
５）検査終了のワークをワーク搬送機構により保持し、ワークを持ち上げる。
６）吸引口よりの大気吸引を停止する。
７）検査結果に基づきワークを所定のワーク保管場所に搬送する。
【００２１】
以下、図を用いて更に本発明を説明する。図１は本発明の試料支持台の断面概要図である。１は照明であり、２は内部に空洞３を有するホルダーであり、４は透明板である。１の照明はホルダー２の下部に密接して挿入されており、透明板４がホルダー２の上部にはめ込まれるように設けられており、透明板４の中央部にワークの大きさより小さな一つの開口部５が設けられている。そして、照明１とホルダー２と透明板４とで一つの閉空間６が得られるように構成されている。そして、ホルダー２の側面に、側面から閉空間６に貫通する吸引口７が設けられている。そして、吸引口７にはエアチューブ８が設けられている。なお、透明板の開口部５近辺の表面は荒らされている。
【００２２】
開口部５の形状はワーク形状に応じて変えることができる。例えば細長いワーク形状であれば、楕円、あるいは長方形等である。いずれにしろ、穴はワークにより完全に覆われるようにすることが好ましい。また、開口部にワークの位置を固定するための座繰りを設けることも、設置時のワークの横滑り防止するのに有効である。
【００２３】
図２は本発明の表面実装型光アイソレータ検査装置例の主要部を示したものである。この検査装置では、金属製のホルダー１１と、フラット照明１２とガラス板１３とを用いて試料支持台１４を構成している。
【００２４】
本例の装置の使用に際しては、ワーク搬送機構１５でワーク１６をチャッキング方法で侠持し、検査待ちのワークが保管されているトレー（図示せず）より試料支持台１４の開口部（吸着孔）１７の上に搬送する。ワーク１６が該開口部１７の直上にきたとき、吸引口１８と真空ポンプ（図示せず）とを繋ぐエアホース（図示せず）の中間に設けられた電磁弁（図示せず）を閉として、前記開口部１７上部を負圧とする。その後、チャックを解放し、ワーク１６を開口部１７に落下、吸着させる。
【００２５】
ワークの上方に設けられたカメラ１９によりワークの透過映像を取り込み、画像処理装置（図示せず）にてその良否を判定する。
【００２６】
その後、ワーク搬送機構１５のチャックでワーク１６を侠持する。次いで、前記電磁弁を開とし、試料支持台の密閉された空間２０内の真空を破壊する。次いでワーク１６を持ち上げ、図示しない良品トレー、あるいは不良品トレーに搬送する。
【００２７】
ちなみに、本例の検査装置を用いて検査した場合、良品と判定されるものを凸状のガイドを有する従来の検査装置で検査すると３０〜４０％の割合で不合格となることがわかった。
【００２８】
【発明の効果】
本発明では、負圧状態の開口部にワークを落下固定するため、確実にワークを所定位置に保持できる。このため、表面実装型光アイソレータの検査装置において非常に安価な部品で精度よく安定して検査位置にワーク（光アイソレータ）を置くことができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の試料支持台の断面概要図である。
【図２】本発明の表面実装型光アイソレータ検査装置例の主要部を示したものである。
【符号の説明】
１――――照明
２――――ホルダー
３――――空洞
４――――透明板
５――――開口部
６――――閉空間
７――――吸引口
８――――エアチューブ
１１―――金属製ホルダー
１２―――フラット照明
１３―――ガラス板
１４―――試料支持台
１５―――ワーク搬送機構
１６―――ワーク
１７―――開口部
１８―――吸引口
１９―――カメラ
２０―――密閉された空間
２１―――照明
【図１】
2004340698.tif 000003
【図２】
2004340698.tif 000004