(57)【要約】【課題】マスクプレートを用いて簡便に効率よく検査用データを作成することができる印刷検査用データ作成方法を提供することを目的とする。【解決手段】マスクプレートを撮像して得られる画像からマスク開口データを取得し検査用データを作成する印刷検査用データ作成方法において、格子状配列の視野位置に撮像視野２０ａを順次移動させて複数の画像を取得する際に、開口部の一部がはみ出した不完全開口部１６ｂ（Ｘ）、（Ｙ）が検出されたならば、これらのサイズＢＹ１，ＢＹ２に基づいて当該画像においてデータ化対象から除外する範囲ＢＸ２，ＢＹ２を決定し、隣接視野位置に撮像視野を移動させる際には、ＢＸ２，ＢＹ２だけ撮像視野を重ね合わせて、隣接撮像視野にこれらの開口部を含める。これにより、画像において開口部がはみ出す不都合を解消して、簡便に効率よく検査用データを作成することができる。【選択図】　図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン印刷後の基板のクリーム半田の印刷状態を検査する印刷検査装置に用いられ、印刷面においてクリーム半田が印刷される半田印刷部の形状および位置を示す形状・位置データを含む検査用データを作成する印刷検査用データ作成方法であって、前記スクリーン印刷に使用されるマスクプレートをカメラによって撮像して得られる画像に基づいてマスクプレートの開口部を検出することにより、前記基板の回路形成面に設けられた電子部品接合用の電極に印刷される要素半田印刷部の形状および位置を示す要素形状・位置データを取得するマスクデータ取得工程において、前記マスクプレートに設定された複数の視野位置に前記カメラの撮像視野を所定の移動順序に従って順次移動させて複数の前記画像を得るに際し、一の撮像視野で得られた画像においてこの画像から前記開口部の一部が部分的にはみ出して形状が完結しない不完全開口部が検出されたならば、当該画像における前記不完全開口部のサイズに基づいて決定される重ね合わせ代だけ、前記不完全開口部が検出された画像端における隣接撮像視野を前記一の撮像視野に重ね合わせることを特徴とする印刷検査用データ作成方法。
【請求項２】
前記複数の視野位置は略格子状配列で設定されており、前記所定の移動順序は、前記格子状配列における第１方向の始端側から終端側に至る同一方向への直線的な列移動を、第１方向と直交する第２方向について反復する形態の移動順序であることを特徴とする請求項１記載の印刷検査用データ作成方法。
【請求項３】
前記重ね合わせ代のうち相隣する２つの撮像視野を前記第２方向に重ね合わせる第２方向重ね合わせ代は、一の列移動において検出された不完全開口部の第２方向のサイズのうちの最大のサイズに基づいて設定され、前記一の列移動の次の列移動においては、同一の第２方向重ね合わせ代を用いることを特徴とする請求項２記載の印刷検査用データ作成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に印刷されたクリーム半田の印刷状態を検査する印刷検査装置に用いられる印刷検査用データ作成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の実装においては、基板への電子部品の搭載に先立って基板の表面にクリーム半田が塗布される。クリーム半田塗布の方法としてはスクリーン印刷による方法が広く用いられており、印刷工程の後にはクリーム半田の印刷状態を検査する印刷検査が行われる。この印刷検査は、スクリーン印刷後の基板をカメラにより撮像し、撮像結果を画像処理することにより印刷部位に正しくクリーム半田が印刷されているか否かを判定するものである。そして印刷検査に先立って、検査対象基板のクリーム半田が印刷されるべき印刷部位を指示する検査用データが印刷検査装置に入力される。
【０００３】
従来この検査用データは種々の方法によって作成されており、例えば印刷に用いられるマスクプレートのパターン孔の形状を示すマスクデータを用いる方法や、基板の実装データから電極位置を求める方法、また印刷に用いられる実物のマスクプレートからこれらのデータを取得する方法など、各種の方法がある。これらの方法のうち、マスクプレートを用いる方法は、パターン孔の開口位置や形状を画像認識などの手法によって検出するものであり、マスクデータや実装データが与えられていない場合であっても、生産現場において検査用データを作成できるという利点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記マスクプレートを用いる方法では、以下のような問題点がある。マスクプレートの開口部を画像認識によって検出する場合、撮像に用いられるカメラの撮像視野は一般にマスクプレートのサイズと比較して小さいため、画像認識に際しては、撮像視野をマスクプレート上で移動させながら複数回撮像する必要がある。そして、複数の画像によって得られた認識結果を統合することにより、当該マスクプレートにおける各開口部の位置や形状が検出される。
【０００５】
ところが、このとき、各開口部が必ずしも撮像視野のいずれかに完全な形で包含されるとは限らず、一つの撮像視野において開口部が部分的に撮像視野からはみ出す場合が発生する。このような場合には、従来は開口部の位置や形状を正しく求めることが困難で、マスクプレートを用いた簡便で効率的な検査データ作成が阻害されていた。
【０００６】
そこで本発明は、マスクプレートを用いて簡便に効率よく検査用データを作成することができる印刷検査用データ作成方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の印刷検査用データ作成方法は、スクリーン印刷後の基板のクリーム半田の印刷状態を検査する印刷検査装置に用いられ、印刷面においてクリーム半田が印刷される半田印刷部の形状および位置を示す形状・位置データを含む検査用データを作成する印刷検査用データ作成方法であって、前記スクリーン印刷に使用されるマスクプレートをカメラによって撮像して得られる画像に基づいてマスクプレートの開口部を検出することにより、前記基板の回路形成面に設けられた電子部品接合用の電極に印刷される要素半田印刷部の形状および位置を示す要素形状・位置データを取得するマスクデータ取得工程において、前記マスクプレートに設定された複数の視野位置に前記カメラの撮像視野を所定の移動順序に従って順次移動させて複数の前記画像を得るに際し、一の撮像視野で得られた画像においてこの画像から前記開口部の一部が部分的にはみ出して形状が完結しない不完全開口部が検出されたならば、当該画像における前記不完全開口部のサイズに基づいて決定される重ね合わせ代だけ、前記不完全開口部が検出された画像端における隣接撮像視野を前記一の撮像視野に重ね合わせる。
【０００８】
請求項２記載の印刷検査用データ作成方法は、請求項１記載の印刷検査用データ作成方法であって、前記複数の視野位置は略格子状配列で設定されており、前記所定の移動順序は、前記格子状配列における第１方向の始端側から終端側に至る同一方向への直線的な列移動を、第１方向と直交する第２方向について反復する形態の移動順序である。
【０００９】
請求項３記載の印刷検査用データ作成方法は、請求項２記載の印刷検査用データ作成方法であって、前記重ね合わせ代のうち相隣する２つの撮像視野を前記第２方向に重ね合わせる第２方向重ね合わせ代は、一の列移動において検出された不完全開口部の第２方向のサイズのうちの最大のサイズに基づいて設定され、前記一の列移動の次の列移動においては、同一の第２方向重ね合わせ代を用いる。
【００１０】
本発明によれば、マスクプレートを撮像して開口部の位置や形状を取得するマスクデータ取得工程において、マスクプレートに設定された複数の視野位置にカメラの撮像視野を所定の移動順序に従って順位移動させるに際し、一の撮像視野で得られた画像において画像から部分的にはみ出した不完全開口部が検出されたならば、当該画像における不完全開口部のサイズに基づいて決定される重ね合わせ代だけ隣接撮像視野を重ね合わせることにより、取得された画像において開口部がはみ出すことによる不都合を解消して、簡便に効率よく検査用データを作成することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図、図２は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図、図３は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図、図４は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置による基板印刷面の平面図、図５は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図、図６は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のプログラム記憶部およびデータ記憶部の記憶内容を示す図、図７は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の要素半田印刷部の要素形状・位置データの説明図、図８は本発明の一実施の形態の印刷検査用データ作成方法におけるマスク開口データ作成のためのマスクプレート撮像処理のフロー図、図９は本発明の一実施の形態の印刷検査用データ作成方法におけるマスクプレート撮像処理時の視野位置を示す図、図１０、図１１，図１２は本発明の一実施の形態の印刷検査用データ作成方法におけるマスクプレート撮像処理の説明図である。
【００１２】
まず図１、図２および図３を参照してスクリーン印刷装置の構造を説明する。
このスクリーン印刷装置は、電子部品が実装される基板にクリーム半田を印刷する印刷機構のみならず、後述するように、スクリーン印刷後の基板のクリーム半田の印刷状態を検査する印刷検査装置としての機能、およびこの印刷検査において、クリーム半田が印刷される半田印刷部の形状および位置を示す形状・位置データを含む検査用データを作成する印刷検査用データ作成装置としての機能をも併せ持った構成となっている。
【００１３】
図１、図２において、基板位置決め部１は、Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３よりなる移動テーブル上にθ軸テーブル４を段積みし、さらにその上にＺ軸テーブル５を配設して構成されており、Ｚ軸テーブル５上にはクランパ８によって挟み込まれた基板６を下方から保持する基板保持部７が設けられている。印刷対象の基板６は、図１，図３に示す搬入コンベア１４によって基板位置決め部１に搬入される。基板位置決め部１を駆動することにより、基板６はＸＹ方向に移動し、後述する印刷位置、基板認識位置に位置決めされる。印刷後の基板６は、搬出コンベア１５によって搬出される。
【００１４】
基板位置決め部１の上方には、スクリーンマスク１０が配設されており、スクリーンマスク１０はホルダ１１にマスクプレート１２を装着して構成されている。基板６は基板位置決め部１によってマスクプレート１２に対して位置合わせされ下方から当接する。基板６の回路形成面の半田印刷範囲６ａ内には、図４（ａ）に示すように種類の異なる電子部品Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４を接合するための電極６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅが設けられている。
【００１５】
スクリーンマスク１０上には、スキージヘッド１３が水平方向に往復動自在に配設されている。基板６がマスクプレート１２の下面に当接した状態で、マスクプレート１２上にクリーム半田９を供給し、スキージヘッド１３のスキージ１３ａをマスクプレート１２の表面に当接させて摺動させることにより、基板６の印刷面にはマスクプレート１２に設けられたパターン孔１６を介してクリーム半田９が印刷される。これにより、図４（ｂ）に示すように、電極６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ上にはそれぞれ要素半田印刷部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４が形成される。
【００１６】
スクリーンマスク１０の上方には、撮像手段であるカメラ２０が設けられている。図３に示すように、カメラ２０はＸ軸テーブル２１およびＹ軸テーブル２２によってＸＹ方向に水平移動する。Ｘ軸テーブル２１およびＹ軸テーブル２２は、カメラ２０を移動させるカメラ移動手段となっている。カメラ２０をカメラ移動手段によってマスクプレート１２に対して移動させることにより、カメラ２０はマスクプレート１２の任意の位置を撮像する。
【００１７】
基板位置決め部１は、図２に示すようにＹ軸テーブル３によってスクリーンマスク１０の下方からＹ方向に移動して保持した基板６を基板認識位置まで移動させることができるようになっており、この状態でカメラ２０を基板位置決め部１上の基板６に移動させることにより、カメラ２０によって基板６の任意の位置を撮像することができる。
【００１８】
次に、図５を参照してスクリーン印刷装置の制御系の構成について説明する。
図５において、演算部２５はＣＰＵであり、プログラム記憶部２６に記憶された各種プログラムを実行することにより、後述する各種演算・処理を行う。これらの演算・処理においては、データ記憶部２７に記憶された各種のデータが用いられる。
【００１９】
操作・入力部２８は、キーボードやマウスなどの入力手段であり、各種の制御コマンドやデータの入力を行う。通信部２９はスクリーン印刷装置とともに電子部品実装ラインを構成する他装置との間でデータの授受を行う。画像処理部３０は、カメラ２０による撮像データを画像処理することにより、後述するように、印刷検査のための半田印刷部の認識や、印刷検査用データ作成のためのマスク開口検出を行う。
【００２０】
機構制御部３１は、カメラ２０を移動させるカメラ移動手段や、スキージヘッド１３を移動させるスキージ移動手段を制御する。表示部３２はディスプレイ装置であり、カメラ２０によって取得された画像のほか、印刷検査用データ作成処理における操作画面や、印刷検査の判定結果などの表示を行う表示手段となっている。
【００２１】
次に図６を参照して、プログラム記憶部２６およびデータ記憶部２７にそれぞれ記憶されるプログラムおよびデータについて説明する。プログラム記憶部２６には、印刷動作プログラム２６ａ、画像処理プログラム２６ｂ、印刷良否判定プログラム２６ｃ、マスクプレート撮像処理プログラム２６ｄなどの各種プログラムが記憶されている。
【００２２】
印刷動作プログラム２６ａは、基板位置決め部１およびスキージヘッド１３の動作を制御して基板６へのクリーム半田９の印刷を行う印刷動作のためのプログラムである。画像処理プログラム２６ｂは、画像処理部３０がカメラ２０の撮像結果に基づき、以下に説明する２種類の処理を行うためのプログラムである。
【００２３】
まず、印刷後の基板６を撮像した撮像結果を認識処理することにより、基板６の各電極に形成された要素半田印刷部（図４（ｂ）参照）を検出し、各要素半田印刷部の面積を算出する。また、マスクプレート１２を撮像した撮像結果を認識処理することにより、マスクプレート１２に設けられた各パターン孔１６を検出し、検出結果に基づいてマスク開口データを作成する処理を行う。
【００２４】
印刷良否判定プログラム２６ｃは、画像処理部３０によって算出された要素半田印刷部の面積を検査しきい値と比較することによって、要素半田印刷部毎に印刷状態の良否判定を行う。すなわち、画像処理部３０および演算部２５が印刷良否判定プログラム２６ｃを実行することにより実現される機能は、基板の撮像結果と印刷検査実行に必要な検査用データとに基づいて印刷状態の良否判定を行う印刷判定手段を構成する。
【００２５】
マスクプレート撮像処理プログラム２６ｄは、マスク開口データ作成のためのカメラ２０によるマスクプレート１２の撮像において、マスクプレート１２を複数の撮像視野によって分割して撮像する際に必要な処理を行うプログラムである。後述するように、このマスクプレート撮像処理によって、パターン孔を示す開口部が撮像視野の境界によって分割されるのを防止するようになっている。
【００２６】
データ記憶部２７には、実装データ２７ａ、部品データライブラリ２７ｂ、マスク開口データライブラリ２７ｃが記憶されている。これらのデータのうち、実装データ２７ａ、部品データライブラリ２７ｂ、マスク開口データライブラリ２７ｃは、通信部２９を介してデータ管理用のコンピュータなどの他装置から転送され記憶される。
【００２７】
実装データ２７ａは、クリーム半田印刷後の基板に対して電子部品を実装する実装動作において用いられるデータ、すなわち実装される電子部品の種類を基板上における実装位置座標と関連させたデータである。部品データライブラリ２７ｂは、基板に実装される個々の電子部品に関するデータである。マスク開口データライブラリ２７ｃは、印刷に使用されるマスクプレート１２のパターン孔１６の開口位置やサイズを示す数値データを多種類の品種について記憶したものであり、個々のマスクプレートに付随したマスク開口データとして予め与えられる。
【００２８】
すなわち、図７に示すマスクプレート１２の例では、各パターン孔１６ｂ〜１６ｅについてのデータが与えられ、例えばパターン孔１６ｂについては、パターン孔サイズを示す寸法ａ、ｂや、基準原点に対する各パターン孔１６ｂの位置座標値ｘ１，ｘ２，ｘ３，ｘ４・・・、ｙ１，ｙ２，ｙ３，ｙ４・・・が、数値データの形で与えられる。他のパターン孔についても同様である。このマスク開口データは、印刷検査において図４（ｂ）に示す要素半田印刷部（Ｓ１〜Ｓ４）の位置・形状を示す要素位置・形状データとして用いられる。
【００２９】
なお印刷後の検査を実行する際に、必ずしも全ての基板品種についてマスク開口データが予めデータライブラリとして準備されているとは限らず、検査実行者側でマスク開口データを作成しなければならない場合がある。このような場合には、前述のように現物のマスクプレート１２をカメラ２０で撮像してマスク開口データを作成する処理が行われる。
【００３０】
すなわち、このような場合の印刷検査用データ作成においては、スクリーン印刷に使用されるマスクプレートをカメラによって撮像して得られる画像に基づいてマスクプレートの開口部を検出することにより、基板の回路形成面に設けられた電子部品接合用の電極に印刷される要素半田印刷部の形状および位置を示す要素形状・位置データを取得する処理が行われる（マスクデータ取得工程）。
【００３１】
次に、このマスク開口データ作成のためのマスクプレート撮像処理について、各図を参照して説明する。まず、図９を参照して、マスクプレート１２に設定される視野位置の配列について説明する。一般に、撮像対象となるマスクプレートの印刷範囲はカメラ２０の撮像視野よりも大きいため、１枚のマスクプレートを撮像する際には、カメラ２０の撮像視野の位置を順次ずらしながら複数回撮像する必要がある。このため、マスクプレートの撮像に際しては、予めマスクプレートに撮像視野が移動する目標位置となる視野位置が視野サイズに基づいて設定される。
【００３２】
すなわち、図９に示すように、印刷範囲１２ａには、２行３列の格子状配列で、複数の視野位置［１］、［２］、［３］、［４］、［５］、［６］が設定される。すなわち視野位置は、行と列を組み合わせた格子状配列で設定され、この配列においては［１］、［２］が第１列を、［３］、［４］が第２列を、また［５］、［６］が第３列を構成する。そしてこれらの視野位置にカメラ２０の撮像視野２０ａを所定の移動順序に従って順次移動させて複数の画像を取得することにより、必要撮像範囲を全てカバーできるようになっている。
【００３３】
ここでは所定の移動順序は、後述するように、格子状配列における第１方向（Ｙ方向）の始端側から終端側に至る同一方向への直線的な列移動（図９において上側から下側への移動）を、第１方向と直交する第２方向（Ｘ方向）について各列毎に反復する形態の移動順序となっている。
【００３４】
ここで格子状の破線は、これらの視野位置にカメラ２０の撮像視野２０ａを位置させた場合の視野境界線を示している。図９に示す視野位置の設定では、視野境界線がパターン孔を横切る場合が生じ、これらの視野位置に単純に撮像視野を移動させて撮像を行うと、１つのパターン孔を示す開口部が複数の画像に跨って検出されることを示している。
【００３５】
このように同一の開口部が複数の画像に含まれてしまうと、開口部を数値データ化する処理に余分な手間を要するのみならず、誤差を生じる要因となる。このため、撮像視野の境界線がパターン孔を横切った画像を基にしてマスク開口データを求めることは好ましくなく、本実施の形態では以下に示す方法によって、上述の事態の発生を避けるようにしている。
【００３６】
以下、図８のフローに沿って、具体的な撮像処理について説明する。まずカメラ２０をマスクプレート１２上に移動させ、撮像視野２０ａを対象となる視野位置へ移動させる（ＳＴ１）。ここでは、図１０（ａ）に示すように、第１番目の視野位置［１］が最初の撮像対象となる。次いで、カメラ２０によって当該撮像視野の画像を取得し（ＳＴ２）、取得した画像の認識処理を行う（ＳＴ３）。これにより、図１０（ｂ）に示す画像２０ｂが取得され、撮像視野内のパターン孔１６ｂが開口部として検出される。
【００３７】
ここで、この画像２０ｂから開口部の一部が部分的にはみ出して形状が完結しない不完全開口部がＸ方向に検出されたか否かが判断される（ＳＴ４）。そしてＸ方向に不完全開口部があるならば、検出された不完全開口部のＸ方向のサイズより、データ作成対象範囲から除外されるデータ化除外範囲を決定し、記憶する（ＳＴ５）。
【００３８】
すなわち、この例では図１０（ｂ）に示すように、画像２０ｂ内の右境界側にパターン孔１６ｂに対応する不完全開口部１６ｂ（Ｘ）が検出される。そして不完全開口部１６ｂ（Ｘ）のＸ方向のサイズＢＸ１を画像上で求め、このＢＸ１に所定のマージンを加えた幅サイズＢＸ２の範囲を、データ化除外範囲（斜線ハッチング部参照）とする。このようにしてデータ化除外範囲とされた部分は、当該画像におけるマスク開口データ作成の対象とはならず、後述するように隣接撮像視野にこれらの不完全開口部が含まれるような視野移動が行われる。
【００３９】
次いで、当該視野位置は、Ｙ方向の終端であるか否かを判断する（ＳＴ６）。
視野位置［１］は、Ｙ方向の終端に該当しないため、（ＳＴ９）に進んで、ここでＹ方向に不完全開口部があるか否かが判断される。そしてＹ方向に不完全開口部があるならば、検出された不完全開口部のＸ方向のサイズより、データ作成対象範囲から除外されるデータ化除外範囲を決定し、記憶する（ＳＴ１０）。
【００４０】
図９（ｂ）に示す例では、画像２０ｂ内の下境界側に不完全開口部１６ｂ（Ｙ）が検出されており、検出された不完全開口部１６ｂ（Ｙ）のＹ方向のサイズＢＹ１を画像上で求め、このＢＹ１に所定のマージンを加えた幅サイズＢＹ２の範囲を、データ化除外範囲（斜線ハッチング部参照）とする。
【００４１】
そしてＹ方向のデータ化除外範囲が決定されたならば、幅サイズＢＹ２を次視野位置におけるＹ方向重ね合わせ代として決定し（ＳＴ１１）、（ＳＴ１）に戻り、図１１（ａ）に示すように、撮像視野２０ａを次の対象となる視野位置［２］に移動させる。このとき、視野２０ａの移動量は、視野サイズ分だけそのままＹ方向に移動させるのではなく、Ｙ方向重ね合わせ代として決定されたＢＹ２だけ前視野位置における撮像視野と重ね合わせる。すなわち、Ｙ方向重ね合わせ代は、当該画像におけるＹ方向の不完全開口部のサイズに基づいて決定される。
【００４２】
これにより、図１１（ｂ）に示すように、視野位置［１］において取得された画像上では不完全開口部となったパターン孔１６ｂが完全に包含された画像２０ｂが取得される。そして同様の処理がこの画像２０ｂに対して実行される。ここでは、画像２０ｂ内の右境界側にパターン孔１６ｄに対応する不完全開口部１６ｄ（Ｘ）が検出される。そして不完全開口部１６ｄ（Ｘ）のＸ方向のサイズＤＸ１を画像上で求め、同様に幅サイズＤＸ２の範囲をデータ化除外範囲（斜線ハッチング部参照）と決定し、記憶する。
【００４３】
そして（ＳＴ６）において、視野位置［２］がＹ方向の終端であることから（ＳＴ７）に進み、当該列の撮像視野におけるデータ化除外範囲のサイズの最大値をＸ方向重ね合わせ代として決定する。すなわち、視野位置［１］、［２］での撮像視野におけるＸ方向のデータ化除外範囲の幅サイズＢＸ２，ＤＸ２のうち、大きい方のサイズを列位置変更の際のＸ方向重ね合わせ代として決定する。ここでは、ＢＸ２の方が大きいことから、ＢＸ２がＸ方向重ね合わせ代となる。そしてＸ方向重ね合わせ代が決定されたならば、列位置の変更が行われる（ＳＴ８）すなわち、図１２（ａ）に示すように、撮像視野２０ａを第２列目の視野位置［３］に移動させる。このとき、視野２０ａのＸ方向の移動は視野サイズ分だけ移動させるのではなく、Ｘ方向重ね合わせ代として決定されたＢＸ２だけ、前列の視野位置における撮像視野と重ね合わせる。換言すれば、重ね合わせ代のうち、相隣する２つの撮像視野をＸ方向に重ね合わせるＸ方向（第２方向）重ね合わせ代は、一の列移動において検出された不完全開口部のＸ方向のサイズのうちの最大のサイズに基づいて設定される。そして前記一の列移動の次の列移動においては、全ての視野位置に対して同一のＸ方向重ね合わせ代が用いられる。
【００４４】
これにより、図１２（ｂ）の（イ）に示すように、視野位置［１］において取得された画像上では不完全開口部となったパターン孔１６ｂが完全に包含された画像２０ｂが取得される。そして同様の処理がこの画像２０ｂに対して実行される。ここでは、画像２０ｂ内に不完全開口部は検出されないため、Ｘ方向、Ｙ方向ともデータ化除外範囲は設定されない。そして、（ＳＴ１１）にて、Ｙ方向重ね合わせ代が０に決定された後、（ＳＴ１）もどって撮像視野の移動が行われる。
【００４５】
この場合には、撮像視野２０ａは図１２（ａ）に示す視野位置［４］にそのまま移動する。これにより、図１２（ｂ）の（ロ）に示すように、視野位置［１］において取得された画像上では不完全開口部となったパターン孔１６ｄが完全に包含された画像２０ｂが取得される。そして同様の処理がこの画像２０ｂに対して実行される。
【００４６】
ここでは、画像２０ｂ内に不完全開口部は検出されないため、Ｘ方向、Ｙ方向ともデータ化除外範囲は決定されない。そして、（ＳＴ６）において視野位置［４］がＹ方向の終端であることから、次は（ＳＴ７）に進むが、第２列においては不完全開口部が検出されないことから、そのまま（ＳＴ８）に進み、Ｘ方向の重ね合わせを伴わない列位置変更が行われる。そしてこれ以降、視野位置［５］、［６］について同様の処理が反復され、これにより、マスクプレート１２を対象とした撮像処理を完了する。
【００４７】
すなわち、上述の撮像処理は、マスクプレート１２に設定された複数の視野位置にカメラ２０の撮像視野２０ａを所定の移動順序に従って順次移動させて複数の画像を得るに際し、一の撮像視野で得られた画像においてこの画像から開口部の一部が部分的にはみ出して形状が完結しない不完全開口部が検出されたならば、当該画像における不完全開口部のサイズに基づいて決定される重ね合わせ代だけ、不完全開口部が検出された画像端における隣接撮像視野を一の撮像視野に重ね合わせるようにしている。
【００４８】
これにより、撮像視野をマスクプレート上で移動させながら複数回撮像する場合に、一つの視野位置において開口部が部分的に撮像視野からはみ出す場合が発生するような場合にあっても、取得された画像上においては各開口部は必ずいずれか１つの画像内に完全に包含される。従って、開口部が画像上で分断されることに起因するデータ処理負荷の増大や検出精度の低下を招くことなく、簡便に効率よくマスク開口データを取得して検査用データを作成することができる。
【００４９】
【発明の効果】
本発明によれば、マスクプレートを撮像して開口部の位置や形状を取得するマスクデータ取得工程において、マスクプレートに設定された複数の視野位置にカメラの撮像視野を所定の移動順序に従って順位移動させるに際し、一の撮像視野で得られた画像において画像から部分的にはみ出した不完全開口部が検出されたならば、当該画像における不完全開口部のサイズに基づいて決定される重ね合わせ代だけ隣接撮像視野を重ね合わせて撮像を行うようにしたので、取得された画像において開口部がはみ出すことによる不都合を解消して、簡便に効率よく検査用データを作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図
【図２】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図
【図４】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置による基板印刷面の平面図
【図５】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図
【図６】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のプログラム記憶部およびデータ記憶部の記憶内容を示す図
【図７】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の要素半田印刷部の要素形状・位置データの説明図
【図８】本発明の一実施の形態の印刷検査用データ作成方法におけるマスク開口データ作成のためのマスクプレート撮像処理のフロー図
【図９】本発明の一実施の形態の印刷検査用データ作成方法におけるマスクプレート撮像処理時の視野位置を示す図
【図１０】本発明の一実施の形態の印刷検査用データ作成方法におけるマスクプレート撮像処理の説明図
【図１１】本発明の一実施の形態の印刷検査用データ作成方法におけるマスクプレート撮像処理の説明図
【図１２】本発明の一実施の形態の印刷検査用データ作成方法におけるマスクプレート撮像処理の説明図
【符号の説明】
１　基板位置決め部
６　基板
６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ　電極
９　クリーム半田
１２　マスクプレート
１６、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅ　パターン孔
２０　カメラ
２０ａ　撮像視野
２０ｂ　画像
２５　演算部
２６　プログラム記憶部
２６ｂ　画像処理プログラム
２６ｄ　マスクプレート撮像処理プログラム
２７　データ記憶部
３０　画像処理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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