(57)【要約】【課題】カセットの端以外のウエハの抜き取りが発生しても自動的に処理ウエハの再設定（代替ウエハの設定）を行うことができるプロセスフロー作成装置を提供する。【解決手段】複数のウエハで構成される１ロットを単位として複数の処理工程で順次処理が行われるプロセスのプロセスフロー作成装置において、複数の処理工程の各々で処理を行う処理ウエハを設定する処理ウエハ設定手段１０１と、各処理工程において処理ウエハ以外のウエハを処理する必要が発生した場合にあらたに処理する代替ウエハを設定する代替ウエハ設定手段１０２と、処理ウエハを代替ウエハに変更する処理ウエハ変更手段１０３とを設けている。設定される処理ウエハに対して予め代替ウエハを設定しておくことによって、どの位置のウエハが抜き取られても自動的に処理ウエハの再設定ができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウエハで構成される１ロットを単位として複数の処理工程で順次処理が行われるプロセスのプロセスフロー作成装置であって、前記複数の処理工程の各々で処理を行う処理ウエハを設定する処理ウエハ設定手段と、前記各処理工程において前記処理ウエハ以外のウエハを処理する必要が発生した場合にあらたに処理する代替ウエハを設定する代替ウエハ設定手段と、実際の処理ウエハを前記処理ウエハから前記代替ウエハに変更する処理ウエハ変更手段とを設けたことを特徴とするプロセスフロー作成装置。
【請求項２】
前記代替ウエハ設定手段は、各処理工程において代替ウエハを１つ以上設定可能であり、前記各代替ウエハに処理優先順位を設定し、前記処理ウエハ変更手段は、前記処理優先順位をつけられた代替ウエハのなかで、最も優先順位の高い代替ウエハに変更することを特徴とする請求項１に記載のプロセスフロー作成装置。
【請求項３】
前記代替ウエハ設定手段は、ウエハ番号が前記処理ウエハと所定の相対関係にあるウエハを代替ウエハとすることを特徴とする請求項１に記載のプロセスフロー作成装置。
【請求項４】
前記代替ウエハ設定手段は、前記処理ウエハと代替ウエハとのウエハ番号の相対関係を設定する相対番号設定手段を含み、前記相対番号設定手段で設定されたウエハを代替ウエハとすることを特徴とする請求項１に記載のプロセスフロー作成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プロセスフロー作成装置、特に半導体分野において、複数のウエハで構成されるロットを単位として複数の処理工程で処理が行われるプロセスフローを作成する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造や試作は複数のウエハで構成するロット単位で行われ、処理工程の一部には測定工程や条件分け工程などが含まれ、これらの工程においては一部のウエハだけが処理の対象となる。このため、半導体用のプロセスフロー作成装置では、各処理工程で処理するウエハを設定するために、処理工程毎にどのウエハを処理するのかを直接指定していた。
【０００３】
以下、半導体の製造工程を例にとり、従来のプロセスフロー作成装置（例えば、非特許文献１参照）について図９を参照しながら説明する。図９は、従来のプロセスフロー作成装置の表示例（表示画面）を示す図である。
【０００４】
例えば、半導体の製造工程のリソ工程では、一部のウエハで先行処理を行い、その結果をもとに装置の処理条件の調整を行い、その後、残りのウエハの処理を行っている。また、リソ工程での処理後の寸法を測定する工程と次工程であるドライエッチ工程の処理後の寸法を測定する処理工程では、同じウエハを用いる。
【０００５】
従来のプロセスフロー作成装置では、処理工程Ｎｏ．２６５〜２７０に先行処理を、処理工程Ｎｏ．２７１〜２７６に本体処理をそれぞれ設定すると、先行処理で使用するウエハと本体処理で使用するウエハとそれぞれ自動的に設定される。
【０００６】
また、従来のプロセスフロー作成装置では、処理工程Ｎｏ．２７６および２８３のように連動元と連動先とが設定され、連動元に設定された処理工程（Ｎｏ．２７６）で使用するウエハを変更すると、連動先に設定された処理工程（Ｎｏ．２８３）も自動的に変更される。
【０００７】
以上のように、プロセスフロー作成時におけるウエハの設定は、全ての処理工程に対して行わなくてもよいように工夫されている。
【０００８】
さらに、非特許文献１では、図１０に示すように、ウエハボックス内の端からの位置を示すウエハパターンを設け、各工程にこのウエハパターンを設定することによって、ウエハを指定している。
【０００９】
具体的には、例えば図１１に示すように、カセットの左端にあるウエハを指定する場合には「Ｌ１」を、右端の１枚を指定する場合には「Ｒ１」を、また、右端の１枚と左端の１枚を指定する場合には「Ｌ１Ｒ１」をそれぞれ設定する。
【００１０】
このようなカセットの端からの位置を表すウエハパターンを用いて指定されていたウエハが抜き取りなどによって処理できなくなった場合には、抜き取られたウエハを除いてカセットの端から設定された枚数のウエハが新たな処理ウエハとして自動的に設定される。
【００１１】
以上のようにして、プロセスフロー作成後のウエハの抜き取り等によるプロセスフロー修正作業が軽減される。
【００１２】
【非特許文献１】
ＩＳＳＭ２０００  Ｐ．３５９  Ａｐｐｒｏａｃｈ  ｔｏ  Ｓｈｏｒｔｅｎ  ＵＬＳＩ  ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ  Ｌｅａｄ−ｔｉｍｅ  ｂｙ  Ｅｆｆｅｃｔｉｖｅ  Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ｃｏｎｄｉｔｉｏｎ  Ｅｄｉｔｉｎｇ  ａｎｄ  Ｄｙｎａｍｉｃ  Ｌｏｔ−Ｐｒｏｇｒｅｓｓ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ，  Ｈ．Ｉｓｈｉｚｕｋａ  ｅｔｃ．
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のプロセスフロー作成装置においては、抜き取りが発生した場合に自動的に変更される対象となるウエハはカセットの端にあるウエハに限られていたため、カセットの端以外のウエハを自動的に変更する対象とすることができず、ウエハが抜き取られる度に処理ウエハの設定を変更する必要があった。
【００１４】
本発明の目的は、上記従来の課題に鑑みて、初めにいずれのウエハが設定されていても、そのウエハが抜き取り等によって処理を行うことができなくなった場合に、処理ウエハの設定を変更する作業を軽減もしくは無くすことのできるウエハの設定機能を有したプロセスフロー作成装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明のプロセスフロー作成装置は、複数のウエハで構成される１ロットを単位として複数の処理工程で順次処理が行われるプロセスのプロセスフロー作成装置であって、複数の処理工程の各々で処理を行う処理ウエハを設定する処理ウエハ設定手段と、各処理工程において処理ウエハ以外のウエハを処理する必要が発生した場合にあらたに処理する代替ウエハを設定する代替ウエハ設定手段と、実際の処理ウエハを処理ウエハから代替ウエハに変更する処理ウエハ変更手段とを設けている。
【００１６】
このような構成とすることにより、任意に設定されたウエハに対して予め代替ウエハを設定しておくことによって、カセットの端以外のウエハが抜き取られても自動的に処理ウエハの再設定（代替ウエハの設定）を行うことができる。
【００１７】
また、本発明のプロセスフロー作成装置において、代替ウエハ設定手段は、各処理工程において代替ウエハを１つ以上設定可能であり、各代替ウエハに処理優先順位を設定し、処理ウエハ変更手段は、処理優先順位をつけられた代替ウエハのなかで、最も優先順位の高い代替ウエハに変更することが好ましい。
【００１８】
また、本発明のプロセスフロー作成装置において、代替ウエハ設定手段は、ウエハ番号が処理ウエハと所定の相対関係にあるウエハを代替ウエハとすることが好ましい。
【００１９】
また、本発明のプロセスフロー作成装置において、代替ウエハ設定手段は、処理ウエハと代替ウエハとのウエハ番号の相対関係を設定する相対番号設定手段を含み、相対番号設定手段で設定されたウエハを代替ウエハとすることが好ましい。
【００２０】
このような構成とすることにより、ウエハの抜き取りが発生するたびにプロセスフローを変更する必要がないだけでなく、処理工程ごとに代替ウエハの設定を行う必要もない。
【００２１】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係るプロセスフロー作成装置は、処理予定のウエハと処理予定のウエハが抜き取り等によって処理できなくなった場合の代替ウエハを指定するものである。以下、図面を用いて詳細に説明する。
【００２２】
図１は第１の実施形態に係るプロセスフロー作成装置のフロー図である。また、図２は指定する代替ウエハ情報を格納するテーブルの一例である。
【００２３】
まず、図１に示すように、処理ウエハ設定手段１０１によって図９に示す従来のウエハ設定方法と同じ方法で、ウエハの抜き取り等がない場合に処理したいウエハを設定する。
【００２４】
次に、代替ウエハ設定手段１０２によって、処理ウエハ設定手段１０１で設定したウエハがウエハの抜き取り等で処理できなくなった場合の代替ウエハを処理工程ごとに設定する。ここで、代替ウエハの設定時には、図２に示すようにその処理優先順位も設定する。
【００２５】
次に、処理工程途中において実際にウエハが抜き取られた場合には、代替ウエハ情報格納テーブル２００から、抜き取られたウエハ以外で最も処理優先順位の高いウエハ番号のウエハを代替ウエハとして選択し、処理ウエハを変更する（処理ウエハ変更手段１０３）。
【００２６】
例えば、図３に示すように、リソ工程（処理工程Ｎｏ．２６５〜２７６）の場合には、当初先行マスク合わせ処理を設定していたウエハ番号００１のウエハが抜き取られているとき、代替ウエハ情報格納テーブル２００から、抜き取られたウエハ以外で最も処理優先順位の高いウエハ番号００２のウエハを代替ウエハとして使用する。
【００２７】
なお、ウエハ番号とは、一端から他端までの間にウエハを順に並べて収納できるカセットにおいて、カセットの一端から何番目のウエハ収納位置であるかを示す番号であり、例えばカセットの左端の収納位置をウエハ番号００１として、その１つ右側の収納位置をウエハ番号００２、さらにその１つ右側の収納位置をウエハ番号００３というように、順番に付与している。
【００２８】
本実施形態によれば、任意に設定されたウエハに対して予め代替ウエハを設定しておくことによって、カセットの端以外のウエハを含めどの位置のウエハが抜き取られても自動的に処理ウエハの再設定（代替ウエハの設定）を行うことができ、処理ウエハの設定を変更する作業を軽減もしくは無くすことができる。
【００２９】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係るプロセスフロー作成装置は、処理ウエハを設定する際に、設定したウエハが抜き取られた場合の代替ウエハに関する情報を含む印（例えば記号）を使用するものである。以下、図面を用いて詳細に説明する。
【００３０】
図４は第２の実施形態に係るプロセスフロー作成装置のフロー図である。また、図５は設定したウエハが抜き取られた場合の代替ウエハに関する情報を含む印（記号）の一例である。
【００３１】
まず、図４に示すように、処理ウエハ・代替ウエハ設定手段４０１によって図９に示す従来のウエハ設定方法と同じ方法で、ウエハの抜き取り等がない場合に処理したいウエハ（ウエハ設定位置）を設定する。ただし、本実施形態では、図５に示すように、ウエハ設定位置に設定するものは、従来のように単にその位置を示す印（５０３）だけでなく、そのウエハが抜き取られた場合にウエハ番号が１つ小さいウエハを示す印（５０２）、またはウエハ番号が１つ大きいウエハを示す印（５０１）から代替ウエハを選択するという情報を含んでいる。
【００３２】
図６に、代替ウエハとしてウエハ番号が１つ大きいウエハを示す印（５０１）を用いてウエハの設定を行った例を示す。
【００３３】
処理工程Ｎｏ．２６５〜２７６、および処理工程Ｎｏ．２８０〜２８３の処理工程に対して、ウエハ番号が１つ大きいウエハを代替ウエハとする印（５０１）が設定される。なお、この例では、処理工程Ｎｏ．２６４、２７７〜２７９および２８４の処理工程は全ウエハを処理するため、位置固定を示す印（５０３）が設定されている。
【００３４】
このような処理ウエハ・代替ウエハ設定手段４０１で設定したウエハ番号のウエハが抜き取り等で処理できなくなった場合、設定した印（記号）にしたがって処理ウエハ番号が自動的に変更される（処理ウエハ変更手段４０２）。
【００３５】
図７に、ウエハ番号００１が抜き取られた場合の処理ウエハの変更結果を示す。図６の処理工程Ｎｏ．２６５〜２７６および２８０〜２８３の処理工程において、ウエハ番号００１が抜き取られた場合にはウエハ番号が１つ大きなウエハを代替ウエハに設定するように指定されていたため、これらの処理工程において使用されるウエハはウエハ番号が１つ大きなウエハに変更されている。
【００３６】
図８に、ウエハ番号００１、００２および００４が抜き取られた場合の処理ウエハの変更結果を示す。図６の処理工程Ｎｏ．２６５〜２７６および２８０〜２８３の処理工程において、ウエハ番号００１が抜き取られた場合にはウエハ番号が１つ大きなウエハを代替ウエハに設定するように指定されていたため、これらの処理工程において使用されるウエハは１つ大きなウエハに変更されるが、代替ウエハとなるべきウエハ番号００２も既に抜き取られているため、さらにウエハ番号が１つ大きなウエハに自動的に変更されるものとなる。その場合に、ウエハ番号００４のウエハが代替ウエハに設定される処理工程Ｎｏ．２７１〜２７６および２８３の処理工程においては、ウエハ番号００４も既に抜き取られているため、さらに１つ大きなウエハ番号００５のウエハに自動的に変更されるものとなる。
【００３７】
以上のように本実施形態によれば、処理ウエハを設定する際にウエハが抜き取られたときの代替ウエハに関する情報を予め含む印（記号）を用いることによって、カセットの端以外のウエハを含めどの位置のウエハが抜き取られても自動的に処理ウエハの再設定（代替ウエハの設定）を行うことができ、ウエハの抜き取りが発生するたびにプロセスフローを変更する必要がないだけでなく、処理工程ごとに代替ウエハの設定を行う必要もなく、処理ウエハの設定を変更する作業を軽減もしくは無くすことができる。
【００３８】
なお、本実施形態で設定するウエハの印（記号）は、「ウエハ番号が１つ小さいウエハへ変更」、「位置固定」および「ウエハ番号が１つ大きなウエハに変更」の３種類であるが、これに限定されるものではなく、例えば「ウエハ番号が２つ小さなウエハへ変更」や「ウエハ番号が３つ大きなウエハへ変更」等、個別の製造ラインの状況に合わせて追加しても構わない。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、任意に設定されたウエハに対して予め代替ウエハを設定しておくことによって、カセットの端以外のウエハが抜き取られても自動的に処理ウエハの再設定（代替ウエハの設定）を行うことができ、また、処理工程ごとに代替ウエハの設定を行う必要もない、処理ウエハの設定を変更する作業を軽減もしくは無くすことのできるプロセスフロー作成装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るプロセスフロー作成装置のフロー図
【図２】本発明の第１の実施形態に係る代替ウエハ情報を格納するテーブルの一例を示す図
【図３】本発明の第１の実施形態に係るプロセスフロー作成装置のフロー表示例を示す図
【図４】本発明の第２の実施形態に係るプロセスフロー作成装置のフロー図
【図５】本発明の第２の実施形態に係る代替ウエハに関する情報を含む記号の一例を示す図
【図６】本発明の第２の実施形態に係るプロセスフロー作成装置のフロー表示例を示す図
【図７】本発明の第２の実施形態に係るプロセスフロー作成装置のフロー表示例を示す図
【図８】本発明の第２の実施形態に係るプロセスフロー作成装置のフロー表示例を示す図
【図９】従来のプロセスフロー作成装置のフロー表示例を示す図
【図１０】従来のプロセスフロー作成装置で使用するウエハパターンの一例を示す図
【図１１】従来のプロセスフロー作成装置のフロー表示例を示す図
【符号の説明】
１０１  処理ウエハ設定手段
１０２  代替ウエハ設定手段
１０３  処理ウエハ変更手段
２００  代替ウエハ情報格納テーブル
４０１  処理ウエハ・代替ウエハ設定手段
４０２  処理ウエハ変更手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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