(57)【要約】【課題】回転体２２の回転振れを容易かつ高精度に測定することを可能とする。【解決手段】回転体２２に取り付けられた回転軸２１を中空状の検査軸受体３３の軸受部３３ａ内に挿通し、その検査軸受体３３の軸受部３３ａ内に空気供給手段３６，３５から供給した圧縮空気により回転軸２１を非接触状態に浮上させて支持しつつ、空気排出手段３７により軸受部３３ａ内の圧縮空気を外方に強制排気して回転軸２１を非接触状態に円滑に浮上させながら保持させることによって、回転軸２１側の形状精度および圧縮空気の供給による影響を無くした状態とし、回転体２２そのものの回転振れ精度を高精度で測定するように構成したもの。【選択図】      図１
2004340760.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸が取り付けられた回転体を回転させながら当該回転体の回転振れを検査するように構成された回転振れ検査装置において、
前記回転軸が挿通される軸受部を備えた中空状の検査軸受体と、
その検査軸受体の軸受部内方に向かって圧縮空気を供給し、前記回転軸を非接触状態に浮上させて支持する空気供給手段と、
前記検査軸受体の軸受部内に供給された圧縮空気を軸受部外方に強制排気する空気排出手段と、
を備えていることを特徴とする回転振れ検査装置。
【請求項２】
前記検査軸受体が、多孔質材料から形成されていることを特徴とする請求項１記載の回転振れ検査装置。
【請求項３】
前記回転体が、前記回転軸の軸方向の一端側に取り付けられているとともに、
前記回転軸の軸方向の他端側がアキシャル軸受体により軸方向に支持されていることを特徴とする請求項１記載の回転振れ検査装置。
【請求項４】
前記アキシャル軸受体が、前記回転軸の軸方向他端側に当接する球面ピボット軸受体から構成されていることを特徴とする請求項３記載の回転振れ検査装置。
【請求項５】
前記空気排出手段は、前記回転軸の軸方向他端側に向かって開口するように設けられていることを特徴とする請求項３記載の回転振れ検査装置。
【請求項６】
前記空気排出手段は、前記回転体の内部側空間に開口するように設けられていることを特徴とする請求項１記載の回転振れ検査装置。
【請求項７】
前記回転体を回転させる方向に圧縮空気を吐出する空気流回転駆動手段が付設されていることを特徴とする請求項１記載の回転振れ検査装置。
【請求項８】
前記空気流回転駆動手段は、前記回転体の回転振れ検査時に圧縮空気の吐出を停止させるように構成されていることを特徴とする請求項７記載の回転振れ検査装置。
【請求項９】
回転軸が取り付けられた回転体を回転させながら当該回転体の回転振れを検査する回転振れ検査方法において、
前記回転軸を、中空状の検査軸受体の軸受部内に挿通した後、
前記検査軸受体の軸受部内に向かって、空気供給手段からの圧縮空気を供給して前記回転軸を非接触状態に浮上させて支持しつつ、
前記検査軸受体の軸受部内に供給された圧縮空気を、空気排出手段により前記軸受部の外方に強制排気し、
空気流回転駆動手段からの圧縮空気を前記回転体に向かって吐出して当該回転体を回転させ、その回転体の回転振れを検査するようにしたことを特徴とする回転振れ検査方法。
【請求項１０】
前記空気流回転駆動手段からの圧縮空気の吐出を停止させた状態で、前記回転体の回転振れ検査を行うようにしたことを特徴とする請求項９記載の回転振れ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転体の回転振れを検査するようにした回転振れ検査装置および回転振れ検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、各種回転駆動装置において、回転体を高精度に回転駆動させることが行われつつあるが、それに伴って、回転体が備えている回転振れ精度を容易かつ高精度に検査することが必要となってきている。例えば、磁気記録ディスクなどの各種情報記録媒体ディスクを高速で回転駆動させるためのディスク駆動装置においては、情報記録媒体ディスクを搭載する回転ハブ体がアキシャル方向へ振れると、情報記録媒体ディスクのフラッター現象が発生して、情報記録媒体ディスクに情報の記録・再生を行うヘッド部が記録トラックから離脱してしまい、情報の記録・再生ができなくなってしまうこともある。
【０００３】
そのため、従来のディスク駆動装置では、情報記録媒体ディスクを載置するディスク搭載面の組立精度を、例えばアキシャル方向に５μｍ以下とするような高精度を設定しており、製造した回転ハブ体のディスク搭載面の回転振れを回転振れ検査装置を用いて個々に検査している。このときに用いられる従来の回転振れ検査装置は、回転体に取り付けられた回転軸をチャック手段により支持した状態で、高精度な回転テーブルを用いて上記回転体を回転駆動させる構成が一般に採用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述したように回転軸をチャックした状態で回転体の回転駆動を行うと、チャック手段側の支持基準面がいくら高精度に形成されていても、回転軸側の形状精度、例えば回転軸の円筒度、真直度、真円度、あるいは表面粗さなどが、回転振れの測定結果に直接的な影響を与えてしまうことがある。また、チャック手段と回転軸との間に微細な塵埃の噛み込むこともあり、それらの影響によって、測定値が毎回変化してしまうという事態も発生している。
【０００５】
そこで本発明は、回転体の回転振れを容易かつ高精度に測定することができるようにした回転振れ検査装置および回転振れ検査方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１にかかる回転振れ検査装置では、回転体の回転軸が挿通される軸受部を備えた中空状の検査軸受体と、その検査軸受体の軸受部内方に向かって圧縮空気を供給し、上記回転軸を非接触状態に浮上させて支持する空気供給手段と、前記検査軸受体の軸受部内に供給された圧縮空気を軸受部外方に強制排気する空気排出手段と、を備えている。
【０００７】
このような本発明の請求項１にかかる回転振れ検査装置によれば、回転体の回転軸が、検査軸受体の軸受部に空気供給手段から供給された圧縮空気によって非接触状態に浮上させられて保持されるとともに、その回転軸の浮上に供した圧縮空気が空気排出手段により軸受部の外方に直ちに強制排気されることから、回転軸側の形状精度および圧縮空気の供給による影響を無くした状態で、上記回転体そのものの回転振れ精度が高精度で測定されるようになっている。
【０００８】
また本発明の請求項２にかかる回転振れ検査装置では、上記請求項１における検査軸受体が多孔質材料から形成されている。このような構成を有する請求項２にかかる回転振れ検査装置によれば、空気供給手段からの圧縮空気が多孔質材料からなる検査軸受体内に円滑に供給・排気されるようになっている。
【０００９】
さらに本発明の請求項３にかかる回転振れ検査装置では、上記請求項１における回転体が、前記回転軸の軸方向の一端側に取り付けられているとともに、上記回転軸の軸方向の他端側がアキシャル軸受体により軸方向に支持されている。このような本発明の請求項３にかかる回転振れ検査装置によれば、回転軸がアキシャル軸受体により安定的に位置決めされた状態に維持されることから、回転体の回転振れがより高精度で測定されることとなる。
【００１０】
さらにまた本発明の請求項４にかかる回転振れ検査装置では、上記請求項１におけるアキシャル軸受体が回転軸の軸方向他端側に当接する球面ピボット軸受体から構成されている。このような本発明の請求項４にかかる回転振れ検査装置によれば、回転軸の軸方向端面の面精度にかからわず、回転体の回転振れがより高精度で測定されるようになっている。
【００１１】
一方、本発明の請求項５にかかる回転振れ検査装置では、上記請求項３における空気排出手段が、回転軸の軸方向他端側に向かって開口するように設けられており、また本発明の請求項６にかかる回転振れ検査装置では、上記請求項３における空気排出手段が、回転体の内部側空間に開口するように設けられている。このような本発明の請求項５または請求項６にかかる回転振れ検査装置によれば、検査軸受体の軸受部に空気供給手段から供給された圧縮空気が空気排出手段によって円滑に排出され、検査軸受体の軸受部内における内圧の上昇が回避され、アキシャル軸受体に対して回転軸を確実に接触させた状態が維持されるようになっている。
【００１２】
さらに本発明の請求項７にかかる回転振れ検査装置では、上記請求項１における回転体を回転させる方向に圧縮空気を吐出する空気流回転駆動手段が付設されている。このような本発明の請求項７にかかる回転振れ検査装置によれば、複雑な回転機構を付設することなく回転体の回転が行われることとなり、例えば空気供給手段から供給された圧縮空気を利用することなどによって極めて簡易な構成で回転体が円滑に回転されるようになっている。
【００１３】
また本発明の請求項８にかかる回転振れ検査装置では、上記請求項７にかかる空気流回転駆動手段が、回転体の回転振れ検査時に圧縮空気の吐出を停止させるように構成されている。このような本発明の請求項８にかかる回転振れ検査装置によれば、回転体に外力が加えられない状態で、回転体の回転振れが極めて高精度に測定されるようになっている。
【００１４】
さらに本発明の請求項９にかかる回転振れ検査方法では、回転体に取り付けられた回転軸を中空状の検査軸受体の軸受部内に挿通した後、上記検査軸受体の軸受部内に向かって空気供給手段からの圧縮空気を供給して上記回転軸を非接触状態に浮上させて支持しつつ、前記検査軸受体の軸受部内に供給された圧縮空気を空気排出手段により上記軸受部の外方に強制排気し、空気流回転駆動手段からの圧縮空気を前記回転体に向かって吐出して当該回転体を回転させ、その回転体の回転振れを検査するようにしている。
【００１５】
このような本発明の請求項９にかかる回転振れ検査方法によれば、回転体の回転軸が、検査軸受体の軸受部に空気供給手段から供給された圧縮空気によって非接触状態に浮上させられて保持されるとともに、その回転軸の浮上に供した圧縮空気が空気排出手段により軸受部の外方に直ちに強制排気されることから、回転軸側の形状精度および圧縮空気の供給による影響を無くした状態で、上記回転体そのものの回転振れ精度が高精度で測定されるようになっている。
【００１６】
さらにまた本発明の請求項１０にかかる回転振れ検査方法では、上記請求項９における空気流回転駆動手段からの圧縮空気の吐出を停止させた状態で回転体の回転振れ検査を行うようにしている。このような本発明の請求項９にかかる回転振れ検査装置によれば、回転体に外力が加えられない状態で回転体の回転振れが極めて高精度に測定されるようになっている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明するが、それに先立って、まず本発明を適用するハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）に用いられるスピンドルモータの概要を説明しておくこととする。
【００１８】
すなわち、図３に示されている軸回転／アウターロータ型のスピンドルモータの全体は、固定側部としてのステータ組１０と、そのステータ組１０に対して図示上側から組み付けられた回転側部としてのロータ組２０を含む構成になされている。
【００１９】
このうちのステータ組１０は、図示を省略したハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の本体プレートにネジ止めされるベースフレーム１１を有している。このベースフレーム１１の略中央部分に形成された筒状のスリーブ保持部（軸受ホルダー）１２の内周側には、中空円筒状に形成された軸受スリーブ１３が圧入や焼き嵌め等の固定手段によってベースフレーム１１と一体的に接合されている。この軸受スリーブ１３は、その加工を容易化するためにリン青銅などの銅系材料からなり、両端に開口部を有する中心孔が形成されている。また、上記スリーブ保持部１２の外周面には、放射状に突出したステータコアの突極部にステータコイル１４を巻装したステータコア部１５が嵌着されている。
【００２０】
さらに、上記軸受スリーブ１３の中心孔内には、上記ロータ組２０の一部を構成する軸部材としての回転軸２１が回転自在に挿入されている。本実施形態における回転軸２１は、ステンレス鋼から形成されている。そして、上記軸受スリーブ１３の内周面に形成された動圧面は、前記回転軸２１の外周面に形成された動圧面に対して半径方向に微少隙間を介して対向するように配置されており、その微少隙間部分にラジアル動圧軸受部ＲＢが構成されている。より詳細には、ラジアル動圧軸受部ＲＢにおける軸受スリーブ１３側の動圧面と回転軸２１側の動圧面とが数μｍのラジアルギャップを介して対向配置され、そのラジアルギャップからなる軸受空間内には、例えばエステル系あるいはポリαオレフィン系の潤滑性オイル等の潤滑流体が注入されている。
【００２１】
さらにまた、上記軸受スリーブ１３および回転軸２１の両動圧面の少なくとも一方側には、図示を省略した例えばヘリングボーン形状のラジアル動圧発生用溝が、軸方向に２ブロックに分かれて凹設されており、上記回転軸２１の回転時において、当該ラジアル動圧発生用溝のポンピング作用により潤滑流体が加圧されて動圧を生じ、その動圧によって上記回転軸２１および回転軸２１に固着された回転ハブ体２２が回転自在に支持されるように構成されている。
【００２２】
また、上記各ラジアル動圧軸受部ＲＢを構成している軸受空間の図示上端部分には、毛細管シール部ＲＳが形成されている。この毛細管シール部ＲＳは、上記軸受スリーブ１３の開口部に形成された傾斜面によって隙間を軸受外端側に向かって徐々に拡大したものであって、例えば２０μｍ乃至３００μｍに設定されている。そして、この毛細管シール部ＲＳには、モータの回転・停止のいずれの場合でも潤滑流体の液面が位置するように構成されている。
【００２３】
さらに、上記回転軸２１とともにロータ組２０を構成している回転ハブ体２２は、図示を省略した磁気ディスク等の各種の情報記録媒体ディスクを搭載可能とするように略カップ状に形成されており、当該回転ハブ体２２の中心部に設けられた接合穴に対して前記回転軸２１の上端部分が圧入や焼き嵌めあるいは接着等の固定手段によって固定されている。
【００２４】
上記回転ハブ体２２は、その外周部にロータ部を構成するための環状胴部２２ａを有しており、その環状胴部２２ａの内周面側には、周方向に一定間隔でＮＳ交互に着磁が施された円筒状のロータマグネット２２ｂが装着固定されており、それによってロータ部が構成されている。上記ロータマグネット２２ｂは、上述したステータコア部１４の外周面に対して環状に対向するように近接配置されている。
【００２５】
また、上記ロータマグネット２２ｂの軸方向下端面は、上述したベースフレーム１１側に取り付けられた磁気吸引板１６と軸方向に対面する位置関係になされており、これら両部材２２ｂ，１６どうしの間の磁気的吸引力によって、上述した回転ハブ体２２の全体が軸方向に引き付けられ、安定的な回転状態が得られる構成になされている。
【００２６】
一方、上記回転軸２１の図示下端側の先端部分には、環状のスラストプレート２３が固着されている。このスラストプレート２３は、軸受スリーブ１３の図示下端側における中心部分に凹設された収納部１３ａに配置されており、その軸受スリーブ１３の収納部１３ａ内において、スラストプレート２３の上側の端面に設けられた動圧面と、軸受スリーブ１３側の動圧面とが軸方向に近接対向するように配置されている。そして、それらスラストプレート２３および軸受スリーブ１３の両動圧面どうしの軸受隙間空間に、第１のスラスト軸受部ＳＢａが形成されている。
【００２７】
また、上記スラストプレート２３の図示下側の動圧面に近接するようにして、円板状部材からなるカウンタープレート１７が、軸受スリーブ１３の下端側開口部を閉塞するように固着されている。そして、上述したスラストプレート２３の動圧面と、カウンタープレート１７の図示上面側の動圧面とが近接対向する軸受隙間空間には、第２のスラスト動圧軸受部ＳＢｂが形成されている。
【００２８】
より詳細には、これら軸方向に隣接して配置された第１及び第２のスラスト動圧軸受部ＳＢａ，ＳＢｂにおけるスラストプレート２３側の軸方向の上下両動圧面と、それに対向する軸受スリーブ１３及びカウンタープレート１７側の両動圧面とが、それぞれ数μｍから十数μｍの微少間隔を介して軸方向に対向配置されているとともに、その微少間隔からなる軸受空間内に潤滑流体が前記スラストプレート２３の外周側通路を介して軸方向に連続するように注入されている。
【００２９】
上記スラストプレート２３の上下面にあたる動圧面には、既に公知のように、ヘリングボーン形状のスラスト動圧発生用溝が環状に凹設されており、回転時において当該スラスト動圧発生用溝のポンピング作用により潤滑流体が加圧されて動圧を生じ、その潤滑流体の動圧によって、上述した回転軸２１およびハブ２２がスラスト方向に支持される。なお、スラスト動圧発生用溝は、第１のスラスト軸受部における軸受スリーブ１３側の動圧面、および第２のスラスト軸受部におけるカウンタープレート１７側の動圧面に形成してもよい。
【００３０】
一方、このようにして回転自在に支持された上記回転ハブ体２２の環状胴部２２ａの外周側には、図示を省略した複数枚の情報記録媒体ディスクがスペーサを介して軸方向に重ね合わせられるようにして挿通される。このとき、上記回転ハブ体２２における略カップ状をなす開口部には、フランジ状部材２２ｃが半径方向外方に向かって所定量突出するように設けられており、そのフランジ状部材２２ｃの図示上面側にディスク搭載面２２ｄが形成されている。そして、そのディスク搭載面２２ｄに対して情報記録媒体ディスクが図示上方側から当接されるようにして載置され、その情報記録媒体ディスクの全体が、上記ディスク搭載面２２ｄによって軸方向に位置決めされるようになっている。
【００３１】
そして、上記回転ハブ体２２の図示最上面には、バネ状部材から形成されたクランパ（図示省略）が配置されていて、そのクランパによって上述した情報記録媒体ディスクの軸方向押圧力によって上述したディスク搭載面２２ｄとの間に情報記録媒体ディスクが挟み込まれるようにして固定されるようになっている。
【００３２】
次に、上述した回転ハブ体２２の回転振れを検査するように構成された回転振れ検査装置および回転振れ検査方法の一実施形態について説明する。
【００３３】
図１および図２に示されているように、上述した回転ハブ体２２に対する回転振れの測定は、その回転ハブ体２２に取り付けられた回転軸２１を、回転振れ検査装置３０に装着した状態で行われる。その回転振れ検査装置３０は、大径の円筒状に形成されたベースリング部３１を備えているとともに、そのベースリング部３１の略中心部分には、小径の径円筒状に形成されたベース基柱部３１ａが図示上方側の軸方向に向かって突出するように一体的に設けられている。そのベース基柱部３１ａの突出側の図示上端部分には、略キャップ状をなす軸受ホルダー３２が螺着されており、その軸受ホルダー３２を介して、略中空円筒状の検査軸受体３３が上記ベース基柱部３１ａの図示上端側部分に取り付けられている。なおこのとき、上述した軸受ホルダー３２は、上記ベースリング部３１に装着されたカバーリング部３１ｂにより外周側を保持されている。
【００３４】
上述した検査軸受体３３は、略中空円筒状の多孔質材料から形成されており、その検査軸受体３３における図示下端側部分が、上記ベース基柱部３１ａの突出側上端面の中心位置に形成された凹部３１ｃ内に軸方向に挿通されるようにして固着が行われている。そして、その検査軸受体３３の中心部分には、軸方向に貫通するように軸受部３３ａが中空状をなすように形成されており、その軸受部３３ａ内に、上述した回転ハブ体２２に取り付けられた回転軸２１が軸方向に挿通されている。
【００３５】
このとき、上述したベース基柱部３１ａの凹部３１ｃの中心部分には、アキシャル軸受体を構成する球面ピボット軸受体３４の支持ボール３４ａが装着されている。そして、その球面ピボット軸受体３４の支持ボール３４ａ上に、上記検査軸受体３３の軸受部３３ａ内に挿通された回転軸２１の図示下端面が、点接触状態となるように当接されており、それによって回転軸２１を含む回転ハブ体２２の全体が軸方向に支持されるようになっている。
【００３６】
一方、上述した検査軸受体３３を構成している多孔質材料としては、焼結金属材料の焼成体やセラミックまたはグラファイトなどが採用されているが、そのような多孔質材料を採用していることによって、当該検査軸受体３３の外周側表面から上記軸受部３３ａの内周側表面まで連通する連続孔が形成されており、その連続孔を通して、上記軸受部３３ａの内部側に軸支持用の圧縮空気が供給されるようになっている。
【００３７】
その点をより詳細に説明すると、まず上記検査軸受体３３の外周側表面と、上述した軸受ホルダー３２の内壁面と、前記ベース基柱部３１ａの図示上端面とによって、軸支持用の圧縮空気を蓄えるバッファ空間３５が上記検査軸受体３３の外周側に形成されている。このバッファ空間３５には、上記ベース基柱部３１ａの内部側に形成された空気供給手段としての軸支持用空気供給路３６を通して、軸支持用圧縮空気が供給されるようになっている。
【００３８】
上記軸支持用空気供給路３６は、上述したベースリング部３１の外周面側から半径方向の内方側に向かって延在する大径状のメイン供給路３６ａと、そのメイン供給路３６ａから分岐して軸方向に延在する２本のやや小径状のサブ供給路３６ｂ，３６ｂを備えており、それら２本のサブ供給路３６ｂ，３６ｂの軸方向延出端が、上述したバッファ空間３５へ開口するように設けられている。
【００３９】
そのうちのメイン供給路３６ａは、図示を省略した高圧空気供給源に連結されており、その高圧空気供給源から供給された軸支持用圧縮空気が、当該メイン供給路３６ａから上記サブ供給路３６ｂ，３６ｂを通って前記バッファ空間３５内に流入し、そのバッファ空間３５内の軸支持用圧縮空気が、上述したように検査軸受体３３の多孔質材料を通過して軸受部３３ａの内部側に供給され、その軸受部３３ａ内部の軸支持用圧縮空気によって上記回転軸２１が検査軸受体３３内で浮上し、非接触状態で支持されるようになっている。
【００４０】
さらにまた、上述した球面ピボット軸受体３４の支持ボール３４ａの軸方向直下位置からは、前記検査軸受体３３の軸受部３３ａ内に供給された軸支持用圧縮空気を軸受部３３ａの外方に強制排気する空気排出手段としての排気用空気通路３７が設けられている。この排気用空気通路３７は、上記回転軸２１の図示下端側に開口するように設けられているとともに、上述したベース基柱部３１ａの中心部分を軸方向下方側に向かって延在するように設けられている。さらに、その排気用空気通路３７は、上述した軸支持用空気供給路３６のメイン供給路３６ａの上方位置において略直角に折れ曲がって、半径方向外方に向かって延在している。そして、その排気用空気通路３７の外方側への延出端部分が、上述したベース基柱部３１ａの外周表面側に開口している。また、その開口部には図示を省略した排気ファン等の強制排気手段に連結されていて、開口部を通して排気が行われるようになっている。
【００４１】
一方、上述した軸受ホルダー３２の外周側に装着されたカバーリング部３１ｂは、軸方向上端側の外周部分が、前記回転ハブ体２２の外周側に設けられた環状胴部２２ａに対して半径方向内側から対面するように配置されている。そして、そのカバーリング部３１ｂ内には、回転用圧縮空気を上記回転ハブ体２２まで導く空気流回転駆動手段としての回転用空気通路３８が形成されている。
【００４２】
すなわち、上記回転用空気通路３８の空気吐出部分３８ａは、上述した回転ハブ体２２の外周側環状胴部２２ａの内周壁面に対して半径方向内側から開口する複数の空気通路から形成されていて、それらの各空気吐出部分３８ａ，３８ａ，・・・は、略同一の平面円内における半径方向と略一定の角度をなして放射状をなすように形成されている。そして、全体としては平面略スパイラル形状をなすように延在する構成になされており、それら平面略スパイラル状をなすように延在する各空気吐出部分３８ａ，３８ａ，・・・から回転用圧縮空気がそれぞれ吐出されることによって、上記回転ハブ体２２に対して一定方向の回転力を付与する構成になされている。
【００４３】
このとき、本実施形態における回転用空気通路３８は、上述した軸支持用空気供給路３６を通して供給される軸支持用圧縮空気の一部を利用して回転用圧縮空気とする構成になされており、空気供給源を共用化することによって簡易な構成を実現している。
【００４４】
このような構成を有する本実施形態においては、回転ハブ体２２の回転軸２１が、検査軸受体３３の軸受部３３ａに空気供給手段３６，３５から供給された圧縮空気によって非接触状態に浮上させられて保持されるとともに、その回転軸２１の浮上に供した圧縮空気は、空気排出手段３７により軸受部３３ａの外方に直ちに強制排気される。従って、回転軸２１側の形状精度および圧縮空気の供給による影響を無くした状態で、上記回転ハブ体２２そのものの回転振れ精度が高精度で測定されるようになっている。
【００４５】
このとき特に本実施形態では、上記回転ハブ体２２の回転振れを検査する際には、上述した回転用空気通路３８からの回転用圧縮空気の吐出を停止させる構成になされている。このようにすれば、回転ハブ体２２に対して外力がほとんど加えられない状態で、当該回転ハブ体２２の回転振れが極めて高精度に測定されることとなる。
【００４６】
また本実施形態では、回転軸２１の軸方向の図示下端側がアキシャル軸受体３４により軸方向に支持されていることから、回転軸２１がアキシャル軸受体３４により安定的に位置決めされた状態に維持されることとなり、回転ハブ体２２の回転振れがより高精度で測定されるようになっている。このとき特に本実施形態では、上記アキシャル軸受体３４が回転軸２１の軸方向他端側に当接する球面ピボット軸受体から構成されていることから、回転軸２１の軸方向端面の面精度にかからわず、回転ハブ体２２の回転振れがより高精度で測定されるようになっている。
【００４７】
さらに本実施形態では、空気排出手段としての排気用空気通路３７が、回転軸２１の軸方向他端側に向かって開口するように設けられていることから、検査軸受体３３の軸受部３３ａに空気供給手段３６，３５から供給された圧縮空気が排気用空気通路３７によって円滑に排出されることとなり、それによって検査軸受体３３の軸受部３３ａ内における内圧の上昇が回避され、上述したアキシャル軸受体３４に対して回転軸２１を確実に接触させた状態が維持されるようになっている。
【００４８】
さらにまた本実施形態では、回転ハブ体２２を回転させる方向に圧縮空気を吐出する空気流回転駆動手段としての回転用空気通路３８が付設されていることから、他の複雑な回転機構を付設することなく回転ハブ体２２の回転が行われることとなり、上述したように空気供給手段３６，３５から供給された圧縮空気の一部を利用することなどにより極めて簡易な構成で回転ハブ体２２が円滑に回転されるようになっている。
【００４９】
また本実施形態では、検査軸受体３３を多孔質部材により形成することから、当該検査軸受体３３の外周側表面から上記軸受部３３ａの内周側表面まで連通する連続孔を焼結等の加工により形成できるようになっている。従って、切削等の加工により連続孔を形成する後述の静圧軸受と比較して、容易に検査軸受体の形成ができるようになっている。特に、ハードディスク駆動装置に用いられるスピンドルモータを構成する回転ハブ体２２のような小型の回転体を支持する小型の検査軸受体の形成が容易にできるようになっている。
【００５０】
一方、同一の構成物に対して同一の構成物を付した図４に示されている実施形態における回転振れ検査装置では、空気排気手段としての排気用空気通路３７‘のメイン排気路３７’ａが、ベースリング部３１の下方側に連接配置されたベース基体リング部３１’内を半径方向に延在するように設けられているとともに、そのメイン排気路３７’ａから軸方向に分岐して延在する２本のやや小径状のサブ排気路３７’ｂ，３７’ｂが、上記ベース基体リング部３１’からベースリング部３１のベース基柱部３１ａを軸方向に貫通して、上述した回転ハブ体２２の内部側空間に開口するように設けられている。このような構成の実施形態においても、上述した実施形態と同様な作用・効果が得られる。
【００５１】
ここで、本発明を適用するハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）に用いられるスピンドルモータの他の例を説明しておくこととする。すなわち、上述した実施形態と同一の構成物に対しては同一の構成物を付した図５に示されている軸回転型のＨＤＤ駆動装置に用いられるスピンドルモータは、いわゆるシングルスラスト動圧軸受装置を備えたものであって、上述した実施形態とはスラスト軸受部の構造が異なっている。ここでは、上述した実施形態と同一の構成部分については同一の符号を伏して説明を省略することとし、異なる構成の部位についての説明を以下に行うこととする。
【００５２】
まず、動圧軸受スリーブ４３の図示下端側に設けられた開口部は、カバー４３ａにより閉塞されており、各ラジアル動圧軸受部ＲＢ内の潤滑流体が外部に漏出しない構成になされている。また、上記動圧軸受スリーブ４３の図示上端面と、上述した回転ハブ２２の中心側部分における図示下端面とは、軸方向に近接した状態で対向するように配置されており、それら動圧軸受スリーブ４３の図示上端面と、回転ハブ２２の図示下端面との間の軸方向対向領域に、スラスト動圧軸受部ＳＢが設けられている。すなわち、上記スラスト動圧軸受部ＳＢを構成している両対向動圧面４３，２２の少なくとも一方側には、例えばへリングボーン形状のスラスト動圧発生溝（図示省略）が形成されており、そのスラスト動圧発生溝を含む軸方向対向部分がスラスト動圧軸受部ＳＢになされている。
【００５３】
このようなスラスト動圧軸受部ＳＢを構成している動圧軸受スリーブ４３の図示上端面側の動圧面と、それに近接対向する回転ハブ２２の図示下端面側の動圧面とは、数μｍの微少隙間を介して軸方向に対向配置されているとともに、その微少隙間からなる軸受空間内に、オイルや磁性流体やエアー等の潤滑流体が、上述したラジアル動圧軸受部ＲＢから連続的に充填されていて、回転時に、上述したスラスト動圧発生溝のポンピング作用によって上記潤滑流体が加圧されて動圧を生じ、その潤滑流体の動圧によって回転軸２１および回転ハブ２２が、スラスト方向に浮上した非接触状態で軸支持される構成になされている。
【００５４】
さらに、上記動圧軸受スリーブ４３の外周壁面には、毛細管シール部４４からなる流体シール部が画成されている。すなわち、この流体シール部としての毛細管シール部４４は、前述したスラスト動圧軸受部ＳＢを含む軸方向のスラスト対向領域に対して半径方向外方側から連設されるように設けられており、前記動圧軸受スリーブ４３の外周壁面と、当該動圧軸受スリーブ４３の外周壁面に対して半径方向に対向するように配置された抜け止め部材としての環状胴部材４５の内周壁面と、によって上記毛細管シール部４４が画成されている。
【００５５】
より詳しくは、上記環状胴部材４５は、略リング状部材からなり、当該環状胴部材４５の外周側部分を形成している板状のハブ取付部４５ａが、上述した回転ハブ２２に設けられた固定部２２ｈにより固着されている。また、そのハブ取付部４５ａから内方側に突出するように設けられた本体部４５ｂの内周壁面は、上述した動圧軸受スリーブ４３の外周壁面に対して前記スラスト動圧軸受部ＳＢから連続する半径方向隙間を画成するように配置されており、その半径方向隙間によって、前述したスラスト動圧軸受部ＳＢ内の潤滑流体の外部流出を防止する流体シール部４４が形成されている。
【００５６】
このとき、上記流体シール部としての毛細管シール部４４を画成している環状胴部材４５の内周壁面と、動圧軸受スリーブ４３の外周壁面との間の隙間は、図示下方側の開口側（図示下方側）に向かって連続的に拡大するように形成され、テーパ状のシール空間を構成している。そして、上述したスラスト動圧軸受部ＳＢ内の潤滑流体は、上記毛細管シール部４４に至るまで連続的に充填されており、当該毛細管シール部４４の途中位置に潤滑流体の液面が常時位置するように構成されている。またこのとき、上記毛細管シール部４４を画成している動圧軸受スリーブ４３の外周壁面、および前記環状胴部材４５における本体部４５ｂの内周壁面の双方は、当該毛細管シール部４４の開口側（図示下方側）に向かって半径方向内方側に傾斜するテーパ面を有するように形成されており、当該毛細管シール部４４の中心軸線が、開口側（図示下方側）に向かって半径方向内方側に傾斜するように形成されている。これによって、本来の毛細管シール作用に加えて、回転時の遠心力が、上記毛細管シール部４４内の潤滑流体を外周側、すなわち内部側（図示上側）に押し込むように作用する構成になされている。
【００５７】
一方、上記固定部２２ｈは、前記回転ハブ２２の図示下端面であって上記スラスト動圧軸受部ＳＢの半径方向外方側の領域に、軸方向（図示下方向）に突出するように形成されており、当該固定部２２ｈに対して、前記環状胴部材４５のハブ取付部４５ａを外方側から覆うようにカシメ等による塑性変形が施される構成になされており、その固定部２２ｈの塑性変形によって上記環状胴部材４５のハブ取付部４５ａが強固な固定状態になされるようになっている。
【００５８】
このとき、上記固定部２２ｈの内周壁面は、前記環状胴部材４５のハブ取付部４５ａを予め決められた位置に位置決め案内する規制面を構成するように形成されており、当該固定部２２ｈの位置決め規制面に沿って、上記環状胴部材４５のハブ取付部４５ａが軸方向に摺動されながら装着されることによって、その環状胴部材４５の全体が、容易かつ高精度に装着されるようになっている。
【００５９】
一方、上記動圧軸受スリーブ４３の図示上端部分には、半径方向外方側に張り出すように突出する抜止め係止鍔部４３ｂが設けられており、その抜止め係止鍔部４３ｂの一部が、上述した環状胴部材４５の本体部４５ｂの図示上面側に対して軸方向に対向するように配置されている。そして、これら両部材４３ｂ，４５ｂが軸方向に当接可能に配置されていることによって、前記回転ハブ２２が軸方向に抜け出すことを防止する構成になされている。
【００６０】
すなわち、その動圧軸受スリーブ４３における抜止め係止鍔部４３ｂの半径方向外方側には、上述した環状胴部材４５のハブ取付部４５ａが配置されており、上記抜止め係止鍔部４３ｂの外周壁面に対して、上記環状胴部材４５のハブ取付部４５ａの内周壁面が、半径方向外方側から対面するように配置されている。
【００６１】
以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能であるというのは言うまでもない。
【００６２】
例えば、上述した実施形態は、ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）用のスピンドルモータに対して本発明を適用したものであるが、その他の多種多様なディスク駆動装置に対しても本発明は同様に適用することができるものである。
【００６３】
また、本発明にかかる検査軸受体は、上述した実施形態のような中空円筒状のものに限定されることはなく、軸受部の内周面が円錐状をなすように形成されたコニカル軸受部を備えたものに形成することも可能である。
【００６４】
さらに、本発明にかかる検査軸受体は、上述した実施形態のような多孔質材料から形成されたものに限定されることはなく、例えば図６、図７および図８に示されているような静圧軸受を検査軸受体に採用することも可能である。
【００６５】
それらの概略構造を説明しておくと、図６に示されている自成絞り型静圧軸受６３は、軸支持用空気供給路の絞り部として、内径０．１ｍｍから０．３ｍｍ程度の極めて小さな小径の供気孔６３ｂが軸受部６３ａの表面に開口するように設けられたものであり、また図７に示されているオリフィス絞り型静圧軸受７３は、空気の絞り作用を有するオリフィス７３ｂが軸支持用空気供給路の途中位置に設けられたものである。さらに図８に示されている表面絞り型静圧軸受８３は、軸受側または軸側の少なくとも一方側の軸受面に、深さ２０μｍ〜３０μｍ程度のステップ溝８３ｂを複数設けておき、それらの各ステップ溝８３ｂにおける回転方向の端縁部分に絞り作用をもたせるように構成されたものである。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１にかかる回転振れ検査装置または請求項９にかかる回転振れ検査方法は、回転体に取り付けられた回転軸を中空状の検査軸受体の軸受部内に挿通し、その検査軸受体の軸受部内に空気供給手段から供給した圧縮空気により回転軸を非接触状態に浮上させて支持しつつ空気排出手段により軸受部内の圧縮空気を外方に強制排気し、回転体の回転軸を非接触状態に円滑に浮上させながら保持させることによって、回転軸側の形状精度および圧縮空気の供給による影響を無くした状態で、回転体そのものの回転振れ精度を高精度で測定するように構成したものであるから、回転体の回転振れを容易かつ高精度に測定することができ、各種回転駆動装置の信頼性を低廉かつ大幅に向上させることができる。
【００６７】
また本発明の請求項２にかかる回転振れ検査装置は、上記請求項１における検査軸受体を多孔質材料から形成したことによって、空気供給手段からの圧縮空気を多孔質材料からなる検査軸受体内に円滑に供給・排気させるように構成したものであるから、上述した効果を確実に得ることができる。
【００６８】
さらに本発明の請求項３にかかる回転振れ検査装置は、上記請求項１における回転軸の軸方向の一端側に回転体を取り付けた回転軸の軸方向の他端側をアキシャル軸受体により軸方向に支持したことによって、アキシャル軸受体により回転軸を安定的に位置決めした状態に維持し、回転体の回転振れをより高精度に測定可能としたものであるから、上述した効果を確実に得ることができる。
【００６９】
さらにまた本発明の請求項４にかかる回転振れ検査装置は、上記請求項１におけるアキシャル軸受体を球面ピボット軸受体から構成して、回転軸の軸方向端面の面精度にかからわず回転体の回転振れをより高精度で測定測定可能としたものであるから、上述した効果をさらに高めることができる。
【００７０】
一方、本発明の請求項５にかかる回転振れ検査装置は、上記請求項３における空気排出手段を回転軸の軸方向他端側に向かって開口するように設け、また本発明の請求項６にかかる回転振れ検査装置は、上記請求項３における空気排出手段を回転体の内部側空間に開口するように設けて、検査軸受体の軸受部に空気供給手段から供給された圧縮空気を空気排出手段によって円滑に排出させて検査軸受体の軸受部内における内圧の上昇を回避し、アキシャル軸受体に対して回転軸を確実に接触させた状態を維持させるように構成したものであるから、上述した効果を、より一層確実に得ることができる。
【００７１】
さらに本発明の請求項７にかかる回転振れ検査装置は、上記請求項１における回転体を回転させる方向に圧縮空気を吐出する空気流回転駆動手段を付設して、複雑な回転機構を付設することなく回転体の回転を行わせ、空気供給手段から供給された圧縮空気を利用することなどによって極めて簡易な構成で回転体を円滑に回転させるように構成したものであるから、さらに簡易な構成で上述した効果を得ることができる。
【００７２】
また本発明の請求項８にかかる回転振れ検査装置または請求項１０にかかる回転振れ検査方法は、上記請求項７または請求項９にかかる空気流回転駆動手段を、回転体の回転振れ検査時に圧縮空気の吐出を停止させるように構成して、回転体に外力が加えられない状態で回転体の回転振れを極めて高精度に測定する構成としたものであるから、上述した効果をさらに向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用する軸回転型のＨＤＤ用スピンドルモータの概要を表した縦断面説明図である。
【図２】図１に示されたＨＤＤ用スピンドルモータに用いられている回転ハブ体の回転振れを測定するように構成された本発明の一実施形態にかかる回転振れ検査装置の概略構造を表した縦断面説明図である。
【図３】図２に示された回転振れ検査装置の紙面垂直方向における縦断面説明図である。
【図４】本発明の他の実施形態にかかる回転振れ検査装置の概略構造を表した縦断面説明図である。
【図５】本発明を適用する軸回転型のＨＤＤ用スピンドルモータの他の構造例を表した縦断面説明図である。
【図６】本発明の他の実施形態にかかる検査軸受体の概略構造を表した縦断面説明図である。
【図７】本発明のさらに他の実施形態にかかる検査軸受体の概略構造を表した縦断面説明図である。
【図８】本発明のさらに他の実施形態にかかる検査軸受体の概略構造を表した縦断面説明図である。
【符号の説明】
１１  ベースフレーム
１２  スリーブ保持部（軸受ホルダー）
１３  軸受スリーブ
２１  回転軸
２２  回転ハブ体
２２ａ  環状胴部
２２ｂ  ロータマグネット
２２ｃ  フランジ状部材
２２ｄ  ディスク搭載面
３０  回転振れ検査装置
３１  ベースリング部
３１ａ  ベース基柱部
３１ｂ  カバーリング部
３１ｃ  凹部
３２  軸受ホルダー
３３  検査軸受体
３３ａ  軸受部
３４  球面ピボット軸受体
３４ａ  支持ボール
３５  バッファ空間
３６  軸支持用空気供給路（空気供給手段）
３６ａ  メイン供給路
３６ｂ  サブ供給路
３７  排気用空気通路（空気排出手段）
３８  回転用空気通路（空気流回転駆動手段）
３８ａ  空気吐出部分
３１’  ベース基体リング部
３７’    排気用空気通路（空気排気手段）
３７’ａ  メイン排気路
３７’ｂ  サブ排気路
４３  動圧軸受スリーブ
４３ｂ  抜止め係止鍔部
４５  環状胴部材
４５ａ  ハブ取付部
４５ｂ  本体部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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