(57)【要約】【課題】被研磨物の研磨後の厚みのばらつき精度を数十μｍ程度にさせ得る研磨材固定用の両面粘着テープを提供する。【解決手段】独立気泡が均一に分布している厚み０．５〜２．０ｍｍの樹脂製発泡体シート１の片面に樹脂フィルム２が積層された積層シート４の両面に、粘着剤層５，６が設けられてなることを特徴とする研磨材固定用両面粘着テープ７。更に、樹脂製発泡体シートの、温度１０〜６０℃における貯蔵弾性率が１．０×１０６  〜１．０×１０７  Ｐａである上記の研磨材固定用両面粘着テープ。更に、樹脂製発泡体シートの、厚みのばらつきが±１％以内である上記の研磨材固定用両面粘着テープ。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
独立気泡が均一に分布している厚み０．５〜２．０ｍｍの樹脂製発泡体シートの片面に樹脂フィルムが積層された積層シートの両面に、粘着剤層が設けられてなることを特徴とする研磨材固定用両面粘着テープ。
【請求項２】
樹脂製発泡体シートの、温度１０〜６０℃における貯蔵弾性率が１．０×１０６  〜１．０×１０７  Ｐａであることを特徴とする請求項１記載の研磨材固定用両面粘着テープ。
【請求項３】
樹脂製発泡体シートの、厚みのばらつきが±１％以内であることを特徴とする請求項１又は２記載の研磨材固定用両面粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンウエハ、レンズ、ガラス、アルミニウムディスクなどを研磨材を用いて研磨する際に、研磨材を固定するために用いる両面粘着テープに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、シリコンウエハ、レンズ、ガラス、アルミディスクなどを研磨するための研磨材としては、ポリウレタン発泡体などを素材にした研磨パッドと呼ばれるものが多用されている。その際の研磨方式としては、研磨機の定盤と呼ばれる円盤に両面粘着テープを用いて研磨パッドを固定し、アルカリ性もしくは酸性に調整された水溶液に砥粒等の研磨材を混合したスラリー液と呼ばれる水溶液中で、被研磨物を回転運動や往復運動によって研磨する方式がとられる。この際に用いられる両面粘着テープとしては、例えば、特許文献１、特許文献２に記載されたものが挙げられる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３５４９２６号公報
【特許文献２】特開２００２−１４６３０２号公報
【０００４】
そして、半導体デバイスなどを研磨する際に、特に研磨後の厚みのばらつきが数百μｍ以内という極めて高い精度を求める場合には、研磨パッドに、クッション性のある発泡体を芯材とした両面粘着テープを貼り合わせたものが用いられる場合がある。このような両面粘着テープを用いることにより、２層構造のパッドを形成し、研磨時の研磨精度を向上させることができる。このような両面粘着テープに用いられる発泡体としては、ポリウレタンやポリエチレン素材のものが用いられる。しかしながら、研磨後の厚みのばらつきの精度が数十μｍ程度が必要な場合には、従来の一般的な発泡体を芯材とした両面粘着テープを用いたのでは難しいという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記従来の研磨材固定用の両面粘着テープの問題を解決するものであり、その目的とするところは、被研磨物の研磨後の厚みのばらつき精度を数十μｍ程度にさせ得る研磨材固定用の両面粘着テープを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明では、独立気泡が均一に分布している厚み０．５〜２．０ｍｍの樹脂製発泡体シートの片面に樹脂フィルムが積層された積層シートの両面に、粘着剤層が設けられてなることを特徴とする研磨材固定用両面粘着テープが提供される。
【０００７】
本発明において用いられる樹脂製発泡体シートとしては、独立気泡が均一に分布している発泡体シートであることが必要であり、その厚みは０．５ｍｍ未満になると発泡体シートによるクッション性が低下して研磨工程での平坦化効果が低くなってしまうことがあり、２．０ｍｍを超えると剪断方向の力に対して変形を起こし易くなり研磨工程での平坦化効果が低くなってしまうことがあるので、０．５〜２．０ｍｍに限定される。上記独立気泡の平均発泡粒径としては１００μｍ程度が好ましい。独立気泡が均一に分布しているとは、発泡体の発泡粒径を平均発泡粒径とその標準偏差で表した時の、変動係数（＝標準偏差÷平均発泡粒径×１００）が１０％以内であることを意味する。
【０００８】
上記発泡体シートの材質としては、ポリウレタンが好ましい。
【０００９】
本発明において用いられる樹脂製発泡体シートの温度１０〜６０℃における貯蔵弾性率は、１．０×１０６  〜１．０×１０７  Ｐａであることが好ましい。上記貯蔵弾性率は、粘弾性測定装置で測定される。
【００１０】
本発明において用いられる樹脂製発泡体シートの厚みのばらつきは、大きくなると被研磨物の研磨後の厚みのばらつきが大きくなるので、±１％以内であることが好ましい。
【００１１】
本発明において用いられる樹脂フィルムとしては、その厚みは２５〜５０μｍ程度が好ましい。上記樹脂フィルムの材質としては、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。
【００１２】
本発明において、樹脂製発泡体シートと樹脂フィルムとの積層シートを得る方法としては、樹脂製発泡体シートと樹脂フィルムとを別々に製造した後、粘着剤を用いて貼りあわせる方法が挙げられる。ここで用いられる粘着剤としては、特に限定されないが、アクリル系粘着剤が挙げられる。
【００１３】
本発明における積層シートの両面に設けられる粘着剤層を構成する粘着剤は、特に限定されないが、特に定盤に貼り合わせる側の粘着剤層を構成する粘着剤は、研磨時に剥がれ難くすることと、研磨終了後に再剥離するために研磨液中での安定性をバランス良く実現するという点で、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤等が好ましく、粘着剤層の塗工厚みとしては２０〜１２０μｍであることが好ましい。
【００１４】
このように構成された本発明の研磨材固定用両面粘着テープは、一方の面の粘着剤層が研磨材の貼り合わせ面となるように貼り付けられ、他方の面の粘着剤層が研磨機の定盤に貼り付けられて研磨に使用される。
【００１５】
（作用）
本発明の研磨材固定用両面粘着テープにおいては、独立気泡が均一に分布している厚み０．５〜２．０ｍｍの樹脂製発泡体シートの片面に樹脂フィルムが積層された積層シートを用いるので、発泡体シートの部位による硬度のばらつきが少ないため被研磨物の研磨後の厚みのばらつき精度を数十μｍ程度にさせ得る。
更に、上記樹脂製発泡体シートの、温度１０〜６０℃における貯蔵弾性率が１．０×１０６  〜１．０×１０７  Ｐａとすると、研磨時に発生する摩擦熱により環境温度が上昇しても発泡体シートの性質の変化が少ないので、被研磨物の研磨後の厚みのばらつき精度を、より容易に、数十μｍ程度にさせ得る。
更に、上記樹脂製発泡体シートの、厚みのばらつきが±１％以内とすると、発泡体シートの厚みのばらつきが少ないので、被研磨物の研磨後の厚みのばらつき精度を、より容易に、数十μｍ程度にさせ得る。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例及び比較例を示す。
（実施例１）
図１に示すように、発泡体シート１として表１に示した物性のポリウレタン発泡体シート（厚み１０００μｍ、図２にその断面の走査型電子顕微鏡写真を示すように、気泡の大きさが均一である）を用い、その片面に樹脂フィルム２としてポリエチレンテレフタレートフィルム（厚さ３８μｍ）を、アクリル系粘着剤（乾燥後厚み５０μｍ）３を用いて積層して積層シート４を得た。得られた積層シート４の発泡体シート１の面上に粘着剤層５としてアクリル系粘着剤（乾燥後厚み５０μｍ、研磨に使用される際には、研磨パッドに付着される）を塗布し乾燥した。さらに、積層シート４の樹脂フィルム２面上に粘着剤層６としてアクリル系粘着剤（乾燥後厚み５０μｍ、研磨に使用される際には、研磨機定盤に付着される）を塗布し乾燥して、研磨材固定用両面粘着テープ７を製造した。
【００１７】
（実施例２）
発泡体シート１として表１に示した物性のポリウレタン発泡体シート（厚み１２００μｍ）を用いた他は、実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。
【００１８】
（比較例１）
発泡体シート１として気泡の大きさが不均一なポリウレタン発泡体シート（厚み１０００μｍ、図３にその断面の走査型電子顕微鏡写真を示すように、気泡の大きさが均一ではない）を用いた他は、実施例１と同様にして研磨材固定用両面粘着テープを製造した。
【００１９】
（比較例２）
ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚さ３８μｍ）の片面にアクリル系粘着剤（乾燥後厚み５０μｍ、研磨に使用される際には、研磨パッドに付着される）を塗布し乾燥した。さらに、上記フィルムの他面にアクリル系粘着剤（乾燥後厚み５０μｍ、研磨に使用される際には、研磨機定盤に付着される）を塗布し乾燥して、研磨材固定用両面粘着テープを製造した。
【００２０】
【表１】
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【００２１】
性能評価
実施例及び比較例の研磨材固定用両面粘着テープ７を図４に示すように、研磨パッド８（硬質ウレタン発泡体からなる研磨材、ロデールニッタ社製の「ＩＣ−１０００」）及び研磨機定盤９に粘着させた研磨装置を用い、直径が２００ｍｍのシリコンウエハ基盤を以下のようにして研磨した。０．０２〜０．０５μｍのシリカ粒子を５重量％、過酸化水素水、マレイン酸水素テトラメチルアンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドおよびメチルエチルセルロースを含有するｐＨ７．２の研摩スラリーを研摩パッドの中央部に供給しながらウエハと研摩パッドを１４０ｒｐｍの回転数で回転させて平坦化処理を行った。その際研摩パッドのウエハへの当接圧力は９８０〜４９０００Ｐａとした。研磨終了後、シリコンウエハの研摩後の厚み差の最大値を求めることにより平坦性を評価した。その結果を表２に示した。
【００２２】
【表２】
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【００２３】
【発明の効果】上述の通り、本発明によれば、被研磨物の研磨後の厚みのばらつき精度を数十μｍ程度にさせ得る研磨材固定用の両面粘着テープが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の研磨材固定用両面粘着テープの一例を示す模式断面図である。
【図２】実施例１で用いられたポリウレタン発泡体の断面の走査型電子顕微鏡写真である。
【図３】比較例１で用いられたポリウレタン発泡体の断面の走査型電子顕微鏡写真である。
【図４】研磨材固定用両面粘着テープの使用方法を例示する模式断面図である。
【符号の説明】
１  発泡体シート
２  樹脂フィルム
３  粘着剤
４  積層シート
５  粘着剤層（研磨パッド側）
６  粘着剤層（定盤側）
７  研磨材固定用両面粘着テープ
８  研磨パッド
９  研磨機定盤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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