(57)【要約】【課題】ガラス基板ケースの検査をインラインで行って梱包時の発塵の抑制、梱包ミスの軽減を図る。【解決手段】ケースの対向面にガラス基板（３）を挿入する複数の溝（４）が所定のピッチで形成されたガラス基板ケース（１）において、対向する始端の溝部及び終端の溝部にそれぞれ位置検出用の指標（５）が形成されているものである。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケースの対向面にガラス基板を挿入する複数の溝が所定のピッチで形成されたガラス基板ケースにおいて、
対向する始端の溝部及び終端の溝部にそれぞれ位置検出用の指標が形成されていることを特徴とするガラス基板ケース。
【請求項２】
前記指標は各溝部に形成された切り欠きであることを特徴とする請求項１記載のガラス基板ケース。
【請求項３】
ケースの対向面にガラス基板を挿入する複数の溝が所定のピッチで形成され、対向する始端の溝部及び終端の溝部にそれぞれ位置検出用の指標が形成されたガラス基板ケースと、
ガラス基板ケースが載置されるテーブルと、
テーブルの位置調整を行い、テーブル位置信号を出力可能なテーブル位置調整機構と、
ガラス基板を把持する把持手段を有し、ガラス基板を把持してガラス基板ケースに投入して梱包動作を行う梱包ロボットと、
前記位置検出用の指標を検出するセンサと、
テーブル位置調整機構からのテーブル位置信号、センサからの指標位置検出信号を取り込んで溝ズレ等のケース製作誤差を演算し、演算結果を梱包ロボットへフィードバックするするシーケンサとを備え、
前記梱包ロボットは、シーケンサからの演算結果に基づいて把持手段を制御し、梱包動作を行うことを特徴とするガラス基板梱包装置。
【請求項４】
シーケンサの演算結果によりケース製作誤差が所定値より大きいとき、ケース精度不良警報を発することを特徴とする請求項３記載のガラス基板梱包装置。
【請求項５】
前記センサを梱包ロボットに取り付け、ロボットにより位置検出用の指標にセンサを近づけて検出することを特徴とする請求項３記載のガラス基板梱包装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス基板ケースの溝ピッチ等を測定可能にしたガラス基板ケース及びガラス基板を梱包する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図３は従来のガラス基板ケースを説明する斜視図、図４はガラス基板ケースを説明する平面図である。
矩形のガラス基板ケース１はテーブル２に保持され、図示しないスライド機構により位置調整し、ロボットを使って上方よりガラス基板３が投入される。図４に示すように、ガラス基板ケース内には対向面に複数の溝４が所定ピッチで形成され、この溝にガラス基板が挿入されて保持される。ガラス基板の投入に際しては、テーブル２或いはガラス基板ケース内面においてその位置を検出し、スライド機構でＸ、Ｙ（縦、横方向）、角度（θ）の位置補正を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の装置では、ケース下部のテーブル或いはケース内面を検出してＸ、Ｙ、θ方向に移動してケース位置の補正を行っているが、ケース自体の製作誤差や歪みについては対応できない。通常、ガラス基板ケースは発泡及び樹脂成形で構成されるが、溝部には製作誤差（発泡・成形誤差）が生じる。例えば、図５に示すように、対向する面の溝位置がずれた場合には、ガラス基板３が投入できない（投入ミス）か、或いは投入できる程度の溝ズレの場合でもガラス基板でケース内面を削ってしまい、ゴミを発生させてしまう。しかし、現状ではオフラインで検査治具を使って人手で管理を行わざるを得ず、作業的に全数検査を実施できないため外観チェック等の簡易検査を行うのみで十分な対応ができない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決し、ガラス基板ケースの検査をインラインで行って梱包時の発塵の抑制、梱包ミスの軽減を図ろうとするものである。
本発明のガラス基板ケースは、ケースの対向面にガラス基板を挿入する複数の溝が所定のピッチで形成されたガラス基板ケースにおいて、
対向する始端の溝部及び終端の溝部にそれぞれ位置検出用の指標が形成されていることを特徴とする。
また、本発明のガラス基板梱包装置は、ケースの対向面にガラス基板を挿入する複数の溝が所定のピッチで形成され、対向する始端の溝部及び終端の溝部にそれぞれ位置検出用の指標が形成されたガラス基板ケースと、
ガラス基板ケースが載置されるテーブルと、
テーブルの位置調整を行い、テーブル位置信号を出力可能なテーブル位置調整機構と、
ガラス基板を把持する把持手段を有し、ガラス基板を把持してガラス基板ケースに投入して梱包動作を行う梱包ロボットと、
前記位置検出用の指標を検出するセンサと、
テーブル位置調整機構からのテーブル位置信号、センサからの指標位置検出信号を取り込んで溝ズレ等のケース製作誤差を演算し、演算結果を梱包ロボットへフィードバックするするシーケンサとを備え、
前記梱包ロボットは、シーケンサからの演算結果に基づいて把持手段を制御し、梱包動作を行うことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図１は本実施形態のガラス基板ケースを説明する平面図、図２はガラス基板梱包装置の構成を説明する概念図である。
【０００６】
図１において、ガラス基板ケース１の構造自体は図４で説明したものと同様で、発泡・樹脂成形で構成されたケースの対向する面には所定ピッチで溝４が形成され、この溝にガラス基板３が投入される。本実施形態では、対向する溝の第１（始端）の溝部と、最終（終端）の溝部（４箇所）に切り欠き等からなる位置検出用の指標５が形成される。そして、この指標位置をセンサで検出することにより、各面の溝の始端と終端間の長さから溝ピッチ（溝数は一定）が分かり、対向する溝位置のずれ、トータルピッチずれ（ケースの発泡・成形誤差によるずれ）、またケース精度（製作誤差及び歪み）を判定することができる。こうして検出した溝ピッチや歪みに基づいて、ガラス基板を投入する位置、投入角度を補正することにより、発塵を抑制し、投入ミスを低減することができる。
【０００７】
次に、ガラス基板梱包装置について説明する。
図２において、ガラス基板ケース１はアライメントするためのテーブル２に載せ、サーボモータ１３でテーブルスライド機構１２を駆動してＸ、Ｙ方向にスライドさせて位置調整している。ガラス基板ケース１の４箇所に形成された指標５は、それらの付近に設置されたセンサ６で検出される。そして、サーボモータ１３からはテーブル位置を示す位置検出信号、センサ６からは検出した各指標５の位置を示す信号がシーケンサ１１に送られる。シーケンサ１１はパソコン等からなり、ケーブル位置検出信号と指標位置信号を取り込んで対向する溝位置のズレ、トータルピッチズレ、溝部の成形及び歪み誤差を演算し、演算データを梱包ロボット１０へフィードバックし、ガラス基板を把持する梱包ロボットの手首の軸、基板投入ピッチを変更し梱包動作を行う。また、シーケンサの演算結果が所定の製作誤差を上回った場合、ケース精度不良警報を発生し、ガラス基板の投入ができないことを知らせる。
【０００８】
なお、上記説明ではガラス基板ケースをアライメントするテーブル自体をスライドさせるようにしたが、テーブルを固定しセンサを駆動するようにしてもよく、その場合、センサをロボットに取り付けて指標の位置を検出するようにしてもよい。
【０００９】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、ガラス基板ケースの検査をインラインで実施可能となり、梱包時に発生する塵を抑制し、また、梱包ミスの軽減を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ガラス基板ケースを説明する平面図である。
【図２】ガラス基板梱包装置の構成を説明する概念図である。
【図３】従来のガラス基板ケースを説明する斜視図である。
【図４】ガラス基板ケースを説明する平面図である。
【図５】対向する溝の位置がずれた場合の説明図である。
【符号の説明】
１…ガラス基板ケース、２…テーブル、３…ガラス基板、４…溝、５…指標、６…センサ、１０…梱包ロボット、１１…シーケンサ、１２…テーブルスライド機構、１３…サーボモータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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