(57)【要約】【課題】安価でありながらも周囲へのガスの拡散を十分に防げる供給配管、その供給配管を使用した気体または液体の供給方法、およびガスが周囲に染み出しにくい薬液供給装置を提供する。【解決手段】薬液供給装置１においては、塩化水素に対するガス遮断性がフッ素樹脂よりも優れる樹脂シート３７で、フッ素樹脂製の配管３９を被覆しつつ、塩酸を半導体基板Ｗの洗浄ライン７に供給する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体または液体と接するフッ素樹脂層よりもガス透過性が低い低透過性樹脂からなる遮断層を、前記フッ素樹脂層よりも外側に設けたことを特徴とする供給配管。
【請求項２】
前記低透過性樹脂からなり可撓性を有するシートで、前記フッ素樹脂層の外周面を被覆することにより、前記遮断層を形成することを特徴とする請求項１記載の供給配管。
【請求項３】
前記フッ素樹脂は、四フッ化エチレン樹脂、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重合樹脂、四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂、四フッ化エチレン・エチレン共重合樹脂、エチレン−クロロトリフルオロエチレン樹脂、クロロトリフルオロエチレンおよびビニルフルオライド樹脂のグループから選択される１種のものであることを特徴とする請求項１または２に記載の供給配管。
【請求項４】
前記低透過性樹脂は、ポリ塩化ビニリデン、エチレンビニルアルコール共重合体、ポリビニルアルコール、ポリアクリロニトリル、ナイロン類、セロハンおよびポリ塩化ビニリデンコートポリプロピレンのグループから選択される１種であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の供給配管。
【請求項５】
気体または液体と接するフッ素樹脂層よりもガス透過性が低い低透過性樹脂からなる遮断層を、前記フッ素樹脂層よりも外側に設けた供給配管を介して気体または液体を、それらの供給装置から供給することを特徴とする気体または液体の供給方法。
【請求項６】
前記低透過性樹脂からなり可撓性を有するシートで、前記フッ素樹脂層の外周面を被覆することにより、前記遮断層を形成することを特徴とする請求項５記載の気体または液体の供給方法。
【請求項７】
前記供給配管を介して供給される気体または液体は、ハロゲン化水素を含むことを特徴とする請求項５または６に記載の気体または液体の供給方法。
【請求項８】
前記ハロゲン化水素は塩化水素であり、前記液体は塩酸であることを特徴とする請求項７記載の気体または液体の供給方法。
【請求項９】
ポリ塩化ビニリデン、エチレンビニルアルコール共重合体、ポリビニルアルコール、ポリアクリロニトリル、ナイロン類、セロハンおよびポリ塩化ビニリデンコートポリプロピレンのグループから選択される１種の樹脂からなるシートにより外周全面を被覆した、フッ素樹脂およびポリプロピレン樹脂の少なくとも一方からなる薬液貯蔵タンクを有することを特徴とする薬液供給装置。
【請求項１０】
薬液供給用機器と、薬液と接するフッ素樹脂層よりもガス透過性が低い低透過性樹脂からなる遮断層を、前記フッ素樹脂層よりも外側に設けた供給配管とをさらに有し、その供給配管で前記薬液貯蔵タンクと前記薬液供給用機器、もしくは前記薬液供給用機器同士を接続して、前記薬液の輸送を行うようにしたことを特徴とする請求項９記載の薬液供給装置。
【請求項１１】
前記薬液は、塩酸であることを特徴とする請求項９または１０記載の薬液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体または液体の供給配管、気体または液体の供給方法および薬液供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体基板や半導体デバイスを製造するにあたっては、基板を常に清浄に保つことが重要である。そのために、薬液や純水を用いて基板の洗浄が行なわれている。基板の洗浄ラインには、薬液供給装置から供給配管を通じて薬液が随時供給される。腐食性を有する薬液の供給には、耐腐食性の高い材料で構成した供給配管が必須である。この要請に応える樹脂としては、フッ素樹脂が代表的であり、これを供給配管の材料とすることが慣例となっている。
【０００３】
しかしながら、フッ素樹脂は、ガス遮断性が不十分であることが良く知られており、これを供給配管の材料として使用すると薬液成分ガスが配管外部に染み出る。染み出た薬液成分ガスは、強い腐食雰囲気を形成し、配管の周囲に配置された機器の不具合や、作業環境の悪化を招く。そこで、下記特許文献には、外表面に金属膜を蒸着してガスの染み出しを防ぐようにした配管が記されている。
【０００４】
【特許文献】
特開２０００−２３７２号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
確かに、上記特許文献に記載された配管によるとガスの染み出しを防げるが、配管内部を腐食性の薬液が流通するような場合には、金属膜自体の腐食が懸念される。そうかといって、白金や金を使用することはコスト面の観点から妥当ではない。
【０００６】
そこで本発明は、安価でありながらも周囲へのガスの拡散を十分に防げる供給配管、その供給配管を使用した気体または液体の供給方法、およびガスが周囲に染み出しにくい薬液供給装置を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】
上記課題を解決するために本発明の供給配管は、気体または液体と接するフッ素樹脂層よりもガス透過性が低い低透過性樹脂からなる遮断層を、前記フッ素樹脂層よりも外側に設けたことを特徴とする。
【０００８】
上記本発明の供給配管によれば、フッ素樹脂層（内層）に接して流通する気体または液体の成分がフッ素樹脂層を透過した場合においても、外側に設けられた遮断層を透過することはより困難となる。そのため、気体または液体の成分が周囲に染み出ることが抑制される。したがって、染み出たガスに曝されることが原因で、配管の周囲に配置された機器に、故障や誤動作が発生する可能性は低減する。
【０００９】
好適な態様においては、低透過性樹脂からなり可撓性を有するシートで、フッ素樹脂層の外周面を被覆することにより、遮断層を形成することができる。この形態によると、施工済みの配管や長尺の配管、継手の外周面にも簡便に遮断層を形成することができる。
【００１０】
上記フッ素樹脂としては、四フッ化エチレン樹脂、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重合樹脂、四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂、四フッ化エチレン・エチレン共重合樹脂、エチレン−クロロトリフルオロエチレン樹脂、クロロトリフルオロエチレンおよびビニルフルオライド樹脂のグループから選択される１種のものを使用することができる。これらのフッ素樹脂は、不純物をほとんど含まず、配管内を流れる気体や液体を汚染する可能性が低いので、好適である。
【００１１】
一方、低透過性樹脂としては、ポリ塩化ビニリデン、エチレンビニルアルコール共重合体、ポリビニルアルコール、ポリアクリロニトリル、ナイロン類、セロハンおよびポリ塩化ビニリデンコートポリプロピレンのグループから選択される１種のものを使用することができる。これらの樹脂は、フッ素樹脂よりガス遮断性が高いため、フッ素樹脂配管を透過してきたガスが周囲に放出されることを抑止することができる。
【００１２】
また、本発明の気体または液体の供給方法は、気体または液体と接するフッ素樹脂層よりもガス透過性が低い低透過性樹脂からなる遮断層を、前記フッ素樹脂層よりも外側に設けた供給配管を介して気体または液体を、それらの供給装置から供給することを特徴とする。
【００１３】
上記本発明によれば、供給配管内を流通する気体または液体の成分が、内層をなすフッ素樹脂層を透過した場合においても、外側に設けられた遮断層を透過することはより困難となる。気体または液体の成分が周囲に染み出ることを抑制しつつ、ユースポイントに気体ないし液体を供給できるので、染み出たガスに曝されることが原因で、配管の周囲に配置された機器に、故障や誤動作が発生する可能性は低減する。
【００１４】
また、低透過性樹脂からなり可撓性を有するシートで、フッ素樹脂層の外周面を被覆することにより、遮断層を形成することができる。この形態によると、施工済みの配管や長尺の配管、継手の外周面にも簡便に遮断層を形成することができる。
【００１５】
さらに、供給配管を介して供給される気体または液体は、ハロゲン化水素を含むものとされる。ハロゲン化水素は、エッチング性が高く、これが配管の周りに染み出ると、センサ類やポンプのような機器の部品を腐食させる。そのため、本発明により染み出しを防ぐ対象としては好適である。特に、半導体製造工程において洗浄液やエッチング液として多用されている塩酸の成分である塩化水素ガスは、フッ素樹脂を透過しやすいので、本発明により染み出しを防ぐべきである。
【００１６】
また、本発明の薬液供給装置は、ポリ塩化ビニリデン、エチレンビニルアルコール共重合体、ポリビニルアルコール、ポリアクリロニトリル、ナイロン類、セロハンおよびポリ塩化ビニリデンコートポリプロピレンのグループから選択される１種の樹脂からなるシートにより外周全面を被覆した、フッ素樹脂およびポリプロピレン樹脂の少なくとも一方からなる薬液貯蔵タンクを有することを特徴とする。
【００１７】
上記本発明の薬液供給装置において、フッ素樹脂もしくはフッ素樹脂と同程度のガス透過性を有するポリプロピレン樹脂製の薬液貯蔵タンクは、薬液に含有される成分がタンク壁面を透過したとしても、低透過性樹脂により被覆されているため、ガスが周囲に染み出ることについては、防止ないし抑制することができる。したがって、タンクから染み出たガスに曝されることが原因で、タンクの周囲に配置された機器が故障や誤動作を起こすことを防止ないし抑制することができる。
【００１８】
また、上記の薬液供給装置は、薬液供給用機器と、薬液と接するフッ素樹脂層よりもガス透過性が低い低透過性樹脂からなる遮断層を、フッ素樹脂層よりも外側に設けた供給配管とをさらに有するものとして構成できる。そして、その供給配管で薬液貯蔵タンクと薬液供給用機器、もしくは薬液供給用機器同士を接続して、薬液の輸送を行うようにすることができる。このようにすると、供給配管および薬液貯蔵タンクの双方について、薬液成分ガスの放出源となることを防げる。したがって、供給配管や薬液貯蔵タンクの周囲に配置される薬液供給用機器が故障や誤動作を起こすことを防止ないし抑制できる。特に、半導体製造工程においては、薬液として塩酸が多用されているため、本発明の薬液供給装置を採用することは、非常に有意である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明するが、本発明はこれに限定されるわけではない。図１は、半導体基板の洗浄ラインに薬液を供給するための薬液供給装置１の模式図である。
【００２０】
薬液供給装置１は、キャビネット１ａ、原液供給部９および循環濾過部１１を含んで構成されている。半導体基板Ｗの洗浄ライン７に配置された洗浄槽３への薬液の供給は、循環濾過部１１に設けられたバルブ３３の開閉によって行うようになっている。循環濾過部１１からの薬液は、秤量タンク５でいったん所定量に秤量して、洗浄槽３に移送する。図１には、薬液供給装置を１つのみ示しているが、洗浄槽３には複数種類の洗浄液、たとえば塩酸、純水、過酸化水素水などが別々の供給装置から供給されるようになっている。本実施形態に示す薬液供給装置１は、ハロゲン化水素を含有する薬液、具体的には塩酸を供給するための装置として構成されている。
【００２１】
原液供給部９は、薬液貯蔵タンクの１つである原液タンク１３、ポンプ１５、パルスダンパー１７、フィルター１９、それらを互いにつなぐ配管３９を備えている。原液タンク１３は、薬液である塩酸（１２ｍｏｌ／ｌｉｔｅｒ）の供給源であり、配管３９に簡単に着脱可能である。一方、循環濾過部１１は、薬液貯蔵タンクの１つであるホールドタンク２３、ポンプ２５、パルスダンパー２７、フィルター２９、バルブ３１，３３、それらを互いにつなぐ配管３９を備えている。パルスダンパー１７，２７は、薬液が脈動することを抑制し、スムーズな流通に寄与する。フィルター１９，２９は、薬液内に混入したパーティクルを除去するものであり、たとえばフッ素樹脂製の多孔膜で構成される。
【００２２】
原液タンク１３に貯蔵された薬液は、ポンプ１５が作動することに応じて吸上げられ、配管３９を流通するとともに、パルスダンパー１７、フィルター１９を経由して希釈されることなくホールドタンク２３に導入される。ホールドタンク２３には、液量レベルセンサ２１が取り付けられており、液量が規定量を下回るとポンプ１５が作動して供給が開始され、液量が規定量を上回ると供給が停止される仕組みになっている。ホールドタンク２３に貯蔵された薬液は原液の濃度のままであり、バルブ３３を閉の状態にし、かつバルブ３１を開の状態にしてポンプ２５を作動させれば、常時循環濾過されることとなる。なお、循環濾過用の流通経路も、各機器を配管３９で繋ぐことによって形成されている。循環濾過部１１においては、フィルター２９の下流側が分岐している。洗浄ライン７に薬液を供給する場合には、循環濾過用バルブ３１が閉鎖され、かわりに供給用バルブ３３が開放される。
【００２３】
このような薬液供給装置１において、配管３９の材料には、耐薬品性に優れるという理由からフッ素樹脂が使用されている。原料タンク１３およびホールドタンク２３もフッ素樹脂製であることが好ましいが、ポリプロピレン樹脂などのフッ素樹脂以外の耐薬品性に優れる樹脂を採用することもある。さらには、薬液と接する内側をフッ素樹脂でライニングし、外側をポリプロピレン樹脂とした構成を採用することもある。なお、ライニングはフッ素樹脂をポリプロピレン樹脂に塗布する形で行ってもよいし、フッ素樹脂の薄いシートを接着剤を介してポリプロピレン樹脂表面に装着する形で行ってもよい。
【００２４】
具体的に、配管３９に好適なフッ素樹脂としては、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重合樹脂（ＦＥＰ）、四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）、四フッ化エチレン・エチレン共重合樹脂（ＥＴＦＥ）、エチレン−クロロトリフルオロエチレン樹脂（ＥＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）およびビニルフルオライド樹脂（ＰＶＦ）のグループから選択される１種のものを例示できる。これらのフッ素樹脂は、薬液への成分の溶出もほとんどなく、耐薬品性も良好である。
【００２５】
配管３９をフッ素樹脂製とする場合、配管３９のガス透過性が問題になる場合がある。特に、塩化水素やフッ化水素といったハロゲン化水素は、分子径が比較的小さいため、ガス遮断性のあまり高くない材料で配管３９を構成すると、薬液に含有されるハロゲン化水素が配管３９を徐々に透過し、キャビネット１ａ内にハロゲン化水素ガスが充満することがある。そしてこの結果、ポンプ１５，２５、パルスダンパー１７，２７、液量レベルセンサ２１などの金属部分が腐食する。
【００２６】
上記のような現象は、図１に示すように、ハロゲン化水素のガスが滞留しうる程度に区画されたキャビネット１ａ内に、薬液が流通する配管３９と、金属パーツが露出した薬液供給用機器（ポンプ、パルスダンパー、センサなど）が同居している場合に顕著である。キャビネット１ａに換気扇３５，３５が設けられる場合はあるが、塩化水素ガスのように空気よりも重いガスに対しては、高い排気効果を得ることが難しい。
【００２７】
そこで、薬液と接するフッ素樹脂よりもガス透過性が低い低透過性樹脂からなる遮断層を、配管材料の外側に設けた供給配管を介して、薬液を半導体基板Ｗの洗浄ラインに供給する。これにより、キャビネット１ａ内のハロゲン化水素ガス濃度が上昇することを抑制できる。上記遮断層は、配管と一体とする形態、別体とする形態が考えられる。ちなみに、図１には、配管３９と遮断層（樹脂シート３７）とを別体にした例を示している。
【００２８】
樹脂のガス透過性評価は、たとえばＡＳＴＭ−Ｄ１４３４や、ＪＩＳ−Ｋ７１２６に定められた試験法により行うことができる。ハロゲン化水素の透過性を直接調べることが困難である場合、酸素、窒素、二酸化炭素等についての試験結果より、ガス透過性の大小についての知見を得ることは可能である。また、ガス透過性が低いということは、ガス透過率が小さいことを意味する。
【００２９】
図１に示したような薬液供給装置を用いてユースポイントへの供給を行う薬液としては様々であるが、中でもハロゲン化水素は腐食性が強いため、本発明の適用が強く望まれる。ハロゲン化水素水溶液としてはいくつか考えられるが、特に塩酸、フッ酸は工業生産上の重要度が高い。さらに、塩化水素ガスは、フッ化水素ガスよりも質量数が大であるため排気されにくい。したがって、塩酸の供給装置に本発明を適用した場合に、得られる効果が大であるといえる。
【００３０】
（配管と遮断層とを別体にする形態）
遮断層を配管と別体に設ける方法としては、低透過性樹脂からなり可撓性を有する樹脂シート３７で、フッ素樹脂からなる配管３９の外周面を被覆することにより、これを遮断層となす方法がある。この方法を採用すると、既存の装置において部品交換等を一切必要とせずに、遮断層を設けることが可能である。
【００３１】
具体的には、図２に示すように、市販の樹脂シート３７を遮断層として配管３９に直に巻きつける方法は、簡便であり且つ樹脂シート３７も非常に安価なので、推奨される。あるいは、接着剤等を介在させて貼りつける方法を採用してもよい。また、樹脂シート３７が可撓性を有することから、配管３９の継手部分に対しても、その外形に追従するように被覆することができ、ガスの染み出しがより強く遮断される。なお、配管３９の外周全面が複数層の樹脂シート３７で覆われるようにすると、ガス遮断性が一層向上することはもちろんである。そして、この方法は既に施工された配管にも容易に適用できるので、高価なフッ素樹脂配管を交換する必要がなく、設備費が嵩むこともない。
【００３２】
さらに、樹脂シート３７と配管３９とが密着している場合には、配管３９の周囲へのガスの染み出しが一層強く抑制される。すなわち、樹脂シート３７を配管３９に巻きつけるだけでなく、接着剤等を用いて積極的に貼りつかせ、配管３９と樹脂シート３７との間の空隙をほとんど無くするようにしてもよい。なお、フッ素樹脂製の配管３９の肉厚を増すことも考え得るが、コスト高になることが予測されるし、既存の設備を使用できなくなるという問題もあるので好ましくない。
【００３３】
また、樹脂シート３７を構成する低透過性樹脂としては、たとえばポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、エチレンビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）、ナイロン類、セロハンおよびポリ塩化ビニリデンコートポリプロピレンのグループから選択されるものが、フッ素樹脂ほどではないにしても耐薬品性に優れることから好適である。また、これらの樹脂からなるシートは安価であり、入手しやすいという点も見逃せない。なお、ナイロン類（ポリアミド樹脂）としては、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン６１０、ナイロン６１２、ナイロン１２、ナイロン４６、ナイロンＭＸＤ６などを例示することができる。また、上記した各樹脂について２軸延伸加工されているものは、未延伸のものよりガス透過性が低い（ガス遮断性に優れる）ので、さらに好ましい。
【００３４】
ここで図４に、代表的なフッ素樹脂の酸素透過性能、図５に、低透過性樹脂の酸素透過性能を示す。たとえば、ＰＦＡやＦＥＰを配管材料に使用する場合、図５に示す樹脂は、全て低透過性樹脂の適性を有する。また、ＥＴＦＥを配管材料として使用する場合は、よりガス遮断性が高いポリ塩化ビニリデン樹脂（ＰＶＤＣ）やＰＶＤＣコートナイロンなどを適宜選択して使用するとよい。また、エチレンビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）およびポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）コートポリビニルアルコール（ＯＶ）には水酸基が含まれているので、湿度が増大すると水分子によって可塑化し、ガス透過性が高くなる。したがって、湿度の変動が懸念される環境においては、水酸基を有さない樹脂を使用することが望ましい。また、図５に示すように、塩化ビニリデンをコーティングすると樹脂のガス透過性を著しく低減できる。つまり、ポリプロピレンのようにフッ素樹脂に匹敵するガス透過性を有する樹脂であっても、塩化ビニリデンをコーティングすることで、低透過性樹脂として使用できる。
【００３５】
図１に示す本実施形態においては、原液タンク１３およびホールドタンク２３も樹脂シート３７（遮断層）で被覆するようにしている。つまり、薬液供給装置１は、タンクを構成する樹脂材料よりも低透過性を有する樹脂で外周全面を被覆した薬液貯蔵タンク（原液タンク１３およびホールドタンク２３）を備えている。特に、ホールドタンク２３は、常に薬液が貯蔵されているので、ガスの放出源になりやすい。したがって、これらを低透過性樹脂で完全に被覆するようにすれば、高いガス放出抑制効果を得ることができる。
【００３６】
また、薬液供給装置１は、ポンプ１５，２５、パルスダンパー１７，２７および液量レベルセンサ２１といった薬液供給用機器の金属部品がキャビネット１ａ内に露出している。そして、配管３９によって原液タンク１３およびホールドタンク２３と各薬液供給用機器が接続されている。あるいは、薬液供給用機器同士が接続される。一方、原液タンク１３およびホールドタンク２３は、樹脂シート３７で被覆してあるため、ガスの放出レベルは低い。したがって、各薬液供給用機器を原液タンク１３およびホールドタンク２３に十分に隣接させても、部品の腐食は進み難い。
【００３７】
特に、本実施形態では、使用する薬液が塩酸であることから、各薬液供給用機器の金属部品の防食に効果がある。なお、ホールドタンク２３だけでなく、ポンプ１５，２５、パルスダンパー１７，２７および液量レベルセンサ２１の各薬液供給用機器についても、個別に樹脂シート３７で被覆するようにすると、さらなる防食効果を期待できる。特に、液量レベルセンサ２１は、ホールドタンク２３に直接取り付けられて使用されるものであるから、樹脂シート３７での被覆が強く望まれる。
【００３８】
（配管と遮断層とを一体にする形態）
次に、配管と遮断層とを一体にする形態について簡単に説明する。図３（ａ）（ｂ）は、遮断層が一体に設けられた供給配管の断面図である。図３（ａ）に示す配管４９は、気体または液体と接する内層４５がフッ素樹脂で構成され、その内層４５より外側に、ハロゲン化水素に対する透過性がフッ素樹脂よりも低い、低透過性樹脂からなる遮断層５１が内層４５と一体に設けられている。すなわち、２色成形等の方法によって、このような遮断層５１を形成する。このような構造は、薬液と接する部分の耐薬品性を確保しつつ、ハロゲン化水素ガスの透過量を極めて少なくできるものであるといえる。また、図３（ｂ）に示す配管４７は、フッ素樹脂からなる内層４５と外層５３とに挟まれる中間層として遮断層５１を形成したものである。
【００３９】
遮断層５１をなす低透過性樹脂には、前述した樹脂シート３７と同様に、ポリ塩化ビニリデン、エチレンビニルアルコール共重合体、ポリビニルアルコール、ポリアクリロニトリル、ナイロン類、セロハンおよびポリ塩化ビニリデンコートポリプロピレンのグループから選択される１種を好適に用いることができる。
【００４０】
また、上記した各低透過性樹脂を主体とする樹脂塗料を、フッ素樹脂からなる配管の外周面に厚膜塗布し、遮断層となすこともできる（主体とするとは、質量％で最も多く含むことを意味する）。
【００４１】
以上に説明した実施形態は、薬液の供給に本発明を適用したものであるが、配管内をガスが流通する場合においても同様の効果が期待できるので、ハロゲン化水素ガス等のガス供給設備に本発明を適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】薬液供給装置の模式図。
【図２】配管に樹脂シートを巻きつける方法を説明する図。
【図３】遮断層が一体に設けられた供給配管の断面図。
【図４】代表的なフッ素樹脂の酸素透過率。
【図５】低透過性樹脂の酸素透過率。
【符号の説明】
１  薬液供給装置
１５，２５  ポンプ
１７，２７  パルスダンパー
１９，２９  フィルター
２１  液量レベルセンサ
２３  ホールドタンク
３７  樹脂シート（遮断層）
３９，４７，４９  配管（供給配管）
５１  遮断層
【図１】
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【図２】
2004193172.tif 000004
【図３】
2004193172.tif 000005
【図４】
2004193172.tif 000006
【図５】
2004193172.tif 000007