(57)【要約】【課題】膜厚の厚い感光性樹脂に対しても表面形状をある程度みださずに３次元構造を形成することができる三次元構造形成方法を提供する。【解決手段】基板上に所望の３次元構造を有する感光性材料を形成する３次元構造形成方法において、複数回の前記感光性材料の塗布及びそのベークを繰り返し、重ね塗りすることで、前記基板上に所定の膜厚の感光性材料を形成することを特徴とする３次元構造形成方法を提供する。【選択図】          図１
2004226661.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に所望の３次元構造を有する感光性材料を形成する３次元構造形成方法であって、
前記所望の３次元構造を形成するために必要な前記感光性材料の膜厚を決定するステップと、
前記決定ステップで決定した前記膜厚と予め設定された最大膜厚とを比較するステップと、
前記決定ステップで決定した前記膜厚が前記最大膜厚よりも厚い場合に、前記基板上の前記感光性材料が前記膜厚となるまで、前記最大膜厚内で前記感光性材料を複数回塗布するステップとを有することを特徴とする３次元構造形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般には、３次元構造形成方法に係り、特に、膜厚の厚い感光性樹脂等に３次元構造を形成する３次元構造形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年の電子機器の小型化及び薄型化の要請から電子機器に搭載される半導体素子の微細化への要求は益々高くなっており、線幅は０．１５μｍを切るようになってきている。かかる要求を満足するために投影露光装置の解像力を向上させるための提案が様々なされている。
【０００３】
投影光学系の開口数（ＮＡ）を上げること（高ＮＡ化）及び露光光源の波長を短くすることは、解像力の向上に有効な一手段であり、近年では、露光光源は、ＫｒＦエキシマレーザー（波長約２４８ｎｍ）からＡｒＦエキシマレーザー（波長約１９３ｎｍ）と進み、Ｆ２レーザー（波長約１５７ｎｍ）の実用化も進んでいる。
【０００４】
投影光学系には、光の波長によって硝材の屈折率が異なることに起因して結像性能が悪化する収差（「色収差」と呼ばれる）が存在する。このため、ＫｒＦエキシマレーザーを露光光源とする投影露光装置においては、単一の光を発光するように狭帯域化されたＫｒＦエキシマレーザーが用いられている。また、ＡｒＦエキシマレーザーを露光光源とする投影露光装置においては、光学系に石英（ＳｉＯ２）とフッ化カルシウム（ＣａＦ２）の２種類の硝材を用いて色消しが行われている。
【０００５】
Ｆ２レーザーを露光光源として用いた場合、光を透過する硝材は限られており、現在、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）、フッ化リチウム（ＬｉＦ）等が所望の透過率を得ることができる硝材であるが、投影露光装置の光学系に用いるために必要な硝材の均一性及び結晶の大口径化を達成できる硝材は、フッ化カルシウムのみである。そのため、ＡｒＦエキシマレーザーを露光光源とする投影露光装置のように２種類の硝材による色消しを行うことができない。
【０００６】
そこで、屈折レンズだけでなくミラーを用いたカタディオ系を用いて色消しを行う投影光学系が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。ミラーを用いた投影光学系は、ミラーによって光を遮らないように構成する必要があり、結像領域は軸上から特定の高さの円弧領域となる。
【０００７】
結像領域が円弧領域である投影光学系を用いてマスク（レチクル）に描画されたパターンを感光剤の塗布された基板上に投影する投影露光装置においては、マスクを円弧状の照明領域で照明する照明装置が必要となる。そこで、図１４に示すようなスリット１０００を矩形状に照明し、スリット１０００に設けられた円弧状の開口部１１００及び遮光部１２００によって円弧状の照明領域を切り出すことが行われる。ここで、図１４は、矩形状の照明領域から円弧状の照明領域を切り出すためのスリット１０００の一例を示す概略平面図である。
【０００８】
しかし、矩形状の照明領域から円弧状の照明領域を切り出すと、スリットで光線が蹴られるために照明効率の低下が起こり、感光基板上において高い照度を得ることができない。感光基板上で高い照度が得ることができないと露光時間が長くなると共に、単位時間当たりの回路パターンの転写（スループット）が落ちるために、感光基板上の高照度化が求められている。
【０００９】
そこで、感光基板上の高照度化を達成するために、光ファイバを用いる方法（例えば、特許文献２参照。）や、ハエの目レンズの素子レンズの外形を円弧形状にした円弧ハエの目レンズを用いる方法（例えば、特許文献３参照。）が提案されている。しかし、光ファイバを用いる方法は、光ファイバによる光の均一化が良好でなく、１５７ｎｍの波長に対する光ファイバがないということで実用は困難である。
【００１０】
一方、円弧ハエの目レンズを製造するには、ロッドレンズを加工後、外形を円弧状に削りだすために非常に手間がかかり、且つ、加工誤差も大きくなる。従って、円弧ハエの目レンズはコストが高くなり、また、素子レンズを積み重ねることによって加工誤差が積み上がり、全体としての性能が悪化するために円弧ハエの目レンズを用いる方法の実用も困難となる。そこで近年、フォトリソグラフィー技術を利用したマイクロレンズアレイの加工方法が提案され、円弧ハエの目レンズをマイクロレンズアレイで作製する方法が注目されている。
【００１１】
フォトリソグラフィー技術を利用したマイクロレンズアレイで作製した円弧ハエの目レンズは、フォトリソグラフィー技術を利用しているため比較的安価に作製することが可能であると共に、加工誤差も露光装置のアライメント誤差のみであるため少なく、また、素子レンズを積み重ねるわけではないので加工誤差が積み上がることもなく全体としての性能の悪化も少ない。
【００１２】
フォトリソグラフィー技術は、一般には、開口部と遮光部との組み合わせによって形成された２次元形状の回路パターンを感光性樹脂（フォトレジスト）等に転写するものであり、回路パターンの高さ方向（即ち、３次元形状）は考慮していない。そこで、高さ方向の形状も部分的な露光量の調整によって制御し、フォトレジストに３次元形状を形成する方法が提案されている（例えば、特許文献４参照。）。更に、３次元形状のフォトレジストを用いて光学部材をエッチングし、３次元構造を有する光学素子を製造する方法も提案されている（例えば、特許文献５）。
【００１３】
近年では、マイクロレンズアレイなどの光学素子のほか、バイオチップ等のマイクロメカニクスにおいても特殊な面形状を形成することが求められている。かかる場合にも、基板の表面に形成されたフォトレジストを２次元的な透過率分布を有するマスクを用いて露光した後、フォトレジストを現像して３次元構造の表面形状を得ることが行われている。
【００１４】
リソグラフィー技術を用いて感光性樹脂であるフォトレジストに３次元構造を形成する場合、感光性樹脂の厚さで３次元構造の高さが決定される。感光性樹脂の形状を異方性エッチングなどを用いて基板に転写する場合は、感光性樹脂の厚さとエッチング時の基板との選択比で決定される。３次元構造の高さは、マイクロレンズアレイなどの使用目的にもよるが、サブミクロンから数百ミクロン程度の広い範囲に対応する必要がある。
【００１５】
【特許文献１】
特開２００１−２２８４０１号公報
【特許文献２】
特公平５−６８８４６号公報
【特許文献３】
特開昭６２−１１５７１８号公報
【特許文献４】
特開昭６３−２８９８１７号公報
【特許文献５】
特開２００２−２８７３７０号公報
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、感光するエネルギーの量に分布をもたせて感光性樹脂を露光することによって３次元構造を有する感光性樹脂を形成する場合、感光性樹脂が途中現像される部分がほとんどであるために、図１５に示すような構造が表面にあらわれ、表面形状が著しくみだれてしまう場合があることを発見した。即ち、感光性樹脂を基板上に塗布した後、溶媒を除去するためにベークを行う必要があるが、かかるベーク時のベルナール対流によってベルナールセルが感光性樹脂中に発生し、途中現像することで表面にあらわれてしまうのである。表面形状がみだれると、作製される光学素子に誤差が含まれることとなり、所望の光学素子を得ることができない。なお、ベルナール対流とは、静止している水平な流体層を下から一様に熱するとき、上面と下面に発生する温度差がある程度以上になると熱対流運動によってベルナールセルというパターンが発生するもののことである。ここで、図１５は、感光性樹脂内に発生するベルナールセルの一例を示す概略平面図である。
【００１７】
一方、エッチングによって基板に３次元構造を転写する方法においては、感光性樹脂と基板とのエッチングの際の選択比を大きくすることで、薄い膜厚の感光性樹脂であっても所望の３次元構造を得ることも考えられる。しかし、かかる方法では、感光性樹脂の形状のあらさが拡大することとなり、また新たな表面形状のみだれを発生させてしまう。
【００１８】
そこで、本発明は、膜厚の厚い感光性樹脂であっても表面形状をみださずに３次元構造を形成することができる三次元構造形成方法を提供することを例示的目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての３次元構造形成方法は、基板上に所望の３次元構造を有する感光性材料を形成する３次元構造形成方法であって、前記所望の３次元構造を形成するために必要な前記感光性材料の膜厚を決定するステップと、前記決定ステップで決定した前記膜厚と予め設定された最大膜厚とを比較するステップと、前記決定ステップで決定した前記膜厚が前記最大膜厚よりも厚い場合に、前記基板上の前記感光性材料が前記膜厚となるまで、前記最大膜厚内で前記感光性材料を複数回塗布するステップとを有することを特徴とする。
【００２０】
本発明の更なる目的又はその他の特徴は、以下添付図面を参照して説明される好ましい実施例によって明らかにされるであろう。
【００２１】
【発明の実施の形態】
まず、本発明者は、例えば、Ｆ２レーザーを露光光源として用いるような近年の投影露光装置が必要としている図９及び図１０に示すような円弧ハエの目レンズ４００の大きさについて検討した。図９及び図１０を参照するに、円弧ハエの目レンズ４００は、複数の素子レンズ４１０をアレイ状に形成することで構成されている。ここで、図９は、円弧ハエの目レンズ４００の概略平面図、図１０は、図９に示す円弧ハエの目レンズ４００のＡ−Ａ´断面図である。
【００２２】
近年の投影露光装置においては、ウェハ面での照明領域が２６×８ｍｍ、投影光学系のＮＡが０．８乃至０．９５程度であるため、円弧ハエの目レンズ４００の外形φは１００乃至１６０ｍｍとなる。円弧ハエの目レンズ４００の素子レンズ４１０が小さすぎると被照射面で干渉縞が発生してウェハへの露光量が不均一となり、素子レンズ４１０が大きすぎると形成する２次光源が離散的となりウェハ面上に形成されるパターン像の像性能が悪化する。
【００２３】
従って、円弧ハエの目レンズ４００に求められる素子レンズ４１０の大きさには制限があり、例えば、素子レンズ４１０の最小ピッチは、露光量の不均一性を緩和するために、照明領域内に１０本以上の干渉縞が入るようにする必要がある。
【００２４】
ハエの目レンズ４００の外形φが投影光学系のＮＡと照明光学系のＮＡが等しいσ＝１．０に対応し、光の波長をλ、投影光学系のＮＡをαとすると、干渉縞のピッチｐは、素子レンズ４１０のピッチｄを用いて以下の数式１で表される。
【００２５】
【数１】
2004226661.tif 000003
【００２６】
照明領域の幅をＸとすると、照明領域内にある干渉縞の本数Ｙは、以下の数式２で表される。
【００２７】
【数２】
2004226661.tif 000004
【００２８】
λ＝１５７ｎｍ、φ＝１００ｍｍ、α＝０．８０、Ｘ＝８ｍｍ、干渉縞の本数Ｙ＝１０本以上とすると、素子レンズのピッチｄは以下の数式３で表される。
【００２９】
【数３】
2004226661.tif 000005
【００３０】
従って、数式３より、素子レンズ４１０のピッチを１２μｍ以上にしなければならない。
【００３１】
一方、素子レンズ４１０の最大ピッチは、像性能を悪化させない２次光源の離散性から求まる。２次光源の離散性が像性能に与える影響は厳密に定量化されていないが、経験上、各方向に素子レンズ４１０が１０個以上あれば良好な像性能を得ることができる。外形φ＝１００ｍｍの円弧ハエの目レンズでは、投影光学系のＮＡと照明光学系のＮＡが等しいσ＝１．０に対応するとし、小σと呼ばれるコヒーレンスが高いσ＝０．２０の照明条件では、外形φ＝２０ｍｍの領域が使用される。従って、各方向に１０個以上の素子レンズがあるようにするには、素子レンズ４１０のピッチを２ｍｍ以下にしなければならない。
【００３２】
以上より、近年の投影露光装置に用いる円弧ハエの目レンズ４００において、素子レンズ４１０のピッチは１２μｍ以上２ｍｍ以下を満足する必要があることがわかった。
【００３３】
このような円弧ハエの目レンズ４００をフォトリソグラフィー技術を利用して作製する際には、素子レンズ４１０のピッチと曲率によって素子レンズ４１０の厚さは最適なものが要求され、かかる要求を満足するためには基板上に形成する感光性樹脂の膜厚を厚くしなければならない。
【００３４】
しかし、通常のフォトリソグラフィー技術においては、転写されるパターンの高さ方向は考慮していないのが一般的であるため、通常の感光性樹脂の膜厚は１μｍ以下である。厚い膜厚を得るために溶媒との比率を変えて粘度を調整したり、塗布時の回転数を調整したりして１度で膜厚の厚い感光性樹脂の塗布形成を行うことは可能であるが、上述したように、感光性樹脂内にベルナールセルが発生してしまう。
【００３５】
そこで、本発明者は、膜厚の厚い感光性樹脂であっても表面形状をみださずに３次元構造を形成することができる三次元構造形成方法を提供するにあたり、基本に戻ってベルナールセルの発生について鋭意検討した結果、ベーク後の感光性樹脂であるフォトレジストの膜厚が１２μｍ以下の場合は、ベルナールセルの発生の確率が低減することを発見した。
【００３６】
以下、添付図面を参照して、本発明の一側面としての３次元構造形成方法について説明する。図１は、本発明の一側面としての３次元構造形成方法１００について説明するためのフローチャートである。本発明の３次元構造形成方法１００は、基板上に所望の３次元構造を有する感光性樹脂を形成する方法であり、例えば、マイクロレンズアレイ、６角ハエの目レンズ、円弧ハエの目レンズなどの光学素子やバイオチップなどを製造する際に好適である。
【００３７】
図１を参照するに、まず、所望の３次元構造を形成するために必要な感光性樹脂の膜厚を計算等することにより決定する（ステップ１０２）。次に、その決定した膜厚と予め設定された最大膜厚とを比較する（ステップ１０４）。ステップ１０２で決定した膜厚が設定された最大膜厚よりも厚い場合は、基板上の感光性樹脂がステップ１０２で決定した膜厚になるまで最大膜厚内で感光性樹脂を塗布し、それをベークすることを複数回繰り返す（ステップ１０６）。即ち、最大膜厚をベルナールセルが発生しない厚さ（例えば、１２μｍ以下）に設定し、所望の３次元構造を形成するために必要な感光性樹脂の膜厚が最大膜厚よりも厚い場合には、複数回に分割して塗布及びベークを繰り返すことでベルナールセルの発生を防止（低減）しながら、必要な膜厚を基板上に形成することができる。ステップ１０２で決定した膜厚が設定された最大膜厚よりも薄い場合は、基板上に必要な膜厚の感光性樹脂を１回で塗布し、それをベークする（ステップ１０８）。
【００３８】
基板上への必要な膜厚の感光性樹脂の塗布が終了したら、所望の３次元構造に対応するエネルギー分布を有する光で露光を行う（ステップ１１０）。そして、露光された感光性樹脂を現像する（ステップ１１２）。これによって、基板上に所望の３次元構造を有する感光性樹脂が形成される。所望の３次元構造によって感光性樹脂は部分現像される部分もあるが、基板上への感光性樹脂の塗布を最大膜厚内で行っているので、感光性樹脂内にはベルナールセルがほとんど存在せず、表面形状がさほどみだれることなく高精度に３次元構造を有する感光性樹脂が形成されている。
【００３９】
なお、上記において、複数回感光性樹脂を塗布する際には、ほぼ同じ厚さの感光性樹脂の塗布を繰り返す方が効率がよい。
【００４０】
また、所望の３次元構造を有する感光性樹脂が形成された基板をエッチングする（ステップ１１４）ことで、かかる所望の３次元構造を基板に転写することもできる。
【００４１】
本発明者は、処理条件（所望の３次元構造や基板など）を数多く変えて、上述の３次元構造形成方法１００を行った。
【００４２】
【実施例】
【実施例１】
図２は、実施例１に係る各製造工程の基板を示す概略断面図である。基板１０は、紫外線に用いることができる合成石英基板である。特に、Ｆ２レーザー用の光学素子として使用される場合は、Ｆドープ石英やフッ化カルシウムを用いる。基板１０上に、感光性樹脂としてＡＺ−Ｐ４６２０（クラリアント社製  粘度４００ｓＳｔ  ノボラック樹脂、溶媒：ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート））をコーターを用いて、膜厚１０μｍのレジスト１２ａを形成した。更に、同条件で、膜厚１０μｍのレジスト１２ｂを形成し、合計膜厚２０μｍのレジスト１２を形成した（図２（ａ）参照）。レジスト１２ａとレジスト１２ｂとで、レジスト特性に違いは発生することなく、１層のレジストとして扱うことができた。
【００４３】
所望の３次元構造を形成するために設計された透過率分布を有するマスク１４を用いて露光を行った（図２（ｂ）参照）。専用現像液を用いて現像したところ、感光性樹脂内にはベルナールセルが発生しておらず、基板１０上に所望の３次元構造を有する感光性樹脂１６を形成することができた（図２（ｃ）参照）。
【００４４】
光学素子を使用する波長（例えば、波長６３３ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザー）によっては、所望の３次元構造を有する感光性樹脂１６を光学素子として、そのまま使用することもできる。
【００４５】
本実施例では、ドライエッチング装置を用いて、選択比１の異方性エッチングを行い、感光性樹脂１６の形状を基板１０に転写した（図２（ｄ）参照）。以上により、ベルナールセルに起因する表面形状のみだれが起こることなく、所望の光学素子を製造することができた。
【比較例１】
図３は、比較例１に係る各製造工程の基板を示す概略断面図である。実施例１と同様の基板１０を用いて、感光性樹脂としてＡＺ−Ｐ４９０３（クラリアント社製  粘度１５００ｓＳｔ  ノボラック樹脂、溶媒：ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート））をコーターを用いて、１回の塗布で膜厚２０μｍのレジスト２２を形成した（図３（ａ）参照）。この時点でのレジスト２２の表面はなめらかであった。
【００４６】
実施例１と同様のマスク１４を用いて露光を行った（図３（ｂ）参照）。専用現像液を用いて現像し、３次元構造を有する感光性樹脂２４を形成した。形成された３次元構造を有する感光性樹脂２４の表面を顕微鏡で観察すると、図１５に示したような、ベルナールセルが一面にできており、表面形状がみだれていた。
【００４７】
【実施例２】
図４は、実施例２に係る各製造工程の基板を示す概略断面図である。基板３０は、ガラスモールドの金型となるセラミックス基板である。本実施例では、フッ素系でも塩素系のガスでも加工可能なＳｉＣを用いた。セラミックスは、高温の加熱冷却の繰り返しに耐え、低熱膨張材料であるためガラスモールドの型として優れている。しかし、表面性や加工が難しいなどの問題があった。表面性は貴金属などのコーティングで容易に解決することができるが、加工性に関しては要求される加工精度や加工形状が複雑になるにつれて大きな課題であった。
【００４８】
基板上３０上に、感光性樹脂としてＰＭＥＲ  Ｐ−ＬＡ９００ＰＭ（東京応化社製  粘度９００ｃｐｓ  ノボラック樹脂、溶媒ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート））をコーターを用いて、膜厚１２μｍのレジスト３２ａを形成した。更に、同条件で、膜厚１２μｍのレジスト３２ｂ及び３２ｃを形成し、合計膜厚３６μｍのレジスト３２を形成した（図４（ａ）参照）。レジスト３２ａとレジスト３２ｂとレジスト３２ｃとで、レジスト特性に違いは発生することなく、１層のレジストとして扱うことができた。
【００４９】
所望の３次元構造を形成するために設計された透過率分布を有するマスク３４を用いて露光を行った（図４（ｂ）参照）。専用現像液を用いて現像したところ、感光性樹脂内にはベルナールセルが発生しておらず、基板３０上に所望の３次元構造を有する感光性樹脂３６を形成することができた（図４（ｃ）参照）。
【００５０】
本実施例では、ドライエッチング装置を用いて、選択比１の異方性エッチングを行い、感光性樹脂３６の形状を基板３０に転写した（図４（ｄ）参照）。基板３０に図示しないＰｔをコーティングし、図４（ｅ）に示すように、ガラスモールドの型として使用し、ガラス３８を成形した（図４（ｆ）参照）。以上により、ベルナールセルに起因する表面形状のみだれが起こることなく、高温の成形に耐えることができ、非球面などの複雑な形状も容易に加工することができ、所望の光学素子を製造することができた。
【００５１】
【実施例３】
図５は、実施例３に係る各製造工程の基板を示す概略断面図である。本実施例では、実施例１と同様の基板１０上に六角形のマイクロレンズアレイを形成する。基板１０上に、感光性樹脂としてＡＺ−Ｐ４６２０（クラリアント社製  粘度４００ｓＳｔ  ノボラック樹脂、溶媒：ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート））をコーターを用いて、膜厚１０μｍのレジスト４２ａを形成した。更に、同条件で、膜厚１０μｍのレジスト４２ｂを９回形成し、合計膜厚１００μｍのレジスト４２を形成した（図５（ａ）参照）。レジスト４２ａとレジスト４２ｂとで、レジスト特性に違いは発生することなく、１層のレジストとして扱うことができた。
【００５２】
六角形のマイクロレンズアレイを形成するために設計された透過率分布を有するマスクを用いて露光を行い、専用現像液を用いて現像したところ、感光性樹脂内にはベルナールセルが発生しておらず、基板１０上に六角形のマイクロレンズアレイの形状を有する感光性樹脂４６を形成することができた（図５（ｂ）参照）。
【００５３】
本実施例では、ドライエッチング装置を用いて、選択比１の異方性エッチングを行い、感光性樹脂４６の形状を基板１０に転写した（図５（ｃ）参照）。以上により、感光性樹脂４２の膜厚１００μｍという厚い膜厚でも、ベルナールセルに起因する表面形状のみだれが起こることなく、図６に示すような、所望の六角形のマイクロレンズアレイを製造することができた。ここで、図６は、六角形のマイクロレンズアレイを示す概略平面図である。
【００５４】
なお、本実施例ではマイクロレンズアレイを製造したが、上記の形状を転写された基板１０の上にＳｉとＭｏの多層膜による反射鏡を形成することで、マイクロミラーアレイを製造することも可能である。そのようなマイクロミラーアレイは、ＥＵＶ光を露光光とする露光装置において、反射型インテグレータとして使用できる。
【００５５】
【実施例４】
本実施例では、実施例１と同様の基板上にシリンドリカルレンズを形成する。基板上に、感光性樹脂としてＳＵ−８５（日本マクダーミット社製  粘度２９０ｓＳｔ  エポキシ樹脂、溶媒：ガンマブチロラクトン）をコーターを用いて、膜厚８μｍのレジストを形成した。更に、同条件で、膜厚８μｍのレジストを形成し、合計膜厚１６μｍのレジストを形成した。
【００５６】
シリンドリカルレンズを形成するために設計された透過率分布を有するマスクを用いて露光を行い、専用現像液を用いて現像したところ、感光性樹脂内にはベルナールセルが発生しておらず、基板上にシリンドリカルレンズの形状を有する感光性樹脂を形成することができた。
【００５７】
本実施例では、ドライエッチング装置を用いて、選択比１の異方性エッチングを行い、シリンドリカルレンズの形状を有する感光性樹脂の形状を基板に転写した。以上により、ベルナールセルに起因する表面形状のみだれが起こることなく、図７に示すような、所望のシリンドリカルレンズを製造することができた。ここで、図７は、シリンドリカルレンズを示す概略斜視図である。
【００５８】
なお、本実施例ではシリンドリカルレンズを製造したが、上記の形状を転写された基板の上にＳｉとＭｏの多層膜による反射鏡を形成することで、シリンドリカルミラーを製造することも可能である。そのようなシリンドリカルミラーは、ＥＵＶ光を露光光とする露光装置において、反射型インテグレータとして使用できる。
【００５９】
【実施例５】
図８は、マルチチャネルバイオセンサを、Ｌａｂ−ｏｎ−ａ−Ｃｈｉｐのような、多機能型の小型システム３００に組み込んだ一例を示す概略構成図であって、図８（ａ）は概略平面図、図８（ｂ）は概略断面図である。
【００６０】
図８を参照するに、サンプル導入口３１０から分析対象の溶液又はガスをセンサシステムに入れ、前処理要素３２０においてサンプルの分離、抽出処理を施し、検出部３３０に導入させる。
【００６１】
前処理工程には、その他混合／反応、フィルタ、バルブなど様々な機能が必要な場合があるが、ここではそれらの詳細な説明は省略する。また、前処理工程においては、反応など特別な試薬が必要な場合があり、かかる試薬を導入する経路や導入口が別途必要な場合もある。一方、サンプルの移動には、ポンプによる機械的なものや電気浸透などを利用した電気的なものなどが広く用いられる。
【００６２】
サンプルは検出部３３０で検出され、検出用チャネル３４０の配線からデータが取り出される。検出を終えた後のサンプル溶液又はガスは、排出口３５０より排出される。
【００６３】
本発明の３次元構造形成方法１００を用いて、実施例１と同様の基板上に上述したＬａｂ−ｏｎ−ａ−Ｃｈｉｐの３次元構造を形成する。基板上に、感光性樹脂としてＯＥＢＲ−１０００（東京応化社製  粘度３００ｓＳｔ  ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリエート）、溶媒：エチルセルソルブアセテート）をコーターを用いて、膜厚１０μｍのレジストを形成した。更に、同条件で、膜厚１０μｍのレジストを２回形成し、合計膜厚３０μｍのレジストを形成した。
【００６４】
図８に示すような３次元構造を形成するように、ＥＢ露光を行った。即ち、ドーズ量を変え、図８に示すような複雑な形状にあった３次元構造を形成した。但し、大量生産する場合には、遠紫外線光及びマスクを用いた露光を行ってもよい。以上のようなＬａｂ−ｏｎ−ａ−Ｃｈｉｐの製造に、本発明の３次元構造形成方法１００を用いることによって、ベルナールセルに起因する表面形状のみだれが起こることなく、高感度、高性能なバイオセンサシステムを得ることができた。
【００６５】
以下、図１１を参照して、本発明の一側面である露光装置５００について説明する。図１１は、本発明の一側面である露光装置５００の例示的一形態を示す概略構成図である。露光装置５００は、図１１に示すように、照明装置５１０と、マスク（レチクル）５２０と、投影光学系５３０と、基板５４０と、ステージ５４５とを有する。
【００６６】
露光装置５００は、例えば、ステップアンドリピート方式やステップアンドスキャン方式でマスク５２０に形成されたパターンを基板５４０に露光する投影露光装置である。かかる露光装置は、サブミクロンやクオーターミクロン以下のリソグラフィー工程に好適であり、以下、本実施形態ではステップアンドスキャン方式の露光装置（「スキャナー」とも呼ばれる。）を例に説明する。ここで、「ステップアンドスキャン方式」とは、マスクに対してウェハを連続的にスキャン（走査）してマスクパターンをウェハに露光すると共に、１ショットの露光終了後ウェハをステップ移動して、次の露光領域に移動する露光方法である。「ステップアンドリピート方式」は、ウェハの一括露光ごとにウェハをステップ移動して次のショットの露光領域に移動する露光方法である。
【００６７】
照明装置５１０は、転写用のパターンが形成されたマスク５２０を照明し、光源部５１２と、照明光学系５１４とを有する。
【００６８】
光源部５１２は、本実施形態では、光源としては、波長約１５７ｎｍのＦ２レーザーである。但し、光源の種類はＦ２レーザーに限定されず、エキシマレーザーを使用してもよいし、その光源の個数も限定されない。
【００６９】
照明光学系５１４は、マスク５２０を照明する光学系であり、減光手段５１４ａと、ビーム揺動手段５１４ｂと、ハエの目レンズ５１４ｃと、コンデンサレンズ５１４ｄと、ハエの目レンズ５１４ｅと、コンデンサレンズ５１４ｆと、有効光源形成絞り５１４ｇと、ズームリレーレンズ５１４ｈと、ハエの目レンズ５１４ｉと、コンデンサレンズ５１４ｊと、マスキングブレード５１４ｋと、マスキング結像レンズ５１４ｌとを有する。
【００７０】
減光手段５１４ａは、被照射面上の照度を制御する。Ｆ２レーザー等のパルス光源を光源部５１２として使用する場合、レーザーのパルス間の出力ばらつきに起因する露光量ばらつきが発生する。そのため、露光を行うパルス数を所定のパルス数以上としてパルスばらつきをパルス平均することによって、露光量ばらつきを軽減する必要がある。そのため、減光手段５１４ａは、感光剤の感度が高い場合、光を減光して照度を下げて、所定のパルス数以上で露光できるようにする。
【００７１】
ビーム揺動手段５１４ｂは、光源部５１２からのビームを揺動し、スペックルの分布を揺動して露光中に時間平均する。ビームを揺動する方法としては、傾けた平行平板を回転させる方法、ミラーを揺動する方法、クサビプリズムを回転させる方法等がある。本実施形態においては、光源部５１２の光源が可干渉性を有するＦ２レーザーであるために、被照明面にスペックルが発生する。スペックルの発生は、被照明面での照度むらとなるために露光量ばらつきが起こり、マスク５２０から基板５４０に焼き付けた像の線幅が場所によって異なる（ＣＤ均一性が悪化する）という問題を生じるために、ビーム揺動手段５１４ｂを設けている。
【００７２】
ハエの目レンズ５１４ｃは、射出面に２次光源を形成し、コンデンサレンズ５１４ｄを介して、ハエの目レンズ５１４ｅの入射面をケーラー照明する。ハエの目レンズ５１４ｃは、ターレット上に複数配置されており、切り替えることによってハエの目レンズ５１４ｃからの射出ＮＡが変えられ、ハエの目レンズ５１４ｉの入射面での照射範囲が変えられるようになっている。これは、ズームリレーレンズ５１４ｈの倍率を変えた際に、ハエの目レンズ５１４ｉの射出面での光強度分布が集光しないようにするためである。
【００７３】
ハエの目レンズ５１４ｅは、射出面に３次光源を形成し、コンデンサレンズ５１４ｆを介して、有効光源形成絞り５１４ｇをケーラー照明する。ハエの目レンズ５１４ｃ乃至コンデンサレンズ５１４ｆの２段のハエの目レンズの構成によって、レーザービームのプロファイルが変化しても有効光源形成絞り５１４ｇでの光の分布が変化せず、常に均一な有効光源が形成できるようになっている。
【００７４】
例えば、ハエの目レンズ５１４ｃ及びコンデンサレンズ５１４ｄの１段目のハエの目レンズの構成がないとすると、レーザーからの位置分布が変化した際に、ハエの目レンズ５１４ｅの入射面での光強度分布が変化するので、有効光源形成絞り５１４ｇでの光の角度分布が変化する。光の角度分布が変化すると、後述するハエの目レンズ５１４ｉの射出面での光強度分布がシフトするために、基板５４０上での角度分布が傾き、基板５４０がデフォーカスすると転写位置が変化するという軸上テレセン度となる。従って、ハエの目レンズ５１４ｃ乃至コンデンサレンズ５１４ｆの２段のハエの目レンズの構成としている。
【００７５】
有効光源形成絞り５１４ｇは、有効光源を規定する。有効光源とは、マスク５２０を照明する照明光源の形状のことである。有効光源の形状は、通常円形である。一方、ハエの目レンズ５１４ｅとしては、素子レンズの外形が四角形である四角ハエの目レンズや、素子レンズの外形が六角形である六角ハエの目レンズ、シリンドリカルレンズを素子レンズとして並べたシリンドリカルレンズアレイなどが用いられる。そのため、有効光源形成絞り５１４ｇの光源部５１２側で形成される分布は、四角ハエの目レンズ、シリンドリカルレンズアレイの場合は正方形となり、六角ハエの目レンズの場合は六角形となる。従って、有効光源の形状を円形とするために、円形の開口を有する有効光源形成絞り５１４ｇが必要となる。
【００７６】
ズームリレーレンズ５１４ｈは、有効光源形成絞り５１４ｇで形成された円形の光強度分布をハエの目レンズ５１４ｉの入射面に所定の倍率で投影する。マスク５２０を照明する照明光源の大きさはコヒーレンスファクターと呼ばれ、投影光学系５３０のパフォーマンスをあげるために転写するパターンに応じて可変にすることが望まれている。そこで、ズームリレーレンズ５１４ｈのリレー光学系の倍率を可変とすることによって、ハエの目レンズ５１４ｉの入射面での照射領域の大きさを変えられるようにしている。
【００７７】
ハエの目レンズ５１４ｉは、射出面に４次光源を形成し、コンデンサレンズ５１４ｊを介して、マスキングブレード５１４ｋ上を均一な照度分布で照明する。ハエの目レンズ５１４ｉとしては、投影光学系５３０の結像領域が円弧領域であるためにマスク５２０を円弧状に照明する必要があり、円弧ハエの目レンズが用いられる。露光装置５００は、スキャナーであるので、照明領域である円弧形状の幅を変えることによって垂直方向の露光量むらを補正することが可能であるので、例えば、円弧形状の幅が異なる複数のハエの目レンズ５１４ｉをターレット上に配置し、切り替えることによって円弧形状の幅を調整するように構成することが望ましい。
【００７８】
マスキングブレード５１４ｋは、露光領域を制御する。マスキングブレード５１４ｋは、所望の露光領域を得るために、走査露光にあわせて駆動される。
【００７９】
マスキング結像レンズ５１４ｌは、マスキングブレード５１４ｋの光強度分布をマスク５２０に投影する。
【００８０】
照明光学系５１４において、ハエの目レンズ５１４ｃ、ハエの目レンズ５１４ｅ及びハエの目レンズ５１４ｉは、本発明の３次元構造形成方法によって形成されており、所望の光学性能を有している。
【００８１】
マスク５２０は、転写されるべき回路パターン（又は像）が形成され、図示しないマスクステージに支持及び駆動される。マスク５２０は、例えば、Ｆドープ石英やフッ化カルシウム等の波長１５７ｎｍに対して透過率の高い材料からなる。マスク５２０から発せられた回折光は、投影光学系５３０を通り基板５４０上に投影される。マスク５２０と基板５４０は、光学的に共役の関係にある。本実施形態の露光装置５００はスキャナーであるため、マスク５２０と基板５４０を縮小倍率比の速度比で走査することによりマスク５２０のパターンを基板５４０上に転写する。
【００８２】
投影光学系５３０は、複数のレンズと少なくとも一枚の凹面ミラーとを有するカタディオプトリック光学系である。投影光学系５３０は、レンズとミラーによって色消しを行って、円弧状の結像領域において、良好な結像性能を達成している。
【００８３】
基板５４０は、ウェハや液晶基板などの被処理体でありフォトレジストが塗布されている。
【００８４】
ステージ５４５は、基板５４０を支持する。ステージ５４５は、当業界で周知のいかなる構成をも適用することができるので、ここでは詳しい構造及び動作の説明は省略する。例えば、ステージ５４５は、リニアモーターを利用してＸＹＺ方向に基板５４０を移動することができる。ステージ５４５と図示しないマスクステージの位置は、例えば、レーザー干渉計などにより監視され、両者は一定の速度で駆動される。
【００８５】
露光において、光源部５１２から発せられたＦ２レーザー光は、照明光学系５１４により、マスク５２０をケーラー照明する。マスク５２０を通過してマスクパターンを反映する光は、投影光学系５３０により基板５４０に結像される。露光装置５００の照明光学系５１４が使用するハエの目レンズ５１４ｃ、５１４ｅ及び５１４ｉは、本発明の３次元構造形成方法１００で製造され、形状誤差による光学性能の低下を抑えることができると共に、ハエの目レンズ５１４ｉに円弧ハエの目レンズを用いることができるのでるので基板５４０上での高照度化が可能となり、高いスループットで経済性よく従来よりも高品位なデバイス（半導体素子、ＬＣＤ素子、撮像素子（ＣＣＤなど）、薄膜磁気ヘッドなど）を提供することができる。
【００８６】
なお、ここでは、露光装置としてＦ２レーザー光を露光光とするものを例示したが、本発明の３次元構造形成方法１００を使用して製造した反射型インテグレータやミラー等の光学素子をＥＵＶ等のＸ線を露光光とする露光装置に用いても良い。
【００８７】
次に、図１２及び図１３を参照して、露光装置５００を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。図１２は、デバイス（ＩＣやＬＳＩなどの半導体チップ、ＬＣＤ、ＣＣＤ等）の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造を例に説明する。ステップ１（回路設計）では、デバイスの回路設計を行う。ステップ２（マスク製作）では、設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。ステップ３（ウェハ製造）では、シリコンなどの材料を用いてウェハを製造する。ステップ４（ウェハプロセス）は、前工程と呼ばれ、マスクとウェハを用いてリソグラフィー技術によってウェハ上に実際の回路を形成する。ステップ５（組み立て）は、後工程と呼ばれ、ステップ４によって作成されたウェハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６（検査）では、ステップ５で作成された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テストなどの検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷（ステップ７）される。
【００８８】
図１３は、ステップ４のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。ステップ１１（酸化）では、ウェハの表面を酸化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）では、ウェハの表面に絶縁膜を形成する。ステップ１４（イオン打ち込み）では、ウェハにイオンを打ち込む。ステップ１５（レジスト処理）では、ウェハに感光剤を塗布する。ステップ１６（露光）では、露光装置５００によってマスクの回路パターンをウェハに露光する。ステップ１７（現像）では、露光したウェハを現像する。ステップ１８（エッチング）では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジスト剥離）では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによってウェハ上に多重に回路パターンが形成される。かかるデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。このように、露光装置５００を使用するデバイス製造方法、並びに結果物としてのデバイスも本発明の一側面を構成する。
【００８９】
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【００９０】
本発明は、更に以下の事項を開示する。
【００９１】
〔実施態様１〕  基板上に所望の３次元構造を有する感光性材料を形成する３次元構造形成方法であって、
前記所望の３次元構造を形成するために必要な前記感光性材料の膜厚を決定するステップと、
前記決定ステップで決定した前記膜厚と予め設定された最大膜厚とを比較するステップと、
前記決定ステップで決定した前記膜厚が前記最大膜厚よりも厚い場合に、前記基板上の前記感光性材料が前記膜厚となるまで、前記最大膜厚内で前記感光性材料を複数回塗布するステップとを有することを特徴とする３次元構造形成方法。
【００９２】
〔実施態様２〕  基板上に所望の３次元構造を有する感光性材料を形成する３次元構造形成方法であって、
前記基板上に予め設定された最大膜厚内の第１の膜厚で前記感光性材料を塗布するステップと、
前記基板上に塗布された前記第１の膜厚の前記感光性材料上に前記最大膜厚内の第２の膜厚で前記感光性材料を塗布するステップとを有することを特徴とする３次元構造形成方法。
【００９３】
〔実施態様３〕  基板上に所望の３次元構造を有する感光性材料を形成する３次元構造形成方法において、
複数回の前記感光性材料の塗布及びそのベークを繰り返し、重ね塗りすることで、前記基板上に所定の膜厚の感光性材料を形成することを特徴とする３次元構造形成方法。
【００９４】
〔実施態様４〕  前記塗布ステップで塗布された前記感光性材料を前記所望の３次元構造に相当するエネルギー分布を有する光で露光するステップと、
露光された前記感光性材料を現像するステップとを有することを特徴とする実施態様１乃至３のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法。
【００９５】
〔実施態様５〕  露光された前記感光性材料を用いて前記基板をエッチングするステップを更に有することを特徴とする実施態様４記載の３次元構造形成方法。
【００９６】
〔実施態様６〕  前記基板は、光学部材であることを特徴とする実施態様１乃至３のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法。
【００９７】
〔実施態様７〕  前記基板は、金型であることを特徴とする実施態様１乃至３のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法。
【００９８】
〔実施態様８〕  前記感光性材料は、ノボラック樹脂であることを特徴とする実施態様１乃至３のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法。
【００９９】
〔実施態様９〕  前記塗布ステップは、前記感光性材料を溶媒を介して塗布し、
前記溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートであることを特徴とする実施態様１乃至３のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法。
【０１００】
〔実施態様１０〕  前記最大膜厚は、１２μｍ以下であることを特徴とする実施態様１又は２記載の３次元構造形成方法。
【０１０１】
〔実施態様１１〕  前記所望の３次元構造を形成するために必要な前記感光性材料の膜厚は、１２μｍより厚いことを特徴とする実施態様１記載の３次元構造形成方法。
【０１０２】
〔実施態様１２〕  実施態様１乃至１１のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法を用いて製造されたことを特徴とする光学素子。
【０１０３】
〔実施態様１３〕  複数のレンズがアレイ上に形成されたレンズアレイであることを特徴とする実施態様１２記載の光学素子。
【０１０４】
〔実施態様１４〕  前記複数のレンズは、六角形、円弧又は矩形のいずれか一の形状を有することを特徴とする実施態様１１記載の光学素子。
【０１０５】
〔実施態様１５〕  前記形状の短手方向の長さは、１２μｍ以上２ｍｍ以下であることを特徴とする実施態様１４記載の光学素子。
【０１０６】
〔実施態様１６〕  実施態様１乃至１１のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法を用いて製造されたことを特徴とするバイオチップ。
【０１０７】
〔実施態様１７〕  実施態様１２乃至１５のうちいずれか一項記載の光学素子を有することを特徴とする光学系。
【０１０８】
〔実施態様１８〕  実施態様１７記載の光学系を介して被処理体を露光することを特徴とする露光装置。
【０１０９】
〔実施態様１９〕  実施態様１８記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体に所定のプロセスを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【０１１０】
【発明の効果】
本発明によれば、膜厚の厚い感光性材料に対しても表面形状をある程度みださずに３次元構造を形成することができる三次元構造形成方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一側面としての３次元構造形成方法について説明するためのフローチャートである。
【図２】実施例１に係る各製造工程の基板を示す概略断面図である。
【図３】比較例１に係る各製造工程の基板を示す概略断面図である。
【図４】実施例２に係る各製造工程の基板を示す概略断面図である。
【図５】実施例３に係る各製造工程の基板を示す概略断面図である。
【図６】六角形のマイクロレンズアレイを示す概略平面図である。
【図７】シリンドリカルレンズを示す概略斜視図である。
【図８】マルチチャネルバイオセンサを、Ｌａｂ−ｏｎ−ａ−Ｃｈｉｐのような、多機能型の小型システムに組み込んだ一例を示す概略構成図である。
【図９】円弧ハエの目レンズの概略平面図である。
【図１０】図９に示す円弧ハエの目レンズのＡ−Ａ´断面図である。
【図１１】本発明の一側面である露光装置の例示的一形態を示す概略構成図である。
【図１２】デバイス（ＩＣやＬＳＩなどの半導体チップ、ＬＣＤ、ＣＣＤ等）の製造を説明するためのフローチャートである。
【図１３】図１２に示すステップ４のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。
【図１４】矩形状の照明領域から円弧状の照明領域を切り出すためのスリットの一例を示す概略平面図である。
【図１５】感光性樹脂内に発生するベルナールセルの一例を示す概略平面図である。
【符号の説明】
１０、３０                        基板
１２、３２、４２                  レジスト
１４、３４                        マスク
１６、３６、４６                  感光性樹脂
３８                              ガラス
３００                            小型システム
３１０                            サンプル導入口
３２０                            前処理要素
３３０                            検出部
３４０                            検出用チャネル
３５０                            排出口
４００                            円弧ハエの目レンズ
４１０                            素子レンズ
５００                            露光装置
５１０                            照明装置
５１４                            照明光学系
５１４ｃ、５１４ｅ、５１４ｉ      ハエの目レンズ
５２０                            マスク
５３０                            投影光学系
５４０                            基板
５４５                            ステージ
【図１】
2004226661.tif 000006
【図２】
2004226661.tif 000007
【図３】
2004226661.tif 000008
【図４】
2004226661.tif 000009
【図５】
2004226661.tif 000010
【図６】
2004226661.tif 000011
【図７】
2004226661.tif 000012
【図８】
2004226661.tif 000013
【図９】
2004226661.tif 000014
【図１０】
2004226661.tif 000015
【図１１】
2004226661.tif 000016
【図１２】
2004226661.tif 000017
【図１３】
2004226661.tif 000018
【図１４】
2004226661.tif 000019
【図１５】
2004226661.tif 000020
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月24日(2004.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に所望の３次元構造を有する感光性材料を形成する３次元構造形成方法であって、
前記所望の３次元構造を形成するために必要な前記感光性材料の膜厚を決定するステップと、
前記決定ステップで決定した前記膜厚と予め設定された最大膜厚とを比較するステップと、
前記決定ステップで決定した前記膜厚が前記最大膜厚よりも厚い場合に、前記基板上の前記感光性材料が前記膜厚となるまで、前記最大膜厚内で前記感光性材料を複数回塗布するステップとを有することを特徴とする３次元構造形成方法。
【請求項２】
基板上に所望の３次元構造を有する感光性材料を形成する３次元構造形成方法であって、
前記基板上に予め設定された最大膜厚内の第１の膜厚で前記感光性材料を塗布するステップと、
前記基板上に塗布された前記第１の膜厚の前記感光性材料上に前記最大膜厚内の第２の膜厚で前記感光性材料を塗布するステップとを有することを特徴とする３次元構造形成方法。
【請求項３】
基板上に所望の３次元構造を有する感光性材料を形成する３次元構造形成方法において、
複数回の前記感光性材料の塗布及びそのベークを繰り返し、重ね塗りすることで、前記基板上に所定の膜厚の感光性材料を形成することを特徴とする３次元構造形成方法。
【請求項４】
前記塗布ステップで塗布された前記感光性材料を前記所望の３次元構造に相当するエネルギー分布を有する光で露光するステップと、
露光された前記感光性材料を現像するステップとを有することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法。
【請求項５】
露光された前記感光性材料を用いて前記基板をエッチングするステップを更に有することを特徴とする請求項４記載の３次元構造形成方法。
【請求項６】
前記基板は、光学部材であることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法。
【請求項７】
前記基板は、金型であることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法。
【請求項８】
前記感光性材料は、ノボラック樹脂であることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法。
【請求項９】
前記塗布ステップは、前記感光性材料を溶媒を介して塗布し、
前記溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートであることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法。
【請求項１０】
前記最大膜厚は、１２μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２記載の３次元構造形成方法。
【請求項１１】
前記所望の３次元構造を形成するために必要な前記感光性材料の膜厚は、１２μｍより厚いことを特徴とする請求項１記載の３次元構造形成方法。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法を用いて製造されたことを特徴とする光学素子。
【請求項１３】
複数のレンズがアレイ上に形成されたレンズアレイであることを特徴とする請求項１２記載の光学素子。
【請求項１４】
前記複数のレンズは、六角形、円弧又は矩形のいずれか一の形状を有することを特徴とする請求項１１記載の光学素子。
【請求項１５】
前記形状の短手方向の長さは、１２μｍ以上２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１４記載の光学素子。
【請求項１６】
請求項１乃至１１のうちいずれか一項記載の３次元構造形成方法を用いて製造されたことを特徴とするバイオチップ。
【請求項１７】
請求項１２乃至１５のうちいずれか一項記載の光学素子を有することを特徴とする光学系。
【請求項１８】
請求項１７記載の光学系を介して被処理体を露光することを特徴とする露光装置。
【請求項１９】
請求項１８記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体に所定のプロセスを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
ハエの目レンズ５１４ｃは、射出面に２次光源を形成し、コンデンサレンズ５１４ｄを介して、ハエの目レンズ５１４ｅの入射面をケーラー照明する。ハエの目レンズ５１４ｃは、ターレット上に複数配置されており、切り替えることによってハエの目レンズ５１４ｃからの射出ＮＡが変えられ、ハエの目レンズ５１４ｉの入射面での照射範囲が変えられるようになっている。これは、ズームリレーレンズ５１４ｈの倍率を変えた際に、ハエの目レンズ５１４ｉの射出面での光が集光しないようにするためである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
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【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
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【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
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【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
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【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
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【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
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【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
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【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
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【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
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【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
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【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
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【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
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【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
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【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
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【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
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【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
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【補正の内容】