(57)【要約】【課題】試料の前処理における問題を解消し、測定、分析までの前処理時間の短縮、風乾に必要な室内のスペースの低減、試料への異物の混入防止、試料からの悪臭等の室内への拡散防止、測定や分析に供される試料の乾燥条件の正確な把握と管理及び以降の試験への反映が可能な試料の前処理装置の提供を課題とする。【解決手段】汚染土壌、廃棄物、その他の試料の性状を測定し或いは分析するのに先立って行う試料の前処理装置であって、投入された試料を供試料とそれ以外とに篩い分ける篩い分け室と、篩い分け室で得られた供試料のみを前記篩い分け室から受け入れる風乾室２０と、風乾室２０に対して閉鎖循環系を形成すると共に導入した空気を前記測定或いは分析を行う室の室内湿度及び室内温度に調整した上で風乾室２０に送風し、循環させる循環送風手段３０とを設けた。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
汚染土壌、廃棄物、その他の試料の性状を測定し或いは分析するのに先立って行う試料の前処理装置であって、投入された試料を供試料とそれ以外とに篩い分ける篩い分け室と、該篩い分け室で得られた供試料のみを前記篩い分け室から受け入れる風乾室と、該風乾室に対して閉鎖循環系を形成すると共に導入した空気を前記測定或いは分析を行う室の室内湿度及び室内温度に調整した上で風乾室に送風し、循環させる循環送風手段とを設けたことを特徴とする試料の前処理装置。
【請求項２】
循環送風手段は、送風手段と、循環する空気の湿度を調節する湿度調節手段と、循環する空気の温度を調節する温度調節手段と、測定或いは分析を行う室の室内湿度と室内温度の情報に基づいて前記湿度調節手段と温度調節手段とを制御する制御部とを設けたことを特徴とする請求項１に記載の試料の前処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は汚染土壌、廃棄物、その他の試料の性状を測定し或いは分析するに先立って行う試料の前処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、汚染土壌、廃棄物等の性状測定や分析においては、信頼性の高い試験結果を得るために、試料に対して特別な前処理を行った後、粒度、硬度、熱的性質等の物理的測定、化学的測定、その他の測定、或いは物理的分析、化学的分析、その他の分析を行うことが必要であった。
特に、近年注視されてきた土壌汚染、廃棄物処理等に関する試料の測定、分析にあっては、その測定結果が法規制の対象となるために、測定値の高い信頼性が要求される。このため、汚染土壌や廃棄物に含まれる夾雑物の処理、含水率の恒量化、篩い分けによる粒子径の設定等の試料の前処理においては、測定や分析の操作に加えて、慎重で且つシステマチックな手段の導入が必要となる。
一方、揮発性のあるハロゲン化炭化水素類は、前処理の如何によっては重大な測定値の変化があり、測定結果や分析結果の信頼性を直接左右する懸念がある。従来における環境省告示による試験法では、現地にて採取した汚染土壌や廃棄物等の試料を測定或いは分析を行う研究室等の室まで搬送し、その室で木片、礫等の夾雑物の分別と所定粒度調節の篩い分けを行った後、約２４時間の室内風乾を行い、その後に測定、分析を実施するという工程で試験がなされていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記環境省告示に基づいて行う従来の測定、分析方法では、一昼夜の風乾や夾雑物の分取に手数がかかると共に前処理工程中における外部汚染の問題等、次に示すような具体的な問題があった。
（１）．恒量乾燥に２０時間程度必要となり、迅速な測定、分析ができない。
（２）．採取してきた汚染土壌や廃棄物等を測定や分析を行う室内に広げて風乾を行うための十分なスペースが必要であった。
（３）．風乾のために室内に広げた試料に対して異物が混入する等の問題があった。
（４）．風乾のため等に室内に広げられ或いは置かれた試料からの悪臭やその他の物が拡散する問題があった。
（５）．一昼夜等の時間経過の間に伴う天候、気候変動が大きい場合には、恒量乾燥基準の不安定と汚染土壌等の性状変動が大きくなるという問題があった。
【０００４】
そこで本発明は上記従来の試料の前処理における問題を解消し、測定、分析までの前処理の時間を短縮することができ、風乾に必要な室内のスペースを十分の低減することができ、室内に広げられた試料に異物が混入するのを防止することができ、汚染土壌から悪臭やその他の好ましくない物が室内に拡散するのを防止することができ、測定や分析に供される試料の乾燥条件を正確に把握して管理することができ、よって以降の試験にも反映させることができる試料の前処理装置の提供を課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の試料の前処理装置は、汚染土壌、廃棄物、その他の試料の性状を測定し或いは分析するのに先立って行う試料の前処理装置であって、投入された試料を供試料とそれ以外とに篩い分ける篩い分け室と、該篩い分け室で得られた供試料のみを前記篩い分け室から受け入れる風乾室と、該風乾室に対して閉鎖循環系を形成すると共に導入した空気を前記測定或いは分析を行う室の室内湿度及び室内温度に調整した上で風乾室に送風し、循環させる循環送風手段とを設けたことを第１の特徴としている。
また本発明の試料の前処理装置は、上記第１の特徴に加えて、循環送風手段は、送風手段と、循環する空気の湿度を調節する湿度調節手段と、循環する空気の温度を調節する温度調節手段と、測定或いは分析を行う室の室内湿度と室内温度の情報に基づいて前記湿度調節手段と温度調節手段とを制御する制御部とを設けたことを第２の特徴としている。
【０００６】
上記第１の特徴によれば、現地で採取されて運ばれてきた汚染土壌等の試料は、本発明の前処理装置の篩い分け室に投入され、そこで供試料とそれ以外とに篩い分けられる。そして供試料は篩い分け室から本発明の前処理装置の風乾室に導かれる。風乾室に導かれた供試料は、該風乾室と共に閉鎖循環系を形成する循環送風手段によって、測定或いは分析を行う室の室内湿度、室内温度に調整された空気の送風を受けて風乾される。風乾室内へ送風された空気は風乾室から再び循環送風手段へ循環される。循環に必要な空気は外部から循環送風手段に導入される。
第１の特徴によれば、風乾室内の供試料は、測定或いは分析を行う室の室内湿度及び室内温度に調整された風を受けることで、自然放置の場合に比べて、測定或いは分析を行う室の雰囲気に平衡する状態へより短時間で風乾される。
また第１の特徴によれば、送風により風乾を行うので、汚染土壌等の供試料を室内に薄く広く広げることなく、ある程度の厚みをもって風乾室内に置くことができる。よって必要なスペースが十分に低減される。
また第１の特徴によれば、試料は前処理装置の篩い分け室や風乾室内に入れられて処理されるので、外部からの異物の混入が予防される。
また第１の特徴によれば、試料は前処理装置の篩い分け室や風乾室内に入れられて処理され、また送風は閉鎖循環系で行われるので、試料からの悪臭やその他の物の外部への拡散が予防される。
また第１の特徴によれば、測定或いは分析を行う室の室内湿度及び室内温度に調整した空気を送風することで、それら送風空気の湿度、温度、送風速度の風乾条件を簡単に且つ正確に把握して管理することが可能となり、よって以降の試験にも反映させることができる。
勿論、第１の特徴によれば、試料の風乾は、その供試料の測定或いは分析が行われる室の湿度、温度の条件に合わせた環境で行われるようにしているので、試料の前処理は必ずしも供試料の測定或いは分析が行われる室で行われる必要はなく、もっと適当な場所で行うことが可能となる。
【０００７】
上記第２の特徴によれば、第１の特徴による作用効果に加えて、風乾室への送風は送風手段により、その速度を所定の速度に調節することができる。よって条件を揃えることができる。また送風速度を変更して送風することが可能である。また湿度調節手段と、温度調節手段と、測定或いは分析を行う室の室内湿度と室内温度の情報を得て前記湿度調節手段と温度調節手段とを制御する制御手段とによって、風乾室に送られる空気の湿度、温度を確実に測定或いは分析を行う室の室内湿度及び室内温度に調整することが可能となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を更に説明する。
図１は本発明の実施形態を示す前処理装置の概略構成図、図２は風乾室と篩い分け室の概略縦断面図、図３は篩い分け室の概略横断面図である。図４と図５はそれぞれ実験結果を示すグラフである。
【０００９】
図１〜図３を参照して、本発明の実施形態の前処理装置を説明する。装置は大きく分けて、篩い分け室１０と、風乾室２０と、循環送風手段３０とからなる。前記篩い分け室１０は遮光されており、篩い分け室１０の外には、汚染土壌等の試料を投入するための１乃至複数のホッパ１１が設けられている。また篩い分け室１０の内部には、前記ホッパ１１から投入された試料を供試料とそれ以外とに分けるための手段としての篩い１２と、前記篩い１２により選別された供試料を受け入れる供試料トレイ１３と、それ以外の試料を受け入れるコンテナ１４、１４、１４とを設けている。篩い分け室１０は、その内部を外部から密閉状態にすることができるものとする。
前記篩い１２は、例えば細目１２ａ、中目１２ｂ、粗目１２ｃの３段階に篩い分ける篩いで構成されており、前記ホッパ１１から落下してきた試料を、細粒、中粒、粗大粒や木片等の大形物に類別する。そして本実施態様では前記中目１２ｂにて篩い分けられて落下した試料のみを供試料として供試料トレイ１３で受け取るようにしている。一方、前記細目１２ａにて篩い分けられて落下した試料と、粗目１２ｃにて篩い分けられて落下した試料と、粗目１２ｃにて篩い分けられて残った試料とをその他の試料として、それぞれコンテナ１４、１４、１４で受け取るようにしている。
【００１０】
前記供試料を受け取った供試料トレイ１３は、篩い分け作業の終了後に、篩い分け室１０から隣接して設けられた風乾室２０へ、レール上等を自動的に或いは手動的に送られる構成とされている。勿論、篩い分け室１０と風乾室２０との間には仕切り扉１５等を設けることができ、該仕切り扉１５は供試料トレイ１３が篩い分け室１０と風乾室２０との間を移動する際のみ開くようにし、移動する際以外は密閉した状態になるようにしている。
前記篩い分け室１０の後端側には取り出し扉１６が設けられ、供試料以外の試料が入ったコンテナ１４を篩い分けが終った後の適当な時期に排出することができるようになされている。
現地採取された汚染土壌等の試料は、試料の測定或いは分析が行われる室まで運搬され、ここで試料から所定量がビーカ等の容器により秤量採取され、ホッパ１１に投入されて篩い分け室１０内に入り、供試料をそれ以外とに分けられ、供試料は供試料トレイ１３に載って、レール上等を風乾室２０へ移送される。
【００１１】
前記風乾室２０は、供試料を風乾するための室で、前記篩い分け室１０から移送されてきた供試料トレイ１３を内部に保持する。風乾室２０は、底質調査法（環境省水質保全局監修文献）に従って遮光されている。また風乾室２０はその内部を外部から密閉状態とできるものとするが、供試料或いは供試料トレイ１３そのものを取り出して測定或いは分析に供するための取り出し口２１を室２０の側部又は上部に設ける。
風乾室２０内の天井部には、後述する循環送風手段３０によって送風されてきた空気を分散して室内に吹き出す空気分散吹き出し器２２が設けられている。
なお風乾室２０と循環送風手段３０とは分離自在として、風乾室２０だけを独立して搬送したり、その他の取り扱いができるようにされている。
また風乾室２０と篩い分け室１０とについても分離自在として、別々に搬送したり、その他の取り扱いができるようにしてもよい。
【００１２】
前記循環送風手段３０は、前記風乾室２０を含めた閉鎖循環系を形成し、その循環経路は主経路３１と分岐経路３２とからなる。
前記主経路３１にはトラップ３１１、三方弁３１２ａ、空気フィルタ３１３、ブロア３１４、循環戻り空気の温度センサ３１５、循環戻り空気の湿度センサ３１６、流量計３１７、混合器３１８、エアーコンディショナー３１９、三方弁３１２ｂを有する。
また分岐経路３２には流量計３２１、恒温槽３２２、該恒温槽３２２に設けられた調湿器３２３とミストフィルタ３２４、湿度センサ３２５を有する。
前記循環送風手段３０は制御部４０によって制御される。
制御部４０は、供試料が測定され或いは分析される室に配置され、その室内温度と室内湿度を検出する室内温度センサ４１、室内湿度センサ４２からの検出温度、検出湿度をデータとして取り入れる。
【００１３】
外部から三方弁３１２ａを介して循環経路の主経路３１に取り入れられた空気は、空気フィルタ３１３によって異物が取り除かれた後、ブロア３１４によって所定の速度が選択されて送風される。送風の一部は分岐経路３２に流れ、他は引き続き主経路３１を流れる。そして両者は再び混合器３１８によって合流された後、エアーコンディショナー３１９、三方弁３１２ｂを経て、風乾室２０に導入され、空気分散吹き出し器２２から風乾室２０内に吹き出される。
前記風乾室２０内に入った空気は、再び風乾室２０からトラップ３１１、三方弁３１２ａを経て主経路３１に循環する。
前記風乾室２０と前記主経路３１及び分岐経路３２からなる循環経路とは、閉鎖循環系を構成しており、必要な時のみ前記三方弁３１２ａを介して外部空気を取り入れ、或いは前記三方弁３１２ｂを介して排気を行う。
【００１４】
風乾室２０へ送る空気の湿度と温度の調整は次のようにして行う。
今、制御部４０は、三方弁３１２ａを介して取り入れた外部空気或いは風乾室２０から戻ってきた空気の温度と湿度とを前記循環戻り空気の温度センサ３１５及び循環戻り空気湿度センサ３１６で検出し、また分岐経路３２に流れる空気量を流量計３２１で、引き続き主経路３１を流れる空気量を流量計３１７でそれぞれ検出し、これらの検出値を取り入れて記憶する。更に制御部４０は上記室内温度センサ４１、室内湿度センサ４２で検出された測定又は分析を行う室の室内温度、室内湿度を取り入れて記憶する。
一方、制御部４０は、前記室内湿度センサ４２で検出された測定又は分析を行う室の室内湿度（前記混合器３１８で合流された空気の保有すべき湿度となる）と、前記循環戻り空気の湿度センサ３１６で検出された湿度（循環戻り空気の湿度）と、分岐経路３２へ流れる空気量（流量計３２１の検出空気量）と引き続き主経路３１へ流れる空気量（流量計３１７の検出空気量）との比とから、分岐経路３２を流れる空気の調整すべき湿度（水分量）を演算する。そして制御部４０は得られた演算湿度（演算水分量）になるように前記恒温槽３２２及び調湿器３２３を制御する。
【００１５】
前記演算湿度（演算水分量）値への調整の具体的な方法としては、例えば調湿器３２３の水の温度が決まれば、その温度に対する飽和水蒸気圧が決まることから、逆に前記必要な演算水分量（演算湿度値）に対応する飽和水蒸気圧に対する調湿器３２３の水温を決定し、その決定した水温になるように調湿器３２３と恒温槽３２２とを制御すればよい。このようにすることにより、分岐経路３２を流れる空気中の水分量（湿度）を演算水分量に調整することができる。演算した値になっているか否かは、湿度センサ３２５で検出したデータで確認することができる。そしてそのデータによって更にフィードバック制御を行うようにすることができる。
なお、調湿器３２３から出てきた空気に同伴する飛沫は微細繊維を充填したミストフィルタ３２４で補足し、除去する。
以上のようにして湿度（水分量）調整された分岐経路３２の空気は混合器３１８において主経路３１からの空気と混合される。この混合によって生じた全空気中の水分量（湿度）は、所定の湿度（室内湿度センサ４２で検出した測定或いは分析を行う室の室内湿度）に対応する水分量（湿度）になる。
【００１６】
前記湿度調整が済んだ空気（混合器３１８を経た空気）は更に所定の温度への温度調整がなされる。この温度調整は前記エアーコンディショナー３１９と、これを制御する制御部４０とによって行われる。
前記エアーコンディショナー３１９と制御部４０とによる温度調整の具体的な方法としては、例えば送られてきた空気の温度をエアーコンディショナー３１９で検出して、その検出した温度と前記室内温度センサ４１で検出された測定又は分析を行う室の室内温度（所定の温度）とを比較し、その正負によって冷却か加熱かを行うと共に、その差の大きさに応じて前記冷却、加熱の程度を調整するようにしている。そして調整後の空気の温度を検出して、これを前記所定の温度と比較してフィードバックをかけるようにしている。以上のようにすることで、風乾室２０に導入すべき空気の温度が調整される。
なお、前記エアーコンディショナー３１９での加熱はヒータやその他の公知の加熱手段を用いることにより、また冷却は断熱膨張作用やペルチエ効果による方法やその他の公知の冷却手段を採用することができる。
また前記エアーコンディショナー３１９で、最終的な湿度の微調整を行うようにしてもよい。
【００１７】
前記湿度と温度が調整された空気は、前記ブロア３１４によって所定の速度に調整された状態で風乾室２０に送られ、空気分散吹き出し器２２から室内全体に均等に吹き出される。前記風乾室２０内に吹き出される空気の速度条件は予め決定しておく。
前記調整空気による風乾室２０内の供試料への送風は、測定又は分析に先立つ一定時間を設定する。
【００１８】
上記汚染土壌等の試料の前処理で重要な風乾恒量乾燥は、底質調査法等の指針では、「室温で空気中の湿度と平衡になるまで乾燥する」と明記されており、風乾室２０に供給される空気の湿度と温度とが恒量決定因子となる。
風乾室２０を経て汚染土壌等の供試料の乾燥に寄与した空気は、トラップ３１１、三方弁３１２ａを経て再び主経路３１に循環し、閉鎖系を保持する。また汚染土壌等の供試料から発生する水蒸気以外のガスは定期的に三方弁３１２ａ、３１２ｂを操作することで、排出することができる。
【００１９】
なお、上記の実施形態に係る前処理装置において、ブロア３１４が請求項２における送風手段に該当する。また調湿器３２３、恒温槽３２２が湿度調節手段に該当する。またエアーコンディショナー３１９が温度調節手段に該当する。制御部４０が制御部に該当する。勿論、広義には、室内湿度センサ４２、循環戻り空気の湿度センサ３１６、流量計３１７、流量計３２１、湿度センサ３２５も前記湿度調節手段と言える。また室内温度センサ４１、循環戻り空気の温度センサ３１５も前記温度調節手段と言える。
また上記の実施形態では、循環経路を主経路３１と分岐経路３２とに途中で分け、分岐経路３２に分岐されてきた一部の空気を用いて湿度調整を行うようにした構成とし、これによって湿度調整を一部の空気をもって取り扱い容易に、調整容易に行えるようにしているが、必ずしも分岐経路を設けて湿度調整を行う必要はない。循環経路を分岐のない経路として、循環経路を流れる空気の全体をもって湿度調整、温度調整するように構成することも可能である。
【００２０】
【実施例】
図１〜３に示すような装置を用いて、試料の前処理操作を行った。その条件、結果等を以下に示す。
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【００２１】
＜結果＞
図４に本発明により供試料を風乾した時の風乾時間と供試料の水分率の変化を示す。併せて供試料を自然風乾した場合を示す。
図５に本発明により供試料を５時間風乾した時の供試料の積層厚みと供試料の水分率との関係を示す。併せて供試料を２０時間自然風乾した時の供試料の積層厚みと水分率との関係を示す。
図４から明らかなように、自然風乾とほぼ同一の平衡水分率（５％程度）に到達する時間が著しく短縮されることが確認された。即ち、自然風乾の２４時間と等価な恒量乾燥時間は約４．７時間であった。
また図５から、本発明の場合は供試料の厚みが５０ｍｍ程度あっても、５時間程度で平衡・恒量乾燥状態にできることが確認された。一方、自然風乾の場合には供試料の厚みを増加させると２０時間でも平衡・恒量乾燥状態にならない。
その他、外部からの異物の混入は認められなかった。即ち、閉鎖循環系であるので外部から粉塵やその他の異物がはいる懸念がない。
また循環経路を流れる空気には臭いが付いたが、測定室内での臭い発生はなかった。即ち、循環経路は閉鎖系であるため、循環経路から外部へガスが漏れることがない。循環経路内の空気は、例えば１〜２時間に一度の割合で配管を接続して経路内空気の置換を行うことができる。
風乾後の供試料の外観に差はなかった。
【００２２】
試験結果の再現性も本発明において確認できた。即ち、同じ条件の供試料を用いて、本発明による供試料の６時間風乾試験を３回、同様に自然風乾による２０時間風乾試験を３回行った。その結果、本発明の場合は、風乾後の供試料の水分率が第１回目が５．４％、第２回目が５．３％、第３回目が５．６％と良好な再現性を示した。また自然風乾の場合は、風乾後の供試料の水分率が第１回目が４．６％、第２回目が５．８％、第３回目が６．３％であった。
【００２３】
【発明の効果】
本発明は以上の構成、作用よりなり、請求項１に記載の試料の前処理装置によれば、汚染土壌、廃棄物、その他の試料の性状を測定し或いは分析するのに先立って行う試料の前処理装置であって、投入された試料を供試料とそれ以外とに篩い分ける篩い分け室と、該篩い分け室で得られた供試料のみを前記篩い分け室から受け入れる風乾室と、該風乾室に対して閉鎖循環系を形成すると共に導入した空気を前記測定或いは分析を行う室の室内湿度及び室内温度に調整した上で風乾室に送風し、循環させる循環送風手段とを設けたので、
風乾室内の供試料は、測定或いは分析を行う室の室内湿度及び室内温度に調整された風を受けることができるので、自然放置の場合に比べて、測定或いは分析を行う室の雰囲気に平衡する状態へより短時間で風乾することができる。即ち恒量乾燥に必要な時間を大幅に短縮できる。
また送風により風乾を行うので、汚染土壌等の供試料を室内に薄く広く広げることなく、ある程度の厚みをもって風乾室内に置くことができ、よって風乾に必要なスペース（所要面積）を十分に低減することができる。
また試料は前処理装置の篩い分け室や風乾室内に入れられて処理されるので、外部からの異物の混入を確実に予防することができる。
また試料は前処理装置の篩い分け室や風乾室内に入れられて処理され、また送風は閉鎖循環系で行われるので、試料からの悪臭やその他の物の外部への拡散を確実に予防することができる。
また測定或いは分析を行う室の室内湿度及び室内温度に調整した空気を送風することで、それら送風空気の湿度、温度、送風速度の風乾条件を簡単に且つ正確に把握して管理することが可能となり、よって以降の試験にも反映させることができる。
勿論、試料の風乾は、その供試料の測定或いは分析が行われる室の湿度、温度の条件に合わせた環境で行われるようにしているので、試料の前処理は必ずしも供試料の測定或いは分析が行われる室で行う必要はなく、もっと適当な場所で行うことが可能となる。
更に再現性のよい安定した供試料の前処理ができる。
また請求項２に記載の試料の前処理装置によれば、上記請求項１に記載の構成による効果に加えて、循環送風手段は、送風手段と、循環する空気の湿度を調節する湿度調節手段と、循環する空気の温度を調節する温度調節手段と、測定或いは分析を行う室の室内湿度と室内温度の情報に基づいて前記湿度調節手段と温度調節手段とを制御する制御部とを設けたので、
風乾室への送風は送風手段により、その速度を所定の速度に調節して行うことができる。よって条件を揃えることができる。また送風速度を変更して送風することができる。
また湿度調節手段と、温度調節手段と、測定或いは分析を行う室の室内湿度と室内温度の情報を得て前記湿度調節手段と温度調節手段とを制御する制御部とによって、風乾室に送られる空気の湿度、温度を確実に測定或いは分析を行う室の室内湿度及び室内温度に調整することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を示す前処理装置の概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態を示す前処理装置の概略構成図である。
【図３】篩い分け室の概略横断面図である。
【図４】実験結果を示すグラフである。
【図５】実験結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１０　篩い分け室
１１　ホッパ
１２　篩い
１３　供試料トレイ
１４　コンテナ
２０　風乾室
２２　空気分散吹き出し器
３０　循環送風手段
３１　主経路
３２　分岐経路
４０　制御部
４１　室内温度センサ
４２　室内湿度センサ
３１１　トラップ
３１２ａ　三方弁
３１２ｂ　三方弁
３１３　空気フィルタ
３１４　ブロア
３１５　循環戻り空気の温度センサ
３１６　循環戻り空気の湿度センサ
３１７　流量計
３１８　混合器
３１９　エアーコンディショナー
３２１　流量計
３２２　恒温槽
３２３　調湿器
３２４　ミストフィルタ
３２５　湿度センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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