(57)【要約】【課題】リール交換やメンテナンス等の作業時間を短縮させ、装置の稼働率と電子部品の生産性を向上させる接着用テープの貼付装置、電子部品の実装装置及び電気光学装置の製造装置を提供する。【解決手段】貼付ユニット２０を旋回自在とする可動機構３０を備える。該可動機構３０は、貼付ユニット２０を保持する台座２１と、該台座２１に対して貼付ユニット２０を垂直軸Ｚを基準として旋回させる案内軸受（ガイド部材、旋回機構）２７とから構成されている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貼付対象物に対して、接着用テープを搬送し、該接着用テープを、搬送ラインによって搬送された前記貼付対象物に貼付する貼付機構を備える接着用テープの貼付装置において、
前記貼付機構を移動自在とする可動機構を備え、
前記貼付機構は、前記搬送ラインに対向するように配置された前記接着用テープの取出し口を備え、且つ、前記取出し口が前記搬送ラインに干渉しないように前記可動機構によって移動可能であることを特徴とする接着用テープの貼付装置。
【請求項２】
貼付対象物に対して、基材テープと接着用テープとを積層してなる積層テープを搬送し、前記基材テープと前記接着用テープを剥離させて、該接着用テープを、搬送ラインによって搬送された前記貼付対象物に貼付する貼付機構を備える接着用テープの貼付装置において、
前記貼付機構を移動自在とする可動機構を備え、
前記貼付機構は、前記搬送ラインに対向するように配置された前記積層テープの取出し口を備え、且つ、前記取出し口が前記搬送ラインに干渉しないように前記可動機構によって移動可能であることを特徴とする接着用テープの貼付装置。
【請求項３】
前記貼付機構は、前記接着用テープが貼付対象物に対面する状態で前記接着用テープを搬送するテープ搬送手段と、前記接着用テープを間に挟んで互いに対向する一対の圧着ヘッドと、を備えた貼付ユニットであり、
前記可動機構は、前記貼付ユニットを保持する台座と、該台座に対して前記貼付ユニットを垂直軸を基準として旋回させる旋回機構と、を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の接着用テープの貼付装置。
【請求項４】
前記旋回機構は、旋回半径に適合した曲率を有するガイド部材を備えることを特徴とする請求項３に記載の接着用テープの貼付装置。
【請求項５】
前記可動機構には、前記台座に前記貼付ユニットを締結させる締結機構を備えることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の接着用テープの貼付装置。
【請求項６】
接着用テープを介して電子部品を基板上に実装する電子部品の実装装置において、
請求項１から５のいずれか一項に記載の接着用テープの貼付装置を備えることを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項７】
前記接着用テープは、異方性導電膜を含むことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電子部品の実装装置。
【請求項８】
電気光学パネルを構成する基板上に、接着用テープを介して電子部品を実装する電気光学装置の製造装置において、
請求項１から５のいずれか一項に記載の接着用テープの貼付装置と、
前記電気光学パネルを構成する基板を搬送する搬送装置と、
を備えることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項９】
前記接着用テープは、異方性導電膜を含むことを特徴とする請求項８に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載の電気光学装置の製造装置を用いて製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、接着用テープの貼付装置、電子部品の実装装置、電気光学装置の製造装置及び製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
配線基板を基板に実装する方法として、テープ状の異方性導電膜（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ：以下、「ＡＣＦ」と表記する）を基板の電極上に貼り付け、その上に配線基板を圧着する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
例えば、電子部品である液晶パネルにおいて、ガラス基板上に配線基板である液晶駆動用ＩＣ（液晶ドライバ）を直接接合する方式としては、ＣＯＧ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）工法が挙げられる。
【０００３】
図４は、従来の液晶パネルの実装装置の一例を示す平面概略図である。
一般に、実装装置１００は、貼付装置１１０と仮圧着装置１２０とを備えた前工程装置１０５と、圧着装置１３０を備えた後工程装置１０６とから構成されている。貼付装置１１０は、ガラス基板Ｗ上のＩＣ装着位置にＡＣＦ等の接着テープを貼り付ける装置である。また、仮圧着装置１２０は、ＩＣ装着位置の接着テープ上にＩＣを配置し、仮圧着させる装置である。従って、仮圧着装置１２０には、不図示であるが、所望のＩＣ装置位置に正確にＩＣを配置させるための位置合わせ装置を備えている。更には、仮圧着装置１２０内に、接着テープの画像検査装置を備えている場合もある。圧着装置１３０は、仮圧着されているＩＣをＩＣ装着位置に本圧着させる装置である。
【０００４】
上記の実装装置１００の動作としては、まず、作業開始位置Ｐ１にいる作業者が、ガラス基板Ｗを搬入位置Ｆ１に設置する。ガラス基板Ｗは、第１の搬送機構（不図示）により搬送ライン１０７に移送され、移載位置Ｆ２より第２の搬送機構（不図示）により貼付装置１１０内の貼付位置Ｆ３に移載される。接着テープの貼り付け後、ガラス基板Ｗは、再度搬送ライン１０７により移送され、移載位置Ｆ４より第３の搬送機構（不図示）により仮圧着装置１２０内の仮圧着位置Ｆ５に移載される。ＩＣの仮圧着後、ガラス基板Ｗは、再度搬送ライン１０７により移送され、移載位置Ｆ６より第４の搬送機構（不図示）により圧着装置１３０内の圧着位置Ｆ７に移載される。本圧着後、ガラス基板Ｗは、再度搬送ライン１０７により移送され、第５の搬送機構（不図示）により搬出位置Ｆ８に移送後、作業終了位置Ｐ２にいる作業者が搬出位置Ｆ８からガラス基板Ｗを取り出す。
【０００５】
上記の実装装置１００における貼付装置１１０としては、近年、種々の貼付装置が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
図５は、作業開始位置Ｐ１（図４参照）における作業者Ｐに対向した貼付装置１１０付近の斜視図であって、且つ、貼付装置内部の一般的な構造を示す概略図である。
貼付装置１１０は、接着用テープ１０ａがガラス基板（貼付対象物）Ｗに対面する状態で積層テープ１０を搬送するテープ搬送手段１１と、接着用テープ１０ａを間に挟んで互いに対向する一対の圧着ヘッド１２とからなる。積層テープ１０は、接着テープ（ＡＣＦ）１０ａと、該接着テープ１０ａを保持する基材テープ（セパレータテープ）１０ｂと、貼付前の接着テープ１０ａを保護する保護フィルム１０ｃとの３層のテープで構成されており、通常、供給リールに巻回された状態で取り扱われ、テープ搬送手段１１に供給される。テープ搬送手段１１は、図５に示すように、積層テープ１０が巻回された供給リール１５と、積層テープ１０から保護フィルム１０ｃを巻き取る巻取りリール１６と、積層テープ１０を送り出すための、回転駆動源等の駆動機構を有する送り出し装置１７とから構成される。
【０００６】
積層テープ１０は、複数のテンションローラ１８により保持されており、ガラス基板Ｗに対面するように導かれて、圧着ヘッド１２を押し付けることにより接着テープ１０ａがガラス基板Ｗに貼り付けられる。その後、基材テープ１０ｂのみが送り出し装置１７により搬送されて、不図示の巻取り機構、若しくは収容部に確保される。
そして、上記のような貼付装置１１０においては、接着テープ１０ａの貼り付け作業を継続して行う場合、１つの供給リール１５の接着テープ１０ａが消費されると、既装着の供給リールを取り外して新たな供給リールを装着するリール交換作業が実施される。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１１−４５９１０号公報
【特許文献２】
特開平１１−５００１６号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術においては、以下のような問題点を有していた。
上記のリール交換作業を実施する場合、図５に示すように、リールを交換する作業者Ｐと貼付装置１１０との間には、ガラス基板Ｗを搬送する搬送ライン１０７が位置しており、更に、該搬送ライン１０７と貼付装置１１０との間でガラス基板Ｗを移載する不図示の搬送機構等の機器が設置されているために、作業者Ｐがリールの交換をするのに手間取り、作業時間が大幅に掛かるという問題があった。このことが、液晶パネルの実装装置の稼働率や、液晶パネルの生産性に影響することは言うまでもない。
更には、リールの交換作業の困難性とともに、貼付装置１１０を構成する内部部品のメンテナンスの困難性も問題点として挙げられる。
【０００９】本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、リール交換やメンテナンス等の作業時間を短縮させ、装置の稼働率と電子部品の生産性を向上させる接着用テープの貼付装置、電子部品の実装装置及び電気光学装置の製造装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の接着用テープの貼付装置においては、貼付対象物に対して、接着用テープを搬送し、該接着用テープを、搬送ラインによって搬送された前記貼付対象物に貼付する貼付機構を備える接着用テープの貼付装置において、前記貼付機構を移動自在とする可動機構を備え、前記貼付機構は、前記搬送ラインに対向するように配置された前記接着用テープの取出し口を備え、且つ、前記取出し口が前記搬送ラインに干渉しないように前記可動機構によって移動可能であることを特徴としている。
上記の接着用テープの貼付装置によれば、可動機構によって貼付機構を移動自在であるので、既装着の接着用テープを新規の接着用テープに交換する作業や、貼付装置内部のメンテナンス作業を容易に実施することが可能となる。
【００１１】
本発明の接着用テープの貼付装置においては、貼付対象物に対して、基材テープと接着用テープとを積層してなる積層テープを搬送し、前記基材テープと前記接着用テープを剥離させて、該接着用テープを、搬送ラインによって搬送された前記貼付対象物に貼付する貼付機構を備える接着用テープの貼付装置において、前記貼付機構を移動自在とする可動機構を備え、前記貼付機構は、前記搬送ラインに対向するように配置された前記積層テープの取出し口を備え、且つ、前記取出し口が前記搬送ラインに干渉しないように前記可動機構によって移動可能であることを特徴としている。
上記の接着用テープの貼付装置によれば、可動機構によって貼付機構を移動自在であるので、既装着の積層テープを新規の積層テープに交換する作業や、貼付装置内部のメンテナンス作業を容易に実施することが可能となる。
【００１２】
本発明の接着用テープの貼付装置においては、前記貼付機構は、前記接着用テープが貼付対象物に対面する状態で前記接着用テープを搬送するテープ搬送手段と、前記接着用テープを間に挟んで互いに対向する一対の圧着ヘッドと、を備えた貼付ユニットであり、前記可動機構は、前記貼付ユニットを保持する台座と、該台座に対して前記貼付ユニットを垂直軸を基準として旋回させる旋回機構と、を備えることを特徴としている。
これによれば、旋回機構により貼付ユニットを台座に対して旋回させるので、容易に貼付ユニットを可動させることが可能となる。
【００１３】
本発明の接着用テープの貼付装置においては、前記旋回機構は、旋回半径に適合した曲率を有するガイド部材を備えることを特徴としている。
これによれば、ガイド部材に沿って貼付ユニットが旋回するので、貼付ユニットの位置精度を高精度に保つことができる。即ち、貼付ユニットの設置位置から、一旦貼付ユニットを移動させた後、再度設置位置に戻した場合でも、貼付ユニットを正確な設置位置に戻すことが可能となる。従って、貼付ユニットを移動させたことによる、接着用テープの貼付位置へのズレ等の影響を最小限に抑えることが可能となる。
【００１４】
本発明の接着用テープの貼付装置においては、前記可動機構には、前記台座に前記貼付ユニットを締結させる締結機構を備えることを特徴としている。
これによれば、貼付ユニットが通常の設置位置に設置されている時は、締結機構により貼付ユニットを台座に締結されるので、貼付ユニットの位置精度を高精度に保つことが可能となる。
【００１５】
本発明の電子部品の実装装置においては、接着用テープを介して電子部品を基板上に実装する電子部品の実装装置において、上記の接着用テープの貼付装置を備えることを特徴としている。
上記の実装装置によれば、上記の接着用テープの貼付装置を備えているので、積層テープ及び接着用テープのリール交換や、貼付装置を構成する内部部品のメンテナンスを短時間で行うことができ、実装装置の稼働率や、電子部品の生産性を向上させることが可能となる。
【００１６】
本発明の電子部品の実装装置においては、前記接着用テープは、異方性導電膜を含むことを特徴としている。
これによれば、異方性導電膜を含む接着用テープを使用するので、例えば、液晶パネル等の電気光学パネルを構成するガラス基板の電極上に該接着用テープを貼り付け、その上に電子部品としての液晶駆動用ＩＣ、表面実装部品、又は配線基板等を好適に圧着させることができる。
【００１７】
本発明の電気光学装置の製造装置においては、電気光学パネルを構成する基板上に、接着用テープを介して電子部品を実装する電気光学装置の製造装置において、上記の接着用テープの貼付装置と、前記電気光学パネルを構成する基板を搬送する搬送装置とを備えることを特徴としている。
これによれば、上記の接着用テープの貼付装置と、搬送装置とを備えているので、製造装置の稼働率を上げ、電気光学装置の生産性を向上させることが可能となる。
【００１８】
本発明の電気光学装置の製造装置においては、前記接着用テープは、異方性導電膜を含むことを特徴としている。
これによれば、異方性導電膜を含む接着用テープを使用し、例えば、液晶パネル等の電気光学パネルを構成するガラス基板の電極上に該接着用テープを貼り付け、その上に電子部品としての液晶駆動用ＩＣ、表面実装部品、又は配線基板等を好適に圧着させるので、電気光学装置を効率良く製造することが可能となる。
【００１９】
本発明の電気光学装置の製造方法においては、前記電気光学装置の製造装置を用いて製造することを特徴としている。
この製造方法によれば、電気光学装置は、上記の製造装置を用いて製造されるので、電気光学装置の生産性を向上させ、また、電気光学装置を効率良く製造することが可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る接着用テープの貼付装置、電子部品の実装装置及び電気光学装置の製造装置の実施形態を、図１乃至図３を参照して説明する。
なお、本実施形態の貼付装置では、接着用テープが貼付対象物に対面する状態で積層テープを搬送するテープ搬送手段と、接着用テープを間に挟んで互いに対向する一対の圧着ヘッドとを有する貼付機構を備えている点については、図５に示した従来の貼付装置と同一構成とし、以下に示す各図において同一の符号を付し、その説明を省略する。
また、本実施形態においては、電気光学パネルの一例として液晶パネルを用いた例を説明する。また、実装装置では、テープ状のＡＣＦ（接着用テープ）を、液晶パネル（電気光学パネル）を構成するガラス基板（基板）の電極上に貼り付け、その上に電子部品としての液晶駆動用ＩＣ、表面実装部品、又は配線基板等を圧着するものとする。表面実装部品としては、コンデンサや、抵抗等を用いることができる。配線基板としては、フレキシブル配線基板や、リジッドな配線基板等を用いることができる。
【００２１】
図１は、ガラス基板Ｗの移載方向から観察した、本発明の貼付装置１の概略を示す斜視図である。
図１に示すように、貼付装置１では、テープ搬送手段１１と、圧着ヘッド１２とを備えた貼付機構を１つのユニット２０（以下、「貼付ユニット」と表記する）とし、該貼付ユニット２０を移動自在とする可動機構３０を備えることを特徴としている。可動機構３０は、貼付ユニット２０を保持する台座２１と、該台座２１に対して貼付ユニット２０を垂直軸Ｚを基準として旋回させる旋回機構２５とを備えている。
【００２２】
旋回機構２５は、旋回中心となる連結部２６と、旋回半径に適合した曲率を有する案内軸受（ガイド部材）２７とから構成されている。連結部２６は、貼付ユニット２０に設置された回転部２６ａと、台座２１に設置された固定部２６ｂとからなり、回転部２６ａと固定部２６ｂとは、不図示のガイド部材（例えば、クロスローラ）によって、回転部２６ａが固定部２６ｂに対して回転自在に接続されている。前記ガイド部材は、特に限定するものではないが、垂直軸（回転軸）Ｚに対して、回転時のズレが少ない高精度のものを採用することが望ましい。また、案内軸受２７は、図１に示すように、２本並列に設置されたリニアガイドが好適に用いられる。この場合も、リニアガイドは、レールに対する摺動時の可動部のズレが少ない高精度のものを採用することが望ましい。案内軸受２７は、連結部２６を基準として、約９０°旋回が可能な長さに設置されている。
【００２３】
図２は、貼付ユニット２０の裏面側（旋回側）から観察した、本発明の貼付装置１の概略を示す斜視図である。
図２に示すように、可動機構３０には、台座２１に貼付ユニット２０を締結させる締結機構４０を設けている。締結機構４０は、流体シリンダ４０ａと、該流体シリンダ４０ａを台座２１に固定する保持部材４０ｂと、流体シリンダ４０ａの駆動軸に設けられた回転クランプ４０ｃとから構成されており、更に、貼付ユニット２０の下部には、回転クランプ４０ｃと掛合する鉤部４０ｄが形成されている。
【００２４】
次に、本発明の接着用テープの貼付装置、及び電子部品の実装装置の作用について説明する。
本発明の貼付装置１の作用において特徴とするところは、供給リール１５の交換作業や、貼付装置１内の構成部品のメンテナンス等の作業時に、貼付ユニット２０を旋回させる点にある。以下、貼付装置１を液晶パネルの実装装置に備えている場合を想定している。
【００２５】
図３は、本発明の液晶パネルの実装装置の一例を示す平面概略図である。
なお、本実施形態の実装装置５０では、可動機構を備えた貼付機構１以外については、図４に示した従来の実装装置と同一構成であり、同一の符号を付して、その説明を省略する。
以下、上記の貼付装置１において既装着の供給リールを取り外して新たな供給リールを装着するリール交換作業を実施する場合について説明する。この場合、リールの交換作業を実施する作業者Ｐは、図３に示すように、前工程装置１０５の側面位置Ｐ３において作業を行う。
【００２６】
まず、貼付装置１内の貼付位置Ｆ２にガラス基板Ｗが搬入されていないことを確認後、まず、締結機構４０による貼付ユニット２０と台座２１との締結を解除する。締結を解除をする場合は、流体シリンダ４０ａを駆動して回転クランプ４０ｃによる締め付けを緩め、鉤部４０ｄに掛合している回転クランプ４０ｃを外す。これにより、回転クランプ４０ｃの本体部が鉤部４０ｄ側から台座２１側へ垂らされ、締結が解除されるとともに、貼付ユニット２０の旋回軌道が確保される。
【００２７】
締結機構４０の解除後、貼付ユニット２０を、図３に示すように、案内軸受２７に沿って、９０°旋回させる。即ち、この時点で、作業者Ｐの正面に、テープ搬送手段１１等の貼付装置の内部機構が相対することになる。ここで、作業者Ｐは、積層テープ１０を使い切った既装着の供給リールを取り外し、新規の供給リールを取り付け、基材テープ１０ｂと保護フィルム１０ｃの装着を行う。新規供給リールの取り付け後、貼付ユニット２０を再度旋回させて、貼付工程の設置位置に戻す。そして、締結機構４０によって、貼付ユニット２０と台座２１とを固定し、リールの交換作業が完了する。
【００２８】
このように、本実施形態の液晶パネルの実装装置５０では、可動機構によって貼付機構を移動自在とする貼付装置１を備えるので、搬送ライン１０７や、ガラス基板Ｗの搬送機構等の機器の設置部を避けつつ、貼付装置１内の既装着の供給リール１５を新規のリールに交換する作業や、貼付装置の内部部品のメンテナンス作業を容易に実施することが可能となる。従って、リール交換やメンテナンスの所要時間を大幅に短縮することができるので、実装装置の稼働率や、液晶パネルの生産性を向上させることが可能となる。
【００２９】
また、本実施形態の貼付装置１のように、貼付位置Ｆ２が変動する構成とした場合、即ち、貼付ユニット２０の通常の設置位置から、一旦貼付ユニット２０を旋回させた後、再度設置位置に戻す場合は、貼付位置Ｆ２における接着用テープ１０ａの貼付位置に発生するズレを最小限に抑えなければならないが、本実施形態の貼付装置１では、案内軸受２７に沿って貼付ユニット２０が旋回する構成としているので、貼付ユニット２０の位置精度を高精度に保つことができ、接着用テープ１０ａの貼付位置へのズレ等の影響を最小限に抑えることが可能となる。更に、貼付ユニット２０が通常の設置位置に設置されている時は、締結機構４０により貼付ユニット２０を台座２１に締結されるので、この場合も貼付ユニット２０の位置精度を高精度に保つことが可能となる。
なお、上記実施形態では、貼付装置１を液晶パネルの実装装置５０に備えている場合について説明したが、貼付装置１単独で使用する場合においても、作業性の向上は確保される。
【００３０】
また、上記の接着用テープの貼付装置と、電気光学パネルを構成する基板を搬送する搬送装置とを、電気光学パネルを構成する基板上に接着用テープを介して電子部品を実装する液晶装置等の電気光学装置の製造装置に適用させることにより、製造装置の稼働率を上げ、電気光学装置の生産性を向上させることが可能となる。
【００３１】
以上、本発明の実施形態による接着用テープの貼付装置、電子部品の実装装置及び電気光学装置の製造装置について説明したが、本発明は、上記実施形態に制限されず、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。
【００３２】
例えば、本実施形態では、ＣＯＧ工法による液晶パネルへの配線基板の実装に適用する装置として説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）工法や、ＣＯＢ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｂｏａｒｄ）工法等による圧着、若しくは、液晶表示装置のフレキシブル基板（ＦＰＣ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）の圧着等の工程を含む装置にも好適に使用可能である。また、接着用テープについても、ＡＣＦに限定されず、非導電性膜（ＮＣＦ：Ｎｏｎ−Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ
）等のテープ貼付装置にも適用可能である。また、本実施形態に示した液晶パネルは、基本的に単純マトリクス型の構造を備えているが、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置にも適用することができる。
【００３３】
また、上記実施形態では、電気光学装置として、液晶装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッター等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板の移載方向から観察した貼付装置の斜視図である。
【図２】貼付ユニットの裏面側から観察した貼付装置の斜視図である。
【図３】電子部品の実装装置の一例を示す平面概略図である。
【図４】従来の電子部品の実装装置の一例を示す平面概略図である。
【図５】従来の実装装置の貼付装置付近の斜視図である。
【符号の説明】
１・・・貼付装置、１０・・・積層テープ、１０ａ・・・接着用テープ、１０ｂ・・・基材テープ、１１・・・テープ搬送手段、１２・・・圧着ヘッド、２０・・・貼付ユニット（貼付機構）、２１・・・台座、２７・・・案内軸受（ガイド部材、旋回機構）、３０・・・可動機構、４０・・・締結機構、５０・・・実装装置、Ｗ・・・ガラス基板（基板、貼付対象物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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