(57)【要約】【課題】六弗化硫黄ガスの再生処理速度の向上を図る。【解決手段】電気機器の容器１に封入された絶縁媒体としての六弗化硫黄ガスと、不純物である六弗化硫黄ガスの分解ガス、水分、及び窒素、酸素等の非凝縮性ガスとが混合された再生対象ガスを回収して、六弗化硫黄ガスの分解ガス及び水分を除去し、続いて非凝縮性ガス分離手段１１のガス分離膜を介して非凝縮性ガスと六弗化硫黄ガスとを分離するようにした六弗化硫黄ガス再生装置において、回収した再生対象ガスを圧縮する圧縮手段８と、非凝縮性ガス除去手段１１で分離された非凝縮性ガスを排出する真空ポンプ１４とを備えたものである。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気機器の容器に封入された絶縁媒体としての六弗化硫黄ガスと、不純物である六弗化硫黄ガスの分解ガス、水分、及び窒素、酸素等の非凝縮性ガスとが混合された再生対象ガスを回収して、上記分解ガス及び上記水分を除去し、続いて非凝縮性ガス除去手段のガス分離膜を介して上記非凝縮性ガスと上記六弗化硫黄ガスとを分離するようにした六弗化硫黄ガス再生装置において、回収した上記再生対象ガスを圧縮する圧縮手段と、上記非凝縮性ガス除去手段で分離された上記非凝縮性ガスを排出する真空ポンプとを備えたことを特徴とする六弗化硫黄ガス再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電気機器の絶縁媒体として使用されている六弗化硫黄ガスを回収し、六弗化硫黄ガスに含まれている不純物を除去して六弗化硫黄ガスの純度を上げる六弗化硫黄ガス再生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の六弗化硫黄ガス再生装置は、絶縁媒体としての六弗化硫黄ガスと、不純物である六弗化硫黄ガスの分解ガス、水分、及び窒素、酸素等の非凝縮性ガスとが混合された再生対象ガスを電気機器から回収する。そして、回収した再生対象ガスから六弗化硫黄ガスの分解ガスを除去し、続いて再生対象ガス中の水分を除去して、最後に非凝縮性ガスを非圧縮性ガス除去手段により除去する。非凝縮性ガス除去手段は、六弗化硫黄ガスに比べて窒素、酸素等の非凝縮性ガスが透過しやすい特性を有するガス分離膜により、六弗化硫黄ガスと非凝縮性ガスとを分離させる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献】
特開２０００−１５０３９号公報（第６頁、第１図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の六弗化硫黄ガス再生装置は、非凝縮性ガス除去手段においてガス分離膜を透過した窒素、酸素等の非凝縮性ガスを大気中に排出するので、ガス分離膜を挟んで大気中の窒素及び酸素と処理しようとしている再生対象ガスに含まれる窒素及び酸素とが平衡状態になると、窒素、酸素等の非凝縮性ガスがガス分離膜を透過しなくなるため、六弗化硫黄ガスの純度の向上を図るのが困難であるという問題点があった。
【０００５】
この発明は、六弗化硫黄ガスの純度の向上を図ることができる六弗化硫黄ガス再生装置を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明にかかる六弗化硫黄ガス再生装置は、六弗化硫黄ガスと不純物とが混在された再生対象ガスを電気機器から回収して圧縮手段で圧縮し、圧縮した再生対象ガスから六弗化硫黄ガスの分解ガス及び水分を除去し、続いて非凝縮性ガス除去手段のガス分離膜を透過させて窒素、酸素等の非凝縮性ガスを分離させ、分離された非凝縮性ガスを真空ポンプで排出するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１の構成を示すブロック図である。図１において、電気機器の容器１内に六弗化硫黄ガス（以下、ＳＦ６ガス）が封入されている。なお、容器１内はＳＦ６ガスの他に容器１内の放電等によりＳＦ６ガスが分解して生じた分解生成物が混在した再生対象ガスが封入された状態である。容器１内の回収口１ａに接続された弁２を介して固体物除去手段３が接続されている。そして、固体物除去手段３の出口側に弁４を介してブロワ５が接続されて、再生対象ガスを大気圧近傍まで回収して送気する。また、ブロワ５と並列に弁６を介して真空ポンプ７が接続されて、大気圧以下の真空領域において再生対象ガスを回収して送気する。ブロワ５及び真空ポンプ７で回収された再生対象ガスは、圧縮手段８で圧縮されて分解ガス除去手段９に送られる。そして分解ガスが、分解ガス除去手段９により除去される。
【０００８】
続いて、分解ガスが除去された再生対象ガスは水分除去手段１０により水分が除去され、最後に非凝縮性ガス除去手段１１により窒素、酸素等の非凝縮性ガスが除去される。
なお、非凝縮性ガス除去手段１１は図２に示すようにガス収容体１２及びガス分離膜１３で構成されている。図２は図１の要部を示す断面図である。図２において、ガス収容体１２の内部をＳＦ６ガスと非凝縮性ガスとの選択比が大きなガス分離膜１３で仕切って、混合ガス室１２ａと分離ガス室１２ｂとが構成されている。そして、混合ガス室１２ａには混合ガスの導入口１２ｃ及び再生されたＳＦ６ガスの取出口１２ｄが設けられ、分離ガス室１２ｂには分離ガスの排出口１２ｅが設けられている。
【０００９】
ガス分離膜１３はＳＦ６ガスに比べて窒素、酸素等の非凝縮性ガスを透過しやすい特性を有するもので、例えば、ポリイミド、ＰＭＭＡ、シロキサン系高分子、ポリエステル、ポリエーテル等の高分子膜や、ガラスメンブレン、金属化合物膜又はそれらの複合材料で構成されている。分離ガス室１２ｂへ分離された非凝縮性ガスは真空ポンプ１４により排出口１２ｅから排出される。再生対象ガス室１２ｂで再生されたＳＦ６ガスは取出口１２ｄから弁１５を介して貯留タンク１６に貯留される。貯留タンク１６には取出弁１７が設けられている。
【００１０】
このように構成された六弗化硫黄ガス再生装置は、容器１内の再生対象ガスが大気圧近傍までブロワ５で回収され、大気圧以下の真空領域においては真空ポンプ７で回収される。このとき、固体状の不純物は固体物除去手段３で除去される。回収された再生対象ガスは圧縮手段８で圧縮されて、分解ガス除去手段９で分解ガスが除去され、水分除去手段１０で水分が除去される。続いて、分解ガス及び水分が除去された再生対象ガスは、非凝縮性ガス除去手段１１の混合ガス室１２ａに導入される。一方、分離ガス室１２ｂは排出口１２ｅから真空ポンプ１４で真空引きされる。
【００１１】
ここで、ＳＦ６の濃度Ｃは、ガス分離膜１３の再生対象ガス室１２ａ側の圧力をＰ１とし、分離ガス室１２ｂ側の圧力をＰ２としたとき、式（１）で表すことができる。
Ｃ（％）＝（１−Ｐ２／Ｐ１）ｘ１００　・・・（１）
分離ガス室１２ｂ側の圧力Ｐ２は、厳密には分離ガス室１２ｂ側の不純物（窒素、酸素等）の分圧であるが、ＳＦ６が分離ガス室１２ｂ側には殆ど透過していないため、Ｐ２を分離ガス室１２ｂ側の不純物の分圧と仮定できる。
従って、再生対象ガス室１２ａと分離ガス室１２ｂとの圧力差が大きくなるので、式（１）からＳＦ６ガスの濃度（純度）を向上させることができる。
【００１２】
実施の形態２．
図３は、この発明の実施の形態２の構成を示すブロック図である。実施の形態１では電気機器の容器１から再生対象ガスを回収するための真空ポンプ７と、非凝縮性ガス除去手段１１で分離された分離ガスを分離ガス室１２ｂから排出するための真空ポンプ１４とを設けたが、図３に示すように構成することにより真空ポンプ１４を使用しなくてもよい。即ち、圧縮手段８と分解ガス除去手段９との間に回収タンク１８を接続して、容器１から回収した再生対象ガスを回収タンク１８に貯留して弁１９，２０を閉める。そして、真空ポンプ７の両側の弁６，２１を閉めて、弁２２，２３を開けることにより非凝縮性ガス除去手段１１の分離ガス室１２ｂに真空ポンプ８が接続される。
【００１３】
以上のように構成された六弗化硫黄ガス再生装置は、弁２０，２２，２３を閉めた状態でブロワ５及び真空ポンプ８で回収した再生対象ガスを圧縮手段８で圧縮して回収タンク１８に貯留する。そして、弁６，１７，１９，２１を閉めて、弁１５，２０，２２，２３を開けることにより混合ガスの再生作業が可能になる。圧縮された回収タンク１８の再生対象ガスが分解ガス除去手段９及び水分除去手段１０を経て非凝縮性ガス除去手段１１の再生対象ガス室１２ａに導入される。そして、真空ポンプ７により分離ガス室１２ｂを真空引きすることにより、ガス分離膜１３を介して再生対象ガス室１２ａと分離ガス室１２ｂとの圧力差が大きくなるので、非凝縮性ガスの透過量が多くなり、ＳＦ６ガスの濃度（純度）を向上させることができる。
【００１４】
【発明の効果】
この発明によれば、圧縮手段で圧縮された混合ガスが非凝縮性ガス除去手段の混合ガス室に導入され、分離ガス室の排出口から真空ポンプにより真空引きすることにより、再生対象ガス室と分離ガス室との圧力差が大きくなるので、非凝縮性ガスの透過流量が多くなり、六弗化硫黄ガスの純度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１の構成を示すブロック図である。
【図２】図２は図１の要部を示す断面図である。
【図３】この発明の実施の形態２の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１　容器、８　圧縮手段、９　分解ガス除去手段、１０　水分除去手段、
１１　非圧縮性ガス除去手段、１３　ガス分離膜、１４　真空ポンプ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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