(57)【要約】【課題】板状基材の浸漬塗布において、塗布液の使用効率を向上させる。【解決手段】浸漬塗布槽１０では、加圧空気を封入して膨張させた、外径が互いに等しい一対の直円柱状でチューブ状の弾性隔壁２１，２２を水平方向に対向させてこれら弾性隔壁の外周面同士を密着させ、これらの外周面により底面を形成する。基材保持部材５０では、下半部の外周部厚さが外周端に向かっておおむねナイフエッジ状に漸減する形状にするとともに、板状基材Ｐ両面のほぼ全面を露出させた状態で、かつこの板状基材露出面の外周端が基材保持部材５０の外面から突出しない状態で基材を保持できる構造とする。浸漬塗布に際しては、板状基材Ｐを基材保持部材５０で保持し、この基材保持部材を降下させて板状基材の下半部を弾性隔壁同士の密着部２３を通過させることにより、板状基材の上半部を弾性隔壁上の塗布液Ｌに浸漬し、ついで板状基材を上昇させる。上記浸漬塗布槽１０では塗布液Ｌの貯溜量を、塗布液液面の高さが３ｃｍになるようにすれば足りる。【選択図】　　　　図１３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧気体を封入して膨張させた一対のまっすぐなチューブ状弾性隔壁をほぼ水平方向に沿わせるとともに、該弾性隔壁の外周面同士を密着させ、これらの外周面により底面を形成したことを特徴とする浸漬塗布槽。
【請求項２】
前記一対の弾性隔壁は直円柱体であり、かつ外径が互いに等しいことを特徴とする請求項１に記載の浸漬塗布槽。
【請求項３】
当該浸漬塗布槽を形成する対向側壁のそれぞれに、断面半円形の凹部を形成し、前記それぞれのチューブ状弾性隔壁の直径方向片側半部を、前記周壁凹部に挿入して固定するとともに、これら弾性隔壁の内部を加圧空気の供給源に連絡したことを特徴とする請求項２に記載の浸漬塗布槽。
【請求項４】
前記一対のチューブ状弾性隔壁は、合成ゴムまたは熱可塑性エラストマーからなることを特徴とする請求項３に記載の浸漬塗布槽。
【請求項５】
四角筒状の隔壁の直下に、加圧気体を封入して膨張させた一対の、まっすぐで断面が円形のチューブ状弾性隔壁をほぼ水平方向に沿わせて設けるとともに、前記弾性隔壁の対向間隙に２枚の耐溶剤性シートを重ね合わせた状態で挿入し、
前記弾性隔壁の弾性により、前記シートを弾性隔壁の前記対向外周面に密着させてこれを被覆するとともに前記シート同士を密着させ、
これらシートの上部及び下部を前記四角筒状隔壁の適所に固定し、
さらに前記四角筒状隔壁により端面側壁を、前記シートにより側面及び底面をそれぞれ形成したことを特徴とする浸漬塗布槽。
【請求項６】
一対のまっすぐな、合成ゴムまたは熱可塑性エラストマーからなる中実発泡体をほぼ水平方向に沿わせるとともに、該中実発泡体の外周面同士を密着させ、これらの外周面により底面を形成したことを特徴とする浸漬塗布槽。
【請求項７】
前記一対の発泡体は直円柱体であり、かつ外径が互いに等しいことを特徴とする請求項６に記載の浸漬塗布槽。
【請求項８】
当該浸漬塗布槽を形成する対向側壁のそれぞれに、断面半円形の凹部を形成し、前記それぞれの中実発泡体の直径方向片側半部を、前記周壁凹部に挿入して固定したことを特徴とする請求項６に記載の浸漬塗布槽。
【請求項９】
四角筒状の隔壁の直下に、まっすぐで断面が円形の合成ゴムまたは熱可塑性エラストマーからなる一対の中実発泡体を、ほぼ水平方向に沿わせて設けるとともに、前記中実発泡体の対向間隙に２枚の耐溶剤性シートを重ね合わせた状態で挿入し、
前記中実発泡体の弾性により、前記シートを中実発泡体の前記対向外周面に密着させてこれを被覆するとともに前記シート同士を密着させ、
これらシートの上部および下部を前記四角筒状隔壁の適所に固定し、
さらに前記四角筒状隔壁により端面側壁を、前記シートにより側壁および底面をそれぞれ形成したことを特徴とする浸漬塗布槽。
【請求項１０】
加圧気体を封入して膨張させた一対のまっすぐなチューブ状弾性隔壁をほぼ水平方向に沿わせるとともに、該弾性隔壁の外周面同士を密着させ、これらの外周面により底面を形成した浸漬塗布槽と、
下半部の外周部厚さが外周端に向かっておおむねナイフエッジ状に漸減し、かつ少なくとも片面に開口部が形成された基材保持部材と、
該基材保持部材の昇降機構とを備え、
前記基材保持部材は、基材の片面または両面の、一部または実質的全面を前記開口部において露出させた状態で、かつ基材露出面の外周端が当該基材保持部材の外面よりも外側に突出しない状態で基材を保持するものであることを特徴とする浸漬塗布装置。
【請求項１１】
四角筒状の隔壁の直下に、加圧気体を封入して膨張させた一対の、まっすぐで断面が円形のチューブ状弾性隔壁をほぼ水平方向に沿わせて設けるとともに、前記弾性隔壁の対向間隙に２枚の耐溶剤性シートを重ね合わせた状態で挿入し、前記弾性隔壁の弾性により、前記シートを弾性隔壁の前記対向外周面に密着させてこれを被覆するとともに前記シート同士を密着させ、これらシートの上部及び下部を前記四角筒状隔壁の適所に固定し、さらに前記四角筒状隔壁により端面側壁を、前記シートにより側壁および底面をそれぞれ形成した浸漬塗布槽と、
下半部の外周部厚さが外周端に向かっておおむねナイフエッジ状に漸減し、かつ少なくとも片面に開口部が形成された基材保持部材と、
該基材保持部材の昇降機構とを備え、
前記基材保持部材は、基材の片面または両面の、一部または実質的全面を前記開口部において露出させた状態で、かつ基材露出面の外周端が当該基材保持部材の外面よりも外側に突出しない状態で基材を保持するものであることを特徴とする浸漬塗布装置。
【請求項１２】
一対のまっすぐな、合成ゴムまたは熱可塑性エラストマーからなる中実発泡体をほぼ水平方向に沿わせるとともに、該中実発泡体の外周面同士を密着させ、これらの外周面により底面を形成した浸漬塗布槽と、
下半部の外周部厚さが外周端に向かっておおむねナイフエッジ状に漸減し、かつ少なくとも片面に開口部が形成された基材保持部材と、
該基材保持部材の昇降機構とを備え、
前記基材保持部材は、基材の片面または両面の、一部または実質的全面を前記開口部において露出させた状態で、かつ基材露出面の外周端が当該基材保持部材の外面よりも外側に突出しない状態で基材を保持するものであることを特徴とする浸漬塗布装置。
【請求項１３】
四角筒状の隔壁の直下に、まっすぐで断面が円形の合成ゴムまたは熱可塑性エラストマーからなる一対の中実発泡体を、ほぼ水平方向に沿わせて設けるとともに、前記中実発泡体の対向間隙に２枚の耐溶剤性シートを重ね合わせた状態で挿入し、前記中実発泡体の弾性により、前記シートを中実発泡体の前記対向外周面に密着させてこれを被覆するとともに前記シート同士を密着させ、これらシートの上部および下部を前記四角筒状隔壁の適所に固定し、さらに前記四角筒状隔壁により端面側壁を、前記シートにより側面および底面をそれぞれ形成した浸漬塗布槽と、
下半部の外周部厚さが外周端に向かっておおむねナイフエッジ状に漸減し、かつ少なくとも片面に開口部が形成された基材保持部材と、
該基材保持部材の昇降機構とを備え、
前記基材保持部材は、基材の片面または両面の、一部または実質的全面を前記開口部において露出させた状態で、かつ基材露出面の外周端が当該基材保持部材の外面よりも外側に突出しない状態で基材を保持するものであることを特徴とする浸漬塗布装置。
【請求項１４】
請求項１０に記載の浸漬塗布装置を使用する浸漬塗布方法であって、浸漬塗布槽に所定の塗布液を貯溜し、板状基材を基材保持部材で保持し、該基材保持部材を昇降機構で降下させて板状基材の下半部を前記弾性隔壁同士の密着部を通過させることにより、板状基材の上方部を前記弾性隔壁上の塗布液に浸漬し、ついで板状基材を昇降機構で上昇させることを特徴とする浸漬塗布方法。
【請求項１５】
請求項１１に記載の浸漬塗布装置を使用する浸漬塗布方法であって、浸漬塗布槽に所定の塗布液を貯溜し、板状基材を基材保持部材で保持し、該基材保持部材を昇降機構で降下させて板状基材の下半部を前記耐溶剤性シート同士の密着部を通過させることにより、板状基材の上方部を前記耐溶剤性シート上の塗布液に浸漬し、ついで板状基材を昇降機構で上昇させることを特徴とする浸漬塗布方法。
【請求項１６】
請求項１２に記載の浸漬塗布装置を使用する浸漬塗布方法であって、浸漬塗布槽に所定の塗布液を貯溜し、板状基材を基材保持部材で保持し、該基材保持部材を昇降機構で降下させて板状基材の下半部を前記中実発泡体同士の密着部を通過させることにより、板状基材の上方部を前記中実発泡体上の塗布液に浸漬し、ついで板状基材を昇降機構で上昇させることを特徴とする浸漬塗布方法。
【請求項１７】
請求項１３に記載の浸漬塗布装置を使用する浸漬塗布方法であって、浸漬塗布槽に所定の塗布液を貯溜し、板状基材を基材保持部材で保持し、該基材保持部材を昇降機構で降下させて板状基材の下半部を前記耐溶剤性シート同士の密着部を通過させることにより、板状基材の上方部を前記耐溶剤性シート上の塗布液に浸漬し、ついで板状基材を昇降機構で上昇させることを特徴とする浸漬塗布方法。
【請求項１８】
請求項１に記載の浸漬塗布槽を使用する浸漬塗布方法であって、巻き出しロールからのシート状基材を、チューブ状弾性隔壁同士の密着部を介して浸漬塗布槽内の塗布液を通過させる浸漬塗布工程と、このシート状基材表面の塗布液を乾燥して巻き取りロールに巻き取る乾燥・巻き取り工程とを、この順に連続的に行うことを特徴とする浸漬塗布方法。
【請求項１９】
請求項５に記載の浸漬塗布槽を使用する浸漬塗布方法であって、巻き出しロールからのシート状基材を、耐溶剤性シート同士の密着部を介して浸漬塗布槽内の塗布液を通過させる浸漬塗布工程と、このシート状基材表面の塗布液を乾燥して巻き取りロールに巻き取る乾燥・巻き取り工程とを、この順に連続的に行うことを特徴とする浸漬塗布方法。
【請求項２０】
請求項６に記載の浸漬塗布槽を使用する浸漬塗布方法であって、巻き出しロールからのシート状基材を、中実発泡体同士の密着部を介して浸漬塗布槽内の塗布液を通過させる浸漬塗布工程と、このシート状基材表面の塗布液を乾燥して巻き取りロールに巻き取る乾燥・巻き取り工程とを、この順に連続的に行うことを特徴とする浸漬塗布方法。
【請求項２１】
請求項９に記載の浸漬塗布槽を使用する浸漬塗布方法であって、巻き出しロールからのシート状基材を、耐溶剤性シート同士の密着部を介して浸漬塗布槽内の塗布液を通過させる浸漬塗布工程と、このシート状基材表面の塗布液を乾燥して巻き取りロールに巻き取る乾燥・巻き取り工程とを、この順に連続的に行うことを特徴とする浸漬塗布方法。
【請求項２２】
揮発性有機溶剤を配合してなる塗布液を浸漬塗布槽に貯溜し、板状の基材を塗布液に浸漬し、ついで基材を塗布液から引き上げることにより、基材表面に塗膜を形成するとともに、該引上げの過程で前記塗膜を自然乾燥させる浸漬塗布装置において、前記浸漬塗布槽の直上に、引上げ中の基材を包囲する鞘管を連ねて設け、前記鞘管の長さを、基材を適正速度で引き上げた場合に該鞘管内で塗膜の自然乾燥が終了するに足る値とすることにより、鞘管内を基材引上げ・塗膜乾燥空間とすることを特徴とする浸漬塗布装置。
【請求項２３】
一対のまっすぐな弾性体をほぼ水平方向に沿わせて外周面同士を密着させ、これら弾性体の上部外周面により底面を形成した浸漬塗布槽に、揮発性有機溶剤を配合してなる塗布液を貯溜し、フィルム状の基材をロール・ツー・ロール方式で走行させ、前記弾性体同士の密着部を上向きに通過させることにより基材表面に塗膜を形成し、前記密着部通過後の基材上の塗膜を、継続して基材を走行させる過程で自然乾燥させる浸漬塗布装置において、前記浸漬塗布槽の直上に、走行する基材を包囲する鞘管を連ねて設け、前記鞘管の長さを、基材を適正速度で走行させた場合に該鞘管内で塗膜の自然乾燥が終了するに足る値とすることにより、鞘管内を基材走行・塗膜乾燥空間とすることを特徴とする浸漬塗布装置。
【請求項２４】
前記蓋体の上部に乾燥窒素ガスの供給源を連絡し、前記蓋体の下部に排気口を設けたことを特徴とする請求項２２または２３に記載の浸漬塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は浸漬塗布槽、浸漬塗布装置及び浸漬塗布方法に関する。より詳しくは、板状またはフィルム状（シート状を含む。以下同じ）の基材表面に、所定の機能を有する塗膜を形成することにより反射防止膜、帯電防止膜、透明導電膜、防汚膜、撥水膜、配向膜、プライマー膜、カラーフィルタ、蛍光膜、偏光膜などの機能性膜を製造するのに好適な浸漬塗布装置（特に浸漬ロールコータ）等に関するものである。なお、たとえばフィルム基材に上記反射防止膜を設けて構成された透明な反射防止フィルムは、液晶ディスプイ（ＬＣＤ）や陰極線表示装置（ＣＲＴ）の表示面を被覆することにより、これら表示装置の視認性を高めるのに有効に利用される。
【０００２】
【従来の技術】
浸漬塗布法（浸漬塗工法：ディップコート法）は、たとえば板状基材の表面に所定の薄膜を精密に形成するのに有効・簡便な方法として用いられている。上記板状基材の一例としては、塗布型ＡＲパネル（反射防止パネル）構成用の板状部材が挙げられる。
【０００３】
上記浸漬塗布法では、一般に図２０（ａ）に示す直方体の浸漬塗布槽２００が使用される。この場合、図２０（ａ），（ｂ）に示すように板状基材Ｐを降下させ、一旦塗布槽２００内の塗布液Ｌに鉛直方向に、かつそのほぼ全体を浸漬させ、ついで、図２０（ｃ）に示すように、ゆっくりとした一定速度で鉛直方向に引き上げる。そして、その後の乾燥工程によって前記塗布液厚みに比例した薄膜（塗膜）を得る。板状基材Ｐ表面の塗布液の厚みは、塗布液Ｌの物性（粘度・塗布液密度・塗布液の表面張力など）や、基材Ｐ表面の特性などより決まる。図２０（ａ）において、符号２０１，２０２は側壁である。
【０００４】
したがって、塗布液の物性を一定に維持することは、基材間および基材内で均一な薄膜を形成（塗布厚みムラの低減）するために極めて重要である。また、この塗布厚みムラの低減のためには、塗布槽の側壁面上に表面張力で形成される塗布液の盛り上がりと、板状基材表面上に表面張力により形成される塗布液の盛り上がりとの相互干渉を確実に抑えることが必要である。さらに、板状基材の昇降時にこれが塗布槽の側壁に接触しないようにするためには、これら板状基材・側壁間の距離を３ｍｍ以上とする必要があるうえ、板状基材の実質的全面を一旦塗布液に鉛直方向に浸漬させるには、塗布液の深さを板状基材の高さ以上にすることが要求される。塗布槽には上記のような制約があるため、その寸法・容積を縮小するには限界があった。
【０００５】
ところが、膜厚０．１μｍ程度の乾燥薄膜を得るのに必要な塗布液厚みは１〜１０μｍであることから、塗布槽に貯溜するべき塗布液量は、３００〜３０００枚もの基材に塗工処理を施す量に相当するものとなる。つまり、３００〜３０００枚の板状基材表面上の塗布液に等しくなる。
【０００６】
しかしがなら、昨今の薄膜形成用塗布液では、高機能・高生産性を実現させるために経時で化学変化しやすい反応性の材料を含む場合が多く、塗布液を正常に使用することができる期間、つまり塗布液寿命が、それ以前の成分・組成からなる塗布液に比べて大幅に短くなっている場合がある。このような場合には、短期間のうちに塗布液を更新する必要があり、塗布液の使用効率を高めることが難しくなっている。また、それほど時間を要しない少ロット生産の場合でも、３０００枚分の塗布液を使用しなければならない。さらに、サブミクロンの機能膜を形成するための塗布液材料は高コストであり、したがって競走力のある生産コストを実現させるためには、塗布液の使用効率（材料歩留り）を向上させることが必須の課題である。
【０００７】
一方、上記反射防止パネルを構成するための反射防止フィルムには例えば多層型があり、この反射防止フィルムは例えば、光透過性の基材フィルムの片面側に、所定のコーティング組成物を塗布して高屈折率層を形成し、さらにこの高屈折率層上に、所定のコーティング組成物を塗布して低屈折率層を設けたものである。また、中屈折率層上に高屈折率層と、低屈折率層とを順次設けたものも知られている。さらに、基材フィルムの両面に高屈折率層とその上に低屈折率層を設けたものもあり、この多層型反射防止フィルムは、たとえば浸漬塗布法により作製することができる。
【０００８】
ところで、上記反射防止フィルムを製造する場合、コーティング組成物（塗布液）として通常、有機溶剤を配合したものが使用される。高屈折率層を形成する際に、有機溶剤を使用することで、この高屈折率層（高屈折率膜）の表面粗さを容易に低く制御できるからである。このような有機溶剤としては、たとえばメチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、シクロヘキサノン、ｎ−ブタノール、エチルセロソルブ、乳酸エチル、ジアセトンアルコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、アセチルアセトン、アセト酢酸エチル等が挙げられる。
【０００９】
しかしながら、上記有機溶剤は揮発性が高いうえ、引火性のものであるため、上記有機溶剤を配合した塗布液を用いて浸漬塗布するに際しては、以下の問題点１〜３があった。
（１）問題点１：浸漬塗布法では通常、板状またはフィルム状の基材を、浸漬塗布層の塗布液に浸漬し、ついで引き上げながら、基材上の塗膜（塗膜中の有機溶剤）を乾燥させた後、後段の工程で上記塗膜を加熱硬化させることで、所定の反射防止膜を形成する。ところが、たとえば多層型の反射防止フィルムを作製する場合において、上層の反射防止膜形成用の塗布液から基材を引き上げながら、塗膜を乾燥させるときの乾燥速度が早すぎると、下層表面に無数の微小クラックが発生し、目視的には上記乾燥部が白濁し、品質不良となる。
（２）問題点２：また、本来薄膜の塗膜形成に用いられる浸漬塗布法で、敢えて厚膜の塗膜を一度に塗布する場合には、塗膜の乾燥速度を相当に低くしないと、塗膜に白濁が発生しやすくなる。このため、何層かに別けて同一の操作を繰り返す必要があり、また場合によっては、前回形成した塗膜を充分に硬化させた後でなければ、白濁のない塗膜を安定して形成することができないことから、工程が煩雑で時間を要するものとなり、塗工製品を低コストで製造するのが難しくなる。
（３）問題点３：浸漬塗布法では所定の膜厚を得るために、液固形分および基材引上げ速度の２項目がプロセス要素として管理されるものであるため、基材上塗膜の乾燥速度は、上記２項目と、浸漬塗布槽の構造・寸法により自動的に決定されることから、上記乾燥速度を積極的に修正設定することができなかった。
【００１０】
さらに、もともと引火性の高い有機溶剤を配合してなる塗布液を用いた従来の浸漬塗布法では、上記密閉空間内で溶剤が大気と混合し、この混合ガス中の酸素濃度が、この混合ガスが爆発する下限濃度以上になると、静電気や金属製部材同士の衝突などによるスパークで着火し、爆発する危険性があった。
【００１１】
ところで従来、電子写真方式の画像形成装置に配備されるドラム状感光体を作製するための浸漬塗布技術について、多数の提案がなされている。これらの提案は、円筒状基体を塗布液に浸漬し、ついで引き上げることにより、基体表面に塗膜を形成するもの（例えば、下記特許文献１〜３）が大部分であるが、シート状基材の両面に塗膜を形成する浸漬塗布装置についての提案（例えば、下記特許文献４）も見られる。また、板状基材やフィルム状基材の表面に反射防止膜、防汚膜、帯電防止膜等を形成するためのウェットコート技術、特にウェットコート用塗布液についての提案も見られる（例えば、下記特許文献５〜７）。
【００１２】
特許文献１（特開平５−３４１５４１号公報）に開示された発明は、長期間にわたり電子写真感光体の製造を行った場合でも、常に安定した電子写真特性を有する電子写真感光体を製造することを目的としている。そして、そのための構成では、被塗布物を感光体構成層形成用の塗布液中に浸漬し、ついで引き上げることにより被塗布物表面に該塗布液を塗布する浸漬塗布工程により感光層を形成する電子写真感光体の製造方法であって、少なくとも被塗布物の塗布液からの引上げを、不活性気体の雰囲気下で行うことを特徴するもので、この構成により、大気中の微量な不純物ガスが塗布ブース内に混入しないようにしている。
【００１３】
特許文献２（特開２００２−７９１５９号公報）に開示された発明は、気流による膜厚ムラの発生を、簡単な構成で抑制することができる浸漬塗布装置を提供することを目的とするもので、被塗布体、例えば電子写真感光体基体の上面および周面を覆う通気性カバーを設けた構成としている。
【００１４】
特許文献３（特開２０００−１３１９４８号公報）に開示された発明は、塗工槽径、蒸気層高さ、および円筒状基体の通過する塗工槽上蓋開口部ノズル径を自在に調整でき、基体全面に均一な膜厚の塗膜層を形成することができる浸漬塗布装置を提供することを目的としている。そして、この目的達成のため、塗工槽受け穴に蒸気層高さ調整リングと塗工槽を、塗工槽上蓋にこの上蓋開口径調整用の円盤を、それぞれ装着している。また、塗工槽の上端は、オーバーフローした塗工液がなだらかに流出し、液受けパンに落下するように傘状に形成している。
【００１５】
特許文献４（特開平８−２４７４４号公報）に開示された発明は、ウエブシートの両面に浸漬塗布方式で塗膜を形成するウエブシート浸漬塗布装置に係るもので、塗布液の補給中に発生する気泡がウエブシート材料面に付着しないように塗布操作するとともに、塗布液の新液と旧液とを均一に混ざりやすくすることで、粘稠性の塗布液であっても、これを均一な膜厚で塗布することができるような構成としている。
【００１６】
しかしながら、上記特許文献に開示された発明は、いずれも、上記した従来技術の問題点を解決するものではない。
【００１７】
【特許文献１】
特開平５−３４１５４１号公報
【特許文献２】
特開２００２−７９１５９号公報
【特許文献３】
特開２０００−１３１９４８号公報
【特許文献４】
特開平８−２４７４４号公報
【特許文献５】
特開２００２−１６０３３０号公報
【特許文献６】
特開２００２−２１５０５６号公報
【特許文献７】
特開２００３−２７００３号公報
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従来技術の上記事情に鑑みなされたもので、その第１の目的は、板状基材の表面に薄膜を精密に形成するための浸漬塗工技術において、塗布液の使用効率を大幅に高め、もって高品質の薄膜塗布部材を安価に提供することにある。
【００１９】
また本発明の第２の目的は、従来技術の上記問題点１〜３を解決することにある。さらに本発明の第３の目的は、有機溶剤を配合した塗布液を用いる浸漬塗布法において、静電気や金属製部材同士の衝突などによるスパークに起因する溶剤蒸気混合ガスの爆発を的確に防止することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明は第１に、加圧気体を封入して膨張させた一対のまっすぐなチューブ状弾性隔壁をほぼ水平方向に沿わせるとともに、該弾性隔壁の外周面同士を密着させ、これらの外周面により底面を形成したことを特徴とする浸漬塗布槽を提供するものである（請求項１）。
【００２１】
前記一対の弾性隔壁が直円柱体であり、かつ外径が互い等しいことが好ましい。また、当該浸漬塗布槽を形成する対向側壁のそれぞれに、断面半円形の凹部を形成し、前記それぞれのチューブ状弾性隔壁の直径方向片側半部を、前記周壁凹部に挿入して固定するとともに、これら弾性隔壁の内部を加圧空気の供給源に連絡した構造とすることが好ましい。さらに、前記一対のチューブ状弾性隔壁は、合成ゴムまたは熱可塑性エラストマーからなることが望ましい。
【００２２】
本発明は第２に、四角筒状の隔壁の直下に、加圧気体を封入して膨張させた一対の、まっすぐで断面が円形のチューブ状弾性隔壁をほぼ水平方向に沿わせて設けるとともに、前記弾性隔壁の対向間隙に２枚の耐溶剤性シートを重ね合わせた状態で挿入し、前記弾性隔壁の弾性により、前記シートを弾性隔壁の前記対向外周面に密着させてこれを被覆するとともに前記シート同士を密着させ、これらシートの上部及び下部を前記四角筒状隔壁の適所に固定し、さらに前記四角筒状隔壁により端面側壁を、前記シートにより側面及び底面をそれぞれ形成したことを特徴とする浸漬塗布槽を提供するものである（請求項５）。
【００２３】
本発明は第３に、一対のまっすぐな、合成ゴムまたは熱可塑性エラストマーからなる中実発泡体（好ましくは独立気泡の発泡体）をほぼ水平方向に沿わせるとともに、該中実発泡体の外周面同士を密着させ、これらの外周面により底面を形成したことを特徴とする浸漬塗布槽を提供するものである（請求項６）。
【００２４】
この浸漬塗布槽では、前記一対の発泡体が直円柱体であることが好ましい。また、当該浸漬塗布槽を形成する対向側壁のそれぞれに、断面半円形の凹部を形成し、前記それぞれの中実発泡体の直径方向片側半部を、前記周壁凹部に挿入して固定した構造とすることが好ましい。
【００２５】
本発明は第４に、四角筒状の隔壁の直下に、まっすぐで断面が円形の合成ゴムまたは熱可塑性エラストマーからなる一対の中実発泡体（好ましくは独立気泡の発泡体）を、ほぼ水平方向に沿わせて設けるとともに、前記中実発泡体の対向間隙に２枚の耐溶剤性シートを重ね合わせた状態で挿入し、前記中実発泡体の弾性により、前記シートを中実発泡体の前記対向外周面に密着させてこれを被覆するとともに前記シート同士を密着させ、これらシートの上部及び下部を前記四角筒状隔壁の適所に固定し、さらに前記四角筒状隔壁により端面側壁を、前記シートにより側面及び底面をそれぞれ形成したことを特徴とする浸漬塗布槽を提供するものである（請求項９）。
【００２６】
本発明は第５に、加圧気体を封入して膨張させた一対のまっすぐなチューブ状弾性隔壁をほぼ水平方向に沿わせるとともに、該弾性隔壁の外周面同士を密着させ、これらの外周面により底面を形成した浸漬塗布槽と、下半部の外周部厚さが外周端に向かっておおむねナイフエッジ状に漸減し、かつ少なくとも片面に開口部が形成された基材保持部材と、該基材保持部材の昇降機構とを備え、前記基材保持部材は、基材の片面または両面の、一部または実質的全面を前記開口部において露出させた状態で、かつ基材露出面の外周端が当該基材保持部材の外面よりも外側に突出しない状態で基材を保持するものであることを特徴とする浸漬塗布装置を提供するものである（請求項１０）。
【００２７】
本発明は第６に、四角筒状の隔壁の直下に、加圧気体を封入して膨張させた一対の、まっすぐで断面が円形のチューブ状弾性隔壁をほぼ水平方向に沿わせて設けるとともに、前記弾性隔壁の対向間隙に２枚の耐溶剤性シートを重ね合わせた状態で挿入し、前記弾性隔壁の弾性により、前記シートを弾性隔壁の前記対向外周面に密着させてこれを被覆するとともに前記シート同士を密着させ、これらシートの上部及び下部を前記四角筒状隔壁の適所に固定し、さらに前記四角筒状隔壁により端面側壁を、前記シートにより側面及び底面をそれぞれ形成した浸漬塗布槽と、下半部の外周部厚さが外周端に向かっておおむねナイフエッジ状に漸減し、かつ少なくとも片面に開口部が形成された基材保持部材と、該基材保持部材の昇降機構とを備え、前記基材保持部材は、基材の片面または両面の、一部または実質的全面を前記開口部において露出させた状態で、かつ基材露出面の外周端が当該基材保持部材の外面よりも外側に突出しない状態で基材を保持するものであることを特徴とする浸漬塗布装置を提供するものである（請求項１１）。
【００２８】
本発明は第７に、一対のまっすぐな、合成ゴムまたは熱可塑性エラストマーからなる中実発泡体（好ましくは独立気泡の発泡体）をほぼ水平方向に沿わせるとともに、該中実発泡体の外周面同士を密着させ、これらの外周面により底面を形成した浸漬塗布槽と、下半部の外周部厚さが外周端に向かっておおむねナイフエッジ状に漸減し、かつ少なくとも片面に開口部が形成された基材保持部材と、該基材保持部材の昇降機構とを備え、前記基材保持部材は、基材の片面または両面の、一部または実質的全面を前記開口部において露出させた状態で、かつ基材露出面の外周端が当該基材保持部材の外面よりも外側に突出しない状態で基材を保持するものであることを特徴とする浸漬塗布装置を提供するものである（請求項１２）。
【００２９】
本発明は第８に、四角筒状の隔壁の直下に、まっすぐで断面が円形の合成ゴムまたは熱可塑性エラストマーからなる一対の中実発泡体（好ましくは独立気泡の発泡体）を、ほぼ水平方向に沿わせて設けるとともに、前記中実発泡体の対向間隙に２枚の耐溶剤性シートを重ね合わせた状態で挿入し、前記中実発泡体の弾性により、前記シートを中実発泡体の前記対向外周面に密着させてこれを被覆するとともに前記シート同士を密着させ、これらシートの上部及び下部を前記四角筒状隔壁の適所に固定し、さらに前記四角筒状隔壁により端面側壁を、前記シートにより側面及び底面をそれぞれ形成した浸漬塗布槽と、下半部の外周部厚さが外周端に向かっておおむねナイフエッジ状に漸減し、かつ少なくとも片面に開口部が形成された基材保持部材と、該基材保持部材の昇降機構とを備え、前記基材保持部材は、基材の片面または両面の、一部または実質的全面を前記開口部において露出させた状態で、かつ基材露出面の外周端が当該基材保持部材の外面よりも外側に突出しない状態で基材を保持するものであることを特徴とする浸漬塗布装置を提供するものである（請求項１３）。
【００３０】
本発明は第９に、請求項１０に記載の浸漬塗布装置を使用する浸漬塗布方法であって、浸漬塗布槽に所定の塗布液を貯溜し、板状基材を基材保持部材で保持し、該基材保持部材を昇降機構で降下させて板状基材の下半部を前記弾性隔壁同士の密着部を通過させることにより、板状基材の上方部を前記弾性隔壁上の塗布液に浸漬し、ついで板状基材を昇降機構で上昇させることを特徴とする浸漬塗布方法を提供するものである。
【００３１】
本発明は第１０に、請求項１１に記載の浸漬塗布装置を使用する浸漬塗布方法であって、浸漬塗布槽に所定の塗布液を貯溜し、板状基材を基材保持部材で保持し、該基材保持部材を昇降機構で降下させて板状基材の下半部を前記シート同士の密着部を通過させることにより、板状基材の上方部を前記シート上の塗布液に浸漬し、ついで板状基材を昇降機構で上昇させることを特徴とする浸漬塗布方法を提供するものである。
【００３２】
本発明は第１１に、請求項１２に記載の浸漬塗布装置を使用する浸漬塗布方法であって、浸漬塗布槽に所定の塗布液を貯溜し、板状基材を基材保持部材で保持し、該基材保持部材を昇降機構で降下させて板状基材の下半部を前記中実発泡体同士の密着部を通過させることにより、板状基材の上方部を前記中実発泡体上の塗布液に浸漬し、ついで板状基材を昇降機構で上昇させることを特徴とする浸漬塗布方法を提供するものである。
【００３３】
本発明は第１２に、請求項１３に記載の浸漬塗布装置を使用する浸漬塗布方法であって、浸漬塗布槽に所定の塗布液を貯溜し、板状基材を基材保持部材で保持し、該基材保持部材を昇降機構で降下させて板状基材の下半部を前記耐溶剤性シート同士の密着部を通過させることにより、板状基材の上方部を前記耐溶剤性シート上の塗布液に浸漬し、ついで板状基材を昇降機構で上昇させることを特徴とする浸漬塗布方法を提供するものである。
【００３４】
本発明は第１３に、請求項１に記載の浸漬塗布槽を使用する浸漬塗布方法であって、巻き出しロールからのシート状基材を、チューブ状弾性隔壁同士の密着部を介して浸漬塗布槽内の塗布液を通過させる浸漬塗布工程と、このシート状基材表面の塗布液を乾燥して巻き取りロールに巻き取る乾燥・巻き取り工程とを、この順に連続的に行うことを特徴とする浸漬塗布方法を提供するものである。このようなシート状基材の場合は周囲のナイフエッジは不用であり、長尺の製品を連続的に得ることができる。
【００３５】
本発明は第１４に、請求項５に記載の浸漬塗布槽を使用する浸漬塗布方法であって、巻き出しロールからのシート状基材を、前記耐溶剤性シート同士の密着部を介して浸漬塗布槽内の塗布液を通過させる浸漬塗布工程と、このシート状基材表面の塗布液を乾燥して巻き取りロールに巻き取る乾燥・巻き取り工程とを、この順に連続的に行うことを特徴とする浸漬塗布方法を提供するものである。
【００３６】
本発明は第１５に、請求項６に記載の浸漬塗布槽を使用する浸漬塗布方法であって、巻き出しロールからのシート状基材を、中実発泡体同士の密着部を介して浸漬塗布槽内の塗布液を通過させる浸漬塗布工程と、このシート状基材表面の塗布液を乾燥して巻き取りロールに巻き取る乾燥・巻き取り工程とを、この順に連続的に行うことを特徴とする浸漬塗布方法を提供するものである。
【００３７】
本発明は第１６に、請求項９に記載の浸漬塗布槽を使用する浸漬塗布方法であって、巻き出しロールからのシート状基材を、前記耐溶剤性シート同士の密着部を介して浸漬塗布槽内の塗布液を通過させる浸漬塗布工程と、このシート状基材表面の塗布液を乾燥して巻き取りロールに巻き取る乾燥・巻き取り工程とを、この順に連続的に行うことを特徴とする浸漬塗布方法を提供するものである。
【００３８】
一方、上記した下層塗膜の微小クラックは、上層塗膜の乾燥速度を低くすることで防止できることが、本発明者が行った実験で確認されている。また、上記問題点１〜３は、たとえば、基材引上げ空間を密閉し、この空間に予め有機溶剤蒸気を封入しておくことで、引上げ基材上塗膜の有機溶剤乾燥速度を低くし（水に濡れたものを高湿度下で乾燥させる場合と、基本的には同一である）、かつ基材引上げ空間の高さを、上記乾燥速度低下を補償するに足るものとすることで解決できることが、本発明者の検討で確認された。
【００３９】
したがって、本発明は第１７に、揮発性有機溶剤を配合してなる塗布液によりウェットコート法で適宜形状の基材表面に塗膜を形成する塗布工程と、塗膜が形成された基材近傍の雰囲気中に、前記塗布液から揮発した有機溶剤蒸気を滞留させるか、または他の適宜の揮発性有機溶剤蒸気を供給して滞留させるとともに、該雰囲気中の酸素濃度を有機溶剤蒸気が爆発する下限濃度未満とし、該雰囲気中で前記塗膜を自然乾燥させる（前記塗膜中の有機溶剤を自然乾燥により除去する）塗膜乾燥工程とを備えていることを特徴とするウェットコート法を提供するものである。
このウェットコート法では基材上の塗膜を、揮発性有機溶剤蒸気を含む雰囲気内で自然乾燥させるようにしたから、塗膜を低速度で乾燥させることができるため、上記した従来技術の問題点１〜３、たとえば乾燥させた塗膜下層の塗膜表面に無数の微小クラックが発生して乾燥部が白濁する問題点などが的確に解決される。また、塗膜乾燥雰囲気中の酸素濃度を有機溶剤蒸気が爆発する下限濃度未満としたから、静電気や金属製部材同士の衝突でスパークが発生しても、有機溶剤蒸気が爆発する危険性がなくなる。
【００４０】
このウェットコート法では、塗膜が形成された基材近傍の雰囲気中に適宜の乾燥不活性ガスを供給・混合して排出することにより、前記雰囲気中の酸素濃度を有機溶剤蒸気が爆発する下限濃度未満とするとともに、該雰囲気中の水蒸気の影響を排除して乾燥成膜した場合に好ましい方法となる。すなわち、このウェットコート法では、密閉筐体内へ乾燥窒素などを充填するようにしたので、露点が下がり、水蒸気や水滴が乾燥中の塗膜に付着して塗膜欠陥を生じさせる恐れがなくなる。また、このウェットコート法は、周囲環境、湿度が比較的高い大気中で塗布操作を行う場合その影響を排除して成膜するのに有効である。
【００４１】
本発明は第１８に、ウェットコート装置の装置本体と、該装置本体の近傍に乾燥室とを配備してなり、前記装置本体は、揮発性有機溶剤を配合してなる塗布液により適宜形状の基材表面に塗膜を形成するものであり、前記乾燥室には、前記塗布液から揮発した有機溶剤蒸気を滞留させるか、または他の適宜の揮発性有機溶剤蒸気を供給して滞留させるとともに、前記乾燥室内の前記有機溶剤蒸気を含有する雰囲気中の酸素濃度を、有機溶剤蒸気が爆発する下限濃度未満とし、前記装置本体で塗膜が形成された基材を前記乾燥室に搬送し、該乾燥室内で前記基材表面の塗膜を自然乾燥させることを特徴とするウェットコート装置を提供するものである。このウェットコート装置では、基材上の塗膜を揮発性有機溶剤蒸気を含む雰囲気内で自然乾燥させるようにしたから、塗膜を低速度で乾燥させることができるため、上記した従来技術の問題点１〜３、たとえば乾燥させた塗膜下層の塗膜表面に無数の微小クラックが発生して乾燥部が白濁する問題点などが的確に解決される。また、塗膜乾燥雰囲気中の酸素濃度を有機溶剤蒸気が爆発する下限濃度未満としたから、静電気や金属製部材同士の衝突でスパークが発生しても、有機溶剤蒸気が爆発する危険性がなくなる。
【００４２】
このウェットコート装置では、前記乾燥室の一側に乾燥不活性ガスの供給源を連絡し、他側に排気口とを設けることが好ましい。また、前記乾燥室の一側に適宜の乾燥不活性ガスの供給源および適宜の揮発性有機溶剤蒸気を供給するための有機溶剤蒸気供給源を連絡し、他側に排気口を設けることが更に好ましい。このウェットコート装置では、乾燥室内に乾燥不活性ガスを供給するとともに、排気口から乾燥室内ガスの一部を排出することで、上記した場合と同様の効果が得られる。また、このウェットコート装置では、乾燥室に乾燥不活性ガスおよび揮発性有機溶剤蒸気を供給するとともに、排気口から乾燥室内ガスの一部を排出することで、乾燥室内雰囲気の有機溶剤蒸気濃度を確実に所望の値に設定維持することができる。
【００４３】
本発明は第１９に、揮発性有機溶剤を配合してなる塗布液を浸漬塗布槽に貯溜し、板状またはフィルム状（シート状の場合を含む。以下同じ）の基材を塗布液に浸漬し、ついで基材を塗布液から引き上げることにより、基材表面に塗膜を形成し、該引上げの過程で前記塗膜を自然乾燥させる浸漬塗布方法において、引上げ過程にある基材近傍の雰囲気中に、前記塗布液から揮発した有機溶剤蒸気を滞留させるか、または他の適宜の揮発性有機溶剤蒸気を供給して滞留させ、該雰囲気中の酸素濃度を、前記有機溶剤蒸気が爆発する下限濃度未満とすることを特徴とする浸漬塗布方法を提供するものである。この浸漬塗布方法では、引上げ工程に入る前に乾燥室に適宜の乾燥不活性ガスを供給し、大気と置換することにより、基材近傍雰囲気中の酸素濃度を有機溶剤蒸気が爆発する下限濃度未満とするとともに、該雰囲気中の水蒸気をパージすることが好ましい。
【００４４】
本発明は第２０に、揮発性有機溶剤を配合してなる塗布液を浸漬塗布槽に貯溜し、フィルム状の基材を走行させ、塗布液内を浸漬・通過させることにより基材表面に塗膜を形成し、塗布液通過後の基材上の塗膜を、継続して基材を走行させる過程で自然乾燥させる浸漬塗布方法において、前記塗膜を自然乾燥させる基材近傍の雰囲気中に、前記塗布液から揮発した有機溶剤蒸気を滞留させるか、または他の適宜の揮発性有機溶剤蒸気を供給して滞留させ、該雰囲気中の酸素濃度を、前記有機溶剤蒸気が爆発する下限濃度未満とすることを特徴とする浸漬塗布方法を提供するものである。この浸漬塗布方法では、前記塗膜を自然乾燥させる基材近傍の雰囲気中に適宜の乾燥不活性ガスを供給・混合して排出することにより大気を置換し、前記雰囲気中の酸素濃度を有機溶剤蒸気が爆発する下限濃度未満とするとともに、該雰囲気中の水蒸気を排除することが好ましい。
【００４５】
本発明は第２１に、揮発性有機溶剤を配合してなる塗布液を浸漬塗布槽に貯溜し、板状の基材を塗布液に浸漬し、ついで基材を塗布液から引き上げることにより、基材表面に塗膜を形成するとともに、該引上げの過程で前記塗膜を自然乾燥させる浸漬塗布装置において、前記浸漬塗布槽の直上に、引上げ中の基材を包囲する鞘管を連ねて設け、前記鞘管の長さを、基材を適正速度で引き上げた場合に該鞘管内で塗膜の自然乾燥が終了するに足る値とすることにより、鞘管内を基材引上げ・塗膜乾燥空間とすることを特徴とする浸漬塗布装置を提供するものである（請求項２２）。
【００４６】
この浸漬塗布装置では、鞘管内に揮発性有機溶剤の蒸気を充満させることで基材表面の塗膜乾燥速度を低下させるとともに、板状基材を適正速度で引き上げた場合に鞘管内で塗膜の自然乾燥が終了するように構成したので、上記した従来技術の問題点１〜３が的確に解決される。
【００４７】
また、この浸漬塗布装置では、前記鞘管として例えば、断面の形状・寸法が前記浸漬塗布槽のそれとほぼ同一の管体が設けられる。また、この浸漬塗布装置では、前記蓋体の上部に乾燥窒素ガスの供給源を連絡し、前記蓋体の下部に排気口を設けることが好ましい。
【００４８】
本発明は第２２に、一対のまっすぐな弾性体をほぼ水平方向に沿わせて外周面同士を密着させ、これら弾性体の上部外周面により底面を形成した浸漬塗布槽に、揮発性有機溶剤を配合してなる塗布液を貯溜し、フィルム状の基材をロール・ツー・ロール方式で走行させ、前記弾性体同士の密着部を上向きに通過させることにより基材表面に塗膜を形成し、前記密着部通過後の基材上の塗膜を、継続して基材を走行させる過程で自然乾燥させる浸漬塗布装置において、前記浸漬塗布槽の直上に、走行する基材を包囲する鞘管を連ねて設け、前記鞘管の長さを、基材を適正速度で走行させた場合に該鞘管内で塗膜の自然乾燥が終了するに足る値とすることにより、鞘管内を基材走行・塗膜乾燥空間とすることを特徴とする浸漬塗布装置を提供するものである（請求項２３）。
【００４９】
この浸漬塗布装置では、鞘管内に揮発性有機溶剤の蒸気を充満させることでフィルム状基材表面の塗膜乾燥速度を低下させるとともに、基材を適正速度で走行させた場合に鞘管内で塗膜の自然乾燥が終了するように構成したので、上記した従来技術の問題点１〜３が的確に解決される。
【００５０】
さらに、上記した浸漬塗布装置による浸漬塗布方法では、前記塗布液として、蒸気比重が空気密度より高い揮発性有機溶剤を配合したものを用いることが好ましい。このような有機溶剤を使用することで、揮発した有機溶剤蒸気を鞘管内に高濃度に滞留させることができるため、より容易に塗膜乾燥速度を低下させることができるとともに、有機溶剤蒸気の爆発防止効果が高まる。
【００５１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の浸漬塗布槽および、これを備えた浸漬塗布装置の構造、ならびにこの浸漬塗布装置による浸漬塗布方法について、図面をもとに説明する。
【００５２】
第１の実施の形態（浸漬塗布槽）
まず図面について説明すると、図１は浸漬塗布槽の平面図、図２は図１の縦断面図である。図３はこの浸漬塗布槽における弾性隔壁（弾性チューブ）の配備態様を示す平面図である。図４はこの弾性隔壁の構造を示すもので、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視図である。図５はこの浸漬塗布槽を構成する第１側壁の正面図、図６は図５のＢ−Ｂ矢視図である。図７はこの浸漬塗布槽を構成する第２側壁の断面図である。図８はこの浸漬塗布槽を構成する第３側壁および第４側壁の断面図、図９は図８のＣ−Ｃ線矢視図、図１０は図９の平面図である。
【００５３】
つぎに、図１に示す浸漬塗布槽１０の構成について説明する。本発明の浸漬塗布装置はこの浸漬塗布槽１０と、図１１に示す基材保持部材５０（後記）と、図略の保持部材昇降機構などにより構成される。
【００５４】
この浸漬塗布槽１０は、図１〜図３に示すように、互いに対向する第１側壁１１および第２側壁１２と、互いに対向する厚肉の第３側壁１３および第４側壁１４と、これら４つの隔壁で保持された、膨張状態にある一対の弾性隔壁２１，２２とにより、全体をおおむね直方体状に構成するとともに、これら弾性隔壁２１，２２の外周面同士を密着させ（符号２３はこの密着部を示す）、これらの外周面により、この浸漬塗布槽１０の底面を形成する。
【００５５】
弾性隔壁２１，２２は図４（ａ），（ｂ）に示すように、構造および形状・寸法を互いに同一とする。すなわち、チューブ状弾性隔壁本体２４の一端部に円形フランジ２５と、この本体２４の他端部に円形フランジ２６とを気密状態に取り付ける。フランジ２５では外周部にネジ孔２５ａと、外周面にシール用溝２５ｂとをそれぞれを複数形成する。フランジ２６では、外周部にネジ孔２６ａと、外周面にシール用溝２６ｃとをそれぞれ複数形成するとともに、中心部に短管２６ｂを気密状態に固着する。これらの弾性隔壁２１，２２は、膨張状態（図１〜図３）において直円柱体とする。
【００５６】
弾性隔壁２１，２２としては、耐薬品性の高い合成ゴムまたは熱可塑性エラストマー（例えば４フッ化エチレン−プロピレンゴムフッ素ゴム系熱可塑性エラストマー）を注型成形後、肉厚が均一となるように外径部を研削仕上げしたものが好ましい。上記弾性隔壁２１，２２は、好ましくは外径を等しくするが、外径が多少違っていても良い。また、これら弾性隔壁の表面粗さは、いわゆる上仕上げ程度（算術平均粗さＲａ＝０．８μｍ程度）にすることが好ましく、表面に塗布液を塗工するべき板状基材をより円滑に、かつこの板状基材の表面を全く損傷させることなく、上記密着部を上下両方向に通過させることができる。
【００５７】
上記弾性隔壁本体２１，２２の取付け構造は以下のとおりとする。図５、図６に示すように、第１側壁１１の内面側にそれぞれ上記フランジ２５が嵌合しうる円形凹部３１，３２と、まっすぐなパッキン溝３３ａ，３３ｂとを形成する。上記円形凹部３１，３２は第１側壁１１のほぼ中心部に、かつ相互にごく接近させた形態で形成する。これらの円形凹部に、上記ネジ孔２５ａに対応するネジ孔３４を複数形成する。パッキン溝３３ａ，３３ｂは第１側壁１１の槽内壁近傍に形成する。
【００５８】
また、図７に示すように、第２側壁１２の内面側にそれぞれ上記フランジ２６が嵌合しうる円形凹部３５，３６と、まっすぐなパッキン溝３７ａ，３７ｂとを形成する。上記円形凹部３５，３６は第２側壁１２のほぼ中心部に、かつ相互にごく接近させた形態で形成する。これらの円形凹部に、上記ネジ孔２６ａに対応するネジ孔３８を複数形成するとともに、これらの円形凹部の中心部に、上記短管２６ｂを挿入しうる貫通孔３９を形成する。パッキン溝３７ａ，３７ｂは第２側壁１２内面のほぼ中央部に形成する。
【００５９】
一方、上記第３側壁１３と第４側壁１４は、図８に示すように互いに面対象な構造とする。したがって第３側壁１３の構造について説明し、第４側壁１４についての説明は省略する。図８、図９に示すように、内面側に断面半円形の凹部４１を形成した隔壁本体１３ａを弾性隔壁保持部４２とし、この弾性隔壁保持部の両端部にフランジ４３，４４を設ける。さらに、これらのフランジの外周部にネジ孔４５を複数形成する。
【００６０】
上記弾性隔壁２１，２２を組み付けて浸漬塗布槽１０を構成する（図３を参照）に際しては、上記短管２６ｂを、配管を介してコンプレッサ（いずれも図略）に連絡し、これらの弾性隔壁内に加圧空気を充填して直円柱状に膨張させる。
【００６１】
ついで、これらの弾性隔壁を上記凹部に固定する。この場合、まず弾性隔壁２１では、フランジ２５を第１隔壁１１の円形凹部３１に挿入・嵌合し、短管２６ｂを第２隔壁１２の円形凹部３５に形成された貫通孔３９に挿入するとともに、フランジ２６をこの円形凹部３５に挿入・嵌合する。同様に、弾性隔壁２２では、フランジ２５を第１隔壁１１の円形凹部３２に挿入・嵌合し、短管２６ｂを第２隔壁１２の円形凹部３６に形成された貫通孔３９に挿入するとともに、フランジ２６をこの円形凹部３６に挿入・嵌合する。ついで、ネジ孔３４，３８にネジを螺合することで、弾性隔壁２１，２２の各一端部を第１隔壁１１に、他端部を第２隔壁１２にそれぞれ固定する。
【００６２】
第３隔壁１３および第３隔壁１４を第１隔壁１１および第２隔壁１２に接続する。この場合、第１隔壁１１のパッキン溝３３ａ，３３ｂおよび、第２隔壁１２のパッキン溝３７ａ，３７ｂにそれぞれ、図略のパッキンを挿入する。ついで、図３に示すように、第３隔壁１３を第１隔壁１１と第２隔壁１２との対向間隙に挿入し、第３隔壁１３両端部のフランジ４３，４４をそれぞれ、第１隔壁１１のフランジ１１ａ、第２隔壁１２のフランジ１２ａに当接させるとともに、弾性隔壁２１外周面のうち直径方向片側半部の全体を第３隔壁１３の凹部４１に挿入・嵌合する。同様に、第４隔壁１４を第１隔壁１１と第２隔壁１２との対向間隙に挿入し、第４隔壁１４両端部のフランジ４３，４４をそれぞれ、第１隔壁１１のフランジ１１ｂ、第２隔壁１２のフランジ１２ｂに当接させるとともに、弾性隔壁２２外周面のうち直径方向片側半部の全体を第４隔壁１４の凹部４１に挿入・嵌合する。これらの場合、互いに対向する一対の凹部４１，４１の凹状表面全体に接着剤または液状シール剤を塗布することにより、上記弾性隔壁２１外周面の直径方向片側半部の全体および、上記弾性隔壁２２外周面の直径方向片側半部の全体を凹部４１，４１に接着固定する。ついで、フランジ１１ａ，１１ｂとフランジ４３，４３を、フランジ１２ａ，１２ｂとフランジ４４，４４を、それぞれネジの螺合により接続する。以上によって、弾性隔壁２１，２２の外周面同士を密着させ、これらの外周面により、液密構造の浸漬塗布槽１０の底面を形成する。
【００６３】
この浸漬塗布槽１０では、弾性隔壁の外周面同士の密着部２３により浸漬塗布工程時を含めて常時、塗布液の液漏れが防止されるうえ、浸漬塗布工程においては板状基材を円滑に、かつこの板状基材の表面を損傷させることなく、上記密着部を上下両方向に通過させることができる。
【００６４】
なお、上記弾性隔壁に充填する加圧空気の圧力を調整することで、弾性隔壁同士の圧接力を適切な値に設定することができる。ここで、適切な圧接力とは、塗布液の液漏れを的確に防止しながら、かつ弾性隔壁の表面を損傷させることなく、円滑な浸漬塗布工程を進めることができる圧接力という意味である。
【００６５】
第２の実施の形態（浸漬塗布槽）
本発明では、一対のまっすぐな合成ゴムまたは熱可塑性エラストマーからなる中実状発泡体の外周面同士を密着させ、これらの外周面により底面を形成した浸漬塗布槽（図略）を、以下のように構成することができる。すなわち、弾性隔壁２１，２２に替えて、外径が互い等しい直円柱状の発泡体を２本用意し、図３において一方の発泡体の直径方向片側半部を第３隔壁１３の凹部４１に挿入・嵌合して接着剤で固定するとともに、この発泡体の両端部を上記円形凹部３１，３５に挿入・嵌合して接着剤で固定する。他方の発泡体の直径方向片側半部を第４隔壁１４の凹部４１に挿入・嵌合して接着剤で固定するとともに、この発泡体の両端部を上記円形凹部３２，３６に挿入・嵌合して接着剤で固定する。この構造では、図３の構造とは違って発泡体をネジで固定する必要がない。
【００６６】
第３の実施の形態（基材保持部材）
つぎに、基材保持部材５０の構造について、図１１および図１２（ａ）〜（ｃ）をもとに、板状基材Ｐの保持固定方法とともに説明する。図１１は浸漬塗布装置を構成する基材保持部材の正面図である。図１２はこの基材保持部材を示すもので、（ａ）は基材固定部材の平面図、（ｂ）は図１１のＤ−Ｄ線断面図、（ｃ）は図１１のＥ−Ｅ線断面図である。
【００６７】
この基材保持部材５０は四角形の板状基材Ｐ両面の、実質的全面に塗膜を形成するためのものであり、内側に板状基材の保持用空間５１（開口部５５）が形成された、おおむねＵ字型で本体５２と、板状基材Ｐをこの本体５２に挿入固定するためのキャップ状の固定部材５３などで構成されている。
【００６８】
すなわち本体５２では、一対の対向壁５４，５４間を全面的に開放して開口部５５を形成する。この開口部の幅（図１１の左右方向の寸法）は、板状基材Ｐの幅よりもごく僅かに大きめとする。この開口部５５の底面に板状基材Ｐ下端部を突合せするための平面部５６を形成する。本体５２の下半部は、外周部の厚さが外周端に向かっておおむねナイフエッジ状に漸減する形状とする。上記固定部材５３には、ネジ孔５３ｂ，５３ｃ及びネジ用孔５３ａ，５３ｄを貫通形成する。なお、板状基材Ｐの片面に塗膜を形成するための基材保持部材を構成する場合には、一対の対向壁５４，５４間に跨がって遮蔽板（図略）を１枚設ける。
【００６９】
板状基材Ｐを基材保持部材５０に固定保持するに際しては、この板状基材の下端部を平面部５６に突合せ、固定部材５３を基材保持部材５０の上面に被せ、上記ネジ用孔５３ａ，５３ｄにネジ５３Ａを螺合して固定部材５３を本体５２に固定するとともに、ネジ孔５３ｂ，５３ｃにネジ５３Ｂを螺合し、これらネジの下端部で板状基材Ｐの上端部を押さえつけて、板状基材Ｐの下端部を上記平面部５６に圧接させる。これにより、板状基材Ｐが本体５２に堅固に固定される。この固定状態では、板状基材の両面全面が開口部５５において露出している。なおこの場合、板状基材露出面の外周端部が基材保持部材５０の外面（開口部５５の内周端部外面）から突出しないようにすることが好ましく、浸漬塗布工程において板状基材を円滑に、かつこの板状基材表面を損傷させることなく、上記密着部２３を上下両方向に通過させることができる。そのため本実施の形態では、図１２（ｃ）に示すように、板状基材Ｐの左右の露出面が基材保持部材５０の外面と面一の状態となるように構成する。
【００７０】
第４の実施の形態（浸漬塗布方法）
つぎに、図１に示す浸漬塗布槽１０、図１１に示す基材保持部材５０等で構成された浸漬塗布装置による浸漬塗布方法を、図１３〜図１６をもとに説明する。図１３は板状基材を降下させるときの状態を示す断面図である。図１４は図１３の工程につづいて板状基材を、弾性隔壁同士の密着部を通過させるときの状態を示す断面図である。図１５は図１４の工程につづいて板状基材を上昇させるときの状態を示す断面図、図１６は図１４のＦ−Ｆ線断面図である。
【００７１】
浸漬塗布槽１０に所定の塗布液Ｌを貯溜する。図略の昇降機構の下端部に設けた把持部材６１（図１１）を適宜の手段で上記固定部材５３連結することでこれを把持し、図１３に示すように基材保持部材５０を降下させる。図１４に示すように板状基材Ｐの下半部を弾性隔壁２１，２２同士の密着部２３を通過させることにより、板状基材Ｐの上端部（または上端部近傍）を塗布液Ｌに浸漬する。ついで、図１５のように基材保持部材５０の上昇により板状基材Ｐを引き上げる。上記引上げ工程における作用は、実質的に図２０（ｃ）に示す引上げ工程と同一であり、この工程により、塗布液が基材の両面全面に均一膜厚で塗布される。
【００７２】
また、基材保持部材５０の本体５２下半部は、外周部の厚さが外周端に向かっておおむねナイフエッジ状に漸減する形状になっているから、上記浸漬塗布工程において板状基材Ｐが密着部２３を通過する際、上記ナイフエッジ部分が密着部２３を徐々に拡開するうえ、図１６に示すように、ナイフエッジ部分に接触する部位の弾性隔壁２１，２２は密着状態を維持するから、浸漬塗布工程においても塗布槽底部から塗布液が漏れる心配はない。
【００７３】
以上のように、本発明に係る浸漬塗布槽は、加圧気体を封入して膨張させた一対のまっすぐなチューブ状弾性隔壁の外周面同士を密着させ、これらの外周面により底面を形成したものである。また本発明に係る浸漬塗布装置はこの浸漬塗布槽と、上記基材保持部材等を設けたものである。さらに本発明に係る浸漬塗布方法は、板状基材の表面に塗膜を形成するに際し、浸漬塗布槽に塗布液を貯溜し、上記基材保持部材で保持した板状基材の下半部を弾性隔壁同士の密着部を通過させることにより、この板状基材の上端部（または上端部近傍）を弾性隔壁上の塗布液に浸漬し、ついで板状基材を上昇させながら上記密着部を通過させるように構成したものである。
【００７４】
そして、図２０に示す従来の浸漬塗布槽２００では、同一時刻において板状基材Ｐ全体を塗布液Ｌに浸漬させた状態としてから、この板状基材に引き上げるのに対し、上記浸漬塗布槽１０では、これに塗布液Ｌを、板状基材Ｐの高さに比べて非常に浅い深さに貯溜すれば足りるから、その貯溜量を大幅に削減することが可能になる。したがって、上記従来の浸漬塗布槽に比べて塗布液の使い残しが激減する（使いきらずに余った塗布液の化学的変化に起因して、廃棄しなければならない塗布液量が減少する）ため、塗布液の使用効率が高まり、結果として浸漬塗工材料の大幅なコストダウンが達成できる。
【００７５】
第５の実施の形態（浸漬塗布槽）
図１７は浸漬塗布槽の平面図、図１８は図１７のＧ−Ｇ線断面図である。この浸漬塗布槽７０は、図１の浸漬塗布槽１０を改変したものである。すなわち、押さえ板７１，７２と側板７３，７４とからなる四角筒状の隔壁７５の直下に、加圧気体を封入して膨張させた一対の、まっすぐで外径が互いに等しく、かつ断面が円形のチューブ状弾性隔壁２１，２２をほぼ水平方向に沿わせて設ける。弾性隔壁２１，２２の外周面同士を、これらの間に適宜間隔をあけてほぼ水平方向に対向させる。上記対向間隙に２枚の耐溶剤性シート８１，８２（たとえばフッ素樹脂製、特に好ましくは、四フッ化エチレン樹脂製のもの）を重ね合わせた状態で挿入し、上記弾性隔壁の弾性により、上記シート８１，８２を弾性隔壁２１，２２の対向外周面に密着させてこれを被覆するとともに、シート８１と８２を互いに密着させる。図１７，１８において符号８３は上記シート同士の密着部を示す。さらに、これらシートの上部を上記押さえ板７１，７２で浸漬塗布槽７０の上部側面に、これらシートの下部を固定部材８５，８６でこの浸漬塗布槽７０の下部側面にそれぞれ固定し、上部四角筒状隔壁７５によりこの浸漬塗布槽７０の端面側壁を、シート８１，８２によりこの浸漬塗布槽７０の側面および底面をそれぞれ形成する。弾性隔壁２１，２２は、好ましくは外径を等しくするが、外径が多少違っていても良い。また、上記シート表面粗さは、上仕上げ程度にすることが好ましく、表面に塗布液を塗工するべき板状基材をより円滑に、かつこの板状基材の表面を全く損傷させることなく、上記密着部を上下両方向に通過させることができる。
【００７６】
本発明では、図１８のチューブ状弾性隔壁２１，２２に替えて、第２の実施の形態に係る、一対のまっすぐな合成ゴムまたは熱可塑性エラストマーからなる中実発泡体を設けることもできる。また、上記フッ素樹脂製シート８１，８２として、発泡体シートを用いても良い。
【００７７】
また、本発明では上記浸漬塗布槽７０、図１１に示す基材保持部材５０等により浸漬塗布装置が構成される。この浸漬塗布装置による浸漬塗布方法では、板状基材を基材保持部材５０で保持し、この基材保持部材を昇降機構で降下させて板状基材の下半部を上記フッ素樹脂製シート同士の密着部を通過させることにより、板状基材の上方部を上記シート上の塗布液に浸漬し、ついで板状基材を昇降機構で上昇させる。
【００７８】
第６の実施の形態（浸漬塗布方法）
本実施の形態では、図１１に示す基材保持部材５０を用いることなく、板状基材に浸漬塗布処理を施すように構成する。この場合、板状基材として、上記基材保持部材５０と同様に、下半部の外周部厚さが外周端に向かっておおむねナイフエッジ状に漸減する形状のものを用意する。そして、この板状基材の頂部両面を図略の把持部材で支持し、この状態で図１３〜図１５に示す要領で浸漬塗布を行う。
また、更なる改変として、板状基材として、あるいは板状基材と適当な基材保存部材とを組み合わせたものとして上方部にも外周部厚さが外周端に向かってナイフエッジ状に漸減する形状のものを用い、弾性隔壁の下から浸漬塗布槽に突き上げて浸漬塗布を行うワンウェイ方式の浸漬塗布方法を行ってもよい。
【００７９】
第７の実施の形態（浸漬塗布方法）
図１に示す浸漬塗布槽１０による浸漬塗布方法の別例を、図１９をもとに説明する。この図は、シート状基材Ｓの両面に塗布液Ｌを、いわゆるロール・ツー・ロール方式で連続的に塗布しているときの状態を示す説明図である。浸漬塗布槽１０の上方に巻き取りロールＲ２と、ガイドロールＧ２と、図略の乾燥装置とを設ける。浸漬塗布槽１０の下方に巻き出しロールＲ１と、ガイドロールＧ１とをそれぞれ設ける。上記乾燥装置は、浸漬塗布槽１０とガイドロールＧ２との間に設ける。
【００８０】
浸漬塗布に際しては、まず上記乾燥装置を作動させ、巻き出しロールＲ１からのシート状基材Ｓの先端部を弾性隔壁２１，２２同士の密着部２３に挿入し、塗布液Ｌ液面上に突き出させる。この突き出し部を上記乾燥装置で乾燥して巻き取りロールＲ２に巻き付ける。以上の準備作業につづいて、巻き取りロールＲ２を連続回転させる。巻き出しロールＲ１からのシート状基材Ｓは、ガイドロールＧ１および上記密着部２３を介して浸漬塗布槽１０内の塗布液を上向きに通過することで塗布液が浸漬塗布され、ついで上記乾燥装置で乾燥されてその両面に所定の塗膜が形成され、ガイドロールＧ２を経て巻き取りロールＲ２に巻き取られる。このように、本実施の形態によれば、長尺の塗膜形成品を連続的に製造することができる。
【００８１】
なお、上記浸漬塗布槽１０に替えて、図１８に示す浸漬塗布槽７０を適用することもできる。
【００８２】
第８の実施の形態
図２１は浸漬塗布装置の概略構造および、これによる浸漬塗布方法を示す模式的説明図である。この浸漬塗布装置は、揮発性有機溶剤を配合してなる塗布液を浸漬塗布槽に貯溜し、板状基材例えば、プラスチック基板や、ガラス基板を塗布液に浸漬し、ついでこの基材を塗布液から引上げることで、基材表面に塗膜を形成するとともに自然乾燥させるようにした浸漬塗布装置である。
【００８３】
すなわち、この浸漬塗布装置では直方体状の浸漬塗布槽９１の直上に、引上げ中の板状基材Ｐを包囲する、断面形状が基材Ｐの断面形状と略々相似形の鞘管９２を連ねて設ける。この鞘管９２の長さを、基材を適正速度で引き上げた場合に該鞘管内で塗膜の自然乾燥が終了するに足る値とすることにより、鞘管内を基材引上げ・塗膜乾燥空間とする。基材の引上げ速度が早すぎた場合（塗膜乾燥速度が早すぎた場合）には、上記したように塗膜に白濁等の欠陥が発生することがある。
また、浸漬塗布槽９１の直上に、鞘管９２をほぼ同心状に包囲する蓋体９３を開閉自在に連ねて設ける。基材の昇降は、蓋体９３内に設けられた引き上げ部材（図略）により行う。
さらに、蓋体９３上部に形成された第１の気体供給口に、乾燥した不活性ガス例えば乾燥窒素ガスの供給源（図略）を連絡し、蓋体９３の下部に蓋体内のガスを排出するための排気口９６を設ける。なお、乾燥窒素ガスに替えて、乾燥状態のアルゴンガスやヘリウムガスを使用することもできる。
【００８４】
鞘管９２のフランジ（キャップ状部分）９２ａに塗布液Ｌの投入口９２ｂを開口し、このフランジ９２ａを浸漬塗布層９１のフランジ９１ａにねじで固定することにより、鞘管９２を浸漬塗布層９１に着脱自在に連結する。蓋体９３は、上記フランジ９２ａの外周面にその直上から嵌合するか、または直接ねじ込むことで鞘管９２に着脱自在に装着する構造とする。なお、鞘管９３内に直接、適宜の揮発性有機溶剤蒸気が供給できるようにした構造としても良い。この場合、この揮発性有機溶剤蒸気は、塗布液から揮発する有機溶剤蒸気と同一のものであることが好ましい。
【００８５】
ところで、（上記鞘管内の塗膜乾燥時間）＝（鞘管の長さ）／（引上げ速度）となるので、例えば引上げ速度が一定の場合、乾燥時間を長くするためには、鞘管を長くすれば良い。また、塗膜厚が厚い場合には、乾燥時間を長くする必要があるため、その分、鞘管を長くする必要がある。また、鞘管内部で一旦停止、保持させれば基材高さに応じた長さでも可能である。上記のように、蓋体９３内に乾燥窒素ガスを供給するとともに、蓋体９３内のガスを排気口９６から排出することで、蓋体内のガス中の酸素濃度を有機溶剤蒸気が爆発する下限濃度未満とすることができるうえ、蓋体内のガス中の水蒸気を排除することができる。蓋体内ガス中の水蒸気分圧が高い場合には、この水蒸気の一部が水滴となって乾燥中の塗膜表面に付着する結果、塗膜表面に多数の変質部が発生し、塗膜欠陥となることがある。図２１の鞘管９２では、幅方向（図面左右方向）の直径を相当に小さくしてあるため、塗布液Ｌから揮発した有機溶剤蒸気をこの鞘管内に高濃度で滞留させることができるので、鞘管内を上昇する基材表面の塗膜の乾燥速度（単位時間当たりの有機溶剤の揮発量）を充分低く抑えることができる。
【００８６】
図２１の浸漬塗布装置による塗布工程は、たとえば以下の手順で行う。
（１）蓋体９３を開放して、浸漬塗布槽９１に塗布液Ｌを投入口９２ｂから所定量投入し、ついで蓋体９３を閉める。
（２）基材Ｐを引上げ部材により降下させ、塗布液に浸漬する。塗布液中の有機溶剤の揮発性が高い（通常沸点が低い）場合、この（２）の操作が終了した時点では、上記鞘管９２内に、塗布液から揮発した有機溶剤の蒸気が充満している。なお、揮発性が比較的低い有機溶剤により塗布液を調製した場合には、鞘管９２内の有機溶剤蒸気が充満するのに時間がかかることがあるが、この場合には、上記した構造を採用することで、鞘管９３内に直接、適宜の有機溶剤蒸気を供給することもできる。
（３）上記乾燥窒素ガス供給源から窒素ガスを蓋体９３内に供給しながら、上記排気口９６を介して蓋体内ガスを排気することで、蓋体内を窒素置換し、ついで窒素ガスの供給を停止する（これは、窒素ガスの気流停止により、基材乾燥の均一性を高めるためである。）。この窒素置換を終了した後、塗布液からの有機溶剤の揮発により鞘管９２内に有機溶剤蒸気が充満し、蓋体９３内には窒素ガスと有機溶剤蒸気と少量の空気が混合した混合ガスが封入された状態となる。したがって、この混合ガス中では酸素濃度が充分、爆発下限界未満となっているので、スパークに起因する爆発の心配はない。
（４）基材Ｐを引上げ部材により適正な速度で引き上げることにより、基材表面に塗膜を形成する。基材Ｐを鞘管９２で適宜時間停止させて、この塗膜（中の有機溶剤の）乾燥を鞘管９２内で終了させる。このように、鞘管９２内は塗膜乾燥ゾーンとなっている。
なお、基材の片面に塗膜を形成する場合には、他面側を適宜部材、例えばプラスチックフィルムでマスクすれば良い。
【００８７】
第９の実施の形態
図２１の改変例として、図２２に示す構造を採用することもできる。この浸漬塗布装置では、図２１における鞘管と蓋体を兼ねる鞘管９２Ａを用い、この鞘管９２Ａの幅方向内径を浸漬塗布層９１とほぼ同一にしたものである。この場合、鞘管９２Ａを浸漬塗布層９１にその直上から嵌合するか、または直接ねじ込むことで浸漬塗布層９１に着脱自在に装着する構造とする。なお、この浸漬塗布装置では、乾燥窒素ガスを供給することができるようにするのに加えて、鞘管９２Ａ内雰囲気中の揮発性有機溶剤蒸気の濃度（分圧）を積極的に高める目的で、鞘管９２Ａの例えば上部に第２の気体供給口９７を形成し、これに揮発性有機溶剤蒸気の供給源（図略）を連絡した構成とすることもできる。
【００８８】
第１０の実施の形態
図２３は浸漬塗布装置の概略構造および、これによる浸漬塗布方法を示す模式的説明図である。この浸漬塗布装置は、図１９の浸漬塗布装置の改変例であり、揮発性有機溶剤を配合してなる塗布液を浸漬塗布槽に貯溜し、フィルム状またはシート状の基材をロール・ツー・ロール方式で連続式に、かつ前記弾性体同士の密着部を上向きに走行・通過させることにより、基材表面に塗膜を形成し、ついで該基材の走行動作継続により前記塗膜を乾燥させるようにした浸漬塗布装置である。この浸漬塗布装置を以下のように構成する。
【００８９】
一対のまっすぐな弾性体１０１，１０１（これらは例えば、図２に示す弾性隔壁２１または２２と同一のものである。）をほぼ水平方向に沿わせて外周面同士を密着させ、上記弾性体１０１，１０１の上部外周面により底面を形成して浸漬塗布槽１１０を構成する。符号１０１ａは、上記弾性体同士の密着部を示す。この浸漬塗布槽１１０の直上に、断面スリット状の基材通路が形成された鞘管１０２を着脱自在に嵌合して連ねることにより、走行中のフィルム状基材Ｆを包囲する。また、鞘管１０２下部の大径部に塗布液投入口１０２ｂを開口する。鞘管１０２の長さは、基材Ｆを適正速度で走行させた場合に該鞘管内で塗膜の自然乾燥が終了するに足る値とすることにより、鞘管内を基材走行・塗膜乾燥空間とする。鞘管１０２下部の大径部に蓋体１０３を着脱自在に嵌合することで、鞘管１０２を蓋体１０３により、ほぼ同心状に包囲する。蓋体１０３の上壁に、走行中のフィルム状基材Ｆが通過するに足る開口面積を有する第２の貫通孔１０４を形成する。さらに、蓋体１０３の上部に設けた第１の気体供給口１０５に乾燥窒素ガス供給源（図略）を連絡し、蓋体１０３の下部には、この蓋体内のガスを排出するための排気口１０６を設ける。その他の構成は図１９と同様とする。
【００９０】
揮発性有機溶剤を配合してなる塗布液Ｌの塗膜をフィルム状基材Ｆの両面に塗膜を、図２３の浸漬塗布装置で形成する場合、例えば以下の手順に従う。
（Ａ）蓋体１０３および鞘管１０２を取り外し、巻き出しロールＲ１から基材Ｆを繰り出し、これを上記密着部１０１ａを通過させる。基材を鞘管１０２内を、ついで蓋体１０３の貫通孔１０４を通過させる。基材の先端部を巻き取りロールＲ２に巻き付け、このロールＲ２の回転により、適宜長さ分の基材をロールＲ２に巻き取ることで、ロールＲ１，Ｒ２間の基材を緊張状態とする。
（Ｂ）鞘管１０２を浸漬塗布槽１１０に装着し、所定量の塗布液Ｌを、塗布液投入口１０２ｂから投入し、ついで蓋体１０３を鞘管１０２に装着する。
（Ｃ）しばらく待機することで、塗布液から有機溶剤を揮発させてその蒸気を鞘管１０２内に充満させる。
（Ｄ）上記乾燥窒素ガス供給源から第１の気体供給口１０５を介して乾燥窒素ガスを蓋体１０３内に供給するとともに、上記排気口１０６を介して蓋体内ガスを排気することで、蓋体内を窒素置換する。これにより、蓋体内には窒素ガスと有機溶剤蒸気と少量の空気が混合した混合ガスが封入された状態となる。したがって、この混合ガス中の酸素濃度は充分、この混合ガスの爆発下限界未満となっているので、スパークに起因する爆発の心配はない。
（Ｅ）基材Ｆを、巻き取りロールＲ２により適正な速度で引上げ・走行させることにより、基材表面に塗膜を形成するとともに、この塗膜（中の有機溶剤の）乾燥を鞘管１０２内で終了させる。
【００９１】
なお、図２３の改変例として、鞘管１０２の上端部内径を絞ることにより、鞘管内の有機溶剤蒸気が蓋体１０３上部に逸散するのを抑えた浸漬塗布装置を構成することもできる。また、図２３において鞘管１０２を省略し、乾燥窒素ガスと揮発性有機溶剤蒸気とを蓋体１０３内に供給できるようにした構成とすることもできる。
【００９２】
本発明により塗膜を形成する対象の板状基材（基板）としてはガラス基板、アクリル樹脂基板、ポリカーボネート基板、ポリエステル系基板（特にポリエチレンテレフタレート基板、ポリエチレンナフタレート基板）など、多種類のものが挙げられる。また、本発明により塗膜を形成する対象のフィルム状（またはシート状）の基材としては、種々のプラスチック製フィルム、たとえばポリエステル系フィルム、ポリメチルメタクリレートフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリオレフィンフィルムなど、多種類のものが挙げられる。
【００９３】
本発明の乾燥法が適用できるウェットコート法には、たとえば浸漬塗布すなわちディップコート（ダイコート）、ロールコート、スプレーコート、バーコート、グラビアコート、マイクログラビアコート、スクリーン印刷等が挙げられる。
【００９４】
また、本発明に係るウェットコート法による作製される塗布製品としては、反射防止膜（特に多層型反射防止膜）、反射防止フィルム（特に多層型反射防止フィルム）、帯電防止膜、透明導電膜、防汚膜、撥水膜、配向膜、プライマー膜、カラーフィルタ、蛍光膜、偏光膜などの機能性膜が挙げられる。
【００９５】
【実施例】
実施例１
図１の浸漬塗布槽１０、図１１の基材保持部材５０等により構成された浸漬塗布装置を使用し、塗布型ＡＲパネル基板を作製するため，幅１００ｃｍ、高さ７０ｃｍ、厚み２．５ｍｍのポリカーボネート基材（板状基材）の両面に膜厚０．１μｍの薄膜を形成した。
【００９６】
＜塗料組成＞
まず、以下に示す材料（１），（２），（３）を、（１）＝１００重量部、（２）＝６．７重量部、（３）＝１０００重量部の割合で混合して反射防止膜用塗料を調製した。
（１）中空シリカ系ゾル液（溶媒：メチルエチルケトン、固形分：２０ｗｔ％）中空シリカは平均粒径が６０ｎｍで、外殻厚み：空洞半径＝１：５、外殻厚みは５ｎｍ程度、屈折率は１．２
（２）フッ化エチレン共重合体樹脂液（溶媒：酢酸ブチル、固形分：５０ｗｔ％）フッ化エチレン共重合体は屈折率が１．４２，官能基含有量は２０モル％、官能基付き単量体はＣＦ２　＝ＣＦＯＣＦ２　ＣＦ２　ＣＨ２　ＯＨで、官能基なし単量体はＣＦ２　＝ＣＦ２　
（３）メチルイソブチルケトン
【００９７】
上述の組成混合を分散させた分散液を使用した。塗布槽への塗布液貯溜量は、図１４の浸漬状態において塗布液深さがおおよそ３０ｍｍとなるようにした。また、上記基材の両面から浸漬塗布槽１０の第３側壁１３、第４側壁１４までの距離を５ｍｍとした。浸漬塗布槽１０の幅（基材の両側面から第１側壁１１、第２側壁１２までの距離）を１２００ｍｍとした。したがって、塗布槽の塗布液貯溜量は約３６０ｃｃである。ポリカーボネート基材１枚当たりの塗布液消費量は約７ｃｃであった。２０枚の基材について浸漬塗布を行ったが、この間に、塗布槽内の塗布液液面の高さを一定に維持するために、４０ｃｃの塗布液補充を３回行った。
【００９８】
浸漬塗布では、基材を昇降機構により円滑に、かつ液漏れが生じることなく上記弾性隔壁同士の密着部を上下両方向に通過させることができた。基材表面の塗膜を１００℃で乾燥・硬化させた結果、膜厚０．１μｍの反射防止膜が得られた。この反射防止膜の反射・透過特性について分光光度計（ＪＡＳＣＯ　Ｖ−５６０型）で測定し、塗膜強度に関しては耐傷性等を示す鉛筆硬度の測定（ＪＩＳ規格参照）を行った。
【００９９】
その結果、基材両面に膜厚９７〜１０９ｎｍのシリカ粒子膜が形成されていることが確認された。この膜厚は、膜厚均一性に関する規格：９５〜１０５ｎｍをほぼ満足している。また、基材表面を観察したところ、その表面は何ら損傷を受けていないことがわかった。さらに、塗膜形成後の２０枚の基材から任意に抽出した複数枚のサンプルについて塗膜の品質を検査したところ、塗布液には劣化（化学的または物理的変化）が生じていなかった。
【０１００】
比較例１
図２０に示す従来の浸漬塗布装置・方法に従う以外は実施例１と同じく、ポリカーボネート基材の両面にシリカ粒子膜が形成した。この塗布槽では、基材全体を一旦塗布液に浸漬させた状態にする必要があるため、この塗布槽に貯溜するべき塗布液量は、実施例１に比べてはるかに多くなった。すなわち、この塗布槽では、図２０（ｂ）の浸漬状態において塗布液深さが７００ｍｍとなるようにし、基材の両面から側壁１０１，１０２までの距離を各々５ｍｍとし、さらに塗布槽の幅（図２０（ｂ）の紙面に垂直な方向の寸法）を１２００ｍｍとした。この場合、塗布槽への塗布液貯溜量（塗布液充填量）は約８４００ｃｃである。
【０１０１】
実施例２
以下の手順により、ＰＥＴフィルム（厚み１８８μｍ、東レ社製、商品名Ｕ４２６）の両面にハードコート層、高屈折率層、低屈折率層の順に塗膜して、ＡＲパネル用の多層型の反射防止膜積層体を作製した。
【０１０２】
［ハードコート層の形成］
（１）上記ＰＥＴフィルムの両面に、紫外線硬化樹脂であるポリエステルアクリレートの有機溶剤溶液をダイコータで塗布した後、塗膜を紫外線硬化させた。
【０１０３】
［高屈折率層の形成］
図２３の浸漬塗布装置に加熱乾燥装置および紫外線照射装置を付設した装置を使用した。上記ＰＥＴフィルム両面のハードコート層上に、下記組成の塗料を塗布した後、塗膜を熱風乾燥炉で加熱して乾燥硬化させた。
【０１０４】
＜塗料組成＞
（１）ＴｉＯ２微粒子：１００重量部
（石原産業社製、平均粒経約２０ｎｍ、屈折率２．４８）
（２）分散剤：３８重量部
（ＳＯ３Ｎａ基含有ウレタンアクリレート：数平均分子量３５０、ＳＯ３Ｎａ濃度は１×１０−１ｍｏｌ／ｇ）
（３）結合剤：１９重量部
（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物：日本化薬社製ＵＶ硬化性樹脂、商品名ＤＰＨＡ）（４）有機溶媒（メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ））：４８００重量部
【０１０５】
上記微粒子と分散剤と有機溶媒とを混合し、ペイントシェーカーで分散処理を行い微粒子分散液を得た。この微粒子分散液を採取し、粒度分布計（ＵＰＡ）でＴｉＯ２微粒子の粒度分布として平均粒経を測定した。また、この微粒子分散液に上記結合剤を添加し、攪拌機にて攪拌処理を行うことにより、所定の塗料を調製し、これを塗布液として使用した。
【０１０６】
高屈折率層の形成に際しては、ハードコート層を塗布した上記ＰＥＴフィルムを巻き出しロールＲ１から繰り出して連続的に走行させ、この間に浸漬塗布装置でフィルム両面に上記塗料を塗布し、このフィルムを上記加熱乾燥装置により８０℃で乾燥し、ついで上記紫外線照射装置により乾燥塗膜を紫外線硬化（１０００ｍＪ／ｃｍ２）させ、これを巻き取りロールに巻き取った。以上により、膜厚が８００ｎｍ±２０ｎｍである高屈折率の光学膜が形成された。
【０１０７】
［低屈折率層の形成］
図２３の浸漬塗布装置を用い、上記ＰＥＴフィルム両面の高屈折率層上に含フッ素共重合体、この含フッ素共重合体の熱硬化剤、硬化触媒および有機溶剤（メチルエチルケトン）からなる塗布液による塗膜を形成して自然乾燥（この有機溶剤の乾燥除去）させた後、熱風乾燥炉で加熱して乾燥硬化させることにより、膜厚１２００ｎｍ±２０ｎｍの低屈折率層を形成した。
【０１０８】
上記高屈折率層の形成および、低屈折率層の形成では、浸漬槽（塗布液）温度を２５℃±５℃、ＰＥＴフィルムの走行速度を１００ｍｍ／ｍｉｎ〜３００ｍｍ／ｍｉｎとした。
なお、有機溶剤としてメチルエチルケトン（ＭＥＫ）を使用した場合、雰囲気ガスの爆発下限濃度（酸素濃度）は２０％であるのに対し、実際の酸素濃度は１５０００〜１６０００ｐｐｍであった。
【０１０９】
実施例３
乾燥硬化後の低屈折率層膜厚を０．２μｍとした以外は、実施例１と同様の実験を行ったこところ、白濁のない低屈折率層を形成することができた。なお、この低屈折率層の塗膜は、実施例２と同じく一度の浸漬塗布操作で形成したものである。また、当然ながら、実施例２，３では鞘管の長さを充分長くし、フィルム基材を適正速度で走行させた場合に、塗膜の自然乾燥が鞘管内で終了するようにした。
【０１１０】
【発明の効果】
従来技術では一旦、板状基材の全体またはほぼ全体を塗布液に浸漬させた状態にしてから引き上げることで、基材表面に塗膜を形成するようにしているため、浸漬塗布槽の塗布液貯溜量を、塗布液液面の高さが板状基材の高さと同等またはこれよりも高くなるようにする必要があり、浸漬塗布槽内の塗布液のうち実際に板状基材表面の塗布に有効に利用される割合が極めて低いという問題点があった。
これに対し、請求項１〜２１に係る浸漬塗布槽、浸漬塗布装置および浸漬塗布方法では、浸漬塗布槽の底面を、
（ａ）一対のチューブ状弾性隔壁で、または合成ゴムもしくは熱可塑性エラストマーからなる一対の中実発泡体で形成するか、
（ｂ）一対のチューブ状弾性隔壁の対向間隙に２枚のフッ素樹脂製シートを重ね合わせた状態で挿入するか、または合成ゴムもしくは熱可塑性エラストマーからなる一対の中実発泡体の対向間隙に２枚のフッ素樹脂製シートを重ね合わせた状態で挿入することにより形成し、
板状基材の下半部を、たとえば上記一対の弾性隔壁同士の密着部を通過させることにより、板状基材の上半部を弾性隔壁上の塗布液に浸漬し、ついで板状基材を引き上げることで基材表面の実質的全面に塗膜を形成するようにしているため、浸漬塗布槽の塗布液貯溜量は、板状基材を充分に濡らすことができる程度の塗布液深さとすればこと足りる。
【０１１１】
したがって、これらの発明によれば、従来の浸漬塗布技術に比べて塗布液の使い残しが激減し、使いきらずに余った塗布液の化学的変化に起因して廃棄しなければならない塗布液量の割合が低下するため塗布液の使用効率が高まり、結果として浸漬塗工基材の大幅なコストダウンが達成できる。
【０１１２】
また、請求項２２の浸漬塗布装置では、鞘管内に揮発性有機溶剤の蒸気を充満させることで基材表面の塗膜乾燥速度を低下させるとともに、板状基材を適正速度で引き上げた場合に鞘管内で塗膜の自然乾燥が終了するように構成したので、上記した従来技術の問題点１〜３が的確に解決される。すなわち、
（１）多層薄膜塗布において、下層の白濁発生が防止される。これにより、従来技術では白濁防止のため組合せ使用ができなかった組成の塗布液を重ね塗りすることが可能となり、光機能膜設計の自由度が向上する。
（２）白濁防止のため多層膜での形成を余儀なくされていた厚膜を、１層塗布で形成することができる。
（３）塗膜乾燥雰囲気の水蒸気を排除することで、薄膜状塗膜が水分を取り込むことに起因する塗膜性能劣化の問題が解消される。
また、この浸漬塗布装置では、塗膜乾燥雰囲気（鞘管内雰囲気および蓋体内雰囲気）の酸素濃度が有機溶剤蒸気の爆発する下限濃度未満となるように構成したから、静電気や金属製部材同士の衝突でスパークが発生しても、有機溶剤蒸気が爆発する危険性がなくなるという効果がある。
【０１１３】
請求項２３の浸漬塗布装置では、鞘管内に揮発性有機溶剤の蒸気を充満させることでフィルム状基材表面の塗膜乾燥速度を低下させるとともに、基材を適正速度で走行させた場合に鞘管内で塗膜の自然乾燥が終了するように構成したので、上記した従来技術の問題点１〜３が的確に解決される。またこの浸漬塗布装置では、塗膜乾燥雰囲気（鞘管内雰囲気および蓋体内雰囲気）の酸素濃度が有機溶剤蒸気の爆発する下限濃度未満となるように構成したから、静電気や金属製部材同士の衝突でスパークが発生しても、有機溶剤蒸気が爆発する危険性がなくなるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る浸漬塗布槽の平面図である。
【図２】図１の縦断面図である。
【図３】図１の浸漬塗布槽における弾性隔壁（弾性チューブ）の配備態様を示す平面図である。
【図４】図３の弾性隔壁の構造を示すもので、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視図である。
【図５】図１の浸漬塗布槽を構成する第１側壁の正面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ矢視図である。
【図７】図１の浸漬塗布槽を構成する第２側壁の断面図である。
【図８】図１の浸漬塗布槽を構成する第３側壁および第４側壁の断面図である。
【図９】図８のＣ−Ｃ線矢視図である。
【図１０】図９の平面図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係る基材保持部材の正面図である。
【図１２】図１１の基材保持部材を示すもので、（ａ）は基材固定部材の平面図、（ｂ）は図１１のＤ−Ｄ線断面図、（ｃ）は図１１のＥ−Ｅ線断面図である。
【図１３】本発明の第４の実施の形態に係る浸漬塗布装置および、これによる浸漬塗布方法の説明図であって、板状基材を下降させるときの状態を示す断面図である。
【図１４】図１３の工程につづいて板状基材を、弾性隔壁同士の密着部を挿通させるときの状態を示す断面図である。
【図１５】図１４の工程につづいて板状基材を上昇させるときの状態を示す断面図である。
【図１６】図１４のＦ−Ｆ線断面図である。
【図１７】本発明の第５の実施の形態に係る浸漬塗布槽の平面図である。
【図１８】図１７のＧ−Ｇ線断面図である。
【図１９】本発明の第７の実施の形態に係る浸漬塗布方法の説明図である。
【図２０】板状基材の浸漬塗布装置および方法の従来例を示す模式的説明図である。
【図２１】本発明の第８の実施の形態に係る浸漬塗布装置の概略構造を示す断面図である。
【図２２】本発明の第９の実施の形態に係る浸漬塗布装置の概略構造を示す断面図である。
【図２３】本発明の第１０の実施の形態に係る浸漬塗布装置（ロール・ツー・ロール方式の浸漬ロールコータ）を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１０…浸漬塗布槽、１１…第１側壁、１１ａ，１１ｂ…フランジ、１２…第２側壁、１２ａ，１２ｂ…フランジ、１３…第３側壁、１３ａ…隔壁本体、１４…第４側壁、２１，２１…弾性隔壁、２３…密着部、２４…弾性隔壁本体、２５…円形フランジ、２５ａ…ネジ孔、２５ｂ…シール用溝、２６…円形フランジ、２６ａ…ネジ孔、２６ｂ…短管、２６ｃ…シール用溝、３１，３２…円形凹部、３３ａ，３３ｂ…パッキン溝、３４…ネジ孔、３５，３６…円形凹部、３７ａ，３７ｂ…パッキン溝、３８…ネジ孔、３９…貫通孔、４１…凹部、４２…弾性隔壁保持部、４３，４４…フランジ、４５…ネジ孔、５０…基材保持部材、５１…保持用空間、５２…本体、５３…固定部材、５３Ａ，５３Ｂ…ネジ、５３ａ，５３ｄ…ネジ用孔、５３ｂ，５３ｃ…ネジ孔、５４…対向壁、５５…開口部、５６…平面部、６１…把持部材、７０…浸漬塗布槽、７１，７２：押さえ板、７３，７４…側板、７５…隔壁、８１，８２…耐溶剤性シート、８３…密着部、８５，８６…固定部材、９１…浸漬塗布槽、９１ａ…フランジ、９２，９２Ａ…鞘管、９２ａ…フランジ、９２ｂ…塗布液投入口、９３…蓋体、９４…開口（貫通孔）、９５…第１の気体供給口、９６…排気口、９７…第２の気体供給口、１０１…弾性体、１０１ａ…密着部、１０２…鞘管、１０２ｂ…塗布液投入口、１０３…蓋体、１０４…貫通孔、１０５…第１の気体供給口、１０６…排気口、１１０…浸漬塗布槽、２００…浸漬塗布槽、２０１，２０２…側壁、Ｆ…フィルム状基材、Ｇ１，Ｇ２…ガイドロール、Ｌ…塗布液、Ｐ…板状基材、Ｒ１…巻き出しロール、Ｒ２…巻き取りロール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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