(57)【要約】【課題】生産現場に設置される検査装置の小型化を図ると共に、検出結果の処理条件の設定が容易に行えるようにするための技術を提供する。【解決手段】検査対象の画像を取得して外観検査を行う概観検査システムであって、検査対象の画像を検出する画像検出装置１００と、画像検出装置１００により検出された画像を処理して、当該検査対象の画像に現れる異常の有無を判定する情報処理装置２００と、を備える。画像検出装置１００と情報処理装置２００とは、ネットワーク３００を介して接続可能である。画像検出装置１００は、検出画像およびその加工データのうち少なくとも一方を、当該データの識別子を付して情報処理装置に対し送信する。情報処理装置２００は、受信したデータに含まれる上記識別子に基づいて、受信した画像を識別して、上記異常の有無の判定を行う。【選択図】  図１
2004226328.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の画像を取得して外観検査を行う概観検査システムにおいて、
検査対象の画像を検出する画像検出装置と、
上記画像検出装置により検出された画像を処理して、当該検査対象の画像に現れる異常の有無を判定する情報処理装置と、を備え、
上記画像検出装置と上記情報処理装置とは、ネットワークを介して接続可能であり、
上記画像検出装置は、検出画像およびその加工データのうち少なくとも一方を、当該データの識別子を付して情報処理装置に対し送信し、
上記情報処理装置は、受信したデータに含まれる上記識別子に基づいて、受信した画像を識別して、上記異常の有無の判定を行うこと
を特徴とする外観検査システム。
【請求項２】
請求項１に記載の外観検査システムにおいて、
上記画像検出装置から出力されるデータに付加される識別子が、検査の内容を特徴付ける検査に関する情報を含むことを特徴とする外観検査システム。
【請求項３】
請求項２に記載の外観検査システムにおいて、
上記識別子は、検査に関する情報として、画像検出された検査対象物、当該検査対象物内の検査エリア、撮像条件、撮像を行った画像検出装置、生産工場、生産会社に関する情報のいずれか１以上を含むこと
を特徴とする外観検査システム。
【請求項４】
請求項１、２および３のいずれか一項に記載の外観検査システムにおいて、
上記画像検出装置は、検査対象から得られた画像について前処理する前処理装置を有し、
上記情報処理装置は、上記前処理装置において行われる前処理の内容を決定して、上記画像検出装置に送ること
を特徴とする外観検査システム。
【請求項５】
請求項１、２、３および４のいずれか一項に記載の外観検査システムにおいて、
上記情報処理装置は、各画像検出装置における撮像条件を制御するための情報を生成する手段を有し、
上記画像検出装置では、情報処理装置から受信した制御情報に基づいて、撮像の制御を行うことを特徴とする外観検査システム。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の外観検査システムにおいて、
上記情報処理装置は、上記画像検出装置により検出された画像を処理して、当該検査対象の画像に現れる異常の有無を判定する処理を行う計算機を備え、
上記計算機の構成は、計算機で行う処理の内容、および、画像検出装置から送出される画像データの量に応じて決定されること
を特徴とする外観検査システム。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか一項に記載の外観検査システムにおいて、
上記画像検出装置と上記情報処理装置とに、送受信するデータを暗号化する手段と、暗号化された情報を復号化する手段とを有すること
を特徴とする外観検査システム。
【請求項８】
製品の検査情報に基づいて品質を評価する情報を提供する品質評価システムであって、
製品の検査を行う検査システムと、
検査システムから得られる情報を用いて製品の品質を評価する品質評価拠点と、を有し、
検査システムと品質評価拠点とは、通信手段により接続可能であり、
検査システムは、製品についての検査結果と、検査対象物、検査した検査対象物の位置、検査画像の検出条件、画像を検出した画像検出装置、生産ライン、生産会社に関する情報のうち１つ以上とを送付する機能を有し、
上記品質評価拠点は、１以上の外観検査システムから送信される情報を取得し、それらの情報を処理して、その結果を表示する機能を有すること
を特徴とする品質評価システム。
【請求項９】
製品の検査を行う検査システムにおいて用いられる処理プログラムの改定を行う機能を有する検査システムであって、
製品の検査を行う検査システムと、
検査システムにおける検査処理に必要となる処理プログラムの改定を行うプログラム改定拠点とを有し、
上記検査システムとプログラム改定拠点とは、ネットワークを介して接続可能であり、
検査システムは、プログラム改定拠点から送られる、処理プログラム・処理条件情報を受け付けて記憶する手段を有し、
プログラム改定拠点は、上記検査システムから送信される、検査画像・処理条件情報の変更入力を受け付けて、それらに変更に基づいて上記プログラムを改定する手段を有すること、
を特徴とする品質管理システム。
【請求項１０】
生産会社において生産される製品の品質を評価する情報を顧客端末に提供するためのシステムであって、
製品の検査を行う検査システムと、
上記検査システムが出力する情報から製品の品質情報を評価する品質評価拠点と、を有し、
上記検査システムと、上記品質評価拠点と、上記顧客端末とは、ネットワークを介して接続可能であり、
上記品質評価拠点は、品質評価情報を記憶する手段と、顧客からの問い合わせに応じて品質評価情報を検索する手段と、検索されたデータを顧客に送付する手段とを有し、
上記顧客端末には、上記品質評価拠点への問い合わせ内容を入力する手段と、上記品質評価拠点からの送信結果を表示する手段とを有すること
を特徴とする品質管理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製品または半製品について、検査の現場から検査結果を収集して、該検査結果を処理することにより、製品の検査結果に関する情報を生成して、該情報を要求元に提供する技術に係り、特に、生産現場に設置された検査装置から検査結果を収集して処理するための技術、および、この検査結果を用いて製品の品質評価を行う技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
生産工場において何らかの製品を量産するためには、それらの製品もしくは半製品（以下、半製品を含めて単に製品と称する）が仕様通りに生産されているかについて検査することが行われる。この種の検査は、人手による検査から、センサを用いた、機械による検査に移行している。しかも、センサの出力を電気的に処理し、その結果をディジタル情報に変換して、コンピュータにより処理することができるようしている。近年、検査は、製品の高機能化に伴って、精度向上が要求されている。そのため、検査装置が高機能化される傾向にある。
【０００３】
例えば、半導体、プリント基板等の製品について、一般的に行われる検査の一つとして、外観検査がある。外観検査には、例えば、製品の生産現場において、製品に、異物が付着しているか、傷などがついているかを検出する欠陥検査、製品が仕様通りの寸法で生産されているか等を確認する出来映え検査等の各種検査がある。この種の外観検査においても、作業者が目視により行う目視検査から、機械を用いて自動的に行う外観検査装置による検査に移行しつつある。外観検査の機械化は、検査について、省力化、高速化、高精度化が要求されることに伴って、より一層、進展している。
【０００４】
このような外観検査に用いられる外観検査装置は、検査対象となる製品を何らかの方法で撮像し、得られた画像について処理を行うことにより検査を行うものである。これら外観検査技術に関する従来技術としては、例えば、特許文献１（特開平８−１８１４２１号公報）に、プリント配線基板を対象とした外観検査装置に関する技術が開示されている。また、特許文献２（特開平９−２０３６２１号公報）に、半導体ウェハを対象とした外観検査装置に関する技術が開示されている。
【０００５】
これらの開示例に見られるように、従来技術による外観検査装置の構成においては、（１）検査対象を撮像する手段、（２）撮像された画像を処理する処理手段が、基本的な構成要件をなし、それに、データ入出力部、検査結果表示部などの部位が付随した構成となる。また、特許文献３（特開２０００−７７４９５号公報）には、上で述べた外観検査装置をネットワークに複数台接続した検査システムについての技術が開示されている。ネットワーク上には、各検査装置での検査結果などを一括して保持するサーバが置かれ、このサーバを通じて、各検査装置での検査結果を統合して処理し、欠陥発生の程度やその時間的推移などの情報を出力する。
【０００６】
【特許文献１】
特開平８−１８１４２１号公報
【特許文献２】
特開平９−２０３６２１号公報
【特許文献３】
特開２０００−７７４９５号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体、プリント基板等の製品がより小型化され、高性能化されている。これに伴って、外観検査をより高精度に行うことが、それらの製品のメーカに要求されている。この要求を満たすためには、対象の製品を撮像して得られる高精度の画像を、高速に処理することが必要となる。また、製品の小型化に伴って、顕微鏡等の光学装置を介して撮像する関係上、検査装置はできる限り小さいことが望まれる。
【０００８】
このように、近年の外観検査装置にあっては、大量の画像データを高速に処理することが必要であるため、画像処理装置として、大規模な専用の画像処理回路が必要となる。この種の画像処理回路は、１ないし複数枚の基板に、計算処理のための大型のＬＳＩ、メモリチップ、その他の電子回路素子を多数搭載する。このため、この種の画像処理回路は、検査装置を大型化させるという問題を引き起こす。一方、前述した専用画像処理回路に代えて、コンピュータを用いてソフトウェアにより画像処理することが考えられる。この場合には、検査装置に、コンピュータを内蔵すること、または、外付けすることが行われる。しかし、いずれの場合であっても、検査装置を大型化させることとなる。このような検査装置の大型化は、生産現場において当該検査装置を設置するためのスペースを多く必要とし、好ましくない。さらに、画像処理回路、コンピュータ等を装備する関係上、検査装置の価格が上昇することも避けられないという問題もある。
【０００９】
検査装置を検査において使用する場合、検査対象、および、それについて検査基準に合わせて、画像の処理条件等の設定が行われる。この種の条件設定は、複数の検査装置が設置される場合には、各検査装置について、機差、検査環境等の相違を考慮して、個別的に行う必要がある。また、製品が異なる場合はもとより、同じ製品であってもその形態について設計が変更されると、それに伴って、検査の基準、検査対象の見え方などが変わる。このため、処理条件の設定を改めて行う必要がある。この種の処理条件設定は、近年、製品が短期間で変化することに伴って、頻繁に行うことが必要となっている。
【００１０】
しかし、前述したように、これまでの検査装置では、個別的に画像処理回路を搭載している。このため、設置されている複数台の検査装置について、処理条件の設定を個別に行うことが必要となる。また、画像についてコンピュータ処理する場合には、検査条件の変更に対応するため、検査の高精度化の要請を満たすためなど、単に条件を再設定するだけでは足りず、処理プログラム自体を変更しなければならない場合も起こり得る。このような場合、個別装置について、処理プログラムの再インストールを行うこと、また、ＲＯＭの交換を行うこと、画像処理回路を搭載した基板を交換すること等の作業が必要となる。したがって、製品の変更に伴う、検査における処理条件の設定変更を迅速に行うことが容易ではないという問題がある。
【００１１】
前述した問題は、いずれも、外観検査装置が、画像の検出と、検出された画像の処理とを行っていることに起因するものである。これは、特許文献３に記載されるようなネットワークを介してデータをサーバに蓄積する検査システムの場合でも、解決されていない。
【００１２】
近年の産業構造の変化に伴って、製品を生産するビジネスにおいても、そのシステムの形態が変わっていくことが起こり得る。例えば、これまでは、製品の検査、品質管理、生産管理は、当該生産現場において行うことが一般的であった。しかし、検査の高度化、品質の客観的評価等の要請を満たすには、設備投資、検査業務の維持等のために多大の資本投下が必要である。そのため、一社ですべてを行うことは、大企業であっても、必ずしも容易なことではない。特に、中小企業とっては、負担が大きく、実現することは容易ではない。このため、このような状況を解決する新しい手法、例えば、検査、品質管理、生産管理等の、製品の質を維持するための業務を、アウトソーシングにより行うための技術的な手法の構築が望まれる。
【００１３】
ところで、検査装置により得られる検査結果は、製品の品質管理を行う場合の品質評価データとして用いることができる。そこで、外観検査装置を用いた品質評価システムについて考えてみる。
【００１４】
半導体チップなどの電子部品、プリント基板などを製造・販売するメーカでは、生産現場における、欠陥の発生状況、および、その頻度を管理して、品質を向上すると共に、生産性を向上するよう努力している。そのため、生産拠点毎に、複数の外観検査装置を導入している。
【００１５】
一方、半導体チップ等の製品の購入者の購入行動を考えてみる。この場合、購入製品を部品として組み込んで製品を作る際には、より信頼性の高い製品を選択して、購入することが合理的である。生産された多くの製品は、購入時には、その仕様の通りに機能することが期待できる。しかし、出荷された多くの製品のなかには、継続して使用している時点で、故障が発生するものがあり得る。そのため、製品購入者は、製品購入時に、その性能などの仕様を検討することはもちろんのこと、製品の品質に関する信頼性の高さ、歩留り、当該製品の安定供給が可能か等を検討する必要がある。そのためには、製品の品質に関する情報を参照することが好ましい。
【００１６】
ところで、製品の品質評価に関する情報は、各メーカの内部情報であるため、一般に公開されることはない。このため、購入者が製品の品質評価に関する情報を知ることは、困難な状況にある。したがって、各社の製品についての品質評価の状況を把握することは、購入者がこれまでの取引実績等を参考にして、経験的に行わざるを得ない。
【００１７】
しかし、新製品の場合には、当該製品について使用経験が蓄積されていないため、経験に基づいて品質の良否を判断することは困難である。購入者の立場からは、各社の製品を客観的に評価したデータが入手できるようになることが望まれる。そのようなデータが入手可能となれば、製品の購入時の判断材料として有効に活用することができる。
【００１８】
一方、メーカの立場からも、製品の品質評価に関する情報を顧客に開示することは、自社の生産体制が健全であること、および、品質管理の信頼性が高いことを、顧客に示すことができる利点がある。例えば、製品の検査体制が十分に整っていること、検査が、生産現場とは切り離されて客観的に行われていること、品質管理が徹底していること等の、自社が製品の品質維持および向上に努力していることを示す情報を、顧客に開示することができる。このような情報開示は、当該企業が顧客に対し高いロイヤルティを持っていることを示すこととなり、顧客の獲得、および、獲得した顧客の維持の上で有効な手段となり得る。
【００１９】
したがって、製品の品質評価に関する情報を、要求に応じて開示できるようする技術的な仕組みの構築が必要である。しかし、現在のところ、個別的な検査装置についての技術が存在するに過ぎない。
【００２０】
以上は、製品に検査ならびに検査結果を用いてなされる品質管理に関する諸問題について、画像処理を伴う検査を行う検査装置についての議論である。しかし、この種の問題は、それに限られない。他の種類のデータ、例えば、音響データ等のように、大量のデータを高速処理しなければならない検査装置においても、同様の問題が起こり得る。
【００２１】
本発明の目的は、生産現場に設置される検査装置の小型化を図ると共に、検出結果の処理条件の設定が容易に行えるようにするための技術を提供することにある。
【００２２】
本発明の他の目的は、検査、品質評価等を、生産現場とは独立して、複数の生産現場に共通に行う新しい技術的手法を実現するために必要な技術を提供することにある。
【００２３】
本発明のさらに他の目的は、製品の品質評価に関する情報を、要求に応じて開示することができる技術的な仕組みを提供することにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、
検査対象の画像を取得して外観検査を行う概観検査システムにおいて、
検査対象の画像を検出する画像検出装置と、
上記画像検出装置により検出された画像を処理して、当該検査対象の画像に現れる異常の有無を判定する情報処理装置と、を備え、
上記画像検出装置と上記情報処理装置とは、ネットワークを介して接続可能であり、
上記画像検出装置は、検出画像およびその加工データのうち少なくとも一方を、当該データの識別子を付して情報処理装置に対し送信し、
上記情報処理装置は、受信したデータに含まれる上記識別子に基づいて、受信した画像を識別して、上記異常の有無の判定を行うこと
を特徴とする外観検査システムが提供される。
【００２５】
ここで、上記画像検出装置から出力されるデータに付加される識別子は、検査の内容を特徴付ける検査に関する情報を含むことができる。その識別子は、検査に関する情報として、画像検出された検査対象物、当該検査対象物内の検査エリア、撮像条件、撮像を行った画像検出装置、生産工場、生産会社に関する情報のいずれか１以上を含むことができる。
【００２６】
また、上記画像検出装置は、検査対象から得られた画像について前処理する前処理装置を有し、上記情報処理装置は、上記前処理装置において行われる前処理の内容を決定して、上記画像検出装置に送る構成とすることができる。
【００２７】
上記情報処理装置は、各画像検出装置における撮像条件を制御するための情報を生成する手段を有する構成とすることができる。また、上記画像検出装置は、情報処理装置から受信した制御情報に基づいて、撮像の制御を行う構成とすることができる。
【００２８】
上記情報処理装置は、上記画像検出装置により検出された画像を処理して、当該検査対象の画像に現れる異常の有無を判定する処理を行う計算機を備えることができる。この上記計算機の構成は、計算機で行う処理の内容、および、画像検出装置から送出される画像データの量に応じて決定されることができる。
【００２９】
さらに、上記画像検出装置と上記情報処理装置とは、送受信するデータを暗号化する手段と、暗号化された情報を復号化する手段とを有する構成とすることができる。
【００３０】
また、本発明の他の態様によれば、
製品の検査情報に基づいて品質を評価する情報を提供する品質評価システムであって、
製品の検査を行う検査システムと、
検査システムから得られる情報を用いて製品の品質を評価する品質評価拠点と、を有し、
検査システムと品質評価拠点とは、通信手段により接続可能であり、
検査システムは、製品についての検査結果と、検査対象物、検査した検査対象物の位置、検査画像の検出条件、画像を検出した画像検出装置、生産ライン、生産会社に関する情報のうち１つ以上とを送付する機能を有し、
上記品質評価拠点は、１以上の外観検査システムから送信される情報を取得し、それらの情報を処理して、その結果を表示する機能を有すること
を特徴とする品質評価システムが提供される。
【００３１】
また、本発明の他の態様によれば、
製品の検査を行う検査システムにおいて用いられる処理プログラムの改定を行う機能を有する検査システムであって、
製品の検査を行う検査システムと、
検査システムにおける検査処理に必要となる処理プログラムの改定を行うプログラム改定拠点とを有し、
上記検査システムとプログラム改定拠点とは、ネットワークを介して接続可能であり、
検査システムは、プログラム改定拠点から送られる、処理プログラム・処理条件情報を受け付けて記憶する手段を有し、
プログラム改定拠点は、上記検査システムから送信される、検査画像・処理条件情報の変更入力を受け付けて、それらに変更に基づいて上記プログラムを改定する手段を有すること、
を特徴とする品質管理システムが提供される。
【００３２】
さらに本発明の他の態様によれば、
生産会社において生産される製品の品質を評価する情報を顧客端末に提供するためのシステムであって、
製品の検査を行う検査システムと、
上記検査システムが出力する情報から製品の品質情報を評価する品質評価拠点と、を有し、
上記検査システムと、上記品質評価拠点と、上記顧客端末とは、ネットワークを介して接続可能であり、
上記品質評価拠点は、品質評価情報を記憶する手段と、顧客からの問い合わせに応じて品質評価情報を検索する手段と、検索されたデータを顧客に送付する手段とを有し、
上記顧客端末には、上記品質評価拠点への問い合わせ内容を入力する手段と、上記品質評価拠点からの送信結果を表示する手段とを有すること
を特徴とする品質管理システムが提供される。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施形態について図面を用いて説明する。以下に説明する実施形態では、製品の検査を行うための方法、それを実現するためのシステム、そのシステムにおいて用いられるプログラム、データ等に関わる各種の発明に関する態様を含む。また、以下では、検査対象製品の検査部位の画像を取得し、得られた画像について処理を行うことによって検査を行う場合について説明する。より具体的には、製品の外観に関する検査に適用される場合を例として説明する。また、得られた検査結果を用いて行うことができる品質評価等に関する実施形態について説明する。さらに、それらの実施形態に関連する技術、また、それらの技術を用いて、製品検査、品質評価等に関する情報処理を行うサービスを提供するための技術に関する実施形態について説明する。
【００３４】
まず、生産現場において製造される製品の付着異物、傷、汚れなどの欠陥を発見する欠陥検査、または、製品が仕様通りに製造されているかを確認する出来映え検査をするために、それらの製品を撮像した画像を処理して検査・計測を行う外観検査システムと、それに用いられるプログラムおよびデータと、そのシステムを用いた検査方法について説明する。その上で、応用例として、それらの外観検査結果を基に製造現場の生産管理・評価を行うシステムについて説明する。なお、これらの応用例も本願における発明を構成するものである。
【００３５】
（外観検査システム）
図１は、本発明に係る検査システムの典型例である外観検査システムの第１の実施形態を示している。本実施形態の外観検査システムは、１種または２種以上の画像検出装置１００を少なくとも１台含む検出装置群１００Ｇと、検出装置群１００Ｇに属する画像検出装置１００から出力される検査結果を処理する情報処理装置２００とを、基本的な構成要素として含む。画像検出装置１００と情報処理装置２００とは、それらの間で情報の伝送を行うための情報伝送システム３００により接続される。本実施形態の外観検査システムは、前述した情報処理装置２００における処理内容に、品質評価に関する処理を加えることによって、品質評価システムとして機能させることができる。
【００３６】
検出装置群１００Ｇは、前述したように、複数種の画像検出装置１００を含むことができる。本実施形態では、検査装置として、検査対象について撮像して画像データを取得する画像検出装置を複数台有する例を想定している。なお、検出装置群１００Ｇには、欠陥検出処理、出来映え検査等の検査目的の異なる画像検出装置を混在させることができる。また、同じ検査目的の装置であって性能が異なる画像検出装置を混在させることもできる。また、同じ性能の画像検出装置であって、検出のための条件が対象に合わせて異なる設定となっている装置を混在させることもできる。なお、本実施形態では、欠陥検出処理用画像検出装置、出来映え検査用画像検出装置等の検査目的の異なる複数種の画像検出装置がそれぞれ複数台配置されていることを想定している。
【００３７】
情報処理装置２００は、検出装置群１００Ｇから情報伝送システム３００を介して送られる検出画像について画像処理を行う。情報処理装置２００は、検出画像について画像処理することにより、例えば、製品に付着した塵埃、傷などを検査する欠陥検出処理、製品のサイズ等を測定して、製品の出来映えを検査する出来映え検査等を行う。
【００３８】
情報伝送システム３００は、検出装置群１００Ｇに属する各画像検出装置１００と情報処理装置２００との間で情報を送受信するために用いられる。例えば、画像検出装置１００から画像情報等の情報を伝送する。一方、情報処理装置２００から各画像検出装置１００に対する、検出開始要求、情報送信要求等の各種情報を伝送する。例えば、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、ワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）、インターネット等により構成することができる。大量の情報を高速に送ることを考慮すると、情報伝送システム３００は、ブロードバンドで情報の伝送が行えるネットワークであれば、より好ましい。
【００３９】
（画像検出装置１００）
図２は、画像検出装置１００の機能構成について示すブロック図である。この画像検出装置は、検査対象について撮像する機能を有する撮像装置系（１５０、１６０、１８０）と、撮像の制御、および、制御して得られた画像を情報処理装置２００に送るための制御を行う機能を有する制御装置系（１１０、１２０、１３０、１４０）と、送受信を行う送受信装置１９０とを有する。
【００４０】
統括制御装置１１０は、本画像検出装置１００の動作について統括的な制御を行う。この統括制御装置１１０は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク装置等を有するコンピュータにより構成される。統括制御装置１１０は、入力装置１２０、出力装置１３０、記憶装置１４０、検査制御装置１５０、送受信装置１９０と接続されている。入力装置１２０は、例えば、キーボード、マウス、バーコードリーダ等を有し、外部からの入力データを受け付ける。また、出力装置１３０は、統括制御装置１１０からのデータを表示・出力するディスプレイ、プリンタなどにより構成される。本実施形態では、出力装置は、ディスプレイにより構成される。出力装置として、プリンタをさらに接続することができる。また、プリンタをＬＡＮに接続して、ＬＡＮを介して印刷出力に利用するネットワークプリンタとする構成としてもよい。
【００４１】
記憶装置１４０には、総括制御装置１１０が実行するプログラムおよびデータが格納される。データとしては、例えば、図１８に模式的に示すような、検査に関する情報が格納される。また、必要に応じて、検査制御装置１５０が実行するプログラムおよびその処理に必要なデータ、さらには、前処理装置１８０が必要とするプログラム、パラメータ等のデータが格納される。記憶装置１４０は、例えば、ハードディスク装置により構成される。このハードディスク装置は、内蔵型、外付型のいずれであってもよい。また、複数のハードディスク装置を配置したディスクアレイ等に分散して、前述した各種データを記憶する構成としてもよい。
【００４２】
記憶装置１４０に格納される検査に関する情報としては、例えば、自識別子、情報処理装置‐暗号鍵対応表、検査品情報、検査情報、検査結果、ダミー検査パターン情報、データ種識別子である。本実施形態では、それぞれの情報が対応するファイル１４１ａから１４７に格納される。なお、検査に関する情報の記憶のさせ方は、これに限られるものではない。
【００４３】
自識別子ファイル１４２ａに格納される自識別子は、自画像検出装置を他と識別するための識別子である。この自識別子は、例えば、画像検出装置１００のシリアル番号、当該送受信装置１９０のネットワークアドレスなどを意味し、画像検出装置各々を他の画像検出装置と識別することができる固有の識別子として機能する。これは、情報の返送先を特定するアドレスとしても機能する。
【００４４】
送信先アドレスファイル１４２ｂに格納される送信先アドレスは、当該画像検出装置１００において取得された検査画像の処理を行う情報処理装置２００のネットワークアドレスとなっている。ここで、情報処理装置２００が複数存在する場合には、いずれの情報処理装置を用いるかを特定する情報としても機能する。
【００４５】
情報処理装置識別子−暗号鍵対応表ファイル１４２に格納される情報処理装置識別子−暗号鍵対応表は、情報処理装置２００の識別子１４２１とそれに対応する暗号鍵番号１４２２とを含む。
【００４６】
検査品情報ファイル１４３には、検査品情報として、具体的には、レコード番号、対象の品種を示す品種名、検査が行われる工程を示す工程名、当該検査を行うラインを示す検査ライン名、検査対処品の生産会社を示す生産会社名、対象品の寸法、その他検査品を特定すると共に、製造状況を示す情報が格納される。
【００４７】
検査情報ファイル１４４には、検査情報として、具体的には、レコード番号、検査対象品を特定する検査品ＩＤ、検査対象となる工程を示す工程情報、画像を取得する際の撮影条件、画像データについて施す前処理条件、検査処理条件、検査対象における検査領域を特定する情報である検査エリア、検査方式等の、検査に関する仕様、および、検査結果の処理の仕様を示す情報が格納される。ここで、撮像条件は、照明装置１６３の明るさ、その位置、角度などの撮像条件を制御するための撮像条件を示す情報である。前処理条件は、検出した画像に対して前処理装置１８０において行う処理の内容、および、処理条件を規定する情報である。検査処理条件は、検査処理装置２５１における処理条件を示す情報である。検査エリアは、例えば、検査する領域が検査対象の一部分に限られている場合に、その領域を示す情報である。検査方式は、どのような検査を行うかの方式を示す情報である。例えば、落射照明による一次反射光を用いた検査、斜方照明による散乱光を用いた検査等のように、行うべき検査の方式を示す情報である。本実施形態では、この情報は必須ではない。また、撮像以外の検査を行う場合には、その検査内容を示す。例えば、電気抵抗測定等の検査内容を示す。
【００４８】
検査結果ファイル１４５には、検査結果として、レコード番号と、製品名と、工程名と、検査日時と、検査エリアと、欠陥数と、欠陥種と、各欠陥点の位置および種類とが、各検査について格納される。
【００４９】
ダミー検査パターン情報ファイル１４６には、ダミー検査パターン情報として、撮像対象として、予め、試料室１６１内のステージ１６２上に配置しておく、規定の材質で、特定のパターンが配置されたダミーの検査対象の、パターンの種類を示すパターン種類情報と、ステージ１６２上におけるダミー検査対象の位置を示すパターン位置情報とが対応付けられて、レコード番号と共に格納される。
【００５０】
データ種識別子ファイル１４７には、データ種識別子として、図１１に模式的に示すように、データ種を示す記号からなるデータ種識別子１４７１と、送受信されるデータの内容１４７２とが対応づけられて、複数種、格納されている。データ種識別子１４７１は、送受信されるデータの内容を示す情報である。すなわち、そのデータが検出画像データ、検査情報要求データ等のいずれの種類のデータであるかを示すための情報である。このデータ種識別子１４７１としては、例えば、データ種識別子Ａとして“検査情報要求”、データ種識別子Ｂとして“検出画像データ”、データ種識別子Ｃとして“検査情報の返信”等を示す識別子が格納されている。
【００５１】
撮像装置１６０は、検査対象（試料）Ｍを収容する試料室１６１と、試料室１６１内に配置され、検査対象物Ｍを載置すると共に、ＸＹＺ方向に変位させるためのステージ（試料台）１６２と、試料を照明するための照明装置１６３と、試料からの反射光により試料の画像を取得する、ＣＣＤ等の画像センサ１６４とを有する。検査対象Ｗの画像を撮像する試料室１６１には、検査対象Ｗの表面に照明光を照射する照明装置１６３と、検査対象Ｗからの信号を検出し画像データに変換する画像センサ１６４と、検査対象Ｗを移動させるステージ１６２とが設けられている。照明装置１６３は、図示してないが、照明光を出射する光源と、照明光を撮像対象に投射する第１の光学系とを有する。画像センサ１６４は、その前方に、対象からの反射光を当該画像センサ１６４に導く第２の光学系（図示せず）と、撮像対象の像に画像センサ１６４の検出面に自動的に結像させるための合焦機構（図示せず）とを備える。画像センサ１６４において検出された画像は、前処理装置１８０に送られ前処理が行われる。
【００５２】
検査制御装置１５０は、検査対象Ｗの画像を検出するために必要な制御を行う。具体的には、図中の破線で示す各種制御信号により、撮像時にステージ１６２、照明装置１６３、送受信装置１９０および前処理装置１８０の各動作について制御を行う。すなわち、検査制御装置１５０は、統括制御装置１１０から、いかなる検査を行うのかを示す検査情報を受け取る。また、撮像開始の指示を受けて、伝達された検査情報に基づいて、例えば、照明装置１６３について、それによる照明位置、照明強度（照度または輝度）を制御する。また、前処理装置１８０について、検査対象の検査内容に対応する前処理の内容を設定する。また、画像センサ１６４による取得される画像の取り込みを前処理装置１８０に指示する。検査制御装置１５０は、検査情報を基に、ステージ１６２の移動の方向、移動範囲、移動速度などを制御する。
【００５３】
本例の場合、画像センサ１６４の位置を固定し、ステージ１６２を移動することにより検出領域全体の画像を得る。しかし、本発明は、これに限られない。画像センサ１６４、照明装置１６３等の観察系と、ステージ１６２等の支持系とが相対変移可能な関係にあればよい。例えば、検査すべき部位のみの画像を取得するために画像センサ１６４を移動させることも可能である。
【００５４】
前処理装置１８０は、画像センサ１６４により検出された検出信号について、情報処理装置において行う処理のための前処理を行う。前処理を行うための機能として、例えば、図６に示す機能を有する。すなわち、前処理装置１８０は、Ａ／Ｄ変換部１８２と、フィルタ部１８３と、圧縮部１８４と、設定部１８１とを有する。これらの各機能は、それぞれ対応する処理回路により構成することができる。また、ＤＳＰ（ディジタルシグナルプロセッサ）を用いて処理することもできる。さらに、これらの一部または全部を、コンピュータにより実現する構成としてもよい。
【００５５】
Ａ／Ｄ変換部１８２は、画像センサ１６４から得られるアナログの画像データをデジタルデータに変換する。変換されたデータは、フィルタ部１８３に入力される。
【００５６】
フィルタ部１８３は、入力データについてノイズ低減、ひずみ補正等の処理を行う。このフィルタ部１８３は、具体的には、例えば、各種のハイパスフィルタ、ローパスフィルタなどのフィルタ処理を施して、ノイズ低減、画像エッジ強調等を行う画像フィルタリング処理機能、および、像の歪み等を補正する幾何補正を行う補正フィルタリング処理機能を有する。フィルタ係数は、設定部１８１により設定される。統括制御装置１１０が検査制御装置１５０に伝達する検査情報内には、フィルタ係数に関する情報が含まれている。この情報は、検査制御装置１５０から制御信号（図中点線）により与えられ、設定部１８１を介してフィルタ設定信号１８１ａとしてフィルタ部１８３に設定される。
【００５７】
圧縮部１８４は、フィルタ部１８３においてフィルタ処理された画像データを圧縮処理する。画像圧縮の際に必要となるパラメータ、例えば、圧縮率のパラメータは、フィルタ係数と同様に、検査情報に含まれている。このパラメータは、検査制御装置１５０から与えられ（図中点線）、圧縮パラメータ設定信号１８１ｂを通じて圧縮部１８４に設定される。画像データは、設定された圧縮率で圧縮された後に送受信装置１９０に送出される。
【００５８】
送受信装置１９０は、画像検出装置１００から情報伝送システム３００を通じてデータを送受信する処理を行う。図７に、送受信装置１９０の中のデータ送信に関わる機能を、図８に、データ受信に関わる機能をそれぞれ示す。
【００５９】
送受信装置１９０は、図７に示すように、前処理装置１８０から入力されるデータと識別子データとを統合する識別子統合部１９１と、統合されたデータを暗号化する処理を行う暗号部１９２と、暗号化されたデータを送出する送出部１９３とを有する。
【００６０】
識別子統合部１９１は、前処理装置１８０から入力されるデータと、統括制御装置１１０から得られる２つの識別子データとを統合する。識別子統合部１９１において用いられる二つの識別子のうち一つは、記憶装置１４０のデータ種識別子ファイル１４７に記憶されているデータ種識別子（第一の識別子）１４７１（図１１参照）であり、他の一つは、統括制御装置１１０から渡される検査に関する情報（第二の識別子）である。これらの識別子が識別子統合部１９１で統合される。ここで、第二の識別子は、検査の内容を特徴付ける情報を含む、検査に関する情報であって、検査品情報ファイル１４３に格納される検査品情報、および、検査情報ファイル１４４に格納される検査情報の他、自識別子ファイル１４１ａに格納される自識別子が含まれる。
【００６１】
このように、第一の識別子および第２の識別子の、２種の識別子と、画像データとを統合することで、検査品の品種名等の検査品を特定する情報と、検査品の名称、検査エリア、撮像条件、前処理条件の内容等検査の仕様を特定する情報等と、検出された画像データとがひとかたまりのデータとして扱われることになる。
【００６２】
また、検査情報取得要求を行う際には、識別子統合部１９１において、記憶装置１４０内のデータ種識別子ファイル１４７（図１８、図１１）を参照し、当該データが検査情報取得要求データであることを示す第一の識別子と、記憶装置１４０に格納してある検査品情報を含む第二の識別子が統合される。
【００６３】
暗号部１９２における暗号処理に必要な鍵情報は、図１８に示す記憶装置１４０の情報処理装置識別子−暗号鍵対応表ファイル１４２に記憶されている。鍵情報は、統括制御装置１１０を経由して暗号部１９２に送られる。なお、アプリケーションにより、暗号処理が必要ない場合には検査制御装置１５０から与えられる制御信号（図中点線）による指示により暗号処理を行わないことも可能である。
【００６４】
送出部１９３は、送信元である自画像検出装置１００の識別子と共に、暗号化されたデータを送信先である情報処理装置２００に対して送出する。送出部１９３において送出する自画像検出装置１００の識別子と送信先のアドレスとは、統括制御装置１１０を経由して記憶装置１４０の自識別子ファイル１４１ａおよび送信先アドレスファイル１４１ｂにより与えられる。
【００６５】
送受信装置１９０は、図８に示すように、受信機能として、データを受信する受信部１９４と、受信した暗号を復号化する復号化部１９５と、受信データに含まれる識別氏の認識を行う識別子認識部１９６とを有する。
【００６６】
受信部１９４は、データを受信し、復号化部１９５に渡す機能を有する。なお、暗号化されていない場合には、識別子認識部１９６に受信データを渡す。復号化部１９５は、認識された識別子に関連づけられた暗号鍵情報を、統括制御装置１１０を通じて記憶装置１４０の情報処理装置識別子‐暗号鍵対応表ファイル１４２から読み出し、復号化部１９５において復号化する。識別子認識部１９６は、送信元である情報処理装置２００の識別子の認識を行う。受信データから取得したデータ種識別子と、統括制御装置１１０を通じて記憶装置１４０から取得した図１１に示すデータ種識別子格納ファイル１４７に格納される情報とを比較する。識別子認識部１９６は、受信した識別子に対応するデータの種類が認識すると、記憶装置１４０における当該データの種類に対応するファイルに当該データを送る。例えば、データの種類が、例えば、検査結果と特定された場合、送付されたデータ（検査結果）と、検査情報とを、共に記憶装置１４０内の検査結果格納ファイル１４５（図１８）に格納する。
【００６７】
ここで述べた送受信装置１９０は、独立した装置として構成されている。しかし、送受信装置１９０のうちの一部について、統括制御装置１１０により実現される機能により構成してもよい。例えば、識別子統合部１９１および識別子認識部１９６について、さらには、暗号部１９２および復号化部１９５について、統括制御装置１１０において実現する構成としてもよい。
【００６８】
（情報処理装置２００）
図３は、情報処理装置２００のシステム構成をより具体的に説明する図である。図３に示すように、情報処理装置２００は、全体の動作を制御すると共に、各種情報処理を行う統括制御装置２１０、キーボード、マウス等の外部からの入力操作を受け付ける入力装置２２０と、情報を外部に出力する出力装置２３０と、統括制御装置２１０が実行するプログラムが格納されると共に、当該情報処理装置における処理に用いられる各種情報を記憶する統括制御用記憶装置２４０と、ＣＤ−ＲＯＭ等のデータを記録した記録媒体からプログラム等のデータを読み取る記録媒体読取装置２０１とを有する。ここで、統括制御用記憶装置２４０は、後述する他の装置と共に、バス２０９を介して統括制御装置２１０に接続される。なお、統括制御用記憶装置２４０を、他の装置とは別に、専用バス（図示せず）を介して統括制御装置２１０と接続する構成としてもよい。
【００６９】
また、情報処理装置２００は、送受信装置２９０と、検査処理装置２５１と、検査条件発生装置２５５と、画像格納用記憶装置２６０と、画像格納用記憶装置２６０と、検査処理情報格納用記憶装置２７０と、検査結果格納用記憶装置２８０とを、さらに有する。ここで、送受信装置２９０は、情報処理装置２００が情報伝送システム３００を介してデータを送受信するための装置である。検査処理装置２５１は、欠陥検査、出来映え検査等の検査結果についての演算処理を行う装置である。検査条件発生装置２５５は、画像検出装置１００における撮像のための条件を生成するとともに、前処理装置１８０に与えるパラメータ等を生成するための装置である。画像格納用記憶装置２６０は、画像検出装置１００から転送される画像を格納する記憶装置である。検査処理情報格納用記憶装置２７０は、検査処理装置２５１における処理に用いるプログラム、処理条件等を格納する記憶装置である。検査結果格納用記憶装置２８０は、検査処理装置２５１における処理結果を格納する記憶装置である。
【００７０】
画像格納用記憶装置２６０、検査処理情報格納用記憶装置２７０、検査結果格納用記憶装置２８０、統括制御用記憶装置２４０は、それぞれ独立の記憶装置、例えば、ハードディスク装置により構成される。ただし、これらは、単一のハードディスク装置の異なるエリアに格納される構成とすることができる。また、複数のハードディスク装置を配置したディスクアレイ等に分散して記憶される構成としてもよい。さらに、統括制御用記憶装置２４０は、情報処理装置２００に内蔵のハードディスク装置とすることもできる。
【００７１】
画像格納用記憶装置２６０、検査処理情報格納用記憶装置２７０、検査結果格納用記憶装置２８０、統括制御用記憶装置２４０に記憶される内容は、それぞれ、図１９、図１５、図２２、図２１に模式的に示すデータ構造によってそれぞれデータを格納する。
【００７２】
統括制御用記憶装置２４０には、図２１に模式的に示すように、当該情報処理装置２００を識別するための自識別子を格納する自識別子ファイル２４１と、画像検出装置の識別子とそこからの暗号データを解読するための暗号鍵の組み合わせデータが、図２１に模式的に示されるように、画像検出装置の識別子と暗号鍵番号とが、画像検出装置識別子‐対応表ファイル２４２に記録されている。また、統括制御用記憶装置２４０には、図１１に示すものと同様の、送受信されるデータの内容１４７２と、これに対応するデータ種識別子１４７１とを格納するデータ種識別子ファイル２４３が記録されている。
【００７３】
画像格納用記憶装置２６０には、図１９に模式的に示すように、各画像検出装置１００により検査のために撮像された検査画像を格納する検査画像ファイル２６１と、撮像条件を設定するために撮像された画像を格納する撮像条件設定用画像ファイル２６２とを有する。検査画像ファイル２６１には、レコード番号と、レコード番号対応に、各検査対象品を特定する検査品ＩＤを示す製品情報、検査対象となる検査対象の工程を示す工程情報、撮像日時、および、検査を行うべき画像検出装置を特定する画像検出装置ＩＤと、それらに対応して、どのような条件で撮像をすべきかを特定した、検査に関する仕様、および、検査結果の処理の仕様を示す情報とが格納される。ここで、検査に関する仕様、検査結果の処理に関する使用を示す情報としては、例えば、画像を取得する際の撮影条件、画像データについて施す前処理条件等が含まれる。撮像条件設定用画像ファイル２６２には、前述した検査画像ファイル２６１と同様のデータが格納される。ただし、この撮像条件設定用画像ファイル２６２には、検査対象について取得した画像が格納されるのではなく、検査条件を設定するための比較用の画像が格納される。
【００７４】
検査処理情報格納用記憶装置２７０には、図１５に示すとおり、検査情報を格納する検査情報ファイル２７１、処理プログラム等を格納する検査プログラムファイル２７２、参照データを格納する参照データファイル２７３、画質評価項目を格納する画質評価項目ファイル２７４と、画質評価項目と撮像条件との対応関係を示す「画質評価項目‐撮像条件」のデータを格納する画質評価項目‐撮像条件ファイル２７５と、ダミーパターンについての検査結果であるダミーデータに対する検査結果基準を示す「ダミーデータ‐検査結果基準」を格納するダミーデータ‐検査結果基準ファイル２７６と、を有する。
【００７５】
検査情報ファイル２７１には、検査情報として、レコード番号と、レコード番号対応に、各検査対象品を特定する検査品ＩＤを示す製品情報、検査対象となる検査対象の工程を示す工程情報、および、検査を行うべき画像検出装置を特定する画像検出装置ＩＤと、それらに対応して、どのような条件で撮像をすべきかを特定した、検査に関する仕様、および、検査結果の処理の仕様を示す情報とが格納される。ここで、検査に関する仕様、検査結果の処理に関する使用を示す情報としては、例えば、画像を取得する際の撮影条件、画像データについて施す前処理条件、検査処理条件、検査対象における検査領域を特定する情報である検査エリア等が含まれる。なお、ここでは、検査方式について示されていない。それは、本実施形態の情報処理装置２００では、画像検出装置を特定することで、検査方式を特定することとなっているためである。
【００７６】
検査プログラムファイル２７２には、検査対象となる検査品ＩＤを示す製品情報と、検査が行われる工程を示す工程情報と、これらに対応する、検査処理装置２５１における処理に必要となる処理プログラムとが格納される。検査処理装置２５１により行われる処理としては、例えば、欠陥判定処理、出来映え検査処理等の処理が挙げられる。
【００７７】
参照データファイル２７３には、検査対象となる検査品ＩＤを示す製品情報と、検査が行われる工程を示す工程情報と、これらに対応する、検査処理装置２５１における処理の際参照される参照データとが格納される。参照データとしては、処理の際の条件情報が挙げられる。この種の情報としては、例えば、画像処理においてよく行われる２値化処理のしきい値などのような処理パラメータの他、欠陥判定の際に比較データとして用いる設計データ、良品画像データ等が含まれる。
【００７８】
具体的には、参照データファイル２７３には、例えば、設計ＣＡＤデータ、良品画像データ、処理パラメータ等のデータタイプを特定する情報と、データタイプに対応する具体的なデータとが格納される。例えば、設計データならば、予め記録媒体読取装置２０１を通じて、ＣＤ−Ｒなどの記憶媒体に記憶させた情報を読み取って、参照データファイル２７３に格納することができる。また、情報伝送システム３００を通じて、他の拠点、例えば、製品の設計拠点などから設計データを配信してもらい、それを参照データファイル２７３に格納してもよい。さらに、良品画像データの取得方式としては、あらかじめ欠陥がまったく存在しないとわかっている製品の画像データ画像検出装置１００により取得し、その結果を、送受信装置２９０を介して受信して、参照データファイル２７３に格納することが考えられる。
【００７９】
画質評価項目ファイル２７４には、レコード番号と、各レコード対応に、画質を評価する各種評価値を有する画質評価項目、それらの値の許容領域のデータ、および、それらの評価項目を計算するための撮像条件調整用評価プログラム（以下評価プログラム）が格納されている。画質評価項目としては、例えば、階調平均値、階調分散値等が格納される。許容範囲としては、階調平均値に対応して±５、階調分散値に対応して±１０が格納される。評価プログラムとしては、階調平均値等の平均値を求める項目について平均算出プログラム、階調分散値等の分散値を求める項目について分散算出プログラムが格納される。
【００８０】
画質評価項目‐撮像条件ファイル２７５には、レコード番号と、レコード番号対応に、画質評価項目を特定する画質評価項目ＩＤ、そのＩＤに対応する撮像条件、撮像条件が変動することに対応する画質評価項目の変化を示す撮像条件の変動、および、各画質評価項目の優先順位とが格納されている。
【００８１】
ダミーデータ‐検査結果基準ファイル２７６には、各画像検出装置１００における画像検出性能を検定するための検査に用いる複数種のダミーデータが格納されている。ダミーデータには、例えば、複数種のダミーデータを識別するためのダミーデータＩＤと、処理結果に相当する欠陥数、欠陥種、欠陥位置および欠陥サイズとが格納されている。
【００８２】
検査結果格納用記憶装置２８０は、図２２に模式的に示すように、検査結果の情報を格納する検査結果ファイル２８１を有する。検査結果ファイル２８１には、検査結果として、レコード番号と、これに対応して、製品を特定する製品名、工程名、検査日時、検査エリア、欠陥数、欠陥種、および、各欠陥点の位置と種類をそれぞれ示す情報とが格納される。
【００８３】
検査処理装置２５１は、例えば、統括制御装置２１０からの指示に従い、欠陥判定処理や出来映え判定処理などの検査処理を行う。ここで行われる処理は、例えば、検査対象のどこの位置にゴミや傷などがあるかという位置情報を求める処理、検出された欠陥がどのようなタイプの欠陥（例えば、明るい色のゴミ、深いキズなど）であるかを分類する処理、また、予め決められた位置において、例えば、配線幅などの検査対象部位の寸法計測を行って、それが基準値に対してどれだけ離れているか、またそれが不良と見なすべき程度の差であるのか否かの判定を行う処理である。
【００８４】
検査処理装置２５１は、計算処理に好適なプロセッサにより構成され検査プログラムファイル２７２に格納される処理プログラムにしたがって各種演算等の情報処理を実行する。具体的には、検査処理装置２５１は、統括制御装置２１０からの指示に従い、欠陥判定処理、出来映え判定処理などの検査処理を行う。ここで行われる処理は、例えば、検査対象のどこの位置にゴミや傷などがあるかという位置情報を求める処理、検出された欠陥がどのようなタイプの欠陥（例えば、明るい色のゴミ、深いキズなど）であるかを分類する処理、また、予め決められた位置において、例えば、配線幅などの検査対象部位の寸法計測を行って、それが基準値に対してどれだけ離れているか、またそれが不良と見なすべき程度の差であるのか否かの判定を行う処理である。
【００８５】
検査処理装置２５１は、検査処理が終わるとその結果を検査結果格納用記憶装置２８０（図２２）にバス２０９を介して送り、記憶させる。また、終了した旨を統括制御装置２１０に通知する。
【００８６】
検査条件発生装置２５５は、各画像に対し評価プログラムを使用して各評価項目の値を計算し、その結果に基づいて検査条件を生成する。すなわち、各画像検出装置１００から取得する画像についてそれぞれ評価し、その評価結果に基づいて、対応する画像検出装置における検査条件として、例えば、撮像条件、前処理条件等に関する制御条件を設定する。そして、再度、画像を取得して評価を行い、その結果に基づいて制御条件を再設定する。そして、取得した画像の評価結果が予め定めた許容範囲に達するまで、この処理を繰り返す。このようにすることにより、複数の画像検出装置の性能が異なる場合に、それぞれの装置について、それらにより取得される画像の品質をそれぞれ一定の許容範囲に収めることを可能とする。また、同一機種の画像検査装置であっても、機差による取得できる画像の品質が異なることがあり得る。この場合にも、機差を吸収して、各画像検出装置から得られる画像の品質を予め定めた許容範囲内に納めることが可能となる。その結果、多種多様な画像検出装置が存在する場合でも、対商品の評価を、統一的に、客観的に、かつ、正確に行うことが可能となる。このため、得られた検査結果が普遍性を持つため、その検査結果を用いて、統一的に品質管理等を行うことが可能となる。また、生産会社の製品の品質レベルを客観的に評価することが可能となる。
【００８７】
ここで、検査条件発生装置２５５は、画像の評価のため、例えば、画面全体の階調平均値、階調分散値などを計算する。これらの情報は、図１４に示すように、ユーザに対し出力してもよい。そして、各画像検出装置１００からの画像の評価項目値を比較し、それらが同一となる方向に撮像条件を設定するための内容を、検査処理情報格納用記憶装置２７０の画質評価項目‐撮像条件ファイル２７５に格納される画質評価項目‐撮像条件の対応関係から求める。通常の場合、一つの評価項目に対する撮像について設定すべき制御条件は複数ある。この場合、画質評価項目‐撮像条件ファイル２７５に予め格納された優先順位に従って、設定すべき制御条件を選択し、その条件に対して新たな値を設定する。
【００８８】
検査条件発生装置２５５は、新たな制御条件値と制御条件を送信する画像検出装置の識別子を、統括制御装置２１０に対して送付し、統括制御装置２１０が該当する画像検出装置に新たな撮像条件値を送信する。また、検査条件発生装置２５５は、前述した画像評価と検査条件の設定を、画像検出装置から得られる画像の品質が予め定めた許容範囲内に収まるまで繰り返す機能を有する。検査条件発生装置２５５は、制御条件が最終的に決定されると、それに基づく撮像条件として、情報処理装置２００内の検査処理情報格納用記憶装置２７０内に格納され、出力装置２３０のスクリーンに撮像条件設定終了の旨が表示される。
【００８９】
なお、上記の例では、いくつかの評価項目の値を用いて画質を評価する例を示している。しかし、各画像検出装置間の差を評価する指標としては、欠陥検査や出来映え検査の結果そのものであってもよい。例えば、撮像のために用いたダミー検査対象については、その期待される検査結果や測定結果を求めることができる。そこで、それらのデータをあらかじめ情報処理装置２００の検査処理情報格納用記憶装置２７０のダミーデータ‐検査結果基準ファイル２７６に格納しておき、このデータと各画像検出装置１００からの画像データに対する処理結果とを比較することにより、各画像検出装置１００から得られた画像の品質の違いを把握することができる。
【００９０】
（外観検査処理手順）
次に、本発明に係る外観検査システムにおいて、製品の外観検査を行う際の手順について説明する。ついで、検査の手順の概要と、システムの動作および検査方法とについてについて説明する。説明際し、外観検査に伴う表示に関し、画像検出装置１００において行われる表示、および、情報処理装置２００において行われる表示について、図５、図１２、図１４、図１６および図１７を参照して説明する。
【００９１】
統括制御装置１１０は、取得した情報、例えば、取得した画像、画像の画質評価結果、対象についての検査結果等を、出力装置１３０により出力する処理を行う。出力装置１３０がディスプレイである場合に、例えば、図５および図１２に示すような画面を、そのスクリーン上に表示させる。このために、図示していないが、出力装置１３０のスクリーン上に、メニュー枠を設けて、検査情報その他の情報の表示に対する指示を受け付けるようにすることができる。印刷指示を受け付けることができるようにして、プリンタにより印刷出力することを可能とする。
【００９２】
また、統括制御装置２１０は、同様に、取得した情報、例えば、取得した画像、画像の画質評価結果、対象についての検査結果等を、出力装置２３０により出力する処理を行う。出力装置２３０がディスプレイである場合に、例えば、図１４、図１６および図１７に示すような画面を、そのスクリーン上に表示させる。このために、図示していないが、出力装置２３０のスクリーン上に、メニュー枠を設けて、検査情報その他の情報の表示に対する指示を受け付けるようにすることができる。印刷指示を受け付けることができるようにして、プリンタにより印刷出力することを可能とする。
【００９３】
次に、本発明の検査システムの動作について説明する。まず、手順の概要について、図４を参照して説明する。ついで、他の図を参照して、さらに詳細に説明する。
【００９４】
図４において、左側に画像検出装置１００における処理手順を、右側に情報処理装置２００における処理手順を示す。
【００９５】
画像検出装置１００は、まず、検査対象Ｗを撮像装置１６０のステージ１６２に載置することを促す表示を出力装置１３０のスクリーンに表示する（Ｓ１１１１）。また、オペレータによる、検査対象製品の名称、その製品の製造工程が多数の工程からなる場合にはその製品対象の製造工程名称等の検査品情報を指定についての入力を、入力装置１２０を通じて受け付ける（Ｓ１１１２）。この検査品情報は、必ずしも入力装置１２０を経て入力される必要はなく、例えば、製品自体に検査品に関する情報が表示されている場合には、該当部を撮像した結果を画像センサ１６４から得て、その画像を解析して情報を得てもよい。検査品情報を入力装置１２０から受け取るか、検査対象Ｗから読み取るかについては、予め設定しておく。画像から読み取る場合には、そのためのプログラム、例えば、文字認識処理プログラムを予め用意しておく。
【００９６】
さらに、統括制御装置１１０は、入力装置１２０から受け取った、検査すべき製品を特定する検査品情報を記憶装置１４０（図１８参照）の検査品情報ファイル１４３に格納する。その後、画像検出をする際に必要となる「検査情報」を取得するために、検査情報要求を、送受信装置１９０を通じて情報処理装置２００に対して行う（Ｓ１１１３）。検査情報要求を行う際には、送受信装置１９０は、記憶装置１４０内のデータ種識別子テーブル（図１１）を参照し、当該データが検査情報要求データであることを示す第一の識別子（図１１に示す例ではデータ種識別子Ａ）と、記憶装置１４０に格納してある検査品情報を含む第二の識別子とを統合する。送受信装置１９０は、統合したデータを送信する。前述したように、第二の識別子には、上述した検査対象の検査品情報の他、自画像検出装置を他と識別するための識別子（図１８中の自識別子）が含まれる。なお、送信するデータは、必要に応じて暗号化を行うこともできる、暗号処理を含めた送受信装置１９０におけるデータ送信時の具体的動作は、図７を参照して後に説明する。
【００９７】
検査情報取得要求を送信した後、画像検出装置１００は、情報処理装置２００からの受信待ち状態になる。一定時間の間に情報処理装置２００からの信号が受信できない場合は、統括制御装置１１０は、その旨を出力装置１３０のスクリーン上に表示させる。
【００９８】
情報処理装置２００では、送受信装置２９０がデータを受信する。統括制御装置２１０は、送受信装置２９０が受信したデータを取得し、その中の第一の識別子を解析することにより、それが検査情報取得要求であることを認識する（Ｓ２１１１）。また、第二の識別子を解析することにより、検査情報を検索するのに必要な検査品情報（検査品名称、工程名称等）を得る。その後、この検査品情報をキーとして検査処理情報格納用記憶装置２７０（図１５参照）を検索して、必要な検査情報を取得する（Ｓ２１１２）。その結果を、送受信装置２９０を通じて要求元の画像検出装置１００に送信する。
【００９９】
送受信装置２９０は、送信すべき検査情報と、本データが検査情報要求に対する返信である旨を定義する第一の識別子と、本データの送信元である情報処理装置２００を特定する第二の識別子とを統合して送信する（Ｓ２１１３）。なお、送受信されるデータについて、必要に応じて暗号化を行うこともでき、それを含め送受信装置２９０におけるデータ送受信の具体的動作については、図９、図１０を用いて後に説明する。
【０１００】
画像検出装置１００は、情報処理装置２００から送られた検査情報を送受信装置１９０により受信する（Ｓ１１１４）。送受信装置１９０におけるデータ受信の具体的動作については図８を用いて後に説明する。
【０１０１】
受信したデータの第一の識別子から本データが返送された検査情報であることを認識し、受信した検査情報を記憶装置１４０（図１８）の検査情報ファイル１４５に、現在検査しようとしている検査品の識別子と対応づけて格納すると共に、必要ならば、出力装置１３０のスクリーン上に表示する（Ｓ１１１５）。図５に表示の一例を示す。
【０１０２】
図５は、画像検出装置１００において、送受信装置１９０を介して受信した検査情報を、統括制御装置１１０により出力装置１３０の画面上に表示させた例を示している。
【０１０３】
検査製品表示部１３２０には検査品の外観図１３２１が表示されている。検査領域表示部１３２２（図中太線枠で表示）には、取得した検査情報から得た検査エリア情報が図示される。つまり、この場合は、検査品の全面を検査するわけではなく、検査領域表示部１３２２内の領域だけが検査されることを意味している。検査情報表示部１３３０には、検査情報に含まれる内容、例えば、前処理装置１８０の処理内容１３３１、照明装置１６３の位置１３３２、照明装置１６３のパワー値１３３３等が表示される。
【０１０４】
その後、統括制御装置１１０は、記憶装置１４０内の当該検査対象に関する、前述したような検査エリア、撮像条件等を示す検査情報を検査制御装置１５０に伝達する。また、統括制御装置１１０は、検査制御装置１５０には、検査情報として、フィルタ係数に関する情報、画像圧縮の際に必要となるパラメータ（例えば圧縮率）等が伝達される。圧縮率としては、例えば、図５に示すように、２０％等のパラメータが伝達される。
【０１０５】
検査制御装置１５０は、伝達された検査情報に基づいて照明装置１６３の位置、照明装置１６３の強度、前処理装置１８０の内容を設定し撮像を開始する。例えば、図５に示す例では、照明装置１６３の強度として光源の点灯電力を２０Ｗに設定する。また、照明位置を（Ｘ，Ｙ，Ｚ）の座標により指定する。また、検査制御装置１５０は検査情報を基に、ステージ移動の方向や移動範囲、移動速度などを制御する。
【０１０６】
次に、統括制御装置１１０は、検査の開始、すなわち、撮像の開始を検査制御装置１５０と前処理装置１８０に指示する（Ｓ１１１６）。この指示は、検査制御装置１５０による準備が整ったことを示す情報を受けったタイミングにより行う。
【０１０７】
検査制御装置１５０は、撮像装置１６０による検査対象Ｗについての撮像を開始する。すなわち、検査制御装置１５０は、検査領域表示部１３２２に示した領域の検査画像を画像センサ１６４で検出する。本例の場合、画像センサ１６４の位置を固定し、ステージ１６２を移動することにより検出領域全体の画像を得る。一方、画像センサ１６４は、検査対象Ｗからの反射光を受光して、画像を検出する。検出された画像は、前処理装置１８０に送られ前処理が行われる。
【０１０８】
前処理装置１８０では、画像データが、フィルタ部１８３においてフィルタ処理された後、圧縮部１８４において、伝達された圧縮パラメータに従って画像圧縮される。圧縮された画像データは、送受信装置１９０に送出される。送受信装置１９０は、画像データを、情報通信システム３００を経て情報処理装置２００に送出する（Ｓ１１１７）。
【０１０９】
情報処理装置２００の送受信装置２９０は、画像検出装置１００の送受信装置１９０から送出されたデータを、情報通信システム３００を介して受信する。統括制御装置２１０は、データを画像格納用記憶装置２６０内の検査画像ファイル２６１（図１９）に格納する（Ｓ２１１４）。
【０１１０】
統括制御装置２１０は、データ取得を終えると検査処理を実行する（Ｓ２１１５）。具体的には、受信した画像データの第二の識別子に含まれる検査情報から、検査対象品の品名・工程名を認識し、それをキーとして必要となる処理プログラムと処理のための条件情報を検査処理情報格納用記憶装置２７０（図１５）から読み出し、検査処理装置２５１に転送する。処理の条件情報とは、処理するのに必要となる条件、例えば画像処理においてよく行われる２値化処理のしきい値などのような処理パラメータの他、欠陥判定の際に比較データとして用いる設計データや良品画像データ等も含まれる。その後統括制御装置２１０は、検査すべき画像を画像格納用記憶装置２６０から呼び出し、検査処理装置２５１に転送し、画像処理開始を指示する。
【０１１１】
検査処理装置２５１は、統括制御装置２１０からの指示に従い、欠陥判定処理、出来映え判定処理などの検査処理を行う。すなわち、検査対象のどこの位置にゴミや傷などがあるかという位置情報を求める処理、検出された欠陥がどのようなタイプの欠陥（例えば、明るい色のゴミ、深いキズなど）であるかを分類する処理、予め決められた位置において、例えば、配線幅などの検査対象部位の寸法計測を行って、それが基準値に対してどれだけ離れているかについての判定処理、また、それが不良と見なすべき程度の差であるのかの判定処理を行う。
【０１１２】
検査処理装置２５１は、検査処理が終わると、その結果を検査結果格納用記憶装置２８０（図２２）に格納する処理を行う。終了した旨を統括制御装置２１０に通知する。統括制御装置２１０は、検査処理の通知を受けて、検査結果を、送受信装置２９０を通じてその検査画像を送出してきた画像検出装置１００に返送する（Ｓ２１１６）。
【０１１３】
画像検出装置１００は、情報通信システムを介して送られるデータを送受信装置１９０により受信する。統括制御装置１００は、送付された検査結果と検査情報とを共に記憶装置１４０内の検査結果格納ファイル１４５（図１８）に格納する。また、統括制御装置１１０は、必要に応じて、検査結果を出力装置１３０のスクリーン上に表示させる（Ｓ１１１９）。
【０１１４】
図１２は、検査結果の表示の一例を示したものである。図５に示す検査情報の表示画面に、処理条件表示部１３４０と処理結果表示部１３５０が追加表示されている。処理条件表示部１３４０には、検査情報から取得した、検査処理に使われたパラメータ値が表示され、処理結果表示部１３５０には、検査結果から取得した検出された欠陥の位置を示す欠陥マップ表示部１３５１と、欠陥の数、種類などを表示する欠陥データ表示部１３５２とが表示されている。欠陥マップ表示部１３５１では、検査した領域内のどの位置にどの欠陥が存在しているかを示すための欠陥種毎に異なる模様（図１２中、例えば、円、ひし形の各図形により表記している）により、各欠陥の存在する位置が表示される。欠陥データ表示部１３５２では、発見された欠陥の種類、欠陥数（例えば、欠陥種毎またはトータルの欠陥数）等が表示される。
【０１１５】
次に、画像検出装置１００と情報処理装置２００との間で行われるデータの送受信についてさらに説明する。
【０１１６】
まず、図７を参照して、送受信装置１９０のデータ送信処理について説明する。識別子統合部１９１は、前処理装置１８０から入力されるデータを、統括制御装置１１０から得られる２つの識別子データと統合する。すなわち、第一の識別子データである、記憶装置１４０に記憶されているデータ種情報（図１１）と、第二の識別子である、記憶装置１４０に記憶されている検査品情報および検査情報とを統合する。データ種情報は、記憶装置１４０内に図１１に示す様なテーブル形式で記憶されている。このように、２種の識別子と画像データを統合することで、検査品の名称、検査領域、撮像条件、前処理条件の内容等と、検出された画像データがひとかたまりのデータとして扱われることになる。
【０１１７】
次に、暗号部１９２において前記画像データについて暗号処理を行う。暗号処理を行う際に必要となる鍵情報は、図１８に示す記憶装置１４０の情報処理装置識別子‐暗号対応表ファイル１４２に記憶されている。暗号部１９２は、統括制御装置１１０を経由して前記鍵情報を取得する。なお、アプリケーションにより、暗号処理が必要ない場合には、検査制御装置１５０から与えられる制御信号（図中点線）による指示により暗号処理を行わないことも可能である。
【０１１８】
次に、暗号化されたデータは、送出部１９３において、送信元である自画像検出装置の識別子と共に、暗号化したデータを送信先である情報処理装置に対して送出する。自画像検出装置の識別子と送信先のアドレスは、統括制御装置１１０を経由して記憶装置１４０から与えられる。なお、撮像を行う前に行われる、画像検出装置１００からの検査情報要求手続きでは、図１１に示すデータ種識別子を第一の識別子として、統括制御装置１１０から渡される検査情報が第二の識別子として識別子識別子統合部１９１で統合され、その後、暗号部１９２で暗号化され、送出部１９３から、送信元である自画像検出装置の識別子と共に、情報処理装置２００に送信される。
【０１１９】
なお、ここまで説明した例では、画像検出装置１００において検出した画像全てを情報処理装置２００で取得した後に検査処理を開始するものとしているが、それに限定されることはない。例えば、検出した画像が大量である場合、画像データ取得に時間がかかる場合などは、検出データを複数の部分データに分割し、その部分データ毎に画像データを画像検出装置１００から情報処理装置２００に送信し、その部分データを単位として処理を行えばよい。その際には、各部分データがデータ全体の中の何番目であるかを識別するデータがデータ転送で使われる識別子に加えられる。
【０１２０】
図９は、情報処理装置２００の送受信装置２９０のデータ受信に関わる部位の構成および機能を説明した図である。データは送受信装置２９０の受信部２９１において受信され、そのデータの識別子からデータの送信元が特定される。次に、復号化部２９２においてデータの復号化処理が行われる。統括制御装置２１０に対し、データ送信元の識別子を送出し、暗号解読に必要な鍵情報の取得をリクエストする。統括制御装置２１０はリクエストを受け付けると、統括制御用記憶装置２４０を検索し、暗号鍵の情報を得て、復号化部２９２に返答する。復号化部２９２では、受信した暗号鍵を用いて暗号化されているデータを復号化しそれを識別子認識部２９３に伝える。識別子認識部２９３では、復号化されたデータに含まれる第一の識別子から、当該データが検査画像データであることを認識する。図１１に示すデータ識別子の一覧表は、情報処理装置２００の統括制御用記憶装置２４０（図２１）にも記憶されており、このデータと受信したデータ種識別子とを比較することで、データ種を認識できる。本例においては、データ種識別子は、図１１の表中の“Ｂ”であり、画像検出装置で検出された検出画像であることを認識される。その後、当該データが検査画像データである旨を示す情報と、データ（第二の識別子と画像データ）とが統括制御装置２１０に転送される。
【０１２１】
図１０は、送受信装置２９０のデータ送信に関わる部位の構成および機能を説明した図である。統括制御装置２１０は、返送すべき検査結果を識別子統合部２９４に伝達する。識別子統合部２９４では、受け取った検査結果に対し、統括制御用記憶装置２４０内のデータ種識別子（図１１）を第一の識別子とし、かつ、検査された画像データに対する検査情報を検査処理情報格納用記憶装置２７０から読み出して第二の識別子として統合し、統合されたデータを暗号部２９５に伝える。暗号部２９５では、統括制御装置２１０を通して統括制御用記憶装置２４０から送信相手である画像検出装置に対応づけられた暗号鍵情報を取得してデータを暗号化する。送出部２９６では、暗号化された情報に自情報処理装置の識別子情報（図２１）を付加し、送信相手の画像検出装置に対して送信する。
【０１２２】
なお、画像検出処理の前に行われる、画像検出装置１００から要求された検査情報を情報処理装置２００から返送する処理においては、識別子統合部２９４において、統括制御用記憶装置２４０から統括制御装置２１０を経由して得られた図１１に示すデータ種識別子と、検査処理情報格納用記憶装置２７０から得られた検査情報が統合される。その後、暗号部２９５において暗号化され、送出部２９６で、暗号化された情報に送信相手の識別子と自情報処理装置２００の識別子が付加されて、送信相手の画像検出装置に対し送信される。
【０１２３】
図８は、画像検出装置１００の送受信装置１９０のデータ受信に関わる部位の構成および機能を説明した図である。前記送出部２９６から送出されたデータは、受信部１９４において受信され、送信元である情報処理装置２００の識別子が認識される。そして、その識別子に関連づけられた暗号鍵情報を、統括制御装置１１０を通じて記憶装置１４０から読み出し、復号化部１９５において復号化する。その後、識別子認識部１９６において、そのデータから取得したデータ種識別子と統括制御装置１１０を通じて記憶装置１４０から取得した図１１に示すテーブル情報とを比較することでデータの種類（この場合検査結果）を特定し、送付された検査結果と検査情報とを共に記憶装置１４０内の検査結果格納ファイル１４５（図１８）に格納する。
【０１２４】
なお、画像検出処理の前に行われる、検査情報の要求に対する結果を受信した場合には、この識別子認識部１９６において、そのデータが検査情報の要求に対する返信データであることが認識され、記憶装置１４０内の所定の位置にデータが格納される。
【０１２５】
図１に示す、複数個の画像検出装置１００が情報伝送システム３００に接続されている外観検査システムにおいては、画像検出装置１００ごとに独立して、前述したシーケンスに従った画像検出が行われる。このため、生産現場内の様々な箇所に、それぞれの箇所に必要な性能を有する画像検出装置１００を配置し、各箇所において画像検出を行うことにより、検査を実行することができる。一方、情報処理装置２００については、生産現場以外の事務所などに設置する。これにより、従来の外観検査装置のように画像検出装置と欠陥検出を行う処理部を一体化した大型の装置を生産現場に配置する必要がなくなり、省スペース化が図れる。
【０１２６】
（画像検出装置の他の例）
図２に示す画像検出装置では、画像を光学的に撮像する場合について説明しているが、画像検出装置としては光学検出手段には限られない。撮像に電子線を用いることもできる。
【０１２７】
図２０にその一例を示す。図２０に示す画像検出装置は、電子線式画像検出装置である。この電子線式画像検出装置は、検査対象について撮像する機能を有する撮像装置系（１５０、１７０、１８０）と、撮像の制御、および、制御して得られた画像を情報処理装置２００に送るための制御を行う機能を有する制御装置系（１１０、１２０、１３０、１４０）と、送受信を行う送受信装置１９０とを有する。ここでは、撮像装置１７０が電子式であることにおいて前述したい実施形態と相違する。また、検査の条件、取得した画像の処理等において、光学式と電子式との相違があることはもちろんである。したがって、検査制御装置１５０、前処理装置１８０、総括制御装置１５０等の構成においてもそれに起因する相違がある。なお、他の構成については基本的には変わらない。
【０１２８】
電子式撮像装置１７０は、検査対象（試料）Ｍを収容する試料室１７１と、試料室１７１内に配置され、検査対象物Ｍを載置すると共に、ＸＹＺ方向に変位させるためのステージ（試料台）１７２と、試料に電子ビームを照明するための線源である電子銃１７３と、試料からの電子ビームを収束するための対物レンズ１７４と、電子ビームを偏向させて検査対象Ｗ上を２次元走査させる偏向レンズ１７５と、試料より発生する２次電子、反射電子を検出するセンサ１７６とを有する。
【０１２９】
電子線式画像検出装置では、電子銃１７３より放出した電子ビームが、対物レンズ１７４において収束され検査対象Ｗに照射される。照射位置を、偏向レンズ１７５により２次元走査することで、２次元に電子ビームが照射される。センサ１７６では、試料より発生する２次電子、反射電子等を検出する。センサ１７６において検出された画像は、前処理装置１８０に送られ前処理が行われる。
【０１３０】
なお、この後説明する実施例全てについて、光学式の画像検出装置を電子線式の画像検出装置に置き換えることが可能である。
【０１３１】
また、光学式画像検出装置において、照明の位置や照明の強度を制御することは、電子線式画像検出装置においては、電子ビームの加速電圧やビーム電流を制御することに対応する。
【０１３２】
（外観検査システムの撮像条件設定）
次に、図１に示す外観検査システムにおける、撮像条件設定の一例について説明する。複数の画像検出装置を用いて外観検査を行う時の課題の一つとして、機差ばらつきがある。これは同一の検査対象を複数の画像検出装置を用いて検査したときにおける検査結果のばらつきを意味する。画像検出装置によって検査性能が変化すると安定した検査性能が得られないおそれがある。従来の外観検査システムでは、複数の検査装置が、それぞれ画像検出装置と処理部とを一体化した構成になっている。そのため、各検査装置に撮像条件、処理パラメータなどの処理条件を設定する必要があり、その設定に労力を要していた。本発明では、前述したように、画像を検出する複数の画像検出装置と、それらからの検査結果を取得して処理する情報処理装置とを有する。すなわち、画像検出と、検出した画像の処理とを分離している。その結果、情報処理装置において、各画像検出装置から得られた画像を比較し、その質を揃えることで器差のばらつきの少ない外観検査システムを提供することができる。
【０１３３】
図１３は、情報処理装置２００と画像検出装置１００の制御信号発生処理動作のフローを示している。情報処理装置側のオペレータからの撮像条件制御を行う旨、すなわち、撮像条件調整リクエストが入力装置２２０を介して統括制御装置２１０に入力されると（Ｓ２２１１）、統括制御装置２１０は、情報伝送システム３００を介して接続されている各画像検出装置１００に対し、撮像制御のための画像信号を送出することを要求する（Ｓ２２１２）。具体的には、送受信装置２９０にその旨を伝え、識別子統合部２９４において、撮像制御のための画像信号を要求する旨のデータ種識別子を、統括制御用記憶装置２４０にある図１１に示すテーブルを参照して付加し、各画像検出装置に送信する。なお、以降の説明では、暗号部２９５における暗号処理などに関する詳細な説明は割愛するが、検査画像転送時に暗号化処理を行った場合と同様の手順で行えば良い。
【０１３４】
各画像検出装置１００では、上記データを受信すると（Ｓ１２１１）、そのデータ種識別子を解析することにより撮像制御のための画像要求を受信した旨を解釈し、統括制御装置１１０は、検査制御装置１５０に画像を撮像するための指示を出す（Ｓ１２１２）。撮像対象としては、あらかじめ、各試料室１６１内のステージ１６２上に配置しておいた、規定の材質やパターンが配置されたダミーの検査対象（図２には記載せず）を用いる方法がある。この場合、ステージ１６２上におけるダミー検査対象の位置情報は、記憶装置１４０のダミー検査パターン情報ファイル１４６（図１８参照）に記憶しておく。撮像時に、統括制御装置１１０がその位置情報と現在の撮像条件を読み出し、検査制御装置１５０に伝達することによって、このダミー部位の撮像を行う。検出された画像データは前処理装置１８０を経由し、送受信装置１９０に送られる。送受信部１９０の識別子識別子統合部１９１において、画像データに対し、撮像条件データと、撮像条件設定画像を返送する旨のデータ種識別子とが統合されたあと、暗号部１９２において暗号化がされ、送出部１９３において、自画像検出装置の識別子を付加して、情報処理装置２００に送信される（Ｓ１２１３）。
【０１３５】
情報処理装置２００側の送受信装置２９０が上記データを受信すると（Ｓ２２１３）、そのデータとそのデータが撮像条件設定用であるとの旨を統括制御装置２１０に伝達し、統括制御装置２１０は、そのデータを画像格納用記憶装置２６０に記憶する。統括制御装置２１０は、撮像設定画像をリクエストした全ての画像検出装置からの返信が得られた時点で、画像格納用記憶装置２６０内のデータ格納位置と撮像条件設定を行う旨を検査条件発生装置２５５に伝達する。
【０１３６】
検査条件発生装置２５５では、画像格納用記憶装置２６０内に記憶された各画像検出装置からの画像を取り出し撮像条件設定を行う（Ｓ２２１４）。検査条件発生装置２５５では、検査処理情報格納用記憶装置２７０に格納された、撮像条件調整用のプログラムを呼び出して画像評価処理を行うか、もしくは処理プログラムと処理パラメータを読み出し、各画像に対し欠陥検出処理や出来映え判定処理を行う。
【０１３７】
図１４は、出力装置２３０のスクリーン上に、画像検出装置からの検出画像を表示するための領域である検出画像表示部２３２０と、検出画像についての画像階調値のグラフを示す画像階調表示部２３３０と、検出画像についての評価を示す画像評価表示部２３４０とが表示される画面表示例を示す。
【０１３８】
図１４に示す例では、検出画像表示部２３２０に、同一の配線パターンに対する二つの画像検出装置１００＃１、１００＃２からの画像２３２１、２３２２を表示する。また、画像階調表示部２３３０に、その検出画像の１ライン断面における画像階調値を波形表示した例を示している。画像評価表示部２３４０に、評価項目２３４１に対する評価値２３４２が表示されている。図１４では、評価項目２３４１として、階調平均値と階調分散値とが表示されている。また、評価値２３４２には、前述した二つの画像検出装置１００＃１、１００＃２からの画像２３２１、２３２２に対応する評価値が表示されている。
【０１３９】
情報処理装置２００の検査処理情報格納用記憶装置２７０には、図１５に示すように、画質評価項目およびその値の許容領域のデータとその評価項目を計算するための撮像条件調整用評価プログラム（以下評価プログラム）と各撮像条件とその値を変化させた場合の画像評価項目との関係を示すデータとを保有している。検査条件発生装置２５５では、各画像に対し評価プログラムを使用して各評価項目の値を計算する。例えば、画面全体の階調平均値や階調分散値などを計算する。これらの情報は図１４に示すようにユーザに対し出力してもよい。そして各画像検出装置からの画像の評価項目値を比較しそれらが同一となる方向に制御すべき内容を検査処理情報格納用記憶装置２７０の画質評価項目と撮像条件との対応関係から求める。通常の場合一つの評価項目に対する制御条件は複数あるが、あらかじめ格納された優先順位に従って制御する条件を選択しその条件に対して新たな値を設定する。検査条件発生装置２５５は、新たな制御条件値と制御条件を送信する画像検出装置の識別子を、統括制御装置２１０に対して送付し、統括制御装置２１０が該当する画像検出装置１００に新たな撮像条件値を送信すると共に、その条件によって取得した画像の送信を要求する（Ｓ２２１５）。
【０１４０】
画像検出装置１００は、その情報を受信すると（Ｓ１２１４）、与えられた条件で再び撮像を行い（Ｓ１２１５）、その画像を情報処理装置２００に返送する（Ｓ１２１６）。
【０１４１】
情報処理装置２００では、画像を受信すると（Ｓ２２１６）、受信した画像データを検査条件発生装置２５５に送る。検査条件発生装置２５５では、前述の場合と同様に画質の評価項目を計算する。そして、各画像検出装置で撮像された各画像の評価項目が許容領域内にあるか否かを評価する（Ｓ２２１７）。これが許容領域に達するまで上記の動作を繰り返す。そして、検査条件発生装置２５５において、制御条件が最終的に決定されると、その撮像条件は、情報処理装置２００内の検査処理情報格納用記憶装置２７０内に格納され、出力装置２３０のスクリーンに撮像条件設定終了の旨が表示される（Ｓ２２１８）。
【０１４２】
なお、上記の例では、いくつかの評価項目の値を用いて画質を評価する例を示した。しかし、先にも述べたとおり、各画像検出装置間の差を評価する指標としては、欠陥検査や出来映え検査の結果であってもよい。例えば、撮像のために用いたダミー検査対象については、その期待される検査結果や測定結果を求めることができるので、それらのデータをあらかじめ情報処理装置２００の検査処理情報格納用記憶装置２７０に格納しておき、このデータと各画像検出装置からの画像データに対する処理結果とを比較することで、各画像検出装置から得られた像質の違いを把握することも可能である。
【０１４３】
次に、前処理装置１８０において必要となる処理パラメータの設定手順を説明する。上で述べた、情報処理装置２００における撮像制御条件の発生と同様の手順を用いることにより、前処理装置１８０における処理パラメータの発生も行うことができる。ここでは、前処理装置１８０における処理パラメータとしてノイズ除去フィルタ係数、幾何補正フィルタ係数、圧縮率を設定する場合の例を説明する。
【０１４４】
図１６は、上述した撮像制御信号発生のために各画像検出装置１００における画像を収集したのと同様のシーケンスにより各画像検出装置１００から取得した画像を表示した図を示している。本図では画像検出装置１００＃１で検出した画像（１）に比べて画像検出装置１００＃２で撮像した画像（２）のノイズ強度が強い例を示している。
【０１４５】
このような場合には、画像検出装置１００内の前処理装置１８０における処理パラメータを画像検出装置１００毎に調整することにより画像の質を揃えることが可能である。例えば、画像をフーリエ変換することにより周波数スペクトルを求め、高周波領域の信号強度を定量表現するといった手法により画像内のノイズ成分を調べ、それが同一になるようにノイズ低減フィルタのフィルタ係数を画像検出装置毎に計算する。フィルタ係数が決定されると、その値が、統括制御装置２１０を通じて検査処理情報格納用記憶装置２７０に記憶されると共に、画像検出装置１００に送信され記憶装置１４０に格納される。
【０１４６】
また、図１７は、画像検出装置毎で、撮像に用いるレンズの収差などにより生じる、格子パターン形状を撮像した際に生じるゆがみの程度が異なる場合の例を示している。ゆがみがないパタン（３）と比較してみて、画像検出装置１００＃１で撮像した結果（１）よりも、画像検出装置１００＃２で撮像した結果（２）の方が像のゆがみが大きい様子を示している。
【０１４７】
この場合においても、例えば、パタン（３）に対して各画像がどれだけゆがんでいるかを定量的に求め、それらを補正するための処理係数を計算し、それを、統括制御装置２１０を通じて検査処理情報格納用記憶装置２７０に記憶し、また、画像検出装置１００に送信する。画像検出装置１００では、前処理装置１８０のフィルタ部において、撮像データに対しこのフィルタ係数を用いた幾何補正が行われる。なお、撮像対象となる格子パターン形状を持つ試料は、撮像条件制御の時と同様、あらかじめダミー試料を試料室１６１に設置しておけばよい。
【０１４８】
また、前処理装置１８０に与えるその他のパラメータとしては、圧縮率を上げることができる。画像圧縮では、圧縮率つまり、圧縮前のデータと圧縮後のデータとの容量の比が重要なパラメータとなる。圧縮率を高めると画像データの容量は小さくなるが、圧縮処理により画像内の何らかの情報が破棄されてしまうため、欠陥判定や出来映え判定処理の結果に影響を与えかねない。一方、圧縮率が低い場合は、データを圧縮する意味が薄れてしまう。このため、検査条件発生装置２５５は、画像検出装置から送信された画像をいくつかの圧縮率で圧縮した画像を作成し、それぞれについて検査処理装置２５１において行った欠陥判定・出来映え判定処理結果を収集し、それをあらかじめ検査処理情報格納用記憶装置２７０に格納してあった基準結果と比較する。そこで比較結果が許容できる範囲の圧縮率を求めそれを、統括制御装置２１０を通じて検査処理情報格納用記憶装置２７０に記憶すると共に、画像検出装置１００に送信し、画像検出装置１００での前処理に用いる。このようにして、処理の内容に応じて適切な圧縮率を定義し、画像検出装置から転送される画像データの容量を低減させることができる。
【０１４９】
ここまで述べたのは、同一の製品、工程の検査対象を、複数の画像検出装置を用いて検査した際に、等しい検査性能で検査を行うことを目的とした、本外観検査システムの運用方法である。しかし、本発明はこれに限定されない。例えば、本外観検査システムの機構を用いると、さまざまな製品・工程にわたる多くの検査対象に対して、高い検査性能を達成しうる外観検査システムの構築が可能になる。
【０１５０】
ある生産ラインにおいて、生産される製品の品種、工程等が増加するにつれ、検査対象のバリエーションは増加する。ところが、各検査対象の欠陥、出来映えを検査するのに最適な撮像条件はすべて同じとは限らない。例えば、ある品種の検査には、特定の色（例えば赤）フィルタを通過させた照明を用いることが有利であることがある。また、特定の方向から照明光を当てたほうが欠陥顕在化に有利であることもある。そのため、各検査品、その工程に応じて撮像条件を変更して、画像を撮像する必要性が生じる。また、そのようにした場合には、撮像条件が変化したことにより、検出画像データに対して行う前処理装置１８０で用いるパラメータや、検査処理プログラム自体も変更する必要が生じる可能性もある。
【０１５１】
このような場合、本発明による外観検査システムでは、以下のように条件設定を行う。まず、画像検出装置１００のいずれか１つに検査対象を搭載する。情報処理装置２００の入力装置２２０もしくは、画像検出装置１００の入力装置１２０から入力されるユーザからの条件設定要求を情報処理装置２００の統括制御装置２１０が受けて、それを検査条件発生装置２５５に伝える。検査条件発生装置２５５では、検査対象が搭載された画像検出装置１００に対し、上述した制御情報設定時と同様の手順で画像取得を要求し、検査対象の撮像画像を画像検出装置から得る。その画像に対して、撮像条件、前処理のパラメータ、検査処理に用いるパラメータ（２値化しきい値等）の条件設定を行う。
【０１５２】
ここでの条件設定は、通常の場合、自動化することは難しく、入出力部からのオペレータの補助が必要となる。つまり、オペレータは、最適な検査結果が得られるように、試行錯誤しながら様々なパラメータを調整する。そして一度条件が確定すると、その条件を情報伝送システム３００で接続された他の画像検出装置１００に転送し、各画像検出装置からダミー対象を撮像した画像を要求する。各画像検出装置では、指定された撮像条件でダミー対象を撮像し、その画像を検査条件発生装置２５５に伝える。検査条件発生装置２５５では、先に機差ばらつきを減らすための条件設定法で述べた場合と同様の手法で、各画像検出装置１００の撮像条件を設定する。設定された条件は、検査処理情報格納用記憶装置２７０に格納される。本方式により、様々な製品、工程の検査対象に対しても、安定して検査が行えるような条件が設定される。
【０１５３】
（情報処理装置において用いられる計算機の構成）
次に、本発明に係る外観検査システムにおける、情報処理装置２００の計算機構成について説明する。情報処理装置２００の基本的なシステム構成は、図３に示すとおりである。ここでは、処理能力について検討する。
【０１５４】
情報処理装置２００では、複数の画像検出装置１００から送られる画像データを処理するため、高速な処理を行うことが必要とされる。一方、検査すべき速度は、検査すべき画像のデータと処理時間とによって決まる。検査において検出された画像データを処理するための装置として、検査処理装置２５１が設けられている。この検査処理装置２５１として、必要以上に高速な計算機を情報処理装置２００に配置するのも経済的でない。そこで、配置すべき計算機について、例えば、難題の計算機を配置するか等の、最適な構成を考える必要がある。
【０１５５】
ここで、外観検査を行う頻度として、製造現場で作られる製品の種類・量、検査を行うべき工程の数などを加味して求めた、ある一定期間（例えば１分とする）の検査頻度の平均値をＭとする。また、１回の外観検査で処理すべき画像数平均数をＶとする。この場合、１分間あたり、平均的にＭ×Ｖ［画素］のデータを処理する必要がある。ここで、情報処理装置２００における判定処理などに用いる検査処理装置を構成する計算機が並列コンピュータのようにその計算パワーを段階的に変更できるものとし、計算機の最小の１計算ユニット（例えば、並列数１の構成）で、１画素の処理に必要な処理時間の平均をＰ［秒］とする。このとき、Ｍ×Ｖ［画素］のデータを１分間で処理するためには、最低で（Ｍ×Ｖ×Ｐ）／６０個の計算ユニットが必要となる。なお、本試算では、並列数を増加したことによるオーバヘッドは考慮しておらず、並列数１から並列数２に計算機構成を変えた場合には、処理性能が２倍になると仮定している。この場合、情報処理装置２００に対し、（Ｍ×Ｖ×Ｐ）／６０個以上の計算ユニットを装備した並列コンピュータを用いることにより、情報処理装置２００が求める高速演算のために必要とする計算機を構成できることを意味する。
【０１５６】
上の試算により求めた計算ユニットの数は、平均的な検査頻度や画像量から試算したものである。このため、検査頻度や検出画像量の時間や製品種等によるばらつきが大きい。ある時点に処理すべき画像データ量が集中した場合などには計算パワーが不足するおそれがある。この場合は、情報処理装置２００に備える画像格納用記憶装置２６０等を十分に大容量とすることにより、全ての処理すべき画像データを格納し、その中から順に検査処理を行うことになる。このため、結果として、画像検出から結果出力までの間にいくらかのタイムラグが生じる。このタイムラグが厳しく制限される状況においては、上述したような平均的なデータ量から試算したパワーを持つ計算機では不十分で、最もデータ処理の要求が集中する時点において十分に処理を行えるほどの計算機パワーにする必要がある。そのような状況でない場合は、先に述べたとおり、平均的な量のデータを処理するに十分な数の計算機パワーで情報処理装置２００を構成すればよい。
【０１５７】
（品質評価システム）
次に、生産工場に対して大規模ネットワークを介して接続し、当該生産工場において生産される製品についての品質管理を行う品質評価システムについて説明する。品質管理の前提となる製品の検査については、各生産工場に所定の検査装置等が設置されるものとする。検査装置としては、例えば、前述した外観検査システムと同様の装置を用いることができる。また、前述した外観検査システムが設置されている場合には、当該外観検査システムの検査結果を利用することができる。
【０１５８】
図２３は、品質評価システムの一実施形態が適用される生産工場群と判定プログラム開発拠点とを示す。図２３において、プリント基板、半導体ウェハ等の製品を生産する生産工場４００と、判定プログラム開発拠点５００とが、大規模ネットワーク３９０を介して接続されている。図２４は上記判定プログラム開発拠点５００の構成を示している。
【０１５９】
判定プログラム開発拠点５００は、図２４に示すように、データ送受信のための送受信装置５９０と、判定プログラム、判定プログラムの実行において必要となるパラメータ等を計算するためのプログラム改定処理装置５３０と、キーボード、マウス、ディスプレイなど、判定プログラム開発拠点５００へのデータを入出力するための入出力装置５２０と、判定プログラム開発拠点における動作を統括する総括制御装置５１０と、入出力されるデータを記憶する記憶装置５４０とを備える。これらの各装置５１０、５２０、５３０および５４０は、バス５５０により接続される。
【０１６０】
記憶装置５４０には、図３８に示すように、当該判定プログラム開発拠点５００を特定する自識別子を格納する自識別子ファイル５４１と、各情報処理装置２００において使用される判定プログラム等が格納されるプログラム格納ファイル５４２と、各生産工場４００から送られてくるプログラム改定要求がリストとして格納されるプログラム改定要求リストファイル５４３とが記憶される。プログラム格納ファイル５４２には、プログラムＩＤと、製品名、工程名、画像データ、改定前のプログラム（従来プログラム）、および、改定後の新プログラムとが格納される。プログラム改定要求リストファイル５４３には、プログラム改定要求の対象となるプログラムを示すプログラムＩＤと、改定要求の日時が格納される。
【０１６１】
図２５は、生産工場４００の構成例を示している。生産ライン４１０は、製品の生産を行う現場である。製造で用いられる製造装置、製品の検査をする検査装置等が配備されている。それらは、ＬＡＮ等の内部通信手段であるネットワーク３００により情報処理装置２００に接続されている。ゲートウェイ３５０は、生産工場外部の大規模ネットワーク３９０とネットワーク３００とを接続するための装置である。
【０１６２】
この生産工場４００において複数種類の製品を製造していれば、その品種に応じて複数の生産ライン４１０が設けられていてもよいし、製品種が１つもしくは複数である場合に、その生産の工程毎に複数の生産ライン４１０が設けられていてもよい。また、生産量が小規模な場合では、生産ラインは１つでもよい。各生産ライン４１０には、製造工程での検査を行うための検査装置が装備されている。一例として、先に説明した本発明に係る外観検査システムの画像検出装置１００が１個以上各生産ライン４１０に設置されているものとする。
【０１６３】
情報処理装置２００は、例えば、図３に示す情報処理装置２００と構成が同一のものを用いることができる。各生産ライン４１０において検出された各種の検査画像、それらの検査画像を処理するためのプログラム、処理パラメータ等の処理条件、検査結果などが保存されている。また、判定プログラム開発拠点５００との通信機能を有する。判定プログラム開発拠点５００とのデータの送受信における、識別子付加の処理、および、暗号化処理は、画像検出装置１００と情報処理装置２００との間のデータ送受信時の処理と同様に行われる。
【０１６４】
（処理プログラムの改訂）
次に、本実施形態の品質評価システムにおける、処理プログラムの改訂処理について説明する。図２６は、そのフローを示している。
【０１６５】
先ず、情報処理装置２００内の入力装置２２０を通じて、オペレータによるプログラムの改訂指示の入力を受け付ける（Ｓ２３１１）。情報処理装置２００内の統括制御装置２１０は、プログラム改訂要求を受け付けると、改訂するプログラムを指定させるため、検査製品名や工程名やそれらについて実際に撮像した画像を出力装置２３０のスクリーンに表示して、オペレータに対し改訂するプログラムの指定を促す。その中からいずれかのプログラムについてのオペレータによる指定を受け付ける（Ｓ２３１２）。統括制御装置２１０は、プログラムが指定されると、検査処理情報格納用記憶装置２７０内に格納された、指定されたプログラム、および、その処理で必要な処理条件、画像格納用記憶装置２６０に指定された当該検査工程の画像を選択し、それらを判定プログラム開発拠点５００に送信する（Ｓ２３１３）。その際、送受信装置２９０の識別子統合部２９４において、プログラム改訂を要求する旨のデータ種識別子が統合される。
【０１６６】
処理プログラム開発拠点５００では、情報処理装置２００からのデータを受信し、受信したプログラム改定要求を、記憶装置５４０に格納されるプログラム改定要求リストファイル５４３のリストの中に追加する（Ｓ５１１１）。受信の処理に際して、送受信装置５９０において、データ種識別子の認識を行い、プログラム改訂要求が来た旨を認識すると共に、検出結果の画像データを含む、送付されたデータの復号化を行い、それらのデータを記憶装置５４０に格納する。また、同記憶装置５４０内のプログラム改定要求リストファイル５４３に当該要求を格納し、プログラム改定要求があった旨を、入出力装置５２０の表示画面に表示する。これにより、プログラム開発拠点５００のプログラマは、入出力装置５２０の表示画面上を参照することによりプログラム改訂の要求があったことを知ることができる。
【０１６７】
その後、プログラム改定処理装置５３０は、記憶装置５４０に記憶されたプログラム改定要求リストの中から任意の１つの選択を受け付けて、当該要求が示すプログラムＩＤに対応するプログラムをプログラム格納部ファイル５４２から読み出して、当該プログラムについて改訂する処理を行う（Ｓ５１１２）。この改訂作業では、情報処理装置２００から送られた画像を記憶装置５４０から選ぶ指示を受け付ける。その上で、それらについて情報処理装置により送られたプログラムで処理した検出結果に含まれる不具合点（例えば、見逃しや、虚報）について、その位置、態様等の不具合点を特定する情報の入力を受け付ける。プログラム改定処理装置５３０は、それらの不具合点を改良するため、新たなプログラムを開発する。例えば、判定のための基準、パラメータ等を変更して、不具合点が解消される条件を見つける処理を行う。その際、入出力装置５２０には、例えば、図３９に示すように、改定前のプログラムによる処理結果と、改定後の新たなプログラムによる処理結果や処理画像５２２０等と、プログラマの開発を容易にするための情報５２３０とが表示される。本図では、検査画像５２２１と、改定前のプログラムで処理した結果画像５２２２と、新たなプログラムで処理した結果画像５２２３と、それぞれのアルゴリズムでの検査結果表示部５２３０とが同一の画面上に表示されている。
【０１６８】
プログラム改定処理装置５３０は、プログラマによる入出力装置５２０からのプログラム改定の終了の指示を受け付け、その改訂された新プログラムを、記憶装置５４０のプログラム格納ファイル５４２に保存すると共に、総括制御装置５１０に対し、プログラム返送命令を送る。その命令を受けて総括制御装置５１０は、要求元である情報処理装置２００に対し、記憶装置５４０から読み出した改訂されたプログラムを、改定要求元の情報処理装置２００に返送する（Ｓ５１１３）。その際、送受信装置５９０は、当該データがプログラム返送である旨のデータ種識別子を統合し、また暗号化処理を行ってデータを送信する。
【０１６９】
情報処理装置２００は、受信したデータに対し、データ種識別子認識処理と復号化処理とを行い、送られたプログラムを検査処理情報格納用記憶装置２７０内の所定の位置に格納する（Ｓ２３１４）。
【０１７０】
このように、処理プログラムの改訂を、製造工場４００とプログラム開発拠点５００とを結ぶ大規模ネットワークを介して行うことにより、プログラム改訂のための時間を短縮することができる。また、データの流出、改竄等に対応するためのセキュリティ対策のため、ネットワーク上を電送されるプログラムや画像データには、暗号化処理が行われる。
【０１７１】
本例では、プログラムの改訂を行う手順を説明したが、プログラムのみならず、処理時に必要となる処理パラメータ等の設定をプログラム開発拠点で行い、情報処理装置に転送することも可能である。例えば、検査情報ファイル１４３に格納される撮像条件、前処理条件、検査処理条件等の条件変更の処理を行う。
【０１７２】
なお、図２５に示す生産工場の構成は、例えば、図２７に示すように、生産現場内に複数の生産ライン４１０があり、その生産ライン毎に情報処理装置２００を持つ形態であってもよい。この場合、複数個の情報処理装置２００のそれぞれにおいて、上で説明した手順によりプログラムの改訂が行われる。
【０１７３】
また、図２３に示した品質評価システムを実現する他の構成としては、図２８に示すように、情報処理装置２００を生産現場内でなく、大規模ネットワーク３９０に接続する形態も挙げられる。この形態においては、情報処理装置２００により、複数個の生産工場で検出される画像データに対して、欠陥判定、出来映え判定等の検査処理、さらに、制御条件発生処理などが行われる。
【０１７４】
前述したように、生産工場を大規模なネットワークに接続する場合は、生産工場は同一の国に限定される必要もなく、また、同一の企業に限定されることもない。但し、１つの情報処理装置において、複数の生産会社のデータをまとめて管理する場合には、画像データ、検査データが互いに他の企業に流出しないように、セキュリティを高める必要がある。例えば、情報処理装置内のデータ全てに対して、各企業からのアクセスを許可するか否かを示すアクセス情報を保持し、データへのアクセス要求があった際に、そのアクセス情報を参照し、アクセス元に対する許可が設定されている場合にのみ、データアクセスを許可する等の対応を行う。
【０１７５】
また、前述したプログラム規定拠点５００によるプログラム改定を有償により行うことができる。すなわち、プログラム改定ビジネスとしてプログラム改定を行うことができる。この場合、課金処理を付加する。課金は、例えば、プログラムの改定項目ごとの作業量を計数し、計数した改定作業量に、項目ごとに予め定めた単価を乗じた積を加算することによって算出することができる。これに、必要に応じて基本手数料等を加算することによって、徴収する金額を決定することができる。課金情報は、プログラム改定要求を基にネットワーク３９０を介して送られる。
【０１７６】
（品質評価システムの他の実施形態）
次に、本発明による品質評価システムの他の実施形態について図２９を参照して説明する。本実施形態では、プリント基板、半導体ウェハ等の製品を量産する複数個の生産工場４００と、品質評価を集中して行う品質評価拠点６００とが大規模ネットワーク３９０を介して接続されている。
【０１７７】
生産工場４００は、図２５および図２７に示すように、検査画像を検出する画像検出装置が配置された生産ライン４１０、検査画像を処理して欠陥判定、出来映え判定を行う情報処理装置２００等から構成されているものとする。
【０１７８】
なお、本実施形態では、画像検出装置と情報処理装置とは、図２５および図２７に示したように、切り離されて構成されている必要は必ずしもない。例えば、図３０に示すように、外観検査装置９００が内部ネットワーク３００に接続され、それらの検査装置９００での検査結果が検査サーバ７００に保存される構成としてもよい。
【０１７９】
また、検査サーバ７００に保管される検査結果は、これまで述べたような、外観検査装置による結果には限られない。例えば、電気的な検査結果であってもよい。その一例として、半導体チップ（ＬＳＩ）の製造工程での電気的な検査結果が挙げられる。すなわち、この工程では、製品完成後、チップの入力ピンと出力ピンに流れる電気信号の関係が仕様を満たしているかを調べ、その結果を基に、そのチップが良品であるか不良品であるかを判定する電気テストが行われる。前述した検査結果には、そのような電気テスト装置による結果を含めることもできる。
【０１８０】
図３１は、品質評価拠点６００の内部構成を示している。品質評価拠点６００は、データ送受信のための送受信装置６９０、様々な検査結果を用いて品質評価を行う評価処理装置６３０、キーボード、マウス、ディスプレイなど、品質評価拠点６００へのデータを入出力するための入出力装置６２０、動作を統括する統括制御装置６１０、入出力されるデータを記憶する記憶装置６４０からなる。また、各装置６１０，６２０、６３０および６４０は、ネットワーク３００により接続される。
【０１８１】
図３１に示す品質評価拠点６００の役目は、大規模ネットワークに接続された、各生産工場での検査結果を、大規模ネットワーク３９０を通じて収集し、それらのデータを解析し、生産工場、生産ライン、生産会社毎の品質管理状況を数値化して、表示可能とすることにある。この処理手順を図３２に示す。
【０１８２】
まず、品質評価拠点６００は、各生産工場における検査結果の収集開始要求を発する指示を、入出力装置６２０を介してオペレータから受け付ける（Ｓ６１１１）。この際、オペレータから指定される項目として、要求する検査結果データを絞り込むためのフィルタ条件、例えば、製品名、工程名や検査日付等がある。品質評価拠点６００には、その記憶装置６４０に、図４０に示すような、製品名、工程名、その生産工場名、生産会社名、それらのデータ保持する情報処理装置の識別子等のフィルタ項目データを、例えば、フィルタ項目一覧ファイル６４２として予め保持しておく。統括制御装置６１０は、このフィルタ項目一覧を入出力装置６２０の画面に表示させる。従って、それらの項目を用いて入出力装置６２０から取得データを絞り込むフィルタ条件を指示することが、オペレータにとって容易となる。なお、記憶装置６４０には、このほかに、自識別子を格納する自識別子ファイル６４１、および、品質評価項目を格納する品質評価項目ファイル６４３が置かれている。
【０１８３】
統括制御装置６１０は、検査結果収集開始要求を受信すると、上記フィルタリングの内容から検査結果要求先である情報処理装置２００を特定し、上記フィルタ条件をその情報処理装置２００に対し送付し、検査結果要求をする（Ｓ６１１３）。要求信号の送信では、送受信装置６９０で、必要なデータ識別子の付加や暗号化を行う。
【０１８４】
情報処理装置２００は、検査結果要求の信号を受け付けると、データ種識別子の認識と復号化を行う（Ｓ２４１１）。この後、検査結果を返送するためのフィルタリング条件を認識し、その内容に従って、判定検査結果格納用記憶装置２９０から検査結果を取り出す（Ｓ２４１２）。それを要求元の品質評価拠点６００に返送する（Ｓ２４１３）。
【０１８５】
品質評価拠点６００では、返送された検査結果を受け取ると（Ｓ６１１４）、それを記憶装置６４０に格納すると共に、入出力装置６２０に、返送されたデータを受け取った旨、表示させる（Ｓ６１１５）。この際に、受け取ったデータそのものを表示してもよい。
【０１８６】
本例では、品質評価拠点６００は品質評価に必要となるデータを各情報処理拠点から収集するものとしている。しかし、これに限られない。このデータ収集の開始は、先に説明したようにオペレータからの指示による必要はない。例えば、予めデータ収集を行うスケジュールを、日付、曜日、時刻等の単位で、品質評価拠点６００内の記憶装置６４０に記憶しておき、そのスケジュールにしたがって自動的にデータを収集することも可能である。また、データ収集を品質評価拠点側からの要求を起点とするのでなく、情報処理装置側から送ることもできる。例えば、情報処理装置２９０３において、１製品もしくは１工程の検査処理の終了後、その検査結果が検査結果格納用記憶装置２８０に格納された後に、そのデータを情報処理装置２００側から品質評価拠点６００に向けて送信することも可能である。また、この送信処理を予め定められたスケジュールに従って行うようにしてもよい。
【０１８７】
品質評価拠点６００では、上記のようにして収集した各生産現場での検査結果を用いて品質評価情報を計算する。オペレータからの品質評価情報を計算する旨の指示を、入出力装置６２０を介して受け付けると、統括制御装置６１０は、それを受けて、必要な検査データを記憶装置６４０から読み出し、評価処理装置６３０に渡す。
【０１８８】
評価処理装置６３０では、記憶装置６４０に予め定められた、品質評価項目を計算する。項目としては、図４０に示す品質評価項目ファイル６４３に格納される項目、すなわち、検査頻度、製品上の欠陥数、欠陥密度（検査対象の単位面積当たりの欠陥数）等である。また、他の項目として、生産ラインのクリン度、製品生産量など、検査結果に直接含まれないデータに関する項目でもよい。このような、各生産現場から得られるデータであって検査結果以外のものは、それらのデータが各情報処理装置でから収集されるデータに含まれているか、または、取得したデータから計算できる必要がある。
【０１８９】
収集したデータに基づいて品質評価値を、生産会社別、生産現場別、生産ライン別に計算する。また、得られた品質評価値を記録する。さらに、それを比較することで、生産会社、生産現場、生産ライン毎での製品品質のランク付けを行う。例えば、欠陥数、欠陥密度、歩留り、良品数等のデータを計算すると共に、ランク付けを行う。これらのデータは、記憶装置６４０に格納される。格納されるデータは、例えば、図３３に模式的に示すように区分されて格納される。すなわち、生産会社リストファイル、検査結果リストファイル、および、製品別ランク等のファイルが格納される。
【０１９０】
図３３は、計算された品質評価結果を入出力装置６２０の表示画面上に示した一例である。生産会社リスト６２１０には、品質評価拠点６００において管理しているデータであって、会社名、生産拠点名、各生産拠点で生産する製品名、当該製品の月ごとの生産量、導入されている検査装置の数などが一覧表示されている。また、検査結果リスト６２２０では、各生産拠点で行われた検査の結果、例えば、欠陥数や欠陥密度（単位面積値の欠陥数）がその生産拠点名、生産会社と共に表示される。また、製品別ランク６２３０では、製品毎に、製品歩留りを指標として、その高い順に、会社名と生産拠点と生産された良品の数とが表示されている。この歩留りとは、製品の完成後に行われる電気検査の結果から得られる値で、着工した製品の数に対する良品の数を表す。ここでは、一例として、歩留りを用いて、生産拠点毎の順位を示している。もちろんランク付けの対象となる項目は、それには限られない。
【０１９１】
また、検査結果リスト上の項目について詳細に表示した画面例を図４１に示す。検査結果情報表示６２４０には、当該データの製品名、工程名、欠陥数などの検査結果情報６２４０が一覧表示される。また、製品外観図６２５０には、検査品の外観と共に、検出された欠陥の位置情報（×）とその番号が表示される。各々について、欠陥画像６２６０として、欠陥画像６２６１、６２６２が表示される。欠陥画像６２５０は、各情報処理装置から送られる検査結果に含まれるデータである。
【０１９２】
図３３、図４１に示した例をはじめとする品質評価情報は、入出力装置６２０に表示される以外に、製品を購入するユーザに通知することも可能である。
【０１９３】
図３４は、本発明に係る品質評価システムが適用される他の実施形態の概要を示している。本例では、図２９に示す品質評価システムにおいて、その大規模ネットワークに顧客端末８００が接続されている。
【０１９４】
顧客端末のシステム構成の一例を図３５に示す。顧客端末８００は、データ送受信のための送受信装置８９０、キーボード、マウス、ディスプレイなど、顧客端末８００へのデータを入出力するための入出力装置８２０、動作を統括する統括制御装置８１０、入出力されるデータを記憶する記憶装置８４０からなる。
【０１９５】
図３７に、本品質評価システムにおける顧客端末８００と品質評価拠点６００間の処理フローを示す。本品質評価システムによれば、品質管理サービスの提供を受けようとする顧客は、品質評価拠点６００に格納される各生産拠点の品質評価情報を顧客端末８００において取得することとなる。そこで、この品質評価拠点６００と予め契約を行い、当該品質評価拠点６００にアクセスする権限を取得し、そのためのパスワードを得ておく必要がある。
【０１９６】
顧客端末８００は、入出力装置８２０から、大規模ネットワーク３９０を経由して、品質評価情報を取得したい旨を品質評価拠点６００に伝えるため、データ参照のためのサクセス要求を送信する（Ｓ８１１１）。
【０１９７】
品質評価拠点６００は、アクセス要求を受けると（Ｓ５２１１）、パスワード入力画面を入出力装置８２０に送り、パスワードの入力を促すための情報を要求元顧客端末８００に送る（Ｓ６２１２）。
【０１９８】
要求元の顧客端末８００は、前記パスワードの入力を促すための情報を受け取ると、当該情報に基づいて入出力装置８２０の表示画面上に、パスワードの入力を促す表示を行わせる（Ｓ８１１２）。顧客端末８００は、入出力装置８２０を介してパスワードの入力を受け付けると、当該パスワードを品質評価拠点６００に送る（Ｓ８１１３）。
【０１９９】
品質評価拠点６００は、顧客端末８００から送られたパスワードを受信し（Ｓ６２１３）、当該パスワードの認否のための照合処理を行う。パスワードが認識される場合には、認識された旨の照合結果を、また、認識されないた場合には、パスワードが認識できない旨の照合結果を、顧客端末８００に送信する（Ｓ６２１４）。
【０２００】
顧客端末８００は、パスワードの照合結果を受け取ると、その結果について判定を行う（Ｓ８１１４）。パスワードが認識できない旨の照合結果を受け取った場合には、Ｓ８１１３の処理に戻り、パスワードの入力画面の表示を行う。パスワードが認識されたものである旨を示す場合には、オペレータからの要求内容を受け付ける旨の表示を入出力装置８２０の表示画面に行い、入出力装置８２０を介して要求内容の入力を受け付ける（Ｓ８１１５）。その上で、オペレータの要求内容を品質評価拠点６００に送信する（Ｓ８１１６）。
【０２０１】
品質評価拠点６００は、要求内容を受信する（Ｓ６２１５）。品質評価拠点６００は、受信した要求内容に従って、データの検索を行う（Ｓ６２１６）。検索結果を要求元顧客端末８００に送信する（Ｓ６２１７）。
【０２０２】
顧客端末８００は、検索結果を受信する（Ｓ８１１７）。そして、顧客端末８００は、受信した検索結果を入出力装置８２０の表示画面に表示する（Ｓ８１１８）。例えば、図３３、図４１に示すような画面が表示される。表示された内容は、顧客端末８００で、記憶装置８４０に保存することも可能である。
【０２０３】
このような、品質評価情報を提供された顧客は、各生産会社、各生産工場での生産量や歩留りなどを参考にして、購買する製品の選定を行うことができる。一方、生産会社側にあっても、データ提供を有償で行うことにより、製品コストを低減するための原資の確保ができると共に、自社の品質の良さを客観的に示すことができるため、取引を優位に進めることができる。
【０２０４】
図３６は、本発明に係る品質評価システムの全体像を示したものである。これまでの説明より、この構成においては、（１）生産工場４００を持つ生産会社、（２）顧客端末８００を有し、製品を購入する顧客、（３）生産工場４００で用いられる画像検出装置、検出データを処理する情報処理装置等の提供、および、処理プログラムの改訂を行う処理プログラム開発拠点５００を運営する検査システム提供会社、（４）検査結果を用いて品質評価データを計算し、顧客に提供する品質評価拠点６００の４種の企業が大規模ネットワーク３９０に接続されていることになる。これらの企業間では、以下のようにデータ、それに対する対価の授受がなされる。
【０２０５】
製品生産会社は、生産工場において製品を製造し、それを顧客に販売することによりその対価を得る。検査システム提供会社は、画像検出装置や情報処理装置を開発し製品生産会社に販売し、また、処理プログラムなどの改訂を判定プログラム改定拠点において行うことにより、それらに対する対価を得る。そして、品質評価会社は、各検査システム提供会社が提供する検査システムが出力する検査結果を入力可能とするためにデータフォーマットを開示してもらうことに対し対価を支払う。一方、検査結果を提供する生産会社に対しその対価を支払う。製品購入顧客は、各製品生産会社の品質管理状況を把握するために、品質評価会社より品質評価情報の提供を受け、その対価を支払う。
【０２０６】
（外観検査システムの他の実施形態）
次に、前述した外観検査システムをより具体的に生産ラインに適用した例について、図４２および図４３を参照して説明する。図４２に示す例は、画像検出装置を生産ラインの工程ごとに分散して配備し、検査結果を情報処理装置に集めて処理する形式のシステムである。一方、図４３に示す例は、画像検出装置を検査ステーションに集中配備して、検査ステーションにおいて検査を集中的に行う形式のシステムである。これらは生産ラインでの各工程の性質、規模に応じて適宜選択することができる。また、図４２および図４３において示す例では、撮像装置において、複数の光学系を用意してあり、検査条件に応じていずれかの光学系を選択して検査する構成となっていること、および、制御装置において相違があることを除いては、基本的に前述した画像検出装置とほぼ同様の構成を有する。ここでは、相違点を中心として説明する。
【０２０７】
図４２に示す外観検査システムは、生産ライン４１０において、成膜４１１、現像４１２、エッチング４１３等の複数の工程について、それぞれ検査ユニット１００Ｕを配置している。各検査ユニット１００Ｕは、ネットワーク３００を介してホストとして機能する情報処理装置２００に接続される。また、検査ユニット１００Ｕは、制御装置１１５と、記憶装置１４０と、撮像装置１６０と、送受信装置１９０とを有する。
【０２０８】
撮像装置１６０は、検査対象を載置すると共に、ＸＹＺ方向に変位させるためのステージ（図示せず）と、照明装置（図示せず）と、光学系１６５１、１６５２、…、１６５ｎと、光学系を選択して所定位置に配置するための変位機構（図示せず）と、画像センサ（図示せず）とを有する。光学系１６５１、１６５２、…、１６５ｎは、倍率、視野角、分光特性、照明光のガイド等において種々異なるものが複数用意されている。これらは制御装置１１５からの選択信号により選択され、該当するものが変位機構により撮像位置に配置される。
【０２０９】
制御装置１１５は、前述した画像検出装置１００が有する統括制御装置１１０と、検査制御装置１５０と、前処理装置１８０とを統合した機能を有する。また、制御装置１１５は、複数の光学系を検査条件に応じて選択する指示を生成して出力する。撮像制御装置１１５を有する点である。撮像制御装置１１５は、前述した、統括制御装置１１０、検査制御装置１５０および前処理装置１８０の各機能を実現する。
【０２１０】
情報処理装置２００は、統括制御装置２１０と、統括制御用記憶装置２４０と、検査処理装置２５１と、画像格納用記憶装置２６０と、検査処理情報格納用記憶装置２７０と、検査結果格納用記憶装置２８０と、送受信装置２９０とを有する。この例では、検査条件発生装置２５５を備えていない。本例では、検査条件については統括制御装置により生成することを前提としているからである。しかし、検査条件を、外部システムから取り込む構成としてもよい。
【０２１１】
光学系の選択は、例えば、検査条件に合わせて予めいずれの光学系を用いるかを指定する情報を検査条件の項目の中に入れておくことによって、容易に行い得る。例えば、偏光フィルタ、色フィルタ等の特定のフィルタが装着された光学系、倍率が異なる光学系、照明光をガイドする機能を有する光学系等の検査目的に応じた性能を有する光学系を指定する情報を用意しておく。制御装置１１５は、与えられた検査条件中に含まれる光学系を指定する情報に基づいて、変位機構を駆動させて支持された光学系を検査位置に配置する。この動作については、図４３の場合も同様である。
【０２１２】
このシステムによる検査動作は、光学系を選択する動作を除いては、前述した実施形態と基本的に同じである。従って、ここでは説明を省略する。
【０２１３】
図４３に示す外観検査システムは、生産ライン４１０において、成膜４１１、現像４１２、エッチング４１３等の複数の工程についての検査を行うための検査ステーション１００Ｓが配置されている。検査ステーション１００Ｓは、ネットワーク３００を介してホストとして機能する情報処理装置２００と接続される。検査ステーション１００Ｓは、ネットワーク３００を介してホストとして機能する情報処理装置２００に接続される。また、検査ユニット１００Ｓは、制御装置１１５と、記憶装置１４０と、撮像装置１６０と、送受信装置１９０とを有する。すなわち、検査ステーションＳは、検査ユニット１００Ｕと基本的には同じ構成となっている。相違するのは、複数の工程についての検査を行うため、検査条件が工程ごとに異なることが想定されるため、制御装置１１５において複数の工程分の検査条件を保持する点にある。
【０２１４】
このシステムによる検査動作は、光学系を選択する動作を除いては、前述した実施形態と基本的に同じである。従って、ここでは説明を省略する。
【０２１５】
図４２および図４３に示す実施形態によれば、光学系の選択が行えるため種々の検査条件に対応できることとなる。従って、検査の内容に応じて異なる検査装置を用意せずに、少ない検査装置で幅広い検査条件に対応することが可能となる。この結果、検査装置のスペースメリット、使用効率の向上という点で優れているといえる。特に、多品種少量生産の生産工場における検査装置として好適である。
【０２１６】
（実施形態による効果）
前述した各実施形態により期待し得る効果は下記のとおりである。
【０２１７】
先ず、プリント配線板や半導体ウェハなどの製品の製造現場に与える効果としては、生産現場における検査装置占有面積の省スペース化である。製造現場内に設置する部分は、画像を検出部位のみであり、画像処理部のための面積を占有しない。
【０２１８】
各画像検出装置位の感度の均一化が容易に達成されることによる検査装置の使い勝手の向上が達成される。個々の画像検出装置毎に撮像条件を調整・設定をしても実際の検査画像の質には装置毎に差があり、検査装置毎に処理パラメータの調整が必要であるが、これらの処理を一元化することで、機差の解消が容易に達成される。
【０２１９】
また、製造拠点を複数持つメーカでは、各生産拠点における検査結果情報をネットワークで接続された品質評価拠点で一元管理することで、各生産拠点での製品出来映え等を対比することができ、生産量の調整や各生産拠点の品質管理状態を一元管理することができる。
【０２２０】
一方、検査装置を提供する側の検査装置メーカに与える効果としては、検査装置を安価に製作することが挙げられる。これは画像処理部と情報処理装置と切り離して製造・開発することができ、開発効率を向上させることができるからである。つまり、製品の世代が代わり、より微細な欠陥を見つける必要性が生じた場合や、それまでとは異なる仕様で検査をしなければならなくなるような場合でも、画像検出装置における撮像方法、例えば、画像センサの種類・照明方式の変更等画像検出に関する部分と処理プログラムの改良などの処理に関する部分とを独立に進めることができるため、開発費を減らせるメリットがある。
【０２２１】
また、欠陥検出処理の際に与えるべき画像処理パラメータや画像処理プログラムを検査装置メーカ側からネットワークを通じて情報処理装置に転送することが可能となる。その上、パラメータの設定に必要な画像データそのものもネットワークを通じて、生産拠点から検査装置メーカ側に送付することができるため、判定プログラム等のアルゴリズムを改良する期間が短縮される。
【０２２２】
また、製品購入者は、各生産拠点における検査結果を複数の生産拠点・複数のメーカに渡り統合し各メーカの品質評価情報を提供する品質評価拠点から、各メーカ・各拠点の品質管理状況を入手することができ、製品を購入する際の比較検討材料として活用することができる。この様な品質評価情報は、メーカ側が製品競争力を高めるための指標として活用することができる。
【０２２３】
この発明においては、ネットワーク上を画像データや処理プログラム、検査データ、品質評価情報等の情報が転送される場合には、必要な暗号処理を行うことができるため、データの改竄を防ぎ機密性を保持することができる。
【０２２４】
【発明の効果】
本発明によれば、生産現場に設置される検査装置の小型化を図ると共に、検出結果の処理条件の設定が容易に行えるようにするための技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る外観検査システムおよび品質評価システムの構成を示すブロック図である。
【図２】本発明に係る画像検出装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明に係る情報処理装置の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明に係る外観検査システムにおける、外観検査の流れを示すフローチャートである。
【図５】本発明に係る画像検出装置の表示画面例を示す説明図である。
【図６】本発明に係る画像検出装置の前処理装置の構成例を示すブロック図である。
【図７】本発明に係る画像検出装置の送受信装置の、送信機能に関する構成図である。
【図８】本発明に係る画像検出装置の送受信装置の、受信機能に関する構成図である。
【図９】本発明に係る情報処理装置の送受信装置の、受信機能に関する構成図である。
【図１０】本発明に係る情報処理装置の送受信装置の、送信機能に関する構成図である。
【図１１】本発明に係るデータ種識別テーブルの内容を示す説明図である。
【図１２】本発明に係る画像検出装置の表示画面例を示す説明図である。
【図１３】本発明に係る撮像条件設定処理フローを示すフローチャートである。
【図１４】本発明に係る撮像条件設定処理の表示画面例を示す説明図である。
【図１５】本発明に係る情報記憶装置の処理記憶装置の内容を示す説明図である。
【図１６】本発明に係る撮像条件設定処理の表示画面例を示す説明図である。
【図１７】本発明に係る撮像条件設定処理を説明する説明図である。
【図１８】本発明に係る画像検出装置の記憶装置の内容を示す説明図である。
【図１９】本発明に係る情報処理装置の画像記憶装置の内容を示す説明図である。
【図２０】本発明に係る電子線式の画像検出装置の構成を示すブロック図である。
【図２１】本発明に係る情報処理装置の記憶装置の内容を示す説明図である。
【図２２】本発明に係る情報処理装置の検査結果記憶装置の内容を示す説明図である。
【図２３】本発明に係る品質評価システムの構成を示すブロック図である。
【図２４】本発明に係る品質評価システムの判定プログラム開発拠点の構成を示すブロック図である。
【図２５】本発明に係る品質評価システムの生産工場の構成を示すブロック図である。
【図２６】本発明に係る品質評価システムにおけるプログラム改訂のフローを示すフローチャートである。
【図２７】本発明に係る品質評価システムの生産工場の構成を示すブロック図である。
【図２８】本発明に係る品質評価システムの構成を示すブロック図である。
【図２９】本発明に係る品質評価システムの構成を示す図である。
【図３０】本発明に係る生産工場の構成を示すブロック図である。
【図３１】本発明に係る品質評価システムの品質評価拠点の構成を示すブロック図である。
【図３２】本発明に係る品質評価システムでの検査結果収集処理のフローを示すフローチャートである。
【図３３】本発明に係る品質評価システムの品質評価拠点での画面表示例を示す説明図である。
【図３４】本発明に係る品質評価システムの構成を示すブロック図である。
【図３５】本発明に係る品質評価システムの顧客端末の構成を示すブロック図である。
【図３６】本発明に係る品質評価システムの構成を示すブロック図である。
【図３７】本発明における品質評価システムの品質評価情報転送のフローを示すフローチャートである。
【図３８】本発明における品質評価システムにおけるプログラム開発拠点の記憶装置の内容を示す説明図である。
【図３９】本発明における品質評価システムのプログラム開発拠点で表示される画面の一例を示す説明図である。
【図４０】本発明における品質評価システムにおける品質管理情拠点の記憶装置の内容を示す説明図である。
【図４１】本発明における品質評価システムの品質評価拠点での画面表示例を示す説明図である。
【図４２】本発明の他の実施形態を示すブロック図である。
【図４３】本発明の他の実施形態を示すブロック図である。
【符号の説明】
１００…画像検出装置、１００Ｇ…検出装置群、１１０…統括制御装置、１２０…入力装置、１３０…出力装置、１４０…記憶装置、１５０…検査制御装置、１６０…撮像装置、１６１…試料室、１６４…画像センサ、１６３…照明装置、Ｍ…検査対象（試料）、１６２…ステージ、１７０…電子線式撮像装置、１８０…前処理装置、１９０…送受信装置、２００…情報処理装置、２０９…内部バス、２１０…統括制御、２２０…入力装置、２３０…出力装置、２４０…統括制御用記憶装置、２５１…検査処理装置、２５５…検査条件発生装置、２６０…画像格納用記憶装置、２７０…検査処理用記憶装置、２８０…検査結果格納用記憶装置、３００…ネットワーク、４００…生産工場、５００…判定プログラム改定拠点、６００…品質評価拠点、８００…顧客端末。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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