(57)【要約】【課題】簡便な工程で、作動媒体封入時にピストンが過度に移動することを防止することが可能なスターリング機関およびその製造方法を提供する。【解決手段】スターリング機関は、圧力容器４と、圧力容器４内に配置された、第１の通路３ｂを有するシリンダ３と、シリンダ３内を往復動可能に配置され、第２の通路１ｃを有するピストン１と、シリンダ３内においてピストン１に対向するディスプレーサ２と、作動媒体の封入時に、ピストン１に電磁力を作用させるリニアモータ１０と、圧力容器４内に封入された作動媒体と、リニアモータ１０に接続され、作動媒体封入時にリニアモータ１０を駆動制御して、第１および第２の通路３ｂ，１ｃを連通させる制御手段としてのコントローラ１１とを備える。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力容器内に、第１の通路を有するシリンダと、第２の通路を有するピストンと、前記シリンダ内において前記ピストンに対向するディスプレーサとを組み込む工程と、
前記ピストンに前記第１および第２の通路を連通させるような力を作用させながら、前記圧力容器内に作動媒体を封入する工程とを備えたスターリング機関の製造方法。
【請求項２】
圧力容器内に、第１の通路を有するシリンダと、第２の通路を有するピストンと、前記シリンダ内において前記ピストンに対向するディスプレーサとを組み込む工程と、
前記ピストンに前記第１および第２の通路を連通させるような力を作用させながら、前記圧力容器内のガスを排気した後に、前記圧力容器内に作動媒体を封入する工程とを備えたスターリング機関の製造方法。
【請求項３】
前記ピストンを駆動するリニアモータを用いて、前記ピストンに力を作用させる、請求項１または請求項２に記載のスターリング機関の製造方法。
【請求項４】
前記ピストンの往復駆動方向に重力を作用させて、前記第１および第２の通路を連通させる、請求項１または請求項２に記載のスターリング機関の製造方法。
【請求項５】
圧力容器と、
該圧力容器内に配置された第１の通路を有するシリンダと、
前記シリンダ内を往復動可能に配置され、第２の通路を有するピストンと、
前記シリンダ内において前記ピストンに対向するディスプレーサと、
前記ピストンを駆動するリニアモータと、
前記圧力容器内に封入された作動媒体と、
前記作動媒体の封入時に、前記リニアモータを駆動制御して、前記第１および第２の通路を連通させる制御手段とを備えたスターリング機関。
【請求項６】
圧力容器と、
圧力容器内に配置された第１の通路を有するシリンダと、
前記シリンダ内を往復動可能に配置され、第２の通路を有するピストンと、
前記シリンダ内において前記ピストンに対向するディスプレーサと、
前記圧力容器内に封入された作動媒体と、
前記作動媒体を封入する封入口と、
前記ピストンを支持するバネとを備えたスターリング機関であって、
前記ピストンの駆動方向が鉛直方向を向くようにスターリング機関を配置したときに、前記第２の通路のピストン摺動面側の開口部が、前記第１の通路のシリンダ摺動面側の開口部と対向するか、あるいは、前記封入口を有する空間側に位置するスターリング機関。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はスターリング機関の製造方法に関し、特に、ピストンとディスプレーサの往復運動に伴う作動ガスの圧縮／膨張を利用して低温／高温または電力または動力を得るスターリング機関およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
スターリング機関の従来例としては、たとえば、特開２０００−３９２２２号公報（従来例１）に示されたものなどが挙げられる。
【０００３】
以下に、従来例１におけるスターリング機関の構成について、図２および図３を用いて説明する。
【０００４】
従来例１におけるスターリング機関は、図２および図３に示すように、シリンダ３の内側面（シリンダ摺動面３ａ）を滑らかに往復摺動するピストン１とディスプレーサ２とを備える。ピストン１とディスプレーサ２とは同軸上に配設されており、ディスプレーサ２の一端を形成するロッド２ａは、ピストン１の中心部に設けられた摺動穴１ｂを貫通している。なお、ピストン１およびディスプレーサ２は、各々ピストン支持バネ５およびディスプレーサ支持バネ６を介して圧力容器４に弾性支持されている。
【０００５】
圧力容器４の内部空間は、ピストン１によって２つの空間に分割されている。該空間の一方は、ピストン１から見てディスプレーサ２側にある作動空間７であり、他方は、ピストン１から見て作動空間７とは反対側、すなわちシリンダ３の後端側にある背面空間８である。これらの空間には、高圧ヘリウムガスなどの作動媒体が充填されている。
【０００６】
また、作動空間７は、ディスプレーサ２によってさらに２つの空間に分割されている。該空間の一方は、ピストン１とディスプレーサ２とによって挟まれた圧縮空間７ａであり、他方は、ディスプレーサ２から見て圧縮空間７ａとは反対側、すなわちシリンダ３の先端側にある膨張空間７ｂである。なお、両作動空間７ａ，７ｂは、再生器９を介して連結されている。
【０００７】
ピストン１は、駆動部としてのリニアモータ１０によって駆動され、所定周期で往復運動する。これにより、作動媒体は作動空間７内で圧縮／膨張される。ディスプレーサ２は、作動媒体の圧縮／膨張に伴う圧力変化によって、直線的に往復運動する。このとき、ピストン１とディスプレーサ２とは、所定の位相差をもって同一周期にて往復運動することになる。
【０００８】
上記構成から成るスターリング機関において、シリンダ摺動面３ａとピストン摺動面１ａとの間、およびロッド２ａと摺動穴１ｂとの間には、作動空間７と背面空間８とを遮断するガスシールが施されている。なお、該ガスシールは、接触する部材間にシールリングを設けたり、両部材を高精度に嵌合したりすることで実現されている。
【０００９】
しかしながら、どのようなガスシールを施しても、作動空間７と背面空間８とを完全に遮断することはできず、作動媒体が微小な隙間を介して両空間を流動することは避けられない。そのため、ピストン１が作動空間７方向に運動しているときには、圧縮空間７ａの圧力が背面空間８の圧力よりも高くなり、作動媒体は圧縮空間７ａから背面空間８へと流動する。逆に、ピストン１が背面空間８方向に運動しているときには、圧縮空間７ａの圧力が背面空間８の圧力よりも低くなり、作動媒体は背面空間８から圧縮空間７ａへと流動する。
【００１０】
ここで、背面空間８の容積が圧縮空間７ａの容積よりも大きいため、圧縮空間７ａと背面空間８との圧力差は、ピストン１が背面空間８方向に運動しているときより、作動空間７方向に運動しているときの方が大きくなる。そのため、圧縮空間７ａの作動媒体は、ピストン１の往復運動１サイクル毎に少しずつ背面空間８へと流出していくことになる。このような状況を放置しておくと、背面空間８の圧力が徐々に高くなるため、ピストン１の振幅中心位置が初期位置から作動空間７側にずれて、ピストン１が物理的な運動限界位置に達したり、ピストン１とディスプレーサ２とが衝突したり、ディスプレーサ２が圧力容器４に衝突したりするおそれがある。
【００１１】
これに対し、従来例１においては、作動空間７と背面空間８との圧力バランスを保つことでピストンの振幅中心位置ずれを抑えるために、シリンダ３に、背面空間８とシリンダ摺動面３ａとを結ぶ第１の通路３ｂを設け、ピストン１に、圧縮空間７ａとピストン摺動面１ａとを結ぶ第２の通路１ｃを設けている。ここで、一般的には、第１の通路３ｂの開口部３ｃ（シリンダ摺動面３ａ側）と、第２の通路１ｃの開口部１ｄ（ピストン摺動面１ａ側）とは、ピストン１が予め設定された初期の振幅中心位置に位置した時に対向するように配設される。
【００１２】
しかしながら、上記のような通路を設けたとしても、実際にピストン１を作動させた際に、作動空間７と背面空間８との圧力差が十分に緩和されず、背面空間８の方が作動空間７よりも圧力が高くなる場合がある。この結果、ピストン１の振幅中心位置が初期位置から作動空間７側にずれることとなる。
【００１３】
これに対し、第１の通路３ｂと第２の通路１ｃとをピストン１の初期の振幅中心位置よりも背面空間８側で連通させることで、ピストン１の振幅中心位置のずれを抑える構造が考えられる。この構造においては、作動空間７と背面空間８とが、作動空間７側の圧力が低い状態で連通するので、作動空間７と背面空間８との圧力差を緩和する効果を高めることができる。
【００１４】
図２は、上記のスターリング機関を、シリンダ３が水平となる方向に設置した場合を示す断面図である。また、図３は、図２に示すスターリング機関を、背面空間８が下側となる方向に設置した場合を示す断面図である。図２において、ピストン１の開口部１ｄは、シリンダ３の開口部３ｃよりも作動空間７側に位置する。また、図３においては、スターリング機構をピストン１の駆動方向が鉛直を向くように設置した結果、ピストン１は重力によって背面空間８側に移動し、開口部１ｄが図２の場合と比べて背面空間８側に移動しているが、該開口部１ｄは依然として開口部３ｃよりも作動空間７側に位置する。
【００１５】
なお、上記の往復運動の結果、たとえばシリンダ３の先端のコールドヘッドにおいて冷熱の発生がなされるなどの効果が得られる。この冷熱の発生原理などの逆スターリング熱サイクルに関しては、一般によく知られているので、ここでは説明を省略する。
【００１６】
【特許文献１】
特開２０００−３９２２２号公報
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のようなスターリング機関においては、下記のような問題があった。
【００１８】
上記のスターリング機関の製造工程において、圧縮空間７ａおよび膨張空間７ｂと、背面空間８とに作動媒体を封入する際は、作動媒体を圧力容器４に設置された封入口１２から封入する。
【００１９】
ここで、たとえば図２および図３に示すように、ピストン１の開口部１ｄが、シリンダ３の開口部３ｃよりも作動空間７側にある状態で、装置構成が複雑でない背面空間８側に作動媒体の封入口１２を設けた場合、背面空間８側から作動媒体を封入する際に、背面空間８側から作動空間７側への作動媒体の通路が確保されず、ピストン１が作動空間７側に過大に移動して、ピストン支持バネ５の破損などの結果を招くこととなる。
【００２０】
これに対し、作動媒体を低いガス圧によって徐々に封入することで、上記のガスシールの隙間から作動媒体を作動空間７側に移動させる封入方法が考えられる。
【００２１】
しかしながら、上記のような封入方法においては、作動媒体ガスの封入作業に非常に時間がかかることになる。
【００２２】
本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、簡便な工程で、作動媒体封入時にピストンが過度に移動することを防止することが可能なスターリング機関およびその製造方法を提供することにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るスターリング機関の製造方法は、１つの局面では、圧力容器内に、第１の通路を有するシリンダと、第２の通路を有するピストンと、シリンダ内においてピストンに対向するディスプレーサとを組み込む工程と、ピストンに第１および第２の通路を連通させるような力を作用させながら、圧力容器内に作動媒体を封入する工程とを備える。
【００２４】
これにより、作動媒体封入時にピストンによって隔てられた背面空間と作動空間との間の作動媒体の通路を確保することができるので、作動媒体封入を簡便な工程で行なうことができる。
【００２５】
本発明に係るスターリング機関の製造方法は、他の局面では、圧力容器内に、第１の通路を有するシリンダと、第２の通路を有するピストンと、シリンダ内においてピストンに対向するディスプレーサとを組み込む工程と、ピストンに第１および第２の通路を連通させるような力を作用させながら、圧力容器内のガスを排気した後に、圧力容器内に作動媒体を封入する工程とを備える。
【００２６】
これにより、作動媒体封入工程を行なう前に、簡便な工程で圧力容器内のガスを吸引して水分を除去することができる。
【００２７】
ここで、１つの局面では、ピストンを駆動するリニアモータを用いて、ピストンに力を作用させることが好ましい。
【００２８】
また、他の局面では、ピストンの往復駆動方向に重力を作用させて、前記第１および第２の通路を連通させてもよい。
【００２９】
これにより、ガスの排気または作動媒体封入時にピストンによって隔てられた背面空間と作動空間との間の作動媒体の通路を確保することができる。
【００３０】
本発明に係るスターリング機関は、１つの局面では、圧力容器と、該圧力容器内に配置された第１の通路を有するシリンダと、シリンダ内を往復動可能に配置され、第２の通路を有するピストンと、シリンダ内においてピストンに対向するディスプレーサと、ピストンを駆動するリニアモータと、圧力容器内に封入された作動媒体と、作動媒体の封入時に、リニアモータを駆動制御して、第１および第２の通路を連通させる制御手段とを備える。
【００３１】
これにより、作動媒体封入時にピストンによって隔てられた背面空間と作動空間との間の作動媒体の通路を確保することができるので、作動媒体封入を簡便な工程で行なうことができる。
【００３２】
本発明に係るスターリング機関は、他の局面では、圧力容器と、圧力容器内に配置された第１の通路を有するシリンダと、シリンダ内を往復動可能に配置され、第２の通路を有するピストンと、シリンダ内においてピストンに対向するディスプレーサと、圧力容器内に封入された作動媒体と、作動媒体を封入する封入口と、ピストンを支持するバネとを備えたスターリング機関であって、ピストンの駆動方向が鉛直方向を向くようにスターリング機関を配置したときに、第２の通路のピストン摺動面側の開口部が、第１の通路のシリンダ摺動面側の開口部と対向するか、あるいは、封入口を有する空間側に位置する。
【００３３】
これにより、作動媒体封入時に、封入された作動媒体の圧力によってピストンを移動させ、第１および第２の通路を連通させて、作動媒体の通路を確保することができるので、作動媒体封入を簡便な工程で行なうことができる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に基づくスターリング機関およびその製造方法の実施の形態について説明する。
【００３５】
図１は、本実施の形態に係るスターリング機関の断面図である。
本実施の形態に係るスターリング機関は、図１に示すように、圧力容器４と、圧力容器４内に配置された第１の通路３ｂを有するシリンダ３と、シリンダ３内を往復動可能に配置され、第２の通路１ｃを有するピストン１と、シリンダ３内においてピストン１に対向するディスプレーサ２と、ピストン１に電磁力を作用させて駆動するリニアモータ１０と、圧力容器４内に封入された作動媒体と、リニアモータ１０に接続され、作動媒体封入時にリニアモータ１０を駆動制御して、第１および第２の通路３ｂ，１ｃを連通させる制御手段としてのコントローラ１１とを備える。
【００３６】
また、上記のスターリング機関の製造方法は、圧力容器４内に第１の通路３ｂを有するシリンダ３と、第２の通路１ｃを有するピストン１と、シリンダ３内においてピストン１に対向するディスプレーサ２とを組み付ける工程と、ピストン１に第１および第２の通路３ｂ，１ｃを連通させるような力を作用させながら、作動媒体を封入する工程とを備える。なお、第１および第２の通路を連通させる力は、ピストン１を駆動するリニアモータ１０を用いて作用させるが、この手段については、たとえば重力など他の手段に置換することが可能である。また、作動媒体は、圧力容器４の壁面に設置された封入口１２から封入される。
【００３７】
圧力容器４の内部空間は、ピストン１によって２つの空間に分割されている。該空間の一方は、ピストン１から見てディスプレーサ２側にある作動空間７であり、他方は、ピストン１から見て作動空間７とは反対側、すなわちシリンダ３の後端側にある背面空間８である。これらの空間には、高圧ヘリウムガスなどの作動媒体が充填されている。
【００３８】
また、作動空間７は、ディスプレーサ２によってさらに２つの空間に分割されている。該空間の一方は、ピストン１とディスプレーサ２によって挟まれた圧縮空間７ａであり、他方は、ディスプレーサ２から見て圧縮空間７ａとは反対側、すなわちシリンダ３の先端側にある膨張空間７ｂである。なお、両作動空間７ａ，７ｂは、再生器９を介して連結されている。
【００３９】
ピストン１およびディスプレーサ２は、シリンダ３の内側面（シリンダ摺動面３ａ）を滑らかに往復摺動する。ピストン１とディスプレーサ２とは同軸上に配設されており、ディスプレーサ２の一端を形成するロッド２ａは、ピストン１の中心部に設けられた摺動穴１ｂを貫通している。なお、ピストン１およびディスプレーサ２は、各々ピストン支持バネ５およびディスプレーサ支持バネ６に弾性支持されている。
【００４０】
ここで、シリンダ摺動面３ａとピストン摺動面１ａとの間、およびロッド２ａと摺動穴１ｂとの間には、接触する部材間にシールリングを設けたり、両部材を高精度に嵌合したりすることにより、作動空間７と背面空間８とを遮断するガスシールが施されている。なお、該ガスシールは、作動空間７と背面空間８を完全には遮断せず、スターリング機関動作時には、作動媒体が微小な隙間を介して両空間を流動する。
【００４１】
上記の作動媒体の流動に対し、作動空間７と背面空間８との圧力バランスを保つことでピストンの振幅中心位置ずれを抑えるために、シリンダ３に、背面空間８とシリンダ摺動面３ａとを結ぶ第１の通路３ｂを設け、ピストン１に、圧縮空間７ａとピストン摺動面１ａとを結ぶ第２の通路１ｃを設けている。
【００４２】
しかしながら、スターリング機関を実際に動作させた際は、従来例１の説明において述べたとおり、背面空間８の方が作動空間７よりも圧力が高くなる傾向にあるため、第１の通路３ｂの開口部３ｃ（シリンダ摺動面３ａ側）と、第２の通路１ｃの開口部１ｄ（ピストン摺動面１ａ側）とが、ピストン１が初期の振幅中心位置よりも背面空間８側にある時に対向する位置関係（振幅中心位置において、ピストン１の開口部１ｄがシリンダ３の開口部３ｃよりも作動空間７側にある状態）で設置されている。この結果、第１の通路３ｂと第２の通路１ｃとがピストン１の初期の振幅中心位置よりも背面空間８側で連通し、上記の圧力差を緩和させることができる。
【００４３】
この状態で、装置構成が複雑でない背面空間８側に作動媒体の封入口１２を設けた場合、背面空間８側から作動媒体を封入する際に、背面空間８側から作動空間７側への作動媒体の通路が確保されず、背面空間８内の圧力が作動空間７内の圧力よりも大きくなり、ピストン１が作動空間７側に過大に移動する。
【００４４】
これに対し、本実施の形態に係るスターリング機関は、リニアモータ１０によって、第２の通路１ｃの開口部１ｄ（ピストン摺動面１ａ側）が、第１の通路３ｂの開口部３ｃ（シリンダ摺動面３ａ側）に対向するようにピストン１を移動させることができる。なお、移動後のピストン１の位置は、リニアモータ１０に印加する電圧をコントローラ１１によって変化させることができ、任意の位置に制御することが可能である。
【００４５】
これにより、作動媒体封入時に第１および第２の通路３ｂ，１ｃを連通させ、ピストン１によって隔てられた背面空間８と作動空間７との間の作動媒体の通路を確保することができるので、作動媒体封入を短時間で行なうことができる。
【００４６】
また、上記の作動媒体の封入前に、圧力容器４内部の水分を除去する目的で、該圧力容器４内のガスを排気する工程を実施する場合がある。
【００４７】
この場合においても、上記と同様に、ピストン１にリニアモータ１０による電磁力を作用させて第１および第２の通路３ｂ，１ｃを連通させながら、圧力容器４内のガスを排気する。なお、該排気工程における作動媒体の吸引部としては、上記の封入口１２を兼用するようにしてもよいし、別途排気口を設けてもよい。
【００４８】
これにより、作動媒体封入工程を行なう前に、短時間で圧力容器４内のガスを吸引して、水分を除去することができる。
【００４９】
なお、上記の電磁力は、必ずしも第１および第２の通路３ｂ，１ｃを完全に連通させるものではなく、たとえば、背面空間８側に封入口１２を設けた時に、ピストン１の初期の振幅中心位置において、ピストン１の開口部１ｄがシリンダ３の開口部３ｃよりも作動空間７側にある状態であったものを、該電磁力の作用により、作動媒体封入時に、開口部１ｄが開口部３ｃよりも背面空間８側にある状態にするものであってもよい。
【００５０】
この場合、封入された作動媒体によって、背面空間８内の圧力が作動空間７内の圧力よりも大きくなり、作動媒体の封入に伴って、ピストン１が作動空間７側に移動する。この結果、第１および第２の通路３ｂ，１ｃが連通する。
【００５１】
また、背面空間８側に封入口１２を設けた時に、ピストン１の初期の振幅中心位置において、ピストン１の開口部１ｄがシリンダ３の開口部３ｃよりも背面空間８側にある状態であったものを、上記の電磁力の作用により、圧力容器４内のガスを排気する際に、開口部１ｄが開口部３ｃよりも作動空間７側にある状態にするケースについても上記と同様の効果を奏する。
【００５２】
なお、リニアモータ１０としては、直流励磁による励磁が例として挙げられる。このとき、励磁によるピストン１の移動量は、印加電圧の大きさにほぼ比例する。したがって、コントローラ１１を用いてリニアモータ１０に印加する直流電圧の大きさを制御することで、第１および第２の通路３ｂ，１ｃを連通させた状態でピストン１を静止させることができ、第１および第２の通路３ｂ，１ｃを継続的に連通させることができる。
【００５３】
上述のスターリング機関の製造方法の変形例としては、ピストン１の往復駆動方向に重力を作用させて、第１および第２の通路３ｂ，１ｃを連通させる方法が考えられる。
【００５４】
この方法が適用可能なスターリング機関としては、たとえば、封入口１２を背面空間８側に設けた場合において、ピストン１の駆動方向が鉛直を向くようにスターリング機関を配置したときに、第２の通路１ｃの開口部１ｄが第１の通路３ｂの開口部３ｃと対向するか、あるいは、開口部３ｃよりも背面空間８側（封入口１２を有する空間側）に位置するようなものが挙げられる。なお、このようなスターリング機関については、ピストン１の重量と、ピストン支持バネ５のバネ定数と、第１および第２の通路３ｂ，１ｃのオフセット量とを調整することによって得ることができる。
【００５５】
これにより、作動媒体封入時に、封入された作動媒体の圧力によってピストン１が背面空間８側から作動空間７側に移動することによって、第１および第２の通路３ｂ，１ｃが連通し、ピストン１によって隔てられた背面空間８と作動空間７との間の作動媒体の通路を確保することができるので、作動媒体封入を短時間で行なうことができる。
【００５６】
なお、上記の様に調整された値の具体例としては、たとえば、ピストン１の重量が０．３ｋｇｆ、ピストン支持バネ５のバネ定数が１５００Ｎ／ｍ、第１および第２の通路３ｂ，１ｃのオフセット量が２ｍｍ以下である場合などが挙げられる。ここで、オフセット量とは、ピストン１の駆動方向が水平となるようにスターリング機関を設置した際に、シリンダ３の開口部３ｃがピストン１の開口部１ｄよりも背面空間８側にオフセットされている量を示す。
【００５７】
また、以上においては、封入口１２が背面空間８側にある場合についてのみ説明したが、該封入口１２が作動空間７側にある場合についても、励磁力の方向を逆にしたり、ピストン１の重量やピストン支持バネ５のバネ定数を調整して、ピストン１を上記と逆向きに移動させることで、上記と同様の効果を得ることが可能である。
【００５８】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれる。
【００５９】
【発明の効果】
本発明によれば、ピストンに力を加えて移動させ、作動媒体封入時の該作動媒体の通路を確保することができるので、作動媒体封入時にピストンが過度に移動することを防止しつつ、短時間で作動媒体を封入することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１つの実施の形態に係るスターリング機関の断面図である。
【図２】従来のスターリング機関の断面図である。
【図３】従来のスターリング機関の断面図（背面空間側を下側にして縦置きした場合）である。
【符号の説明】
１  ピストン、１ａ  ピストン摺動面、１ｂ  摺動穴、１ｃ  第２の通路、１ｄ  開口部（第２の通路）、２  ディスプレーサ、２ａ  ロッド、３  シリンダ、３ａ  シリンダ摺動面、３ｂ  第１の通路、３ｃ  開口部（第１の通路）、４圧力容器、５  ピストン支持バネ、６  ディスプレーサ支持バネ、７  作動空間、７ａ  圧縮空間、７ｂ  膨張空間、８  背面空間、９  再生器、１０  リニアモータ、１１  コントローラ、１２  封入口。
【図１】
2004340477.tif 000003
【図２】
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【図３】
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