(57)【要約】【課題】低コストで研削屑等の処理も容易にでき、又小さな吸引力で大きな吸着力を得られ、吸着面の歪みの発生を防止できるよう形成したバキュームチャックを提供する。【解決手段】チャック本体１の上面に多数のエアー吸引孔２を開口する。外部から供給する圧縮空気でこのエアー吸引孔２から空気を吸引する真空エジェクター３を、チャック本体１の側面に設ける。真空エジェクター３の吸引作用でチャック本体１の上面に被加工物７を吸着させる。チャック本体１を無垢の金属材で形成する。このチャック本体１の側面から平面視で縦横に穿てた横孔４で上記のエアー吸引孔２を互いに連通させる。この横孔４のチャック本体１の側面に開口する端部４ａを閉塞し、真空エジェクター３とエアー吸引孔２とをこの横孔４を介して連通させる。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャック本体の上面に多数のエアー吸引孔が開口され、外部から供給される圧縮空気でこのエアー吸引孔から空気を吸引する真空エジェクターがチャック本体の側面に設けられ、真空エジェクターの吸引作用でチャック本体の上面に被加工物が吸着されるバキュームチャックであって、上記のチャック本体が無垢の金属材で形成され、このチャック本体の側面から平面視で縦横に穿てられている横孔で上記のエアー吸引孔が互いに連通され、この横孔のチャック本体の側面に開口する端部が閉塞され、上記の真空エジェクターとエアー吸引孔とがこの横孔を介して連通されていることを特徴とするバキュームチャック。
【請求項２】
請求項１記載のバキュームチャックであって、チャック本体の直交する側面に、被加工物をあてがうための位置決めプレートがチャック本体の上面から上方に突き出されて、且つ鉤形状に設けられていることを特徴とするバキュームチャック。
【請求項３】
請求項２記載のバキュームチャックであって、位置決めプレートが、高さ調節自在に形成されていることを特徴とするバキュームチャック。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、バキュームチャックに関し、更に詳しくは例えばガラスやセラミックス、或いは宝石などの被加工物を研削加工する際、この種の被加工物を固定するために使用するバキュームチャックに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来この種のチャックとしては、例えば上面開口状のボックスと、このボックスの上面を塞ぐ吸着プレートとを備え、側面にチャンバのエアを吸い出すための吸出孔が設けられ、吸着プレートの吸込孔、チャンバ、吸出孔を介して吸着プレート上の被加工物を吸着可能に形成しているものがある（例えば特開２００１−２８７１２９号公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところでこの種のチャックは、安価に提供できるよう構造を簡単化でき、被加工物の加工時に生じる研削屑や研削油等を除去し易く、又小さな吸引力で効率良く高い吸着力を得られ、更には被加工物を載せる吸着面が吸引作用で歪みを生じないよう、形成されているのが望ましい。
【０００４】
しかるに従来品は、上記の通り、ボックスがチャンバに形成され、吸着プレートの吸込孔、チャンバ、吸出孔を介して吸引される構造であったから、従来品によると組立てや製造に手間暇やコストがかかり、吸引力を大きくしないと高い吸着力を得られず、又吸着プレートがボックスに被せて取り付けられているため、吸引作用で吸着面が凹湾曲状に歪みを生じる惧れがある、という問題点があった。
【０００５】
本発明は、このような従来品の問題点に鑑み、提案されたものである。
従って本発明の技術的課題は、低コストで、研削屑等の処理も容易にでき、又小さな吸引力で大きな吸着力を得られ、吸着面の歪みの発生を防止できるよう形成したバキュームチャックを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するために、次のような技術的手段を採る。
【０００７】
即ち本発明は、図１等に示されるように、チャック本体１の上面に多数のエアー吸引孔２が開口され、外部から供給される圧縮空気でこのエアー吸引孔２から空気を吸引する真空エジェクター３がチャック本体１の側面に設けられ、真空エジェクター３の吸引作用でチャック本体１の上面に被加工物７が吸着されるバキュームチャックであって、上記のチャック本体１が無垢の金属材で形成され、このチャック本体１の側面から平面視で縦横に穿てられている横孔４で上記のエアー吸引孔２が互いに連通され、この横孔４のチャック本体１の側面に開口する端部４ａが閉塞され、上記の真空エジェクター３とエアー吸引孔２とがこの横孔４を介して連通されていることを特徴とする（請求項１）。
【０００８】
ここで、金属材としては、例えば鋼材やステンレス鋼等がある。本発明の場合、チャック本体１の表面は、真空蒸着法やイオンプレーティング法により表面処理されているのでも良い。又横孔４の端部４ａの閉塞の仕方としては、各横孔４毎、閉塞するのでも、或いはゴムパッキン等を介してプレートを側面に押し付けて全体を一緒に閉塞するのでも良い。
【０００９】
又本発明の場合は、チャック本体１の直交する側面に、被加工物７をあてがうための位置決めプレート９がチャック本体１の上面から上方に突き出されて、且つ鉤形状に設けられているのが好ましい（請求項２）。
【００１０】
なぜならこれによると、被加工物７をセットする際、位置決めプレート９を利用してチャック本体１の上面に被加工物７を正確に配置できるからである。本発明の場合、位置決めプレート９は、チャック本体１の角部の一個所に設けられるので良いが、チャック本体１の大きさによっては、上面を囲繞するよう設けられているのでも良い。
【００１１】
又この場合本発明は、位置決めプレート９が、高さ調節自在に形成されているのが好ましい（請求項３）。
【００１２】
なぜならこれによると、被加工物７の高さに応じて最適な高さに位置決めプレート９を配置して、安定した状態で被加工物７を加工できるからである。具体的には、例えば背の低い被加工物７の場合は、位置決めプレート９が被加工物７より高くなって加工時に障害になることを防止でき、又背の高い被加工物７の場合は、位置決めプレート９を高くすることにより接触面を増やすことができるからである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な一実施形態を添付図面に従って説明する。
【００１４】
図１等において、１は、無垢の鋼材で形成されているチャック本体である。このチャック本体１は、その上面に多数のエアー吸引孔２が開口されている。又その側面には、外部から供給される圧縮空気でエアー吸引孔２から空気を吸引する真空エジェクター３が設けられている。
【００１５】
上記のエアー吸引孔２は、チャック本体１の側面から平面視で縦横に穿てられている横孔４で連通されている。この横孔４は、チャック本体１の側面に開口する端部４ａが閉塞されると共に、上記の真空エジェクター３と連通されている。横孔４の端部４ａは、この実施形態では各横孔４毎閉塞されている。又横孔４の下方にあたるチャック本体１の内部には、横孔４と連通状に縦孔５が所々に形成されると共に、この縦孔５と連通する連通孔６が水平状に穿てられている。
【００１６】
７は、被加工物である。この被加工物７は、上記の真空エジェクター３の吸引作用でチャック本体１の上面に吸着されるものである。真空エジェクター３は、この実施形態ではチャック本体１の側面の下部に、左右一対状に設けられ、上記の連通孔６と連通状に接続されている。又８（図３参照）は、圧縮空気の流路である。この流路８は、この実施形態では分岐部８ａで二経路に分岐されている。
【００１７】
９は、被加工物７をあてがうための位置決めプレートである。この位置決めプレート９は、チャック本体１の直交する側面に、チャック本体１の上面から上方に突き出されて、且つ鉤形状に設けられている。又この位置決めプレート９は、長孔９ａを介して螺子１０で取り付けられ、この螺子１０を緩め、長孔９ａを利用して上下動させることで高さが変更自在に形成されている。
【００１８】
次に本発明の作用を説明する。
【００１９】
先ず作業者は、被加工物７を位置決めプレート９に押し当てて配置する。この場合、被加工物７の高さに応じて、螺子１０を締め付け直して位置決めプレート９の高さを調節する。
【００２０】
次に圧縮空気を真空エジェクター３に送る。すると真空エジェクター３内が負圧になり、外部エアーがエアー吸引孔２からチャック本体１内に吸込まれ、横孔４、縦孔５、連通孔６を経て流れ、真空エジェクター３から流路８を介して排気される。これにより被加工物７が、チャック本体１の上面に吸着される。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、真空エジェクターの吸引作用で被加工物をチャック本体の上面に吸着させるバキュームチャックであって、チャック本体を無垢の金属材で形成し、エアー吸引孔をチャック本体の側面から平面視で縦横に穿てた横孔で連通させ、この横孔のチャック本体の側面に開口する端部を閉塞させ、横孔と上記の真空エジェクターとを連通させているものである。
【００２２】
従って本発明の場合は、少ない部品で低コストで製造でき、真空エジェクターから研削屑等をエアーと一緒に容易に排出でき、小さな吸引力で大きな吸着力を得られ、又エアー吸引孔や横孔を無垢のチャック本体に穿って形成しているため、吸着面（上面）の歪みの発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明チャックの好適な一実施形態を示す一部を切欠した要部平面図である。
【図２】同上チャックの斜視図である。
【図３】同上チャックの使用状態時の要部平面図である。
【図４】同上チャックのエアーの流れを示す要部平面図である。
【図５】同上チャックの一部を切欠した側面図である。
【図６】図１のＶＩ―ＶＩ線における断面図である。
【図７】図１のＶＩＩーＶＩＩ線における断面図である。
【図８】同上チャックの要部斜視図である。
【符号の説明】
１　　チャック本体
２　　エアー吸引孔
３　　真空エジェクター
４　　横孔
４ａ　端部
５　　縦孔
６　　連通孔
７　　被加工物
８　　圧縮空気の流路
８ａ　分岐部
９　　位置決めプレート
９ａ　長孔
１０　螺子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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