(57)【要約】【課題】ワークの研削平面における表面粗さ精度が十分に得られる縦型ロータリ研削盤を提供する。【解決手段】砥石駆動装置３０を研削砥石Ｇの回転軸心と平行な方向に移動可能に支持する砥石駆動装置支持装置（２０、２２）が、上記回転軸心と平行な方向に延びる支柱（垂直方向案内部材）２０と、その砥石駆動装置３０が連結されてその支柱２０の案内面との間に静圧気体を介在させた状態でその支柱２０により垂直方向に案内される垂直方向静圧気体軸受装置２２とを有するものであることから、上記砥石駆動装置支持装置は支柱２０との間で静圧気体を介在させた状態でその支柱２０により案内されてその案内面の凹凸や転動体の真円度のばらつきの影響が解消されるので、研削砥石Ｇがその下降移動に伴って微小に上下させられることが好適に解消され、研削砥石Ｇの送込み量の精度およびワークＷの研削平面における表面粗さが十分に得られるようになる。【選択図】  図２
2004255550.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
垂直方向の回転軸心まわりにワークを回転駆動するワーク回転駆動装置と、該ワークの一面を研削するために該垂直方向の回転軸心まわりに研削砥石を回転駆動する砥石駆動装置と、該砥石駆動装置を該回転軸心と平行な方向に移動可能に支持する砥石駆動装置支持装置と、前記砥石を前記ワークに向かって前記回転軸心に平行な方向に送り込む砥石送り駆動装置とを備えた縦型ロータリ研削盤であって、
前記砥石駆動装置支持装置は、前記回転軸心と平行な方向に延びる垂直方向案内部材と、前記砥石駆動装置が連結され、該案内部材の案内面との間に静圧気体を介在させた状態で該案内部材により垂直方向に案内される垂直方向静圧気体軸受装置とを有するものであることを特徴とする縦型ロータリ研削盤。
【請求項２】
前記ワーク回転駆動装置を水平方向に移動可能に支持するワーク回転駆動装置支持装置を備え、該ワーク回転駆動装置支持装置は、該水平方向に延びる水平方向案内部材と、該ワーク回転駆動装置が連結され、該水平方向案内部材の案内面との間に静圧気体を介在させた状態で該水平方向案内部材により水平方向に案内される水平方向静圧気体軸受装置とを有するものである請求項２の縦型ロータリ研削盤。
【請求項３】
前記砥石駆動装置は、前記研削砥石が取り付けられる回転軸と、該回転軸を静圧気体を介して回転可能に支持する静圧気体回転軸受装置とを備えたものである請求項１または２の縦型ロータリ研削盤。
【請求項４】
前記ワーク回転駆動装置は、前記ワークが着脱可能に取り付けられる回転軸と、該回転軸を静圧気体を介して支持する静圧気体回転軸受装置とを備えたものである請求項１乃至３のいずれかの縦型ロータリ研削盤。
【請求項５】
前記砥石送り駆動装置は、位置固定のフレームに設けられた送りねじ装置と、該送りねじ装置により送られる可動部材に設けられ、前記垂直方向静圧気体軸受装置を該可動部材の移動方向と平行な方向に移動させる圧電アクチュエータとを備えたものである請求項１乃至４のいずれかの縦型ロータリ研削盤。
【請求項６】
前記垂直方向静圧気体軸受装置に連結された前記砥石駆動装置の荷重による前記案内部材の案内面における面圧の偏在を緩和するために、砥石駆動装置にそれを引上げる方向の推力を付与する荷重平衡装置を備えたものである請求項１乃至５のいずれかの縦型ロータリ研削盤。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術手段】
本発明は、ワークの表面を高精度で平面研削するための縦型ロータリ研削盤に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
垂直方向の回転軸心まわりにワークを回転駆動するワーク回転駆動装置と、そのワークの一面を研削するためにその垂直方向の回転軸心まわりに研削砥石を回転駆動する砥石駆動装置と、その砥石駆動装置を該回転軸心と平行な方向に移動可能に支持する砥石駆動装置支持装置と、前記砥石を前記ワークに向かって前記回転軸心に平行な方向に送り込む砥石送り駆動装置とを備え、上記ワークの表面をサブミクロン或いはナノオーダの送り制御が可能な縦型ロータリ研削盤が知られている。たとえば、特許文献１に記載された工具送り装置を備えた縦型ロータリ研削盤がそれである。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２７６３４９号公報
【０００４】
これによれば、上下方向の移動可能に設けられたスライダに垂直方向の静止軸が固定されており、研削ホイールが固定された回転体がその静止軸の軸端に静圧軸受を介して回転可能に設けられ、その回転体が上記スライダに設けられたモータによりベルト機構を介して回転駆動されるようになっている。また、上記スライダは、研削盤ベッドに立設された支柱（コラム）により通常の軸受けを介して上下方向に案内されるとともに、油圧シリンダによって上下方向の位置決が行われるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のように、スライダが直動玉軸受やメタル軸受などの通常の軸受けを介して支柱により案内されるとき、その直動玉軸受内の転動体の真円度の不揃いや支柱表面の凹凸の影響で、そのスライダに垂直軸心まわりに回転可能に設けられた研削ホイールがその下降移動に伴って微小に上下させられることが避けられず、研削ホイールの送込み量の制御がたとえばナノメータのオーダにおいて十分に得られず、ワークの研削平面における表面粗さがたとえばオングストロームの単位において十分に得られない場合があった。
【０００６】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、ワークの研削平面における表面粗さ精度が十分に得られる縦型ロータリ研削盤を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するために、本発明の要旨とするところは、垂直方向の回転軸心まわりにワークを回転駆動するワーク回転駆動装置と、そのワークの一面を研削するために該垂直方向の回転軸心まわりに研削砥石を回転駆動する砥石駆動装置と、その砥石駆動装置をその回転軸心と平行な方向に移動可能に支持する砥石駆動装置支持装置と、前記砥石を前記ワークに向かって前記回転軸心に平行な方向に送り込む砥石送り駆動装置とを備えた縦型ロータリ研削盤であって、前記砥石駆動装置支持装置は、前記回転軸心と平行な方向に延びる垂直方向案内部材と、前記砥石駆動装置が連結され、その案内部材の案内面との間に静圧気体を介在させた状態でその案内部材により垂直方向に案内される垂直方向静圧気体軸受装置とを有するものであることにある。
【０００８】
【発明の効果】
このようにすれば、砥石駆動装置を研削砥石の回転軸心と平行な方向に移動可能に支持する砥石駆動装置支持装置が、上記回転軸心と平行な方向に延びる垂直方向案内部材と、前記砥石駆動装置が連結されてその案内部材の案内面との間に静圧気体を介在させた状態でその案内部材により垂直方向に案内される垂直方向静圧気体軸受装置とを有するものであることから、上記砥石駆動装置支持装置は垂直方向案内部材との間で静圧気体を介在させた状態でその垂直方向案内部材により案内されて垂直方向案内部材の案内面の凹凸や転動体の真円度のばらつきの影響が解消されるので、研削ホイールがその下降移動に伴って微小に上下させられることが好適に解消され、研削ホイールの送込み量の制御が十分に得られるとともに、ワークの研削平面における表面粗さが十分に得られるようになる。
【０００９】
【発明の他の態様】
ここで、好適には、前記ワーク回転駆動装置を水平方向に移動可能に支持するワーク回転駆動装置支持装置を備え、そのワーク回転駆動装置支持装置は、その水平方向に延びる水平方向案内部材と、そのワーク回転駆動装置が連結されてその水平方向案内部材の案内面との間に静圧気体を介在させた状態でその水平方向案内部材により水平方向に案内される水平方向静圧気体軸受装置とを有するものである。このようにすれば、研削中にワークが水平方向に移動させられるとき、上記ワーク回転駆動装置支持装置は水平方向案内部材との間で静圧気体を介在させた状態でその水平方向案内部材により案内されて水平方向案内部材の案内面の凹凸や転動体の真円度のばらつきの影響が解消されることから、研削ホイールの水平方向の移動に伴って微小に上下させられることが好適に解消されるので、ワークの研削平面における表面粗さが一層小さくされ平滑な平面が得られるようになる。
【００１０】
また、好適には、前記砥石駆動装置は、前記研削砥石が取り付けられる回転軸と、その回転軸を静圧気体を介して回転可能に支持する静圧気体回転軸受装置とを備えたものである。このようにすれば、回転軸がボールベアリングにより回転可能に支持される場合に比較して、転動体の真円度のばらつきによる研削砥石の振動が好適に抑制されるので、ワークの研削平面における表面粗さが一層小さくされ平滑な平面が得られるようになる。
【００１１】
また、好適には、前記ワーク回転駆動装置は、前記ワークが着脱可能に取り付けられる回転軸と、その回転軸を静圧気体を介して支持する静圧気体回転軸受装置とを備えたものである。このようにすれば、回転軸がボールベアリングにより回転可能に支持される場合に比較して、転動体の真円度のばらつきによるワークの振動が好適に抑制されるので、ワークの研削平面における表面粗さが一層小さくされ平滑な平面が得られるようになる。
【００１２】
また、好適には、前記砥石送り駆動装置は、位置固定のフレームに設けられた送りねじ装置と、その送りねじ装置により送られる可動部材に設けられ、前記垂直方向静圧気体軸受装置をその可動部材の移動方向と平行な方向に移動させる圧電アクチュエータとを備えたものである。このようにすれば、砥石駆動装置が連結された垂直方向静圧気体軸受装置は、研削中に研削砥石が垂直方向に切れ込み移動させられるとき、上記送りねじ装置により位置決めされた状態から圧電アクチュエータを用いて移動させられることから、送込み量が高い位置精度で制御されるので、ワークの研削平面における表面粗さが一層小さくされ平滑な平面が得られるようになる。
【００１３】
また、好適には、前記垂直方向静圧気体軸受装置に連結された前記砥石駆動装置の荷重による前記案内部材の案内面に対する面圧の偏在を緩和するために、砥石駆動装置にそれを引上げる方向の推力を付与する荷重平衡装置を備えたものである。このようにすれば、垂直方向静圧気体軸受装置に連結された砥石駆動装置にそれを引上げる方向の推力が荷重平衡装置から付与されることから、荷重の重心がその垂直方向静圧気体軸受装置に接近させられるので、案内部材の案内面に対する面圧の偏在が好適に緩和され、その垂直方向静圧気体軸受装置が小型となる。
【００１４】
【発明の好適な実施の形態】
以下、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の説明に用いる図面に関して、各部の寸法比等は必ずしも正確には描かれていない。
【００１５】
図１は、本発明の一実施例である縦型ロータリ研削盤１０の正面図であり、図２はその側面図である。図１および２において、縦型ロータリ研削盤１０は、下部フレーム１２と、その下部フレーム１２の上面のうち定盤１４が載置された残りの部分において、水平軸心方向のピン１６まわりの回動が微調節可能に固定装置１７により固設された上部フレーム１８とを備えている。その上部フレーム１８には、垂直方向に長手状を成す角柱状の一対の支柱２０と、垂直方向案内部材として機能するその支柱２０にそれぞれ嵌装されて垂直方向に案内される一対の垂直方向静圧気体軸受装置２２とが設けられている。それら一対の垂直方向静圧気体軸受装置２２は、連結板２３などを介して互いに連結されている。図３は、上記支柱２０の断面を示している。
【００１６】
垂直方向静圧気体軸受装置２２は、たとえば図４にその要部を示すように、支柱２０の４つの案内面を取り囲むハウジング２４と、そのハウジング２４内において上記案内面と対向し且つわずかな隙間を隔てて位置するように設けられた多孔質部材２６と、その多孔質部材２６の上記案内面側とは反対側に圧縮気体たとえば圧縮空気を供給するための気体供給通路２８とを備え、上記支柱２０の案内面との間の隙間に多孔質部材２６から噴出させた高圧流体圧（静圧）を介在させることにより被接触でハウジング２４が支柱２０に支持或いは拘束されるようにする。
【００１７】
上記垂直方向静圧気体軸受装置２２には、被研磨体である板状のワークＷの一面（上面）を研削するために垂直方向の回転軸心まわりに研削砥石Ｇを回転駆動する砥石駆動装置３０が連結され固定されている。従って、支柱２０およびそれにより案内される垂直方向静圧気体軸受け装置２２は、砥石駆動装置３０を垂直方向に移動可能に支持するための砥石駆動装置支持装置として機能している。上記砥石駆動装置３０は、垂直方向静圧気体軸受装置２２により垂直方向への移動可能に支持されている。砥石駆動装置３０は、軸（下）端に研削砥石Ｇが固定された回転軸３２と、その回転軸３２を回転駆動するモータ３４が固定された固定板３６と、そのモータ３４に固定され、上記回転軸３２を静圧気体を介して回転可能に支持する静圧気体回転軸受装置３８とを備えている。この静圧気体回転軸受装置３８は、回転軸３２の外周面に対向する多孔質部材から吹き出させた高圧流体圧（静圧）介在させた状態でその回転軸３２を無接触で支持するものである。
【００１８】
ワークＷの研磨に際して砥石ＧをワークＷに向かって所定の切込み量で送り込むために、その砥石ＧをワークＷに向かってその回転軸心に平行な方向すなわち垂直方向へ送り込む砥石送り駆動装置４０が上部フレーム１８に設けられている。砥石送り駆動装置４０は、位置固定の上部フレーム１８に設けられた送りねじ装置４２と、その送りねじ装置４２により送られる可動部材４４と前記垂直方向静圧気体軸受装置２２に連結された連結板２３との間に設けられ、その垂直方向静圧気体軸受装置２２をその可動部材４４の移動方向と平行な方向に移動させる圧電アクチュエータ４６とを備えたものである。送りねじ装置４２は、垂直方向の回転軸心まわりに回転可能に上部フレーム１８に設けられた送りねじ４８と、その送りねじ４８に連結されて上部フレーム１８に設けられたモータ５０とを備え、モータ５０により回転駆動される送りねじ４８の回転に伴ってそれに螺合した可動部材４４が垂直方向に位置決めする。また、上記圧電アクチュエータ４６は、たとえば板状の圧電セラミックスが積層されたものであり、印加されたるされた駆動電圧に応じてその全長がたとえば２００μｍストローク内で高精度で変化させられ、たとえば６ｋＮの出力が得られるものである。
【００１９】
また、上記上部フレーム１８には、垂直方向静圧気体軸受装置２２により片持ち状に支持された砥石駆動装置３０の荷重に起因して前記支柱２０の案内面における面圧分布の偏在を緩和するための荷重平衡装置５４が設けられている。荷重平衡装置５４は、上記砥石駆動装置３０と略同等の荷重を備えて上部フレーム１８内に上下方向の移動が可能に配置された平衡錘５６と、その平衡錘５６と砥石駆動装置３０との間を連結し、且つローラ５８により逆Ｕ字状に案内されたケーブル６０とを備え、上記砥石駆動装置３０にそれを引上げる方向の推力を付与することによりその荷重をその上下位置に拘わらず軽減する。
【００２０】
前記下部フレーム１２上には、ワークＷの上面を研磨するためにそのワークＷを垂直方向の回転軸心まわりに回転駆動するワーク回転駆動装置６４が、定盤１４、３分力動力計６２、およびワーク回転駆動装置支持装置６６を介して設けられている。ワーク回転駆動装置支持装置６６は、上記ワーク回転駆動装置６４を水平方向に移動可能に支持するためのものであって、その水平方向に延びる水平方向案内部材６８と、上記ワーク回転駆動装置６４が連結され、その水平方向案内部材６８の案内面との間に静圧気体を介在させた状態でその水平方向案内部材６８により１水平方向に案内される水平方向静圧気体軸受装置７０とを備えている。上記ワーク回転駆動装置６４に固定されたワークＷは、前記研削砥石Ｇと垂直方向において、ワークＷの半径以上重複するように設定されている。
【００２１】
上記ワーク回転駆動装置６４は、前記ワークＷが着脱可能に取り付けられる吸着盤７２が固定された図示しない回転軸と、その回転軸を回転駆動するモータ７３と、そのモータ７３に固定され、その回転軸を静圧気体を介して支持する静圧気体回転軸受装置７４とを備えたものである。この静圧気体回転軸受装置７４は、上記図示しない回転軸の外周面に対向する多孔質部材から吹き出させた高圧流体圧（静圧）介在させた状態でその回転軸３２を無接触で支持するものである。また、上記水平方向静圧気体軸受装置７０は、前記垂直方向静圧気体軸受装置２２と同様に、水平方向案内部材６８の案内面を取り囲むハウジング７６と、そのハウジング７６内において上記案内面と対向し且つわずかな隙間を隔てて位置するように設けられた図示しない多孔質部材と、その多孔質部材の上記案内面側とは反対側に圧縮気体たとえば圧縮空気を供給するための気体通路とを備え、上記水平方向案内部材６８の案内面との間の隙間に多孔質部材から噴出させた高圧流体圧（静圧）を介在させることにより被接触でハウジング７６が水平方向案内部材６８の案内方向以外の移動が拘束されるようにする。
【００２２】
以上のように構成された１０では、ワークＷが吸着盤７２に固定されると、研削砥石ＧおよびワークＷが所定の方向に回転駆動されるとともに図示しない研削液が供給されつつ、その研削砥石ＧがワークＷに接触する直前まで送りねじ装置４２により下降させられる。次いで、圧電アクチュエータ４６により研削砥石ＧがワークＷに切り込まれつつ、たとえばリニヤモータのような水平方向駆動装置７８或いは手動操作によってワークＷが水平方向支持装置６６によって水平方向に１往復ストローク分移動させられる。この研磨加工程が必要に応じて繰り返えされることによって、ワークＷの上面の全面に研磨加工が行われる。図５および図６は、本発明者が行った実験結果を示すものであって、図５はワークＷに対する切込み量すなわち研削砥石ＧのワークＷに対する送り量とワークＷの表面粗さ（或いは最大厚みと最小厚みとの差で定義される平面度）との関係を示し、図６は水平移動の有無とワークＷの表面粗さとの関係を示している。図５から明らかなように、１回の送り込みたとえば圧電アクチュエータ４６に対する１電気信号（１パルス）当たりのワークＷに対する切込み量を５ｎｍ以下にすると、１オングストローム以下のワークＷの表面粗さが得られる。すなわち、研削砥石ＧのワークＷに対する送り量の制御を５ｎｍ以下としないと１オングストローム以下のワークＷの表面粗さ（平面度）が得られない。また、研削中においてワークＷ水平方向支持装置６６によって水平方向に移動させることにより、ワークＷの表面粗さが１／５程度に改善される。たとえば図６に示すように、ワークＷの平面度は、そのワークＷの寸法が２００ｍｍ×２００ｍｍの場合において、移動無しの面形状の平面度が０．５μｍであるときに移動有りとすると０．１μｍ以下に改善される。
【００２３】
上述のように本実施例によれば、砥石駆動装置３０を研削砥石Ｇの回転軸心と平行な方向に移動可能に支持する砥石駆動装置支持装置（２０、２２）が、上記回転軸心と平行な方向に延びる支柱（垂直方向案内部材）２０と、その砥石駆動装置３０が連結されてその支柱２０の案内面との間に静圧気体を介在させた状態でその支柱２０により垂直方向に案内される垂直方向静圧気体軸受装置２２とを有するものであることから、上記砥石駆動装置支持装置は支柱２０との間で静圧気体を介在させた状態でその支柱２０により案内されてその案内面の凹凸や転動体の真円度のばらつきの影響が解消されるので、研削砥石Ｇがその下降移動に伴って微小に上下させられることが好適に解消され、研削砥石Ｇの送込み量の制御が十分に得られるとともに、ワークＷの研削平面における表面粗さが十分に得られるようになる。
【００２４】
また、本実施例によれば、ワーク回転駆動装置６４を水平方向に移動可能に支持するワーク回転駆動装置支持装置６６は、その水平方向に延びる水平方向案内部材６８と、ワーク回転駆動装置６４が連結されてその水平方向案内部材６８の案内面との間に静圧気体を介在させた状態でその水平方向案内部材により水平方向に案内される水平方向静圧気体軸受装置７０とを有するものである。このため、研削中にワークＷが水平方向に移動させられるとき、上記ワーク回転駆動装置支持装置６６は水平方向案内部材６８との間で静圧気体を介在させた状態でその水平方向案内部材６８により案内されてその案内面の凹凸や転動体の真円度のばらつきの影響が解消されることから、研削砥石Ｇの水平方向の移動に伴って微小に上下させられることが好適に解消されるので、ワークの研削平面における表面粗さが一層小さくされ平滑な平面が得られるようになる。
【００２５】
また、本実施例によれば、砥石駆動装置３０は、研削砥石Ｇが取り付けられる回転軸３２と、その回転軸３２を静圧気体を介して回転可能に支持する静圧気体回転軸受装置３８とを備えたものであることから、回転軸３２がボールベアリングにより回転可能に支持される場合に比較して、そのボールベアリングの転動体の真円度のばらつきによる研削砥石の振動が好適に抑制されるので、ワークＷの研削平面における表面粗さが一層小さくされ平滑な平面が得られるようになる。
【００２６】
また、本実施例によれば、ワーク回転駆動装置６４は、ワークｗが着脱可能に取り付けられる図示しない回転軸と、その回転軸を静圧気体を介して支持する静圧気体回転軸受装置７４とを備えたものであることから、回転軸がボールベアリングにより回転可能に支持される場合に比較して、そのボールベアリングの転動体の真円度のばらつきによるワークＷの振動が好適に抑制されるので、ワークＷの研削平面における表面粗さが一層小さくされ平滑な平面が得られるようになる。
【００２７】
また、本実施例によれば、砥石送り駆動装置４０は、位置固定の上部フレーム１８に設けられた送りねじ装置４２と、その送りねじ装置４２により送られる可動部材４４に設けられ、垂直方向静圧気体軸受装置２２をその可動部材４４の移動方向と平行な方向に移動させる圧電アクチュエータ４６とを備えたものであることから、砥石駆動装置３０が連結された垂直方向静圧気体軸受装置２２は、研削中に研削砥石Ｇが垂直方向に切れ込み移動させられるとき、上記送りねじ装置４２により位置決めされた状態から圧電アクチュエータ４６を用いて移動させられることから、送込み量が高い位置精度で制御されるので、ワークＷの研削平面における表面粗さが一層小さくされ平滑な平面が得られるようになる。
【００２８】
また、本実施例によれば、垂直方向静圧気体軸受装置２２に連結された砥石駆動装置３０の荷重による支柱（案内部材）２０の案内面に対する面圧の偏在を緩和するために、砥石駆動装置３０にそれを引上げる方向の推力を付与する荷重平衡装置５４が備えられている。このため、垂直方向静圧気体軸受装置２２に連結された砥石駆動装置３０にそれを引上げる方向の推力が荷重平衡装置５４から付与されることから、荷重の重心がその垂直方向静圧気体軸受装置２２に接近させられるので、支柱２０の案内面に対する面圧の偏在が好適に緩和され、その垂直方向静圧気体軸受装置２２が小型となる。
【００２９】
以上、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、更に別の態様においても実施される。
【００３０】
例えば、前述の実施例において、砥石駆動装置３０は、一対の支柱２０の間に位置するように配置されても差し支えない。このようにすれば、荷重平衡装置５４は不要となる。また、前記垂直方向静圧気体軸受装置２２の耐荷重容量が大きい場合には、その荷重平衡装置５４は図１および図２の実施例においても必ずしも必要とされない。
【００３１】
また、前述の実施例において、砥石送り装置４０は圧電アクチュエータ４６を用いて研削砥石Ｇの切れ込み量を制御していたが、その圧電アクチュエータ４６に替えて磁歪素子などが用いられてもよい。
【００３２】
また、前述の実施例の縦型ロータリ研削盤１０において、研削砥石ＧおよびワークＷは垂直な軸心ＡおよびＧまわりに回転可能に設けられていたが、傾斜したものなど回転軸心は必ずしも垂直でなくてもよい。
【００３３】
その他一々例示はしないが、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である縦型ロータリ研削盤を示す正面図である。
【図２】図１の実施例の縦型ロータリ研削盤を示す側面図である。
【図３】図１の実施例の縦型ロータリ研削盤において支柱の断面を示すための、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ  視断面図である。
【図４】図１乃至３  の垂直方向静圧気体軸受け装置の構成の要部を説明する断面図である。
【図５】図１の実施例の装置を用いて行った実験結果であって、ワークＷに対する研削砥石Ｇの送り量とワークＷの表面粗さとの関係を示している。
【図６】図１の実施例の装置を用いて行った実験結果であって、研削中のワークＷの水平移動の有無とワークＷの表面粗さとの関係を示している。
【符号の説明】
１０：縦型ロータリ研削盤
２０：支柱（垂直方向案内部材）（砥石駆動装置支持装置）
２２：垂直方向静圧気体軸受装置（砥石駆動装置支持装置）
３０：砥石駆動装置
３８：静圧気体回転軸受装置
４０：砥石送り駆動装置
６４：ワーク回転駆動装置
６６：ワーク回転駆動装置支持装置
７０：水平方向静圧気体軸受装置
７４：静圧気体回転軸受装置
Ｗ：ワーク
Ｇ：研削砥石
【図１】
2004255550.tif 000003
【図２】
2004255550.tif 000004
【図３】
2004255550.tif 000005
【図４】
2004255550.tif 000006
【図５】
2004255550.tif 000007
【図６】
2004255550.tif 000008