(57)【要約】【課題】２段の光ファイバーアレイを高精度に平行に配置することができる光源部を備えたマルチビーム露光ヘッドを提供し、さらにこの光源部を用いて、２段の光ファイバーアレイを所定の角度回転させて所望の解像度に切り換えることができるマルチビーム露光ヘッドを提供することを課題とする。【解決手段】２段の階層構造の光ファイバーアレイの構成を、光ファイバを所定の間隔で並列配列した一方の光ファイバーアレイＦＡ１　上に、この光ファイバーアレイＦＡ１　を形成する光ファイバのうち隣接する２つの光ファイバと接するように他方の光ファイバーアレイＦＡ２　の光ファイバを配置することによって前記課題を解決する。【選択図】図２
2004122400.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光ファイバの出射口から出射するマルチビームにより記録材料に画像を露光記録する光源部を有するマルチビーム露光ヘッドであって、
前記光源部は、所定の間隔で光ファイバの出射口が並列配置された第１の光源列と、複数の光ファイバの出射口からなる、前記第１の光源列に沿った光源列であって、この光源列を形成する光ファイバのそれぞれが、前記第１の光源列を形成する光ファイバのうち隣接する２つの光ファイバと接するように配置されることにより、光ファイバの出射口が、前記第１の光源列の出射口と同じ間隔で並列配置された第２の光源列と、を備えることを特徴とするマルチビーム露光ヘッド。
【請求項２】
前記出射口から出射されるマルチビームの出射方向に平行な軸の軸回りに、前記光源部を所定角度回転させることにより、前記第１および第２の光源列で形成される画像の解像度を調整する、解像度調整手段を有する請求項１に記載のマルチビーム露光ヘッド。
【請求項３】
前記光源部は、前記光源部に対して第１の方向に相対的に移動する記録材料を露光記録し、
前記解像度調整手段は、前記第１の方向と直交する第２の方向を前記第１および第２の光源列の並列配置方向とし、記録材料に所定の解像度で露光記録する低解像度露光条件と、前記第１および第２の光源列の並列配置方向を前記第２の方向に対して所定角度傾斜させて、前記所定の解像度に比べ高解像で記録材料を露光記録する高解像度露光条件とを、前記光源部を回転させて切り換える請求項２に記載のマルチビーム露光ヘッド。
【請求項４】
前記光源部から出射したマルチビームを記録材料に所定の結像倍率で集束させる光学系を有する請求項３に記載のマルチビーム露光ヘッド。
【請求項５】
前記高解像度露光条件における、前記第２の方向に対する前記第１および第２の光源列の並列配置方向の傾斜角度をθ（ｄｅｇ）、この時の画像の解像度をα（ｄｐｉ）、前記第１の光源列と前記第２の光源列の出射口の配列間隔をＸ（μｍ）及び前記光学系の結像倍率をβとしたとき、配列間隔Ｘおよび結像倍率βが下記式（１）及び（２）に従って設定される請求項４に記載のマルチビーム露光ヘッド。
2004122400.tif 000004
但し、Ｚは光ファイバのクラッド径である。
【請求項６】
前記傾斜角度θ（ｄｅｇ）から求まるｃｏｓθが、前記低解像度露光条件で形成される画像の解像度と前記高解像度露光条件で形成される画像の解像度の比率である請求項５に記載のマルチビーム露光ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マルチビームを用いて感光体や感光材料や感光性材料等の記録材料に結像して露光するマルチビーム露光ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、印刷の分野では、ＰＳ版（Ｐｒｅｓｅｎｓｉｔｉｚｅｄ　Ｐｌａｔｅ）を用いた平板製版が広く行われている。例えば、カラー印刷の場合、カラー画像をスキャナでＲ（レッド）、Ｇ（グリーン）、およびＢ（ブルー）の３色に分解して読み取り、これらの３色の画像信号をＣ（シアン）、Ｍ（マゼンタ）、Ｙ（イエロー）およびＢｋ（黒）の４色の色分解網点信号に変換し、得られた各色の色分解網点信号に基づいて変調された光ビームを用いて各色毎にリスフィルムと呼ばれる感光材料に露光焼き付けして各色のリス板を得、各色毎に得られたリス版を用いてＰＳ版に各色の網点画像を露光焼き付けして、平板印刷用のＣ，Ｍ，Ｙ，Ｂｋの４色の刷版を製版している。しかし、近年、製版工程の簡素化や製版時間の短縮化のために、リスフィルムを介在させずに、スキャナシステムで得られたＣ，Ｍ，Ｙ，Ｂｋの４色の色分解網点信号を用いてレーザビーム等の光ビームによって直接ＰＳ板に描画して刷版を製版するダイレクト製版やＣＴＰ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ　ｔｏ　Ｐｌａｔｅ）が注目されている。
【０００３】
一方では、印刷画像の高階調化や高品質化のために、記録密度を高密度化することが求められている。このような高密度化が求められる中で、製版時間の短縮化も求められている。なお、高密度の描画を短時間で行う要求は、印刷分野に限られず、多くの画像記録分野にもある。
【０００４】
記録密度を高密度化して製版時間を短縮するには、例えば光ファイバアレイを２段の階層構造に並べたものを用い、上段の光ファイバアレイの配列と下段の光ファイバアレイの配列を協働するように配置させ、光学系の結像倍率を殆ど変えずに、光ファイバアレイに対して相対的に記録材料を移動させながら所望の解像度で画像の露光記録を行うマルチビーム露光ヘッド及びマルチビーム露光装置が知られている（特許文献１）。
【０００５】
特許文献１によると、固定部材で挟持されて平行に固定配置された２段の光ファイバアレイが互いに所定間隔離れ、一方の光ファイバアレイの端のビーム出射口の位置が、他方の光ファイバアレイの同じ側の端のビーム出射口の位置に対して、並列配置方向にずれた構成のマルチビームの光源部を開示している。このため、この２段の光ファイバアレイの並列配置方向を記録材料の相対的移動方向と直交する方向（副走査方向）に対して、傾斜させることによって、光ファイバアレイから出射され、記録材料上に形成されるマルチビームのスポットの副走査方向における記録ピッチを少なくとも２種類以上に切り換えて記録材料に記録することができる。特に、光ファイバアレイの配置の寸法である、平行に配置された２段の光ファイバアレイの間隔と並列配置方向のずれを特定の式で規定することで、記録材料に露光される目標とする記録ピッチを持った、露光条件を、単に露光ヘッド傾斜角度可変装置を用いて、２段の光ファイバアレイを所定角度回転するだけで、得ることができる。さらに、倍率微調整レンズを用いることで、高解像度の露光条件を複数設定することができる。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−１６９１１３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
このようなマルチビーム露光ヘッドは、平行に配置された２段の光ファイバアレイの、上段の光ファイバアレイのマルチビームの各ビームと下段の光ファイバアレイのマルチビームの各ビームとが、記録材料の主走査方向と直交する副走査方向において、記録材料上で交互に等間隔で配置される第１の露光条件を、前記マルチビームの出射方向に平行な回転軸の軸回りに傾斜させて、前記上段の光ファイバアレイのマルチビームの各ビームと前記下段の光ファイバアレイのマルチビームの各ビームとが、前記副走査方向において、前記第１の露光条件とは異なる間隔で、記録材料上で交互に等間隔で配置される第２の露光条件に、上述の露光ヘッド傾斜角度可変装置を用いて、所定角度傾斜することにより記録解像度を変更することができる。
【０００８】
しかしながら、固定部材を用いて挟持され平行に固定配置された２段の光ファイバアレイの上段の光ファイバアレイと下段の光ファイバアレイとが高精度に平行に配置されていなければ、前記上段の光ファイバアレイのマルチビームの各ビームと前記下段の光ファイバアレイのマルチビームの各ビームとを、前記副走査方向において、精度良く交互に等間隔に配置することができない。この場合、マルチビームによる走査記録において記録材料に露光される記録ピッチが所定の間隔とならず変動し、画像ムラとして欠陥が生じてしまう問題が発生する。
【０００９】
そこで、本発明は上記問題点を解消し、２段の光ファイバアレイを高精度に平行に配置することができる光源部を備えたマルチビーム露光ヘッドを提供し、さらにこの光源部を用いて、２段の光ファイバアレイを所定の角度回転させて所望の解像度に切り換えることができるマルチビーム露光ヘッドを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は複数の光ファイバの出射口から出射するマルチビームにより記録材料に画像を露光記録する光源部を有するマルチビーム露光ヘッドであって、前記光源部は、所定の間隔で光ファイバの出射口が並列配置された第１の光源列と、複数の光ファイバの出射口からなる、前記第１の光源列に沿った光源列であって、この光源列を形成するこの光ファイバのそれぞれが、前記第１の光源列を形成する光ファイバのうち隣接する２つの光ファイバと接するように配列することにより、光ファイバの出射口が、前記第１の光源列の出射口と同じ間隔で並列配置された第２の光源列と、を備えることを特徴とするマルチビーム露光ヘッドを提供する。
【００１１】
また、上述のマルチビーム露光ヘッドは、前記出射口から出射されるマルチビームの出射方向に平行な軸の軸回りに、前記光源部を所定角度回転させることにより、前記第１および第２の光源列で形成される画像の解像度を調整する、解像度調整手段を有することが好ましい。
【００１２】
ここで、上述のマルチビーム露光ヘッドの前記光源部は、第１の方向に、前記光源部に対して相対的に移動する記録材料を露光記録し、前記解像度調整手段は、前記第１の方向と直交する第２の方向を前記第１および第２の光源列の並列配置方向とし、記録材料に所定の解像度で露光記録する低解像度露光条件と、前記出射口から出射されるマルチビームの出射方向に平行な軸の軸回りに前記光源部を回転させて、前記第１および第２の光源列の並列配置方向を前記第２の方向に対して所定角度傾斜させて、前記所定の解像度に比べ高解像で記録材料を露光記録する高解像度露光条件とに、切り換えられることが好ましい。
【００１３】
また、上述のマルチビーム露光ヘッドの前記光源部から出射したマルチビームを記録材料に所定の結像倍率で集束させる光学系を有することが好ましい。
【００１４】
ここで、上述のマルチビーム露光ヘッドで前記高解像度露光条件における、前記第２の方向に対する前記第１および第２の光源列の並列配置方向の傾斜角度をθ（ｄｅｇ）、この時の画像の解像度をα（ｄｐｉ）、前記第１の光源列と前記第２の出射口の配列間隔をＸ（μｍ）及び前記光学系の結像倍率をβとしたとき、配列間隔Ｘおよび結像倍率βが下記式（１）及び（２）に従って設定されることが好ましい。
2004122400.tif 000003
但し、Ｚは光ファイバのクラッド径である。
【００１５】
さらに、上述のマルチビーム露光ヘッドの前記傾斜角度θ（ｄｅｇ）から求まるｃｏｓθが、前記低解像度露光条件で形成される画像の解像度と前記高解像度露光条件で形成される画像の解像度の比率を表すことが好ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のマルチビーム露光ヘッドを用いた、マルチビーム露光装置の一例について、添付の図面に示される好適実施例を基に詳細に説明する。
【００１７】
図１は、本発明のマルチビーム露光ヘッドを用いた、マルチビーム露光装置の好適実施例であるマルチビーム露光装置（以降、単に露光装置という）１０の概要斜視図である。
【００１８】
露光装置１０は、画像信号に応じて変調されたマルチビームを出射し、光学系を用いてＰＳ版等の記録材料Ａ上に結像させて、画像を露光記録する装置であり、主にマルチビーム露光ヘッド１２と、アウタードラム１４とを有する。マルチビーム露光ヘッド１２は、基台１６と、この基台１６上に固定されたマルチビーム光源部１８と、コリメータレンズ２０と、結像レンズ２２と、露光ヘッド傾斜角度可変装置２４とを主に有して構成される。
【００１９】
基台１６は、マルチビーム光源部１８を固定載置し、傾斜角度可変装置２４上に固定されている。マルチビーム光源部１８はＲ方向に回転する構成となっている。
【００２０】
マルチビーム光源部１８は、一方の端面から入射され、他方の端面が面一になった出射口からマルチビームを出射する光ファイバから形成される光ファイバアレイ方式の光源部であって、マルチビームは、各ビームがレーザダイオード等の半導体レーザ素子（図示されず）から出力され、そのＯＮ／ＯＦＦが画像信号に応じて制御された複数のレーザビームからなるレーザ光である。このレーザ光は、半導体レーザ素子のレーザビーム発光面が、半導体レーザ素子／ファイバ結合ユニット（図示されず）によって結合された光ファイバの端面から光ファイバに入射される。ここで、マルチビーム光源部１８の光ファイバは、図２に示すように、固定部材１８ａおよび１８ｂによって挟持され所定の位置に固定されている。
【００２１】
光ファイバアレイは、所定の間隔で光ファイバが並列配置された光ファイバアレイＦＡ１　と、この光ファイバアレイＦＡ１　の光ファイバのうち隣接する２つの光ファイバと接し、この光ファイバアレイＦＡ１　の光ファイバ列と平行に並列配置された光ファイバによって形成される光ファイバアレイＦＡ２　との２段に分けられる。光ファイバアレイＦＡ１　は、固定部材１８ａによって、Ｖ溝状の所定の位置に位置決めされ、さらに光ファイバアレイＦＡ２　が光ファイバアレイＦＡ１　上に載置されて位置決めされた後、光ファイバアレイＦＡ１　，ＦＡ２　が固定部材１８ａ及び固定部材１８ｂによって光ファイバの配置上下方向から挟持固定される。これにより、ビーム出射口が一方向に向いて形成される。なお、光ファイバアレイＦＡ１　と光ファイバアレイＦＡ２　は、同一のクラッド径及び同一のコア径を持つ光ファイバで構成されている。なお、本実施例では、図２のように固定部材１８ｂがＶ溝状になっているが、平板状の固定部材で挟持固定されてもよい。
また、本実施例では、光ファイバが固定部材１８ａ及び固定部材１８ｂによって挟持固定されるが、接着剤等により固定されてもよい。
【００２２】
ここで図２に示すように、光ファイバアレイＦＡ１　のビーム出射口及び光ファイバアレイＦＡ２　のビーム出射口は、間隔（配列間隔）Ｘ毎に設けらる。光ファイバアレイＦＡ２　の光ファイバはそれぞれ、光ファイバアレイＦＡ１　の光ファイバのうち隣接する２つの光ファイバと接し、さらに、光ファイバアレイＦＡ１　の光ファイバと光ファイバアレイＦＡ２　の光ファイバは、同一のクラッド径及び同一のコア径を持つので、光ファイバアレイＦＡ２　のそれぞれのビーム出射口は間隔Ｘ毎に形成される。また、光ファイバアレイＦＡ１　の光ファイバと光ファイバアレイＦＡ２　の光ファイバとの中心点間距離は、光ファイバのクラッド径Ｚとなる。
【００２３】
コリメータレンズ２０と、結像レンズ２２は、光学系基台１７に固定され、マルチビーム光源部１８の光ファイバアレイＦＡ１　および光ファイバアレイＦＡ２　から出射されたマルチビームを後述する結像倍率で最終的に縮小して結像する縮小光学系を形成する部位である。本実施例では、コリメータレンズ２０と、結像レンズ２２を用いた光学系であるが、本発明においてこれに限定されず、マルチビーム光源部１８から出射されたマルチビームを最終的に縮小する縮小光学系であればいずれであってもよい。例えば複数に縮小光学系を組み合わせたものであってもよい。
【００２４】
露光ヘッド傾斜角度可変装置２４は、マルチビーム光源部１８を固定載置した基台１６をＲ方向に回転する部分であり、本発明における解像度調整手段に相当する。傾斜角度可変装置２４は、マルチビーム光源部１８の光ファイバアレイＦＡ１　および光ファイバアレイＦＡ２　の中心位置を通り、マルチビームの出射方向に平行な回転軸の周りに傾斜する。
【００２５】
図３は、マルチビーム光源部１８の後方からアウタードラム１４の方向を見た場合の傾斜角度可変装置２４の概略の構成を示す構成図を示している。傾斜角度可変装置２４は、回動部２４ａと基部２４ｂを主に有して構成される。回動部２４ａは、基部２４ｂに対してＲ方向に自在に動き、回動部２４ａに固定された突出部材２４ｃと接続され、駆動部２４ｅによって図中水平方向に自在に伸縮する調整ロッド２４ｄによって制御される。回動部２４ａの回転機構は、公知のギア機構等を用いて精度良く傾斜角度を設定できるように構成されている。回動部２４ａを回転させて、所定の傾斜角に設定することで、マルチビーム光源部１８の光ファイバアレイＦＡ１　および光ファイバアレイＦＡ２　の傾斜角度は変化する。
【００２６】
なお、部材２４ｆおよび２４ｇは、回動部２４ａに固定された突出部材２４ｃの移動を制限して傾斜角度を所定範囲に制限するためのものであり、突出部材２４ｃが、部材２４ｆおよび２４ｇの間を移動できる範囲内で、自由に傾斜角度を調整することができる。図１では、傾斜角度が０度となっており、図３に示される部材２４ｆの配置位置からわかるように、最も小さい傾斜角度が、傾斜角度０（水平）であり、図３では、最も小さい傾斜角度の状態を示している。
【００２７】
また、傾斜角度可変装置２４および光学系基台１７は、移動台２６に載置固定され、移動台２６には、図示されない回転駆動源に接続された駆動ねじ２８と螺合するめねじを有し、駆動ねじ２８の回転により図１中ｙ方向（副走査方向）に基部２４ｂは移動する構成となっている。すなわち、上記めねじおよび駆動ねじ２８は、傾斜角度可変装置２４に載っているマルチビーム光源部１８および光学系基台１７に固定されたコリメータレンズ２０、および結像レンズ２２を一緒にｙ方向に移動する副走査機構を形成する。このような副走査機構は、光ファイバアレイＦＡ１　および光ファイバアレイＦＡ２　から出射されたマルチビームによって、アウタードラム１４に装着された記録材料Ａが一周分露光された後、光ファイバアレイＦＡ１　および光ファイバアレイＦＡ２　によって露光された副走査方向の幅分、マルチビーム露光ヘッド１２をｙ方向に移動する。こうして、マルチビーム露光ヘッド１２は、アウタードラム１４に装着された記録材料Ａ上を端から端まで露光記録する。なお、副走査機構は、本実施例の駆動ねじ２８と螺合するめねじの組み合わせにより機構に限定されず、基部２４ｂをｙ方向に移動させる機構であればどのようなものであってもよい。
【００２８】
露光装置１０では、光ファイバアレイＦＡ１　の隣接する２つの光ファイバと接するように光ファイバアレイＦＡ２　の光ファイバが配置されるので、光ファイバ径に規制されて位置決めされる。これにより、光ファイバアレイＦＡ２　のビーム出射口の列を光ファイバアレイＦＡ１　のビーム出射口の列に精度高く平行に配置することができる。そして、このような光ファイバアレイＦＡ１　とその光ファイバアレイＦＡ１　に平行な光ファイバアレイＦＡ２　のビーム出射口の列の並列配置方向をｙ方向（副走査方向）に設定することにより、記録材料Ａ上に所定のビームスポットの記録ピッチで露光記録する（低解像度露光条件）。また、Ｒ方向に所定の傾斜角度、マルチビーム露光ヘッド１２を傾けて、光ファイバアレイＦＡ１　および光ファイバアレイＦＡ２　の傾斜角度を変えることで、記録材料Ａ上に上記記録ピッチより短い記録ピッチで露光記録する（高解像度露光条件）。このように、１つのマルチビーム露光ヘッド１２を回転させることで画像を低解像度または高解像度で露光記録することができ、２つの解像度を効率よく切り換えることができる。
【００２９】
より詳しく説明すると、図４に示すように、光ファイバアレイＦＡ１　を構成する光ファイバと光ファイバアレイＦＡ２　を構成する光ファイバの、副走査方向（ｙ方向）における、交互に配置された出射口の間隔Ｐから、傾斜角度可変装置２４を用いて、光ファイバアレイＦＡ１　および光ファイバアレイＦＡ２　のビーム出射口列の並列配置方向（Ｓ方向）を右回転して所定の角度θ傾斜させて（傾斜角度θ）、図５に示すように、副走査方向（ｙ方向）における光ファイバアレイＦＡ１　を構成する光ファイバと光ファイバアレイＦＡ２　を構成する光ファイバの交互に配置された出射口の間隔Ｑに変化させることで、結像倍率（以降、結像倍率βという）を変えずに、記録材料Ａ上の露光記録の解像度を切り換えることができる。
【００３０】
このような光ファイバの、配列間隔Ｘ（μｍ）および結像倍率βは、上記式（１）及び上記式（２）によって定めるのが好ましい。このように上記式（１）及び上記式（２）によって定めるのは以下の理由による。
【００３１】
すなわち、図５に示すように副走査方向（ｙ方向）に対して、光ファイバアレイＦＡ１　および光ファイバアレイＦＡ２　のビーム出射口列の並列配置方向（Ｓ方向）を傾斜角度θ（ｄｅｇ）傾斜して高解像度露光条件とした時、副走査方向の出射口の間隔Ｑ（μｍ）とすると、解像度α（ｄｐｉ）は下記式（３）にて表される。また、出射口の間隔Ｑを光ファイバの配列間隔長Ｘで表すと下記式（４）となることから、これらより上記式（１）が得られる。
α＝２５．４×１０３　／（Ｑ×β）　　　　　　　　　　（３）
Ｑ＝（Ｘ／２）×ｃｏｓθ　　　　　　　　　　　　　　（４）
【００３２】
さらに、下記式（５）は、図５に示すように、第１光源列のファイバピッチの隣り合う中点であるａ及びｂと、点ａの第２光源列に対する垂線上の点である第２光源列の光ファイバの中心点ｃとで形成される直角三角形に注目して得られる式であり、下記式（５）に上記式（１）を代入することにより、上記式（２）を得ることができる。
ｔａｎ（９０−θ）＝｛Ｚ２　−（Ｘ／２）２　｝０．５　／Ｘ　　（５）
【００３３】
よって、上述のマルチビーム露光ヘッドの傾斜角度θ、光ファイバのクラッド径Ｚと解像度αをある値に定めると上記式（２）より結像倍率βが求めることができ、その結像倍率βの値、解像度α及び傾斜角度θの値を上記式（１）に代入すると光ファイバの配列間隔Ｘを求めることができる。なお、この時傾斜角度θから求まるｃｏｓθは低解像度露光条件における解像度と高解像度露光条件条件における解像度との比率に対応する。
【００３４】
例えば、クラッド径１２５μｍ（Ｚ＝１２５μｍ）とした光ファイバで光ファイバアレイＦＡ１　，ＦＡ２　を構成し、高解像度露光条件における解像度αを２４００ｄｐｉとし、低解像度露光条件における解像度と高解像度露光条件における解像度との比率ｃｏｓθを０．５（低解像度露光条件における解像度を１２００ｄｐｉ）とすると、傾斜角度θは６０ｄｅｇとなり、結像倍率β＝０．２５８７倍、光ファイバ配列間隔Ｘ＝１６３．６μｍが求められる。
【００３５】
このように、光ファイバのクラッド径Ｚ、高解像度露光条件の解像度α及び低解像度露光条件の解像度α’の比率ｃｏｓθを設定することで、光ファイバ配列間隔Ｘ、結像倍率βを設定することができる。こうして、設定され製作されたマルチビーム露光ヘッドを露光装置１０に用いることができる。
【００３６】
なお、本実施例では、光ファイバアレイＦＡ１　，ＦＡ２　ともに同一クラッド径の光ファイバを用いたが、光ファイバアレイＦＡ１　と光ファイバアレイＦＡ２　との間で異なるクラッド径を持った光ファイバを用いてもよい。少なくとも光ファイバアレイＦＡ１　及び光ファイバアレイＦＡ２　のそれぞれの光ファイバが同一クラッド径であればよい。また、本実施例では、記録材料を主走査させる装置にアウタードラムを使用したが、平面台を使用したフラットベット方式の露光装置に適用してもよい。また、本実施例では、記録材料を移動させて走査露光を行うが、記録材料を固定し光源部を移動させ、あるいは記録材料及び光源部を移動させて走査露光を行ってもよい。
【００３７】
以上、本発明のマルチビーム露光ヘッドについて詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定はされず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、各種の改良及び変更を行っても良いのはもちろんである。
【００３８】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、２段構造の光ファイバアレイの構成を、光ファイバを所定の間隔で並列配列した一方の光ファイバアレイ上に、この光ファイバアレイを形成する光ファイバのうち隣接する２つの光ファイバと接するように他方の光ファイバアレイの光ファイバを配置することにより、２段構造の光ファイバアレイの並列配置方向の平行精度を高めることができる。また、上記２段構造の光ファイバアレイを傾斜させても、記録ピッチを所定間隔とすることができ、画像ムラない高解像度の画像を記録することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマルチビーム露光ヘッドを用いたマルチビーム露光装置の一実施例の概要を示す斜視図である。
【図２】図１に示すマルチビーム露光ヘッドの主要部の概略を示す斜視図である。
【図３】図１に示すマルチビーム露光ヘッドに用いられる傾斜角度可変装置の構造を示す構成図である。
【図４】図１に示すマルチビーム露光ヘッドの光ファイバアレイの配置を説明する図である。
【図５】図１に示すマルチビーム露光ヘッドを傾けた状態の光ファイバアレイの配置を説明する図である。
【符号の説明】
１０　マルチビーム露光装置
１２　マルチビーム露光ヘッド
１４　アウタードラム
１６　基台
１７　光学系基台
１８　マルチビーム光源部
２０　コリメータレンズ
２２　結像レンズ
２４　傾斜角度可変装置
２６　移動台
２８　駆動ねじ
Ａ　記録材料
Ｐ，Ｑ　出射口の間隔
Ｒ　傾斜角度可変装置の傾斜角度可変方向
Ｘ　配列間隔
Ｚ　クラッド径
Ｓ　出射口列の配列方向
θ　傾斜角度
ａ，ｂ　第１光源列の光ファイバ配列間隔の中点
ｃ　第２光源列の光ファイバの中心点
ｘ　主走査方向
ｙ　副走査方向
α，α’　解像度
β　結像倍率
【図１】
2004122400.tif 000005
【図２】
2004122400.tif 000006
【図３】
2004122400.tif 000007
【図４】
2004122400.tif 000008
【図５】
2004122400.tif 000009