(57)【要約】【課題】物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路とを備えた天井搬送車システムにおいては、物品を一時保管するための物品一時保管箇所が設けられており、該物品一時保管箇所と天井搬送車との間で、短時間で物品を受け渡すことができる天井搬送車システムを提供することを課題とする。【解決手段】天井搬送車１０に、物品（カセット９等）を車体の進行方向に対して左右横方向に搬出入するローラコンベア８・８を搭載し、走行路２の側方の、該搬送車１０のローラコンベア８・８に対応した高さ位置に、物品一時保管箇所たる、ローラコンベア４６・４６・・・を具備したバッファ４５を配置する。【選択図】  図１
2004189018.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路とを備えた天井搬送車システムにおいて、
前記搬送車に、物品を車体の進行方向に対して横方向に搬出入する搬送手段を搭載し、
前記走行路の側方の、前記搬送車の搬送手段に対応した高さ位置に、該搬送車の搬送手段との間で物品を受け渡す搬出入手段を具備した物品一時保管箇所を配置したことを特徴とする天井搬送車システム。
【請求項２】
前記走行路の側方の、前記搬送車の搬送手段に対応した高さ位置に、該搬送車の搬送手段との間で物品を受け渡す入出庫手段を具備した物品移載箇所を配置したことを特徴とする請求項１に記載の天井搬送車システム。
【請求項３】
前記物品一時保管箇所と、前記物品移載箇所とを、前記走行路を挟んで互いに反対側に配置したことを特徴とする請求項２に記載の天井搬送車システム。
【請求項４】
前記走行路の下方に物品載置箇所を配置し、前記搬送車に、該物品載置箇所との間で、物品を上下方向に受け渡す昇降移載手段を搭載したことを特徴とする請求項１から請求項３のうち何れか一項に記載の天井搬送車システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路とを備えた天井搬送車システムの構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工場等クリーンルームでは、処理装置や自動倉庫に沿って走行路が敷設され、該走行路上に天井搬送車を自動走行させて、物品を搬送する天井搬送車システムが知られている。
走行路の下方には処理装置のステーションや、該ステーションに供給する物品を一時保管するためのバッファが配置されており、搬送車にはチャック付きのホイストが搭載されて、該ステーション又は該バッファとの間で、物品を上下に受け渡すように構成されている。
【０００３】
このような天井搬送システムは、特許第３０６７６５６号公報で開示されており、同号公報に示す従来技術では、物品が載置可能なラックを有するストレージラック部材が、処理ステーション付近の床面の上方で、且つ、走行路の下方に、走行路に対して移動しないように取り付けられ、具体的には以下のように構成されている。
【０００４】
同号公報の図６、図８に示すように、天井搬送車Ｖの走行路であるレール１には、長手方向に所定間隔を開けて２個のラック枠１６ａ・１６ａが取り付けられている。このラック枠１６ａ・１６ａは「口」字型の枠体で、該１６ａ・１６ａの上部水平部１６ａ’・１６ａ’がレール１の上面に取り付けられ、下部水平部１６ａ”・１６ａ”にラック１６ｃが載置されて、ストレージラック部材１６が構成されている。このラック１６ｃには、天井搬送車Ｖからホイストを介して物品４が積み降ろされるようになっている。なお、ラック枠１６ａの上部水平部１６ａ’と下部水平部１６ａ”との間は充分な幅を有し、ラック１６ｃ上に載置された物品４と、レール１に沿って走行する天井搬送車Ｖとが衝突しないように構成されている。
【０００５】
このような構成で、レール１の下方で、処理ステーションＰ１の斜め上方に、ストレージラック部材１６が配置されている。
処理ステーションＰ１において、複数の物品４・４・・・をまとめて処理する場合には、天井搬送車Ｖによって搬送される物品４を、一旦、ストレージラック部材１６に載置し、そして、該ストレージラック部材１６に、所定の個数の物品４・４・・・が溜まった後に、天井搬送車Ｖによって、該物品４・４・・・をまとめて処理ステーションＰ１に供給するようにしている。
【０００６】
また、同号公報の実施例中には記載されていないが、処理ステーションＰ１において、一度に処理が可能な物品４・４・・・の個数は限られており、該処理ステーションＰ１に投入可能な最大個数の物品４・４・・・が投入されていて、この間に、新たな物品４を載せた天井搬送車Ｖが該処理ステーションＰ１位置に到着すると、該新たな物品４を、一旦、ストレージラック部材１６に載置するように構成することもできる。
このように、ストレージラック部材１６は、物品４・４・・・を一時的に保管するバッファとしての役割を果たしている。
【０００７】
天井搬送車Ｖと、ストレージラック部材１６との間の物品４の受け渡しについて説明すると、天井搬送車Ｖはホイストのチャックで物品４を保持して走行していて、走行中は、該物品４の下面の両端部（搬送車の進行方向に対する前後両端部）が落下防止機構によって支持され、あるいは、該物品４の下面の両端部と該落下防止機構との間には間隙が形成されていて、仮に物品４が落下したとしても、該落下防止機構で受け留められるように構成されており、該天井搬送車Ｖを該ストレージラック部材１６の上方で停止させると、まず、この落下防止機構を回動させて、物品４の下方を開放する。
【０００８】
ホイストの本体には複数の巻取ドラムが取り付けられていて、該巻取ドラムにはそれぞれワイヤが巻回されており、該ワイヤを介してホイストの昇降部が昇降自在に吊設されて、該昇降部の下部のチャックで物品４が保持されており、この物品４を保持した昇降部を、巻取ドラムからワイヤを繰り出すことでホイスト本体から下降させる。
そして、物品４をストレージラック部材１６のラック１６ｃの上に載置して、該物品４を保持していたチャックを解除し、巻取ドラムでワイヤを巻き取って、昇降部を上昇させ、天井搬送車Ｖ内に収めるよう構成されている。
【０００９】
【特許文献１】
特許第３０６７６５６号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、前記公報では、天井搬送車Ｖと、ストレージラック部材１６との間の物品４の受け渡しには、ホイストが用いられており、このホイストによる物品４の移載は時間が掛かることから、改善するようにとの要望が出ている。
そこで、本発明では、物品を一時保管する物品一時保管箇所と、天井搬送車との間で、短時間で物品を受け渡すことができる天井搬送車システムを提供することを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段は、以下に示すとおりである。
まず、請求項１に記載のように、物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路とを備えた天井搬送車システムにおいて、前記搬送車に、物品を車体の進行方向に対して横方向に搬出入する搬送手段を搭載し、前記走行路の側方の、前記搬送車の搬送手段に対応した高さ位置に、該搬送車の搬送手段との間で物品を受け渡す搬出入手段を具備した物品一時保管箇所を配置した。
【００１２】
また、請求項２に記載のように、前記走行路の側方の、前記搬送車の搬送手段に対応した高さ位置に、該搬送車の搬送手段との間で物品を受け渡す入出庫手段を具備した物品移載箇所を配置した。
【００１３】
そして、請求項３に記載のように、前記物品一時保管箇所と、前記物品移載箇所とを、前記走行路を挟んで互いに反対側に配置した。
【００１４】
さらに、請求項４に記載のように、前記走行路の下方に物品載置箇所を配置し、前記搬送車に、該物品載置箇所との間で、物品を上下方向に受け渡す昇降移載手段を搭載した。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の一形態を、図面を参照しながら説明する。
図１は天井搬送車システム１の概略構成を示す平面図、図２は処理装置４及び自動倉庫５の平面図、図３及び図４は処理装置４の正面図、図５は自動倉庫５の正面断面図、図６は搬送車１０の斜視図、図７はローラコンベア８・８上にカセット９を載置した状態の搬送車１０の側面図である。また、図８は搬送車１０の側面図。で、同図（ａ）は移動機構８０・８０を移載位置に位置させた状態、同図（ｂ）は移動機構８０・８０を退避位置に位置させた状態を示す。そして、図９は搬送車１０の制御構成を示すブロック図である。
【００１６】
なお、以下の説明では、特に断りのない限りは、搬送車１０の進行方向（走行路２の走行方向）を前方として、各構成部材の前後左右位置を説明するものとする。
また、以下では、天井搬送車システム１の天井搬送車１０によって搬送される物品を、具体的に、多数の半導体ウエハが収納されたカセット９として説明するが、物品はこれに限定するものではない。このカセット９内には上下に多数の棚が設けられていて、各棚にウエハが水平に収納されているものとする。
【００１７】
また、以下の説明においては、具体的に、請求項に記載の、搬送車１０に搭載した、物品を車体の進行方向に対して横方向に搬出入する搬送手段をローラコンベア８・８、搬送車１０に搭載した、物品を上下方向に受け渡す昇降移載手段をホイスト７とし、また、物品載置箇所は処理装置４のステーション４１、物品移載箇所は自動倉庫５の上部のステーション５２、物品一時保管箇所は走行路２の直側方に配置したバッファ４５とし、該物品移載箇所が具備する入出庫手段をローラコンベア５４・５４、物品一時保管箇所が具備する搬出入手段をローラコンベア４６とするが、これらの構成に限定するものではない。
【００１８】
まず、天井搬送車システム１の概略構成から説明する。
図１に示すように、半導体製造工場等のクリーンルーム内には、天井搬送車１０・１０・・・の移動経路となる走行路２がループ状に敷設され、該走行路２に沿ってループの外側に、１台の自動倉庫５と、複数台の処理装置４・４・・・が配置されて、天井搬送車システム１が構成されている。
【００１９】
自動倉庫５はカセット９・９・・・を一時保管するための小型の保管庫であり、該自動倉庫５を起点として、処理装置４・４・・・が、同図の矢印方向に、処理工程の順番に配置されている。カセット９は、天井搬送車システム１の系外から自動倉庫５に入庫されて一時的に保管され、該自動倉庫５前に搬送車１０が到着すると、出庫されて該搬送車１０へ移載され、該搬送車１０により処理工程の順番に処理装置４・４・・・へ搬送される。そして、各処理装置４・４・・・での処理を終えると、再び、自動倉庫５に入庫され、天井搬送車システム１の系外に出庫されるようになっている。
【００２０】
次に、処理装置４について説明する。
図２及び図３に示すように、処理装置４の走行路２に対向する側面の下部には入庫口と出庫口が設けられ、該入庫口と出庫口にはそれぞれステーション４１・４１が設けられている。ステーション４１・４１は処理装置４の内部から外部へ突出されており、該ステーション４１・４１の外側端部（走行路２側の端部）４１ａ・４１ａは、走行路２の直下方に配置されている。
【００２１】
また、ステーション４１・４１の上方の走行路２には、カセット９が上下に通過可能な通過口２０・２０が形成されており、図４に示すように、該ステーション４１の外側端部４１ａをカセット９の載置箇所として、該ステーション４１の外側端部４１ａと、走行路２上の搬送車１０との間で、該通過口２０を上下に通過させながらカセット９が受け渡されるように構成されている。
そして、ステーション４１にはローラコンベア等の搬送手段が設けられて、該搬送手段によってカセット９がステーション４１の外側端部４１ａと内側端部（反走行路２側の端部）４１ｂとの間で搬送されるように構成されている。
【００２２】
処理装置４内には、水平多関節式の移載ハンドを備えた移載装置が設けられて、該移載装置によりカセット９がステーション４１の内側端部４１ｂと処理装置４内の収納棚との間で移載される。そして、この処理装置４内の収納棚には複数個のカセット９・９・・・が移載されて、これらのカセット９・９・・・内からウエハが取り出され、同時にまとめて洗浄等の処理が行なわれる。
このように処理装置４では、複数個のカセット９・９・・・内のウエハが一括して処理されるように構成されている。
【００２３】
そして、図２及び図３に示すように、処理装置４のステーション４１・４１の斜上方の走行路２の左右内側方（ループ状走行経路の内側）には、カセット９の一時保管箇所としてバッファ４５が配置されている。バッファ４５は吊り下げ部材４３・４３を介してクリーンルームの天井面から吊設されており、走行路２に接近させて、走行路２と平行に配置されている。
【００２４】
吊り下げ部材４３は、倒「コ」字型の構造で、下部フレーム４３ａと、該下部フレーム４３ａの前端部と後端部（走行路２の走行方向に対する前端部と後端部）から立設される支持ロッド４３ｂ・４３ｂとから成り、該支持ロッド４３ｂ・４３ｂがクリーンルームの天井面から垂設されている。この吊り下げ部材４３・４３が、走行路２と平行に２組配置されて、該吊り下げ部材４３・４３の下部フレーム４３ａ・４３ａ上にバッファ４５が、その載置面を水平にして載置固定されている。
なお、バッファ４５を支持する構成は、前記吊り下げ部材４３・４３に限らず、クリーンルームの床面から立設した支持部材上に載置固定する構成などとしてもよく、特に限定はしないものとする。
【００２５】
バッファ４５は、カセット９の搬出入手段として複数のローラコンベア４６・４６・・・を備え、該ローラコンベア４６・４６・・・は走行路２の走行方向に列置されて、１つのローラコンベア４６上に１つのカセット９が移載されて保管されるようになっている。
【００２６】
ローラコンベア４６は、平面視、方形のフレーム内に、多数のローラ４８・４８・・・と、該ローラ４８・４８・・・の駆動手段（図示略）とを備え、該ローラ４８・４８・・・はカセット９の下面の幅よりもやや長く形成され、その一部分をフレーム上面から突出させて、走行路２の走行方向と直交する左右方向に列置されている。駆動手段は、駆動モータのモータ軸に駆動プーリが取り付けられ、各ローラ４８・４８・・・の回転軸にそれぞれ従動プーリが取り付けられて、これらのプーリが１本のベルトで巻回されて構成されている。
【００２７】
このように各ローラコンベア４６・４６・・・毎に駆動手段が設けられて、バッファ４５のローラコンベア４６・４６・・・はそれぞれ独立して駆動するように構成されており、ローラコンベア４６上のカセット９はローラ４８・４８・・・で繰り送られて、走行路２の走行方向に対しては左右方向に搬送されるように構成されている。
【００２８】
以上の構成では、バッファ４５のローラコンベア４６・４６・・・に、それぞれ駆動手段を設けているが、該ローラコンベア４６・４６・・・を、搬送車１０のローラコンベア８・８の動力により、連動して動くように、例えば、各バッファ４５のローラコンベア４６・４６・・・には駆動手段を設けずに、搬送車１０のローラコンベア８・８に設けた進退自在な伝達ローラが、該ローラコンベア４６に当接することで、該搬送車１０のローラコンベア８・８からの駆動力が伝達されて、各バッファ４５のローラコンベア４６・４６・・・が動くように構成してもよい。また、逆に、各バッファ４５のローラコンベア４６・４６・・・に、それぞれ進退自在な伝達ローラを設けて、該伝達ローラを搬送車のローラコンベア８・８に当接させることで、該搬送車１０のローラコンベア８・８からの駆動力が伝達されて、各バッファ４５のローラコンベア４６・４６・・・が動くように構成してもよい。この搬送車１０に搭載されたローラコンベア８・８の構成については後述することとする。
なお、バッファ４５へのカセット９・９・・・の搬出入手段は、ローラコンベア４６・４６・・・に限定するものではなく、他の構成であってもよい。
【００２９】
以上のような構成で、各ローラコンベア４６・４６・・・のローラ４８・４８・・・の搬送面が、走行路２上を走行する搬送車１０のローラコンベア８・８のローラ８８・８８・・・の搬送面と同じ高さ位置にして、バッファ４５が配置されている。
【００３０】
また、各ローラコンベア４６の走行路２側の端部にはストッパ４９が設けられ、該ストッパ４９はローラコンベア４６のローラ４８・４８・・・の搬送面から出没するように上下動自在に構成されている。このストッパ４９を搬送面から上昇させることで、ローラコンベア４６上のカセット９の落下が防止され、該ストッパ４９を搬送面の下方に下降させた上で、搬送車１０との間でカセット９を受け渡すように構成されている。
【００３１】
さらに、各ローラコンベア４６の反走行路２側の端部には突起部４６ｂが突設されていて、該突起部４６ｂがストッパとなって、ローラコンベア４６上のカセット９が反走行路２側に落下しないようになっている。
なお、ローラコンベア４６上のカセット９の落下を防ぐ落下防止手段については、ストッパ４９及び突起部４６ｂから成る上記構成に限定するものではなく、他の構成であってもよい。
【００３２】
以上のような構成で、バッファ４５が、処理装置４の斜上方で、走行路２の左右内側方（ループ状走行経路の内側）に配置されている。
また、図１に示すように、処理装置４の高さが、走行路２よりも低く、処理装置４の上方のスペースが利用できる場合には、該処理装置４の上方の走行路２の左右外側方（ループ状走行経路の外側）にも、バッファ４５を配置してもよい。
【００３３】
処理装置４の上方で、走行路２の両側方にバッファ４５・４５が配置される場合は、搬送車１０は、左右何れか一方のバッファ４５から先にカセット９を移載していき、該一方のバッファ４５の全てのローラコンベア４６・４６・・・上にカセット９・９・・・が移載された後に、他方のバッファ４５のローラコンベア４６ａ・４６ａ・・・に移載するように構成する。
【００３４】
あるいは、搬送車１０は、走行路２の上流側、又は下流側から、左右一方のバッファ４５と、他方のバッファ４５に交互にカセット９を移載していくように構成してもよく、バッファ４５・４５へのカセット９・９・・・の移載の順番は特に限定はしない。
【００３５】
さらに、走行路２の、処理装置４・４間の区間で、該走行路２の左右内側方、（ループ状走行経路の内側）、又は左右外側方（ループ状走行経路の外側）にも、バッファ４５を配置してもよい。
【００３６】
走行路２の沿って処理装置４・４間にバッファ４５が配置される場合は、搬送車１０は該バッファ４５の上流側、又は下流側に配置された、処理装置４の上方のバッファ４５からカセット９を移載していき、該処理装置４の上方のバッファ４５の全てのローラコンベア４６・４６・・・上にカセット９・９・・・が移載された後に、該処理装置４・４間のバッファ４５のローラコンベア４６ａ・４６ａ・・・に移載するように構成する。
【００３７】
なお、バッファ４５・４５・・・の配置位置については、上記の配置位置以外にも走行路２の直側方であれば、特に限定はしない。
【００３８】
次に、自動倉庫５について説明する。
図２及び図５に示すように、自動倉庫５の走行路２に対向する側面の上部には入庫口と出庫口が設けられ、該入庫口と出庫口にはそれぞれカセット９の移載箇所としてのステーション５２・５２が設けられている。ステーション５２・５２は自動倉庫５の内部から外部へ突出されており、該ステーション５２・５２の外側端部（走行路２側の端部）は走行路２の直外側方（ループ状走行経路の直外側）に配置されている。
【００３９】
ステーション５２は、入出庫手段として一対のローラコンベア５４・５４を備え、該一対のローラコンベア５４・５４は走行路２の走行方向に対する前後に並設されて、走行路２上の搬送車１０のローラコンベア８・８と同じ高さに配置され、該ローラコンベア５４・５４は連結部材５３・５３・・・を介して連結されて、該ローラコンベア５４・５４の間隔が一定に保たれている。
【００４０】
この一対のローラコンベア５４・５４でカセット９下面の両端部（走行路２の走行方向に対する前端部と後端部）を転支して、自動倉庫５から、走行路２の走行方向に対する左右方向に搬送するように構成されている。ローラコンベア５４の外側端部（走行路２側の端部）と内側端部（自動倉庫５内の端部）にはストッパ５５・５５が設けられ、該ストッパ５５・５５はローラコンベア５４の搬送面から出没するように上下動自在に構成されている。
【００４１】
このストッパ５５・５５を搬送面から上昇させることで、ローラコンベア５４・５４上に載置されたカセット９の落下が防止され、該ストッパ５５・５５を搬送面の下方に下降させた上で、搬送車１０との間でカセット９を受け渡し、又は、自動倉庫５内のスタッカクレーン５６との間でカセット９を受け渡すように構成されている。
【００４２】
また、この自動倉庫５の上部のステーション５２・５２と、走行路２を挟んで対向するようにして、前記のバッファ４５が配置されている。該バッファ４５は走行路２の左右内側方（ループ状走行経路の内側）に配置されており、該バッファ４５には、自動倉庫５のステーション５２・５２から出庫されたカセット９が、搬送車１０を介して、一旦、移載されるように構成されている。
【００４３】
また、自動倉庫５の反走行路２側の側面の下部には入庫口と出庫口が設けられ、該入庫口と出庫口にはそれぞれステーション５１・５１が設けられている。ステーション５１・５１は自動倉庫５の内部から外部へ突出されていて、該ステーション５１・５１にはローラコンベア等の搬送手段が設けられ、該搬送手段によってカセット９が自動倉庫５に入出庫されるように構成されている。
なお、このステーション５１・５１は、例えば、作業者が特急品を入出庫したりするのに用いられる。
【００４４】
自動倉庫５内には、走行路２側の側部と、反走行路２側の側部とに収納部が形成されて、該収納部の間の中央のスペースにスタッカクレーン５６が配置されている。収納部にはカセット９を収納するための棚５０・５０・・・が多数設けられており、該収納部の間の中央のスペースの床面には、走行路２の走行方向に図示せぬレールが敷設されている。スタッカクレーン５６は、該レール上を走行する走行台車５７と、該走行台車５７上に立設されるマスト５８と、該マスト５８に沿って昇降する水平多関節式の移載装置５９とを備え、該レールに沿って水平方向に移動できるようになっている。移載装置５９の先端部はフォークのような形状で、該移載装置５９の先端部で、カセット９の下面をすくい取り、走行台車５７の水平方向の移動と、移載装置５９の上下方向の移動との組み合わせで、ステーション５１、ステーション５２、及び、どの位置の棚５６・５６・・・に対しても、カセット９を移載できるようになっている。
【００４５】
以上のような構成で、自動倉庫５の下部のステーション５１・５１では、天井搬送車システム１の系外との間でカセット９・９・・・が受け渡され、自動倉庫５の上部のステーション５２・５２では、走行路２上の搬送車１０との間でカセット９・９・・・が受け渡され、そして、該ステーション５１と棚５０、該ステーション５２と棚５０、又は該ステーション５１と該ステーション５２との間は、スタッカクレーン５６によってカセット９が移載されるように構成されている。
【００４６】
次に、走行路２の構成について説明する。
図２に示すように、走行路２は、一対のレール２４Ｌ・２４Ｒと、該レール２４Ｌ・２４Ｒの下面間を連結する繋ぎ部材２５・２５・・・と、該レール２４Ｌ・２４Ｒの間で走行路２の走行方向に向けて架設される落下防止部材２６・２６を備え、吊り下げ部材３０・３０・・・を介してクリーンルームの天井から吊設されている。
【００４７】
図３に示すように、吊り下げ部材３０は、一対の吊り下げロッド３１・３１と、吊り下げフレーム３２とを備え、該吊り下げフレーム３２は上部フレーム３２ａと側部ロッド３２ｂ・３２ｂとにより「門」字型に構成されている。
吊り下げロッド３１・３１はクリーンルームの天井から垂設されて、該吊り下げロッド３１・３１の下端部に上部フレーム３２ａの左右両側部が締結固定され、該上部フレームの左右両端部に側部ロッド３２ｂ・３２ｂの上端部が締結固定され、該側部ロッド３２ｂ・３２ｂの下端部に繋ぎ部材２５の左右両端部が締結固定されている。
【００４８】
このように繋ぎ部材２５・２５・・・は吊り下げ部材３０・３０・・・によって懸吊されており、該繋ぎ部材２５・２５・・・の上面の左右両側部にレール２４Ｌ・２４Ｒの下面が載置固定されている。
図２に示すように、この繋ぎ部材２５・２５・・・は走行路２の走行方向に間隔を開けて多数配置され、該繋ぎ部材２５・２５・・・により、２本のレール２４Ｌ・２４Ｒの間隔が、一定幅に保たれている。
また、必要に応じ、単にレール２４Ｌ・２４Ｒをその下面にて連結するのみで吊り下げ部材３０・３０・・・に懸吊されない繋ぎ部材２５・２５を適宜設けても良い。
【００４９】
但し、前記繋ぎ部材２５・２５・・・は、処理装置４のステーション４１・４１の上方位置には配置されず、該ステーション４１・４１の上方位置のレール２４Ｌ・２４Ｒの下面間には、繋ぎ部材２９・２９が架設されて、該繋ぎ部材２９・２９と、レール２４Ｌ・２４Ｒとに包囲されて前記の通過口２０が形成されている。
【００５０】
前記レール２４Ｌ（２４Ｒ）は、適宜長さに形成された、複数のレール体２４ｌ・２４ｌ・・・（２４ｒ・２４ｒ・・・）から成り、少なくとも該レール体２４ｌ（２４ｒ）の長手方向両端部が繋ぎ部材２５・２５に支持固定されている。このレール体２４ｌ・２４ｌ・・・（２４ｒ・２４ｒ・・・）が走行路２の走行方向に継ぎ足されて、レール２４Ｌ（２４Ｒ）が連綴されている。
【００５１】
レール体２４ｌ・２４ｒは、水平な走行部と、その左右外側部に立設されるガイド部とを備え、断面、「Ｌ」字型に形成されている。さらに、一方のレール体２４ｌについては、走行部の左右内側部にもガイド部が立設されている。この一方のレール体２４ｌにおける左右両側部のガイド部の上端部には、突出部が互いに向き合うように形成されて、該一方のレール体２４ｌの走行部と、ガイド部と、突出部とで囲われる凹部スペースがガイド溝となり、該ガイド溝に、後述する搬送車１０のガイドローラ１２・１２が緩挿され、該突出部により、該ガイドローラ１２・１２が該ガイド溝から抜け出さないように構成されている。
【００５２】
また、前記落下防止部材２６は、適宜長さに形成された、複数の落下防止バー２６ａ・２６ａ・・・が長手方向に継ぎ足されて構成されている。繋ぎ部材２５（２９）の上面には、左右に一定間隔を開けて、ブラケットが２個固設されている。このブラケットは断面「凹」字型の形状で、該ブラケットの凹部に上方から、落下防止バー２６ａが着脱自在に嵌合されている。
【００５３】
このような構成で、落下防止バー２６ａ・２６ａ・・・が繋ぎ部材２５・２５・・・、２９・２９・・・間に架設されている。ただし、該落下防止バー２６ａ・２６ａ・・・は、前記通過口２０には配置しないものとする。
このように、本実施例では、安全面の観点から、レール２４Ｌ・２４Ｒ間に２筋の落下防止部材２６・２６が架設されて、万一、搬送車１０等からカセット９がレール２４Ｌ・２４Ｒ間に落下したときにも、該落下防止部材２６・２６に引っ掛かって、床面までは落下しないように構成されている。
なお、落下防止部材２６・２６の本数や配置の仕方等については特に限定はしないものとする。
【００５４】
次に、搬送車１０の構成について説明する。
図６に示すように、搬送車１０には、車体本体１０ａの中央部に物品収納空間１０ｂが設けられており、該物品収納空間１０ｂの下方と左右両側部とは、カセット９が通過可能なように外部へ開口されて、該車体本体１０ａは側面視で、「門」字型に形成されている（図７参照）。
つまり、この搬送車１０は、カセット９の移載口を車体本体１０ａの左側方と右側方と下方とに有している。
【００５５】
図７に示すように、側面視、「門」字型の車体本体１０ａの前後の下端部間を支持部材１５を介して連結し、該支持部材上１５に駆動モータ１６が長手方向を前後方向に向けて載置固定されている。この駆動モータ１６、及びその支持部材１５は、車体本体１０ａの左右一側端部に配置され、該駆動モータ１６、及び該支持部材１５は、物品収納空間１０ｂからホイスト７を介して昇降するカセット９と鉛直方向で干渉しないように配置構成され、また、駆動モータ１６の上面は、搬送車１０のローラコンベア８・８の搬送面より下方に配置されて、該駆動モータ１６が該ローラコンベア８・８によって搬送されるカセット９と左右水平方向で干渉しないように配置構成されている。
この搬送車１０に搭載されたホイスト７の構成と、ローラコンベア８・８の構成については後述することとする。
【００５６】
そして、駆動モータ１６の左右外側には駆動輪１４が車軸を左右水平方向に向けて取り付けられ、ベベルギア等の図示せぬ動力伝達機構を介して駆動モータ１６から駆動輪１４へ動力が伝達されるように構成されている。この駆動輪１１は車体本体１０ａの前後中央位置に配置されており、該駆動輪１１の前方と後方においては、支持部材１５にガイドローラ１２・１２が車軸を鉛直方向に向けて取り付けられ、側面視で、該ガイドローラ１２・１２は該駆動輪１１の車軸に対して前後対称位置に配置されている。
【００５７】
駆動輪１１の一部分は車体本体１０ａの下面から下方へ突出しており、前記一方のレール体２４ｌの走行部と当接するように構成されている。そして、ガイドローラ１２・１２は該一方のレール体２４ｌのガイド溝に緩挿されて案内されるように構成されている。
【００５８】
車体本体１０ａの下端部であって、反駆動輪１４側の側端部（レール２４Ｒ側端部）には、一対の従動輪１４・１４が垂設されている。この従動輪１４・１４は方向転換自在なキャスター輪で構成され、車体本体１０ａ下面における前端部と後端部とに、車軸を水平方向に向けて配置されている。
【００５９】
また、図６に示すように、車体本体１０ａの上面における前部と後部には１対の分岐装置１７・１７が設けられ、この分岐装置１７・１７は走行路２が分岐している場合等に用いられる。分岐装置１７は車体本体１０ａの上面の左右方向中央部に配置されるガイドローラ１８と、その左右両側方に配置される分岐ローラ１９・１９とを備え、該ローラ１８・１９・１９は車軸を鉛直方向に向けて配置されて、分岐ローラ１９・１９については上下動自在に構成されている。
【００６０】
さらに、車体本体１０ａ上部の左右両側部には、走行路２の上方に架設された給電線から電力を得るためのピックアップユニット６０・６０が設けられている。このピックアップユニット６０・６０は、車体に占める重量比が多いため、車体の左右両側に配置することで、車体全体の重量バランスを保ち、例えば、曲線部をなめらかに走行することを可能にしている。また、走行路２は分岐路を有するため、該走行路２の一側に敷設される給電線は、分岐路等、所により、該走行路２のこれとは反対側に敷設される箇所もあり、該ピックアップユニット６０・６０を車体本体１０ａの左右両側部に配置することで、このような分岐路等においても、走行する搬送車１０へ、瞬断することなく電力を供給することができる。
【００６１】
ピックアップユニット６０は、正面断面視、略「Ｅ」字型をしたフェライト製のコア６１と、ピックアップコイル６２とを備え、該コア６１の上中下３箇所の突出部は左右外方向へ向けらて配置され、中央の突出部にピックアップコイル６２が巻回されている。該コア６１は、上下の突出部と、中央の突出部との間に形成された、上下２つの凹部スペース内に、給電線が、それぞれ一本ずつ位置するように配置されている。
【００６２】
この給電線に高周波電流を流すことによって発生する磁界を、ピックアップコイル６２で受けるようにしている。そして、電磁誘導現象を利用し、ピックアップコイル６２に発生する誘導電流から電力を取り出す。このようにして、給電線からピックアップユニット６０に非接触で電力が供給され、駆動輪１１の駆動モータ１５を駆動したり、制御機器に電力を供給したりしている。
【００６３】
また、搬送車１０は、物品収納空間１０ｂ内に、処理装置４のステーション４１との間でカセット９を上下方向に受け渡すホイスト７と、自動倉庫５上部のステーション５２との間でカセット９を車体進行方向に対して左右横方向（直交する方向）に受け渡す一対のローラコンベア８・８とを備えている。
【００６４】
図４に示すように、物品収納空間１０ｂ上方の天井面にはスライド装置７０が垂設されており、該スライド装置７０にホイスト７の本体７１が取り付けられている。ホイスト本体７１には、チャックを備えた昇降部７２を昇降させるための昇降手段が設けられており、スライド装置７０で、ホイスト本体７１を車体進行方向に対して左右横方向に移動させることができるようになっている。このため、ホイスト７の真下から、ステーション４１が進行方向に対して直交する方向に据え付け誤差などにより多少ずれていた場合にも、カセット９をステーション４１の外側端部４１ａの載置部の真上となるように、ホイスト本体７１を左右横方向へ移動させることで、カセット９をステーション４１の外側端部４１ａの載置部へ正確に移載することができる。
【００６５】
また、ステーション４１の外側端部４１ａの載置部が、車体進行方向に対して左右横方向（直交する方向）で処理装置４の本体側にずれた位置にあった場合でも、スライド装置７０の移動量を増やすことで対応することが可能になる。その際には、ステーション４１の外側端部４１ａの載置部の真上に、レール２４Ｒが位置していれば、該レール２４Ｒに切欠を設ける必要がある。
【００６６】
なお、どのステーション４１・４１・・・も走行路２上の搬送車１０の真下に位置するようにレイアウトして、搬送車１０にスライド装置７０を搭載しない構成としてもよい。搬送車１０の真下にステーション４１が位置する場合というのは、レール２４Ｌとレール２４Ｒとの間隔を、カセット９が通過可能な間隔にして配置し、レール２４Ｌとレール２４Ｒとの間にカセット９の昇降経路を形成する場合のみならず、レール２４Ｒに切欠を設けて、レール２４Ｌとレール２４Ｒの間と、レール２４Ｒに形成された切欠とによりカセット９の昇降経路を形成する場合でもよい。これらの場合は、物品収納空間１０ｂ上方の車体本体１０ａ天井面に直接ホイスト本体７１が取り付けられる。なお、スライド装置７０は、ステーション４１の外側端部４１ａの載置部に対しての微調整のために設けてもよい。
【００６７】
このホイスト７の本体には４組の巻取ドラムが取り付けられており、該巻取ドラムにはそれぞれベルト７３・７３・・・が巻回されて、該ベルト７３・７３・・・を介して昇降部７２が昇降自在に吊設されている。このようにして昇降部７２が昇降自在に構成されており、該昇降部７２の下部にカセット９を保持するためのチャックが設けられている。チャックは、カセット９の上部に形成されている上部フランジ９ａを把持するようになっている。
なお、処理装置４のステーション４１との間でカセット９を上下方向に受け渡す昇降移載手段は、前記ホイスト７に限定するものではなく、他の構成の昇降移載手段を適用してもよい。
【００６８】
また、図６に示すように、物品収納空間１０ｂの前方と後方の、車体本体１０ａ内側面の下部には、一対のローラコンベア８・８が突設されている。この一対のローラコンベア８・８はカセット９を車体進行方向に対して左右横方向へ搬送する搬送手段であり、該ローラコンベア８は長手方向（左右方向）に多数のローラ８８・８８・・・を備え、該ローラ８８・８８・・・は、その一部分をローラコンベア８の本体上面より突出させて、カセット９の底面の両端部（搬送車１０の進行方向に対しては前端部と後端部）を転支して、カセット９を左右方向へ横送りするように構成されている。
【００６９】
一方のローラコンベア８には駆動モータが取り付けられ、該駆動モータの駆動軸には駆動プーリが取り付けられて、各ローラ８８・８８・・・の回転軸にはそれぞれ従動プーリが取り付けられ、これらのプーリが１本のベルトで巻回されて、全ローラ８８・８８・・・が同期して回転するように構成されている。
他方のローラコンベア８には駆動モータは設けられず、各ローラ８８・８８・・・は回転自在に構成されている。こうして一方のローラコンベア８が駆動コンベアとして、他方のローラコンベア８が従動コンベアとして、搬送手段が構成されている。
【００７０】
この一対のローラコンベア８・８上にカセット９の底面の両端部（搬送車１０の進行方向に対しては前端部と後端部）が載置され、詳しくは、該カセット９の底面の両端部には段差部９ｃ・９ｃ（図８参照）が形成されていて該底面よりも１段落ち込んでおり、該段差部９ｃ・９ｃが一対のローラコンベア８・８のローラ８８・８８・・・上に位置し（図７参照）、カセット９がその搬送方向に対する左右横方向（搬送車１０の進行方向に対しては前後方向）に斜行しないように構成されている。
なお、本実施の形態では、カセット９の底面の両端部に段差部９ｃ・９ｃが形成されているが、カセット９の底面は平面で、ローラコンベア８・８側にガイドを設けることで、カセット９が斜行するのを防ぐようにしてもよい。
【００７１】
こうしてカセット９の底面の一側端部（搬送車１０の進行方向に対しては前端部又は後端部）が一方の駆動用ローラコンベア８で繰り送られ、該カセット９の底面の他側端部が載置される、他方の従動用ローラコンベア８が連れ回って、カセット９は一対のローラコンベア８・８上を真直ぐに搬送されるようになっている。
【００７２】
なお、前記自動倉庫５上部のステーション５２に設けられた一対のローラコンベア５４・５４も、前記搬送車１０の一対のローラコンベア８・８と同様の構成で、一方のローラコンベア５４が駆動コンベア、他方のローラコンベア５４が従動コンベアとして構成されている。
【００７３】
以上のように、本実施の形態では、搬送車１０のローラコンベア８・８、及び自動倉庫５上部のステーション５２のローラコンベア５４・５４を、一方のローラコンベア８（５４）を駆動コンベア、他方のローラコンベア８（５４）を従動コンベアとして構成しているが、該他方のローラコンベア８（５４）も駆動コンベアで構成し、すなわち、両方のローラコンベア８・８（５４・５４）とも駆動コンベアで構成してもよい。この場合は、該両方のローラコンベア８・８（５４・５４）は同期をとって駆動する構成とすることで、カセット９は該ローラコンベア８・８（５４・５４）上を真直ぐに搬送される。
【００７４】
そうして、搬送車１０のローラコンベア８・８の先端（車体本体１０ａの側壁開口側先端）には、上下動自在なストッパ８９・８９が設けられ、該ストッパ８９は、カセット９の搬送中には、ローラコンベア８のローラ８８・８８・・・の搬送面より上に突出してカセット９が落下しないようにカセット９を係止するようになっている。また、カセット９を自動倉庫５のステーション５２のローラコンベア５４・５４との間で受け渡す時には、ローラ８８・８８・・・の搬送面よりも下方に下降するように構成されている。
【００７５】
また、図８に示すように、搬送車１０は、一対のローラコンベア８・８を互いに接近又は離間させる移動機構８０・８０を備えている。この移動機構８０・８０により、ローラコンベア８・８を接近させた位置を「移載位置」（図８（ａ））、離間させた位置を「退避位置」（図８（ｂ））としている。
該移載位置では該一対のローラコンベア８・８の間隔は、前記自動倉庫５上部のステーション５２の一対のローラコンベア５４・５４の間隔と同じ間隔となって、カセット９の幅（車体進行方向に対する前後方向の長さ）よりも狭くなり、自動倉庫５上部のステーション５２との間でカセット９の受け渡しが可能となる。
一方、該退避位置では該一対のローラコンベア８・８の間隔は該カセット９の幅よりも広くなり、該ローラコンベア８・８は前記ホイスト７と処理装置４のステーション４１、又は自動倉庫５下部のステーション５１、５２との間のカセット９の受け渡しを妨げない位置に配置されて、ホイスト７の昇降部７２が該一対のローラコンベア８・８の間を上下に通過できるようになる。
【００７６】
この移動機構８０は、ラック・ピニオン機構、リンク機構、その他ローラコンベア８を水平に進退させる機構で構成されている。
以上のように、ローラコンベア８・８が構成されている。
なお、自動倉庫５上部のステーション５２との間でカセット９を搬送車１０の進行方向に対して左右横方向に受け渡す搬送手段は、ローラコンベア８・８に限定するものではなく、他の構成の搬送手段を適用してもよい。
【００７７】
また、搬送車１０には機上コントローラ１１０が搭載されており、図９に示すように、該機上コントローラ１１０は制御線を介して、駆動輪１１の駆動モータ１６、ホイスト７及びスライド装置７０の駆動部、ローラコンベア８のローラ８８・８８・・・の駆動モータ、移動機構８０・８０の駆動部、分岐装置１７・１７の駆動部、その他搬送車１０の各機器と接続されている。
【００７８】
搬送車１０の走行制御について説明すると、処理装置４のステーション４１・４１の上方の、走行路２の通過口２０・２０・・・の手前など、走行路２上の適宜位置には、位置情報を記録したマーカが貼付されており、搬送車１０の下部には読取リーダが取り付けられて、該読取リーダで該マーカを読み取ることにより、搬送車１０の走行位置が把握されるようになっている。
【００７９】
さらに、前記搬送車１０の制御手段である機上コントローラ１１０には、走行路２に関する地図情報（データ）が記憶されていて、搬送車１０は自車自身でも現在の走行位置を時々刻々把握している。搬送車１０にはエンコーダが搭載されていて、走行距離が判るようになっており、該機上コントローラ１１０では該地図情報と該走行距離とから現在位置が認識されている。
【００８０】
従って、搬送車１０の機上コントローラ１１０では、走行路２上に貼付されている多数のマーカの位置も把握されており、搬送車１０が読取リーダでマーカを検出することで、現在どの位置を走行中なのかをポイントポイントで正確な位置を確認している。
そして、読取リーダでマーカを検出したときに、万一、エンコーダにより認識している搬送車１０の現在位置が地図情報上のマーカ位置と一致していなければ、該エンコーダによる現在位置を、該地図情報上のマーカ位置で修正する。
【００８１】
このように搬送車１０では、機上コントローラ１１０に記憶された地図情報とエンコーダで検出した走行距離とにより常時現在位置が認識されるとともに、読取リーダでマーカを検出することによりピンポイントで現在位置が認識され、２重のシステムで現在位置が認識されている。
【００８２】
以上のようにして搬送車１０は走行路２上の走行位置を把握しており、前記地図情報と、マーカに基づいて、走行制御が行なわれる。例えば、目的地のステーション４１の上方の通過口２０手前のマーカを検出すると、該通過口２０で停止するように搬送車１０を減速させるなどの制御が行なわれる。
【００８３】
そして、搬送車１０と、処理装置４のステーション４１、自動倉庫５のステーション５２、又はバッファ４５のローラコンベア４６との間でカセット９の受け渡しが行なわれる場合、搬送車１０は機上コントローラ１１０に記憶している地図情報に基づいて、現在どの停止位置（ステーション４１位置、ステーション５２位置、又はローラコンベア４６位置）に停止しているかを把握しており、搬送車１０の機上コントローラ１１０では、ステーション４１、ステーション５２、又はローラコンベア４６との間のカセット９の受け渡しに、昇降移載手段たるホイスト７を用いるか、搬送手段たるローラコンベア８を用いるかの選択が行なわれ、ローラコンベア８が選択された場合には、ローラ８８・８８・・・の回転駆動方向についても選定される。
【００８４】
具体的には、天井搬送車システム１の系内の複数の搬送車１０・１０・・・を統括して制御する上位のコントローラが設けられて、ステーション４１、ステーション５２、又はローラコンベア４６の停止位置で停止した搬送車１０は、該上位のコントローラからの指令によって、ホイスト７を用いるか、ローラコンベア８・８を用いるかの選択が行なわれる。
【００８５】
処理装置４のステーション４１との間でカセット９の受け渡しを行なうときには、ホイスト７が選択され、自動倉庫５の上部のステーション５２、又はバッファ４５のローラコンベア４６との間でカセット９の受け渡しを行なうときには、ローラコンベア８・８が選択される。このときローラコンベア８・８が選択されると、ステーション５２、又はローラコンベア４６が走行路２の左右外側方（ループ状搬送経路の外側）、又は左右内側方（ループ状搬送経路の内側）のどちらに配置されているかによって、ローラ８８・８８・・・の駆動モータの回転方向が正転方向か逆転方向かに決定される。
【００８６】
次に、搬送車１０に搭載されたホイスト７を用いて、カセット９を移載するときの流れを説明する。
図４に示すように、走行路２上を走行する搬送車１０が目的地の処理装置４のステーション４１の上方で停止すると、機上コントローラ１１０では、前記上位のコントローランからの指令によって、今回の移載に使用される移載手段がホイスト７に選定される。
この停止した搬送車１０の下方には、前記通過口２０が位置しており、ホイスト７を保持するスライド装置７０で左右方向の位置の調節を行い、該ホイスト７を該ステーション４１上のカセット９の直上方に位置させる。
【００８７】
次に、搬送車１０の機上コントローラ１１０は移動機構８０・８０を作動させて、ローラコンベア８・８を退避位置に移動させ、ホイスト７の昇降部７２を下降させる（図８（ｂ）参照）。このとき昇降部７２は、ローラコンベア８・８の間を通過し、さらに通過口２０を通過して、ステーション４１上のカセット９に到達する。そして、昇降部７２のチャックでカセット９を把持し、該昇降部７２を上昇させて、再び通過口２０を通過させ、ローラコンベア８・８の間を通過させて、カセット９を物品収納空間１０ｂ内に収納し、ホイスト本体７１を支持するスライド装置７０を元位置に移動させる。
【００８８】
こうして、カセット９の収納を完了した後、再び移動機構８０・８０を作動させて、ローラコンベア８・８を移載位置に移動させる（図８（ａ）参照）。このときカセット９は物品収納空間１０ｂ内で、ホイスト７の昇降部７２に把持されて宙吊りになっており、この移載位置にあるローラコンベア８・８はカセット９の落下防止としての役割を果たしている。なお、このとき、昇降部７２を少し下降させて、カセット９をローラコンベア８・８上に載置するようにしてもよい（図７参照）。
【００８９】
また、逆に、搬送車１０が保持しているカセット９を処理装置４のステーション４１へ移載する場合も、ホイスト７を用いて、上記記載の流れと略同様に行なわれる。
【００９０】
次に、搬送車１０に搭載されたローラコンベア８・８を用いて、カセット９を移載するときの流れを説明する。
図５（又は図３）に示すように、走行路２上を走行する搬送車１０が、自動倉庫５のステーション５２（又はバッファ４５のローラコンベア４６）の直側方で停止すると、機上コントローラ１１０では、前記上位のコントローラからの指令によって、今回の移載に使用される移載手段がローラコンベア８・８に選定され、また、ローラコンベア８・８の回転駆動方向が決定される。
【００９１】
この停止した搬送車１０のローラコンベア８・８と、自動倉庫５のローラコンベア５４・５４（又はバッファ４５のローラコンベア４６）とはそれぞれ接近対向して、同じ高さで一直線状に並んでおり、搬送車１０の機上コントローラ１１０で、移載手段が選定された後、ローラコンベア８・８の自動倉庫５側（又は（又はバッファ４５側）のストッパ８９・８９、及びローラコンベア５４・５４の搬送車１０側のストッパ５５・５５（又はローラコンベア４６の搬送車１０側のストッパ４９）を下降させる。なお、このとき、搬送車１０のローラコンベア８・８の反自動倉庫５側（又は反ローラコンベア４６側）のストッパ８９・８９については、搬送面から上昇させたままとして、ストッパ機能を持たせておく。
【００９２】
そして、自動倉庫５の駆動用のローラコンベア５４（又はバッファ４５のローラコンベア４６）と、搬送車１０の駆動用のローラコンベア８とをともに駆動させて、カセット９を自動倉庫５のローラコンベア５４・５４（又はバッファ４５のローラコンベア４６）から送り出すとともに、搬送車１０のローラコンベア８・８で繰り込む。こうして、カセット９が自動倉庫５（又はバッファ４５）から搬送車１０へと移載され、カセット９が搬送車１０に積み込まれると、前記自動倉庫５側（又はバッファ４５側）のストッパ８９・８９を上昇させて、カセット９の落下を防止する。
【００９３】
こうして搬送車１０はカセット９の収納を完了した後、目的の処理装置４のステーション４１へ向けて走行を開始する。
なお、このとき、ホイスト７の昇降部７２を下降させて、チャックでカセット９を保持し、そして該昇降部７２を上昇させて、物品収納空間１０ｂ内でカセット９を宙吊りにした状態で（図８（ａ）参照）、搬送車１０を走行させてもよい。この場合、カセット９を宙吊りにすることで、ローラコンベア８・８から走行に伴う上下の振動が、カセット９にあまり伝わらなくなる。
【００９４】
この走行中の振動がカセット９に伝わるのを抑えるために、例えば、カセット９を宙吊りにして、その上で、物品収納空間１０ｂの前方と後方の、車体本体１０ａ内側面に、進退自在な抑え部材を設け、カセット９の側面（搬送車１０の進行方向に対して前側と後側の側面）を走行中に押さえるようにしてもよい。抑え部材の当接部には、カセット９との当接時の衝撃を弱めて、走行中の振動が吸収できるように弾性体が設けられるのが好ましい。また、ローラコンベア８・８の上面に、上下方向又は搬送車１０の進行方向に対する前後方向に進退自在な弾性部材を配置して、該弾性部材を介してカセット９をローラコンベア８・８上に載置するようにしてもよい。さらに、次の搬送先が、以下に記載のように、処理装置４のステーション４１である場合、ホイスト７の昇降部７２のチャックでカセット９を把持する工程が省けて移載時間が短縮される。
【００９５】
また逆に、搬送車１０から自動倉庫５のステーション５２（又はバッファ４５のローラコンベア４６）へカセット９を移載する場合も、搬送車１０のローラコンベア８・８と、自動倉庫５のステーション５２のローラコンベア５４・５４（又はバッファ４５のローラコンベア４６）とを介して、上記記載の流れと略同様に行なわれる。
【００９６】
このように搬送車１０はローラコンベア８・８で、走行路２の側方の自動倉庫のステーション５２、又はバッファ４５のローラコンベア４６とカセット９を受け渡すように構成されており、従来のように、ホイストを搭載した搬送車で、走行路の下方の物品一時保管箇所との間で物品を受け渡す構成に比べて、短時間でカセットを受け渡すことができ、作業性が向上する。
【００９７】
次に、天井搬送車システム１において、搬送車１０でカセット９を移載・搬送する流れについて説明する。
図１に示すように、自動倉庫５の上部の出庫口から出庫されたステーション５２上のカセット９は、該ステーション５２のローラコンベア５４・５４と、該ステーション５２の横で停止した、荷積みのされていない空の搬送車１０のローラコンベア８・８との間で移載されて、該搬送車１０によって次の目的地の処理装置４へと搬送され、あるいは、該ステーション５２の横で停止した、空の搬送車１０を介してそのまま搬送車１０のローラコンベア８・８上を左右へ通過させながら、該ステーション５２と走行路２を挟んで対向するバッファ４５のローラコンベア４６上へと移載される。
【００９８】
さらに、後者の場合は、自動倉庫５から複数個のカセット９・９・・・が順番に出庫されて、該自動倉庫５のステーション５２横に停止した１台の空の搬送車１０を介して、該複数個のカセット９・９・・・を、一旦、バッファ４５のローラコンベア４６・４６・・・上に１個ずつ移載するようにしてもよい。
【００９９】
このとき、自動倉庫５のステーション５２のローラコンベア５４・５４と、その横に停止した、空の搬送車１０のローラコンベア８・８と、バッファ４５のローラコンベア４６とが、平面視で、一直線状に配置されている場合、すなわち、ステーション５２とバッファ４５のローラコンベア４６とが走行路２を挟んで対称位置に配置されている場合は、該自動倉庫５のステーション５２上のカセット９を、該ステーション５２のローラコンベア５４・５４から、該空の搬送車１０のローラコンベア８・８上を、搬送車１０を移動させることなくそのまま通過させながら、一気に該バッファ４５のローラコンベア４６まで搬送するが、該ローラコンベア４６の上流側、又は下流側のローラコンベア４６に対しては、自動倉庫５のステーション５２上のカセット９を、該ステーション５２のローラコンベア５４・５４から、該空の搬送車１０のローラコンベア８・８へ一旦移載した後、該搬送車１０を少し前後に移動させて、該搬送車１０のローラコンベア８・８から該ローラコンベア４６の上流側、又は下流側のローラコンベア４６へ移載する。
【０１００】
そして、その後に、自動倉庫５のステーション５２と対向するバッファ４５の横に到着した複数台の空の搬送車１０・１０・・・に、該バッファ４５のローラコンベア４６・４６・・・上のカセット９・９・・・が１個ずつ移載されて、目的の処理装置４へと搬送される。
なお、このとき該バッファ４５のローラコンベア４６・４６・・・上のカセット９・９・・・は先入れ先出しされる。
【０１０１】
例えば、自動倉庫５から出庫された複数個のカセット９・９・・・を、１台の空の搬送車１０を介して該自動倉庫５のステーション５２と対向するバッファ４５へ仮置きする際に、該バッファ４５の下流側（搬送車１０の進行方向に対する下流側）のローラコンベア４６から順番に上流側へ仮置きしていき、その後、この仮置きしたカセット９・９・・・を、該バッファ４５横に到着した複数台の空の搬送車１０・１０・・・に移載する際には、一番先に仮置きした下流側のローラコンベア４６上のカセット９から順番に移載していく。
【０１０２】
あるいは、逆に、自動倉庫５から出庫された複数個のカセット９・９・・・を、１台の空の搬送車１０を介して、該自動倉庫５のステーション５２と対向するバッファ４５の上流側のローラコンベア４６から順番に下流側へ仮置きしておいて、その後、この仮置きしたカセット９・９・・・を、該バッファ４５横に到着した複数台の空の搬送車１０・１０・・・に移載する際には、一番先に仮置きした上流側のローラコンベア４６上のカセット９から順番に移載していくようにしてもよい。
【０１０３】
また、天井搬送車システム１を統括管理する、前記の上位のコントローラで、自動倉庫５から出庫された複数個のカセット９・９・・・を、１台の空の搬送車１０を介して、該自動倉庫５のステーション５２と対向するバッファ４５の、どのローラコンベア４６・４６・・・から仮置きしていったか、その順番を管理しておいて、その後、この仮置きしたカセット９・９・・・を、該バッファ４５横に到着した複数台の空の搬送車１０・１０・・・に移載する際には、該上位のコントローラからの指令に基づき、一番先に仮置きしたローラコンベア４６上のカセット９から順番に移載していくようにしてもよい。
【０１０４】
前記のように処理装置４では複数個のカセット９・９・・・内のウエハが一括して処理されるようになっており、処理装置４で、一度に処理が可能なカセット９・９・・・・・・の最大個数は限られている。従って、処理装置４に、処理が可能な最大個数のカセット９・９・・・・・・が投入されているときに、該処理装置４に、該処理装置４で処理を行なう予定の新たなカセット９を保持した搬送車１０が到着しても、該処理装置４にはこれ以上カセット９を投入できないため、該新たなカセット９は、一旦、該処理装置４の近くのバッファ４５へと移載される。
【０１０５】
この処理装置４でカセット９・９・・・内のウエハを処理する時間は比較的長く掛かり、この処理の間に、該処理装置４に、該処理装置４で処理を行なう予定の新たなカセット９を保持した搬送車１０が次々到着して、該新たなカセット９は、一旦、該処理装置４の近くのバッファ４５へ仮置きされる。
【０１０６】
そして、処理装置４での処理が完了すると、これら複数個のカセット９・９・・・が先に入庫されたものから順番に出庫口からステーション４１へ出庫されて、該ステーション４１から、その真上の走行路２上に停止した搬送車１０のホイスト７によって移載される。
【０１０７】
こうして、これらの処理の済んだ複数個のカセット９・９・・・がステーション４１から１個ずつ各搬送車１０・１０・・・へ積み込まれて次の処理工程の処理装置４へ向けて搬送されると、この後に、該処理装置４に到着した別の１台の空の搬送車１０によって、該処理装置４の近くのバッファ４５のローラコンベア４６・４６・・・上に一時保管されていたカセット９・９・・・のうち、該処理装置４で処理を行なう予定の新たな複数個のカセット９・９・・・が１個ずつ該処理装置４のステーション４１へと移載される。
【０１０８】
このとき、バッファ４５のローラコンベア４６上のカセット９は、その真横に停止した搬送車１０のローラコンベア８・８上に一旦移載されて、該搬送車１０を移載先のステーション４１の真上に移動させ、そして、該カセット９はホイスト７で保持されて、通過口２０を上下に通過しながらステーション４１へと移載される。
ただし、移載先のステーション４１の真上の通過口２０から見て、その真横のバッファ４５のローラコンベア４６（平面視でステーション４１と一直線上に配置されているローラコンベア４６）上のカセット９については、該ローラコンベア４６から該搬送車１０のローラコンベア８・８上に移載されて、該搬送車１０を移動させることなくそのまま停止させたまま、ホイスト７で下方のステーション４１へと移載される。
なお、このときも、該バッファ４５のローラコンベア４６・４６・・・上の新たな複数個のカセット９・９・・・は、前記したように、先入れ先出しされて、処理装置４のステーション４１へ移載される。
【０１０９】
そして、同様に、この新たな複数個のカセット９・９・・・もステーション４１から処理装置４へ投入されて、一連の処理が行なわれる。
以上のような流れで、複数個のカセット９・９・・・が最後の処理装置４で処理を終えると、これら複数個のカセット９・９・・・が先に入庫されたものから順番に出庫口からステーション４１へ出庫されて、該ステーション４１から、その真上の走行路２上に停止した搬送車１０へ移載される。
【０１１０】
こうして、これら複数個のカセット９・９・・・・・・が１個ずつ搬送車１０・１０・・・へ移載されて自動倉庫５へ向けて搬送され、そして、搬送車１０は自動倉庫５の横で停止して、カセット９が搬送車１０のローラコンベア８・８上から自動倉庫の上部のステーション５２のローラコンベア５４・５４上へと移載されて、該ステーション５２から該自動倉庫５内へ入庫される。
【０１１１】
以上のように、カセット９は自動倉庫５から出庫されて、搬送車１０で搬送されながら、各処理装置４・４・・・での処理を経て、再び、自動倉庫５へ入庫される。
そして、この搬送車１０は、カセット９を上下方向に受け渡すホイスト７と、カセット９を左右方向に受け渡すローラコンベア８・８とを搭載していて汎用性の向上が図られ、該搬送車１０は、制御手段たる機上コントローラ１１０で、処理装置４のステーション４１との間のカセット９の受け渡しでは、ローラコンベア８・８を退避位置に位置させて、ホイスト７を昇降させ、一方、自動倉庫５のステーション５２、又はバッファ４５のローラコンベア４６との間のカセット９の受け渡しでは、ローラコンベア８・８を移載位置に位置させて、該ローラコンベア８・８を作動させている。
【０１１２】
搬送車１０と走行路２の下方のステーション４１との間のカセット９の受け渡しで、移動機構８０・８０によりローラコンベア８・８を退避位置に移動させると、ホイスト７を介して昇降するカセット９と、ローラコンベア８・８とが干渉しなくなり、コンパクトなレイアウトで搬送車１０にホイスト７とローラコンベア８・８とを配置することができて、搬送車１０をコンパクトにまとめあげることができる。
さらに、移動機構８０・８０によりローラコンベア８・８を移載位置に移動させることで、物品収納空間１０ｂ内でホイスト７に保持されるカセット９の落下を防止することもでき、安全性が向上する。
【０１１３】
このような構成で、走行路２上にはホイスト７とローラコンベア８・８とを搭載した搬送車１０を走行させているが、走行路２上にホイスト７とローラコンベア８・８とを搭載した搬送車１０と、ホイスト７は搭載せずにローラコンベア８・８のみを搭載した搬送車とを併走させてもよい。
【０１１４】
ここで、前者のホイスト７とローラコンベア８・８とを搭載した搬送車１０を第１搬送車、後者のローラコンベア８・８のみを搭載した搬送車を第２搬送車と呼ぶこととして、第２搬送車の方が、第１搬送車よりも安価に製作できるため、天井搬送車システム１の系内に存在する第１搬送車の台数を極力少なくして、その分、第２搬送車で補うように構成すると、天井搬送車システム１を構築するコストを抑えることができる。
【０１１５】
このように天井搬送車システム１に、第１搬送車と第２搬送車とを併存させる構成では、該第１搬送車で、自動倉庫５の上部のステーション５２と処理装置４のステーション４１の間と、処理装置４のステーション４１と処理装置４のステーション４１との間と、バッファ４５のローラコンベア４６と処理装置４のステーション４１との間でカセット９を移載して、第２搬送車では、主に、自動倉庫５とバッファ４５のローラコンベア４６との間、及びバッファ４５のローラコンベア４６とバッファ４５のローラコンベア４６との間でカセット９を搬送するように構成する。
【０１１６】
前記のように処理装置４には、複数個のカセット９・９・・・が一括して投入されて、複数個単位で処理されるようになっており、処理を終えた複数個のカセット９・９・・・を、ステーション４１から１個ずつ第１搬送車に直接積み込んで、該複数個のカセット９・９・・・を複数台の第１搬送車で次の処理装置４へ搬送するように構成してもよく、あるいは、処理を終えた複数個のカセット９・９・・・を、ステーション４１から１個ずつ、１台の第１搬送車で、その処理装置４の一番近くのバッファ４５へ一旦移載して、このバッファ４５に移載された複数個のカセットを１個ずつ第２搬送車に積み込んで、該複数個のカセット９・９・・・を複数台の第２搬送車で次の処理装置４へ搬送するように構成してもよい。
【０１１７】
以上、本発明の天井搬送車システム１の構成である。
なお、請求項に記載の天井搬送車は、上記の実施例中の、カセット９をレール２４Ｌ・２４Ｒの上方で支持するマウント型の搬送車１０に限定することなく、レールの下方で物品を吊り下げて走行する、吊り下げ型の搬送車にも適用することができる。
【０１１８】
吊り下げ型の天井搬送車では、レール２４Ｌ・２４Ｒの下方に物品収納空間が形成され、該物品収納空間の下方には、カセット９が上下に通過可能な開口が形成されるとともに、搬送車の進行方向と直交する方向（カセット９を移載する方向）の側面にはカセット９が左右に通過可能な開口が形成され、該物品収納空間の天井には、ホイストが配置されるとともに、該物品収納空間の前方と後方には横移動装置であるローラコンベアが配置されるように構成する。ローラコンベアはホイストによるカセット９の昇降を妨げとならないように、前後に進退するようになっている。
また、本実施例では、処理装置４で収納している半導体ウエハを処理中に空カセット９は、処理装置４で保管されるようになっているが、バッファ４５で一時保管するようにしてもよい。
【０１１９】
【発明の効果】
以上のように構成した本発明では、次のような効果を奏する。
まず、請求項１に記載の発明では、搬送車は搬送手段で、走行路の側方の搬出入手段を具備した物品一時保管箇所と物品を受け渡すように構成されており、従来のように、ホイストを搭載した搬送車で、走行路の下方の物品一時保管箇所との間で物品を受け渡す構成に比べて、短時間で物品を受け渡すことができ、作業性が向上する。
【０１２０】
また、請求項２に記載の発明では、搬送車は搬送手段で、走行路の側方の入出庫手段を具備した物品移載箇所とも、短時間で物品を受け渡すことができ、作業性が向上する。
【０１２１】
そして、請求項３に記載の発明では、物品一時保管箇所と物品移載箇所との間に搬送車を停止させることで、該搬送車を介して物品一時保管箇所と物品移載箇所との間で物品を短時間に受け渡すことができる。この物品一時保管箇所と物品移載箇所との間での物品の受け渡しでは、搬送車は物品を中継するだけである。また、搬送車に搭載した物品を、物品一時保管箇所又は物品移載箇所の何れか一方に積み降ろすとともに、該物品一時保管箇所又は物品移載箇所の何れか他方から新たな物品を積み込むことができ、この積み下ろしと、積み込みとは略同時に行なうことができて、移載時間の短縮を図ることができる。
【０１２２】
さらに、請求項４に記載の発明では、搬送車は昇降移載手段で、走行路の下方の物品載置箇所とも、物品を受け渡すことができ、汎用性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】天井搬送車システム１の概略構成を示す平面図。
【図２】処理装置４及び自動倉庫５の平面図。
【図３】処理装置４の正面図。
【図４】処理装置４の正面図。
【図５】自動倉庫５の正面断面図。
【図６】搬送車１０の斜視図。
【図７】ローラコンベア８・８上にカセット９を載置した状態の搬送車１０の側面図。
【図８】搬送車１０の側面図。（ａ）は移動機構８０・８０を移載位置に位置させた状態。（ｂ）は移動機構８０・８０を退避位置に位置させた状態。
【図９】搬送車１０の制御構成を示すブロック図。
【符号の説明】
１    天井搬送車システム
２    走行路
４    処理装置
５    自動倉庫
７    ホイスト
８    ローラコンベア
９    カセット
１０    搬送車
２０    通過口
２４Ｌ  レール
２４Ｒ  レール
４５    バッファ
４６    ローラコンベア
７１    ホイスト本体
７２    昇降部
８０    移動機構
１１０    機上コントローラ
【図１】
2004189018.tif 000003
【図２】
2004189018.tif 000004
【図３】
2004189018.tif 000005
【図４】
2004189018.tif 000006
【図５】
2004189018.tif 000007
【図６】
2004189018.tif 000008
【図７】
2004189018.tif 000009
【図８】
2004189018.tif 000010
【図９】
2004189018.tif 000011