(57)【要約】【課題】プランジャがスリーブ部材の内部を軸線方向に沿って変位する際の摺動抵抗を低減させる。【解決手段】排気ガスが連通する入口ポート２６と出口ポート２８とが形成された基部２２と、前記基部２２の上部に連結され、内部に駆動部９０が配設されるハウジング４０と、前記駆動部９０の内部に装着され、非磁性材料からなるスリーブ部材１０６と、前記駆動部９０の駆動作用下に前記スリーブ部材１０６の内周面に沿って摺動自在に設けられ、その外周面にＤＬＣコーティング１１４が施されたプランジャ１１０と、前記プランジャ１１０の軸線方向に沿った変位作用下に一体的に変位する弁軸３８と、前記弁軸３８の先端部に連結され、排気ガスが連通する弁座３４を開閉する弁本体３６とを備える。【選択図】図１
2004100484.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁座および排気ガスの循環流路を備える基部と、
前記排気ガスの循環流路を開閉する弁本体を含み、前記基部を貫通し外方へ延在する弁軸と、
前記弁軸を前記弁本体と一体的に変位させる駆動部と、
前記駆動部と前記基部の間に設けられ、前記弁軸を変位自在に支持する弁軸ガイドと、
を有する排気ガス再循環バルブにおいて、
前記駆動部に装着される固定部材と、
前記固定部材の内壁面に沿って軸線方向に摺動する可動部材と、
を備え、
前記固定部材に対する前記可動部材の摺動面および／または前記固定部材の内壁面にはアモルファス状炭素材で表面処理が施されていることを特徴とする排気ガス再循環バルブ。
【請求項２】
請求項１記載の排気ガス再循環バルブにおいて、
前記可動部材の摺動面から半径外方向に向かって、および／または前記固定部材の内周面から半径内方向に向かって、シリコンまたはクロムからなる被膜層、アモルファス状炭素材の順番で表面処理が施されていることを特徴とする排気ガス再循環バルブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、排気ガス再循環バルブに関し、一層詳細には、可動部材および／または固定部材の摺動面に表面処理が施された排気ガス再循環バルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、例えば、内燃機関から排出される有害成分を除去するために、排気ガス再循環バルブが用いられている。この排気ガス再循環バルブは、内燃機関から排出される排気ガスを吸気系に再循環させ、前記排気ガス中に含まれるＮＯｘ等の有害成分を減少させるために、前記内燃機関の吸気系と排気系とを連通させる機能を有する。
【０００３】
一般的に、排気ガス再循環バルブは、内燃機関の吸気系と排気系とを連通させる再循環路を開閉する弁本体と、前記弁本体に連結される弁軸を駆動して変位動作を行う駆動装置とから構成される。
【０００４】
そして、排気ガス再循環バルブの内部には、前記駆動装置の駆動作用下に軸線方向に沿って変位するアマチュアを有し、前記アマチュアは弁軸と一体的に連結されている。また、アマチュアが軸線方向に沿って変位する際、その外周面は駆動装置の内部に装着されるガイドスリーブの内周面に沿って摺動する（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−１９７７１５号公報（第２頁、第８図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来技術に係る排気ガス再循環バルブにおいては、駆動装置の駆動作用下にアマチュアが弁軸と一体的に軸線方向に沿って変位する際、アマチュアとガイドスリーブとの間に摺動抵抗が生じる。その際、摺動抵抗によってアマチュアおよびガイドスリーブが摩耗するとともに、長年の使用によって耐久性が低下する。
【０００７】
また、アマチュアが摩耗することにより前記アマチュアと一体的に変位する弁軸の変位量が変化し、再循環路を流通する排気ガスの流量を高精度に制御することが困難であるという不具合がある。
【０００８】
本発明は、前記の不具合を考慮してなされたものであり、可動部材が変位する際の摺動抵抗を低減させて、耐久性および精度を向上させることが可能な排気ガス再循環バルブを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、弁座および排気ガスの循環流路を備える基部と、
前記排気ガスの循環流路を開閉する弁本体を含み、前記基部を貫通し外方へ延在する弁軸と、
前記弁軸を前記弁本体と一体的に変位させる駆動部と、
前記駆動部と前記基部の間に設けられ、前記弁軸を変位自在に支持する弁軸ガイドと、
を有する排気ガス再循環バルブにおいて、
前記駆動部に装着される固定部材と、
前記固定部材の内壁面に沿って軸線方向に摺動する可動部材と、
を備え、
前記固定部材に対する前記可動部材の摺動面および／または前記固定部材の内壁面にはアモルファス状炭素材で表面処理が施されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、駆動部に装着される固定部材の内壁面および／または前記固定部材の内壁面に沿って軸線方向に摺動する可動部材の摺動面をアモルファス状炭素材によって表面処理することにより、可動部材が固定部材の内壁面を軸線方向に沿って摺動する際の摺動抵抗を低減させて、摺動性を向上させることができる。従って、可動部材および固定部材の摩耗量が低減するため、可動部材および前記可動部材が摺動する固定部材の耐久性を向上させることができる。
【００１１】
また、可動部材および固定部材の耐摩耗性を向上させ、前記可動部材を固定部材に対して精度よく変位させることができる。そのため、可動部材の変位に伴って弁軸が軸線方向に沿って正確に変位し、循環流路を流通する排気ガスの流量を高精度に制御することができる。
【００１２】
さらに、前記可動部材の摺動面から半径外方向に向かって、および／または前記固定部材の内周面から半径内方向に向かって、シリコンまたはクロムからなる被膜層、アモルファス状炭素材の順番で表面処理を施すと好適である。可動部材および／または固定部材にアモルファス状炭素材を施す際の下地として予め被膜層が形成されるため、前記可動部材および／または固定部材に対してより一層確実にアモルファス状炭素材による表面処理を施すことができるからである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明に係る排気ガス再循環バルブについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１４】
図１において、参照符号１０は、本発明の実施の形態に係る排気ガス再循環バルブを示す。この排気ガス再循環バルブ１０は、図示しない内燃機関の排気系から吸気系への排気ガスの循環を制御する弁部２０と、ガイド部５０と、前記弁部２０を駆動する駆動部９０と、前記弁部２０の開閉状態を計測するセンサ部１６０とから構成される。
【００１５】
弁部２０は基部２２を備え、該基部２２の、例えば、下部には、内燃機関の排気系と連結される入口ポート２６と、前記内燃機関の吸気系と連結される出口ポート２８とが画成され、この入口ポート２６と出口ポート２８は、該入口ポート２６の上部に画成された孔部３０と、前記基部２２内に画成された排気ガスの循環流路である再循環路３２とによって連通される。
【００１６】
孔部３０は、入口ポート２６の上部から基部２２の上面に開口するように形成される。前記入口ポート２６には円環状の弁座３４が配設され、この弁座３４には、前記入口ポート２６および孔部３０を介して基部２２を貫通する弁軸３８が挿入される。
【００１７】
弁軸３８の一方の端部には弁本体３６が連結され、この弁本体３６は、弁座３４に対し離間または着座することによって入口ポート２６の開閉を行うことが可能である。
【００１８】
ハウジング４０は、例えば、金属製材料から形成され、円筒状の側壁４２と、この側壁４２の下端から一体的、かつ水平方向に延在する底壁４４とを有する。また、ハウジング４０には、側壁４２と底壁４４に跨って窓部４５が形成され、この窓部４５を介して前記ハウジング４０の内部と外部（大気側）とが連通している。さらに、底壁４４の略中央部には孔部４６が画成され、この孔部４６に嵌合する弁軸ガイド５２を貫通して前記弁軸３８が同軸上に挿通される。すなわち、前記ハウジング４０内に挿入された弁軸３８は、ガイド部５０によって上下方向に摺動自在に支持される。
【００１９】
ガイド部５０は、弁軸３８を支持するための耐熱性材料（例えば、カーボン焼結体またはステンレス鋼等）で形成された弁軸ガイド５２を備える。この弁軸ガイド５２は、内部に軸挿通孔５４および軸受逃げ部５５が画成され、前記弁軸３８に同軸上に配設される耐熱性材料で形成されたアンダーカバー６０およびアッパーカバー６６で囲繞されるように嵌入され、外部から遮蔽される。
【００２０】
アンダーカバー６０は略カップ状に形成され、開口された上端から半径外方向に延在する第１フランジ部６２が、基部２２の上面の略中央部に画成された環状溝６３に嵌合係止される。また、アンダーカバー６０の閉塞された底面には、弁軸３８を挿通するための第１の孔６４が画成されている。
【００２１】
アッパーカバー６６は略カップ状に形成され、その上部の略中央部には、弁軸３８が挿通される第２の孔７４が画成され、開口された下端に半径外方向に延在するように設けられる第２フランジ部７２が前記ハウジング４０の下面に係止される。
【００２２】
第１フランジ部６２と第２フランジ部７２は、その間にシール部材７８が介在された状態でハウジング４０の下面と基部２２の上面とにより挟持され、複数のねじ７６によって固定される。シール部材７８には、前記ねじ７６を挿通するための複数（例えば、３つ）のねじ穴７９が画成される。ここで、ガイド部５０には、弁軸ガイド５２の軸挿通孔５４、アンダーカバー６０の第１の孔６４およびアッパーカバー６６の第２の孔７４を介して弁軸３８が挿入され、このため、前記弁軸３８は軸線方向に沿って変位自在に支持されている。
【００２３】
カバー部８０は、略カップ形状のカバー部材８２を備え、該カバー部材８２の開口された上端には、フランジ部８４が半径外方向に延在するように一体的に設けられる。前記カバー部材８２の略中央部には、アッパーカバー６６に対応する直径の孔部８６が画成され、孔部８６にアッパーカバー６６が嵌入される。前記孔部８６の周辺には複数の通気孔８８が画成される。そして、カバー部材８２のフランジ部８４が溶接等によって後述する第２支持部材９４に固着されている。
【００２４】
駆動部９０は、略円柱形状の内孔を有する第１支持部材９２および第２支持部材９４を備え、前記第１支持部材９２が上部に位置し、前記第２支持部材９４が下部に位置するようにハウジング４０内に配設されて一組の磁極部材を構成する。
【００２５】
第１支持部材９２は、弁軸３８に直交するように延在してハウジング４０の上部に端部が固定される第１フランジ部９６と、前記弁軸３８に沿って延在する筒状の第１膨出部９３とを含む。一方、第２支持部材９４は、弁軸３８に直交するように延在してハウジング４０の下部に端部が固定される第２フランジ部９８と、前記弁軸３８に沿って延在し、且つ前記第１支持部材９２の第１膨出部９３と対向する筒状の第２膨出部９７とを含む。ここで、第２膨出部９７は、その外周が上方に延在するにしたがって小径となるテーパ状に形成されている。
【００２６】
第１支持部材９２および第２支持部材９４は、各外周面に形成された第１フランジ部９６および第２フランジ部９８によって、それぞれ側壁４２の内面に固定され、前記第２フランジ部９８の下面には、前記カバー部材８２のフランジ部８４が固着される。ここで、第２支持部材９４、ハウジング４０の側壁４２および底壁４４とから空間が形成され、この空間は前記窓部４５を介して外部と連通される。
【００２７】
第１支持部材９２、第２支持部材９４およびハウジング４０から形成された空間１００には、弁軸３８を駆動するためのコイル１０２が配設される。前記コイル１０２は非金属製材料からなるボビン１０１に巻回され、このボビン１０１は、第２支持部材９４上のスプリングワッシャ１０４によって、第１支持部材９２に指向して弾性的に固定される。このコイル１０２には、図示しない電源が接続される。
【００２８】
第１支持部材９２および第２支持部材９４の内孔には、非磁性体材料で略カップ形状に形成されたスリーブ部材（固定部材）１０６がその底面を下にして挿入され、開口された該スリーブ部材１０６の上端が外方向に湾曲して形成された突起部１０８によって前記第１支持部材９２の上端に係止される。このスリーブ部材１０６の底面には、後述する第１弾性部材１３２のガイドとして機能する下に凸のカップ状の突出部１１６が形成され、その略中央部には、前記ハウジング４０内に挿入された弁軸３８が挿通される挿通孔（図示せず）が画成される。
【００２９】
スリーブ部材１０６の内部には、磁性体からなる略円筒状のプランジャ（可動部材）１１０が、該スリーブ部材１０６の内面を前記弁軸３８と同軸上に、且つ摺動自在に挿入される。そして、このプランジャ１１０と弁軸３８は、該プランジャ１１０の内面に形成された突起部１１２を介して連結手段１２０によって連結される。ここで、弁軸３８とプランジャ１１０の突起部１１２との間には所定の隙間が設けられている。
【００３０】
前記プランジャ１１０の外周面（摺動面）には、図２および図３に示されるように、硬度が高いアモルファス状炭素材（ＤＬＣ−ダイヤモンドライクカーボン）コーティング（以下、ＤＬＣコーティングと記す）１１４が施されている。この場合、前記外周面に施されるＤＬＣコーティング１１４は、０．２〜１０μｍの範囲の厚さに形成するとよい。
【００３１】
すなわち、ＤＬＣコーティング１１４をプランジャ１１０の外周面に施すことにより、プランジャ１１０がスリーブ部材１０６の内周面（内壁面）に沿って摺動した際の摺動性が向上するとともに、前記摺動性の向上に伴ってプランジャ１１０の摩耗が抑制されるため、耐久性を向上させることができる。
【００３２】
また、前記ＤＬＣコーティング１１４は、プランジャ１１０の外周面に直接施される場合のみに限定されるものではなく、図４に示されるように、前記外周面に、例えば、シリコン被膜および／またはクロム被膜からなる被膜層１１８を被覆し、その上にＤＬＣコーティング１１４を施す２層コーティングとしてもよい。この場合、被膜層１１８は、０．１〜２μｍの範囲の厚さに形成するとよく、前記被膜層１１８の上に施されるＤＬＣコーティング１１４は、０．２〜１０μｍの範囲の厚さに形成するとよい。
【００３３】
なお、プランジャ１１０の外周面に施されるシリコン被膜および／またはクロム被膜からなる被膜層１１８は、コーティングされるプランジャ１１０の材質から判断して任意に選択される。すなわち、プランジャ１１０の外周面にＤＬＣコーティング１１４の下地として被膜層１１８を予め形成することにより、プランジャ１１０に対してより一層確実にＤＬＣコーティング１１４を施すことができる。
【００３４】
さらに、図５に示されるように、プランジャ１１０の外周面の代わりに、スリーブ部材１０６の内周面にＤＬＣコーティング１１４を施すようにしてもよい。なお、その場合においても、スリーブ部材１０６の内周面にシリコン被膜および／またはクロム被膜からなる被膜層１１８を形成し、その上にＤＬＣコーティング１１４を施す２層コーティングとしてもよい。
【００３５】
さらにまた、図６に示されるように、プランジャ１１０の外周面およびスリーブ部材１０６の内周面の両方にＤＬＣコーティング１１４を施すようにしてもよい。その場合においても、プランジャ１１０の外周面およびスリーブ部材１０６の内周面の両方にシリコン被膜および／またはクロム被膜からなる被膜層１１８を施し、その上にそれぞれＤＬＣコーティング１１４を施してもよい。なお、前記被膜層１１８は、シリコン被膜、クロム被膜に限定されるものではない。すなわち、プランジャ１１０の外周面にＤＬＣコーティング１１４の下地として被膜層１１８を予め形成することにより、プランジャ１１０およびスリーブ部材１０６に対してより一層確実にＤＬＣコーティング１１４を施すことができる。
【００３６】
前記連結手段１２０は、図１に示されるように、第１リテーナ１２２を備え、この第１リテーナ１２２は、スリーブ部材１０６の底面に形成された突出部１１６に対応したプランジャ１１０の内径より小径の略円盤状に形成され、その外周端には、下方向に湾曲した第１湾曲部１２３が設けられる。また、第１リテーナ１２２の略中央部には第１係着孔１２４が画成され、この第１係着孔１２４を弁軸３８の外周面に画成された第１環状溝１３０に嵌め込むことによって前記弁軸３８に係着され、第１弾性部材１３２および／または第２弾性部材１３４による上方向への付勢によって固定される。
【００３７】
第１弾性部材１３２は、前記第１リテーナ１２２と突出部１１６の間に弁軸３８と同軸上に配設される。
【００３８】
第２弾性部材１３４は、前記第１弾性部材１３２の内側に弁軸３８と同軸上に配設される。また、第２弾性部材１３４は、上端が第１リテーナ１２２に当接するとともに、下端が第２リテーナ１３６に当接し、これによって前記第１リテーナ１２２を上方向に付勢するとともに、前記第２リテーナ１３６を下方向に付勢する。
【００３９】
第２リテーナ１３６は、第１リテーナ１２２より下方向に所定間隔離間した弁軸３８上に配設される。この第２リテーナ１３６は、第２弾性部材１３４に対応して前記第１リテーナ１２２より小径の略円盤状に形成され、その外周端には、上方向に湾曲した第２湾曲部１３８が設けられる。
【００４０】
また、第２リテーナ１３６の略中央部には第２係着孔１４０が画成され、この第２係着孔１４０を、弁軸３８に形成された第２環状溝１４４に嵌め込むことによって前記弁軸３８に係着され、第２弾性部材１３４による下方向の付勢によって固定される。この場合、この第２リテーナ１３６は、スリーブ部材１０６の突出部１１６に当接することによって、プランジャ１１０の移動範囲の下限を規制する。
【００４１】
弁軸３８に沿った第１リテーナ１２２の上部側には、第３リテーナ１４６が該弁軸３８に対して摺動自在に配設される。この第３リテーナ１４６は、第１リテーナ１２２と略同一の直径の略円盤状に形成され、その外周端には、上方向に湾曲した第３湾曲部１４８が設けられる。この第３リテーナ１４６の略中央部には、弁軸３８を挿入するための摺動孔１５０が画成される。そして、第３リテーナ１４６は、第３弾性部材１５４によって下方向に付勢される。
【００４２】
第３弾性部材１５４は、第３リテーナ１４６に対応した第１弾性部材１３２と略同一の直径の略円筒形状に形成され、前記第３リテーナ１４６とセンサケース１６２の間に、弁軸３８と同軸上に配設される。
【００４３】
プランジャ１１０には、弁軸３８側へと突出する突起部１１２が形成されており、この突起部１１２の上面には第３リテーナ１４６が当接し、その下面には第１リテーナ１２２が当接する。そして、コイル１０２に電流が供給されていない状態では、プランジャ１１０は、第１弾性部材１３２による上方向の付勢によって上限位置に停止される。このとき、弁本体３６は、弁座３４に着座している（閉弁状態）。
【００４４】
センサ部１６０は、例えば、樹脂製材料で形成されたセンサケース１６２を備え、このセンサケース１６２は、ハウジング４０の上部に接続される。図示しないセンサに連結されたセンサ部１６０のセンサロッド１６４は、軸受１６６に支持され、該センサロッド１６４の先端は、弁軸３８の後端に連結される。そして、弁本体３６による弁部２０の開閉状態は、弁軸３８およびセンサロッド１６４を介して前記センサに伝達され、該センサによって測定される。この測定結果は、センサケース１６２内に配設されたコネクタ部１６８を介して図示しない制御回路に送られる。また、このセンサケース１６２内には、コイル１０２と図示しない電源とを接続するためのコネクタ部１６８が配設され、センサケース１６２とハウジング４０との接続部分は、固定手段１７０によって固定される。
【００４５】
本実施の形態に係る排気ガス再循環バルブ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、一例として、プランジャ１１０の外周面のみにＤＬＣコーティング１１４が施されている場合について、その動作並びに作用効果を説明する。
【００４６】
図１は、弁本体３６が弁座３４に着座して、入口ポート２６と出口ポート２８との連通が遮断された弁閉状態を示している。
【００４７】
このような弁閉状態において、駆動部９０のコイル１０２に図示しない電源より電流を供給する。そして、駆動部９０のコイル１０２に電流が供給されることによって弁部２０の開弁動作が行われ、前記コイル１０２への電流の供給を停止することによって前記弁部２０の閉弁動作が行われる。
【００４８】
すなわち、図示しない制御回路の指示に基づいて、前記電源よりコイル１０２に所定値の電流が供給されると、該コイル１０２から磁界が発生し、プランジャ１１０がスリーブ部材１０６の内周面に沿って下方向に移動するように電磁力を受ける。その際、プランジャ１１０の外周面には硬度の高いＤＬＣコーティング１１４が施されているため、プランジャ１１０の外周面とスリーブ部材１０６の内周面との間に生じる摺動抵抗を低減させることができる。その結果、プランジャ１１０の摺動性が向上するとともに、前記摺動性の向上に伴ってプランジャ１１０およびスリーブ部材１０６の摩耗を防止することができる。
【００４９】
また、第２支持部材９４の第２膨出部９７は、その外周が上方に延在するにしたがって小径となるテーパ状に形成されているため、プランジャ１１０に加わる軸線方向の電磁力が、該プランジャ１１０の軸線方向に沿った位置に比例する。
【００５０】
そして、プランジャ１１０が、突起部１１２を介して第１リテーナ１２２を押圧し、第１弾性部材１３２の弾発力に抗しながら下方向に変位すると、前記第１リテーナ１２２と連結する弁軸３８は、弁軸ガイド５２のガイド作用下に下方向に変位する。このとき、この弁軸３８に結合された弁本体３６が下方向に変位し、弁座３４から離間することによって、入口ポート２６と出口ポート２８の間が連通される（開弁状態）。
【００５１】
そして、このプランジャ１１０は、前記電磁力と第１弾性部材１３２の弾発力がつり合う位置で停止する。すなわち、弁部２０の開閉量は、コイル１０２に供給される電流の強弱によって決定される。
【００５２】
ここで、プランジャ１１０は、第２リテーナ１３６によってその下限位置が規制されているため、プランジャ１１０がスリーブ部材１０６の底面に衝突し、損傷することが回避される。
【００５３】
次に、コイル１０２への電流の供給を停止すると、第１弾性部材１３２の弾発力による上方向の付勢によってプランジャ１１０が上昇し、これに伴って弁軸３８は、弁軸ガイド５２のガイド作用下に上方向に変位する。そして、この弁軸３８に結合された弁本体３６が弁座３４に着座し、入口ポート２６が閉塞される（閉弁状態）。その際、プランジャ１１０の外周面に施されたＤＬＣコーティング１１４によって、プランジャ１１０が上方向に変位する際のプランジャ１１０の外周面とスリーブ部材１０６の内周面との間に生じる摺動抵抗が低減される。その結果、プランジャ１１０の摺動性が向上するとともに、前記摺動性の向上に伴ってプランジャ１１０およびスリーブ部材１０６の摩耗を防止することができる。
【００５４】
ここで、第３弾性部材１５４は、第３リテーナ１４６を介してプランジャ１１０を下方向に付勢することにより、このプランジャ１１０がセンサケース１６２の下面に衝突した際の衝撃を緩衝するとともに、弁軸３８および第２リテーナ１３６を介して、弁本体３６が弁座３４に衝突した際の衝撃も同様に緩衝する。また、この第３弾性部材１５４による下方向の付勢によって、プランジャ１１０の突起部１１２は第１リテーナ１２２に常に当接されているため、振動の発生が阻止される。
【００５５】
そして、プランジャ１１０と第１リテーナ１２２は直接結合されていないため、閉弁動作時に前記プランジャ１１０の慣性力が弁軸３８に加わることがない。そのため、弁本体３６の弁座３４への衝突時に、該弁本体３６または弁座３４が損傷することが回避される。
【００５６】
さらに、弁軸３８とプランジャ１１０の突起部１１２との間には所定の隙間が設けられているため、前記プランジャ１１０と前記弁軸３８との軸線に直交する方向の相対変位が許容され、前記プランジャ１１０のミスアライメントまたは前記弁軸３８の前記軸線に直交する方向の変動に起因して前記弁軸３８の駆動が阻害されることがない。
【００５７】
このような弁本体３６による入口ポート２６の開閉状態は、弁軸３８およびセンサロッド１６４を介して図示しないセンサに伝達され、該センサによる測定結果は、図示しない制御回路にフィードバックされる。
【００５８】
以上のように、本実施の形態では、プランジャ１１０の外周面および／またはスリーブ部材１０６の内周面にＤＬＣコーティング１１４を施すことにより、プランジャ１１０がスリーブ部材１０６の内周面を軸線方向に沿って摺動する際の摺動抵抗を低減させて、プランジャ１１０の摺動性を向上させることができる。その結果、プランジャ１１０およびスリーブ部材１０６の摩耗量が低減するため、プランジャ１１０および前記プランジャ１１０が摺動するスリーブ部材１０６の耐久性を向上させることができる。また、プランジャ１１０の摺動性が向上することにより、プランジャ１１０をスリーブ部材１０６の内部に沿って、より一層円滑に摺動させることができる。
【００５９】
また、プランジャ１１０およびスリーブ部材１０６の耐摩耗性が向上することにより、前記プランジャ１１０をスリーブ部材１０６に対して高精度に変位させることができる。そのため、プランジャ１１０の変位に伴って弁軸３８が軸線方向に沿って高精度に変位し、入口ポート２６から出口ポート２８へと流通する排気ガスの流量を高精度に制御することができる。
【００６０】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００６１】
すなわち、固定部材の内壁面および／または可動部材の摺動面に施されたアモルファス状炭素材によって、可動部材が固定部材の内壁面を軸線方向に沿って摺動する際の摺動抵抗を低減させて、可動部材および固定部材の摩耗量を低減させ、可動部材および前記可動部材が摺動する固定部材の耐久性を向上させることができる。
【００６２】
また、可動部材および固定部材の耐摩耗性が向上することにより、前記可動部材を固定部材に対して高精度に変位させることができるため、循環流路を流通する排気ガスの流量を高精度に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る排気ガス再循環バルブの一部破断縦断面図である。
【図２】ＤＬＣコーティングが施されたプランジャの一部切欠分解斜視図である。
【図３】ＤＬＣコーティングが施されたプランジャの一部省略拡大縦断面図である。
【図４】ＤＬＣコーティングと被膜層が２層にわたって施されたプランジャの一部省略拡大縦断面図である。
【図５】ＤＬＣコーティングが施されたスリーブ部材の一部省略拡大縦断面図である。
【図６】ＤＬＣコーティングが施されたプランジャおよびスリーブ部材の一部省略拡大縦断面図である。
【符号の説明】
１０…排気ガス再循環バルブ　　　　２０…弁部
２２…基部　　　　　　　　　　　　２６…入口ポート
２８…出口ポート　　　　　　　　　３２…再循環路
３４…弁座　　　　　　　　　　　　３６…弁本体
３８…弁軸　　　　　　　　　　　　４０…ハウジング
５０…ガイド部　　　　　　　　　　５２…弁軸ガイド
６０…アンダーカバー　　　　　　　６６…アッパーカバー
８０…カバー部　　　　　　　　　　８２…カバー部材
９０…駆動部　　　　　　　　　　　９２…第１支持部材
９４…第２支持部材　　　　　　　　１０２…コイル
１０６…スリーブ部材　　　　　　　１１０…プランジャ
１１４…ＤＬＣコーティング　　　　１１８…被膜層
１６０…センサ部　　　　　　　　　１６６…軸受
１６８…コネクタ部　　　　　　　　１７０…固定手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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