(57)【要約】【課題】分離膜モジュールを使用し、その二次側にパージ空気を供給して除湿性能を調整するようにした除湿装置に対し、良好な湿度制御を行う。【構成】除湿装置は、分離膜モジュール１から排出する乾燥空気の湿度を測定する湿度測定手段２１と、パージ空気供給部８へのパージ空気の流量を調整する流量調整手段２０と、制御手段２２とを設ける。前記制御手段２２は湿度測定手段２１による湿度測定値が湿度設定器２３で設定された湿度設定値に一致するように連続的に変化する制御信号を流量調整手段２０に出力し、それによってパージ空気流量が連続的に調整される。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
除湿すべき空気を分離膜の一次側に導入する入口部６と、除湿した乾燥空気を分離膜の一次側から排出する出口部７と、分離膜の二次側にパージ空気を供給するパージ空気供給部８を有する分離膜モジュール１を備えた除湿装置において、
分離膜モジュール１から排出する乾燥空気の湿度を測定する湿度測定手段２１と、パージ空気供給部８へのパージ空気の流量を調整する流量調整手段２０と、制御手段２２とを設け、
前記制御手段２２は湿度測定手段２１による湿度測定値が湿度設定値に一致するように連続的に変化する制御信号を前記流量調整手段２０に出力し、それによって流量調整手段２０がパージ空気流量を連続的に変化させるように構成したことを特徴とする除湿装置。
【請求項２】
請求項１において、前記制御手段２２はＰ動作，ＰＩ動作またはＰＩＤ動作を行うことを特徴とする除湿装置。
【請求項３】
請求項１または２において、前記湿度設定値が可変とされていることを特徴とする除湿装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、除湿すべき空気についての流量測定手段３０、圧力測定手段３１、温度測定手段３２および湿度測定手段３３の少なくとも１つを設け、それらの測定値の変化速度に比例する偏差信号を前記制御手段２２に入力し、それによってそれらの変化により影響される乾燥空気の湿度変化の予測制御を行うように構成したことを特徴とする除湿装置。
【請求項５】
除湿すべき空気を分離膜の一次側に導入する入口部６と、除湿した乾燥空気を分離膜の一次側から排出する出口部７と、分離膜の二次側にパージ空気を供給するパージ空気供給部８を有する分離膜モジュール１を備えた除湿装置において、
分離膜モジュール１から排出する乾燥空気の湿度を測定する湿度測定手段２１と、外気温度を測定する温度測定手段３４と、パージ空気供給部へのパージ空気の流量を調整する流量調整手段２０と、制御手段２２とを設け、
前記制御手段２２は湿度測定手段２１による湿度測定値に対応する露点値が外気温度を測定する温度測定手段３４による外気温度測定値より予め設定された差だけ低い値になるように連続的に変化する制御信号を前記流量調整手段２０に出力し、それによって流量調整手段２０がパージ空気流量を連続的に変化させるように構成したことを特徴とする除湿装置。
【請求項６】
請求項５において、前記制御手段２２に入力される外気温度測定値が予め設定した上限を超えないように制限するリミッタ手段４２を設けたことを特徴とする除湿装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は分離膜モジュールを備えた除湿装置に関し、特にパージ空気を分離膜の二次側に供給して除湿性能を調整できるようにした除湿装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
工場や各種プラント等に設置される空圧機器等には乾燥した加圧空気を安定して供給する必要がある。空気圧縮機で空気を圧縮して得られる加圧空気には水分を含むことが多いのでそのまま負荷設備に供給することはできない。そのため一般に空気圧縮機と負荷設備の間に除湿装置が設けられる。
【０００３】
一般的な除湿方式には冷凍式、乾燥剤式、分離膜式などがあるが、これらの中で分離膜式は除湿効率が高く装置も小型化しやすいので、近年広く採用されている。一般に分離膜式の除湿装置は中空糸分離膜を多数束ねて容器内に収容した分離膜モジュールを１本または複数本並列接続して構成され、そのような分離膜モジュールとしては、例えば宇部興産製のＣＶ１０型モジュール、ドイツのＢＥＫＯ社製の４０２０型モジュールがある。
【０００４】
図８は中空糸分離膜を用いた分離膜モジュールの断面図、図９はその分離膜モジュールを用いた除湿装置のプロセスフロー図である。図８に示すように、分離膜モジュール１は筒状の容器２と、その容器２内に多数束ねて収容された中空糸分離膜３を主要部としている。この中空糸分離膜３はその側壁に多数の微細な連通孔を有し、その連通孔は水分を通過させ気体を通過させない大きさの口径を有している。束状に形成された多数の中空糸分離膜３の両端部は容器２内に樹脂モールドした支持部材４，５に支持され、入口部６と出口部７にそれぞれ開口している。
【０００５】
入口部６から導入した空気は中空糸分離膜３の一次側（内側）を通過する間に、一次側と二次側の水蒸気分圧差により含まれている水分が膜を浸透して二次側（外側）に分離除去除湿され、乾燥空気となって出口部７から外部に排出する。中空糸分離膜３の二次側にはパージ空気供給部８とパージ空気排出部９が設けられる。パージ空気供給部８から乾燥空気をパージ空気として供給し、パージ空気排出部９から排出することによって、二次側に分離された水分がパージ空気に同伴して外部に排出されるので、二次側の湿度（すなわち水蒸気分圧差）を低下させることができる。従って、パージ空気の流量を増加することにより水蒸気分圧差を大きくして除湿性能を高めることができ、逆にパージ空気の流量を減少することにより水蒸気分圧差を小さくして除湿性能を低くできる。
【０００６】
図９において、分離膜モジュール１の入口部６には空気圧縮機からの配管１０が接続され、出口部７には負荷設備への配管１１が接続される。そして分離膜モジュール１を複数本並列に接続して除湿装置を構成する場合には、各分離膜モジュール１に接続した配管１０と配管１１がそれぞれ並列に分岐される。
【０００７】
配管１１からパージ配管１２が分岐され、そのパージ配管１２に電磁式の開閉弁１３が設けられる。この開閉弁１３は配管１１を流れる乾燥空気の湿度（相対湿度）を測定して制御信号を出力する湿度制御器１４によってＯＮ−ＯＦＦ制御される。湿度制御器１４は乾燥空気の湿度が設定値より高くなると開閉弁１３を開ける制御信号を出力し、低くなると閉じる制御信号を出力する。
【０００８】
図１０は図９の除湿装置の運転状態を説明する図である。乾燥空気の湿度を常に湿度設定値に一致させるように湿度制御器１４は常にＯＮ−ＯＦＦ制御信号を出力し続けるので、開閉弁１３も常に開−閉動作を繰り返し、その結果、乾燥空気の湿度は設定値を挟んで上下に大きくオーバシュートする。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように開閉弁１３が頻繁に開−閉動作を繰り返すと、開閉弁１３の寿命が短くなり装置の信頼性が低下するという問題がある。また、パージ空気の流量変動が大きいので、結果として乾燥空気の湿度変化（オーバーシュート）も大きくなり、制御性は必ずしも優れていると言い難い。そこで本発明はかかる従来の除湿装置における問題を解決することを課題とし、そのための新しい除湿装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決する本発明に係る除湿装置は、除湿すべき空気を分離膜の一次側に導入する入口部と、除湿した乾燥空気を分離膜の一次側から排出する出口部と、分離膜の二次側にパージ空気を供給するパージ空気供給部を有する分離膜モジュールを備えている。そして本装置は、分離膜モジュールから排出する乾燥空気の湿度を測定する湿度測定手段と、パージ空気供給部へのパージ空気の流量を調整する流量調整手段と、制御手段とを設け、前記制御手段は湿度測定手段による湿度測定値が湿度設定値に一致するように連続的に変化する制御信号を前記流量調整手段に出力し、それによって流量調整手段がパージ空気流量を連続的に変化させるように構成したことを特徴とする（請求項１）。
【００１１】
上記除湿装置において、前記制御手段はＰ動作，ＰＩ動作またはＰＩＤ動作を行うことができる（請求項２）。
【００１２】
上記いずれかの除湿装置において、前記湿度設定値は可変とすることができる（請求項３）。
【００１３】
上記いずれかの除湿装置において、除湿すべき空気についての流量測定手段、圧力測定手段、温度測定手段および湿度測定手段の少なくとも１つを設け、それらの測定値の変化速度に比例する偏差信号を前記制御手段に入力し、それによってそれらの変化により影響される乾燥空気の湿度変化の予測制御を行うように構成することができる（請求項４）。
【００１４】
前記課題を解決する本発明に係る別の除湿装置は、除湿すべき空気を分離膜の一次側に導入する入口部と、除湿した乾燥空気を分離膜の一次側から排出する出口部と、分離膜の二次側にパージ空気を供給するパージ空気供給部を有する分離膜モジュールを備えている。そして本装置は、分離膜モジュールから排出する乾燥空気の湿度を測定する湿度測定手段と、外気温度を測定する温度測定手段と、パージ空気供給部へのパージ空気の流量を調整する流量調整手段と、制御手段とを設け、前記制御手段は湿度測定手段による湿度測定値に対応する露点値が外気温度を測定する温度測定手段による外気温度測定値より予め設定された差だけ低い値になるように連続的に変化する制御信号を前記流量調整手段に出力し、それによって流量調整手段がパージ空気流量を連続的に変化させるように構成したことを特徴とする（請求項５）。
【００１５】
上記温度測定手段を設ける場合において、前記制御手段に入力される外気温度測定値が予め設定した上限を超えないように制限するリミッタ手段を設けることができる（請求項６）。
【００１６】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面により説明する。図１は本発明に係る除湿装置の実施の形態を示すプロセスフロー図である。分離膜モジュール１は図８に示すものと同様に、中空糸分離膜を容器内に収容した構造を有し、その入口部６に空気圧縮機からの配管１０が接続され、出口部７に負荷設備への配管１１が接続される。
【００１７】
配管１１から分岐するパージ配管１２は分離膜モジュール１の二次側に連通するパージ空気供給部８に接続され、そのパージ配管１２には電動式制御弁、油圧式制御弁または空気圧式制御弁などの連続的に流量を調整できる流量調整手段２０が設けられる。配管１１を流れる乾燥空気の露点を監視するため、配管１１には湿度（相対湿度）測定発信器などの湿度測定手段２１が設けられ、その検出値は電気信号として制御手段２２に伝送される。なお湿度測定発信器の代わりに、直接露点を測定するように構成した露点測定発信器を用いてもよい。
【００１８】
制御手段２２は例えばＣＰＵ（中央演算装置）、記憶部、入出力部等を含むマイクロコンピュータ装置により構成され、その記憶部に格納された制御プログラムにより所定の制御動作が実行される。
制御手段２２は湿度測定手段２１からの湿度測定値と湿度設定器２３で設定された湿度設定値とを比較し、湿度測定値が湿度設定値に一致するように流量調整手段２０に連続的に変化する制御信号を出力する。
【００１９】
すなわち湿度測定値と湿度設定値が図示のように引き算されてその偏差が制御部２４に入力され、制御部２４はその偏差が零になるように流量調整手段２０に連続的に変化する制御信号を出力する。なお制御手段２２における制御部２４は制御プログラムによりソフト的に構成され、その偏差の演算も制御プログラムに従って実行される。そして制御部２４の制御動作は比例制御（Ｐ制御）、比例積分制御（ＰＩ制御）または比例積分微分制御（ＰＩＤ制御）を選択できるように構成される。なお、湿度設定器２３はマイクロコンピュータ装置の周辺機器であるキーボード等の入力部により構成することができる。
【００２０】
ここで、湿度測定値と湿度設定値の偏差をｅ、時間をＴ、比例定数をＫｐ、微分時間をＴｄ、制御出力をｍ、制御出力のベース値をｍ０　とすると、制御部２４の制御出力ｍは、Ｐ制御の場合はｍ＝Ｋｅ＋ｍ０　、ＰＩ制御の場合はｍ＝Ｋ（ｅ＋１／Ｔ・∫ｅｄｔ）＋ｍ０　、ＰＩＤ制御の場合はｍ＝Ｋ（ｅ＋１／Ｔ・∫ｅｄｔ＋Ｔｄ・ｄｅ／ｄｔ）＋ｍ０　となる。
【００２１】
図２は上記制御手段２２による制御結果の１例を示す図である。制御手段２２はＰＩ制御を選択しており、図示のように湿度測定値が湿度設定値より低下すると、その偏差ｅに応じてＰＩ制御動作により流量調整手段２０の開度は図示のように連続的に低下していく。その結果偏差が次第に減少すると制御手段２２は流量調整手段２０を次第にもとの開度に徐々に復帰させていく。その過程で湿度は多少のオーバシュートを生じるが、その程度は図１０に示した従来の方法に比べて著しく抑制される。なお一般的にはこのオーバシュートは、Ｐ制御を選択した場合には若干大きくなるが、ＰＩＤ制御を選択した場合にはさらに抑制できる可能性がある。
【００２２】
図３は本発明に係る除湿装置の他の実施の形態を示すプロセスフロー図である。この例では湿度制御に際し、乾燥空気の湿度測定値のほかに除湿すべき空気の流量測定値等を用いる点が図１の例と異なる。従って図１と同じ部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２３】
除湿すべき空気が流通する配管１０の流量、圧力、温度および湿度を測定するため、フローメータ式や容量式流量発信器等の流量測定手段３０、ベローズ式やブルドン管式圧力測定発信器等の圧力測定手段３１、熱電対式や抵抗式温度測定発信器等の温度測定手段３２、および前記湿度測定手段２１と同様な湿度測定手段３３を設け、それら測定値を制御手段２２に伝送して制御用パラメータとする。なお実際には、プロセスの状況に応じてこれら各測定手段のうちの少なくとも１つを選択して設けることができる。
【００２４】
さらに、所望により、前記温度測定手段３２や湿度測定手段３３の代わりに、外気の温度を測定する温度測定手段３４および外気の湿度を測定する湿度測定手段３５を設け、それらの測定値を制御手段２２に伝送して制御用パラメータとすることもできる。
【００２５】
除湿すべき空気の流量、圧力、温度、湿度などが変動すると、分離膜モジュールの除湿能力に影響を与える。例えば空気流量が増加すると必要な除湿量が多くなるので、パージ空気流量が一定の場合には配管１１から流出する乾燥空気の湿度（露点）が上昇する。また空気の圧力、温度、湿度などが上昇した場合も同様に乾燥空気の湿度が上昇する。
【００２６】
前記のように配管１１に設けた湿度測定手段２１からの湿度測定値が制御手段２２に入力されているので、乾燥空気の湿度が上昇すると制御手段２２はそれを元に戻すように流量調整手段２０に連続的に変化する制御信号を出力する。しかし除湿すべき空気の流量、圧力、温度、湿度などの変動が乾燥空気の湿度変化として現れるにはかなり時間遅れ（タイムラグ）がある。そのためこれらの変動が急激に起こると、乾燥空気の湿度は湿度設定値から大きくオーバシュートすることになる。
【００２７】
本実施の形態ではこのようなオーバシュートをできるだけ抑制するため、前記のように除湿すべき空気の流量、圧力、温度、湿度などの測定値を制御手段２２に伝送し、大きなオーバシュートの発生を予防するための予知制御を行っている。すなわちこれら測定値の変化速度に比例する湿度偏差が一時的に生じたものとして捉え、制御手段２２が流量調整手段２０に前もって変動する制御信号を出力するように構成している。
【００２８】
図４は図３の制御手段２２の制御系を説明するブロック図である。流量測定手段３０、圧力測定手段３１、温度測定手段３２、湿度測定手段３３の出力信号はそれぞれ微分回路からなるパラメータ変換手段３６〜３９に入力され、それらパラメータ変換手段３６〜３９の出力信号は加算される。一方前記のように湿度測定手段２１からの湿度測定値と湿度設定器２３で設定された湿度設定値が比較され、その偏差（ｅ）に上記加算値がΔｅとして加減算される。なお、これらパラメータ変換手段３６〜３９、および加減算操作は制御手段２２の記憶部に予め格納された制御プログラム等によるソフトで構成し且つ実行される。
【００２９】
図５に前記流量等のパラメータ変化と、それにより生成したΔｅを偏差ｅに加減算した状態を時間経過として示す。例えば除湿すべき空気の流量がｔ１において急激に増加すると、微分的に生成した＋Δｅ（湿度が上昇したと同じ信号）が制御部２４に入力され、それによって制御手段２２はＰＩ，ＰＩＤ制御等により流量調整手段２０に連続的に変化する制御信号を出力してパージ空気を増やし、その後の乾燥空気の湿度上昇に備える。またｔ２において前記流量が急激に低下したときは、上記と逆にパージ空気を減少してその後の乾燥空気の湿度低下に備える。そして他のパラメータが変動したときも同様な方法による予知制御が行われる。なお平常の制御動作が実行されている際の偏差ｅは零状態または零付近に維持される。
【００３０】
前記温度測定手段３２や湿度測定手段３３の代わりに、所望により外気の温度を測定する温度測定手段３４および外気の湿度を測定する湿度測定手段３５を設ける場合にも、上記と同様な予知制御が行われる。すなわち外気温度が上昇すると、その外気を空気圧縮機で加圧して送られてくる除湿すべき空気の温度も上昇する。同様に外気の湿度が上昇すると除湿すべき空気の湿度も上昇する。そこでこれらのパラメータを使用して予知制御を行う場合には、温度測定手段３４および湿度測定手段３５の出力を図４の点線のように制御手段２２に接続する。
【００３１】
図６は本発明に係る除湿装置のさらに別の実施の形態の主要部を示す制御ブロック図である。図６には示されていないが、本実施の形態においても図１と同様な分離膜モジュール１を使用し、そのパージ配管１２に図示の流量調整手段２０を設け、乾燥空気を負荷設備に送る配管１１に図示の湿度測定手段２１を設けている。さらに本実施の形態では、外気温度を測定する温度測定手段３４、温度差設定器４０、湿度露点換算手段４１を設け、必要に応じて比較回路に入力する外気温度測定値の上限を設定するリミッタ手段４２を設ける。
【００３２】
乾燥空気の湿度（露点）を管理する目的は、前記のように負荷設備への配管１１の内部に結露等を発生させないためである。この結露は配管１１の内外の温度差に依存し、外気温度が高いときは露点も上昇する。そこで年間を通じて配管１１内に結露を発生させないように乾燥空気の湿度（露点）を管理するには、外気温度が一番低い冬季を基準にしてそれより低い湿度（露点）に設定する必要がある。
【００３３】
しかし湿度（露点）設定を低くするには分離膜モジュールの除湿能力をそれに応じて高める必要があり、そのためパージ空気流量が増加しエネルギー消費も大きくなる。そこで本実施の形態では、乾燥空気の湿度に対応する露点を常に外気温度より予め設定した差だけ低い値に維持するように制御手段２２で制御している。なお湿度（相対湿度）と露点は対応関係にあるので、図示の湿度露点換算手段４１で湿度を露点に換算する。この湿度露点換算手段４１は制御手段２２の記憶部に格納された換算プログラムによるソフトで構成される。
【００３４】
上記のように乾燥空気の露点を外気温度に追従して変動させる場合、夏季などにおいて外気温度が極端に高くなったときに、その外気温度に応じて乾燥空気の露点を余り高く維持すると乾燥空気を消費する付加設備などにおいてトラブルを生じるおそれもあるので、制御すべき露点の値には上限を設けることが望ましい。そこで本実施の形態では、図示のようなリミッタ手段４２を外気温度を測定する温度測定手段３４の出力側に設け、そのリミッタ手段４２によって上限を制限された外気温度測定値を制御部２４に入力して前記露点と比較するように構成している。なおリミッタ手段４２も制御手段２２における制御プログラムによって構成される。
【００３５】
次に図６の制御系の作用を説明すると、乾燥空気の湿度測定手段２１からの湿度測定値は湿度露点換算手段４１で露点値に換算され、その露点値がリミッタ手段４２からの外気温度測定値と比較される。さらにその比較値は温度差設定器４０で予め設定された温度差と比較され、その比較値が制御部２４に入力される。それによって制御手段２２はその比較値が零になるように流量調整手段２０に連続的な制御信号を出力する。すなわち、乾燥空気の湿度から換算した露点が温度差設定器４０で設定した温度差分だけ低くなるように、制御手段２２がＰ制御，ＰＩ制御、ＰＩＤ制御等の制御動作により流量調整手段２０を連続的に制御する。
【００３６】
図７は図６の制御手段２２の制御動作を説明する図である。例えば外気温度が時間とともに図示のように上昇したとき、乾燥空気の湿度（露点）は温度設定器４０で設定された温度差分だけ低い値で自動的に追従する。そしてｔ３のとき外気温度測定値がリミッタ手段４２で設定された値を越えるので、それ以上の外気温度測定値は一定に制限され、乾燥空気の湿度もそれに追従して上昇しない。
このようにして乾燥空気の湿度を外気温度に追従して変動制御することにより、無駄なパージ空気の使用をなくし、エネルギーの消費を抑制することができる。
【００３７】
【発明の効果】
以上のように本発明の除湿装置は、分離膜モジュールで得られた乾燥空気の湿度が設定された値になるように、制御手段が連続的に変化する制御信号をパージ空気の流量調整手段に出力し、それによって流量調整手段は分離膜モジュールのパージ空気流量を連続的に変化させて湿度制御することを特徴とする。そのため流量調整手段の動作頻度が少なくなりその寿命が長くなると共に、湿度の大きなオーバシュートを防止し、結果として高品質の乾燥空気を負荷設備に安定供給することができる。
【００３８】
上記除湿装置において、前記制御手段にＰ動作，ＰＩ動作またはＰＩＤ動作を行わせることができ、それによって安定な制御系を構成することができる。
また、上記いずれかの除湿装置において、湿度の設定値を可変とすることができ、それによって制御手段の外部から任意の湿度設定を行うことができる。
【００３９】
上記いずれかの除湿装置において、除湿すべき空気についての流量測定手段、圧力測定手段、温度測定手段および湿度測定手段の少なくとも１つを設け、それら測定値の変化速度に比例する偏差信号を前記制御手段に入力し、それによってそれらの変化により影響される乾燥空気の湿度変化の予測制御を行うように構成できる。このように構成すると、除湿すべき空気の流量、圧力、温度、湿度などが急激に変化したとき、それが乾燥空気の湿度変化に大きく影響を及ぼさないようにパージ空気流量を早めに制御することができる。
【００４０】
また、本発明に係る別の除湿装置は、分離膜モジュールから排出する乾燥空気の湿度測定値に対応する露点値が外気温度測定値より予め設定された差だけ低い値になるように、制御手段が連続的に変化する制御信号を流量調整手段に出力し、その制御信号により流量調整手段が分離膜モジュールのパージ空気流量を連続的に変化させるように構成したことを特徴とする。このように構成すると、乾燥空気の湿度を外気温度に追従して変動制御することにより、無駄なパージ空気の使用をなくしエネルギーの消費を抑制することができる。
【００４１】
上記温度測定手段を設けて湿度を制御する場合において、前記制御手段に入力する外気温度測定値が予め設定した上限を超えないように制限するリミッタ手段を設けることができる。このように構成すると、夏季などにおいて外気温度が極端に高くなったとき、その外気温度に追従して乾燥空気の露点が高くなりすぎるのを抑制して、乾燥空気を消費する負荷設備などにおけるトラブル発生を有効に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る除湿装置の実施の形態を示すプロセスフロー図。
【図２】図１の制御手段２２による制御結果の１例を示す図。
【図３】本発明に係る除湿装置の他の実施の形態を示すプロセスフロー図。
【図４】図３の制御手段２２の制御系を説明するブロック図。
【図５】図４の制御系における流量等のパラメータ変化と、それに応じて生成したΔｅを偏差ｅに加減算した関係を時間経過として示す図。
【図６】本発明に係る除湿装置のさらに別の実施の形態の主要部を示す制御ブロック図。
【図７】図６の制御手段２２の制御動作を説明する図。
【図８】中空糸分離膜を用いた分離膜モジュールの断面図。
【図９】図８の分離膜モジュールを用いた除湿装置部分のプロセスフロー図。
【図１０】図９の除湿装置の運転状態を説明する図。
【符号の説明】
１　分離膜モジュール
２　容器
３　中空糸分離膜
４，５　支持部材
６　入口部
７　出口部
８　パージ空気供給部
９　パージ空気排出部
１０，１１　配管
１２　パージ配管
１３　開閉弁
１４　湿度制御器
２０　流量調整手段
２１　湿度測定手段
２２　制御手段
２３　湿度設定器
２４　制御部
３０　流量測定手段
３１　圧力測定手段
３２　温度測定手段
３３　湿度測定手段
３４　温度測定手段
３５　湿度測定手段
３６〜３９　パラメータ変換手段
４０　温度差設定器
４１　湿度露点換算手段
４２　リミッタ手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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