(57)【要約】【課題】非常用マスタ弁において、長期使用の場合でも性能を保持できるよう耐久性および信頼性を向上させる。【解決手段】２つの電磁弁８，９が交代で通電されて開弁し、それぞれシャトル弁回路３６にパイロット流体圧を供給する。シャトル弁回路３６は供給されたパイロット流体圧のうち高い圧力の方をパイロット駆動弁２５に供給して開弁させ、主流体圧給気ポート１０に接続する流体圧供給源から主流体圧出力ポート１２に接続する流体圧システムへの主流体圧の供給を維持する。停電などの非常時には２つの電磁弁８，９が共に非通電状態となってパイロット流体圧を大気に放出し、パイロット駆動弁２５は閉弁して流体圧システムへの主流体圧の供給を停止して誤作動を防ぐ。正常作動の際に各電磁弁８，９への通電を間欠的に行うため、長期使用の場合でも温度上昇を防いで高い耐久性および信頼性を有する。【選択図】    図１
2004340177.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パイロット圧給排ポートから受けるパイロット流体圧の供給と供給停止により、主流体圧給気ポートと主流体圧出力ポートとの間の開通と閉止を切り換えるパイロット駆動弁と、
複数のパイロット圧入出ポートを備え、前記複数のパイロット圧入出ポートにそれぞれ連通する流路どうしの合流点にシャトル弁を設けて前記複数のパイロット圧入出ポートのうちで供給されているパイロット流体圧が高い方のパイロット圧入出ポートを前記パイロット圧給排ポートに連通させるシャトル弁回路と、
前記シャトル弁回路の前記複数のパイロット圧入出ポートにそれぞれ設けられて、通電した際に開弁し、非通電とした際に閉弁して前記シャトル弁回路へのパイロット流体圧の供給と供給停止を切り換える複数の電磁弁と、
前記複数の電磁弁のいずれかに交代で通電させる制御部とを有することを特徴とする非常用マスタ弁。
【請求項２】
複数の主流体圧入出ポートを備え、前記複数の主流体圧入出ポートにそれぞれ連通する流路どうしの合流点にシャトル弁を設けて前記複数の主流体圧入出ポートのうちで供給されている主流体圧が高い方の主流体圧入出ポートを前記主流体圧出力ポートに連通させるシャトル弁回路と、
前記シャトル弁回路の前記複数の主流体圧入出ポートにそれぞれ設けられて、通電した際に開弁し、非通電とした際に開弁して前記シャトル弁回路への主流体圧の供給と供給停止を切り換える複数の電磁弁と、
前記複数の電磁弁のいずれかに交代で通電させる制御部とを有することを特徴とする非常用マスタ弁。
【請求項３】
請求項１または２記載の非常用マスタ弁において、前記制御部は前記複数の電磁弁のうちの通電先を交代させる際に、非通電に切り換える方の電磁弁と通電に切り換える方の電磁弁の両方とも通電するラップ時間を設けていることを特徴とする非常用マスタ弁。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の非常用マスタ弁において、前記複数の電磁弁がポペットタイプであって、相互にほぼ平行な配置で設けられたことを特徴とする非常用マスタ弁。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の非常用マスタ弁において、前記複数の電磁弁がスプールタイプであることを特徴とする非常用マスタ弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は停電などの非常時に流体圧供給源を流体圧システムから遮断する非常用マスタ弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば半導体製造装置の防振台のように弾性を必要としている機構を搭載している場合には、アクチュエータ等の駆動源に圧縮空気などの流体圧を用いる制御システムが利用されている。一般的にこのような流体圧システムには、停電などの非常時でシステムダウンした場合に各アクチュエータが誤動作したりバランス不良となるのを防ぐため、システム全体に対する流体圧の供給を遮断する非常用マスタ弁が空気圧ポンプなどの流体圧供給源からの受給口後に設けられている。
【０００３】
この非常用マスタ弁には、流体圧システムに供給される主流体圧とは別にパイロット用として供給されるパイロット流体圧の供給と停止を電磁弁により切り換えることで開通と閉止を制御する電磁パイロット式のものや、電磁弁そのもので主流体圧の流通と遮断を直接切り換える電磁式のものがある。いずれの方式でも停電時には電磁弁が非通電状態となって閉弁するため、パイロット流体圧の供給停止かまたは直接的に非常用マスタ弁を自動閉弁できるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら工場における製造システムのように長時間に渡って作動する場合には、その間も絶えず非常用マスタ弁の電磁弁も通電していなければならない。そして１ヶ月や半年以上もの長期間にわたって電磁弁のソレノイドに連続通電した場合には、ソレノイドが温度上昇することにより熱損傷を起こしたり、または電磁弁の性能を保持できず誤動作を起こす可能性がある。
【０００５】
本発明の目的は、長期使用の場合でも性能を保持できる耐久性および信頼性の高い非常用マスタ弁を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の非常用マスタ弁は、パイロット流体圧により開通と閉止を切り換えるパイロット駆動弁と、複数のパイロット圧入出ポートに連通する流路どうしの合流点にシャトル弁を設けてパイロット流体圧が高い方をパイロット駆動弁に連通させるシャトル弁回路と、複数のパイロット圧入出ポートにそれぞれ設けられて、通電と非通電を切り換えてシャトル弁回路へのパイロット流体圧の供給と供給停止を切り換える複数の電磁弁と、複数の電磁弁のいずれかに交代で通電させる制御部とを有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の非常用マスタ弁は、複数の主流体圧入出ポートに連通する流路どうしの合流点にシャトル弁を設けて主流体圧が高い方を主流体圧出力ポートに連通させるシャトル弁回路と、複数の主流体圧入出ポートにそれぞれ設けられて、通電と非通電を切り換えてシャトル弁回路への主流体圧の供給と供給停止を切り換える複数の電磁弁と、複数の電磁弁のいずれかに交代で通電させる制御部とを有することを特徴とする。
【０００８】
本発明の非常用マスタ弁は、制御部が複数の電磁弁のうちの通電先を交代させる際に、非通電に切り換える方の電磁弁と通電に切り換える方の電磁弁の両方とも通電するラップ時間を設けていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の非常用マスタ弁は、複数の電磁弁がポペットタイプであって、相互にほぼ平行な配置で設けられたことを特徴とする。
【００１０】
本発明の非常用マスタ弁は、複数の電磁弁がスプールタイプであることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施の形態である非常用マスタ弁を示す断面図であり、図２は制御構成のブロック図である。図１において、非常用マスタ弁１は主弁ブロック２を有しており、この主弁ブロック２に形成された収容孔３には主弁軸４が軸方向に往復動自在に収容されている。主弁ブロック１の収容孔３の一方の開口部にはパイロットブロック５が固定され、他方の開口部にはプラグ６がスナップリング７により固定されている。パイロットブロック５には２つの電磁弁８，９が設置されており、これら電磁弁８，９は図１中に示していない後述する制御部に接続されている。
【００１２】
収容孔３はプラグ６を設置している側から順に、プラグ６を嵌合しているプラグ収容孔３ａと、このプラグ収容孔３ａより径の小さい給気側チャンバ３ｂと、この給気側チャンバ３ｂより径の小さい連通路３ｃと、この連通路３ｃより径の大きい排気側チャンバ３ｄと、この排気側チャンバ３ｄより径の小さい主弁軸嵌合孔３ｅと、この主弁軸嵌合孔３ｅより径の大きいピストン収容孔３ｆとが一体に連通して形成されている。
【００１３】
主弁ブロック２には、図示しない流体圧供給源に接続して給気側チャンバ３ｂと連通させる主流体圧給気ポート１０と、外部と排気側チャンバ３ｄとを連通させる主流体圧排気ポート１１と、図示しない流体圧システムに接続して連通路３ｃと連通させる主流体圧出力ポート１２とが形成されている。
【００１４】
主弁軸４は中心に主弁本体中心軸１３を有しており、その軸方向途中２箇所には弾性材で形成された弁体１４，１５が取り付けられ、またパイロットブロック５側の端部にはピストン１６がナット１７によりネジ止め固定されている。
【００１５】
ピストン１６はパイロットブロック５側の大径ピストン部１６ａと反対側の小径胴部１６ｂとで形成されており、大径ピストン部１６ａと小径胴部１６ｂのそれぞれの外周にはＶパッキン１８，１９が装着されている。大径ピストン部１６ａはピストン収容孔３ｆに嵌合し、小径胴部１６ｂは主弁軸嵌合孔３ｅに嵌合してそれぞれＶパッキン１８，１９で摺接するようになっている。さらに主弁本体中心軸１３のプラグ側の端部がプラグ６の中心に形成したプラグ嵌合穴２０に挿入していることで、主弁軸４全体は径方向に支持されつつ軸方向に往復動自在となっている。
【００１６】
また連通路３ｃの両端、すなわち連通路３ｃと給気側チャンバ３ｂの間と、連通路３ｃと排気側チャンバ３ｄの間にはそれぞれテーパで面取りされた形状の弁座２１，２２が形成されており、主弁軸４が備える２つの弁体１４，１５にはそれぞれ弁座２１，２２に着座できるよう同じテーパで面取り形成されている。そして２つの弁体１４，１５が設置されている間隔は２つの弁座２１，２２が形成されている間隔より大きいため、着座して閉弁できる弁体１４，１５はどちらか一方だけであり、主弁軸４が軸方向に往復動できる範囲はそれら２通りの着座状態の間に規制されている。
【００１７】
プラグ６側の弁体１５とプラグ６の間には圧縮ばね２３が装着されており、主弁軸４には常にパイロットブロック５側へ押圧するばね力が付加されている。また大径ピストン部１６ａは、ピストン収容孔３ｆの内部においてその内周に摺接している部分からパイロットブロック５側をパイロット押圧室２４として区画している。パイロット押圧室２４内にパイロット流体圧を供給した場合にはパイロット流体圧が大径ピストン部１６ａを押圧することにより、ばね力に抗して主弁軸４をプラグ６側に押圧移動させ、パイロットブロック５側の弁体１４を着座させるようになる。この場合にはパイロットブロック５側の弁体１４が閉弁し、プラグ６側の弁体１５が開弁することになるため主流体圧出力ポート１２は主流体圧給気ポート１０と連通し、主流体圧排気ポート１１とは遮断される。
【００１８】
またパイロット流体圧を供給していない場合には、圧縮ばね２３のばね力により主弁軸４がパイロットブロック５側に押圧移動されてプラグ６側の弁体１５を着座させるようになる。この場合にはパイロットブロック５側の弁体１４が開弁し、プラグ６側の弁体１５が閉弁することになるため主流体圧出力ポート１２は主流体圧排気ポート１１と連通し、主流体圧給気ポート１０とは遮断される。以上の構成から、主弁ブロック２とそれに取り付けられるパイロットブロック５は、ポペットタイプの３ポート弁として機能するパイロット駆動弁２５を構成している。
【００１９】
また主弁ブロック２との接触面と反対側のパイロットブロック５の側面に形成された突起形状にカバープレート２７が設置されてパイロット圧回路収容部２８が形成されている。２つの電磁弁８，９はこのパイロット圧回路収容部２８を挟むように取り付けられており、それぞれの接触面にはパイロット圧入力ポート２９とパイロット圧出力ポート３０とパイロット圧排気ポート３１が形成されている。
【００２０】
パイロット圧回路収容部２８の突起先端面には、図示しないパイロット流体圧用供給源に接続されるパイロット圧給気ポート３２が形成されており、それはパイロット圧回路収容部２８の内部で分岐して各パイロット圧入力ポート２９に連通している。パイロット圧回路収容部２８の側面には大気に開放する構成のパイロット圧開放ポート３３が形成されており、それには各パイロット圧排気ポート３１が合流して連通している。
【００２１】
またパイロット圧回路収容部２８の内部には、クイック排気弁で構成されるシャトル弁３５を１つ備えたシャトル弁回路３６が設けられており、このシャトル弁回路３６が有する２つのパイロット圧入出ポート３７はそれぞれ電磁弁８，９のパイロット圧出力ポート３０に連通し、シャトル弁回路３６の出力はパイロット圧給排ポート３８を介してパイロット押圧室２４に連通するようになっている。シャトル弁３６はゴムなどの弾性体から形成されたダイヤフラム３９を備えており、各パイロット圧入出ポート３７から入力される２つの空気圧のうち圧力の高い方に対してのみ流路を広げるよう変形してパイロット圧給排ポート３８に流通させるようになっている。
【００２２】
２つの電磁弁８，９はそれぞれ直動型で動作するポペットタイプの３ポート弁を有しており、ケーシング４１に収容された円筒形状のソレノイド４２とその中心孔に挿入しているプランジャ４３の突出側にバルブブロック４４を有している。バルブブロック４４の内部にはプランジャ４３の軸方向に２つの空気圧室４５，４６が形成されており、プランジャ側の空気圧室４５にはパイロット圧入力ポート２９に連通する弁座４７が設けられ、その反対側の空気圧室４６にはパイロット圧排気ポート３１に連通する弁座４８が設けられており、各弁座４７，４８は２つの空気圧室４５，４６の間の隔壁部５１の側面でプランジャ４３の軸延長上に配置している。
【００２３】
一方の空気圧室４５内に位置するプランジャ４３の先端にはプランジャ弁体４９が設けられ、他方の空気圧室４６内に位置するフラッパ弁体５０が隔壁部５１を貫通する連動棒５６を介してプランジャ弁体４９と連結して同じ方向に連動するようになっており、どちらか一方の弁体が弁座に着座して閉弁し、他方の弁体が弁座から離間して開弁することになる。プランジャ４３は空気圧室４５内に設けられた圧縮ばね５２により常にプランジャ弁体４９を着座させる方向にばね力が付加されており、またどちらの空気圧室４５，４６にもパイロット圧出力ポート３０が連通している。
【００２４】
各電磁弁８，９は、以上の構成により、ソレノイド４２に通電させてプランジャ４３の引き込み移動させた場合にはパイロット圧出力ポート３０をパイロット圧入力ポート２９に連通させて開弁状態とし、ソレノイド４２を無通電としてばね力によりプランジャ４３を押し戻り移動させた場合にはパイロット圧入力ポート２９を塞いでパイロット圧出力ポート３０をパイロット圧排気ポート３１に連通させる閉弁状態とし、このようにして３ポート弁の切り換え動作が行われるようになっている。
【００２５】
次に図２に示す制御構成のブロック図において、各電磁弁８，９のソレノイド４２はそれぞれに接続されているサイリスタなどのスイッチング素子５３を介して電源５４からの給電の有無の切り換え、すなわち通電状態と非通電状態の切り換えが行われ、また各スイッチング素子５３はＰＬＣまたはシーケンサなどで構成される制御部５５から制御信号を受けることにより切り換え動作を行うようになっている。ただし、制御部５５はスイッチング素子５３を介さずに各電磁弁８，９へ直接通電と非通電を切り換えるよう制御する構成としてもよい。
【００２６】
そして制御部５５は図３に示すタイムチャートのように２つのソレノイド４２に対して交互に通電させるようスイッチング素子５３の切り換え動作を制御しており、また通電先を切り換える際には非通電へ切り換える方の切り換え動作を少しの時間遅らせて両方とも通電させるラップ時間を設けて切り換えるようにしている。
【００２７】
この通電先を交互に切り換える時間間隔は、パイロット駆動弁２５におけるパイロット流体圧の容量や電磁弁８，９の性能に応じて１秒〜１時間またはそれ以上に適宜設定されるものであり、または操作者が制御部５５に対して任意に調整できるようにしてもよい。
【００２８】
以上のように構成される非常用マスタ弁１は、流体圧システムに対して作動流体圧（主流体圧）を供給する流体圧供給源の供給口に設けられ、停電などの非常時に流体圧システム全体に対する主流体圧の供給を停止するものである。その作動について概略的に説明すると、正常に作動している間は制御部５５が２つの電磁弁８，９に交代で通電させてそれぞれのパイロット圧入力ポート２９をパイロット圧出力ポート３０に連通させることにより、パイロット流体圧をいずれかの電磁弁８，９およびシャトル弁回路３６を介してパイロット駆動弁２５に供給し、主流体圧給気ポート１０を主流体圧出力ポート１２に開通させて流体圧供給ポンプなどの流体圧供給源から流体圧システムに対する主流体圧の供給が維持される。
【００２９】
そして停電などによりシステム全体における給電が停止した場合や、その他に制御部５５が異常と判断して電磁弁８，９への通電を停止した場合には、２つの電磁弁８，９が共に非通電状態となってパイロット圧出力ポート３０をパイロット圧入力ポート２９から遮断してパイロット圧排気ポート３１に連通し、パイロット流体圧をパイロット圧開放ポート３３から大気に放出するようになる。その結果、パイロット流体圧が供給されなくなったパイロット駆動弁２５は、主流体圧出力ポート１２を主流体圧給気ポート１０から遮断して主流体圧排気ポート１１に連通させ、流体圧システムに対する主流体圧の供給を停止しかつ流体圧システム内の残圧を大気に放出する。このようにして非常用マスタ弁１は、非常時において流体圧システムを誤動作などから保護するように作動する。
【００３０】
ここで比較例として、非常用マスタ弁に電磁弁を１つだけ設置するとして、この１つの電磁弁の開閉作動によりパイロット駆動弁２５へのパイロット流体圧の供給と供給停止を直接切り換える構成とした場合でも、流体圧システムの作動初期時には正常な作動（非常時に応答する閉弁作動）が期待できる。しかしながら工場における製造システムなどの場合には、１ヶ月や半年以上もの長期間にわたって作動させることが多くあり、通常では非常用マスタ弁はその間も絶えず開弁させる必要がある。そのような長期間で１つの電磁弁に連続通電した場合には、温度上昇によるソレノイドの熱損傷、弁座の熱変形およびその他周辺のケースの熱硬化などが生じて正常な作動が行えなくなり、誤動作を起こすなどその信頼性が著しく低下してしまう問題がある。
【００３１】
これに対して本実施の形態による非常用マスタ弁１の場合は、パイロット流体圧の供給流路に対して並列に接続した２つの電磁弁８，９を交互に通電して開弁させていることから、パイロット駆動弁２５に対する安定したパイロット流体圧の供給を維持しながらもそれぞれの電磁弁８，９への通電を間欠的として非通電状態を確保した構成となっている。このため長期間の連続作動に対しても電磁弁８，９の熱損傷を防いで非常用マスタ弁１の性能、つまり非常時に対する正確な応答作動を保持しつづけることができ、耐久性および信頼性を向上させたものとなる。
【００３２】
また制御部５５が電磁弁８，９間における通電先の切り換えを行う際にラップ時間を設けていることから、シャトル弁回路３６には常にパイロット流体圧が付加されることになり、パイロット駆動弁２５へのパイロット流体圧の供給を途切れることなく安定維持させながら電磁弁８，９の通電先の切り換えを円滑に行うことができる。
【００３３】
なお、電磁弁は３つ以上設けてもよく、その場合には各パイロット圧出力ポートに連通する流路どうしが合流するポイントごとにシャトル弁３５を設けてシャトル弁回路３６を全体的に論理和回路として構成すればよい。この場合には１つの電磁弁における非通電時間が長くなるため、より耐久性を向上させることができる。
【００３４】
また流体圧システムに対して主流体圧を直接給排するパイロット駆動弁２５は主流体圧排気ポート１１を備えた３ポート弁で構成されているが、この主流体圧排気ポート１はプラグで塞ぐことによりパイロット駆動弁２５を単なる２ポート開閉弁として機能させることも可能であり、またははじめから２ポート開閉弁の構成で形成されたパイロット駆動弁を用いることも可能である。この場合には、非常時にパイロット駆動弁２５を閉弁させた際に流体圧システムから主流体圧を放出させず残圧を保持させるようになる。
【００３５】
また上記第１の実施の形態では、電磁パイロット式で開閉制御するパイロット駆動弁２５を用いた構成であることから、流体圧システムへ供給する主流体圧の容量を比較的大きく扱うことができる構成となっているが、本発明はこれに限られず、供給する主流体圧の容量が小さい流体圧システムに適用するのであれば、以下に示す他の実施の形態のように電磁弁の３ポート弁によって流体圧供給源と流体圧システムの間を直接開閉制御する構成としてもよい。
【００３６】
図４は第２の実施の形態の非常用マスタ弁を示す図であり、図４（Ａ）は図４（Ｂ）中における４Ａ−４Ａ線に沿った側面断面図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）中における４Ｂ−４Ｂ線に沿った正面断面図である。この図においては、図１に示した非常用マスタ弁１と共通する部材や形状部分には同一の符号が付されている。
【００３７】
図４において、本実施の形態の非常用マスタ弁１０１は、２つの電磁弁１０８，１０９を平行な配置で有しており、それらの３ポート弁を収容するバルブブロック１４４を一体に形成してその内部にシャトル弁回路１３６を収容した構成となっている。
【００３８】
プランジャ４３側の各空気圧室４５に形成された弁座４７がそれぞれバルブブロック１４４の背面側に設けた主流体圧給気ポート１１０に連通しており、反対側の各空気圧室４６に形成された弁座４８がバルブブロック１４４の背面側に設けた主流体圧排気ポート１１１に連通している。
【００３９】
シャトル弁回路１３６の２つの主流体圧入出ポート１３７がそれぞれ分岐して各電磁弁１０８，１０９の両方の空気圧室４５，４６に連通しており、シャトル弁回路１３６の出力がバルブブロック１４４の背面に設けた主流体圧出力ポート１１２に連通している。
【００４０】
２つの電磁弁１０８，１０９は、図２に示す第１の実施の形態と同様の制御構成で、図３に示すタイムチャートと同じタイミングでそれぞれの通電と非通電が切り換えられるようになっている。
【００４１】
以上のように構成される本実施の形態の非常用マスタ弁１０１によれば、供給する主流体圧の容量が小さい流体圧システムに適用するものであって、長期間の連続作動に対しても電磁弁１０８，１０９の熱損傷を防いで非常用マスタ弁１０１の性能を保持しつづけることができ、かつ設置スペースを大幅に省略することができる。特に２つの３ポート弁を軸方向に短く構成できるポペットタイプとしてそれらをほぼ平行に配置していることにより、全体の容積を小さくして設置スペースをより省略できたものとなっている。
【００４２】
図５は第３の実施の形態の非常用マスタ弁を示す図であり、図５（Ａ）は図５（Ｂ）中における５Ａ−５Ａ線に沿った側面断面図であり、図５（Ｂ）は図５（Ａ）中における５Ｂ−５Ｂ線に沿った正面断面図である。この図においては、図１に示した非常用マスタ弁１と共通する部材や形状部分には同一の符号が付されている。
【００４３】
図５において、本実施の形態の非常用マスタ弁２０１は、平行な配置で備える２つの電磁弁２０８，２０９のそれぞれの３ポート弁がスプールタイプで構成されており、それら３ポート弁を収容するバルブブロック２４４を一体に形成してさらにシャトル弁回路２３６を収容した構成となっている。
【００４４】
バルブブロック２４４の正面側には、主流体圧給気ポート２１０と主流体圧出力ポート２１２と主流体圧排気ポート２１１と通気孔２２６が設けられており、主流体圧出力ポート２１２がバルブブロック２４４内部に設けられたシャトル弁回路２３６に接続している。主流体圧給気ポート２１０と主流体圧排気ポート２１１がそれぞれバルブブロック２４４内部で分岐して各プランジャ４３の軸延長上に設けられた２つのスプール弁２４０にそれぞれ接続しており、またシャトル弁回路２３６の２つの主流体圧入出ポート２３７がそれぞれスプール弁２４０に接続している。
【００４５】
ソレノイド４２に通電した場合のプランジャ４３の引き込み移動により各スプール弁２４０は主流体圧入出ポート２３７を主流体圧給気ポート２１０に連通させ、シャトル弁回路２３６は２つの主流体圧入出ポート２３７のうち圧力の高い方を主流体圧出力ポート２１２に連通させる。ソレノイド４２を非通電状態とした場合のばね力によるプランジャ４３の戻り移動により各スプール弁２４０は主流体圧入出ポート２３７を主流体圧排気ポート２１１に連通させる。通気孔２２６は分岐してピストン室２４５に接続しており、ピストン２４６が上下動作する際には通気孔２２６を介して外部空気の給排が行われる。
【００４６】
２つの電磁弁２０８，２０９は、図２に示す第１の実施の形態と同様の制御構成で、図３に示すタイムチャートと同じタイミングでそれぞれの通電と非通電が切り換えられるようになっている。
【００４７】
以上のように構成される本実施の形態の非常用マスタ弁２０１によれば、供給する主流体圧の容量が小さい流体圧システムに適用するものであって、長期間の連続作動に対しても電磁弁２０８，２０９の熱損傷を防いで非常用マスタ弁２０１の性能を保持しつづけることができ、かつ設置スペースを大幅に省略することができる。また電磁弁２０８，２０９の３ポート弁にスプール弁２４０を用いていることにより、主流体圧からスプールの操作力に影響を受けることがなく安定した開閉作動が可能となる。
【００４８】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、上記実施の形態のように主流体圧やパイロット流体圧などの流体圧を圧縮空気で供給する空気圧回路への適用に限定されるものではなく、非圧縮性流体により主流体圧やパイロット流体圧の流体圧を供給する油圧回路などの構成にも適用することができる。
【００４９】
【発明の効果】
本発明によれば、パイロット駆動弁に対する安定したパイロット流体圧の供給を維持しながらも各電磁弁への通電を間欠的として非通電状態を確保できるため、長期使用の場合でも性能を保持できる高い耐久性および信頼性を有する。
【００５０】
本発明によれば、電磁弁の３ポート弁により直接開閉制御することで主流体圧の容量が小さい流体圧システムに適用できる場合で、長期使用の場合でも性能を保持できるよう耐久性および信頼性が向上し、かつ設置スペースを省略できる。
【００５１】
本発明によれば、電磁弁間における通電先の切り換えを行う際にラップ時間を設けていることから、パイロット駆動弁へのパイロット流体圧の供給を途切れることなく安定維持しながら電磁弁の通電先の切り換えを円滑に行うことができる。
【００５２】
本発明によれば、複数の電磁弁の３ポート弁を軸方向に短く構成できるポペットタイプで構成してそれらをほぼ平行に配置していることにより設置スペースをより省略できる。
【００５３】
本発明によれば、複数の電磁弁の３ポート弁にスプール弁を用いていることにより、主流体圧からの影響を受けることなくスプールの安定した開閉作動が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態である非常用マスタ弁を示す断面図である。
【図２】制御構成のブロック図である。
【図３】制御部が各ソレノイドに対して通電させるタイムチャートである。
【図４】第２の実施の形態の非常用マスタ弁を示す図であり、（Ａ）は同図（Ｂ）中における４Ａ−４Ａ線に沿った側面断面図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）中における４Ｂ−４Ｂ線に沿った正面断面図である。
【図５】第３の実施の形態の非常用マスタ弁を示す図であり、（Ａ）は同図（Ｂ）中における５Ａ−５Ａ線に沿った側面断面図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）中における５Ｂ−５Ｂ線に沿った正面断面図である。
【符号の説明】
１        第１の実施の形態の非常用マスタ弁
２        主弁ブロック
３        収容孔
３ａ      プラグ収容孔
３ｂ      給気側チャンバ
３ｃ      連通路
３ｄ      排気側チャンバ
３ｅ      主弁軸嵌合孔
３ｆ      ピストン収容孔
４        主弁軸
５        パイロットブロック
６        プラグ
７        スナップリング
８，９    電磁弁
１０      主流体圧給気ポート
１１      主流体圧排気ポート
１２      主流体圧出力ポート
１３      主弁本体中心軸
１４，１５  弁体
１６      ピストン
１６ａ    大径ピストン部
１６ｂ    小径胴部
１７      ナット
１８，１９  Ｖパッキン
２０      プラグ嵌合孔
２１，２２  弁座
２３      圧縮ばね
２４      パイロット押圧室
２５      パイロット駆動弁
２７      カバープレート
２８      パイロット圧回路収容部
２９      パイロット圧入力ポート
３０      パイロット圧出力ポート
３１      パイロット圧排気ポート
３２      パイロット圧給気ポート
３３      パイロット圧開放ポート
３５      シャトル弁
３６      シャトル弁回路
３７      パイロット圧入出ポート
３８      パイロット圧給排ポート
３９      ダイヤフラム
４１      ケーシング
４２      ソレノイド
４３      プランジャ
４４      バルブブロック
４５，４６  空気圧室
４７，４８  弁座
４９      プランジャ弁体
５０      フラッパ弁体
５１      隔壁部
５２      圧縮ばね
５３      スイッチング素子
５４      電源
５５      制御部
５６      連動棒
１０１    第２の実施の形態の非常用マスタ弁
１０８，１０９  電磁弁
１１０    主流体圧給気ポート
１１１    主流体圧排気ポート
１１２    主流体圧出力ポート
１３６    シャトル弁回路
１３７    主流体圧入出ポート
１４４    バルブブロック
２０１    第３の実施の形態の非常用マスタ弁
２０８，２０９  電磁弁
２１０    主流体圧給気ポート
２１１    主流体圧排気ポート
２１２    主流体圧出力ポート
２２６    通気孔
２３６    シャトル弁回路
２３７    主流体圧入出ポート
２４０    スプール弁
２４４    バルブブロック
２４５    ピストン室
２４６    ピストン
【図１】
2004340177.tif 000003
【図２】
2004340177.tif 000004
【図３】
2004340177.tif 000005
【図４】
2004340177.tif 000006
【図５】
2004340177.tif 000007