(57)【要約】【解決手段】Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系組成（ＲはＹを含む希土類元素から選ばれる１種又は２種以上）からなり、比表面積が６ｍｍ−１以上に研削加工された焼結磁石体を、当該磁石内部に存在するＲに富む粒界相の溶融開始温度以上、かつ当該磁石の焼結温度以下の温度で真空あるいは不活性ガス中において１分〜１０時間の表面拡散熱処理を施すことにより、粒界相成分を当該磁石体の被研削加工面に拡散させて薄膜層を被着することを特徴とする永久磁石材料の製造方法。【効果】本発明によれば、研削加工による磁気特性の劣化を防止して良好な磁気特性を示すＳ／Ｖ＝６ｍｍ−１以上の小型あるいは薄型の永久磁石を提供することができる。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系組成（ＲはＹを含む希土類元素から選ばれる１種又は２種以上）からなり、比表面積が６ｍｍ−１以上に研削加工された焼結磁石体を、当該磁石内部に存在するＲに富む粒界相の溶融開始温度以上、かつ当該磁石の焼結温度以下の温度で真空あるいは不活性ガス中において１分〜１０時間の表面拡散熱処理を施すことにより、粒界相成分を当該磁石体の被研削加工面に拡散させて薄膜層を被着することを特徴とする永久磁石材料の製造方法。
【請求項２】
Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系組成（ＲはＹを含む希土類元素から選ばれる１種又は２種以上）からなり、比表面積が６ｍｍ−１以上に研削加工された焼結磁石体を、前記表面拡散処理後に前記粒界相の溶融開始温度未満で真空あるいは不活性ガス中において１分〜１０時間の時効処理を施すことを特徴とする請求項１記載の永久磁石材料の製造方法。
【請求項３】
Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系組成（ＲはＹを含む希土類元素から選ばれる１種又は２種以上）からなり、比表面積が６ｍｍ−１以上に研削加工された焼結磁石体を、前記表面拡散処理前にアルカリ、酸あるいは有機溶剤のいずれか１種以上により洗浄することを特徴とする請求項１又は２記載の永久磁石材料の製造方法。
【請求項４】
Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系組成（ＲはＹを含む希土類元素から選ばれる１種又は２種以上）からなり、比表面積が６ｍｍ−１以上に研削加工された焼結磁石体の表面劣化層を、前記表面拡散処理前にショットブラストで除去することを特徴とする請求項１又は２記載の永久磁石材料の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、焼結磁石体表面の研削加工等に伴う磁気特性の劣化を防止したＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石の製造方法に係り、特に磁石体の比表面積（Ｓ（表面積）／Ｖ（体積））が６ｍｍ−１以上の小型あるいは薄型用高性能永久磁石材料の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石は磁気特性が優れているために、ますますその用途が広がってきている。近年、磁石を応用したコンピュータ関連機器やＣＤプレーヤー、ＤＶＤプレーヤー、携帯電話をはじめとする電子機器の軽薄短小化、高性能化、省エネルギー化に伴い、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石、中でも特に高性能なＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石の小型化、薄型化が要求されており、磁石体の比表面積Ｓ／Ｖが６ｍｍ−１を超えるような小型あるいは薄型の磁石に対する需要も増大しつつある。
【０００３】
小型あるいは薄型のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石を実用形状に加工し、磁気回路に実装するためには、成形焼結したブロック状の焼結磁石を研削加工する必要があり、この加工には外周刃切断機、内周刃切断機、表面研削機、センタレス研磨機、ラッピングマシンなどが使用される。
【０００４】
しかしながら、上記装置にてＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石を研削加工すると磁石体が小さくなるほど磁気特性が劣化することが知られており、これは本系磁石の高保磁力の発現に必要な粒界構造が、磁石表面では加工により欠損しているためと考えられている。磁気特性の劣化を防止するために、例えば、磁石の焼結過程において結晶粒の成長を防ぐことで比表面積Ｓ／Ｖが２．６ｍｍ−１となるまで研削加工しても磁気特性が劣化しない磁石材料が提案されている（特許文献１：特許第２５１４１５５号公報参照）。しかし、Ｓ／Ｖが６ｍｍ−１を超える場合、磁気特性の劣化が顕著となる問題があった。
【０００５】
そのような極微小磁石体における特性劣化を防止する方法として、被研削面に希土類を主成分とする薄膜層を形成し、更に熱処理を施して劣化した被研削面を磁石内部と同様な高保磁力に必要な粒界構造に改質することで、磁石体の特性劣化を防止する方法が提案されている（特許文献２：特公平５−６０２４１号公報、特許文献３：特公平６−６３０８６号公報参照）。特許文献２では、研削加工後の磁石体を希土類金属とともに石英管に真空封入し、１，０００℃で加熱することで、蒸発した希土類金属を磁石体に被着させるという方法が採られているが、量産に対しては極端に生産性が低いために適用は困難である。特許文献３では、希土類金属をターゲットとしたスパッタで磁石体表面に薄膜を被着させる方法が採られている。通常の技術では、１回のスパッタで薄膜を被着できるのは磁石体の１つの面のみである。被研削面が１面のみであれば適用可能と考えられるが、通常の磁石体は全面が被研削面であるため、磁石体全体に薄膜を被着させるには磁石の仕込み直しとスパッタを繰り返さなければならない。
【０００６】
以上のように、従来技術では、量産に対して極端に生産性が低いために適用は困難であり、このため磁気特性の劣化がなく、かつＳ／Ｖが６ｍｍ−１を超える極微小磁石体の製造は実質不可能と考えられていた。
【０００７】
【特許文献１】
特許第２５１４１５５号公報
【特許文献２】
特公平５−６０２４１号公報
【特許文献３】
特公平６−６３０８６号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述した従来の問題点に鑑みなされたもので、研削加工による磁気特性の劣化を防止したＲ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石材料を高い生産性を持って製造する方法を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】
Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石に代表されるＲ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石における保磁力の発現には結晶粒界の構造が重要であり、主相の周りに存在するＲに富む相が主相表面を覆い、原子レベルで見ても平坦な界面を有するときに高い保磁力が発現されることはよく知られている。このＲに富む相は、添加元素あるいは構成元素の種類や組成に依存するが、４００〜７００℃以上で溶融する。この溶融開始温度をＴＥ℃と表記すると、本発明者らは、研削後の磁石体をＴＥ℃以上に加熱するとＲに富む相は液相となり、その流動性が著しく増大したことで、被研削面全体にＲに富む相の成分が表面拡散し、磁石体表面全体にＲに富む薄膜を被着し得ることを見出し、この発明を完成したものである。
【００１０】
即ち、本発明は、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系組成（ＲはＹを含む希土類元素から選ばれる１種又は２種以上）からなり、比表面積が６ｍｍ−１以上に研削加工された焼結磁石体を、当該磁石内部に存在するＲに富む粒界相の溶融開始温度以上、かつ当該磁石の焼結温度以下の温度で真空あるいは不活性ガス中において１分〜１０時間の表面拡散熱処理を施すことにより、粒界相成分を当該磁石体の被研削加工面に拡散させて薄膜層を被着することを特徴とする永久磁石材料の製造方法を提供する。
【００１１】
この場合、前記表面拡散処理後に前記粒界相の溶融開始温度未満で真空あるいは不活性ガス中において、１分〜１０時間の時効処理を施すことが好ましい。
また、前記表面拡散処理前に、アルカリ、酸あるいは有機溶剤のいずれか１種以上により洗浄する、あるいはショットブラストで表面層を除去することが好ましい。
【００１２】
以下、本発明を更に詳細に説明する。
本発明は、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石体表面の研削加工等に伴う磁気特性の劣化を防止した、磁石体の比表面積Ｓ／Ｖが６ｍｍ−１以上の小型あるいは薄型用高性能永久磁石材料の製造方法に関するものである。
ここで、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石体は、常法に従い、母合金を粗粉砕、微粉砕、成形、焼結させることにより得ることができる。
この場合、母合金には、Ｒ、Ｆｅ、Ｂを含有する。ＲはＹを含む希土類元素から選ばれる１種又は２種以上で、具体的にはＹ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｙｂ及びＬｕが挙げられ、好ましくはＮｄ、Ｐｒ、Ｄｙを主体とする。これらＹを含む希土類元素は合金全体の１０〜２０原子％、特に１２〜１５原子％であることが好ましく、更に好ましくはＲ中にＮｄとＰｒあるいはいずれか１種を１０原子％以上、特に５０原子％以上含有することが好適である。Ｂは３〜１５原子％、特に４〜８原子％含有することが好ましい。その他、Ａｌ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｉｎ、Ｓｉ、Ｐ、Ｓ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗの中から選ばれる１種又は２種以上を０〜１１原子％、特に０．１〜５原子％含有してもよい。残部はＦｅ又はＣ、Ｎ、Ｏ等の不可避的な不純物であるが、Ｆｅは５０原子％以上、特に６５原子％以上含有することが好ましい。また、Ｆｅの一部、例えばＦｅの０〜４０原子％、特に０〜１５原子％をＣｏで置換しても差支えない。
【００１３】
母合金は原料金属あるいは合金を真空あるいは不活性ガス、好ましくはＡｒ雰囲気中で溶解したのち、平型やブックモールドに鋳込む、あるいはストリップキャストにより鋳造することで得られる。なお、本系合金の主相であるＲ２Ｆｅ１４Ｂ化合物組成に近い合金と焼結温度で液相助剤となるＲリッチな合金とを別々に作製し、粗粉砕後に秤量混合する、いわゆる２合金法も本発明には適用可能である。但し、主相組成に近い合金に対して、鋳造時の冷却速度や合金組成に依存してα−Ｆｅが残存しやすく、Ｒ２Ｆｅ１４Ｂ化合物相の量を増やす目的で必要に応じて均質化処理を施す。その条件は真空あるいはＡｒ雰囲気中で７００〜１，２００℃で１時間以上熱処理する。液相助剤となるＲリッチな合金については上記鋳造法のほかに、いわゆる液体急冷法も適用できる。
【００１４】
上記合金は、通常０．０５〜３ｍｍ、特に０．０５〜１．５ｍｍに粗粉砕される。粗粉砕工程にはブラウンミルあるいは水素粉砕が用いられ、ストリップキャストにより作製された合金の場合は水素粉砕が好ましい。粗粉は、例えば高圧窒素を用いたジェットミルにより通常０．２〜３０μｍ、特に０．５〜２０μｍに微粉砕される。微粉末は磁界中圧縮成形機で成形され、焼結炉に投入される。焼結は真空あるいは不活性ガス雰囲気中、通常９００〜１，２５０℃、特に１，０００〜１，１００℃で行われる。
【００１５】
ここで得られた焼結磁石は、正方晶Ｒ２Ｆｅ１４Ｂ化合物を主相として６０〜９９体積％、特に好ましくは８０〜９８体積％含有し、残部は０．５〜２０体積％のＲに富む相、０〜１０体積％のＢに富む相及び不可避的不純物により生成した炭化物、窒化物、酸化物、水酸化物のうち少なくとも１種あるいはこれらの混合物または複合物からなる。
【００１６】
得られた焼結ブロックは実用形状に研削されるが、加工歪の影響をできるだけ小さくするために、生産性を落とさない範囲で加工速度は小さくすることが好ましい。この場合、研削方法としては、常法に従って行うことができるが、加工速度としては、具体的には０．１〜２０ｍｍ／ｍｉｎ、特に０．５〜１０ｍｍ／ｍｉｎであることが好ましい。
【００１７】
この場合、研削量としては、焼結ブロックの比表面積Ｓ／Ｖ（表面積ｍｍ２／体積ｍｍ３）が６ｍｍ−１以上、好ましくは８ｍｍ−１以上である。その上限は適宜選定され、特に制限されるものではないが、通常４０ｍｍ−１以下、特に３０ｍｍ−１以下である。
【００１８】
研削加工された磁石体は、真空あるいはＡｒ、Ｈｅ等の不活性ガス雰囲気中で表面拡散処理される。処理温度はＲに富む粒界相の溶融開始温度（ＴＥ℃）以上かつ当該焼結磁石の焼結温度以下である。ＴＥは予め焼結体を示差熱分析することで知ることができる。処理温度の限定理由は以下の通りである。
まず、ＴＥ℃未満ではＲに富む相が液相とならないために、本発明の表面拡散処理が進行しないので、ＴＥ℃以上、好ましくは（ＴＥ＋５０）℃以上とする。また、当該焼結磁石の焼結温度より高い温度で処理すると、（１）焼結磁石の組織が変質し、高い磁気特性が得られなくなる、（２）磁石体の比表面積が大きいために不可避的な酸化や成分の蒸発が顕著に起こり、表面層をむしろ劣化させてしまう、（３）熱変形により加工寸法が維持できなくなる等の問題が生じるために、処理温度は焼結温度以下、好ましくは（ＴＥ＋２００）℃以下とする。表面拡散処理時間は１分〜１０時間である。１分未満では表面拡散処理が完了せず、１０時間を超えると、焼結磁石の組織が変質する、不可避的な酸化や成分の蒸発が磁気特性に悪い影響を与えるといった問題が生じる。より好ましくは５分〜８時間、特に１０分〜６時間である。
【００１９】
以上のような表面拡散熱処理により、Ｒに富む粒界相成分が表面拡散し、Ｒに富む薄膜層が形成される。
この場合、この薄膜層の組成は、当該磁石の内部に存在するＲに富む粒界相とほぼ同様で５０〜９５原子％のＲが含有されている。
また、薄膜層の厚さは１ｎｍ〜１０μｍ、特に１０ｎｍ〜５μｍであることが好ましい。更に、薄膜層の最表部には、表面拡散処理及び以下に述べる時効処理を通して生成した不可避的な酸化膜層が存在し、この厚さは薄膜層全体の０．０１〜９０％を占める。
【００２０】
以上のような表面拡散熱処理後、時効処理を施すことが好ましい。この時効処理としては、前記粒界相の溶融開始温度未満、好ましくは２００℃以上で溶融開始温度より５℃低い温度以下、更に好ましくは３５０℃以上で溶融開始温度より５℃低い温度以下であることが望ましい。また、その雰囲気は真空あるいはＡｒ、Ｈｅ等の不活性ガス中であることが好ましい。時効処理の時間は１分〜１０時間、好ましくは１０分〜５時間、特に３０分〜２時間である。
【００２１】
なお、上述した研削加工時において、研削加工機の冷却液に水系のものを用いる、あるいは加工時に研削面が高温に曝される場合、被研削面に酸化膜が生じやすく、この酸化膜が磁石体表面におけるＲに富む相の成分の表面拡散を妨げることがある。このような場合には、アルカリ、酸及び有機溶剤のいずれか１種以上を用いて洗浄する、あるいはショットブラストを施して、その酸化膜を除去することで適切な表面拡散処理ができる。
【００２２】
なお、アルカリとしては、ピロリン酸カリウム、ピロリン酸ナトリウム、クエン酸カリウム、クエン酸ナトリウム、酢酸カリウム、酢酸ナトリウム、シュウ酸カリウム、シュウ酸ナトリウム等を、酸としては、塩酸、硝酸、硫酸、酢酸、クエン酸、酒石酸等を、有機溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等を使用することができる。この場合、上記アルカリや酸は、磁石体を侵食しない、適宜濃度の水溶液として使用することができる。
【００２３】
以上のようにして得られた永久磁石材料は、特性劣化のない小型あるいは薄型の永久磁石として用いることができる。この場合、この永久磁石の具体的な大きさの一例として、１ｍｍ×１ｍｍ×１ｍｍ（Ｓ／Ｖ＝６ｍｍ−１）、０．８ｍｍ×０．８ｍｍ×０．２５ｍｍ（Ｓ／Ｖ＝１３ｍｍ−１）、０．８ｍｍ×０．８ｍｍ×０．１３ｍｍ（Ｓ／Ｖ＝２０ｍｍ−１）、０．８ｍｍ×０．３ｍｍ×０．１３ｍｍ（Ｓ／Ｖ＝２５ｍｍ−１）等が挙げられる。
【００２４】
【実施例】
以下、本発明の具体的態様について実施例をもって詳述するが、本発明の内容はこれに限定されるものではない。
【００２５】
［実施例１］
純度９９重量％以上のＮｄ、Ｄｙ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｆｅメタルとフェロボロンを所定量秤量してＡｒ雰囲気中で高周波溶解し、この合金溶湯をＡｒ雰囲気中で銅製単ロールに注湯するストリップキャスト法により薄板状の合金とした。得られた合金の組成はＮｄが１１．０原子％、Ｄｙが１．５原子％、Ｃｏが１．０原子％、Ａｌが１．０原子％、Ｂが４．５原子％、Ｆｅが残部であり、これを合金Ａと称する。合金Ａに水素を吸蔵させた後、真空排気を行いながら５００℃まで加熱して部分的に水素を放出させる、いわゆる水素粉砕により３０メッシュ以下の粗粉とした。更に、純度９９重量％以上のＮｄ、Ｄｙ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｃｕメタルとフェロボロンを所定量秤量し、Ａｒ雰囲気中で高周波溶解した後、鋳造した。得られた合金の組成はＮｄが２０原子％、Ｄｙが１０原子％、Ｆｅが２４原子％、Ｂが６原子％、Ａｌが１原子％、Ｃｕが２原子％、Ｃｏが残部であり、これを合金Ｂと称する。合金Ｂは窒素雰囲気中、ブラウンミルを用いて３０メッシュ以下に粗粉砕された。
【００２６】
続いて、合金Ａ粉末を９０重量％、合金Ｂ粉末を１０重量％秤量して、窒素置換したＶブレンダー中で３０分間混合した。この混合粉末は高圧窒素ガスを用いたジェットミルにて、粉末の重量中位粒径４μｍに微粉砕された。得られた混合微粉末を窒素雰囲気下１５ｋＯｅの磁界中で配向させながら、約１ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力で成形した。次いで、この成形体はＡｒ雰囲気の焼結炉内に投入され、１，０６０℃で２時間焼結し、１０ｍｍ×２０ｍｍ×厚み１５ｍｍ寸法の磁石ブロックを作製した。磁石ブロックは内周刃切断機により、比表面積Ｓ／Ｖが２２ｍｍ−１となるように所定寸法の直方体に全面研削加工された。この加工後の磁石体を磁石体Ｐ１と称する。
【００２７】
研削加工された磁石体をアルカリ溶液で洗浄した後、酸洗浄して乾燥させた。
各洗浄の前後には純水による洗浄工程が含まれている。
これに、Ａｒ雰囲気中６００℃で２時間という条件で、本発明である表面拡散処理を施し、更に５００℃で１時間時効処理して急冷することで、磁石体を得た。これを磁石体Ｍ１と称する。なお、示差熱分析の結果より、Ｒに富む相が溶融を開始する温度ＴＥ℃は５２５℃であった。
【００２８】
磁石体Ｍ１，Ｐ１の減磁曲線をそれぞれ曲線Ｈ１，Ｋ１として図１に示し、これらの磁気特性を表１に示した。更に、加工前のブロック磁石の磁気特性も表１に併記した。比表面積がＳ／Ｖ＝２２ｍｍ−１となるまで研削加工すると、保磁力ＨｃＢが約２０％減少したのに対し、本発明ではほとんど減少していないことがわかる。
【００２９】
［実施例２］
純度９９重量％以上のＮｄ、Ｄｙ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｆｅメタルとフェロボロンを所定量秤量してＡｒ雰囲気中で高周波溶解し、この合金溶湯をＡｒ雰囲気中で銅製単ロールに注湯するストリップキャスト法により薄板状の合金とした。得られた合金の組成はＮｄが１１．０原子％、Ｄｙが４．２原子％、Ｃｏが１．０原子％、Ａｌが１．０原子％、Ｂが４．５原子％、Ｆｅが残部であり、これを合金Ａと称する。合金Ａに水素を吸蔵させた後、真空排気を行いながら５００℃まで加熱して部分的に水素を放出させる、いわゆる水素粉砕により３０メッシュ以下の粗粉とした。更に、純度９９重量％以上のＮｄ、Ｄｙ、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｏメタルとフェロボロンを所定量秤量し、Ａｒ雰囲気中で高周波溶解した後、鋳造した。得られた合金の組成はＮｄが２０原子％、Ｄｙが１０原子％、Ｆｅが２４原子％、Ｂが６原子％、Ａｌが１原子％、Ｃｕが２原子％、Ｃｏが残部であり、これを合金Ｂと称する。合金Ｂは窒素雰囲気中、ブラウンミルを用いて３０メッシュ以下に粗粉砕された。続いて、合金Ａ粉末を９０重量％、合金Ｂ粉末を１０重量％秤量して、窒素置換したＶブレンダー中で３０分間混合した。この混合粉末は高圧窒素ガスを用いたジェットミルにて、粉末の重量中位粒径６μｍに微粉砕された。得られた混合微粉末を１５ｋＯｅの磁界中で配向させながら、約１ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力で成形した。次いで、この成形体はＡｒ雰囲気の焼結炉内に投入され、１，０７０℃で２時間焼結し、１０ｍｍ×２０ｍｍ×厚み１５ｍｍ寸法の磁石ブロックを作製した。磁石ブロックは内周刃切断機により、比表面積Ｓ／Ｖが２４ｍｍ−１となるように所定寸法の直方体に全面研削加工された。この加工後の磁石体を磁石体Ｐ２と称する。
【００３０】
研削加工された磁石体をアルカリ溶液で洗浄した後、酸洗浄して乾燥させた。各洗浄の前後には純水による洗浄工程が含まれている。
これに、Ａｒ雰囲気中６００℃で２時間という条件で、本発明である表面拡散処理を施し、更に５００℃で１時間時効処理して急冷することで、磁石体を得た。これを磁石体Ｍ２と称する。
磁石体Ｍ２，Ｐ２の減磁曲線をそれぞれ曲線Ｈ２，Ｋ２として図２に示した。磁石体Ｍ２，Ｐ２、更に、加工前のブロック磁石の磁気特性は表１に併記してある。なお、いずれの保磁力ＨｃＪについても“＞３０”と表記してあるが、これはＨｃＪが測定装置の最大印加磁界を超えているという意味である。比表面積がＳ／Ｖ＝２４ｍｍ−１となるまで研削加工すると、保磁力ＨｃＢが約１７％減少したのに対し、本発明ではほとんど減少していないことがわかる。
【００３１】
【表１】
2004281493.tif 000002
【００３２】
【発明の効果】
本発明によれば、研削加工による磁気特性の劣化を防止して良好な磁気特性を示すＳ／Ｖ＝６ｍｍ−１以上の小型あるいは薄型の永久磁石を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明により作製された磁石体の減磁曲線（曲線Ｈ１）及び研削加工のみの磁石体の減磁曲線（曲線Ｋ１）を示した図である。
【図２】本発明により作製された磁石体の減磁曲線（曲線Ｈ２）及び研削加工のみの磁石体の減磁曲線（曲線Ｋ２）を示した図である。
【図１】
2004281493.tif 000003
【図２】
2004281493.tif 000004