(57)【要約】【課題】一の圧力発生部に加えた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が前記他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出することを未然に防ぐことができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供すること。【解決手段】ノズル開口部２１１を有するノズル形成部２１０と、前記ノズル開口部に対応して形成される圧力発生部２２１と、前記圧力発生部に対応して形成され、且つ各々の前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている液体供給路２２２と、前記液体供給路と連通され、液体を供給するための液体貯蔵部２２３と、を有する流路形成部２２０と、前記流路形成部の前記圧力発生部等を覆うように配置される封止部２３０と、を有し、前記複数の液体供給路に対応する封止部に圧力開放部２２６が形成されている液体噴射ヘッド２００。【選択図】　図４
2004122394.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数のノズル開口部を有するノズル形成部と、
前記ノズル形成部の前記複数のノズル開口部のそれぞれに対応して形成されると共に、相互に近接して配置される複数の圧力発生部と、
前記複数の圧力発生部の各々に対応して形成され、且つ各々の前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている複数の液体供給路と、
前記複数の液体供給路と連通され、これら複数の液体供給路へ液体を供給するための液体貯蔵部と、を有する流路形成部と、
前記流路形成部の前記圧力発生部、前記液体供給路及び前記液体貯蔵部を覆うように配置される封止部と、を有する液体噴射ヘッドであって、
前記複数の液体供給路に対応する封止部に圧力開放部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記封止部は、積層して形成される金属製薄膜とフィルム状の樹脂製薄膜とを有し、
前記樹脂製薄膜側が前記流路形成部に対して配置されると共に、
前記圧力開放部は、前記金属製薄膜を除去した前記樹脂製薄膜により形成されることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記複数の各液体供給路相互間を仕切る隔壁部に対応する部分の前記封止部には、前記金属製薄膜が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記液体供給路に前記圧力発生部における圧力の減圧を防ぐための減圧防止部が形成され、
この減圧防止部の少なくとも前記圧力発生部側に対応する前記封止部には、前記金属製薄膜が形成されていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
液体を吐出する複数のノズル開口部を有するノズル形成部と、
前記ノズル形成部の前記複数のノズル開口部のそれぞれに対応して形成されると共に、相互に近接して配置される複数の圧力発生部と、
前記複数の圧力発生部の各々に対応して形成され、且つ各々の前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている複数の液体供給路と、
前記複数の液体供給路と連通され、これら複数の液体供給路へ液体を供給するための液体貯蔵部と、を有する流路形成部と、
前記流路形成部の前記圧力発生部、前記液体供給路及び前記液体貯蔵部を覆うように配置される封止部と、を有する液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置であって、
前記液体噴射ヘッドの前記複数の液体供給路に対応する封止部に圧力開放部が形成されていることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスクプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等の液体を吐出する液体噴射ヘッド及びそれを用いた液体噴射装置全般に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より画像や文字を記録用紙に記録するプリンタ装置には、圧電振動子の伸縮等によりノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド（以下「記録ヘッド」という）が用いられている（例えば、特許文献１参照。）
この記録ヘッドはインク滴を吐出させるために流路ユニット１０を備えている。
図１１は、このような流路ユニット１０を示す概略分解斜視図である。
図１１に示すように、流路ユニット１０は多数のノズル開口８を有するノズルプレート３を有している。また、このノズルプレート３と後述する封止板５とに挟まれるように、流路基板４が配置されている。
この流路基板４には、圧力発生室７ａが配置され、この圧力発生室７ａと連通してインク供給路７ｂが形成され、さらに、このインク供給路７ｂは、インク貯留室９が連通されている。
そして、このインク貯蔵室９には、図１１の封止板インク供給孔５ｃを介してインクが供給される構成となっている。
【０００３】
すなわち、インクは図示しない、インクカートリッジから封止板５の封止板インク供給孔５ｃ等を介してインク貯留室９、インク供給路７ｂ、そして圧力発生室７ａへと案内される構成となっている。
この圧力発生室７ａは、流路基板５に図１１に示すように櫛歯状に複数個配置され、封止板５とノズルプレート３によって挟持されることにより一種の閉空間が形成されている。
封止板５は流路基板５側にフィルム状の樹脂製薄膜５ａが設けられ、この樹脂製薄膜５ａ積層されて、金属製薄膜５ｂが配置されている。
図１２は、この櫛歯状に形成された圧力発生室７ａ及びインク供給路７ｂと封止板５の金属薄膜５ｂとの関係等を示す概略説明図である。また、図１３は、図１２の圧力発生室７ａ及びインク供給路７ｂと封止板５の金属薄膜５ｂとの関係等を示す概略平面図である。
【０００４】
図１２に示すように櫛歯状の溝の奥側（図において右側）に圧力発生室７ａが形成され、それと連通してインク供給路７ｂが形成されている。
そして、インク供給路７ｂの左側にインク貯蔵室９が配置されている。
これらは、流路基板４に形成されているが、その上に図１１に示す封止板５が配置されている。
図１２のハッチングで示す部分は、封止板５のＳＵＳ等の金属薄膜５ｂを示す部分であり、透明部分は封止板５の例えばポリフェニレンサルファイドフィルム製の樹脂製薄膜５ａである。
すなわち、封止板５の金属薄膜５ｂのハッチングが付されていない部分はエッチング等により削除されている。また、流路基板４の圧力発生室７ａに上方には、エッチングされず残っている金属薄膜５ｂが、例えば長円状に形成され、島部５ｄとして配置されている。
【０００５】
この島部５ｄに対して図示しない圧電振動子の端部が固着され、圧電振動子が駆動信号により長手方向（図１２の上下方向）に伸長する構成となっている。
このため、圧電振動子が伸長すると島部５ｄを押し、この圧力によって圧力発生室７ａの圧力が高まり、圧力発生室７ａ内のインクが下方向（ノズル開口８方向）に押され、図１１のノズル開口８からインクが吐出される構成となっている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−２７７５２４号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このように圧電振動子が伸長して圧力発生室７ａ内の圧力が高まると、その圧力は圧力発生室７ａ内のインクをノズル開口８へ押し出すだけでなく、この圧力発生室７ａと連通しているインク供給路７ｂへも影響し、インク供給路７ｂ内のインクをインク貯蔵室９側へ押し出す働きもする。
インク貯蔵室９は封止板の樹脂製薄膜５ａで封止されており、圧力発生室７ａより押し戻されたインクは、インク貯蔵室９及び図に示す記号Ａのように隣り合うインク供給路１７ｂ方向へも流れる。
【０００８】
記号Ａの流れは、その経路に金属薄膜５ｂが存在し、この部分は変形できないため直接的に圧力を伝播する。さらに、インク貯蔵室９に流れた場合は樹脂製薄膜５ａの変形で吸収されるが、それで吸収しきれない僅かな圧力は、別のインク供給路１７ｂ方向へ流れ、圧力を伝播してしまう。この場合、例えば多ノズルでの構成で１つを除いた他の全ノズルで吐出させたときなどでは、吐出させていない１つに対し、インク貯蔵室９で吸収しきれなかった圧力が集中し大きな圧力が伝播することになる。
以上のような現象をクロストークと呼び、ノズルに形成されているメニスカスと呼ばれるインクの表面張力の面が、予定しない変位や振動をして、このノズルからインクを正常なタイミングや量、方向へ飛ばすことができない不良吐出や、最悪の場合には吐出信号を送っていないのに伝播圧力により誤吐出してしまう場合や、或いは逆に吐出信号を送っているのに吐出しない未吐出といった事態を引き起こす問題があった。
【０００９】
本発明は、以上の点に鑑み、一の圧力発生部に加えた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が前記他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出することを未然に防ぐことができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的は、本発明によれば、液体を吐出する複数のノズル開口部を有するノズル形成部と、前記ノズル形成部の前記複数のノズル開口部のそれぞれに対応して形成されると共に、相互に近接して配置される複数の圧力発生部と、前記複数の圧力発生部の各々に対応して形成され、且つ各々の前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている複数の液体供給路と、前記複数の液体供給路と連通され、これら複数の液体供給路へ液体を供給するための液体貯蔵部と、を有する流路形成部と、前記流路形成部の前記圧力発生部、前記液体供給路及び前記液体貯蔵部を覆うように配置される封止部と、を有する液体噴射ヘッドであって、前記複数の液体供給路に対応する封止部に圧力開放部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにより達成される。
【００１１】
前記構成によれば、前記複数の液体供給路に対応する封止部に圧力開放部が形成されている。
このため、前記圧力発生部における圧力が高まり、その圧力が前記液体供給路内の液体を前記液体貯蔵部側へ押し出すように働いても、この圧力は前記圧力開放部で発散される。
したがって、前記圧力発生部からの圧力が前記液体供給路及び液体貯蔵部を介して、例えば隣接する他の圧力発生部に作用し、他の圧力発生部に対応するノズル開口部から液体を誤吐出することがない。
ゆえに、一の圧力発生部に加えられた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出されることを未然に防ぐことができる液体噴射ヘッドである。
【００１２】
好ましくは、前記封止部は、積層して形成される金属製薄膜とフィルム状の樹脂製薄膜とを有し、前記樹脂製薄膜側が前記流路形成部に対して配置されると共に、前記圧力開放部は、前記金属製薄膜を除去した前記樹脂製薄膜により形成されることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
【００１３】
前記構成によれば、前記圧力発生部は、前記金属製薄膜を除去した前記樹脂製薄膜により形成される。
このため、前記圧力発生部からの圧力が前記液体供給路に作用しても、前記フィルム状の樹脂製薄膜の撓み等によって、その圧力は発散される。
そして、前記圧力発生部からの圧力が前記液体供給路及び液体貯蔵部を介して、例えば隣接する他の圧力発生部に作用し、他の圧力発生部に対応するノズル開口部から液体を誤吐出することがない。
また、前記圧力発生部は前記金属薄膜をエッチング等で除去することで容易に形成できるので、前記圧力発生部の作製コストを著しく低減することができる。ゆえに、一の圧力発生部に加えられた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出されることを低コストで未然に防ぐことができる液体噴射ヘッドである。
【００１４】
好ましくは、前記複数の各液体供給路相互間を仕切る隔壁部に対応する部分の前記封止部には、前記金属製薄膜が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
【００１５】
前記構成によれば、前記複数の各液体供給路相互間を仕切る隔壁部に対応する部分の前記封止部には、前記金属製薄膜が形成されている。
このため、前記封止部を例えばヘッドケース等と接着固定する場合、前記隔壁部は、前記金属製薄膜を介してヘッドケース等と接着されるため、前記樹脂製薄膜のみで接着されている場合に比べ、格段に剥離し難くなる。
ところで、この隔壁部において剥離等が生じると隣接する圧力発生部や液体供給路から液体が剥離部分を介して漏れ出すため液体噴射ヘッドが不良となる。
したがって、液体噴射ヘッドの不良を回避しつつ、一の圧力発生部に加えられた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出されることを未然に防ぐことができる液体噴射ヘッドである。
【００１６】
好ましくは、前記液体供給路に前記圧力発生部における圧力の減圧を防ぐための減圧防止部が形成され、この減圧防止部の少なくとも前記圧力発生部側に対応する前記封止部には、前記金属製薄膜が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
【００１７】
前記構成によれば、前記液体供給路に前記圧力発生部における圧力の減圧を防ぐための減圧防止部が形成されている場合は、この減圧防止部の少なくとも前記圧力発生部側に対応する前記封止部には、前記金属製薄膜が形成されている
ところで、前記減圧防止部は、例えば前記液体供給路を前記圧力発生部より狭くすることで、前記圧力発生部に発生する圧力が逃げてしまうのを防止するために設けられている。
このため、特に、前記減圧防止部の少なくとも前記圧力発生部側に対応する前記封止部である、前記圧力発生部の境界部に相当する部分に前記金属製薄膜が形成されることで、前記封止部の剛性が高まり、前記圧力発生部内の圧力が抜け難くなっている。
したがって、前記圧力発生部の圧力不良を生ぜず、且つ、一の圧力発生部に加えられた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出されることを未然に防ぐことができる液体噴射ヘッドである。
【００１８】
前記目的は、本発明によれば、液体を吐出する複数のノズル開口部を有するノズル形成部と、前記ノズル形成部の前記複数のノズル開口部のそれぞれに対応して形成されると共に、相互に近接して配置される複数の圧力発生部と、前記複数の圧力発生部の各々に対応して形成され、且つ各々の前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている複数の液体供給路と、前記複数の液体供給路と連通され、これら複数の液体供給路へ液体を供給するための液体貯蔵部と、を有する流路形成部と、前記流路形成部の前記圧力発生部、前記液体供給路及び前記液体貯蔵部を覆うように配置される封止部と、を有する液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置であって、前記液体噴射ヘッドの前記複数の液体供給路に対応する封止部に圧力開放部が形成されていることを特徴とする液体噴射装置により達成される。
【００１９】
前記構成によれば、前記液体噴射ヘッドの前記複数の液体供給路に対応する封止部に圧力開放部が形成されている。
このため、前記圧力発生部における圧力が高まり、その圧力が前記液体供給路内の液体を前記液体貯蔵部側へ押し出すように働いても、この圧力は前記圧力開放部で発散される。
したがって、前記圧力発生部からの圧力が前記液体供給路及び液体貯蔵部を介して、例えば隣接する他の圧力発生部に作用し、他の圧力発生部に対応するノズル開口部から液体を誤吐出することがない。
ゆえに、一の圧力発生部に加えられた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出されることを未然に防ぐことができる液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置である。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施の形態を添付図面等を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００２１】
図１は、本発明の実施の形態に係る液体噴射装置である例えばインクジェット式記録装置１００を示す概略斜視図である。
インクジェット式記録装置１００は、液体である例えばインクを収容する液体収容手段である例えばインクカートリッジ１０１と、このインクカートリッジ１０１が搭載される液体噴射ヘッドである例えばインクジェット式記録ヘッド（以下「記録ヘッド」という）２００を有している。
この記録ヘッド２００は、キャリッジ１０２に取り付けられる構成となっている。
キャリッジ１０１は、図１に示すように、タイミングベルト１０３を介してステッピングモータ１０４に接続され、ガイドバー１０５に案内されて、記録紙１０６の紙幅方向（主走査方向）に往復移動するようになっている。
キャリッジ１０１は、上部に開放する箱形を呈し、記録紙１０６と対向する面（図の下面）に、記録ヘッド２００のノズル面が露呈するように取り付けられると共に、インクカートリッジ１０１が収容されるようになっている。
【００２２】
そして、記録ヘッド２００にインクカートリッジ１０１からインクが供給され、キャリッジ１０２を移動させながら、記録紙１０６上面にインク滴を吐出させて記録紙１０６に画像や文字をドットマトリックスにより印刷するようになっている。
また、インクジェット式記録装置１００は、図１に示すように、印刷休止中に記録ヘッド２００のノズル開口を封止することによりインクを吐出するノズル部である例えばノズルの乾燥をできるだけ防止するキャップ１０７を備えている。さらに、インクジェット式記録装置１００は、記録ヘッド２００のノズル面をワイピングするワイパー部材１０８も有している。
【００２３】
図２は、記録ヘッド２００の要部を示す概略分解斜視図である。
図２に示すように、記録ヘッド２００は、液体である例えばインクを吐出する複数のノズル開口部である例えばノズル開口２１１を有するノズル形成部である例えばノズルプレート２１０を有している。
この複数のノズル開口２１１のそれぞれに対応して形成されると共に、相互に近接して配置される複数の圧力発生部である例えば圧力発生室２２１が、流路形成部である例えば流路基板２１０に設けられている。
また、流路基板２１０には、図２に示す複数の圧力発生室２２１の各々に対応して形成され、且つ各々の圧力発生室２２１にインクを供給するため連通して形成されている複数の液体供給路である例えばインク供給路２２２を有している。さらに、これらインク供給路２２２と連通され、これらインク供給路２２２へインクを供給するための液体貯蔵部である例えばインク貯蔵室２２３を有している。
【００２４】
また、図２に示すように、流路基板２２０の圧力発生室２２１、インク供給路２２２及びインク貯蔵室２２３を覆うように配置される封止部である例えば封止板２３０が設けられている。
封止板２３０は、積層して形成される金属製薄膜である例えばステンレス製のＳＵＳ製薄膜２３１と、フィルム状の樹脂製薄膜である例えばＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルム２３２とを有している。
この封止板２３０のＰＰＳフィルム２３２側は、図２に示すように流路基板２２０に対して配置され、接着剤等により固着される。一方、ノズルプレート２１０も流路基板２１０に対して接着剤等で固着されるため、流路基板２２０の圧力発生室２２１、インク供給路２２２及びインク貯蔵室２２３は、これら封止板２３０とノズルプレート２１０によって、閉空間となる。
また、封止板２３０は、インクをインク貯蔵室２２３に供給するための封止板インク供給孔２３３が形成されている。
【００２５】
この封止板２３０には、図２に示すように合成樹脂製のヘッドケース２４０が配置される。
ヘッドケース２４０には上下に貫通する圧電振動子収容空間２４１が形成され、そこに圧力振動子２５０が挿入される構成となっている。
圧電振動子収容空間２４１は、ノズル開口２１１が列設される方向に形成され、ノズル開口２１１に対応して形成されている。
また、ヘッドケース２４０には、封止板２３０の封止板インク供給孔２３３に対応するケースインク補給穴２４２が形成されている。
【００２６】
図３は、図２の記録ヘッド２００の部分概略拡大断面図である。
図２の圧電振動子２５０の後端側（図２の上部側）は、ヘッドケース２４０に図３に示すように、取り付けられた固定基板２５１に固着されると共に、先端側（図２の下部側）は、封止板１３０のＳＵＳ製薄膜２３１に形成される島部２３１ａと固着されている。
したがって、図３に示すように組み立てられた記録ヘッド２００において図示しない駆動回路で発生させた駆動信号を図２のフレキシブル回路板２５２を介して圧電振動子２５０に入力することにより圧電振動子２５０を図３の縦方向に伸長させる。
このとき、圧電振動子２５０の先端部は島部２３１ａと固着されてるため、島部２３１ａを下方向に押し付け島部２３１ａの直下に形成されている圧力発生室２２１に圧力を加えることになる。
【００２７】
一方、インクは、図１のインクカートリッジ１０１から図２のヘッドケース２４０のケースインク補給穴２４２や封止板２３０の封止板インク供給孔２３３を介して、流路基板２２０のインク貯蔵室２２３に供給される。
インク貯蔵室２２３に供給されたインクは、各ノズル開口２１１に対応して配置されている図２の圧力発生室２２１にインク供給路２２２を介して供給される。
このようにインクが収容されている圧力発生室２２１に上述のように圧電振動子２５０から圧力が加わると、その圧力でインクがノズルプレート２１０のノズル開口２１１から吐出される構成となっている。
【００２８】
図４は、図３の流路基板２２０と封止板２３０等とを示す概略拡大説明図である。図５は、図４の一部の概略平面図である。
図４に示すように、流路基板２２０には、ノズルプレート２１０の各ノズル開口２１１に対応した圧力発生室２２１が、インク供給路２２２と一対となって複数配置されている。また、これら各インク供給路２２２や圧力発生室２２１相互間を仕切る隔壁部である例えば隔壁２２４によって相互にインクが流入等しないように形成されている。
また、圧力発生室２２１は、図４で示すようにインク供給路２２２と連通しているため、圧力発生室２２１に生じた圧力がインク供給路２２２へ逃げてしまう。
【００２９】
そこで、インク供給路２２２には、図４に示すように圧力発生室２２１における圧力の減圧を防ぐための減圧防止部である例えば圧力用島部２２５が形成されている。
この圧力用島部２２５によって、インク供給路２２２におけるインクの流れは狭まることになり、圧力発生室２２１の減圧を未然に防ぐことができる構成となっている。
【００３０】
また、図４の隔壁２２４上には図３に示すように、封止板２３０のＰＰＳフィルム２３２が接着剤等で固着されている。このＰＰＳフィルム２３２は、図４では透明に示されている。
そして、このＰＰＳフィルム２３２と積層して形成されているＳＵＳ製薄膜２３１は所定の形状にエッチングされており、図４ではエッチングされている部分を透明に、エッチングで残されている部分はハッチングで示されている。
このエッチングで残されたＳＵＳ製薄膜２３１のうち、圧力発生室２２１に対応して長円状に形成されているのが、図３の島部２３１ａであり、圧電振動子２５０の先端部と固着され、圧電振動子２５０の伸長によって圧力発生室２２１に圧力を加える部分となる。
【００３１】
また、インク供給路２２２に対応する部分には、ＳＵＳ製薄膜２３１が形成されていない部分が形成され、隔壁２２４に対応する部分にはＳＵＳ製薄膜２３１が形成されている。
すなわち、図４及び図５のインク貯蔵室２２３側からインク供給路２２２方向に櫛歯状にＳＵＳ製薄膜２３１が形成されない部分が形成されている。また、このＳＵＳ製薄膜２３１が形成されない部分には、ＰＰＳフィルム２３２が形成され、このＰＰＳフィルム２３２は、図５の圧力用島部２２５と接着されている。このようにＰＰＳフィルム２３２のみが形成され、圧力用島部２２５とも接着されていない部分、図において下部にコンプライアンス部２２６が設けられている。
【００３２】
図５に示すコンプライアンス部２２６は、上述のようにＳＵＳ製薄膜２３１が形成されずＰＰＳフィルム２３２のみから成り、ＰＰＳフィルム２３２の剛性がＳＵＳ製薄膜２３１より低く、圧力用島部２２５にも接着されていないので、インク供給路２２２内の圧力によって撓みやすい構造となっている。
すなわち、インク供給路２２２に対応する封止板２３０に形成された圧力開放部の一例が上述のコンプライアンス部２２６である。
【００３３】
図６は、図５のＢ−Ｂ’線概略断面図であり、図７は図５のＣ−Ｃ’線概略断面図である。
図６及び図７に示すようにコンプライアンス部２２６を形成した部分は封止板２３０の厚みが著しく薄くなり、ＰＰＳフィルム２３２のみで構成されているので、インク供給路２２１の内部に圧力により撓みやすい構成となっていることが分かる。
【００３４】
ここで、説明の便宜のため、図４の左側の圧力発生室２２１を第１の圧力発生室２２１ａとして、これと連通するインク供給路２２２を第１のインク供給路２２２ａとする。
同様に隔壁２２４を介して隣接する右側の圧力発生室２２１を第２の圧力発生室２２１ｂとして、これと連通するインク供給路２２２を第２のインク供給路２２２ｂとする、さらに隣接する圧力発生室２２１を第３の圧力発生室２２１ｃ、インク供給路２２２を第３のインク供給路２２２ｃとする。
【００３５】
そして、図３等の圧電振動子２５０が伸長して図４の第２の圧力発生室２２１ｂを押した場合、その圧力が第２のインク供給路２２２ｂ内のインクをインク貯蔵室２２３側に押し出すように働いても、その圧力は第２のインク供給路２２２ｂに対応して設けられているコンプライアンス部２２６のＰＰＳフィルム２３２が図４の上方に向かって撓むことにより発散される。
このため、この圧力が図４の矢印Ｔ１やＴ２のように、隣接する第１のインク供給路２２２ａや第３のインク供給２２２ｃを介して伝播し、第１の圧力発生室２２１ａや第３の圧力発生室２２１ｃに作用することがない。
したがって、第１の圧力発生室２２１ａや第３の圧力発生室２２１ｃに対応するノズル開口２１１（図６参照）からインクが誤吐出するクロストークを未然に防止することができる。
また、このようにコンプライアンス部２２６は、ＳＵＳ製薄膜２３１をエッチング等で除去することで容易に形成できるので、著しく低コストで形成することができる。
【００３６】
ところで、図４に示すように、封止板２３０のＳＵＳ製薄膜２３１は、隔壁２２４に対応する部分にはエッチングされずに配置されている。
この隔壁２２４は、他のノズル開口２１１からのインクを吐出させるクロストークを防止する働きをするため、隔壁２２４と封止板２３０との間が剥離し、インクが隔壁２２４を超えて漏れ出すと記録ヘッド２００の不良に直結する。そのため、可能な限り剥離し難い構成にするのが望ましい。
この点、本実施の形態では、図３等に示すように封止板２３０をヘッドケース２４０と接着固定する場合、隔壁２２４はＳＵＳ製薄膜２３１を介してヘッドケース２４０と接着されている。したがって、ＰＰＳフィルム２３２のみで接着されている場合に比べ格段に剥離し難い構成となっている。
【００３７】
また、上述のように図４のインク供給路２２２には、圧力発生室２２１の圧力漏れを防止するため圧力用島部２２５が形成されている。このため、この圧力用島部２２５の少なくとも圧力発生室２２１側、すなわち圧力発生室２２１との境界部である圧力用島部２２５に対応する封止板２３０がＰＰＳフィルム２３２のみで形成されている場合は、ＰＰＳフィルム２３２の撓みで圧力発生室２２１の圧力を発散してしまうことになる。
そのため、図４及び図５に示すようにコンプライアンス部２２６は、圧力用島部２２５に対応する部分の全体には形成さていない。そして、圧力発生室２２１とインク供給路２２２との境界部に当たり、圧力発生室２２１の圧力の逃げを
防止する役割を果たしている圧力用島部２２５の部分に対応する封止板２３０の部分には、敢えてＳＵＳ製薄膜２３１を残して配置されている。
したがって、前記境界部の封止板２３０の剛性が高まるので、圧力発生室２２１の圧力逃げも効果的に防止し、圧力発生室２２１の圧力不良も生じ難い構成となっている。
【００３８】
（本実施の形態の第１の変形例）
図８は、本実施の形態のインクジェット式記録装置１００の記録ヘッド２００の第１の変形例の要部を示す概略平面図である。
本変形例の構成は、上述の実施の形態に係るインクジェット式記録装置１００と略同様なので、同一構成は同一符号等として説明を省略し、以下相違点を中心に説明する。
図８に示すように、本変形例では、上述の図５に示す実施の形態の記録ヘッド２００のコンプライアンス部２２６と異なり、コンプライアンス部３２６を小さく配置している。
このため、圧力用島部２２５に対応する封止板２３０の部分については、上述の実施の形態の記録ヘッド２００より、ＳＵＳ製薄膜２３１がより広い面積に形成されてる。
したがって、このインク供給路２２２と連通している圧力発生室２２１の圧力不良をより確実に防止することができる。
【００３９】
（本実施の形態の第２の変形例）
図９は本実施の形態の第２の実施の形態の要部を示す概略平面図であり、図１０は、図９のＤ−Ｄ’線概略断面図である。
本変形例の構成は、上述の実施の形態に係るインクジェット式記録装置１００と略同様なので、同一構成は同一符号等として説明を省略し、以下相違点を中心に説明する。
本変形例の流路基板４２０に形成されているインク供給路４２２は、圧力発生室４２１を挟んで両側に交互、すなわち千鳥状に配置されている。そして、隔壁４２４も千鳥状に配置されている。
このような形態の流路基板４２０であっても図１０に示すようにコンプライアンス部４２６やＳＵＳ製薄膜４３１等を配置することができ、上述の実施の形態に係る記載ヘッド２００及びインクジェット式記録装置１００と同様の作用効果を奏するものである。
【００４０】
本発明は、上述の実施の形態に限定されない。さらに、上述の各実施の形態は、相互に組み合わせて構成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る液体噴射装置である例えばインクジェット式記録装置を示す概略斜視図である。
【図２】記録ヘッドの要部を示す概略分解斜視図である。
【図３】図２の記録ヘッドの部分概略拡大断面図である。
【図４】図３の流路基板と封止板等とを示す概略拡大説明図である。
【図５】図４の一部の概略平面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ’線概略断面図である。
【図７】図５のＣ−Ｃ’線概略断面図である。
【図８】本実施の形態のインクジェット式記録装置の記録ヘッドの第１の変形例の要部を示す概略平面図である。
【図９】本実施の形態の第２の実施の形態の要部を示す概略平面図である。
【図１０】図９のＤ−Ｄ’線概略断面図である。
【図１１】従来の流路ユニットを示す概略分解斜視図である。
【図１２】櫛歯状に形成された圧力発生室及びインク供給路と従来の封止板の金
属薄膜との関係等を示す概略説明図である。
【図１３】図１２の圧力発生室及びインク供給路と従来の封止板の金属薄膜との関係等を示す概略平面図である。
【符号の説明】
１００・・・インクジェット式記録装置、１０１・・・インクカートリッジ、１０２・・・キャリッジ、１０３・・・タイミングベルト、１０４・・・ステッピングモータ、１０５・・・ガイドバー、１０６・・・記録紙、１０７・・・キャップ、１０８・・・ワイパー部材、２００・・・インクジェット式記録ヘッド、２１０・・・ノズルプレート、２１１・・・ノズル開口、２２０、４２０・・・流路基板、２２１、４２１・・・圧力発生室、２２１ａ・・・第１の圧力発生室、２２１ｂ・・・第２の圧力発生室、２２１ｃ・・・第３の圧力発生室、２２２、４２２・・・インク供給路、２２２ａ・・・第１のインク供給路、２２２ｂ・・・第２のインク供給路、２２２ｃ・・・第３のインク供給路、２２３・・・インク貯蔵室、２２４、４２４・・・隔壁、２２５・・・圧力用島部、２３０・・・封止板、２３１、４３１・・・ＳＵＳ製薄膜、２３１ａ・・・島部、２３２・・・ＰＰＳフィルム、２２６、３２６、４２６・・・コンプライアンス部、２３３・・・封止板インク供給孔、２４０・・・ヘッドケース、２４１・・・圧電振動子収容空間、２４２・・・ケースインク補給穴、２５０・・・圧電振動子、２５１・・・固定基板、２５２・・・フレキシブル回路板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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