(57)【要約】【課題】構成が簡素化されているにもかかわらず各種疵をその方向性の如何にかかわらず精度良く検出できる渦流探傷装置を提供する。【解決手段】励磁部１と検出部２と検波部３とを備えてなる渦流探傷装置Ａであって、前記励磁部１は被探傷材を所定方向に励磁する第１励磁コイル１Ａと、前記所定方向と直交方向に励磁する第２励磁コイル１Ｂとを有し、前記検出部２は前記第１励磁コイル１Ａおよび第２励磁コイル１Ｂにより励磁された個所を探傷可能とされた検出コイル２Ａを有し、前記検波部３は第１検波器３Ａと第２検波器３Ｂとを有し、前記第１および第２励磁コイル１Ａ、１Ｂにはそれぞれ第１および第２励磁電流ｂ１、ｂ２が供給され、前記第１および第２検波器３Ａ、３Ｂはそれぞれ前記検出コイル２Ａにより検出された検出信号のうち前記第１および第２励磁コイル１Ａ、１Ｂに関する信号を検波するよう構成されてなるものである。【選択図】　図１
2004077231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励磁部と検出部と検波部とを備えてなる渦流探傷装置であって、
前記励磁部は、被探傷材を所定方向に励磁する第１励磁コイルと、被探傷材を前記所定方向と直交方向に励磁する第２励磁コイルとを有し、
前記検出部は、前記第１励磁コイルおよび第２励磁コイルにより励磁された個所を探傷可能とされた検出コイルを有し、
前記検波部は、第１検波器と第２検波器とを有し、
前記第１励磁コイルには第１励磁電流が供給され、
前記第２励磁コイルには第２励磁電流が供給され、
前記第１検波器は、前記検出コイルにより検出された検出信号のうち前記第１励磁コイルに関する信号を検波するよう構成され、
前記第２検波器は、前記検出コイルにより検出された検出信号のうち前記第２励磁コイルに関する信号を検波するよう構成されてなる
ことを特徴とする渦流探傷装置。
【請求項２】
第１励磁コイルは、所定方向に配列されかつ差動型コイルとされたコイル要素対を有し、第２励磁コイルは、所定方向に配列されかつ差動型コイルとされたコイル要素対を有してなることを特徴とする請求項１記載の渦流探傷装置。
【請求項３】
コイル要素がプリント・コイルとされてなることを特徴とする請求項２記載の渦流探傷装置。
【請求項４】
第１励磁電流と第２励磁電流とは同期され、かつ一方の周波数は他方の周波数の所定倍とされてなることを特徴とする請求項１記載の渦流探傷装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、渦流探傷装置に関する。さらに詳しくは、例えば鋼材などの表層部の疵をその方向性にかかわらず検出できる渦流探傷装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
渦流探傷には各種方式があるが、工業的に活用されている方式としては、相互誘導自己比較方式がある。この相互誘導自己比較方式では、一般に、差動型検出コイルを用いて疵部における渦電流の変化を検出することがなされている。
【０００３】
ところが、差動型検出コイルは、疵と対向したときの各コイル間のバランスの崩れを利用して疵を検出するものとされるため、疵の位置およびその方向性によっては、充分な強度の疵検出信号を得ることができず、疵を見逃すおそれがあるといった問題がある。すなわち、差動型検出コイルは、原理的に疵検出感度に指向性が存在するといった問題がある。
【０００４】
このため、従来、検出コイルを４分割し、これにより各種位置および方向の疵を検出するといった試みがなされている（例えば、特開平１０−３００７２４号公報、特開平１１−２４８６８４号公報参照）。
【０００５】
また、未だ公知ではないが、従来は検出コイルとして用いられている差動型コイルを励磁コイルとして用いるものとし、かつその差動型コイルを２組とするとともに、各差動型コイルを切り替えて励磁を実施するようにして、各種位置および各方向の疵を検出可能とする渦流探傷装置を本出願人は既に提案している（特願２００１−２５５１７２号参照）。
【０００６】
ところが、本出願人の先の提案に係る渦流探傷装置においては、コイルを切り替える際にノイズが発生する、回路構成が複雑化する、コイル切替に伴う時間的ロスが発生する、といったような問題点があることが判明した。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、かかる本出願人の先の提案に係る渦流探傷装置の課題に鑑みなされたものであって、構成が簡素化されているにもかかわらず各種疵をその方向性の如何にかかわらず精度良く検出できる渦流探傷装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の渦流探傷装置は、励磁部と検出部と検波部とを備えてなる渦流探傷装置であって、前記励磁部は、被探傷材を所定方向に励磁する第１励磁コイルと、被探傷材を前記所定方向と直交方向に励磁する第２励磁コイルとを有し、前記検出部は、前記第１励磁コイルおよび第２励磁コイルにより励磁された個所を探傷可能とされた検出コイルを有し、前記検波部は、第１検波器と第２検波器とを有し、前記第１励磁コイルには第１励磁電流が供給され、前記第２励磁コイルには第２励磁電流が供給され、前記第１検波器は、前記検出コイルにより検出された検出信号のうち前記第１励磁コイルに関する信号を検波するよう構成され、前記第２検波器は、前記検出コイルにより検出された検出信号のうち前記第２励磁コイルに関する信号を検波するよう構成されてなることを特徴とする。
【０００９】
本発明の渦流探傷装置においては、第１励磁コイルは、所定方向に配列されかつ差動型コイルとされたコイル要素対を有し、第２励磁コイルは、所定方向に配列されかつ差動型コイルとされたコイル要素対を有してなるのが好ましい。その場合、コイル要素がプリント・コイルとされてなるのがさらに好ましい。
【００１０】
また、本発明の渦流探傷装置においては、第１励磁電流と第２励磁電流とは同期され、かつ一方の周波数は他方の周波数の所定倍とされてなるのが好ましい。
【００１１】
【作用】
本発明の渦流探傷装置は、前記の如く構成されているので、鋼材の疵をその方向性の如何にかかわらず精度よく検出できる。また、探傷に際し第１励磁コイルと第２励磁コイルとを切り替える必要がないので、励磁コイルの切替に伴うノイズの発生を回避できて検出精度のより一層の向上およびサイクルタイムの短縮が図られる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【００１３】
図１に、本発明の一実施形態に係る渦流探傷装置の概略構成をブロック図で示す。この渦流探傷装置（以下、単に装置という）Ａは、所定の配置で設けられる２組の励磁コイル１Ａ、１Ｂを有する励磁部１と、検出コイル２Ａを有する検出部２と、増幅器ＡＭＰにより増幅された検出コイル２Ａの出力信号ａが入力される２系統の検波器３Ａ、３Ｂを有する検波部３とを備え、励磁部１の励磁コイル１Ａ、１Ｂのそれぞれに異なる周波数ｆ１，ｆ２の電流（以下、励磁電流という）ｂ（ｂ１、ｂ２）を供給する一方、各検波器３Ａ、３Ｂにより検出部２の検出信号を各励磁コイル１Ａ、１Ｂに関する検出信号毎に検波するようにして疵を検出するものとされる。
【００１４】
ここで、図２に示すように、第１励磁電流ｂ１の周波数ｆ１と第２励磁電流ｂ２の周波数ｆ２とは、一方（例えば第１励磁電流ｂ１）の周波数ｆ１が他方（例えば第２励磁電流ｂ２）の周波数の所定倍例えば２倍とされ、また位相は第１励磁電流ｂ１がｃｏｓ｛２π・ｆ１・（ｔ）｝（ｔ：ｔは時間を表す変数）で表されるとき、第２励磁電流ｂ２がｃｏｓ｛２π・ｆ２・（ｔ）｝で表されるように同期される。
【００１５】
このとき、検出部２の出力信号ａは、下記式１に示すように、第１励磁電流ｂ１および第２励磁電流ｂ２と同一の周波数ｆ１，ｆ２を有し、位相がそれぞれαおよびβずれた各成分を重畳した信号となる。
【００１６】
ａ＝ｋ１・ｃｏｓ｛２π・ｆ１・（ｔ）＋α｝＋ｋ２・ｃｏｓ｛２π・ｆ２・（ｔ）　＋β｝　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（１）
【００１７】
ただし、ｋ１、ｋ２：各成分の振幅を表す係数、である。
【００１８】
次に、かかる検出信号の検波部３の第１検波器３Ａおよび第２検波器３Ｂによる検波について説明する。
【００１９】
第１検波器３Ａは、前述したように、検出信号のうち第１励磁コイルに関する信号を検波するものとされているが、これは次のようにしてなされる。
【００２０】
第１検波器３Ａに第１励磁電流ｂ１と同周期かつ同位相の信号ｃ１（＝ｃｏｓ｛２π・ｆ１・（ｔ）｝）およびこれより位相が９０度遅れた信号ｄ１（＝ｓｉｎ｛２π・ｆ１・（ｔ）｝）が入力され、信号ｃ１、ｄ１を参照して検出コイル２Ａの出力信号ａに対して周波数ｆ１に関して検波を実施し、検波結果を表す信号ｅ１（＝（ｋ１／２）・ｃｏｓα）、ｇ１（＝（ｋ１／２）・ｓｉｎ（−α））を出力することによりなされる。
【００２１】
第２検波器３Ｂにおいても第１検波器３Ａと同様に、励磁電流ｂ２と同周期かつ同位相の信号ｃ２（＝ｃｏｓ｛２π・ｆ２・（ｔ）｝）およびこれより位相が９０度遅れた信号ｄ２（＝ｓｉｎ｛２π・ｆ２・（ｔ）｝）が入力され、信号ｃ２、ｄ２を参照して検出コイル２Ａの出力信号ａに対して周波数ｆ２に関して検波を実施し、検波結果を表す信号ｅ２（＝（ｋ２／２）・ｃｏｓβ）、ｇ２（＝（ｋ２／２）・ｓｉｎ（−β））を出力するものとされる。
【００２２】
以下、励磁部１および検出部２の構成を具体的に説明する。
【００２３】
励磁部１は、例えば厚みが約１００μｍ（マイクロ・メートル）のポリイミド樹脂からなる絶縁材薄膜４（図５参照）に、所定パターンのプリント配線を施すようにして形成されるプリント・コイル（コイル要素）を、差動型コイルとなるよう結線してなるコイル要素対からなる第１および第２励磁コイル１Ａ、１Ｂを有するものとされ、検出部２は前記第１励磁コイル１Ａおよび第２励磁コイル１Ｂにより励磁された個所を探傷できるようされてなるプリント・コイル（コイル要素）からなる検出コイル２Ａを有するものとされる。そして、かかる構成とされた各コイル（コイル要素）を有する励磁部１および検出部２が、装置Ａの探傷プローブを構成するフェライトコアからなる基材Ｐの被探傷材Ｍに対向する面Ｐａに絶縁材薄膜４（４Ｃ）を介して積層されて（図５参照）、被探傷材Ｍに面対させられる。
【００２４】
図３に、励磁部１の第１励磁コイル１Ａおよび第２励磁コイル１Ｂを構成しているプリント・コイルの結線を含む配列パターンの詳細を示す。
【００２５】
同図に示すように、第１励磁コイル１Ａおよび第２励磁コイル１Ｂは、例えば絶縁材薄膜４（４Ａ）（図５参照）の両面に形成されたプリント・コイル群５、６の各プリント・コイル５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄおよび６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄを、その中心が１つの正方形の各頂点に位置するよう配列するとともに、各対角に位置するプリント・コイル対が差動型コイルとなるようその巻線パターンが設定されかつ結線がなされている。すなわち、第１励磁コイル１Ａおよび第２励磁コイル１Ｂは、プリント・コイル対５Ａー５Ｄ、５Ｂー５Ｃ、６Ａー６Ｄ、６Ｂー６Ｃが、差動型コイルとなるよう巻線パターンが設定および結線がなされてなる２層構造とされる。
【００２６】
なお、図３は、各プリント・コイル群を被探傷材Ｍ側から見た図を示す。
【００２７】
以下、プリント・コイル群の各層について、面Ｐａにより近いもの、つまり下層から順に第１層、第２層、…という。
【００２８】
第１層のプリント・コイル群５は、より具体的には、巻線パターンが試験材側から見て例えば右回りに中心に進む角形渦巻状の第１コイル５Ａと、これと隣合うように配され第１コイル５Ａと同様の渦巻状の配線パターンからなる第２コイル５Ｂと、第２コイル５Ｂに対して前掲した正方形の対角位置に配され第１コイル５Ａと同様の渦巻状の配線パターンからなる第３コイル５Ｃと、第１コイル５Ａに対して前掲した正方形の対角位置に配され第１コイル５Ａと同様の渦巻状の配線パターンからなる第４コイル５Ｄとから構成される。
【００２９】
第２層のプリント・コイル群６は、より具体的には、巻線パターンが第１コイル５Ａと逆回りに中心に進む角形渦巻状の第５コイル６Ａと、これと隣合うように配され第５コイル６Ａと同様の渦巻状の配線パターンからなる第６コイル６Ｂと、第６コイル６Ｂに対して前掲した正方形の対角位置に配され第５コイル６Ａと同様の渦巻状の配線パターンからなる第７コイル６Ｃと、第５コイル６Ａに対して前掲した正方形の対角位置に配され第５コイル６Ａと同様の渦巻状の配線パターンからなる第８コイル６Ｄとから構成される。
【００３０】
そして、プリント・コイル群５、６においては、対応する各層のコイル、すなわち第１コイル５Ａと第５コイル６Ａ、第２コイル５Ｂと第６コイル６Ｂ、第３コイル５Ｃと第７コイル６Ｃ、第４コイル５Ｄと第８コイル６Ｄとが、それぞれ磁界を強め合うよう中心および巻線を互いに重ねて設けられるものとされる（図５参照）。
【００３１】
また、第１励磁コイル１Ａの各コイル対５Ａ−５Ｄ，６Ａ−６Ｄを差動型コイルとする結線は、次のようにしてなされる。すなわち、第１コイル５Ａの中心側線端が、絶縁材薄膜４Ａに穿設されるスルーホール（不図示である、以下同様）を介して第５コイル６Ａの中心側線端と接続され、第５コイル６Ａの外周側線端が、第８コイル６Ｄの外周側線端と接続され、第８コイル６Ｄの中心側線端が、絶縁材薄膜４Ａに穿設されるスルーホールを介して第４コイル５Ｄの中心側線端と接続され、これによって、コイル対５Ａ−５Ｄ，６Ａ−６Ｄが差動型コイルとされる。
【００３２】
一方、第２励磁コイル１Ｂの各コイル対５Ｂ−５Ｃ，６Ｂ−６Ｃを差動型コイルとする結線は、次のようにしてなされる。すなわち、第５コイル６Ｂの中心側線端が、絶縁体薄膜４Ａに穿設されるスルーホールを介して第２コイル５Ｂの中心側線端と接続され、第２コイル５Ｂの外周側線端が、第３コイル５Ｃの外周側線端と接続され、第３コイル５Ｃの中心側線端が、絶縁体薄膜４Ａに穿設されるスルーホールを介して第７コイル６Ｃの中心側線端と接続され、これによって、コイル対５Ｂ−５Ｃ，６Ｂ−６Ｃが差動型コイルとされる。
【００３３】
以上のようにして、励磁部１においては、前掲した正方形の一つの対角にそれぞれ配される各プリント・コイル対、つまり第１コイル５Ａと第４コイル５Ｄとの対および第５コイル６Ａと第８コイル６Ｄとの対が差動型コイルとされた第１励磁コイル１Ａが形成され、他の一つの対角にそれぞれ配される各プリント・コイル対、つまり第２コイル５Ｂと第３コイル５Ｃの対および第６コイル６Ｂと第７コイル６Ｃとの対が差動型コイルとされた第２励磁コイル１Ｂが形成され、これにより２組の励磁コイル、すなわち第１励磁コイル１Ａおよび第２励磁コイル１Ｂが直交して配置されるものとされる。
【００３４】
次に、図４を参照して検出部２を説明する。同図に示すように、検出部２は、例えば絶縁体薄膜４（４Ｂ）（図５参照）の両面にプリント・コイル７、８を設けるようにしてなる２層構造とされる検出コイル２Ａからなるものとされる。なお、図４は、被探傷材Ｍ側から見た図を示す。
【００３５】
プリント・コイル７、８は、具体的には、励磁部１を構成するプリント・コイル群５、６の上層、すなわち第３層および第４層にそれぞれ配され、前掲した正方形と同心状に形成されて第１および第２励磁コイル１Ａ、１Ｂに励磁された個所を探傷できる、角形渦巻状の配線パターンから構成されている。
【００３６】
すなわち、第３層のプリント・コイル７は右回りに内側に進む渦巻状の配線パターンからなる１つのコイル（以下、第９コイルという）７からなり、第４層のプリント・コイル８はこれと逆回りに内側に進む渦巻状の配線パターンからなる１つのコイル（以下、第１０コイルという）８からなり、第９コイル７と第１０コイル８とは中心および配線が互いに重なるように形成されている。
【００３７】
そして、検出コイル２Ａは、第９コイル７の中心側先端は絶縁体薄膜４Ｂに穿設されるスルーホール（不図示である、以下同じ）を介して第１０コイル８の中心側先端と接続され、これによって、第９コイル７の外周側先端を一端とし第１０コイル８の外周側先端を他端とすることにより形成される。
【００３８】
図５に、励磁部１および検出部２の積層態様を模式的に示す。同図に示すように、励磁部１と検出部２とは絶縁材薄膜４Ｃを介して積層される。なお、図５中の符号Ｗは疵を示す。
【００３９】
以下、図６および図７を参照して、かかる構成の励磁部１および検出部２を用いた渦流探傷について説明する。
【００４０】
図６に、励磁部１の第１および第２励磁コイル１Ａ、１Ｂと各種疵Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４との相対位置関係を模式化して示す。同図において、白抜き矢印Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４は、各疵Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４が差動コイル１Ａ、１Ｂに対して移動する方向を示す。
【００４１】
図７に、各疵Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４に対応する検波信号（検波部３の出力信号）を示す。同図（ａ）は第１検波器３Ａの検波信号ｅ１、ｇ１を示し、同図（ｂ）は第２検波器３Ｂの検波信号ｅ２、ｇ２を示す。
【００４２】
疵がない個所で第１および第２励磁コイル１Ａ、１Ｂをそれぞれ周波数ｆ１、ｆ２の励磁電流、つまり第１および第２励磁電流ｂ１、ｂ２で励磁すると、検出コイル２Ａは全体としてバランスして出力信号ａは安定する。したがって、疵が存在しないときには検波信号は平坦となる。
【００４３】
その逆に、疵が第１および第２励磁コイル１Ａ、１Ｂを構成する各コイル対（５Ａおよび５Ｄ、５Ｂおよび５Ｃ）の対向位置を順次通過したときには、対応する周波数ｆ１、ｆ２の検波信号に変化が表れる。このため、検波信号ｅ１、ｇ１および検波信号ｅ２、ｇ２の波形を比較することにより、第１および第２励磁コイル１Ａ、１Ｂのいずれの対向位置に疵があるのかが判別できる。つまり、検波信号ｅ１、ｇ１および検波信号ｅ２、ｇ２の波形の変化具合に基づいて、疵の位置およびその方向性を判別することができる。以下、具体的に述べる。
【００４４】
（１）図６に示すように、第１励磁コイル１Ａの一端側のコイル（第１コイル５Ａ、第５コイル６Ａ）および第２励磁コイル１Ｂの他端側のコイル（第３コイル５Ｃ、第７コイル６Ｃ）の中心を結ぶ、前掲した正方形の辺に平行な疵Ｗ１が矢印Ｖ１の方向に移動し、第１および第２励磁コイル１Ａ、１Ｂの各コイルを順次通過する場合には、図７に示すように、検波信号ｅ１、ｇ１および検波信号ｅ２、ｇ２に同波形の疵検出信号Ｗ１ａ、Ｗ１ｂが表れる。
【００４５】
（２）疵Ｗ１と垂直な方向に延びる疵Ｗ２が矢印Ｖ２の方向に移動し、第１および第２励磁コイル１Ａ、１Ｂの各コイルを順次通過する場合には、検波信号ｅ１、ｇ１および検波信号ｅ２、ｇ２に同波形かつ逆位相の疵検出信号Ｗ２ａ、Ｗ２ｂが表れる。
【００４６】
（３）第１励磁コイル１Ａの対角線と直交し、かつ第２励磁コイル１Ｂの対角線と平行な方向に延びる疵Ｗ３が矢印Ｖ３の方向に移動し、第１励磁コイル１Ａの各コイルを順次通過し、かつ第２励磁コイル１Ｂの各コイルを同時に通過する場合には、検波信号ｅ１、ｇ１に疵Ｗ１の場合と同波形の疵検出信号Ｗ３ａが表れ、かつ検波信号ｅ２、ｇ２に疵検出信号は表れない。
【００４７】
（４）逆に、第２励磁コイル１Ｂの対角線と直交しかつ第１励磁コイル１Ａの対角線と平行な方向に延びる疵Ｗ４が矢印Ｖ４の方向に移動し、第２励磁コイル１Ｂの各コイルを順次通過し、かつ第１励磁コイル１Ａの各コイルを同時に通過する場合には、検波信号ｅ１、ｇ１に疵検出信号は表れず、かつ検波信号ｅ２、ｇ２に疵Ｗ１の場合と同波形の疵検出信号Ｗ４ｂが表れる。
【００４８】
このように、実施形態の装置Ａにおいては、直交するように配置された２組の励磁コイル１Ａ、１Ｂに異なる周波数ｆ１、ｆ２（例；ｆ１、ｆ２：ｆ２＝２×ｆ１）の励磁電流ｂ１、ｂ２を供給し、これを励磁部１として使用するとともに、励磁部１のコイル群と同心状に形成されて、励磁コイル１Ａ、１Ｂに励磁された個所を探傷できるようにされてなる検出コイル２Ａの出力信号ａを、各周波数ｆ１、ｆ２毎に、つまり第１および第２励磁コイル１Ａ、１Ｂに関する検出信号毎に検波するようにして疵を検出するものとされる。これによって、本出願人の先の提案方法における励磁コイルの切替を実施することなく、疵の方向性に拘わらず、各種疵を精度良く検出することが可能となる。すなわち、励磁コイルの切替を実施することなく、差動型コイルを用いる場合の原理的な難点とされる疵検出感度の指向性を排除することが可能となる。
【００４９】
このため、コイル切替によるノイズの発生、回路の複雑化および時間的ロスを招くことなく、効率的にかつ精度良く疵を検出することが可能となる。
【００５０】
以上、本発明を実施形態に基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではなく、種々改変が可能である。例えば、実施形態では励磁コイルおよび検出コイルはプリント・コイルとされているが、励磁コイルおよび検出コイルはプリント・コイルに限定されるものではなく、各種コイルとすることができる。また、実施形態ではプリント・コイルは２層とされているが、３層以上とすることもできる。さらに、コイルを複数並べて広い範囲を効率よく探傷することもできる。
【００５１】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の渦流探傷装置によれば、構成の簡素化が図られているにもかかわらず、鋼材の疵をその方向性に関係なく精度よく検出できるという優れた効果が得られる。
【００５２】
また、本発明の渦流探傷装置によれば、探傷に際し第１励磁コイルと第２励磁コイルとを切り替える必要がないので、励磁コイルの切替に伴うノイズの発生を回避できて検出精度のより一層の向上およびサイクルタイムの短縮が図られるという優れた効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る渦流探傷装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】同渦流探傷装置の励磁部の差動コイルに供給される励磁電流の波形を示すグラフ図である。
【図３】励磁部の差動コイルの詳細を示す模式図である。
【図４】検出部の検出コイルの詳細を示す模式図である。
【図５】励磁部および検出部の積層態様を示す模式図である。
【図６】本発明の渦流探傷装置における疵検出原理を示す模式図である。
【図７】各種疵に対応する疵検出信号を示すグラフ図である。
【符号の説明】
Ａ　　　　　　　　　　　　渦流探傷装置
Ｗ　　　　　　　　　　　　疵
Ｍ　　　　　　　　　　　　被探傷材
１　　　　　　　　　　　　励磁部
１Ａ、１Ｂ　　　　　　　　励磁コイル
２　　　　　　　　　　　　検出部
２Ａ　　　　　　　　　　　検出コイル
３　　　　　　　　　　　　検波部
３Ａ、３Ｂ　　　　　　　　検波器
５、６　　　　　　　　　　プリント・コイル群
５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ　　プリント・コイル
６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ　　プリント・コイル
７、８　　　　　　　　　　プリント・コイル
【図１】
2004077231.tif 000003
【図２】
2004077231.tif 000004
【図３】
2004077231.tif 000005
【図４】
2004077231.tif 000006
【図５】
2004077231.tif 000007
【図６】
2004077231.tif 000008
【図７】
2004077231.tif 000009