(57)【要約】【課題】ディスク状記録媒体に対する浮上スライダの傾きを防止してディスク状記録媒体の損傷を防止する。【解決手段】浮上スライダ４を囲む枠体９を設け、浮上スライダを互いに対向する位置で同軸上に配置した一対の第１の連結部２０、２０によって上記枠体に支持し、枠体を互いに対向する位置であって上記一対の第１の連結部を結んだ線を第１の軸ｘとして該第１の軸と直交する軸上に配置した一対の第２の連結部２１、２１によってロードビームの先端部に支持し、上記一対の第２の連結部を結んだ線を第２の軸ｙとして該第２の軸と上記第１の軸とが交差する交点Ｉに浮上スライダの重心Ｇを位置させた。【選択図】　　　　　図６
2004087065.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状記録媒体上に記録用及び／又は読取用の光スポットを形成するための対物レンズと該対物レンズを支持するスライダ部とを有しディスク状記録媒体の回転により発生される空気流を受けて浮上する浮上スライダと、該浮上スライダを先端部に支持すると共に浮上スライダをディスク状記録媒体に近づける方向に付勢するロードビームとを備えた光学ヘッドであって、
上記浮上スライダをディスク状記録媒体に平行な面の面内において囲むように配置された枠体を有し、
上記浮上スライダは互いに対向する位置で同軸上に配置された一対の第１の連結部によって上記枠体に支持されており、
枠体は互いに対向する位置であって上記一対の第１の連結部を結んだ線を第１の軸として該第１の軸と直交する軸上に配置された一対の第２の連結部によって上記ロードビームの先端部に支持されており、
上記一対の第２の連結部を結んだ線を第２の軸として該第２の軸と上記第１の軸とが交差する交点に上記浮上スライダの重心を位置させた
ことを特徴とする光学ヘッド。
【請求項２】
上記浮上スライダの質量が５０ｍｇ以下であって、
上記第１の連結部又は第２の連結部を板状の材料で形成すると共に、
これら２組の連結部のうち少なくともディスク状記録媒体の径方向に対してほぼ直交する軸上に延びるように設けられた連結部の幅寸法に対する板厚寸法の比を０．５以下にした
ことを特徴とする請求項１に記載した光学ヘッド。
【請求項３】
少なくともディスク状記録媒体の径方向に対してほぼ直交する軸上に延びるように設けられた連結部の長さを１００μｍ乃至１０００μｍ、幅を５０μｍ乃至２００μｍに形成した
ことを特徴とする請求項２に記載した光学ヘッド。
【請求項４】
上記枠体と各連結部とを同一の材料で形成し、ディスク状記録媒体の径方向に対してほぼ直交する軸上に延びるように設けられた連結部の板厚を他の部分より薄くした
ことを特徴とする請求項２に記載した光学ヘッド。
【請求項５】
浮上スライダは上記枠体及び各連結部と同一の材料で一体に形成された支持プレートを有し、
上記スライダ部にディスク状記録媒体の記録面に対して直交する方向に貫通する光挿通孔を設け、
上記支持プレートのディスク状記録媒体側の面に上記スライダ部が支持されていると共に支持プレートの上記光挿通孔に対応する位置に対物レンズを位置させる対物レンズ載置孔が設けられ、
上記対物レンズを上記対物レンズ載置孔内に位置させると共に上記光挿通孔に対応するようにスライダ部に支持し、
上記スライダ部を上記第１の軸及び第２の軸を含む面よりディスク状記録媒体側に偏倚するように位置させた
ことを特徴とする請求項１に記載した光学ヘッド。
【請求項６】
上記支持プレートを枠体及び各連結部よりもディスク状記録媒体側に厚みが増すように厚肉に形成した
ことを特徴とする請求項５に記載した光学ヘッド。
【請求項７】
上記支持プレートとスライダ部との間にスペーサ部材を介在させた
ことを特徴とする請求項５に記載した光学ヘッド。
【請求項８】
上記第１の軸が延びる方向とディスク状記録媒体の径方向とがほぼ直交するように浮上スライダを配置した
ことを特徴とする請求項１に記載した光学ヘッド。
【請求項９】
ディスク状記録媒体を回転させる回転駆動機構と、ディスク状記録媒体から所定の間隔を空けて浮上した状態でディスク状記録媒体の記録面に沿って相対的に走行する光学ヘッドと、該光学ヘッドをディスク状記録媒体のほぼ径方向に移動させるためのヘッド移送機構とを備えた光ディスクドライブ装置において、
上記光学ヘッドが、ディスク状記録媒体上に記録用及び／又は読取用の光スポットを形成するための対物レンズと該対物レンズを支持するスライダ部とを有しディスク状記録媒体の回転により発生される空気流を受けて浮上する浮上スライダと、該浮上スライダを先端部に支持すると共に浮上スライダをディスク状記録媒体に近づける方向に付勢するロードビームとを備えた光学ヘッドであり、
上記浮上スライダをディスク状記録媒体に平行な面の面内において囲むように配置された枠体を有し、
上記浮上スライダは互いに対向する位置で同軸上に配置された一対の第１の連結部によって上記枠体に支持されており、
枠体は互いに対向する位置であって上記一対の第１の連結部を結んだ線を第１の軸として該第１の軸と直交する軸上に配置された一対の第２の連結部によって上記ロードビームの先端部に支持されており、
上記一対の第２の連結部を結んだ線を第２の軸として該第２の軸と上記第１の軸とが交差する交点に上記浮上スライダの重心を位置させた
ことを特徴とする光ディスクドライブ装置。
【請求項１０】
上記浮上スライダの質量が５０ｍｇ以下であって、
上記第１の連結部又は第２の連結部を板状の材料で形成すると共に、
これら２組の連結部のうち少なくともディスク状記録媒体の径方向に対してほぼ直交する軸上に延びるように設けられた連結部の幅寸法に対する板厚寸法の比を０．５以下にした
ことを特徴とする請求項９に記載した光ディスクドライブ装置。
【請求項１１】
少なくともディスク状記録媒体の径方向に対してほぼ直交する軸上に延びるように設けられた連結部の長さを１００μｍ乃至１０００μｍ、幅を５０μｍ乃至２００μｍに形成した
ことを特徴とする請求項１０に記載した光ディスクドライブ装置。
【請求項１２】
上記枠体と各連結部とを同一の材料で形成し、ディスク状記録媒体の径方向に対してほぼ直交する軸上に延びるように設けられた連結部の板厚を他の部分より薄くした
ことを特徴とする請求項１０に記載した光ディスクドライブ装置。
【請求項１３】
浮上スライダは上記枠体及び各連結部と同一の材料で一体に形成された支持プレートを有し、
上記スライダ部にディスク状記録媒体の記録面に対して直交する方向に貫通する光挿通孔を設け、
上記支持プレートのディスク状記録媒体側の面に上記スライダ部が支持されていると共に該支持プレートの上記光挿通孔に対応する位置に対物レンズを位置させる対物レンズ載置孔が設けられ、
上記対物レンズを上記対物レンズ載置孔内に位置させると共に上記光挿通孔に対応するようにスライダ部に支持し、
上記スライダ部を上記第１の軸及び第２の軸を含む面よりディスク状記録媒体側に偏倚するように位置させた
ことを特徴とする請求項９に記載した光ディスクドライブ装置。
【請求項１４】
上記支持プレートを枠体及び各連結部よりもディスク状記録媒体側に厚みが増すように厚肉に形成した
ことを特徴とする請求項１３に記載した光ディスクドライブ装置。
【請求項１５】
上記支持プレートとスライダ部との間にスペーサ部材を介在させた
ことを特徴とする請求項１３に記載した光ディスクドライブ装置。
【請求項１６】
上記第１の軸が延びる方向とディスク状記録媒体の径方向とがほぼ直交するように浮上スライダを配置した
ことを特徴とする請求項９に記載した光ディスクドライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスク状記録媒体上に記録用及び／又は読取用の光スポットを形成するための対物レンズを備え、ディスク状記録媒体から所定の間隔を空けて浮上した状態でディスク状記録媒体の記録面に沿って相対的に走行する光学ヘッド及びこれを備えた光ディスクドライブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光ディスクドライブ装置においては、光の回折限界によりスポット径を１μｍ以下にすることができず、スポット径の極小化により記録密度の高密度化を図ることには限界があった。
【０００３】
ところが、近年、レンズの高ＮＡ化（０．８以上）やエバネッセント光を利用した光ディスクドライブ装置が開発され、スポット径を０．２〜０．３μｍにすることが可能となった。エバネッセント光を利用するには、ディスク状記録媒体に最も近接した光学部品とディスク状記録媒体との間の間隔（スペーシング量）を波長の１／１０程度にする必要がある。
【０００４】
例えば、赤色レーザ光（波長：６４０ｎｍ）を用いる場合には、上記スペーシング量を６４ｎｍ位にする必要があり、また、短波長の青色レーザ光（波長：４５７ｎｍ）を使用する場合にはスペーシング量を４５．７ｎｍ位にする必要がある。
【０００５】
スペーシング量を少なくする技術として、従来から磁気ディスクドライブ装置において浮上スライダが採用されており、現在、磁気ヘッドとディスク状記録媒体との間のスペーシング量を１０ｎｍ〜１５ｎｍ位にすることができる。
【０００６】
そこで、光ディスクドライブ装置においても、浮上スライダの技術を用いることにより、スペーシング量をレーザ光の波長の１／１０位にすることが検討されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、浮上スライダを光ディスクドライブ装置において採用する場合、浮上スライダは少なくとも光学部品である対物レンズを備える必要がある。
【０００８】
浮上スライダーが対物レンズを有する場合には、対物レンズの質量が、通常、浮上スライダを構成する対物レンズ以外の部材の総質量よりもかなり大きいため、浮上スライダの重心は対物レンズ側に大きく偏ることになる。
【０００９】
このような浮上スライダをディスク状記録媒体に近づく方向へ付勢するロードビームの先端部に支持させて、ロードビームの先端部をディスク状記録媒体の径方向、即ちシーク方向に移動させた場合、上記浮上スライダの重心周りに回動力が生じ、浮上スライダのディスク状記録媒体に対する姿勢が傾く虞がある。
【００１０】
ディスク状記録媒体に対して浮上スライダが傾いてしまうと、上記したようにスペーシング量を小さくした場合、浮上スライダがディスク状記録媒体に接触して、ディスク状記録媒体を傷つけてしまうという問題がある。
【００１１】
光学ヘッドにあっては上記したように対物レンズの質量が大きく、浮上スライダ全体の質量は１０ｍｇ位になるものと予想され、さらに、対物レンズのほか、他のマイクロ光学部品、例えば、コリメータレンズなどをスライダ部に搭載する場合には、浮上スライダの質量は３０ｍｇ以上になることが予想され、上記した重心周りに発生する回動力が大きくなり、これによる浮上スライダの傾きが大きくなることが予想される。
【００１２】
尚、上記磁気ディスクドライブ装置における磁気ヘッドを備えた浮上スライダにあっては、磁気ヘッドを薄膜製造プロセスにより形成することで浮上スライダの質量を１ｍｇ位にすることができ、また、その体積も小さくすることができる。そのため、磁気ヘッドを備えた浮上スライダをシーク時に移動させても、浮上スライダの重心周りに発生する回動力が小さく、浮上スライダのディスク状記録媒体に対する傾きが問題となることはない。
【００１３】
浮上スライダはディスク状記録媒体の記録面に対して常に平行な関係を保つようにするため、いわゆるジンバル構造を介してロードビームに支持されている。
【００１４】
このジンバル構造は、浮上スライダをロール方向（シーク方向と同じ方向。）及びロール方向に直交しディスク状記録媒体の記録面に沿う方向であるピッチ方向に回動自在に支持するため、互いに直交する２つの軸で浮上スライダを支えるものである。このジンバル構造における上記２軸の軸周り方向におけるねじり剛性はできる限り小さく設定されており、浮上スライダのディスク状記録媒体に対する追従性が良好になるようにされている。
【００１５】
そのため、質量が大きくなった光学ヘッドの浮上スライダをシーク方向に移動させると、上記した回動力はさらに大きくなってしまい、これに伴い浮上スライダの傾きもさらに大きくなってしまうという問題が生じる。
【００１６】
従って、シーク時に生じる浮上スライダの傾きは光学ヘッドの方が磁気ヘッドに比べ遙かに大きくなることが予想される。
【００１７】
そこで、本発明はディスク状記録媒体に対する浮上スライダの傾きを防止してディスク状記録媒体の損傷を防止することを課題とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明光学ヘッド及び光ディスクドライブ装置は、上記した課題を解決するために、浮上スライダをディスク状記録媒体に平行な面の面方向において囲むように配置された枠体を設け、上記浮上スライダを互いに対向する位置で同軸上に配置した一対の第１の連結部によって上記枠体に支持し、枠体を互いに対向する位置であって上記一対の第１の連結部を結んだ線を第１の軸として該第１の軸と直交する軸上に配置した一対の第２の連結部によって上記ロードビームの先端部に支持し、上記一対の第２の連結部を結んだ線を第２の軸として該第２の軸と上記第１の軸とが交差する交点に上記浮上スライダの重心を位置させたものである。
【００１９】
従って、本発明光学ヘッド及び光ディスクドライブ装置にあっては、光学ヘッドのシーク時にロードビームの先端をディスク状記録媒体のほぼ径方向に移動させたときに、浮上スライダの重心に上記移動力が作用する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明光学ヘッド及び光ディスクドライブ装置の実施の形態について添付図面を参照して説明する。
【００２１】
先ず、光ディスクドライブ装置１の概要を説明する。
【００２２】
光ディスクドライブ装置１は、ディスク状記録媒体２を回転させる回転駆動機構３と、ディスク状記録媒体２の記録面から所定の間隔を空けて浮上した状態でディスク状記録媒体２の記録面に沿って相対的に走行する浮上スライダ４を有する光学ヘッド５と、該光学ヘッド５をディスク状記録媒体２のほぼ径方向に移動させるヘッド移送機構６とを備える（図１参照）。
【００２３】
光学ヘッド５は、ヘッド移送機構６の支持ベース７から突出されたロードビーム８と、該ロードビーム８の先端部８ａに支持されディスク状記録媒体２の回転により発生される空気流を受けて浮上する浮上スライダ４とを有する（図２参照）。
【００２４】
浮上スライダ４は、ロードビーム８にジンバル構造９を介して支持され、互いに直交する２軸の軸周り方向にそれぞれ回動自在とされている。（図２、図６参照）。
【００２５】
浮上スライダ４は、ディスク状記録媒体２の記録面上に記録用及び／又は読取用の光スポットを形成するための対物レンズ１１と該対物レンズ１１を支持するスライダ部１２とを有し、ディスク状記録媒体２の回転により発生される空気流Ｆを受けて浮上するようになっている（図８参照）。
【００２６】
上記ヘッド移送機構６は、ディスク状記録媒体２の径方向と平行に延びる２つのガイド軸１３、１３と、該ガイド軸１３、１３に摺動自在に支持されたキャリッジ１４と、該キャリッジ１４の両側部においてキャリッジ１４に推進力を与えるためのボイスコイルモータ１５、１５とを備え、上記キャリッジ１４に上記支持ベース７が固定され、これにより、光学ヘッド５がディスク状記録媒体２の径方向へ移動自在とされる（図１参照）。
【００２７】
上記ロードビーム８はジンバル構造９を介して浮上スライダ４を支持する本体部１０と該本体部１０を上記支持ベース７に連結する２つの支持板バネ部１６、１６とから成る（図２参照）。
【００２８】
ここで、光学ヘッド５に要求される特性について説明する。
【００２９】
光学ヘッド５においてはヘッド移送機構６のキャリッジ１４の動きを上記ロードビーム８及びジンバル構造９を介して正確に浮上スライダ４に伝達する必要がある。
【００３０】
そのためには▲１▼各部の軽量化▲２▼各部の剛性について考慮する必要がある。
【００３１】
先ず、▲１▼各部の軽量化に関しては、対物レンズ１１を構成要素とする浮上スライダ４は、対物レンズ１１の質量が大きいため軽量化は図りにくい。また、ロードビーム８は、ある程度の剛性が必要であるために板厚を薄くすることができず軽量化は図りにくい。しかし、各部の軽量化を行うことができれば、後述する構造共振周波数の高域化を図ることができる。
【００３２】
また、▲２▼各部の高剛性化については、２つの方向において考察する必要がある。１つ目はヘッド移送機構６の移送方向における剛性であり、２つ目はディスク状記録媒体２の記録面と直交する方向における剛性である。
【００３３】
先ず、前者（ヘッド移送機構６の移送方向における剛性）について考察する。
【００３４】
ヘッド移送機構６のキャリッジ１４のディスク状記録媒体２の径方向おける動きを正確に浮上スライダ４に伝達するためには、キャリッジ１４の動きと浮上スライダ４の動きとが完全に同期することが好ましく、そのためには、キャリッジ１４と浮上スライダ４との間に介在されるロードビーム８及びジンバル構造９はディスク状記録媒体２の記録面と平行面内の径方向において剛体であることが望ましい。これは、目標の記録トラックに向けて浮上スライダ４をディスク状記録媒体２の径方向に高速移動させる所謂シーク動作、或いは、トラッキング動作を行ったときに、浮上スライダ４が精度良く位置決めされる必要があるからである。
【００３５】
ところが、ロードビーム８及びジンバル構造９が完全剛体ではないため、高速のシーク動作、或いは、トラッキング動作の際に構造共振が起こり、制御量と、浮上スライダの実変位、及び位相との間にずれが発生する。この構造共振により、サーボ帯域が決定される。このため、光学ヘッド５のディスク状記録媒体２の径方向における構造共振周波数の高域化を図る必要があり、この具体的数値としては、１０ｋＨｚ以上であることが好ましいとされている。
【００３６】
次に、後者（ディスク状記録媒体２の記録面と直交する方向における剛性）について考察する。
【００３７】
浮上スライダ４はディスク状記録媒体２の記録面に対して常に平行な関係に保たれる必要があり、ディスク状記録媒体２の面振れに追従させるために、ディスク状記録媒体２の記録面と直交する方向においてはできる限りロードビーム８の剛性が低いことが必要である。
【００３８】
このような光学ヘッド５に要求される特性を踏まえ、光学ヘッド５は以下のように形成されている。
【００３９】
尚、この実施の形態において、上記支持ベース７、ロードビーム８及びジンバル構造９を構成する部材は同一の板バネ材料により一体に形成されている。これらを形成するための同一のバネ材料には、例えば、板厚が１２５μｍのものが使用される。
【００４０】
ロードビーム８は基端、即ち、上記支持ベース７側の端８ｂから浮上スライダ４の重心Ｇまでの長さをＨとし、ロードビーム８の基端８ｂの幅をＷとしたときに、Ｈ／Ｗが１：１になるように形成されている。具体的数値としては、例えば、Ｈ＝８ｍｍ、Ｗ＝８ｍｍに形成されている（図４（ｂ）参照）。
【００４１】
ロードビーム８の本体部１０は支持ベース７からの突出方向と直交する方向における長さ（以下、ロードビームについて「幅」という。）が、基端８ｂから先端部８ａに近づくに従って漸減されており、本体部１０は全体として平面形状で見てほぼ２等辺三角形をなすように形成されている（図２参照）。上記２つの支持板バネ部１６、１６は本体部１０の基端８ｂの幅方向における両端部に形成されている。
【００４２】
ロードビーム８の本体部１０は上記板バネ材料の板厚がそのまま、即ち、１２５μｍの板厚で形成され、支持板バネ部１６、１６はエッチングによりその板厚が薄くされ、例えば、３０μｍに形成されている。これにより、浮上スライダ４がディスク状記録媒体２に対して離接する方向（ディスク状記録媒体２の記録面と直交する方向）におけるロードビーム８の剛性が小さくなるように形成されている（図５参照）。
【００４３】
ロードビーム８の本体部１０の幅を基端８ｂから先端に近づくに従って漸減するように形成したので、ロードビーム８のシーク動作、及びトラッキング動作時の等価質量を小さくすることができ、上記構造共振周波数の高域化を可能にすると共に先端部８ａの軽量化が図られることにより浮上スライダ４の浮上安定性を確保することができる（図２参照）。ロードビーム８の先端部８ａの質量が大きい場合には、ディスク状記録媒体２の記録面の面振れなどに対する追従性が悪化するからである。
【００４４】
また、ロードビーム８の本体部１０の幅方向における両側縁には、それぞれ折曲部１７、１７が形成されている（図２参照）。これにより、ロードビーム８の本体部１０の板厚方向、即ちディスク状記録媒体２の記録面と直交する方向における剛性が高められている（図３参照）。従って、上記ロードビーム８の浮上スライダ４がディスク状記録媒体２に対して離接する方向における剛性は、本体部１０の剛性を考慮せずに上記支持板バネ部１６、１６の剛性のみを考慮して設計することができ、ロードビーム８の設計が容易になる。
【００４５】
上記支持板バネ部１６、１６の幅をｗｒとし、板厚をｔｒとすると、支持板バネ部１６、１６はｗｒ／ｔｒが大きくなるように形成されており、具体的数値例としては、ｗｒ＝７５μｍ、ｔｒ＝３０μｍに形成されている（図２、図５参照）。これにより、支持板バネ部１６、１６のディスク状記録媒体２の記録面に対して直交する方向における剛性を低くすることができ、浮上スライダ４の浮上安定性を確保することができる。
【００４６】
浮上スライダ４を直交する２軸の各軸の軸周り方向に回動自在に支持するジンバル構造９は、上記ロードビーム８の本体部１０の先端部８ａに形成されたほぼ矩形のジンバル配置孔１８内に配置されている（図２参照）。
【００４７】
ジンバル構造９は、図６に示すように、上記浮上スライダ４をディスク状記録媒体２の記録面に平行な面の面内において囲むように配置され上記ジンバル配置孔１８よりも一回り小さな矩形をした枠体１９と、該枠体１９と上記浮上スライダ４とを互いに対向する位置でかつ同軸上で連結する第１の連結部２０、２０と、該第１の連結部２０、２０を結んだ線を第１の軸ｘとして、該第１の軸ｘと直交する軸上に配置され上記枠体１９とジンバル配置孔１８の周縁との間を連結する第２の連結部２１、２１とから成る。
【００４８】
上記第１の軸ｘはロードビーム８の突出方向（シーク方向）と直交する方向、即ち、記録トラックの接線方向と平行になるように位置されている。
【００４９】
第２の連結部２１、２１を結んだ線を第２の軸ｙとすると、該第２の軸ｙはロードビーム８の突出方向（シーク方向）と平行になるように位置され、両軸ｘ、ｙが交差する交点Ｉに上記浮上スライダ４の重心Ｇが位置されている（図６参照）。
【００５０】
第１の連結部２０、２０と第２の連結部２１、２１とを比較すると、第１の連結部２０、２０が支えるものの質量の方が第２の連結部２１、２１が支えるものの質量より小さい。従って、第１の連結部２０、２０をロードビーム８の突出方向（シーク方向）と直交する方向、即ち、記録トラックの接線方向と平行になる向きに配置したので、第２の連結部２１、２１を同じ向きに配置する場合に比較してディスク状記録媒体２の径方向における連結部の構造共振周波数の高域化を図ることができる。
【００５１】
仮に、上記第２の連結部２１、２１をロードビーム８の突出方向（シーク方向）と直交する方向に配置したとすると、シーク時又はトラッキング時に最も変形する連結部が第２の連結部２１、２１となる。第２の連結部２１、２１が支えるものは枠体１９、第１の連結部２０、２０、後述する支持プレート及び浮上スライダ４であるため、第２の連結部２１、２１が支えるものの質量は第１の連結部２０、２０が支えているものの質量よりも枠体１９及び第１の連結部２０、２０の分だけ大きくなる。
【００５２】
そして、支えるものの質量が大きくなれば、その分慣性の影響が大きくなり、シーク時又はトラッキング時の構造共振周波数が下がることになる。
【００５３】
以上のことより、この実施の形態のように小さな質量を支えている第１の連結部２０、２０をロードビーム８が突出する方向と直交する方向に配置することが有効である（図６参照）。
【００５４】
また、上記第１の連結部２０、２０が支持する浮上スライダ４は上記ジンバル構造９を構成する各部と同一の板バネ材料で形成された支持プレート２２を有する。
【００５５】
支持プレート２２は、上記板バネ材料のそのままの板厚、即ち、１２５μｍの板厚で形成され、上記枠体１９の板厚はディスク状記録媒体２の記録面に対向する面がエッチングにより削られて１００μｍに形成され、各連結部２０、２０、２１、２１の板厚（ｔｊ）はその両面がエッチングにより削られて３０μｍに形成されかつ連結部２０、２０、２１、２１の板厚方向における中央と上記枠体１９の板厚方向における中央とが一致するようになっている（図７参照）。
【００５６】
従って、支持プレート２２は枠体１９及び各連結部２０、２０、２１、２１よりもディスク状記録媒体２側に厚みが増すように厚肉にされ、支持プレート２２のディスク状記録媒体２側の面は枠体１９のディスク状記録媒体２側の面よりも２５μｍだけディスク状記録媒体２側に偏倚して位置される（図７参照）。
【００５７】
尚、支持ベース７、ロードビーム８、ジンバル構造９及び支持プレート２２を１つの板バネ材料で一体に形成するに際して、薄肉化する部分をエッチングにより形成したが、板バネ材料が金属材料である場合には、例えば、ウェットエッチングによるのが好適である。また、板バネ材料がプラスチック又はセラミックのようなものである場合には、イオンミリング、微粒子噴射加工法等を用いて薄肉にすることが可能である。
【００５８】
また、スライダ部１２はこれをディスク状記録媒体２の記録面に対して直交する方向から見て支持プレート２２よりもやや大きく形成されており、スライダ部１２の一端部がディスク状記録媒体２の記録面に対して直交する方向から見て枠体１９に重なっている（図６及び図７参照）。しかしながら、重なった部分においてスライダ部１２と枠体１９との間の間隔は２５μｍあり、ジンバル構造９に対してスライダ部１２が傾いても、スライダ部１２が枠体１９に干渉することはない。
【００５９】
第１の連結部２０、２０の板厚方向における中央に位置する面と幅方向における中央に位置する面との交線が上記第１の軸ｘになり、また、第２の連結部２１、２１の板厚方向における中央に位置する面と幅方向における中央に位置する面との交線が上記第２の軸ｙとされている（図６参照）。
【００６０】
また、各連結部２０、２０、２１、２１の板厚ｔｊは３０μｍで、長さｌｊは３００μｍ、幅ｗｊは６０μｍに形成され、連結部２０、２０、２１、２１の幅寸法に対する板厚寸法の比ｔｊ／ｗｊが０．５以下に形成されている（図６及び図７参照）。これにより、ジンバル構造９の各連結部２０、２０、２１、２１のねじり剛性を低くすることができ、浮上スライダ４の浮上安定性を確保することができる。
【００６１】
浮上スライダ４は、上記支持プレート２２と、該支持プレート２２のディスク状記録媒体２側の面に接着により固定されたスライダ部１２と、該スライダ部１２の上記支持プレート２２側に設けられた対物レンズ１１と、該対物レンズ１１と同軸上の光軸を有しスライダ部１２のディスク状記録媒体２側に設けられた半球形をしたレンズ（以下、「ＳＩＬ」という。）２３とから成る（図８参照）。
【００６２】
ＳＩＬ２３は対物レンズ１１で集光した光ビームから回折限界を超えたスポット径を得るためのエバネッセント光を発生させる。
【００６３】
支持プレート２２にはその一端側に寄った位置に対物レンズ１１を位置させる対物レンズ載置孔２４が形成され、また、スライダ部１２にはディスク状記録媒体２の記録面に対して直交する方向に貫通する光挿通孔２５が形成されている。支持プレート２２とスライダ部１２とは、対物レンズ載置孔２４と光挿通孔２５とが同軸上に位置するように固定される（図８参照）。
【００６４】
対物レンズ１１は、その光軸が上記スライダ部１２の光挿通孔２５の中心軸と一致するようにスライダ部１２に固定されている（図８参照）。
【００６５】
ＳＩＬ２３はスライダ部１２の光挿通孔２５のディスク状記録媒体２側の開口付近に接着により固定され、半球面が対物レンズ１１に対向する向きとされている（図８参照）。
【００６６】
対物レンズ１１とＳＩＬ２３は光学ヘッド５の光学系における集光レンズ系を構成する。尚、この実施の形態にあっては、いわゆる、エバネッセント光を利用した光ディスクドライブ装置１に光学ヘッド５を適用したのでＳＩＬ２３が必要であるが、エバネッセント光を利用しない光ディスクドライブ装置における浮上スライダ４の集光レンズ系は対物レンズ１１のみで足りる。
【００６７】
スライダ部１２のディスク状記録媒体２側の面と反対側の面に対物レンズ１１が取着されるため、浮上スライダ４の重心Ｇはスライダ部１２の中心よりもディスク状記録媒体２と反対側に寄って位置されるが、上記したように、スライダ部１２をディスク状記録媒体２側に肉厚が増すように形成された支持プレート２２のディスク状記録媒体２側の面に接着により固定することにより、浮上スライダ４の重心Ｇを上記第１の軸ｘと第２の軸ｙとの交点Ｉに一致させることができる（図８参照）。
【００６８】
これにより、上記ヘッド移送機構６により光学ヘッド５をディスク状記録媒体２の径方向に移動させたときに、その移動力は浮上スライダ４に第１の連結部２０、２０の軸ｘを含む面内において作用するので、重心Ｇ周り方向における回動力が生じることがなく、従って、光学ヘッド５がヘッド移送機構６により移送されたときに浮上スライダ４が傾くことはない。
【００６９】
また、支持プレート２２、ジンバル構造９、ロードビーム８及び支持ベース７を同じ板バネ材料で一体に形成し、各部をエッチングにより薄肉化して所望の板厚に形成したので、その製造を安価にすることができる。
【００７０】
尚、上記浮上スライダ４にあっては、対物レンズ１１を備えることにより全体の重心Ｇがディスク状記録媒体２と反対側に偏倚してしまうのを、支持プレート２２をディスク状記録媒体２側に厚肉になるように枠体１９を薄肉化して、支持プレート２２のディスク状記録媒体２側の面にスライダ部１２を固定することにより防止しているが、これに限らず、支持プレート２２の板厚を枠体１９と同じに形成してスペーサ部材２６を介在させて重量バランスをとるようにしても良い（図１０参照）。
【００７１】
スペーサ部材２６を支持プレート２２とスライダ部１２との間に介在させる場合には、スペーサ部材２６の厚さを適宜選択するだけで浮上スライダ４の重量バランスをとることができる。
【００７２】
スライダ部１２のディスク状記録媒体２側の面に突出する３つの扁平突出部２７、２７、２７が形成されている（図８、図１１参照）。
【００７３】
扁平突出部２７、２７、２７とディスク状記録媒体２との間で空気流Ｆが圧縮されて浮上スライダ４に安定した浮上力が生じる。
【００７４】
具体的には、スライダ部１２の浮上スライダ４のディスク状記録媒体２に対する相対的な走行方向における前側部分に２つの扁平突出部２７、２７が形成され、また、スライダ部１２の幅方向における中央で後端に寄った位置に１つの扁平突出部２７が形成されている（図１１参照）。
【００７５】
前側の２つの扁平突出部２７、２７はスライダ部１２と一体に形成され、後側の扁平突出部２７は上記ＳＩＬ２３と一体に形成されている（図１１参照）。
【００７６】
後側の扁平突出部２７をＳＩＬ２３と一体に形成したため、光学部品であるＳＩＬ２３を浮上スライダ４のうち最もディスク状記録媒体２の記録面に近接して配置することができ、エバネッセント光を利用した光ディスクドライブ装置１において、ディスク状記録媒体２とのスペーシング量をできるだけ小さくすることができる（図８参照）。
【００７７】
尚、３つの扁平突出部２７、２７、２７のスライダ部１２からの突出量は、例えば、２μｍに形成され、上記スペーシング量は５０ｎｍであるため、浮上スライダ４が多少傾いても、ＳＩＬ２３はディスク状記録媒体２に対して最も近接した位置にあることになる（図９参照）。
【００７８】
しかして、上記実施の形態にかかる光学ヘッド５によれば、ロードビーム８のＨ／Ｗを１：１にしたので、ディスク状記録媒体２の径方向におけるロードビーム８の構造共振周波数を高くすることができ、浮上スライダ４のトラック幅方向における位置精度を高めることができる。このように浮上スライダ４のトラック幅方向における位置精度を高めることができるため、ディスク状記録媒体２の記録密度の向上に伴い光ビームのスポット径を小さくする場合でも、ビームスポットの記録トラックに対する追従性が向上する。
【００７９】
以下に、構造共振周波数とＨ／Ｗとの関係について説明する。
【００８０】
尚、構造共振周波数は上記したように１０ｋＨｚを目標値とする。
【００８１】
構造共振周波数の高域化を実現するためには、ロードビーム８の支持ベース７からの突出方向におけるねじり剛性及び突出方向と直交する方向における曲げ剛性を高くすることが必要である。
【００８２】
ロードビーム８の本体部１０の板厚をＴ、基端８ｂにおけるロードビーム８の突出方向と直交する方向における長さをＷ、ロードビーム８の基端８ｂから浮上スライダ４の重心Ｇまでの距離をＨ、ロードビーム８の突出方向におけるねじり剛性係数をＫｔｏｒｓｉｏｎ１、幅方向における面内曲げ剛性係数をＫｂｅｎｄ２とし、各々の変形時のスライダの等価質量をそれぞれＭｅｑ１、Ｍｅｑ２とする。このとき、断面２次極モーメントの式から、Ｋｔｏｒｓｉｏｎ１は次式で表される。
【００８３】
【数式１】
2004087065.tif 000003
【００８４】
但し、最右辺の導出過程でＴ≪Ｗ（∵Ｔ／Ｗ≒０）の条件を用いた。また、断面２次モーメントの式から、Ｋｂｅｎｄ２は次式で表される。
【００８５】
【数式２】
2004087065.tif 000004
【００８６】
従って、Ｋｔｏｒｓｉｏｎ１とＫｂｅｎｄ２との関係は次式で表される。
【００８７】
【数式３】
2004087065.tif 000005
【００８８】
故に、Ｋｔｏｒｓｉｏｎ１とＫｂｅｎｄ２とはおおよそ反比例の関係にある。
【００８９】
このとき、ロードビーム８の突出方向をメディアの径方向としたときの、Ｋｔｏｒｓｉｏｎ１及びＫｂｅｎｄ２に起因するオフトラック共振周波数Ｆ１、Ｆ２は次式で表される。
【００９０】
【数式４】
2004087065.tif 000006
【００９１】
トラッキングサーボの観点からＦ１、Ｆ２をともに大きくすることが浮上スライダ４の位置精度を高めることになるが、上記したように、Ｋｔｏｒｓｉｏｎ１とＫｂｅｎｄ２とが反比例の関係にあるため、一方を高くすると他方が低くなってしまう。
【００９２】
図１２はＫｔｏｒｓｉｏｎ１、Ｋｂｅｎｄ２とロードビーム８のＨ／Ｗとの関係を示したグラフ図である。このグラフ図から分かるように、Ｈ／Ｗを増加させるとＫｔｏｒｓｉｏｎ１が減少しＫｂｅｎｄ２が増加する。例えば、図４（ａ）に示すロードビーム８はＨ／Ｗ＝０．６７であり、この場合のＫｔｏｒｓｉｏｎ１は高いが、Ｋｂｅｎｄ２は低い。また、図４（ｃ）に示すロードビーム８はＨ／Ｗ＝１．５であり、この場合のＫｔｏｒｓｉｏｎ１は低いが、Ｋｂｅｎｄ２は高くなっていることが分かる。即ち、ロードビーム８を幅寸法に対して長くすると（Ｈ／Ｗを増加）、長さ方向にねじれ易く、幅方向に曲げにくくなり、また、ロードビーム８を幅寸法に対して短くすると（Ｈ／Ｗを減少）、長さ方向にねじれにくく、幅方向に曲げ易くなることが分かる。
【００９３】
次に、浮上スライダ４の質量が１５ｍｇ（質点）、ロードビーム８の本体部１０の板厚が１２５μｍ、支持板バネ部１６、１６の各部の寸法が幅＝７０μｍ、長さ＝７５μｍ、板厚＝３０μｍ、ロードビーム８のディスク状記録媒体２の記録面に直交する方向から見た投影面積を３２ｍｍ＾２（Ｈ＝Ｗ＝８ｍｍとし、ロードビーム８を二等辺三角形としたとき）とした場合のＫｔｏｒｓｉｏｎ１に起因する構造共振周波数Ｆ１、Ｋｂｅｎｄ２に起因する２つの構造共振周波数Ｆ２−１、Ｆ２−２及び構造共振周波数ＦｓｗａｙのＨ／Ｗへの依存性を図１３に示す。
【００９４】
図１３から分かるように、Ｋｔｏｒｓｉｏｎ１に起因する構造共振周波数Ｆ１はＨ／Ｗ＞１．０において目標値の１０ｋＨｚよりは稍下回るが、９．８ｋＨｚを維持している。しかしながら、Ｈ／Ｗ＜０．６においては極端に構造共振周波数が低下している。
【００９５】
また、Ｋｂｅｎｄ２に起因する構造共振周波数のうちＦ２−２については、減少傾向が顕著な範囲を除き、２０ｋＨｚ以上であることが望ましい。具体的には、Ｈ／Ｗが０．６以上乃至１．２以下の範囲が望ましい。
【００９６】
Ｋｂｅｎｄ２に起因する構造共振周波数のうちＦ２−１については、減少傾向が顕著な範囲を除き、１０ｋＨｚ以上であることが望ましい。具体的には、Ｈ／Ｗが１．５以下の範囲が望ましい。
【００９７】
構造共振周波数Ｆｓｗａｙにあっては、減少傾向が顕著な範囲を除き、１５ｋＨｚ以上であることが望ましい。具体的には、Ｈ／Ｗが１．５以下の範囲が望ましい。
【００９８】
以上を勘案すると、Ｈ／Ｗが０．６以上１．２以下の範囲が何れの構造共振周波数についても望ましい値であることが分かる（図１３参照）。
【００９９】
次に、浮上スライダ４のディスク状記録媒体２の記録面に対する追従性について説明する。
【０１００】
先ず、浮上スライダ４の重心Ｇとジンバル構造９における２つの軸ｘ、ｙの交点Ｉとを一致させることについて説明する。
【０１０１】
図１４は、光ディスクドライブ装置１に外部振動を加えたときの、外部振動の大きさに対する浮上スライダ４の加振周波数に対する浮上変動ゲインを表したグラフ図である。尚、ここでは計算の簡略化のため、１．６ｍｍ×２ｍｍ×２ｍｍの質量物を浮上スライダ４とし、該質量物をその重心Ｇがジンバル構造９の２つの軸ｘ、ｙの交点と一致するように支持した場合及び同様な質量物をその上面がジンバル構造９の２つの軸ｘ、ｙを含む面と一致するように支持した場合のそれぞれの加振周波数に対する浮上変動ゲイン（高さ方向）を示す。
【０１０２】
このグラフ図から分かるように、加振周波数が１０ｋＨｚ以上になったとき上面支持の場合は浮上変動ゲインが急上昇するが、重心支持の場合は緩やかに上昇する。３０ｋＨｚのとき重心支持の場合と上面支持の場合とでは約２０ｄＢの大きな差が生じている。
【０１０３】
例えば、３０ｋＨｚの振動が上記質量物に加わったとき、重心支持の場合に５ｎｍの変動があったとすると、上面支持の場合にあっては５０ｎｍの変動が生じることになる。従って、上面支持の場合、変動が大きい分、質量物の傾きも増加しディスク状記録媒体２との衝突の発生率が上昇する。
【０１０４】
このことから、上面支持の場合に比べ重心支持の場合の方が浮上安定性が優れているということが言える。
【０１０５】
次に、ジンバル構造９によって支持される浮上スライダ４のディスク状記録媒体２の記録面に対する追従性について説明する。
【０１０６】
ジンバル構造９は、上記したように、ピッチ方向及びロール方向へのねじり剛性を小さくし、ディスク状記録媒体２の記録面と平行面内における曲げ剛性を大きくする必要がある。
【０１０７】
ジンバル構造９として所望の追従性を確保するためには、一般に、各連結部２０、２０、２１、２１における曲げ剛性係数及びねじり剛性係数が以下の条件を満たすことが条件とされている。
Ｋｚ≦２０［Ｎ／ｍ］
Ｋｐ≦３［μＮ・ｍ／ｄｅｇ］
ＫＲ≦３［μＮ・ｍ／ｄｅｇ］。
【０１０８】
尚、Ｋｚはディスク状記録媒体２の記録面に対して直交する方向における曲げ剛性係数を示し、Ｋｐはピッチ方向におけるねじり剛性係数を示し、Ｋｒはロール方向におけるねじり剛性係数を示す。
【０１０９】
また、ディスク状記録媒体２の径方向における構造共振周波数は上記と同様に１０ｋＨｚを目標値とする。
【０１１０】
ここで、連結部２０、２０、２１、２１の長さをｌｊ、幅をｗｊ、板厚をｔｊとし（図６及び図７参照）、連結部２０、２０、２１、２１のねじり剛性係数をＫｔｏｒｓｉｏｎ、曲げ剛性係数をＫｓｗａｙとすると、軸回り方向のねじり剛性係数Ｋｔｏｒｓｉｏｎは断面２次極モーメントの式により導き出せ次式で表される。
【０１１１】
【数式５】
2004087065.tif 000007
【０１１２】
尚、連結部２０、２０、２１、２１のねじり剛性は浮上スライダ４におけるピッチ方向又はロール方向の傾きを支配し、曲げ剛性は図１５に示すように、浮上スライダ４における面方向の変位を支配する。図１５は、支持プレート２２の面方向のうちシーク方向と一致する方向の変位を示し、実線は支持プレート２２がロードビーム８の基端８ｂ側に偏倚した状態、２点鎖線は支持プレート２２がロードビーム８の先端８ａ側に偏倚した状態を示す。
【０１１３】
また、面内曲げ剛性係数Ｋｓｗａｙは、断面２次モーメントの式から次式のように表される。
【０１１４】
【数式６】
2004087065.tif 000008
【０１１５】
これにより、面内曲げ方向の構造共振周波数Ｆｓｗａｙは次式で表される。
【０１１６】
【数式７】
2004087065.tif 000009
【０１１７】
また、連結部２０、２０、２１、２１のねじり剛性係数Ｋｔｏｒｓｉｏｎと曲げ剛性係数Ｋｓｗａｙとの関係は次式で表される。
【０１１８】
【数式８】
2004087065.tif 000010
【０１１９】
尚、ねじり剛性係数Ｋｔｏｒｓｉｏｎ及び面内曲げ剛性係数Ｋｓｗａｙは、ともに連結部２０、２０、２１、２１の長さｌｊにも依存するが、この長さｌｊを大きくすると、ジンバル構造９を支持するロードビーム８全体の大きさが大きくなってしまい、ロードビーム８全体を含めた構造共振周波数が低下するため、連結部２０、２０、２１、２１の長さｌｊは小さいままで、幅寸法ｗｊと板厚ｔｊとの関係でねじり剛性／面内曲げ剛性比を小さくすることが望まれる。
【０１２０】
以上より、ねじり剛性／曲げ剛性比を小さくすることがジンバル構造９としては望ましく、そのためには、連結部２０、２０、２１、２１の板厚／幅比（ｔｊ／ｗｊ）を小さくすることがねじり剛性／曲げ剛性比を小さくすることになる。
【０１２１】
次に、連結部２０、２０、２１、２１の板厚／幅比（ｔｊ／ｗｊ）について説明する。
【０１２２】
連結部２０、２０、２１、２１の長さｌｊを一定にし、連結部２０、２０、２１、２１の幅ｗｊをパラメータにしたときの構造共振周波数Ｆｓｗａｙと連結部２０、２０、２１、２１の板厚ｔｊとの関係を図１６に示す。
【０１２３】
尚、図１６における横軸の数値は、以下に示す板厚ｔｊを仮に定めた基準数値としてこれに乗算する係数を示したものである。また、各模様で示したグラフは同一模様内のものは連結部２０、２０、２１、２１の幅ｗｊが同じものを示し、以下に示す幅ｗｊを基準数値としてこれに乗算する係数毎に模様分けしたものである。
【０１２４】
各部の寸法の基準数値は次の通りである。また、ジンバル構造９の材質としてはステンレス鋼を用いた。
【０１２５】
浮上スライダ４の質量Ｍ＝３０ｍｇ
連結部２０、２０、２１、２１の長さｌｊ＝３００μｍ
連結部２０、２０、２１、２１の幅ｗｊ＝６０μｍ
連結部２０、２０、２１、２１の板厚ｔｊ＝３０μｍ。
【０１２６】
図１６において、最も下に表された模様で示す範囲は、連結部２０、２０、２１、２１の幅ｗｊを上記基準数値Ｗｊ＝６０μｍに係数「０．５」を乗算したもの、即ち、幅のみｗｊ＝３０μｍに固定して、板厚ｔｊ＝３０μｍに０．１乃至２．０の係数を乗じた場合における構造共振周波数の変化を示す。その上の模様の範囲は連結部２０、２０、２１、２１の幅ｗｊを上記基準数値ｗｊ＝６０μｍに係数「１」を乗じた数値（６０μｍ）に固定し、板厚ｔｊを３０μｍに０．１〜１．０までの係数を乗じて変化させた場合における構造共振周波数の変化を示す。この場合の係数を「１．０」までとしたのは、それ以上板厚ｔｊを増加させるとねじり剛性係数Ｋｔｏｒｓｉｏｎが大きくなりすぎ、ジンバル構造９として不適当なものとなってしまうからである（図１６参照）。
【０１２７】
図１６に示すグラフ図によれば、板厚ｔｊの係数が「１」、幅ｗｊの係数が「１」のとき、即ち、ｔｊ＝３０μｍ、ｗｊ＝６０μｍのときに構造共振周波数が１０ｋＨｚを示し、上記目標値を達成していることが分かる。また、このとき板厚ｔｊと幅ｗｊとの関係はｔｊ／ｗｊ＝０．５である（図１６参照）。
【０１２８】
また、連結部２０、２０、２１、２１の幅ｗｊを１．５倍（９０μｍ）、連結部２０、２０、２１、２１の板厚を０．７８倍（２３μｍ）にすると、図からＦｓｗａｙは１．５４倍の１５．４ｋＨｚまで上昇する。このときＫｔｏｒｓｉｏｎも３．０μＮ・ｍ／ｄｅｇまで増加するが、許容範囲内である。また、このとき、連結部２０、２０、２１、２１の板厚／幅比は０．２６まで低下している（図１６参照）。
【０１２９】
連結部２０、２０、２１、２１の幅Ｗｊが大きいほど、連結部２０、２０、２１、２１のねじり剛性係数Ｋｔｏｒｓｉｏｎの許容値によって決まる連結部２０、２０、２１、２１の板厚ｔｊの上限値が小さくなること、同時に連結部２０、２０、２１、２１の板厚ｔｊの上限値において得られる構造共振周波数Ｆｓｗａｙが増加していくことの２点が分かる。換言すると、連結部２０、２０、２１、２１の板厚ｔｊ／幅ｗｊ比が小さいほど、連結部２０、２０、２１、２１のねじり剛性係数Ｋｔｏｒｓｉｏｎの許容範囲において得られる構造共振周波数Ｆｓｗａｙの最大値を上昇させることが可能であることを示している（図１６参照）。
【０１３０】
結論として、連結部２０、２０、２１、２１の板厚ｔｊと幅ｗｊとの関係がｗｊ／ｔｊ＜０．５である場合には、ジンバル構造９としてのディスク状記録媒体２の記録面に対する追従性を確保しつつ、ディスク状記録媒体２の径方向における構造共振周波数の高域化を図ることができる。
【０１３１】
次に、ジンバル構造９において支持する浮上スライダ４の質量と構造共振周波数との関係について説明する。
【０１３２】
浮上スライダ４の質量が増加すると浮上スライダ４の慣性が大きくなるため、構造共振周波数が低下することが知られている。
【０１３３】
図１７は、構造共振周波数と浮上スライダ４の質量との関係を示したグラフ図である。尚、各連結部２０、２０、２１、２１の具体的数値例は上記したものと同様とした。即ち、連結部２０、２０、２１、２１の長さｌｊ＝３００μｍ、連結部２０、２０、２１、２１の幅ｗｊ＝６０μｍ、連結部２０、２０、２１、２１の板厚ｔｊ＝３０μｍとして算出した。
【０１３４】
図１７のグラフ図から分かるように、浮上スライダ４の質量が６ｍｇのときは構造共振周波数が２８ｋＨｚとなり、浮上スライダ４の質量が大きくなるに従って、構造共振周波数が低下していき、浮上スライダ４の質量が５０ｍｇのときは構造共振周波数が１０ｋＨｚとなる。
【０１３５】
図１８は、連結部の別の具体的数値例により、構造共振周波数とトラッキング方向における変位との関係を示したグラフ図である。
【０１３６】
具体的数値としては、浮上スライダ４の質量５０ｍｇ、各連結部２０、２０、２１、２１の長さｌｊ＝４５０μｍ、幅ｗｊ＝１２５μｍ、板厚ｔｊ＝３０μｍである。
【０１３７】
図１８のグラフ図から分かるように、浮上スライダ４の変位（ゲイン）は１８．７ｋＨｚのときにピークを有する。すなわち、構造共振周波数は１８．７ｋＨｚである。
【０１３８】
この具体的数値例にあっても、構造共振周波数を１０ｋＨｚ以上に高めることができたことが分かる。
【０１３９】
尚、上記実施の形態においては、光ディスクドライブ装置１を光学ヘッド５がリニア方向に送られるリニアアクチュエータであるヘッド移送機構を採用した例について説明したが、本発明はこれに限らず、いわゆるロータリーアクチュエータのヘッド移送機構を採用することもできる。
【０１４０】
図１９及び図２０はヘッド移送機構の変形例を示すものである。
【０１４１】
この変形例にかかるヘッド移送機構３０はいわゆるロータリーアクチュエータ型のものである。
【０１４２】
ヘッド移送機構３０は、回動軸３１を挟んでディスク状記録媒体２側に延びる回動アーム３２と、該回動アーム３２と反対方向に延び回動アーム３２と一体に回動する駆動アーム３３とを有する。
【０１４３】
駆動アーム３３には図示しないボイスコイルが巻回され、装置側のマグネット（図示は省略する。）に上記ボイスコイル３３が対向した状態で配置され、これによりボイスコイルモータ３４が構成される（図１９参照）。
【０１４４】
回動アーム３２の先端には光学ヘッド５Ａが搭載されている（図２０参照）。
【０１４５】
光学ヘッド５Ａには上記対物レンズ１１、ＳＩＬ２３に加え、所要の他の光学部品が搭載されている。
【０１４６】
具体的には、スライダ部１２の対物レンズ１１側にさらに光学部品が収納された光学ブロック３５が設けられ、該光学ブロック３５にミラー３６、コリメータレンズ３７が配置されており、これら光学部品３５、３６、３７を含めて浮上スライダ３８が構成される（図２０参照）。
【０１４７】
上記光学ブロック３５には光ファイバー３９により所定の光ビームが導かれる（図２０参照）。
【０１４８】
光学ブロック３５内に光ファイバー３９によって導かれた光ビームは、上記ミラー３６によりほぼ９０°折り曲げられ、コリメータレンズ３７によってほぼ平行光にされた後、対物レンズ１１及びＳＩＬ２３によって、極小化されたスポット径の光ビームをディスク状記録媒体２の記録面に照射するようになっている。
【０１４９】
ボイスコイルモータ３４の駆動により上記回動アーム３２の先端部に支持された光学ヘッド５Ａが回動されて、浮上スライダ３８がディスク状記録媒体２のほぼ径方向へ移動される（図２０参照）。
【０１５０】
このような光学ヘッド５Ａの浮上スライダ３８は、対物レンズ１１及びＳＩＬ２３以外にも光学部品を搭載しているため、浮上スライダ３８の質量が大きくなっているが、この浮上スライダ３８の質量は５０ｍｇ程度にすることができる。
【０１５１】
図１７で示したように、５０ｍｇ位の質量を有する浮上スライダ３８を用いた場合でも、ロードビーム８の構造共振周波数の高域化（１０ｋＨｚ）を図ることができる。
【０１５２】
尚、上記した実施の形態では、ロードビーム８の突出方向とディスク状記録媒体２の径方向とが互いに平行になる向きで配置した例を示したが、本発明はこのような形態だけでなく、ロードビームの突出方向とディスク状記録媒体の径方向とが直交する向きにロードビームを配置した形態で実施することもできる。
【０１５３】
また、上記した実施の形態において示した各部の形状乃至構造は、何れも本発明を実施するに際して行う具体化のほんの一例を示したものに過ぎず、これらによって、本発明の技術的範囲が限定的に解釈されることがあってはならないものである。
【０１５４】
【発明の効果】
以上に記載したところから明らかなように、本発明光学ヘッドは、ディスク状記録媒体上に記録用及び／又は読取用の光スポットを形成するための対物レンズと該対物レンズを支持するスライダ部とを有しディスク状記録媒体の回転により発生される空気流を受けて浮上する浮上スライダと、該浮上スライダを先端部に支持すると共に浮上スライダをディスク状記録媒体に近づける方向に付勢するロードビームとを備えた光学ヘッドであって、上記浮上スライダをディスク状記録媒体に平行な面の面内において囲むように配置された枠体を有し、上記浮上スライダは互いに対向する位置で同軸上に配置された一対の第１の連結部によって上記枠体に支持されており、枠体は互いに対向する位置であって上記一対の第１の連結部を結んだ線を第１の軸として該第１の軸と直交する軸上に配置された一対の第２の連結部によって上記ロードビームの先端部に支持されており、上記一対の第２の連結部を結んだ線を第２の軸として該第２の軸と上記第１の軸とが交差する交点に上記浮上スライダの重心を位置させたことを特徴とする。
【０１５５】
また、本発明光ディスクドライブ装置は、ディスク状記録媒体を回転させる回転駆動機構と、ディスク状記録媒体から所定の間隔を空けて浮上した状態でディスク状記録媒体の記録面に沿って相対的に走行する光学ヘッドと、該光学ヘッドをディスク状記録媒体のほぼ径方向に移動させるためのヘッド移送機構とを備えた光ディスクドライブ装置において、上記光学ヘッドが、ディスク状記録媒体上に記録用及び／又は読取用の光スポットを形成するための対物レンズと該対物レンズを支持するスライダ部とを有しディスク状記録媒体の回転により発生される空気流を受けて浮上する浮上スライダと、該浮上スライダを先端部に支持すると共に浮上スライダをディスク状記録媒体に近づける方向に付勢するロードビームとを備えた光学ヘッドであり、上記浮上スライダをディスク状記録媒体に平行な面の面内において囲むように配置された枠体を有し、上記浮上スライダは互いに対向する位置で同軸上に配置された一対の第１の連結部によって上記枠体に支持されており、枠体は互いに対向する位置であって上記一対の第１の連結部を結んだ線を第１の軸として該第１の軸と直交する軸上に配置された一対の第２の連結部によって上記ロードビームの先端部に支持されており、上記一対の第２の連結部を結んだ線を第２の軸として該第２の軸と上記第１の軸とが交差する交点に上記浮上スライダの重心を位置させたことを特徴とする。
【０１５６】
従って、本発明にあっては、光学ヘッドを移動させたときの移動力が第１の軸又は第２の軸を介して浮上スライダに作用し、また、浮上スライダの重心が上記第１の軸と第２の軸との交点に位置されているため、重心を中心とする回転力が浮上スライダに作用せず、浮上スライダの安定した浮上姿勢を保つことができる。
【０１５７】
請求項２及び請求項１０に記載した発明にあっては、浮上スライダの質量を５０ｍｇ以下とし、上記第１の連結部又は第２の連結部を板状の材料で形成すると共に、これら２組の連結部のうち少なくともディスク状記録媒体の径方向に対してほぼ直交する軸上に延びるように設けられた連結部の幅寸法に対する板厚寸法の比を０．５以下にしたので、ジンバル構造においてディスク状記録媒体の記録面に対する追従性を維持しつつ、シーク方向における構造共振周波数を高めることができ、小スペーシング化及び小スポット化が可能になる。
【０１５８】
請求項３及び請求項１１に記載した発明にあっては、少なくともディスク状記録媒体の径方向に対してほぼ直交する軸上に延びるように設けられた連結部の長さを１００μｍ乃至１０００μｍ、幅を５０μｍ乃至２００μｍに形成したので、シーク方向における構造共振周波数を１５ｋＨｚ以上にすることができる。
【０１５９】
請求項４及び請求項１２に記載した発明にあっては、上記枠体と各連結部とを同一の材料で形成し、ディスク状記録媒体の径方向に対してほぼ直交する軸上に延びるように設けられた連結部の板厚を他の部分より薄くしたので、追従性が良好なジンバル構造の製造を容易にすることができる。
【０１６０】
請求項５及び請求項１３に記載した発明にあっては、浮上スライダは上記枠体及び各連結部と同一の材料で一体に形成された支持プレートを有し、上記スライダ部にディスク状記録媒体の記録面に対して直交する方向に貫通する光挿通孔を設け、該支持プレートのディスク状記録媒体側の面に上記スライダ部が支持されていると共に該支持プレートの上記光挿通孔に対応する位置に対物レンズを位置させる対物レンズ載置孔が設けられ、上記対物レンズを上記対物レンズ載置孔内に位置させると共に上記光挿通孔に対応するようにスライダ部に支持し、上記スライダ部を上記第１の軸及び第２の軸を含む面よりディスク状記録媒体側に偏倚するように位置させたので、浮上スライダの重心を上記第１の軸と第２の軸との交点に容易に位置させることができる。
【０１６１】
請求項６及び請求項１４に記載した発明にあっては、上記支持プレートを枠体及び各連結部よりもディスク状記録媒体側に厚みが増すように厚肉に形成したので、簡単な構成で浮上スライダの重心を上記第１の軸と第２の軸との交点に位置させることができる。
【０１６２】
請求項７び請求項１５に記載した発明にあっては、上記支持プレートとスライダ部との間にスペーサ部材を介在させたので、簡単な構成で浮上スライダの重心を上記第１の軸と第２の軸との交点に位置させることができ、しかも、スペーサ部材は支持プレートと別部材であるため、その選択の余地が多く、設計の自由度を増すことができる。
【０１６３】
請求項８及び請求項１６に記載した発明にあっては、上記第１の軸が延びる方向とディスク状記録媒体の径方向とがほぼ直交するように浮上スライダを配置したので、第１の連結部で支えるものの質量を小さくすることができ、ディスク状記録媒体の径方向における構造共振周波数を高域化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図２乃至図２０は本発明に係る光学ヘッド及び光ディスクドライブ装置の実施の形態を示すものであり、本図は光ディスクドライブ装置を概念的に示す斜視図である。
【図２】支持ベースに支持された光学ヘッドの平面図である。
【図３】支持ベースに支持された光学ヘッドの側面図である。
【図４】３種類のロードビームの幅と長さとの関係を概略的に示した平面図である。
【図５】ロードビームの支持板バネ部を拡大して示す縦断面図である。
【図６】ジンバル構造及び浮上スライダを拡大して示すものであり、上の図は平面図、下の図は縦断面図である。
【図７】ジンバル構造の要部を拡大して示す縦断面図である。
【図８】浮上スライダを拡大して示す縦断面図である。
【図９】浮上スライダの一部を示す拡大断面図である。
【図１０】ジンバル構造の変形例における要部を拡大して示す縦断面図である。
【図１１】浮上スライダをディスク状記録媒体と対向する側から見た図である。
【図１２】ロードビームのＨ／Ｗとねじり剛性及び面内曲げ剛性との関係を示すグラフ図である。
【図１３】ロードビームのＨ／Ｗと構造共振周波数との関係を示すグラフ図である。
【図１４】質量物を重心で支持した場合とその一端面で支持した場合とにおける加振周波数に対する浮上変動ゲインとの関係を示すグラフ図である。
【図１５】支持プレートがシーク方向の振動により面内方向で変位した状態を示す拡大平面図である。
【図１６】連結部の板厚及び幅と構造共振周波数との関係を示すグラフ図である。
【図１７】浮上スライダの質量と構造共振周波数との関係を示すグラフ図である。
【図１８】連結部が別の数値例の場合の周波数とトラッキング方向におけるゲインとの関係を示すグラフ図である。
【図１９】図２０と共にヘッド移送機構の変形例を示すものであり、本図は概略的に示す斜視図である。
【図２０】浮上スライダを示す拡大断面図である。
【符号の説明】
１…光ディスクドライブ装置、２…ディスク状記録媒体、３…回転駆動機構、４…浮上スライダ、５…光学ヘッド、６…ヘッド移送機構、８…ロードビーム、８ａ…先端部、１１…対物レンズ、１２…スライダ部、Ｇ…重心、Ｉ…交点、１９…枠体、２０…第１の連結部、２１…第２の連結部、ｘ…第１の軸、ｙ…第２の軸、２２…支持プレート、２４…対物レンズ載置孔、２５…光挿通孔、２６…スペーサ部材、１Ａ…光ディスクドライブ装置、３０…ヘッド移送機構、３８…浮上スライダ
【図１】
2004087065.tif 000011
【図２】
2004087065.tif 000012
【図３】
2004087065.tif 000013
【図４】
2004087065.tif 000014
【図５】
2004087065.tif 000015
【図６】
2004087065.tif 000016
【図７】
2004087065.tif 000017
【図８】
2004087065.tif 000018
【図９】
2004087065.tif 000019
【図１０】
2004087065.tif 000020
【図１１】
2004087065.tif 000021
【図１２】
2004087065.tif 000022
【図１３】
2004087065.tif 000023
【図１４】
2004087065.tif 000024
【図１５】
2004087065.tif 000025
【図１６】
2004087065.tif 000026
【図１７】
2004087065.tif 000027
【図１８】
2004087065.tif 000028
【図１９】
2004087065.tif 000029
【図２０】
2004087065.tif 000030
【手続補正書】
【提出日】平成14年10月4日(2002.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
2004087065.tif 000031