(57)【要約】【課題】分解能を高めて良好な検出精度が得られるリニア型の位置検出センサを提供すること。【解決手段】リードスクリュー７の回転によって軸線方向へ直線的に往復移動するキャリッジ１０に遮光板１２を設け、この遮光板１２にキャリッジ１０の移動方向に対して傾斜する直線部１３ａを有するスリット１３を形成する。固定側部材である外装ケース１にＬＥＤ１４と第１および第２受光部１５ａ，１５ｂを有する差動式の２分割フォトダイオード１５とを配設し、これら第１および第２受光部１５ａ，１５ｂを長方形の短辺側で対向させて鋸歯状の分割線に沿って２分割する。そして、スリット１３の直線部１３ａを２分割フォトダイオード１５の長辺と略直交するように設定し、ＬＥＤ１４からの出射光が直線部１３ａを透過して２分割フォトダイオード１５の第１および第２受光部１５ａ，１５ｂ上に照射されるように構成した。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイド手段を有する固定側部材と、このガイド手段に沿って直線的に移動可能な移動部材と、この移動部材に設けられたスリットを有する遮光板と、この遮光板を介して対向するように前記固定側部材に配設された発光素子および受光素子とを備え、前記受光素子が第１受光部と第２受光部を有する２分割受光素子からなり、この２分割受光素子と前記発光素子との間を前記スリットが移動することにより、前記第１および第２受光部の受光量比率が変化するように構成したことを特徴とする位置検出センサ。
【請求項２】
請求項１の記載において、前記スリットが前記移動部材の移動方向に対して傾斜する直線部を有し、この直線部の延出方向と前記第１および第２受光部の受光量比率が変化する方向とが略直交することを特徴とする位置検出センサ。
【請求項３】
請求項２の記載において、前記２分割受光素子が略長方形状に形成され、前記スリットの前記直線部を該２分割受光素子の長辺と略直交させたことを特徴とする位置検出センサ。
【請求項４】
請求項３の記載において、前記第１および第２受光部が前記２分割受光素子の短辺側で対向しており、これら第１および第２受光部がくさび形状の分割線に沿って２分割されていることを特徴とする位置検出センサ。
【請求項５】
請求項４の記載において、前記分割線が複数のくさび形状を連続させた鋸歯状分割線であることを特徴とする位置検出センサ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかの記載において、前記ガイド手段が外周面に螺旋状溝を有するリードスクリューからなり、このリードスクリューが回転駆動されることにより、前記移動部材が前記螺旋状溝に係合して前記リードスクリューの軸線方向へ移動するように構成したことを特徴とする位置検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固定側部材に対して直線的に移動する移動部材の変位量を検出する位置検出センサに係り、特に、発光素子と受光素子の組み合わせによる光学式検出手段を用いたリニア型の位置検出センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、自動車のステアリング機構に備えられる操舵角検出装置として、ステアリングホイールの回転量を直接検出するロータリー型センサと、ステアリングホイールの回転を一定長さの直線運動に変換した変位量を検出するリニア型位置検出センサとを用い、これら２種類のセンサによってステアリングホイールの操舵角度や操舵方向を検出するようにしたものが提案されている。
【０００３】
前者のロータリー型センサにはロータリーエンコーダが用いられており、ステアリングホイールに連動してロータリーエンコーダのロータ部材を回転させることにより、ロータリーエンコーダから出力される９０度の位相差を有する２種類のパルス信号に基づいて、ステアリングホイールの操舵角度や操舵方向を検出するようになっている。ここで、ステアリングホイールは中立位置を基準として時計および反時計方向へ複数回転されるため、操舵角検出装置にステアリングホイールの中立位置からの絶対角度を検出する機能を持たせる必要があり、この機能を後者のリニア型位置検出センサに負担させている。
【０００４】
従来より、このようなリニア型位置検出センサとして、ステアリングホイールの回転をギアやリードスクリュー等を介して移動部材の直線運動に変換し、この移動部材の変位量を抵抗体または磁電変換素子から電気信号として取り出すように構成されたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。これら抵抗体や磁電変換素子は固定側部材であるプリント基板に実装され、抵抗体を用いた場合は移動部材にブラシ（摺動子）が取り付けられ、磁電変換素子を用いた場合は移動部材に磁石が取り付けられている。したがって、このように概略構成された位置検出センサによれば、ステアリングホイールの回転に伴って移動部材がリードスクリューの軸線方向へ直線的に移動すると、移動部材に取り付けられたブラシまたは磁石がプリント基板上の抵抗体または磁電変換素子に対して変位し、その変位量に応じて抵抗体や磁電変換素子から出力される電気信号がアナログ的に変化するため、その出力信号に基づいてステアリングホイールの中立位置からの絶対角度を検出することができる。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−２０５８１１号公報（第６−９頁、図４，図３３）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述した従来のリニア型位置検出センサのうち、抵抗体とブラシの組み合わせによる検出手段の場合、ブラシの摺動に伴う摩耗や摩耗粉の堆積等に起因して経年的に抵抗体の出力値が変動したり、製造条件によって抵抗体の特性にバラツキが生じやすいため、検出精度が悪化するという問題がある。また、磁電変換素子と磁石の組み合わせによる検出手段の場合、周辺機器等からの外部磁界によって磁電変換素子の出力値が変動したり、磁電変換素子の全長に対する出力値の変化量が少ない（すなわち分解能が低い）ため、やはり検出精度が悪化するという問題がある。
【０００７】
なお、リニア型位置検出センサの従来例として、多数のメインスリットとインデックススリットを有するパルススケールを発光素子と受光素子との間で直線的に移動させることにより、受光素子の受光量変化に基づいてパルススケールの移動量を検出するリニアエンコーダと呼ばれるものが知られている。このようなリニアエンコーダにおいては、発光素子から受光素子に至る光量がパルススケールの移動によって変化し、パルススケールが１ピッチ移動するごとに受光素子から正弦波状に変化する出力が得られる。ここで、パルススケールの各スリット間の幅が狭ければ狭いほど高い分解能でパルススケールの移動量を検出可能となるが、製造上の問題からスリット間ピッチを数μｍ程度まで狭めるのが限界であり、限られた移動範囲内で分解能を高めるには限界がある。また、パルススケールの移動量を受光量に基づく信号として取り出しているため、経時変化に伴って発光素子の光学特性が変化し信号精度が劣化するという問題もあった。
【０００８】
本発明は、このような従来技術の実情に鑑みてなされたもので、その目的は、分解能を高めて良好な検出精度が得られるリニア型の位置検出センサを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記した目的を達成するために、本発明の位置検出センサでは、ガイド手段を有する固定側部材と、このガイド手段に沿って直線的に移動可能な移動部材と、この移動部材に設けられたスリットを有する遮光板と、この遮光板を介して対向するように前記固定側部材に配設された発光素子および受光素子とを備え、前記受光素子が第１受光部と第２受光部を有する２分割受光素子からなり、この２分割受光素子と前記発光素子との間を前記スリットが移動することにより、前記第１および第２受光部の受光量比率が変化するように構成した。
【００１０】
このように構成された位置検出センサにおいては、移動部材がガイド手段に沿って直線的に移動すると、発光素子から出射されてスリットを通過する光の帯が２分割受光素子の第１および第２受光部上に照射され、移動部材の移動位置に応じて第１および第２受光部の受光量比率が変化するため、２分割受光素子の出力値に基づいて移動部材の移動量をアナログ的な変化として検出することができ、しかも、この２分割受光素子は差動式の受光素子であるため、発光素子の発光強度が経年的に低下したとしても、第１および第２受光部間の受光量比率が変動することを防止できる。したがって、移動部材の限られた移動範囲内における分解能が高められ、その分、位置検出センサの検出精度を向上させることができる。
【００１１】
上記の構成において、スリットが移動部材の移動方向に対して傾斜する直線部を有し、この直線部の延出方向と第１および第２受光部の受光量比率が変化する方向とを略直交させると、第１および第２受光部の受光量比率が変化する方向へスリットが移動する距離に対して、移動部材の移動距離が大きくなるように設定できるので、２分割受光素子の受光量変化をより正確に検出することができて好ましい。すなわち、スリットの直線部と移動部材の移動方向とのなす角度をθ、移動部材の移動距離をＬｍ、第１および第２受光部の受光量比率が変化する方向へスリットが移動する距離をＬｓとすると、これらはＬｍ＝Ｌｓ／ｓｉｎθの関係にあり、θを９０度よりも小さい角度に設定することによりＬｍ＞Ｌｓとなるので、移動部材の移動方向に対してスリットの直線部をθ（０度＜θ＜９０度）だけ傾斜させると、第１および第２受光部の受光量比率が変化する方向へスリットが移動する距離Ｌｓに対して移動部材の移動距離Ｌｍをより大きく設定できる。したがって、２分割受光素子の長手方向の寸法を小さくしても、移動部材の移動方向に対してスリットの直線部が傾斜する角度を小さく設定することにり、２分割受光素子の受光量比率の変化の精度が劣化するのを防止できるので、２分割受光素子を小型化することもできる。
【００１２】
特に、２分割受光素子の全体形状が略長方形である場合、スリットの直線部を該２分割受光素子の長辺と略直交させると、２分割受光素子の不感帯領域が低減されて好ましい。この場合、第１および第２受光部を２分割受光素子の短辺側で対向させ、これら第１および第２受光部がくさび形状の分割線に沿って２分割されていれば、２分割受光素子の受光量変化を検出でき、また、これら第１および第２受光部が複数のくさび形状を連続させた鋸歯状の分割線に沿って２分割されていれば、スリットを通過する光の帯が鋸歯状分割線の複数個所を横切って第１および第２受光部上に照射されるため、ＬＥＤのように照射光量が不均一なものであっても発光素子として用いることができ、また、発光素子や２分割フォトダイオード上にゴミ等の異物が付着した場合でも、第１および第２受光部間の受光量比率の不要な変動を抑えることができて好ましい。
【００１３】
また、上記の構成において、ガイド手段が外周面に螺旋状溝を有するリードスクリューからなり、このリードスクリューが回転駆動されることにより、移動部材が螺旋状溝に係合してリードスクリューの軸線方向へ移動するように構成することが好ましく、このような構成を採用すると、リードスクリューのピッチを適宜変更することによって、回転運動から変換される移動部材の直線運動の移動範囲や一定回転角度あたりの移動距離等を任意に設定できるため、機構設計上の自由度を高めることができ、その変換精度を高精度に設定できると共に、位置検出センサを操舵角検出装置等の各種検出機器の限られたスペース内にコンパクトに装着することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態について図面を参照して説明すると、図１は実施形態例に係る位置検出センサを備えた操舵角検出装置を一部破断して示す側面図、図２は該操舵角検出装置の内部機構を示す平面図、図３は該位置検出センサの説明図、図４は該位置検出センサに備えられる遮光板と発光素子および受光素子の説明図、図５は該遮光板のスリットと受光素子の関係を示す説明図、図６は該受光素子の受光量に基づく絶対角検出の説明図である。
【００１５】
図１〜図３に示すように、この操舵角検出装置は図示せぬステアリング機構のステータ部材に固定される外装ケース１を備えており、この外装ケース１に回転部材２が回転可能に支承されている。この回転部材２の中心に図示せぬステアリングシャフトが挿通され、同じく図示せぬステアリングホイールが回転部材２に連結されるようになっている。回転部材２にコード板３が一体的に設けられており、また、回転部材２の下部外周面に第１ギア４が刻設されている。コード板３には内側突起群３ａと外側突起群３ｂが同心円状に配列されており、外装ケース１に固定されたプリント基板５には内側突起群３ａと外側突起群３ｂに対応して複数のフォトインタラプタ６が実装されている。これらコード板３とフォトインタラプタ６はロータリー型センサを構成するものであり、回転部材２の回転に伴って各フォトインタラプタ６から出力されるパルス信号に基づいて、回転部材２を回転動作するステアリングホイールの回転量と回転方向が検出される。
【００１６】
外装ケース１の内部にリードスクリュー７が回転可能に支承されており、このリードスクリュー７の軸線方向と回転部材２の中心軸とは互いに平行に設定されている。リードスクリュー７の一端に第２ギア８が固着されており、この第２ギア８は回転部材２の第１ギア４と噛合している。また、外装ケース１の内部にリードスクリュー７と平行に延びるガイドシャフト９が固定されており、このガイドシャフト９に移動部材であるキャリッジ１０が摺動自在に係合している。リードスクリュー７の外周面に螺旋状溝７ａが刻設されており、キャリッジ１０に一体形成された係合歯部１０ａがこの螺旋状溝７ａに噛合し、この係合歯部１０ａはキャリッジ１０に取り付けられた板ばね１１の弾性付勢力によって螺旋状溝７ａに圧接されている。したがって、リードスクリュー７が回転すると、係合歯部１０ａが螺旋状溝７ａに沿って移動し、それに伴ってキャリッジ１０がリードスクリュー７とガイドシャフト９の軸線方向へ直線的に往復移動する。さらに、キャリッジ１０の係合歯部１０ａと反対側の端部に遮光板１２が一体的に設けられており、この遮光板１２にスリット１３が形成されている。一方、外装ケース１の内部には発光素子であるＬＥＤ１４と受光素子である２分割フォトダイオード１５が配設され、図４に示すように、これらＬＥＤ１４と２分割フォトダイオード１５は遮光板１２のスリット１３を介して対向しており、ＬＥＤ１４からの出射光が遮光板１２のスリット１３を透過して２分割フォトダイオード１５で受光されるようになっている。
【００１７】
図５に示すように、この２分割フォトダイオード１５は全体的に長方形状に形成されており、第１受光部１５ａと第２受光部１５ｂを有する差動式フォトダイオードである。第１受光部１５ａと第２受光部１５ｂは長方形の短辺側で対向しており、これら第１および第２受光部１５ａ，１５ｂは複数のくさび形状を連続させた鋸歯状の分割線に沿って２分割されている。一方、スリット１３はキャリッジ１０の移動方向（図中の矢印Ｐ方向）に対して傾斜する直線部１３ａを有しており、この直線部１３ａが２分割フォトダイオード１５の長方形の長辺とほぼ直交するように設定されている。したがって、リードスクリュー７の回転に伴ってキャリッジ１０が矢印Ｐ方向に移動すると、スリット１３の直線部１３ａは２分割フォトダイオード１５の相対向する短辺間を長辺と直交する方向（図中の矢印Ｑ方向）に移動し、この直線部１３ａを通過する出射光の帯（ライン）が鋸歯状分割線の複数個所を横切って第１および第２受光部１５ａ，１５ｂ上に照射されるため、その移動位置に応じて第１および第２受光部１５ａ，１５ｂの受光量が変化する。なお、前述した遮光板１２のスリット１３とＬＥＤ１４および２分割フォトダイオード１５は本発明のリニア型位置検出センサを構成するものであり、キャリッジ１０の移動に伴って変化する第１および第２受光部１５ａ，１５ｂの出力値に基づいて、ステアリングホイールの中立位置からの絶対角度が検出される。
【００１８】
すなわち、ステアリングホイールが中立位置を基準にして時計および反時計方向へそれぞれ２回転（＋７２０度〜−７２０度）する場合、図５の２点鎖線で示すように、ステアリングホイールの回転角に応じて直線部１３ａと第１および第２受光部１５ａ，１５ｂの相対位置が変化するため、これら第１および第２受光部１５ａ，１５ｂから得られる電流値を演算することにより、ステアリングホイールの中立位置からの絶対角度を検出することができる。例えば、第１受光部１５ａから得られる電流値をＩ１、第２受光部１５ｂから得られる電流値をＩ２とすると、これら電流値Ｉ１，Ｉ２は直線部１３ａの移動位置に応じて変化するため、
Ｉ＝（Ｉ１−Ｉ２）／（Ｉ１＋Ｉ２）……（１）
として演算すれば、図６に示すように、ステアリングホイールの絶対角度を電流値Ｉのアナログ的な変化として検出することができる。
【００１９】
次に、このように構成された操舵角検出装置の動作について説明する。
【００２０】
ステアリングホイールを回転操作すると、ステアリングホイールに連動して回転部材２が一体的に回転すると共に、この回転力が第１ギア４から第２ギア８へと伝達されるため、回転部材２に連動してリードスクリュー７も回転する。回転部材２にはコード板３が一体的に設けられているため、回転部材２の回転に伴ってコード板３の内側および外側突起群３ａ，３ｂと各フォトインタラプタ６との相対位置が変化し、各フォトインタラプタ６から出力されるパルス信号に基づいてステアリングホイールの回転量と回転方向が検出される。これらコード板３とフォトインタラプタ６はインクリメンタル型のロータリーエンコーダとして機能するものであり、本実施形態例の場合はステアリングホイールが中立位置を基準にして時計および反時計方向へそれぞれ２回転（＋７２０度〜−７２０度）するため、各フォトインタラプタ６の出力信号に基づいてステアリングホイールの全回転範囲（±７２０度）内の回転量と回転方向が検出される。
【００２１】
また、リードスクリュー７の螺旋状溝７ａにキャリッジ１０の係合歯部１０ａが噛合しているため、リードスクリュー７の回転に伴ってキャリッジ１０がリードスクリュー７とガイドシャフト９の軸線方向へ直線的に往復移動し、キャリッジ１０に一体的に設けられた遮光板１２がＬＥＤ１４と２分割フォトダイオード１５間を移動する。その結果、遮光板１２に形成されたスリット１３の直線部１３ａが２分割フォトダイオード１５の相対向する短辺間を図５の矢印Ｑ方向へ移動し、その移動位置に応じて第１および第２受光部１５ａ，１５ｂの受光量が変化するため、これら第１および第２受光部１５ａ，１５ｂの出力値に基づいて、ステアリングホイールの中立位置からの絶対角度が検出される。この場合、第１および第２受光部１５ａ，１５ｂから出力される電流値Ｉ１，Ｉ２を検出し、これら電流値Ｉ１，Ｉ２を上記（１）式に代入して電流値Ｉを演算すれば、図６に示すように、ステアリングホイールの絶対角度を電流値Ｉのアナログ的な変化として検出することができる。なお、本実施形態例の場合はステアリングホイールが中立位置を基準にして時計および反時計方向へそれぞれ２回転（＋７２０度〜−７２０度）するため、２分割フォトダイオード１５の出力信号に基づいてステアリングホイールの全回転範囲（±７２０度）内の絶対角度が検出される。しかも、２分割フォトダイオード１５の出力信号から求められる電流値Ｉはアナログ的に変化するため、検出可能なステアリングホイールの絶対角度は整数回転（０，±１，±２）に限らず、例えば、ステアリングホイールの半回転（１８０度）毎の絶対角度を検出することもできる。
【００２２】
このように本実施形態例に係るリニア型の位置検出センサでは、リードスクリュー７の軸線方向へ直線的に往復移動するキャリッジ１０にスリット１３を有する遮光板１２を設けると共に、外装ケース１の内部に発光素子であるＬＥＤ１４と受光素子である差動式の２分割フォトダイオード１５を配設し、ＬＥＤ１４からの出射光が遮光板１２のスリット１３を透過して２分割フォトダイオード１５で受光されるように構成したので、キャリッジ１０がリードスクリュー７に沿って直線的に移動すると、ＬＥＤ１４から出射されてスリット１３を通過する光の帯が２分割フォトダイオード１５の第１および第２受光部１５ａ，１５ｂ上に照射され、キャリッジ１０の移動位置に応じて第１および第２受光部１５ａ，１５ｂの受光量が変化する。したがって、これら第１および第２受光部１５ａ，１５ｂから得られる電流値を演算することにより、キャリッジ１０の移動量を電流値のアナログ的な変化として検出することができ、しかも、第１および第２受光部１５ａ，１５ｂを有する２分割フォトダイオード１５は差動式であるため、ＬＥＤ１４の発光強度が経年的に低下したとしても、第１および第２受光部１５ａ，１５ｂ間の受光量比率が変動することを防止でき、それ故、分解能を高めて検出精度の向上を実現することができる。
【００２３】
また、スリット１３にキャリッジ１０の移動方向に対して傾斜する直線部１３ａを形成し、この直線部１３ａの延出方向に対して第１受光部１５ａと第２受光部１５ｂの受光量比率が変化する方向を略直交させ、この直線部１３ａを２分割フォトダイオード１５の長方形の長辺とほぼ直交するように設定したので、２分割フォトダイオード１５の不感帯領域を低減することができると共に、スリット１３が第１および第２受光部１５ａ，１５ｂの受光量比率が変化する方向へ移動する距離に対してキャリッジ１０の移動距離が大きくなるように設定できる。
【００２４】
また、２分割フォトダイオード１５の長方形の短辺側で対向する第１受光部１５ａと第２受光部１５ｂがくさび形状の分割線に沿って２分割されているので、キャリッジ１０が直線的に移動すると、第１受光部１５ａと第２受光部１５ｂの受光量変化を検出でき、さらに、これら第１および第２受光部１５ａ，１５ｂが複数のくさび形状を連続させた鋸歯状の分割線に沿って２分割されているため、スリット１３の直線部１３ａを通過する出射光の帯（ライン）が鋸歯状分割線の複数個所を横切って第１および第２受光部１５ａ，１５ｂ上に照射される。このため、ＬＥＤ１４のように照射光量が不均一なものであっても発光素子として用いることができ、また、ＬＥＤ１４や２分割フォトダイオード１５上にゴミ等の異物が付着した場合でも、第１および第２受光部１５ａ，１５ｂ間の受光量比率の不要な変動を抑えることができる。
【００２５】
また、リードスクリューのピッチを適宜変更することによって、回転運動から変換されるキャリッジ１０の直線運動の移動範囲や一定回転角度あたりの移動距離等を任意に設定できるため、機構設計上の自由度を高めることができ、その変換精度を高精度に設定できると共に、位置検出センサを操舵角検出装置等の各種検出機器の限られたスペース内にコンパクトに装着することができる。
【００２６】
なお、上記実施形態例では、スリット１３にキャリッジ１０の移動方向に対して傾斜する直線部１３ａを有し、この直線部１３ａの延出方向と２分割フォトダイオード１５の受光量比率が変化する方向とを略直交させた構成について説明したが、スリット１３の直線部１３ａをキャリッジ１０の移動方向に対して直交させ、この直線部１３ａの延出方向と２分割フォトダイオード１５の受光量比率が変化する方向とを略直交させるように構成してもよいことは勿論である。
【００２７】
また、上記実施形態例では、長方形の２分割フォトダイオード１５を例示して説明したが、２分割フォトダイオード１５の形状はこれに限定されず、短辺と長辺とが９０度以外の角度をなす長方形に近い形状を有する平行四辺形状であってもよいことは勿論である。
【００２８】
さらに、上記実施形態例では、本発明のリニア型位置検出センサをステアリング機構の操舵角検出装置に適用した場合について説明したが、直線的に移動する移動部材の変位量を検出する必要のある他の装置に適用することも可能である。
【００２９】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したような形態で実施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【００３０】
移動部材がガイド手段に沿って直線的に移動すると、発光素子から出射されてスリットを通過する光の帯が２分割受光素子の第１および第２受光部上に照射され、移動部材の移動位置に応じて第１および第２受光部の受光量比率が変化するため、２分割受光素子の出力値に基づいて移動部材の移動量をアナログ的な変化として検出することができ、しかも、この２分割受光素子は差動式の受光素子であるため、発光素子の発光強度が経年的に低下したとしても、第１および第２受光部の受光量比率が変動することを防止でき、それ故、移動部材の限られた移動範囲内における分解能が高められて位置検出センサの検出精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態例に係る位置検出センサを備えた操舵角検出装置を一部破断して示す側面図である。
【図２】該操舵角検出装置の内部機構を示す平面図である。
【図３】該位置検出センサの説明図である。
【図４】該位置検出センサに備えられる遮光板と発光素子および受光素子の説明図である。
【図５】該遮光板のスリットと受光素子の関係を示す説明図である。
【図６】該受光素子の受光量に基づく絶対角検出の説明図である。
【符号の説明】
１  外装ケース（固定側部材）
２  回転部材
４  第１ギア
７  リードスクリュー
７ａ  螺旋状溝
８  第２ギア
９  ガイドシャフト
１０  キャリッジ（移動部材）
１０ａ  係合歯部
１１  板ばね
１２  遮光板
１３  スリット
１３ａ  直線部
１４  ＬＥＤ（発光素子）
１５  ２分割フォトダイオード（２分割受光素子）
１５ａ  第１受光部
１５ｂ  第２受光部
【図１】
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【図２】
2004170302.tif 000004
【図３】
2004170302.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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