(57)【要約】【課題】軌道面の初期傾きを調整するだけで円筒ころを転動体としたリニアガイド装置についての走行寿命の向上を図ることが可能なリニアガイド装置を提供する。【解決手段】予圧荷重が負荷された状態で、対向する軌道面間が平行となるように、上記予圧荷重による弾性変形分の傾斜量を相殺するだけ、ころを組む込む無負荷状態でレール側軌道面３，４に対してスライダ側軌道面５，６を所定角度、傾斜させる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に延びる軌道面を有する案内レールと、その案内レールの軌道面に対向する軌道面を有して相対移動可能なスライダと、上記対向する軌道面間に所定の予圧荷重を持って介在し上記スライダの相対移動に伴い転動する複数の円筒ころとを備えたリニアガイド装置において、
対向配置される一対の軌道面について、リニアガイドの使用時に負荷されると予定される外部荷重及び上記予圧荷重のうちの少なくとも一方が負荷されて部材が変形した状態で上記一対の軌道面が平行若しくは平行に近づくように、上記部材変形による傾斜分を相殺若しくは小さくする傾斜角だけ、円筒ころを介在させない無負荷の初期状態において、相対的に、一方の軌道面に対し他方の軌道面が傾斜していることを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項２】
軸方向に延びる軌道面を有する案内レールと、その案内レールの軌道面に対向する軌道面を有して相対移動可能なスライダと、上記対向する軌道面間に所定の予圧荷重を持って介在し上記スライダの相対移動に伴い転動する複数の円筒ころとを備えたリニアガイド装置において、
上記軌道面の少なくとも一つについて、リニアガイドの使用時に負荷されると予定される外部荷重及び上記予圧荷重のうちの少なくとも一方が負荷されたことによる部材の変形によって生じる、目標とする基準軌道面からの傾斜分を相殺若しくは小さくする傾斜角だけ、円筒ころを介在させない無負荷の初期状態における当該軌道面を上記基準軌道面から傾斜させたことを特徴とするリニアガイド装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製造装置や加工機械、測定機器などの各種の機械で用いられるリニアガイド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
リニアガイド装置は、例えば特許文献１に記載のように、スライダ２に固定された不図示の被案内物を直線的に案内するための装置である。このリニアガイド装置は、図１４に示すように、案内レール１と、案内レール１に跨架すると共に被案内物が取り付けられる断面略コ字状のスライダ２とを備える。また、図８（ａ）に示すように、案内レール１の側面に形成された案内レール側軌道面３，４と、スライダ２の脚部内周面に形成されたスライダ側軌道面５，６とが対向配置されることで負荷部軌道路が形成され、その負荷部軌道路は、エンドキャップ５０及び上記スライダ２内部に形成された循環路と共に無限循環路を形成する。その無限循環路内には複数の円筒ころが配置され、該複数の円筒ころは、案内レール１に沿ってスライダ２が相対移動に合わせて上記無限循環路内を転動する。なお、上述のようにリニアガイド装置は、半導体製造装置や精密加工機械、精密測定機器などの各種機械に用いられる。
【０００３】
ここで、上記対向する案内レール側軌道面３，４とスライダ側軌道面５，６とは、ころを組み込まない無負荷状態において、図８（ｂ）に示すように、案内レール１の軸方向からみて、両軌道面が相互に平行な面となるように、案内レール１及びスライダ２の各軌道面が仕上加工される。
【０００４】
【特許文献１】
特開平５−２８０５３７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
転動体が円筒ころであるリニアガイド装置は、特に工作機械など、高い剛性が必要な用途に使用される場合が多い。したがって、十分な剛性を得るために、ころは、十分な予圧荷重が与えられて、上記対向した軌道面間に介在される。
しかし、この予圧荷重によって、スライダ２は左右の脚部２Ａが開くように弾性変形する。弾性変形の状態をＦＥＭ解析によって計算した結果を、図５に示す。この図５（ｂ）のように、スライダ２の水平部２Ｂの左右が上側に反って、左右の脚部２Ａ全体が開くような形に変形する。このため、円筒ころを介在させてリニアガイドを使用可能な状態とした状態では、相対的に、案内レール側軌道面３，４に対し、対向するスライダ側軌道面５，６が所定角度だけ傾斜することになる。
【０００６】
さらに、被案内物などからの外部荷重が負荷することでも、上記傾斜具合が異なる。図５（ｃ）は外部荷重を考慮した結果である。
このように、従来のリニアガイド装置にあっては、ころを介在させた使用状態では、対向する１対の軌道面が平行でないために、ころと各軌道面との接触圧力が一様に分布せずに偏って分布し、接触位置によって圧力が異なるようになる。図９は、ころ−軌道間の接触圧力のころ軸方向の分布状態を計算した結果である。リニアガイド装置全体の走行寿命は、最も接触圧力が大きい、ところの走行寿命に大きく依存する。つまり、図９のように接触圧力の分布に所定以上に偏りがあると、その分、一部の面圧が異常に高くなってリニアガイド装置全体としての寿命が低下してしまう。また、このようにころが片当たり状態になっていると転動するころの姿勢にも影響が発生するおそれがある。
【０００７】
一方、このような部材変形による軌道面間の傾斜を小さくする目的で、部材剛性を高くする方法が考えられる。しかしそのためには、剛性を高くする目的で部材の寸法を大きくする必要があり、装置のコンパクト化の妨げとなる。
本発明は、上記のような問題点に着目してなされたもので、軌道面の初期傾きを調整するだけで円筒ころを転動体としたリニアガイド装置についての走行寿命の向上を図ることが可能なリニアガイド装置を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のうち請求項１に記載した発明は、軸方向に延びる軌道面を有する案内レールと、その案内レールの軌道面に対向する軌道面を有して相対移動可能なスライダと、上記対向する軌道面間に所定の予圧荷重を持って介在し上記スライダの相対移動に伴い転動する複数の円筒ころとを備えたリニアガイド装置において、
対向配置される一対の軌道面について、リニアガイドの使用時に負荷されると予定される外部荷重及び上記予圧荷重のうちの少なくとも一方が負荷されて部材が変形した状態で上記一対の軌道面が平行若しくは平行に近づくように、上記部材変形による傾斜分を相殺若しくは小さくする傾斜角だけ、円筒ころを介在させない無負荷の初期状態において、相対的に、一方の軌道面に対し他方の軌道面が傾斜していることを特徴とするものである。
【０００９】
次に、請求項２に記載した発明は、軸方向に延びる軌道面を有する案内レールと、その案内レールの軌道面に対向する軌道面を有して相対移動可能なスライダと、上記対向する軌道面間に所定の予圧荷重を持って介在し上記スライダの相対移動に伴い転動する複数の円筒ころとを備えたリニアガイド装置において、
上記軌道面の少なくとも一つについて、リニアガイドの使用時に負荷されると予定される外部荷重及び上記予圧荷重のうちの少なくとも一方が負荷されたことによる部材の変形によって生じる、目標とする基準軌道面からの傾斜分を相殺若しくは小さくする傾斜角だけ、円筒ころを介在させない無負荷の初期状態における当該軌道面を上記基準軌道面から傾斜させたことを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係る実施形態について図面を参照しつつ説明する。
本実施形態のリニアガイド装置の基本構成は、上記従来例と同様であり、図１に示すように、案内レール１に対し略コ字状のスライダ２が跨架し当該案内レール１に沿って相対移動可能となっている。上記案内レール１の左右側面にそれぞれ２条の計４条の案内レール側軌道面３，４が形成されている。また、スライダ２の脚部内周部位置には、上記各案内レール側軌道面３，４に対向してスライダ側軌道面５，６が形成されている。符号７は転動体戻り路である。
【００１１】
そして、対向する案内レール側軌道面３，４及びスライダ側軌道面５，６からなる負荷転動路に、所定の予圧荷重を持って複数の円筒ころ８が負荷転動路に沿って配置されて作動時に転動する。
本実施形態では、図２に示すように、上記予圧荷重によって変形した状態で案内レール側軌道面位置３Ａ，４Ａとスライダ側軌道面位置５Ａ，６Ａとが平行となるように、ころ８を組み込み前の無負荷の状態のスライダ側軌道面５，６を、変形後の案内レール側軌道面３Ａ、４Ａに平行な面５Ａ、６Ａから初期傾斜角θ１，θ２だけ傾斜した面となるように加工している。
【００１２】
例えば、スライダ２側に着目すると、上記予圧荷重によって、図３に示すように、左右の脚部２Ａが開くように弾性変形することで、無負荷の軌道面位置に対して、上側の軌道面５及び下側の軌道面６は共に所定角度だけ反時計方向に回動変位した面状態となる。また、案内レール１側に着目すると、上記予圧荷重によって、図４（ａ）に示すような荷重負荷によって、図４（ｂ）に示すように、上側の左右部分が上方に反るように弾性変形することで、上側軌道面３では、無負荷の軌道面位置に対して反時計回りに所定角度だけ回動変位した面状態となる。下側の軌道面４では、予圧荷重の有無によってほとんど変化がない。そして、無負荷状態における案内レール側軌道面３，４を従来通りの基準とする基準軌道面に設定しておく。一方、スライダ側軌道面５，６については、上側の軌道面５を、図２のように、基準とする基準軌道面（不図示）に対し、変形による案内レール側軌道面３及びスライダ側軌道面５の両方の傾斜分を加味して相殺する傾斜角だけ傾斜した面に加工する。同様に、下側の軌道面６を、基準とする基準軌道面（符号６Ａと同じ面）に対し、スライダ側軌道面５の部材変形で生じる傾斜分を相殺する初期傾斜角だけ傾斜した面に加工する。
【００１３】
ここで、無負荷状態の基準軌道面からの上記弾性変形による傾斜量は、有限要素法などの解析によって求めても良いし、実験によって求めても良い。
また、付与する予圧荷重と、部材変形による各軌道面の傾斜量とについて調べたところ、ほぼ一次比例の関係にあることを確認している。したがって、対応するタイプ・寸法のリニアガイドについての下記のような関係式を予め求めておき、当該関係式から付与する予圧荷重に対する初期傾斜角を決定しても良い。
【００１４】
初期傾斜角  ＝Ｋ１×（予圧荷重）  ＋Ｋ２
但し、Ｋ１，Ｋ２は係数である。
これによって、無負荷状態においては、各対向する軌道面同士において、案内レール側軌道面３，４に対してスライダ側軌道面５，６が傾いた状態になる。
そして、このように設定された案内レール１及びスライダ２の各対向する軌道面間に対し、予め設定した予圧荷重をもって各ころ８を組み込むと、スライダ２及び案内レール１はそれぞれ上述のように変形して、対向する軌道面３Ａ、５Ａ、４Ａ、６Ａが互いに平行な状態若しくは平行に近い状態となる。この結果、リニアガイド装置の使用状態においては、各軌道面ところとの間の接触面圧分布が一様若しくは接触面圧分布の偏りを小さく抑えられて、ころ８の片当たりが抑制される。
【００１５】
これによって、リニアガイド装置全体の走行寿命の低下を防止することができる。
また、各軌道面ところとの間の接触面圧分布が一様に近づくということは、転動路に沿ってころ８が転動する際の不要なふらつきも防止できる。上記接触面圧分布の偏りが大きいと転動するころ８に不要なふらつきが発生するおそれがある。
【００１６】
ここで、上記実施形態では、ころ組み込み時の予圧荷重による部材の弾性変形だけを考慮しているが、これに限定されない。スライダ２自体の自重や、スライダ２に取り付けられる被案内物などによって生じる予定されている外部荷重による弾性変形も加味して上記傾斜角を決定するようにしても良い。但し、被案内物（機械装置）は、通常、スライダ２の上面に取り付けられるので、図５（ｂ）→（ｃ）のように、上記スライダ２の水平部上面の変形を抑制する働きをして、通常の使用条件では外部荷重による軌道面の変形寄与率は小さい。よって、初期傾斜角を決定するためには、一般には、予圧荷重だけを考慮すれば十分である。もちろん、外部荷重も考慮することで、より理想的な初期傾斜角を求めても良い。
【００１７】
また、上記実施形態では、案内レール側軌道面３，４及びスライダ側軌道面５，６に予圧荷重を負荷することによる無負荷時の面からの各傾斜量を相殺するように、スライダ側軌道面５，６だけを基準軌道面から傾斜させて、変形後の案内レール側軌道面３，４とスライダ側軌道面５，６とが平行となるように設定しているがこれに限定されない。案内レール側軌道面３，４及びスライダ側軌道面５，６に予圧荷重を負荷することによる無負荷時の面からの各傾斜量を相殺するように、案内レール側軌道面３，４だけを基準軌道面から傾斜させても良いし、案内レール側軌道面３，４及びスライダ側軌道面５，６にそれぞれ所定の配分で振り分けて両者を基準軌道面から傾斜させるようにしても良い。
【００１８】
または、案内レール側軌道面３，４及びスライダ側軌道面５，６について、それぞれ個別に、設計などで決められた目標とする基準軌道面に対して、上記ころ８の介在による予圧荷重が負荷されることによる部材（スライダ２若しくは案内レール１）の弾性変形によって発生する傾斜分を相殺するように、ころ８を組み込み前の無負荷の状態で、基準軌道面に対し傾斜（上記変形による傾斜とは反対方向の傾斜）した面に加工するようにしても良い。これによっても、予圧荷重が負荷された状態において、対向する案内レール側軌道面３，４とスライダ側軌道面５，６とは平行若しくは平行に近づき、ころ８を介在させた状態で各軌道面ところとの間の接触面圧の偏りを抑えることができる。またこの場合には、ころ８を組み込んだときの各軌道面が目的とする基準軌道面にすることができることから、組み込んだころ８の傾きを所望の傾きに出来るなどの効果もある。
【００１９】
また、上記実施形態では、スライダ２と共に案内レール１側の弾性変形も考慮して案内レール１側の軌道面の傾き分もスライダ２側で相殺する場合で説明しているが、案内レール１の変形による案内レール側軌道面３，４の傾斜は、スライダ２側の変形による軌道面の傾斜に比べて小さい（例えば２０〜３０％に相当する）。これは、スライダ２が略コ字状の部材であるために左右の脚部が開くように変形しやすいのに対し、案内レール１部材は略矩形で、比較的部材剛性が大きいためである。したがって、実用上は案内レール側軌道面３，４の弾性変形による傾斜を無視してもさほど差し支えないと思われる。すなわち、スライダ２側の弾性変形だけを考慮して、スライダ側軌道面５，６だけを傾斜するようにしても良い。
【００２０】
【実施例】
「実施例１：傾き量について」
上記構成の４列の転動体列を有するリニアガイドについて、主な寸法を、案内レール１の幅３５ｍｍ、案内レール１の底面からスライダ２の上面までの高さ＝５５ｍｍ、スライダ２の幅＝７０ｍｍ、スライダ２の長さ＝１１２ｍｍ、転動体直径＝４ｍｍ、転動体長さ＝６ｍｍとして、次のようなことを実施した。
【００２１】
本実施例では、上記図２のように、案内レール側軌道面３，４とスライダ側軌道面５，６にそれぞれ生じる変形傾斜分を相殺するようにスライダ側軌道面５，６側を所定初期傾斜角だけ傾けた。
本実施例では、初期傾斜角は、次のようにして決めた。
【００２２】
リニアガイド装置を組み立てた状態で、ころ８には予圧荷重が掛けられる。予圧荷重の大きさは、リニアガイド装置の用途によって異なるが、本実施例では、予圧荷重を８０００Ｎとした。なお、自重としてスライダ２に５０００Ｎの下向きの荷重が作用しているといしている。そして、予圧荷重が作用した時のスライダ２及び案内レール１の変形伏態は、ＦＥＭ解析その他の公知の解析方法で計算して求めることができる。上記図５（ｂ）は、ＦＥＭ解析でスライダ２部材の部材変形を計算した結果の図である。この結果では、部材変形によるスライダ２の上側軌道面と下側軌道面の傾き量は、上下平均で６．７×１０−４ｒａｄだった。このとき、上記スライダ２の自重を無視して解析すると、上下平均で６．８×１０−４ｒａｄだった。すなわち、スライダ２の自重による寄与は小さい。
【００２３】
この結果から、本実施例では、案内レール１側の変形を無視したスライダ側軌道面５，６の初期傾斜角は、上側・下側とも、６．８×１０−４ｒａｄ（初期傾斜角の方向は、変形で傾く方向と逆向き）とすれば良い。この図５から分かるように、脚部全体が一体となって開くように変形するので、上側軌道面と下側軌道面の部材変形による傾斜量はほぼ同じ値である。
【００２４】
上ではＦＥＭ解析によって傾斜角を求めたが、実験的に傾斜角を求めることもできる。すなわち、図３のように、スライダ２脚部の幅寸法の組み立て前後（予圧荷重がかかる前後）での差分△Ｗを測定する。測定には、パッサメータなどの測定器を用いる。そして、部材変形による軌道面の傾斜角θは、次式で近似的に計算できる。
θ＝△Ｗ／（２×Ｌｂ）
本例では、軌道面に傾斜を与えない場合の開き量△Ｗ＝４２μｍ、Ｌｂ＝２８ｍｍなので、上式よりθ＝７．５×１０−４ｒａｄとなり、上記ＦＥＭ解析による値と近似した値となっている。
【００２５】
ここで、他の種々寸法のリニアガイド部材について、ＦＥＭ解析による計算結果と上記実験的に求めた値を比較してみたところ、ほぼ一致していた。また、スライダ２の形状として角形及びフランジ形のものであっても、同様にほぼ一致していた。したがって、有限要素法での計算によって、スライダ２の変形量を良い精度で予測できる。この結果から、部材変形による軌道面の傾き量も、実験と解析で十分な精度で一致すると考えて良い。ＦＥＭ解析を利用すれば、製品の試作や測定を行わないで、基準軌道面に対する初期傾斜角を決められる。したがって、試作や測定のための期間やコストを削減することができる。
【００２６】
また、上記説明では、スライダ２についてだけ説明したが、案内レール１側の部材変形についてもＦＥＭ解析で求めて基準軌道面に対する初期傾斜角を決めてみた。条件は上記と同じである。解析結果は、部材変形による上側軌道面及び下側軌道面の傾き量は、それぞれ上側＋１．１×１０−４ｒａｄ、下側−０．１×１０−４ｒａｄだった（符号は、時計回りを正とする）。
【００２７】
上記案内レール１側の傾き量を案内レール１側の軌道面を基準軌道面から傾斜させて対応しても良いし、この案内レール１側の傾き量も加味して、対向するスライダ側軌道面５，６を基準軌道面から傾斜させても良い。スライダ側軌道面５，６で傾きを吸収する場合には、スライダ側軌道面５，６のうち上側軌道面の初期傾斜角＝６．８×１０−４−１．１×１０−４  ＝５．７×１０−４  ｒａｄ、下側軌道面の初期傾斜角＝６．８×１０−４＋１．１×１０−４  ＝６．９×１０−４  ｒａｄとなるように基準軌道面から、変形で傾斜する方向と反対方向に傾斜させるように加工する。なおこの場合には、上側軌道面と下側軌道面との初期傾斜角が異なるので、各軌道面単位に基準軌道面からそれぞれの初期傾斜角だけ傾斜するように、個別に例えば総形砥石を傾斜させて加工を行ったり、上下軌道面が異なる傾斜角を有するロータリドレッサで総形砥石を成形して加工を行ったりする。または、両者の平均をとって、上下の初期傾斜角を６．３×１０−４  ｒａｄとしても良い。このように設定しても、ころ８と軌道面との接触面圧分布の偏りは緩和される。
【００２８】
ここで、上記予圧荷重を上記８０００Ｎから１．５倍の１２０００Ｎとした場合には、スライダ２側の上側軌道面の初期傾斜角は１．５×５．７×１０−４  ｒａｄ＝８．６×１０−４  ｒａｄ、下側軌道面の初期傾斜角は、１．５×６．９×１０−４  ｒａｄ＝１０．３×１０−４  ｒａｄとすればよい。
また、本実施例を従来技術と比較するため、従来技術による比較例１を用いる．比較例１では、図８に示すように、予圧のかからない状態で、案内レール１とスライダ２の軌道面間は平行であり、目標とする基準軌道面に等しい傾きとなっている。その他は、実施例１と比較例１のリニアガイド装置の寸法と同一である。
【００２９】
そして、本実施例及び比較例１におけるころ８を介在させたときの当該ころ８と軌道面と間の接触圧力分布をそれぞれ求めてみた。図９は、比較例１（従来技術による）の接触圧力分布であり、接触圧力の偏りが大きく、寿命低下を招くために望ましくない。一方、本実施例の接触圧力分布は、図１０に示すように、接触圧力の偏りが小さい。よって寿命低下を防ぐことができる。
「実施例２」
軌道面の加工について：
総形砥石４０を用いて、スライダ２の脚部内周面にある２つの軌道面を同時に加工する。
【００３０】
まず、スライダ２の脚部内周面の仕上がり形状（基準軌道面の傾きに軌道面形状が設定されたもの）に精度が正しく管理されたロータリドレッサ４１で、上記総形砥石４０の外周面を成形する。
このとき、ロータリードレッサ４１の軸と砥石４０の回転軸とを平行にして砥石４０外周をロータリドレッサ４１に押し付けて成形を行うことで、砥石４０に対して、基準軌道面の傾きとなった軌道面に対応した面が転写される。
【００３１】
これに対し、本実施例では、図１１に示すように、ロータリードレッサ４１の軸を上記初期傾斜角だけ傾斜させた状態にして、砥石４０外周をロータリドレッサ４１に押し付けて成形を行う。これによって、砥石４０に対して、基準軌道面から初期傾斜角だけ傾いた軌道面に対応した面が転写される。ロータリードレッサ４１を傾斜させる代わりに、総形砥石４０の回転軸を初期傾斜角だけ傾斜させて成形するようにしても良い。上記傾斜角は、上記実施例１の場合には、例えば６．８×１０−４ｒａｄとなる。
【００３２】
そして、上記総形砥石４０で、スライダ２の両脚部内周面の仕上加工を行うことで、上側軌道面及び下側軌道面が共に基準傾斜角から初期傾斜角だけ傾いた軌道面に仕上加工される。
ここで、上記説明では、総形砥石４０の面を基準軌道面から初期傾斜角だけ傾いた軌道面に対応した面形状に成形しているがこれに限定されない。
【００３３】
例えば、従来と同様に、ロータリードレッサ４１の軸と総形砥石４０の回転軸とを平行にして当該砥石４０の成形を行って、砥石４０に、基準軌道面の傾きとなった軌道面に対応した面を転写する。そして、総形砥石４０でスライダ２の脚部内周面の仕上加工を行う際に、図１２及び図１３のように、総形砥石４０の回転軸若しくはワーク（スライダ２）を上記初期傾斜角だけ傾斜させる。
【００３４】
以上の加工によって、スライダ２の片側脚部における上下２つの軌道面を共に目的とする初期傾斜角だけ基準軌道面から傾斜した軌道面に加工することができる。
案内レール側軌道面３，４についても、同様な加工によって上側軌道面を基準軌道面から初期傾斜角だけ傾斜した軌道面に加工する。
なお、図１１〜図１３では傾斜量は誇張して表示してある。
以上のように加工した軌道面に、所定の傾斜が与えられているかどうかは、次の方法によって測定することができる。
【００３５】
すなわち、第１の測定法は図６に示すように、上側及び下側のうち一方の左右軌道面の形状を測定する方法である。紙片などからなる連結部材３０を左右の脚部２Ａ間に架け渡して測定プローブ３１を支持可能な状態として、左右の軌道面を形状測定器で測定する。そして、左右の軌道面のなす角から初期傾斜角を求める。この方法では下側の軌道面しか測定できないが、ドレッサの形状は高い精度で確保できる。従って、下側の軌道面について所要の初期傾斜角が与えられていれば、上側の軌道面とも、所要の初期傾斜角が与えられていると考えて良い。
【００３６】
第２の測定方法を図７に示す。上下の軌道面について、それぞれ軌道面とつば部のなす凹部に測定用ころ３２を当てて、左右のころ３２間の距離Ｗ１及びＷ２を測定する。上下のころ３２間の距離ｈとすると，θ＝（Ｗ２ーＷ１）／２ｈから，軌道面の傾斜角が分かる。つば部はスライダ２側の軌道面のみにある。従ってこの形式のリニアガイド装置では、傾斜を与えるのはスライダ２側の軌道面のみとすると都合がよい。一般に、つば部を設けるとドレッサ形状が複雑になりコストが増大する。このため、つば部はスライダ２または案内レール１の一方のみに設けるのが望ましい。そして、つば部のついた部材のみについて、傾斜角を与えるのが望ましい。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明を採用すると、リニアガイド装置の走行寿命を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づく実施形態に係るリニアガイド装置を示す一部破断した図である。
【図２】本発明に基づく実施形態に係る対向する軌道面の関係を示す図である。
【図３】本発明に基づく実施形態に係るスライダの弾性変形を示す図である。
【図４】本発明に基づく実施形態に係るレールの弾性変形を示す図である。
【図５】本発明に基づく実施形態に係るスライダの弾性変形を示す図である。
【図６】本実施例における測定法の一例を示す図である。
【図７】本実施例における測定法の一例を示す図である。
【図８】従来例の対向する軌道面の関係を示す図である。
【図９】従来例における接触面圧の分布を示す図である。
【図１０】本発明に基づく実施形態に係る接触面圧の分布を示す図である。
【図１１】本発明に基づく実施形態に係る加工法を示す図である。
【図１２】本発明に基づく実施形態に係る加工法を示す図である。
【図１３】本発明に基づく実施形態に係る加工法を示す図である。
【図１４】リニアガイド装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
１    案内レール
２    スライダ
３，４  案内レール側軌道面
５，６  スライダ側軌道面
８      円筒ころ
４０      総形砥石
４１      ドレッサ
【図１】
2004324737.tif 000003
【図２】
2004324737.tif 000004
【図３】
2004324737.tif 000005
【図４】
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【図５】
2004324737.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004324737.tif 000009
【図８】
2004324737.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2004324737.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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