(57)【要約】【課題】半導体集積回路のマスクレイアウト自動配置配線設計においては小さく作ることにより歩留まり等品質が向上する。しかし最小にすると自動配置配線後の配線修正が困難になる。そのことにより、配置まで後戻りを行い修正しなければならない。【解決手段】あらかじめダミー配線を自動で縦横に複数配線を行った後に通常の自動配置配線を行い、設計工程を短縮、修正を簡単化しタイミング調整も簡単化する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体集積回路の論理回路接続情報に従ってマスクレイアウトを自動配置配線するに際し、
ダミー配線を設計中の半導体チップ内に縦横に複数配線を行った後に論理ブロックレイアウトを作成し、
タイミングシミュレーション工程の結果に基づいて前記ダミー配線を使用して配線長を修正する
マスクレイアウト自動配置配線方法。
【請求項２】
設計中の半導体チップ内にダミー配線を複数の配線層分重ねて縦横にあらかじめ配線しておく
請求項１記載のマスクレイアウト自動配置配線方法。
【請求項３】
半導体集積回路の論理回路接続情報に従ってマスクレイアウトを自動配置配線するに際し、
ユニットセルやダミーセルの接続情報を決定して論理回路接続情報を作成し、
ダミー配線情報をもとにあらかじめダミーの配線設計してダミー自動配線情報を作成し、
前記論理回路接続情報と前記ダミー自動配線情報をもとに自動配置配線設計して自動配置配線情報を作成し、
前記論理回路接続情報のユニットセルやダミーセルの接続情報を変更して自動配線用論理回路接続修正情報を作成し、
前記論理回路接続情報と前記自動配線用論理回路接続修正情報とを論理比較して比較情報を作成し、
前記自動配置配線情報を前記比較情報だけ修正する
マスクレイアウト自動配置配線方法。
【請求項４】
ダミー配線情報をもとにダミー自動配線情報を作成する場合に、設計中の半導体チップ内にダミー配線を複数の配線層分重ねて縦横にあらかじめ配線しておく請求項３記載のマスクレイアウト自動配置配線方法。
【請求項５】
半導体集積回路の論理回路接続情報に従ってマスクレイアウトを自動配置配線するに際し、
ユニットセルやダミーセルの接続情報を決定して論理回路接続情報を作成し、
ダミー配置情報をもとにあらかじめダミーセルを配置してダミー自動配置情報を作成し、
前記論理回路接続情報と前記ダミー自動配置情報をもとに自動配置配線設計して自動配置配線情報を作成し、
前記論理回路接続情報のユニットセルやダミーセルの接続情報を修正して自動配置配線用論理回路修正情報を作成し、
前記論理回路接続情報と前記自動配置配線用論理回路修正情報を比較して比較情報を作成し、
前記自動配置配線情報を前記比較情報だけ修正する
マスクレイアウト自動配置配線方法。
【請求項６】
ダミー配置情報をもとにダミー自動配置情報を作成する場合に、設計中の半導体チップのユニットセルを置く最外郭にダミーセルを配置しておく
請求項５記載のマスクレイアウト自動配置配線方法。
【請求項７】
半導体集積回路の論理回路接続情報に従ってマスクレイアウトを自動配置配線するに際し、
ユニットセルの接続情報を決定して自動配置配線用論理回路接続情報を作成し、
ダミー配線情報をもとにあらかじめダミー配線設計してダミー自動配線情報を作成し、
前記自動配置配線用論理回路接続情報と前記ダミー自動配線情報をもとに自動配置配線設計して自動配置配線情報とユニットセル遅延情報を作成し、
前記自動配置配線情報と前記ユニットセル遅延情報をもとに遅延を計算して配線遅延情報を作成し、
前記配線遅延情報を前記自動配置配線用論理回路接続情報に付加して遅延値込みのシミュレーションを行いタイミングに不備のある箇所を出力したタイミング情報を作成し、
前記タイミング情報をもとに前記自動配置配線情報を修正する
マスクレイアウト自動配置配線方法。
【請求項８】
半導体集積回路の論理回路接続情報に従ってマスクレイアウトを自動配置配線するに際し、
ユニットセルの接続情報を決定して自動配置配線用論理回路接続情報を作成し、
ダミー配置情報をもとにあらかじめダミー配置設計してダミー自動配置情報を作成し、
前記ユニットセルの接続情報と前記ダミー配置情報をもとに自動配置配線設計して自動配置配線情報とユニットセル遅延情報を作成し、
前記自動配置配線情報と前記ユニットセル遅延情報をもとに遅延を計算して配置配線遅延情報を作成し、
前記配置配線遅延情報を前記ユニットセルの接続情報に付加して遅延値込みのシミュレーションを行いタイミングに不備のある箇所を出力したタイミング情報を作成し、
前記タイミング情報をもとに前記自動配置配線情報を修正する
マスクレイアウト自動配置配線方法。
【請求項９】
請求項１〜請求項８のいずれかのマスクレイアウト自動配置配線方法を実行するマスクレイアウト設計用ＣＡＤ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はマスクレイアウト設計用ＣＡＤ装置によって目的の半導体集積回路を設計して自動的に配置配線を行う方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
マスクレイアウト設計用ＣＡＤ装置を使用して半導体集積回路を設計する従来のマスクレイアウト自動配置配線方法の一例を図７に示す。
【０００３】
７０１は論理設計工程で、ユニットセルの接続情報を決定する。
７０２は自動配置配線設計工程で、論理設計工程７０１の結果生成される自動配置配線用論理回路接続情報７０６をもとに自動配置配線する。
【０００４】
７０３は論理回路修正工程で、前記の自動配置配線用論理回路接続情報７０６の修正情報を作成する。
７０４は論理比較工程で、前記の自動配置配線用論理回路接続情報７０６と論理回路修正工程７０３の結果生成された自動配置配線用論理回路修正情報７０８を比較する。
【０００５】
７０５は自動配置配線修正工程で、論理比較工程７０４の結果の比較情報７０９をもとに自動配置配線設計工程７０２の結果生成された自動配置配線情報７０７を修正する工程を表している。
【０００６】
さらに詳しく説明する。
実現すべき機能が決定すると、それを回路図上で実現するように論理設計工程７０１においてユニットセルを用いて設計を行う。ユニットセルの組み合わせで目的とする機能が実現されると、その組み合わせ機能回路と今後修正されるであろう回路を用意してある前記の自動配置配線用論理回路接続情報７０６が生成される。
【０００７】
生成された自動配置配線用論理回路接続情報７０６をもとに、自動配置配線設計工程７０２において自動配置配線情報７０７が生成される。
また論理回路修正工程７０３において、自動配置配線用論理回路接続情報７０６の組み合わせ機能回路と今後修正されるであろう回路の接続を修正して回路の変更を行い、自動配置配線用論理回路修正情報７０８が生成される。
【０００８】
論理比較工程７０４では、自動配置配線用論理回路接続情報７０６と自動配置配線用論理回路修正情報７０８を比較しその差分を７０９の比較情報として生成する。自動配置配線修正工程７０５は、その比較情報７０９を自動配置配線情報７０７に反映させる工程である。
【０００９】
図８は、従来の半導体集積回路の遅延を計算し調整する手順の一例を示す。
８０１は論理設計工程で、ユニットセルの接続情報を決定する。
８０２は自動配置配線設計工程で、論理設計工程８０１の結果生成される自動配置配線用論理回路接続情報８０６をもとに自動配置配線する。
【００１０】
８０３は自動配置配線遅延抽出工程で、自動配置配線設計工程８０２の結果生成された自動配置配線情報８０８とユニットセル遅延情報８０７をもとに遅延を計算する。
【００１１】
８０４はタイミングシミュレーション工程で、自動配置配線遅延抽出工程８０３の結果生成された配線遅延情報８０９を自動配置配線用論理回路接続情報８０８に付加して遅延値込みのシミュレーションを行う。
【００１２】
８０５は配線修正工程で、タイミングシミュレーション工程８０４の結果タイミングに不備のある箇所を出力したタイミング情報８１０をもとに自動配置配線設計工程８０３の結果生成された自動配置配線情報８０８を修正して自動配置配線遅延抽出工程８０３に出力する。
【００１３】
さらに詳しく説明する。
実現すべき機能が決定すると、それを回路図上で実現するように論理設計工程８０１において、ユニットセルを用いて設計を行う。ユニットセルの組み合わせで目的とする機能が実現されると、その組み合わせ機能回路と今後修正されるであろう回路を用意してある、自動配置配線用論理回路接続情報８０６が生成される。
【００１４】
生成された自動配置配線用論理回路接続情報８０６をもとに、自動配置配線設計工程８０２において、自動配置配線を行い、自動配置配線情報８０８が生成される。
【００１５】
遅延計算は、ユニットセル遅延情報８０７と自動配置配線情報８０８をもとに自動配置配線遅延抽出工程８０３にて行われる。そしてその結果生成される配置配線遅延８０９を論理設計工程８０１にて生成された自動配置配線用論理回路接続情報８０６に付加してタイミングシミュレーション工程８０４を行い、その結果タイミングに不備のある箇所を出力したタイミング情報８１０を生成する。
【００１６】
このタイミングの不備を修正する方法として、図７の論理情報を変更して修正する方法と、論理を変更せず配線だけを修正する方法がある。それらの修正を配線修正工程８０６にて行った後、自動配置配線遅延抽出工程８０３から再度実行し、タイミングシミュレーション工程８０４でタイミングに不備が出なくなるまで繰り返している。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の方法では、配線修正時に混雑していると配置まで修正を行わないといけない問題がある。配置まで修正すると全ての層の修正を行わないといけないため、プロセスを途中まで終わっているスライスが使用できなくなってしまい、修正から商品の完成までに時間がかかる問題がある。
【００１８】
また、配線修正だけのタイミング修正も配線長が確保できなかったために計算が大変であったりする不都合がある。
本発明は、配線修正ならびにタイミング不備の修正が従来よりも簡単なマスクレイアウト自動配置配線方法を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明のマスクレイアウト自動配置配線設計方法は、ダミー配線を自動で縦横に複数配線を行った後に論理ブロックレイアウトを作成することを特徴とする。
【００２０】
本発明は、ダミー配線を作成して自動配置配線し、その論理ブロックレイアウトのダミーセルとユニットセルの繋ぎ変えて修正を行った時にそのダミー配線を使って行うものである。
【００２１】
これにより、論理ブロックレイアウトの修正を容易に出来るため、設計工数を短縮でき、さらにダミー配線は直線で複数の層に同じ位置に存在するため、配線長の調整が容易に調整できる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のマスクレイアウト自動配置配線方法を具体的な各実施の形態に基づいて説明する。
【００２３】
（実施の形態１）
図１と図２は本発明の（実施の形態１）を示す。
図１はマスクレイアウト設計用ＣＡＤ装置を使用して半導体集積回路を設計する自動配置配線方法を示す。
【００２４】
１０１は論理設計工程で、ユニットセルやダミーセルの接続情報を決定する。１０２はダミー配線工程で、ダミー配線情報１０８をもとにあらかじめダミーの配線を自動で引く。
【００２５】
１０３は自動配置配線設計工程で、論理設計工程１０１の結果生成される論理回路接続情報１０７とダミー配線工程１０２の結果生成されるダミー自動配線情報１０９をもとに自動配置配線を行う。
【００２６】
１０４は論理設計修正工程で、論理回路接続情報１０７のユニットセルやダミーセルの接続情報を変更する。
１０５は論理比較工程で、論理回路接続情報１０７と論理設計修正工程１０４の結果生成される自動配線用論理回路接続修正情報１１１とを比較する。
【００２７】
１０６は自動配置配線修正工程で、自動配置配線設計工程１０３の結果生成される自動配置配線情報１１０を論理比較工程１０５の結果生成される比較情報１１２だけ修正する工程を表している。
【００２８】
さらに詳しく説明する。
実現すべき機能が決定すると、それを回路図上で実現するように論理設計工程１０１において、ユニットセルを用いて設計を行う。その時にあらかじめ修正用のダミーセルを複数入れておく。
【００２９】
ユニットセルの組み合わせとダミーセルで目的とする機能が実現されると、論理回路接続情報１０７が生成される。そしてダミー配線工程１０２にてダミー配線情報１０８をもとに、設計中の半導体チップ内に一定間隔ごとにダミー配線を複数の配線層分重ねて縦横にあらかじめ配線しておく。
【００３０】
その後、自動配置配線設計工程１０３においてユニットセルとダミーセルを、ダミー配線を考慮して自動配置する。
論理設計修正工程１０４において自動配置配線用論理回路接続情報１０７のユニットセルと修正用のダミーセルの接続を修正して回路の変更を行い、自動配置配線用論理回路接続修正情報１１１が生成される。
【００３１】
そして論理比較工程１０５で自動配置配線用論理回路接続情報１０７と自動配置配線用論理回路接続修正情報１１１を比較しその差分を比較情報１１２として生成する。その比較情報１１２を自動配置配線情報１１０で用意されたダミー配線にて差分のみ修正する自動配置配線修正工程１０６にてレイアウトを実現する。
【００３２】
ダミー配線後の様子を図２に示す。
５０１はダミー配線工程１０２において配線されたダミー配線、５０２は自動配置配線設計工程１０３によって配置されたユニットセルとダミーセルである。
【００３３】
（実施の形態２）
図３と図４は本発明の（実施の形態２）を示す。
図３はマスクレイアウト設計用ＣＡＤ装置を使用して半導体集積回路を設計する自動配置配線方法を示す。
【００３４】
２０１は論理設計工程で、ユニットセルやダミーセルの接続情報を決定する。
２０２はダミー配置工程で、ダミー配置情報２０８をもとにあらかじめダミーセルを配置する。
【００３５】
２０３は自動配置配線設計工程で、論理設計工程２０１の結果生成される論理回路接続情報２０７とダミー配置工程２０２の結果生成されるダミー自動配置情報２０９をもとに自動配置配線を行う。
【００３６】
２０４は論理設計修正工程で、論理回路接続情報２０７のユニットセルやダミーセルの接続情報を変更する。
２０５は論理比較工程で、論理回路接続情報２０７と論理設計修正工程２０４の結果生成される自動配置配線用論理回路修正情報２１１とを比較する。
【００３７】
２０６は自動配置配線修正工程で、自動配置配線設計工程２０３の結果生成される自動配置配線情報２１０を論理比較工程２０５の結果生成される比較情報２１２だけ修正する工程を表している。
【００３８】
さらに詳しく説明する。
実現すべき機能が決定すると、それを回路図上で実現するように論理設計工程２０１において、ユニットセルを用いて設計を行う。その時にあらかじめ修正用のダミーセルを複数入れておき、そのいくつかのダミーセルを２つを対にして繋いでおく。
【００３９】
ユニットセルの組み合わせとダミーセルで目的とする機能が実現し、論理回路接続情報２０７が生成される。そしてダミー配置工程２０２にてダミー配置情報２０８をもとに、設計中の半導体チップのユニットセルを置く最外郭にある一定間隔ごとにダミーセルを配置する。
【００４０】
その後、自動配置配線設計工程２０３においてユニットセルとダミーセルをダミー配線を考慮して自動配置する。
論理設計修正工程２０４において自動配置配線用論理回路接続情報２０７のユニットセルと修正用のダミーセルの接続を修正して回路の変更を行い、自動配置配線用論理回路修正情報２１１が生成される。
【００４１】
そして論理比較工程２０５で自動配置配線用論理回路接続情報２０７と自動配線用論理回路修正情報２１１とを比較しその差分を比較情報２１２として生成する。その比較情報２１２を自動配置配線情報２１０で用意されたダミー配線にて差分のみ修正する自動配置配線修正工程２０６にてレイアウトを実現する。
【００４２】
ダミー配線およびダミーセル配置後の様子を図４に示す。
６０１はダミー配置工程２０２において配線されたダミーセル、６０２は自動配置配線設計工程２０３によって配置されたユニットセルとダミーセル、６０３は自動配置配線設計工程２０３によって配置されたダミー配線である。
【００４３】
（実施の形態３）
図５はマスクレイアウト設計用ＣＡＤ装置を使用して半導体集積回路を設計する自動配置配線方法を示す。
【００４４】
３０１は論理設計工程で、ユニットセルの接続情報を決定する。
３０２はダミー配線工程で、ダミー配線情報３０８をもとにあらかじめダミー配線を行う。
【００４５】
３０３は自動配置配線設計工程で、論理設計工程３０１の結果生成される自動配置配線用論理回路接続情報３０７とダミー配線工程３０２の結果生成されるダミー自動配線情報３０９をもとに自動配置配線する。
【００４６】
３０４は自動配置配線遅延抽出工程で、自動配置配線設計工程３０３の結果生成された自動配置配線情報３１０とユニットセル遅延情報３１１をもとに遅延を計算する。
【００４７】
３０５はタイミングシミュレーション工程で、自動配置配線遅延抽出工程３０４の結果生成された配線遅延情報３１２を自動配置配線用論理回路接続情報３０７に付加して遅延値込みのシミュレーションを行う。
【００４８】
３０６は配線修正工程で、タイミングシミュレーション工程３０５の結果タイミングに不備のある箇所を出力したタイミング情報３１３をもとに自動配置配線情報３１０を修正する工程を表している。
【００４９】
さらに詳しく説明する。
実現すべき機能が決定すると、それを回路図上で実現するように論理設計工程３０１において、ユニットセルを用いて設計を行う。
【００５０】
ユニットセルの組み合わせで目的とする機能が実現されると、その組み合わせ機能回路と今後修正されるであろう回路を用意してある、自動配置配線用論理回路接続情報３０７が生成される。
【００５１】
生成された自動配置配線用論理回路接続情報３０７をもとに、ダミー配線工程３０２でダミー配線情報３０９をもとに、設計中の半導体チップ内に一定間隔ごとに直線のダミー配線を複数の配線層分重ねて縦横にあらかじめ配線しておく。
【００５２】
その後、自動配置配線設計工程３０３において、自動配置配線を行い、ダミー配線を含んだ自動配置配線情報３１０が生成される。
遅延計算は、ユニットセル遅延情報３１１と自動配置配線情報３１０をもとに自動配置配線遅延抽出工程３０４にて行われる。そしてその結果生成される配置配線遅延３１２を論理設計工程３０１にて生成された自動配置配線用論理回路接続情報３０７に付加してタイミングシミュレーション工程３０５を行い、その結果タイミングに不備のある箇所を出力したタイミング情報３１３を生成する。
【００５３】
このタイミングの不備を修正する方法として、論理を変更せず配線だけを修正する方法を採用したときに、ダミー配線工程で配線したダミー配線を使用して、容易に修正することが出来る配線修正工程３０６を行った後、自動配置配線遅延抽出工程３０４から再度実行し、タイミングシミュレーション工程３０５でタイミングに不備が出なくなるまで繰り返して実現している。
【００５４】
（実施の形態４）
図６は（実施の形態２）の遅延計算及び調整の処理とデータのフローである。
４０１は論理設計工程で、ユニットセルの接続情報を決定する。
【００５５】
４０２はダミー配置工程で、ダミー配置情報４０８をもとにあらかじめダミー配置を行う。
４０３は自動配置配線設計工程で、論理設計工程４０１の結果生成される自動配置配線用論理回路接続情報４０７とダミー配置工程４０２の結果生成されるダミー自動配置情報４０９をもとに自動配置配線する。
【００５６】
４０４は自動配置配線遅延抽出工程で、自動配置配線設計工程４０３の結果生成された自動配置配線情報４１０とユニットセル遅延情報４１１をもとに遅延を計算する。
【００５７】
４０５はタイミングシミュレーション工程で、自動配置配線遅延抽出工程４０４の結果生成された配置配線遅延４１２を自動配置配線用論理回路接続情報４０７に付加して遅延値込みのシミュレーションを行う。
【００５８】
４０６は配線修正工程で、タイミングシミュレーション工程４０５の結果タイミングに不備のある箇所を出力したタイミング情報４１３をもとに自動配置配線設計工程４０３の結果生成された自動配置配線情報４１０を修正する工程を表している。
【００５９】
さらに詳しく説明する。
実現すべき機能が決定すると、それを回路図上で実現するように論理設計工程４０１において、ユニットセルを用いて設計を行う。その時にあらかじめ修正用のダミーセルを複数入れておき、そのいくつかのダミーセルを２つを対にして繋いでおく。ユニットセルの組み合わせとダミーセルで目的とする機能が実現し、論理回路接続情報４０７が生成される。そしてダミー配置工程４０２にてダミー配置情報４０８をもとに、設計中の半導体チップのユニットセルを置く最外郭にある一定間隔ごとにダミーセルを配置する。
【００６０】
自動配置配線設計工程４０３において、自動配置配線を行い、ダミー配置配線を含んだ自動配置配線情報４１０が生成される。
遅延計算は、ユニットセル遅延情報４１１と自動配置配線情報４１０をもとに自動配置配線遅延抽出工程４０４にて行われる。そしてその結果生成される配置配線遅延４１２を論理設計工程４０１にて生成された自動配置配線用論理回路接続情報４０７に付加してタイミングシミュレーション工程４０５を行い、その結果タイミングに不備のある箇所を出力したタイミング情報４１３を生成する。
【００６１】
このタイミングの不備を修正する方法として、論理を変更せず配線だけを修正する方法を採用したときに、自動配置配線設計工程４０３で配線したダミー配線を使用して配線修正工程４０６を行った後、自動配置配線遅延抽出工程４０４から再度実行し、タイミングシミュレーション工程４０５でタイミングに不備が出なくなるまで繰り返して実現している。
【００６２】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、自動配置配線ツールを用いても、論理回路の修正が容易にでき、自動配置配線修正工程において短期間で終了させることが出来る。また本発明では配線遅延値の修正時にも短期間で目的の配線遅延値を求めることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の（実施の形態１）の自動配置配線方法を示す処理とデータのフロー図
【図２】同実施の形態における自動配置配線のレイアウトの拡大図
【図３】本発明の（実施の形態２）の自動配置配線方法を示す処理とデータのフロー図
【図４】同実施の形態における自動配置配線のレイアウトの拡大図
【図５】本発明の（実施の形態３）の自動配置配線方法による遅延計算及び調整の処理とデータのフロー図
【図６】本発明の（実施の形態４）の自動配置配線方法による遅延計算及び調整の処理とデータのフロー図
【図７】従来技術における処理とデータのフロー図
【図８】従来技術における遅延計算及び調整の処理とデータのフロー図
【符号の説明】
１０１    論理設計工程
１０２    ダミー配線工程
１０３    自動配置配線設計工程
１０４    論理設計修正工程
１０５    論理比較工程
１０６    自動配置配線修正工程
１０７    自動配置配線用論理回路接続情報
１０８    ダミー配線情報
１０９    ダミー自動配線情報
１１０    自動配置配線情報
１１１    自動配置配線用論理回路接続修正情報
１１２    比較情報
２０１    論理設計工程
２０２    ダミー配置工程
２０３    自動配置配線設計工程
２０４    論理設計修正工程
２０５    論理比較工程
２０６    自動配置配線修正工程
２０７    自動配置配線用論理回路接続情報
２０８    ダミー配置情報
２０９    ダミー自動配置情報
２１０    自動配置配線情報
２１１    自動配置配線用論理回路接続修正情報
２１２    比較情報
３０１    論理設計工程
３０２    ダミー配線工程
３０３    自動配置配線設計工程
３０４    自動配置配線遅延抽出工程
３０５    タイミングシミュレーション工程
３０６    配線修正工程
３０７    自動配置配線用論理回路接続情報
３０８    ダミー配線情報
３０９    ダミー自動配線情報
３１０    自動配置配線情報
３１１    ユニットセル遅延情報
３１２    配線遅延情報
３１３    タイミング情報
４０１    論理設計工程
４０２    ダミー配置工程
４０３    自動配置配線設計工程
４０４    自動配置配線遅延抽出工程
４０５    タイミングシミュレーション工程
４０６    配線修正工程
４０７    自動配置配線用論理回路接続情報
４０８    ダミー配置情報
４０９    ダミー自動配置情報
４１０    自動配置配線情報
４１１    ユニットセル遅延情報
４１２    配線遅延情報
４１３    タイミング情報
５０１    ダミー配線
５０２    ユニットセル群
６０１    対になって置かれたダミーセル
６０２    ユニットセル群
６０３    ダミー配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004318537.tif 000008
【図７】
2004318537.tif 000009
【図８】
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