(57)【要約】【課題】走査型電子線照射装置によってポリテトラフルオロエチレン加工をしたシート状被処理物を電子線処理するときにフッ化水素ＨＦ系の腐食性の生成物が発生する。腐食性の生成物が冷却風の届かない窓箔隅部に付着堆積して窓箔を腐食する恐れがある。窓箔隅部に腐食性生成物が付着しないようにすることが課題である。【解決手段】電子線照射装置の照射窓窓箔の冷却ダクトのノズル吹き出し口両端部に切欠きを形成する。切欠きから冷却風が側方へ出て行くので窓箔の両端隅部にも冷却風が吹き付ける。反応生成物は気体と液体が混ざったものであるが冷却風が強ければ冷却風によって吹き飛ばされる。窓箔の隅部へも冷却風が吹き付けるようにしたので、隅部に付着しようとする窓箔腐食劣化作用のある付着物を吹き流し窓箔隅部（端）の腐食劣化を防ぐ。【選択図】      図６
2004226335.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空中で熱電子を発生し加速管で加速し走査管で左右に走査して照射窓の窓箔を通過して大気中へ出し、被処理物に当てて電子線処理するようにした電子線照射装置において、照射窓窓箔を冷却する冷却ダクトのノズルの両側の面に切欠きを設け切欠きから側方へ冷却風が吹き出すようにしたことを特徴とする電子線照射装置照射窓部の冷却構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は電子線照射装置において窓箔の冷却機構の改良に関する。特に窓箔の全体をくまなく冷却できるようなノズルをもつ冷却機構に関する。電子線照射装置というのは真空中でフィラメントを加熱して熱電子を発生させ加速管で高電圧を掛けて電子を加速して高速の電子線ビームとしてから照射窓の窓箔を通して大気中に取り出して被処理物に電子線を当て、高分子架橋、塗膜硬化、殺菌などの処理を行う装置である。それは高圧電源、加速管、フィラメント、照射窓、搬送機構、金属筐体、冷却機構などを含む大型の装置である。
【０００２】
電子線照射装置には大きく分けて走査型のものと、非走査型のものがある。それは加速エネルギーによる違いである。加速エネルギーが５ＭｅＶ〜５００ｋｅＶというように高い場合は背の高い大型の走査型のものを用いる。加速エネルギーが数十ｋｅＶ〜５００ｋｅＶというように低い場合は非走査型（エリア型）のものを用いる。
【０００３】
走査型の場合は加速管の終わりに走査コイルを備え、それに続いて三角形状に広がった走査管を設ける。走査コイルに交番電流を流し交番磁場を発生させることによって電子ビームを左右に走査する。高いエネルギーに加速した細い電子線ビームを縦横に走査して被処理物に照射する。それはエネルギーが高いので被処理物への進入深さが大きい。高電圧の電源回路や背の高い加速管、また幅のある走査管などを必要として、より大型の装置となる。
【０００４】
非走査型の場合は多数の平行フィラメントを利用し電子が出るフィラメント領域の面積を広くしておき、それをそのまま照射窓の方向へ加速する。大面積の電子流が発生するから走査しなくても被処理物の広い面積に一挙に電子線が照射される。それはあまり進入深さを必要としないような処理に向いている。
【０００５】
照射窓というのはフィラメントのある真空領域と、被処理物の存する大気圧領域を仕切るための窓でありＴｉ、Ａｌの窓箔が張られている。窓箔は走査型の場合は走査管の下部にあり、その下は大気圧であり被処理物が搬送されている。その上は真空である。窓箔を電子線が通過すると、そこでエネルギーを失うから窓箔が加熱される。そのままではすぐに溶けて破れてしまう。それを防ぐために窓箔には冷却機構が設けられる。水冷式と風冷式のものがある。水冷式のものは窓箔の上側に桟を設け桟に冷却水通路を設けて上から窓箔を水冷するようになっている。窓箔の熱は桟に伝わり冷却水によって運びさられる。
【０００６】
風冷式のものは真空中に設置できないから窓箔の直下の大気中に設けられる。窓箔の全体を冷却するため幅の広いノズルをもつダクトを照射窓の側方に設置しノズルから冷却風を吹き出し窓箔を冷やすようになっている。走査型の場合は両方を備えており、上からは冷却水で、下からは冷却風で窓箔を冷却するようになっている。本発明はそのような風冷機構に関する。
【０００７】
窓箔を通過した電子線は大気中で被処理物に当たる。被処理物では高分子架橋、塗膜硬化、滅菌など様々の作用がなされる。ところがエネルギーの高い電子線が被処理物に当たるとＸ線が出る。Ｘ線は散乱し反射する。有害なＸ線を遮蔽するため厚い金属筐体で搬送機構や被処理物、照射窓を覆うようになっている。筐体で処理部を厚く覆うので被処理物の搬送は全て機械的に自動で行われる。そのため金属筐体の中を無端周回コンベヤなどの搬送機構が走行し、被処理物を入口−照射窓直下（処理位置）−出口へと運んでゆくようになっている。それもＸ線が外部へ漏洩しないように上下に強く蛇行するような工夫がなされている。
【０００８】
加速電源は、商用電源をトランスによって適当な電圧に変換し、それを多数のコンデンサと整流器を組み合わせた電圧逓倍回路によって所望の高電圧にしている。それらの高電圧を扱うコンデンサ、整流器は高電圧架台の上に搭載され、大地側とは絶縁されている。電圧が高い走査型の場合は電源回路は複雑で容積も大きい。電圧が低い非走査型の場合、電源回路はより簡単化されている。以上が電子線照射装置の共通の構造である。本発明は窓箔の冷却を行う風冷機構の部分に着目する。
【０００９】
【従来の技術】
図１は走査型電子線照射装置の一部の正面図であり、図２はその側面図である。
その他に電源回路や筐体、搬送機構などがあるが、それは冷却とは直接に関係がないので、ここでは省略している。
【００１０】
上方に突き出ているのが加速管２であるが、それは絶縁部と穴付き電極板が交互に積層されたものである。内部は真空に引かれている。電極板には加速電源電圧が抵抗によって分圧されて配分されている。電子を加速するのだから加速管の頂部の電圧は負の高電圧である。加速管の頂部はフィラメントがあって、それにフィラメント電流が流され加熱されることによってフィラメントから熱電子が出る。
【００１１】
フィラメントには高圧電源の負極が接続され加速電圧が掛かるようになっている。熱電子は加速管の電圧によって加速され次第に速度を得て高速の電子線となり加速管を降下する。その下に走査機構部３があり、さらに走査管４がある。走査管４は三角形の形をした真空容器である。
【００１２】
走査機構というのは電子ビームを左右に走査するマグネットのことである。コイルに交流電流を流すことによって交番磁束密度を発生させ電子線を左右に振る。走査管４は走査によってビームが広がるので下広がりの形状をしている。走査管４の下には走査管フランジ６があって、それに窓箔９が張られ窓箔押さえ枠２４によって押さえられている（図３）。
【００１３】
図１、２の下方に見えるのが風冷のための機構である。上向きのフランジ７から彎曲部を経て水平の冷却ダクト５が照射窓の長辺にそって設けられる。フランジ７の上には蛇腹２０があり、その上のフランジ２２に送風機（図示せず）からの配管（図示せず）が接続されるようになっている。冷却風は水分を除去した乾燥空気を用いることもあるが、空気の場合はＸ線によってオゾンが出る。オゾン発生が好ましくないような対象の場合は空気でなくて窒素やアルゴンなどを用いる。
【００１４】
ここで説明の便宜のために下向きにｚ軸を、走査管の長辺にそってｙ軸を、走査管の短辺にそってｘ軸を取ることとする。冷却風は送風機から配管によって運ばれ蛇腹２０をｚ方向に進み彎曲部で流れをｙ方向に変えて冷却ダクト５の内部に満ちる。冷却ダクト５の前方に嘴型のノズル８が延びている。だから冷却風は冷却ダクト５の中でさらにｘ方向に曲がりノズル８の吹き出し口２５から出て窓箔９の下面に吹き付ける。窓箔９の下方は大気圧であり上方は真空であるから窓箔９は上方にわずかに彎曲している。実際には窓箔の上には金属製の桟があるが、桟に接触していない部分は上方に彎曲する。
【００１５】
嘴型のノズル８は冷却ダクト５の先端部分だから冷却ダクトと同じように走査管の長辺にそって存在している。つまりｙ方向には長いノズルである。ところがｘ方向には短い。それに高さ（ｚ方向）も小さいもので先の間隙が徐々に狭くなり風速を増やすような工夫がなされている。ノズル８からはシート状の冷却風が吹き出すようになっている。
【００１６】
図５はノズル部分の拡大側面図である。吹き出し口２５が少し上向きに彎曲しているのは窓箔面に当たりやすいようにするためである。
【００１７】
窓冷却ダクト５は、電子線照射装置走査管４の下部にある照射窓部の窓箔９に下から冷却風を吹き付け窓部を冷却している。冷却ダクト５は横（ｙ方向）に広く薄いノズルから風を広い範囲に吹き出すようになっている。
【００１８】
しかし従来の冷却ダクトはそれでも横幅が不足し不十分であって窓箔の両側では冷却が不十分であった。それは冷却ダクトの横方向の長さＤが窓箔の横方向の全長Ｌよりも短いからである（Ｄ＜Ｌ）。
【００１９】
図４は走査管フランジ、窓箔、ノズル部分の底面図である。長方形状の走査管フランジ６の底面が見える。その下に窓箔９が張り付けられ窓箔押さえ枠２４で押さえられている。窓箔押さえ枠２４はボルトで走査管フランジ６の裏面に締結されている。走査管フランジ６の開口部はイロハニホヘトチリヌルというような彎曲縁をもっている。
【００２０】
それに対してノズルの広がりはチリヌルの部分までしかない。ノズル８から吹き出た冷却風２６はチリヌル−ニハロイを含む長方形の領域には吹き付けるが端のチトヘホニで囲まれる窓箔部分には届かないわけである。
【００２１】
従来はそのように照射窓部両端に冷却風が吹き付けられない構造となっていたのである。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
従来例の冷却風吹き付け機構では図４に示すようにニホヘトチの部分にデッドスペースができてしまい冷却風によって空冷されない部分が残る。
【００２３】
窓箔を冷却しなければならない理由は走査された電子ビームが窓箔を通るからである。窓箔を電子線が通過すると通過の為にパワーを失う。そのパワーは熱となり窓箔を加熱する。窓箔は金属であるから加熱されると溶融し破れてしまう。それで窓箔のうち電子線が通過する部分は必ず冷却しなければならない。
【００２４】
従来はビーム走査の範囲は必ず冷却風が当たるようになっており、それでよかったのである。電子線ビーム走査がせいぜいニチの当たりまでであって、ルヌリ、イロハまでだけを冷却しておればよかったのである。
【００２５】
ところが窓箔の寿命を縮めるものは電子線のジュール熱だけではない。被処理物から出てくる腐食性のガス液体なども窓箔を侵食し窓箔の寿命を縮める。腐食性生成物が発生するようなものを処理するようになって初めて生じた問題である。それは処理の用途が拡大してきたことによるものである。
【００２６】
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）をコーティングしたシート上部材を図４のｘ方向に搬送しながら電子線を当てる場合について述べる。被処理物自体の幅はニチより内部で収まるとして電子線走査もニチより内部だけで行うとする。
【００２７】
その場合、電子線をポリテトラフルオロエチレン材料に当てるとＸ線が出るだけでなくフッ素を含む気体、粉体が発生する。ポリテトラフルオロエチレンの一部が電子線によって破壊されてでてきたものである。気体の主成分はフッ化水素ＨＦである。それ以外にも腐食性の粉体が出て飛び散り一部は窓箔にも付着することがある。フッ素を含むので、その付着物は強烈な腐食性をもっている。Ｔｉの窓箔であっても、その付着物によって腐食される。そのまま放置すると窓箔が腐食して穴があいてしまう。
【００２８】
冷却風が常時吹き付けているイロハニ−チリヌルの部分は風のためにフッ素系の付着物が窓箔に付くということはない。しかし冷却風が届かないニホヘトチの部分はフッ素を含む堆積物が付き次第に腐食されるようになる。窓箔が破れると電子線照射装置は故障してしまう。
【００２９】
ニホヘトチの部分に柔らかい毛を植え付けた特別の回転ブラシを取り付けてブラシで窓箔のニホヘトチの部分を柔らかく擦るようにすれば腐食性生成物の付着を防ぐことができよう。しかし電子線照射装置の照射窓の部分はもはや余分のスペースがなくて回転ブラシや回転機構を新たに設けるようなことはできない。
【００３０】
【課題を解決するための手段】
そのようなフッ素含有被処理物を処理するときに特有の腐食性付着物が窓箔の隅に付かないように、窓箔の端まで冷却風が吹き付けるようにすることが本発明の目的である。冷却ダクトの幅、ノズルの幅Ｄというものは電子線走査の幅を覆うように設定されている。走査幅を超えて冷却風が吹き付けるようになっていない。冷却ダクトを大きいものに変えることによって窓箔の隅まで風を送ることができるようになる。
【００３１】
しかしそうするには、大規模な改造が必要になるし、冷却ダクトの収納のためのスペースの制約もある。冷却ダクトを広く大きくするのはコスト的に難しい。本発明は冷却ダクト・ノズルをより大規模のものにすることなく、窓箔の端まで冷却風が吹き付けるようにして、腐食性の堆積物によって窓箔が腐食されないようにする。窓箔腐食を防ぐことによって窓箔穿孔による真空漏れを事前に防ぐことができる。
【００３２】
本発明の窓箔冷却機構は、窓箔の幅方向に広がり冷却風を通す冷却ダクトと冷却ダクトの先端にあって冷却風を窓箔の方へ導くノズルを有し、ノズルの先端の側面に切欠きを設けたものである。側面の切欠きから斜め方向に冷却風が吹き出してゆく。斜め方向に切欠きから冷却風が出るので窓箔の隅部まで冷却風を吹き付けることができる。それによってポリテトラフルオロエチレンコーティングシートを処理しているときでもフッ素系の生成物が窓箔の隅部に付着堆積することを防止することができる。ノズル側面に切欠きを設けて斜め前に冷却風を広がらせるということが本発明の新規な工夫である。
【００３３】
冷却風といっているが付着物を吹き飛ばして腐食を防ぐのというのはもはや冷却でなく清掃である。つまり本発明は冷却風を清掃風としても利用しているのである。
【００３４】
【発明の実施の形態】
冷却ダクトの吹き出し口の両端部に切欠き加工をすることによって窓箔の両端部にも冷却風を当て冷却風によって腐食物を吹き飛ばし窓箔に腐食性生成物が付着堆積しないようにする。それによって窓箔の腐食、穿孔を防ぐことができる。冷却のための風を清掃、清浄化のために有効に利用しているのである。
【００３５】
そのような工夫をした電子線照射装置を説明する。図１、図２のような縦長垂直の構造は変わらない。上から順にフィラメントによる熱電子発生室があり加速管２がその下に続いている。加速管２で電子は所望のエネルギーに加速される。走査機構部３には走査マグネットがあり走査コイルに適当な周波数の交流（例えば２００Ｈｚ）を流してビームをｙ方向に走査する（ｘ方向にも同時に走査することもある）。ｙ方向に広がった走査管４の下は開口部（照射窓）となっている。
【００３６】
走査管フランジ６の裏面に窓箔９が張ってあり窓箔押さえ枠２４によって押さえられる。窓箔９の幅にそって円型断面の冷却ダクト５がｙ方向に延びるよう設けられる。先述のように冷却ダクト彎曲部の先のフランジ７に蛇腹管２０があって、そのフランジ２２に冷却風配管（図示しない）を接続するようになっている。
【００３７】
図２の下に見えるように冷却ダクト５から幅があるが高さ方向（ｚ方向）には薄いノズル８が延びている。図１、図３に現れるようにノズル８は窓箔幅方向（ｙ方向）に長くのびており、ｙ方向にのびたｚ方向には薄いシート状の冷却風を−ｘ方向に吹き出すようになっている。吹き出し口２５は僅かに上方へ曲がっている。それは窓箔の裏面に冷却風をうまく吹き付けるようにするためである。図７のように冷却ダクト５はＬ型に彎曲し水平部分からノズル８が前方向へ延びている。冷却ダクト５の横方向の長さは照射窓の幅によるが１ｍ〜２ｍ程度である。
【００３８】
そこまでは従来例のものと同じであるが、これからが違う。図７、図９、図６に示すように、ノズル８の先端の側面に吹き出し方向に平行な切欠き３０を設けている、それが新規な特徴である。
【００３９】
図３ではノズルの向こう側に切欠き３０が見える。それでは分かりにくいので図５に切欠きのないノズルを、図６に切欠き３０のあるノズルを示す。両者を比較すると切欠き３０といっているものが何であるのかよく分かる。
【００４０】
また図８は切欠きのないノズルの断面を示す。図９は切欠き３０があるノズルの断面を示す。それらの比較によっても切欠き３０が分かる。
【００４１】
偏平流を作り出すための吹き出し口２５は長い上辺、長い下辺、短い右側辺、短い左側辺によって構成されているのであるが、短い右左側辺を吹き出し端から内側へ向かって切り欠いているのである。切欠きの長さは５ｃｍ〜１５ｃｍ程度であり切欠き厚みは５ｍｍ〜２０ｍｍ程度である。それが左右両側にある。そのような加工は簡単である。既存のノズルであってもダクトを取り外してノズル側辺を切り欠き加工をすることができる。
【００４２】
図３のように冷却風は上に彎曲した窓箔に下から吹き付ける。切欠き３０があるので左右で横向きにも広がる。冷却風がノズルから左右の広がりをもつようになるので窓箔の全面に冷却風が当たるようになる。図４において、端の部分のニホヘトチの領域へも風が行くようになる。それによってフッ素含有被処理物に電子線を当てたときでもＨＦを含む腐食性の生成物が窓箔隅に堆積するということはない。ポリテトラフルオロエチレン被覆シートなどを処理した時の窓箔の寿命が延びることになる。
【００４３】
【実施例】
ノズル端部の切欠きの効果を調べるために、窓箔直下に９個の測定点を取って、切欠きのない場合（Ａ）と切欠きのある場合（Ｂ）について風速を測定した。
【００４４】
その例では走査幅は１８００ｍｍである。照射窓の横幅は１９００ｍｍ（ｙ方向：１８００ｍｍ＋２Ｒ）であり、搬送方向長さ（ｘ方向）は１００ｍｍである。図４は従って窓の端での彎曲ニホヘトチの部分の半円弧の曲率半径はＲ＝５０ｍｍである。
【００４５】
切欠きは１０ｍｍ長さである。Ｂの場合、両側のノズル先端に１０ｍｍの切欠きを形成する。Ａの場合は切欠きがない。
【００４６】
曲率中心を含み搬送方向に平行な直線アサを引いている。それはノズル吹き出し範囲ということではない。アサから半円弧の縁までの距離が５０ｍｍである。９個の測定点はａ、ｂ、ｃ、…、ｈ、ｉというように縁から取ってある。ａは縁から１５ｍｍである。それより１０ｍｍ内側へ（ｙ方向）進む毎に測定点をとっている。ここでは直線アサを基準点にとっており、それより左を正に、右を負になるよう座標を決めている。
【００４７】
だからｅ点は＋５ｍｍ、ｆ点は＋１５ｍｍ、ｇ点は＋２５ｍｍ、ｈ点は＋３５ｍｍ、ｉ点は＋４５ｍｍである。反対側のｄ点は−５ｍｍ、ｃ点は−１５ｍｍ、ｂ点は−２５ｍｍ、ａ点は−３５ｍｍである。
【００４８】
測定点は窓箔そのものでなく、図８、図９に示すように窓箔の下２０ｍｍのところである。窓箔上の温度を測定したいが風速計のプローブを窓箔に接触できないのでやむをえない。
【００４９】
パラメータは測定点だけでなく、冷却風を吹き出すためのモータ速度もある。モータ速度を加減するためにインバータの周波数を１０Ｈｚ、２０Ｈｚ、３０Ｈｚ、４０Ｈｚというように変える。インバータの周波数がモータ回転数に比例する。それが風速を規定する。
【００５０】
切欠きのない場合（Ａ）を表１に示し図１０に同じもののグラフを示す。
【００５１】
【表１】
2004226335.tif 000003
【００５２】
切欠きのある場合（Ｂ）を表２に示し図１１に同じもののグラフを示す。
【００５３】
【表２】
2004226335.tif 000004
【００５４】
表における数値は風速（ｍ／ｓｅｃ）である。同じ測定点において下へ行くに従って風速が増えるのはモータの回転数が増えるからである。
【００５５】
切欠きのない場合（Ａ）では、端近くａ、ｂ点での風速が、中央近くのｆ、ｇ、ｈ、ｉ点の風速よりも低い。例えばインバータ周波数が４０Ｈｚの時、ａで３．６ｍ／ｓｅｃ、ｂで５ｍ／ｓｅｃであるが、ｇ点で６．８ｍ／ｓｅｃ、ｈ点で６．７ｍ／ｓｅｃである。窓箔の端ａ、ｂで風速が低いことがわかる。それはノズルの吹き出し方向に切欠きがないからである。
【００５６】
切欠きのある場合（Ｂ）では、図１１のように端近くの測定点ａ、ｂ、ｃでの風速が、中央部近くの測定点ｇ、ｈ、ｉの風速とほとんど同じである。
【００５７】
たとえばインバータ周波数が１０Ｈｚのとき、ａ点で風速２．３ｍ／ｓｅｃであり、ｇ点で風速１．９ｍ／ｓｅｃ、ｈ点で風速２．１ｍ／ｓｅｃである。ａ点で風速が小さいということはない。たとえばインバータ周波数が４０Ｈｚのとき、ｂ点での風速は７ｍ／ｓｅｃであり、ｈ点で６．５ｍ／ｓｅｃ、ｉ点で６ｍ／ｓｅｃである。端点ｂ点での風速が遅いということはないのである。
【００５８】
それはノズルの両側面に切欠きを付けたからである。切欠きから冷却風が側方へと広がるからノズル端と向き合わない窓箔の端も冷却風が充分の強さで吹きすさぶようになる。そのためフッ素系の生成物が窓箔に付着しない。窓箔の腐食を防ぐことができる。
【００５９】
【発明の効果】
本発明は冷却ダクト先のノズルの側面に切欠きを設け側方へも冷却風が吹き出すようにして窓箔の裏面の全体に冷却風が行き渡るようにした。フッ素を含むポリテトラフルオロエチレンコーティングシート材などを電子線処理したときにフッ化水素ＨＦを含む生成物が発生しＴｉ、Ａｌなどの窓箔に付着するとこれを腐食するのであるが、本発明の場合は冷却風が清掃風としても働き窓箔にフッ化水素が付かないようになる。そのために窓箔の端での腐食を防ぐことができる。
【００６０】
電子線は窓箔の端を通らないから窓箔端は冷却する必要はないのであるが清掃の必要はある。
【００６１】
本発明は冷却風を清掃風として利用して窓箔に腐食性の生成物が付着するのを有効に防止することができる。フッ化水素系の滞留物が付着しなくなるので窓箔の腐食を防止できる。窓箔の寿命を延長することができる。
【００６２】
窓箔が腐食する兆しが見られると処理工程を止めて電子線照射装置の真空を破り内部を掃除して窓箔を張り替えて立ち上げの試運転をして、というような余分の時間と手間が必要になるのであるが、本発明はそのような問題がおこらない。
【図面の簡単な説明】
【図１】走査型電子線照射装置の熱電子放出部、加速管、走査管、走査管下部にある照射窓部を冷却する冷却ダクトなどの構造を示す正面図。
【図２】走査型電子線照射装置の熱電子放出部、加速管、走査管、走査管下部にある照射窓部を冷却する冷却ダクトなどの構造を示す側面図。
【図３】走査管下部の照射窓と、照射窓の窓箔を冷却するために設けた冷却ダクトの縦断面図。
【図４】走査管フランジ、窓箔、冷却ダクト、ノズルなどの底面図。
【図５】切欠きのない場合の、冷却ダクトとノズルと吹き出し口の部分の側面図。
【図６】切欠きのある場合の、冷却ダクトとノズルと吹き出し口の部分の側面図。
【図７】切欠きのある場合の、冷却ダクトとノズルと吹き出し口の部分の斜視図。
【図８】照射窓に設けられた窓箔へ切欠きなしのノズルから冷却風を吹き付ける部分の縦断面図。風速測定点ａ〜ｉを黒丸によって示した。
【図９】照射窓に設けられた窓箔へ切欠きのあるノズルから冷却風を吹き付ける部分の縦断面図。風速測定点ａ〜ｉを黒丸によって示した。
【図１０】冷却機構のモータのインバータ周波数を１０Ｈｚ、２０Ｈｚ、３０Ｈｚ、４０Ｈｚと変化させ、切欠きなしノズル（Ａ）から冷却風を窓箔へ吹き付ける場合、窓箔の近傍に取った９つの測定点ａ〜ｉにおける風速の測定結果を示すグラフ。
【図１１】冷却機構のモータのインバータ周波数を１０Ｈｚ、２０Ｈｚ、３０Ｈｚ、４０Ｈｚと変化させ、切欠きありノズル（Ｂ）から冷却風を窓箔へ吹き付ける場合、窓箔の近傍に取った９つの測定点ａ〜ｉにおける風速の測定結果を示すグラフ。
【符号の説明】
２  加速管
３  走査機構部
４  走査管
５  冷却ダクト
６  走査管フランジ
７  フランジ
８  ノズル
９  窓箔
１０  照射窓
２０  蛇腹
２２  フランジ
２４  窓箔押さえ枠
２５  吹き出し口
２６  冷却風
３０  切欠き
【図１】
2004226335.tif 000005
【図２】
2004226335.tif 000006
【図３】
2004226335.tif 000007
【図４】
2004226335.tif 000008
【図５】
2004226335.tif 000009
【図６】
2004226335.tif 000010
【図７】
2004226335.tif 000011
【図８】
2004226335.tif 000012
【図９】
2004226335.tif 000013
【図１０】
2004226335.tif 000014
【図１１】
2004226335.tif 000015