(57)【要約】【課題】吐出不良を防止でき且つ高速印刷を実現できるインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】基板上に圧電セラミックからなる隔壁を所定間隔で配置して各隔壁間にチャンバを画成し、隔壁の側面に設けられた電極に駆動回路によって駆動電圧を印加することによりチャンバ内の容積を変化させてその内部に充填されたインクをノズル開口から吐出するインクジェットヘッドにおいて、駆動回路によって駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上として、隔壁に印加される駆動電圧の立ち上がり及び立ち下がり時間を長くする。【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に圧電セラミックからなる隔壁を所定間隔で配置して各隔壁間にチャンバを画成し、前記隔壁の側面に設けられた電極に駆動回路によって駆動電圧を印加することにより前記チャンバ内の容積を変化させてその内部に充填されたインクをノズル開口から吐出するインクジェットヘッドにおいて、
前記駆動回路によって駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上として、前記隔壁に印加される駆動電圧の立ち上がり及び立ち下がり時間を長くしたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１において、前記駆動電圧を印加する際の電気抵抗が、１００Ω〜１ｋΩであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記電極と前記駆動回路との間に、抵抗回路を設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記チャンバの深さ方向の前記電極の幅及び当該電極の膜厚の少なくとも何れか一方を変化させることにより前記駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上としたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項４において、前記電極の幅が、２０μｍ〜２５０μｍであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
請求項４又は５において、前記電極の膜厚が、０．０６μｍ〜２μｍであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項４〜６の何れかにおいて、前記電極が、アルミニウム、金、モリブデン、チタニウム、クロム、ニッケル及びタンタルからなる群から選択される少なくとも一つの材料からなることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７の何れかにおいて、前記基板上に設けられて前記電極と前記駆動回路とを接続する接続配線の幅及び当該接続配線の厚さの少なくとも何れか一方を変化させることにより前記駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上としたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項９】
請求項８において、前記接続配線が、アルミニウム、金、モリブデン、チタニウム、クロム、ニッケル及びタンタルからなる群から選択される少なくとも一つの材料からなることを特徴とするインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、プリンタ、ファックスなどに適用されるインクジェット式記録装置に搭載されるインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、複数のノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドを用いて被記録媒体に文字や画像を記録するインクジェット式記録装置が知られている。かかるインクジェット式記録装置では、被記録媒体に対向するインクジェットヘッドはヘッドホルダに固定され、ヘッドホルダがキャリッジに搭載されて被記録媒体の搬送方向とは直交する方向に走査される。
【０００３】
このようなインクジェット式記録装置に用いられるインクジェットヘッドを構成するヘッドチップの一例の分解概略を図９に、また、要部断面を図１０に示す。図９及び図１０に示すように、圧電セラミックプレート１０１には、複数の溝１０２が並設され、各溝１０２は、側壁１０３で分離されている。各溝１０２の長手方向一端部は圧電セラミックプレート１０１の一端面まで延設されており、他端部は、他端面までは延びておらず、深さが徐々に浅くなっている。また、各溝１０２内の両側壁１０３の開口側表面には、長手方向に亘って、駆動電界印加用の電極１０５が形成されている。
【０００４】
圧電セラミックプレート１０１の溝１０２の開口側には、カバープレート１０７が接着剤１０９を介して接合されている。カバープレート１０７には、各溝１０２の浅くなった他端部と連通する凹部となるインク室１１１と、このインク室１１１の底部から溝１０２とは反対方向に貫通するインク供給口１１２とを有する。
【０００５】
また、圧電セラミックプレート１０１とカバープレート１０７との接合体の溝１０２が開口している端面には、ノズルプレート１１５が接合されており、ノズルプレート１１５の各溝１０２に対向する位置にはノズル開口１１７が形成されている。
【０００６】
なお、圧電セラミックプレート１０１のノズルプレート１１５とは反対側でカバープレート１０７とは反対側の面には、配線基板１２０が固着されている。配線基板１２０には、各電極１０５とボンディングワイヤ１２１等で接続された配線１２２が形成され、この配線１２２を介して電極１０５に駆動電圧を印加できるようになっている。
【０００７】
このように構成されるヘッドチップでは、インク供給口１１２から各溝１０２内にインクを充填し、所定の溝１０２の両側の側壁１０３に電極１０５を介して所定の駆動電界を作用させると、側壁１０３が変形して所定の溝１０２内の容積が変化し、これにより、溝１０２内のインクがノズル開口１１７から吐出する。
【０００８】
例えば、図１１に示すように、溝１０２ａに対応するノズル開口１１７からインクを吐出する場合には、その溝１０２ａ内の電極１０５ａ，１０５ｂに正の駆動電圧を印加すると共にそれぞれに対向する電極１０５ｃ，１０５ｄを接地するようにする。これにより、側壁１０３ａ，１０３ｂには溝１０２ａに向かう方向の駆動電界が作用し、これが圧電セラミックプレート１０１の分極方向と直交すれば、圧電厚みすべり効果により側壁１０３ａ，１０３ｂが溝１０２ａ方向に変形し、溝１０２ａ内の容積が減少して圧力が増加し、ノズル開口１１７からインクが吐出する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようにインクジェット式記録ヘッドでは、高速印刷を実現するために、側壁に印加する駆動電圧の立ち上がり及び立ち下がりを早くしている。このため、側壁に駆動電圧を印加すると側壁の変形によりチャンバ内の圧力が急激に変化して、キャビテーションが発生するという問題がある。すなわち、チャンバ内に気泡が形成され、この気泡によってドット抜け等の吐出不良が発生するという問題がある。
【００１０】
また、この気泡はある程度の時間が経過すれば消滅するため、吐出間隔を広げることにより、すなわち駆動周波数を下げることにより、吐出不良は解消できるが、印刷速度が遅くなってしまうという問題がある。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑み、吐出不良を防止でき且つ高速印刷を実現できるインクジェットヘッドを提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、基板上に圧電セラミックからなる隔壁を所定間隔で配置して各隔壁間にチャンバを画成し、前記隔壁の側面に設けられた電極に駆動回路によって駆動電圧を印加することにより前記チャンバ内の容積を変化させてその内部に充填されたインクをノズル開口から吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記駆動回路によって駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上として、前記隔壁に印加される駆動電圧の立ち上がり及び立ち下がり時間を長くしたことを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【００１３】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記駆動電圧を印加する際の電気抵抗が、１００Ω〜１ｋΩであることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【００１４】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記電極と前記駆動回路との間に、抵抗回路を設けたことを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【００１５】
本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記チャンバの深さ方向の前記電極の幅及び当該電極の膜厚の少なくとも何れか一方を変化させることにより前記駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上としたことを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【００１６】
本発明の第５の態様は、第４の態様において、前記電極の幅が、２０μｍ〜２５０μｍであることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【００１７】
本発明の第６の態様は、第４又は５の態様において、前記電極の膜厚が、０．０６μｍ〜２μｍであることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【００１８】
本発明の第７の態様は、第４〜６の何れかの態様において、前記電極が、アルミニウム、金、モリブデン、チタニウム、クロム、ニッケル及びタンタルからなる群から選択される少なくとも一つの材料からなることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【００１９】
本発明の第８の態様は、第１〜７の何れかの態様において、前記基板上に設けられて前記電極と前記駆動回路とを接続する接続配線の幅及び当該接続配線の厚さの少なくとも何れか一方を変化させることにより前記駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上としたことを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【００２０】
本発明の第９の態様は、第８の態様において、前記接続配線が、アルミニウム、金、モリブデン、チタニウム、クロム、ニッケル及びタンタルからなる群から選択される少なくとも一つの材料からなることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【００２１】
かかる本発明では、側壁に駆動電圧を印加した際に、チャンバ内の圧力が急激に変化することがなく気泡の発生を防止できるため、ドット抜け等の吐出不良を防止できる。また、駆動電圧を印加する間隔を短くできるため、高速印刷を実現することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２３】
（実施形態１）
図１は、実施形態１に係るインクジェットヘッドの分解斜視図であり、図２は、実施形態１に係るヘッドチップの分解斜視図であり、図３は、ヘッドチップの断面図である。
【００２４】
図１に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド１０は、ヘッドチップ２０と、このヘッドチップ２０の一方面側に設けられるベースプレート４０と、ヘッドチップ２０の他方面側に設けられるヘッドカバー４５と、ヘッドチップ２０を駆動するための駆動回路５１が搭載された配線基板５０とを有する。
【００２５】
まず、ヘッドチップ２０について詳しく説明する。図２及び図３に示すように、圧電セラミックプレート２１には、ノズル開口に連通する複数の溝であるチャンバ２２が並設され、各チャンバ２２は、側壁（隔壁）２３で区画されている。各チャンバ２２の長手方向の一端部は圧電セラミックプレート２１の一端面まで延設されており、他端部は、他端面まで延びておらず、深さが徐々に浅くなっている。また、各溝２２の幅方向両側の側壁２３には、溝２２の開口側に長手方向に亘って駆動電圧印加用の電極２４が形成されている。
【００２６】
なお、圧電セラミックプレート２１に形成される各溝２２は、例えば、円盤状のダイスカッターにより形成され、深さが徐々に浅くなった部分は、ダイスカッターの形状により形成されてしまう。また、各溝２２内に形成される電極２４は、例えば、公知の斜め方向からの蒸着により形成される。
【００２７】
さらに、圧電セラミックプレート２１のチャンバ２２が開口する表面には、各電極２４にそれぞれ接続される接続配線２５が圧電セラミックプレート２１の端部近傍まで延設されている。そして、この接続配線２５がフレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ）等の外部配線６０の一端側と接続され、外部配線６０の他端側が配線基板５０上の駆動回路５１に接合されることで、各電極２４と駆動回路５１とが電気的に接続されている。
【００２８】
このような圧電セラミックプレート２１のチャンバ２２の開口する面には、インク室プレート２６が接合されている。インク室プレート２６は、各チャンバ２２の浅くなった端部と連通する共通インク室２７と、この共通インク室２７の底部からチャンバ２２とは反対側に貫通するインク供給口２８とを有する。
【００２９】
ここで、本実施形態では、各チャンバ２２は、ブラック（Ｂ）、イエロー（Ｙ）、マゼンダ（Ｍ）、シアン（Ｃ）の各色のインクに対応したグループに分かれており、共通インク室２７及びインク供給口２８は、それぞれ４つずつ設けられている。
【００３０】
なお、インク室プレート２６は、セラミックプレート、金属プレートなどで形成することができるが、圧電セラミックプレート２１との接合後の変形等を考えると、熱膨張率の近似したセラミックプレートを用いるのが好ましい。
【００３１】
また、圧電セラミックプレート２１とインク室プレート２６との接合体のチャンバ２２が開口している端面にはノズルプレート２９が接合されている。このノズルプレート２９の各チャンバ２２に対向する位置には、インク滴が吐出されるノズル開口３０が形成されている。
【００３２】
本実施形態では、ノズルプレート２９は、圧電セラミックプレート２１とインク室プレート２６との接合体のチャンバ２２が開口している端面の面積よりも大きくなっている。このノズルプレート２９は、ポリイミドフィルムなどに、例えば、エキシマレーザ装置を用いてノズル開口３０を形成したものである。また、図示しないが、ノズルプレート２９の被印刷物に対向する面には、インクの付着等を防止するために撥水性を有する撥水膜が設けられている。
【００３３】
なお、本実施形態では、圧電セラミックプレート２１とインク室プレート２６との接合体のチャンバ２２が開口している端部の周囲には、ノズル支持プレート３１が配置されている。このノズル支持プレート３１は、ノズルプレート２９の接合体端面の外側と接合されて、ノズルプレート２９を安定して保持するためのものである。
【００３４】
このような構成のヘッドチップ２０は、圧電セラミックプレート２１とインク室プレート２６とを接合後、その接合体の端面にノズルプレート２９を接合し、さらにノズル支持プレート３１を嵌合接着することによって形成される。
【００３５】
そして、図４に示すように、このヘッドチップ２０と、ベースプレート４０、ヘッドカバー４５及び配線基板５０とを組み付けることによりインクジェトヘッド１０が形成される。
【００３６】
すなわち、図４（ａ）に示すように、上述した圧電セラミックプレート２１とインク室プレート２６との接合体のノズル支持プレート３１の後端側には、圧電セラミックプレート１６側のアルミニウム製のベースプレート４０と、インク室プレート２６側のヘッドカバー４５とが組み付けられる。ベースプレート４０とヘッドカバー４５とは、ベースプレート４０の係止孔４１にヘッドカバー４５の係止シャフト４６を係合することにより固定され（図１参照）、両者で圧電セラミックプレート２１とインク室プレート２６との接合体を挟持する。なお、ヘッドカバー４５には、インク室プレート２６のインク供給口２８のそれぞれに連通するインク導入路４７が設けられている。
【００３７】
そして、図４（ｂ）に示すように、圧電セラミックプレート２１の後端側に突出したベースプレート４０上には配線基板５０が固着される。ここで、配線基板５０上にはヘッドチップ２０を駆動するための駆動ＩＣを有する駆動回路５１が搭載され、接続配線２５に接続された外部配線６０とこの駆動回路５１とが異方性導電膜５２を介して接続され、これによってインクジェットヘッド１０が完成する。
【００３８】
このようなインクジェットヘッド１０では、インク導入路４７を介してインク供給口２８から各チャンバ２２内にインクを充填し、駆動回路５１によって所定のチャンバ２２の両側の側壁２３に電極２４を介して所定の駆動電圧を印加すると側壁２３が変形してチャンバ２２の容積が収縮し、これによりチャンバ２２内のインクがノズル開口３０から吐出する。
【００３９】
そして、本発明では、側壁２３に駆動電圧を印加する際の電気抵抗が所定値以上、具体的には、１００Ω〜１ｋΩとして、駆動電圧の立ち上がり及び立ち下がり時間を長くしている。なお、ここで言う「電気抵抗」とは、駆動回路から電極までの全ての配線を含む抵抗値を意味する。
【００４０】
例えば、本実施形態では、各電極２４の抵抗値を１００〜２００Ω程度とすることにより、側壁２３に駆動電圧を印加する際の電気抵抗を増加させている。具体的には、各電極２４の長さは約９ｍｍであり、幅（チャンバ２２の深さ方向）は約１５０μｍである。そして、本実施形態では、この各電極２４としてクロム（Ｃｒ）を用い、その膜厚を０．０１μｍ以下とすることにより、各電極２４の抵抗値が１００Ω〜２００Ωとなるようにした。
【００４１】
なお、このような電極２４の材料としては、クロム（Ｃｒ）の他に、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、チタニウム（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）又はタンタル（Ｔａ）等を用いることができるが、抵抗率が比較的大きいクロム、チタニウム、ニッケル又はタンタルを用いることが好ましい。
【００４２】
このように、各電極２４の抵抗値を増加させて、駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上とすることにより、図５に実線で示すように、駆動波形は、曲線を描きながら立ち上がり、また同様に、曲線を描きながら立ち下がっている。すなわち、駆動波形が最高電圧Ｖ１まで上昇する時間ｔ１及び最高電圧Ｖ１から０Ｖまで下降する時間ｔ２が、点線で示す従来の駆動波形よりも長くなっており、駆動波形は急激に上昇及び下降することなく緩やかに変化している。このため、駆動電圧の印加に伴う側壁２３の変位も緩やかになり、チャンバ２２内に急激な圧力変化が生じることがなく、キャビテーションによる気泡の発生を防止できる。したがって、連続的にインク滴を吐出してもドット抜け等の吐出不良が発生することがなく、高速且つ高品質印刷を実現できる。
【００４３】
また、本実施形態では、電極２４の抵抗値を増加させることによって、駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上としているため、製造工程を変更する必要がないため、比較的容易に実施可能であり、且つコストも増加することがない。
【００４４】
なお、本実施形態では、電極２４の膜厚を変化させてその抵抗値を増加させるようにしたが、これに限定されず、例えば、電極２４の幅（チャンバの深さ方向）を変化させて抵抗値を増加させるようにしてもよい。
【００４５】
例えば、各電極２４は、その幅が２０μｍ〜２５０μｍ程度であり、膜厚が０．０６μｍ〜２μｍ程度であれば側壁２３に良好に駆動電圧を印加できる。したがって、電極２４として用いる材料に応じてその幅及び膜厚を決定し、各電極２４の抵抗値を所定値以上とすればよい。
【００４６】
以上、本実施形態のインクジェットヘッドについて説明したが、このようなインクジェットヘッド１０は、実際には、例えば、図６に示すように、インクカートリッジを保持するタンクホルダ７１に組み付けられてヘッドユニット７０が形成される。
【００４７】
このヘッドユニット７０を構成するタンクホルダ７１は、一方面が開口した略箱形形状をなし、インクカートリッジが着脱自在に保持可能なものである。また、底壁上面には、インクカートリッジの底部に形成された開口部と、インク導入路４７とを連結する連結部７２が設けられている。連結部７２は、例えば、ブラック（Ｂ）、イエロー（Ｙ）、マゼンダ（Ｍ）、シアン（Ｃ）の各色のインク毎に設けられている。連結部７２内には図示しないインク流路が形成され、その開口となる連結部７２の先端には、フィルタ７３が設けられている。また、連結部７２内に形成されたインク流路は底壁の裏面側まで連通して形成され、各インク流路は、タンクホルダ７１の裏面側に設けられた流路基板７４内の図示しないインク流路を介して流路基板７４の側壁に開口するヘッド連結口７５に連通する。このヘッド連結口７５はタンクホルダ７１の側面側に開口し、当該側壁の底部には、上述したインクジェットヘッド１０を保持するヘッド保持部７６が設けられている。ヘッド保持部７６は、配線基板５０上に設けられた駆動回路５１を包囲する略コ字状に立設された包囲壁７７と、包囲壁７７内にあってインクジェットヘッド１０のベースプレート４０及び配線基板５０に設けられた係止孔４２と係合する係合シャフト７８が立設されている。
【００４８】
従って、このヘッド保持部７６にインクジェットヘッド１０を搭載してヘッドユニット７０が完成する。このとき、ヘッドカバー４５に形成されたインク導入路４７が流路基板７４のヘッド連結口７５に連結される。これにより、タンクホルダ７１の連結部７２を介してインクカートリッジから導入されたインクは、流路基板７４内のインク流路を通ってインクジェットヘッド１０のインク導入路４７に導入され、インク供給口２８を通り共通インク室２７及びチャンバ２２内に充填される。
【００４９】
そして、このように形成されたヘッドユニット７０は、例えば、インクジェット式記録装置のキャリッジに搭載されて使用される。この使用態様の一例の概略を図７に示す。なお、図７は、インクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【００５０】
図７に示すように、インクジェット式記録装置８０のキャリッジ８１は、一対のガイドレール８２ａ及び８２ｂ上に軸方向に移動自在に搭載されており、ガイドレール８２ａ、８２ｂの一端側に設けられてキャリッジ駆動モータ８３に連結されたプーリ８４ａと、他端側に設けられたプーリ８４ｂとに掛け渡されたタイミングベルト８５を介して搬送される。キャリッジ８１の搬送方向と直交する方向の両側には、ガイドレール８２ａ及び８２ｂに沿ってそれぞれ一対の搬送ローラ８６及び８７が設けられている。これらの搬送ローラ８６及び８７は、キャリッジ８１の下方に当該キャリッジ８１の搬送方向とは直交する方向に被記録媒体Ｓを搬送するものである。
【００５１】
キャリッジ８１上には、上述したヘッドユニット７０が搭載され、このヘッドユニット７０にはインクカートリッジが着脱自在に保持される。
【００５２】
このようなインクジェット式記録装置８０によると、被記録媒体Ｓを送りつつキャリッジ８１をその送り方向とは直交方向に走査することにより、インクジェットヘッド１０によって被記録媒体Ｓ上に文字及び画像を記録することができる。
【００５３】
（実施形態２）
図８は、実施形態２に係るヘッドチップを構成する圧電セラミックプレートの概略斜視図及びヘッドチップの断面図である。
【００５４】
本実施形態は、接続配線２５の抵抗値を変化させて、側壁２３に駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上とするようにした例である。
【００５５】
本実施形態では、図８示すように、接続配線２５は、ニッケル（Ｎｉ）からなる第１の配線層２５ａと、金（Ａｕ）からなる第２の配線層２５ｂとで構成されている。そして、この第２の配線層２５ｂの一部を除去すると共に、第１の配線層２５ａの一部に他の部分よりも幅の狭い部分を設けることによって、側壁２３に駆動電圧を印加する際の電気抵抗が１００Ω〜１ｋΩとなるようにした。
【００５６】
すなわち、第２の配線層２５ｂとして用いられる金（Ａｕ）は、抵抗率が低いため、電極２４及び外部配線６０との接続部分を残し、他の領域を除去することによって接続配線２５の抵抗値を増加させている。また、第２の配線層２５ｂが除去された部分の第１の配線層２５ａの幅を狭くすることによってさらに抵抗値を増加させている。例えば、第１の配線層２５ａとして用いられるニッケルは、膜厚１μｍで、シート抵抗が１００ｍΩであるため、第２の配線層２５ｂを除去した部分の第１の配線層２５ａの幅を５０μｍ以下とし、且つその部分の長さを２ｍｍ以上とすれば、接続配線２５の抵抗値を１００Ω以上とすることができる。
【００５７】
このように接続配線２５の抵抗値を増加させ、側壁２３に駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上とするようにしても、勿論、実施形態１と同様、吐出不良を防止でき高速且つ高品質印刷を実現できる。
【００５８】
なお、このような接続配線２５の材料としては、ニッケル（Ｎｉ）及び金（Ａｕ）の他に、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、チタニウム（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）又はタンタル（Ｔａ）等を用いるようにしてもよい。
【００５９】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、勿論、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。
【００６０】
例えば、上述の実施形態では、電極２４又は接続配線２５の抵抗値を増加させることにより、側壁２３に駆動電圧を印加する際の電気抵抗が所定値以上となるようにしたが、これに限定されず、例えば、駆動回路５１と電極２４との間、例えば、配線基板５０上に抵抗回路を別途設けるようにしてもよい。また、勿論、駆動回路５１内、あるいは外部配線６０内に抵抗回路を設けるようにしてもよい。
【００６１】
何れにしても、側壁に駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上とすることにより、吐出不良を防止して、高速且つ高品質印刷を実現することができる。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明では、駆動回路によって隔壁に駆動電圧を印加する際の電気抵抗を所定値以上として、隔壁に印加される駆動電圧の立ち上がり及び立ち下がり時間を長くするようにしたので、隔壁の変位によってチャンバ内の圧力が急激に変化することがなく、インク滴を吐出する際にチャンバ内に気泡が発生するのを防止できる。したがって、インク滴を連続的に吐出してもドット抜け等の吐出不良の発生を防止することができ、高速且つ高品質印刷を比較的容易に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るヘッドチップの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係るインクジェットヘッドの組立工程を示す概略斜視図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る駆動波形を示す図である。
【図６】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図である。
【図７】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【図８】本発明の実施形態２に係る圧電セラミックプレートの斜視図及びヘッドチップの断面図である。
【図９】従来技術に係るヘッドチップの概要を示す分解斜視図である。
【図１０】従来技術に係るヘッドチップの概要を示す断面図である。
【図１１】従来技術に係るヘッドチップの概要を示す断面図である。
【符号の説明】
１０　インクジェットヘッド
２０　ヘッドチップ
２１　圧電セラミックプレート
２２　チャンバ
２３　側壁
２４　電極
２５　接続配線
２６　インク室プレート
２７　共通インク室
２８　インク供給口
２９　ノズルプレート
３０　ノズル開口
４０　ベースプレート
４５　ヘッドカバー
５０　配線基板
５１　駆動回路
６０　外部配線
【図１】
2004001274.tif 000002
【図２】
2004001274.tif 000003
【図３】
2004001274.tif 000004
【図４】
2004001274.tif 000005
【図５】
2004001274.tif 000006
【図６】
2004001274.tif 000007
【図７】
2004001274.tif 000008
【図８】
2004001274.tif 000009
【図９】
2004001274.tif 000010
【図１０】
2004001274.tif 000011
【図１１】
2004001274.tif 000012