(57)【要約】【課題】流体砥石と固体砥石の長所を兼ね備え、砥粒が微細であるにもかかわらず、凝集を起さず均一に分散しており、かつ多種多様の使用態様に対応して熱変形可能な研磨材、使用済後の不要になったものを回収、再生して、容易に再利用しうる研磨材、及び被研磨面に厳密に適合した研磨工具を簡単に製造する方法を提供する。【解決手段】使用温度以上において流動化し、少なくとも１００ｃｐｓの粘度をもつ流体を形成しうる固体材料からなるバインダーマトリックスの少なくとも表面において、三次元方向に磁気配向した磁性体粒子が砥粒とともに均一分散された状態で固定化された熱変形可能な研磨材であり、この研磨材を加熱した被研磨面に押し付け、両者の接触表面を部分溶融して形状転写後、冷却することにより形状転写研磨工具を製造する。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
使用温度以上において流動化し、少なくとも１００ｃｐｓの粘度をもつ流体を形成しうる固体材料からなるバインダーマトリックスの少なくとも表面において、三次元方向に磁気配向した磁性体粒子が砥粒とともに均一分散された状態で固定化された熱変形可能な研磨材。
【請求項２】
バインダーマトリックス１５〜６０質量％、磁性体粒子５〜６０質量％及び砥粒１０〜６０質量％を含む請求項１記載の研磨材。
【請求項３】
バインダーマトリックスが熱可塑性樹脂、ゴム類、脂質類、油脂類、高級アルコール類、高級脂肪酸類、ろう状物質、固体状界面活性剤及びホットメルト系接着剤の中から選ばれる少なくとも１種である請求項１記載の研磨材。
【請求項４】
円柱形状、角柱形状、円筒形状又はシート形状を有する請求項１、２又は３記載の研磨材。
【請求項５】
バインダー構成成分と磁性体粒子と砥粒との混合物を加熱流動化し、次いで三次元方向から磁力を加え配向させながら分散したのち、冷却固化することを特徴とする研磨材の製造方法。
【請求項６】
請求項１記載の研磨材を加熱した被研磨面に押し付け、両者の接触表面を部分溶融して形状転写後、冷却することを特徴とする形状転写研磨工具の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱変形可能で、被研磨面に容易に適合させ得る新規な研磨材、その製造方法及びそれを使用した特に金型の研磨に好適な砥粒が三次元方向に磁場配向された研磨工具の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
技術の急速の発展とともに、工業製品の複雑化や高精度化に対する要求は益々高まり、それを加工するための金型や機械部品について、微細で正確な寸法精度が必要となってきた。
【０００３】
ところで、このような微細で正確な寸法精度を得るには、最終工程において研磨による表面仕上げを行うことが必要であるが、これまでこの表面仕上げ工程は、熟練工による手作業に依存していた。しかしながら、最近に至って熟練工の確保が困難な上に、熟練工をもってしても手作業による表面仕上げには、仕上げ面での鏡面仕上げ精度に限界があるため、これを機械化して省力化することが検討されつつある。
【０００４】
本発明者らは、このような従来の方法における欠点を改善する方法として、先に磁界によって砥粒の配向を制御可能な砥粒含有磁性流体を用い、研磨しようとする物体をこの磁性流体中に浸漬し、これに所定の強さの磁力を印加し、物体表面に対して磁性流体を振動又は揺動運動させる研磨方法を提案した（特開平１−１３５４６６号公報、特開平４−３３６９５４号公報、特開平４−４１１７３号公報、米国特許第５，０７６，０２６号明細書）。
【０００５】
しかしながら、この方法においては、流動性の大きい液体を研磨材として利用するため、研磨面に対する砥粒の研磨圧力が小さく、研磨効率が低い上に、磁性流体に磁力を与え、砥粒を配向させても流動しやすいため、三次元的に任意の方向において厳密な寸法精度で研磨することは困難であった。
【０００６】
その後、本発明者らは、砥粒を含有した磁性流体は、研磨面の形状に応じて三次元的に自由に変形しうる上、人間の手や工具が入り込めないような狭い間隙や閉鎖的な内面に対しても容易に入り込んで研磨しうる点に注目し、これに固体砥石が有する高い研磨性能を付与することについて種々検討した。その結果、これまで液体媒質と固体砥石を用いたものとして、ろう砥石、こんにゃく砥石、ゼラチン砥石が知られていたが、これらは硬さが不足して研磨圧力が小さくて研磨効率が悪く、また押圧力を高めるために磁性粉を追加しても、十分な硬さの向上が得られないという欠点があったのを、液体状態研磨材に対し、上下方向から磁場を与え、砥粒を縦方向に配列させ固体化させることにより、改善することに成功した（特開平１１−１６５２５２号公報、特開２０００−３５１９６０号公報）。
【０００７】
しかしながら、この研磨材は、二次元的面すなわち凹部の場合、その側面の一部と底面だけは効率よく研磨できるが、上面や傾斜面については研磨効率が悪いため三次元構造体を研磨する場合は十分な研磨効率が得られない。
【０００８】
このような欠点を克服するために、複数の磁場を利用して砥粒の撹拌を行い、どの方向にも有効砥粒数を均一化した研磨材及びこの砥石を激しく減耗させ、その減耗量を利用して研磨する方法を提案した（特願２００１−１９５０１０号）。
【０００９】
ところで、よく知られているように、研磨材がその研磨能力を十分に発揮するには、砥粒がマトリックス中に均一に分散されていることが必要である。
しかしながら、砥粒の粒度が小さくなるとともに、粒子は凝集しやすくなり、砥粒をバインダーマトリックス中に均一に分散させることが困難となる。そして、砥粒が凝集した状態で成形された研磨材が用いられると、研磨材そのものの寿命が短かくなるのみならず、研磨面にキズを与えたり、研磨面が不均一となるため、研磨むらの原因となる。
【００１０】
他方において、金型のように複雑な形状を有する内面を効率よく研磨するには、その内面を直接転写して、その形状に適合した研磨工具を作製しなければならないが、これには多種多様の形状、材料に対応した要求物性を満たすバインダーが必要であるにもかかわらず、これまで用いられているバインダーは種類が限られているため、選択の自由度が小さく、したがってその利用分野もおのずから制限されるのを免れない。
【００１１】
さらに、近年、各産業分野においては、いったん使用された後の不要材料を回収再生し、再使用することが義務づけられる傾向にあるので、研磨工具についても、使用後、不要になったものを回収し、再生し得るものが要望されているが、これまでこれを実現し得る適切な材料は知られていなかった。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第１の目的は、流体砥石と固体砥石の長所を兼ね備え、砥粒が微細であるにもかかわらず、凝集を起さず均一に分散しており、かつ多種多様の使用態様に対応して熱変形可能な研磨材を提供することである。
本発明の第２の目的は、使用済後の不要になったものを回収、再生して、容易に再利用しうる研磨材を提供することである。
本発明の第３の目的は、被研磨面に厳密に適合した研磨工具を簡単に製造する方法を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、研磨面の形状によく適合し、しかも大きい研磨力を加えることができて、効率よく研磨しうる研磨材を開発するために鋭意研究を重ねた結果、砥粒を分散させるバインダーマトリックスとして、使用温度以上において流動化し、少なくとも１００ｃｐｓの粘度をもつ流体を形成しうる固体材料を用い、この中で砥粒を磁性体粒子とともに三次元的に磁気配向させて研磨材とすること及びその研磨材を加熱した被研磨面に押し付け、形状転写して研磨工具を製造することにより、それらの目的を達成しうることを見出し、この知見に基づいて本発明をなすに至った。
【００１４】
すなわち、本発明は、使用温度以上において流動化し、少なくとも１００ｃｐｓの粘度をもつ流体を形成しうる固体材料からなるバインダーマトリックスの少なくとも表面において、三次元方向に磁気配向した磁性体粒子が砥粒とともに均一分散された状態で固定化された熱変形可能な研磨材、バインダー構成成分と磁性体粒子と砥粒との混合物を加熱流動化し、次いで三次元方向から磁力を加え配向させながら分散したのち、冷却固化することにより該研磨材を製造する方法、及びこの研磨材を加熱した被研磨面に押し付け、両者の接触表面を部分再溶融して形状転写後、冷却することにより形状転写研磨工具を製造する方法を提供するものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の研磨材は、バインダーマトリックスとその中に均一に分散され、三次元的に配向された磁性体粒子及び砥粒とからなっている。
このバインダーマトリックスとしては、使用温度以上において流動化し、少なくとも１００ｃｐｓの粘度をもつ流体を形成しうる固体材料からなっていることが必要である。
【００１６】
そして、この研磨材は、通常室温下で使用されるので、バインダーマトリックスは、室温すなわち０〜３５℃の範囲の温度以上、好ましくは４０〜２５０℃で流動化し、少なくとも１００ｃｐｓ、好ましくは１０００〜１００００ｃｐｓの粘度をもつ流体を形成し、室温まで冷却したときに凝固する固体材料が用いられる。
【００１７】
この固体材料の流動化温度が室温以下であると使用中に液体化し、十分な研磨力が得られなくなるし、またこの温度があまり高くなると磁力を印加して磁気配向させる場合に取り扱いにくくなる。さらに、流動化後の流体の粘度が１００ｃｐｓ未満であると、砥粒や磁性体粒子を磁気配向させたのち、冷却して固定させるのが不十分になる。また、この粘度があまり高すぎると、砥粒の磁気配向が起こりにくくなる。
【００１８】
このような固体材料としては、例えば熱可塑性樹脂、ゴム類、脂質類、油脂類、高級アルコール類、高級脂肪酸類、ろう状物質、固体状界面活性剤、ホットメルト系接着剤などが包含される。この熱可塑性樹脂の例としては、アクリル系樹脂、塩化ビニル系樹脂、ニトロセルロース系樹脂、ニトロセルロース−アクリル系樹脂、変性アクリル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂などを、ゴム類としては、熱可塑性ポリウレタンエラストマーのようなウレタンエラストマー、ニトリルゴム、シリコンゴム、エチレン酢酸ビニル系ゴム、フッ素ゴムなどを、脂質類としては、コレステロール、カンペステロール、スチグマステロール、フェルラ酸エステルなどを、油脂類としては、アカリットム脂、ウクフバ脂、トウハゼ脂、ニクヅク脂などを、高級アルコール類としては、セチルアルコール、ステアリルアルコール、アラキニルアルコールなどを、高級脂肪酸類としては、パルミチン酸、ミリスチン酸、ステアリン酸などを、ろう状物質としては、カルナバろう、パームろう、みつろう、パラフィンろう、ラノリン、石油ワックスなどを、固体状界面活性剤としては、例えば、α‐オレフィンスルホン酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸及びその塩、アルキル硫酸エステル塩、アルキルエーテル硫酸エステル塩、メチルタウリン酸塩、アラニネート及びその塩、スルホコハク酸塩、エーテルスルホン酸塩、硫酸化油、エーテルカルボン酸塩、高級アルコール系、ポリオキシアルキレングリコール系、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系、脂肪酸エステル系、脂肪酸エチレンオキシド系、エチレンオキシド付加脂肪酸メチルエステル系、アルキルメラミン系、アルキルジアミン系、アルキルアミドエチレンオキシド付加体、アルキルアミンオキシド、モノアルキルアンモニウムクロリド、ジアルキルアンモニウムクロリド、エチレンオキシド付加型アンモニウムクロリド、アラニン系、イミダゾリウムベタイン系、アミノプロピルベタイン系、カチオン性セルロース誘導体、アクリル系高分子などの中で常温で固体状のものを、ホットメルト系接着剤としては、ウレタン系接着剤、官能基を持つウレタン系接着剤、ポリオール系接着剤、結晶性ポリエステル接着剤、ポリエステル系ポリウレタン接着剤、ポリカーボネート系接着剤、ポリエーテル系接着剤、ポリエーテル系ポリウレタン接着剤、多官能ポリカルボジイミド系接着剤などをそれぞれ挙げることができる。
【００１９】
これらのバインダーは、単独で用いることができるが、本発明においては、研磨しようとする被加工物の形状に応じて、機械的物性の異なるバインダーを選択するのが好ましい。例えば研磨面が広い場合は、砥粒が脱落してもそのまま遊離砥粒研削が行われるので、砥粒締結力の弱いバインダーを用いることができるが、研磨面が狭い場合や部分研磨の場合は、研磨屑の除去が困難で、目詰りが発生し、研磨効率が低下するので砥粒締結力が大きく、砥粒脱落の少ないバインダーを用いるのが有利である。
【００２０】
次に、このバインダーマトリックス中に分散させる砥粒としては、例えばダイヤモンド、ＣＢＮ、シリコーンカーバイド、単結晶アルミナ、電融アルミナ粉砕粉、酸化クロム、酸化セリウム、α‐酸化鉄などがある。
【００２１】
この砥粒の種類は、被加工物の材質や表面状態により変えるのが好ましい。例えば、硬い材質に対しては、硬い砥粒を用い、また研磨精度を大きくする場合には、鋭い角をもつ形状のものを使用するのがよい。スクラッチを小さくし、鏡面とする場合には、鈍角表面のアルミナや酸化セリウムが好適である。
【００２２】
また、この砥粒の粒径は、加工の際の研磨精度に応じて選択される。鏡面のように精度の高い表面仕上げの場合は、要求される精度が高ければ高いほど粒径の小さいものを用いるし、また粗研磨の場合は、所要時間を短縮するために粒径の大きいものを用いる。通常、砥粒の平均粒径としては１〜３００μｍ、好ましくは１０〜１００μｍの範囲内で選ばれるが、鏡面仕上げの場合は、４０μｍ以下のものを選ぶのがよい。
【００２３】
また、この砥粒と併用する磁性体粒子としては、ＭｎＺｎ・Ｆｅ２Ｏ３、ＢａＯ・６Ｆｅ２Ｏ３、ＮｉＺｎ・Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｏγ・Ｆｅ２Ｏ３、γ・Ｆｅ２Ｏ３、パーマロイ、電磁軟鉄などを使用する。被加工物の種類によっては、研磨砥粒を含まず、γ‐酸化鉄、各種フェライトのような磁性材料を砥粒と兼用させることができる。
【００２４】
この磁性体粒子の粒径は、併用するバインダーマトリックスの種類により選択するのが好ましい。すなわち、バインダーマトリックスとして低粘度のものを用いた場合、磁性体粒子の粒径が大きいと沈殿を生じやすく、磁界を印加しても十分な分散が行われない。また、バインダーマトリックスの粘度が高い場合、磁性体粒子の粒径が小さいと凝集を生じ、十分な分散が得られない。
したがって、本発明においては、バインダーマトリックスの粘度を１０〜１０万ｃｐｓとし、磁性体粒子の粒径は０．１〜２０μｍの範囲内で選ばれる。
【００２５】
本発明研磨材は、バインダーマトリックス、砥粒及び磁性体粒子をバインダーマトリックス１５〜６０質量％、砥粒１０〜６０質量％及び磁性体粒子５〜６０質量％の割合で含有している。砥粒の割合がこれよりも少ないと十分な研磨効率が得られないし、また磁性体粒子の割合がこれよりも少ないと砥粒の凝集を十分に抑制することができない上に、十分な配向、分散を行うことができない。
【００２６】
本発明の研磨材は、その使用目的に応じ種々の形状、例えば円柱形状、角柱形状、円筒形状又はシート状に成形することができる。図１は、このようにして成形された形状の例の斜視図であって、（イ）は金型の凹部に合わせた形状例、（ロ）は円柱形状の例、（ハ）は四角柱形状の例、（ニ）は三角柱形状の例、（ホ）はシート状の例をそれぞれ示す。なお、図中の１はバインダーマトリックス、２は磁性体粒子、３は砥粒を示す。
【００２７】
本発明の研磨材は、少なくとも研磨しようとする面に接触する部分、すなわち表面部分において三次元的に配向している磁性体粒子及び砥粒を有することが必要である。このような構造をもつことによって三次元方向に対し、優れた研磨効果を奏することができる。内部において三次元的な配向をとる必要はないが、研磨により表面が削減された場合を考慮すれば、内部も三次元的に配向しているのが好ましい。
【００２８】
次に、添付図面に従って、本発明の研磨材の製造方法の１例を説明する。
図２は、本発明研磨材を製造するのに好適な装置例の側方断面図であって、被加工物、例えば金型４の内側空間５に、あらかじめ加熱して流動化させたバインダーマトリックス形成用の流体状バインダー成分１´と磁性体粒子２と砥粒３との混合物を流し込んだ後、内側空間５に砥石ホルダー１２を挿入し、被加工物４の周辺に配置した３個の電磁石６、７、８に電流を流し、増幅コアー９、１０、１１を介し、磁場粘性を上げて磁気撹拌する。この処理により、砥粒３は、凝集を起すことなく、バインダーマトリックス１中に三次元的に均一に配向、分散するので、この状態を保持したまま冷却し固化させることにより、所望の研磨材が得られる。
【００２９】
このように、本発明の研磨材を製造する場合には、流体状バインダー成分と磁性体粒子と砥粒との混合物が流体状態を保っている間に、三次元的な磁場を与えることが必要である。この際の磁場の強さは、流体状バインダー成分の粘度や磁性体の透磁率及び磁性体の粒径に依存する。流体状バインダー成分の粘度が高い場合には機械的な撹拌だけでも均一撹拌が可能であるが、流体状バインダー成分の粘度が低下するに伴って、砥粒の沈殿や凝集が発生する。この沈殿や凝集を防止し、均一撹拌を行わせるために磁場撹拌を行う必要がある。一般に、磁場を与えると磁気粘性効果により、流体の粘度は増加する。この磁気粘性効果と三次元方向からの磁場により磁気撹拌を行うことで、低粘度の流状体バインダー成分でも砥粒の均一撹拌が可能となる。この場合の磁気撹拌に使用される磁場の強さは０．０００１〜０．２テスラの範囲が好ましい。
【００３０】
図３は、本発明の研磨材の成形工程の１例を示す断面図で、先ず被加工物４の内側空間５の研磨面５´に塗布具例えば筆１４を用いて離型剤を塗布し（工程ａ）、次いで内側空間５に流体状バインダー成分１´と磁性体粒子２と砥粒３との混合物を注入し（工程ｂ）、図２に示す装置により磁気撹拌したのち、固化する。
【００３１】
このようにして固化された研磨材１３は、被加工物４の研磨面５´との間で、研磨運動方向（矢印方向）に摩擦を加えることにより、所望の研磨を行うことができる（工程ｃ）。なお、砥石ホルダー１２は磁気効率を高め、研磨材の保持力を増加させる作用を有している。
【００３２】
次に、本発明の研磨材を用いると容易に形状転写研磨工具を製造することができる。
図４は、板状に成形した研磨材を用いて、形状転写することにより、形状転写研磨工具を製造する工程を示す斜視図であって、加熱体１５と粘着性防止板１６とを加熱し（工程ａ）、次いで粘着性防止板１６に研磨材１３を押圧して部分溶解させる（工程ｂ）。次に、この部分溶融した研磨材１３を被加工物４の研磨面５´に押し付け、部分形状転写させたのち冷却する（工程ｃ）。このようにして部分形状転写された研磨工具１７が得られる。
【００３３】
このようにして得られた形状転写研磨工具は以下のようにしてその性能を試験することができる。
図５は、この性能試験に好適な研磨装置の１例の側面図であって、この図において、研磨工具１７を作動する往復運動板１８が加工台１９に取り付けられたモータ２０により往復運動するようになっている。そして、この往復運動板１８上に昇降用軸２１を取り付け、この昇降用軸２１に砥石保持板２２を稼動可能に取り付ける。砥石保持板２２はバネ２３により下方に押し下げられる。また砥石保持板２２にはストッパ調整ネジ２４が付いており、砥石保持板の下方向への動きを加工台１９のストッパ２４で規制している。砥石保持板２２に砥石保持部２５が取り付けられている。砥石保持部２５は固体状の研磨工具１７を保持する機能を有している。砥石保持部２５に永久磁石２６を取り付け、砥石保持部２５を経由して研磨工具１７に磁場を与える。加工台１９の下方には電磁石２７、２８が取り付けられている。この電磁石の磁場回路内に被加工物４を配置し、金具２９と金具ネジ３０で被加工物４を加工台１９に固定する。そして、研磨工具１７の抜けをよくするために、研磨面５´に離型剤の塗布を行う。
【００３４】
次に、液体状研磨材を被加工物の研磨面５´に流し込む。その後電磁石２７、２８に制御電流を流し、研磨材中の砥粒を撹拌する。次に研磨材の冷却を行うことにより、被加工物に形状転写された固体の研磨工具１７が得られる。ストッパ調整ネジ２４を解除することにより、研磨工具１７はバネ２３により研磨面に押し付けられる。この状態でモータ２０に電流を流し、研磨工具１７を往復運動させて、研磨工具と研磨面との間に相対運動を起させることにより、研磨面５´の研磨が行われる。
【００３５】
【発明の効果】
本発明によれば、バインダーマトリックス中に、砥粒が凝集することなく、三次元的に均一に配向、分散した研磨効率の高い研磨材が提供される。また、この研磨材は、金型のような被加工物の研磨面に追従した形状の研磨工具に成形しうるので、少量若しくは単品生産品に対応した研磨工具の製作に有利である。したがって、光学分野として、度付き眼鏡レンズ、特定形状のプリズム、ミラー、非球面レンズ、フレネルレンズなど、また各種工業製品のケーシング、宝飾品、時計部品など、さらに、高度な寸法精度が要求されるゲージ類、シリンダー、軸受け部品、カム、ベアリング球などの研磨に好適である。また、特殊な例として、入れ歯、人工骨の形状形成研磨にも好適である。
【００３６】
【実施例】
次に、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。
なお、各例における研磨工具の試験は、図５に示す構成の研磨装置を用いて行った。
【００３７】
実施例１
図４に示す工程に従い、バインダーとしてホットメルト系接着剤（東洋紡績株式会社製、商品名「ＧＡ−１２００」）を、磁性体粒子としてフェライト粉末（平均粒径３μｍ）を、砥粒として炭化ホウ素粉末（平均粒径１２０μｍ）を、それぞれバインダー２５質量％、磁性体粒子３５質量％、砥粒４０質量％からなる溶融物を、磁場の強さ０．０１テスラで３方向から磁力を印加して研磨材を作製し、図５に示す構造の研磨装置を用いて研磨能力の試験を行った。この際の研磨条件は、研磨圧力１ｋｇ、研磨ストローク３．５ｍｍ、研磨方向１方向、研磨周波数１５Ｈｚであった。
試料として、アルミニウム及び鉄を用いて得た結果を表１に示す。
【００３８】
比較例１
磁力を印加することなしに実施例１と同じ操作を繰り返して得た研磨材について、実施例１と同様にして研磨能力を試験した。その結果を表１に示す。
【００３９】
実施例２
実施例１におけるバインダーのホットメルト系接着剤の代りにポリオキシエチレンアルキルエーテル系界面活性剤、すなわち２０モルエチレングリコール付加ベヘニルエーテル（日光ケミカルズ社製、商品名「ＢＢ−２０」）を用い、実施例１と同様にして研磨材を調製した。この研磨材について実施例１と同様にして、その研磨能力を試験し、得られた結果を表１に示す。
そのほか、固体状界面活性剤として、親油型モノステアリル酸グリセリド（日光ケミカルズ社製、商品名「ＭＧＳ−Ｂ」及び「ＭＧＳ−Ａ」）、モノステアリン酸ソルビタン（日光ケミカルズ社製、商品名「ＳＳ−１０」）、４０モルエチレングリコール付加モノステアリン酸エステル（日光ケミカルズ社製、商品名「ＭＹＳ−４０」）を用いた場合も同様に良い結果が得られた。
【００４０】
比較例２
磁力を印加することなしに実施例２と同じ操作を繰り返して得た研磨材について、実施例１と同様にして研磨能力を試験した。その結果を表１に示す。
【００４１】
実施例３
実施例１におけるバインダーのホットメルト系接着剤の代りにパラフィンワックス（山陽油脂工業株式会社製、商品名「山陽のローソクだるま」）を用い、実施例１と同様にして研磨材を調製した。この研磨材について実施例１と同様にして、その研磨能力を試験し、得られた結果を表１に示す。
【００４２】
比較例３
磁力を印加することなしに実施例３と同じ操作を繰り返して得た研磨材について、実施例１と同様にして研磨能力を試験した。その結果を表１に示す。
【００４３】
【表１】
2004074332.tif 000002
【００４４】
この表から分るように、磁力を印加することにより得られる研磨材は、被加工物の仕上げ面の性状が向上し、研磨時間が短縮される。また、バインダーの種類や試料の材質により研磨特性が異なることが分った。この他に、必要とされる研磨特性に見合うバインダーの選定（前記系列中で大日精化工業社製、花王社製、ライオン社製、日本サーファクタント工業社製、などのバインダーを用いた研磨特性結果からの逆探査）が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】種々の形状に成形された研磨材の例の斜視図。
【図２】本発明研磨材を製造するのに好適な装置例の側方断面図。
【図３】本発明研磨材の成形工程の１例を示す断面図。
【図４】研磨材を形状転写することにより形状転写研磨工具を作製する工程を示す斜視図。
【図５】本発明の研磨工具を試験するための研磨装置の側面図。
【符号の説明】
１　バインダーマトリックス
１´流状体バインダー成分
２　磁性体粒子
３　砥粒
４　被加工物
５　内側空間
５´研磨面
６、７、８　電磁石
９、１０、１１　増幅コアー
１２　砥石ホルダー
１３　研磨材
１４　塗布具
１５　加熱体
１６　粘着性防止板
１７　研磨工具
１８　往復運動板
１９　加工台
２０　モータ
２１　昇降用軸
２２　砥石保持板
２３　バネ
２４　ストッパ調整ネジ
２５　砥石保持部
２６　永久磁石
２７、２８　電磁石
２９　金具
３０　金具ネジ
【図１】
2004074332.tif 000003
【図２】
2004074332.tif 000004
【図３】
2004074332.tif 000005
【図４】
2004074332.tif 000006
【図５】
2004074332.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月6日(2003.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
請求項１記載の研磨材を加熱し、被研磨面に押し付け、両者の接触表面を部分溶融して形状転写後、冷却することを特徴とする形状転写研磨工具の製造方法。