(57)【要約】【課題】複数の対物レンズのいずれであっても圧痕の測定を可能とする。【解決手段】圧痕が形成された試料を載置する試料台２と、試料に向けて配置される倍率が異なる複数の対物レンズ５，１５と、各対物レンズを保持すると共にこれらを選択的に試料台２上の試料Ｓに対する観察位置に位置決めするレンズ保持手段４と、選択された対物レンズを介して試料の観察を行うための観察手段９と、試料の圧痕の像の大きさを検出すると共に検出データを出力する測定手段３０と、測定手段３０の検出データに基づいて圧痕のビッカース硬さを算出する演算手段５０を備え、演算手段５０は、各対物レンズ５，１５に応じた個別の係数を乗じて求めた圧痕の大きさからビッカース硬さを算出する。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を載置する試料台と、
前記試料に向けて配置される倍率が異なる複数の対物レンズと、
前記各対物レンズを保持すると共にこれらを選択的に前記試料台上の試料に対する観察位置に位置決めするレンズ保持手段と、
選択された前記対物レンズを介して前記試料の観察を行うための観察手段と、
前記試料の圧痕の像の大きさを検出すると共に検出データを出力する測定手段と、
前記測定手段の検出データに基づいて、前記圧痕のビッカース硬さを算出する演算手段と、を備え、
前記演算手段は、前記各対物レンズに応じた個別の係数を乗じて求めた圧痕の大きさからビッカース硬さを算出することを特徴とするビッカース硬さ試験機。
【請求項２】
前記レンズ保持手段がいずれの対物レンズを観察位置に位置決めしたかを検出するレンズ検出手段を備え、
前記演算手段は、前記レンズ検出手段の出力により特定される対物レンズのレンズ倍率に応じた個別の係数を乗じて求めた圧痕の大きさからビッカース硬さを算出することを特徴とする請求項１記載のビッカース硬さ試験機。
【請求項３】
前記演算手段に、前記各対物レンズごとの係数を設定入力する係数設定手段を備えることを特徴とする請求項１又は２記載のビッカース硬さ試験機。
【請求項４】
前記演算手段が、大きさが既知である基準スケールを測定した時の前記測定手段の検出データに基づいて算出したスケールの大きさと実際の基準スケールの大きさとを比較すると共にその比較結果から係数を特定する係数特定部を有することを特徴とする請求項１，２又は３記載のビッカース硬さ試験機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビッカース硬さ試験機に係り、特に、複数の対物レンズを切り替えて使用するビッカース硬さ試験機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のビッカース硬さ試験機は、硬さ試験の対象物である試料を載置する試料台と、この試料台を昇降させる昇降機構と、試料台上の試料に対して圧痕の形成を行う圧痕形成手段と、試料に向けて配置される第一と第二の対物レンズと、各対物レンズを保持すると共にこれらを選択的に試料台上の試料に対する観察位置に位置決めするターレットと、圧痕の測定を行う測定手段と、圧痕の撮像を行うＣＣＤカメラと、上記各部を支持する装置フレームとを備えている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記ターレット１４０は、図７に示すように、試料台１０２の上方において垂直方向を回転軸として回転自在に本体フレーム１０３に支持されている。このターレット１０４は、その回転軸を中心とする同一円周上で第一と第二の対物レンズ１０５，１０６及び圧痕形成手段のダイヤモンド圧子１２４を支持している。
そして、この円周上の所定の一点の垂直下方が、試料台１０２上における試料Ｓの設置位置と一致するように設定されている。つまり、ターレット１４０の回転操作により上述の円周上の所定の一点（この点を観察位置とする）に第一と第二の対物レンズ１０５，１０６又はダイヤモンド圧子１４２を位置決めすることで、試料の圧痕観察を行ったり、圧痕形成を行ったりする。
【０００４】
圧痕形成手段１２３はダイヤモンド圧子１２４を上下方向に往復移動可能に支持している。かかる圧痕形成手段１２３をターレット１４０により観察位置に位置決めすると、その上方にある図示しない圧子押し付け機構によりダイヤモンド圧子１２４を所定の押し付け力で下方に押し付ける。これによりダイヤモンド圧子１２４の先端部が試料Ｓに押し付けられて圧痕Ｍが形成される。
【０００５】
各対物レンズ１０５，１０６はそれぞれレンズ鏡筒１０７，１０８を介してターレット１４０に支持されている。そして、これらのレンズ鏡筒１０７，１０８はいずれもその内側上部にミラーを備えており、観察位置に位置決めされると、選択された対物レンズ１０５，１０６の光軸を通過する光を光路管１０９を介して測定手段１３０及び図示しないＣＣＤカメラ側に反射する。
反射光は、測定手段１３０を通過してＣＣＤカメラに入射する。その際、圧痕及び測定手段が形成する測定線の像を撮像し、装置外部の図示しない演算処理装置に撮像信号を出力し、情報処理装置は撮像信号に基づいてモニタ出力を行う。
【０００６】
測定手段１３０は、図８に示すように、ＣＣＤカメラの視界内で測定線L1，L2の像を形成し、圧痕Ｍと共に撮像させる。また、これら測定線L1，L2の像はいずれも調節ツマミを操作して圧痕Ｍの像の両側で左右に移動させることができ、測定の際には、圧痕Ｍの像の左右の端部にそれぞれ測定線L1，L2の位置決めを行う。また、測定手段１３０は90[°]回転させることが可能であり、圧痕Ｍの像の上下の端部にそれぞれ測定線L1，L2の位置決めを行うこともできる。そして、各調節ツマミにはその操作量を検出するエンコーダが装備されており、検出した操作量を情報処理装置に出力する。
【０００７】
情報処理装置は、各エンコーダからの出力により各測定線L1，L2の位置を認識し、それらの間隔距離を算出する。これにより、圧痕Ｍの左右幅と上下幅を取得することができ、これらにより圧痕Ｍの面積を求め、圧痕形成の際のダイヤモンド圧子１２４の加圧量からビッカース硬さを算出する。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−３１０８６９号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、各対物レンズ１０５，１０６は、各レンズ鏡筒１０７，１０８を介してターレット１４０に同焦点となるように支持されている。つまり、いずれか一方の対物レンズの焦点合わせを行えばターレット１０４を回転させて他方の対物レンズを使用する際にも当該他方のレンズについても焦点が合うように図７のΔHの距離が設定されている。
しかしその場合、対物レンズ１０５と対物レンズ１０６とでは、それぞれの光学的筒長（対物レンズの後側焦点からCCDカメラの光学系の前側焦点までの距離）に差を生じることとなる。その結果、それぞれの対物レンズ１０５，１０６で同じ圧痕Ｍを撮像した場合に、CCDカメラにより撮像される圧痕Ｍの像の大きさが各対物レンズのレンズ倍率に比例した大きさにはならなかった。図８の二点鎖線Ｍ’は対物レンズのレンズ倍率に比例して表されるべき大きさを示し、実線は実際に撮像される大きさを示している。
【００１０】
かかる場合、測定手段１３０の測定線L1，L2はレンズ倍率にかかわらず一定の像が得られることから、一方の対物レンズ１０５によって得られる圧痕像に対して測定手段１３０による測定から求めた圧痕Ｍの大きさと、他方の対物レンズ１０６によって得られる圧痕像に対して測定手段１３０による測定から求めた圧痕Ｍの大きさとは、単純にレンズの倍率比に応じた処理では整合を図ることができず、その結果いずれか一の対物レンズのみでしか測定が行えないという不都合を生じていた。
従って、従来は、一方の対物レンズを測定用とし、他の倍率の大きな対物レンズは専ら観察用に使用されるようになっていた。
【００１１】
本発明は、複数の対物レンズのいずれであっても圧痕の測定を可能とすることを、その目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、例えば一例として図１に示すように、試料（Ｓ）を載置する試料台（２）と、試料に向けて配置される倍率が異なる複数の対物レンズ（５，１５）と、各対物レンズを保持すると共にこれらを選択的に試料台上の試料に対する観察位置に位置決めするレンズ保持手段（４）と、選択された対物レンズを介して試料の観察を行うための観察手段（９）と、試料の圧痕の像の大きさを検出すると共に検出データを出力する測定手段（３０）と、測定手段の検出データに基づいて、圧痕のビッカース硬さを算出する演算手段（５０）とを備え、演算手段は、各対物レンズに応じた個別の係数を乗じて求めた圧痕の大きさからビッカース硬さを算出する、という構成を採っている。
【００１３】
上記構成では、レンズ保持手段により対物レンズを選択し、試料台上の試料の圧痕を観察手段を介して観察し、測定手段により圧痕の大きさを測定する。かかる観察手段は、例えば、CCDカメラや接眼レンズであっても良い。
そして、測定手段により検出された圧痕像の大きさが検出データとして演算手段に出力されると、演算手段は、選択された対物レンズに応じて所定の係数を乗算しつつ圧痕像の大きさを求める処理を行う。さらに、求められた圧痕の大きさからその面積を求め、当該算出面積と圧痕形成時の加圧力とからビッカース硬さ試験機を算出する。上記係数は、装置各部の設計条件から理論的に算出した値を採用して良いし、装置組み立て後において実際に既知の圧痕の大きさの測定を行い、そこから得られる傾向に従って誤差の発生を解消するに従って取得した算出結果は、算出結果表示用のモニタを装置に設けて出力しても良いし、装置外部の表示手段により出力しても良い。
【００１４】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明と同様の構成を備えると共に、レンズ保持手段（４）がいずれの対物レンズ（５，１５）を観察位置に位置決めしたかを検出するレンズ検出手段（６０）を備え、演算手段は、レンズ検出手段の出力により特定される対物レンズのレンズ倍率に応じた個別の係数を乗じて求めた圧痕の大きさからビッカース硬さを算出する、という構成を採っている。
【００１５】
上記構成では、請求項１記載の発明と同様の作用を奏すると共に、レンズ検出手段により選択された対物レンズが認識され、当該選択された対物レンズの係数を用いてビッカース硬さ試験機が算出される。
【００１６】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明と同様の構成を備えると共に、演算手段（５０）に、各対物レンズ（５，１５）ごとの係数を設定入力する係数設定手段（５１）を備える、という構成を採っている。
上記構成では、請求項１又は２記載の発明と同様の作用を奏すると共に、予め計測して求めた各対物レンズごとの係数や設計条件から計算して求めた各対物レンズごとの係数を演算手段に入力し、記憶させる。演算手段は、入力された係数に基づいてビッカース硬さ試験機を算出する。
【００１７】
請求項４記載の発明は、請求項１，２又は３記載の発明と同様の構成を備えると共に、演算手段（５０）が、大きさが既知である基準スケールを測定した時の測定手段の検出データに基づいて算出したスケールの大きさと実際の基準スケールの大きさとを比較すると共にその比較結果から係数を補正する係数補正部を有する、という構成を採っている。
【００１８】
上記構成では、請求項１，２又は３記載の発明と同様の動作が行われると共に、大きさが既知である基準スケールの大きさを計測手段により計測すると共に、既知である基準スケールの実際の大きさのデータ入力を受け付ける。
演算手段は、選択された対物レンズの係数に従ってその大きさを算出すると共に、その係数補正部が、算出した基準スケールの大きさと実際の大きさとを比較し、それらの違いから導かれる新たな係数を算出すると共に更新記憶する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
（実施形態の全体構成）
本発明の実施形態を図１乃至図５に基づいて説明する。図１は本実施形態たるビッカース硬さ試験機１０の正面図を示し、図２はビッカース硬さ試験機１０の試料台２の上方における部分の構成を装置の側面に沿った断面により一部を切り欠いて示した説明図を示している。
【００２０】
かかるビッカース硬さ試験機１０は、硬さ試験の対象物である試料Ｓを載置する試料台２と、この試料台２を前後左右上下の三方向に移動させて位置決めする試料台位置調節手段２０と、試料台２上の試料に対して圧痕Ｍ（図８参照）の形成を行う圧痕形成手段２３と、試料Ｓに向けて選択的に配置される倍率の異なる第一及び第二の対物レンズ５，１５と、各対物レンズ５，１５を保持すると共にこれらを選択的に試料台２上の試料Ｓに対する観察位置に位置決めするレンズ保持手段としてのターレット４と、ターレット４によりいずれの対物レンズが観察位置に選択されているかを検出するレンズ検出手段６０と、測定線Ｌ１，Ｌ２（図８参照）により圧痕Ｍの大きさを測定する測定手段３０と、選択された対物レンズ５（又は１５）を介して試料Ｓの観察を行うための観察手段としてのＣＣＤカメラ９と、測定手段３０の検出データに基づいて、圧痕Ｍのビッカース硬さを算出する演算手段としての制御回路５０と、上記各構成を支持する装置フレーム３とを備えている。
以下、ビッカース硬さ試験機１０の各部について詳細に説明する。
【００２１】
（試料台，試料台位置調節手段及び装置フレーム）
上記試料台２は、上面に試料Ｓを載置するための平滑面が形成されており、下面を試料台位置調節手段２０の昇降機構２１により支持されている。
一方、試料台位置調節手段２０は、試料台２を上下方向に自在に移動させる上記昇降機構２１と、左右方向に自在に移動させる左右移動機構２２と、前後方向に自在に移動させる前後移動機構（図示略）とを備えている。
昇降機構２１は当該試料台２の上下移動により位置決めを行うのみではなく、試料Ｓの圧痕Ｍの測定の際には選択された対物レンズ５（又は１５）との距離調節を行う焦点調節手段としても機能する。
また、左右移動機構２２と前後移動機構とは、いずれも試料台２に併設されており、試料Ｓを載置される上面部分を左右方向と前後方向（図１における紙面に垂直な方向）に移動させて試料Ｓの位置決めを行う。これらの移動機構はマイクロメータを使用しており、高い精度での位置決めを可能としている。
【００２２】
装置フレーム３は、前述した通り、ビッカース硬さ試験機１０の各構成を，直接的に支持し又は他の構成が介在して間接的に支持する据え置き型の枠体である。装置フレーム３の下部には前述した昇降機構２１を保持し、装置フレーム３が水平面上に据え置かれた状態（以下、各部の構成の説明で方向が示された場合には、特にことわりがある場合に除き装置フレーム３が水平面上に据え置かれた状態での方向を示しているものとする）で、昇降機構２１を介して支持された試料台２の上面部も水平となるように設定されている。
また、装置フレーム３は、図２に示すように、ちょうど試料台２の上方となる位置に垂直方向を軸として回転自在にターレット４を支持すると共に、さらにその前方（図１における紙面手前方向、図２における左方）側で測定手段３０を支持している。
【００２３】
（ターレット）
ターレット４は回転テーブルとなっており、その回転軸を中心とする同一円周上に圧痕形成手段２３のダイヤモンド圧子２４と第一の対物レンズ５と第二の対物レンズ１５とを支持している。必要に応じてターレット４を回転させることで、圧痕形成手段２３と第一の対物レンズ５と第二の対物レンズ１５と選択的に試料台２上にセットされた試料Ｓの真上となる位置（観察位置）に位置決めすることを可能としている。例えば、図２では、第一の対物レンズ５が観察位置に位置決めされているが、かかる状態から、上方から見て反時計方向に90度の角度でターレット４を回転させることによりダイヤモンド圧子２４が観察位置に位置決めされ、さらに90度ターレット４を回転させることにより第二の対物レンズ１５が観察位置に位置決めされる。
【００２４】
また、ターレット４は、各対物レンズ５，１５を、各鏡筒６，１６を介して試料台２上の試料Ｓに対して同焦点となるように支持されている。つまり、いずれか一方の対物レンズの焦点合わせを行えばターレット４を回転させて他方の対物レンズを使用する際にも当該他方のレンズについても焦点が合うように光軸方向に沿った位置設定がなされている。
【００２５】
（レンズ検出手段）
ターレット４にはレンズ検出手段６０が併設されている。このレンズ検出手段６０は、第一の対物レンズ５を検出するための第一のセンサユニット６１と、第一の対物レンズ５が観察位置にあるときにその存在が第一のセンサユニット６１に検出される第一の検出板６２と、第二の対物レンズ６を検出するための第二のセンサユニット６３と、第二の対物レンズ１５が観察位置にあるときにその存在が第二のセンサユニット６３に検出される第二の検出板６４とを備えている。
上記各センサユニット６１，６３は、いずれも発光素子とその反射光を検出可能な受光素子とからなる。そして、各検出板６２，６４はセンサユニット６１，６３の発光素子からの発光光を良好に反射する素材でその表面が形成されている。
【００２６】
第一の検出板６２は第一の対物レンズ５を保持する鏡筒６に設けられ、第一のセンサユニット６１は第一の検出板６２と同じ高さで装置フレーム３側に設けられている。そして、これらは第一の対物レンズ５が観察位置にあるときにのみ相対するように配置されている。
第二の検出板６４は第二の対物レンズ６を保持する鏡筒１６に設けられ、第二のセンサユニット６３は第二の検出板６４と同じ高さであって第一の検出板６２とは異なる高さで装置フレーム３側に設けられている。そして、これらは第二の対物レンズ１５が観察位置にあるときにのみ相対するように配置されている。かかる配置により、各対物レンズ５，１５がそれぞれ観察位置にある状態を個別に検出することが可能となる。
各センサユニット６１，６３は制御回路５０に接続され、各検出板６２，６４の検出を制御回路５０に出力する。
【００２７】
（圧痕形成手段）
圧痕形成手段２３は、図２に示すように、その下端部が試料Ｓに押し付けられて正方形状の圧痕Ｍを形成するダイヤモンド圧子２４と、当該ダイヤモンド圧子２４をターレット４上で上下動可能に支持する圧子支持機構２５と、この圧子支持機構２５を介してダイヤモンド圧子２４を下降させ且つ所定の押し付け力で押し付ける押し付け機構（図示略）とを備えている。
上記押し付け機構は、ターレット４の回転により前述の観察位置に位置決めされたダイヤモンド圧子２４を下方に押し下げることが可能な配置で装置フレーム３の内部に装備されている。なお、この押し付け機構は、コイルにより動作するアクチュエータや錘により回動するアーム機構等その押し付け力が調節可能な機構が望ましい。
【００２８】
（対物レンズ周辺）
第一の対物レンズ５は、図２に示すように、鏡筒６に保持されている。この鏡筒６は下端部で第一の対物レンズ５を保持し、上端部の内側で反射ミラー７を備えている。鏡筒６は、自らの中心線と第一の対物レンズ５の光軸とが一致するように保持し、さらに反射ミラー７は光軸に沿った光を水平方向に反射する。そして、ターレット４上において、鏡筒６が観察位置に位置決めされると、反射ミラー７による光軸に沿った光の反射光が装置フレーム３に支持された光路管４０に入射するように、鏡筒６はターレット４に支持されている。
【００２９】
なお、光路管４０は一端部が装置フレーム３に支持され、他端部には接眼レンズ９が設けられ、その途中には装置フレーム３から接眼レンズ９に向かう方向に沿って筒長調節手段５０と測定手段３０とが順番に配設されている。そして、上記反射ミラー７に反射された第一の対物レンズ５の光軸通過光が、筒長調節手段５０と測定手段３０とを通過して接眼レンズ９の主点に到達する方向に進行するように反射ミラー７の設置角度が設定されている。
【００３０】
なお、第二の対物レンズ１５についても、第一の対物レンズ５と同様に、鏡筒１６に保持され、当該鏡筒１６内には光軸に沿った光を反射する反射ミラー（図示略）が設けられている。また、ターレット４により鏡筒１６が観察位置に位置決めされると、反射ミラーが第二の対物レンズの光軸通過光を、光路管４０を通って接眼レンズ９の主点に到達する方向に向けて反射する点も第一の対物レンズ５の場合と同様である。
【００３１】
（測定手段）
測定手段３０について図２，３に基づいて説明する。図３は測定手段３０の内部構造を示す分解斜視図である。
測定手段３０は、各対物レンズ５，１５を通過して反射ミラーにより反射された反射光が通過可能に構成されている。即ち、この測定手段３０は、反射光がその中央部を通過する筐体３９と、この筐体３９の内部において反射光の光路を挟んで両側にそれぞれ配置された測定線形成用の目盛板３３，３４と、各目盛板３３，３４を個別に位置調節するための調節ツマミ３７，３８と、各調節ツマミ３７，３８の回転操作により各目盛板３３，３４をそれぞれ移動させる支持軸３５，３６と、各調節ツマミ３７，３８の回転操作を検出するエンコーダ３１，３２とを備えている。
【００３２】
各目盛板３３，３４は、図３に示すように、筐体３９の内部において、互いのその先端部を対向させた状態で、図示しないガイドにより、いずれもがその平板面の向きを一定に維持したまま筐体３９の長手方向に沿ってスライド可能に支持されている。また、各目盛板３３，３４のＣＣＤカメラ９側を向いた面の先端部には測定線が記入されている。
【００３３】
各支持軸３５，３６はそれぞれ一端部が調整ツマミ３７，３８と連結され、他端部は目盛板３３，３４と連結されている。また、各支持軸３５，３６の他端部がその中間部に至るまでネジ溝が形成され雄ネジ部を構成する。その一方、各目盛板３３，３４にはネジ穴が設けられ、それぞれ支持軸３５，３６の他端部の雄ネジ部が螺合するように挿入される。前述したように、各目盛板３３，３４はその平板面の向きを一定に維持したままスライド可能に筐体３９の内部で支持されているので、これら目盛板３３，３４に対して調節ツマミ３７，３８を介して支持軸３５，３６を回転させることにより、その回転中心線に沿って各目盛板３３，３４をそれぞれスライド移動させることが可能である。
【００３４】
このため、測定時おいて、接眼レンズ９により観察される圧痕Ｍに対して各目盛板３３，３４の先端部でこれを挟むようにそれぞれを位置決めし、各目盛板３３，３４の先端部の間隔を測定することで圧痕Ｍの横方向幅を測定することができる。各調節ツマミ３７，３８にはその回転操作量を認識するためのゲージが記されており、当該ゲージを読むことで各目盛板３３，３４の移動量を知ることができ、かかる移動量から各目盛板３３，３４の先端部の間隔を知ることが可能である。
【００３５】
一方、各調節ツマミ３７，３８にはそれぞれエンコーダ３１，３２が併設され、各調節ツマミ３７，３８の回転操作量が検出されると共に制御回路５０に出力される。制御回路５０は各エンコーダ３１，３２の原点位置からの回転操作量を検出することで、各測定線L1,L2の基準位置からの移動変化量を算出し、さらに、測定線間隔を求めることで圧痕の幅を検出する。
また、測定手段３０の筐体３９は、第二の筒体４２に対して90度の範囲で回転させることが可能であり、かかる回転によりその姿勢を水平状態から垂直状態に切り替えることができる。これにより、圧痕Ｍの横幅だけでなく、縦方向長さを測定することも可能である。
【００３６】
（ＣＣＤカメラ）
ＣＣＤカメラ９は、図２，４に示すように、測定手段３０を経て光路管４０の先端に支持されている。そして、各対物レンズ５，１５が観察位置にある場合においてその光軸通過光の反射ミラーによる反射光がＣＣＤカメラ９の図示しない光学系の光軸を通過し内部のＣＣＤ撮像素子に入射するように当該ＣＣＤカメラ９は光路管４０に支持されている。そして、ＣＣＤカメラ９の撮像素子の検出信号は制御回路５０に出力される。
【００３７】
（制御回路）
次に、制御回路５０について図５に基づいて説明する。図５はビッカース硬さ試験機１０の制御系を示すブロック図である。かかる制御回路５０は、各種演算処理を行うＣＰＵと、制御、判断等各種処理用の各種プログラムが記憶、格納されたＲＯＭと、各種処理におけるワークメモリとして使用されるＲＡＭとで概略構成されている。そして、制御回路５０にはシステムバス及び駆動回路等を介して測定手段３０の各エンコーダ３１，３２、レンズ検出手段６０の各センサユニット６１，６３、ＣＣＤカメラ９が接続されている。
また、動作制御手段３０には、測定作業に関する各種設定条件、各種設定数値や測定の開始を入力する操作入力手段５１、制御回路５０による処理結果を画像表示する表示手段５２が併設されている。
【００３８】
制御回路５０は、ＣＣＤカメラ９による圧痕像の撮像データに基づく画像表示や後述する圧痕Ｍの算出処理結果表示を表示手段５２に行わせる画像表示制御回路と、測定手段３０の各エンコーダ３１，３２からの出力に基づいて圧痕Ｍの大きさを算出し、さらにビッカース硬さを算出する算出回路として機能する。
【００３９】
特に算出回路として機能する場合にあっては、制御回路５０は、圧痕Ｍの像に対してその両端部に各測定線を位置合わせを行ったときの各エンコーダ３１，３２の回転操作量が検出されると、各エンコーダ３１，３２の出力から各測定線の位置を認識すると共に各位置から測定線間隔を算出する処理が行われる。
さらに、この測定線間隔に対して対物レンズ及びＣＣＤカメラの光学系のレンズ倍率やこれらの光学的筒長（対物レンズの後側焦点からCCDカメラの光学系の前側焦点までの距離）から求められる各対物レンズ５，１５ごとに固有の係数を乗じて圧痕Ｍの幅を算出する処理が行われる。
【００４０】
さらに、上記算出に際しては、各レンズセンサユニット６１，６３の出力に基づいて観察位置にあると判断されたいずれかの対物レンズに対応する係数が選択される処理が行われる。
また、各係数については、対物レンズ５，１５及びＣＣＤカメラ９の光学系のレンズ倍率，これらの光学的筒長及び光軸上における測定手段３０の配置等から算出された理論値を係数設定手段としての操作入力手段５１により設定入力されたものを制御回路５０内で記憶し、処理過程において参照されるが、かかる係数については更新することが可能である。
即ち、制御回路５０は係数特定部としての処理を行う。かかる処理にあっては、操作入力手段５１により係数の更新を指示入力すると、大きさが既知である基準スケールについての測定モードに切り替わり、操作入力手段５１による基準スケールの既知の大きさの入力待ちとなる。そして、基準スケールに対するその大きさの測定待ち状態となるので、試料に対する測定と同様に基準スケールの大きさの測定を行う。制御回路５０は、その時の測定手段３０の検出データと更新前の係数に基づいてスケールの大きさを算出する。そして、予め入力した基準スケールの既知の大きさと測定による基準スケールの大きさとを比較すると共にその差に所定の開きがあると、もとの係数に，既知の大きさを測定による大きさで除した数値を乗算した新たな係数を記憶する。なお、係数の更新は、各対物レンズの係数ごとに行うことが可能である。
【００４１】
（ビッカース硬さ試験機の動作説明）
上述の構成からなるビッカース硬さ試験機１０の動作を説明する。試料台２上に試料Ｓをセットし、ターレット４の回転操作により、圧痕形成手段２３を観察位置に位置決めする。そして、押し付け機構の駆動によりダイヤモンド圧子２４を所定の押し付け力で試料Ｓに押し付け、圧痕を形成する。
【００４２】
次に、ターレット４を操作して第一の対物レンズ５を観察位置に位置決めする。このとき、レンズ検出手段６０の第一のセンサユニット６１は第一の対物レンズ５が観察位置にあることを制御回路５０に出力する。さらに、試料台位置調節手段２０の昇降機構２１により試料の高さ調節を行って第一の対物レンズ５に対する焦点合わせを行う。
このとき、ＣＣＤカメラ９による試料Ｓの撮像画像が表示手段５２で画像出力される。かかる表示手段５２を観察しながら、測定手段３０の両調節ツマミ３７，３８により圧痕Ｍの左右に測定線L1，L2が揃うように位置合わせを行うと、各エンコーダ３１，３２からその回転操作量が制御回路５０に出力される。
制御回路５０は、各エンコーダ３１，３２の出力と、第一のレンズセンサユニット６１の出力により選択される係数とにより、圧痕Ｍの左右方向幅を算出し、表示手段５２に出力する。
さらに、測定手段３０を90度回転して圧痕Ｍの上下方向幅についても測定を行い、制御回路５０は、上下左右各幅の算出値と圧痕形成時の加圧力とからビッカース硬さを算出し、表示手段５２により表示を行う。
また、第二の対物レンズ１５を選択した場合は、圧痕Ｍの大きさを算出する際に選択される係数が変わるだけで、他の処理は第一の対物レンズ５の選択時と同様に行われる。
【００４３】
（実施形態の効果）
上記構成からなるビッカース硬さ試験機１０は、その制御回路５０が、各対物レンズ５，１５ごとに設定された係数により圧痕の大きさを算出する構成のため、いずれの対物レンズを選択した場合でも精度良く圧痕を求めることができ、これに共に、精度良くビッカース硬さを取得することが可能となる。
また、各係数は操作入力手段５１により適切な値に設定することが可能であるため、例えば、各部の設計条件に従い理論的に求められた値に設定したりすることにより、正確な圧痕幅及びビッカース硬さを取得することが可能となる。
また、ビッカース硬さ試験機１０では、レンズ検出手段により選択された対物レンズに応じた係数によりビッカース硬さ試験機の算出を行うので、係数の選択を入力する煩雑性を解消し、また、入力ミスや入力忘れを有効に回避し、より適切な圧痕幅やビッカース硬さの取得を図ることができる。
さらに、ビッカース硬さ試験機１０では、制御回路５０が係数特定部としての処理を行うので、実測値に導く係数を取得することが可能となり、より精度の高いビッカース硬さの測定を行うことが可能となる。特に、各対物レンズの加工精度の誤差の影響をも排除することができるので、より精度の高い測定を行うことが可能となる。
【００４４】
（その他）
上記ビッカース硬さ試験機１０では観察手段としてＣＣＤカメラ９を使用したが、これに限定するものではなく、図６に示すように、接眼レンズ９Ａを設けても良い。かかる場合、圧痕像を表示する表示手段を不要とすることができ、接眼レンズ９Ａから圧痕像を観察しながらビッカース硬さの測定を行うこととなる。
【００４５】
【発明の効果】
請求項１記載の発明は、測定手段が圧痕像の大きさの検出データを出力し、演算手段が記憶する各対物レンズごとに対応する係数を乗じつつ上記検出データから圧痕の大きさを算出するので、従来のように一の対物レンズのみでしか測定できない不都合を改善し、いずれの対物レンズを選択してもビッカース硬さを算出することが可能となる。
特に、各レンズを同焦点として配置したことを原因とする光学的筒長のばらつきを原因として各対物レンズのレンズ倍率に応じた測定値が取得できないような場合には、かかる光学的筒長のばらつきを修正する係数を設定することにより、当該バラツキの影響を低減し、いずれの対物レンズでも良好な測定を行うことが可能となる。
【００４６】
請求項２記載の発明は、レンズ検出手段により対物レンズの選択を行うと演算手段が選択された対物レンズに応じた係数によりビッカース硬さ試験機の算出を行うので、入力手段を設けて選択した対物レンズを演算手段に入力したり、係数の選択を入力する煩雑性を解消し、容易且つ迅速に硬さ試験を行うことが可能となる。また、入力ミスや入力忘れを有効に回避し、より適切な圧痕幅やビッカース硬さの取得を図ることができる。
【００４７】
請求項３記載の発明は、設定入力手段を設けたので、各対物レンズごとに適正な係数を設定することができ、各対物レンズごとに圧痕の大きさをより正確に算出でき、ビッカース硬さをより正確に取得することが可能となる。
【００４８】
請求項４記載の発明は、係数補正部により実際の値と計測値との比較により新たな係数を取得することができ、各部の設計条件から計算により求められる理論的な係数を採用する場合と比較して各対物レンズの加工精度による誤差の影響をも解消し、各対物レンズごとにより正確な圧痕の大きさ及びビッカース硬さの測定を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態としてのビッカース硬さ試験機の正面図である。
【図２】ビッカース硬さ試験機の試料台の上方における部分の構成を装置の側面に沿った断面により一部を切り欠いて示した説明図である。
【図３】測定手段の内部構造を示す分解斜視図である。
【図４】測定手段及びＣＣＤカメラを示す斜視図である。
【図５】ビッカース硬さ試験機の制御系を示すブロック図である。
【図６】観察手段としてＣＣＤカメラに替えて接眼レンズを装備した例を示す斜視図である。
【図７】従来のビッカース硬さ試験機の要部の側面に沿った断面図である。
【図８】圧痕が形成された試料を従来のビッカース硬さ試験機により観察した像を示す説明図である。
【符号の説明】
２  試料台
４  ターレット（レンズ保持手段）
５ 第一の対物レンズ
９  ＣＣＤカメラ（観察手段）
９Ａ  接眼レンズ（観察手段）
１０ ビッカース硬さ試験機
１５  第二の対物レンズ
３０  測定手段
５０  制御回路（演算手段）
５１  操作入力手段（係数設定手段）
６０  レンズ検出手段
Ｍ  圧痕
Ｌ１，Ｌ２  測定線
Ｓ  試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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