(57)【要約】【課題】常圧下で，気泡の混入を防止しつつ基板間に液晶を封入する。【解決手段】第１の加圧ローラ４と第２の加圧ローラ５が，所定間隔を置いて対向配置される。加圧ローラ４，５間には，一対のアレイ基板２とＣＦ基板３が通過する。基板２，３の進行方向に対して加圧ローラ４，５の後方側には，通過するＣＦ基板３の後方側を反らせる基板反らし用ローラ１０が配置される。アレイ基板２の液晶封入領域の一端部には，所定量の液晶が供給される。ＣＦ基板３が反らされた状態で，アレイ基板２とＣＦ基板３とが同時に加圧ローラ４，５の間に挿入される。両基板２，３が加圧ローラ４，５間を通過するにつれて，一端部側から順に両基板２，３が貼り合わせられる。このとき液晶Ａも一端部側から順に液晶封入領域全体に延ばされる。こうして気泡が混入しないように液晶Ａが基板２，３間に封入される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の液晶封入領域の一端部側に液晶が供給された一の基板と，他の基板とを貼り合わせることによって，前記一の基板と他の基板との一対の基板間の液晶封入領域に液晶を封入した状態にする液晶封入装置であって，
前記一対の基板を両面から挟んで所定の圧力で加圧するために，所定間隔を置いて対向配置された第１の加圧ローラ及び第２の加圧ローラと，
前記一対の基板を，第１の加圧ローラと第２の加圧ローラとの間に前記一端部側から送り込んで通過させるための基板搬送機構と，
前記第１の加圧ローラと第２の加圧ローラとの間に挟まれた前記一対の基板の内の少なくともいずれか一方の基板の他端部側を，他方の基板から離れる方向に反らせる基板反らし部材と，を備えたことを特徴とする，液晶封入装置。
【請求項２】
前記基板反らし部材は，反らされる基板における他方の基板側の面を支持する基板反らし用ローラであることを特徴とする，請求項１に記載の液晶封入装置。
【請求項３】
前記基板反らし部材は，基板を反らせた状態で保持する保持部材であることを特徴とする，請求項１に記載の液晶封入装置。
【請求項４】
前記保持部材を揺動させる揺動駆動機構を備えたことを特徴とする，請求項３に記載の液晶封入装置。
【請求項５】
少なくともいずれか一方の前記加圧ローラは，複数のローラにより構成されており，
当該加圧ローラは，平面から見て基板の中心部に近づくにつれて，基板の侵入側にずれるように配置されていることを特徴とする，請求項１，２，３又は４のいずれかに記載の液晶封入装置。
【請求項６】
対向配置された前記第１の加圧ローラ及び第２の加圧ローラは，複数組備えられていることを特徴とする，請求項１，２，３，４又は５のいずれかに記載の液晶封入装置。
【請求項７】
前記基板反らし部材は，前記一対の基板の各基板に対してそれぞれ備えられ，両方の基板が反らされることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５又は６のいずれかに記載の液晶封入装置。
【請求項８】
前記一の基板に液晶を供給する液晶供給部材を備えたことを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６又は７のいずれかに記載の液晶封入装置。
【請求項９】
前記一の基板の液晶封入領域の外周部には，当該外周部に沿ってシール材が塗布されており，
前記液晶は，前記シール材の内側の一端部側に供給されていることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７又は８のいずれかに記載の液晶封入装置。
【請求項１０】
前記シール材は，光により硬化する性質を有し，
前記一対の基板の貼り合わせ状態を検出するための検出部材と，前記検出部材による検出結果に基づいて前記一対の基板の貼り合わせ位置を調整する位置調整部材と，前記シール材を仮硬化させるための光照射部材と，をさらに備えたことを特徴とする，請求項９に記載の液晶封入装置。
【請求項１１】
前記光照射部材と前記検出部材は，前記第１及び第２の加圧ローラよりも基板の通過方向の前方側であって，前記第１及び第２の加圧ローラに近接して設けられていることを特徴とする，請求項１０に記載の液晶封入装置。
【請求項１２】
前記位置調整部材は，前記一対の基板のいずれか一方の基板を保持して移動させることができることを特徴とする，請求項１０又は１１のいずれかに記載の液晶封入装置。
【請求項１３】
前記第１及び第２の加圧ローラには，基板よりも柔らかい材質が用いられていることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１又は１２のいずれかに記載の液晶封入装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，基板間に液晶を封入する液晶封入装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネル，ＬＣＤ（リキッド  クリスタル  ディスプレイ）などの液晶表示素子の製造プロセスにおける一対の基板間への液晶封入処理は，従来より一対の基板を貼り合わせた後に，当該基板間に液晶を注入する，いわゆる液晶注入法で行われていた。しかしながら，近年処理時間の短縮を図るため，一方の基板に液晶を滴下し，その後当該基板ともう一方の基板とを貼り合わせる，いわゆる液晶滴下法が提案されている。
【０００３】
このいわゆる液晶滴下法を実施する装置として，例えば図１７に示すように外周部にシール材Ｓを塗布した基板１００の一端部側に液晶Ａを滴下し，基板１００と，当該基板１００に対向配置された基板１０１とを貼り合わせた後，基板１００上の加圧ローラ１０２を基板１００の一端部から他端部に向かって移動させ，液晶Ａを他端部側に展延させる装置が提案されている（特許文献１参照。）。この装置によれば，一旦液晶Ａ内に巻き込まれた気泡が液晶Ａの展延に伴って液晶Ａ内から押し出され，残留気泡のない液晶Ａの封入を実現できるとされている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０―１８６３８４号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，前記液晶を封入する装置では，常圧下において最初に基板１００と基板１０１が貼り合わせられるので，このとき基板１００と基板１０１との間に気泡が混入する。そして，その後例え液晶Ａが他端部側に展延しても，液晶Ａ中の気泡の一部は，必ずしも液晶Ａと共に他端部側に向かって押し流されるとは限らず，気泡の押し出しが十分に行われない場合がある。このような液晶中の気泡の残留は，例えば液晶表示素子の欠陥に直結するものなので，僅かであっても容認できない。一方，気泡の混入を防止するために，液晶封入を真空下で行おうとすると，真空を得るためにその装置が複雑化或いは大型化する。また，真空を作り出すための時間を要し，処理時間が増大する。したがって，フットプリント，コスト及びスループット等の観点から液晶封入は，常圧下で行う方が望ましい。
【０００６】
本発明は，かかる点に鑑みてなされたものであり，常圧下において，残留気泡の無い液晶封入を実現する液晶封入装置を提供することをその目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明によれば，基板の液晶封入領域の一端部側に液晶が供給された一の基板と，他の基板とを貼り合わせることによって，前記一の基板と他の基板との一対の基板間の液晶封入領域に液晶を封入した状態にする液晶封入装置であって，前記一対の基板を両面から挟んで所定の圧力で加圧するために，所定間隔を置いて対向配置された第１の加圧ローラ及び第２の加圧ローラと，前記一対の基板を，第１の加圧ローラと第２の加圧ローラとの間に前記一端部側から送り込んで通過させるための基板搬送機構と，前記第１の加圧ローラと第２の加圧ローラとの間に挟まれた前記一対の基板の内の少なくともいずれか一方の基板の他端部側を，他方の基板から離れる方向に反らせる基板反らし部材と，を備えたことを特徴とする液晶封入装置が提供される。
【０００８】
この発明によれば，少なくとも一方の基板の他端部側を他方の基板から離れる方向に反らせた状態で，一対の基板を第１の加圧ローラと第２の加圧ローラとの間に送り込み通過させることができる。これにより，一対の基板は，一端部側から他端部側に向けて徐々に貼り合わせられ，これと同時に液晶封入領域の一端部側に供給されていた液晶は，他端部側に押し出されて液晶封入領域全体に延ばされる。このように基板間の液晶を延ばしながら，徐々に両基板を貼り合わせることができるので，初めから気泡が混入しないように液晶を封入できる。したがって，常圧下においても，残留気泡のない液晶の封入が実現される。なお，前記液晶封入領域は，例えば液晶素子の液晶表示領域と同じか，より広い領域である。
【０００９】
前記基板反らし部材は，反らされる基板における他方の基板側の面を支持する基板反らし用ローラであってもよい。かかる基板反らし用ローラは，例えば基板を反らせながら前記第１及び第２の加圧ローラ側に当該基板を送り込むことができる。前記基板反らし部材は，基板を反らせた状態で保持する保持部材であってもよい。前記保持部材を揺動させる揺動駆動機構を備えていてもよい。かかる場合，例えば前記保持部材が前記基板を反らせた状態で揺動し，当該基板を第１及び第２の加圧ローラの方向に送り出すことができる。
【００１０】
少なくともいずれか一方の前記加圧ローラは，複数のローラにより構成されており，当該加圧ローラは，平面から見て基板の中心部に近づくにつれて，基板の侵入側にずれるように配置されていてもよい。この液晶封入装置によれば，加圧ローラによる加重が最初に基板の中心側に掛かるので，平面から見て基板の中心部側から側部側に向けても液晶が延ばされる。この結果，基板の側部にも液晶が十分に拡散され，液晶をより確実に液晶封入領域全体に延ばすことができる。
【００１１】
対向配置された前記第１の加圧ローラ及び第２の加圧ローラは，複数組備えられていてもよい。かかる場合，複数組の加圧ローラにより，基板間の液晶を複数回に渡って繰り返し延ばすことができる。これにより，一端部側の液晶を液晶封入領域全体により確実に拡散できる。
【００１２】
前記基板反らし部材は，前記一対の基板の各基板に対してそれぞれ備えられ，両方の基板が反らされるようにしてもよい。この場合，両方の基板が互いに離れる方向に反らされるので，各基板の反らす角度を小さくすることができ，基板への負担が低減できる。
【００１３】
前記液晶封入装置は，前記一の基板に液晶を供給する液晶供給部材を備えていてもよい。また，前記一の基板の液晶封入領域の外周部には，当該外周部に沿ってシール材が塗布されており，前記液晶は，前記シール材の内側の一端部側に供給されていてもよい。前記シール材は，光により硬化する性質を有し，前記一対の基板の貼り合わせ状態を検出するための検出部材と，前記検出部材による検出結果に基づいて前記一対の基板の貼り合わせ位置を調整する位置調整部材と，前記シール材を仮硬化させるための光照射部材と，をさらに備えていてもよい。この液晶封入装置によれば，液晶の封入時に，基板の貼り合わせ位置の位置調節も行うことができる。シール材を仮硬化できるので，その後に行われる基板の固着まで適正な貼り合わせ位置を維持できる。なお，前記光には，例えば紫外線や可視光などが用いられる。
【００１４】
前記光照射部材と前記検出部材は，前記第１及び第２の加圧ローラよりも基板の通過方向の前方側であって，前記第１及び第２の加圧ローラに近接して設けられていてもよい。この場合，例えば第１の及び第２の加圧ローラにより基板に加重が掛けられた状態で，基板の貼り合わせ位置の調節を行い，さらに基板を仮固着することができる。こうすることによって，両基板を正確に貼り合わせることができる。なお，上述の「前記第１及び第２の加圧ローラに近接」した位置は，例えば第１及び第２のローラに挟まれ，加重の掛かった基板に対して，光の照射と貼り合わせ状態の検出を行うことができるような位置を意味する。
【００１５】
前記位置調整部材は，前記一対の基板のいずれか一方の基板を保持して移動させることができてもよい。この位置調整部材により，基板を保持し，保持した基板を所定位置に移動させることによって，基板の貼り合わせ位置を調整できる。
【００１６】
前記第１及び第２の加圧ローラには，前記基板よりも柔らかい材質が用いられてもよい。こうすることによって，加圧ローラとの接触による基板の摩耗や破損を防止できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は，本実施の形態にかかる液晶パネルの液晶封入装置１の構成の概略を示す斜視図であり，図２は，液晶封入装置１の側面図である。液晶パネルには，白黒表示やカラー表示，また駆動方式としてパッシブ方式やアクティブ方式など用途により様々なものがあるが，本実施の形態では，アクティブ方式でカラー表示であって，アレイ基板とカラーフィルタ基板（以下，「ＣＦ基板」とする。）で構成されるパネルを例にとって説明する。なお，本発明は，本実施の形態のパネルの種類，駆動方式に限定されず，他の種類，駆動方式のものにも適用できる。
【００１８】
図１及び図２に示すように液晶封入装置１は，対向する一対の基板としてのアレイ基板２とＣＦ基板３を挟んで上下（両面）方向から加圧する一対の第１の加圧ローラ４及び第２の加圧ローラ５を備えている。第１の加圧ローラ４は上側に，第２の加圧ローラ５は下側に配置され，互いに所定間隔を置いて対向配置されている。第１の加圧ローラ４と第２の加圧ローラ５との距離は，図示しないコントローラのレシピ設定により，設定可能である。例えば第１の加圧ローラ４には，圧力センサ（図示せず）が設けられ，通過するアレイ基板２とＣＦ基板３にかかる押圧力を測定し，当該測定値と加圧ローラ４，５間の距離との相関関係に基づいて加圧ローラ４，５間の距離をリアルタイムに微調整できる。第１及び第２の加圧ローラ４，５は，例えば共通の直径を有する円柱形状に形成されている。第１及び第２の加圧ローラ４，５には，例えば基板よりも柔らかい材質，例えばテフロン（デュポン社の登録商標）などの樹脂，ゴム系材料が用いられている。
【００１９】
図２に示すように第１及び第２の加圧ローラ４，５に通じる下側のアレイ基板２の搬送路Ｌ１には，基板搬送用ローラである複数の補助ローラ６と，駆動ローラ７が並列的に配置されている。複数の補助ローラ６と駆動ローラ７は，前記第２の加圧ローラ５と同程度の高さに配置されており，アレイ基板２は，補助ローラ６及び駆動ローラ７上を水平に移送される。駆動ローラ７は，例えば第２の加圧ローラ５の上流側（図２の右方向側），つまりアレイ基板２の搬送方向に対して後方側に隣接されて設けられている。駆動ローラ７の回転軸７ａは，例えば駆動モータ８と連動しており，駆動モータ８により駆動ローラ７が回転することにより，アレイ基板２が第１及び第２の加圧ローラ４，５間に搬送される。なお，駆動ローラ７の位置や数は，アレイ基板２が適正に第１及び第２の加圧ローラ４，５間に搬送されるように選択できる。
【００２０】
一方，第１及び第２の加圧ローラ４，５に通じる，上側のＣＦ基板３の搬送路Ｌ２には，ＣＦ基板３を下側に凸に反らせるための基板反らし部材としての基板反らし用ローラ１０が設けられている。基板反らし用ローラ１０は，第１及び第２の加圧ローラ４，５の位置よりも上流側に位置し，ＣＦ基板３の前方側が第１及び第２の加圧ローラ４，５間に挟まれているときにＣＦ基板３の後方の下面側を支持するように設けられている。基板反らし用ローラ１０は，ＣＦ基板３の両側部のみを支持するように，両側部のローラ径が中央部のローラ径よりも大きい段付きに形成されている。こうすることにより，基板反らし用ローラ１０とＣＦ基板の表示面が接触することがなく，ＣＦ基板に異物やパーティクルが付着することを抑制できる。また，基板反らし用ローラ１０は，基板反らし用ローラ１０の最上面が第１の加圧ローラ４の最下面よりも高い位置になるように設けられており，ＣＦ基板３の前方側が第１及び第２の加圧ローラ４，５間に挟まれているときに，基板反らし用ローラ１０は，ＣＦ基板３の後方側を上方に反った状態で支持する。基板反らし用ローラ１０の回転軸１０ａは，例えば駆動モータ１１に連動している。駆動モータ１１により，基板反らし用ローラ１０が回転すると，ＣＦ基板３は第１及び第２の加圧ローラ４，５側に搬送される。かかる構成から，基板反らし用ローラ１０は，ＣＦ基板３を反らした状態で，当該ＣＦ基板３を第１及び第２の加圧ローラ４，５間に送り込むことができる。なお，ＣＦ基板３を基板反らし用ローラ１０の上側を通過させるために，ＣＦ基板３の搬送路Ｌ２は，例えば斜め上方向から通じている。本実施の形態における基板搬送機構は，例えば補助ローラ６，駆動ローラ７，駆動モータ８，基板反らし用ローラ１０及び駆動モータ１１で構成されている。なお，基板搬送機構は，ローラ以外のベルトを用いた搬送機構であってもよい。
【００２１】
以上のような構成を有する液晶封入装置１の作用について説明する。先ず，アレイ基板２が液晶封入装置１においてＣＦ基板３と貼り合わされる前に，図３に示すようにアレイ基板２の液晶封入領域Ｈの外周部には，例えばシール材塗布部材としてのシール材塗布ノズル２０により，シール材Ｓが枠形状に塗布される。このシール材には，例えば紫外線により硬化するものが使用される。その後，シール材Ｓの内側であって液晶封入領域Ｈの一端部側には，図４に示すように液晶供給部材としての液晶供給ノズル２１により，所定量の液晶Ａが供給される。このとき液晶Ａは，シール材Ｓと液晶Ａとの間に隙間ができないように供給される。
【００２２】
液晶封入領域Ｈの一端部側に液晶Ａの供給されたアレイ基板２は，当該一端部側が前方側になるように搬送路Ｌ１上に置かれ，例えば駆動ローラ７の回転により，第２の加圧ローラ５側に搬送される。一方，ＣＦ基板３は，下面にスペーサＫ（図２に示す）が形成された後，搬送路Ｌ２上に置かれ，例えば基板反らし用ローラ１０の回転により第１の加圧ローラ４側に搬送される。そして，アレイ基板２とＣＦ基板３は，図２に示したように対向配置されて，同時に第１の加圧ローラ４と第２の加圧ローラ５との間に挿入される。このとき，ＣＦ基板３の後方側（液晶封入領域Ｈの他端部側）は，基板反らし用ローラ１０によってアレイ基板２から離れる方向の上方に反らされている。したがって，アレイ基板２とＣＦ基板３の挿入直後は，第１及び第２の加圧ローラ４，５に近いアレイ基板２及びＣＦ基板３の前方側（液晶封入領域Ｈの一端部側）のみが重ねられている。
【００２３】
例えば駆動ローラ７及び基板反らし用ローラ１０の回転により，アレイ基板２とＣＦ基板３とが前進すると，アレイ基板２とＣＦ基板３が第１の加圧ローラ４と第２の加圧ローラ５との間を，液晶封入領域Ｈの一端部側から通過し，アレイ基板２とＣＦ基板３とが前方側から徐々に貼り合わされる。このときのアレイ基板２とＣＦ基板３の搬送速度は，例えば１〜２００ｍｍ／ｓｅｃの範囲で設定されている。アレイ基板２とＣＦ基板３が徐々に貼り合わせられるので，アレイ基板２上の液晶Ａは，第１の加圧ローラ４と第２の加圧ローラ５の上下方向からの押圧力によって，液晶封入領域Ｈの一端部側から他端部側に向けて徐々に延ばされる。このとき，アレイ基板２とＣＦ基板３が前記一端部側から順に重ねられていくので，液晶Ａ中に気泡が混入することがない。こうして，アレイ基板２とＣＦ基板３が第１の加圧ローラ４と第２の加圧ローラ５との間を完全に通過すると，液晶Ａは，シール材Ｓ内の液晶封入領域Ｈ全体に充填され，アレイ基板２とＣＦ基板３との間に封入される。なお，この貼り合わせ時のアレイ基板２とＣＦ基板３の移送は，加圧ローラ４，５の回転数に，基板搬送機構の駆動ローラ７や基板反らし用ローラ１０の駆動を同期させて行ってもよいし，加圧ローラの回転駆動のみで行ってもよい。
【００２４】
以上の実施の形態によれば，基板反らし用ローラ１０により，ＣＦ基板３が反らされているので，気泡が入らないように液晶Ａを徐々に延ばしつつ，アレイ基板２とＣＦ基板３とを貼り合わせていくことができる。したがって，常圧下においても，残留気泡のない液晶Ａの封入を実現できる。
【００２５】
第１及び第２の加圧ローラ４，５の材質には，基板よりも柔軟性に優れたものが用いられたので，加圧ローラ４，５と基板２，３との接触により，基板２，３が摩耗，破損することが防止できる。なお，第１及び第２の加圧ローラ４，５の表面の材質のみが基板よりも柔軟性に優れたものであってもよい。
【００２６】
前記実施の形態で記載した第１の加圧ローラ４及び第２の加圧ローラ５のような対向する一対の加圧ローラは，複数組備えられていてもよい。かかる場合，例えば図５に示すように一対の第１の加圧ローラ３０及び第２の加圧ローラ３１が複数組，例えば二組並設されるようにしてもよい。こうすることにより，アレイ基板２とＣＦ基板３との間の液晶Ａが二組の加圧ローラ３０，３１により連続して繰り返し延ばされるので，液晶Ａがより確実に液晶封入領域Ｈ全体に拡散される。
【００２７】
図６に示すように基板反らし用ローラ３５は，ＣＦ基板３の搬送路Ｌ２上で，ＣＦ基板３の反らし角度の延長線上に複数，例えば３つ設けられていてもよい。基板反らし用ローラ３５は，ＣＦ基板３の両側端部のみを支持するような，一対の段付きローラであってもよい。このようにＣＦ基板３を複数の基板反らし用ローラ２５で支持することによって，ＣＦ基板３の反らし角度を滑らかに矯正し，ＣＦ基板３の一部に集中的に応力がかかることを防止できる。なお，複数の基板反らし用ローラ３５には，第１の加圧ローラ４に近づくにつれてローラ径の小さいものを用いてもよい。
【００２８】
図７に示すように第１の加圧ローラ４０が同一方向に向けられた複数のローラ４０ａから構成され，前記複数のローラ４０ａは，平面から見てＣＦ基板３の中央部に行くにつれて，ＣＦ基板３の侵入側（ＣＦ基板３の後方側）にずれるように配置されていてもよい。かかる場合，予めアレイ基板２の前方側に供給されていた液晶Ａが後方側に延ばされるだけでなく，アレイ基板２の中心部から側部側に向けても延ばされる。こうすることによって，液晶封入領域Ｈの側部側にも十分な液晶Ａが充填されるので，側部のシール材Ｓと液晶Ａとの間に隙間ができて気泡が混入されることを防止できる。なお，第２の加圧ローラ５も第１の加圧ローラ４０と同様に複数のローラから構成されていてもよい。また，第１の加圧ローラ４０が同一方向の複数のローラ４０ａから構成されていなくても，図８に示すように第１の加圧ローラ４５が二つのローラ４５ａから構成され，各ローラ４５ａが平面から見てＣＦ基板３の中心部に行くにつれて後方側にずれるように傾けられていてもよい。この場合にも，前記第１の加圧ローラ４０と同様に液晶封入領域Ｈの側部側にも液晶Ａが十分に拡散される。
【００２９】
前記実施の形態で記載した液晶封入装置１は，基板反らし用ローラ１０の代わりに，図９に示すようなＣＦ基板３を上側に反らせた状態で保持する保持部材５０を備えていてもよい。保持部材５０は，搬送されるＣＦ基板３の上面側に配置されている。保持部材５０の下面には，吸引口（図示せず）が形成されており，この吸引口は，負圧発生装置５１に連通している。したがって，吸引口からの吸引を動停止させることによって，保持部材５０は，ＣＦ基板３の上面を着脱自在である。保持部材５０は，例えばアーム５２の下端部に取り付けられており，アーム５２の上端部は，揺動軸５３に取り付けられている。揺動軸５３は，第１の加圧ローラ４の回転軸と同一方向に向けられている。揺動軸５３は，揺動駆動部５４に連動している。したがって，保持部材５０は，揺動駆動部５４により揺動軸５３を中心にＣＦ基板３の搬送路Ｌ２に沿って揺動できる。なお，本実施の形態における揺動駆動機構は，例えばアーム５２，揺動軸５３及び揺動駆動部５３により構成されている。
【００３０】
そして，ＣＦ基板３が第１及び第２の加圧ローラ４，５の手前まで移送されると，図９に示したように保持部材５０がＣＦ基板３の後方部を吸着保持する。このときＣＦ基板３は，上方側に反らされる。続いて保持部材５０は，例えばＣＦ基板３の移動速度に合わせて，ＣＦ基板３の移動方向側に所定角度揺動する。保持部材５０が第１及び第２の加圧ローラ４，５に近づいたところでＣＦ基板３を離す。かかる場合においても，ＣＦ基板３が反らされた状態で，ＣＦ基板３とアレイ基板２とを前方側から順に貼り合わせることができる。したがって，基板２，３間に気泡が混入しないように液晶Ａを封入できる。なお，保持部材５０は，ＣＦ基板３の基板搬送機構としての機能も兼用してもよい。
【００３１】
以上の実施の形態で記載した液晶封入装置１は，アレイ基板２とＣＦ基板３との貼り合わせ位置を調整し，シール材Ｓの一部を仮硬化させる機能を有していてもよい。図１０は，かかる一例を示すものであり，第１及び第２の加圧ローラ４，５の下流側には，シール材Ｓを仮硬化させる光照射部材としての紫外線照射部材６０が設けられている。紫外線照射部材６０は，第１及び第２の加圧ローラ４，５に近接されて設けられ，アレイ基板２とＣＦ基板３全体が第１及び第２の加圧ローラ４，５を通過し終える前に，アレイ基板２のシール材Ｓに対して紫外線を照射できる。例えば紫外線照射部材６０の隣には，アレイ基板２とＣＦ基板３との貼り合わせ状態を検出する検出部材としてのＣＣＤカメラ６１が設けられる。ＣＣＤカメラ６１は，例えば予めアレイ基板２とＣＦ基板３の先端部に各々付されているアライメントマークを撮像できる。
【００３２】
第１及び第２の加圧ローラ４，５の上流側には，例えば位置調整部材６２が設けられている。位置調整部材６２は，例えば吸引部（図示せず）によりＣＦ基板３の後方側の上面を吸着保持できる。また，位置調整部材６２には，Ｘ―Ｙ―θ駆動機構６３が設けられており，位置調整部材６２は，保持したＣＦ基板３を水平面内のＸ−Ｙ―θ方向に移動させることができる。
【００３３】
ＣＣＤカメラ６１で撮像されたアライメントマークの撮像情報は，アライメント制御部６４に出力され，アライメント制御部６４は，当該撮像情報に基づいてアレイ基板２とＣＦ基板３のＸ―Ｙ―θ方向のずれ幅を算出できる。アライメント制御部６４は，さらに当該算出したずれ幅に基づいて，Ｘ−Ｙ―θ駆動機構６３に指令を送り，位置調整部材６２によりＣＦ基板３の位置を調整できる。
【００３４】
このように構成された液晶封入装置１では，アレイ基板２とＣＦ基板３の前方側が，図１０に示すように第１及び第２の加圧ローラ４，５を通過し，アライメントマークがＣＣＤカメラ６１の下方に位置されると，ＣＣＤカメラ６１がそのアライメントマークを撮像する。そして，その撮像情報はアライメント制御部６４に出力され，アライメント制御部６４では，当該撮像情報に基づいてアレイ基板２とＣＦ基板３とのＸ−Ｙ―θ方向のずれ幅が算出される。このとき，位置調整部材６２がＣＦ基板３の後方側を保持する。前記ずれ幅に基づいて，位置調整部材６２がＸ−Ｙ―θ方向に移動され，ＣＦ基板３の位置が補正される。これによって，アレイ基板２とＣＦ基板３の貼り合わせ位置が調整される。両基板２，３間の貼り合わせ位置が調整され終えると，紫外線照射部材６０から紫外線の照射が行われ，シール材Ｓの一部が仮硬化される。このときの紫外線の照射量は，シール材Ｓが完全に硬化せずに，シール材Ｓの表面が硬化する程度の量に調整される。こうしてアレイ基板２とＣＦ基板３とが仮固着される。その後，アレイ基板２とＣＦ基板３は，上述したようにさらに下流側に送られ，第１及び第２の加圧ローラ４，５間を通過して徐々に貼り合わせられる。こうして，液晶Ａが液晶封入領域Ｈ全体に広げられて，両基板２，３間に液晶Ａが封入される。
【００３５】
このような場合，液晶Ａの封入時に，アレイ基板２とＣＦ基板３との貼り合わせ位置の調整を行うことができる。したがって，後工程で貼り合わせ位置の調整を行う必要がない。第１及び第２の加圧ローラ４，５によって２枚の基板２，３に加重が掛かった状態で，貼り合わせ位置の調整が行われるので，正確な位置調整を行うことができる。また，位置調整作業を行った後に，両基板２，３が仮固着されるので，その後のアレイ基板２とＣＦ基板３との貼り合わせが正しい位置関係で行われる。
【００３６】
以上の実施の形態においては，ＣＦ基板３のみを反らせたが，アレイ基板２にも，前記基板反らし用ローラ１０や保持部材３０を設けて，両方の基板２，３を対向する基板に対して凸になるように反らせてもよい。この例によれば，各基板２，３の反らし量を半分にすることができるので，基板２，３に掛かる応力や剪断力が減少して，反らしによる基板２，３への負担を減らすことができる。
【００３７】
前記実施の形態で記載した液晶供給ノズル２１は，液晶封入装置１内に設けられていてもよい。このとき，液晶供給ノズル２１は，アレイ基板２の搬送路Ｌ１上に設けられていてもよい。また，シール材塗布ノズル２０も液晶封入装置１内に設けられていてもよく，このとき，シール材塗布ノズル２０は，液晶供給ノズル２１の上流側に設けられていてもよい。なお，シール材は，他の光，例えば可視光又は赤外線により硬化するシール材を用いてもよい。
【００３８】
以上で記載した液晶封入装置１は，加圧ローラ４，５間に挿入される前のアレイ基板２とＣＦ基板３との位置合わせを行うための位置合わせ機構を備えていてもよい。かかる場合，例えば図１１に示すように，液晶封入装置７０における加圧ローラ７１，７２の上流側の特定位置には，ＣＦ基板３及びアレイ基板２の位置を検出するための位置検出部材であるＣＣＤカメラ７３，７４がそれぞれ備えられる。第１の加圧ローラ７１には，当該加圧ローラ７１を上下動させて第２の加圧ローラ７２との距離を変更する駆動装置７５が設けられている。ＣＣＤカメラ７３，７４の検出結果は，例えば制御部７６に出力される。制御部７６は，搬送路Ｌ２側にある基板反らし用ローラ７７の駆動モータ７８と，搬送路Ｌ１側にある駆動ローラ７９の駆動モータ８０の動作を制御できる。したがって，制御部７６は，ＣＣＤカメラ７３，７４からの検出結果に基づいて，駆動モータ７８，８０を制御し，アレイ基板２及びＣＦ基板３の貼り合わせ位置を調整できる。この例では，基板反らし用ローラ７７が搬送路Ｌ２に沿って複数，例えば３つ備えられており，例えば第１の加圧ローラ７１に最も近い基板反らし用ローラ７７には，当該基板反らし用ローラ７７を上下動させる昇降機構８１が設けられている。したがって，この基板反らし用ローラ７７は，ＣＦ基板３を本来の搬送路Ｌ２よりも高い位置で支持することができる。
【００３９】
そして，加圧ローラ７１，７２間に挿入される前のアレイ基板２とＣＦ基板３との位置合わせを行う際には，先ず，図１２に示すように第１の加圧ローラ７１と，第１の加圧ローラ７１に最も近い基板反らし用ローラ７７が上昇する。次いでアレイ基板２が搬送路Ｌ１上を移送され，ＣＣＤカメラ７４がアレイ基板２の先端部の位置を検出する。この検出結果は，制御部７６に出力され，制御部７６は，当該検出結果に基づいて駆動モータ８０を駆動し，例えば図１３に示すようにアレイ基板２の先端部の位置を，第２の加圧ローラ７２の中心位置に合わせる。また，図１４に示すように，ＣＦ基板３が搬送路Ｌ２上を移送され，ＣＣＤカメラ７３が，ＣＦ基板３の先端部の位置を検出する。制御部７６は，図１５に示すように当該検出結果に基づいて駆動モータ７８を駆動して，ＣＦ基板３の先端部の位置を，例えば第１の加圧ローラ７１の中心位置に合わせる。その後，図１６に示すように第１の加圧ローラ７１と，その第１の加圧ローラ７１に最も近い基板反らし用ローラ７７が下降し，アレイ基板２とＣＦ基板３の先端部が貼り合わせられる。その後，上述した実施の形態と同様に，アレイ基板２とＣＦ基板３とが下流側に送られ，両基板２，３の全面が徐々に貼り合わせられる。かかる場合，アレイ基板２とＣＦ基板とが加圧ローラ７１，７２間に挿入される前に位置合わせされるので，アレイ基板２とＣＦ基板３とを正確な位置で貼り合わせることができる。
【００４０】
なお，前記位置調節は，アレイ基板２及びＣＦ基板３の先端部を検出して行ったが，アレイ基板２及びＣＦ基板３に予め付されたアライメントマークを検出し，当該アライメントマークの位置に基づいて行ってもよい。また，アレイ基板２とＣＦ基板３の先端部と，アライメントマークの両方を検出して位置調整を行ってもよい。さらに，前記実施の形態では，アレイ基板２とＣＦ基板３との先端部を合わせる際に，第１の加圧ローラ７１に最も近い基板反らし用ローラ７７を下降させていたが，当該基板反らし用ローラ７７を搬送路Ｌ２上から取り外すようにしてもよい。
【００４１】
以上，本発明の実施の形態の一例について説明したが，本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。例えばアレイ基板２が上側に，ＣＦ基板３が下側に配置される場合，ＣＦ基板３側に液晶が供給される場合等にも本発明を適用できる。前記実施の形態においてアレイ基板２へのシール材の塗布は，シール材塗布ノズル２０により行っていたが，本発明は，シール材の塗布を印刷により行うものにも適用できる。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば，液晶内への気泡の混入を防止できるので，例えば液晶表示素子の表示欠陥がなくなり，歩留まりを向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態にかかる液晶封入装置内の構成の概略を示す斜視図である。
【図２】図１の液晶封入装置の概略を示す側面図である。
【図３】アレイ基板にシール材を塗布する様子を示す説明図である。
【図４】アレイ基板に液晶を供給する様子を示す説明図である。
【図５】加圧ローラを複数組備えた場合の液晶封入装置の構成を示す側面図である。
【図６】基板反らし用ローラを複数備えた場合の液晶封入装置内の構成を示す斜視図である。
【図７】複数のローラからなる加圧ローラを示す液晶封入装置内の平面図である。
【図８】加圧ローラの他の構成を示す液晶封入装置内の平面図である。
【図９】保持部材を備えた液晶封入装置の構成を示す側面図である。
【図１０】貼り合わせ位置の調整機能とシール材の仮硬化機能を有する液晶封入装置の構成を示す側面図である。
【図１１】加圧ローラ通過前にアレイ基板とＣＦ基板との位置合わせを行う機構を備えた場合の液晶封入装置の構成の概略を示す側面図である。
【図１２】アレイ基板の先端部を検出した様子を液晶封入装置の側面から見た説明図である。
【図１３】アレイ基板の先端部を第２の加圧ローラの中心位置に合わせた様子を液晶封入装置の側面から見た説明図である。
【図１４】ＣＦ基板の先端部を検出した様子を液晶封入装置の側面から見た説明図である。
【図１５】ＣＦ基板の先端部を第１の加圧ローラの中心位置に合わせた時の様子を液晶封入装置の側面から見た説明図である。
【図１６】アレイ基板とＣＦ基板の先端部を合わせた時の様子を液晶封入装置の側面から見た説明図である。
【図１７】従来の液晶封入装置の側面図である。
【符号の説明】
１    液晶封入装置
２    アレイ基板
３    ＣＦ基板
４    第１の加圧ローラ
５    第２の加圧ローラ
１０    基板反らし用ローラ
Ａ    液晶
Ｓ    シール材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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