(57)【要約】      （修正有）【課題】薄板に加圧流体を噴出させる噴出部をベースの上面から突出して設けた構成において、搬送時に薄板の端部と噴出部との衝突を防止し得る薄板の搬送用支持装置を得る。【解決手段】搬送用支持装置１は多数の多孔質体９を備え、各多孔質体９から薄板Ｗに対し加圧エアを噴出させて、薄板Ｗを非接触支持するように構成されている。多孔質体９は薄板Ｗの搬送方向正面からみて下に凸となる支持部を構成するように配置されているため、薄板Ｗの搬送方向端部がベース２の上面側に垂れない形状、具体的には搬送方向正面からみて下に凸となる形状に非接触で強制的に変形される。これにより、薄板Ｗの搬送途中にその先端が多孔質体９に衝突するのを防止し得る。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースの上面にその上面から突出した噴出部を相互に独立して多数設け、各噴出部の上面から加圧流体を噴出させて薄板の平面を非接触支持し、その状態の薄板が搬送されるようにした薄板の搬送用支持装置において、
薄板に対し加圧流体を噴出させて、薄板をその搬送方向の端部が前記ベースの上面側に垂れない形状に非接触で強制的に変形させる形状変形用噴出部を設け、少なくとも薄板が非接触状態で搬送されている間はその変形した形状を維持するようにした薄板の搬送用支持装置。
【請求項２】
前記薄板の変形形状を、搬送方向にみて左右の幅が短くなる形状であって、搬送方向全体にわたり同一の形状とした請求項１に記載の薄板の搬送用支持装置。
【請求項３】
前記薄板の変形形状を、搬送方向にみて上又は下に凸の弓形形状であって、搬送方向全体にわたり同一の形状とした請求項１に記載の薄板の搬送用支持装置。
【請求項４】
前記ベースの噴出部と前記形状変形用噴出部とを共通化した請求項１乃至３のいずれかに記載の薄板の搬送用支持装置。
【請求項５】
前記共通化した噴出部の上面によって薄板に与える変形形状を形成した請求項４に記載の薄板の搬送用支持装置。
【請求項６】
前記共通化した噴出部を、搬送方向に沿って同一形状の噴出部が一定間隔ごとに設けられた列を複数列平行に設けた配置構成とし、各噴出部の上面によって平面を形成し、各列ごとの噴出部へ供給する加圧流体の圧力を調整する圧力調整手段を設けた請求項４に記載の薄板の搬送用支持装置。
【請求項７】
前記共通化された噴出部を多孔質体により構成した請求項４乃至６のいずれかに記載の薄板の搬送用支持装置。
【請求項８】
ベースの上面にその上面から突出した多孔質体を相互に独立して多数設け、各多孔質体の上側の面から加圧流体を噴出させて薄板の平面を非接触支持し、その状態の薄板が搬送されるようにした薄板の搬送用支持装置において、
前記多孔質体の上面外周部のうち、少なくとも、平面視において薄板の搬送方向端部と対向する箇所に薄肉部を設けた薄板の搬送用支持装置。
【請求項９】
前記薄肉部を多孔質体の上面外周部全域にわたって設けた請求項８に記載の薄板の搬送用支持装置。
【請求項１０】
前記薄肉部をテーパー部又はアール形状とした請求項８又は９に記載の薄板の搬送用支持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄板搬送用支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネルや半導体デバイスなどの製造工程では、液晶ガラスやウェハなどの基板を搬送するための搬送装置が設けられている。この液晶ガラスやウェハなどの基板はその表面にキズが付くのを嫌うため、従来よりその搬送装置では基板表面を非接触支持した状態に保持するように構成されている。そして、その非接触支持は支持体の基板支持側から基板に加圧流体（特許文献１では液体）を噴出させることで行われている。
【０００３】
従来の搬送装置としては、図６に示すように、平面を上向けた状態で基板Ｗを搬送する平面搬送装置４１が知られている。この平面搬送装置４１はベース４２を備え、そのベース４２の上面４３には多孔質ユニット４４が設けられている。
多孔質ユニット４４はベース４２の上面４３の全体にわたり、一定の間隔を隔てて格子状に多数設けられている。また、ベース４２の外面には図示しないポートが形成されている。そして、このポートに供給された加圧エアが多孔質ユニット４４の多孔質体４５に供給されるよう、ベース４２及び多孔質ユニット４４の内部には図示しない流体通路が形成されている。
【０００４】
従って、前記ポートに加圧エアを供給すると、前記流体通路を介して加圧エアが多孔質体４５の上面から噴出される。この加圧エアの噴出によって基板Ｗは多孔質体４５の上面に対し浮上した非接触状態で支持されることになる。すなわち、多孔質体４５の上面と基板Ｗの下面との間に圧力エア層が形成され、静圧がもたらされる。これにより、基板Ｗはベース４２に対し非接触支持される。
【０００５】
ここで、供給圧力を高くして浮上量を大きくし過ぎると薄板Ｗに振動が発生し不安定な状態となってしまう。他方、浮上量が小さすぎると、多孔質体４５の上面と薄板Ｗとの接触を避けるため、多孔質体４５の上面の高精度な仕上げが必要となり、製造コストの増大につながる。このため、基板Ｗの浮上量は通常数１０μｍ程度とされる。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−８５４９６号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年の液晶表示パネルの大型化や生産性の向上などの要請から、製造段階での液晶ガラスも大型化（例えば、１８００×１６００×０．６ｍｍ）している。このように大型で薄い液晶ガラスは剛性が低く撓みやすいという性質を有している。かかる性質により、この大型で薄い液晶ガラスを従来の平面搬送装置４１で搬送する場合、次のような問題点がある。
【０００８】
すなわち、図６に示すように、従来の平面搬送装置４１ではそのベース４２の上面４３に多孔質ユニット４４が一定の間隔を隔てて格子状に配置されており、搬送方向に隣接する多孔質体４５間には一定の間隔（隙間）が生じている。この隙間の上方においては多孔質体４５からの加圧エアの噴出が必ずしも十分に得られず、そこに位置する基板としての液晶ガラスＷに作用する静圧も弱い。このため、大型で薄い液晶ガラスＷの搬送方向先端部がこの隙間の上方に位置すると、当該液晶ガラスＷがもともと撓みやすい性質を有していることから、その先端部が自重によってベース４２の上面４３側に垂れてしまう。つまり、搬送方向手前からみるとおじぎをした格好になってしまう。
【０００９】
多孔質体４５はベース４２の上面４３から突出して設けられ、しかも前述したように液晶ガラスＷの浮上量は数１０μｍ程度という微小なものである。このため、液晶ガラスＷの端部が垂れた状態で搬送を継続すると、途中で多孔質体４５と液晶ガラスＷの先端部とが衝突する可能性がきわめて高い。そして、衝突が生じるとその衝撃から液晶ガラスＷをキズつけたり、破損したりしてしまう。
【００１０】
そこで、かかる衝突を防止するために、液晶ガラスＷの端部がベース４２の上面４３側に垂れても多孔質体４５と衝突しない程度まで浮上量を大きくすべく、加圧エアの供給圧力を高くすることが考えられる。しかし、それでは前述したとおり液晶ガラスＷに振動が発生し、不安定な状態となってしまう。また、搬送される液晶ガラスＷの前後に隙間なく別の液晶ガラスＷが搬送されているわけではないから、その上方に液晶ガラスＷが存在しない多孔質体４５も存在する。かかる多孔質体４５から噴出される加圧エアは液晶ガラスＷに静圧を作用させることなく大気中に放出されるため、加圧エアの供給圧力を高くすると加圧エアの消費流量が増大してしまうという問題も生じる。しかも、多孔質体４５から放出される加圧エアの流速も高まるため、クリーンルーム内における使用では、ごくわずかな塵のまき散らしの原因となってしまう。
【００１１】
このような問題点は前述した液晶ガラスの搬送だけに限られたものではなく、大型の薄板である場合や、大型でない薄板であっても撓みやすい性質を有するのであれば、その薄板を非接触状態で搬送する際に同様に生じる。
【００１２】
本発明は、薄板を非接触支持しながら搬送するための薄板搬送用支持装置において、以上の問題を解消することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
以下に、上記課題を解決し得る手段等について項を分けて列挙する。なお、必要に応じてその作用、効果、具体的手段等についても付記する。
【００１４】
手段１．ベースの上面にその上面から突出した噴出部を相互に独立して多数設け、各噴出部の上面から加圧流体を噴出させて薄板の平面を非接触支持し、その状態の薄板が搬送されるようにした薄板の搬送用支持装置において、
薄板に対し加圧流体を噴出させて、薄板をその搬送方向の端部が前記ベースの上面側に垂れない形状に非接触で強制的に変形させる形状変形用噴出部を設け、少なくとも薄板が非接触状態で搬送されている間はその変形した形状を維持するようにした薄板の搬送用支持装置。
【００１５】
手段１によれば、薄板を搬送する際、形状変形用噴出部からの加圧流体の噴出によって、薄板はベースの上面側に垂れない形状に非接触で強制的に変形される。そして、少なくとも薄板が非接触状態で搬送されている間はその変形した形状が維持される。このため、薄板の搬送方向端部に作用する静圧が弱くなる等の事態が生じても、薄板の端部が自重によってベースの上面側に垂れてしまうことを防止できる。これにより、薄板の端部がベースの上面側に垂れた場合に備えて、薄板の端部がベースの上面から突出した噴出部に衝突しないようにあえて消費流量を増大させ浮上量を大きくする必要はない。従って、適正な浮上量を維持し消費流量を抑えながら、搬送時に薄板の端部が噴出部と衝突することを防止し、薄板のキズや破損を防止できる。
【００１６】
このような効果は各噴出部が格子状に配置されている場合には特に顕著なものとして現れる。すなわち、各噴出部が格子状に配置されていると、搬送方向に隣接する噴出部の間には一定の隙間が生じる。そして、薄板の搬送方向端部がその隙間の上方に位置している場合、その端部に作用する静圧が弱く薄板の端部がベースの上面側に垂れやすい。このため、薄板の端部が噴出部と衝突する可能性が高くなっている。この点、手段１によれば前述したように衝突防止が図れるため、特に有効なものとなる。
【００１７】
手段２．前記薄板の変形形状を、搬送方向にみて左右の幅が短くなる形状であって、搬送方向全体にわたり同一の形状とした手段１に記載の薄板の搬送用支持装置。
【００１８】
手段２によれば、形状変形用噴出部からの加圧流体の噴出によって、薄板はその搬送方向にみて左右の幅が短くなる形状であって、搬送方向全体にわたり同一の形状に変形される。薄板が非接触状態で搬送されている間、このような形状が強制的に維持されれば、薄板の搬送方向端部に作用する静圧が弱くなる等の事態が生じても、その端部が自重によって垂れようとする力よりも、左右の幅が短くなる形状を維持させようとする力の方が勝る。このため、薄板の端部が自重によってベースの上面側に垂れることを防止できる。なお、左右の幅が短くなる形状とは、例えば、波型形状、弓形形状、直線形状と弓形形状を組み合わせた形状等が考えられる。
【００１９】
手段３．前記薄板の変形形状を、搬送方向にみて上又は下に凸の弓形形状であって、搬送方向全体にわたり同一の形状とした手段１に記載の薄板の搬送用支持装置。
【００２０】
手段３によれば、形状変形用噴出部からの加圧流体の噴出によって、薄板はその搬送方向にみて全体的に上又は下に凸となる弓形形状であって、搬送方向全体にわたり同一の形状に変形される。薄板が非接触状態で搬送されている間、このような形状が強制的に維持されれば、薄板の搬送方向端部に作用する静圧が弱くなる等の事態が生じても、その端部が自重によって垂れようとする力よりも、弓形形状を維持させようとする力の方が勝る。このため、薄板の端部が自重によってベースの上面側に垂れてしまうことを防止できる。なお、弓形形状としては略への字形状なども含めて考えられるが、形状変形のしやすさ等を考慮すると、全体として円弧を描くような弓形形状又はそれに近い形状であることが好ましい。
【００２１】
しかも、かかる弓形形状は単純な形状であるから、搬送方向にみて左右両側に形状変形用噴出部を設けて、薄板の左右両側の上面又は下面に対し加圧流体を噴出させるだけでその形状変形が可能となる。このため、薄板の形状を曲面や平面が入り混じったような複雑な形状に変更するのに比べ、形状変形用噴出部の構成を簡単でしかもコンパクトにできる。また、形状変形用噴出部へ供給する圧力を調整することによって薄板を弓形形状に変形させるような場合には、反りの量の調整するための圧力調整も容易に行うことができる。さらに、左右両側に設けられた形状変形用噴出部から薄板に対して加圧流体を均一に噴出させれば、薄板はその搬送中に搬送方向にみて左右にずれることが抑制される。これにより、搬送時における薄板の直進性を向上させることができる。
【００２２】
手段４．前記ベースの噴出部と前記形状変形用噴出部とを共通化した手段１乃至３のいずれかに記載の薄板の搬送用支持装置。
【００２３】
手段４によれば、ベースの噴出部と形状変形用噴出部とが共通化されていることにより、その共通化された噴出部から噴出される加圧流体によって薄板の形状が強制的に変形されるのと同時に、薄板が非接触支持されることになる。このため、形状変形用噴出部や同噴出部への加圧流体を供給するための構成を新たに別途設置する必要がなくなる。これにより、搬送用支持装置全体の構成を簡単でしかもコンパクトにすることができる。
【００２４】
手段５．前記共通化した噴出部の上面によって薄板に与える変形形状を形成した手段４に記載の薄板の搬送用支持装置。
【００２５】
手段５によれば、共通化（兼用）された噴出部の上面によって薄板に与える変形形状が形成されていることにより、その各噴出部から噴出される加圧流体の噴出方向が特定されている。例えば、薄板搬送方向に交差する方向に配列された噴出部の上面を滑らかに結ぶと全体として曲線が描かれるように、各噴出部の上面位置が決定されている。このため、各噴出部への加圧流体の供給圧力を同一としながら、その噴出される加圧流体によって薄板の形状変形と非接触支持が同時になされる。従って、薄板の形状を変形させるためにあえて噴出部ごとに供給圧力を変更するといった圧力調整は必要なくなる。その結果、搬送用支持装置全体の構成をより簡単にすることができる。
【００２６】
手段６．前記共通化した噴出部を、搬送方向に沿って同一形状の噴出部が一定間隔ごとに設けられた列を複数列平行に設けた配置構成とし、各噴出部の上面によって平面を形成し、各列ごとの噴出部へ供給する加圧流体の圧力を調整する圧力調整手段を設けた手段４に記載の薄板の搬送用支持装置。
【００２７】
手段６によれば、圧力調整手段によって各列ごとの共通化された噴出部へ供給される加圧流体の圧力が調整されることから、各列ごとの噴出部から噴出される加圧流体の圧力も異なる。この異なる噴出圧力が薄板に作用するため、それによって薄板の形状が変更される。そして、薄板の変形形状が搬送方向全体に同一の形状とされるものであれば、少なくとも噴出部に供給する圧力を各列ごとに同じ圧力とすることができる。噴出部をランダムに配置してそのような形状を維持しようとすると、個々の噴出部への供給圧力を調整するという複雑な圧力調整が必要となるが、それが原則として不要となる。例えば、噴出部の列が３列で、下に凸の弓形形状とする場合であれば、圧力調整手段により搬送方向にみて内側の噴出部への供給圧力よりも外側の噴出部への供給圧力を高くすればよい。また、その際、外側の噴出部への供給圧力を調整すれば、弓形形状の反りの量を容易に調整することができる。
【００２８】
さらに、この手段６は噴出部に供給される加圧流体の圧力調整によって薄板の形状変形を実現させるものであり、噴出部の上面で平面を形成して薄板を非接触支持していた従来の搬送用支持装置を利用することも可能となる。このため、汎用性を高めることができる。
【００２９】
手段７．前記共通化された噴出部を多孔質体により構成した手段４乃至６のいずれかに記載の薄板の搬送用支持装置。
【００３０】
手段７によれば、噴出部が多孔質体によって構成されているため、加圧流体が多孔質体を通過する際にその加圧気体の流通が絞られること（多孔質絞り）で、好適に静圧を発生させることができる。しかも、単なる絞り通路よりも均等に静圧を相手側（薄板）との間に発生させることができる。これにより、安定した状態で薄板を非接触支持することができる。
【００３１】
また、多孔質絞りにより加圧流体はその多孔質体の上面から均一に噴出される。加圧流体の噴出に均一性が欠けると、薄板の変形形状が次第に変化してしまうことも考えられるが、そのような不都合性はなく、変形形状を同じ形状に維持することができる。
【００３２】
手段８．ベースの上面にその上面から突出した多孔質体を相互に独立して多数設け、各多孔質体の上側の面から加圧流体を噴出させて薄板の平面を非接触支持し、その状態の薄板が搬送されるようにした薄板の搬送用支持装置において、
前記多孔質体の上面外周部のうち、少なくとも、平面視において薄板の搬送方向端部と対向する箇所に薄肉部を設けた薄板の搬送用支持装置。
【００３３】
手段８によれば、多孔質体に薄肉部が設けられていることにより、多孔質体に加圧流体を供給すると、その薄肉部から噴出される加圧流体の噴出量は、多孔質体上面の薄肉部が形成されていない部分から噴出される加圧流体の噴出量よりも多くなる。すなわち、薄肉部の上方では噴出量の増大によって薄板の浮上力が高められている。これは、多孔質体の厚さが薄いほど多孔質絞りによる流通制限の程度が低くなることによる。そして、薄肉部は、少なくとも、平面視において薄板の搬送方向端部と対向する箇所に設けられている。この箇所は、薄板を搬送する際に薄板の搬送方向端部が自重によってベースの上面側に垂れる事態が生じた場合、その端部と衝突する可能性の高い部分である。
【００３４】
これにより、薄板を搬送する際に薄板の搬送方向端部がベースの上面側に垂れた場合でも、その端部が薄肉部の上方に達すると、前述した浮上力の高まりがクッションとなって端部と多孔質体との衝突が回避される。その結果、薄板の端部がベースの上面側に垂れてもその端部がベースの上面から突出した多孔質体に衝突しないよう、あえて消費流量を増大させ浮上量を大きくする必要はない。従って、適正な浮上量を維持し消費流量を抑えながら、搬送時に薄板の端部が多孔質体と衝突することを防止し、薄板のキズや破損を防止できる。
【００３５】
このような効果は各多孔質体が格子状に配置されている場合には特に顕著なものとして現れる。すなわち、各多孔質体が格子状に配置されていると、搬送方向に隣接する多孔質体間には一定の隙間が生じる。そして、薄板の搬送方向端部がその隙間の上方に位置している場合、その端部に作用する静圧が弱く薄板の端部がベースの上面側に垂れやすい。このため、薄板の端部が多孔質体と衝突する可能性が高くなっている。この点、手段８によれば前述したように衝突防止が図れるため、特に有効なものとなる。
【００３６】
手段９．前記薄肉部を多孔質体の上面外周部全域にわたって設けた手段８に記載の薄板の搬送用支持装置。
【００３７】
手段９によれば、薄肉部が多孔質体の上面外周部全域にわたって設けられているため、ベースの上面側に垂れた薄板の端部と衝突する可能性の少ない部分にも薄肉部が形成されることになる。このため、予期せぬ事態の発生により衝突の可能性が少ない箇所に衝突しそうになった場合であっても、薄板の端部と多孔質体との衝突を回避することができる。従って、薄板のキズや破損をより一層確実に防止することができる。
【００３８】
手段１０．前記薄肉部をテーパー部又はアール形状とした手段８又は９に記載の薄板の搬送用支持装置。
【００３９】
手段１０によれば、薄肉部がテーパー部又はアール形状とされることから、薄肉部の形成されていない多孔質体の上面の外周縁に直角又は鋭角の段差が生じない。薄肉部を設けたとはいえ、衝突の可能性があるものはできるだけ排除する方が好ましく、このような段差は衝突の可能性を高めるものであるといえる。従って、その段差を生じないテーパー部又はアール形状とすれば、薄板の端部と多孔質体との衝突の可能性をより一層少なくすることができる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
［第１の実施形態］
以下に、第１の実施形態について図１乃至図４を参照しつつ説明する。なお、図１は薄板の搬送状態の概略を示す搬送用支持装置の斜視図であり、図２は図１のＡ−Ａ線断面図であり、図３及び図４は第１の実施形態の別例を示す断面図である。
【００４１】
図１に示すように、この実施形態の搬送用支持装置１は、液晶ガラス等の薄板Ｗをその平面（表裏片面）を上向けた状態で非接触支持する装置であって、当該薄板Ｗを搬送するための駆動力を薄板Ｗに与える図示しない駆動装置等とともに薄板Ｗの平面搬送装置を構成する。
【００４２】
図２に示すように、搬送用支持装置１は、平板状のベース２と、同ベース２の上面３に設けられた多孔質ユニット４とを備えている。ベース２の底面には図示しない脚が設けられ、この脚によってベース２は設置面に対して所定の距離を隔てて設置される。なお、ベース２は直接設置面に設置する構成を採用することも可能である。
【００４３】
ベース２の底面には多数のポート５が形成されている。各ポート５はベース２の底面全域にわたるように格子状に配置されている。本実施形態では搬送方向に沿って一定間隔ごとに設けられたポート５が３列設けられている。そして、ポート５はベース２に形成されその上面３側で開口する通路６を介してベース２の上面側に連通されている。なお、この通路６としては経路の途中で共通通路を設けることも可能であり、こうすればいくつかの又は全てのポート５を共通化することが可能となる。
【００４４】
ポート５は、例えば配管が接続されるための雌ねじが形成された雌ねじ孔として形成したり、ワンタッチ継手を設けたりする等、各種形態が考えられる。本明細書でこれ以降説明する各ポートについても同様である。搬送用支持装置１の使用時においてポート５には図示しない圧力供給源からの配管が接続される。なお、ポート５はベース２の外側面に設けることも可能である。
【００４５】
前記多孔質ユニット４はベース２の上面３の全域にわたって多数設けられている。各多孔質ユニット４は本実施形態では前記各ポート５に１対１で対応して設けられ、格子状に配置されている。本実施形態では搬送方向に沿って一定間隔ごとに同一構成の多孔質ユニット４が設けられた配置を１列とし、それが一定間隔ごとに３列平行に設けられている。さらに、その各列の多孔質ユニット４が平面視において左右一列に並ぶように多数の多孔質ユニット４が配置されている。
【００４６】
多孔質ユニット４単体の構成は次のとおりである。すなわち、多孔質ユニット４は多孔質支持体７を備え、その多孔質支持体７の上面には平面視において円形状をなす収容溝８が形成されている。収容溝８には円盤状の多孔質体９が多孔質支持体７の上面から突出した状態で収容され、その状態で固定されている。固定は、例えば接着剤によって収容溝８を形成する面に接着されることによって行われる。本実施の形態ではこの多孔質体９がベース２の噴出部であり、形状変形用噴出部であり、その両者が共通化された噴出部となっている。
【００４７】
なお、収容溝８及び多孔質体９の形状は平面視において円形状であることに限られず、四角形状など任意の形状を選択することができる。但し、両者の形状は相互に共通していることが好ましい。また、多孔質体９は多孔質支持体７の上面に複数設けた構成としてもよい。
【００４８】
多孔質体９は、例えば焼結アルミニウム、焼結銅、焼結ステンレス等の金属材料によって構成することができるが、それ以外にも、焼結三フッ化樹脂、焼結四フッ化樹脂、焼結ナイロン樹脂、焼結ポリアセタール樹脂等の合成樹脂材料や、焼結カーボン、焼結セラミックスなどによって構成することもできる。また、図示は省略されているが、多孔質体９にはその外周縁部にシール層が形成されており、後述するように多孔質体９に加圧エアが供給された際にはその加圧エアが多孔質体９の外周面から漏れないようになっている。シール層は外周面に合成樹脂を塗布したり、注入したりするなどして形成される。これらは本明細書でこれ以降説明する多孔質体についても同様である。
【００４９】
収容溝８の底面には同収容溝８に連通する流通溝１０が形成されている。流通溝１０の底面は多孔質支持体７に形成されその底面に開口する通路１１を介して、多孔質支持体７の外部に連通されている。
【００５０】
かかる構成の多孔質ユニット４がベース２の上面３において、前記各ポート５に１対１で対応して設けられることで、各ポート５はベース２の前記通路６及び多孔質支持体７の通路１１を介して各流通溝１０の底面と連通されている。図示しない圧力供給源から加圧流体（例えば、エア）が供給されると、かかる加圧エアが各ポート５、ベース２の各通路６、各多孔質ユニット４の各通路１１及び各流通溝１０を介して多孔質体９の表面、すなわち上面から噴出される。なお、ベース２の通路６と多孔質支持体７の通路１１とをつなぐ部分はシールがなされており、加圧エアの漏れが防止されている。
【００５１】
ここで、搬送方向に向かって３列設けられている前記多孔質ユニット４をのうち、中間の列を構成する多孔質ユニット４を内ユニット４ａとし、その両側の列を構成する多孔質ユニット４を外ユニット４ｂとする。このうち、内ユニット４ａは前述した構成のとおりベース２の上面３に直接設置されている。
【００５２】
他方、外ユニット４ｂは、ベース２の上面に設けられた支持台１３を介して間接的にベース２の上面に設置されている。このため、外ユニット４ｂに関しては、前記通路６，１１に加え、支持台１３に形成された通路１４を介して前記ポート５と流通溝１０の底面とが連通されている。ベース２の通路６と支持台１３の通路１４とをつなぐ部分、支持台１３の通路１４と多孔質支持体７の通路１１とをつなぐ部分はシールがなされており、加圧エアの漏れが防止されている。
【００５３】
また、支持台１３の上面は内側、すなわち幅方向内側に傾いた斜面となっている。このため、外ユニット４ｂは内側（内ユニット４ａ側）に傾いた状態で支持台１３に設けられ、その多孔質体９の上面も内側に傾いた斜面となっている。従って、ベース２の上面３側には、３列の多孔質ユニット４（内ユニット４ａ及び外ユニット４ｂ）の上面、すなわち各多孔質体９の上面によって、搬送方向にみて下に凸の弓形形状をなす支持部１５が形成されている。なお、内ユニット４ａも外ユニット４ｂと同様、支持台を介して間接的にベース２の上面に設置する構成としてもよいし、支持台１３と外ユニット４ｂの多孔質支持体７とを一体に形成してもよい。
【００５４】
以上のように構成された搬送用支持装置１を用いた薄板Ｗの平面搬送装置では、その搬送用支持装置１によって薄板Ｗは平面を上向けた状態で非接触支持される。すなわち、図示しない圧力供給源の作動によって、内ユニット４ａについては加圧エアがポート５、各通路６，１１、流通溝１０を介して多孔質体９の上面全体から噴出する。また、外ユニット４ｂについては加圧エアがポート５、各通路６，１１，１４、流通溝１０を介して多孔質体９の上面全体から噴出する。この状態で、薄板Ｗが搬送ロボットなどにより平面を上向けた状態で搬送用支持装置１に供給される。このとき、多孔質体９からの加圧エアの噴出により、多孔質体９の上面と薄板Ｗの底面（多孔質体９側の面）との間に圧力エア層が形成され、静圧がもたらされる。これにより、薄板Ｗはベース２の支持部１５において非接触支持される。
【００５５】
そして、ベース２の支持部１５は搬送方向正面からみて下に凸の弓形形状をなしているため、同支持部１５に非接触支持される薄板Ｗも強制的に支持部１５と同様の形状、すなわち搬送方向にみて下に凸の弓形形状に変形される。かかる形状で非接触支持された薄板Ｗに対し図示しない駆動装置によって駆動力が与えられ、薄板Ｗは非接触支持されたまま搬送方向に搬送される。支持部１５の形状は搬送方向全体にわたって維持されていることから、薄板Ｗは搬送されている間中、弓形形状が維持される。
【００５６】
このように薄板Ｗが搬送方向正面からみて弓形形状をなした状態が維持されることから、薄板Ｗの搬送方向端部が、搬送方向に隣接する多孔質体９間の隙間の上方に位置している場合に、その端部に作用する静圧が弱くても薄板Ｗの端部が自重によってベース２の上面３側に垂れてしまうことを防止できる。従って、数１０μｍ程度という適切な浮上量を維持し消費流量を抑えながら、搬送時に薄板Ｗの端部が多孔質体９と衝突することを防止できる。これにより、薄板Ｗをキズつけたり、破損したりすることを防止できる。
【００５７】
また、搬送時において薄板Ｗは搬送方向にみて下に凸の弓形形状に変形される。それに加えて、非接触支持のための構成として多孔質体９が用いられていることから、同じ供給圧で一対の外ユニット４ｂのポート５に供給された加圧エアは両多孔質体９から均一に噴出される。このため、搬送方向にみて薄板Ｗの左右両端部には均一に静圧が作用する。これにより、薄板Ｗに対するセンタリング効果が得られ、その搬送中に薄板Ｗが搬送方向にみて左右にずれることを抑制できる。従って、薄板Ｗの直進性を向上させることができる。
【００５８】
さらに、この搬送用支持装置１のように薄板Ｗを非接触支持することは次のような利点もある。
【００５９】
（ア）薄板Ｗが接触支持される場合、搬送時に薄板Ｗと支持部とが擦れることでキズや塵が生じてしまうが、薄板Ｗを非接触支持することでそのようなキズや塵が生じることがない。このため、クリーンルーム等、塵埃の発生を嫌う環境での利用に適している。また、接触支持で搬送する場合のように、スティックスリップ、ころがりによる振動が薄板Ｗに生じることもない。
【００６０】
（イ）薄板Ｗは非接触支持されているため、搬送時に摺動抵抗が生じることはない。このため、薄板Ｗを搬送するために同薄板Ｗに与える駆動力は小さくて済む。これにより、その駆動力を発生させる駆動装置を小型化することができる。
また、薄板Ｗの周囲にエアノズルを設け、このエアノズルからの噴射エアによって薄板Ｗに駆動力を与える駆動装置とすることも可能となる。
【００６１】
（ウ）非接触支持された薄板Ｗに対して何らかの外力が加わったとしても、加圧エア層がクッションの役割を果たすことから、その外力による薄板Ｗへの影響を少なくすることができる。
【００６２】
（エ）各ポート５に接続される配管に切換弁を設け、この切換弁の動作によって各ポートが圧力供給源又は真空装置と切換接続されるように構成すれば、薄板Ｗを多孔質体９の上面に吸着させることも可能となる。すなわち、多孔質体９の上面から加圧エアを噴出させて薄板Ｗを非接触支持している状態から徐々に供給圧力を低下させ、薄板Ｗを多孔質体９の上面に接触させる。その後、制御装置によって切換弁を駆動し各ポート５と真空装置とを接続すれば、薄板Ｗを吸着させることができる。これにより、製造タイミングの調整などのため薄板Ｗの搬送を途中で停止したい場合には、薄板Ｗを吸着させることで搬送を停止させることが可能となる。
【００６３】
なお、この第１の実施形態は上述した内容に限定されず、例えば次のように実施してもよい。
【００６４】
（ａ）各多孔質体９の上面によって形成される支持部１５の形状は、搬送方向にみて上に凸の弓形形状としてもよいし、搬送方向にみて波型形状や、直線形状と弓形形状を組み合わせた形状としてもよい。また、多孔質支持体７の上面と多孔質体９の上面とを面一とした多孔質ユニット４を用い、その面によって支持部１５の形状を形成することも可能である。
【００６５】
（ｂ）ベース２の上面３に収容溝を形成し、その収容溝に多孔質体９をその上面がベース２の上面から突出するように収容することで、ベース２に直接多孔質体を設けた構成としてもよい。但し、この場合でも多孔質体９の上面によって所定形状の支持部１５を形成することが好ましい。
【００６６】
（ｃ）多孔質ユニット４は搬送方向にみて複数列設けられればよく、例えば２列や４列以上設けてもよい。但し、この場合でも多孔質ユニット４に支持台１３を設けたり、その支持台１３の上面の斜面角度を変更したりして、各多孔質体９の上面によって所定形状の支持部１５を形成することが好ましい。
【００６７】
（ｄ）ベース２は複数のベース部材を結合して全体として平板状に形成してもよい。例えば、複数の多孔質ユニット４を一列に並設したものを所定の間隔を隔てて複数併設することでベース２を構成してもよい。また、ベース２の形状は平板状である必要はない。但し、多孔質ユニット４の設置面は平面であることが好ましい。
【００６８】
（ｅ）搬送用支持装置１を用いる平面搬送装置としては、薄板Ｗを搬送するためだけの装置はもとより、薄板Ｗの処理装置において処理の途中で搬送が必要な場合には、その処理装置の一部を構成する装置であってもよい。
【００６９】
（ｆ）図３に示すように、支持台１３を介することなくベース２の上面３に外ユニット４ｂを直接設置した構成としてもよい。この構成では、圧力調整手段１６（例えば、圧力制御弁）により圧力供給源Ｐから外ユニット４ｂに対応するポート５へ供給される加圧エアの圧力が、内ユニット４ａに対応するポート５へ供給される圧力よりも高くなるよう調整される。これにより、外ユニット４ｂの多孔質体９から噴出する加圧エアの圧力が高くなる。このため、薄板Ｗは搬送方向にみて下に凸の弓形形状に変形されて非接触支持される。逆に、内ユニット４ａのポート５への供給圧力を、外ユニット４ｂのポート５への供給圧力よりも高くなるように供給圧力を調整すれば、薄板Ｗは搬送方向にみて上に凸の弓形形状に変形されて非接触支持される。これにより、多孔質体９の上面によって支持部１５の形状を弓形形状とした構成と同様の効果（搬送時のキズや破損防止）が得られる。また、支持台１３等新たな部材を使用することなくこのような効果が得られることから、汎用性に優れている。
【００７０】
なお、この構成では多孔質支持体７の上面と多孔質体９の上面とを面一にしてもよいし、多孔質ユニット４ではなく、多孔質体９をベース２の上面３にその上面３から突出するように直接設けてもよい。また、左右両側に形状変形用噴出部としてのエアノズルを設けて、薄板Ｗの形状変形はもっぱらこのエアノズルから噴出させて行うことも可能である。
【００７１】
（ｇ）図４に示すように、支持台１３の上面をベース２の上面３と平行に形成し、支持台１３を介してベース２の上面に設置した多孔質ユニット４と、直接ベース２の上面に設置した多孔質ユニット４とを交互に複数列（図４では４列）設けた構成としてもよい。図のように、この構成では薄板Ｗは波型形状に変形されて非接触支持されることになる。この構成によっても搬送時に薄板Ｗの端部がベース２の上面３側に垂れることを防止でき、多孔質体９と衝突することを防止できる。なお、この構成では多孔質支持体７の上面と多孔質体９の上面とを面一にしてもよい。
【００７２】
［第２の実施形態］
以下に、第２の実施形態について図５を参照しつつ説明する。なお、図５は薄板の支持状態を示す一部断面図である。
【００７３】
この実施形態の搬送用支持装置２１は、液晶ガラス等の薄板Ｗをその平面を上向けた状態で非接触支持する装置であって、当該薄板Ｗを搬送するための駆動力を薄板Ｗに与える駆動装置等とともに薄板Ｗの平面搬送装置を構成する。
【００７４】
図５に示すように、搬送用支持装置２１はベース２２とベース２２の上面２３に設けられた多孔質ユニット２４とを備えている。ベース２２の上面２３において多孔質ユニット２４は多数設けられ、それらが格子状に配置されている。多孔質ユニット２４は多孔質支持体２７を備え、同支持体２７の上面には円盤状の多孔質体２９が設けられている。この多孔質体２９の上面から加圧流体（例えば、エア）を噴出させる構成は前記第１の実施形態の搬送用支持装置１と同様の構成となっている。すなわち、ベース２２のポート２５に供給された加圧エアが、ベース２２の通路２６、多孔質支持体２７の通路３１及び流通溝３０を介して多孔質体２９に供給される。これらの構成については第１の実施形態と重複するため、その詳細な説明は省略する。
【００７５】
本実施形態の搬送用支持装置２１は、多孔質ユニット２４の構成、特に多孔質体２９の形状に特徴がある。円盤状をなす多孔質体２９の上面（表面）にはその外周部全体にわたりテーパー部３２（薄肉部）が形成され、その上面は平面部３３とテーパー部３２とで構成されている。テーパー部３２は外側に傾いた斜面として形成されている。このテーパー部３２においては平面部３３よりも多孔質体２９の厚さが薄くなっている。このようなテーパー部３２を多孔質体２９に形成することで、多孔質体２９は次のような特性を有する。
【００７６】
まず、多孔質体２９の厚さと加圧エアの噴出量の関係について説明すると、多孔質体２９の厚さが厚くなるほど多孔質絞りによる流通制限の程度が高くなり、加圧エアの噴出量が少なくなる。逆に、多孔質体２９が薄いほど多孔質絞りによる流通制限の程度は低くなり、加圧エアの噴出量が増大する。このような関係から、多孔質体２９ではテーパー部３２から噴出される加圧エアの噴出量が、平面部３３から噴出される加圧エアの噴出量よりも多くなる。従って、テーパー部３２の上方は噴出量増大領域Ｒとなっており、かかる領域Ｒでは薄板Ｗの浮上力が高められる。多孔質体２９はそのような領域Ｒをもつという特性を有している。
なお、図５に示した領域Ｒは説明の便宜のための図示であって、実際上の噴出量増大領域は図示の領域Ｒの周辺も含む。
【００７７】
以上のように構成された搬送用支持装置２１を用いた薄板Ｗの平面搬送装置では、その搬送用支持装置２１によって薄板Ｗはその平面を上向けた状態で非接触支持される。すなわち、図示しない圧力供給源の作動によって加圧エアがポート２５、各通路２６，３１、流通溝３０を介して多孔質体２９の上面２９ａ全体から噴出する。この状態で、薄板Ｗが搬送ロボットなどにより平面を上向けた状態で搬送用支持装置２１に供給される。このとき、多孔質体２９からの加圧エアの噴出により、多孔質体２９の上面２９ａと薄板Ｗの下面（多孔質体２９側の面）との間に圧力エア層が形成され、静圧がもたらされる。これにより、薄板Ｗはベース２２に非接触支持される。
【００７８】
そして、この非接触支持された薄板Ｗに対し図示しない駆動装置によって駆動力が与えられ、薄板Ｗは非接触支持されたまま搬送方向に搬送される。このとき、薄板Ｗの搬送方向端部が、搬送方向に隣接する多孔質ユニット２４間の隙間の上方に達すると、その端部はベース２２の上面２３側に垂れてしまう。その隙間では加圧エアの噴出が必ずしも十分ではなく、得られる静圧も弱いためである。しかし、そのまま搬送が続けられると、垂れた状態にある薄板Ｗの端部が多孔質体２９の噴出量増大領域Ｒに達する。かかる領域Ｒでは増大された加圧エアの噴出によって薄板Ｗの浮上力が高められるためそれがクッションとなる。しかも、テーパー部３２は平面部３３から斜め下方に延びることから、そのクッション効果が本来の軸受部分である平面部３３よりも下方位置において作用する。そのため、垂れた状態にある薄板Ｗの端部と多孔質体２９との衝突が回避される。従って、数１０μｍ程度という適切な浮上量を維持し消費流量を抑えながら、搬送時に薄板Ｗの端部が多孔質体２９と衝突することを防止し、薄板Ｗのキズや破損を防止できる。
【００７９】
また、この搬送用支持装置２１のように薄板Ｗを非接触支持することは前記第１の実施形態の搬送用支持装置１と同様、前述した（ア）〜（エ）に記載された利点もある。
【００８０】
なお、この第２の実施形態は上述した内容に限定されず、例えば次のように実施してもよい。
【００８１】
（ａ）ベース２２は複数のベース部材を結合して全体として平板状に形成してもよいし、平板状でなくてもよい（第１の実施形態の別例（ｄ）参照）。但し、多孔質ユニット２４の設置面は平面であることが好ましい。また、搬送用支持装置２１を用いる平面搬送装置としては、薄板Ｗの処理装置の一部を構成する装置であってもよい（第１の実施形態の別例（ｅ）参照）。
【００８２】
（ｂ）ベース２２の上面２３に流通溝３０を形成し、ベース２２の上面２３に多孔質体２９を直接設置する構成としてもよい。
【００８３】
（ｃ）多孔質体２９のテーパー部３２は、少なくとも搬送される薄板Ｗと衝突する可能性が高い箇所に形成すればよい。多孔質体２９の形状は円盤状に限られないが、例えば四角板状に形成した場合、多孔質体２９の上面外周を形成する４辺のうち、平面視において搬送方向と対向する辺にのみテーパー部３２を形成した構成としてもよい。但し、予期せぬ事態に対処するためにも、多孔質体２９の上面の外周部全体にテーパー部３２を形成した方がより好ましい。
【００８４】
（ｄ）多孔質体２９の厚さを薄くすれば加圧エアの噴出量が増大するという特性から、多孔質体２９の外周部側の厚さを薄くしさえすれば、その上方を噴出量増大領域Ｒとすることができる。このため、多孔質体２９の上面外周部に形成するのはテーパー部３２以外の構成であってもよい。例えば、アール形状（薄肉部）や上面が平面をなす薄肉平面部として形成することが考えられる。もっとも、薄板Ｗとの衝突回避のためには平面部３３の外周縁に段差を生じさせない方がより好ましい。かかる観点からすると、テーパー部３２やアール形状とすることが好ましい。
【００８５】
（ｅ）第１の実施形態において本実施形態に示すテーパー部３２等の構成を付加した組合せも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態における薄板の搬送状態の概略を示す搬送用支持装置の斜視図。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】第１の実施形態の別例を示す断面図。
【図４】第１の実施形態の別例を示す断面図。
【図５】第２の実施の形態における薄板の支持状態を示す搬送用支持装置の一部断面図。
【図６】従来の搬送用支持装置を示す正面図。
【符号の説明】
１，２１…搬送用支持装置、２，２２…ベース、９…多孔質体（ベースの噴出部、形状変形用噴出部、両者が共通化された噴出部）、１６…圧力調整手段、２９…多孔質体、３２…テーパー部（薄肉部）、Ｗ…薄板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004244186.tif 000007
【図６】
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