(57)【要約】　　　（修正有）【課題】ウエハの挿抜を容易に行えるウエハ用キャリアを提供する。【解決手段】相対向する一対の側壁部材の対向面に、ウエハＷ縁辺を案内する対向溝条を所定ピッチで複数設けてなり、これら対向溝条の始端側にはウエハＷを挿入する開口部を有し、終端側には挿入されたウエハＷを係止する係止部５を有するウエハ用キャリアを、上下二分割構造とすることにより、各側壁部材をそれぞれ対向溝条の延在方向に開口部側の子壁部材６，７と、係止部５側の親壁部材８，９との２つの壁部材に分け、子壁部材６，７が親壁部材８，９に対して着脱可能となるようにした。【選択図】　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対向する一対の側壁部材の対向面に、ウエハの縁辺を案内する対向溝条が所定ピッチで複数設けられてなり、
これら対向溝条の始端側にはウエハを挿入する開口部を有し、終端側には挿入されたウエハを係止する係止部を有するウエハ用キャリアにおいて、
前記各側壁部材が、前記対向溝条の延在方向に、前記係止部側の親壁部材と、この親壁部材に対して着脱可能か又は傾倒可能な前記開口部側の子壁部材と、の２つの壁部材に分けられることにより、
このウエハ用キャリアの各側壁が、それぞれ前記親壁部材及び前記子壁部材の双方によって構成された第１の状態と、前記親壁部材のみによって構成された第２の状態と、に相互に切り替えることができるように構成されていることを特徴とするウエハ用キャリア。
【請求項２】
このウエハ用キャリアが、
前記各親壁部材を含むキャリア本体と、
前記各子壁部材を含み、前記キャリア本体に着脱可能な枠状体と、の二分割構造とされることにより、
前記子壁部材が、前記親壁部材に対して着脱可能とされていることを特徴とする請求項１記載のウエハ用キャリア。
【請求項３】
前記第１の状態におけるこのウエハ用キャリアの各側壁は、収容されたウエハの平坦面がはみ出さないわたりを有することを特徴とする請求項１又は２記載のウエハ用キャリア。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数枚のウエハを収容するウエハ用キャリアに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造においては、複数枚（例えば、２５枚）のウエハを収容するウエハ用キャリアが用いられる。従来のウエハ用キャリアを図３に示す。このウエハ用キャリアは、上方を開口部２１とする略箱状に形成されてなり、互いに相対向する一対の側壁部材２２，２３の対向面には、鉛直方向に延在する対向溝条２４，２４…が所定ピッチで設けられている。上方の開口部２１から対向溝条２４の各々にウエハＷを差し込むと、該ウエハＷはその縁辺を対向溝条２４に案内されながら所定位置で係止される。そして、この位置で該ウエハＷが保持されるようになっている。
【０００３】
この種のウエハ用キャリアは、複数の対向溝条２４，２４…を有する側壁部材２２，２３を含めて全体が一体に形成されているものであった。また、主としてウエハＷの搬送に使用するタイプのウエハ用キャリアにあっては、搬送中にウエハＷを保護するなどの目的で、各側壁部材２２，２３は、差し込まれたウエハＷの上部がこのキャリアからはみ出さない高さとされている。また、このようなタイプのウエハ用キャリアにおいては、ウエハＷを差し込み易くするために、対向溝条２４，２４…が各側壁部材２２，２３における開口部２１側の端まで延設されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ウエハ用キャリアへのウエハの挿抜は、ロボットハンド等によって自動的に行うこともあるが、真空ピンセットを用いて人手により行う場合がある。真空ピンセットを用いてキャリアからウエハを取り出すには、まず真空ピンセットをキャリア上部の開口部２１より差し込み、取り出そうとするウエハＷに吸着させる。
そして、真空ピンセットを用いて、そのウエハＷを対向溝条２４に沿って上方に引き抜く。
【０００５】
このとき、ウエハＷを対向溝条２４に沿って平行に引き抜かないとウエハＷと対向溝条２４とが接触し、真空ピンセットからウエハＷが外れてしまうことがある。従って、ウエハＷの引き抜きは慎重に行う必要がある。特に、ウエハ平坦面の半分以上がキャリアから露出するまでは、該ウエハＷを慎重に移動させなければならない。このように、従来のウエハ用キャリアにあっては、真空ピンセットを用いて人手によりウエハＷの挿抜を行う場合などに、特に作業性が悪いという課題があった。
【０００６】
本発明の目的は、ウエハの挿抜を容易に行えるウエハ用キャリアを提供することにある。特に、本発明の目的は、収容されたウエハを保護するなどの機能を担保しながら、該ウエハの挿抜を容易に行えるウエハ用キャリアを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のウエハ用キャリアは、相対向する一対の側壁部材の対向面に、ウエハの縁辺を案内する対向溝条を所定ピッチで複数設けてなり、これら対向溝条の始端側にはウエハを挿入する開口部を有し、終端側には挿入されたウエハを係止する係止部を有するウエハ用キャリアにおいて、前記各側壁部材を、前記対向溝条の延在方向に、前記係止部側の親壁部材と、この親壁部材に対して着脱可能か又は傾倒可能な前記開口部側の子壁部材と、の２つの壁部材に分けることにより、このウエハ用キャリアの各側壁を、それぞれ前記親壁部材及び前記子壁部材の双方によって構成した第１の状態と、前記親壁部材のみによって構成した第２の状態と、に相互に切り替えることができるように構成したことを特徴とする。
【０００８】
この場合において、このウエハ用キャリアを、前記各親壁部材を含むキャリア本体と、前記各子壁部材を含み前記キャリア本体に着脱可能な枠状体と、の二分割構造とすることにより、前記子壁部材を前記親壁部材に対して着脱可能とするのが好ましい。
【０００９】
本発明のウエハ用キャリアにおいては、前記第１の状態におけるこのウエハ用キャリアの各側壁が、収容されたウエハの平坦面がはみ出さないわたりを有するのが好ましい。
【００１０】
【作用及び効果】
本発明のウエハ用キャリアによれば、第２の状態では、子壁部材を親壁部材に対して傾倒させるか又は外すことにより、このウエハ用キャリアの側壁が親壁部材のみによって構成される。従って、この状態では、従来のものに比べると、ウエハを抜差しするときに該ウエハを実質的に慎重に移動させなければならない距離を子壁部材の分だけ短くできる。これにより、ウエハの挿抜を容易にできる。
一方、第１の状態では、このウエハ用キャリアの側壁がそれぞれ子壁部材及び親壁部材の双方によって構成されるから、収容されたウエハが当該各部材によって保護される。
【００１１】
特に、第１の状態におけるこのウエハ用キャリアの各側壁が、収容されたウエハの平坦面がはみ出さないわたりを有する場合には、搬送の場合などにおいて該収容されたウエハを確実に保護できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１，２は、実施の形態によるウエハ用キャリアを示す。本ウエハ用キャリアは、互いに向かい合う一対の側壁部材１，２の対向面に、ウエハＷの縁辺を案内する対向溝条３を所定ピッチで複数設けてなる。これら対向溝条３の始端側は、ウエハＷを挿入する開口部４となっており、一方、終端側は挿入されたウエハＷを係止する係止部５となっている。開口部４から各対向溝条３にウエハＷを差し込むと、該ウエハＷはその縁辺を対向溝条３に案内されながら係止部５において係止され、この位置で該ウエハＷが保持されるようになっている。
【００１３】
具体的には、各側壁部材１，２には、それぞれ溝条１ａ…，２ａ…が所定ピッチで複数設けられている。これら溝条は、開口部４から係止部５に向かって鉛直方向に延在している。例えば、各側壁部材１，２の内面に、鉛直方向に延在する凸条部を所定ピッチで設けることにより、隣り合う凸条部の間に凹条部、即ち溝条部３を構成できる。これらの側壁部材１，２において、対向する一対の溝条１ａ，２ａごとに対向溝条３が構成されている。
【００１４】
本ウエハ用キャリアにおいて、係止部５は、挿入されたウエハＷを支持するものである。これは図示しないが、底板や支持棒などのウエハ支持部材を側壁部材１，２の下端部に設けたり、あるいは対向溝条３における溝条１ａ，２ａの対向幅を下方に向かって次第に狭くすることなどによって構成できる。
【００１５】
以上において、本ウエハ用キャリアでは、各側壁部材１，２が、それぞれ対向溝条３の延在方向（上下方向）に、開口部４側の子壁部材６，７と、係止部５側の親壁部材８，９との２つの壁部材に分割されている。そして、これにより本ウエハ用キャリアの側壁が、それぞれ子壁部材６，７及び親壁部材８，９の双方によって構成された第１の状態（図１参照）と、親壁部材８，９のみによって構成された第２の状態（図２（ｂ）参照）と、に相互に切り替えることができるようにした点を最大の特徴としている。
【００１６】
このことは、図２に示すように、本ウエハ用キャリアを、各親壁部材８，９を含むキャリア本体１０と、各子壁部材６，７を含みキャリア本体１０に着脱可能な枠状体１１と、の二分割構造として構成することにより実現している。
【００１７】
枠状体１１は、図２（ａ）に示すように、各子壁部材６，７と、これら子壁部材６，７どうしを向かい合わせた位置関係とする側板１２，１３とが平面視略ロ字状に枠組みされて構成されている。側板１２，１３は、ウエハＷの配列方向に向かい合わされている。
【００１８】
一方、キャリア本体１０は、図２（ｂ）に示すように、各親壁部材８，９と、これら親壁部材８，９どうしを向かい合わせた位置関係とする側板１４，１５と、前述した係止部５とを含んで構成されている。なお、キャリア本体１０の底部は開放されていてもよし、底板などで閉塞されていてもよい。
【００１９】
そして、本ウエハ用キャリアは、前述した第１の状態と第２の状態とを相互に切り替える手段として、枠状体１１をキャリア本体１０に対して着脱可能に固定する固定手段を備えている。該固定手段は、枠状体１１とキャリア本体１０の一方に固定爪を設け、他方に該固定爪と嵌合する嵌合部を設けてなる。
【００２０】
具体的には、枠状体１１に一対の固定爪１６ａ，１６ｂを設けている。固定爪１６ａ，１６ｂは、それぞれ枠状体１１の側板１２，１３に一端が固定され、他端がキャリア本体１０に向かって下方に延びた自由端とされている。それぞれの自由端は、フック状に形成されている。
【００２１】
一方、キャリア本体１０には、嵌合部として、一対の切り欠き１７ａ，１７ｂを形成している（切り欠き１７ｂは図示せず）。切り欠き１７ａ，１７ｂの形成位置は、それぞれキャリア本体１０の側板１４，１５である。
【００２２】
固定爪１６ａ，１６ｂは、可撓性を有していて、該固定爪１６ａ，１６ｂのフック状先端部が、それぞれキャリア本体１０に形成された切り欠き１７ａ，１７ｂに嵌るようになっている。固定爪１６ａ，１６ｂを切り欠き１７ａ，１７ｂに嵌めたときには、枠状体１１とキャリア本体１０とが連結された固定状態（第１の状態）となる。固定爪１６ａ，１６ｂの先端はフック状になっているから、枠状体１１とキャリア本体１０とを少なくとも鉛直方向に確実に連結できる。
【００２３】
また、枠状体１１とキャリア本体１０とは、互いに嵌め合い構造となっている。即ち、固定爪１６ａ，１６ｂを切り欠き１７ａ，１７ｂに嵌めたときには、枠状体１１の下面１１ａと、キャリア本体１０の上面１０ａとが互いに嵌合する。
このような嵌め合い構造を有することにより、枠状体１１をキャリア本体１０へ装着するときの位置決めを確実、且つ容易に行えると共に、両者を連結したときにおける全体としての剛性を充分に確保できる。
【００２４】
このウエハ用キャリアの作用は次の通りである。
【００２５】
枠状体１１をキャリア本体１０に装着すると、子壁部材６，７が、それぞれ親壁部材８，９に接合される。これにより、このウエハ用キャリアの側壁が、それぞれ子壁部材６，７及び親壁部材８，９の双方によって構成された第１の状態となる（図１参照）。
【００２６】
この第１の状態では、ウエハ用キャリアの各側壁（側壁部材１，２）が、該ウエハ用キャリアに収容されたウエハＷの平坦面がはみ出さないわたり（この場合は、高さ）となる。従って、例えば、本ウエハ用キャリアを用いてウエハＷを搬送するときには、この第１の状態にすると、収容されたウエハが確実に保護される。
【００２７】
なお、子壁部材６，７には必ずしも対向溝条を設けなくてもよいが、この子壁部材６，７にも対向溝条を設けることにより、第１の状態では、各側壁部材１（２）の対向面において、子壁部材６（７）から親壁部材８（９）にわたって連続した対向溝条３が構成される。即ち、子壁部材６（７）および親壁部材８（９）におけるそれぞれの対向溝条が共にウエハ縁辺の挿抜軌跡に臨む。従って、子壁部材６，７に対向溝条３が設けられていない場合に比べると、ウエハＷの差し込みを容易に行える。
【００２８】
以上のように、ウエハを搬送するときやウエハを差し込むときなどは、本ウエハ用キャリアを第１の状態とすると好適である。
【００２９】
一方、枠状体１１をキャリア本体１０から取り外すと、子壁部材６，７が、それぞれ親壁部材８，９から離される。これにより、このウエハ用キャリアの側壁が、親壁部材８，９のみによって構成された第２の状態となる（図２（ｂ）参照）。
【００３０】
なお、親壁部材８，９における対向溝条は、キャリア本体１０のみにおいてもウエハＷを保持できるわたりを有している。従って、ウエハが収容されている状態で、枠状体１１をキャリア本体１０から取り外しても、該収容されているウエハＷの姿勢が変化することはない。
【００３１】
この第２の状態では、収容されたウエハＷの上部が本ウエハ用キャリアから突出する。好ましくは、このとき、ウエハＷ平坦面の半分以上の領域が本ウエハ用キャリアから突出する。従って、該突出部分において真空ピンセットの吸着しろを広くとれる。特に、真空ピンセットを上方からだけでなく、横方からも差し込むことが可能となる。従って、真空ピンセットを用いたウエハＷの吸着を迅速、且つ容易に行える。
【００３２】
また、この状態においては、子壁部材６，７における対向溝条がウエハ縁辺の挿抜軌跡から外されるから、その分、対向溝状のわたりが短くなる。これにより、従来のものに比べると、対向溝状に沿ってウエハＷを引き上げる距離を短くできるから、ウエハ縁辺と対向溝状とが接触してウエハＷを落下させてしまうことを防止できる。これにより、ウエハＷの取り出しを迅速、且つ容易に行える。
【００３３】
以上にように、収容されたウエハを取り出すときなどは、本ウエハ用キャリアを第２の状態とすると好適である。
【００３４】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明した。なお、側壁部材１，２は、このウエハ用キャリアに収容されたウエハＷの平坦面がはみ出さない高さを有するから、円形のウエハＷが保持されている状態においては、対向溝条３の所定位置よりも上方の部分（以下、「案内部分」という。）は、ウエハ縁辺と係合せず、残余の下方の部分（以下、「係合部分」という。）のみがウエハＷ縁辺と係合して、その側面を支える。従って、対向溝条３のうち、案内部分を子壁部材６，７に設け、係合部分を親壁部材８，９に設けると、ウエハが収容されている状態で、枠状体１１をキャリア本体１０から取り外すときに、その取り外し作業を迅速、且つ容易に行える。
【００３５】
また、上記ウエハ用キャリアの素材としては、特に限定されないが、例えば、樹脂や石英などを用いることができる。
【００３６】
また、側壁部材１（２）を、親壁部材８（８）と、この親壁部材８（９）に対して外側に傾倒可能な子壁部材６（７）とに分けて構成してもよい。この場合は、子壁部材６，７を起立させたときに、該子壁部材６，７及び親壁部材８，９の双方によってウエハ用キャリアの側壁が構成され、子壁部材６，７を倒したときに、親壁部材８，９のみによってウエハ用キャリアの側壁が構成される。このようなウエハ用キャリアは、樹脂によって構成するとよい。
【００３７】
また、実施の形態においては、ウエハを垂直方向に挿抜する縦型のキャリアを例示したが、本発明は、ウエハを水平方向に挿抜する横型のキャリアにも提供できる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明によれば、ウエハの挿抜を容易に行えるウエハ用キャリアが提供される。特に本発明によれば、収容されたウエハを保護するなどの機能を担保しながら、該ウエハの挿抜を容易に行えるウエハ用キャリアが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態によるウエハ用キャリアの一つの状態を示す斜視図である。
【図２】実施の形態によるウエハ用キャリアの別の状態を示す図であり、（ａ）は枠状体を示し、（ｂ）はキャリア本体を示す。
【図３】従来のウエハ用キャリアを示す斜視図である。
【符号の説明】
１，２　側壁部材
３　対向溝条
４　開口部
５　係止部
６，７　子壁部材
８，９　親壁部材
１０　キャリア本体
１１　枠状体
Ｗ　ウエハ
【図１】
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【図２】
2004087793.tif 000004
【図３】
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