(57)【要約】　　　（修正有）【課題】複数種類のワーク搬送時にワーク下面に搭載した部品と支持棒材とを接触させることのないようにしたワーク支持装置を提供する。【解決手段】同軸上で往復動自在の振り分けピストン５と支持ピストン４にそれぞれ振り分けロッド７と支持ロッド６が設けられ、前進限位置の振り分けロッド７に支持される支持ロッド６は中間位置となり、前進限位置の支持ロッド６はワークの下面を接触支持する。中間位置となっている支持ロッド６のうちワーク下面の部品に対応する配置のものだけを押し下げて振り分け移動することにより、各振り分けピストン５の前進用空気圧室１０と後退用空気圧室１１のどちらに圧縮空気を供給するかを切り換える。対応する振り分けピストン５と支持ロッド６を後退限位置まで退避移動させ、他の中間位置にある支持ロッド６のみを前進限位置までの間に往復移動させて支持状態と待機状態を繰り返す。【選択図】　　図４
2004074342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前進限位置および後退限位置に移動しそれぞれ振り分けロッドを有する複数の振り分けピストンと、ワークを支持する前進限位置、前進限位置の前記振り分けロッドの先端に接触する中間位置および後退限位置に移動し、それぞれの振り分けピストンにほぼ同心状に配置されてワークを支持する支持ロッドを有する複数の支持ピストンとが設けられた支持台と、
それぞれの前記振り分けピストンの後端面側の前進用空気圧室に連通して前記支持台に形成された前進用流路と、
前記振り分けピストンの前端面側の後退用空気圧室に連通して前記支持台に形成された後退用流路と、
前記支持ピストンの前端面側の戻し用空気圧室に連通して前記支持台に形成された戻し用流路と、
前記支持ピストンの後端面側の突出用空気圧室に連通して前記支持台に形成された突出用流路と、
前記振り分けピストンに設けられ、前記振り分けピストンが前進限位置となったときに前記後退用流路と前記後退用空気圧室との連通を遮断して前記後退用流路と前記前進用空気圧室とを連通させ、前記振り分けピストンが前記支持ピストンにより所定の振り分け位置まで後退したときに前記後退用流路と前記後退用空気圧室とを連通させて前記後退用流路と前記前進用空気圧室との連通を遮断する主切換部材と、
前記支持ピストンに設けられ、前記支持ピストンが後退限位置となったときに前記突出用流路と前記突出用空気圧室との連通を遮断し、前記支持ピストンが前記後退限位置から前進したときに前記突出用流路と前記突出用空気圧室とを連通させる副切換部材とを有することを特徴とするワーク支持装置。
【請求項２】
請求項１記載のワーク支持装置において、前記主切換部材が前記振り分けピストンの先端部側に設けた振り分け前方シール部材と、後端部側に設けた振り分け後方シール部材を有しており、前記副切換部材が前記支持ピストンの後端部側に設けた支持後方シール部材を有していることを特徴とするワーク支持装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のワーク支持装置において、全ての支持ロッドが中間位置に保持され、全ての振り分けロッドが前進限位置に保持されて、前記突出用流路と前記戻し用流路と前記前進用流路と前記後退用流路に対する圧縮空気の供給を停止した状態でいずれかの前記支持ロッドをワーク又はダミー部材により振り分け移動することを特徴とするワーク支持装置。
【請求項４】
請求項３記載のワーク支持装置において、複数の前記支持ロッドのうちいずれかが振り分け移動した後に、前記後退用流路を介して前進限位置の前記振り分けピストンの前進用空気圧室と、振り分け位置の前記振り分けピストンの後退用空気圧室とにそれぞれ圧縮空気を供給することにより振り分け位置の前記振り分けロッドのみを後退移動することを特徴とするワーク支持装置。
【請求項５】
請求項４記載のワーク支持装置において、振り分け位置の前記振り分けロッドを後退移動した後に、前記戻し用流路を介して全ての支持ピストンの後退用空気圧室に圧縮空気を供給することにより振り分け位置の前記支持ロッドのみを後退移動することを特徴とするワーク支持装置。
【請求項６】
請求項５記載のワーク支持装置において、振り分け位置の前記支持ロッドを後退限位置まで後退移動した後に、前記突出用流路を介して中間位置の前記支持ピストンの突出用空気圧室に圧縮空気を供給することにより中間位置の前記支持ロッドのみを前進移動することを特徴とするワーク支持装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のワーク支持装置において、前記戻し用流路に供給する圧縮空気より前記前進用流路に供給する圧縮空気の方が圧力が高いことを特徴とするワーク支持装置。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のワーク指示装置において、前記支持ピストンの径よりも前記振り分けピストンの径の方が大きいことを特徴とするワーク支持装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のワーク支持装置において、前記前進用流路と空気圧源との間に振り分け前進用バルブが設けられ、前記後退用流路と空気圧源との間に振り分け後退用バルブが設けられ、前記突出用流路及び前記戻し用流路とそれらの空気圧源との間に支持ロッド移動用バルブが設けられていることを特徴とするワーク支持装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載のワーク支持装置において、前記前進用流路に供給された圧縮空気を前記前進用空気圧室に案内し、前記後退用流路から前記前進用空気圧室に圧縮空気が供給された場合には前記前進用流路を閉じる流路開閉バルブをそれぞれの振り分けシリンダ孔に対応させて前記支持台に設けたことを特徴とするワーク支持装置。
【請求項１１】
請求項１０記載のワーク支持装置において、前記振り分けロッドが後退限位置となると前記流路開閉バルブは前記前進用流路を開くことを特徴とするワーク支持装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載のワーク支持装置において、それぞれの前記振り分けロッドが前進限位置となったときに前記振り分けピストンを往復動自在に収容する振り分けシリンダ孔の内周面へ前記振り分け前方シール部材がしめしろをもって挿入されることにより前記振り分けロッドを前進限位置で保持することを特徴とするワーク支持装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載のワーク支持装置において、それぞれの前記支持ロッドまたは振り分けロッドが前進限位置となったときに前記支持ロッドまたは振り分けロッドを前進限位置で保持するマグネットをそれぞれの前記支持ピストンまたは振り分けピストンに対応させて前記支持台に設けたことを特徴とするワーク支持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は複数のロッドにより板状のワークを支持するワーク支持装置に関し、たとえば、ＩＣなどの部品が搭載されるプリント基板などを支持するために適用して有用なワーク支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント基板ないし実装基板にクリームハンダを塗布する際には、ハンダの塗布パターンが形成されたマスキング板材がそのプリント基板などの所定の位置に位置決めされ、そのプリント基板がハンダ塗布ステージにまで搬送されて所定の位置に位置決めしてからクリームハンダを塗布するようにしている。また、プリント基板に対してＩＣ、ＬＳＩ、コンデンサおよび抵抗体などの部品を搭載する場合には、プリント基板をコンベアなどにより搭載ステージにまで搬送し所定の位置に位置決めした後に、チップマウンタとも言われる搭載装置の搬送ヘッドによって部品収容部から部品を掴んで搭載したり、部品を真空吸着してプリント基板まで搬送して搭載するようにしている。
【０００３】
このようなハンダ塗布ステージや搭載ステージにはプリント基板や実装基板を支持するために、ワーク支持装置が設けられている。従来のワーク支持装置としてはそれぞれ同時に上下動する複数本の棒材を有するものがあり、プリント基板などをその下面で棒材により支持して所定の位置に位置決めするようにしている。
【０００４】
しかしながら、ハンダ塗布ステージではプリント基板などの下面に電子部品が搭載された状態で上面にクリームハンダを塗布することがある。また、搭載ステージでもプリント基板などの種類によっては下面に電子部品が搭載された状態でさらに上面にも電子部品が搭載されることがある。そのような場合には、プリント基板などの下面をワーク支持装置の複数の支持棒材で支持する際に、既に下面に搭載された部品に支持棒材が接触して部品を破損させることのないようにする必要がある。
【０００５】
従来では、作業前の設定として、プリント基板の下面に搭載する部品の高さを対応する位置の各支持棒材にティーチングし、所定の高さを下回る支持棒材だけを振り分けて後退限位置（最下方位置）まで退避させる機構を備えたワーク支持装置が開発されている。振り分け移動後には、前進限位置（最上方位置）に待機する支持棒材だけが位置決め後のプリント基板の下面に接触して支持するようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このワーク支持装置では前進限位置の支持棒材はその位置（高さ）を維持して待機するだけであったため、プリント基板の搬送時には下面に搭載した部品と前進限位置の支持棒材とが接触し部品を破損させることになる。
【０００７】
この対策としてプリント基板の水平方向の搬送は前進限位置にある支持棒材上の載置位置より十分高い位置で搬送し、その搬送路の所定の水平位置と支持棒材上の載置位置との間は基板用マウンター装置を用いて昇降移動させる構成が考えられるが、この基板用マウンター装置はハンダ塗布装置及び部品搭載装置を大型化するとともに製造コスト及び運用コストを増加させるといった問題がある。
【０００８】
本発明の目的は、プリント基板などの搬送時に下面に搭載した部品と支持棒材とを接触させることのないワーク支持装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明のワーク支持装置は、振り分けロッドが設けられた複数の振り分けピストンと、ワークを支持する前進限位置、前進限位置の振り分けロッドの先端に接触する中間位置および後退限位置に移動し、それぞれの振り分けピストンにほぼ同心状に配置される支持ロッドが設けられた複数の支持ピストンとが設けられた支持台と、この支持台に形成された流路であって振り分けピストンの後端面側の前進用空気圧室に連通する前進用流路と、振り分けピストンの前端面側の後退用空気圧室に連通する後退用流路と、支持ピストンの前端面側の戻し用空気圧室に連通する戻し用流路と、支持ピストンの後端面側の突出用空気圧室に連通する突出用流路と、振り分けピストンに設けられ、振り分けピストンが前進限位置となったときに後退用流路と後退用空気圧室との連通を遮断して後退用流路と前進用空気圧室とを連通させ、振り分けピストンが支持ピストンにより所定の振り分け位置まで後退したときに後退用流路と後退用空気圧室とを連通させて後退用流路と前進用空気圧室との連通を遮断する主切換部材と、支持ピストンに設けられ、支持ピストンが後退限位置となったときに突出用流路と突出用空気圧室との連通を遮断し、支持ピストンが後退限位置から前進したときに突出用流路と突出用空気圧室とを連通させる副切換部材とを有することを特徴とする。
【００１０】
このように、本発明にあっては、主切換部材が振り分けピストンに設けられており、前進限位置と振り分け位置とで後退用流路は前進用空気圧室と後退用空気圧室との接続を切り換えられるので、後退用流路からの圧縮空気によって前進限位置の振り分けロッドにはその位置を保持する推力が加えられ、振り分け位置の振り分けロッドは後退限位置に退避移動する。これにより戻し用流路から戻し用空気圧室に圧縮空気を供給した場合、前進限位置にある振り分けロッドに当接する支持ロッドは中間位置を保持し、退避移動した振り分けロッドに対応する支持ロッドは後退限位置に退避移動する。副切換部材が支持ピストンに設けられており、中間位置と後退限位置とで突出用流路は突出用空気圧室との接続状態と閉塞状態を切り換えられるので、突出用流路からの圧縮空気によって中間位置の支持ロッドはワークを支持する前進限位置に移動し、後退限位置の支持ロッドは推力を加えられずその位置を保持する。
【００１１】
本発明のワーク支持装置は、主切換部材が振り分けピストンの先端部側に設けた振り分け前方シール部材と、後端部側に設けた振り分け後方シール部材を有しており、副切換部材が支持ピストンの後端部側に設けた支持後方シール部材を有していることを特徴とする。これにより、振り分け前方シール部材が後退用流路と後退用空気圧室との連通及び遮断を切り換え、それと同時に振り分け後方シール部材が後退用流路と前進用空気圧室との連通及び遮断を切り換えるよう作動し、また支持後方シール部材が突出用流路と突出用空気圧室との連通及び遮断を切り換えるように作動する。
【００１２】
本発明のワーク支持装置は、全ての支持ロッドが中間位置に保持され、全ての振り分けロッドが前進限位置に保持されて、突出用流路と戻し用流路と前進用流路と後退用流路に対する圧縮空気の供給を停止した状態でいずれかの支持ロッドをワーク又はダミー部材により振り分け移動することを特徴とする。このように、圧縮空気の供給を停止した状態で振り分け移動させるので、ワーク又はダミー部材を小さな押し付け力で押し付けて支持ロッドを振り分け移動させることができ、ワーク又はダミー部材に大きな荷重が付加するのを防ぐことができる。
【００１３】
本発明のワーク支持装置は、複数の支持ロッドのうちいずれかが振り分け移動した後に、後退用流路を介して前進限位置の振り分けピストンの前進用空気圧室と、振り分け位置の振り分けピストンの後退用空気圧室とにそれぞれ圧縮空気を供給することにより振り分け位置の振り分けロッドのみを後退移動することを特徴とする。本発明のワーク支持装置は、振り分け位置の振り分けロッドを後退移動した後に、戻し用流路を介して全ての支持ピストンの後退用空気圧室に圧縮空気を供給することにより振り分け位置の支持ロッドのみを後退限位置まで後退移動することを特徴とする。本発明のワーク支持装置は、振り分け位置の支持ロッドを後退限位置まで後退移動した後に、突出用流路を介して中間位置の支持ピストンの突出用空気圧室に圧縮空気を供給することにより中間位置の支持ロッドのみを前進限位置まで前進移動することを特徴とする。
【００１４】
本発明のワーク支持装置は、戻し用流路に供給する圧縮空気より前進用流路に供給する圧縮空気の方が圧力が高いことを特徴とし、または支持ピストンより振り分けピストンの径が大きいことを特徴とする。これにより、支持ピストンを後退移動させる推力よりも前進限位置の振り分けピストンにその位置を保持させる推力の方が大きくなるため、支持ロッドを中間位置まで後退移動させる際に支持ピストンが振り分けロッドに当接しても所定の中間位置より下がることがなくなる。
【００１５】
本発明のワーク支持装置は、前進用流路と空気圧源との間に振り分け前進用バルブが設けられ、後退用流路と空気圧源との間に振り分け後退用バルブが設けられ、突出用流路及び戻し用流路とそれらの空気圧源との間に支持ロッド移動用バルブが設けられていることを特徴とする。
【００１６】
本発明のワーク支持装置は、前進用流路に供給された圧縮空気を前進用空気圧室に案内し、後退用流路から前進用空気圧室に圧縮空気が供給された場合には前進用流路を閉じる流路開閉バルブをそれぞれの振り分けシリンダ孔に対応させて支持台に設けたことを特徴とする。本発明のワーク装置は、振り分けロッドが後退限位置となると流路開閉バルブは前進用流路を開くことを特徴とする。この流路開閉バルブによって前進用流路からの圧縮空気を前進用空気圧室に案内することができるとともに、後退持用流路からの圧縮空気が前進用流路に漏れるのを防止できる。
【００１７】
本発明のワーク支持装置は、それぞれの振り分けロッドが前進限位置となったときに振り分けピストンを往復動自在に収容する振り分けシリンダ孔の内周面へ振り分け前方シール部材がしめしろをもって挿入されることにより振り分けロッドを前進限位置で保持することを特徴とする。本発明のワーク装置は、それぞれの支持ロッドまたは振り分けロッドが前進限位置となったときに支持ロッドまたは振り分けロッドを前進限位置で保持するマグネットをそれぞれの支持ピストンまたは振り分けピストンに対応させて支持台に設けたことを特徴とする。本発明のワーク支持装置は、それぞれの支持ロッドまたは振り分けロッドに係合溝を設け、それら係合溝に係合して支持ロッド又は振り分けロッドを前進限位置で保持する係合部材をそれぞれの支持ピストンまたは振り分けピストンに対応させて支持台に設けたことを特徴とする。このように支持ロッド及び振り分けロッドは所定の制動力で保持されることになり、前進用空気圧室内及び突出用空気圧室内の圧縮空気を排気しても前進限位置の各ロッドはその位置を保持することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形態であるワーク支持装置を示す斜視図であり、図２（Ａ）は図１における２Ａ−２Ａ線に沿う拡大断面図であり、図２（Ｂ）は図１における２Ｂ−２Ｂ線に沿う拡大断面図であり、図２（Ｃ）は図１における２Ｃ−２Ｃ線に沿う拡大断面図であり、図２（Ｄ）は図１における２Ｄ−２Ｄ線に沿う拡大断面図であり、図３は図１における３−３線に沿って概略的に示した拡大断面図であり、図４から図９は図３におけるワーク支持装置の一部を示す拡大断面図である。
【００１９】
図１に示すように、このワーク支持装置は、直方体を上下２つに分割した形状の上方支持ブロック１ｃと下方支持ブロック１ｂを有し、下方支持ブロック１ｂは基台プレート１ａの上に固定され、上方支持ブロック１ｃの上面にはカバー部材１ｄが設けられている。これらが重なった状態でカバー部材１ｄと上方支持ブロック１ｃと下方支持ブロック１ｂは複数本のねじ部材２により基台プレート１ａに固定され、これらの部材により支持台１が形成されている。
【００２０】
図３に示すように上方支持ブロック１ｃと下方支持ブロック１ｂには、それぞれ上下方向を向いた支持シリンダ孔３ａと振り分けシリンダ孔３ｂが複数形成されており、それらはほぼ同心状に配置されてシリンダ孔対３が形成されている。図示するワーク支持装置にあっては、図１においてＸ方向に一行となって１３個のシリンダ孔対３が形成され、Ｙ方向に一列となって１１個のシリンダ孔対３が形成されており、シリンダ孔対３は１３行１１列となってマトリックス状に形成されている。ただし、シリンダ孔対３の数は１３行１１列の１４３個に限られることなく、任意の数に設定することができる。また、それぞれのシリンダ孔対３はＸ，Ｙ両方向に一定のピッチで形成されているが、シリンダ孔対３相互間の間隔も任意に設定することができる。また、支持シリンダ孔３ａと振り分けシリンダ孔３ｂは同心であってもよい。
【００２１】
各シリンダ孔対３を構成する支持シリンダ孔３ａと振り分けシリンダ孔３ｂ内には、図３に示されるように、それぞれ支持ピストン４と振り分けピストン５が上下方向に往復動自在に収容されている。それぞれの支持ピストン４にはワーク支持ロッドつまり支持ロッド６が設けられており、それぞれの支持ロッド６はカバー部材１ｄを貫通して上方に突出可能となっている。それぞれの支持シリンダ孔３ａは、支持ピストン４によってピストン後端面４ａ側の突出用空気圧室８と、前端面４ｂ側の戻し用空気圧室９とに区画形成される。またそれぞれの振り分けピストン５には、支持ロッド６の中間位置（詳細は後述する）を規定するロッドつまり振り分けロッド７が設けられており、それぞれの振り分けロッド７は支持シリンダ孔３ａ内に突出可能となっている。それぞれの振り分けシリンダ孔３ｂは、振り分けピストン５によってピストン後端面５ａ側の前進用空気圧室１０と、前端面５ｂ側の後退用空気圧室１１とに区画形成される。
【００２２】
上方支持ブロック１ｃには、図２（Ａ）に示すように、Ｘ方向に延びて共通の戻し用流路１２が形成されており、この戻し用流路１２はＹ方向に延びて上方支持ブロック１ｃに形成された複数の分岐流路１２ａに連通し、分岐流路１２ａを介して共通の戻し用流路１２はそれぞれの戻し用空気圧室９に連通するようになっている。上方支持ブロック１ｃには、図２（Ｂ）に示すように、Ｘ方向に延びて共通の突出用流路１３が形成されており、この突出用流路１３はＹ方向に延びて上方支持ブロック１ｃに形成された複数の分岐流路１３ａに連通し、分岐流路１３ａを介して共通の突出用流路１３はそれぞれの支持シリンダ孔３ａの下端部に連通するようになっている。
【００２３】
下方支持ブロック１ｂには、図２（Ｃ）に示すように、Ｘ方向に延びて共通の後退用流路１４が形成されており、この後退用流路１４はＹ方向に延びて下方支持ブロック１ｂに形成された複数の分岐流路１４ａに連通し、分岐流路１４ａを介して共通の後退用流路１４はそれぞれの振り分けシリンダ孔３ｂの上端部に連通するようになっている。下方支持ブロック１ｂには、図２（Ｄ）に示すように、Ｘ方向に延びて共通の前進用流路１５が形成されており、この前進用流路１５はＹ方向に延びて下方支持ブロック１ｂに形成された複数の分岐流路１５ａに連通し、分岐流路１５ａを介して共通の前進用流路１５はそれぞれの前進用空気圧室１０に連通するようになっている。
【００２４】
共通の戻し用流路１２の一端部には、図１および図２（Ａ）に示すように、給排ポート１２ｂが形成され、共通の突出用流路１３の一端部には、図１および図２（Ｂ）に示すように、給排ポート１３ｂが形成されている。共通の後退用流路１４の一端部には、図１および図２（Ｃ）に示すように、給排ポート１４ｂが形成され、共通の前進用流路１５の一端部には、図１および図２（Ｄ）に示すように、給排ポート１５ｂが形成されている。それぞれの流路１２，１３，１４，１５の他端部はボールなどからなる図示しない閉塞部材により閉塞されている。また、それぞれの分岐流路１２ａ，１３ａ，１４ａ，１５ａの両端部は、図２に示されるように、ボールなどからなる閉塞部材１２ｃ，１３ｃ，１４ｃ，１５ｃにより閉塞されている。
【００２５】
図３に示すように、支持用空気圧源１６と戻し用流路１２及び突出用流路１３との間には支持ロッド移動用バルブ１７が設けられており、この支持ロッド移動用バルブ１７は突出用流路１３を大気に開放させて戻し用流路１２を支持用空気圧源１６に連通させる戻し用供給位置▲１▼と、突出用流路１３と戻し用流路１２を大気開放する排気位置▲２▼と、突出用流路１３を支持用空気圧源１６に連通させて戻し用流路１２を大気に開放させる突出用供給位置▲３▼との３位置に作動する。
【００２６】
また振り分け用空気圧源１８と後退用流路１４との間に接続される空気供給路１９には、後退用バルブ２０が設けられており、この後退用バルブ２０は振り分け用空気圧源１８と後退用流路１４との連通を遮断して後退用流路１４を大気に開放させる排気位置▲１▼と、振り分け用空気圧源１８と後退用流路１４との連通を遮断して後退用流路１４を閉じる閉塞位置▲２▼と、後退用流路１４を振り分け空気圧源１８に連通させる供給位置▲３▼との３位置に作動する。
【００２７】
さらに振り分け用空気圧源１８と前進用流路１５との間に接続される空気供給路２１には、前進用バルブ２２が設けられており、この前進用バルブ２２は前進用流路１５を振り分け用空気圧源１８に連通させる供給位置▲１▼と、この連通を遮断して前進用流路１５を大気に開放させる排気位置▲２▼との２位置に作動する。支持用空気圧源１６が供給する圧縮空気の圧力は例えば０．４ＭＰａであり、振り分け用空気圧源１８が供給する圧縮空気の圧力はそれよりも高い例えば０．５ＭＰａである。
【００２８】
図４から図９に示すように、下方支持ブロック１ｂの下部にはそれぞれの前進用空気圧室１０に連通して前進用空気圧室１０の内径よりも大径の取付孔２３が形成され、この取付孔２３には円筒部２４ａとこれの上部に設けられた端壁部２４ｂとを有する弁体収容筒体２４が組み込まれている。この弁体収容筒体２４にはその内部と前進用流路１５とを連通させる開口２４ｃが形成され、弁体収容筒体２４の内部に軸方向に往復動自在に組み込まれる流路開閉バルブ２５には、端壁部２４ｂに形成され開口２４ｃと前進用空気圧室１０とを連通させる連通孔２４ｄより小径の弁軸２５ａが設けられている。この弁軸２５ａには連通孔２４ｄに嵌合して閉じるシール部材２５ｂが設けられており、下方支持ブロック１ｂに取り付けられたプラグ２６と流路開閉バルブ２５との間に装着された圧縮コイルばね２７によって弁軸２５ａとシール部材２５ｂが連通孔２４ｄを閉じる方向に力が加えられている。さらに、圧縮コイルばね２７のばね力に抗して弁軸２５ａに対して連通孔２４ｄを開く方向に推力を加える大径の受圧部２５ｃが流路開閉バルブ２５に設けられている。
【００２９】
したがって、前進用バルブ２２を供給位置▲１▼に設定すると、前進用流路１５に供給される圧縮空気が受圧部２５ｃを加圧することになる。この結果、ばね力に抗して流路開閉バルブ２５の弁軸２５ａのシール部材２５ｂが連通孔２４ｄから離れる位置まで後退移動し、連通孔２４ｄと弁軸２５ａとの間に形成される隙間２８を介して前進用空気圧室１０内には前進用流路１５に供給された圧縮空気が流入し、振り分けピストン５は前進限位置まで前進駆動される。
【００３０】
振り分けピストン５が前進限位置にあって後退用流路から圧縮空気が入った場合には、閉じている流路開閉バルブ２５において大径の受圧部２５ｃではなく小径の受圧部（弁軸２５ａおよびシール部材２５ｂ）で圧力を受けることになり、それよりも圧縮コイルばね２７の押圧力の方が大きいため流路開閉バルブ２５は開くことはない。
【００３１】
プラグ２６にはブリードポートつまり息付き孔２６ａが形成され、それぞれの息付き孔２６ａは共通の息付き孔２９を介して支持台１の外部に連通している。それぞれの流路開閉バルブ２５には弁体収容筒体２４の内部に流入した空気が息付き孔２６ａから外部に漏出するのを防止するために、シール部材３０が設けられている。
【００３２】
それぞれの振り分けピストン５には、先端部側に振り分け前方シール部材３１が設けられ、この振り分け前方シール部材３１に対して所定の距離だけ離れた後端部側に振り分け後方シール部材３２が設けられている。
【００３３】
図４から図９に示すように、下方支持ブロック１ｂの上部には、それぞれの後退用空気圧室１１に連通させて後退用空気圧室１１の内径よりも大径の取付孔３３が形成され、この取付孔３３には円筒部３４ａとこれの上部に設けられた端壁部３４ｂとを有する振り分けピストン保持筒体３４が組み込まれている。ピストン保持筒体３４にはピストン保持筒体３４と振り分けロッド７との間をシールするためのシール部材３９が組み込まれている。
【００３４】
それぞれの振り分けピストン保持筒体３４の円筒部３４ａには、その内部と後退用流路１４とを連通させる開口３４ｃが形成され、開口３４ｃが設けられた部分の円筒部３４ａの内径は振り分けシリンダ孔３ｂの内径よりも大径となっている。さらに、振り分けロッド７つまり振り分けピストン５が前進限位置となったときに振り分け前方シール部材３１がしめしろをもって挿入される接触面３４ｄが円筒部３４ａに形成されている。したがって、振り分けロッド７が前進限位置となって端壁部３４ｂに振り分けピストン５が接触すると、振り分け前方シール部材３１が接触面３４ｄにしめしろをもって嵌合することから、振り分けロッド７に対してはその位置を保持させる保持力が加えられる。しかも、振り分けロッド７が前進限位置となると、振り分け前方シール部材３１によって後退用流路１４と後退用空気圧室１１との連通が遮断される。
【００３５】
このように振り分けロッド７が前進限位置となると、振り分けピストン５に設けられた振り分け後方シール部材３２は、前進用空気圧室１０を形成するシリンダ内周面と接触しなくなり、振り分け後方シール部材３２と振り分けシリンダ孔３ｂとの間に隙間３５が形成されて、後退用流路１４と前進用空気圧室１０とが連通する。したがって、振り分けピストン５が前進限位置となると、前進用流路１５から前進用空気圧室１０内に流入した空気は隙間３５を介して後退用流路１４と連通状態となるとともに、後退用流路１４から流入した空気は隙間３５を介して前進用空気圧室１０と連通状態となる。
【００３６】
このようにして、全ての振り分けロッド７が前進限位置となった振り分け待機位置の状態（詳細は後述する）のもとで、一部の振り分けロッド７の先端にだけ所定の押し付け力が後方へ加えられると、それらだけが所定のストロークだけ後退方向に振り分け移動することになる。振り分け移動すると、振り分け前方シール部材３１は接触面３４ｄから離れて振り分け前方シール部材３１とピストン保持筒体３４との間には隙間３６が形成されて、後退用流路１４と後退用空気圧室１１とが連通状態となる。一方、振り分け後方シール部材３２は後退用流路１４と前進用空気圧室１０との連通を遮断する。
【００３７】
したがって、振り分けが完了した状態のもとで後退用流路１４に圧縮空気を供給すると、振り分け時に後方への押し付け力が加えられずに前進限位置の状態のままとなっている振り分けロッド７には前進用空気圧室１０に供給される圧縮空気により前進方向の推力が加えられる。このときには流路開閉バルブ２５により前進用流路１５は閉じられているので、前進用空気圧室１０内に流入した空気が外部に漏出することを防止できる。これに対して、振り分け位置にまで後退した振り分けロッド７は、後退用空気圧室１１に圧縮空気が供給されるので、後退限位置に向けて後退移動することになる。このときには、振り分けロッド７が後退限位置まで移動すると、振り分けピストン５が圧縮コイルばね２７に抗して弁軸２５ａとシール部材２５ｂを押し下げて流路開閉バルブ２５は前進用流路１５を開くことになる。
【００３８】
このように、流路開閉バルブ２５は前進用流路１５に供給された圧縮空気を前進用空気圧室１０に案内し、後退用流路１４から前進用空気圧室１０内に圧縮空気が供給されたときには前進用流路１５を閉じるように機能する。さらに、振り分けロッド７が後退限位置まで後退移動すると、振り分けピストン５によって前進用流路１５が開かれることになる。
【００３９】
図４から図９に示すように、上方支持ブロック１ｃの上部には、それぞれの戻し用空気圧室９に連通させて戻し用空気圧室９の内径よりも大径の取付孔３７が形成され、この取付孔３７にはロッドカバー３８が組み込まれており、それぞれのロッドカバー３８はカバー部材１ｄにより固定されている。ロッドカバー３８の前方部分の外径は取付孔３７に嵌合する径であり、その後方部分の外径はそれよりも小径となっており、また前後方向の長さは取付孔３７の深さより少し短くなっている。したがってロッドカバー３８を取付孔３７に組み込んだ状態では、ロッドカバー３８の後方部分の外周及び後端面と取付孔３７との間には隙間が形成され、それらの隙間を介して戻し用流路１２と戻し用空気圧室９が連通されている。ロッドカバー３８にはロッドカバー３８と支持ロッド６との間をシールするためのシール部材３９が組み込まれている。
【００４０】
それぞれの支持ピストン４には、先端部側に支持前方シール部材４１が設けられ、この支持前方シール部材４１に対して所定の距離だけ離れた後端部側に支持後方シール部材４２が設けられている。
【００４１】
図４から図９に示すように、上方支持ブロック１ｃの下部には、それぞれの突出用空気圧室８に連通させて突出用空気圧室８の内径よりも大径の取付孔４３が形成され、この取付孔４３には円筒部４４ａとこれの下部に設けられた端壁部４４ｂとを有する支持ピストン保持筒体４４が組み込まれている。
【００４２】
それぞれの支持ピストン保持筒体４４の円筒部４４ａには、その内部と突出用流路１３とを連通させる開口４４ｃが形成され、開口４４ｃが設けられた部分の円筒部４４ａの内径は支持シリンダ孔３ａの内径よりも大径となっている。さらに、支持ロッド６つまり支持ピストン４が後退限位置となったときに支持後方シール部材４２が入り込んで接触する接触面４４ｄが円筒部４４ａに形成されている。したがって、支持ロッド６が後退限位置となって端壁部４４ｂに支持ピストン４が接触すると、支持後方シール部材４２によって突出用流路１３と突出用空気圧室８との連通が遮断される。
【００４３】
また支持ロッド６が後退限位置となっても、支持ピストン４に設けられた支持前方シール部材４１は、戻し用空気圧室９を形成するシリンダ内周面と接触しており、突出用流路１３と戻し用空気圧室９との連通は遮断される。したがって、支持ピストン４がどの位置にあっても戻し用流路１２から戻し用空気圧室９内に流入した空気は突出用流路１３と連通しないことになる。また支持ピストン４が後退限位置となると、突出用流路１３から流入した空気は戻し用空気圧室９及び突出用空気圧室８の両方とも連通しない状態となる。
【００４４】
したがって、戻し用流路１２に圧縮空気を供給すると、支持ロッド６がどのような位置にあっても後退方向の推力が加えられ、前進限位置となっている振り分けロッド７の先端に支持ピストン４の後端面４ａが当接する中間位置（詳細は後述する）か、又は支持ピストン４の後端面４ａが端壁部４４ｂに接触する後退限位置まで後退移動する。これに対して、突出用流路１３に圧縮空気を供給しても支持ロッド６が後退限位置となっている場合には突出用空気圧室８に空気が供給されないため支持ロッド６はその後退限位置を保持する。しかし支持ロッド６が中間位置などのように後退限位置より前方に位置している場合には、支持後方シール部材４２が接触面４４ｄから離れて突出用流路１３と突出用空気圧室８とを連通状態としているため、突出用流路１３に圧縮空気を供給すると突出用空気圧室８に連通され、支持ロッド６は前進方向の推力が加えられて前進限位置に向けて前進移動することになる。
【００４５】
図１においては、最も右側の１列の支持ロッド６が前進限位置となって示されている。また、図３においては、図１に示された多数の支持ロッド６のうち符号ａ〜ｌが付された１２本の支持ロッド６とそれらに対応する振り分けロッド７が示されており、これらの１２本の支持ロッド６及び振り分けロッド７を、ワーク支持装置の作動状態を説明するためにそれぞれ異なった状態として示している。
【００４６】
図４から図９は、図３のうちから前進用バルブ２２、後退用バルブ２０及び支持ロッド移動用バルブ１７の流路切換位置と、それに対応する２組の支持ロッド６及び振り分けロッド７の作動状態とを示す拡大断面図であり、図４から図９において符号６ａ〜６ｌ及び７ａ〜７ｌは図３における同様の符号の支持ロッド６ａ〜６ｌ及び振り分けロッド７ａ〜７ｌに対応する。
【００４７】
図４において、支持ロッド移動用バルブ１７を排気位置▲２▼に設定し、後退用バルブ２０を排気位置▲１▼に設定し、前進用バルブ２２を排気位置▲２▼に設定すると、ワーク支持装置は初期状態となる。このときには、前進用流路１５、後退用流路１４、突出用流路１３及び戻し用流路１２の全ての流路は大気に開放されるので、全ての支持ロッド６及び振り分けロッド７を小さい押し付け力で後退移動させることができる。また振り分けロッド７を後退移動させた状態とすると、図示するように圧縮コイルばね２７によって前進限位置となっている弁軸２５ａに振り分けピストン５の後端面５ａが接触し、振り分けピストン５は弁体収容筒体２４から離れた状態となる。
【００４８】
この状態のもとで、前進用バルブ２２を供給位置▲１▼に設定すると、図５に示すように前進用流路１５に振り分け用空気圧源１８からの圧縮空気が弁体収容筒体２４内に流入する。これにより、流路開閉バルブ２５の受圧部２５ｃに加わる空気圧によって流路開閉バルブ２５は圧縮コイルばね２７のばね力に抗して下方に移動し、弁軸２５ａと連通孔２４ｄとの間の隙間２８を介して前進用空気圧室１０内に前進用流路１５からの圧縮空気が流入する。したがって、振り分けロッド７ｃ，７ｄは図示するように前進限位置まで移動し、その結果この前進限位置まで前進した振り分けロッド７ｃ，７ｄの先端に当接される支持ロッド６ｃ，６ｄは、前進限位置と後退限位置の間の中間位置に位置して待機準備状態となる。図３及び図５においては、振り分けロッド７ｃ，７ｄに対応する前進用空気圧室１０には点を付して圧縮空気が入り込んだ状態を示している。
【００４９】
この待機準備状態のもとでは、振り分けピストン５と振り分けピストン保持筒体３４との間には隙間３５が形成されるので、前進用流路１５を介して前進用空気圧室１０内に流入した空気は後退用流路１４を介して後退用バルブ２０の排気ポートから外部に流出することになる。そこで、振り分けロッド７ｃ，７ｄが前進限位置となったことを検出したり、後退用バルブ２０の排気ポートから空気が流出したことを検出したり、タイマーによって所定時間が経過したことを検出したら、後退用バルブ２０を排気位置▲１▼から閉塞位置▲２▼に切り換える。これにより、振り分けロッド７ｃ，７ｄは待機完了状態となる。
【００５０】
待機完了状態のもとで、後退用バルブ２０を排気位置▲１▼に切り換えるとともに前進用バルブ２２を排気位置▲２▼に切り換えると、前進用空気圧室１０内の圧縮空気は後退用流路１４を介して外部に排出されて振り分けロッド７が支持ロッド６とともに振り分け移動が可能な状態となる。この振り分け移動可能状態では振り分け前方シール部材３１がピストン保持筒体３４の接触面３４ｄにしめしろをもって挿入され嵌合しているので、振り分けロッド７は後退移動することはなく前進限位置に保持される。この振り分け移動可能状態のもとで、下面に電子部品Ｗａが搭載されたプリント基板Ｗを、それぞれ中間位置となっている支持ロッド６の上に配置された状態のもとでプリント基板Ｗの下面が直接支持ロッド６の先端に接触するまで支持台１に向けて接近させると、電子部品Ｗａに接触する支持ロッド６ｆ及び対応する振り分けロッド７ｆは、図６に示すように電子部品Ｗａの厚みに対応する所定のストロークＳだけ共に後退移動することになり、プリント基板Ｗの下面に直接接触する支持ロッド６ｅ及び対応する振り分けロッド７ｅは共に前進限位置を保持することになる。
【００５１】
このようにして振り分けが完了した後に、後退用バルブ２０を供給位置▲３▼に切り換えると、図７に示すように前進限位置となっている振り分けロッド７ｇに対応する前進用空気圧室１０には後退用流路１４から隙間３５を介して圧縮空気が供給され、振り分け位置（所定のストロークＳだけ後退移動した位置）となっている振り分けロッド７ｈに対応する後退用空気圧室１１には隙間３６（図６参照）を介して圧縮空気が供給されることになる。これにより、中間位置となっている支持ピストン４の後端面４ａに当接しながら前進限位置となっている振り分けピストン５には前進方向の推力が加えられることになるので、振り分けロッド７ｇは確実に前進限位置を保持し、支持ロッド６ｇは確実に中間位置を保持することになる。
【００５２】
一方、所定のストロークだけ電子部品Ｗａにより後退移動した振り分け位置の振り分けロッド７ｈに対応する後退用空気圧室１１に圧縮空気が供給されるので、図示するように後退限位置まで後退移動する。図３及び図７においては、振り分けロッド７ｇに対応する前進用空気圧室１０と、振り分けロッド７ｈに対応する後退用空気圧室１１にはそれぞれ点を付して圧縮空気が流入した状態を示している。
【００５３】
このようにして振り分け位置となった振り分けロッド７ｈを後退移動させた後に、支持ロッド移動用バルブ１７を戻し用供給位置▲１▼に切り換えると、図８に示すように中間位置や振り分け位置に関係なく全ての支持ロッド６に対応する後退用空気圧室１１には後退用流路１４から圧縮空気が供給されることになる。これにより、中間位置となっている支持ロッド６ｉは振り分けロッド７ｉの先端に当接しながら後退方向の推力が加えられることになるが、前述したように支持用空気圧源１６から後退用空気圧室１１に供給される圧縮空気の圧力は０．４ＭＰａであるのに対して、振り分け用空気圧源１８から前進用空気圧室１０に供給される圧縮空気の圧力は０．５ＭＰａであるため、この気圧差が支持力となって振り分けロッド７ｉの前進限位置と支持ロッド６ｉの中間位置は保持される。または支持ピストン４の外径とその支持シリンダ孔３ａの内径よりも、振り分けピストン５の外径とその振り分けシリンダ孔３ｂの内径が大きくても同様の効果が得られる。これにより支持ロッド６ｉは基板搬送時の支持待機状態となる。
【００５４】
一方、振り分け位置となっている支持ロッド６ｊは、それに対応する振り分けロッド７ｊがすでに後退限位置まで後退移動しているため、何ら当接支持されることなく後退限位置まで後退移動する。図３及び図８においては、振り分けロッド７ｉに対応する前進用空気圧室１０と、振り分けロッド７ｊに対応する後退用空気圧室１１及び戻し用空気圧室９には点を付して圧縮空気が入り込んだ状態を示している。
【００５５】
このようにして振り分け位置となった支持ロッド６ｊを後退移動させた後に、支持ロッド移動用バルブ１７を突出用供給位置▲３▼に切り換えると、図９に示すように中間位置となっている支持ロッド６ｋに対応する突出用空気圧室８には突出用流路１３から圧縮空気が供給され、後退限位置となっている支持ロッド６ｌに対応する突出用流路１３は実質的に閉塞した状態となって突出用空気圧室８及び戻し用空気圧室９のどちらにも圧縮空気が供給されないことになる。これにより、中間位置となっている支持ロッド６ｋはその先端がプリント基板Ｗをその下面で直接支持する前進限位置まで前進移動することになる。またこのような基板支持状態となった支持ロッド６ｋには前進方向の推力が加えられることになるので、支持ロッド６ｋに対してプリント基板Ｗから強い押し付け力を加えても支持ロッド６ｋは確実に前進限位置を保持することになる。
【００５６】
一方、振り分け移動時に所定のストロークだけ電子部品Ｗａにより後退移動し、その後に後退限位置まで後退した支持ロッド６ｌは、それに対応する突出用空気圧室８及び戻し用空気圧室９のどちらにも圧縮空気が供給されないためそのまま後退限位置を保持する。図３及び図９においては、振り分けロッド７ｋに対応する前進用空気圧室１０と、振り分けロッド７ｌに対応する後退用空気圧室１１及び支持ロッド６ｋに対応する突出用空気圧室８にはそれぞれ点を付して圧縮空気が流入した状態を示している。
【００５７】
図１０は下面に電子部品Ｗａが搭載されたプリント基板Ｗを支持するための手順を示す工程図であり、図３に示した待機準備状態から基板支持状態までに対応する。図１０にあっては、ワーク支持装置に対するワークの装填手順を概略的に示すために、多数の支持ロッド６のうち４本のみが示されている。
【００５８】
図１０（Ａ）は初期状態から前進用バルブ２２を供給位置▲１▼に入れて図５の待機準備状態に対応する状態を示しており、振り分け移動を行うために全ての支持ロッド６を中間位置に設定している。この状態のもとで前進用バルブ２２を排気位置▲２▼に切り換えて振り分け移動可能状態とした後に、図１０（Ｂ）に示すようにワークであるプリント基板Ｗをその下面表面に支持ロッド６の先端が接触するまで上から押し付けて各支持ロッド６の振り分け移動が行われる。ここで図１０（Ｂ）中において、中間位置のままとなっている支持ロッド６ｍ，６ｑは図６中の支持ロッド６ｅに対応し、図１０（Ｂ）中の振り分け位置となっている支持ロッド６ｎ，６ｐはそれぞれ図６中の支持ロッド６ｆに対応している。
【００５９】
次にプリント基板Ｗを外した後で、後退用バルブ２０を供給位置▲３▼に切り換えて振り分け位置の振り分けロッド７を後退移動させ（図７参照）、その後に支持ロッド移動用バルブ１７を戻し用供給位置▲１▼に切り換えることにより振り分け位置の支持ロッド６ｎ，６ｐだけが後退限位置まで退避移動し、その結果図１０（Ｃ）に示すような中間位置の支持ロッドだけが突出する支持待機状態となる。この状態では支持ロッド６ｍ，６ｑはそれぞれ図８中の支持ロッド６ｉに対応し、図１０（Ｃ）中の支持ロッド６ｎ，６ｐは図８中の支持ロッド６ｊに対応している。この支持待機状態でプリント基板Ｗが横方向に移動して所定位置まで搬入された後、支持ロッド移動用バルブ１７を突出用供給位置▲３▼に切り換えることで図９に対応する基板支持状態となり、図１０（Ｄ）に示すように中間位置にあった支持ロッド６ｍ，６ｑだけが前進限位置まで移動してプリント基板Ｗの下面に接触支持する。
【００６０】
そして基板上面へ部品を搭載するなどの処理を終えた後に、支持ロッド移動用バルブ１７を戻し用供給位置▲１▼に切り換えることにより前進限位置でプリント基板Ｗに接触支持していた支持ロッド６ｍ，６ｑが中間位置まで退避移動し支持待機状態に戻ることになる。この状態で図１０（Ｅ）に示すようにプリント基板Ｗが同じ高さを保持したまま横方向に移動して搬出される。以降、図１０（Ｃ）、図１０（Ｄ）、図１０（Ｅ）の状態を繰り返すことになる。
【００６１】
ここで図１０（Ｃ）の基板搬入時と図１０（Ｅ）の基板搬出時の支持待機状態おいては、支持ロッド６ｍ，６ｑがプリント基板Ｗの下面に接触する前進限位置より十分に低い中間位置にまで退避していることから、プリント基板Ｗは高さを保持したまま横方向に搬送移動しても基板下面に搭載されている電子部品Ｗａと支持ロッド６の接触を回避できる。したがって本発明のワーク支持装置によれば、プリント基板Ｗに対して大型で高価なマウンター装置などを用いて昇降移動しなくともベルトコンベアなどによる横方向移動のみでプリント基板Ｗの搬送と支持を繰り返すことができる。
【００６２】
図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）はそれぞれ本発明の他の実施の形態であるワーク支持装置の一部を示す断面図であり、これらの図においては前述した場合と共通する部材には同一の符号が付されている。図１１（Ａ）に示す場合において、振り分けピストン５の前端面５ｂ側のピストン保持筒体３４には振り分けロッド７を囲むようにマグネット４５が装着されており、振り分けロッド７つまり振り分けピストン５が前進限位置となったときには、振り分け前方シール部材３１と円筒部３４ａの接触面３４ｄとの嵌合力に加えて、振り分けピストン５はマグネット４５の磁力により前進限位置に保持される。また同様に支持ピストン４の前端面４ｂ側のロッドカバー３８においても支持ロッド６を囲むようにマグネット４５が装着されており、支持ロッド６及び支持ピストン４が前進限位置となったときには磁力により前進限位置に保持される。したがって、この場合には振り分けピストン５及び支持ピストン４としては磁性材料を使用したり、マグネットを埋め込むことになる。なお、マグネット４５の形状は、振り分けロッド７や支持ロッド６を囲むようなリング形状でもよいが、他にも立方体などのブロック形状のものでも同様の機能が得られる。
【００６３】
図１１（Ｂ）に示す場合には、ロッドカバー３８には支持ロッド６ｒに形成された係合溝４６に係合する係合部材４７が装着されており、支持ロッド６ｒが前進限位置となったときには、支持ピストン４は係合部材４７が係合溝４６に係合することにより保持力が加えられる。また同様に振り分けピストン５の前端面５ｂ側の振り分けピストン３４においても、振り分けロッド７ｒに形成された係合溝４６に係合する係合部材４７が装着されており、振り分けピストン５は係合部材４７が係合溝４６に係合することにより保持力が加えられる。図１１（Ａ），（Ｂ）にあっては、それぞれ１組の支持ロッド６、振り分けロッド７の部分を示すが、他の全ての支持ロッド６、振り分けロッド７についても同様の構造となっている。
【００６４】
流路開閉バルブ２５は、前進用流路１５に供給された圧縮空気を前進用空気圧室１０に案内し、後退用流路１４から前進用空気圧室１０に圧縮空気が供給された場合には前進用流路１５を閉じる逆止弁としての機能と、振り分けロッド７が後退限位置となったときには前進用流路１５を開放する機能を有していれば、図示する構造に限られるものではない。
【００６５】
各支持ロッド６の振り分け移動の作業は、図１０（Ｂ）に示すように下面に電子部品を搭載した実際の実装基板を押し付ける方法に限られるものではなく、例えば支持ロッド６と同じ径のダミー部材を制御装置によって部品に対応する配置の支持ロッド６に巡回させ、それら１つ１つの先端を押し込むようにしてティーチングすることにより振り分け移動の作業を行うことも可能である。
【００６６】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、図１に示すワーク支持装置は、ワークであるプリント基板Ｗを支持してその上面に電子部品を搭載する場合を示すが、プリント基板Ｗの上面にクリームハンダを塗布する際などにも本発明のワーク支持装置を使用することができる。また、支持ロッド６は、図１に示すように、マトリックス状に配置することなく、ランダムに配置するようにしても良い。さらに、図示するワーク支持装置にあっては、支持ロッド６が上下方向に移動するようにしているが、水平方向でも傾斜方向でも任意の方向に前進後退移動させて使用することができる。
【００６７】
【発明の効果】
本発明によれば、多数併設されている支持ロッドのうち任意の配置の支持ロッドを選択して基板の下面に接触支持させることができるとともに、その基板を支持する支持ロッドを中間位置と支持位置の間に往復移動させることができるため、基板は高さを保持したまま横方向に移動して搬送させても基板下面に搭載されている部品と支持ロッドとの接触を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態であるワーク支持装置を示す斜視図である。
【図２】（Ａ）は図１における２Ａ−２Ａ線に沿う拡大断面図であり、（Ｂ）は図１における２Ｂ−２Ｂ線に沿う拡大断面図であり、（Ｃ）は図１における２Ｃ−２Ｃ線に沿う拡大断面図であり、（Ｄ）は図１における２Ｄ−２Ｄ線に沿う拡大断面図である。
【図３】図１における３−３線に沿って概略的に示した拡大断面図である。
【図４】初期状態となっているワーク支持装置の一部を示す拡大断面図である。
【図５】待機完了状態となっているワーク支持装置の一部を示す拡大断面図である。
【図６】振り分け移動中の状態のワーク支持装置の一部を示す拡大断面図である。
【図７】振り分け移動後の状態となっているワーク支持装置の一部を示す拡大断面図である。
【図８】支持待機状態となっているワーク支持装置の一部を示す拡大断面図である。
【図９】基板支持状態となっているワーク支持装置の一部を示す拡大断面図である。
【図１０】（Ａ）〜（Ｅ）は下面に電子部品が搭載されたプリント基板を支持するための手順を示す工程図である。
【図１１】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ本発明の他の実施の形態であるワーク支持装置の一部を示す断面図である。
【符号の説明】
１　　　　支持台
１ａ　　　基台プレート
１ｂ　　　下方支持ブロック
１ｃ　　　上方支持ブロック
１ｄ　　　カバー部材
２　　　　ねじ部材
３　　　　シリンダ孔対
３ａ　　　支持シリンダ孔
３ｂ　　　振り分けシリンダ孔
４　　　　支持ピストン
５　　　　振り分けピストン
６　　　　支持ロッド
７　　　　振り分けロッド
８　　　　突出用空気圧室
９　　　　戻し用空気圧室
１０　　　前進用空気圧室
１１　　　後退用空気圧室
１２　　　戻し用流路
１３　　　突出用流路
１４　　　後退用流路
１５　　　前進用流路
１６　　　支持用空気圧源
１７　　　支持ロッド移動用バルブ
１８　　　振り分け用空気圧源
２０　　　後退用バルブ
２２　　　前進用バルブ
２５　　　流路開閉バルブ
３１　　　振り分け前方シール部材
３２　　　振り分け後方シール部材
３５　　　隙間
３６　　　隙間
４１　　　支持前方シール部材
４２　　　支持後方シール部材
４５　　　マグネット
４６　　　係合溝
４７　　　係合部材
Ｗ　　　　プリント基板
Ｗａ　　　電子部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2004074342.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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