(57)【要約】【課題】フッ化カルシウム粉末の純度をほとんどあるいは全く低下させずに、フッ化カルシウム粉末の包含水を除去することができる方法を提供すること。【解決手段】包含水を含むフッ化カルシウム粉末を、フッ化カルシウム粉末の焼結体からなるフッ化カルシウム製るつぼに入れて焼成する。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ化カルシウム粉末の焼結体からなるフッ化カルシウム製るつぼ。
【請求項２】
フッ化カルシウム粉末の純度が９９．８質量％以上であることを特徴とする請求項１に記載のフッ化カルシウム製るつぼ。
【請求項３】
フッ化カルシウム粉末が、マグネシウム化合物含有量がマグネシウム量に換算して１５質量ｐｐｍ以下、ストロンチウム化合物含有量がストロンチウム量に換算して１５０質量ｐｐｍ以下、鉄化合物含有量が鉄量に換算して３質量ｐｐｍ以下、クロム化合物含有量がクロム量に換算して１．５質量ｐｐｍ以下、ニッケル化合物含有量がニッケル量に換算して１．５質量ｐｐｍ以下にあることを特徴とする請求項１もしくは２に記載のフッ化カルシウム製るつぼ。
【請求項４】
見掛け気孔率が、０．１〜２５％の範囲にあることを特徴とする請求項１に記載のフッ化カルシウム製るつぼ。
【請求項５】
カルシウム塩とフッ化水素酸とを水中にて反応させてフッ化カルシウムを合成する工程、フッ化カルシウムを乾燥して粉末状にする工程、フッ化カルシウム粉末をるつぼ状にプレス成形する工程、そして成形体を６００〜１３００℃の温度で焼成して、フッ化カルシウム粉末を焼結させる工程を含むことを特徴とするフッ化カルシウム製るつぼの製造方法。
【請求項６】
カルシウム塩として難水溶性カルシウム塩粉末を用い、水中に懸濁させた状態でフッ化水素酸と反応させることを特徴とする請求項５に記載の製造方法。
【請求項７】
難水溶性カルシウム塩粉末が炭酸カルシウム粉末であることを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【請求項８】
炭酸カルシウム粉末が、マグネシウム化合物含有量がマグネシウム量に換算して１０質量ｐｐｍ以下、ストロンチウム化合物含有量がストロンチウム量に換算して１００質量ｐｐｍ以下、鉄化合物含有量が鉄量に換算して２質量ｐｐｍ以下、クロム化合物含有量がクロム量に換算して１質量ｐｐｍ以下、ニッケル化合物含有量がニッケル量に換算して１質量ｐｐｍ以下にあることを特徴とする請求項７に記載の製造方法。
【請求項９】
フッ化カルシウム粉末をるつぼ状にプレス成形する工程の前に、フッ化カルシウム粉末を１５０〜８００℃の温度で焼成して、フッ化カルシウムの包含水を除去する工程を含む請求項５に記載の製造方法。
【請求項１０】
包含水を含むフッ化カルシウム粉末を、フッ化カルシウム粉末の焼結体からなるフッ化カルシウム製るつぼに入れて、１５０〜１０００℃の温度で焼成することを特徴とするフッ化カルシウム粉末の包含水の除去方法。
【請求項１１】
包含水を除去したフッ化カルシウム粉末が、フッ化カルシウム単結晶体製造用であることを特徴とする請求項１０に記載の包含水の除去方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、包含水を含むフッ化カルシウム粉末から包含水を除去する際に有利に用いることができるフッ化カルシウム製るつぼに関する。
【０００２】
【従来の技術】
フッ化カルシウム単結晶体は、紫外線透過率に優れているので、エキシマレーザ（例：ＡｒＦレーザ、Ｆ２レーザ）のステッパーレンズなどの各種光学系部品用の材料として注目されている。フッ化カルシウム単結晶体は、フッ化カルシウム粉末を加熱して溶融させた後、徐冷することにより製造されている。
【０００３】
フッ化カルシウム粉末の原料として、従来より、天然蛍石が知られているが、光学系部品用フッ化カルシウム単結晶体の原料として使用するには、天然蛍石は純度が低い。そのために、光学系部品用フッ化カルシウム単結晶体の原料としては、高純度のカルシウム塩（例：炭酸カルシウム）とフッ化水素酸とを水中で反応させて得たフッ化カルシウム粉末が多用されている。
【０００４】
上記のフッ化カルシウム粉末には、フッ化カルシウム分子により包含された包含水が存在する。この包含水は、単結晶体の原料として使用する前に、フッ化カルシウム粉末を１５０〜１０００℃（特に、５００〜７００℃）の温度で焼成することによって除去するのが一般的である。フッ化カルシウム粉末の包含水除去処理には、一般にアルミナ製るつぼ、あるいはカーボン製るつぼが使用されている。しかしながら、そのようなるつぼを使用して包含水の除去を行なうと、るつぼの材料であるアルミナあるいはカーボンが混入して、フッ化カルシウム粉末を汚染し、その純度を低下させるという問題がある。フッ化カルシウム粉末に混入した不純物分は、フッ化カルシウム単結晶体の光学特性を低下させる等、単結晶体製造上の問題を引き起こすため、不純分の混入は極力避けなければならない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、フッ化カルシウム粉末の純度をほとんどあるいは全く低下させずに、フッ化カルシウム粉末の包含水を除去することができる焼成用容器（るつぼ）及びその製造方法を提供することにある。本発明の目的はまた、フッ化カルシウム粉末の純度をほとんどあるいは全く低下させずに、フッ化カルシウム粉末の包含水を除去することができる方法を提供することにもある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、フッ化カルシウム粉末の焼結体からなるフッ化カルシウム製るつぼにある。
【０００７】
本発明のフッ化カルシウム製るつぼの好ましい態様は下記の通りである。
（１）フッ化カルシウム粉末の純度が９９．８質量％以上である。
（２）フッ化カルシウム粉末が、マグネシウム化合物含有量がマグネシウム量に換算して１５質量ｐｐｍ以下、ストロンチウム化合物含有量がストロンチウム量に換算して１５０質量ｐｐｍ以下、鉄化合物含有量が鉄量に換算して３質量ｐｐｍ以下、クロム化合物含有量がクロム量に換算して１．５質量ｐｐｍ以下、ニッケル化合物含有量がニッケル量に換算して１．５質量ｐｐｍ以下にある。
（３）見掛け気孔率が、０．１〜２５％の範囲にある。
【０００８】
本発明はまた、カルシウム塩とフッ化水素酸とを水中にて反応させてフッ化カルシウムを合成する工程、フッ化カルシウムを乾燥して粉末状にする工程、フッ化カルシウム粉末をるつぼ状にプレス成形する工程、そして成形体を６００〜１３００℃の温度で焼成して、フッ化カルシウム粉末を焼結させる工程を含むことを特徴とするフッ化カルシウム製るつぼの製造方法にもある。
【０００９】
本発明のフッ化カルシウム製るつぼの製造方法の好ましい態様は下記の通りである。
（１）カルシウム塩として難水溶性カルシウム塩粉末を用い、水中に懸濁させた状態でフッ化水素酸と反応させる。
（２）上記の難水溶性カルシウム塩粉末が炭酸カルシウム粉末である。
（３）上記の炭酸カルシウム粉末が、マグネシウム化合物含有量がマグネシウム量に換算して１０質量ｐｐｍ以下、ストロンチウム化合物含有量がストロンチウム量に換算して１００質量ｐｐｍ以下、鉄化合物含有量が鉄量に換算して２質量ｐｐｍ以下、クロム化合物含有量がクロム量に換算して１質量ｐｐｍ以下、ニッケル化合物含有量がニッケル量に換算して１質量ｐｐｍ以下にある。
（４）フッ化カルシウム粉末をるつぼ状にプレス成形する工程の前に、フッ化カルシウム粉末を、１５０〜８００℃の温度で焼成して、フッ化カルシウムの包含水を除去する工程を含む。
【００１０】
本発明はさらに、包含水を含むフッ化カルシウム粉末を、フッ化カルシウム粉末の焼結体からなるフッ化カルシウム製るつぼに入れて、１５０〜１０００℃の温度で焼成することを特徴とするフッ化カルシウム粉末の包含水の除去方法にもある。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明のフッ化カルシウム製るつぼは、フッ化カルシウム粉末の焼結体からなる。本発明のフッ化カルシウム製るつぼを用いて包含水を除去したフッ化カルシウム粉末は、アルミナ製るつぼ、あるいはカーボン製るつぼなどの公知のるつぼを用いて包含水を除去したフッ化カルシウム粉末と比較して、るつぼから混入する不純物量は殆どない。
【００１２】
本発明のフッ化カルシウム製るつぼを用いて、フッ化カルシウム粉末の包含水の除去を行なう場合にも、るつぼを構成するフッ化カルシウム粉末（焼結体）の一部が包含水除去の対象であるフッ化カルシウム粉末に混入することがある。従って、るつぼの原料となるフッ化カルシウム粉末は、純度が９９．８質量％以上であることが好ましい。ここで、フッ化カルシウム粉末の純度は、フッ化カルシウム粉末中のマグネシウム化合物、ストロンチウム化合物、鉄化合物、クロム化合物、及びニッケル化合物をそれぞれマグネシウム量、ストロンチウム量、鉄量、クロム量、及びニッケル量として分析し、その総含有量を百分率で合算して１００質量％から差し引いた値である。フッ化カルシウム粉末のマグネシウム化合物含有量はマグネシウム量に換算して１５質量ｐｐｍ以下、ストロンチウム化合物含有量はストロンチウム量に換算して１５０質量ｐｐｍ以下、鉄化合物含有量は鉄量に換算して３質量ｐｐｍ以下、クロム化合物含有量はクロム量に換算して１．５質量ｐｐｍ以下、そしてニッケル化合物含有量はニッケル量として１．５質量ｐｐｍ以下にあることが好ましい。なお、カルシウム塩とフッ化水素酸とを水中にて反応させて製造したフッ化カルシウム粉末では、その不純物は主にその原料となるカルシウム塩から混入する。従って、フッ化カルシウム粉末の純度、及び不純物含有量は、その原料となるカルシウム塩中のマグネシウム量、ストロンチウム量、鉄量、クロム量、及びニッケル量から算出することができる。
【００１３】
本発明のフッ化カルシウム製るつぼは、見掛け気孔率が、０．１〜２５％の範囲にあることが好ましい。見掛け気孔率が０．１％よりも小さくなると、るつぼの熱的な衝撃に対する抵抗が小さくなる傾向にある。一方、見掛け気孔率が２５％よりも大きくなると、機械的な衝撃に対する抵抗が小さくなる傾向にある。
【００１４】
本発明のフッ化カルシウム製るつぼの具体例を添付図面により、説明する。
【００１５】
図１は、本発明に従うフッ化カルシウム製るつぼの一例の断面図である。
図１には、上部が開口し下部が閉じたるつぼ１０と、るつぼ１１の開口部を塞ぐための上蓋１１とからなる蓋付きるつぼが示されている。本発明において、るつぼ１０はフッ化カルシウム粉末焼結体から形成されているが、上蓋１１は必ずしもフッ化カルシウム粉末焼結体から形成されている必要はない。但し、上蓋１１もまた、フッ化カルシウム粉末焼結体から形成されていることが好ましい。るつぼ１０のサイズに特に制限はないが、一般に、外径が４０〜５００ｍｍ、肉厚１０〜５０ｍｍ、高さ４０〜５００ｍｍである。
【００１６】
図２は、本発明に従うフッ化カルシウム製るつぼの別の一例の断面図である。図２には、図１と同様に、上部が開口し下部が閉じたるつぼ２０と、るつぼ２０の開口部を塞ぐための上蓋２１とからなる蓋付きるつぼが示されている。図２において、るつぼ２０は、互いに着脱可能な筒体２２と底板２３とから構成されている。筒体２２及び底板２３は、それぞれフッ化カルシウム粉末焼結体から形成されている。図２のるつぼは、筒体２２と底板２３とが着脱可能であるから、るつぼを用いて焼成した焼成物の取り出しが簡便になる。筒体２２のサイズに特に制限はないが、一般に、外径が４０〜５００ｍｍ、肉厚１０〜５０ｍｍ、高さ４０〜５００ｍｍである。
【００１７】
図３は、本発明に従うフッ化カルシウム製るつぼのさらに別の一例の断面図である。図３には、図１と同様に、上部が開口し下部が閉じたるつぼ３０と、るつぼ３０の開口部を塞ぐための上蓋３１とからなる蓋付きるつぼが示されている。図３において、るつぼ３０は、互いに着脱可能な複数個のリング状筒体３２と底板３３とから構成されている。リング状筒体３２及び底板３３は、それぞれフッ化カルシウム粉末焼結体からなる。図３のるつぼでは、リング状筒体３２の積層数により、るつぼ全体の高さを調整することができる。リング状筒体３２のサイズに特に制限はないが、一般に、外径が４０〜５００ｍｍ、肉厚１０〜５０ｍｍ、高さ１０〜２５０ｍｍである。
【００１８】
図４は、本発明に従うフッ化カルシウム製るつぼのさらにまた別の一例の断面図である。図４には、図１と同様に、上部が開口し下部が閉じたるつぼ４０と、るつぼ４０の開口部を塞ぐための上蓋４１とからなる蓋付きるつぼが示されている。図４において、るつぼ４０は二重構造であり、図１のフッ化カルシウム製るつぼと同じ形状のフッ化カルシウム製るつぼ４２と、その外側に配置されたフッ化カルシウム製るつぼ４２よりも熱的に安定な外側のるつぼ４３とから構成されている。外側のるつぼ４３の具体例としては、アルミナ製るつぼ、カーボン製るつぼ、及び白金製るつぼを挙げることができる。図４のるつぼは、その使用時に、フッ化カルシウム製るつぼ４２が割れても、その破片が飛散しにくくなる。なお、本発明においては、フッ化カルシウム製るつぼの見掛け気孔率は、上述の通り、通常は０．１〜２５％の範囲にあるが、図４の二重構造のるつぼに用いる場合は、外側のるつぼ４３からの揮発成分をるつぼの内部に侵入させにくくするために、フッ化カルシウム製るつぼ４２の見掛け気孔率は０．１〜１０％の範囲にあることが好ましい。
【００１９】
本発明のフッ化カルシウム製るつぼの製造方法は、カルシウム塩とフッ化水素酸とを水中にて反応させてフッ化カルシウムを合成する工程、フッ化カルシウムを乾燥して粉末状にする工程、フッ化カルシウム粉末をるつぼ状にプレス成形する工程、そして成形体を６００〜１３００℃の温度で焼成して、フッ化カルシウム粉末を焼結させる工程を含むことを特徴とする。
【００２０】
フッ化カルシウムの合成に用いるカルシウム塩の純度は、９９．９質量％以上であることが好ましい。ここで、カルシウム塩の純度は、カルシウム塩中のマグネシウム化合物、ストロンチウム化合物、鉄化合物、クロム化合物、及びニッケル化合物をそれぞれマグネシウム量、ストロンチウム量、鉄量、クロム量、及びニッケル量として分析し、その総含有量を百分率で合算して１００質量％から差し引いた値である。
【００２１】
フッ化カルシウムの合成は、カルシウム塩として水溶性カルシウム塩粉末（例、塩化カルシウム粉末、硝酸カルシウム粉末）を用い、これを水に溶解させた状態でフッ化水素酸と反応させることにより、あるいは難水溶性カルシウム塩粉末（例、水酸化カルシウム粉末、炭酸カルシウム粉末）を用い、これを水中に懸濁させた状態でフッ化水素酸と反応させることにより行なうことができる。カルシウム塩を水に溶解させてフッ化水素酸と反応させると得られるフッ化カルシウムは、一般に微粒子となりやすく乾燥しにくい傾向にある。このため、フッ化カルシウムの合成は、難水溶性カルシウム塩粉末を水中に懸濁させた状態でフッ化水素酸と反応させることにより行なうことが好ましい。
【００２２】
フッ化カルシウムの合成に用いる難水溶性カルシウム塩粉末としては、特に炭酸カルシウム粉末が好ましい。また、難溶性カルシウム塩粉末の粒子径は、０．０１〜１００μｍの範囲にあることが好ましく、０．０１〜５０μｍの範囲にあることがより好ましい。
【００２３】
フッ化カルシウムの合成に用いる炭酸カルシウム粉末の具体的な例としては、宇部マテリアルズ株式会社より販売されている、グレードがＣＳ−３Ｎ、ＣＳ−４Ｎ、ＣＳ−５Ｎの高純度炭酸カルシウム粉末を挙げることができる。
【００２４】
ＣＳ−３Ｎは、純度が９９．９質量％以上であり、マグネシウム化合物含有量がマグネシウム量に換算して１０質量ｐｐｍ以下、ストロンチウム化合物含有量がストロンチウム量に換算して１００質量ｐｐｍ以下、鉄化合物含有量が鉄量に換算して２質量ｐｐｍ以下、クロム化合物含有量がクロム量に換算して１質量ｐｐｍ以下、ニッケル化合物含有量がニッケル量に換算して１質量ｐｐｍ以下の炭酸カルシウム粉末である。
【００２５】
ＣＳ−４Ｎは、純度が９９．９９質量％以上であり、マグネシウム化合物含有量がマグネシウム量に換算して５質量ｐｐｍ以下、ストロンチウム化合物含有量がストロンチウム量に換算して３０質量ｐｐｍ以下、鉄化合物含有量が鉄量に換算して０．５質量ｐｐｍ以下、クロム化合物含有量がクロム量に換算して０．５質量ｐｐｍ以下、ニッケル化合物含有量がニッケル量に換算して１質量ｐｐｍ以下の炭酸カルシウム粉末である。
【００２６】
ＣＳ−５Ｎは、純度が９９．９９９質量％以上であり、マグネシウム化合物含有量がマグネシウム量に換算して０．５質量ｐｐｍ以下、ストロンチウム化合物含有量がストロンチウム量に換算して９質量ｐｐｍ以下、鉄化合物含有量が鉄量に換算して０．１質量ｐｐｍ以下、クロム化合物含有量がクロム量に換算して０．１質量ｐｐｍ以下、ニッケル化合物含有量がニッケル量に換算して０．１質量ｐｐｍ以下の炭酸カルシウム粉末である。
【００２７】
カルシウム塩とフッ化水素酸の混合割合は、カルシウム塩中のカルシウムのモル量に対して、フッ化水素酸のフッ化水素のモル量が２倍以上となる割合とすることが好ましい。
【００２８】
水中で合成したフッ化カルシウムを乾燥して粉末状にする方法としては、脱水により水とフッ化カルシウムとを分離した後、加熱して乾燥する方法、あるいはスプレードライ法を挙げることができる。
【００２９】
フッ化カルシウム粉末をるつぼ状にプレス成形する方法としては、ラバープレス法などの公知の方法を使用することができる。成形圧は、５００〜１５００ｋｇ／ｃｍ２の範囲とすることが好ましい。なお、フッ化カルシウム粉末の成形性を高めるために、バインダーをフッ化カルシウム粉末に添加してもよいが、フッ化カルシウム粉末にバインダーを加えると、るつぼにバインダー成分（特に、カーボン）が残留することがあるため、通常はバインダーは使用しない。
【００３０】
成形体の焼成は、酸素濃度が低い状態（減圧下又は不活性ガス雰囲気下）で行なうことが好ましい。焼成温度は、７５０〜８００℃の範囲にあることが好ましい。焼成時間は、成形体のサイズ（特に、厚さ）や焼成温度などの要件により変わるので一律に定めることはできないが、一般に１〜４８時間である。なお、水中で合成したフッ化カルシウム粉末は包含水を含んでいるため、焼成時に包含水が蒸発して成形体が割れることがある。このような成形体の割れを防止するため、フッ化カルシウム粉末をるつぼ状にプレス成形する前に、フッ化カルシウム粉末を１５０〜８００℃の温度で焼成することにより、フッ化カルシウム粉末の包含水をあらかじめ除去しておくことが好ましい。
【００３１】
るつぼ製造用のフッ化カルシウム粉末の包含水除去処理には、アルミナ製るつぼ、あるいはカーボン製るつぼなどの公知のるつぼを用いてもよい。アルミナ製るつぼ、あるいはカーボン製るつぼを用いて包含水除去処理を行なうと、フッ化カルシウム粉末にアルミナあるいはカーボンが数十質量ｐｐｍ程度混入することがあるが、アルミナやカーボンの混入量が数十質量ｐｐｍ程度のフッ化カルシウム製るつぼを用いて、例えば、単結晶体製造用のフッ化カルシウム粉末の包含水除去処理を行なっても、実質的に問題となる量までアルミナやカーボンがそのフッ化カルシウム粉末に混入することは殆どない。
【００３２】
本発明のフッ化カルシウム粉末の包含水の除去方法では、包含水を含むフッ化カルシウム粉末を、フッ化カルシウム粉末の焼結体からなるフッ化カルシウム製るつぼに入れて、１５０〜１０００℃の温度で焼成する。焼成温度は、５００〜８００℃の範囲であることが好ましい。また、フッ化カルシウム粉末の焼成は、酸素濃度が低い状態（減圧下又は不活性ガス雰囲気下）で行なうことが好ましい。本発明の方法によれば、従来のアルミナ製るつぼ、あるいはカーボン製るつぼを使用した場合と比べて、フッ化カルシウム粉末に混入する不純物が殆どない。従って、本発明の包含水の除去方法により、包含水を除去したフッ化カルシウム粉末は、フッ化カルシウム単結晶体製造用の原料として有利に使用することができる。
【００３３】
【実施例】
以下、本発明を実施例により説明する。なお、本実施例において、るつぼの見掛け気孔率、見掛け比重、かさ比重は、日本学術振興会第１２４委員会試験法分科会において定められた学振法２．マグネシアクリンカーの見掛け気孔率、見掛け比重、かさ比重の測定方法に準じて測定した。
【００３４】
［実施例１］
（１）フッ化カルシウム粉末の製造
下記の表１に示す性状の炭酸カルシウム粉末（宇部マテリアルズ（株）製、ＣＳ−３Ｎグレード品）を水に懸濁させて、濃度２０質量％の炭酸カルシウムスラリーを調製した。
【００３５】
【表１】
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【００３６】
上記の炭酸カルシウムスラリーを撹拌しながら、これにフッ化水素酸（濃度：５０％）を、スラリー中の炭酸カルシウムのモル数に対してフッ化水素のモル数が２倍以上になる量にて添加し、さらに１時間撹拌を続けた。次に、スラリーにアンモニア水を加えて、これを中和した後、ろ過した。得られた固形物を１１０℃の温度で乾燥した後、解砕機で解砕して粒径が１ｍｍ以下の粉末とした。こうして得られた粉末は、Ｘ線回折法による分析結果から、フッ化カルシウム粉末であることが確認された。
【００３７】
（２）るつぼの製造
上記のようにして得たフッ化カルシウム粉末を、アルミナ製るつぼに入れ、５００℃の温度で１時間焼成して、フッ化カルシウム粉末の包含水を除去した。次いで、フッ化カルシウム粉末からラバープレス（成形圧１０００ｋｇ／ｃｍ２）を使用して、るつぼ状成形体を形成した。最後に、このるつぼ状成形体を窒素ガス雰囲気下、８００℃で３時間焼成して、図１に示すような形状のフッ化カルシウム製るつぼ（サイズ：外径４０ｍｍ×内径２７ｍｍ×高さ５５ｍｍ）を製造した。このフッ化カルシウムるつぼは、見掛け気孔率が０．３０１％、見かけ比重が３．１５、かさ比重が３．１４であった。
【００３８】
［実施例２］
炭酸カルシウム粉末に下記の表２に示す性状の炭酸カルシウム粉末（宇部マテリアルズ（株）製、ＣＳ−３Ｎグレード品）を用い、フッ化カルシウム粉末の焼成温度を３００℃とした以外は、実施例１と同じ操作を行なって、フッ化カルシウム製るつぼを製造した。このフッ化カルシウム製るつぼは、見掛け気孔率が２０．６％、見かけ比重が３．１０、かさ比重が２．４５であった。
【００３９】
【表２】
2004123417.tif 000004
注）炭酸カルシウム粒子の粒子径は、ほとんどが５０μｍ以下である。
【００４０】
【発明の効果】
本発明のフッ化カルシウム製るつぼを用いることにより、フッ化カルシウム粉末の純度をほとんどあるいは全く低下させずに、フッ化カルシウム粉末の包含水を除去することができる。本発明の包含水の除去方法により包含水が除去されたフッ化カルシウム粉末は、不純物の混入量が少ないので、各種光学系部品用のフッ化カルシウム単結晶体の製造原料として有利に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従うフッ化カルシウム製るつぼの一例の断面図である。
【図２】本発明に従うフッ化カルシウム製るつぼの別の一例の断面図である。
【図３】本発明に従うフッ化カルシウム製るつぼのさらに別の一例の断面図である。
【図４】本発明に従うフッ化カルシウム製るつぼのさらにまた別の一例の断面図である。
【符号の説明】
１０　るつぼ
１１　上蓋
２０　るつぼ
２１　上蓋
２２　筒体
２３　底板
３０　るつぼ
３１　上蓋
３２　リング状筒体
３３　底板
４０　るつぼ
４１　上蓋
４２　フッ化カルシウム製るつぼ
４３　外側るつぼ
【図１】
2004123417.tif 000005
【図２】
2004123417.tif 000006
【図３】
2004123417.tif 000007
【図４】
2004123417.tif 000008