(57)【要約】【課題】磁気インピーダンス効果を利用した磁気インピーダンス素子を利用した磁気検出素子は、線形な出力を得るための条件と、線形な出力が得られる磁界の大きさは、磁気インピーダンス素子の特性に起因する。このため、限られた動作範囲内で検出感度を上げるために、交流バイアス磁界を磁気インピーダンス素子に印加する方法がとられているが、サーマルリレー等の過負荷電流保安装置への応用を考えた場合、電流検出範囲は狭く、実用に適していないといった欠点があった。【解決手段】磁気インピーダンス素子に印加するバイアス磁界としては、先ず正負均等のバイアス磁界を印加することにより、得られた出力の極性から被測定磁界の磁界極性を判断し、その判断された外部磁界極性に有効な磁界極性で、磁界強調程度が異なる可変型バイアス磁界を発生する構成とする。【選択図】　　　　図１
2004045332.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気インピーダンス効果を有する磁気インピーダンス素子と、前記磁気インピーダンス素子の両端に高周波駆動電流を印加する電流印加手段と、前記磁気インピーダンス素子に巻き回しされたバイアスコイルと、前記バイアスコイルに低周波バイアス電流を印加するバイアス電流印加手段とを有し、前記低周波バイアス電流により磁界強度が変化するバイアス磁界と、被測定外部磁界とにより、前記磁気インピーダンス素子のインピーダンス変化に応じた出力差から外部磁界を検出する磁気検出装置において、
前記バイアス電流印加手段は、強度の異なる磁界が時間変化する可変型バイアス磁界を設定でき、被測定外部磁界の極性に応じて、前記可変型バイアス磁界の磁界強度を選択して前記磁気インピーダンス素子に印加することを特徴とする磁気検出装置。
【請求項２】
前記磁気インピーダンス素子に印加する前記可変型バイアス磁界は、正磁界型のバイアス磁界と、負磁界型のバイアス磁界と、正磁界側強調型のバイアス磁界と、負磁界側強調型のバイアス磁界とであって、
かつ、前記正磁界型のバイアス磁界は正の極性を持つ磁界であり、
前記正磁界側強調型のバイアス磁界は磁界強度の異なる強い正磁界と弱い負磁界により構成され磁界極性の強調程度が異なる磁界であり、
前記負磁界型のバイアス磁界は負の極性を持つ磁界であり、
前記負磁界側強調型のバイアス磁界は強い負磁界と弱い正磁界により構成され磁界極性の強調程度が異なる磁界であることを特徴とする請求項１に記載の磁気検出装置。
【請求項３】
前記可変型バイアス磁界は、前記正磁界型のバイアス磁界と前記正磁界側強調型のバイアス磁界のうちいずれか一方と、前記負磁界型のバイアス磁界と前記負磁界側強調型のバイアス磁界のうちいずれか一方とである、二種類の可変型バイアス磁界を有し、前記二種類の可変型バイアス磁界を含む少なくとも二つの前記可変型バイアス磁界を設定でき、被測定外部磁界の極性に応じて、前記可変型バイアス磁界の一種類を選択して前記磁気インピーダンス素子に印加することを特徴とする請求項２に記載の磁気検出装置。
【請求項４】
正負均等型のバイアス磁界、前記正磁界型のバイアス磁界と前記正磁界側強調型のバイアス磁界とのうちいずれか一方、前記負磁界型のバイアス磁界と前記負磁界側強調型のバイアス磁界とのうちいずれか一方である三種類の可変型バイアス磁界を有し、
かつ、前記正負均等型のバイアス磁界は、正磁界側と負磁界側とが同一の強度である磁界であって、
前記三種類の可変型バイアス磁界を含む少なくとも三つの前記可変型バイアス磁界を設定でき、この少なくとも三つの前記可変型バイアス磁界のうちの一つの前記可変型バイアス磁界を、被測定外部磁界の極性検知手段として前記磁気インピーダンス素子に印加し、検出結果に応じて前記可変型バイアス磁界の種類を選択して、前記磁気インピーダンス素子に印加することを特徴とする請求項２に記載の磁気検出装置。
【請求項５】
前記正負均等型のバイアス磁界を被測定外部磁界の極性検知手段として用い、前記正磁界側強調型と前記負磁界側強調型のバイアス磁界のうちいずれか一方と、前記正磁界型と前記負磁界型のバイアス磁界のうちいずれか一方とである二種類の可変型バイアス磁界のうち、前記極性検知手段の検知結果により特定した被測定外部磁界の極性により、いずれか一種類の前記可変型バイアス磁界を選択して外部磁界の検出手段として用いることを特徴とする請求項４に記載の磁気検出装置。
【請求項６】
前記磁気インピーダンス素子に印加するバイアス磁界は、正磁界側と負磁界側のそれぞれにおいて、
時間変化に伴い異なる磁界をランダムに発生し、正磁界側と負磁界側に発生した磁界強度の組み合わせを選択することにより、前記正磁界側強調型、または前記負磁界側強調型のバイアス磁界となるように設定することを特徴とする請求項２ないし５のいずれかに記載の磁気検出装置。
【請求項７】
前記磁気インピーダンス素子に印加するバイアス磁界は、正磁界側と負磁界側のそれぞれにおいて、時間変化に伴い異なる磁界をランダムに発生し、正磁界側と負磁界側に発生した磁界強度の組み合わせを選択することにより、前記正負均等型のバイアス磁界となるように設定することを特徴とする請求項４または５に記載の磁気検出装置。
【請求項８】
前記バイアスコイルに印加する前記低周波バイアス電流に応じて発生する前記可変型バイアス磁界は、矩形波形式または交流波形式であることを特徴とする請求項２ないし７のいずれかに記載の磁気検出装置。
【請求項９】
電源から負荷装置への多相電流の供給を制御する装置であって、磁気インピーダンス効果を有する磁気インピーダンス素子と、前記磁気インピーダンス素子の両端に高周波駆動電流を印加する電流印加手段と、前記磁気インピーダンス素子に巻回したバイアスコイルと、前記バイアスコイルに低周波バイアス電流を印加するバイアス電流印加手段とを有し、前記低周波バイアス電流により磁界強度が変化するバイアス磁界と、被測定外部磁界とにより、前記磁気インピーダンス素子のインピーダンス変化に応じた出力差から外部磁界を検出する磁気検出器を備えた過負荷継電器において、
前記磁気検出器として請求項２に記載の磁気検出装置を用い、被測定磁界を発生する被測定電流値が定格電流測定領域の場合もしくは装置の電源投入直後には、前記磁気インピーダンス素子に前記正負均等型のバイアス磁界を印加し、前記被測定電流値が過負荷領域の場合には、正磁界または負磁界のいずれか一方の極性を持つ前記正磁界型もしくは前記負磁界型、または磁界極性の強調程度が異なる前記正磁界側強調型もしくは前記負磁界側強調型のバイアス磁界のいずれかを前記磁気インピーダンス素子に印加することを特徴とする過負荷継電器。
【請求項１０】
前記磁気インピーダンス素子に印加するバイアス磁界は、正磁界側と負磁界側のそれぞれにおいて、
時間変化に伴い異なる磁界をランダムに発生し、正磁界側と負磁界側に発生した磁界強度の組み合わせを選択することにより、前記正磁界側強調型のバイアス磁界、前記負磁界側強調型のバイアス磁界、または前記正負均等型のバイアス磁界となるように設定する磁気検出装置を用いたことを特徴とする請求項９に記載の過負荷継電器。
【請求項１１】
前記バイアスコイルに印加する前記低周波バイアス電流に応じて発生する前記可変型バイアス磁界は、矩形波形式または交流波形式である磁気検出装置を用いたことを特徴とする請求項９または１０に記載の過負荷継電器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、磁気インピーダンス効果を利用した磁気インピーダンス素子、特にこのような磁気検出素子を用いた磁気センサおよび磁気検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、磁気検出装置としてはホール素子や、磁気抵抗素子が広く用いられているが、検出感度の観点で満足できない。そこで、ホール素子や磁気抵抗素子に代わる高感度な磁気検出素子として、例えば特開平０６−２８１７１２号公報に開示されているアモルファスワイヤによる磁気インピーダンス素子や、特開平０８−０７５８３５号公報に開示されている薄膜形状のものなどが提案されている。
【０００３】
しかしながら、いずれの形状の磁気インピーダンス素子を用いる場合でも、高感度な磁気検知特性を示すが、素子自身の磁気検知特性は、例えばアモルファスワイヤ素子の磁界に対するインピーダンス変化が、図１９に示すように非線形性を有するため、線形出力を得ることができない。このため、特開平９−１２７２１８号公報に開示されている、磁気インピーダンス素子に交流バイアス磁界を印加する方法は、交流バイアス磁界による正負発生磁界と被測定外部磁界との和から生ずる磁気インピーダンス素子の変化量の差から、磁界に対する線形出力を得ることができる。
【０００４】
磁界の正負極性に対して、対象なインピーダンス特性を示す磁気インピーダンス素子も開発されており、図２０に示すような磁界に対するインピーダンス特性を有している。
図２０は、外部磁界ゼロでのバイアス磁界印加時動作説明図である。
図２０（ａ）は、感知される被測定外部磁界が無く、磁気インピーダンス素子に正負磁界強度が均等なバイアス磁界を印加した場合の特性を模式的に示した図である。
【０００５】
図２０（ａ）中には、外部磁界強度の変化に対するインピーダンスの変化と、磁気インピーダンス素子に印加しているバイアス磁界の磁界強度と印加時間による変化を表している部分を併記している。
外部磁界強度がゼロ付近でのインピーダンス特性は、滑らかな曲線を示す特性になっていないが、磁界の極性が変化するポイントにあっては、不安定な特性領域となることが一般的である。
【０００６】
また、インピーダンス特性上に示されている白丸は、正磁界と負磁界を矩形波で周期的に振動するバイアス磁界による、正と負の最大バイアス磁界値から得られるインピーダンスの値であり、磁気インピーダンス素子に印加されている駆動用高周波電流との関係から出力としての電圧が得られる。この二点の出力電圧差を検出する。
【０００７】
このため、感知される被測定外部磁界が無い場合には、二点の出力電圧は同一電圧であるため、差はゼロであり、差動増幅後の出力は図２０（ｂ）に示す通り、ゼロとなる。
これに対し、図２１は、被測定外部磁界が存在する場合のバイアス印加時動作説明図である。
【０００８】
図２１（ａ）は、被測定外部磁界として、ΔＨ４の正磁界が感知された場合の特性を示す模式図である。インピーダンス特性上に示されている白丸は、バイアスの正磁界と負磁界の最大値により得られるインピーダンスの値であり、外部磁界ΔＨ４により、黒丸の位置に移動する。この振動するバイアス磁界の正磁界側と負磁界側とで得られる二点の黒丸に対し、負磁界側黒丸に相当する電圧値から正磁界側黒丸に相当する電圧値を減じたことで表される方向により電圧極性を定義する。
【０００９】
従って、得られる出力電圧差（差動出力）は、正電圧のΔＶ４となり、被測定外部磁界ΔＨ２が感知された時、測定された差動増幅後の出力は、図２１（ｂ）に示す通り、差動増幅器の増幅率をＡとすると、Ａ×ΔＶ４が得られる。
また、これらの技術の応用例として、三相電動機に接触器を介して流れる電流が、安全な閾値を超えた時の状態を検出して電流を遮断する、過負荷電流保安装置への展開が検討されている。
【００１０】
従来は、バイメタルスイッチを用いた方式を使用していたが、スイッチが開放状態になる時点での電流調整が困難であり、長時間の調整に誤りが発生する可能性があった。
これらの問題を解決する方法として、電子式回路を採用した電流検出変圧器やホール素子あるいは磁気抵抗素子による用法があった。しかし、電流検出感度が低い上にセンサ部の大型化が避けられないといった問題があった。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記した磁気インピーダンス素子を用いた方式において、次に記すような問題点がある。
まず、線形な出力を得るためには、外部磁界に対する磁気インピーダンス素子の変化量が、正磁界側と負磁界側とで対象の特性である必要があり、線形な出力が得られる磁界の大きさは、磁気インピーダンス素子の特性に起因する。発明者によると、交流バイアス磁界を用いた試作装置での測定可能な磁界の大きさは、検出定格の最小値に対して５０倍程度までが検出可能な最大定格値である。
【００１２】
しかし、応用例である過負荷電流保安装置に対する電流検出器としては、定格電流の１０倍以上の電流計測の必要があることから、磁気検出として数百倍の検出範囲が必要となるとの問題点がある。
すなわち、前述のように磁気インピーダンス素子の電流検出範囲は狭く、実用に適していないといった欠点があった。
【００１３】
そこで、本発明の課題は、上記問題点を解決し、簡単な構成で磁界測定範囲の広い磁気検出素子を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、以下の構成を採用した。
すなわち、本発明の請求項１に記載の磁気検出装置は、磁気インピーダンス効果を有する磁気インピーダンス素子と、この磁気インピーダンス素子の両端に高周波駆動電流を印加する電流印加手段と、磁気インピーダンス素子に巻き回しされたバイアスコイルと、バイアスコイルに低周波バイアス電流を印加するバイアス電流印加手段とを有し、低周波バイアス電流により磁界強度が変化するバイアス磁界と、被測定外部磁界とにより、磁気インピーダンス素子のインピーダンス変化に応じた出力差から外部磁界を検出する装置において、
バイアス電流印加手段は、強度の異なる磁界が時間変化する可変型バイアス磁界を設定でき、被測定外部磁界の極性に応じて、可変型バイアス磁界を選択して磁気インピーダンス素子に印加する。
【００１５】
この際に、本発明の請求項２では、磁気インピーダンス素子に印加する磁界強度の種類が異なる可変型バイアス磁界は、正負均等型のバイアス磁界と、正磁界型のバイアス磁界と、負磁界型のバイアス磁界と、正磁界側強調型のバイアス磁界と、負磁界側強調型のバイアス磁界とであって、
正負均等型のバイアス磁界は、正磁界側と負磁界側とが同一の強度である磁界を周期的に交互に発生する磁界であり、
正磁界型のバイアス磁界は、正磁界の極性を持ち正磁界範囲内での異なる磁界強度を周期的に交互に発生する磁界であり、
正磁界側強調型のバイアス磁界は、磁界強度の異なる強い正磁界と弱い負磁界を周期的に交互に発生することで構成された磁界極性の強調程度が異なる磁界であり、
負磁界型のバイアス磁界は、負の極性を持ち負磁界範囲内での異なる磁界強度を周期的に交互に発生する磁界であり、
負磁界側強調型のバイアス磁界は、強い負磁界と弱い正磁界を周期的に交互に発生することで構成された磁界極性の強調程度が異なる磁界である。
【００１６】
本発明の請求項３において磁気インピーダンス素子に印加する可変型バイアス磁界は、正磁界型のバイアス磁界と正磁界側強調型のバイアス磁界のいずれか一方と、負磁界型のバイアス磁界と負磁界側強調型のバイアス磁界のいずれか一方との、二種類の可変型バイアス磁界が少なくとも設定可能であり、被測定外部磁界の極性に応じて、一方の種類の可変型バイアス磁界を選択して磁気インピーダンス素子に印加する。
【００１７】
また、本発明の請求項４では、可変型バイアス磁界として、正負均等型のバイアス磁界、正磁界型のバイアス磁界と正磁界側強調型のバイアス磁界とのいずれか一方、負磁界型のバイアス磁界と負磁界側強調型のバイアス磁界とのいずれか一方である三種類の可変型バイアス磁界が少なくとも設定可能であり、
三種類の可変型バイアス磁界を含む少なくとも三つの可変型バイアス磁界が選択的に設定でき、この少なくとも三つの可変型バイアス磁界のうちの一つの可変型バイアス磁界を、被測定外部磁界の極性検知手段として磁気インピーダンス素子に印加し、検出結果に応じて可変型バイアス磁界の種類を選択して、磁気インピーダンス素子に印加する。
【００１８】
この際、本発明の請求項５では、被測定外部磁界の極性検知手段として正負均等型のバイアス磁界を用いることにする。この場合、可変型バイアス磁界と、被測定外部磁界とにより、磁気インピーダンス素子のインピーダンス変化に応じた出力差を電圧として出力し、この出力は、被測定外部磁界が正磁界の場合には正電圧で、逆に被測定磁界が負の磁界の場合には、負電圧であるため、出力電圧の極性で被測定磁界の極性を判断することができる。
【００１９】
さらに、本発明の請求項６では、磁気インピーダンス素子に印加するバイアス磁界は、正磁界側と負磁界側のそれぞれにおいて、
時間変化に伴い異なる磁界をランダムに発生し、正磁界側と負磁界側に発生した磁界強度の組み合わせを選択することにより、正負均等型のバイアス磁界、正磁界側強調型のバイアス磁界、あるいは本発明の請求項７では、負磁界側強調型のバイアス磁界となるように設定すること可能である。
【００２０】
さらに本発明の請求項８において、可変型バイアス磁界は、パルス波形を含む矩形波形式または交流波形式であっても良い。
また、本発明の請求項９に記載の過負荷継電器において、電源から負荷装置への多相電流の供給を制御する装置であって、磁気インピーダンス効果を有する磁気インピーダンス素子と、この磁気インピーダンス素子の両端に高周波駆動電流を印加する電流印加手段と、磁気インピーダンス素子に巻回したバイアスコイルと、バイアスコイルに低周波バイアス電流を印加するバイアス電流印加手段とを有し、低周波バイアス電流により磁界強度が変化するバイアス磁界と、被測定外部磁界とにより、磁気インピーダンス素子のインピーダンス変化に応じた出力差から外部磁界を検出する磁気検出器を備えた過負荷継電器において、
被測定磁界を発生する被測定電流値が定格電流測定領域の場合または装置の電源投入直後の場合には、磁気インピーダンス素子に正負均等型のバイアス磁界を印加し、被測定電流値が過負荷領域の場合には、正磁界、または負磁界のいずれか一方の極性を持つ正磁界型もしくは負磁界型、または磁界極性の強調程度が異なる正磁界側強調型もしくは負磁界側強調型のバイアス磁界のいずれかを磁気インピーダンス素子に印加することにする。
【００２１】
また、本発明の請求項１０に記載の過負荷継電器において、磁気インピーダンス素子に印加するバイアス磁界は、正磁界側と負磁界側のそれぞれにおいて、時間変化に伴い異なる磁界をランダムに発生し、正磁界側と負磁界側に発生した磁界強度の組み合わせを選択することにより、正負均等型のバイアス磁界、正磁界側強調型のバイアス磁界、あるいは負磁界側強調型のバイアス磁界となるように設定すること可能な磁気検出素子を用いることにする。
【００２２】
さらに本発明の請求項１１に記載の過負荷継電器において、磁気インピーダンス素子に印加する可変型バイアス磁界は、パルス波形を含む矩形波形式または交流波形式であっても良い。
以上の構成による可変型バイアス磁界を磁気インピーダンス素子に印加することで、課題を解決するものとしている。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る施例の形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の一実施例に係る磁気検出装置のシステム構成である。
図１においては、磁気インピーダンス素子１の両端には、高周波駆動電流を印加するための素子駆動用高周波電流発生器３が接続されている。
【００２４】
また、磁気インピーダンス素子１には、可変型バイアス磁界用コイル２が巻回され、可変型バイアスコイル用電源４により、可変型バイアス磁界用コイル２を駆動する。
可変型バイアスコイル用電源４は、通常は定電圧電源のため、可変型バイアス磁界用コイル２との閉回路内の抵抗値を変化することで、可変型バイアス磁界用コイル２に流れる電流値を容易に変化できる。このため、抵抗値を変化させる負荷切換器５を、可変型バイアス磁界用コイル２と可変型バイアスコイル用電源４とで構成される回路内に配置することで、二種類のピーク強度が異なる可変型バイアス磁界を発生する構成としている。
【００２５】
可変型バイアスコイル用電源４からの出力が、正負均等の電圧値を周期的に発生される場合、負荷切換器５内スイッチが開状態での可変型バイアス磁界用コイル２に流れる正負の電流値に対して、負荷切換器５内スイッチを閉にすると、抵抗値は小さくなるため、正負の電流値が大きくなる。従って、可変型バイアスコイル用電源４からの出力電圧値が一定であっても、正磁界側と負磁界側とが同一の強度である正負均等型バイアス磁界として、二種類の異なる磁界強度の正負均等型バイアス磁界を選択的に発生することができる。
【００２６】
また、可変型バイアスコイル用電源４から発生する正負均等値の電圧周期に対し、マイクロコンピュータ１１を介して、負荷切換器５内スイッチの開閉を同期動作させることで、磁界極性の強調程度が異なる正磁界側強調型もしくは負磁界側強調型バイアス磁界を発生できる。
すなわち、正磁界側強調型バイアス磁界を発生する場合においては、可変型バイアスコイル用電源４からの出力が正電圧の時に、負荷切換器５内スイッチを閉にして抵抗値を小さくし、可変型バイアスコイル用電源４からの出力が負電圧の時には、負荷切換器５内スイッチを開にして抵抗値を大きくする。この動作により、可変型バイアス磁界用コイル２に流れる電流は、大きい正電流と小さい負電流が周期的に流れ、
磁界強度の異なる強い正磁界と弱い負磁界とを周期的に交互に発生する正磁界側強調型バイアス磁界を印加できる。
【００２７】
また、負磁界側強調型バイアス磁界は、上記した正磁界側強調型バイアス磁界の発生手段に対して、可変型バイアスコイル用電源４から出力される電圧極性と、負荷切換器５内スイッチ切換動作の閉と開の対応を逆にすることで実現できる。
磁気インピーダンス素子１に、測定される外部磁界を感知すると、磁界強度が時間的変化をするバイアス磁界値と外部磁界値の和である磁界値に対する、磁気インピーダンス素子１のインピーダンス変化から、バイアス磁界に同期した電圧値変化をする出力電圧が得られる。
【００２８】
この出力電圧は、ピーク値が重要であるため、整流器６により上限と下限のピーク値のみを検出し、その上限と下限の２つの検出値を、保持器（上限値）７と保持器（下限値）８に、バイアス磁界に同時したタイミングで保持する。
保持器７，８に保持された値は、差動増幅器９により、それぞれの値の出力差を取って増幅し、次いでＡ／Ｄ変換器１０によりアナログ値をデジタル値に変換した後、マイクロコンピュータ１１等で演算と制御とを行う。
【００２９】
詳細は後述するが、本発明においては、測定精度を高くするために、被測定外部磁界が正磁界の場合には負側の可変型バイアス磁界を印加し、逆に被測定外部磁界が負の場合には正側の可変型バイアス磁界を印加する。このため、極性検出器１２により、被測定外部磁界の極性を判断し、この結果をマイクロコンピュータ１１で処理して、選択した磁界極性強調型バイアス磁界を発生させるために、上述した通り負荷切換器５内のスイッチ動作を制御する。
【００３０】
図２および図３は、本発明の一実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作説明図である。なお、図２０および図２１で説明した同一の構成および同一の作用に関してはその説明は省略する。
図２は、感知された被測定外部磁界がΔＨ１で示される正磁界である場合の説明図である。
【００３１】
図２（ａ）では、感知された被測定外部磁界が正磁界のため、可変型バイアス磁界は、強い負磁界と弱い正磁界とを印加時間に対して周期的に交互に発生する負磁界側強調型バイアス磁界を印加する。負磁界側強調型バイアス磁界の正磁界側と負磁界側のそれぞれの最大値に相当するインピーダンス特性上に示されている白丸位置は、外部磁界ΔＨ１が加算された位置としての、インピーダンス特性上に示されている黒丸位置に、正磁界方向へ移動する。この２点の黒丸間の出力電圧差は、図２１（ａ）で記述した電圧極性方向の整合を図ると、ΔＶ１の正電圧として得られる。
【００３２】
従って、被測定外部磁界が正磁界のΔＨ１として感知された時、例えば図１の磁気検出装置として測定された差動増幅後の出力は、図２（ｂ）に示す通り、図１の差動増幅器９での増幅率をＡとすると、Ａ×ΔＶ１が得られる。
図３は、感知された被測定外部磁界が−ΔＨ１で示される負磁界である場合の説明図である。
【００３３】
図３（ａ）では、感知された被測定外部磁界が負磁界のため、可変型バイアス磁界は、強い正磁界と弱い負磁界とを印加時間に対して周期的に交互に発生する正磁界側強調型バイアス磁界を印加する。正磁界側強調型バイアス磁界の正磁界側と負磁界側のそれぞれの最大値に相当するインピーダンス特性上に示されている白丸位置は、負の外部磁界−ΔＨ１が加算された位置としての、インピーダンス特性上に示されている黒丸位置に、負磁界方向へ移動する。この２点の黒丸間の出力電圧差は、−ΔＶ１の負電圧として得られる。
【００３４】
従って、被測定外部磁界が負磁界の−ΔＨ１として感知された時、例えば図１の磁気検出装置として測定された差動増幅後の出力は、図３（ｂ）に示す通り、図１の差動増幅器９での増幅率をＡとすると、Ａ×（−ΔＶ１）が得られる。
可変型バイアス磁界として、正磁界側強調型あるいは負磁界側強調型の磁界を用いた場合の動作の詳細を、感知された被測定外部磁界が正磁界の場合、負磁界側強調型バイアス磁界を例として図４から図６にて説明する。
【００３５】
図４は、被測定磁界が正磁界で、負磁界側強調型バイアス磁界を印加した結果、出力電圧差として正電圧で得られる場合の磁界強度による特性を示し、図５は、逆に出力電圧差として負電圧で得られる場合の磁界強度による特性を示す。図５および図６の動作説明図は、図２で説明した図と同一形式である。
また、図６は、被測定の外部磁界強度に対する差動出力の関係を示す特性図であり、図４および図５と被測定外部磁界強度との関係を表している。
【００３６】
すなわち、被測定磁界が正磁界であり、負磁界側強調型バイアス磁界を印加する場合であっても、被測定磁界の磁界強度により出力電圧差の極性が変化する。
図４に示す被測定外部磁界のΔＨ２に相当する磁界強度は、本実施例における磁気インピーダンス素子の特性および印加バイアス磁界（負磁界側強調型バイアス磁界）で得られる出力電圧差として、正電圧＋ΔＶ２を得るものである。被測定外部磁界強度がゼロの場合には、負磁界側強調型バイアス磁界により、インピーダンス特性上に示されている白丸位置に相当する特性を示すが、外部磁界としてΔＨ２に相当する磁界強度の被測定外部磁界を感知すると、インピーダンス特性上に示されている白丸位置から黒丸位置に特性が移動し、外部磁界が正磁界と負磁界のそれぞれに位置する黒丸の２点間の差に相当する出力が、電圧として得られる。ここで得られる差動出力電圧をΔＶ２として正の電圧とする。
【００３７】
逆に、図５に示すΔＨ３に相当するΔＨ２よりも小さな磁界強度の被測定外部磁界が磁気インピーダンス素子により感知されると、インピーダンス特性上の白丸位置から黒丸位置への移動量は図４に比べて小さくなり、黒丸間の差に対する極性が反転するため、出力電圧差は−ΔＶ３としての負の電圧となる。
図４または図５のインピーダンス特性図において、被測定外部磁界の磁界強度によっては、インピーダンス特性上の黒丸が、外部磁界強度（横軸）の正磁界側と負磁界側とで、縦軸方向の同位置となり、得られる出力電圧差がゼロになる、被測定外部磁界強度が存在する。
【００３８】
この被測定外部磁界の強度を境界にして、小さい磁界強度の被測定外部磁界の場合には、出力電圧差から得られる差動出力は負の電圧が得られ、逆に大きい磁界強度の被測定外部磁界の場合には、差動出力として正の電圧が得られる。この関係を図６に示した。
したがって、負磁界側強調型バイアス磁界あるいは正磁界側強調型バイアス磁界である磁界極性の強調程度が異なる可変型バイアスを印加した場合に得られる差動出力は、図６に示す通り、負から正の電圧として直線性のある出力が得られる。
【００３９】
しかしながら、被測定外部磁界が非常に小さい場合には、磁気インピーダンス素子の正磁界側と負磁界側とで磁界に対する感度が必ずしも同一ではないため、測定精度が悪くなることがあるので、正磁界と負磁界の強度が同一である正負均等型バイアス磁界を使用する場合もある。
磁界極性の強調程度が異なる負磁界側強調型バイアス磁界あるいは正磁界側強調型バイアス磁界を印加した場合の動作につてい説明したが、以下に本発明の一実施例で特有に得られる効果を記述する。
【００４０】
バイアス磁界としては、被測定磁界が正磁界の場合、基本的にはバイアス磁界は負磁界であれば良いが、インピーダンス特性で、ゼロ磁界付近の特性に歪が生じずに滑らかな曲線を示す特性の場合である。
しかし、インピーダンス特性は、図２０で説明した通り、外部磁界強度がゼロ付近の磁界極性が変化するポイントにあっては、不安定な特性領域となることが一般的であるため、図２においても一般的なインピーダンス特性として記載した。
【００４１】
このため、バイアス磁界としては、インピーダンス特性の不安定領域を避けるため、負磁界バイアスを印加したい場合には、不安定特性領域機を回避できるだけの、弱い強度の正磁界も印加できるようなバイアス磁界範囲とした、負磁界側強調型を採用し、逆に正磁界バイアスを印加したい場合には、不安定特性領域機を回避できるだけの弱い、強度の負磁界も印加できるようなバイアス磁界範囲とした、正磁界側強調型を採用している。
【００４２】
図７には、本発明の別の実施例に係るバイアス磁界印加方法であり、可変型バイアス磁界として正磁界側と負磁界側で強度の異なる各２種類の磁界を交互に発生した場合の説明図である。
可変型バイアス磁界は、正磁界としては、強度の弱いＡ磁界と強度の強いＣ磁界を発生し、負磁界としては、強度の弱いＢ磁界と強度の強いＤ磁界とを発生して、本実施例においては、Ａ磁界、Ｂ磁界、Ｃ磁界、Ｄ磁界を周期的に順番に発生している。
【００４３】
磁気インピーダンス素子に印加が必要な本発明による可変型バイアス磁界としては、Ｂ磁界とＣ磁界とを選択して組み合わせると、正負均等型バイアス磁界となり、Ａ磁界とＢ磁界とを選択して組み合わせた場合には、負磁界強調型バイアス磁界であり、Ｃ磁界とＤ磁界とを選択して組み合わせた場合には、正磁界強調型バイアス磁界となる。したがって、例えば、図１におけるマイクロコンピュータ１１により保持器７、８の制御を行い、必要な可変型バイアス磁界が得られるような上記組み合わせの磁界が発生した時に、出力値を保持して差動増幅器９に情報を送れば良い。
【００４４】
図８および図９は、本発明の別の実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作説明図である。本実施例においては、インピーダンス特性に不安定領域の無い滑らかな曲線を示す特性の場合、被測定磁界がΔＨ１で表される正の磁界であり、負の極性を示すバイアス磁界が印加され、差動出力としてΔＶ１１の正電圧が得られた場合の例である。
【００４５】
図８は、バイアス磁界が、印加時間に対して、矩形波を示す負磁界型バイアス磁界を印加した場合の別の実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作図であり、同図（ａ）はパルス状の矩形波、同図（ｂ）は印加時間に対して立上がりと立下り時間を有して所定の磁界強度に到達する矩形波を示す例である。
図９は、バイアス磁界が、印加時間に対して交流波形を示す、負磁界型バイアス磁界を印加した場合の別の実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作図である。
【００４６】
図１０は、本発明の別の実施例に係る磁気検出装置のシステム構成図である。なお、図１で説明した同一の構成および同一の作用に関しては、その説明は省略する。
図１０においては、負荷切換器５ａ内に抵抗が３列配置されており、そのうち２個の抵抗のそれぞれにスイッチが付加されている。このスイッチは、可変型バイアスコイル用電源４から発生するバイアス用の矩形波形あるいは交流波形である電圧の周期に同期して、マイクロコンピュータ１１を介して制御する。
【００４７】
負荷切換器５ａ内の２つのスイッチの開閉の組み合わせは、スイッチが両方とも開の場合、スイッチが両方閉の場合、スイッチの一方は開でもう一方は閉の場合が２種類とで、合計４種類あり、３個の並列した抵抗の状態、すなわち抵抗値が４種類に変化できる。これにより、可変型バイアス磁界用コイル２に流れる電流を一方の極性で４種類設定することが可能となる。
【００４８】
このため、可変型バイアスコイル用電源４からの出力電圧が、正負均等な電圧値を矩形波あるいは交流で周期的に発生されている場合にあっては、磁気インピーダンス素子１に印加されるバイアス磁界としては、正磁界と負磁界とにそれぞれの強度が等しい４種類の磁界を発生することができる。
したがって、正磁界と負磁界の強度が同一である４種類の正負均等型バイアス磁界が設定できる。さらに、正磁界に対して絶対値が異なる磁界強度の負磁界を３種類選択し、正磁界を４種類変化させることで、合計１２種類の磁界極性の強調程度が異なる正磁界側強調型バイアス磁界あるいは負磁界側強調型バイアス磁界を設定することが可能である。これらの種種の可変型バイアス磁界は、マイクロコンピュータ１１により選択的な制御を行うものである。
【００４９】
また、可変型バイアスコイル用電源４からの出力電圧に直流成分を加算あるいは減算して、正負の異なる値の矩形波形あるいは交流波形である電圧を周期的に発生させることで、負荷切換器５ａ内の抵抗値を切り替えなくても、磁界極性の強調程度が異なる正磁界側強調型バイアス磁界あるいは負磁界側強調型バイアス磁界を設定することが可能となり、さらに負荷切換器５ａ内の抵抗値を切り替えることで、可変型バイアスコイル用電源４からの出力電圧として、一定の電圧値である矩形波形あるいは交流波形電圧に直流電圧成分を加算あるいは減算するのみで、正磁界と負磁界の強度比が異なる様々な可変型バイアス磁界を発生できる。
【００５０】
さらに、マイクロコンピュータ１１制御により、周期ごとにランダムに様々な強度の磁界を発生することが可能であることは、言うまでもない。
図１１および図１２は、本発明に関する別の実施例について説明する磁気インピーダンス素子の動作説明図であり、図２から図５で説明した図と同一形式である。
【００５１】
上述の通り、図２から図６において、磁界極性の強調程度が異なる可変型バイアス磁界の発生方法と、被測定磁界が正磁界の場合には、負磁界側強調型バイアス磁界を印加し、逆に被測定磁界が負磁界の場合には、正磁界側強調型バイアス磁界を印加することについて説明してきた。
これらの磁界極性の強調程度が異なる正磁界側強調型あるいは負磁界側強調型バイアス磁界のどちらを選択するかを決めるためには、被測定外部磁界に対して、バイアス磁界として、先ず正負均等型バイアス磁界を印加することにより、被測定外部磁界の極性を判断することができる。
【００５２】
図１１は、正負均等型バイアス磁界を印加し、被測定磁界として正磁界であるΔＨ１が存在した場合の説明図である。
インピーダンス特性と正負均等型バイアス磁界とから、図示した正負それぞれの磁界範囲におけるインピーダンス特性上の白丸位置に相当する特性を示す（出力が得られる）が、被測定外部磁界として正磁界であるΔＨ１を感知した場合は、正負均等型バイアス磁界と被測定外部磁界との加算により得られるインピーダンス特性上の黒丸に相当する位置に特性が正磁界側へ移動する。この時、インピーダンス特性の負磁界側の白丸位置から移動した黒丸は、インピーダンス特性の最大値を乗り越えて正磁界側に位置するが、二つの黒丸位置に相当する差による出力が電圧として得られることは、同様である。ここで得られる差動出力電圧は、ΔＶ１２の正電圧となる。
【００５３】
図１１とは逆に、図１２では、正負均等バイアス磁界を印加し、被測定磁界として負磁界である−ΔＨ１が存在した場合である。
図１２に示すインピーダンス特性においても、正負均等型バイアス磁界から得られるインピーダンス特性上の白丸位置から、正負均等型バイアス磁界と被測定外部磁界との加算により得られるインピーダンス特性上の黒丸に相当する位置に特性が負磁界側へ移動する。この時、正磁界側のインピーダンス特性上にあった白丸位置の特性は、負の被測定外部磁界を感知することで、負磁界側のインピーダンス特性上の黒丸位置に移動するが、二つの黒丸位置に相当する差から得る差動出力電圧としては、図１１の正の被測定外部磁界が検知された場合と逆の極性である、−ΔＶ１２の負電圧が得られる。
【００５４】
以上より、磁気インピーダンス素子に正負均等型バイアス磁界を印加した場合にあっては、検知された被測定外部磁界が正磁界の場合には、得られる差動出力電圧は、正の電圧が得られる。また、逆に検知された被測定外部磁界が負磁界の場合には、得られる差動出力電圧は、負の電圧が得られる。
従って、磁気インピーダンス素子に正負均等型バイアス磁界を印加した場合、得られた差動出力電圧の極性により、検知した被測定外部磁界の極性を判断できる。
【００５５】
検知した被測定外部磁界の極性を判断結果により、被測定外部磁界が正磁界の場合は、図２の正磁界側強調型バイアス磁界を選択し、被測定外部磁界が負磁界の場合には、図３の負磁界側強調型バイアス磁界を選択しできる。
さらに、正負均等型バイアス磁界と磁界極性の強調程度が異なる正磁界側強調型あるいは負磁界側強調型バイアス磁界の出力から、磁気インピーダンス素子の磁界検出感度を求めることが可能である。
【００５６】
例えば、インピーダンス特性の片側の外部磁界極性における出力について、正負均等型バイアス時の出力電圧値と、正磁界側強調型バイアス時の出力電圧値の差を求めることで、既知の磁界に対する出力である磁気インピーダンス素子の磁界検出感度を求める方法とする。
また、例えば電子式過負荷継電器（サーマルリレー）の場合には、測定電流が測定範囲のフルスケールの１／１０以上で過負荷領域となるが、測定精度は、測定電流がフルスケールの１／１０以下の電子式過負荷継電器の定格電流領域では、±５％の範囲であり、測定電流がフルスケールの１／１０以上では±１０％の範囲であると、ＪＩＳ規格により規定されている。
【００５７】
このため、精度の厳しい定格電流領域では、磁界極性の強調程度が異なる可変型バイアス磁界より１／２程度測定誤差の少ない正負均等型バイアス磁界を用いる。
図１３は、本発明の別の実施例に係る磁気検出装置のシステム構成図である。図１３においては、図１０と同一の部材には同一の符号を付し、説明は省略する。
【００５８】
図１３における本実施例の磁気検出装置システムは、磁気検出素子１００と磁気検出器１０１と切換器１４と電流規格化器１３とＡ／Ｄ変換器１０とマイクロコンピュータ１１により構成されている。本実施例は、別の部位における被測定外部磁界を検出するため、切換器１４により、磁気検出素子１００ａと磁気検出器１０１ａによる検出結果をマイクロコンピュータ１１に送り、処理する構成である。また、切換器１４は、図１３に示される構成に限定されるものではなく、必要測定部位の数に合わせて複数の切換が行える構成も可能であることは、言うまでもない。
【００５９】
切換器１４により選択された差動増幅器９からの出力は、電流規格化器１３で電流設定に応じた増幅がなされ、Ａ／Ｄ変換器１０のアナログ入力に接続され、出力はマイクロコンピュータ１１に接続され、制御と計測処理が行われる。
ここでの電流規格化器１３は、電流設定に応じて増幅度が調整可能な増幅器であり、通常オペアンプの増幅度設定抵抗を可変抵抗に置き換えた構成が用いられる。
【００６０】
図１４は、本発明の実施例を示す図１３の磁気検出装置のシステム構成を例えば電子式過負荷継電器へ適用した場合の具体例である。
図１４では、図示されていない三相交流電源に接続された電源供給線２５の各相であるＲ、Ｓ、Ｔは、電動機３０に対して三相接触器２０および電力供給変圧器５１を介して接続されており、電流検出装置１０３は、電源供給線２５のＲ、Ｓ、Ｔの各相ごとの電流を検知する。本実施例のように、例えば電子式過負荷継電器においては、一相欠相のみの検出で十分であるため、電力供給変圧器５１は、二相分の配置構成としているが、上記実施例のものに限定されるものでなく、各相に配置する構成とすることも可能である。
【００６１】
三相接触器２０は、三組の接点２１、２２、２３を有し、それぞれ異なる電源供給線２５の各相であるＲ、Ｓ、Ｔに直接接続するか、または電力供給変圧器５１の一次巻線を通じて電動機３０に接続する。
三相接触器２０内の各接点２１、２２、２３は、電磁コイル２４により同時に駆動する構成である。電磁コイル２４は、制御回路４１内のマイクロコンピュータ１１に接続されていて、制御される。
【００６２】
電子式過負荷継電器（電子式サーマルリレー）４０は、電流検出装置１０３と制御回路４１と電力供給変圧器５１とにより構成されている。
電源供給線２５の各相であるＲ、Ｓ、Ｔのそれぞれに配置された磁気検出素子１００は、電源供給線２５に流れる電流に比例したインピーダンス変化特性を有しており、磁気検出器１０１により電圧出力に変換される。電源供給線２５の各相であるＲ、Ｓ、Ｔのそれぞれから得られた磁気検出器１０１による電圧出力は、切換器１４により、順次に切換選択され、電流規格化器１３、Ａ／Ｄ変換器１０を介してマイクロコンピュータ１１に情報として送られる。
【００６３】
電力供給変圧器５１は、電源供給線２５の一部である一次巻線に対向して配置される二次巻線に整流ダイオード５２を介して第一コンデンサ５４が接続され、整流ダイオード５２のアノード側と回路アース間には、保護ダイオード５３が接続されている。また、第一コンデンサ５４は、電圧調整器５０の正の入力と回路アース間に接続され、さらに、電圧調整器５０の正の入力と回路アース間には第二コンデンサ５５が接続され、電圧調整器５０により一定電圧値のＶＣＣを出力する構成である。
【００６４】
図１５は、本発明の実施形態である図１４における磁気検出装置１０３を示す概略構成図である。
構成は、配線６０に流れる電流方向に垂直な位置に、固定基板６１を配置し、固定基板６１上で、配線６０に流れる電流により周囲に発生する磁界が検知可能な位置に、磁気検出素子１００を配置し固定する。磁気検出素子１００により検知された情報は、検出回路１０１に送られて処理し、検出結果を出力する。
【００６５】
図１６は、磁気検出素子部の具体的な構成例を示す斜視図であり、特に磁気検出素子として、薄膜状磁気検出素子を用いた実施例である。
図１６において装置構成は、薄膜状の磁気インピーダンス素子１ａがあって、その外側に樹脂製ボビン６３をインサート成形等で製作する。コイルボビンは、図示されている通り両側にボビン鍔６３ａが設けられており、ボビン６３ａ鍔間の巻枠部６３ｂにコイル２ａが巻回されている。このコイル２ａは、薄膜状の磁気インピーダンス素子１ａにバイアス磁界印加するための可変型バイアス磁界用コイル２と負帰還磁界を印加するための負帰還磁界用コイル１５から成っている。さらに薄膜状の磁気インピーダンス素子１ａやコイル２ａ等を周囲環境から保護するため、インサート成形等で製作する樹脂ケース６４内に構成部品が収められている。樹脂ケース６４からは、端子６２が片側３本（両側で計６本）出されているが、それぞれ、薄膜状の磁気インピーダンス素子１ａ両端に高周波電流を印加するための端子６２が２本、可変型バイアス磁界用コイル２に電流を流すための端子６２が２本、負帰還磁界用コイル１５に電流を流すための端子６２が２本の計６本である。以上により構成された全体が、磁気検出素子１００である。
【００６６】
薄膜状の磁気インピーダンス素子１ａは、１ｍｍ角程度に製作が可能であるため、磁気検出素子１００の外形を５ｍｍ角程度で製作できるため、薄膜状の磁気インピーダンス素子１ａとコイル２ａの磁気抵抗を大幅に低減できる。
なお、図１６においては、合計６端子の磁気検出素子１００を実施例として示したが、通常は、磁気インピーダンス素子に高周波電流を印加するための端子６２が２本と、可変型バイアス磁界用コイル２に電流を流すための端子６２が２本の計４端子構成が基本である。以上より、図１６に示した合計６本端子に限定されるものではなく、端子数の合計が４本以上の構成であれば良い。
【００６７】
図１７は、図１６に示した磁気検出素子１００を図１５の概略構成図に基づいた実装形態説明図であり、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は上面図である。
図１７（ａ）のように、電流を導く配線６０を有する固定基板６１に磁気検出素子１００を実装したもので、電流により発生する同図（ｂ）の破線で示すような磁束に対する磁気検出素子１００の配置により、磁気検出素子１００の出力感度が決定されるので、磁気検出素子１００の配置を考慮することで、電流の大きさに応じた磁気検出素子１００の出力感度調整が可能となる。
【００６８】
図１８は、磁気シールド構成例を示す。
図１８は、図１７（ａ）に示す磁気検出素子の実装形態に磁気シールド７０を付加したもので、その形状は、本実施例において楕円形状で示されているが、電流の大きさに応じて最適化することが望ましく、本形状に限定されるものではなく、円形や矩形もしくはコーナーが円弧になっている矩形、多角形でも良い。
【００６９】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、正磁界または正磁界側強調型（主に正磁界側）バイアス磁界と、負磁界または負磁界側強調型（主に負磁界側）バイアス磁界の二種類を含む、二種類以上の可変型バイアス磁界を設定でき、被測定外部磁界が正磁界の場合には、負磁界または負磁界側強調型バイアス磁界を印加し、逆に被測定外部磁界が負磁界の場合には、正磁界または正磁界側強調型バイアス磁界を印加手段を有する装置構成により、従来からの正負均等のバイアス磁界を印加して、磁界に対してインピーダンス変化が大きい点で動作させて磁界に対する高感度応答を得る特徴を維持したままで、磁界測定範囲の拡大が可能となる。
【００７０】
また、種類の異なる可変型バイアス磁界の切換は、バイアス磁界印加回路内の抵抗値の切換で可能なため、簡単な装置で実現できる。
また、上記に記載した二種類を含む可変型バイアス磁界に加えて、正負均等の磁界範囲を持つ正負均等型バイアス磁界を印加できる、少なくとも三種類以上の可変型バイアス磁界印加手段を有する装置構成により、正負均等型バイアス磁界を感知した測定外部磁界の極性検知手段にできることから、別途に用意されていた極性検出器が必要なくなり、測定電流に最適なバイアス磁界の設定が可能であり、構成が簡単でかつ安価での磁気検出装置を提供できる。
【００７１】
上記に記載した三種類の可変型バイアスの切換が可能なことにより、磁気インピーダンス素子の感度を求めることができるため、周囲環境特性や経時変化による磁気インピーダンス素子検出感度変化を検出して校正することで、安定した特性が得られ、さらに寿命の長い優れた磁気検出装置としての提供が可能である。さらに、電子式過負荷継電器において、測定電流値が定格電流測定領域の場合または装置の電源投入直後の場合に正負均等型バイアス磁界を印加し、測定電流値が過負荷領域の場合には、一方の磁界極性かあるいは磁界極性の強調程度が異なる可変型バイアス磁界を印加することとしたので、測定電流が小さい場合や装置電源投入直後での小電流領域と測定電流が大きい大電流領域とのいずれも測定精度を低下させることなく、簡単な構成で電流測定範囲の拡大が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る磁気検出装置のシステム構成図
【図２】本発明の一実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作で正外部磁界の説明図
【図３】本発明の一実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作で負外部磁界の説明図
【図４】本発明の一実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作説明図で正外部磁界で正電圧出力を得る場合の特性説明図
【図５】本発明の一実施例に係る磁気インピーダンス素子の動作説明図で正外部磁界で負電圧出力を得る場合の特性説明図
【図６】本発明の一実施例に係る外部磁界強度と差動出力との関係を示す説明図
【図７】本発明の別の実施例に係るバイアス磁界印加方法説明図
【図８】本発明の別の施例に係る磁気インピーダンス素子の動作で矩形型バイアス印加時の説明図
【図９】本発明の別の施例に係る磁気インピーダンス素子の動作で交流型バイアス印加時の説明図説明図
【図１０】本発明の別の実施例に係る磁気検出装置のシステム構成図
【図１１】本発明に係る別の実施例について説明する磁気インピーダンス素子の動作で正外部磁界の説明図
【図１２】本発明に係る別の実施例について説明する磁気インピーダンス素子の動作で負外部磁界の説明図
【図１３】本発明の別の実施例に係る磁気検出装置のシステム構成図
【図１４】本発明の実施例に係る電子式過負荷継電器の構成図
【図１５】本発明の実施形態に係る磁気検出装置を示す概略構成図
【図１６】本発明の実施形態に係る磁気検出素子部の具体的構成例を示す斜視図
【図１７】本発明の実施形態に係る磁気検出素子の実装形態説明図
【図１８】本発明の実施形態に係る磁気シールド構成斜視図
【図１９】従来例を示すアモルファスワイヤ素子の磁気インピーダンス特性説明図
【図２０】従来例を示す外部磁界ゼロでのバイアス磁界印加時の動作説明図
【図２１】従来例を示すバイアス磁界印加時の動作説明図
【符号の説明】
１…磁気インピーダンス素子、２…可変型バイアス磁界用コイル、４…可変型バイアスコイル用電源、５…負荷切換器、５ａ…負荷切換器、１１…マイクロコンピュータ、１２…極性検出器、１３…電流規格化器、１４…切換器、４０…電子式負荷継電器、１００…磁気検出素子、１０１…磁気検出器、１０３…磁気検出装置
【図１】
2004045332.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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