(57)【要約】【課題】検査回路からの電気長が短くとれ、被検査対象との物理的干渉を回避しやすく、検査回路パターンと被検査対象の不要な電気的結合を防止でき、高密度実装可能な高周波プローブを提供する。【解決手段】本願発明の電気接触子１０は、検査用プリント基板の側面に固定され、基板のパターンと電気的接続を得るための取付部１１と、接触動作におけるストロークと接触圧を得るためのばね部１２と、被検査対象と電気的接触を得るための接触部１３とが、導電性部材により板状に一体形成されたものである。本願発明の高周波プローブは、検査用プリント基板２０の側面部にスリットを設け、電気接触子１０を嵌め合い固定し、パターン２２と半田接合することにより製造される。本願発明のコンタクトブロックは、電気接触子１０を絶縁材を挟んで配列したものである。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波プローブを構成する検査用プリント基板の側面に取付けられる電気接触子であって、
被検査対象と電気的接触を得るための接触部と、前記接触部を所定の接触圧で被検査対象に接触させるためのばね部と、前記検査用プリント基板の側面に固定され、前記検査用プリント基板に形成されたパターンと電気的接続を得るための取付部とが導電性部材により一体形成されたことを特徴とする、電気接触子。
【請求項２】
前記取付部は、前記検査用プリント基板の表面側を支持する支持面と、前記検査用プリント基板の側面側を支持する支持面とを有することを特徴とする、請求項１に記載の電気接触子。
【請求項３】
前記取付部は、前記検査用プリント基板の裏面側を支持する支持面を更に有することを特徴とする、請求項２に記載の電気接触子。
【請求項４】
前記ばね部は、前記取付部に対してカンチレバー構造をなし、前記接触部が被検査対象と接触する際に、ワイプ動作することを特徴とする、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の電気接触子。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の電気接触子を所定枚数、絶縁材を挟んで所定間隔に配列したコンタクトブロック。
【請求項６】
前記配列された電気接触子の間に、電気的な遮蔽機能を有する遮蔽部材を設けたことを特徴とする、請求項５に記載のコンタクトブロック。
【請求項７】
検査回路プリント基板の側面に、
被検査対象と電気的接触を得るための接触部と、前記接触部を所定の接触圧で被検査対象に接触させるためのばね部と、前記検査用プリント基板の側面に固定され、前記検査用プリント基板に形成されたパターンと電気的接続を得るための取付部とが導電性部材により一体形成された電気接触子を取付けたことを特徴とする、高周波プローブ。
【請求項８】
被検査対象と電気的接触を得るための接触部と、前記接触部を所定の接触圧で被検査対象に接触させるためのばね部と、検査用プリント基板の側面に固定され、前記検査用プリント基板に形成されたパターンと電気的接続を得るための取付部とが導電性部材により一体形成された電気接触子を用いて高周波プローブを製造する方法であって、
前記検査用プリント基板の側面部にスリットを設ける工程と、前記設けられたスリットに前記電気接触子の取付部を嵌め合せる工程と、前記嵌め合された取付部を前記検査用プリント基板に形成されたパターンと接続する工程とを有することを特徴とする、高周波プローブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば高周波の半導体デバイスやウェハー等の電気的特性を検査する高周波プローブに用いられる電気接触子と、それを用いたコンタクトブロック、高周波プローブ及び高周波プローブの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の高周波プローブは、例えばコンタクトブロックに円筒状のスリーブを設け、そのスリーブ内を摺動自在に嵌合するプランジャーと、プランジャーを被検査対象に向けて付勢するばねとによって、プランジャーを被検査対象と接触させるスプリングプローブが用いられていた。しかしながら、スプリングプローブは構造上電気長が長くなり、高周波においてインダクタンスや電気抵抗の影響が大きくなる。このため、特に整合回路や実使用回路を模擬した回路を検査する場合には、プローブを接触させることによって被検査対象に影響を与えてしまうことから、高周波においては被測定対象のできる限り間近に検査回路を設置することが望ましい。
このため、例えば特許文献１には、検査用プリント基板にスリーブを設け、付勢部材をスリーブおよびプランジャーに対して電気的に絶縁することにより、電気長を短くしたものが開示されている。
また、特許文献２には、接触点を形成する先端部と、検査用プリント基板に設けられたスルーホールに挿入されるベース部と、先端部とベース部との間に設けられ、コンタクタが被検査対象に押し当てられたときに接触ばね力を発揮するためのスプリング部とから構成されるコンタクタを検査用プリント基板に配列することによって電気長を短くしたコンタクトストラクチャが開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−１７４０８４号公報
【特許文献２】
特開２００２−１６２４１８号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、かかる従来の高周波プローブでは、検査用プリント基板の表面（パターン面）に電気接触子が取付けられるため、検査時には検査用プリント基板が被検査対象に近接することになり、例えば電子部品が実装されたプリント基板では物理的に干渉を生じ、事実上検査を行えない場合があった。
また、検査時には検査用プリント基板に形成されたパターン面と被検査対象とが近接して対向するため、両者の間で不要な電気的結合が生じ、被検査対象の特性を正しく測定できなくなる場合があった。
更に、最近では数百μｍ以下の狭ピッチ間隔の測定が求められるようになっているが、スプリング式の電気接触子や基板表面にスルーホールを用いて固定する電気接触子では、構造的に高密度実装することは困難であった。
【０００５】
それゆえに、本願発明の主たる目的は、検査回路からの電気長が短くとれ、被検査対象との物理的干渉を回避しやすく、検査回路パターンと被検査対象の不要な電気的結合を防止でき、高密度実装可能な高周波プローブを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本願発明の電気接触子は、高周波プローブを構成する検査用プリント基板の側面に取付けられる電気接触子であって、被検査対象と電気的接触を得るための接触部と、前記接触部を所定の接触圧で被検査対象に接触させるためのばね部と、前記検査用プリント基板の側面に固定され、前記検査用プリント基板に形成されたパターンと電気的接続を得るための取付部とが導電性部材により一体形成されたものである。
本願発明の電気接触子は、検査用プリント基板の側面に取付けられるため、検査回路からの電気長が短くとれるばかりでなく、被検査対象との物理的干渉が回避しやすく、被検査対象との電気的結合も抑制される。
また、スリーブやスルーホールを使用することなく、検査用のプリント基板の側面を利用して電気接触子を固定するので、例えば薄い板状の部材を用いても一定の取付強度を得ることができ、高密度実装可能である。
【０００７】
本願発明の電気接触子は、前記取付部が前記検査用プリント基板の表面側を支持する支持面と、前記検査用プリント基板の側面側を支持する支持面とを有するものである。
これにより、電気接触子は表面側を支持する支持面と側面側を支持する支持面とを用いて検査用プリント基板に支持されるので、接触部の位置を精度良く定めることができ、機械的強度も向上する。
尚、表面側を支持する支持面は、検査用プリント基板のパターン面自体に密接させるものでもよく、検査用プリント基板のパターン面に切込みを入れ、その切込みに嵌合させるものでもよい。また、側面側を支持する支持面は、検査用プリント基板の側面自体に密接させるものでもよく、検査用プリント基板の側面に切込みを入れ、その切込みに嵌合させるものでもよい。
【０００８】
本願発明の電気接触子は、前記取付部が前記検査用プリント基板の裏面側を支持する支持面を更に有するものである。
これにより、電気接触子は検査用プリント基板を挟みこむ形で固定されるので、接触部の位置を更に精度良く定めることができ、取付精度も更に向上する。
尚、この場合も、裏面側を支持する支持面は、検査用プリント基板の裏面自体に密接させるものでもよく、検査用プリント基板の裏面に切込みを入れ、その切込みに嵌合させるものでもよい。
【０００９】
本願発明の電気接触子は、前記ばね部が前記取付部に対してカンチレバー構造をなし、前記接触部が被検査対象と接触する際に、ワイプ動作するものである。これにより、接触部を被検査対象に押し当てる際のストローク動作によって接触部が被検査対象上を摺動するワイプ動作が自動的に行われ、接触点を常に活性化させることができる。
【００１０】
本願発明のコンタクトブロックは、本願発明の電気接触子を所定枚数、絶縁材を挟んで所定間隔に配列したものである。
これにより、複数の電気接触子を配列した高周波プローブを、各電気接触子を個別に位置合わせすることなく製造でき、工数を低減できる。
尚、コンタクトブロックを検査用プリント基板に嵌め合い固定することにより、各電気接触子が検査用プリント基板のパターンと電気的に接続されるようにした脱着式のコンタクトブロックとしてもよい。これにより、目的に応じてコンタクトブロックを取り替えて検査することが可能となる。
【００１１】
本願発明のコンタクトブロックは、前記配列された電気接触子の間に、電気的な遮蔽機能を有する遮蔽部材を設けたものである。
これにより、検査ポイント間のクロストークを低減することができる。
また、本願発明の電気接触子を用いて、信号用の電気接触子の両側に絶縁材を介してＧＮＤ用の電気接触子を配列したコプレーナ型のコンタクトブロックを構成してもよい。これにより、外部の回路との電気的結合を抑制し、先端までインピーダンスをコントロール可能な高周波プローブを容易に構成できる。
【００１２】
本願発明の高周波プローブは、検査回路プリント基板の側面に、被検査対象と電気的接触を得るための接触部と、前記接触部を所定の接触圧で被検査対象に接触させるためのばね部と、前記検査用プリント基板の側面に固定され、前記検査用プリント基板に形成されたパターンと電気的接続を得るための取付部とが導電性部材により一体形成された電気接触子を取付けたものである。
これにより、検査回路からの電気長が短くとれ、被検査対象との物理的干渉を回避しやすく、検査回路パターンと被検査対象の不要な電気的結合を防止でき、高密度実装可能な高周波プローブが得られる。
【００１３】
また、本願発明の高周波プローブは、前記電気接触子の取付部が前記検査用プリント基板の表面側を支持する支持面と、前記検査用プリント基板の側面側を支持する支持面とを有するものである。これにより、電気接触子は表面側を支持する支持面と側面側を支持する支持面とを用いて検査用プリント基板に支持されるので、接触部の位置を精度良く定めることができ、機械的強度も向上する。
また、本願発明の高周波プローブは、前記電気接触子の取付部が更に前記検査用プリント基板の裏面側を支持する支持面を有するものである。これにより、電気接触子は検査用プリント基板を挟みこむ形で固定されるので、接触部の位置を更に精度良く定めることができ、取付精度も更に向上する。
また、本願発明の高周波プローブは、前記電気接触子のばね部が前記取付部に対してカンチレバー構造をなし、前記接触部が被検査対象と接触する際に、ワイプ動作するものである。これにより、接触部を被検査対象に押し当てる際のストローク動作によって接触部が被検査対象上を摺動するワイプ動作が自動的に行われ、接触点を常に活性化させることができる。
【００１４】
本願発明の高周波プローブの製造方法は、被検査対象と電気的接触を得るための接触部と、前記接触部を所定の接触圧で被検査対象に接触させるためのばね部と、検査用プリント基板の側面に固定され、前記検査用プリント基板に形成されたパターンと電気的接続を得るための取付部とが導電性部材により一体形成された電気接触子を用いて高周波プローブを製造する方法であって、前記検査用プリント基板の側面部にスリットを設ける工程と、前記設けられたスリットに前記電気接触子の取付部を嵌め合せる工程と、前記嵌め合された取付部を前記検査用プリント基板に形成されたパターンと接続する工程とを有するものである。
このように、検査用プリント基板の側面部にスリットを設け、そのスリットに接触部とばね部と取付部とが導電性部材により一体形成された電気接触子の取付部を嵌め合い固定し、検査用プリント基板のパターンと取付部とを半田接合することにより、検査回路からの電気長が短くとれ、被検査対象との物理的干渉を回避しやすく、検査回路パターンと被検査対象の不要な電気的結合を防止でき、高密度実装可能な高周波プローブを簡便に製造できる。
尚、取付部を検査用プリント基板のパターンと接続する工程は、半田接合する方法、溶接による方法、導電性接着剤により接着する方法など各種の方法を用いて行うことができ、単に圧接させるものであってもよい
また、検査用プリント基板の側面部のスリットは、検査用プリント基板のパターンがある表面側にのみ設けるようにしてもよいが、表面側とともに側面側や裏面側にも設けるようにしてもよい。
【００１５】
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１に本願発明の一実施形態にかかる電気接触子の外形形状を示す。図のように、電気接触子１０は、検査用プリント基板の側面に固定され、検査用プリント基板のパターンと電気的接続を得るための取付部１１と、取付部１１と連接され、接触動作におけるストロークと接触圧を得るためのばね部１２と、ばね部１２の先端部であって、被検査対象と電気的接触を得るための接触部１３とが、導電性部材により板状に一体形成されたものである。
【００１７】
取付部１１は、検査用プリント基板の表面（パターン面）側を支持する表面側支持面１１ａと、検査用プリント基板の側面側を支持する側面側支持面１１ｂと、検査用プリント基板の裏面側を支持する裏面側支持面１１ｃとを有し、検査用プリント基板の側面から嵌め合うように固定され、表面側支持面１１ａと検査用プリント基板のパターンとが電気的に接続される。
【００１８】
ばね部１２は、取付部１１に対してカンチレバー構造で連接され、これにより、被検査対象とのストロークが確保され、検査時に接触部１３に所定の接触圧を生じさせる。
このように、ばね部１２は取付部１１に対してカンチレバー構造を有するので、検査時のストローク動作によって接触部１３は被検査対象の表面を摺動し、いわゆるワイプ動作を生ずる（図５（ｅ）参照）。これにより、検査時に接触面を常に活性化させることができる。
また、ばね部の長さを変えることにより、接触部１３が被検査対象に接触する位置をずらせる（オフセットを与える）ことができるので、被検査対象毎の微妙な位置合せが行いやすくなり、また検査時の接触位置の確認も行いやすくなる。尚、ばね部１３の長さは、測定周波数の波長の定数倍にせず、できれば波長より充分に短くすることが望ましい。
【００１９】
電気接触子１０の材質は、所定の導電性を有し、一定の弾性を持つものであればどのようなものを用いてもよく、黄銅やベリリウム等のＣｕ合金に金メッキをしたものや無垢の金合金等を用いることができる。また、本願発明の電気接触子は取付部とばね部が一体形成されており、打抜きやプレス加工、エッチング、線材加工等により容易に製造することができる。
尚、本実施形態では、電気接触子の全体を同一の部材で形成するものとして説明したが、これに限定されるものではなく、一部を異なる材料で形成するようにしてもよい。
また、接触部１３は、ばね部１２の先端に突起を設けたものでもよいが、先端に球状の金合金等を溶着するようにしてもよい。
【００２０】
次に、本願発明の電気接触子１０を用いて高周波プローブを製造する方法について、図２を用いて説明する。図において、（ａ）は外観図、（ｂ）は検査用プリント基板の表面側から見た平面図、（ｃ）は電気接触子を取付けた検査用プリント基板の側面を横から見た正面図、（ｄ）は電気接触子を取付けた検査用プリント基板の側面を正面から見た側面図、（ｅ）は平面図のＡＡ断面を示す断面図である。図において、１０は電気接触子、２０は検査用プリント基板であり、検査用プリント基板２０は、セラミックや樹脂等の基板２１の上に配線パターン２２が形成されている。
【００２１】
まず、最初に検査用プリント基板の側面部の電気接触子取付位置にスリットを設ける。この例では、電気接触子１０の表面側支持面１１ａ、側面側支持面１１ｂ、裏面側支持面１１ｃのそれぞれに対応するスリットが設けられる。
次に、設けられたスリットに、電気接触子の取付部１１を嵌め合わせる。
そして、最後に取付部１１の表面側支持面１１ａを検査用プリント基板のパターン２２と半田接合する。
このように、検査用プリント基板にスリットを設け、それに電気接触子の取付部を嵌め合わせて固定することにより、検査用プリント基板２０に対する電気接触子の接触部１３の位置が正確に定められる。また、電気接触子の取付部がスリットによって保持されるので、機械的強度が確保され、電気接触子が外圧を受けても検査用プリント基板のパターンには負荷がかからない。
尚、機械的強度や取付精度において問題がなければ、必ずしも検査用プリント基板にスリットを設ける必要はなく、電気接触子の取付部の側面側支持面１１ａを検査用プリント基板の側面に密接させるとともに、表面側支持面１１ｂを検査用プリント基板のパターン面に密接させて、半田接合するようにしてもよい。
【００２２】
上記実施形態では、電気接触子の取付部を検査用プリント基板のパターンと半田接合するものとして説明したが、表面側支持面をパターン面に密接させることによって電気的接続を得るようにしてもよい。例えば、検査用プリント基板の側面部の裏面にのみ、もしくは裏面と側面にスリットを設け、このスリットを用いて電気接触子の取付部を嵌め込むことで、電気接触子の取付部の表面側支持面が検査用プリント基板のパターンに密着させ、これにより必要な電気的接続が得られるようにする。このようにすれば、検査用プリント基板に電気接触子を嵌め込むだけで高周波プローブを製造できる。
【００２３】
図３に本願発明の他の実施形態にかかる電気接触子の外形形状を示す。これは、前述の電気接触子の取付部１１において、検査用プリント基板の裏面側を支持する裏面側支持面がないものである。このように、表面側支持面と側面側支持面のみによっても検査用プリント基板に固定することは可能であり、本願発明の効果を奏する。尚、この場合においても、機械的強度や取付精度に問題がなければ、検査用プリント基板にスリットを設けることなく、電気接触子の取付部の表面側支持面を検査用プリント基板のパターンに半田接合させることによって固定してもよいが、少なくとも検査用プリント基板の表面側にはスリットを設けて嵌め合わせて半田接合することが好ましい。
【００２４】
電気接触子１０は、上記実施形態の形状に限定されるものではなく、検査用プリント基板の側面部に固定する取付部に、ばね部と接触部とが一体形成されたものであればどのようなものでもよい。
図４に、各種の実施形態にかかる電気接触子を検査用プリント基板に取付けた状態を示す。図のように、前述の実施形態（１）（５）の他にも、ばね部や取付部の形態によって各種のものが考えられ、両持式の山型のもの（２）、両持式の丸型のもの（３）、片持式で側面側支持面を省略したもの（４）、片持式の丸型のもの（６）、片持式の水平蛇行型のもの（７）、片持式の斜め蛇行型のもの（８）、リング状のものを側面に取付けるもの（９）等についても本願発明の効果を奏する。ここで、（１）（２）（３）（６）（７）（８）は位置精度と取付強度が高くとれること、（１）（４）（５）はワイプ動作をすること、（１）（４）（５）は接触位置のオフセットを与えることができること、（１）（２）（３）（４）（５）（６）（９）は比較的大きなストロークをとれること、（９）は構造的に簡易であること等の特徴を有する。
尚、取付部は必ずしも表面側支持面や側面側支持面や裏面側支持面を有している必要はなく、例えば検査用プリント基板に表面から裏面に渡って貫通するスリットを設け、それに長方形状の取付部を有する電気接触子を嵌め合い固定して、検査用プリント基板のパターンと半田接合するものでもよい。この場合、検査用プリント基板に設けたスリットの内面にもパターンを形成するようにすれば、電気接触子の取付強度を向上させることができる。
【００２５】
図５に本願発明の電気接触子を用いた高周波プローブの一実施形態を示す。図において、（ａ）は上から見た平面図、（ｂ）は横から見た正面図、（ｃ）は裏から見た裏面図、（ｄ）は同軸コネクタ側から見た側面図、（ｅ）は検査時の接触部のワイプ動作を示す説明図である。
この高周波プローブ３０は、本願発明の電気接触子１０を３個並べて配置したもので、中央の１０ｂを信号用、両側の１０ａ、１０ｃをＧＮＤ用とし、コプレーナ型としたものである。電気接触子１０ａ、１０ｂ、１０ｃは検査用プリント基板２０に取付けられ、基板上に形成されたパターン２２ａ、２２ｂ、２２ｃを介して後方の同軸コネクタ３１に接続される。
このような高周波プローブ３０を、被検査対象に対して直角にアプローチさせると、電気接触子１０がこの実施形態のようなカンチレバー構造の場合には接触部が被検査対象に接触してワイプ動作するので、接触部が常に活性化される（図の（ｅ））。
【００２６】
次に、本願発明の電気接触子を複数配列したコンタクトブロックについて説明する。本願発明の電気接触子は、検査用プリント基板の側面に取付けることによって、検査回路からの電気長が短くとれ、被検査対象との物理的干渉を回避しやすく、検査回路パターンと被検査対象の不要な電気的結合を防止でき、高密度実装可能な高周波プローブを提供するものであるが、あらかじめ複数の電気接触子を配列したコンタクトブロックを準備しておけば、コンタクトブロックを検査用プリント基板に固定し、各電気接触子を検査用プリント基板の各パターンと半田接合することにより、複数のコンタクトを有する高周波プローブをより簡便に製造することができる。
【００２７】
図６に本願発明の電気接触子を用いたコンタクトブロックの一実施形態を示す。このコンタクトブロック４０は、２つの電気接触子１０ａ、１０ｂの間に、絶縁材４４を介して遮蔽部材４２を設けたものである。
このコンタクトブロック４０を検査用プリント基板に固定し、１０ａと１０ｂを信号用のパターンに接続し、４２をＧＮＤに接続することにより、１０ａと１０ｂの間を電気的に遮蔽し、クロストークを低減することのできる高周波プローブが簡便に製造できる。尚、遮蔽部材は所定の遮蔽効果が得られる限りどのような形状でもよい。また、遮蔽部材４２にも電気接触子１０を使用し、被検査対象のＧＮＤに接触させるようにしてもよい。
【００２８】
また、本願発明の電気接触子を用いたコンタクトブロックの他の実施形態として、信号用の電気接触子の両側に絶縁材を介してＧＮＤ用の電気接触子を配列したものも考えられる。このコンタクトブロックを検査用プリント基板に取付けることでコプレーナ型の高周波プローブを簡便に製造できる。
【００２９】
更に、多数の測定箇所が一定間隔で並んだ被検査対象に用いる高周波プローブを製造する場合には、所定枚数の電気接触子１０を所定間隔に絶縁材を挟んで配列したコンタクトブロックをあらかじめ準備しておけば、１つ１つの電気接触子を個別に位置合わせすることが不要となり、生産効率を大幅に向上させることができる。
当然のことながら、このような多数の電気接触子を配列したコンタクトブロックにおいて隣接する信号を遮蔽する遮蔽部材を各電気接触子の中間に設けるようにしてもよく、その遮蔽部材を電気接触子で構成してこれを被検査対象のＧＮＤに接触させるようにしてもよい。
【００３０】
上記実施形態では、コンタクトブロックの各電気接触子と検査用プリント基板のパターンとは半田接合するとして説明したが、コンタクトブロックを検査用プリント基板に設けたスリットに嵌め込むこと等により、各電気接触子の取付部の表面側支持面が検査用プリント基板の各パターンと密接して必要な電気的接続が得られるようにしてもよい。このようにすれば、コンタクトブロックは検査用プリント基板に対して脱着可能となり、目的の応じて適合するコンタクトブロックを取り替えて検査することが可能となる。
【００３１】
【発明の効果】
以上のように、本願発明によれば、接触部とばね部と取付部とが導電性材料により一体形成された電気接触子を検査用プリント基板の側面に取付けるようにしたので、検査回路からの電気長が短くとれ、被検査対象との物理的干渉を回避しやすく、検査回路パターンと被検査対象の不要な電気的結合を防止でき、高密度実装可能な高周波プローブを提供できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の一実施形態にかかる電気接触子の外形図である。
【図２】本願発明の一実施形態にかかる電気接触子の検査用プリント基板への取付例を示す図である。
【図３】本願発明の他の実施形態にかかる電気接触子の外形図である。
【図４】本願発明の各種の実施形態にかかる電気接触子の検査用プリント基板への取付例を示す図である。
【図５】本願発明の電気接触子を用いた高周波プローブの一実施形態を示す図である。
【図６】本願発明の電気接触子を用いたコンタクトブロックの一実施形態を示す図である。
【符号の説明】
１０  電気接触子
１１  取付部
１２  ばね部
１３  接触部
２０  検査用プリント基板
３０  コンタクトブロック
３１  同軸コネクタ
【図１】
2004340586.tif 000003
【図２】
2004340586.tif 000004
【図３】
2004340586.tif 000005
【図４】
2004340586.tif 000006
【図５】
2004340586.tif 000007
【図６】
2004340586.tif 000008