(57)【要約】【課題】できるだけ小型化を図りつつ、有効な吐出が行えるような構成の液滴吐出ヘッド等を得る。【解決手段】供給路２０１から供給される溶液４００を貯めるためのリザーバ２２と、オリフィス１３を介してリザーバ２２に貯められた溶液４００が供給され、また外部からの力により少なくとも一部分が形状変化する吐出室２１と、吐出室２１の形状変化による室内の圧力変化により溶液４００体を吐出するノズルＡとを少なくとも備えた液滴吐出ヘッドにおいて、リザーバ２１内の溶液４００が気体と接するように、リザーバ２２を構成する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給路から供給される吐出液体を貯めるためのリザーバと、細溝を介して前記リザーバに貯められた前記吐出液体が供給され、また外部からの力により少なくとも一部分が形状変化する吐出室と、該吐出室の形状変化による室内の圧力変化により前記吐出液体を吐出するノズルとを少なくとも備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
前記リザーバ内の吐出液体が気体と接するように、前記リザーバを構成することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記リザーバと連通する位置に前記気体を固定させておくための空気室を設けたことを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記空気室の一部を撥水処理又は撥水材料で構成することを特徴とする請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記空気室と外部とを連通させるための孔を設けることを特徴とする請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記空気室の径は、前記ノズルの径よりも広くすることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
供給路から供給される吐出液体を貯めるリザーバと、細溝を介して前記リザーバに貯められた前記吐出液体が供給され、また外部からの力により少なくとも一部分が形状変化する吐出室と、該吐出室の形状変化による室内の圧力変化により前記吐出液体を吐出するノズルとを少なくとも備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
前記リザーバの少なくとも一部が、前記吐出液体による圧力変化に基づいて形状変化することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
前記リザーバの少なくとも一部を、ダイヤフラムの機構とすることを特徴とする請求項６記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
前記吐出液体を貯めるタンク、該タンクに貯められた吐出液体を前記リザーバに供給する供給路、前記リザーバ、前記吐出室及び前記ノズルを少なくとも備えた組を複数組有することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
前記吐出液体は生体分子を含む溶液であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
任意の生体分子を含む液体をノズルに供給するための供給路による流路抵抗、慣性の振動特性への影響を少なくする機構を有した液滴吐出ヘッドと、
位置制御信号に基づいて前記液滴吐出ヘッドを移動させる走査駆動手段と、
記録対象となるチップと前記液滴吐出ヘッドとの相対位置を変化させる位置制御手段とを少なくとも備えることを特徴とするディスペンサ。
【請求項１１】
力が加わると形状変化する吐出室及び細溝を介して供給路から供給される吐出液体を前記吐出室に供給するためのリザーバとなる凹部が形成された第１の基板及び前記リザーバの少なくとも一部が前記吐出液体による圧力変化に基づいて形状変化できるように前記リザーバに対応させて形成された凹部と前記吐出室に力を加えて形状変化させる加圧手段とが設けられた第２の基板を作成する工程と、
前記第１の基板と前記第２の基板とを少なくとも接合する工程とを有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記リザーバに対応させた凹部に等電位配線を設けておき、前記第１の基板と前記第２の基板とを陽極接合することを特徴とする請求項１１記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
力が加わると形状変化し、ノズルから吐出液体を吐出させるための吐出室に細溝を介して供給路から供給される吐出液体を供給するためのリザーバの一部に、前記リザーバ内の吐出液体を空気と接するため孔を形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
請求項１１〜１３のいずれかに記載した液滴吐出ヘッドの製造方法により製造した液滴吐出ヘッドを用いて、任意の生体分子を含む液体をノズルから吐出できるように製造したことを特徴とするディスペンサの製造方法。
【請求項１５】
任意の生体分子を含む液体をノズルに供給するための供給路による流路抵抗、慣性の振動特性への影響を少なくする機構を有した液滴吐出ヘッドとチップとを相対的に移動させる工程と、
前記液滴吐出ヘッドから前記チップに前記任意の生体分子を含む液体を吐出する工程と
前記任意の生体分子を含む液体を固化させてプローブを作成する工程とを少なくとも有することを特徴とするバイオチップ製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液滴吐出ヘッド等に関するものである。特に、例えば主に生体分子の反応検査、生体分子のチップ（バイオチップ）の製造の用途等に利用するヘッドの加工を中心とするものである。
【０００２】
【従来の技術】
液滴吐出方式（インクジェット方式）による印刷等の記録をする装置では、インク等の液体を付着させる位置を制御しながら、液滴吐出用のヘッド（吐出される液体はインクに限られないので、ここでは、インクジェットヘッドの代わりに液滴吐出ヘッドという言葉を用いる）から液滴を吐出し、印刷を行う。
【０００３】
液滴吐出方式には、液を加熱して気体（バブル）を発生させた圧力によって液滴を吐出させる方法もあるが、ここでは、ノズルから吐出させる液体を貯めておく吐出室の、少なくとも一面の壁を撓ませて形状が変化するようにしておき、撓みにより吐出室内の圧力を高め、ノズルから液滴を吐出させる方法について説明する。吐出室を撓ませるための加圧方式として圧電方式と静電方式がある（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
また、近年、液滴吐出方式は、印刷の記録等だけでなく様々な分野の用途に用いられている。その１つにバイオテクノロジー（生体化学）分野への利用がある。バイオテクノロジーでは、ＤＮＡ検査、抗体検査等が利用され、遺伝的な疾患の治療、防止等が実用化され始めている。これらの検査では、少量多種の生体分子と検体とを反応させる必要がある。このため、複数の塩基、蛋白質の生体分子をチップ（マイクロアレイともいう）上に配置したいわゆるバイオチップが用いられている。液滴吐出ヘッドは、バイオチップを製造したり、生体分子を注入等するディスペンサ（ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ  ：又はスポッタ（ｓｐｏｔｔｅｒ  ）ともいう）と呼ばれる装置に用いられる。例えば、スポッタの場合、従来はピンヘッドを用い、塩基や蛋白質をチップに貼り付けていたが、ピンヘッドの移動、洗浄等の工程を複数回必要とするため製造時間を要する。そのため、液滴吐出ヘッドを用いて液体を吐出する。チップ上にマトリクス状に設けられたスポットに、ＤＮＡ（Ｄｅｏｘｙｒｉｂｏ  Ｎｕｃｌｅｉｃ  Ａｃｉｄｓ  ：デオキシリボ核酸）、蛋白質（プロテイン）等の生体分子の断片（プローブ）等が含まれた溶液（以下、単に溶液という）を吐出し、貼付けて固化させる。液体吐出方式は、多種の液体を一度に吐出することができるので、このような用途には都合がよい（特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−５７９６６号公報
【特許文献２】
特開平１１−９９０００号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような装置は、少量の溶液をチップ等に吐出できればいいので、できるだけ小型化できることが望ましい。しかしながら、せいぜい６色程度のインクを供給すれば事足りるプリンタとは違い、数十種類の溶液を各々のノズルから吐出する必要がある。そのため、その分の溶液を貯蔵するタンク数が必要となる。タンクは各吐出室の幅よりも広いので、そのためのレイアウトを行い、各溶液を独立したタンクから導くとすると、ヘッドの吐出を行うための駆動部分（以下、ヘッド本体という）に至るまでの供給路（流路）が、その溶液量に比して長くなってしまう。そのため、流路抵抗と慣性が増大し、供給路からヘッド本体に供給される溶液の流量が制限される。幸い、ディスペンサとして用いる場合には、バイオチップの搬送、アライメント等に時間を要するので、印刷用途に比べると駆動周波数が低く、供給量も少なくてよい。ただ、このままだと、ノズルとオリフィスとの間の流路パラメータによる関係がアンバランスになってしまい、吐出ができなくなってしまう場合がある。抵抗と慣性を下げるには供給ロ断面を大きくすればよいが、これではヘッドも大型化してしまい、当初の目的を達成できなくなる。
【０００７】
そこで、本発明ではこのような問題を解決するため、できるだけ小型化を図りつつ、有効な吐出が行えるような構成の液滴吐出ヘッド等を得ることを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、供給路から供給される吐出液体を貯めるためのリザーバと、細溝を介してリザーバに貯められた吐出液体が供給され、また外部からの力により少なくとも一部分が形状変化する吐出室と、吐出室の形状変化による室内の圧力変化により吐出液体を吐出するノズルとを少なくとも備えた液滴吐出ヘッドにおいて、リザーバ内の吐出液体が気体と接するように、リザーバを構成するものである。
本発明においては、リザーバ内の吐出液体が気体と接するようにリザーバを構成し、気体が圧力に対して膨張収縮が大きく、コンプライアンスとなり得ることを利用して、流路抵抗、慣性の振動特性への影響を少なくする。したがって、吐出液体量に対して供給路を長く構成しても流路抵抗、慣性が振動特性に影響しなくなり、吐出液体の供給をスムーズに行うことができる。そのため、小型化を図るために、多種の吐出液体をヘッド上に設ける場合に、やむを得ず供給路が長くなっても、安定した吐出を確保することができる。これにより、吐出に必要な量が吐出室に供給される時間は多少長くなるものの、例えば、生体分子を含む溶液を吐出してバイオチップを製造するような用途では、ヘッドの位置調整等に時間を考えれば、許容できる時間である。
【０００９】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、リザーバと連通する位置に気体を固定させておくための空気室を設けたものである。
本発明においては、気体が吐出室に入り込まないように、気体を固定させておくための空気室を設ける。したがって、吐出室に入り込んで、液体を吐出をしようとするための圧力変動までも吸収してしまうことがなく、安定した液体の吐出を図ることができる。
【００１０】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、空気室の一部を撥水処理又は撥水材料で構成する。
本発明においては、吐出液体が空気室に侵入しないように、空気室の一部を撥水処理又は撥水材料で構成する。したがって、圧力変動、毛細管現象等により、液体が空気室に入り込むことがなくなる。
【００１１】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、空気室と外部とを連通させるための孔を設ける。
本発明においては、外部からの処理により吐出液体を空気室から排出できるように孔を設けておく。したがって、万が一、空気室に吐出液体が入り込んだ場合でも、吐出液体を空気室から排出することができる。
【００１２】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの空気室の径は、ノズルの径よりも広くする。
本発明においては、空気室におけるメニスカスの変動を少なくするために、ノズルの径よりも広くする。したがって、圧力変動に対しても安定してダンパとしての役割を果たすことができる。
【００１３】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、供給路から供給される吐出液体を貯めるリザーバと、細溝を介してリザーバに貯められた吐出液体が供給され、また外部からの力により少なくとも一部分が形状変化する吐出室と、吐出室の形状変化による室内の圧力変化により吐出液体を吐出するノズルとを少なくとも備えた液滴吐出ヘッドにおいて、リザーバの少なくとも一部が、吐出液体による圧力変化に基づいて形状変化するものである。
本発明においては、リザーバの少なくとも一部が、吐出液体による圧力変化に基づいて形状変化することでコンプライアンスとなり、圧力変動を調整して流路抵抗、慣性の振動特性への影響を少なくする。したがって、供給路を長く構成しても流路抵抗、慣性が振動特性に影響しなくなり、吐出液体の供給をスムーズに行うことができる。そのため、小型化を図るために、多種の吐出液体をヘッド上に設ける場合に、やむを得ず供給路が長くなっても、安定した吐出を確保することができる。これにより、吐出に必要な量が吐出室に供給される時間は多少長くなるものの、例えば、生体分子を含む溶液を吐出してバイオチップを製造するような用途では、ヘッドの位置調整等に時間を考えれば、許容できる時間である。
【００１４】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、リザーバの少なくとも一部を、ダイヤフラムの機構とするものである。
本発明では、リザーバの一部を薄膜で構成し、ダイヤフラム機構とする。したがって、圧力変動を調整して、安定した吐出を行うことができる。
【００１５】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、吐出液体を貯めるタンク、タンクに貯められた吐出液体をリザーバに供給する供給路、リザーバ、吐出室及びノズルを少なくとも備えた組を複数組有するものである。
本発明では、タンク、供給路、リザーバ、吐出室及びノズルをそれぞれ複数組設けることで、多種の吐出液体をそれぞれ吐出できるようにする。したがって、別々の吐出液体を吐出する機構を複数設けて小型化することができる。
【００１６】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドにおいて、吐出液体は生体分子を含む溶液である。
本発明においては、吐出液体は生体分子を含むようにする。したがって、様々な生体分子を吐出液体として用い、多種少量の吐出を行うことにより、例えばＤＮＡチップ、プロテイン（蛋白質）チップ等の製造に利用することができる。特に吐出室の圧力変化による吐出方法では加熱を行わないので、熱によって変化する可能性が高い生体分子には有効である。
【００１７】
また、本発明に係るディスペンサは、任意の生体分子を含む液体をノズルに供給するための供給路による流路抵抗、慣性の影響を少なくする機構を有した液滴吐出ヘッドと、位置制御信号に基づいて液滴吐出ヘッドを移動させる走査駆動手段と、記録対象となるチップと液滴吐出ヘッドとの相対位置を変化させる位置制御手段とを少なくとも備えるものである。
本発明においては、供給路による流路抵抗、慣性の影響を少なくする機構を有し、安定した液体の吐出を行う液滴吐出ヘッドを走査駆動手段で移動させ、位置制御手段があチップと液滴吐出ヘッドとの相対位置を変化させ、バイオチップを製造したり、検査用の液体を吐出する。したがって、ヘッド内に液体を貯めておけば、接触ピン、キャピラリを用いた場合よりもヘッドの移動が少なく、時間的効率がよいマイクロアレイ製造装置を得ることができる。特に吐出室の形状変化によって吐出を行う場合には加熱を行わないので、熱によって変化する可能性が高い生体分子には有効である。
【００１８】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、力が加わると形状変化する吐出室及び細溝を介して供給路から供給される吐出液体を吐出室に供給するためのリザーバとなる凹部が形成された第１の基板及びリザーバの少なくとも一部が吐出液体による圧力変化に基づいて形状変化できるようにリザーバに対応させて形成された凹部と吐出室に力を加えて形状変化させる加圧手段とが設けられた第２の基板を作成する工程と、第１の基板と第２の基板とを少なくとも接合する工程とを有するものである。
本発明においては、第１の基板に形成するリザーバとなる凹部の少なくとも一部が圧力に応じて形状変化するようにしておき、また、第２の基板には、その形状変化が行えるだけの空間を形成するため、凹部を形成しておいて、接合した液滴吐出ヘッドを製造する。したがって、リザーバの少なくとも一部がコンプライアンスとなり、供給路を長く構成しても流路抵抗、慣性が振動特性に影響しなくなり、吐出液体の供給をスムーズに行うことができる。そのため、小型化を図るために、多種の吐出液体をヘッド上に設ける場合に、やむを得ず供給路が長くなっても、安定した吐出を確保することができる。
【００１９】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、リザーバに対応させた凹部に等電位配線を設けておき、第１の基板と第２の基板とを陽極接合する。
本発明においては、リザーバの一部が撓みやすいことにより、陽極接合時の電圧印加でその一部がくっついてしまわないように、等電位配線を設けた上で陽極接合を行う。したがって、吐出液体の圧力変動によって、撓ませなければならないリザーバの一部をくっつけてしまうことなく、有効な陽極接合を行うことができる。しかも、陽極接合は接着剤を用いない接合であるので、吐出液体に有機化合物を用いることができ、また、吐出液体への有機化合物の混入を防止することができる。
【００２０】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、力が加わると形状変化し、ノズルから吐出液体を吐出させるための吐出室に細溝を介して供給路から供給される吐出液体を供給するためのリザーバの一部に、リザーバ内の吐出液体を空気と接するため孔を形成するものである。
本発明においては、細溝を介して吐出室に吐出液体を供給するリザーバの一部に孔を形成するようにし、リザーバ内の吐出液体が空気と接するような液滴吐出ヘッドを製造する。したがって、吐出液体量に対して供給路を長く構成しても流路抵抗、慣性が振動特性に影響しなくなり、吐出液体の供給をスムーズに行うことができる。そのため、小型化を図るために、多種の吐出液体をヘッド上に設ける場合に、やむを得ず供給路が長くなっても、安定した吐出を確保することができる。
【００２１】
また、本発明に係るディスペンサの製造方法は、上記の製造方法により製造した液滴吐出ヘッドを用いて、任意の生体分子を含む液体をノズルから吐出できるように製造したものである。
本発明においては、リザーバとなる凹部の少なくとも一部が圧力に応じて形状変化するようにした第１の基板と、その形状変化が行えるだけの空間を形成するための凹部を形成した第２の基板とを接合した液滴吐出ヘッドを用いて、任意の生体分子を含む液体を吐出できるようにしたディスペンサを製造する。したがって、やむを得ず、供給路が長くなったとしても、凹部の一部が吐出液体の圧力変動を調整し、安定した吐出を行えるディスペンサを製造することができる。
【００２２】
また、本発明に係るバイオチップ製造方法は、任意の生体分子を含む液体をノズルに供給するための供給路による流路抵抗、慣性の影響を少なくする機構を有した液滴吐出ヘッドとチップとを相対的に移動させる工程と、液滴吐出ヘッドからチップに任意の生体分子を含む液体を吐出する工程と、任意の生体分子を含む液体を固化させてプローブを作成する工程とを少なくとも有するものである。
本発明においては、任意の生体分子を含む液体をノズルに供給するための供給路による流路抵抗、慣性の影響を少なくする機構を有した液滴吐出ヘッドとチップとを相対的に移動させ、ヘッドから液体を吐出し、その液体を固化させてプローブを作成する。したがって、液滴吐出ヘッドによる細かな吐出量制御により、プローブの大きさを均一で小さくでき、ノズルの間隔を狭めることにより、プローブの密度が高いバイオチップを得ることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は本発明の第１の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドの構成を表す分解斜視図である。図１はいわゆるフェイスタイプの静電方式のヘッドを表している。図１（ａ）において、液滴吐出ヘッド本体１００は、ノズルプレート１０、キャビティ基板２０及び電極基板３０とを積層して構成したものである。
【００２４】
図２は液滴吐出ヘッドの断面図である。図１及び図２において、ノズルプレート１０はシリコン基板で構成される。ノズルプレート１０の一方の面には、吐出室２１となるキャビティ基板２０の凹部と連通するノズル１１Ａ（図１では図示せず）ノズル孔１１及びリザーバ２２となる凹部と連通し、供給基板２００から供給される吐出液体である溶液４００（ここでは、生体分子を含む溶液とする）を取り入れるための供給口１２が形成される。また、他方の面にはオリフィス１３となる細溝（図１では図示せず）を設け、吐出室２１とリザーバ２２とを連通させる。また、ノズルプレート１０は、吐出室２１及びリザーバ２２の一方の壁面を成している。
【００２５】
キャビティ基板２０は、例えば（１１０）面方位のシリコン単結晶基板で構成される。キャビティ基板２０をエッチングすることによって、吐出室２１、リザーバ２２等となる凹部を形成する。吐出室２１は、ノズル孔１１から吐出させるための溶液４００を溜めておくものである。吐出室２１となる凹部のある壁面（ここでは底壁とするが特に限定しない）には、振動板２３を形成する。振動板２３は撓んで形状変化する。振動板２３を撓ませることにより、吐出室２１内の圧力を高め、ノズル孔１１から溶液４００を吐出させる。また、リザーバ２２は供給口１２を介して供給される溶液４００を吐出室２１に供給するために貯めておくものである。ここで、リザーバ２２となる凹部の壁面（ここでは底壁とするが特に限定しない）を、リザーバダイヤフラム２４を構成する膜２４Ａ（以下、膜２４Ａという）として形成する。リザーバダイヤフラム２４は、供給路が長くなることによる慣性、流路抵抗の緩和を図り、ノズル孔１１からの吐出を行わせるための大きな音響容量（コンプライアンス）を得る目的で設けているものである。膜２４Ａとなるリザーバ２４の底壁は圧力が加わることにより撓みが生じやすくなっている。通常、振動板２３及び膜２４Ａは、ウェットエッチングによって形成され、同じ厚さとなる。ここで、例えば、膜２４Ａをさらに薄く形成したい場合には、工程数は多くなるが、膜２４Ａの部分だけさらにエッチングを行って薄くすることもできる。細溝はオリフィス（ｏｒｉｆｉｃｅ  ）１３の役割をする。
【００２６】
電極基板３０は、例えばホウ珪酸系の耐熱硬質ガラス基板で構成されている。
電極基板３０には例えば深さ約０．３μｍの凹部が設けられている。そして、その凹部には、各吐出室２１及び各リザーバ２２に対応して電極３１と等電位配線３３が設けられている。電極３１として、例えば酸化錫を不純物としてドープした酸化インジウム膜であるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ：インジウム酸化第１錫）膜を用いた、透明電極を用いる。ただ、この材料に限定されるものではなく、金属電極等様々な材料を電極として用いることができる。等電位配線３３は、ヘッド本体の製造時に、キャビテイ基板２０と電極基板３０とを陽極接合させる際、印加する電圧により、膜２４Ａが電極基板３０に貼り付いてしまわないようにするために設ける。ここで陽極接合とは、例えばシリコン基板であるキャビテイ基板２０とガラス基板である電極基板３０とを重ね、加熱しながら、キャビティ基板２０を陽極とし、電極基板３０を陰極として、直流電圧を印加することによって接合を行うものである。この方法は接着剤を用いずに接合することができる。
そのため、耐久性が高く、しかも有機化合物を含む溶液４００を用いる場合には特に有効である。ここで、電極３１が設けられた方の凹部は、振動板２３と電極３１との間を調整するためのギャップ（空隙）を構成する。また、等電位配線３３が設けられた方の凹部は、リザーバダイヤフラム２４を構成する気室３２となり、膜２４Ａが溶液４００による圧力に応じて撓めるだけの空隙を与える。
【００２７】
発振回路４０は、ワイヤ４１を介して電極３１に電荷の供給及び停止を制御する。発振回路４０は、印刷用途の液滴吐出ヘッドの発振回路よりも低周波数でパルス電圧を印加する。この発振回路４０が駆動し、電極３１に電荷を供給して正に帯電させ、振動板２３を負に帯電させると、振動板２３は静電気力により電極３１に引き寄せられて撓む。これにより吐出室２１の容積は広がり、その分、リザーバ２２から溶液４００が供給される。そして、電極３１への電荷供給を止めると振動板２１は元に戻るが、そのときの吐出室２１の容積も元に戻るから、その圧力により差分の溶液４００がノズル孔１１から吐出する。
【００２８】
図１（ｂ）において、供給路基板２００は、液滴吐出ヘッド本体１００に溶液４００を供給するために設けられており、複数の溶液タンク３００に繋がっている。供給路基板２００は２層構造からなり、供給路２０１となる溝が形成された溝基板２０３と溝に蓋をするための蓋基板２０２からなる。溶液タンク３００の上部には、空気孔を兼る溶液充填孔３０１が開口しており、この溶液充填孔３０１を介して、作業者は溶液４００を溶液タンク３００に充填することができる。各溶液タンク３００から供給される溶液４００は、蓋基板２０２に設けられた穴２０４を介して供給路２０１に流れ込む。そして、供給路２０１から蓋基板２０２に設けられた穴２０５、液滴吐出ヘッド本体１００に設けられた供給口１２を介してリザーバ２２に供給されることになる。なお、図１ではノズル孔１１が上方向を向いた斜視図を記載しているが、実際には、図２のようにノズル孔１１が下方向となる向きで用いられることとなる。
【００２９】
図３は液滴吐出ヘッドを上面から見た図である。図１では４種の溶液を吐出できるような機構を構成しているが、実際には図３のようにさらに多くの種類の溶液を吐出するためのレイアウトが施されている。ここで、図３の液滴吐出ヘッドでは、各供給路（流路）の長さが同じになるように調整され、レイアウトされている。
【００３０】
本実施の形態においては、供給路２０１が長くなることによって発生する慣性、抵抗の影響を緩和するために、リザーバ２２の少なくとも１つの壁面が溶液による圧力が加えられることによって撓むようにしておく。この撓みによって、リザーバダイヤフラム２４によるコンプライアンスを大きくし、流路抵抗、慣性による影響が抑えられる。そのため、供給路２０１のように流路が長くても溶液の吐出が行える。したがって、例えば、バイオチップ等の製造に用いる液滴吐出ヘッドのように、少量多種の溶液を一度に吐出できるようなヘッドを作成する場合に、構成上、小型化を図る上で、複数の溶液を貯める複数のタンクをヘッドに設けようとした場合に、やむを得ず流路が長くなってしまうようなものについても、液体の吐出が確保できる。これにより、液滴吐出ヘッドを小型化することができる。
【００３１】
図４は液滴吐出ヘッドを電気系の等価回路で表した図である。図４（ａ）は、通常の液滴吐出ヘッドの構成を電気系の等価回路で表したものである。図４（ｂ）は供給路２０１のような長い流路を有する液滴吐出ヘッドの構成を電気系の等価回路で表したものである。また、図４（ｃ）は、図１及び図２のような液滴吐出ヘッドを電気系の等価回路で表した図である。図４に基づいて、リザーバダイヤフラム２４を設けることによる効果について説明する。ここで、流体系については音響系と同様に推定することができる。また、音響系は電気系の等価回路推定を行うことができる。これによって、電気系で表したのが図４の回路である。図４において、φはＩＴＯ電極の静電引力による駆動力を表している。また、ｕは溶液４００の流量を表す。ｍはイナータンス（音響質量）、ｃはコンプライアンス及びｒは音響抵抗を表す。また、添字については、０は振動板、１は吐出室、２はオリフィス、３はノズル、Ｐは供給路であることを表す。また、ｃｒ  はリザーバダイヤフラム２４のコンプライアンスを表す。ここで、各数値は、例えば、ｒ２  ＝ｒ３  ＝７．０×１０−１２  Ｎｓ／ｍ５  、ｍ２  ＝ｍ３  ＝１．５×１０−８ｋｇ／ｍ４  、ｃ０  ＝４×１０−１９  ｍ５  ／Ｎのオーダとなる。ここで本発明はこの数値に限定されるものではない。上記の数値は、あくまでも液滴吐出ヘッドにおけるオーダを示すための参考値である。
【００３２】
本実施の形態の液滴吐出ヘッドにおける動作を説明する前に、まず、図４（ａ）のような供給路２０１による抵抗を考慮しない通常の液滴吐出ヘッドの場合について説明する。まず、図５のような液滴吐出ヘッドについて方程式を作成し、時間による１回微分を行うと、次式（１）〜（４）のようになる。ここで右肩の括弧で囲んだ数字は、微分の回数を表しているものとする。
φ（１）  ＝ｕ０  ／ｃ０  ＋ｕ１ ／ｃ１                                …（１）
ｕ０  ＝ｕ１ ＋ｕ２ ＋ｕ３                                       …（２）
ｕ１ ／ｃ１  ＝ｒ３  ｕ３（１）＋ｍ３  ／ｕ３（２）                        …（３）
ｕ１ ／ｃ１  ＝ｒ２  ｕ２（１）＋ｍ２  ／ｕ２（２）                        …（４）
【００３３】
次に、微分方程式を簡略に解くためにｒ３  ＝ｋｒ２  、ｍ３  ＝ｋｍ２  とすると、次式（５）が成り立つ。
2004226321.tif 000003
【００３４】
ここで、吐出室２１の剛性が充分高い場合、溶液４００の体積変化はほとんど無いので、コンプライアンスｃ１  は小さくなり、これにより流れる流量ｕ１ は無視できる。（１／ｋ＋１）／ｃ０  ＝Ｃとおくと、（５）式は次式（６）で表される。
（１／ｋ＋１）φ（１）  ＝Ｃｕ０  ＋ｒ２  ｕ０（１）＋ｍ２  ｕ０（２）        …（６）
【００３５】
（６）式で表される系が振動系であるためには、次式（７）が振動条件を満たす必要がある。このためにはｒ２  ＜２（ｍ２  Ｃ）１／２  でなければならない。
Ｃｕ０  ＋ｒ２  ｕ０（１）＋ｍ２  ｕ０（２）＝０                          …（７）
【００３６】
図５は供給路２０１の溝の深さと吐出される溶液の体積の大きさとの関係を表す図である。次に、図５を参考にしつつ、図４（ｂ）の回路について説明する。流路抵抗ｒｐ  は流路幅（相似形状断面の場合）の４乗に反比例して大きくなり、また、イナータンス（音響質量）ｍｐ  は２乗に反比例して大きくなる。流路抵抗ｒｐ  とイナータンスｍｐ  とは、それぞれオリフィス１３での抵抗ｒ２  とイナータンスｍｐ  とに加算され、ｒ２  ＋ｒｐ  、ｍ２  ＋ｍｐ  となる。したがって、流路が長くなる程、抵抗が大きくなってしまい、過減衰となってしまう。このため、たとえ振動板２３が駆動しても、ノズル孔１１において、メニスカス（表面張力によって液体の表面にできる曲面）が動くだけで溶液４００が吐出しない。
【００３７】
図６は流路抵抗の大きさと駆動周波数の関係を表す図である。過減衰を防ぐためには、イナータンスを大きくしてもよいのであるが、固有振動数がω＝（Ｃ／ｍ２  ）１／２  で与えられるため、振動板２３によるバネ力が一定でイナータンスだけを大きくすると、極めて低い周波数でしか振動しなくなり、吐出に必要な速度が得られない。
【００３８】
一方、バネ力を強くした場合、必要な吐出量を確保するだけの変位を得るためには、通常の吐出に比べて極めて強力な静電力又は圧電力で振動板を変形させる必要がある。そのような静電力等の確保は困難であるし、確保できたとしても、発生する圧力が極めて大きく、負圧によってキャビテーションが発生する。また、正圧によって溶液中に存在する蛋白質等の生体分子を変性させてしまう。
【００３９】
そこで、本実施の形態のようなリザーバダイヤフラム２４を設ける。リザーバダイヤフラム２４を設けた場合、図４（ｃ）のような電気等価回路となる。この場合、リザーバダイヤフラム２４によるコンプライアンスｃｒ  により、次式（８）が成り立つ。
ｕ０  ／ｃ０  ＝ｒ２  ｕ２（１）＋ｍ２  ／ｕ２（２）＋ｕｒ  ／ｃｒ              …（８）
【００４０】
ｃｒ  が極めて大きいと、ｕｒ  ／ｃｒ  ＝０とみなすことができる。したがって、供給路２０１による流路抵抗が生じず、通常の液滴吐出ヘッドと同じような状態に近くなる。そのため、振動板２３が振動し、ノズル孔１１から吐出できるようになる。その反面、リザーバダイヤフラム２４の膜２４Ａの撓みが初期状態まで復帰するには、供給路２０１から供給されるｕｐ  を貯めるための時間が必要となる。ただ、この時間についても、バイオチップの搬送、設置位置制御等を行う時間を考えると許容できる範囲であると考えられる。
【００４１】
以上のように第１の実施の形態によれば、リザーバ２２の壁面の一部でもある膜２４Ａ及び気室３２によりリザーバダイヤフラム２４を形成し、溶液に加わる圧力によって生じる膜２４Ａの撓みにより、コンプライアンス（音響容量）を大きくすることで、供給路２０１が長くなることによってより顕著に発生する慣性、抵抗の影響を緩和することができ、流路を長くしても溶液４００の吐出が行える。したがって、例えば、バイオチップ等の製造、生体分子を用いた検査に用いる液滴吐出ヘッドのように、少量多種の溶液４００を一度に吐出できるようなヘッドを作成する際、小型化を図るため、多種類の溶液タンク３００を液滴吐出ヘッドに設けようとすると供給路２０１が長くなってしまうが、このような場合でも溶液の安定した吐出を確保することができる。そのため、液滴吐出ヘッドを小型化することもできる。また、エッチングによってリザーバ２２となる凹部をキャビティ基板２０に形成する際に、膜２４Ａも同時に形成できるので、大幅な製造工程の変更がなくても、流路抵抗、慣性を緩和するためのダイヤフラムを形成することができる。
【００４２】
実施の形態２．
図７は本発明の第２の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドの断面図である。図７において、電極基板３０Ａには、ノズル（吐出室）数と同じ数の気泡トラップ３５をそれぞれ設けてある。気泡トラップ３５は、気泡（気体）を固定しておくための空気室となる部分である。気泡トラップ３５には撥水処理が施された撥水処理部３６が一部に設けられており、溶液４００が気泡トラップ３５の所定位置よりも上側に侵入しないように構成されている。加圧孔３７は、万が一気泡トラップ部３５に溶液４００が侵入した時に、溶液４００を押し戻すための加圧を行うための孔である。
【００４３】
気体は体積を大きく変化することができるので、ダンパとして働く。したがって、たとえ気泡サイズが小さくても等価回路的には大きなコンプライアンスとなり得る。その反面、位置の固定が困難であり、吐出室２１内に流れ込むと、圧力変動を吸収して吐出の妨げになる。そこで、本実施の形態では、リザーバ２２又はリザーバ２２に連通する位置に気泡を固定するための気泡トラップ３５を設け、る。そして、その気泡トラップ３５に確実に溶液４００が侵入しないようにする。そのために撥水処理を行って撥水処理部３６を設ける。それと共に、万が一、気泡トラップ３５に溶液４００が侵入した場合に備えて加圧孔３７を設け、溶液４００が侵入した場合には、例えばポンプ（図示せず）につなぎ、加圧孔３７を介して適度な空気を送りこんで、侵入した溶液４００をリザーバ２２内に押し戻す。ただし、逆に空気が吐出室２１内に入り込まないように注意する必要がある。
【００４４】
次に気泡トラップ３５等の形成方法例について説明する。まず、例えば電極基板３０のリザーバ２２と連通する位置にレーザ加工により所定の大きさの穴を開ける。もちろん、リザーバ２２の対応する位置にも孔を形成しておく。気泡トラップ３５は、各ノズルに対して設けられているので、少なくとも各ノズルの間隔以下の大きさであることが必要となる。例えば、１８０ｎｐｉ（ｎｏｚｚｌｅｓ  ｐｅｒ  ｉｎｃｈ）の場合は、１４１．１μｍより小さく構成しなければならない。逆にあまり小さすぎても圧力変動吸収という役割を果たせない。そこで、例えば２０μｍ〜１００μｍの間で構成するようにする。そして、その反対の面から加圧孔３７となる孔を開け、貫通させる。その後、レーザ加工により生じた熱で変質した熱的加工変質層をエッチングを施して除去する。熱的加工変質層を残しておくとクラック（亀裂等）の原因となるからである。これにより気泡トラップ３５が形成される。さらに、気泡トラップ３５に撥水処理部３６を設ける。撥水処理部３６は、例えば、フッ素系撥水剤に電極基板３０を浸漬して成膜する。ここで、浸漬する際に撥水剤の液面を制御することで、気泡トラップ３５の任意の位置の高さまで撥水処理を施し、撥水処理部３６を設けることが可能である。
【００４５】
電極基板３０の材料となるガラス基板自体は親水性を有するものなので、撥水処理部３６の位置以上、溶液４００が移動せず、その位置でメニスカスが形成される。気泡トラップ３５の径はノズル径よりは大きいので、ヘッドが駆動している時でも、メニスカスの位置の変化は少なく、安定した位置で上下にメニスカスが撓むことになる。気泡トラップ３５は加圧孔３７に繋がっており、万が一気泡トラップ３５内部に溶液４００が入ってしまった場合でも、加圧孔３７を通じて加圧し、溶液４００をリザーバ２２内部に押し戻すことができる。
【００４６】
以上のように第２の実施の形態によれば、リザーバ２２と連通する位置に気泡トラップ３５を設けて空気を固定し、大きなコンプライアンスが得られる空気をダンパとして利用しするようにしたので、第１の実施の形態におけるリザーバダイヤフラム２４と同様に、駆動による液滴吐出ヘッド内の圧力変動を吸収することにより、たとえ供給路２０１が長くなったとしても溶液４００を吐出させることができる。また、気泡トラップ３５には撥水処理部３６を設けたので、気泡トラップ３５内に空気を安定して固定することができる。また、加圧孔３７を設けたので、万が一、気泡トラップ３５内に溶液４００が侵入したとしてもリザーバ２２内部に押し戻すことができる。
【００４７】
実施の形態３．
図８はエッジ吐出型の液滴吐出ヘッドの断面図である。上述の実施の形態はフェイス吐出型の液滴吐出ヘッドで説明したが、本発明はこれに限定するものではなく、エッジ吐出型の液滴吐出ヘッドにも適用することができる。また、上述の実施の形態では、静電引力を用いて振動板２３を駆動させることにより、溶液４００を吐出させているが、本発明はこれに限定するものではなく、圧電（ピエゾ）方式による溶液４００の吐出を行うようにしてもよい。
【００４８】
実施の形態４．
図９は本発明の第４の実施の形態に係る上述の液滴吐出ヘッドをバイオテクノロジーの分野に用いた例を表す図である。本実施の形態では、バイオチップを製造するためのディスペンサについて説明する。ここで、バイオチップの代表例として、ＤＮＡ（Ｄｅｏｘｙｒｉｂｏ  Ｎｕｃｌｅｉｃ  Ａｃｉｄｓ  ：デオキシリボ核酸）チップについて、説明する。ただ、これに限定されるものではない。例えば、プロテイン（蛋白質）チップ、他の核酸（例えば、Ｒｉｂｏ  Ｎｕｃｌｅｉｃ  Ａｃｉｄ：リボ核酸、Ｐｅｐｔｉｄｅ  Ｎｕｃｌｅｉｃ  Ａｃｉｄｓ：ペプチド核酸等）チップ等、他のバイオ、ウィルス等の生体化学に関する分子（生体分子）のマイクロアレイ、物質検査のチップ等に利用することもできる。
【００４９】
ＤＮＡチップ（ＤＮＡマイクロアレイともいう）とは、ＤＮＡの塩基の相補性を利用し、検査を行うためのものである。ＤＮＡとは、塩基、糖（デオキシリボース）及びリン酸が結合したもの（ヌクレオチド）がさらに結合し、最終的には２重らせん形となったものである。ここで、塩基はアデニン（Ａ）、グアニン（Ｇ）、シトシン（Ｃ）、チミン（Ｔ）の４種類がある。なお、ここでいうＤＮＡとは、逆転写酵素を用いてＲＮＡ（リボ核酸）に基づいて相補的に生成されたｃＤＮＡ（ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  ＤＮＡ  ）も含むものとする。
【００５０】
２重らせんを構成する２つの１本鎖は、この４種類のヌクレオチドが反復結合し、配列したものである。そして、１本鎖の各塩基同士が接続されている。ここで、アデニン（Ａ）とグアニン（Ｇ）との間でしか結合は生じないし、シトシン（Ｃ）とチミン（Ｔ）との間でしか結合は生じない。これが塩基の相補性である。塩基（ヌクレオチド）の配列に基づいて遺伝情報を得ることができるので、この配列を解析することは非常に重要である。この解析を簡単に行うための道具（ツール）がバイオチップである。
【００５１】
チップ（スライド、基板）上には、例えば、配列があらかじめわかっている、目印を付けた１種又は複数種の１本鎖の核酸の断片（プローブ）が例えばマトリクス状に貼付られている。ここに未知の配列の複数種又は１種の一本鎖の断片（例えばオリゴヌクレオチド等の標的核酸。以下、試料という）を触れさせる（ハイブリダイズする）と、結合したものには例えば蛍光するマーカー等の目印を付けておく。例えば蛍光顕微鏡等により、結合により蛍光しているプローブを見つけだし、そのプローブの配列と対になる配列を試料の配列とすることにより、試料の配列を解析する。また、この配列に基づいたさらなる解析も行うことができる。
【００５２】
液滴吐出方式の場合、スポットＤＮＡの溶液の量がペンを用いる場合に比べて少なくなる。例えば、ペンを用いると少なくとも数百ｐｌ（ピコリットル：１００−１２ｌ）がスポットされるが、インクジェットでは数ｐｌも可能である。したがって、１つのスポットのスケール（面積）を小さくすることができる。そのため、１チップ上のスポット数を多くすることができ、密度を高めることができる。これは、検査時間、スペース等の節約になる。ただ、実際には解析精度との関係で、ある程度のスケールを必要とする場合もある。
【００５３】
ここで、液滴吐出ヘッド１０００を使い捨てにし、取り替えができるようにしてもよい。これによりヘッドを洗浄等する必要がなくなるので時間効率がよくなるし、洗浄漏れによるクロスコンタミネーションも生じない。この場合、溶液のコストを考えると液滴吐出ヘッド１０００内に残される溶液の量は少ない程よい。したがって、本実施の形態で用いる液滴吐出ヘッド１０００のように、必要な吐出量を確保できる程度のリザーバ３１を直接液滴吐出ヘッド１０００に設け、供給路である流路３２をできるだけ短くすることで、無駄な溶液の量を減らすことができる。また、陽極接合を行っているため、接着剤等の有機化合物が溶液に溶け込むこともなく、溶液に不純物が混入してしまう等の問題も生じない。
【００５４】
図９において、１０００は上述の実施の形態で説明したものと同様の液滴吐出ヘッドである。そのため、液滴吐出ヘッド１０００の各構成部品の図番は上述の実施の形態と同じものを用いる。ここで、液滴吐出ヘッド１０００は３次元的に回転できるものとする。また、液滴吐出ヘッド１０００は第１の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッドを複数つなぎ合わせたもの（例えばいわゆるライン液滴吐出ヘッド）であってもよい。
【００５５】
Ｙ方向駆動軸１００２にはＹ方向駆動モータ１００３が接続されている。Ｙ方向駆動モータ１００３は、例えばステッピングモータ等である。制御手段１００７からＹ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｙ方向駆動軸１００２を回転させる。Ｙ方向駆動軸１００２が回転させられると、液滴吐出ヘッド１０００はＹ方向駆動軸１００２の方向に沿って移動する。Ｘ方向ガイド軸１００４は、基台１００６に対して動かないように固定されている。
【００５６】
作業台１００１は、製造すべきチップ群１００８を設置させるものである。チップ群１００８は例えば作業台１００１上に８×６で並べられている。作業台１００１には作業台駆動モータ１００５が備えられている。作業台駆動モータ１００５も、例えばステッピングモータ等である。制御手段１００７からＸ軸方向の駆動信号が供給されると、作業台１００１をＸ軸方向に移動させる。すなわち、作業台１２１をＸ軸方向に駆動し、液滴吐出ヘッド１０００をＹ軸方向に駆動させることで、液滴吐出ヘッド１０００をチップ群１００８上のいずれの場所にも自在に移動させることができる。また、チップ群１００８に対する液滴吐出ヘッド１０００の相対速度も、各軸方向の駆動機構によって駆動する作業台１００１と液滴吐出ヘッド１０００の速度によって定まる。
【００５７】
制御手段１００７は、液滴吐出ヘッド１０００の発振回路２３を発振させるためのインク滴吐出用の電圧を印加し、インク吐出の制御を行う。また、Ｙ方向駆動モータ１００３には、液滴吐出ヘッド１０００のＹ軸方向の移動を制御する駆動信号を送信する。作業台駆動モータ１００５には作業台１００１のＸ軸方向の移動を制御する駆動信号を送信する。
【００５８】
なお、本実施の形態では、液滴吐出ヘッド１０００はＹ軸方向にしか移動せず、Ｘ軸方向については作業台１００１が移動するようにした。これを逆にしてもよいし、また、液滴吐出ヘッド１０００又は作業台１００１のどちらか一方又は双方がＸ軸方向及びＹ軸方向の双方に移動できるようにしてもよい。
【００５９】
以上のように第４の実施の形態によれば、第１、第２又は第３の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッドをディスペンサとして用い、バイオチップの製造、検査等を行うようにしたので、従来ものに比べ、ヘッド部分の移動時間を短くすることができ、時間等を節約することができる。また、液滴吐出ヘッドをカートリッジ化し、駆動制御部分から着脱自在にすれば、容易に取り替えが行え、洗浄を行う必要がないので時間等を節約することができる。また、各溶液は独立したタンクから供給され、他の溶液と混ざり合うこともなく、クロスコンタミネーションを防止することができる。その際、溶液タンク３００の大きさ、供給路２０１をできるだけ短くするようにしておけば、用いる溶液の量を少なくすることができ、経済的である。
【００６０】
実施の形態５．
上述の第４実施の形態は、ディスペンサをバイオチップの製造に用いる例として説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、逆に、検査等を行うために、生体から採取した標的核酸を製造されたバイオチップ上に吐出させるための装置として構成してもよい。また、チップ上でオリゴヌクレオチドを化学合成するために用いることもできる。
【００６１】
実施の形態６．
上述の実施の形態では、第１、第２又は第３の実施の形態のような液滴吐出ヘッドを、ディスペンサに利用することについて説明した。ただ、本発明はこれに限定されるものではない。印刷装置、カラーフィルタ製造装置、ＯＥＬ基板製造装置等、他のあらゆる工業用途、家庭用途に、上述した液滴吐出ヘッドを利用することができる。したがって、吐出液体も特に生体分子を含む溶液とは限定しない。
【００６２】
実施の形態７．
上述の実施の形態では、各ノズル孔１１に対して、各々溶液タンク３００を設けるようにしたが、例えば、複数個のノズル孔１１に対し、１つの溶液タンク３００を共有するように設けてもよい。
【００６３】
実施の形態８．
上述の第２の実施の形態では、加圧光３７を設け、溶液を空気と接触させているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、空気中の酸素等により影響を受ける溶液等のために、別の気体を固定させておくようにすることも考えられる。その際、加圧孔は設けない方がよい場合がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】液滴吐出ヘッドの構成を表す分解斜視図である。
【図２】液滴吐出ヘッドの断面図である。
【図３】液滴吐出ヘッドを上面から見た図である。
【図４】液滴吐出ヘッドを等価回路で表した図である。
【図５】供給路の深さと溶液の径の大きさとの関係を表す図である。
【図６】流路抵抗の大きさと駆動周波数の関係を表す図である。
【図７】第２の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドの断面図である。
【図８】エッジ吐出型の液滴吐出ヘッドの断面図である。
【図９】スポッタ又はディスペンサの例を表す図である。
【符号の説明】
１００  液滴吐出ヘッド本体、１０  ノズルプレート、１１  ノズル孔、１１Ａ  ノズル、１２  供給口、１３  オリフィス、２０  キャビティ基板、２１  吐出室、２２  リザーバ、２３  振動板、２４  リザーバダイヤフラム、２４Ａ膜、３０  電極基板、３１  電極、３２  気室、３３  等電位配線、３５  気泡トラップ、３６  撥水処理部、３７  加圧孔、４０  発振回路、４１  ワイヤ、２００  供給路基板、２０１  供給路、２０２  蓋基板、２０３  溝基板、２０４，２０５  穴、３００  溶液タンク、３０１  溶液充填孔、４００  溶液、１０００  液滴吐出ヘッド、１００１  作業台、１００２  Ｙ方向駆動軸、１００３  Ｙ方向駆動モータ、１００４  Ｘ方向ガイド軸、１００５  作業台駆動モータ、１００６  基台、１００７  制御手段、１００８  チップ群
【図１】
2004226321.tif 000004
【図２】
2004226321.tif 000005
【図３】
2004226321.tif 000006
【図４】
2004226321.tif 000007
【図５】
2004226321.tif 000008
【図６】
2004226321.tif 000009
【図７】
2004226321.tif 000010
【図８】
2004226321.tif 000011
【図９】
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