(57)【要約】【課題】材料配列領域を基板上に複数配列形成する液状物の吐出方法において、基板上における材料配列領域の配列態様如何に拘わらず材料を配列可能にすることにより、材料配列領域の配列態様に対する制約を撤廃し、材料配列領域の配列態様に関する自由度を増大させ、製造効率の向上、製造コストの低減を図る。【解決手段】本発明の液状物の吐出方法は、複数のノズル２７が配列されてなるノズル列２８を有する液滴吐出ヘッド２２を用いて材料が所定パターンにて配列されてなる複数の材料配列領域１１を基板１０上に形成する液状物の吐出方法であって、１又は複数の液滴吐出ヘッドの組２２（Ａ１），２２（Ａ２）を材料配列領域毎に位置決めすることにより、複数の材料配列領域にそれぞれ対応する複数組の液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、ヘッド列または基板を走査しながら、複数の材料配列領域に対して並行して液状物を吐出する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いて材料が所定パターンにて配列されてなる複数の材料配列領域を基板上に形成する液状物の吐出方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記材料配列領域毎に位置決めすることにより、前記複数の材料配列領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数の材料配列領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とする液状物の吐出方法。
【請求項２】
前記材料配列領域毎に複数の前記液滴吐出ヘッドの組を対応させて設け、該組内において隣接する前記液滴吐出ヘッドを、その前記ノズル列同士が前記材料配列領域の前記所定パターンに対応して前記走査方向から見たときに連続するように配置することを特徴とする請求項１に記載の液状物の吐出方法。
【請求項３】
前記組内に配置された複数の前記ノズル列により構成されるノズル全幅を対応する前記材料配列領域の幅よりも広くすることを特徴とする請求項１又は２に記載の液状物の吐出方法。
【請求項４】
前記ヘッド列において隣接する前記液滴吐出ヘッドを前記走査方向にずらして配置することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状物の吐出方法。
【請求項５】
前記ヘッド列において複数の前記液滴吐出ヘッドを千鳥状に配列させることを特徴とする請求項４に記載の液状物の吐出方法。
【請求項６】
複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いて材料が所定パターンにて配列されてなる複数の材料配列領域を基板上に形成する液状物の吐出装置であって、
相互に位置調整可能に構成された複数の液滴吐出ヘッドを配列させてなるヘッド列と、
前記ヘッド列または基板を走査する走査手段と、
１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記材料配列領域毎に位置決めするための制御部と、
を有することを特徴とする液状物の吐出装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記材料配列領域毎に複数の前記液滴吐出ヘッドの組を対応させ、該組内において隣接する前記液滴吐出ヘッドを、その前記ノズル列同士が前記材料配列領域の前記所定パターンに対応して前記走査方向から見たときに連続するように配置することを特徴とする請求項６に記載の液状物の吐出装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記組内に配置された複数の前記ノズル列により構成されるノズル全幅を対応する前記材料配列領域の幅よりも広く構成することを特徴とする請求項６又は７に記載の液状物の吐出装置。
【請求項９】
前記ヘッド列において隣接する前記液滴吐出ヘッドが前記走査方向にずらして配置されることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の液状物の吐出装置。
【請求項１０】
前記ヘッド列において複数の前記液滴吐出ヘッドが千鳥状に配列されることを特徴とする請求項９に記載の液状物の吐出装置。
【請求項１１】
複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いてカラーフィルタ材料が所定パターンにて配列されてなる複数のカラーフィルタ領域を基板上に形成するカラーフィルタの製造方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記複数のカラーフィルタ領域毎に位置決めすることにより、前記複数のカラーフィルタ領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数のカラーフィルタ領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載のカラーフィルタの製造方法により得られたカラーフィルタ。
【請求項１３】
請求項１２に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示装置。
【請求項１４】
複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いてエレクトロルミネッセンス材料が所定パターンにて配列されてなる複数のエレクトロルミネッセンス領域を基板上に形成するエレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記エレクトロルミネッセンス領域毎に位置決めすることにより、前記複数のエレクトロルミネッセンス領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数のエレクトロルミネッセンス領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とするエレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載のエレクトロルミネッセンス装置の製造方法により得られたエレクトロルミネッセンス装置。
【請求項１６】
複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いてプラズマ発光材料が所定パターンにて配列されてなる複数のプラズマ発光領域を基板上に形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記プラズマ発光領域毎に位置決めすることにより、前記複数のプラズマ発光領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数のプラズマ発光領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法により得られたプラズマディスプレイパネル。
【請求項１８】
請求項１３に記載の液晶表示装置を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１９】
請求項１５に記載のエレクトロルミネッセンス装置を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項２０】
請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネルを備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイパネルに係り、より詳しくは、本発明は、材料が所定パターンにて配列されてなる複数の材料配列領域を基板上に形成する場合に用いる液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイパネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話機や携帯型コンピュータ等の電子機器の表示部において、電気光学装置、例えば、液晶装置（以下、ＬＣＤと称する場合がある。）、エレクトロルミネッセンス装置（以下、ＥＬ装置と称する場合がある。）、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと称する場合がある。）等の表示装置が幅広く用いられ、或いは、幅広い分野に採用するべく鋭意開発されている。
【０００３】
これらの表示装置の多くはフルカラー表示が可能なカラー表示装置であり、例えば、ＬＣＤにおいては、液晶層によって変調される光が進行面に配置されたカラーフィルタを通過することによってフルカラー表示が達成される。このカラーフィルタは、例えば、ガラス基板やプラスチック基板の表面に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応したドット状の各フィルタエレメント材料を、所定配列で規則的に並べることによって構成されている。
【０００４】
上記のようなカラーフィルタを製造するには、一般にフォトリソグラフィー法が用いられているが、製造工程が複雑であることや、あるいは各色に対応したカラーフィルタ材料やフォトレジストなどを多量に消費することから、製造コストが高く、環境負荷が大きいという問題が見られた。
【０００５】
そこで、このような製造上の問題や環境上の問題を解決するために、いわゆるインクジェット法によって、カラーフィルタのフィルタエレメントを製造する方法が提案されている。例えば、図２４には、液晶表示装置の製造工程におけるインクジェット法を用いたカラーフィルタの製造方法を示す。図２４（ａ）に示すマザーボード３０１には、複数のパネル予定領域３０２が縦横にマトリクス状に配列された状態に設定されている。これらのパネル予定領域３０２は、それぞれ一つの液晶表示装置の構成要素となるものである。このパネル予定領域３０２内には、図２４（ｂ）に示すように、複数のフィルタエレメント３０３が縦横にマトリクス状に配列形成される。この場合には、図２４（ｃ）に示すように、多数のノズル３０４を配列してなるノズル列３０５を備えた液滴吐出ヘッド３０６を用いる。この液滴吐出ヘッド３０６は図２４（ｂ）に示すようにマザーボード３０１上を図示矢印Ａ１，Ａ２の方法に走査され、この走査中にノズル３０４からフィルタエレメント材料を液滴として吐出していく。このようにして、上記パネル予定領域３０２の予め設定された位置には、所定パターンにて配列されたフィルタエレメント３０３が配置される。
【０００６】
上記のようなインクジェット法を用いたカラーフィルタの製造工程において、最も基本的な方法は、液滴吐出ヘッド３０６を図示矢印Ａ１に沿って走査しながら多数の液滴を吐出させた後に、液滴吐出ヘッド３０６を図示点線で示す位置に送り、再び図示矢印Ａ２に沿って走査しながら多数の液滴を吐出させるというように、走査動作と送り動作とを交互に繰り返して全てのフィルタエレメント３０３を形成していく方法である。しかしながら、このような方法では、マザーボード３０１上の全てのパネル予定領域３０２について全てのフィルタエレメント３０３を形成するのにきわめて多くの時間が必要となる。
【０００７】
そこで、液滴吐出ヘッド３０６を送り方向（図示左右方向）に複数配列させ、これらの複数の液滴吐出ヘッド３０６を並行して走査方向に走査しながら広い面積に亘って一度に液滴を吐出させる方法が考案されている（以下の特許文献１及び特許文献２参照）。この方法では、複数の液滴吐出ヘッドをキャリッジ（支持手段）に搭載し、このキャリッジを走査することによって複数の液滴吐出ヘッドから並行して液滴が吐出されることになるため、効率的にカラーフィルタを形成することができる。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−２７３８６８号公報
【特許文献２】
特開２００２−２７３８６９号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のカラーフィルタの製造方法では、複数の液滴吐出ヘッドにそれぞれ設けられたノズル列が連続する一つのノズル列を構成するように配置することにより、より広い範囲に亘り一括して液滴を吐出することができるように構成されているため、マザーボード３０１のパネル予定領域３０２の配置に制約が課せられることとなっていた。すなわち、図２４（ｂ）に示すように、パネル予定領域３０２内におけるフィルタエレメント３０３の配列周期Ｐの自然数倍が、隣接するパネル予定領域３０２間の領域間隔Ｑとなるように構成する必要があった。これは、各液滴吐出ノズル３０６のノズル周期をフィルタエレメント３０３の配列周期Ｐに合致させる必要があるが、通常、一つのパネル予定領域３０３の幅を一つの液滴吐出ヘッド３０６によって一度にカバーすることはできないため、隣接する液滴吐出ヘッド３０６間の間隔を、複数の液滴吐出ヘッドに亘るノズル周期が一定となるように（すなわち各液滴吐出ヘッド３０６のノズル列３０５が相互に連続するように）調整していたためである。
【００１０】
このようにマザーボード３０１におけるパネル予定領域３０２間の間隔Ｑに制約が課せられることにより、マザーボード３０１に効率的に複数のパネル予定領域３０２を配列させることができず、パネル予定領域３０２の配列態様の自由度が低下する結果、一枚のマザーボード３０１から製造できる液晶表示パネルの数が減少したり、たとえば、基板３０１を分断する工程などの他の工程が影響を受けたりすることにより、製造効率が低下し、製造コストが増大するという問題点があった。
【００１１】
そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、複数の液滴吐出ヘッドを配列させた状態で液滴を吐出させることにより、所定パターンで材料が配列されてなる材料配列領域を基板上に複数配列形成する液状物の吐出方法において、基板上における材料配列領域の配列態様如何に拘わらず材料を配列させることができるようにすることにより、材料配列領域の配列態様に対する制約を撤廃することができ、これにより、材料配列領域の配列態様に関する自由度を増大させ、これをもって製造効率を向上させ、製造コストを低減することのできる方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の液状物の吐出方法は、複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いて材料が所定パターンにて配列されてなる複数の材料配列領域を基板上に形成する液状物の吐出方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記材料配列領域毎に位置決めすることにより、前記複数の材料配列領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数の材料配列領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とする。
【００１３】
上記のように複数の液滴吐出ヘッドを用いる場合に、１又は複数の液滴吐出ヘッドの組が各材料配列領域に対応して位置決めされた状態で基板に対して相対的に走査されることにより、基板上の複数の材料配列領域がどのような配列態様であっても対応することが可能になるため、基板上における材料配列領域の配列設計の自由度を高めることができる。
【００１４】
本発明において、前記材料配列領域毎に複数の前記液滴吐出ヘッドの組を対応させて設け、該組内において隣接する前記液滴吐出ヘッドを、その前記ノズル列同士が前記材料配列領域の前記所定パターンに対応して前記走査方向から見たときに連続するように配置することが好ましい。このように、材料配列領域毎に設けられた複数の液滴吐出ヘッドの組において各ヘッドのノズル列が走査方向から見たときに相互に連続するように液滴吐出ヘッドが配置されていることにより、各材料配列領域に対して全面的に液滴を吐出させることが可能になるので、効率的に材料を配置していくことができる。
【００１５】
本発明において、前記組内に配置された複数の前記ノズル列により構成されるノズル全幅を対応する前記材料配列領域の幅よりも広くすることが好ましい。これによれば、各材料配列領域の幅よりも各組において構成されるノズル全幅の方が広いことにより、各液滴吐出ヘッドに設けられたノズル列の端部近傍にあるノズルを使用しないことによりノズル間の液滴吐出量のばらつきを低減したり、或いは、ノズル全幅を材料配列領域に対して幅方向にずらしながら走査を行って、材料配列領域内の各材料列に異なるノズルにより複数回の液滴吐出を行うことにより、各材料列間における吐出総量のばらつきを低減させたりするといったことが可能になる。
【００１６】
本発明において、前記ヘッド列において隣接する前記液滴吐出ヘッドを前記走査方向にずらして配置することが好ましい。これによって隣接する液滴吐出ヘッド間の相対的位置関係をより広い範囲にて調整可能になるため、材料配列領域の配列態様に対してより柔軟に対応できるようになる。
【００１７】
本発明において、前記ヘッド列において複数の前記液滴吐出ヘッドを千鳥状に配列させることが好ましい。複数の液滴吐出ヘッドが千鳥状に配列されてヘッド列を構成していることにより、隣接する液滴吐出ヘッドを走査方向にずらして配置しても、複数の液滴吐出ヘッドにおけるノズル配列の走査方向の広がり範囲を制限できるので、走査ストロークを短くすることが可能になることから、生産効率をより向上させることができる。
【００１８】
次に、本発明の液状物の吐出装置は、複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いて材料が所定パターンにて配列されてなる複数の材料配列領域を基板上に形成する液状物の吐出装置であって、相互に位置調整可能に構成された複数の液滴吐出ヘッドを配列させてなるヘッド列と、前記ヘッド列または基板を走査する走査手段と、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記材料配列領域毎に位置決めするための制御部と、を有することを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、ヘッド列において１又は複数の液滴吐出ヘッドの組が材料配列領域毎に位置決めされるので、基板上の複数の材料配列領域がどのような配列態様であっても対応することが可能になるため、基板上における材料配列領域の設計自由度を高めることができる。
【００２０】
本発明において、前記制御部は、前記材料配列領域毎に複数の前記液滴吐出ヘッドの組を対応させ、該組内において隣接する前記液滴吐出ヘッドを、その前記ノズル列同士が前記材料配列領域の前記所定パターンに対応して前記走査方向から見たときに連続するように配置することが好ましい。このように、材料配列領域毎に設けられた複数の液滴吐出ヘッドの組において各ヘッドのノズル列が走査方向から見たときに相互に連続するように液滴吐出ヘッドが配置されることにより、各材料配列領域に対して全面的に液滴を吐出させることが可能になるので、効率的に材料を配置していくことができる。
【００２１】
本発明において、前記制御部は、前記組内に配置された複数の前記ノズル列により構成されるノズル全幅を対応する前記材料配列領域の幅よりも広く構成することが好ましい。これによれば、各材料配列領域の幅よりも各組において構成されるノズル全幅の方が広いことにより、各液滴吐出ヘッドに設けられたノズル列の端部近傍にあるノズルを使用しないことによりノズル間の液滴吐出量のばらつきを低減したり、或いは、ノズル全幅を材料配列領域に対して幅方向にずらしながら走査を行って、材料配列領域内の各材料列に異なるノズルにより複数回の液滴吐出を行うことにより、各材料列間における吐出総量のばらつきを低減させたりするといったことが可能になる。
【００２２】
本発明において、前記ヘッド列において隣接する前記液滴吐出ヘッドが前記走査方向にずらして配置されることが好ましい。これによって隣接する液滴吐出ヘッド間の相対的位置関係をより広い範囲にて調整可能になるため、材料配列領域の配列態様に対してより柔軟に対応できるようになる。
【００２３】
本発明において、前記ヘッド列において複数の前記液滴吐出ヘッドが千鳥状に配列されることが好ましい。複数の液滴吐出ヘッドが千鳥状に配列されてヘッド列を構成していることにより、隣接する液滴吐出ヘッドを走査方向にずらして配置しても、複数の液滴吐出ヘッドにおけるノズル配列の走査方向の広がり範囲を制限できるので、走査ストロークを短くすることが可能になることから、生産効率をより向上させることができる。
【００２４】
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法は、複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いてカラーフィルタ材料が所定パターンにて配列されてなる複数のカラーフィルタ領域を基板上に形成するカラーフィルタの製造方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記カラーフィルタ領域毎に位置決めすることにより、前記複数のカラーフィルタ領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数のカラーフィルタ領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とする。
【００２５】
この発明によれば、上記のように複数の液滴吐出ヘッドを用いる場合に、１又は複数の液滴吐出ヘッドの組が各カラーフィルタ領域に対応して位置決めされた状態で基板に対して相対的に走査されることにより、基板上の複数のカラーフィルタ領域がどのような配列態様であっても対応することが可能になるため、基板上におけるカラーフィルタ領域の配列設計の自由度を高めることができる。
【００２６】
また、上記のカラーフィルタの製造方法により得られたカラーフィルタは、製造段階において１又は複数の液滴吐出ヘッドが各カラーフィルタ領域に位置決めされているため、カラーフィルタ領域内に配列された複数のカラーフィルタ材料の配置誤差が基板上のカラーフィルタ領域の配列位置に応じて変化するといったことがなくなり、その結果、カラーフィルタ材料の配置誤差のばらつきが少ないものとなる。
【００２７】
このカラーフィルタは液晶表示装置に用いることができる。この場合、液晶表示装置の各表示ドットにそれぞれカラーフィルタのフィルタエレメント（カラーフィルタ材料）が一つずつ対応するように配置される。また、エレクトロルミネッセンス装置やプラズマディスプレイパネルなどのその他の電気光学装置にも同様に適用できる。
【００２８】
次に、本発明のエレクトロルミネッセンス装置の製造方法は、複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いてエレクトロルミネッセンス材料（発光材料や電子輸送材料などの発光領域に配置される各種材料）が所定パターンにて配列されてなる複数のエレクトロルミネッセンス領域を基板上に形成するエレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記エレクトロルミネッセンス領域毎に位置決めすることにより、前記複数のエレクトロルミネッセンス領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数のエレクトロルミネッセンス領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とする。
【００２９】
この発明によれば、上記のように複数の液滴吐出ヘッドを用いる場合に、１又は複数の液滴吐出ヘッドの組が各エレクトロルミネッセンス領域（発光領域）に対応して位置決めされた状態で基板に対して相対的に走査されることにより、基板上の複数のエレクトロルミネッセンス領域がどのような配列態様であっても対応することが可能になるため、基板上におけるエレクトロルミネッセンス領域の配列設計の自由度を高めることができる。
【００３０】
また、上記のエレクトロルミネッセンス装置の製造方法により得られたエレクトロルミネッセンス装置は、製造段階において１又は複数の液滴吐出ヘッドが各エレクトロルミネッセンス領域に位置決めされているため、エレクトロルミネッセンス領域内に配列された複数のエレクトロルミネッセンス材料の配置誤差が基板上のエレクトロルミネッセンス領域の配列位置に応じて変化するといったことがなくなり、その結果、エレクトロルミネッセンス材料の配置誤差のばらつきが少ないものとなる。
【００３１】
次に、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、複数のノズルが配列されてなるノズル列を有する液滴吐出ヘッドを用いてプラズマ発光材料（たとえば蛍光体などの発光材料）が所定パターンにて配列されてなる複数のプラズマ発光領域を基板上に形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、１又は複数の前記液滴吐出ヘッドの組を前記プラズマ発光領域毎に位置決めすることにより、前記複数のプラズマ発光領域にそれぞれ対応する複数組の前記液滴吐出ヘッドで構成されるヘッド列を構成し、前記ヘッド列または基板を走査しながら、前記複数のプラズマ発光領域に対して並行して液状物を吐出することを特徴とする。
【００３２】
この発明によれば、上記のように複数の液滴吐出ヘッドを用いる場合に、１又は複数の液滴吐出ヘッドの組が各プラズマ発光領域に対応して位置決めされた状態で基板に対して相対的に走査されることにより、基板上の複数のプラズマ発光領域がどのような配列態様であっても対応することが可能になるため、基板上におけるプラズマ発光領域の配列設計の自由度を高めることができる。
【００３３】
また、上記のプラズマディスプレイパネルの製造方法により得られたプラズマディスプレイパネルは、製造段階において１又は複数の液滴吐出ヘッドが各プラズマ発光領域に位置決めされているため、プラズマ発光領域内に配列された複数のプラズマ発光材料の配置誤差が基板上のプラズマ発光領域の配列位置に応じて変化するといったことがなくなり、その結果、プラズマ発光材料の配置誤差のばらつきが少ないものとなる。
【００３４】
さらに、本発明の電子機器は、上記の液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス、或いは、プラズマディスプレイパネルを備えたことを特徴とする。これらの表示装置或いは電気光学装置を備えていることにより、表示品位に関して再現性が高く、ばらつきの少ない電子機器を得ることができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
本発明の液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、カラーフィルタを用いた液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、およびエレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイパネル及びその製造方法、並びに電子機器に関する実施形態を、適宜図面を参照しながらそれぞれ具体的に説明する。
【００３６】
［液滴吐出方法及び装置の基本構成］
図１には、本発明に係る各実施形態において共通に用いる液滴吐出ヘッド２２の内部構造の一例を示し、図２には、液適吐出ヘッド２２の外観を示す。ここで、図１（ａ）は、ノズル列２７が設けられた液滴吐出ヘッド２２を部分的に切り欠いて示す斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すＪ−Ｊ線で切断した場合のノズル列２７が設けられた液滴吐出ヘッド２２の断面図であり、さらに、図２は、液滴吐出ヘッドの斜視図及びそのノズル列の一部拡大図である。
【００３７】
図１に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、例えばステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向する振動板３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを有する。ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切部材３２によって複数の材料室３３と液溜り３４とが形成されている。また、複数の材料室３３と液溜り３４とは、通路３８を介して互いに連通している。振動板３１の適所には材料供給孔３６が形成され、この材料供給孔３６に材料供給装置３７が接続される。この材料供給装置３７は、後述するフィルタエレメント材料、エレクトロルミネッセンス材料、プラズマ発光材料などの液状物Ｍを材料供給孔３６へ供給する。そして、供給された液状物Ｍは液溜り３４に供給され、さらに通路３８を通って材料室３３に導入される。
【００３８】
ノズルプレート２９には、材料室３３から液状物Ｍをジェット状に噴射するためのノズル２７が設けられている。そして、振動板３１における材料室３３を形成した面の裏面には、この材料室３３に対応させて材料加圧体３９が取り付けられている。この材料加圧体３９は、図１（ｂ）に示すように、圧電素子４１ならびにこれを挟持する一対の電極４２ａおよび４２ｂを有する。
【００３９】
電極４２ａ及び４２ｂに所定電圧を印加すると、圧電素子４１は矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより材料室３３の容積を増大させる。その結果、増大した容積分に相当する液状物Ｍが液溜り３４から通路３８を通って材料室３３へ流入する。その後、圧電素子４１への通電が解除されると、この圧電素子４１は振動板３１と共に元の形状へ戻る。これにより、材料室３３も元の容積に戻るため、材料室３３の内部にある液状物Ｍの圧力が上昇し、ノズル２７から液状物Ｍが液滴８となって噴出する。なお、ノズルプレート２９の外面上には、液状物Ｍが付着しないように撥液性を有する撥液層４３が形成されている。
【００４０】
上記の液滴吐出ヘッド２２は、上記のような動作を繰り返すことにより多数の液滴８を順次連続的に吐出させることができるように構成される。液滴吐出ヘッド２２には、図２に示すように、複数のノズル２７が図示Ｙ方向に配列され、ノズル列２８が構成されている。図示例では、ノズル２７は一列に直線状に配列されている。また、このノズル列２８の配列方向と直交する図示Ｘ方向が基準の走査方向となるように構成されている。ここで、基準方向とは、後述する走査方向の基準となる方向を言う。したがって、液滴吐出ヘッド２２の走査方向は、基準方向と一致する場合もあれば、基準方向に対して所定角度（後述する傾斜角度θ）だけ傾斜する場合もある。
【００４１】
図３には、液滴吐出ヘッド２２の変形例を示す。この液滴吐出ヘッド２２では、ノズル２７が図示Ｙ方向に２列に配列され、２つのノズル列２８，２８が形成されている。この２つのノズル列に属する全てのノズル２７から同じ液状物Ｍが吐出されるように構成してもよく、或いは、２つのノズル列の一方に属する各ノズル２７と、他方に属するノズル２７とで相互に異なる液状物を吐出するように構成してもよい。さらに、液滴吐出ヘッド２２には３列以上のノズル列を設けてもよい。この場合、たとえば、カラーフィルタを形成する場合に、３つのノズル列は、相互に異なる色の液状物（すなわちフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂ）が吐出されるように構成することができる。
【００４２】
なお、上記液滴吐出ヘッド２２においては上述のように圧電素子の変形によって液滴が吐出されるように構成されている。しかし、これとは異なる方式の液滴吐出ヘッドを用いてもよい。例えば、加熱によって発生するバブルを利用して材料を吐出するように構成されていてもよい。
【００４３】
液状物の種類は特に制限されるものではないが、後述する実施形態に対応させて言えば、例えば、顔料インク、染料インク、カラーフィルタ用材料（フィルタエレメント材料と称する場合がある。）、エレクトロルミネッセンス材料（正孔輸送性材料や電子輸送性材料等を含む。）、プラズマ発光材料（蛍光体など）等が挙げられる。ここで、液状物としては、最終的に基板上に形成すべき材料に適宜の溶剤等を添加することによって液状に構成したものを用いることができる。
【００４４】
このときの液状物の物理的特性に関しては、例えば、溶液粘度を１〜３０ｍＰａ・ｓ（測定温度が２５℃のときの値、以下同様である。）の範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、溶液粘度が１ｍＰａ・ｓ未満の値となると、塗布物における厚膜化が実質的に困難となる場合があるためであり、一方、溶液粘度が３０ｍＰａ・ｓを超えると、ノズル部分で目つまりしたり、均一な厚さを有する塗布物を形成したりすることが困難となる場合があるためである。特に、塗布物における厚膜化と、塗布物における厚さの均一性等のバランスがより良好となることから、複数の液状物の種類等を適宜選択して、溶液粘度を２〜１０ｍＰａ・ｓの範囲内の値とすることがより好ましく、３〜８ｍＰａ・ｓの範囲内の値とすることがさらに好ましい。なお、複数の液状物における溶液粘度を、塗布物の用途に応じて、適宜選択することも好ましい。例えば、カラーフィルタを作成する場合には色純度の関係で厚膜化が望まれることから、溶液粘度を６〜８ｍＰａ・ｓの範囲内の値とすることがより好ましい。
【００４５】
液状物を塗布する基板についても特に制限されるものではないが、例えば、ポリエステルフィルム、ポリサルホンフィルム、ポリプロピレンフィルム、酢酸セルロースフィルム、ＴＡＣフィルム、ガラス基板、セラミック基板等を用いることが好ましい。また、その基板の厚さについても特に制限されるものでないが、例えば、１０μｍ〜５ｍｍの範囲内の値とすることが好ましい。
【００４６】
次に、上記液滴吐出ヘッド２２を用いて液状物を吐出させる場合に用いる液滴吐出装置について説明する。なお、後述するように、本発明は複数の液滴吐出ヘッド２２を用いるものであるが、以下の液滴吐出装置に関する説明及び参照図面には、複数の液滴吐出ヘッド２２の配列構成などには触れず、図示も省略してある。この液滴吐出装置１６は、図１１に示すように、液滴吐出ヘッド２２を備えたヘッドユニット２６と、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するためのヘッド位置制御装置１７と、基板の位置を制御するための基板位置制御装置１８と、液滴吐出ヘッド２２を基板に対して走査方向Ｘに走査するための走査駆動装置１９と、液滴吐出ヘッド２２を基板に対して走査方向と交差する送り方向Ｙに送り動作させるための送り駆動装置２１と、外部から液滴吐出装置１６内の所定の作業位置へ基板を供給するための基板供給装置（図示せず。）と、液滴吐出装置１６の全般の制御を司るための後述する制御部とをそれぞれ有する。
【００４７】
基板位置制御装置１８は、基板を載置するためのテーブル４９と、そのテーブル４９を矢印θのように面内回転させるためのθモータ５１とを有する。これによって、テーブル４９上に載置された基板５０を所定の平面姿勢に設定することができる。
【００４８】
また、走査駆動装置１９は、走査方向Ｘへ延びるＸガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを有する。ここで、Ｘスライダ５３は、内蔵するリニアモータが作動するときに、Ｘガイドレール５２に沿って走査方向Ｘへ平行移動する。一方、送り駆動装置２１は、送り方向Ｙへ延びるＹガイドレール５４と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを有する。ここで、Ｙスライダ５６は、内蔵するリニアモータが作動する際に、Ｙガイドレール５４に沿って送り方向Ｙへ平行移動する。
【００４９】
なお、液滴吐出ヘッド２２の近傍には、そのヘッドと一体に移動する関係で、位置合わせを容易にするためのヘッド用カメラが配設してあることが好ましい。また、ベース上に設けた支持装置に支持された基板用カメラが、マザー基板を撮影できる位置に配設してあることが好ましい。
【００５０】
図１３は、上記液滴吐出装置１６の全体構成を示す概略構成図である。なお、この図１３は基本的にカラーフィルタを製造する場合に適合する各構成部の表示を一例として付してある。制御部はマイクロプロセッサユニット（ＭＰＵ）やプログラマブルコントローラなどで構成することができる。制御部には、演算処理を行うためのＣＰＵなどで構成される中央処理部６９と、各種情報を記憶するメモリ、すなわち情報記憶媒体７１とが設けられる。中央処理部６９は、情報記憶媒体７１に記憶されたプログラムソフトに従って、基板における所定位置に液状物を吐出するための制御を行うものである。また、図１１に示すヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、及び、上記液滴吐出ヘッド２２内の圧電素子４１を駆動するためのヘッド駆動回路の各装置は、入出力インターフェース７３及びバス７４を介して、中央処理部６９に接続されている。
【００５１】
さらに、基板供給装置２３、入力装置６７、表示装置（ディスプレイ）６８、電子天秤７８、クリーニング装置７７及びキャッピング装置７６の各機器についても、入出力インターフェース７３およびバス７４を介して、中央処理部６９に接続されている。
【００５２】
そして、中央処理部６９は、具体的な機能実現手段として、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部と、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部と、電子天秤を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部と、液滴吐出によって材料を描画するための演算を行う描画演算部とを有するように動作する。
【００５３】
ここで、描画演算部は、液滴吐出ヘッド２２を描画のための初期位置へセットするための描画開始位置演算部と、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する走査制御演算部と、基板を送り方向Ｙへ所定の送り量だけずらすための制御を演算する送り制御演算部と、液滴吐出ヘッド２２内の複数のノズル２７のうちのいずれを作動させて液状物を吐出するか否かを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部とを有する。
【００５４】
上記のクリーニング装置は、ヘッドを洗浄するための装置である。また、電子天秤は、ヘッド内の個々のノズル列から吐出される材料の液滴の重量を、ノズル毎に測定する機器である。そして、キャッピング装置は、ヘッドが待機状態にあるときに、ノズル列の乾燥を防止するための装置である。
【００５５】
図１２は、上記液滴吐出ヘッド２２の一般的な走査方法を示す説明図である。液滴吐出ヘッド２２は、上記液滴吐出装置１６によって、送り方向Ｙの位置及び送り方向Ｙに対する傾斜角度θが適宜に設定された状態に設定され、基板１０に対して相対的に走査方向Ｘに走査される。ここで、液滴吐出ヘッド２２の位置及び姿勢は、ノズル２７の配列態様が、材料配列領域１１内に配置されるべき材料１２の予定位置に同期するように設定される。より具体的には、液滴吐出ヘッド２２の送り方向Ｙの位置は、任意のノズル２７が上記予定位置に合わせるように設定され、また、液滴吐出ヘッド２２の送り方向Ｙに対する傾斜角度θは、走査方向Ｘから見たノズル２７の形成周期が材料１２の予定位置の送り方向Ｙの配列周期に一致するように設定される。
【００５６】
また、液滴吐出ヘッド２２が走査方向Ｘに走査されると、その後、送り方向Ｙに所定距離だけ移動して再び走査が行われるといったことを繰り返す。ここで、一つの走査が終わった後に逆方向に移動して当初の位置に戻り、その後、送り方向Ｙに所定距離だけ移動するといった動作を繰り返すようにしてもよく、或いは、一つの走査が終わった後に直ちに送り方向Ｙに所定距離だけ移動し、今度は、前回とは逆方向に走査するといった動作を繰り返すようにしてもよい。
【００５７】
図１２には、誤差分散方式の走査態様をも示してある。誤差分散方式の走査態様では、前回の走査によって液滴を吐出した範囲と、今回の走査によって液滴が吐出される範囲とが一部重なるように、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘに走査した後に行われる送り方向Ｙへの送り距離をノズル列２８の送り方向Ｙの幅よりも小さくなるように設定するものである。図示例では、液滴吐出ヘッドの幅Ｌを３等分して、送り動作によって液滴吐出ヘッド２２がＬ／３ずつ送り方向に移動する場合を示してある。これによって、走査方向Ｘに配列された列に属する複数の材料１２が液滴吐出ヘッド２２内の異なるノズル２７から吐出された液滴で構成されたものとなるように構成することもでき、或いは、各材料１２が複数回の走査で異なるノズル２７から吐出された複数の液滴で構成されたものとなるように構成することもできるため、材料１２の量のばらつきに起因するムラを低減できるという利点がある。
【００５８】
［第１実施形態］
次に、上記のような液滴吐出ヘッド２２及び液滴吐出装置１６を用いた液状物の吐出方法及び吐出装置の実施形態について説明する。図４は、本発明に係る第１実施形態の液滴吐出方法及び液滴吐出装置を示す説明図である。本実施形態では、複数の液滴吐出ヘッド２２を図示のように送り方向Ｙに配列してヘッド列を構成する。ここで、ヘッド列は、図示二点鎖線で示すキャリッジ２５に複数の液滴吐出ヘッド２２をそれぞれ取り付けることによって構成することができる。なお、キャリッジ２５は、たとえば上記液滴吐出装置１６に設けられたヘッドユニット２６に取り付けられ、適宜に駆動される。この点は、以下に説明する全ての実施形態でも同様である。
【００５９】
上記ヘッド列内において、送り方向Ｙに隣接する液滴吐出ヘッド２２は、相互に走査方向Ｘにずれるように配置されている。また、ヘッド列では、全体として複数の液滴吐出ヘッド２２が送り方向Ｙに千鳥状に配列されている。このように構成すると、ヘッド列の走査方向の長さを低減することができるので、基板１０に対する走査ストロークを短く構成することが可能になり、その結果、走査時間が短縮されるため製造効率を向上できる。
【００６０】
液状物を吐出する対象としての基板１０には、液状物の吐出によって配置されるべき材料１２が所定パターンにて配列されてなる材料配列領域１１が複数設定されている。より具体的には、材料配列領域１１は、基板１０上において縦横にマトリクス状に配列されている。また、図示例において、各材料配列領域１１内には、材料１２が縦横にマトリクス状に配列される。
【００６１】
この実施形態では、基板１０上に設定された材料配列領域１１（正確には、基板１０上に設定された走査方向Ｘに伸びる材料配列領域１１の列）毎に、１又は複数の液滴吐出ヘッド２２の組が位置決めされる。図示例では、材料配列領域１１毎に複数の液滴吐出ヘッドの組、すなわち、液滴吐出ヘッド２２（Ａ１）と２２（Ａ２）の組、２２（Ｂ１）と２２（Ｂ２）の組、２２（Ｃ１）と２２（Ｃ２）の組がそれぞれ位置決めされている。各組の液滴吐出ヘッドは、対応する材料配列領域１１内の材料１２の予定位置の配列パターンに対応させて位置決めされる。
【００６２】
たとえば、ノズル列内の全ての液滴吐出ヘッド２２においてノズル周期をＮとし、また、液滴吐出ヘッド２２の組の送り方向Ｙの配置周期をＬとし、さらに、各材料配列領域１１の内部の材料１２の予定位置の送り方向Ｙの配列周期をＰ、材料配列領域１１間の送り方向Ｙの領域間隔をＱ、材料配列領域１１の送り方向の領域幅をＲ（上記配列周期Ｐの自然数倍）とする。この場合、液滴吐出ヘッド２２の各組に設けられている各ノズル２７の送り方向Ｙの位置は、材料配列領域１１内の上記配列周期Ｐと同期した位置に配置されるように構成されている。より具体的には、液滴吐出ヘッド２２（Ａ１）のノズル列と２２（Ａ２）のノズル列とのノズル列間隔Ｇは、上記配列周期Ｐの自然数倍と一致するように構成されている。図示例では、上記ノズル列間隔Ｇは上記配列周期Ｐと一致するように構成され、これによって、液滴吐出ヘッド２２（Ａ１）のノズル列２８と、液滴吐出ヘッド２２（Ａ２）のノズル列２８とが送り方向Ｘから見たときに連続する（すなわち両ヘッドのノズル２７が一体の列を実質的に構成する）ようになっている。
【００６３】
また、図示例では、液滴吐出ノズル２２の各組は、対応する材料配列領域１１の送り方向Ｙの位置に合わせて配置されている。より具体的には、ヘッド列における隣接する液滴吐出ヘッド２２の組間の送り方向Ｙの組配置周期、すなわち、液滴吐出ノズル２２（Ａ１）及び２２（Ａ２）の組と液滴吐出ノズル２２（Ｂ１）及び（Ｂ２）の組との組配置周期Ｌ、或いは、液滴吐出ノズル２２（Ｂ１）及び２２（Ｂ２）の組と液滴吐出ノズル２２（Ｃ１）及び２２（Ｃ２）の組との組配置周期Ｌは、材料配列領域１１の送り方向Ｙの上記領域幅Ｒと上記領域間隔Ｑとの和に一致している。
【００６４】
上記の複数の液滴吐出ヘッド２２で構成されるヘッド列は、基板１０に対して相対的に走査方向Ｘに走査され、各ノズル２７からそれぞれ液滴が吐出されることによって、図示のような材料１２が所定のパターンにて配列されていく。
【００６５】
このように、送り方向Ｙに配列した複数の材料配列領域１１に対して液滴吐出ヘッド２２の組がそれぞれ対応して位置決めされることにより、材料配列領域１１の領域間隔Ｑが如何なる値に設定されたとしても、各材料配列領域１１のそれぞれに対して正確に材料１２を配置していくことができる。したがって、基板１０に形成される材料配列領域１１内の材料１２の位置精度が送り方向Ｙに沿ってばらつくこと（たとえば、基板１０上を送り方向Ｙに沿って観察していくと、徐々に送り方向Ｙの位置ずれが大きくなっていくことなど）を抑制することができ、材料配列領域１１間における材料１２の配列精度の差を低減できる。
【００６６】
また、この実施形態では、液滴吐出ヘッド２２の各組に設けられるノズル全幅（上記組配置周期Ｌに対応する）は、材料配列領域１１の送り方向Ｙの領域幅Ｒよりも大きく構成されている。これによって、たとえば、各液滴吐出ヘッド２２における材料吐出量のばらつきを抑制するために、各液滴吐出ヘッド２２の両端近傍のノズル２７を用いないようにすることが可能になり、液滴吐出量のばらつきの低減を図ることによって材料１２の量（厚さや広がり）のばらつきを抑制することができる。これは、液滴吐出ヘッド２２の両端部近傍に設けられたノズルの液滴吐出量の変動がそれ以外のノズルに較べて大きいからである。また、上記のように、液滴吐出ヘッド２２のヘッド列を送り方向Ｙに少しずつずらしながら複数回の走査によって材料１２を配列させていくことも可能になるため、走査方向Ｘに配列される列に属する複数の材料１２が相互に異なるノズル２７により吐出された液滴によって構成されるようにしたり、或いは、各材料１２が複数回の走査に係る異なるノズル２７によって吐出された複数の液滴によって構成されるようにしたりすることが可能になる。このような誤差分散方式の液滴吐出方法によれば、やはり材料１２の量（厚さや広がり）のばらつきを抑制することができる。
【００６７】
［第２実施形態］
次に、図５を参照して、本発明に係る第２実施形態について説明する。この実施形態は、上記第１実施形態と同様に構成された液滴吐出ヘッド２２、材料１２が所定パターンにて配列されるべき材料配列領域１１が所定態様で配列された状態に設定される基板１０を有する。また、この実施形態でも複数の液滴吐出ヘッド２２が全体として送り方向Ｙに配列されてヘッド列を構成し、また、このヘッド列において、隣接する液滴吐出ヘッド２２は相互に走査方向Ｘにずれた位置に配置されている。より具体的には、このヘッド列は、送り方向Ｙに向けて複数の液滴吐出ヘッド２２を千鳥状に配列させたものである。
【００６８】
この実施形態においては、材料配列領域１１（の走査方向Ｘに伸びる列）毎に３つの液滴吐出ノズル２２を含む組が対応している。そして、各組の液適吐出ヘッドでは、ノズル周期Ｎの自然数倍が上記配列周期Ｐとなるように構成された各ノズル２７の位置が材料配列領域１１内の材料１２の予定位置の配列周期Ｐに同期するように配置されている。したがって、各組内において、隣接する液滴吐出ヘッド２２のヘッド間隔Ｇ１，Ｇ２はそれぞれ上記配列周期Ｐの自然数倍になるように構成される。より具体的には、上記ヘッド間隔Ｇ１，Ｇ２はそれぞれ上記配列周期Ｐと一致し、これにより、各組内の複数の液適吐出ヘッド２２のノズル列２８が相互に一体化し、走査方向Ｘから見て連続し、一体のノズル列が実質的に構成されるようになっている。
【００６９】
また、液滴吐出ヘッド２２の各組間の組配置周期Ｌは、材料配列領域１１の領域間隔Ｑと、材料配列領域１１の領域幅Ｒ（上記配列周期Ｐの自然数倍）との和に一致している。したがって、領域間隔Ｑが上記配列周期Ｐの自然数倍でなくても支障なく各材料配列領域１１内の所定位置に材料１２を配置することができる。
【００７０】
さらに、本実施形態においても、複数の液滴吐出ヘッド２２で構成される各組において、その組内に構成されるノズル全幅（上記組配置周期Ｌに相当する。）は、材料配列領域１１の領域幅Ｒよりも大きくなるように構成されている。これによって、上記第１実施形態と同様に、使用するノズルを限定することによる液滴吐出量のばらつきの低減、或いはまた、誤差分散方式による材料１２の量のばらつきの低減を図ることができる。
【００７１】
なお、上記第１実施形態では材料配列領域１１に対応する各組内に２つの液滴吐出ヘッド２２が属し、第２実施形態では３つの液滴吐出ヘッド２２が属しているが、本発明においては、各組には一つの液滴吐出ヘッド２２のみが属していてもよく、或いは、４以上の液滴吐出ヘッド２２が属していてもよい。すなわち、材料配列領域１１に対応する各組に属する液滴吐出ヘッド２２の数は任意の自然数であればよい。
【００７２】
［第３実施形態］
次に、図６を参照して、本発明に係る第３実施形態について説明する。この実施形態では、上記第１実施形態と同様の配列態様を有するヘッド列が構成されている。また、基板１０の各材料配列領域１１の配列態様、及び、ヘッド列と材料配列領域１１との相対的な位置関係についても第１実施形態と全く同様であるので、これらの説明は省略する。
【００７３】
本実施形態では、材料配列領域１１内に複数種類（図示例では３種）の材料１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂが所定パターンにて配列されるところが上記第１実施形態とは異なる。これらの材料１２Ｒ，１２Ｂ，１２Ｂは、たとえば、後述するカラーフィルタの３種のフィルタエレメント材料に相当する。図示例では、各材料１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂは走査方向Ｘに伸びるストライプ状に配列されている。したがって、一種の材料１２Ｒの予定位置は、送り方向Ｙに向けて複数個おき（図示例では３つおき）に配置されている。
【００７４】
この実施形態では、上記材料１２Ｒの送り方向Ｙの配列周期Ｐ×ｋ（ｋは自然数、図示例ではｋ＝３）に合わせて、液滴吐出ヘッド２２内の各ノズル２７のうち、所定数おき（図示例の場合にはｋ個おき（図示例では３））のノズル２７だけが液滴を吐出するように駆動される。なお、この図示例では、液滴吐出ヘッド２２のノズル周期は配列周期Ｐと一致するようになっているが、使用されるノズル２７のノズル周期はＮ＝ｋ×Ｐとなっている。もっとも、液滴吐出ヘッド２２の全てのノズル２７に関するノズル周期がｋ×Ｐと一致するように構成してあっても構わない。この場合には上記第１実施形態と全く同じ構成となる。
【００７５】
本実施形態では、他の材料１２Ｇ，１２Ｂについても、上記と同様にしてそれぞれ液滴吐出によって配置していく。すなわち、上記複数の材料１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂに対応させて複数の材料を吐出する液滴吐出ヘッド２２を用意し、それぞれの液滴吐出ヘッド２２を備えたヘッド列によってそれぞれの材料を吐出し、配置していく。
【００７６】
この実施形態でも、各材料の種類別に考えた場合には上記第１実施形態と全く同様に把握することができ、同様の効果を奏する。また、第２実施形態に記載したように材料配列領域１１に対応する各組に属する液滴吐出ヘッド２２の数は任意の自然数であればよい。
【００７７】
［第４実施形態］
次に、図７を参照して、本発明に係る第４実施形態について説明する。この実施形態では、複数の液滴吐出ヘッド２２が送り方向Ｙに配列されてヘッド列を構成している点では上記各実施形態と同様であるが、各液滴吐出ヘッド２２のノズル列２８が送り方向Ｙに対して傾斜角度θにて傾斜している点で異なる。
【００７８】
この実施形態のヘッド列では、各液滴吐出ヘッド２２は、送り方向Ｙにほぼ一列に配列されている。これは、ヘッド列に属する隣接する液滴吐出ヘッド２２が走査方向Ｘから見て送り方向Ｙに重なってはいるが、傾斜角度θによって相互に干渉しないように配置できるからである。傾斜角度θが小さい場合に隣接する液滴吐出ヘッド２２が相互に干渉する場合には、上記各実施形態のように走査方向に相互に位置をずらして配置したり、送り方向Ｙに向けて千鳥状に配列させたりすればよい。
【００７９】
ここで、上記傾斜角度θは、液晶吐出ヘッド２２の送り方向Ｙに見たノズル周期Ｎの自然数倍が各材料１２の予定位置の配列周期Ｐに一致するように設定される。すなわち、ノズル列２８におけるノズルピッチをＮ０とすると、Ｐ＝ｍ×Ｎ＝ｍ×Ｎ０ｃｏｓθ（ｍは自然数、図示例ではｍ＝１）が成立するように設定される。このようにすると、傾斜角度θを調整することによって、ノズルピッチＮ０を変えることなく、種々の配列周期Ｐに対応できるようになる。
【００８０】
この実施形態でも、材料配列領域１１毎に液滴吐出ヘッド２２を位置決めして上記ヘッド列を構成してあるので、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、ヘッド列においては、材料配列領域１１に対応して設定された液滴吐出ヘッド２２の組内における隣接する液滴吐出ヘッド２２のヘッド間隔Ｇは上記ノズル周期Ｎ或いは配列周期Ｐの自然数倍（特に１倍）に一致するように構成される。また、各組の組配置周期Ｌは、材料配列領域１１の領域間隔Ｑと、領域幅Ｒとの和に一致するように構成されている。
【００８１】
［第５実施形態］
次に、図８を参照して、本発明に係る第５実施形態について説明する。この実施形態においては、上記第１実施形態と同様に構成されているので、各部の構造や配置についての説明を省略する。この実施形態では、本発明の液滴吐出方法に上記の誤差分散方式を採用したものである。すなわち、複数の液滴吐出ヘッド２２が配列されて成るヘッド列を、最初に図示Ａの位置で走査方向Ｘに走査し、その後、所定のノズル周期分（たとえばノズル１周期分）だけ送り方向Ｙに移動させて再び走査を行うといったことを繰り返し実施し、途中で図示Ｂの位置で走査を行い、最終的に図示Ｃの位置で走査を行う。これによって、液滴吐出ヘッド２２に設けられた複数のノズル２７間において液滴吐出量にばらつきがあったとしても、材料配列領域１１内において配列された材料１２間の量のばらつきを低減することができる。
【００８２】
この場合、上記の動作中における各走査において、走査方向Ｘに配列された列に属する全ての予定位置に対して液滴を吐出させてもよく、或いは、走査方向Ｘに配列された列に属する予定位置の一部に対してのみ液滴を吐出し、他の予定位置については別の走査時に液滴が吐出されるように構成してもよい。
【００８３】
本実施形態において、上記ノズル列に含まれる液滴吐出ヘッド２２の各組のノズル全幅（上記第１実施形態で説明した各組間の組配置周期Ｌに相当する）は、材料配列領域１１の領域幅Ｒよりも大きく構成されている。この点は、上記各実施形態も同様である。この実施形態では、意図的にノズル全幅を上記領域幅Ｒより大きく構成することにより、上記誤差分散方式における送り方向Ｙに各組毎に送り余裕を設けている。この送り余裕（ノズル２７の余裕数）によって誤差分散方式における送り方向Ｙのマージンが確保される。
【００８４】
［第６実施形態］
次に、図９を参照して本発明に係る第６実施形態について説明する。この実施形態では、基本的に複数の液滴吐出ヘッド２２が第１実施形態の配列態様と同様に配列され、第１実施形態と同様に基板１０の材料配列領域１１に対して位置決めされる。
【００８５】
この実施形態では、複数の液滴吐出ヘッド２２がキャリッジ２５にそれぞれ搭載されている。このキャリッジ２５には、各液滴吐出ヘッド２２を送り方向Ｙに移動させるための案内路２５ａが設けられている。また、液滴吐出ヘッド２２には、案内路２５ａに沿って摺動可能で、かつ、案内路２５ａの任意の位置に固定可能に構成された位置決め固定手段２２ａが設けられている。この位置決め固定手段２２ａは、たとえば、ラック状の歯を設けた案内路２５ａに噛合する歯車を有し、この歯車が電動モータ等の適宜の駆動源によって回転駆動されるように構成できる。上記歯車を回転駆動させると液滴吐出ヘッド２２は送り方向Ｙの前後いずれかに向けて移動し、上記歯車を停止させると液滴吐出ヘッド２２は固定される。もちろん、駆動源を用いることなく、手動で液滴吐出ヘッド２２の位置を変え、適宜の位置で固定できるように構成してもよい。
【００８６】
上記の各液滴吐出ヘッド２２の位置は、上記の中央処理部６９及び情報記録媒体７１などで構成される制御部によって制御される。中央処理部６９は、情報記録媒体７１などに記録されたパラメータ、或いは、入力装置６７から入力されたバラメータなどに基づいて各液滴吐出ヘッド２２の位置情報（すなわち、第１実施形態において説明したヘッド列内の相対位置など）を算出し、当該位置情報に基づいて入出力インターフェース７３及びバス７４を介して上記位置決め固定手段２２ａを駆動する。
【００８７】
上記のように構成することによって、基板１０の材料配列領域１１の配列態様（たとえば上述の領域間隔Ｑや領域幅Ｒなど）や各材料配列領域１１内の材料１２の予定位置のパターン態様（たとえば配列周期Ｐなど）を任意に設定することができ、また、任意に設定された上記基板１０に対して液滴吐出装置１６において柔軟に対応することができる。たとえば、図９に示したところでは、材料形成領域１１の領域幅Ｐ１〜Ｐ３、領域間隔Ｑ１〜Ｑ２がそれぞれどのように設定されていても、これに対応させて、組配置周期Ｌ１〜Ｌ３、ヘッド間隔Ｇ１〜Ｇ５を適宜に設定することにより、材料配列領域１１毎に１又は複数の液滴吐出ヘッド２２の組を位置決めすることができる。
【００８８】
なお、本実施形態では２本の案内路２５ａ，２５ａが形成され、これらの２本の案内路２５ａに沿って複数の液滴吐出ヘッド２２が２列に配置されるように構成されている。その結果、本実施形態では液滴吐出ヘッド２２を千鳥状に配列することができる。
【００８９】
［第７実施形態］
次に、図１０を参照して、本発明に係る第７実施形態について説明する。この実施形態では、第６実施形態のヘッド構成の代わりに用いることのできるヘッド構造を示す。このヘッド構成においては、キャリッジ２５に対して複数の液滴吐出ヘッド２２が移動可能に取り付けられている点では上記第６実施形態と同様である。すなわち、案内路２５ａに沿って複数液滴吐出ヘッド２２が移動可能に構成されている。しかしながら、本実施形態では、液滴吐出ヘッド２２がそれぞれの中心軸周りに回転可能に構成されている。より具体的には、液滴吐出ヘッド２２には、位置決め固定手段として、案内路２５ａに沿って液滴吐出ヘッド２２を移動可能に構成する並進位置決め手段２２Ａと、この並進位置決め手段２２Ａに対して液滴吐出ヘッド２２を回転可能に構成する回転位置決め手段２２Ｂとを備えている。
【００９０】
本実施形態では、上記のように各液滴吐出ヘッド２２が回転可能に構成されているため、上記傾斜角度θを任意に設定できるように構成されている。この傾斜角度θについても、上記第６実施形態と同様に、制御部によって基板１０の構成態様に応じて設定されるように構成されている。したがって、この構成によれば、上記第４実施形態（図７参照）のようなヘッド列を自動的に設定することができる。
【００９１】
なお、この実施形態では、複数の液滴吐出ヘッド２２の相互位置関係、すなわち、隣接する液滴吐出ヘッド２２の間隔Ｓ１〜Ｓ４を任意に設定できる。したがって、一つの材料配列領域１１に対応する組に属する液滴吐出ヘッド２２の数も基板１０の配列態様に応じて任意に設定できる。
【００９２】
［カラーフィルタの製造方法］
次に、本発明に係る第８実施形態としてカラーフィルタの製造方法について説明する。この実施形態は、上記の第１実施形態乃至第７実施形態のいずれか一つを用いたものであるが、以下の説明においては、カラーフィルタの製造方法に特有の部分について主に説明する。
【００９３】
図１４には、カラーフィルタ１の製造方法を工程順に模式的に示す。まず、図１４（ａ）に示すように、基板１０の表面に、透光性を有しない樹脂材料によって、矢印Ｂ方向から見て格子状パターンが構成されるように隔壁６を形成する。この格子状パターンにおける格子穴に相当する部分は、フィルタエレメント３が形成されるべき材料配置領域（上記材料１２の予定位置に相当する。）、すなわちフィルタエレメント形成領域７である。このフィルタエレメント形成領域７は、たとえば、３０μｍ×１００μｍ程度の大きさとなるように構成される。
【００９４】
ここで、隔壁６は、フィルタエレメント形成領域７に供給される液状物としてのフィルタエレメント材料１３の流動を阻止する機能、およびブラックマスクの機能を併せて有する。隔壁６を精度良く作成するとともに、その機械的強度を高めるために、例えば、フォトリソグラフィー法を用いて形成するとともに、必要に応じてヒータやオーブン等を用いて加熱して熱硬化等させる。
【００９５】
次いで、図１４（ｂ）に示すように、ＲＧＢドットあるいはＹＭＣドット等に対応したフィルタエレメント材料１３をそれぞれに対応した上記液滴吐出ヘッド２２の各ノズル２７から順次に吐出させる。すなわち、ＲＧＢドットあるいはＹＭＣドット等に対応したフィルタエレメント材料１３の液滴８を、フィルタエレメント形成領域７に供給し、各フィルタエレメント形成領域７をフィルタエレメント材料１３で埋める。
【００９６】
次いで、ヒータによってマザー基板１０を例えば７０℃程度に加熱することにより、各フィルタエレメント形成領域７に充填された所定量のフィルタエレメント材料１３の溶媒を揮発させる。この溶媒の蒸発により、図１４（ｃ）に示すようにフィルタエレメント材料１３は固化する。このとき、フィルタエレメント材料１３の体積が減少して表面が平坦化した状態になる。一方、液滴吐出ヘッド２２により吐出されるフィルタエレメント材料１３が固化するときに体積の減少が激しい場合には、カラーフィルタ１として十分な膜厚が得られるまで、フィルタエレメント材料１３の液滴８の供給とその液滴８の加熱とを繰り返して実行することが好ましい。例えば、図１４においては、フィルタエレメント形成領域７に対する液滴８の吐出が複数回（たとえば３回）繰り返されることが例示されている。
【００９７】
次いで、形成したフィルタエレメント３を完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行する。その後、さらにスピンコート法、ロールコート法、ディッピング法、またはインクジェット法などといった公知の手法を用いて、図１４（ｄ）に示すように、保護膜４を形成する。この保護膜４は、フィルタエレメント３などの保護、およびカラーフィルタ１の表面における平坦化のために形成される。
【００９８】
上記のようにして形成されたカラーフィルタ１は、ガラス、プラスチックなどによって形成された方形状の基板１０の表面に、複数のフィルタエレメント３をドットパターン状、本実施の形態ではドットマトリックス状に形成してある。ここで、フィルタエレメント３は、透光性を有しない樹脂材料を用いて格子状パターンに形成された隔壁６によって区画されているとともに、ドットマトリックス状に並んだ複数の方形状の領域を、フィルタエレメント材料（カラーフィルタ用材料）で埋めることによって形成してある。また、これらのフィルタエレメント３は、それぞれが、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のうちのいずれか１色、あるいはＹ（黄）、Ｍ（マゼンダ）、Ｃ（シアン）のうちのいずれか１色のフィルタエレメント材料によって形成され、それらの各色のフィルタエレメント３が、所定の配列に並べられている。
【００９９】
このようなフィルタエレメント３の配列態様の例としては、例えば、図２３（ａ）に示すように、マトリクスの縦列が全て同色になるストライプ配列、図２３（ｂ）に示すように、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタエレメント３がＲＧＢ画素からなる３色の配色である（斜め）モザイク配列、図２３（ｃ）に示すような、フィルタエレメント３の配置を段違いにし、任意の隣接する３つのフィルタエレメント３が、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素からなるデルタ配列などが挙げられる。
【０１００】
また、上記カラーフィルタ１の大きさについては特に制限されるものではないが、例えば、対角線の長さが１．８インチ（４．５７ｃｍ）の長方形とする。また、１個のフィルタエレメント３の大きさについても特に制限されるものではないが、例えば、横１０μｍ〜１００μｍ、縦５０μｍ〜２００μｍの長方形とすることができる。そして、各フィルタエレメント３の間の間隔、いわゆるエレメント間ピッチを例えば、５０μｍや７５μｍとすることができる。
【０１０１】
ここで、上記のカラーフィルタ１を液晶表示装置等においてフルカラー表示のための光学要素として用いる場合には、ＲＧＢあるいはＹＭＣに対応した３個のフィルタエレメント３を１つの画素として構成することが好ましい。そして、１画素内のＲＧＢあるいはＹＭＣの３つの表示ドットの光学状態を制御することにより、エレクトロルミネッセンス装置やプラズマディスプレイパネルなどの自己発光型の装置においてはそのままで、或いは、液晶表示装置等の自己非発光型の装置においてはバックライト光や外光などの適宜の光源から発せられた光を用いることにより、それぞれフルカラー表示を行うことが可能になる。
【０１０２】
なお、上記の隔壁６を、透光性を実質的に有していない樹脂材料によって形成することにより、この隔壁６をブラックマスク（遮光層或いは遮光部材）として作用させることができるので、混色を防止したり、コントラストを向上させたりすることができる。
【０１０３】
上述したカラーフィルタ１は、大判の基板１０上に複数配列されるカラーフィルタ形成領域１１（上記各実施形態における材料配列領域１１に相当し、各フィルタエレメント３は上記の材料１２に相当する。）によって構成される。これにより、製造コストが安く、経済的に有利となる。より具体的には、基板１０内に設定された複数のカラーフィルタ形成領域１１において、それぞれの表面にカラーフィルタ１の１個分のパターンを形成する。次いで、カラーフィルタ形成領域１１の周りに切断用の溝を形成し、それらの溝に沿って基板１０を切断する。これにより、個々の基板２（図１４（ａ）参照。）上にカラーフィルタ１が形成されてなるカラーフィルタ基板が形成される。
【０１０４】
［カラーフィルタを備えた表示装置］
次に、上記のようにして形成されたカラーフィルタを用いて構成した液晶表示装置について説明する。液晶表示装置の構成や製造方法は、公知の一般的な内容とすることができるが、一例として、図１５に示す液晶表示装置１７０を構成することができる。この液晶表示装置１７０は、下方から、第１の偏向板１７５、第１の基板１７４、反射膜（半透過反射膜）１８２、第１の電極１８１、第１の配向板１８０、液晶１７９、第２の配向板１７８、第２の電極１７７、カラーフィルタ１７６、第２の基板１７２、第１の偏向板１７１を順次積層した構造を有する。ここで、第１の基板１７４と第２の基板１７２とはシール材１７３で所定間隔をもって貼り合わされ、その間に配置された液晶１７９がシール材１７３によって封入された状態となっている。
【０１０５】
この液晶表示装置１７０においては、その周辺位置（たとえば第１の基板１７４上に搭載されたドライバＩＣ１８３により上記第１の電極１８１と第２の電極１７７にそれぞれ所定電位が供給され、これによって液晶１７９に所定電圧が印加されることにより、各表示ドット毎にその光学状態を制御することができる。そして、上述のカラーフィルタを介することによってフルカラー表示が可能になる。ここで、図１５の図示例では、単純マトリックスのパッシブ方式のパネル構造を前提として示してあるが、ＴＦＤ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｄｉｏｄｅ）素子をスイッチング素子としたアクティブ方式や、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）素子をスイッチング素子としたアクティブ方式等のパネル構造を設けてもよい。また、液晶表示装置としては、図示例のように、第１の偏向板１７５の下方に配置された導光板１８６及び光源１８７で構成されるバックライトを設けた反射半透過型構造とすることができるが、透過型構造として構成してもよく、さらには、バックライトを有しない反射型構造としても構わない。
【０１０６】
［エレクトロルミネッセンス装置の製造方法］
次に、アクティブマトリックス型のエレクトロルミネッセンス表示装置を製造する工程手順について説明する。このエレクトロルミネッセンス装置は、図１６に示すように、駆動回路１０７，１０８から供給される電位に基づいて駆動されるパネル構造を有する。
【０１０７】
まず、図１７（Ａ）に示すように、透明ガラス等で構成される表示基板１０２に対して、テトラエトキシシラン（ｔｅｔｒａｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ：ＴＥＯＳ）や酸素ガスなどを原料ガスとしてプラズマＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により、シリコン酸化膜からなる下地保護膜（図示せず。）を形成する。この際、下地保護膜の厚さを約２、０００〜５、０００オングストロームの範囲内の値とすることが好ましい。
【０１０８】
次いで、表示基板１０２の温度を約３５０°に設定し、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法により、非晶質のシリコン膜である半導体膜１２０ａを形成する。その際、シリコン膜の厚さを約３００〜７００オングストロームの範囲内の値とすることが好ましい。この後、半導体膜１２０ａに対して、レーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を実施し、半導体膜１２０ａをポリシリコン膜に結晶化することが好ましい。
【０１０９】
次いで、図１７（Ｂ）に示すように、半導体膜１２０ａをパターニングして、島状の半導体膜１２０ｂを形成する。そして、半導体膜１２０ｂが設けられた表示基板１０２の表面に、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料ガスとして、プラズマＣＶＤ法により、シリコン酸化膜あるいは窒化膜からなるゲート絶縁膜１２１ａを形成する。その際、ゲート絶縁膜の厚さを約６００〜１５００オングストロームの範囲内の値とすることが好ましい。なお、半導体膜１２０ｂは、図１６に示すカレント薄膜トランジスタ１１０のチャネル領域およびソース・ドレイン領域となるものであるが、異なる断面位置においては、スイッチング薄膜トランジスタ１０９のチャネル領域およびソース・ドレイン領域となる図示しない半導体膜も形成されている。すなわち、図１７に示す製造工程では二種類のスイッチング薄膜トランジスタ１０９およびカレント薄膜トランジスタ１１０が同時に形成される。ただし、これらのトランジスタは同じ手順で形成されるため、以下の説明では、カレント薄膜トランジスタ１１０についてのみ説明し、スイッチング薄膜トランジスタ１０９については説明を省略する。
【０１１０】
次いで、図１７（Ｃ）に示すように、アルミニウムやタンタル等の導電膜をスパッタ法により形成し、その後にパターニングして、ゲート電極１１０Ａを形成する。この状態で、不純物、例えば、高温度のリンイオンを注入し、半導体膜１２０ｂにゲート電極１１０Ａに対して自己整合的にソース・ドレイン領域１１０ａ，１１０ｂを形成する。なお、半導体膜１２０ｂのうち不純物が導入されなかった部分が、チャネル領域１１０ｃとなる。
【０１１１】
次いで、図１７（Ｄ）に示すように、層間絶縁膜１２２を形成した後、コンタクトホール１２３，１２４を形成し、これらコンタクトホール１２３，１２４内に中継電極１２６，１２７を埋め込み形成する。さらに、図１７（Ｅ）に示すように、層間絶縁膜１２２上に、信号線１０４、共通給電線１０５および走査線１０３（図１７中には図示しないので、図１６を参照）を形成する。そして、各配線の上面を覆うように層間絶縁膜１３０を形成し、中継電極１２６に対応する位置にコンタクトホール１３２を形成する。さらに、このコンタクトホール１３２内を埋めるようにＩＴＯ膜を形成した後、このＩＴＯ膜をパターニングして、信号線１０４、共通給電線１０５および走査線１０３に囲まれた所定位置に、ソース・ドレイン領域１１０ａに電気的に接続する画素電極１１１を形成する。
【０１１２】
次いで、図１８（Ａ）に示すように、前処理が実施された表示基板１０２に、複数のエレクトロルミネッセンス材料を吐出する。すなわち、複数のエレクトロルミネッセンス材料をそれぞれに対応した液滴吐出ヘッド２２のノズル２７から順次に吐出させる。より具体的には、図１８（Ａ）に示すように、前処理が実施された表示基板１０２の上面を上方に向けた状態で、エレクトロルミネッセンス材料１４０Ａ、例えば、ポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム等を、液状物として吐出し、段差１３５で囲まれた領域内に選択的に塗布する。ここで、このエレクトロルミネッセンス材料１４０Ａは、この領域に形成される発光素子の下層部分に当たる後述する正孔注入層１１３Ａを形成するための材料である。かかるエレクトロルミネッセンス材料１４０Ａは、機能性液状体として、溶媒に溶かされた状態の前駆体であることが好ましい。
【０１１３】
次いで、図１８（Ｂ）に示すように、加熱あるいは光照射等を実施することにより、エレクトロルミネッセンス材料１４０Ａに含まれる溶媒を蒸発させ、画素電極１１１上に固形の薄い正孔注入層１１３Ａを形成する。そして、図１８（Ａ），（Ｂ）を必要回数繰り返し、図１８（Ｃ）に示すように、十分な厚さ寸法の正孔注入層１１３Ａを形成する。
【０１１４】
次いで、図１９（Ａ）に示すように、表示基板１０２の上面を上に向けた状態で、エレクトロルミネッセンス材料１４０Ｂ、例えば、シアノポリフェニレンビニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリアルキルフェニレンを、インクジェット方式により吐出し、これを段差１３５で囲まれた領域内に選択的に塗布する。ここで、このエレクトロルミネッセンス材料１４０Ｂは、この領域に形成される発光素子の上層部分に相当する後述する有機半導体膜１１３Ｂを形成するための材料である。なお、かかるエレクトロルミネッセンス材料１４０Ｂは、機能性液状体として、溶媒に溶かされた状態の有機蛍光材料であることが好ましい。
【０１１５】
次いで、図１９（Ｂ）に示すように、加熱あるいは光照射等を実施することにより、エレクトロルミネッセンス材料１４０Ｂに含まれる溶媒を蒸発させ、正孔注入層１１３Ａ上に、固形の薄い有機半導体膜１１３Ｂを形成する。なお、図１９（Ａ）、（Ｂ）に示す操作を複数回繰り返し、図１９（Ｃ）に示すように、十分な厚さを有する有機半導体膜１１３Ｂを形成する。そして、上記の正孔注入層１１３Ａおよびこの有機半導体膜１１３Ｂによってエレクトロルミネッセンス発光素子１１３が構成される。
【０１１６】
最後に、図１９（Ｄ）に示すように、表示基板１０２の表面全体、若しくはストライプ状に反射電極（対向電極）１１２を形成する。すなわち、このように反射電極を形成することにより、サンドイッチ構造のエレクトロルミネッセンス装置を製造することができる。
【０１１７】
上記のエレクトロルミネッセンス装置としては、上記発光素子１１３の材料を相互に変えることにより形成された、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素に対応した発光特性をそれぞれ有する３種類の発光画素を適宜のパターンで形成したものが挙げられる。また、上記発光素子１１３が白色光を発光するものとして構成され、この発光素子と平面的に重なるフィルタエレメントを有するように上記のカラーフィルタ１を備えたものであってもよい。また、駆動構造（方式）としては、画素毎に発光層に流す電流を制御するトランジスタを備えたアクティブマトリックス型構造、あるいはパッシブマトリックス型構造のいずれの構成にも適用することができる。
【０１１８】
［プラズマディスプレイパネルの製造方法］
図２０は、プラズマディスプレイパネル４００の１表示ドットを示す概略拡大断面図である。ここで、ガラスなどで構成されるバック基板４０１上に、金属で構成されるアドレス電極４１１が形成され、このアドレス電極４１１上に誘電体層４１９が形成される。誘電体層４１９上には隔壁４１５がストライプ状に構成される。この隔壁４１５はフォトリソグラフィー法などによって形成できる。そして、この隔壁４１５によって画成された領域に、上記液滴吐出ヘッド２２によって蛍光物質を溶媒中に分散させてなる液状物を吐出し、この液状物を硬化させることによって蛍光体４１７を形成する。
【０１１９】
一方、ガラス等で構成される表示基板４０２上には表示電極４１２が形成される。その上には塗布及び焼成工程により誘電体ガラスで構成される誘電体層４１３が形成される。さらに、蒸着法などによってＭｇＯなどで構成される保護膜４１４が形成される。そして、保護膜４１４側を上記基板４０１側に向けた姿勢で、バック基板４０１と表示基板４０２とをその周囲に低誘電ガラスを封着材として塗布した後、重ね合わせて焼成することによって封着し、さらに内部を真空引きした後、希ガスを封入することによって、放電室４１６が形成される。
【０１２０】
この製造方法では、液滴吐出ヘッド２２を用いた上記実施形態の方法によって液状物として配置させ、乾燥・硬化させることにより上記の蛍光体４１７を形成できるため、蛍光体量のばらつきの少ない良質の表示体を構成できる。
【０１２１】
図２１は、上記とは異なるプラズマディスプレイパネル５００の分解斜視図を示し、図２２は、本実施形態のプラズマディスプレイパネル５００の基本概念図を示す。本実施形態のプラズマディスプレイパネル５００は、カラーフィルタ１として先の第３の実施形態で説明したカラーフィルタ１と同等のものを備えており、このカラーフィルタ１を観察側に配置して構成されている。すなわち、このカラーフィルタ１は、基板２、フィルタエレメント（着色層）３、隔壁６、及び、保護層４を備えている。
【０１２２】
プラズマディスプレイパネル５００は、互いに対向して配置されたガラス基板５０１と上記のカラーフィルタ１と、これらの間に形成された放電表示部５１０とから概略構成される。放電表示部５１０は、複数の放電室５１６が集合されてなり、複数の放電室５１６のうち、３つの放電室５１６が対になって１画素を構成するように配置されている。従って、先のカラーフィルタ１の各フィルタエレメント３（３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ）にそれぞれ対応するように各放電室５１６が設けられる。
【０１２３】
前記（ガラス）基板５０１の上面には所定の間隔でストライプ状にアドレス電極５１１が形成され、それらアドレス電極５１１と基板５０１の上面とを覆うように誘電体層５１９が形成され、更に、誘電体層５１９上においてアドレス電極５１１、５１１間に位置して各アドレス電極５１１に沿うように隔壁５１５が形成される。なお、隔壁５１５においてはその長手方向の所定位置においてアドレス電極５１１と直交する方向にも所定の間隔で仕切られており（図示略）、基本的にはアドレス電極５１１の幅方向左右両側に隣接する隔壁と、アドレス電極５１１と直交する方向に延設された隔壁により仕切られる長方形状の領域が形成され、これら長方形状の領域に対応するように放電室５１６が形成され、これら長方形状の領域が３つ対になって１画素が構成される。また、隔壁５１５で区画される長方形状の領域の内側には蛍光体５１７が形成されている。
【０１２４】
次に、カラーフィルタ１側には、先のアドレス電極５１１と直交する方向に複数の表示電極５１２がストライプ状に所定の間隔で形成され、これらを覆って誘電体層５１３が形成され、更に、ＭｇＯなどからなる保護膜５１４が形成されている。なお、図２２では、図示の都合上、表示電極５１２の延長方向が実際と相違している。前記基板５０１とカラーフィルタ１の基板２は、前記アドレス電極５１１…と表示電極５１２…を互いに直交させるように対向させて相互に貼り合わされ、基板５０１と隔壁５１５とカラーフィルタ１側に形成されている保護膜５１４とで囲まれる空間部分を排気して希ガスを封入することで放電室５１６が形成されている。なお、カラーフィルタ１側に形成される表示電極５１２は各放電室５１６に対して２本ずつ配置されるように形成されている。
【０１２５】
アドレス電極５１１と表示電極５１２は図示略の交流電源に接続され、各電極に通電することで必要な位置の放電表示部５１０において蛍光体を励起発光させて白色発光させ、この発光をカラーフィルタ１を介して見ることでカラー表示ができるようになっている。
【０１２６】
［電子機器］
最後に、図２５及び図２６を参照して、本発明に係る電子機器の実施形態について説明する。この実施形態では、上記の液晶表示装置１７０を表示手段として備えた電子機器について説明する。図２５は、本実施形態の電子機器における液晶表示装置１７０に対する制御系（表示制御系）の全体構成を示す概略構成図である。ここに示す電子機器は、表示情報出力源２９１と、表示情報処理回路２９２と、電源回路２９３と、タイミングジェネレータ２９４とを含む表示制御回路２９０を有する。また、上記と同様の液晶表示装置１７０には、表示領域１７０Ａを駆動する駆動回路１７０Ｂが設けられている。この駆動回路１７０Ｂは、通常、液晶パネルに直接実装されている半導体ＩＣチップ、パネル表面上に形成された回路パターン、或いは、液晶パネルに導電接続された回路基板に実装された半導体ＩＣチップ若しくは回路パターンなどによって構成される。
【０１２７】
表示情報出力源２９１は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）やＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）等からなるメモリと、磁気記録ディスクや光記録ディスク等からなるストレージユニットと、デジタル画像信号を同調出力する同調回路とを備え、タイミングジェネレータ２９４によって生成された各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号等の形で表示情報を表示情報処理回路２９２に供給するように構成されている。
【０１２８】
表示情報処理回路２９２は、シリアル−パラレル変換回路、増幅・反転回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路等の周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像情報をクロック信号ＣＬＫと共に駆動回路１７０Ｂへ供給する。駆動回路１７０Ｂは、走査線駆動回路、信号線駆動回路及び検査回路を含む。また、電源回路２９３は、上述の各構成要素にそれぞれ所定の電圧を供給する。
【０１２９】
図２６は、本発明に係る電子機器の一実施形態である携帯電話の外観を示す。この電子機器１０００は、操作部１００１と、表示部１００２とを有し、表示部１００２の内部に回路基板１１００が配置されている。回路基板１１００上には上記の液晶表示装置１７０が実装されている。そして、表示部１００２の表面において上記表示領域１７０Ａを視認できるように構成されている。
【０１３０】
以上説明した本実施形態では、液晶表示装置１７０を実装した電子機器について説明したが、上記と同様の構成により、エレクトロルミネッセンス装置やプラズマディスプレイパネルを表示駆動することもでき、これによって、これらの各種表示装置を搭載した各種の電子機器を構成することができる。
【０１３１】
［他の実施の形態］
以上、好ましい実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記の第１〜７実施形態及びその適用例に限定されるものではなく、以下に示すような変形例をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他のいずれの具体的な構造および形状を有する実施の形態も提供することができる。
【０１３２】
すなわち、本発明の吐出方法等が適用されるのは、上述したカラーフィルタ及びその製造装置、カラーフィルタを備えた液晶表示装置及びその製造装置、エレクトロルミネッセンス装置及びその製造装置、あるいは、プラズマ型表示装置及びその製造装置に限定されるものではなく、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ：フィールドエミッションディスプレイ）、電気泳動装置、薄型ブラウン管、ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ−Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）など様々な電気光学装置に用いることができる。
【０１３３】
また、本発明の吐出方法等は、電気光学装置に含まれる各種基板の製造工程においても用いることができる。例えば、プリント回路基板の電気配線を形成するために、液状金属や導電性材料などを吐出して金属配線を形成する製造工程、微細なマイクロレンズを形成する製造工程、基板上に塗布するレジストを必要な部分だけに塗布する工程、透光性基板などに光を散乱させる凸部や微小白パターンなどを形成する製造工程、ＤＮＡ（ｄｅｏｘｙｒｉｂｏｎｕｃｌｅｉｃ  ａｃｉｄ：デオキシリボ核酸）チップ上にマトリクス配列するスパイクスポットにＲＮＡ（ｒｉｂｏｎｕｃｌｅｉｃ  ａｃｉｄ：リボ核酸）を吐出して蛍光標識プローブを作成する製造工程、基板に区画されたドット状の位置に、試料や抗体、ＤＮＡ（ｄｅｏｘｙｒｉｂｏｎｕｃｌｅｉｃ  ａｃｉｄ：デオキシリボ核酸）などを吐出してバイオチップを形成する製造工程にも利用できる。
【０１３４】
本発明によれば、複数の液状物を複数の液滴吐出ヘッドで構成されるそれぞれのノズル列から吐出することによって、基板上に任意の配列態様で材料配列領域が設定されていても対応することができることから、材料配列領域の配列設計の自由度が向上し、製造効率を高めることができる。これにより、カラーフィルタ、それを用いた液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置、および発光媒体の厚さが均一なプラズマディスプレイパネル等を効率的に提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】液滴吐出ヘッドの内部構造を示す概略斜視図（ａ）及び断面図（ｂ）。
【図２】液滴吐出ヘッドの外観及びノズル列を示す説明図。
【図３】異なる液滴吐出ヘッドの説明図。
【図４】第１実施形態の説明図。
【図５】第２実施形態の説明図。
【図６】第３実施形態の説明図。
【図７】第４実施形態の説明図。
【図８】第５実施形態の説明図。
【図９】第６実施形態の説明図。
【図１０】第７実施形態のヘッド列構成を示す概略斜視図。
【図１１】液滴吐出装置の主要部を示す概略斜視図。
【図１２】液滴吐出装置の走査方法を示す説明図。
【図１３】液滴吐出装置の構成ブロック図。
【図１４】カラーフィルタの製造工程を示す工程断面図（ａ）〜（ｄ）。
【図１５】液晶表示装置の構成例を示す概略断面図。
【図１６】エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）装置の等価回路図。
【図１７】ＥＬ装置の製造工程を示す工程断面図（Ａ）〜（Ｅ）。
【図１８】ＥＬ装置の製造工程を示す工程断面図（Ａ）〜（Ｃ）。
【図１９】ＥＬ装置の製造工程を示す工程断面図（Ａ）〜（Ｄ）。
【図２０】プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の表示ドットを示す拡大断面図。
【図２１】別のＰＤＰの分解斜視図。
【図２２】図２１に示すＰＤＰの拡大断面図。
【図２３】カラーフィルタの配列パターンを示すパターン図（ａ）〜（ｃ）。
【図２４】従来の液滴吐出ヘッドを用いた方法を適用する対象物である基板の平面構成図（ａ）、液滴吐出ヘッドの動作を示す説明図（ｂ）及び液滴吐出ヘッドのノズル構成を示す平面図（ｃ）。
【図２５】実施形態の電子機器の表示制御系の構成を示す概略構成ブロック図。
【図２６】電子機器の外観を示す概略斜視図。
【符号の説明】
１…カラーフィルタ、８…液滴、１０…基板、１１…材料配列領域（カラーフィルタ形成領域）、１２…材料、１６…液滴吐出装置、２２…液滴吐出ヘッド、２５…キャリッジ、２７…ノズル、２８…ノズル列、Ｐ…配列周期、Ｑ…領域間隔、Ｒ…領域幅、Ｎ…ノズル周期、Ｌ…組配置周期、Ｇ…ヘッド間隔、１７０…液晶表示装置、１７０Ａ…表示領域、１７０Ｂ…駆動回路、２９０…表示制御回路、１０００…電子機器
【図１】
2004255335.tif 000003
【図２】
2004255335.tif 000004
【図３】
2004255335.tif 000005
【図４】
2004255335.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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