(57)【要約】　　　（修正有）【課題】超小型電子マシンデバイスにおけるデバイスのスペース制限の問題を解決するための、アクチュエータ一体型のフレクシュアを提供する。【解決手段】超小型電子マシンデバイス用のフレクシュア１０は、第１の面１４およびこの第１の面とは反対の第２の面１６を有する縦梁１２を備える。縦梁１２と一体に、前記第１の面１４に複数のフォース要素２２を有するアクチュエータ１８が形成される。アクチュエータ１８に静電斥力が作用すると、このフォース要素２２は互いに離れるように動き、それにより、縦梁１２を前記第２の面１６に向けて撓ませる。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超小型電子マシンデバイス用のフレクシュア（１０）であって、
縦梁（１２）と、
前記縦梁（１２）と一体であり、作動されると前記縦梁（１２）を撓ませるように作用するアクチュエータ（１８）と
を備えることを特徴とするフレクシュア。
【請求項２】
前記アクチュエータ（１８）は静電気で作動されることを特徴とする請求項１記載のフレクシュア。
【請求項３】
前記縦梁（１２）は、第１の面（１４）、および該第１の面（１４）とは反対の第２の面（１６）を備え、
前記アクチュエータ（１８）は、前記縦梁（１２）の前記第１の面（１４）に複数のフォース要素（２２）を備え、
前記フォース要素（２２）は、静電斥力の作用時に互いに離れるように動くことができ、前記前記縦梁（１２）を前記第２の面（１６）に向けて撓ませることを特徴とする請求項１記載のフレクシュア。
【請求項４】
前記フォース要素（２２）は、前記縦梁の前記第１の面（１４）に向かう撓みを制限することを特徴とする請求項３記載のフレクシュア。
【請求項５】
前記複数のフォース要素（２２）はそれぞれ、前記縦梁（１２）の前記第１の面（１４）から延出するＴ字形要素を構成することを特徴とする請求項４記載のフレクシュア。
【請求項６】
前記縦梁（１２）は、前記第１の面（１４）と前記第２の面（１６）との間に１００〜３００００オングストロームの範囲内の幅を有することを特徴とする請求項１記載のフレクシュア。
【請求項７】
可動マス（１１２）と相互作用するコンプライアント部材（１２）と、
前記コンプライアント部材（１２）とモノリシックに形成され、該コンプライアント部材（１２）を撓ませ、前記可動マス（１１２）を動かすアクチュエータ（１８）と
を備えることを特徴とする超小型電子マシンデバイス。
【請求項８】
前記アクチュエータ（１８）は、前記コンプライアント部材（１２）から突出する複数の静電気帯電可能要素（２２）を備え、
前記突出する静電気帯電可能要素（２２）は、静電力の作用時に互いに離れるように動いて前記コンプライアント部材（１２）を撓ませることができることを特徴とする請求項７記載のデバイス。
【請求項９】
前記静電気帯電可能要素（２２）は前記コンプライアント部材（１２）の単一面（１４）に配置されることを特徴とする請求項８記載のデバイス。
【請求項１０】
前記静電気帯電可能要素（２２）はハンマー形であることを特徴とする請求項９記載のデバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、概して超小型電子マシンデバイスに関し、特に、フレクシュア（ｆｌｅｘｕｒｅ）を湾曲させるアクチュエータが一体形成された超小型電子マシン用フレクシュアに関する。
【０００２】
本明細書は、２００２年４月１８日付けで出願され共通の発明者要件を有しており同様に譲渡された「ＭＥＭＳ　ＤＥＶＩＣＥ　ＨＡＶＩＮＧ　Ａ　ＦＬＥＸＵＲＥ　ＷＩＴＨ　ＩＮＴＥＧＲＡＬ　ＡＣＴＵＡＴＯＲ」と題する米国特許出願第１０／１２５，０９８号に関連する。
【０００３】
【従来の技術】
超小型電子マシンシステム（以下“ＭＥＭＳ：Ｍｉｃｒｏ−ｅｌｅｃｔｒｏ−ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ”）は、機構サイズが概してミクロン寸法である小型の集積システムである。ＭＥＭＳデバイスは、集積回路（ＩＣ）加工に使用されるような微細加工技術を利用して共通のシリコン基板上に作成される。製造工程は、シリコンウェハの部分部分を選択的にエッチング除去するか、または新しい構造層を付加して、機械デバイスおよび電子機械デバイスを形成するというものである。
【０００４】
ＭＥＭＳの１つの独自の特徴は、動作、感知、制御、操作、および計算が同じシステムに統合される程度である。ＭＥＭＳデバイスの例としては、投写型ディスプレイに使用され、個々に制御されるマイクロミラー、車両における衝突状態を感知しエアバッグを起動させる加速度計、圧力センサ、“ラボオンチップ（ｌａｂ　ｏｎ　ａ　ｃｈｉｐ）”システム、およびデータ記憶装置が挙げられる。
【０００５】
多くのＭＥＭＳデバイスは、システム内で可動なマスを備える。こういったＭＥＭＳデバイスでは、梁またはフレクシュアを使用して、システム内で可動マスを支持することが多い。梁は、システムのマスの支持とシステムマスの動きのためのコンプライアンスとの双方を実現する。システムマスの動きを制限しなければならない場合、一般に、所望のように動きを制限するために、さらなる機構がシステムに作成される。システムマスの実際の動きは、梁またはフレクシュアとは別個のさらに別のデバイスおよび動き制限機構によって達成される。本明細書では一般的にアクチュエータまたはマイクロアクチュエータと呼ばれる各種のデバイスを使用して、システムマスを動かすことができる。ＭＥＭＳデバイスに使用されるマイクロアクチュエータは、様々な方法、すなわち静電気、磁気、圧電、液圧、および熱を用いて駆動を達成する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述したようなＭＥＭＳデバイスでは、デバイスのスペース制限を考慮しなければならない。ＭＥＭＳデバイスはその名が示すようにすでに極めて小さいが、デバイスの一構成要素のサイズを別の構成要素のサイズまたはデバイス全体のサイズに相対して最大化することが望ましい場合がある。したがって、デバイスのかかる他の構成要素が占めるスペースを低減する、または選択された構成要素をすべてなくすことが望ましい。加えて、特定のＭＥＭＳデバイスまたはＭＥＭＳデバイスの特定の構成要素の製造に必要な工程ステップの数を低減することが望ましい。上述したように、ＭＥＭＳデバイスは、集積回路の製造に使用されるような微細加工技術を使用して製造される。特定のＭＥＭＳデバイスまたはＭＥＭＳデバイスの構成要素の１つの形成に必要な工程ステップの低減または簡略化は、製造工程を速めるとともに、製造工程における誤りの可能性を低減させる。
【０００７】
本発明の目的は、一体型アクチュエータを備えたフレクシュアを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
超小型電子マシンデバイスのためのフレクシュアは、縦梁を備える。梁と一体のアクチュエータは、作動されると梁を撓ませるように作用する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下の好ましい実施形態の詳細な説明では、本明細書の一部をなし、本発明を実現し得る特定の実施形態を例示として示す添付図面を参照する。他の実施形態を利用することもでき、また、本発明の範囲から逸脱せずに構造的または論理的な変更を行い得ることを理解されたい。したがって、以下の詳細な説明を限定の意味で解釈すべきではなく、本発明の範囲は併記の特許請求の範囲によって定義される。
【００１０】
超小型電子マシンシステム（ＭＥＭＳ）に使用するためのフレクシュア１０の一実施形態を図１〜図３に示す。フレクシュア１０は、第１の面１４および第１の面１４に対向する第２の面１６を有するコンプライアント（ｃｏｍｐｌｉａｎｔ）縦梁１２を備える。アクチュエータ１８が梁１２と一体形成される。アクチュエータ１８は、梁１２を撓ませるように選択的に作動させることができる。使用中、たとえば、フレクシュア１０は、可動マス（図示せず）と相互作用して、アクチュエータ１８による梁１２の撓みにより可動マスが動くように位置決めすることができる。
【００１１】
図１および図２に示すように、アクチュエータ１８は、梁１２の中央部２０の一部として一体形成される。しかし、特定用途用に求められるように、アクチュエータ１８を梁１２の長さのうちの任意の部分に沿って（梁１２の端２３に隣接するなど）、または梁１２の全長に沿って位置決めしてもよい。梁１２の端部２１は、意図されるフレクシュアの使用に適切な任意の長さであり得る。図１〜図３に示す本発明の実施形態の寸法が、アクチュエータ１８の寸法および位置決めに関して制限されるように解釈すべきではない。
【００１２】
図１〜図３に示すフレクシュア１０の実施形態では、アクチュエータ１８は静電気的性質を有する。すなわち、アクチュエータ１８は、静電荷の存在によって選択的に起動される。本発明の一実施形態では、アクチュエータ１８は、梁１２の第１の面１４から突出する複数のフォース（ｆｏｒｃｅ）要素２２を備える。フレクシュア１０が静電気帯電すると、フォース要素２２が、静電斥力により互いに離れるように動き、動くことによって梁１２を第２の面１６に向けて撓ませる。
【００１３】
フォース要素２２は、梁１２の両面に配置してもよい。図４ａに示すように、フォース要素２２は、梁１２の第１の面１４および第２の面１６双方に隣接するように位置決めされる。第１の面１４において梁１２の中央部２０に位置決めされたフォース要素２２の群（グループ）は、梁１２の端部２１を第２の面１６に向けて撓ませるように働く。同時に、第２の面１６において梁１２の端部２１に位置決めされたフォース要素２２の群は、梁１２の端２３を第１の面１４の方向に向けて、逆に撓ませるように働く。静電気帯電すると、梁１２は、図４ｂに示すものと同様の形状になる（図４ｂにおける梁１２の形状は、例示目的のために大幅に誇張されている）。フォース要素２２は、静電気帯電すると梁１２が所望の形状になる図示の構成以外の構成で、梁１２に沿って位置決めされてもよい。
【００１４】
フォース要素２２はまた、フォース要素２２による梁１２の面に向かう梁１２の湾曲または撓みを制限するようにも機能する。図１〜図３に示す実施形態では、フォース要素２２は、第１の面１４に向かう梁１２の湾曲を制限する。特に、梁１２が第１の面１４に向けて撓むと、フォース要素２２が互いに接触し、接触することによって第１の面１４の方向に梁１２がそれ以上撓まないように、すなわち湾曲しないようにする。このようにして、梁１２またはこれが相互作用するマス（ｍａｓｓ：塊）の動きを制限するように意図されるさらなる要素を、フレクシュア１０を使用するＭＥＭＳデバイスに組み込む必要がない。
【００１５】
超小型電子マシンデバイスとして使用する場合、梁１２は、フレクシュア１０に意図される用途に応じて、第１の面１４と第２の面１６との間に１０００００オングストローム（１０ミクロン）以下、より典型的には３００００オングストローム（３ミクロン）未満の範囲の幅を有し得る。梁１２はまた、好ましくは、縦横（アスペクト）比の高い梁であり得る。可能な一実施形態では、梁１２は少なくとも３の縦横比を有するが、縦横比は用途に応じてこれよりも高くても低くてもよい。梁１２の縦横比が高いことにより、隣接するフォース要素２２の間により広い表面面積が作り出され、よってフレクシュア１０が静電気帯電したときに、隣接するフォース要素２２の間により大きな起動力が生み出される。梁１２の縦横比は、フレクシュア１０のアクチュエータ１８が生成する必要のある力、静電荷の強さ、およびＭＥＭＳデバイスで利用可能なスペースの量を含む要因によって影響を受ける。
【００１６】
本発明の一実施形態では、フォース要素２２は、モノリシック（一体構造）的に梁１２の第１の面１４に取り付けられ、第１の面１４から突出するＴ字形（またはハンマー形）要素を含む。各Ｔ字形要素は、Ｔの縦棒２４およびＴの横棒部材２６を含み、Ｔの縦棒２４が梁１２から延出する。Ｔの横棒部材２６は、静電気帯電されると互いに離れるように動いて、梁１２を第２の面１６に向けて撓ませる。梁１２が第１の面１４に向けて撓む場合、Ｔの横棒部材２６は互いに接触し、接触することによって梁１２が第１の面１４に向けて撓むことができる程度を制限する。
【００１７】
フォース要素２２は、図１〜図３に示すＴ字形以外の形状を有してもよい。たとえば、フォース要素２２は、直線（図５ａ）、Ｌ字形（図５ｂ）、または静電気帯電したときに斥力を生み出すために使用可能な任意の他の形状であることができる。
【００１８】
上述のように一体形成されたアクチュエータ１８を備えるフレクシュア１０の１つの可能な応用を図６ａおよび図６ｂに示す。図６ａおよび図６ｂは、高密度記憶モジュール１１０の一実施形態を示す。記憶モジュール１１０は、ロータ（可動マスの一例）１１２およびロータ１１２を支持するフレーム１１４を備える。ロータ１１２は、上縁１１６、下縁１１８、左縁１２０、および右縁１２２が境界となっている。ロータ１１２の正面１２４はＸ−Ｙ平面を定め、上縁１１６および下縁１１８がＸ軸に揃えられ、左縁１２０および右縁１２２がＹ軸に揃えられている。ロータ１１２の正面１２４は、データ記憶のための複数の記憶領域１２６を有する記憶媒体から形成される。記憶領域１２６（図６ｂに包括的に示す）は、その領域に記憶されるデータを表す複数の状態のうちの１つにある。ロータフレーム１１４は、ロータの縁１１６、１１８、１２０、および１２２から離間される。一実施形態では、ロータフレーム１１４は、Ｘ−Ｙ平面においてロータ１１２を取り囲む。（本明細書で使用する上下左右前後等、方向を表す語は、相対的な語であり、記憶モジュール１１０の全体の向きに対する制限と解釈されるべきではない）。
【００１９】
ロータ１１２は、ロータ１１２およびロータフレーム１１４を相互接続する複数のフレクシュア１０によってロータフレーム１１４内に支持される。わかりやすくするために、図６ａおよび図６ｂにはフレクシュア１０のフォース要素２２を示さない。しかし、フレクシュア１０は、アクチュエータ１８が一体形成された既述のタイプのものである。フレクシュア１０は、ロータ１１２の支持およびロータ１１２の動きのコンプライアンスの双方を提供する。ロータ１１２の動きを制御する際、可能な限り大きな「面内」対「面外」コンプライアンス比（本明細書ではコンプライアンス比と呼ぶ）を有することが望ましいことが多い。しかし、この比は選択される機械的構造によって制限され得る。高いコンプライアンス比が望ましい理由は、フレクシュア１０に一体形成されたアクチュエータ１８によって提供される力があまり強くないためである。コンプライアンス比を維持または向上させながら面内コンプライアンスを向上させることにより、許容可能なやり方で、一体的なアクチュエータ１８の相対的に弱い力でロータ１１２を動かすことができる。面内コンプライアンスの増大は、フレクシュア１０の軸方向を短縮化することによって達成することができる。すなわち、フレクシュア１０は湾曲すると、軸方向においてより短くなる傾向があり、これが面内コンプライアンスの低減につながる。この軸方向の短縮を補うことにより、面内コンプライアンスが高くなる。面外コンプライアンスを低く保ち、なおコンプライアンス比を向上させながら面内コンプライアンスを向上させるさらなる方法は、フレクシュア１０の端を角度を持たせて動かすことである。梁１２の片方または双方の端に小さな角度を持たせるだけで、面内コンプライアンスを大幅に増大することができる。多くの場合では、同じ構造が梁の軸方向短縮化を補うとともに、梁の角度動作（ａｎｇｕｌａｒ　ｍｏｖｅｍｅｎｔ）を行うことができる。
【００２０】
図６ａおよび図６ｂに示すように、フレクシュア１０の軸方向短縮化を補うため、また角度動作を行うために、第１の継手梁対１３０ａ、１３０ｂがロータ１１２の上縁１１６から延出し、第２の継手梁対１３２ａ、１３２ｂがロータ１１２の下縁１１８から延出する。図６ａおよび図６ｂに示す実施形態では、ロータ１１２は長方形状であり、第１の継手梁セット１３０ａ、１３０ｂ、１３２ａ、１３２ｂはロータ１１２の角から延出する。継手梁１３０ａ、１３０ｂ、１３２ａ、１３２ｂは、概して、ロータ１１２の左縁１２０および右縁１２２に位置合わせされる。しかし、継手梁１３０ａ、１３０ｂ、１３２ａ、１３２ｂは、図６ａおよび図６ｂに示すものとは異なる起点および異なる向きを有してもよい。たとえば、図７ａおよび図７ｂに示す代替の実施形態は、継手梁１３０ａに回転する自由をさらに持たせ、それによってさらなる面内コンプライアンスをロータ１１２に提供できるようにする。
【００２１】
第１の継手梁対１３０ａ、１３０ｂは、第１の継手梁対１３０ａ、１３０ｂと第１の継手マス１３４ａとの間に延出するフレクシュア１３６ａによって、第１の継手マス１３４ａ（ロータ１１２の上縁１１６に隣接するように位置決めされる）に接続される。第２の継手梁対１３２ａ、１３２ｂは、第２の継手梁対１３２ａ、１３２ｂと第２の継手マス１３４ｂとの間に延出するフレクシュア１３６ｂによって、第２の継手マス１３４ｂ（ロータ１１２の下縁１１８に隣接するように位置決めされる）に接続される。第１のフレクシュアセット１３６ａ、１３６ｂは、ロータ１１２の上縁１１６および下縁１１８に概ね位置合わせされた軸方向の向きを有する。
【００２２】
ロータフレーム１１４は、ロータ１１２の反対の面に配置される（図６ａに示すように左縁１２０および右縁１２２に隣接する）第１および第２のフレクシュアマウント１４０ａ、１４０ｂを備える。第１および第２の継手マス１３４ａ、１３４ｂは、フレクシュア１４２ａによって第１のフレクシュアマウント１４０ａに接続される。第１および第２の継手マス１３４ａ、１３４ｂは、フレクシュア１４２ｂによって第２のフレクシュアマウント１４０ｂに接続される。第２のフレクシュアセット１４２ａ、１４２ｂは、ロータ１１２の左縁１２０および右縁１２２に概ね位置合わせされる軸方向の向きを有する。継手マス１３４ａ、１３４ｂは、単純に、フレクシュア１４２ａ、１４２ｂとフレクシュア１３６ａ、１３６ｂとの間で動きを変換する（ｔｒａｎｓｌａｔｅ　ｍｏｖｅｍｅｎｔ）剛体として働く。
【００２３】
図６ａおよび図６ｂに示す実施形態では、フレクシュアセット１３６ａ、１３６ｂ、１４２ａ、１４２ｂそれぞれが総計で４個の個々のフレクシュアを含むことに留意されたい。しかし、フレクシュアセットにおいて、異なる個数の個々のフレクシュアを使用することができる（たとえば、各セットにおいて総計で２個または６個のフレクシュアが使用可能である）。
【００２４】
フレクシュア１３６ａ、１３６ｂの面はＸ−Ｚ平面にあり、このフレクシュアセットはＹ方向に撓んで、ロータ１１２をフレーム１１４に対してＹ方向に動かすことができる。フレクシュア１４２ａ、１４２ｂの面はＹ−Ｚ平面にあり、このフレクシュアセットはＸ方向に撓んで、ロータ１１２をフレーム１１４に対してＸ方向に動かすことができる。
【００２５】
高縦横比の梁フレクシュア１０の１つの簡略化された軸方向図を図８に示す。梁１２が面内および面外に撓むと、梁１２に捻れが生じる。この捻れは、梁１２が軸方向平面に関して捻れない場合であっても生じる。図８は、負荷のない状態（状態Ａ）、面内および面外の負荷がある状態（状態Ｂ）、および面内、面外、および捻れの負荷がある状態（状態Ｃ）にある高縦横比梁の端面図を示す。ロータ１１２が動くと、変位から生じるモーメントアームにより梁１２が捻れるため、梁の傾向は、図８に示す状態Ｃから図８に示す状態Ｂに向けて逆に撓む。既述のように、可能な限り大きな面内対面外コンプライアンス比を有することが望ましいことが多い。しかし、このコンプライアンス比は、既述の梁の捻れにより低減されることが多い。より高いコンプライアンス比を維持するために、面内コンプライアンスを最大化しながら、梁の捻れおよび面外コンプライアンスを低減することが望ましい。
【００２６】
本明細書に記載の高密度記憶モジュールでは、振動力によるものなど、ロータ１１２がＺ軸に沿って変位させられるときにフレクシュア１０に生み出される捻れを効果的に打ち消すようにフレクシュア１０を位置合わせすることによって、梁の捻れおよび面外コンプライアンスは低減される。最大の打ち消し効果は、フレクシュア１３６ａ、１３６ｂが軸方向においてフレクシュア１４２ａ、１４２ｂの中点を指すように向けられるときに達成される。しかし、交点がフレクシュア１４２ａ、１４２ｂの中点にない場合でも、より低い程度で捻れの打ち消しが達成される。したがって、フレクシュアセット１３６ａ、１３６ｂの位置は、フレクシュア１４２ａ、１４２ｂの長さに沿ったどこかで、フレクシュアセット１３６ａ、１３６ｂの軸がフレクシュアセット１４２ａ、１４２ｂに交差するようにする位置である。
【００２７】
記憶モジュール１１０についてフレーム１１４によって支持される単一のロータ１１２に関して上述したが、実際には、複数のロータ１１２がフレーム１１４によって支持される場合がある。ロータ１１２のアレイを有する記憶モジュール２１０を図９に示す。複数のロータ１１２が記憶モジュール２１０に使用される場合、フレクシュア１３６ａ、１３６ｂ、１４２ａ、１４２ｂの向きが有意な利点を提供することに留意されたい。具体的には、フレクシュア１３６ａ、１３６ｂ、１４２ａ、１４２ｂは、それぞれロータ１１２の隣接する各縁と概ね平行に位置合わせされるように、ロータ１１２の周縁の周りに配置される。したがって、各ロータ１１２および関連する懸架システムに必要な総面積が低減し、それに対応して、記憶モジュール２１０内のロータ１１２の実装密度が増大する。
【００２８】
記憶モジュール２１０におけるロータ１１２の記録密度は、図９に示すように、隣接するロータ１１２間のフレーム１１４の殆どをなくすことによってさらに増大することができる。具体的には、フレーム１１４を低減させて隣接するロータ１１２のフレクシュアマウント１４０ａ、１４０ｂのみを残すことが図９から見て取れる。すなわち、隣接するロータ間のフレーム１１４の部分のみが、フレクシュアマウント１４０ａ、１４０ｂである。フレクシュアマウントは、ロータ１１２のアレイの各ロータが独立して動けるように作動基盤（ｍｏｔｉｏｎ　ｇｒｏｕｎｄ）に機械的に固定される。勿論、フレーム１１４は、望ましい場合、各ロータを完全に取り囲むように延出してもよい。
【００２９】
好ましい実施形態の説明を目的として特定の実施形態を本明細書に図示し例示したが、本発明の範囲から逸脱せずに、図示し説明した特定の実施形態を、同じ目的を達成するように計算された多種多様な代替および／または同等の実装で置換しうることが当業者には理解されよう。化学、機械、電子機械、および電気分野において通常の知識を有する者は、本発明を非常に広い範囲の実施形態で実現しうることを容易に理解しよう。本願は、本明細書において述べた好ましい実施形態のあらゆる適応化または変形を網羅するよう意図される。したがって、本発明は特許請求の範囲およびその均等物によってのみ制限されるものと明らかに意図される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフレクシュアの一実施形態の斜視図である。
【図２】図１に示す本発明のフレクシュアの実施形態の上面図である。
【図３】図１の丸の部分３を大幅に拡大した図である。
【図４】本発明のフレクシュアの別の実施形態の上面図である。
【図５】本発明のフレクシュアのさらなる実施形態の上面図である。
【図６】データ記憶モジュールに使用される本発明のフレクシュアの、（ａ）は平面図、（ｂ）は斜視図である。
【図７】本発明のフレクシュアを使用する図６のデータ記憶モジュールの一部分の代替の実施形態である。
【図８】図６のデータ記憶モジュールにおける梁の動きおよび捻れの模式図である。
【図９】本発明のフレクシュアを使用するデータ記憶モジュールの別の実施形態の平面図である。
【符号の説明】
１０　フレクシュア
１２　縦梁、コンプライアント部材
１４　第１の面
１６　第２の面
１８　アクチュエータ
２２　フォース要素、静電気帯電可能要素
１１２　可動マス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004001198.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004001198.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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