(57)【要約】【課題】水槽内に配置される試料を水等の媒質に接触させることなく、試料の全数検査を可能にし、大きな面積で試料と弾性フィルムの確実な密着性を達成できる超音波映像検査装置とその試料保持具ケースを提供する。【解決手段】この試料保持具ケース１９は、内部空間に試料２０が配置されるケース本体３１と、このケース本体に開閉自在に取り付けられかつ開口部３３ａが形成された蓋部材３３と、ケース本体と蓋部材の間に設けられる弾性フィルム３４と、排気孔３７と、試料２０が搭載された、通気性を有する試料台３５を備え、測定時に、試料が試料台上に配置されているケース本体を蓋部材で閉じ、排気孔を介して排気し、弾性フィルム３４を試料の測定面に密着させる。【選択図】　　　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間に試料が配置されるケース本体と、このケース本体に開閉自在に取り付けられかつ開口部が形成された蓋部材と、前記ケース本体と前記蓋部材の間に設けられる弾性フィルムと、排気通路部と、前記ケース本体内に設けられかつ前記試料が搭載される、通気性を有した試料台を備え、測定時に、前記試料が試料台上に配置されている前記ケース本体を前記蓋部材で閉じ、前記排気通路部を介して排気し、前記弾性フィルムを前記試料の測定面に密着させるようにしたことを特徴とする超音波映像検査装置の試料保持具ケース。
【請求項２】
前記試料台は通気孔を有することを特徴とする請求項１記載の超音波映像検査装置の試料保持具ケース。
【請求項３】
前記試料台は多孔性を有する材質で形成されることを特徴とする請求項１記載の超音波映像検査装置の試料保持具ケース。
【請求項４】
前記試料台は板材であり、前記ケース本体は板状の前記試料台によって前記試料が搭載される室と前記排気通路部に通じる室とに分けられることを特徴とする請求項１記載の超音波映像検査装置の試料保持具ケース。
【請求項５】
探傷信号生成回路で作られた電気信号を超音波探触子で超音波に変換し液体媒質を介して試料に照射し、この試料から戻る超音波を前記超音波探触子で電気信号に変換して前記試料の内部を映像化する超音波映像検査装置において、
前記試料を内部に収容しかつ前記液体媒質を溜める容器内に配置される試料保持具ケースを備え、この試料保持具ケースは、内部空間に試料が配置されるケース本体と、このケース本体に開閉自在に取り付けられかつ開口部が形成された蓋部材と、前記ケース本体と前記蓋部材の間に設けられる弾性フィルムと、排気通路部と、前記ケース本体内に設けられかつ前記試料が搭載される、通気性を有した試料台を備え、測定時に、前記試料が試料台上に配置されている前記ケース本体を前記蓋部材で閉じ、前記排気通路部を介して排気し、前記弾性フィルムを前記試料の測定面に密着させることを特徴とする超音波映像検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は超音波映像検査装置とその試料保持具ケースに関し、特に、電子部品等の精密な試料を媒質に接触させることなく保護し、試料全数についての超音波検査を可能にする超音波映像検査装置とその試料保持具ケースに関する。
【０００２】
【従来の技術】
材料欠陥を検出し評価するための検査装置として超音波映像検査装置が知られている。超音波映像検査装置は、試料を、水槽に溜めた水（液体の媒質）の中に置き、探触子から出射される超音波を媒質を介して試料の中に入射する。探触子は３軸ステージに支持され、試料の測定表面を走査できるように設けられている。試料の中から反射される超音波は探触子で受信され、電気信号に変換される。当該電気信号は探傷器回路に入力され、信号処理が行われる。コンピュータで構成される制御装置は３軸ステージと探傷器回路の動作を制御し、試料の測定表面の各測定点で得られた信号に基づいて探傷映像を作成し表示装置の画面に表示する。超音波映像検査装置による測定方法としては、１つの探触子によって送受信を行う反射型測定方法と、試料を挟む２つの探触子での間で送受信を行う透過型測定方法がある。
【０００３】
また超音波映像検査装置に類似または関連する技術として、「材料評価のための新しい音響映像法」（日本非破壊検査協会００７特別研究委員会、１９９０年４月１９日発表）がある。この音響映像法は、超音波映像検査装置や超音波顕微鏡を含む映像方法であり、材料欠陥の検出とその評価に広く使われている。上記文献に開示される音響映像法では、その図１に示されるように、試料（未燒結セラミックス）の上方にポリエチレンシートを配置し、ポリエチレンシートを容器状にして水を溜め、ポリエチレンシートと試料の間において、試料に接着テープを貼りさらに当該接着テープの上にゲル材を設けるようにして、ポリエチレンシートと試料を密着させている。超音波探触子はポリエチレンシート内の水の中に配置されている。試料としての上記未燒結セラミックスは、水に接触させると、吸水性を有することから変質してしまうので、上記の装置構成によれば、試料と水が接触するのを防止する構成を採用している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
半導体パッケージなどの電子部品では、内部の接着剥離や樹脂中の気泡が不良原因になるため、上記超音波映像検査装置を利用して不良原因の検査を行うことが多い。このような電子部品を試料として超音波映像検査を行うとき、水槽の水中内に電子部品を配置しなければならない。一般に、電子部品が水に濡れるとその機能が劣化するものが多いので、超音波映像検査で水槽内に入れて一度測定した電子部品を正常品として扱うことは極めて少ない。そのため、電子部品の品質管理の観点で抜き取り検査で超音波探傷を利用した映像検査装置を利用することはあるが、定常的に全数の出荷検査に利用されることは少ない。
【０００５】
また水槽内の水の中に入れられた試料は測定中は移動しないように固定することが必要となる。しかしながら、水中では浮力が作用し、測定中には水流が起きるので、試料は動きやすい。測定中に試料が動くと、正確な測定を行うことはできない。また試料が浮き上がると、探触子と接触するおそれが高い。そこで、従来、超音波映像検査装置の水槽内で試料を固定する方法として、粘着テープ上に並べる方法、またはマグネットプレートを配置しこの上に並べる方法がある。しかしながら、これらの方法によれば、非金属性の試料や割れやすい試料には使用できず、さらに大量の試料を専用トレイから並べ変えるのに手間がかかる。
【０００６】
上記のごとく電子部品を試料として超音波映像検査装置で測定を行う場合において、前述したポリエチレンシートを利用した従来技術を利用して電子部品と水との接触を避けるようにすることもできる。しかしながら、前述の従来技術によれば、装置側に構成において大きな変更・改良を加えることが必要であり、コストがかかる。さらに媒質である水中において試料を固定する場合にも、装置側の構成において変更・改良を施さなければならず、問題である。
【０００７】
そこで本出願人は、先に、上記の問題を解決する手段として超音波映像検査装置に適した試料保持具ケースを提案した（特願２００１−３８５０６４号）。この発明は平成１３年１２月１８日に出願され、未だ公知となっていない。この特許願で提案された試料保持具ケースは、ケース本体と蓋部材とこれらの間に設けられる弾性フィルムとを備える。ケース本体内の気密な密閉空間に試料が配置され、排気通路部を通して真空排気を行うことにより、ケース本体の内部空間は負圧とされる。この状態では、弾性フィルムは負圧によって試料に密着され、試料はケース本体内で固定される。
【０００８】
上記の試料保持具ケースの蓋部材は開口部が形成され、上記弾性フィルムは、当該開口部を覆うように蓋部材の内側に張られた状態で設けられる。試料の測定面に対して、蓋部材の開口部がはるかに大きい場合、ケース本体内が負圧になると、負圧になる経過に伴って弾性フィルムは試料にゆっくりと接触するため、試料の測定面と弾性フィルムの間の接触面に空気層が生じることがある。当該接触面に空気層が生じると、測定面と弾性フィルムの確実な密着状態を達成できず、超音波の伝播が制限され、所要の検査映像を得ることができないという不具合が起きる。
【０００９】
また、上記のごとく真空排気を行ってケース本体内部を負圧にするとき、排気通路部につながる周囲空間が優先的に排気され、弾性フィルムの周縁部に近い外側部分が先に密着状態を作り、本来排気したい空間が弾性フィルムによって密閉されかつ排気通路部から遮断され、当該空間を排気できず、測定面と弾性フィルムの確実な密着性を達成できないという不具合が起きる。
【００１０】
特に、ケース本体内に複数の試料を配列させて測定する場合にも、試料保持具ケース内で複数の試料のそれぞれを弾性フィルムを密着させて確実に固定することが望まれる。
【００１１】
本発明の目的は、上記の課題に鑑み、水槽内に配置される試料を水等の媒質に接触させることなく、かつ確実に水槽内で固定することができ、試料が電子部品等である場合に全数検査を可能にし、電子部品の出荷検査に有効に利用でき、さらに装置側の構成に大きな変更を生じることなく、比較的に簡単な構成で、取扱いが容易であり、さらに大きな面積で試料と弾性フィルムの確実な密着性を達成できる超音波映像検査装置とその試料保持具ケースを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段および作用】
本発明に係る超音波映像検査装置とその試料保持具ケースは、上記目的を達成するために、次のように構成される。
【００１３】
第１の試料保持具ケース（請求項１に対応）は、内部空間に試料が配置されるケース本体と、このケース本体に開閉自在に取り付けられかつ開口部が形成された蓋部材と、ケース本体と蓋部材の間に設けられる弾性フィルムと、排気通路部と、ケース本体内に設けられかつ試料が搭載される、通気性を有した試料台を備え、測定時に、試料が試料台上に配置されているケース本体を蓋部材で閉じ、排気通路部を介して排気し、弾性フィルムを試料の測定面に密着させるように構成される。
【００１４】
上記の試料保持具ケースでは、密閉状態にされたケース本体を真空排気して内部を負圧にすると、通気性を有する試料台を通して排気が行われるので、試料の周囲の空間から十分に排気を行うことが可能となり、その結果、試料の測定面を含めて試料表面に弾性フィルムを高い精度で密着させることができる。
【００１５】
第２の試料保持具ケース（請求項２に対応）は、上記の第１の構成において、好ましくは、試料台は通気孔を有することで特徴づけられる。
【００１６】
第３の試料保持具ケース（請求項３に対応）は、上記の第１の構成において、好ましくは試料台は多孔性を有する材質で形成されることで特徴づけられる。この構成で、多孔性を有する材質としては、発泡ウレタンや多孔性セラミックスが用いられる。多孔性の材質を用いると、特別に通気用の孔を形成する必要がなく、かつ弾性フィルムに対するダメージを軽減することができる。また通気孔が微細に形成され、試料台の上面全体を均一に負圧状態にすることができる。
【００１７】
第４の試料保持具ケース（請求項４に対応）は、上記の第１の構成において、好ましくは、試料台は板材であり、ケース本体は板状の試料台によって試料が搭載される室と排気通路部に通じる室とに分けられるように構成される。この構成では、試料台が仕切り板として機能し、試料保持具ケースの内部は２室に区切られ、排気を短時間で行うことができる。
【００１８】
また本発明に係る超音波映像検査装置（請求項５に対応）は、探傷信号生成回路で作られた電気信号を超音波探触子で超音波に変換し液体媒質を介して試料に照射し、この試料から戻る超音波を超音波探触子で電気信号に変換して試料の内部を映像化する装置であり、試料を内部に収容しかつ液体媒質を溜める容器内に配置される試料保持具ケースを備える。この試料保持具ケースは、内部空間に試料が配置されるケース本体と、このケース本体に開閉自在に取り付けられかつ開口部が形成された蓋部材と、ケース本体と蓋部材の間に設けられる弾性フィルムと、排気通路部と、ケース本体内に設けられかつ試料が搭載される、通気性を有した試料台を備え、測定時に、試料が試料台上に配置されているケース本体を蓋部材で閉じ、排気通路部を介して排気し、弾性フィルムを試料の測定面に密着させるように構成される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好適な実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００２０】
実施形態で説明される構成、形状、大きさおよび配置関係については本発明が理解・実施できる程度に概略的に示したものにすぎず、また数値および各構成の組成（材質）については例示にすぎない。従って本発明は、以下に説明される実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範囲を逸脱しない限り様々な形態に変更することができる。
【００２１】
図１〜図３を参照して本発明に係る超音波映像検査装置とその試料保持具ケースの第１の実施形態を説明する。図１は測定時の装置構成、図２は真空排気時の使用状態、図３は試料保持具ケースの内部構造を示している。
【００２２】
図１で、基台１１の上には３軸スキャナ１２が設けられている。３軸スキャナ１２は、図１に示したＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向へ超音波探触子（超音波プローブ）１３を移動させる移動機構を有している。３軸スキャナ１２は、基台１１の上に立つ少なくとも２本の支柱１４と、２本の支柱１４の間に掛渡されている棒状フレーム１５と、フレーム１５上で移動するごとく取り付けられた支持部１６とから構成されている。支持部１６の下部に超音波探触子１３をＺ軸方向に移動できるように取り付けている。超音波探触子１３は、超音波出射面が下方を向くように配置されている。基台１１の上には水槽１７が置かれている。水槽１７の中には超音波を伝播させる水（液体媒質）１８が溜められている。水槽１７内の水１８の中に試料保持具ケース１９が配置されている。試料保持具ケース１９の中に試料２０が収容されている。試料保持具ケース１９は測定の際に試料を静止状態で固定して保持するための試料保持具として用いられる容器である。
【００２３】
探触子１３は３軸スキャナ１２によってＸ，Ｙ，Ｚの３軸方向に移動され、かつ探触子１３の下端の超音波出射面は水１８の中に入れられている。探触子１３は、３軸スキャナ１２の移動動作に基づき試料２０の測定面（ＸＹ面）を走査し、あるいはＺ軸方向に移動させる。制御装置であるコンピュータ２１は探傷器回路２２と３軸スキャナ１２の各動作を制御する。探傷器回路２２はパルス的電気信号を出力し、探触子１３に与える。探触子１３は当該電気信号を超音波を変換し、この超音波を水１８の中に出射する。探触子１３から出射された超音波は試料保持具ケース１９内にセットされた試料２０の測定面に対して照射され入射される。試料２０の内部では超音波の反射エコーが生じる。試料内部で生じた反射エコーは探触子１３により電気信号に変換され、探傷器回路２２で受信される。試料２０の内部から戻ってくる反射エコー信号によって試料内部の欠陥状態を検出することができる。コンピュータ２１は探傷器回路２２の動作を制御しかつ３軸スキャナ１２の移動動作を制御することにより、試料２０上の測定面の各点で反射エコーに係る電気信号を取得する。得られた反射エコーに係る電気信号に基づいて探傷映像を作成し、表示装置２３の画面に当該探傷映像を表示する。
【００２４】
試料保持具ケース１９は、図１に示される測定時の状態で、その内部空間は、真空ポンプにより強制的に真空排気されて負圧の状態にあり、かつ水密の状態に保持されている。試料２０は試料保持具ケース１９によって保護されかつその内部に固定されている。試料２０は複数の電子部品等の精密試料である。
【００２５】
試料保持具ケース１９は、図３に示されるように、上部が開放されたケース本体３１と、これに蝶番機構等の固定手段で開閉自在に取り付けられた蓋部材３３とから構成されている。蓋部材３３は、好ましくは矩形の形状を有し、かつ矩形開口３３ａが形成された矩形リングフレームの形態を有している。蓋部材３３の下面には弾性を有するシート状フィルム、好ましくは高分子フィルム（高分子膜）３４が取り付けられている。この高分子フィルム３４は、高分子物質で作られた膜状部材でかつ所要の弾性を有するものである。高分子フィルム３４としては例えばポリエチレンのフィルムやその他のシリコンゴムが用いられる。蓋部材３３が開いた状態では、ケース本体３１は内部空間が開放された状態になり、ケース本体３１の内部空間で試料台３５の上に試料２０が置かれる。
【００２６】
ケース本体３１の側面部の下方には排気孔３７が形成され、それにはホース３９がつながれている。ケース本体３１の内部空間は板形状の試料台３５によって上下の室に仕切られている。試料台３５の上に複数の試料２０が整列して配置されている。試料台３５の下側は排気孔３７に通じる室となっている。板状の試料台３５には多数の通気孔３５ａが形成されている。例えば試料台３５は所定の剛性を有する金属板または樹脂板であり、パンチングにより上記通気孔３５ａが形成される。
【００２７】
蓋部材３３が閉じた状態では、図３に示すごとく、蓋部材３３とケース本体３１の上面との間に高分子フィルム３４が挟まれて配置された状態になる。弾性を有しかつシート状のフィルム、例えば高分子フィルム３４が配置されることによってケース本体３１の内部空間は水密または液密の状態に保持されると共に、蓋部材３３の矩形開口３３ａを通して外部から高分子フィルム３４に圧力が直接的に加わるようになっている。
【００２８】
試料保持具ケース１９で、ケース本体３１の内部空間の試料台３５の上に電子部品等の複数の試料２０を置きかつカバー部材４１でその周囲を覆った状態でケース本体３１に対して蓋部材３３が閉じたとき、図示しない固定手段で蓋部材３３はケース本体３１に固定される。図３はこの状態を示している。ただし、実際にはケース本体３１の内部空間は後述するように真空排気され、負圧になっている。
【００２９】
試料保持具ケース１９のケース本体３１には、上記のごとく試料台３５の下側の室と外部をつなぐ排気通路部としての排気孔３７が形成されている。通常、排気孔３７は通気状態であり、外側の開口部にキャップ部材３８（図１に示す）をつけると、閉状態になり、内部空間と外部とは遮断される。真空排気時には、排気孔３７の外側突起部にはホース３９が接続されている。ホース３９の先端部は、図２に示す排気用真空ポンプ４０に接続される。真空ポンプ４０によって試料保持具ケース１９の内部空間は真空排気され、負圧される。このとき、試料保持具ケース１９の試料台３５の上下の室が、通気孔３５ａを備えた試料台３５を介して排気され、試料保持具ケース１９の内部空間が負圧となる。試料保持具ケース１９の内部空間が真空排気されると、高分子フィルム３４は内部空間の負圧によって内部空間側に吸引され、その結果、図３に示されるごとく、高分子フィルム３４は試料２０の上面および側面、さらに試料台３５の表面に密着した状態になる。高分子フィルム３４は弾性を有し、シール材として機能する。キャップ部材３８を外すと、排気孔３７は外部の大気圧に通じるので、内部空間の負圧状態は解除され、試料２０への高分子フィルム３４の密着状態は解除される。
【００３０】
次に、上記超音波映像検査装置および試料保持具ケース１９の使用方法を説明する。複数の電子部品を試料２０として超音波を利用して探傷検査を行うとき、試料保持具ケース１９の蓋部材３３を開き、ケース本体３１の内部空間の試料台３５の上に当該試料２０を整列させて配置する。このとき試料２０の測定面は上側である。その後、蓋部材３３を閉じて固定する。排気孔３７の外側突起部はホース３９を介して真空ポンプ４０に接続されている。この状態が図２に示されている。真空ポンプ４０により試料保持具ケース１９の内部空間を真空排気し、当該内部空間を吸引する。その結果、試料保持具ケース１９の内部空間は負圧の状態になる。所定の負圧状態になったとき、ホース３９を試料保持具ケース１９から外し、キャップ部材３８を取り付ける。その後、図１に示すように、水槽１７内の水１８の中に試料保持具ケース１９を配置する。この状態で前述のごとく超音波映像検査装置によって複数の試料２０の探傷検査が行われる。試料２０に関する探傷検査が完了すると、試料保持具ケース１９を水槽１７から出し、さらに試料保持具ケース１９の蓋部材３３をあけて試料２０を取り出す。その後、他の試料についても同様な手順で測定を継続する。
【００３１】
上記の超音波映像検査装置の試料保持具ケース１９によれば、電子部品などの精密試料を水１８に接触させることなく超音波探傷検査を行うことができ、かつ特定の容器に収容して探傷検査できるので、水槽１７内で試料を容易に固定することができる。特に、試料保持具ケース１９を用意するだけよく、超音波映像検査装置の構成に特に変更を加える必要がないので、簡単に実現することができる。超音波探傷を行う測定の際において、高分子フィルム３４は試料２０の測定面に密着しているので、探触子１３から出射された超音波は効率よく試料２０の内部に入射される。
【００３２】
弾性を有する高分子フィルム３４は、検査される試料２０ごとにケース本体３１の内部を真空排気して負圧とし、試料２０の周囲の面および試料台３５の面に密着させられるので、検査を長く継続すると破損や傷みが生じる。そこで、高分子フィルム３４は適宜なタイミングで交換される。
【００３３】
特に、蓋部材３３で密閉した状態で試料保持具ケース１９の内部空間を真空排気し当該内部空間を負圧にするとき、試料台３５の下側の室を通して、かつ試料台３５の通気孔３５ａを通して、複数の試料２０の周囲を均等に排気することができる。従って、試料台３５の上側の室で高分子フィルム３４の下側空間を均一に負圧することができ、排気孔３７から遠い場所で取り残された空気層や、試料２０の近傍の隙間まで高分子フィルム３４を密着させることができる。試料台２０の下側に室を有する構成によれば、特に、真空排気の時間を短くすることができる。
【００３４】
次に、図４を参照して本発明に係る試料保持具ケースの第２の実施形態を説明する。図４は図３と同様な図であり、図４において図３で説明した要素と同一の要素には同一の符号を付している。
【００３５】
この実施形態では、試料台５１が、所要の剛性を有する板状の、かつ通気性の高い材質、例えば多孔性の材質で形成されている。多孔性の材質としては例えば発泡ウレタン材や多孔性セラミック材が用いられる。このような材質で形成された試料台５１であっても、通気孔３５ａが形成された試料台３５と同様に、真空排気時に、高分子フィルム３４の下側の試料２０の周囲空間が均等に排気され、複数の試料２０のそれぞれに高分子フィルム３４を高い精度で密着させることができる。多孔性の材質で作られた試料台５１によれば、通気を行うための孔が微細であるので、試料台の上面全体を均一に負圧状態にすることが可能となる。
【００３６】
次に、図５を参照して本発明に係る試料保持具ケースの第３の実施形態を説明する。図５は図３と同様な図であり、図５において図３で説明した要素と同一の要素には同一の符号を付している。
【００３７】
この実施形態では、ケース本体３１の下側にマット状の試料台６１を配置する。マット状の試料台６１の上に複数の試料２０が置かれている。試料台６１は板状ではないので、ケース本体４１の内部空間は２室に仕切られない。マット状の試料台６１はパンチング材で形成され、通気孔６１ａが形成され、かつ試料台６１の底面部分には溝６１ｂが形成されると共に、その周囲側面とケース本体３１の内面との間に隙間６２が形成されている。その他の構成は前述の実施形態と同じである。この構成によっても、真空排気時において、高分子フィルム３４の下側の試料２０の周囲空間が試料台６１を通して均等に排気され、複数の試料２０のそれぞれに高分子フィルム３４を高い精度で密着させることができる。
【００３８】
次に、図６を参照して本発明に係る試料保持具ケースの第４の実施形態を説明する。図６は図３と同様な図であり、図６において図３で説明した要素と同一の要素には同一の符号を付している。
【００３９】
この実施形態では、ケース本体３１の下側にマット状の試料台７１を配置する。マット状の試料台７１の上に複数の試料２０が置かれている。試料台７１は板状ではないので、ケース本体４１の内部空間は２室に仕切られない。マット状の試料台７１は全体が多孔性の材質で形成されている。試料台７１は、その周囲側面がケース本体３１の内面と接するように配置されている。その他の構成は前述の実施形態と同じである。この構成によっても、真空排気時において、高分子フィルム３４の下側の試料２０の周囲空間が試料台７１を通して均等に排気され、複数の試料２０のそれぞれに高分子フィルム３４を高い精度で密着させることができる。
【００４０】
次に、図７を参照して本発明に係る試料保持具ケースの第５の実施形態を説明する。図７は図３と同様な図であり、図７において図３で説明した要素と同一の要素には同一の符号を付している。
【００４１】
この実施形態では、ケース本体３１の下側に、前述した多数の通気孔３５ａが形成された板状試料台３５とマット状試料台７１とを組み合わせて配置している。板状試料台３５の上に複数の試料２０が置かれている。試料台７１は、その周囲側面がケース本体３１の内面と接するように配置されている。その他の構成は前述の実施形態と同じである。この構成によっても、真空排気時において、高分子フィルム３４の下側の試料２０の周囲空間が試料台３５と試料台７１を通して均等に排気され、複数の試料２０のそれぞれに高分子フィルム３４を高い精度で密着させることができる。
【００４２】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように本発明によれば、次の効果を奏する。
【００４３】
超音波映像検査装置において、液体の媒質の中に配置される試料のための弾性フィルムを有する専用の試料保持具ケースを設けるようにしたため、試料を水等の媒質に接触させることなく、かつ確実に媒質容器内で固定することができる。試料がＩＣチップ等の精密な電子部品等である場合に、試料を保護し、かつ正確な位置に固定して探傷検査を行うことができる。半導体デバイスの製造工程において、製造対象である半導体デバイスの全数検査を行うことができ、電子部品の出荷検査等に有効に利用することができる。
【００４４】
特に、試料保持具ケース内に配置される試料を、通気性を有する試料台の上に配置し、真空排気時にはかかる試料台を通して試料保持具ケースの内部空間を均等に排気することができ、試料周囲の空間を均等に十分に排気でき、試料の周面への弾性フィルムの密着を確実に行うことができる。さらに大きな面積で試料と弾性フィルムを密着させることができる。弾性フィルムに加わる負圧を均一にかけることができ、取り残される空気層を除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る試料保持具ケースおよび超音波映像検査装置の測定時の状態を示す側面図である。
【図２】本発明に係る試料保持具ケースの真空排気時の使用状態を示す図である。
【図３】本発明に係る試料保持具ケースの第１実施形態の縦断面図である。
【図４】本発明に係る試料保持具ケースの第２実施形態の縦断面図である。
【図５】本発明に係る試料保持具ケースの第３実施形態の縦断面図である。
【図６】本発明に係る試料保持具ケースの第４実施形態の縦断面図である。
【図７】本発明に係る試料保持具ケースの第５実施形態の縦断面図である。
【符号の説明】
１１　　　　　　　基台
１２　　　　　　　３軸スキャナ
１３　　　　　　　超音波探触子
１７　　　　　　　水槽
１９　　　　　　　試料保持具ケース
２０　　　　　　　試料
３１　　　　　　　ケース本体
３５　　　　　　　試料台
３５ａ　　　　　　通気孔
３８　　　　　　　キャップ部材
５１　　　　　　　試料台
６１　　　　　　　試料台
６１ａ　　　　　　通気孔
【図１】
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【図２】
2004077340.tif 000004
【図３】
2004077340.tif 000005
【図４】
2004077340.tif 000006
【図５】
2004077340.tif 000007
【図６】
2004077340.tif 000008
【図７】
2004077340.tif 000009