(57)【要約】【課題】空気と混合して濃度が低下した検出媒体であっても再利用可能なリサイクル装置を有する漏れ検査装置を提供すること。【解決手段】検査体２を収納する検査体収納部１１と、検査体２内を真空にする真空ポンプ１４と、検査体収納部１１に所定濃度以上の検出媒体を供給する検出媒体供給手段１３と、検査体２における検出媒体の漏洩を検出する漏れ検出器１２と、検査体収納部１１から排出された検出媒体を回収するとともに回収した検出媒体にリサイクル処理を加えて検査体収納部１１に戻すリサイクル装置３と、を備える。リサイクル装置３は、回収した検出媒体の濃度を所定濃度以上に回復させる濃度回復手段を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査体を収納する検査体収納部と、前記検査体内を真空にする真空ポンプと、前記検査体収納部に所定濃度以上の検出媒体を供給する検出媒体供給手段と、前記検査体における前記検出媒体の漏洩を検出する漏れ検出器と、前記検査体収納部から排出された前記検出媒体を回収するとともに回収した検出媒体にリサイクル処理を加えて検査体収納部に戻すリサイクル装置と、を備える漏れ検出装置であって、
前記リサイクル装置は、回収した前記検出媒体の濃度を前記所定濃度以上に回復させる濃度回復手段を備えることを特徴とする漏れ検査装置。
【請求項２】
前記リサイクル装置は、複数の濃度回復手段を備えるとともに、どの濃度回復手段を稼動させるかを選択的に制御する制御手段を有することを特徴とする請求項１に記載の漏れ検査装置。
【請求項３】
前記濃度回復手段の少なくとも一つは、圧力スイング吸着方式を用いる濃度回復手段であり、少なくとも一つは膜分離方式を用いる濃度回復手段であることを特徴とする請求項２に記載の漏れ検査装置。
【請求項４】
検査体を収納する検査体収納部と、前記検査体内を真空にする真空ポンプと、前記検査体収納部に所定濃度以上の検出媒体を供給する検出媒体供給手段と、前記検査体における前記検出媒体の漏洩を検出する漏れ検出器と、前記検査体収納部から排出された前記検出媒体を回収するとともに回収した検出媒体にリサイクル処理を加えて検査体収納部に戻すリサイクル装置と、を備える漏れ検査装置の制御方法であって、前記検査体を収納した検査体収納部に前記検出媒体を供給する供給工程と、前記検査体内における前記検出媒体の漏洩を前記漏れ検出器により判断する漏れ検出工程と、漏れ検出工程の後、前記検査体収納部に空気を導入し検出媒体と置換するとともに空気と混合した検出媒体をリサイクル装置側へ排出する回収工程と、回収した検出媒体の濃度を所定濃度に回復させる回復工程と、所定濃度に回復した検出媒体を前記検査体収納部に供給する再供給工程と、を有することを特徴とする漏れ検査装置の制御方法。
【請求項５】
前記回復工程は、圧力スイング吸着方式もしくは膜分離方式のいずれかまたは双方を用いて検出媒体の濃度を回復させることを特徴とする請求項４に記載の漏れ検査装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、漏れ検査装置および該漏れ検査装置の制御方法に係り、特に、真空法を用いた漏れ検査装置および該漏れ検査装置の制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、漏れの存在を検出する方法としてヘリウム漏れ試験方法が知られているが、このヘリウム漏れ試験では、検出媒体（サーチガス）としてヘリウムガスを用いるとともに、質量分析計形などのヘリウム漏れ検出器（リークディテクタ）を用い、漏れ量や漏れ箇所を検知する。
【０００３】
ヘリウム漏れ試験方法は、加圧法、真空法という種類に分かれている。詳細には、加圧法を用いたヘリウム漏れ検査装置では、検査体（ワーク）内にヘリウムガスを封入し、外部に漏れてきたヘリウムガスを検出する。一方、真空法を用いたヘリウム漏れ検査装置では、ワーク内を真空にし、外部から（ワーク内へ）のヘリウムガスの漏れを検出する。
【０００４】
加圧法において、真空容器法（ベルジャー法）を用いた場合、ワークを収納するための真空容器を必須の構成とすることから、検査可能なワークの形状や寸法が制限されてしまう。また、ワーク内部に封入したヘリウムガスは、空気と混じっていないため再利用可能であるが、検査にしたがい真空容器内に残留したヘリウムガスは空気と混合しているため排気せざるを得なかった（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、真空法においてヘリウムガスを必要に応じて使用する真空吹付け法（スプレー法）を用いた場合であっても、結局はヘリウムガスと大気とが混合するため排気せざるを得ない（例えば、特許文献２参照）。加えて、試験箇所にヘリウムガスがとどきにくい形状である場合には、真空外覆法を用いて検査する必要があった。
【０００６】
したがって、ワークの形状に起因する制約をなるべく受けないで漏れ検査を行う場合には、真空外覆法が好ましいものであった。加えて、検査装置としては、加圧法よりも真空法を採用するほうが真空ポンプの容量を少なくすることが可能となるので、設備規模を小さくすることができ、設備維持費用、消費動力等のランニングコストの面からも好適であった。
【０００７】
【特許文献１】
特開平８−８２５６９号公報（第３−４頁、第１図）
【特許文献２】
特開平８−７５５９０号公報（第３−４頁、第１図）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した加圧法を用いた場合には、ワーク内に残留した空気と混合していないヘリウムガスを回収し、再利用を図ることも可能であったが、上述した真空法では、ヘリウムガスは大気と混合してしまうため、再利用することができなかった。
結果として、ワークの形状やランニングコストを勘案して真空法を選択した場合であっても、ヘリウムガスの消費量が多くなり上述したランニングコストの低下分が減少してしまうため、このヘリウムガスの消費量の低減が望まれていた。
【０００９】
【発明の目的】
そこで、本発明では、空気と混合して濃度が低下した検出媒体であっても再利用可能なリサイクル装置を有する漏れ検査装置および該漏れ検査装置の制御方法を提供することを目的とするものであり、特に、検出媒体が空気と混合する工程を必須とする真空法を採用した漏れ検査装置の検出媒体の消費量を低減できるリサイクル装置を有する漏れ検査装置および該漏れ検査装置の制御方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、検査体を収納する検査体収納部と、前記検査体内を真空にする真空ポンプと、前記検査体収納部に所定濃度以上の検出媒体を供給する検出媒体供給手段と、前記検査体における前記検出媒体の漏洩を検出する漏れ検出器と、前記検査体収納部から排出された前記検出媒体を回収するとともに回収した検出媒体にリサイクル処理を加えて検査体収納部に戻すリサイクル装置と、を備える構成を採用し、前記リサイクル装置は、回収した前記検出媒体の濃度を前記所定濃度以上に回復させる濃度回復手段を備える。
【００１１】
本発明では、回収した検出媒体の濃度を所定濃度以上に回復させる濃度回復手段を備えるリサイクル装置を備えることにより、空気と混合して濃度が低下した検出媒体を再利用できるので、漏れ検査装置から廃棄される検出媒体の量を低く抑えることができる。
【００１２】
また、請求項２に記載の発明では、前記リサイクル装置は、複数の濃度回復手段を備えるとともに、どの濃度回復手段を稼動させるかを選択的に制御する制御手段を有する構成を採用する。
【００１３】
本発明では、複数の濃度回復手段を選択的に稼動制御するので、検出媒体を所定の濃度にまで確実に回復できる。
【００１４】
また、請求項３に記載の発明では、前記濃度回復手段の少なくとも一つは、圧力スイング吸着方式を用いる濃度回復手段であり、少なくとも一つは膜分離方式を用いる濃度回復手段である構成を採用する。
【００１５】
本発明では、好適な処理容量の範囲や達成純度の異なる方式の濃度回復手段を備えることにより、必要とされる濃度回復の程度に応じて柔軟に対応できる。
【００１６】
また、請求項４に記載の発明では、検査体を収納する検査体収納部と、前記検査体内を真空にする真空ポンプと、前記検査体収納部に所定濃度以上の検出媒体を供給する検出媒体供給手段と、前記検査体における前記検出媒体の漏洩を検出する漏れ検出器と、前記検査体収納部から排出された前記検出媒体を回収するとともに回収した検出媒体にリサイクル処理を加えて検査体収納部に戻すリサイクル装置と、を備える漏れ検査装置の制御方法として、前記検査体を収納した検査体収納部に前記検出媒体を供給する供給工程と、前記検査体内における前記検出媒体の漏洩を前記漏れ検出器により判断する漏れ検出工程と、漏れ検出工程の後、前記検査体収納部に空気を導入し検出媒体と置換するとともに空気と混合した検出媒体をリサイクル装置側へ排出する回収工程と、回収した検出媒体の濃度を所定濃度に回復させる回復工程と、所定濃度に回復した検出媒体を前記検査体収納部に供給する再供給工程と、を有する方法を採用する。
【００１７】
本発明では、空気と混合した検出媒体をリサイクル装置側へ排出する回収工程と、回収した検出媒体の濃度を所定濃度に回復させる回復工程と、所定濃度に回復した検出媒体を前記検査体収納部に供給する再供給工程と、を有することにより、空気と混合して濃度の低下した検出媒体の濃度を回復させた上で検査体収納部に戻すことができる。
【００１８】
また、請求項５に記載の発明では、前記回復工程は、圧力スイング吸着方式もしくは膜分離方式のいずれかまたは双方を用いて検出媒体の濃度を回復させる。
【００１９】
本発明では、異なる方式の回復方式を選択的に用いることができるので、濃度回復の程度を選択制御できる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る漏れ検査装置の一実施形態を、図１に基づき説明する。図１は、本実施形態に係る真空外覆法（真空フード法）を用いた漏れ検査を行う漏れ検査装置１の概略構成図である。なお、この真空外覆法の採用により、図１に示した漏れ検査装置１は、漏れ量の定量性が良いこと、非常に小さいリーク量まで検出できること、さらには、全体を一度に試験できることが利点として挙げられる。また、検出媒体（サーチガス）としてヘリウムガスを採用した。
【００２１】
図１に示したように、漏れ検査装置１は、検査体（ワーク）２を収納する検査体収納部であるガス置換フード１１と、サーチガスを検出するヘリウム漏れ検出器（リークディテクタ）１２、ガス置換フード１１に所定濃度以上のヘリウムガスを供給する検出媒体供給手段であるヘリウムガス供給器１３、ワーク内を真空にする真空ポンプ１４を備えるとともに、本発明の特徴であるサーチガスにリサイクル処理を施すサーチガスリサイクル装置３を備える。なお、本実施形態におけるワーク２としては、蝋付けされた熱交換器や密閉型コンプレッサなどが挙げられる。
【００２２】
ここで、ガス置換フード１１は、ワーク２を覆うためのフードであり、外部から導入した空気（大気）とヘリウムガスとを気密性を維持しつつ置換可能なシールド構成を採用する。
【００２３】
具体的には、ガス置換フード１１は、バルブ２３ａが介挿された配管２３によりヘリウムガス供給器１３と接続される。これは、ワーク２との間にヘリウムガスが行き渡るよう隙間を設けるべく、ガス置換フード１１内にヘリウムガスを充填可能な構成とするためである。なお、ヘリウムガス供給器１３に格納されるヘリウムガスには、９０％以上の濃度のヘリウムガスが用いられる。
【００２４】
また、ガス置換フード１１は、バルブ２５ａが介挿された配管２５により大気導入口１５と接続され、ガス置換フード１１内に大気を導入可能な構成とされる。なお、必要に応じてガス置換フード１１内を減圧し内部の気体の容積を減少させる減圧用真空装置を設けてもよい。
【００２５】
リークディテクタ１２は、質量分析計形などのワーク内部に漏れたヘリウムを検出する検出器であり、バルブ２２ａが介挿された配管２２によりワーク２内部と接続する。また、本実施形態では、この配管２２を分岐形とし、ワーク２内部を真空にするための真空ポンプ１４が、バルブ２２ｂが介挿されたもう一方の分岐路によりワーク２内部と接続する構成を採用した。
【００２６】
分岐形としたのは、配管２２が接続されるワーク２の開口部における気密処理の確実性、容易性を勘案したものであるが、この配管接続構成に限られるものではなく、真空ポンプ１４が接続された真空引き用配管とリークディテクタ１２が接続されたヘリウム検出用配管とが独立してワーク２内部と連通する構成を採用しても本発明は好適に実施し得る。
【００２７】
サーチガスリサイクル装置３は、内部への大気導入に伴いガス置換フード１１から排出された低濃度のヘリウムガスを回収するとともに回収したヘリウムガスに後述するリサイクル処理を加えてガス置換フード１１に戻す装置である。回収は、バルブ２０ａが介挿されたヘリウムガス排出配管２０によって、再供給は、バルブ２１ａが介挿された再生ヘリウムガス導入配管２１とによって行われるように、ガス置換フード１１とサーチガスリサイクル装置３とは接続される。
【００２８】
このサーチガスリサイクル装置３は、回収した空気とガス置換フード１１内に充填していた高濃度ヘリウムガスとの混合により濃度が下がった回収ヘリウムガスの濃度を所定濃度以上に回復させるリサイクル処理を実現するために、図１に示したように、ブロワポンプ３１、ヘリウム分離回収濃縮器３２、バッファタンク３３、コンプレッサ３４、ヘリウム濃縮膜分離器３５、及びバッファタンク３６を主要な構成として備える。
【００２９】
そして、これら各要素は、配管３７により前述した順序で直列に接続され、ガス置換フード１１に接続したヘリウムガス排出配管２０を介して回収したガスを再生ヘリウムガス導入配管２１を介してガス置換フード１１側へ戻す閉回路を形成している。
【００３０】
また、ブロワポンプ３１の起動制御や回転数制御、ヘリウム分離回収濃縮器３２の流量制御、コンプレッサ３４の起動制御や回転数制御、ヘリウム濃縮膜分離器３５の流量制御は、制御手段３８により行われる。なお、本実施形態においては、サーチガスリサイクル装置３が制御手段３８を備える構成としたが、前述したバルブ２０ａ，２１ａ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２５ａの開閉制御を行う漏れ検査装置１の制御装置によりこれらの制御を行う構成としてもよい。
【００３１】
ここで、ヘリウム分離回収濃縮器３２は、回収したヘリウムガスの濃度回復手段であるが、圧力スイング吸着（Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｓｗｉｎｇ  Ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ、ＰＳＡ）方式を採用し、ヘリウムと他元素の吸着力の違いを利用して、回収した空気とヘリウムの混合ガスを加圧の上で吸着物質に通してヘリウムを分離し、所要濃度（純度）のヘリウムガスを得るものである。一般に、吸着した不純物ガスは大気圧または真空圧にして解放除去する。
【００３２】
また、ヘリウム濃縮膜分離器３５は、上述したヘリウム分離回収濃縮器３２とは異なる方式の回収したヘリウムガスの濃度回復手段であり、膜分離方式を採用し、供給ガスとなる回収したガスを加圧して高分子膜を透過させてヘリウムを濃縮させる。
【００３３】
なお、本実施形態において、サーチガスリサイクル装置３は、制御手段３８により制御される複数のヘリウムガス濃度回復手段として、図１に示したように、ヘリウム分離回収濃縮器３２とヘリウム濃縮膜分離器３５を直列的に設ける構成となるように配管３７で接続した。しかし、これに限られるものではなく、並列的に配置して濃度の低下状況に応じていずれか一方のみを採用した構成としても良いし、また、制御手段３８がどの濃度回復手段を稼動させるかを選択的に制御し、いずれか一方もしくは双方による濃度回復を行うようにバイパスをそれぞれのヘリウム濃度回復手段に並列に設けた配管接続構成としてもよい。
【００３４】
以下、漏れ検査装置１の漏れ検査にかかる制御動作について図２に基づき説明する。図２に示したように、漏れ検査装置１の制御においては、基本的な制御フローとして、検査体２を収納した検査体収納部１１に検出媒体を供給する供給工程（Ｓ２）と、検査体２内における検出媒体の漏洩を漏れ検出器１２により判断する漏れ検出工程（Ｓ３）と、漏れ検出工程の後、検査体収納部１１に空気を導入し検出媒体と置換するとともに空気と混合した検出媒体をリサイクル装置３側へ排出する回収工程（Ｓ４）と、回収した検出媒体の濃度を所定濃度に回復させる回復工程（Ｓ５）と、所定濃度に回復した検出媒体を検査体収納部１１に供給する再供給工程（Ｓ６）と、を有する。以下、それぞれについて詳述する。
【００３５】
まず、漏れ検査装置１における供給工程の前処理として、検査対象となるワーク２の内外表面から漏れに影響を与える可能性のある水分等の不要物質を除去した後、ワーク２をガス置換フード１１内に納める（Ｓ１）。その際、ガス置換フード１１内に設置されたワーク２に対し、ワーク２内部に連通するように配管２２を接続し、接続したワーク２の開口部を気密処理する。ただし、開口部の処理は、試験後速やかに取り除くことができる材料で気密処理するが、気密材料はワークに悪影響を及ぼすことのない材料を選択する。そして、ワークをガス置換フード１１でワーク２を収納した空間に外部への開口部が形成されることのないように覆う。
【００３６】
続いて、ワーク２内部に連通する気密処理を施した配管２２を、バルブ２２ａを介したリークデイテクタ１２及びバルブ２２ｂを介した真空ポンプ１４に接続した後、バルブ２２ａを閉じたままでバルブ２２ｂを開き、真空ポンプ１４により検査体２内部が真空となるよう排気する（Ｓ１）。なお、必要に応じて校正リークを行う。
【００３７】
これらの前処理（Ｓ１）を施した後、ガス置換フード１１内に検出媒体であるヘリウムガスを供給する供給工程を実行する（Ｓ２）。具体的には、ワーク２内部を真空引きするためのバルブ２２ｂを閉じ、バルブ２３ａを開いてヘリウム供給器１３からガス置換フード１１内に所定濃度のヘリウムガスを吹き込み、ワーク２の周囲にヘリウムガスが存在するようになるまで充填する。
【００３８】
この供給工程（Ｓ２）に引き続き、ワーク２内におけるヘリウムガスの漏洩をリークディテクタ１２により判断する漏れ検出工程（Ｓ３）を実行する。詳細には、ガス置換フード１１内にヘリウムガスが充満した状態で、バルブ２２ａを開いてワーク２内部をリークデイテクタ１２に導通させ、ワーク２内に侵入したヘリウムガスを検出することによりワーク２における漏れの有無が検査される。ワーク２内部への漏れ量については、ガス置換フード１１がある程度をある程度膨らませる供給工程におけるヘリウムガス導入完了から所定時間ヘリウム漏れ検出器１２の指示値を観察または記録し、例えば漏れ検査装置１の制御手段が備える演算処理装置などにより算出する。
【００３９】
さらに、ワーク２内の漏れ検出工程（Ｓ３）の後、大気導入口１５に通じるバルブ２５ａ、ブロワポンプ３１に接続するバルブ２０ａ及びバッファタンク３６からガス置換フード１１に通じるバルブ２１ａを開き、ブロワポンプ３１を駆動する回収工程を実行する。具体的には、バルブ２５ａを開くことにより、ガス置換フード１１内に充填されたヘリウムガスが大気導入口１５から導入された空気（大気）によりパージされ、空気と混合した状態でサーチガスリサイクル装置３へバルブ２１ａを介して排出される（Ｓ４）。
【００４０】
この後、本実施形態では、回収工程（Ｓ４）において、パージに際して空気と混合したことにより濃度が低下した回収されたヘリウムガスの濃度を所定濃度に回復させる回復工程（Ｓ５）を連続的に実行する。特に、本実施形態では、図２に示したように、２つのヘリウム濃度回復手段３２，３５を用いて、回収したヘリウムガスの濃度を再利用可能な高濃度へと回復させる処理を行う。
【００４１】
具体的には、まず、空気と混合して低濃度となった回収ヘリウムガスは、サーチガスリサイクル装置３のヘリウム分離回収濃縮器３２に送られる。制御手段３８の制御の下、ヘリウム分離回収濃縮器３２において、ブロアポンプ３１による加圧操作により空気とヘリウムの混合ガスを吸着物質に通して不純物を吸着分離し、目的とする所要濃度にまでヘリウムガスを濃縮する。この濃縮されたヘリウムガスは、バッファタンク３３に貯留される。
【００４２】
次いで、制御手段３８によりコンプレッサ３４が稼動されると、ヘリウムガスが加圧されてヘリウム濃縮膜分離器３５に送られ、ここでヘリウム以外のガスが透過率の違いによりふるいわけされて、更に濃縮された後、バッファタンク３６に貯留される。
【００４３】
以上の二段階処理が、本実施形態における、空気と混合して低濃度となったヘリウムガスを、ヘリウムガス供給器１３に格納されたヘリウムガスと同レベルの濃度にまで回復させるリサイクル処理である。好適な処理容量の範囲や達成純度の異なる方式の濃度回復手段を複数備えることにより、ガス置換フード１１の容積やヘリウムガス純度を異ならせた場合であっても、必要とされる濃度回復の程度に応じて柔軟に対応できる。なお、ヘリウムガス供給器１３に格納されたヘリウムガスの濃度と必ずしも同じ濃度である必要はなく、最終的にリークディテクタ１２の設定に合致した濃度のヘリウムガスがガス置換フード１１内に供給できるのであれば、格納された濃度以上の濃度に濃縮されてもよい。
【００４４】
そして、上述した回復工程（Ｓ５）におけるリサイクル処理と並行してまたは時期を前後させて次の検査対象となる新しいワーク２を設置し、上述したワーク２の気密処理や内部の真空化などの前処理を完了させた後、バッファタンク３６に貯留された所定濃度に回復したヘリウムガスを再度サーチガスとしてガス置換フード１１に供給する再供給工程（Ｓ６）が実行される。
【００４５】
詳細には、制御手段３８は、このバッファタンク３６に貯留された所定濃度のヘリウムガスを、必要に応じてバルブ２１ａを開くことにより、ヘリウムガス供給手段１３によるガス置換フード１１へのヘリウムガス供給に先立って、バルブ２１ａを介してバッファタンク３６からガス置換フード１１に供給するリサイクルが行われる。
【００４６】
なお、ヘリウム濃縮膜分離器３５を透過させるためにコンプレッサ３４で加圧する際にその圧力を調整し、透過したヘリウムガスを貯留させたバッファタンク３６内の圧力を高めにすることにより、バルブ２１ａの開度によりガス置換フード１１への供給量を調整可能とすることができる。
【００４７】
以上説明したように、本実施形態では、漏れ検出工程（Ｓ３）の終了後、サーチガスリサイクル装置３において、ブロワポンプ３１を駆動して、ガス置換フード１１内から大気導入によって大気が混入したヘリウムの回収を行い、ヘリウム分離回収濃縮器３２を通過させることにより、回収した混合ガスから不純物を吸着して短時間に濃縮し、更にヘリウム濃縮膜分離器３５を通過させてふるいわける再濃縮の操作を経ることによって、濃度の低下したヘリウムを再度検査に使用可能な高濃度のヘリウムに復元して、ガス置換フード１１へ戻すヘリウムのリサイクル循環処理（Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６）を行う。
【００４８】
このリサイクルを実現する機能を果たす、ヘリウム分離回収濃縮器３２およびヘリウム濃縮膜分離器３５を制御する制御手段３８を有するサーチガスリサイクル装置３を付加することにより、漏れ検査装置１におけるヘリウム消費量の大幅な削減が可能となるので、小規模で安価、そしてランニングコストが低い真空外覆法による漏れ検査装置１を提供することが可能となる。
【００４９】
なお、上述した実施形態においては、ヘリウムの高濃縮化に対応してヘリウム分離回収濃縮器３２およびヘリウム濃縮膜分離器３５を直列的に使用する制御を採用したが、これに限られるものではなく、配管３７にヘリウム分離回収濃縮器３２やヘリウム濃縮膜分離器３５をバイパスさせる管路をさらに設け、回収したガスのヘリウム濃度や供給工程において必要とされるヘリウムガスの濃度に応じてヘリウム分離回収濃縮器３２またはヘリウム濃縮膜分離器３５の何れかを選択的に通過させて高濃度化する構成を採用しても良い。
【００５０】
例えば、制御手段３８が、ＰＳＡ方式と膜分離方式の特質に鑑み、回収ヘリウムガスの容量が少ない場合にはヘリウム濃縮膜分離器３５を用い、所定容量以上の回収ヘリウムガスを回収した場合にはヘリウム分離回収濃縮器３２を用いるといった選択制御を行なってもよい。また、必要とされる純度に応じて、ヘリウム濃縮膜分離器３５単独使用制御、ヘリウム分離回収濃縮器３２単独使用制御、双方併用制御を切換える方式を採用してもよい。
【００５１】
また、本実施形態においては、漏れ検出媒体（サーチガス）をヘリウムとして説明したが、本発明はヘリウムを用いた漏れ検査装置に限定されるものではなく、他のサーチガスを用いた漏れ検査装置に用いても好適に実施でき、同様の効果を得ることができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、回収した検出媒体の濃度を所定濃度以上に回復させる濃度回復手段を備えるリサイクル装置を備えることにより、空気と混合して濃度が低下した検出媒体を再利用できるので、漏れ検査装置から廃棄される検出媒体の量を低く抑えることができ、ひいては漏れ検査装置のランニングコストを安く維持できる。
【００５３】
また、請求項２に記載の発明では、複数の濃度回復手段を選択的に稼動制御するので、検出媒体を所定の濃度にまで確実に回復でき、総合的に検出媒体の使用量も低減できる。
【００５４】
また、請求項３に記載の発明では、異なる方式の濃度回復手段を備えることにより、濃度回復の程度を選択できる。
【００５５】
また、請求項４に記載の発明では、空気と混合した検出媒体をリサイクル装置側へ排出する回収工程と、回収した検出媒体の濃度を所定濃度に回復させる回復工程と、所定濃度に回復した検出媒体を前記検査体収納部に供給する再供給工程と、を有することにより、空気と混合して濃度の低下した検出媒体の濃度を回復させた上で検査体収納部に戻すことができ、ひいては、検出媒体にかかるランニングを低く維持することができる。
【００５６】
また、請求項５に記載の発明では、異なる方式の回復方式を選択的に用いることができるので、濃度回復の程度を選択制御でき、リサイクルされる検出媒体のリサイクル使用可能濃度範囲を広くできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る漏れ検査装置を示す概略構成図である。
【図２】図１に示した漏れ検査装置における制御動作の概略を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１      漏れ検査装置
２      検査体（ワーク）
３      リサイクル装置
１１    ガス置換フード
１２    ヘリウム漏れ検出器（リークディテクタ）
１３    ヘリウムガス供給器
１４    真空ポンプ
１５    大気導入口
２０    ヘリウムガス排出配管
２０ａ  バルブ
２１    再生ヘリウムガス導入配管
２１ａ  バルブ
２２    配管
２２ａ  バルブ
２２ｂ  バルブ
２３    配管
２３ａ  バルブ
２５    配管
２５ａ  バルブ
３１    ブロワポンプ
３２    ヘリウム分離回収濃縮器
３３    バッファタンク
３４    コンプレッサ
３５    ヘリウム濃縮膜分離器
３６    バッファタンク
３７    配管
３８    制御手段
【図１】
2004340844.tif 000003
【図２】
2004340844.tif 000004