(57)【要約】【目的】ダイアフラムを使用した圧力センサーの取扱いを容易にする。【構成】圧力センサー１は検出部であるスイッチ機構を収納したケース２と、ダイアフラム５を気密に固定された基板３とでハウジング４を構成している。基板３にはダイアフラム５とともに保護板１６が固定されている。保護板１６には複数の流通孔１６Ｂが設けられ、ダイアフラム５との間に構成された受圧室１６Ｃに流体が出入り可能にされている。保護板１６には基板３の表面よりも突出した複数の突起１６Ｄが設けられている。【効果】保護板の突起１６Ｄにより、圧力センサーのハウジングを平坦な作業台に乗せた時にも圧力スイッチの流通孔と作業台の間には隙間が残る。そのため流通孔の一部が開口状態を保つことができ、圧力センサーの取扱い時にも受圧室内の圧力の不用意な上昇を抑えダイアフラムの特性変化や破壊を防止することができる。【選択図】        図１
2004226377.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に検出部を収納配置し開口部が設けられたハウジングを有し、
このハウジングの開口部にはこれを塞ぐようにダイアフラムが気密に固定されており、
このダイアフラムの動きに連動して前記検出部が出力状態を変動する圧力センサーであり、
ダイアフラムの受圧面にはダイアフラムの全面を覆うようにして保護板が配置されるとともにダイアフラムと保護板との間に受圧室を形成し、
この受圧室には流体が出入りするための流通孔が設けられており、
ハウジングの流通孔を有する側の面には段差を設けたことによってハウジングを平面上に置いた場合にも少なくとも流通孔の一部が開口状態を保つようにしたことを特徴とする圧力センサー。
【請求項２】
ハウジングの流通孔を有する面に設けられた段差はハウジングまたは保護板に設けられた突起であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサー。
【請求項３】
保護板はハウジングの面に段差を生ずるように固定され、
保護板周縁部とハウジング開口部との間に流通孔を設けたことを特徴とする請求項１に記載の圧力センサー。
【請求項４】
ダイアフラムはハウジングの平面部とあて板とに挟まれた状態であて板とともにハウジングに溶接されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧力センサー。
【請求項５】
ダイアフラムはあて板側からレーザーを照射するレーザー溶接によって固定されていることを特徴とする請求項４に記載の圧力センサー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は小型で特に流体の微小な差圧を検出するのに好適な圧力センサーを提唱するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から検出部に圧力変動を伝達する手段としてダイアフラムを使用し検出部としてスイッチ機構を有した圧力スイッチがある。この圧力スイッチの一例を、断面図を示す図６と、図６のＣ部を拡大した図７を参照して説明する。圧力スイッチ１０１は流体圧力をダイアフラムによって受けると共にこのダイアフラムによって流体を密閉し、前記圧力よって変位するダイアフラムの動きを検出部であるスイッチ機構に伝えて信号状態を変化させるものである。
【０００３】
圧力スイッチ１０１はケース２と基板３からなるハウジング４を有している。このハウジング４の基板３は金属板に貫通孔３Ａを設けたものであり、この貫通穴３Ａがハウジング４の開口部となっている。この貫通穴３Ａにはの周縁部には切削加工によって厚みを落とすと同時に後述する理由で高い寸法精度とされたダイアフラム取付部３Ｂが設けられ、このダイアフラム取付部３Ｂに金属製のダイアフラム５が配置されている。ダイアフラム５はその周囲を金属製の保護板６の周縁部６Ａと基板３の貫通孔３Ａに設けられたダイアフラム取付部３Ｂの内側面とで挟まれ端面をレーザー溶接により一体且つ気密に固定される。保護板６には流通孔６Ｂが穿たれ、ダイアフラム５と保護板６との間に形成された受圧室６Ｃにこの流通孔６Ｂを通して測定流体が出入り可能にされている。保護板６の厚さはダイアフラム取付部３Ｂの深さとほぼ同じにされており、ハウジング４の底面はほぼ平面状にされる。
【０００４】
ダイアフラム５の受圧室と逆の面にはアクチュエータピン７が保持体８を貫通して配置されている。アクチュエータピン７はダイアフラム５によって駆動されるものであり、その図示上端部はスイッチを構成する導電性の弾性可動片９に当接する。可動片９の先端には可動接点１０が固定され、対向して配置された固定接点１１と接離可能にされており、それぞれの接点は導電体を介して端子１２Ａ及び１２Ｂに接続されている。この圧力スイッチ１０１は基板３の受圧室側に検出対象圧力をかけることにより、その圧力に応答するダイアフラム５の動作でスイッチを開閉駆動する。
【０００５】
この圧力スイッチ１０１においては、ダイアフラム５を前述したように端面で溶接している、図６の溶接部分Ｃを拡大した図７で説明すると、ダイアフラム５は基板３の開口部３Ａを塞ぐ様に配置されており、保護板６によって基板３の開口部３Ａの周縁部に設けられたダイアフラム取付部３Ｂとの間に挟まれ保持される。そしてこのダイアフラム取付部３Ｂの側面と保護板６の周縁部６Ａに挟まれた端面５Ａをレーザー溶接などで一体且つ気密に固定する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ここでダイアフラム５は特に微小圧力を検出する場合には非常に薄くすることになるが、そのため通常の取扱い作業においてもダイアフラムに不要な反転動作をさせてしまう場合があった。つまりこのような圧力スイッチは受圧側の面が平面形状となり、平らな作業台上に載置する際に圧力スイッチの受圧側面と作業台平面が密着して受圧室への開口部分がほぼ気密状態となる。そのため例えば不用意に勢いよく圧力スイッチを置いた場合等には、圧力スイッチと作業台の間に挟まれた空気が一時的に圧縮されてダイアフラムを動作させる圧力にまで上昇することがあり、さらに場合によってはダイアフラムの特性変化や破壊にまで至る可能性がある。そのため特に微小圧力用圧力スイッチでは慎重な取扱いを必要とするという問題があり、取扱い時におけるダイアフラムの不要な動作の発生を抑えることのできる圧力スイッチが求められている。
【０００７】
また上述した従来例の構造においてはダイアフラムを挟む基板と保護板には非常に高い寸法精度が要求される。特に端面溶接においては部品間をほぼ密着させないとダイアフラムだけが溶けてしまい溶接不良となって気密性が得られなくなる一方、隙間が狭いと組付作業が困難になるとともにダイアフラムに不要な応力がかかり所定の性能が得られなくなるという問題がある。そのため例えばダイアフラムの厚さを２０μｍに設定した場合には基板の段差の形成をプレスなどの方法で行うと段差の内径について所望の加工精度が得らず、加工精度を上げるためには切削加工のように量産性で劣る加工方法をとる必要がある。そのため、安価で且つ製造が容易で低い圧力も検出可能な構造を持つ圧力スイッチが求められていた。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明の圧力センサーにおいては、内部に検出部を収納配置し開口部が設けられたハウジングを有し、このハウジングの開口部にはこれを塞ぐようにダイアフラムが気密に固定されており、このダイアフラムの動きに連動して前記検出部が出力状態を変動する圧力センサーにおいて、ダイアフラムの受圧面にはダイアフラムの全面を覆うようにして保護板が配置されるとともにダイアフラムと保護板との間に受圧室を形成し、この受圧室には流体が出入りするための流通孔が設けられており、ハウジングの流通孔を有する側の面には段差を設けたことによってハウジングを平面上に置いた場合にも少なくとも流通孔の一部が開口状態を保つようにしたことを特徴としている。
【０００９】
本発明によれば、圧力センサーのハウジングを平坦な作業台に乗せた時にも圧力スイッチの流通孔と作業台の間には隙間が残り、流通孔の一部が開口状態を保つことができる。そのためこの空間に挟まれた空気は密閉されることは無く、圧力センサーの取扱い時に受圧室内の圧力が不用意に上昇することも無い。こうして特に低圧用に設定された圧力センサーにおいてもダイアフラムの特性変化や破壊を防止することができる。
【００１０】
また他の特徴は、ハウジングの流通孔を有する面に設けられた段差をハウジングまたは保護板に設けられた突起としたことで、ハウジングへの段差の配置を容易にしたことにある。
【００１１】
また他の特徴は、保護板をハウジングの面に段差を生ずるように固定すると共に保護板周縁部とハウジング開口部との間に流通孔を設けたことにある。本発明によればハウジングへの段差の配置を容易にできるとともに、部品に特別な突起を設けないで済むため部品の製造も容易になる。
【００１２】
さらに他の特徴は、ダイアフラムをハウジングの平面部とあて板とで挟んだ状態であて板とともにハウジングに溶接したことにある。そのためダイアフラムの固定に従来使用されている突き合わせ溶接に比べ部品間の寸法公差が緩くなり、部品の製造及び溶接作業が容易になる。
【００１３】
また他の特徴は、ダイアフラムをあて板側からレーザーを照射するレーザー溶接により固定したことにある。これにより、従来の突き合わせ溶接に比べ部品間の寸法公差を緩くできると共に、レーザーの照射面積を絞ることによって抵抗溶接などと比べて部品の加熱領域を最少にして溶接部周辺の温度上昇を最小限にすることが可能になる。そのためダイアフラム等に発生する熱歪みを抑えることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の圧力センサーの縦断面図を示すものであり、この圧力センサー１は多くの部分で前述した従来例と同様の構成を有しており、同一の部品には同一の番号を付して説明する。圧力センサー１は電気絶縁性のケース２と金属製の基板３からなるハウジング４を有し、ハウジング４の開口部となる基盤３の貫通孔３Ａのダイアフラム取付部３Ｂに金属製のダイアフラム５が金属製の保護板１６とともに周囲を密着されて気密に固定されている。基板３は切削加工等の方法で加工されており、一方の面には貫通孔３Ａを囲むようにケース収納部３Ｃが形成されている。このケース収納部３Ｃに前記ケース２が収納固定されハウジング４を構成する。
【００１５】
このダイアフラム５はその周囲を保護板１６の周縁部１６Ａと基板３のダイアフラム取付部３Ｂの側面とで挟まれ端面をレーザー溶接により一体且つ気密に固定される。ダイアフラム５は浅い皿状に絞り成形されており、検出すべき圧力によって膨出方向を反転可能にされている。保護板１６には流通孔１６Ｂが穿たれており、ダイアフラム５と保護板１６との間に構成された受圧室１６Ｃに測定流体が出入りできるようにされている。この保護板１６は圧力センサー１の取扱い時などにおいてダイアフラム５に直接触れることを防止するための金属板であり、また中央部分１６Ｅをダイアフラム側に膨出しておくことでダイアフラムが保護板側に過大な移動をすることを防止している。
【００１６】
ダイアフラム５の受圧室と逆の面にはダイアフラム５によって駆動されるアクチュエータピン７が保持体８を貫通して配置されている。保持体８上には検出部であるスイッチ機構として可動接点１０を有する導電性の弾性可動片９と固定接点１１が配置されている。可動片９は弾性を有する金属片であり無負荷時には可動接点１０を所定の圧力で固定接点１１に当接するように偏倚力が与えられている。前記アクチュエータピン７の先端は可動片９に接触可能にされており、ダイアフラム５により駆動されたアクチュエータピン７によって可動片９が駆動されることで可動接点１０−固定接点１１間が開閉される。それぞれの接点は導電体を介して端子１２Ａ及び１２Ｂに接続されている。
【００１７】
この圧力センサー１は受圧室１６Ｃを圧力測定対象に接続することにより、受圧室側と検出部側との圧力差に応答するダイアフラム５が変位してスイッチを開閉駆動する。またダイアフラム５はスナップアクションを伴って反転する様に設定されることにより、可動片の駆動は急峻に行われ接点の開閉動作を確実に行うことができる。なお、スナップアクション機能を検出部であるスイッチ機構の側に持たせた場合にはダイアフラムによるスナップアクションは必ずしも必要ではなく、また検出部にアナログ信号を出力する荷重センサーなどを使用する場合にはスナップアクション機能自体も必須ではないことは言うまでもない。
【００１８】
この圧力センサー１においては保護板１６の図示下方表面にプレス成形による突起１６Ｄが複数設けられている。この突起１６Ｄは基板３の表面よりも突出しており、例えば平坦な作業台上に圧力センサーを載置した場合には、基板３と作業台との間には充分な隙間ができ少なくとも流通孔の一部は開口状態を保つことができる。そのため通常の作業時において保護板を含む受圧室が不用意に密閉されることはなく、受圧室内にダイアフラムを反転させてしまうような圧力変化を生じることもなくなる。この例においては受圧室が不用意に密閉されないように保護板にプレス成形によって突起を設けたものについて説明したが、この突起は基板側に設けてもよく、プレス成形以外にも例えば別部品とした突起を溶接固定するなどの方法をとってもよい。
【００１９】
【実施例】
次に本発明の実施例について図２乃至図４を参照しながら説明する。図２は本発明における圧力センサーの一実施例の縦断面図を示すものであり、図３はその底面図、図４は図２のＡ部拡大図である。なお、図２の縦断面図は図３のＢ−Ｂ断面を示している。本実施例において、前述の例と同一の部品については同一の記号を付して詳細な説明は省略する。
【００２０】
この圧力センサー２１の基板２４は金属板に貫通孔を設けたフランジ２２と、このフランジの貫通孔の一面に溶接等の方法で一体に固定されたケース収納部２３とで構成される。このフランジ２２は例えばプレス加工により成形されており、またケース収納部２３は絞り成形などの方法で製造される。この一体化された基板２４のケース収納部２３にケース２が収納固定されてハウジング２８が構成されている。基板２４のフランジ２２に設けられた貫通孔２２Ａの周縁部にはプレス加工により厚みを落としたダイアフラム取付部２２Ｂが設けられている。このダイアフラム取付部２２Ｂにはダイアフラム２５がリング状のあて板２６とともに溶接されている。
【００２１】
ここでダイアフラム２５は薄い金属性のために溶接条件が難しく、特に溶接時に対象物と密着していないとダイアフラムだけが溶けてしまい溶接不良を起こすと言う問題がある。例えば前述した例のように突き合わせ溶接をする場合には端面部分において高い寸法精度が必要とされ、ダイアフラムとともに溶接される基板の貫通孔や保護板の外周部の精度を上げるために切削加工などによる精密な加工を必要としていた。
【００２２】
これに対して本発明においては、基板２４のフランジ２２に対して厚さ約２０μｍのダイアフラム２５を溶接する際に、貫通孔２２Ａの周囲に設けられたダイアフラム取付部２２Ｂの部分をリング状の厚さ約５０μｍのあて板２６で押さえながら密着させてあて板と共に溶接される。ここであて板２６はダイアフラム取付部２２Ｂの深さよりも充分に薄く、後述する保護板との間に隙間を有するようにされている。こうしてダイアフラム２５とあて板２６が面状に重なった部分をレーザーによる多点溶接等で全周に亘って基板２４に溶接固定することにより貫通孔２２Ａはダイアフラムによって気密に覆われる。
【００２３】
このようにあて板２６で押さえながらこのあて板側からレーザービームを照射することによってダイアフラム２５をあて板と共に溶接することによって、薄膜状のダイアフラムをフランジに密着させながら確実に溶接することができるとともに溶接の熱によるダイアフラムの歪みやそれに伴い発生するダイアフラムのしわや変形を抑える事ができる。また溶接方法がレーザー溶接であることから、レーザービームの照射面積を絞ることによって電気的な溶接と比較して周辺の発熱が抑えられ、発熱部分及び溶融面積を微小にすることでダイアフラムに発生する熱歪みが抑えられる。さらに本実施例ではパルスレーザーによる多点溶接としているが、連続的なレーザーによる溶接であってもよいことはもちろんである。
【００２４】
さらに本実施例のように平面方向で接触させる構造とした場合には、フランジの加工においてもプレス加工で部品精度を比較的出し易くなり、また求められる精度も前述した突き合わせ溶接の場合ほど厳密なものではなくなるので精密な切削加工などは必要とはされなくなる。また同時に基板２４をフランジ２２とケース収納部２３とに分けることにより、それぞれの部品はプレス加工等での製造が可能になり、これらの部品を溶接で一体化することにより、切削加工の場合と比較して基板の製造が非常に容易になる。
【００２５】
この圧力センサー２１において保護板２７はフランジ２２の面上に重ねて溶接される。この保護板２７は圧力センサー２１の取扱い時などにおいてダイアフラム２５に直接触れることを防止するための金属板であり、中央部分２７Ａをダイアフラム側に膨出しておくことでダイアフラムが保護板側に過大な移動をすることを防止している。またダイアフラム２５と保護板２７で囲まれた部分が受圧室２７Ｂとなり、この受圧室２７Ｂに測定流体を出入り可能にするために保護板２７には中央部分２７Ａを囲むようにして流通孔２７Ｃが設けられている。
【００２６】
さらに保護板２７は図３に示す様に円周部を少なくとも１箇所、実施例では３箇所切り欠いた平面形状とされており、この切り欠き２７Ｄはフランジ２２に設けられたダイアフラム取付部２２Ｂの窪みにかかる部分にまで達している。また保護板２７の溶接部２７Ｅの位置はダイアフラム取付部２２Ｂのさらに外側にまで達する様にされるとともに、保護板はその周縁部において図４に示す様にダイアフラム取付部２２Ｂに予め溶接固定された保護板２６との間に流通孔となる開口部を形成している。そのため測定流体は流通孔２７Ｃとともに切り欠き２７Ｄによる開口部を通して受圧室２７Ｂに出入りすることができる。なお本実施例においては、保護板の切り欠き２７Ｄによって設けられる開口部だけで流通孔として充分な流量を許容できるのであれば、保護板２７の流通孔２７Ｃは省略することができる。
【００２７】
本実施例ではこのような構成としたことにより、例えば作業時において、平坦な作業台上にこの圧力センサー２１を置いた場合に保護板２７に設けられた流通孔２７Ｃが作業台平面によって塞がれても、保護板２７の厚みによって作られた段差によってフランジ２２と作業台平面との間に隙間が残り、切り欠き２７Ｄによる開口部を通して流体は受圧室に出入りすることができる。そのため取扱い時における受圧室２７Ｂ内の不用意な圧力上昇を抑える事ができ、それに伴うダイアフラム２５の変形や破壊を防止できる。
【００２８】
次にこの圧力センサーの使用例について図５を参照しながら説明する。この圧力センサー２１が取り付けられる測定対象機器３１はその形態を問わないが、ここでは家庭用のガス配管上の流路を想定して説明する。この場合の圧力センサーはガスの供給状態を監視するものであり、ガスの圧力が所定値以下に低下した時に遮断弁を動作することにより、ガス機器の使用中に供給元からガスの供給が停止されてバルブが開いたまま消火された状態でガスが供給再開されたとしてもそのままガスが放出されてしまうことを防止するものである。
【００２９】
測定対象機器３１はその内部に周辺大気よりも僅かに圧力の高いガスが流れるパイプやガスメータなどであり、本体３２と分離可能な蓋体３３に圧力センサー２１を取り付けるための貫通孔３３Ａを有している。この貫通孔３３Ａに対して圧力センサー２１は蓋体３３の内側からＯリングなどを間に介して取り付けられる。この取り付けは圧力センサーのフランジ２２の周縁部に設けられている前述した固定孔２２Ｃにネジ３４を挿通して蓋板３３にネジ止め固定されている。
【００３０】
圧力センサー２１はダイアフラム２５を挟んで受圧室側は測定対象機器３１内のガスの圧力に曝され、スイッチ側は例えばケースに通気孔を設けるなどして大気圧になるようにされている。この例においてダイアフラム２５は無負荷状態においては中央の湾曲方向を下方としておりスイッチは接点間を接続している。こうしてダイアフラム２５は受圧室側とスイッチ側との差圧によって動作するようにされている。通常使用時には測定対象機器３１内のガスによる圧力は大気圧よりも高く、この通常使用時の差圧によってダイアフラム２５は中央の湾曲方向を上方に反転しており、このダイアフラムによって持ち上げられたアクチュエータピン７がさらに可動片９を押し上げて接点間を開放している。
【００３１】
このように圧力センサー２１は通常時には大気圧より高いガスの圧力を受けて接点間を開放しているが、例えばガスの供給停止等の原因により一時的にでも測定対象機器３１中の圧力が所定値以下に低下するとダイアフラム２５は湾曲方向を下方に戻して接点間を接続する。この圧力センサーを所定の判定装置などに接続しておくことにより、圧力低下を検出し流路の遮断などの必要な処置を行うことができる。そのため例えばガス機器の使用中に何らかの理由で供給元からガスの供給が停止されてバルブが開いたまま消火された状態でガスの供給が再開された場合にも、世帯毎にいわゆる元栓のレベルでガスの供給を遮断できる。さらに各家庭でのガス遮断弁の復旧作業においては各ガス機器のバルブが開いていないか注意を喚起することになり、バルブの閉め忘れによるガス漏れやそれに伴う災害を防止することができる。
【００３２】
なお、上述した例においては通常時には受圧室内の圧力がスイッチ側よりも高く反転したダイアフラムが接点間を開放している所謂常時オフ型のものを例に説明したが、本発明はこの例に限るものではなく、接点の位置関係を入れ替えることにより常時オン型とすることはもちろん通常時には受圧室側の圧力が低く異常時にダイアフラムを上方に反転させる構造のものであってもよい。
【００３３】
また実施例では検出部としてダイアフラムによってアクチュエータピンを介して機械的に駆動されるスイッチ機構を使用するものを例に説明したが、このスイッチは例えば磁石で駆動されるリードスイッチなどを使用することができる。またダイアフラムが検出部を直接駆動できるのであればアクチュエータピンを省略することもできる。さらに検出部の形態はこれら接点を使用するスイッチに限るものでは無く、例えば出力を連続的に変化する半導体センサー等を使用できることは言うまでもない。また検出部の構成によってはダイアフラムにスナップアクション動作を必要としないことは本文中に述べた通りである。
【００３４】
【発明の効果】
本発明によれば圧力センサーの受圧部の開口部である流通孔を有した面に突起等により段差を設けたことによって、圧力センサーのハウジングを作業台等の平面上に置いた場合にも流通孔が塞がれることがない。そのため取扱い作業時に不用意に受圧室内の圧力が上昇することが防止され、ダイアフラムの過大な圧力による反転での変形や破壊を防止することができる。
【００３５】
さらにこの段差をハウジングまたは保護板に設けた突起で構成することにより部品の基本構成を変えずに従来のものよりも取扱いが容易な圧力センサーを得ることができる。またハウジングの面に段差を生ずるように保護板を固定し、保護板周縁部とハウジング開口部との間に流通孔を設けることにより、作業台の平面などで保護板平面が塞がれても受圧室自体は塞がれることはない。
【００３６】
また、ダイアフラムの溶接時において、ダイアフラムをハウジングの平面に対して金属製のあて板と挟むように配置し、あて板側から重ねて溶接することにより、溶接時に薄板のダイアフラムを確実に保持できるとともにダイアフラムをハウジングに対して密着させることができる。そのためダイアフラムが非常に薄い場合であっても溶接時の溶断破壊が防止され、確実に溶接部の気密構造を得ることができる。さらにダイアフラムの溶接にあて板側からレーザーを照射するレーザー溶接を使用することにより、溶接時に瞬間的な発熱面積を最小限に抑えることができ熱歪みの発生を最小限とすることができるとともに、ダイアフラムに発生する溶接時の熱歪みをあて板により抑えることができ、ダイアフラムの変形やそれに伴う特性変化を抑える事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の圧力センサーの一実施例を示す縦断面図
【図２】本発明の他の実施例を示す縦断面図
【図３】図２の圧力センサーの底面図
【図４】図２の圧力センサーの部分拡大断面図
【図５】図２の圧力センサーの取付例を示す断面図
【図６】従来の圧力センサーの一例を示す縦断面図
【図７】図６の圧力センサーの部分拡大断面図
【符号の説明】
１、２１：圧力センサー
２：ケース
３、２４：基板
３Ａ：貫通孔
３Ｂ：ダイアフラム取付部
４、２８：ハウジング
５、２５：ダイアフラム
１６、２７：保護板
１６Ｂ、２７Ｃ：流通孔
１６Ｃ、２７Ｂ：受圧室
１６Ｄ：突起（段差）
７：アクチュエータピン
９：弾性可動片
１０：可動接点
１１：固定接点
２２：フランジ
２２Ａ：貫通孔
２２Ｂ：ダイアフラム取付部
２６：あて板
【図１】
2004226377.tif 000003
【図２】
2004226377.tif 000004
【図３】
2004226377.tif 000005
【図４】
2004226377.tif 000006
【図５】
2004226377.tif 000007
【図６】
2004226377.tif 000008
【図７】
2004226377.tif 000009