(57)【要約】【課題】圧電駆動による液体金属スイッチ、特に液体金属に結合したスラグを備えるスイッチの提供。【解決手段】光スイッチ（１００）用の構造は、固体材料（１１０、１２０）内に収容され、駆動装置液体（２５０）を有するチャンバ（２８５）と、前記チャンバ内に位置し、前記固体材料に結合した複数の封止ベルト（２０３）と、前記複数の封止ベルトに結合し、前記チャンバに結合した複数の液体金属小滴（３２０）と、前記複数の液体金属小滴の中の１つ又は複数に結合し、前記複数のスイッチコンタクトの中の１つ又は複数にも結合したスラグ（３２５）と、前記チャンバに結合した複数の薄膜（２９５）に結合する複数の圧電素子（２４５）と、前記チャンバに結合し、前記スラグによって閉鎖又は開通するべく動作可能な複数の光導波路（１７０）と、を有する。【選択図】図２
2004318135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光スイッチ用の構造であって、
固体材料内に収容され、駆動装置液体を有するチャンバと、
前記チャンバ内に位置し、前記固体材料に結合した複数の封止ベルトと、
前記複数の封止ベルトに結合し、前記チャンバに結合した複数の液体金属小滴と、
前記複数の液体金属小滴の中の１つ又は複数に結合し、前記複数のスイッチコンタクトの中の１つ又は複数にも結合したスラグと、
前記チャンバに結合した複数の薄膜に結合する複数の圧電素子と、
前記チャンバに結合し、前記スラグによって閉鎖又は開通するべく動作可能な複数の光導波路と、
を有することを特徴とする光スイッチ用構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的に電子装置及びシステムの分野に関し、更に詳しくは、光スイッチング技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
リレーやスイッチを使用することにより、電気信号を第１状態から第２状態に変化させることができる。一般的には、２つを上回る数の状態が存在する。小さなスイッチ形状や小さな領域内に多数のスイッチを必要とする用例の場合には、超小型機械加工製造法を使用し、占有面積の小さなスイッチを製造することができる。超小型機械加工スイッチは、産業機器、通信機器、及びインクジェットプリンタのような電子機械装置の制御などの様々な用例で使用可能である。
【０００３】
スイッチング応用例では、圧電技術を使用してスイッチを作動させることができる。圧電材料は、いくつかの固有の特徴を有しており、印加電圧に応答して圧電材料を伸長又は短縮させることができる。これは、間接的圧電効果と呼ばれるものである。この伸長又は短縮の量、伸長又は短縮によって生成される力、及び連続的な短縮間の時間間隔は、特定の用例における圧電材料の適用法に影響を与える重要な材料特性である。又、圧電材料は、直接的な圧電効果をも有しており、これは、印加した力に応答して電界を生成する現象である。圧電材料にコンタクトを適切に接続すれば、この電界を電圧に変換することができる。間接的圧電効果は、スイッチング素子内においてコンタクトを形成又は切断するのに有用であり、直接的圧電効果は、印加した力に応答してスイッチング信号を生成するのに有用である。
【特許文献１】米国特許第６５１２３２２号明細書
【特許文献２】米国特許第６５１５４０４号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、圧電駆動によりスラグ入りの液体金属を移動させて光信号の通過を制御することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
光スイッチ用の方法及び構造を開示する。本発明の構造によれば、複数の光導波路に結合した液体充填チャンバが固体材料内に収容されている。液体充填チャンバ内の封止ベルトは、固体材料に結合しており、圧電素子が複数の薄膜に結合している。複数の薄膜は液体充填チャンバに結合している。複数の封止ベルトは、複数の液体金属の小滴に結合している。そして、スラグが１つ又は複数の液体金属小滴に結合すると共に、複数の封止ベルトの中の１つ又は複数のものに結合している。本発明の方法によれば、圧電素子を作動させ、薄膜素子を偏向させる。この薄膜素子の偏向により、駆動装置流体である駆動装置液体の圧力が変化し、この駆動装置液体の圧力変化により、電気スイッチの第１コンタクトと第２コンタクト間の液体金属の接続とスラグの接続が切断され、この結果、１つ又は複数の光導波路が閉鎖又は開通する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
新規性を有すると考えられる本発明の特徴については、添付の特許請求の範囲に具体的に記述されている。しかしながら、以下の添付図面との関連で、本発明の特定の模範的な実施例について記述する本明細書の詳細な説明を参照すれば、本発明の目的及び利点、並びに、その構成及び作用の観点から、本発明自体について十分に理解できよう。
【０００７】
本発明によれば、多数の異なる態様の実施例が可能であり、図面及び本明細書において特定の実施例について図示並びに詳述しているが、この開示内容は本発明の原理の一例と見なすべきであって、図示及び説明するこれら特定の実施例に本発明を限定することを意図するものではない。尚、以下の説明においては、同じ参照符号を使用し、添付図面のいくつかの図において、同一、類似、又は対応する部分を示している。
【０００８】
液体金属スイッチは、複数の層を使用して表現することが可能であり、これら複数の層は、液体金属スイッチの製造の際に生成される層を表している。
【０００９】
まず、図１を参照すれば、本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５の側面図１００が示されている。スラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５は、上部キャップ層１１０、チャネル層１２０、ビア層１３０、チャンバ層１４０、駆動装置流体槽層１５０、圧電基板層１６０、及び光導波路１７０を有している。本発明の特定の実施例においては、キャップ層１１０は、チャネル層１２０に結合しており、チャネル層１２０は、ビア層１３０に結合しており、ビア層１３０は、チャンバ層１４０に結合しており、チャンバ層１４０は、駆動装置流体槽層１５０に結合しており、駆動装置流体槽層１５０は、圧電基板層１６０に結合しており、光導波路１７０は、キャップ層１１０及びチャネル層１２０の１つ又は複数に結合している。尚、本発明の精神と範囲を逸脱することなく、図１に示されている１つ又は複数の層を組み合わせることが可能である。
【００１０】
次に図２を参照すれば、本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５の断面図２００が示されている。断面図２００は、複数の光導波路１７０をチャネル２８５及び複数の封止ベルト２０３に結合する方法を示している。複数の封止ベルト２０３は、カプセル材料２７５とチャネル層１２０に更に結合している。本発明の特定の実施例においては、カプセル材料２７５は、ＵＶ硬化エポキシ又はアクリルなどの不活性であって機械的に安定な急結性の接着剤から構成されている。本発明の特定の実施例においては、複数の封止ベルト２０３は、チャネル２８５内に格納されている液体金属に結合し、これにより、複数の光導波路１７０の中の１つ又は複数を閉鎖するべく動作可能である。チャネル２８５は、複数のビア２７０に更に結合している。複数のビア２７０は、ビア層１３０内に位置しており、駆動装置流体２５０がチャネル２８５内に流入する経路を提供するべく動作可能であり、駆動装置流体２５０は、駆動装置流体槽層１５０の１つ又は複数の槽内及びチャンバ層１４０のチャンバ２９０内に配置されている。本発明の特定の実施例においては、駆動装置流体２５０は、不活性であって低粘度であり、沸点が高い３Ｍ  フルオリナート（商標）などの流体から構成されている。
【００１１】
チャンバ２９０は、複数の薄膜２９５に更に結合している。本発明の特定の実施例においては、複数の薄膜２９５は、チャンバ層１４０内に配置されている。複数の薄膜２９５は、駆動装置流体槽層１５０の複数の槽に更に結合しており、複数の第１コンタクト２３０に更に結合している。複数の第１コンタクト２３０及び複数の第２コンタクト２４０は、対応する複数の圧電素子２４５を作動させるべく動作可能である。本発明の特定の実施例においては、複数の第１コンタクト２３０及び複数の第２コンタクト２４０は、複数の誘電素子２３５によって絶縁されている。又、複数の第１コンタクト２３０及び複数の第２コンタクト２４０には、圧電基板層１６０を貫通する複数の第１コンタクト２３０及び複数の第２コンタクト２４０の延長部分により、外部からアクセス可能である。
【００１２】
次に、図３を参照すれば、本発明の特定の実施例によるキャップ層１１０が除去されたスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５の平面図３００が示されている。平面図３００は、チャネル層１２０が複数の光導波路１７０に結合しており、複数の光導波路１７０のそれぞれの光導波路がカプセル材料２７５に結合していることを示している。チャネル２８５は、チャネル層１２０に結合しており、複数の封止ベルト２０３、液体金属３２０、スラグ３２５、及び複数のビア２７０を有している。本発明の特定の実施例においては、液体金属３２０は、所与の時点において、複数の封止ベルト２０３の中の２つのものに結合する。水銀又はガリウム合金などの液体金属３２０は、摩擦軽減潤滑剤として機能する。本発明の特定の実施例においては、複数のビア２７０は、対応する複数の光導波路１７０と同一直線上に位置している。スラグ３２５が液体金属３２０に結合しており、本発明の特定の実施例においては、スラグ３２５は、液体金属３２０によってカプセル状に包まれている。スラグ（液体金属３２０に濡れる固形片）３２５は、中空であっても中空でなくてもよく、金属性コンパウンド、セラミック、又はプラスチックなどの液体金属３２０に濡れる材料から構成することができる。図３に示されているように、複数の封止ベルト２０３が複数の光導波路１７０間に位置している。そして、複数のビア２７０が、チャネル２８５の１つ又は複数の長手方向の端部に配置されている。本発明の特定の実施例においては、複数のビア２７０は、チャネル２８５の１つ又は複数の長手方向の端部と複数の封止ベルト２０３間に配置されている。尚、図３には、２つの光導波路と３つの封止ベルトが示されているが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく、更に多くの数の光導波路及び封止ベルトを使用可能であることに留意されたい。ビア層１３０は、図示のごとく、チャネル層１２０よりも大きな幅を有している。
【００１３】
次に図４を参照すれば、本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５の圧電基板層１６０の平面図４００が示されている。断面図４４５は、複数の第１コンタクト２３０と複数の第２コンタクト２４０の配置状態を示している。図４には、注入口４５０も示されている。注入口４５０は、槽層の槽に作動流体２５０を充填するために使用するべく動作可能である。本発明の特定の実施例においては、作動流体２５０は、押し出し式液体金属光スイッチ１０５を組み立てる際に充填され、その後、注入口４５０は密封される。
【００１４】
次に、図５を参照すれば、本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５の駆動装置流体槽層１５０の平面図５００が示されている。駆動装置流体槽層１５０は、複数の流体槽５２０、５３０を有している。尚、本発明の特定の実施例においては、複数の流体槽５２０、５３０は、平面図５００のような長方形の形状を有しているが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく、円形や正方形などのその他の形状も使用可能である。図５には、断面図５１０も示されている。
【００１５】
次に、図６を参照すれば、本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５のチャンバ層１４０の平面図６００が示されている。図６は、チャンバ層１４０に結合した複数の薄膜２９５の配置状況と、対応する複数の流体ポート６１５の場所を示している。このチャンバ層１４０の複数の長方形領域６２０の厚さは、チャンバ層１４０よりも薄くなっている。複数の流体ポート６１５は、槽５２０、５３０からチャンバ２９０に駆動装置流体２５０の源泉を提供するべく動作可能である。尚、複数の流体ポート６１５の幅は、複数の薄膜２９５の偏向により、最小量の駆動装置流体２５０が複数の流体ポート６１５のどのポートにも流入するように選択されていることに留意されたい。複数の流体ポート６１５のどのポートに流入する量よりも多くの駆動装置流体２５０が複数のビア２７０のどのビアにも流入する。尚、複数の薄膜２９５に対する複数の長方形領域６２０の配置状態は、本発明の精神と範囲を逸脱することなく、図６に示されているものとは異なるものにすることができることに留意されたい。一例として、複数の長方形領域６２０の第１の長方形領域と複数のビア２７０の第１のビアは、複数の薄膜２９５の第１の薄膜の長軸上に配置可能である。
【００１６】
次に、図７を参照すれば、本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５のチャンバ層１４０の底面図７００が示されている。底面図７００は、チャンバ層１４０と複数のビア６１５との関連で複数の薄膜２９５の形状を示している。チャンバ層１４０と複数の薄膜２９５の第２の薄膜の断面図７０５も示されている。断面図７０５は、本発明の特定の実施例においては、第２の薄膜がチャンバ層１４０内の略中央に位置していることを示している。
【００１７】
次に、図８を参照すれば、本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５の圧電基板層１６０の平面図８００が示されている。平面図８００は、複数の封止ベルト２０３と複数のビア２７０の相対的な配置状態を示している。本発明の特定の実施例においては、複数のビア２７０のどのビアも、複数の封止ベルト２０３のどの封止ベルトもチャネル２８５の長手方向の端部間に位置している。圧電基板層１６０の断面図８０５も示されている。断面図８０５は、複数のビア２７０に対する複数の封止ベルト２０３の可能な配置を示している。
【００１８】
次に、図９を参照すれば、本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５のチャネル層１２０の平面図９００が示されている。平面図９００は、複数の封止ベルト２０３とチャンバ２８５に対する複数の光導波路１７０及びカプセル材料２７５の配置状態を示している。側面図９０５は、カプセル材料２７５と複数の光導波路１７０が、チャネル層１２０内のＶ字形のチャネルを使用してチャネル層１２０に結合していることを示している。このＶ字形のチャネルは、複数の光導波路１７０とカプセル材料２７５を収容するのに十分な深さを有している。図９に示されているように、複数の封止ベルト２０３は、チャネル２８５の第１の長手方向の端部と複数の封止ベルト２０３の封止ベルトとの間に空隙が存在するように、チャネル２８５に対して配置されている。この空隙は、チャネル２８５の長手方向の端部に複数のビア２７０のビアを配置可能にするためのものである。
【００１９】
次に、図１０を参照すれば、本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５のキャップ層１１０の底面図１０００が示されている。底面図１０００は、複数の封止ベルト２０３と共に示されている。
【００２０】
本発明の特定の実施例においては、複数の薄膜２９５に対して複数の圧電素子２４５を作動させることにより、駆動装置流体である駆動装置液体２５０を加圧し、液体金属３２０とスラグ３２５を複数の封止ベルト２０３の中の第１の２つの濡れ封止ベルトから複数の封止ベルト２０３の中の第２の２つの濡れ封止ベルトに駆動し、これにより、複数の光導波路１７０の中の１つ又は複数の光導波路を閉鎖又は開通させ、スラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５の状態を変化させている。スラグ３２５は、１つ又は複数の光導波路１７０の閉鎖を補助するものである。スラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５は、複数の封止ベルト２０３の中の１つ又は複数の封止ベルトの濡れと液体金属３２０の表面張力により、安定した位置に液体金属３２０が保持され、ラッチする。スラグ３２５は、濡れ可能であり、従って、液体金属の表面張力と複数の封止ベルト２０３の中の１つ又は複数のものに対するスラグ３２５の結合により、安定した位置に維持可能である。本発明の特定の実施例においては、複数の光導波路１７０は、複数の光導波路１７０の信号経路の光学的透明性を保つべく、液体金属３２０が濡れ不能な面を有している。本明細書において説明する方法においては、押し出し式の複数の圧電素子２４５を使用している。本発明の特定の実施例においては、複数の圧電素子２４５がエネルギーを発散するのではなく保存するため、スラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５の電力消費量は、液体金属３２０を新しい位置に押し出すのに加熱ガスを使用する装置に比べて格段に小さくなっている。複数の圧電素子２４５の中の１つ又は複数を使用し、引っ込み（プル）並びに押し出し（プッシュ）可能であり、従って、膨張ガスの押し出し効果のみで駆動される駆動装置の場合には提供不可能な二重作用の効果が存在している。本発明の特定の実施例においては、押し出し圧電素子と引っ込み圧電素子を使用することにより、スラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５のスイッチング時間を減少させることができる。一例として、複数の圧電素子２４５の中の第１の圧電素子を使用して駆動装置流体２５０とスラグ３２５を押し出すと共に、複数の圧電素子２４５の中の第２の圧電素子を使用して駆動装置流体２５０とスラグ３２５を引っ込むことができる。スラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５のスイッチング時間が減少するように、押し出しと引っ込み（プッシュとプル）のタイミングを選択可能である。
【００２１】
液体金属３２０は、液体金属チャネル層１２０のチャネル２８５内に格納されており、複数の封止ベルトパッド２０３の中の２つに接触している。本発明の特定の実施例においては、チャネル２８５内の液体金属３２０の量及び場所は、一度に複数の封止ベルトパッド２０３の中の２つの封止ベルトパッドのみが接続されるようなものになっている。本発明の特定の実施例においては、スラグ３２５は、複数の封止ベルトパッド２０３の中の２つの封止ベルトパッドにスラグ３２５を結合するべく動作可能な長さを有している。液体金属３２０は、第１封止ベルトパッドと第２封止ベルトパッド間の圧力を増大させることにより、複数の封止ベルトパッド２０３の中の２つの封止ベルトパッドの異なる組に接触するべく移動可能であり、この結果、液体金属３２０は分離し、液体金属の一部が移動して第２の封止ベルトパッドと第３の封止ベルトパッドに結合する。この圧力の増大により、スラグ３２５も移動するが、この圧力の増大は、複数のビア２７０によって伝達可能である。液体金属３２０が複数の封止ベルトパッド２０３に濡れ、表面張力によって定位置に保持されているため、これは安定した状態になっている（即ち、ラッチしている）。スラグ３２５は液体金属３２０に濡れるので、本発明の特定の実施例においては、液体金属３２０とスラグ３２５は、液体金属３２０のみの場合に比べ、チャネル２８５内において格段に容易に移動可能である。
【００２２】
本発明の特定の実施例においては、駆動装置流体２５０は、不活性であって電気的な導電性を有さない液体であり、これにより、スラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５の残りの空間が充填されている。複数の薄膜２９５は、金属製であるが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく、ポリマーなどのその他の材料も使用可能である。チャンバ２９０を複数の駆動装置流体槽と接続する複数の流体ポート６１５は、複数のビア２７０よりも小さくなっており、駆動装置の動作によって生じる駆動装置流体の流れの大部分を大きな流速で（流体槽内へではなく）チャネル２８５内に駆動することにより、液体金属３２０を移動させる圧力パルスの生成に寄与している（但し、チャンバ２８５は、液体金属３２０の位置を乱すことなく、小さな流速で再充填できるようになっている）。スラグ３２５は、スラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチ１０５のスイッチング要件に応じて、中空であっても中空でなくてもよい。尚、液体金属３２０は、本発明の精神と範囲を逸脱することなく、チャネル２８５内の複数の場所に存在可能であることに留意されたい。
【００２３】
以上、特定の実施例との関連で本発明について説明したが、当業者には、以上の説明から、多数の代替、変更、置換、変形が明らかになるであろうことが明白である。従って、本発明は、添付の特許請求の範囲に属するそれらの代替、変更、及び変形をも包含するものである。なお、本発明の実施態様の一部を下記して本発明の実施の参考に供する。なお、本発明の理解を容易にするために実施例での参照番号を付記した。
【００２４】
（実施態様１）：光スイッチ（１００）用の構造であって、固体材料（１１０、１２０）内に収容され、駆動装置液体（２５０）を有するチャンバ（２８５）と、前記チャンバ内に位置し、前記固体材料に結合した複数の封止ベルト（２０３）と、前記複数の封止ベルトに結合し、前記チャンバに結合した複数の液体金属小滴（３２０）と、前記複数の液体金属小滴の中の１つ又は複数に結合し、前記複数のスイッチコンタクトの中の１つ又は複数にも結合したスラグ（３２５）と、前記チャンバに結合した複数の薄膜（２９５）に結合する複数の圧電素子（２４５）と、前記チャンバに結合し、前記スラグによって閉鎖又は開通するべく動作可能な複数の光導波路（１７０）と、を有することを特徴とする光スイッチ用構造。
【００２５】
（実施態様２）：前記複数の圧電素子は、１つ又は複数の槽（５２０、５３０）内に位置しており、前記１つ又は複数の槽は、前記チャンバ内の前記駆動装置流体を補充するべく動作可能な作動液体を格納していることを特徴とする実施態様１記載の光スイッチ用構造。
【００２６】
（実施態様３）：前記複数の薄膜は、対応する複数のビア（２７０）に結合しており、前記複数のビアの中のビアは、前記作動液体の流速を増大させるべく動作可能であることを特徴とする実施態様１記載の光スイッチ用構造。
【００２７】
（実施態様４）：前記複数の圧電素子は、対応する複数のコンタクト（２３０、２４０）に更に結合しており、前記複数のコンタクトは、前記複数の圧電素子を作動させるべく動作可能であることを特徴とする実施態様１記載の光スイッチ用構造。
【００２８】
（実施態様５）：光スイッチ（１００）用の構造であって、圧電基板層（１６０）と、前記圧電基板層に結合しており、複数の圧電作動型の押し出し素子（２３０、２３５、２４０、２４５）を更に有する駆動装置流体槽層（１５０）と、前記駆動装置流体槽層に結合しており、前記複数の圧電作動型の押し出し素子に結合した複数の薄膜を有するチャンバ層（１４０）と、前記チャンバ層に結合しており、複数のビアを有するビア層（１３０）と、前記ビア層に結合しており、複数の光導波路（１７０）に結合した液体金属チャネル層（１２０）と、前記液体金属チャネル層内に収容された駆動装置液体充填チャンバ（２８５）であって、複数の封止ベルト（２０３）に結合した液体金属の１つ又は複数の小滴（３２０）と、前記液体金属の１つ又は複数の小滴の中の１つ又は複数のものに結合すると共に前記１つ又は複数の封止ベルトの中の１つ又は複数に結合したスラグ（３２５）と、を有し、前記１つ又は複数の薄膜に結合した駆動装置液体充填チャンバ（２８５）と、を有することを特徴とする光スイッチ用構造。
【００２９】
（実施態様６）：前記チャンバ層、ビア層、圧電基板層、駆動装置流体槽層、及び液体金属チャネル層は、ガラス、セラミック、複合材料、及びセラミック被覆材料の中の１つ又は複数から構成可能であることを特徴とする実施態様５記載の光スイッチ用構造。
【００３０】
（実施態様７）：前記回路基板層は、前記複数の圧電素子の中の１つ又は複数の作動によって生成される１つ又は複数の信号をルーティングするべく動作可能な複数の回路トレース及び複数のパッドを更に有することを特徴とする実施態様５記載の光スイッチ用構造。
【００３１】
（実施態様８）：液体金属スイッチ（１００）を使用して１つ又は複数の光信号をスイッチングする方法であって、１つ又は複数の圧電素子（２４５）を作動させる段階と、
前記１つ又は複数の圧電素子の作動により、１つ又は複数の対応する薄膜素子（２９５）を偏向させる段階と、前記１つ又は複数の薄膜素子の偏向により、駆動装置液体（２５０）の圧力を変化させる段階と、前記駆動装置液体の圧力における変化により、前記液体金属スイッチの第１コンタクトと第２コンタクト間の液体金属の接続を切断し、前記第１コンタクト及び第２コンタクトに結合したスラグ（３２５）を移動させ、これにより、複数の光導波路（１７０）の中の１つ又は複数を閉鎖又は開通させる段階と、を有することを特徴とするスイッチング方法。
【００３２】
（実施態様９）：前記液体金属の接続は、液体金属（３２０）と前記第１コンタクト及び前記第２コンタクト間における表面張力によって維持されていることを特徴とする実施態様８記載のスイッチング方法。
【００３３】
（実施態様１０）：前記液体金属の接続を切断した後に、前記第２コンタクトと第３コンタクト間において、第２の液体金属の接続とスラグの結合が確立することを特徴とする実施態様８記載のスイッチング方法。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチの側面図である。
【図２】本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチの断面図である。
【図３】本発明の特定の実施例によるキャップ層が除去されたスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチの平面図である。
【図４】本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチの圧電基板層の平面図と断面図である。
【図５】本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチの駆動装置流体槽層の平面図と断面図である。
【図６】本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチのチャンバ層の平面図である。
【図７】本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチのチャンバ層の底面図と断面図である。
【図８】本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチの圧電基板層の平面図と断面図である。
【図９】本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチのチャネル層の平面図と側面図である。
【図１０】本発明の特定の実施例によるスラグ補助型押し出し式液体金属光スイッチのキャップ層の底面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１００  光スイッチ
１１０  固体材料
１２０  液体金属チャネル層
１３０  ビア層
１４０  チャンバ層
１５０  駆動装置流体槽層
１６０  圧電基板層
１７０  光導波路
２０３  封止ベルト
２３０、２４０  コンタクト
２４５  圧電素子
２５０  駆動装置液体
２７０  ビア
２８５  駆動装置液体充填チャンバ
２９５  薄膜
３２０  液体金属小滴
３２５  スラグ
５２０、５３０  槽
【図１】
2004318135.tif 000003
【図２】
2004318135.tif 000004
【図３】
2004318135.tif 000005
【図４】
2004318135.tif 000006
【図５】
2004318135.tif 000007
【図６】
2004318135.tif 000008
【図７】
2004318135.tif 000009
【図８】
2004318135.tif 000010
【図９】
2004318135.tif 000011
【図１０】
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