(57)【要約】【課題】従来の半導体装置の故障検出手法では、回避が困難であった、時間経過による劣化に起因する半導体装置の不良を回避し、装置の寿命を延長させる。【解決手段】半導体装置２００に、機能回路部２１０，２１２を複数設け、割り込み検出回路２２２で割り込みを検出した任意の時点で、モード変更回路２２３により故障検出モードに切替え、故障検出制御回路２２４により、機能回路部２１０，２１２に自己診断動作を行わせ、故障判定回路２２６により故障の有無を判定し、記憶回路２２８に記憶したその判定結果に応じて、出力信号切替回路２１８が故障の生じていない側の機能回路部２１０，２１２の出力を選択するようにした。【選択図】      図１
2004340877.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同じ信号入力に対して所定の動作を行い同じ信号出力を出力する少なくとも２つの機能回路と、
割込みを検出し割り込み検出信号を出力する割込み検出回路と、
前記割り込み検出信号に応じて当該半導体装置の動作状態を変更するモード変更回路と、
前記動作状態を変更した変更モードにおいて、前記各機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、
前記各機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、
該故障判定回路による故障判定情報を保持する記憶回路と、
該記憶回路の出力に応じて、前記各機能回路からの出力信号のうち、任意の一つを選択する出力選択回路と、を備えた、
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
信号入力に対して所定の動作を行い同じ信号出力を出力する少なくとも２つの機能回路と、
割込みを検出し割り込み検出信号を出力する割込み検出回路と、
前記割り込み検出信号に応じて当該半導体装置の動作状態を変更するモード変更回路と、
前記動作状態を変更した変更モードにおいて、前記各機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、
前記各機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、
該故障判定回路の判定結果に応じて、前記各機能回路へのクロックの供給を制御するクロック制御回路と、
前記各機能回路からの出力信号のうち、前記故障判定回路の出力に応じて任意の一つの出力信号を選択する出力選択回路と、を備えた、
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
同じ信号入力に対して所定の動作を行い同じ信号出力を出力する少なくとも２つの機能回路と、
割込みを検出し割り込み検出信号を出力する割込み検出回路と、
前記割り込み検知信号に応じて当該半導体装置の動作状態を変更するモード変更回路と、
前記動作状態を変更した変更モードにおいて、前記各機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、
前記各機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、
前記機能回路の出力信号を切断し、出力信号をハイインピーダンスにする出力切断回路と、を備えた、
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
同じ信号入力に対して所定の動作を行い同じ信号出力を出力する少なくとも２つの機能回路と、
割込みを検出し割り込み検出信号を出力する割込み検出回路と、
前記割り込み信号に応じて当該半導体装置の動作状態を変更するモード変更回路と、
前記動作状態を変更した変更モードにおいて、前記各機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、
前記各機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、
前記各機能回路からの出力信号のうち、前記故障判定回路の出力に応じて任意の一つの出力信号を選択する出力選択手段と、を備えた、
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、
前記機能回路は、高周波のクロック信号で動作する高速動作デジタル回路である、
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、
前記機能回路は、微細な値の変化を制御可能な、高精度アナログ回路である、ことを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、
前記機能回路は、入力信号の変化を増幅して出力するセンスアンプ回路である、
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、
前記機能回路は、
当該機能回路への入力信号とテスト用入力信号とを切り替える入力選択回路と、
上記機能回路の出力側に設けたフリップフロップにより構成されたシフトレジスタからなるスキャンパス回路と、
上記フリップフロップに対するクロック入力を発生するクロック入力発生回路とを有し、
前記故障判定回路は、
上記フリップフロップの出力である測定値と、その期待値とを比較する比較回路とを有する、
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、
前記機能回路は、
当該機能回路の入力側に設けたフリップフロップにより構成されたシフトレジスタからなるスキャンパス回路を有し、
前記故障検出制御回路は、
上記フロップフロップにテスト用入力信号のシフト動作を行わせるシフト動作制御回路を有し、
前記故障判定回路は、
上記フリップフロップにシフト動作を行わせたときの結果である測定値と、その期待値とを比較する比較回路を有する、
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項１０】
請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、
上記割込み検出回路として、
当該半導体装置への電源の投入を検出する電源投入検出回路を用いた、
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項１１】
請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、
上記割込み検出回路として、
当該半導体装置へのリセット信号の入力を検出するリセット入力検出回路を用いた、
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項１２】
請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、
前記割り込み検出回路として、
ソフトウェアにより任意のタイミングで当該半導体装置に入力するように設定した入力、を検出するソフトウェア入力検出回路を用いた、
ことを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体装置に関し、特にその内部に構成されている回路について、長寿命化、及び故障診断を可能とする構成を備える半導体集積回路（以下、ＬＳＩと称す）を提供せんとするものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩの故障発生率と、時間経過との関係は、図７に示すように半導体装置が作成された直後に当たる初期故障発生部分９０と、一定期間を経過した後に寿命による装置の劣化で故障が発生する劣化故障発生部分９５との両側で確率が高くなる曲線を描く。この曲線はその形状がバスタブを想起させることから、バスタブカーブと呼ばれる。
【０００３】
従来のＬＳＩでは、品質保証を目的として、初期故障発生部分９０で発生する故障をあらかじめ発見するため、ＬＳＩの温度条件や、電圧条件の規格に対して高負荷状態を保ちながら通常動作や、故障検出処理を続けることで、時間経過による初期の不良を、加速的に発生させるバーンインなどの手法が用いられる。
【０００４】
また、故障検出を行う方法としては、図８に示すように、半導体装置１００内の機能回路１０３内において、その内部情報を保持するための複数のフリップフロップ１２０を、これらがシフトレジスタとなるように互いに接続してスキャンパス１０５を構成し、このスキャンパス１０５をスキャンクロック１２５に同期させて、スキャン入力１１０から任意の情報をシフト動作によりスキャンパス１０５内のフリップフロップ１２０に格納した後、シフト動作を止め、その後、スキャンパス１０５の入力側の内部回路１３０で生成され、様々な値を持つ内部入力情報１３２を、キャプチャ動作によりスキャンパス１０５内のフリップフロップ１２０に格納し、再びシフト動作により、スキャンパス１０５内の情報を、外部端子より、スキャン出力１１５として取り出すスキャン法が用いられる。
【０００５】
このスキャン法では、スキャン出力１１５や、内部出力信号１３４が内部回路１３０を経由して出力される出力信号１４５を観測することで、回路故障を検出することができる。
なお、これらバーンイン法やスキャン法は例えば以下の非特許文献１ないし３に開示されている。
【０００６】
【非特許文献１】
安食恒雄監修、「半導体デバイスの信頼性技術」、日科技連出版社、１９８８年７月１０日、ｐ．４６図３．９、ｐ１８２
【０００７】
【非特許文献２】
菅野卓雄，川西創監修、「半導体大辞典」、工業調査会、１９９９年１２月２０日、ｐ．１０６３−１０６４
【０００８】
【非特許文献３】
西澤潤一監修、「半導体用語辞典」、日刊工業新聞社、１９９９年３月２０日、ｐ．５５１−５５２
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のようなバーンイン法、もしくはスキャン法において、不良を発見できるのは、ＬＳＩ作成時点の初期不良、もしくは、図７のバスタブ曲線の前半にあたる、初期期間中に発生する不良に関してのみであり、図７のバスタブ曲線の後半にあたる、ＬＳＩの劣化によって一定期間を経過した後に発生確率が高くなる不良については、これらの方法では対処することができない。このため、一度ＬＳＩが完成品となった後では、これは市場不良となってしまう。
【００１０】
また、ＬＳＩの小型化、集積化により、ひとつの半導体装置で多数の機能を実行することができるＬＳＩにおいては、より一層、図７に示すバスタブ曲線の後半に現れる発生率の上昇が始まる時期が早くなる。一例として、ＬＳＩ中の一つの機能回路がある時点で有する不良発生率をＡ（０＜Ａ＜１）と仮定すると、ＬＳＩのもつ機能回路が一種類の場合は、不良発生率はＡであるのに対し、二つの機能回路を集積化したＬＳＩでは、１−（１−Ａ）２  、と不良発生率が増加する。即ち、１−（１−Ａ）２−Ａを計算するとＡ（１−Ａ）＞０となり、従って、１−（１−Ａ）２＞Ａであることが分かる。
【００１１】
このように、ＬＳＩの集積化の進展により、市場での時間経過による不良の発生が生じやすくなる、という課題が生じている。
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、ＬＳＩの初期の故障検出手法では対応することができない、時間経過によるＬＳＩ劣化による回路不良に対しても、ＬＳＩの品質を上昇させることのできる半導体装置を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明（請求項１）に係る半導体装置は、同じ信号入力に対して所定の動作を行い同じ信号出力を出力する少なくとも２つの機能回路と、割込みを検出し割り込み検出信号を出力する割込み検出回路と、前記割り込み検出信号に応じて当該半導体装置の動作状態を変更するモード変更回路と、前記動作状態を変更した変更モードにおいて、前記各機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、前記各機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、該故障判定回路による故障判定情報を保持する記憶回路と、該記憶回路の出力に応じて、前記各機能回路からの出力信号のうち、任意の一つを選択する出力選択回路と、を備えた、ものである。
この回路により、クロック制御回路を設けることなく、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、出力選択とを行うことのできる装置が得られる。
【００１３】
また、本発明（請求項２）に係る半導体装置は、同じ信号入力に対して所定の動作を行い同じ信号出力を出力する少なくとも２つの機能回路と、割込みを検出し割り込み検出信号を出力する割込み検出回路と、前記割り込み検出信号に応じて当該半導体装置の動作状態を変更するモード変更回路と、前記動作状態を変更した変更モードにおいて、前記各機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、前記各機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、該故障判定回路の判定結果に応じて、前記各機能回路へのクロックの供給を制御するクロック制御回路と、前記各機能回路からの出力信号のうち、前記故障判定回路の出力に応じて任意の一つの出力信号を選択する出力選択回路と、を備えた、ものである。
この回路により、記憶回路を設けることなく、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の選択とを行うことのできる装置が得られる。
【００１４】
また、本発明（請求項３）に係る半導体装置は、同じ信号入力に対して所定の動作を行い同じ信号出力を出力する少なくとも２つの機能回路と、割込みを検出し割り込み検出信号を出力する割込み検出回路と、前記割り込み検知信号に応じて当該半導体装置の動作状態を変更するモード変更回路と、前記動作状態を変更した変更モードにおいて、前記各機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、前記各機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、前記機能回路の出力信号を切断し、出力信号をハイインピーダンスにする出力切断回路と、を備えた、ものである。
この回路により、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の選択とを行うことができるとともに、故障検出時に選択されなくなった機能回路から過渡的な信号が出力側に漏れこむのを防ぐことが可能な装置が得られる。
【００１５】
また、本発明（請求項４）に係る半導体装置は、同じ信号入力に対して所定の動作を行い同じ信号出力を出力する少なくとも２つの機能回路と、割込みを検出し割り込み検出信号を出力する割込み検出回路と、前記割り込み信号に応じて当該半導体装置の動作状態を変更するモード変更回路と、前記動作状態を変更した変更モードにおいて、前記各機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、前記各機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、前記各機能回路からの出力信号のうち、前記故障判定回路の出力に応じて任意の一つの出力信号を選択する出力選択手段と、を備えた、ものである。
これにより、記憶回路およびクロック制御回路を設けることなく、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の選択と、を行うことのできる装置が得られる。
【００１６】
また、本発明（請求項５）に係る半導体装置は、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記機能回路は、高周波のクロック信号で動作する高速動作デジタル回路であるものである。
これにより、高速デジタル回路に対して任意のタイミングで故障検出と、回路の選択とを行うことができる。
【００１７】
また、本発明（請求項６）に係る半導体装置は、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記機能回路は、微細な値の変化を制御可能な、高精度アナログ回路であるものである。
これにより、高精度アナログ回路に対して任意のタイミングで、故障検出と、回路の選択とを行うことができる。
【００１８】
また、本発明（請求項７）に係る半導体装置は、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記機能回路は、入力信号の変化を増幅して出力するセンスアンプ回路であるものである。
これにより、センスアンプ回路に対して任意のタイミングで故障検出と、回路の選択とを行うことができる。
【００１９】
また、本発明（請求項８）に係る半導体装置は、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記機能回路は、当該機能回路への入力信号とテスト用入力信号とを切り替える入力選択回路と、上記機能回路の出力側に設けたフリップフロップにより構成されたシフトレジスタからなるスキャンパス回路と、上記フリップフロップに対するクロック入力を発生するクロック入力発生回路とを有し、前記故障判定回路は、上記フリップフロップの出力である測定値と、その期待値とを比較する比較回路を有する、ものである。
これにより、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の選択とを行うことができる。
【００２０】
また、本発明（請求項９）に係る半導体装置は、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記機能回路は、当該機能回路の入力側に設けたフリップフロップにより構成されたシフトレジスタからなるスキャンパス回路を有し、前記故障検出制御回路は、上記フロップフロップにテスト用入力信号のシフト動作を行わせるシフト動作制御回路を有し、前記故障判定回路は、上記フリップフロップにシフト動作を行わせたときの結果である測定値と、その期待値とを比較する比較回路を有する、ものである。
これにより、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の選択とを行うことができる。
【００２１】
また、本発明（請求項１０）に係る半導体装置は、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記割込み検出回路として、当該半導体装置への電源の投入を検出する電源投入検出回路を用いた、ものである。
これにより、電源投入時に、機能回路の故障検出と、機能回路の選択とを行うことができる。
【００２２】
また、本発明（請求項１１）に係る半導体装置は、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記割込み検出回路として、当該半導体装置へのリセット信号の入力を検出するリセット入力検出回路を用いたものである。
これにより、リセット時に、機能回路の故障検出と、機能回路の選択とを行うことができる。
【００２３】
また、本発明（請求項１２）に係る半導体装置は、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記割り込み検出回路として、ソフトウェアにより任意のタイミングで当該半導体装置に入力するように設定した入力、を検出するソフトウェア入力検出回路を用いたものである。
これにより、任意のタイミングで機能回路の故障検出と、機能回路の選択とを行うことができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
この実施の形態１は、請求項１，２，４ないし１２の発明に対応するもので、同一の半導体チップ内に機能回路として同一の機能を有するものを複数設け、割り込みが入ると自己診断を行い、故障が生じていると判定した場合は、故障が生じていない側の機能回路の出力を選択することで、その長寿命化を達成できるようにしたものである。
【００２５】
図１は、本発明の実施の形態１による半導体装置を示すブロック図である。
図１に示すように、本実施の形態１による半導体装置２００は、同じ信号入力に対し所定の動作を行い同じ信号出力を出力する機能回路部（機能回路）２１０，２１２、機能回路部２１０，２１２に同一の機能回路入力信号２５０を出力する入力側内部回路２１４、機能回路部２１０，２１２の出力信号２５６，２５８のいずれか一方を選択する出力信号切替回路（出力信号選択回路，出力選択手段）２１８、出力信号切替回路２１８が出力する機能回路選択出力信号２５９、機能回路選択出力信号２５９を入力とする出力側内部回路２２０、この半導体装置２００に検出スタート信号２３２による割り込みがあったことを検出する割り込み検出回路２２２、割り込み検出回路２２２からの割り込み信号２３４によりクロック制御回路２３０，機能回路部２１０，２１２および故障検出制御回路２２４の動作モードを変更するモード変更回路２２３、モード変更回路２２３が出力する故障検出モード信号２３６およびクロック強制入力信号２４６、機能回路部２１０，２１２の回路の故障検出を制御する故障検出制御回路２２４、故障検出制御回路２２４から機能回路部２１０，２１２に入力する故障検出入力２３７、機能回路部２１０，２１２が出力する故障検出出力２３８ａ，２３８ｂ、機能回路部２１０，２１２の回路の故障の有無を判定する故障判定回路２２６、故障判定回路２２６が出力する故障判定出力２４０、故障判定回路２２６の故障判定出力２４０を記憶する記憶回路２２８、記憶回路２２８が出力する機能回路選択情報２４２、機能回路部２１０，２１２にクロック制御信号２４４を出力するクロック制御回路２３０、を有する。
【００２６】
次に動作について説明する。機能回路部２１０と機能回路部２１２とは同じ機能を有しており、入力側内部回路２１４によって生成される機能回路入力信号２５０はこれら機能回路部２１０，２１２の双方に分岐して供給されるため、各機能回路部２１０，２１２より得られる機能回路出力２５６，２５８は、同じ値となる。また、それぞれの機能回路部２１０，２１２には、故障を検出するための回路が含まれている。
【００２７】
通常の機能回路部の動作状態では、故障検出モード信号２３６、およびクロック強制入力信号２４６は、不許可状態であり、機能回路選択情報２４２の値により、出力信号切替回路２１８は、機能回路部２１０，２１２のうちのいずれか一方の回路の機能回路出力信号２５６，２５８を、機能回路選択出力２５９に接続して、出力側内部回路２２０に信号を伝える。また、選択されなかった機能回路部については、クロック制御回路２３０からのクロック制御信号２４４により、そのクロックの供給を停止することができる。故障判定回路２２６が機能回路部２１０，２１２の双方とも故障していないと判定する場合には、機能回路選択情報２４２は、その任意の一方を選択する値となる。
【００２８】
これに対し、割り込み検出回路２２２が、ＬＳＩ外部からの検出スタート信号２３２の解除を検知して割り込み信号２３４を生成すると、機能回路部の自己診断状態となる。
【００２９】
機能回路部の自己診断状態では、割り込み信号２３４を受けたモード変更回路２２３は、まずクロック強制入力信号２４６を出力して、機能回路部２１０，２１２の両方にクロックを供給すべく、クロック制御回路２３０からのクロック制御信号２４４を全て許可状態にする。また、故障検出モード信号２３６を機能回路部２１０，２１２および故障検出制御回路２２４にそれぞれ通知する。
【００３０】
故障検出制御回路２２４は、故障検出入力２３７を機能回路部２１０，２１２に入力して回路の故障を検査し、故障検出信号２３８ａ，２３８ｂを出力させる。故障判定回路２２６は、機能回路部２１０，２１２からの故障検出信号２３８ａ，２３８ｂの情報を元に、機能回路部２１０，２１２の回路の不良の有無を判定する。
【００３１】
その結果は、故障判定出力２４０として記憶回路２２８に保持され、この保持情報により機能回路選択情報２４２を生成し、任意の機能回路部へのクロックの供給と、該機能回路部からの出力信号の切替と、を制御することができる。
【００３２】
モード変更回路２２３は、機能回路選択情報２４２が生成された後、自動的にクロック強制信号入力２４６、故障検出モード信号２３６を、不許可にし、通常の回路動作状態になる。
【００３３】
但し、機能回路選択情報２４２の値は、機能回路部のいずれにも故障が検出が検出されない場合は、上述のように、機能回路部２１０，２１２の出力の任意の一方を選択する値となるのに対し、機能回路部のいずれか一方に故障が検出された場合は、故障が生じていない側の機能回路部の出力を選択するように、その値を設定しておく。
【００３４】
図２は、本実施の形態１における、故障検出制御回路２２４，機能回路部２１０および故障判定回路２２６の内部構成の一例を示す。
故障検出制御回路２２４は、カウンタ２９０と、スキャン入力発生回路（シフト動作制御回路）２９２と、により構成されており、モード変更回路２２３から故障検出モード信号２３６が入力されると、カウンタ２９０がカウント動作を開始し、カウンタ出力２９４を出力する。スキャン入力発生回路２９２は、そのカウンタ値にしたがって、故障検出時のスキャンパスへの期待値入力を、故障検出入力２３７として出力する。
【００３５】
機能回路部２１０は、その内部情報を保持するためのフリップフロップ２６０，２６２，２６４をシフトレジスタとなるように接続して構成したスキャンパス２６６と、このシフトレジスタのパラレル出力である内部信号出力２６８ａ，２６８ｂ，２６８ｃにより動作が変化する機能回路内部回路２７０とを有するものとして構成されている。なお、機能回路部２１２も機能回路部２１０と同様に構成されている。
【００３６】
故障検出モード信号２３６が入力されると、機能回路内部回路２７０の入力信号は、内部のフリップフロップ２６０，２６２，２６４に依存しない任意の値に固定される。また、スキャンパスはシフト動作により故障検出入力２３７をスキャンパス２６６内のフリップフロップ２６０，２６２，２６４に順次格納する。この時の内部信号出力２６８ａ，２６８ｂ，２６８ｃが機能回路内部回路２７０を経て、故障検出出力２３８ａが出力される。一方、機能回路２１２からも同様にして故障検出出力２３８ｂが出力される。
【００３７】
故障判定回路２２６は、比較回路２８０ａ，２８０ｂと、不一致検出回路２８６と、により構成されており、上記故障検出出力２３８ａ，２８０ｂと、機能回路部２１０，２１２が正常な場合に予想される期待値２７６，２７８とを、比較回路２８０ａ，２８０ｂで比較し、期待値一致情報２８２，２８４を出力する。不一致検出回路２８６は、これら期待値一致情報２８２，２８４の中に一つでも不一致があった場合に、故障判定出力２４０を出力する。この故障判定出力２４０は、不一致が検出されない機能回路を選択する値とする。
【００３８】
図３は、本発明の実施の形態１による半導体装置における、制御方法のフローチャートを示す。
割り込み検出回路２２２は、割り込み信号が入力されていないかを常に監視している（ステップＳ３０１）。モード変更回路２２３は、割り込み信号２３４が入力されると（ステップＳ３０１でＹｅｓ）、まず故障検出モード信号２３６と、クロック強制出力信号２４６とを出力して（ステップＳ３０２）、故障検出対象の機能回路部２１０，２１２の動作状態を切り替える。次に、シフト動作を行う（ステップＳ３０３）ことにより、機能回路部内のスキャンパス２６６を構成する全てのフリップフロップ２６０，２６２，２６４への任意の値の格納を行う。そして、シフト動作が完了したら（ステップＳ３０４）、各フリップフロップ２６０，２６２，２６４に値が格納された後の出力信号２６８ａ，２６８ｂ，２６８ｃが機能回路部２１０，２１２の内部回路２７０に入力され、それぞれの内部回路２７０から出力された信号２３８ａ，２３８ｂを、期待値２７６，２７８とそれぞれ比較して（ステップＳ３０５）、故障検出を行う。故障判定出力２４２は、記憶回路２２８にその値を保持しておき（ステップＳ３０６）、その情報に基づき機能回路部２１０，２１２の選択を行う（ステップＳ３０７）。なお、故障検出を行わない通常動作において、機能回路部２１０，２１２のクロック停止の制御を行わない場合には、クロック強制出力信号２４６による処理を行わない（ステップＳ３０８）。
【００３９】
このような本実施の形態１による半導体装置においては、一つの半導体チップ内に同じ信号入力により所定の動作を行い同じ信号出力を行う機能回路部を少なくとも２つ有し、任意のタイミングで割込み信号を通知する割込み検出回路と、半導体チップの動作状態を変更するモード変更回路と、前記機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、前記機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、故障判定情報を保持することができる記憶回路と、記憶回路から出力される故障判定情報に応じて前記機能回路からの出力信号のうち、任意の一つの出力信号を選択する出力信号切替回路と、を有するものとしたので、任意のタイミングで、機能回路の自己診断と、出力選択とを行うことのできる半導体装置を得ることができ、自己診断による故障検出時には故障が生じていない側の機能回路の出力が自動的に選択されるので、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来る効果がある。
【００４０】
なお、この実施の形態１では、故障判定出力を記憶回路に記憶し、その記憶値に基づいて機能回路部の出力を選択するようにしたが、故障判定出力を半導体チップ外部に出力し、この故障判定出力に基づいて、半導体チップ外部から制御を行って機能回路部の出力を選択するようにすることで、記憶回路を省略するようにしてもよい。
【００４１】
また、出力信号切替回路がどの入力を選択したかを記憶するラッチ機能を有する場合も、記憶回路を省略するようにしてもよい。
さらに、故障判定出力に応じて機能回路部へのクロックの供給を制御するクロック制御回路は、出力を選択しない機能回路部にクロックを供給することによる問題が生じない場合はこれを省略してもよい。
【００４２】
また、機能回路部の電源供給を制御する電源制御回路を設け、故障判定出力に応じて、出力を選択しない側の機能回路部に対する電源供給を停止するようにしてもよい。
【００４３】
（実施の形態２）
この実施の形態２は請求項３ないし１２の発明に対応するもので、機能回路のいずれかに故障が検出された場合に、その故障が検出された機能回路への入，出力を切断するようにしたものである。
【００４４】
図４は、本発明の実施の形態２による半導体装置を示すブロック図である。
図４に示しているように、本実施の形態２による半導体装置４００は、同じ信号入力に対し所定の動作を行い同じ信号出力を出力する機能回路部４１０，４１２、機能回路部４１０，４１２に向けて同一の機能回路入力信号４５０を出力する入力側内部回路４１４、機能回路部４１０，４１２からの機能回路出力信号４５６，４５８の何れか一方を入力とする出力側内部回路４２０、入力側内部回路４１４から機能回路部４１０，４１２への機能回路入力信号４５０の入力を切断する入力切断回路４１６ａ，４１６ｂ、機能回路部４１０，４１２から出力側内部回路４２０への機能回路出力信号４５６，４５８を切断する出力切断回路（出力信号選択回路，出力選択手段）４１８ａ，４１８ｂ、この半導体装置４００に検出スタート信号４３２による割り込みがあったことを検出する割り込み検出回路４２２、機能回路部４１０，４１２の回路の故障検出を制御する故障検出制御回路４２４、機能回路部４１０，４１２の回路の故障の有無を判定する故障判定回路４２６、機能回路部４１０，４１２の電源供給を制御する電源制御回路４３０、割り込み検出回路４２２が出力する割り込み信号４３４、故障検出制御回路４２４が出力する故障検出入力情報４３６ａ，４３６ｂ、機能回路部４１０，４１２が出力する故障検出出力４３８ａ，４３８ｂ、故障判定回路４２６が出力する故障判定出力４４０、半導体装置４００外部から入力される回路選択情報入力４４２、電源制御回路４３０が出力する電源制御信号４４４、入力側内部回路４１４が出力する機能回路入力信号４５０、入力切断回路４１６ａ，４１６ｂが出力する機能回路選択入力信号４５２，４５４、機能回路部４１０，４１２が出力する機能回路出力信号４５６，４５８、および、出力切断回路４１８ａ，４１８ｂが出力する機能回路選択出力信号４６０により構成される。
【００４５】
次に動作について説明する。機能回路部４１０と、機能回路部４１２とは、同じ機能を有しており、入力側内部回路４１４によって生成される機能回路入力信号４５０が、入力切断回路４１６ａ，４１６ｂを経て入力される機能回路選択入力信号４５２，４５４が機能回路部４１０，４１２に入力されると、これら機能回路部４１０，４１２によって得られる機能回路選択出力４５６，４５８は、同じ値となる。また、各機能回路部４１０，４１２には、故障を検出するための回路が含まれている。
【００４６】
通常の動作状態では、半導体装置４００外部のマイコン（図示せず）等からの回路選択情報入力４４２により、入力切断回路４１６ａ，４１６ｂ、出力切断回路４１８ａ，４１８ｂのそれぞれについて、一方の信号を切断し、切断されている側の入力切断回路、あるいは出力切断回路からの出力を、ハイインピーダンスにすることができる。また、電源制御回路４３０についても、回路選択情報入力４４２により、いずれか一方の機能回路部への電源制御信号４４４を変化させて、その電源供給を停止することができる。
【００４７】
割り込み検出回路４２２は、外部割込み入力４３２を受けて、割り込み信号４３４を生成する。
故障検出制御回路４２４は、割り込み信号４３４により故障検出入力情報４３６ａ，４３６ｂを出力することで、各機能回路部４１０，４１２はその故障検出を行う。各機能回路部４１０，４１２の故障検出の結果は、故障検出出力４３８ａ，４３８ｂとして故障判定回路４２６に入力され、故障の有無を判定する。故障の有無は故障判定出力４４０として半導体装置４００外部のマイコン（図示せず）等に出力することで、外部から故障の有無を判断することが可能となる。また、マイコン等はその判断結果に基づいて回路選択情報入力４４２の値を決定することができる。
【００４８】
図５は、本実施の形態２における、故障検出制御回路４２４、機能回路部４１０、故障判定回路４２６の一例を示す。
故障検出制御回路４２４は、モード判定回路４９０と、入力信号発生回路４９２と、により構成されており、割り込み信号４３４が入力されると、モード判定回路４９０は、故障検出開始信号４９４を入力信号発生回路４９２に入力するとともに、故障検出入力情報として、テスト初期化信号４９５を出力する。また、入力信号発生回路（クロック入力発生回路）４９２は、故障検出開始信号４９４を受けるとテスト入力信号４９６と、テストキャプチャ信号４９７を出力する。
【００４９】
機能回路部４１０は、内部情報を保持するためのフリップフロップ４６２，４６３，４６４をシフトレジスタとなるよう接続して構成したスキャンパス４６６と、機能回路内部回路４７０、入力選択回路５００、およびクロック選択回路５１０によって構成されており、通常動作時には、内部入力信号５０８は機能回路選択入力信号４５２が入力選択回路５００で選択され、内部クロック信号は外部からのクロック入力４７２が選択されている。
【００５０】
スキャンパス４６６内のフリップフロップ４６２，４６３は、テスト初期化信号４９５によって特定の値にクリアすることができる。そして、テスト入力信号４９６と、テストキャプチャ信号４９７とが入力された場合には、入力選択回路５００により内部入力信号５０８にはテスト入力信号４９６が、クロック選択回路５１０により内部クロック信号５１２にはテストキャプチャ信号４９７が、それぞれ入力信号発生回路４９２から接続される。
【００５１】
スキャンパス４６６内のフリップフロップ４６２，４６３，４６４は、テスト入力信号が内部回路４７０を経由した内部回路出力信号５０２，５０３，５０４を、テストキャプチャ信号４９５により格納する。そしてその格納された情報は、シフト動作により故障検出出力４３８として出力される。なお、機能回路部４１２も機能回路部４１０と同様に構成されている。
【００５２】
故障判定回路４２６は、期待値生成回路４７６ａ，４７６ｂと、比較回路４８０ａ，４８０ｂ、および不一致検出回路４８６によって構成されており、故障検出出力４３８ａ，４３８ｂと、期待値生成出力４７８ａ，４７８ｂとを比較回路４８０ａ，４８０ｂで比較し、比較結果４８４ａ，４８４ｂを出力する。不一致検出回路４８６は、比較結果４８４ａ，４８４ｂで不一致が発見された場合には、故障判定出力４４０を出力する。この故障判定出力４４０は、半導体装置４００外部に出力され、例えばマイコンにより故障している側が判定されるとともに、その制御により故障している側の機能回路部の入，出力や電源を遮断する等に使用される。
【００５３】
図６は、本発明の実施の形態２における、半導体装置の制御方法を示すフローチャートである。
割り込み検出回路４２２は、割り込み信号が入力されていないかを常に監視している（ステップＳ６０１）。割り込み信号４３４が入力されると（ステップＳ６０１でＹｅｓ）、まず機能回路部４１０，４１２内のスキャンパス４６６のフリップフロップ４６２，４６３，４６４の初期化を行う（ステップＳ６０２）。そしてテスト入力信号４９６を出力した後（ステップＳ６０３）、キャプチャ動作を行わせ、テスト入力信号により機能回路４１０，４１２の機能回路内部回路４７０，４１２に得られる信号を、フリップフロップ４６２，４６３，４６４に格納する（ステップＳ６０４）。
【００５４】
次に、シフト動作を行わせ（ステップＳ６０５）、スキャンパス４６６内のフリップフロップの情報を故障検出信号４３８ａ，４３８ｂとして出力する。そして、その故障検出信号４３８ａ，４３８ｂの値と期待値４７８ａ，４７８ｂとを比較する（ステップＳ６０６）ことを、すべてのフリップフロップの情報に対して行い（ステップＳ６０７）、不一致検出回路４８６でその一致，不一致を検出し、その結果として故障判定信号４４０を出力する（ステップＳ６０８）。外部回路は、この故障判定信号４４０を元に、機能回路部の選択をすることが可能となる。
【００５５】
このような本実施の形態２による半導体装置においては、一つの半導体チップ内に同じ信号入力により所定の動作を行い同じ信号出力を行う機能回路部を少なくとも２つ有し、任意のタイミングでの割込み要求を検知する割込み検出回路と、前記機能回路部の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、前記機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、前記機能回路への入力信号を外部から切断し入力信号をハイインピーダンスすることができる入力切断回路と、前記機能回路への出力信号を切断し出力信号をハイインピーダンスすることができる出力切断回路と、を有するものとしたので、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の選択とを行うことのできる装置を得ることができ、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来るとともに、選択されなくなった機能回路から出力側内部回路へ過渡的な信号が漏れ込むのを抑えることができる効果がある。
【００５６】
なお、上記実施の形態２では、半導体装置の外部からの制御により機能回路部の出力の遮断等を制御するようにしたが、これは半導体装置の内部に搭載したマイコン等で行うようにしてもよい。
【００５７】
また、故障判定出力を記憶する記憶回路を半導体装置内に設け、この出力により機能回路部の出力の遮断等を制御することで、半導体装置外部あるいは内部のマイコン等の制御手段を省略してもよい。
【００５８】
また、出力切断回路，入力切断回路，電源制御回路に切断したか否かを記憶するラッチ機能がある場合は、記憶回路を省略し故障判定出力により直接、出力切断回路，入力切断回路，電源制御回路を制御するようにしてもよい。
【００５９】
また、入，出力を遮断した側の機能回路部への電源供給を遮断しなくてもよい場合は、電源制御回路を省略してもよい。
また、入，出力を遮断した側の機能回路部へのクロック供給を遮断して消費電力を抑えたい場合は、クロック制御回路を設ければよい。
また、入力切断回路はこれを省略してもよい。
さらに、上記実施の形態１および２では機能回路部を２つ有する二重系としたが、これを３つ以上を有する多重系としてもよい。
【００６０】
また、機能回路部は、例えば、高周波のクロック信号で動作する高速動作デジタル回路や微細な値の変化を制御可能な高精度アナログ回路あるいは入力信号の変化を検出して増幅し出力するセンスアンプ回路等、半導体装置内で常時使用される回路や時間経過により不良が発生しやすい回路等を割り当て、それ以外の回路を入力側内部回路，出力側内部回路とすればよいが、これら入力側内部回路，出力側内部回路についても機能回路部と同様、それぞれ二重系あるいは多重系としてもよい。
また、上記実施の形態１および２では、機能回路部の構成は図２もしくは図５のいずれの構成を用いてもよく、これら以外の構成を用いてもよい。
【００６１】
さらに、割り込み検出回路としては、この半導体装置への電源の投入を検出する電源投入検出回路や、半導体装置へのリセット信号の入力を検出するリセット入力検出回路、この半導体装置の使用者がその内部あるいは外部に設けたマイコン等のソフトウエアにより任意のタイミングで行うように設定した入力、を検出するソフトウェア入力検出回路等を使用することができる。
また、半導体装置としては、１つの半導体チップ上に各種回路を集積したモノリシック半導体集積回路の他、混成集積回路であってよい。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１に係る半導体装置によれば、同じ信号入力に対して所定の動作を行い同じ信号出力を出力する少なくとも２つの機能回路と、割込みを検出し割り込み検出信号を出力する割込み検出回路と、前記割り込み検出信号に応じて当該半導体装置の動作状態を変更するモード変更回路と、前記動作状態を変更した変更モードにおいて、前記各機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、前記各機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、該故障判定回路による故障判定情報を保持する記憶回路と、該記憶回路の出力に応じて、前記各機能回路からの出力信号のうち、任意の一つを選択する出力選択回路と、を備えたものとしたので、クロック制御回路を設けることなく、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の出力選択と、を行うことができる装置を得ることができ、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来る効果がある。
【００６３】
また、請求項２に係る半導体装置によれば、同じ信号入力に対して所定の動作を行い同じ信号出力を出力する少なくとも２つの機能回路と、割込みを検出し割り込み検出信号を出力する割込み検出回路と、前記割り込み検出信号に応じて当該半導体装置の動作状態を変更するモード変更回路と、前記動作状態を変更した変更モードにおいて、前記各機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、前記各機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、該故障判定回路の判定結果に応じて、前記各機能回路へのクロックの供給を制御するクロック制御回路と、前記各機能回路からの出力信号のうち、前記故障判定回路の出力に応じて任意の一つの出力信号を選択する出力選択回路と、を備えたものとしたので、記憶回路を設けることなく、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の出力選択と、を行うことができる装置を得ることができ、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来る効果がある。
【００６４】
また、請求項３に係る半導体装置によれば、同じ信号入力に対して所定の動作を行い同じ信号出力を出力する少なくとも２つの機能回路と、割込みを検出し割り込み検出信号を出力する割込み検出回路と、前記割り込み検知信号に応じて当該半導体装置の動作状態を変更するモード変更回路と、前記動作状態を変更した変更モードにおいて、前記各機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、前記各機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、前記機能回路の出力信号を切断し、出力信号をハイインピーダンスにする出力切断回路と、を備えたものとしたので、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の出力選択と、を行うことができる装置を得ることができ、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来るとともに、故障検出時に選択されなくなった機能回路から過渡的な信号が出力側に漏れこむのを防ぐことが可能となる効果がある。
【００６５】
また、請求項４に係る半導体装置によれば、同じ信号入力に対して所定の動作を行い同じ信号出力を出力する少なくとも２つの機能回路と、割込みを検出し割り込み検出信号を出力する割込み検出回路と、前記割り込み信号に応じて当該半導体装置の動作状態を変更するモード変更回路と、前記動作状態を変更した変更モードにおいて、前記各機能回路の故障検出処理を行う故障検出制御回路と、前記各機能回路の故障の有無を判定する故障判定回路と、前記各機能回路からの出力信号のうち、前記故障判定回路の出力に応じて任意の一つの出力信号を選択する出力選択手段と、を備えたものとしたので、記憶回路およびクロック制御回路を設けることなく、任意の時点で、前記機能回路の一つを選択する半導体装置の制御方法を用いることで、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の選択と、を行うことができる装置を得ることができ、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来る効果がある。
【００６６】
また、請求項５に係る半導体装置によれば、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記機能回路は、高周波のクロック信号で動作する高速動作デジタル回路であることにより、高速デジタル回路に対して任意のタイミングで、故障検出と回路の選択とを行うことができる装置を得ることができ、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来る効果がある。
【００６７】
また、請求項６に係る半導体装置によれば、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記機能回路は微細な値の変化を制御可能な高精度アナログ回路であることにより、高精度アナログ回路に対して任意のタイミングで、故障検出と、回路の選択と、を行うことができる装置を得ることができ、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来る効果がある。
【００６８】
また、請求項７に係る半導体装置によれば、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記機能回路は、入力信号の変化を増幅して出力するセンスアンプ回路であることにより、センスアンプ回路に対して任意のタイミングで、故障検出と、回路の選択と、を行うことができる装置を得ることができ、、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来る効果がある。
【００６９】
また、請求項８に係る半導体装置によれば、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記機能回路は、当該機能回路への入力信号とテスト用入力信号とを切り替える入力選択回路と、上記機能回路の出力側に設けたフリップフロップにより構成されたシフトレジスタからなるスキャンパス回路と、上記フリップフロップに対するクロック入力を発生するクロック入力発生回路とを有し、前記故障判定回路は、上記フリップフロップの出力である測定値と、その期待値とを比較する比較回路を有する回路である、ことにより、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の選択とを、行うことができる装置を得ることができ、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来る効果がある。
【００７０】
また、請求項９に係る半導体装置によれば、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記機能回路は、当該機能回路の入力側に設けたフリップフロップにより構成されたシフトレジスタからなるスキャンパス回路を有し、前記故障検出制御回路は、上記フロップフロップにテスト用入力信号のシフト動作を行わせるシフト動作制御回路を有し、前記故障判定回路は、上記フリップフロップにシフト動作を行わせたときの結果である測定値と、その期待値とを比較する比較回路を有する回路であることにより、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の選択とを行うことができる装置を得ることができ、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来る効果がある。
【００７１】
また、請求項１０に係る半導体装置によれば、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記割込み検出回路として、当該半導体装置への電源の投入を検出する電源投入検出回路を用いたことにより、電源投入時に、機能回路の故障検出と、機能回路の出力選択と、を行うことができる装置を得ることができ、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来る効果がある。
【００７２】
また、請求項１１に係る半導体装置によれば、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、前記割込み検出回路として、当該半導体装置へのリセット信号の入力を検出するリセット入力検出回路を用いたことにより、リセット時に、機能回路の故障検出と、機能回路の選択と、を行うことができる装置を得ることができ、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来る効果がある。
【００７３】
また、請求項１２に係る半導体装置によれば、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置において、割り込み検出回路は、ソフトウェアにより任意のタイミングで当該半導体装置に入力するように設定した入力、を検出するソフトウェア入力検出回路を用いたことにより、任意のタイミングで、機能回路の故障検出と、機能回路の選択とを行うことができる装置を得ることができ、従来回避できなかった劣化による半導体不良を回避することが出来る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１による半導体装置のブロック図である。
【図２】上記実施の形態１における故障検出制御回路、機能回路部、故障判定回路の構成例を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態１における半導体装置の制御方法のフローチャートを示す図である。
【図４】本発明の実施の形態２による半導体装置のブロック図である。
【図５】上記実施の形態２における故障検出制御回路，機能回路部，故障判定回路の構成例を示すブロック図である。
【図６】本発明の実施の形態２における半導体装置の制御方法のフローチャートを示すである。
【図７】一般的な半導体装置の不良発生率の時間変化を表した図である。
【図８】従来のスキャン法を用いた半導体装置のブロック図である。
【符号の説明】
１００    半導体装置
１０３    機能回路
１０５  スキャンパス
１１５    スキャン出力
１２０    フリップフロップ
１３０    内部回路
１３４    内部出力信号
１４５    出力信号
２００    半導体装置
２１０，２１２    機能回路部
２１４    入力側内部回路
２２０    出力側内部回路
２１８    出力信号切替回路
２２２    割り込み検出回路
２２３    モード変更回路
２２４    故障検出制御回路
２２６    故障判定回路
２２８    記憶回路
２３０    クロック制御回路
２３２    検出スタート信号
２３４    割り込み信号
２３６    故障検出モード信号
２３７    故障検出入力
２３８ａ，２３８ｂ    故障検出信号
２４０    故障判定出力
２４２    機能回路選択情報
２４４    クロック制御信号
２４６    クロック強制入力信号
２５６，２５８    機能回路出力信号
２５９    機能回路選択出力信号
２６０，２６２，２６４    フリップフロップ
２６６    スキャンパス
２６８ａ，２６８ｂ，２６８ｃ    内部信号出力
２７０    内部回路
２７６，２７８    期待値
２８２，２８４    期待値一致情報
２８０ａ，２６８ｂ    比較回路
２８６    不一致検出回路
２９０    カウンタ
２９２    スキャン入力発生回路
２９４    カウンタ出力
４００    半導体装置
４１０，４１２    機能回路部
４１６ａ，４１６ｂ    入力切断回路
４１８ａ，４１６ｂ    出力切断回路
４２２    割り込み検出回路
４２４    故障検出制御回路
４２６    故障判定回路
４３０    電源制御回路
４３２    外部割り込み入力
４３４    割り込み信号
４３６ａ，４３６ｂ    故障検出入力情報
４３８ａ，４３８ｂ    故障検出出力
４４０    故障判定出力
４４２    回路選択情報入力
４４４    電源制御信号
４５０    機能回路入力信号
４５２，４５４    機能回路選択入力信号
４５６，４５８    機能回路出力信号
４６０    機能回路選択出力信号
４６２，４６３，４６４    フリップフロップ
４６６    スキャンパス
４７０    機能回路内部回路
４７２    クロック入力
４７６ａ，４７６ｂ    期待値生成回路
４７８ａ，４７８ｂ    期待値生成出力
４８０ａ，４８０ｂ    比較回路
４８４ａ，４８４ｂ    比較結果
４８６    不一致検出回路
４９０    モード判定回路
４９２    入力信号発生回路
４９４    故障検出開始信号
４９５    テスト初期化信号
４９６    テスト入力信号
４９７    テストキャプチャ信号
５００    入力選択回路
５０２，５０４，５０６    内部回路出力信号
５０８    内部入力信号
５１０    クロック選択回路
【図１】
2004340877.tif 000003
【図２】
2004340877.tif 000004
【図３】
2004340877.tif 000005
【図４】
2004340877.tif 000006
【図５】
2004340877.tif 000007
【図６】
2004340877.tif 000008
【図７】
2004340877.tif 000009
【図８】
2004340877.tif 000010