(57)【要約】      （修正有）【課題】微細な加工品の量産、高品質要求に対応でき、且つ、装置コストの低い検査および選別方法を提供する。【解決手段】第１の場所に各加工製品の画像取り込み処理部と、得られた各画像データと基本画像データ比較により欠陥候補箇所を抽出する欠陥候補箇所抽出処理部と、欠陥候補箇所の画像データ抽出処理部と、欠陥候補箇所の位置データ、欠陥候補箇所の画像データ等を関連付けて管理する第１のデータ管理用コンピュータと、データを基にマーキングを施す選別処理部とを備え、第１の場所から離れた１つないし複数の作業場所に欠陥候補箇所の位置データ、欠陥候補箇所の画像データを基に、各欠陥候補箇所の画像を拡大表示して、欠陥箇所であるか否かを作業者が判定し、且つ、判定結果データを得るための欠陥箇所判定処理部と、データ等を管理し、前記判定結果データを第１の場所の選別処理部へ転送するための第２のデータ管理用コンピュータとを備える。【選択図】  図１
2004198265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の製品がシート状の被加工基材に支持部により保持された状態の、加工製品の外観検査、選別方法であって、順に、第１の場所において、各加工製品の画像を取り込む画像取り込む画像取り込み処理と、画像取り込み処理により取り込まれた各画像データと基本画像データとを比較することにより、所定の設定条件にて欠陥候補箇所を抽出する欠陥候補箇所抽出処理を行ない、更に欠陥候補箇所の画像データの抽出処理とを行なった後、第１の場所から離れた１つないし複数の作業場所において、第１の場所における、欠陥候補箇所抽出処理、欠陥候補箇所の画像データの抽出処理によりそれぞれ得られた、各加工製品の欠陥候補箇所の位置データおよび欠陥候補箇所の画像データを受け取り、パソコンレベルで、各加工製品の各欠陥候補箇所の画像を拡大表示して、それぞれが、欠陥箇所であるか否かを作業者が判定し、且つ、判定結果データを得る欠陥箇所判定処理とを行ない、更に、第１の場所において、前記１つないし複数の作業場所から判定結果データを受け取り、判定結果データを基に、欠陥箇所を含む製品あるいは欠陥箇所を所定数含む１連の製品群に対し、マーキングを施し選別する選別処理を行なうことを特徴とする加工製品の外観検査、選別方法。
【請求項２】
請求項１において、第１の場所における、欠陥候補箇所の位置データ、欠陥候補箇所の画像データ等のデータの管理を、ネットワーク上のパソコン等の第１のデータ管理用の処理用コンピュータにて行ない、第２の場所における、判定結果データ等のデータの管理を、ネットワークシステム上のパソコン等の第２のデータ管理用の処理用コンピュータにて行なうことを特徴とする加工製品の外観検査、選別方法。
【請求項３】
請求項１ないし２において、第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の欠陥候補箇所データおよび欠陥候補部の画像データの受け取りが、ネットワークによるものであることを特徴とする加工製品の外観検査、選別方法。
【請求項４】
請求項１ないし２において、第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の欠陥候補箇所データおよび欠陥候補部の画像データの受け取りが、ＳＤＬＴ、ＨＤＤ、フロッピー（登録商標）ディスク等の記録媒体を移送することによるものであることを特徴とする加工製品の外観検査、選別方法。
【請求項５】
加工されて、複数の製品がシート状の被加工基材に支持部により保持された状態の、加工製品の外観検査、選別方法であって、順に、第１の場所において、各加工製品の画像を取り込む画像取り込む画像取り込み処理を行なった後、第１の場所から離れた１つないし複数の作業場所において、第１の場所から、画像取り込み処理により得られた、加工製品の画像データを受け取り、該画像データをもとに、パソコンレベルで、各加工製品の画像を表示して、人が目視により欠陥箇所を抽出し、欠陥箇所データを得る欠陥抽出処理とを行ない、更に、第１の場所において、前記１つないし複数の作業場所から欠陥箇所データを受け取り、欠陥箇所データを基に、欠陥箇所を含む製品あるいは欠陥箇所を所定数含む１連の製品群に対し、マーキングを施し選別する選別処理を行なうことを特徴とする加工製品の外観検査、選別方法。
【請求項６】
請求項５において、第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の画像データの受け取りが、ネットワークによるものであることを特徴とする加工製品の外観検査、選別方法。
【請求項７】
請求項５において、第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の画像データの受け取りが、ＳＤＬＴ、ＨＤＤ、フロッピー（登録商標）ディスク等の記録媒体を移送することによるものであることを特徴とする加工製品の外観検査、選別方法。
【請求項８】
請求項１ないし７において、加工製品が、リードフレームあるいはハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材であることを特徴とする加工製品の外観検査、選別方法。
【請求項９】
加工されて、複数の製品がシート状の被加工基材に支持部により保持された状態の、加工製品の外観検査、選別を実施するためのシステムであって、第１の場所に、各加工製品の画像を取り込む画像取り込む画像取り込み処理部と、画像取り込み処理部により取り込まれた各画像データと基本画像データとを比較することにより、所定の設定条件にて欠陥候補箇所を抽出する欠陥候補箇所抽出処理部と、欠陥候補箇所の画像データを抽出する画像データ抽出処理部と、得られた欠陥候補箇所の位置データ、欠陥候補箇所の画像データ等を関連付けて管理する第１のデータ管理用コンピュータと、データを基に、欠陥箇所を含む製品あるいは欠陥箇所を所定数含む１連の製品群に対し、マーキングを施す選別処理部とを備え、第１の場所から離れた１つないし複数の作業場所に、欠陥候補箇所の位置データ、欠陥候補箇所の画像データを基に、加工製品の各欠陥候補箇所の画像を拡大表示して、それぞれが、欠陥箇所であるか否かを作業者が判定し、且つ、判定結果データを得るための、パソコンレベルの欠陥箇所判定処理部と、第１の場所における、欠陥候補箇所抽出処理、欠陥候補箇所の画像データ抽出処理によりそれぞれ得られた、各加工製品の欠陥候補箇所の位置データおよび欠陥候補箇所の画像データを受け取り、これらのデータ等を管理し、更に、前記判定結果データを第１の場所の選別処理部へ転送するための第２のデータ管理用コンピュータとを備えていることを特徴とする加工製品の外観検査、選別システム。
【請求項１０】
請求項９において、画像取り込み処理部、欠陥候補箇所抽出処理部と、画像データ抽出処理部と、第１のデータ管理用のコンピュータとは、ネットワークシステムを介して接続し、欠陥箇所判定処理部と、第２のデータ管理用コンピュータとは、ネットワークシステムを介して接続し、更に、第２のデータ管理用コンピュータと選別処理部とは、ネットワークシステムを介して接続していることを特徴とする加工製品の外観検査、選別システム。
【請求項１１】
請求項９ないし１０において、第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の欠陥候補箇所データおよび欠陥候補部の画像データの受け取りが、ネットワークにより行なうものであることを特徴とする加工製品の外観検査、選別システム。
【請求項１２】
請求項９ないし１０において、第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の欠陥候補箇所データおよび欠陥候補部の画像データの受け取りが、ＳＤＬＴ、ＨＤＤ、フロッピー（登録商標）ディスク等の記録媒体を移送することにより行なうものであることを特徴とする
加工製品の外観検査、選別システム。
【請求項１３】
請求項９ないし１２において、加工製品が、リードフレームあるいはハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材であることを特徴とする加工製品の外観検査、選別システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細な加工製品の外観検査、選別方法に関し、特に、リードフレームあるいはハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材等の加工製品の外観検査、選別方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置に使用され、ディスクヘ書き込み、ないしディスクから読み取りを行う磁気ヘッドを支持する磁気ヘッドサスペンションは、全体で磁気ヘッドを搭載したスライダに押しつけ荷重を与えるものであるが、近年、磁気ディスク装置の小型化、薄型化が進んで、ディスク間隔が狭くなり、これにより、スライダや磁気ヘッドサスペンションの小型化、薄型化も進められてきた。
これに伴ない、磁気ヘッドサスペンション用のばね用部材も、小型化が進み、大量に必要となってきた。
このため、その作製には、エッチング加工法が採られるようになってきた。
例えば、リードフレームのエッチング加工法による作製は、通常、被加工基材の両面にレジストを塗布し、製版、エッチング加工を行なうものであるが、量産、効率の面から、複数の製品を、被加工基材にその外周部の一部を一体的に支持した状態で作製される。
この場合、通常は、１連の所定の個数の製品毎にフレーム状にして、更に該フレーム単位を複数面付けした状態で作製する。
そして、エッチング加工後、レジストを剥離し、洗浄した後、必要に応じて所定の位置で、被加工基材を切断して、シート状に１枚毎に分離された状態とし、各シート毎に製品の検査が行われる。
また、ハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材は、フォトエッチング工程、めっき工程を含む複雑な工程にて、リードフレームと同様に、通常は、フレーム状にして、更に該フレーム単位を複数面付けした状態で作製する。
【０００３】
このような製品の検査は、従来、シート毎に、各エッチング加工製品の画像を取り込む画像取り込み、取り込まれた各画像データと基本画像データとを比較することにより、所定の設定条件にて欠陥候補箇所を抽出し、更に、抽出された欠陥候補箇所について、その画像を拡大して、欠陥候補箇所を欠陥とするか否かを判断する１連の作業を、作業者が１つの検査装置を占有して行なっていた。
また、微細な磁気ヘッドサスペンション用のばね用部材の場合、検査する１シート内の製品の数は非常に多く、検査精度要求も厳しく、エリアセンサを用いた画像取り込みも、数１０回に分け行なう程で、欠陥候補箇所を欠陥とするか否かを判断する処理も時間がかかるもので、この１連の検査処理を行なう装置を増やしても、装置コストが上がるだけで、量産、高品質要求に対応することができず、この対応が求められていた。
【０００４】
尚、このような、リードフレームあるいはハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材等の製品検査としては、検査機の他に、従来より、製品作製の社内あるいは外注において、目視検査、ルーペ検査、実態顕微鏡等による検査も、多々なされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、磁気ヘッドサスペンション用のばね用部材のような微細なエッチング加工品の量産、高品質要求に対応でき、且つ、装置コストを低く抑えることができる検査方法が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、微細なエッチング加工品の量産、高品質要求に対応でき、且つ、装置コストを低く抑えることができる検査方法とさらにその選別方法とを提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の加工製品の外観検査、選別方法は、複数の製品がシート状の被加工基材に支持部により保持された状態の、加工製品の外観検査、選別方法であって、順に、第１の場所において、各加工製品の画像を取り込む画像取り込む画像取り込み処理と、画像取り込み処理により取り込まれた各画像データと基本画像データとを比較することにより、所定の設定条件にて欠陥候補箇所を抽出する欠陥候補箇所抽出処理を行ない、更に欠陥候補箇所の画像データの抽出処理とを行なった後、第１の場所から離れた１つないし複数の作業場所において、第１の場所における、欠陥候補箇所抽出処理、欠陥候補箇所の画像データの抽出処理によりそれぞれ得られた、各加工製品の欠陥候補箇所の位置データおよび欠陥候補箇所の画像データを受け取り、パソコンレベルで、各加工製品の各欠陥候補箇所の画像を拡大表示して、それぞれが、欠陥箇所であるか否かを作業者が判定し、且つ、判定結果データを得る欠陥箇所判定処理とを行ない、更に、第１の場所において、前記１つないし複数の作業場所から判定結果データを受け取り、判定結果データを基に、欠陥箇所を含む製品あるいは欠陥箇所を所定数含む１連の製品群に対し、マーキングを施し選別する選別処理を行なうことを特徴とするものである。そして、上記において、第１の場所における、欠陥候補箇所の位置データ、欠陥候補箇所の画像データ等のデータの管理を、ネットワーク上のパソコン等の第１のデータ管理用の処理用コンピュータにて行ない、第２の場所における、判定結果データ等のデータの管理を、ネットワークシステム上のパソコン等の第２のデータ管理用の処理用コンピュータにて行なうことを特徴とするものである。
【０００７】
そして、上記において、第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の欠陥候補箇所データおよび欠陥候補部の画像データの受け取りが、ネットワークによるものであることを特徴とするものである。
あるいは、上記において、第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の欠陥候補箇所データおよび欠陥候補部の画像データの受け取りが、ＳＤＬＴ、ＨＤＤ、フロッピー（登録商標）ディスク等の記録媒体を移送することによるものであることを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の加工製品の外観検査、選別方法は、加工されて、複数の製品がシート状の被加工基材に支持部により保持された状態の、加工製品の外観検査、選別方法であって、順に、第１の場所において、各加工製品の画像を取り込む画像取り込む画像取り込み処理を行なった後、第１の場所から離れた１つないし複数の作業場所において、第１の場所から、画像取り込み処理により得られた、加工製品の画像データを受け取り、該画像データをもとに、パソコンレベルで、各加工製品の画像を表示して、人が目視により欠陥箇所を抽出し、欠陥箇所データを得る欠陥抽出処理とを行ない、更に、第１の場所において、前記１つないし複数の作業場所から欠陥箇所データを受け取り、欠陥箇所データを基に、欠陥箇所を含む製品あるいは欠陥箇所を所定数含む１連の製品群に対し、マーキングを施し選別する選別処理を行なうことを特徴とするものである。
そして上記において、第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の画像データの受け取りが、ネットワークによるものであることを特徴とするものである。
あるいは、上記において、第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の画像データの受け取りが、ＳＤＬＴ、ＨＤＤ、フロッピー（登録商標）ディスク等の記録媒体を移送することによるものであることを特徴とするものである。
【０００９】
また、上記において、加工製品が、リードフレームあるいはハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材であることを特徴とするものである。
【００１０】
尚、第１の場所から離れた１つないし複数の作業場所とは、ここでは、第１の場所とＬＡＮ、インタネット等のネットワークにより接続されている場所、あるいは、第１の場所からＳＤＬＴ、ＨＤＤ、フロッピー（登録商標）ディスク等の記録媒体を移送できる場所である。
また、ここで言う支持部とは、加工の際に、製品を被加工基材に保持するために加工にて除去しないで残す部分である。
また、ここでは、ハードディスクドライブ用配線付きサスペンションとフレキシャーを一体としたものをハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材と言う。
【００１１】
本発明の加工製品の外観検査、選別システムは、加工されて、複数の製品がシート状の被加工基材に支持部により保持された状態の、加工製品の外観検査、選別を実施するためのシステムであって、第１の場所に、各加工製品の画像を取り込む画像取り込む画像取り込み処理部と、画像取り込み処理部により取り込まれた各画像データと基本画像データとを比較することにより、所定の設定条件にて欠陥候補箇所を抽出する欠陥候補箇所抽出処理部と、欠陥候補箇所の画像データを抽出する画像データ抽出処理部と、得られた欠陥候補箇所の位置データ、欠陥候補箇所の画像データ等を関連付けて管理する第１のデータ管理用コンピュータと、データを基に、欠陥箇所を含む製品あるいは欠陥箇所を所定数含む１連の製品群に対し、マーキングを施す選別処理部とを備え、第１の場所から離れた１つないし複数の作業場所に、欠陥候補箇所の位置データ、欠陥候補箇所の画像データを基に、加工製品の各欠陥候補箇所の画像を拡大表示して、それぞれが、欠陥箇所であるか否かを作業者が判定し、且つ、判定結果データを得るための、パソコンレベルの欠陥箇所判定処理部と、第１の場所における、欠陥候補箇所抽出処理、欠陥候補箇所の画像データ抽出処理によりそれぞれ得られた、各加工製品の欠陥候補箇所の位置データおよび欠陥候補箇所の画像データを受け取り、これらのデータ等を管理し、更に、前記判定結果データを第１の場所の選別処理部へ転送するための第２のデータ管理用コンピュータとを備えていることを特徴とするものである。
そして、上記において、画像取り込み処理部、欠陥候補箇所抽出処理部と、画像データ抽出処理部と、第１のデータ管理用のコンピュータとは、ネットワークシステムを介して接続し、欠陥箇所判定処理部と、第２のデータ管理用コンピュータとは、ネットワークシステムを介して接続し、更に、第２のデータ管理用コンピュータと選別処理部とは、ネットワークシステムを介して接続していることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の欠陥候補箇所データおよび欠陥候補部の画像データの受け取りが、ネットワークにより行なうものであることを特徴とするものである。
また、上記において、第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の欠陥候補箇所データおよび欠陥候補部の画像データの受け取りが、ＳＤＬＴ、ＨＤＤ、フロッピー（登録商標）ディスク等の記録媒体を移送することにより行なうものであることを特徴とするものである。
また、上記において、加工製品が、リードフレームあるいはハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材であることを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】
本発明の加工製品の外観検査、選別方法は、このような構成にすることにより、微細な加工品の量産、高品質要求に対応でき、且つ、装置コストを低く抑えることができる検査方法とさらにその選別方法の提供を可能としている。
具体的には、順に、第１の場所において、各加工製品の画像を取り込む画像取り込む画像取り込み処理と、画像取り込み処理により取り込まれた各画像データと基本画像データとを比較することにより、所定の設定条件にて欠陥候補箇所を抽出する欠陥候補箇所抽出処理を行ない、更に欠陥候補箇所の画像データの抽出処理とを行なった後、第１の場所から離れた１つないし複数の作業場所において、第１の場所における、欠陥候補箇所抽出処理、欠陥候補箇所の画像データの抽出処理によりそれぞれ得られた、各加工製品の欠陥候補箇所の位置データおよび欠陥候補箇所の画像データを受け取り、パソコンレベルで、各加工製品の各欠陥候補箇所の画像を拡大表示して、それぞれが、欠陥箇所であるか否かを作業者が判定し、且つ、判定結果データを得る欠陥箇所判定処理とを行ない、更に、第１の場所において、前記１つないし複数の作業場所から判定結果データを受け取り、判定結果データを基に、欠陥箇所を含む製品あるいは欠陥箇所を所定数含む１連の製品群に対し、マーキングを施し選別する選別処理を行なうことにより、これを達成している。
この場合、第１の場所では、各加工製品の画像を取り込む画像取り込む画像取り込み処理と、画像取り込み処理により取り込まれた各画像データと基本画像データとを比較することにより、所定の設定条件にて欠陥候補箇所を抽出し、且つ、欠陥候補箇所データを得る欠陥候補箇所抽出処理と、選別処理とを行なうだけで、これら全ての処理を自動とし、効率的に行なえるものとしている。
あるいは、加工されて、複数の製品がシート状の被加工基材に支持部により保持された状態の、加工製品の外観検査、選別方法であって、順に、第１の場所において、各加工製品の画像を取り込む画像取り込む画像取り込み処理を行なった後、第１の場所から離れた１つないし複数の作業場所において、第１の場所から、画像取り込み処理により得られた、加工製品の画像データを受け取り、該画像データをもとに、パソコンレベルで、各加工製品の画像を表示して、人が目視により欠陥箇所を抽出し、欠陥箇所データを得る欠陥抽出処理とを行ない、更に、第１の場所において、前記１つないし複数の作業場所から欠陥箇所データを受け取り、欠陥箇所データを基に、欠陥箇所を含む製品あるいは欠陥箇所を所定数含む１連の製品群に対し、マーキングを施し選別する選別処理を行なうことにより、これを達成している。
【００１３】
そして、第１の場所から離れた１つないし複数の作業場所において、簡単な作業であるが時間がかかる欠陥箇所判定処理ないし欠陥抽出処理をパソコンレベルで行なうことにより、対象とする加工製品の生産量や、この加工製品の第１の場所での処理量に合せて、パソコン、ディスプレイ等の処理装置や作業者を配設ないし確保することができるものとしている。
【００１４】
第１の場所から離れた作業場所における、第１の場所において得られた、各加工製品の欠陥候補箇所データおよび欠陥候補部の画像データ、あるいは画像データの受け取り方法としては、ＬＡＮあるいはインターネット等のネットワークシステムによるもの、あるいは、ＳＤＬＴ、ＨＤＤ、フロッピー（登録商標）ディスク等の記録媒体を移送することによるものが挙げられる。
特に、対象とするエッチング加工製品が、リードフレームあるいはハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材である場合には、有効である。
【００１５】
本発明の加工製品の外観検査、選別システムは、このような構成にすることにより、微細な加工品の量産、高品質要求に対応でき、且つ、装置コストを低く抑えることができる検査とさらにその選別を容易に実施できるの加工製品の外観検査、選別システムの提供を可能としている。
特に、対象とする加工製品が、リードフレームあるいはハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材である場合には、有効である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態例を挙げ、図に基づいて説明する。
図１は本発明の加工製品の外観検査、選別システムの実施の形態の１例の概略構成を示した図で、図２は本発明の加工製品の外観検査、選別方法の実施の形態の１例の処理フローの一部を示した処理フロー図で、図３はハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材製品の加工状態を説明するための概略図である。
尚、図１中、 1点鎖線矢印（１５１、１５２に相当）は、データの移動方向を示している。
また、図２におけるＳ１１〜Ｓ２１は処理ステップを示している。
図１、図３において、１１は第１の場所、１２は第２の場所、１１０は第１の処理部、１１１〜１１３は画像取り込み処理部兼欠陥候補箇所抽出処理部兼画像データ抽出処理部、１１５は第１のＬＡＮ、１１７はデータ管理用コンピュータ、１２１〜１２３は欠陥箇所判定処理部、１２５は第２のＬＡＮ、１２７は第２のデータ管理用コンピュータ、１３０は選別処理部（第２の処理部）、１３１はマーキング部、１３２はコンピュータ（パソコン）、１５１はデータ転送ないし記録媒体の移送、１５２はデータ転送、３１０はハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材製品、３２０はフレーム、３２１は枠部、３２２、３２３は支持部（繋ぎ部とも言う）、３３０は被加工基材である。
【００１７】
先ず、本発明の加工製品の外観検査、選別システムの実施の形態の１例を、図１に基づいて説明する。
本例は、微細な加工品で、特に、量産、且つ高品質が要求されるハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材製品を、その検査、選別の対象とするもので、エッチング加工等が施されて、複数のハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材製品がシート状の被加工基材に支持部により保持された状態で加工されているものについて、各ハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材製品の検査と選別を行なう加工製品の外観検査、選別システムである。
尚、本例でその検査、選別の対象とするハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材製品は、ワイヤレスサスペンションブランクとも言われ、銅とステンレスを高絶縁性であるポリイミド樹脂にて積層した被加工基材にエッチング加工等を施して、ステンレスからなるサスペンション本体に銅層からなる配線を形成したものである。
図１に示すように、第１の場所１１にある第１の処理部１１０に、各加工製品の画像を取り込む画像取り込む画像取り込み処理部と、画像取り込み処理部により取り込まれた各画像データと基本画像データとを比較することにより、所定の設定条件にて欠陥候補箇所を抽出する欠陥候補箇所抽出処理部と、欠陥候補箇所の画像データを抽出する画像データ抽出処理部とを、１体として兼ねている、画像取り込み処理部兼欠陥候補箇所抽出処理部兼画像データ抽出処理部１１１〜１１３と、得られた欠陥候補箇所の位置データ、欠陥候補箇所の画像データ等を関連付けて管理する第１のデータ管理用コンピュータ１１７とを配設し、第１の場所１１の第１の処理部１１０とは別の箇所に、データを基に、欠陥箇所を含む製品あるいは欠陥箇所を所定数含む１連の製品群に対し、マーキングを施す選別処理部１３０を第２の処理部として配設しており、更に、第１の場所１１から離れた作業場所である第２の場所１２には、欠陥候補箇所の位置データ、欠陥候補箇所の画像データを基に、加工製品の各欠陥候補箇所の画像を拡大表示して、それぞれが、欠陥箇所であるか否かを作業者が判定し、且つ、判定結果データを得るための、複数のパソコンレベルの欠陥箇所判定処理部（１２１〜１２３）を複数個配設し、且つ、データ等を管理し、更に、前記判定結果データを第１の場所１１の選別処理部へ転送するための第２のデータ管理用コンピュータ１２７とを備えている。
そして、画像取り込み処理部兼欠陥候補箇所抽出処理部兼画像データ抽出処理部１１１〜１１３と第１のデータ管理用コンピュータ１１７とは第１のＬＡＮ１１５で接続され、欠陥箇所判定処理部（１２１〜１２３）と第２のデータ管理用コンピュータ１２７とは第２のＬＡＮ１２５で接続されている。
尚、図１では、第２の場所１２において、欠陥箇所判定処理部として１２１〜１２３のみを図示しているが、第２のＬＡＮ１２５に接続している欠陥箇所判定処理部はこれ以外にもあり、ここでは省略して示している。
欠陥箇所判定処理機能を実施するための、最小必要な構成は、図１の第２の場所１２内において点線で示す、欠陥箇所判定処理部１つとデータ管理用コンピュータ１つである
【００１８】
本例の加工製品の外観検査、選別システムの処理例を以下、図２を参照にして説明する。
尚、これを以って、本発明の加工製品の外観検査、選別方法の実施の形態の１例の説明とし、併せて、本例のエッチング加工製品の外観検査、選別システムの各処理部の説明とする。
先ず、第１の場所１１に検査シートを用意する。（Ｓ１１）
ここでは、図３（ａ）に示すように、一般に、各ハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材製品３１０は、支持部（繋ぎ部とも言う）３２２により枠部３２１に一体的に接続され保持されており、更に、この複数のハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材製品が枠部３２１に一体的に接続された状態（これを、以下フレーム状態と言う）のものを１単位として、フレーム３２０と呼び、フレーム３２０を、図３（ｂ）に示すように、Ｘ方向、Ｙ方向に多数配列して形成したものが検査シートである。
この場合、製品の周囲に設け製品間を、あるいは製品と枠部３２１を、連結させるために、支持部３２２をエッチング加工にて除去しないで残し、更に、枠部３２１を被加工基材３３０に連結させるために、支持部３２３をエッチング加工にて除去しないで残している。
尚、図３（ａ）は１例で、実際には、枠部３２１に一体的に接続するバー（図示していない）に一体的に接続するバー（図示していない）を設けて、ハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材製品間を、接続する場合もある。
【００１９】
次いで、検査シート（Ｓ１１）に対し、ＣＣＤエリア撮像装置を用い、その検査領域全域にわたる撮撮画像を得る。（Ｓ１２〜Ｓ１３）
ここでは、検査シートの検査領域のＸ方向、Ｙ方向の長さが３５０ｍｍ、３５０ｍｍの四角状とし、ＣＣＤエリア撮像装置の撮影面積に対応して、Ｘ方向、Ｙ方向に所定のピッチ送りを行ないながら撮影し、検査領域全域にわたる撮撮画像を得るものとする。
ＣＣＤエリア撮像装置の画素は、１０００×１０００の１００万画素、撮影面積約７ｍｍ×約７ｍｍで、２５００回撮影とする。
２５００回撮影分の撮影画像をあわせて全体の撮影画像が得られる。
製品の精度品質要求から、このようなレベルで、検査シートの画像を採りこむ必要がある。
【００２０】
一方、検査に際し、基本となる画像を用意しておく。（Ｓ１４）
基本となる画像データとしては、良品を上記と同様にして撮像して得られた画像データを用いることもでき、また、検査対象である検査シートの１回撮影分の撮像画像のうちの適当なものを使うこともできる。
一般に、図３（ｂ）に示すように、配列された検査シートについては、異なる、基本となる１回撮影分の撮像画像を、数個用意しておくだけで、全ての上記の場合２５００回撮影分の撮影画像と比較することができる。
撮像画像の各画素は、それぞれ、例えば２５６の階調として階調表示される。
【００２１】
次いで、各撮像画像の画像データを、それぞれ、対応する基本の画像データと比較し、画素毎に両者の階調差が大きい画素をエラー画素として抽出する。（Ｓ１５）
比較は、画素毎に、両者の対応する画素の階調差分をとり、さらに得られた差分を所定のしきい値と比較し、しきい値よりも大きい画素をエラー画素とするものである。
【００２２】
この後、エラー画素の連続性、各画素を中心とした所定範囲画素領域内のエラー画素の数等を欠陥候補抽出の設定条件として、欠陥候補を抽出し、その位置を位置データとして、保管し、同時に対応する画像データを抽出する。
画像データの抽出は、１回分の撮像画像を単位とするのが簡単であるが、これに限定されない。
例えば、１回分の撮像画像内の欠陥候補の位置を含む所定の範囲としても良い。
このようにして、全ての撮像画像のデータと基本となる画像データと比較し、全ての欠陥候補の位置データと、対応する画像データとを抽出することができる。（Ｓ１６〜Ｓ１７）
このデータの管理は、第１のデータ管理用コンピュータ１１７で行なう。
【００２３】
次いで、抽出された全ての欠陥候補の位置データと対応する画像データとを、ＳＤＬＴやＨＤＤに保管した状態で、第２の場所１２の第２のデータ管理用コンピュータ１２７のもとへ移送する。（Ｓ１８）
第２の場所１２の、第２のデータ管理用コンピュータ１２７と第２のネットワークにて接続して、各欠陥箇所判定処理部１２１〜１２３は、第２のデータ管理用コンピュータ１２７管理から、欠陥候補の位置データと対応する画像データをもらい、各欠陥候補箇所について確認し、欠陥判定を行なう。（Ｓ１９）
この後、全ての欠陥と判定された欠陥候補箇所の位置データを、第２の場所１２の第２のデータ管理用コンピュータ１２７管理を介して、第１の場所１１の
選別処理部１３０の、コンピュータ（パソコン）１３２へネットワーク転送する。（Ｓ２０）
送られてきた全ての欠陥と判定された欠陥候補箇所の位置データをもとに、マーキング部１３１は、各製品（図３の３１０に相当）単位であるいは、フレーム単位（図３の３２０に相当）で、欠陥製品あるいは欠陥製品を含むフレームにマークを付ける。（Ｓ２１）
マーキング部１３１としては、色を付けるもの、あるいは、かるくヘコ（凹部）を付けるもの等があるが、これに限定はされない。
これにより、選別が可能となる。
尚、マーキング部１３１は、通常、ステージ上に置かれた検査シートに対し、マーカーが、欠陥と判定された欠陥候補箇所の位置データをもとに、Ｘ，Ｙ移動して、マーキングを行なう。
このようにして、検査シートに対し、検査、選別が行われる。
【００２４】
本例は１例でこれに限定はされない。
例えば、本例の加工製品の外観検査、選別システムでは、１１１〜１１３が、それぞれ、各加工製品の画像を取り込む画像取り込む画像取り込み処理部と、画像取り込み処理部により取り込まれた各画像データと基本画像データとを比較することにより、所定の設定条件にて欠陥候補箇所を抽出する欠陥候補箇所抽出処理部と、欠陥候補箇所の画像データを抽出する画像データ抽出処理部とを、１体として兼ねているが、１体とせずに、各処理部を別体としたものでも良い。
撮像は、市販のスキャナー、デジカメ等、簡易な装置でも可である。
検査、選別の対象もハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材製品に限定されない。
【００２５】
また、図１に示す本例の加工製品の外観検査、選別システムにおいて、第１に処理部１１０における画像取り込み処理部兼欠陥候補箇所抽出処理部兼画像データ抽出処理部１１１〜１１３のそれぞれを、画像取り込み処理部に代えて、第２の場所の欠陥候補抽出処理部１２１〜１２３のそれぞれを、欠陥抽出処理部とした形態のシステムも挙げることができる。
このシステムの場合は、第１の場所において、各加工製品の画像を取り込む画像取り込む画像取り込み処理を行なった後、第１の場所から離れた第２の場所において、第１の場所から、画像取り込み処理により得られた、加工製品の画像データを受け取り、該画像データをもとに、パソコンレベルで、各加工製品の画像を表示して、人が目視により欠陥箇所を抽出し、欠陥箇所データを得る欠陥抽出処理とを行ない、更に、第１の場所において、第２の場所から欠陥箇所データを受け取り、欠陥箇所データを基に、欠陥箇所を含む製品あるいは欠陥箇所を所定数含む１連の製品群に対し、マーキングを施し選別する選別処理を行なう。
【００２６】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、微細なエッチング加工品の量産、高品質要求に対応でき、且つ、装置コストを低く抑えることができる検査、選別方法および検査選別システムの提供を可能とした。
本発明においては、製品の物流を伴なわない検査を可能としている。
【図面の簡単な説明】
【図１】発明のエッチング加工製品の外観検査、選別システムの実施の形態の１例の概略構成を示した図である。
【図２】本発明のエッチング加工製品の外観検査、選別方法の実施の形態の１例の処理フローの一部を示した処理フロー図である。
【図３】ハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材製品の加工状態を説明するための概略図である。
【符号の説明】
１１                  第１の場所
１２                  第２の場所
１１０                第１の処理部
１１１〜１１３        画像取り込み処理部兼欠陥候補箇所抽出処理部兼画像データ抽出処理部
１１５                第１のＬＡＮ
１１７                データ管理用コンピュータ
１２１〜１２３        欠陥箇所判定処理部
１２５                第２のＬＡＮ
１２７                第２のデータ管理用コンピュータ
１３０                選別処理部（第２の処理部）
１３１                マーキング部
１３２                コンピュータ（パソコン）
１５１                データ転送ないし記録媒体の移送
１５２                データ転送
３１０                ハードディスクドライブ用の配線付きサスペンション用ばね部材製品
３２０                フレーム
３２１                枠部
３２２、３２３        支持部（繋ぎ部とも言う）
３３０                被エッチング加工基材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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