(57)【要約】【課題】一方向にのみ調整可能な二つのスライド機構を重層する態様で組み合わせることで、二つの部材の相互の固定位置を互いの異なる軸方向に任意に且つ簡単に調整可能とする位置調整可能な固定装置を提供する。【解決手段】固定装置１のスライド部材３は、ベース部材２に対して、Ｘ軸方向に形成されている第１ガイド溝２３に摺動案内されることでスライド可能である。取付け部材４は、スライド部材３に対して、Ｙ軸方向に形成されている第２ガイド溝３３に摺動案内されることでスライド可能である。ベース部材２と取付け部材４との間で、スライド部材３とガイド溝２３，３３とを用いたスライド構造によって、第２部材８は、第１部材６に対してＸ軸とＹ軸とのいずれの方向にも任意の位置に調整可能に固定することができる。【選択図】　　　図１
2004090202.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材に取り付けられるベース部材、前記ベース部材に対して第１方向にスライド可能なスライド部材、及び第２部材に取り付けられ且つ前記スライド部材に対して前記第１方向と交差する前記第２方向にスライド可能な取付け部材を有し、前記第２部材を前記第１部材に対して固定位置を前記第１方向と前記第２方向とに調整可能に固定する固定装置において、前記スライド部材は、前記ベース部材に形成されている前記第１方向と平行に延びる第１ガイド溝に摺動案内されることによって前記ベース部材に対してスライド可能であり、前記取付け部材は、前記スライド部材に形成されている前記第２方向と平行に延びる第２ガイド溝に摺動案内されることによって前記スライド部材に対してスライド可能であることから成る位置調整可能な固定装置。
【請求項２】
前記スライド部材は前記ベース部材を貫いて前記第１ガイド溝内に進出する第１締付け具によって前記ベース部材に対して固定可能であり、前記取付け部材は前記スライド部材を貫いて前記第２ガイド溝内に進出する第２締付け具によって前記スライド部材に対して固定可能であることから成る請求項１に記載の位置調整可能な固定装置。
【請求項３】
前記スライド部材は前記第１方向と直交する方向の両側に第１ガイド係合部分を持ち、前記第１ガイド溝は前記各第１ガイド係合部分がそれぞれ嵌入可能な対に構成され、前記取付け部材は前記第２方向と直交する方向の両側に第２ガイド係合部分を持ち、前記第２ガイド溝は前記各第２ガイド係合部分がそれぞれ嵌入可能な対に構成されていることから成る請求項１に記載の位置調整可能な固定装置。
【請求項４】
前記ベース部材は前記スライド部材をスライド可能に載置するベース載置面を有し、一対の前記第１ガイド溝を定める溝壁面の一部が前記ベース載置面の延長面上に形成されており、前記スライド部材は前記ベース載置面と平行で且つ前記取付け部材をスライド可能に載置するスライド載置面を有し、一対の前記第２ガイド溝を定める溝壁面の一部が前記スライド載置面の延長面上に形成されていることから成る請求項３に記載の位置調整可能な固定装置。
【請求項５】
前記取付け部材には前記第２部材を取り付けるための取付け具が係合されており、前記スライド部材には前記第２方向と平行な方向に延びて前記取付け具が嵌入可能な長孔が形成されており、前記ベース部材には前記第１方向及び前記第２方向に広がる矩形孔が形成されていることから成る請求項１に記載の位置調整可能な固定装置。
【請求項６】
前記第２部材は、前記取付け具によって前記第２部材と前記取付け部材との間の距離を調整することにより、前記第１部材に対して前記第１方向と前記第２方向とにそれぞれ直交する第３方向に固定位置が調整可能であることから成る請求項５に記載の位置調整可能な固定装置。
【請求項７】
前記第２部材を前記第１部材に固定するために、前記第２部材の四隅のそれぞれにおいて前記第１部材との間に適用されていることから成る請求項１に記載の位置調整可能な固定装置。
【請求項８】
前記ベース部材は、前記第１ガイド溝が形成されたスライド本体を備えており、前記スライド本体は第２部材に対して直接取り付けられるか、又は第２部材に取り付けられる取付け板部から起立部を介して接続されていることから成る請求項１に記載の位置調整可能な固定装置。
【請求項９】
前記第１部材は垂直壁であり、前記ベース部材に取り付けられる水平ベース部と、前記垂直壁に取り付けられる起立ベース部とを備えた取付けアダプタを介して、前記第１部材に対して適用されていることから成る請求項１に記載の位置調整可能な固定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、二つの部分に分割されているフレーム同士、又は各種機器及び基台や機台のような、固定すべき二つの部材を互いの相対位置が調整可能に固定することを可能にする位置調整可能な固定装置に関する。
【０００２】
例えば、半導体や各種ディスプレイ素子の製造装置においては、不良品の発生を防止し、製造装置の正常な作動を確保するには、製造装置を構成する各機器を搭載又は内蔵するフレーム同士、又は各種の機器を基台や機台に固定するに際して、固定位置を少なくとも平面内の２軸の方向（Ｘ，Ｙ）に任意に調整可能とする必要がある。また、必要であれば、その平面に直交するＺ方向を含む３軸方向にも調整可能とすることが好ましい。
【０００３】
従来、このような、取付け位置を調整可能な取付け装置の一例として、紫外線照射を行う光源としての紫外線発生ランプの位置を、その紫外線発生ランプを支持するスライドテーブルごと、Ｘ，Ｙ，Ｚの直交する３軸方向に移動させることによって調整可能とした位置調節装置がある（特許文献１参照）。この位置調節装置は、各軸の調整毎に操作部と、その操作部に駆動力を付与するねじを備えており、ねじを回動させることにより、スライドテーブルがその操作方向に位置調節可能である。また、心材としてのフレームを方形の支持枠の四隅において、調整ボルトで摺動可能に位置調整される傾斜面を備える固定ブロックと可動ブロックとから成る圧着手段を備えたワークテーブル用ベースが提案されている（特許文献２参照）。このワークテーブル用ベースによれば、圧着手段の調整によって、高い精度を持たないフレームであっても、支持枠に対して所定の面内位置に調整可能である。
【０００４】
しかしながら、互いに直交する３軸について位置を調整すべき設備や装置の規模が比較的大きい場合に、それに応じて調整装置を大がかりにするのはスペースの制約もあって実用的ではない。そうした場合には、調整装置を小型化して例えばその四隅に配置することが望ましい。また、四隅等の複数の位置に調整装置を配置する場合、各調整装置において３軸の各軸毎に調整部が個別に配けられるときには、調整のために操作する操作部（例えばねじ）の数が多くなり、調整操作が複雑化し、最適な調整位置に到達するまでの調整作業に長い時間を要する。四隅に調整装置を設ける場合であっても、それぞれが３軸に調整することができない場合には、面内調整に留まることになる。
【０００５】
【特許文献１】
特開平５−８８０６３号公報（第２〜３頁、図３）
【特許文献２】
特開平１０−３１５０７９号公報（第２〜３頁、図１〜３）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、二つに分割されているフレーム同士、又は機器及び機台のように、固定状態で互いに所定の位置関係を占めるように、あるいは状況に応じて互いに固定位置を変更可能であるように二つの部材を固定する場合に、それぞれ一方向にのみ調整可能な二つのスライド機構を重層させる態様で組み合わせることで、一方の部材を他方の部材に対して少なくとも固定平面内の二つの軸方向に固定位置を任意に調整可能とする点で解決すべき課題がある。
【０００７】
この発明の目的は、コンパクトな構造を持ち、且つフレーム同士、又は機台への機器の固定位置を互いに異なる軸方向に任意に且つ簡単に位置調整可能な固定装置を提供することである。
【０００８】
上記課題を解決するため、この発明による位置調整可能な固定装置は、第１部材に取り付けられるベース部材、前記ベース部材に対して第１方向にスライド可能なスライド部材、及び第２部材に取り付けられ且つ前記スライド部材に対して前記第１方向と交差する前記第２方向にスライド可能な取付け部材を有し、前記第２部材を前記第１部材に対して固定位置を前記第１方向と前記第２方向とに調整可能に固定する固定装置において、前記スライド部材は、前記ベース部材に形成されている前記第１方向と平行に延びる第１ガイド溝に摺動案内されることによって前記ベース部材に対してスライド可能であり、前記取付け部材は、前記スライド部材に形成されている前記第２方向と平行に延びる第２ガイド溝に摺動案内されることによって前記スライド部材に対してスライド可能であることから成っている。
【０００９】
この位置調整可能な固定装置によれば、スライド部材は、ベース部材に第１方向と平行に形成されている第１ガイド溝に摺動案内されることでベース部材に対して第１方向にスライド可能である。また、取付け部材は、スライド部材に第２方向と平行に形成されている第２ガイド溝に摺動案内されることでスライド部材に対して第２方向にスライド可能である。このようにベース部材と取付け部材との間で、スライド部材を介してのガイド溝を用いた重層するスライド構造によって、第２部材は、第１部材に対して第１方向と前記第１方向と交差する第２方向とのいずれの方向にも任意の位置調整可能に固定することができる。
【００１０】
この位置調整可能な固定装置において、前記スライド部材は前記ベース部材を貫いて前記第１ガイド溝内に進出する第１締付け具によって前記ベース部材に対して固定可能であり、前記取付け部材は前記スライド部材を貫いて前記第２ガイド溝内に進出する第２締付け具によって前記スライド部材に対して固定可能であるという構成にすることができる。即ち、固定位置の初期調整又は再調整をする場合等には、第１及び第２の締付け具をそれぞれ第１及び第２のガイド溝から後退させることによって、スライド部材はベース部材に対して第１方向に沿ってスライド可能となり、取付け部材はスライド部材に対して第２方向に沿ってスライド可能となる。固定装置を調整位置で不動に定めるには、第１及び第２の締付け具をそれぞれ第１及び第２のガイド溝内に進出させることによって、スライド部材をベース部材に対して固定させ、取付け部材をスライド部材に対して固定させる。なお、第１及び第２の締付け具については、ベース部材又はスライド部材に、その外部から操作して、第１ガイド溝又は第２ガイド溝内に進出し、第１ガイド溝又は一対の第２ガイド溝に摺動係合するスライド部材又は取付け部材に押圧する形態が、少ない個数で且つ効果的に固定させる上で好ましい。
【００１１】
この位置調整可能な固定装置において、前記スライド部材は前記第１方向と直交する方向の両側に第１ガイド係合部分を持ち、前記第１ガイド溝は前記各第１ガイド係合部分がそれぞれ嵌入可能な対に構成され、前記取付け部材は前記第２方向と直交する方向の両側に第２ガイド係合部分を持ち、前記第２ガイド溝は前記各第２ガイド係合部分がそれぞれ嵌入可能な対に構成することができる。スライド部材は、その第１方向と直交する方向の各側に持つ第１ガイド係合部分を一対の第１ガイド溝のそれぞれに嵌入させることによって安定して摺動する。また、取付け部材も、その第２方向と直交する方向の各側に持つ第２ガイド係合部分を一対の第２ガイド溝のそれぞれに嵌入させることによって安定して摺動することができる。
【００１２】
ガイド係合部分をガイド溝に嵌入させた位置調整可能な固定装置において、前記ベース部材は前記スライド部材をスライド可能に載置するベース載置面を有し、一対の前記第１ガイド溝を定める溝壁面の一部が前記ベース載置面の延長面上に形成されており、前記スライド部材は前記ベース載置面と平行で且つ前記取付け部材をスライド可能に載置するスライド載置面を有し、一対の前記第２ガイド溝を定める溝壁面の一部が前記スライド載置面の延長面上に形成されているとの成にすることができる。第１ガイド溝及び第２ガイド溝を定める溝壁面の一部をベース載置面又はスライド載置面の延長面上に形成することによって、スライド部材及び取付け部材の高さを可及的に低くすることができ、ひいては固定装置の高さを低く抑えることができる。また、溝壁面の一部を上記のように形成することによって、第１ガイド溝の溝壁面とベース載置面との面加工と、第２ガイド溝の溝壁面とスライド載置面との面加工とを、それぞれ共通して行うことが可能となり、加工工程を簡素化することができる。また、スライド部材と取付け部材とについても、ベース載置面又はスライド載置面にスライド可能に載置される各スライド面と、第１ガイド溝又は第２ガイド溝の溝壁面に摺動係合する部分の摺動面とが面一に加工可能となり、やはり、加工工程を簡素化することができる。
【００１３】
この位置調整可能な固定装置において、前記取付け部材には前記第２部材を取り付けるための取付け具が係合されており、前記スライド部材には前記第２方向と平行な方向に延びて前記取付け具が嵌入可能な長孔が形成されており、前記ベース部材には前記第１方向及び前記第２方向に広がる矩形孔が形成されているとの構成にすることができる。第２部材を取付け部材に取り付けるための取付け具の好ましい例としては、取付けねじが挙げられる。取付けねじは、取付け面に直交する方向に形成されたねじ孔に螺合することで取付け部材に係合される。取付けねじの一部がねじ孔から突出状態となり、スライド部材やベース部材と干渉する虞があるが、スライド部材には第２方向と平行な方向に延びる長孔を形成し、ベース部材には第１方向及び第２方向に広がる矩形孔を形成することで、取付けねじとスライド部材及びベース部材との干渉を回避することができる。
【００１４】
この位置調整可能な固定装置において、前記第２部材は、前記取付け具によって前記第２部材と前記取付け部材との間の距離を調整することにより、前記第１部材に対して前記第１方向と前記第２方向とにそれぞれ直交する第３方向に固定位置が調整可能であるとの構成にすることができる。取付け部材と第２部材とを、例えば、取付けねじとそれに螺合する雌ねじ部又はナット部材によって取り付け、取付けねじと雌ねじ部又はナット部材との取付け位置を調整して、取付け部材と第２部材との間の距離を変更することにより、第１部材に対する第２部材の固定位置を第３方向に調整可能とすることができる。
【００１５】
この位置調整可能な固定装置についは、前記第２部材を前記第１部材に固定するために、前記第２部材の四隅のそれぞれにおいて前記第１部材との間に適用することができる。重量がある装置をフレームや機台に固定するには、安定上、四隅においてそれぞれ固定することが好ましいが、この発明による固定装置は、そうした場合も装置の四隅に適用することができる。
【００１６】
この位置調整可能な固定装置において、前記ベース部材は、前記第１ガイド溝が形成されたスライド本体を備えており、前記スライド本体は第２部材に対して直接取り付けられるか、又は第２部材に取り付けられる取付け板部から起立部を介して接続されている。固定装置については、第１ガイド溝が形成されたスライド本体を第２部材に対して直接取り付けることで、背の低い構造とすることができる。また、ベース部材を、第１ガイド溝が形成されたスライド本体と、第２部材に取り付けられる取付け板部とを起立部で接続することで、高架式の固定装置に構成することもできる。
【００１７】
この位置調整可能な固定装置において、前記第１部材は垂直壁であり、前記ベース部材に取り付けられる水平ベース部と、前記垂直壁に取り付けられる起立ベース部とを備えた取付けアダプタを介して、前記第１部材に対して適用されている。本発明による固定装置は、垂直壁を第１部材とする場合でも、ベース部材に取り付けられる水平ベース部と、水平ベース部に対して起立した起立ベース部とから成る取付けアダプタを介在させることで、垂直壁と第２部材との間に適用することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面に基づいて、この発明による位置調整可能な固定装置の実施例を説明する。図１はこの発明による位置調整可能な固定装置の一実施例を示す斜視図、図２は図１に示す位置調整可能な固定装置の分解斜視図である。
【００１９】
図１及び図２に示すように、位置調整可能な固定装置（以下、簡単のために「固定装置」と略称する）１は、第１部材（第１フレーム）６に取り付けられるベース部材２と、ベース部材２に対して平面の第１方向としてのＸ軸方向にスライド自在なスライド部材３と、スライド面内においてスライド部材３に対してＸ軸と直交する第２方向としてのＹ軸方向にスライド自在な取付け部材４とを備えている。取付け部材４に第２部材８（第２フレーム）を取り付けることにより、第２部材８は第１部材６に対して固定装置１を介してＸ軸方向及びＹ軸方向に固定位置が調整可能に固定される。
【００２０】
ベース部材２は、取付け板部１０と、取付け板部１０から一体的に垂直に接続した起立部１１と、起立部１１に一体的に接続され且つ取付け板部１０と平行なスライド本体１２とを備えている。取付け板部１０において、各端に一対の伸長部分１３，１３が平行に延びており、両伸長部分１３，１３間にはＸ軸方向に延び且つ外側に開いた取付け溝１４が形成されている。各取付け溝１４には第１取付けボルト１５（一方のみ示す）が挿通可能であり、第１取付けボルト１５を第１部材６に形成された取付け孔７にねじ込むか、又は取付け孔７に挿通してナット（５５、図３（ｂ）参照）を締め付けて、第１取付けボルト１５のボルト頭１５ａとナット５５との間に第１部材６と伸長部分１３，１３とを挟み込むことによって、ベース部材２を第１部材６に取り付けることができる。取付け板部１０の中央部には、取付け部材４に第２部材８を取り付けるための取付け具（第２取付けボルト５０、詳細は後述）が挿通可能な挿通孔１６が形成されている。起立部１１は、この例では、取付け板部１０と平行な平面で見てＬ字形を有しており、強度が高められている。
【００２１】
ベース部材２において、ベース本体１２は取付け板部１０と平行な板部であり、上面であるベース載置面２１によってスライド部材３をＸ軸方向にスライド可能に載置している。ベース本体１２には、Ｙ軸方向の両側端部分において断面Ｌ字形をした一対のガイドアーム２２，２２がそれぞれ互いに平行に延びる態様で一体的に形成されており、ベース本体１２とガイドアーム２２，２２とによってＸ軸方向に延びる第１ガイド溝２３，２３が形成されている。第１ガイド溝２３，２３を定める溝壁面の一部２３ａ，２３ａはベース載置面２１の延長面上に形成されている。ベース本体１２の中央部には、取付け板部１０に形成されている挿通孔１６に対応した位置で且つ同じ大きさの矩形孔２５が形成されている。少なくとも一方（両方であってもよい）のガイドアーム２２には、外方から第１ガイド溝２３に貫通する複数（この例では２個）のねじ孔２６が形成されている。
【００２２】
スライド部材３は、Ｙ軸方向の両端に設けられている凸状の第１ガイド係合部分３４，３４が第１ガイド溝２３，２３に嵌合することでＸ軸方向にスライド案内される。スライド部材３をＸ軸方向にスライドしてその調整位置が定まったときに、第１締付け具としての止めねじ２７をねじ孔２６にねじ込み、止めねじ２７の先端部をガイドアーム２２を貫いて第１ガイド溝２３内に進出させる。第１ガイド溝２３内に進出した止めねじ２７の先端部間でスライド部材３を挟み付けるか又は止めねじ２７の先端部と第１ガイド溝２３との間でスライド部材３を挟み付けることにより、スライド部材３をその調整位置に固定することができる。
【００２３】
スライド部材３は、ベース部材２の特にベース本体１２と類似した構造を有している。即ち、スライド部材３は、スライド本体３０の上面であるスライド載置面３１によって取付け部材４をＹ軸方向にスライド可能に載置する。一対のガイドアーム３２，３２が、それぞれスライド部材３のＸ軸方向の両側端部分において互いに平行に一体的に形成されており、スライド本体３０とガイドアーム３２，３２とによってＹ軸方向に延びる第２ガイド溝３３，３３が形成されている。第２ガイド溝３３，３３を定める溝壁面の一部３３ａ，３３ａはスライド載置面３１の延長面上に形成されている。スライド本体３０の中央部には、Ｙ軸方向に長く且つ矩形孔２５とＹ軸方向の範囲で整合した長孔３５が形成されている。少なくとも一方（両方であってもよい）のガイドアーム３２には、外方から第２ガイド溝３３に通じる複数（この例では２個）のねじ孔３６が形成されている。
【００２４】
取付け部材４は、平面で矩形形状を有する取付け本体４０と、Ｘ軸方向両側の段差構造を有する第２ガイド係合部分４１，４１とからなっている。取付け部材４は、Ｘ軸方向の両端に設けられている凸状の第２ガイド係合部分４１，４１を第２ガイド溝３３，３３に嵌合することでＹ方向にスライド案内される。取付け部材４をＹ軸方向にスライドして調整位置が定まったときに、第２締付け具としての止めねじ３７をねじ孔３６にねじ込み、止めねじ３７の先端部をガイドアーム３２を貫いて第２ガイド溝３３内に進出させる。第２ガイド溝３３内に進出した止めねじ３７の先端部間で取付け部材４を挟み付けるか又は止めねじ３７の先端部と第２ガイド溝３３との間で取付け部材４を挟み付けることにより、取付け部材４をその調整位置に固定することができる。
【００２５】
取付け部材４の取付け本体４０には、その中央位置において、第２取付けボルト５０が螺合する雌ねじ部４２が形成されている。第２取付けボルト５０は、第２部材８を取り付けるための取付け具である。第２取付けボルト５０は、挿通孔１６、矩形孔２５及び長孔３５を挿通した後、取付け部材４に螺合され、更に、第２部材８に対して直接に螺合されるか又はナットとの協働によって第２部材８に係合される。
【００２６】
上記の実施例は、第１部材６側の構造が挿通孔が予め形成されていない平板のような場合に、取付け板部１０から起立部１１を介してベース本体１２を形成した高架式の固定装置である。上記の固定装置１を用いて、第２部材８を第１部材６に対して固定位置を調整可能とする固定態様について説明する。位置調整は、例えば、予め第２部材８側において第２取付けボルト５０によって取付け部材４と第２部材８とを直接に螺合させるか又はナットとの協働によって取り付けた状態で行うことができる。即ち、止めねじ２７，３７を弛めておけば、スライド部材３はベース部材２と取付け部材４とのいずれに対してもスライド面内においてＸ軸方向又はＹ軸方向にスライド可能である。また、ベース部材２も第１取付けボルト１５を弛めておくことによって第１部材６に対して変位可能である。この状態で、ベース部材２を第１部材６に対して位置決めしようとするとき、ベース部材２と取付け部材４とはスライド部材３を介してスライド面内の任意の方向に相対的に位置を変えることができるので、ベース部材２の第１部材６に対する任意の位置での位置決めが許容される。ベース部材２の第１部材６に対する取付け位置が決まると、それに応じてスライド部材３の位置が決まり、止めねじ２７，３７をねじ込むことによって、スライド部材３はベース部材２と取付け部材４とに対して固定される。また、その状態で第１取付けボルト１５を締め付けることにより、ベース部材２を第１部材６に取り付けることができる。
【００２７】
上記の態様は、先に第２部材８側において取付け部材４を固定したものであったが、先に第１部材６側においてベース部材２を第１取付けボルト１５によって固定し、取付け部材４を位置調整の後に、取付け部材４に予め組み込んだ第２取付けボルト５０によって第２部材８に固定する場合も同様である。即ち、第２部材８への取付けと第１部材６への取付けとの取付け位置誤差は、スライド部材３をスライド面内でベース部材２と取付け部材４とに対して変位させることで、吸収可能である。Ｘ軸及びＹ軸方向の調整が終了したとき、第２取付けボルト５０への第２部材８の取付け高さを調整することによって、Ｚ軸方向に固定位置を調整することができる。
【００２８】
固定装置１については、第１部材６と第２部材８との間で複数の箇所、例えば、３箇所又は４箇所に配置することができる。図３は、複数の固定装置１を用いた第２部材８の第１部材６への固定状態を示す平面図であり、（ａ）は同じ構造の固定装置１ａ〜１ｄを四隅に配置した例を示す平面図、（ｂ）は（ａ）の側面図である。第２部材８と第１部材６とは固定位置を予め定めた上で設計・製作されるが、実際の固定位置については製作誤差が生じるのは避けられない。そこで、図３に示す例では、第２部材８は、第２部材８の四隅の内、一つの隅部６０ａが、固定装置１ａによって基準隅部として位置が固定され、残る３つの隅部６０ｂ〜６０ｄにおいて、それぞれ固定装置１ｂ〜１ｄを配置して固定位置が調整可能とされる。固定装置１ａ〜１ｄにおいて、ベース部材２の取付け板部１０は、挿通する第１取付けボルト１５の頭部１５ａとナット５５とによって第１部材６と共に挟み付けられることによって、第１部材６に取り付けられる。固定装置１ａ〜１ｄにおいて、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に位置調整することによって、第２部材８の第１部材６に対する面内位置（Ｘ軸方向及びＹ軸方向の位置と、Ｘ−Ｙ面内の回転位置）が調整される。更に、第２取付けボルト５０のねじ係合によるＺ軸方向の位置調整によって、第２部材８の全体の高さ位置を調整することが可能である。なお、第２部材８の四隅のうち、一つの隅部（例えば、６０ａ）での固定位置が予め決められている場合には、その隅部については固定装置１ａを配置する必要がなく、第２部材８の固定位置を残る三隅６０ｂ〜６０ｄにおいて調整することができることは、言うまでもない。この場合には、Ｚ軸方向の位置調整によって基点となる隅部６０ａに対する傾斜を調整することができる。
【００２９】
図４は、この発明による別の固定装置を用いた固定例を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図である。図４に示す固定例では、第１部材７８は予め第２取付けボルト５０を挿通するための矩形孔７９が形成された構造であり、それに対応して、固定装置７０は、ベース部材７２は取付け板部１０や起立部１１を備えておらず、ベース本体７３とガイドアーム７４，７４とを有する簡単な構造から成っている。ベース本体７３から直接に延びる伸長部分１３，１３間に形成されている取付け溝１４に第１取付けボルト１５を挿通させてナット５５を締め付けることにより、ベース部材７２は第１部材７８に取り付けられる。第２取付けボルト５０は、その頭部がベース部材７２の矩形孔２５内に完全に嵌まり込む大きさである場合に予め取付け部材４に螺合させることができるが、それ以外は、第１部材７８の矩形孔７９からベース部材７２の矩形孔２５及びスライド部材３の長孔３５を挿通した後、取付け部材４に螺合される。固定装置７０のスライド部材３や取付け部材４等を含むその他の構造、及び複数の固定装置７０を用いた第２部材８の位置調整については、図１及び図２に示す実施例と同様であるので、その実施例に用いられた符号と同じ符号を付すことにより、更なる説明を省略する。
【００３０】
図５は、この発明による固定装置を用いた他の固定例を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図である。図５に示す固定例では、複数の固定装置８０のうち二つの固定装置８０による取付け部分が示されている。固定装置８０は、第２部材８を第１部材としての垂直壁８８に固定することができる構造を有している。ベース部材８２は、一体構造とされた水平ベース部８４と起立ベース部８５とを備えた取付けアダプタ８３を介して垂直壁８８に固定されている。水平ベース部８４は、取付け位置を３軸方向に調整可能とするためにスライド部材３や取付け部材４が組み込まれる。起立ベース部８５は、ボルト８６等の適宜の手段によって垂直壁８８に取り付けられる。取付けアダプタ８３を用いることにより、第２部材８を垂直壁８８に対しても固定位置が３軸方向に調整可能に固定することができる。図５に示す固定装置８０では、取付けアダプタ８３を用いていたが、ベース部材８２と取付けアダプタ８３とを溶接等の手段によって予め一体化しておくことも可能である。
【００３１】
この発明による位置調整可能な固定装置の適用例として、有機ＥＬ素子の蒸着装置における真空チャンバの装置フレームへの固定が挙げられる。有機ＥＬ素子等の成膜装置においては、薄膜層としては、有機エレクトロルミネセンス（以下、「有機ＥＬ」と略す）発光材料から成る薄膜状の発光層や、半導体層、電極材料からなる薄膜状の電極層等が成膜される。これらの薄膜表示素子や薄膜半導体素子の製造は、真空チャンバのような真空雰囲気の中で基板上に措定の材料から成る薄膜を線状或いは点状のパターンに成形することにより行われている。特に、有機ＥＬ素子の製造については、有機ＥＬ素子の材料となる有機原料が高温に耐えられず、高温工程を含む製造工程を採用することができないので、薄膜製造の当初段階から基板上にマスクを用いて所定のパターンとなるように薄膜層が成膜される。搬送装置によって次々に真空チャンバ内に搬送されてくる基板を所定の微細なパターンで開口するマスクで密着させて覆い、真空チャンバ内で蒸発させた有機原料をマスクの微細な開口部を通して基板上の部分に蒸着することにより、有機ＥＬ素子が製造される。
【００３２】
この種の真空成膜装置については、真空チャンバを製造ライン上に設置する必要があるが、真空チャンバは相当の重量を有しており、製造ラインの前後の洗浄工程、成膜の種類に応じた各成膜工程、及び搬送装置との間で整合を取った所定位置に調整しつつ設置することは非常に困難な作業である。本発明による位置調整可能な固定装置によれば、使用に際して要求される操作は、基本的に、位置の割り出しのためのスライド部材のスライドと、決定された位置での固定という簡単な操作だけであるので、重量のある真空チャンバのフレームを製造ラインのラインフレームに対して所定位置に簡単に且つ確実に設置することができる。なお、上記の各実施例では、互いに固定すべき二つの部材をフレームとしたが、固定すべき二つの部材を、一方をフレームとし、他方を各種機器のケーシングやハウジングとすることも可能である。また、この発明による位置調整可能な固定装置は、機台に対する機器、あるいは機器同士の位置調整可能な固定にも使用できることは明らかである。
【００３３】
【発明の効果】
この発明による位置調整可能な固定装置は、上記のように、スライド部材がベース部材と取付け部材に対してスライド可能としており、それぞれ一方向にのみ調整可能な二つのスライド機構が重層された態様で組み合わされているので、第２部材の第１部材への固定において、第１部材に対して少なくとも固定平面内の２軸方向に第２部材の固定位置を任意に調整可能である。また、第２部材を取付け部材に対してスライド面に直交する方向にも位置調整可能とすることにより、３軸方向に任意に位置調整可能とすることもできる。その結果、本固定装置によれば、構造がコンパクトでありながら、第２部材の第１部材への固定位置を互いに異なる軸方向に任意に且つ簡単に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による位置調整可能な固定装置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す位置調整可能な固定装置の分解斜視図である。
【図３】この発明による位置調整可能な固定装置を用いた第２部材の第１部材への固定状態を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図である。
【図４】この発明による別の位置調整可能な固定装置を用いた第２部材の固定例を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図である。
【図５】この発明による他の位置調整可能な固定装置を用いた第２部材の他の固定例を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図である。
【符号の説明】
１，１ａ〜１ｄ，７０，８０　固定装置　２　　ベース部材
３　スライド部材　　　　　　　　　　　４　取付け部材
６　第１部材　　　　　　　　　　　　　８　第２部材
１０　取付け板部　　　　　　　　　　１１　起立部
１２　スライド本体　　　　　　　　　１５　第１取付けボルト
２１　ベース載置面　　　　　　　　　２３　第１ガイド溝
２５，７９　矩形孔　　　　　　　　　２７　第１締付け具
３１　スライド載置面　　　　　　　　３３　第２ガイド溝
３４　第１ガイド係合部分　　　　　　３５　長孔
３７　第２締付け具　　　　　　　　　４１　第２ガイド係合部分
５０　第２取付けボルト（取付け具）　６０ａ〜６０ｄ　　四隅
８３　取付けアダプタ　　　　　　　　８４　水平ベース部
８５　起立ベース部　　　　　　　　　８８　垂直壁
Ｘ軸　第１方向
Ｙ軸　第２方向
Ｚ軸　第３方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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