(57)【要約】【課題】本発明は、前述の開示技術をさらに発展させたものであり、作業者がペリクルに直接に接触することなく、さらにペリクル収納容器のトレイから蓋を取り外すことができるペリクル収納容器を提供することを目的としている。【解決手段】上記課題を解決するために、本発明に係るペリクル収納容器の代表的な構成は、ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるペリクル収納容器であって、ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、前記トレイには、収納したペリクルの外部を通過し、かつ前記蓋に当接する位置に治具孔を設けたことを特徴とする。【選択図】  図３
2004318006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるペリクル収納容器であって、
ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、
前記トレイには、収納したペリクルの外部を通過し、かつ前記蓋に当接する位置に治具孔を設けたことを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
側部に耳部が突設された保護フィルムが粘着材を介してペリクル枠の下面に貼着されて形成されたペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるペリクル収納容器であって、
ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、
前記トレイは、
前記ペリクル枠に対応する位置に設けられた第一治具孔と、
前記保護フィルムの耳部に対応する位置に設けられた第二治具孔と、
収納したペリクルの外部を通過し、かつ前記蓋に当接する位置に設けられた第三治具孔とを有することを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項３】
前記第一治具孔、第二治具孔、および第三治具孔は、前記ペリクルの保管、搬送時にあってはテープにより密封したことを特徴とする請求項２記載のペリクル収納容器。
【請求項４】
ペリクル収納容器に収納したペリクルを取り出す際に用いる押上装置であって、
設置されるペリクル収納容器に対し、収納されたペリクルの外部を通過し、かつペリクル収納容器のトレイを貫通して蓋に当接する位置に起立突設された、棒状の突起である蓋支持用治具を備えたことを特徴とする押上装置。
【請求項５】
ペリクル収納容器に収納したペリクルを取り出す際に用いる押上装置であって、
設置されるペリクル収納容器に対し、
収納されたペリクルのペリクル枠に当接する位置に起立突設された棒状の突起であるペリクル枠支持用治具と、
収納されたペリクルの保護フィルムの耳部に対応する位置に起立突設され、先端から吸引して前記耳部を吸着可能な吸引把持用治具と、
収納されたペリクルの外部を通過し、かつペリクル収納容器のトレイを貫通して蓋に当接する位置に起立突設された棒状の突起である蓋支持用治具と、を備えたことを特徴とする押上装置。
【請求項６】
ペリクルを収納したペリクル収納容器の開蓋方法であって、
ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、前記トレイには、収納したペリクルの外部を通過し、かつ前記蓋に当接する位置に治具孔を設けたペリクル収納容器と、
前記治具孔に挿通可能な棒状の突起である蓋支持用治具が起立突設された押上装置と、を用いて、
前記押上装置の蓋支持用治具を、前記ペリクル収納容器の治具孔に挿通させることにより、前記蓋を前記トレイから押し上げることを特徴とするペリクル収納容器の開蓋方法。
【請求項７】
側部に耳部が突設された保護フィルムが粘着材を介してペリクル枠の下面に貼着されて形成されたペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるペリクル収納容器の開蓋方法であって、
ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、前記トレイは、前記ペリクル枠に対応する位置に設けられた第一治具孔と、前記保護フィルムの耳部に対応する位置に設けられた第二治具孔と、収納したペリクルの外部を通過し、かつ前記蓋に当接する位置に設けられた第三治具孔とを有するペリクル収納容器と、
前記第一治具孔に挿通可能なペリクル枠支持用治具と、前記第二治具孔に挿通して前記保護フィルムの耳部を吸着可能な吸引把持用治具と、前記第三治具孔に挿通可能な蓋支持用治具と、が起立突設された押上装置と、を用いて、
前記蓋支持用治具を前記第三治具孔に挿通させることにより前記蓋を前記トレイから押し上げ、
さらに前記トレイを前記押上装置に向かって移動させることにより、前記ペリクル枠支持用治具を前記第一治具孔に挿通させてペリクルを保持すると共に、前記吸引把持用治具を前記第二治具孔に挿通させて前記保護フィルムの耳部を吸着し、
さらに前記トレイを前記押上装置に向かって移動させることにより、前記ペリクルを前記トレイから分離させることを特徴とするペリクル収納容器の開蓋方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ペリクル枠にペリクル膜が貼着されて形成されたペリクルを収納する容器に係り、特に、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）、ＴＦＴＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクル（以下、「マスク」という）に固着して使用されるペリクルを一時的に保管したり、搬送したりする際に使用されるペリクル収納容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ペリクルは、マスクに対して所定の距離をおいてペリクル膜を位置させ、マスク上に塵埃等の異物等が付着するのを防止するものである。
【０００３】
フォトリソグラフィ工程において、異物等がペリクル上に付着したとしても、それ等の像はフォトレジストが塗布された半導体ウェハ上には結像しない。従って、マスクをペリクルで保護することにより、異物等の像による半導体集積回路の短絡や断線等、また液晶ディスプレイ（以下、「ＬＣＤ」という）の欠陥を防止することができ、フォトリソグラフィ工程での製造歩留りが向上する。更にマスクのクリーニング回数が減少して、その寿命を延ばす等の効果がペリクルにより得られる。
【０００４】
近年、ＬＣＤではＴＦＴ（薄膜トランジスタ）の実用化により大画面化、高精細化、大容量化等が達成されつつあるが、ＴＦＴ−ＬＣＤ製造で使用されるペリクルもこれに対応して大型化及び面内の光透過性の均一性が求められており、また半導体製造用のペリクルにおいても均一な高光線透過率を持つペリクル膜が求められている。更に、ペリクル自身及びその周辺からミクロンオーダーの塵埃等の異物の発生も許されないペリクルが求められている。
【０００５】
このようなマスク保護装置としてのペリクルは、一定幅を有するペリクル枠と、該ペリクル枠の一方の側面に接着剤により張着された透明薄膜からなるペリクル膜とから構成されている。ペリクル枠の他方の側面にはマスクに張り付けるための粘着材が塗着されており、粘着材には保護フィルムが貼着されている。
【０００６】
またペリクルは、収納容器に格納して保管、運搬される。ペリクル収納容器は、ペリクルを載置および保持するトレイと、蓋とから構成されている。ペリクル収納容器には、ペリクルに塵埃を付着させないための密封性と、ペリクル膜に非接触な状態で確実に保持しうる保持性とが要求される。
【０００７】
ところで、ペリクルを使用する際には、ペリクルを収納容器から取り出し、保護フィルムを剥離させて粘着材を露出させ、マスクに張り付ける作業が行われる。ここで、特にＬＣＤ用の大型ペリクルは、上記作業を人手により行う必要がある。しかし人手によるペリクルのハンドリング、並びに人手による保護フィルムの剥離作業により、ペリクルを落下させたり、ペリクル膜を傷つけたり、ペリクル膜に異物を付着させるおそれがあった。
【０００８】
その対応策として、出願人は、下記特許文献１のような提案をしている。特許文献１には、トレイと蓋とからなるペリクル収納容器において、トレイの所定位置に、第一治具孔と、第二治具孔とを設けた構成を開示している。そして押上装置にペリクルの乗ったトレイを置くことにより、押上装置に設けたペリクル枠支持用治具を第一治具孔に挿通してペリクルを保持すると共に、吸引把持用治具を第二治具孔に挿通して保護フィルムの耳部を吸引把持する。従って単にトレイを押上装置に置くだけでペリクルを収納容器のトレイから分離させることができ、また単にペリクルを持ち上げる操作に伴ってペリクルから保護フィルムを自動的に剥離することができる。これにより、人手によりペリクルを取り扱う作業を減少させることができ、ペリクルを落下させたり、ペリクル膜に傷を付けたり、或はペリクルに異物が付着することを防止し、作業効率と信頼性を著しく向上させる効果を有している。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００２−１５６７４４
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述の従来例のペリクル収納容器においても、ペリクルをマスクに張り付ける際にペリクル収納容器からペリクルを取り出しマスク接着剤から保護フィルムを剥離する過程をよく観察すると、押上装置にペリクルを載置する際に、まず手作業によってペリクル収納容器の蓋をトレイから取り外している。
このため、作業効率に改善の余地を残すと共に、未だ蓋を落下させたり、ペリクル膜にキズを付けたり、ペリクル膜に塵埃などの異物を付着させるおそれがあった。
【００１１】
そこで本発明は、上記課題を鑑みて、前述の開示技術をさらに発展させたものであり、作業者がペリクルに直接に接触することなく、さらにペリクル収納容器のトレイから蓋を取り外すことができるペリクル収納容器を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係るペリクル収納容器の代表的な構成は、ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるペリクル収納容器であって、ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、前記トレイには、収納したペリクルの外部を通過し、かつ前記蓋に当接する位置に治具孔を設けたことを特徴とする。これにより、治具孔に蓋支持用治具を挿通させるだけで、ペリクル収納容器のトレイから蓋を取り外すことができる。
【００１３】
また本発明に係るペリクル収納容器の他の構成は、側部に耳部が突設された保護フィルムが粘着材を介してペリクル枠の下面に貼着されて形成されたペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるペリクル収納容器であって、ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、前記トレイは、前記ペリクル枠に対応する位置に設けられた第一治具孔と、前記保護フィルムの耳部に対応する位置に設けられた第二治具孔と、収納したペリクルの外部を通過し、かつ前記蓋に当接する位置に設けられた第三治具孔とを有することを特徴とする。これにより、ペリクル収納容器を押上装置に設置するだけで、自動的にペリクル収納容器のトレイから蓋を取り外し、トレイからペリクルを自動的に取り出すことができ、さらにペリクルの取り出し時にペリクル枠の下面から保護フィルムを剥離させることができる。
【００１４】
また本発明に係る押上装置の代表的な構成は、ペリクル収納容器に収納したペリクルを取り出す際に用いる押上装置であって、設置されるペリクル収納容器に対し、収納されたペリクルの外部を通過し、かつペリクル収納容器のトレイを貫通して蓋に当接する位置に起立突設された、棒状の突起である蓋支持用治具を備えたことを特徴とする。これを用いることにより、上記ペリクル収納容器のトレイから蓋を取り外すことができる。
【００１５】
また本発明に係る押上装置の他の構成は、ペリクル収納容器に収納したペリクルを取り出す際に用いる押上装置であって、設置されるペリクル収納容器に対し、収納されたペリクルのペリクル枠に当接する位置に起立突設された棒状の突起であるペリクル枠支持用治具と、収納されたペリクルの保護フィルムの耳部に対応する位置に起立突設され、先端から吸引して前記耳部を吸着可能な吸引把持用治具と、収納されたペリクルの外部を通過し、かつペリクル収納容器のトレイを貫通して蓋に当接する位置に起立突設された棒状の突起である蓋支持用治具と、を備えたことを特徴とする。これによりトレイから蓋を取り外し、ペリクルを取り出し、かつペリクルの保護フィルムを把持することができる。
【００１６】
また本発明に係るペリクル収納容器の開蓋方法の代表的な構成は、ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、前記トレイには、収納したペリクルの外部を通過し、かつ前記蓋に当接する位置に治具孔を設けたペリクル収納容器と、前記治具孔に挿通可能な棒状の突起である蓋支持用治具が起立突設された押上装置と、を用いて、前記押上装置の蓋支持用治具を、前記ペリクル収納容器の治具孔に挿通させることにより、前記蓋を前記トレイから押し上げることを特徴とする。これにより、蓋支持用治具を治具孔に挿通させつつペリクル収納容器を押上装置に設置する動作のみによって、トレイから蓋を自動的に取り外すことができる。
【００１７】
また本発明に係るペリクル収納容器の開蓋方法の他の構成は、側部に耳部が突設された保護フィルムが粘着材を介してペリクル枠の下面に貼着されて形成されたペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるペリクル収納容器の開蓋方法であって、ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、前記トレイは、前記ペリクル枠に対応する位置に設けられた第一治具孔と、前記保護フィルムの耳部に対応する位置に設けられた第二治具孔と、収納したペリクルの外部を通過し、かつ前記蓋に当接する位置に設けられた第三治具孔とを有するペリクル収納容器と、前記第一治具孔に挿通可能なペリクル枠支持用治具と、前記第二治具孔に挿通して前記保護フィルムの耳部を吸着可能な吸引把持用治具と、前記第三治具孔に挿通可能な蓋支持用治具と、が起立突設された押上装置と、を用いて、前記蓋支持用治具を前記第三治具孔に挿通させることにより前記蓋を前記トレイから押し上げ、さらに前記トレイを前記押上装置に向かって移動させることにより、前記ペリクル枠支持用治具を前記第一治具孔に挿通させてペリクルを保持すると共に、前記吸引把持用治具を前記第二治具孔に挿通させて前記保護フィルムの耳部を吸着し、さらに前記トレイを前記押上装置に向かって移動させることにより、前記ペリクルを前記トレイから分離させることを特徴とする。これにより、押上装置に設けた各治具を、ペリクル収納容器の各治具孔に挿通させつつ、ペリクル収納容器を押上装置に設置する動作のみによって、トレイから蓋を自動的に取り外し、ペリクルを取り出し、かつペリクルの保護フィルムを把持することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係るペリクル収納容器の一実施例を具体的に説明すると、図１（ａ）はペリクル収納容器のトレイと蓋と該トレイ内に収納されたペリクルを示す斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）の一部の拡大説明図、図２はペリクル収納容器と押上部材の治具との関係を示す斜視図、図３は押上装置のペリクル取り出し治具によってペリクルと蓋をトレイより浮上させた状態の斜視図、図４はペリクルホルダーによってペリクルをトレイより取り出す状態の斜視図である。
【００１９】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、ペリクルＡは、ペリクル枠１の上縁に接着剤２を介してペリクル膜３が張着されている。ペリクル枠１の下縁（下面）にはペリクルＡをフォトマスクやレティクル（以下、単にマスクという）に貼り付ける時に使用される粘着材４が塗着されると共に、この粘着材４にはペリクルＡの貼着時に簡単に剥離し得る保護フィルム５が貼着されている。保護フィルム５の側縁所定位置には耳部５ａが一体的に突設されている。前記ペリクル枠１の周側面には溝１ａが設けられている。
【００２０】
ペリクル枠１としては、ペリクル膜３を支持し得る枠であればどのような材質であっても良いが、表面をアルマイト処理したアルミフレームやクロムメッキ等を施した金属枠等の支持枠、更にはエンジニアリングプラスチック等で製造した樹脂支持枠等が用いられ、その形状も方形、円形等、他の種々の形状であっても良い。通常は、製造の容易さ、強度等の点から金属枠が用いられる。
【００２１】
ペリクル膜３の透明薄膜層（中心層）材料としては、ニトロセルロース、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート、エチルセルロース、カーボネート化アセチルセルロース等のセルロース誘導体が使用できる。これらのセルロース誘導体は、夫々単独で用いても良いが、２種以上のセルロース誘導体との混合物を用いても良い。使用するセルロース誘導体は、高分子量のもの程、薄膜の形状保持性が良いため好ましい。即ち、数平均分子量が３万以上、好ましくは５万以上である。このような材料のうち、ニトロセルロースは旭化成工業株式会社製、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネートはイーストマン・コダック社製のものが夫々市販されており、容易に入手することができる。
【００２２】
セルロース誘導体の溶媒としては、２−ブタノン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、乳酸エチル、酢酸セロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等、及びこれ等の溶媒の混合系が使用される。
【００２３】
セルロース誘導体等の溶液は、予め異物除去のための濾過をしてから、スピンコートする。透明薄膜（中心層）の膜厚は、溶液粘度や基板の回転速度を変化させることにより適宜変化させることができる。基板上に形成された薄膜に含まれている溶媒はホットプレート、オーブン等で揮発させる。
【００２４】
ペリクル膜３の反射防止層は単層或いは２層以上の層で構成されるが、単層の場合（表裏に反射防止層を形成すると、ペリクル膜３の層数は３層）は、反射防止層の屈折率ｎ１が透明薄膜（中心層）の屈折率ｎＣに対してｎ１＝（ｎＣ）１／２の時に反射防止効果は最大となり、この値に近い反射防止層材料を選択する程、反射防止効果は大きくなる。反射防止層の厚みｄは、反射防止すべき波長をλとするとｎ１×ｄ＝λ／４とすれば良い。
【００２５】
また、反射防止層が２層の場合（前述と同様に表裏に反射防止層を形成するとペリクル膜３の層数は５層）は、透明薄膜層に接する層を高屈折率反射防止層にし、最外層を低屈折率反射防止層とするが、最外層の反射防止層から順に屈折率と厚みをｎ１、ｄ１及びｎ２、ｄ２とすると、ｎ２／ｎ１＝（ｎＣ）１／２の時に反射防止効果は最大となり、この値に近いｎ２／ｎ１の反射防止層材料を選択する程、反射防止効果は大きくなる。
【００２６】
反射防止層の厚みｄ１、ｄ２は、反射防止すべき波長をλとすると、ｎ１×ｄ１＝ｎ２×ｄ２＝λ／４とすれば良い。中心層にはセルロース誘導体、ポリビニルブチラール、ポリビニルプロピオナール等を使用することができ、その場合にはこれらの屈折率は１．５前後であるから、（ｎＣ）１／２が約１．２２となる。従って、反射防止層材料の屈折率としては、反射防止層が単層の場合、ｎ２／ｎ１が１．２２に近い程、反射防止効果が大きくなり、好ましい。
【００２７】
最外層として用いる低屈折率反射防止層の材料としては、テトラフルオロエチレン−ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレンポリマー、ポリフルオロアクリレート、主鎖に環状構造を有するフッ素ポリマーであるデュポン社製のテフロンＡＦ（商品名）、旭硝子社製のサイトップ（商品名）等のフッ素系材料が使用できる。テフロンＡＦは、γ線、電子線、α線等の放射線や遠紫外線等の光を照射することにより、濾過性、制電性、ペリクル膜３とペリクル枠１との接着性が向上する。
【００２８】
ペリクル収納容器のトレイ６は、前述のペリクルＡをその内部に収納するものである。このトレイ６に蓋６ａを被覆することによって、ペリクルＡを密閉した状態で保管したり、搬送したりすることができるように構成されている。
【００２９】
前記トレイ６の所定位置、即ち収納されたペリクルＡのペリクル枠１と対応する位置には、後述の押上装置９のペリクル枠支持用治具１１を挿通しうる第一治具孔７が穿設されている。
【００３０】
またトレイ６には、前述の第一治具孔７とは別に、前述のペリクルＡの保護フィルム５の耳部５ａに対応する位置に第二治具孔８を穿設しており、後述する押上装置９の吸引把持用治具１２を挿通可能となっている。すなわち、この第二治具孔８は、ペリクルＡをトレイ６内に戴置した際に、保護フィルム５の耳部５ａがトレイ６に当接される場所に穿設されている（図１（ａ）参照）。
【００３１】
またトレイ６には、第一治具孔７及び第二治具孔８とは別に、収納したペリクルＡのペリクル枠１の外部を通過し、かつ前記蓋６ａに当接する位置に第三治具孔８ａを穿設しており、後述する押上装置９の蓋支持用治具１１ｂを挿通可能となっている。すなわち第三治具孔８ａの位置は、ここから挿通された蓋支持用治具１１ｂが、ペリクルＡの脇を通過し、蓋６ａの内面に当接する位置である。
【００３２】
前記トレイ６を成形するにあたっては、例えばアクリル樹脂、ＰＥＴ樹脂等が一般的に使用できる。また、トレイ６の成形にあたっては、射出成形、直空成形等の成形方法が用いられる。前述のトレイ６に設ける第一治具孔７、第二治具孔８、及び第三治具孔８ａは夫々トレイ６の成形時に同時に設けることも、或はトレイ６が成形された後でプレス加工等によって穿設することも可能である。
【００３３】
各治具孔７、８、８ａは、夫々トレイ６の外側からテープ（図示せず）が貼着されて密封されている。このようにトレイ６にテープを貼着した理由は、ペリクルＡを収納する収納容器内にこれ等の治具孔７、８、８ａを通じて塵埃が侵入することを防止するためである。トレイ６に貼着されたテープは、トレイ６よりペリクルＡを取り出す時に剥離される。
【００３４】
前述のトレイ６は、次の理由によって導電性を有していることが好ましい。即ち、トレイ６が導電性を有していると、帯電による塵埃が付着しにくくなり、トレイ６の異物除去作業が軽減されるためである。このようにトレイ６に導電性を持たせるためには、トレイ６を成形する際の副資材として導電物質、例えば導電性カーボンブラック、金属粉等を成形資材となる樹脂の中に混入すれば良い。
【００３５】
図２に示す押上装置９は、上述したペリクル収納容器から、収納したペリクルＡを取り出す際に用いる装置である。押上装置９の基台１０の所定位置、即ち前記トレイ６の第一治具孔７に対応する位置には、該第一治具孔７に挿通し得る棒状の突起であるペリクル枠支持用治具１１が起立突設されている。また、前記基台１０の所定位置、即ちトレイ６の第二治具孔８に対応する位置には、前記保護フィルム５の耳部５ａを吸引把持し得る吸引把持用治具１２が起立突設されている。また、前記基台１０の所定位置、即ち前記トレイ６の第三治具孔８ａに対応する位置には、該第三治具孔８ａに挿通しうる棒状の突起である蓋支持用治具１１ｂが起立突設されている。
【００３６】
前記ペリクル枠支持用治具１１の上面には、ペリクル枠１を支持し易くするために切欠部１１ａが設けられている。また、吸引把持用治具１２の中芯部には通気孔（図示せず）が貫通されている。さらに、前記基台１０の上側部には、後述のペリクルＡを保持し得るペリクルホルダー１４をガイドし得る一対のガイドブロック１３が左右に対応して起立突設されている。
【００３７】
ペリクルホルダー１４はコ字状の治具であって、その両先端部１４ａはペリクル枠１の外周面に設けられた溝１ａに嵌入し得る形状を有しており、このペリクルホルダー１４の元部には一対の柄１５が取付けられている。すなわち、両先端部１４ａをペリクル枠１の溝１ａに嵌入して柄１５を把持することにより、ペリクルＡに触れずにこれを持ち上げて取り回すための治具である。
【００３８】
図３および図４を用いて、上記構成を有する押上装置９とペリクルホルダー１４とを使用して、トレイ６内に収納されたペリクルＡを取出す方法について説明する。
【００３９】
先ずトレイ６の裏面に貼着されていたテープを剥離して、前記第一治具孔７、第二治具孔８、及び第三治具孔８ａを夫々開口させる。そしてトレイ６を押上装置９上に移動して来て、トレイ６に設けられた各治具孔７、８、８ａに夫々ペリクル枠支持用治具１１、吸引把持用治具１２、及び蓋支持用治具１１ｂを挿通させつつ、ペリクル収納容器を押上装置９に設置する。
【００４０】
作業者がペリクル収納容器のトレイ６を把持して、押上装置９に向かって移動させる（押し下げる）と、まず蓋支持用治具１１ｂが第三治具孔８ａに進入し、蓋６ａに当接してこれを押し上げることにより、トレイ６から蓋６ａが取り外される。
【００４１】
さらにトレイ６を押上装置９に向かって移動させると、ペリクル枠支持用治具１１の上面の切欠部１１ａがペリクル枠１に当接してこれを押し上げることにより、ペリクルＡがトレイ６から取り出される。このとき、吸引把持用治具１２の上面がペリクルＡの保護フィルム５の耳部５ａに当接するため、バキューム装置（図示せず）等を作動させて耳部５ａを吸引把持用治具１２の上面に吸着固定させる。
【００４２】
図３は、トレイ６を押上装置９の最下部まで移動させた状態を示している。図に示すように、蓋６ａは蓋支持用治具１１ｂによって支持され、ペリクルＡはペリクル枠支持用治具１１によって支持されて浮上している。
【００４３】
続いて、図４に示すように、ペリクルホルダー１４をガイドブロック１３に沿って移動させて、その両先端部１４ａをペリクル枠１の外周面に設けられた溝１ａ内に挿入し、ペリクルホルダー１４によってペリクルＡを保持する。ここで、ガイドブロック１３のガイド溝は、支持されたペリクル枠１の溝１ａとガイドされたペリクルホルダー１４の両先端部１４ａとが一致する高さに設けられている。そしてペリクルホルダー１４を上昇させることによって、ペリクルＡを上昇させる。このとき、保護フィルム５の耳部５ａが吸引把持用治具１２によって吸着把持されていることから、ペリクルＡの上昇に伴って保護フィルム５がペリクル枠１から自動的に剥離する。
【００４４】
このようにペリクルホルダー１４によって保持されたペリクルＡは、そのままの状態でマスク（図示せず）の上に移動させ、ペリクル枠１の下面に塗着されている粘着材４を利用してペリクルＡをマスクの上に粘着固定することができる。
【００４５】
上記説明した如く、ペリクルＡを収納したペリクル収納容器のトレイ６を押上装置９に向かって移動させるという１つの動作によって、蓋６ａをトレイ６より取り外し、ペリクルＡをトレイ６より自動的に取り出し、かつ保護フィルム５の耳部５ａの吸着把持を行うことができる。さらにペリクルホルダー１４を使用することによって、ペリクルＡを持ち上げると共に、保護フィルム５を簡単かつ確実に剥離させることができる。
【００４６】
すなわち、これら一連の動作において作業者がペリクルに近接もしくは触れることなく、また作業工程も極めて簡略となる。従って、ペリクルＡを人が持って落下させたり、ペリクル膜３に傷を付けたり、またはペリクルＡに塵埃等の異物が付着したりすることが防止でき、作業効率と信頼性を著しく向上させることができる。
【００４７】
【発明の効果】
上記説明した如く、本発明によれば、ペリクルを収納するトレイに、収納したペリクルの外部を通過し、かつ前記蓋に当接する位置に治具孔を設けたことにより、ペリクル収納容器の蓋をトレイから手作業にて取り外すことなく、一連の動作の一部として自動的に取り外すことができる。従って、ペリクルを人が持って落下させたり、ペリクル膜に傷を付けたり、またはペリクルに塵埃等の異物が付着したりすることが防止でき、作業効率と信頼性を向上させることができる。
【００４８】
また、ペリクルを収納するトレイに、前記ペリクル枠に対応する位置に設けられた第一治具孔と、前記保護フィルムの耳部に対応する位置に設けられた第二治具孔と、収納したペリクルの外部を通過し、かつ前記蓋に当接する位置に設けられた第三治具孔とを設けたことにより、トレイを押上装置に向かって移動させるという１つの動作によって、蓋をトレイより取り外し、ペリクルをトレイより自動的に取り出し、かつ保護フィルムの耳部の吸着把持を行うことができる。さらにペリクルホルダーを使用することによって、ペリクルを持ち上げると共に、保護フィルムを簡単かつ確実に剥離させることができる。従って、蓋の取り外し、ペリクルの取出し、保護フィルムの剥離作業、マスクに貼着するためにペリクルの移動等の際に、ペリクルを落下させたり、ペリクル膜に傷を付けたり、ペリクルに異物が付着することを防止することができ、作業効率と信頼性を著しく向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ペリクル収納容器のトレイと蓋と該トレイ内に収納されたペリクルを示す斜視図である。
【図２】ペリクル収納容器と押上部材の治具との関係を示す斜視図である。
【図３】押上装置のペリクル取り出し治具によってペリクルと蓋をトレイより浮上させた状態の斜視図である。
【図４】ペリクルホルダーによってペリクルをトレイより取り出す状態の斜視図である。
【符号の説明】
Ａ        …ペリクル
１        …ペリクル枠
１ａ    …溝
２        …接着剤
３        …ペリクル膜
４        …粘着材
５        …保護フィルム
５ａ    …耳部
６        …トレイ
６ａ    …蓋
７        …第一治具孔
８        …第二治具孔
８ａ    …第三治具孔
９        …押上装置
１０        …基台
１１        …ペリクル枠支持用治具
１１ａ    …切欠部
１１ｂ    …蓋支持用治具
１２        …吸引把持用治具
１３        …ガイドブロック
１４        …ペリクルホルダー
１４ａ    …両先端部
１５        …柄
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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