(57)【要約】液晶表示パネルがノーマリホワイト方式の液晶表示パネルであっても、プローバを駆動させることなく、異物の検査を行うことを可能とした液晶表示パネルの異物検査装置を提供すること。【解決手段】液晶表示パネルの裏面から、液晶表示パネルに対して垂直に光を照射する光源と、この液晶表示パネルの偏光板の接合面または液晶部に焦点位置を合わせた１対の検出器と、この検出器によって測定される光の強度に関する情報を用いて液晶表示パネルに含まれる異物の有無およびその平面位置と深さ位置を検出する演算処理部とを有しており、かつ、前記検出器を、光源から照射される光を直接見こまない位置に配置し、さらに、前記１対の検出器のうち一方の検出器の受光部に、検査対象の液晶表示パネルに張り合わされている偏光板と同じ偏光面を有する偏光板を設ける。【選択図】      図２
2004170102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示パネルの裏面から、液晶表示パネルに対して垂直に光を照射する光源と、この液晶表示パネルの偏光板の接合面または液晶部に焦点位置を合わせた１対の検出器と、この検出器によって測定される光の強度に関する情報を用いて液晶表示パネルに含まれる異物の有無およびその平面位置と深さ位置を検出する演算処理部とを有する液晶表示パネルの異物検査装置において、
前記検出器を、光源から照射される光を直接見こまない位置に配置し、かつ、前記１対の検出器のうち一方の検出器の受光部に、検査対象の液晶表示パネルに張り合わされている偏光板と実質的に直交する偏光面を有する偏光板をとりつけたことを特徴とする請求項１または２に記載の液晶表示パネルの異物検査装置。
【請求項２】
前記光源がレーザ光源であることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの異物検査装置。
【請求項３】
１対の検出器が、光源から照射される光の光軸に対して、点対象または線対象の位置に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の液晶表示パネルの異物検査装置。
【請求項４】
演算処理部が、前記１対の検出器からのそれぞれの検出した光の強度を比較して、異物の存在する位置を判断することを特徴とする請求項１ないし３に記載の液晶表示パネルの異物検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルの異物検査装置および異物検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ブラウン管に代わる小型かつ軽量の表示装置として、とりわけ液晶表示パネル（ＬＣＤ）が注目されるに至っている。このような液晶表示パネルの画質等の検査として、従来より目視検査が広く用いられているが、近年では画質検査ツールおよび画像処理技術を用いた検査工程の自動がが進められつつある。すなわち、このＬＣＤの表示部の品質を検査する装置として、ＣＣＤアレイセンサなどよりなるラインセンサを用いた液晶表示パネルの異物検査装置が開発され、この種の検査装置に関する出願も多数行われるに至っている。
【０００３】
例えば図５に示すように、平面の液晶表示パネルに対して、レンズの光軸が液晶表示パネルに対して直交するように配置されたＣＣＤカメラ等のラインセンサ３０と、前記光軸に対して所定の角度を有するように配置されたラインセンサ３１とを水平方向に同時に移動させることで、同一の異物や欠陥１００の画像情報を検出し、その平面的な位置のずれ量を算出し、このずれ量について液晶表示パネルに付着したゴミ（異物）や欠陥の位置が液晶表示パネルの表側、裏側、内部のいずれにあるかを判定することを特徴とする液晶表示パネルの検査装置がある（例えば特許文献１。）。
【特許文献】特開２００２−２４３５８３号公報
【０００４】
また、他の実施形態として、液晶表示パネルのガラスの厚みとセルギャップから、あらかじめ欠陥の位置に応じたずれ量を算出しておき、測定したずれ量の算出結果に最も近い値を特定することにより、液晶表示パネルのどの位置に欠陥や異物が存在するかを判定するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記液晶表示パネルにおいては、電圧を加えない場合に透過率あるいは反射率を最大（すなわち画面が白くなる状態）とし、電圧を加えると透過率を下げる構造を有するノーマリホワイト方式（Ｎｏｒｍａｌｙ  ｗｈｉｔｅ  ｔｙｐｅ）の液晶表示パネルと、電圧を加えない場合に透過率あるいは反射率を最小とするノーマリブラック方式（Ｎｏｒｍａｌｙ  ｂｌａｃｋ  ｔｙｐｅ）の液晶表示パネルとの２種類に分類される。この方式の構造上の相違点として、液晶層の前後を挟む２枚の偏光フィルターの置き方（偏光軸の位置）によって区別されているが、ノーマリホワイト方式の液晶表示パネルは、ノーマリブラック方式の液晶表示パネルと比して光の波長依存性がないため、ＴＦＴ型などのアクティブ・マトリクス方式の液晶ディスプレイに一般的に採用されている。
【０００６】
上記のノーマリブラック方式の液晶表示パネルの場合、前述の異物検査装置を用いて測定することで、パネル内のガラス基板とフィルタとの間などに存在する異物を、各深さ位置ごとに容易に検出することが可能である。しかしながら、上記ノーマリホワイト方式の液晶表示パネルを、前述の異物検査装置で異物の有無を判断させる場合においては、以下のような問題がある。すなわち、ノーマリホワイト方式の液晶表示パネルにおいては、図４に示す通り、光源４０に蛍光管タイプの平面光源を使用することによって、液晶表示パネル２０全面を照射させる構造であるため、パネル全面について光が透過した状態になる。このため、パネル内の基板２１、２２とフィルタ部２３、２４などの間に異物が存在していても、光源からの光が異物によって散乱して生じる散乱光を検出手段３０、３１を用いて検出することは極めて困難であった。
【０００７】
そのため、従来の異物検査装置においては、このようなノーマリホワイト方式の液晶表示パネルについて異物検査を行う場合、プローバ駆動を行って（電圧を加えて）画面全体を黒色とし、光源からの透過光を極めて少ない状態にした後に、検査を行う必要がある。このため、検査工程においてプローバ駆動のステップが必要となり、装置が複雑化して装置本体のコストアップの原因とだけでなく、検査工数が増加し、検査に要する時間が長期化するといった問題があった。
【０００８】
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、液晶表示パネルがノーマリホワイト方式の液晶表示パネルであっても、
ノーマリブラック方式の液晶表示パネルの検査と同様に、プローバを駆動させることなく、異物の検査を行うことを可能とした液晶表示パネルの異物検査装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、第１発明の液晶表示パネルの異物検査装置は、液晶表示パネルの裏面から、液晶表示パネルに対して垂直に光を照射する光源と、この液晶表示パネルの偏光板の接合面または液晶部に焦点位置を合わせた１対の検出器と、この検出器によって測定される光の強度に関する情報を用いて液晶表示パネルに含まれる異物の有無およびその平面位置と深さ位置を検出する演算処理部とを有しており、かつ、前記検出器を、光源から照射される光を直接見こまない位置に配置し、さらに、前記１対の検出器のうち一方の検出器の受光部に、検査対象の液晶表示パネルに張り合わされている偏光板と同じ偏光面を有する偏光板をとりつけたことを特徴としている（請求項１）。これによって、ノーマリホワイト方式の液晶表示パネルであっても、パネル全面について光が透過した状態になることがなく、プローバ駆動を行わずにパネルについての異物検査を行うことが可能となる。
【００１０】
液晶表示パネルに対して垂直に光を照射する光源は、レーザ光源であることが好ましい（請求項２）。これは、光源からの光が拡散して前記検出器に直接光源からの光を入射させないためである。
【００１１】
また、前記１対の検出器は、光源から照射される光の光軸に対して、点対象または線対象の位置に設けられていることが好ましい（請求項３）。このように検出器を配置することによって、検出器を上下または左右に駆動させる場合、光源と連動させて駆動させることが可能となり、駆動させた後も検出器の焦点位置等の調整を行う必要がなく、検査工程の削減の効果がある。さらに、通常の液晶表示パネル検査時には、液晶表示パネルは完全に平面になっておらず、幾らかのたわみが生じている場合が多いが、１対の検出器をこのように配置することで、液晶表示パネルのたわみによって両イメージセンサから得られた２つの強度測定値が時間的にずれることがないため、演算処理部は液晶表示パネルのたわみによる両強度測定値のずれを補正することなく両強度変化を比較することができ、それだけ信号処理を容易に行うことができる。
【００１２】
なお、前記演算処理部は、前記１対の検出器からのそれぞれの検出した光の強度を比較して、異物の存在する位置を判断させることも可能である（請求項４）。液晶表示パネルにおいては、パネルの内外において異物が存在し得るが、このように１対の検出器で検出した各々の光の強度を比較することによって、異物がパネルの内側に存在するのか、外側に存在するのかを判別することが容易に可能となる。なお、ここでいう１対の検出器として，複数（例えば３つ以上）の検出器を用いることで、異物の深さ位置をより正確に求めることも可能である。
【００１３】
なお、前述の１対の検出器の検出した光強度の比較は、単に強度測定値の大小を比較するだけのものであってもよく、この場合の演算処理部は、例えばコンパレータのようなアナログ回路であっても、このアナログ回路にＣＰＵなどの演算処理回路を組み合わせたものであってもよい。この場合、演算処理部にアナログ回路を含ませることで、製造コストの削減および処理速度の飛躍的な向上を図ることが可能である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の液晶表示パネルの異物検査装置１の第１実施例を示す図である。図１において、２は測定対象である液晶表示パネル、３は液晶表示パネル２をセットする載置台、４はこの載置台３の裏面側から液晶表示パネル２に対して垂直な方向に直線性を有する光を照射するレーザ光源４ａとレンズ４ｂとよりなる光照射手段であり、５は載置台３に対して液晶表示パネル２の表示面と平行する方向Ｙに摺動自在に形成されたスライド機構、６、６’は１対の検出器の一例としてスライド機構５に設置されたラインセンサユニット、７は各部を制御する演算処理装置である。
【００１５】
前記載置台３は、中央部には液晶表示パネル２の種類に合わせて、レーザ光源４ａからの光を液晶表示パネル２の液晶表示面２ｂに照射するための窓部３ｂを有する。なお、レーザ光源４ａからの光Ｌは、レンズ４ｂによって、図１のＸ方向にのみ拡散される。
【００１６】
一方、スライド機構５は複数のラインセンサユニット６，６’を並べて固定し、１直線上（１列）に並べられたラインセンサ６を保持するブラケット５ａと、このブラケット５ａを液晶表示パネル２から所定の距離だけ離して固定するための保持部材５ｂと、光照射手段４を前記ラインセンサユニット６、６’と一体に移動させるための保持部材５ｃと、保持部材５ｂおよび５ｃを図示Ｙ軸方向に移動させることでラインセンサ６を液晶表示面２ｂに対して走査するためのモータ５ｄとを有している。
【００１７】
前記各ラインセンサユニット６，６’は、レーザ光源４ａから発生する光の光軸面Ｍに対して線対称となるように、保持部材５ｂに対して線対称に配置されている。さらに、前記ラインセンサユニット６、６’のそれぞれに、１対となるセンサ本体｛６Ａ１、６Ａ２｝、｛６Ｂ１、６Ｂ２｝、．．．（図示せず）が組み込まれており、この１対のセンサのうちの一方のセンサの全面には、検査対象の液晶表示パネルに貼りつけられている偏光板と実質的に直交する偏光軸（偏光面）を有する偏光板が貼りつけられている。また、センサ本体の前には、それぞれ集光レンズが設けてあってもよい。
【００１８】
演算処理装置７は例えばパソコンであり、前記各部３〜６を適宜制御して、液晶表示パネル２の異物検査を行なう異物検査プログラムＰを実行する演算処理部７ａと、記憶部７ｂとを有する。
【００１９】
図２は図１に示した液晶表示パネルの異物検査装置１の要部を拡大して示す図である。図２において、図１と同じ符号を付した部分は同一または同等の部分であるから、その部分の詳細な構成の説明を省略する。
【００２０】
液晶表示パネル２は例えば、２枚のガラス基板１０，１１の間に挟まれた液晶部１２と、前記ガラス基板１０，１１のそれぞれ外側面に接合させた偏光板１３，１４とを有している。そして、１５は液晶表示パネル２の各部に付着した異物であって、本例に示す異物１５ａ〜１５ｃはそれぞれ液晶表示パネル２の表面、表面側偏光板の接合面、裏面側偏光板の接合面に付着した異物である。
【００２１】
また、６Ａ（１）、６Ａ（２）はラインセンサ６、６’のセンサ部であって例えばＣＣＤアレイセンサである。Ｍはレーザ光源４ａからの光に対する光軸面を示しており、光軸面Ｌ上の表面側偏光板の接合面から裏面側偏光板の接合面までに存在する異物からの散乱光は、集光レンズ６ａ（１）および６ａ（２）によって、センサ部６Ａ（１）および６Ａ（２）に入射されるよう、焦点位置が調整されている。
【００２２】
Ｓは前記ラインセンサ６、６’を矢印Ｙに示す方向に移動することでセンサ部６Ａ（１）、６Ａ（２）が検出する光の強度検出値の例を示しており、Ｓ１、Ｓ１’  は異物１５ａによって発生した強度測定波形、Ｓ２  、Ｓ２’は異物１５ｂによって発生した強度測定波形、Ｓ３、Ｓ３’  は異物１５ｃによって発生した強度測定波形である。
【００２３】
本発明の液晶表示パネル２の異物検査は、まず演算処理装置７などからレーザ光源４ａに対して制御信号を出力し、レーザ光Ｌ０を出力する。出力されたレーザ光は、レンズ４ｂによってＸ方向にのみ拡散され、光軸面Ｍを形成する。このとき、光軸面Ｍに対して、センサ部６Ａ（１）および６Ａ（２）が線対象の位置になるように予めラインセンサ６、６’を調整しておくことが好ましい。
【００２４】
通常、レーザ光源４ａから発生した光Ｌ０は、下面の偏光板１４を透過することにより、偏光板１４の作用によって偏向面が一方向に揃えられた透過光Ｌ１となる。次いで、この透過光Ｌ１  の偏光面が液晶部１２の作用によって捩じれて別の偏向面を有する光Ｌ２  （ノーマリホワイトの場合は光Ｌ１  ，Ｌ２  の偏光面は同一方向）になる。液晶表示パネルがノーマリブラックの場合においては、光Ｌ２の偏光面が上面の偏光板１３の偏光方向と直交することにより、偏光板１３によって完全に遮断されるが、液晶表示パネルがノーマリホワイトの場合においては、光Ｌ２は偏光板１３によって遮断されることなく通過することとなる。
【００２５】
このため、レーザ光Ｌ０の中心Ｌａ上（光軸面Ｍ上）に異物が存在しない場合、このレーザ光Ｌは液晶表示パネル２を透過し、センサ部６Ａ（１）、６Ａ（２）には直接入射されることはない。しかしながら、例えば液晶表示パネル２の表面上に異物１５ａが存在する場合、レーザ光Ｌは異物１５ａにおいて散乱し、センサ部６Ａ（１）および６Ａ（２）に入射される。このとき、異物１５ａにおいて散乱した散乱光Ｌｓ１は偏光板１３および１４とは異なる偏光面も有しているため、センサ部６Ａ（１）においては散乱光Ｌｓ１の強度がほぼ１００％入射される（強度Ｓ１）が、センサ部６Ａ（２）においては、散乱光Ｌｓ１のうち偏光板１３と平行の偏光面を有する光は偏光板１６によって遮られるため、センサ部６Ａ（２）に入射される散乱光Ｌｓ１の強度（Ｓ１’）は約４０〜５０％程度に低減される。
【００２６】
液晶表示パネル２の表面側偏光板の接合面に異物１５ｂが存在する場合においては、レーザ光Ｌ２が異物１５ｂにおいて散乱した後、偏光板１３を通過する。これによって、偏光板１３には散乱光Ｌｓのうち偏光板１３と平行な偏光面の光のみが通過し、センサ部６Ａ（１）に入射される。しかしながら、センサ部６Ａ（２）の手前に設置された偏光板１６によって、偏光板１３と平行な光（散乱光Ｌｓ）はほとんど遮られるために入射されず、ほとんど検出されない。すなわち、センサ部６Ａ（１）およびセンサ部６Ａ（２）において検出された光強度Ｓ２およびＳ２’は、図２に表すようなグラフで表されることになる。
【００２７】
液晶表示パネル２の裏面側偏光板の接合面に異物１５ｃが存在する場合においても同様に、レーザ光Ｌ２は異物１５ｃにおいて散乱した後、偏光板１３を通過するため異物１５ｃにおいて散乱した散乱光Ｌｓは、センサ部６Ａ（１）には入射されるが、センサ部６Ａ（２）においては偏光板１６によって遮られるため、入射されない。しかしながら、レーザ光Ｌ２が異物１５ｂにおいて散乱する場合と比して、散乱した光Ｌｓがガラス基板１０、１１を通過するため、散乱光Ｌｓがやや減衰する。そのため、センサ部６Ａ（１）およびセンサ部６Ａ（２）において検出された光強度Ｓ３，Ｓ３’については、図３に表すように、Ｓ２と比してやや小さい強度として検出される。
【００２８】
図３に、本発明についての他の実施例を示す。図２と比して同様の構成ついては同一の符号を付しているため、説明は省略する。１６’はセンサ部６Ａ（１）側に設けられた偏光板で、偏光板１３と平行な偏光面１６’を有している。これによって、液晶表示パネル２の表面上に異物１５ａが存在する場合について、散乱光Ｌｓの一部が１６’によって遮られるため、センサ部６Ａ（１）および６Ａ（２）によって検出される強度Ｓ１、Ｓ１’は図３のように若干弱いものとなる。同様に、液晶表示パネル２の表示側偏光板の接合面に異物１５ｂが存在する場合においても、液晶表示パネル２の裏面側偏光板の接合面に異物１５ｃが存在する場合においても、散乱光Ｌｓのうち偏光板１３と平行な光のみがセンサ部６Ａ（１）に入射され、偏光板１３と直交する偏光面を有する偏光板１６を設けたセンサ部６Ａ（２）においては、散乱光Ｌｓは検出されない。これらの場合のセンサ部６Ａ（１）よび６Ａ（２）によって検出された各々の強度を、図３のＳ１１〜Ｓ１３、Ｓ１１’〜Ｓ１３’に示す。
【００２９】
このように、一対となるセンサ部６Ａ（１）、６Ａ（２）のうち、いずれか一方のセンサ部の前面に、液晶表示パネルの偏光板１３（または１４）と直交する偏光面を有する偏光板を設けることで、液晶表示パネル２に異物が付着している場合、異物が液晶表示パネル２の内側に付着しているときに一方のセンサ部にのみ散乱光が入射させることができる。
【００３０】
図１に示した前記演算処理装置７は、ラインセンサ６によって測定した前記強度測定値Ｓを、例えば図外の処理ボードなどによって所定の閾値と比較することで仮想線に囲って示すように、前記散乱光Ｌｓを検出したと判断してよい強度測定波形Ｓ１〜Ｓ３を記憶部７ｂに記憶する。そして、その記憶部７ｂ内の演算処理部７ａは異物検査プログラムＰを実行することにより、前記強度測定波形Ｓ１〜Ｓ３の形状から、異物１５ａ，１５ｂ，１５ｃの存在する位置を特定する。
【００３１】
このとき、ラインセンサ６によって測定された光Ｌの強度測定値Ｓ（強度測定波形Ｓ１〜Ｓ３）が一旦記憶部７ｂに記憶されるので、演算処理装置７内の演算処理部７ａはラインセンサ６の移動速度に係わりなく強度測定波形Ｓ１〜Ｓ３の解析を行うことができる。しかしながら、本発明はラインセンサ６からの強度測定値Ｓを記憶部７ｂに記憶することを限定するものでないことはいうまでもない。また、ラインセンサ６の移動に合わせた記憶部７ｂに対する強度測定値Ｓの蓄積も演算処理部７ａによって行ってもよい。
【００３２】
図４は異物検査プログラムＰの動作の一例を示す図であって、ＳＴＥＰ１は記憶部７ｂに記憶された強度測定波形Ｓ１〜Ｓ３に含まれる各強度測定値を加算してその積算値（面積）ａ１〜ａ３を求める処理を行なうためのステップを示す。
【００３３】
また、ＳＴＥＰ２は位置特定ステップであって、前記強度測定波形Ｓ１〜Ｓ３に含まれる各強度測定値の中から最も大きい値（異物の位置における強度測定値。以下、単に波高値という）ｈ１〜ｈ３を求めて、その値に相当する位置を異物１５ａ，１５ｂ，１５ｃの平面位置ｐ１〜ｐ３として求める処理を行なう。
【００３４】
さらに、ＳＴＥＰ３は深さ特定ステップである。本例の深さ特定ステップＳ３には異物の平面位置における強度測定値を積算値で除算することにより前記集中状態を算出する集中状態計算ステップの処理が含まれている。具体的には前記波高値ｈ１〜ｈ３をそれぞれ積算値ａ１〜ａ３で除算することにより、前記強度測定波形Ｓ１〜Ｓ３の集中状態（波形の尖り度）を検出し、この波形が集中している程（波形が尖っている程）焦点位置Ｆに近い深さ位置の異物であると判断し、分散している程（波形が緩やかである程）焦点位置Ｆから離れた深さ位置の異物であると判断できる。なお、異物の存在する位置としては、前述のように、液晶表示パネルの表面Ｐ１、表面側偏光板の接合面Ｐ２、裏面側偏光板の接合面Ｐ３のいずれかであるから、Ｐ１〜Ｐ３のうち、ＳＴＥＰ３において求めた大まかな異物の深さ方向の位置が最も近いものを選択し、位置を特定するようにすることも可能である。
【００３５】
上述のように積算値ａ１〜ａ３の演算を行ない、この値を用いて波高値ｈ１〜ｈ３を除算する集中状態の計算を行なうことにより、異物１５の大きさに係わりなく、この深さ位置と焦点位置Ｆとの関係を知ることができるが、この集中状態計算ステップの計算方法（アルゴリズム）は単なる一例を示すものであり、本発明を限定するものではない。
【００３６】
例えば、前記強度測定波形Ｓ１〜Ｓ３を誤差関数に見立ててその分散を求めたり、もっと簡単に強度測定波形Ｓ１〜Ｓ３の波高値ｈ１〜ｈ３の大きさや強度測定波形Ｓ１〜Ｓ３の幅だけで異物の深さ位置を特定することも可能である。この場合には、ＳＴＥＰ１の積分処理は不要であるからプログラムＰは飛躍的に簡単になる。
【００３７】
ＳＴＥＰ４は液晶表示パネル２の全面において異物検出が終了したかどうかを判断するステップである。そして、異物検出がまだ終わってない場合にはＳＴＥＰ１の処理から再び行われる。
【００３８】
なお、図１〜３においては、１対のセンサ部６Ａ（１）、６Ａ（２）は、レーザ光源からの光Ｌについて線対称または点対称の位置に設けているが、本発明においては、必ずしもそのような構成である必要はなく、センサ部において検出する散乱光の強度と、液晶表示パネル２に付着している異物の位置（液晶表示パネル２の内側／外側）が検知できるように予め実験等で検出値の調整を行っておけば、センサ部をどのように配置してもよい。これによって、装置構成の自由度が増し、よりコンパクトな設計を行うことが可能となる。
【００３９】
また、本例ではラインセンサ６の焦点位置Ｆを液晶部１２の深さ位置に合わせているので、ラインセンサ６、６’上に異物１５ｂが結像する（強度測定波形が集中する）場合には、液晶部１２内に異物１５ｂが含まれているか液晶部１２自身の異常であることを判断できるので、この液晶表示パネル２は使用不能であることが理解できる。一方、異物１５ｄ，１５ｅがラインセンサ６、６’上に結像しない（強度測定波形が分散する）場合には、これらの異物１５ｄ，１５ｅが液晶部１２以外の部分に存在するものであるから、偏光板１３，１４の張りなおしを行うことにより、異物１５を除去してこれを再利用することが可能であることが分かる。
【００４０】
【発明の効果】
本発明では、液晶表示パネルの品位を検査するにあたり、検査対象の液晶表示パネルがノーマリホワイト方式の液晶表示パネルであっても、ノーマリブラック方式の液晶表示パネルの検査と同様に、プローバを駆動させることなく、異物の検査を行うことを可能とし、かつ、前記異物が液晶表示パネルの表面、表面側偏光板の接合面、裏面側偏光板の接合面のいずれに付着しているかも判断可能としているので、検査工程の迅速化が図れるとともに、異物の付着した液晶表示パネルを的確に検知し、偏光板の貼り直しを行うことで容易に再利用可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液晶表示パネルの異物検査装置の全体的構成を表す図である。
【図２】前記異物検査装置の要部の構成を示す構成説明図である。
【図３】他の実施例に関する要部の構成を示す構成説明図である。
【図４】前記異物検査装置が実行する異物検査プログラムの例を示す図である。
【図５】従来の実施形態の要部を表す要部構成説明図である。
【符号の説明】
１…液晶表示パネル検査装置、２…液晶表示パネル、３…載置台、３ａ…コネクタ（プローバ）、３ｂ…窓部、４…光源、５…スライド機構、６、６’…ラインセンサ、７…演算処理装置（演算処理部）、７ｂ…記憶部、１２…液晶部、１３，１４…偏光板
【図１】
2004170102.tif 000003
【図２】
2004170102.tif 000004
【図３】
2004170102.tif 000005
【図４】
2004170102.tif 000006
【図５】
2004170102.tif 000007