(57)【要約】【課題】安定性、精度、耐振性が向上されたコリオリ質量流量計を提供する。【解決手段】測定流体が分岐する分岐部と、測定流体が合流する合流部と、前記分岐部の一方の流路への第１の上流側固定端部と前記合流部の一方の流路への第１の下流側固定端部との第１の中点を中心に点対称で３個の変曲点を有する曲線形状を有する第１の振動チューブと、前記分岐部の他方の流路に一端が接続され他端が前記合流部の他方の流路へ接続され前記第１の振動チューブと同様な曲線形状を有し前記第１の振動チューブが含まれる平面と同一の平面に含まれ分岐部と合流部を結ぶ中心軸に対して、前記第１の振動チューブと互いに対称な第２の振動チューブと、前記第１の振動チューブと前記第２の振動チューブとを励振する励振器と、前記第１の振動チューブと前記第２の振動チューブの振動を検出する振動検出センサとを具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計である。【選択図】        図１
2004226136.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動チューブ内に測定流体が流れ、この測定流体の流れと前記振動チューブの角振動によって生じるコリオリ力により、この振動チューブを変形振動させるコリオリ質量流量計において、
測定流体が分岐する分岐部と、
測定流体が合流する合流部と、
前記分岐部の一方の流路への第１の上流側固定端部と前記合流部の一方の流路への第１の下流側固定端部との第１の中点を中心に点対称で３個の変曲点を有する曲線形状を有する第１の振動チューブと、
前記分岐部の他方の流路に一端が接続され他端が前記合流部の他方の流路へ接続され前記第１の振動チューブと同様な曲線形状を有し
前記第１の振動チューブが含まれる平面と同一の平面に含まれ
分岐部と合流部を結ぶ中心軸に対して、前記第１の振動チューブと互いに対称な第２の振動チューブと、
前記第１の振動チューブと前記第２の振動チューブとを励振する励振器と、
前記第１の振動チューブと前記第２の振動チューブの振動を検出する振動検出センサ
とを具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。
【請求項２】
前記励振器として、
前記第１の振動チューブを前記点対称の曲線形状を保持したまま前記第１の上流側固定端部と第１の下流側固定端部とを結ぶ直線を第１の基準軸としてこの第１の基準軸の各点から所定距離の円周線上で単振動する振動モードで駆動し
前記第２の振動チューブを前記点対称の曲線形状を保持したまま前記第２の上流側固定端部と第２の下流側固定端部とを結ぶ直線を第２の基準軸としてこの第２の基準軸の各点から所定距離の円周線上で単振動する振動モードを駆動し
且つ前記第１の振動チューブと第２の振動チューブとが同一の振動モード同一周波数で、振動による位置変形後も第１，第２の振動チューブが含まれる平面に垂直かつ前記中心軸を通る平面に対して、第１，第２の振動チューブが面対称の位置関係を保持したままの振動となるように励振駆動する励振器
を具備したことを特徴とする請求項１記載のコリオリ質量流量計。
【請求項３】
前記第１の振動チューブとこの第１の振動チューブの付属構造物からなる第１の振動系の重心位置が前記第１の振動チューブの中点に一致するように前記第１の振動チューブに設けられた第１のバランサーと、
前記第２の振動チューブとこの第２の振動チューブの付属構造物からなる第２の振動系の重心位置が前記第２の振動チューブの中点に一致するように前記第２の振動チューブに設けられた第２のバランサーと
を具備した事を特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のコリオリ質量流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流量計内部の振動チューブの振動を外に漏らさないようにすると共に、外部からの振動ノイズや応力の影響を受けにくくすることによって、安定性、精度、耐振性が向上されたコリオリ質量流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は、従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、例えば、特開昭６１−１８９４１７号に示されている（例えば、特許文献１参照。）。
図６は平面図、図７は図６の側面図、図８，図９は図６の動作説明図である。
【０００３】
図において、振動チューブ１８と、振動チューブ１９は、平行に設置され、支持プレート４１と４２で両端をそれぞれ固定されている。
２本の振動チューブ１８，１９の間には、２つの振動検出センサ２３，２４と、励振器２１が設置され、振動チューブ１８，１９の共振周波数で、定常的に励振されている。
【０００４】
多くの場合、図８に示すような低次の共振モードで励振振動を行い、振動チューブ１８は、Ａ→Ｂ→Ａ→Ｃ→Ａ→Ｂ→  、振動チューブ１９は、Ａ’→Ｂ’→Ａ’→Ｃ’→Ａ’→Ｂ’→  のように互いに対称な方向に単振動を続ける。
【０００５】
また、図９のように高次の共振モードで励振振動を行う場合も考えられる。
振動チューブ１８は、  Ａ→Ｂ→Ａ→Ｃ→Ａ→Ｂ→  、振動チューブ１９は、Ａ’→Ｂ’→Ａ’→Ｃ’→Ａ’→Ｂ’→  のように互いに対称な方向に単振動を続ける。
但し、この場合は、図６，図７と異なり、励振装置を２つにする等の工夫が必要である。
【０００６】
【特許文献１】
特開昭６１−１８９４１７号（第３頁、第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような装置においては、図６従来例のように、振動チューブ１８，１９が直管で、両端を固定された場合、振動チューブ１８，１９が本来の位置Ａ，Ａ’からずれて、位置Ｂ，Ｂ’のように変形された場合、振動チューブ１８，１９の全長が変わることで、管軸方向に大きな力が発生する。
【０００８】
図８、図９に示したような振動チューブ１８，１９の変形が生じたときには、固定端では中心に引っ張られるような軸方向力Ｆ１が生じる。
このような本来不要な力が固定端に働くことで、振動チューブ１８，１９の振動が外に漏れ、振動絶縁性が悪化する。
【０００９】
振動絶縁性が悪い、すなわちＱ値が低いと、以下のような問題点がある。
（１）  励振振動に大電流が必要になる。消費電流が増える。
（２）  環境変化や外的要因で振動の漏れ具合が大きく変化する。
安定した定常励振ができなくなり、内部の振動の状況も不安定になりがちで、ゼロ点やスパン等の出力誤差になる。
【００１０】
（３）  自ら起こした外部に逃げた振動が、外部からの振動ノイズとなって戻ってくる。
同じ周波数の振動ノイズになるので、僅かなノイズでも受ける影響が大きく、出力誤差になる。
【００１１】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、流量計内部の振動チューブの振動を外に漏らさないようにすると共に、外部からの振動ノイズや応力の影響を受けにくくすることによって、安定性、精度、耐振性が向上されたコリオリ質量流量計を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明では、請求項１のコリオリ質量流量計においては、
振動チューブ内に測定流体が流れ、この測定流体の流れと前記振動チューブの角振動によって生じるコリオリ力により、この振動チューブを変形振動させるコリオリ質量流量計において、
測定流体が分岐する分岐部と、測定流体が合流する合流部と、前記分岐部の一方の流路への第１の上流側固定端部と前記合流部の一方の流路への第１の下流側固定端部との第１の中点を中心に点対称で３個の変曲点を有する曲線形状を有する第１の振動チューブと、前記分岐部の他方の流路に一端が接続され他端が前記合流部の他方の流路へ接続され前記第１の振動チューブと同様な曲線形状を有し前記第１の振動チューブが含まれる平面と同一の平面に含まれ分岐部と合流部を結ぶ中心軸に対して、前記第１の振動チューブと互いに対称な第２の振動チューブと、前記第１の振動チューブと前記第２の振動チューブとを励振する励振器と、前記第１の振動チューブと前記第２の振動チューブの振動を検出する振動検出センサとを具備したことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項２においては、請求項１記載のコリオリ質量流量計において、
前記励振器として、前記第１の振動チューブを前記点対称の曲線形状を保持したまま前記第１の上流側固定端部と第１の下流側固定端部とを結ぶ直線を第１の基準軸としてこの第１の基準軸の各点から所定距離の円周線上で単振動する振動モードで駆動し前記第２の振動チューブを前記点対称の曲線形状を保持したまま前記第２の上流側固定端部と第２の下流側固定端部とを結ぶ直線を第２の基準軸としてこの第２の基準軸の各点から所定距離の円周線上で単振動する振動モードを駆動し且つ前記第１の振動チューブと第２の振動チューブとが同一の振動モード同一周波数で、振動による位置変形後も第１，第２の振動チューブが含まれる平面に垂直かつ前記中心軸を通る平面に対して、第１，第２の振動チューブが面対称の位置関係を保持したままの振動となるように励振駆動する励振器を具備したことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項３においては、請求項１乃至請求項２の何れかに記載のコリオリ質量流量計において、
前記第１の振動チューブとこの第１の振動チューブの付属構造物からなる第１の振動系の重心位置が前記第１の振動チューブの中点に一致するように前記第１の振動チューブに設けられた第１のバランサーと、前記第２の振動チューブとこの第２の振動チューブの付属構造物からなる第２の振動系の重心位置が前記第２の振動チューブの中点に一致するように前記第２の振動チューブに設けられた第２のバランサーとを具備した事を特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で平面図、図２は図１の正面図、図３，図４は図１の動作説明図である。
【００１６】
図において、図６と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図６と相違部分のみ説明する。
【００１７】
装置の入り口で流路は、振動チューブ１８と、振動チューブ１９の２つに分岐部１２０で分岐し、出口付近で再び合流部１３０で合流する。
１８振動チューブ１８と１９振動チューブ１９は、基本的に同じ構造で、流量計の中心面（図のＸＺ平面）に対して対称な関係にある。
【００１８】
振動チューブ１８は、図１のように上流側端部１２１と下流側端部１３１の中点２６を中心に点対称で、変曲点を３箇所有するＳ字形の形状であり、振動チューブ１８は両端近傍では、基準軸１４上に存在する。
【００１９】
振動チューブ１９は、図１のように上流側端部１２２と下流側端部１３２の中点２７を中心に点対称で、変曲点を３箇所有するＳ字形の形状であり、振動チューブ１９は両端近傍では、基準軸１５上に存在する。
【００２０】
２１１，２１２，２２１，２２２は振動チューブを励振させる励振器であり、振動チューブ１８，１９を図のＺ方向に力を加えられる構造になっている。
励振器２１１と２１２、２２１と２２２は、大きさと方向が等しく、同位相の振動力を加えるようになっており、２１１と２２１，２１２と２２２は、それぞれ逆位相の関係になっている。
【００２１】
２３１，２３２，２４１，２４２は振動を検出する振動検出センサで、図のＺ方向の振動速度あるいは変形を測定する。
４１，４２は振動チューブに固定されている支持プレートである。
【００２２】
以上の構成において、図３に示す如く、振動チューブ１８は、Ｂ→Ａ→Ｃ→Ａ→Ｂ→Ａ→  のように、振動チューブ１９は、Ｂ’→Ａ’→Ｃ’→Ａ’→Ｂ’→Ａ’→のように位置を変えて円周振動を続ける。
【００２３】
振動チューブ１８，１９の振動振幅（Ｘ、Ｙ、Ｚ方向成分の位置変化）は、振動チューブ１８，１９の全長Ｌのおよそ１／４Ｌ，３／４Ｌ付近が大きく、両側の支持プレート４１，４２上と中点（１／２Ｌ）上は振動の節となり、位置は変化しない。
支持プレート４１，４２近傍の振動チューブ１８，１９には、図３に示したようなＲｏｔＸの力が大きく加わる。
【００２４】
但し、２本の振動チューブ１８，１９に加わる力は、大きさが等しく逆回転方向なので、支持プレート４１，４２上で互いに打ち消し合い、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向成分も回転成分も働かない音叉の節のような状態が実現される。
【００２５】
図４は、図２のａａ、ｂｂ、ｃｃ断面図を示す。
振動チューブ１８は、Ｂ→Ａ→Ｃ→Ａ→Ｂ→Ａ→  のように、振動チューブ１９は、Ｂ’→Ａ’→Ｃ’→Ａ’→Ｂ’→Ａ’→のように、そして、２つの振動チューブは、ＸＺ平面に対して、常に対称な位置関係を保ち続けながら、振動を行う。
【００２６】
両側固定端部から等距離にあるｂｂ断面では、振動チューブ１８，１９は、その位置を変わらずに、基準軸１４、１５の周りの回転振動のみを行う。
図４に示したように、振動チューブ１８，１９は常に基準軸から所定距離の円周上あるいはその近傍に位置する。
【００２７】
ａａでは基準軸１４，１５から距離Ｒ（ａ）離れた円周上、ｃｃでは基準軸１４，１５から距離Ｒ（ｃ）離れた円周上で振動を行う。
両側固定端部の中心断面であるｂｂでは、Ｒ（ｂ）＝０となり、位置を変えずに回転振動のみを行うことになる。
【００２８】
振動チューブ１８，１９の全長は、円周上を移動しても変化はないので、両側固定端部に管軸方向力（Ｆｘ）は働かない。
理想的な円周上振動では、両側固定端部には、他の並進方向力Ｆｙ，Ｆｚも加わらず、管軸回りのねじれ成分力（ＦｒｏｔＸ）のみが働く。
【００２９】
また、なお、分かりやすくするために、図では、振動の振幅を大きくして表示しているが、殆どのコリオリ質量流量計では、振動振幅はごくわずかである。
振幅が小さい場合、円周上の振動は、図のＺ方向成分のみの単振動に近似できる。
【００３０】
励振器２１，２２や振動検出器２３，２４は、本来ならば、Ｚ方向だけでなく、Ｙ方向成分、あるいは、回転成分にも対応する必要があるが、上記の理由により、通常は、Ｚ方向成分のみの対応品を使用して差し支えない。
【００３１】
両側が固定されている実際の振動チューブ１８，１９では、理想的な円周上振動からは若干ずれが生じ、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向成分の振動絶縁性も完全ではないが、直管に較べると振動絶縁性は優れており、その優位性は揺るがない。
【００３２】
この結果、
振動チューブ１８，１９は円周上を（現実には完全な円周振動は不可能で、円周上近傍を）単振動するので、振動チューブ１８，１９の全長の変化は少ない。
振動チューブ１８，１９チューブの両支持プレート４１，４２近傍では、基準軸１４，１５回りの回転振動成分が中心になり、両固定端ではＸ、Ｙ、Ｚ方向成分の力の発生は大幅に抑えられる。
【００３３】
また、２本の振動チューブ１８，１９が対称な方向に振動するので、回転振動成分も支持プレート４１，４２上で打ち消し合い、振動の節を実現でき、外部に振動が漏れるのを防ぐことができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００３４】
具体的に、両固定端部に加わる力の６方向成分について考えると以下の通りである。
並進方向力  Ｘ    円周振動により軸方向力は、ほぼゼロ。
並進方向力  Ｙ    微小振動で非常に小さい＋２本チューブで打ち消しあう  →ほぼゼロ。
並進方向力  Ｚ    円周振動で小さい。
【００３５】
回転方向力  ＲｏｔＸ  ２本チューブでうち消し合う  →ほぼゼロ。
回転方向力  ＲｏｔＹ  円周振動で小さい。
回転方向力  ＲｏｔＺ  微小変形で非常に小さい＋２本チューブで打ち消しあう  →ほぼゼロ。
【００３６】
このように、全ての方向の力を小さくすることが可能で、振動絶縁性能が高いコリオリ質量流量計が得られる。
個々の振動チューブの形状は、中点２６，２７を中心とした点対称な形状と振動モードを採用しているので、振動チューブ１８，１９の重心は、中点２６，２７に位置し不動である。
また、両チューブの重心も、振動系全体の中心である中点２５に位置し、不動である。
【００３７】
また、振動チューブ１８、１９全体が、図のＸＹ平面上に存在し、中心軸１６に対して対称形状なので、対応する任意の区間の重心も全て中心軸１６上に存在するので、非常に対称性の高い形状になっており、余計な振動が生じにくい、外部に対して閉じた振動系が実現される。
【００３８】
振動系の重心が全体の中心にある対称性の優れた形状で、更に励振振動による重心の移動も無くなるので、固定端１２１，１２２，１３１，１３２を通じて、振動が外に漏れ出すのを防ぎ、より一層振動絶縁性を高めることができるコリオリ流量計が得られる。
【００３９】
これらのことから、更に、振動絶縁性を高めることが可能になった。
振動絶縁性が高いと、低消費電力が可能で、環境変化や外的要因によるゼロ点やスパン変動を減らし、高精度で高安定なコリオリ流量計が得られる。
【００４０】
次に、温度変化により振動チューブ１８，１９は熱膨張、圧縮するが、直管と違い、緩やかに曲がっているので、熱による伸縮を吸収しやすい。
過度の熱応力が加わることもないので、使用温度範囲を広くすることが可能なコリオリ質量流量計が得られる。
【００４１】
図５は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
Ｙ軸正面側から見ているので、実際には第１の振動チューブ１８とその付属構造物も奥側にあるのだが、手前側の第２の振動チューブ１９とその付属構造物しか図には示されていない。
【００４２】
ここで、付属構造物とは、振動チューブ１８，１９に固定され、振動チューブ１８，１９の振動と一緒に振動する振動系を構成する付属物であり、本実施例の場合は励振器２１１，２１２，２２１，２２２、検出器２３１，２３２，２４１，２４２のマグネット部分とバランサー６１，６２，６３，６４，６５，６６，６７，６８とを指す。
【００４３】
なお、奥に隠されている第１の振動チューブ１８とその付属構造物の部品番号を（  ）で示している。
本実施例において、バランサー６５，６６，６７，６８は、それらバランサー６５，６６，６７，６８と、第２の振動チューブ１９と、この第２の振動チューブ１９に取り付けられた励振器２１２，２２２と、振動検出センサ２３２，２４２から成り立つ振動系の重心位置が、第２の振動チューブ１９の中点２７になるように、第２の振動チューブ１９に設置される。
【００４４】
バランサー６１，６２，６３，６４は、それらバランサー６１，６２，６３，６４と、第１の振動チューブ１８とこの第１の振動チューブ１８に取り付けられた励振器２１１，２２１と、振動検出センサ２３１，２４１から成り立つ振動系の重心位置が、第１の振動チューブの中点２６になるように、第１の振動チューブ１８に設置される。
【００４５】
即ち、図１，２では、振動チューブ自身は、点対称な形状で重心も中点上に存在したのだが、振動検出センサや励振器は、振動チューブの片側（図では−Ｚ方向）に集中して固定されており、振動系全体の重心は厳密には中点上に存在しておらず、振動絶縁性も不完全であった
【００４６】
また、振動チューブ１８に設置する振動検出センサ２１１，２２１と励振器２３１，２４１を図の−Ｚ方向、振動チューブ１９に設置する振動検出センサ２１２，２２２と励振器２３２，２４２を図の＋Ｚ方向に配置したとすれば、２本の振動チューブ全体の重心は全体の中点２５で不動になるが、個々振動チューブの振動系では重心位置が中央になく、やはり不安定な構造になってしまう。
【００４７】
本実施例においては、振動チューブ１８と、振動チューブ１９を別々に扱い、それぞれの振動系の中で、重心の位置とバランスに着目する。
最初に、振動チューブ１９の上流側固定端部１２２から下流側固定端部１３２に至る、チューブ１９とその付属構造物までの振動系Ｂについて考える。
【００４８】
図５に示す如く、励振器２１２，２２２や振動検出センサ２３２，２４２を構成するコイルやマグネットと同等な質量、モーメントをもつバランサー６５，６６，６７，６８を基準軸１５をはさんで反対側に設置することで、振動チューブ１９とその付属構造物の重心は、常に中点２７上に存在するようにすることができる。
【００４９】
次に、振動チューブ１８の上流部固定端１２１から、下流部固定端１３１に至る、振動チューブ１８とその付属構造物の振動系Ａについても同様に、バランサー６１，６２，６３，６４を配置することで、その振動系Ａの重心を中点２６上に存在するようにすることができる。（図５では、振動系Ａの奥に隠れて直接は表示されていない。部品番号は（  ）で表示する。）
【００５０】
この結果、２本の振動チューブ１８，１９全体で振動バランスがとれていれば、それなりに高い振動絶縁性が得られるが、個々の振動チューブ１８，１９の振動系のバランスがとれていた方が、より高い振動絶縁性が期待できるコリオリ質量流量計が得られる。
【００５１】
一般的に、製造上の問題や、一部異なる部品の使用（片側チューブにはコイル、反対側にはマグネット）によって、２本の振動チューブ１８，１９の振動系を完全に対称で同じものにするのは難しい。
【００５２】
個々の振動系でバランスがとれていれば、その個々の振動系から漏れ出す振動成分を最小限にすることができるので、例え、２つの振動系間にアンバランスがあっても、全体での振動の漏れを少なくすることができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００５３】
振動バランスを良くして、振動漏れを少なくすることで、更に、振動絶縁性が向上し、高精度で高安定なコリオリ質量流量計が得られる。
【００５４】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
（１）温度変化により振動チューブは熱膨張、圧縮するが、直管の振動チューブと違い、緩やかに曲がっているので、熱による伸縮を吸収しやすい。
過度の熱応力が加わることもないので、仕様温度範囲を広くすることが可能なコリオリ質量流量計が得られる。
（２）個々の振動チューブは、それぞれの中点を中心とした点対称な形状で、重心はそれぞれの中点上にある。
また両チューブの重心も、振動系全体の中心である中点２５に位置する。
さらに、２本の振動チューブは、面対称な位置関係にあり、相対する振動チューブの任意の区間の重心も流量計全体の中心である中心軸上に存在するので、非常に対称性の高い形状になっており、余計な振動が生じにくく、外部に対して閉じた振動系を実現している。
このように振動絶縁性が高いと、低消費電力が可能で、環境変化や外的要因によるゼロ点やスパン変動を減らし、高精度で高安定なコリオリ質量流量計が得られる。
【００５６】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
（１）振動チューブは円周上を単振動するので、振動チューブの全長の変化は少ない。
振動チューブの両固定端では、基準軸回りの回転振動成分が中心になり、両固定端ではＸ，Ｙ，Ｚ方向成分の力の発生は大幅に抑えられる。
また、２本の振動チューブの基準軸回りのねじれ振動は互いに逆方向に振動するので、回転振動成分も支持プレート上で打ち消し合い、振動の節を実現でき、外部に振動が漏れるのを防ぐことができるコリオリ質量流量計が得られる。
振動絶縁性が高いと、低消費電力が可能で、環境変化や外的要因によるゼロ点やスパン変動を減らし、高精度で高安定なコリオリ質量流量計が得られる。
【００５７】
（２）個々の振動チューブは、振動変形後も、それぞれの中点を中心とした点対称な形状を保ち続ける振動モードを採用しており、重心はそれぞれの中点上で不動である。
また両チューブの重心も、振動系全体の中心である中点２５に位置し、不動である。
振動系の重心が全体の中心にある対称性の優れた形状で、励振振動による重心の移動も無くなるので、非常に対称性が高く、余計な振動が生じにくく、外部に対して閉じた振動系を実現している。
このように振動絶縁性が高いと、低消費電力が可能で、環境変化や外的要因によるゼロ点やスパン変動を減らし、高精度で高安定なコリオリ質量流量計が得られる。
【００５８】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
２本の振動チューブ全体で振動バランスがとれていれば、それなりに高い振動絶縁性が得られるが、個々の振動チューブとその付属構造物の振動系のバランスがとれていた方が、より高い振動絶縁性が期待できるコリオリ質量流量計が得られる。
【００５９】
従って、本発明によれば、安定性、精度、耐振性が向上されたコリオリ質量流量計を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の正面図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図６】従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【図７】図６の側面図である。
【図８】図６の動作説明図である。
【図９】図６の動作説明図である。
【符号の説明】
２        フランジ
６        ハウジング
１２０    分岐部
１２１    上流側固定端部
１２２    上流側固定端部
１３０    合流部
１３１    下流側固定端部
１３２    下流側固定端部
１４      基準軸
１５      基準軸
１６      中心軸
１８      振動チューブ
１９      振動チューブ
２１１    励振器
２１２    励振器
２２１    励振器
２２２    励振器
２３１    振動検出センサ
２３２    振動検出センサ
２４１    振動検出センサ
２４２    振動検出センサ
２５      中点
２６      中点
２７      中点
４１      支持プレート
４２      支持プレート
６１      バランサー
６２      バランサー
６３      バランサー
６４      バランサー
６５      バランサー
６６      バランサー
６７      バランサー
６８      バランサー
Ｆ１      軸方向力
【図１】
2004226136.tif 000003
【図２】
2004226136.tif 000004
【図３】
2004226136.tif 000005
【図４】
2004226136.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2004226136.tif 000009
【図８】
2004226136.tif 000010
【図９】
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