(57)【要約】【課題】占有面積が小さく、効率よくガラス基板を洗浄することができる。【解決手段】水平状態でガラス基板が載置されて所定方向にスライドされるスライドテーブル１５と、スライドテーブル１５がスライドされる間に、スライドテーブル１５上に載置されたガラス基板の表面を全体にわたって洗浄するノズルヘッド１８とが、それぞれ内部に設けられた上部洗浄室１３および下部洗浄室１４が、上下方向に重なった状態で配置されている。上部洗浄室１３および下部洗浄室１４の境界部分に超高性能フィルタ２３が設けられている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面を洗浄する洗浄機構が内部に設けられた洗浄室を少なくとも二つ有する基板洗浄装置であって、
前記二つの洗浄室は、少なくとも一部が上下方向に積み重ねられている基板洗浄装置。
【請求項２】
前記二つの洗浄室間の積み重ねられた領域に、塵埃を除去するフィルタが配置されている請求項１記載の基板洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄室の内部には基板を載置するテーブルが設けられ、該テーブルは基板を載置した状態でスライド可能になっている請求項１又は２記載の基板洗浄装置。
【請求項４】
前記二つの洗浄室のうち、上部の洗浄室内には、浄化された空気が上方から流入する請求項１、２又は３記載の基板洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄室の側壁に、基板が搬出入可能な開口部が設けられている請求項１、２、３又は４記載の基板洗浄装置。
【請求項６】
前記二つの洗浄室の開口部は、互いに反対側に位置する側壁部に設けられている請求項５記載の基板洗浄装置。
【請求項７】
前記洗浄機構は、基板表面に対して気体を吹き付ける手段と、気体を吸引する手段とを備えたノズルヘッドを有する請求項１記載の基板洗浄装置。
【請求項８】
前記二つの洗浄室は、各洗浄室を上下方向に垂直な平面に投影した場合、それぞれ得られる投影領域同士の互いに重なり合う面積が最大となるように上下方向に積み重ねられている請求項１記載の基板洗浄装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載の基板洗浄装置がクリーンルーム内に配置されている基板処理施設。
【請求項１０】
前記クリーンルーム内には、前記基板洗浄装置の両側に、前記上部洗浄室および下部洗浄室内の各テーブル上に基板をそれぞれ載置するローダー設備がそれぞれ設けられている請求項９記載の基板処理施設。
【請求項１１】
前記各ローダー設備は、前記基板洗浄装置を挟んで形成される直線方向に沿って基板をそれぞれ運搬する請求項１０記載の基板処理施設。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置等の表示パネルとされるガラス基板等の表面を洗浄するために使用される基板洗浄装置、および、その基板洗浄装置を使用した基板処理施設に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置に代表される表示パネルには、通常、一対の透明基板であるガラス基板が使用される。液晶表示パネルでは、一方のガラス基板の表面に、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を形成し、他方のガラス基板の表面にカラーフィルタを形成して、両ガラス基板同士を相互に貼り合わせ、さらに、両ガラス基板間に液晶を封入することによって製造される。
【０００３】
液晶表示パネルの製造工場では、製造工場内に搬入されたガラス基板は、ガラス基板の表面を洗浄した後に、各種の処理工程に供給され、ＴＦＴ基板、ＣＦ基板等とされる。また、各処理工程においても、所定の処理が実施される直前にガラス基板の表面が洗浄される。このように、液晶表示パネルの製造工場では、表示パネルとされるガラス基板の表面を洗浄するための多数の洗浄装置が必要になる。
【０００４】
図９は、液晶表示装置の製造工場におけるガラス基板の処理工程の設備のレイアウトの一例を示す正面図、図１０は、その平面図である。ガラス基板に対して所定の処理を実施する処理設備５２は、クリーンルーム５１内に設けられている。クリーンルーム５１の上部には、複数の超高性能フィルタ５３が水平方向に並んで設けられており、各超高性能フィルタ５３によって浄化されたエアー（空気）が、クリーンルーム５１の内部にダウンフローとして供給されている。
【０００５】
クリーンルーム５１内には、処理設備５２に対してガラス基板を運搬するローダー設備５５が設けられている。ローダー設備５５は、処理設備５２に沿った直線方向に沿ってガラス基板を運搬するようになっている。クリーンルーム５１内には、液晶表示パネルとされる複数のガラス基板が、カセット４０内に収納された状態で搬入され、各カセット４０が、ローダー設備５５の運搬方向に沿って、ローダー設備５５の側方に配置される。ローダー設備の一方の端部の側方には、ガラス基板の表面に付着した塵埃等を除去するための洗浄装置５６が設けられている。
【０００６】
各カセット４０内には、それぞれが水平状態となった複数のガラス基板が、上下方向に適当な間隔をあけて積み重ねられた状態でそれぞれ収納されている。ローダー設備５５には、その側方に搬入されたカセット４０のいずれか１つからガラス基板を取り出すように、相互に平行になった一対の平板状の吸着パッドを有するガラス基板吸着ハンドが上下方向に昇降可能な状態で設けられている。ガラス基板吸着ハンドは、ローダー設備５５の長手方向に沿って移動するようになっている。
【０００７】
ローダー設備５５のガラス基板吸着ハンドによって取り出されたガラス基板は、洗浄装置５６にまで搬送されて、この洗浄装置５６内に載置される、そして、洗浄装置５６内に載置されたガラス基板の表面が、洗浄装置５６によって洗浄されて、洗浄されたガラス基板が、ローダー設備５５のガラス基板吸着ハンドによって、洗浄装置内から取り出されて、処理設備５２における所定位置にまで運搬される。
【０００８】
ガラス基板の洗浄装置５６としては、例えば、特開平６−１６５９６０号公報に開示されている。この装置は、例えば、洗浄すべき被処理対象物であるガラス基板が、水平状態で内部に載置されて、その表面（上面）に対して、吐出ノズルから脈動エアーを吐出して、被処理対象物の表面に付着する塵埃を剥離し、吸引ノズルによって吸引するようになっている。
【０００９】
【特許文献１】
特開平６−１６５９６０号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
近時、各種の表示パネルには、０．７ｍｍ以下の薄さのガラス基板が使用されるようになっている。また、表示パネルの大型化にともなって、製造工場に搬入されるガラス基板も大型化しており、一辺が１．３ｍ以上の長方形状のガラス基板も工場に搬入されるようになっている。
【００１１】
前述したように、液晶表示パネルの製造工場では、多数の洗浄装置５６が使用されており、このような大きな面積のガラス基板を使用する場合には、内部に水平状態でガラス基板が載置される洗浄装置５６も大型化することになり、工場内において洗浄装置５６が占有する面積が大きくなるという問題がある。しかも、液晶表示パネルの製造工場には、多くの洗浄装置５６が必要になるために、製造工場自体が大きな面積を必要とし、その結果、経済性が損なわれるおそれがある。
【００１２】
本発明は、このような問題を解決するものであり、その目的は、占有面積が小さく、効率よく基板を洗浄することができる基板洗浄装置を提供することにある。本発明の他の目的は、その基板洗浄装置を使用して、小さな占有面積で効率よく基板を処理することができる基板処理施設を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板洗浄装置は、基板の表面を洗浄する洗浄機構が内部に設けられた洗浄室を少なくとも二つ有する基板洗浄装置であって、前記二つの洗浄室は、少なくとも一部が上下方向に積み重ねられている。
【００１４】
前記二つの洗浄室間の積み重ねられた領域に、塵埃を除去するフィルタが配置されている。
【００１５】
前記洗浄室の内部には基板を載置するテーブルが設けられ、該テーブルは基板を載置した状態でスライド可能になっている。
【００１６】
前記二つの洗浄室のうち、上部の洗浄室内には、浄化された空気が上方から流入する。
【００１７】
前記洗浄室の側壁に、基板が搬出入可能な開口部が設けられている。
【００１８】
前記二つの洗浄室の開口部は、互いに反対側に位置する側壁部に設けられている。
【００１９】
前記洗浄機構は、基板表面に対して気体を吹き付ける手段と、気体を吸引する手段とを備えたノズルヘッドを有する。
【００２０】
前記二つの洗浄室は、各洗浄室を上下方向に垂直な平面に投影した場合、それぞれ得られる投影領域同士の互いに重なり合う面積が最大となるように上下方向に積み重ねられている。
【００２１】
本発明の基板処理施設は、前記基板洗浄装置がクリーンルーム内に配置されている。
【００２２】
前記クリーンルーム内には、前記基板洗浄装置の両側に、前記上部洗浄室および下部洗浄室内の各テーブル上に基板をそれぞれ載置するローダー設備がそれぞれ設けられている。
【００２３】
前記各ローダー設備は、前記基板洗浄装置を挟んで形成される直線方向に沿って基板をそれぞれ運搬する。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００２５】
図１は、本発明の基板洗浄装置の実施の形態の一例を示す正面図、図２は、その側面図、図３は、その平面図である。この基板洗浄装置１０は、例えば、液晶表示パネルの製造工場内におけるクリーンルーム内に配置されて、ガラス基板に対する所定の処理が実施される直前に、ガラス基板を洗浄するために使用される。  本発明の基板洗浄装置１０は、下部に、直方体形状の基台部１１が設けられており、基台部１１の上方の空間部分は、周囲全体が側壁１２によって覆われている。台部１１の上方の空間部分の天面側は、天井からダウンフローされる浄化されたエアー（空気）が内部に流入するように開口されている。
【００２６】
図４および図５は、それぞれ、基板洗浄装置１０の内部の状態を示す正面図および側面図、図６は、図４のＡ−Ａ線における断面図である。基台部１１の上面は水平な長方形状になっており、その面積は、洗浄対象である液晶表示パネル用の長方形状のガラス基板を、横方向に２枚並べて配置し得る大きさになっている。側壁１２に囲まれた基台部１１の上方の空間部分は、中空の直方体形状になっており、その直方体形状部分が、上側の上部洗浄室１３と下側の下部洗浄室１４とに二分されている。従って、上部洗浄室１３と下部洗浄室１４とは、水平方向にずれることなく、上下方向に積み重ねられた状態になっており、各洗浄室を上下方向に垂直な平面に投影した場合、それぞれ得られる投影領域同士の互いに重なり合う面積が最大となるように上下方向に積み重ねられている。
【００２７】
上部洗浄室１３と下部洗浄室１４との境界部分には、それぞれにファンが設けられた複数の超高性能フィルタ（「ＨＥＰＡフィルタ」）２３が、上部洗浄室１３と下部洗浄室１４との境界部分のほぼ全体にわたって水平方向に沿って配置されている。
【００２８】
各超高性能フィルタ２３は、上部に設けられたファン部と、下部に設けられたフィルタ部とをそれぞれ有しており、ファン部によって上部洗浄室１３内の空気が吸引され、フィルタ部によって改めて浄化されて下部洗浄室１４内に供給されるようになっている。
【００２９】
下部洗浄室１４の長手方向の一方の側部に配置された側壁１２部分には、洗浄される基板が搬入される下部開口部１２ａ（図１参照）が設けられており、この下部開口部１２ａを通して、ガラス基板が水平状態で下部洗浄室１４内に搬入されるようになっている。
【００３０】
下部洗浄室１４内には、内部に搬入されるガラス基板を水平状態で搭載されるスライドテーブル１５が基台部１１の上方に配置されている。このスライドテーブル１５の上面は、搬入されるガラス基板とほぼ同様の面積の長方形状になっている。図５に示すように、基台部１１の上面には、長手方向（横方向）に沿って配置された１本のボールネジ１６ａが設けられており、このボールネジ１６ａに、スライドテーブル１５に取り付けられたボールナット１９ａがネジ結合している。基台部１１の上面には、ボールネジ１６ａとは平行にガイドレール１６ｂが配置されており、このガイドレール１６ｂに、スライドテーブル１５に取り付けられたスライドガイド１９ｂがスライド可能に嵌合している。
【００３１】
基台部１１上には、ボールネジ１６を正転および逆転させるスライド用モータ１７が設けられており、スライド用モータ１７によって、ボールネジ１６ａが正転および逆転されることによって、スライドテーブル１５が、ボールネジ１６ａおよびガイドレール１６ａに沿って往復移動する。スライドテーブル１５は、スライド用モータ１７によって、基台部１１の長手方向の一方の側部から他方の側部にかけて、１つのスライドテーブル１３分以上、すなわち、１ピッチ分以上スライドした後に、待機位置に復帰するようになっている。
【００３２】
下部洗浄室１４には、スライドテーブル１５上に搭載された１枚のガラス基板の表面（上面）を洗浄する洗浄機構を構成するノズルヘッド１８が配置されている。このノズルヘッド１８は、スライドテーブル１５のスライド領域の中央部に配置されており、スライドテーブル１５のスライド方向とは直交する方向に沿って長くなっている。ノズルヘッド１８の長さは、スライドテーブル１５上に搭載されるガラス基板のスライドテーブル１５のスライド方向とは直交する方向の長さよりも若干長くなっており、スライドテーブル１５がスライドすることによって、スライドテーブル１５上に搭載されたガラス基板の表面が、全体にわたって、ノズルヘッド１８に対向する。
【００３３】
ノズルヘッド１８には、スライドテーブル１５に対向する下面に、ガラス基板の表面にエアーを吹き付ける吹き付け口が、スライドテーブル１５の移動方向とは直交する方向に沿って設けられるともに、ガラス基板に吹き付けられたエアーを吸引する吸引口が、吹き付け口に隣接して平行に配置されている。吹き付け口および吸引口は、スライドテーブル１５の移動方向とは直交する方向に沿った長さのほぼ全体にわたって設けられている。
【００３４】
ノズルヘッド１８からガラス基板表面に吹き付ける気体としては、エアー（空気）以外に、窒素等の不活性ガスやイオン化した気体等を用いてもよく、また超音波振動させた気体を用いてもよい。
【００３５】
ノズルヘッド１８には、吹き付け口にガラス基板の洗浄用のエアーを供給する給気用ダクト２１が連結されるとともに、ガラス基板に吹き付けられて吸引口から吸引された洗浄用のエアーを外部に供給する排気用ダクト２２が連結されている。給気用ダクト２１および排気用ダクト２２は、ノズルヘッド１８の長手方向中央部に、その長手方向に並んでそれぞれ接続されており、ノズルヘッド１８から上方に垂直に延出して、上部洗浄室１３との境界に配置された超高性能フィルタ２１に沿うように屈曲されて、さらに、下部洗浄室１４の外部に向かって屈曲されている。
超高性能フィルタ２１の上方の上部洗浄室１３の長手方向の一方の側部に配置された側壁１２部分には、洗浄される基板が搬入される上部開口部１２ｂ（図１参照）が設けられている。上部開口部１２ｂは、下部洗浄室１４の側方に配置された下部開口部１２ａとは反対側の側壁１２部分に設けられている。そして、この上部開口部１２ｂを通して、ガラス基板が水平状態で上部洗浄室１３内に搬入されるようになっている。
【００３６】
上部洗浄室１３内には、下部洗浄室１４と同様に、内部に搬入されるガラス基板を水平状態で搭載されるスライドテーブル１５が設けられている。このスライドテーブル１５には、超高性能フィルタ２３上に設けられたボールネジ１６ａにネジ結合されたボールナット１９ａおよびガイドレール１６ｂにスライド可能に嵌合されたスライドガイド１９ｂが取り付けられている。ボールネジ１６ａは、スライド用モータ１７によって正転および逆転されるようになっており、下部洗浄室１４内のスライドテーブル１５と同様に、スライド用モータ１７によって、ボールネジ１６ａおよびガイドレール１６ｂに沿って往復してスライドされるようになっている。
【００３７】
このスライドテーブル１５も、下部洗浄室１４内のスライドテーブル１５と同様に、スライド用モータ１７によって、上部洗浄室１３の長手方向の一方の側部から他方の側部にかけて、１つのスライドテーブル１３分以上、すなわち、１ピッチ分以上スライドした後に、待機位置に復帰するようになっている。
【００３８】
上部洗浄室１３にも、下部洗浄室１４と同様に、スライドテーブル１５上に搭載された１枚のガラス基板の表面（上面）を洗浄するノズルヘッド１８が配置されている。このノズルヘッド１８も、下部洗浄室１４に設けられたノズルヘッド１８と同様の構成になっており、その下面に吹き付け口および吸引口が設けられるとともに、吹き付け口および吸引口にそれぞれ給気用ダクト２１および排気用ダクト２２がそれぞれ連結されている。
【００３９】
上部洗浄室１３の上面は開口されており、供給されるエアーをイオン化させる複数の除塵装置２４が、上部洗浄室１３の一方の側部を覆うように、水平状態で設けられている。この除塵装置２４は、クリーンルーム内に供給される浄化エアーをイオン化させることによって除塵するようになっている。
【００４０】
このような構成の基板洗浄装置１０は、図７および図８に示すように、液晶表示パネルの製造工場における基板処理施設に配置される。基板処理施設には、ガラス基板に対して所定の処理を実施する複数の処理設備３２が設けられたクリーンルーム３０が設けられており、このクリーンルーム３０内に本発明の基板洗浄装置１０が配置される。クリーンルーム３０の上部には、複数の超高性能フィルタ３１が水平方向に並んで設けられており、各超高性能フィルタ３１によって浄化されたエアーが、クリーンルーム３０の内部にダウンフローとして供給される。
【００４１】
クリーンルーム３０内には、所定の処理設備３２に対してガラス基板をそれぞれ運搬する一対のローダー設備３５が設けられている。各ローダー設備３５は、基板洗浄装置１０を挟んで１直線になった方向にそれぞれガラス基板を運搬するようになっている。クリーンルーム３０内には、液晶表示パネルとされる複数のガラス基板が、カセット４０内に収納された状態で搬入され、複数のカセット４０が、各ローダー設備３５の運搬方向に沿って、各ローダー設備３５の側方に配置される。
【００４２】
各カセット４０内には、それぞれが水平状態となった複数のガラス基板が、上下方向に適当な間隔をあけて積み重ねられた状態でそれぞれ収納されている。各ローダー設備３５には、その側方に搬入されたカセット４０のいずれか１つからガラス基板を取り出すように、相互に平行になった一対の平板状の吸着パッドを有するガラス基板吸着ハンドが上下方向に昇降可能な状態で設けられている。ガラス基板吸着ハンドは、ローダー設備３５の長手方向に沿って移動するようになっている。
【００４３】
各ローダー設備３５のガラス基板吸着ハンドは、カセット４０から取り出されたガラス基板を、基板洗浄装置１０に運搬して、基板洗浄装置１０における上部洗浄室１３または下部洗浄室１４のいずれかに設けられたスライドテーブル１５上にそれぞれ搭載する。そして、基板洗浄装置１０によって洗浄されたガラス基板が、各ローダー設備３５のガラス基板吸着ハンドによって、上部洗浄室１３または下部洗浄室１４から取り出される。
【００４４】
各ローダー設備３５における各カセット４０が配置される側方とは反対側の側方には、ガラス基板に対して所定の処理を実施する処理設備３２が、それぞれ設けられており、各ローダー設備３５のガラス基板吸着ハンドによって、基板洗浄装置１０の上部洗浄室１３または下部洗浄室１４から取り出されたガラス基板が、各ローダー設備３５の側方に設けられた処理設備３２における所定の供給位置に載置される。
【００４５】
各ローダー設備３５の側方にそれぞれ設けられる処理設備３２は、各ローダー設備３５によって供給されるガラス基板に対して所定の処理が実施される構成であれば、特に処理の種類が限定されるものではなく、また、各ローダー設備３５の側方において、それぞれ同じ種類の処理を実施する処理設備を設ける必要もない。さらには、一方のローダー設備３５の側方に、異なる種類または同じ種類の処理を実施する複数の処理設備３２を設けるようにしてもよい。
【００４６】
このような構成のクリーンルーム３０では、一方のローダー設備３５のガラス基板吸着ハンドによって、カセット４０の内部から取り出されたガラス基板は、基板洗浄装置１０における上部洗浄室１３の側方に設けられた上部開口部１２ｂを通して、上部洗浄室１３の内部に搬入され、上部洗浄室１３の内部に設けられたスライドテーブル１５上に載置される。
【００４７】
これに対して、他方のローダー設備３５のガラス基板吸着ハンドによって、カセット４０の内部から取り出されたガラス基板は、基板洗浄装置１０における下部洗浄室１４の側方に設けられた下部開口部１２ａを通して、下部洗浄室１４の内部に搬入され、下部洗浄室１４の内部に設けられたスライドテーブル１５上に載置される。
【００４８】
上部洗浄室１３および下部洗浄室１４の内部にそれぞれ設けられた各スライドテーブル１５上にガラス基板が載置されると、各スライドテーブル１５は、待機位置からそれぞれ水平方向にスライドされる。これにより、上部洗浄室１３および下部洗浄室１４の内部にそれぞれ設けられた各ノズルヘッド１８の下方領域を、各スライドテーブル１５上に載置されたガラス基板が通過する。
【００４９】
各ノズルヘッド１８には、給気用ダクト２１から供給されるエアーが、下面に設けられた吹き付け口から吐出されて、各ノズルヘッド１８の下方を通過するガラス基板に向かって吹き付けられるとともに、ガラス基板に吹き付けられたエアーが、各ノズルヘッド１８の吸気口から吸引されて、排気用ダクト２２によって、上部洗浄室１３および下部洗浄室１４の外部にそれぞれ排出される。
【００５０】
各ノズルヘッド１８は、その下方をスライドされるガラス基板に対して、スライド方向とは直交する方向の全体にわたって対向しており、ガラス基板が１ピッチ分以上水平方向にスライドすることにより、ガラス基板の表面が全体にわたって洗浄される。ガラス基板の全体が、各ノズルヘッド１８の下方を通過すると、スライドテーブル１５は、反対方向にスライドされ、ガラス基板の表面全体が、再度、洗浄される。
【００５１】
この場合、上部洗浄室１３内には、クリーンルーム３０の上部に設けられた各超高性能フィルタ３１によって浄化されたエアーが直接、または除塵装置２４を介して流入しており、従って、上部洗浄室１３内のスライドテーブル１５上に設けられたガラス基板が、上部洗浄室１３内に流入するエアーによって汚染されるおそれがなく、ガラス基板は確実に洗浄される。
【００５２】
また、上部洗浄室１３内に流入したエアーは、上部洗浄室１３と下部洗浄室１４との境界部分に配置された各超高性能フィルタ２３によって除塵されて、下部洗浄室１４内に流入するために、上部洗浄室１３内に設けられたスライドテーブル１５、ボールネジ１６ａ等によって発生する塵埃が下部洗浄室１４内に流入するおそれがない。従って、下部洗浄室１４内も浄化されたエアーの雰囲気中において、スライドテーブル１５上に載置されたガラス基板が洗浄されるために、下部洗浄室１４内においても、ガラス基板を確実に洗浄することができる。
【００５３】
このようにして、各スライドテーブル１５がそれぞれ往復移動して、各スライドテーブル１５が待機位置に復帰すると、各スライドテーブル１５上に載置された各ガラス基板は、各ローダー設備３５のガラス基板吸着ハンドによって、上部洗浄室１３および下部洗浄室１４の側方にそれぞれ設けられた上部開口部１２ｂおよび下部開港部１２ａを通して、上部洗浄室１３および下部洗浄室１４からそれぞれ搬出されて、各ローダー設備３５の側方にそれぞれ設けられた所定の処理設備３２にまで運搬され、所定の処理設備３２における所定の位置に載置される。
【００５４】
このように、本発明の基板洗浄装置１０は、上部洗浄室１３および下部洗浄室１４を上下に積み重なるように配置しているため、基板洗浄装置１０が占有する面積を小さくすることができる。特に、洗浄対象であるガラス基板の面積が大きくなっても、基板洗浄装置１０が占有する面積の増大が抑制されることから、液晶表示パネル等の表示パネルの製造工場の占有面積を小さくすることができる。
【００５５】
さらには、上下に配置された上部洗浄室１３および下部洗浄室１４のそれぞれにおいて、同時にガラス基板を洗浄することができるために、ガラス基板の洗浄効率は著しく向上する。
【００５６】
なお、上記実施の形態では、上下に配置された上部洗浄室１３および下部洗浄室１４のみが設けられた構成であったが、本発明は、このような構成に限るものではなく、洗浄室を３つ以上設けて、少なくとも２つの洗浄室同士が、上下方向に積み重ねられた状態になっていてもよい。このように、３つ以上の洗浄室が設けられている場合に、少なくとも２つの洗浄室同士が、上下方向に積み重ねられた状態になっていることにより、基板洗浄装置の設置面積を低減することができる。
【００５７】
また、上記実施の形態では、上下に配置された上部洗浄室１３および下部洗浄室１４が、水平方向にずれることなく、整合状態で上下方向に重ねた状態としているが、本発明は、このような構成に限らず、上部洗浄室１３および下部洗浄室１４を水平方向にずらせて、部分的に重なるように配置するようにしてもよい。また、３つ以上の洗浄室が設けられる場合にも、上下に配置された洗浄室同士が、水平方向にずれて部分的に重なった状態になっていてもよい。
【００５８】
このように上下に配置された洗浄室一部同士が上下方向に重なっていることにより、基板洗浄装置の設置面積を低減することができる。
【００５９】
このように、上下に配置された洗浄室同士が水平方向にずれた状態になっている場合には、洗浄室間の積み重ねられた領域にのみ、超高性能フィルタ２３等のフィルタを配置すればよく、上側の洗浄室に対して水平方向にずれて部分的に重なった状態の洗浄室は、超高性能フィルタ２３が配置された上側の洗浄室との重なっている部分を除いて、上方に開口されることになるが、この場合には、その開口した部分を通って、浄化されたエアーが、下側の洗浄室内に、フィルタ等を介することなく、直接、流入することになる。
【００６０】
【発明の効果】
本発明基板洗浄装置は、このように、基板の表面を洗浄する洗浄機構が内部に設けられた少なくとも２つの洗浄室が、上下方向に、少なくとも一部同士が上下方向に積み重ねられているために、占有面積を小さくすることができる。しかも、基板を効率よく洗浄することができる。また、２つの洗浄室の上下方向に積み重ねられた領域にフィルタが設けられていることにより、下側の洗浄室内に上側の洗浄室内の塵埃等が流入するおそれがない。
【００６１】
また、本発明の基板処理施設は、占有面積が小さく、しかも、効率よく基板を処理することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板洗浄装置の実施の形態の一例を示す正面図である。
【図２】その基板洗浄装置の側面図である。
【図３】その基板洗浄装置の平面図である。
【図４】その基板洗浄装置の内部の状態を示す正面図である。
【図５】その基板洗浄装置の内部の状態を示す側面図である。
【図６】図４のＡ−Ａ線における断面図である。
【図７】本発明の基板処理施設のレイアウトの一例を示す正面図である。
【図８】本発明の基板処理施設のレイアウトの一例を示す平面図である。
【図９】従来の基板処理施設のレイアウトの一例を示す正面図である。
【図１０】従来の基板処理施設のレイアウトの一例を示す平面図である。
【符号の説明】
１０  基板洗浄装置
１１  基台部
１２  側壁
１３  上部洗浄室
１４  下部洗浄室
１５  スライドテーブル
１６ａ  ボールネジ
１６ｂ  ガイドレール
１７  スライド用モータ
１８  ノズルヘッド
１９ａ  ボールナット
１９ｂ  スライドガイド
２３  超高性能フィルタ
３０  クリーンルーム
３１  超高性能フィルタ
３２  処理設備
３５  ローダー設備
４０  カセット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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