(57)【要約】【課題】電子デバイスの高速で変化した電源電流を高い精度で測定する。【解決手段】電子デバイスを試験する試験装置であって、電子デバイスが電源から受け取る電源電流に基づく電流検知電圧を出力する検知電圧出力部と、電流検知電圧を伝送する伝送線と、伝送線を介して受け取る電流検知電圧に基づき、アンプ出力電圧を出力する検知アンプと、検知アンプに電流検知電圧を与えるか否かを切換える切換部と、アンプ出力電圧に基づく値を積分した積分値を出力する積分器と、当該積分値に基づき、電子デバイスの良否を判定する判定部とを備える。【選択図】  図１
2004170314.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子デバイスを試験する試験装置であって、
前記電子デバイスが電源から受け取る電源電流に基づく電流検知電圧を出力する検知電圧出力部と、
前記電流検知電圧を伝送する伝送線と、
前記伝送線を介して受け取る前記電流検知電圧に基づき、アンプ出力電圧を出力する検知アンプと、
前記検知アンプに前記電流検知電圧を与えるか否かを切換える切換部と、
前記アンプ出力電圧に基づく値を積分した積分値を出力する積分器と、
前記積分値に基づき、前記電子デバイスの良否を判定する判定部と
を備えることを特徴とする試験装置。
【請求項２】
前記切換部は、前記検知アンプと、前記伝送線を介して直列に接続され、前記検知アンプに、前記電流検知電圧又は予め定められた電位のいずれを与えるかを切換えることを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記判定部は、前記積分値に基づき、前記電源電流のピーク電流を算出することにより、前記電子デバイスの良否を判定することを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項４】
前記検知電圧出力部と前記検知アンプとの距離は、前記検知電圧出力部と前記電子デバイスとの距離より大きいことを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項５】
前記電子デバイスを保持するＩＣソケットを裁置するパフォーマンスボードを更に備え、
前記検知電圧出力部及び前記切換部は、前記パフォーマンスボード上に設けられ、
前記検知アンプは、前記パフォーマンスボードの外部に設けられ、
前記伝送線は、同軸ケーブルであり、
前記切換部は、前記電流検知電圧を、前記同軸ケーブルを介して前記検知アンプに与えることを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項６】
前記電子デバイスを保持するＩＣソケットを裁置し、かつ、前記電源電流を伝送する電源配線を有するプリント基板により形成されたパフォーマンスボードを更に備え、
前記検知電圧出力部は、前記パフォーマンスボード上に設けられ、かつ、前記電源配線の少なくとも一部が有する配線抵抗に基づき、前記電流検知電圧を出力することを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項７】
前記積分器は、前記アンプ出力電圧に基づく電流に応じた電荷を蓄積することにより、当該電荷に基づき、前記積分値を出力する蓄積コンデンサを有し、
前記試験装置は、前記蓄積コンデンサから、予め定められた大きさの電流を放出させることにより、前記積分値にオフセットを与えるオフセット加算部を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項８】
前記電子デバイスを試験するための試験パターンを出力する試験パターン出力部を更に備え、
前記切換部は、前記試験パターンの少なくとも一部に応じて、前記検知アンプに前記電流検知電圧を与えるか否かを切換え、
前記積分器は、前記試験パターン出力部が前記試験パターンの出力を開始する以前に、前記積分値を予め定められた値に初期化する初期化部を有し、
前記試験装置は、前記試験パターン出力部が前記試験パターンの出力を終了した後に、前記積分器の出力をＡＤ変換するＡＤ変換器を更に備え、
前記判定部は、前記ＡＤ変換器の出力に基づき、前記電子デバイスの良否を判定することを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項９】
前記切換部は、前記検知アンプと、前記伝送線を介して直列に接続され、前記検知アンプに前記電流検知電圧又は予め定められた電位のいずれかを与え、
前記試験パターン出力部は、前記試験パターンを複数回繰り返して出力し、
前記初期化部は、前記試験パターン出力部が前記試験パターンを前記複数回繰り返して出力する繰り返し期間の以前に、前記積分値を初期化し、かつ、前記繰り返し期間、前記積分値を初期化せずに保ち、
前記切換部は、前記試験パターンの少なくとも一部に応じて、前記試験パターン出力部が前記試験パターンを出力する毎に、前記検知アンプに前記電流検知電圧を与え、かつ、前記試験パターン出力部が前記試験パターンを出力しない期間、前記検知アンプに前記予め定められた電位を与え、
前記積分器は、前記繰り返し期間に渡って積分した前記積分値を出力することを特徴とする請求項８に記載の試験装置。
【請求項１０】
並列に接続された複数の前記検知アンプと、
前記複数の検知アンプのそれぞれに対応して設けられ、対応する前記検知アンプに、それぞれ異なるタイミングで前記電流検知電圧を与える複数の前記切換部と、
前記複数の検知アンプのそれぞれに対応して設けられ、対応する前記検知アンプが出力する前記アンプ出力電圧に基づく値をそれぞれ積分した前記積分値を、それぞれ出力する複数の前記積分器と
を備え、
前記判定部は、前記複数の積分器がそれぞれ出力する前記積分値に基づき、前記電子デバイスの良否を判定することを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項１１】
前記電子デバイスは、複数の電源から前記電源電流を受け取り、
前記試験装置は、
前記複数の電源のそれぞれに対応して設けられ、対応する前記電源から前記電子デバイスが受け取る前記電源電流に基づく前記電流検知電圧をそれぞれ出力する複数の前記検知電圧出力部と、
前記複数の検知電圧出力部がそれぞれ出力する前記電流検知電圧に基づく前記アンプ出力電圧をそれぞれ出力する複数の前記検知アンプと
を備え、
前記積分器は、前記複数の検知アンプがそれぞれ出力する前記アンプ出力電圧に基づく値の加算値を積分することを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項１２】
前記電子デバイスは、前記電源電流を受け取る複数の電源端子を備え、
前記試験装置は、
前記複数の電源端子のそれぞれに対応して設けられ、対応する前記電源端子に前記電子デバイスが受け取る前記電源電流に基づく前記電流検知電圧をそれぞれ出力する複数の前記検知電圧出力部と、
前記複数の前記検知電圧出力部のそれぞれに対応して設けられ、対応する前記検知電圧出力部から前記電流検知電圧を受け取る複数の前記検知アンプと、
前記複数の検知アンプのそれぞれに対応して設けられ、対応する前記検知アンプが出力する前記アンプ出力電圧に基づく値をそれぞれ積分した前記積分値を、それぞれ出力する複数の前記積分器と
を備え、
前記判定部は、前記複数の積分器がそれぞれ出力する前記積分値に基づき、前記電子デバイスの良否を判定することを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項１３】
前記電子デバイスを試験するための試験パターンを、複数回繰り返し出力する試験パターン出力部と、
前記試験パターンにおける予め定められた測定期間、前記切換部を、前記検知アンプに前記電流検知電圧を与える状態に保持し、かつ、前記パターン出力部が前記試験パターンを出力する毎に、前記測定期間より短い予め定められた変更時間、前記測定期間の開始のタイミングを変更する切換制御部と
を更に備え、
前記積分器は、前記パターン出力部が前記試験パターンを出力する毎に、当該試験パターンに対応する前記積分値を出力し、
前記判定部は、複数回の前記試験パターンに対応する複数の前記測定期間の間で重複する重複期間の平均電流を、前記複数回の試験パターンに対応して前記積分器がそれぞれ出力する複数の前記積分値に基づいて算出し、算出した前記平均電流に基づき、前記電子デバイスの良否を判定することを特徴とする請求項１に記載の試験装置。
【請求項１４】
電子デバイスを試験する試験装置であって、
前記電子デバイスが電源から受け取る電源電流に基づく電流検知電圧を出力する検知電圧出力部と、
前記電流検知電圧に基づく値を積分する積分器と、
前記積分器に、前記電流検知電圧又は予め定められた電位のいずれを与えるかを切換える切換部と
を備えることを特徴とする試験装置。
【請求項１５】
電子デバイスを試験する試験装置であって、
前記電子デバイスを試験するための試験パターンを複数回繰り返して出力する試験パターン出力部と、
前記電子デバイスが電源から受け取る電源電流に基づく電流検知電圧を出力する検知電圧出力部と、
前記パターン出力部が前記試験パターンを複数回繰り返して出力する繰り返し期間に渡って、前記電流検知電圧に基づく値を積分する積分器と、
前記試験パターンの少なくとも一部に応じて、前記試験パターン出力部が前記試験パターンを出力する毎に、前記積分器に前記電流検知電圧に基づく値を与え、かつ、前記試験パターン出力部が前記試験パターンを出力しない期間、前記積分器に前記電流検知電圧に基づく値を与えるのを停止する切換部と、
前記繰り返し期間の後に、前記積分器の出力をＡＤ変換するＡＤ変換器と、
前記ＡＤ変換器の出力に基づき、前記電子デバイスの良否を判定する判定部とを備えることを特徴とする試験装置。
【請求項１６】
電子デバイスを試験する試験方法であって、
前記電子デバイスが電源から受け取る電源電流に基づく電流検知電圧を出力する検知電圧出力段階と、
前記電流検知電圧を伝送する伝送段階と、
前記伝送段階において伝送された前記電流検知電圧に基づくアンプ出力電圧を検知アンプに出力させるアンプ出力段階と、
前記検知アンプに前記電流検知電圧を与えるか否かを切換える切換段階と、
前記アンプ出力電圧に基づく値を積分した積分値を積分器に出力させる積分段階と、
前記積分値に基づき、前記電子デバイスの良否を判定する判定段階と
を備えることを特徴とする試験方法。
【請求項１７】
被測定電流を測定する電流測定器であって、
前記被測定電流に基づく電流検知電圧を出力する検知電圧出力部と、
前記電流検知電圧を伝送する伝送線と、
前記伝送線を介して受け取る前記電流検知電圧に基づき、アンプ出力電圧を出力する検知アンプと、
前記検知アンプに前記電流検知電圧を与えるか否かを切換える切換部と、
前記アンプ出力電圧に基づく値を積分した積分値を出力する積分器と、
を備えることを特徴とする電流測定器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試験装置、試験方法、及び電流測定器に関する。特に本発明は、電子デバイスを試験する試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、被試験デバイスの電源電流を、積分器を用いて測定する試験装置が知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照。）。これらの試験装置において、電源電流を検出する電流検出部や、電流検出部が検出した電流値に応じた電圧を出力する電流電圧変換部は、被試験デバイスに電源電流を供給するデバイス電源部内に設置されていた。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−３２４５５２号公報（第３〜７頁、第６図）
【特許文献２】
特開２０００−２４１４５４号公報（第３〜７頁、第１図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、例えば、ＬＳＩ等の電子デバイスを試験する場合においては、電子デバイスの近傍に、多くの電子回路を実装するための十分なスペースがない場合がある。この場合、被試験デバイスの近傍にデバイス電源部を設けることは困難である。そのため、従来、被試験デバイスの高速で変化した電源電流を高い精度で測定するのが困難な場合があった。
【０００５】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置、試験方法、及び電流測定器を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明の第１の形態によると、電子デバイスを試験する試験装置であって、電子デバイスが電源から受け取る電源電流に基づく電流検知電圧を出力する検知電圧出力部と、電流検知電圧を伝送する伝送線と、伝送線を介して受け取る電流検知電圧に基づき、アンプ出力電圧を出力する検知アンプと、検知アンプに電流検知電圧を与えるか否かを切換える切換部と、アンプ出力電圧に基づく値を積分した積分値を出力する積分器と、当該積分値に基づき、電子デバイスの良否を判定する判定部とを備える。
【０００７】
また、切換部は、検知アンプと、伝送線を介して直列に接続され、検知アンプに、電流検知電圧又は予め定められた電位のいずれを与えるかを切換えてよい。判定部は、積分値に基づき、電源電流のピーク電流を算出することにより、電子デバイスの良否を判定してよい。また、検知電圧出力部と検知アンプとの距離は、検知電圧出力部と電子デバイスとの距離より大きくてよい。
【０００８】
また、電子デバイスを保持するＩＣソケットを裁置するパフォーマンスボードを更に備え、検知電圧出力部及び切換部は、パフォーマンスボード上に設けられ、検知アンプは、パフォーマンスボードの外部に設けられ、伝送線は、同軸ケーブルであり、切換部は、電流検知電圧を、同軸ケーブルを介して検知アンプに与えてよい。
【０００９】
また、電子デバイスを保持するＩＣソケットを裁置し、かつ、電源電流を伝送する電源配線を有するプリント基板により形成されたパフォーマンスボードを更に備え、検知電圧出力部は、パフォーマンスボード上に設けられ、かつ、電源配線の少なくとも一部が有する配線抵抗に基づき、電流検知電圧を出力してよい。
【００１０】
また、積分器は、アンプ出力電圧に基づく電流に応じた電荷を蓄積することにより、当該電荷に基づき、積分値を出力する蓄積コンデンサを有し、試験装置は、蓄積コンデンサから、予め定められた大きさの電流を放出させることにより、積分値にオフセットを与えるオフセット加算部を更に備えてよい。また、電子デバイスを試験するための試験パターンを出力する試験パターン出力部を更に備え、切換部は、試験パターンの少なくとも一部に応じて、検知アンプに電流検知電圧を与えるか否かを切換え、積分器は、試験パターン出力部が試験パターンの出力を開始する以前に、積分値を予め定められた値に初期化する初期化部を有し、試験装置は、試験パターン出力部が試験パターンの出力を終了した後に、積分器の出力をＡＤ変換するＡＤ変換器を更に備え、判定部は、ＡＤ変換器の出力に基づき、電子デバイスの良否を判定してよい。
【００１１】
また、切換部は、検知アンプと、伝送線を介して直列に接続され、検知アンプに電流検知電圧又は予め定められた電位のいずれかを与え、試験パターン出力部は、試験パターンを複数回繰り返して出力し、初期化部は、試験パターン出力部が試験パターンを複数回繰り返して出力する繰り返し期間の以前に、積分値を初期化し、かつ、繰り返し期間、積分値を初期化せずに保ち、切換部は、試験パターンの少なくとも一部に応じて、試験パターン出力部が試験パターンを出力する毎に、検知アンプに電流検知電圧を与え、かつ、試験パターン出力部が試験パターンを出力しない期間、検知アンプに予め定められた電位を与え、積分器は、繰り返し期間に渡って積分した積分値を出力してよい。
【００１２】
また、並列に接続された複数の検知アンプと、複数の検知アンプのそれぞれに対応して設けられ、対応する検知アンプに、それぞれ異なるタイミングで電流検知電圧を与える複数の切換部と、複数の検知アンプのそれぞれに対応して設けられ、対応する検知アンプが出力するアンプ出力電圧に基づく値をそれぞれ積分した積分値を、それぞれ出力する複数の積分器とを備え、判定部は、複数の積分器がそれぞれ出力する積分値に基づき、電子デバイスの良否を判定してよい。
【００１３】
また、電子デバイスは、複数の電源から電源電流を受け取り、試験装置は、複数の電源のそれぞれに対応して設けられ、対応する電源から電子デバイスが受け取る電源電流に基づく電流検知電圧をそれぞれ出力する複数の検知電圧出力部と、複数の検知電圧出力部がそれぞれ出力する電流検知電圧に基づくアンプ出力電圧をそれぞれ出力する複数の検知アンプとを備え、積分器は、複数の検知アンプがそれぞれ出力するアンプ出力電圧に基づく値の加算値を積分してよい。
【００１４】
また、電子デバイスは、電源電流を受け取る複数の電源端子を備え、試験装置は、複数の電源端子のそれぞれに対応して設けられ、対応する電源端子に電子デバイスが受け取る電源電流に基づく電流検知電圧をそれぞれ出力する複数の検知電圧出力部と、複数の検知電圧出力部のそれぞれに対応して設けられ、対応する検知電圧出力部から電流検知電圧を受け取る複数の検知アンプと、複数の検知アンプのそれぞれに対応して設けられ、対応する検知アンプが出力するアンプ出力電圧に基づく値をそれぞれ積分した積分値を、それぞれ出力する複数の積分器とを備え、判定部は、複数の積分器がそれぞれ出力する積分値に基づき、電子デバイスの良否を判定してよい。
【００１５】
また、電子デバイスを試験するための試験パターンを、複数回繰り返し出力する試験パターン出力部と、試験パターンにおける予め定められた測定期間、切換部を、検知アンプに電流検知電圧を与える状態に保持し、かつ、パターン出力部が試験パターンを出力する毎に、測定期間より短い予め定められた変更時間、測定期間の開始のタイミングを変更する切換制御部とを更に備え、積分器は、パターン出力部が試験パターンを出力する毎に、当該試験パターンに対応する積分値を出力し、判定部は、複数回の試験パターンに対応する複数の測定期間の間で重複する重複期間の平均電流を、複数回の試験パターンに対応して積分器がそれぞれ出力する複数の積分値に基づいて算出し、算出した平均電流に基づき、電子デバイスの良否を判定してよい。
【００１６】
本発明の第２の形態によると、電子デバイスを試験する試験装置であって、電子デバイスが電源から受け取る電源電流に基づく電流検知電圧を出力する検知電圧出力部と、電流検知電圧に基づく値を積分する積分器と、積分器に、電流検知電圧又は予め定められた電位のいずれを与えるかを切換える切換部とを備える。
【００１７】
本発明の第３の形態によると、電子デバイスを試験する試験装置であって、電子デバイスを試験するための試験パターンを複数回繰り返して出力する試験パターン出力部と、電子デバイスが電源から受け取る電源電流に基づく電流検知電圧を出力する検知電圧出力部と、パターン出力部が試験パターンを複数回繰り返して出力する繰り返し期間に渡って、電流検知電圧に基づく値を積分する積分器と、試験パターンの少なくとも一部に応じて、試験パターン出力部が試験パターンを出力する毎に、積分器に電流検知電圧に基づく値を与え、かつ、試験パターン出力部が試験パターンを出力しない期間、積分器に電流検知電圧に基づく値を与えるのを停止する切換部と、繰り返し期間の後に、積分器の出力をＡＤ変換するＡＤ変換器と、ＡＤ変換器の出力に基づき、電子デバイスの良否を判定する判定部とを備える。
【００１８】
本発明の第４の形態によると、電子デバイスを試験する試験方法であって、電子デバイスが電源から受け取る電源電流に基づく電流検知電圧を出力する検知電圧出力段階と、電流検知電圧を伝送する伝送段階と、伝送段階において伝送された電流検知電圧に基づくアンプ出力電圧を検知アンプに出力させるアンプ出力段階と、検知アンプに電流検知電圧を与えるか否かを切換える切換段階と、アンプ出力電圧に基づく値を積分した積分値を積分器に出力させる積分段階と、積分値に基づき、電子デバイスの良否を判定する判定段階とを備える。
【００１９】
本発明の第５の形態によると、被測定電流を測定する電流測定器であって、被測定電流に基づく電流検知電圧を出力する検知電圧出力部と、電流検知電圧を伝送する伝送線と、伝送線を介して受け取る電流検知電圧に基づき、アンプ出力電圧を出力する検知アンプと、検知アンプに電流検知電圧を与えるか否かを切換える切換部と、アンプ出力電圧に基づく値を積分した積分値を出力する積分器と、を備える。
【００２０】
なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す。本例の試験装置１００は、電子デバイス１０が受け取る高速で変化した電源電流のピーク電流を高い精度で測定することができる。また、これにより、試験装置１００は、電子デバイス１０を高い精度で試験する。試験装置１００は、ＩＣソケット１１６、パフォーマンスボード１１４、電源１３２、コンデンサ１２０、コンデンサ１２２、検知電圧出力部１０２、切換部１１０、切換制御部１２４、伝送線１０４、オペアンプ１０６、積分器１０８、ＡＤ変換器１２８、オフセット加算部１２６、及び試験信号処理部１１２を備える。
【００２３】
ＩＣソケット１１６は、パフォーマンスボード１１４上に裁置され、電子デバイス１０を保持する。パフォーマンスボード１１４は、ＩＣソケット１１６と試験信号処理部１１２とを接続する接続ユニットである。本例において、パフォーマンスボード１１４は、プリント基板により形成される。当該プリント基板は、電子デバイス１０に供給される電源電流（Ｉｄｄ）を伝送する電源配線を有する。
【００２４】
電源１３２は、検知電圧出力部１０２を介して電子デバイス１０に電源電流を供給する。本例において、電源１３２は、電子デバイス１０の電源端子に正電圧を印加することにより、電子デバイス１０に電源電流を供給する。また、コンデンサ１２０及びコンデンサ１２２のそれぞれは、電源配線における検知電圧出力部１０２の前段及び後段のそれぞれにおいて、電源電流を平滑化する。コンデンサ１２０及びコンデンサ１２２は、電源電流を平滑化することにより、検知電圧出力部１０２に、電源電流に基づく平滑電流（Ｉａ）を与える。
【００２５】
検知電圧出力部１０２は、パフォーマンスボード１１４上において、電子デバイス１０の近傍に設けられ、電源電流に基づく電流検知電圧を出力する。検知電圧出力部１０２は、例えば、電子デバイス１０に対する信号の入出力を行うテストヘッド上に設けられてもよい。
【００２６】
検知電圧出力部１０２は、抵抗２０６及びオペアンプ２０８を有する。抵抗２０６は、電源１３２と電子デバイス１０との間に挿入されており、電源電流に基づく平滑電流を流すことにより、両端に平滑電流に略比例する電圧を生じる。これにより、抵抗２０６は、電源電流に基づく電圧を両端に生じる。また、オペアンプ２０８は、抵抗２０６の両端の電圧に基づく電流検知電圧（Ｖｄ）を出力する。本例において、オペアンプ２０８は、抵抗２０６における電源１３２に近い端部の電位を正入力に受け取り、電子デバイス１０に近い端部の電位を負入力に受け取る。これにより、オペアンプ２０８は、電流検知電圧として、大きさが平滑電流に略比例した電圧を出力する。
【００２７】
尚、本例において、抵抗２０６は、パフォーマンスボード１１４における電源配線の一部により形成される。この場合、検知電圧出力部１０２は、電源配線の一部が有する配線抵抗に基づき、電流検知電圧を出力する。本例によれば、抵抗２０６の両端に生じる電圧を小さくすることにより、電源１３２と電子デバイス１０との間における電圧降下の大きさを小さくすることができる。
【００２８】
切換部１１０は、スイッチ２１０及びスイッチ２１２を有する。スイッチ２１０及びスイッチ２１２は、切換制御部１２４から受け取る指示に応じてオン又はオフになり、一方がオンになった場合、他方がオフになる。スイッチ２１０は、検知電圧出力部１０２から受け取る電流検知電圧を伝送線１０４に出力するか否かを切換る。また、スイッチ２１２は、接地電位を伝送線１０４に出力するか否かを切換える。これにより、切換部１１０は、オペアンプ１０６に電流検知電圧又は接地電位のいずれを与えるかを切換える。
【００２９】
尚、本例において、切換部１１０は、パフォーマンスボード１１４上に設けられる。切換部１１０は、オペアンプ１０６と、伝送線１０４を介して直列に接続され、電流検知電圧を、伝送線１０４を介してオペアンプ１０６に与える。他の例において、切換部１１０は、伝送線１０４とオペアンプ１０６との間に設けられてもよい。この場合、切換部１１０は、伝送線１０４を介して受け取る電流検知電流を、オペアンプ１０６に与えるか否かを切換える。
【００３０】
切換制御部１２４は、試験信号処理部１１２から試験パターンの一部を受け取り、これに応じて、切換部１１０を切換える。そのため、切換部１１０は、試験パターンの一部に応じて、オペアンプ１０６に電流検知電圧を与えるか否かを切換える。
【００３１】
伝送線１０４は、切換部１１０とオペアンプ１０６とを電気的に接続することにより、電流検知電圧を伝送する。本例において、伝送線１０４は、同軸ケーブルである。この場合、伝送線１０４において生じるノイズを低減することにより、電流検知電圧を適切に伝送することができる。
【００３２】
オペアンプ１０６は、パフォーマンスボード１１４の外部に設けられ、伝送線１０４を介して受け取る電流検知電圧に基づき、アンプ出力電圧を出力する。本例において、オペアンプ１０６は、ボルテージフォロアである。この場合、オペアンプ１０６は、電流検知電圧と略等しい大きさのアンプ出力電圧を出力する。他の例において、オペアンプ１０６は、電流検知電圧を増幅又は低減した大きさのアンプ出力電圧を出力してもよい。
【００３３】
尚、オペアンプ１０６は、高い入力インピーダンスを有する。そのため、本例によれば、伝送線１０４に流れる電流を低減することにより、伝送線１０４において生じる電圧降下を低減できる。これにより、伝送線１０４は、高い精度で電流検知電圧を伝送する。
【００３４】
積分器１０８は、オペアンプ２１６、抵抗２１４、コンデンサ２１８、及びスイッチ２２０を有する。オペアンプ２１６は、正入力が接地され、負入力に抵抗２１４を介してアンプ出力電圧を受け取る。これにより、抵抗２１４は、アンプ出力電圧に略比例する被蓄積電流を流す。
【００３５】
コンデンサ２１８は、オペアンプ２１６の出力と負入力との間に挿入されることにより、抵抗２１４が流す被蓄積電流に応じた電荷を蓄積する。コンデンサ２１８は、蓄積された電荷に基づき、アンプ出力電圧に基づく値を積分した積分値（Ｖｍ）を出力する。これにより、積分器１０８は、アンプ出力電圧に基づく値を積分する。また、スイッチ２２０は、オンになった場合に、コンデンサ２１８の両端を電気的に短絡させることにより、積分器１０８が出力する積分値を初期化する初期化部の一例である。
【００３６】
尚、他の例において、オペアンプ２１６は、正入力に、接地電位と異なる所定の基準電位を受け取ってもよい。この場合、積分器１０８は、アンプ出力電圧と当該基準電位の差に基づく値を積分する。また、切換部１１０が有するスイッチ２１２は、オンになった場合に、当該基準電位を出力するのが好ましい。
【００３７】
ＡＤ変換器１２８は、積分器１０８が出力する積分値をＡＤ変換して、試験信号処理部１１２に供給する。また、オフセット加算部１２６は、抵抗２２２及び定電圧源２２４を有する。抵抗２２２は、定電圧源２２４とオペアンプ２１６の負入力とを電気的に接続することにより、コンデンサ２１８から予め定められた大きさの放出電流（Ｉｘ）を放出させる。これにより、オフセット加算部１２６は、積分器１０８が出力する積分値にオフセットを与える。
【００３８】
これにより、オフセット加算部１２６は、積分器１０８が出力する積分値を、ＡＤ変換器１２８の入力レンジに合わせて適切に変更する。そのため、本例によれば、試験装置１００は、広範囲の電源電流を適切に測定することができる。更には、本例によれば、定電圧源２２４の出力電圧、又は抵抗２２２の大きさを変更することにより、オフセット加算部１２６が積分器１０８に与えるオフセットの大きさを容易に変更することができる。尚、本例において、抵抗２２２は、コンデンサ２１８から、負の放出電流を放出させる。他の例において、抵抗２２２は正の放出電流を放出させてもよい。
【００３９】
試験信号処理部１１２は、試験パターン出力部２０４、判定部２０２、及びテスタ制御部２００を有する。試験パターン出力部２０４は、電子デバイス１０を試験するための試験パターンを出力して、電子デバイス１０に与える。また、試験パターン出力部２０４は、試験パターンの一部を切換制御部１２４に与えることにより、切換制御部１２４を制御する。
【００４０】
判定部２０２は、試験パターン出力部２０４が出力する試験パターンと、ＡＤ変換器１２８がＡＤ変換した積分値とに基づき、電子デバイス１０の良否を判定する。判定部２０２は、例えば、当該積分値に基づき、電源電流のピーク電流を算出することにより、電子デバイス１０の良否を判定する。また、テスタ制御部２００は、判定部２０２、試験パターン出力部２０４、及びスイッチ２２０を制御する。
【００４１】
ここで、本例において、積分器１０８は、電流検知電圧に基づく値を、アンプ出力電圧を介して受け取って積分する。この場合、検知電圧出力部１０２とオペアンプ１０６との距離は、検知電圧出力部１０２と電子デバイス１０との距離より大きくてよい。そのため、本例によれば、検知電圧出力部１０２を、例えばパフォーマンスボード１１４上等の、電子デバイス１０の近傍に設け、かつ、オペアンプ１０６及び積分器１０８を、パフォーマンスボード１１４の外部等の、電子デバイス１０から離れた位置に設けることができる。この場合、電子デバイス１０の近傍において回路を実装する余裕が小さい場合であっても、電源電流を高い精度で検知することができる。
【００４２】
また、本例において、切換部１１０は、電流検知電圧、又は接地電位のいずれかを伝送線１０４を介してオペアンプ１０６に与える。そのため、本例によれば、スイッチ２１０がオフである期間においても、オペアンプ１０６の出力を適切に保つことができる。また、これにより、積分器１０８に適切に積分を行わせることができる。
【００４３】
また、他の例において、電子デバイス１０は、半導体ウェハであってもよい。この場合、検知電圧出力部１０２及び切換部１１０は、当該半導体ウェハと電気的に接続されるプローブカード上に設けられるのが好ましい。この場合、高い精度で半導体ウェハを試験することができる。
【００４４】
図２は、試験装置１００の動作の一例を示すタイミングチャートである。試験装置１００は、試験パターン出力部２０４が出力する試験パターンにおける、時間Ｔｘに対応する区間での電源電流の平均値を測定する。
【００４５】
時刻ｔａ１以前において、スイッチ２１２はオンであり、スイッチ２１０はオフであるため、切換部１１０は接地電位をオペアンプ１０６に供給している。また、スイッチ２２０はオンであるため、コンデンサ２１８の両端は電気的に短絡され、積分器１０８における積分値は初期化されている。
【００４６】
時刻ｔａ１において、テスタ制御部２００は、スイッチ２２０をオフにすることにより、積分器１０８に積分を開始させ、切換制御部１２４は、スイッチ２１２をオフ、スイッチ２１０はオンにすることにより、切換部１１０に電流検知電圧を出力させる。
【００４７】
この場合、平滑電流（Ｉａ）、及び電流検知電圧（Ｖｄ）は、電子デバイス１０が受け取る電源電流（Ｉｄｄ）に応じて変化し、また、積分器１０８が出力する積分値（Ｖｍ）は、電流検知電圧の変化に応じて変化する。尚、スイッチ２２０は、時刻ｔａ１以前にオフになってもよい。スイッチ２２０は、試験パターン出力部２０４が試験パターンの出力を開始する以前に、積分値を予め定められた値に初期化するのが好ましい。
【００４８】
そして、時刻ｔａ３において、切換制御部１２４は、スイッチ２１２をオン、スイッチ２１０はオフにすることにより、切換部１１０に電流検知電圧の出力を終了させ、接地電位を出力させる。これにより、オペアンプ１０６は、アンプ出力電圧の出力を終了するため、積分器１０８は、時刻ｔａ３において、電源電流に基づく値の積分を終了する。
【００４９】
そして、時刻ｔａ４において、ＡＤ変換器１２８は、積分器１０８が出力する積分値をＡＤ変換して判定部２０２に供給する。ＡＤ変換器１２８は、試験パターン出力部２０４が試験パターンの出力を終了した後に、積分器１０８の出力をＡＤ変換してよい。そして、時刻ｔａ５において、テスタ制御部２００は、スイッチ２２０をオンにすることにより、積分値を初期化する。
【００５０】
ここで、判定部２０２は、ＡＤ変換された積分値に基づき、時刻ｔａ１からｔａ３までの時間Ｔｘの期間における、電源電流の平均値を算出する。これにより、試験装置１００は、例えば、電子デバイス１０に対してＩｄｄ試験を行う。本例によれば、電源電流を高い精度で測定することにより、電子デバイス１０に対するＩｄｄ試験を高い精度で行うことができる。
【００５１】
また、本例において、切換部１１０は、スイッチ２１０がオフである期間において、接地電位を出力する。そのため、積分器１０８は、スイッチ２１０がオフである期間において積分を続けたとしても、スイッチ２１０がオンである期間に積分した積分値を保持する。そのため、ＡＤ変換器１２８は、試験パターンの変化と比べて時定数の大きな時間分解能により、積分値をＡＤ変換してよい。本例によれば、オペアンプ１０６、積分器１０８、及びＡＤ変換器１２８等として、安価な汎用部品を用いることができる。これにより、試験装置１００のコストを低減することができる。
【００５２】
また、切換制御部１２４は、試験パターンに応じてスイッチ２１０及びスイッチ２１２を制御する。この場合、積分器１０８がアンプ出力電圧に基づく値を積分する期間を、高い精度で規定することができる。尚、テスタ制御部２００は、スイッチ２２０を、試験パターンの変化と比べて時定数の大きな時間精度で制御してよい。
【００５３】
尚、本例において、ＡＤ変換器１２８は、時刻ｔａ１以降、ｔａ３以前の時刻ｔａ２において、積分器１０８が出力する積分値を更にＡＤ変換する。この場合、積分値の変化をモニターすることにより、更に高い精度で電子デバイス１０を試験することができる。
【００５４】
図３は、試験装置１００の動作の他の例を示すタイミングチャートである。本例において、試験パターン出力部２０４は、所定の繰り返し期間Ｔｃに渡って、時間Ｔｘに対応する試験パターンを複数回繰り返して出力する。
【００５５】
ここで、スイッチ２２０は、繰り返し期間Ｔｃの以前に、オンになって積分器１０８の積分値を初期化し、かつ、繰り返し期間Ｔｃにおいて、オフ状態を保持することにより、積分値を初期化せずに保つ。そのため、積分器１０８は、電源電流に基づく値を繰り返し期間Ｔｃに渡って積分した積分値を、出力する。
【００５６】
また、スイッチ２１０は、試験パターン出力部２０４がこの試験パターンを出力する毎にオンになる。そのため、切換部１１０は、試験パターン出力部２０４がこの試験パターンを出力する毎に、試験パターンの一部に応じて、オペアンプ１０６に電流検知電圧を与える。また、切換部１１０は、試験パターン出力部２０４がこの試験パターンを出力しない期間、オペアンプ１０６に接地電位を与える。切換部１１０は、試験パターン出力部２０４がこの試験パターンを出力しない期間、積分器１０８に電流検知電圧に基づく値を与えるのを停止してよい。
【００５７】
これにより、積分器１０８は、一回の試験パターンに対応する積分値を、試験パターンの繰り返し回数の応じて加算する。そして、積分器１０８は、繰り返し期間Ｔｃの後において、当該加算値を、積分値として出力する。積分器１０８は、繰り返し期間Ｔｃに渡って、電源検知電圧に基づく値を積分してよい。
【００５８】
判定部２０２は、ＡＤ変換器１２８によりＡＤ変換された積分値と、試験パターンの繰り返し回数に基づき、一回の試験パターンに対応する期間における電源電流の平均値を算出する。本例によれば、電源電流の平均値を、更に高い精度で算出することができる。
【００５９】
図４は、試験装置１００の動作の更なる他の例を示すタイミングチャートである。本例において、試験パターン出力部２０４は、時間Ｔｘに対応する試験パターンを複数回繰り返して出力する。
【００６０】
また、切換制御部１２４は、各回の試験パターンが持続する時間Ｔｘの一部の期間に、切換部１１０に電流検知電圧を出力させる。本例において、切換制御部１２４は、１回目の試験パターンに対し、時間Ｔｘのうちの、ｔｍ０からｔｍ２に対応する期間、切換部１１０に電流検知電圧を出力させる。切換制御部１２４は、２回目及び３回目の試験パターンに対し、ｔｍ１からｔｍ２、及びｔｍ２からｔｍ３に対応する期間、切換部１１０に電流検知電圧をそれぞれ出力させる。
【００６１】
すなわち、切換制御部１２４は、試験パターンにおける予め定められた測定期間、切換部１１０におけるスイッチ２１０及びスイッチ２１２を、オペアンプ１０６に電流検知電圧を与える状態に保持する。また、切換制御部１２４は、判定部２０２が試験パターンを出力する毎に、測定期間より短い予め定められた変更時間、測定期間の開始のタイミングを変更する。
【００６２】
また、積分器１０８は、試験パターン出力部２０４が試験パターンを出力する毎に、その試験パターンに対応する積分値を出力する。そして、ＡＤ変換器１２８は、それぞれの試験パターンに対応して積分器１０８が出力する積分値をＡＤ変換して判定部２０２の供給する。スイッチ２２０は、ＡＤ変換器１２８が、ＡＤ変換を行う毎に、積分器１０８の積分値を初期化する。
【００６３】
また、判定部２０２は、複数回の試験パターンに対応して積分器１０８がそれぞれ出力する複数の積分値を受け取る。そして、判定部２０２は、１回目及び２回目の試験パターンに対応する複数の積分値に基づき、試験パターンにおける、ｔｍ１〜ｔｍ２に対応する時間の平均電流を算出する。また、２回目及び３回目の試験パターンに対応する複数の積分値に基づき、試験パターンにおける、ｔｍ２〜ｔｍ３に対応する時間の平均電流を算出する。すなわち、判定部２０２は、複数の積分値に基づき、複数回の試験パターンに対応する複数の測定期間の間で重複する重複期間の平均電流を算出する。そして、判定部２０２は、算出した平均電流に基づき、電子デバイス１０の良否を判定する。本例によれば、測定期間より短い期間における平均電流を測定することができる。
【００６４】
図５は、検知電圧出力部１０２の構成の他の例を示す。本例において、検知電圧出力部１０２は、抵抗２０６（図１参照）に代えて、コイル２３２及び抵抗２３４を有する。
【００６５】
コイル２３２は、内部に電源配線を通過させることにより、電源電流に基づく平滑電流（Ｉａ）の変化に応じた電圧を両端に生じる。また、コイル２３２の一端及び他端のそれぞれは、オペアンプ２０８の正入力及び負入力のそれぞれに電気的に接続される。これにより、オペアンプ２０８は、電源電流に基づく電流検知電圧を出力する。
【００６６】
また、抵抗２３４は、コイル２３２と並列に接続されることにより、オペアンプ２０８の正入力と負入力とを電気的に接続する。抵抗２３４は、コイル２３２の両端に生じる電圧に応じた電流を流すことにより、オペアンプ２０８の入力端子に電荷が蓄積されるのを防止する。これにより、抵抗２３４は、オペアンプ２０８の入力の電位を適切に保つ。本例によっても、電源電流を適切に測定することができる。
【００６７】
図６は、試験装置１００の構成の他の例を示す。本例において、試験装置１００は、それぞれ対応して設けられた複数の切換部１１０ａ〜ｂ、複数の伝送線１０４ａ〜ｂ、複数のオペアンプ１０６ａ〜ｂ、複数の積分器１０８ａ〜ｂ、複数のオフセット加算部１２６ａ〜ｂ、及び複数のスイッチ１３０ａ〜ｂを備える。複数のスイッチ１３０ａ〜ｂのそれぞれは、複数の積分器１０８ａ〜ｂのそれぞれが出力する積分値を、ＡＤ変換器１２８に与えるか否かを切換える。スイッチ１３０ａ〜ｂは、オンになった場合に、対応する積分値をＡＤ変換器１２８に与える。
【００６８】
本例において、複数のオペアンプ１０６ａ〜ｂは、並列に接続される。切換制御部１２４は、複数の切換部１１０ａ〜ｂを、それぞれ異なるタイミングで切換える。複数の切換部１１０ａ〜ｂは、対応するオペアンプ１０６ａ〜ｂに、それぞれ異なるタイミングで電流検知電圧を与えることにより、オペアンプ１０６ａ〜ｂに、それぞれ異なるタイミングでアンプ出力電圧を出力させる。また、積分器１０８は、対応するオペアンプ１０６が出力するアンプ出力電圧に基づく値をそれぞれ積分した積分値（Ｖｍａ〜ｂ）を、それぞれ出力する。ＡＤ変換器１２８は、複数のスイッチ１３０ａ〜ｂのそれぞれを介して、複数の積分器１０８ａ〜ｂのそれぞれが積分した積分値を受け取ってＡＤ変換する。判定部２０２は、複数の積分器１０８ａ〜ｂがそれぞれ出力する積分値に基づき、電子デバイス１０の良否を判定する。
【００６９】
本例において、複数の積分器１０８ａ〜ｂは、それぞれ異なる期間において、アンプ出力電圧に基づく値を積分する。そのため、本例によれば、連続する複数の期間において、電源電流を適切に測定することができる。尚、上記以外の点において、図６において、図１と同じ符号を付した構成は、図１における構成と同一又は同様の機能を有するため説明を省略する。
【００７０】
図７は、図６を用いて説明した試験装置１００の動作の一例を示すタイミングチャートである。最初の時刻ｔａ１において、スイッチ２１０ａはオフ、スイッチ２２０ａはオン、スイッチ２１０ｂはオフ、スイッチ２２０ｂはオン、スイッチ１３０ａはオン、スイッチ１３０ｂはオフである。尚、スイッチ２１２ａ及びスイッチ２１２ｂのそれぞれは、スイッチ２１０ａ及びスイッチ２１０ｂのそれぞれと反対の状態を保つのため、動作の説明を省略する。
【００７１】
また、時刻ｔａ１において、ＡＤ変換器１２８は、積分器１０８ａが出力する積分値（Ｖｍａ）をＡＤ変換する。これにより、判定部２０２は、積分値が初期化された状態における積分器１０８ａの出力を測定する。
【００７２】
そして、時刻ｔａ２において、スイッチ２１０ａ、スイッチ２２０ａ、及びスイッチ１３０ａ〜ｂは状態を反転し、時刻ｔａ３において、ＡＤ変換器１２８は、積分器１０８ｂが出力する積分値（Ｖｍｂ）をＡＤ変換する。これにより、判定部２０２は、積分値が初期化された状態における積分器１０８ｂの出力を測定する。
【００７３】
そして、時刻ｔａ４において、スイッチ２１０ａ〜ｂ、スイッチ２２０ｂ、スイッチ１３０ａ〜ｂは状態を反転し、時刻ｔａ５において、ＡＤ変換器１２８は、積分器１０８ａの積分値（Ｖｍａ）をＡＤ変換する。判定部２０２は、時刻ｔａ１において測定した積分値（Ｖｍａ）の初期値に基づき、時刻ｔａ５において測定した積分値（Ｖｍａ）のオフセット誤差を修正してよい。この場合、更に高い精度で電源電流を測定することができる。
【００７４】
そして、時刻ｔａ６において、スイッチ２２０ａは状態を反転し、積分器１０８ａの積分値（Ｖｍａ）を初期化し、時刻ｔａ７において、ＡＤ変換器１２８は、再度、初期化された積分値（Ｖｍａ）をＡＤ変換する。
【００７５】
そして、時刻ｔａ８において、スイッチ２１０ａ〜ｂ、スイッチ２２０ａ、及びスイッチ１３０ａ〜ｂは状態を反転し、時刻ｔａ９において、ＡＤ変換器１２８は、積分器１０８ｂの積分値（Ｖｍｂ）をＡＤ変換する。判定部２０２は、時刻ｔａ３に測定した積分値（Ｖｍｂ）の初期値に基づき、オフセット誤差を修正してよい。そして、時刻ｔａ１０において、スイッチ２２０ｂは状態を反転し、積分器１０８ｂの積分値を初期化する。本例によれば、電源電流を、連続して測定することができる。
【００７６】
図８は、試験装置１００の構成の更なる他の例を示す。本例において、電子デバイス１０は、複数の電源１３２ａ〜ｂから電源電流を受け取る。試験装置１００は、複数の電源１３２ａ〜ｂにそれぞれ対応して設けられた複数の検知電圧出力部１０２ａ〜ｂ、複数の切換部１１０ａ〜ｂ、複数の伝送線１０４ａ〜ｂ、及び複数のオペアンプ１０６ａ〜ｂを備える。
【００７７】
複数の検知電圧出力部１０２ａ〜ｂのそれぞれは、対応する電源１３２から電子デバイス１０が受け取る電源電流に基づく電流検知電圧をそれぞれ出力する。複数のオペアンプ１０６ａ〜ｂは、複数の検知電圧出力部１０２ａ〜ｂのそれぞれから電流検知電圧を受け取り、これに基づくアンプ出力電圧をそれぞれ出力する。
【００７８】
また、本例において、積分器１０８は、複数のオペアンプ１０６ａ〜ｂにそれぞれ対応して、並列に設けられた複数の抵抗２１４ａ〜ｂを有する。複数の抵抗２１４ａ〜ｂは、オペアンプ２１６の負入力と、対応するオペアンプ１０６の出力とを電気的に接続する。これにより、積分器１０８は、複数のオペアンプ１０６ａ〜ｂがそれぞれ出力するアンプ出力電圧に基づく値の加算値を積分する。そのため、本例によれば、複数の電源１３２から電子デバイス１０が受け取る電源電流を適切に測定することができる。
【００７９】
尚、本例において、電子デバイス１０は、複数の電源１３２ａ〜ｂに対応する複数の電源端子を備える。それぞれの電源端子は、対応する電源１３２からの電源電流を受け取る。他の例において、電子デバイス１０は、一の電源端子に、複数の電源１３２ａ〜ｂからの電源電流を受け取ってもよい。また、上記以外の点において、図８において、図１と同じ符号を付した構成は、図１における構成と同一又は同様の機能を有するため説明を省略する。
【００８０】
図９は、試験装置１００の構成の更なる他の例を示す。本例において、電子デバイス１０は、電源電流を受け取る複数の電源端子を備える。また、試験装置１００は、複数の電源端子のそれぞれに対応して設けられた複数の検知電圧出力部１０２ａ〜ｂ、複数の切換部１１０ａ〜ｂ、複数の伝送線１０４ａ〜ｂ、複数のオペアンプ１０６ａ〜ｂ、複数の積分器１０８ａ〜ｂ、複数のオフセット加算部１２６ａ〜ｂ、及び複数のスイッチ１３０ａ〜ｂを備える。
【００８１】
複数の検知電圧出力部１０２ａ〜ｂのそれぞれは、対応する電源端子に電子デバイス１０が受け取る電源電流に基づき、電流検知電圧をそれぞれ出力する。また、複数のオペアンプ１０６ａ〜ｂのそれぞれは、対応する検知電圧出力部１０２から電流検知電圧を受け取る。複数の積分器１０８ａ〜ｂのそれぞれは、対応するオペアンプ１０６が出力するアンプ出力電圧に基づく値をそれぞれ積分した積分値を、それぞれ出力する。
【００８２】
また、複数のスイッチ１３０ａ〜ｂのそれぞれは、積分器１０８ａ〜ｂのそれぞれが出力する積分値を、ＡＤ変換器１２８に与えるか否かを切換える。そして、ＡＤ変換器１２８は、複数の積分器１０８ａ〜ｂのそれぞれが出力する積分値をＡＤ変換して、試験信号処理部１１２に供給する。本例において、試験信号処理部１１２は、図１を用いて説明した判定部２０２と同一又は同様の機能を有する判定部２０２（図示せず）を有する。
【００８３】
判定部２０２は、複数の積分器１０８ａ〜ｂがそれぞれ出力する積分値に基づき、電子デバイス１０の良否を判定する。判定部２０２は、電子デバイス１０における複数の電源端子のそれぞれが受け取る電源電流を、それぞれ測定してよい。この場合、判定部２０２は、例えば、それぞれの電源端子に対応する電源電流の測定結果に基づき、電子デバイス１０の内部に形成された電子回路における故障箇所を特定する。本例によれば、更に高い精度で電子デバイス１０の良否を判定することができる。尚、上記以外の点において、図９において、図１と同じ符号を付した構成は、図１における構成と同一又は同様の機能を有するため説明を省略する。
【００８４】
以上、本発明を実施形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることができる。そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００８５】
上記説明から明らかなように、本発明によれば、電子デバイスの電源電流を高い精度で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】試験装置１００の構成の一例を示す図である。
【図２】試験装置１００の動作の一例を示すタイミングチャートである。
【図３】試験装置１００の動作の他の例を示すタイミングチャートである。
【図４】試験装置１００の動作の更なる他の例を示すタイミングチャートである。
【図５】検知電圧出力部１０２の構成の他の例を示す図である。
【図６】試験装置１００の構成の他の例を示す図である。
【図７】試験装置１００の動作の一例を示すタイミングチャートである。
【図８】試験装置１００の構成の更なる他の例を示す図である。
【図９】試験装置１００の構成の更なる他の例を示す図である。
【符号の説明】
１０・・・電子デバイス、１００・・・試験装置、１０２・・・検知電圧出力部、１０４・・・伝送線、１０６・・・オペアンプ、１０８・・・積分器、１１０・・・切換部、１１２・・・試験信号処理部、１１４・・・パフォーマンスボード、１１６・・・ＩＣソケット、１２０・・・コンデンサ、１２２・・・コンデンサ、１２４・・・切換制御部、１２６・・・オフセット加算部、１２８・・・ＡＤ変換器、１３０・・・スイッチ、１３２・・・電源、２００・・・テスタ制御部、２０２・・・判定部、２０４・・・試験パターン出力部、２０６・・・抵抗、２０８・・・オペアンプ、２１０・・・スイッチ、２１２・・・スイッチ、２１４・・・抵抗、２１６・・・オペアンプ、２１８・・・コンデンサ、２２０・・・スイッチ、２２２・・・抵抗、２２４・・・定電圧源、２２６・・・定電圧源、２２８・・・抵抗、２３０・・・電流計、２３２・・・コイル、２３４・・・抵抗
【図１】
2004170314.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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