(57)【要約】【課題】保存安定性に優れ、様々な化合物に対しての親和性、混合溶解性を持ち、かつ高感度で含水状態においても固化可能な材料であり、硬化物の感度が高く、可撓性に優れ、高含水率においても均一固化が可能な感光性樹脂および感光性樹脂組成物並びに新規化合物を提供する。【解決手段】下記一般式（１）に示される構成単位を有するポリ酢酸ビニル鹸化物系感光性樹脂である。【化１】2004189841.tif 000015【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（１）に示される構成単位を有することを特徴とするポリ酢酸ビニル鹸化物系感光性樹脂。
【化１】
2004189841.tif 000012
【請求項２】
請求項１の感光性樹脂を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項３】
請求項２において、さらに光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項４】
請求項２または３において、溶媒として水を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項５】
請求項２〜４の何れかの感光性樹脂組成物を用い、光重合反応することにより含水ゲルを得ることを特徴とする含水ゲルの形成方法。
【請求項６】
下記一般式（２）に示されることを特徴とする化合物。
【化２】
2004189841.tif 000013
【請求項７】
下記一般式（３）に示されることを特徴とする化合物。
【化３】
2004189841.tif 000014
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光硬化性塗膜または光硬化性含水ゲルの形成、もしくは水性現像液を用いたパターン形成に用いる、新規なポリ酢酸ビニル鹸化物系感光性樹脂および感光性樹脂組成物並びに新規化合物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、廃水処理や診断薬といった分野において、酵素や菌体を非加熱で固定する優れた方法として、光硬化性樹脂を用いた方法が認知されつつあり、ＰＶＡ−ＳｂＱが一部に適用されている（例えば、特許文献１および２参照。）。
【０００３】
このＰＶＡ−ＳｂＱ樹脂は、安定性、安全性に優れており、様々な用途に適用されているが、化合物の構造上カチオン性の部位を持っているため、酵素、菌体の固定において混合溶解可能な化合物の範囲が限定される欠点がある。
【０００４】
さらに、ＰＶＡ−ＳｂＱ樹脂は、乾燥不充分で水を多く含んだ状態では、感度が極端に低下する欠点を持っているため、乾燥工程を入れられない化合物を含水状態のまま固定したい場合には十分な硬化性が得られず、適用に問題があった。
【０００５】
ここで、保存安定性に優れ、様々な化合物に対しての親和性、混合溶解性を持つ材料として、本発明者らが開発した特定の構造を有する光重合型のポリ酢酸ビニル鹸化物系感光性樹脂がある（特許文献３参照。）。
【０００６】
【特許文献１】
特公平８−２３５４５号公報（第２頁等）
【特許文献２】
特開平２−２４０５５５号公報（第２頁）
【特許文献３】
特開２０００−１８１０６２号公報（第３頁等）
【特許文献４】
国際公開ＷＯ９７／３３２０２号パンフレット（第６，７頁）
【特許文献５】特開２００１−５８９７２号公報  （段落［０００７］〜［０００８］等）
【特許文献６】特開平１１−３２７１３９号公報  （段落［０００６］〜［００１０］等）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献３の感光性樹脂及び組成物は、水溶液を塗布、乾燥後、パターン露光及び現像を行なう、いわゆるフォトレジストとしては、非常に優れたものであるが、高含水のまま光硬化によりゲルを形成する感光性ゲル化剤としては、感度が十分とは言えず、より高感度な感光性樹脂および感光性樹脂組成物が望まれていた。
【０００８】
なお、この特許文献３に類似するものとしてポリ酢酸ビニル鹸化物にビニル性不飽和結合フラグメントをペンダントさせた、いわゆる重合型感光性樹脂で、フォトレジストとしてパターン形成を目的とするものが幾つか公開されている（例えば、特許文献４参照）が、ゲルを形成する感光性ゲル化剤としては、感度が十分とは言えない点では同様である。
【０００９】
また、これらの文献においてポリ酢酸ビニル鹸化物にペンダントさせた分子鎖と類似する分子構造を一部に含む（メタ）アクリル酸誘導体も報告されている（例えば、特許文献５、６参照）。しかしながら、これらの文献においても水溶性または水を含有する組成物に利用できるという記述は無く、記載例においても水溶性は認められないものである。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑み、保存安定性に優れ、様々な化合物に対しての親和性、混合溶解性を持ち、かつ高感度で含水状態においても固化可能な材料であり、硬化物の感度が高く、可撓性に優れ、高含水率においても均一固化が可能な感光性樹脂および感光性樹脂組成物並びに新規化合物を提供することを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、下記一般式（１）に示される構成単位を有するポリ酢酸ビニル鹸化物系感光性樹脂が、硬化物の感度が高く、可撓性に優れ、高含水率においても均一固化が可能であることを知見し、本発明を完成するに至った。
【００１２】
本発明の第１の態様は、下記一般式（１）に示される構成単位を有することを特徴とするポリ酢酸ビニル鹸化物系感光性樹脂にある。
【００１３】
【化４】
2004189841.tif 000002
【００１４】
本発明の第２の態様は、第１の態様の感光性樹脂を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物にある。
【００１５】
本発明の第３の態様は、第２の態様において、さらに光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物にある。
【００１６】
本発明の第４の態様は、第２または３の態様において、溶媒として水を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物にある。
【００１７】
本発明の第５の態様は、第２〜４の何れかの態様の感光性樹脂組成物を用い、光重合反応することにより含水ゲルを得ることを特徴とする含水ゲルの形成方法にある。
【００１８】
本発明の第６の態様は、下記一般式（２）に示されることを特徴とする化合物にある。
【００１９】
【化５】
2004189841.tif 000003
【００２０】
本発明の第７の態様は、下記一般式（３）に示されることを特徴とする化合物にある。
【００２１】
【化６】
2004189841.tif 000004
【００２２】
本発明の一般式（１）で示される構成単位を有する感光性樹脂は、一般式（２）または（３）に示される化合物をポリ酢酸ビニル鹸化物にアセタール化させることで得ることが出来る。
【００２３】
なお、一般式（１）で示される構成単位を有する感光性樹脂は、アルデヒド基を持つカルボン酸化合物、アルデヒド基を持つフェノール類またはそれらのアセタール化物をポリ酢酸ビニル鹸化物にアセタール化し、そのカルボン酸基、フェノール性水酸基にヒドロキシアルキルアクリレートグリシジルエーテルを付加させることでも合成可能である。
【００２４】
本発明に用いることができるポリ酢酸ビニル鹸化物は、特に制限はないが、重合度は２００〜５０００の範囲が好ましい。重合度が２００より小さい場合、十分な塗膜強度が得られず、５０００より大きい場合、溶液粘度が高くなり過ぎ取扱いが難しくなる。
【００２５】
鹸化度は６０％以上、より好ましくは７０％以上のものが好適である。鹸化度が６０％未満では十分な水溶性が得られない。
【００２６】
上記ポリ酢酸ビニル鹸化物には、現像性調節、レジスト物性向上の目的で他のビニルモノマーを共重合したもの、親水性基変性、親油性基変性、末端変性、カチオン変性、アニオン変性等、変性ポリ酢酸ビニル鹸化物も適用可能である。
【００２７】
一般式（２）及び（３）の化合物は、ヒドロキシアルキルアクリレートグリシジルエーテルとアルデヒド基を持つカルボン酸化合物またはそのアセタール化物の付加反応、ヒドロキシアルキルアクリレートグリシジルエーテルとアルデヒド基を持つフェノール類またはそのアセタール化物の付加反応によって得ることが出来る。その反応は、特開昭６０−２２２４４２号公報等に記載された公知の反応と同様である。
【００２８】
この他にも、エポキシ基を持つアルデヒドまたはそのアセタール化物とヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートの付加反応、あるいは、アルデヒド基を持つカルボン酸化合物またはそのアセタール化物、もしくはアルデヒド基を持つフェノール類またはそのアセタール化物と、ヒドロキシアルキルグリシジルエーテルの付加反応生成物とアルキル（メタ）アクリレートのエステル交換反応等によっても得ることが出来るが、上述したヒドロキシアルキルアクリレートグリシジルエーテルを用いる方法が、容易かつ高収率、高品質な生成物が得られるので、最も好ましい。
【００２９】
このヒドロキシアルキルアクリレートグリシジルエーテルを用いる方法の反応は、通常、反応基質に熱、または触媒もしくはその併用により進行させることが出来る。必要に応じて反応系に溶媒を加えてもよく、副反応抑制の目的で重合禁止剤を加えても良い。
【００３０】
反応に使用する溶媒は特に制限はないが、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン等の脂肪族炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等のエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル等のエステル類、塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、トリクレン、テトラクレン等のハロゲン系溶剤、メタノール、エタノール、ＩＰＡ、ｎ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、イソブタノール、ｔｅｒｔ−ブタノール等のアルコール類、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール等のエチレングリコール類、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のグリコールエーテル類、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルアセテート類、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール等のプロピレングリコール類、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル等のプロピレングリコールエーテル類、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールエーテルアセテート類、ジメチルスルホキシド、スルホラン等の硫黄系溶剤、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド等のアミド類、およびそれらの混合物が挙げられる。
【００３１】
反応に使用する触媒にも制限はないが、一例として、酸触媒としては、硫酸、リン酸、過塩素酸等の無機酸、ＢＦ３等のルイス酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、ｐ−トルエンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸等の有機スルホン酸が挙げられる。塩基性触媒としては、トリエチルアミン、テトラメチルエチレンジアミン、トリブチルアミン、トリ−ｎ−オクチルアミン、ジメチルベンジルアミン、ピリジン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−４−アミノピリジン等の３級アミン、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムブロミド、テトラエチルアンモニウムブロミド、テトラブチルアンモニウムブロミド等の４級アンモニウム塩、トリフェニルホスフィン、トリブチルホスフィン等のリン化合物が挙げられる。なお、ピリジン、トリエチルアミン等の液状触媒を溶剤として使用することも出来る。
【００３２】
適用可能な重合禁止剤にも特に制限はないが、一例として、フェノール、アルキルフェノール、カテコール、アルキルカテコール、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、Ｎ−アルキル−Ｎ−ニトロソアニリン、Ｎ−ニトロソ−フェニルヒドロキシルアミン塩、フェノチアジン、２，２，６，６−テトラメチルピペリジン−１−オキシル、２，２，６，６−テトラメチル−４−ヒドロキシピペリジン−１−オキシル、ｐ−メトキシフェノール等が挙げられる。なかでも、ポリ酢酸ビニル鹸化物にアセタール化させる際、水溶性が求められるため、２，２，６，６−テトラメチル−４−ヒドロキシピペリジン−１−オキシルが最も好ましい。
【００３３】
反応後、溶媒、触媒および重合禁止剤は、必要に応じて除去しても良いが、除去せずにそのままポリ酢酸ビニル鹸化物にアセタール化させる反応に用いてもかまわない。
【００３４】
なお、これらの合成法において、下記一般式（４）又は（５）に相当する化合物が、副反応生成物として少量生成する場合がある。これらは、分離精製してもよいが、一般的に実用上の問題を生じることはなく、そのまま使用してかまわない。
【００３５】
【化７】
2004189841.tif 000005
【００３６】
（式中の記号は上記式（２）と同様である。）
【００３７】
【化８】
2004189841.tif 000006
【００３８】
（式中の記号は上記式（３）と同様である。）
【００３９】
また、一般式（２）または（３）に示されるアルデヒド又はアセタール化合物は、これ自体新規であり、他の用途への利用も考えられる。
【００４０】
一般式（２）または（３）で示される化合物をポリ酢酸ビニル鹸化物にアセタール化して一般式（１）で示される構成単位を有する感光性樹脂を得る反応は、通常、溶液中で熱、または酸触媒もしくはその併用で行われる。なお、その際に副反応抑制の目的で重合禁止剤を加えても良い。溶液を構成する溶媒は特に制限はないが、ポリ酢酸ビニル鹸化物が溶解する組成が好ましい。一例として、水、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール等のエチレングリコール類、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のグリコールエーテル類、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルアセテート類、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール等のプロピレングリコール類、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル等のプロピレングリコールエーテル類、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールエーテルアセテート類、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、およびそれらの混合物、２−プロパノール等が挙げられる。なかでも水が安全で好ましいが、作業上、高沸点溶剤が必要な場合、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、Ｎ−メチルピロリドンを水と混合、もしくは単独で使用することが好ましい。
【００４１】
反応に使用する酸触媒に制限はないが、一例として、硫酸、リン酸、硝酸、過塩素酸等の無機酸、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、シュウ酸、マロン酸、こはく酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸等の有機カルボン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、ｐ−トルエンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸等の有機スルホン酸が挙げられる。
【００４２】
反応後、これらの酸は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、有機アミン等のアルカリ化合物もしくはその溶液で中和するか、あるいは塩基性イオン交換樹脂を用いて取り除くことが好ましい。
【００４３】
反応温度はペンダントする化合物の種類、および酸触媒の種類、濃度に大きく依存するが、通常、室温から１００℃の範囲が好適に用いられる。
【００４４】
一般式（２）または（３）で示される化合物をポリ酢酸ビニル鹸化物にアセタール化する反応に際して、例えばホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、ブチルアルデヒド、ベンズアルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、ｏ−ベンズアルデヒドスルホン酸又はその塩、ベンズアルデヒド−２，４−ジスルホン酸又はその塩などのアルデヒド類もしくはこれらのアセタール化物を同時に反応させることも出来る。
【００４５】
ポリ酢酸ビニル鹸化物に対する一般式（２）または（３）で示される化合物の化合物導入率は、化合物の種類で異なるが、酢酸ビニル単量体ユニットに対し０．０２〜２０ｍｏｌ％の範囲が好ましい。より好ましくは０．１〜５ｍｏｌ％である。導入率が多すぎれば現像性の低下をもたらし、低すぎれば十分な感度が得られず、塗膜強度も低下し、また、含水ゲルを形成することも困難になる。
【００４６】
本発明の上記一般式（１）に示される構成単位を有する感光性樹脂は、感光性樹脂組成物に用いることができる。本発明の感光性樹脂を用いて本発明の感光性樹脂組成物を構成する場合、光架橋反応を促進させる目的で、光重合開始剤、光増感剤を混合することが望ましい。これらの化合物は溶剤に溶解、もしくは分散した状態で感光性樹脂に混合するか、感光性樹脂に対し化学的に結合させてもかまわない。適用される光重合開始剤、光増感剤に特に制限はないが、一例として、ベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、ビス−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノベンゾフェノン、ビス−Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、クロロチオキサントン、イソプロポキシクロロチオキサントン等のチオキサントン類、エチルアントラキノン、ベンズアントラキノン、アミノアントラキノン、クロロアントラキノン等のアントラキノン類、アセトフェノン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル類、２，４，６−トリハロメチルトリアジン類、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体類、ベンジルジメチルケタール、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノ−１−プロパノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル〕−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、フェナントレンキノン、９，１０−フェナンスレンキノン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン類、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等、アクリジン誘導体、ビスアシルフォスフィンオキサイド、およびこれらの混合物等が挙げられる。
【００４７】
これらの開始剤に加え、促進剤等を添加することも出来る。これらの例として、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、エタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等が挙げられる。
【００４８】
また、本発明の感光性樹脂組成物には、感度、コントラストの増加、硬化物物性向上の目的で、重合性モノマーを添加することも可能である。一例として、ポリエチレングリコールジアクリレート（エチレン基の数が２〜１４のもの）、ポリエチレングリコールジメタクリレート（エチレン基の数が２〜１４のもの）、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリアクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリメタクリレート、トリメチロールプロパンプロポキシトリアクリレート、トリメチロールプロパンプロポキシトリメタクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメタントリメタクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、テトラメチロールメタンテトラメタクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ポリプロピレングリコールジメタクリレート（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ビスフェノールＡポリオキシエチレンジアクリレート、ビスフェノールＡポリオキシエチレンジメタクリレート、ビスフェノールＡジオキシエチレンジアクリレート、ビスフェノールＡジオキシエチレンジメタクリレート、ビスフェノールＡトリオキシエチレンジアクリレート、ビスフェノールＡトリオキシエチレンジメタクリレート、ビスフェノールＡデカオキシエチレンジアクリレート、ビスフェノールＡデカオキシエチレンジメタクリレート、多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物（β−ヒドロキシエチルアクリレート、β−ヒドロキシエチルメタクリレート等）とのエステル化物、アクリル酸若しくはメタクリル酸のアルキルエステル（アクリル酸メチルエステル、メタクリル酸メチルエステル、アクリル酸エチルエステル、メタクリル酸エチルエステル、アクリル酸ブチルエステル、メタクリル酸ブチルエステル、アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、メタクリル酸２−エチルヘキシルエステル等）などが挙げられる。
【００４９】
本発明の感光性樹脂組成物には、他の成分として、重合禁止剤、可塑剤、顔料、染料、消泡剤、カップリング剤等、従来公知のものを必要に応じて配合できる。
【００５０】
なお、本発明の感光性樹脂組成物は溶媒として水を含有することが好ましい。水以外の溶剤を用いて合成された感光性樹脂から、本発明の感光性樹脂組成物を構成する場合、単に水で希釈するのみでも良いが、溜去による溶剤置換、または乾燥固化後に水溶解、あるいは、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、酢酸エチル、酢酸ブチルといった非極性溶剤に投入し固形分を析出分離後、水に再溶解させてもかまわない。
【００５１】
上記本発明の感光性樹脂組成物は、低濃度状態でも高感度であるため、例えば、固形分濃度２％以下の低濃度水溶液としても光重合反応することにより、含水ゲルを形成することができる。
【００５２】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、機能を形成する各種の薬効成分、酵素、菌体等を混合することができる。この場合は、各種の薬効成分、酵素、菌体等を含有する感光性樹脂組成物を光硬化させることにより、各種の薬効成分、酵素、菌体等を包含した含水ゲルを形成することができる。勿論、本発明の感光性樹脂組成物から含水ゲルを形成した後に、各種の薬効成分、酵素、菌体等を含浸させてもよい。
【００５３】
なお、本発明の感光性樹脂組成物は、通常のレジスト組成物と同様にパターニングすることができるため、機能を形成する各種の薬効成分、酵素、菌体等をフォトリソグラフィーによりパターニングすることも可能である。勿論、通常のフォトレジストとして使用することもできる。
【００５４】
本発明の感光性樹脂組成物をフォトパターニングに用いる場合、現像方法は、スプレー式、パドル式、浸漬式等、いずれも可能であるが、残渣の少ないスプレー式が好ましい。必要に応じて、超音波等を照射することもできる。
【００５５】
なお、現像液は中性の水が好ましいが、弱酸性、弱アルカリ性であってもかまわない。現像性補助の目的で有機溶剤、界面活性剤、消泡剤等を添加することも可能である。
【００５６】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明を実施例に基づいて説明するが、この感光性樹脂を用いて構成される感光性樹脂組成物の種類、使用目的によって異なるため、あくまで例示であり、本発明の範囲を制限するものではない。
【００５７】
（実施例１）
４−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル（日本化成株式会社製品  ４ＨＢＡＧＥ）４５ｇとテレフタルアルデヒド酸６０ｇ、重合禁止剤としてｐ−メトキシフェノール０．２ｇ、および触媒としてＮ，Ｎ−ジメチル−４−アミノピリジン１．４ｇを反応容器に入れ、８５℃の湯浴中で９時間攪拌し赤褐色粘稠性溶液を得た。４−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテルの反応率は９２％であった。
【００５８】
この溶液１００ｇに５ｗｔ％炭酸ナトリウム水溶液１００ｇを加え、１時間攪拌した後、抽出溶媒としてトルエン２５０ｇを加え抽出した。このトルエン層をエバポレーターにより濃縮し、赤褐色粘稠性液体（Ａ）を得た。
【００５９】
得られた、赤褐色粘稠性液体（Ａ）を、高速液体クロマトグラフィー、１Ｈ−ＮＭＲ、ＩＲによって分析した。高速液体クロマトグラフィーの測定条件は、カラム：ＳＵＰＥＲＩＯＲＥＸ  ＯＤＳ（資生堂製）ｓｉｚｅφ４．６ｍｍ×２５０ｍｍ、溶離液：ＣＨ３ＣＮ：０．１ｗｔ％リン酸水（４０：６０ｖｏｌ％）、流量：１．０ｍｌ／ｍｉｎ、カラム温度：３５．０℃、検出器：ＭＤ−９１０（日本分光製）、検出波長：２０３ｎｍである。１Ｈ−ＮＭＲはＪＮＭ−ＡＬ４００（日本電子製）を用い、試料をＴＭＳ含有ＣＤＣｌ３に溶解し測定した。ＩＲはＦＴ／ＩＲ−４１０（日本分光製）を用い、ＫＢｒ錠剤法により測定した。
【００６０】
この粘稠性液体の高速液体クロマトグラフィーによる分析結果を図１に、１Ｈ−ＮＭＲの測定結果を図２に、ＩＲの測定結果を図３に示す。これらの結果より、この溶液は一般式（２）で示される化合物に相当する下記化合物（Ｂ）の他、一般式（４）で示される化合物に相当する下記化合物（Ｃ）と推定される異性体を含んでおり、その比は化合物（Ｂ）／化合物（Ｃ）＝８０／２０と判断される。
【００６１】
【化９】
2004189841.tif 000007
【００６２】
【化１０】
2004189841.tif 000008
【００６３】
（実施例２）
重合度１７００、鹸化率８８％のポリ酢酸ビニル鹸化物（日本合成工業製品  ＥＧ−３０）５０ｇを精製水４３０ｇに分散させた後、９０℃まで昇温して溶解させた。この溶液を６０℃まで冷却した後、触媒としてリン酸３．０ｇ、実施例１で得られた赤褐色粘稠性液体（Ａ）４．２ｇ、溶媒として２−プロパノール５９ｇおよび重合禁止剤として２，２，６，６−テトラメチル−４−ヒドロキシピペリジン−１−オキシル（旭電化工業株式会社製品  アデカスタブＬＡ−７ＲＤ）１３．６ｍｇを加え、６０℃で７時間攪拌した。得られた粘稠性溶液を４５℃まで冷却した後、塩基性イオン交換樹脂（三菱化学製品  ダイヤイオンＷＡ２０）４４ｇを加え２時間攪拌した。ｐＨが中性であることを確認した後、室温に冷却し、４００メッシュの紗を用いてイオン交換樹脂を濾別、粘稠性樹脂溶液を得た。
【００６４】
この溶液に光重合開始剤として、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（チバ・スペシャルティケミカルズ社製品  Ｉｒｇａｃｕｒｅ２９５９）を溶液中の樹脂分に対し３重量％添加し感光性樹脂組成物を得た。
【００６５】
この感光性樹脂組成物水溶液を水にて表１の濃度に希釈し、それぞれを試験管に入れ、密栓した状態で、照度３８０ｍＷ／ｃｍ２のメタルハライドランプＵＶ照射機にて、２．８秒間ＵＶ照射を行った後、試験管を直立させて栓を空け、重さ５．５ｇの鉄球を液面に置いて、鉄球の沈降・保持により硬化性を比較評価した。結果を表１に示す。
【００６６】
【表１】
2004189841.tif 000009
【００６７】
（実施例３）
重合度３０００、鹸化率８８％のポリ酢酸ビニル鹸化物（日本合成工業製品  ＯＫＳ−９１０１）３７ｇを精製水４６４ｇに分散させた後、９０℃まで昇温して溶解させた。この溶液を６０℃まで冷却した後、触媒としてリン酸３．５ｇ、実施例１で得られた赤褐色粘稠性液体（Ａ）２．９ｇ、溶媒として２−プロパノール１１６ｇおよび重合禁止剤として２，２，６，６−テトラメチル−４−ヒドロキシピペリジン−１−オキシル（旭電化工業株式会社製品  アデカスタブＬＡ−７ＲＤ）１５．６ｍｇを加え、６０℃で７時間攪拌した。得られた粘稠性溶液を４５℃まで冷却した後塩基性イオン交換樹脂（三菱化学製品  ダイヤイオンＷＡ２０）５０ｇを加え２時間攪拌した。ｐＨが中性であることを確認した後、室温に冷却し、４００メッシュの紗を用いてイオン交換樹脂を濾別、粘稠性樹脂溶液を得た。
【００６８】
この溶液に光重合開始剤として、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（チバ・スペシャルティケミカルズ社製品  Ｉｒｇａｃｕｒｅ２９５９）を溶液中の樹脂分に対し３重量％添加し感光性樹脂組成物を得た。
【００６９】
この感光性樹脂組成物水溶液を水にて表２の濃度に希釈し、実施例２と同様の条件にて、鉄球の沈降・保持により硬化性を比較評価した。結果を表２に示す。
【００７０】
【表２】
2004189841.tif 000010
【００７１】
（比較例１）
ＰＶＡ−ＳｂＱ樹脂（東洋合成工業社製品  ＳＰＰ−Ｈ−１３  重合度１７００）を水にて表３の濃度に希釈し、実施例２と同様の方法により、硬化性を評価した。結果を表３に示す。
【００７２】
【表３】
2004189841.tif 000011
【００７３】
表１〜３に示すように、実施例２では固形分濃度が２％、実施例３では固形分濃度が１％と低濃度水溶液であっても強固で均一な含水ゲルであり、鉄球を保持することができた。一方、比較例１では固形分濃度８％と、実施例と比べて高濃度の水溶液としないと鉄球を保持することができなかった。
【００７４】
（実施例４）
重合度１７００、鹸化率８８％のポリ酢酸ビニル鹸化物（日本合成工業製品  商品名ＥＧ−３０）５０ｇを精製水３５４ｇに分散させた後、９０℃まで昇温して溶解させた。この溶液を６０℃まで冷却した後、触媒としてリン酸３．２ｇ、実施例１で得られた赤褐色粘稠性液体（Ａ）を６．２ｇ、溶媒として２−プロパノール１５２ｇおよび重合禁止剤として２，２，６，６−テトラメチル−４−ヒドロキシピペリジン−１−オキシル（旭電化工業株式会社製品  アデカスタブＬＡ−７ＲＤ）１４．１ｍｇを加え、６０℃で７時間攪拌した。得られた透明な粘稠性溶液を４５℃まで冷却した後、塩基性イオン交換樹脂（三菱化学製品  ダイヤイオンＷＡ２０）４７ｇを加え２時間攪拌した。ｐＨが中性であることを確認した後、４００メッシュの紗を用いてイオン交換樹脂を濾別、透明な粘稠性樹脂溶液を得た。
【００７５】
この溶液に光重合開始剤として、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（チバ・スペシャルティケミカルズ社製品  Ｉｒｇａｃｕｒｅ２９５９）を溶液中の樹脂分に対し３重量％添加し感光性樹脂組成物を得た。
【００７６】
この感光性樹脂組成物をブレードコーターで、ガラス基板上に全面塗布、８０℃のクリーンオーブンで５分間乾燥した後、室温まで冷却、所定のパターンを備えたマスクを介し、照度４．０ｍＷ／ｃｍ２の超高圧水銀灯で５００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した。続いてイオン交換水で３０秒間スプレー現像し、目的のパターンを得た。パターンの膜厚は１．０μｍ、解像度は１０μｍであり、感度はウグラステップタブレットで５段であった。
【００７７】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、保存安定性に優れ、様々な化合物に対しての親和性、混合溶解性を持ち、かつ高感度で含水状態においても固化可能な材料であり、硬化物の感度が高く、可撓性に優れ、高含水率においても均一固化が可能な感光性樹脂および感光性樹脂組成物並びに新規化合物を提供することができる。この本発明の感光性樹脂および感光性樹脂組成物は、例えば、水溶液の固化に適用した場合には、低濃度でも強固で均一なゲルを形成できるものとして、また、フォトパターニングに適用した場合には、高感度、高解像度な水溶性レジストとして、新規かつ有用なものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１の高速液体クロマトグラフィーによる分析結果を示す図である。
【図２】実施例１の１Ｈ−ＮＭＲの測定結果を示す図である。
【図３】実施例１のＩＲの測定結果を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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