(57)【要約】【課題】配線の引出し方向に制約がなく、大きい配線スペースを必要とせず、配管、配線の施工上の制約を考えることなく設置できる渦流量計を提供すること。【解決手段】本体ハウジング１１を箱形状として一方の側を取付面とし、本体ハウジング１１に隔壁部１５と共働して電気室３７を画定する電気箱用ケース３０を取り付け、電気室３７内に渦検出器と導通接続された電気配線基板３５を配置し、電気配線基板３５と導通接続された、電源線や信号線をまとめて被覆した電気ケーブル４５を、本体ハウジング１１の隔壁部１５に貫通形成したケーブル通し孔３８に通して本体ハウジング１１内において取付面側に引き出す。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体ハウジングに形成された管流路において渦検出を行い渦検出値に応じた電気信号を出力する渦検出器を含む渦流量計において、
前記本体ハウジングは箱形状をなして一方の側を取付面とされ、当該本体ハウジングに、当該本体ハウジングに形成された隔壁部と共働して電気室を画定する電気箱用ケースが取り付けられ、前記電気室内に前記渦検出器と導通接続された電気配線基板が配置され、当該電気配線基板と導通接続された電気ケーブルが、前記本体ハウジングの前記隔壁部に貫通形成されたケーブル通し孔を貫通して前記本体ハウジング内において前記取付面側に引き出されていることを特徴とする渦流量計。
【請求項２】
一方の側を取付面とされた箱形状の本体ハウジングを有し、前記本体ハウジングに管流路が貫通形成され、
前記本体ハウジングの他方の側より、前記管流路を横切って延在する柱状の渦発生体と、前記管流路を流れる流体の流れで見て前記渦発生体より下流側の位置にて前記管流路における渦検出を行い渦検出値に応じた電気信号を出力する渦検出器とが取り付けられ、
前記本体ハウジングの他方の側に当該本体ハウジングの他方の側に形成された隔壁部と共働して密閉空間状の電気室を画定する箱形状の電気箱用ケースが取り付けられ、前記電気室内に前記渦検出器と導通接続された電気配線基板が配置され、
前記電気室の底面をなす前記本体ハウジングの前記隔壁部にケーブル通し孔が貫通形成され、前記本体ハウジングの前記取付面側の側壁部に溝状のケーブル取出し用開口が切り欠き形成され、
前記電気配線基板と導通接続された電気ケーブルが、前記ケーブル通し孔を貫通して前記本体ハウジング内において前記取付面側に引き出され、前記ケーブル取出し用開口より本体ハウジング外部に取り出されている、
ことを特徴とする渦流量計。
【請求項３】
前記ケーブル取出し用開口は前記本体ハウジングの前記取付面側の側壁部に複数個形成されていることを特徴とする請求項２記載の渦流量計。
【請求項４】
前記本体ハウジングの側壁部は前後左右の四面あり、その各面に前記ケーブル取出し用開口が形成されていることを特徴とする請求項２記載の渦流量計。
【請求項５】
前記ケーブル取出し用開口の両側壁面にケーブル係止用突起がケーブル通し方向に互い違いに形成されていることを特徴とする請求項２〜４の何れか１項記載の渦流量計。
【請求項６】
前記渦検出器を保持する保持ブロックに前記渦発生体が一体に形成されていることを特徴とする請求項２〜５の何れか１項記載の渦流量計。
【請求項７】
前記ケーブル通し孔は本体ハウジングの一方の側より他方の側に向けて直線状に貫通形成されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項記載の渦流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、渦流量計に関し、特に、液晶、半導体製造装置関係、その他、一般工業用途における小型の渦流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
渦流量計は、本体ハウジングに形成された管流路を横切って延在する柱状の渦発生体の下流側に生じるカルマン渦の発生周波数と流速とが所定レイノルズ数範囲内で流速に比例することを利用して管流路を流れる流量を測定する流量計であり、圧電素子等による渦検出器によって管流路において渦検出を行い渦検出値に応じた電気信号を出力する。
【０００３】
従来の渦流量計として、本体ハウジングが管状で、本体ハウジングの外壁部に形成された取付座部に底板が取り付けられ、底板上に箱形の電気箱用ケースが取り付けられて電気室を画定するものでは、電気室内のトランス等の電気機器に電力供給を行う電源線の取出し（取入れ）は、底板に明けられた貫通孔に電源線を通して行われる構造になっている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
本体ハウジングが箱状で、本体ハウジングと該本体ハウジングに取り付けられた電気箱用ケース（カバー）とで計測器用の電気配線基板を収容する密閉空間状の電気室を画定するものでは、電気室内に取り付けられた電気配線基板と渦検出器とが電気室内において導通接続され、給電用の電源線や信号伝送用の信号線の取出し（取入れ）は、電気箱用ケース（電気箱の天井部）に開けられた貫通孔に電源線や信号線を通して行われる構造になっている（例えば、特許文献２）。
【０００５】
【特許文献１】
実公平４−３５７７１号公報
【特許文献２】
特開２０００−３２１１０２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の渦流量計では、電気箱の底板より下方に電源線が取り出されたり、電気箱の天井部より上方に電源線や信号線が取り出されているため、配線の引出し方向に制約があり、１８０度反対方向に電源線や信号線を引き回さなくてはならないようなこともあり、しかも、渦流量計の底部側や天井部側に配線スペースが必要で、外部配線の施工上、渦流量計の設置や配線が困難になる虞れがある。
【０００７】
また、上述した従来の渦流量計では、構造上、電気室内に配置されるトランスや電気配線基板に対する電源線や信号線の接続作業性や組付作業性が悪かったり、大型化を伴うことなく電源線や信号線の引張強度を充分に高めることが難しい等の問題点もある。
【０００８】
この発明は、上述の如き問題点を解消するためになされたもので、配線の引出し方向に制約がなく、大きい配線スペースを必要とせず、配管、配線の施工上の制約を考えることなく設置でき、渦流量計設置の融通性に優れ、電気系の接続作業性や組付作業性もよく、しかも、コンパクト設計で、電源線や信号線といった電気ケーブルの引張強度を充分に高めることもできる渦流量計を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、この発明による渦流量計は、本体ハウジングに形成された管流路において渦検出を行い渦検出値に応じた電気信号を出力する渦検出器を含む渦流量計において、前記本体ハウジングは箱形状をなして一方の側を取付面とされ、当該本体ハウジングに、当該本体ハウジングに形成された隔壁部と共働して電気室を画定する電気箱用ケースが取り付けられ、前記電気室内に前記渦検出器と導通接続された電気配線基板が配置され、当該電気配線基板と導通接続された電気ケーブルが、前記本体ハウジングの前記隔壁部に貫通形成されたケーブル通し孔を貫通して前記本体ハウジング内において前記取付面側に引き出されている。
【００１０】
この発明による渦流量計によれば、本体ハウジングが箱形状をなしてその一方の側が取付面とされ、電源線や信号線といった電気ケーブルが本体ハウジングの隔壁部に貫通形成されたケーブル通し孔を貫通して本体ハウジングの取付面側に引き出されているから、電気ケーブルの外部配線を渦流量計の取付面側に這わせてすっきりと行うことができ、渦流量計の底部側や天井部側に大きい配線スペースを必要とすることがなく、配管、配線の施工上の制約が少ない。
【００１１】
また、この発明による渦流量計は、一方の側を取付面とされた箱形状の本体ハウジングを有し、前記本体ハウジングに管流路が貫通形成され、前記本体ハウジングの他方の側より、前記管流路を横切って延在する柱状の渦発生体と、前記管流路を流れる流体の流れで見て前記渦発生体より下流側の位置にて前記管流路における渦検出を行い渦検出値に応じた電気信号を出力する渦検出器とが取り付けられ、前記本体ハウジングの他方の側に当該本体ハウジングの他方の側に形成された隔壁部と共働して密閉空間状の電気室を画定する箱形状の電気箱用ケースが取り付けられ、前記電気室内に前記渦検出器と導通接続された電気配線基板が配置され、前記電気室の底面をなす前記本体ハウジングの前記隔壁部にケーブル通し孔が貫通形成され、前記本体ハウジングの前記取付面側の側壁部に溝状のケーブル取出し用開口が切り欠き形成され、前記電気配線基板と導通接続された電気ケーブルが、前記ケーブル通し孔を貫通して前記本体ハウジング内において前記取付面側に引き出され、前記ケーブル取出し用開口より本体ハウジング外部に取り出されている。
【００１２】
この発明による渦流量計によれば、本体ハウジングが箱形状をなしてその一方の側が取付面とされ、電源線や信号線といった電気ケーブルが本体ハウジングの隔壁部に貫通形成されたケーブル通し孔を貫通し、本体ハウジングの取付面側の側壁部に形成されたケーブル取出し用開口より外部に引き出されるから、電気ケーブルの外部配線を渦流量計の取付面側に這わせてすっきりと行うことができ、渦流量計の底部側や天井部側に大きい配線スペースを必要とすることがなく、配管、配線の施工上の制約が少ない。また、後付けされる電気箱用ケースとは反対側にある電気室の底面より電気ケーブルが取り出されるから、電気ケーブルの電気配線基板との接続作業性や、電気配線基板、電気箱用ケースの組付作業性がよい。
【００１３】
また、この発明による渦流量計は、前記ケーブル取出し用開口が前記本体ハウジングの前記取付面側の側壁部に複数個形成されている。本体ハウジングの側壁部が前後左右の四面ある場合には、その各面に前記ケーブル取出し用開口が形成されており、電気ケーブルを通すケーブル取出し用開口を選ぶことにより、電気ケーブルの取出し方向を本体ハウジングの前後左右の最適方向に設定することができる。
【００１４】
また、この発明による渦流量計は、更に、前記ケーブル取出し用開口の両側壁面にケーブル係止用突起がケーブル通し方向に互い違いに形成されている。ケーブル取出し用開口の内壁面にケーブル係止用突起がケーブル通し方向に互い違いに形成されていることにより、コンパクト設計で、電気ケーブルの引張強度を充分に高めることができる。
【００１５】
また、この発明による渦流量計は、詳細構造として、前記渦検出器を保持する保持ブロックに前記渦発生体が一体に形成されている構造とすることができ、渦発生体と渦検出器との相対位置が一義的に決まり、この相対位置のばらつきに起因する検出精度の低下を回避することができる。
【００１６】
また、この発明による渦流量計は、詳細構造として、前記ケーブル通し孔が本体ハウジングの一方の側より他方の側に向けて直線状に貫通形成されている。ケーブル通し孔が本体ハウジングの一方の側より他方の側に向けて直線状に貫通形成されていることにより、構造がシンプルで、ケーブル通し孔に対する電気ケーブルの通し作業が作業性よく簡便に行われ得るようになる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に添付の図を参照してこの発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１〜図６はこの発明による渦流量計の一つの実施形態を示している。
【００１８】
図１に示されているように、渦流量計は、鋳造品あるいは樹脂成形品による箱形状の本体ハウジング１１を有する。本体ハウジング１１は一方の側の下底面１２を取付面とされている。本体ハウジング１１の左右両側には、入口側継手部１３と、出口側継手部１４とが突出形成されている。
【００１９】
なお、これら入口側継手部１３及び出口側継手部１４は、本実施形態ではねじ結合による構造となっているが、ユニオンやフレア等の形式の継手に合わせた構造であっても勿論構わない。
【００２０】
図２に示されているように、本体ハウジング１１の他方の側（上側）には隔壁部（上部外壁）１５が形成されている。隔壁部１５の中央部には管状部１６が形成されており、管状部１６に例えば楕円形横断面（無論、他の断面形状でもよい）の管流路１７が左右に貫通形成されている。管流路１７は、一端にて入口側継手部１３に形成された入口側通路１８に連通し、他端にて出口側継手部１４に形成された出口側通路１９に連通している。隔壁部１５の下底面１２の側には補強リブ２０（図３参照）が形成されている。
【００２１】
隔壁部１５の上部外側には検出器取付位置決め用の囲い壁２１が一体形成されており、囲い壁２１によって画定された凹部２２に検出器保持ブロック２３が嵌合装着されている。検出器保持ブロック２３は、溶接、接着剤等による固着部２７によって囲い壁２１に固定されている。検出器保持ブロック２３には柱状の渦発生体２４と渦検出器２５の保持ケース部２６とが一体形成されている。
【００２２】
渦発生体２４は隔壁部１５の上部に貫通形成された嵌合孔２８を貫通して管状部１７を上下方向に横切って延在している。渦発生体２４は、先端部２４Ａにて管状部１７の下底面側に形成された凹部１６Ａに嵌合し、上下両端の両持ち支持になっている。
【００２３】
保持ケース部２６は、渦検出器２５を内蔵しており、隔壁部１５の上部に貫通形成された嵌合孔２９を貫通して管状部１７内に突出している。渦検出器２５は圧力／電気変換素子（圧電素子）等により構成され、管流路１７を流れる流体の流れで見て渦発生体２４より下流側の位置にて、管流路１７における渦検出を行い、渦検出値に応じた電気信号を出力する。
【００２４】
本体ハウジング１１の上側（他方の側）には電気箱用ケース３０の嵌め合い部３１が形成されている。電気箱用ケース３０は、嵌め合い部３１にＯリング３２を挟んで嵌合し、スナップフィット３３によって本体ハウジング１１に固定されている。電気箱用ケース３０は、箱形状をなし、隔壁部１５と共働して密閉空間状の電気室３７を画定している。
【００２５】
電気箱用ケース３０の内側には熱かしめ部３４によって電気配線基板（回路基板）３５が固定されている。電気配線基板３５は、電気室３７内にあり、リード線３６によって渦検出器２５と導通接続されている。
【００２６】
隔壁部１５は電気室３７の底面をなしており、図５に示されているように、この隔壁部１５にケーブル通し孔３８が直線状に貫通形成されている。ケーブル通し孔３８の電気室３７側にはＯリング装着部４６が形成されている。図３に示されているように、本体ハウジング１１の下底面１２側は長方体状をなしており、前後左右の側壁部３９Ａ、３９Ｂ、３９Ｃ、３９Ｄの各々に上下反転Ｕ字形をした溝状のケーブル取出し用開口４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄが下底面１２より切り欠き形成されている。なお、補強リブ２０にも切り欠き開口部４１、４２が形成されている。
【００２７】
ケーブル取出し用開口４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄの各々の両側壁面には、図６に示されているように、ケーブル係止用突起４３、４４がケーブル通し方向に互い違いに形成されている。
【００２８】
電気箱用ケース３０がケーブル通し孔３８およびＯリング装着部４６と整合する部位にはパッキン押え用の内側舌片部４７が形成されており、内側舌片部４７にはケーブル通し孔３８と整合するケーブル通し孔４９が貫通形成されている。
【００２９】
図５に示されているように、電気配線基板３５には電源線や信号線をまとめて被覆した電気ケーブル４５が導通接続されている。電気ケーブル４５は、ケーブル通し孔４９、Ｏリング装着部４６に装着されたＯリング５０、ケーブル通し孔３８を貫通して本体ハウジング１１内において本体ハウジング１１の取付面側（下底面１２の側）に引き出され、ケーブル取出し用開口４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄの何れか一つより本体ハウジング１１の外部に取り出されている。
【００３０】
つぎに、上述の構成による渦流量計の組立手順を説明する。
（１）本体ハウジング１１のケーブル通し孔３８に電気ケーブル４５を所定長さ通す。ケーブル通し孔３８は、本体ハウジング１１の一方の側より他方の側に向けて直線状に貫通形成されているから、構造がシンプルで、ケーブル通し孔３８に対する電気ケーブル４５の通し作業を作業性よく簡便に行うことができる。
【００３１】
（２）Ｏリング装着部４６にＯリング５０を仮挿入する。
【００３２】
（３）電気ケーブル４５の基板接続側を電気箱用ケース３０のケーブル通し孔４９に通し、電気ケーブル４５の端部を電気配線基板３５に半田付けする。
【００３３】
（４）電気配線基板３５を電気箱用ケース３０内に入れ、対角二箇所の熱かしめ部３４によって電気配線基板３５を電気箱用ケース３０に固定する。
【００３４】
（５）電気箱用ケース３０の先端部にＯリング３２を取り付け、電気箱用ケース３０を本体ハウジング１１の嵌め合い部３１にはめ込み、スナップフィット３３によって電気箱用ケース３０を本体ハウジング１１に固定する。
【００３５】
この時、電気箱用ケース３０の内側舌片部４７によってＯリング５０が押さえられ、Ｏリング５０がＯリング装着部４６の適正位置に押し込まれる。
【００３６】
（６）要求されるケーブル引き出し方向に応じてケーブル取出し用開口４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄの何れか一つを選び、選ばれたケーブル取出し用開口４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃあるいは４０Ｄに、本体ハウジング１１の下底面１２の側より電気ケーブル４５をはめ込む。
【００３７】
なお、ケーブル取出し用開口４０Ａより電気ケーブル４５を取り出す場合には、補強リブ２０の切り欠き開口部４１に電気ケーブル４５を通して電気ケーブル４５をケーブル取出し用開口４０Ａに導き、また、ケーブル取出し用開口４０Ｃより電気ケーブル４５を取り出す場合には、補強リブ２０の切り欠き開口部４２に電気ケーブル４５を通して電気ケーブル４５をケーブル取出し用開口４０Ｃに導く。
【００３８】
ケーブル取出し用開口４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃあるいは４０Ｄにはめ込まれた電気ケーブル４５は、ケーブル係止用突起４３、４４に挟まれて蛇行する。これにより、コンパクト設計で、電気ケーブル４５の引張強度を充分に高めることができる。
【００３９】
上述したように、本体ハウジング１１が箱形状をなして下底面１２の側が取付面とされ、電気ケーブル４５が本体ハウジング１１の隔壁部１５に貫通形成されたケーブル通し孔３８を貫通し、本体ハウジング１１の側壁部３９Ａ、３９Ｂ、３９Ｃ、３９Ｄ部に形成されたケーブル取出し用開口４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄの何れか一つより外部に引き出されるから、電気ケーブル４５の外部配線を渦流量計の取付面側に這わせてすっきりと行うことができ、渦流量計の底部側や天井部側に大きい配線スペースを必要とすることがなく、配管、配線の施工上の制約が少ない。
【００４０】
また、ケーブル取出し用開口４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄの何れか一つを選んで電気ケーブル４５の取り出しを行えるので、電気ケーブル４５の取出し方向を本体ハウジング１１の前後左右の最適方向に設定することができる。
【００４１】
また、後付けされる電気箱用ケース３０とは反対側にある電気室３７の底面より電気ケーブル４５が取り出されるから、電気ケーブル４５の電気配線基板３５との接続作業性や、電気配線基板３５、電気箱用ケース３０の組付作業性がよくなる。
【００４２】
【発明の効果】
以上の説明から理解される如く、この発明による渦流量計によれば、本体ハウジングが箱形状をなしてその一方の側が取付面とされ、電気ケーブルが本体ハウジングの隔壁部に貫通形成されたケーブル通し孔を貫通して本体ハウジングの取付面側に引き出されているから、電源線や信号線といった電気ケーブルの外部配線を渦流量計の取付面側に這わせてすっきりと行うことができ、渦流量計の底部側や天井部側に大きい配線スペースを必要とすることがなく、配管、配線の施工上の制約が少なく、渦流量計設置の融通性に優れている。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による渦流量計の一つの実施形態を示す正面図である。
【図２】この発明による渦流量計の一つの実施形態を示す縦断面図である。
【図３】この発明による渦流量計の一つの実施形態を示す底面図である。
【図４】この発明による渦流量計の一つの実施形態を示す端面図である。
【図５】図１の線Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図６】この発明による渦流量計のケーブル取出し用開口部分の拡大断面図である。
【符号の説明】
１１  本体ハウジング
１５  隔壁部
１６  管状部
２３  検出器保持ブロック
２４  渦発生体
２５  渦検出器
２６  保持ケース部
３０  電気箱用ケース
３５  電気配線基板
３７  電気室
３８  ケーブル通し孔
４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄ  ケーブル取出し用開口
４３、４４  ケーブル係止用突起
４５  電気ケーブル
【図１】
2004198338.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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