(57)【要約】【課題】軽量、且つ、コンパクトで軸部材の回転位置を高精度で検出できる直動回転軸の位置検出構造を提供する。【解決手段】回転スケール１６を直動軸受１４に配設し、回転センサ１８を直動軸受１４の近傍に配設した。【選択図】　　　図２
2004045080.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸部材と、前記軸部材の周方向の回転を規制すると共に前記軸部材を軸方向移動自在に支持する直動軸受と、該直動軸受を周方向回転自在に支持する回転軸受と、前記軸部材と共に回転するように配設された回転スケールと、該回転スケールを検知する回転センサと、を含んでなり、前記軸部材の周方向の回転位置を検出可能とされた直動回転軸の位置検出構造において、
前記回転スケールが前記直動軸受に配設され、前記回転センサが前記直動軸受の近傍に配設された、
ことを特徴とする直動回転軸の位置検出構造。
【請求項２】
請求項１において、
前記直動軸受が前記軸部材にボールスプライン機構により係合した
ことを特徴とする直動回転軸の位置検出構造。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記直動軸受は円筒形状とされ、
前記回転スケールは、前記直動軸受の外周部に周方向適宜な間隔で軸方向に形成された複数のスケールトラックで構成され、且つ、前記各スケールトラックが相互に異なる態様で形成されて前記回転センサが前記軸部材の周方向の絶対的な回転位置を検出可能とされた
ことを特徴とする直動回転軸の位置検出構造。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかにおいて、
前記軸部材に直動スケールが配設され、該直動スケールを検知する直動センサが前記直動軸受の近傍に配設された
ことを特徴とする直動回転軸の位置検出構造。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかにおいて、
前記軸部材は軸方向の少なくとも一方の端部が出力端部とされ、該出力端部の近傍で前記軸部材に係合するように前記直動軸受が配設された
ことを特徴とする直動回転軸の位置検出構造。
【請求項６】
筒状体で軸方向一端の出力端部近傍において電子部品の真空吸着のための電子部品吸着ノズルを支持する軸部材と、該軸部材の周方向の回転を規制すると共に該軸部材を軸方向移動自在に支持する直動軸受と、該直動軸受を周方向回転自在に支持する回転軸受と、前記軸部材と共に回転するように配設された回転スケールと、該回転スケールを検知する回転センサと、を含んでなり、前記軸部材の周方向の回転位置を検出可能とされた電子部品搭載機の電子部品搭載用直動回転装置において、
前記軸部材と、前記直動軸受と、前記回転軸受と、前記回転スケールと、前記回転センサとが請求項１〜５のいずれかに記載の直動回転軸の位置検出構造により構成された
ことを特徴とする電子部品搭載用直動回転装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種産業機器、輸送機器等に使用される直動回転軸の位置検出構造及び該直動回転軸の位置検出構造を備えた電子部品搭載用直動回転装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、直動及び回転自在とされた軸部材が、例えば基板上への電子部品の搭載等、様々な目的で使用され、又、軸部材の周方向の回転位置を検出するための様々な直動回転軸の位置検出構造が知られている。
【０００３】
図９は、直動回転軸の位置検出構造の一例を示す断面図である。
【０００４】
直動回転軸の位置検出構造１００は、軸部材１０２と、軸部材１０２の周方向の回転を規制すると共に軸部材１０２を軸方向移動自在に支持する直動軸受１０４及び１０６と、直動軸受１０４を周方向回転自在に支持する回転軸受１０８と、直動軸受１０６を周方向回転自在に支持する回転軸受１１０と、軸部材１０２と共に回転するように配設された回転スケール１１２と、回転スケール１１２を検知する回転センサ１１４と、を含んで構成されている。
【０００５】
軸部材１０２は、軸方向の一端が出力端部１０２Ａ、他端が基端部１０２Ｂとされ、筒状のベース部材１１６から同軸的に突出し、軸方向に移動自在、且つ、周方向に回転自在とされている。又、軸部材１０２には、直動スケール１１８が配設されている。
【０００６】
直動軸受１０４は円筒形状で、軸部材１０２の出力端部１０２Ａが突出するベース部材１１６の出力端１１６Ａの近傍に配設され、軸部材１０２の出力端部１０２Ａ近傍を支持するようにされている。直動軸受１０４は、軸部材１０２とスプライン嵌合等し、これにより軸部材１０２と周方向の回転を規制すると共に軸部材１０２を軸方向移動自在に支持している。回転軸受１０８は、軸部材１０２の出力端部１０２Ａ近傍に２個配設され、直動軸受１０４の軸方向の両端を支持している。
【０００７】
一方、直動軸受１０６は、直動軸受１０４よりも基端部１０２Ｂ側で軸部材１０２を支持するように配設され、直動軸受１０４と同様に軸部材１０２とスプライン嵌合等している。回転軸受１１０は、回転モータ軸１２０（後述）を介して直動軸受１０６を支持している。
【０００８】
これら直動軸受１０４、１０６の間には、直動モータ１２２が配設されている。直動モータ１２２は、軸部材１０２に取付けられた直動可動子１２２Ａと、ベース部材１１６の内側に取付けられた直動固定子１２２Ｂとを有している。
【０００９】
又、直動固定子１２２Ｂと直動軸受１０４との間には直動位置センサ１２４が配設され、直動スケール１１８を検出することにより、軸部材１０２の直動位置を検出可能とされている。
【００１０】
直動軸受１０６を挟んで直動モータ１２２と反対側には、回転モータ１２５が配設されている。回転モータ１２５は、回転モータ軸１２０に取付けられた回転可動子１２５Ａと、ベース部材１１６の内側に取付けられた回転固定子１２５Ｂとを有している。
【００１１】
回転モータ軸１２０は、同心状の段付の筒状体で、小径部１２０Ａ及び大径部１２０Ｂを有し、小径部１２０Ａの外周において回転可動子１２５Ａと嵌着している。小径部１２０Ａはベース部材１１６の基端１１６Ｂから突出すると共に基端１１６Ｂにおいて回転軸受１２６に支持されている。尚、軸部材１０２は、小径部１２０Ａを貫通している。又、回転モータ軸１２０は、大径部１２０Ｂの内周において直動軸受１０６に嵌着し、大径部１２０Ｂの外周において回転軸受１１０に嵌着している。
【００１２】
回転スケール１１２は中心孔を有する円板形状で周方向微小な間隔で微細なスリット（図示省略）が多数形成され、ベース部材１１６の基端１１６Ｂの近傍に配設されている。尚、スリット以外に、薄膜状の磁性体等が周方向微小な間隔で多数配設された構造の回転スケールも存在する。回転スケール１１２は、回転スケール軸１２９を介して回転モータ軸１２０の小径部１２０Ａに取付けられている。
【００１３】
即ち、回転スケール１１２は、回転スケール軸１２９、回転モータ軸１２０及び直動軸受１０６を介して軸部材１０２と共に回転するようにされている。
【００１４】
回転センサ１１４は光透過型センサで、回転スケール１１２の軸方向両側近傍にそれぞれ配設された投光部１１４Ａ及び受光部１１４Ｂを有している。投光部１１４Ａ及び受光部１１４Ｂは回転センサケース１２８を介してベース部材１１６に支持されている。回転センサ１１４は、回転スケール１１２のスリットを検出することにより、回転スケール１１２の周方向の回転位置、即ち軸部材１０２の周方向の回転位置を検出可能とされている。尚、光反射型センサ、磁気センサ等の回転センサも存在する。
【００１５】
このように、軸部材１０２と回転スケール１１２との間に直動軸受１０６、回転モータ軸１２０、回転スケール軸１２９及び回転センサケース１２８を介在させることで、回転スケール１１２、回転センサ１１４の取付設計、取付作業の容易化を図り、汎用の回転スケール、回転センサを簡単に使用することができるようにされている。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、回転スケール１１２と軸部材１０２との間に回転モータ軸１２０、回転スケール軸１２９等の部品が介在し、これらの部品の加工誤差、組付け誤差、遊び、ねじり変形等が累積するため、軸部材１０２の回転位置を高精度で検出することが困難であるという問題があった。
【００１７】
又、介在する部品のためにそれだけ部品点数が多くなりコスト高であるという問題があった。
【００１８】
更に、回転部分の慣性モーメントが増大し、回転を高速化することが困難であるという問題があった。
【００１９】
又、装置全体のサイズが大きくなり、重量が重くなるという問題があった。特に、直動回転軸の位置検出構造を備える電子部品搭載用直動回転装置は、例えば特願２０００−１１９８５８号等に示されるように、小型、軽量化の要求が強い。
【００２０】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、小型、且つ、軽量で軸部材の回転位置を高精度で検出できる直動回転軸の位置検出構造及び該直動回転軸の位置検出構造を備えた電子部品搭載用直動回転装置を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、軸部材と、前記軸部材の周方向の回転を規制すると共に前記軸部材を軸方向移動自在に支持する直動軸受と、該直動軸受を周方向回転自在に支持する回転軸受と、前記軸部材と共に回転するように配設された回転スケールと、該回転スケールを検知する回転センサと、を含んでなり、前記軸部材の周方向の回転位置を検出可能とされた直動回転軸の位置検出構造において、前記回転スケールを前記直動軸受に配設し、前記回転センサを前記直動軸受の近傍に配設したことにより、上記目的を達成するものである。
【００２２】
又、前記直動軸受を前記軸部材にボールスプライン機構により係合してもよい。
【００２３】
又、前記直動軸受を円筒形状とし、前記回転スケールを、前記直動軸受の外周部に周方向適宜な間隔で軸方向に形成した複数のスケールトラックで構成し、且つ、前記各スケールトラックを相互に異なる態様で形成して前記回転センサが前記軸部材の周方向の絶対的な回転位置を検出可能であるようにしてもよい。
【００２４】
又、前記軸部材に直動スケールを配設し、該直動スケールを検知する直動センサを前記直動軸受の近傍に配設してもよい。
【００２５】
又、前記軸部材の軸方向の少なくとも一方の端部を出力端部として、該出力端部の近傍で前記軸部材に係合するように前記直動軸受を配設してもよい。
【００２６】
又、本発明は、筒状体で軸方向一端の出力端部近傍において電子部品の真空吸着のための電子部品吸着ノズルを支持する軸部材と、該軸部材の周方向の回転を規制すると共に該軸部材を軸方向移動自在に支持する直動軸受と、該直動軸受を周方向回転自在に支持する回転軸受と、前記軸部材と共に回転するように配設された回転スケールと、該回転スケールを検知する回転センサと、を含んでなり、前記軸部材の周方向の回転位置を検出可能とされた電子部品搭載機の電子部品搭載用直動回転装置において、前記軸部材と、前記直動軸受と、前記回転軸受と、前記回転スケールと、前記回転センサとを請求項１〜５のいずれかに記載の直動回転軸の位置検出構造により構成したことにより、上記目的を達成するものである。
【００２７】
本発明によれば、軸部材との周方向の回転位置を高精度で検出することができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００２９】
図１は、本実施形態に係る直動回転軸の位置検出構造１０を示す断面図である。図２は、図１における直動軸受１４の周辺の構造を拡大して示す斜視断面図、図３は、直動軸受１４の周辺の構造を更に拡大して示す断面図、図４は、図３におけるＩＶ−ＩＶに沿う断面図である。
【００３０】
直動回転軸の位置検出構造１０は、軸部材１２に出力端部１２Ａの近傍で係合する直動軸受１４に回転スケール１６が配設され、回転センサ１８が直動軸受１４の近傍に配設されたことを特徴としている。
【００３１】
その他の構造については前記従来の直動回転軸の位置検出構造１００と同様であるので説明を適宜省略する。
【００３２】
軸部材１２は、軸方向一端が出力端部１２Ａ、他端が基端部１２Ｂとされ、軸方向に２本のＵ字溝１２Ｃが軸対称に形成されている。又、これらＵ字溝１２Ｃの間の軸部材１２の外周部には、直動スケール２２が設けられている。直動スケール２２は、軸部材１２のＵ字溝１２Ｃを除いた外周部に軸方向適宜な間隔で非磁性体の銅をリング状にメッキした構成とされている。
【００３３】
直動軸受１４は円筒形状で、軸部材１２が挿通する軸孔１４Ａが形成されている。軸孔１４Ａの内周部には軸方向に２本のＵ字溝１４Ｂが中心軸を挟んで対称的に形成されている。該Ｕ字溝１４Ｂの軸方向の両端は閉塞されると共に、各々の両端には径方向外側に一対の連結穴３０Ａ及び３０Ｂが形成されている。これら連結穴３０Ａ及び３０Ｂの径方向外側の端部の間には軸方向の収納孔３２が形成されている。
【００３４】
Ｕ字溝１４Ｂと軸部材１２のＵ字溝１２Ｃとの間には複数のボール３４が配設されている。該ボール３４は連結穴３０Ａ、３０Ｂ及び収納孔３２内にも収納され、Ｕ字溝１２Ｃ、１４Ｂ→連結穴３０Ａ→収納孔３２→連結穴３０Ｂの順序、又はこの逆の順序で玉突状に循環するようにされている。
【００３５】
直動軸受１４は、ボール３４を介して軸部材１２の周方向の回転を規制すると共に軸部材１２を軸方向移動自在に支持している。これら直動軸受１４、ボール３４及び軸部材１２は周方向の遊びが微小であるように組付けられている。又、軸孔１４Ａの内周部と直動スケール２２との間には隙間が形成されている。
【００３６】
回転軸受１０８はボールベアリングで、軸部材１２の出力端部１２Ａ近傍に２個配設され、内周部において直動軸受１４の軸方向両端の外周部に嵌着し、直動軸受１２を周方向回転自在に支持すると共に、軸方向の移動を規制している。又、回転軸受１０８は、外周部においてベース部材１１６に嵌着している。即ち、回転軸受１０８を介して軸部材１２及び直動軸受１４はベース部材１１６に対して一体で回転自在とされている。２個の回転軸受１０８の軸方向の間、且つ、直動軸受１４とベース部材１１６との径方向の間には隙間が形成されている。
【００３７】
回転スケール１６は、２個の回転軸受１０８の軸方向の間の直動軸受１４の外周部に配設されている。回転スケール１６は、直動軸受１４の外周部に設けられた薄膜状の磁性体材料に帯状の着磁部であるスケールトラック１６Ａが周方向適宜な間隔で軸方向に形成された構成である。
【００３８】
各スケールトラック１６Ａは、例えば軸方向の着磁のパターン等が異なるように軸方向に相互に異なる態様で形成され、各スケールトラック１６は、絶対的な回転位置情報を有している。
【００３９】
回転センサ１８は、２個の回転軸受１０８の軸方向の間で回転スケール１６に近接して配置されている。回転センサ１８は、磁気センサで、スケールトラック１６Ａの磁気レベルを検出することにより、直動軸受１４の回転位置、即ち軸部材１２の回転位置を検出可能とされている。又、回転センサ１８は回転スケール１６の各スケールトラック１６Ａを識別して検出可能とされ、これにより軸部材１２の周方向の絶対的な回転位置を検出可能とされている。
【００４０】
直動軸受１４と直動可動子１２２Ａとの間には、直動センサ３６が配設されている。直動センサ３６は円筒形状で、軸部材１２の外径よりも僅かに大きな内径を有し、軸部材１２と同軸的に配置され、内周部において直動スケール２２に近接している。又、直動センサ３６は、自身の内部に図示しない１次コイル及び２次コイルを有している。１次コイルは直動センサ３６の外周近傍に同軸的に設けられている。２次コイルは１次コイルよりも径方向内側に同軸的、且つ、軸方向適宜な間隔で複数設けられている。
【００４１】
１次コイルに交流信号を励磁し、直動スケール２２が直動センサ３６に対して軸方向に相対的に移動すると２次コイルから相異なる位相の２つの出力交流信号が得られ、１次コイルに対する２次コイルの位相差を検出することにより、直動センサ３６は直動スケール２２の軸方向の位置を検出可能とされている。
【００４２】
次に、直動回転軸の位置検出構造１０の作用について説明する。
【００４３】
まず、軸部材１２が回転する時の作用について説明する。
【００４４】
回転モータ１２５に通電すると軸部材１２が回転し、ボール３４を介して直動軸受１４も回転する。軸部材１２、ボール３４及び直動軸受１４は周方向の遊びが微小であるように組付けられているので、軸部材１２の回転は直動軸受１４に正確に伝達される。
【００４５】
直動軸受１４の回転と共に回転スケール１６も周方向に回転し、各スケールトラック１６Ａが回転センサ１８に対して周方向に相対的に移動する。回転センサ１８は、スケールトラック１６Ａの磁気レベルを検出し、回転スケール１６の回転位置、即ち軸部材１２の周方向の相対的な回転位置を電気信号として検出する。
【００４６】
更に、直動軸受１４は、絶対的な回転位置情報を包含するスケールトラック１６Ａを配設するための軸方向の充分な長さを有しているので、回転センサ１８は、各スケールトラック１６Ａを確実に識別して検出し、軸部材１２の周方向の絶対的な回転位置を検出することが可能である。
【００４７】
回転スケール１６が直動軸受１４の外周部に直接配設されているので、軸部材１２の回転が回転スケール１６に正確に伝達され、回転センサ１８は、軸部材１２の周方向の回転位置を高精度で検出することができる。
【００４８】
即ち、回転センサ１８は常に軸部材１２の周方向の回転位置を正確に検出でき、直動回転軸の位置検出構造１０は信頼性が高い。
【００４９】
又、回転スケール１６が直動軸受１４の外周部に配設され、更に回転センサ１８が回転スケール１６に近接して配置されているので、直動回転軸の位置検出構造１０はコンパクトである。
【００５０】
又、回転スケール１６が、直動軸受１４の外周部に直接配設され、これらの間に他の部品が介在していないので、直動回転軸の位置検出構造１０は、可動部の慣性モーメントが小さく、可動部の重量も軽い。従って、直動回転軸の位置検出構造１０によれば、それだけ軸部材１２を高速で直動及び回転させることが可能である。又、装置全体としても全長が短く、軽量である。
【００５１】
更に、回転スケール１６と直動軸受１４の間に他の部品が介在しておらず部品点数が少ないので、直動回転軸の位置検出構造１０は低コストである。
【００５２】
又、回転センサ１８が直動軸受１４に直接配設され、直動軸受１４と軸部材１２との間に介在する部品がボール３４のみであるので、加工誤差、組付け誤差、周方向の遊び、捩り変形等の累積による回転位置の検出精度の低下が微小に制限され、この点でも軸部材１２の回転位置の検出精度が高い。更に、回転スケール１６が配設された直動軸受１４が出力端部１２Ａの近傍で軸部材１２に係合しているので軸部材１２のねじり変形の影響が小さく、出力端部１２Ａに連結される外部部材の回転位置を高精度で正確に検出することができる。
【００５３】
次に、軸部材１０２が直動する時の作用について説明する。
【００５４】
直動モータ１２２に通電すると軸部材１２が軸方向に移動する。軸部材１２の軸方向の移動に伴ない、直動スケール２２も直動センサ３６に対して軸方向に相対移動する。これにより直動センサ３６が直動スケール２２、即ち軸部材１２の軸方向の位置を電気信号として検出する。
【００５５】
直動スケール２２が軸部材１２の外周部に直接配設されているので、直動スケール２２の軸方向の位置と軸部材１２の軸方向の位置とがずれることなく、直動センサ３６は、軸部材１２の軸方向の直動位置を高精度で検出することができる。
【００５６】
又、直動スケール２２と直動軸受１４の軸孔１４Ａの内周面との間に隙間が形成されているので、直動スケール２２が直動軸受１４と摺動して摩耗することがない。従って、直動スケール２２が消耗して、経時的に検出精度が低下することがない。
【００５７】
又、直動スケール２２が直動軸受１４内を挿通しているので、直動センサ３６を直動軸受１４の近傍に配設することができ、これにより直動センサ３６、直動軸受１４及び回転センサ１８のコンパクトな組合わせが実現されている。
【００５８】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
【００５９】
本第２実施形態は、図５及び図６に示されるように、電子部品搭載機４０の電子部品搭載用直動回転装置４２に、前記直動回転軸の位置検出構造１０を適用したものである。
【００６０】
尚、直動回転軸の位置検出構造１０については、前記第１実施形態で説明済みであるので、図１〜図５と同一符号を付することとして説明を適宜省略する。
【００６１】
又、直動回転軸の位置検出構造１０を除く電子部品搭載機４０の他の部分の構造については従来と同様であるが、本発明の理解のために簡単に説明しておく。
【００６２】
電子部品搭載用直動回転装置４２は、Ｘ−Ｙ駆動部４４に取付けられており、Ｘ−Ｙ方向移動自在とされている。
【００６３】
又、電子部品搭載用直動回転装置４２は、Ｚ方向に配置された前記軸部材１２の下端の出力端部１２Ａ（先端）近傍において電子部品吸着ノズル４６を着脱自在に支持し、軸部材１２と共に電子部品吸着ノズル４６をＺ方向及び周方向に駆動可能とされている。
【００６４】
軸部材１２は筒状体とされ、該軸部材１２を介して供給される負圧により電子部品吸着ノズル４６が電子部品供給装置４７上の電子部品を真空吸着して基板４８上の所定の位置に搭載するようにされている。
【００６５】
電子部品搭載用直動回転装置４２は前記直動回転軸の位置検出構造１０を備えているので、軸部材１２、即ち電子部品吸着ノズル４６の精密な制御が可能であり、信頼性が高い。
【００６６】
又、電子部品搭載用直動回転装置４２はコンパクトであるので、Ｘ−Ｙ方向の移動時においてそれだけ他の部位と干渉し難く、ＸＹ方向の走査範囲が広い。
【００６７】
更に、電子部品搭載用直動回転装置４２がコンパクトであるので、ＸＹ駆動部４４にそれだけ多くの電子部品搭載用直動回転装置４２を取付けることができ、これにより電子部品搭載作業の作業効率を向上させることができる。
【００６８】
又、電子部品搭載用直動回転装置４２は可動部が軽量で慣性モーメントが小さく、それだけ高速で電子部品吸着ノズル４６を直動・回転できるので、この点でも作業効率がよい。
【００６９】
尚、前記第１実施形態及び第２実施形態において、軸部材１２と直動軸受１４とはボール３４を介して係合されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば図７に示されるように、キー状部材６０を介して軸部材６２と直動軸受６４とを係合してもよい。更に、図８に示されるように、軸部材７０と直動軸受７２とが直接スプライン嵌合するようにしてもよい。
【００７０】
又、前記第１実施形態及び第２実施形態において、回転スケール１６の各スケールトラック１６Ａを相互に異なる態様で形成しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、軸部材１２の絶対的な回転位置を検出する必要がない場合には、例えば、全てのスケールトラックを同一の態様で形成してもよい。
【００７１】
又、前記第１実施形態及び第２実施形態において、回転スケール１６は多数のスケールトラックを含んで構成され、磁気的な回転センサ１８で検出するようにされているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、光の反射率が異なる微細な間隔のスケールを周方向適宜な間隔で配設した構成の回転スケールとし該回転スケールを光反射型の回転センサで検出するようにしてもよい。
【００７２】
一方、前記第１実施形態及び第２実施形態において、直動スケール２２は非磁性体の銅をリング状にメッキした構成とされているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、軸部材の外周部に設けられた薄膜状の磁性体材料に軸方向適宜な間隔で、微細な帯状の着磁部を設けた構成の直動スケールとしてもよい。
【００７３】
又、前記第２実施形態は、前記第１実施形態に係る直動回転軸の位置検出構造１０を電子部品搭載用直動回転装置に適用した例であるが、本発明はこれに限定されるものではなく、直動回転軸の位置検出構造１０は、他の産業機器、輸送機器等に対しても当然に適用可能である。
【００７４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、軽量、且つ、コンパクトで軸部材の回転位置を高精度で検出できる直動回転軸の位置検出構造を実現することが可能となるという優れた効果がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る直動回転軸の位置検出構造を示す側断面図
【図２】図１における直動軸受の周辺を拡大して示す一部断面図を含む斜視図
【図３】同直動軸受の周辺を更に拡大して示す断面図
【図４】図３におけるＩＶ−ＩＶに沿う断面図
【図５】本発明第２実施形態に係る電子部品搭載用直動回転装置の構造を示す斜視断面図
【図６】同電子部品搭載用直動回転装置を備えた電子部品搭載機の概略構造を示す斜視図
【図７】本発明の他の実施形態に係る軸部材及び直動軸受の係合構造を示す断面図
【図８】本発明の他の実施形態に係る軸部材及び直動軸受の係合構造を示す断面図
【図９】従来の直動回転軸の位置検出構造を示す側断面図
【符号の説明】
１０、１００…直動回転軸の位置検出構造
１２、６２、７０、１０２…軸部材
１２Ａ、１０２Ａ…出力軸端部
１４、６４、７２、１０４…直動軸受
１６、１１２…回転スケール
１８、１１４…回転センサ
２２、１１８…直動スケール
３６、１２４…直動センサ
３４…ボール
４０…電子部品搭載機
４２…電子部品搭載用直動回転装置
１０８、１１０、１２６…回転軸受
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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