(57)【要約】【課題】ブレードを固定するためのナットを容易かつ好適に締結／弛緩することが可能なブレード着脱補助装置を提供すること。【解決手段】高速回転可能なスピンドル２４と；スピンドル２４に装着されるブレードと；ブレード２２をスピンドルに固定するためのナット４０と；スピンドル２４の回転を制限する回転制限部と；を備えた切削装置，のブレード着脱補助装置１００が提供される。このブレード着脱補助装置１００は，回転制限部によりスピンドルの回転が制限された状態で，ナット４０の表面に形成された被係合部と係合してナット４０を回転させる，ナット回転部６０と；少なくともナット回転部６０によりナット４０を回転させる際に，ナット４０の外周部を把持する，ナット把持部７０と；を備えることを特徴とする。かかる構成により，ナットの外周部を把持しながら，ナットを締結／弛緩させる方向に回転させることができる。【選択図】  図１１
2004281700.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高速回転可能なスピンドルと；前記スピンドルに装着されるブレードと；前記ブレードを前記スピンドルに固定するためのナットと；前記スピンドルの回転を制限する回転制限部と；を備えた切削装置，のブレード着脱補助装置であって：
前記回転制限部により前記スピンドルの回転が制限された状態で，前記ナットの表面部に形成された被係合部と係合して前記ナットを回転させる，ナット回転部と；
少なくとも前記ナット回転部によりナットを回転させる際に，前記ナットの外周部を把持する，ナット把持部と；
を備えることを特徴とするブレード着脱補助装置。
【請求項２】
前記ナット把持部は，前記ナットの外周部を把持する複数の係止爪を備えることを特徴とする，請求項１に記載のブレード着脱補助装置。
【請求項３】
前記ナット把持部の係止爪は，前記ナットの外周部に形成された被係合部と係合することを特徴とする，請求項２に記載のブレード着脱補助装置。
【請求項４】
前記ナット把持部は，
前記ナットの外周部に取り付け可能な取付位置と，前記ナットの外周部を把持して，前記ナット回転部と前記ナットとの係合を維持する固定位置と，の間において，移動可能であり，
前記取付位置においては，前記ナットの外周部の把持開放動作が可能であり，
前記固定位置においては，前記ナットの外周部の開放動作が制限されることを特徴とする，請求項１または２，３のいずれかに記載のブレード着脱補助装置。
【請求項５】
前記ブレード着脱補助装置は，
少なくとも前記取付位置および前記固定位置を位置決めする，位置決め手段を備えることを特徴とする，請求項４に記載のブレード着脱補助装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，被加工物を切削加工する切削装置のブレードを脱着するためのブレード着脱補助装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ダイシング装置等の切削装置は，一般的に，半導体ウェハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと，切削用のブレードが装着された切削ユニットとを備えており，高速回転させたブレードを被加工物に切り込ませながら双方を相対移動させることによって，被加工物を切削加工することができる。この切削ユニットは，高速回転可能なスピンドルの一端に，ブレードをフランジ等により挟持固定して装着する構成である。
【０００３】
ところで，このようなブレードは，その消耗または破損により，あるいは被加工物の種類や切削加工の内容等に応じて，適宜交換する必要がある。また，かかるブレード交換に伴ってフランジをも交換する場合もある。このようなブレード交換時には，例えばフランジ或いはスピンドルと螺合するナットを締結／弛緩して，ブレードを脱着することが一般的であった（特許文献１参照）。ところが，このとき，ナットの回転に伴ってスピンドルもが回転してしまうと，ナットを好適に締結／弛緩できないという問題があった。
【０００４】
かかる問題に対処するため，本願発明者らは，図１４（ａ）に示すように，切削ユニット１２０に，スピンドル１２４をロック可能なロック機構１５０を設ける発明に想到した（特許文献２参照）。このロック機構１５０を利用することにより，ブレード交換時において，スピンドル１２４の回転をロックした上で，ナット回転用治具１６０を用いてナット１４０を締結／弛緩させることができる。
【０００５】
具体的には，図１４（ａ）（ｂ）に示すように，まず，ロック機構１５０の係止部材１５２を係合孔１５８に係合させることにより，スピンドル１２４を回転しないように固定する。次いで，ナット１４０に対して，その係合孔１４２に係合するような係合ピン１６２を備えたナット回転用治具１６０を取り付ける。さらに，かかるナット回転用治具１６０の六角孔１６４に挿入したレンチ１１０を，ナット１４０が螺脱する方向に回転させる。これにより，固定されたスピンドル１２４に対してナット１４０が相対的に回転するため，ナット１４０の締結が緩み，その結果，ナット１４０が螺脱される。その後，フランジ１２１の一側を取り外してブレード１２２等を交換した上で，上記と同様な手法で，ナット１４０を螺入して締結し，新たなブレード１２２をスピンドル１２４に固定していた。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−１７９６１９号公報
【特許文献２】
特願２００３−１９３５０号
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来のナット回転用治具では，その係合ピンをナットの係合孔に挿入して係合させた状態を維持することが困難であった。このため，かかるナット回転用治具によってナットを回転させたときに，係合ピンが係合孔から逃げて空回りしてしまうので，ナットの締結／弛緩作業が困難であり，また，ナットの表面を傷つけてしまうという問題もあった。
【０００７】
また，従来のナット回転用治具では，単に係合孔に挿入された係合ピンによってのみ，ナットを支持する構成であった。このため，ブレード交換時において，取り外した或いは取り付けようとするナットが，ナット回転用治具から容易に外れて，落下してしまうという問題もあった。従って，ブレード交換作業におけるナットの取り扱いが不便であり，ナットを紛失してしまうこともあった。
【０００８】
本発明は，上記問題点に鑑みてなされたものであり，本発明の目的は，ブレードを固定するためのナットを，傷つけたり落下させたりすることなく，容易かつ好適に締結／弛緩することが可能な，新規かつ改良されたブレード着脱補助装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため，本発明の第１の観点によれば，高速回転可能なスピンドルと；スピンドルに装着されるブレードと；ブレードをスピンドルに固定するためのナットと；スピンドルの回転を制限する回転制限部と；を備えた切削装置，のブレード着脱補助装置が提供される。このブレード着脱補助装置は，回転制限部によりスピンドルの回転が制限された状態で，ナットの表面部に形成された被係合部と係合してナットを回転させる，ナット回転部と；少なくともナット回転部によりナットを回転させる際に，ナットの外周部を把持する，ナット把持部と；を備えることを特徴とする。
【００１０】
かかる構成により，ブレードの交換作業等を行うためブレードをスピンドルから脱着する際には，回転制限部が動作して，スピンドルが回転しないように固定できる。このようにスピンドルが固定された状態で，ブレード着脱補助装置は，ナット把持部によってナットの外周部を把持しながら，ナット回転部によって，係合したナットを締結／弛緩させる方向に回転させることができる。また，ナット把持部は，取り外したナットをそのまま保持することができる。
【００１１】
また，上記ナット把持部は，ナットの外周部を把持する複数の係止爪を備えるように構成してもよい。ここで，掛止爪がナットの外周部を把持するとは，掛止爪がナットの外周部を係止することを含むものとする。かかる構成により，ナット把持部は，複数の掛止爪によってナットの外周部を安定的かつ好適に把持できる。また，掛止爪は可動であるので，容易にナットに取り付ける／取り外すことができる。また，少なくともこの掛止爪を弾性材料で形成してもよい。
【００１２】
また，上記ナット把持部の係止爪は，ナットの外周部に形成された被係合部と係合するように構成してもよい。かかる構成により，ナット外周部に取り付けられた掛止爪は，係合部と係合することにより外れにくいので，ナット外周部をより好適に把持できる。
【００１３】
また，上記ナット把持部は，ナットの外周部に取り付け可能な取付位置と，ナットの外周部を把持して，ナット回転部とナットとの係合を維持する固定位置と，の間において，移動可能であり；取付位置においては，ナットの外周部の把持開放動作が可能であり；固定位置においては，ナットの外周部の開放動作が制限されるように構成してもよい。かかる構成により，取付位置では，ナット回転部をナットに係合／係合解除可能であるとともに，ナット把持部をナットの外周部に取り付け／取り外し可能となる。このため，取付位置では，ブレード着脱補助装置をナットに取り付けたり，取り外したりすることができる。一方，固定位置では，ナット把持部をナット外周部から取り外し不能となり，ナット回転部とナットとの係合を維持しながら，ナット把持部によるナットの外周部の保持状態を維持することができる。このため，固定位置では，ブレード着脱補助装置は，ナットから外れることなく，当該ナットを好適に回転させることができる。
【００１４】
また，上記ブレード着脱補助装置は，少なくとも取付位置および固定位置を位置決めする，位置決め手段を備えるように構成してもよい。かかる構成により，上記ナット把持部の取付位置と固定位置の位置決めを容易に制御できる。
【００１５】
また，上記回転制限部は，スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングに設けられるようにしてもよい。また，この回転制限部は，スピンドルの回転をロックするスピンドルに設けられた少なくとも１の係合孔と係合することにより，スピンドルを係止する係止部材を備える，ように構成してもよい。かかる構成により，係止部材は，その一端が挿入された係合孔と係合するとにより，スピンドルが回転しないように係止できる。また，この回転制限部は，加圧媒体によって前記係止部材を前記係合孔に挿入する方向に押圧する押圧手段を備える，ように構成してもよい。また，この回転制限部は，前記係止部材に対して前記係合孔から抜脱する方向に弾性力を加える弾性部材を備える，ように構成してもよい。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１７】
（第１の実施の形態）
以下に，本発明の第１の実施形態について説明する。以下では，まず，本実施形態にかかる切削装置およびこの切削装置に設けられたロック装置の概要について説明した上で，本実施形態にかかる特徴であるブレード着脱補助装置について詳細に説明する。
【００１８】
まず，図１に基づいて，本実施形態にかかる切削装置の一例として構成されたダイシング装置１０の全体構成について説明する。なお，図１は，本実施形態にかかるダイシング装置１０を示す全体斜視図である。
【００１９】
図１に示すように，ダイシング装置１０は，半導体ウェハなどの被加工物１２を切削加工する切削ユニット２０と，被加工物１２を保持するチャックテーブル３０とを主に備える。切削ユニット２０は，切削用のブレード（詳細は後述する。）を備えており，かかるブレードを高速回転させながら被加工物１２に切り込ませることで，被加工物１２を切削加工することができる。また，チャックテーブル３０は，例えば，ウェハテープ１３によりフレーム１４に支持された状態の被加工物１２を，例えば真空吸着して保持することができる。かかる構成のダイシング装置１０は，高速回転するブレードを被加工物１２に切り込ませながら，切削ユニット２０とチャックテーブル３０とを相対移動させることにより，被加工物１２をダイシング加工することができる。
【００２０】
次に，図２に基づいて，本実施形態にかかる切削ユニット２０の全体構成について説明する。なお，図２は，本実施形態にかかる切削ユニット２０を示す斜視図である。
【００２１】
図２に示すように，切削ユニット２０は，例えば，フランジ２１と，ブレード２２と，スピンドル２４と，スピンドルハウジング２６と，切削水供給ノズル２８と，ホイルカバー２９と，ナット４０と，ロック機構５０と，を主に備える。
【００２２】
ブレード２２は，例えば，リング形状を有する極数の切削砥石である。かかるブレード２２は，例えば，フランジ２１により両側より挟持された状態で，スピンドル２４に軸設される。また，スピンドル２４は，例えば，モータ（図示せず。）などの回転駆動力をブレード２２に伝達するための回転軸であり，装着されたブレード２２を例えば３００００ｒｐｍで高速回転させることができる。また，スピンドルハウジング２６は，このスピンドル２４を覆うようにして設けられ，内部に備えたベアリング機構などにより当該スピンドル２４を高速回転可能に支持することができる。また，切削水供給ノズル２８は，例えばブレード２２の側方に脱着可能に設けられ，加工点付近に切削水を供給して冷却することができる。また，ホイルカバー２９は，ブレード２２の外周を覆うにして設けられ，切削水や切り屑などの飛散を防止することができる。
【００２３】
また，ナット４０は，ブレード２２をスピンドル２４に固定するために，例えば，フランジ２１に締結されるナット部材である。このナット４２の表面（切削ユニット２０に取り付けたときに外側（オペレータ側）に現れる面をいう。）には例えば４つの係合孔４２が，例えば略等間隔で形成されている。このナット４０の詳細については後述する。
【００２４】
かかる構成の切削ユニット２０は，スピンドル２４の回転駆動力によりブレード２２を高速回転させ，かかるブレード２２を被加工物１２に切り込ませながら相対移動させることができる。これにより，例えば，被加工物１２の加工面を切削加工して，ストリートに沿って極薄の切溝（カーフ）を形成することができる。
【００２５】
また，このような切削ユニット２０においては，図２に示すように，例えば，スピンドルハウジング２６の一側面にロック機構５０が設けられている。かかるロック機構５０は，本実施形態にかかる回転制限部として構成されており，スピンドル２４をロックして，その回転を制限することができる。このロック機構５０の詳細については後述する。
【００２６】
次に，図３に基づいて，本実施形態にかかる切削ユニット２０においてブレード２２をスピンドル２４に装着する態様について説明する。なお，図３は，本実施形態にかかる切削ユニット２０を分解して示した分解組立斜視図である。
【００２７】
図３に示すように，スピンドル２４は，例えば，先端部２４ｂが略テーパ形状を有しており，かかる先端部２４ｂにフランジ２１等が軸設される。また，スピンドル２４の先端部２４ｂには，ボルト２７と螺合する雌ねじ部２４ａが形成されている。
【００２８】
また，フランジ２１は，例えば，フランジアセンブリとして第１フランジ２１ａおよび第２フランジ２１ｂからなり，双方を組み合わせることによってブレード２２を両側より挟持することができる。第１フランジ２１ａには，ナット４０と螺合するフランジ雄ねじ部２１ｃが形成されている。また，第１フランジ２１ａには，スピンドル２４の先端部２４ｂを途中まで挿通させるための所定径を有する中心孔２１ｄが形成されている。なお，フランジアセンブリとしては，多様な形態が考えられ，図３に示すような第１フランジ２１ａと第２フランジ２１ｂの形態に限定されるものではない。
【００２９】
以下に，かかるフランジ２１を用いて，ブレード２２をスピンドル２４に装着する手順例について説明する。
【００３０】
まず，ブレード２２を第１フランジ２１ａに嵌め，次いで，第２フランジ２１ｂを第１フランジ２１ａに嵌合させて，双方の間にブレード２２を挟み込む。さらに，ナット４０を第１フランジ２１ａのフランジ雄ねじ部２１ｃに螺合して締め付けることにより，ブレード２２は第１フランジ２１ａと第２フランジ２１ｂによって挟持・固定される。
【００３１】
次いで，ブレード２２を挟持しているフランジ２１（即ち，第１フランジ２１ａ及び第２フランジ２１ｂ）の中心孔２１ｄに，スピンドル２４の先端部２４ｂを挿通する。その後，例えば，ボルト２７をスピンドル２４の雌ねじ部２４ａに螺合して締め付ける。このボルト２７の締め付け作業は，例えば，ボルト２７の頭に形成された六角穴２７ａにトルクレンチ（図示せず。）などを挿入し，このトルクレンチをボルト２７が螺入する方向に回転させることによって行われる。
【００３２】
このボルト２７の締結により，略テーパ形状の先端部２４ｂがフランジ２１の中心孔２１ｄに十部に押入されて，双方が密接するので，フランジ２１がスピンドル２４に安定的に固定される。以上のようにして，フランジ２１に挟持されたブレード２２が，スピンドル２４に軸着される。
【００３３】
なお，上記のように，図３の例の切削ユニット２０は，スピンドル２４に形成された雌ネジ部２４ａに螺合するボルト２７を用いて，ブレード２２を挟持するフランジ２１をスピンドル２４に固定するボルトタイプの切削ユニットである。しかし，切削ユニット２０は，かかる例に限定されず，例えば，スピンドル２４に形成された雄ネジ部（図示せず。）に螺合するナット（図示せず。）を用いて，ブレード２２を挟持するフランジ２１をスピンドル２４に固定するナットタイプの切削ユニットであってもよい。
【００３４】
このようにスピンドル２４に対して，装着されたブレード２２を交換するときには，例えば，上記ナット４０を弛緩して第１フランジ２１ａから螺脱した上で，第２フランジ２１ｂを取り外してブレード２２を交換した後，再度ナット４０を螺合させて締結する必要がある。なお，このナット４０の締結／弛緩作業は，例えば，後述するブレード脱着装置を用いて行われる。また，フランジ２１ごとブレード２２を交換するときには，例えば，上記ボルト２７を弛緩させてスピンドル２４の雌ねじ部２４ａから螺脱した上で，ブレード２２及びフランジ２１を交換した後，再度ボルト２７を螺合させて締結する必要がある。
【００３５】
しかし，このとき，スピンドル２４が自由に回転したのでは，ナット４０またはボルト２７を好適に締結／弛緩できない。従って，スピンドル２４を固定して回転不能とする必要がある。
【００３６】
そこで，本実施形態では，例えば，切削ユニット２０に，スピンドル２４を必要に応じてロックするロック装置５０が設けられている。これにより，上記のようなブレード２２及び／又はフランジ２１の脱着時におけるナット４０またはボルト２７の締結／弛緩作業などを，確実，迅速かつ容易に行うことができる。
【００３７】
ここで，図４に基づいて，本実施形態にかかるロック装置５０の構成およびスピンドルハウジング２６の内部構成について説明する。なお，図４は，本実施形態にかかるロック装置５０の構成およびスピンドルハウジング２６の内部構成を示す部分切り欠き側面図である。この図４では，説明の便宜上，スピンドルハウジング２６およびシリンダ部５４の一部を，スピンドル２４の中心軸を含む水平面で切断した断面で表してある。
【００３８】
図４に示すように，スピンドルハウジング２６は，その内周面に，例えば２つのラジアルエアベアリング２６２ａ，２６２ｂと，例えば１つのスラストエアベアリング２６２ｃ（以下では，これらをベアリング２６２と総称する場合もある。）を備える。かかるベアリング２６２は，例えば，エアを噴出することによって，非接触の状態でスピンドル２４をラジアル方向及びスラスト方向に支持することができる。このため，スピンドルハウジング２６は，回転するスピンドル２４を安定して支持することができる。
【００３９】
また，スピンドル２４は，例えば，モータを構成するロータ２４２に連結されており，ロータ２４２の回転に伴って高速回転することができる。また，このスピンドル２４の外周面には，例えば，スラスト方向の中央付近に，例えば３つの係合孔５８（１つはスピンドルの裏側にあるため図示されていない。）が，例えば円周方向に等間隔で設けられている。この係合孔５８は，例えば略円形状の凹部であり，後述するロック装置５０の係止部材５２と係合可能な形状に成形されている。また，かかる係合孔５８のスラスト方向の位置は，当該係止部材５２に対応した位置となるように調整されている。
【００４０】
また，ロック装置５０は，例えば，スピンドルハウジング２６の中央部付近の一側などに設置されている。このロック装置５０は，例えば，係止部材５２と，シリンダ部５４と，バネ部材５６と，を備える。
【００４１】
係止部材５２は，例えば，金属材料などで形成された棒状部材であり，例えば係止ピンなどで構成できる。この係止部材５２は，例えば，比較的大径で短い頭部５２ａと，比較的小径で長い胴部５２ｂとからなる。この頭部５２ａの径は，例えば，シリンダ部５４の内径と略同一となるように調整されているので，頭部５２ａの外周面がシリンダ部５４内周面と密接する。このため，頭部５２ａは，その一側と他側との間を気密状態に保ちながら，シリンダ部５４内をスピンドル２４に近づく或いは遠ざかる方向に円滑に往復移動できる。これにより，係止部材５２は，シリンダ部５４内でピストンとして機能できる。
【００４２】
かかる構成の係止部材５２は，胴部５２ｂの先端が上記スピンドル２４の係合孔５８と係合するとともに，頭部５２ａがシリンダ部５４によって支持されることにより，スピンドル２４を係止することができる。
【００４３】
シリンダ部５２は，例えば，各種の金属類などで形成されたシリンダユニットであり，略円柱形状の内部空間に収容した上記係止部材５２をピストンとして機能せしめるシリンダとして構成されている。また，シリンダ部５４の内部空間に突出形成された突起部５４ｂは，係止部材５２の頭部５２ａと当接して，係止部材５２がスピンドル２４から離れる方向に過度に移動することを制限できる。
【００４４】
また，このシリンダ部５２には，例えば，その一端にエア供給用ノズル５９が装着されるとともに，このエア供給用ノズル５９と係止部材５２を収容している内部空間とを連通する連通孔５４ａが内部に形成されている。かかる構成により，シリンダ部５４は，例えば，外部に設けられたエア供給用ポンプ（図示せず。）などから供給されたエアを，エア供給用ノズル５９および連通孔５４ａを介して，係止部材５２の頭部５２ａ側の内部空間に供給することができる。かかるエアの供給により，当該頭部５２ａ側の内部空間内の気圧を高めて，係止部材５２を頭部５２ａ側から加圧することができる。即ち，例えば高圧のエアが加圧媒体として機能して，係止部材５２を頭部５２ａ側から押圧することができる。これにより，係止部材５２は，シリンダ部５４の内周面に沿ってスピンドル２４方向に押し出されるので，係合孔５８と係合することができる。なお，かかるエアによる係止部材５２に対する押圧力（加圧されたエアが係止部材５２を押圧する力）が，例えば，後述するバネ部材５６の弾性力よりも大きくなるように，エアの供給量が調整されている。これにより，当該エアによる押圧力が当該弾性力に打ち勝って，係止部材５２を係合孔５８に押入させることができる。
【００４５】
このように，本実施形態では，かかるシリンダ部５２，エア供給用ノズル５９およびエア供給用ポンプなどは，加圧媒体（エア）を用いて係止部材５２を押圧して，係合孔５８に挿入する押圧手段として構成されている。
【００４６】
バネ部材５６は，例えば，スプリングなどであり，本実施形態にかかる弾性部材として構成されている。このバネ部材５６の径は，係止部材５２の胴部５２ｂの外径より大きく，シリンダ部５４の内径より小さくなるように調整されている。かかるバネ部材５６は，例えば，その内部に係止部材５２の胴部５２ｂが挿入された状態で，シリンダ部５４の内部空間に設置される。これにより，バネ部材５６は，係止部材５２の頭部５２ａとシリンダ部５４の張出部５４ｃとの間に挟まれて収縮した状態となるので，双方を引き離す方向の弾性力を継続的に作用させることができる。
【００４７】
かかるバネ部材５６は，上記のようにエア圧力により係止部材５２がスピンドル２４方向に移動してきた場合には，係止部材５２の頭部５２ａとシリンダ部５４の張出部５４ｃとの間に挟まれて，さらに収縮する。このように収縮したバネ部材５６は，係止部材５２に対して，スピンドル５６から離隔する方向にさらに大きい弾性力を作用させる。このため，例えば，上記エアの供給が停止した場合には，バネ部材５６は，当該弾性力により，係止部材５２をスピンドル２４から離隔する方向に移動させて，係合孔５８から抜脱させることができる。
【００４８】
以上のような構成のロック装置５０は，例えば，供給されたエアの布勢力を利用して，スピンドル２４の係合孔５８に対して係止部材５２を挿入することにより，スピンドル２４が回転しないようにロックすることができる。また，エアの供給が停止された場合には，バネ部材５６の弾性力を利用して，係止部材５２を係合孔５８から抜脱することにより，スピンドル２４のロックを解除することができる。即ち，ロック装置５０は，エアの供給をＯＮ／ＯＦＦするだけで，係止部材５２を係合孔５８に対して挿抜して，スピンドル２４のロック開閉を自動的に行うことができる。
【００４９】
次に，図５および図６に基づいて，本実施形態にかかる特徴であるブレード着脱補助装置１００について説明する。なお，図５は，本実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００の全体構成を示す分解組立斜視図である。また，図６は，本実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００の全体構成を示す分解組立断面図である。
【００５０】
図５および図６に示すように，ブレード着脱補助装置１００は，例えば，ブレード２２をスピンドル２４から脱着するための補助装置である。このブレード着脱補助装置１００は，例えば，上記切削ユニット２０のナット４０に取り付けられ，かかるナット４０を回転させて，締結或いは弛緩することができる。かかるブレード着脱補助装置１００は，例えば，ナット回転部６０と，ナット把持部７０と，本体部７０と，から構成されている。
【００５１】
ナット回転部６０は，例えば，係合したナット４０を回転させるための治具であり，その材質は例えばステンレスなどである。このナット回転部６０は，例えば，比較的大径の略円筒状形状を有するナット回転本体部６６と，回転本体部６８の一側に連結された比較的小径の略円筒状を有する底部６８とから構成されている。
【００５２】
このナット回転部６０は，例えば，ナット回転本体部６６の一側に例えば４つの係合ピン６２が固設されている。この係合ピン６２は，例えば，略円柱形状等を有するピン部材であり，ナット４０の表面に形成された係合孔４２と係合することができる。この係合ピン６２は，当該ナット４０の係合孔４２と好適に係合できるように，その大きさおよび形状が調整されている。また，例えば４つの係合ピン６２の配置も，当該ナット４０に形成された例えば４つの係合孔４２の配置に合うように調整されている。
【００５３】
また，ナット回転部６０の底部６８には，例えば，Ｌ型のレンチ等と係合するレンチ用係合孔６４が設けられている。このレンチ用係合孔６４は，例えば，挿入されるレンチの形状に応じて成形され，例えば六角孔などとすることができる。
【００５４】
このような，ナット回転部６０は，例えば，上記係合ピン６２をナット４０の係合孔４２に挿入して係合させた状態で，円周方向に回転することにより，ナット４０を回転させることができる。このときのナット回転部６０の回転は，例えば，上記レンチ用係合孔６４に挿入されたレンチ等によってなされてもよく，或いは，本体部８０を把持した作業者がブレード着脱補助装置１００全体を回転させることによってなされてもよい。
【００５５】
ナット把持部７０は，例えば，ナット４０の外周部を保持するための治具であり，その材質は例えばプラスチック等の合成樹脂などである。この回転本体部６６は，例えば，ナット保持本体部７１と，複数の係止爪７２とから形成されている。
【００５６】
ナット保持本体部７１は，例えば，略円柱形状の基台であり，その外周面には，例えば環状の第１の溝７４および第２の溝７６が所定間隔で形成されている。また，このナット保持本体部７１の中心には，上記ナット回転部６０の底部６８を挿入するための連結孔７８が形成されている。この連結孔７８の径は，底部６８と好適に嵌合可能な大きさに調整されている。また，ナット保持本体部７１の一側の外周部には，例えば，円周方向に配列された複数の掛止爪７２が延長形成されている。この複数の係止爪７２は，全体としては，例えば略円筒形状をなしており，この円筒形状の内径は，例えば，ナット４０の外径よりわずかに小さく（例えば０．５ｍｍ程度），かつ，上記ナット回転本体部６６の外形よりも大きくなるように調整されている。かかる係止爪７２は，ナット４０の外周部を把持する機能を有するが詳細については後述する。
【００５７】
本体部８０は，例えば，上記ナット回転部６０およびナット把持部７０を収容するための治具であり，その材質は例えばアルミニウムなどである。この本体部８０は，全体としては，例えば，略円筒形状を有しており，その内径は，上記ナット保持本体部７１の外径と略同一である。また，本体部８０は，例えば，外周面の中央付近に段差８２を有するとともに，その内周面にも段差８４を有する。
【００５８】
かかる本体部８０は，その内部に上記ナット回転部６０およびナット把持部７０を収容して，支持することができる。また，本体部８０は，このようにして本体部８０に収容されたナット回転部６０およびナット把持部７０は，一体となって，当該本体部８０に対して，例えば，軸方向（図５の上下方向）に所定距離だけ移動可能である。このように軸方向に移動したときの位置は，後述する位置決め手段によって位置決めされる。一方，円周方向には，ナット回転部６０およびナット把持部７０は，本体部８０に対して回転できないように固定されている。このため，作業員が，本体部８０の外周面を把持して回転させることにより，この本体部８０に収容されているナット回転部６０およびナット把持部７０も，ともに回転することとなる。なお，この本体部８０の外周面には，例えば，作業員が把持して回転させるときに滑らないように，複数の溝，切れ込みまたは突起などを形成したり，ゴム等の滑り止めとなる部材を取り付けたりして，摩擦力を向上するようにしてもよい。
【００５９】
以上のように，ブレード着脱補助装置１００を構成する３つの部材について説明した。かかる３つの部材を組み立てる時には，例えば，図６に示すように，まず，ナット回転部６０の底部６８を，ナット把持部７０の連結孔７８に挿入して嵌合するようにして，ナット回転部６０とナット把持部７０とを接合する。これにより，例えば，ナット回転部６０の外周部が複数の掛止爪７２によって覆い包まれるようになる。次いで，このように接合されたナット回転部６０およびナット把持部７０を，本体部８０の内部に挿入する。このとき，例えば，ナット把持部７０の底部に形成された例えば２つの凹部７７と，本体部８０の底部側に取り付けられる例えば２つの連結プレート８６と，の位置を合わせるようする。さらに，例えば，本体部８０の底部側から，ネジ部材８７を，連結プレート８６の雌ネジ部８９，ナット把持部７０の雌ネジ部７９，およびナット回転部６０の雌ネジ部６９に螺合させることによって，ナット回転部６０，ナット把持部７０および本体部８０を連結する。
【００６０】
なお，例えば，ナット把持部７０と本体部８０との連結は連結プレート８６を介してなされるが，この連結プレート８６は，一端がナット把持部７０の凹部７７に係合して固定され，他端が本体部８０の内周面に形成された凹部８８に係止される。このような連結プレート８６により，上記のように，例えば，ナット把持部７０が，軸方向には移動できるものの，本体部８０に対して回転しないようにできる。
【００６１】
次に，ナット把持部７０の係止爪７２がナット４０の外周部を保持する態様について説明する。
【００６２】
まず，図７に基づいて，本実施形態にかかるナット把持部７０の係止爪７２について詳細に説明する。なお，図７（ａ），（ｂ）は，本実施形態にかかるナット把持部７０を示す平面図およびＡ−Ａ断面図である。
【００６３】
図７（ａ）に示すように，ナット保持本体部７１の上部には，例えば，２４つの掛止爪７２が円周方向に沿って略均等に配列されている。この係止爪７２は，上記のように合成樹脂などの弾性材料で形成されているので，外力が加わると，例えばナット把持部７０の直径方向に弾力的に可動である。よって，このように円環状に配列された複数の係止爪７２をナット４０の外周部に合わせて押し付けると，各々の係止爪７２が拡径する方向（外側）に撓んで，ナット４０の外周部と係合することができる。換言すると，例えば，ナット把持部７０をナット４０に押圧することにより，複数の係止爪７２の内側にナット４０を嵌め込むようにして，ナット把持部７０をナット４０に取り付けることができる。
【００６４】
この係止爪７２は，図７（ｂ）に示すように，先端に形成された係止用凸部７２ａと，その下部に形成された係止用凹部７２ｂとを有している。このような係止用凸部７２ａおよび係止用凹部７２ｂは，ナット４０の外周部に形成された被係合部（詳細は後述する。）と好適に係合するような形状で形成されている。このため，ナット４０に取り付けられた当該係止爪７２は，ナット４０の外周部を安定的に係止することができる。このようにして，それぞれの係止爪７２がナット４０の外周部を係止するので，ナット把持部７０はナット４０の外周部を好適に把持することができる。
【００６５】
次に，図８に基づいて，本実施形態にかかる特徴の１つであるナット４０について詳細に説明する。なお，図８（ａ），（ｂ）は，本実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００によって脱着されるナット４０を示す平面図および側面図である。また，図８（ｃ）は，従来のナット４０’を示す側面図である。
【００６６】
図８（ａ）に示すように，ナット４０は，例えば，その表面に例えば４つの係合孔４２が略均等に配されたフランジナットである。この係合孔４２は，本実施形態にかかる「ナットの表面部に形成された被係合部」として構成されており，上記ナット回転部６０の係合ピン６２と係合することができる。また，ナットの表面部とは，ナット４０を切削ユニット２０に取り付けたときに外側（ブレードと反対側）に現れる例えば略平坦面（例えば図８（ａ）に示されている面）である。
【００６７】
また，図８（ｂ）に示すように，このナット４０の外周部には，例えば，略テーパ形状の被係合部４４が形成されている。この被係合部４４は，上記係止爪７２の先端部の形状に応じた形状を有しており，係止爪７２がナット４０を係止しやすいように改良されている。
【００６８】
即ち，従来のナット４０は，図８（ｃ）に示すように，その外周部には段差がなく，係止爪７２が引っかかりにくい形状であった。これに対して，本実施形態にかかるナット４０は，例えば，比較的大径な中央部分から裏面側（フランジ２１側）に向かうにつれてその径が徐々に小さくなるような被係合部４４が形成されている。このため，上記係止爪７２は，例えば，その掛止用凸部７２ａを被係合部４４の小径な部分と接合させ，掛止用凹部７２ｂを被係合部４４からナット４０の中央部分にかけての部分と接合させることで，被係合部４４と好適に係合することができる。このため，係止爪７２は，ナット４０の外周部を係止した状態を容易に維持することができる。従って，ナット把持部７０は，大きな外力が加わらない限り，ナット４０の外周部を安定的に保持することができる。
【００６９】
次に，図９に基づいて，本実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００の位置決め手段について説明する。なお，図９は，本実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００のナット把持部７０，本体部８０および位置決め手段を示す説明図である。なお，図９では，説明の便宜上，ナット把持部７０を側面図として，本体部８０を一部切り欠き断面図として示してある。
【００７０】
図９に示すように，本実施形態にかかる位置決め手段は，例えば，本体部８０に設けられた例えば１組のボール部材８２およびばね部材８４と，ナット把持部材７０の外周面に形成された第１の溝７４および第２の溝７６と，から構成される。
【００７１】
ボール部材８２およびばね部材８４は，例えば，円筒形状を有する本体部８０に穿孔されたシリンダ内に配置される。ボール部材８２は，第１の溝７４または第２の溝７６と嵌合可能な形状を有しており，ばね部材８４の弾性力によってナット把持部材７０の外周面に向けて付勢されている。このため，ボール部材８２は，ナット把持部７０の移動により第１の溝７４または第２の溝７６が対応する位置にきたときには，当該溝７４，７６に嵌合することができる。
【００７２】
かかる構成により，位置決め手段は，例えば，本体部８０に対するナット把持部７０の位置として，取付位置と，固定位置という２つの位置を位置決めすることができる。
【００７３】
取付位置は，図９（ａ）に示すように，例えば，ボール部材８２と第２の溝７６が嵌合するときのナット把持部７０およびナット回転部６０の位置である。この取付位置では，ナット把持部７０の係止爪７２の大部分が本体部８０から脱しており，当該係止爪７２はナット４０の外周部の把持開放動作を行うことができる。即ち，かかる位置では，係止爪７２は，例えば，本体部８０の内側面８５によって移動が制限されていないので，拡径する方向に撓むことが可能である。このため，係止爪７２は，ナット４０の外周部に対して押圧された場合には，このナット４０の外周部を把持する動作（把持動作）が可能であり，ナット４０の外周部と係合することができる。また，係止爪７２は，ナット４０の外周部を既に把持しているときに，ナット４０の外周部から引き抜かれるような外力が働いた場合には，当該ナット４０の外周部を開放する動作（開放動作）が可能であり，ナット４０の外周部から離脱することができる。このように，ナット把持部７０が取付位置にあるときには，ナット把持部７０を，ナット４０の外周部に取り付け／取り外し可能であり，同時に，ナット回転部６０の係合ピン６２も，ナット４０の係合孔４２に取り付け／取り外し可能である。
【００７４】
一方，固定位置は，図９（ｂ）に示すように，例えば，ボール部材８２と第１の溝７４が嵌合するときのナット把持部７０およびナット回転部６０の位置である。この固定位置では，ナット把持部７０の係止爪７２の大部分が本体部８０内に収容されており，当該係止爪７２はナット４０の外周部の開放動作を行うことができない。即ち，かかる位置では，係止爪７２は，例えば，本体部８０の内側面上部８５によって移動が制限されているので，拡径する方向に撓むことが不可能である。このため，係止爪７２は，既にナット４０の外周部を把持している場合には，ナット４０に対してナット把持部７０から引き抜くような力が働いたとしても，このナット４０の外周部を開放する動作（開放動作）が制限されるので，ナット４０の外周部を保持した状態を維持できる。このように，ナット把持部７０が固定位置にあるときには，ナット把持部７０を，ナット４０の外周部から取り外し不能であり，よって，ナット回転部６０の係合ピン６２と，ナット４０の係合孔４２との係合を維持することができる。
【００７５】
以上のように，位置決め手段は，例えば，ナット回転部６０およびナット把持部７０をナット４０に着脱させるための取付位置と、ナット４０を固定維持するための固定位置とを制御することができる。
【００７６】
次に，図１０および図１１に基づいて，本実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００を用いたブレード脱着方法について説明する。なお，図１０は，本実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００を用いたブレード脱着方法を示すフローチャートである。また，図１１は，本実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００を用いたブレード脱着方法の各工程を示す工程断面図である。
【００７７】
図１０に示すように，まず，ステップＳ１００では，ロック装置５０を用いてスピンドル２４をロックする（ステップＳ１００）。
【００７８】
次いで，ステップＳ１０２では，ナット把持部７０およびナット回転部６０が取付位置にセットされる（ステップＳ１０２）。例えば，ブレード着脱補助装置１００のナット把持部７０を押すことによって、図１１（ａ）に示すように，ナット把持部７０およびナット回転部６０を本体部８０から突出させて，取付位置にセットする。この取付位置は，第２の溝７６にボール部材８２が係合する位置で位置決めされる。このようにナット把持部７０およびナット回転部６０を取付位置にセットすることにより，ナット把持部７０によるナット４０外周部の把持動作が可能となる。
【００７９】
さらに，ステップＳ１０４では，ブレード着脱補助装置１００がナット４０に取り付けられる（ステップＳ１０４）。まず，図１１（ａ）に示すように，ナット４０の係合孔４２とナット回転部６０の係合ピン６２の位置を合致させる。次いで，双方が合致したところで，ブレード着脱補助装置１００をナット４０側に押圧する。これにより，図１１（ｂ）に示すように，ナット回転部６０の係合ピン６２を係合孔４２に挿入して係合させるとともに，ナット把持部７０の係止爪７２をナット４０の外周部に係合させることができる。
【００８０】
その後，ステップＳ１０６では，ナット把持部７０およびナット回転部６０が固定位置にセットされる（ステップＳ１０６）。例えば，ブレード着脱補助装置１００の本体部８０を押すことによって、図１１（ｃ）に示すように，ナット把持部７０およびナット回転部６０を本体部８０に収容して，本体部８０の底部と同じ位置まで戻し，固定位置にセットする。この固定位置は，第１の溝７４にボール部材８２が係合する位置で位置決めされる。このようにナット把持部７０およびナット回転部６０を固定位置にセットすることにより，係止爪７２によるナット４０外周部の開放動作が制限されるようになる。従って，係止爪７２によるナット４０外周部の係止を保ちながら，ナット回転部６０の係合ピン６２と係合孔４２との係合を好適に維持できる。ブレード着脱補助装置にナットが固定維持された状態にする。
【００８１】
次いで，ステップＳ１０８では，ナット４０が切削ユニット２０から取り外される（ステップＳ１０８）。ブレード着脱補助装置１００の底部側には、例えば，ナット回転部６０の底部６８に穿孔されたレンチ用係合孔６４が現れるようになっている。このレンチ用係合孔６４に，例えば，Ｌ型のレンチ（図示せず。）等を係合して，ナット４０を弛緩する方向に回転させて，例えばフランジ２１のフランジ雄ねじ部２１ｃから螺脱させる。このようにＬ型のレンチ等を使用してナットを回転させるのは，例えば，締結されているナット４０を人力のみで弛緩させることが困難な弛緩作業の最初の段階だけであってもよい。この場合には、ナット４０をある程度弛緩させた後は，例えば，Ｌ型のレンチ等をレンチ用係合孔６４から取り外し、本体部８０の外周面等を把持してブレード着脱補助装置１００全体を回転させることによって、ナット４０を回転させて，取り外してもよい。
【００８２】
このように，本ステップでは，ナット回転部６０およびナット把持部７０が固定位置にある状態で，例えば，ナット４０と係合している状態のナット回転部６０を，当該ナット４０を螺脱する方向に回転させることにより，当該ナット４０を弛緩させてフランジ２１から取り外す。このとき，ナット回転部６０の係合ピン６２とナット４０の係合孔４２とが係合しているため，このナット回転部６０の回転力がナット４０にも好適に伝わる。
【００８３】
さらに，この弛緩時には，ナット把持部７０の開放動作が制限されており，掛止爪７２がナット４０の外周部を安定的に把持しているので，ナット回転部６０の係合ピン６２とナット４０の係合孔４２との係合状態を確実に維持することができる。従って，係合ピン６２が係合孔４２から外れないので，当該ナット４０の弛緩作業を容易かつ確実に行うことができる上に，係合ピン６２が空回りしてナット４０の表面を傷つけることもない。
【００８４】
なお，このような弛緩作業中には，スピンドル２４はロック装置５０によりロックされており回転しないので，ブレード着脱補助装置１００を用いてナット４０のみを好適に回転させることができる。
【００８５】
さらに，ステップＳ１１０では，ブレード２２が交換される（ステップＳ１１０）。このブレード２２の交換は，具体的には，まず，第２フランジ２１ｂを取り外した上で，ブレード２２を第１フランジ２１ａから取り外し，次いで，新たなブレード２２を第１フランジ２１ａに嵌め込んで，再び第２フランジ２１ｂを取り付けて，当該新たなブレード２２を第１フランジ２１ａおよび第２フランジ２１ｂで挟み込むようにして成される。
【００８６】
その後，ステップＳ１１２では，例えば，上記取り外されたナット４０が再び切削ユニット２０に取り付けられる（ステップＳ１１２）。上記ステップＳ１０４〜Ｓ１０８のようなナット４０の取り外しと逆の手順で，ナット４０がフランジ２１に取り付けられる。
【００８７】
即ち，まず，ブレード着脱補助装置１００のナット回転部６０およびナット把持部７０が固定位置にある状態で，当該ナット把持部７０によって把持されているナット４０を，フランジ２１のフランジ雄ねじ部２１ｃに位置合わせする。次いで，例えば，ブレード着脱補助装置１００を，ナット４０が螺入する方向に回転させることにより，図１１（ｃ）に示すように，当該ナット４０をフランジ２１に締結していく。このとき，ナット回転部６０の係合ピン６２とナット４０の係合孔４２とが係合しているため，このナット回転部６０の回転力がナット４０にも好適に伝わる。さらに，最終的な締結段階では，例えば，上記のようなＬ型のレンチ等を用いて当該ナット４０の締結を確実に行ってもよい。
【００８８】
このようなナット４０の締結時においても，ナット把持部７０の開放動作が制限されており，掛止爪７２がナット４０の外周部を安定的に把持しているので，ナット回転部６０の係合ピン６２とナット４０の係合孔４２との係合状態を確実に維持することができる。従って，係合ピン６２が係合孔４２から外れないので，当該ナット４０の締結作業を容易かつ確実に行うことができる上に，係合ピン６２が空回りしてナット４０の表面を傷つけることもない。
【００８９】
次いで，ステップＳ１１４では，ナット把持部７０およびナット回転部６０が取付位置にセットされる（ステップＳ１１４）。図１１（ｂ）に示すように，ナット把持部７０およびナット回転部６０を本体部８０から突出させて，取付位置にセットする。このようにナット把持部７０およびナット回転部６０を取付位置にセットすることにより，ナット把持部７０によるナット４０外周部の開放動作が可能となる。
【００９０】
さらに，ステップＳ１１６では，ブレード着脱補助装置１００がナット４０から取り外される（ステップＳ１１６）。ブレード着脱補助装置１００をナット４０とは反対側に引っ張ることで，図１１（ａ）に示すように，係合ピン６２を係合孔４２から抜き出すとともに，係止爪７２をナット４０の外周部から取り外す。このとき，ナット把持部７０は取付位置にあるため，係止爪７２が本体部８０内周面によってその開放動作を制限されることがなく，ナット４０外周部から好適に取り外し可能である。
【００９１】
その後，ステップＳ１１８では，ロック装置５０によるスピンドル２４をロックが解除される（ステップＳ１１８）。以上までのステップで，ブレード２２の交換作業が終了する。
【００９２】
以上，第１の実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００およびこれを用いたブレード脱着方法について説明した。かかるブレード着脱補助装置１００を用いてブレード２２及び／又はフランジ２１などを交換する場合には，以下のような利点がある。
【００９３】
まず，かかる交換作業では，ブレード着脱補助装置１００の係合ピン６２をナットの係合孔４２に挿入して係合させた状態を，容易かつ確実に維持することができる。このため，かかるブレード着脱補助装置１００によってナット４０を回転させたときに，係合ピン６２が係合孔４２から逃げて空回りしないので，ナット４０の締結／弛緩作業を容易かつ迅速に行うことができる。さらに，空回りした係合ピン６２によってナット４０表面を傷つけてしまうこともない。
【００９４】
また，ブレード着脱補助装置１００は，ナット把持部７０の掛止爪７２が，ナット４０の外周部と好適に係合した状態で当該ナット４０を把持できる。このため，ブレード交換時において，切削ユニット２０から取り外したナット４０，或いはこれから切削ユニット２０に取り付けようとするナット４０が，ブレード着脱補助装置１００から簡単に外れることがない。従って，ブレード交換作業におけるナット４０の取り扱いが便利になり，ナット４０を落下させて紛失してしまうこともない。
【００９５】
また，ブレード２２等の交換作業時には，ロック装置５０によってスピンドル２４を固定できる。このため，オペレータは，ブレード着脱補助装置１００を両手で取り扱うことができるので，容易かつ迅速にナット４０の締結・弛緩作業を行える。従って，かかる締結作業等には強い力が不要となり，女性などでも容易かつ確実に当該作業を行うことができる。また，ブレード着脱補助装置１００という力を入れやすく簡便な工具を１つだけ使用すれば済むので，当該交換作業を容易かつ迅速に行うことができる。
【００９６】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００９７】
例えば，上記実施形態では，切削装置としてダイシング装置１０の例を挙げて説明したが，本発明は，かかる例に限定されない。例えば，スピンドルにより高速回転するブレードを用いて被加工物を切削加工する装置であれば，例えば，ダイシング加工以外の切削加工を行う各種の切削装置であってもよい。
【００９８】
また，上記実施形態では，ブレード２２としてリング状の切刃部のみからなるいわゆるワッシャーブレードを用いたが，本発明は，かかる例に限定されない。例えば，図１２に示すように，基台となるハブ（ＨＵＢ）２２ｂ’と切刃部２２ａ’を一体形成したハブブレード２２’を用いてもよい。
【００９９】
さらに，上記実施形態では，ブレード２２をスピンドル２４に装着する手段としてフランジ２１を用いたが，本発明は，かかる例に限定されない。例えば，図１２に示すように，フランジ２１を用いることなく，ハブブレード２２’をナット４０により直接スピンドル２４に装着してもよい。
【０１００】
また，上記実施形態では，ボルトタイプの切削ユニット２０（ボルト２７を用いてフランジ２１等をスピンドル２４に装着するタイプ）に対して，ブレード着脱補助装置１００を適用する例について説明したが，本発明はかかる例に限定されない。上記ブレード着脱補助装置１００は，例えば，ナットタイプの切削ユニット２０（ナットを用いてブレード２２及び／又はフランジ２１をスピンドル２４に装着するタイプ）に対して，適用されてもよい。かかるナットタイプの切削ユニット２０は，例えば，図１３に示すように，ナット４００をスピンドル２４の雄ねじ部２４ｄに締結することにより，例えば，ブレード２２を挟持したフランジ２１をスピンドル２４に装着することができる。ブレード着脱補助装置１００は，上記実施形態のようなフランジ２１を締結するためのナット４０のみならず，このようなナットタイプの切削ユニット２０におけるナット４００を脱着するために用いることも可能である。
【０１０１】
また，上記実施形態では，係止部材５２を係合孔５８に押入するために加圧媒体としてエアを供給したが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，ロック装置５０の押圧手段は，加圧媒体として水や油などの流体を利用して，係止部材５２を押入するように構成してもよい。また，上記のように加圧媒体を利用するのではなく，各種の駆動装置を用いて機械的に直接，係止部材５２を押圧して，係合孔５８に挿入するように構成してもよい。
【０１０２】
また，上記実施形態では，弾性部材としてバネ部材５６を用いたが，かかる例に限定されず，弾性部材は，ゴム，その他の各種弾性体を用いて構成されてもよい。
【０１０３】
また，上記実施形態では，弾性部材であるバネ部材５６は，係止部材５２の頭部５２ａとシリンダ部５４の張出部５４ｃとの間に挟み込まれるようにして装着されたが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，弾性部材は，自然長より伸張した状態で，その両端がそれぞれ，係止部材５２の頭部５２ａと，シリンダ部５４の突起部５４ｂ周辺に対して固定されるように設置されてもよい。かかる構成によっても，当該弾性部材は，収縮しようとする方向の弾性力により，係止部材５２に対してスピンドル２４から離隔する方向の力を作用させることができる。
【０１０４】
また，上記実施形態にかかる回転制限部は，上記ロック装置５０として構成されていたが，かかるロック装置５０の例に限定されない。例えば，回転制限部は上記スピンドル２４の回転を制限することができる構成であれば，多様に設計変更可能である。例えば，回転制限部は，上記係止部材５２を手動で係合孔５８に挿抜するようなロック装置として構成されもよい。また，回転制限部の設置位置は，上記のように切削ユニット２０のスピンドルハウジング２６に限定されず，ダイシング装置１０内の任意の位置に設置されてもよい。
【０１０５】
また，上記実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００では，ナット把持部７０の複数の掛止爪７２がナット４０外周部を把持するように構成したが，本発明はかかる例に限定されない。ナット把持部７０は，ナット４０外周部を把持可能な治具であれば，多様に設計変更可能である。また，掛止爪７２は，上記実施形態の例に限定されず，その形状，配置態様，設置数等を任意に変更可能である。
【０１０６】
また，上記実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００では，ナット回転部６０およびナット把持部７０を別体に構成したが，かかる例に限定されず，例えば，双方を一体形成してもよい。また，上記実施形態では，ナット把持部７０をナット本体部８０に収容するように構成したが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，ブレード着脱補助装置１００は，本体部８０を必ずしも具備しなくてもよい。
【０１０７】
また，上記実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００では，ナット回転部６０の係合ピン６２と，ナット４０の係合孔４２とを係合させたが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，ナット回転部６０に係合孔を設け，一方，ナット４０に係合ピンを設けるなどして，ナット回転部６０とナット４０とが係合できるように構成してもよい。
【０１０８】
上記実施形態にかかるブレード着脱補助装置１００では，位置決め手段を，例えば，第１および第２の溝７４，７６，ボール部材８２およびバネ部材８４で構成したが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，位置決め手段としては，例えば，本体部８０に対する，ナット回転部６０およびナット把持部７０の位置を決定できるものであれば，多様に変更可能である。また，例えば，ボール部材８２およびバネ部材８４を複数組，本体部８０に設置してもよい。また，位置決め手段が決定する位置として，上記のような取付位置および固定位置以外の任意の位置を追加してもよい。
【０１０９】
【発明の効果】
以上説明したように，本発明にかかるブレード着脱補助装置は，ブレードを固定するためのナットを締結／弛緩する際に，当該ナットの外周部を把持することで，ナット回転部と当該ナットとの係合を確実に維持することができる。このため，かかるブレード着脱補助装置によってナットを回転させたときに，ナット回転部とナットとが空回りしないので，当該締結／弛緩作業を容易かつ迅速に行うことができるとともに，ナットを傷つけたり落下させたりすることもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は，第１の実施形態にかかるダイシング装置を示す全体斜視図である。
【図２】図２は，第１の実施形態にかかる切削ユニットを示す斜視図である。
【図３】図３は，第１の実施形態にかかる切削ユニットを分解して示した分解組立斜視図である。
【図４】図４は，第１の実施形態にかかるロック装置の構成およびスピンドルハウジングの内部構成を示す部分切り欠き側面図である。
【図５】図５は，第１の実施形態にかかるブレード着脱補助装置の全体構成を示す分解組立斜視図である。
【図６】図６は，第１の実施形態にかかるブレード着脱補助装置の全体構成を示す分解組立断面図である。
【図７】図７（ａ），（ｂ）は，第１の実施形態にかかるナット把持部を示す平面図および正面図である。
【図８】図８（ａ），（ｂ）は，第１の実施形態にかかるブレード着脱補助装置によって脱着されるナットを示す平面図および側面図である。図８（ｃ）は，従来のナットを示す側面図である。
【図９】図９は，第１の実施形態にかかるブレード着脱補助装置のナット把持部，本体部および位置決め手段を示す説明図である。
【図１０】図１０は，第１の実施形態にかかるブレード着脱補助装置を用いたブレード脱着方法を示すフローチャートである。
【図１１】図１１は，第１の実施形態にかかるブレード着脱補助装置を用いたブレード脱着方法の各工程を示す工程断面図である。
【図１２】図１２は，変更例にかかる切削ユニットを分解して示した分解組立斜視図である。
【図１３】図１３は，変更例にかかるナットタイプの切削ユニットに対して，ブレード着脱補助装置を用いてナットを締結弛緩する態様を示す説明図である。
【図１４】図１４は，従来のナット回転用治具を用いてナットを締結弛緩する態様を示す説明図である。
【符号の説明】
１０  ：  ダイシング装置
２０  ：  切削ユニット
２１  ：  フランジ
２１ａ  ：  第１フランジ
２１ｂ  ：  第２フランジ
２１ｃ  ：  フランジ雄ねじ部
２２  ：  ブレード
２４  ：  スピンドル
２６  ：  スピンドルハウジング
３０  ：  チャックテーブル
４０  ：  ナット
４２  ：  係合孔
４４  ：  被係合部
５０  ：  ロック装置
５２  ：  係止部材
５４  ：  シリンダ部
５６  ：  バネ部材
５８  ：  係合孔
６０  ：  ナット回転部
６２  ：  係合ピン
６４  ：  レンチ用係合孔
７０  ：  ナット把持部
７２  ：  掛止爪
７４  ：  第１の溝
７６  ：  第２の溝
８０  ：  本体部
８２  ：  ボール部材
８４  ：  バネ部材
８６  ：  連結プレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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