(57)【要約】【課題】露光処理にかかる作業を効率化すること。【解決手段】本発明は、露光装置を制御するためのパラメータ情報を処理する情報処理装置に係り、前記パラメータ情報に基づいて、所定の画像表示手段に適合したフォーマットに適合するように、前記フォーマットで画像を表示するための画像表示情報を生成する画像表示情報生成部６１１と、前記パラメータ情報を前記フォーマットに変換する変換部６１２と、前記フォーマットに変換された前記パラメータ情報を前記画像表示情報に追加する追加部６１３と、を備えることを特徴とする。【選択図】    図６
2004193208.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光装置を制御するためのパラメータ情報を処理する情報処理装置であって、
前記パラメータ情報に基づいて、所定の画像表示手段に適合したフォーマットに適合するように、前記フォーマットで画像を表示するための画像表示情報を生成する画像表示情報生成部と、
前記パラメータ情報を前記フォーマットに変換する変換部と、
前記フォーマットに変換された前記パラメータ情報を前記画像表示情報に追加する追加部と、
を備えることを特徴とする情報処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報処理装置に関し、具体的には、半導体素子や液晶素子等のデバイスを製造するための露光装置を制御することに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、露光装置の制御のために使われるジョブパラメータファイルは、露光装置の制御のみに使われるパラメータのみを含んでいた。従って、例えば、露光ショットのレイアウトの形状や様々な計測用に適切に選択されたサンプルショットを見る場合には、ジョブパラメータファイルを所定のメモリから装置にロードし、露光装置に専用に作成された専用アプリケーションを用いていた。
【０００３】
図７は、ジョブパラメータファイル７０１の大まかな処理の流れを示す概念図である。図７に示すコンソールユニット３３０は、図３のコンソールユニット３３０に対応している。コンソールユニット３３０は、露光システム６０１からジョブパラメータファイル７０１を書き出すことができる。また、コンソールユニット３３０は、コンソールユニットのメモリ３３２（図３を参照）に格納されたジョブパラメータファイル７０１を、露光システム６０１に読み込ませることができる。コンソールユニット３３０は、上記のジョブパラメータファイル７０１に基づいて、露光ショットのレイアウトの形状等の画像をディスプレイ等の出力装置１０２に表示するための専用アプリケーションがメモリ３３２に格納されている。このような専用アプリケーションは、例えば、Ｘ−ＷｉｎｄｏｗのＭｏｔｉｆで、例えばＣ言語等のプログラミング言語を用いてプログラムミングする場合、少なくとも数千行のステップ数以上のプログラムが必要であり、多くの作業時間を要する。
【０００４】
また、最近では、露光装置以外の処理装置（例えば、パーソナルコンピュータ等）でジョブを扱って、露光ショットのレイアウトの形状を確認したい、或いは、露光装置以外の処理装置でジョブパラメータファイルを編集したい等の要求も多くなってきている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、露光装置以外の処理装置で、露光ショットのレイアウトの形状等を見るためには、露光ショットのレイアウトの形状等を表示するために、処理装置に合わせて専用アプリケーションを個別に作成して、各々のパーソナルコンピュータに専用アプリケーションをインストールする必要がある。このように、露光装置以外の処理装置では、ユーザがジョブパラメータファイルの内容を確認するために、レイアウトの形状等を表示させるようにするためには、膨大な作業を要する。従って、上記の要求に答えることができないという問題点がある。
【０００６】
また、露光装置以外の処理装置でジョブパラメータファイルの編集をするためには、上記の専用アプリケーションを処理装置に合わせて改良し、更に多くのステップ数を含むプログラムを作成しなければならないため、露光に関する処理にかかる作業を効率的に進めることが困難である。
【０００７】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、露光に関する処理にかかる作業を効率化することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、露光装置を制御するためのパラメータ情報を処理する情報処理装置であって、前記パラメータ情報に基づいて、所定の画像表示手段に適合したフォーマットに適合するように、前記フォーマットで画像を表示するための画像表示情報を生成する画像表示情報生成部と、前記パラメータ情報を前記フォーマットに変換する変換部と、前記フォーマットに変換された前記パラメータ情報を前記画像表示情報に追加する追加部と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
［実施形態１］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る半導体露光装置の外観を示す斜視図である。図１に示すように、この半導体露光装置は、装置本体の環境温度制御を行なう温調チャンバ１０１と、その内部に配置され、装置本体の制御を行う本体ＣＰＵ３２１（図３を参照）を有するＥＷＳ本体１０６と、装置における所定の情報を表示するＥＷＳ用ディスプレイ装置１０２、装置本体において撮像手段を介して得られる画像情報を表示するモニタＴＶ１０５、装置に対し所定の入力を行うための操作パネル１０３、ＥＷＳ用キーボードｌ０４等を含むコンソールユニット３３０とを備えている。図１において、１０７はＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８は非常停止スイッチ、１０９は各種スイッチ、マウス等、１１０はＬＡＮ通信ケーブル、１１１はコンソールユニット３３０からの発熱用の排気ダクト、１１２はチャンバの排気装置である。半導体露光装置本体は、温調チャンバ１０１の内部に設置される。
【００１０】
ＥＷＳ用ディスプレイ装置１０２は、ＥＬ、プラズマ、液晶等を用いた薄型フラットタイプであり、温調チャンバ１０１前面に納められ、ＬＡＮケーブル１１０によりＥＷＳ本体１０６と接続される。操作パネル１０３、キーボード１０４、モニタＴＶ１０５等も温調チャンバ１０１前面に設置し、温調チャンバ１０１前面から従来と同様のコンソール操作が行えるようにしてある。
【００１１】
図２は、図１の半導体露光装置の内部構造を示す図である。図２においては、半導体露光装置としてのステッパが示されている。図２に示すように、光源装置２０４から出た光束が照明光学系２０５を通ってレチクル２０２に照明されて、投影レンズ２０６によってレチクル２０２上のパターンがウエハ２０３上の感光層に転写される。レチクル２０２は、レチクル２０２を保持し、移動させるためのレチクルステージ２０７によって、支持されている。ウエハ２０３は、ウエハチャック２９１によって、真空吸着された状態で露光される。ウエハチャック２９１は、ウエハステージ２０９によって、各軸方向に移動可能である。レチクル２０２の上側には、レチクル２０２の位置ずれ量を検出するためのレチクル光学系２８１が配置される。ウエハステージ２０９の上方には、投影レンズ２０６に隣接してオフアクシス顕微鏡２８２が配置されている。オフアクシス顕微鏡２８２の主な役割は、内部の基準マークとウエハ２０３上のアライメントマークとの相対位置検出を行うことである。また、ステッパ本体に隣接して、周辺装置であるレチクルライブラリ２２０やウエハキャリアエレベータ２３０が配置され、必要なレチクル２０２やウエハ２０３は、レチクル搬送装置２２１及びウエハ搬送装置２３１によって、ステッパ本体に搬送される。
【００１２】
温調チャンバ１０１は、主に空気の温度調節を行う空調機室２１０、微小異物を濾過し清浄空気の均一な流れを形成するフィルタボックス２１３、及び装置環境を外部と遮断するブース２１４によって構成されている。温調チャンバ１０１内では、空調機室２１０内にある冷却器２１５及び再熱ヒータ２１６によって温度調節された空気が、送風機２１７によってエアフィルタｇを介してブース２１４内に供給される。ブース２１４に供給された空気は、リターン口ｒａから再度、空調機室２１０に取り込まれて、温調チャンバ１０１内を循環する。通常、温調チャンバ１０１は、厳密には完全な循環系ではなく、ブース２１４内を常時陽圧に保つために、循環空気量の約１割のブース２１４外の空気を、空調機室２１０に設けられた外気導入口ｏａより送風機を介して導入している。このようにして、温調チャンバ１０１は、装置本体が置かれる環境温度を一定に保ち、かつ、空気を清浄に保つことを可能にしている。また、光源装置２０４には、超高圧水銀灯の冷却やレーザ異常時の有毒ガスの発生等に備えて、吸気口ｓａと排気口ｅａとが設けられ、ブース２１４内の空気の一部が光源装置２０４を経由し、空調機室２１０に備えられた専用の排気ファンを介して、工場設備に強制排気されている。また、空気中の化学物質を除去するための化学吸着フィルタｃｆが、空調機室２１０の外気導入口ｏａ及びリターン口ｒａにそれぞれ備えられている。
【００１３】
図３は、図１の半導体露光装置の電気回路構成を示すブロック図である。図３において、本体ＣＰＵ３２１は、マイクロコンピュータ又はミニコンピュータ等の中央演算処理装置を備え、ＥＷＳ本体１０６に内蔵されて、装置全体を制御する。具体的には、本体ＣＰＵ３２１は、ウエハステージ駆動装置３２２、オフアクシス顕微鏡２８２等のアライメント検出系３２３、レチクルステージ駆動装置３２４、光源装置２０４等の照明系３２５、シャッタ駆動装置３２６、フォーカス検出系３２７、Ｚ駆動装置３２８等を制御する。搬送系３２９は、レチクル搬送装置２２１、及びウエハ搬送装置２３１等の搬送系である。
【００１４】
コンソールユニット３３０は、ディスプレイ１０２、及びキーボード１０４等を備え、本体ＣＰＵ３２１に半導体露光装置の動作に関する各種のコマンドやパラメータを与える。すなわち、コンソールユニット３３０は、オペレータとの間で情報の授受を行うために用いられる。コンソールＣＰＵ３３１は、コンソールユニット３３０の各構成要素を制御するＣＰＵである。メモリ３３２は、各種ジョブのパラメータを含むパラメータファイル等を記憶する記憶装置である。メモリ３３２は、コンソールユニット３３０内に配置されてもよいし、コンソールユニット３３０の外部に外部メモリとして配置されてもよい。ジョブパラメータには、例えば、アライメント方法、露光時のフォーカス量、露光量、レイアウトデータ、各種計測用のサンプルショット等のパラメータ情報が含まれる。
【００１５】
図４は、本発明に係るパラメータファイルの構造の一例を示す図である。図４に示すように、パラメータファイル４０１は、露光装置を制御するためのパラメータ情報を含むパラメータ情報部４０２と、パラメータ情報に基づいて所定の画像表示手段に適合したフォーマットで画像を表示するための画像表示情報を含む画像表示情報部４０３によって構成される。パラメータ情報部４０２は、従来から使用されているパラメータファイルに含まれるパラメータ情報と同様の内容を含む。画像表示情報部４０３は、例えば、ＳＶＧ  Ｖｉｅｗｅｒ等の標準のＶｉｅｗｅｒや、所定のプラグインが組み込まれたＷｅｂブラウザ等に画像を表示するための画像表示情報を含む。このようなパラメータファイル４０１は、本実施形態では、複合パラメータファイルと名付けている。ここでは、複合パラメータファイル４０１は、パラメータ情報部４０２と、画像表示情報部４０３とを含む場合を例として示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、複合パラメータファイル４０１は、パラメータ情報部４０２を含まずに構成されてもよい。
【００１６】
図５は、本発明に係る複合パラメータファイル５０１の構造のもう一つの例を示す図である。図５では、画像表示情報部５０３の中にパラメータ情報部５０２が組み込まれている例を示している。以下、本実施形態では、図５に示す複合パラメータファイル５０１を用いた場合を一例として説明する。また、図４と同様に、画像表示情報部５０３は、例えば、ＳＶＧ  Ｖｉｅｗｅｒ等の標準のＶｉｅｗｅｒや、所定のプラグインが組み込まれたＷｅｂブラウザ等に画像を表示するための画像表示情報を含む。パラメータ情報部５０２は、従来から使用されているパラメータファイルに含まれるパラメータ情報と同様の内容を含むが、画像表示情報部５０３の中に必要に応じて散りばめられて配置されている。
【００１７】
図６は、複合パラメータファイル５０１の大まかな処理の流れを示す概念図である。露光システム６０１は、半導体製造装置、ジョブパラメータを含むパラメータファイル７０１を管理するジョブサーバ等の装置システム、或いは、ジョブパラメータ等をＷｅｂサーバで管理するシステム等を含む。コンソールユニット３３０は、露光システム６０１から複合パラメータファイル５０１を書き出すことができ、この場合の処理シーケンスは、図８のフローチャートに示されている。また、コンソールユニット３３０は、露光システム６０１に複合パラメータファイル５０１を読み込ませることができ、この処理シーケンスは、図９のフローチャートに示されている。
【００１８】
画像表示手段６０２は、規定の記述方法に準拠した画像表示情報を読み込んで、その画像表示情報に対応した画像を表示する。上記の規定された記述方法に準拠した画像表示手段６０２としては、例えば、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ社のＩｎｔｅｒｎｅｔ  ＥｘｐｌｏｒｅｒにＡｄｏｂｅ社のＳＶＧ  Ｖｉｅｗｅｒをプラグインしたものを用いることができる。画像表示手段６０２は、上記の複合パラメータファイル５０１を読み込んで画像を表示する。この場合、複合パラメータファイル５０１の画像表示情報部５０３の情報に基づいて画像が描かれるが、パラメータ情報部５０２の情報は、コメント文、説明文、画像のアトリビュート等として組み込まれているため、直接的には画像としては描かれない。
【００１９】
コンソールユニット３３０が露光システム６０１から複合パラメータファイル５０１を書き出す場合について、図８のフローチャートを使って説明する。ここでは、画像表示情報部５０３は、ＳＶＧ（Ｓｃａｌａｂｌｅ  Ｖｅｃｔｏｒ  Ｇｒａｐｈｉｃｓ）形式で、ＸＭＬ文書として記述されているため、通常、同じタグのセットで囲まれた部分は一つの文章として扱われるが、本実施形態の説明で使う文章は、通常のＸＭＬの文章の単位とは異なり、後で説明する図１０の１行に当たる一度に書く文、または、一行の文を文章と呼んで説明する。また、以下の説明では、パラメータ情報に用いられる文章等であって、画像を表示しない文章も画像表示情報に含まれる。また、画像表示情報部５０３は、パラメータの値によって、書く内容と順番とがほぼ決まっている。パラメータ情報部５０２を画像表示情報部５０３に追加する部分をわかりやすく説明するために、ここでは、メモリ３３２に保存しているジョブパラメータをコンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に読み込んで、画像を描くためのテンプレートとしてのテンプレート画像表示情報セットを下記のように準備する。
【００２０】
このテンプレート画像表示情報セットに対して、図８のフローチャートに示す処理でパラメータ情報部５０２を追加するものとする。そのために、コンソールユニット３３０の条件設定部６１０（図６を参照）は、露光システム６０１からのパラメータ情報に基づいて、画像表示手段６０２に適合したフォーマットで画像を表示するための条件を設定する。また、コンソールユニット３３０の画像表示情報生成部６１１は、パラメータ情報に基づいて、条件設定部６１０で設定された条件に適合するように、フォーマットで画像を表示するための画像表示情報部５０３を生成する。具体的には、条件設定部６１０は、画像を表示するための画像表示情報５０３部をパラメータ情報に含まれるパラメータの値（例えば、ショット数）等によって、文章の行数を増減したり、文章の可変部分に実際の数値や文字列を後で設定できるようにしたりする。次に、画像表示情報生成部６１１は、画像を描くためのテンプレートとしてのテンプレート画像表示情報セットを図８のフローチャートで示される処理の前に作成して、コンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に準備する。
【００２１】
以下、露光システム６０１から複合パラメータファイル５０１を書き出す場合の処理について、図８のフローチャートをステップに沿って説明するが、この処理はコンソールＣＰＵ３３１によって行われ、作成された複合パラメータファイル５０１はメモリ３３２に保存される。
【００２２】
まず、ステップＳ８０１で、メモリ３３２に格納された上記のテンプレート画像表示情報セットから画像表示情報部５０３を含む文章をコンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に用意する。次に、ステップＳ８０２で、画像表示情報部５０３を含む文章がパラメータ情報を含むかどうかを調べる。後述する図１０、図１１の例の場合、画像と直接の関連のないパラメータ情報は、＜ｄｅｓｃ＞と＜／ｄｅｓｃ＞のタグで囲まれた１１０３部分に記述されている。１１１０の文章は、ｉｄがＳ１である露光ショットの配列を含むショットレイアウトの画像を描くための部分であり、１１１２、１１１３の文章は、それぞれｉｄがＧＴＩＬＴ１、ＴＰＯＣ１である各種計測に使用される各種サンプルショットの画像を描くための部分である。画像表示情報部５０３を含む文章がパラメータ情報を含めば、次にステップＳ８０３に進み、パラメータ情報を含まなければステップＳ８０５に進む。ステップＳ８０３では、コンソールユニット３３０の変換部６１２が、メモリ３３２に保存されている露光装置を制御するためのジョブパラメータから、コンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に読み込んだパラメータ情報のデータを、画像表示手段６０２に適合したフォーマットに変換する。コンソールユニット３３０の追加部６１３は、上記フォーマットに変換されたパラメータ情報部５０２を画像表示情報部５０３に追加する。変換されたパラメータ情報部５０２は、１１０３のようにパラメータ情報を示すタグ（例えば、＜ｄｅｓｃ＞）を持っているものや、図１０の例には示されてない、例えば、”ＰＩＤ：データ”のように複数のパラメータＩＤとその値が対になっている文字列であったり、”１１１０”、”１１１２”、”１１１３”のようにアトリビュートであってもよい。変換されたパラメータ情報部５０２は、特定の形式に限定されるわけではなく、基になる画像表示情報部５０３の表示形式に準拠していればどのような形式であってもよい。次にステップＳ８０４で対象になっている画像表示情報部５０３に追加するパラメータ情報がまだあるか否かを調べる。追加するパラメータ情報がまだあれば、ステップＳ８０３に戻り、追加するパラメータ情報がなければ、ステップＳ８０５に進む。ステップＳ８０５では、対象になっている画像表示情報部５０３をメモリ３３２から複合パラメータファイル５０１に書き出す。画像表示情報部５０３は、コンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に用意したものであり、ここまでの処理でパラメータ用の文が入っているものと、入っていないものがある。画像表示情報部５０３の書き出しが終了すると、ステップＳ８０６に進む。ステップＳ８０６では対象になっている画像表示情報が画像表示情報セットの終わりの文章であるか否かを調べる。図１１の例では１１０２の＜／ｓｖｇ＞が終わりの文章を示す。終わりの文章でなければステップＳ８０１から繰り返し、終わりの文章であれば処理を終了する。
【００２３】
以上により、露光システム６０１に必要なパラメータ情報部５０２を含み、画像表示手段６０２によって画像表示可能な複合パラメータファイル５０１が作られる。
【００２４】
次に、コンソールユニット３３０が、露光システム６０１に複合パラメータファイル５０１を読み込ませる場合について、図９のフローチャートを使って説明する。画像表示情報部５０３は、ＳＶＧ形式でＸＭＬ文書として書かれているため、通常、同じタグのセットで囲まれた部分が一つの文章として扱われるが、本実施形態の説明で使う文章は、ＸＭＬの文章の単位とは異なり、後で説明する図１０の１行に当たる一度に書く文、または、一行の文を文章と呼んで説明する。また、以下の説明では、パラメータ情報に用いられる文章等であって、画像を表示しない文章も画像表示情報に含まれる。
【００２５】
以下、露光システム６０１に複合パラメータファイル５０１を読み込ませる場合の処理について、ステップに沿って説明するが、この処理はコンソールＣＰＵ３３１によって行われ、作成されたパラメータファイルはメモリ３３２に保存される。
【００２６】
まず、ステップＳ９０１で、複合パラメータファイル５０１から画像表示情報部５０３を読み込む。次にステップＳ９０２で、読み込んだ画像表示情報部５０３がパラメータ情報を含む文章であるか否かを判断する。図８で説明したように、パラメータ情報を含む文は、１１０３のようにパラメータ情報を示すタグ（例えば、＜ｄｅｓｃ＞）を持っているものや、図１１の例にはないが、例えば、複数のパラメータＩＤとその値が対になっている文字列であったり、”１１１０”、”１１１２”、”１１１３”のようにアトリビュートであってもよい。これらは、特定の形式に限定されるわけではなく、基になる画像表示情報の表示形式に準拠していればどのような形式であってもよいが、予めその形式が分かっているものとする。
【００２７】
パラメータ情報を含む文章であれば、ステップＳ９０３に進み、パラメータ情報を含む文章でなければ、ステップＳ９０５に進む。ステップＳ９０３では、次のパラメータ情報を含む文章から、パラメータを特定するＩＤ等とそのパラメータの値を取り出して、この値をコンソールＣＰＵ３３１内のメモリ上にあるパラメータの値を設定するための対応するアドレスにセットする。これを露光システム６０１に送ることによって、露光システム６０１の動作が変更される。パラメータの値が上記アドレスにセットされると、ステップＳ９０４に進む。ステップＳ９０４では読み込んだ画像表示情報部５０３に、まだ、パラメータ情報を含む文章が残っているか否かを判断する。パラメータ情報を含む文章が残っていれば、ステップＳ９０３から処理を繰り返し、パラメータ情報を含む文が残っていなければステップＳ９０５に進む。ステップＳ９０５では、読み込んだ文章が画像表示情報部５０３の終わりの文章であるかどうかを調べる。終わりの文章であれば、一連の処理を終了する。
【００２８】
以上によって、複合パラメータファイル５０１の中にあるパラメータ情報を全て露光システム６０１に読み込ませることができる。終わりの文章でなければ、ステップＳ９０１から繰り返す。
【００２９】
本実施形態において処理される画像表示情報部５０３の（ＳＶＧ文章）の一例を図１０に示す。この例を簡略化したものを図１１に示し、以下、図１１を使って簡単に説明する。ここでの説明では、一例として、上記のＳＶＧ  ＶｉｅｗｅｒをプラグインしたＩｎｔｅｒｎｅｔ  Ｅｘｐｌｏｒｅｒを画像表示手段６０２として用いる場合について説明する。また、このＳＶＧ文章を用いて画像表示手段６０２が表示した画像を図１２に示す。図１１において、ＳＶＧ文章の全体部分１１０１は、ＸＭＬ宣言と、文章型宣言とを含む。＜ｓｖｇ＞と＜／ｓｖｇ＞のタグで囲まれた部分１１０２は、画像表示情報部５０３の本文を書く部分である。ここで、パラメータ用の名前とＳＶＧ用の名前との区別がつくように、パラメータ用の名前にはｊｏｂという文字列をネームスペース（名前空間）で定義している。ただし、パラメータ用の名前とＳＶＧ用の名前とで同じ名前を使わない場合は、ネームスペースを使う必要はない。＜ｄｅｓｃ＞と＜／ｄｅｓｃ＞のタグで囲まれた部分１１０３は、ＳＶＧファイルの説明を書く場所として用いられるが、本実施形態では、この中の＜ｐａｒａｍｓ＞と＜／ｐａｒａｍｓ＞のタグで囲まれた部分に画像に直接の関連のない一般的なパラメータを入れるようにしている。個々のパラメータは、＜ｐａｒａｍ＞と＜／ｐａｒａｍ＞のタグで囲まれた部分にｉｄで指定されたパラメータＩＤとその値が入っている。この例では、最初のパラメータｉｄであるＰ１＿１２３４５のパラメータの値が１２３．４５である。この例では、パラメータは３個しか示されていないが、実際には多くのパラメータがこの部分に記述されうるる。次に１１０４の＜ｐａｔｈ／＞のタグの部分で円形のウエハの画像を描く。１１０５はウエハの直径値を表示する部分である。１１０６は、ウエハ上に描かれるショットレイアウト、及びサンプルショットに用いられる部分である。１１０７には後に用いられる定義が記述されている。１１０８にはショットレイアウトの描画に使う定義が、１１０９にはサンプルショットの描画に使う定義それぞれ記述されている。１１１０はショットレイアウトを描画する部分である。この中の各ショットを描画するための＜ｕｓｅ／＞タグの中にｒｏｗ番号、ｃｏｌｕｍｎ番号、ｘ座標、ｙ座標、フォーカス値、露光量のジョブパラメータの値等がアトリビュートとして入っている。１１１１はＣｏｌｕｍｎ、Ｒｏｗとその番号を描画する部分である。１１１２はｉｄがＧＴＩＬＴのサンプルショットを描画する部分である。ただし、これは１１１４で描画されるＧＴＩＬＴのボタンを押した場合に１秒間だけ表示される。１１１３はｉｄがＴＰＯＣのサンプルショットを描画する部分である。ただし、これも１１１５で描画されるＴＰＯＣのボタンを押した場合に１秒間だけ表示される。１１１２、１１１３の各ショットを描画する＜ｕｓｅ／＞タグの中には、ｒｏｗ、ｃｏｌｕｍｎのジョブパラメータの値がアトリビュートとして入っている。
【００３０】
本実施形態の情報処理装置として、段落００１７に記載したように、露光システムは本実施形態に限定されず、半導体製造装置、ジョブを管理するジョブサーバ、インターネット、イントラネット等からアクセスできるウエブサーバ等に適用されてもよく、露光装置を制御するためのパラメータを管理する装置であればどのようなものにも適用されうる。さらに、コンソールユニットを含んだものが露光システムであってもよい。また、本実施形態では、複合パラメータファイルは、露光システムに接続されたコンソールユニットの記憶装置に記憶されているが、本発明はこれに限定されない。複合パラメータファイルは、例えば、接続可能な外部の記憶装置やリムーバブルの記憶メディアに記憶されてもよい。また、複合パラメータファイルは、関連するデータを集めた抽象的なファイルであって、メディアに記憶されていないものであってもよい。例えば、複合パラメータファイルは、通信されるデータの集まりや、パラメータの存在する場所を示したものであってもよい。また、本実施形態では、ＳＶＧファイル一つに全ての文章が入っているが、例えは、ＨＴＭＬファイル中にＳＶＧファイル、ＸＭＬファイル等が存在するアドレスが示されて、複数のファイルから構成されてもよい。また、本実施形態では、複合パラメータファイルに対する処理は、文字列のファイルに対する処理として書かれているが、ＤＯＭ（Ｄｏｃｕｍｅｎｔ  Ｏｂｊｅｃｔ  Ｍｏｄｅｌ）に対する処理であってもよい。
【００３１】
これによって、露光装置以外の処理装置でもジョブパラメータファイルのレイアウトや、サンプルショットの画像をどこにでもある標準のツールで簡単に見ることができ、ジョブパラメータファイルの取り扱いが簡単になる。
【００３２】
［実施形態２］
実施形態１は、露光装置以外の処理装置でもパラメータファイルの内容を画像で表示できるようにしたものであるが、本実施形態によれば、さらに、パラメータファイルの中にあるパラメータを編集することも可能である。その方法を実施形態２として示す。実施形態１との違いは、複合パラメータファイルを書き出すところであり、複合パラメータファイルを読み込ませるところは実施形態１と同じである。また、その処理方法も図９で示されたフローチャートと同様の処理なので、ここではファイルに書き出すところを説明する。
【００３３】
図１３は、本発明に係る複合パラメータファイルの構造の一例を示す図である。複合パラメータファイル１３０１は、図４の複合パラメータファイル４０１に加えて、スクリプト部１３０２を新たに含む。パラメータ情報部４０２は、従来から使用されているパラメータファイルに含まれるパラメータ情報と同様の内容を含む。画像表示情報部４０３は、例えば、ＳＶＧ  Ｖｉｅｗｅｒ等の標準のＶｉｅｗｅｒや、所定のプラグインが組み込まれたＷｅｂブラウザ等に画像を表示するための画像表示情報を含む。スクリプト部１３０２は、パラメータ部４０２や、画像表示情報部４０３を編集するプログラムを含む部分である。ここでは、複合パラメータファイル１３０１は、パラメータ情報部４０２と、画像表示情報部４０３と、スクリプト部１３０２とに分かれている場合を例として示している。
【００３４】
図１４は、本発明に係る複合パラメータファイル１４０１の構造のもう一つの例を示す図である。図１４では、画像表示情報部５０３の中にパラメータ情報部５０２、スクリプト部１４０２が組み込まれている例を示している。以下、本実施形態の説明は、図１４に示す複合パラメータファイル１４０１を用いた場合を一例として説明する。また、画像表示情報部５０３は、例えば、ＳＶＧ  Ｖｉｅｗｅｒ等の標準のＶｉｅｗｅｒ等で画像を描くための画像表示情報を含む。パラメータ情報部５０２は、従来に使用されているパラメータファイルと同様の内容を含む。スクリプト部１４０２は、パラメータ情報部５０２や、画像表示情報部５０３を編集するプログラムを含む。パラメータ情報部５０２は、従来から使用されているパラメータファイルに含まれるパラメータ情報と同様の内容の部分であるが、画像表示情報部５０３の中に必要に応じて散りばめられて配置されている。複合パラメータファイル１４０１は、画像表示情報部５０３の中にパラメータ情報部５０２とスクリプト部１４０２とを含んで構成されている。
【００３５】
図１５は、複合パラメータファイル１４０１の大まかな処理の流れを示す概念図である。露光システム６０１は、半導体製造装置、ジョブパラメータを含む複合パラメータファイル１４０１を管理するジョブサーバ等の装置システム、或いは、ジョブパラメータ等をＷｅｂサーバで管理するシステム等を含む。コンソールユニット３３０は、露光システム６０１から複合パラメータファイル１４０１を書き出すことができ、この場合の処理シーケンスは、図１６のフローチャートに示されている。コンソールユニット３３０は、露光システム６０１に複合パラメータファイル１４０１を読み込ませることができ、この処理シーケンスは、図９のフローチャートに示されている。画像表示手段６０２は、規定の記述方法に準拠した画像表示情報部５０３を読み込むと、その文章に対応した画像を表示する、さらに、画像表示手段６０２は、スクリプト部１４０２のプログラムを実行して、オペレータの操作等によってパラメータ情報部１４０１や、画像表示情報部５０３を修正し、パラメータ編集エディタの機能を実現することがきる。後述する１８０３に配置されるような画像に直接の関連のない単純なパラメータは、パラメータ名とその値を表示して、その値を変更できるようにするだけで、以下で説明する画像であらわすパラメータの編集と仕組みが基本的には同じなので省略する。ここでは、画像表示手段６０２としては、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ社のＩｎｔｅｒｎｅｔ  ＥｘｐｌｏｒｅｒにＡｄｏｂｅ社のＳＶＧ  Ｖｉｅｗｅｒをプラグインしたものを用いることができる。画像表示手段６０２は、上記の複合パラメータファイル１４０１を読み込んでその画像を表示する。この場合、複合パラメータファイル１４０１の画像表示情報部５０３の情報によって画像が描かれるが、パラメータ情報部５０２やスクリプト部１４０２の情報はコメント文、説明文、画像のアトリビュート等として組み込まれているため、直接的には画像としては描かれない。
【００３６】
コンソールユニット３３０が露光システム６０１から複合パラメータファイル１４０１を書き出す場合について、図１６のフローチャートを使って説明する。ここでは、画像表示情報部５０３は、ＳＶＧ形式で、ＸＭＬ文章として記述されているため、通常、同じタグのセットで囲まれた部分が一つの文章として扱われるが、本実施形態の説明で使う文章は、ＸＭＬの文章の単位とは異なり、後で説明する図１７の１行に当たる一度に書く文、または、一行の文を文章と呼んで説明する。また、以下の説明では、パラメータ情報に用いられる文章等であって、画像を表示しない文章も画像表示情報に含まれる。また、画像表示情報は、パラメータの値によって、書く内容と順番とがほぼ決まっている。そして、パラメータ情報部５０２とスクリプト部１４０２とを画像表示情報部５０３に追加する部分をわかりやすく説明するために、ここでは、メモリ３３２に保存しているジョブパラメータをコンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に読み込んで、画像を描くためのテンプレートとしてのテンプレート画像表示情報セットを下記のように準備し、それに対して、図１６のフローチャートに示す処理でパラメータ情報部５０２、及びスクリプト部１４０２を追加するものとする。そのために、コンソールユニット３３０の条件設定部６１０は、露光システム６０１からのパラメータ情報に基づいて、画像表示手段６０２に適合したフォーマットで画像を表示するための条件を設定する。また、コンソールユニット３３０の画像表示情報生成部６１１は、パラメータ情報に基づいて、条件設定部６１０で設定された条件に適合するように、上記のフォーマットで画像を表示するための画像表示情報部５０３を生成する。具体的には、条件設定部６１０は、画像を表示するための画像表示情報部５０３をパラメータ情報等に含まれるパラメータの値（例えは、ショット数）等によって、文章の行数を増減したり、文章の可変部分に実際の数値や文字列を後で設定できるようにしたりする。次に、画像表示情報生成部６１１は、画像を描くためのテンプレートとしての画像表示情報セットを図１６のフローチャートで示される処理をする前に作成して、コンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に準備する。後で、画像表示情報部５０３に追加するスクリプト部１４０２も上記テンプレートと同様にパラメータに合ったものをコンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に準備する。以下、露光システム６０１から複合パラメータファイル１４０１を書き出す場合の処理について、図１６のフローチャートをステップに沿って説明するが、この処理はコンソールＣＰＵ３３１によって行われ、作成されたパラメータファイルはメモリ３３２に保存される。
【００３７】
図１６のフローチャートに沿って、パラメータ編集機能を持った複合パラメータファイルの書き出し処理について説明する。前半ステップＳ１６０１からＳ１６０４は、図９のステップＳ８０１からＳ８０４と同様である。
【００３８】
まず、ステップＳ１６０１で、メモリ３３２に格納されたテンプレート画像表示情報セットから画像表示情報部５０３をコンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に用意する。次に、ステップＳ１６０２で、パラメータ情報を含む文章か否かを判断する。後で説明する図１７、図１８の例の場合、画像と直接の関連のないパラメータは＜ｄｅｓｃ＞と＜／ｄｅｓｃ＞のタグで囲まれた１８０３部分に記述される、１８０９の文章は、ｉｄがＳ１である露光ショットの配列を含むショットレイアウトの画像を描くための部分である。パラメータ情報を含む文章であれば、次にステップＳ１６０３に進み、パラメータ情報を含む文章でなければステップＳ１６０５に進む。ステップＳ１６０３では、コンソールユニット３３０の変換部６１２が、メモリ３３２に保存している露光装置を制御するためのジョブパラメータから、コンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に読み込んでいるパラメータ情報のデータを、画像表示手段６０２に適合したフォーマットに変換する。コンソールユニット３３０追加部６１３は、上記フォーマットに変換されたパラメータ情報部５０２を画像表示情報部５０３に追加する。変換されたパラメータ情報部５０２は、１８０３のようにパラメータ情報を示すタグを持っているものや、図１７の例には示されていないが、例えば、”ＰＩＤ：データ”のように複数のパラメータＩＤとその値が対になっている文字列であったり、”１８０９”のようにアトリビュートであってもよい。変換されたパラメータ情報部５０２は、特定の形式に限定されるわけではなく、基になる画像表示情報の表示形式に準拠していればどのような形式でもよい。次にステップＳ１６０４で対象になっている画像表示情報部５０３に、追加するパラメータ情報がまだあるか否かを調べる。追加するパラメータ情報がまだあれば、ステップＳ１６０３に戻り、追加するパラメータ情報がなければ、ステップＳ１６０５に進む。ステップＳ１６０５では、対象になっている画像表示情報部５０３を書き出す。画像表示情報部５０３は、コンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に用意したものであり、ここまでの処理でパラメータ用の文が入っているものと、入っていないものがある。画像表示情報部５０３の書き出しが終了すると、ステップＳ１６０６に進む。ステップＳ１６０６ではステップＳ１６０５で書き出した画像表示情報部５０３にスクリプトを入れる場所であることを示す＜ｓｃｒｉｐｔ＞タグが含まれているか否かを判断する。＜ｓｃｒｉｐｔ＞タグが含まれていなければ、ステップＳ１６０９に進み、＜ｓｃｒｉｐｔ＞タグ含まれていれば、ステップＳ１６０７に進む。ステップＳ１６０７では、コンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に準備しておいた所定のスクリプトを書き出す。次にステップＳ１６０８で、スクリプト文の終わりであることを示す＜／ｓｃｒｉｐｔ＞タグを書き出す。次にステップＳ１６０９に進む。ステップＳ１６０９では対象になっている画像表示情報が画像表示情報セットの終わりの文章であるか否かを調べる。図１８の例では１８０２の＜／ｓｖｇ＞が終わりの文章であることを示す。終わりの文章であれば処理を終了し、終わりの文章でなければステップＳ１６０１から繰り返す。これで、露光システム６０１に必要なパラメータ情報を含み、画像表示手段６０２によって画像表示可能な複合パラメータファイル１４０１が作られた。
【００３９】
本実施形態のおいて処理される画像表示情報（ＳＶＧ文章）の一例を図１７に示す。この例を簡略化したものを図１８に示し、以下、図１８を使って簡単に説明する。ここでの説明では、上記のＳＶＧ  ＶｉｅｗｅｒをプラグインしたＩｎｔｅｒｎｅｔ  Ｅｘｐｌｏｒｅｒを画像表示手段６０２として用いる場合について説明する。また、このＳＶＧ文章を用いて画像表示手段６０２が表示する画像は、図１２の画像でＧＴＩＬＴとＴＰＯＣのボタンを削除したものに相当する。ＳＶＧ文章の全体１８０１は、ＸＭＬ宣言と、文章型宣言とを含む。また、＜？ＡｄｏｂｅＳＶＧＶｉｗｅｒ  ｓａｖｅ＝“ｓｎａｐｓｈｏｔ”？＞の部分は、表示された画像の上をマウスで右クリックして表示される『ＳＶＧを別名で保存』という項目を実行した場合に、本実施形態のエディタ機能で変更した画像表示情報部５０３が保存できるようにするものである。
【００４０】
＜ｓｖｇ＞と＜／ｓｖｇ＞のタグで囲まれた部分１８０２は、画像表示情報部５０３の本文を書く部分である。ここで、パラメータ用の名前とＳＶＧ用の名前との区別がつくように、パラメータ用の名前にはｊｏｂという文字列をネームスペースで定義している。ただし、パラメータ用の名前とＳＶＧ用の名前とで同じ名前を使わない場合は、ネームスペースを使う必要はない。＜ｄｅｓｃ＞と＜ｄｅｓｃ＞のタグ１８０３で囲まれた部分は、ＳＶＧファイルの説明を書く場所として用いられるが、本実施形態では、この中の＜ｐａｒａｍｓ＞と＜／ｐａｒａｍｓ＞のタグで囲まれた部分に画像に直接の関連のない一般的なパラメータを入れるようにしている。個々のパラメータは、＜ｐａｒａｍ＞と＜／ｐａｒａｍ＞のタグで囲まれた部分にｉｄで指定されたパラメータＩＤとその値が入っている。この例では、最初のパラメータｉｄであるＰ１＿１２３４５のパラメータの値が１２３．４５である。この例では、パラメータは３個しか示されていないが、実際には多くのパラメータがこの部分に記述されうる。次に１８０４の＜ｐａｔｈ／＞のタグの部分で円形のウエハの画像を描く。１８０５は、ウエハの直径値を表示する部分である。１８０６は、ウエハ上に描かれるショットレイアウトに用いられる部分である。１８０７は後に使う定義が記述されている。１８０８には、ショットレイアウトの描画に使う定義が記述されている。１８０９は、ショットレイアウトを描画する部分である。この中の各ショットを描画するための＜ｕｓｅ／＞タグの中にｒｏｗ番号、ｃｏｌｕｍｎ番号、ｘ座標、ｙ座標、フォーカス値、露光量のジョブパラメータの値等がアトリビュートとして入っている。１８１０は、Ｃｏｌｕｍｎ、Ｒｏｗとその番号を描画する部分である。１８１１には、＜ｓｃｒｉｐｔ＞と＜／ｓｃｒｉｐｔ＞のタグで囲まれた部分を含むスクリプトを記述されている。１８１２には、ウエハの円形の画像の部分をクリックすると、そこにショットを追加するスクリプトが記述されている。１８１３には、矩形のショット部分をクリックすると、そのショットを削除するスクリプトが記述されている。
【００４１】
本実施形態に係る情報処理装置としては、段落００３５にも記載したように、露光システムは本実施形態に限定されず、半導体製造装置、ジョブを管理するジョブサーバ、インターネット、イントラネット等からアクセスできるウエブサーバ等に適用されてもよく、露光装置を制御するためのパラメータを管理する装置であればどのようなものにも適用されうる。例えは、本実施形態に係る情報処理装置をウエブサーバに適用する場合、本実施形態に係る情報処理装置は、ウエブサーバに複合パラメータファイルを保存し、ネットワークを介して（例えば、ｈｔｔｐ：／／ｓｅｍｉ．ｓａｍｐｌｅ．ｏｒｇ／ｊｏｂ／ｓａｍｐｌｅ．ｓｖｇのようにウエブサーバのアドレスを指定して）、ウエブサーバからパラメータファイルを読み出すことができる。パラメータファイルを保存する場合は、パラメータファイルをウエブサーバに送って保存する必要があり、その部分が図１７の例とは異なる。パラメータファイルをウエブサーバに送る場合は、Ｓａｖｅボタンの画像を作り、このボタンが押された場合のイベント処理を、例えば、
ｖａｒ  ｔｅｘｔ  ＝  ｐｒｉｎｔＮｏｄｅ（  ｓｖｇＤｏｃｕｍｅｎｔ  ）；
ｐｏｓｔＵＲＬ（“ｈｔｔｐ：／／ｓｅｍｉ．ｓａｍｐｌｅ．ｏｒｇ／ｊｏｂ／ｓｖｇｓａｖｅ．ｃｇｉ？ｓａｍｐｌｅ．ｓｖｇ”，ｔｅｘｔ，ｃｂ）；
のようにすればよい。ここで、ｃｂはウエブサーバに複合パラメータファイルを送ったときのステータスを受け取るコールバックルーチンである。そして、ウエブサーバ側では、例えば、ウエブサーバで動作するＣＧＩプログラム（例えば、ｓｖｇｓａｖｅ．ｃｇｉ）を用いて、ウエブサーバに送られてくる複合パラメータファイルを受け取って、保存する処理を実行すればよい。さらに、コンソールユニットを含んだものが露光システムであってもよい。
【００４２】
また、複合パラメータファイルは装置やシステムに接続されたコンソールユニットの記憶装置に記憶されているが、本発明はこれに限定されない。複合パラメータファイルは、例えば、接続可能な外部の記憶装置やリムーバブルの記憶メディアに記憶されてもよい。また、複合パラメータファイルは、関連するデータを集めた抽象的なファイルであって、メディアに記憶されていないものであってもよい。例えば、複合パラメータファイルは、通信されるデータの集まりや、パラメータの存在する場所を示したものであってもよい。また、本実施形態では、ＳＶＧファイル一つに全ての文章が入っているが、例えは、ＨＴＭＬファイル中にＳＶＧファイル、ＸＭＬファイル等が存在するアドレスが示されて、複数のファイルから構成されてもよい。また、パラメータ部４０２や、画像表示情報部４０３を編集するプログラムに含まれるスクリプトとしては、例えば、Ｊａｖａ（登録商標）Ｓｃｒｉｐｔ（ＥＣＭＡ  Ｓｃｒｉｐｔ）等のスクリプト言語を用いることができるが、本発明はこれに限定されない。例えば、画像表示手段６０２に合わせて、Ｊａｖａ（登録商標やＣ＃等のプログラム言語を用いてもよい。また、スクリプトやプログラムは、人が見て容易に意味が理解できるような文字列でなくてもよい。例えば、スクリプトやプログラムは、暗号化されたもの、コンパイルされたもの、中間言語に落とされたもの、圧縮されたもの等であってもよい。
【００４３】
これによって、装置以外でジョブパラメータのレイアウトや、サンプルショットの画像をどこにでもある標準のツールで簡単に見ることができ、その上、画像に関連するパラメータや関連しないパラメータを修正することができ、ジョブパラメータの取り扱いが簡単になる。
【００４４】
［実施形態３］
実施形態２は、パラメータファイルの中にあるパラメータを編集することも可能したものであるが、さらに、その操作を音声でおこなうことも可能である。その方法を実施形態３として示す。複合パラメータファイルを読み込むところは実施形態１と同じであり、その処理方法も図９で示されたフローチャートと同様の処理である。実施形態２との違いは、複合パラメータファイルを書き出すところであり、フローチャート図１６上での違いも僅かである。それは、ステップＳ１６０１の説明で、『テンプレート画像表示情報セットから画像表示情報をコンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に用意する。』であるところを、『パラメータ編集機能の音声応答による操作によって、音声対応の記述言語で記述した文章を含むテンプレート画像表示情報セットから、画像表示情報をコンソールＣＰＵ３３１のメモリ上に用意する。』のようにする。また、実施形態２と同様に、予め、音声対応の記述言語で記述した文章を含む画像を表示するための文章をパラメータ等の値によって、例えは、ショット数などによって、文章の行数を増減したり、パラメータの値によって、文章の可変部分に実際の数値や文字列を後で設定できるようにしたりして、音声で操作できる画像を描くためのテンプレートとしての音声対応の記述言語（例えば、Ｖｏｉｃｅ  ＸＭＬ等）で記述した文章を含むテンプレート画像表示情報セットを準備する。
【００４５】
図１９は複合パラメータファイル１９０１の大まかな処理の流れを示す概念図である。露光システム６０１は、半導体製造装置、ジョブパラメータを含む複合パラメータファイル１９０１を管理するジョブサーバ等の装置システム、或いは、ジョブパラメータ等をＷｅｂサーバで管理するシステム等を含む。コンソールユニット３３０は露光システム６０１から複合パラメータファイル１９０１を書き出すことができる。この処理シーケンスは、上記のように図１６のフローチャートを少し修正したシーケンスになる。コンソールユニット３３０は、露光システム６０１に複合パラメータファイル１９０１を読み込ませることができ、この処理シーケンスは、図９のフローチャート（一部修正）に示されている。画像表示手段１９０３は、規定されている記述方法に準拠した画像表示情報部５０３を読み込んで、その画像表示情報部５０３に対応した画像を表示する。さらに、画像表示手段１９０３は、スクリプト部１３０２のプログラムを実行し、オペレータのマウス、タッチパネル、キーボート、及び音声応答記述部１９０２に沿った声などの操作等でパラメータ情報部１３０１や、画像表示情報部５０３を修正し、パラメータ編集エディタの機能を実現することができる。ここでは、画像表示手段１９０３としては、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ社のＩｎｔｅｒｎｅｔ  ＥｘｐｌｏｒｅｒにＡｄｏｂｅ社のＳＶＧ  Ｖｉｅｗｅｒをプラグインしたものを用いることができる。画像表示手段６０５は、複合パラメータファイル１９０１を読み込んで、その画像を表示する。この場合、複合パラメータファイル１９０１の画像表示情報部５０３の情報によって画像が描かれるが、パラメータ情報部５０２の情報はコメント文、説明文、画像のアトリビュート等として組み込まれているため、直接的には画像としては描かれない。また、スクリプト部１３０２や音声応答記述部１９０２の情報も直接的には画像に描かれない。露光システム６０１から複合パラメータファイル１９０１を書き出す部分については、図１６のフローチャートと同様であるので、各ステップの説明は省略する。
【００４６】
画像表示手段１９０３は、音声のみで操作することも可能であるが、通常のマウス、タッチパネル、キーボード等を使った操作も当然可能であり、マルチモーダルな操作が可能である。
【００４７】
これによって、露光装置以外の処理装置でもジョブパラメータのレイアウトや、サンプルショットの画像を汎用の画像表示手段で簡単に見ることができるとともに、画像表示に関連するパラメータや画像表示に関連しないパラメータを音声の指示で修正することができるため、ジョブパラメータの取り扱いが簡単になる。露光装置にジョブパラメータファイルをロードする前にどのような処理をするジョブかを簡単に知ることができるなど、露光装置以外でジョブパラメータファイルのレイアウトや、サンプルショットの画像をどこにでもある標準のツールで簡単に見ることができ、ジョブパラメータファイルの取り扱いが簡単になる。
【００４８】
そして、露光装置以外でジョブパラメータのレイアウトや、サンプルショットの画像をどこにでもある標準のツールで簡単に見ることができ、その上、画像に関連するパラメータや関連しないパラメータを修正することができ、ジョブパラメータの取り扱いが簡単になる。
【００４９】
さらに、露光装置以外でジョブパラメータのレイアウトや、サンプルショットの画像をどこにでもある標準のツールで簡単に見ることができ、その上、画像に関連するパラメータや関連しないパラメータを音声の指示で修正することができ、ジョブパラメータの取り扱いが簡単になる。
【００５０】
以下に本発明に係る実施態様を列挙する。
【００５１】
［実施態様１］  露光装置を制御するためのパラメータ情報を処理する情報処理装置であって、
前記パラメータ情報に基づいて、所定の画像表示手段に適合したフォーマットに適合するように、前記フォーマットで画像を表示するための画像表示情報を生成する画像表示情報生成部と、
前記パラメータ情報を前記フォーマットに変換する変換部と、
前記フォーマットに変換された前記パラメータ情報を前記画像表示情報に追加する追加部と、
を備えることを特徴とする情報処理装置。
【００５２】
［実施態様２］  前記画像表示情報生成部が所定の画像表示手段に適合したフォーマットで画像を表示するための画像表示情報を生成するときに基づく条件を設定する条件設定部を更に備えることを特徴とする実施態様１に記載の情報処理装置。
【００５３】
［実施態様３］  前記画像表示情報から前記パラメータ情報を取り出して、前記露光装置のメモリ上の所定のアドレスに前記パラメータ情報に含まれるパラメータを設定する設定部を更に備えることを特徴とする実施態様２に記載の情報処理装置。
【００５４】
［実施態様４］  前記画像表示情報は、前記画像表示手段で前記画像表示情報及び前記パラメータ情報の少なくとも一方を編集するためのスクリプトを含むことを特徴とする実施態様１乃至実施態様３のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【００５５】
［実施態様５］  前記画像表示情報は、前記画像表示手段で前記画像表示情報及び前記パラメータ情報の少なくとも一方を音声で編集するためのスクリプトを含むことを特徴とする実施態様１乃至実施態様４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【００５６】
［実施態様６］  前記所定のフォーマットは、マークアップ言語であることを特徴とする実施態様１乃至実施態様６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【００５７】
［実施態様７］  前記マークアップ言語は、ＳＶＧであることを特徴とする実施態様６に記載の情報処理装置。
【００５８】
［実施態様８］  露光装置を制御するためのパラメータ情報を処理する情報処理方法であって、
前記パラメータ情報に基づいて、所定の画像表示手段に適合したフォーマットで画像を表示するための条件を設定する条件設定工程と、
前記パラメータ情報に基づいて、前記条件設定工程で設定された前記条件に適合するように、前記フォーマットで画像を表示するための画像表示情報を生成する画像表示情報生成工程と、
を含むことを特徴とする情報処理方法。
【００５９】
［実施態様９］  前記パラメータ情報を前記フォーマットに変換する変換工程と、
前記フォーマットに変換された前記パラメータ情報を前記画像表示情報に追加する追加工程と、
を更に含むことを特徴とする実施態様８に記載の情報処理方法。
【００６０】
［実施態様１０］  前記画像表示情報から前記パラメータ情報を取り出して、前記露光装置のメモリ上の所定のアドレスに前記パラメータ情報に含まれるパラメータを設定する設定工程を更に備えることを特徴とする実施態様２に記載の情報処理装置。
【００６１】
［実施態様１１］  前記画像表示情報は、前記画像表示手段で前記画像表示情報及び前記パラメータ情報の少なくとも一方を編集するためのスクリプトを含むことを特徴とする実施態様８乃至実施態様１０のいずれか１項に記載の情報処理方法。
【００６２】
［実施態様１２］  前記画像表示情報は、前記画像表示手段で前記画像表示情報及び前記パラメータ情報の少なくとも一方を音声で編集するためのスクリプトを含むことを特徴とする実施態様８乃至実施態様１１のいずれか１項に記載の情報処理方法。
【００６３】
［実施態様１３］  前記所定のフォーマットは、マークアップ言語であることを特徴とする実施態様１乃至実施態様６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【００６４】
［実施態様１４］  前記マークアップ言語は、ＳＶＧであることを特徴とする実施態様６に記載の情報処理装置。
【００６５】
［実施態様１５］  実施態様１乃至実施態様１４に記載の情報処理装置を利用して、パターンを形成した原版に照射される露光光を基板の所定位置に投影することを特徴とする露光装置。
【００６６】
［実施態様１６］    露光装置を制御するためのジョブパラメータを処理する情報処理装置であって、
露光装置専用アプリケーションを用いて、前記露光装置の表示部に前記ジョブパラメータに基づいた露光レイアウトを画像表示させる手段と、
前記露光装置の本体部に前記ジョブパラメータに基づいた露光動作を指令する手段と、
前記露光装置専用アプリケーションとは異なる任意のアプリケーションを用いて、前記露光装置の表示部とは異なる任意の表示装置に前記露光レイアウトを画像表示させることができるように、前記ジョブパラメータのフォーマットを変換する手段と、
を有する情報処理装置。
【００６７】
【発明の効果】
本発明によれば、露光処理にかかる作業を効率化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る半導体露光装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図１の装置の内部構造を示す図である。
【図３】図１の装置の電気回路構成を示すブロック図である。
【図４】実施形態１の複合パラメータファイルの例を示す図である。
【図５】実施形態１の複合パラメータファイルの例を示す図である。
【図６】実施形態１の複合パラメータファイルの大まかな処理の流れを示す図である。
【図７】従来のパラメータファイルの大まかな処理の流れを示す図である。
【図８】実施形態１の複合パラメータファイルの書き出しを示すフローチャートである。
【図９】実施形態１の複合パラメータファイルの読み込みを示すフローチャートである。
【図１０】実施形態１の画像表示情報の一例を示す図である。
【図１１】図１０の画像表示情報を簡略化した図である。
【図１２】図１０の画像表示情報によって画像表示ツールに表示される画像を示す図である。
【図１３】実施形態２の複合パラメータファイルの例を示す図である。
【図１４】実施形態２の複合パラメータファイルの例を示す図である。
【図１５】実施形態２の複合パラメータファイルの大まかな処理の流れを示す図である。
【図１６】実施形態２の複合パラメータファイルの書き出しを示すフローチャートである。
【図１７】実施形態２の画像表示情報の一例を示す図である。
【図１８】図１７の画像表示情報（ＳＶＧ文章）を簡略化した図である。
【図１９】実施形態３の複合パラメータファイルの大まかな処理の流れを示す図である。
【符号の説明】
１０１：温調チャンバ、１０２：ＥＷＳ用ディスプレイ装置、１０３：操作パネル、１０４：ＥＷＳ用キーボード、１０５：モニタＴＶ、１０６：ＥＷＳ本体、１０７：ＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８：非常停止スイッチ、１０９：各種スイッチ、マウス等、１１０：ＬＡＮ通信ケーブル、１１１：排気ダクト、１１２：排気装置、２０２：レチクル、２０３：ウエハ、２０４：光源装置、２０５：照明光学系、２０６：投影レンズ、２０７：レチクルステージ、２０９：ウエハステージ、２８１：レチクル顕微鏡、２８２：オフアクシス顕微鏡、２１０：空調機室、２１３：フィルタボックス、２１４：ブース、２１７：送風機、３２１：本体ＣＰＵ、３３０：コンソール、３３１：コンソールＣＰＵ、３３２：外部メモリ、５０１〜５０３、６０１、６０２、８０１〜８０４：区分境界線、５０４：ウエハ、５０５：ショットレイアウト、５０６〜５１３、６０３〜６０８、７０１、７０２、８０５〜８１１：選択されたサンプルショット、ｇ：エアフィルタ、ｃｆ：化学吸着フィルタ、ｏａ：外気導入口、ｒａ：リターン口。
【図１】
2004193208.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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