(57)【要約】【課題】加工性と量産性に優れ、計測補助手段や物理環境調整機器を周囲に配置することのできる微細流路およびこれを有するマイクロ化学チップを提供する。【解決手段】第１および第２の平面部材１０１、１０２が対向配置され、これらの対向面に設けられた突起状の流路壁１０１ａ、１０１ｂにより形成された微細流路１０３が提供される。微細流路の一方の側壁を構成する第１の壁部材１１１ａが凸状に形成された第１の平面部材１１１と、微細流路の他方の側壁を構成する第２の壁部材１１２ａが凸状に形成された第２の平面部材１１２とを備え、第１の平面部材表面と第２の平面部材とを、第１の壁部材と第２の壁部材とが微細流路幅をなすように対向配置することにより形成された微細流路１１３が提供される。【選択図】  図５
2004340758.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１および第２の平面部材が対向配置され、これらの対向面に設けられた突起状の流路壁により形成された微細流路。
【請求項２】
前記流路壁は第１および第２の平面部材のいずれか一方にすべて設けられ、他方の平面部材は平板であることを特徴とする請求項１に記載の微細流路。
【請求項３】
前記流路壁は微細流路を構成する側壁の一方側および他方側がそれぞれ前記第１および第２の平面部材に設けられたことを特徴とする請求項１に記載の微細流路。
【請求項４】
前記平面部材がガラスで構成されたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の微細流路。
【請求項５】
前記流路壁により囲まれた部分以外の前記第１および第２の平面部材間の部分は充填材で充填されたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の微細流路。
【請求項６】
前記流路壁は略台形状の断面形状を有しており、その側辺の少なくとも一方に光反射膜が形成されたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の微細流路。
【請求項７】
一表面に微細流路幅を隔てて対をなす壁部材が凸状に形成された第１の平面部材と、
少なくとも前記壁部材の頂部と接するように取り付けられた第２の平面部材とを備え、
前記第１の平面部材表面と、前記壁部材と前記第２の平面部材で囲まれる閉空間により形成された微細流路。
【請求項８】
前記平面部材がガラスで構成されたことを特徴とする請求項７に記載の微細流路。
【請求項９】
前記流路壁により囲まれた部分以外の前記第１および第２の平面部材間の部分は充填材で充填されたことを特徴とする請求項７または８に記載の微細流路。
【請求項１０】
前記流路壁は三角形状あるいは略台形状の断面形状を有しており、その側辺の少なくとも一方に光反射膜が形成されたことを特徴とする請求項７ないし９のいずれかに記載の微細流路。
【請求項１１】
前記流路壁表面に光素子が形成されたことを特徴とする請求項７に記載の微細流路。
【請求項１２】
前記第２の平面部材は半導体基板であることを特徴とする請求項７に記載の微細流路。
【請求項１３】
前記半導体基板上に能動素子が形成されたことを特徴とする請求項１２に記載の微細流路。
【請求項１４】
前記微細流路の近傍に温度上昇および温度下降を行う要素が形成されたことを特徴とする請求項７に記載の微細流路。
【請求項１５】
前記第２の平面部材は多孔質材料で成ることを特徴とする請求項７に記載の微細流路。
【請求項１６】
前記第１の平面部材の裏面に温度を上昇させる昇温部が設けられたことを特徴とする請求項１５に記載の微細流路。
【請求項１７】
微細流路の一方の側壁を構成する第１の壁部材が凸状に形成された第１の平面部材と、
前記微細流路の他方の側壁を構成する第２の壁部材が凸状に形成された第２の平面部材とを備え、
前記第１の平面部材表面と前記第２の平面部材とを、前記第１の壁部材と前記第２の壁部材とが前記微細流路幅をなすように対向配置することにより形成された微細流路。
【請求項１８】
前記平面部材がガラスで構成されたことを特徴とする請求項１７に記載の微細流路。
【請求項１９】
前記流路壁により囲まれた部分以外の前記第１および第２の平面部材間の部分は充填材で充填されたことを特徴とする請求項１７または１８に記載の微細流路。
【請求項２０】
前記流路壁は三角形状あるいは略台形状の断面形状を有しており、その側辺の少なくとも一方に光反射膜が形成されたことを特徴とする請求項１７ないし１９のいずれかに記載の微細流路。
【請求項２１】
一表面に微細流路幅を隔てて対をなす壁部材が凸状に形成された第１の平面部材と、
少なくとも前記壁部材の頂部と接するように取り付けられた第２の平面部材とを備え、
前記第１の平面部材表面と、前記壁部材と前記第２の平面部材で囲まれる閉空間により形成され、化学物質の反応あるいは分離を行う複数の微細流路と、
前記複数の微細流路の端部に設けられたウェルと、
前記微細流路の途中に設けられた、分析のための光学素子と、を備えたマイクロ化学チップ。
【請求項２２】
前記光学素子は、前記第１又は第２の平面部材に取り付けられた光学レンズであることを特徴とする請求項２１に記載のマイクロ化学チップ。
【請求項２３】
第１および第２の平面部材が対向配置され、これらの対向面に設けられた突起状の流路壁により形成された微細流路と、
前記複数の微細流路の端部に設けられたウェルと、
前記微細流路の途中に設けられた分析のための光学素子と、を備えたマイクロ化学チップ。
【請求項２４】
前記流路壁は略三角形あるいは略台形状の断面形状を有しており、その側辺の少なくとも一方の一部に光反射膜が形成されたことを特徴とする請求項２３に記載の微細流路。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、微細流路およびこれを含むマイクロ化学チップならびにこれらの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光学的な分析のための幅１００μｍ、深さ５０μｍ程度の微細な溝や、直径数百μｍの窪み等を含む流路を一辺が数十ｍｍのガラス基板上に集積したマイクロ化学チップは、フロー状態で微量な化学物質の反応や合成および抽出を行なったり、様々な長さに切断されたＤＮＡ断片を分離したりするために用いられている。ＤＮＡ分析に用いられるものは、ＤＮＡチップと称される。
【０００３】
このマイクロ化学チップを用いた分析は、ガラス基板上に設けられた上述した溝を電気泳動等により流れる流体あるいは窪みに蓄積された化学物質を分析対象とし、これら微小な溝あるいは窪みに紫外光や赤外光を照射して、その部分からの反射光、透過光を光学素子を通して分析部に導くことにより行われる。
【０００４】
このような用途に用いられる微細流路は、開口断面の代表寸法が数十μｍ〜数百μｍの微細配管となっている。
【０００５】
図１にＤＭＡ断片の分離等に用いられる微細直管流路（キャピラリ）電気泳動装置としてのマイクロ化学チップの一例を示す。また、図２は微細流路２の断面図、図３はマイクロ化学チップの外観図である。
【０００６】
透明絶縁基板１上には十字形に交差する直線状の２本の微細流路である定量用流路２および検出用流路３が凹設され、これらの微細流路２，３はその上に封入用透明絶縁板４を重ねて接着剤等で密着固定することにより封止されている。この封入用透明絶縁板４にはサンプルを注入・抽出するための開口部５が微細流路に対応して設けられている。また封入用透明絶縁基板４には各微細流路の両端部に電極が設けられている。さらに、微細流路の内部にはナノメートルスケールの網目構造を持つゲルが封入されている。
【０００７】
ここで、流路では後述するように光学的な分析が行われるため、透明絶縁基板としては光学特性に優れた石英を使用することが多い。そして、流路は、通常はエッチング加工で溝を掘ることにより形成しているため、図２の断面図に示すように、略半円状の断面形状を有している（非特許文献１参照）。
【０００８】
また、図３は完成したマイクロ化学チップ１０の外観および内部状態を示す透視図であって、微細流路に対する注入口および電極６が形成された例を示している。
【０００９】
次に、このようなマイクロ化学チップの使用法につき説明する。微細流路の両端に設けられた電極の一方を接地電位とし、他方に正の所定電圧を印加すると、マイナスに帯電しているサンプル（ＤＮＡ等）がプラス電極側に移動する電気泳動現象が起こる。この例では、サンプルは緩衝液と共に定量用流路の接地側からプラス電極側に流され、交差点でこの部分の容積に相当する量だけ蓄積され、続いて検出用流路をプラス側に向かって流れる。この時、ＤＮＡはその長さによって帯電量が異なり、また封止されたゲルの網目構造との相互作用も異なるため、長さが短いものほど速く進む。したがって、ＤＮＡの長さにより流路上の位置が異なることにより分離を行うことが可能となる。
【００１０】
このようにして分離されたＤＮＡは紫外線吸収を利用し、あるいはＤＮＡに蛍光修飾させてその光量測定を行うことにより観測することができる。
【００１１】
図４は、マイクロ化学チップの機能をまとめた模式図である。この図には、二つの薬品Ａ、Ｂを混合させて流路上で反応させたり、流路上で分離を行ったり、流路上の物質を光透過により検出することが可能であることを示している。
【００１２】
【非特許文献】
「マイクロマシニング技術を用いた石英製電気泳動チップの作製とその基本特性評価」中西博昭他、島津評論ｖｏｌ．５６  Ｎｏ．１−２，  １９９９．８
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、透明基板材料としての石英は非常にエッチングされにくい物質であるため、加工がきわめて困難であり、エッチングレートは条件によっては１分間に１μｍ以下の少量となってしまい、量産は困難であった。また、ＤＮＡ等を抽入する挿入口も一般的には平面的な基板部材に開口部とコネクタを取り付ける方式が採用されており、このような構造も加工性と量産性を妨げている。
【００１４】
また、これらの微細流路による生成物を電子的に計測するため、機能性薄膜やチップ状のシリコン回路などの計測補助手段をこの微細流路近傍に配設する場合があるが、従来は、これらの計測手段とこれに付随する要素や部品を、流路の上面あるいは下面に配設するのが一般的で、微小流路の周囲部位が最適かつ効率的に使用されているとは言い難かった。
【００１５】
さらに、微細流路の使用法として、単に計測を行うのみでなく微細流路周囲の物理環境を調整する場合がある。例えば、微細流路周囲の温度を上昇させるためのヒータ、あるいは温度下降させるための冷媒管を微細流路に隣接して設ける場合があるが、これらの物理環境調整機器も従来は流路の上下にしか配設されていない。
【００１６】
また、微細流路をプレス成形で造る場合（特願昭２００２−８９４９５ｂ号参照）、金型としてしては流路のネガとなる凸状部分を有することが必要となるが、これを作るためには広い面積にわたって機械的あるいはエッチングにより削り込まねばならない。プレス成形では金型の表面が素材に正確に転写されるので、精度を確保するにはかなりの時間をかけて加工を行う必要がある。
【００１７】
本発明は加工性と量産性に優れ、計測補助手段や物理環境調整機器を周囲に配置することのできる微細流路およびこれを有するマイクロ化学チップを提供することを目的とするものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明の実施形態によれば、第１および第２の平面部材が対向配置され、これらの対向面に設けられた突起状の流路壁により形成された微細流路が提供される。
【００１９】
本発明の実施形態によれば、一表面に微細流路幅を隔てて対をなす壁部材が凸状に形成された第１の平面部材と、少なくとも前記壁部材の頂部と接するように取り付けられた第２の平面部材とを備え、前記第１の平面部材表面と、前記壁部材と前記第２の平面部材で囲まれる閉空間により形成された微細流路が提供される。
【００２０】
本発明の実施形態によれば、微細流路の一方の側壁を構成する第１の壁部材が凸状に形成された第１の平面部材と、前記微細流路の他方の側壁を構成する第２の壁部材が凸状に形成された第２の平面部材とを備え、前記第１の平面部材表面と前記第２の平面部材とを、前記第１の壁部材と前記第２の壁部材とが前記微細流路幅をなすように対向配置することにより形成された微細流路が提供される。
【００２１】
本発明の実施形態によれば、一表面に微細流路幅を隔てて対をなす壁部材が凸状に形成された第１の平面部材と、少なくとも前記壁部材の頂部と接するように取り付けられた第２の平面部材とを備え、前記第１の平面部材表面と、前記壁部材と前記第２の平面部材で囲まれる閉空間により形成され、化学物質の反応あるいは分離を行う複数の微細流路と、前記複数の微細流路の端部に設けられたウェルと、前記微細流路の途中に設けられた、分析のための光学素子と、を備えたマイクロ化学チップが提供される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態のいくつかを図面を参照しながら説明する。
【００２３】
図５は本発明に係る微細流路の第一の実施形態を示す断面図であり、マイクロ化学チップに使用される。
【００２４】
平面基板１０１上には断面が略台形あるいは略三角形状の壁部材１０１ａ、１０１ｂが流路幅分離隔して凸設されており、これら壁部材の上には第２の平面基板１０２が載せられ、これにより閉じた空間が流路１０３を形成している。この第２の平面基板１０２と壁材１０１ａ、１０１ｂとの間には接着層１０５が介在し、これらの部材を締結している。
【００２５】
壁材１０１ａ、１０１ｂの流路１０３よりも外側の空間１０４ａ、１０４ｂは接着強度が十分ならば中空のままで良く、ここに流路内の観測要素部品や環境調整部品を装着することができる。また、接着強度が十分でない場合には、熱硬化性樹脂などの充填剤を注入して硬化させることができる。
【００２６】
なお、流路は概略紙面手前から奥に向かっているものとし、流路の両端部には電極および注入口／取出口（図示せず）が設けられている。本微細流路は基本的に流れの方向に開口される構造なので、素材に応じた接合手段や連接手段により流路の延長や、異なる機能の流路との組み合わせが容易にできる。
【００２７】
図６は本発明に係る微細流路の第２の実施形態を示す断面図であり、流路の方向や電極および注入口／取出口（図示せず）の位置については全く同様の構成となっていてる。
【００２８】
この実施の形態では、略台形あるいは略三角形状の壁部材１１１ａを有する第１の平面基板１１１と、略台形あるいは略三角形状の壁部材１１２ａを有する第１の平面基板１１２とを互いに反転した状態で対向させ、これにより形成された閉空間１１３を微細流路として用いるものである。第１の実施の形態と同様に、壁部材とそれに接する平面基板間には接着層１１５が介在して締結を行っている。
【００２９】
この実施の形態でも壁材１１１ａ、１１２ａの流路１０３よりも外側の空間１１４ａ、１１４ｂは接着強度に応じ、中空のままでも、熱硬化性樹脂やガラスなどの充填剤を注入して硬化させても良い。
【００３０】
この実施の形態で特徴的なのは、部品点数を減少できることと、微細流路の幅を自由に調整できることである。すなわち、２つの壁部材１１１ａと１１１ｂとの距離は自在に調整できるため、用途に応じた微細流路幅を選択できる。なお、壁部材は直線状の形状とは限らず、図７に示す曲線状の壁部材を有する平面基板１２１、１２２、図８に示すジグザグ状の壁部材を有する平面基板１３１、１３２等種々の形状のものを採用することができる。
【００３１】
図９は第３の実施の形態を説明するもので、断面三角形状の壁部材が２つ平行に配置された平面基板１４１と１４２を互いに反転して組み合わせたものである。この場合、対向する平面基板の壁部材の角度を壁全体が接触するような角度とし、この接触面に接着剤１４３を塗布して固着するようにしている。この実施の形態では壁部材の角度は水平に対して６０°の角度をなしており、この結果、接着面積を大きく取れるので空間部に充填材を注入しなくても、強度的な確保が可能となっている。
【００３２】
図１０は上述した壁部材を有する平面基板を成形により作製する方法を示す模式図である。ここでは上金型３０１と下金型３０２との間に石英材料３０３を挟んでブレスを行っている様子を示している。
【００３３】
このようにマイクロ化学チップ等の微細流路では耐薬品性や光学特性の点から石英が用いられる。しかし、石英の場合、真空・高温での加工環境を要求されるため、金属性の金型の適用は難しく、ガラス状カーボンが好適な材料として使用されることが多い。しかしながら、この素材は加工が困難であり、現状では溝をの掘る加工をかろうじて行える程度である。本願発明では、各平面基板はこの溝加工された金型を用いて凸状の壁部材を有する平面基板を得ている。したがって、金型素材を大面積平面で研削やエッチングをする必要がないので、量産が可能であり、製造コストを下げることができる。例えば、石英に深さ１００μｍ程度の溝を形成する場合、これまでは数時間の加工時間を要していたが、本発明の構成によれば数分で微細流路の形成が終了する。
【００３４】
なお、壁部材の形状を工夫すれば、第一及び第二の実施の形態のいずれでも交差流路を形成することができる。また、注入部分、取り出し部分のウェルも平面基板の追加加工を行うことにより容易に形成することができる。
【００３５】
以下、微細流路の近傍の空間に種々の機能を持たせた実施の形態を説明する。
【００３６】
前述した本発明の実施形態にかかる微細流路は、流れ方向以外の方向は薄肉状の壁で囲まれた構成となっているため、そこに種々の部材、部品、素子等を配置することが可能になる。例えば、流路内の状況を観測するセンサや、熱や電磁気など物理的な環境を変化させる要素部品を配設することができる。また、光学的な取り扱いをする場合、壁材の一部を光学部品状に成形して利用される。さらに、シリコン部材上に構築されたセンサ等を用いる場合には、この部材自体が流路を構成する壁面に利用される。
【００３７】
流路の連結や試薬サンプルの抽入は、本発明の微細流路の構造上、流れの断面方向に関連する部材等が装着される。
【００３８】
以下、代表的なものを詳述する。
【００３９】
図１１は微細流路の壁部材を反射光学系に利用した実施の形態を示す断面図である。
【００４０】
この実施の形態では、平面基板１５１の微細流路１５３を構成する壁部材１５１ａ、１５１ｂの表面に反射膜１５４ａ、１５４ｂを形成し、上部基板１５２上にはＬＥＤ等の発光部１５５とＰＤ等の受光部１５６を平面部材の屈折率を配慮して配設し、微細流路を横切るような光路１５７を構築した。
【００４１】
このような構成により、微細流路流体の速度計測や分光計測が可能となる。
【００４２】
図１２は図１１と同様に、微細流路の壁部材を反射光学系に利用した実施の形態を示す断面図である。この実施の形態では発光部１６５と受光部１６６を平面基板１６１の下部に配置している点が異なる。すなわち、壁部材１６１ａ、１６１ｂの内部反射と屈折を利用して光路を構築している点に特徴がある。
【００４３】
図１３は壁部材の外側の領域を有効に使用した実施の形態を示しており、壁部材１７１ａ、１７１ｂ面に直接発光部１７３および受光部１７４を配設したものである。このような発光部１７３および受光部１７４を配設するには、壁部材表面に直接成膜処理を施しても良く、また、上下平面基板間の空間に後から組み立てても良い。この空間内に後に充填される材料１７５が発光部１７３、受光部１７４に対するモールド材としても兼用される。
【００４４】
図１４は平面部材の一方をシリコン基板とした実施の形態を示す断面図である。すなわち、第１の平面基板１８１はこれまでの各実施の形態の場合と同様の構成を有しているが、その上に重ねられる第２の平面基板１８２はシリコン基板となっている。このシリコン基板１８２の上には各種センサデバイスや処理用の電子回路をこの上に直接形成することが可能となる。図１４に示した例では発光部１８３と受光部１８４をシリコン基板１８２上に形成している。
【００４５】
また、この実施の形態では流路底面に反射膜１８５を設け、発光部１８３から発光された光が流路を通って底面の反射膜１８５で反射して受光部１８４に達する光路を形成している。また、壁部材の頂角θをシリコン結晶をエッチングする際に特異的に規定される角度より狭く設定することにより、位置決めの容易性も達成できる。
【００４６】
なお、シリコン以外の材料を平面基板として用いることもできるが、その場合には、素材に応じて位置決め用の溝加工や頂角θの設定をすれば良い。
【００４７】
以上は光学デバイスを例に示したが、温度デバイスや、電磁気的なデバイスであっても、特性に応じた成膜を流路近傍の領域に形成することができる。以下、そのような実施の形態について説明する。
【００４８】
図１５は微細流路内の温度制御を行うことを可能とした実施の形態を説明する断面図である。
【００４９】
この実施の形態では、第１の平面基板１９１に設けられた壁部材１９１ａ、１０１ｂの内壁に、第２の平面基板１９２に設けられた壁部材１９２ａ、１９２ｂの外壁が嵌り合う寸法関係になっており、これらの組み合わせで流路が形成されている。
【００５０】
一方、第１の平面基板１９１の下面には冷却源１９４が、第２の平面基板１９２の上面には加熱源１９３が設けられている。これらの加熱・冷却源は必要に応じて流路に沿って配設される。加熱源としては通常のヒータ、ホットエアなど、冷却源として水冷パイプなど各種のものを使用することができるが、適正な寸法に形成したレーザや赤外線を用いると加熱時のみその熱源の寸法に応じた領域で温度を上昇させることができる。図中の矢印は加熱源からの熱の移動を示す。また、同様に冷却源としてペルチェ素子、ヒートシンクやファンを用いることにより、加熱停止時に冷却源によって温度を下降させることができる。
【００５１】
また、流路直上の第２の平面基板上には、温度計測手段１９５が取り付けられ、図示されない制御機器を用いて温度制御を行うことが可能となる。
【００５２】
図１６も、加熱冷却を行うようにしてなる実施の形態を示しており、第１の平面基板２０１と、その上に第２の平面基板が搭載されている点ではこれまでの例と同じであるが、これらを貫通するように、微細流路近傍に加熱管２０３と冷却管２０４を設けた点が異なる。
【００５３】
また、流路直上の第２の平面基板２０２上に温度制御要素が設けられており、その計測結果に基いてこれらの管に熱媒体を供給し、あるいは冷媒を供給することにより、流路領域の温度を制御することができる。
【００５４】
これらの熱源と冷却源、並びに温度計測手段および微細流路の形状は、目的に応じて任意に組み合わせることが可能である。また、温度制御範囲も任意に選択することができる。なお、図１６に示すような構成で、温度だけでなく電磁気や光学的な線源を利用する場合も同様な配設手法が可能である。
【００５５】
図１７は、さらに別の実施の形態を示す断面図である。上述した各実施の形態では平面基板はガラス板等の緻密な材料であったが、この実施の形態では、断面が略三角形の流路が並設されるように溝が形成された第１の平面基板２１１の上部に取り付けられるのは多孔質の基板２１２である。そしてこの多孔質基板２１２の上には機能性物質膜２１３が形成されている。この機能性物質膜は選択的なものである。また、第１の平面基板２１２の下面には熱源２１５がもうけられている。
【００５６】
このような流路では、流路内に多孔質部材の孔径より小さい物質が存在する場合、この物質は選択的に透過して参照番号２１４で示されるように外部に流出する。この結果、流路内外で圧力差が生じ、この圧力差は流路内の通過物質を圧力源で加圧し、あるいは熱源２１５で加熱して流路内物質に熱エネルギーを付与することにより増大される。また、レーザ照射や物質の反応エネルギーを利用することもできる。
【００５７】
多孔質基板の表面、或いは孔の内部に付加される機能性物質としては物質の選択性を高める機能を有する膜等が使用される。これは、一般に多孔質基板における物質の透過は、温度が高い方が良好であるが、流路側および封止側基板の熱膨張係数を近づけておくために、例えば流路側基板に石英を使用する時、封止側には高珪酸成分ガラスを用い、機能性物質としてＲｈやシリカゾルを焼結したものを用いれば、水素を選択的にさせる事が可能となる。
【００５８】
以上の各実施の形態では、基板は略平面であり、壁状部材はその断面が三角形あるいは台形等の矩形としてあるが、加工が可能であればこれに限るものではない。例えば基板には起伏があっても良いし、形勢される微細流路は同一の深さや高さである必要はない。
【００５９】
【発明の効果】
以上のように、本発明の実施の形態によれば、微細流路は、プレス成形された部品を組み立てる事で構築されるため、金型加工が容易で量産性に優れる。
【００６０】
また、微細流路は流路を構成する壁部材の外方に多くの空隙があるため、この空隙に種々の機能部品等を配置でき、有用性を高めることができる。
【００６１】
さらに、微細流路をそれぞれ壁部材となる凸状部分を有する２つの平面基板を対向配置することにより形成するものでは、従来不可能であった、流路幅の調整が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のマイクロ化学チップの構成を説明する斜視図である。
【図２】従来のマイクロ化学チップにおいて使用される溝を説明する断面図。
【図３】マイクロ化学チップ完成品の外観を示す斜視図。
【図４】マイクロ化学チップの機能の説明図である。
【図５】本発明の実施の形態による微細流路の形成を示す断面図である。
【図６】−本発明の他の実施の形態による微細流路の形成を示す断面図である。
【図７】曲線状に形成された微細量路を示す説明図である。
【図８】屈曲状に形成された微細量路を示す説明図である。
【図９】壁部材の側面に接着層を設け流路を形成した実施の形態を示す断面図である。
【図１０】微細流路を構成する壁部材を含む基板を金型で成形する様子を示す断面図である。
【図１１】微細流路の壁部材を反射光学系に利用した実施の形態を示す断面図である。
【図１２】平面基板に発光部と受光部を設けた実施の形態を示す断面図である。
【図１３】壁部材に発光部と受光部を設けた実施の形態を示す断面図である。
【図１４】平面部材の一方をシリコン基板とした実施の形態を示す断面図である。
【図１５】微細流路内の温度制御を行うために加熱源を設けた実施の形態を説明する断面図である。
【図１６】微細流の近傍に加熱・冷却管を配設した実施の形態を示す断面図である。
【図１７】多孔質部材を含む実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
１１１、１１２、１２１、１２２、１３１、１３２、１４１、１４２、１５１、１８１、１８２、１９１、２１１  平面基板
１１１ａ、１１２ａ、１５１ａ、１５１ｂ、１６１ａ、１６１ｂ、１７１ａ、１７１ｂ、１９１ａ、１９２ｂ  壁部材
１１５  接着層
３０１  上金型
３０２  下金型
１５３  微細流路
１５４ａ、１５４ｂ、１８５  反射膜
１５２  上部基板
１５５、１６５、１７３、１８３、１８４  発光部
１５６、１６６、１７４  受光部
１９３  加熱源
１９４  冷却源
２１２  多孔質の基板
２１３  機能性物質膜
【図１】
2004340758.tif 000003
【図２】
2004340758.tif 000004
【図３】
2004340758.tif 000005
【図４】
2004340758.tif 000006
【図５】
2004340758.tif 000007
【図６】
2004340758.tif 000008
【図７】
2004340758.tif 000009
【図８】
2004340758.tif 000010
【図９】
2004340758.tif 000011
【図１０】
2004340758.tif 000012
【図１１】
2004340758.tif 000013
【図１２】
2004340758.tif 000014
【図１３】
2004340758.tif 000015
【図１４】
2004340758.tif 000016
【図１５】
2004340758.tif 000017
【図１６】
2004340758.tif 000018
【図１７】
2004340758.tif 000019