(57)【要約】【課題】貼り付け作業の負担を軽減しつつ、研磨クロスの位置決めを精度よく行う。【解決手段】粘着層２ｂ上の保護フィルム２ａ〜２ｃを切れ目１３ａ、１３ｂに沿って３分割し、位置合わせの指標とするための切り欠き１４ａ、１４ｂを設けるとともに、研磨クロス２の位置合わせの指標とするためのガイドパターン２２ａ、２２ｂを研磨テーブル１表面に設ける。【選択図】　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨を行う研磨層と、
前記研磨層上に形成された粘着層と、
前記粘着層上に設けられ、分割して剥離可能な保護フィルムとを備えることを特徴とする研磨クロス。
【請求項２】
前記保護フィルムは、一定方向に少なくとも３分割されていることを特徴とする請求項１記載の研磨クロス。
【請求項３】
前記保護フィルムは、放射状に分割されていることを特徴とする請求項１記載の研磨クロス。
【請求項４】
研磨を行う研磨層と、
前記研磨層上に形成された粘着層と、
前記粘着層に設けられた空気逃し溝とを備えることを特徴とする研磨クロス。
【請求項５】
研磨を行う研磨層と、
前記研磨層上に散点状に形成された粘着層とを備えることを特徴とする研磨クロス。
【請求項６】
研磨テーブルと、
前記研磨テーブル上に設けられ、研磨クロスの位置決めの指標とするためのガイドパターンと、
前記研磨テーブルを回転させる回転手段と、
前記研磨テーブル上でウェハを押さえるウェハ押圧手段と、
前記研磨テーブル上にスラリーを供給するスラリー供給手段と、
前記研磨テーブルに設けられた光学式終点検出モニタとを備えることを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
空気を逃がすための溝が表面に設けられた研磨テーブルと、
前記研磨テーブルを回転させる回転手段と、
前記研磨テーブル上でウェハを押さえるウェハ押圧手段と、
前記研磨テーブル上にスラリーを供給するスラリー供給手段と、
前記研磨テーブルに設けられた光学式終点検出モニタとを備えることを特徴とする研磨装置。
【請求項８】
少なくとも表層部分が空気を透過させる多孔質材料で形成された研磨テーブルと、
前記研磨テーブルを回転させる回転手段と、
前記研磨テーブル上でウェハを押さえるウェハ押圧手段と、
前記研磨テーブル上にスラリーを供給するスラリー供給手段と、
前記研磨テーブルに設けられた光学式終点検出モニタとを備えることを特徴とする研磨装置。
【請求項９】
一定方向に少なくとも３分割された保護フィルムの中央部分を研磨クロスから剥がす工程と、
前記研磨クロスを研磨テーブル上で移動させながら位置決めする工程と、
前記保護フィルムの中央部分の剥離領域を介して前記研磨クロスを研磨テーブル上に仮止めする工程と、
前記仮止めされた研磨クロスの残りの保護フィルムを両側から剥がすことにより、前記研磨クロスを研磨テーブル上に貼り付ける工程とを備えることを特徴とする研磨クロスの貼り付け方法。
【請求項１０】
研磨テーブルを回転させながら、前記研磨テーブル上に粘着剤を塗布する工程と、
前記接着剤が塗布された研磨テーブル上で研磨クロスを滑らせることにより、前記研磨クロスを前記研磨テーブル上で位置決めする工程と、
前記位置決めされた研磨クロス上に加重をかけることにより、前記研磨クロスを前記研磨テーブル上に固定する工程とを備えることを特徴とする研磨クロスの貼り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は研磨クロス、研磨装置および研磨クロスの貼り付け方法に関し、特に、研磨テーブル上に研磨クロスを貼り付ける方法に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体基板表面の平坦化などに用いられるＣＭＰでは、研磨テーブル上に研磨クロスを貼り付けて研磨を行い、研磨クロスが使用不能となった場合、研磨クロスの張り替えが行われている。
図８（ａ）は、従来の研磨クロスの概略構成を示す斜視図、図８（ｂ）は、従来の研磨テーブルの概略構成を示す斜視図である。
【０００３】
図８（ａ）において、研磨クロスには研磨層８４ａが設けられ、研磨層８４ａ上には粘着層８４ｂが形成されている。
また、粘着層８４ｂ上には保護フィルム８５が設けられ、研磨クロスの貼り付け前は、保護フィルム８５により粘着層８４ｂが保護される。
また、研磨クロスには、光を透過させるための終点検出モニタ用窓８６が設けられるとともに、位置合わせの指標とするための切り欠き８７が設けられている。
【０００４】
一方、図８（ｂ）において、研磨テーブル８１は回転軸８２に結合され、研磨テーブル８１表面には、研磨時のウェハからの反射光を検出する光学式終点検出モニタ８３が設けられている。
図９は、従来の研磨クロスの貼り付け方法を示す断面図である。
図９（ａ）において、研磨クロスを研磨テーブル８１上に貼り付ける場合、保護フィルム８５の一端を粘着層８４ｂから剥がす。そして、終点検出モニタ用窓８６の位置が光学式終点検出モニタ８３の位置に合うように、研磨テーブル８１上で研磨クロスを目分量で位置決めし、粘着層８４ｂの一端を研磨テーブル８１上に貼り付けることにより、研磨クロスを仮止めする。
【０００５】
次に、図９（ｂ）に示すように、保護フィルム８５を他端方向に引っ張ることにより、保護フィルム８５を粘着層８４ｂから少しずつ剥がす。
そして、図９（ｃ）に示すように、空気が入らないように注意しながら、粘着層８４ｂを介して研磨層８４ａ全面を研磨テーブル８１上に貼り付ける。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の研磨クロスの貼り付け方法では、研磨クロスの仮止め位置が適正でないと、終点検出モニタ用窓８６の位置が光学式終点検出モニタ８３の位置に合わなくなる。
このため、新しい研磨クロスを用いて、研磨クロスの貼り付けをやり直す必要があり、研磨クロスの無駄が大きいという問題があった。
【０００７】
また、研磨クロスの大きさが大きくなると、研磨クロスに空気が入らないように、研磨クロスを研磨テーブル８１上に貼り付けることが難しくなり、貼り付け作業の負担が大きくなるという問題があった。
そこで、本発明の目的は、貼り付け作業の負担を軽減しつつ、研磨クロスの位置決めを精度よく行うことが可能な研磨クロス、研磨装置および研磨クロスの貼り付け方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１記載の研磨クロスによれば、研磨を行う研磨層と、前記研磨層上に形成された粘着層と、前記粘着層上に設けられ、分割して剥離可能な保護フィルムとを備えることを特徴とする。
これにより、保護フィルムの一部を除去し、研磨クロスを研磨テーブル上で移動させながら、研磨クロスの位置決めを行うことが可能となる。
【０００９】
このため、研磨クロスの位置決めを精度よく行うことが可能となり、研磨クロスの貼り付けのやり直しを防止して、研磨クロスの無駄を減らすことが可能となる。
また、請求項２記載の研磨クロスによれば、前記保護フィルムは、一定方向に少なくとも３分割されていることを特徴とする。
【００１０】
これにより、研磨クロスの中央部分で仮止めした状態で、研磨クロスの中央部分から端部に向かって空気を逃がしながら、研磨クロスを貼り付けることが可能となる。
このため、研磨クロスに空気が入らないように、研磨クロスを研磨テーブル上に容易に貼り付けることが可能となり、貼り付け作業の負担を軽減することが可能となる。
【００１１】
また、請求項３記載の研磨クロスによれば、前記保護フィルムは、放射状に分割されていることを特徴とする。
これにより、研磨クロスに空気が入らないように注意しながら、研磨クロスを研磨テーブル上に少しずつ貼り付けることが可能となり、貼り付け作業の負担を軽減することが可能となる。
【００１２】
また、請求項４記載の研磨クロスによれば、研磨を行う研磨層と、前記研磨層上に形成された粘着層と、前記粘着層に設けられた空気逃し溝とを備えることを特徴とする。
これにより、研磨クロスを研磨テーブル上に貼り付けた際に、研磨クロスと研磨テーブルとの間に空気が入った場合においても、粘着層に設けられた空気逃し溝を介して空気を外に逃がすことが可能となり、研磨クロスの貼り付け作業の負担を軽減することが可能となる。
【００１３】
また、請求項５記載の研磨クロスによれば、研磨を行う研磨層と、前記研磨層上に散点状に形成された粘着層とを備えることを特徴とする。
これにより、粘着層の間に隙間を形成することが可能となり、研磨クロスに入った空気を外に逃がしながら、研磨クロスを研磨テーブル上に貼り付けることが可能となることから、研磨クロスの貼り付け作業の負担を軽減することが可能となる。
【００１４】
また、請求項６記載の研磨装置によれば、研磨テーブルと、前記研磨テーブル上に設けられ、研磨クロスの位置決めの指標とするためのガイドパターンと、前記研磨テーブルを回転させる回転手段と、前記研磨テーブル上でウェハを押さえるウェハ押圧手段と、前記研磨テーブル上にスラリーを供給するスラリー供給手段と、前記研磨テーブルに設けられた光学式終点検出モニタとを備えることを特徴とする。
【００１５】
これにより、研磨クロスを研磨テーブル上に貼り付ける際に、研磨クロスの仮止め位置を容易に認識することが可能となり、研磨クロスの位置決めを精度よく行うことが可能となる。
また、請求項７記載の研磨装置によれば、空気を逃がすための溝が表面に設けられた研磨テーブルと、前記研磨テーブルを回転させる回転手段と、前記研磨テーブル上でウェハを押さえるウェハ押圧手段と、前記研磨テーブル上にスラリーを供給するスラリー供給手段と、前記研磨テーブルに設けられた光学式終点検出モニタとを備えることを特徴とする。
【００１６】
これにより、研磨クロスを研磨テーブル上に貼り付けた際に、研磨クロスと研磨テーブルとの間に空気が入った場合においても、研磨テーブル表面に設けられた溝を介して空気を外に逃がすことが可能となり、研磨クロスの貼り付け作業の負担を軽減することが可能となる。
また、請求項８記載の研磨装置によれば、少なくとも表層部分が空気を透過させる多孔質材料で形成された研磨テーブルと、前記研磨テーブルを回転させる回転手段と、前記研磨テーブル上でウェハを押さえるウェハ押圧手段と、前記研磨テーブル上にスラリーを供給するスラリー供給手段と、前記研磨テーブルに設けられた光学式終点検出モニタとを備えることを特徴とする。
【００１７】
これにより、研磨クロスを研磨テーブル上に貼り付けた際に、研磨クロスと研磨テーブルとの間に空気が入った場合においても、研磨テーブルを介して空気を外に逃がすことが可能となり、研磨クロスの貼り付け作業の負担を軽減することが可能となる。
また、請求項９記載の研磨クロスの貼り付け方法によれば、一定方向に少なくとも３分割された保護フィルムの中央部分を研磨クロスから剥がす工程と、前記研磨クロスを研磨テーブル上で移動させながら位置決めする工程と、前記保護フィルムの中央部分の剥離領域を介して前記研磨クロスを研磨テーブル上に仮止めする工程と、前記仮止めされた研磨クロスの残りの保護フィルムを両側から剥がすことにより、前記研磨クロスを研磨テーブル上に貼り付ける工程とを備えることを特徴とする。
【００１８】
これにより、保護フィルムの中央部分が剥がされた研磨クロスを研磨テーブル上に載せた場合においても、研磨クロスが研磨テーブル上に貼り付ないように、両側に残った保護フィルムで研磨クロスを支えることが可能となる。
このため、研磨クロスを研磨テーブル上に載せた状態で、研磨クロスを研磨テーブル上で移動させながら、研磨クロスの位置決めを行うことが可能となり、研磨クロス全体の位置を確認しつつ、研磨クロスの仮止めを行うことができる。
【００１９】
また、研磨クロスの位置決めが終了すると、研磨クロスの中央部分を仮止めした状態で、研磨クロスの中央部分から端部に向かって空気を逃がしながら、研磨クロスを貼り付けることが可能となる。
このため、研磨クロスに空気が入らないように、研磨クロスを研磨テーブル上に容易に貼り付けることが可能となり、貼り付け作業の負担を軽減することが可能となるとともに、研磨クロスの貼り付け精度を向上させて、研磨クロスの貼り付け作業の失敗を低減することができる。
【００２０】
また、請求項１０記載の研磨クロスの貼り付け方法によれば、研磨テーブルを回転させながら、前記研磨テーブル上に粘着剤を塗布する工程と、前記接着剤が塗布された研磨テーブル上で研磨クロスを滑らせることにより、前記研磨クロスを前記研磨テーブル上で位置決めする工程と、前記位置決めされた研磨クロス上に加重をかけることにより、前記研磨クロスを前記研磨テーブル上に固定する工程とを備えることを特徴とする。
【００２１】
これにより、研磨クロスを研磨テーブル上に載せた状態で、研磨クロスを研磨テーブル上で移動させながら、研磨クロスの位置決めを行うことが可能となり、研磨クロスに入った空気を追い出しながら、研磨クロス全体の位置を確認しつつ、研磨クロスの仮止めを行うことが可能となる。
このため、研磨クロスに空気が入らないように、研磨クロスを研磨テーブル上に容易に貼り付けることが可能となり、貼り付け作業の負担を軽減することが可能となるとともに、研磨クロスの貼り付け精度を向上させて、研磨クロスの貼り付け作業の失敗を低減することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る研磨装置および研磨クロスの貼り付け方法について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る研磨装置の概略構成を示す斜視図である。図１において、研磨テーブル１は回転軸３に結合され、回転軸３を中心として回転できるようにされるとともに、研磨テーブル１上には研磨クロス２が貼付されている。
【００２３】
また、研磨クロス２が貼付された研磨テーブル１上には、ウェハＷをチャッキングするウェハリング４が設けられるとともに、ウェハＷを研磨クロス２上に押さえ付けるウェハキャリア５が設けられている。
そして、ウェハキャリア５はスピンドル６に結合され、ウェハＷを研磨クロス２上に押さえ付けながら、スピンドル６の回りを回転できるようにされている。
【００２４】
さらに、研磨テーブル１上には、研磨クロス２の表面状態を調整する研磨クロス調整ディスク７が設けられるとともに、研磨クロス調整ディスク７を研磨クロス２上に押さえ付ける研磨クロス調整ディスクキャリア８が設けられている。
そして、研磨クロス調整ディスクキャリア８は回転シャフト９に結合され、研磨クロス調整ディスク７を研磨クロス２上に押さえ付けながら、回転シャフト９の回りを回転できるようにされている。
【００２５】
また、研磨テーブル１上方には、研磨クロス２上に研磨剤１１を吐出させるノズル１０が設けられている。
そして、ウェハＷを研磨する場合、研磨テーブル１上に研磨クロス２を貼り付ける。そして、研磨クロス２上に研磨剤１１を吐出させ、ウェハキャリア５によりウェハＷを研磨クロス２上に押さえ付けながら、研磨テーブル１を回転させる。
【００２６】
図２（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る研磨クロス２の概略構成を示す斜視図、図２（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る研磨テーブル１の概略構成を示す斜視図である。
図２（ａ）において、研磨クロス２には研磨層２ａが設けられ、研磨層２ａ上には粘着層２ｂが形成されている。
【００２７】
また、粘着層２ｂ上には保護フィルム２ａ〜２ｃが設けられ、保護フィルム２ａ〜２ｃは、切れ目１３ａ、１３ｂに沿って３分割されている。
また、研磨クロス２には、光を透過させるための終点検出モニタ用窓１１が設けられるとともに、位置合わせの指標とするための切り欠き１４ａ、１４ｂが設けられている。
【００２８】
なお、研磨層２ａは、例えば、多孔質軟体からなる表層と、ゴム弾性体からなる下層の２層構造であってもよく、ポリエステルフェルトにポリウレタンを含浸させたシートなどを用いた基材にポリウレタンを積層し、ポリウレタン内に発泡層を成長させた構造（スエードタイプ研磨布）であってもよい。
一方、図２（ｂ）において、研磨テーブル１表面には、研磨時のウェハＷからの反射光を検出する光学式終点検出モニタ２１が設けられるとともに、研磨クロス２の位置合わせの指標とするためのガイドパターン２２ａ、２２ｂが設けられ、これらのガイドパターン２２ａ、２２ｂは、研磨クロス２の切り欠き１４ａ、１４ｂの位置にそれぞれ対応するように配置されている。
【００２９】
図３（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る研磨クロスの使用方法を説明する斜視図、図３（ｂ）〜図３（ｄ）は、本発明の第１実施形態に係る研磨クロスの貼り付け方法を示す断面図である。
図３（ａ）において、研磨クロス２を研磨テーブル１上に貼り付ける場合、まず、中央の保護フィルム２ｂを粘着層２ｂから全部剥がす。
【００３０】
そして、図３（ｂ）に示すように、保護フィルム２ｂの剥離面が研磨テーブル１に対向するように、中央の保護フィルム２ｂが剥がされた研磨クロス２を研磨テーブル１上に載せる。
ここで、中央の保護フィルム２ｂが剥がされた研磨クロス２を研磨テーブル１上に単に載せた状態では、両端の保護フィルム２ａ、２ｃにより粘着層２ｂを研磨テーブル１上で支えることができるため、粘着層２ｂを研磨テーブル１と非接触の状態に保つことができ、研磨クロス２を研磨テーブル１上に載せたまま、研磨クロス２を研磨テーブル１上で移動させることができる。
【００３１】
そして、研磨クロス２の切り欠き１４ａ、１４ｂの位置が研磨テーブル１のガイドパターン２２ａ、２２ｂの位置にそれぞれ合致するように、研磨クロス２を研磨テーブル１上でスライドさせる。
そして、研磨クロス２の切り欠き１４ａ、１４ｂの位置が研磨テーブル１のガイドパターン２２ａ、２２ｂの位置にそれぞれ合致すると、保護フィルム２ｂの剥離部分に沿って、研磨層２ａを研磨テーブル１上に押し付け、保護フィルム２ｂの剥離部分の粘着層２ｂを研磨テーブル１に接触させることにより、研磨クロス２を仮止めする。
【００３２】
次に、図３（ｃ）に示すように、研磨クロス２が保護フィルム２ｂの剥離部分で仮止めされると、保護フィルム１２ａ、１２ｂをそれぞれ両端に引っ張ることにより、保護フィルム１２ａ、１２ｂを粘着層２ｂから少しずつ剥がす。
そして、図３（ｄ）に示すように、空気が入らないように注意しながら、粘着層２ｂを介して研磨層２ａ全面を研磨テーブル１上に貼り付ける。
【００３３】
これにより、研磨クロス２の位置決めを精度よく行うことが可能となり、研磨クロス２の貼り付けのやり直しを減らして、研磨クロス２の無駄を低減することができる。
また、研磨クロス２の中央部分が仮止めされた状態で、研磨クロス２の中央部分から端部に向かって空気を逃がしながら、研磨クロス２を研磨テーブル１上に貼り付けることが可能となり、研磨クロス２の貼り付け作業の負担を軽減することが可能となる。
【００３４】
図４は、本発明の第２実施形態に係る研磨クロスの概略構成を示す斜視図である。
図４において、研磨クロスには研磨層３１ａが設けられ、研磨層３１ａ上には粘着層３１ｂが形成されている。
また、粘着層３１ｂ上には保護フィルム３２が設けられ、保護フィルム３２は切れ目３５に沿って放射状に分割されている。
【００３５】
また、研磨クロスには、光を透過させるための終点検出モニタ用窓３３が設けられるとともに、位置合わせの指標とするための切り欠き３４ａが設けられている。
これにより、研磨クロスの貼付面を区分けすることが可能となり、区分けされた貼付面ごとに空気が入らないように注意しながら、研磨クロスを研磨テーブル上に貼り付けることが可能となるため、貼り付け作業の負担を軽減することが可能となる。
【００３６】
図５は、本発明の第３実施形態に係る研磨クロスの貼り付け方法を示す斜視図である。
図５（ａ）において、研磨テーブル４１は回転軸４２に結合され、研磨テーブル４１表面には、研磨時のウェハからの反射光を検出する光学式終点検出モニタ４３が設けられている。
【００３７】
そして、研磨クロス４６を研磨テーブル４１上に貼り付ける場合、研磨テーブル４１を回転させながら、ノズル４４から粘着材４５を研磨テーブル４１に垂らし、粘着材４５を研磨テーブル４１上に塗布する。
ここで、研磨テーブル４１を回転させながら、粘着材４５を研磨テーブル４１上に塗布することにより、粘着材４５を遠心力で均一に広げることが可能となり、粘着材４５を研磨テーブル４１上に均一に塗布する際の作業者の負担を軽減することができる。
【００３８】
次に、図５（ｂ）に示すように、研磨クロス４６を研磨テーブル４１上に載せ、研磨クロス４６を研磨テーブル４１上でスライドさせながら、終点検出モニタ用窓４７の位置が光学式終点検出モニタ４３の位置に合うように、研磨テーブル４１上で研磨クロス４６を位置決めする。
次に、図５（ｃ）に示すように、研磨クロス４６を位置決めすると、研磨クロス４６上に均一に加重がかかるように、加圧治具４８を研磨クロス４６上に載せ、粘着材４５の粘着力を働かせることにより、研磨クロス４６を研磨テーブル４１上に固定する。
【００３９】
これにより、研磨クロス４６を研磨テーブル４１上で何度も移動させながら、研磨クロス４６の位置決めを行うことが可能となり、研磨クロス４６の位置決めの失敗を防止することができる。
また、加圧治具４８を用いて、研磨クロス４６全体を研磨テーブル４１上に一度に固定することが可能となり、研磨クロス４６を研磨テーブル４１上に貼り付ける際に、空気が入り込まないようにすることができるため、研磨クロス４６の貼り付け作業の負担を軽減することができる。
【００４０】
さらに、研磨テーブル４１の回転数、加圧治具４８による加圧圧力や加圧時間などを制御することにより、粘着材４５の厚みを容易に調整することが可能となり、作業者間での研磨クロス４６の張り具合のばらつきを容易に解消することができる。
図６（ａ）は、本発明の第４実施形態に係る研磨クロスの概略構成を示す斜視図である。
【００４１】
図６（ａ）において、研磨クロスには研磨層５１が設けられ、研磨層５１上には粘着層５２が散点状に形成されている。
ここで、各粘着層５２は、研磨クロス上に正六角形５３を敷き詰めた場合、各正六角形５３の中央に配置することが好ましい。
これにより、粘着層５２の間に隙間を形成することが可能となり、研磨クロスに入った空気を外に逃がしながら、研磨クロスを研磨テーブル上に貼り付けることが可能となる。
【００４２】
また、各正六角形５３の中央に各粘着層５２を配置することにより、粘着層５２が押し潰された際に、粘着層５２を研磨層５１上で均一に押し広げることが可能となり、研磨クロスの貼り付け精度を向上させることが可能となる。
図６（ｂ）は、本発明の第５実施形態に係る研磨クロスの概略構成を示す斜視図である。
【００４３】
図６（ｂ）において、研磨クロスには研磨層６１が設けられ、研磨層６１上には粘着層６２が形成され、粘着層６２には、研磨クロスと研磨テーブルとの間に入った空気を逃がすための溝６３が設けられている。
ここで、溝６３の幅、間隔および深さは、研磨クロスを研磨テーブル上に貼り付けた際に、研磨クロスと研磨テーブルとの間に入った空気を逃がすことが可能で、研磨に影響を及ぼすことがないような値に設定することができる。
【００４４】
これにより、研磨クロスと研磨テーブルとの間に空気が入った場合においても、粘着層６２に設けられた溝６３を介して空気を外に逃がすことが可能となり、研磨クロスの貼り付け作業の負担を軽減することが可能となる。
図７は、本発明の第６実施形態に係る研磨テーブルの概略構成を示す斜視図である。
【００４５】
図７において、研磨テーブル７１は回転軸７２に結合され、研磨テーブル７１表面には、研磨クロスと研磨テーブル７１との間に入った空気を逃がすための溝７３が設けられている。
ここで、溝７３の幅、間隔および深さは、研磨クロスを研磨テーブル７１上に貼り付けた際に、研磨クロスと研磨テーブル７１との間に入った空気を逃がすことが可能で、研磨に影響を及ぼすことがないような値に設定することができる。
【００４６】
これにより、研磨クロスを研磨テーブル７１上に貼り付けた際に、研磨クロスと研磨テーブル７１との間に空気が入った場合においても、研磨テーブル７１表面に設けられた溝７３を介して空気を外に逃がすことが可能となり、研磨クロスの貼り付け作業の負担を軽減することが可能となる。
なお、研磨クロスと研磨テーブルとの間に入った空気を逃がすために、空気を透過させる多孔質材料で研磨テーブルを形成するようにしてもよい。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、保護フィルムを分割することにより、研磨クロスに入った空気を追い出しながら、研磨クロスの貼り付けを行うことが可能となり、研磨クロスの貼り付け作業の負担を軽減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る研磨装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図２（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る研磨クロスの概略構成を示す斜視図、図２（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る研磨テーブルの概略構成を示す斜視図である。
【図３】図３（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る研磨クロスの使用方法を説明する斜視図、図３（ｂ）〜図３（ｄ）は、本発明の第１実施形態に係る研磨クロスの貼り付け方法を示す断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る研磨クロスの概略構成を示す斜視図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る研磨クロスの貼り付け方法を示す斜視図である。
【図６】図６（ａ）は、本発明の第４実施形態に係る研磨クロスの概略構成を示す斜視図、図６（ｂ）は、本発明の第５実施形態に係る研磨クロスの概略構成を示す斜視図である。
【図７】本発明の第６実施形態に係る研磨テーブルの概略構成を示す斜視図である。
【図８】図８（ａ）は、従来の研磨クロスの概略構成を示す斜視図、図８（ｂ）は、従来の研磨テーブルの概略構成を示す斜視図である。
【図９】従来の研磨クロスの貼り付け方法を示す断面図である。
【符号の説明】
１、４１、７１　研磨テーブル、２、４６　研磨クロス、２ａ、３１ａ、５１、６１　研磨層、２ｂ、３１ｂ、６２　粘着層、３、４２、７２　回転軸、４　ウェハリング、５　ウェハキャリア、６　スピンドル、７　研磨クロス調整ディスク、８　研磨クロス調整ディスクキャリア、９　回転シャフト、１０、４４　ノズル、１１　研磨剤、Ｗ　ウェハ、１１、３３、４７　終点検出モニタ用窓、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、３２　保護フィルム、１３ａ、１３ｂ、３５　切れ目、１４ａ、１４ｂ、３４　切り欠き、２１、４３　光学式終点検出モニタ、２２ａ、２２ｂ　ガイドパターン、４５　粘着剤、４８　加圧治具、５２　粘着剤、５３　正六角形　６３、７３　溝
【図１】
2004090106.tif 000003
【図２】
2004090106.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004090106.tif 000006
【図５】
2004090106.tif 000007
【図６】
2004090106.tif 000008
【図７】
2004090106.tif 000009
【図８】
2004090106.tif 000010
【図９】
2004090106.tif 000011