(57)【要約】【課題】本発明は、基板を洗浄する際に使用する基板洗浄用ラックの発明である。従来の基板洗浄用ラックでは基板のサイズが限定され、大きさの違う基板を洗浄するには別の基板洗浄用ラックを用意しなければならないため経費がかかり、また、保管にも場所を取るものであった。そこで、本発明は、基板を固定するラック部と台部を調節可能としたことで、一台で様々な大きさの基板に対応できるようになり、基板の大きさに合わせて複数洗浄用ラックを用意することがなくなったため、経費が嵩まない基板洗浄用ラックを提供することを目的とするものである。【構成】本発明は、上記の課題を解決するために、洗浄する基板を挟み前後に固定するラック部と、洗浄する基板の台となり固定する可動式台とを内側に持つ枠体部と、枠体部上部に取り付けられ吊り上げ具で引き上げる際の引っかけ部分となる左右ハンガーとからなることを特徴とする基板洗浄用ラックの構成とした。【選択図】  図１
2004283718.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄する基板を挟み前後に固定するラック部と、洗浄する基板の台となり固定する可動式台とを内側に持つ枠体部と、枠体部上部に取り付けられ吊り上げ具で引き上げる際の引っかけ部分となる左右ハンガーとからなることを特徴とする基板洗浄用ラック。
【請求項２】
洗浄する基板のサイズに合わせ固定することができるように左右に調節できる２本の支持棒を持つラック部と、ラック部の２本の支持棒が調節できるように台を２つとした可動式台とを持つことを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄用ラック。
【請求項３】
中央に１本の支持棒を持ち洗浄する基板の支持位置をラック毎に調節できるラック部と、ラック部中央の支持棒が左右に移動できるように台を２つとした可動式台とを持つことを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄用ラック。
【請求項４】
基板洗浄用ラックのラック部が左右に倒れる際に一定の部分までラックが倒れるように支えるための左右回転棒を持つことを特徴とするラック用スタンド。
【請求項５】
吊り上げ具で吊り上げる際の引っかけ部分となる左右ハンガーを３６０度回転可能とし、使用しない場合は内側に向けて収納できることを特徴としたことを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄用ラック。
【請求項６】
複数の留め具をスプリング等の伸縮可能な部材で取り付けた上下左右枠とからなり、ラック部及び可動式台の調節では対応できない程小さい基板を洗浄する際に使用することができることを特徴とする基板用アダプタ。
【請求項７】
洗浄する基板のサイズに合わせるために左右に調節できる支持棒を固定する部分に長い調節溝を設け、支持棒の凸部の両端をネジ留めすることで細かい調節が可能となったことを特徴とする請求項２に記載の洗浄用ラック。
【請求項８】
基板の洗浄後に表面に残った水分の乾きを早くするために、最後に温水により洗浄し、基板自体に熱を持たせる請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６又は請求項７に記載の基板洗浄用ラックを使用した洗浄方法。
【請求項９】
表面に残った水分の水切りを良くするためにテフロン（登録商標）加工または皮膜加工等の加工を施したことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６又は請求項７に記載の基板洗浄用ラック。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、基板を洗浄する際に使用する基板洗浄用ラックの発明である。
【０００２】
【従来の技術】
従来から存在する基板洗浄用ラックは、箱形の基板固定用のラックに基板を設置し、洗浄液を四方から噴射し洗浄するものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の基板洗浄用ラックでは、基板のサイズが限定され、大きさの違う基板を洗浄するには別の基板洗浄用ラックを用意しなければならないため経費がかかり、また、保管にも場所を取るものであった。
【０００４】
そこで、本発明は、基板を固定するラック部と台部を調節可能としたことで、一台で様々な大きさの基板に対応できるようになり、基板の大きさに合わせて複数洗浄用ラックを用意することがなくなったため、経費が嵩まない基板洗浄用ラックを提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するために、洗浄する基板を挟み前後に固定するラック部と、洗浄する基板の台となり固定する可動式台とを内側に持つ枠体部と、枠体部上部に取り付けられ吊り上げ具で引き上げる際の引っかけ部分となる左右ハンガーとからなることを特徴とする基板洗浄用ラック、洗浄する基板のサイズに合わせ固定することができるように左右に調節できる２本の支持棒を持つラック部とラック部の２本の支持棒が調節できるように台を２つとした可動式台とを持つことを特徴とする基板洗浄用ラック、中央に１本の支持棒を持ち洗浄する基板の支持位置をラック毎に調節できるラック部と、ラック部中央の支持棒が左右に移動できるように台を２つとした可動式台とを持つことを特徴とする基板洗浄用ラック、吊り上げ具で吊り上げる際の引っかけ部分となる左右ハンガーを３６０度回転可能とし、使用しない場合は内側に向けて収納できることを特徴としたことを特徴とする基板洗浄用ラック、基板洗浄用ラックのラック部が左右に倒れる際に一定の部分までラックが倒れるように支えるための左右回転棒を持つことを特徴とするラック用スタンド、複数の留め具をスプリング等の伸縮可能な部材で取り付けた上下左右枠とからなり、ラック部及び可動式台の調節では対応できない程小さい基板を洗浄する際に使用することができることを特徴とする基板用アダプタ、洗浄する基板のサイズに合わせるために左右に調節できる支持棒を固定する部分に長い調節溝を設け、支持棒の凸部の両端をネジ留めすることで細かい調節が可能となったことを特徴とする基板洗浄用ラック、及び基板の洗浄後に表面に残った水分の乾きを早くするために、最後に温水により洗浄し、基板自体に熱を持たせる基板洗浄用ラックを使用した洗浄方法と、表面に残った水分の水切りを良くするためにテフロン（登録商標）加工または皮膜加工等の加工を施したことを特徴とする基板洗浄用ラックとからなることを特徴とした基板洗浄用ラックの構成とした。
【０００６】
【実施例】
以下に、添付図面に基づいて本発明である基板洗浄用ラックを詳細に説明する。
【０００７】
先ず、本発明である基板洗浄用ラックの第１実施例について説明する。図１は本発明である基板洗浄用ラックと基板の正面図、図２は基板洗浄用ラックの右側面図、図３は基板洗浄用ラックの左側面図、図４は基板洗浄用ラックの平面図である。
【０００８】
図１に示すように、基板洗浄用ラック１は、枠体部２、左ハンガー３、右ハンガー４、ラック部５及び可動式台６とからなる。基板７を、ラック部５に存在する左ハンガー３と右ハンガー４の間に挟み固定して使用する。
【０００９】
正面枠２ａの左右上部に回動可能に取り付けられた右前ラックホルダー２ｏと左前ラックホルダー２ｐは、ラック部５の複数のラック５ｈ、５ｈ、５ｈ・・・・を固定しているラック固定部材２ｑ、２ｑとともに、ラック部５が倒れないように保持している。
【００１０】
枠体部２の中央横向きに設置されている可動式台６は、Ａ方向、Ｂ方向に移動させ設定することが可能である。また、枠体部２の左右上部にはステーにより持ち上げられる時に使用する左右ハンガー３、４が設置されている。
【００１１】
図２及び図３に示すように、正面枠２ａ及び背面枠２ｂは、右側が右上連結材２ｃ、右中連結材２ｄ、右下連結材２ｆにより連結されており、左側は左上連結材２ｉ、左中連結材２ｊ、左下連結材２ｌにより連結されている。尚、正面枠２ａの左右両辺には、左右前柱２ｍ、２ｇで補強されており、背面枠２ｂの左右両面にも、左右後柱２ｎ、２ｈで補強されている。
【００１２】
図２に示すように、右中連結材２ｄと右下連結材２ｆの間には、溝２ｒ、２ｒが設けられている複数枚の右台支持材２ｅ、２ｅ、２ｅが設置されている。図３示すように、同様に、左中連結材２ｊと左下連結材２ｌの間にも、溝２ｓ、２ｓが設けられている複数枚の左台支持材２ｋ、２ｋ、２ｋが設置されている。この左右台支持材２ｅ、２ｋの設置すべき数及び設置すべき位置については、特に限定していない。
【００１３】
図２に示すように、右台支持材２ｅの溝２ｒ、２ｒには、可動式台６の右係止材６ｉに設置されている起立材６ｊ、６ｊを嵌め込む。また図３に示すように、前記左台支持材２ｋの溝２ｓ、２ｓにはコの字状の左係止材６ｈの両端部分が嵌め込んで可動式台６を取り付ける。
【００１４】
図２に示すように、右上連結材２ｃと右中連結材２ｄの中央には、右ハンガー４の右連結材４ａにより固定されており、右連結材４ａの上部は右ハンガー軸４ｂに接続している。
【００１５】
右ハンガー軸４ｂは右補強材４ｃで補強されており、右ハンガー軸４ｂの上部には略Ｌ字状に屈曲した右ハンガー部４ｅが右ハンガー軸４ｂより正面方向に向かって折り返すように接合されている。
【００１６】
折り返した右ハンガー部４ｅは前方に向かって斜めに折り返されているため、右ハンガー軸４ｂとＶ字型の隙間４ｆを作り、後にステー２７ｄをかけることができる。尚、前記右ハンガー部４ｅには略Ｌ字に添って右起立部４ｄが補強材として接合されている。
【００１７】
図３に示すように、左上連結材２ｉと左中連結材２ｊの中央は左ハンガー３の左連結材３ａにより連結されており、左連結材３ａの上部は左ハンガー軸３ｂに連結固定している。
【００１８】
左ハンガー軸３ｂは左補強材３ｃで補強されており、左ハンガー軸３ｂの上部には略Ｌ字状に屈曲した左ハンガー部３ｅが左ハンガー軸より正面方向に向かって折り返すように接合されている。
【００１９】
折り返した左ハンガー部３ｅは前方に向かって斜めに折り返しているため、前記左ハンガー軸３ｂとＶ字型の隙間３ｆを作り、後にステー２７ｄをかけることができる。尚、左ハンガー部３ｅには、略Ｌ字状に添って左起立部３ｄが補強材として接合されている。
【００２０】
図４に示すように、左ハンガー３の左連結部３ａ及び右ハンガー４の右連結部４ａは、ハンガー連結棒３ｇにより連結されている。
【００２１】
正面枠２ａ及び背面枠２ｂの間には、ラック部５があり、複数枚のラック５ｈ、５ｈ、５ｈ・・・が挟まれており、右上連結材２ｃと左上連結材２ｉ間の中央部にあるラック固定部材２ｑ、２ｑ、２ｑ、２ｑにより固定されている。
【００２２】
正面枠２ａの上部には、回動可能に設置された左右前ラックホルダー２ｐ、２ｏがあり、ラック部５の各ラック５ｈ、５ｈ、５ｈ、５ｈ・・・・が倒れないように保持している。また、背面枠２ｂ上部にも回動可能に設置された左右後ラックホルダー２ｕ、２ｔが設置されていて、ラック部５の各ラック５ｈ、５ｈ、５ｈ・・・を保持している。
【００２３】
図５は、基板洗浄用ラックの右側面図である。図５に示すように、左右前ラックホルダー２ｐ、２ｏを外し、ラック固定部材２ｑを外すとラック部５の各ラック５ｈ、５ｈ・・・・は外方に向かって倒れる。ラック部５の各ラック５ｈ、５ｈ・・・の下端部は回動可能に取り付けられているために各ラック５ｈ、５ｈ、５ｈの上部だけが外方に向かって倒れる。
【００２４】
図６は、本発明である基板洗浄用ラックのラック部の正面図である。ラック部５の各ラック５ｈ、５ｈ、５ｈ・・・・は、上枠５ａ、下枠５ｂ、横断面形状が左Ｕ字枠５ｃ、横断面形状が右Ｕ字枠５ｄ及び支持棒５ｅとからなる。
【００２５】
支持棒５ｅの上端には上連結部材５ｆが取り付けられているとともに、下端には下連結部材５ｇが取り付けられている。支持棒５ｅの上連結部材５ｆは上枠５ａの中央に取り付けられ、下連結部材５ｇは下枠５ｂの中央に取り付けられている。即ち、支持棒５ｅの上端は上枠５ａの中央部に、下端は下枠５ｂの中央部に着脱可能に取り付けられている。
【００２６】
図７は本発明である基板洗浄用ラックの可動式台の正面図、図８は基板洗浄用ラックの可動式台の平面図である。図７に示すように、可動式台６は、第１台６ｄ、第２台６ｅ、第３台６ｆ、第４台６ｇ、台連結材６ａ、左右係止材６ｈ、６ｉ及び左右取っ手６ｂ、６ｃとからなる。
【００２７】
第１台６ｄと第４台６ｇは同形同大であるとともに、第２台６ｅと第３台６ｆも同形同大である。第１、第２、第３、第４台６ｄ、６ｅ、６ｆ、６ｇは、それぞれ複数個からなり連結されている。
【００２８】
即ち、第１台６ｄは台連結材６ｋ、６ｋにより、第２台６ｅは台連結材６ｌ、６ｌにより、第３台６ｆは台連結材６ｍ、６ｍにより、第４台６ｇは台連結材６ｎ、６ｎにより等間隔に連結されている。
【００２９】
図８に示すように、第１台６ｄ、第２台６ｅ、第３台６ｆ、第４台６ｇは台連結材６ａにより連結されている。台連結材６ａ上部には左右取っ手６ｂ、６ｃが設置されており、台連結材６ａの左右両端には左係止材６ｈ、右係止材６ｉが設置されている。
【００３０】
左係止材６ｈはコの字状をしており、両端部分は枠体部２の左台支持材２ｋに用意された溝２ｓ、２ｓに嵌め込む。右係止材６ｉには、内側に２枚の起立材６ｊ、６ｊが備えてあり、起立材６ｊ、６ｊは枠体部２の右台支持材２ｅの溝２ｒ、２ｒに嵌め込む。
【００３１】
図９は本発明である基板洗浄用ラックの第２実施例の正面図、図１０は基板洗浄用ラックの第２実施例の右側面図、図１１は基板洗浄用ラックの第２実施例の左側面図、図１２は基板洗浄用ラックの第２実施例の平面図、図１３は基板洗浄用ラックの第２実施例の幅調節具の左側面図である
【００３２】
図９に示すように、本例の基板洗浄用ラック１ａは、枠体部８、左ハンガー９、右ハンガー１０、ラック部１１、可動式台１２とからなる。コ字状の正面枠８ａには幅調節棒８ｒが水平方向に固定されており、幅調節棒８ｒの上面には複数の調節孔８ｓ、８ｓ、８ｓ、８ｓ・・・を設けてある。
【００３３】
枠体部８の中央部の水平方向に設置されている可動式台１２は、基板洗浄用ラック１の可動式台６と同様に枠体部８の中を上下方向に移動させて設置することができる。また、枠体部８の左右上部にはステー２７ｄをひっかける時に使用する左右ハンガー９、１０が設置されている。
【００３４】
図９に示すように、ラック部１１は、上枠１１ａ、下枠１１ｂ、左枠１１ｃ、右枠１１ｄ、第１支持棒１１ｅ及び第２支持棒１１ｆとからなる。そして、第１支持棒１１ｅと第２支持棒１１ｆは、左右方向に移動が可能であり位置調節ができる。従って、第１支持棒１１ｅと第２支持棒１１ｆ間に示した矢印Ｄの間隔幅は変更できる。
【００３５】
基板洗浄用ラック１ａのラック部１１では、基板７を設置する場所が左枠１１ｃと第１支持棒１１ｅ間及び右枠１１ｄと第２支持棒１１ｆ間に設置されるため、矢印Ｄの間隔幅を調節することで、幅の狭い基板を洗浄することが出来るようになる。
【００３６】
第１支持棒１１ｅの上部は左上連結部１１ｇに連結され、下部は左下連結部１１ｈに連結されている。第２支持棒１１ｆの上部は右上連結部１１ｉに連結され、下部は右下連結部１１ｊに連結されているめに第１支持棒１１ｅと第２支持棒１１ｆは、個々が単独で調節できるものではなく、ラック部１１の全ての第１支持棒１１ｅが同時に動き、全ての第２支持棒１１ｆが同時に動く。
【００３７】
可動式台１２は、可動式台６と構造はほぼ同じである。台分が左台１２ｄと右台１２ｅの二つになり、左台１２ｄと右台１２ｅの二つが台連結材１２ａにより連結されている。台連結材１２ａには、二箇所に取っ手がある。即ち、その取っ手は、左取っ手１２ｂと右取っ手１２ｃである。
【００３８】
図１０に示すように、本例の基板洗浄用ラック１ａを構成する正面枠８ａと背面枠８ｂ間には、右上連結材８ｃ、右中連結材８ｄ及び右下連結材８ｆが固定されている。また、図１１に示すように、正面枠８ａと背面枠８ｂ間には、左上連結材８ｉ、左中連結材８ｊ及び左下連結材８ｌが連結されている。
【００３９】
図１１に示すように、正面枠８ａの背面には縦長の左右前柱８ｍ、８ｇが固定されていて補強されているとともに、背面枠８ｂの背面には左右後柱８ｎ、８ｈが固定されていて補強されている。
【００４０】
図１０に示すように、右中連結材８ｄと右下連結材８ｆの間には、溝８ｐ、８ｐが設けられている複数枚の右台支持材８ｅ、８ｅ、８ｅ・・・が設置されている。この左右台支持材８ｅ、８ｅ、８ｅ・・設置枚数及び設置位置については、特に限定することなく必要に応じて枚数を増減することもでき、任意位置に設置することもできる。
【００４１】
同様に、図１１に示すように、左中連結材８ｊと左下連結材８ｌの間にも、溝８ｑ、８ｑが設けられている複数枚の左台支持材８ｋ、８ｋ、８ｋ・・・が設置されている。この左右台支持材８ｋ、８ｋ、８ｋ・・設置枚数及び設置位置については、特に限定することなく必要に応じて枚数を増減することもでき、任意位置に設置することもできる。
【００４２】
図１０及び図１１に示すように、右台支持材８ｅ、８ｅ、８ｅ・・・・に形成されている溝８ｐ、８ｐには、可動式台１２の右係止材１２ｆに設置されている右起立部１２ｈを嵌め込むとともに、左台支持材８ｋの溝８ｑ、８ｑにはコの字状の左係止材１２ｇの左起立部１２ｉを嵌め込んで可動式台１２を固定する。
【００４３】
図１０に示すように、右上連結材８ｃと右中連結材８ｄの中央は右ハンガー１０の右連結材１０ａにより連結されており、右連結材１０ａの上部は右ハンガー軸１０ｂに連結している。
【００４４】
右ハンガー軸１０ｂは右補強材１０ｃで補強されており、右ハンガー軸１０ｂの上部には略Ｌ字状に屈曲した右ハンガー部１０ｅが右ハンガー軸１０ｂより正面方向に向かって下方に折り返して接合されている。
【００４５】
折り返した右ハンガー部１０ｅは前方に向かって斜めに折り返しているため、右ハンガー軸１０ｂとＶ字型の隙間１０ｆを作り、後にステー２７ｄかけることができる。尚、前記右ハンガー部１０ｅには略Ｌ字に添って右起立部１０ｄが補強材として接合されている。
【００４６】
図１１に示すように、左上連結材８ｉと左中連結材８ｊの中央は左ハンガー９の左連結材９ａにより連結されており、左連結材９ａの上部は左ハンガー軸９ｂに連結している。左ハンガー軸９ｂは左補強材９ｃで補強されており、左ハンガー軸９ｂの上部には略Ｌ字状に屈曲した左ハンガー部９ｅが左ハンガー軸より正面方向に向かって折り返すように接合されている。
【００４７】
下方に折り返した左ハンガー部９ｅは前方に向かって斜めに折り返しているため、左ハンガー軸９ｂとＶ字型の隙間９ｆを作り、後にステー２７ｄをかけることができる。尚、左ハンガー部９ｅには略Ｌ字状に添って左起立部９ｄが補強材として接合されている。
【００４８】
図１１及び図１２に示すように、左右ハンガー９、１０の左連結部材９ａと右連結部材１０ａ間には、ハンガー連結棒９ｇが連結されている。また、ラック部１１の第１支持棒１１ｅ、１１ｅ、１１ｅ・・・は左上連結部材１１ｇによりお互いに連結され、第２支持棒１１ｆ、１１ｆ、１１ｆ・・・は右上連結部材１１ｉによりお互いに連結されている。幅調節棒８ｒ、８ｒの上面の中央部には、複数の調節孔８ｓ、８ｓ、８ｓ・・・が空いている。
【００４９】
図１３に示すように、左上連結部材１１ｇで互いに連結された第１支持棒１１ｅを左側面より見た場合、複数の第１支持棒１１ｅ、１１ｅ、１１ｅ・・・は、上部で左連結部材１１ｇに一括して連結されており、下部では真ん中から左右二手に分けて、左下連結部材１１ｈ、１１ｈにより連結されている。
【００５０】
支持棒１１ｅ、１１ｆ同士の連結において、下側だけを二手に分けて連結させたため、本発明である基板洗浄用ラック１ａ自体を清掃する際に分割して掃除、メンテナンス等ができるようになり、幅を調節する際にスムーズに調節できるようになっている。
【００５１】
左上連結部材１１ｇの両端の下側には凸部１１ｋ、１１ｋが突出しており、また、左下連結部１１ｈ、１１ｈの両端の下側には凸部１１ｌ、１１ｌが突出している。これは、前述した幅調節棒８ｒに設けられた調節孔８ｓに差し込んで、調節した幅を固定するときに使用する。
【００５２】
図１４は、本発明である基板洗浄用ラックの第３実施例の正面図である。本例の基板洗浄用ラック１ｂの枠体部１３、左右ハンガー１４、１５は、前述の実施例である基板洗浄用ラック１、１ａの枠体部２、８、左ハンガー部３、９、右ハンガー部４、１０等と同様の構造である。
【００５３】
図１４に示すように、枠体部１３のコ字状の正面枠１３ａの左上部には左ハンガー１４が左連結材１４ａにより連結されており、右上部には右ハンガー１５が右連結材１５ａにより連結されている。
【００５４】
左連結材１４ａは左ハンガー軸１４ｂに連結しており、左ハンガー軸１４ｂは左補強材１４ｃで補強されている。また、左ハンガー軸１４ｂの上部には、略Ｌ字状の左ハンガー部１４ｅが連設されている。略Ｌ字状の左ハンガー部１４ｅは、連設した左ハンガー軸１４ｂより下方に向かって折り返してあり、左起立部１４ｄの補強が施されている。
【００５５】
図１４に示すように、右連結材１５ａは右ハンガー軸１５ｂに連結し、右ハンガー軸１５ｂは右補強材１５ｃで補強されている。右ハンガー軸１５ｂの上部には、略Ｌ字状の右ハンガー部１５ｅが連設してあり、右ハンガー部１５ｅは、連設した右ハンガー軸１５ｂより前方に向かって折り返している。
【００５６】
Ｌ字状の右ハンガー部１５ｅには右起立部１５ｄの補強が施されている。また、左右ハンガー１４、１５はハンガー部連結棒１４ｆにより連結されている。
【００５７】
ラック部１６は、上枠１６ａ、下枠１６ｂ、左枠１６ｃ、右枠１６ｄと着脱式支持棒１６ｅとからなり、着脱式支持棒１６ｅは、上連結部１６ｆにより上枠１６ａと連結し、下連結部１６ｇにより下枠１６ｂと連結している。
【００５８】
着脱式支持棒１６ｅは、上枠１６ａ及び下枠１６ｂと好きな場所で連結することができる。形や大きさの違う基板を洗浄する際に支持する位置が基板によって変わるため、ラック部１６毎に基板を傷つけない箇所を選んで着脱式支持棒１６ｅの設置位置を変えて使用し、一度の洗浄で数種類の基板を洗浄することができる。
【００５９】
可動式台１７は、可動式台１２と同様の構造である。即ち、左台１７ｄ、右台１７ｅが台連結材１７ａにより連結されており、台連結材１７ａの上面には左取っ手１７ｂ、右取っ手１７ｃの２つの取っ手が付いている。
可動式台１７も、可動式台６、１２と同様に枠体部１６の中を上下に移動し調節する事ができ、縦の幅を変える事ができる。
【００６０】
複数枚あるラック部１６は、基板洗浄用ラック１のラック部５のように一枚一枚が別々に倒れる構造になっているため、洗浄の際には、全てのラック部１６はラック固定部材１３ｄで固定され、また正面枠１３ａの両脇上部に取り付けられた回転式の左前ラックホルダー１３ｂ及び右前ラックホルダー１３ｃにより倒れないように保持されている。
【００６１】
図１５は、本発明である基板洗浄用ラックの第３実施例における着脱式支持棒の左側面図である。着脱式支持棒１６ｅの上端に形成されている上連結部１６ｆは、弁１６ｈを備えたフック状になっていて、上連結部１６ｆを上枠１６ａにかけた後は、弁１６ｈにより押さえられることにより外れることがない構造である。
【００６２】
また、下連結部１６ｇは二股状になっており、下枠１６ｂに連結する際に下連結部１６ｇの下端を押し広げて下枠１６ｂを挟み込むようにして挟着して取り付ける。
【００６３】
図１６及び図１７は本発明である基板洗浄用ラックを立てかけるためのラック用スタンドの斜視図、図１８はラック用スタンドの右側面図、図１９はラック用スタンドの背面図である。
【００６４】
図１６、図１７及び図１８に示すように、ラック用スタンド１８は略Ｌ字状のラックで、基板洗浄用ラック１、１ｂのラック部５、１６を固定状態から解除した際に必要以上にラック部５、１６が倒れないように保持するためのラック用スタンドである。
【００６５】
図１６、図１７に示すように、ラック用スタンド１８は略Ｌ字形であり、背面枠１８ａ、底面枠１８ｅ、左右Ｌ字材１８ｂ、１８ｃ及び左右回転棒１８ｌ、１８ｍとからなる。
【００６６】
背面枠１８ａと底面枠１８ｅは直角に連設されていて、背面枠１８ａの左端には左Ｌ字材１８ｂが、右端には右Ｌ字材１８ｃが連設されている。尚、左右Ｌ字材１８ｂ、１８ｃは、左右補強材１８ｈ、１８ｉにより補強されている。
【００６７】
背面枠１８ａは縦断面形状がＬ字形であり、底面枠１８ｅの内方には底面材１８ｄがある。略コの字状の底面枠１８ｅの一端には底面枠屈曲部１８ｆがあり、外側に向けて広がっている。また、右Ｌ字材１８ｃの底面枠屈曲部１８ｆに接する部分は右Ｌ字材屈曲部１８ｇとなっており、底面枠屈曲部１８ｆと共に外側へ屈曲している。
【００６８】
背面枠１８ａの上枠の下端に沿って左右Ｌ字材を連結する連結材１８ｊが連設されており、連結材１８ｊの中央にはコの字溝１８ｋが設けられている。また、連結材１８ｊには左右回転棒ガイド材１８ｐ、１８ｑが垂直に設けられており、左右回転棒１８ｌ、１８ｍを保持しガイドしている左右回転棒ガイド材１８ｐ、１８ｑには左右回転棒１８ｌ、１８ｍを挿通するための左右回転棒ガイド孔１８ｔ、１８ｕが穿設されている。
【００６９】
左Ｌ字材１８ｂの上部に空いている左ガイド孔１８ｒと左回転棒ガイド材１８ｐに空いている左回転棒ガイド孔１８ｔを貫通している左回転棒１８ｌは、略コの字型をしており、左内屈曲部１８ｎは、左外屈曲部１８ｖよりも短い。また、左外屈曲部１８ｖより左内屈曲部１８ｎは約６０度下方に曲がっている。
【００７０】
同様に、右Ｌ字材１８ｃの上部に空いている右ガイド孔１８ｓと右回転棒ガイド材１８ｑに空いている右回転棒ガイド孔１８ｕを貫通している右回転棒１８ｍも、略コ字状であり、右内屈曲部１８ｏは右外屈曲部１８ｗよりも短くできている。また、右外屈曲部１８ｗよりも右内屈曲部１８ｏは６０度下方に曲がっている。
【００７１】
左右内屈曲部１８ｎ、１８ｏが左右外屈曲部１８ｖ、１８ｗよりも６０度下方に曲がっているのは、図１６に示すように左右回転棒１８ｌ、１８ｍを外側に伸ばした場合に左右内屈曲部１８ｎ、１８ｏが連結材１８ｊにあたり、左右外屈曲部１８ｖ、１８ｗが底面材１８ｄと平行の位置で安定するためである。
【００７２】
また、図１７に示すように、左右回転棒１８ｌ、１８ｍを内側に閉じた場合、左右内屈曲部１８ｎ、１８ｏがコの字溝１８ｋに嵌り、底面材１８ｄと平行を保っていた左右外屈曲部１８ｖ、１８ｗが下方を向き、左右Ｌ字材１８ｂ、１８ｃに沿って収納されるため、場所をとらなくなる。
【００７３】
図１９に示すように、ラック用スタンド１８の背面枠１８ａは中央が空いており、また、右Ｌ字材屈曲部１８ｇが外方を向いて開いている。
【００７４】
図２０及び図２１は、本発明である基板洗浄用ラックの第４実施例の正面図である。本例の基板洗浄用ラック１ｃは、基板洗浄用ラック１と左右ハンガー以外の部分は同様の構造である。即ち、本例の基板洗浄用ラック１ｃでは、左右ハンガー部３、４、９、１０が、回転する左右回転式ハンガー部１９、２０となっている。
【００７５】
図２０、図２１に示すように基板洗浄用ラック１ｃの左回転式ハンガー部１９の左突端部１９ｂは三角柱をしており、左連結部１９ａを介して左筒部１９ｃと繋がっている。
【００７６】
左筒部１９ｃの中には下から左軸１９ｅが挿入されており、上から左止めピン１９ｄが差し込んである。左軸１９ｅの下端は、枠体部２と連設している筒状の左ハンガー軸１９ｆの中に差し込まれている。
【００７７】
同じく基板洗浄用ラック１ｃの右回転式ハンガー部２０の右突端部２０ｂは三角柱をしており、右連結部２０ａを介して右筒部２０ｃと繋がっている。右筒部２０ｃの中には下から右軸２０ｅが入っており、上から右止めピン２０ｄが差し込んである。右軸２０ｅの下端は、枠体部２と連設している筒状の右ハンガー軸２０ｆの中に差し込まれている。
【００７８】
左右止めピン１９ｄ、２０ｄを外し左右筒部１９ｃ、２０ｃから左右突端部１８ｂ、２０ｂの部分を少し持ち上げると３６０度回転可能となる。この状態で左右突端部１９ｂ、２０ｂを正面に向け左右止めピン１９ｄ、２０ｄを差込み固定した状態が左右回転式ハンガー部１９、２０の使用状態である。
【００７９】
図２２は、本発明である基板洗浄用ラックの基板用アダプタの正面図、図２３は、基板用アダプタの断面図である。
【００８０】
基板用アダプタ２１は、上枠２１ａ、下枠２１ｂ、左枠２１ｃ、右枠２１ｄと複数の留め具２１ｆ、２１ｆ、２１ｆ・・・とからなっており、略四角形をしている。
【００８１】
上枠２１ａ、下枠２１ｂ、左枠２１ｃ、右枠２１ｄには、それぞれバネ２１ｅを介して留め具２１ｆが２つずつ接続されている。但し、この留め具２１ｆの数や、接続方法は特に限定しておらず、基板のサイズ等により変更できるものとする。
【００８２】
洗浄する基板２２の大きさが基板洗浄用ラック１、１ａ、１ｂ、１ｃの各調節範囲よりも小さい場合、基板用アダプタ２１を使用し、図２２、図２３に示すように枠の内側で四方から留め具２１ｆ、２１ｆ、２１ｆ・・・で固定し基板洗浄用ラック１、１ａ、１ｂ、１ａにセットして洗浄を行うことが出来る。
【００８３】
また、留め具２１ｆだけを使用し、基板と基板洗浄用ラック１、１ａ１ｂ、１ｃのラック部５、１１、１６及び可動式台６、１２、１７を直接固定し洗浄することもできる。
【００８４】
図２４は本発明である基板洗浄用ラックで基板を洗浄する状態を示した図、図２５は洗浄する状態を示した右側面図である。
【００８５】
図２４、２５に示すように、基板洗浄用ラック１に基板７をセットし、吊り上げ具２７の吊り上げ棒２７ａより伸びたチェーン２７ｃ、２７ｃに固定されたステー２７ｄをハンガー部分にかけ、基板洗浄用ラック１を釣り上げる。チェーン２７ｃ、２７ｃはステー２７ｄが矢印Ｇのように上下に移動できるように設置されている。
【００８６】
吊り上げ棒２７ａの両端には滑車２７ｂ、２７ｂが付いており、滑車２７ｂ、２７ｂはレール２３、２３の内部でチェーン２３ａ、２３ａに上下を挟まれて設置されているため、チェーン２３ａ、２３ａが動くことで吊り下げられた基板洗浄用ラック１は、図２５に示すように矢印Ｈの方向に移動することができる。
【００８７】
図２５に示すように、基板洗浄用ラック１が洗浄槽２４の上部で止まった時にチェーン２７ｃを伸ばし、基板洗浄用ラック１を下げて洗浄槽２４の中の酸２５に漬け洗浄する。洗浄が終わった状態で基板洗浄用ラック１を引き上げ、矢印Ｈの方向に進める。
【００８８】
図２６は、本発明である基板洗浄用ラックの洗浄様子を示した平面図である。図２６に示すようにレール２３、２３は楕円形状をしており、そのレール２３、２３の軌道下の数カ所に酸２５を溜めた洗浄槽２４や、温水槽２４ａ等が設置されている。
【００８９】
吊り下げられた基板洗浄用ラック１は、レール２３、２３に添って矢印Ｆの方向へ移動し、洗浄槽２４で洗浄され、洗浄が終わった基板洗浄用ラック１は最後に温水槽２４ａで温水により洗浄される。温水により洗浄される間、基板７自体が熱を持ち温水槽２４ａより出された後、表面に残った水分の乾きが早くなる。
【００９０】
図２７は、本発明である基板洗浄用ラックとラック用スタンドを使用した状態を示した図である。基板洗浄用ラック１は、洗浄が終わった後、台車２６に乗せられ、ラック用スタンド１８に移動する。ラック用スタンド１８には台車２６ごと設置される。
【００９１】
図２７に示すように、固定していた基板７を取り出すために、まず、ラック用スタンド１８の左右回転棒１８ｌ、１８ｍを広げラック部５が必要以上に倒れないようにする。次に、各ラックホルダー２ｏ、２ｐ、２ｔ、２ｕとラック固定部材２ｑ、２ｑを外し、ラック部５を広げ基板７を取り出せる状態にする。尚、符号２６ａは台座を示し、符号２６ｂ、２６ｂは取っ手を示している。
【００９２】
図２８は、本発明である基板洗浄用ラックの第４実施例の平面図である。基板洗浄用ラック１ｄは、基板洗浄用ラック１ａとほぼ同じ構造をしている。基板洗浄用ラック１ｄの幅調節棒８ｒ、８ｒ上に設けられた調節孔８ｔ、８ｔ、８ｔ、８ｔは横長の両端が丸くなった略長方形状をしている。
【００９３】
基板洗浄用ラック１ａの調節孔８ｓ、８ｓ、８ｓ・・・の代わりに設けた横長の調節孔８ｔ、８ｔ、８ｔ、８ｔにラック部１１の凸部１１ｋ、１１ｌを差込み、調節ネジ８ｕ、８ｕ、８ｕ、８ｕ・・・で凸部の両端を挟むことで固定する作りとなっており、細かいサイズ設定が出来るようになった。
【００９４】
図１から図２８に示した本発明である基板洗浄用ラック１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄは、テフロン（登録商標）加工又は皮膜加工等の加工が施されているため水切りがよくなっている。
【００９５】
【発明の効果】
本発明である、基板洗浄用ラックは、以上のような構成であるから、以下の効果が得られる。
【００９６】
第１に、一つ種類の基板洗浄用ラックで大きさの異なる基板を固定し洗浄することができるため、様々大きさの基板洗浄用ラックを用意することがなく、無駄な経費がかからず経済的である。
【００９７】
第２に、基板洗浄用ラックの固定サイズの変更だけでは間に合わない程の小さなサイズの基板であっても、基板用アダプタを使用することで、基板洗浄用ラックで基板を固定することができるため、基板用アダプタを用意するだけという安価で対応基板を増やすことができ経済的である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明である基板洗浄用ラックと基板の正面図である。
【図２】本発明である基板洗浄用ラックの右側面図である。
【図３】本発明である基板洗浄用ラックの左側面図である。
【図４】本発明である基板洗浄用ラックの平面図である。
【図５】本発明である基板洗浄用ラックの右側面図である。
【図６】本発明である基板洗浄用ラックのラック部の正面図である。
【図７】本発明である基板洗浄用ラックの可動式台の正面図である。
【図８】本発明である基板洗浄用ラックの可動式台の平面図である。
【図９】本発明である基板洗浄用ラックの第２実施例の正面図である。
【図１０】本発明である基板洗浄用ラックの第２実施例の右側面図である。
【図１１】本発明である基板洗浄用ラックの第２実施例の左側面図である。
【図１２】本発明である基板洗浄用ラックの第２実施例の平面図である。
【図１３】本発明である基板洗浄用ラックの第２実施例の幅調節具の左側面図である。
【図１４】本発明である基板洗浄用ラックの第３実施例の正面図である。
【図１５】本発明である基板洗浄用ラックの第３実施例の着脱式支持棒の左側面図である。
【図１６】本発明である基板洗浄用ラックのラック用スタンドの斜視図である。
【図１７】本発明である基板洗浄用ラックのラック用スタンドの斜視図である。
【図１８】本発明である基板洗浄用ラックのラック用スタンドの右側面図である。
【図１９】本発明である基板洗浄用ラックのラック用スタンドの背面図である。
【図２０】本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例の正面図である。
【図２１】本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例の正面図である。
【図２２】本発明である基板洗浄用ラックの基板用アダプタの正面図である。
【図２３】本発明である基板洗浄用ラックの基板用アダプタの断面図である。
【図２４】本発明である基板洗浄用ラックで基板を洗浄する状態を示した図である。
【図２５】本発明である基板洗浄用ラックで基板を洗浄する状態を示した右側面図である。
【図２６】本発明である基板洗浄用ラックの洗浄様子を示した平面図である。
【図２７】本発明である基板洗浄用ラックとラック用スタンドを使用した状態を示す図である。
【図２８】本発明である基板洗浄用ラックの第４実施例の平面図である。
【符号の説明】
１      基板洗浄用ラック
１ａ    基板洗浄用ラック
１ｂ    基板洗浄用ラック
１ｃ    基板洗浄用ラック
１ｄ    基板洗浄用ラック
２      枠体部
２ａ    正面枠
２ｂ    背面枠
２ｃ    右上連結材
２ｄ    右中連結材
２ｅ    右台支持材
２ｆ    右下連結材
２ｇ    右前柱
２ｈ    右後柱
２ｉ    左上連結材
２ｊ    左中連結材
２ｋ    左台支持材
２ｌ    左下連結材
２ｍ    左前柱
２ｎ    左後柱
２ｏ    右前ラックホルダー
２ｐ    左前ラックホルダー
２ｑ    ラック固定部材
２ｒ    溝
２ｓ    溝
２ｔ    右後ラックホルダー
２ｕ    左後ラックホルダー
３      左ハンガー
３ａ    左連結材
３ｂ    左ハンガー軸
３ｃ    左補強材
３ｄ    左起立部
３ｅ    左ハンガー部
３ｆ    隙間
３ｇ    ハンガー部連結棒
４      右ハンガー
４ａ    右連結材
４ｂ    右ハンガー軸
４ｃ    右補強材
４ｄ    右起立部
４ｅ    右ハンガー部
４ｆ    隙間
５      ラック部
５ａ    上枠
５ｂ    下枠
５ｃ    左Ｕ字枠
５ｄ    右Ｕ字枠
５ｅ    支持棒
５ｆ    上連結部材
５ｇ    下連結部材
５ｈ    ラック
６      可動式台
６ａ    台連結材
６ｂ    左取っ手
６ｃ    右取っ手
６ｄ    第１台
６ｅ    第２台
６ｆ    第３台
６ｇ    第４台
６ｈ    左係止材
６ｉ    右係止材
６ｊ    起立材
６ｋ    台連結材
６ｌ    台連結材
６ｍ    台連結材
６ｎ    台連結材
７      基板
８      枠体部
８ａ    正面枠
８ｂ    背面枠
８ｃ    右上連結材
８ｄ    右中連結材
８ｅ    右台支持材
８ｆ    右下連結材
８ｇ    右前柱
８ｈ    右後柱
８ｉ    左上連結材
８ｊ    左中連結材
８ｋ    左台支持材
８ｌ    左下連結材
８ｍ    左前柱
８ｎ    左後柱
８ｏ    中央下補強材
８ｐ    溝
８ｑ    溝
８ｒ    幅調節棒
８ｓ    調節孔
８ｔ    調節孔
８ｕ    調節ネジ
９      左ハンガー
９ａ    左連結材
９ｂ    左ハンガー軸
９ｃ    左補強材
９ｄ    左起立部
９ｅ    左ハンガー部
９ｆ    隙間
９ｇ    ハンガー部連結棒
１０    右ハンガー
１０ａ  右連結材
１０ｂ  右ハンガー軸
１０ｃ  右補強材
１０ｄ  右起立部
１０ｅ  右ハンガー部
１０ｆ  隙間
１１    ラック部
１１ａ  上枠
１１ｂ  下枠
１１ｃ  左枠
１１ｄ  右枠
１１ｅ  第１支持棒
１１ｆ  第２支持棒
１１ｇ  左上連結部
１１ｈ  左下連結部
１１ｉ  右上連結部
１１ｊ  右下連結部
１１ｋ  凸部
１１ｌ  凸部
１２    可動式台
１２ａ  台連結材
１２ｂ  左取っ手
１２ｃ  右取っ手
１２ｄ  左台
１２ｅ  右台
１２ｆ  右係止材
１２ｇ  左係止材
１２ｈ  右起立部
１３    枠体部
１３ａ  正面枠
１３ｂ  左前ラックホルダー
１３ｃ  右前ラックホルダー
１３ｄ  ラック固定部材
１４    左ハンガー
１４ａ  左連結材
１４ｂ  左ハンガー軸
１４ｃ  左補強材
１４ｄ  左起立部
１４ｅ  左ハンガー部
１４ｆ  ハンガー部連結棒
１５    右ハンガー
１５ａ  右連結材
１５ｂ  右ハンガー軸
１５ｃ  右補強材
１５ｄ  右起立部
１５ｅ  右ハンガー部
１６    ラック部
１６ａ  上枠
１６ｂ  下枠
１６ｃ  左枠
１６ｄ  右枠
１６ｅ  着脱式支持棒
１６ｆ  上連結部
１６ｇ  下連結部
１６ｈ  弁
１７    可動式台
１７ａ  台連結材
１７ｂ  左取っ手
１７ｃ  右取っ手
１７ｄ  左台
１７ｅ  右台
１８    ラック用スタンド
１８ａ  背面枠
１８ｂ  左Ｌ字材
１８ｃ  右Ｌ字材
１８ｄ  底面材
１８ｅ  底面枠
１８ｆ  底面枠屈曲部
１８ｇ  右Ｌ字材屈曲部
１８ｈ  左補強材
１８ｉ  右補強材
１８ｊ  連結材
１８ｋ  コの字溝
１８ｌ  左回転棒
１８ｍ  右回転棒
１８ｎ  左内屈曲部
１８ｏ  右内屈曲部
１８ｐ  左回転棒ガイド材
１８ｑ  右回転棒ガイド材
１８ｒ  左ガイド孔
１８ｓ  右ガイド孔
１８ｔ  左回転棒ガイド孔
１８ｕ  右回転棒ガイド孔
１８ｖ  左外屈曲部
１８ｗ  右外屈曲部
１９    左回転式ハンガー部
１９ａ  左連結部
１９ｂ  左突端部
１９ｃ  左筒部
１９ｄ  左止めピン
１９ｅ  左軸
１９ｆ  左ハンガー軸
２０    右回転式ハンガー部
２０ａ  右連結部
２０ｂ  右突端部
２０ｃ  右筒部
２０ｄ  右止めピン
２０ｅ  右軸
２０ｆ  右ハンガー部
２１    基板用アダプタ
２１ａ  上枠
２１ｂ  下枠
２１ｃ  左枠
２１ｄ  右枠
２１ｅ  バネ
２１ｆ  留め具
２２    基板
２３    レール
２３ａ  チェーン
２４    洗浄槽
２４ａ  温水槽
２５    酸
２６    台車
２６ａ  台座
２６ｂ  取っ手
２７    吊り上げ具
２７ａ  吊り上げ棒
２７ｂ  滑車
２７ｃ  チェーン
２７ｄ  ステー
【図１】
2004283718.tif 000003
【図２】
2004283718.tif 000004
【図３】
2004283718.tif 000005
【図４】
2004283718.tif 000006
【図５】
2004283718.tif 000007
【図６】
2004283718.tif 000008
【図７】
2004283718.tif 000009
【図８】
2004283718.tif 000010
【図９】
2004283718.tif 000011
【図１０】
2004283718.tif 000012
【図１１】
2004283718.tif 000013
【図１２】
2004283718.tif 000014
【図１３】
2004283718.tif 000015
【図１４】
2004283718.tif 000016
【図１５】
2004283718.tif 000017
【図１６】
2004283718.tif 000018
【図１７】
2004283718.tif 000019
【図１８】
2004283718.tif 000020
【図１９】
2004283718.tif 000021
【図２０】
2004283718.tif 000022
【図２１】
2004283718.tif 000023
【図２２】
2004283718.tif 000024
【図２３】
2004283718.tif 000025
【図２４】
2004283718.tif 000026
【図２５】
2004283718.tif 000027
【図２６】
2004283718.tif 000028
【図２７】
2004283718.tif 000029
【図２８】
2004283718.tif 000030