(57)【要約】【課題】空気流に対する防振性が大きく、高速アクセス化やデータの緻密化の要請に対応しながらもオフトラックの発生を抑制することができる圧電／電歪デバイスを提供する。【解決手段】肉厚の部材からなる支持部１の両端に、薄板状の部材からなる２つの腕部２を延設してなる基体３と、この基体３の少なくとも１の腕部２に固着される、少なくとも１対の電極４及び１の圧電／電歪層５を有する駆動体、とを備える圧電／電歪デバイス４０において、少なくとも、支持部１における、腕部２の延伸方向側に位置する面に、複数の溝９を有するものとする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
肉厚の部材からなる支持部の両端に、薄板状の部材からなる２つの腕部を延設してなる基体と、該基体の少なくとも１の腕部に固着される、少なくとも、１対の電極及び１の圧電／電歪層を有する駆動体、とを備える圧電／電歪デバイスであって、
少なくとも、該支持部における、該腕部の延伸方向側に位置する面に、複数の溝を有することを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項２】
前記支持部における前記腕部の延伸方向側に位置する面と反対側の面に、更に、複数の溝を有する請求項１に記載の圧電／電歪デバイス。
【請求項３】
前記支持部における前記腕部の延伸方向側に位置する面に存する溝が、該表面に衝突した空気流が吹き抜け可能な方向に延伸している請求項１又は２に記載の圧電／電歪デバイス。
【請求項４】
前記支持部における前記腕部の延伸方向側に位置する表面の溝が、該支持部における前記吹き抜け可能な方向の端縁まで延伸している請求項３に記載の圧電／電歪デバイス。
【請求項５】
前記支持部における前記腕部の延伸方向側に位置する面に存する溝が、該表面に衝突した空気流が吹き抜け可能な方向に対して垂直方向に延伸している請求項１又は２に記載の圧電／電歪デバイス。
【請求項６】
前記支持部に存する溝が、平均で１０〜５００μｍの間隔で配列している請求項１〜５の何れか一項に記載の圧電／電歪デバイス。
【請求項７】
前記支持部に存する溝が、５〜１００μｍの深さを有する請求項１〜６の何れか一項に記載の圧電／電歪デバイス。
【請求項８】
前記支持部に存する溝の深さが、標準偏差が３μｍ以上のばらつきを有する請求項１〜７の何れか一項に記載の圧電／電歪デバイス。
【請求項９】
前記腕部における該支持部から突出している部分の長さが２．５ｍｍ以下で、前記支持部における該腕部の延伸方向に対して垂直方向での厚さが、０．５ｍｍ以下である請求項１〜８の何れか一項に記載の圧電／電歪デバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電／電歪デバイスに関する。より詳しくは、磁気ヘッド用アクチュエータに好適な防振性に優れる圧電／電歪デバイスに関する。
【０００２】
【従来の技術】ハードディスク装置等にあっては、磁気ヘッドを目的とする特定のデータトラックに位置させ得ることが、重要な基本特性である。
【０００３】一方、当該ハードディスク装置等にあっては、近年、データの緻密化、高速アクセス化が進展するに従い、当該磁気ヘッドをより精密に特定のデータトラックに位置させることが強く要請されている。
【０００４】このような状況下、ハードディスク装置の磁気ヘッド用アクチュエータとして用いられる圧電／電歪デバイスとしては、従来、肉厚の部材からなる支持部の両端に、薄板状の部材からなる２つの腕部を延設してなる基体と、この基体の少なくとも１の腕部に固着される、少なくとも１対の電極及び１の圧電／電歪層を有する駆動体、とを備えるものが用いられている（特許文献１）。
【０００５】しかし、このような圧電／電歪デバイスでは、上記データの緻密化、高速アクセス化に伴い、オフトラックの発生が重要な問題となってきている。
【０００６】即ち、近年のハードディスク装置等にあっては、高速アクセス化の要請を満足させるため、ハードディスクを高速回転させることが事実上必須となっている。ところが、図７に示すように、ディスク２１の高速回転は、装置内に風速１０〜５０ｍ／ｓ程度の空気流２２を発生させることから、この空気流２２によりサスペンションの先端に取り付けられる磁気ヘッド２４が振動し、オフトラックが発生するという問題が生じている。そして、このような問題は、データの緻密化、高速アクセス化が進展するに伴いより顕著となることが予想され、その解決が強く望まれていた。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−２６４１２号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述の問題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、装置内に空気流が発生した場合でも、その空気流に対する防振性が大きく、高速アクセス化やデータの緻密化の要請に対応しながらもオフトラックの発生を抑制することができる磁気ヘッド用アクチュエータに好適な圧電／電歪デバイスを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上述の問題を解決すべく鋭意検討したところ、圧電／電歪デバイスを構成する基体の特定箇所に所定の溝を設けたところ、空気流による振動が減少することを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】即ち、本発明は、肉厚の部材からなる支持部の両端に、薄板状の部材からなる２つの腕部を延設してなる基体と、この基体の少なくとも１の腕部に固着される、少なくとも１対の電極及び１の圧電／電歪層を有する駆動体、とを備える圧電／電歪デバイスであって、少なくとも、支持部における、腕部の延伸方向側に位置する面に、複数の溝を有することを特徴とする圧電／電歪デバイスを提供するものである。
【００１１】本発明において、基材に存する溝は、例えば、レーザー顕微鏡（オリンパス光学社製ＯＬＳ１１００）を使用して、任意の範囲（例えば、支持部の長さ方向ｘ：１ｍｍ×厚さ方向ｙ：０．３ｍｍ）で、高さデータを取り込んで画像処理した際に、支持部表面を所定の方向に５μｍ以上延伸して存在するものであり、図５に示すように支持部表面の高さが、基準長さｓ（溝の存在を無視した平行移動距離）１０μｍ当たり、０．５μｍ以上変動するものであればよい（図中では溝を９の数字で示す。）。
【００１２】本発明においては、支持部の内面と反対側の外面に、更に、所定間隔で複数の溝を有するものが好ましい。
【００１３】また、支持部における、腕部の延伸方向側に位置する面に存する溝が、その表面に衝突した空気流が吹き抜け可能な方向に延伸しているものが好ましい。また、このような溝が、支持部における吹き抜け可能な方向の端縁まで延伸しているものがより好ましい。他方、支持部における腕部の延伸方向側に位置する面に存する溝は、表面に衝突した空気流が吹き抜け可能な方向に対して垂直方向に延伸しているものも好ましい。
【００１４】また、本発明においては、支持部に存する溝が平均で１０〜５００μｍの間隔で配列しているものが好ましく、支持部に存する溝が５〜１００μｍの深さを有するものが好ましい。
【００１５】また、支持部に存する溝の深さが、標準偏差が３μｍ以上のばらつきを有するものが好ましい。
【００１６】また、本発明においては、腕部における該支持部から突出している部分の長さが２．５ｍｍ以下で、支持部における腕部の延伸方向に対して垂直方向での厚さが０．５ｍｍ以下であるものが好ましい。
【００１７】なお、本発明の圧電／電歪デバイスが、空気流に対して防振性に優れる理由は必ずしも明らかではないが、本発明者の検討によれば、次のように推定される。
【００１８】まず、ハードディスク装置等の装置内では、種々の方向の空気流が存在するものの、圧電／電歪デバイスの振動の原因となるのは、支持部と２つの腕部が内向する空間に空気流が侵入して支持部に衝突し、又は基体の近傍を通過する空気流であると考えられる。これは、支持部に衝突した際に大きな空気圧が掛かり易いため、及び支持部の近傍を通過する空気流が、早期に基体と剥離して、基体後方の低圧領域で巻き込みによる大きな乱流を発生させるためと考えられる。
【００１９】これに対して、本発明においては、支持部の当該空間側の面に溝を設けるため、当該溝を有する支持部に空気流が衝突した際、支持部にかかる空気圧を分散させることができるとともに、圧電／電歪デバイスに振動を発生させない程度の小さな乱流を発生させることができる。そして、この小さな乱流は、基体近傍を通過する空気流の基体に対する剥離を抑制してその剥離点を後退させ基体後方での空気流の巻き込みを抑制することで、大きな乱流の発生を低減できるものと考えられる。また、本発明者の検討によると、溝の方向によって、ある程度空気流の方向を誘導することで振動を低減することが可能であることも解っている。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を具体的に説明する。但し、本発明は、以下の記載に限定されて解釈されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加え得るものである。図１は、本発明の一の実施の形態を模式的に示す断面図であり、図２〜４には、本発明の圧電／電歪デバイスの基体部分の一例を模式的に示す斜視図である。
【００２１】図１に示すように、本発明の圧電／電歪デバイス４０は、肉厚の部材からなる支持部１に、薄板状の部材からなる２つの腕部２を延設してなる基体３と、この基体３の少なくとも１の腕部２で固着される、少なくとも１対の電極４及び１の圧電／電歪層５を有する駆動体６とを備えるものであって、少なくとも、支持部１における、腕部２の延伸方向側に位置する面８に、複数の溝９を有するものである。
【００２２】これにより、空気流が存在する環境化でも圧電／電歪デバイス４０の振動を低減することができ、圧電／電歪デバイス４０に高い防振性を付与することができる。
【００２３】図１、２等に示すように、本発明における基体３は、２つの腕部２と支持部１とが、腕部２の振動板としての機能が確保され得る状態で接合していればよいが、通常、支持部１の両端に２つの腕部２を延設してなり、腕部２の延伸方向における断面形状が概略コの字となる形態を有する。
【００２４】但し、支持部１の形状は、肉厚であることの他、特に制限はなく、例えば、直方体、三角柱、又は断面が円、楕円、若しくは長円等の柱体等、各種形状を取り得る。また、腕部２も、薄板状であることの他、特に制限はなく、例えば、駆動体を設ける面の形状が、矩形、台形、楕円等の各種形状を取り得る。
【００２５】また、本発明における基体３は、図２に示す支持部１の厚さ（腕部の延伸方向と垂直方向Ｆの厚さ）ｔが、１．０ｍｍ以下であるものが好ましく、０．５ｍｍ以下であるものがより好ましい。また、腕部２における支持部１から突出している部分の長さＬが５ｍｍ以下であるものが好ましく、２．５ｍｍ以下であるものがより好ましい。
【００２６】支持部１の厚さｔや、腕部２における支持部１から突出している部分の長さＬが、この範囲であれば、空気流に対する圧電／電歪デバイス４０の空気抵抗が低減し、後述する溝９の存在によって防振性を効果的に発揮させることができる。
【００２７】また、本発明において腕部の厚さＴは、圧電／電歪デバイス４０の機械的強度を確保しながら、剛性の増大により駆動体（図示せず）の屈曲変位を低下させないように、１０〜１００μｍのものが好ましく、２０〜７０μｍのものがより好ましい。
【００２８】本発明においては、支持部１及び腕部２の材質については特に制限はなく、各種用途に応じて適宜適切な材料を選択すればよく、例えば、各種ステンレス鋼、バネ鋼等の鉄系合金、黄銅、ベリリウム銅等の銅系合金、及びジュラルミン等のアルミニウム系合金からなる群より選ばれる少なくとも１種の金属材料、又は安定化された酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、スピネル、ムライト、窒化アルミニウム、窒化珪素、及びガラスよりなる群から選ばれる少なくとも１種を含むセラミックス材料、若しくはサーメット材料を挙げることができる。中でも、機械的強度が大きく靭性に優れ、しかも、化学的安定性が高く低コストである点で、各種ステンレス鋼が好ましい。
【００２９】本発明の圧電／電歪デバイスは、図２に示すように、少なくとも、支持部１における腕部２の延伸方向側に位置する表面８に、複数の溝を有するものであるが、図１に示すように、本発明においては、更に腕部２の延伸方向側に位置する支持部１の表面８と反対側に位置する支持部１の表面７にも、所定間隔で複数の溝（図示せず）を有するものが好ましい。装置（例えば、ハードディスク装置）内に発生する空気流（例えば、ディスクの回転によって発生する）は、装置内の各種部品に衝突して必ずしも一定方向にのみ流れないため、基体３の外表面にも溝を有することで、より防振性を向上させることができる。
【００３０】また、図３に示すように、当該腕部２の延伸方向側に位置する支持部１の面８、及び／又はその反対側に位置する支持部１の面７に存する溝９が、表面に衝突した空気流が吹き抜け可能な方向に対して垂直方向ｆに延伸しているものが好ましい。当該溝を有する圧電／電歪デバイスでは、基体に対する空気流の剥離を抑制する効果が大きいためか、空気流による振動がより低減される。
【００３１】もっとも、図２に示すように、腕部２の延伸方向側に位置する支持部１の表面８に空気流が衝突した際に、当該空気流が腕部２の存在により強要される吹き抜け可能な方向Ｆに延伸しているものも好ましい。このような圧電／電歪デバイスでは、空気流の剥離を抑制する効果は、多少小さくなることが予想されるが、支持部１の内面８に衝突した空気流が、当該溝９により誘導されて、腕部２に衝突することなく吹き抜け易くなるため、上記方向ｆに延伸する溝を有するものと、ほぼ同様の防振性を付与することができる。また、図２に示すように、このような方向に延伸する溝９は、空気流を誘導する効果をより確実に付与するために、支持部１における吹き抜け可能な方向Ｆの端縁（支持部１における当該吹き抜け可能な方向Ｆの厚さｔに対応する位置に存する。）まで延伸しているものが好ましい。
【００３２】また、図１〜３に示す溝９の存在による防振効果を効果的に発揮させるには、基体３に存する溝９が、平均で１０〜５００μｍの間隔で配列されているものが好ましい。もっとも、当該溝９は、図２に示すように、基体３に等間隔で配列されている必要は必ずしもなく、寧ろ、図４に示すように、当該溝９を基体３に不規則に配列されているものは、空気流の微小な乱れをランダムに発生させるため、後方に大きな乱流を発生させ難くなる点で好ましい。
【００３３】本発明において図１等に示す基体３に存する溝９は、やはり溝９の存在による防振効果を効果的に発揮させるために、５〜１００μｍの深さを有するものが好ましく、５〜２０μｍの深さを有するものがより好ましい。
【００３４】但し、溝９の深さも均一にする必要はなく、基体３に存する溝９の深さが、標準偏差が３μｍ以上のばらつきを有するものが、大きな乱流を抑制し易いという点で好ましい。なお、ここでいう溝の深さとは、図５に示す、レーザー顕微鏡で溝の深さを測定したグラフにおいて、変動する支持部表面の高さの極大点ｃ１から次の極小点ｃ２までの変動値を意味する（但し、極大点ｃ１から次の極小点ｃ２までの変動値が３μｍ以下のものは無視して決定する。）。
【００３５】本発明においては、溝の形状についても特に制限はなく、例えば、溝の延伸方向と垂直の深さ方向における断面形状が、Ｖ字形状のもの、半円形状のもの、又は楕円形状のもの等を挙げることができる。中でも、溝の延伸方向と垂直の深さ方向における断面形状が、半円形状や楕円形状のものが、局所的に大きな乱流が発生するのを抑制できる点でより好ましい。
【００３６】本発明において支持部に溝を設ける方法としては、例えば、前述した金属材料で所望の肉厚形状の支持部を作製後、支持部の所望の面に、フォトレジストを塗布して、感光、現像の処理を行って、線状に所定間隔で支持部表面が露出しているレジストパターンを形成し、マスキングされていない支持部表面にエッチング剤を所定の時間吹き付けて侵食する方法を挙げることができる。この方法では、溝を形成するパターンを容易に制御することができるとともに、エッチング時間によって溝の深さも容易に制御することができる。また、溝の延伸方向と垂直の深さ方向における断面形状が、半円形状や楕円形状のものが得られる。
【００３７】また、本発明において支持部に溝を設ける方法としては、エッチングによって所望の形状とした薄板を積層して基体を製造する方法を利用するものでもよい。
【００３８】即ち、まず、前述した金属材料で複数の薄板を作製した後、得られた金属性の各薄板の両主要面にフォトレジストを塗布する。次いで、それぞれの面で、最終的な基体の形状に対応する所望のパターンを有するフォトマスク（フォトレジストがポジ型の場合とネガ型の場合ではパターンが逆になる。）を用いて感光後、ドライ又はウエットの条件で現像してエッチングしたい箇所のフォトレジストを除去する。次いで、両面から、例えば、塩化第二鉄溶液等のエッチング剤を吹き付け、侵食反応により所定の形状の金属製薄板を形成する。この際、フォトレジスト直下では、フォトレジストの存在により侵食が進行し難く、フォトレジストから遠位の部分程、侵食が進行し易い。従って、エッチング剤の種類やエッチング時間等を選択して過剰な侵食条件として、金属製の薄板の両面からエッチング処理することで、当該エッチング処理によって形成される薄板の端面においては、厚さ方向の中央付近で最下点を有する断面形状（厚さ方向）が半円形状、又は楕円形状の溝が形成される。そこで、最後に、エッチング処理後の複数の金属薄板を、接着剤を用いたり拡散接合を利用して、溝を設けた端面の最上点を揃えて積層一体化することで、複数の溝を所定間隔で有する基体を形成することができる。
【００３９】この方法では、積層する各薄板の厚さ及びエッチング条件（温度、時間、エッチング液の濃度等）により、溝の幅、間隔、深さ等を調整できる。また、深さ方向における断面形状が、半円形状や楕円形状のものが得られる。
【００４０】本発明において、更に、打ち抜き加工を利用して溝を形成することもできる。
【００４１】即ち、例えば、セラミックスグリーンシート又は金属の複数の薄板を、各薄板の端部が適当なテーパ状となるようにパンチとダイのクリアランスを最適化して、最終的な基体の形状に対応する所望の外形で打ち抜き、最後に得られた各薄板を、打ち抜き加工で形成された端部を概略揃えて一体化する方法でもよい。この方法では、溝の延伸方向と垂直の深さ方向における断面形状が、概略Ｖ字形状のものが得られ、その形状を均一にすることもできる。なお、セラミックス製の薄板は、例えば、セラミックス原料及び添加物を分散媒中に含有させたスラリーを用いて、ドクターブレード法等によりシート状に成形することで得ることができる。また、セラミックスグリーンシートの一体化は、複数のセラミックスグリーンシートを熱圧着して積層したものを焼成一体化すればよく、金属の薄板の一体化は、接着剤による接合、又は拡散接合により一体化すればよい。
【００４２】次に、図１に示すように、本発明における駆動体６は、少なくとも、１対の電極４及び１の圧電／電歪層５を有するものであり、その駆動による振動を伝えるために、基体の少なくとも１の腕部に固着される。
【００４３】本発明においては、電極４及び圧電／電歪層５の材料について特に制限はなく、圧電／電歪膜型素子に適用される各種材料を用いればよい。また、駆動体６の構造についても特に制限はなく、例えば、図６に示すように、１の圧電／電歪層５と、これに電気的に接続する１対の電極４とを有する構造のものでもよく、図１に示すように、複数の電極４と複数の圧電／電歪層５が交互に積層された構造のものでもよい。
【００４４】
【実施例】以下、本発明を、圧電膜型素子による実施例により、更に具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。なお、実施例、及び比較例で得られた圧電／電歪デバイスについて、以下のようにして評価した。
【００４５】
（防振性試験）
各実施例及び比較例で得られた圧電／電歪デバイスを、吸い込み型小型風洞試験装置の試験領域に、線径８０μｍのピアノ線にて腕部の先端２箇所と、支持部２箇所とを張力を加えた状態で固定して配置した。
【００４６】この状態で吸引により、ハードディスク装置内で発生し得る７０ｍ／ｓまで風速を徐々に上昇させて圧電／電歪デバイスの振動の程度を測定した。
【００４７】この際、振動の測定は、レーザードップラー速度計を用いて行った。また、同じ張力でピアノ線のみを配置して風速７０ｍ／ｓまで振動が発生しないことを確認しておいた。
【００４８】
（溝の深さ、長さ、溝の形状）
レーザー顕微鏡（オリンパス光学社製ＯＬＳ１１００）を使用して、支持部の長尺方向をｘ軸、腕部の延伸方向に対して垂直方向の厚さ方向をｙ軸として、ｘ×ｙ＝１ｍｍ×０．３ｍｍの範囲の高さデータを取り込み、画像処理により計測、観察した。
【００４９】
（実施例１）
まず、ＳＵＳ３０４からなる金属材料を用いて切削加工、及び切断によりサイズ１．０ｍｍ×０．４ｍｍ×０．２５ｍｍの角柱の支持部、並びにサイズ２．０ｍｍ×０．２５ｍｍ×０．０５ｍｍの薄板状の腕部を２つ作製した。
【００５０】次いで、支持部における、１．０ｍｍ×０．２５ｍｍの１の面（完成後の腕部の延伸方向側に位置する表面に相当する。）に、ポジ型フォトレジストを塗布後、間隔０．２ｍｍ、幅０．０５ｍｍ、長さ０．２５ｍｍの線状パターンで露光可能なフォトマスクを用いて感光後、現像処理を行い、支持部の長尺方向に所定間隔で線状のレジストパターンを形成した。その後、塩化第二鉄からなるエッチング剤を、レジストパターンを形成した表面（最終的に腕部の延伸方向側に位置する表面となる。）に吹き付けて１０秒間侵食反応を行った後、マスキング材を溶剤で溶解した。
【００５１】次いで、支持部の長尺方向の両端面に接着剤を塗布した後、この両端面に２つの腕部の一端をその主要面で圧着して、腕部の延伸方向における断面形状が該略コの字の形状を有する基体を作製した。
【００５２】最後に、２つの腕部に、圧電／電歪層の両面に一対の電極を配した駆動体を、接着剤を介して接合して、支持部の厚さ（腕部の延伸方向及び２つの腕部間を結ぶ線に対する垂直方向での厚さ）が、０．２５ｍｍで、腕部における支持部から突出している部分の長さが１．５ｍｍである圧電／電歪デバイスを得た。
【００５３】得られた圧電／電歪デバイスは、腕部の延伸方向側に位置する支持部の表面に、深さ１０〜２０μｍで、支持部の厚さ方向（表面に衝突した空気流が吹き抜け可能な方向でもある。）に長さ０．２５ｍｍで延伸している溝が、平均２００μｍの間隔で形成されていた。また、溝の深さ方向における断面形状は、概略楕円形状であった。
【００５４】
（実施例２）
支持部における、１．０ｍｍ×０．２５ｍｍの２つの面（完成後の腕部の延伸方向側に位置する表面、及びその反対側に位置する表面に相当する。）に、実施例１で示すエッチング処理を行ったこと以外は実施例１と同様にして、圧電／電歪デバイスを製造した。
【００５５】得られた圧電／電歪デバイスは、腕部の延伸方向側に位置する支持部の面、及びその反対側に位置する面に、深さ１０〜２０μｍで、支持部の厚さ方向（表面に衝突した空気流が吹き抜け可能な方向でもある。）に延伸している長さ０．２５ｍｍの溝が、平均２００μｍの間隔で形成されていた。また、溝の深さ方向における断面形状は、概略楕円形状であった。
【００５６】
（実施例３）
間隔０．２ｍｍ、幅０．０５ｍｍ、長さ０．１５ｍｍの線状パターンで露光可能なフォトマスクを用いて感光したこと以外は、実施例１と同様にして、圧電／電歪デバイスを製造した。
【００５７】得られた圧電／電歪デバイスは、腕部の延伸方向側に位置する支持部の表面に、深さ１０〜２０μｍで、支持部の厚さ方向（表面に衝突した空気流が吹き抜け可能な方向でもある。）に延伸している長さ０．１５ｍｍの溝が、平均２００μｍの間隔で形成されていた。また、溝の深さ方向における断面形状は、概略楕円形状であった。
【００５８】
（比較例１）
支持部の内面をエッチングする工程を行わなかったこと以外は実施例１と同様にして圧電／電歪デバイスを製造した。
【００５９】
（評価）
比較例１で得られた圧電／電歪デバイスは、防振性試験において、風速１０ｍ／ｓ（ハードディスクを１０００ｒｐｍで回転した時に発生する風速に相当する。）から、振幅１．０μｍ以上の振動が発生した。
【００６０】これに対して、実施例１の工程で得られた圧電／電歪デバイスは、防振性試験において、風速６０ｍ／ｓ（ハードディスクを１２０００ｒｐｍで回転した時に発生する風速に相当する。）まで、振幅０．０１μｍ以上の振動は発生せず防振性が大幅に向上していた。
【００６１】また、腕部の延伸方向側に位置する表面、及びその反対側に位置する表面に溝を設けた実施例２の圧電／電歪デバイスは、風速７０ｍ／ｓまで振幅０．０１μｍ以上の振動は発生しなかった。
【００６２】他方、溝の長さを０．１５ｍｍとして、支持部における厚さ方向の端縁に達しない長さで溝を設けた実施例３では、風速５０ｍ／ｓで振幅１．０μｍ以上の振動が発生し、溝の長さを０．２５ｍｍとして、支持部における厚さ方向の端縁に達する長さで溝を設けた実施例１に比べ、振幅１．０μｍ以上の振動が発生する風速が低くなった。
【００６３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、空気流に対する防振性が大きく、高速アクセス化やデータの緻密化の要請に対応しながらもオフトラックの発生を抑制することができる圧電／電歪デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一の実施の形態を示す断面図である。
【図２】本発明における基体部分の一例を模式的に示す斜視図である。
【図３】本発明における基体部分の他の一例を模式的に示す斜視図である。
【図４】本発明における基体部分の更に他の一例を模式的に示す斜視図である。
【図５】本発明における支持部が有する溝の一例を、その高さの変動で示すグラフである。
【図６】本発明における駆動体部分の一例を模式的に示す一部断面図である。
【図７】ハードディスク装置内の状態を模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
１…支持部、２…腕部、３…基体、４…電極、５…圧電／電歪層、６…駆動体、７…支持部における腕部の延伸方向側に位置する面と反対側の面、８…支持部における腕部の延伸方向側に位置する面、９…溝、１０…支持部及び２つの腕部が内向する空間、２１…ディスク、２２…空気流、２３…サスペンション、２４…磁気ヘッド、４０…圧電／電歪デバイス。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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