(57)【要約】【課題】目的空間で乾燥空気を必要としない時でも稼動状態を維持することにより必要時に直ちに低露点の乾燥空気を供給すること可能とする。【解決手段】吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材３により回転域が少なくとも吸着ゾーンＳ及び再生ゾーンＵに区画形成される二つのロータ４ａ，４ｂと、両ロータ４ａ，４ｂを回転駆動する駆動手段５と、吸引した空気を各ロータ４ａ，４ｂの吸着ゾーンＳに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路６と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータ４ｂ，４ａの再生ゾーンＵに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路７とを備えた乾燥空気供給装置１において、前記供給経路６の出口側から入口側に乾燥空気を戻す戻り経路２７を設け、該戻り経路２７と供給経路６の出口側とに弁３０，３１を設けたことを特徴とする。【選択図】          図２
2004321965.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成される二つのロータと、両ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を各ロータの吸着ゾーンに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路とを備えた乾燥空気供給装置の運転方法において、前記目的空間で乾燥空気を必要としないときに、前記供給経路の出口側へ向う乾燥空気を供給経路の入口側に戻して稼動状態を維持することを特徴とする乾燥空気供給装置の運転方法。
【請求項２】
吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成される二つのロータと、両ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を各ロータの吸着ゾーンに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路とを備えた乾燥空気供給装置の運転方法において、前記目的空間で通常時の流量よりも多い乾燥空気を必要とするときに、前記再生経路に向かう乾燥空気の流れを減少または遮断して乾燥空気の供給量を増加させることを特徴とする乾燥空気供給装置の運転方法。
【請求項３】
吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成される二つのロータと、両ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を各ロータの吸着ゾーンに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路とを備えた乾燥空気供給装置において、前記供給経路の出口側から入口側に乾燥空気を戻す戻り経路を設け、該戻り経路と供給経路の出口側とに弁を設けたことを特徴とする乾燥空気供給装置。
【請求項４】
吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成される二つのロータと、両ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を各ロータの吸着ゾーンに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路とを備えた乾燥空気供給装置において、前記再生経路に該再生経路に向かう乾燥空気の流れを減少または遮断して乾燥空気の供給量を増加させるための弁を設けたことを特徴とする乾燥空気供給装置。
【請求項５】
前記弁を制御する制御手段を備えたことを特徴とする請求項３または４記載の乾燥空気供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、乾燥空気供給装置及びその運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造においては、被処理体例えば半導体ウエハに酸化、拡散、ＣＶＤ等の各種の処理を施す工程があり、これらの工程を実行するために各種の処理装置（例えば熱処理装置等）が使用されている。例えば、縦型の熱処理装置においては、複数例えば２５枚のウエハを収容した運搬容器と、前記ウエハを収容して所定の処理を施す処理容器との間でウエハの搬送を行う搬送空間（ローディングエリアとも言う）を有している。
【０００３】
従来、前記搬送空間におけるウエハの自然酸化膜の成長を抑制するために、搬送空間に不活性ガス例えば窒素ガスを多量（２５０〜４００リットル／分）に供給して、搬送空間の酸素濃度を３０ｐｐｍ以下の雰囲気にしていた。また、前記搬送空間における有機系のガスを除去するために、ケミカルフィルタを設けていた。しかしながら、高価な窒素ガスを多量に消費するためランニングコストが多くかかるだけでなく、窒素ガスによる酸欠の危険性があった。また、ケミカルフィルタにより有機物を除去することは可能であったが、ケミカルフィルタに付着した有機物を除去しケミカルフィルタを再生することは困難であった。
【０００４】
そこで、この問題を解決するために、本出願人は、搬送空間に不活性ガスの代りに乾燥空気を供給することにより被処理体の自然酸化膜の成長を抑制することができ、また酸欠の危険性を回避することができると共にパーティクルの発生を防止することができる乾燥空気供給装置及び処理装置を先に出願した（特願２００２−２７４２１４号、未公開）。
【０００５】
なお、関連する技術として、搬送空間に低露点の乾燥気体を供給する発明（例えば、特開平６−２６７９３３号公報参照）や、低露点の乾燥気体を得る乾式減湿装置の発明（例えば、特開２０００−２９６３０９号公報、特開昭６３−５００４７号公報等参照）がなされている。
【０００６】
【特許文献１】
特開平６−２６７９３３号公報
【特許文献２】
特開２０００−２９６３０９号公報
【特許文献３】
特開昭６３−５００４７号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記低露点の乾燥気体を得る乾式減湿装置や乾燥空気供給装置においては、乾燥空気を必要とする装置（例えば処理装置）側が停止している場合にはその停止期間だけ乾燥空気供給装置を停止させておき、装置側が稼動するときには同時に乾燥空気供給装置を稼動させるという運転方法が採用されている。しかしながら、この運転方法では、乾燥空気供給装置を停止している間に、ロータの吸着剤に水分が自然吸着されてしまい、その結果、目的とする低露点（例えば−７０℃以下）の乾燥空気を得るまでに、稼動開始から数時間（４〜１２時間）の試運転を要するという問題があった。また、乾燥空気供給装置から供給される乾燥空気の供給量は一定であるため、例えば必要な時に必要な量（例えば通常時の２倍程度の増量）の乾燥空気を必要とする場合などに対応することが困難であった。
【０００８】
本発明は、前記事情を考慮してなされたもので、目的空間で乾燥空気を必要としない時でも稼動状態を維持することにより必要時に直ちに低露点の乾燥空気を供給することができる乾燥空気供給装置及びその運転方法を提供することを目的とする。また、本発明の目的は、必要な時に乾燥空気を増量して供給することができる乾燥空気供給装置及びその運転方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明のうち、請求項１の発明は、吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成される二つのロータと、両ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を各ロータの吸着ゾーンに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路とを備えた乾燥空気供給装置の運転方法において、前記目的空間で乾燥空気を必要としないときに、前記供給経路の出口側へ向う乾燥空気を供給経路の入口側に戻して稼動状態を維持することを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明は、吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成される二つのロータと、両ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を各ロータの吸着ゾーンに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路とを備えた乾燥空気供給装置の運転方法において、前記目的空間で通常時の流量よりも多い乾燥空気を必要とするときに、前記再生経路に向かう乾燥空気の流れを減少または遮断して乾燥空気の供給量を増加させることを特徴とする。
【００１１】
請求項３の発明は、吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成される二つのロータと、両ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を各ロータの吸着ゾーンに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路とを備えた乾燥空気供給装置において、前記供給経路の出口側から入口側に乾燥空気を戻す戻り経路を設け、該戻り経路と供給経路の出口側とに弁を設けたことを特徴とする。
【００１２】
請求項４の発明は、吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成される二つのロータと、両ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を各ロータの吸着ゾーンに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路とを備えた乾燥空気供給装置において、前記再生経路に該再生経路に向かう乾燥空気の流れを減少または遮断して乾燥空気の供給量を増加させるための弁を設けたことを特徴とする。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項３または４記載の乾燥空気供給装置において、前記弁を制御する制御手段を備えたことを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面に基いて詳述する。図１は本発明の実施の形態である乾燥空気供給装置の通常運転状態を示す概略的構成図、図２はウォーミングアップ運転状態を示す概略的構成図、図３は増量運転状態を示す概略的構成図、図４はロータの一例を示す斜視図、図５はロータを回転自在に支持する支持枠の一例を示す斜視図である。
【００１５】
図１において、１は例えば処理装置の搬送空間等の目的空間に低露点の乾燥空気（ドライエア）を供給するための乾燥空気供給装置で、この乾燥空気供給装置１は後述の支持枠２（図５参照）に回転可能に支持され、吸着剤を担持して構成されると共に、支持枠２に設けた仕切部材３により両端の回転域が少なくとも吸着ゾーンＳ及び再生ゾーンＵに区画形成された二つのロータ４ａ，４ｂと、両ロータ４ａ，４ｂを回転駆動する駆動手段例えば電動モータ５と、前記目的空間または室内から吸引した空気を各ロータ４ａ，４ｂの吸着ゾーンＳに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路６と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータ４ａ，４ｂの再生ゾーンＵに通過させて吸着剤から水分及び有機物を脱離させ、吸着材を再生させる再生経路７とを備えている。
【００１６】
前記ロータ４ａ，４ｂは、図４に示すように両端が開口された円筒体８と、この円筒体８の軸心部に配置された回転軸１０と、この回転軸１０から放射状に延びて円筒体８の内周面に固定されると共に円筒体８内を複数例えば８つの断面扇形の部屋に仕切るスポーク１１と、各部屋内に取付けられ基材に吸着剤を担持させた断面扇形のハニカム構造体１２とから主に構成されている。ハニカム構造体１２はロータ４ａ，４ｂの軸方向に空気を通流させる過程で、空気中に含まれる水分や有機物を吸着剤に吸着させて除去し、乾燥空気を得ることができる。
【００１７】
前段のロータ４ａの吸着剤としては、プレ除湿（出口露点温度−２０℃）として水分を効率良く吸着すると共に有機物をも効率よく吸着するために、例えばフォージャサイトＹ型のゼオライト（Ａ５６Ｓｉ１３６Ｏ３８４）が好ましい。後段のロータ２ｂの吸着剤としては、低露点除湿（出口露点温度−８０℃）として水分を吸着するために、例えばフォージャサイトＸ型のゼオライト（Ａ９６Ｓｉ９６Ｏ３８４）が好ましい。
【００１８】
一方、ハニカム構造体１２の基材としては、耐熱性、耐摩耗性等に優れることから、無機繊維紙が好ましい。ハニカム構造体１２は、無機繊維紙をハニカム状に成形してなる。前記基材に吸着剤を担持させる方法としては、例えば、吸着剤を含有するスラリーをスプレーや刷毛塗り等により基材に含浸させ、乾燥する方法が用いられる。ロータ４ａ，４ｂは、回転軸１０を有する場合には、例えば図５に示すような箱状または枠状の支持枠２に回転可能に支持されている。図示例の場合、支持枠２の両端部にはロータ４ａ，４ｂの両端部と対応する開口部１３が形成され、この開口部１３に仕切部材３が取付けられている。前記開口部１３の中央部には前記回転軸１０の両端部を回転自在に支持する軸受１４が仕切部材３を介して設けられている。
【００１９】
仕切部材３は、ロータないし円筒体８の端部の周縁部に対応する環状の周方向部材３ａと、その中心例えば軸受から周方向部材３ａにかけて設けられた径方向部材３ｂとからなり、径方向部材３ｂにはハニカム構造体１２の端面（ロータの端面）に近接して隣接するゾーンＳ，Ｕ，Ｔ間をシールする径方向シール部材が設けられている。周方向部材３ａには、ロータないし円筒体８の端縁に有するフランジ８ａに近接してその内部と外部間をシールする周方向シール部材が設けられている。
【００２０】
前段のロータ４ａの両端の回転域には、吸着ゾーンＳ及び再生ゾーンＵが仕切部材３により区画形成されている。後段のロータ４ｂの両端の回転域には、吸着ゾーンＳ及び再生ゾーンＵの他に冷却ゾーンＴが仕切部材３により区画形成されている。仕切部材３にはその表面を覆うカバー部材（図示省略）が設けられ、このカバー部材に各ゾーンＳ，Ｕ或いはＴと連通する配管が連結される。
【００２１】
供給経路６は、例えば前段のロータ４ａの吸着ゾーンＳに導入する吸引配管６ａと、前段のロータ４ａの吸着ゾーンＳを通過して水分及び有機物が除去された低露点の乾燥空気を後段のロータ４ｂの吸着ゾーンＳに導入する中間配管６ｂと、後段のロータ４ｂの吸着ゾーンＳを通過して水分及び有機物が更に除去された低露点の乾燥空気を目的空間に供給（導入）する供給配管６ｃとから構成されている。
【００２２】
前記吸引配管６ａには目的空間または室内から空気を吸引し，ロータ４ａ，４ｂを介して目的空間へ送るためのファン１５が設けられ、中間配管６ｂには水分及び有機物が除去された低露点の乾燥空気を所定の温度例えば１５℃程度に冷却するための冷却手段であるクーラー１６が設けられている。乾燥空気供給装置１に起因する目的空間である例えば搬送空間におけるウエハのパーティクル汚染を防止するために、前記供給経路６の出口側にはロータ４ａ，４ｂと仕切部材３のシール部材の接触部等から発生するパーティクルを除去するためのフィルタ（図示省略）が設けられていることが好ましい。
【００２３】
前記再生経路７は、後段のロータ４ｂ直後の供給配管６ｃから分岐され、低露点の清浄な乾燥空気の一部を取出して冷却用気体として後段のロータ４ｂの冷却ゾーンＴに導入する第１配管７ａと、該冷却ゾーンＴを通過した乾燥空気を再生用気体として再生ゾーンＵに導入する第２配管７ｂと、該再生ゾーンＵを通過した空気を前段のロータ４ａの再生ゾーンＵに導入する第３配管７ｃと、該再生ゾーンＵを通過した空気を例えば工場排気系に排気する第４配管７ｄとから構成されている。第２配管７ｂには空気を再生用気体とするために所定の温度に加熱する加熱手段例えばヒータ１７が設けられ、第４配管７ｄには排気用のファン１８が設けられている。
【００２４】
通常運転時には、再生用の空気をヒータ１７により１３０〜２００℃程度の温度に加熱して再生ゾーンＵに供給することにより吸着剤に吸着している水分やガス状不純物（有機物）を脱離させるが、高沸点有機化合物を吸着剤から脱離させる場合には、再生用の空気をヒータ１７により２５０〜４００℃程度の高温に加熱して再生ゾーンＵに定期的に供給するようにすることが好ましい。
【００２５】
図１において、２０は乾燥空気供給装置の運転方法を実行するためのシステムであり、このシステム２０には吸引配管６ａの入口部２１と、供給配管６ｃの出口部２２と、第４配管７ｄの出口部２３とが設けられている。吸引配管６ａの入口部２１には例えば目的空間或いは室内空間が配管を介して接続される。供給配管６ｃの出口部２２から目的空間に配管を介して接続される。第４配管７ｄの出口部２３には工場排気系が配管を介して接続される。
【００２６】
ロータ４ａ，４ｂを回転駆動するためにモータ５の回転軸にはベルト車（プーリとも言う）２５が取付けられ、このベルト車２５とロータ４ａ，４ｂとの間に無端ベルト２６が巻き掛けられている。２つのロータを２つのモータで個別に駆動するように構成されていてもよく、或いは共通の１つのモータで駆動するように構成されていてもよい。
【００２７】
前後のロータにおけるハニカム構造体１２に担持させた吸着剤に水分及び有機物を効率よく吸着させ、水分及び有機物を吸着した吸着剤から水分及び有機物を脱離させて吸着剤を効率よく再生するために、前段のロータ４ａの吸着ゾーンＳと再生ゾーンＵの面積比（図示例では１：１）、或いは後段のロータ４ｂの吸着ゾーンＳと再生ゾーンＵと冷却ゾーンＴの面積比（図示例では２：１：１）にもよるが、図示例の場合、例えば、前段のロータ４ａの回転数が１０ｒ．ｐ．ｈ、後段のロータ４ｂの回転数が０．５ｒ．ｐ．ｈに調整ないし設定されている。
【００２８】
前記目的空間で乾燥空気を必要としないときに、前記供給経路６の出口側へ向う乾燥空気を供給経路６の入口側に戻してロータ４ａ，４ｂの稼動状態を維持するために、前記供給経路６の出口側から入口側に乾燥空気を戻す戻り経路２７が設けられ、該戻り経路２７と供給経路６の出口側とに弁３０，３１が設けられている。弁３０，３１は乾燥空気の流路を切替えるための切替弁であり、弁３１を開、弁３０を閉にすると、通常運転を行うことができ、弁３１を閉、弁３０を開にすると、乾燥空気を供給経路６の出口側から入口側に戻すことができ、乾燥空気供給装置の稼動状態を維持することができる。このときの運転をウォーミングアップ運転といい、目的空間で乾燥空気を必要としない時（期間）にこのウォーミングアップ運転を行い、ロータ４ａ，４ｂに常に再生用の空気を供給しておくことで、ロータ４ａ，４ｂでの水分の自然吸着を防止し、目的空間で乾燥空気を必要になった時には弁３０，３１を切替えることにより直ちに低露点の清浄な乾燥空気を供給することができる。なお、戻り経路２７の入口は供給配管６ｃの弁３１よりも上流側に接続され、戻り経路２７の出口は吸引配管６ａに接続されている。
【００２９】
一方、前記目的空間で通常時の流量よりも多い乾燥空気を必要とするときに、前記再生経路７に向かう乾燥空気の流れを減少または遮断して乾燥空気の供給量を増加させる増量運転を行うために、前記再生経路７には弁３３が設けられている。この弁３３は、再生経路７の第１配管７ａに設けられていることが好ましい。通常運転時の乾燥吸気の供給量を２ｍ３／分とすると、再生経路７の弁３３を絞ることにより目的空間への乾燥空気の供給量を２ｍ３／分以上から最大２倍の４ｍ３／分（全閉時、遮断時）にすることができる。なお、この増量運転時には、吸着剤の再生が減少または停止されるため、時間の経過と共に乾燥吸気の露点が上昇する。このため、前記増量運転は、乾燥空気の露点を検出し、所定の露点になるまでの所定時間例えば６〜９分間行い、その後、弁３１を閉じ、弁３３，３０を開けることによりウォーミングアップ運転に切替えて吸着剤の再生を行う。すなわち、この増量運転は、必要なときに所定時間行ない、必要でないとき（例えば１２〜１４分）にはウォーミングアップに切替えられるという具合に、連続的ではなく間欠的に行われる。乾燥空気供給装置１は、前記種々のパターンの運転を容易に行うために、前述のように弁３０，３１，３３を制御ないし切替制御する制御装置（制御手段）４０を備えている。
【００３０】
以上の構成において、通常運転時には、図１に示すように弁３０が閉に、弁３１，３３が開にされており、供給経路６の吸引配管６ａを通して例えば目的空間内の空気（温度が２３℃程度、露点が１．９６℃程度）或いは室内の空気が前段のロータ４ａの吸着ゾーンＳに導入され、ロータ４ａに担持された吸着剤により減湿及び浄化がなされる（水分及び有機物が除去される）。この時点で、この清浄乾燥空気の温度が４５℃程度、露点が−２０℃程度となる。次いで、清浄乾燥空気はクーラー１６で１５℃程度に冷却された後、後段のロータ４ｂの吸着ゾーンＳに導入され、更なる減湿及び浄化がなされ、供給配管６ｃを通じて温度が２３℃、露点が−８０℃の低露点の清浄な乾燥空気が目的空間に供給される。
【００３１】
また、後段のロータ４ｂでは、低露点の浄化乾燥空気の一部が分岐管である再生経路７の第１配管７ａを通じて冷却ゾーンＴに導入されて冷却用気体として使用されると共に、その後第２配管７ｂのヒータ１７により加熱されて再生用の加熱気体として再生ゾーンＵに導入され、ロータ４ｂの吸着剤に吸着した水分や有機物を蒸発させて除去（脱離）する。再生ゾーンＵから排出された空気（再生用気体）は、第３配管７ｃを介して前段のロータ４ａの再生ゾーンＵに導入され、この高温の再生用気体によりロータ４ａの吸着剤に吸着した水分や有機物を蒸発させて除去（脱離）し、その排ガスが第４配管７ｄを通じて排気される。
【００３２】
一方、乾燥空気の供給を受ける装置（例えば処理装置）側が目的空間での乾燥空気を必要としない工程に移った場合には、図２に示すように弁３１を閉に、弁３０を開に切替えることにより、供給経路６の出口側へ向う乾燥空気を供給経路６の入口側へ戻し、ロータ３ａ，３ｂの吸着剤の再生を行い、乾燥空気供給装置１の運転を停止することなく稼動状態を維持するウォーミングアップ運転を行う。この場合、乾燥空気が再生経路７から排気される分だけ空気を取り入れる必要があるため、供給経路６の吸引管６ａを介して目的空間または室内の空気が取り入れられている。このようにウォーミングアップ運転を行っていることにより、装置側で乾燥空気を必要とする工程に移ったときに、直ちに低露点の清浄な乾燥空気を供給することができる。
【００３３】
このように通常運転とウォーミングアップ運転とを組み合わせることにより、乾燥空気を必要とする装置側の待ち時間をなくすことができ、スループットの向上及び生産性の向上が図れる。また、乾燥空気を必要とする装置によっては、通常時よりも多い乾燥空気を連続的ではなく間欠的に必要とする場合があり、このような装置の場合には、図３に示すように弁３０，３３を閉、弁３１を開にすることにより、前記再生経路７に向かう乾燥空気の流れを減少または遮断して乾燥空気の供給量を増加させる増量運転を行う。通常運転時の乾燥吸気の供給量を２ｍ３／分とすると、再生経路７の弁３３を絞ることにより目的空間への乾燥空気の供給量を２ｍ３／分以上から最大２倍の４ｍ３／分（全閉時、遮断時）にすることができる。なお、この増量運転時には、吸着剤の再生が減少または停止されるため、時間の経過と共に乾燥吸気の露点が上昇する。このため、前記増量運転は、乾燥空気の露点を検出し、所定の露点になるまでの所定時間行い、その後、弁３１を閉じ、弁３０，３３を開けることによりウォーミングアップ運転に切替えて吸着剤の再生を行う。すなわち、この増量運転は、ウォーミングアップ運転と組合せて交互に間欠的に行われる。
【００３４】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、前記仕切部材にはロータとの間をシールするためにロータに摺接する接触式のシール部材が用いられいるが、シール部材としては非接触式のものを採用することも可能である。また、２つのロータは仕切部材を介して直列に配置した一体的構造であっても良く、この場合、ロータ間の配管及びクーラーを省略することができ、装置のコンパクト化が図れる。この場合、前段のロータには後段のロータと対応するように冷却ゾーンが設けられ、再生用の乾燥空気が前段のロータの冷却ゾーンから後段のロータの冷却ゾーンに通流される。
【００３５】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００３６】
（１）請求項１の発明によれば、吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成される二つのロータと、両ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を各ロータの吸着ゾーンに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路とを備えた乾燥空気供給装置の運転方法において、前記目的空間で乾燥空気を必要としないときに、前記供給経路の出口側へ向う乾燥空気を供給経路の入口側に戻して稼動状態を維持するため、目的空間で乾燥空気を必要としない時でも稼動状態を維持することにより必要時に直ちに低露点の乾燥空気を供給することができる。
【００３７】
（２）請求項２の発明によれば、吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成される二つのロータと、両ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を各ロータの吸着ゾーンに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路とを備えた乾燥空気供給装置の運転方法において、前記目的空間で通常時の流量よりも多い乾燥空気を必要とするときに、前記再生経路に向かう乾燥空気の流れを減少または遮断して乾燥空気の供給量を増加させるため、必要な時に乾燥空気を増量して供給することができる。
【００３８】
（３）請求項３の発明によれば、吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成される二つのロータと、両ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を各ロータの吸着ゾーンに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路とを備えた乾燥空気供給装置において、前記供給経路の出口側から入口側に乾燥空気を戻す戻り経路を設け、該戻り経路と供給経路の出口側とに弁を設けているため、目的空間で乾燥空気を必要としない時でも稼動状態を維持することにより必要時に直ちに低露点の乾燥空気を供給することができる。
【００３９】
（４）請求項４の発明によれば、吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成される二つのロータと、両ロータを回転駆動する駆動手段と、吸引した空気を各ロータの吸着ゾーンに順に通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を目的空間に供給する供給経路と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させることにより吸着剤を再生させる再生経路とを備えた乾燥空気供給装置において、前記再生経路に該再生経路に向かう乾燥空気の流れを減少または遮断して乾燥空気の供給量を増加させるための弁を設けているため、必要な時に乾燥空気を増量して供給することができる。
【００４０】
（５）請求項５の発明によれば、前記弁を制御する制御手段を備えているため、種々のパターンの運転を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態である乾燥空気供給装置の通常運転状態を示す概略的構成図である。
【図２】ウォーミングアップ運転状態を示す概略的構成図である。
【図３】増量運転状態を示す概略的構成図である。
【図４】ロータの一例を示す斜視図である。
【図５】ロータを回転自在に支持する支持枠の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  乾燥空気供給装置
３  仕切部材
４ａ，４ｂ  ロータ
５  モータ（駆動手段）
６  供給経路
７  再生経路
２７  戻り経路
３０，３１，３３  弁
４０  制御装置（制御手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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