(57)【要約】【課題】本発明は、適切かつ迅速な基板貼合わせにより液晶表示パネルの製造効率化を図る。【解決手段】第１基板２２と第２基板２１とを上下ステージ６２，６１にそれぞれ保持され、一方の基板２１に滴下された液晶部材３の基板２１面からの高さ位置を測定し、予め設定された基準高さとを比較して、その差に対応して上下ステージ間で予め設定された間隔Ｈを調整し、変化させる。これにより、上下ステージ６２，６１間の基板位置合わせ時の間隔Ｈは、位置合わせ時における上基板２２と液晶部材３との間の接触面積が過大とならないように制御されるので、適正かつ迅速な位置合わせ操作を実現することができる。【選択図】      図２
2004226689.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上ステージと下ステージにそれぞれ保持され、対向配置された第１基板と第２基板とが、予め設定された間隔の上下両ステージ間の間隔のもとで位置合わせが行われ、液晶部材を囲むように基板面に塗布されたシール剤を介して貼り合わされる液晶表示パネルの製造装置において、
いずれか一方の基板に滴下された前記液晶部材の基板面からの高さを測定する測定手段と、
この測定手段で測定された前記液晶部材の高さと予め設定された基準高さとを比較してその差を出力する比較手段と、
この比較手段から出力された差に対応して上下両ステージ間で予め設定された前記間隔を調整する調整手段と
を具備することを特徴とする液晶表示パネルの製造装置。
【請求項２】
前記測定手段が測定する前記液晶部材の高さは、滴下された液晶部材のピーク高さであることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの製造装置。
【請求項３】
前記測定手段は、同一基板上の複数箇所に滴下された液晶部材の選択された複数箇所のピーク高さを測定し、
前記比較手段は、前記測定手段で測定された複数箇所における各ピーク高さの平均値と前記基準高さとを比較する
ように構成されたことを特徴とする請求項２に記載の液晶表示パネルの製造装置。
【請求項４】
上ステージと下ステージにそれぞれ保持され、対向配置された第１基板と第２基板とが、予め設定された上下両ステージ間の間隔のもとで位置合わせが行われ、液晶部材を囲むように基板面に塗布されたシール剤を介して貼り合わされて製造される液晶表示パネルの製造装置において、
貼り合わされる前記第１基板及び第２基板の各基板厚さを測定する測定手段と、
この測定手段で測定された前記第１基板及び第２基板の各基板厚さの和と予め設定された基準厚さの和とを比較しその差を出力する比較手段と、
この比較手段から出力された前記差に対応して、上下両ステージ間で予め設定された前記間隔を調整する調整手段と
を具備することを特徴とする液晶表示パネルの製造装置。
【請求項５】
上ステージと下ステージにそれぞれ保持され、対向配置された第１基板と第２基板とが、予め設定された上下両ステージ間の間隔のもとで位置合わせが行われ、液晶部材を囲むように基板面に塗布されシール剤を介して貼り合わされる液晶表示パネルの製造方法において、
前記第１基板または第２基板のうちのいずれか一方の基板に滴下された前記液晶部材のその基板面からの高さを測定する測定工程と、
この測定工程で測定された前記液晶部材の高さと予め設定された基準高さとを比較しその差を出力する比較工程と、
この比較工程から出力された前記差に対応して、予め設定された上下両ステージ間の前記間隔を調整する調整工程と
を有することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項６】
上ステージと下ステージにそれぞれ保持され、対向配置された第１基板と第２基板とが、予め設定された上下両ステージ間の間隔のもとで位置合わせが行われ、液晶部材を囲むように基板面に塗布されシール剤を介して貼り合わされる液晶表示パネルの製造方法において、
貼り合わされる前記第１基板及び第２基板の各基板厚さを予め測定する測定工程と、
この測定工程で測定された前記各基板厚さの和と予め設定された基準厚さの和とを比較しその差を出力する比較工程と、
この比較手段から出力された前記差に対応して、予め設定された上下両ステージ間の前記間隔を調整する調整工程と
を有することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一方の基板の表示面に液晶部材が滴下され、その滴下された液晶部材を囲むように塗布されたシール剤を介して、対向配置された一対の基板が貼り合わされて製造される液晶表示パネルの製造装置及び製造方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年の液晶表示パネルは大型化が進展し、パソコンのみならずＴＶ等のディスプレイ用等にも多く採用されるようになってきた。
【０００３】
液晶表示パネルは、電極や配向膜が形成された基板間に、液晶部材が封入されて製造される。基板間への液晶部材の封入には、注入方式と滴下方式とがある。
【０００４】
注入方式は、いずれか一方の基板の表示面を囲むように塗布形成されたシール剤に予め開口部が設けられ、基板の貼合わせ後に、その開口部から、毛細管現象と内外圧力差を利用した液晶の充填が行われるものである。
【０００５】
他方、滴下方式は、基板の表示面に予め液晶部材が滴下された後、真空槽（チャンバ）内において、同じくシール剤を介した貼り合わせが行われるものである。
【０００６】
本発明は、滴下方式により、２枚の基板が貼り合わされて製造される液晶表示パネルの製造装置及び製造方法に係るものであり、この滴下方式を採用した液晶表示パネルの製造装置では、たとえば、下基板はＸ−Ｙ−θ移動機構を有する下ステージ上に載置され、一方、上基板は、プレス機構に連結され、加圧板を形成した上ステージの下面に静電チャックあるいは真空吸着等により保持され、Ｘ−Ｙ−θ移動機構の操作による相対的な位置合わせ操作を経て貼り合わされる。
【０００７】
図８は、従来の液晶表示パネルの製造装置を示した正面図である。
【０００８】
すなわち、液晶表示パネルの製造装置は、液晶滴下部Ａと貼り合わせ部Ｂとから構成されている。液晶滴下部Ａのテーブル１上には、貼り合わされる２枚の基板のうち、予めシール剤２ａの塗布及びスペーサ散布が行われた下基板２１が載置される。
【０００９】
液晶滴下部Ａでは、テーブル１の上方に、液晶部材３を収容したディスペンサ４が配置され、テーブル１上に載置された下基板２１の表示面には所定量の液晶部材３が滴下される。
【００１０】
貼り合わせ部Ｂでは、下蓋５１と上蓋５２との組み合わせで閉空間を形成する真空槽５内に、液晶部材３が滴下された下基板２１を載置する下ステージ６１と、上基板２２を下面に保持する上ステージ６２とが組み込まれる。
【００１１】
下ステージ６１は、Ｘ−Ｙ−θ移動機構８に駆動されてより水平方向に移動調整可能に構成され、上ステージ６２は、上蓋５２に組み込まれたプレス機構７に連結され上下（矢印Ｚ）方向に移動自在に構成されている。
【００１２】
貼り合わせ部Ｂでは、上蓋５２と下蓋５１とで閉空間が形成され、排気された真空槽５内では、降下した上基板２２と下基板２１との間の位置合わせ操作を経て貼り合わされる。
【００１３】
下基板２１と上基板２２との間の位置合わせ操作は、各基板２１，２２に形成された各アライメント（位置決め用）マークを不図示の認識カメラが撮影し、その各撮影画像のパターン認識による照合により、位置ずれ量を検出し、位置ずれ量が零となるようにＸ−Ｙ−θ移動機構８が駆動制御される。
【００１４】
高精細で高品質な画像表示が求められる液晶表示パネルの製造では、基板２１，２２間は高精度に位置決めされて貼り合わされることが要求される。
【００１５】
貼り合わせに際して、位置合わせ操作が行われ、両基板２１，２２が位置決めされた後に、プレス機構７の操作によって上基板２２がさらに降下し、接着剤であるシール剤２ａを押圧する。従って、一旦位置決めされたとしても、接着剤であるシール剤２ａを押圧する過程で上下両基板２２，２１間で位置ずれが生じてしてしまうことが懸念される。
【００１６】
そこで、位置決め後も、ミクロン単位の許容範囲内に納まるように貼り合わされるためには、上基板２２と下基板２１とがごく接近した状態、すなわち、図９に拡大して示したように、上基板２２の下面がシール剤２ａをわずか押し込んだ状態で撮像カメラによる撮像画面に基づくＸ−Ｙ−θ移動機構８の操作により、位置合わせ操作が行われる。
【００１７】
そこで、従来の貼り合わせ部Ｂでは、図９に示したように、上基板２２の下面がシール剤２ａをわずか押し込まれる状態での上下両基板２２，２１間の距離を間隔ｈ、またその状態での上下両ステージ６２，６１間の距離を間隔Ｈとしたとき、両基板２１，２２の位置合わせ時において、プレス機構７は、上ステージ６２と下ステージ６１との間に、常に、間隔Ｈが形成されるように駆動制御される。
【００１８】
このように、上基板２２の下面がシール剤２ａをわずかに押し込んでの位置合わせ操作時の状態では、上基板２２はシール剤２ａのみならず表示面に滴下された液晶部材３も上基板２２に接触した状態となる。なお、図９において、符号ｄ２，ｄ１は、上下各基板２２，２１の基板厚さを示したものである。
【００１９】
このようにして、位置合わせ操作後の両基板２１，２２は、上述のように、真空雰囲気中におけるプレス機構７の押圧操作により、シール剤２ａをさらに押し込むことで貼り合わされる。
【００２０】
貼り合わされた両基板２１，２２は、真空槽５内にたとえば窒素ガス等の不活性ガスの送り込みによる大気圧下への復帰によりさらに加圧される。そして両基板２１，２２の間隔は、スペーサによって規定され、両基板２１，２２の隙間には、液晶部材が空隙なく密封される。両基板２１、２２を貼り合わせたシール剤２ａは紫外線照射により固化され、液晶表示パネルが製造される。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来の液晶表示パネルの製造装置では、２枚の基板の位置合わせ時における上ステージ６２の高さ位置（間隔Ｈ）は予め既定値として設定され、プレス機構７は、常にその設定された高さ位置（間隔Ｈ）に上ステージが位置するように制御される。この制御位置状態では、上述のように、上基板２２は下基板２１にごく接近し、上基板２２の下面はシール剤２ａ及び液晶部材３に接触する。
【００２２】
ところで、下基板２１の表示面を囲むように線状に塗布されるシール剤２ａは、その塗布高さは比較的精度良くコントロールされるのに対し、表示面に滴下される液晶部材３の量は微量であり、液晶部材３自体が粘性を有することもあって、高精度にコントロールするのは容易ではない。
【００２３】
滴下された液晶部材３は、その液晶部材３固有の粘性あるいは表面張力が作用して半球状となるが、基板の表示面全域内に広く行き渡らせるべく、間隔をなして多数（複数）箇所に滴下されたときは、それら滴下量のばらつきから滴下された各液晶部材３の各表面高さ、たとえばピーク高さもまちまちとなる。
【００２４】
そこで、基板の位置合わせ操作では、Ｘ−Ｙ−θ移動機構８は、上基板２２の下面がシール剤２ａ及び液晶部材４と接触した状態で、下ステージ６１を移動調整するので、滴下された液晶部材３の表面高さが高くなると、それだけ接触面積すなわち接触抵抗が大となるので、Ｘ−Ｙ−θ移動機構８の操作性が損なわれ、円滑な調整移動を妨げる要因となった。
【００２５】
もちろん、はじめから上ステージ６２の高さ位置を高く設定すれば、液晶部材３との間の接触が小さくなるから、Ｘ−Ｙ−θ移動機構８の機械的負荷の増大を回避することができる。しかしながら、それでは前述のように、位置合わせ時の両基板２１，２２間の間隔は広がり、位置合わせ精度が低下するとともに、位置決め後の上基板２２の押圧降下距離も長くなるので、その過程での位置ずれ量が大きくなってしまう恐れがあった。
【００２６】
また、貼り合わされる基板２１，２２自体の厚さｄ１，ｄ２も、公差分も加わり、製造上のばらつきは避けることができない。従って、上下ステージ６２，６１間が予め設定された間隔Ｈのもとで、２枚の基板２１，２２の厚さの和（ｄ１＋ｄ２）が見込みよりもΔｈだけ大きくなると、図１０に示すように、それに見合う間隔（Δｈ）だけ、上下両基板２１，２２間の間隔ｈは狭まってしまう。その結果、上基板２２が液晶部材４と接触する面積が大きくなり、液晶部材３の表面高さが高くなったのと同様に、Ｘ−Ｙ−θ移動機構８による位置合わせは操作が円滑に行われない要因となった。
【００２７】
とりわけ、大きな表示画面を形成する大型基板では、基板自体の厚み公差も大きくなりがちであり、液晶部材３の表面高さ増加、あるいは基板２１，２２の厚み増加は、円滑な位置合わせ操作上無視できないものとされた。
【００２８】
そこで、本発明は、位置合わせ精度を適切に確保しつつ、位置合わせ操作を円滑かつ効率的に行うことができる液晶表示パネルの製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【００２９】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は、上ステージと下ステージにそれぞれ保持され、対向配置された第１基板と第２基板とが、予め設定された間隔の上下両ステージ間の間隔のもとで位置合わせが行われ、液晶部材を囲むように基板面に塗布されたシール剤を介して貼り合わされる液晶表示パネルの製造装置において、いずれか一方の基板に滴下された前記液晶部材の基板面からの高さを測定する測定手段と、この測定手段で測定された前記液晶部材の高さと予め設定された基準高さとを比較してその差を出力する比較手段と、この比較手段から出力された差に対応して上下両ステージ間で予め設定された前記間隔を調整する調整手段とを具備することを特徴とする。
【００３０】
第２の発明は、同じく上ステージと下ステージにそれぞれ保持され、対向配置された第１基板と第２基板とが、予め設定された上下両ステージ間の間隔のもとで位置合わせが行われ、液晶部材を囲むように基板面に塗布されたシール剤を介して貼り合わされて製造される液晶表示パネルの製造装置において、貼り合わされる前記第１基板及び第２基板の各基板厚さを測定する測定手段と、この測定手段で測定された前記第１基板及び第２基板の各基板厚さの和と予め設定された基準厚さの和とを比較しその差を出力する比較手段と、この比較手段から出力された前記差に対応して、上下両ステージ間で予め設定された前記間隔を調整する調整手段とを具備することを特徴とする。
【００３１】
第３の発明は、上ステージと下ステージにそれぞれ保持され、対向配置された第１基板と第２基板とが、予め設定された上下両ステージ間の間隔のもとで位置合わせが行われ、液晶部材を囲むように基板面に塗布されたシール剤を介して貼り合わされる液晶表示パネルの製造方法において、前記第１基板または第２基板のうちのいずれか一方の基板に滴下された前記液晶部材のその基板面からの高さを測定する測定工程と、この測定工程で測定された前記液晶部材の高さと予め設定された基準高さとを比較しその差を出力する比較工程と、この比較工程から出力された前記差に対応して、予め設定された上下両ステージ間の前記間隔を調整する調整工程とを有することを特徴とする。
【００３２】
第４の発明は、同じく上ステージと下ステージにそれぞれ保持され、対向配置された第１基板と第２基板とが、予め設定された上下両ステージ間の間隔のもとで位置合わせが行われ、液晶部材を囲むように基板面に塗布されたシール剤を介して貼り合わされる液晶表示パネルの製造方法において、貼り合わされる前記第１基板及び第２基板の各基板厚さを予め測定する測定工程と、この測定工程で測定された前記各基板厚さの和と予め設定された基準厚さの和とを比較しその差を出力する比較工程と、この比較手段から出力された前記差に対応して、予め設定された上下両ステージ間の前記間隔を調整する調整工程とを有することを特徴とする。
【００３３】
上記のように第１ないし第４の発明によれば、液晶部材のその基板面からの高さを測定し、その測定された液晶部材の高さデータと予め設定された基準高さデータとを比較し、その差に対応して第１基板及び第２基板との間の位置合わせ間隔を調整するか、あるいは貼り合わされる第１基板及び第２基板の各基板厚さを予め測定し、その測定された各基板厚さの和と予め設定された基準厚さの和とを比較し、その差に対応して上下両ステージ間の間隔を調整する。
【００３４】
従って、第１基板と第２基板との位置合わせ操作に際して、例えば上基板の下面と液晶部材との接触面積の増大を抑制して、撮像カメラの撮像画像に基づくＸ−Ｙ−θ移動機構等の位置合わせ操作を円滑かつ迅速に行うことができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による液晶表示パネルの製造装置及び製造方法の一実施の形態を図１ないし図７を参照して詳細に説明する。なお、図８ないし図１０に示した従来の構成と同一構成には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００３６】
図１は、本発明による液晶表示パネルの製造装置の第１の実施の形態を示す要部正面図で、従来の構成とは貼り合わせ部Ｂが異なるので、その貼り合わせ部Ｂのみを抽出して示した正面図である。
【００３７】
上下に分離可能に形成された真空槽５内には、従来と同様に、上下一対のステージ６２，６１が組み込まれ、各ステージ６２，６１の対向面には、貼り合わされる第１及び第２基板、すなわち基板２２，２１が静電チャックや真空吸着等によりそれぞれ保持される。また、下基板２１のシール剤２ａで囲まれた表示面には従来と同様に、予めスペーサが散布されるとともに液晶部材３が滴下されている。
【００３８】
上蓋５２が降下し、下蓋５１上との間で閉空間を形成した真空槽５内では、制御器９により駆動制御されたプレス機構７により、上ステージ６２が所定高さ位置まで降下して、上基板２２は下基板２１に接近する。上基板２２と下基板２１とがごく接近した状態で、従来と同様に、不図示の撮像カメラによるアライメントマークの撮影画像に基づく位置合わせ操作が行われ、その位置合わせ操作により位置決めされた後の両基板２１，２２は、上基板２２のさらなる降下押圧により、シール剤２ａを押し込んでの貼り合わせが行われる。
【００３９】
この第１の実施の形態の液晶表示パネルの製造装置において、制御器９は、上ステージ６２を予め設定された高さ位置まで降下して停止するようにプレス機構７を制御する。その予め設定された高さ位置、すなわち位置合わせ時における下ステージ６１と上ステージ６２との間の間隔Ｈは、従来のように常に固定したものではなく、当該下基板２１上に滴下された液晶部材３の表面高さ位置に対応させて変化させることで、Ｘ−Ｙ−θ移動機構８による位置合わせ操作の円滑化を図ったものである。
【００４０】
すなわち、この第１の実施の形態では、上基板２２と液晶部材３との間の接触面積が過度にならないように、滴下された液晶部材３表面高さ、たとえばピーク高さを測定し、その測定されたピーク高さｈ１が、予め設定された基準高さｈと比較し、その差Δｈ（＝ｈ−ｈ１）に対応して、下ステージ６１と上ステージ６２との間の間隔Ｈを変化させることを特徴とする。
【００４１】
例えば、下基板２１に滴下される液晶部材３は、粘性を有し、しかもその粘度は液晶部材３の温度や周囲温度によっても変化し、温度が低くなると粘度が高まる傾向を示す。
【００４２】
すなわち、滴下された液晶部材３は、液晶部材３固有の粘性と表面張力により、基板面上で表面が湾曲状となるが、図２の要部拡大正面図に示したように、温度が高い状態の液晶部材３ａは、比較的粘度が低くなるので、ピーク高さはｈ１となり頂点高さが低く全体としてなだらかなものとなる。
【００４３】
これに対し、温度が低い状態で滴下された液晶部材３ｂは、粘度が高まり、全体として丸みを帯びたものとなり、より高いピーク高さｈ２となる。
【００４４】
そこで、この実施の形態では、位置合わせ操作時に上ステージ６２と下ステージ６１との間に設定される間隔Ｈは、その間隔Ｈの設定に対応した液晶部材３の基準高さをｈとしたとき、実際に滴下された液晶部材３の高さ位置ｈからの変化量に対応して間隔Ｈを変化させるものである。
【００４５】
たとえば、図２に示すように、実際に下基板２１に滴下された液晶部材３ｂのピーク高さｈ２が、予め設定された基準高さｈよりもΔｈだけ高いときは、位置合わせ操作時における、上ステージ６２と下ステージ６１との間の間隔を、図３に示したように、所定基準間隔ＨよりたとえばΔｈだけ広げた間隔（Ｈ＋Δｈ）となるように、制御器９はプレス機構７を駆動制御する。
【００４６】
また、同じく図２に示したように、実際に滴下された液晶部材３ａのピーク高さｈ１が予め設定された基準高さｈよりもΔｈだけ低いときは、位置合わせ操作時における、上ステージ６２と下ステージ６１との間の間隔を、図４に示したように、所定基準間隔ＨよりΔｈだけ狭い間隔（Ｈ−Δｈ）となるように、制御器９はプレス機構７を駆動制御する。
【００４７】
これにより、制御器９は、実際に滴下された液晶部材３の高さのばらつきに対応して、上ステージ６２と下ステージ６１との間の間隔を変化させるので、たとえ実際に滴下された液晶部材３ａのピーク高さｈ２が予め設定された基準高さｈよりもかなり高いものとなったとしても、上ステージ６２と下ステージ６１との間の間隔は広がり、たとえば間隔（Ｈ＋Δｈ）となるので、上基板２２と液晶部材３との間の接触面積は増大することなく、Ｘ−Ｙ−θ移動機構８は機械的負荷が増大することはない。
【００４８】
よって、Ｘ−Ｙ−θ移動機構８の操作性の劣化は回避され、安定した位置合わせ操作を行うことができる。
【００４９】
なお、上記説明のように、上ステージ６２の高さ位置の調整値は、液晶部材３の表面高さ、すなわち例えばピーク高さにおける基準値との間の差Δｈそのままを、予め設定された間隔Ｈに対する補正量としたが、必要に応じて差Δｈに適宜係数値を掛け合わせた値を補正量として採用することができる。
【００５０】
例えば、間隔Ｈを狭くした場合、上基板２２によってシール剤２Ａがよけいに押し込まれるので、その分だけＸ−Ｙ−θ移動機構８の機械的抵抗は増大し、位置合わせが円滑に行えなくなることが考えられる。そこで、ピーク高さが基準高さｈよりも低いときには、Δｈに「１」よりも小さい係数、あるいは「０」を乗算するようにしても良い。
【００５１】
上記説明の液晶表示パネルの製造装置において、基板位置合わせ時における上ステージ６２の位置決め手順を、図５のフローチャートを参照して説明する。
【００５２】
すなわち、図５において、滴下された液晶部材３の表面ピーク高さｈｉを計測等により求める（ステップ５Ａ）。
【００５３】
次に、計測された表面ピーク高さｈｉと予め設定された基準高さｈとの差Δｈを算出する（ステップ５Ｂ）。
【００５４】
次に、制御器９は、その差Δｈに見合う、基準とされた間隔Ｈに対する補正量Δｈｓを算出する（ステップ５Ｃ）。
【００５５】
最後に、制御器９は、位置合わせ時の上下ステージ６２，６１間の間隔が、補正量Δｈｓだけ補正された新たな基準間隔Ｈｓ（＝Ｈ〜Δｈｓ）となるように、プレス機構７を制御する（ステップ５Ｄ）。
【００５６】
なお、大型画面の液晶表示パネルの製造では、前述のように、一般には、表示面の多数箇所に液晶部材３が滴下されるから、それら滴下された液晶部材３のピーク高さｈｉにばらつきが生じるのは避けられない。そこで、液晶部材３のピーク高さｈｉにばらつきが生じたときには、測定されたそれら複数箇所のピーク高さ（ｈｉ＝ｈ１，ｈ２・・・）の平均値を求め、基準とされたピーク高さｈと比較してその差Δｈを求めるのが望ましい。あるいはまた、複数箇所で測定したピーク高さの最大値と基準とされたピーク高さｈとを比較し、その差Δを採用することもできる。
【００５７】
また、この実施の形態では、液晶部材３は下基板２１上に滴下されるものとして説明したが、上基板２２と下基板２１とは、相対的なものであるから、液晶部材３が上基板２２に滴下されるようにしても良い。また上ステージ６２が降下して基板貼り合わせが行われるものとして説明したが、下ステージ６１側が上昇して貼り合わされる場合にも適用されることは言うまでもない。
【００５８】
上記第１の実施の形態は、貼り合わされる上下２枚の基板２２，２１の各基板厚さｄ２，ｄ１はおよそ等しいものとして説明したが、前述のように、各基板２１，２２自体の厚さｄ１，ｄ２の製造上のばらつきは避けられないので、そのばらつきが位置合わせ時のＸ−Ｙ−θ移動機構８の円滑な操作を阻害する要因となることがある。
【００５９】
そこで、第２の実施の形態では、基板厚さの和（ｄ１＋ｄ２）が、位置合わせ時におけるＸ−Ｙ−θ移動機構８の操作性に影響を及ぼすことに着目してなされたものである。
【００６０】
すなわち、図６に示したように、制御器９は上下両基板２２，２１、すなわち第１、第２の各基板における基板厚さの和（ｄ１＋ｄ２）を算出する（ステップ６Ａ）。
【００６１】
続いて、制御器９は、その基板厚さの和（ｄ１＋ｄ２）と基準とされた基板厚さの和ｄとの差Δｄを算出する（ステップ６Ｂ）。
【００６２】
続いて、上下ステージ６２，６１間の基準間隔Ｈに対し、前記差Δｄに見合う補正量Δｈｓを算出し（ステップ６Ｃ）、上下各ステージ６２，６１間の間隔Ｈが補正量Δｈｓだけ補正された新たな基準間隔Ｈｓに設定されるよう、制御器９はプレス機構７を制御する（ステップ６Ｄ）。
【００６３】
このように、制御器９は、基板２１，２２の各厚さの測定結果に基づいて、基板位置合わせ時における上下ステージ間隔Ｈを変化させるので、位置合わせ操作時に、基板と液晶表示面との接触面積が過大となることは回避され、位置決め操作時のＸ−Ｙ−θ移動機構８の円滑な移動操作が保障され、良好な位置合わせ操作が可能となる。
【００６４】
上記第１及び第２の実施の形態では、滴下された液晶部材３の高さｈｉ及び貼り合わされる基板２１，２２の厚さｄｉ（ｉ＝１，２）を測定するための具体的構成は説明しなかったが、たとえば図７に示したような測定機構１０が考えられる。
【００６５】
すなわち、ガイドレール１０１にレーザ距離計１０２が案内されつつ図示矢印Ｘ方向に移動し、測距用のレーザ光が、下方の受け台１０３上に載置された基板２１上を走査させることにより、受け台１０３、基板２１、滴下された液晶部材３の高さ位置を順次取り込むことができる。
【００６６】
これら受け台１０３、基板２１、液晶部材３の各高さ位置データから、基板２１の厚さｄ１、滴下された液晶部材３の基板２１面からのピーク高さｈｉを求めることができる。
【００６７】
図７では、下基板２１の基板厚さｄ１を測定する様子を示したものであるが、上基板２２の基板厚さｄ２も同様の機構を用いれば、真空槽５内に供給されるまでの間に、あるいは真空槽５内で計測することができる。
【００６８】
もっとも、図７に示した測定機構１０の構成は、真空槽５の外側に限らず、真空槽５内に配置させても良いが、その場合、ガイドレール１０１やレーザ距離計１０２は、ステージ６１，６２間を出入りできるように構成する必要がある。
【００６９】
このように、第１及び第２の２枚の基板の位置合わせ操作において、滴下された液晶部材３の表面高さのばらつき、あるいは基板２１，２２の基板厚さｄの製造上のばらつきがあったとしても、基板と液晶部材３との間の接触面積が過大とならないように基板間の間隔が設定されるので、高精度で効率的な貼合わせ操作が可能となり、液晶表示パネル製造の効率化を図ることができる。
【００７０】
なお、液晶部材３の表面高さがばらつく原因としては、粘度変化によるもののほか、ディスペンサの滴下精度に起因する滴下量のばらつきによるもの、あるいは液晶部材３に対する基板表面のぬれ性の違いによるものなどが考えられる。
【００７１】
また、本発明の液晶表示パネルの製造装置及び製造方法では、上記第１及び第２の各実施の形態双方を併用させることもできる。
【００７２】
【発明の効果】
本発明の液晶表示パネルの製造装置及び製造方法によれば、２枚の基板の貼り合わせ操作時における基板を保持した上下各ステージ間の間隔を、滴下された液晶部材の高さ及び基板の厚さに基づき変化させるので、円滑な位置合わせ操作が可能となり、実用に際し得られる効果大である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による液晶表示パネルの製造装置の第１の実施の形態を示した要部正面図である。
【図２】図１に示した装置の要部拡大正面図である。
【図３】図１に示した装置で液晶部材３の粘度が高い場合の、上下ステージ６２，６１間の間隔調整説明図である。
【図４】図１に示した装置で液晶部材３の粘度が低い場合の、上下ステージ６２，６１間の間隔調整説明図である。
【図５】図１に示した装置を採用した製造方法で、特に上下ステージ６２，６１間の間隔調整方法を説明したフローチャートである。
【図６】本発明による液晶表示パネルの製造装置の第２の実施の形態を採用した製造方法で、特に上下ステージ６２，６１間の間隔調整方法を説明したフローチャートである。
【図７】本発明による液晶表示パネルの製造装置の第１及び第２の実施の形態で採用される液晶部材の表面ピーク高さ及び基板厚さを測定する測定機構の説明図である。
【図８】従来の液晶表示パネルの製造装置の要部正面図である。
【図９】図８に示した装置で液晶部材３の粘度が高い強い場合の、上下ステージ６２，６１間の間隔説明図である。
【図１０】図８に示した装置で液晶部材３の粘度が低い場合の、上下ステージ６２，６１間の間隔説明図である。
【符号の説明】
２１  下基板（第２基板）
２２  上基板（第１基板）
２ａ  シール剤
３  液晶部材
４  ディスペンサ
５，５１，５２  真空槽
６１  下ステージ
６２  上ステージ
７  プレス機構
８  Ｘ−Ｙ−θ移動機構
９  制御器（比較手段、調整手段）
１０  測定機構（測定手段）
１０２  レーザ距離計
ｄ１，ｄ２  基板厚さ
ｈ１，ｈ２  （液晶部材３の）表面ピーク高さ
Ｈ  （上下ステージ間の）間隔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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