(57)【要約】      （修正有）【課題】研磨テープの被研磨材への押し付け状態を調節できる研磨装置を提供する。【解決手段】研磨台６に設置した平板状の被研磨材Ｗの平面部を，研磨装置本体に装着した研磨テープＴにより研磨する研磨装置。研磨装置本体は，回転駆動する筒状の回転ドラム３と，回転ドラム内にともに配置される研磨テープが巻かれたテープリール４１および，該テープリールから繰り出された研磨テープを巻き取る巻き取りリール４２と，研磨テープとを含み。回転ドラムは，被研磨材の表面を横断する長さ以上の軸方向長さを有する外周面を有し，該外周面上に弾性体からなる線条部１００を有し，軸方向に延びるスリット３２を有する。テープリールからの研磨テープは，スリットを通ってから引き出され，線条部上を覆うようにして，再度スリットを通って，巻き取りリールに巻き取られる。研磨台は，研磨台を回転ドラムに対してスライドさせるスライド機構７を含む。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨台に設置した平板状の被研磨材の平面部を，研磨装置本体に装着した研磨テープにより研磨する研磨装置であって，
前記研磨装置本体は，軸方向に延びるスリットを有し，回転駆動する筒状の回転ドラムと，該回転ドラム内に配置される研磨テープが巻かれたテープリールおよび該テープリールから繰り出された研磨テープを巻き取る巻き取りリールと，研磨テープとを含み，
前記回転ドラムは，被研磨材の表面を横断する長さ以上の軸方向長さを有する外周面を有し，さらに，該外周面上に前記ドラムの一端から他端へと延びる，弾性体からなる，少なくとも一本の線条部を有し，
前記テープリールから繰り出された前記研磨テープは，前記スリットを通って前記回転ドラムから引き出され，前記回転ドラムの前記外周面に沿い，前記線条部上を覆うようにして，１周巻きつけられた後に，再度前記スリットを通って前記回転ドラム内に挿入されて，前記巻き取りリールに巻き取られ，
前記研磨台は，研磨台を回転ドラムに対して回転ドラムの軸方向を横切る方向にスライドさせるスライド機構を含み，
前記スライド機構による研磨台のスライド時に，前記研磨台に保持された被研磨材の平面部と前記回転ドラムの外周面に巻かれた前記研磨テープとが接触することで，前記被研磨材は研磨される，
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記線条部は軸線方向に沿って延びる，請求項１の研磨装置。
【請求項３】
前記線条部は前記外周面上を巻き付くように設けられる，請求項１に記載の研磨装置。
【請求項４】
研磨台に設置した平板状の被研磨材の平面部を，研磨装置本体に装着した研磨テープにより研磨する研磨装置であって，
前記研磨装置本体は，少なくとも一組の，軸方向に延びるスリットを有し，回転駆動する筒状の回転ドラムと，該回転ドラム内に組となって配置される，研磨テープが巻かれたテープリールおよび該テープリールから繰り出された研磨テープを巻き取る巻き取りリールと，研磨テープとを含み，
前記回転ドラムは，被研磨材の表面を横断する長さ以上の軸方向長さを有する外周面を有し，さらに，該外周面上で，前記一組のスリットの間を軸方向に延びる，弾性体からなる線条部を有し，
前記テープリールから繰り出された前記研磨テープは，前記線条部の両側にある前記組となったスリットの一方を通って，前記回転ドラムから引き出され，前記線条部上を覆うようにして，前記組となったスリットの他方を通って，前記回転ドラム内に挿入されて，前記巻き取りリールに巻き取られ，
前記研磨台は，研磨台を回転ドラムに対して回転ドラムの軸方向を横切る方向にスライドさせるスライド機構を含み，
前記スライド機構による研磨台のスライド時に，研磨台に保持された被研磨材の平面部と前記回転ドラムの外周面に巻かれた回転研磨テープとが接触することで，前記被研磨材は研磨される，
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項５】
前記線条部は，前記ドラムに設けられた伸縮手段により，半径方向にそって張り出し自在となる，請求項１または４に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記線条部は，前記ドラムに設けられた弾性手段により，支持される，請求項１または４に記載の研磨装置。
【請求項７】
前記線条部の上面は，平坦状または凹凸状となっている，請求項１または４に記載の研磨装置。
【請求項８】
前記線条部は，前記ドラムの前記外周面に貼り付ける，面状弾性体上に形成されて線条突起である，請求項１または４に記載の研磨層。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する分野】
本発明は，研磨台に設置した平板状の被研磨材の平面部を，研磨装置本体に装着した研磨テープにより研磨する研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
今日，半導体チップを構成するためのシリコンウエハー，ワープロ，パソコン，テレビなどに用いられる液晶ディスプレイ，そして，半導体チップなどの電子素子を取り付けるためのプリント基板が多数利用されている。
【０００３】
シリコンウエハーは，表面を鏡面加工するために研磨する必要があり，液晶ディスプレイについても，製造工程中にガラス表面に付着した異物を除去するためにガラス表面を研磨し，また，プリント基板も，基板に配線を形成するために基板の表面，裏面を仕上げ加工する必要がある。
【０００４】
そして，従来からシリコンウエハーなどの板状部材の表面を研磨するに当たっては，ドーナツ形状の砥石による研磨や，円筒表面にダイヤ砥石粒を電着させた電着砥石を用いて研磨する方法がある。
【０００５】
しかしながら，ドーナツ形状の砥石により研磨する場合には，所望の研磨精度は得られるものの，一度加工物を削ると，砥石の精度および切れ味が低下していくという不具合がある。この砥石の精度を維持するためには，定期的に砥石表面を削り落として新しい面を出す加工作業（ドレッシング）を行う必要があり，このドレッシングは砥石の粉塵などを発生させ，作業環境を悪化させるという不具合を生じさせる。
【０００６】
また，電着砥石を用いて研磨加工をする場合には，電着砥石は，ステンレス製の筒状体の表面にダイヤ砥石粒を電着させることから，非常に研磨精度が良いという利点をもつものの，研磨加工中に表面の砥粒の脱落にともない砥石の精度および加工能力が低下する不具合もある。
【０００７】
さらにまた，電着砥石は，ドーナツ形状の砥石のようにはドレッシングが行えないため，電着砥石の研磨精度を維持するためには，筒状体から一旦砥石粒を剥離して新たに砥石粒を再電着させなければならず，ランニングコストが非常にかかるという不具合もある。
【０００８】
そこで，砥石の粉塵発生による作業環境の悪化や，ランニングコストの増加を防止すべく，長尺な研磨テープを用いた研磨装置が提案されている（たとえば，特許文献１）。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１１−１９８５９号公報
【００１０】
この研磨テープによる研磨装置は，研磨テープが巻かれたテープリールと，テープリールから引き出された研磨テープを巻き取る巻き取りリールとが回転可能に支持される研磨ヘッド本体を有し，この研磨ヘッド本体には，テープリールから巻き取りリールに至るまでの間，研磨テープが掛け渡される押圧部が設けられ，研磨テープが掛け渡された押圧部を研磨台に設置された被研磨材に押圧することで被研磨材が研磨されるものである。
【００１１】
このような従来の研磨テープを利用した研磨装置Ａが図１０および図１１に示されているが，研磨テープＢが装着される研磨ヘッド本体Ｃと，研磨ヘッド本体Ｃを支持する支持部材Ｄと，研磨ヘッド本体Ｃの下方に設置され被研磨材が装着される研磨台（図示せず）とを備えている。
【００１２】
そして，従来の研磨装置Ａは，研磨ヘッド本体Ｃを支持部材Ｄに対して研磨台の面と直交する線を軸線として回転させながら，研磨ヘッド本体Ｃに装着された研磨テープＢを研磨台上に設置された被研磨材の表面に接触させて研磨するように構成されている。
【００１３】
さらに，研磨ヘッド本体Ｃは，研磨テープＢを複数の走行ローラＥで走行させながら被研磨材を研磨するようにもなっており，研磨ヘッド本体Ｃの内部に，研磨テープＢが巻かれたテープリールＦと，テープリールＦから引き出された研磨テープＢを巻き取る巻き取りリールＧとが設けられ，研磨テープＢをテープリールＦから所定の走行速度で引き出して，研磨ヘッド本体Ｃの下端に設ける押さえ付けローラＥ１を通過させた後，巻き取りリールＧに巻き取るようになっている。
【００１４】
この研磨テープを用いた研磨装置Ａでは，研磨テープＢを押さえ付けローラＥ１（押圧部）により研磨台上に設置される被研磨材に接触させておいて，研磨テープＢを走行させながら，研磨ヘッド本体Ｃ回転させることにより，被研磨材の表面を自動的に研磨するようにしている。
【００１５】
ところで，図１０および図１１に図示の研磨装置Ａは，テープリールから巻き取りリールへと研磨テープを巻き取りながら研磨するようにしているため，常に新しい研磨テープ面を供給しながら研磨することができ，そのため，常に同じ条件で研磨することができるという利点があり，しかも，砥石や電着砥石のように砥石の表面のドレッシング，再電着という煩雑な作業を不要となり，作業環境も清潔な状態に維持できるという利点もある。
【００１６】
【発明の解決しようとする課題】
一方，研磨テープによる研磨では，研磨テープを押圧部である押さえ付けローラＥ１で被研磨材に押さえ付けながら研磨するようにしており，また，研磨ヘッド本体Ｃを回転させながら研磨するようにしているため，押さえ付けローラＥ１に掛け渡される研磨テープにしわや，よりが発生しないように，中央が細くなった特殊な押さえ付けローラＥ１が使用されている。
【００１７】
そのため，研磨テープの全体が被研磨材と接触せず，研磨に実質的に寄与しない部分がある。
【００１８】
また，研磨ヘッド本体Ｃそのものを研磨台の設置面と直交する軸を中心に回転させながら研磨するようにしているため，回転による研磨テープへの負担を少なくするために研磨テープのテープ幅には限界がある。そのため，研磨テープを一回転させる間に研磨できる研磨面積が小さく，研磨テープを一回転させる間の研磨面積より面積の大きい被研磨材では，研磨の際に研磨むらが生じる虞がある。
【００１９】
そこで，本発明は，砥石のドレッシングなど煩雑な研磨材の加工を行うことなく，常に新しい研磨テープで被研磨材を均一に研磨する研磨装置を提供することを目的とする。
【００２０】
本発明の他の目的は，研磨テープ全体が研磨に寄与する研磨装置を提供することである。
【００２１】
さらに，本発明の他の目的は，研磨テープの幅に制限のない研磨装置を提供することである。
【００２２】
さらに，本発明の他の目的は，研磨面積の大きな被研磨材を研磨することができる研磨装置を提供することである。
【００２３】
さらに，本発明の他の目的は，研磨テープの被研磨材への押し付け状態を調節できる研磨装置を提供することである。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の研磨装置は，研磨台に設置した平板状の被研磨材の平面部を，研磨装置本体に装着した研磨テープにより研磨する装置である。研磨装置本体は，軸方向に延びるスリットを有し，回転駆動する筒状の回転ドラムと，該回転ドラム内に配置される研磨テープが巻かれたテープリールおよび該テープリールから繰り出された研磨テープを巻き取る巻き取りリールと，研磨テープとを含む。回転ドラムは，被研磨材の表面を横断する長さ以上の軸方向長さを有する外周面を有し，さらに，該外周面上にドラムの一端から他端へと延びる，弾性体からなる，少なくとも一本の線条部を有する。
【００２５】
ここで，テープリールから繰り出された研磨テープは，スリットを通って回転ドラムから引き出され，回転ドラムの外周面に沿い，線条部上を覆うようにして，１周巻きつけられ後に，再度スリットを通って回転ドラム内に挿入されて，巻き取りリールに巻き取られる。
【００２６】
研磨台は，研磨台を回転ドラムに対して回転ドラムの軸方向を横切る方向にスライドさせるスライド機構を含み，スライド機構による研磨台のスライド時に，研磨台に保持された被研磨材の平面部と回転ドラムの外周面に巻かれた研磨テープとが接触することで，被研磨材は研磨される。
【００２７】
線条部は軸線方向に沿って延びるものでも，回転ドラムの外周面上を巻き付くように延びるものでもよい。
【００２８】
線条部は，ドラムに設けられた伸縮手段により，半径方向にそって張り出し自在となってもよい。伸縮手段に代え，弾性手段により線条部は支持されてもよい。
【００２９】
また，線条部の上面は，平坦状でも，凹凸状となってもよい。
【００３０】
線条部は，ドラムの外周面に貼り付ける，面状弾性体上に形成されて線条突起であってもよい。
【００３１】
本発明の他の研磨装置も，研磨台に設置した平板状の被研磨材の平面部を，研磨装置本体に装着した研磨テープにより研磨する研磨装置であるが，この研磨装置本体は上記の発明と異なり，少なくとも一組の，軸方向に延びるスリットを有し，回転駆動する筒状の回転ドラムと，該回転ドラム内に組となって配置される，研磨テープが巻かれたテープリールおよびテープリールから繰り出された研磨テープを巻き取る巻き取りリールと，研磨テープとを含み，回転ドラムは，被研磨材の表面を横断する長さ以上の軸方向長さを有する外周面を有し，さらに，該外周面上で，一組のスリットの間を軸方向に延びる，弾性体からなる線条部を有する。テープリールから繰り出した研磨テープは，線条部の両側にある組となったスリットの一方を通って，回転ドラムから引き出され，線条部上を覆うようにして，組となったスリットの他方を通って，回転ドラム内に挿入されて，巻き取りリールに巻き取られる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
本発明の研磨装置は，本出願人が２００１年９月１０日に共同で出願（特願２００１−２７３５００）した研磨装置と共通部分があり，共通部分については同様にして説明する。
【００３３】
本発明にかかる研磨装置の全体構成図を図１および図２に示す。研磨装置は，平板状の下部支持板１１と，下部支持板１１の上部四隅に取り付けられる四本の支柱フレーム１２と，四本の支柱フレーム１２の上部位置で支持される上部支持板１３とを有する支持部材１を備えている。
【００３４】
支持部材１の上部支持板１３の上面には，研磨テープＴが走行可能に装着される回転ドラム３を有する研磨装置本体２と研磨台６とが設置されており，下部支持板１１の上には，回転ドラム３を回転駆動させるためのドラム回転用モータ５が配置されている。
【００３５】
研磨装置本体２は，図３に示すように，筒状の回転ドラム３と，回転ドラム３内に配置される研磨テープＴが巻かれたテープリール４１およびテープリール４１から繰り出された研磨テープＴを巻き取る巻き取りリール４２と，巻き取りリール４２を回転させるリール回転用モータ４３と，長尺な研磨テープＴを備えている。
【００３６】
テープリール４１と巻き取りリール４２は，図４に示すように，テープリール４１の軸４１ａと巻き取りリール４２の軸４２ａが回転ドラム３の回転軸心ａと平行するように回転ドラム３内の支持壁３１，３１に回転可能に支持されている。
【００３７】
さらに，外周面の軸方向長さは，被研磨材Ｗの表面を横断する長さ以上で，研磨テープＴのテープ幅以上の長さとなるように形成されている。
【００３８】
研磨テープＴは，図１に示すように，被研磨材Ｗの表面を横断する長さ，たとえば，シリコンウエハーならば直径，プリント基板であれば一辺の長さよりも長いテープ幅（Ｌ）を有するものを使用している。
【００３９】
そして，図３，図５から図７に示すように，回転ドラム３の外周面に，研磨テープＴが挿通可能な軸方向に延びるスリット３２を形成しており，スリット３２の軸方向長さは，研磨テープＴのテープ幅よりも長くなるよう形成している。
【００４０】
さらに，図１ないし３に示すように，回転ドラム３の外周面に，軸方向の延びる弾性体からなる線条部１００が設けられている。図では，線条部を図示するために誇張して示されている。線条部の厚さは約１ｍｍから１０ｍｍ（回転ドラムの直径が２０ｃｍ程度に対して），幅はドラムの周囲長の約１０パーセント以下である。材料は特に限定しないが，好適に，硬度がＳｈｏｒｅＡ硬度で４０以上（好ましくは６０以上）のものである。図示の例では，線条部は，棒状弾性体を回転ドラム３の外周面上に貼り付けたものである。
【００４１】
本実施形態では，テープリール４１から繰り出された研磨テープＴを回転ドラム３のスリット３２を通って引き出し，回転ドラム３の外周面に沿うように，そして線条部１００を覆うように，巻き付けながら一周させた後，再びスリット３２を通って巻き取りリール４２に巻回するようにしている。なお，回転ドラム３の外周面に巻かれた研磨テープＴは弛まないように，テープリール４１と巻き取りリール４２とによる張力で常に外周面に密着状態となるようにしている。
【００４２】
さらに，研磨装置本体２は，回転ドラム３の軸方向両端側に設ける回転軸部３３，３３を介して回転ドラム３を回転可能に支持する軸受け部４４，４４を備えており，さらに，回転ドラム３の一方の回転軸部３３（図１および図２において左側）の軸端部に，軸受け部４４から露出させた状態で接続される第一のプーリー４５を設けている。
【００４３】
この第一のプーリー４５と，下部支持板１１の上に配設されるドラム回転用モータ５の駆動軸軸端に設ける第二のプーリー５１とに第一のエンドレスベルト５２を掛け渡して，ドラム回転用モータ５の回転駆動により第二のプーリー５１，第一のエンドレスベルト５２，第一のプーリー４５を介して，回転ドラム３を回転するようにしている。
【００４４】
なお，回転ドラム３内には，研磨テープＴを走行させるためのリール回転用モータ４３を配設しているが，回転ドラム３の回転に支障がないよう，回転ドラム３の軸方向端部に設ける回転軸部３３（図４において右側）を筒状に形成して，回転軸部３３の筒内部にリール回転用モータ４３を駆動させるためのリード線（図示せず）を挿通させて回転ドラム３の外部に取り出すようにしている。
【００４５】
研磨台６は，図１，図２に示すように，シリコンウエハーなどの被研磨材Ｗを設置するための設置面６１を有する移動台６２と，移動台６２の下面側に配設され，移動台６２を回転ドラム３に対して回転ドラム３の軸方向と直交する方向にスライドさせるスライド機構７とを備えている。
【００４６】
なお，設置面６１には図示していないが被研磨材Ｗの位置ズレを防止するための密着シートが固定されている。密着シートは表面に樹脂コーティングをして摩擦抵抗を大きくしているものを使用している。
【００４７】
研磨台６に設けるスライド機構７は，上部支持板１３に固定される二本の移動用レール部材７１と，移動台６２の下面に固定される支持棒６３の下端に固定される支持板７２の下面に固定され，移動用レール部材７１に摺動可能に嵌め合わされる嵌合部材７３と，移動用レール部材７１と平行して延びるネジ軸７４ａを備えるボールネジ７４と，ネジ軸７４ａを回転駆動させるためのボールネジ駆動用モータ７５とを備えている。
【００４８】
ボールネジ７４は，ネジ軸７４ａに嵌合されるナット部７４ｂを備えており，このナット部７４ｂは，支持板に固定されている。
【００４９】
ネジ軸７４ａの一端部には第一のスライド用プーリー７６が取り付けられ，ボールネジ駆動用モータ７５の軸端部に第二のスライド用プーリー７７が取り付けられ，これら第一のスライド用プーリー７６と第二のスライド用プーリー７７とに第二のエンドレスベルト７８を掛け渡している。
【００５０】
そして，ボールネジ駆動用モータ７５の回転駆動によりボールネジ７４のネジ軸７４ａを回転させ，この回転によりナット部７４ｂを軸方向に移動させて，ナット部７４ｂが固定される支持板７２を移動用レール部材７１に沿ってネジ軸７４ａの軸方向に摺動させるようになっている。
【００５１】
また，支持棒６３の長さによって移動台６２の下面と支持板７２との間に形成される空間部には，移動台６２を支持板７２に対して回転ドラム３の回転軸と平行する方向に移動させる位置調整機構６４を設けている。
【００５２】
この位置調整機構６４は，移動台６２に設置された被研磨材Ｗの回転ドラム３の外周面に対する位置を調整するためのものである。
【００５３】
そして，本実施の形態では，研磨装置本体２の回転ドラム３の外周面に巻回された研磨テープＴと，研磨台６の設置面６１に設置された被研磨材Ｗの表面とを接触させるように，研磨台６の設置面６１の高さと，回転ドラム３の外周面の下部の高さとを設定して，回転ドラム３を回転させながら，研磨台６をスライドさせて被研磨材Ｗを研磨するようになっている。
【００５４】
具体的には本実施形態の研磨装置による被研磨材の研磨またはクリーニングは図５から図７に示すように次のように行われる。
【００５５】
なお，図５から図７において，説明を簡単に行うため，研磨台６は，図１および図２示すものと異なり，移動台６２の下面に嵌合部材７３を直接固定した簡略化したものを示している。
【００５６】
まず，図５に示すように，研磨台６の移動台６２を回転ドラム３よりも手前で設置面６１が完全に現れる位置までスライドさせておき，シリコンウエハーなどの平坦な被研磨材を研磨台６の設置面６１上に配置し，回転ドラム３を回転駆動させる。
【００５７】
そして，図５の状態から図６の状態，そして，図７の状態の順に回転ドラム３を回転させながら，移動台６２を回転ドラム３の下方を通過するようにスライド
させていく。
【００５８】
ここで，線条部１０上の研磨テープＴの部分は，他の部分よりも盛り上がっているため，実質的な研磨に寄与する部分となる。本実施の形態では，一本の線条部１００が利用されているため，回転ドラムが一回する毎に，一度線条部１００上の研磨テープＴの部分が，被研磨材Ｗと実質的に接し，研磨がなされる。
【００５９】
線条部１００は弾性体からなることから，研磨に際して（すなわち，回転ドラムが回転し，線条部１００が丁度，被研磨材Ｗ側にきたとき），圧縮され，その反発力により研磨テープＴは被研磨材Ｗに押し付けられ，効果的な研磨が達成される。
【００６０】
また，研磨テープＴを支持する回転ドラム３の外周面の軸方向長さを，被研磨材Ｗを横断する長さ以上としていることから，研磨テープＴのテープ幅も被研磨材Ｗを横断する長さ以上とすることができる。その結果，移動台６２の一方向のスライドによって，移動台６２上の被研磨材Ｗの表面を，回転ドラム３への進出方向先端部から後端部にかけて連続して，被研磨材Ｗの全面を一度に研磨することができ，均一な研磨を行うことができる。
【００６１】
ここで，移動台３２の移動方向は，回転ドラム３に対して相対的な動きを行うことができればよく，したがって回転ドラム３の軸方向に直交でなくともよい。
【００６２】
さらに，回転ドラム３の回転駆動と同時に，リール回転用モータ４３を駆動させて，巻き取りリール４２を回転駆動させる，巻き取りリール４２の回転駆動により，新しい研磨テープＴがテープリール４１から引き出されて，線条部１００上を通過し，回転ドラム３の外周面に沿って走行しながら巻き取りリール４２に巻き取られて，テープリール４１から未使用の研磨テープＴが回転ドラム３の外周面に引き出される。かくして，常に供給される新しい研磨テープＴによって被研磨材Ｗの研磨またはクリーニングが成し遂げられることになるので，研磨ムラをより少なくすることができる。
【００６３】
上記説明した実施態様では，一本の線条部は軸方向に延びたものであるが，図８（ａ）に示したように，回転ドラムの外周面にそって巻き付くように延びでも，また一本に限らず，必要に応じて数本設けてもよく，さらに図８（ｂ）に示したように，線条部は，一本の線条部であっても，Ｖ字形になって，回転ドラムの外周面にそって延びたものでもよい。このような非軸線方向に延びる線条部は，常に線条部のいずれかの部分で研磨テープを被研磨材に押し付けるため，滑らかな研磨動作を可能にする。
【００６４】
図８の実施態様では，線条部を直接，回転ドラムの外周面に貼り付けたが，たとえば，二本以上の線条部をもつとき，あるいは線条部の形状が特殊なときは，回転ドラムの外周面とほぼ同じ面積をもち，その表面上に線条突起をもつ板状弾性体を，回転ドラムの外周面全体に貼り付けてもよい（ただし，この板状弾性体には，研磨テープが出入りするスリットに対応する位置にスリットが形成される必要がある。）。
【００６５】
図８（ｃ）は，線条部１００を，回転ドラムの半径方向に張り出し，引き戻し可能するためのエアーシリンダーが組み込まれた回転ドラムの一部拡大断面図を示す。線条部１００ｃは，直接回転ドラムの外周面に貼り付けるのではなく，線条部１００とほぼ同じ形状のベースプレート１０１に貼り付け，このベースプレート１０１に，回転ドラム３に設けられ穴３’を通して延びるエアーシリンダー１０２のロッド１０３を取り付ける。エアーシリンダー１０２の起動により，ロッド１０３は伸縮し，これにより線条部１００ｃは，必要とされる圧力で研磨テープを被研磨材に押し付けることができる。たとえば，研磨力が必要なときは，ロッド１０３を伸長させて，線条部１００ｃをより張り出させ，逆に鏡研磨のような研磨に際しては，１０３を収縮させて，回転ドラムの外周面との段差を少なくするように，線条部１０３ｃをより引き込ませる。
【００６６】
図８（ｃ）に例では，エアーシリンダーを利用しているが，このほかにスプリングやカム機構も利用することができる。
【００６７】
図９は，他の実施態様の研磨装置本体の拡大部分断面図を示す。この実施態様の研磨装置本体２’は，研磨テープが回転ドラムの外周面全体を覆うのではなく，線条部のみを覆うものである。
【００６８】
図９に図示の回転ドラム３’において，研磨テープが巻かれたテープリール４１，研磨テープを巻き取る巻き取りリール４２，回転ドラムを回転させる機構は，図３，図４に示した回転ドラムと同じであり，説明を簡単化するために，これら機構は省略する。
【００６９】
図３に図示の回転ドラム３と同様に，その外周面に軸方向に延びた線条部１００が設けられている。その線条部１００に両側にそって，研磨テープＴが挿通可能な軸方向に延びる一組のスリット１１０ａ，１１０ｂが形成されており，それらスリットの軸方向長さは，研磨テープＴのテープ幅よりも長い。
【００７０】
回転ドラム３’内には，図３のテープリールと同様に設けられたテープリール４１からの研磨テープＴはローラ１１１ａを介して，一方のスリット１１０ａを通って引き出され，線条部１００上を覆うようにして，そして他方のスリット１１０ｂを通って，回転ドラム３’内に挿入され，さらに図３の巻き取りリールと同様に設けられたテープリール４１に巻き取られる。
【００７１】
図９は，一つの線条部を利用し，その上をテープリールからの研磨テープが通り，巻き取りリールで巻き取られる例を示すが，同様の構成を複数個，なわわち，複数の線条部を設け，線条部ごとに，その両側に一対のスリットとともに，テープリールおよび巻き取りリールを設けて設けることもできる。このように，複数個の線条部を設けると，各線条部に異なる研磨テープ（番手の異なる研磨テープ）を提供することができる。また，線条部も，研磨の目的，研磨テープに対応させた弾性をもたせることもできる。
【００７２】
【発明の効果】
本発明にしたがった研磨装置において，回転ドラムに巻かれた研磨テープは，被研磨材の平面を横断する長さ以上の幅を有し，回転ドラムの回転とともに回転しながら被研磨材と接し，さらに，回転ドラム上を走行することから，研磨台は回転ドラムに対して相対的にスライドすることから，従来の砥石のように作業環境が悪化することなく，かつ，電着砥石のような加工能力の低下およびランニングコストの増加も防止できながら，被研磨材の表面全体を効率的に研磨することができる。
【００７３】
さらに，研磨際し，研磨テープと回転ドラムとの間に，弾性体からなる線条部が介在するため，研磨テープと被研磨材とは弾性的に接し，その弾性体の弾性にしたがって，研磨状態を調節できる。
【００７４】
さらにまた，複数の線条部を利用し，各線条部を覆うように研磨テープを配置することにより，異なる特性の研磨テープを利用することもでき，多様な研磨を実施できる。
【００７５】
また，本装置の回転ドラムの軸方向の長さは，研磨テープに対応することから，回転ドラムは研磨テープの幅を制限することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は，本発明の研磨装置の概略全体構成を示す側面図である。
【図２】図２は，図１に示す研磨装置の概略全体構成を示す上面図である。
【図３】図３は，本発明の実施形態にかかる回転ドラム部分の拡大縦断面図である。
【図４】図４は，図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図５は，回転ドラムと研磨台の動作を示す説明図である。
【図６】図６は，回転ドラムと研磨台の動作を示す説明図である。
【図７】図７は，回転ドラムと研磨台の動作を示す説明図である。
【図８】図８（ａ）は，複数の線条部を非軸方向にして，外周面上に設けた回転ドラムの平面図を示し，
図８（ｂ）は，Ｖ字形の一本の軸線を，外周面上にわって設けた回転ドラムの平面図を示し，
図８（ｃ）は，線条部を，内部に設けたエアーシリンダーにより張り出し自在にした回転ドラムの一部拡大断面図を示す。
【図９】図９は，他の実施態様の研磨装置本体の拡大部分断面図を示す。
【図１０】図１０は，従来の研磨装置の概略断面図である。
【図１１】図１１は，図１０の従来の研磨装置を側面から見た断面図である。
【符号の説明】
Ｔ      研磨テープ
Ｗ      被研磨材
２      研磨装置本体
３      回転ドラム
３２      スリット
４１      テープリール
４２      巻き取りリール
６      研磨台
７      スライド機構
１００    線条部
【図１】
2004268179.tif 000003
【図２】
2004268179.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004268179.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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