(57)【要約】【課題】ジャバラの移動時、伸縮動作による振動からベンドミラーを保護する為のベンドミラー防振機構を備えたレーザ加工機の提供。【解決手段】レーザ発振器から出射されたレーザビームＬｅを第２ベンドミラー１及び第１ベンドミラー１′等の屈曲部を介して加工ヘッドへ導く構成のレーザ加工機であって、ミラーブラケットを形成する支持体３に固設したベンドミラー１をＸ軸光路、Ｙ軸光路となる入射、反射方向開放のボックス２で囲繞し、該ボックス２の入射、反射方向開放側のＸ軸、Ｙ軸二方向に夫々レーザビームＬｅの光路を保護するＸ軸光路ジャバラ４／Ｙ軸光路ジャバラ５を接続して光路を密閉構造とし、前記ボックス２を防振部材７を介して前記ミラーブラケット３に装着し、前記ベンドミラー１への前記光軸ジャバラからの振動を緩衝、吸収するベンドミラー防振機構Ｋを備えたことを特徴とする。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ発振器から出射されたレーザビームを第２ベンドミラー及び第１ベンドミラー等の屈曲部を介して加工ヘッドへ導く構成のレーザ加工機であって、ミラーブラケットを形成する支持体に固設したベンドミラーをＸ軸光路、Ｙ軸光路となる入射、反射方向開放のボックスで囲繞し、該ボックスの入射、反射方向開放側のＸ軸、Ｙ軸二方向に夫々レーザビームの光路を保護するＸ軸光路ジャバラ／Ｙ軸光路ジャバラを接続して光路を密閉構造とし、前記ボックスを防振部材を介して前記ミラーブラケットに装着し、前記ベンドミラーへの前記光軸ジャバラからの振動を緩衝、吸収するベンドミラー防振機構を備えたことを特徴とするレーザ加工機。
【請求項２】
請求項１記載のレーザ加工機において、前記防振部材はゴム等の弾性体から成ることを特徴とするレーザ加工機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ加工機に関し、特にベンドミラー防振機構を備えたレーザ加工機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光軸移動装置は、レーザ光（レーザビーム）を伝搬する為にベンドミラーを備えているが、このベンドミラーから成る光学部品を保護する目的で、光路ジャバラ等を用いて光路を密閉している。また、光路ジャバラの伸縮動作による容積変動を吸収して伸縮動作に影響されず前記光路ジャバラ内の容積を一定に保つ為に、同じ容積のカウンタージャバラ（Ｘ軸反光路ジャバラ）をベンドミラー部を挟んで反対側のＸ軸光路上に配置し、ガイドとなるＸ軸ジャバラレールに吊着した状態で取り付けられ、適正なクリアランスを維持して伸縮動作可能に構成されるのが通例である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
然しながら上述の従来例では、ジャバラレールまたはガイドバーと係合摺動する部材（例えば、ガイドリング）との間のクリアランスの為にジャバラが伸縮動作して移動する時に、該ジャバラの伸縮動作により振動が生じ、また光路上反対側に設けられたカウンタージャバラ（Ｘ軸反光路ジャバラ）による振動も発生する。これらの発生した振動がベンドミラーに伝わり、レーザ光を振動させると、ワーク切断部に波打ち現象が生じ、切断不良を惹き起す等の不都合な問題がある。
【０００４】
本発明は、上述の点に着目して成されたもので、ジャバラの移動時、伸縮動作による振動からベンドミラーを保護する為のベンドミラー防振機構を備えたレーザ加工機を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、下記構成を備えることにより上記課題を解決できるものである。
【０００６】
（１）レーザ発振器から出射されたレーザビームを第２ベンドミラー及び第１ベンドミラー等の屈曲部を介して加工ヘッドへ導く構成のレーザ加工機であって、ミラーブラケットを形成する支持体に固設したベンドミラーをＸ軸光路、Ｙ軸光路となる入射、反射方向開放のボックスで囲繞し、該ボックスの入射、反射方向開放側のＸ軸、Ｙ軸二方向に夫々レーザビームの光路を保護するＸ軸光路ジャバラ／Ｙ軸光路ジャバラを接続して光路を密閉構造とし、前記ボックスを防振部材を介して前記ミラーブラケットに装着し、前記ベンドミラーへの前記光軸ジャバラからの振動を緩衝、吸収するベンドミラー防振機構を備えたレーザ加工機。
【０００７】
（２）前項（１）記載のレーザ加工機において、前記防振部材はゴム等の弾性体から成るレーザ加工機。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るベンドミラー防振機構を備えたレーザ加工機の実施の形態を説明する。
【０００９】
図１（ａ）は、本発明に係るベンドミラー及び周辺部の構成を示す部分透視説明図、（ｂ）は、Ａ−Ａ矢視、（ｃ）は、Ｂ−Ｂ矢視、（ｄ）は、防振部材を示す斜視図である。
【００１０】
以下、実施例について図面を参照して説明する。
【００１１】
先ず始めに、レーザビームＬｅの光路に沿って関連する構成の概要を説明する。
【００１２】
図１（ａ）に示すように、レーザビームＬｅは、図面の上方より入射し、第２ベンドミラー１で折り返されて、図面の右方向へ進み、第１ベンドミラー１′へ入射し、この第１ベンドミラー１′で下方に折り返され、加工ヘッド（図示略）に導かれる。
【００１３】
尚、不図示のＸ軸キャリッジ、Ｙ軸キャリッジにより移動する不図示の加工ヘッドに連動してベンドミラー１、１′が移動し、その動きに従動してＸ軸光路ジャバラ４はＸ軸ジャバラレール８に沿って移動・伸縮し、ガイドリング１０に吊設されたＹ軸光路ジャバラ５はガイドバー９に沿って移動・伸縮動作を起こすようになっている。
【００１４】
レーザ発振器（図示略）から出射されたレーザビームＬｅを第２ベンドミラー１及び第１ベンドミラー１′等の屈曲部を介して加工ヘッド（図示略）へ導く構成としてあり、ミラーブラケットを形成する支持体３に固設したベンドミラー（この場合、第２ベンドミラー）１をＸ軸光路、Ｙ軸光路となる入射、反射方向開放のボックス（ベンドミラーボックス）２で囲繞し、該ボックス２の入射、反射方向開放側のＸ軸、Ｙ軸二方向に夫々レーザビームＬｅの光路を保護するＸ軸光路ジャバラ４／Ｙ軸光路ジャバラ５を接続して光路を密閉構造とし、前記ボックス２を防振部材７を介して前記支持体（ミラーブラケット）３に装着してベンドミラー防振機構Ｋを備え、前記ベンドミラー（第２ベンドミラー）１への前記光路ジャバラからの振動を緩衝、吸収する構成としてある。
【００１５】
尚、前記防振部材７は、スポンジゴムまたは合成ゴム等の弾性体から形成され、図１（ｄ）に示すように、実施例では、取り付け部の形状に合わせて、内側に穴の明いた角形リング状体とした。
【００１６】
即ち、ベンドミラー１をミラーブラケット３に固定し、ベンドミラーボックス２をミラーブラケット３に直接固定せず、ベンドミラーボックス２のベースの形状に合わせた、角形リング状のスポンジゴムまたは合成ゴム等の弾性体から形成される防振部材７（図１（ｄ）参照）を介在させて前記ミラーブラケット３から浮かせるような状態で装着し、光路ジャバラからの振動を防ぐ構成としてある。
【００１７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ジャバラの移動時、伸縮動作による振動からベンドミラーを保護する為のベンドミラー防振機構を備えたことにより、レーザ加工機の重要な構成要素である光学系を、ジャバラの高速移動や高速伸縮による振動から守ることが出来、更に切断面の波打ち等の切断不良を防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）　本発明に係るベンドミラー及び周辺部の構成を示す部分透視説明図、（ｂ）Ａ−Ａ矢視、（ｃ）Ｂ−Ｂ矢視、（ｄ）防振部材を示す斜視図
【符号の説明】
１　ベンドミラー（第２ベンドミラー）
１′　ベンドミラー（第１ベンドミラー）
２　ボックス（ベンドミラーボックス）
３　支持体（ミラーブラケット）
４　Ｘ軸光路ジャバラ
５　Ｙ軸光路ジャバラ
６　カウンタージャバラ（Ｘ軸反光路ジャバラ）
７　防振材
８　Ｘ軸ジャバラレール
９　ガイドバー
１０　ガイドリング
Ｌｅ　レーザビーム
Ｋ　防振機構
【図１】
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