(57)【要約】【課題】振動や衝撃により変形したり不具合を生じる被搬送物の搬送は煩雑であった。【解決手段】被搬送物２を載置して傾斜した搬送路上を降下移動させるトレイ３であって、底板４と、底板４上の４隅に配置された緩衝ブロック５と、緩衝ブロック５上に固定され被搬送物２を位置決めして支持する支持板６とを含むことを特徴とするトレイ。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を載置して傾斜した搬送路上を降下移動させるトレイであって、底板と、底板上の４隅に配置された緩衝ブロックと、緩衝ブロック上に固定され被搬送物を位置決めして支持する支持板とを含むことを特徴とするトレイ。
【請求項２】
移動方向前後の底板部壁面の互いに衝合しない位置に衝撃を緩和する緩衝部を配置したことを特徴とする請求項１に記載のトレイ。
【請求項３】
被搬送物を載置したトレイを、その両側部分をガイドして傾斜した搬送路上を降下移動させるトレイ搬送装置において、
上記搬送路には、トレイの移動方向前方に、トレイに載置した被搬送物を係止するストッパと、ストッパを通過したトレイを落下させる落下部とを形成し、前記落下部下方から搬送路の下方にトレイを供給端側に戻す第２の搬送路を傾斜配置したことを特徴とするトレイ搬送装置。
【請求項４】
トレイに載置した被搬送物を係止するストッパは、被搬送物を係止した状態で、被搬送物との間に空隙部が形成されることを特徴とする請求項３に記載のトレイ搬送装置。
【請求項５】
ストッパは、一対の逆Ｌ字状平板を互いに離隔して配置したことを特徴とする請求項４に記載のトレイ搬送装置。
【請求項６】
ストッパは、搬送路巾方向中央部が被搬送物と当接し、巾方向両側部分は被搬送物から離隔することを特徴とする請求項４に記載のトレイ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は被搬送物を載置するトレイ及びトレイ搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
リードフレームを用いた樹脂モールド型半導体装置は、リードフレーム上に半導体ペレットをマウントするマウント工程、半導体ペレットとリードとを電気的に接続するワイヤボンディング工程、半導体ペレットを含むリードフレーム上の主要部分を樹脂にて被覆する樹脂モールド工程、樹脂から露呈したリードフレームの不要部分を切断除去して個々の半導体装置に分離する切断工程などを経て製造される。これまでは半導体装置の製造ラインは異なる工程を可及的に接続することにより工程間の無駄をなくすようにしてきた。
【０００３】
一方、リードフレームを用いた半導体装置は、樹脂モールド作業が完了するまで、振動や衝撃を受けないように、箱体の対向内壁に溝を一定間隔で形成したマガジンに収納して一括して保管し移動させるようにしている。このようなリードフレームを収納したマガジンの移動装置は例えば特許文献１に開示されている。
【０００４】
ところで、これまでは半導体装置の製造ラインは異なる工程を可及的に接続して工程間の無駄をなくすようにしてきたが、１ロット分終了しないと機種切換えができない。
【０００５】
一方、最近では多品種、少量生産に対応できることが要求され、短時間で機種切換えできることが必須となっているが、特許文献１に開示された技術は、各作業工程を最短距離で隣接させることにより効果を奏するもので、多品種、少量生産には不向きで、各作業工程間を離隔させるとリードフレームを収納したマガジンの搬送方法を変更する必要があった。
【０００６】
一般的にはマガジンの移動は、製造装置間に配置した長さ数ｍの搬送路を利用している。
【０００７】
特許文献１のマガジン搬送装置はマガジンを水平移動させるため動力を必要とするが、搬送面に多数のローラを配置して滑り性を良好にし、終端にストッパを配置した搬送路を３〜６度傾斜させることにより、供給端に供給したマガジンを終端に向かって自重で移動させることができ、マガジン内のリードフレームに所定の作業をするため、終端部からマガジンを一つ取出すと後続のマガジンは自重で終端部に向かって移動する。
【０００８】
マガジンの寸法は搬送路の長さに比して小さいため、長さ数ｍの搬送路でも搬送路上に多数のマガジンを保管でき、これにより工程間の作業速度の差を調整でき、多品種、少量生産に適している。
【０００９】
【特許文献１】
特開平６−１５６７２３号公報（第２〜３頁、図１〜図３）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、半導体装置は高機能化、高集積化により、半導体ペレットの電極数が増加しそれに応じてリード数を増大させ、これを実現するためにリードの厚み、巾、配列間隔を薄く狭小化しており、リードフレームは機械的強度が低下し、捩れ、撓み変形し易くなっている。また、リードの狭小化により半導体ペレットとリードを電気的に接続するワイヤも細いものが用いられている。
【００１１】
そのため搬送路上に供給したマガジンを自重で移動させると、搬送路の終端部でマガジン同士が衝突し、収納したリードフレームに振動や衝撃が及ぶとリードがぶれたり振動し、ワイヤのループ形状が変形し、弛んで半導体ペレットの不所望部分に近接したり接触すると耐電圧低下や短絡事故を生じることがあった。
【００１２】
そのため搬送路の傾斜角を水平に近づけて搬送速度を遅くすると、搬送途中でマガジンが停止することがあり、作業者が手押しする必要があった。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題の解決を目的として提案されたもので、被搬送物を載置して傾斜した搬送路上を降下移動させるトレイであって、底板部と、底板部上の４隅に配置された緩衝ブロックと、被搬送物を挿通する開口部を有し開口部の４隅に緩衝ブロックの一部を露呈させて緩衝ブロック上に支持された枠状部とを含み、枠状部の開口部に露呈した緩衝ブロック上に被搬送物を支持するようにしたことを特徴とするトレイを提供する。
【００１４】
また本発明によるトレイ搬送装置は、トレイの移動方向前方に、トレイに載置した被搬送物を係止するストッパと、ストッパを通過したトレイを落下させる落下部とを形成し、前記落下部下方から搬送路の下方にトレイを供給端側に戻す第２の搬送路を傾斜配置したことを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明によるトレイは被搬送物が緩衝ブロックに支持されること特徴とするが、移動方向前後の底板部壁面の互いに衝合しない位置に衝撃を緩和する緩衝部を配置することにより、トレイ同士衝突しても衝突の衝撃を和らげることができ、被搬送物への振動や衝撃を緩和できるため被搬送物としてリードフレームを多数収納するマガジンに好適である。
【００１６】
また本発明によるトレイ搬送装置は、搬送路には、トレイの移動方向前方に、トレイに載置した被搬送物を係止するストッパと、ストッパを通過したトレイを落下させる落下部とを形成し、前記落下部下方から搬送路の下方にトレイを供給端側に戻す第２の搬送路を傾斜配置したことを特徴とするが、トレイに載置した被搬送物を係止するストッパは、被搬送物を係止した状態で、被搬送物との間に空隙部を形成することができる。またストッパは、一対の逆Ｌ字状平板を互いに離隔して配置してもよいし、搬送路巾方向中央部が被搬送物と当接し、巾方向両側部分は被搬送物から離隔するようにしてもよい。
【００１７】
【実施例】
以下に本発明によるトレイ及びトレイ搬送装置の一実施例を説明する。先ず本発明によるトレイを図１及び図２に示す。図において、１は樹脂モールド前のリードフレームで、図示省略するが半導体ペレットがマウントされたものや、半導体ペレットとリードがワイヤによって接続されたものである。２は箱体の対向内壁に溝を一定間隔で形成し、リードフレーム１を一定間隔で収納するマガジン、３はマガジン２を載置するトレイで、図示例では側断面コの字状の底板４の４隅に緩衝ブロック５を配置し、この緩衝ブロック５上に支持板６を載置し、さらにこの支持板６上にマガジン２の底部を位置決めする平面形状がコの字状の位置決めブロック７を固定し、底板４の前後両端に圧縮バネ８を２個ずつ固定している。この圧縮バネ８は前後で配列間隔を異ならせ、トレイ３、３同士が衝突しても圧縮バネ８、８同士が絡まり合わないようにしている。上記緩衝ブロック５は例えばジェルテック社製緩衝材（商品名「αＧＥＬ」ゲルチップ）を用いることにより、底板４から伝達される振動や衝撃を効果的に吸収することができる。トレイ３は加工容易性、耐磨耗性、軽量化などを考慮して材料が選定されるが塩化ビニルなどの絶縁材で帯電し易いものを用いる場合には導電シートなどを貼り付けて除電を容易にし、マガジン２やリードフレーム１に異物が静電付着したり、半導体ペレットが静電破壊するのを防止できる。
【００１８】
図３及び図４はマガジン２を載置したトレイ３を搬送するトレイ搬送装置を示す。図において、９、１０はそれぞれトレイ３をガイドして搬送する搬送体で、両側にトレイ３をガイドするガイド壁９ａ、１０ａが形成され、ガイド壁９ａ、１０ａ間にはローラ１１、１２が所定間隔で多列、図示例では３列配置され、トレイ３を支持し搬送する搬送面を形成し、各搬送体９、１０は上下に配置されている。このローラ１１、１２の直径や配列間隔はトレイ３の移動時に発生する振動や傾斜を考慮して設定され、トレイ３のすべり性を良好にしている。また搬送体９、１０は水平面に対して０度〜１０度程度の範囲で傾斜角が調整可能で、傾斜上方位置をトレイ３の供給端、下方位置を搬送終端としている。１３は搬送体９の搬送終端部に配置したストッパ（マガジンストッパ）で、下方はトレイ３を通過させ、上方でトレイ３に載置したマガジン２を係止するように、図示例では、逆Ｌ字状の２枚の平板を互いに離隔させて配置している。このストッパ１３のマガジン２と当接する部分には緩衝ブロック１４が固定され、ストッパ１３の弾性と緩衝ブロック１４の弾性によりマガジン２の衝撃を緩和する。上部搬送体９のストッパ１３より前方は、ローラ１１がなく、トレイ３を支持する搬送面がない。また下部搬送体１０の傾斜角は上部搬送体９の傾斜角より大きく設定され、下部搬送体１０の終端部にはトレイストッパ１５が配置されている。
【００１９】
このトレイ搬送装置は、上部搬送体９の供給端にマガジン２を載置したトレイ３を供給すると自重でトレイ３は下方に移動し、マガジン２がマガジンストッパ１３によって係止されトレイ３は停止する。搬送中トレイ３に振動を与えないように配慮されているが、ローラ１１からの振動はトレイ３の緩衝ブロック５によって吸収される。また後続のトレイ３が先行するトレイ３に衝突するとマガジン２にも振動が及ぶが、トレイ３の前後に固定した圧縮バネ８によって振動や衝撃を緩和することができる。またマガジンストッパ１３にマガジン２が係止される時にも振動が発生するが、ストッパ１３は捩れ変形して衝撃を和らげ、係止部には緩衝ブロック１４を固定しているため衝撃の伝達を緩和することができる。
【００２０】
このようにしてストッパ１３によってマガジン２を係止した状態で後続のマガジン２を供給し、搬送体９上で複数のマガジン２を保管することができ、工程間の作業速度が異なってもマガジン２を作業順に一時保管することができ、供給した順序で取りだし作業することができる。
【００２１】
ストッパ１３位置のマガジン２をトレイ３上から取出すと、トレイ３は自重と上方のトレイ３からの押圧力によりストッパ１３位置から押出され、下部搬送体１０上の上端部に落下する。マガジン２が除去され軽量になったトレイ３はローラ１２上を移動しにくいが、下部搬送体１０の傾斜角は上部搬送体９の傾斜角より大きく設定されているため、スムーズに降下移動し、上部搬送体９の供給端側でトレイストッパ１５により係止される。このとき、上下搬送体９、１０上のトレイ３の向きは同じであるため、再度マガジン２を載置する作業が容易である。
【００２２】
搬送体９、１０の傾斜角、特に上部搬送体９の傾斜角はマガジン２にリードフレームを収納した実働状態で、搬送前後でワイヤループの変化や断線などの状態を観察し不良を発生しない角度に設定すればよい。
【００２３】
半導体装置の機種、即ちリードフレームやワイヤの材料、径、長さなどの差異によって衝撃による影響の程度が異なる場合、半導体装置毎に傾斜角を設定する必要があるが、マガジン２に加速度センサを固定し、マガジンストッパ１３によって係止される際の加速度を計測し所定の加速以下となる傾斜角に設定することにより、衝撃や振動による影響が最小となるように設定することができる。例えばワイヤのループ変化や断線などを生じない衝撃を振幅加速度０．５Ｇ、実効加速度０．２Ｇとし、マガジン停止時の衝撃が前記加速度に収まるように搬送体９の傾斜角を設定すればよい。
【００２４】
尚、本発明は上記実施例にのみ限定されるものではなく、例えば被搬送物はリードフレームを収納するマガジンだけでなく、搬送時に振動や衝撃を可及的に避けることが望まれる被搬送物一般に適用できる。
【００２５】
また被搬送物を停止させるマガジンストッパ１３は逆Ｌ字状の２枚の平板を用いることにより、マガジンストッパ１３の間に手を通すことができるためマガジンの取り出しが容易であるが、コの字状の平板を用い、橋絡部を平面視Ｖ字状に成形し、Ｖ字突出部をマガジンと当接させ、両側部とマガジンとの間に隙間を形成することにより、この部分に手を通すことができるため、マガジンの取出しを容易にできる。
【００２６】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、被搬送物への振動や衝撃を緩和することができるトレイと、トレイを供給した順に取り出すことができ、用済みのトレイを供給した姿勢で供給元に戻すことができるため、多品種、少量生産に好適な搬送装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるトレイの平面図
【図２】図１トレイの側断面図
【図３】本発明によるトレイ搬送装置の側断面図
【図４】図３Ａ−Ａ断面図
【符号の説明】
１  リードフレーム
２  マガジン
３  トレイ
４  底板
５  緩衝ブロック
６  支持板
７  ブロック
８  圧縮バネ
９  搬送体
１１  ローラ
１２  ローラ
１３  マガジンストッパ
１４  緩衝ブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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