(57)【要約】      （修正有）【課題】加熱源として少なくともマイクロ波を使用する加熱炉において、底部炉殻が高温とならないマイクロ波加熱炉を提供することである。特に、被加熱物を載置する載置台の支柱温度の上昇が炉殻の温度上昇をもたらさないバッチ式のマイクロ波加熱炉を提供することである。【解決手段】マイクロ波加熱炉の炉殻１の底部の少なくとも載置台６の支柱８を支承する部分に冷却手段１２を設ける。また、台車式のマイクロ波加熱炉においては、台車台部の底部の少なくとも載置台６の支柱８を支承する部分に冷却手段１２を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
鋼材で形成された炉殻と該炉殻の内側に設けられた断熱材とで構成され加熱室を区画する炉壁と、
該炉殻の底部で支承され被加熱物を支持する支柱と、
少なくとも該加熱室内にマイクロ波を導入するマイクロ波発生装置と、
を有するバッチ式マイクロ波加熱炉であって、
前記炉殻の前記底部の少なくとも前記支柱を支承する部分には冷却手段が設けられていることを特徴とするバッチ式マイクロ波加熱炉。
【請求項２】
前記冷却手段は前記支柱を支承する前記底部の下方に冷却空間を形成する第２底部と、該空間に冷却媒体を流通させる冷媒供給手段とからなる請求項１に記載のバッチ式マイクロ波加熱炉。
【請求項３】
前記底部は前記炉壁の前記断熱材側に突出して前記支柱の側面および／または基部底面を冷却する冷却空間を形成する冷却凸部を有する請求項２に記載のバッチ式マイクロ波加熱炉。
【請求項４】
前記断熱材はセラミックファイバである請求項１〜３のいずれかに記載のバッチ式マイクロ波加熱炉。
【請求項５】
上方に加熱室を該加熱室の下方に台車導入室とを持ち、該加熱室と該台車導入室とが導入された該台車の台部で区画され、かつ、該加熱室内にマイクロ波を導入するマイクロ波発生装置を持つ炉本体と、
鋼材で形成された底部と該底部により支承され被加熱物を支持する支柱と該底部の上側に設けられた断熱材とで構成された台部を有する台車と、
から構成される台車式マイクロ波加熱炉であって、
前記支柱を支承する前記底部の少なくとも前記支柱を支承する部分には冷却手段が設けられていることを特徴とするバッチ式マイクロ波加熱炉。
【請求項６】
前記冷却手段は前記支柱を支承する前記底部の下方に冷却空間を形成する第２底部と、該空間に冷却媒体を流通させる冷媒供給手段とからなる請求項５に記載のバッチ式マイクロ波加熱炉。
【請求項７】
前記底部は前記支柱の側面および／または基部底面で当接する冷却凸部を有する請求項６に記載のバッチ式マイクロ波加熱炉。
【請求項８】
前記台車の前記台部側面に対向する部分の前記加熱室の前記炉壁の断熱材はマイクロ波を吸収する耐火物である請求項５に記載のバッチ式マイクロ波加熱炉。
【請求項９】
前記耐火物が設けられた炉壁部分には冷却手段が設けられている請求項８に記載のバッチ式マイクロ波加熱炉。
【請求項１０】
前記冷却手段は前記炉殻と該炉殻と対向して冷却空間を形成する第２炉殻と、該空間に冷却媒体を流通させる冷媒供給手段とからなる請求項９に記載のバッチ式マイクロ波加熱炉。
【請求項１１】
前記支柱はムライト質、またはアルミナ質の耐火物である請求項１または５に記載のバッチ式マイクロ波加熱炉。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は加熱源として少なくともマイクロ波を使用するバッチ式加熱炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のバーナあるいは電気抵抗などを加熱源とする輻射加熱に比べて、生産性が高くまた、省エネルギ効果も著しいマイクロ波による陶磁器やファインセラミックスなどの加熱焼成を施すマイクロ波加熱炉が知られている。（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
陶磁器やファインセラミックスなどの被加熱物を加熱焼成する場合には、従来の直火式もしくは輻射式の加熱炉では、被加熱物を載置する載置台は、ムライト質、アルミナ質、炭化珪素質などの耐火物からなる棚板状のものが多く使用されている。載置台は、被加熱物を載置する載置部材と、載置部材を支持する支柱とから構成されており、支柱は、鋼材などからなる炉殻底部に断熱材を貫通して立設されている。被加熱物が極めて軽量であれば、載置台の支柱は、耐圧強度の小さなセラミックスファイバからなるボードなどの部材で形成することができるが、被加熱物が重量物になると耐圧強度の小さなセラミックスファイバからなる支柱での支持は困難となる。このような場合には、耐圧強度の大きい例えばムライト質やアルミナ質などの耐火物を使用することが一般的である。
【０００４】
しかし、このようなムライト質やアルミナ質になる通常の耐火物をマイクロ波加熱炉の炉壁の断熱材や載置台の支柱などに使用すると、以下のような問題が生じることがある。
【０００５】
図５は被加熱物を載置した載置台を有するマイクロ波加熱炉の断面模式図である。マイクロ波加熱炉の加熱室４は、鋼材などからなる炉殻１と炉殻１の内側に設けられた断熱材２とからなる炉壁３で区画されており、被加熱物５は、各々載置台６の載置部材７の所定の位置に載置されている。載置部材７は支柱８に支持されており、支柱８は加熱室の炉壁３の底部３’の断熱材２を貫通して炉殻の底部１’上に立設されている。また、図５のマイクロ波加熱炉は、マグネトロン９から発振されるマイクロ波が導波管１０を通ってスターラ１１で攪拌され加熱室４に照射されて被加熱物５を加熱することができる。
【０００６】
以上の構成からなるマイクロ波加熱炉において、断熱特性には優れるが、マイクロ波を透過しやすい特性があるガラス質のセラミックスファイバで断熱材２を形成すると、セラミックスファイバは、それ自体のマイクロ波による発熱は極めて小さいので、マイクロ波を透過する。つまり、照射されたマイクロ波は、被加熱物５や載置台６などに吸収されてそれらを加熱するとともに、直接被加熱物や載置台などに吸収されなかったマイクロ波は、セラミックファイバを透過して炉殻１を形成する鋼材（通常はステンレス鋼が多い）で反射して、再度セラミックスファイバを透過して最終的には被加熱部５や載置台６などに吸収されることになる。
【０００７】
載置台６の載置部材７や支柱８としては、ムライト質あるいはアルミナ質の耐火物が使用されることが多いが、これらの耐火物はマイクロ波の吸収率が高い特性を持つ。特に、載置台６の支柱８は炉床部３’の炉殻の底部１’を構成する鋼材上に断熱材に埋設するように立設されているので、マイクロ波を照射することにより加熱された支柱８は、加熱室内に突出している部分のみならず炉殻の底部１’と接する基部８’も同様に加熱される。このため、発熱した支柱８の熱が熱伝導によって鋼材の炉殻底部１’を部分的に高温とするため、炉殻底部１’が歪んでしまったり、ややもするとマイクロ波が漏洩するという危険があった。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００３−７５０７０号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、本発明の課題は、加熱源として少なくともマイクロ波を使用する加熱炉において、底部炉殻が高温とならないマイクロ波加熱炉を提供することである。特に、被加熱物を載置する載置台の支柱温度の上昇が炉殻の温度上昇をもたらさないバッチ式のマイクロ波加熱炉を提供することである。ここで、バッチ式マイクロ波加熱炉とは、被加熱物を装入単位毎に加熱処理するマイクロ波加熱炉を意味する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１発明であるバッチ式マイクロ波加熱炉は、鋼材で形成された炉殻とこの炉殻の内部に設けられた断熱材とで加熱室を区画する炉壁と、炉殻の底部で支承され被加熱物を支持する支柱と、少なくとも加熱室内にマイクロ波を導入するマイクロ波発生装置と、を有するマイクロ波加熱炉であって、前記炉殻の底部の少なくとも支柱を支承する部分には冷却手段が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
ここで、前記冷却手段は支柱を支承する底部の下方に冷却空間を形成する第２底部と、該空間に冷却媒体を流通させる冷媒供給手段とからなることが望ましく、また、前記底部は炉壁の断熱材側に突出して支柱の側面及び／または基部底面を冷却する冷却空間を形成する冷却凸部を有することができる。
【００１２】
なお、本発明のマイクロ波加熱炉における断熱材は、断熱特性に優れたセラミックファイバであることが好ましい。
【００１３】
本発明の第２発明であるバッチ式マイクロ波加熱炉は、上方に加熱室を該加熱室の下方に台車導入室とを持ち、加熱室と台車導入室とが導入された台車の台部で区画され、且つ、加熱室内にマイクロ波を導入するマイクロ波発生装置を持つ炉本体と、鋼材で形成された底部により支承され被加熱物を支持する支柱と該底部の上側に設けられた断熱材とで構成された台部を有する台車と、から構成される台車式マイクロ波加熱炉であって、前記支柱を支承する底部の少なくとも支柱を支承する部分には冷却手段が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
ここで、冷却手段は、前記支柱を支承する底部の下方に冷却空間を形成する第２底部と、この空間に冷却媒体を流通させる冷却媒体供給手段とからなることが望ましい。
【００１５】
また、前記底部は台部の断熱材側に突出して支柱の側面及び／または基部底面を冷却する冷却空間を形成する冷却凸部を有することができる。なお、本発明のマイクロ波加熱炉における断熱材は、断熱特性に優れたセラミックファイバであることが好ましい。
【００１６】
前記台車の前記台部に対向する部分の加熱室の炉壁の断熱材が、マイクロ波を吸収する耐火物である場合には、この耐火物が設けられた炉壁部分に冷却手段が設けられていることが好ましい。
【００１７】
ここで、冷却手段は、前記台部に対向する部分の加熱室の炉殻とこの炉殻に対向して冷却空間を形成する第２炉殻と、この空間に冷却媒体を流通させる冷媒供給手段とからなることが望ましい。
【００１８】
本発明の第１発明及び第２発明のバッチ式マイクロ波加熱炉において、前記支柱はムライト質、またはアルミナ質であることが好ましい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の第１発明のバッチ式マイクロ波加熱炉の一実施の形態を図１〜図３を参照しながら説明する。
【００２０】
本第１発明のバッチ式マイクロ波加熱炉は、鋼材で形成された炉殻１とこの炉殻１の内部に設けられた断熱材２とで構成され加熱室４を区画する炉壁３と、この炉殻１の底部１’で支承され被加熱物５を支持する支柱８と、少なくとも加熱室４内マイクロ波を導入するマイクロ波発生装置Ｍと、を有するバッチ式マイクロ波加熱炉であって、前記炉殻１の底部１’の少なくとも支柱８を支承する部分には冷却手段１２が設けられていることを特徴とする。
【００２１】
冷却手段１２は、底部炉壁３’の炉殻を二重構造としたもので、支柱８を支承する炉殻底部１’の下方に冷却空間１３を形成する第２底部１４と、冷却空間１３に冷却媒体（例えば、冷却空気、冷却水など）を流通させる図示しない冷媒供給手段とからなり、炉殻底部１’を冷却するようにしたものである。載置台６の支柱８は、基部８’を炉殻底部１’に当接して立設されているので、常に冷却媒体によって冷却されている。従って、被加熱物にマイクロ波加熱を施しも支柱８の発熱は、炉殻底部１’や第２底部１４に伝達されることがないので、冷却手段を有する二重構造の炉殻は温度上昇することがなく、また、変形も発生しないので、加熱炉からのマイクロ波漏洩の危険を防止することができる。
【００２２】
冷却手段の冷却効率を向上させるためには、底部１’と当接する支柱８の基部８’を集中的に冷却することが特に効果的である。そこで、底部１’に図２に示すような炉壁３’の断熱材２側に突出して支柱８の基部８’の底面みならず側面をも冷却する冷却空間を形成するように冷却凸部１５を設けることが望ましい。
【００２３】
冷却凸部１５には第２底部１４を貫通して冷却通管１６が適宜挿設されており、冷却媒体Ｃを冷却空間１３の両側に設けた通孔１７、１７から供給して各々の冷却通管１６から熱交換後の冷却媒体Ｃを外部へ排出するように構成されている。このような構成とすることで、冷却媒体Ｃは支柱８の基部８’の側面を効果的に冷却することができ支柱の冷却効率を一層向上させることができる。
【００２４】
また、図３は底部１’の冷却凸部１５上に支柱８を立設し、支柱８を基部８’の底面から冷却するようにしたものである。この態様においては、冷却媒体Ｃは、冷却通管１６から支柱の基部底面に向かって供給されるので、供給された冷却媒体Ｃが直ちに支柱８の基部８’底面を冷却することができ、支柱８の冷却効率をさらに向上することができる。なお、図２および図３における冷却媒体の流通方向は図の方向に限らず支柱８の材質や炉壁の構成などによっていずれの方向を選択してもよい。
【００２５】
断熱材は、セラミックファイバで形成された綿状のバルク、毛布状のフェルトまたはブランケット、あるいは板状のボードを用いることが望ましいが、本発明のマイクロ波加熱炉の底部炉壁においては、上記のような冷却手段を設けているので必ずしもこれらに限定されることはなく、煉瓦やキャスタブル等の耐火物を用いることもできる。
【００２６】
ここで、冷媒供給手段は、流量調整可能な冷媒流量調整手段と通常のターボブロワやコンプレッサなどを利用することができ、特に限定はされない。
【００２７】
マイクロ波発生装置Ｍは、マイクロ波発振器９と発生したマイクロ波を加熱室４へ導入する導波管１０とマイクロ波を加熱室４内に拡散させるスターラ１１とから構成され、加熱炉の頂部に設置されている。マイクロ波の周波数は、電子レンジなどで使用されている２．４５ＧＨｚを用いることが好ましく、また、マイクロ波は加熱温度に応じて連続的、またはパルス的に発生させることが好ましい。
【００２８】
なお、本発明のマイクロ波加熱炉は、加熱方式がマイクロ波加熱のみでも、あるいはマイクロ波加熱に加えて、ガスや重油などの燃焼あるいは電気抵抗などによる輻射加熱をも併設した複合式の加熱炉でもよい。
【００２９】
次に、本発明の第２発明の外熱式マイクロ波加熱炉の一実施の形態について図４を参照しながら説明する。本第２発明は、マイクロ波加熱装置を有するバッチ式の台車式加熱炉に関する発明である。
【００３０】
本第２発明のバッチ式マイクロ波加熱炉は、上方に加熱室４を、この加熱室の下方に台車導入室２０（図４では台車の占有している空間）とを持ち、加熱室４と台車導入室２０とが導入された台車２１の台部２２で区画され、且つ、加熱室４内にマイクロ波を導入するマイクロ波発生装置Ｍを持つ炉本体と、鋼材で形成された底部２３により支承され被加熱物５を支持する支柱８とこの底部２３の上側に設けられた断熱材２とで構成された台部２２を有する台車２１と、で構成される台車式マイクロ波加熱炉であって、支柱８を支承する底部２３の少なくとも支柱を支承する部分には冷却手段が設けられていることを特徴とする。
【００３１】
台車２１は、上記のように鋼材で形成された底部２３に支柱８を断熱材を貫通して立設した台部２２と、台部２２の下部に設けた車輪２４とからなるので、台車２２は紙面手前の図示しない炉本体の開口部を通って加熱室４内へ出入り自在の構成となっている。
【００３２】
マイクロ波発生装置Ｍは、第１発明と同様に炉本体の頂部に設けられており、マイクロ波を発生することにより加熱室内に装入された被加熱物を加熱することができる。また、本第２発明のマイクロ波加熱炉は、加熱方式がマイクロ波加熱のみでも、あるいはマイクロ波加熱に加えて、ガスや重油などの燃焼あるいは電気抵抗などによる輻射加熱をも併設した複合式の加熱炉でもよい。
【００３３】
本第２発明における冷却手段２５は、台車２１の底部２３を二重構造としたもので、支柱８を支承する底部２３の下方に冷却空間２６を形成する第２底部２７と、冷却空間２６に冷却媒体Ｃ（例えば、冷却空気、冷却水など）を流通させる図示しない冷媒供給手段とからなり、底部２３を冷却するようにしたものである。載置台６の支柱８は、基部８’を底部２３に当接して立設されているので、常に冷却媒体Ｃによって冷却されている。従って、被加熱物にマイクロ波加熱を施しても支柱８の発熱は底部２３や第２底部２７に伝達されることがないので、冷却手段を有する二重構造の底部は温度上昇することがなく、底部の変形や加熱炉からのマイクロ波漏洩の危険を防止することができる。
【００３４】
図４では台部の冷却手段を図３とほぼ同様の態様としたが、台部の冷却手段はこの態様に限定されるものではなく、例えば、図１や図２に示す態様でも、あるいはこれらの態様に係わらず、本発明の主旨の範囲で形を変えて実施することができる。
【００３５】
また、図４の台車式マイクロ波加熱炉では、台車２１は台部２２の側部が対向している加熱室４の炉壁部（以降、カー摺り部と称する）２８とわずかな隙間２９を保って出入り自在となっている。ここで、カー摺り部２８は耐久性の面からセラミックファイバではなく通常の耐火物、例えば煉瓦やキャスタブルなどで形成される場合が多い。このような形態のマイクロ波加熱炉にあっては、耐火物がマイクロ波によって自己発熱するためにカー摺り部２８の炉殻１が変形して台車の出入りに支障を来したり、マイクロ波の漏洩を生じる危険性が考えられる。  そこで、断熱材に煉瓦等の耐火物を使用した炉壁部には、台車の台部と同様の冷却手段を設けることが望ましい。すなわち、カー摺り部２８の炉殻１と、この炉殻１と対向して冷却空間３０を形成する第２炉殻３１と、冷却空間３０に冷却媒体Ｃを流通させる冷媒供給手段とを設けることが望ましい。炉殻１と第２炉殻３１とで形成される冷却空間３０は、加熱炉の炉壁に沿ってカー摺り部の全長にわたって設置することが好ましい。冷却手段の形態については特に限定はないが、図４では第２炉殻３１に台車２１の進行方向に沿って適宜の間隔で冷却凸部３２を設け、冷却凸部３２に炉殻１を貫通して冷却通管３３を挿設し、冷却通管３３から冷却媒体Ｃ（冷却空気など）を注入してカー摺り部２８の耐火物が炉殻１の温度を上昇させない構成としている。
【００３６】
以上の構成とすることによりカー摺り部に使用した耐火物の発熱による炉殻の温度上昇を防止することができるので、炉殻１が変形することなく、従って隙間２９の変形などにより台車２１の出入りに支障を来したり、マイクロ波が漏洩する危険も解消することができる。
【００３７】
本発明のマイクロ波加熱炉は、台車の台部とカー摺り部煉瓦との間の隙間２９からのマイクロ波の漏洩を防止するために、カー摺り部の両側の炉殻の端縁に沿ってチョーク３４を付設することが好ましい。チョーク３４は、例えば図６のような櫛歯構造の形状のものを例示することができる。
【００３８】
ここで、台車台部とカー摺り部の冷却手段における冷媒供給手段は、第１発目委と同様に、流量調整可能な冷媒流量調整手段と通常のターボブロワやコンプレッサなどを利用することができ、特に限定はされない。
【００３９】
なお、本発明の第１発明および第２発明において、被加熱物を支持する支柱は、強度と耐久性に優れたムライト質あるいはアルミナ質等のセラミックス部材を用いることが望ましい。
【００４０】
【試験例】
本発明の冷却手段の有効性を確認するために加熱試験を実施した。
（試験例１）
本発明の図４に示す冷却手段を有する台車式マイクロ波加熱炉を用いて、被加熱物として煉瓦の加熱焼成を行った。冷却手段は台車台部の底部に冷却凸部を有し、Ａｌ２Ｏ３：８５％のハイアルミナ耐火物からなる支柱を冷却凸部上に立設して、冷却媒体としては空気を流通させ、支柱の基部底面を冷却する方法である（図４参照）。また、カー摺り部は煉瓦で形成し、図４の冷却手段を設けた。台部の冷却空間には常温の空気を１２０ｌ／ｍｉｎで流通させ、カー摺り部の冷却空間には空気を５０ｌ／ｍｉｎで流通させた。
【００４１】
被加熱物である煉瓦が、焼成温度である１２５０℃に到達した時、支柱は図４のａ部で２００℃であった。また、カー摺り部煉瓦はｂ部で１５０℃であり、隙間２９からのマイクロ波の漏洩は認められなかった。なお、温度測定はシース熱電対によって行った。
（試験例２）
試験例１と同様の台車式マイクロ波加熱炉を用いて、被加熱物として直径３００ｍｍ、高さ３００ｍｍの円柱状のアルミナ製品を加熱焼成した。台部の冷却手段は底部に冷却凸部を有し、Ａｌ２Ｏ３：９２％のハイアルミナ耐火物からなる支柱を冷却凸部上に立設して空気を流通させて支柱の基部底面を冷却する方法である（図４参照）。また、カー摺り部は煉瓦で形成し、図４の冷却手段を設けた。台部の冷却空間には常温の空気を２２０ｌ／ｍｉｎで流通させ、カー摺り部の冷却空間には常温の空気を９０ｌ／ｍｉｎで流通させた。
【００４２】
被加熱物であるアルミナが、焼成温度である１６００℃に到達した時、支柱は図４のａ部で２１０℃であった。また、カー摺り部煉瓦はｂ部で１７０℃であり、隙間２９からのマイクロ波の漏洩は認められなかった。また、台部の第２底部およびカー摺り部の第１炉殻の表面温度は常温のままで温度上昇は認められなかった。
（試験例３）
図５に示す冷却手段を持たない従来技術によるマイクロ波加熱炉を用いて、煉瓦を被加熱物として加熱焼成した。Ａｌ２Ｏ３：８５％のハイアルミナ耐火物からなる支柱を炉殻の底部に立設して、被加熱物を支持した（図５参照）。
【００４３】
被加熱物である煉瓦が５００℃に到達したとき、支柱は台部底部と当接している基部底面で６４０℃となった。このため、炉殻の底部に熱歪みが生じ、台車の台部側面とカー摺り部とで形成される隙間から約４ｍＷ／ｃｍ２のマイクロ波の漏洩が認められた。なお、漏洩マイクロ波はチョークの直下で測定した。
【００４４】
【発明の効果】
本発明のバッチ式マイクロ波加熱炉は、炉殻の底部を二重構造として冷却空間を形成し、被加熱物を支持する支柱を冷却する構成とした。このため、支柱を冷却するとともに第２底部への支柱からの熱の伝達を遮断することができ、マイクロ波加熱炉の実質的な底部である第２底部が熱変形したり、加熱室の外部へのマイクロ波の漏洩を生じることがない。この冷却手段は加熱室の底部炉壁に相当する部分が、台車の台部である台車式のマイクロ波加熱炉においても好適に用いることができるので、大型もしくは大量の被加熱物をマイクロ波により加熱焼成することができる。従来のバーナあるいは電気抵抗などを加熱源とする輻射加熱に比べて、生産性の向上、省エネルギに効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１発明のバッチ式マイクロ波加熱炉の概要を示す断面模式図である。
【図２】底部に冷却凸部を有し、主として支柱基部を側面から冷却する冷却手段の一例を示す一部略断面図である。
【図３】底部に冷却凸部を有し、主として支柱基部を底面から冷却する冷却手段の一例を示す一部略断面図である。
【図４】本発明の第２発明である台車の台部と加熱室のカー摺り部とに冷却手段を設けたバッチ式マイクロ波加熱炉の概要を示す断面模式図である。
【図５】従来技術になるバッチ式マイクロ波加熱炉の一例を示す断面模式図である。
【図６】チョーク形状の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１：炉殻  ２：断熱材  ３’：底部炉壁（炉床部）  ４：加熱室  ５：被加熱物６：載置台    ８：支柱  ９：マグネトロン  １０：導波管  １１：スターラ  １２：冷却手段  １３：冷却空間  １４：第２底部  １５：冷却凸部  １６：冷却通管  ２０：台車導入室  ２１：台車  ２２：台部  ２８：カー摺り部  ２９：隙間  ３１：第２炉殻  ３４：チョーク
Ｃ：冷却媒体  Ｍ：マイクロ波発生装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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