(57)【要約】【課題】磁気転写システムにおける磁気転写工程後に腐食しない磁気記録媒体を得る。【解決手段】磁気記録媒体２を保持収納する保持装置１１、磁気転写を行う磁気転写装置１２および、磁気記録媒体２を保持装置１１から磁気転写装置１２へ、あるいは磁気転写装置１２から保持装置１１へ搬送する搬送装置１３から構成された磁気転写システムにおいて、保持装置１１、搬送装置１３の磁気記録媒体２を把持する把持部、磁気転写装置１２の密着装置２０のマスター担体３、４、内径位置決めピン１８ｂのいずれをも塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である材料により構成する。【選択図】　　　　　図１
2004087093.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体を保持する保持装置と、
前記磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に転写すべき情報を担持する磁性層を表面に有する磁気転写用マスター担体とを密着させた状態で、転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写装置と、
前記磁気記録媒体を把持して前記保持装置と前記磁気転写装置間を搬送する搬送装置とを備えてなる磁気転写システムであって、
前記保持装置、磁気転写装置および搬送装置の、少なくとも前記磁気記録媒体と接触する部分が、塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である材料で構成されていることを特徴とする磁気転写システム。
【請求項２】
前記磁気転写用マスター担体を保持するマスター担体保持装置と、
前記磁気転写用マスター担体を把持して前記マスター担体保持装置と前記磁気転写装置間を搬送するマスター担体搬送装置とをさらに備え、
前記マスター担体保持装置、磁気転写装置およびマスター担体搬送装置の、少なくとも前記磁気転写用マスター担体と接触する部分が、塩素、硫黄化合物および窒素酸化物のそれぞれの含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である材料で構成されていることを特徴とする請求項１記載の磁気転写システム。
【請求項３】
前記硫黄化合物がＳＯ４であり、前記窒素酸化物がＮＯ３であることを特徴とする請求項１または２記載の磁気転写システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体に転写すべき情報を担持する磁気転写用マスター担体から磁気記録媒体へ情報を磁気的に転写するための磁気転写システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
磁気記録媒体においては一般に、情報量の増加に伴い、多くの情報を記録する大容量で、安価で、かつ、好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せる、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれており、この一例として、ハードディスク、ＺＩＰ（アイオメガ社）等のフレキシブルディスクからなる高密度磁気記録媒体が知られている。これらの高密度磁気記録媒体は情報記録領域が狭トラックで構成されており、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドにより走査させて高いＳ／Ｎで信号を再生するためには、いわゆるトラッキングサーボ技術が大きな役割を担っている。
【０００３】
トラック位置決めのためのサーボ信号や、そのトラックのアドレス信号、再生クロック信号等のサーボ情報は、磁気記録媒体の製造時にプリフォーマットとして予め磁気記録媒体に記録する必要があり、現在は専用のサーボ記録装置（サーボトラックライター）を用いてプリフォーマットが行われている。従来のサーボ記録装置によるプリフォーマットは、磁気記録媒体１枚ずつ、磁気ヘッドにより記録する必要があるため、相当の時間がかかり生産効率の点で問題がある。
【０００４】
一方、プリフォーマットを正確にかつ効率よく行う方法として、マスター担体が有するサーボ情報を担持するパターンを磁気記録媒体へ磁気転写により転写する方法が、特許文献１〜３等において提案されている。
【０００５】
磁気転写は、転写すべき情報を担持するマスター担体を磁気ディスク媒体等の磁気記録媒体（スレーブ媒体）と密着させた状態で、転写用磁界を印加することにより、マスター担体の有する情報パターンに対応する磁気パターンをスレーブ媒体に磁気的に転写するもので、マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、正確なプリフォーマット記録が可能であり、しかも記録に要する時間も極めて短時間であるという利点を有している。
【０００６】
また、本出願人は磁気転写方法として、マスター担体の基板の凸部表面に形成される磁性層として保磁力の小さい軟磁性層を採用し、スレーブ媒体の磁性層を予めトラックの一方向へ直流磁化させた後、マスター担体の軟磁性層と密着させた状態でスレーブ媒体の初期直流磁化方向と略反対方向に転写用磁界を印加することによりスレーブ媒体の磁性層に磁気パターンを転写する方法を特許文献４等において提案している。
【０００７】
【特許文献１】
特開昭６３−１８３６２３号公報
【０００８】
【特許文献２】
特開平１０−４０５４４号公報
【０００９】
【特許文献３】
特開平１０−２６９５６６号公報
【００１０】
【特許文献４】
特開平２００１−１４６６７号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような磁気転写を行うためのシステムは、基本的にスレーブ媒体である磁気記録媒体を保持収納する装置、該磁気記録媒体を搬送する装置、スレーブ媒体とマスター担体を密着させて磁界を印加する磁気転写装置等から構成され、磁気記録媒体と接触する収納部、把持部、密着部材等の各部にゴム等の塩素や硫黄を用いた材料が用いられている。しかしながら、スレーブ媒体である磁気記録媒体、特にハードディスクは、塩素、硫黄などに弱く、これらに接触すると腐食してしまうという問題がある。また、使用する磁気転写用マスター担体上に同元素を含有する残留物が付着すると、スレーブ媒体のみならずマスター担体上の磁性層をも腐食させ、マスター担体の寿命も大幅に低減することが明らかになった。
【００１２】
本発明は上記事情に鑑み、スレーブ媒体を腐食させることのない磁気転写システムを提供することを目的とする。さらには、マスター担体を腐食させることのない磁気転写システムを提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気転写システムは、磁気記録媒体を保持する保持装置と、
前記磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に転写すべき情報を担持する磁性層を表面に有する磁気転写用マスター担体とを密着させた状態で、転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写装置と、
前記磁気記録媒体を把持して前記保持装置と前記磁気転写装置間を搬送する搬送装置とを備えてなる磁気転写システムであって、
前記保持装置、磁気転写装置および搬送装置の、少なくとも前記磁気記録と
接触する部分が塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である材料で構成されていることを特徴とするものである。
【００１４】
また、磁気転写システムは、磁気転写用マスター担体を保持するマスター担体保持装置と、磁気転写用マスター担体を把持してマスター担体保持装置と磁気転写装置間を搬送するマスター担体搬送装置とをさらに備え、マスター担体保持装置、磁気転写装置およびマスター担体搬送装置の、少なくとも磁気転写用マスター担体と接触する部分が、塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である材料で構成されていることが望ましい。
【００１５】
なおここで、「塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である」とは、アウトガス評価で検出されるガス量がそれぞれ０．５ｐｐｍ以下であることをいう。好ましくは０．４ｐｐｍ以下、更に好ましくは０．２ｐｐｍ以下である。
【００１６】
ここでアウトガス評価の評価方法としてはイオンクロマトグラフィー法を用いる。具体的には、まず、母材から質量が５ｇ程度になるように試料片を切り出し、この試料片を２００℃、Ａｒ／Ｏ２気流中で５時間加熱し、ここで発生したガスを１％Ｈ２Ｏ２とした溶離剤中に溶解し、塩素、硫黄化合物および窒素酸化物イオンをそれぞれ定量するものである。
【００１７】
ここで、硫黄化合物の含有量が０．５ｐｐｍ以下とは、複数の硫黄化合物を含有する場合には各硫黄化合物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下であることを意味し、複数の硫黄化合物の総含有量は０．５ｐｐｍを越えるものであってもよい。同様に、窒素酸化物の含有量が０．５ｐｐｍ以下とは、複数の窒素化合物を含有する場合には各窒素酸化物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下であることを意味し、複数の窒素化合物の総含有量は０．５ｐｐｍを越えるものであってもよい。したがって、現実には、前述のイオンクロマトグラフィー法により検出される硫黄化合物のうち最も含有量の多いものの含有量、検出される窒素酸化物のうち最も含有量の多いものの含有量で評価する。
【００１８】
なお、硫黄化合物として最も含有量の多いものとしてはＳＯ４、窒素酸化物として最も含有量の多いものとしてはＮＯ３である場合が多いため、硫黄化合物、窒素酸化物の含有量として、それぞれＳＯ４、ＮＯ３の含有量を評価するものとしてもよい。
【００１９】
また、「保持装置、磁気転写装置および搬送装置の、少なくとも磁気記録媒体と接触する部分」および「マスター担体保持装置、磁気転写装置およびマスター担体搬送装置の、少なくともマスター担体と接触する部分」の構成母材としては、ポリイミド、ポリアセテール、ポリエーテルケトン、ポリイミドアミド、ポリエーテルイミド、ポリプロピレン、四フッ化エチレン樹脂、パーフルオロ−エチレン−プロピレン、パーフルオロアルコキシルアルカン等が好ましい。
【００２０】
なお、塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量をいずれも０．５ｐｐｍ以下とするためには、構成母材を素材の状態で真空中にて高温（２００℃程度）下で５時間程度アニール処理を施すことによりガス抜き処理を行うことも有効である。
【００２１】
なお、構成母材に塩素、硫黄化合物および／または窒素酸化物が０．５ｐｐｍより多く含有されている場合であっても、磁気記録媒体またはマスター担体と直に接触する面に０．５ｐｐｍ以下となる材料が被覆されていれば問題ない。被覆方法としては、スパッタリング法、イオンプレーティング法などが挙げられる。また、被覆材料としてはスパッタカーボン、ＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）、二硫化モリブデン、窒化チタンなどの固体潤滑特性を有する材料が好ましい。被覆膜厚は５ｎｍ以上１μｍ未満の範囲である。５ｎｍより薄膜が薄いとガスバリヤの役割が十分でなくなり、また１μｍ以上では磁気記録媒体のハンドリング時に加わる外力によって保護層剥離が発生してしまう虞がある。なお、更に好ましい形成膜厚は１０ｎｍ以上、５００ｎｍ以下である。被覆材料と構成母材との密着性が確保できない場合、構成母材表面に酸素ガスなどによるアッシング処理を施す、あるいは構成母材表面にＳｉ，Ｔｉ，Ａｌ等からなる密着層を設ければよい。
【００２２】
また、「密着させた状態」とは、両者が完全に接触した状態のみならず、両者が対面して近接された状態をも含むものとする。
【００２３】
磁気転写用マスター担体としては、情報を磁性層の磁化パターンとして有するもの、情報をパターン状に形成された磁性層により担持するもの（所謂パターンドマスター）が挙げられるが、特に後者が好ましい。
【００２４】
パターンドマスター担体としては、転写すべき情報に応じた凹凸パターンが形成された基板とその上に形成された磁性層からなるものが望ましく、磁性層としては、軟質もしくは半硬質磁性層が特に好ましい。
【００２５】
また、パターンドマスター担体を用いた磁気転写の際には、磁気記録媒体の磁性層をトラック方向の一方向に直流磁化させ、該直流磁化させた磁気記録媒体とマスター担体とを密着させた状態で、前記直流磁化と略反対方向の転写用磁界を印加して磁気転写を行うことが望ましい。
【００２６】
【発明の効果】
本発明の磁気転写システムによれば、磁気記録媒体を保持する保持装置、磁気記録媒体とマスター担体を密着させて転写磁界を印加させる磁気転写装置および磁気記録媒体を把持して搬送する搬送装置の、少なくとも前記磁気記録媒体と接触する部分が塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量のいずれもが０．５ｐｐｍ以下である材料で構成されていることから、磁気記録媒体が塩素、硫黄化合物、窒素化合物に触れないためこれらによる腐食を生じない。したがって、歩留まりよく磁気転写済み磁気記録媒体を製造することができる。
【００２７】
さらに、磁気転写用マスター担体を保持するマスター担体保持装置、磁気転写装置およびマスター担体を把持して搬送するマスター担体搬送装置の、少なくともマスター担体と接触する部分が塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量のいずれもが０．５ｐｐｍ以下である材料で構成されていれば、マスター担体が塩素等により腐食されないため、マスター担体の寿命を延ばすことができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００２９】
図１は本発明の磁気転写システムの概略構成図である。本実施形態における磁気転写システムは、磁気転写前の磁気記録媒体２を保持収納する保持装置１１、磁気転写を行う磁気転写装置１２、磁気記録媒体２を保持装置１１から磁気転写装置１２へ、あるいは磁気転写装置１２から保持装置１１へ搬送する搬送装置１３、マスター担体３、４を保持収納するマスター担体保持装置１４およびマスター担体３、４をマスター担体保持装置１４から磁気転写装置１２へ、あるいは磁気転写装置１２からマスター担体保持装置１４へ搬送するマスター担体搬送装置１５から構成されている。
【００３０】
保持装置１１に収納されている磁気記録媒体２が、搬送装置１３により磁気転写装置１２へ搬送され、磁気転写後、再び搬送装置１３により保持装置１１へ搬送される。なお、保持装置および搬送装置をそれぞれ二つ備え、磁気転写前後で別個の保持装置および搬送装置を使用するようにしてもよい。
【００３１】
また、マスター担体保持装置１４に収納されているマスター担体が、マスター担体搬送装置１５により磁気転写装置１２へ搬送され、磁気転写後、再び搬送装置１５により保持装置１４へ搬送される。
【００３２】
図２は保持装置１１である磁気記録媒体ストッカーの斜視図、図３は磁気転写装置１２の要部斜視図、図４および図５は転写用磁界を印加されるスレーブ媒体（磁気記録媒体）とマスター担体の密着装置２０（２０’）の分解斜視図をそれぞれ示すものである。
【００３３】
保持装置１１は、磁気記録媒体２を磁気転写前に行うバーニッシュ等の処理装置から磁気転写装置まで移動する際、あるいは、磁気転写後の磁気記録媒体を磁気転写の後工程で行う組み立て等の処理装置まで移動する際に、磁気記録媒体を保持収納するストッカーである。このストッカーは、複数の磁気記録媒体を垂直に立てて保持することができるように内側に溝が切られており、塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である材料により構成されている。なお、マスター担体保持装置１４としても同様に塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である材料により構成されている同様の構成のストッカーを用いている。
【００３４】
磁気転写装置１２は、図３に示すように密着装置２０（２０’）と磁界発生装置の一実施形態である電磁石装置５（５ａ、５ｂ）からなる。
【００３５】
図４は、両面同時転写を行う場合の密着装置２０を示すものであり、この密着装置２０は、スレーブ媒体である磁気記録媒体２の下側記録面にサーボ信号等の情報を転写する下側マスター担体３と、スレーブ媒体２の上側記録面にサーボ信号等の情報を転写する上側マスター担体４と、下側マスター担体３を吸着保持して平坦性を矯正する下側矯正部材１６を備えた下側圧接部材１８と、上側マスター担体４を吸着保持して平坦性を矯正する上側矯正部材１７（下側矯正部材１６と同構成）を備えた上側圧接部材１９とを備え、これらは中心位置を合わせた状態で圧接され、スレーブ媒体２の両面に下側マスター担体３と上側マスター担体４とを密着させる。
【００３６】
下側マスター担体３および上側マスター担体４は、剛性を有する円盤状ディスクであり、その片面に前記スレーブ媒体２の記録面に密着される微細凹凸パターンによる転写情報担持面を有し、これと反対側の面が下側矯正部材１６および上側矯正部材１７に真空吸着保持される。この下側マスター担体３および上側マスター担体４は、必要に応じてスレーブ媒体２との密着性を高めるために、微細凹凸パターンの形成部以外の位置でかつ後述の矯正部材１６，１７の吸気孔に連通しない位置に微細な孔が表裏を貫通して形成されて、スレーブ媒体２との密着面間のエアを吸引排出するように設けられる。
【００３７】
下側矯正部材１６（上側矯正部材１７も同様）は、マスター担体３の大きさに対応した円盤状に設けられ、吸着面１６ａが設けられている。この吸着面１６ａには、直径約２ｍｍ以下の吸気孔１６ｂが約２５〜１００個ほぼ均等に開口している。図示していないが、この吸気孔１６ｂには矯正部材１６の内部から下側圧接部材１８の外部に導出された吸気通路を経て真空ポンプに接続されて吸引され、吸着面１６ａに密着されたマスター担体３の背面を真空吸着し、該マスター担体３の平坦性を吸着面１６ａに沿わせて矯正する。
【００３８】
下側圧接部材１８および上側圧接部材１９は円盤状で一方または両方が軸方向に移動可能に設けられて図示しない開閉機構（押圧機構、締結機構等）によって開閉作動するものであり、互いに所定の圧力で圧接される。外周には鍔部１８ａ，１９ａを有し閉作動時には上下の圧接部材１８，１９の鍔部１８ａ、１９ａが当接して内部を密閉状態に保持する。下側圧接部材１８の中心部には、スレーブ媒体２の内径に係合して位置決めするピン１８ｂが形成されている。また、下側圧接部材１８および上側圧接部材１９は図示しない回転機構に連係されて一体に回転駆動される。
【００３９】
１組の下側マスター担体３および上側マスター担体４により複数のスレーブ媒体に対して順次両面磁気転写を行うために、密着装置２０は、下側矯正部材１６および上側矯正部材１７の吸着面１６ａにそれぞれ中心位置を合わせて下側マスター担体３および上側マスター担体４をそれぞれ真空吸着して保持させておく。そして、上側圧接部材１９と下側圧接部材１８とを離間した開状態で、スレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットした後、上側圧接部材１９と下側圧接部材１８とを接近させて閉作動し、スレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を密着させる。その後、上下の電磁石装置５の移動または密着装置２０の移動によって、密着装置２０の上下面に上下の電磁石装置５を接近させ、密着装置２０を回転させつつ電磁石装置５によって転写用磁界を印加して、下側マスター担体３および上側マスター担体４の転写情報をスレーブ媒体２の記録面に磁気的に転写記録する。
【００４０】
図５は、片面転写を行う場合の密着装置２０’を示すものであり、この密着装置２０’は、スレーブ媒体２の下側記録面にサーボ信号等の情報を転写する下側マスター担体３と、スレーブ媒体２の上側記録面に接触する弾性体２１（クッション材）と、前記下側マスター担体３を吸着保持して平坦性を矯正する下側矯正部材１６を備えた下側圧接部材１８と、前記弾性体２１を保持する上側圧接部材１９とを備え、これらは中心位置を合わせた状態で圧接され、スレーブ媒体２の片面にマスター担体３を反対面に弾性体２１を密着させる。すなわち、前記実施の形態における上側マスター担体４が弾性体２１に変更され、上側矯正部材１７が設置されていない点を除いては、同様に構成されている。
【００４１】
弾性体２１は弾性特性を有する材料により円盤状に形成され、上側圧接部材１９に保持されている。弾性体２１の材料は、密着圧力印加時にスレーブ媒体２の表面形状に追従変形し、マスター担体３からスレーブ媒体２の引き剥がし時に圧力印加前の表面性に復元する特性を備えている。弾性体２１のスレーブ媒体２と接する面の形状は、マスター担体３と平行な平面形状、またはスレーブ媒体２側に凸形状に形成される。
【００４２】
本実施形態の密着装置２０’は、一つの下側マスター担体３により複数のスレーブ媒体２に対して順次磁気転写を行うために、まず下側矯正部材６の吸着面６ａに中心位置を合わせて下側マスター担体３を真空吸着して保持しておく。そして、上側圧接部材１９と下側圧接部材１８とを離間した開状態で、スレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットした後、上側圧接部材１９と下側圧接部材１８とを接近させて閉作動しスレーブ媒体２の片面にマスター担体３を弾性体１１の押圧により密着させる。その後、前記と同様に密着装置２０’の上下面に上下の電磁石装置５を接近させ、密着装置２０’を回転させつつ電磁石装置５によって転写用磁界を印加して、下側マスター担体３の転写情報をスレーブ媒体２の片面に磁気的に転写記録する。その後、別工程でスレーブ媒体２の反対面に上側マスター担体４を密着させて同様に磁気転写を行う。
【００４３】
両面転写を行う場合の密着装置２０においては、マスター担体３、４、位置決めピン１８ｂ、片面転写を行う場合の密着装置２０においては、マスター担体３、弾性体２１および位置決めピン１８ｂ等の磁気記録媒体２に接触する部分、およびマスター担体３、４に接触する部分に塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である材料を用いる。なお、マスター担体は、その凹凸の作製のパターニング時にレジストを用いる場合、残留レジストに硫黄が含まれる場合があるため、磁気記録媒体との密着前にドライクリーニングによる残留レジストの除去がなされたものを使用する。なおその他、密着装置２０の各部についても塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である材料から構成することが望ましい。
【００４４】
搬送装置１３は、上記保持装置１１から磁気転写装置１２へ、あるいは磁気転写装置１２から保持装置１１へ磁気記録媒体を搬送するものである。搬送装置１３は、具体的には、磁気記録媒体２の内径をチャックするチャック部（把持部）を備えたロボットアームであり、そのチャック部は、塩素、硫黄化合物および窒素化合物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である材料から構成する。マスター担体搬送装置１４についても同様である。
【００４５】
なお、ストッカー、密着装置の位置決めピンおよび弾性部材、ロボットアームのチャック部などの構成母材としては、ポリイミド、ポリアセテール、ポリエーテルケトン、ポリイミドアミド、ポリエーテルイミド、ポリプロピレン、四フッ化エチレン樹脂、パーフルオロ−エチレン−プロピレン、パーフルオロアルコキシルアルカン等を用いることができる。構成母材中の塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量をそれぞれ０．５ｐｐｍ以下とするためには、構成母材を素材の状態で真空中にて高温（２００℃程度）下で５時間程度アニール処理を施すことによりガス抜き処理を行うことが有効である。なお、構成母材に塩素、硫黄化合物および／または窒素酸化物が０．５ｐｐｍより多く含有されている場合であっても、磁気記録媒体またはマスター担体と直に接触する面に０．５ｐｐｍ以下となる材料が被覆されていればよい。この時の被覆方法としては、スパッタリング法、イオンプレーティング法などが挙げられる。また、被覆材料としてはスパッタカーボン、ＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）、二硫化モリブデン、窒化チタンなどの固体潤滑特性を有する材料が好ましい。被覆膜厚は５ｎｍ以上１μｍ未満の範囲が好ましく、更に好ましい膜厚は１０ｎｍ以上、５００ｎｍ以下である。被覆材料と構成母材との密着性が確保できない場合、構成母材表面に酸素ガスなどによるアッシング処理を施す、あるいは構成母材表面にＳｉ，Ｔｉ，Ａｌ等からなる密着層を設ければよい。
【００４６】
次に、本実施形態の磁気転写システムにおける転写工程を簡単に説明する。
【００４７】
まず、マスター担体保持装置１４に収納されているマスター担体３および４がそれぞれマスター担体搬送装置１５によりその内径をチャックされた状態で密着装置２０内にセットされる。一方、保持装置１１には、トラックの一方向に初期磁化された磁気記録媒体２が収納されており、この保持装置１１から磁気記録媒体２は搬送装置１３によりその内径をチャックされた状態で密着装置２０のスレーブ媒体収納部に搬送され、該収納部にセットされる。このようにマスター担体３、４と磁気記録媒体２とが密着装置２０にセットされ密着された状態で既述のように磁気転写が行われる。この際の転写用磁界の印加方向は、磁気記録媒体２の初期磁化方向の略逆向きである。その後、磁気転写済みの磁気記録媒体２が密着装置２０から保持装置１１に搬送装置１３により搬送される。
【００４８】
本実施形態の磁気転写システムは、磁気記録媒体２と接触する部分およびマスター担体３、４と接触する部分がすべて塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である材料で構成されていることから、マスター担体および磁気転写工程後の磁気記録媒体の腐食を抑制し、歩留まり良く磁気転写済みの磁気記録媒体を製造することができる。
【００４９】
以下、本実施形態における磁気転写方法の原理を図６を参照して説明する。本実施形態の磁気転写方法は、転写すべき情報に応じた凹凸パターンを表面に基板と該基板の凹凸面に被膜された磁性層とからなる磁気転写用マスター担体を用い、該マスター担体が担持する情報をスレーブ媒体である磁気記録媒体上に磁気パターンとして転写する方法であり、図６（ａ）は磁場を一方向に印加してスレーブ媒体を直流磁化する工程、図６（ｂ）はマスター担体とスレーブ媒体とを密着して反対方向に磁界を印加する工程、図６（ｃ）は磁気転写後の状態をそれぞれ示す図である。なお、図６において磁気記録媒体２についてはその片面の記録面（磁性層）のみを示している。
【００５０】
まず図６（ａ）に示すように、最初にスレーブ媒体２に初期直流磁界Ｈｉｎをトラック方向の一方向に印加してスレーブ媒体２の磁性層を予めトラックの一方向に初期磁化しておく。その後、図６（ｂ）に示すように、このスレーブ媒体２の磁気転写面（記録面）とマスター担体３の基板３ａの凹凸パターンに磁性層３ｂが被覆されてなる情報担持面とを密着させ、スレーブ媒体２のトラック方向に初期直流磁界Ｈｉｎとは逆方向に転写用磁界Ｈｄｕを印加して磁気転写を行う。その結果、図６（ｃ）に示すように、スレーブ媒体２の磁気転写面（トラック）にはマスター担体３の情報担持面の凹凸パターンに応じた情報が磁気的に転写記録される。
【００５１】
なお、上記マスター担体３の基板３ａの凹凸パターンが図６のポジパターンと逆の凹凸形状のネガパターンの場合であっても、初期直流磁界Ｈｉｎの方向および転写用磁界Ｈｄｕの方向を上記と逆方向にすることによって同様の情報が磁気的に転写記録できる。
【００５２】
また、基板３ａがＮｉなどによる強磁性体である場合にはこの基板３ａのみで磁気転写可能であり、必ずしも磁性層３ｂを被覆しなくてもよいが、転写特性の良い磁性層３ｂを設けることでより良好な磁気転写を行うことができる。なお、基板３１が非磁性体の場合は磁性層３ｂを設けることが必要である。
【００５３】
また、さらに最上層にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の保護膜を被覆すれば、この保護膜により接触耐久性が向上し多数回の磁気転写が可能となる。さらにはＤＬＣ保護膜の下層にＳｉ膜をスパッタリング等で形成するようにしてもよい。
【００５４】
なお、本実施形態においては、パターンドマスターを用いた磁気転写を例に挙げて説明したが、高保磁力の磁性層に磁気パターンが形成されてなる磁気転写用マスターを用いた磁気転写システムにおいても同様に、スレーブ媒体である磁気記録媒体と接触する部分を塩素、硫黄化合物および窒素酸化物の含有量がいずれも０．５ｐｐｍ以下である材料で構成するようにすれば同様の効果を得ることができる。
【００５５】
【実施例】
次に、本発明の実施例および比較例の磁気転写システムについて評価を行った結果を説明する。
【００５６】
まず、各システムにおいて用いられるマスター担体および磁気転写媒体について説明する。
【００５７】
マスター担体は、基板としてスタンパー作製法を用いて作製した円盤状のＮｉ基板を備えてなるものとした。Ｎｉ基板は磁束吸い込み効果を上げる軟磁性層の役目を果たすものである。Ｎｉ基板の円盤中心から半径方向２０〜４０ｍｍの範囲に、トラック幅１．０μｍ、トラックピッチ１．１μｍ、最内周である半径方向２０ｍｍ位置でビット長が０．２μｍ、凸部高さ（凹部溝深さ）０．２μｍである凹凸パターン信号を形成した。
【００５８】
Ｎｉ基板上に磁性層としてＦｅＣｏ３０ａｔ％層を２５℃の基板温度でスパッタ法により形成した。このとき、Ａｒスパッタ圧０．１５Ｐａ（１．０８ｍＴｏｒｒ）とし、投入電力２．８０Ｗ／ｃｍ２の条件で行った。またＦｅＣｏ磁性層上にＤＬＣ保護層を５ｎｍ形成した。
【００５９】
スレーブ媒体としては、真空蒸着装置（芝浦メトロニクス：Ｓ−５０Ｓスパッタ装置）において、１．３３×１０−５Ｐａ（１．０×１０−７Ｔｏｒｒ）まで減圧した後に、アルゴンを導入して０．４Ｐａ（３．０ｍＴｏｒｒ）とした条件下で、ガラス板を２００℃に加熱し、ＣｒＴｉ３０ｎｍ、ＣｏＣｒＰｔ３０ｎｍ、飽和磁化Ｍｓ：５．７Ｔ（４５００Ｇａｕｓｓ）、保磁力Ｈｃ：１９９ｋＡ／ｍ（２５００Ｏｅ）の磁性層を備えた３．５インチ型の円盤状磁気記録媒体を用いた。
【００６０】
実施例１の磁気転写システムは、スレーブ媒体と接触する部分（スレーブ媒体ハンドリング部）およびマスター担体と接触する部分（マスター担体ハンドリング部）にポリエーテルケトンＡ材を使用して構成した。本材料の含有ガス量は塩素：０．３ｐｐｍ、ＮＯ３：０．３ｐｐｍ、ＳＯ４：０．３ｐｐｍであった。なお、ここでは硫黄酸化物として最も多く検出されたＳＯ４、窒素酸化物として最も多く検出されたＮＯ３の含有量により評価した（以下においても同様）。
【００６１】
実施例２の磁気転写システムは、スレーブ媒体ハンドリング部およびマスター担体ハンドリング部にポリエーテルケトンＢ材を使用して構成した。本材料の含有ガス量は塩素、ＮＯ３およびＳＯ４いずれも０．２ｐｐｍ以下（分析装置分解能以下）であった。
【００６２】
実施例３の磁気転写システムは、スレーブ媒体ハンドリング部およびマスター担体ハンドリング部にポリエーテルケトンＡ材を使用し、その表面にＤＬＣ保護膜を１０ｎｍ被覆した構成とした。ポリエーテルケトンＡ材の含有ガス量は実施例１と同様であり、ＤＬＣ被覆後の含有ガス量は塩素、ＮＯ３およびＳＯ４いずれも０．２ｐｐｍ以下（分析装置分解能以下）であった。
【００６３】
実施例４の磁気転写システムは、スレーブ媒体ハンドリング部およびマスター担体ハンドリング部にポリイミドを使用して構成した。本材料の含有ガス量は塩素、ＮＯ３およびＳＯ４いずれも０．２ｐｐｍ以下（分析装置分解能以下）であった。
【００６４】
実施例５の磁気転写システムは、スレーブ媒体ハンドリング部およびマスター担体ハンドリング部にパーフルオロアルコキシルアルカンＡ材を使用し、その表面にＤＬＣを１００ｎｍ被覆した構成とした。パーフルオロアルコキシルアルカンＡ材の含有ガス量は塩素：０．７ｐｐｍ、ＮＯ３：０．８ｐｐｍ、ＳＯ４：０．９ｐｐｍであり、ＤＬＣ被覆後の含有ガス量は塩素、ＮＯ３およびＳＯ４いずれも０．２ｐｐｍ以下（分析装置分解能以下）であった。
【００６５】
実施例６の磁気転写システムは、ＤＬＣを５ｎｍとした点を除き実施例５と同様な構成とした。ＤＬＣ被覆後の含有ガス量は塩素：０．４ｐｐｍ、ＮＯ３：０．５ｐｐｍ、ＳＯ４：０．４ｐｐｍであった。
【００６６】
実施例７の磁気転写システムは、ＤＬＣを１．５μｍとした点を除き実施例５と同様な構成とした。ＤＬＣ被覆後の含有ガス量は塩素、ＮＯ３およびＳＯ４いずれも０．２ｐｐｍ以下（分析装置分解能以下）であった。
【００６７】
実施例８の磁気転写システムは、スレーブ媒体ハンドリング部およびマスター担体ハンドリング部にパーフルオロアルコキシルアルカンＢ材を使用して構成した。パーフルオロアルコキシルアルカンＢ材の含有ガス量は塩素：０．５ｐｐｍ、ＮＯ３：０．４ｐｐｍ、ＳＯ４：０．３ｐｐｍであった。
【００６８】
比較例１の磁気転写システムは、ニトルゴム（ＮＢＲ）を使用して構成した。ＮＢＲの含有ガス量は塩素：１．２ｐｐｍ、ＮＯ３：０．９ｐｐｍ、ＳＯ４：０．９ｐｐｍであった。
【００６９】
比較例２の磁気転写システムは、実施例５において表面にＤＬＣ保護膜を被覆しない構成とした。
【００７０】
マスター担体とスレーブ媒体との耐久性評価方法は以下の通りである。
【００７１】
マスター担体とスレーブ媒体間の密着圧力を４．９×１０−５Ｐａ（５．０ｋｇｆ／ｃｍ２）とし、１００００回接触、剥離を繰り返した後、マスター担体およびスレーブ媒体を４０℃−９０ＲＨ％の環境下で１週間保持する。その後、マスター担体表面およびスレーブ媒体表面を微分干渉顕微鏡で４８０倍の拡大率で５０視野ランダムに観測する。この５００視野中に磁性層の析出物・亀裂箇所（腐食箇所相当）が２箇所以下であれば良好（○）、３または４箇所であれば可（△）、５箇所以上であれば不良（×）と評価した。
【００７２】
さらに、上記スレーブ媒体を電磁変換特性測定装置（協同電子製ＳＳ−６０）に設置し、ヘッド（再生ヘッドギャップ０．１２μｍ、再生トラック幅０．４１μｍ、記録ヘッドギャップ０．２μｍ、記録トラック幅０．６７μｍであるＧＭＲヘッド）で、半径４０ｍｍ位置での線速度が１０ｍ／ｓｅｃで半径１５〜４０ｍｍの範囲を１往復／秒のスピードで１００００回スキャンする。ヘッドスキャン後の媒体を取り出し、スレーブ表面を微分干渉顕微鏡で５０倍の拡大率で全面を観測し、媒体削れが観測されなければ良好（○）、観測されれば不良（×）と評価した。
【００７３】
観測結果および評価結果を表１に示す。
【００７４】
【表１】
2004087093.tif 000003
表１に示すとおり、本発明の実施例１〜８はいずれの評価においても可以上であり、比較例１、２はいずれの評価も不良との結果であった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る磁気転写システムの概略構成図
【図２】磁気記録媒体保持装置を示す斜視図
【図３】磁気転写装置の要部斜視図
【図４】両面転写用の密着装置の分解斜視図
【図５】片面転写用の密着装置の分解斜視図
【図６】磁気転写方法の基本工程を示す図
【符号の説明】
２　　スレーブ媒体
３，４　　マスター担体
３ａ　　マスター担体の基板
３ｂ　　磁性層
１１　　保持装置
１２　　磁気転写装置
１３　　搬送装置
１４　　マスター担体保持装置
１５　　マスター担体搬送装置
１８ｂ　位置決めピン
２０、２０’　　密着装置
２１　　弾性体
【図１】
2004087093.tif 000004
【図２】
2004087093.tif 000005
【図３】
2004087093.tif 000006
【図４】
2004087093.tif 000007
【図５】
2004087093.tif 000008
【図６】
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