(57)【要約】【課題】被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚を均一に維持する。【解決手段】塗布液がスロット１６内を流通して塗布ヘッド１０の先端から吐出されたときの塗布状況を、スロット１６の長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ検出する塗布状況検出手段と、各区分ごとにそれぞれ検出された塗布状況の検出結果に基づいて、スロット１６の幅を調整するスロット幅調整手段とを備える。【選択図】      図１
2004321913.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のヘッド部材から構成された塗布ヘッドを有し、前記複数のヘッド部材における互いに対向する側面同士の間に、前記塗布ヘッドの先端に開口する溝状のスロットが画成されている塗布工具が、前記塗布ヘッドの先端を被塗布物の表面に対向配置させるように装着されていて、塗布液が前記スロット内を流通して前記塗布ヘッドの先端から吐出されることにより、前記塗布ヘッドの先端に対して相対的に移動する前記被塗布物の表面に塗布液が塗布される塗布装置を備えた塗布システムであって、
塗布液が前記スロット内を流通して前記塗布ヘッドの先端から吐出されたときの塗布状況を、前記スロットの長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ検出する塗布状況検出手段と、
前記各区分ごとにそれぞれ検出された塗布状況の検出結果に基づいて、前記スロットの幅を調整するスロット幅調整手段と、
を備えていることを特徴とする塗布システム。
【請求項２】
請求項１において、
前記塗布状況検出手段は、前記塗布ヘッドの先端から吐出された塗布液の流量を、前記スロットの長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ測定する流量測定手段であることを特徴とする塗布システム。
【請求項３】
請求項２において、
前記流量測定手段は、前記塗布ヘッドの先端から吐出された塗布液を、前記スロットの長手方向に沿った方向で複数に区分された流量測定用容器で受け、この流量測定用容器の各区分ごとに溜まった塗布液の流量をそれぞれ測定することを特徴とする塗布システム。
【請求項４】
請求項１において、
前記塗布状況検出手段は、前記塗布ヘッドの先端から吐出された塗布液が前記被塗布物の表面に塗布されたときの膜厚を、前記スロットの長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ測定する膜厚測定手段であることを特徴とする塗布システム。
【請求項５】
請求項１において、
前記塗布状況検出手段は、塗布液が前記塗布ヘッドの先端から吐出されたときの前記塗布ヘッドの先端と前記被塗布物の表面との間のギャップを、前記スロットの長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ測定するギャップ測定手段であることを特徴とする塗布システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被塗布物に対して塗布液を塗布するために用いられる塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、塗布工具としては、例えば一対のヘッド部材から構成された塗布ヘッドを有し、一対のヘッド部材における互いに対向する側面同士の間に、塗布液が供給されるポケットと、このポケットから先端側へ延びて塗布ヘッドの先端に開口する溝状のスロットとが画成されたものが知られている。
このような塗布工具は、塗布ヘッドの先端を被塗布物に対向配置させるとともに、塗布ヘッドの長手方向（スロットの長手方向）を被塗布物の幅方向に一致させるようにして塗布装置に装着されるものであって、塗布液タンクから供給ポンプによってポケット内に供給された塗布液が、スロット内を流通して塗布ヘッドの先端から吐出されることにより、この塗布ヘッドの先端に対して相対的に移動する被塗布物の表面に塗布液が塗布されることになる。
【０００３】
ところで、上記のような塗布装置は、可撓性を有するシート状の被塗布物の表面に対して塗布液を塗布するために用いられるだけではなく、例えば液晶ディスプレイのパネル本体となるガラス基板のようなパネル状の被塗布物の表面に対してカラーレジストなどの塗布液を塗布するためにも用いられるのであるが、いずれにしても、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚を均一にすることが強く求められる。
これに対して、特許文献１・２には、塗布液タンクから供給ポンプによってポケット内に供給される塗布液の流量を測定して、それを略一定に維持することにより、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚を均一にすることを狙った塗布システムが開示されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−１２６６６４号公報
【特許文献２】
特開２００１−１２１０６２号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１・２に開示された塗布システムでは、塗布工具のポケット内に供給される塗布液の流量を測定しているだけであるため、確かに、ポケット内に供給される塗布液の流量を略一定に維持することは可能であるものの、このポケット内に供給された塗布液がスロット内を流通して塗布ヘッドの先端から実際に吐出されたときの塗布状況（例えば、塗布ヘッドの先端から吐出された塗布液の流量、塗布液が被塗布物の表面に塗布されたときの膜厚、塗布ヘッドの先端と被塗布物の表面との間のギャップなど）は、必ずしも、スロットの長手方向に沿った方向の略全長に亘って略一定になっているとは限らない。
そのため、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚が均一になるとは限らず、特許文献１・２に開示された塗布システムでは、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚を均一にするための効果的な解決手段とはなり得ないのが現状であった。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚を均一に維持することを可能にする塗布システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決して、このような目的を達成するために、本発明による塗布システムは、複数のヘッド部材から構成された塗布ヘッドを有し、前記複数のヘッド部材における互いに対向する側面同士の間に、前記塗布ヘッドの先端に開口する溝状のスロットが画成されている塗布工具が、前記塗布ヘッドの先端を被塗布物の表面に対向配置させるように装着されていて、塗布液が前記スロット内を流通して前記塗布ヘッドの先端から吐出されることにより、前記塗布ヘッドの先端に対して相対的に移動する前記被塗布物の表面に塗布液が塗布される塗布装置を備えた塗布システムであって、塗布液が前記スロット内を流通して前記塗布ヘッドの先端から吐出されたときの塗布状況を、前記スロットの長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ検出する塗布状況検出手段と、前記各区分ごとにそれぞれ検出された塗布状況の検出結果に基づいて、前記スロットの幅を調整するスロット幅調整手段と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明では、塗布液がスロット内を流通して塗布ヘッドの先端から実際に吐出されたときの塗布状況を、スロットの長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ検出しているので、このスロットの長手方向に沿った方向での塗布状況の分布を正確に確認することができる。
そして、このようにして正確に確認された塗布状況の分布に基づいて、塗布ヘッドの先端から吐出された塗布液が被塗布物の表面に塗布されたときの膜厚を、スロットの長手方向に沿った方向の略全長に亘って均一にするように、スロットの幅を前記各区分ごとに調整することができる。
したがって、上記のようにしてスロットの幅が調整された塗布システムを用いて、被塗布物の表面に塗布液を塗布するようにすれば、使用する塗布液の性質（粘度など）の違い、塗布工具自体の精度、個々の塗布工具における個体差及び組立誤差、塗布工具の塗布装置への装着状態だけでなく、被塗布物の精度、被塗布物の相対移動速度、被塗布物の相対移動時におけるガタ、塗布液を供給するための供給ポンプの精度などにも左右されることなく、塗布開始直後から、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚を均一な状態に維持することができる。
なお、調整するスロットの幅については、このスロットの長手方向に沿った方向での略全長に亘って略一定となるように設定するだけではなく、例えば、ある所定領域で意図的に大きくなったり小さくなったりするように設定することによって、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜圧を均一に維持することも可能である。
【０００９】
また、前記塗布状況検出手段は、前記塗布ヘッドの先端から吐出された塗布液の流量を、前記スロットの長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ測定する流量測定手段であって、前記各区分ごとにそれぞれ測定された塗布液の流量（塗布状況）の測定結果（検出結果）に基づいて、前記スロットの幅を調整するようにしてもよい。
ここで、前記流量測定手段の一例としては、前記スロット内を流通して前記塗布ヘッドの先端から吐出された塗布液を、前記スロットの長手方向に沿った方向で複数に区分された流量測定用容器で受け、この流量測定用容器の各区分ごとに溜まった塗布液の流量をそれぞれ測定するなどが挙げられる。
【００１０】
また、前記塗布状況検出手段は、前記塗布ヘッドの先端から吐出された塗布液が前記被塗布物の表面に塗布されたときの膜厚を、前記スロットの長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ測定する膜厚測定手段であって、前記各区分ごとにそれぞれ測定された膜厚（塗布状況）の測定結果（検出結果）に基づいて、前記スロットの幅を調整するようにしてもよい。
【００１１】
また、前記塗布状況検出手段は、塗布液が前記塗布ヘッドの先端から吐出されたときの前記塗布ヘッドの先端と前記被塗布物の表面との間のギャップを、前記スロットの長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ測定するギャップ測定手段であって、前記各区分ごとにそれぞれ測定されたギャップ（塗布状況）の測定結果（検出結果）に基づいて、前記スロットの幅を調整するようにしてもよい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付した図面を参照しながら説明する。
本発明の実施形態で用いられる塗布工具の塗布ヘッド１０は、図１に示すように、一対のヘッド部材１１Ａ，１１Ｂがそれらの一方の側面１２，１２同士を互いに対向させるように組み合わされることによって、長尺状をなすように構成されたものである。
また、塗布ヘッド１０において、これを構成する一対のヘッド部材１１，１２における互いに対向する側面１２，１２同士の間には、塗布液タンクから供給ポンプによって塗布液が供給されるポケット１５と、ポケット１５に連通するとともに塗布ヘッド１０の先端側へ向かって延びて塗布ヘッド１０の先端に開口する溝状のスロット１６とが、それらの長手方向を塗布ヘッド１０の長手方向（図１における紙面垂直方向）に一致させるように画成されている。
【００１３】
そして、塗布ヘッド１０を構成する少なくとも一方のヘッド部材１１Ａにおける他方の側面１３に、この他方の側面１３に開口して、一方の側面１２（スロット１６）側へ向かって一段凹む凹部２０が形成されているとともに、この凹部２０内に、スロット１６の幅を調整するための調整機構３０が設けられている（図１に示す塗布ヘッド１０では、一方のヘッド部材１１Ａのみに凹部２０を形成して調整機構３０を設けている）。
この調整機構３０については、塗布工具が塗布装置に装着された状態で、スロット１６の幅を調整することが可能であれば、その構成を問うことはない。
【００１４】
例えば、本実施形態で用いられる調整機構３０は、この調整機構３０の内部に封入された流体（油や空気など）が圧縮されて生じる流体圧や、調整機構３０の内部に備えられたクサビ部材が移動させられて生じる押圧力などにより、スロット１６の延在方向（図１における上下方向、塗布ヘッド１０の長手方向に直交する断面で見たときのスロット１６の延在方向）に沿った方向を向く一対の押圧面３１，３１同士の間の距離が大きくなるように、スロット１６の延在方向に沿った方向での長さを大きくする構成とされている。
【００１５】
このような調整機構３０を用いると、凹部２０におけるスロット１６の延在方向に沿った方向を向いて互いに対向する一対の壁面２１，２１同士の間の距離が大きくなるようにヘッド部材（一方のヘッド部材１１Ａ）を変形させることができるので、これにともない、スロット１６の長手方向に沿った方向における任意の所定領域でのスロット１６の幅を小さくして調整することが可能となる。
【００１６】
なお、このような調整機構３０に代えて、少なくとも一方のヘッド部材１１Ａの先端部を塗布ヘッド１０の先端側へ向けて直接的に押圧する調整ネジを備えた調整機構３０を用い、スロット１６の長手方向に沿った方向における所定領域でのスロット１６の幅を小さくして調整するようにしても構わない。
要は、スロット１６の長手方向に沿った方向における任意の所定領域でのスロット１６の幅を調整することが可能な調整機構３０であればよいのである。
【００１７】
このような構成を有する塗布工具は、塗布ヘッド１０の先端を被塗布物に対向配置させるとともに、塗布ヘッド１０の長手方向（スロット１６の長手方向）を被塗布物の幅方向に一致させるようにして塗布装置に装着され、塗布液タンクから供給ポンプによってポケット１５内に供給された塗布液が、スロット１６内を流通して塗布ヘッド１０の先端から吐出されることにより、この塗布ヘッド１０の先端に対して相対的に移動する被塗布物の表面に塗布液が塗布されることになる。
【００１８】
本実施形態による塗布システムでは、まず、塗布工具を塗布装置に装着してから、使用する塗布液や、この塗布液を塗布液タンクから供給ポンプによってポケット１５内に供給するときの圧力などを、実際に被塗布物の表面に対して塗布液を塗布するときと同一にした状態で、塗布ヘッド１０の先端から塗布液を吐出させる。
つまり、実際に被塗布物の表面に対して塗布液を塗布するときの状態を再現するように、塗布ヘッド１０の先端から塗布液を吐出させるのである。
【００１９】
このとき、図２に示すような長尺状の流量測定用容器４０を、その長手方向（図２（ａ），（ｂ）における左右方向）がスロット１６の長手方向に沿った方向に一致するように、塗布ヘッド１０の先端に対して対向配置し、この流量測定用容器４０の内部空間Ｖで、スロット１６内を流通して塗布ヘッド１０の先端から実際に吐出された後の塗布液を受ける。
【００２０】
流量測定用容器４０内には、この流量測定用容器４０の長手方向に略直交する方向（図２（ａ）における上下方向、図２（ｃ）における左右方向）に延在する複数の仕切板４１…が、流量測定用容器４０の長手方向に沿った方向で互いに等しい間隔を介して、互いに平行となるように形成されている。
そのため、塗布液が溜まる流量測定用容器４０の内部空間Ｖは、スロット１６の長手方向に沿った方向で複数に区分されることとなり、しかも、複数の仕切板４１…によって区分されてできた各区分Ｖ１，Ｖ２，…は、互いに等しい容積を有するようになっている。
【００２１】
なお、各仕切板４１の先端部４１Ａは、図３に示すように、互いに等しい傾斜角ｎを有する２つの傾斜面が鋭角に交差させられて先細りした形状をなしているため、この仕切板４１の先端部４１Ａ付近に向かって吐出されてきた塗布液は、スロット１６の長手方向に沿った方向で隣接する２つの区分Ｖ（ｎ），Ｖ（ｎ＋１）のそれぞれに対して互いに等しい流量ずつ流れ込むように設計されている。
【００２２】
さらに、流量測定用容器４０は、その長手方向に沿った方向に延在する一対の側面４２Ａ，４２Ｂのうちの少なくとも一方の側面４２Ａが、内部空間Ｖを目視確認することが可能な程度に十分な透明度を有するアクリル板から構成されており（図２に示す流量測定用容器４０では、一方の側面４２Ａのみがアクリル板から構成されている）、この一方の側面４２Ａを介して、内部空間Ｖに溜まった塗布液の流量、つまり、各区分Ｖ１，Ｖ２，…ごとに溜まった塗布液を目視確認することができるようになっている。
【００２３】
そして、十分な透明度を有する一方の側面４２Ａ側から、流量測定用容器４０における各区分Ｖ１，Ｖ２，…ごとに溜まった塗布液の液面の位置をそれぞれ目視確認することで、例えば一方の側面４２Ａに設けられる基準線（目盛り）などの指標を利用して、各区分Ｖ１，Ｖ２，…ごとに溜まった塗布液の流量をそれぞれ測定する。
ここで、本明細書の特許請求の範囲に記載されている塗布状況検出手段としての流量測定手段とは、塗布ヘッド１０の先端から吐出された塗布液を、流量測定用容器４０で受け、この流量測定用容器４０の各区分Ｖ１，Ｖ２，…ごとに溜まった塗布液の流量をそれぞれ測定する構成のことである。
【００２４】
その後、塗布液の流量の測定結果から得られた流量のばらつきの傾向に基づき、塗布ヘッド１０に備えられた調整機構３０を用いて、例えば流量が多い部分に対応する領域のスロット１６の幅を小さくするように調整することで、流量測定用容器４０における各区分Ｖ１，Ｖ２，…ごとに溜まる塗布液の流量が互いに略同一となるようにする、つまり、スロット１６内を流通して塗布ヘッド１０の先端から実際に吐出される塗布液の流量をスロット１６の長手方向の略全長に亘って略一定となるように調整するのである。
ここで、本明細書の特許請求の範囲に記載されているスロット幅調整手段とは、流量測定手段によって各区分Ｖ１，Ｖ２，…ごとにそれぞれ測定された塗布液の流量の測定結果に基づいて、調整機構３０を用いて、スロット１６の幅を調整する構成のことである。
【００２５】
以上説明したような本実施形態によれば、スロット１６内を流通して塗布ヘッド１０の先端から実際に吐出された後の塗布液の流量を、スロット１６の長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ測定するようになっているので、塗布ヘッド１０の先端から吐出されて被塗布物の表面に塗布される直前の塗布液についての、スロット１６の長手方向に沿った方向での流量の分布の傾向を正確に確認できる。
とくに、この流量の分布を確認するための流量測定手段は、上述したような流量測定用容器４０を用いていることで、非常に簡略な構成ながら、流量の分布のの傾向を正確に把握することができている。
【００２６】
そして、被塗布物の表面に塗布される直前の塗布液についての、スロット１６の長手方向に沿った方向での流量の分布の傾向に基づき、塗布ヘッド１０に備えられた調整装置３０によってスロット１６の幅を調整していることから、塗布ヘッド１０の先端から吐出される塗布液の流量を、スロット１６の長手方向に沿った方向の略全長に亘って略一定となるように正確に調整することが可能となる。
【００２７】
これにより、上記のように被塗布物の表面に塗布液を塗布するときの状態を再現しつつ流量調整された後の塗布装置を用いて、被塗布物の表面に対して実際に塗布液を塗布するようにすれば、スロット１６の長手方向に沿った方向の略全長に亘って略一定となるように調整された塗布液の流量分布を、再度、正確に再現することができるので、このような塗布装置によって塗布された塗布液の膜厚を均一な状態に維持することができる。
【００２８】
すなわち、本実施形態のような塗布システムを用いることで、使用する塗布液の性質（粘度など）の違い、塗布工具自体の精度、個々の塗布工具における個体差（クセ）や組立誤差、塗布工具を塗布装置へ装着するときの装着状態などに加え、被塗布物の精度、被塗布物の相対移動速度、被塗布物の相対移動時におけるガタ、供給ポンプの精度などにも何ら影響されることなく、塗布開始直後から、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚を均一にすることができる。
そのため、例えば、相対的に移動する被塗布物の表面に対して塗布液を塗布している状態と塗布液を塗布していない状態とが繰り返される間欠塗工などにも対応することができるのである。
【００２９】
とくに、本実施形態のような塗布システムは、粘度の高い塗布液を用いて、この塗布液を高圧でポケット１５内に供給するときのように、スロット１６の長手方向における略中央部でのスロット１６の幅が大きくなる、いわゆる中開き現象が生じやすい場合や、粘度の低い塗布液を用いるときであっても、塗布ヘッド１０におけるその長手方向での長さが長くなる場合（例えば１０００ｍｍ〜２５００ｍｍ程度）、つまり、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚を均一に維持することが困難となる場合に、顕著な効果を発揮することができる。
【００３０】
また、調整するスロットの幅については、このスロットの長手方向に沿った方向での略全長に亘って略一定となるように設定するだけではなく、例えば、ある所定領域で意図的に大きくなったり小さくなったりするように設定することによって、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜圧を均一に維持することも可能である。
【００３１】
なお、塗布ヘッド１０の先端から吐出された塗布液の流量を、スロット１６の長手方向に沿った方向で複数に区分するときの区分数（流量測定用容器４０の内部空間Ｖを、スロット１６の長手方向に沿った方向で複数に区分するときの区分数）は、少なすぎると塗布ヘッド１０の先端から吐出される塗布液の流量を正確に調整することができなくなるおそれがあり、逆に多すぎても流量を調整するのには十分すぎてしまうので、例えば、スロット１６の長手方向に沿った方向での長さ１０００ｍｍに対しては、２０個〜５０個程度に区分することが好ましい。
【００３２】
ここで、本実施形態では、塗布ヘッド１０の先端から吐出された塗布液を流量測定用容器４０で受けて、この流量測定用容器４０における各区分Ｖ１，Ｖ２，…ごとに溜まった塗布液の液面の位置をそれぞれ目視確認することで、各区分Ｖ１，Ｖ２，…ごとに溜まった塗布液の流量をそれぞれ測定する流量測定手段を用いたが、必ずしも目視確認によって流量を測定する必要はない。
【００３３】
例えば、流量測定用容器４０における各区分Ｖ１，Ｖ２，…に対して、これら各区分Ｖ１，Ｖ２，…ごとに溜まった塗布液の液面の位置をそれぞれ感知するための液面センサーや、各区分Ｖ１，Ｖ２，…ごとに溜まった塗布液の重量をそれぞれ感知するための重量センサーなどの流量検出装置をそれぞれ設け、各区分Ｖ１，Ｖ２，…ごとに溜まった塗布液の流量をそれぞれ測定してもよい。
【００３４】
この場合、図４に示すように、スロット幅調整手段として、各流量検出装置から出力された塗布液の流量の測定結果を演算装置によって集計し、その集計結果をスロット幅制御装置に入力することにより、スロット幅制御装置が調整機構３０を作動させ、塗布ヘッド１０の先端から吐出される塗布液の流量を各区分Ｖ１，Ｖ２，…ごとに調整するように、自動的にスロット１６の幅を調整する構成を採用してもよい。
【００３５】
また、本実施形態においては、スロット１６内を流通して塗布ヘッド１０の先端から吐出された塗布液の流量を、スロット１６の長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ測定するための流量調整手段に、上記のような流量測定用容器４０を用いたが、これに限定されることはなく、例えば、塗布ヘッド１０の先端から吐出される塗布液の流量について、スロット１６の長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ測定する流量センサーを用いてもよい。
【００３６】
さらに、本実施形態においては、塗布状況検出手段として、塗布ヘッド１０の先端から吐出された塗布液の流量を、スロット１６の長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ測定する流量測定手段を用い、各区分ごとにそれぞれ測定された塗布液の流量（塗布状況）の測定結果（検出結果）に基づいて、スロット１６の幅を調整するようにしたが、これに限定されることはない。
【００３７】
例えば、塗布状況検出手段として、塗布ヘッド１０の先端から吐出された塗布液が被塗布物の表面に塗布されたときの膜厚を、光学的な方法などにより、スロット１６の長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ測定する膜厚測定手段を用い、各区分ごとにそれぞれ測定された膜厚（塗布状況）の測定結果（検出結果）に基づいて、スロット１６の幅を調整するようにしてもよいし、塗布状況検出手段として、塗布液が塗布ヘッド１０の先端から吐出されたときの塗布ヘッド１０の先端と被塗布物の表面との間のギャップ（間隔）を、光学的な方法などにより、スロット１６の長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ測定するギャップ測定手段を用い、各区分ごとにそれぞれ測定されたギャップ（塗布状況）の測定結果（検出結果）に基づいて、スロット１６の幅を調整するようにしてもよい。
【００３８】
なお、これら膜厚測定手段及びギャップ測定手段について、膜厚あるいはギャップを、スロット１６の長手方向に沿った方向で複数に区分するときの区分数は、上記の流量測定手段と同様に、例えば、スロット１６の長手方向に沿った方向での長さ１０００ｍｍに対して２０個〜５０個程度に区分することが好ましいが、塗布条件によっては適宜変更されるものである。
また、流量測定手段、膜厚測定手段及びギャップ測定手段のうちの少なくとも２つ以上を併用して、スロット１６の幅を調整することも可能である。
【００３９】
さらに、本実施形態で説明するのに用いた塗布工具は、塗布ヘッド１０を構成するヘッド部材１１Ａ，１１Ｂのそれぞれが、塗布ヘッド１０の先端を構成する部分を含めて一体のものとして説明されているが、これに限定されることはなく、例えば、ヘッド部材１１Ａ，１１Ｂの先端に対して超硬合金などの硬質部材が取り付けられたものであってもよい。
加えて、本実施形態で説明するのに用いた塗布工具は、その塗布ヘッド１０が一対のヘッド部材１１Ａ，１１Ｂから構成されたものとして説明しているが、例えば、塗布ヘッド１０が３つ以上のヘッド部材から構成されて、これら３つ以上のヘッド部材における互いに対向する側面同士の間に、塗布ヘッド１０の先端に開口する２つ以上のスロットが画成されるようにして、被塗布物の表面に２つ以上の塗布液が層をなすように同時に塗布されるようなものであってもよい。この場合には、各スロットごとを対象にして本発明を適用すればよい。
【００４０】
【発明の効果】
本発明によれば、塗布液がスロット内を流通して塗布ヘッドの先端から実際に吐出されたときの塗布状況を、スロットの長手方向に沿った方向で複数に区分して各区分ごとにそれぞれ検出しているので、このスロットの長手方向に沿った方向での塗布状況の分布を正確に確認することができる。
そのため、この塗布状況の分布の傾向に基づいてスロットの幅が調整された塗布システムを用いて、被塗布物の表面に塗布液を塗布すれば、使用する塗布液の性質（粘度など）の違い、塗布工具自体の精度、個々の塗布工具における個体差及び組立誤差、塗布工具の塗布装置への装着状態だけでなく、被塗布物の精度、被塗布物の相対移動速度、被塗布物の相対移動時におけるガタ、塗布液を供給するための供給ポンプの精度などにも影響を及ぼされることなく、塗布開始直後から、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚を均一な状態に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態による塗布システムを説明するための概略説明図である。
【図２】（ａ）は、本実施形態による塗布システムに用いられる流量測定用容器を示す上面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は（ａ）におけるＢ方向矢視図である。
【図３】図２（ｂ）における波線部分の囲みを拡大した図である。
【図４】本実施形態による塗布システムの変形例を説明するための概略説明図である。
【符号の説明】
１０  塗布ヘッド
１１Ａ，１１Ｂ  ヘッド部材
１２  一方の側面（スロットを画成する側面）
１３  他方の側面（スロットを画成する側面とは反対側の側面）
１５  ポケット
１６  スロット
２０  凹部
２１  壁面
３０  調整ユニット
４０  流量測定用容器
４１  仕切板
４２  一方の側面
【図１】
2004321913.tif 000003
【図２】
2004321913.tif 000004
【図３】
2004321913.tif 000005
【図４】
2004321913.tif 000006