(57)【要約】【課題】搬送装置に載せた被照射物に電子線を照射して処理をする電子線照射装置において、被処理物が途切れたとかして急に電子線ビームを止める必要がある。従来は水冷式のビームシャッターを照射窓と被処理物の間で水平に動かして電子線を通過、遮断させていた。それは重い金属製の板を動かすから２秒程度の時間がかかる。それでは遅すぎるというような場合もある。より短時間で電子線ビームを止めることができるような機構を提供すること。【解決手段】大地側でモータを廻し絶縁軸によって高圧側の発電機を廻してフィラメント電力を供給するようにしているので、そのフィラメント電力供給用のモータに電磁ブレーキを設けて、電子ビームを停止させるときはモータ電流を切り、同時に電磁ブレーキによってモータ回転を急激に止め、フィラメント電圧を０とすることによって熱電子が発生しなくなるようにし電子線ビームを０とする。それによれば電子ビーム消失まで２秒もかからない。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
大地側のモータの回転を絶縁軸によって高電圧側の発電機に伝達し発電機の電力をフィラメントに供給するようにした電子線照射装置において、大地側モータに電磁ブレーキを設けモータ電流を遮断すると同時に電磁ブレーキを作動させモータ・絶縁軸・発電機を停止させることによってフィラメント電力を断ち電子線ビームを急停止させるようにした事を特徴とする電子線照射装置の電子流急停止機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は電子線照射装置の電子流の停止機構に関する。電子線照射装置は出力中で熱電子を発生し加速して大気中に取り出して被処理物に当て高分子架橋、殺菌、塗膜硬化、廃ガス処理など様々な処理をする装置である。電子を発生するのは真空中に設けたＷ、Ｔａなどのフィラメントである。フィラメントは高い負電圧にバイアスされ電流が流れると発熱して熱電子を発生する。フィラメントの負電圧と接地電位との間で電子が加速されて電子線となる。加速電圧によって走査型と非走査型（エリア型）に分けられる。
【０００２】
走査型は５ＭｅＶ〜５００ｋｅＶの高い加速電圧をもつ。これは長くて段数の多い加速管をもち、加速管の下部に三角形状に拡開した走査管を備える。走査管の広がった下端の開口が照射窓である。照射窓にはＡｌ、Ｔｉの窓箔が張ってあり、その上部の真空と下部の大気を仕切っている。
【０００３】
走査管は照射窓において厚い金属の筐体の開口部に取り付けられる。照射窓、窓箔の直下には被処理物が通過する経路がある。無端周回コンベヤのような搬送機構があって被処理物を筐体の被処理物入口から入れ照射窓直下の照射部に通し、筐体の被処理物出口へと搬送する。
【０００４】
非走査型（エリア型）はより電圧が低く５００ｋｅＶ〜数十ｋｅＶ程度の加速電圧の電子線を生成する。好適な電子線加速エネルギーは、処理の目的や被処理物の形状によって異なる。
【０００５】
電子線が当たるとＸ線が発生する。Ｘ線が外部に漏洩してはならない。そのために照射部分を含む被処理物の経路の全体を重厚な金属の筐体によって包囲する。被処理物は空気中にあるからＸ線によって酸素がオゾンに変換される。オゾンは有害であるし特有の匂いを伴うので被処理物によって望ましくない。その場合はオゾンが生じないように窒素ガスを被処理物の下流側から上流側へと流す。
【０００６】
高圧電源についても走査型と場合と非走査型の場合はかなり違う。より高い電圧を必要とする走査型の場合は倍電圧整流を繰り返すコッククロフトウォルトン型の電源回路を用いる。非走査型の場合はもっと簡単な電源となる。
【０００７】
【従来の技術】
この発明は電子ビームを開閉する機構に関する。被処理物に電子線を当てて処理をするのが目的であるから被処理物が照射窓に存在するときだけ電子線（電子ビーム）を発生させ、被処理物が非存在のときは電子線を止めるようになっている。被処理物が存在していて搬送機構を止める場合も電子線を止める必要がある。そうしないと照射電子線が過剰になってしまうからである。いろいろな事態が考えられるので、電子ビームは瞬時に発生、停止できるということが望まれる。
【０００８】
従来は照射窓と被処理物の間に前後の方向に移動するビームシャッターを設けて、それによって電子ビームを通過、遮断させていた。
【０００９】
図１によって走査型電子線照射装置のビームシャッターを説明する。
【００１０】
これは走査型の電子線照射装置であるが、エリア型の場合もシャッターが用いられており同じようなものである。電子源フィラメント２は真空中にあって高い負電圧にバイアスされている。フィラメント２は通電されて熱電子を発生する。フィラメント２の下方には多段有孔電極を上から下へと並べた加速管３が設けられる。加速管３の電極には抵抗で分圧された電圧がかかっている。加速管３の下端には走査コイル４がある。それは交番磁界を発生させて電子ビームを左右前後に振る作用がある。走査コイル４の下には裾の広がった走査管５がある。走査管５の下端の開口が照射窓６で、そこに前述の窓箔が張ってある。
【００１１】
走査管５の下端は金属筐体の開口に取り付けられる。筐体はここでは図示を省略している。被処理物７は搬送機構に乗って照射窓の直下まで送られるが搬送機構の図示も略している。ビームシャッター８が照射窓６と被処理物７の間に進退可能に設けられる。ビームシャッター８はエアシリンダー９によって前後に変位できる。シーケンサ２０は被処理物の運動、停止などに応じて電磁弁２２を開閉する信号を出す。電磁弁は２方向に切り換えるエアシリンダーを伸長縮退させることができる電磁弁である。被処理物に電子線を当てて処理を行うときは、ビームシャッター８はエアシリンダー側に引き寄せられている。電子線を被処理物に当ててはいけないとき、被処理物が存在しないときは、ビームシャッター８を閉じてビームを急速に遮断する。
【００１２】
ビームシャッター８を照射窓と被処理物の間に出入させることによって直接に電子ビームを遮蔽する。遮蔽している間も電子ビームは出ているので衝突によってビームシャッターが加熱される。ビームシャッターは金属であり強く加熱されると劣化し酸化する。それで内部に水を通して冷却するようになっている。エアシリンダーによる駆動であるから敏速に動く。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ビームシャッターによって電子線を急激遮断する従来の機構は様々の問題をもつ。容積の限定された筐体の中にエアシリンダーや電磁弁を備える必要があり構造が複雑になる。照射窓は広いのでビームシャッターも面積の広い金属板である。だから重量も大きく慣性も大きい。それを支持するレールや軸受が大型になる。ビームシャッターは電子線衝突で加熱されるので強力に水冷する必要がある。水冷機構が複雑さを倍加する。それに電子線を大量に長時間浴びると水冷しているといってもビームシャッターが加熱劣化してしまう。それで遮断持続時間Ｔｏｆｆに制限がある（Ｔｏｆｆ＜Ｔｃ）。
【００１４】
さらに慣性の大きい重い金属製のビームシャッターを動かすから動き始めてから完全に閉じるまでに約２秒の時間がかかる。動作時間が２秒というのは被処理物や処理の種類によって充分に速いこともある。しかし被処理物によっては２秒では遅すぎるということもある。被処理物の流れが突然停止したという場合２秒間も余分に電子線を浴びると被処理物が致命的な損傷を受けることもある。そのようなものに対してはもっと迅速にとっさに電子ビームを止めたいものである。
【００１５】
電子ビームをより敏速に遮断できるような電子ビーム遮断機構を提供することが本発明の第１の目的である。電子ビーム遮断持続時間Ｔｏｆｆに制限のない遮断機構を提供することが本発明の第２の目的である。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
フィラメントは負の高電圧に保持された高圧架台の中にある真空チャンバの中に設けられる。フィラメント電力は大地側から与えるべきであるが大地側と高圧側は絶縁しなければならないから直接に大地側から電力線を引いてフィラメントにつなぐというわけにゆかない。また、単純に絶縁トランスを介して大地電源とフィラメントを接続するというのも絶縁が不完全なことがある。
【００１７】
そこで大地側にモータを、高圧架台に発電機を設けモータと発電機を絶縁軸によって連結し発電機の出力をフィラメントに接続するようにしている。大地側では商用電源によってモータを廻す。その回転は絶縁軸を通じて高圧架台に置いた発電機の回転子を廻す。回転子が廻るので高圧架台で電流が生じ、それがフィラメントに流れてそれを抵抗加熱する。加熱されたフィラメントは熱電子を発生する。そのようなモータ・絶縁軸・発電機の組み合わせによって大地側から高圧側のフィラメントへ電力を与えることができる。モータ・絶縁軸・発電機の組み合わせは、電気エネルギー→機械エネルギー→電気エネルギーというように２段階のエネルギー変換をしており効率は良くないが絶縁性に優れる。本発明はそのようなモータ・絶縁軸・発電機のフィラメント電力供給系を有効に利用する。
【００１８】
本発明は、フィラメント電力供給系の大地側にあるモータに電磁ブレーキを付加する、あるいは電磁ブレーキ付きモータにし、電磁ブレーキによって瞬時にモータを停止することができるようにしたものである。電磁ブレーキが、モータ軸、絶縁軸、発電機軸の慣性に逆らって軸の回転を止めると発電機は最早発電しないからフィラメント電流が消失する。フィラメント電流が瞬時になくなるので、そもそも熱電子が出なくなる。根元から断たれるので電子線が消滅する。それはビームシャッターのように電子線流れを喰い止めるのではなくて、原初的に電子線を消滅させるのである。電子線がそもそも消滅するのだからビームシャッターを閉じて電子線を遮断するのと違ってビームシャッターが加熱劣化するということはない。
【００１９】
さらに電磁ブレーキで止めるから電子ビームが消滅するまで２秒もかからない。より迅速に電子ビームを止めることができる。２秒以下になるかどうかは電磁ブレーキ・モータ系の実際について確かめないと直ちには断言できないわけである。後にそれを計算によって確かめる。
【００２０】
筐体の中に水平運動する大型の金属板、エアシリンダー、ポンプなどを設ける必要がないので電子線照射装置全体の構造を簡素化できる。水冷構造としなくてよいので冷却コストも低減される。さらに電子線停止時はフィラメント電力が０となっているから電力費も節減される。大地側の電磁ブレーキを付けるだけだからメンテナンスも楽になる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図２によって本発明の電子線照射装置の構造を説明する。図１の従来例は、加速管、走査管、被処理物、ビームシャッターの部分しか示していないが、図２はその他の高電圧電源、フィラメント電源も示している。それらの機構は実は従来例の電子線照射装置に含まれているものである。従来例の構成と異なるのはモータが電磁ブレーキ付きモータだということである。従来のモータは電磁ブレーキ付きでなかったので瞬時にモータを停止することができなかった。
【００２２】
本発明はそれだけのことで熱電子の電流を瞬時に遮断することができるようになっている。図２において、フィラメント２、加速管３、走査コイル４、走査管５、照射窓６などの構造は図１のものと同じである。ただし本発明はビームシャッターやそのための駆動機構がない。
【００２３】
フィラメント電源と加速電源があるが、初めにフィラメント電源について述べる。外部電源２４は商用電源（２００Ｖ６０Ｈｚなど）でありモータインバータ２５によって交流・直流変換、直流・交流変換して任意の周波数の交流を発生させる。その適当な周波数の交流によって交流モータ３０を回転させる。制御ユニット２６は時々刻々の電子ビーム電流Ｉｂや加速電圧Ｖａｃｃを監視し目標値との偏差を求め、それによって加速電圧Ｖａｃｃやフィラメント電流Ｉｆを制御するようになっている。電子ビーム電流Ｉｂは電流計３５によって測定される。加速電圧Ｖａｃｃは電流計３６によって測定される。どうしてそれらによって測定できるかということは後に述べる。
【００２４】
モータ３０は大地側にあり高電圧部と電気的に絶縁しなければならない。そこでモータ３０の回転は絶縁軸３９によって高圧架台上に設置された発電機４０に伝達される。それは動力を伝達しているのである。発電機が廻って、それがフィラメントトランス５８の一次側に供給される。二次側はフィラメントに接続されフィラメントに通電されるようになっている。絶縁軸３９は発電機４０とモータ３０と直結されており同一の回転をする。絶縁軸だから電気的に発電機とモータは絶縁されている。モータ３０がより高速で回転するとフィラメント電圧が上がるので熱電子が増える。つまり電子線ビーム電流Ｉｂが増える。モータ３０がより低速で回転するとフィラメント電圧が下がり熱電子が減る。だから電子線ビーム電流Ｉｂが減る。これがフィラメント電源の構造である。だからフィラメント電源は、インバータ、モータ、絶縁軸、発電機、トランスなどよりなる。
【００２５】
加速電源は、高圧を生成するのであるからコッククロフト回路を用いている。それはよく知られた古典的な回路である。まず主電源３３からの交流電力を主電力調整器３２によって電力調整する。主電力調整器３２はサイリスタよりなり交流電圧を点弧角制御することによって交流電力を直接に増減する。だからその出力はきれいな正弦波でない。正弦波の終りの部分を欠落した異形の交流波形となっている。それをトランス３７の一次側端子ハ、ニにつなぎ昇圧する。トランス３７の二次側端子イ、ロにはコンデンサと整流器を何段にも交差して接続した網目回路で倍電圧整流することによって高電圧を発生させる。それがコッククロフト増倍回路である。コンデンサ４２、４３、４４、４５、４６、４７がそれぞれ交互に並列になるように接続される。
【００２６】
その端子間を一定方向を向いた整流器５２、５３、５４、５５、５６、５７が接続されている。二次側電圧をＶとすると、イがロより高い半波において整流器５２に右向き電流が流れコンデンサ４２を−Ｖに充電する。ここでコンデンサ電圧は図２において下極に対し上極の電圧で表すことにする。ロがイより高い半波では整流器５３に左向き電流が流れコンデンサ４３が−Ｖに充電される。次のイがロより高い半波において整流器５４に右向き電流が流れ、コンデンサ４４が−Ｖに充電される。ロがイより高い次の半波で整流器５５に電流が流れコンデンサ４５が−Ｖに充電される。以下同様にしてコンデンサと整流器の数だけの高い電圧が順にコンデンサに蓄電されてゆく。ホ点には負の高電圧が充電される。それが電子線の加速電圧Ｖａｃｃとなる。
【００２７】
そのように高圧電源部は、モータ、絶縁軸、発電機、コンデンサ群、整流器群などよりなり、それらは高電圧架台の上にあって絶縁容器に収容される。高圧電源部の終端のホ点は加速管タンク６０の内部にあるフィラメント電源トランスの二次側の中点５９（チ点）に接続される。またホ点は加速電極の最初の一枚目（ト点）にも接続される。だからフィラメント２、加速電極１枚目のバイアス電圧はいずれもホ点と同じで−Ｖａｃｃである。ホヘの接続は重要であり、それがなければフィラメントから電流が出て行かない。電子線ビーム電流は、ホ点からヘ点、フィラメント２、加速管内部を飛行する電子線、被処理物７、大地６２、電流計３５、接地線６３を経て整流器５２、５３、５４、５５、５６、５７と流れホ点に戻る閉回路に流れる電流である。だから途中に入れた電流計３５によって電子線ビーム電流Ｉｂを測定することができる。
【００２８】
ホ点の電圧が加速電圧（ヘ、トの電圧）であるから、これを監視しなければならない。電流計３６を介して接地されたバイアス線６４の先に抵抗６５、６６、６７、６８の高い抵抗値の抵抗を直列に接続して、その先端をホ点につないである。これらの合成抵抗は十分に高いから電流はわずかであるが、電流計３６の電流値に合成抵抗の値をかけたものが加速電圧（ホ点）−Ｖａｃｃである。
【００２９】
先述のように電流計３５のＩｂと、電流計３６の−Ｖａｃｃとを常に監視して制御ユニット２６はインバータ２５の周波数（モータ３０の回転数）を適当に制御し、また主電力調整器３２を制御する。
【００３０】
そのような構造は従来例にかかる電子線照射装置にも設けられている。本発明はそのようなフィラメント電源系において、モータを電磁ブレーキ２９付きのモータとする。電子線ビームを急停止したいときは、電磁ブレーキ２９によってモータを急停止させる。モータが停止すると、絶縁軸３９の回転が止まるので発電機４０も急停止する。発電機電圧が０になるからフィラメント電圧も０Ｖになる。するとフィラメントは熱電子放出をやめる。だから電子線ビームが消失する。そのような急停止においては、モータ軸慣性、絶縁軸慣性、発電機軸慣性が妨害となる。しかしながら幅や奥行きがあって厚い水冷金属板であるビームシャッターを開閉するのに比較すれば、それらの慣性は弱いものである。２秒以下の短時間で電子線を消滅させることができる。
【００３１】
以上の説明は走査型の電子線照射装置についてなされているが、非走査型の電子線照射装置にも同様に適用することができる。つまりフィラメント電力をモータ・絶縁軸・発電機によって供給するタイプの電子線照射装置なら全て本発明を適用することができる。
【００３２】
【実施例】
本発明は、フィラメント電力供給系のモータに電磁ブレーキ２９付きモータ３０を使用する。照射窓直下に被処理物７が無くなったとき、すぐに電子線を止めなければならない。本発明ではモータへの電力供給を停止し電磁ブレーキ２９によってモータを急停止させる。モータへの電力を切るのはスイッチの操作で一瞬になされる。しかしそれだけでは慣性（モータ軸、絶縁軸、発電機軸の慣性）があるから、すぐにはモータが止まらない。そこで電磁ブレーキによってモータに急激な制動をかけて強制的に停止させる。
【００３３】
これにより、発電機４０が止まり、電子源フィラメント２への電力供給がなくなる。フィラメントが冷え、熱電子の発生が押さえられる。電子線の発生が停止される。被処理物が無くなったと同時に電子線を止めることができ制御性が改善される。
【００３４】
それでは、どれぐらいの時間でモータ・発電機が停止するかということを試算する。電磁ブレーキ２９によるモータ３０の停止時間はモータと発電機４０の容量、絶縁軸の重さに関係する。
【００３５】
本発明の実施例にかかる電子線照射装置に使用しているモータ３０と発電機４０の容量は１．５ｋＷである。そのモータ（４極）の最大回転数（６０Ｈｚ時）は、１８００ｒｐｍである。単位時間の仕事Ｈ（Ｗ）は、トルクＴに角速度Ωをかけたものである（Ｈ＝ＴΩ；ＨはＷ、ＴはＮｍ、Ωは／ｓｅｃ）。Ω＝２π×ＲＰＭ／６０であるから、Ｔ＝６０Ｈ／２π×ＲＰＭ＝９．５５Ｈ／ＲＰＭとなる。Ｈは単位時間の仕事で単位はＷである（１．５ｋＷ＝１５００Ｗ）。
【００３６】
電磁ブレーキ付きのモータの場合、制動装置（電磁ブレーキ）のトルクはモータ定格の１８０％のものが一般に市販されている。この電磁ブレーキの制動トルクは、上のモータトルクに１．８をかけて
【００３７】
９．５５０×１５００（Ｗ）×１．８／１８００（ｒｐｍ）＝１４．３（Ｎｍ）
【００３８】
となる。ここで、回転部分の慣性モーメント（Ｉ）は回転部重量３０ｋｇ、それを５ｃｍ半径の円柱に見立てると（Ｉ＝ＭＲ２／２だから）、
【００３９】
３０ｋｇ×０．０５２／２＝０．０３７５ｋｇｍ２
【００４０】
となる。１８００ＲＰＭで回転していたもの（角速度は２π×１８００／６０＝６０πｒａｄ／ｓ）が電磁ブレーキにより停止する。停止までの時間をｔ（秒）とすると、回転部の角加速度は
【００４１】
２π×１８００／６０／ｔ＝６０π／ｔ　（ｒａｄ／ｓ２）
【００４２】
したがって回転部がｔ秒で停止するために必要な制動トルクは、
【００４３】
０．０３７５×６０π／ｔ　　　ｋｇｍ２／ｓ２（＝Ｎｍ）
【００４４】
となり、これがブレーキの制動トルクと等しいので停止に要する時間ｔは
【００４５】
０．０３７５×６０π／ｔ＝１４．３　（Ｎｍ）
【００４６】
から求めることができる。
【００４７】
ｔ＝７．０６５／１４．３＝０．４９（ｓ）
【００４８】
その結果から、ブレーキをかけてから発電機軸が停止するまでの時間は０．５秒だということになる。発電機が止まると発電が直ちに止まる。フィラメント電流が無くなるので電子線が０となる。加速電極に加速電圧がかかっており電界が存在するが、そもそも電子が存在しなくなるから電子線ビームも非存在となる。電気的な部分の応答時間は機械部分に比較して殆ど０に近い。実際の電子線量が０となるまでに要する時間は、だから約０．５秒である。
【００４９】
従来例で用いられていたビームシャッター８による電子線遮断時間２秒に比較して約１／４の短い時間で電子線照射を停止することが可能となる。それはもちろん、回転部分の質量Ｍ、実効半径Ｒに大きく依存する。
【００５０】
上の計算では、モータ、絶縁軸、発電機軸を含めた回転部分の質量を３０ｋｇ、実効半径を５ｃｍとしている。もしもそれよりも質量が大きく半径が大きいと停止時間の試算（０．５秒）も違ってくる。しかし上の質量３０ｋｇ、実効半径５ｃｍというのは十分に多めの仮定なのである。実際にはもっと小さい回転モーメントになるのではないかと思われる。だから、いずれにしても従来のシャッター機構のように２秒も掛からないで電子線を０にできる。
【００５１】
【発明の効果】
モータ・ジェネレータ方式でフィラメント電力を供給しているタイプの電子線照射装置において、加速電圧を維持したままブレーキを掛けてモータを停止させることにより速やかに電子線を停止し被照射物に対する照射を瞬時に停止することができる。
【００５２】
加速電圧を維持したままフィラメントだけを消灯した状態なので、その後の照射もフィラメント電力を供給するだけで速やかに再開することができる。それは主電力調整器３２を遮断して電子線を遮断するのに比較して、より優れている。
【００５３】
ビームシャッターを筐体に設けるのに比較して、大地側に電磁ブレーキを付けるか、初めから電磁ブレーキ付きのモータを用いれば良いので取り付けは簡単である。メンテナンスもより容易になる。
【００５４】
従来構造のビームシャッター機構に比べて構成基材が少ないため安価に製作可能である。複雑に折れ曲がる搬送機構によって狭くなった筐体の内部に重くかさばるビームシャッター機構を設けなくてよいから電子線照射装置の構造をより単純化できる。ビームシャッターの場合は電子線が常時衝突するので水冷しなければならない。
【００５５】
本発明はビームシャッターを使わないのでビームシャッターの水冷機構も不要になる。水冷機構、進退機構、シャッター本体などが筐体から除かれるので搬送機構などの設計も、より容易になる。ビームシャッターの場合はシャッターが劣化しないように電子線遮断時間Ｔｏｆｆは短く制限された。しかし本発明は電子線そのものを消してしまうから、そのような時間の制限もない。何よりも電磁ブレーキによってモータを停止させるのだから迅速である。２秒もかからず１秒以下あるいは数百ｍｓｅｃで電子線を停止できる。より短い時間間隔で電子線を断続でき制御性がさらに高揚する。ビーム発生を再開する場合は電磁ブレーキを解除すればよい。
【００５６】
反対にブレーキを解除してモータを回転し始めたときに正常回転に到達するまでにどれだけ時間がかかるか？ということも問題になろう。それはモータの性質にもよるが、電磁ブレーキがモータパワーの１．８倍の制動トルクをもつのだから、モータトルクは電磁ブレーキの１／１．８の訳である。インバータ制御を巧みに行えば迅速にモータ最大トルクを出せるようになるから、０．５×１．８＝０．９秒程度となる。実際には交流モータの特性により、それより少し遅くなるかもしれない。それでも２秒以下に短時間で電子線ビームを直ちに回復できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】電子線ビームをビームシャッターの推進退出によって遮断し通過させるようにした従来例にかかる電子線照射装置のビーム開閉機構の構成図。
【図２】電磁ブレーキ付きモータを使って、高圧架台の発電機をまわしフィラメント電力を与えるようにし、電磁ブレーキによってモータに制動をかけることによってフィラメント電力を急激に消失させ電子線を消去するようにした本発明の電子線照射装置の電子流急停止機構の構成図。
【符号の説明】
２　フィラメント
３　加速管
４　走査コイル
５　走査管
６　照射窓
７　被処理物
８　ビームシャッター
９　エアシリンダー
２０　シーケンサ
２２　電磁弁
２３　エア
２４　外部電源
２５　モータインバータ
２６　制御ユニット
２７　シーケンサ
２８　ブレーキ用電源
２９　電磁ブレーキ
３０　モータ
３２　主電力調整器
３３　主電源
３４　電流計
３５　電流計
３６　電流計
３７　トランス
３９　絶縁軸
４０　発電機
４２〜４７　コンデンサ
５２〜５７　整流器
５８　フィラメントトランス
５９　トランス二次側中点
６０　加速管タンク
６２　大地
６３　接地線
６４　バイアス線
６５〜６８　抵抗
【図１】
2004077271.tif 000003
【図２】
2004077271.tif 000004