(57)【要約】【課題】導通の信頼性、耐久性、部品損傷の軽減が容易に達成できる狭ピッチ端子電子部品のテストソケットを安価に提供する。【解決手段】繊維上にめっき等によりプローブ接点を形成したメッシュコンタクトシート３と被測部品１０を収納するための被測部品案内および空間保持板４と引き出し配線プリント基板１および密閉用シリコーンゴムシート２によって密閉し、被測部品が装着された密閉部空間１６を真空にし、大気圧がメッシュコンタクトシート３に加わり部品端子を押し付ける力を利用し、端子の凹凸にかかわらず定量的に全端子に同じ接触圧を印加し課題解決を図る。【選択図】        図３
2004198194.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性繊維を織物にしたメッシュクロス又は両面を貫通する微細多孔シート等の柔軟な薄板に金属めっきやエッチングにより回路配線導電パターンを形成した配線シートを使用した電子部品のソケットにおいて、部品の接続端子とソケット接点の接触圧力源に気体または流動体を利用することにより多接点に均一な接触圧が得られ、導通の信頼性、耐久性、部品損傷の軽減が容易に達成できるソケット。
【請求項２】
請求項１に記載のソケットにおいて、接点圧力を加える装置から切り離すため、加減圧媒体の逆止弁および接続栓を装備したソケット。
【請求項３】
請求項１に記載のソケットにおいて、流動体圧は減圧又は加圧のどちらでも可能であり、対象となる部品によって何れかの特長が反映する構造を選択できることを特徴とするソケット。
【請求項４】
請求項１に記載のソケットにおいて、同種又は異種部品を容易に複数配列できることを特徴としたマルチ（並列）ソケット。
【請求項５】
請求項４に記載のソケットを使用したバーンイン（加熱加速試験）ボード。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明はＩＣ等の多端子電子部品の検査ソケットに関し、部品端子とソケット端子の完全な接触および被検査部品端子への損傷の軽減および多検査回数に対するソケット寿命の延命をならしめるソケットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、電子部品の電気的検査には、部品端子と計測器端子を接続（以降プロービング）するために該部品に適合したソケットを介し測定する。したがってソケットの良否は部品検査の信頼性、コスト、部品への悪影響等を左右する。
【０００３】
ソケットの端子に必要な条件は、部品端子の配列誤差や凹凸に対して接触を確実にし、接触抵抗を下げるための接点圧を得る弾力が必要であり、一般に金属の塑性による、板バネやコイルバネの反発力、ゴムや樹脂の弾性に頼っている。
【０００４】
部品とソケットの相互端子接点に接触圧を加えるための圧力源は、ソケット枠と被測部品自体または被測部品端子を直接押さえつける固体絶縁板に伝える方法が主流である。流体圧を利用するプロービングシステムはウェファープローブ等、非常に特殊な場合に限られ、メンブレンプローブに代表される高価なソケットシステムと設備が必要とされるが完成された技術は少ない。
【０００５】
被測部品の端子列に凹凸がある場合やソケット側の圧力配分が不均衡になった場合、それぞれの端子に加わる応力が一定にならないばかりか必要以上の力が加わることにより、接触不良、接触抵抗のばらつき、端子の破損、ソケット寿命を縮減する原因となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
部品とソケットの端子接触圧力を流動体の加圧力または減圧力を利用することにより、多端子を同時に一定の端子接触圧力にし、接触不良、接触抵抗のばらつき、端子の破損等を極端に軽減することを目的とする。また使用中の試験装置に安価に導入できるソケットを提供することを目的とする。
【０００７】
部品の各端子の接触力は、加圧または減圧装置の調節で、その部品に対して最適な接触圧を定量的に印加することができる。
【０００８】
使用する加圧媒体の逆止弁および接続栓を設けることにより、ソケットに被検査部品を装着したまま加減圧装置から切り離すことができ、かつ切り離し後も、接点の接触圧を保持することができる。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は「特開平８−１１１１９１」「プリント導電シート」を応用し、主に微細端子を有する面実装電子部品に適応するソケットの諸問題を解決するべく、該発明を具現化、製品化する手段を提供するものである。
【００１０】
流体の減圧力（大気圧）を利用するソケットにおいては、被測部品収納部をメッシュコンタクター配線板と、ゴム状の絶縁性シートおよび引き出し配線プリント基板によって密閉し、密閉部空間を真空にすることでメッシュコンタクターが大気で部品端子を押し付ける力を利用する構造である。従来の部品端子とソケット端子を押し付ける固体板に代わり空気圧が接点を押し付けるため端子の凹凸にかかわらず全端子に同じ大気圧が加わり全端子に同じ接触圧が得られる構造である。
【００１１】
流体の加圧力を利用するソケットにおいては、被測部品の収納空間を密閉せず、メッシュコンタクターの端子接触面の反対面にゴム状絶縁性シート面を覆う密閉空間を配置し、該空間に流体を充填かつ加圧することにより全端子に同じ接触圧が得られる。
【００１２】
本ソケットに加圧媒体加減圧装置を接続する接続栓および流体逆止弁を配備することにより、本ソケットに被測定部品を装着し加圧媒体を加減圧し計測状態にした後、ソケット部を流体加減圧装置から切り離して計測することができ特殊な環境中での部品テストが容易にできる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実証するにあたり、流体として自然界外気を使用した真空ソケットを作成し実施例とした。被測部品として外形９．３ｍｍ角、０．５mmグリッドピッチ２０８ピンのディジーチェインＢＧＡパッケージを使用し、図１にこのにメッシュ示す図２は実施例に係る断面図を示す。ディジーチェインとは被測部品と同じ形状をもち、２端子毎に対にし、電気的に短絡したテスト専用部品を言う。図３に実施したソケットを分解した斜視図と、一部に切断面を示す。
【００１４】
【実施例】
図１Ａ部は被測部品保持密閉蓋７に被測部品に加わる接点圧を保持する接触点調整駒１４と市販製品の真空用逆止弁付接続栓９を組み付け、これをソケットキャップと呼ぶ。
【００１５】
図１Ｂは底面から順に、引き出し配線プリント基板１、密閉用シリコーンゴムシート２、メッシュコンタクトシート３、被測部品案内および空間保持板４を積み重ね、四角をねじ５で締め付けて一体化し、ソケットキャップＡと組み合わせたときに位置決めを容易るためのガイドピン６および部品収納部の密閉度を保つＯ（オー）リング８を取り付け、これをソケットハウジングと呼ぶ。
【００１６】
図２に示すパターン図は、その右側半分が本実施に使用した被測部品端子の接触するパターンであり、左側に測定端子２箇所を引き出したパターンである。このパターンは、図１におけるメッシュコンタクトシート３およびメッシュコンタクト接点３ａに該当し、被測部品１０の被測部品端子１０ａと接触しメッシュコンタクトのパターンから引き出し配線プリント基板貫通電極１１に導通させ計測器に結線される。なおメッシュコンタクトの表裏は通気性があるために密閉用シリコーンゴムシート２と密閉用接着剤１５を必要とする。
【００１７】
実施例では、ソケットハウジングＢに、被測部品１０を図２に示す位置に装着し、ソケットキャップＡをガイドピン６に合わせて図１のＢの破線に示す位置に押し当てる。このとき、被測部品１０の上面に接触点調整駒１４が接触するように接触点調整駒１４の高さを調整ておく必要がある。
【００１８】
逆止弁付接続栓９を介し真空ポンプに接続し真空空間１６を適度の真空状態にする。このとき、真空空間１６の密閉度を保つためのゴム製Ｏ（オー）リング８や密閉用シリコーンゴムシート２、密閉用接着剤１５を使用した。
【００１９】
真空度が上がると、メッシュコンタクトシート３および密閉用シリコーンゴムシートが真空空間１６側に吸い寄せられ、被測部品１０の端子面１０にコンタクトシート接点３ａを押し当てる力が作用し、部品端子とコンタクトシート接点の導通を得ることができる。
【００２０】
実施例の結果については、テスト部品（００１３項に記載）の導通の確実性は良好な結果が得られた。また本ソケットを真空装置から外した場合も十分な導通効果が得られた。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によると狭ピッチの端子を持つ電子部品のプロービングが容易にでき、信頼性、耐久性、対部品端子の損傷等、すべての課題解決に良好な結果を得ることができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施した真空ソケットに使用したメッシュコンタクトの配線パターン。
【図２】実施した真空ソケットの断面図。
【図３】実施した真空ソケットの一部断面を示す構造図。
【図４】請求項４および請求項５に記載したマルチソケットの構造イメージ図
【符号の説明】
１    引き出し配線プリント基板
１ａ  通気孔
２    密閉用シリコーンゴムシート
３    メッシュコンタクトシート
３ａ  コンタクトシート接点
４    被測部品案内および空間保持板
５    ねじ
６    ガイドピン
７    被測部品保持密閉蓋
７ａ  上下合わせ位置孔
８    ゴム製Ｏ（オー）リング
９    逆止弁付接続栓（コネクター）
１０    被測部品
１０ａ  被測部品端子
１１    接点引き出し貫通電極
１２    被測部品端子
１３    通気孔
１４    接触点調整駒
１５    密閉用接着剤
１６    真空空間
【図１】
2004198194.tif 000003
【図２】
2004198194.tif 000004
【図３】
2004198194.tif 000005
【図４】
2004198194.tif 000006