(57)【要約】【課題】転写能率を向上することができるとともにパターンの形成を精度よく行うことができ、製品の熱による変形を抑制することができる転写装置を提供する。【解決手段】図１（ａ）に示すように、下部加熱板２５の上面にパターン成形板４７を載置する。このパターン成形板４７の上面に素材４６を載置する。素材４６の上面にパターン成形板４８を載置する。図１（ｂ）に示すように下部加熱板２５と上部加熱板３８により素材４６、パターン成形板４７，４８を挟んで加熱する。その後、図１（ｃ）に示すように下部冷却体２９及び上部冷却体４２を下部加熱板２５及び上部加熱板３８に押圧して素材４６にパターンを転写するとともに、加熱動作を停止して、素材４６を冷却する。【選択図】　　　図１
2004074775.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素材の表裏両面のうち少なくとも片面に接触されて、素材の片面に所定のパターンを成形可能なパターン成形手段と、
上記パターン成形手段の外側に位置して該パターン成形手段が前記素材に接触された状態で該素材及びパターン成形手段を加熱するための加熱手段と、
前記素材に対し前記パターン成形手段を押圧するパターン押圧手段と、
パターン押圧手段による素材の押圧状態で該素材を冷却するための素材冷却手段とを備え、
前記加熱手段と素材冷却手段は個別に形成されていることを特徴とする転写装置。
【請求項２】
請求項１において、前記パターン成形手段は素材の表裏両面に対応して配設されるようにした転写装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記パターン押圧手段は素材冷却手段を兼用するものである転写装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項において、前記加熱手段はパターン押圧手段が作動される以前に作動位置から退避位置に切り換え可能に構成されている転写装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項において、前記加熱手段による素材の加熱工程において、パターン押圧手段は加熱手段から離隔した位置に保持されるようになっている転写装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項において、前記加熱手段は素材の表層部のみを加熱した状態で加熱動作を停止するとともに、前記表層部の加熱深さの調節可能に構成されている転写装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項において、前記パターン成形手段、加熱手段、パターン押圧手段及び素材冷却手段は、減圧室を形成するケースの内部に収容されている転写装置。
【請求項８】
請求項７において、前記ケースは、下部転写ユニットを支持する支持テーブルと、この支持テーブルの上面に前記下部転写ユニットを囲繞するように配設された下部筒体と、上部転写ユニットを支持する上部昇降テーブルと、上部昇降テーブルの下面に前記上部転写ユニットを囲繞するように配設され、かつ前記下部筒体に嵌合又は突合せ可能な上部筒体と、下部筒体及び上部筒体の周面又は突合せ面間に介在されたシールリングとによって形成されている転写装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項において、前記下部転写ユニットは、基盤の上面に対し位置切換機構によって位置の切り換え可能に装着された支持テーブルの上面に複数カ所に配設され、上部転写ユニットと対応する転写位置と、該転写位置から離隔した素材をセットする準備位置と、転写を終えた素材を取り出す取出位置との間で切り換え可能に構成されている転写装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項において、前記加熱手段を構成する下部加熱板及び上部加熱板の左右両側端部には、加熱面と反対側に指向するように折り曲げ部が形成され、下部加熱板及び上部加熱板を取り付けるブラケットに形成した収容溝に前記折り曲げ部を進入してクランプ板によってクランプするようになっている転写装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項において、前記冷却手段を構成する下部冷却体及び上部冷却体は、加熱手段による加熱動作を停止した後に、数秒間は素材の冷却を抑制する冷却抑制手段を備えている転写装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項において、前記パターン押圧手段は、素材の表面に沿って押圧力を平均化するためのフローティング機構を備えている転写装置。
【請求項１３】
請求項９において、前記準備位置又は取出位置と対応して、素材、パターン成形板のうち少なくとも素材を下部転写ユニットの下部加熱板の上面へ搬入するとともに、転写済みの素材を下部加熱板の上面から搬出するためのローダー機構が設けられている転写装置。
【請求項１４】
請求項１３において、前記ローダー機構は、横方向に往復動されるとともに、昇降動作されるチャック機構を備え、チャック機構は素材をクランブして昇降するクランプ機構と、パターン成形板を吸着して昇降する吸着把持機構とにより構成されている転写装置。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一項において、転写位置の側方には素材をセットする準備位置が設けられ、該準備位置と対応して分離された上部転写ユニットを反転してその保守点検を行うための反転機構が設けられている転写装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平板状の素材の表面に所定のパターンを熱転写することができる転写装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、液晶表示パネル或いは有機エレクトロルミネッセンス表示パネル等のフラットな表示パネルには、バックライトを生成するための樹脂製の導光板が使用されている。この導光板の表面にはミクロンオーダーの凹凸模様が形成され、光源から出力された光を反射して一様のバックライトを生成するようになっている。
【０００３】
上記所定形状のパターンを有する導光板の製造は、射出成型機又は熱圧着機（ホットプレス）を用いて行われている。
熱圧着機は図２７（ａ）に示すように固定基板２０５の上面に支持された加熱媒体及び冷却媒体を流通する通路２０６ａを有する下型２０６と、可動基板２０７の下面に装着され、かつ加熱媒体及び冷却媒体を流通する通路２０８ａを有する上型２０８とにより構成されている。そして、下型２０６の上面に形成された凹部に素材２０９を収容した状態で、可動基板２０７を図２７（ｂ）に示すように下降させて素材２０９の上面に上型２０８を押圧し、通路２０６ａ，２０８ａに加熱された油を通し、素材２０９を加熱する。上型２０８の成形面に形成されたパターンが素材２０９の上面に形成された後、通路２０６ａ，２０８ａへの加熱油の供給を停止し、図２７（ｃ）に示すように通路２０６ａ，２０８ａに冷却油の供給を行う。素材２０９が所定温度以下に冷却された後、上型２０８を上方に移動し、素材２０９の取り出しを行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、既存の射出成型機では肉厚が薄い大型品の成形加工が非常に難しく、ミクロンオーダーの凹凸のパターンの内部に樹脂材料が進入しにくく精度の良いパターンが形成されないという問題があった。又、上型と下型を離型する際にキャビティ内に収容された成形素材に形成されたパターンが崩れ易いという問題もあった。
【０００５】
一方、図２７に示す熱圧着機においては、下型２０６と上型２０８を型締状態で通路２０６ａ，２０８ａに加熱用の油を供給して加熱した後、通路２０６ａ，２０８ａに冷却用の油を供給して冷却する。このため、素材２０９内部の温度分布が均一なため例えば光学特性の良い製品が得られる反面、下型２０６と上型２０８の加熱時間と冷却時間が長くなり転写能率を向上することができないという問題があった。
【０００６】
又、従来の転写装置として、素材をパターン成形板とともに加熱板により挟んで加熱を行った後、加熱室から素材、パターン成形板及び加熱板を積層状態で加熱室から出して冷却装置の冷却室内に移動させて冷却するようにした方法も提案されている。
【０００７】
しかし、この製造方法は加熱装置から冷却装置へ移動する間に素材が内部まで加熱されてしまうので、製品の熱歪による変形が生じて製品としての価値が低減するという問題があった。又、加熱時間と冷却時間が長くなり製造能率を向上することができないという問題もあった。
【０００８】
本発明は、上記従来の技術に存する問題点を解消して、転写能率を向上することができるとともにパターンの転写を精度よく行うことができる転写装置を提供することにある。
【０００９】
又、この発明の別の目的は上記目的に加えて製品の熱による変形を抑制することができる転写装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、素材の表裏両面のうち少なくとも片面に接触されて、素材の片面に所定のパターンを成形可能なパターン成形手段と、上記パターン成形手段の外側に位置して該パターン成形手段が前記素材に接触された状態で該素材及びパターン成形手段を加熱するための加熱手段と、前記素材に対し前記パターン成形手段を押圧するパターン押圧手段と、パターン押圧手段による素材の押圧状態で該素材を冷却するための素材冷却手段とを備え、前記加熱手段と素材冷却手段は個別に形成されていることを要旨とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１において、前記パターン成形手段は素材の表裏両面に対応して配設されるようにしたことを要旨とする。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２において、前記パターン押圧手段は素材冷却手段を兼用するものであることを要旨とする。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項において、前記加熱手段はパターン押圧手段が作動される以前に作動位置から退避位置に切り換え可能に構成されていることを要旨とする。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項において、前記加熱手段による素材の加熱工程において、パターン押圧手段は加熱手段から離隔した位置に保持されるようになっていることを要旨とする。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれか１項において、前記加熱手段は素材の表層部のみを加熱した状態で加熱動作を停止するとともに、前記表層部の加熱深さの調節可能に構成されていることを要旨とする。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれか１項において、前記パターン成形手段、加熱手段、パターン押圧手段及び素材冷却手段は、減圧室を形成するケースの内部に収容されていることを要旨とする。
【００１６】
請求項８に記載の発明は、請求項７において、前記ケースは、下部転写ユニットを支持する支持テーブルと、この支持テーブルの上面に前記下部転写ユニットを囲繞するように配設された下部筒体と、上部転写ユニットを支持する上部昇降テーブルと、上部昇降テーブルの下面に前記上部転写ユニットを囲繞するように配設され、かつ前記下部筒体に嵌合又は突合せ可能な上部筒体と、下部筒体及び上部筒体の周面又は突合せ面間に介在されたシールリングとによって形成されていることを要旨とする。
【００１７】
請求項９に記載の発明は、請求項１〜８のいずれか１項において、前記下部転写ユニットは、基盤の上面に対し位置切換機構によって位置の切り換え可能に装着された支持テーブルの上面に複数カ所に配設され、上部転写ユニットと対応する転写位置と、該転写位置から離隔した素材をセットする準備位置と、転写を終えた素材を取り出す取出位置との間で切り換え可能に構成されていることを要旨とする。
【００１８】
請求項１０に記載の発明は、請求項１〜９のいずれか１項において、前記加熱手段を構成する下部加熱板及び上部加熱板の左右両側端部には、加熱面と反対側に指向するように折り曲げ部が形成され、下部加熱板及び上部加熱板を取り付けるブラケットに形成した収容溝に前記折り曲げ部を進入してクランプ板によってクランプするようになっていることを要旨とする。
【００１９】
請求項１１に記載の発明は、請求項１〜１０のいずれか１項において、前記冷却手段を構成する下部冷却体及び上部冷却体は、加熱手段による加熱動作を停止した後に、数秒間は素材の冷却を抑制する冷却抑制手段を備えていることを要旨とする。
【００２０】
請求項１２に記載の発明は、請求項１〜１１のいずれか１項において、前記パターン押圧手段は、素材の表面に沿って押圧力を平均化するためのフローティング機構を備えていることを要旨とする。
【００２１】
請求項１３に記載の発明は、請求項９において、前記準備位置又は取出位置と対応して、素材、パターン成形板のうち少なくとも素材を下部転写ユニットの下部加熱板の上面へ搬入するとともに、転写済みの素材を下部加熱板の上面から搬出するためのローダー機構が設けられていることを要旨とする。
【００２２】
請求項１４に記載の発明は、請求項１３において、前記ローダー機構は、横方向に往復動されるとともに、昇降動作されるチャック機構を備え、チャック機構は素材をクランブして昇降するクランプ機構と、パターン成形板を吸着して昇降する吸着把持機構とにより構成されていることを要旨とする。
【００２３】
請求項１５に記載の発明は、請求項１〜１４のいずれか一項において、転写位置の側方には素材をセットする準備位置が設けられ、該準備位置と対応して分離された上部転写ユニットを反転してその保守点検を行うための反転機構が設けられていることを要旨とする。
【００２４】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した転写装置の第１実施形態を図１〜図５に従って説明する。
【００２５】
図３に示すように、平板状の基盤１１の上面には円柱状をなす複数（第１実施形態では四本）の案内コラム１２が上下方向に互いに平行に基盤１１の四隅部に立設されている。各案内コラム１２の上端部には平板状の天板１３が水平に支持固定されている。前記案内コラム１２〜１２には下部昇降テーブル１４が水平状態に、かつ各案内コラム１２〜１２に沿って上下方向に移動可能に装着されている。この下部昇降テーブル１４の下方には複数箇所に下部昇降シリンダ１５が上向きに立設され、各下部昇降シリンダ１５のピストンロッド１６によって前記下部昇降テーブル１４が昇降動作されるようになっている。前記下部昇降テーブル１４の上面には後述する下部転写ユニット１７が装設されている。
【００２６】
前記各案内コラム１２〜１２には上部昇降テーブル１８が水平状態のまま上下方向の往復案内移動可能に装着されている。前記天板１３の上面には複数の上部昇降シリンダ１９が下向きに装着され、各上部昇降シリンダ１９のピストンロッド２０は、天板１３を貫通して前記上部昇降テーブル１８の上面に連結され、上部昇降テーブル１８を上下方向に往復動するようになっている。前記上部昇降テーブル１８の下面には後述する上部転写ユニット２１が装着されている。
【００２７】
次に、前記下部転写ユニット１７及び上部転写ユニット２１の構成を説明する。
前記下部昇降テーブル１４の上面には左右一対の取付板２２が互いに平行に取り付けられている。この取付板２２の対向する内側面には絶縁板２３を介してブラケット２４が取り付けられ、このブラケット２４の上端部間にはステンレススチール製の下部加熱板２５が架設され、図示しないネジにより下部加熱板２５がブラケット２４に固定されている。前記下部加熱板２５の左右両端部に電気的に接続されたリード線２６は、案内板２７によって挟着されている。前記取付板２２、絶縁板２３、ブラケット２４、リード線２６及び案内板２７は図示しないボルトにより締め付け固定されている。
【００２８】
前記左右一対の案内板２７の内側面には素材冷却手段としての機能とパターン押圧手段としての機能を備えた下部冷却体２９の両端部が上下方向の案内移動可能に装着されている。この下部冷却体２９の下面には下部昇降テーブル１４の下面に取り付けた下部加圧シリンダ３０のピストンロッド３１によって上下方向の往復動可能に支持されている。ピストンロッド３１の上端部と前記下部冷却体２９との間には例えば球面軸受け或いはユニバーサルジョイント等よりなるフローティング機構３２が装着されている。前記下部冷却体２９には多数の通水路２９ａが形成され、第１実施形態では冷却水を通過させるようになっている。
【００２９】
次に、前記上部転写ユニット２１について説明すると、上部昇降テーブル１８の下面には左右一対の取付板３５が互いに平行に取り付けられ、両取付板３５の内側面には絶縁板３６を介してブラケット３７が取り付けられている。このブラケット３７の下端部間にはステンレススチール製の上部加熱板３８の両端部が接触され、図示しないネジにより上部加熱板３８がブラケット３７に固定されている。前記ブラケット３７の左右両端部に電気的に接続されたリード線３９は案内板４０によって挟着されている。前記取付板３５、絶縁板３６、ブラケット３７、リード線３９及び案内板４０は、図示しないボルトにより締め付け固定されている。前記左右一対の案内板４０の内側面には素材冷却手段としての機能とパターン押圧手段としての機能を備えた上部冷却体４２の両端部が上下方向の案内移動可能に装着されている。この上部冷却体４２の上面には上部昇降テーブル１８の上面に取り付けた上部加圧シリンダ４３のピストンロッド４４によって上下方向の往復動可能に支持されている。前記上部冷却体４２には多数の通水路４２ａが形成され、第１実施形態では冷却水を通過させるようになっている。前記ピストンロッド４４の下端部と上部冷却体４２との間には、例えば球面軸受け或いはユニバーサルジョイント等よりなるフローティング機構４５が設けられている。
【００３０】
前記下部加熱板２５及び上部加熱板３８の表面には、図示しないが例えば酸化アルミ或いは窒化アルミ等が溶射され、絶縁層が形成されている。
前記下部加熱板２５と上部加熱板３８との間には素材４６が配設され、下部加熱板２５と素材４６の間には下部のパターン成形手段としてのパターン成形板４７が介在されている。上部加熱板３８と素材４６の間には上部のパターン成形手段としてのパターン成形板４８が介在されるようになっている。前記パターン成形板４７，４８の素材４６側の表面には例えばミクロンオーダーの凹凸模様が形成され、前記素材４６の表裏両面に同様の凹凸模様を転写可能となっている。パターン成形板４７，４８は凹凸模様が形成された原型に対し、例えばニッケル・クロム鍍金を行って、鍍金部分を剥離し、それをパターン成形板の基板に接着することにより形成されている。
【００３１】
図３，図４に示すように前記下部転写ユニット１７及び上部転写ユニット２１等の各部材は、箱型のケース５１によって遮蔽され、ケース５１の内部を減圧室５２としている。前記ケース５１の前面には図４に示すように開口５３が設けられ、この開口５３は蓋５４によって開閉されるようにしている。図示しないがケース５１と蓋５４の間にはシール部材が介在されている。
【００３２】
図５は転写装置の制御ブロック回路を示す。減圧室５２内において下部加熱板２５及び上部加熱板３８と対応して設けられた温度センサー５６は、制御装置５７に検出された温度信号を入力するようになっている。前記下部加圧シリンダ３０及び上部加圧シリンダ４３には圧力センサー５８が設けられ、この圧力センサー５８の圧力信号が制御装置５７に入力されるようになっている。前記下部加熱板２５及び上部加熱板３８による素材４６の加熱温度は、前記温度センサー５６の信号によって制御装置５７が下部加熱板２５及び上部加熱板３８の通電電力及び通電時間を制御することにより例えば６０℃〜２３０℃までの間で制御するようになっている。一般的には加熱温度は１５０℃〜１６０℃に設定される。又、前記制御装置５７は加熱時間の制御の他、冷却開始と温度勾配の制御等を行うようになっている。圧力センサー５８によって下部冷却体２９及び上部冷却体４２による素材４６への押圧力が測定され、この測定信号が制御装置５７に入力され、押圧力を制御するようになっている。
【００３３】
次に、前記のように構成した転写装置についてその動作を説明する。
最初に、下部昇降シリンダ１５及び上部昇降シリンダ１９を動作させて、下部昇降テーブル１４及び上部昇降テーブル１８を所定高さ位置に保持する。又、下部加圧シリンダ３０及び上部加圧シリンダ４３を動作させて下部冷却体２９及び上部冷却体４２を下部加熱板２５及び上部加熱板３８からそれぞれ離隔させる。
【００３４】
この状態において下部加熱板２５の上面に図１（ａ）に示すようにパターン成形板４７を載置し、このパターン成形板４７の上面に素材４６を載置する。さらに素材４６の上面にパターン成形板４８を載置する。
【００３５】
次に、図４に示す開口５３を蓋５４によって閉鎖し減圧室５２内を図示しないコンプレッサを作動させて減圧する。
その後、上部昇降シリンダ１９を作動させて上部昇降テーブル１８を下方に移動させ、上部加熱板３８の下面が図１（ｂ）に示すようにパターン成形板４８の上面に接触した状態で上部昇降シリンダ１９を停止させる。この状態では図２（ａ）に示すように、素材４６の表裏両面にパターン成形板４７のパターン４７ａとパターン成形板４８のパターン４８ａが接触している。
【００３６】
この状態において下部加熱板２５及び上部加熱板３８に交流又は直流電力を通電してジュール熱を発生させ、パターン成形板４７及びパターン成形板４８を加熱するとともに、素材４６の表裏両面の表層部のみを加熱して軟化させる。この表層部の加熱領域の深さは、下部加熱板２５及び上部加熱板３８への通電時間の調整によって調整が可能である。
【００３７】
この状態において下部加圧シリンダ３０及び上部加圧シリンダ４３を作動させ、図１（ｃ）に示すように下部冷却体２９及び上部冷却体４２を下部加熱板２５の下面と上部加熱板３８の上面に接触させ所定の力で押圧する。この押圧によって、図２（ｂ）に示すように、パターン成形板４７，４８のパターン４７ａ，４８ａに軟化している素材４６の一部が進入して所定のパターンが形成される。
【００３８】
前記押圧力は素材４６の材質あるいはパターンの深さによって、例えば１ｋｇ／ｃｍ２〜１０ｋｇ／ｃｍ２の範囲に適宜に設定される。前記下部加圧シリンダ３０及び上部加圧シリンダ４３の作動に先立って下部加熱板２５及び上部加熱板３８への通電が停止され加熱動作が停止される。その後、図示しない水源及び給水配管を通して下部冷却体２９及び上部冷却体４２の通水路２９ａ，４２ａに冷却水が供給される。このため下部冷却体２９によって下部加熱板２５、パターン成形板４７及び素材４６の下層部が冷却されるとともに、上部冷却体４２によって上部加熱板３８、パターン成形板４８及び素材４６の表層部が冷却される。
【００３９】
前記素材４６が素材４６の軟化点の温度以下に冷却されたら前記下部昇降シリンダ１５、上部昇降シリンダ１９及び下部加圧シリンダ３０及び上部加圧シリンダ４３を動作させて、図１（ａ）に示すように初期状態と同様の状態に復帰する。この状態で、蓋５４を開放して、素材４６、パターン成形板４７及びパターン成形板４８を下部加熱板２５の上面から取り出す。その後、素材４６からパターン成形板４７とパターン成形板４８を分離することにより所望するパターンを備えた導光板等の板状製品を製造することができる。
【００４０】
上記第１実施形態の転写装置によれば、以下のような特徴を得ることができる。
（１）第１実施形態では、前記下部昇降テーブル１４の上面に下部加熱板２５を配設し、この下部加熱板２５の下方に下部冷却体２９を配設し、前記下部加熱板２５の上面にパターン成形板４７を介して素材４６を支持した。この素材４６の上面にパターン成形板４８を載置するようにした。又、前記パターン成形板４８の上方に上部加熱板３８を配設し、その上方に上部冷却体４２を配設した。このため、素材４６及びその上下両面に接触されたパターン成形板４７及びパターン成形板４８のみを下部加熱板２５及び上部加熱板３８によって加熱すればよいので、熱効率を向上することができるとともに、加熱時間を大幅に短縮することができ、転写作業の能率を高めることができる。又、加熱されて軟化した素材４６の表面にパターン成形板４７，４８を押圧してパターン４７ａ，４８ａを転写するようにしたので、パターンの形成を精度よく行うことができる。
【００４１】
（２）第１実施形態では、下部加熱板２５及び上部加熱板３８によって素材４６の表層部のみを加熱した状態で、素材４６に対しパターン成形板４７及びパターン成形板４８を下部冷却体２９及び上部冷却体４２によって押圧し冷却するようにした。このため、素材４６の中心部が加熱される以前にパターン成形板４７，４８のパターン４７ａ，４８ａを素材４６の表層部に転写することができる。このため素材４６の中心部の加熱による素材４６の熱歪によって素材４６が変形するのを防止することができ、製品の品質を向上することができる。
【００４２】
（３）第１実施形態では、下部加熱板２５及び上部加熱板３８を外側方向から下部冷却体２９及び上部冷却体４２によって冷却するようにした。このため、必要最小限の下部加熱板２５、上部加熱板３８、パターン成形板４７，４８及び素材４６のみを冷却すればよく、素材４６の中心部が加熱される以前に素材４６の表層部を所定温度以下に冷却することができ、冷却時間を大幅に短縮することができ、この点からも転写作業の能率を高めることができる。
【００４３】
（４）第１実施形態では、下部加圧シリンダ３０のピストンロッド３１と下部冷却体２９との間にフローティング機構３２を介在し、上部加圧シリンダ４３のピストンロッド４４と上部冷却体４２との間にフローティング機構４５を介在した。このため、素材４６に対する下部冷却体２９と上部冷却体４２との押圧が適正に行われ、素材４６の板厚寸法が適正に保持され、この点からも製品の品質を向上することができる。
【００４４】
（５）第１実施形態では、ケース５１内に減圧室５２を設けて転写作業中において、減圧するようにしたので、例えば１５０℃前後に加熱された空気が焼けて酸化して微細な塵埃となっても、それが素材４６の表面に付着するのを防止することができる。
【００４５】
（６）第１実施形態では、パターン冷却手段を構成する下部冷却体２９及び上部冷却体４２に対し、パターン押圧手段としての機能を兼用させたので、部品点数を低減し構成を簡素化することができる。
（第２実施形態）
次に、この発明の第２実施形態を図６及び図７に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態においては、前に説明した実施形態と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００４６】
前記基盤１１の上面には支持ブロック６２を介して固定の支持テーブル６３が水平に配設されている。この支持テーブル６３の上面には前記下部転写ユニット１７が装着されている。前記基盤１１の上面の外周縁寄りには複数の支柱６４が立設され、各支柱６４の上端部には前記天板１３が所定位置に支持されている。
【００４７】
前記支持テーブル６３の上面には、図７に示すように平面ほぼ四角筒状の下部筒体６５が前記下部転写ユニット１７を囲繞するように溶接により連結されている。前記上部昇降テーブル１８の下面には、前記下部筒体６５と対応するように、かつこの下部筒体６５の外周面の形状と相似状に形成された上部筒体６６が上部転写ユニット２１を囲繞するように溶接により連結されている。前記下部筒体６５の上部外周面にはオーリング６７を収容するための溝６５ａが形成されている。オーリング６７に上部筒体６６の内周面が摺接されるようになっている。前記支持テーブル６３のピストンロッド３１を挿通する孔、及び上部昇降テーブル１８のピストンロッド４４を貫通する孔には、シール性を保持するためのオーリング６７ａ，６７ｂが配設されている。
【００４８】
第２実施形態では前記上部昇降テーブル１８、支持テーブル６３、下部筒体６５、上部筒体６６及びオーリング６７，６７ａ，６７ｂ等によって前記減圧室５２を区画形成するケース５１が形成されている。
【００４９】
従って、第２実施形態では前記下部転写ユニット１７及び上部転写ユニット２１を収容するための減圧室５２の容積が小さくなるため、減圧作業時間を短くすることができ、転写作業の能率を向上することができる。又、広い空間を減圧するのと比較して動力の損失を低減することもできる。
（第３実施形態）
この第３実施形態においては、第２実施形態において、図８に示すように支持テーブル６３に対し下部筒体６５を一体に形成し、上部昇降テーブル１８に対し上部筒体６６を一体に形成し、前記１３の上面に４３を配置し、４４を上部昇降テーブル１８の中央部に設けたボス部１８ａに貫通するようにしている。この第３実施形態では、減圧室５２を形成するケース５１の部品点数を低減して、製造及び組み付け作業を容易に行いコストの低減を図ることができる。
（第４実施形態）
次に、図９に基づいて第４実施形態を説明する。
【００５０】
この第４実施形態においては、前記基盤１１の上面に対して二本（図において一本のみ図示）の案内レール６８を互いに平行に、かつ水平方向に敷設するとともに、この案内レール６８の上部にスライドブロック６９を介して前記支持テーブル６３を水平方向の往復動可能に支持している。前記支持テーブル６３の上面に対し前記下部転写ユニット１７を所定間隔をおいて二箇所に装着している。
【００５１】
さらに、前記基盤１１の上面には、シリンダ７０が水平方向に、かつ前記案内レール６８と平行に配設され、このシリンダ７０のピストンロッド７１の先端部を前記支持テーブル６３の端部に取り付けた連結板７２に連結している。前記案内レール６８、支持テーブル６３及びシリンダ７０等によって一対の下部転写ユニット１７，１７を準備位置Ｐ１、転写位置Ｐ２及び取出位置Ｐ３の間で切り換える位置切換機構を構成している。
【００５２】
従って、この第４実施形態では、転写位置Ｐ２にある一方の下部転写ユニット１７によってワークの転写作業を行っている間に、準備位置Ｐ１にある別の下部転写ユニット１７の下部加熱板２５の上面に素材４６、パターン成形板４７，４８を支持することにより、転写作業の準備を行うことができる。又、一方の素材４６に対する転写作業が完了した後に上部昇降シリンダ１９を作動して上部昇降テーブル１８、上部転写ユニット２１及び上部筒体６６等を上方に移動させた状態で、前記シリンダ７０を作動しピストンロッド７１により支持テーブル６３を図９において右方向に移動する。これによって、待機していた下部転写ユニット１７が右方向の転写位置Ｐ２に移動されて、転写作業が行われる。この転写作業中において、右側の取出位置Ｐ３に移動された一方の下部転写ユニット１７の下部加熱板２５の上面から転写作業を終えた素材４６、パターン成形板４７，４８を搬出する。
【００５３】
その後、一方の下部転写ユニット１７に対し準備作業が可能となるので、図９の右側の取出位置Ｐ３が準備位置Ｐ１となり、左側の準備位置Ｐ１が取出位置Ｐ３となる。
【００５４】
上記第４実施形態では準備作業と転写作業及び転写作業と取出作業を並行して行うことができ、作業能率を向上することができる。
（第５実施形態）
次に、図１０〜図１２に基づいてこの発明の第５実施形態を説明する。
【００５５】
図１０は転写装置全体を示す斜視図、図１１は転写機構部の縦断面図、図１２は素材４６のチャック機構１０９を示す斜視図である。
図１１に示すように、前記スライドブロック６９と支持テーブル６３との間には、エアクション式のフローティング機構７３が設けられている。前記案内コラム１２には昇降支持板８１がスライダー８２によって上下方向の往復動可能に装着され、この昇降支持板８１には前記ピストンロッド４４が上下方向に貫通固定されている。前記上部昇降テーブル１８は前記案内コラム１２に対しスライダー８３によって昇降動作可能に支持されている。前記昇降支持板８１にはボルト８４が下向きに緩く貫通され、その下端雄ネジ部が前記上部昇降テーブル１８に螺合されている。前記ボルト８４の外周面にはコイルばね８５が巻き取着され、上部昇降テーブル１８と昇降支持板８１を離隔する方向に付勢している。
【００５６】
前記下部加熱板２５は前記支持テーブル６３に対しフローティング機構９１によって支持されている。前記上部加熱板３８は上部筒体６６に対しフローティング機構９１Ａによって支持されている。前記下部筒体６５には端子金具９２が貫通され、リード線９３によって下部加熱板２５に接続されている。前記基盤１１には転写位置Ｐ２にある下部転写ユニット１７の端子金具９２と対応するように通電機構９４が装着されている。この通電機構９４は転写位置Ｐ２に移動された端子金具９２をクランプする一対のクランプ部材９５及び９６を連結ピン９７によって連結するとともに、シリンダ９８によって前記クランプ部材９５及び９６を開閉するようにしている。そして、トランス９９からリード線１００を介して前記端子金具９２に電流を供給するようになっている。
【００５７】
図１０に示すように転写機構の前方にはベルトコンベヤー１０３が設けられ、素材４６、パターン成形板４７，４８等の材料を搬入するようになっている。前記ベルトコンベヤー１０３の先端部左右両側には支持テーブル１０４が配設され、材料を載置することができるようになっている。前記支持テーブル１０４と対応するように、前記素材４６等の材料を支持テーブル１０４から準備位置Ｐ１に移動された下部転写ユニット１７に移し替えるローダー機構１０５が装設されている。このローダー機構１０５は、取出位置Ｐ３に移動された下部転写ユニット１７から転写済みの素材４６を取り出して一時的に貯留する貯留位置Ｐ４へ移し替えるための機能を有している。前記ローダー機構１０５は所定位置に水平方向に配設されたフレーム１０６と、このフレーム１０６の側面に取り付けられた案内レール１０７と、この案内レール１０７に沿ってロッドレスシリンダ１０８により位置の切り換え可能に装着されたチャック機構１０９とによって構成されている。
【００５８】
次に、図１２に基づいて前記チャック機構１０９について説明する。
前記案内レール１０７によって案内移動される取付基板１１０には、昇降ブロック１１１が案内ロッド１１２及び案内筒１１３によって昇降可能に支持され、昇降用シリンダ１１４のロッド１１５によって昇降動作されるようになっている。前記昇降ブロック１１１の右側面には一対の取付板１１６が水平方向に互いに平行に支持されている。この取付板１１６にはクランプ板１１７が支持ロッド１１８及び支持筒１１９によって水平方向の往復動可能に支持され、クランプ用シリンダ１２０のロッド１２１によってクランプ板１１７を水平方向に往復動するようになっている。前記クランプ板１１７の左右両端部にはアングル状のクランプ爪１２２が溶接等により取り付けられている。従って、左右及び前後計四つのクランプ爪１２２によって素材４６の四隅部をクランプするようになっている。この実施形態では、前記取付板１１６、クランプ板１１７、支持ロッド１１８、支持筒１１９、クランプ用シリンダ１２０、及びクランプ爪１２２等によって、素材４６のクランプ機構Ｋ１が構成されている。
【００５９】
前記昇降ブロック１１１の側面にはブラケット１２５が水平に片持ち支持され、その下方には取付板１２６が昇降可能に支持されている。この取付板１２６の四隅部には吸盤１２７が装着され、下部加熱板２５の上面に載置されるパターン成形板４７又は素材４６の上面に載置されるパターン成形板４８を吸着保持するようになっている。前記ブラケット１２５には取付板１２６に連結された案内ロッド１２８を貫通する案内筒１２９が取り付けられ、ブラケット１２５の上面に取付けたシリンダ１３０のロッド１３１によって取付板１２６及び吸盤１２７を昇降動作するようになっている。この実施形態では、前記ブラケット１２５、取付板１２６、案内ロッド１２８、案内筒１２９、シリンダ１３０等によってパターン成形板４７，４８の吸着把持機構Ｋ２が構成されている。
【００６０】
前記昇降ブロック１１１の左側面にも前記クランプ機構Ｋ１及び吸着把持機構Ｋ２と同様の機構が装着されている。従って、下部筒体６５内部に収容されたが下部加熱板２５に対して、同時に２つの素材４６を載置して２つの転写作業を同時に行うことができる。
【００６１】
この第５実施形態においては、最初に、一対の吸着把持機構Ｋ２によって前記支持テーブル１０４の上面に搬入されたパターン成形板４７を吸着して、準備位置Ｐ１にある下部転写ユニット１７の下部加熱板２５の上面にパターン成形板４７を搬入する作業が行われる。次に、クランプ機構Ｋ１によって支持テーブル１０４の上面に搬入された素材４６をクランプして、前記パターン成形板４７の上面に搬入する作業が行われ。さらに、前記吸着把持機構Ｋ２によって前記支持テーブル１０４の上面に搬入されたパターン成形板４８を吸着して、素材４６の上面に搬入する作業が行われる。
【００６２】
又、取出位置Ｐ３にあるパターン成形板４８、素材４６、パターン成形板４７の貯留位置Ｐ４への移動も前記クランプ機構Ｋ１及び吸着把持機構Ｋ２によって同様に行われる。
【００６３】
さらに、図１１において、上部加圧シリンダ４３が作動されると、ピストンロッド４４により昇降支持板８１が下方に移動される。上部筒体６６がオーリング６７に接触されると、ケース５１内に減圧室５２が形成される。そして、ピストンロッド４４がさらに下方に移動されると、上部転写ユニット２１が下方に移動され、下部加熱板２５と上部加熱板３８の間に素材４６、パターン成形板４７，４８が挟着され、転写作業が行われる。このとき、フローティング機構９１，９１Ａにより前記挟着が均一圧力で行われ、転写作業の精度が向上する。
【００６４】
この第５実施形態においては、案内レール６８に沿って準備位置Ｐ１、転写位置Ｐ２、取出位置Ｐ３との間で位置切り換えされる一対の下部転写ユニット１７の下部加熱板２５への材料の供給と、貯留位置Ｐ４への移動を自動的に迅速かつ確実に行うことができ、転写作業の能率を向上することができる。
（第６実施形態）
次に、図１３〜図１５に基づいてこの発明の第６実施形態を説明する。
【００６５】
図１４に示すように前記案内コラム１２には昇降板１４１が案内筒１４２によって昇降可能に支持され、この昇降板１４１の下面に上部転写ユニット２１が取り外し可能に装着されている。この昇降板１４１の下面には取付板１４３が後述するロック機構１６０により取り付けられている。この取付板１４３の下面には円柱状をなする案内部材１４４を介して前記上部冷却体４２が連結されている。該案内部材１４４の外周面には前記上部昇降テーブル１８のボス部１８ａが上下方向の移動可能に装着され、前記上部昇降テーブル１８と取付板１４３との間には、前述したボルト８４及びコイルばね８５が装着されている。なお、図１３においては、前記ボルト８４、コイルばね８５及びロック機構１６０等は省略されている。
【００６６】
前記昇降板１４１は昇降機構１５１によって昇降動作されるようになっている。この昇降機構１５１について説明すると、前記天板１３の端部にはサーボモータ１５２が取り付けられ、これよって回転されるボールネジ１５３が天板１３の下面に固定した軸受１５４によって回転可能に支持されている。前記天板１３の下面には案内レール１５５が水平に取り付けられ、前記ボールネジ１５３に螺合されたボールネジナット１５７に取り付けたスライダー１５６を水平方向に案内移動するようになっている。前記昇降板１４１とスライダー１５６との間には連結リンク１５８が揺動可能に連節されている。前記天板１３の中心部には下向きにバランスシリンダ１５９が取り付けられ、そのピストンロッドが前記昇降板１４１に連結されている。そして、前記昇降機構１５１のサーボモータ１５２による昇降板１４１の昇降動作を開始する際に、昇降板１４１の昇降動作が円滑に行われるようになっている。
【００６７】
前記昇降板１４１の下面には前記上部転写ユニット２１の取付板１４３を該昇降板１４１にロックするためのロック機構１６０が装着されている。このロック機構１６０は、昇降板１４１の下面に固定したブラケット１６０ａと、該ブラケット１６０ａに取り付けられたシリンダ１６０ｂと、前記ブラケット１６０ａに取り付けられ、かつシリンダ１６０ｂにより前後動されるロック爪１６０ｃとにより構成されている。前記ロック機構１６０は図１４に示すように左右に各一対設けられ、取付板１４３の下面を計四つのロック爪１６０ｃにより昇降板１４１との間でクランプすることにより上部転写ユニット２１を昇降板１４１に取り付けるようにしている。前記上部転写ユニット２１は、保守点検の際に前記ロック機構１６０のロック状態を解除すことによって前記昇降板１４１から分離されるようになっている。
【００６８】
図１３に示すように基盤１１の端部には転写位置Ｐ２から準備位置Ｐ１に移動された下部転写ユニット１７及び取り外されて下部転写ユニット１７の上面に載置された上部転写ユニット２１の保守点検を行う際に上方へ上部転写ユニット２１を反転するための反転機構１６１が装着されている。この反転機構１６１について説明すると、基盤１１の端部に立設した取付台１６２には、反転アーム１６３が支持軸１６４によって水平位置と垂直位置との間で往復回動可能に支持されている。前記取付台１６２には反転アーム１６３の反転用のサーボモータ１６５が配設されている。前記反転アーム１６３の下面には上部転写ユニット２１の取付板１４３を反転アーム１６３に取り付けるための取付板１６６が設けられ、該取付板１６６には前記取付板１４３をクランプするための計四つのロック機構１６７が装着されている。各ロック機構１６７は図１３において簡略化されているが、前記ロック機構１６０と同様に構成されている。
【００６９】
前記取付台１６２の下端部と前記反転アーム１６３の基端部との間には、該反転アーム１６３の反転動作を円滑に行うための緩衝用のシリンダ１６９が連節されている。
【００７０】
図１３に示すように、下部転写ユニット１７及び上部転写ユニット２１は、案内レール６８に沿って転写位置Ｐ２から準備位置Ｐ１に移動されるので、前記通電機構９４が上下二箇所に装着されている。
【００７１】
図１５に示すように、前記支持テーブル６３の上面には取付板１７４を介して支持ブロック１７５が支持され、この支持ブロック１７５に形成した収容孔１７５ａには絶縁材よりなる横断面がＵ字状の昇降筒体１７６が収容されている。この昇降筒体１７６の底面と収容孔１７５ａの底面との間にはバネ１７７が介在され、昇降筒体１７６を弾性的に支持している。前記昇降筒体１７６の内部には取付部材１７８が嵌入され、複数の取付部材１７８の上面に前記下部加熱板２５が取り付けられている。前記支持ブロック１７５の別の位置に設けた収容孔１７５ｂにはリード線２６の取付部材１７９が収容されている。
【００７２】
従って、第６実施形態では、ロック機構１６０による上部転写ユニット２１のロックを解除することにより、昇降板１４１から上部転写ユニット２１を取り外すことができる。又、取り外された上部転写ユニット２１を準備位置Ｐ１に移動した後、前記反転機構１６１によって上部転写ユニット２１の姿勢を変更することができ、上部転写ユニット２１の保守点検作業を容易に行うことができる。
【００７３】
さらに、支持ブロック１７５に対し昇降筒体１７６及びバネ１７７を介して下部加熱板２５を支持するようにしたので、下部加熱板２５の熱膨張を吸収することができ、下部加熱板２５の熱変形を防止して転写作業を精度よく行うことができる。
【００７４】
なお、本実施形態は以下のように変更してもよい。
○　図１６に示すように支持テーブル６３の上面に対しブラケット１８１を支持し、このブラケット１８１の上端部に回動テーブル１８２の端縁を連結ピンにより上下方向の傾動可能に支持し、この回動テーブル１８２の上面にブラケット２４を介して下部加熱板２５を支持するようにしてもよい。この別例においては、回動テーブル１８２を上方に回動させることによって下部加熱板２５の姿勢を変更して保守点検作業を容易に行うことができる。
【００７５】
○　図１７に示すように下部加熱板２５の上面に所定のパターンを形成することにより下部加熱板２５自体にパターン成形板４７の機能を兼用させる。又、上部加熱板３８の下面に所定のパターンを形成することにより上部加熱板３８自体にパターン成形板４８の機能を兼用させるようにしてもよい。この場合には装置の部品点数を低減して、転写装置の製造及び転写作業を容易に行うことができる。この場合には、第５実施形態の吸着把持機構Ｋ２を省略することができる。
【００７６】
○　図１８に示すように下部加熱板２５とパターン成形板４７の間及び上部加熱板３８とパターン成形板４８との間にゴム或いは樹脂製の絶縁緩衝板５９，６０を介在するようにしてもよい。この場合には下部冷却体２９及び上部冷却体４２による押圧の際の素材４６の変形を防止することができる。
【００７７】
○　図１９に示すように素材４６の下面を支持テーブル６３により直接支持するようにしてもよい。この場合には素材４６の上面の片面のみにパターンを形成する場合に使用することができる。又、支持テーブル６３と素材４６の間にパターン成形板４７を設け、パターン成形板４８を省略してもよい。
【００７８】
○　図２０に示すように上部加熱板３８を加熱工程の終了直後に水平方向側方に退避した状態で上部冷却体４２を下方に移動するようにしてもよい。この別例では上部加熱板３８を冷却しなくてもよいので、素材４６の冷却時間を短縮することができる。
【００７９】
○　図２１に示すように、素材４６に対しパターン成形板４７とパターン成形板４８が食み出さないように接触してもよい。この別例では素材４６の外周部の上下の角部の変形を防止することができる。
【００８０】
○　図２２に示すように、下部冷却体２９の内部にピン１９１を収容し、バネ１９２によってピン１９１を上方に付勢するとともに、前記ピン１９１の上端面によって前記下部加熱板２５の下面を支持するようにしてもよい。なお、バネ１９２の下端部はバネ受１９３によって位置規制されている。又、前記上部冷却体４２の内部にも前記ピン１９１、バネ１９２及びバネ受１９３と同様の部材を装着してもよい。
【００８１】
上記別例では前記ピン１９１によって下部加熱板２５及び上部加熱板３８が複数カ所において支持されるので、下部加熱板２５及び上部加熱板３８のそりを防止して素材４６及びパターン成形板４７，４８を適正に挟着することができ、転写作業を適正に行うことができる。
【００８２】
○　図２３に示すように、前記ブラケット２４に収容溝２４ａをブラケット２４の長手方向に形成するとともに、収容溝２４ａの内部に下部加熱板２５の左右両端部に加熱面と反対方向に形成された折り曲げ部２５ａ（右端部のみ図示）を挿入する。前記収容溝２４ａにクランプ板１９４を収容する。該クランプ板１９４を前記折り曲げ部２５ａの側面に押圧するためのクランプボルト１９５を前記ブラケット２４に螺合する。上部加熱板３８の左右両端部にも折り曲げ部２５ａと同様の折り曲げ部を設けてクランプ板１９４によりクランプするようにしてもよい。
【００８３】
上記別例においては、帯状のクランプ板１９４を適数本のクランプボルト１９５によって折り曲げ部２５ａに押圧して固定することができ、ブラケット２４に対する下部加熱板２５の脱着作業を容易に行うことができる。
【００８４】
○　図２４に示すように、取付板２２及び取付板３５に対し冷却水を通すための通路２２ａ，３５ａを形成してもよい。この場合には、ブラケット２４及びブラケット３７を冷却して下部加熱板２５及び上部加熱板３８の外周部の冷却を適正に行い、冷却ムラをなくして転写作業を精度よく行うことができる。
【００８５】
○　図２５に示すように、下部冷却体２９の上面側の層に熱伝導度の低い材料よりなる冷却抑制手段としての冷却抑制板２００を接合するとともに、前記上部冷却体４２の下面側の層にも同じく冷却抑制板２００を接合するようにしてもよい。
【００８６】
上記別例においては、素材４６の冷却を開始した直後においては、前記冷却抑制板２００によって素材４６の冷却が数秒間（例えば３〜５秒）緩やかに行われ、その後、下部冷却体２９及び上部冷却体４２によって冷却が迅速で行われる。この結果、素材４６の冷却動作が適正に行われて、転写作業を適正に行うことができる。
【００８７】
○　図２６に示すように、下部冷却体２９及び上部冷却体４２に冷却抑制手段としてのヒーター２０１を埋設し、素材４６の冷却動作を開始した直後において、前記ヒーター２０１を作動して素材４６が急激に冷やされるのをなくしてもよい。冷却抑制手段として、前記冷却抑制板２００あるいはヒーター２０１に代えて、ゴム製の冷却抑制板を下部冷却体２９の上面や上部加熱板３８の上面に載置するようにしてもよい。又、加熱動作を停止した後に、下部冷却体２９及び上部冷却体４２の作動を数秒間だけ遅らせるようにしてもよい。
【００８８】
○　図示しないが、前記下部冷却体２９及び上部冷却体４２による素材４６及びパターン成形板４７，４８の冷却工程において、押圧力を最初の数秒間は例えば２０トンで行い、それ以降は例えば１００トンで行うようにしてもよい。この別例では、最初に弱い押圧力で冷却を開始するので、素材４６から下部冷却体２９及び上部冷却体４２に伝導される熱が抑制され、転写精度を向上することができる。
【００８９】
○　図示しないが、例えば下部冷却体２９及び上部冷却体４２にハニカム構造を適用して、軽量化するようにしてもよい。
○　前記パターン成形板４７及びパターン成形板４８の材料として例えばクローム合金等の絶縁性の高い材料を用いてもよい。
【００９０】
○　前記下部加熱板２５、上部加熱板３８及びパターン成形板４８の清掃を行うための装置を設けてもよい。この清掃装置の一例として、粘着テープを回転させたり、空気を噴射させたり、回転ブラシを回転しつつ移動させたりするようにしてもよい。
【００９１】
○　ＩＣ基板の素材に対しＩＣチップの埋め込みを行うようにしてもよい。
○　減圧室５２内に除湿装置を設けてもよい。
○　減圧室５２内にオゾンを収容した状態で転写作業を行うようにしてもよい。
【００９２】
○　加熱手段として加熱板以外に超音波振動により素材４６の表面を加熱したり、素材４６を直接振動させて加熱したりしてもよい。
○　下部加熱板２５と上部加熱板３８の加熱温度をそれぞれ個別に制御するようにしてもよい。この場合には素材４６の上下両面の加熱温度を同じにしたときに素材４６に反りがでる場合には、温度差をもたせて反りを無くすことができる。
【００９３】
○　一つのケース５１の内部に下部転写ユニット１７及び上部転写ユニット２１を上下方向又は横方向に複数箇所に配設してもよい。ソータに収容された素材を一枚つづ転写装置に供給して転写するようにしてもよい。
【００９４】
○　前記実施形態では下部冷却体２９及び上部冷却体４２にパターン押圧手段としての機能を付与したが、パターン押圧手段と冷却手段を別体で構成してもよい。
【００９５】
○　パターン押圧手段としての機能を、下部加熱板２５及び上部加熱板３８に付与したり、上部加熱板３８の自重やパターン成形板４８の自重をパターン押圧手段として用いたりしてもよい。
【００９６】
○　前記下部昇降シリンダ１５、下部加圧シリンダ３０に代えて、例えばスプリングを用いたり、上部昇降シリンダ１９、上部加圧シリンダ４３に代えて例えばスプリングを用いたりしてもよい。又、上部昇降テーブル１８の自重を利用して押圧力を素材４６に作用させるようにしてもよい。さらに、パターン押圧手段として電動モータにより回転されるピニオンとラックを用いたり、その他のアクチュエータを用いたりしてもよい。
【００９７】
（定義）この明細書において、パターン形成手段は、凹凸の模様以外に単なる平面のパターンも含むものとする。
【００９８】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１〜１５記載の発明は、転写能率を向上することができるとともにパターンの形成を精度よく行うことができる。
【００９９】
又、請求項６記載の発明は、上記効果に加えて製品の熱による変形を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）〜（ｃ）はこの発明の第１実施形態の転写装置の素材の転写工程を示す説明図。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は第１実施形態の要部の拡大断面図。
【図３】第１実施形態の転写装置全体を示す正断面図。
【図４】第１実施形態の転写装置全体を示す側断面図。
【図５】第１実施形態の制御装置を示すブロック回路図。
【図６】この発明の第２実施形態を示す縦断面図。
【図７】図６の１−１線断面図。
【図８】この発明の第３実施形態を示す縦断面図。
【図９】この発明の第４実施形態を示す正断面図。
【図１０】この発明の第５実施形態を示す斜視図。
【図１１】図１０の要部の断面図。
【図１２】図１０のチャック機構の斜視図。
【図１３】この発明の第６実施形態を示す正面図。
【図１４】図１３の要部の断面図。
【図１５】この発明の別例を示す断面図。
【図１６】この発明の別例を示す断面図。
【図１７】この発明の別例を示す部分正面図。
【図１８】この発明の別例を示す部分正面図。
【図１９】この発明の別例を示す部分正面図。
【図２０】この発明の別例を示す部分正断面図。
【図２１】この発明の別例を示す部分正面図。
【図２２】この発明の別例を示す部分正断面図。
【図２３】この発明の別例を示す部分断面図。
【図２４】この発明の別例を示す部分正面図。
【図２５】この発明の別例を示す部分正面図。
【図２６】この発明の別例を示す部分正面図。
【図２７】（ａ）〜（ｃ）は従来の熱圧着機のパターン成形方法を示す説明図。
【符号の説明】Ｋ１…クランプ機構、Ｋ２…吸着把持機構、Ｐ１…準備位置、Ｐ２…転写位置、Ｐ３…取出位置、１１…基盤、１７…下部転写ユニット、１８…上部昇降テーブル、２１…上部転写ユニット、２４…ブラケット、２４ａ…収容溝、２５…下部加熱板、２５ａ…折り曲げ部、２９…下部冷却体、３２，４５，７３，９１…フローティング機構、３８…上部加熱板、４２…上部冷却体、４６…素材、４７，４８…パターン成形板、４７ａ，４８ａ…パターン、５１…ケース、５２…減圧室、６３…支持テーブル、６５…下部筒体、６６…上部筒体、１０５…ローダー機構、１０９…チャック機構、１１７…クランプ板、１６１…反転機構、１９４…クランプ板。
【図１】
2004074775.tif 000003
【図２】
2004074775.tif 000004
【図３】
2004074775.tif 000005
【図４】
2004074775.tif 000006
【図５】
2004074775.tif 000007
【図６】
2004074775.tif 000008
【図７】
2004074775.tif 000009
【図８】
2004074775.tif 000010
【図９】
2004074775.tif 000011
【図１０】
2004074775.tif 000012
【図１１】
2004074775.tif 000013
【図１２】
2004074775.tif 000014
【図１３】
2004074775.tif 000015
【図１４】
2004074775.tif 000016
【図１５】
2004074775.tif 000017
【図１６】
2004074775.tif 000018
【図１７】
2004074775.tif 000019
【図１８】
2004074775.tif 000020
【図１９】
2004074775.tif 000021
【図２０】
2004074775.tif 000022
【図２１】
2004074775.tif 000023
【図２２】
2004074775.tif 000024
【図２３】
2004074775.tif 000025
【図２４】
2004074775.tif 000026
【図２５】
2004074775.tif 000027
【図２６】
2004074775.tif 000028
【図２７】
2004074775.tif 000029