Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】［課  題］  フレッシュコンクリートの単位水量を測定する装置は色々と提案されているが、測定に時間が掛かる、測定精度が悪い等の問題があり、コンクリート構造物の品質管理上その使用に制約がある。即ち、測定の迅速性と精度が要求されている。［解決手段］  試料の採取に際し、モルタル部分を分離する必要を無くし、採取時間を大幅に短縮すると共に、中性子水分計を使用することにより測定時間の短縮を行ない迅速性の課題を達成。又、中性子線源を試料の中心付近に配置することにより測定精度の向上を実現した。【選択図】  図１
2004340910.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中性子線源とヘリウム−３比例計数管を管の中に配置した中性子水分計を測定容器に挿入し、測定容器内に配置したフレッシュコンクリートの含水量を測定する単位水量測定装置
【請求項２】
中性子水分計の管が測定容器の中央に挿入されるように測定容器の蓋を兼ねたガイドを設けた請求項１の単位水量測定装置
【請求項３】
中性子線源を測定容器の中心付近に配置して測定するようにした請求項１の単位水量測定装置
【発明の詳細な説明】
【０００１】
［発明の属する技術分野］
本発明は、中性子線源を用いてフレッシュコンクリートの含水量を迅速かつ精度良く測定し、コンクリート打設前にフレッシュコンクリートの含水量を出来るだけ均一化し、コンクリート構造物の性能及び品質の向上に資することを図った単位水量測定装置に関する。
【０００２】
［従来の技術］
フレッシュコンクリートの含水量を測定する方法としては、電子レンジを使用する方法、等種々提案されているが、測定に時間が掛かり、コンクリート打設前に含水量の均一化を図ることは困難であった。
【０００３】
以下、その他技術の主なものについて説明する。
・電子レンジを使用する方法
フレッシュコンクリートからモルタル部分を分離採取し、重量を測定してから電子レンジを用いて乾燥し重量を測定する。乾燥前と乾燥後の重量の差が含水量である。モルタル部分を分離する時間、乾燥させる時間等結果が出るまでに時間が掛かる上に、モルタル部分を分離する際に粗骨材の表面に付着する水分の量が粗骨材の粒度によって違ってくるため、精度が良く無い。
・電気抵抗法
水の含有量により、電気抵抗が異なることを利用して含水量を測定する方法である。この方法もモルタル部分のみを分離採取する必要があり、時間が掛かる
上に、精度に関しても電子レンジ法と同じような問題がある。
【０００４】
［発明が解決しようとする課題］
以上に述べた方法では、モルタルを分離採取する過程で時間が掛かり又精度のバラツキが発生する。
【０００５】
本発明は、このような問題を解決しようとするものであり、モルタル部分の分離採取等の手順を省き、迅速かつ精度の高い測定を実現することを目的とするものである。
【０００６】
［課題を解決するための手段］
本発明は上記目的を達成するためにフレッシュコンクリートからモルタル部分を分離採取する必要を無くし、フレッシュコンクリートをそのまま測定用試料として使用することにより、時間の短縮及び測定精度の向上を図るものである。
【０００７】
具体的には、フレッシュコンクリート含有空気量測定器（エアメータ）を測定容器として用い、空気量測定を行なった試料をそのまま本測定に用い、測定時間の短縮を図る。
【０００８】
又、精度を上げる手段として中性子線源を測定容器の中心付近に配置する構成としたものである。
【０００９】
［発明の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明する。
【００１０】
図においては、１は中性子水分計であり鋼管内に中性子線源とヘリウム−３比例計数管が収納された構造となっており、測定の際に線源が試料の中心付近に配置されるようにセットされている。
【００１１】
２は測定容器内に採取された試料の中心付近に線源が配置されるように中性子水分計を挿入するためのガイドであり、測定容器の蓋を兼ねている。
【００１２】
３は本単位水量測定装置の本体である計測器である。
【００１３】
以下、上記構成の動作を説明する。空気量測定器にフレッシュコンクリートを採取し含有空気量を測定した後、空気量測定容器に中性子水分計ガイド２を装着し、ガイドに沿って中性子水分計１を挿入する。中性子水分計と単位水量測定装置本体の計測器３をケーブルで接続し測定を行なう。
【００１４】
［発明の効果］
上述したように本発明の測定装置は、フレッシュコンクリートからモルタル部分を分離採取する必要が無く、又空気量測定器を測定容器として利用するので試料採取に要する時間が短縮される。
【００１５】
更に、中性子線源を測定容器の中心付近に配置するため、測定効率が良く測定時間の短縮が図れると共に測定精度の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を示す全体図
【図２】中性子水分計図
【符号の説明】
１  中性子水分計
２  中性子水分計挿入ガイド
３  計測器
４  中性子線源
５  ヘリウム−３比例計数管
６  測定容器（エアメータ容器）
【図１】
2004340910.tif 000003
【図２】
2004340910.tif 000004
(57)【要約】【課題】本発明は、プローブ全体にドライフィルムコーティングを形成することにより、テフロン（登録商標）コーティングよりも安価で無給油を達成することを目的とする。【解決手段】本発明によるリニアセンサは、コア摺動ガイド（７）、コア（５）及びプローブ（２）にドライフィルムコーティング（２０）を形成しているため、従来のテフロン（登録商標）コーティングのような特殊な設備を必要とすることなく、給油も必要とすることのない円滑な摺動を得る構成である。【選択図】        図１
2004340788.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励磁コイル及び出力コイルを有する筒状ボビン（１）内で、コア（５）を有するプローブ（２）を直線移動させることにより、前記プローブ（２）の直線移動位置を検出するようにしたリニアセンサにおいて、前記プローブ（２）及び前記プローブ（２）の先端側に設けられたコア（５）及びコア摺動ガイド（７）の表面にはドライフィルムコーティング（２０）が形成されていることを特徴とするリニアセンサ。
【請求項２】
前記ドライフィルムコーティング（２０）は、塗装及び焼付けによって形成されていることを特徴とする請求項１記載のリニアセンサ。
【請求項３】
前記ドライフィルムコーティング（２０）は、二硫化モリブデンからなることを特徴とする請求項１又は２記載のリニアセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアセンサに関し、特に、コアを有するプローブ全体にドライフィルムコーティングを施すことにより、安価で高耐久性を実現し、無給油使用状態での寿命を延ばすための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、用いられていたこの種のコアを有するプローブを直線移動させて直線位置を検出する差動トランス型のリニアセンサとしては、図２に示されるように、図示しない励磁コイルと出力コイルを有する筒状ボビン１内にプローブ２（図２の場合は、３重冗長系であるため３本図示されている）が直線移動自在に設けられている（特許文献１及び２）。
【０００３】
前述の図２のリニアセンサ３は、周知の差動変圧器の原理によって検出が行われるように構成され、開発当初においては、図３に示すプローブが採用されていた。すなわち、このプローブ２の先端側には銀ろう４によってコア５が接続され、このコア５の周面にはテフロン（登録商標）コーティング６が形成されていた。
【０００４】
前記コア５の先端は、角部５ａが形成されていたため、筒状ボビン１内を摺動する際に、この角部５ａによる摩耗が発生し、動作に支障を来す場合があった。
【０００５】
前述の図３のプローブ２を改善するために図４の構成が開発された。
すなわち、コア５の先端に銀ろう４で曲面を有するコア摺動ガイド７を有すると共に、プローブ２とコア５とを鉄ろう４Ａで接続している。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−７４６０７号公報
【特許文献２】
特開平１０−３１１７３７号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来のリニアセンサのプローブは、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、テフロン（登録商標）コーティングは、特殊な加工であり、その材質及び加工方法が特殊であることから、コストが高く、問題となっていた。
【０００８】
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたもので、特に、コアを有するプローブ全体にドライフィルムコーティングを施すことにより、安価で高耐久性を実現し、無給油使用状態での寿命を延ばすようにしたリニアセンサを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によるリニアセンサは、励磁コイル及び出力コイルを有する筒状ボビン内で、コアを有するプローブを直線移動させることにより、前記プローブの直線移動位置を検出するようにしたリニアセンサにおいて、前記プローブ及び前記プローブの先端側に設けられたコア及びコア摺動ガイドの表面にはドライフィルムコーティングが形成されている構成であり、また、前記ドライフィルムコーティングは、塗装及び焼付けによって形成されている構成であり、また、前記ドライフィルムコーティングは、二硫化モリブデンからなる構成である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明によるリニアセンサの好適な実施の形態について説明する。尚、従来例と同一又は同等部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。また、図２に示すリニアセンサ３の構成は、プローブ２の構造を除いては同一であるため、図２の構成をそのまま援用し、その説明は、重複を避けるために省略する。
【００１１】
すなわち、図１における励磁用と出力用からなるコイル１Ａを有するボビン１は絶縁材１Ｂを有し、プローブ２、コア５及び摺動ガイド７は、二硫化モリブデンを用いたドライフィルムコーティング２０が全面にわたって形成（約５〜１０μｍ）されている。
【００１２】
前記ドライフィルムコーティング２０は、テフロン（登録商標）コーティングのように、特殊加工設備を必要とせず、二硫化モリブデンを塗装した後に自然乾燥し、このままでも使用可であるが焼付けたことにより一層強い皮膜が形成される。
また、筒状ボビン１内でプローブ２を摺動させることにより、摩耗粉が発生するが、この摩耗粉が微量分周囲に付着することによって従来のような給油をすることなくコア摺動ガイド７の部分もより一層摩擦抵抗が小さくなり、摺動動作が円滑化される。尚、二硫化モリブデンと同等の性状を有する材料であれば、他の材料を用いることもできる。
【００１３】
【発明の効果】
本発明によるリニアセンサは、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、ドライフィルムコーティングをコア摺動ガイド、コア及びプローブ全体に形成しているため、摩擦抵抗が少なく、かつ、従来のテフロン（登録商標）よりも安価で簡単に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるリニアセンサの要部を示す断面図である。
【図２】本発明及び従来のリニアセンサの概略を示す構成図である。
【図３】従来のプローブを示す構成図である。
【図４】従来のプローブを示す構成図である。
【符号の説明】
１    筒状ボビン
２    プローブ
５    コア
７    コア摺動ガイド
２０    ドライフィルムコーティング
【図１】
2004340788.tif 000003
【図２】
2004340788.tif 000004
【図３】
2004340788.tif 000005
【図４】
2004340788.tif 000006
(57)【要約】【課題】従来のサニタリー圧力形若しくはサニタリー圧力伝送器の取付配管は、その取付部に液溜まりが生じたり、又は、そこで流れに剥離が生じたりするので、洗浄性が悪かった。本発明は、圧力計や圧力伝送器を取り付ける部位の洗浄性を良好にしうる取付金具の提供を課題とする。【解決手段】配管の軸に直角な断面で考えた場合に、配管の内面とダイアフラム面を面一若しくは面一に近い状態に形成する。また、配管の内面とダイアフラム面の面一若しくは面一に近い状態が、バーリングチーを介して形成される。【選択図】        図２
2004340739.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管の軸に直角な断面で考えた場合に、配管の内面とダイアフラム面とが面一若しくは面一に近い状態に形成されたことを特徴とする圧力計、圧力伝送器の取付金具。
【請求項２】
配管の内面とダイアフラム面の面一若しくは面一に近い状態が、バーリングチーを介して形成されたことを特徴とする圧力計、圧力伝送器の取付金具。
【請求項３】
上記圧力伝送器が、配管内に導入された流体の圧力をダイアフラム面を解して検出して検出信号を出力する圧力計を備えた圧力検出器本体と、上記検出信号に基づいて圧力の表示を行う表示器とを備えたものであることを特徴とする請求項１または２記載の圧力計、圧力伝送器の取付金具。
【請求項４】
上記圧力計、圧力伝送器が、サニタリータイプであることを特徴とする請求項１、２または３記載の圧力計、圧力伝送器の取付金具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、サニタリー圧力計若しくは、サニタリー圧力伝送器の取付金具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、図４に示すような、配管１１の途中に短い枝管１２を連結すると共に当該枝管１２の外端に連結用フランジ１３を設けることによって形成された、サニタリー圧力計若しくはサニタリー圧力伝送器１４の取付配管１５は、知られている（以下、従来例１という。）。
【０００３】
しかしながら、上記従来例１に係る取付配管１５は、枝管１２が所謂立ち上がり管となっていて、このために内部に液溜まり（液のよどみ）が生じることになり、洗浄性が悪くなっていたという問題があった。
【０００４】
また、上記従来例１の他にも、図５乃至図７に示すような、配管１６の途中に鋳物成形等により、大きく膨らんだ球体部１７を一体に設けると共に当該球体部１７の壁面に連結用丸孔を開設してから、この連結用丸孔１８の開口縁に連結用フランジ１９を設けることによって形成された、サニタリー圧力計若しくはサニタリー圧力伝送器２０の取付配管２１は、知られている（以下、従来例２という。）。
【０００５】
すなわち、上記諸問題点を解決するために、上記従来例１及び従来例２のように、サニタリー圧力計若しくはサニタリー圧力伝送器は、▲１▼立ち上がりを短くして取り付けたり、▲２▼球体部のあるボディに取り付けたりする方法が採用されているが、上記▲１▼は立ち上がり長さを０にすることができない、また▲２▼は液導管（円管）から球体部に流れ込む部分の流れが剥離して洗浄性に劣る、しかも、枝管を連結したり、球体部を設けたりする比較的煩瑣でコスト高な作業が必要である等の問題点があった。
【０００６】
なお、本願出願人は先行技術の調査によって関連する先行技術文献を見出すことができなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記諸問題点を解決するために工夫が施された新規の圧力計、圧力伝送器の取付金具を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明に係る圧力計、圧力伝送器の取付金具は、配管の軸に直角な断面で考えた場合に、配管の内面とダイアフラム面とが面一若しくは面一に近い状態に形成されたことを特徴とするものである。
【０００９】
そして、上記配管の内面とダイアフラム面の面一若しくは面一に近い状態が、バーリングチーを介して形成されたことを特徴とするものである。
【００１０】
そして、上記圧力伝送器が、配管内に導入された流体の圧力をダイアフラム面を介して検出して検出信号を出力する圧力計を備えた圧力検出器本体と、上記検出信号に基づいて圧力の表示を行う表示器とを備えたものである。
【００１１】
そして、上記圧力計、圧力伝送器が、サニタリータイプであることを特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１乃至図３に示す本発明の実施形態は、配管１の途中個所の壁に小さな加工用孔（図示せず）を開設してから当該加工用孔の開口縁にバーリング加工を施して配管１の途中個所の壁にバーリングチー部４を設けると共に当該バーリングチー部４の上端部を切除して連結用丸孔５を設け、この連結用丸孔５の開口縁に連結用フランジ６を設けることによって、サニタリー圧力計若しくはサニタリー圧力伝送器７の取付配管８を得たものである。
【００１３】
上記圧力伝送器７は、配管１内に導入された流体の圧力を検出して当該検出圧力に応じた検出信号を出力するサニタリー圧力計を備えた圧力検出器本体９と、この圧力検出器本体９から出力される上記検出信号に基づいて圧力の表示を行う表示器１０とを備えたものである。
【００１４】
そして、圧力伝送器７は、図１及び図２で示すようにシール３１で密封状態として連結用丸孔５に嵌着してからクランプ３２で固定してあるものである。
【００１５】
なお、図中符号２は、圧力検出器本体９に設けられているダイアフラム面を示しているものである。
【００１６】
【作用】
この実施形態は、上記の通りであるので、連結用丸孔５を得る場合には、当該連結用丸孔５の開口縁の外面の高さが配管１の外周面と同じになるようにすること、すなわち枝管部の無い（立ち上がり長さが０にした）構成にすることが望ましい。
【００１７】
【発明の効果】
本発明に係る圧力計、圧力伝送器の取付金具は、上記のような構成であるので、立ち上がり長さを０若しくは限りなく０に近くすることができるものであって、所期の目的を完全に達成する著効を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す斜視図である。
【図２】図１Ａ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】図１Ｂ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図４】第１従来例を示す斜視図である。
【図５】第２従来例を示す斜視図である。
【図６】図５Ｃ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図７】図５Ｄ−Ｄ線に沿う断面図である。
【符号の説明】
１  配管
２  ダイアフラム面
４  バーリングチー部
５  連結用丸孔
６  連結用フランジ
７  圧力伝送器
８  取付配管
９  圧力検出器本体
１０  表示器
１１  配管
１２  枝管
１３  連結用フランジ
１４  圧力伝送器
１５  取付配管
１６  配管
１７  球体部
１８  連結用丸孔
１９  連結用フランジ
２０  圧力伝送器
３１  シール
３２  クランプ
【図１】
2004340739.tif 000003
【図２】
2004340739.tif 000004
【図３】
2004340739.tif 000005
【図４】
2004340739.tif 000006
【図５】
2004340739.tif 000007
【図６】
2004340739.tif 000008
【図７】
2004340739.tif 000009
(57)【要約】【課題】軸の組込姿勢とは無関係に、オイル流れのモニタリングを含めて連続且つ均等な給油の確保がそれにより保証されている、ロータ軸の軸受位置の給油装置を提供する。【解決手段】本発明は回転軸（３）の軸受位置（５）の給油装置に関するものである。本装置は、軸受位置（５）を包囲するリング状オイル・タンク（１４）と、２つの逆方向に伸長するスピンドル（１０、１１）を備えたオイル・ポンプ（８）と、オイル供給配管（２０）と、および軸受位置（５）の両側に配置されているオイル戻り配管（２４、２５、２６、２７）とから構成されている。【選択図】  図１
2004340374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本質的に、軸受位置（５）を包囲するリング状オイル・タンク（１４）と、反対方向に伸長する供給通路と共に２つのスピンドル（１０、１１）が設けられているオイル・ポンプ（８）と、オイル供給配管系（２０）と、およびオイル戻り配管（２４、２５、２６、２７）であって、その一部（２４、２５）は軸受位置（５）の片側に、およびその一部（２６、２７）は軸受位置（５）の軸方向反対側に配置されている前記オイル戻り配管（２４、２５、２６、２７）とから構成されている、回転軸（３）の軸受位置（５）の給油装置。
【請求項２】
軸受位置（５）下側の軸（３）端部に供給コーン（２２）が装着されていることを特徴とする請求項１の装置。
【請求項３】
オイル戻り配管（２４、２５、２６、２７）が所定位置（３４、３５、３６、３７）においてオイル・タンク（１４）内に突出することを特徴とする請求項１または２の装置。
【請求項４】
軸受位置（５）と軸隙間（４）との間にラビリンス状シール（２８）が存在することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかの装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は請求項１の上位概念に記載の回転軸の軸受位置の給油装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
オイル潤滑軸受内に固定されている回転軸においては、給油装置による連続給油が確保されなければならない。このために種々の方法が存在する。例えば別個に駆動されるオイル・ポンプにより、オイルは配管を介して軸受位置に供給される。垂直軸の下端部がオイル・タンク内に沈められ、および適切な構造により、例えば軸の一部をねじ状に形成することにより、軸受位置に給油する供給装置を提供することもまた既知である。オイル・タンクから軸受への給油は灯芯を介して行われてもよい。しかしながら、この方法においてはオイル流れのモニタリングは可能ではない。
【０００３】
これらいずれの場合も、連続且つ均等な給油はロータ軸の組込姿勢に依存する。多くの適用例において、ロータ軸の組込姿勢が固定されずに可変に取扱い可能であり、かつそれぞれの適用に適合可能であることが望ましい。即ち、例えば、軸受位置への連続且つ均等な給油が重要である高速回転ロータ軸を備えているターボ分子ポンプは、種々の組込姿勢における使用がしばしば要求される。これは、垂直位置から水平位置を経て上向き位置までの範囲にわたっている。
【０００４】
通常の給油装置を用いては、この可変使用可能性はきわめて制限されている。軸受位置に対する給油装置を運搬するとき、全運搬期間中に亘って所定の姿勢を保持することは不可能なので、オイルをタンクから抜き取らなければならない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
軸の組込姿勢とは無関係に、オイル流れのモニタリングを含めて連続且つ均等な給油の確保がそれにより保証されている、ロータ軸の軸受位置の給油装置を提供することが本発明の課題である。このような装置は、不利な結果が現われることなく、オイルを充填したまま任意の姿勢で装置の運搬を可能にするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題は請求項１の特徴項に記載の特徴により解決される。請求項２−４は本発明の他の実施態様を開示している。
本発明による装置は、軸およびその軸受の姿勢および組込方向とは無関係に、軸受位置の連続給油を可能にする。オイル流れのモニタリングはそれ自身既知の手段により可能である。軸の姿勢とは無関係にオイル流れが途切れることのない給油は、例えばターボ分子ポンプまたは超遠心分離器のような高速回転軸において特に重要である。オイルを充填したまま運搬が可能なので、常に所定の姿勢が維持される必要はない。
【０００７】
図１−４により、軸の種々の位置における例において本発明を詳細に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
軸３は軸受５により固定される。軸３を固定するために必要な他の軸受はここには図示されていない。給油装置はハウジング１内に装着されている。オイル循環はオイル・ポンプ８により行われる。オイル・ポンプ８は反対方向に伸長する通路と共に２つのスピンドル１０および１１を備えている。オイル・タンク１４は軸受５を包囲し且つ軸方向に軸受を越えて両方向に突出している。オイル・レベルは装置の種々の位置においてそれぞれ符号１８で表わされている。供給配管系２０および供給コーン２２を介してオイルは軸受位置５に供給される。供給コーン２２はそれ自身既知の他の供給装置によって置き換えられてもよい。戻り配管２４、２５、２６、２７により、オイルは再びオイル・タンク１４内に到達する。この場合、戻り配管２４、２５および２６、２７はそれぞれ軸受位置の軸方向反対側に設けられている。オイルの逆流を防止するために、戻り配管２４、２５、２６、２７は位置３４、３５、３６、３７においてオイル・タンク内に突出している。ラビリンス装置２８により軸隙間４に対するシールが行われる。
【０００９】
図１−４に示されているあらゆる位置において軸受位置への給油が確実に行われるためには、スピンドルの端部があらゆる姿勢において常にオイル内に潜っているように、オイル・レベル１８は高くなければならない。これは、オイル・ポンプのそれぞれの上部軸受への給油が確実に行われるためにもまた重要である。図１および２から明らかなように、垂直運転においてはオイルはオイル・タンク１４のリング状部分内に存在する。図３に示すような水平運転においては、オイルはオイル・タンクの下部セグメント内に集積する。図４のような斜軸運転においては、オイル・レベルは比較的中間位置をとる。したがって、軸のあらゆる位置において軸受位置への連続給油が保証されている。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】直立軸を有する本発明による装置の断面図である。
【図２】上向き運転直立軸を有する本発明の装置の断面図である。
【図３】水平軸を有する本発明による装置の断面図である。
【図４】斜軸を有する本発明による装置の断面図である。
【符号の説明】
【００１１】
１    ハウジング
３    軸
４    軸隙間
５    軸受位置（軸受）
８    オイル・ポンプ
１０、１１    スピンドル
１４    オイル・タンク
１８    オイル・レベル
２０    オイル供給配管系
２２    供給コーン
２４、２５、２６、２７    オイル戻り配管
２８    ラビリンス状シール（ラビリンス装置）
３４、３５、３６、３７    位置
【図１】
2004340374.tif 000003
【図２】
2004340374.tif 000004
【図３】
2004340374.tif 000005
【図４】
2004340374.tif 000006
(57)【要約】      （修正有）【課題】設備配管用の開口部に管を設置後に、発生した隙間部を簡便でしかも素早く取り付けられ、確実に塞ぐことができる用途に供するための目地詰め用具を提供する。【解決手段】板金などの不燃物の材料で作られた二分割したプレート及び留め金付き一体化用具をスラブと密着させ、配管とスラブとの隙間に容易にコンクリートを流し込む出来ることを特徴とする。その際、プレート部１には空隙遮断部５を設ける事により、コンクリートの漏れを防ぐ。また、取り付け直す作業の簡易化も特徴とする。【選択図】図１
2004340352.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管を内側に包み込む二分割された留め金付き用具で、一端においてスラブと配管との隙間部を遮断できるプレートを備えた部位を設け、かつ二分割された用具を一体化された留め具にて、簡便かつ素早く塞ぐことができる事を特徴とする詰め用具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、上下階や隣接の部屋との間に配管設置用に開かれたスラブ穴に対し、配管設置後にスラブ穴と配管との空隙部を塞ぐための目地詰め用具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、配管設置用に開けられたスラブの穴に対し、配管設置後に発生する間隙を塞ぐために、片面に接着剤を塗布したシートをスラブ面に貼り付けて利用されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、接着剤を使用しているために、貼り方により間隙ができた場合に一度剥がすと接着力が低下し再度使用できなくなり無駄になってしまう。また、塞ぐ間隙に対し貼るという方法から貼る面積が穴の面積以上必要となり、貼る面積が狭い場合貼れない場合が出てくる。本発明は以上の欠点を解決し、簡単にまた素早く作業出来るものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】配管を内側に包み込む二分割された用具で、一端にはスラブと配管との間の隙間部を遮断できるフラットなプレート部位を設ける。そして、二分割された用具を配管を挟むように包み込む。次に用具と一体化された留め具で留めることにより配管との隙間を密着させる。この時、留め具が用具と一体化していることにより他の部品を使用することなく簡便に素早く装着する事ができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態について説明する。
第一工程  二分割された目地詰め用具の一方をスラブ面と管体に密着させる。
第二工程  もう一方の用具で管体を挟み込み留め具で留め密着させる。
【０００６】
【発明の効果】本用具に留め具及びプレートを一体化させる事により、二分割された目地詰め用具を接合し固定する際、作業が容易に素早く行う事ができる。また従来の接着剤方式と異なり、再度使用することが可能である。
【図の説明】
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
【符号の説明】
１，プレート部
２，筒状部
３，留め金部
４，蝶番部
５，空隙遮断部
2004340352.tif 000003
2004340352.tif 000004
2004340352.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月13日(2003.8.13)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】配管を内側に包み込む二分割された留め金付き用具で、一端においてスラブと配管との隙間部を遮断できるプレートを備えた部位を設け、かつ二分割された用具を一体化された留め具にて、簡便かつ素早く塞ぐことができる事を特徴とする目地詰め用具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、上下階や隣接の部屋との間に配管設置用に開かれたスラブ穴に対し、配管設置後にスラブ穴と配管との空隙部を塞ぐための目地詰め用具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、配管設置用に開けられたスラブの穴に対し、配管設置後に発生する間隙を塞ぐために、片面に接着剤を塗布したシートをスラブ面に貼り付けて利用されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、接着剤を使用しているために、貼り方により間隙ができた場合に一度剥がすと接着力が低下し再度使用できなくなり無駄になってしまう。また、塞ぐ間隙に対し貼るという方法から貼る面積が穴の面積以上必要となり、貼る面積が狭い場合貼れない場合が出てくる。本発明は以上の欠点を解決し、簡単にまた素早く作業出来るものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】配管を内側に包み込む二分割された用具で、一端にはスラブと配管との間の隙間部を遮断できるフラットなプレート部位を設ける。そして、二分割された用具を配管を挟むように包み込む。次に用具と一体化された留め具で留めることにより配管との隙間を密着させる。この時、留め具が用具と一体化していることにより他の部品を使用することなく簡便に素早く装着する事ができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態について説明する。
第一工程  二分割された目地詰め用具の一方をスラブ面と管体に密着させる。
第二工程  もう一方の用具で管体を挟み込み留め具で留め密着させる。
【０００６】
【発明の効果】本用具に留め具及びプレートを一体化させる事により、二分割された目地詰め用具を接合し固定する際、作業が容易に素早く行う事ができる。また従来の接着剤方式と異なり、再度使用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は目地詰め用具の平面図であり、
（ｂ）は目地詰め用具の直面図であり、
（ｃ）は目地詰め用具の（ｂ）の反対面の直面図である。
【図２】目地詰め用具の立体図である。
【符号の説明】
１，プレート部
２，筒状部
３，留め金部
４，蝶番部
５，空隙遮断部


【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2004340352.tif 000006
【図２】
2004340352.tif 000007
(57)【要約】【課題】ブレースピンの抜け止めの操作のわずらわしさを無くし、手袋などを挟まず片手でスムーズにブレースピンからブレースを抜き出せるブレースピンを提供する。【解決手段】ピン本体（１）に軸止孔（６）と開口部（１０）を設ける。そして、軸遊孔（７）と溝（１１）を設けた押しボタン（３）をピン本体（１）に組み込み、軸回孔（９）と接伝部（８）を設けバネを係止した抜け止め（４）を押しボタンの中に組み込んで、支軸（２）を軸止孔（６）・軸遊孔（７）・軸回孔（９）に通し軸止孔（６）で係止することを特徴とする。【選択図】  図１
2004340353.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸止孔（６）と開口部（１０）を設けたピン本体（１）に、軸遊孔（７）と溝（１１）を設けた押しボタン（３）を組み込み、軸回孔（９）と接伝部（８）設けバネ（５）を係止した抜け止め（４）を押しボタン（３）の中に組み込み、支軸（２）を軸止孔（６）・軸遊孔（７）・軸回孔（９）に通し軸止孔（６）で係止するブレースピン。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、抜け止め（４）を押しボタン（３）によりピン本体（１）内に没入するブレースピンに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より抜け止めは、抜け止めを縦向きにしてブレースがブレースピンからの抜け止めをして、横向きでブレースをブレースピンからの抜き出し又はブレースピンへの通し掛けを行っていた。また、抜け止めにバネが付いていて常に抜け止め状態で、ブレースをブレースピンに押し掛け抜け止めをブレースピン内に押し入れて通し掛けを行い、また抜け止めを指でブレースピン内に没入させてブレースをブレースピンから引き抜いていた。（例えば特許文献  １参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開０９−１９５３９２号
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
これは次のような欠点があった。
（イ）抜け止めを縦横回動するタイプは、ブレースをブレースピンに通し掛けるときや抜き出すときに抜け止めを横向きにするが、このときに手袋などが引っかかたり、ブレースが抜け止めにあたるなどで抜け止めの向きがかわり、その都度向きを直すのに手数や時間がかかっていた。
（ロ）抜け止めにバネが付いているタイプは、抜け止めをブレースピン内に没入してブレースピンからブレースを抜き出すが、抜け止めをブレースピン内に没入しにくいのでブレースを抜き出そうとして、手袋などを抜き止めとブレースの間に挟んでいた。
（ハ）どのタイプもブレースをブレースピンから抜き出すときに、抜け止めの操作に片手を使いもう一方の手でブレースを引くので両手を必要としていた。
本発明は、これらの欠点を解決するためになされたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
ピン本体（１）に軸止孔（６）と開口部（１０）を設ける。そして、押しボタン（３）に軸遊孔（７）と溝（１１）を設け、ピン本体（１）に組み込み、ピン本体（１）の開口部（１０）から押しボタン（３）の溝（１１）を通り押しボタン（３）の中に、軸回孔（９）と接伝部（８）を設けバネ（５）を係止した抜け止め（４）を組み込み、支軸（２）を軸止孔（６）・軸遊孔（７）・軸回孔（９）に通し軸止孔（６）で係止する。
本発明は、以上のような構成よりなる押しボタン（３）で抜け止め（４）をブレースピンの中に没入するブレースピンである。
【０００６】
【発明の実態の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
（イ）パイプ状のピン本体（１）に、支軸（２）を係止する軸止孔（６）と抜け止め（４）が回動するための長方形の開口部（１０）を設ける。
（ロ）パイプ状で片側をふさいだ形の押しボタン（３）に、支軸（２）を基点に押しボタン（３）が前後移動するための長円形の軸遊孔（７）と抜け止め（４）の側面との干渉を防ぎ抜け止め（４）の接伝部（８）を押すための溝（１１）を設け、ピン本体（１）の開口部（１０）に押しボタン（３）の溝（１１）を合わせ、組み込む。
（ハ）二つ折りにした抜け止め（４）は、略方形状に前端は三角状で後端は円弧状に形成され、円弧の下方に押しボタン（３）の溝（１１）が当たりその力を抜け止め（４）に伝える接伝部（８）と支軸（２）が貫通する軸回孔（９）を設ける。また、二つ折りしたことによりＶの字型のバネ（５）を係止する。
（ニ）抜け止め（４）をピン本体（１）の開口部（１０）から押しボタン（３）の溝（１１）を通り押しボタン（３）の中に組み込み、ピン本体（１）の軸止孔（６）に押しボタン（３）の軸遊孔（７）と抜け止め（４）の軸回孔（９）を合わせ、それぞれの孔に支軸（２）を通しピン本体（１）の軸止孔（６）で係止する。
本発明は以上のような構造で、これを使用するときは、ブレースで抜け止め（４）がピン本体（１）内に没入するように押し掛け、抜け止め（４）を越えると抜け止め（４）がピン本体（１）から突出してブレースが抜けなくなる。反対にブレースをピン本体（１）から抜き出すときは、一方の手の親指で押しボタン（３）を押す。これにより、押しボタン（３）の溝（１１）が抜け止め（４）の接伝部（８）を押して、抜け止め（４）が回動してピン本体（１）内に没入する。そのまま、同手の４本の指でブレースを握りピン本体（１）からブレースを引き抜くことができる。また、もう一方の手で確実にブレースを支持できる。
【０００７】
【発明の効果】
本発明を使用することによって、押しボタン（３）を押し、抜け止め（４）を確実にピン本体（１）内に没入させて、ブレースをピン本体（１）からスムーズに抜き出せ、抜け止め（４）の操作のわずらわしさや手袋などを挟むことも無くなり、作業時間の短縮にもつながる。また、ピン本体（１）から抜き出すブレースと同ピン本体（１）に掛けてある他のブレースも支持でき、より安全な作業ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のブレースピンの分解斜視図である。
【図２】本発明のブレースピンの断面図である。
【符号の説明】
１  ピン本体
２  支軸
３  押しボタン
４  抜け止め
５  バネ
６  軸止孔
７  軸遊孔
８  接伝部
９  軸回孔
１０  開口部
１１  溝
【図１】
2004340353.tif 000003
【図２】
2004340353.tif 000004
(57)【要約】      （修正有）【課題】洗車などの時、放水しているホース、ノズルを車体に固定することができ、また取り外し移動する時など容易で、水に濡れても接着力に影響のない装置を提供する。【解決手段】磁石あるいは磁性体を埋め込んだ弾性を持った合成樹脂で形成した本体をホースに嵌め込んで使用する。ノズルの場合はノズル本体に車体との接着面に磁石あるいは磁性体を設置する。【選択図】図２
2004340349.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁石あるいは磁性体で構成するホース固定器具をホースの先端部分に設定することによってホースを固定する。
【請求項２】
ノズルに磁石あるいは磁性体を設置することによってノズルを固定する。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は洗車などでホースを使用する時、磁石あるいは磁性体の付いた固定器具を使用することにより、ホースを固定でき作業を楽にすることができる。また、ノズルの車体との接着面に磁石あるいは磁性体を付けることにより、ノズルを固定することができ作業が楽になる。
【０００２】
【従来の技術】
従来、吸盤を使った技術などもあったが、水を使う作業には不適当であった。また、フックなどを使用する技術もあったが、車などの場合、引っかかる部分があるとは限らなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この発明では、水に濡れても金属にたいして接着性を失はない磁石、あるいは磁性体を使用することによってホース、ノズルを固定し、あるいは自在に容易に取り外すことができ、任意の場所へ移動させ、また固定することができる。
【０００４】
図面に示されているのがこの発明の代表的な実施例であって、基本的につぎのような構成からなるものである。
即ち、｛図１｝において、
（イ）弾性を持った合成樹脂で形成し、下部に磁石あるいは磁性体を埋め込んだ本体。１
｛図２｝ホースに本体を装着した使用例。
（イ）弾性を持った合成樹脂で形成し、下部に磁石あるいは磁性体を埋め込んだ本体。１
（ロ）ホース。２
｛図３｝ホースに本体を装着した時の断面図。
（イ）本体。１
（ロ）ホース。２
（ハ）磁石あるいは磁性体。３
｛図４｝車体との接着面に磁石を設置されたノズル。
以上が本発明の基本的構成である。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
（１）本体。１にホース。２を装着する。
（２）ノズルの磁石が設置されている部分を車体に接着する。
本発明は以上のような構造で使用する。洗車などの場合、この本体を車体などに置けば磁石により容易に固定でき、移動させる場合も容易に車体から離脱し、移動固定することができる。
【０００６】
【発明の効果】
洗車などの場合、この構造であれば手に持って作業しても邪魔にもならず、また両手が必要な時など、簡単に車体に接着取り付けることができ、ホース、ノズルの方向性を変える時も簡単であり、また当然、水に濡れても大丈夫である。
【０００７】
【図面の簡単な説明】
図面は、本発明の技術的思想を具体化してなる代表的な実施例に基づくものである。
【図１】本発明の斜視図である。
【図２】本発明の本体。１にホース。２を装着した図である。
【図３】本発明本体の断面図である。
【図４】車体との接着面に磁石を設置したノズル。
【０００８】
【符号の説明】
１  本体。
２  ホース。
３  磁石あるいは磁性体。
４  ノズル本体。
【図１】
2004340349.tif 000003
【図２】
2004340349.tif 000004
【図３】
2004340349.tif 000005
【図４】
2004340349.tif 000006
(57)【要約】【課題】光電子ピーク（例えば、Ｃｕ  ２ｐ３／２光電子ピーク）の束縛エネルギーの特定のピークトップ位置とオージェ遷移ピーク（例えば、ＣｕＬＭＭオージェ遷移ピーク）の運動エネルギーの特定のピークトップ位置を視覚的に理解しやすく表示するデータ表示方法を提供する。【解決手段】Ｘ線光電子分光法におけるデータ表示方法において、特定の元素の化学状態を表す際に、内殻からの光電子ピークと同一元素種によるオージェ遷移ピークの両者を用いる場合、光電子ピークの束縛エネルギーとオージェ遷移ピークの運動エネルギーに対してそれぞれの信号強度を加重したものを二次元的に表示する。【選択図】    図３
2004340645.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線光電子分光法におけるデータ表示方法において、特定の元素の化学状態を表す際に、内殻からの光電子ピークと同一元素種によるオージェ遷移ピークの両者を用いる場合、光電子ピークの束縛エネルギーとオージェ遷移ピークの運動エネルギーに対してそれぞれの信号強度を加重したものを二次元的に表示することを特徴とするＸ線光電子分光法におけるデータ表示方法。
【請求項２】
請求項１に記載のデータ表示方法において、内殻からの光電子ピークと同一原子によるオージェ遷移ピークの信号強度の一方もしくは両者に対して数学的に規格化を行ったものを用いて、光電子ピークの束縛エネルギー範囲とオージェ遷移ピークの運動エネルギー範囲に対してそれぞれの信号強度を加重したものを二次元的に表示することを特徴とするＸ線光電子分光法におけるデータ表示方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のデータ表示方法において、前記信号強度を輝度で表示することを特徴とするデータ表示方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線光電子分光法におけるデータ表示方法に関し、特に、Ｘ線光電子分光法において、光電子ピーク位置とオージェ遷移ピーク位置の両者を用いて特定の元素の化学状態を表す際に、視覚的に理解しやすい二次元的な表示方法を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１及び図２にＸ線光電子分光法で得られる銅のスペクトルを示す。従来は、Ｃｕ  ２ｐ３／２光電子ピークの特定のピークトップ位置とＣｕＬＭＭオージェ遷移ピークの特定のピークトップ位置の両者から化学状態を特定する。下記の表１はそれぞれのピーク位置と化学状態の関係を示すものである。この詳細は文献：Ｈａｎｄｂｏｏｋ  ｏｆ  Ｘ−ｒａｙ  Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ；Ｐｅｒｋｉｎ−Ｅｌｍｅｒ  Ｃｏ．  （１９９２）に記載されている。
【０００３】
【非特許文献】
Ｈａｎｄｂｏｏｋ  ｏｆ  Ｘ−ｒａｙ  Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ；Ｐｅｒｋｉｎ−Ｅｌｍｅｒ  Ｃｏ．  （１９９２）
【０００４】
【表１】
2004340645.tif 000003
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、Ｃｕ  ２ｐ３／２光電子ピークの特定のピークトップ位置とＣｕＬＭＭオージェ遷移ピークの特定のピークトップ位置を個々に示す表示は視覚的に非常に理解し難いものであった。
【０００６】
したがって、本発明の目的は、光電子ピーク（例えば、Ｃｕ  ２ｐ３／２光電子ピーク）の束縛エネルギーの特定のピークトップ位置とオージェ遷移ピーク（例えば、ＣｕＬＭＭオージェ遷移ピーク）の運動エネルギーの特定のピークトップ位置を視覚的に理解しやすく表示するデータ表示方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明では、特定の元素の化学状態を表す際に、内殻からの光電子ピークと同一元素種によるオージェ遷移ピークの両者を用いる場合、信号強度の高い特定のピーク位置を用いるのではなく、光電子ピークとオージェ遷移ピークの特定のエネルギー範囲に対してそれぞれの信号強度を加重したものを二次元的に表示し、視覚的に理解しやすい表示方法を提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施例について述べる。
【０００９】
実施例：
図３に、図１のデータを横軸（Ｘ軸）にＣｕ２ｐ３／２光電子ピークを束縛エネルギー（Ｂｉｎｄｉｎｇ  Ｅｎｅｒｇｙ）で左から右に９３８ｅＶから９３０ｅＶの範囲で、縦軸（Ｙ軸）にＣｕＬＭＭオージェ遷移ピークを運動エネルギー（Ｋｉｎｅｔｉｃ  Ｅｎｅｒｇｙ）で下から上に９１３ｅＶから９２１ｅＶの範囲で示すものである。図中の各要素はＩ（ｘ，ｙ）＝Ｉ（Ｃｕ２ｐ３／２，ｘ）  ＋  Ｉ（ＣｕＬＭＭ，ｙ）とした。ここで、Ｉ（ｘ，ｙ）は図中の（ｘ，ｙ）座標位置の強度である。Ｉ（Ｃｕ２ｐ３／２，ｘ）は束縛エネルギー位置でｘの時のＣｕ２ｐ３／２光電子ピーク強度もしくは、束縛エネルギー位置でｘの時の規格化されたＣｕ２ｐ３／２光電子ピーク強度である。また、Ｉ（ＣｕＬＭＭ，ｙ）は運動エネルギー位置でｙの時のＣｕＬＭＭオージェ遷移ピーク強度もしくは、運動エネルギー位置でｙの時の規格化されたＣｕＬＭＭオージェ遷移ピーク強度である。本図ではＩ（ｘ，ｙ）に応じた色調を白黒の輝度で表しているが、任意の色調を用いることも可能である。
【００１０】
同様にして、図４には図２のデータを図３と同様の方法で表示したものを示す。
このようにして、各種の銅化合物について最も強度が強くなる位置をまとめたものを作成した結果を、図５に示す。この図５と図３や図４を併記することで、視覚的に理解しやすいデータを提供可能である。
【００１１】
【発明の効果】
以上述べたように本発明による特定の元素の化学状態を表す際に、内殻からの光電子ピークと同一元素種によるオージェ遷移ピークの両者を用いる場合、信号強度の高い特定のピーク位置を用いるのではなく、光電子ピークの束縛エネルギー範囲とオージェ遷移ピークの運動エネルギー範囲に対してそれぞれの信号強度を加重したものを二次元的に表示する方法を用いれば、視覚的に理解しやすいデータを提供可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は従来のＸ線光電子分光方法で得られる銅のスペクトルである。
【図２】図２は従来のＸ線光電子分光方法で得られる銅のスペクトルである。
【図３】図３は本発明による二次元的な表示例と従来のＸ線光電子分光方法で得られる銅のスペクトルである。
【図４】図４は本発明による二次元的な表示例と従来のＸ線光電子分光方法で得られる銅のスペクトルである。
【図５】図５は本発明による二次元的な表示方法における化学状態の同定例を示す。
【図１】
2004340645.tif 000004
【図２】
2004340645.tif 000005
【図３】
2004340645.tif 000006
【図４】
2004340645.tif 000007
【図５】
2004340645.tif 000008
(57)【要約】【課題】従来のプローブカードにおいては、プローブをマスクに突き刺す時の進入角と先端部の円錐角のバラツキによってプローブの先端を正しく被接触電極の中心に接触せしめるのが困難であると共に、プローブの長さが長いためプローブの先端位置が変動し、被接触電極に対するプローブ先端部の接触位置がその中心からずれてしまう欠点があった。【解決手段】本発明のプローブカードは、被接触電極に対応する位置に溝を形成した位置決め部材と、上記溝に挿入固定されるプローブと、上記位置決め部材を保持するリングと、上記プローブと上記リング上の配線間を電気的に接続するワイヤとより成る。上記リングは所定圧で上記被測定電極に押圧される。上記プローブは頭部を有する棒状体である。上記プローブの先端縁部には丸みが設けられている。【選択図】  図２
2004340584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被接触電極に対応する位置に溝を形成した位置決め部材と、
上記溝に挿入固定されるプローブと、
上記位置決め部材を保持するリングと、
上記プローブと上記リング上の配線間を電気的に接続するワイヤと
より成ることを特徴とするプローブカード。
【請求項２】
上記リングを所定圧で上記被測定電極に押圧する手段を更に有することを特徴とする請求項１記載のプローブカード。
【請求項３】
上記プローブが頭部を有する棒状体であることを特徴とする請求項１または２記載のプローブカード。
【請求項４】
上記プローブの先端縁部に丸みが設けられていることを特徴とする請求項１、２または３記載のプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプローブカード、特に、集積回路等の電気的諸特性測定に用いるプローブカードに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、一端をカードリングに固定し、集積回路チップ上のパッド等の被接触電極に接触する先端部を折り曲げたプローブを用いたプローブカードは知られている（特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平６−６６８３３号公報（第２頁、図２）。
【０００４】
近年の半導体集積回路の高集積化、高密度化に伴ってパッド間のピッチは現在の標準である５０〜７５μｍから将来は２５〜３５μｍにまで小さくなると予想される。従来のプローブカードにおいては長い針状のものをプローブとして用いており、被接触電極に対応する位置にマークを付したマスクの上記マークに上記プローブの先端部を突き刺して被接触電極に接触せしめた後プローブをその位置に固定し、その後マスクを除去するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
然しながら上記従来のプローブカードにおいてはプローブの上記突き刺し時の進入角と先端部の円錐角のバラツキによってプローブの先端を正しく被接触電極の中心に接触せしめるのが困難であると共に、プローブの長さが長いためプローブの先端位置が変動し、被接触電極に対するプローブ先端部の接触位置がその中心からずれてしまう欠点があった。
【０００６】
本発明は上記の欠点を除くようにしたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のプローブカードは、被接触電極に対応する位置に溝を形成した位置決め部材と、上記溝に挿入固定されるプローブと、上記位置決め部材を保持するリングと、上記プローブと上記リング上の配線間を電気的に接続するワイヤとより成ることを特徴とする。
【０００８】
上記リングを所定圧で上記被測定電極に押圧する手段を更に有することを特徴とする。
【０００９】
また、上記プローブは、頭部を有する棒状体であることを特徴とする。
【００１０】
また、上記プローブの先端縁部に丸みが設けられていることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
【００１２】
図１〜図３において１はパターン配線が形成されたテスター用基板、２はこのテスター用基板１の中央部に形成した開口、３はこの開口２の縁部分に沿って取り付けた開口３ａを有するリング、４は集積回路のチップ、５はこのチップ４上のパッド等の被接触電極を示し、本発明においては、図３に示すように、中央部に例えば縦３ｍｍ、横９ｍｍの開口６を形成した例えば縦１３ｍｍ、横１９ｍｍ、厚さ３ｍｍの矩形のセラミック材７を位置決め部材として上記リング３の下面にリング３の開口３ａを塞ぐ形で固定し、このセラミック材７の上記開口６の側面において被接触電極５に対応する位置に図４に示すように例えば横２０μ、縦４０μの溝８を形成し、この溝８内に例えば横３０μ、縦４０μの頭部９を有する棒状プローグ１０を挿入固定し、その下端を上記セラミック材７の下面から突出せしめると共に、上記プローブ１０の頭部９と、上記テスター用基板１の配線に接続されるよう上記リング３上に設けた配線間をボンディングワイヤ１１を介して電気的に接続せしめる。
【００１３】
なお、図２に示す符合１２は上記プローブ１０部分の上部にこれを保護するため充填した保護用充填材、１３はそのガードリング、１４はプローブ１０の下面を上記被接触電極５に所定の圧力で接触せしめるため上記リング３に設けた押圧調整部材である。
【００１４】
また、本発明のプローブカードにおける上記プローブ１０の下面の縁（稜線）には丸みを設けるのが好ましい。
【００１５】
更に上記プローブ１０は四角断面の他、丸、三角等任意の断面としても良く、上記溝８はこれに対応する形状のものとする。
【００１６】
本発明のプローブカードは上記のような構成であるから下記のような利点を有する。
【００１７】
（１）長い棒状のプローブではなく短かい棒状のプローブを用いるため取付位置変化を生ずることがなく被接触電極に対し正しい位置でプローブを接続せしめることができる。
【００１８】
（２）従来のマスクを用いず、プローブの取り付け溝を被接触電極の位置に対応して精密に形成できるセラミック材を用い、これをリングに固定したのでプローブの位置を被接触電極に正しく対応できるようになる。
【００１９】
（３）プローブに頭部を形成したのでボンディングワイヤに対する接続面積が大きくなり、接続不良を生ずることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のプローブカードの要部の平面図である。
【図２】図１に示すプローブカードの一部の拡大断面図である。
【図３】図２に示す位置決め部材の平面図である。
【図４】図２に示す位置決め部材の一部の拡大図である。
【符号の説明】
１    テスター用基板
２    開口
３    リング
３ａ  開口
４    チップ
５    被接触電極
６    開口
７    セラミック材
８    溝
９    頭部
１０    プローブ
１１    ボンディングワイヤ
１２    保護用充填材
１３    ガードリング
１４    押圧調整部材
【図１】
2004340584.tif 000003
【図２】
2004340584.tif 000004
【図３】
2004340584.tif 000005
【図４】
2004340584.tif 000006