(57)【要約】【課題】被転写用ディスクの両面に磁気転写が可能である磁気転写装置を提供する。【解決手段】ホルダ１ａ，１ｂによりそれぞれ特定の磁気パターンを持ったマスターディスク１０，１０を保持するホルダユニット１と、ホルダ１ａ，１ｂによって保持されたマスターディスク１０，１０間にスレーブディスク７を供給するディスク供給ユニット２と、ホルダユニット１を動作させてスレーブディスク７の両面部にマスターディスク１０，１０をそれぞれ圧接させて挟持させるロボットと、スレーブディスク７を挟持するマスターディスク１０，１０に対し、その両面部から磁界を加えてマスターディスク１０，１０上の磁気情報パターンをスレーブディスク７の両面にそれぞれ転写させるコイルユニット４とを具備する。【選択図】　　図１
2004087099.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のホルダ部を有し、これら一対のホルダ部によりそれぞれ特定の磁気パターンを持ったマスターディスクを保持するための保持手段と、
前記一対のホルダ部によって保持されたマスターディスク間に被転写用ディスクを供給する供給手段と、
前記保持手段を動作させて前記被転写用ディスクの両面部に前記マスターディスクをそれぞれ圧接させて挟持する駆動手段と、
前記ホルダ部を磁界に曝して前記一対のマスターディスク上の磁気情報パターンをそれぞれ前記被転写用ディスクの両面部に転写させる磁界印加手段と
を具備したことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
一対のホルダ部を有し、これら一対のホルダ部によりそれぞれ特定の磁気パターンを持ったマスターディスクを保持する保持手段と、
前記一対のホルダ部によって保持されたマスターディスク間に被転写用ディスクを供給する供給手段と、
前記保持手段を動作させて前記被転写用ディスクの両面部に前記マスターディスクをそれぞれ圧接させて挟持する駆動手段と、
前記ホルダ部を磁界に曝して前記一対のマスターディスク上の磁気情報パターンをそれぞれ前記被転写用ディスクの両面部に転写させる磁界印加手段と、
前記保持手段、供給手段、駆動手段及び磁界印加手段を配設するベースと、
このベースの上方部に設けられ、前記ベース方向に向かって洗浄気体を送風する送風手段と、
前記ベースに設けられ、前記送風手段によって送風された洗浄気体を吸引して強制的に外部に排気する排気手段と
を具備したことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項３】
一対のホルダ部を有し、これら一対のホルダ部によりそれぞれ特定の磁気パターンを持ったマスターディスクを保持する保持手段と、
前記一対のホルダ部によって保持されたマスターディスク間に被転写用ディスクを供給する供給手段と、
前記保持手段を動作させて前記被転写用ディスクの両面部に前記マスターディスクをそれぞれ圧接させて挟持する駆動手段と、
前記ホルダ部を磁界に曝して前記一対のマスターディスク上の磁気情報パターンをそれぞれ前記被転写用ディスクの両面部に転写させる磁界印加手段と、
前記保持手段に設けられた基準マーク及び前記供給手段に設けられた認識マークと、
前記基準マーク及び前記認識マークを視覚認識する認識手段と、
この認識手段により認識されたデータに基づいて前記マスターディスクと被転写用ディスクの中心とが一致するように前記被転写用ディスクを位置決めする位置決め手段と
を具備したことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項４】
一対のホルダ部を有し、これら一対のホルダ部によりそれぞれ特定の磁気パターンを持ったマスターディスクを保持する保持手段と、
前記一対のホルダ部によって保持されたマスターディスク間に被転写用ディスクを供給する供給手段と、
前記保持手段を動作させて前記被転写用ディスクの両面部に前記マスターディスクをそれぞれ圧接させて挟持する駆動手段と、
前記ホルダ部を磁界に曝して前記一対のマスターディスク上の磁気情報パターンをそれぞれ前記被転写用ディスクの両面部に転写させる磁界印加手段と、
前記被転写用ディスクを収容し、この収容した被転写用ディスクが前記供給手段によって取出される供給用カセットと、
前記磁界印加手段によって磁気情報パターンが転写された転写用ディスクを前記保持手段から取出すディスク取出手段と、
このディスク取出手段により取出された転写用ディスクを回収する回収カセットと
を具備したことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項５】
それぞれ特定の磁気パターンを持った一対のマスターディスクがホルダに各々保持され、このマスターディスク間に被転写用ディスクを供給する供給工程と、
この供給工程により供給された前記被転写用ディスクの両面部に前記マスターディスクをそれぞれ圧接させて挟持する圧接工程と、
前記一対のホルダに対して磁界を加えて前記マスターディスク上の磁気情報パターンを前記被転写用ディスクの両面部にそれぞれ転写させる転写工程と
を具備したことを特徴とする磁気情報を有する磁気ディスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスク（被転写用ディスク）に、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する磁気転写装置及び磁気転写方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の磁気転写装置としては、例えば特願２０００−６１５２２に開示される「磁気転写方法と装置」、特願２０００−１７５２３５に開示される「磁気転写装置」或いは、特願２０００−１７５２３８に開示される「ディスクの位置決め方法」等が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特願２０００−６１５２２で開示されるものは、両面に磁気転写するためには、片面ずつ２回転写しなければならないものとなっていた。
【０００４】
また、特願２０００−１７５２３５で開示されるものは、装置のベースに単に通気孔を設けるだけであるため、クリーンエアーの流れがスムーズでなく、十分なクリーン度が得られない欠点があった。
【０００５】
さらに、特願２０００−１７５２３８で開示されるものは、ディスク表面を視覚認識してディスクを位置決めするが、スレーブディスク表面が鏡面であるため、ハレーションなどの影響を受けて認識し難くなり、認識精度が低下するという欠点があった。
【０００６】
本発明は上記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、被転写用ディスクの両面同時に磁気転写が可能で、また、十分なクリーン度が確保でき、しかも、精度良く被転写用ディスクをマスターディスクに位置決めできる磁気転写装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の磁気転写装置は、一対のホルダ部を有し、これら一対のホルダ部によりそれぞれ特定の磁気パターンを持ったマスターディスクを保持するための保持手段と、前記一対のホルダ部によって保持されたマスターディスク間に被転写用ディスクを供給する供給手段と、前記保持手段を動作させて前記被転写用ディスクの両面部に前記マスターディスクをそれぞれ圧接させて挟持する駆動手段と、前記ホルダ部を磁界に曝して前記一対のマスターディスク上の磁気情報パターンをそれぞれ前記被転写用ディスクの両面部に転写させる磁界印加手段とを具備する。
【０００８】
また本発明は、一対のホルダ部を有し、これら一対のホルダ部によりそれぞれ特定の磁気パターンを持ったマスターディスクを保持する保持手段と、前記一対のホルダ部によって保持されたマスターディスク間に被転写用ディスクを供給する供給手段と、前記保持手段を動作させて前記被転写用ディスクの両面部に前記マスターディスクをそれぞれ圧接させて挟持する駆動手段と、前記ホルダ部を磁界に曝して前記一対のマスターディスク上の磁気情報パターンをそれぞれ前記被転写用ディスクの両面部に転写させる磁界印加手段と、前記保持手段、供給手段、駆動手段及び磁界印加手段を配設するベースと、このベースの上方部に設けられ、前記ベース方向に向かって洗浄気体を送風する送風手段と、前記ベースに設けられ、前記送風手段によって送風された洗浄気体を吸引して強制的に外部に排気する排気手段とを具備する。
【０００９】
また本発明は、一対のホルダ部を有し、これら一対のホルダ部によりそれぞれ特定の磁気パターンを持ったマスターディスクを保持する保持手段と、
前記一対のホルダ部によって保持されたマスターディスク間に被転写用ディスクを供給する供給手段と、前記保持手段を動作させて前記被転写用ディスクの両面部に前記マスターディスクをそれぞれ圧接させて挟持する駆動手段と、前記ホルダ部を磁界に曝して前記一対のマスターディスク上の磁気情報パターンをそれぞれ前記被転写用ディスクの両面部に転写させる磁界印加手段と、前記保持手段に設けられた基準マーク及び前記供給手段に設けられた認識マークと、前記基準マーク及び前記認識マークを視覚認識する認識手段と、この認識手段により認識されたデータに基づいて前記マスターディスクと被転写用ディスクの中心とが一致するように前記被転写用ディスクを位置決めする位置決め手段とを具備する。
【００１０】
また本発明は、一対のホルダ部を有し、これら一対のホルダ部によりそれぞれ特定の磁気パターンを持ったマスターディスクを保持する保持手段と、前記一対のホルダ部によって保持されたマスターディスク間に被転写用ディスクを供給する供給手段と、前記保持手段を動作させて前記被転写用ディスクの両面部に前記マスターディスクをそれぞれ圧接させて挟持する駆動手段と、前記ホルダ部を磁界に曝して前記一対のマスターディスク上の磁気情報パターンをそれぞれ前記被転写用ディスクの両面部に転写させる磁界印加手段と、前記被転写用ディスクを収容し、この収容した被転写用ディスクが前記供給手段によって取出される供給用カセットと、前記磁界印加手段によって磁気情報パターンが転写された転写用ディスクを前記保持手段から取出すディスク取出手段と、このディスク取出手段により取出された転写用ディスクを回収する回収カセットとを具備する。
【００１１】
本発明の磁気ディスクの製造方法は、それぞれ特定の磁気パターンを持った一対のマスターディスクがホルダに各々保持され、このマスターディスク間に被転写用ディスクを供給する供給工程と、この供給工程により供給された前記被転写用ディスクの両面部に前記マスターディスクをそれぞれ圧接させて挟持する圧接工程と、前記一対のホルダに対して磁界を加えて前記マスターディスク上の磁気情報パターンを前記被転写用ディスクの両面部にそれぞれ転写させる転写工程とを具備する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す一実施の形態を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の一実施の形態である磁気転写装置を示すものである。この磁気転写装置は架台２１を備え、この架台２１上には水平方向に面をなすベース２２が設けられている。
ベース２２の前端部には被転写用ディスクであるスレーブディスク７を収容する供給用カセット６及び、磁気情報が転写され排出されたスレーブディスク７を回収するカセットとしての排出用カセット１６が設けられている。供給用カセット６と排出用カセット１６とは同じ形状である。スレーブディスク７がディスクがなす面を対向させて複数枚収納可能となっており、内周面に並行して形成された複数の溝のそれぞれに、一枚ずつスレーブディスク７が遊挿され、この溝がなす面によってスレーブディスク７の外周が保持されており、複数のスレーブディスク７のそれぞれは互いに離間して配置される。
【００１３】
ベース２２上の略中央部にはインデックステーブル１３がベース２２に対して垂直方向の軸により回転自在に取り付けられている。インデックステーブル１３上には、一対のマスターディスク１０と１枚のスレーブディスク７を保持しまたは搬送する保持手段としてのホルダユニット１が、インデックステーブル１３の回転方向に等間隔で複数、本実施形態では４台配設されている。
【００１４】
ホルダユニット１は一対のホルダ部としての固定側ホルダ１ａ及び移動側ホルダ１ｂを有している。固定及び移動側ホルダ１ａ，１ｂは各々マスターディスク１０を吸着または接着により外段取りなどで位置決め固定され保持しているとともに、スレーブディスク７を吸着保持して、マスターディスク１０，１０によって密着状態で挟持させることができるようになっている。固定側及び移動側の各ホルダ１ａ，１ｂは、スレーブディスク７のそれぞれの主面に記録する磁気情報に対応するため、ホルダ１ａ，１ｂそれぞれに記録されている情報が異なったマスターディスク１０を固定する。これら２枚１組のマスターディスク１０をスレーブディスク７のそれぞれの主面に密着させ挟み込むようになっている。
【００１５】
インデックステーブル１３は駆動モータ（図示しない）により間欠的に回転され、これにより各ホルダユニット１が各割出位置に対応する各工程位置に順次送られて停止し、複数の作業が並行して行われるようになっている。本実施形態では４つのホルダユニット１が所定の４位置に常に配置されているように間歇駆動され、９０°移動毎に停止している。
【００１６】
本実施形態の磁気転写装置には、途中で他のチャック機構に受け渡すこと無しに、供給用カセット６からマスターディスクが取り付けられている磁気転写部へ直接スレーブディスク７を搬送可能としているディスク供給ユニット２を備えている。
また逆に、途中で他のチャック機構に受け渡すこと無しに、磁気転写作業を完了したディスクをディスク排出カセット１６に直接搬送可能としているディスク排出ユニット５を備えている。
【００１７】
ベース２２上面の一側部側には供給用カセット６からスレーブディスク７を取り出す供給手段としてのディスク供給ユニット２が設けられている。ディスク供給ユニット２により取り出されたスレーブディスク７は、ホルダユニット１の固定側ホルダ１ａに予め装着されているマスターディスク１０に対して、相対的に位置決めが行われ、マスターディスク１０に設けられる空隙越しにホルダユニット１によって吸着されて受け渡され、マスターディスク１０の磁気情報記録面とスレーブディスク７の磁気情報被転写面とが密着されて保持される。固定側ホルダ１の内側にはスレーブディスク７の内径付近を吸着する吸着溝（図示しない）が設けられ、この吸着溝によりスレーブディスク７が吸着保持される。
【００１８】
ディスク供給ユニット２は図２にも示すようにスレーブディスク７の内径を把持するための２片の保持具であるチャック８ａ，８ｂからなるチャック機構８と、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット２ａ，２ｂ，２ｃとスレーブディスク７をＸ−Ｚ平面内で１８０°回転するようにチャック８ａ，８ｂを回動させるＹ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ９から構成される。
ディスク供給ユニット２はスレーブディスク７の内径を把持したチャック８ａ，８ｂをロータリシリンダ９で１８０°回転させ、スレーブディスク７及びチャック８の向きを反転するようになっている。
ホルダユニット１の固定側ホルダ１ａの下面部には基準マーク１１が予め取り付けられ、ディスク供給ユニット２のチャック８ａ，８ｂには認識マーク１２が予め取り付けられている。基準マーク１１と認識マーク１２は認識ユニット３で視覚認識される。
【００１９】
ベース２２上面の、ディスク供給用カセット６が設けられた側面とは反対の側面にほど近い位置には、認識手段としての認識ユニット３が配設されている。認識ユニット３はディスク供給ユニット２が搬送してきたスレーブディスク７をマスターディスク１０に位置決めする際に、ホルダユニット１とディスク供給ユニット２それぞれに予め取り付けられた基準マーク１１ならびに認識マーク１２をＣＣＤカメラ等にて視覚認識するものである。
【００２０】
コイルユニット４は、固定側ホルダ１ａと移動側ホルダ１ｂとがそれぞれに設けられたマスターディスク１０によってスレーブディスクを挟持した状態の、すなわち、閉じたホルダユニット１に対し、そのマスターディスク１０とスレーブディスク７の積層方向からみて両方向にコイルを離間して配置するものであり、マスターディスク１０とスレーブディスク７に対して磁気転写作用を促進する所定の磁界を印加するものである。
【００２１】
ディスク供給用カセット６が設けられた側面と同じ面にはディスク排出カセット１６が設けられている。
ホルダユニット１が開かれた後、露出したスレーブディスク７を受け取り、このディスク排出カセット１６に対して直接搬送し収納するディスク取出手段としてのディスク排出ユニット５が、ベース２２上面に設けられている。ディスク排出ユニット５は磁気転写後に、スレーブディスク７をホルダユニット１から取り出してディスク排出カセット１６に戻すものである。
ディスク排出ユニット５は、スレーブディスク７の内径を把持する２つの保持具であるチャック１４ａ，１４ｂからなるチャック機構１４とＸ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット１５ａ，１５ｂ，１５ｃとスレーブディスク７をＹ−Ｚ平面内で１８０°回転させるようにチャック１４ａ，１４ｂを回動させるＸ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ１５から構成される。
【００２２】
磁気転写装置の天井部には装置内部に洗浄気体を送風する送風手段としての送風ファン２５が設けられている。また、ベース２２の機構が配置されていない空き領域には排気手段としての排気ファン２６が複数配設されている。
送風ファン２５の回転により、洗浄気体がベース２２方向に向かって送風され、装置内が洗浄される。そして、この送風された洗浄気体は排気ファン２６の回転によりベース２２より下方に強制的に排出される。
【００２３】
認識ユニット３には位置決め手段としての制御手段２３が接続され、制御手段２３は認識された基準マーク１１からマスターディスク１０の中心を算出し、また、認識された認識マーク１２からスレーブディスク７の中心を算出する。そして、マスターディスク１０とスレーブディスク７の中心が一致するように、ディスク供給ユニット２のＹ−Ｚ軸のロボット２ｂ，２ｃを駆動制御するようになっている。
位置決めされたスレーブディスク７は、ディスク供給ユニット２のＸ軸ロボット２ａによって、固定側ホルダ１ｂの内側に保持されているマスターディスク１０に密着する位置まで移動し、固定側ホルダ１ｂの内側に吸着保持される。
このとき、ホルダ１ａに設けられた基準マーク１１と、ホルダ１ａにおいて保持されているマスターディスク１０の中心位置との位置関係は、制御手段にティーチングされている。
一方、ディスク供給ユニット２に設けられた認識マーク１２とスレーブディスク７の中心位置との関係は、チャック機構８のチャッキング動作によってチャック８ａ，８ｂの当接する部位を結ぶ直線上にスレーブディスク７の中心があるものと見立てたときにその中心位置と認識マーク１２との関係が、制御手段１２に対してティーチングされている。
これらティーチングされた位置関係を基に、間接的にスレーブディスク７とマスターディスク１０との位置関係が算出される。
【００２４】
次に、上記したように構成される磁気転写装置の動作について図５のフローチャートを参照して説明する。
まず、ディスク供給カセット６を磁気転写装置に装着して、装置の運転を開始し、ディスク供給カセット６内のスレーブディスク７をその内径をディスク供給ユニット２のチャック８ａ，８ｂによって把持して順次１枚づつ取り出す（ステップＳＴ１）。
【００２５】
ディスク供給カセット６には円盤状のスレーブディスク７が互いの主面を向かい合わせるように離間して複数枚配列されている。この配列方向をＸ軸方向となるように磁気転写装置側面に設置する。このとき、スレーブディスク７の主面は、磁気転写装置の側面と相対するように配置されることとなる。
図２にチャッキング動作を説明するための模式図を示す。ディスク供給ユニット２は一対のチャック８ａ，８ｂからなるチャック機構８を有している。チャック８ａ，８ｂは、ロータリシリンダ９から延設される長細い棒の先端に、スレーブディスク７の内径に引っ掛ける係止爪を配置したもので、ロータリシリンダ７にも受けられた図示しない上下動機構により、ディスク供給ユニット２内に挿入された状態で重力方向下部に配置される側のチャックが重力方向に上下動するように設けられている。本実施形態の場合、チャック８ａは固定側チャック片であり、チャック８ｂは駆動側チャック片である。各々の係止爪はディスク供給ユニット２内に挿入された状態で重力方向に配置され、この重力方向内で接離する方向に駆動可能に設けられている。
【００２６】
はじめに、チャック８ａ，８ｂは閉じた状態である。すなわち、一対の係止爪の距離は、スレーブディスク７の内径より短くなるように設定されている。Ｚ軸ロボット２ｃによって係止爪がディスク供給カセット６内に導入され、Ｘ軸ロボット２ａによって、スレーブディスク７の内径に係止爪が導入される。この状態でＺ軸ロボット２ｃを静的に駆動させ、固定側チャック片８ａによってスレーブディスク７を引き上げる。その後、所定の高さ、好ましくはディスクの配列方向からみて現在保持しようとするディスクがこのディスクを保持していたディスク供給カセット６内の溝と干渉しない位置に達する前に、駆動側チャック片８ｂを鉛直方向下方に駆動して係止爪を突き当て、これにより内径の直径両端を保持する。このとき、ディスク供給カセット６の壁面は、何らかの障害によりスレーブディスク７が脱落しても問題が生じないように、ディスク供給カセット６から保持するディスクがはみ出さないような高さに設計しておくことが好ましい。ここでスレーブディスク７をしっかり保持できたら、Ｚ軸ロボット２ｃによって、ディスク供給カセットから引き上げる。
【００２７】
引き上げられたスレーブディスク７は、ロータリシリンダ９の回動によりＹＺ平面内でその主面を反転させられた後、Ｘ軸ロボット２ａによって、開かれた状態のホルダユニット１近傍、具体的には、ディスク供給工程位置Ａに配置された開かれたホルダユニット１により形成されたマスターディスク１０，１０間の空隙の、ホルダユニット１の開閉方向に直交する方向上、まで移動され、Ｙ軸ロボット２ｂによって、マスターディスク１０，１０の間にある間隙に挿入される。すなわち、スレーブディスク７及びチャック８はディスク供給ユニット２によってホルダユニット１の固定側及び移動側のホルダ１ａ，１ｂとの間に直接供給される。この時、ディスク供給工程位置Ａに停止しているホルダユニット１の固定側ホルダ１ａ及び移動側ホルダ１ｂの各内側には、それぞれマスターディスク１０が予め外段取り等によって、ホルダユニット１の中心とマスターディスク１０の中心とが一致する位置に精度良く吸着または接着にて固定されている。
【００２８】
ホルダユニット１の固定側及び移動側のホルダ１ａ，１ｂとの間に供給されたスレーブディスク７はディスク供給ユニット２のＸ−Ｙ−Ｚ軸のロボットによってその中心が固定側ホルダ１ａの内側に固定されているマスターディスク１０の中心とほぼ一致させ、かつマスターディスク１０との隙間が０．５ｍｍ程度の微小間隔をあけた認識位置に移動される（ステップＳＴ２）。
【００２９】
こののち、固定側ホルダ１ａの下面に予め取り付けられた基準マーク１１と、ディスク供給ユニット２のチャック８ａ，８ｂに予め取り付けられた認識マーク１２が認識ユニット３によって視覚認識される（ステップＳＴ３）。
【００３０】
この認識により基準マーク１１から算出されるマスターディスク１０の中心と、チャック８の認識マーク１２から算出されるスレーブディスク７の中心が一致するように、ディスク供給ユニット２のＹ−Ｚ軸ロボット２ｂ，２ｃにより、スレーブディスク７が位置決めされる（ステップＳＴ４）。
【００３１】
こののち、スレーブディスク７はディスク供給ユニット２のＸ軸ロボット２ａによって、固定側ホルダ１ａの内側に固定されているマスターディスク１０に密着する位置まで移動され、固定側ホルダ１ａの内側に吸着固定される（ステップＳＴ５）。
【００３２】
ついで、移動側ホルダ１ｂをロボット（駆動手段）３１によって固定側ホルダ１ａに向かって移動させ（ステップＳＴ６）、スレーブディスク７の両面を２枚のマスターディスク１０，１０で挟む（ステップＳＴ７）。このとき、両ホルダ１ａ，１ｂ間の空間の圧力を減圧することで、マスターディスク１０，１０とスレーブディスク７の密着性をより高めることが可能である。
【００３３】
このようにしてスレーブディスク７の両面を２枚のマスターディスク１０，１０に対して密着させた状態で挟持する。その後インデックステーブル１３を９０°回転し（ステップＳＴ８）、ホルダユニット１を次工程の磁気転写工程位置Ｂに位置決めする。
【００３４】
この位置決め後、コイルユニット４をホルダユニット１の両側に移動させ（ステップＳＴ９）、ホルダユニット１を回転させながらその両側から磁界を加える（ステップＳＴ１０）。これにより、スレーブディスク７の両面にマスターディスク１０，１０の磁気情報パターンが磁気転写されることになる。
【００３５】
この磁気転写後、コイルユニット４を初期位置に退避させ（ステップＳＴ１１）、インデックステーブル１３を９０°回転させてホルダユニット１を次工程のディスク排出工程位置Ｃに位置決めする（ステップＳＴ１２）。ついで、移動側ホルダ１ｂを移動させて固定側ホルダ１ａから離間させる（ステップＳＴ１３）。この時、磁気転写されたスレーブディスク７は供給時と同じ位置すなわち固定側ホルダ１ａの内側に吸着されている。
【００３６】
ついで、ディスク排出ユニット５のチャック１４，１４が２つのホルダ１ａ，１ｂ間に入り込み、スレーブディスク７の内径を把持する。こののち、固定側ホルダ１ａのスレーブディスク７の吸着を解除し、ディスク排出ユニット５のチャック１４，１４をディスク排出ユニット５のＸ軸ロボット１５ａを動かすことでスレーブディスク７を固定側ホルダ１ａのマスターディスク１０から剥離する（ステップＳＴ１４）。
【００３７】
ついで、スレーブディスク７は、その内径をディスク排出ユニット５のチャック１４が把持された状態で、Ｙ軸ロボット５ｂにより開かれたホルダユニット１の空隙からＹ軸方向に退避させられる。ロータリシリンダ１５でＹＺ平面内で装置外方を通る円弧の経路で１８０°回動され、チャック１４，１４を含めてその上下方向の向きが反転される。こののち、スレーブディスク７及びチャック１４をディスク排出ユニット５のＸ−Ｙ−Ｚロボット５ａ，５ｂ，５ｃによってディスク排出カセット１６上に移動し、スレーブディスク７をディスク排出カセット１６内に順次１枚づつ収納する（ステップＳＴ１５）。なお、ロータリシリンダ１５による反転は、Ｘ軸ロボット５ａによる搬送の前でも後でも同時でも良い。
【００３８】
上記した動作を順次インデックステーブル１３を間欠回転しながら、ホルダユニット１を各工程位置に位置決めすることで、各工程を並行して処理することができる。
【００３９】
本実施形態に示す磁気転写装置、あるいは磁気ディスクの製造方法においては、上記したように、ホルダユニット１に基準マーク１１を形成し、供給ユニット２に認識マーク１２を形成し、この基準マーク１１及び認識マーク１２を認識することにより、スレーブディスク７を位置決めするため、従来のようにスレーブディスク７自体を認識した場合のようににハレーションを発生することがなく、認識精度を良好に維持することができる。
さらに、送風ファン２５によって送風されたクリーンエアー（洗浄気体）はベース２２上に設けられた排気ファン２６によってベース２２より下方に強制的に排気するため、クリーンエアーの流れがスムーズになり、磁気転写を行う環境内のクリーン度を良好に維持することができる。
したがって、一度にスレーブディスク７の両面に磁気情報を転写できるため、スレーブディスク７に対する磁気情報の転写量を倍増することが可能となる。十分なクリーン度を確保でき、しかも、被転写用ディスクを精度良くマスターディスクに位置決めできる。
【００４０】
また、直交３軸の直動ロボット上に配置されたロータリシリンダと棒状のチャック片との組み合わせにより、ディスク供給カセットからホルダユニットまでの間、あるいはホルダユニットからディスク排出カセットまでの間を単一のユニットで搬送し位置決め配置できるようにしたので、ディスクの受け渡しによるタクトタイムの遅れや受け渡し時の事故によるディスクの脱落機会の削減に寄与できた。
【００４１】
また、チェック機構による保持動作を、スレーブディスク７が保持されている溝から離れていて、かつスレーブディスク７の主面と直交する方向から見て、前記スレーブディスク７の周面が前記溝と干渉している位置において行うことにより、簡素な構成のチャック機構で、事故が発生しても直接的には不良に直結しないようにチャッキングを行うことができるようにした。
【００４２】
また、ディスク供給工程位置Ａとディスク排出工程位置Ｃを直線上に配置するとともに、ディスク供給ユニット２が有するロータリシリンダ９の回動軸とディスク排出ユニット５が有するロータリーシリンダ１５の回動軸とを、ホルダユニットを回動させるインデックステーブル１３の回動軸方向、すなわちＺ方向と直交する平面であるＸＹ平面内で９０°異なる配置としたことにより、ディスク供給カセット６によって供給されたディスクの向きとディスク排出カセット１６内に収納されるディスクの向きとを同方向とすることが出来た。これにより、スレーブディスクの品質管理を容易にすることができるとともに、ディスク供給カセットとディスク排出カセットの共通化を図ることができるようにするとともに、他の工程において用いる製造装置に対して改造を加える必要をなくした。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被転写用ディスクの両面同時に磁気転写が可能となり生産性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である磁気転写装置を一部破断して示す斜視図。
【図２】ディスク供給カセットからスレーブディスクを取出す状態を示す斜視図。
【図３】マスターディスクとスレーブディスクとの位置合せを示す図。
【図４】スレーブディスクをマスターディスクで挟持する状態を示す図。
【図５】磁気転写動作を示すフローチャート図。
【符号の説明】
１…ホルダユニット（保持手段）、１ａ…固定側ホルダ（ホルダ部）、１ｂ…移動側ホルダ（ホルダ部）、２…ディスク供給ユニット（供給手段）、２ａ〜２ｃ…Ｘ，Ｙ，Ｚ軸のロボット、３…認識ユニット（認識手段）、４…コイルユニット（磁気印加手段）、５…ディスク排出ユニット（ディスク取出手段）、６…ディスク供給カセット、７…スレーブディスク（被転写用ディスク）、８ａ，８ｂ…チャック、９…ロータリシリンダ、１０…マスターディスク、１１…基準マーク、１２…認識マーク、１３…インデックステーブル、１４…チャック、１５…ロータリシリンダ、１６…ディスク排出カセット（回収カセット）、２３…制御手段（位置決め手段）、２５…送風ファン（送風手段）、２６…排気手段（排気ファン）、３１…ロボット（駆動手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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