(57)【要約】【課題】コンタクトプローブのプローブが光や熱によって変形しても、その変形を矯正することで、正確な電極への接触を維持できるコンタクトプローブを提供する。【解決手段】コンタクトプローブは、デバイスに設けてある複数の電極のそれぞれに接触させる複数のプローブピンを備えたコンタクトプローブであって、上下動する平板部材のプローブベースと、このプローブベース上に、外方向に向かって深溝に形成した櫛歯状のプローブピン係合溝のそれぞれにプローブピンを係合させてピッチ方向を矯正するピッチ矯正櫛歯状プレートと、このプローブピン係合溝に係合係止してあるプローブピンの略中間位置を押圧させて、弾性力を保持した状態でプローブピンの接触端子部分の背丈を同一にするストローク調整プレートと、を有する。【選択図】      図４
2004226086.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
デバイスに設けてある複数の電極のそれぞれに接触させる複数のプローブピンを備えたコンタクトプローブであって、
上下動する平板部材のプローブベースと、
前記プローブベース上に、外方向に向かって深溝に形成した櫛歯状のプローブピン係合溝のそれぞれにプローブピンを係合させてピッチ方向を矯正するピッチ矯正櫛歯状プレートと、
前記プローブピン係合溝に係合係止してあるプローブピンの略中間位置を押圧させて、弾性力を保持した状態で前記プローブピンの接触端子部分の背丈を同一にするストローク調整プレートと、
を有することを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
デバイスに設けてある複数の電極のそれぞれに接触させる複数のプローブピンを備えたコンタクトプローブであって、
上下動する平板部材のプローブベースと、
前記プローブベース上に、外方向に向かって深溝に形成した櫛歯状のプローブピン係合溝のそれぞれにプローブピンを係合させてピッチ方向を矯正するピッチ矯正櫛歯状プレートと、
前記プローブピン係合溝に係合係止してあるプローブピンの略中間位置を押圧する位置にピンガイド溝を設け、該ピンガイド溝にプローブピンの中間位置を係合して押圧させて、弾性力を保持した状態で前記プローブピンの接触端子部分の背丈を同一にするストローク調整プレートと、
を有することを特徴とするコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンタクトプローブに関するものであり、詳しくはプロジェクタ液晶等の検査対象デバイスの電気的接続部分に検査のためにコンタクトするコンタクトプローブを備えた画質検査装置に関するもので、特にコンタクトプローブの改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来技術におけるコンタクトプローブは、図１３及び図１４に示すように、略四角形状に形成されプローブベース１１１と、このプローブベース１１１表面端部に、所定ピッチで整列状態に配置した高硬度金属製のプローブピン１１３を片持ち状態でプローブ固定用接着樹脂１１２で固定されているプローブ１１４とからなる。
【０００３】
高硬度金属製プローブピン１１２は、タングステン等の金属製部材で細長い棒状に形成され、その自由端部側は上方向に折り曲げられている。
一方、このタングステン製プローブピン１１２が電気的に接触して検査するデバイス１１５側は、デバイス１１５の一方端部に電極１１６を備えた構成になっており、それぞれのプローブピン１１２の先端がそれぞれの電極１１６に接触する位置関係になっている。
【０００４】
このような構成のコンタクトプローブにおいて、検査対象であるデバイス１１５の電極１１６にプローブピン１１２を接触させるためには、プローブベース１１１自体を上方向に上昇させることで、デバイス１１５の電極１１６に折り曲がっているプローブピン１１２の先端が接触して、電気的な接続を得ることができる。
【０００５】
また、全部のコンタクトピンをデバイスの電極に接触させるために、強弾性フィルムが設けられ、この強弾性フィルムがコンタクトピンの先端を上方から押さえるようにして、全ピンが整列するように矯正し、ピンを確実に電極に当接させるようにした構成のプローブ装置もある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１０−１０４２７５号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術で説明したコンタクトプローブにおいて、検査時において、デバイス側或いはコンタクトプローブ側に印加される光、熱によって、コンタクトプローブ或いはデバイスを構成する樹脂自体が変形し、図１５に示すように、プローブピン１１２自体が上下にばらついてしまい、コンタクト時におけるストロークの調整が難しくなると共にこの状態でデバイス１１５の電極１１６と接触をすると、その接触状態が不均一になり接触効率を著しく低下させてしまうという問題がある。
【０００８】
又、図１６に示すように、光、熱等が印加されると、コンタクトプローブ或いはデバイス１１５を構成する樹脂自体の変形によりプローブピン１１２自体のピッチが変形してばらついてしまい、デバイス１１５の電極１１６との接触時に、正確な接触状態が得られなくなるという問題もある。
【０００９】
従って、デバイス１１５をコンタクトプローブを用いて検査するときに、光、熱等が印加されて、ピッチ方向のバラツキや上下方向のバラツキが生じても、これらを抑制できる構成にしてストロークの調整が容易なコンタクトプローブに解決しなければならない課題を有する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係るコンタクトプローブは、次に示す構成にすることである。
【００１１】
（１）コンタクトプローブは、デバイスに設けてある複数の電極のそれぞれに接触させる複数のプローブピンを備えたコンタクトプローブであって、上下動する平板部材のプローブベースと、前記プローブベース上に、外方向に向かって深溝に形成した櫛歯状のプローブピン係合溝のそれぞれにプローブピンを係合させてピッチ方向を矯正するピッチ矯正櫛歯状プレートと、前記プローブピン係合溝に係合係止してあるプローブピンの略中間位置を押圧させて、弾性力を保持した状態で前記プローブピンの接触端子部分の背丈を同一にするストローク調整プレートと、を有することである。
【００１２】
（２）コンタクトプローブは、デバイスに設けてある複数の電極のそれぞれに接触させる複数のプローブピンを備えたコンタクトプローブであって、上下動する平板部材のプローブベースと、前記プローブベース上に、外方向に向かって深溝に形成した櫛歯状のプローブピン係合溝のそれぞれにプローブピンを係合させてピッチ方向を矯正するピッチ矯正櫛歯状プレートと、前記プローブピン係合溝に係合係止してあるプローブピンの略中間位置を押圧する位置にピンガイド溝を設け、該ピンガイド溝にプローブピンの中間位置を係合して押圧させて、弾性力を保持した状態で前記プローブピンの接触端子部分の背丈を同一にするストローク調整プレートと、を有することである。
【００１３】
このように、プローブピンを溝に係合させると共に弾性力を保持した状態で接触端子部分の背丈を同一にすることで、そのプローブピンに熱や光が印加されても、熱や光による変形を矯正することで、ピッチ方向のバラツキ、上下方向のバラツキを抑制することが可能になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係るコンタクトプローブの実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１５】
本発明に係る第１の実施形態のコンタクトプローブは、図１及び図４に示すように、プローブを形成するプローブピンのピッチが広いものであり、その構成は、四角形状の平板で形成され上下動するプローブベース１１と、このプローブベースの上部に載置した状態でネジにより係止してあるピッチ矯正櫛歯状プレート１２と、このピッチ矯正櫛歯状プレート１２の整列状態に形成され外方向に向かって深溝に形成したピン係合溝１９に係合させて配置したプローブピン１４からなるプローブ１５と、ピッチ矯正櫛歯状プレート１２のピン係合溝１９に係合されているプローブピン１４の背丈を同一にすると共に、プローブピン１４のストロークを調整するストローク調整プレート１６とから構成されている。
【００１６】
プローブピン１４は、図４に示すように、細長い棒状に形成され、ピッチ矯正櫛歯状プレート１２のピン係止部１８の長さよりも長く形成した係止部１７ａと、この係止部１７ａに連設し上方向に折り曲げて形成した中間部１７ｂと、中間部１７ｂに連設し更に上方向に折り曲げて先端を鋭利に形成した先端部１７ｃとからなる。
【００１７】
ピッチ矯正櫛歯状プレート１２は、図２及び図３に示すように、四角形状に形成された両端側に設けたネジ止め用の孔１１７ａ〜１１７ｆと、孔１１７ａ〜１１７ｃ、孔１１７ｄ〜１１７ｆとの間であって一方端部を切欠き且つプローブピン１４の厚み分陥没して形成されたピン係止部１８と、このピン係止部１８に連設され、外方向に行くにつれて溝の深さを深く形成したピン係合溝１９とを備えた構成になっている。このピン係合溝１９のピッチは、デバイス２２に設けてある電極２３のピッチと同じに形成されている。
【００１８】
ストローク調整用プレート１６は、図１及び図４に示すように、四角平板部材で形成され、一方端部の底コーナ部分が全てのプローブピン１４に当接して押圧するピン押圧部２１を設け、表面の両端部側にプローブピン１４の配列方向に長い長孔からなる調整孔２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを備えた構成になっている。
【００１９】
このような構成からなるコンタクトプローブは、プローブベース１１上にプローブピン１４を、ピッチ矯正櫛歯状プレート１２のピン係合溝１９に係合させてネジ止めする。そして、その上部にストローク調整用プレート１６を載せ、プローブピン１４の略中間部１７ｂの位置をピン押圧部２１で押圧させて、プローブピン１４の接触端子部分の先端部１７ｃの背丈を同一にする。
【００２０】
次に、上記構成からなるコンタクトプローブの動作について、図４及び図５を参照して、以下説明する。
【００２１】
先ず、図４において、対象デバイス２２の電極２３のピッチと同じピッチのピン係合溝１９で仕切られたピッチ矯正櫛歯状プレート１２によりプローブピン１４のそれぞれがピッチ方向に矯正されている。
デバイス２２との非コンタクト時は、ストローク調整用プレート１６により、プローブピン１４の中間部１７ｂがストローク調整用プレート１６の先端部分であるピン押圧部２１に押し当てた状態で維持されているため、プローブ１５を構成するプローブピン１４の先端部１７ｃである接触端子は、デバイス２２の電極２３の面に対して背丈が同一で水平に保たれている。
この状態で、プローブピン１４の先端部１７ｃをデバイス２２の電極２３に接触させるために、プローブベース１１を上昇させる。
【００２２】
そうすると、図５に示すように、プローブベース１１が上昇し、プローブピン１４の夫々がデバイス２２の電極２３に当接し、プローブベース１１に対してプローブピン１４の夫々はピッチ矯正櫛歯状プレート１２のピン係合溝１９に沿って下方向に下がる。
同時に、プローブピン１４の夫々はストローク調整用プレート１６のピン押圧部２１から離れる。
この時のプローブピン１４の電極２３を当接しているコンタクト圧は、プローブベース１１の上昇具合にもよるが、プローブピン１４夫々の個体差を吸収するため、予めストローク調整用プレート１６のピン押圧部２１をプローブピン１４の夫々に押し当てておいて、その押し当てが離れたときがプローブピン１４の電極２３への当接力、即ち、弾性圧になる。
【００２３】
このように、予め、ピッチが定まったピン係合溝１９にプローブピン１４を係合させてピッチ方向を矯正させておき、ストローク調整用プレート１６でプローブピン１４の上下方向の高さを同一高さの背丈にしておくことで、デバイス２２の電極２３への接触は、プローブベース１１を予め一定のストロークで上昇させることで、プローブピン１４の全てを電極２３へ同一圧で接触させることができる。これは、外部の光、熱等によって変形が起きても、プローブピン１４のピッチ方向及び背丈の高さは一定に維持できるから、プローブピン１４のばらついた接触状態を排除でき、安定した電極２３への接触状態を得ることができるのである。
【００２４】
次に、本願発明に係る第２の実施形態のコンタクトプローブについて、図面を参照して説明する。
【００２５】
第２の実施形態のコンタクトプローブは、図６及び図１１に示すように、プローブを形成するプローブピンのピッチが狭いものであり、その構成は、四角形状の平板で形成されたプローブベース３１と、このプローブベース３１の上部に載置した状態でネジにより係止してあるピッチ矯正櫛歯状プレート３２と、このピッチ矯正櫛歯状プレート３２の整列状態で形成したそれぞれのピン係合溝に係合させて配置したプローブピン４１からなるプローブ４３と、ピッチ矯正櫛歯状プレート３２のピン係合溝３５に係合されているプローブピン４１がピン係合溝３５から抜け出ないようにすると共に、プローブピン４１のストロークを調整するストローク調整用プレート３６とから構成されている。
【００２６】
ピッチ矯正櫛歯状プレート３２は、図７及び図８に示すように、四角形状に形成された両端側に設けたネジ止め用の孔３３ａ〜３３ｆと、この孔３３ａ〜３３ｃ、孔３３ｄ〜３３ｆとの間であって一方端部を切欠き且つプローブピンの厚み分陥没したピン係止部３４と、このピン係止部３４に連設され、外方向に行くにつれて溝の深さを深く形成したピン係合溝３５とを備えた構成になっている。このピン係合溝３５のピッチは、デバイス５１に設けてある電極５２（図１１参照）のピッチと同じに形成されている。
【００２７】
ストローク調整用プレート３６は、図９及び図１０に示すように、四角平板部材で形成され、一方端部の底コーナ部分に溝を形成し、この溝にプローブピンを当接して押圧するピン押圧溝部３７を設け、表面の両端部側にプローブピンの配列方向に長い長孔からなる調整孔３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄを備えた構成になっている。
【００２８】
プローブピン４１は、図１１に示すように、細長い棒状に形成され、ピッチ矯正櫛歯状プレート３２のピン係合溝３５の長さよりも長く形成した係止部４２ａと、この係止部４２ａに連設し上方向に折り曲げて形成した中間部４２ｂと、この中間部４２ｂに連設し更に上方向に折り曲げて先端を鋭利に形成した先端部４２ｃとからなる。
【００２９】
このような構成からなるコンタクトプローブは、プローブベース３１上にプローブピン４１を、ピッチ矯正櫛歯状プレート３２のピン係合溝３５に係合させてネジ止めする。そして、その上部にストローク調整用プレート３６を載せ、プローブピン４１の略中間部４２ｂの位置をピン押圧溝部３７に係合させ且つ押圧させて、プローブピン４１の接触端子部分の先端部４２ｃの背丈を同一にする。
【００３０】
次に、上記構成からなるコンタクトプローブの動作について、図１１及び図１２を参照して、以下説明する。
【００３１】
先ず、対象デバイス５１の電極５２のピッチと同じピッチの溝で仕切られたピン係合溝３５により、プローブピン４１の水平方向及びピッチ方向が矯正されている。
そして、コンタクト時にはプローブベース３１が上昇する。
プローブベース３１が上昇すると、プローブピン４１がデバイス５１の電極５２にあたり、電極５２にプローブピン４１の先端が食い込み、ピッチ方向が維持された状態で、プローブピン４１はストローク調整プレート３６のピン押圧溝部３７から離れる。
コンタクト圧はプローブベース３１のストロークによるがプローブ個体差を吸収するため、予めストローク調整用プレート３６をプローブピン４１に押し当てて調整しておくことで、バラツキのない状態でプローブピン４１を電極５２に接触させることができる。
【００３２】
このように、予め、ピッチが定まったピン係合溝３５にプローブピン４１を係合させてピッチ方向を矯正させておき、ストローク調整用プレート３６のピン押圧溝部３７でプローブピン４１のピッチ方向を整列させ且つ上下方向の高さを同一高さの背丈にしておくことで、デバイス５１の電極５２への接触は、プローブベース３１を予め一定のストロークで上昇させることで、プローブピン４１の全てを電極５２へ同一圧で接触させることができる。これは、外部の光、熱等によって変形が起きても、プローブピン４１のピッチ方向及び背丈の高さは一定に維持できるから、プローブピン４１のばらついた接触状態を排除でき、安定した電極５２への接触状態を得ることができるのである。
【００３３】
【発明の効果】
上記説明したように、本発明にコンタクトプローブにおいては、プローブピンを溝に係合させると共に弾性力を保持した状態で接触端子部分の背丈を同一にすることで、そのプローブピンに熱や光が印加されても、熱や光による変形を矯正することで、ピッチ方向のバラツキ、上下方向のバラツキを抑制できるため、熱や光が印加されている状況であっても、デバイスの電極にプローブピンの先端部を正確に接触させることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１の実施形態のコンタクトプローブの平面図である。
【図２】同、ピッチ矯正櫛歯状プレートの平面図である。
【図３】同、ピッチ矯正櫛歯状プレートの側面図である。
【図４】同、非コンタクト時におけるコンタクトプローブの説明図である。
【図５】同、コンタクト時におけるコンタクトプローブの説明図である。
【図６】本発明に係る第２の実施形態のコンタクトプローブの側面図である。
【図７】同、ピッチ矯正櫛歯状プレートの平面図である。
【図８】同、ピッチ矯正櫛歯状プレートの側面図である。
【図９】同、ストローク調整用プレートの平面図である。
【図１０】同、ストローク調整用プレートの側面図である。
【図１１】同、非コンタクト時におけるコンタクトプローブの説明図である。
【図１２】同、コンタクト時におけるコンタクトプローブの説明図である。
【図１３】従来技術におけるコンタクトプローブの平面図である。
【図１４】従来技術におけるコンタクトプローブの側面図である。
【図１５】従来技術における熱や光があたったときのコンタクトプローブの変形を示す説明図である。
【図１６】従来技術における熱や光があたったときのコンタクトプローブの変形を示す説明図である。
【符号の説明】
１１      プローブベース
１２      ピッチ矯櫛歯状プレート
１４      プローブピン
１５      プローブ
１６      ストローク調整用プレート
１７ａ    係止部
１７ｂ    中間部
１７ｃ    先端部
１８      ピン係止部
１９      ピン係合溝
２０ａ    調整孔
２０ｂ    調整孔
２０ｃ    調整孔
２０ｄ    調整孔
２１      ピン押圧部
２２      デバイス
２３      電極
３１      プローブベース
３２      ピッチ矯正用櫛歯状プレート
３６      ストローク調整用プレート
３７      ピン押圧溝部
３８ａ    調整孔
３８ｂ    調整孔
３８ｃ    調整孔
３８ｄ    調整孔
４１      プローブピン
４２ａ    係止部
４２ｂ    中間部
４２ｃ    先端部
４３      プローブ
５１      デバイス
５２      電極
【図１】
2004226086.tif 000003
【図２】
2004226086.tif 000004
【図３】
2004226086.tif 000005
【図４】
2004226086.tif 000006
【図５】
2004226086.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004226086.tif 000009
【図８】
2004226086.tif 000010
【図９】
2004226086.tif 000011
【図１０】
2004226086.tif 000012
【図１１】
2004226086.tif 000013
【図１２】
2004226086.tif 000014
【図１３】
2004226086.tif 000015
【図１４】
2004226086.tif 000016
【図１５】
2004226086.tif 000017
【図１６】
2004226086.tif 000018