(57)【要約】【課題】太陽電池等の各薄膜上にレーザ加工される加工ラインの間隔を最小化するレーザ加工装置、レーザ加工システム及び太陽電池を提供すること。【解決手段】レーザ加工装置１０は、Ｘ軸ステージ１６を駆動するＸ軸駆動モータ（走査機構：テーブル駆動機構）２０と、Ｙ軸ステージ１８を駆動するＹ軸駆動モータ（走査機構：テーブル駆動機構）２２と、これらの駆動を制御するテーブル駆動制御機構（走査位置補正機構）２４と、レーザ光を照射してその反射光を検出することによって、Ｘ軸ステージ１６及びＹ軸ステージ１８のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置の誤差を測定する測長システム２５を備えている。さらに、太陽電池１２をレーザ加工するレーザ光を出射するレーザ発振器２６と、レーザ発振器２６から出射されたレーザ光を複数に分散して太陽電池１２上への照射位置及び方向を調整する複数のレーザ光学系２７とを備えている構成とした。【選択図】      図１
2004170455.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
膜体が形成された基板を保持する載置テーブルと、前記膜体をレーザ加工するレーザ光を出射するレーザ発振器と、該レーザ発振器から出射されたレーザ光を前記膜体上に走査させる走査機構とを備えたレーザ加工装置であって、
前記走査機構を制御して前記走査時の加工位置の誤差を補正する走査位置補正機構を備えていることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
前記走査位置補正機構は、事前に測定した前記載置テーブルの移動誤差データに基づいて前記補正を行うことを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
前記走査位置補正機構は、前記レーザ加工した加工痕の位置を測定する加工痕検出器を備え、
該測定した加工痕の位置の誤差に基づいて前記補正を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
前記走査機構は、前記載置テーブルの移動を駆動するテーブル駆動機構を備え、
前記走査位置補正機構は、前記テーブル駆動機構を制御して前記補正を行うことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載のレーザ加工装置。
【請求項５】
前記走査機構は、前記レーザ光の走査位置及び方向を調整するレーザ光学系を備え、
前記走査位置補正機構は、前記レーザ光学系を制御して前記補正を行うことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載のレーザ加工装置。
【請求項６】
同時に前記レーザ加工を行う複数の前記レーザ光学系を備え、
一つの前記走査位置補正機構により全ての前記レーザ光学系を同時に制御して前記補正を行うことを特徴とする請求項５に記載のレーザ加工装置。
【請求項７】
基板と、該基板上に成膜された第１の電極層と、該第１の電極層上に半導体で成膜された太陽電池層と、該太陽電池層上に成膜された第２の電極層とを備える太陽電池の前記各層を別々にレーザ加工して分離溝を形成する複数のレーザ加工装置から構成されるレーザ加工システムであって、
前記レーザ加工装置は、請求項１から６の何れかに記載のレーザ加工装置であることを特徴とするレーサ加工システム。
【請求項８】
前記太陽電池層及び前記第２の電極層の少なくとも一方をレーザ加工する前記レーザ加工装置は、請求項３に記載のレーザ加工装置であり、
前記加工痕検出器で検出する加工痕は、前記第１の電極層又は前記太陽電池層の分離溝であることを特徴とするレーザ加工システム。
【請求項９】
請求項１から８の何れかに記載のレーザ加工装置又はレーザ加工システムによりレーザ加工されたことを特徴とする太陽電池。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば太陽電池を構成する基板上の膜体をレーザ光によって加工するレーザ加工装置、レーザ加工システム及び太陽電池に関する。
【０００２】
【従来の技術】
太陽電池等の基板上の薄膜に分離溝を形成するために、従来、レーザ加工装置を用いている。
【０００３】
上記従来のレーザ加工装置は、膜体である薄膜が形成された基板を保持する載置テーブルと、この薄膜をレーザ加工するレーザ光を出射するレーザ発振器と、このレーザ発振器から出射されたレーザ光を前記薄膜上に走査させる走査機構とを備えている。
このレーザ加工装置は、レーザ光の照射位置が固定され、載置テーブルを水平方向（Ｘ軸及びＹ軸方向）に自在に移動させることによってレーザ光を走査して、薄膜の一部をレーザ光の熱で昇華させて分離溝を形成している。
【０００４】
太陽電池の場合、ガラス基板上に透明電極層が成膜され、透明電極層上に太陽電池層が成膜され、太陽電池層上に裏面電極層が成膜される。各層間の絶縁処理のため、これら薄膜のそれぞれの成膜後に上記のレーザ加工装置によって膜上に分離溝の加工ラインが形成される（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−１５０１６１（第１図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のレーザ加工装置では、載置テーブルの位置決め誤差を考慮して、互いの加工ライン（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３）が交差しないよう図６に示すように各加工ラインの間隔Ａ（＝略６０〜１００μｍ）を確保しなければならないが、太陽電池の発電効率から見るとこのエリアは太陽電池の発電面積に対して無駄なエリアとなるため、発電効率の向上のためには上記の各加工ラインの間隔を小さくする必要があった。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、太陽電池等の各薄膜上にレーザ加工される加工ラインの間隔を最小化するレーザ加工装置、レーザ加工システム及び太陽電池を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
本発明のレーザ加工装置は、膜体が形成された基板を保持する載置テーブルと、前記膜体をレーザ加工するレーザ光を出射するレーザ発振器と、該レーザ発振器から出射されたレーザ光を前記膜体上に走査させる走査機構とを備えたレーザ加工装置であって、前記走査機構を制御して前記走査時の加工位置の誤差を補正する走査位置補正機構を備えていることを特徴とする。
【０００９】
このレーザ加工装置は、レーザ光走査時の加工位置の誤差を補正する走査位置補正機構が備えられているので、高い位置決め精度をもってレーザ光を走査させることができる。
【００１０】
本発明のレーザ加工装置は、請求項１に記載のレーザ加工装置において、前記走査位置補正機構は、事前に測定した前記載置テーブルの移動誤差データに基づいて前記補正を行うことを特徴とする。
【００１１】
このレーザ加工装置は、事前に測定した載置テーブルの移動誤差データに基づいて補正を行うので、走査位置の誤差が適確に補正でき、高精度な加工が可能となる。
【００１２】
本発明のレーザ加工装置は、請求項１又は２に記載のレーザ加工装置において、前記走査位置補正機構は、前記レーザ加工した加工痕の位置を測定する加工痕検出器を備え、該測定した加工痕の位置の誤差に基づいて前記補正を行うことを特徴とする。
【００１３】
このレーザ加工装置は、加工痕検出器を備え、走査位置補正機構は、この検出器によるレーザ加工痕位置データに基づいて走査機構の走査位置を補正するので、実際の加工痕から得られた誤差データにより、より高精度な補正が可能となる。
【００１４】
本発明のレーザ加工装置は、請求項１から３の何れかに記載のレーザ加工装置であって、前記走査機構は、前記載置テーブルの移動を駆動するテーブル駆動機構を備え、前記走査位置補正機構は、前記テーブル駆動機構を制御して前記補正を行うことを特徴とする。
【００１５】
このレーザ加工装置は、走査位置補正機構がテーブル駆動機構を制御して補正を行うので、比較的簡易な制御で高精度な補正が可能になる。
【００１６】
本発明のレーザ加工装置は、請求項１から３の何れかに記載のレーザ加工装置であって、前記走査機構は、前記レーザ光の走査位置及び方向を調整するレーザ光学系を備え、前記走査位置補正機構は、前記レーザ光学系を制御して前記補正を行うことを特徴とする。
【００１７】
このレーザ加工装置は、走査位置補正機構がレーザ光学系を制御して補正を行うので、載置テーブル側を制御する場合に比べて、応答性が高いとともに、載置テーブル側で高精度に制御できない領域でも高精度に補正することができる。
【００１８】
本発明のレーザ加工装置は、請求項５に記載のレーザ加工装置であって、同時に前記レーザ加工を行う複数の前記レーザ光学系を備え、一つの前記走査位置補正機構により全ての前記レーザ光学系を同時に制御して前記補正を行うことを特徴とする。
【００１９】
このレーザ加工装置は、同時に補正する１つの走査位置補正機構が備えられているので、同時に複数本の加工ラインを同様に補正して形成することができる。
【００２０】
本発明のレーザ加工システムは、基板と、該基板上に成膜された第１の電極層と、該第１の電極層上に半導体で成膜された太陽電池層と、該太陽電池層上に成膜された第２の電極層とを備える太陽電池の前記各層を別々にレーザ加工して分離溝を形成する複数のレーザ加工装置から構成されるレーザ加工システムであって、前記レーザ加工装置は、請求項１から６の何れかに記載のレーザ加工装置であることを特徴とする。
【００２１】
このレーザ加工システムは、請求項１から６の何れかに記載のレーザ加工装置を備えているので、太陽電池の成膜毎に分離溝（加工ライン）を個別にかつ適切に補正して加工することができる。
【００２２】
本発明のレーザ加工システムは、前記太陽電池層及び前記第２の電極層の少なくとも一方をレーザ加工する前記レーザ加工装置は、請求項３に記載のレーザ加工装置であり、前記加工痕検出器で検出する加工痕は、前記第１の電極層又は前記太陽電池層の分離溝であることを特徴とする。
【００２３】
このレーザ加工システムは、加工痕検出器で検出する加工痕が第１の電極層又は太陽電池層の分離溝（加工ライン）であるので、事前に加工された第１の電極層又は太陽電池層の加工ラインの実測誤差に基づいて太陽電池層又は第２の電極層の高精度な加工が可能となる。
【００２４】
本発明の太陽電池は、請求項１から８の何れかに記載のレーザ加工装置又はレーザ加工システムによりレーザ加工されたことを特徴とする。
【００２５】
この太陽電池は、請求項１から８の何れかに記載のレーザ加工装置又はレーザ加工システムから製造されるので、各加工ラインの間隔が小さく、発電面積の向上により高い発電効率が得られる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
図１は本発明の第１の実施形態を示す。
図において、レーザ加工装置１０は、太陽電池１２のガラス基板（基板）１４を保持し水平方向の一方向（以下Ｘ軸方向とする）へ走査するＸ軸ステージ（載置テーブル）１６と、Ｘ軸ステージを水平方向のＸ軸と直行する方向（以下、Ｙ軸方向とする）に走査するＹ軸ステージ（載置テーブル）１８とを備えている。
【００２７】
また、このレーザ加工装置１０は、Ｘ軸ステージ１６を駆動するＸ軸駆動モータ（走査機構：テーブル駆動機構）２０と、Ｙ軸ステージ１８を駆動するＹ軸駆動モータ（走査機構：テーブル駆動機構）２２と、これらの駆動を制御するテーブル駆動制御機構（走査位置補正機構）２４と、Ｘ軸ステージ１６及びＹ軸ステージ１８のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置の誤差を測定する測長システム２５を備えている。
【００２８】
レーザ加工装置１０は、さらに、太陽電池１２をレーザ加工するレーザ光を出射するレーザ発振器２６と、レーザ発振器２６から出射されたレーザ光を複数に分散して太陽電池１２上への照射位置及び方向を調整する複数のレーザ光学系２７とを備えている。
【００２９】
レーザ光学系２７は、レーザ発振器２６から出射されたレーザ光の進行方向を変更するガルバノミラー２８と、斜めになったレーザ光のビーム径円を修正するＦθレンズ３０と、ビーム径円を集束する集光レンズ３２とから構成される。
各レーザ光学系２７は、所定間隔を空けて一列にＹ軸方向に配設されている。
【００３０】
太陽電池１２は、図２に示すように、ガラス基板１４上にＴＣＯ膜からなる透明電極層（膜体：第１の電極）３４が形成され、透明電極層の上にアモルファスシリコンからなる太陽電池層（膜体）３６が形成され、さらに太陽電池層３６の上にＡｇ（銀）からなる裏面電極層（膜体：第２の電極）３８が形成されて構成されている。
【００３１】
この太陽電池１２は、ガラス基板１４上に透明電極層３４が形成されると、透明電極間を絶縁するために透明電極加工ライン（加工痕：分離溝）４０が加工される。続いて、透明電極層３４の上に太陽電池層３６が形成されると、透明電極層３４と裏面電極層３８とを連通させるための太陽電池層加工ライン（加工痕：分離溝）４２が加工される。その後、太陽電池層３６の上に裏面電極層３８が形成されると、裏面電極層間を絶縁するために裏面電極加工ライン（加工痕：分離溝）４４がレーザ加工される。
【００３２】
上述した一連の加工を行うレーザ加工装置１０は、透明電極加工ライン４０を加工する透明電極層用レーザ加工装置１０Ａ、太陽電池層加工ライン４２を加工する太陽電池層用レーザ加工装置１０Ｂ及び、裏面電極加工ライン４４を加工する裏面電極層用レーザ加工装置１０Ｃとして個別に設置され、これら３つのレーザ加工装置で太陽電池加工用のレーザ加工システムを構成している。
【００３３】
次に、上記の構成からなるレーザ加工装置１０による加工位置の補正方法及び太陽電池の製造方法について説明する。
最初に、図２の（ａ）に示すガラス基板１４上に、図２（ｂ）に示すように透明電極層３４を成膜し、次に、図２（ｃ）に示すように、透明電極層用レーザ加工装置１０Ａで透明電極加工ライン４０をレーザ加工する。上記の加工ラインは、Ｘ軸ステージ１６をレーザ光に対して相対的にＸ軸方向に移動することによって加工される。
【００３４】
すなわち、まず、加工前に、別途用意する精密な計測手段である測長システム２５によって、Ｘ軸ステージ１６の移動に伴うＸ軸方向及びＹ軸方向の位置の誤差データをあらかじめ測定し、データをテーブル駆動制御機構２４に記憶させる。
なお、上記誤差データが、自動的にテーブル駆動制御機構２４に記憶されるようにしても構わない。
【００３５】
透明電極加工ライン４０を形成させる際、レーザ光学系２７によって、レーザ発振器２６から出射したレーザ光を透明電極層３４上に照射するように調整する。これにより、レーザ光の照射方向が固定される。
続けて、テーブル駆動制御機構２４によってＸ軸駆動モータ２０を駆動し、Ｘ軸ステージ１６を太陽電池１２を保持した状態でＸ軸方向に移動する。
【００３６】
この際、テーブル駆動制御機構２４は、その位置における上記誤差データに記録されたＸ軸方向及びＹ軸方向の位置の誤差を補正すべき方向及び距離を算出するとともに、Ｘ軸駆動モータ２０及びＹ軸駆動モータ２２を駆動・制御して、Ｘ軸ステージ１６及びＹ軸ステージ１８を移動させる。
【００３７】
このようにして、透明電極加工ライン４０が形成されると、Ｙ軸ステージ１８をＹ軸方向に所定距離移動して、新たな透明電極層３４上の場所に上述の方法によって引き続き透明電極加工ラインが加工される。
【００３８】
透明電極層３４の加工が終了した後は、図２（ｄ）に示すように、太陽電池層３６を成膜し、図２（ｅ）に示すように、上述と同様の加工方法によって、太陽電池層用レーザ加工装置１０Ｂで太陽電池層加工ライン４２を形成する。
さらに、図２（ｆ）に示すように、裏面電極層３８を成膜すると、図２（ｇ）に示すように、上述と同様の加工方法によって、裏面電極層用レーザ加工装置１０Ｃで裏面電極加工ライン４４を形成する。
このようにして、モジュール化された太陽電池１２が作製される。
【００３９】
このレーザ加工装置１０によれば、Ｘ軸ステージ１６の真直度誤差が加工ラインの加工時に補正されるので、隣接する加工ラインの間隔を小さくすることができる。このとき、各レーザ光学系を同時に補正するので、同時に複数本の加工ラインを同様に補正して形成することができる。
また、各ライン毎のレーザ加工装置それぞれで同様に補正が行われるため、互いに高精度ライン位置を確保することができ、これにより製造された太陽電池は、発電面積の向上により高い発電効率が得られる。
【００４０】
次に、本発明に係る第２の実施形態について、図３を参照して説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態において説明した構成要素には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００４１】
第２の実施形態と上記第１の実施形態との異なる点は、レーザ光学系５０を備えるレーザ加工装置５２に、ガルバノミラー２８と、Ｆθレンズ３０の代わりにビーム径円の調整し、かつレーザ光をＹ軸方向に微動させるＡＯＭ（アコースティックオプティックモジュレータ）を用いた複数の揺動機構（走査機構）５４と、これらの揺動機構５４の駆動を制御するレーザ光学系制御機構（走査位置補正機構）５８が備えられている点である。
レーザ加工装置５２のＸ軸駆動モータ２０及びＹ軸駆動モータ２２を駆動・制御するテーブル制御機構５９は、Ｘ軸ステージ１６及びＹ軸ステージ１８の位置の誤差を考慮しない構成とされている。
なお、第１の実施形態と同様にテーブル制御機構２４によって同様の補正方法を併用してもよい。
【００４２】
上記の構成からなるレーザ加工装置５２による加工位置の補正方法及び太陽電池の製造方法について、第１の実施形態と異なる点について説明する。
透明電極加工ライン４０を形成させる際、レーザ光学系制御機構５８は、その位置における上記の誤差データに記録されたＸ軸ステージ１６及びＹ軸ステージ１８におけるＸ軸方向及びＹ軸方向の位置の誤差を補正すべき方向及び距離を算出するとともに、揺動機構５４を駆動・制御して、レーザ光の照射位置を揺動させる。
【００４３】
このようにして、透明電極加工ライン４０が形成されると、Ｙ軸ステージ１８をＹ軸方向に所定距離移動して、新たな透明電極層３４上の場所に上述の方法によって引き続き透明電極加工ラインが加工される。
さらに、上述と同様の加工方法によって、レーザ加工装置５２である太陽電池層用レーザ加工装置５２Ｂで太陽電池層加工ライン４２を、裏面電極層用レーザ加工装置５２Ｃで裏面電極加工ライン４４を形成し、モジュール化された太陽電池１２が作製される。
【００４４】
このレーザ加工装置５２によれば、レーザ光学系制御機構５８によってレーザ光学系５０を制御して補正を行うので、Ｘ軸ステージ１６及びＹ軸ステージ１８を制御する場合に比べて、応答性が高いとともに、高精度に補正することができる。
【００４５】
次に、本発明に係る第３の実施形態について、図４を参照して説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態において説明した構成要素には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００４６】
第３の実施形態と上記実施形態との異なる点は、レーザ加工装置６０が、上記実施形態によって加工された透明電極加工ライン４０を検出する画像処理センサ（加工痕検出器）６２を備えている点である。
この画像処理センサ６２は、ＣＣＤ等を備え、検出した画像の２値化等の処理を行って加工ラインの位置を測定するものである。
また、レーザ加工装置６０には、画像処理センサ６２によって検出されたデータに基づき、Ｘ軸駆動モータ２０及びＹ軸駆動モータ２２を駆動・制御するテーブル駆動制御機構６４が設けられている。
【００４７】
上記の構成からなるレーザ加工装置６０による加工位置の補正方法及び太陽電池の製造方法について、第１及び第２の実施形態と異なる点について説明する。
まず、基準となる透明電極加工ライン（加工痕：分離溝）４０ａを透明電極層用レーザ加工装置１０Ａ或いは透明電極層用レーザ加工装置５２Ａで形成する。続いて、太陽電池層加工ライン４２を形成する際、レーザ加工装置６０である太陽電池層用レーザ加工装置６０Ｂの画像処理センサ６２によって、基準の透明電極加工ライン４０ａのＸ軸方向及びＹ軸方向の誤差であるうねり量を検出する。
【００４８】
この際、テーブル駆動制御機構６４は、その位置における前記うねり量を補正すべき方向及び距離を算出するとともに、Ｘ軸駆動モータ２０及びＹ軸駆動モータ２２を駆動・制御してＸ軸ステージ１６及びＹ軸ステージ１８を移動させる。これによって位置補正された高精度の太陽電池層加工ライン４２が形成される。
なお、同様にして、裏面電極加工ライン４４の加工の際は、透明電極加工ライン４０ａ及び太陽電池層加工ライン４２を画像処理センサ６２で検出し、このときのうねり量に基づいて同様の補正を行いレーザ加工を行う。
【００４９】
このレーザ加工装置６０によれば、画像処理センサ６２によって既存の加工ラインを検出しながら加工するので、より高精度な補正が可能となる。
【００５０】
次に、本発明に係る第４の実施形態について、図５を参照して説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態において説明した構成要素には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００５１】
第４の実施形態と上記第３の実施形態との異なる点は、レーザ加工装置７０が、レーザ光学系７２を駆動して誤差を補正するとした点である。
すなわち、レーザ光学系７２には、画像処理センサ６２によって検出されたデータに基づき、揺動機構５４を駆動・制御するレーザ光学系制御機構７４とが設けられている。
また、レーザ加工装置７０には、第２の実施形態におけるテーブル駆動制御機構５９が設けられている。
【００５２】
上記の構成からなるレーザ加工装置７０による加工位置の補正方法及び太陽電池の製造方法について、第１から第３の実施形態と異なる点について説明する。
まず、太陽電池層加工ライン４２を形成する際、画像処理センサ６２によって基準の透明電極加工ライン４０ａの加工痕のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置の誤差であるうねり量を検出する。
【００５３】
同時に、前記うねり量に基づいてレーザ光学系制御機構７４によって揺動機構５４を駆動・制御して、前記うねり量を補正すべき距離に対応してレーザ光の照射位置を揺動させる。
【００５４】
このレーザ加工装置７０によれば、事前に加工された透明電極層３４又は太陽電池層３６の加工ラインの実測誤差に基づいて太陽電池層３６又は裏面電極層３８の高精度な加工が高い応答性をもって可能となる。また、太陽電池の成膜毎に加工ラインを個別にかつ適切に補正して加工することができる。
【００５５】
なお、第３及び第４の実施形態において、基準の加工ラインを形成させる際、第１及び第２の実施形態によって加工してもよい。
また、レーザ加工システム４６を構成するレーザ加工装置は、上記のどの実施形態のものを組み合わせても構わない。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明した本発明においては以下の効果を奏する。
本発明のレーザ加工装置は、レーザ光走査時の加工位置の誤差を補正する走査位置補正機構が備えられているので、高い位置決め精度をもってレーザ光を走査させることができ、発電効率の高い太陽電池を得ることができる。
【００５７】
本発明のレーザ加工装置は、事前に測定した載置テーブルの移動誤差データに基づいて補正を行うので、予め移動誤差を考慮して走査位置の誤差が適確に補正でき、比較的簡易な制御で高精度な加工が可能となり、発電効率の高い太陽電池を得ることができる。
【００５８】
本発明のレーザ加工装置は、加工痕検出器を備え、走査位置補正機構は、この検出器によるレーザ加工痕位置データに基づいて走査機構の走査位置を補正する走査位置補正機構を備えているので、実際の加工痕から得られた誤差データにより、より高精度な補正が可能となり、発電効率の高い太陽電池を得ることができる。
【００５９】
本発明のレーザ加工システムは、上記本発明のレーザ加工装置が備えられているので、事前に加工された太陽電池の第１の電極層又は太陽電池層の分離溝（加工ライン）の実測誤差に基づいて太陽電池層又は第２の電極層の高精度な加工が可能となり、高い発電効率の太陽電池を得ることができる。
【００６０】
本発明の太陽電池は、上記本発明のレーザ加工システムによって製造されるので、各加工ラインの間隔が小さいことによる発電面積の向上によって、高い発電効率が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態におけるレーザ加工システムのレーザ加工装置を示す概略的な構成図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における太陽電池の加工プロセスを工程順に説明する要部断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態におけるレーザ加工システムのレーザ加工装置を示す概略的な構成図である。
【図４】本発明の第３の実施形態におけるレーザ加工システムのレーザ加工装置を示す概略的な構成図である。
【図５】本発明の第４の実施形態におけるレーザ加工システムのレーザ加工装置を示す概略的な構成図である。
【図６】従来のレーザ加工装置による太陽電池の加工ラインの位置関係を示す説明図である。
【符号の説明】
１０、５２、６０、７０  レーザ加工装置
１０Ａ、５２Ａ、６０Ａ、７０Ａ  透明電極層用レーザ加工装置（レーザ加工装置）
１０Ｂ、５２Ｂ、６０Ｂ、７０Ｂ  太陽電池層用レーザ加工装置（レーザ加工装置）
１０Ｃ、５２Ｃ、６０Ｃ、７０Ｃ  裏面電極層用レーザ加工装置（レーザ加工装置）
１２  太陽電池
１４  ガラス基板（基板）
１６  Ｘ軸ステージ（載置テーブル）
１８  Ｙ軸ステージ（載置テーブル）
２０  Ｘ軸駆動モータ（走査機構：テーブル駆動機構）
２２  Ｙ軸駆動モータ（走査機構：テーブル駆動機構）
２４、５９、６４  テーブル駆動制御機構（走査位置補正機構）
２６  レーザ発振器
２７、５０、７２  レーザ光学系
３４  透明電極層（膜体：第１の電極層）
３６  太陽電池層（膜体）
３８  裏面電極層（膜体：第２の電極層）
４０  透明電極加工ライン（加工痕：分離溝）
４０ａ  基準の透明電極加工ライン（加工痕：分離溝）
４２  太陽電池層加工ライン（加工痕：分離溝）
４４  裏面電極加工ライン（加工痕：分離溝）
４６  レーザ加工システム
５４  揺動機構（走査機構）
５８、７４  レーザ光学系駆動制御機構（走査位置補正機構）
６２  画像処理センサ（加工痕検出器）
【図１】
2004170455.tif 000003
【図２】
2004170455.tif 000004
【図３】
2004170455.tif 000005
【図４】
2004170455.tif 000006
【図５】
2004170455.tif 000007
【図６】
2004170455.tif 000008