(57)【要約】【課題】プローブホルダーへの接触子の組み付けを容易にすることにある。【解決手段】電気的接続装置１０は、ホルダー１４と接続基板１６と複数の接触子１８とを含む。電気絶縁性のホルダー１４は、高さ位置が異なる複数の上向き段部２０を有している。各接触子１８は、その略中央部１８ｂが略水平方向に伸びるクランク状の形状を有しており、また接続基板１６から下方に伸びており、さらにホルダー１４の段部２０を貫通している。【選択図】　　　　　図４
2004077191.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高さ位置が異なる複数の上向き段部を有する電気絶縁性のホルダーと、
該ホルダーの上に配置された接続基板と、
前記接続基板から下方に伸びる複数の接触子とを含み、
各接触子はその略中央部が略水平方向に伸びるクランク形状を有しており、各接触子の前記中央部から下方へ伸びる先端部は前記ホルダーの段部を貫通している、電気的接続装置。
【請求項２】
前記接触子の中央部は前記段部に当接している、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記ホルダーは前記複数の段部の高さ位置が外周に位置する段部ほど低くなるピラミッド状の形状を有している、請求項１又は請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項４】
前記ホルダーは、平面的にみて略矩形の形状を有していると共に、当該ホルダーの複数の段部の高さ位置が当該ホルダーの中央に位置する段部よりも前記矩形の対向する２つの側辺に位置する段部ほど低くなる形状を有している、請求項１又は請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記ホルダーは、平面的にみて略矩形の形状を有していると共に、前記複数の段部の高さ位置が当該ホルダーの前記矩形の１つの辺の側に位置する段部よりもこの１つの辺と対向する他の１つの辺の側に位置する段部ほど低くなる階段状の形状を有している、請求項１又は請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項６】
前記ホルダーは、平面的にみて略矩形の形状を有していると共に、前記複数の段部の高さ位置が前記ホルダーの前記矩形の隣り合う２つの辺の側に位置する段部よりもこの２つの辺と対向する他の２つの辺に交互に又は連続して位置する段部ほど低くなる階段状の形状を有している、請求項１又は請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項７】
前記ホルダーは、それぞれが前記複数の段部を有する複数の段付部材を備える、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項８】
前記複数の接触子の中央部の長さ寸法は互いに略等しい、請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項９】
前記接触子の少なくとも中央部は扁平の断面形状を有している、請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項１０】
前記複数の接触子は前記接続基板と当該接触子の中央部との間に湾曲部を有している、請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ボールグリッドアレイのように多数の電極を有する半導体集積回路の通電試験に用いられる電気的接続装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路を平板状被検査体とする電気的接続装置の１つとして、特開平５−３４０９６５号公報に記載の技術が知られている。この従来技術において、電気的接続装置は、配線基板に配置された電気絶縁性のプローブホルダーの中央に開口を有しており、開口を形成している内側面を逆Ｌ字状の複数のプローブを導出するためのプローブ導出面としている。
【０００３】
プローブ導出面は、下方側（被検査体側）に向かって広がる截頭角錐形の斜面を構成している。プローブは、その先端部が開口内を下方に向けて伸びるように、プローブホルダーを水平方向に貫通しており、またプローブ導出面から上下方向に多層状に導出されている。
【０００４】
プローブの先端は被検査体の電極に押圧される針先とされており、プローブの後端は配線基板の導電性部に接続される接続部とされている。プローブは、プローブの後端部をプローブ導出面に開口するようにプローブホルダーに設けられた差し込み穴に差し込むことでプローブホルダーに取り付けられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この電気的接続装置は、プローブの後端部を、テーパ状に広がるプローブホルダーの内側斜面に開口する差し込み穴にプローブを開口側から略水平に差し込んで保持する構造を有しているから、多数のプローブをプローブホルダーに組み付ける組み付けの作業性が悪いという問題がある。
【０００６】
具体的には、プローブの上下方向へ伸びる先端部から後方の領域（後端部）の長さ寸法が対向するプローブ導出面間の水平距離よりも、大きいと、プローブの先端部が対向する導出面に接触し、プローブの後端部を水平に保った状態に差し込み穴にスムーズに差し込むことができない。
【０００７】
また、既に差し込み穴に差し込まれたプローブが存在すると、そのプローブがプローブ導出面からプローブホルダーの開口内に突出されているから、それら差し込み済みのプローブを避けながら残りのプローブを差し込み穴に差し込まなければならず、差し込みの作業性が著しく悪い。
【０００８】
さらに、差し込み済みのプローブの先端部がプローブ導出面に開口する他の差し込み穴を覆うように存在するから、そのような差し込み穴に残りのプローブを差し込むことが難しく、差し込みの作業性が悪い。
【０００９】
さらにまた、プローブホルダーから開口内に導出されたプローブは、水平方向及び上下方向の位置を規制されていないから、プローブの先端の水平方向及び上下方向における位置の精度はプローブホルダーの保持精度に大きく影響する問題がある。特に、半導体ウエハーのように非常に小さいサイズの被検査体の場合、各プローブの先端の水平方向の位置精度を高めることは重要である。
【００１０】
本発明の目的は、プローブホルダーへの接触子の組み付けを容易にすることにある。
【００１１】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係る電気的接続装置は、高さ位置が異なる複数の上向き段部を有する電気絶縁性のホルダーと、該ホルダーの上に配置された接続基板と、前記接続基板から下方に伸びる複数の接触子とを含む。各接触子はその略中央部が略水平方向に伸びるクランク形状を有しており、各接触子の前記中央部から下方へ伸びる先端部は前記ホルダーの段部を貫通している。
【００１２】
上記電気的接続装置において、接触子が貫通している段部が上方に向いているから、複数の接触子をホルダーの段部に上から下に差し込むだけで、水平方向における接触子の位置が定まり、水平方向における接触子の位置精度が高くなる。
【００１３】
前記接触子の中央部は前記段部に当接していてもよい。これにより、接触子の上下方向の位置が定まるから、接触子の高さ位置精度が高くなる。
【００１４】
前記ホルダーは前記複数の段部の高さ位置が外周に位置する段部ほど低くなるピラミッド状の形状を有していてもよい。
【００１５】
上記の代わりに、前記ホルダーは、平面的にみて略矩形の形状を有していると共に、当該ホルダーの複数の段部の高さ位置が当該ホルダーの中央に位置する段部よりも前記矩形の対向する２つの側辺に位置する段部ほど低くなる形状を有していてもよい。
【００１６】
また、前記ホルダーは、平面的にみて略矩形の形状を有していると共に、前記複数の段部の高さ位置が当該ホルダーの前記矩形の１つの辺の側に位置する段部よりもこの１つの辺と対向する他の１つの辺の側に位置する段部ほど低くなる階段状の形状を有していてもよい。
【００１７】
さらに、前記ホルダーは、平面的にみて略矩形の形状を有していると共に、前記複数の段部の高さ位置が前記ホルダーの前記矩形の隣り合う２つの辺の側に位置する段部よりもこの２つの辺と対向する他の２つの辺に交互に又は連続して位置する段部ほど低くなる階段状の形状を有していてもよい。
【００１８】
さらにまた、前記ホルダーは、それぞれが前記複数の段部を有する複数の段付部材を備えていてもよい。これにより、前記複数の段付き部材を組み合わせることにより、種々の位置に接触子を配置することができる。
【００１９】
前記複数の接触子の中央部の長さ寸法は互いに略等しくすることができる。これにより、接触子が被検査体の電極に押圧されると、接触子の中央部は略同程度の撓む。このとき、接触子の中央部の長さ寸法は互いに略等しいと、接触子により被検査体に作用する押圧力が略同じになり、安定した電気的特性を測定することができる。
【００２０】
前記接触子の少なくとも中央部は扁平の断面形状を有していてもよい。これにより、接触子が被検査体の電極に押圧されたとき、接触子は、断面が扁平の中央部において撓み、オーバードライブが被検査体に効果的に作用する。
【００２１】
扁平の部分の断面積は他の部分の断面積と略等しくすることができる。これにより、扁平による電気特性の劣化を防止する。
【００２２】
前記複数の接触子は前記接続基板と当該接触子の中央部との間に湾曲部を有していてもよい。これにより、接触子が被検査体の電極に押圧されたときに、過剰のオーバードライブが作用しても、湾曲部がそのオーバードライブにより大きく湾曲して、その押圧力を吸収する。
【００２３】
電気的接続装置は、前記ホルダーの下に配置されたベース基板、又は、前記ホルダーの上方に配置された配線基板を含むことができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図１から図８を参照するに、電気的接続装置１０は、ベース基板１２と、ベース基板１２の上に配置されたホルダー１４と、ホルダー１４の上方にホルダー１４から間隔をおいて配置された接続基板１６と、ホルダー１４に配置された複数の接触子１８とを含む。
【００２５】
図１、図４及び図５に示すように、ホルダー１４は、高さ位置が異なる複数の上向き段部２０を有している。ホルダー１４は、その外側に位置する段部２０の高さ位置よりも内側に位置する段部２０の高さ位置が高いピラミッド状、換言すれば、段部２０の高さ位置が外側に位置する段部２０ほど低くなるピラミッド状の形状を有している。
【００２６】
段部２０は、最も高位位置にある段部２０ａを中心とする矩形の段部２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆを形成している。段部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆのそれぞれは、ホルダー１４を厚さ方向に貫通する複数の貫通穴２２を、輪郭の奥行き（幅）方向の中央に各輪郭の長手方向に間隔をおいて一列に有している。
【００２７】
図１から図４に示すように、ベース基板１２は、平面的にみて略矩形の板の形をしており、またスペーサー２４を組み付けるためのねじ部材７０用の貫通穴２６を少なくとも４隅に有している。ベース基板１２は、ベース基板１２の厚さ方向に貫通する複数の貫通穴２８を有している。スペーサー２４は、ねじ部が貫通する雌ねじ穴とされた筒状の形状を有している。
【００２８】
ガイド板３０は、平面的に見て矩形の形状を有しており、またガイド板３０を厚さ方向に貫通する複数の貫通穴３２を有している。ガイド板３０は、複数のねじ部材又は接着剤により、ベース基板１２の下面に組み付けられる。
【００２９】
貫通穴２２、２８，３２は一対一の関係に対応されており、またそれらの配置位置関係は平面的に見て被検査体の電極の配置位置関係と略同じとされている。ベース基板１２、ホルダー１４及びガイド板３０は、電気絶縁性の材料、例えば樹脂からなる。
【００３０】
図３及び図４に示すように、ホルダー１４の段部２０、ベース基板１２及びガイド板３０の貫通穴２２，２８，３２は、接触子１８の先端部１８ａ（図６（Ａ）参照）を貫通させるべく、ホルダー１４の段部２０、ベース基板１２及びガイド板３０の貫通穴２２，２８，３２が平面的に見て同じ位置とされている。
【００３１】
図６に示すように、複数の接触子１８は、断面形状が円形で略同一の金属細線３４を中央の２カ所で互いに反対方向に屈曲させて、先端部１８ａ、中央部１８ｂ、後端部１８ｃとしたクランク状の形状（図６（Ａ）参照）を有しており、先端部１８ａの先端を被検査体に押圧される扁平（図６（Ｂ）参照）の針先としている。
【００３２】
それらの接触子１８は、先端部１８ａ及び後端部１８ｃの長さ寸法は異なるが、中央部１８ｂの長さ寸法は略同じとされており、これにより全長さ寸法が略同じとされている。
【００３３】
各接触子１８は、中央部１８ｂが先端部１８ａ及び後端部１８ｃの長さ寸法に応じた高さ位置の段部２０に当接するように、及び、中央部１８ｂが外方へ水平に伸びるように、先端部１８ａを所定の貫通穴２２，２８，３２に差し通されている。
【００３４】
上記の結果、図４に示すように、接触子１８は段部２０の数に応じて多層に配置されるにもかかわらず、接触子１８の高さ位置は、中央部１８ｂが段部２０に当接していることにより位置決められるから、接触子１８の高さ位置を調整する必要がなく、先端部１８ａを所定の貫通穴２２，２８，３２に差し込む作業の能率が向上する。
【００３５】
接触子１８の先端部１８ａの長さ寸法と後端部１８ｃとの長さ寸法の合計寸法を互いに等しくした場合、中央部１８ｂの長さ寸法も等しくなる。これにより、接触子１８の後端部１８ｃの配置位置関係が被検査体の電極の配置位置関係と相似になる。
【００３６】
接続基板１６は、電気絶縁材料により板状に製作されている。図７に示すように、接続基板１６は、接触子１８の後端部１８ｃが個々に貫通された複数の貫通穴３６と、貫通穴に個々に対応されて上方に開口する複数の凹部３８とを有している。
【００３７】
接続基板１６の４つの隅部には、上方から貫通されてスペーサー２４に螺合されたねじ部材４０の頭部を受け入れる截頭円錐形の貫通穴４２を有している。貫通穴３６，４２は、接続基板１６を厚さ方向に貫通している。
【００３８】
接続基板１６の上面には、配線基板４４の円錐状の凹部（図示せず）にかみ合って水平方向における相対的な位置決めをするための円錐状の突起部４６が、接続基板１６の外周付近の複数箇所に設けられている。
【００３９】
接続基板１６の上面には、また、接触子１８に個々に対応された複数の接続ランド４８が設けられている。各接続ランド４８は、接触子１８の後端部１８ｃを配線基板４４の配線に電気的に中継するためのものである。
【００４０】
各接続ランド４８は、接続基板１６の上面に形成された凹部３８を覆うように配置され、平面的にみて略目の形状又は略楕円形の形状を有する接続部５０を備えていると共に、長軸線方向の端部から中央に向かって回転対称状に伸びる２つの接触片５２を備えている。２つの接触片５２は回転対称軸付近に隙間５４を形成している。
【００４１】
接続ランド４８の長手軸線方向における一端部は、接触子１８の後端部１８ｃと電気的に接続するためのベース５６とされており、そのベース５６の略中央に接触子１８の後端部１８ｃの直径寸法と略同じ内径寸法を有する貫通穴５８を備えている。
【００４２】
配線基板４４は、略円板状の形状を有しており、また接触子１８に個々に対応された複数のテスターランド６０を上面外周縁部に備えており、さらに配線基板４４の配線６２を介してテスターランド６０に個々に接続された複数の突起電極６４を下面に備えている。
【００４３】
各突起電極６４は、下方に突出する略円錐形の形状を有している（図７参照）。配線基板４４は、ねじ部材６６が上方から下方に貫通する複数の貫通穴６８を備えている。配線基板４４は、各ねじ部材６６が貫通穴６８を貫通して、接続基板１６に形成されたねじ穴７２に螺合されることにより、接続基板１６を組み付けられる。
【００４４】
貫通穴２２，２８，３２，３６，５８の直径寸法は、接触子１８を差し通すことができるように、接触子１８の直径寸法と略同じである。
【００４５】
以上の電気的接続装置１０は、以下のようにして組み立てることができる。
【００４６】
先ず、図１に示すように、貫通穴２２，２８，３２が上下に整列するように、ガイド板３０がベース基板１２の下側に配置されると共に、ホルダー１４がベース基板１２の上側に配置され、さらにスペーサー２４がねじ部材７０によりベース基板１２に取り付けられる。
【００４７】
次いで、接触子１８の先端部１８ａが貫通穴２２，２８，３２に差し通される。この際、貫通穴２２，２８，３２が上下に整列されて連通されているから、接触子１８の先端部１８ａを、ホルダー１４の段部２０、ベース基板１２及びガイド板３０に差し通すことができる。
【００４８】
複数の接触子１８は、以下の手順でホルダー１４に差し通すことができる。
【００４９】
先ず、中央部１８ｂが水平に伸びるように、ホルダー１４の最も外側用の接触子１８の先端部１８ａが、ホルダー１４の上から下に向けて、ホルダー１４の外側に位置する段部２０すなわち段部２０の高さ位置が低い段部２０ｆの各貫通穴２２に差し通される。
【００５０】
この際、各接触子１８は、挿通済みの接触子１８の中央部１８ｂ及び後端部１８ｃが未挿通の内側の段部２０ｅ，２０ｄ，２０ｃ，２０ｂ，２０ａの貫通穴２２を横切らないように、中央部１８ｂをホルダー１４の外方へ向けられる。
【００５１】
同様に、１つ内側の段部２０ｅ用の接触子１８の先端部１８ａが、１つ内側の段部２０ｅの各貫通穴２２に挿通される。このように、接触子１８が外側に位置する段部の各貫通穴２２から内側に位置する段部２０の各貫通穴２２へと、順番に挿通される。
【００５２】
接触子１８を内側に位置する段部の貫通穴２２に差し込むとき、次に差し込むべき内側の段部２０ｅの貫通穴２２をホルダー１４の上方から十分に目視することができるから、接触子１８の先端部１８ａを段部２０ｅの貫通穴２２に差し込みやすくなる。また、接触子１８を貫通穴２２に差し込むだけで、水平方向における接触子１８の位置決めが行われるから、そのような位置決め作業を行う必要がない。それらの結果、接触子１８の差し込み作業の能率が向上する。
【００５３】
全ての貫通穴２２に接触子１８が差し込まれると、次に、接続基板１６がスペーサー２４にねじ部材４０により組み付けられる。このとき、接触子１８の後端部１８ｃが接続基板１６の下側から貫通穴３６に差し通される。この下面から差し込まれた接触子１８の後端部１８ｃは、接続基板１６の貫通穴３６及び接続ランド４８を貫通して、接続ランド４８からその上方に突出されている。
【００５４】
上記のように組み立てられた状態において、接続基板１６及びベース基板１２の四隅にスペーサー２４が配置されているから、接続基板１６とベース基板１２とは、略平行でかつ一定の隙間を維持した状態に、相対的移動不能に堅固に組み付けられている。
【００５５】
次いで、図１及び図７に示すように、接触子１８は、後端部１８ｃを接続基板１６の貫通穴３６及び接続ランド４８の貫通穴５８に挿通された後に、後端部１８ｃにおいて半田のような導電性接着剤により接続ランド４８に移動不能かつ電気的に接続される。
【００５６】
接触子１８を接続基板１６の貫通穴３６とに通すとき、及び、接触子１８を接続ランド４８に接続するとき、各接触子１８の中央部１８ｂが所定の段部２０に当接されていることにより、各接触子１８が所定の高さ位置に位置決められる。その結果、ホルダー１４及び接続基板１６に対する接触子１８の配置作業及び組み付け作業が容易になる。
【００５７】
接触子１８の後端部１８ｃのうち、接続ランド４８から突出した部分は、接合の後に、切断されて、除去される。しかし、接触子１８の後端部１８ｃは、接続ランド４８からわずかに突出させてもよいし、突出させなくてもよい。そのような場合、接触子１８の後端部１８ｃを切断する必要がない。
【００５８】
次いで、配線基板４４が接続基板１６の上側に配置され、接続基板１６と配線基板４４とがねじ部材６６により相対的移動不能に組み付けられる。このとき、接続基板１６の円錐状の突起部４６が配線基板４４の円錐状の凹部にかみ合って水平方向の相対的な位置決めが行われる。
【００５９】
上記のように接続基板１６と配線基板とが位置決められると、配線基板４４から下方に突出している突起電極６４の先端が、対応する接続ランド４８の２つの接触片５２，５２により形成される隙間５４に正しく差し込まれる。これにより、突起電極６４の先端が２つの接触片５２，５２を押し下げるから、２つの接触片５２，５２が撓み、２つの接触片５２，５２の内側縁が突起電極６４の円錐状の側面に電気的に確実に接触する。
【００６０】
配線基板４４のテスターランド６０は、被検査体の電気的特性の測定検査をするテスター（図示せず）に電気的に接続される。これにより、被検査体の電極は、接触子１８、接続ランド４８の接触片５２、突起電極６４、配線基板４４の配線６２及びテスターランド６０を介して、テスターに電気的に接続される。
【００６１】
被検査体の測定検査時、接触子１８の先端と被検査体の電極とが相対的に押圧される。このとき、接触子１８の中央部１８ｂが接続基板１６とベース基板１２との間に位置されているから、接触子１８の先端部１８ａがオーバードライブによりベース基板１２側に若干押し戻されると共に、中央部１８ｂが接続基板１６側に撓む。
【００６２】
すなわち、接触子１８の先端部１８ａを押し込む外力が針先に作用すると、接触子１８の中央部１８ｂがその外力を適切に吸収すると共に、接触子１８の針先と被検査体の電極とが電気的に確実に接続するために必要な反力（針圧）を得ることができる。
【００６３】
上述のホルダー１４は、種々の形状に変更することができる。
【００６４】
例えば、図９に示すホルダー１４は、平面的にみて略矩形の形状を有していると共に、ホルダー１４の複数の段部２０の高さ位置がホルダー１４の中央に位置する段部２０ａよりも、中央の段部２０ａを介して対向する矩形の２つの側辺に位置する段部２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅほど低くなる、切妻屋根状の形状を有している。
【００６５】
図１０に示すホルダー１４は、平面的にみて略矩形の形状を有していると共に、複数の段部２０の高さ寸法がホルダー１４の矩形の１つの辺１４ａの側に位置する段部２０よりもこの１つの辺１４ａと対向する他の１つの辺１４ｂの側に位置する段部２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅほど小さくなる階段状の形状を有していている。
【００６６】
図１１に示すホルダー１４は、平面的にみて略矩形の形状を有していると共に、複数の段部２０の高さ寸法がホルダー１４の矩形の隣り合う２つの辺１４ｃ，１４ｃの側に位置する段部２０ａよりもこの２つの辺１４ｃ，１４ｃと対向する他の２つの辺１４ｄ，１４ｄに交互に又は連続して位置する段部２０ｂ，２０ｃ，２０ｄほど小さくなる、変形した階段状の形状を有している。
【００６７】
ホルダー１４は、また、それぞれが複数の段部２０を有する複数の段付部材８０を用いて形成してもよい。例えば、図１２に示すホルダー１４は、図１１に示す段部２０を有する４つの段付部材８０を組み合わせている。また、図１２において手前側の２つの段付部材８０の代わりに図１０に示す段部２０を有する段付部材を組み合わせてもよい。
【００６８】
同様に、接触子１８は、種々の形状に変更することができる。
【００６９】
例えば、図１３（Ａ）に示す接触子１８は、その中央部１８ｂの一部分１８ｄを扁平の横断面形状とし、接触子１８の他の部分１８ｅを円形の横断面形状にしている。図１３（Ａ）に示す接触子１８においては、その一部分１８ｄと他の部分１８ｅの断面積を同じにしている。これにより、接触子１８の電気的特性が低下しない。
【００７０】
図１３（Ｂ）に示す接触子１８は、接続基板と中央部との間すなわち後端部１８ｃの一部に湾曲部１８ｆを有している。図１３（Ｂ）に示す接触子１８において、後端部１８ｃに湾曲部１８ｆを形成するのみならず、さらに中央部１８ｂの横断面形状を扁平にしてもよい。
【００７１】
扁平の横断面形状を有する接触子や湾曲部１８ｆを有する接触子は、接触子と被検査体とが相対的に押圧されたときに、扁平部や湾曲部が弾性変形しやすくなるから、図６に示す接触子１８よりも、より適正な針圧とすることができる。
【００７２】
接触子の先端部の形状は、図６に示す実施例の形状以外の形状としてもよい。例えば、図１４に示すように、接触子の先端を鋭角（図１４（Ａ）参照）にしてもよいし、接触子の先端に端面に開放する凹部（図１４（Ｂ）参照）を形成してもよいし、接触子の先端を王冠状（図１４（Ｃ）参照）に形成してもよい。
【００７３】
さらに、上記したホルダー及び接触子の変形例を組み合わせてもよい。
【００７４】
上記の実施例では、ニードルタイプのプローブを接触子として用いているが、ブレードタイプのプローブ等、他のタイプのプローブを接触子として用いてもよい。また、接続基板１６と配線基板４４とを一体的に製作してもよい。
【００７５】
上述のように、本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電気的接続装置の第１実施例の分解斜視図である。
【図２】図１に示す電気的接続装置の組み立て完成後の下から見上げた外観斜視図である。
【図３】図２に示す電気的接続装置の底面図である。
【図４】図３における４−４線に沿って得た断面図である。
【図５】図１に示したホルダーの斜視図である。
【図６】図１に示す電気的接続装置で用いる接触子の一実施例を示す図であって、（Ａ）は接触子の正面図、（Ｂ）は接触子の先端部付近の拡大図である。
【図７】図４に示す断面図の一部拡大図である。
【図８】図７に示す接続ランドの平面図である。
【図９】ホルダーの第２実施例を示す外観斜視図である。
【図１０】ホルダーの第３実施例を示す外観斜視図である。
【図１１】ホルダーの第４実施例を示す外観斜視図である。
【図１２】ホルダーの第５実施例を示す外観斜視図である。
【図１３】接触子の第２実施例を示す図であって、（Ａ）は接触子の中央部の一部が扁平の断面形状を有する接触子の正面図、（Ｂ）は後端部に湾曲部を形成した接触子の正面図である。
【図１４】接触子の先端部の形状を示す図であって、（Ａ）は鋭角とされた先端部の実施例を示す一部拡大図、（Ｂ）は先端に凹部を形成した例を示す一部拡大図、（Ｃ）は先端を王冠状に形成した例を示す一部拡大図である。
【符号の説明】
１０　電気的接続装置
１２　ベース基板
１４　ホルダー
１４ａ　ホルダーの矩形の１つの辺
１４ｂ　ホルダーの矩形の１つの辺に対向する辺
１４ｃ，１４ｃ　ホルダーの矩形の隣り合う２つの辺
１４ｄ，１４ｄ　ホルダーの矩形の隣り合う２つの辺に対向する２つの辺
１６　接続基板
１８　接触子
１８ａ　接触子の先端部
１８ｂ　接触子の中央部
１８ｃ　接触子の後端部
１８ｄ　扁平の断面形状を有している接触子の部分
１８ｆ　接触子の湾曲部
２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ　ホルダーの段部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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