(57)【要約】      （修正有）【課題】基板収納容器へのフィルタ保持部材の取り付けを容易にし、フィルタ保持部材の取り付け作業の間違いを防ぐと共に、フィルタ保持部材の洗浄を予め決められた方向から行うようにして品質の安定を図る。【解決手段】フィルタ保持部材１が両端に開口を備え、この開口を連通する中空状に形成された内部を有し、それぞれの開口部の形状を異なる形状に形成し、一方の開口端部に洗浄用ノズルが挿入可能とすることで、フィルタ保持部材１を予め決められた方向から洗浄可能とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有し１又は複数の基板を内部に収納可能な容器本体と前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体とからなり、フィルタ保持部材を有する基板収納容器であって、前記フィルタ保持部材が中空部と、両端部に前記中空部に相通じる２つの異なる形状の開口を有し、前記中空部にはフィルタを収納し、前記開口の一端部のみが基板収納容器に設けられる貫通孔周縁に係合可能な形状に形成され、前記開口の他端部は、洗浄用ノズルと係合可能な形状に形成されたことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記フィルタ保持部材が、弾性部材からなるアダプタを介して基板収納容器に取り付け可能である請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
開口を有し１又は複数の基板を内部に収納可能な容器本体と前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体とからなる基板収納容器に取り付けられるフィルタ保持部材の洗浄方法であって、フィルタ保持部材は中空部と、両端部に前記中空部に相通じる２つの異なる形状の開口を有し、前記中空部に収納されるフィルタと、基板収納容器の貫通孔周縁に係合する開口一端部と、洗浄用ノズルと係合可能な開口他端部とをさらに有し、前記開口他端部に洗浄用のノズルを嵌合させ、前記洗浄ノズルからフィルタ洗浄液を前記フィルタ保持部材に供給し、前記フィルタ洗浄液の流れ方向に沿って前記フィルタの上流部分の汚染物質を前記フィルタ表面の他端部側の表面に集積させ、前記フィルタより下流部分の汚染物質を前記フィルタ洗浄液により洗い流すことを特徴とする基板収納容器用フィルタ保持部材の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやフォトマスクガラス等の基板を収納する基板収納容器に関し、特には基板収納容器の内部と外部との気圧差を調整するフィルタ保持部材が取り付けられた基板収納容器及びその洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
基板収納容器は、内部に収納する基板を汚染しないように高い密封性が求められている。ところが、この高い気密性のため航空機での輸送や半導体生産工場内での高速搬送などによって基板収納容器の内部と外部との間に圧力差が生じた場合、この圧力差によって蓋体が容器本体に密着して開きにくくなるという問題があった。そこで、基板収納容器の内外の気圧差を調整するためのフィルタ部材付きの基板収納容器が、提案されている。（特許文献１、２参照）
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−１３９４２１号公報  （頁４−頁５、図１、２）
【特許文献２】
特開平１１−２３３６０７号公報（頁３−頁５、図３）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
こうしたフィルタ部材付きの基板収納容器では、樹脂から形成されるフィルタ部材を基板収納容器に保持させるために基板収納容器に螺刻部を形成して、これらを噛み合わせたり、係止片や係止爪を設けてフィルタ部材を保持させているが、基板収納容器を形成する金型構造が複雑になってしまっていた。すなわち、螺刻部を形成する場合には離型時の回転機構が必要だし、係止爪を形成する場合には、離型時のアンダーカット部を回避するスライド機構が必要であり構造が複雑になり、コストアップを招いていた。
【０００５】
また、こうした基板収納容器用のフィルタ保持部材は、内部にフィルタ収納部を有し先端に向かって縮径した開口ノズルを有する円盤状の部品を２つ組み合わせて溶着させて一体化したものが使用されていた。こうした一体化したフィルタ保持部材は、ほぼ対称形となるので、これを使用後、あるいは使用前に洗浄しようとするときに、洗浄する向きを間違えてしまいフィルタの濾過方向と洗浄液の流入方向が一致したり、しなかったりして、品質を安定させることができなかった。また、取り付けの際にも誤った方向にフィルタ保持部材を取り付けてしまうことで、基板収納容器に流入する気体とともに汚染物質を基板収納容器内部に流入させてしまい、フィルタの取り付けた効果が十分に得られないことがあった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、こうした問題点に鑑みてなされたものであり、第一の発明は開口を有し１又は複数の基板を内部に収納可能な容器本体と前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体とからなり、フィルタ保持部材を有する基板収納容器であって、前記フィルタ保持部材が中空部と、両端部に前記中空部に相通じる２つの異なる形状の開口を有し、前記中空部にはフィルタを収納し、前記開口の一端部のみが基板収納容器に設けられる貫通孔周縁に係合可能な形状に形成され、前記開口の他端部は、洗浄用ノズルと係合可能な形状に形成されたことを特徴とする基板収納容器である。
【０００７】
第二の発明は開口を有し１又は複数の基板を内部に収納可能な容器本体と前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体とからなる基板収納容器に取り付けられるフィルタ保持部材の洗浄方法であって、フィルタ保持部材は中空部と、両端部に前記中空部に相通じる２つの異なる形状の開口を有し、前記中空部に収納されるフィルタと、基板収納容器の貫通孔周縁と係合する開口一端部と、洗浄用ノズルと係合可能な開口他端部とをさらに有し、前記開口他端部に洗浄用のノズルを嵌合させ、前記洗浄ノズルからフィルタ洗浄液を前記フィルタ保持部材に供給し、前記フィルタ洗浄液の流れ方向に沿って前記フィルタの上流部分の汚染物質を前記フィルタ表面の他端部側の表面に集積させ、前記フィルタより下流部分の汚染物質を前記フィルタ洗浄液により洗い流すことを特徴とする基板収納容器用フィルタ保持部材の洗浄方法である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明のフィルタ保持部材１付き基板収納容器２０の実施形態についてその一例を図面を使って説明をする。図１は、本発明に用いられるフィルタ保持部材１付き基板収納容器２０の展開図である。フィルタ保持部材１が取り付けられる基板収納容器２０の容器本体２１には貫通穴と傾斜面から成る係止部とが設けられていて、フィルタ保持部材１は、一端に先端の開口に向かって縮径する第一の傾斜面７を、他端には開口に向かって拡開する第二の傾斜面９を有し、内部は中空に形成され、中間部は円板状に形成されフィルタ５を保持する空間を有し両端に形成された開口を連通している。
【０００９】
フィルタ保持部材１は、図２に示したようにフィルタ５を挟んで非対称形状に形成されるが、中間部は円板状で内部が中空部４として形成されていて基板収納容器２０の内部と外部とを連通する連通部６が形成されている。ここで、フィルタ保持部材１は中間部を境に分割される２つの部材として先ず形成され、中間部となる２つの部材の相対する円板状部分の内部にフィルタ５及びその保護部材を収納して、周縁部を溶着や接着することで形成される。
【００１０】
前記２つの部材に収納されるフィルタ５としては、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、多孔質のフッ素樹脂膜あるいはガラス繊維などからなる分子濾過フィルタあるいは活性炭素繊維などの濾材に化学吸着剤を担時させたケミカルフィルタが１又は複数枚重ねて挿入される。このとき、フィルタ５の上面及び下面にはポリプロピレンやポリエチレン等からなる保護部材が設けられ、フィルタ５を保持している。これらのフィルタ５が側壁に細孔を有する多孔質体である場合、その細孔径としては、特に制限はないが、２μｍ以下のものが好適である。また、特に好ましくは、０．５μｍ以下のものである。さらに、フィルタ５表面に各種コーティングを施し、洗浄液との親和性を制御することも可能である。また、フィルタ５は異なる性能のものを組み合わせて使用することが好ましい。例えば、分子濾過フィルタとケミカルフィルタを組み合わせると基板のパーティクル汚染のみならず有機ガス汚染も防止できるのでより好ましい。
【００１１】
図３は、本発明のフィルタ保持部材１の断面図であり、基板収納容器２０の容器本体２１又は蓋体２２に設けられた貫通穴部２４に取り付けられる。貫通穴部２４の側壁は、フィルタ保持部材１の第一の傾斜面７と係合可能な円錐状に形成され、この内側面にはさらに係合凹部２５が形成されていて、フィルタ保持部材１の一方の開口部を挿入し係合凸部８と摩擦係合してフィルタ保持部材を基板収納容器に係止する。この結果、基板収納容器２０の内部と外部とをフィルタ５を介して連通するようになる。フィルタ保持部材１を基板収納容器２０に摩擦係合させるため、前記したように凹凸嵌合部をそれぞれに設けても良いし、一方に設けても良い。
【００１２】
また、本発明のフィルタ保持部材１は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート等の熱可塑性樹脂から形成されるが、ポリエステル系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、ポリスチレン系エラストマー等の熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム、ＥＰＤＭゴム、ブチルゴム、ニトリルゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴムなどの各種ゴム材料から形成する事もできる。こうした弾性変形可能なゴム材料から形成すると基板収納容器２０に設けた係合用の凹部との間に、シールを形成できるし、保持力も大きくなるので好ましい。またこの場合、容易に取り付け取り外しできるものであり、基板収納容器２０を洗浄するときにもフィルタ保持部材１を基板収納容器２０から容易に取り外すことができ、洗浄後の取り付け作業も容易である。また、樹脂製のフィルタ保持部材１を基板収納容器２０に噛み合わせたり、係合させたりしないので、樹脂紛の発生を著しく低減できる。
【００１３】
本発明のフィルタ保持部材１は、蓋体２２に取り付けることもできる。蓋体２２は、側壁に容器本体２１に係止するための１対の係止部材を有し、内面には基板を保持する収納溝を有する弾性部材からなるリテーナが設けられている。また、蓋体２２の内面側には、容器本体２１の開口部周縁と向き合う段部が形成されていて、段部の側面にはシール部材が配置されている。蓋体２２表面に設けられた貫通穴部２４に、上記したようにフィルタ保持部材１を基板収納容器２０の内外を連通するように取り付けることができる。
【００１４】
図４、５は別の実施形態を表すものであり、フィルタ保持部材１をアダプタ１１を介して基板収納容器２０の貫通穴部２４に取り付けるものである。アダプタ１１は、略円板状に形成される部分と脚部１４とを有し、円板状部分にフィルタ保持部材１の外周を保持可能な外周を有する穴部が設けられている。さらに、円板状部分の外周部から、円板状部分に対して垂直方向に伸びる脚部１４が形成されていて、脚部１４先端には、外周方向に突出する第一の係止部１２と、第二の係止部１３が形成されていて、それぞれフィルタ保持部材１と貫通穴部２４の周縁と噛み合い貫通穴部２４の周縁にフィルタ保持部材１を保持する。ここで、アダプタ１１は、弾力性を有するポリオレフィン系やポリエステル系の熱可塑性エラストマーやＰＰ、ＰＥ等の熱可塑性樹脂、ＮＢＲやＩＲ、フツ素ゴムなどのゴム材料から形成される。このような弾性部材からなるアダプタ１１を使用することで、フィルタ保持部材１を硬質の合成樹脂から形成した場合であっても、基板収納容器２０の貫通穴部２４に簡単な構造でシール可能に保持できる。また、この場合、フィルタ保持部材１の開口一端部２の外周や基板収納容器２０の貫通穴部２４の内周に、係合用手段を設けなくても良いので、より簡単な構造でフィルタ部材を保持できる。
【００１５】
次に、上記したように基板収納容器２０に取り付けられるフィルタ保持部材１の洗浄方法について説明する。フィルタ保持部材１は、使用前の洗浄、あるいは一定期間の使用の後濾過能力を回復させるために洗浄される。フィルタ保持部材１の洗浄は、加圧した洗浄液を噴出させる洗浄ノズルによって行われるので、洗浄ノズルをフィルタ保持部材１に固定することが望ましい。その為、洗浄ノズルは外表面にフィルタ保持部材１との係止用の突起が形成されたものを使用すると良い。（第一の洗浄ノズル）また、本発明のフィルタ保持部材１こうした第一の洗浄ノズルを使用する場合、フィルタ保持部材１の一方の開口端部にのみ挿入可能とすることができる。本実施形態の場合、図４に示すように、他端部の開部口の内周面には第一の洗浄ノズル３０と噛み合うように、嵌合用の溝部１０が所定の寸法で設けられている。一方第一の洗浄ノズル３０側には、嵌合突起部３１が形成されていて、図５に示すように第一の洗浄ノズル３０をフィルタ保持部の開口他端部３に挿入することで、嵌合して保持される。ここでフィルタ保持部材１の洗浄液は、メタノール、エタノール、イソプロパノールと言ったアルコール類や酢酸エステルに代表されるエステル系溶剤、アセトン等のケトン系溶剤が一般的に使用されるが、フィルタの種類によっては、超純水や、各種水溶液を使用することも可能である。
【００１６】
上記したように第一の洗浄ノズル３０がフィルタ保持部材１の開口他端部３と嵌合すると、洗浄液を噴出させてフィルタ５を気体の流入方向から洗浄する。このようにフィルタ保持部１の開口他端部３にのみ挿入可能であるので、フィルタ保持部１に保持されるフィルタ５を他端側すなわち気体の流入側から洗浄されることになる。また、一端部の開口部と第一の洗浄ノズル３０先端の形状が異なり、一端部には第一の洗浄ノズル３０は挿入できないので、一端側からは洗浄できない。その為、フィルタ５の洗浄は、常にフィルタ５の気体の通過方向からのみ行うようにすることができる。このとき、洗浄液の流れ方向に沿ってフィルタ５上流部の汚染物質はフィルタ５表面に捕捉集積し、フィルタ５下流部の汚染物質は、フィルタ５を濾過した洗浄液によってフィルタ保持部材１の外部へ洗い流されることで、フィルタ保持部材１を基板収納容器２０に係合した場合でも、基板収納容器２０の内部は清浄な状態に保たれるため、汚染物質が基板収納容器２０内部へ侵入することを防止できる。すなわちフィルタの濾過能力及び品質が安定する。また、フィルタ保持部１の開口端部をこのように異なる形状とすることで誤って基板収納容器２０に逆側から取り付けることもないので、取り付け作業のミスの防止にもなる。もし、他端部側からも取り付け可能な構造とすると、これまで捕捉したパーティクルを基板収納容器２０に流入させることになるので、基板を汚染する恐れがある。
【００１７】
また、図６、図７はさらに別の洗浄方法を示すものであり、洗浄ノズルの形状を上記したようにフィルタ保持部材１の開口他端部３と嵌合可能なもの（第一の洗浄ノズル３０）と、開口一端部２と嵌合可能なものの（第二の洗浄ノズル３２）２種類を用意しておき、これらを交互にフィルタ保持部材１の開口部に嵌合させて、流体の通過方向に対して順方向の洗浄と、逆方向の洗浄（逆洗浄）を行うことも可能となる。ここで、開口一端部２と嵌合する第二の洗浄ノズル３２は、先端開口に向かって拡開するように形成され、フィルタ保持部材１との開口一端部２と係合可能な内周面に嵌合溝部３３を有するように形成されている。この嵌合溝部３３は、先ほどと同様に第二の洗浄ノズル３２を開口一端部２に挿入し回転させることで、開口一端部２の外周に設けられる係止突起と噛み合うように形成される。なお、この場合も、最後にもう一度フィルタ保持部材の開口他端部から順方向の洗浄を行う必要がある。そうすることで、基板収納容器の貫通孔に挿入される開口一端部側のフィルタ面に捕捉された汚れを洗い流したクリーンな状態で使用することができる。このように繰り返し洗浄をする場合でも、フィルタ保持部材１の開口端部と第一の洗浄ノズル３０及び第二の洗浄ノズル３２とは、それぞれ一方の開口端部とのみ嵌合可能となるので、洗浄の順番を間違えて、同じ方向に２度洗浄したりしないので、最後に逆洗浄をした状態で使用する事を防止でき、フィルタを安定した品質で使用することが可能となる。
【００１８】
【効果】
本発明のフィルタ保持部材のように開口両端部の形状を異なる形状にすることで、フィルタ保持部材を予め定められた方向から洗浄できるので、洗浄後の品質が安定する。また取り付け作業が容易で、しかも間違った方向に取り付けることも防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に用いられるフィルタ保持部材付き基板収納容器を表す展開図。
【図２】本発明に用いられるフィルタ保持部材付を表す断面図。
【図３】本発明に用いられるフィルタ保持部材を基板収納容器に取り付けた状態を表す略断面図。
【図４】本発明に用いられるフィルタ保持部材付を取り付けるアダプタを表す斜視図。
【図５】図４に示したアダプタ部材を基板収納容器に取り付けた状態を表す略断面図。
【図６】本発明のフィルタ保持部材の洗浄方法を表す断面図。
【図７】本発明のフィルタ保持部材の別の洗浄方法を表す断面図
【符号の説明】
１  フィルタ保持部材
２  開口一端部
３  開口他端部
４  中空部
５  フィルタ
６  連通部
７  第一の傾斜面７１
８  開口一端部の係合凸部
９  傾斜面２
１０  嵌合溝部
１１  アダプタ
１２  第一の係止部１２
１３  第二の係止部１３
１４  脚部
２０  基板収納容器
２１  容器本体
２２  蓋体
２３  カセット
２４  貫通穴部
２５  係合凸部
３０  第一の洗浄用ノズル
３１  第一の洗浄用ノズルの嵌合用突起部
３２  第二の洗浄用ノズル
３３  第二の洗浄用ノズルの嵌合用突起部
Ｗ    基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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