(57)【要約】【課題】複数台の真空ポンプが配設された場合でも、各真空ポンプの回転体の回転数及びその位相を一致させることで、うなりや低周波の振動を防止することが可能な真空ポンプシステムを提供する。【解決手段】マスター側の制御装置４００Ａからは、その出力スイッチ４０２を介して、回転同期信号５０１が出力される。スレーブ側の制御装置４００Ｂでは、入力スイッチ４０３を介して回転同期信号５０１が取り込まれる。この回転同期信号５０１は、同期信号比較回路４０５で、回転検出センサ１２４Ａの検出信号との位相比較が行われる。ゲート信号生成回路２４６では、同期信号比較回路４０５の比較の結果に基づきモータ駆動回路２２２を制御して、ロータ軸１１３の回転速度を変化させる。【選択図】　　　　図２
2004100624.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体と、該回転体を回転駆動するモータとを備え、被対象設備より所定のガスを吸引するため該被対象設備に並設して取り付けられたＮ台の真空ポンプと、
該真空ポンプに接続され、前記回転体の回転状態である回転数及び／又は回転位相を制御する制御装置とを備えた真空ポンプシステムであって、
前記真空ポンプを停止する停止手段と、
前記制御装置のうちのいずれか１台をマスター制御装置として設定し、該マスター制御装置を除くＮ−１台をスレーブ制御装置として設定する設定手段と、
前記真空ポンプのうち前記マスター制御装置が接続されたマスター真空ポンプの回転体の回転状態を検出するマスター検出手段と、
前記真空ポンプのうち前記スレーブ制御装置が接続されたスレーブ真空ポンプの回転体の回転状態を検出するスレーブ検出手段と、
該スレーブ検出手段で検出された前記回転体の回転状態が前記マスター検出手段で検出された前記回転体の回転状態に同期するよう制御される制御手段とを備え、
該制御手段は、
前記停止手段により前記マスター真空ポンプが停止されたとき、前記スレーブ検出手段で検出された前記回転体の回転状態が、前記スレーブ真空ポンプに設定された基準の回転数及び／又は回転位相との比較のもとに制御されることを特徴とする真空ポンプシステム。
【請求項２】
回転体と、該回転体を回転駆動するモータとを備え、被対象設備より所定のガスを吸引するため該被対象設備に並設して取り付けられたＮ台の真空ポンプと、
該真空ポンプに接続され、前記回転体の回転状態である回転数及び／又は回転位相を制御する制御装置とを備えた真空ポンプシステムであって、
前記真空ポンプを停止する停止手段と、
前記制御装置のうちのいずれか１台をマスター制御装置として設定し、該マスター制御装置を除くＮ−１台をスレーブ制御装置として設定する設定手段と、
前記真空ポンプのうち前記マスター制御装置が接続されたマスター真空ポンプの回転体の回転状態を検出するマスター検出手段と、
前記真空ポンプのうち前記スレーブ制御装置が接続されたスレーブ真空ポンプの回転体の回転状態を検出するスレーブ検出手段と、
該スレーブ検出手段で検出された前記回転体の回転状態が前記マスター検出手段で検出された前記回転体の回転状態に同期するよう制御される制御手段と、
前記停止手段により前記マスター真空ポンプが停止されたとき、前記スレーブ制御装置のうちのいずれか１台をマスター制御装置として再設定する再設定手段とを備えたことを特徴とする真空ポンプシステム。
【請求項３】
前記再設定手段における再設定は、所定の順位付けに基づいて行われることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプシステム。
【請求項４】
前記制御手段は、
前記停止手段により前記マスター真空ポンプが停止され、かつ、前記スレーブ真空ポンプのうちの１台を残し全てが停止されたとき、該残されたスレーブ真空ポンプの回転体の回転状態が、該スレーブ真空ポンプに設定された基準の回転数及び／又は回転位相との比較のもとに制御されることを特徴とする請求項２又は請求項３記載の真空ポンプシステム。
【請求項５】
前記制御装置及び／又は前記真空ポンプの故障を検知する故障検知手段を備え、
前記停止手段は、
前記故障検知手段で故障が検知された前記真空ポンプを停止することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の真空ポンプシステム。
【請求項６】
回転体と、
該回転体を回転駆動するモータと、
前記回転体の回転状態である回転数及び／又は回転位相を検出する検出手段と、該検出手段で検出された前記回転体の回転状態が基準の回転数及び／又は回転位相と比較される内部比較手段と、
前記検出手段で検出された前記回転体の回転状態が外部の同期信号と比較される外部比較手段と、
前記同期信号の外部への送信又は同期信号の外部からの受信が所定の切替信号に基づき選択され、かつ、前記内部比較手段の比較結果と前記外部比較手段の比較結果とが入力され該入力のうちいずれか一方が前記所定の切替信号に基づき選択され出力信号として出力される切替手段と、
該切替手段から出力された出力信号に基づき前記回転体の回転状態が制御される回転制御手段とを備えたことを特徴とする真空ポンプシステム。
【請求項７】
前記所定の切替信号は、
前記制御装置のうちのいずれか１台をマスター制御装置として設定し、該マスター制御装置を除くＮ−１台をスレーブ制御装置として設定する信号であり、
該所定の切替信号によりマスター制御装置側が設定されたとき、前記切替手段では、前記検出手段で検出された回転体の回転状態が同期信号として外部へ送信されつつ、前記内部比較手段の比較結果が選択され、
前記所定の切替信号によりスレーブ制御装置側が設定されたとき、前記切替手段では、前記同期信号が外部より受信されつつ、前記外部比較手段の比較結果が選択されることを特徴とする請求項６記載の真空ポンプシステム。
【請求項８】
前記同期信号は、
有線又は無線で交信されることを特徴とする請求項７記載の真空ポンプシステム。
【請求項９】
前記回転体は、回転翼及び該回転翼の中央に配設されたロータ軸を有し、
該ロータ軸を空中に磁気浮上させ径方向及び／又は軸方向に位置調整する磁気軸受手段を備えたことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の真空ポンプシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空ポンプシステムに係わり、特に複数台の真空ポンプが配設された場合でも、各真空ポンプの回転体の回転数及びその位相を一致させることで、うなりや低周波の振動を防止する真空ポンプシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年のエレクトロニクスの発展に伴い、メモリや集積回路といった半導体の需要が急激に増大している。
これらの半導体は、きわめて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりなどして製造される。
【０００３】
そして、これらの作業は空気中の塵等による影響を避けるため高真空状態のチャンバ内で行われる必要がある。このチャンバの排気には、一般に真空ポンプが用いられているが、特に残留ガスが少なく、保守が容易等の点から真空ポンプの中の一つであるターボ分子ポンプが多用されている。
【０００４】
また、半導体の製造工程では、様々なプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプはチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内から排気するのにも使用される。
さらに、真空ポンプは、電子顕微鏡等の設備において、粉塵等の存在による電子ビームの屈折等を防止するため、電子顕微鏡等を収納したチャンバ内の環境を高度の真空状態にするのにも用いられている。
【０００５】
以上のように各分野に多用されている真空ポンプであるが、最近では半導体の製造に関し従来以上に大きな半導体ウェハの製造が企画されたり、電子顕微鏡等の分野に関し従来以上に大型の電子顕微鏡等が装置化されたり、設備の増設の行われる機会が多く存在している。
【０００６】
このような場合、真空ポンプは複数台使用される場合がある。このポンプシステムの簡略構成図を図７に示す。
図７において、吸引減圧される吸引対象機器のチャンバ３００には、複数台の真空ポンプ、例えばターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄが接続されている。
【０００７】
なお、ターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄによって吸引減圧される吸引対象機器のチャンバ３００との間には、実際には開閉バルブ等のバルブと振動吸収用のダンパとがそれぞれ存在しているが簡略のため省略している。
【０００８】
ターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄは、制御装置２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃ、２００Ｄによりそれぞれ制御されるようになっている。ターボ分子ポンプの縦断面図を図８に示す。
【０００９】
図８において、ターボ分子ポンプ１００は、円筒状の外筒１２７の上端に吸気口１０１が形成されている。外筒１２７の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードによる複数の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・を周部に放射状かつ多段に形成した回転体１０３を備える。
この回転体１０３の中心にはロータ軸１１３が取り付けられており、このロータ軸１１３は、例えば、いわゆる５軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。
【００１０】
上側径方向電磁石１０４は、４個の電磁石がＸ軸とＹ軸とに対をなして配置されている。この上側径方向電磁石１０４に近接かつ対応されて４個の電磁石からなる上側径方向センサ１０７が備えられている。この上側径方向センサ１０７はロータ軸１１３の径方向変位を検出し、制御装置２００に送るように構成されている。
制御装置２００においては、上側径方向センサ１０７が検出した変位信号に基づき、図示しないＰＩＤ調節機能を有する補償回路を介して上側径方向電磁石１０４の励磁を制御し、ロータ軸１１３の上側の径方向位置を調整する。
【００１１】
ロータ軸１１３は、高透磁率材（鉄など）などにより形成され、上側径方向電磁石１０４の磁力により吸引されるようになっている。かかる調整は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ独立して行われる。
また、下側径方向電磁石１０５及び下側径方向センサ１０８が、上側径方向電磁石１０４及び上側径方向センサ１０７と同様に配置され、ロータ軸１１３の下側の径方向位置を上側の径方向位置と同様に調整している。
【００１２】
さらに、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが、ロータ軸１１３の下部に備えた円板状の金属ディスク１１１を上下に挟んで配置されている。金属ディスク１１１は、鉄などの高透磁率材で構成されている。ロータ軸１１３の軸方向変位を検出するために軸方向センサ１０９が備えられ、その軸方向変位信号が制御装置２００に送られるように構成されている。
【００１３】
そして、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂは、この軸方向変位信号に基づいて、制御装置２００の図示しないＰＩＤ調節機能を有する補償回路を介して励磁制御されるようになっている。軸方向電磁石１０６Ａは、磁力により金属ディスク１１１を上方に吸引し、軸方向電磁石１０６Ｂは、金属ディスク１１１を下方に吸引する。
このように、制御装置２００は、この軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが金属ディスク１１１に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸１１３を軸方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持するようになっている。
【００１４】
モータ１２１は、いわゆる３相のブラシレスモータとなっている。このモータ及びモータ制御回路の回路構成図を図９に示す。
図９において、ロータ軸１１３の周囲には、モータ１２１の回転子側として、２極（Ｎ極、Ｓ極）の永久磁石が取り付けられている。
【００１５】
そして、モータ１２１は、その固定子側に３個の回転検出センサ１２４Ａ、１２４Ｂ、１２４Ｃを備えており、これらの回転検出センサ１２４Ａ、１２４Ｂ、１２４Ｃは、ロータ軸１１３の周囲を取り囲むように配設されている。また、それぞれの回転検出センサ１２４Ａ、１２４Ｂ、１２４Ｃは、互いにおよそ１２０°の間隔を隔てて配置されている。
【００１６】
なお、回転検出センサ１２４Ａ、１２４Ｂ、１２４Ｃは、例えば、半導体ホールセンサ等であり、モータ１２１の回転子側の永久磁石の磁束密度を検出することで、ロータ軸１１３の回転数やその位相等を検知するようになっている。
【００１７】
また、モータ１２１は、その固定子側に３相のモータ巻線１２６Ｕ、１２６Ｖ、１２６Ｗを備えている。これらのモータ巻線１２６Ｕ、１２６Ｖ、１２６Ｗも、ロータ軸１１３を取り囲むように配設されている（図中、モータ１２１の回転子側とは、便宜上別に示してある。）。
そして、各モータ巻線１２６Ｕ、１２６Ｖ、１２６Ｗは、制御装置２００に配設されたモータ駆動回路２２２に接続されている。
【００１８】
このモータ駆動回路２２２は、直流電源２３８と、三相ブリッジを形成する６個のトランジスタ２２６、２２８、２３０、２３２、２３４、２３６とを備えている。各トランジスタ２２６、２２８、２３０、２３２、２３４、２３６のベース端子には、所定のゲート信号が入力されており、このゲート信号により、モータ巻線１２６Ｕ、１２６Ｖ、１２６Ｗに供給する交流電圧をパルス幅制御（ＰＷＭ制御）するようになっている。
【００１９】
一方、回転検出センサ１２４Ａによって検出された検出信号は、制御装置２００に配設された回転数検出回路２４０に入力され、また、回転検出センサ１２４Ａ、１２４Ｂ、１２４Ｃによって検出された検出信号は、ゲート信号生成回路２４６に入力されている。
【００２０】
回転数検出回路２４０は、回転検出センサ１２４Ａによって検出された検出信号に基づいてロータ軸１１３の回転数を検知し、この検知した回転数を比較器２４２へ出力するようになっている。
【００２１】
また、この比較器２４２には、基準値設定回路２４４において予め設定された所定の基準回転数が入力されるようになっている。そして、比較器２４２は、この所定の基準回転数と回転数検出回路２４０で検出されたロータ軸１１３の回転数とを比較し、その比較結果をゲート信号生成回路２４６に出力するようになっている。なお、基準値設定回路２４４は、例えば水晶発振器にて構成される。
【００２２】
ゲート信号生成回路２４６は、比較器２４２の比較結果を受けて、ロータ軸１１３の回転数が基準回転数以上であるときは、回転検出センサ１２４Ａ、１２４Ｂ、１２４Ｃの検出信号と比較してロータ軸１１３を低速回転させるよう、トランジスタ２２６、２２８、２３０、２３２、２３４、２３６の各ゲート信号を制御するようになっている。一方、ロータ軸１１３の回転数が基準回転数未満であるときは、ロータ軸１１３を高速回転させるよう、ゲート信号を制御するようになっている。
このように、モータ１２１は制御され、ロータ軸１１３の回転制御を行っている。
【００２３】
一方、このロータ軸１１３には、回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・が形成されているが、この回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・とわずかの空隙を隔てて複数枚の固定翼１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ・・・が配設されている。回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・は、それぞれ排気ガスの分子を衝突により下方向に移送するため、ロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成されている。
【００２４】
また、固定翼１２３も、同様にロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成され、かつ外筒１２７の内方に向けて回転翼１０２の段と互い違いに配設されている。
そして、固定翼１２３の一端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・の間に嵌挿された状態で支持されている。
【００２５】
固定翼スペーサ１２５はリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅などの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。
【００２６】
固定翼スペーサ１２５の外周には、わずかの空隙を隔てて外筒１２７が固定されている。外筒１２７の底部にはベース部１２９が配設され、固定翼スペーサ１２５の下部とベース部１２９の間にはネジ付きスペーサ１３１が配設されている。そして、ベース部１２９中のネジ付きスペーサ１３１の下部には排気口１３３が形成され、外部に連通されている。
【００２７】
ネジ付きスペーサ１３１は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金などの金属によって構成された円筒状の部材であり、その内周面に螺旋状のネジ溝１３１ａが複数条刻設されている。
ネジ溝１３１ａの螺旋の方向は、回転体１０３の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口１３３の方へ移送される方向である。
【００２８】
回転体１０３の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・に続く最下部には回転翼１０２ｄが垂下されている。この回転翼１０２ｄの外周面は、円筒状で、かつネジ付きスペーサ１３１の内周面に向かって張り出されており、このネジ付きスペーサ１３１の内周面と所定の隙間を隔てて近接されている。
【００２９】
ベース部１２９は、ターボ分子ポンプ１００の基底部を構成する円盤状の部材であり、一般には鉄、アルミニウム、ステンレスなどの金属によって構成されている。また、ベース部１２９はターボ分子ポンプ１００を物理的に保持すると共に、熱の伝導路の機能も兼ね備えているので、鉄、アルミニウムや銅などの剛性があり、熱伝導率も高い金属が使用されるのが望ましい。
【００３０】
かかる構成において、ロータ軸１１３がモータ１２１により駆動されて回転翼１０２と共に回転すると、回転翼１０２と固定翼１２３の作用により、吸気口１０１を通じてチャンバからの排気ガスが吸気される。
【００３１】
吸気口１０１から吸気された排気ガスは、回転翼１０２と固定翼１２３の間を通り、ベース部１２９へ移送される。このとき、排気ガスが回転翼１０２に接触する際に生ずる摩擦熱や、モータ１２１で発生した熱の伝導などにより、回転翼１０２の温度は上昇するが、この熱は、輻射又は排気ガスの気体分子などによる伝導により固定翼１２３側に伝達される。
【００３２】
固定翼スペーサ１２５は、外周部で互いに接合しており、固定翼１２３が回転翼１０２から受け取った熱や排気ガスが固定翼１２３に接触する際に生ずる摩擦熱などを外部へと伝達する。
ベース部１２９に移送されてきた排気ガスは、ネジ付きスペーサ１３１のネジ溝１３１ａに案内されつつ排気口１３３へと送られる。
【００３３】
なお、上記では、ネジ付きスペーサ１３１は回転翼１０２ｄの外周に配設し、ネジ付きスペーサ１３１の内周面にネジ溝１３１ａが刻設されているとして説明した。しかしながら、これとは逆に回転翼１０２ｄの外周面にネジ溝が刻設され、その周囲に円筒状の内周面を有するスペーサが配置される場合もある。
【００３４】
また、吸気口１０１から吸引されたガスがモータ１２１、下側径方向電磁石１０５、下側径方向センサ１０８、上側径方向電磁石１０４、上側径方向センサ１０７などで構成される電装部側に侵入することのないよう、電装部は周囲をステータコラム１２２で覆われ、この電装部内はパージガスにて所定圧に保たれている。
【００３５】
このため、ベース部１２９には図示しない配管が配設され、この配管を通じてパージガスが導入される。導入されたパージガスは、保護ベアリング１２０とロータ軸１１３間、モータ１２１のロータとステータ間、ステータコラム１２２と回転翼１０２間の隙間を通じて排気口１３３へ送出される。
【００３６】
ここに、ターボ分子ポンプ１００は、個々に調整された固有のパラメータ（例えば、機種の特定、機種に対応する諸特性）に基づいた制御を要する。この制御パラメータを格納するために、上記ターボ分子ポンプ１００は、その本体内に電子回路部１４１を備えている。
【００３７】
電子回路部１４１は、ＥＥＰ−ＲＯＭ等の半導体メモリ及びそのアクセスのための半導体素子等の電子部品、その実装用の基板１４３等から構成される。
この電子回路部１４１は、ターボ分子ポンプ１００の下部を構成するベース部１２９の中央付近の下部に収容され、気密性の底蓋１４５によって閉じられている。
【００３８】
ところで、プロセスガスは、反応性を高めるため高温の状態でチャンバに導入されることがある。そして、これらのプロセスガスは、排気される際に冷却されてある温度になると固体となり排気系に生成物を析出する場合がある。
そして、この種のプロセスガスがターボ分子ポンプ１００内で低温となって固体状となり、ターボ分子ポンプ１００内部に付着して堆積する。
【００３９】
例えば、Ａｌエッチング装置にプロセスガスとしてＳｉＣｌ４が使用された場合、低真空（７６０［ｔｏｒｒ］〜１０−２［ｔｏｒｒ］）かつ、低温（約２０［℃］）のとき、固体生成物（例えばＡｌＣｌ３）が析出し、ターボ分子ポンプ１００内部に付着堆積することが蒸気圧曲線からわかる。
ターボ分子ポンプ１００内部にプロセスガスの析出物が堆積すると、この堆積物がポンプ流路を狭め、ターボ分子ポンプ１００の性能を低下させる原因となる。
【００４０】
ここに、前述した生成物は排気口付近の温度が低い部分、特に回転翼１０２及びネジ付きスペーサ１３１付近で凝固、付着しやすい状況にあった。この問題を解決するために、従来はベース部１２９等の外周に図示しないヒータや環状の水冷管１４９を巻着させ、かつ例えばベース部１２９に図示しない温度センサ（例えばサーミスタ）を埋め込み、この温度センサの信号に基づきベース部１２９の温度を一定の高い温度（設定温度）に保つようにヒータの加熱や水冷管１４９による冷却の制御（以下ＴＭＳという。ＴＭＳ；Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　Ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ　Ｓｙｓｔｅｍ）が行われている。
【００４１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図７のように、真空ポンプとしてターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄが複数台使用された場合には、従来、制御装置２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃ、２００Ｄにはそれぞれ独立した制御が行われていた。
【００４２】
この場合、各制御装置２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃ、２００Ｄは、それぞれのターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄの回転体１０３の回転数の設定を、例えば定格回転数４８，０００ｒｐｍ（８００Ｈｚ）に対し、誤差数Ｈｚの範囲内で精度良く設定可能であった。
【００４３】
しかしながら、各ターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄの回転体１０３の定格回転数を同じ値に設定した場合でも、上述した誤差数Ｈｚの範囲内で、例えば、ターボ分子ポンプ１００Ａ側は４８，０００ｒｐｍ（８００Ｈｚ）で運転され、一方、ターボ分子ポンプ１００Ｂ側は４８，０６０ｒｐｍ（８０１Ｈｚ）で運転されるというように、各ターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄの回転体１０３の回転数に微差を生ずることがあった。
【００４４】
このとき、この回転体１０３の回転数の差は、各ターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄにうなりを生じさせ、このうなりに起因して、各ターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄは、低周波の振動を発生することがあった。
【００４５】
そして、このような低周波の振動は、前述した各ターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄとチャンバ３００との間に介在されたダンパによっても完全に取り去ることが困難であるため、この振動が、各ターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄからチャンバ３００側に伝わると、チャンバ３００内に収納された電子顕微鏡等の測定や半導体の製造に影響を与えるおそれがあった。
【００４６】
本発明はこのような従来の課題に鑑みてなされたもので、複数台の真空ポンプが配設された場合でも、各真空ポンプの回転体の回転数及びその位相を一致させることで、うなりや低周波の振動を防止する真空ポンプシステムを提供することを目的とする。
【００４７】
【課題を解決するための手段】
このため本発明は、回転体と、該回転体を回転駆動するモータとを備え、被対象設備より所定のガスを吸引するため該被対象設備に並設して取り付けられたＮ台の真空ポンプと、該真空ポンプに接続され、前記回転体の回転状態である回転数及び／又は回転位相を制御する制御装置とを備えた真空ポンプシステムであって、前記真空ポンプを停止する停止手段と、前記制御装置のうちのいずれか１台をマスター制御装置として設定し、該マスター制御装置を除くＮ−１台をスレーブ制御装置として設定する設定手段と、前記真空ポンプのうち前記マスター制御装置が接続されたマスター真空ポンプの回転体の回転状態を検出するマスター検出手段と、前記真空ポンプのうち前記スレーブ制御装置が接続されたスレーブ真空ポンプの回転体の回転状態を検出するスレーブ検出手段と、該スレーブ検出手段で検出された前記回転体の回転状態が前記マスター検出手段で検出された前記回転体の回転状態に同期するよう制御される制御手段とを備え、該制御手段は、前記停止手段により前記マスター真空ポンプが停止されたとき、前記スレーブ検出手段で検出された前記回転体の回転状態が、前記スレーブ真空ポンプに設定された基準の回転数及び／又は回転位相との比較のもとに制御されることを特徴とする。
【００４８】
マスター制御装置からは、マスター真空ポンプの回転体の回転状態が出力される。一方、スレーブ制御装置では、マスター真空ポンプの回転体の回転状態が取り込まれる。そして、制御手段では、スレーブ真空ポンプの回転体の回転状態が、マスター真空ポンプの回転体の回転状態と同期するよう制御される。
また、マスター真空ポンプが停止した場合、スレーブ真空ポンプの回転体の回転状態は、基準の回転数及び／又は回転位相との比較のもとに、その回転状態が制御される。
このことにより、複数台の真空ポンプが配設された場合でも、各真空ポンプの回転体の回転数及びその回転位相を一致させて、うなりや低周波の振動を防止することが可能である。また、マスター制御装置が停止された場合でも、スレーブ制御装置を停止させることなく、運転を続けることが可能である。
【００４９】
また、本発明は、回転体と、該回転体を回転駆動するモータとを備え、被対象設備より所定のガスを吸引するため該被対象設備に並設して取り付けられたＮ台の真空ポンプと、該真空ポンプに接続され、前記回転体の回転状態である回転数及び／又は回転位相を制御する制御装置とを備えた真空ポンプシステムであって、前記真空ポンプを停止する停止手段と、前記制御装置のうちのいずれか１台をマスター制御装置として設定し、該マスター制御装置を除くＮ−１台をスレーブ制御装置として設定する設定手段と、前記真空ポンプのうち前記マスター制御装置が接続されたマスター真空ポンプの回転体の回転状態を検出するマスター検出手段と、前記真空ポンプのうち前記スレーブ制御装置が接続されたスレーブ真空ポンプの回転体の回転状態を検出するスレーブ検出手段と、該スレーブ検出手段で検出された前記回転体の回転状態が前記マスター検出手段で検出された前記回転体の回転状態に同期するよう制御される制御手段と、前記停止手段により前記マスター真空ポンプが停止されたとき、前記スレーブ制御装置のうちのいずれか１台をマスター制御装置として再設定する再設定手段とを備えて構成した。
【００５０】
マスター真空ポンプが停止した場合、スレーブ側の装置のうち１台を新たなマスター制御装置として切り替え、これをマスター制御装置として、再び運転を開始する。
このことにより、マスター制御装置が停止した場合でも、スレーブ制御装置を停止させることなく、かつ、残ったスレーブ制御装置のみで同期運転を続けることが可能である。
【００５１】
さらに、本発明は、前記再設定手段における再設定は、所定の順位付けに基づいて行われることを特徴とする。
【００５２】
マスター制御装置が停止した場合、所定の順位付けに従って、スレーブ制御装置のうちの１台がマスター制御装置に切り替えられる。
なお、所定の順位付けは、例えば、真空ポンプの稼働時間、ポンプの容量や故障履歴等に基づき順位等を定め、自動設定されても良い。また、作業者等により手動で設定されても良い。
【００５３】
さらに、本発明は、前記制御手段は、前記停止手段により前記マスター真空ポンプが停止され、かつ、前記スレーブ真空ポンプのうちの１台を残し全てが停止されたとき、該残されたスレーブ真空ポンプの回転体の回転状態が、該スレーブ真空ポンプに設定された基準の回転数及び／又は回転位相との比較のもとに制御されることを特徴とする。
【００５４】
スレーブ真空ポンプが１台になったとき、そのスレーブ真空ポンプの回転体の回転状態は、基準の回転数及び／又は回転位相と比較され、この比較の結果に基づき回転体の回転制御が行われる。
このことにより、真空ポンプが１台になっても運転を続行することができる。
【００５５】
さらに、本発明は、前記制御装置及び／又は前記真空ポンプの故障を検知する故障検知手段を備え、前記停止手段は、前記故障検知手段で故障が検知された前記真空ポンプを停止することを特徴とする。
【００５６】
制御装置や真空ポンプの故障が故障検知手段で検出されることで、故障した真空ポンプが停止される。
【００５７】
さらに、本発明は、回転体と、該回転体を回転駆動するモータと、前記回転体の回転状態である回転数及び／又は回転位相を検出する検出手段と、該検出手段で検出された前記回転体の回転状態が基準の回転数及び／又は回転位相と比較される内部比較手段と、前記検出手段で検出された前記回転体の回転状態が外部の同期信号と比較される外部比較手段と、前記同期信号の外部への送信又は同期信号の外部からの受信が所定の切替信号に基づき選択され、かつ、前記内部比較手段の比較結果と前記外部比較手段の比較結果とが入力され該入力のうちいずれか一方が前記所定の切替信号に基づき選択され出力信号として出力される切替手段と、該切替手段から出力された出力信号に基づき前記回転体の回転状態が制御される回転制御手段とを備えて構成した。
【００５８】
切替手段では、所定の切替信号に基づき、同期信号の送信あるいは受信が選択される。
また、切替手段では、この所定の切替信号に基づき、回転体の回転状態が、基準の回転数及び／又は回転位相に対して制御されるか、外部の同期信号に対して制御されるか選択される。
このことにより、マスター真空ポンプあるいはスレーブ真空ポンプへの制御の切り替えが容易になる。
【００５９】
さらに、本発明は、前記所定の切替信号は、前記制御装置のうちのいずれか１台をマスター制御装置として設定し、該マスター制御装置を除くＮ−１台をスレーブ制御装置として設定する信号であり、該所定の切替信号によりマスター制御装置側が設定されたとき、前記切替手段では、前記検出手段で検出された回転体の回転状態が同期信号として外部へ送信されつつ、前記内部比較手段の比較結果が選択され、前記所定の切替信号によりスレーブ制御装置側が設定されたとき、前記切替手段では、前記同期信号が外部より受信されつつ、前記外部比較手段の比較結果が選択されることを特徴とする。
【００６０】
制御装置は、所定の切替信号により、マスター制御装置あるいはスレーブ制御装置として設定される。
マスター制御装置からは、回転体の回転状態が同期信号として外部へ出力され、かつ、マスター真空ポンプの回転体の回転状態が、基準の回転数及び／又は回転位相との比較結果に基づいて制御される。
一方、スレーブ制御装置では、マスター制御装置から出力された同期信号が受信され、スレーブ真空ポンプの回転体の回転状態は、この同期信号との比較のもとに制御される。
このことにより、スレーブ真空ポンプの回転体の回転状態は、マスター真空ポンプの回転体の回転状態と同期するよう制御される。
【００６１】
さらに、本発明は、前記同期信号は、有線又は無線で交信されることを特徴とする。
【００６２】
このことにより、制御装置等が配置される場所の状況を考慮して、交信されやすい方法を選択することができる。
【００６３】
さらに、本発明は、前記回転体は、回転翼及び該回転翼の中央に配設されたロータ軸を有し、該ロータ軸を空中に磁気浮上させ径方向及び／又は軸方向に位置調整する磁気軸受手段を備えたことを特徴とする。
【００６４】
磁気軸受手段により磁気浮上されつつ回転体が高速回転する場合にも、その回転体の回転数や位相を合わせて、うなりや低周波の振動を防止することが可能である。
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１実施形態について説明する。
本発明の第１実施形態であるポンプシステムの簡略構成図を図１に、また、モータ及びモータ制御回路の回路構成図を図２に示す。なお、図７、図９と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【００６５】
図１において、本実施形態であるポンプシステムは、同期運転コントローラ５００を備えている。この同期運転コントローラ５００は、各制御装置４００Ａ、４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄ毎に交信可能となっている。
【００６６】
具体的には、同期運転コントローラ５００は、各制御装置４００Ａ、４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄにマスター／スレーブ信号５０２を出力するようになっている。このマスター／スレーブ信号５０２は、後述のように、制御装置４００Ａ、４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄのうち、どの装置をマスター側の装置にして、どの装置をスレーブ側の装置にするかを決める信号となっている。
【００６７】
一方、各制御装置４００Ａ、４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄは、それぞれの間が、回転同期信号５０１により交信されるようになっている。
図２において、制御装置４００は、従来の制御装置２００に対し、出力スイッチ４０２、入力スイッチ４０３、同期信号比較回路４０５及びモード切替スイッチ４０１を備えている。
【００６８】
出力スイッチ４０２は、回転検出センサ１２４Ａの検出信号が入力され、この検出信号を回転同期信号５０１として出力可能になっている。また、出力スイッチ４０２は、マスター／スレーブ信号５０２により制御されており、回転同期信号５０１を出力するか否かを切り替えるようになっている。
【００６９】
一方、入力スイッチ４０３は、回転同期信号５０１が入力され、この回転同期信号５０１を所定の信号（以下、比較信号という）として同期信号比較回路４０５に出力可能となっている。また、入力スイッチ４０３も、出力スイッチ４０２と同様に、マスター／スレーブ信号５０２により制御され、回転同期信号５０１を取り込むか否かを切り替えるようになっている。
【００７０】
また、同期信号比較回路４０５には、回転検出センサ１２４Ａの検出信号が入力されている。そして、この同期信号比較回路４０５には、位相制御回路であるＰｈａｓｅ　Ｌｏｃｋｅｄ　Ｌｏｏｐ回路（以下、ＰＬＬ回路という）等が内蔵されており、回転検出センサ１２４Ａの検出信号と入力スイッチ４０３の出力である比較信号との位相比較等を行い、この比較結果をモード切替スイッチ４０１に出力するようになっている。
【００７１】
モード切替スイッチ４０１は、同期信号比較回路４０５の出力（以下、同期モード側という）と、比較器２４２の出力（以下、非同期モード側という）とを切り替え可能となっている。また、モード切替スイッチ４０１も、マスター／スレーブ信号５０２により制御され、切り替えた側の出力をゲート信号生成回路２４６に出力するようになっている。
【００７２】
かかる構成において、同期運転中、出力スイッチ４０２、入力スイッチ４０３及びモード切替スイッチ４０１は、マスター／スレーブ信号５０２により、以下のように制御される。
【００７３】
このマスター／スレーブ信号５０２によるスイッチの切り替えの様子を図３を用いて説明する。なお、本実施形態の説明にあたり、制御装置４００Ａをマスター側の装置とし、制御装置４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄをスレーブ側の装置とする。この場合、マスター／スレーブ信号５０２が、制御装置４００Ａではマスター側となり、制御装置４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄではスレーブ側となる。
【００７４】
図３において、マスター側である制御装置４００Ａ（図中、マスターの欄）は、その出力スイッチ４０２は「回転同期信号を出力する」状態になり、入力スイッチ４０３は「回転同期信号を取り込まない」状態になり、さらに、モード切替スイッチ４０１は、「非同期モード側」になる。
【００７５】
すなわち、マスター側である制御装置４００Ａからは、その出力スイッチ４０２を介して、回転同期信号５０１が出力される。
また、制御装置４００Ａは、モード切替スイッチ４０１が非同期モード側に切り替わっているため、ゲート信号生成回路２４６には、比較器２４２の出力が伝えられる。従って、マスター側である制御装置４００Ａにおけるロータ軸１１３の回転制御は、従来と同様な方法によって行われる。
【００７６】
一方、スレーブ側である制御装置４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄ（図中、スレーブの欄）は、それぞれの出力スイッチ４０２が「回転同期信号を出力しない」状態になり、入力スイッチ４０３は「回転同期信号を取り込む」状態になり、さらに、モード切替スイッチ４０１は、「同期モード側」になる。
【００７７】
すなわち、スレーブ側である制御装置４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄでは、それぞれの入力スイッチ４０３を介して、回転同期信号５０１が取り込まれ、この回転同期信号５０１に応じた比較信号が、同期信号比較回路４０５に出力される。
【００７８】
そして、同期信号比較回路４０５では、回転検出センサ１２４Ａの検出信号の立ち上がり／立ち下がりと、比較信号の立ち上がり／立ち下がりとから、それぞれの信号の位相が検出される。また、同期信号比較回路４０５では、それぞれの信号の位相に対し、位相の一致・不一致が判断される。
【００７９】
そして、同期信号比較回路４０５における比較の結果は、モード切替スイッチ４０１が同期モード側に倒れているため、ゲート信号生成回路２４６に伝えられる。ゲート信号生成回路２４６では、同期信号比較回路４０５の比較の結果に基づいて、ロータ軸１１３の回転速度を上げたり下げたりして、回転検出センサ１２４Ａの検出信号と、回転同期信号５０１の位相を合わせる処理が行われる。このスレーブ側の装置における位相合わせ処理の様子を図４に示す。
【００８０】
図４において、ケース１は、回転同期信号５０１の位相よりも、回転検出センサ１２４Ａの検出信号の位相の方が遅れている。そのため、同期信号比較回路４０５からは、ゲート信号生成回路２４６へ、ロータ軸１１３の回転速度を上げるような制御が行われる。
【００８１】
一方、ケース２は、回転同期信号５０１の位相よりも、回転検出センサ１２４Ａの検出信号の位相の方が進んでいる。そのため、同期信号比較回路４０５からは、ゲート信号生成回路２４６へ、ロータ軸１１３の回転速度を下げるような制御が行われる。
【００８２】
このような制御を受けたゲート信号生成回路２４６は、従来と同様に、モータ駆動回路２２２のトランジスタ２２６、２２８、２３０、２３２、２３４、２３６の各ゲート信号を制御して、ロータ軸１１３の回転速度を変化させる。
この結果、各ターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄのそれぞれのロータ軸１１３の回転数及びその位相は一致するようになる。
【００８３】
従って、ターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄには、うなりも生ぜず、低周波の振動も発生しない。
このことにより、複数台のターボ分子ポンプ１００が配設された場合でも、各ターボ分子ポンプ１００のロータ軸１１３の回転数及びその位相を一致させることで、うなりや低周波の振動を発生させないポンプシステムを達成することができる。
【００８４】
なお、本実施形態では、制御装置４００Ａをマスター側の装置であるとして説明したが、他の制御装置４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄのいずれか１台がマスター側の装置になった場合でも、その制御は同様である。
【００８５】
このとき、複数台の制御装置４００のうち、マスター側の装置を選択する際のやり方は、ポンプシステムの作業者等により予め決められていても良いし、同期運転コントローラ５００側の自動の設定により決められても良い。
【００８６】
また、本実施形態では、ターボ分子ポンプ１００及び制御装置４００を４台配設した例を示したが、これに限られず、２台、３台若しくは５台以上の配設される場合も同様である。
【００８７】
さらに、本実施形態では、各制御装置４００Ａ、４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄの間は、有線により回転同期信号５０１が交信されるとして説明したが、これに限られず、無線により交信されても良い。
このことにより、制御装置４００等が配置される場所の状況を考慮して、回転同期信号５０１が交信されやすい方法を選択することができる。
【００８８】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
第１実施形態であるポンプシステムは、同期運転コントローラと制御装置との間が、マスター／スレーブ信号により交信されていたが、第２実施形態であるポンプシステムは、さらに、運転／停止信号とアラーム信号により交信されるものである。
【００８９】
本発明の第２実施形態であるポンプシステムの簡略構成図を図５に示す。なお、図１と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
各制御装置４００Ａ、４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄは、同期運転コントローラ５００へアラーム信号５０３を出力するようになっている。なお、アラーム信号５０３とは、ターボ分子ポンプ１００及び制御装置４００の故障を知らせたり、これらのメンテナンス時期を表す信号である。
【００９０】
また、同期運転コントローラ５００は、各制御装置４００Ａ、４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄへ運転／停止信号５０４を出力するようになっている。この運転／停止信号５０４は、ターボ分子ポンプ１００及び制御装置４００を運転させたり、停止させたりするための信号である。
【００９１】
かかる構成において、第１実施形態と同様に、各ターボ分子ポンプ１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄのロータ軸１１３の回転数及びその位相は、互いに一致するよう制御される。
【００９２】
また、このような同期運転中、制御装置４００Ａ、４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄのいずれかより、故障等によってアラーム信号５０３が出力されたとき、同期運転コントローラ５００は、自身の制御により、その故障した制御装置４００に対して運転／停止信号５０４を出力し、その制御装置４００及びターボ分子ポンプ１００を停止状態にさせる。故障した制御装置４００が他の制御装置４００に悪影響を及ぼさないようにするためである。
【００９３】
そして、故障等により停止した制御装置４００がスレーブ側の装置である場合、スレーブ側の装置は、回転同期信号５０１を取り込んでいるだけなので、同期運転を行っている他の制御装置４００には、影響が及ばない。従って、残りの正常な制御装置のみで、同期運転が続行される。
【００９４】
一方、故障等により停止した制御装置４００がマスター側の装置であった場合、マスター側の装置から回転同期信号５０１が出力されなくなるため、他のスレーブ側の装置も運転ができなくなってしまうおそれがある。
【００９５】
しかしながら、本実施形態では、同期運転コントローラ５００が、制御装置４００の運転／停止を制御するとともに、第１実施形態と同様に、マスター／スレーブ信号５０２も出力しているため、停止している制御装置４００がマスター側であるか否かを判断することができる。
【００９６】
従って、同期運転コントローラ５００は、マスター側の装置が停止した場合、スレーブ側の装置に同期運転を止めさせて、スレーブ側の装置が全て単独運転できるように制御する。
【００９７】
この場合、スレーブ側の装置内の出力スイッチ４０２、入力スイッチ４０３及びモード切替スイッチ４０１は、マスター／スレーブ信号５０２により、図３に示すように切り替わる。
【００９８】
すなわち、単独運転を行う全ての制御装置４００（図中、単独運転の欄）は、その出力スイッチ４０２は「回転同期信号を出力しない」状態になり、入力スイッチ４０３は「回転同期信号を取り込まない」状態になり、さらに、モード切替スイッチ４０１は、「非同期モード側」になる。
【００９９】
従って、この制御装置４００は、従来と同様に、自身のみの制御により、ターボ分子ポンプ１００のロータ軸１１３の回転数等の制御を行うようになる。
このことにより、同期運転中に、マスター側の装置が故障等した場合でも、スレーブ側の装置を停止させることなく、運転を続けることが可能である。
【０１００】
なお、本実施形態では、同期運転コントローラ５００は、それ自身の制御により、故障したマスター側の制御装置４００に対して運転／停止信号５０４を出力して停止させ、その他の全てのスレーブ側の制御装置４００を単独運転させるとして説明したが、これに限られない。
【０１０１】
すなわち、故障等した制御装置４００からアラーム信号５０３が出力されたとき、ポンプシステムのメンテナンス作業者等が、マスター側の制御装置４００の図示しない停止ボタンを押すなどして、その制御装置４００を停止させ、その他のスレーブ側の装置を全て単独運転させるようにしても良い。
【０１０２】
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
第２実施形態であるポンプシステムは、同期運転中にマスター側の装置が故障等したとき、スレーブ側の装置は単独運転するように制御されるが、第３実施形態であるポンプシステムは、マスター側の装置が故障等した場合でも、スレーブ側の残りの装置のみで同期運転するように制御するものである。
【０１０３】
本実施形態であるポンプシステムの構成は、第２実施形態のポンプシステムの構成（図５）と同様の構成となっている。
かかる構成において、第２実施形態と同様に、同期運転中、制御装置４００Ａ、４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄのいずれかより、故障等によってアラーム信号５０３が出力されたとき、同期運転コントローラ５００は、その故障した制御装置４００及びターボ分子ポンプ１００を停止状態にさせる。
【０１０４】
そして、第２実施形態と同様に、故障等により停止した制御装置４００がマスター側の装置であった場合、他のスレーブ側の装置も運転ができなくなってしまうおそれがある。
【０１０５】
しかしながら、本実施形態では、マスター側の装置が停止した場合、スレーブ側の装置のうち１台を新たなマスター側の装置として切り替え、これをマスター側として、再び同期運転を開始するように制御する。
【０１０６】
この制御装置のスレーブ側／マスター側の切り替えの様子を図６に示す。
図６において、正常運転時は、上述の通り、制御装置４００Ａがマスター側の装置となり、制御装置４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄがスレーブ側の装置となる。
【０１０７】
ここで、マスター側である制御装置４００Ａが、故障等により停止したとする。この場合、故障していないスレーブ側である制御装置４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄのうちの１台が、予め決められた順序に従って、マスター側の装置に切り替えられる。なお、本実施形態の説明では、ポンプシステムのメンテナンス作業者等により、切り替えの順序が予め▲１▼制御装置４００Ｂ→▲２▼制御装置４００Ｃ→▲３▼制御装置４００Ｄの順に設定されているとする。
【０１０８】
従って、制御装置４００Ｂは、マスター側の装置となるように制御される。すなわち、制御装置４００Ｂの出力スイッチ４０２、入力スイッチ４０３及びモード切替スイッチ４０１は、マスター／スレーブ信号５０２により、図３中の「スレーブ」の状態から、「マスター」の状態に切り替えられる。
そして、この３台の制御装置４００Ｂ、４００Ｃ、４００Ｄは、第１実施形態と同様の制御により、同期運転を再開する。
【０１０９】
さらに、このような運転中に、新しくマスター側の装置となった制御装置４００Ｂが停止したとする。
この場合も、前述した予め決められた順序に従って、制御装置４００Ｃが、マスター側の装置となるように制御される。
そして、制御装置４００Ｃ、４００Ｄは、同期運転が再開される。
【０１１０】
さらに、このような運転中に、制御装置４００Ｃが停止したとする。
この場合、運転中の装置が制御装置４００Ｄの１台のみとなるため、制御装置４００Ｄは、運転を続行するために同期運転を止めて単独運転するように制御される。制御装置４００Ｄの出力スイッチ４０２、入力スイッチ４０３及びモード切替スイッチ４０１は、マスター／スレーブ信号５０２により、図３中の「スレーブ」の状態から、「単独運転」の状態に切り替えられる。
そして、制御装置４００Ｄのみで、従来と同様の制御により、ロータ軸１１３の回転数等の制御を行う。
【０１１１】
このことにより、同期運転中に、マスター側の装置が故障等した場合でも、スレーブ側の装置を停止させることなく、かつ、スレーブ側の装置のみで同期運転を続けることが可能である。
【０１１２】
なお、故障等を起こしたマスター側の装置は、新たなマスター装置となる制御装置４００の動作に悪影響を及ぼさないようにするため、スレーブ側の装置より切り離すことが望ましい。
そのため、故障等を起こしたマスター側の装置は、その停止の際、例えば、図３に示す「単独運転」の状態に切り替えれば良い。
【０１１３】
また、本実施形態では、スレーブ側の装置は、作業者等により予め決められた順序に従って切り替えられるとして説明したが、これに限られない。
すなわち、例えば、同期運転コントローラ５００自身の制御により、自動でランダムな順序に選択されるなどしても良い。
【０１１４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、スレーブ真空ポンプの回転体の回転状態をマスター真空ポンプの回転体の回転状態と同期するように構成したので、複数台の真空ポンプを配設した場合でも、各真空ポンプの回転体の回転数及びその位相を一致させて、うなりや低周波の振動を防止することが可能である。
【０１１５】
また、スレーブ真空ポンプそれぞれに設定された基準の回転数及び／又は回転位相との比較のもとに回転体の回転状態を制御するように構成したので、マスター制御装置が停止した場合でも、スレーブ制御装置を停止させることなく、運転を続けることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態のポンプシステムの簡略構成図
【図２】本発明の第１実施形態のモータ及びモータ制御回路の回路構成図
【図３】マスター／スレーブ信号による切り替えの様子を示した図
【図４】スレーブ側の装置における位相合わせ処理の様子を示した図
【図５】本発明の第２実施形態のポンプシステムの簡略構成図
【図６】制御装置のスレーブ側／マスター側の切り替えの様子を示した図
【図７】従来のポンプシステムの簡略構成図
【図８】ターボ分子ポンプの縦断面図
【図９】従来のモータ及びモータ制御回路の回路構成図
【符号の説明】
１００　ターボ分子ポンプ
１０３　回転体
１０４　上側径方向電磁石
１０５　下側径方向電磁石
１０６Ａ、１０６Ｂ　軸方向電磁石
１０７　上側径方向センサ
１０８　下側径方向センサ
１０９　軸方向センサ
１１３　ロータ軸
１２１　モータ
１２４Ａ、１２４Ｂ、１２４Ｃ　回転検出センサ
２００、４００　制御装置
２２２　モータ駆動回路
２４０　回転数検出回路
２４２　比較器
２４４　基準値設定回路
２４６　ゲート信号生成回路
３００　チャンバ
４０１　モード切替スイッチ
４０２　出力スイッチ
４０３　入力スイッチ
４０５　同期信号比較回路
５００　同期運転コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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