(57)【要約】【課題】広い現像マージンおよび高い解像度でパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供することである。特に、高濃度の着色剤を含む感光性樹脂組成物を用いて、高着色濃度のパターンを形成するときや、黒色のブラックマトリックスパターンを形成するときにその効果が顕著に認められる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】下記式（１）で表される化合物（Ｅ）を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。2004264728.tif 000013（式（１））【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記式（１）で表される化合物（Ｅ）を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
2004264728.tif 000011
（式（１））
［式（１）中、Ｑ１〜Ｑ３は、それぞれ独立に、水素原子、ニトロ基、スルホン基、シアノ基または式（２）で表される基を表し、Ｑ１〜Ｑ３のうち少なくとも一つはニトロ基、スルホン基、シアノ基、または下記式（２）で表される基を表す。
2004264728.tif 000012
（式（２））
式（２）中、Ｑ４は、酸素原子、硫黄原子、−ＮＱ６−（Ｑ６は水素原子または炭素数１〜４の炭化水素基を表す。）または単結合を表す。
Ｑ５は、置換基を有していても良いアルキル基、置換基を有していても良いアラルキル基、置換基を有していても良いフェニル基、置換基を有していても良いアリール基、置換基を有していても良い複素環基またはアミノ基を表す。
式（１）中に、式（２）で表される基が、二つ以上あるときは、Ｑ５が互いに結合して環状構造を形成してもよいし、あるいは共通の基となることにより環状構造を構成しても良い。］
【請求項２】
式（１）で表される化合物（Ｅ）の含有量が、感光性樹脂組成物の固形分に対して、質量分率で０．１％以上１０％以下である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
着色剤（Ａ）を含む請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
着色剤（Ａ）が黒色顔料である請求項１〜３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
バインダー樹脂（Ｂ）、エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）を含む請求項１〜４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
バインダー樹脂（Ｂ）、感光剤（Ｆ）を含む請求項１〜４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン。
【請求項８】
請求項７に記載のパターンを有するカラーフィルタ。
【請求項９】
請求項８に記載のカラーフィルタを有する表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性樹脂組成物に関し、詳しくはカラーフィルタを構成するパターン形成用の感光性樹脂組成物、特にはブラックマトリックス形成用の感光性樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラーフィルタ（６）は、例えば図１に示すように、液晶表示装置に組み込まれて前記装置の表示画像をカラー化するために用いられたり、固体撮像素子に組み込まれてカラー画像を得るために用いられたりする光学素子であって、基板（２）上の同一平面上に互いに隣接して形成された着色パターン（５）からなるものが知られている。ここで、着色パターンは、例えば赤色画素（５Ｒ）、緑色画素（５Ｇ）および青色画素（５Ｂ）の３原色の色画素と、各色画素の境界に形成されたブラックマトリックス（５ＢＭ）とが挙げられる。ここで、各色の色画素は各色に着色された透明な層であり、ブラックマトリックスは黒色で可視光を実質的に透過しない層である。
これらのカラーフィルタ（６）の製造方法としては、感光性樹脂組成物の固形分からなる感光性樹脂組成物層（１）を基板（２）の上に形成し（図２（ａ））、前記の層（１）にフォトマスク（３）を介して光線（４）を照射したのち（図２（ｂ））、光線未照射領域（１１）を現像液に溶解させて着色パターン（５）を形成する方法が知られている（図２（ｃ））。感光性樹脂組成物に含まれる顔料の色を替えながら上記操作を繰返し行い、各色の着色パターンを順次形成することによって（図３〜４）、カラーフィルタ（６）を形成することができる（例えば、特許文献１など参照。）。
しかし、前記の従来の方法では、感光性樹脂組成物層（１）の現像マージンが低下して適切な現像条件の許容幅が極端に狭くなる場合や、得られるパターンの解像度が低下する場合があった（例えば、特許文献２、３など参照。）。このため、安定してパターンを形成するためには現像条件を非常に細かく管理しなければならず、また細かいパターンを形成する場合にはその歩留まりが低下しやすいという問題があった（例えば、特許文献４など参照。）。こうした現像マージンの低下や解像度の低下は、着色パターン（５）のなかでも光を透過しないブラックマトリックス（５ＢＭ）を形成する場合に特に顕著であった（例えば、特許文献５など参照。）。
従来、式（１）で示される化合物（Ｅ）をカラーフィルタ形成用感光性樹脂組成物に用いることは知られておらず、前記の化合物アルキルした化合物などをハロゲン化銀塩写真用途に用いることが知られている（例えば、特許文献６，７など参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２７１０２０号公報  ２ページ右欄１２行目−１９行目
【特許文献２】特開平９−３２５４９４号公報  ２ページ右欄４５行目−４９行目
【特許文献３】特開２０００−９８６０６号公報  ２ページ右欄２３行目−３２行目
【特許文献４】特開平５−３４３６３１号公報  ２ページ左欄３４行目−３７行目
【特許文献５】特開平１１−１１９０２０号公報  ２ページ左欄３４行目−３７行目
【特許文献６】特開平８−３３４８５６公報  ４ページ右欄２２行目−９ページ左欄１２行目
【特許文献７】特開平１１−３０５３７２号公報  １２ページ右欄２１行目−１４ページ左欄３２行目
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、広い現像マージンおよび高い解像度でパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供することである。特に、高濃度の着色剤を含む感光性樹脂組成物を用いて、高着色濃度のパターンを形成するときや、黒色のブラックマトリックスパターンを形成するときにその効果が顕著に認められる感光性樹脂組成物を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは鋭意検討の結果、カラーフィルタ形成用感光性樹脂組成物に、式（１）で示される化合物を添加することで、上記問題点を解決し得ることを見出し、本発明をなすに至った。
すなわち本発明は、式（１）で示される化合物（Ｅ）を含有することを特徴とするカラーフィルタ形成用感光性樹脂組成物、前記のカラーフィルタ形成用感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン、前記のパターンを有するカラーフィルタおよび前記のカラーフィルタを有する表示装置を提供する。
【０００６】
2004264728.tif 000002
（式（１））
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の感光性樹脂組成物において用いられる式（１）で示される化合物（Ｅ）は、分子内にカルボニル基、ニトロ基、スルホン基、シアノ基などのような電気的に陰性な基と結合し、かつ水素原子と結合した炭素原子を有する化合物である。
【０００８】
2004264728.tif 000003
（式（１））
［式（１）中、Ｑ１〜Ｑ３は、それぞれ独立に、水素原子、ニトロ基、スルホン基、シアノ基、式（２）で表される基を示し、Ｑ１〜Ｑ３のうち少なくとも一つはニトロ基、スルホン基、シアノ基または式（２）で表される基を示す。］
【０００９】
2004264728.tif 000004
（式（２））
［式（２）中、Ｑ４は、酸素原子、硫黄原子、−ＮＱ６−（Ｑ６は水素原子または炭素数１〜４の炭化水素基を表す。）または単結合を表す。
Ｑ５は、アミノ基、置換基を有していても良いアルキル基、芳香環上に置換基を有していても良いアラルキル基、置換基を有していても良いフェニル基、置換基を有していても良いアリール基または置換基を有していても良い複素環基を表す。
式（１）で表される化合物（Ｅ）において、式（２）で表される基が二つ以上あるときは、それらは同一であっても、相異なってもよく、また、Ｑ５が互いに結合して環状構造を形成してもよいし、あるいは一方のＱ５が、両方の式（２）において共通の基となることにより環状構造を作っていても良い。］
式（１）で示される化合物（Ｅ）において、好ましくはＱ１〜Ｑ３の一つが水素原子である活性メチレン基を含む化合物が挙げられ、より好ましくはＱ１が水素原子であり、Ｑ２およびＱ３が式（２）で表される基である、メチレン基が隣接する二つのカルボニル基を含有する化合物であり、具体的には例えば、マロンアミド、マロン酸ベンジルメチルエステル、マロン酸ビス（４−ニトロベンジル）エステル、マロン酸ジベンジルエステル、マロン酸ジｎ−ブチルエステル、マロン酸ジエチルエステル、マロン酸ジイソプロピルエステル、マロン酸ジメチルエステル、マロン酸モノ４−ニトロベンジルエステル、ジメドン、１，３−インダンジオン、メルドラム酸等が挙げられ、とりわけ好ましくは環状構造を有する活性メチレン化合物が挙げられる。具体的には、例えば、ジメドン、１，３−インダンジオン、メルドラム酸等が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物中における式（１）で示される化合物（Ｅ）の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して、０．１質量％以上１０質量％以下、好ましくは、０．２質量％以上８質量％以下、より好ましくは０．５質量％以上５質量％以下である。式（１）で示される化合物（Ｅ）の含有量が前記の基準で０．１質量％以上１０質量％以下であると、感度が低下することなく解像性が良好となり、また基板への接着性も良好となり、好ましい。
【００１０】
本発明の感光性樹脂組成物は、着色剤（Ａ）を含まない場合、カラーフィルタの保護膜や平坦化膜、フォトスペーサーの形成に用いることができる。また、着色剤（Ａ）を含んでいる場合、カラーフィルタの画素やフォトスペーサーの形成に用いることができ、さらに顕著な効果を発揮する。
前記の着色剤（Ａ）は染料であってもよいし、顔料であってもよい。着色剤（Ａ）が顔料の場合、無機顔料であってもよいし、有機顔料であってもよい。
無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩のような金属化合物が挙げられ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属の酸化物または複合金属酸化物が挙げられる。また、有機顔料として具体的には、カラーインデックス（Ｃｏｌｏｕｒ  Ｉｎｄｅｘ（Ｔｈｅ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ出版））で、ピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分類されている化合物が挙げられる。
特に、ブラックマトリックスを形成するには、着色剤（Ａ）として黒色顔料を含有する感光性樹脂組成物を用いることができる。
前記の黒色顔料としては、例えば、カーボンブラック、特開平５−３１１１０９号公報や特開平６−１１６１３号公報等に記載の黒鉛、特開平４−３２２２１９号公報や特開平３−２７４５０３号公報等に記載の無機黒色顔料、特開平２−２１６１０２号公報等に記載のアゾ系ブラック色素、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７などの有機黒色顔料などを用いることができる。黒色に着色された感光性樹脂組成物は、さらに、顔料として、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、黄色顔料、シアン色顔料、マゼンタ色顔料などを含有していてもよい。
また、赤色画素、緑色画素、青色画素などのカラーフィルタの色画素を形成するためには、感光性樹脂組成物は、各色の着色剤（Ａ）を含むことができる。前記の着色剤（Ａ）として、好ましくは顔料を含有することができ、１種の顔料を含有していてもよいし、２種以上の顔料を含有していてもよい。前記の顔料としては、例えばＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー６５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー７３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー７４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１００、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７５などの黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３などのオレンジ色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８などの紫色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４９：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４９：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５２：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５３：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５７：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５８：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５８：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６３：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６３：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６４：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８１：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６５などの赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー７６などの青色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６などの緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５などの茶色顔料等が挙げられる。
前記の顔料の中でも、好ましい顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、ピグメントブラック７などが挙げられ、特に好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、ピグメントブラック７が挙げられる。
【００１１】
顔料の粒径としては、平均粒径で０．００５μｍ〜０．２μｍであることが好ましく、より好ましくは０．０１μｍ〜０．１μｍである。前記の粒径の顔料は、例えば、ニーダー法、硫酸法、アルカリ還元溶解法などの公知の方法により製造することができる。
顔料は、その表面がポリマーなどで改質されていてもよい。ポリマーとしては、例えば、特開平８−２５９８７６号公報に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用ポリマーなどを挙げることができる。具体的にはアクリル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル樹脂、マレイン酸樹脂、エチルセルロース樹脂、ニトロセルロース樹脂などを挙げることができる。樹脂で処理された加工顔料の形態としては、樹脂と顔料が均一に分散している粉末、ペースト状、ペレット状が好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物において、着色剤（Ａ）を含む場合、着色剤（Ａ）の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは２０％以上６０％以下、より好ましくは３０％以上６０％以下である。着色剤（Ａ）の含有量が前記の基準で、２０％以上６０％以下であると、充分な色濃度を有する画素を形成することができる傾向があり、好ましい。
【００１２】
本発明の感光性樹脂組成物は、ネガ型であっても、ポジ型であってもよく、ネガ型であることがより好ましい。本発明の感光性樹脂組成物がネガ型の場合、バインダー樹脂（Ｂ）、エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）を含むことができ、さらに所望により、光重合開始助剤、溶剤、界面活性剤などを含むことができる。
また、本発明の感光性樹脂組成物がポジ型の場合、バインダー樹脂（Ｂ）、感光剤（Ｆ）を含むことができる。また所望により、架橋剤をさらに含むことができる。
【００１３】
本発明の感光性樹脂組成物は、通常、バインダー樹脂（Ｂ）を含む。バインダー樹脂（Ｂ）は、ネガ型では感光性樹脂組成物層に、その光線未照射領域が現像液に溶解する性質を付与する成分であり、ポジ型では感光性樹脂組成物層に、その光線照射領域が現像液に溶解する性質を付与する成分である。また感光性樹脂組成物層や形成された着色パターンにおいて顔料を分散させる分散媒として機能するものである。
前記のバインダー樹脂としては、ネガ型に対しては、好ましくはアクリル系共重合体、分子中に２個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物とカルボン酸との反応物に、更に多塩基性カルボン酸の無水物とを反応させて得られるポリカルボン酸樹脂等が挙げられる。
また、ポジ型に対しては、例えば、ノボラック樹脂、ポリヒドロキシスチレン樹脂などのフェノール性水酸基含有高分子化合物、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体などのカルボキシル基含有高分子化合物などフェノール性水酸基やカルボキシル基を含有する樹脂が挙げられる。また、本発明のアルカリ可溶性樹脂としては硬化性を有するものが好ましい。硬化性を有する高分子化合物としては、例えば、ビニル基、エポキシ基、オキセタニル基、テトラヒドロフラニル基、ブチロラクトン骨格などを有するものが挙げられる。
【００１４】
ネガ型感光性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂として使用し得るアクリル系共重合体としては、例えば、カルボキシル基含有モノマーおよびこれと共重合可能な他のモノマーとの共重合体が挙げられる。
カルボキシル基含有モノマーとしては、例えば、不飽和モノカルボン酸や、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの不飽和多価カルボン酸などの分子中に少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。ここで、不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸などが挙げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えばマレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。不飽和多価カルボン酸は、その酸無水物、具体的には無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などであってもよい。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ（２−メタクリロイロキシアルキル）エステルであってもよく、具体的には、例えば、こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、こはく酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）などであってもよい。不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモノ（メタ）アクリレートであってもよく、具体的にはω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレートなどであってもよい。前記のカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
前記のカルボキシル基含有モノマーと共重合可能な他のモノマーとしては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族ビニル化合物；メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、ｉ−プロピルアクリレート、ｉ−プロピルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、ｉ−ブチルアクリレート、ｉ−ブチルメタクリレート、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｓｅｃ−ブチルメタクリレート、ｔ−ブチルアクリレート、ｔ−ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、３−ヒドロキシプロピルアクリレート、３−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチルアクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、３−ヒドロキシブチルアクリレート、３−ヒドロキシブチルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、２−メトキシエチルアクリレート、２−メトキシエチルメタクリレート、２−フェノキシエチルアクリレート、２−フェノキシエチルメタクリレート、メトキシジエチレングルコールアクリレート、メトキシジエチレングルコールメタクリレート、メトキシトリエチレングルコールアクリレート、メトキシトリエチレングルコールメタクリレート、メトキシプロピレングルコールアクリレート、メトキシプロピレングルコールメタクリレート、メトキシジプロピレングルコールアクリレート、メトキシジプロピレングルコールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類；
２−アミノエチルアクリレート、２−アミノエチルメタクリレート、２−ジメチルアミノエチルアクリレート、２−ジメチルアミノエチルメタクリレート、２−アミノプロピルアクリレート、２−アミノプロピルメタクリレート、２−ジメチルアミノプロピルアクリレート、２−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、３−アミノプロピルアクリレート、３−アミノプロピルメタクリレート、３−ジメチルアミノプロピルアクリレート、３−ジメチルアミノプロピルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類；
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類；
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類；
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類；
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物；
アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽和アミド類；
マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドなどの不飽和イミド類；
１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類；
ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−ｎ−ブチルアクリレート、ポリ−ｎ−ブチルメタクリレート、ポリシロキサンの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類などを挙げることができる。これらのモノマーは、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
前記の共重合体におけるカルボキシル基含有モノマー単位の含有量は、質量分率で通常１０〜５０％程度、好ましくは１５〜４０％程度である。
前記のアクリル系重合体としては、例えば（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／アリル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／グリセロールモノ（メタ）アクリレート共重合体などが挙げられる。なお、（メタ）アクリレートとは、アクリレートまたはメタクリレートであることを示す。
中でもベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体、メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、メチルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体などが好ましい。
前記のアクリル系重合体は、そのポリスチレン換算重量平均分子量が３，０００〜４００，０００の範囲であることが好ましく、より好ましくは５，０００〜１００，０００の範囲である。また、酸価は３０〜２５０が好ましく、より好ましくは６０〜１８０の範囲である。
バインダー樹脂として使用し得るポリカルボン酸樹脂としては、例えば、式（３）で示される化合物と多塩基酸またはその無水物との縮重合物（特開平４−３５５４５０号公報、特開平９−４０７４５号公報、特開平０９−３２５４９４号公報、特開２０００−２８１７３８号公報）や、式（３）の前駆体であるエポキシ化合物と多塩基性カルボン酸、及び／またはモノカルボン酸との反応生成物と多塩基酸あるいはその無水物との縮重合物などが挙げられる。
【００１５】
2004264728.tif 000005
〔式中、Ｒ１およびＲ２はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１〜５のアルキル基またはハロゲン原子を示し、Ｒ４は水素原子またはメチル基を示し、Ｘは式（３−１）〜（３−６）のいずれかで示される２価の残基を示し、Ｒ３は置換基を有していてもよい炭素数１〜１０のアルキレン基を示し、ｍは０〜５の整数を示し、ｎは１〜１０の整数を示す。〕
【００１６】
2004264728.tif 000006
【００１７】
多塩基酸としては、例えば、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、４，４’−ジフタル酸をはじめとするビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸などが挙げられる。多塩基無水物としては、上記の多塩基酸の酸無水物などが挙げられる。
前記の多塩基酸またはその酸無水物はそれぞれ単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
多塩基酸または多塩基酸無水物の使用量は、式（３）で示される化合物等の反応させる対象の化合物と多塩基酸またはその多塩基酸無水物の合計モル量に対してモル比で５％以上９５％以下、さらには１０％以上９０％以下程度であることが好ましい。
前記のバインダー樹脂（Ｂ）の中でも、ポリカルボン酸を含む樹脂が好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物に用いることができるバインダー樹脂（Ｂ）の酸価は、７０〜１７０、さらには８０〜１４０であることが好ましい。また、前記のバインダー樹脂（Ｂ）のポリスチレン換算重量平均分子量は通常、１，０００以上５０，０００以下、好ましくは１，５００以上２０，０００以下である。
前記のバインダー樹脂は、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常５％以上９０％以下、好ましくは１０％以上６０％以下の範囲で用いられる。
【００１８】
本発明の感光性樹脂組成物に含まれても良いエチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物（Ｃ）としては、例えば、末端にエチレン性不飽和結合を少なくとも１個、好ましくは２個以上有する化合物から選ばれ、モノマーであってもよいし、２量体、３量体およびオリゴマーなどのプレポリマーであってもよいし、それらの混合物やそれらの共重合体などであってもよい。
前記のモノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸およびマレイン酸などの不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミドなどが挙げられる。
不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステルとしては、例えば、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、１，３−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エ一テル、トリメチロールエタントリアクリレート、へキサンジオールジアクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマーなどのアクリル酸エステル；
テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、１，３−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔ｐ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔ｐ−（メタクリルオキシエトキシ）フェニル〕ジメチルメタンなどのメタクリル酸エステル；
エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、１，３−ブタンジオールジイタコネート、１，４ーブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネートなどのイタコン酸エステル；
エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネートなどのクロトン酸エステル；
エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネートなどのイソクロトン酸エステル；
エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレートなどのマレイン酸エステルなどが挙げられる。
不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミドとしては、例えば、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミドなどが挙げられる。
モノマーの他の例としては、例えば、１分子に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に式（４）で示されるビニルモノマーを付加させて得られるビニルウレタン化合物などが挙げられる。
【００１９】
2004264728.tif 000007
〔式（４）中、Ｒ２１およびＲ２２は、それぞれ独立に、水素原子またはメチル基を示す。〕
【００２０】
前記のビニルウレタン化合物としては、１分子中に２個以上の重合性ビニル基を含有する化合物（特公昭４８−４１７０８号公報）；
特開昭５１−３７１９３号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類；
特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報および特公昭５２−３０４９０号公報などに記載されているようなポリエステルアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートが挙げられる。
また、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７、３００〜３０８ページ（１９８４年）に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。
前記のエチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物の使用量は、組成物の固形分に対して質量分率で通常０．５％以上５０％以下、好ましくは１％以上４０％以下である。
【００２１】
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤（Ｄ）を含むことができる。光重合開始剤（Ｄ）としては、エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物の重合を開始させうる化合物であれば、特に限定されるものではなく、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤、オキサジアゾール系光重合開始剤などを用いることができる。
アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられる。
ベンゾイン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
チオキサントン系光重合開始剤としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
トリアジン系光重合開始剤としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル−１，３−ブタジエニル）−ｓ−トリアジン、２−トリクロロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−ブトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−メトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−エトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−ブトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（２−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−５−メチル−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（５−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，７−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−エトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，５−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（フェニル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルカルボニルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ−（ｐ−メトキシフェニル）カルボニルアミノフェニル〕２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどが挙げられる。
オキサジアゾール系光重合開始剤としては、例えば、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−ブトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−ヒドロキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−クロロスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−ブトキシフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（２−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（β−（２−ベンゾフリル）ビニル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（β−（６−メトキシ−２−ベンゾフリル）ビニル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（２−ベンゾフリル）−１，３，４−オキサジアゾールなどが挙げられる。
また、光重合開始剤（Ｄ）として、例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
前記の光重合開始剤（Ｄ）の中でも、トリクロロメチル基が導入されているトリアジン系光重合開始剤、トリクロロメチル基が導入されているオキサジアゾール系光重合開始剤が好ましく用いられる。
トリクロロメチル基が導入されているトリアジン系光重合開始剤としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
トリクロロメチル基が導入されているオキサジアゾール系光重合開始剤としては、例えば、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−ブトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、、２−トリクロロメチル−５−（β−（２−ベンゾフリル）ビニル）−１，３，４−オキサジアゾールなどが挙げられる。
前記の光重合開始剤は、それぞれ単独でまたは２種以上組み合わせて使用することができる。
【００２２】
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始助剤を含有していてもよい。光重合開始助剤としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４′−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４′−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。これら光重合開始助剤はそれぞれ単独でまたは２種以上組み合わせて用いることができる。
前記の光重合開始助剤を用いる場合、その使用量は光重合開始剤１モルに対して通常は０．０１モル以上１０モル以下である。
光重合開始剤および光重合開始助剤の合計使用量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常１％以上５０％以下、好ましくは３％以上３０％以下である。
【００２３】
本発明のカラーフィルタ形成用感光性樹脂組成物がポジ型の場合、通常、感光剤（Ｆ）を含む。前記の感光剤（Ｆ）としては、例えば、キノンジアジド基を有する化合物などが挙げられる。
前記のキノンジアジド化合物としては、例えば、１，２−ベンゾキノンジアジドスルホン酸エステル、１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、１，２−ベンゾキノンジアジドスルホン酸アミド、１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸アミド類などが挙げられる。好ましくは、１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルである。
【００２４】
また、本発明の感光性樹脂組成物は、熱重合防止剤、充填剤、バインダー樹脂以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤などの添加剤を含有していてもよい。
熱重合防止剤は、感光性樹脂組成物の保存中に、エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物（Ｃ）が熱重合を開始してしまうことを防止するために含有される。前記の熱重合防止剤としては、例えば、ハロイドキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４′−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２′−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。熱重合防止剤を含有する場合、その含有量は、感光性樹脂組成物の全量に対して質量分率で通常０．０１％以上５％以下程度である。
【００２５】
充填剤としては、例えば、ガラス、アルミナなどが挙げられる。
【００２６】
バインダー樹脂以外の高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。
【００２７】
界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤のいずれであってもよい。
【００２８】
密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【００２９】
酸化防止剤としては、例えば、２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノールなどが挙げられる。
【００３０】
紫外線吸収剤としては、例えば、２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００３１】
凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００３２】
本発明の感光性樹脂組成物は、有機カルボン酸、有機アミン化合物などを含有していてもよい。
有機カルボン酸としては、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸；
シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸などの脂肪族ジカルボン酸；
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸；
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸などの芳香族ポリカルボン酸；
フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸などの分子量１０００以下の有機カルボン酸などが挙げられる。
【００３３】
有機アミン化合物としては、分子量１，０００以下の有機アミン化合物が好ましく用いられ、例えば、ｎ−プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、イソブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミン、ｎ−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミン、ｏ−メチルシクロヘキシルアミン、ｍ−メチルシクロヘキシルアミン、ｐ−メチルシクロヘキシルアミン、ｏ−エチルシクロヘキシルアミン、ｍ−エチルシクロヘキシルアミン、ｐ−エチルシクロヘキシルアミンなどのモノ（シクロ）アルキルアミン類；
メチル・エチルアミン、ジエチルアミン、メチル・ｎ−プロピルアミン、エチル・ｎ−プロピルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジ−ｎ−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジ−ｔ−ブチルアミン、ジ−ｎ−ペンチルアミン、ジ−ｎ−ヘキシルアミン、メチル・シクロヘキシルアミン、エチル・シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミンなどのジ（シクロ）アルキルアミン類；
ジメチル・エチルアミン、メチル・ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチル・ｎ−プロピルアミン、ジエチル・ｎ−プロピルアミン、メチル・ジ−ｎ−プロピルアミン、エチル・ジ−ｎ−プロピルアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリ−ｎ−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリ−ｔ−ブチルアミン、トリ−ｎ−ペンチルアミン、トリ−ｎ−ヘキシルアミン、ジメチル・シクロヘキシルアミン、ジエチル・シクロヘキシルアミン、メチル・ジシクロヘキシルアミン、エチル・ジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのトリ（シクロ）アルキルアミン類；
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミノ−１−ヘキサノール、４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどのモノ（シクロ）アルカノールアミン類；
ジエタノールアミン、ジ−ｎ−プロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、ジ−ｎ−ブタノールアミン、ジイソブタノールアミン、ジ−ｎ−ペンタノールアミン、ジ−ｎ−ヘキサノールアミン、ジ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのジ（シクロ）アルカノールアミン類；
トリエタノールアミン、トリ−ｎ−プロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、トリ−ｎ−ブタノールアミン、トリイソブタノールアミン、トリ−ｎ−ペンタノールアミン、トリ−ｎ−ヘキサノールアミン、トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのトリ（シクロ）アルカノールアミン；
３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノ（シクロ）アルカンジオール類；
１−アミノシクロペンタンメタノール、４−アミノシクロペンタンメタノール、１−アミノシクロヘキサンメタノール、４−アミノシクロヘキサンメタノール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類；
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酪酸、３−アミノイソ酪酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６―アミノカプロン酸、１―アミノシクロプロパンカルボン酸、１―アミノシクロヘキサンカルボン酸、４―アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類などが挙げられる。
また、例えば、アミノ基が直接フェニル基に結合した化合物、アミノ基が炭素鎖を介してフェニル基に結合した化合物なども挙げられる。前記のアミノ基が直接フェニル基に結合した化合物としては、例えば、アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピルアニリン、ｐ−イソプロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類；
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類；
ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類；
ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸（誘導体）類などが挙げられる。
【００３４】
前記の有機カルボン酸、有機アミノ化合物は、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。前記の有機カルボン酸、有機アミノ化合物を用いる場合、感光性樹脂組成物におけるその含有量は、感光性樹脂組成物に対して質量分率で通常０．００１％以上１５％以下、好ましくは０．０１％以上１０％以下である。
【００３５】
前記の感光性樹脂組成物は、通常、溶剤で希釈された状態で基板（２）上に塗布される（図２（ａ））。溶剤としては、例えば、エステル類、エーテル類、ケトン類、芳香族炭化水素類などが挙げられる。
エステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチルなどのアルキルエステル類；
オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチルなどのアルコキシ酢酸アルキルエステル類；
３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチルなどのオキシプロピオン酸アルキルエステル類；
３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチルなどが挙げられる。
エーテル類としては、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテートなどが挙げられる。
ケトン類としては、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノンなどが挙げられる。
芳香族炭化水素類としては、例えば、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
前記の溶剤の中でも、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートなどが好ましく用いられる。
前記の溶剤は、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して用いられることができ、その使用量は、感光性樹脂組成物における固形分の濃度が質量分率で通常２％以上５０％以下の範囲となるように選択される。
【００３６】
本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、回転塗布法（スピンコート法）、流延塗布法、ロール塗布法、スリットコート法、スリットアンドスピン法、スピンレスコート法などの通常の塗布方法で、基板（２）上に塗布することができる。
【００３７】
基板（２）としては、例えば、ガラス基板、シリコン基板などのほか、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイミド基板などの樹脂基板を用いることができる。かかる基板は、シランカップリング剤などの薬品による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング処理、スパッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着処理などの前処理が施されていてもよい。
【００３８】
感光性樹脂組成物を基板（２）上に塗布後、乾燥して溶剤を揮発させることで、基板上に感光性樹脂組成物層（１）を形成することができる（図２（ａ））。前記の層は、感光性樹脂組成物の固形分からなる層であり、その厚さは、通常０．１μｍ〜１０μｍ、好ましくは０．２μｍ〜５．０μｍ、特に好ましくは０．２μｍ〜３．０μｍである。
【００３９】
次いで、感光性樹脂組成物層（１）にフォトマスク（３）を介して光線（４）を照射する（図２（ｂ））。
フォトマスク（３）は、例えば、ガラス板（３１）などの表面に遮光層（３２）が設けられたものである。遮光層によって光線（４）は遮蔽される。ガラス板のうちの遮光層が設けられていない部分は透光部（３３）であって、光線は前記の透光部を透過して感光性樹脂組成物層（１）に照射され、前記の層（１）は、前記の透光部のパターンを転写されて露光される。
【００４０】
光線（４）としては通常、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）などの紫外線が用いられる。光線は平行光となって感光性樹脂組成物層（１）に照射されることが好ましく、通常はマスクアライナー（図示せず）などを介して照射される。
本発明の形成方法によれば、解像度よく着色パターンを形成するので、例えば、幅が２０μｍ程度以下、さらには１０μｍ程度以下、特には５μｍ以下のパターンを容易に安定して形成することができる。
【００４１】
光線の照射量は、用いた着色剤（Ａ）の色や含有量、バインダー樹脂（Ｂ）の種類や含有量、（Ｃ）１個以上のエチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物の種類や含有量、光重合開始剤（Ｄ）の種類や含有量などに応じて適宜選択される。
【００４２】
露光後、現像する（図２（ｃ））。現像するには、露光後の感光性樹脂組成物層（１）を現像液に接触させればよい。現像液に接触することによって、感光性樹脂組成物層のうちで光線が照射されなかった光線未照射領域（１１）が現像液に溶解する。
【００４３】
現像液としては、例えば、アルカリ性水溶液を用いることができる。アルカリ性水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−〔５，４，０〕−７−ウンデセンなどの水溶性アルカリ化合物の水溶液が用いられ、その濃度はアルカリ性水溶液に対して質量分率で通常０．００１％以上１０％以下、好ましくは０．０１％以上１％以下程度である。前記のアルカリ性水溶液は、メタノール、エタノールなどの水溶性の有機溶剤、界面活性剤などを含有していてもよい。現像液として有機溶剤を用いることもでき、例えば、感光性樹脂組成物を希釈するに用いる溶剤として前記と同様の有機溶剤を適宜組合わせて用いてもよい。
【００４４】
現像方法は、特に限定されるものではなく、例えば、ディップ現像法（浸漬現像法）、シャワー現像法、スプレー現像法、パドル現像法（液盛り現像法）などの方法で現像することができる。現像温度は通常１０℃〜４０℃の範囲であり、現像時間は通常１０秒〜３００秒である。
現像によって、感光性樹脂組成物層のうちの光線が照射されなかった光線未照射領域（１１）は現像液に溶解して除去される。その一方で、光線が照射された光線照射領域（１２）は残って着色パターン（５）を構成する。
現像後、乾燥することで、着色パターン（５）を得るが（図２（ｃ））、現像液としてアルカリ性水溶液を用いた場合には通常、現像後水洗したのちに、乾燥する。乾燥後、さらに加熱処理してもよい。
【００４５】
このようにしてパターンを得るが、本発明の形成方法によれば、現像におけるマージンが広いので、歩留まりが向上でき、また解像度がよいので、細かいパターンであっても、容易に形成することができる。
【００４６】
さらに、感光性樹脂組成物に含まれる着色剤（Ａ）の色を替えて基板（２）の上に感光性樹脂組成物層（１’）を再び形成し（図３（ａ））、前記の層（１’）にフォトマスク（３）を介して光線（４）を照射して露光したのち（図３（ｂ））、現像することによって、さらに他の色のパターン（５’）を形成することもできる。感光性樹脂組成物に含まれる着色剤（Ａ）の色を替えながら上記操作を繰り返し行うことによって（図４）、さらに他の色の画素（５”）を形成することができ、目的とするカラーフィルタ（６）を得ることができる。
【００４７】
【実施例】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行なったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
【００４８】
実施例１
〔感光性樹脂組成物の調製〕
着色剤（Ａ）〔黒色顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７）４０質量部と分散剤１２質量部との混合物〕５２質量部、
バインダー樹脂（Ｂ）〔式（５）で示される化合物３００質量部とビフェニルテトラカルボン酸二無水物５０質量部、テトラヒドロフタル酸無水物５０質量部との反応生成物〕３３質量部、
【００４９】
2004264728.tif 000008
【００５０】
エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物（Ｃ）〔ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〕１１質量部、
光重合開始剤（Ｄ）〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕５．０質量部
（Ｅ）ジメドン  ３．０質量部および
溶剤〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕３５８質量部を混合して感光性樹脂組成物（黒色）を得た。
【００５１】
〔感光性樹脂組成物層の形成〕
上記で得た着色感光性樹脂組成物をガラス基板〔「＃１７３７」コーニング社製〕（２）の表面にスピンコート法で塗布し、１００℃で３分間加熱して乾燥させて、感光性樹脂組成物層（１）を基板（２）上に形成した。この乾燥後の感光性樹脂組成物層の厚みを膜厚計（Ｄｅｋｔａｋ３（（株）ＵＬＶＡＣ製））を用いて測定したところ、１．２μｍであった。
【００５２】
〔パターンの形成（解像度の評価）〕
上記で感光性樹脂組成物層（１）を形成した基板（２）にフォトマスク（３）を介して超高圧水銀灯で紫外線を照射して（照射量は２００ｍＪ／ｃｍ２）、露光した。フォトマスク（３）としては、線幅が５μｍ、６μｍ、７μｍ、８μｍ、９μｍ、１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍ、５０μｍおよび１００μｍの線状（ラインアンドスペース）パターンを有するフォトマスクを用いた。
露光後の感光性樹脂組成物層を現像液〔水酸化カリウムを質量分率で０．０５％含み、ノニオン系界面活性剤を含む水溶液。〕に２３℃で９０秒間浸漬して現像した。
現像後、水洗し、２３０℃で２０分間加熱して、基板（２）上に黒色の着色パターン（ブラックマトリックス）を形成した。このブラックマトリックスを光学顕微鏡で観察したところ、線幅が３μｍの着色パターンが再現性よく形成されていた。
【００５３】
〔パターンの形成（現像マージンの評価）〕
上記と同様にして基板上に形成した感光性樹脂組成物層を露光した感光性樹脂組成物層を、上記で用いたと同じ現像液に浸漬して現像し、１０μｍが再現する現像時間の幅を観察したところ、６０秒から１５０秒の間、すなわち９０秒間の現像マージンで１０μｍのパターンが再現性よく形成されていた。
【００５４】
実施例２
〔感光性樹脂組成物の調製および感光性樹脂組成物層の形成〕
実施例１で用いたバインダー樹脂に代えて、バインダー樹脂〔式（６）で示される化合物３００質量部とイタコン酸５３質量部の重合物にアクリル酸３５質量部、更に、テトラヒドロフタル酸無水物１３５質量部を反応させた化合物〕３３質量部、を用いる以外は実施例１と同様に操作して、感光性樹脂組成物（黒色）を得て、感光性樹脂組成物層（厚み１．２μｍ）を形成した。
【００５５】
2004264728.tif 000009
【００５６】
〔評価〕
実施例１で得られた感光性樹脂組成物層（１）が形成された基板（２）に代えて上記で得た感光性樹脂組成物層が形成された基板を用いる以外は、実施例１と同様に操作して、解像度、現像マージンを評価した。
結果を表１に示す。
【００５７】
比較例１
〔感光性樹脂組成物の調製および感光性樹脂組成物層の形成〕
実施例１で用いた感光性樹脂組成物からジメドンを除いた感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、感光性樹脂組成物（黒色）を得て、これを用いて感光性樹脂組成物層（厚み１．２μｍ）を形成した。
【００５８】
〔評価〕
実施例１で得られた、感光性樹脂組成物層（１）が形成された基板（２）に代えて、上記で得た感光性樹脂組成物層が形成された基板を用いる以外は、実施例１と同様に操作して、解像度、現像マージンを評価した。結果を表１に示す。
【００５９】
【表１】
2004264728.tif 000010
【００６０】
【発明の効果】
本発明の感光性樹脂組成物によれば、広い現像マージンおよび高い解像度でパターンを形成することができる。特に、高濃度の着色パターンやブラックマトリックスを形成する際に有用である。
【図面の簡単な説明】
【図１】カラーフィルタの一例を部分的に示す模式図である。
【図２】感光性樹脂組成物を用いて基板上に着色パターンを形成する工程を示す模式図である。
【図３】感光性樹脂組成物を用いて基板上に着色パターンを形成する工程を示す模式図である。
【図４】感光性樹脂組成物を用いて基板上に着色パターンを形成する工程を示す模式図である。
【符号の説明】
１  ：感光性樹脂組成物層        １１：光線未照射領域
１２：光線照射領域
２  ：基板
３  ：フォトマスク              ３１：ガラス板
３２：遮光層
３３：透光部
４  ：光線
５  ：着色パターン              ５Ｒ：赤色画素
５Ｇ：緑色画素
５Ｂ：青色画素
５ＢＭ：ブラックマトリックス
６  ：カラーフィルタ
【図１】
2004264728.tif 000014
【図２】
2004264728.tif 000015
【図３】
2004264728.tif 000016
【図４】
2004264728.tif 000017