(57)【要約】【課題】　平板型熱伝逹装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】　蒸発部に対応する底面に熱源が接触する下板と、下板及び上板間にボイドを形成するように下板の枠と密封接合された上板と、上板及び下板間に備えられているが、液相冷媒の表面張力によって下板に密着されたウィックプレート及び、蒸発部及び凝縮部を循環しつつ、熱源から伝えられる熱を蒸発部から凝縮部に伝達する冷媒と、を備える平板型熱伝達装置。前記ウィックプレートは複数のホール及び複数のプラナウィックで構成されており、前記下板との毛管力によって前記液相冷媒を前記凝縮部から前記蒸発部に移動させることを特徴とする。このような熱伝達装置を利用すれば、製造コストを減らしつつ、多様な超スリム型製品に容易に適用でき、適用された製品に装着された高発熱要素の冷却効率を向上できる。【選択図】　　　図５
2004077120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　液相冷媒が蒸発される蒸発部及び前記蒸発部から発生した蒸気が凝縮される凝縮部が備えられており、毛管力によって前記凝縮部から前記蒸発部に前記液相冷媒が移動する平板型熱伝逹装置において、
　底面に熱源が接触する下板と、
　前記下板及び上板間にボイドを形成し、前記下板の枠と密封されるように接合された上板と、
　前記上板及び下板間に備えられており、前記液相冷媒の表面張力によって前記下板に密着されたウィックプレートと、
　前記蒸発部及び前記凝縮部間を循環しつつ前記熱源から伝えられる熱を前記蒸発部から凝縮部に伝達する冷媒とを備え、
　前記ウィックプレートは複数のホール及び複数のプラナウィックを含み、前記下板との間の毛管力によって前記液相冷媒を前記凝縮部から前記蒸発部に移動させることを特徴とする平板型熱伝逹装置。
【請求項２】
　表面張力が及ぶ前記下板及び前記ウィックプレート間に両者間の間隔を維持するための、複数のスペーサを含むスペーサプレートがさらに備えられたことを特徴とする請求項１に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項３】
　前記下板及び前記ウィックプレート間の間隔を一定に維持するために、前記プラナウィックの少なくとも一部に前記下板に向かう突起が形成されたことを特徴とする請求項１に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項４】
　前記上板の前記ウィックプレートに対向する面に前記ウィックプレートを前記下板に密着させるための突起が形成されたことを特徴とする請求項１ないし３のうち何れか一項に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項５】
　前記ウィックプレートを前記下板に密着させるために、前記上板及びウィックプレート間に弾性部材が備えられていることを特徴とする請求項１ないし３のうち何れか一項に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項６】
　前記弾性部材は、板スプリングであることを特徴とする請求項５に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項７】
　前記上板は、エンボッシングして凸凹し、前記ウィックプレートを前記下板に密着させるために前記上板の凹部、すなわち前記ウィックプレートに向かって突出している部分は前記プラナウィックの一部と接触したことを特徴とする請求項１ないし３のうち何れか一項に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項８】
　前記ウィックプレートに形成された前記複数のホールは、前記液相冷媒の移動が円滑な形態に配列されたものであって、直線形、放射形またはメッシュ形に配列されたことを特徴とする請求項１ないし３のうち何れか一項に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項９】
　前記ウィックプレートに形成された前記複数のホールは直線形、放射形またはメッシュ形に配列されたことを特徴とする請求項４、５、７のいずれかに記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項１０】
　前記複数のプラナウィックのうち少なくとも一部のプラナウィック間にブリッジが形成されたことを特徴とする請求項１ないし５、７のうち何れか一項に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項１１】
　前記複数のスペーサ間にブリッジが形成されたことを特徴とする請求項２に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項１２】
　前記上板の前記ウィックプレートに対向する内面に前記ウィックプレートを前記下板に密着させるための突起が形成されたことを特徴とする請求項１１に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項１３】
　前記ウィックプレートを前記下板に密着させるために、前記上板及びウィックプレート間に弾性部材が備えられており、前記弾性部材は前記蒸気が円滑に移動できる形態であることを特徴とする請求項１１に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項１４】
　前記上板はエンボッシングして凸凹し、前記ウィックプレートに向かって突出している部分は前記プラナウィックのうち一部と接触したことを特徴とする請求項１１に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項１５】
　前記ウィックプレートに形成された前記複数のホールは直線形、放射形またはメッシュ形に配列されたことを特徴とする請求項１１に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項１６】
　前記凝縮部の外部に前記蒸気を凝縮するためのヒートシンクが装着されたことを特徴とする請求項１ないし３のうち何れか一項に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項１７】
　前記複数のプラナウィックのうち少なくとも一部のプラナウィック間にブリッジが形成されたことを特徴とする請求項１６に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項１８】
　前記下板の前記上板と接合されていない内側の部分は所定深さに形成されたことを特徴とする請求項１ないし３のうち何れか一項に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項１９】
　前記ウィックプレートに形成された前記複数のホールは直線形、放射形またはメッシュ形に配列されたことを特徴とする請求項１８に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項２０】
　前記複数のホールが直線形または放射形に配列された場合、前記複数のプラナウィックのうち少なくとも一部のプラナウィック間にブリッジが形成されたことを特徴とする請求項８、１５、１９のいずれかに記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項２１】
　前記凝縮部の外部に前記蒸気を凝縮するためのヒートシンクが装着されたことを特徴とする請求項４、５、７、８、１１、１８のいずれかに記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項２２】
　前記下板の前記上板と接合されていない内側の部分は所定深さに形成されたことを特徴とする請求項４、５、７、１１に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項２３】
　前記上板の内側面に前記上板の内側に備えられた部材及び上板間にギャップを形成するための垂直スペーサが備えられたことを特徴とする請求項１、２または３に記載の平板型熱伝達装置。
【請求項２４】
　前記突起は、一字形、円形または多角形であることを特徴とする請求項４に記載の平板型熱伝達装置。
【請求項２５】
　前記下板は、前記ウィックプレート及び前記下板間の間隔を一定に維持するためのスペーサ突起が一体に形成されたスペーサ一体型下板であることを特徴とする請求項１に記載の平板型熱伝達装置。
【請求項２６】
　前記上板の内側面に前記上板の内側に備えられた部材及び上板間にギャップを形成するための垂直スペーサが備えられたことを特徴とする請求項４または２５に記載の平板型熱伝達装置。
【請求項２７】
　前記スペーサプレートに含まれた前記複数のスペーサは、前記凝縮部から前記凝縮部へ行くほどその高さが低くなったことを特徴とする請求項２に記載の平板型熱伝達装置。
【請求項２８】
　前記スペーサ一体型下板に一体に形成された前記スペーサ突起は、前記凝縮部から前記凝縮部へ行くほどその高さが低くなったことを特徴とする請求項２５に記載の平板型熱伝達装置。
【請求項２９】
　前記ウィックプレートを前記下板に密着させるためのものであって、上端が前記上板と接触する突起が前記ウィックプレートに一体に形成されたことを特徴とする請求項１ないし３のうち何れか一項に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項３０】
　前記下板の表面に前記プラナウィックより幅の狭いマイクロパターンが形成されたことを特徴とする請求項１、２または３に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項３１】
　前記マイクロパターンは、所定間隔で離隔されたグルーブであることを特徴とする請求項３０に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項３２】
　前記下板の表面に前記プラナウィックより幅の狭いマイクロパターンが形成されたことを特徴とする請求項２３に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項３３】
　前記下板の前記ウィックプレートが装着される領域上に親水性膜が備えられたことを特徴とする請求項１または３に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項３４】
　前記親水性膜は、多孔性膜であることを特徴とする請求項３３に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項３５】
　前記上板及び下板のうち少なくとも何れか一つは、材質の相異なる外皮及び内皮よりなることを特徴とする請求項１、２、３または２５のいずれかに記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項３６】
　前記上板及び下板のうち少なくとも何れか一つは、材質の相異なる外皮及び内皮よりなることを特徴とする請求項２３または２９に記載の平板型熱伝逹装置。
【請求項３７】
　熱源から伝えられる熱によって液相冷媒が蒸発される蒸発部及び前記蒸発部から発生した蒸気が凝縮される凝縮部が備えられており、毛管力によって前記凝縮部から前記蒸発部に前記液相冷媒が移動する平板型熱伝逹装置の製造方法において、
　底面が前記熱源と接触する下板を形成する第１段階と、
　前記下板に対応する上板を形成し、前記下板と接合される時、前記下板上に装着された要素及び前記上板間に蒸気移動領域が設けられるように形成する第２段階と、
　前記凝縮部から前記蒸発部に前記液相冷媒を移動させるためのプラナウィック及びホールが複数に備えられたウィックプレートを形成する第３段階と、
　前記下板の所定領域上に前記ウィックプレートを装着する第４段階と、
　前記上板及び前記ウィックプレートが装着された下板を整列する第５段階と、
　前記上板及び下板を接合する第６段階と、
　前記接合された上板及び下板間に冷媒を注入する第７段階と、を含むことを特徴とする平板型熱伝逹装置の製造方法。
【請求項３８】
　前記第１段階において、前記下板の前記所定領域は前記ウィックプレートの装着のために所定深さに形成されることを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝達装置の製造方法。
【請求項３９】
　前記第３段階において、前記ウィックプレートに前記上板に向かって突出すウィックプレート突起を形成するが、前記ウィックプレートと一体に形成することを特徴とする請求項３７または３８に記載の平板型熱伝達装置の製造方法。
【請求項４０】
　前記第２段階において、前記上板の前記蒸発部及び凝縮部に対応する領域のうち少なくとも何れか一領域に前記ウィックプレートを前記下板に密着させるための突起を形成することを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝逹装置の製造方法。
【請求項４１】
　前記ウィックプレート及び前記下板間の間隔を一定に維持するための、複数のスペーサを含むスペーサプレートをさらに形成した後、前記スペーサプレートを前記ウィックプレート及び前記下板間に装着することを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝逹装置の製造方法。
【請求項４２】
　前記複数のスペーサは、前記凝縮部から前記凝縮部へ行くほど低く形成することを特徴とする請求項４１に記載の平板型熱伝達装置の製造方法。
【請求項４３】
　前記ウィックプレートを前記下板に密着させるための弾性部材をさらに形成した後、これを前記上板及び前記ウィックプレート間に装着することを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝逹装置の製造方法。
【請求項４４】
　前記ウィックプレートを形成する過程において、前記プラナウィックのうち少なくとも一部間にブリッジを形成することを特徴とする請求項３７ないし４３のうち何れか一項に記載の平板型熱伝逹装置の製造方法。
【請求項４５】
　前記プラナウィックのうち少なくとも選択されたプラナウィックの前記下板に対向する面に突起を形成することを特徴とする請求項３７ないし４０のうち何れか一項に記載の平板型熱伝逹装置の製造方法。
【請求項４６】
　前記複数のスペーサのうち少なくとも一部のスペーサ間にスペーサブリッジを形成することを特徴とする請求項４１に記載の平板型熱伝逹装置の製造方法。
【請求項４７】
　前記第３段階において、前記プラナウィックまたはホールはウェットエッチング工程、ドライエッチング工程またはパンチング工程を利用して形成することを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝逹装置の製造方法。
【請求項４８】
　前記第６段階において、前記上板及び下板はウェルディング工程、ブレージング、電気静電接合工程または熱接合工程で接合することを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝逹装置の製造方法。
【請求項４９】
　前記プラナウィックまたはホールは、直線形、放射形またはメッシュ形に配列されるように形成することを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝逹装置の製造方法。
【請求項５０】
　前記上板は、前記蒸気の移動が円滑になるようにエンボッシングして凸凹した形態に形成するが、前記ウィックプレートに向かって突出した部分が前記プラナウィックのうち少なくとも一部と接触できるように形成することを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝逹装置の製造方法。
【請求項５１】
　前記第１段階において、前記下板の表面に前記下板の表面積を広めるためのマイクロパターンを形成することを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝達装置の製造方法。
【請求項５２】
　前記第１段階において、上向き突出すスペーサ突起を前記下板に形成し、前記下板と一体に形成することを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝達装置の製造方法。
【請求項５３】
　前記スペーサ突起は、前記凝縮部から前記凝縮部へ行くほど低く形成することを特徴とする請求項５２に記載の平板型熱伝達装置の製造方法。
【請求項５４】
　前記ウィックプレートの装着前に前記下板の前記ウィックプレートが装着される領域上に親水性膜を覆い包むことを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝達装置の製造方法。
【請求項５５】
　前記親水性膜は多孔性膜よりなることを特徴とする請求項５４に記載の平板型熱伝達装置の製造方法。
【請求項５６】
　前記上板を形成する第２段階において、前記上板の内側面に前記上板及び前記ウィックプレート間にギャップを形成するための垂直スペーサを形成することを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝達装置の製造方法。
【請求項５７】
　前記突起は、一字形、円形または多角形に形成することを特徴とする請求項４０に記載の平板型熱伝達装置の製造方法。
【請求項５８】
　前記上板の内側に前記上板と材質が異なる物質膜をさらに形成することを特徴とする請求項３７に記載の平板型熱伝達装置の製造方法。
【請求項５９】
　前記上板に対向する前記下板の全領域に前記下板と材質が異なる物質膜をさらに形成することを特徴とする請求項３７または５８に記載の平板型熱伝達装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は微小熱伝逹装置に係り、詳細には高発熱チップの冷却のための平板型熱伝逹装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
　半導体技術及びこれを利用した製造技術の急な発展によって性能はさらに高くて軽薄短小の超スリム型電子製品、例えばノートＰＣが広く普及されている。このような超スリム型電子製品の場合、電子製品全体の冷却も重要であるが、他の部分に比べて相対的に発熱量が多い高発熱要素、例えばコンピュータに装着されたＣＰＵチップの冷却が特に重要である。高発熱要素のほとんどは製品の動作可否を決定するだけに重要な要素である。したがって、高発熱要素から発生する熱を迅速に低下することができない場合、前記高発熱要素の機能が急に低下するか、または動作が難くなる。さらには前記高発熱要素が損傷し、これ以上使用し難くなりうる。
【０００３】
　最近、超スリム型電子製品に装着された高発熱要素の冷却に関する重要性が増加しつつ、高発熱要素を冷却するための多様な冷却手段が提示されている。
　図１ないし図３は、そのうちの一部に関するものであって、所定の長さを有する円筒形ヒートパイプの断面を示す。図１は円筒形ヒートパイプ１０の内面にグルーブ１２が形成された場合を示し、図２はヒートパイプ２０の内面にシンタードメタル（sintered metal）２２が備えられた場合を示し、図３はヒートパイプ３０の内面にメッシュスクリーン３２が備えられた場合を示す。
【０００４】
　図１において、熱源（図示せず）から伝えられる熱を受けて蒸発された蒸気は、ヒートパイプ１０内の空洞１４を通じて凝縮部（図示せず）に移動する。前記凝縮部から供給される液相の冷媒はグルーブ１２を通じて再び蒸発部（図示せず）にフィードバックされる。
　同様に、図２及び図３の空洞２４，３４及び内面に備えられたシンタードメタル２２及びメッシュスクリーン３２は、図１の空洞１４及びグルーブ１２と同じ役割をする。
【０００５】
　図４に示されたように、円筒形ヒートパイプ４０の一側は熱源と接触する蒸発部４４であり、円筒形ヒートパイプ４０の他側は蒸発された蒸気を凝縮させる凝縮部４８である。４６は蒸発部４４及び凝縮部４８を連結する蒸気の移動通路を示す。そして、ヒートパイプ４０の内部の矢印は冷媒の移動を示す。蒸気移動通路４６を通じて凝縮部４８に流入された蒸気は相変化されて液相の冷媒となる。前記液相冷媒はヒートパイプ４０の内面に備えられた多孔性媒質４２に染み込む。多孔性媒質４２に染み込んだ前記液相冷媒は、多孔性媒質４２の毛管作用によって蒸発部４４まで移動する。図１ないし図３に示された円筒形ヒートパイプは、多孔性媒質４２の代わりに、グルーブ１２、シンタードメタル２２及びメッシュスクリーン３２が備えられた場合である。
【０００６】
　一方、図１ないし図３に示した円筒形ヒートパイプは超スリム型電子製品、例えばノートＰＣに使用されうるが、この時、円筒形ヒートパイプをより薄くするためにヒートパイプを押さえて使用する。また、凝縮部のファン伝熱面積を広めるためには曲げなければならない。しかし、円筒形ヒートパイプを押さえてその厚さを薄くした状態では曲げることも容易ではないだけでなく、曲げることによってパイプの内面に備えられた毛管手段が物理的に変形するために、ヒートパイプの性能が低下しうる。
【０００７】
　一方、図１ないし図３に示した円筒形ヒートパイプ内面に備えられたウィック(wick)構造を超スリム型ヒートパイプに適用する方案が模索されている。しかし、図１に示されたグルーブ１２を前記超スリム型ヒートパイプに適用する場合、グルーブの微細加工が難しくて、加工コストがアップとなる問題がある。そして、図２及び図３に示されたシンタードメタル２２やメッシュスクリーン３２を前記超スリム型ヒートパイプのウィック構造(wick structure)に適用する場合、ウィック層が薄くなるにつれて流動圧力の降下が大きくなり、孔径が一定でないので、冷媒の表面張力が弱まる。結局、発熱要素に関する冷却効率が低下する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
　本発明が解決しようとする技術的課題は、前述した従来技術の問題点を改善するためのものであって、製造コストが低くて蒸発熱抵抗が小さく、かつ、蒸発部及び凝縮部に超スリム型製品に適した差別化されたウィック構造を有する平板型熱伝逹装置を提供することである。
　本発明が解決しようとする他の技術的課題は、前記平板型熱伝逹装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
　前記課題を達成するために、本発明は蒸発部に対応する底面に熱源が接触する下板と、前記下板及び上板間にボイドを形成するように前記下板の枠と密封されるように接合された上板と、前記上板及び下板間に備えられているが、前記液相冷媒の表面張力によって前記下板に密着されたウィックプレート及び前記蒸発部及び凝縮部を循環しつつ、前記熱源から伝えられる熱を前記蒸発部から凝縮部に伝達する冷媒を備えるが、前記ウィックプレートは複数のホール及び複数のプラナウィックよりなり、前記下板との毛管力によって液相冷媒を前記凝縮部から前記蒸発部に移動させることを特徴とする平板型熱伝達装置を提供する。
【００１０】
　本発明の実施例によれば、前記上板はエンボッシングして凸凹し、前記ウィックプレートに向かって突出している部分は前記プラナウィックの一部と接触する。
　本発明の他の実施例によれば、前記上板の内側面に垂直スペーサがさらに備えられ、前記下板はスペーサ一体型下板でありうる。
　前記スペーサプレートに含まれた前記複数のスペーサは、前記凝縮部から前記凝縮部へ行くほどその高さが低く備えられ、前記ウィックプレートに上端が前記上板と接触するウィックプレート突起が一体に形成されうる。
【００１１】
　前記下板の表面にマイクロパターンが備えられ、前記下板上に親水性膜が備えられる。
　前記他の課題を達成するために、本発明は蒸発部に対応する底面が熱源と接触する下板を形成する第１段階、前記下板に対応する上板を形成するが、前記下板と接合される時、前記下板上に装着された要素及び前記上板間に前記蒸気の移送のための蒸気移動領域が設けられるように形成する第２段階、凝縮部から前記蒸発部に前記液相冷媒を移動させるためのプラナウィック及びホールが複数に備えられたウィックプレートを形成する第３段階、前記下板の決まった領域上に前記ウィックプレートを装着する第４段階、前記上板及び前記ウィックプレートが装着された下板を整列する第５段階、前記上板及び下板を接合する第６段階及び前記接合された上板及び下板間に冷媒を注入する第７段階を含むことを特徴とする平板型熱伝逹装置の製造方法を提供する。
【００１２】
　本発明の実施例によれば、前記第１段階で前記下板の前記ウィックプレートが装着される領域は所定深さに形成し、前記第２段階で前記上板の前記蒸発部及び凝縮部に対応する領域のうち少なくとも何れか一領域に前記ウィックプレートを前記下板に密着させるための突起を形成する。
　また、前記ウィックプレート及び前記下板間の間隔を一定に維持するための、複数のスペーサを含むスペーサプレートをさらに形成した後、前記スペーサプレートを前記ウィックプレート及び前記下板間に装着する。この時、前記複数のスペーサは前記凝縮部から前記凝縮部へ行くほど低く形成できる。
【００１３】
　前記ウィックプレートを前記下板に密着させるための弾性部材をさらに形成した後、これを前記上板及び前記ウィックプレート間に装着する。この時、前記複数のスペーサのうち少なくとも一部のスペーサ間にブリッジを形成する。
　前記上板の前記蒸発部及び凝縮部に対応する領域はエンボッシングして凸凹した形態に形成するが、前記ウィックプレートに向かって突出している部分が前記プラナウィックのうち少なくとも一部と接触できるように形成する。
【００１４】
　本発明の他の実施例によれば、前記第１段階で前記下板の表面に前記下板の表面積を広めるためのマイクロパターンを形成できる。そして、前記第１段階で上向き突出すスペーサ突起を前記下板に形成するが、前記下板と一体に形成できる。この時、スペーサ突起は前記凝縮部から前記凝縮部へ行くほど低く形成することが望ましい。
　また、前記ウィックプレートの装着前に前記下板の前記ウィックプレートが装着される領域を親水性膜で覆い包み、前記上板を形成する第２段階で前記上板の内側面に前記上板及び前記ウィックプレート間にギャップを形成するための垂直スペーサをさらに形成できる。
【００１５】
　また、前記上板の内側に前記上板と材質の異なる物質膜をさらに形成したり、前記上板に対向する前記下板の前領域に前記下板と材質の異なる物質膜をさらに形成できる。
　また、前記第３段階で前記ウィックプレートに前記上板に向かって突出すウィックプレート突起を形成するが、前記ウィックプレートと一体に形成できる。
【発明の効果】
【００１６】
　本発明の実施例による平板型熱伝逹装置は、超スリム型に合せて形成されたウィックプレート及び／またはスペーサプレートを備える。前記ウィックプレート及びスペーサプレートは金属エッチングによって形成される。したがって、製造過程が簡単で、そのコストも同じ用途を有する従来にあるものより安い。また、蒸発領域及び蒸発熱抵抗を考慮して蒸発部に最適の形態を有しつつ、同時に相対的に面積が広い凝縮部にも適した形態にウィック構造を設計することが可能である。このような結果によって、本発明による平板型熱伝逹装置は多様な超スリム型製品に適用でき、高発熱要素に関する冷却効率も向上させうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
　以下、本発明の実施例による平板型熱伝逹装置及びその製造方法を添付図面を参照して詳細に説明する。この過程で図面に示された層や領域の厚さは明細書の明確性のために誇張して示したものである。
　図５を参照すれば、本発明の実施例による平板型熱伝逹装置は底面が熱源Ｈ、例えば高発熱チップと接触する第１下板１００、第１下板１００上に順次に積層されたスペーサプレート（spacer plate）１１０及びウィックプレート（wick plate）１２０、前記２つのプレート１１０，１２０を覆い包む第１上板２００を備える。
【００１８】
　製造工程で第１上板２００及び第１下板１００の枠は、ウェルディング工程welding）、電気静電接合工程あるいは熱接合工程で密封接合される。ウィックプレート１２０は、薄い厚さを有し、下記のように複数のプラナウィック（planar wick）及びこれら間に形成された複数のホール（hole）で構成される。このようなウィックプレート１２０は２つ以上が積層されて備えられる。この時、各々のウィックプレートに備えられるウィックパターン（wick pattern）は同じであることが望ましいが、凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１に液相冷媒を運搬できる形態である場合、相異なっても良い。スペーサプレート１１０は、ウィックプレート１２０と外形及びサイズが同じであることが望ましい。スペーサプレート１１０は選択的に備えられる。したがって、本発明の平板型熱伝逹装置の場合、スペーサプレート１１０を含めなくても良い。ウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０は、ウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０の周囲の側面及び第１上板２００の内面間にギャップがないように第１上板２００に接触されることが望ましい。これにより、物理的な衝撃によって平板型熱伝逹装置が揺れてもウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０の整列が乱されることが防止される。このような理由で、第１上板２００及び第１下板１００を上方から見た時の形態は同じであることが望ましくて、第１上板２００を下方から見た時の枠の内側の形態及びサイズはウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０の形態及びサイズと同じであることが望ましい。
【００１９】
　一方、図５に示した平板型熱伝逹装置の厚さは数ｍｍ以上、例えば１〜２ｍｍ程度である。そして、ウィックプレート１２０及び第１上板２００間に熱源Ｈを冷却する過程で発生する蒸気が凝縮部Ｐ２に移動できる空間を設けなければならない。第１下板１００は通常ウィックプレート１２０やスペーサプレート１１０より厚いので、前記平板型熱伝達装置の厚さに対してウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０の厚さが占める比率は非常に低い。すなわち、ウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０の厚さは非常に薄い。スペーサプレート１１０及びウィックプレート１２０はいずれも液相冷媒（例えば、水（蒸溜水）、エタノール、メタノールまたはアセトン）の表面張力によって第１下板１００との結合状態が維持される。スペーサプレート１１０のスペーサ形成領域１１０ｂに形成されるスペーサ間の間隔はウィックプレート１２０のプラナウィック形成領域１２０ｂに形成されるプラナウィック間の間隔に比べてはるかに広い。すなわち、スペーサ形成領域１１０ｂに形成されるスペーサ密度はプラナウィック形成領域１２０ｂのプラナウィックの密度よりはるかに低い。スペーサ形成領域１１０ｂは、スペーサ間に形成された、第１下板１００が露出されるホールを含む。プラナウィック形成領域１２０ｂは、プラナウィック間に形成された第１下板１００が露出されるホールを含む。したがって、前記スペーサの密度が前記プラナウィックの密度よりはるかに低いということは、スペーサ形成領域１１０ｂでスペーサ間に形成されたホールサイズがプラナウィック間に形成されたホールサイズよりはるかに大きいということを意味する。スペーサ形成領域１１０ｂでのスペーサ配列形態及びプラナウィック形成領域１２０ｂでのプラナウィック配列形態は、各々スペーサ形成領域１１０ｂでのホール配列形態及びプラナウィック形成領域１２０ｂでのホール配列形態によって決定される。言い換えれば、スペーサ形成領域１１０ｂでホールの形態及び配列が決まれば、スペーサ形態及び配列は自動で決定される。同様にプラナウィック形成領域１２０ｂでホール形態及び配列が決まれば、プラナウィックの形態及び配列は自動で決定される。したがって、スペーサ形成領域１１０ｂ及びプラナウィック形成領域１２０ｂに形成されるホールの大きさ、形態、配列によって、スペーサ形成領域１１０ｂ及びプラナウィック形成領域１２０ｂに多様な大きさ、形態、配列を有するスペーサ及びプラナウィックが形成される。これについてのさらに詳細なものは後述される。
【００２０】
　前述したように、プラナウィック形成領域１２０ｂでのプラナウィック密度はスペーサ形成領域１１０ｂでのスペーサ密度よりはるかに高い一方、前記スペーサ形成領域１１０ｂに形成されたホールの面積はプラナウィック形成領域１２０ｂに形成された多数のプラナウィック及びホールを全て含みうる程度に広い。このように、ウィックプレート１２０及び第１下板１００間にスペーサプレート１１０が存在しても、ウィックプレート１２０底面のほとんどが第１下板１００と直接対面する。したがって、ウィックプレート１２０及び第１下板１００間には両者の結合を維持するのに十分な表面張力が作用する。しかし、さらに大きい毛管力を発生させるためにスペーサプレート１１０は可能な限り薄く形成されたことが望ましい。
【００２１】
　このようにウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０は液相冷媒の表面張力によって第１下板１００との結合状態を正常に維持できるが、物理的な衝撃や不測の原因によってウィックプレート１２０及び第１下板１００間に作用する液相冷媒の表面張力が弱まり、その結果、ウィックプレート１２０が第１下板１００から落ちてしまう。すなわち、ウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０が第１上板２００側に移動してしまう。これにより、液相冷媒の循環が円滑でなくて熱源Ｈから供給される熱を効果的に除去できない。したがって、熱源Ｈが接触する領域Ｈ’に対応する第１下板１００の上面への冷媒の供給が中断されるドライアウトが発生する。このように、蒸発部Ｐ１にドライアウトが発生すれば、熱源Ｈの温度が上昇し続ける。したがって、ドライアウトが発生すれば、熱源Ｈ、すなわち高発熱チップの動作が遅くなるかまたはダウンされ、激しい場合にはチップの損傷により前記チップが装着された製品の動作が止められる。
【００２２】
　何れかの原因によって第１下板１００及び第１上板２００間でウィックプレート１２０が流動することを防止するための多様な固定手段を提示した。図５において、２９０は前記固定手段の一例であって、第１上板２００の内面でウィックプレート１２０に向かって突出した突起である。前記固定手段についてのより詳細な説明は後述する。
　次いで、図５を参照すれば、第１下板１００で点線に示された領域１３０はスペーサプレート１１０が接触する領域を示す。この領域１３０の外側の領域である第１下板１００の枠２００ａは、第１上板２００の枠と密封接着される領域である。枠２００ａの幅Ｗ０は、１.５〜３.０ｍｍ程度であることが望ましいが、必要に応じて調整できる。第１下板１００の熱源Ｈと接触する領域である蒸発部Ｐ１の幅は、蒸発部Ｐ１から発生した蒸気が相変化過程を通じて凝縮される領域であり、熱源Ｈと接触しない凝縮部Ｐ２の幅より狭い。あるいは、蒸発部Ｐ１の面積は凝縮部Ｐ２の面積より狭い。すなわち、第１下板１００の幅は蒸発部Ｐ１では一定であるが、凝縮部Ｐ２へ行くほどさらに広くなる。蒸発部Ｐ１から液相冷媒が蒸発される領域は、第１下板１００の底面の熱源Ｈと接触する領域Ｈ’に対向する第１下板１００の上面の所定領域である。この領域から発生した蒸気は、第１上板２００及びウィックプレート１２０間に設けられた空間を通じて凝縮部Ｐ２に移動する。このような蒸気は熱源Ｈから伝えられた熱を外部に伝達し、液相の冷媒に相変化される。これにより、凝縮部Ｐ２に液相の冷媒が集まる。液相冷媒が集まると同時に液相冷媒は凝縮部Ｐ２に対応するウィックプレート１２０のプラナウィック形成領域１２０ｂに染み込む。次いで、液相冷媒はプラナウィック形成領域１２０ｂに形成されたプラナウィック（後述する）及び第１下板１００間を通じて毛管力によって凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１に移動する。
【００２３】
　ウィックプレート１２０及び第１下板１００間にスペーサプレート１１０が備えられているが、スペーサプレート１１０がなくてもウィックプレート１２０及び第１下板１００は近接密着されているので、ウィックプレート１２０、特にプラナウィック形成領域１２０ｂに形成された前記プラナウィック及び第１下板１００間のギャップは毛管力を発生することができるように狭くなっている。したがって、凝縮部Ｐ２に集まった液相冷媒は、前記プラナウィック間のギャップを通じて蒸発部Ｐ１に流入されることもあるが、図２６に示したように、プラナウィック１４０，１４２，１４４及び第１下板１００間のギャップを通じても流入される。ウィックプレート１２０は、第１上板２００の内面の周囲と接触する枠１２０ａ及び枠１２０ａ内側のプラナウィック形成領域１２０ｂで構成されている。プラナウィック形成領域１２０ｂには図６ないし図８に示したように多様なプラナウィックが形成される。このようなプラナウィックは第１下板１００と共に冷媒が移動されうる多くの微小チャンネルを形成する。スペーサプレート１１０は第１上板２００の内面の周囲と接触すると同時に、第１下板１００と接触する枠１１０ａ及び枠１１０ａの内側のスペーサ形成領域１１０ｂで構成されている。
【００２４】
　一方、第１下板１００及び第１上板２００間にボイド（void）が設けられなければならない。前記ボイドは、図１０ないし図２０に示したように蒸気移動領域２５０及びウィックプレート１２０またはウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０が装着される領域よりなる空間を含む。したがって、第１上板２００はこれを考慮して製作することが望ましい。
【００２５】
　次いで、ウィックプレート１２０のさらに詳細な平面形態及びプラナウィック形成領域１２０ｂに形成されたプラナウィックについて、図６ないし図８を参照して説明する。
　図６は蒸発部Ｐ１に形成されたプラナウィックが直線形である場合を、図７はメッシュ形である場合を、そして図８は放射形である場合を各々示す。
　図６を参照すれば、ウィックプレート１２０の蒸発部Ｐ１に第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４が形成されている。第２プラナウィック１４２は、蒸発部Ｐ１を取り囲む枠１２０ａの図中下側の水平部分に接触しており、前記水平部分に沿って凝縮部Ｐ２まで拡張されている。第２プラナウィック１４２と上下対称される第３プラナウィック１４４は、蒸発部Ｐ１を取り囲むウィックプレート枠１２０ａの図中上側の水平部分に接触しており、前記上側の水平部分に沿って凝縮部Ｐ２まで拡張されている。図面で示されたように、第２及び第３プラナウィック１４２，１４４は、ウィックプレート枠１２０ａの上側及び下側部分がウィックプレート枠１２０ａ内側に延びた形態である。ウィックプレート１２０は、蒸発部Ｐ１から凝縮部Ｐ２へ行くほど幅が大きく広くなる形態である。これにより、第２及び第３プラナウィック１４２，１４４も凝縮部Ｐ２が始まる位置で分けられる。
【００２６】
　具体的に、第２プラナウィック１４２は凝縮部Ｐ２で複数のプラナウィックに分岐されている。このうち、母体となる一つのプラナウィックは、蒸発部Ｐ１から直線形態のそのままに凝縮部Ｐ２を横切ってウィックプレート枠１２０ａに連結されている。残りの分岐された複数のプラナウィック、すなわち複数の第４プラナウィック１４２ａ及び複数の第５プラナウィック１４２ｃは凝縮部Ｐ２の幅が拡張された領域に形成されている。複数の第４プラナウィック１４２ａは、ウィックプレート枠１２０ａの凝縮部Ｐ２を取り囲む部分の図中下側と同じ形態に曲げられている。複数の第４プラナウィック１４２ａは、凝縮部Ｐ２を取り囲むウィックプレート枠１２０ａの図中右側部分と連結される。複数の第５プラナウィック１４２ｃは、第４プラナウィック１４２ａ及び第４及び第５プラナウィック１４２ａ，１４２ｃの母体となる前記一つのプラナウィック間に形成されており、ウィックプレート枠１２０ａの前記右側部分と連結されている。複数の第５プラナウィック１４２ｃは全て直線形で第２プラナウィック１４２と平行である。
【００２７】
　第３プラナウィック１４４は、第２プラナウィック１４２と同じ方式で凝縮部Ｐ２が始まる部分で複数の第６及び第７プラナウィック１４４ａ，１４４ｃに分岐されているが、このパターン１４４ａ，１４４ｃは全て凝縮部Ｐ２の拡張された部分に形成されている。第２プラナウィック１４２と同様に、第３プラナウィック１４４から分岐された複数のプラナウィックのうち、母体となる一つのプラナウィックは、蒸発部Ｐ１から直線形態をそのまま維持しつつ凝縮部Ｐ２を横切ってウィックプレート枠１２０ａに連結されている。複数の第６及び第７プラナウィック１４４ａ，１４４ｃは、各々第４及び第５プラナウィック１４２ａ，１４２ｃと上下対称であるので、それについての詳細な説明は省略する。
【００２８】
　複数の第４プラナウィック１４２ａ間に所定の間隔を有する第２ホール１４２ｂが形成されており、複数の第５プラナウィック１４２ｃ間に所定の間隔を有する第３ホール１４２ｄが形成されている。複数の第６及び第７プラナウィック１４４ａ，１４４ｃ間に各々第４及び第５ホール１４４ｂ，１４４ｄが形成されている。このようにウィックプレート１２０は、複数のプラナウィック及びこれら間に形成された複数のホールで構成される。
【００２９】
　凝縮部Ｐ２に集まる液相の冷媒は、第２ないし第５ホール１４２ｂ，１４２ｄ，１４４ｂ，１４４ｄを通じて、毛管力が作用する第４ないし第７プラナウィック１４２ａ，１４２ｃ，１４４ａ，１４４ｃ及び第１下板１００間のギャップに流入され、第２プラナウィック１４２に沿って蒸発部Ｐ１に移送される。前記液相冷媒は、第２ないし第５ホール１４２ｂ，１４２ｄ，１４４ｂ，１４４ｄを通じて蒸発部Ｐ１に移動することもある。
【００３０】
　一方、図６に示したように、ウィックプレート１２０をさらに安定的に第１下板１００に密着させるために第２ないし第７プラナウィック１４２，１４４，１４２ａ，１４２ｃ，１４４ａ，１４４ｃのうち少なくとも選択された一部のプラナウィックはプラナウィックブリッジ２６０ａに連結されうる。この時、プラナウィックブリッジ２６０ａは、隣接した２つのプラナウィックの一部を連結する。プラナウィックブリッジ２６０ａは隣接したプラナウィックの側面と側面とを連結するので、プラナウィックブリッジ２６０ａ及び第１下板１００間に第４ないし第７プラナウィック１４２ａ，１４２ｃ，１４４ａ，１４４ｃ及び第１下板１００間に作用するものと同じ毛管力が作用する。したがって、第２ないし第５ホール１４２ｂ，１４２ｄ，１４４ｂ，１４４ｄを通じて蒸発部Ｐ１に移送される前記液相冷媒がプラナウィックブリッジ２６０ａに合ってもプラナウィックブリッジ２６０ａ及び第１下板１００間のスペースを通じてその流れは維持し続けられる。
【００３１】
　第２ないし第７プラナウィック１４２，１４４，１４２ａ，１４２ｃ，１４４ａ，１４４ｃが形成されていないプラナウィック形成領域１２０ｂの残りの領域に第１プラナウィック１４０が複数に形成されている。第１プラナウィック１４０の間ごとに第１ホール１５０が形成されている。すなわち、第１プラナウィック１４０は、プラナウィック形成領域１２０ｂから凝縮部Ｐ２の幅が拡張された領域を除外した残りの領域に形成されている。ウィックプレート枠１２０ａの蒸発部Ｐ１を取り囲む部分のうちウィックプレート枠１２０ａの垂直部分から始まった第１プラナウィック１４０は第２及び第３プラナウィック１４２，１４４と平行に形成されており、直線形態のそのままに凝縮部Ｐ２を横切ってウィックプレート枠１２０ａに連結されている。第１プラナウィック１４０及び第２及び第３プラナウィック１４２，１４４間に所定間隔を有する第１ホール１５０が形成されている。複数の第１プラナウィック１４０間にも第１ホール１５０が形成されている。第１ホール１５０は第１プラナウィック１４０と並んで蒸発部Ｐ１及び凝縮部Ｐ２を横切ってウィックプレート枠１２０ａまで拡張されている。したがって、凝縮部Ｐ２の幅が拡張された領域に形成された第２ないし第５ホール１４２ｂ，１４２ｄ，１４４ｂ，１４４ｄと同様に、凝縮部Ｐ２の中心に集まる液相冷媒は毛管力によって第１ホール１５０を通じて第１プラナウィック１４０及び第１下板１００間に染み込む。第１ホール１５０の場合、第２ないし第５ホール１４２ｂ，１４２ｄ，１４４ｂ，１４４ｄと違って凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１まで直線に延びている。また、第１ホール１５０の幅は毛管作用が発生する程度に狭い。したがって、液相冷媒は第１プラナウィック１４０及び第１下板１００間を通じてだけでなく、第１ホール１５０自体を通じて蒸発部Ｐ１に移送されうる。蒸発部Ｐ１から発生する蒸気は、第１ホール１５０を通じて蒸気移動領域２５０に放出されるために、蒸発部Ｐ１での蒸発領域は第１ホール１５０によって決められる。
【００３２】
　一方、図７に示したように、ウィックプレート１２０のプラナウィック形成領域１６０に前記プラナウィックと違う形態を有する第８プラナウィック１６０ａが備えられる。第８プラナウィック１６０ａに複数の第６及び第７ホール１６０ｂ，１６０ｃが形成されている。第６ホール１６０ｂは蒸発部Ｐ１に形成されたものであって、蒸気が放出される蒸発領域となる。
【００３３】
　一方、凝縮部Ｐ２に形成された第７ホール１６０ｃは、第８プラナウィック１６０ａの下方に液相冷媒が流入される流入口となる。第６及び第７ホール１６０ｂ，１６０ｃは同じサイズで形成されていることが望ましいが、異なっても良い。第６及び第７ホール１６０ｂ，１６０ｃは全てメッシュ形に分布されており、各々のホールは相互に所定間隔だけ離隔されている。したがって、第８プラナウィック１６０ａはメッシュ形プラナウィックとなる。
【００３４】
　他の一方、図８に示したように、ウィックプレート１２０のプラナウィック形成領域１７０に前記プラナウィックと違う形態のプラナウィックが備えられる。図示の便宜のために、図８では図６及び図７と違ってプラナウィックを線で示した。
　図８を参照すれば、プラナウィック形成領域１７０に形成されたプラナウィックの場合、蒸発部Ｐ１及び凝縮部Ｐ２によってその形態が変わることがわかる。
【００３５】
　具体的に、蒸発部Ｐ１に蒸発部Ｐ１の中心領域Ｃから放射状に拡張される第９プラナウィック１７０ａが形成されている。凝縮部Ｐ２に第１０及び第１１プラナウィック１７０ｃ，１７０ｄが形成されている。放射状に形成された第９プラナウィック１７０ａは、色々な種類の放射状プラナウィックで構成されている。すなわち、第９プラナウィック１７０ａは、４つの放射状プラナウィックに分けられる。第１放射状プラナウィック１７０ａ１は、中心領域Ｃの中心で合うように形成される。第２放射状プラナウィック１７０ａ２は、前記第１放射状プラナウィック１７０ａ１間に備えられて中心領域Ｃの境界から始まる。第３放射状プラナウィック１７０ａ３は、第１及び第２放射状プラナウィック１７０ａ２間に備えられて中心領域Ｃより遠い所定位置から始まる。第４放射状プラナウィック１７０ａ４は、第１及び第３放射状プラナウィック１７０ａ１及び１７０ａ３間または第２及び第３放射状プラナウィック１７０ａ２及び１７０ａ３間に備えられて第３放射状プラナウィック１７０ａ３が始まる位置より遠い所定位置から始まる。前記第１ないし第４放射状プラナウィック１７０ａ１及び１７０ａ４間に第８ホール１７０ｂが存在する。第８ホール１７０ｂを通じて蒸気が放出される。第８ホール１７０ｂは、凝縮部Ｐ２につながっている。
【００３６】
　次いで、第１０及び第１１プラナウィック１７０ｃ，１７０ｄは、第９プラナウィック１７０ａが延びたものであって、凝縮部Ｐ２が始まる部分から直線形に変形される。第１１プラナウィック１７０ｄは凝縮部Ｐ２が始まる部分から複数の第１２プラナウィック１７０ｄ１，．．．１７０ｄｎ及び複数の第１３プラナウィック１７０ｅに分岐されている。凝縮部Ｐ２に形成された第１０プラナウィック１７０ｃは、第１プラナウィック１４０の凝縮部Ｐ２に形成されたものと同一であり、第１１ないし第１３プラナウィック１７０ｄ，１７０ｄ１．．．１７０ｄｎ，１７０ｅは、第２または第３プラナウィック１４２，１４４の凝縮部Ｐ２に形成された部分と実質的に同一である。
【００３７】
　前記第１ないし第４放射状プラナウィックのうち少なくとも選択された一部をはじめとして凝縮部Ｐ２に直線形に形成された前記色々なプラナウィックのうち一部のプラナウィックはプラナウィックブリッジ２６０ａで連結されている。
　図６ないし図８に示したように、ウィックプレート１２０のプラナウィック形成領域１２０ｂには多様な形態を有するプラナウィックが形成される。プラナウィック形成領域１２０ｂには図６ないし図８に示されていないさらに多様なプラナウィックが形成されうる。例えば、プラナウィック形成領域１２０ｂに液相冷媒が凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１に向かって流れるように、すなわち凝縮部Ｐ２に集まった液相冷媒がプラナウィック間及び／またはプラナウィック及び第１下板１００間を通じて蒸発部Ｐ１に円滑に移動できるように複数のホールが形成されうる。この時、前記複数のホールは蒸発部Ｐ１及び凝縮部Ｐ２の全体で格子配列に形成され、ホールが位置する領域の特性によってホールは任意の形態でありうる。また、ホールのサイズも多様にできる。
【００３８】
　図９Ａを参照すれば、スペーサ形成領域１１０ｂに第１及び第２スペーサ１８０ａ，１８０ｂが各々複数に並んで配列されている。第１スペーサ１８０ａは蒸発部Ｐ１及び凝縮部Ｐ２を横切って形成されている。第２スペーサ１８０ｂは凝縮部Ｐ２の拡張された領域に第１スペーサ１８０ａと平行に配列されている。第１及び第２スペーサ１８０ａ，１８０ｂのうち一部を連結するスペーサプレートブリッジ１９０が備えられている。スペーサプレートブリッジ１９０は、スペーサプレート１１０の姿勢を安定させるために備えられた手段の一例である。スペーサプレートブリッジ１９０は第１スペーサ１８０ａ間をはじめとして、第１及び第２スペーサ１８０ａ，１８０ｂ間に備えられている。スペーサプレートブリッジ１９０は、図面に示したように一列に並んで配列されたことが望ましいが、ジグザグに配列されても良い。
【００３９】
　第１スペーサ１８０ａは、蒸発部Ｐ１及び凝縮部Ｐ２を横切って平行に形成されているが、相互第１間隔Ｓ１だけ離隔されている。第１間隔Ｓ１はプラナウィック形成領域１２０ｂに形成されるプラナウィック間の間隔よりはるかに広い。第２スペーサ１８０ｂは、凝縮部Ｐ２を横切る方向に形成されている。スペーサプレートブリッジ１９０は、全て平行に形成されており、各々は第２間隔Ｓ２だけ離隔されている。第２間隔Ｓ２は第１間隔Ｓ１より広い。第１及び第２間隔Ｓ１，Ｓ２は、前記プラナウィックの間隔よりはるかに広いが、第１スペーサ１８０ａ自体の幅は前記プラナウィックの幅と類似している。
【００４０】
　このようなスペーサプレート１１０は、他の形態に備えられる。例えば、スペーサプレート１１０の形態及び／またはサイズはウィックプレート１２０の形態及び／またはサイズと違うように備えられ、特にスペーサプレート１１０はウィックプレート１２０に形成されたプラナウィックと平行に形成された幾つかのスペーサあるいは個々の材料に代替されうる。このようなスペーサはスペーサプレート１１０のように別途に備えられたものであっても、第１下板１００上に永久固定されたものであっても良い。
【００４１】
　図９Ｂを参照すれば、スペーサプレートブリッジ１９０は隣接した２つの第１スペーサ１８０ａ間及び枠１１０ａ及び第１スペーサ１８０ａ間で各々両側の側面上端を連結するように備えられる。ここで、図９Ｂは、図９Ａのｂ−ｂ’断面である。このような事実はスペーサプレートブリッジ１９０が凝縮部Ｐ１に備えられた場合にもそのまま適用される。
【００４２】
　次いで、図１０ないし図２５を参照して第１下板１００上にウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０が順次に装着された平板型熱伝逹装置及びその変形例を説明し、次いで図２６ないし図３０を利用してスペーサプレート１１０が除去された、平板型熱伝逹装置及びその変形例を説明する。前者の場合、ウィックプレート１２０は図６に示したものを利用し、スペーサプレート１１０は図９Ａに示したものを利用する。後者の場合、図６に示したウィックプレート１２０を利用する。
【００４３】
　図１０は、図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間に構成される要素の多様な変形例を示す図面である。図１０を参照すれば、スペーサプレート１１０の第１スペーサ１８０ａが第１下板１００上に粗く形成されている。一方、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４は第１スペーサ１８０ａ上に、第１スペーサ１８０ａよりはるかに稠密に形成されている。このような図１０を通じてプラナウィック形成領域１２０ｂに形成されたプラナウィックの密度がスペーサ形成領域１１０ｂに形成されたスペーサの密度よりはるかに高いということが分かる。このような密度分布は凝縮部Ｐ２までそのまま維持される。したがって、液相冷媒は第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４を通じて凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１に流入される。凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１への液相冷媒の移送は毛管作用によって行われる。したがって、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４及び下板１１０の間隔は、前記液相冷媒に対して毛管作用を起こせる程度に維持されることが望ましい。第１スペーサ１８０ａは、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４を支持する役割をするので、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４及び第１下板１００の間隔は第１スペーサ１８０ａの厚さにより決定される。したがって、第１スペーサ１８０ａの厚さｔ１は凝縮部Ｐ２から第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４及び第１下板１００間に流入された液相冷媒に対して毛管作用を起こせる程度である。例えば、第１スペーサ１８０ａの厚さｔ１は５０μｍ程度であることが望ましい。２３０は毛管作用によって第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４及び第１下板１００間を通じて凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１に移送された液相冷媒を示す。そして、ｄは第１及び第２プラナウィック１４０，１４２間の間隔、第１及び第３プラナウィック１４０，１４４間の間隔または第１プラナウィック１４０間の間隔を示す。蒸発部Ｐ１において蒸発領域は前記間隔ｄによって決定されるので、前記間隔ｄは蒸発熱抵抗を低められる所定の値、例えば１００μｍ程度であることが望ましい。また、Ｗは第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の幅を示すので、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の幅Ｗは蒸発部Ｐ１の冷媒蒸発領域及び蒸発熱抵抗を考慮して決定することが望ましい。例えば、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の幅Ｗは１００μｍ程度であることが望ましい。
【００４４】
　一方、図１０において、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の厚さは第１スペーサ１８０ａより厚い、例えば１００μｍ程度であることが望ましい。そして、第１下板１００上から第１上板２００内面までの間隔は、第１スペーサ１８０ａの望ましい厚さ、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の望ましい厚さ、ウィックプレート１２０及び第１上板２００間に設けられなければならない。蒸気移動空間等を考慮して決定することが望ましい。例えば、第１下板１００及び第１上板２００内面間の距離は０．８ｍｍ程度が適当である。第１下板１００及び第１上板２００の厚さが各々０．５ｍｍ程度が適当であることを勘案すれば、図１０に示した平板型熱伝逹装置の全体厚さは１．８ｍｍ程度であることが適当である。第１下板１００及び／または第１上板２００を構成する材質や、ウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０を構成する材質によって前記装置の全体厚さは変わる。前記第１及び第２プラナウィック１４０，１４２及び第１スペーサ１８０ａの立体的な形態は図１１Ａで示されている。
【００４５】
　一方、第１スペーサ１８０ａは厚さが領域によって異なる形態の場合を図１１Ｂを用いて説明する。このような場合に液相の冷媒が凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１に迅速に供給されなければならないために、第１スペーサ１８０ａは図１１Ｂに示されたように凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１へ行くほどその厚さが次第に薄くなる形態であることが望ましい。この時、第１スペーサ１８０ａの凝縮部Ｐ２厚さｔ１’は、毛管パターンである第１乃至第３プラナウィック１４０，１４２，１４４が、凝縮部Ｐ２に存在する液相冷媒に対して毛管作用を起こせる最大の厚さまたはそれより薄い厚さであることが望ましい。そして、第１スペーサ１８０ａの蒸発部Ｐ１厚さｔ１’’は常に第１スペーサ１８０ａの凝縮部Ｐ２厚さｔ１’より薄いことが望ましい。
【００４６】
　第１スペーサ１８０ａの厚さｔ１は、このように凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１に行くにつれて、連続的に変化することが望ましいが、図１１Ｃに示したように不連続的に変化しても良い。すなわち、第１スペーサ１８０ａの凝縮部厚さはｔ１’’であり、蒸発部厚さはｔ１’であり、蒸発部Ｐ１及び凝縮部Ｐ２間での厚さはｔ１’’’でありうる。前記ｔ１’’’はｔ１’よりは小さくて、ｔ１’’よりは大きい。
【００４７】
　第１スペーサ１８０ａが図１１Ｃに示したように階段型である場合、このような第１スペーサ１８０ａ上に装着されるプレートウィック１２０もこれに合せて階段型であると、毛管作用を維持できるので望ましい。
　前述したように第１スペーサ１８０ａの厚さを蒸発部Ｐ１で薄くし、凝縮部Ｐ２で厚くする場合、凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１へ行くほど毛管作用が増加して凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１へさらに速い液相冷媒の供給が可能になる。
【００４８】
　図１２は、熱源Ｈから伝えられる熱を吸収した液相冷媒が第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４間に設けられたホールを通じて蒸発される過程を示す。ここで、２３０ａは蒸気を示す。蒸発部Ｐ１から発生する蒸気２３０ａは第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４及び第１上板２００間に設けられた蒸気移動領域２５０を通じて凝縮部Ｐ２に移動する。
【００４９】
　図１３Ａないし図１３Ｄは、外部衝撃や不測の原因によって第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４が第１下板１００に対して垂直方向に移動することを抑制するための手段を示す。この図面で、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４のうち少なくとも一部は、プラナウィックブリッジ２６０ａで連結される。そのため、第１乃至第３プラナウィック１４０、１４２、１４４が垂直方向に移動する力に対する強度が増し、第１下板１００に対して垂直方向に移動することを抑制することができる。この時、ブリッジ２６０ａの厚さは第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４より薄いことが望ましいが、図１３Ｂに示したように、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４と同一であっても良い。そして、ブリッジ２６０ａの厚さが第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の厚さより薄い場合、図１３Ａに示したように第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の側面の上端を連結するように備えられたことが望ましいが、図１３Ｃに示したようにプラナウィックブリッジ２６０ａは第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の側面の中間を連結するように備えても良い。また、図１３Ｄに示したようにプラナウィックブリッジ２６０ａは第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の側面の下段を連結するように備えても良い。前述したいかなる場合でもブリッジ２６０ａ及び第１下板１００間に第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４及び第１下板１００間に作用する毛管力と同じ毛管力が作用する。したがって、液相冷媒が凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１に移動する際にブリッジ２６０ａに接した場合、前記液相冷媒はブリッジ２６０ａ及び下板１００間を通じて移動し続けられる。また、プラナウィックの数に比べてブリッジ２６０ａの数がはるかに少くすることで、前記液相冷媒の移動にブリッジ２６０ａが及ぶ影響はないと見られる。
【００５０】
　次いで、ブリッジ２６０ａで連結された第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の立体的な形態が図１４に示されている。図１４を参照すれば、ブリッジ２６０ａは隣接する２つのプラナウィックの一部領域を連結する。ウィックプレート１２０の位置安全性を高めるために、ウィックプレートブリッジ２６０ａは一列よりはジグザグに配列する方が望ましい。また、蒸発部Ｐ１でのウィックプレートブリッジ２６０ａの数は蒸発領域及び蒸発熱抵抗を考慮して適切に制限することが望ましい。
【００５１】
　図１５は、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４が第１下板１００に垂直方向に移動することを抑制するための手段を含む平板型熱伝達装置を示す。図１５に示した平板型熱伝達装置は、第１上板２００及び第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４間に弾性部材２８０、例えば板スプリングが備えられた例を示す。平板型熱伝逹装置に加えられる衝撃は弾性部材２８０によって吸収されるので、前記衝撃によって第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４が第１下板１００に垂直方向に動くことを防止できる。弾性部材２８０及び第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の立体的な形態は図１６に示されている。図１６を参照すれば、弾性部材２８０は、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の長さに比べてその幅が狭い。また、弾性部材２８０は第１上板２００及び第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４間の蒸気移動領域２５０で多くの体積を占めない。したがって、蒸発部Ｐ１から凝縮部Ｐ２への蒸気移動に関する弾性部材２８０の影響は無視できる。
【００５２】
　図１７は、衝撃や不測の原因によって第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４が第１下板１００に垂直方向に移動することを抑制するための手段、例えば弾性部材２８０及びブリッジ２６０ａが備えられた平板型熱伝達装置を示す。
　一方、図１８Ａは図１７に示された前記抑制手段であって、第１上板２００の天井に第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４に向かって突出した第１突起２９０を示す。第１突起２９０は、第１スペーサ１８０ａの場合のように分布密度が低く粗く形成されているが、図１８Ｂはこのような事実を示す。第１突起２９０は図１８Ａに示したように第１上板２００の長手方向に沿って形成された一字形であることが望ましいが、図１８Ｃ及び図１８Ｄに示したように円形突起２９０ａまたは多角形突起２９０ｂでありうる。
【００５３】
　第１突起２９０は、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の表面に近接に突出して第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４に接触するかしないかぐらいで設ける。第１突起２９０はウィックプレート１２０を第１下板１００に近接固定させるための補助手段であり、外部の衝撃やその他の原因によって第１下板１００及び第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の間隔が液相冷媒２３０の表面張力の及ぶ距離以上に離れることを防止する。また、第１突起２９０は熱源Ｈを冷却する過程で第１上板２００及び第１下板１００が歪むか、または変形されることを防止する。図１９に示したように第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４間に前記ブリッジ２６０ａをさらに備えることができる。
【００５４】
　図２０は、図１７に示した前記抑制手段として、ウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０が一体化された場合であって、第１下板１００上に第１４プラナウィック３００が形成された平板型熱伝達装置を示す。第１４プラナウィック３００は、前記第１スペーサ１８０ａと同じ厚さを有し、同じ役割をする支持部３００ｂ及び第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４と同様に凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１に液相冷媒２３０を移送させる翼部３００ａよりなる。支持部３００ｂは、全ての第１４プラナウィック３００に形成されているが、一部にだけ形成されることもある。図２１は、このような第１４プラナウィック３００を立体的に示す。
【００５５】
　第１４プラナウィック３００をはじめとしてウィックプレート１２０のプラナウィック形成領域１２０ｂに形成される前記全てのプラナウィック及び／またはホールはウェットまたはドライエッチング工程で形成するか、またはパンチング工程で形成したものである。したがって、本発明の前記プラナウィック及びホールの製造が容易である。また、その製造コストも下げられ、さらに蒸発部Ｐ１及び凝縮部Ｐ２の特性に合うようにプラナウィック及びスペーサ、そして前記ブリッジを形成することができる。
【００５６】
　次いで、図２２は図２０に示した結果物において、図１７に示した前記抑制手段として、第１上板２００の天井に前記第１突起２９０が備えられた場合を、図２３は図１７に示した前記抑制手段として、第１４プラナウィック３００間にブリッジ２６０ａが形成された場合を、図２４は図１７に示した前記抑制手段として、第１上板２００及び第１４プラナウィック３００間に弾性部材２８０が形成された場合を各々示す。
【００５７】
　図２５は、第１４プラナウィック３００が備えられた平板型熱伝逹装置に前記図１７に示した抑制手段として、弾性部材２８０及びブリッジ２６０ａが備えられた場合を示す。
　次いで、図２６ないし図３０を参照してスペーサプレートを含まない平板型熱伝逹装置及びその変形例を紹介する。
　図２６を参照すれば、第１下板１００及び第１上板２００間にウィックプレート（図１の１２０）のプラナウィック形成領域１２０ｂを構成する第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４だけが備えられている。第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４は、第１下板１００に近接密着されている。第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４及び第１下板１００は、両者間に存在する液相冷媒２３０の表面張力で密着されている。液相冷媒２３０は、凝縮部Ｐ２から第１下板１００及び第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４間に染み込んだものであって、第１下板１００及び第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の密着で両者間に生じる毛管力によって凝縮部（図１のＰ２）から蒸発部Ｐ１まで移動したものである。
【００５８】
　このように、ウィックプレート１２０及び第１下板１００間にスペーサプレート１１０が存在しなくても第１下板１００及びウィックプレート１２０間に液相冷媒２３０が流入される。流入された液相冷媒２３０は毛管力を受けて第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４及び第１下板１００間を通じて凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１まで移動した後、熱源Ｈから供給される熱を受けて蒸発される。この過程から発生する蒸気は、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４間に形成された開口部を通じて第１上板２００及び第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４間に形成されて凝縮部Ｐ２まで拡張された蒸気移動領域２５０に放出され、前記蒸気移動領域２５０に沿って凝縮部Ｐ２まで移動する。
【００５９】
　図２７は、図２６に示した平板型熱伝逹装置において第１上板２００の第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４に対向する内面に第１突起２９０が備えられた場合を示す。第１突起２９０は、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４に向かって突出している。また、第１突起２９０はウィックプレート１２０を第１下板１００に近接固定させるための補助手段であり、外部の衝撃やその他の原因によって第１下板１００及び第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の間隔が液相冷媒２３０の表面張力の及ぶ距離以上に離れることを防止する。また、第１突起２９０は熱源Ｈを冷却する過程で第１上板２００及び第１下板１００が歪むか、または変形されることを防止する。
【００６０】
　図２８は、図２６に示した平板型熱伝達装置に第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４間にブリッジ２６０ａが備えられた場合を示す。ブリッジ２６０ａに関する事項は、図１３Ａないし図１３Ｄ及び１４に関する説明を参照し、ここでは省略する。
　一方、図２８に示した平板型熱伝達装置にブリッジ２６０ａと共に図２７に示したような第１突起２９０がさらに備えることができる。
【００６１】
　図２９は、ウィックプレート１２０を固定するための補助固定手段として、図２６の結果物である蒸気移動領域２５０に弾性部材２８０がさらに備えられた場合を示す。弾性部材２８０は、例えば、板スプリングであり、これについての説明は前述したものを参照する。
　一方、弾性部材２８０と共に第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４間に図２８に示したような形態でブリッジ２６０ａが備えられる。
【００６２】
　前記ブリッジ２６０ａをはじめとして弾性部材２８０、第１上板２００の内面に形成された第１突起２９０のようなウィックプレート１２０の固定補助手段は第１上板２００と独立な個々の部品であるか、または金属エッチングによって形成されうる。また、このような固定補助手段及び第１上板２００はプレス工程によって一体化した形態に形成できる。
【００６３】
　図３０は、このような例を示す。図３０に示された第２上板２００’のウィックプレート１２０に対向する面は凸凹状である。第２上板２００’の第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４と接触して突出している部分はウィックプレート１２０を固定させる補助手段となる。第２上板２００’の前記凸凹した部分は蒸発部Ｐ１から凝縮部Ｐ２に向かって形成されている。したがって、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４と接触されておらず、前記突出している部分間の凹部は蒸気が凝縮部Ｐ２に移動する通路となる。第１上板２００のウィックプレート１２０に対向する凸凹面は図３０に示したようにウェーブ状または四角の鋸の歯状（図示せず）でありうる。
【００６４】
　前述した本発明の実施例による平板型熱伝逹装置の凝縮部の外側には蒸発部Ｐ１から供給された蒸気を凝縮するためのヒートシンク、例えば、通風器が備えられる。
　図３１ないし図３３Ａ及び図３３Ｂは、本発明の実施例による平板型熱伝逹装置及び前記ヒートシンク間の位置関係を示す。図３１ないし図３３Ａ及び図３３Ｂでウィックプレート１２０を固定させるための別途の固定補助手段が備えられていない平板型熱伝達装置を使用したが、ウィックプレート１２０を固定させるための補助固定部材が備えられたものを使用しても良い。図３１ないし図３３Ａ及び図３３Ｂで第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４は便宜上具体的に示さなかった。
【００６５】
　図３１は、凝縮部Ｐ１に対応する第１上板２００の所定領域上にヒートシンク４００が装着されたものを示す。
　図３２は、ヒートシンク４００が熱源Ｈと共に第１下板１００の底面に装着された場合を示す。図３２において、ヒートシンク４００は凝縮部Ｐ２に対応する第１下板１００の底面に装着されている。図３２の場合、第１下板１００のヒートシンク４００が装着される部分は他の部分に比べて薄くても良い。
【００６６】
　図３３Ａ及び図３３Ｂに各々示した平板型熱伝逹装置は、図３１及び図３２に示した平板型熱伝逹装置を裏返した形態である。図３３Ａ及び図３３Ｂで第１下板１００が上板として平板型熱伝達装置の上側に、第１上板２００が下板として使われて下側に各々備えられた、そして熱源Ｈの発熱チップが平板型熱伝逹装置の上側面に付着された場合である。図３３Ａ及び図３３Ｂに示した平板型熱伝達装置は、本発明の平板型熱伝逹装置が装着された製品が裏返した時に発熱する場合である。したがって、熱源Ｈは上板として使われた第１下板１００の蒸発部Ｐ１に対応する所定領域上に置かれる。この時、ヒートシンク４００は、図３３Ａに示したように下板として使われた第１上板２００の凝縮部Ｐ２に対応する所定領域の底面に装着されたり、図３３Ｂに示したように、ヒートシンク４００は熱源Ｈと共に第１下板１００上に装着されうる。このような場合、ウィックプレート１２０は第１下板１００にぶら下げられた形であるので、重力による下向の力を受ける。もちろん、この場合にもウィックプレート１２０及び第１下板１００間に存在する液相冷媒の表面張力によってウィックプレート１２０及び第１下板１００は密着された状態が維持されるが、前述した他の場合に比べてウィックプレート１２０及び第１下板１００の前記密着状態が不安定なる虞がある。したがって、蒸気移動領域２５０にウィックプレート１２０及び第１下板１００を固定させる別途の補助手段が備えられた場合も考慮することが望ましい。また、液相冷媒がさらに円滑に移動されるようにウィックプレート１２０は下板として使われた第１上板２００のヒートシンク４００に対応する所定領域の底部まで拡張されうる。
【００６７】
　一方、図３１ないし図３３Ａ及び図３３Ｂに示した平板型熱伝逹装置において、ヒートシンク４００の代わりに、さらに小さなサイズを有する、任意調整できる複数の微小ヒートシンクが備えられる。そして、平板型熱伝逹装置の製造の最後の段階で第１上板２００及び第１下板１００間に液相の冷媒が注入されるが、このために第１上板２００、第１下板１００あるいは両側ともに任意形態を有するフィルポート(fill port)、例えば、円形管状のフィルポートが備えられる。図３４は、このようなフィルポートを備える平板型熱伝達装置を示す。図３４に示したように、第１上板２００の両端には各一つずつフィルポートが備えられる。すなわち、凝縮部Ｐ２の周囲の上板の側壁に第１フィルポート４５０ａが備えられており、蒸発部Ｐ１の周囲の上板の側壁に第２フィルポート４５０ｂが備えられる。
【００６８】
　前述したように、第１下板１００は上面全体が平坦でかつ均一な厚さを有する。しかし、図３５に示したようにウィックプレート１２０またはウィックプレート１２０及びスペーサプレート１１０が装着される領域１３０が、第１上板２００の枠と接触する領域２００ａより所定深さＤだけ低く形成された第２下板１００’がありえる。第２下板１００’の前記領域１３０の厚さは第１上板２００の枠と接触する領域２００ａより薄い。
【００６９】
　以下、このような第２下板１００’を備える平板型熱伝逹装置について説明する。前記平板型熱伝達装置において、第２下板１００’及び第１上板２００間にウィックプレート１２０だけ備えられているが、スペーサプレート１１０を共に備えられる。
　図３６は、第２下板１００’を備える平板型熱伝逹装置についての断面図である。ここで、第１上板２００のウィックプレート１２０に対向する内面にウィックプレート１２０の固定のための補助手段として、第２突起２９０’が形成されている。第２突起２９０’は前述した第１突起２９０と同じ役割をするため、これについての詳細な説明は省略する。ヒートシンク４００は第１上板２００の凝縮部Ｐ２に対応する所定領域上に備えられることが望ましいが、図３６及び図３７に点線で示したように、ヒートシンク４００は第２下板１００’の底面に備えられることもある。また、第１上板２００及び第２下板１００’の接合は前述したように、ウェルディング工程、電気静電接合工程あるいは熱接合工程のような多様な接合工程による。このような事実は下記上板及び下板の接合にもそのまま適用される。
【００７０】
　図３７は、第３下板１００’’及び第３上板２００’’が備えられた平板型熱伝逹装置の断面図である。図３７でウィックプレート１２０が装着される第３下板１００”の領域１３０は、第２深さＤ１にリセス（recess）されている。第３上板２００”は均一な厚さを有する平板である。ここで、Ｄ１はＤより大きい。
　図３７を参照すれば、第３下板１００’’の第２深さＤ１に形成されたウィックプレート装着領域１３０の底部にウィックプレート１２０が置かれている。このような第３下板１００’’を第３上板２００’’が覆い包んでいる。第３上板２００’’及びウィックプレート１２０間にボイドの一部である蒸気移動領域２５０が設けられている。しかし、他の場合とは違って第３上板２００’’の全体厚さは均一であるために、蒸気移動領域２５０は枠を除外した残りの部分が第２深さＤ１にリセスされた第３下板１００’’によって設けられる。このような蒸気移動領域２５０に第２突起２９０’が形成されている。図３７で点線は第３上板２００’’の凝縮部Ｐ２に対応する所定領域上に装着されたヒートシンク４００が第３下板１００’’の底面にも装着されうることを示すためのものである。
【００７１】
　図３８は、図３６を３８〜３８’方向に切開した断面図であり、図３９は図３７を３９〜３９’方向に切開した断面図である。図３８及び図３９でウィックプレート１２０の固定のための補助手段として、第２突起２９０’の代わりに、ブリッジ（図２８の２６０ａ）または弾性部材（図２９の２８０）が備えられる。このような事実は図４０及び図４１にもそのまま適用される。
【００７２】
　図３８及び図３９でウィックプレート１２０、第２及び第３下板１００’，１００’’間にスペーサプレート１１０がさらに備えられる。図４０はウィックプレート１２０及び第２下板１００’間にスペーサプレート１１０が備えられた場合を、図４１はウィックプレート１２０及び第３下板１００’’間にスペーサプレート１１０が備えられた場合を示す。前者の場合、第２下板１００’の枠を除外した残りの領域はスペーサプレート１１０の厚さを考慮して第３深さＤ２，Ｄ２＞Ｄにリセスされたものである。後者の場合、第３下板１００’’の枠を除外した残りの領域はスペーサプレート１１０の厚さを考慮して第４深さＤ３，Ｄ３＞Ｄ１＞Ｄ２にリセスされたものである。
【００７３】
　図４０及び図４１で、スペーサプレート１１０は前述したようにウィックプレート１２０と同じ形態でもなく、サイズも異なる。例えば、スペーサプレート１１０は任意の形態を有する、多数のホールが形成されたプレートでありうる。この時、前記ホールのサイズはウィックプレート１２０に形成されうる孔に比べてはるかに大きいことが望ましい。
　また、スペーサプレート１１０は液相冷媒の移動に障害を与えない単純な形態の幾つかのスペーサに代替されうる。
【００７４】
　前記ウィックプレート１２０は、プラナウィック及びプラナウィック間に形成されたホールで構成されるが、プラナウィックの形態や配列は前述したようにホールの形態及び配列によって決められる。したがって、凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１に移動する液相冷媒の方向性はウィックプレート１２０に形成された前記複数のホールによって与えられる。前述したウィックプレート１２０に形成されたホールの配列は前記液相冷媒の方向性を考慮して決められた。
【００７５】
　一方、本発明の実施例による平板型熱伝達装置は図４２及び図４３に示したように上板２００の内側面に垂直スペーサ５００をさらに備えることができる。垂直スペーサ５００は、上板２００の内側に備えられた部材、例えば、ウィックプレート１２０及び上板２００間に微細なギャップを維持するためのものである。
　上板２００の内側に備えられた部材が上板２００と接触した場合、その可能性が極めて稀薄であるが、上板２００及び下板１００を密封接合する段階で接合エラーによって接合に使われた接合剤が下板１００の表面に沿って内部に染み込む可能性もある。そのため、前述したように上板２００の内側面に備えられた垂直スペーサ５００によって上板２００及びその内部に備えられた部材間にギャップが形成されることによって、前記密封接合段階で接合剤が内部に染み込むことを基本的に遮断できる。
【００７６】
　また、本発明の実施例による熱伝達装置において、第１スペーサ１８０ａ及び下板１００が一体化した場合（以下、第１の場合という）があり、一方、図１８に示した上板２００の内面に備えられた第１突起２９０がウィックプレート１２０と一体化するように備えられた場合（以下、第２の場合という）がある。さらに、蒸発部Ｐ１で液相冷媒及び下板１００間の接触面積を広めるために下板１００の表面に所定のパターンを形成した場合（以下、第３の場合という）がありえる。また、凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１に液相冷媒を移動させるための補助手段として、下板１００の表面に液相冷媒が移動できる部材が備えられた場合（以下、第４の場合という）があり、上板及び下板２００，１００が各々２要素で備えられた場合（以下、第５の場合という）がありえる。
【００７７】
　図４４は、前記第１の場合を示すが、５１０はスペーサ一体型下板を示し、５１０ａはスペーサ一体型下板５１０に備えられて上方に突出したスペーサ突起を示す。スペーサ突起５１０ａは、図１０、１２に示した第１スペーサ１８０ａと同じ役割をするものであって、その高さ（図４５のＨ）は第１スペーサ１８０ａの厚さと同じであることが望ましい。しかし、図１１Ｂまたは図１１Ｃの場合と類似にスペーサ突起５１０ａの高さは領域によって異なるようにもできる。例えば、スペーサ突起５１０ａの高さは凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１へ行くほど連続的に低くなることもあり、図１１Ｃの場合と類似に不連続的に低くなることもある。スペーサ突起５１０ａは、図４５に示したようにスペーサ一体型下板５１０の長手方向に形成されることが望ましい。
【００７８】
　図４６は、前記第２の場合を示す。図４６において、６００は図１８及び図１９に示された、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の上下流動を防止するための抑制手段として備えられた第１突起２９０が、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４に、すなわちウィックプレート１２０に一体に形成されたウィックプレート（以下、抑制手段一体型ウィックプレートという）を示す。そして、６００ａは抑制手段一体型ウィックプレート６００に備えられて上方に突出した突起（以下、ウィックプレート突起という）を示す。ウィックプレート突起６００ａは、図１８及び図１９に示された第１突起２９０と同じ役割をする部材であるので、その突出長は第１突起２９０と同じであること望ましい。すなわち、ウィックプレート突起６００ａはその上端及び上板２００の内面間にギャップが形成されない程度の突出長を有することが望ましい。ウィックプレート突起６００ａは、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４に沿って形成された一字形であることが望ましいが、図１８Ｃ及び図１８Ｄに示した突起２９０ａ，２９０ｂと同様に円形または多角形に形成されうる。この場合、ウィックプレート突起６００ａの幅は、第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の幅より狭くすることが望ましい。
【００７９】
　図４７は、前記第３の場合を示す断面図である。図４７を参照すれば、下板１００の表面にマイクロパターン１００ｂが形成されたことが分かる。マイクロパターン１００ｂは、蒸発部Ｐ１にだけ備えられるが、凝縮部Ｐ２まで拡張されても良い。マイクロパターン１００ｂは断面の形態が半円または逆三角形でありつつ、その幅は第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４より狭く形成されたグルーブであることが望ましい。マイクロパターン１００ｂは、所定間隔だけ離隔されているが、その距離は少なくとも第１スペーサ１８０ａの幅と同じであることが望ましい。この場合に第１スペーサ１８０ａはマイクロパターン１００ｂ間の下板１００と接触するように備えられたことが望ましい。
【００８０】
　下板１００にマイクロパターン１００ｂに形成されることによって、下板１００の表面積はマイクロパターン１００ｂが存在しない時よりはるかに広くなる。これにより凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１に流入された液相冷媒及び下板１００の接触面積も広くなって、下板１００から前記液相冷媒に伝えられる単位時間当り熱量はマイクロパターン１００ｂが存在しない時よりはるかに増加する。これは下板１００の表面にマイクロパターン１００ｂが存在することによって、それのない時より熱源Ｈに関する冷却効率がはるかに増加することを意味する。
【００８１】
　マイクロパターン１００ｂは、下板１００の長手方向に形成されることが望ましいが、それが備えられた趣旨を生かせば、マイクロパターン１００ｂは螺旋形や円形または多角形に備えられる。
　図４８は、前記第４の場合を示す斜視図である。これを参照すれば、下板１００の表面で上板２００と接触する枠領域を除外した残りの領域が親水性膜５２０、例えば、多孔性膜で覆い包まれたことを示す。親水性膜５２０は、スペーサプレート１１０に比べて薄いだけでなく、その材質も上板２００及び下板１００と異なる。このような親水性膜５２０は、凝縮部Ｐ２に集まった液相冷媒の一部を蒸発部Ｐ１に運搬する役割をする。しかし、親水性膜５２０によって運搬される液相冷媒の量はウィックプレート１２０によって運搬される量に比べて少ない。したがって、親水性膜５２０を通じて供給される液相冷媒の量では蒸発部Ｐ１で必要な量を充当し難い。このような理由で親水性膜５２０は液相冷媒を運搬することにおいて、ウィックプレート１２０を補助する補助手段として備えられたことが望ましい。親水性膜５２０上にはウィックプレート１２０が備えられる。この時、ウィックプレート１２０は図４６に示したような抑制手段一体型ウィックプレート６００に代替されうる。また、図４２及び図４３に示したように上板２００の内側面に垂直スペーサ５００が備えられる場合、親水性膜５２０もそれに合せて備えられることが望ましい。
【００８２】
　図４９は、前記第５の場合を示す断面図である。前記第５の場合は上板及び下板の構成と関係あるので、便宜上図面にはスペーサプレートをはじめとしてウィックプレート、突起を示さなかった。
　図４９において、７００及び８００は各々平板型熱伝達装置の上板及び下板を示す。上板７００は、外皮７００ａ及びウィックプレートをはじめとしてスペーサプレート及び蒸発部Ｐ１から発生する水蒸気と接触する内皮７００ｂで構成されている。上板の外皮７００ａは、Ａｌ材質であり、上板の内皮７００ｂはＣｕ材質である。下板８００も熱源（図示せず）と接触する外皮８００ａ、スペーサプレート（図示せず）及び液相冷媒と接触する内皮８００ｂで構成されている。下板８００の外皮８００ａは、Ａｌ材質であり、内皮８００ｂはＣｕ材質である。
【００８３】
　このような上板及び下板７００，８００の構成部分の材質は必要に応じてあるいは熱伝達装置の内部状況によって変われる。
　図４９に示した下板８００の内皮８００ｂの表面に図４８に示した親水性膜５２０が備えられ、これと共にまたは独立的に上板７００の内皮７００ｂの内側面に垂直スペーサがさらに備えられる。また、下板８００の内皮８００ｂ上に前述した色々な形態のスペーサが備えられ、これと共に前述した色々な形態のウィックプレートをはじめとして前記垂直スペーサが備えられる。
【００８４】
　次いで、前述した本発明の平板型熱伝逹装置の製造方法について簡略に説明する。
　具体的に、図５に示された構成要素のうち、第１下板１００または第１上板２００をまず形成する。ウィックプレート１２０を第１下板１００に近接密着させるための補助固定部材、例えば、突起２９０が内面に形成された第１上板２００は鋳造工程、精密機械加工工程、プレシング工程またはエンボッシング工程で製造する。第１下板１００が図３５に示したようなリセスされた領域１３０を有する第２下板１００’である場合、第１下板１００も第１上板２００と同じ工程で製造する。
【００８５】
　第１下板１００を形成する過程で図４７に示したように第１下板１００の表面積を広めるためのマイクロパターン１００ｂを第１下板１００の表面に形成できる。マイクロパターン１００ｂは、所定間隔で離隔されたグルーブに形成することが望ましい。この時、前記グルーブの断面は半円または三角形のように多様な形態となられる。マイクロパターン１００ｂの幅は第１ないし第３プラナウィック１４０，１４２，１４４の幅より狭く形成することが望ましい。また、マイクロパターン１００ｂは少なくとも第１スペーサ１８０ａの幅より広い間隔で形成することが望ましい。
【００８６】
　一方、このようなマイクロパターン１００ｂとは別途に図４４に示したように下板５１０にスペーサ突起５１０ａを突出すように形成できる。スペーサ突起５１０ａは、図１１または図１２に示された第１スペーサ１８０ａと同じ役割をする。したがって、スペーサ突起５１０ａは、第１スペーサ１８０ａと同じ高さに形成することが望ましい。そして、下板５１０及びスペーサ突起５１０ａは、一回に一体に形成することが望ましい。また、スペーサ突起５１０ａはその高さが凝縮部Ｐ２から蒸発部Ｐ１へ行くほど連続的または不連続的に低く形成することが望ましい。
【００８７】
　これと共に、第１上板２００を形成する過程で、図４２及び図４３に示したように、第１上板２００内側面に第１上板２００及びウィックプレート１２０間にギャップを形成するための垂直スペーサ５００をさらに形成できる。
　他の一方、図４９を参照すれば、上板７００を形成する過程で、上板７００の外皮７００ａの内側に外皮７００ａと材質の異なる内皮７００ｂをさらに形成でき、下板８００を形成する過程でも外皮８００ａの上板７００に対向する領域上に外皮８００ａと材質の異なる内皮８００ｂをさらに形成できる。
【００８８】
　下板及び上板１００，２００を形成した後、ウィックプレート１２０及び／またはスペーサプレート１１０を形成する。この時、ウィックプレート１２０及び／またはスペーサプレート１１０には液相冷媒が円滑に移動できることを前提とする多様なプラナウィックあるいは多様なサイズ及び形態を有するホールが形成される。前記プラナウィックについての説明は平板型熱伝逹装置の構成と関連して詳細に説明したので、ここでは省略する。このようなウィックプレート１２０及び／またはスペーサプレート１１０は、ウェットエッチング工程、ドライエッチング工程またはパンチング工程で形成する。
【００８９】
　一方、ウィックプレート１２０を形成する過程で、第１上板２００の代りにウィックプレート１２０に第１上板２００に向かって突出すウィックプレート突起（図４６の６００ａ参照）を形成するが、ウィックプレート１２０と一体に形成することが望ましい。
　本発明の第１実施例による製造方法の場合、第１下板１００の前記領域１３０上にウィックプレート１２０を装着した後、ウィックプレート１２０が装着された第１下板１００上に第１上板２００を整列させる。次いで、第１上板２００及び第１下板１００はその枠に沿って接合するが、ブレージング工程、ウェルディング工程、電気静電接合工程または熱接合工程を利用して接合する。
【００９０】
　本発明の第２実施例による製造方法の場合、第１下板１００の前記領域１３０上にスペーサプレート１１０及びウィックプレート１２０を順次に装着する。次いで、スペーサプレート１１０及びウィックプレート１２０が順次に装着された第１下板１００上に第１上板２００を整列させる。以後の工程は第１実施例による製造方法による。
　前記二つの製造方法で、第１上板２００及びウィックプレート１２０間に弾性部材２９０をさらに装着するか、プレス工程を利用して第１上板２００をウィックプレート１２０固定のための補助手段及び上板の役割を兼ねる一体化した形態、例えば、図３０に示した第２上板２００’と同じ形態に形成できる。
【００９１】
　また、前記二つの製造方法で、第１上板２００及び第１下板１００を接合した後、上板２００、下板１００または上下板２００，１００ともに形成されたフィルポートを通じてウィックプレート１２０上に液相冷媒、例えば、水（望ましくは蒸溜水）、エタノール、メタノールまたはアセトンを注入した後、前記フィルポートを密封する。
　一方、前述した本発明の第１実施例による製造方法において、ウィックプレート１２０が前述した本発明の第２実施例のスペーサプレート１１０の役割を兼ねるように形成できる。例えば、ウィックプレート１２０に備えられた前記プラナウィックのうち少なくとも選択された一部プラナウィックに第１下板１００に向かって下方に突出す突起を形成できる。この時、前記突起はウィックプレート１２０が第１下板１００上に装着された時、第１下板１００及びウィックプレート１２０間に前記液相冷媒の表面張力が維持される程度の長さに形成することが望ましい。前記突起によって第１下板１００及びウィックプレート１２０間は一定の間隔に維持される。
【００９２】
　他の一方、図４７に示したように、ウィックプレート（図示せず）の装着前に第１下板１００の前記ウィックプレートが装着される領域上に親水性膜５２０を形成できる。
　前述した説明で多くの事項が具体的に記載されているが、当業者なら、特許請求の範囲に記載された技術的思想を離れず、本発明についての多様な変形が可能であることが分かる。例えば、前記ウィックプレートを抑制する手段を上板に備えられる。また、プラナウィック、スペーサ及び前記抑制手段が一つに統合された統合ウィックプレートを提示できる。例えば、突起が図２０または図２１に示した第１４プラナウィック３００上に形成された統合ウィックプレートを提示できる。この時、前記突起は支持部３００ｂと対称し、第１上板２００に向かう。前記統合ウィックプレートに形成された突起は、図２２に示した第１突起２９０または第２突起２９０’を代える。
【産業上の利用可能性】
【００９３】
　このような本発明の実施例による平板型熱伝逹装置を利用すれば、製造コストを減らしつつ、多様な超スリム型製品、例えばノートＰＣに容易に適用でき、適用された製品に装着された高発熱要素の冷却効率を向上させうる。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】従来技術によるヒートパイプの断面図であって、ヒートパイプの長手方向に垂直な断面を示す図面である。
【図２】従来技術によるヒートパイプの断面図であって、ヒートパイプの長手方向に垂直な断面を示す図面である。
【図３】従来技術によるヒートパイプの断面図であって、ヒートパイプの長手方向に垂直な断面を示す図面である。
【図４】従来技術によるヒートパイプの長手方向に平行な断面図である。
【図５】本発明の実施例による平板型熱伝逹装置の構成を示す分解斜視図である。
【図６】図５に示したウィックプレートの第１実施例を具体的に示す平面図である。
【図７】図５に示したウィックプレートの第２実施例を具体的に示す平面図である。
【図８】図５に示したウィックプレートの第３実施例を具体的に示す平面図である。
【図９Ａ】図５に示したスペーサプレートの平面形態を具体的に示す平面図である。
【図９Ｂ】図９Ａのｂ〜ｂ’方向の断面図である。
【図１０】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間に構成される要素の多様な変形例を示す図面である。
【図１１Ａ】図１０に示した上板及び下板間に備えられた要素を立体的に示す斜視図。
【図１１Ｂ】スペーサの多様な変形例を示す図面である。
【図１１Ｃ】スペーサの多様な変形例を示す図面である。
【図１２】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間に構成される要素の多様な変形例を示す図面である。
【図１３Ａ】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図である。
【図１３Ｂ】図１３Ａのプラナウィックに備えられたブリッジの多様な例を示す図面である。
【図１３Ｃ】図１３Ａのプラナウィックに備えられたブリッジの多様な例を示す図面である。
【図１３Ｄ】図１３Ａのプラナウィックに備えられたブリッジの多様な例を示す図面である。
【図１４】図１３に示した上板及び下板間に備えられた要素を立体的に示す斜視図である。
【図１５】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間に構成される要素の多様な変形例を示す図面である。
【図１６】図１５に示した上板及び下板間に備えられた要素を立体的に示す斜視図である。
【図１７】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間に構成される要素の多様な変形例を示す図面である。
【図１８Ａ】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図。
【図１８Ｂ】図１８Ａの上板の内面に備えられた第１突起の多様な形態を示す図面である。
【図１８Ｃ】図１８Ａの上板の内面に備えられた第１突起の多様な形態を示す図面である。
【図１８Ｄ】図１８Ａの上板の内面に備えられた第１突起の多様な形態を示す図面である。
【図１９】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間に構成される要素の多様な変形例を示す図面である。
【図２０】各々図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間に構成される要素の多様な変形例を示す図面である。
【図２１】図２０に示した上板及び下板間に備えられた要素を立体的に示す斜視図である。
【図２２】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間に構成される要素の多様な変形例を示す図面である。
【図２３】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間に構成される要素の多様な変形例を示す図面である。
【図２４】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間に構成される要素の多様な変形例を示す図面である。
【図２５】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間に構成される要素の多様な変形例を示す図面である。
【図２６】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間でスペーサプレートを除去した場合の変形例を示す。
【図２７】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間でスペーサプレートを除去した場合の変形例を示す。
【図２８】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間でスペーサプレートを除去した場合の変形例を示す。
【図２９】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間でスペーサプレートを除去した場合の変形例を示す。
【図３０】図５に示した平板型熱伝逹装置を蒸発部に垂直方向に切開した断面図であって、上板及び下板間でスペーサプレートを除去した場合の変形例を示す。
【図３１】ヒートシンクの装着位置による多様な変形例を示す断面図である。
【図３２】ヒートシンクの装着位置による多様な変形例を示す断面図である。
【図３３Ａ】ヒートシンクの装着位置による多様な変形例を示す断面図である。
【図３３Ｂ】ヒートシンクの装着位置による多様な変形例を示す断面図である。
【図３４】本発明の図３１に示した平板型熱伝逹装置にフィルポートが備えられた場合を示す断面図である。
【図３５】本発明の実施例による平板型熱伝逹装置に適用された、ウィックプレート装着領域が所定の深さでリセスされた第２下板の斜視図である。
【図３６】図３５に示された第２下板を備える平板型熱伝逹装置の変形例を蒸発部を横切る方向に切開した断面図である。
【図３７】図３５に示された第２下板を備える平板型熱伝逹装置の変形例を凝縮部を横切る方向に切開した断面図である。
【図３８】図３６を３８〜３８’方向に切開した断面図である。
【図３９】図３７を３９〜３９’方向に切開した断面図である。
【図４０】図３８に示した平板型熱伝逹装置の変形例を示す断面図である。
【図４１】図３９に示した平板型熱伝逹装置の変形例を示す断面図である。
【図４２】本発明の実施例による平板型熱伝達装置で上板の内側に垂直スペーサが備えられた場合を示す断面図である。
【図４３】本発明の実施例による平板型熱伝達装置で上板の内側を示す平面図である。
【図４４】本発明の実施例による平板型熱伝達装置で下板及びスペーサが一体化した場合を示す断面図である。
【図４５】本発明の実施例による平板型熱伝達装置で下板及びスペーサが一体化した場合を示す斜視図である。
【図４６】本発明の実施例による平板型熱伝達装置でウィックプレートの垂直移動を抑制する抑制手段及びウィックプレートが一つに一体化した場合を示す断面図である。
【図４７】本発明の実施例による平板型熱伝達装置で下板の表面にプラナウィックより幅の狭いマイクロパターンが長手方向に形成された場合を示す断面図である。
【図４８】本発明の実施例による平板型熱伝達装置で下板のスペーサプレートの装着領域に親水性膜が備えられた場合を示す斜視図である。
【図４９】本発明の実施例による平板型熱伝達装置で上板及び下板が各々二つの成分の部材で構成された場合を示す断面図である。
【符号の説明】
【００９５】
　１００　　第１下板
　１１０　　スペーサプレート
　１１０ａ，１２０ａ，２００ａ　　枠
　１１０ｂ　　スペーサ形成領域
　１２０　　ウィックプレート
　１２０ｂ　　ウィック形成領域
　１３０　　スペーサプレート装着領域
　２００　　第１上板
　２９０　　突起
【図１】
2004077120.tif 000003
【図２】
2004077120.tif 000004
【図３】
2004077120.tif 000005
【図４】
2004077120.tif 000006
【図５】
2004077120.tif 000007
【図６】
2004077120.tif 000008
【図７】
2004077120.tif 000009
【図８】
2004077120.tif 000010
【図９Ａ】
2004077120.tif 000011
【図９Ｂ】
2004077120.tif 000012
【図１０】
2004077120.tif 000013
【図１１Ａ】
2004077120.tif 000014
【図１１Ｂ】
2004077120.tif 000015
【図１１Ｃ】
2004077120.tif 000016
【図１２】
2004077120.tif 000017
【図１３Ａ】
2004077120.tif 000018
【図１３Ｂ】
2004077120.tif 000019
【図１３Ｃ】
2004077120.tif 000020
【図１３Ｄ】
2004077120.tif 000021
【図１４】
2004077120.tif 000022
【図１５】
2004077120.tif 000023
【図１６】
2004077120.tif 000024
【図１７】
2004077120.tif 000025
【図１８Ａ】
2004077120.tif 000026
【図１８Ｂ】
2004077120.tif 000027
【図１８Ｃ】
2004077120.tif 000028
【図１８Ｄ】
2004077120.tif 000029
【図１９】
2004077120.tif 000030
【図２０】
2004077120.tif 000031
【図２１】
2004077120.tif 000032
【図２２】
2004077120.tif 000033
【図２３】
2004077120.tif 000034
【図２４】
2004077120.tif 000035
【図２５】
2004077120.tif 000036
【図２６】
2004077120.tif 000037
【図２７】
2004077120.tif 000038
【図２８】
2004077120.tif 000039
【図２９】
2004077120.tif 000040
【図３０】
2004077120.tif 000041
【図３１】
2004077120.tif 000042
【図３２】
2004077120.tif 000043
【図３３Ａ】
2004077120.tif 000044
【図３３Ｂ】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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