(57)【要約】      （修正有）【課題】独立電圧で直交型コーム状構造を有する反射鏡を制御することによって、反射鏡の移動及びチルトの精確度を確保し、鏡面の彎曲を避け、平たさを維持することができファブリーペロデバイスのフィネスを補う方法を提供する。【解決手段】本発明に係わるファブリーペロデバイスのフィネスを補う方法は、第一反射鏡２１の周りに複数の第一作動素子２２を直交的に配置するステップと、前記複数の第一作動素子を複数の独立駆動電圧と電気接続するステップと、前記独立駆動電圧を制御することによって前記複数の第一作動素子を駆動し、これによって、前記第一反射鏡に二つの回転自由度において第二反射鏡に対して傾かせるステップとを備えている。【選択図】  図３Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行して対向する第一反射鏡と第二反射鏡を有するファブリーぺロデバイスのフィネスを補う方法であって、
前記第一反射鏡の周りに複数の第一作動素子を直交的に配置するステップと、
前記複数の第一作動素子を複数の独立駆動電圧と電気接続するステップと、
前記複数の独立駆動電圧を制御することによって前記複数の第一作動素子を駆動し、これによって、前記第一反射鏡に二つの回転自由度において前記第二反射鏡に対して傾かせるステップと
を備えることを特徴とするファブリーぺロデバイスのフィネスを補う方法。
【請求項２】
前記第二反射鏡の周りに複数の第二作動素子を直交的に配置するステップと、
前記複数の第二作動素子を一つの独立駆動電圧と電気接続するステップと、
前記独立駆動電圧を制御することによって前記複数の第二作動素子を駆動し、これによって、前記第二反射鏡を作動させ、前記第一反射鏡に対してある距離を平行的に移動させるステップと
をさらに備え、前記第一反射鏡と前記第二反射鏡はシリコン基板上に形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載のファブリーぺロデバイスのフィネスを補う方法。
【請求項３】
前記第一反射鏡の周りに複数の第二作動素子を直交的に配置するステップと、
前記複数の第二作動素子を一つの独立駆動電圧と電気接続するステップと、
前記独立駆動電圧を制御することによって前記複数の第二作動素子を駆動し、これによって、前記第一反射鏡に、前記第二反射鏡に対してある距離を平行的に移動させるステップとをさらに備え、
前記第一反射鏡はシリコン基板上に形成され、前記第二反射鏡はガラス基板上に形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載のファブリーぺロデバイスのフィネスを補う方法。
【請求項４】
前記第一作動素子は複数のコームを有する
ことを特徴とする請求項１に記載のファブリーぺロデバイスのフィネスを補う方法。
【請求項５】
前記第二作動素子は、複数のコームを有する
ことを特徴とする請求項２に記載のファブリーぺロデバイスのフィネスを補う方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はファブリーペロデバイスのフィネスを補う方法、及び高いフィネスを有するファブリーペロデバイスに関し、特に独立電圧制御によってファブリーペロデバイスのチルトを調整し、さらにフィネスを補う方法、及びこの独立電圧制御方法を実現したファブリーペロデバイスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光の反射、屈折、干渉、及び伝送速度の速さ等の特性と、容易に入手するという利点から、各種の光学応用技術が目覚ましく発展している。例えば、光通信分野の発展が一つの例である。光通信は光の進行によってデータを伝送するため、この伝送過程におけるデータの送信及び受信は、光の特性と密接に関わる。即ち、光通信の通路で使用される各種の光学デバイスは、光の特性による制限を克服しなければ、望ましい送信率と受信率が得られない。
【０００３】
このニーズに応えるために、目下各種の光学デバイスは全てサブマイクロメータ又はナノメータのプロセス技術によって製造されている。例えば、半導体プロセス技術及びＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ−Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）プロセス技術における表面マイクロ加工（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｍｉｃｒｏ−ｍａｃｈｉｎｉｎｇ）から発展したマイクロ型ファブリーペロデバイスは、その一例である。
【０００４】
図１は従来の半導体及びＭＥＭＳプロセス技術によって製造されたマイクロ型ファブリーペロデバイスを示す斜視図である。図１に示すように、マイクロ型ファブリーペロデバイス１０は、互いに平行して対向する反射鏡１１と１２によって構成されている。なお、反射鏡１１と１２には、それぞれ光学薄膜がメッキされている。反射鏡１１は半導体プロセス技術によってガラス基板１３上に形成され、反射鏡１２はＭＥＭＳプロセス技術によってシリコン基板１４上に形成されている。両反射鏡１１と１２の間の距離Ｄは光学的厚さと呼ばれる。さらに、反射鏡１２は可動反射鏡であり、可動距離はｄである（ｄ＜＜Ｄ）。応用の際、通常このマイクロ型ファブリーペロデバイスを濾過素子とし、可動距離ｄを調整することによって所期の光波のスペクトルを得ることで、データ伝送のビット数を高める。このマイクロ型ファブリーペロデバイスを通過した光の波長分布がガウス分布に近似するため、半値幅エネルギーは設計上最も重要なパラメータとなる。ファブリーペロデバイスの光学特性は下記の式によって定義される。
自由スペクトル比ＦＳＲ＝（λ２）／２ｎＤ０ｐ
（λは中心波長、ｎは屈折率、Ｄ０ｐは両平行反射鏡の間の距離）
フィネスＦ＝π√Ｒ／（１−Ｒ）
（Ｒは両平行反射鏡の反射率）
半値幅エネルギー値ＦＷＨＭ＝ＦＳＲ／Ｆ
【０００５】
図２は、ファブリーペロデバイスを通過した光波のスペクトルを示す図である。自由スペクトル比（ＦＳＲ）は両波形の中心波長の距離を示し、半値幅エネルギー（ＦＷＨＭ）は透過率が５０％の際のバンド幅を示している。さらに、フィネス（Ｆ）はＦＳＲとＦＷＨＭ両者の比を示している。光ファイバー通信ＩＴＵ１００ＧＨＺ仕様によると、上記ファブリーペロデバイス１０を通過した光の波長λｉを波長範囲が１５３０ｎｍ〜１５６５ｎｍのＣバンドの中心波長λ、即ち１５５０ｎｍと同一にするために、出射光のスペクトル特性はＦＷＨＭが０．３７ｎｍで、且つＦＳＲが少なくとも４０ｎｍである条件を満たさなければならない。例えば、ＦＷＨＭが０．３７ｎｍで、且つ、ＦＳＲが５０ｎｍであるスペクトル条件を希望する場合に、フィネスは１３５でなければならない。よって、光通信応用における多チャンネルと狭い光スペクトルの半値幅エネルギーの要求を満足するために、ファブリーペロデバイスは高いフィネスを備えなければならない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ファブリーペロデバイスのフィネスに影響を与える因子は回折限界と反射鏡の表面粗さの他に、反射鏡の反射率Ｒ及びチルト．が主である。即ち、１／Ｆ＝１／ＦＲ＋１／Ｆ．（ＦＲはフィネスに対する反射率の寄与値、Ｆ．はフィネスに対するチルトの寄与値）。よって、光学薄膜によって製造された両反射鏡は、塗膜の精度制御が難しいため、鏡面の反射率の不足、及びチルトが不当である問題を生じ、さらに、実際の半値幅エネルギーと所期の半値幅エネルギーの間に誤差を生じる。
【０００７】
このため、ファブリーペロデバイスが入射光の各波長に対する変調精度を維持するために、両反射鏡の反射率を高める他に、さらに反射鏡のチルトを調整して補う必要がある。例えば、メッキされた光学薄膜の反射率Ｒが９９．５％である場合に、上記関係式ＦＲ＝π√Ｒ／（１−Ｒ）によれば、ＦＲ＝６２５を得ることができる。しかし、この数値はフィネスの目標値１３５と差があるため、反射鏡のチルトを調整しなければならない。ここで、所期のフィネスを得るためには、両反射鏡の一つをあるチルト傾かせて補う必要がある。よって、フィネスに対するチルトの寄与値が２３１であると計算した後に、Ｆ．＝λ／２Ｄ．の式（λは光波波長、Ｄは光ビームの直径、．はチルト）に基づいてチルト＝３．８×１０−４を得ることができる。
【０００８】
しかし、上記ファブリーペロデバイスは、体積が相当小さいため、補うべきチルト値も非常に小さい。このため、一般の機械調整によってこのファブリーペロデバイスの反射鏡チルトを補い、所期の半値幅エネルギーを得ることができない。
【０００９】
本発明は、上記問題を鑑みてなされたものであって、その目的は、ファブリーペロデバイスのフィネスを補う方法を提供することにある。
【００１０】
本発明の他の目的は、ファブリーペロデバイスの反射鏡チルトの調整方法を提供することにある。
【００１１】
さらに、本発明のもう一つの目的は、高いフィネスを備えることにより、所期の半値幅エネルギーを有し、光ファイバー通信に適用できるファブリーペロデバイスを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明のファブリーペロデバイスのフィネスを補う方法は、第一反射鏡の周りに複数の第一作動素子を直交的に配置するステップと、前記複数の第一作動素子を複数の独立駆動電圧と電気接続するステップと、前記複数の独立駆動電圧を制御することによって前記複数の第一作動素子を駆動し、これによって、前記複数の第一反射鏡に二つの回転自由度において第二反射鏡に対して傾かせるステップとを備えている。なお、前記第一作動素子は複数のコームを備え、前記第一反射鏡はシリコン基板上に形成される。
【００１３】
本発明の他のファブリーペロデバイスのフィネスを補う方法は、さらに、前記第二反射鏡の周りに複数の第二作動素子を直交的に配置するステップと、前記複数の第二作動素子を一つの独立駆動電圧と電気接続するステップと、前記独立駆動電圧を制御することによって前記複数の第二作動素子を駆動し、これによって、前記第二反射鏡に前記第一反射鏡に対してある距離を平行的に移動させるステップとを備えている。なお、前記第二作動素子は、複数のコームを備え、前記第二反射鏡はシリコン基板上に形成される。
【００１４】
また、本発明の他のファブリーペロデバイスのフィネスを補う方法は、さらに、前記第一反射鏡の周りに複数の第二作動素子を直交的に配置するステップと、前記複数の第二作動素子を一つの独立駆動電圧と電気接続するステップと、前記独立駆動電圧を制御することによって前記複数の第二作動素子を駆動し、これによって、前記第一反射鏡に前記第二反射鏡に対してある距離を平行的に移動させるステップとを備えている。なお、前記第二作動素子は、複数のコームを備え、前記第二反射鏡はガラス基板上に形成される。
【００１５】
本発明は、ファブリーペロデバイスの両反射鏡とも直交型コーム状構造を有するため、制御過程における反射鏡の移動及びチルトの精確度を確保し、鏡面の平たさを維持し、鏡面の彎曲を避ける。また、反射鏡の材料として耐熱程度がガラスより良いシリコンを採用しているため、熱応力の問題を減らすことができる。この他、上記各独立電圧はそれぞれ反射鏡の一自由度のみを制御するため、互いに干渉せず、同時に各独立電圧の制御を行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明は、独立電圧で作動素子を制御することによってファブリーペロデバイス内の両反射鏡のチルトを調整する方法であり、これによって、ファブリーペロデバイスに高いフィネスを持たせ、このファブリーペロデバイスを通過した光の光波分布の半値幅エネルギーを期待値に達成させる。さらに、この独立電圧で作動素子を制御する方法は、ファブリーペロデバイス内の両反射鏡の間隔の調整にも適用でき、これにより、ファブリーペロデバイスを通過した光の光波分布を変調できる。以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について説明する。
【００１７】
本発明の実施形態１に係わる、ファブリーペロデバイスのフィネスを補う方法は、二つのシリコンウェハで平行の反射鏡２０と３０を作成した後、反射鏡２０に図３Ａに示すように、直交型コーム状構造を有させ、反射鏡３０に図３Ｂに示すように、もう一つの直交型コーム状構造を有させる。そして、一組の独立電圧によって反射鏡３０に対する反射鏡２０の移動を制御することにより、両反射鏡間の光学的距離を微調整する。さらに、四組の独立電圧によって反射鏡２０に対する反射鏡３０の傾きを制御することによって、反射鏡３０のチルトを調整する。
【００１８】
図３Ａに示すように、反射鏡２０の直交型コーム状構造は、直交する四辺上にそれぞれ五つの筋状コーム２２を有する鏡面２１と、鏡面２１の四辺の外側にそれぞれ形成され、コーム２２と交錯するように配置された四つの筋状コーム２４を有する四つのアクチュエーティング・パッド２３と、を備える。なお、鏡面２１の四辺の外側に形成されている四つのアクチュエーティング・パッド２３は全て独立電圧Ｖ１に接続されている。
【００１９】
独立電圧Ｖ１の大きさと電性を制御することによって、鏡面２１上に分布するすべてのコーム２２を同時に作動させ、鏡面２１に紙面と直交する方向に平行して移動させることができる。例えば、図１に示すＺ方向に移動させることにより、反射鏡３０に対する反射鏡２０の所定移動を調整することができる。さらに、独立電圧Ｖ１に接続される四つのアクチュエーティング・パッド２３は直交する形で鏡面２１の四辺の外側に形成されているため、鏡面２１の移動時の精確度を向上することができる。
【００２０】
図３Ｂに示すように、反射鏡３０の直交型コーム状構造は、基本的に反射鏡２０と同じであるが、四つのアクチュエーティング・パッド３３がそれぞれ四つの独立電圧Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ５と接続されている点が異なる。
【００２１】
独立電圧Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ５の大きさと電性を制御することによって、鏡面３１上のコーム３２を作動させ、鏡面３１に紙面（或いは、図１に示すＸＹ平面）に対して傾かせることができ、反射鏡２０に対する反射鏡３０のチルトを調整することができる。詳しくは、図３Ｂと図６（図３ＢのＡ−Ａ線に沿った断面図である）に示すように、アクチュエーティング・パッド３３上のコームｂは、電圧Ｖ２に印加されてプラス、マイナスの電性を持った後、アクチュエーティング・パッド３３上のコームａとｃは反発作用によって下へ移動する。この原理を基に、独立電圧Ｖ２とＶ４を調整することによって、鏡面３１に図１に示すような角度．ｙの変化を生じさせることができ、さらに、独立電圧Ｖ３とＶ５を調整することによって、鏡面３１に図１に示すような角度．ｘの変化を生じさせることができる。
【００２２】
本実施形態１において、五組の独立電圧Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ５は、それぞれ反射鏡の一つの自由度のみ（全部で四つの回転自由度と一つの移行自由度）を制御するため、この五組の独立電圧の制御を同時に行うことができる。さらに、上述のように、本実施形態１のファブリーペロデバイスの両反射鏡は、何れも直交型コーム状構造を有するため、制御過程における反射鏡の移動とチルトの精確度を確保することができる。この他、反射鏡の材料として耐熱程度がガラスより良いシリコンウェハを採用しているため、熱応力の問題を減らすことができる。
【００２３】
なお、本実施形態１において、反射鏡２０が一組の独立電圧によってその移動を制御でき、且つ、反射鏡３０が四組の独立電圧によってそのチルトを制御できれば良く、反射鏡２０と３０の構造は直交型コーム状に限らない。また、本実施形態１に記載したコーム数、アクチュエーティング・パッド数及び鏡面の形も本発明の内容を簡単に説明するための内容に過ぎなく、本発明をそれらの構造に狭義的に制限するものではない。
【００２４】
本発明の実施形態２に係わる、ファブリーペロデバイスのフィネスを補う方法は、ガラス基板で固定反射鏡（図示せず）を作成し、シリコンウェハで図４に示す可動反射鏡を作成する。そして、図４に示すように、可動反射鏡に直交型コーム状構造に有させた後、一組の独立電圧によって固定反射鏡（図示せず）に対する当該可動反射鏡の移動を制御し、さらに、四組の独立電圧によって固定反射鏡（図示せず）に対する可動反射鏡のチルトを制御する。
【００２５】
図４に示すように、本実施形態２の可動反射鏡４０の直交型コーム状構造は、直交する四辺上にそれぞれ五つの筋状コーム４２を有する鏡面４１と、鏡面４１の四辺の外側にそれぞれ形成される四組のアクチュエーティング・パッド４３を備える。各組のアクチュエーティング・パッド４３は、両端に配置される二つのＡアクチュエーティング・パッド４３ａと、中央に配置されるひとつのＢアクチュエーティング・パッド４３ｂと、を有する。Ａアクチュエーティング・パッド４３ａ上には一つの筋状コーム４４ａが配置され、Ｂアクチュエーティング・パッド４３ｂ上には二つの筋状コーム４４ｂが配置されている。コーム４４ａ、４４ｂは、コーム４２と交錯するように配置されている。なお、Ａアクチュエーティング・パッド４３ａは、全て独立電圧Ｖ１に接続されており、Ｂアクチュエーティング・パッド４３ｂは、それぞれ四つの独立電圧Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ５に接続されている。
【００２６】
独立電圧Ｖ１の大きさと電性を制御することによって、鏡面４１の四辺上両端に近いコーム４２を同時に作動させ、鏡面４１に紙面と直交する方向に移動させることができる。これにより、固定反射鏡（図示せず）に対する反射鏡４０の移動を調整することができる。さらに、独立電圧Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ５の大きさと電性を制御することによって、それぞれ鏡面４１の四辺上の中央に近いコーム４２を別々に作動させ、鏡面４１に紙面（或いは、図１に示すＸＹ平面）に対して傾かせることができ、固定反射鏡に対する反射鏡４０のチルトを調整することができる。
【００２７】
即ち、本実施形態２の可動反射鏡４０は、五組の独立電圧によって、同時且つ別々に鏡面４１の移動とチルトを制御する。独立電圧Ｖ１に接続されている四組のアクチュエーティング・パッド４３は直交の形でそれぞれ鏡面４１の四辺の外側に形成されているため、移動過程中の鏡面４１の平たさを維持でき、鏡面４１の彎曲を避けることができる。
【００２８】
なお、本実施形態２において、可動反射鏡４０が同時に一組の独立電圧によってその移動を制御でき、且つ、四組の独立電圧によってそのチルトを制御できれば良く、可動反射鏡４０の構造は直交型コーム状に限らない。また、本実施形態２に記載したコーム数、アクチュエーティング・パッド数及び鏡面の形も本発明の内容を簡単に説明するための内容に過ぎなく、本発明をそれらの構造に狭義的に制限するものではない。
【００２９】
本発明の実施形態３に係わる、ファブリーペロデバイスのフィネスを補う方法は、ガラス基板で固定反射鏡（図示せず）を作成し、シリコンウェハで図５に示す可動反射鏡を作成する。そして、図５に示すように、可動反射鏡に面取りした直交型コーム状構造に有させ、さらに、一組の独立電圧によって固定反射鏡に対する当該可動反射鏡の移動を制御し、さらに、四組の独立電圧によって固定反射鏡に対する可動反射鏡のチルトを制御する。
【００３０】
図５に示すように、本実施形態３の可動反射鏡５０の面取りした直交型コーム状構造は、直交する四辺上にそれぞれ五つの筋状コーム５２ａを有し、四つの角にそれぞれ三つの細長状のコーム５２ｂを有する鏡面５１と、鏡面５１の四辺の外側にそれぞれ直交するように形成され、コーム５２ａと交錯するように配置される四つの細長状コーム５４ａを有する四組のＡアクチュエーティング・パッド５３ａと、鏡面５１の四辺の角の外側にそれぞれ直交するように形成され、コーム５２ｂと交錯するように配置される二つの細長状コーム５４ｂを有する四組のＢアクチュエーティング・パッド５３ｂを備える。なお、鏡面５１の四辺の外側のＡアクチュエーティング・パッド５３ａは、いずれも独立電圧Ｖ１に接続されており、Ｂアクチュエーティング・パッド５３ｂは、それぞれ四つの独立電圧Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ５に接続されている。
【００３１】
独立電圧Ｖ１の大きさと電性を制御することによって、鏡面５１の四辺上のコーム５２ａを同時に作動させ、鏡面５１に紙面と直交する方向に移動させることができる。これにより、固定反射鏡に対する反射鏡５０の移動を調整することができる。さらに、独立電圧Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ５の大きさと電性を制御することによって、それぞれ鏡面５１の四辺の角上のコーム５２ｂを別々に作動させ、鏡面５１に紙面  （或いは、図１に示すＸＹ平面）に対して傾かせることができ、固定反射鏡に対する反射鏡５０のチルトを調整することができる。
【００３２】
本実施形態３において、可動反射鏡５０のチルト変化が非常に小さいため、鏡面５１の四辺の角上のコーム５２ｂを僅か四組の独立電圧によって制御し、チルトを調整することが可能となる。さらに、本実施形態３のファブリーペロデバイスにおいて、固定反射鏡に対する可動反射鏡の移動を調整するコーム５２ａが直交配置となっているため、可動反射鏡の移動過程中に鏡面の平たさを維持でき、鏡面の彎曲を避けることができる。
【００３３】
なお、本実施形態３において、可動反射鏡５０が同時に一組の独立電圧によってその移動を制御でき、且つ、四組の独立電圧によってそのチルトを制御できれば、可動反射鏡５０の構造は直交型コーム状に限らない。また、本実施形態３に記載したコーム数、アクチュエーティング・パッド数及び鏡面の形も本発明の内容を簡単に説明するための内容に過ぎなく、本発明をそれらの構造に狭義的に制限するものではない。
【００３４】
図７は本発明の実施形態１において、コーム３４に印加された電圧と鏡面上のコーム３２の移動との関係を示す図である。同図に示すように、電圧と移動は電圧が２０Ｖから３５Ｖあたりまでほぼ直線関係に近い。よって、本実施形態において、補うべきチルトが３．８×１０−４度である場合、鏡面３１上のコーム３２が移動すべきシフト量は約２０ｎｍであると算出し、コーム３４に１４２．８ｍＶの電圧を印加することによって達成できる。
【００３５】
なお、上記各実施形態において、鏡面とアクチュエーティング・パッド上のコーム数は設計に応じて変えることができ、さらに、コームの断面の形も制限されない。この他、本発明における独立電圧の大きさと電性は、設計によって、鏡面のチルトの調整に応じて変更することができる。
【００３６】
なお、前記実施形態による説明は、本発明の内容を簡単に説明するための内容に過ぎなく、本発明をそれらの構造に狭義的に制限するものではない。本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等があっても本発明に含まれる。
【００３７】
【発明の効果】
本発明のファブリーペロデバイスによれば、独立電圧で直交型コーム状構造を成す反射鏡を制御することによって、反射鏡の移動及びチルトの精確度を確保し、鏡面の彎曲を避け、平たさを維持し、ファブリーペロデバイスに高いフィネスを持たせ、所期の半値幅エネルギーを遂げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の半導体プロセス技術及びＭＥＭＳプロセス技術によって製造されたファブリーぺロ共振空胴を示す斜視図である。
【図２】光波のスペクトル特性を示す図であり、上の横軸はしま次数を、下の横軸は波長を示し、右縦軸はエネルギー損失（ｄｂ）を、左縦軸は透過率（％）を示している。
【図３Ａ】本発明の実施形態１のファブリーペロデバイスの一反射鏡を示す図である。
【図３Ｂ】本発明の実施形態１のファブリーペロデバイスのもう一つの反射鏡を示す図である。
【図４】本発明の実施形態２のファブリーペロデバイスの可動反射鏡を示す図である。
【図５】本発明の実施形態３のファブリーペロデバイスの可動反射鏡を示す図である。
【図６】図３Ｂの線Ａ−Ａ線を示す断面図であり、反射鏡上のコームが作動されることにより、反射鏡を傾かせる原理を説明する図である。
【図７】本発明の実施形態１において、コームに入力された電圧と鏡面上のコームのシフトとの関係を示す図である。
【符号の説明】
１０                                                      ファブリーペロデバイス
１１、１２、２０、３０                  反射鏡
１３                                                      ガラス基板
１４                                                      シリコン基板
２１、３１、４１、５１                  鏡面
２３、３３、４３、４３ａ、４３ｂ、５３ａ、５３ｂ                    アクチュエーティング・パッド
２２、２４、３２、３４、４２、４４ａ、４４ｂ、５２ａ、５２ｂ、５４ａ、５４ｂ                  コーム
【図１】
2004170899.tif 000003
【図２】
2004170899.tif 000004
【図３Ａ】
2004170899.tif 000005
【図３Ｂ】
2004170899.tif 000006
【図４】
2004170899.tif 000007
【図５】
2004170899.tif 000008
【図６】
2004170899.tif 000009
【図７】
2004170899.tif 000010