(57)【要約】【課題】結晶性が良く耐摩耗性の優れたダイヤモンド膜表面の摺動性を高めることにより、耐摩耗性と摺動性の両者が優れた被覆工具を実現し、従来に比して格段に工具寿命の長い硬質炭素膜被覆工具を提供することである。【解決手段】超硬合金材の表面にダイヤモンド膜を被覆し、該ダイヤモンド膜の（４００）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が０．１度以上高角側にシフトしており、該ダイヤモンド膜表面にダイヤモンドライクカーボン膜を被覆し、更に該ダイヤモンド膜の（００８）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が０．１度以上低角側にシフトしている六方晶グラファイト成分を含有していることを特徴とする硬質炭素膜被覆工具である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
超硬合金材の表面にダイヤモンド膜を被覆し、該ダイヤモンド膜の（４００）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が０．１度以上高角側にシフトしており、該ダイヤモンド膜表面にダイヤモンドライクカーボン膜を被覆していることを特徴とする硬質炭素膜被覆工具。
【請求項２】
請求項１に記載の硬質炭素膜被覆工具において、該ダイヤモンド膜の（００８）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が０．１度以上低角側にシフトしている六方晶グラファイト成分を含有していることを特徴とする硬質炭素膜被覆工具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、硬質炭素膜被覆工具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
被加工部材の高硬度及び軽量化に伴って、高硬度、高熱伝導であるダイヤモンド膜を被覆した切削工具や耐摩耗部材を活用する機運が高まっている。特に、ダイヤモンド被覆工具は、アルミ合金やグラファイト材の加工に有望であり、盛んに研究されている。以下の特許文献１から４にダイヤモンド被覆工具が開示されている。
【特許文献１】特開平８−２５９３９１号公報（第９頁表１、第１０頁表２）
【特許文献２】特開２００１−１７９５０４号公報（第５頁表５、第７頁表７）
【特許文献３】特開２００１−３２８００７号公報（第６頁表２、第７頁表３）
【特許文献４】特開２００３−２５１１７号公報（第２頁、請求項１、２）
【０００３】
特許文献１は、（２２０）のＸ線回折ピ−ク強度が他のピークに比べて強いダイヤモンドを利用することにより膜表面を平滑化させ、摺動性を高めることが開示されている。しかし、これらダイヤモンド成分のみの結晶性や摺動性を改質した場合は硬質膜全体としての耐摩耗性や摺動性のバランスの良い改善が充分には成されず、被覆工具として充分な工具寿命を得られない欠点があった。特許文献２、３は、（４００）面の配向が強いダイヤモンドと、（００８）面指数のＸ線回折ピーク強度が強い六方晶グラファイトの両者を含有している硬質炭素膜を被覆することにより、優れた工具寿命を持つ工具が開示されている。特許文献４は、ダイヤモンド被覆膜と潤滑性を有する保護膜とを組み合わせた被覆切削工具であり、該保護膜に硬質炭素膜を用いる技術が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする課題は、結晶性が良く耐摩耗性の優れたダイヤモンド膜表面の摺動性を高めることにより、耐摩耗性と摺動性の両者が優れた被覆工具を実現し、従来に比して格段に工具寿命の長い硬質炭素膜被覆工具を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記課題を解決するために鋭意研究してきた結果、超硬合金材の表面にダイヤモンド膜を被覆し、該ダイヤモンド膜の（４００）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が０．１度以上高角側にシフトしており、該ダイヤモンド膜表面にダイヤモンドライクカーボン膜を被覆し、更に該ダイヤモンド膜の（００８）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が０．１度以上低角側にシフトしている六方晶グラファイト成分を含有していることを特徴とする硬質炭素膜被覆工具とすることにより、優れた工具寿命を持つ工具を実現できることを見いだし本発明に想到した。
【発明の実施の形態】
【０００６】
本発明は、超硬合金材の表面にダイヤモンド膜を形成した後、その表面にダイヤモンドライクカーボン（以下、ＤＬＣと記す。）膜を被覆したことを特徴とする硬質炭素膜被覆工具である。こうすることにより、靭性と耐摩耗生の優れた超硬合金材の表面に、高硬度で耐摩耗性が特に優れているダイヤモンド皮膜が形成されており、しかもその表面に摺動特性が高いＤＬＣ膜が形成されていることにより、優れた切削特性を有し、工具寿命の長い硬質炭素膜被覆工具が実現できる。一般に、ＤＬＣ膜は２００℃付近の低温で成膜するため、基体や下層膜との密着性が低く、切削工具として使用時に容易に剥がれてしまう欠点があった。しかし、本発明においては同じカーボンから成るダイヤモンド膜の表面にＤＬＣ膜を形成しているため、下層膜と密着性が優れ、ＤＬＣ膜は切削加工時にも剥がれることなく、特に優れた摺動特性を示す。基体表面にダイヤモンド膜やＤＬＣ膜等が形成されていることは、Ｘ線回折や電子線回折、ラマン分光法等により分析できる。また、皮膜断面を走査電子顕微鏡−エネルギー分散型Ｘ線分析装置（ＳＥＭ−ＥＤＸ）により分析した時、結晶性の高いダイヤモンド膜の表面にアモルファス状の炭素膜が形成されていることからも確認できる。
【０００７】
本発明の硬質炭素膜被覆工具は、該ダイヤモンド膜の（４００）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が０．１度以上高角側にシフトしていることが必要である。こうすることにより、該ダイヤモンド膜の摺動性が高まり、ダイヤモンド本来の優れた耐摩耗性と相まって、優れた切削特性を有する硬質炭素膜被覆工具を実現できる。これは（４００）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が０．１度以上高角側にシフトしていることにより、ＤＬＣ成分や六方晶グラファイト成分との結合性が高まったためと考えられる。２θ値のシフト量が０．１度未満であるときは工具特性が低下する欠点が現れる。これはダイヤモンド成分とＤＬＣ成分や六方晶グラファイト成分との間の結合力が低下するためと考えられる。
【０００８】
本発明の硬質炭素膜被覆工具は、該ダイヤモンド膜の（００８）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が０．１度以上低角側にシフトしている六方晶グラファイト成分を含有していることが好ましい。こうすることにより、該ダイヤモンド膜中に摺動性の優れた六方晶グラファイト成分が含有されており、しかもダイヤモンド成分との間に優れた結合性を有しているため、耐摩耗性と摺動性の両者が特に優れ、しかも安定している、より優れた切削特性を有する硬質炭素膜被覆工具を実現できる。これは、六方晶グラファイト成分の（００８）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が０．１度以上低角側にシフトしていることから、ダイヤモンドと六方晶グラファイトの両者の間で原子の共有等の干渉があり、ダイヤモンド成分とグラファイト成分の間に強い結合力が働いていると考えられる。このため、ダイヤモンドの特長である優れた耐摩耗性とグラファイトの特長である優れた摺動特性の両者を同時に併せ持つこととなり、優れた工具特性を示すようになったと判断される。六方晶グラファイト成分のシフト量が０．１度未満であるときは工具特性が低下する欠点が現れる。これはダイヤモンド成分と六方晶グラファイト成分との間の結合力が低下するためと考えられる
【０００９】
本発明における硬質炭素膜被覆工具の代表例である硬質炭素膜被覆エンドミルの例にそって述べる。本発明の被覆工具において、ダイヤモンドのＸ線回折ピークの同定は、ＪＣＰＤＳファイルのＸ線回折データファイル番号６−０６７５を用い、六方晶グラファイトのＸ線回折ピークの同定は、同ファイル番号２５−２８４のデータを用いて行った。本発明の被覆工具のダイヤモンド膜を製作するためには、熱フィラメントＣＶＤ法やマイクロ波ＣＶＤ法、ｒｆプラズマＣＶＤ法、ＥＣＲプラズマＣＶＤ法等、公知のＣＶＤ法を用いることができるが、成膜条件の調整が適宜必要である。本発明者らの研究では、成膜時の基板温度を高めるにつれてダイヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピークがより高角側へシフトし、グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピークはより低角側へシフトする。また、成膜ガスのＣＨ４／Ｈ２比を下げるにつれてダイヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピークの高角側へのシフト量や、グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピークの低角側へのシフト量が、小さくなることが分かっている。本発明の被覆工具のＤＬＣ膜を製作するためには、ガス反応を用いたｒｆプラズマＣＶＤ法やマイクロ波ＣＶＤ法、ＥＣＲプラズマＣＶＤ法や、あるいはカーボン製ターゲットを用いた物理蒸着（ＰＶＤ）法を用いることができるが、ダイヤモンド膜とＤＬＣ膜間により高い密着性が得られるため、ＣＶＤ法で成膜することが好ましい。本発明の用途は、ソリッドエンドミル型切削工具に限るものではなく、スローアウェイインサートを用いたエンドミル型切削工具やフライス用工具、旋削用工具でも良い。また、硬質炭素膜を被覆した耐摩耗材や金型、溶湯部品等でもよい。本発明の被覆工具において、硬質炭素膜の成分は炭素だけに限るものではない。本発明の効果を消失しない範囲でＣｏやＷ等の不可避の添加物や不純物を例えば数質量％程度まで含むことが許容される。次に本発明の被覆工具を実施例によって具体的に説明するが、これら実施例により本発明が限定されるものでない。
【００１０】
【実施例】
（実施例１）
ＷＣ：９４質量％、Ｃｏ：６質量％の組成よりなり、同一ロットで焼結し作製した直径６ｍｍ、２枚刃のボールエンドミル型の切削工具用超硬合金基体と、１０ｍｍ×１０ｍｍ、厚さ５ｍｍの分析用直方体基板を真空装置内にセットし、それらの表面に、熱フィラメントＣＶＤ法により、約８μｍ厚さのダイヤモンド膜を成膜した。即ち、エンドミルの周辺に配置したタングステン製フィラメントに電流を流すことにより、これを約２５００℃に加熱し、これにＣＨ４／Ｈ２比が０．５〜３％のＣＨ４とＨ２の混合ガスを１０〜１５０ｃｍ３／ｍｉｎだけ流し、圧力１．３３〜１３．３ｋＰａ、基板温度９００〜１２００℃で成膜した。ｒｆプラズマＣＶＤ法により、真空装置内にＣ２Ｈ２ガスとＨ２とを流し、ガス圧１０．７Ｐａ、基板温度２００℃、基板バイアス８００Ｖで厚さ０．５μｍのＤＬＣ膜を成膜した。作製した試料のＸ線回折パターンは、各試料と一緒に成膜した上記の分析用基板を用いて評価した。理学電気（株）製のＸ線回折装置（ＲＵ−２００ＢＨ型）により、波長λが０．１５４０５ｎｍのＣｕＫα１線を用いて、２θ−θ走査法により測定した。２θの測定範囲は１０〜１４５度で、バックグランドノイズは装置に内蔵されたソフトにより除去した。表１に、各物質のＪＣＰＤＳファイルに記載されている２θ値（２θ０）、面指数及び本発明例１のＸ線回折測定結果と実測２θの標準２θ０からのシフト量Δ２θ（２θ−２θ０）もあわせて示す。表１から、ダイヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピーク位置と六方晶グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピーク位置のシフト量が特に大きいことがわかる。ＤＬＣ膜はアモルファス状であるため、明確なＸ線回折ピークは検出されなかったが、ＤＬＣ膜が実際に成膜されていることは、ラマンスペクトルで１５８０ｃｍ−１付近と１３６０ｃｍ−１付近にブロードなピークが検出されることから確認した。
【００１１】
【表１】
2004268201.tif 000002
【００１２】
表２に実施例１によって作製した本発明例２〜１９の硬質炭素膜被覆工具のＸ線回折測定結果と工具寿命とをまとめて示す。
【００１３】
【表２】
2004268201.tif 000003
【００１４】
表２より、本発明例２〜１９のいずれの試料も、ダイヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピークのシフト量Δ２θが正の値を示し、高角側に０．１度以上シフトしていることがわかる。六方晶グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピークのシフト量Δ２θが負の値を示し、低角側にシフトしていることがわかる。ここで、９００〜１２００℃の範囲内で成膜時の基板温度を高めるにつれてダイヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピークがより高角側へシフトし、グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピークはより低角側へシフトした。また、０．５〜３％の範囲内で成膜ガスのＣＨ４／Ｈ２比を下げるにつれてダイヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピークの高角側へのシフト量や、グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピークの低角側へのシフト量が小さくなった。本発明例２〜１９の工具寿命は、作製した本発明例の各３本を用いて、グラファイト材を下記の条件で切削し、外周刃の刃先の逃げ面摩耗量が０．１ｍｍに達するまでに切削した切削長さにより示した。
被削材：グラファイト（ＨＳ９５）
工具形状：ボールエンドミル（φ６、二枚刃）
工具回転数：１００００回転／ｍｉｎ
切削速度：１８８ｍ／ｍｉｎ
送り速度：２０００ｍｍ／ｍｉｎ（０．１ｍｍ／ｔｏｏｔｈ）
切り込み：０．３ｍｍ×０．３ｍｍ
切削油：使用せず
ショアー硬さＨＳ９５のグラファイト材を被削材に用いることにより、工具の耐摩耗性を早期に評価できるようにした。逃げ面摩耗量は倍率１００の実体顕微鏡と分解能１μｍのスライドテーブルを用いて測定した。表２より、本発明例２〜１９は、いずれも切削可能長が７１０ｍ以上と長く、工具寿命が優れていることがわかる。また、ダイヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピークのシフト量が高角側に０．５〜２．０度であるとき、切削可能長が１４３０ｍ以上と２倍以上長く、優れた工具寿命が得られ、１．０〜１．５度の時は切削可能長が２５９０ｍ以上と更に１．８以上倍長く、更に優れた工具寿命が得られることがわかる。また、六方晶グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピークのシフト量が低角側に−０．１〜−１．５度であるとき、切削可能長が１４３０ｍ以上と２倍長く、優れた工具寿命が得られ、−０．５〜−１．０度の時は切削可能長が２１５０ｍ以上と更に１．５倍以上長く、更に優れた工具寿命が得られることがわかる。
【００１５】
（実施例２）
超硬合金材の表面にダイヤモンド膜を形成し、更にＤＬＣ膜を被覆する影響を明らかにするため、実施例１と同一ロットで作製したボールエンドミルの切削工具用超硬合金基体と分析用直方体基板を真空装置内にセットし、実施例１と同じ条件でダイヤモンド膜を成膜し、その表面にＤＬＣ膜を成膜しない従来例２０を作製した。従来例２０のラマンスペクトルは１３３２ｃｍ−１付近のダイヤモンドの鋭いピークと１５８０ｃｍ−１付近のグラファイトの鋭いピークのみが検出され、両ピーク付近にブロードなピークを示すＤＬＣは観察されなかった。また、ダイヤモンド成分の（４００）Ｘ線回折ピーク位置は高角側に０．１度シフトし、六方晶グラファイト成分の（００８）Ｘ線回折ピーク位置はシフトしていなかった。従来例２０のボールエンドミル３本を用いて実施例１と同一の条件で工具寿命を評価した結果、３００ｍ以内で外周刃の刃先摩耗量が０．０５ｍｍに達した。この結果、ダイヤモンド成分の（４００）Ｘ線回折ピーク位置と六方晶グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピーク位置の両シフト量が同じであるダイヤモンド膜の表面にＤＬＣ膜を形成した本発明例２よりも工具寿命が１／２以下と短く、工具として劣っていることがわかった。即ち、ダイヤモンド膜の表面にＤＬＣ膜を形成した本発明例２〜１９は、同じダイヤモンド膜の表面にＤＬＣ膜を形成していない従来例２０に比べて、２倍以上、工具寿命が優れていることがわかった。
【００１６】
（実施例３）
超硬合金材の表面にダイヤモンド膜を形成し、更にＤＬＣ膜が被覆されている場合、このダイヤモンド膜が、（４００）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が高角側にシフトしているダイヤモンド成分と、（００８）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が低角側にシフトしている六方晶グラファイトとの両者の含有の有無による、工具寿命への影響を明らかにするために、従来例２１として、実施例１と同一の組成と形状よりなるボールエンドミルの切削工具用超硬合金基体と分析用直方体基板とを真空装置内にセットし、それらの表面に、熱フィラメントＣＶＤ法により約８μｍ厚さの硬質炭素膜を成膜した。その成膜条件は、タングステン製フィラメント温度が約２３００℃、炭素濃度が４％のＣＨ４とＨ２の混合ガス流量１５０ｃｍ３／ｍｉｎ、圧力１３．３ｋＰａ、基板温度８００℃である。この表面に実施例１と同一の条件で、厚さ０．５μｍのＤＬＣ膜を成膜した。従来例２１のダイヤモンド膜は、ダイヤモンド成分の（４００）面指数Ｘ線回折ピークの２θ値が１１９．５度であり、高角側へのシフト量が０．１度未満と小さく、高角側へのシフトは観察されなかった。また、ＤＬＣ膜が実際に成膜されていることの確認は、分析用試料のラマンスペクトルに１５８０ｃｍ−１付近と１３６０ｃｍ−１付近にブロードなピークが検出されることから確認した。また、切削テスト後に、皮膜断面をＳＥＭ−ＥＤＸにより分析し、結晶性の高いダイヤモンド膜の表面にアモルファス状の炭素膜が形成されていることからも確認した。従来例２１のボールエンドミル３本を用いて実施例１と同一の条件で工具寿命を評価した結果、４６０ｍ以内で外周刃の刃先摩耗量が０．０５ｍｍに達し、工具寿命が本発明例２の２／３以下にとどまった。本発明例２と従来例２１とを比較することにより、（４００）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が０．１度以上高角側にシフトしているダイヤモンド膜の表面にＤＬＣ膜を形成した本発明例２の工具は、シフト量が０．１度以下であるダイヤモンド膜の表面にＤＬＣ膜を形成した従来例２１の工具に比べて工具寿命が１．６倍以上優れていることがわかった。
【００１７】
（実施例４）
ＷＣ：９５．５質量％、Ｃｏ：４．５質量％の組成よりなる直径６ｍｍ、２枚刃のスクエアエンドミル型の切削工具用超硬合金基体と、１０ｍｍ×１０ｍｍ、厚さ５ｍｍの分析用直方体基板とを真空装置内にセットし、それらの表面に、熱フィラメントＣＶＤ法により、約８μｍ厚さのダイヤモンド膜を成膜した。即ち、エンドミルの周辺に配置したタングステン製フィラメントに電流を流すことにより、これを約２５００℃に加熱し、これにＣＨ４／Ｈ２比が０．５〜３％のＣＨ４とＨ２の混合ガスを１０〜１５０ｃｍ３／ｍｉｎだけ流し、圧力１．３３〜１３．３ＫＰａ、基板温度９００〜１２００℃で成膜した。ｒｆプラズマＣＶＤ法により、真空装置内にＣ２Ｈ２ガスとＨ２とを流し、ガス圧１０．７Ｐａ、基板温度２００℃、基板バイアス８００Ｖで厚さ０．３μｍのＤＬＣ膜を成膜した。スクエアエンドミルの刃先先端にある平坦部を試料面にして、Ｘ線回折パターンを、実施例１と同一の条件で測定した。スクエアエンドミルの刃先先端の平坦部は面積が少ないため、平坦部以外は出来るだけ加工で除去するとともに、ビニールテープで覆うことにより、Ｘ線回折パターンに影響しないように工夫した。表３に実施例４によって作製した本発明例２２〜３８の硬質炭素膜被覆工具のＸ線回折測定結果と工具寿命とをまとめて示す。
【００１８】
【表３】
2004268201.tif 000004
【００１９】
表３より、本発明例２２〜３８のいずれの試料も、硬質炭素膜が（４００）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が高角側に０．１度以上シフトしているダイヤモンド成分と（００８）面指数のＸ線回折ピークの２θ値が低角側に０．１度以上シフトしている六方晶グラファイトの両者より成っていることがわかる。また、ＤＬＣ膜が実際に成膜されていることは、分析用試料のラマンスペクトルに１５８０ｃｍ−１付近と１３６０ｃｍ−１付近にブロードなピークが検出されることから確認した。また、切削テスト後に、皮膜断面をＳＥＭ−ＥＤＸにより分析し、結晶性の高いダイヤモンド膜の表面にアモルファス状の炭素膜が形成されていることからも確認した。作製した本発明例２２〜３８のスクエアエンドミル各３本を用いて、本発明例の工具寿命を下記の条件で評価した。
被削材：Ａｌ−９質量％Ｓｉ合金
工具形状：スクエアエンドミル（φ６、二枚刃）
工具回転数：２００００回転／分
切削速度：５００ｍ／分
送り速度：７．２ｍ／分（０．１８ｍｍ／刃）
切り込み：Ａｄ１５ｍｍ×Ｒｄ０．８ｍｍ
切削油：使用せず
工具寿命は、刃先の逃げ面摩耗量が０．０５ｍｍに達するまでに切削した切削長さで示した。表３中に工具寿命を併記する。表３より、本発明例２２〜３８は、いずれも切削可能長が１８０ｍ以上と長く、工具寿命が優れていることがわかる。また、ダイヤモンドの（４００）Ｘ線回折ピークのシフト量が高角側に０．５〜２．０度であるとき切削可能長が２７０ｍ以上と１．５倍長い、優れた工具寿命が得られ、１．０〜１．５度の時は切削可能長が４９８ｍ以上と更に１．８倍以上長く、更に優れた工具寿命が得られることがわかる。また、六方晶グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピークのシフト量が低角側に０．１〜１．５度であるとき切削可能長が２７０ｍ以上と長く、優れた工具寿命が得られ、０．５〜１．０度の時は切削可能長が４５０ｍ以上と更に１．６倍以上長く、更に優れた工具寿命が得られることがわかった。
【００２０】
（実施例５）
超硬合金材の表面にダイヤモンド膜を形成し、ＤＬＣ膜を被覆する影響を明らかにするため、従来例３９として、実施例４と同一ロットで作製したスクエアエンドミル型の切削工具用超硬合金基体と分析用直方体基板を真空装置内にセットし、実施例４と同じ条件でダイヤモンド膜を成膜した後、その表面にＤＬＣ膜を成膜しないせず、製作した。従来例３９のラマンスペクトルは１３３２ｃｍ−１付近のダイヤモンドの鋭いピークと１５８０ｃｍ−１付近のグラファイトの鋭いピークのみが検出され、両ピーク付近にブロードなピークを示すＤＬＣは観察されなかった。また、ダイヤモンド成分の（４００）Ｘ線回折ピーク位置は高角側に０．１度シフトし、六方晶グラファイト成分の（００８）Ｘ線回折ピーク位置はシフトしていなかった。従来例３９のスクエアエンドミル３本の用いて実施例４と同一の条件で工具寿命を評価した結果、８５ｍ以内で外周刃の刃先摩耗量が０．０５ｍｍに達した。この結果、ダイヤモンド成分の（４００）Ｘ線回折ピーク位置と六方晶グラファイトの（００８）Ｘ線回折ピーク位置の両シフト量が同じであるダイヤモンド膜の表面にＤＬＣ膜を形成した本発明例２２よりも工具寿命が１／２以下と短く、工具として劣っていることがわかった。即ち、ダイヤモンド膜の表面にＤＬＣ膜を形成した本発明例２２〜３８は、同じダイヤモンド膜の表面にＤＬＣ膜を形成していない従来例３９に比べて、２倍以上工具寿命が優れていることがわかった。
【００２１】
【発明の効果】
本発明を適用することによって、結晶性が良く耐摩耗性の優れたダイヤモンド膜表面の摺動性が高まることにより、耐摩耗性と摺動性の両者が優れ、格段に工具寿命の長い硬質炭素膜被覆工具を実現できる。