(57)【要約】【課題】入出力ポートの入出力光路を切り替える際に、他の入出力ポートを通る光信号への影響を軽減することができる光スイッチデバイスを提供する。【解決手段】光スイッチデバイスは、複数本の入出力光ファイバの入出力光路を切り替える光スイッチアレイ６を有している。光スイッチアレイ６は基板８を有し、この基板８の上面には片持ち梁１１が支持されている。片持ち梁１１の先端側部分には環状支持部１２が設けられ、この環状支持部１２には可動ミラー７が傾動自在に支持されている。可動ミラー７は、何れかの入出力光ファイバからの光信号を他の入出力光ファイバに向けて反射させる。片持ち梁１１の先端には、櫛歯部１４が設けられている。基板８の上面には、可動ミラー７を環状支持部１２に対して傾動させるための電極１５ａ，１５ｂと、可動ミラー７の傾動方向とは異なる方向に可動ミラー７を動かすための電極１６とが配置されている。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光信号を入出力する複数の入出力ポートと、前記入出力ポートの入出力光路を切り替えるスイッチ手段とを備えた光スイッチデバイスにおいて、
前記スイッチ手段は、
前記複数の入出力ポートのうち何れかの入出力ポートより入力された光信号を他の入出力ポートに向けて反射させる光部品と、
前記入出力ポートの入出力光路を切り替えるように前記光部品を駆動する第１駆動手段と、
光信号を前記入出力ポートに向かう方向に反射させる位置と光信号を前記入出力ポートに向かう方向からずれた方向に反射させる位置との間を移動するように前記光部品を駆動する第２駆動手段とを有することを特徴とする光スイッチデバイス。
【請求項２】
前記入出力ポートより入力された波長多重光信号を波長毎に分波させる光分波素子を更に備え、
前記スイッチ手段は、前記波長毎に分波された各信号光に対応して前記光部品を複数有していることを特徴とする請求項１記載の光スイッチデバイス。
【請求項３】
前記光部品は、基体に支持された片持ち梁に傾動自在に設けられ、
前記第１駆動手段は、前記光部品を前記片持ち梁に対して傾動させる手段であり、
前記第２駆動手段は、前記光部品の傾動方向とは異なる方向に前記光部品を動かす手段であることを特徴とする請求項１または２記載の光スイッチデバイス。
【請求項４】
前記第１駆動手段は、前記基体に設けられた第１電極と、前記第１電極に電圧を供給する第１電圧源とを有し、
前記第２駆動手段は、前記基体に設けられた第２電極と、前記第２電極に電圧を供給する第２電圧源とを有することを特徴とする請求項３記載の光スイッチデバイス。
【請求項５】
光信号を入出力する複数の入出力ポートと、前記入出力ポートの入出力光路を切り替えるスイッチ手段とを備えた光スイッチデバイスにおいて、
前記スイッチ手段は、前記複数の入出力ポートのうち何れかの入出力ポートに導かれる光信号が他の入出力ポートを横切らないように、前記入出力ポートの入出力光路を切り替えることを特徴とする光スイッチデバイス。
【請求項６】
前記入出力ポートの入出力光路の切り替え時間が１０ｍｓ以下であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の光スイッチデバイス。
【請求項７】
前記入出力ポートの入出力光路を切り替える時に、前記他の入出力ポートへのクロストークが−２５ｄＢ以下であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の光スイッチデバイス。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項記載の光スイッチデバイスを備えたことを特徴とする光伝送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、波長分割多重（ＷＤＭ：Wavelength Division Multiplexing）光通信等において使用される光スイッチデバイス及び光伝送システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＷＤＭ光通信システムで使用される光スイッチデバイスとしては、例えば非特許文献１に記載されている波長切替スイッチがある。この波長切替スイッチは、光ファイバ及びレンズで形成された複数の入出力ポートと回折格子とＭＥＭＳミラーとを組み合わせた構成とすることにより、小型化及び低コスト化を可能にしたものである。
【０００３】
【非特許文献１】
OFC 2002 Postdeadline Papers,FB7-1,Wavelength-selective 1×4 switch for 128 WDM channels at 50 GHzspacing
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術においては、以下の問題点がある。即ち、ＭＥＭＳミラーは、入出力ポートの入出力光路を切り替える方向にしか駆動されないため、入出力ポートの入出力光路を切り替える際に、ＭＥＭＳミラーで反射した光信号が、隣接する入出力ポートを横切ることがある。この場合には、その隣接する入出力ポートに不要な光が入ってしまうため、当該入出力ポートを通る光信号の伝送品質が劣化する。
【０００５】
本発明の目的は、入出力ポートの入出力光路を切り替える際に、他の入出力ポートを通る光信号への影響を軽減することができる光スイッチデバイス及び光伝送システムを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、光信号を入出力する複数の入出力ポートと、入出力ポートの入出力光路を切り替えるスイッチ手段とを備えた光スイッチデバイスにおいて、スイッチ手段は、複数の入出力ポートのうち何れかの入出力ポートより入力された光信号を他の入出力ポートに向けて反射させる光部品と、入出力ポートの入出力光路を切り替えるように光部品を駆動する第１駆動手段と、光信号を入出力ポートに向かう方向に反射させる位置と光信号を入出力ポートに向かう方向からずれた方向に反射させる位置との間を移動するように光部品を駆動する第２駆動手段とを有することを特徴とするものである。
【０００７】
このような本発明の光スイッチデバイスにおいて、入出力ポートの入出力光路を切り替えるときは、まず第２駆動手段によって、光信号を入出力ポートに向かう方向に反射させる位置（通常位置）から、光信号を入出力ポートに向かう方向からずれた方向に反射させる位置（待避位置）に、光部品を移動させる。続いて、第１駆動手段によって、入出力ポートの入出力光路が切り替わるように光部品を駆動する。その後、第２駆動手段によって光部品を待避位置から通常位置に戻す。このように第２駆動手段により光部品を予め待避位置に移動させてから、第１駆動手段により光部品を駆動して入出力ポートの入出力光路を切り替えることにより、入出力ポートの入出力光路が切り替わる途中に、光部品で反射した光信号が切替対象でない他の入出力ポートを横切ることは無い。従って、他の入出力ポートに漏れる光が低減されるため、当該入出力ポートを通る光信号への影響を軽減することができる。
【０００８】
好ましくは、入出力ポートより入力された波長多重光信号を波長毎に分波させる光分波素子を更に備え、スイッチ手段は、波長毎に分波された各信号光に対応して光部品を複数有している。これにより、本発明の光スイッチデバイスを波長切り替えスイッチとして使用できるので、波長多重化された光信号の中から任意の波長の信号をADDまたはDROPする光ＡＤＭ（Add Drop Multiplexer）等を簡単な構成で実現可能となる。
【０００９】
また、好ましくは、光部品は、基体に支持された片持ち梁に傾動自在に設けられ、第１駆動手段は、光部品を片持ち梁に対して傾動させる手段であり、第２駆動手段は、光部品の傾動方向とは異なる方向に光部品を動かす手段である。これにより、光部品、第１駆動手段及び第２駆動手段を有するスイッチ手段の構造を簡単化することができる。
【００１０】
このとき、好ましくは、第１駆動手段は、基体に設けられた第１電極と、第１電極に電圧を供給する第１電圧源とを有し、第２駆動手段は、基体に設けられた第２電極と、第２電極に電圧を供給する第２電圧源とを有する。この場合には、光部品は静電力によって駆動されるため、電流をほとんど流さずに済み、省電力化を図ることができる。
【００１１】
また、本発明は、光信号を入出力する複数の入出力ポートと、入出力ポートの入出力光路を切り替えるスイッチ手段とを備えた光スイッチデバイスにおいて、スイッチ手段は、複数の入出力ポートのうち何れかの入出力ポートに導かれる光信号が他の入出力ポートを横切らないように、入出力ポートの入出力光路を切り替えることを特徴とするものである。
【００１２】
このように入出力ポートの入出力光路を切り替える際に、光信号が切替対象でない他の入出力ポートを横切らないように構成することにより、他の入出力ポートに漏れる光が低減されるため、当該入出力ポートを通る光信号への影響を軽減することができる。
【００１３】
好ましくは、入出力ポートの入出力光路の切り替え時間が１０ｍｓ以下である。これにより、入出力ポートの入出力光路を切り替える際に、切替対象でない他の入出力ポートに光が更に漏れにくくなるため、当該入出力ポートを通る光信号への影響をより軽減することができる。
【００１４】
また、好ましくは、入出力ポートの入出力光路を切り替える時に、他の入出力ポートへのクロストークが−２５ｄＢ以下である。これにより、切替対象でない他の入出力ポートを通る光信号への影響はほとんど無くなる。
【００１５】
本発明の光伝送システムは、上記の光スイッチデバイスを備えたことを特徴とするものである。これにより、上述したように、光スイッチデバイスにおいて入出力ポートの入出力光路を切り替える際に、切替対象でない他の入出力ポートを通る光信号への影響を軽減することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る光スイッチデバイス及び光伝送システムの好適な実施形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
図１及び図２は、本発明に係る光スイッチデバイスの一実施形態を示す概略構成図である。なお、各図においては、説明の便宜のために、ｘｙｚ直交座標系とｘｙ'ｚ'直交座標系が示されている。図１は、光スイッチデバイスをｙ軸、ｙ'軸方向に見たときの図であり、図２は、光スイッチデバイスをｘ軸方向に見たときの図である。
【００１８】
各図において、本実施形態の光スイッチデバイス１は、複数本の入出力光ファイバ２ａ〜２ｆと、アレイレンズ３と、回折格子４と、レンズ５と、光スイッチアレイ６とを有している。なお、入出力光ファイバ２ａ〜２ｆと回折格子４との間の光学系ではｘｙｚ直交座標系が用いられ、回折格子４と光スイッチアレイ６との間の光学系ではｘｙ'ｚ'直交座標系が用いられる。
【００１９】
入出力光ファイバ２ａ〜２ｆは、例えば４波長λ1〜λ4の多重化された光信号（波長多重光信号）を入出力する入出力ポートであり、ｚ軸方向に平行に配置されている。ここで、入出力光ファイバ２ｃは共通入射ポートとして使用され、入出力光ファイバ２ｄは共通出射ポートとして使用され、入出力光ファイバ２ａ，２ｅはAddポートとして使用され、入出力光ファイバ２ｂ，２ｆはDropポートとして使用されている。
【００２０】
アレイレンズ３は、入出力光ファイバ２ａ，２ｃ，２ｅより入力された光信号をコリメートして回折格子４に出力すると共に、回折格子４からの光信号を集光して入出力光ファイバ２ｂ，２ｄ，２ｆに出力する。
【００２１】
回折格子４は、アレイレンズ３からの波長多重信号光を各波長λ1〜λ4に応じた回折角で回折することにより、波長多重信号光を波長λ1〜λ4毎に分波してレンズ５に出力する。なお、図中の回折格子４は透過型であるが、反射型の回折格子を用いてもよい。
【００２２】
レンズ５は、回折格子４で分波された波長λ1〜λ4毎の光信号を集光して光スイッチアレイ６に出力すると共に、光スイッチアレイ６からの光信号をコリメートして回折格子４に出力する。
【００２３】
光スイッチアレイ６は、レンズ５で集光された各波長λ1〜λ4の光信号をそれぞれ反射させる可動ミラー７ａ〜７ｄ（以下、まとめて可動ミラー７ということがある）を有し、入出力光ファイバ２ａ〜２ｆの入出力光路を切り替えるものである。
【００２４】
図３は、光スイッチアレイ６の一部を示す平面図であり、図４は、図３のIV−IV線断面図である。各図において、光スイッチアレイ６は、Ｓｉ等からなる基板８と、この基板８上に微小電子機械システム（ＭＥＭＳ）技術を用いて形成された複数のアクチュエータ部９とを有している。
【００２５】
各アクチュエータ部９は、基板８の上面にスペーサ１０を介して片持ち支持された片持ち梁１１を有し、この片持ち梁１１の先端側部分には環状支持部１２が設けられている。この環状支持部１２には、上記の可動ミラー７が両側のヒンジ１３を介して支持されている。ヒンジ１３は片持ち梁１１の長手方向に延びており、これにより可動ミラー７は片持ち梁１１の長手方向に平行な軸（ｙ'軸）に対して傾動自在である（図６参照）。片持ち梁１１の先端には、櫛歯部１４が設けられている。
【００２６】
基板８の上面における可動ミラー７に対向した部位には、図５に示すように、可動ミラー７を環状支持部１２に対して傾動させるための１対の略半円形状の電極１５ａ，１５ｂが設けられている。また、基板８の上面における櫛歯部１４の近傍部位には、片持ち梁１１を曲げることにより上記の可動ミラー７の傾動方向とは異なる方向に可動ミラー７を動かすための櫛歯状の電極１６が設けられている。
【００２７】
このようなアクチュエータ部９は、例えば導電性を有するＳｉで形成されている。また、可動ミラー７の反射面には、レンズ５からの光をほぼ全反射させるべく、例えばＡｕがコーティングされている。
【００２８】
片持ち梁１１と電極１５ａ，１５ｂとは電圧源１７を介して接続されており、この電圧源１７により電極１５ａ，１５ｂに電圧を供給することで、可動ミラー７と電極１５ａ，１５ｂとの間に静電気力を発生させ、可動ミラー７を片持ち梁１１の環状支持部１２に対して傾動させる。
【００２９】
このとき、電極１５ａ，１５ｂへの印加電圧がゼロのときは、図６（ａ）に示すように、可動ミラー７は環状支持部１２に対して平行な状態にある。この状態では、可動ミラー７は、入出力光ファイバ（共通入射ポート）２ｃからの光信号を入出力光ファイバ（共通出射ポート）２ｄに向けて反射させる。
【００３０】
一方、電極１５ａに所定の電圧を印加すると、図６（ｂ）に示すように、可動ミラー７と電極１５ａとの間に生じる静電気力によって可動ミラー７の電極１５ａ側部分が電極１５ａに引き寄せられ、可動ミラー７が環状支持部１２に対して傾動する。この状態では、可動ミラー７は、入出力光ファイバ（共通入射ポート）２ｃからの光信号を入出力光ファイバ（Dropポート）２ｆに向けて反射させる。
【００３１】
また、電極１５ｂに所定の電圧を印加すると、図６（ｃ）に示すように、可動ミラー７と電極１５ｂとの間に生じる静電気力によって可動ミラー７の電極１５ｂ側部分が電極１５ｂに引き寄せられ、可動ミラー７が環状支持部１２に対して反対方向に傾動する。この状態では、可動ミラー７は、入出力光ファイバ（共通入射ポート）２ｃからの光信号を入出力光ファイバ（Dropポート）２ｂに向けて反射させる。
【００３２】
片持ち梁１１と電極１６とは電圧源１８を介して接続されており、この電圧源１８により電極１６に電圧を供給することで、櫛歯部１４と電極１６との間に静電気力を発生させ、片持ち梁１１の先端側部分を下方に曲げる。
【００３３】
このとき、電極１６への印加電圧がゼロのときは、図４に示すように、片持ち梁１１が真っ直ぐに延びた状態にある。この状態では、可動ミラー７は、入出力光ファイバ２ａ，２ｃ，２ｅよりアレイレンズ３、回折格子４、レンズ５を介して導かれた光信号を、レンズ５、回折格子４、アレイレンズ３を介して入出力光ファイバ２ｂ，２ｄ，２ｆに向かう方向に反射させる通常位置にある。
【００３４】
一方、電極１６に所定のパルス電圧を印加すると、図７に示すように、櫛歯部１４と電極１６との間に生じる静電気力によって櫛歯部１４が電極１６に引き寄せられ、片持ち梁１１の先端側部分が下方に撓み、これに伴って可動ミラー７の傾動方向（図６参照）とは異なる方向に可動ミラー７が動くようになる。これにより、可動ミラー７は、入出力光ファイバ２ａ，２ｃ，２ｅからアレイレンズ３、回折格子４、レンズ５を介して導かれた光信号を入出力光ファイバ２ｂ，２ｄ，２ｆに向かう方向からずれた方向に反射させる待避位置に移動する。
【００３５】
次に、以上のように構成した光スイッチデバイス１の動作を説明する。入出力光ファイバ（共通入射ポート）２ｃより入力された波長多重光信号は、アレイレンズ３でコリメートされて回折格子４に入射され、波長λ1〜λ4毎に分波される。各波長λ1〜λ4の光信号は、レンズ５で集光された状態で、光スイッチアレイ６の可動ミラー７ａ〜７ｄで反射する。
【００３６】
このとき、光スイッチアレイ６の電圧源１７，１８による印加電圧がゼロである状態では、可動ミラー７ａ〜７ｄの位置（姿勢）は、図４に示すような通常位置であり、可動ミラー７ａ〜７ｄの傾動角度は、図６（ａ）に示すような０度である。
【００３７】
この場合には、可動ミラー７ａ〜７ｄで反射した各波長λ1〜λ4の光信号は、レンズ５でコリメートされた状態で、回折格子４に入射され合波される。そして、その合波された光信号は、アレイレンズ３で集光された状態で、入出力光ファイバ（共通出射ポート）２ｄより出力される。これにより、停電時には、入出力光ファイバ２ｃより入力された波長多重光信号は、そのまま入出力光ファイバ２ｄより出力されることになる。
【００３８】
ここで、入出力光ファイバ２ｃより入力された波長多重光信号のうち例えば波長λ4の光信号のみを入出力光ファイバ（Dropポート）２ｂより出力させるように波長切り替えを行うときは、まず波長λ4の光信号を反射させる可動ミラー７ｄを有するアクチュエータ部９において、電圧源１８により電極１６にパルス電圧を印加する。すると、図７に示すように当該アクチュエータ部９の片持ち梁１１の先端側が下方に撓んで、可動ミラー７ｄが通常位置から待機位置に移動する。これにより、可動ミラー７ｄで反射した波長λ4の光信号の光軸は、可動ミラー７ｄで反射した波長λ1〜3の光信号の光軸に対してずれる。従って、可動ミラー７ｄで反射した波長λ4の光信号はレンズ５に入射されず、入出力光ファイバ２ｄに到達することは無い。
【００３９】
その状態で、可動ミラー７ｄを有するアクチュエータ部９において、電圧源１７により電極１５ｂに所定の電圧を印加し、可動ミラー７ｄを図６（ｃ）に示すような方向に傾動させることにより、波長λ4の光信号の出力ポートとして入出力光ファイバ２ｂを選択する。
【００４０】
続いて、電極１６への印加電圧をゼロにする。すると、片持ち梁１１がその付勢力によって図４に示すような初期状態に戻り、可動ミラー７ｄが待機位置から通常位置に戻る。この場合には、可動ミラー７ｄで反射した波長λ4の光信号は、レンズ５でコリメートされ、回折格子４によって回折され、アレイレンズ３で集光された状態で、入出力光ファイバ２ｂより出力される。
【００４１】
ところで、アクチュエータ部９に櫛歯部１４、電極１６及び電圧源１８が無い場合には、上記の波長切り替えにおいては、可動ミラー７ｄが図４に示す通常位置に保持されたまま、可動ミラー７ｄの傾動角度が変化することになる。つまり、可動ミラー７ｄで反射した波長λ4の光信号が入出力光ファイバ２ｄに入射されている状態で、波長λ4の光信号の出力光路が入出力光ファイバ２ｄから入出力光ファイバ２ｂに切り替えられることになる。
【００４２】
この場合には、可動ミラー７ｄで反射した波長λ4の光信号が、入出力光ファイバ２ｄ，２ｂ間の入出力光ファイバ（共通入射ポート）２ｃを横切るため、入出力光ファイバ２ｃに不要な光信号が入り込む。従って、入出力光ファイバ２ｃを通る光信号が影響を受けることになり、伝送品質を著しく劣化させてしまう。
【００４３】
これに対し本実施形態では、可動ミラー７ｄを図４に示す通常位置から図７に示す待避位置に移動させ、その状態で可動ミラー７ｄの傾動角度を変えるので、入出力光ファイバ２ｄから入出力光ファイバ２ｂに出力光路を切り替える際に、可動ミラー７ｄで反射した波長λ4の光信号が入出力光ファイバ２ｃを横切ることは無い。従って、入出力光ファイバ２ｃに漏れる不要な光がほとんど無くなるため、入出力光ファイバ２ｃを通る光信号の伝送品質の劣化を防ぐことができる。
【００４４】
このとき、入出力光ファイバ２ｃへの光の漏れをより確実に防止するには、入出力光路の切り替え時間は１０ｍｓ以下であることが好ましい。また、入出力光路の切り替える時に、入出力光ファイバ２ｃへ漏れる光信号の強度（入出力光ファイバ２ｃへのクロストーク）が−２５ｄＢ以下であることが好ましい。
【００４５】
図８は、上記の光スイッチデバイス１を備えた光伝送システムの一例として光ＡＤＭの構成を示したものである。
【００４６】
同図において、光ＡＤＭ２０は上記の光スイッチデバイス１を有し、この光スイッチデバイス１の入出力光ファイバ２ｃには合波器２１が接続され、光スイッチデバイス１の入出力光ファイバ２ｄには分波器２２が接続されている。合波器２１は、各波長の光信号を合波して１本の入出力光ファイバ２ｃに導くものである。分波器２２は、１本の入出力光ファイバ２ｄを伝搬してきた波長の異なる複数の光信号を各波長毎に分波するものである。また、光スイッチデバイス１の入出力光ファイバ２ａ，２ｅにはAdd用の合波器２３がそれぞれ接続され、光スイッチデバイス１の入出力光ファイバ２ｂ，２ｆにはDrop用の分波器２４がそれぞれ接続されている。
【００４７】
このように光スイッチデバイス１を設けることで、多数のｍ×ｎ光スイッチを用いて光ＡＤＭを構成しなくて済む。これにより、光ＡＤＭの小型化、簡単化及び低コスト化を図ることができる。
【００４８】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、レンズ５からの光信号を反射させる光部品としてミラーを使用したが、ミラーの代わりにプリズムを使用してもよい。
【００４９】
また、上記実施形態では、基板８に電極１５ａ，１５ｂ及び電極１６を設け、静電力により可動ミラー７を駆動するものとしたが、電磁力を利用して可動ミラー７を駆動する構成としてもよい。
【００５０】
さらに、上記実施形態では、光信号を入出力する複数の入出力ポートを光ファイバで構成したが、複数の入出力ポートを平面導波路で構成してもよい。
【００５１】
また、上記実施形態は、光スイッチデバイスを光ＡＤＭに使用したものであるが、本発明の光スイッチデバイスは、光合分波器等にも適用できる。また、本発明の光スイッチデバイスは、波長切り替えスイッチに限らず、入出力ポートの入出力光路の切り替えを行うものであれば、適用可能である。
【００５２】
【発明の効果】
本発明によれば、入出力ポートの入出力光路を切り替えるように光部品を駆動する第１駆動手段と、光信号を入出力ポートに向かう方向に反射させる位置と光信号を入出力ポートに向かう方向からずれた方向に反射させる位置との間を移動するように光部品を駆動する第２駆動手段とを設けたので、入出力ポートの入出力光路を切り替える際に、切替対象でない他の入出力ポートを通る光信号に与える影響を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光スイッチデバイスの一実施形態を示す概略構成図であり、光スイッチデバイスをｙ軸、ｙ'軸方向に見たときの図である。
【図２】本発明に係る光スイッチデバイスの一実施形態を示す概略構成図であり、光スイッチデバイスをｘ軸方向に見たときの図である。
【図３】図１及び図２に示す光スイッチアレイの一部を示す平面図である。
【図４】図３のIV−IV線断面図である。
【図５】図３に示す基板の平面図である。
【図６】可動ミラーを環状支持部に対して傾動させた状態を示す断面図である。
【図７】図４において片持ち梁を曲げて可動ミラーを動かした状態を示す断面図である。
【図８】図１及び図２に示す光スイッチデバイスを備えた光伝送システムの一例として光ＡＤＭを示す構成図である。
【符号の説明】
１…光スイッチデバイス、２ａ〜２ｆ…入出力光ファイバ（入出力ポート）、３…アレイレンズ、４…回折格子（光分波素子）、５…レンズ、６…光スイッチアレイ（スイッチ手段）、７、７ａ〜７ｄ…可動ミラー（光部品）、８…基板（基体）、１１…片持ち梁、１２…環状支持部、１３…ヒンジ、１４…櫛歯部、１５ａ，１５ｂ…電極（第１電極、第１駆動手段）、１６…電極（第２電極、第２駆動手段）、１７…電圧源（第１電圧源、第１駆動手段）、１８…電圧源（第２電圧源、第２駆動手段）、２０…光ＡＤＭ（光伝送システム）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004205659.tif 000007
【図６】
2004205659.tif 000008
【図７】
2004205659.tif 000009
【図８】
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