(57)【要約】【課題】測定装置や測定方法によるチップ型電子部品の測定ばらつきを低減したチップ型電子部品の測定装置および測定方法を提供する。【解決手段】高周波電子部品の測定装置１は、チップ型高周波電子部品９を搬送するための駆動担持体１４と、この駆動担持体１４に設けられた複数の搬送用ノズル１６と、チップ型高周波電子部品９を測定治具に押し付けるための加圧用ノズル１８とを備えている。駆動担持体１４は略円板状の回転体であり、矢印Ｋ方向に間欠的に回転する。この回転に従って、チップ型高周波電子部品９が外周方向に搬送される。【選択図】　図１
2004020351.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品本体の外表面に外部電極が設けられたチップ型電子部品を搬送するための駆動担持体と、
前記駆動担持体に設けられた、前記チップ型電子部品を吸着保持する複数の搬送用ノズルと、
前記チップ型電子部品を前記搬送用ノズルから移し替えられるとともに、前記外部電極が前記部品本体と測定端子との間に介在するように、該チップ型電子部品を該測定端子に押し付けるための加圧用ノズルと、
を備えたことを特徴とするチップ型電子部品の測定装置。
【請求項２】
前記搬送用ノズルが吸着保持している部分以外の前記チップ型電子部品の上面に、前記加圧用ノズルが接して加圧することを特徴とする請求項１に記載のチップ型電子部品の測定装置。
【請求項３】
前記搬送用ノズルが金属からなり、前記加圧用ノズルが樹脂からなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のチップ型電子部品の測定装置。
【請求項４】
前記チップ型電子部品は、部品本体の少なくとも一側面に複数の帯状の外部電極が設けられたものであることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載のチップ型電子部品の測定装置。
【請求項５】
駆動担持体に設けられた複数の搬送用ノズルが、部品本体の外表面に外部電極が設けられたチップ型電子部品をそれぞれ吸着保持して移送する工程と、
前記搬送用ノズルによって移送されてきた前記チップ型電子部品を、該搬送用ノズルから加圧用ノズルに移し替える工程と、
前記外部電極が前記部品本体と測定端子との間に介在するように、前記加圧用ノズルで前記チップ型電子部品を前記測定端子に押し付ける工程と、
前記加圧用ノズルによって前記測定端子に押し付けられた状態で、前記チップ型電子部品の電気特性を測定する工程と、
を備えたことを特徴とするチップ型電子部品の測定方法。
【請求項６】
前記チップ型電子部品は、部品本体の少なくとも一側面に複数の帯状の外部電極が設けられたものであることを特徴とする請求項５に記載のチップ型電子部品の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ型電子部品の測定装置および測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、多層デバイスやＬＣフィルタなどのチップ型高周波電子部品の電気特性を測定する場合には、チップ型高周波電子部品の外表面に形成された外部電極と測定治具の測定端子とを確実に接触させる必要がある。従って、一般に、チップ型高周波電子部品の電気特性測定の際には、その外部電極を測定治具の測定端子に押し付けている。
【０００３】
ところで、従来のチップ型高周波電子部品の測定装置は、例えば、図８に示すようなノズル６０を備えていた。このノズル６０は、内部に吸引管６２が配設されている。吸引管６２の一方の開口端６２ａは、チップ型高周波電子部品９を吸着させるために開放されている。このノズル６０は、チップ型高周波電子部品９を吸着して搬送した後、そのまま、チップ型高周波電子部品９の外部電極１０を測定治具の端子電極（図示せず）に押し付けて測定していた。つまり、ノズル６０は搬送ノズルと加圧ノズルを兼用するものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の測定装置は、チップ型高周波電子部品９を吸引するノズル６０が部品の搬送と測定時の加圧の両方を兼用しているため、測定用の加圧ノズルが搬送される各部品９毎に複数設けられていることになる。このように部品９毎に測定用の加圧ノズルが異なると、加圧ノズルの材質や形状、加圧ノズルと部品９との接触面積、あるいは、加圧ノズルと部品９との接触位置のばらつきにより、各部品９の測定結果にばらつきが生じる。このばらつきは各部品９の電気的特性のばらつきではなく、測定装置や測定方法によるばらつきであるため、部品９の良否判別を誤るおそれがある。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、測定装置や測定方法によるチップ型電子部品の測定ばらつきを低減したチップ型電子部品の測定装置および測定方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および作用】
前記目的を達成するため、本発明に係る電子部品の測定装置は、
（ａ）部品本体の外表面に外部電極が設けられたチップ型電子部品を搬送するための駆動担持体と、
（ｂ）駆動担持体に設けられた、チップ型電子部品を吸着保持する複数の搬送用ノズルと、
（ｃ）チップ型電子部品を搬送用ノズルから移し替えられるとともに、外部電極が部品本体と測定端子との間に介在するように、該チップ型電子部品を該測定端子に押し付けるための加圧用ノズルと、
を備えたことを特徴とする。チップ型電子部品は、例えば、部品本体の少なくとも一側面に複数の帯状の外部電極を設けたものである。加圧用ノズルは、搬送用ノズルが吸着保持している部分以外のチップ型電子部品の上面に接して加圧する構造を有している。
【０００７】
以上の構成により、駆動担持体に設けられた複数の搬送用ノズルが、部品本体の外表面に外部電極が設けられたチップ型電子部品をそれぞれ吸着保持して移送する。搬送用ノズルによって移送されてきたチップ型電子部品は、搬送用ノズルから加圧用ノズルに移し替えられる。外部電極が部品本体と測定端子との間に介在するように、加圧用ノズルでチップ型電子部品を測定端子に押し付ける。加圧用ノズルによって測定端子に押し付けられた状態で、チップ型電子部品の電気特性が測定される。
【０００８】
また、搬送用ノズルを金属で作り、加圧用ノズルを樹脂で作ることにより、搬送用ノズルの長寿命化が図れる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るチップ型電子部品の測定装置および測定方法の実施の形態について添付の図面を参照して説明する。
【００１０】
図１および図２に示すように、チップ型電子部品の測定装置１は、チップ型高周波電子部品９を搬送するための駆動担持体１４と、この駆動担持体１４に設けられた複数の搬送用ノズル１６と、測定用パターン５３（測定端子）が設けられた測定治具５０と、チップ型高周波電子部品９を測定治具５０に押し付けるための加圧用ノズル１８とを備えている。
【００１１】
駆動担持体１４は略円板状の回転体であり、矢印Ｋ方向に間欠的に回転する。この回転に従って、チップ型高周波電子部品９が外周方向に搬送される。回転体１４の内部には、放射状に導管４０が配設されている。それぞれの導管４０にはバルブ４１が設けられている。
【００１２】
搬送用ノズル１６は、回転体１４の外周部に所定の間隔で取り付けられている。それぞれの搬送用ノズル１６の内部には吸引管４５が配設されている。吸引管４５の一方の開口端４５ａは回転体１４の導管４０に連通しており、他方の開口端４５ｂはチップ型高周波電子部品９を吸着させるために開放されている。さらに、搬送用ノズル１６は、加圧用ノズル１８を通すための切り欠きを有した形状をしている。
【００１３】
搬送用ノズル１６のそれぞれには、導管４０を通して真空源（真空ポンプ）３５からの真空が与えられ、この真空による吸引に基づいて、搬送用ノズル１６の先端部にチップ型高周波電子部品９を吸着させることができる。バルブ４１は図示しない制御装置によって制御され、それによって搬送用ノズル１６の吸引管４５内は真空の供給状態と非供給状態とに切り替えられる。
【００１４】
そして、複数の搬送用ノズル１６のうち所定の位置にきた搬送用ノズル１６は、バルブ４１が真空の非供給状態に切り替えられたとき、圧縮空気源（コンプレッサ）２９からの圧縮空気が代わりに供給され、チップ型高周波電子部品９を搬送用ノズル１６から強制的に排出するように制御装置によって制御される。
【００１５】
加圧用ノズル１８は矢印Ａ方向に移動可能であり、その内部には吸引管４６が配設されている。吸引管４６の一方の開口端は、加圧用ノズル１８の先端１８ａに設けられている。加圧用ノズル１８には、搬送用ノズル１６と同様、バルブ４２を介して真空源３５からの真空が与えられ、この真空による吸引に基づいて加圧用ノズル１８の先端部にチップ型高周波電子部品９を吸着させることができる。加圧用ノズル１８は低誘電率の樹脂でできていることが好ましい。なぜなら、チップ型高周波電子部品９の電気特性を測定する場合、電子部品９が放射する電磁波を金属などで遮ると、測定値に影響がでるため、測定中にチップ型高周波電子部品９に接する加圧用ノズル１８には、金属を使用できないからである。そして、チップ型高周波電子部品９の外部電極相互間に発生する寄生容量を減らすために、低誘電率の樹脂が好ましいのである。
【００１６】
測定治具５０は、ベース台５１の上面に、測定用パターン５３を設けた回路基板５２をセットし、その両端にはコネクタ５４ａ，５４ｂが取り付けられている。コネクタ５４ａ，５４ｂは、ケーブルを介して測定器（図示せず）に接続されている。
【００１７】
次に、この測定装置１の全体的な動作について説明する。回転体１４の周囲には、受け渡し機構部、特性測定部および取り出し機構部が配置されている。受け渡し機構部はアームなどを有しており、このアームでチップ型高周波電子部品９を持ち上げ、搬送用ノズル１６の下面に近接させる。近接のタイミングに合わせて、受け渡し機構部に面した位置にある搬送用ノズル１６の吸引管４５内は真空源３５によって減圧され、チップ型高周波電子部品９は両端それぞれ一箇所で吸引管４５に吸着保持される。
【００１８】
回転体１４の回転に従って搬送されるチップ型高周波電子部品９の搬送経路の途中には、特性測定部が設けられている。特性測定部は、チップ型高周波電子部品９の電気特性、例えば、周波数特性を測定するためのものである。そのため、特性測定部には、図２に示すように、測定治具５０が配設されている。チップ型高周波電子部品９が特性測定部の位置に搬送されてくると、制御装置からの信号によって加圧用ノズル１８が下降する。そして、その先端１８ａが、搬送用ノズル１６の切り欠き１６ａを通ってチップ型高周波電子部品９の上面に接すると、加圧用ノズル１８の下降は一時停止する。次に、バルブ４２が作動し、加圧用ノズル１８の吸引管４６内が真空源３５によって減圧され、チップ型高周波電子部品９は吸引管４６によっても吸着保持される。
【００１９】
この後、制御装置からの信号によって、特性測定部に面したバルブ４１が作動し、搬送用ノズル１６の吸引管４５内への真空源３５からの真空が非供給状態とされる。これにより、チップ型高周波電子部品９は、一旦、搬送用ノズル１６の吸着保持が解かれる。
【００２０】
次に、加圧用ノズル１８がチップ型高周波電子部品９を搬送用ノズル１６から移し替えるとともに、吸着保持した状態で再び下降する。そして、図３に示すように、チップ型高周波電子部品９の側面に形成された複数の帯状の外部電極１０が測定治具５０の測定用パターン５３に接すると、加圧用ノズル１８は停止する。加圧用ノズル１８は適度の圧力で、チップ型高周波電子部品９の部品本体の中央部を押さえ、外部電極１０が部品本体と測定用パターン５３の間に介在するように、チップ型高周波電子部品９を測定治具５０に押し付ける。リード端子付き電子部品の場合と異なり、加圧用ノズル１８が外部電極１０を直接加圧するのではなく、広面積の部品本体を介して加圧できるので、安定した接触性が得られる。この状態で、チップ型高周波電子部品９の電気特性が測定される。測定データは制御装置に送られる。制御装置は、この測定データに基づいてチップ型高周波電子部品９を良品と不良品に選別する。
【００２１】
測定が終了すると、制御装置からの信号によって加圧用ノズル１８は上昇し、チップ型高周波電子部品９の上面が搬送用ノズル１６の下面に接すると、加圧用ノズル１８の上昇は一時停止する。次に、バルブ４１が作動し、搬送用ノズル１６の吸引管４５内が真空源３５によって減圧され、チップ型高周波電子部品９は吸引管４５によっても吸着保持される。
【００２２】
この後、バルブ４２が作動し、加圧用ノズル１８の吸引管４６内への真空源３５からの真空が非供給状態とされる。これにより、チップ型高周波電子部品９は、加圧用ノズル１８から搬送用ノズル１６へ移し替えられる。加圧用ノズル１８は再び上昇し、元の位置に復帰する。
【００２３】
電気測定で不良品となったチップ型高周波電子部品９は、不良品取り出し機構部に搬送される。ここでバルブ４１が作動し、真空源３５からの真空が非供給状態とされるとともに、圧縮空気源２９からの圧縮空気が搬送用ノズル１６の吸引管４５内に与えられ、チップ型高周波電子部品９が不良品トレイ（図示せず）に強制的に排出される。
【００２４】
一方、電気測定で良品となったチップ型高周波電子部品９は、不良品取り出し機構部を素通りし、良品取り出し機構部に搬送される。なお、この不良品取り出し機構部と良品取り出し機構部の順序は搬送中に誤って不良品が良品の中に入らないようにするためである。そして、電気測定で良品となったチップ型高周波電子部品９が搬送されてきたときには、バルブ４１が作動し、真空源３５からの真空が非供給状態とされるとともに、圧縮空気源２９からの圧縮空気が搬送用ノズル１６の吸引管４５内に与えられ、チップ型高周波電子部品９が良品トレイまたはキャリアテープまたは収納ケース（図示せず）に強制的に排出される。
【００２５】
このようにして、この測定装置１によれば、能率的にかつ円滑にチップ型高周波電子部品９を搬送しながら、電気特性を測定することができる。そして、常に同じ加圧用ノズル１８によりチップ型高周波電子部品９を加圧し、測定することができるので、従来のノズル間の材質や形状のばらつき、あるいは、ノズルと測定治具との位置関係のばらつきによる測定ばらつきを解消することができる。
【００２６】
また、搬送用ノズル１６と加圧用ノズル１８を別体にしているので、測定中はチップ型高周波電子部品９に接しない搬送用ノズル１６を摩耗の少ない金属で作ることができる。従って、点検や交換を頻繁に行う必要があるノズルは、摩耗し易い低誘電率樹脂からなる加圧用ノズル１８のみとなり、維持コストが安価になる。さらに、搬送中のチップ型高周波電子部品９の落下などの不具合も低減することができる。
【００２７】
なお、本発明に係るチップ型電子部品の測定装置および測定方法は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。
【００２８】
例えば、特性測定部におけるタクトタイムを短縮するために、以下のような動作をする測定装置であってもよい。バルブ４２を常時作動させておくとともに、特性測定部のバルブ４１も常時作動させておく。つまり、ノズル１６，１８の吸引管４５，４６内を真空源３５によって常時減圧しておく。測定時は、加圧用ノズル１８が下降し、チップ型高周波電子部品９を搬送用ノズル１６から引き離す。測定終了後は、加圧用ノズル１８は上昇し、搬送用ノズル１６とすれ違う際に、チップ型高周波電子部品９が加圧用ノズル１８から搬送用ノズル１６へ移し替えられる。チップ型高周波電子部品９の移し替えは、加圧用ノズル１８の移動中に行われ、加圧用ノズル１８は一時停止しない。
【００２９】
前記実施形態の測定装置は、駆動担持体として円板状の回転体を用い、チップ型高周波電子部品をこの回転体で回転搬送しているが、必ずしもこれに限るものではない。駆動担持体はベルトコンベアのようなものであってもよく、チップ型高周波電子部品をこのベルトコンベアなどで、直線搬送するものであってもよい。
【００３０】
また、搬送用ノズル１６と加圧用ノズル１８の形状も任意であり、図４に示すように、搬送用ノズル１６の中央部に貫通孔１６ｂを設け、この貫通孔１６ｂを加圧用ノズル１８が挿通するようにしてもよい。搬送用ノズル１６は、チップ型高周波電子部品９の四隅を吸着保持するために、四つの開放開口端４５ｂを有している。これにより、サイズの大きいチップ型高周波電子部品９を確実に保持し、その姿勢が搬送中に変わるのを防止することができる。
【００３１】
あるいは、図５および図６に示すように、搬送用ノズル１６はチップ型高周波電子部品９の中央部を吸着保持し、加圧用ノズル１８はチップ型高周波電子部品９の両端を吸着保持する構造であってもよい。これにより、測定時に中央部を加圧できない金属ケース付きチップ型高周波電子部品９も取り扱うことができる測定装置が得られる。あるいは、図７に示すように、加圧用ノズル１８は、チップ型高周波電子部品９の四隅を加圧する構造であってもよい。
【００３２】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、常に同じ加圧用ノズルによりチップ型電子部品を加圧し、測定することができるので、従来の加圧ノズルの材質や形状、加圧ノズルとチップ型電子部品との接触面積、あるいは、加圧ノズルとチップ型電子部品との接触位置のばらつきによって各チップ型電子部品の測定結果にばらつきが生じるという不具合を解消できる。この結果、測定装置や測定方法によるチップ型電子部品の測定ばらつきを低減したチップ型電子部品の測定装置および測定方法を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るチップ型電子部品の測定装置および測定方法の一実施形態を示す概略平面図。
【図２】搬送用ノズルと加圧用ノズルの構造を示す断面図。
【図３】搬送用ノズルと加圧用ノズルの動作を説明するための正面図。
【図４】他の実施形態を示す平面図。
【図５】別の他の実施形態を示す断面図。
【図６】図５に示した実施形態の平面図。
【図７】さらに別の他の実施形態を示す平面図。
【図８】従来のチップ型電子部品の測定装置のノズルの構造を示す断面図。
【符号の説明】
１…測定装置
９…チップ型高周波電子部品
１４…駆動担持体（回転体）
１６…搬送用ノズル
１８…加圧用ノズル
５０…測定治具
【図１】
2004020351.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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