(57)【要約】【課題】電気光学装置に用いる液晶パネル製造時の歩止まりの向上、及び製品不良を防止した電気光学装置用製造装置及びこれに用いる加圧ヘッドとその製造方法を提供する。【解決手段】両基板１，２の各内面をシール材３を介して対向配置し、内部空間（セルギャップ）を有するように両基板１，２を圧着する電気光学装置用製造装置５０に用いる加圧ヘッド４において、少なくとも一方の基板の外面を加圧する上記加圧ヘッド４の基板当接面４ａに、複数の凹凸部または、凸部を形成したことを特徴とする。【選択図】  図１
2004151343.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧ヘッドが両基板の各内面をシール材を介して対向配置した電気光学装置の少なくとも一方の基板の外面に当接し、加圧することにより両基板を内部空間を有して圧着させる電気光学装置用製造装置において、
上記加圧ヘッドの基板当接面に、複数の凹凸部または、凸部を形成したことを特徴とする電気光学装置用製造装置。
【請求項２】
両基板の各内面をシール材を介して対向配置し、内部空間を有するように両基板を圧着する電気光学装置の製造装置において、
透明部材で構成され、両基板の接着時に少なくとも一方の基板の外面に当接して加圧する基板当接面に、レーザーまたはドライエッチングにより複数の凹凸部または凸部が形成された加圧ヘッドと、
上記加圧ヘッドの動作を制御する加圧ヘッド制御手段と、
上記加圧ヘッドの上方から上記加圧ヘッドを通して、上記両基板のアライメントマークを検出するカメラと、
上記加圧ヘッドの上方から上記加圧ヘッドを通して、上記シール材に同シール材を硬化させるための紫外線を照射する紫外線照射部と、
上記紫外線照射部に紫外線を供給する発光源と、
を具備することを特徴とする電気光学装置用製造装置。
【請求項３】
上記加圧ヘッド制御手段は、上記両基板のアライメントマークを上記カメラによって検出することにより、前記両基板を接着する際、位置ずれが起きないよう、上記加圧ヘッドの動作を制御することを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置用製造装置。
【請求項４】
上記紫外線照射部は、上記発光源から供給された紫外線を上記シール材に照射することにより、両基板を接着するシール材を仮硬化することを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置用製造装置。
【請求項５】
上記加圧ヘッドに形成された凹凸部または凸部は、上記両基板の接着後、上記加圧ヘッドを基板の被当接面から離隔する際、同被当接面との密着を回避することを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置用製造装置。
【請求項６】
上記カメラは、ＣＣＤカメラによって構成されており、上記加圧ヘッドの上方から、上記加圧ヘッドの基板当接面に複数の凹凸部または凸部が形成されていない箇所を通して、上記両基板のアライメントマークを検出することを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置用製造装置。
【請求項７】
両基板の各内面をシール材を介して対向配置した電気光学装置の少なくとも一方の基板の外面に当接し、加圧することにより両基板を内部空間を有して圧着させる電気光学装置用製造装置に用いる加圧ヘッドにおいて、
上記加圧ヘッドの基板当接面に、複数の凹凸部または、凸部を形成したことを特徴とする加圧ヘッド。
【請求項８】
上記加圧ヘッドの基板当接面は、上記少なくとも一方の基板を保持するための真空吸引孔が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の加圧ヘッド。
【請求項９】
上記加圧ヘッドの基板当接面に形成された複数の凹凸部または凸部は、炭酸レーザーまたはドライエッチングにより形成することを特徴とする請求項６に記載の加圧ヘッド。
【請求項１０】
上記加圧ヘッドの基板当接面に形成された複数の凹凸部または凸部は、上記加圧ヘッドの基板当接面と、加圧される基板外面との密着を回避することを特徴とする請求項６に記載の加圧ヘッド。
【請求項１１】
上記加圧ヘッドの基板当接面に形成される複数の凸部は、加圧ヘッドが当接する基板外面に対し、同一の高さで当接するように形成されることを特徴とする請求項６に記載の加圧ヘッド。
【請求項１２】
両基板の各内面をシール材を介して対向配置し、内部空間を有するように両基板を加圧接着させる電気光学装置用製造装置に用いる加圧ヘッドの製造方法において、
少なくとも一方の基板の外面を加圧する上記加圧ヘッドの基板当接面に、炭酸レーザーまたはドライエッチングにより複数の凹凸部または凸部を形成する工程を具備することを特徴とする加圧ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気光学装置用製造装置及びこれに用いる加圧ヘッドとその製造方法に関し、特に電気光学装置を製造するための加圧ヘッドとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、電気光学装置における液晶パネルは、ガラス基板、石英基板等からなる２枚の基板間に液晶を封入して構成されており、一方の基板に、例えば薄膜トランジスタ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ、以下、ＴＦＴと称す）をマトリクス状に配置し、他方の基板に対向電極を配置して、両基板間に封止した液晶層の光学特性を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能としている。
【０００３】
また、ＴＦＴを配置したＴＦＴ基板と、このＴＦＴ基板に相対して配置される他方の基板（以下、対向基板と称す）とは、別々に製造され、この両基板は、パネル組立工程において高精度に貼り合わされた後（例えばアライメント誤差１μ以内）、液晶が封入されるようになっている。
【０００４】
このパネル組立工程は、先ず、各基板の製作工程において夫々製造されたＴＦＴ基板と対向基板との液晶層と接する面上に、液晶分子を基板面に沿って配向させるための配向膜を形成する。この配向膜は、例えばポリイミドを約数十ナノメータの厚さで印刷することにより形成される。その後、焼成を行い、さらに、電圧無印加時の液晶分子の配列を決定させるためのラビング処理を施す。次いで、一方の基板上の周縁に接着剤となるＵＶ熱併用型樹脂で構成されたシール材を配設し、このシール材を介してＴＦＴ基板と対向基板とを対向させる。その後、対向基板を加圧ヘッドに真空吸着させ、この状態でアライメントを施しながら対向基板を例えば６ｋｇｆ〜８ｋｇｆの荷重で加圧することによってシール材を圧着する。さらに、前記シール材に紫外線を照射させることによって仮硬化させ、次いで、焼成を行って本硬化した後、シール材の一部に設けられた切り欠きを通して両基板間に形成されている内部空間（セルギャップ）に液晶を封入するといった手法が用いられている。
【０００５】
ところで、上記対向基板を加圧ヘッドで加圧することによって圧着させるパネルの組立工程において、上記加圧ヘッドの対向基板に当接する基板当接面及び基板の被当接面は、両基板間に形成される内部空間、所謂セルギャップの精度を高めるために、高精度な平面（鏡面）仕上げがなされている。
【０００６】
ところが、この加圧ヘッドを用いて対向基板を加圧してシール材を仮硬化させた後、真空吸着をストップしても、加圧ヘッドの基板当接面と対向基板の被当接面の間に真空状態が残ってしまい、両者が密着した状態が持続（以下、リンディングと称す）してしまう。よって、前記加圧ヘッドを対向基板から離隔する際、仮硬化状態のパネルから対向基板を剥離させてしまう、または上記シール材が上記基板から剥がれてしまう、あるいは、ＴＦＴ基板に対する対向基板のアライメントがずれてしまうといった問題があった。
【０００７】
上記問題に鑑みて、例えば特許文献１には、対向基板に当接する加圧ヘッドの基板当接面に凹部を形成し、対向基板加圧後、加圧ヘッドの基板当接面と対向基板の被当接面がリンディングすることを防止するようにした電気光学装置用製造装置に用いる加圧ヘッドが開示されている。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００１−１４２０８５号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記特許文献１に開示されている電気光学装置用製造装置に用いる加圧ヘッドにおいては、対向基板に当接する上記加圧ヘッドの当接面に凹部を形成するだけであるから、上記当接面の真空状態が解消されない場合が有り、対向基板加圧後の加圧ヘッド当接面と対向基板の被当接面のリンディングを完全に防止することはできない。
【００１０】
本発明は、上記事情に着目してなされたものであり、電気光学装置に用いる液晶パネル製造時の歩止まりの向上、及び製品不良を防止した電気光学装置用製造装置及びこれに用いる加圧ヘッドとその製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段、及び作用】
本発明に係る電気光学装置用製造装置は、加圧ヘッドが両基板の各内面をシール材を介して対向配置した電気光学装置の少なくとも一方の基板の外面に当接し、加圧することにより両基板を内部空間を有して圧着させる電気光学装置用製造装置において、上記加圧ヘッドの基板当接面に、複数の凹凸部または、凸部を形成したことを特徴とする。
【００１２】
本発明の電気光学装置用製造装置によれば、上記加圧ヘッドの基板当接面に、複数の凹凸部または凸部を形成したので、少なくとも一方の基板の外面に上記加圧ヘッドの基板当接面を当接させた際、前記基板及び加圧ヘッドは、完全に密着しないという効果を有する。
【００１３】
また、本発明の電気光学装置用製造装置の一つの態様としては、両基板の各内面をシール材を介して対向配置し、内部空間を有するように両基板を圧着する電気光学装置の製造装置において、透明部材で構成され、両基板の接着時に少なくとも一方の基板の外面に当接して加圧する基板当接面に、レーザーまたはドライエッチングにより複数の凹凸部または凸部が形成された加圧ヘッドと、上記加圧ヘッドの動作を制御する加圧ヘッド制御手段と、上記加圧ヘッドの上方から上記加圧ヘッドを通して、上記両基板のアライメントマークを検出するカメラと、上記加圧ヘッドの上方から上記加圧ヘッドを通して、上記シール材に同シール材を硬化させるための紫外線を照射する紫外線照射部と、上記紫外線照射部に紫外線を供給する発光源と、を具備することを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、精度良く上記両基板を仮硬化することができるという効果を有する。
【００１５】
さらに、本発明の電気光学装置用製造装置の一つの態様としては、上記加圧ヘッド制御手段は、上記両基板のアライメントマークを上記カメラによって検出することにより、前記両基板を接着する際、位置ずれが起きないよう、上記加圧ヘッドの動作を制御することを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、両基板のアライメントマークをカメラによって検出して上記加圧ヘッド制御手段により、上記加圧ヘッドの動作を制御するので、精度良く上記両基板を仮硬化させることができるという効果を有する。
【００１７】
また、本発明の電気光学装置用製造装置の一つの態様としては、上記紫外線照射部は、上記発光源から供給された紫外線を上記シール材に照射することにより、両基板を接着するシール材を仮硬化することを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、上記紫外線照射部は、上記発光源から供給された紫外線を上記シール材に照射することにより、上記両基板を接着するシール材を確実に仮硬化させることができるという効果を有する。
【００１９】
さらに、本発明の電気光学装置用製造装置の一つの態様としては、上記加圧ヘッドに形成された凹凸部または凸部は、上記両基板の接着後、上記加圧ヘッドを基板の被当接面から離隔する際、同被当接面との密着を回避することを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、上記加圧ヘッドの基板当接面に形成した複数の凹凸部または凸部で、上記加圧ヘッドの基板当接面と、加圧される基板の被加圧面との密着を回避することができるので、上記両基板の接着後、前記加圧ヘッドを前記基板から離隔する際、両者の密着による、接着した前記両基板の位置ずれを防止することができるという効果を有する。
【００２１】
また、本発明の電気光学装置用製造装置の一つの態様としては、上記カメラは、ＣＣＤカメラによって構成されており、上記加圧ヘッドの上方から、上記加圧ヘッドの基板当接面に複数の凹凸部または凸部が形成されていない箇所を通して、上記両基板のアライメントマークを検出することを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、上記ＣＣＤカメラによる検出は、上記加圧ヘッドの基板当接面の複数の凹凸部または凸部が形成されていない箇所を通して検出するので、確実に両基板のアライメントマークを検出することができるという効果を有する。
【００２３】
本発明に係る電気光学装置用製造装置に用いる加圧ヘッドは、両基板の各内面をシール材を介して対向配置した電気光学装置の少なくとも一方の基板の外面に当接し、加圧することにより両基板を内部空間を有して圧着させる電気光学装置用製造装置に用いる加圧ヘッドにおいて、上記加圧ヘッドの基板当接面に、複数の凹凸部または、凸部を形成したことを特徴とする。
【００２４】
本発明の加圧ヘッドによれば、上記加圧ヘッドの基板当接面に、複数の凹凸部または凸部を形成したので、少なくとも一方の基板の外面に上記加圧ヘッドの基板当接面を当接させた際、前記基板及び加圧ヘッドは、完全に密着しないという効果を有する。
【００２５】
また、本発明の加圧ヘッドの一つの態様としては、上記加圧ヘッドの基板当接面は、上記少なくとも一方の基板を保持するための真空吸引孔が設けられていることを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、真空吸引により上記加圧ヘッドは上記少なくとも一方の基板を保持するので、上記両基板を接着させる際、精度良く接着させることができるという効果を有する。
【００２７】
さらに、本発明の加圧ヘッドの一つの態様としては、上記加圧ヘッドの基板当接面に形成された複数の凹凸部または凸部は、炭酸レーザーまたはドライエッチングにより形成することを特徴とする。
【００２８】
この構成によれば、上記加圧ヘッドの基板当接面に形成する複数の凹凸部または凸部を、炭酸レーザーまたはドライエッチングで形成するので、精度良くまた、効率良く凹凸部または凸部を形成することができるという効果を有する。
【００２９】
さらに、本発明の加圧ヘッドの一つの態様としては、上記加圧ヘッドの当接面に形成された複数の凹凸部または凸部は、上記加圧ヘッドの当接面と、加圧される上記少なくとも一方の基板外面との密着を回避することを特徴とする。
【００３０】
この構成によれば、上記加圧ヘッドの基板当接面に形成された複数の凹凸部または凸部で、上記加圧ヘッドの基板当接面と、加圧される基板の外面の密着を回避することができるので、上記両基板の接着後、前記加圧ヘッドを前記基板から離隔する際、両者の密着による、接着した前記両基板の位置ずれ、基板剥離、シール浮き等を防止することができるという効果を有する。
【００３１】
また、本発明の加圧ヘッドの一つの態様としては、上記加圧ヘッドの基板当接面に形成される複数の凸部は、加圧ヘッドが当接する基板外面に対し、同一の高さで当接するように形成されることを特徴とする。
【００３２】
この構成によれば、上記加圧ヘッドの基板当接面に形成された複数の凸部は、加圧ヘッドが当接する基板の外面に対し、加圧ヘッドが同一の高さで当接するので、前記基板の外面を、均一に加圧することができるという効果を有する。
【００３３】
本発明に係る電気光学装置用製造装置に用いる加圧ヘッドの製造方法は、両基板の各内面をシール材を介して対向配置し、内部空間を有するように両基板を加圧接着させる電気光学装置用製造装置に用いる加圧ヘッドの製造方法において、少なくとも一方の基板の外面を加圧する上記加圧ヘッドの基板当接面に、炭酸レーザーまたはドライエッチングにより複数の凹凸部または凸部を形成する工程を具備することを特徴とする。
【００３４】
本発明の電気光学装置用製造装置に用いる加圧ヘッドの製造方法によれば、上記加圧ヘッドの基板当接面に、複数の凹凸部または、凸部を形成することにより、少なくとも一方の基板の外面に上記加圧ヘッドを当接させた際、前記基板及び加圧ヘッドは、完全に密着しないので、基板と加圧ヘッドの離隔時に両者は容易に離隔するという効果を有する。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図示の例によって説明する。尚、本実施の形態においては、電気光学装置における液晶表示装置を例に挙げて説明する。
【００３６】
図１は、本発明の一実施の形態を示す液晶表示装置用製造装置の構成の概略を示す縦断面図、図２は、図１の液晶表示装置用製造装置における加圧ヘッドの底面図、図３は、図２の加圧ヘッドの基板当接面を示す要部拡大底面図、図４は、図３のＩＶ−ＩＶ’線に沿う、加圧ヘッドの基板当接面に形成した凹凸部を示した要部拡大縦断面図である。
【００３７】
図１に示すように、液晶表示装置用製造装置１００は、基板上にアライメントマーク１ａを有するＴＦＴ基板１と、これに対向する位置に配設され、基板上にアライメントマーク２ａを有する対向基板２と、ＴＦＴ基板１、及び対向基板２の周縁部に配設され、両基板を接合するＵＶ熱併用型樹脂で構成されたシール材３と、両基板間に封入された電気光学物質である液晶１０を有して構成される液晶表示装置５０を製造するための装置である。
【００３８】
この製造装置１００は、不図示の緩衝材が配設された面にＴＦＴ基板１を載置する台板５と、加圧ヘッド４と、加圧ヘッド４の動作を制御する加圧ヘッド制御手段９と、加圧ヘッド４の上方から加圧ヘッド４を通して、ＴＦＴ基板１及び対向基板２のアライメントマーク１ａ、２ａを検出するＣＣＤカメラ６と、紫外線照射時に加圧ヘッド４の上方に移動し、加圧ヘッド４の上方から加圧ヘッド４を通して、シール材３に紫外線を照射する紫外線照射部７と、この紫外線照射部７の内部に配設されていて、紫外線照射時に、後述する発光源８からの紫外線をシール材３に向けて反射する全反射ミラーで形成された可動ミラー７ａと、紫外線照射部７に紫外線を供給する発光源８とで、その主要部が構成されている。
【００３９】
上記加圧ヘッド４は、ほぼ全体がガラス等の透明部材で構成されている。この加圧ヘッド４は、下面に対向基板当接面４ａが形成されており、さらにこの前記当接面４ａには、後述する複数の島部２４、真空吸引孔２０（図２，３参照）が形成されている。このように形成された加圧ヘッド４は、液晶表示装置５０の製造時、対向基板２のＴＦＴ基板１と対向している内面とは反対の外面２ｂに当接し、不図示の真空ポンプにより真空吸引孔２０を介して基板２を真空吸着し、この状態で対向基板２を加圧することによって対向基板２とＴＦＴ基板１をシール材３を介して圧着させるものである。
【００４０】
次に、このように構成された液晶表示装置用製造装置１００を用いて製造する液晶表示装置５０の製造方法を説明する。
【００４１】
先ず、図１に示すように両基板の製造工程において夫々製造された、例えば８インチ以上の石英等の大板からなるＴＦＴ基板１を台板５上に載置した後、このＴＦＴ基板１に対し、規定の大きさに切り出した複数個の対向基板２とを対向させ、その対向面、即ち、対向基板２、及びＴＦＴ基板１の液晶１０と接する面上のいずれか一方の基板の周縁部に接着剤となる紫外線硬化樹脂またはＵＶ熱併用型樹脂で構成されたシール材３を配設し、このシール材を用いてＴＦＴ基板と対向基板を貼り合わせる。
【００４２】
次に、加圧ヘッド４の基板当接面４ａを、複数個の対向基板２のうち１つの対向基板２の外面２ｂに当接させ、次いで、上記基板当接面４ａの真空吸引孔２０を介して真空吸着する。
【００４３】
さらに、加圧ヘッド４の上方に配設されたＣＣＤカメラ６が、ガラスからなる加圧ヘッド４を通して、ＴＦＴ基板１及び対向基板２のアライメントマーク１ａ、２ａを検出することにより画像処理を行い、対向基板２とＴＦＴ基板１を貼り合わせる際のアライメントズレを、例えば１μ以内となるよう加圧ヘッド制御手段９に情報を伝達する。
【００４４】
その後、加圧ヘッド制御手段９の動作制御により、加圧ヘッド４が、例えば６ｋｇｆ〜８ｋｇｆの荷重で対向基板２を前記アライメントマーク１ａ、２ａがずれないよう位置合わせをしながら加圧し、これによってシール材３を圧着させる。
【００４５】
次いで、前記シール材３に紫外線を照射する。つまり、紫外線照射部７を加圧ヘッド４の上方に移動し、発光源８で発光された紫外線を、紫外線照射部７の内部に配設された可動ミラー７ａで反射させ、加圧ヘッド４を通して、シール材３に紫外線を照射する。これにより、ＵＶ熱併用型樹脂で構成されたシール材３は仮硬化する。
【００４６】
その後、加圧ヘッド４の対向基板２に対する真空吸着を止め、加圧ヘッド制御手段９の動作制御により、対向基板２の外面２ｂから加圧ヘッド４を離隔させる。そして、焼成を行ってシール材３を本硬化した後、シール材の一部に設けられた不図示の切り欠きを通して、両基板間に形成されている内部空間（セルギャップ）に電気光学物質である液晶１０を封入し、最後に対向基板２に相対するＴＦＴ基板１を切断することによって１つの液晶表示装置５０は製造される。
【００４７】
ここで、上述したように、加圧ヘッド４の基板当接面４ａが、高精度な平面（鏡面）仕上げがなされていると、加圧ヘッド４を用いて対向基板２を加圧して仮硬化させた後、真空吸着をストップしても、加圧ヘッド４の基板当接面４ａと対向基板の外面２ｂの間に真空状態が残ってしまい、両者がリンディングしてしまう。
【００４８】
そこで、本発明の一実施の形態においては、図２乃至図３に示すように、加圧ヘッド４の基板当接面４ａに凹部２１、凸部２２からなる凹凸部３０を形成してある。
【００４９】
加圧ヘッド４の基板当接面４ａには、真空吸引孔２０及び島部２４が形成されている。この島部２４は、後述する凸部２２に対して段差を有するので、加圧ヘッド４を対向基板２から離隔する際の対向基板当接面２ｂとのリンディングは防止される。
【００５０】
凹凸部３０は、まず、加圧ヘッド４の基板当接面４ａの周縁部に、真空吸引孔２０、島部２４を回避する位置に、例えば不図示の炭酸レーザーによって基板当接面４ａを低温度で溶かしながら、図４に示すように、ピッチ▲１▼１〜２ｍｍ間隔で、深さ▲２▼１〜３μ、凹幅▲３▼５〜３０μの凹部２１を周縁部の内側から外側に向かって互いが交差しないよう直線的に複数本形成する。また、このように炭酸レーザーにより直線的に凹部２１が形成されると、これと同時に、凹部２１の両脇には炭酸レーザーによるガラスの熱変形により常に一定の高さ▲４▼０．１〜０．５μの凸状の隆起部が形成され、これが凸部２２となり、よって、複数本の凹凸部３０が形成される。凸部２２は、その高さが▲４▼０．１〜０．５μと非常に微量なため、複数本形成しても、それぞれの高さに対する誤差は無視することができるため、加圧ヘッド４の基板当接面４ａの平面性を保つことができる。
【００５１】
複数本の凹凸部３０は、周縁部の内側から外側に向かって互いが交差しないよう直線的に複数本形成することにより、基板当接面４ａの４つの角部には、凹凸部３０が形成されていないカメラ視野領域２３（図３参照）が形成される。このカメラ視野領域２３は、島部２４と同一平面に形成されており、上述した加圧ヘッド４の上方に配設されたＣＣＤカメラ６（図１参照）がＴＦＴ基板１及び対向基板２のアライメントマーク１ａ、２ａを検出する際の視野領域となるものである。また、この視野領域２３は島部２４と同一平面で形成されているため、凸部２２とは、高さ▲４▼０．１〜０．５μの段差を有することになるので対向基板外面２ｂとのリンディングを防止することができる。
【００５２】
このように、本発明の一実施の形態における液晶表示装置用製造装置及びこれに用いる加圧ヘッドは、対向基板２を加圧する加圧ヘッド４の基板当接面４ａに、凹凸部３０を形成したため、加圧ヘッド４を対向基板２から離隔する際、この凹凸部３０により、または、凹凸部３０を構成する凸部２２と加圧ヘッド４の基板当接面４ａに形成された島部２４との段差により、或いは、凹凸部３０を構成する凸部２２と加圧ヘッド４の基板当接面４ａに形成されたカメラ視野領域２３との段差により、加圧ヘッド４と対向基板２との間に発生するリンディングを防止することができる。
【００５３】
本実施の形態においては、凹凸部３０は、加圧ヘッド４の基板当接面４ａの周縁部に、真空吸引孔２０、島部２４を回避する位置に、炭酸レーザーによって周縁部の内側から外側に向かって互いが交差しないよう直線的に複数本形成するようにしたが、これに限らず、真空吸引孔２０を回避する位置であって、ＣＣＤカメラ６（図１参照）がＴＦＴ基板１及び対向基板２のアライメントマーク１ａ、２ａを検出する際のカメラ視野領域２３を確保でき、さらに、紫外線照射部７からの紫外線光の照射に悪影響を与えない位置であれば、加圧ヘッド４の基板当接面４ａ上の、どの位置に直線的に形成しても良いことは云うまでもない。
【００５４】
また、凹凸部３０は、炭酸レーザーによって形成するようにしたが、加圧ヘッド４の基板当接面にダメージを与えずに、一定高さ、深さの凹凸を形成できるものであれば、どのようなレーザーを用いても構わない。
【００５５】
さらに、凹凸部３０は、炭酸レーザーによって形成するようにしたが、加圧ヘッド４の基板当接面にダメージを与えずに、一定高さ、深さの凹凸を形成できるものであれば、既知のドライエッチングによって凹凸を形成してもよい。
【００５６】
また、シール材３は、ＵＶ熱併用型樹脂で構成されていると示したが、これに限らず、紫外線硬化樹脂で構成されていても良い。
【００５７】
さらに、加圧ヘッド４の上方から加圧ヘッド４を通して、ＴＦＴ基板１及び対向基板２のアライメントマーク１ａ、２ａを検出するカメラは、ＣＣＤカメラ６であると示したが、これに限らず、カメラであれば、どんなカメラを用いても構わないということは云うまでもない。
【００５８】
尚、図５は、本実施形態の変形例を示したものであって、加圧ヘッドの基板当接面４０ａに、上述した本発明の実施の形態と同様の位置に凸部２２０だけを形成したものである。このように凸部２２０だけを形成しても、本発明の実施の形態と同様の効果が得られるということは勿論である。
【００５９】
また、液晶表示装置５０を製造する際、対向基板２を加圧ヘッド４により加圧して硬化させるようにしたが、これに限らず、ＴＦＴ基板１を加圧しても良い。
【００６０】
さらに、以上の説明は、ＴＦＴ基板の例であるが、本発明は、ＴＦＤ基板で構成される液晶表示装置に適用しても良い。
【００６１】
また、以上の説明は、液晶表示装置の例であるが、本発明は、電気光学装置であるマトリックス構成の、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）のディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態を示す液晶表示装置用製造装置の構成の概略を示す縦断面図、
【図２】図１の液晶表示装置用製造装置における加圧ヘッドの底面図、
【図３】図２の加圧ヘッドの基板当接面のみを示す要部拡大底面図、
【図４】図３中のＩＶ−ＩＶ’線に沿う、加圧ヘッドの基板当接面に形成した凹凸部を示した要部拡大縦断面図、
【図５】本発明の一実施の形態の加圧ヘッドの変形例を示す要部拡大縦断面図。
【符号の説明】
１…基板（ＴＦＴ基板）
１ａ…アライメントマーク（ＴＦＴ基板）
２…基板（対向基板）
２ａ…アライメントマーク（対向基板）
２ｂ…対向基板外面
３…シール材
４…加圧ヘッド
４ａ，４０ａ…基板当接面
６…ＣＣＤカメラ
７…紫外線照射部
８…発光源
９…加圧ヘッド制御手段
２０…真空吸引孔
２１…凹部
２２，２２０…凸部
３０…凹凸部
５０…液晶表示装置（液晶表示装置）
１００…液晶表示装置用製造装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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