(57)【要約】【課題】流体圧バルブユニットにおいて、多数備えた流体圧バルブのうち任意のものの開閉作動を制御することができ、かつ小型で製造コストを低くする。【解決手段】パイロット圧開閉弁１５に連通する副パイロット圧流路７１に副パイロット圧を供給するとパイロット圧開閉弁１５が開弁状態となる。次に主パイロット圧供給ポート７０に主パイロット圧を供給することで、真空圧開閉弁１１が開弁状態となり、つまり流体圧バルブ１６全体が開弁状態となって真空圧供給ポート４３に真空圧を供給することで真空圧出力ポート１０より真空圧を出力できる。このような複数本の流体圧バルブ１６を複数行、複数列のマトリックス配置で設けて各行、各列にそれぞれ対応する主パイロット圧と副パイロット圧の流路へのパイロット圧の振り分けで任意の流体圧バルブを開弁でき、パイロット圧の給排制御用電磁弁も行数と列数の和の個数だけ設置すればよい。【選択図】    図５
2004316837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の主パイロット圧流路および複数の副パイロット圧流路と、
前記複数の副パイロット圧流路のうちで接続される副パイロット圧流路と前記複数の主パイロット圧流路のうちで接続される主パイロット圧流路の組み合わせがそれぞれ異なり、接続された前記副パイロット圧流路から副パイロット圧が供給されることにより前記主パイロット圧流路が接続されているパイロット圧供給ポートとパイロット圧出力ポートとの間を開通させる複数のパイロット圧開閉弁と、
前記複数のパイロット圧開閉弁の前記パイロット圧出力ポートにそれぞれ接続されて前記パイロット圧出力ポートから主パイロット圧が供給されることにより流体圧供給ポートと流体圧出力ポートとの間を開通または閉止するよう開閉作動する複数の流体圧開閉弁と、
前記流体圧開閉弁に主パイロット圧を供給された場合と逆の開閉作動を行わせる開閉戻し手段とを有し、
前記複数の流体圧開閉弁のうち任意に選択された被選択流体圧開閉弁と前記被選択流体圧開閉弁に接続する被選択パイロット圧開閉弁に対し、前記被選択パイロット圧開閉弁に接続された前記副パイロット圧流路および前記主パイロット圧流路にそれぞれ副パイロット圧および主パイロット圧を供給することにより前記被選択流体圧開閉弁を開閉作動させることを特徴とする流体圧バルブユニット。
【請求項２】
請求項１記載の流体圧バルブユニットにおいて、前記複数の流体圧開閉弁および前記複数のパイロット圧開閉弁が、前記主パイロット圧流路の数と前記副パイロット圧流路の数にそれぞれ対応する複数行、複数列のマトリックス配置で１つのユニットブロックの内部に収容されていることを特徴とする流体圧バルブユニット。
【請求項３】
請求項１または２記載の流体圧バルブユニットにおいて、前記流体圧開閉弁は主パイロット圧が供給されると前記流体圧供給ポートと前記流体圧出力ポートとの間を開通させることを特徴とする流体圧バルブユニット。
【請求項４】
請求項１または２記載の流体圧バルブユニットにおいて、前記流体圧開閉弁は主パイロット圧が供給されると前記流体圧供給ポートと前記流体圧出力ポートとの間を閉止させることを特徴とする流体圧バルブユニット。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の流体圧バルブユニットにおいて、前記流体圧供給ポートに供給される流体圧が真空圧であることを特徴とする流体圧バルブユニット。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の流体圧バルブユニットにおいて、前記流体圧供給ポートに供給される流体圧が正圧であることを特徴とする流体圧バルブユニット。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の流体圧バルブユニットにおいて、前記パイロット圧開閉弁および前記流体圧開閉弁がスプールタイプの３ポート弁であって、それぞれ閉止状態の際に前記パイロット圧出力ポートおよび前記流体圧出力ポートを前記３ポート弁の排気ポートを介して大気に連通することを特徴とする流体圧バルブユニット。
【請求項８】
請求項４記載の流体圧バルブユニットにおいて、前記流体圧開閉弁がスプールタイプの３ポート弁であって、閉止状態の際に前記３ポート弁の排気ポートを介して前記流体圧出力ポートに正圧を供給することを特徴とする流体圧バルブユニット。
【請求項９】
請求項７記載の流体圧バルブユニットにおいて、前記パイロット圧開閉弁の前記パイロット圧出力ポートおよび前記流体圧開閉弁の前記流体圧出力ポートがそれぞれスプールの軸方向端面側に設けられ、かつ前記パイロット圧出力ポートおよび前記流体圧出力ポートはそれぞれ前記スプールの内部に形成された出力連通路を介して前記スプールの外周側面に設けられた連通開口孔と連通することを特徴とする流体圧バルブユニット。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の流体圧バルブユニットにおいて、前記パイロット圧開閉弁は通常状態で閉止状態となる単動型であり、前記流体圧開閉弁は複動型であって前記開閉戻し手段が共通の１つのリセット圧流路から全ての前記流体圧開閉弁にリセット圧を供給して主パイロット圧を供給した場合と逆の開閉作動を行わせることを特徴とする流体圧バルブユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は流体圧の供給と停止を切り換える流体圧バルブを多数本備えた流体圧バルブユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば空気圧などの流体圧を利用してアクチュエータの駆動や微細部材の吸着を行う流体圧駆動装置などに対し、流体圧の供給と停止を切り換える流体圧バルブを多数本一体に備えた流体圧バルブユニットがあり、これは１つの流体圧供給源から多数の流体圧駆動装置へ流体圧を分配供給するにあたって個別にその供給と停止の切り換えを設定できるようになっている。
【０００３】
それぞれの流体圧バルブは圧縮空気などのパイロット圧を供給または排出されることにより開閉作動する構成のものが多く、従来の流体圧バルブユニットではそのようなパイロット圧の給排切り換え用の制御弁を多数の流体圧バルブにそれぞれ個別に対応させて設けていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながらパイロット圧の給排制御弁は大型かつ高価なものであり、上記構成のように流体圧バルブと同じ個数設置して各流体圧バルブに個別に対応させた場合には、装置全体が大型化しまた製造コストが増大してしまう問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、多数備えた流体圧バルブのうち任意のものの開閉作動を制御することができ、かつ小型で製造コストを低くできる流体圧バルブユニットを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の流体圧バルブユニットは、複数の主パイロット圧流路および複数の副パイロット圧流路と、接続される副パイロット圧流路と接続される主パイロット圧流路の組み合わせがそれぞれ異なり、接続された副パイロット圧流路から副パイロット圧が供給されることにより主パイロット圧流路が接続されているパイロット圧供給ポートとパイロット圧出力ポートとの間を開通させる複数のパイロット圧開閉弁と、複数のパイロット圧開閉弁のパイロット圧出力ポートにそれぞれ接続されてそこから主パイロット圧が供給されることにより流体圧供給ポートと流体圧出力ポートとの間を開閉作動する複数の流体圧開閉弁と、流体圧開閉弁に主パイロット圧を供給された場合と逆の開閉作動を行わせる開閉戻し手段とを有し、任意に選択された被選択流体圧開閉弁とこれに接続する被選択パイロット圧開閉弁に対して副パイロット圧および主パイロット圧を供給することにより被選択流体圧開閉弁を開閉作動させることを特徴とする。
【０００７】
本発明の流体圧バルブユニットは、複数の流体圧開閉弁および複数のパイロット圧開閉弁が、主パイロット圧流路の数と副パイロット圧流路の数にそれぞれ対応する複数行、複数列のマトリックス配置で１つのユニットブロックの内部に収容されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の流体圧バルブユニットは、流体圧開閉弁に主パイロット圧が供給されると流体圧供給ポートと流体圧出力ポートとの間を開通することを特徴とする。
【０００９】
本発明の流体圧バルブユニットは、流体圧開閉弁に主パイロット圧が供給されると流体圧供給ポートと流体圧出力ポートとの間を閉止することを特徴とする。
【００１０】
本発明の流体圧バルブユニットは、流体圧供給ポートに供給される流体圧が真空圧であることを特徴とする。
【００１１】
本発明の流体圧バルブユニットは、流体圧供給ポートに供給される流体圧が正圧であることを特徴とする。
【００１２】
本発明の流体圧バルブユニットは、パイロット圧開閉弁および流体圧開閉弁がスプールタイプの３ポート弁であって、それぞれ閉止状態の際にパイロット圧出力ポートおよび流体圧出力ポートを３ポート弁の排気ポートを介して大気に連通することを特徴とする。
【００１３】
本発明の流体圧バルブユニットは、流体圧開閉弁がスプールタイプの３ポート弁であって、閉止状態の際に３ポート弁の排気ポートを介して流体圧出力ポートに正圧を供給することを特徴とする流体圧バルブユニット。
【００１４】
本発明の流体圧バルブユニットは、パイロット圧出力ポートおよび流体圧出力ポートがそれぞれスプールの軸方向端面側に設けられ、かつそれぞれスプールの内部に形成された出力連通路を介してスプールの外周側面に設けられた連通開口孔に連通していることを特徴とする。
【００１５】
本発明の流体圧バルブユニットは、パイロット圧開閉弁が通常状態で閉止状態となる単動型であり、流体圧開閉弁は複動型であって開閉戻し手段が共通の１つのリセット圧流路から全ての流体圧開閉弁にリセット圧を供給して主パイロット圧を供給した場合と逆の開閉作動を行わせることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１７】
図１は本発明の一実施の形態である流体圧バルブユニットを示す斜視図であり、図２は図１におけるＡ―Ａ線に沿う断面図であり、図３は図２における１つの流体圧バルブの拡大断面図であり、図４（Ａ）は図１における４Ａ―４Ａ線に沿う断面図であり、図４（Ｂ）は図１における４Ｂ−４Ｂ線に沿う断面図である。
【００１８】
本実施の形態の流体圧バルブユニットは、複数行、複数列のマトリックス配置で多数本備えた流体圧バルブのうち任意に選択したものを開弁状態に設定し、その後でそれら選択された流体圧バルブのみから真空圧を出力させるものである。
【００１９】
図１に示すように、この流体圧バルブユニット１はその本体としてのユニットブロック２を有しており、このユニットブロック２は直方体を上下２つに分割した形状の第１ブロック２ａと第２ブロック２ｂを有し、第１ブロック２ａの上面にはカバー部材２ｃが設けられている。これらが重なった状態でカバー部材２ｃと第１ブロック２ａと第２ブロック２ｂは複数本のねじ部材３により一体に固定されている。
【００２０】
図２に示すように第１ブロック２ａと第２ブロック２ｂには、それぞれ図中上下方向に沿った真空圧開閉弁収容孔４とパイロット圧開閉弁収容孔５が複数形成されており、それらは一対となってほぼ同一直線上に並ぶ配置となり併せて開閉弁収容孔対６を形成している。図４に示すユニットブロック２の水平断面上でＸ方向に対し６本の開閉弁収容孔対６が一直線上に配列し、Ｙ方向に対しては５本の開閉弁収容孔対６が一直線上に配列して、全体で５行６列のマトリックス配置で開閉弁収容孔対６が形成されている。ただし、開閉弁収容孔対６の数は５行６列の３０本に限られることなく、任意の数に設定することができる。また、それぞれの開閉弁収容孔対６はＸ，Ｙ両方向に一定の間隔で形成されているが、開閉弁収容孔対６どうしの間隔も任意に設定することができる。また、真空圧開閉弁収容孔４とパイロット圧開閉弁収容孔５は、互いに直列に連通していれば必ずしも同心状に配置しなくともよい。
【００２１】
各真空圧開閉弁収容孔４の内部には略円筒形状の真空圧スリーブ７が嵌入され、この真空圧スリーブ７とその内径側のスプール収容孔８に装着された真空圧スプール９とカバー部材２ｃの内部に形成された後述の真空圧出力ポート１０とを併せて流体圧開閉弁としての真空圧開閉弁１１が構成されている。また各パイロット圧開閉弁収容孔５の内部には略円筒形状のパイロット圧スリーブ１２が嵌入され、このパイロット圧スリーブ１２とその内径側のスプール収容孔１３に装着されたパイロット圧スプール１４とを併せてパイロット圧開閉弁１５が構成されている。真空圧開閉弁１１とパイロット圧開閉弁１５が相互に端面を接触して一体の流体圧バルブ１６を構成し、そのほぼ全体が開閉弁収容孔対６の内部に固定的に収容されている。
【００２２】
図３において、各真空圧開閉弁収容孔４は軸方向の両端に位置する大径孔部４ａとそれらの間の位置の小径孔部４ｂで形成されている。真空圧スリーブ７は軸方向に２つに分割され、カバー部材２ｃ側に位置する第１真空圧スリーブ半体７ａと、パイロット圧開閉弁１５側に位置する第２真空圧スリーブ半体７ｂとで構成されている。各スリーブ半体７ａ，７ｂは真空圧開閉弁収容孔４の大径孔部４ａに嵌合する大径円筒部７ｃと小径孔部４ｂに嵌合する小径円筒部７ｄを有しており、それぞれ大径孔部４ａから挿入して小径孔部４ｂの内部で小径円筒部７ｄの端面どうしを接触させて一体の真空圧スリーブ７が形成される。
【００２３】
第１真空圧スリーブ半体７ａの大径円筒部７ｃの外周側面にはリセット圧環状溝１７が形成され、一体となった小径円筒部７ｄの外周側面には真空ベント環状溝１８が形成され、第２真空圧スリーブ半体７ｂの大径円筒部７ｃの外周側面には真空圧環状溝１９が形成されている。
【００２４】
それぞれの環状溝１７，１８，１９には、真空圧スリーブ７の直径方向に貫通する連通孔が形成されて各環状溝１７，１８，１９と内径側のスプール収容孔８とを連通しており、それぞれ連通路としてリセット圧環状溝１７にリセット圧連通路２０が、真空ベント環状溝１８に真空ベント連通路２１が、真空圧環状溝１９に流体圧供給ポートとしての真空圧連通路２２が形成されている。
【００２５】
またスプール収容孔８のカバー部材２ｃ側は内径の小さい小径孔部８ａとなっており、この小径孔部８ａには真空圧スプール９の外周側面と摺接してスプール収容孔８内部をシールするＶパッキン２３が取り付けられている。またこの小径孔部８ａよりパイロット圧開閉弁１５側の近傍にはリセット圧連通路２０が開口している。このリセット圧連通路２０よりパイロット圧開閉弁１５側のスプール収容孔８の内周側面には３つの環状溝が軸方向に並んで形成されており、そのうち最もカバー部材２ｃ側に近い位置のものから順に第１内周環状溝２４、第２内周環状溝２５、第３内周環状溝２６となっている。
【００２６】
第１内周環状溝２４と第２内周環状溝２５との間は軸方向幅の短い第１内周仕切り部２７で仕切られており、第２内周環状溝２５と第３内周環状溝２６との間は第１内周仕切り部２７と同じ軸方向幅の第２内周仕切り部２８で仕切られている。第１内周環状溝２４には真空ベント環状溝１８と連通する真空ベント連通路２１が開口し、第３内周環状溝２６には真空圧環状溝１９に連通する真空圧連通路２２が開口している。
【００２７】
また各真空圧開閉弁収容孔４の開口部を覆うカバー部材２ｃには、各真空圧開閉弁１１と略同心状の配置に流体圧出力ポートとしての真空圧出力ポート１０が形成されており、この真空出力ポート１０はカバー部材２ｃの真空圧開閉弁１１側の側面に開口する大径孔部１０ａと、逆側の側面に開口する小径孔部１０ｂとで形成されている。
【００２８】
真空圧スプール９は、パイロット圧開閉弁１５側のスプール大径部９ａとカバー部材２ｃ側のスプール小径部９ｂを有しており、スプール大径部９ａはスプール収容孔８に嵌合し、スプール小径部９ｂはスプール収容孔８の小径孔部８ａに嵌合してその先端をカバー部材２ｃ側に突出している。真空圧スプール９は、そのスプール大径部９ａの端面がパイロット圧スリーブ１２の端面に当接する後退限位置から、スプール小径部９ｂの端面がカバー部材２ｃの大径孔部１０ａの端面に当接する前進限位置まで軸方向に往復動自在に装着されている。
【００２９】
スプール大径部９ａの外周側面には３つの環状溝が軸方向に並んで形成されており、そのうち最もカバー部材２ｃ側に近い位置のものから順に第１外周環状溝２９、第２外周環状溝３０、第３外周環状溝３１である。真空圧スプール９は、第２外周環状溝３０において開口している２つの連通開口孔３２ａから径方向に貫通する径方向連通孔３２が形成されており、またこの径方向連通孔３２からスプール小径部９ｂの端面までの中心軸上に軸方向連通孔３３が形成され、これらが一体となって出力連通孔として同心状配置の真空圧出力ポート１０と常に連通している。
【００３０】
３つの外周環状溝２９，３０，３１は、互いに軸方向に同じ短い幅の外周仕切り部を挟んで形成されており、またこれら外周仕切り部および第１外周環状溝２９のカバー部材２ｃ側および第３外周環状溝３１のパイロット圧開閉弁１５側のそれぞれの外周側面にはＯリングが装着されている。これらＯリングは、最もカバー部材２ｃに近い位置のものから順に第１シールリング３４、第２シールリング３５、第３シールリング３６、第４シールリング３７となっており、すなわち各外周環状溝２９，３０，３１はそれぞれの軸方向両端を２つのシールリングで挟まれる配置となっている。
【００３１】
各シールリング３４〜３７は、２つの内周仕切り部２７，２８を含むスプール収容孔８の内周側面に対しては密着摺接してその軸方向前後間をシールし、各内周環状溝２４，２５，２６に対してはそれらの底面と離間してシールリングの軸方向前後間を連通させるようになっている。
【００３２】
そして真空圧スプール９における各シールリング３４〜３７の軸方向設置位置は以下のようになっている。まず第１シールリング３４は、真空圧スプール９が前述した後退限位置から前進限位置まで移動する間において常にスプール収容孔８のカバー部材２ｃ側の内周側面に密着する軸方向位置に設けられている。第２シールリング３５は、真空圧スプール９が後退限位置にあるとき第２内周環状溝２５と重なり、真空圧スプール９が前進限位置にあるとき第１内周仕切り部２７に密着する軸方向位置に設けられている。第３シールリング３６は、真空圧スプール９が後退限位置にあるとき第２内周仕切り部２８に密着し、真空圧スプール９が前進限位置にあるとき第２内周環状溝２５と重なる軸方向位置に設けられている。第４シールリング３７は、真空圧スプール９が後退限位置から前進限位置まで移動する間において常にスプール収容孔８のパイロット圧開閉弁１５側の内周側面に密着する軸方向位置に設けられている。
【００３３】
上記の配置構成で各シールリング３４〜３７が設けられていることにより、真空圧スプール９が後退限位置にあるときは、第１内周環状溝２４と第２内周環状溝２５が連通して第３内周環状溝２６のみが密閉されるようになり、すなわち真空圧連通路２２（流体圧供給ポート）と真空圧出力ポート１０（流体圧出力ポート）との間を閉止して真空圧開閉弁１１が閉弁状態となる。また真空圧スプール９が前進限位置にあるときは、第２内周環状溝２５と第３内周環状溝２６が連通して第１内周環状溝２４のみが密閉されるようになり、すなわち真空圧連通路２２と真空圧出力ポート１０との間を開通して真空圧開閉弁１１が開弁状態となる。以上のようにして、真空圧開閉弁１１はスプールタイプの３ポート弁として機能するものであり、真空圧連通路２２が３ポート弁の供給ポートを構成し、真空圧出力ポート１０が出力ポートを構成し、真空ベント連通路２１が排気ポートを構成する。
【００３４】
また真空圧スプール９が前進限位置にあるときでもスプール大径部９ａはリセット圧環状溝１７に連通するリセット圧連通路２０を塞ぐことがなく、すなわちスプール収容孔８内でスプール小径部９ｂの周囲に形成されるリセット圧力室３８は真空圧開閉弁１１の開閉戻し手段として常にリセット圧連通路２０およびリセット圧環状溝１７と連通するようになっている。
【００３５】
図１、図４（Ａ）に示すようにユニットブロック２の側面２ｄにはリセット圧供給ポート３９が１つ設けられており、このリセット圧供給ポート３９から図４（Ａ）中に示すＸ方向と平行な配置でリセット圧共通流路４０が形成されている。このリセット圧共通流路４０は、図中のマトリックス配置において３行目に対応する配置の６本の真空圧開閉弁収容孔４に共通して連通しており、さらにＹ方向と平行な配置でマトリックス配置の１列目と２列目の間、３列目と４列目の間、５列目と６列目の間の位置で近接する真空圧開閉弁収容孔４に連通する３本のリセット圧分岐流路４１と連通している。これにより１つのリセット圧供給ポート３９は、リセット圧供給流路４０とリセット圧分岐流路４１とが一体となって形成するリセット圧流路を介して、全ての真空圧スリーブ７のリセット圧環状溝１７およびそれに連通するリセット圧連通路２０を介して全てのリセット圧力室３８に連通している。
【００３６】
また図２に示すように側面２ｄ上で、各真空ベント環状溝１８と同じ軸方向位置には真空ベントポート４２が、各真空圧環状溝１９と同じ軸方向位置には真空圧供給ポート４３がそれぞれ１つずつ設けられており、それらポート４２，４３はどれも上述したリセット圧共通流路４０およびリセット圧分岐流路４１と同じ配置構成の流路を介して全ての開閉弁収容孔対６およびそれぞれに対応する環状溝１８，１９と連通している。
【００３７】
次に図３を参照してパイロット圧開閉弁１５について説明すると、各パイロット圧開閉弁収容孔５は真空圧開閉弁１１側に位置する大径孔部５ａと、それより真空圧開閉弁１１側の逆側（以下、軸方向底部側という）に位置する中径孔部５ｂと、さらに軸方向底部側に位置する小径孔部５ｃとで形成されている。パイロット圧スリーブ１２はパイロット圧開閉弁収容孔５の大径孔部５ａに嵌合する大径円筒部１２ａと、中径孔部５ｂに嵌合する中径円筒部１２ｂと、小径孔部５ｃに嵌合する小径円筒部１２ｃとを有しており、各小径円筒部１２ｃを第２ブロック２ｂの各大径孔部５ａから挿入して嵌合させている。
【００３８】
大径円筒部１２ａの外周側面には主パイロットベント環状溝４５が形成され、中径円筒部１２ｂの外周側面には主パイロット圧環状溝４６が形成されている。それぞれの環状溝４５，４６はパイロット圧スリーブ１２の直径方向に貫通する連通孔が形成されて各環状溝４５，４６と内径側のスプール収容孔１３とを連通しており、それぞれ連通路として主パイロットベント環状溝４５に主パイロットベント連通路４７が、主パイロット圧環状溝４６にパイロット圧供給ポートとしての主パイロット圧連通路４８が形成されている。
【００３９】
またスプール収容孔１３の真空圧開閉弁１１側には内径の小さいばね収容室４９が形成されており、後述するパイロット圧スプール１４に形成されたばね受け部と協働して圧縮ばね５０を収容している。さらに真空圧開閉弁１１側には一層小さい内径の主パイロット圧出力孔５１（パイロット圧出力ポート）が形成されており、この主パイロット圧出力孔５１は真空圧開閉弁１１のスプール収容孔８内で真空圧スプール９により区画された主パイロット圧力室５２に連通している。
【００４０】
スプール収容孔１３の内周側面には３つの環状溝が軸方向に並んで形成されており、そのうち最も真空圧開閉弁１１側に近い位置のものから順に第４内周環状溝５３、第５内周環状溝５４、第６内周環状溝５５となっている。第４内周環状溝５３と第５内周環状溝５４との間は軸方向幅の短い第３内周仕切り部５６で仕切られており、第５内周環状溝５４と第６内周環状溝５５との間は第３内周仕切り部５６と同じ軸方向幅の第４内周仕切り部５７で仕切られている。第４内周環状溝５３には主パイロットベント環状溝４５と連通する主パイロットベント連通路４７が開口し、第６内周環状溝５５には主パイロット圧環状溝４６に連通する主パイロット圧連通路４８が開口している。
【００４１】
パイロット圧スプール１４は、真空圧開閉弁１１側の端面に形成されたばね受け部５８がパイロット圧スリーブ１２のばね収容室４９と対向して同じ圧縮ばね５０を受けているため、真空圧開閉弁１１から離間する方向、すなわち軸方向底部側へ押圧されるばね力を常に受けている。パイロット圧スプール１４は、軸方向底部側の端面が開閉弁収容孔対６の底面６ａに当接する後退限位置から、真空圧開閉弁１１側の端面がパイロット圧スリーブ１２のスプール収容孔１３の端面に当接する前進限位置まで軸方向に往復動自在に装着されている。
【００４２】
パイロット圧スプール１４の外周側面には３つの環状溝が軸方向に並んで形成されており、そのうち最も真空圧開閉弁１１側に近い位置のものから順に第４外周環状溝６０、第５外周環状溝６１、第６外周環状溝６２である。
【００４３】
パイロット圧スプール１４は、第５外周環状溝６１において開口している２つの連通開口孔６３ａから径方向に貫通する径方向連通孔６３が形成されており、またこの径方向連通孔６３から真空圧開閉弁１１側の端面までの中心軸上に軸方向連通孔６４が形成され、これらが一体となって出力連通孔として同心状配置の主パイロット圧出力孔５１と常に連通している。
【００４４】
３つの外周環状溝６０，６１，６２は、互いに軸方向に同じ短い幅の外周仕切り部を挟んで形成されており、またこれら外周仕切り部および第４外周環状溝６０の真空圧開閉弁１１側および第６外周環状溝６２の軸方向底部側のそれぞれの外周側面にはＯリングが装着されている。これらＯリングは、最も真空圧開閉弁１１に近い位置のものから順に第５シールリング６５、第６シールリング６６、第７シールリング６７、第８シールリング６８となっており、すなわち各外周環状溝６０，６１，６２はそれぞれ軸方向両端を２つのシールリングで挟まれる配置となっている。
【００４５】
各シールリング６５〜６８は、２つの内周仕切り部５６，５７を含むスプール収容孔１３の内周側面に対しては密着摺接してその軸方向前後間をシールし、各内周環状溝５３，５４，５５に対してはそれらの底面と離間してシールリングの軸方向前後間を連通させるようになっている。
【００４６】
そしてパイロット圧スプール１４における各シールリング６５〜６８の軸方向設置位置は以下のようになっている。まず第５シールリング６５は、パイロット圧スプール１４が前述した後退限位置にあるとき第４内周環状溝５３と重なり、パイロット圧スプール１４が前進限位置にあるときスプール収容孔１３の真空圧開閉弁１１側の内周側面に密着する軸方向位置に設けられている。第６シールリング６６は、パイロット圧スプール１４が後退限位置にあるとき第５内周環状溝５４と重なり、パイロット圧スプール１４が前進限位置にあるとき第３内周仕切り部５６に密着する軸方向位置に設けられている。第７シールリング６７は、パイロット圧スプール１４が後退限位置にあるとき第４内周仕切り部５７に密着し、パイロット圧スプール１４が前進限位置にあるとき第５内周環状溝５４と重なる軸方向位置に設けられている。第８シールリング６８は、パイロット圧スプール１４が後退限位置から前進限位置まで移動する間において常にスプール収容孔１３の軸方向底部側の内周側面に密着する軸方向位置に設けられている。
【００４７】
上記の配置構成で各シールリング６５〜６８が設けられていることにより、パイロット圧スプール１４が後退限位置にあるときは、第４内周環状溝５３と第５内周環状溝５４が連通して第６内周環状溝５５のみが密閉されるようになり、すなわち主パイロット圧連通路４８（パイロット圧供給ポート）と主パイロット圧出力孔５１（パイロット圧出力ポート）との間を閉止してパイロット圧開閉弁１５が閉弁状態となる。またパイロット圧スプール１４が前進限位置にあるときは、第５内周環状溝５４と第６内周環状溝５５が連通して第４内周環状溝５３のみが密閉されるようになり、すなわち主パイロット圧連通路４８と主パイロット圧出力孔５１との間を開通してパイロット圧開閉弁１５が開弁状態となる。以上のようにして、パイロット圧開閉弁１５はスプールタイプの３ポート弁として機能するものである。
【００４８】
図２に示すように、ユニットブロック２の側面２ｄ上で主パイロットベント環状溝４５と同じ軸方向位置には主パイロットベントポート７５が１つ設けられており、これは図４（Ａ）に示したリセット圧供給流路４０およびリセット圧分岐流路４１と同じ配置構成の流路を介して全ての開閉弁収容孔対６およびそれぞれの主パイロットベント環状溝４５に連通している。
【００４９】
図２、図４（Ｂ）に示すように、第２ブロック２ｂ内の各主パイロット圧環状溝４６と同じ軸方向位置で、Ｘ方向と平行な配置の５本の主パイロット圧流路６９Ａ〜６９Ｅが図中のマトリックス配置における各行にそれぞれ対応して形成されている。これら主パイロット圧流路６９Ａ〜６９Ｅの一端部はユニットブロック２の側面２ｄに形成した主パイロット圧供給ポート７０Ａ〜７０Ｅに連通しており、各行における６本のパイロット圧開閉弁収容孔５および主パイロット圧環状溝４６と連通している。
【００５０】
また第２ブロック２ｂ内の各パイロット圧開閉弁１５より軸方向底部側の位置で、Ｙ方向と平行な配置の６本の副パイロット圧流路７１ａ〜７１ｆが図４（Ｂ）中のマトリックス配置における各列にそれぞれ対応して形成されている。これら副パイロット圧流路７１ａ〜７１ｆは、それぞれの一端部がユニットブロック２の側面２ｄに直交する側面２ｅに形成した副パイロット圧供給ポート７２ａ〜７２ｆに連通しており、各列における５本のパイロット圧開閉弁収容孔５の底面６ａにそれぞれ副パイロット圧連通路７３を介して連通している。それら副パイロット圧連通路７３は、各底面６ａに対してそれぞれパイロット圧スプール１４の断面積より小さい面積で開口し、スプール収容孔１３内でパイロット圧スプール１４により区画された副パイロット圧力室７４と連通している。以上のようにして３０本のパイロット圧開閉弁１５は、それぞれに連通する主パイロット圧流路６９Ａ〜６９Ｅと副パイロット圧流路７１ａ〜７１ｆの組み合わせが全て異なる接続構成となっている。
【００５１】
以上の各開閉弁収容孔対６に収容された真空圧開閉弁１１とパイロット圧開閉弁１５には、相互の接触面およびそれぞれの収容孔４，５の内周側面に対して密着するＯリング５９が装着されており、各所での気密性を保持するようになっている。
【００５２】
以下において本実施の形態の流体圧バルブユニット１の動作について説明する。まず１つの流体圧バルブ１６に着目し、その動作について説明する。図５は１つの流体圧バルブ１６において、初期状態から開弁状態に設定し、真空圧を出力した後にまた初期状態に戻すまでの行程における各手順に対応した状態断面図である。
【００５３】
始めに流体圧バルブ１６は、図５（Ａ）に示すように真空圧スプール９およびパイロット圧スプール１４が後退限位置となってどのポートにも真空圧、パイロット圧が供給されない初期状態とする。このとき真空圧開閉弁１１およびパイロット圧開閉弁１５はどちらも閉弁状態となって、真空圧連通路２２（流体圧供給ポート）と真空圧出力ポート１０（流体圧出力ポート）の間、および主パイロット圧連通路４８（パイロット圧供給ポート）と主パイロット圧出力孔５１（パイロット圧出力ポート）の間のどちらも閉止された状態となっている。
【００５４】
次に、図５（Ｂ）に示すように、パイロット圧開閉弁１５に連通する副パイロット圧流路７１に副パイロット圧としての正圧の圧縮空気を供給することにより、副パイロット圧力室７４に導入された副パイロット圧がばね力に抗してパイロット圧スプール１４を前進限位置まで押圧移動させる。このとき前述したように主パイロット圧連通路４８は第５、第６内周環状溝５４，５５および径方向連通孔６３、軸方向連通孔６４を介して主パイロット圧出力孔５１と連通し、パイロット圧開閉弁１５が開弁状態となる。
【００５５】
ここで図５（Ｃ）に示すように主パイロット圧供給ポート７０に主パイロット圧としての正圧の圧縮空気を供給することにより、主パイロット圧が開弁状態のパイロット圧開閉弁１５を介し真空圧開閉弁１１の主パイロット圧力室５２へ導入されて真空圧スプール９を前進限位置まで押圧移動させる。この結果、前述したように真空圧連通路２２（真空圧供給ポート４３）は第２、第３内周環状溝２５，２６および径方向連通孔３２、軸方向連通孔３３を介して真空圧出力ポート１０と連通し、真空圧開閉弁１１が開弁状態となる。
【００５６】
このようにして真空圧開閉弁１１を一度開弁した後には主パイロット圧および副パイロット圧の供給を止めても、真空圧スプール９は第１、第２、第４シールリング３４，３５，３７の摩擦によって図５（Ｄ）に示すように前進限位置に位置したままとなり、真空圧開閉弁１１の開弁状態は維持される。一方、パイロット圧スプール１４は副パイロット圧による押圧力がなくなるため、ばね力により後退限位置まで押し戻されてパイロット圧開閉弁１５は閉弁状態となる。このときパイロット圧開閉弁１５内に残留していた主パイロット圧の残圧は、連通状態となっている第４、第５内周環状溝５３，５４およびパイロットベント系の流路を介して急速に外気に排出される。
【００５７】
以上の手順により１つの流体圧バルブ１６における開弁状態の設定が行われることになるが、真空圧スプール９は無加圧である通常時にシールリング３４〜３７の摩擦で軸方向位置を保持でき、パイロット圧スプール１４は通常時に閉弁する単動型であることから、流体圧バルブ１６を一度開弁状態に設定した後には、図５（Ｄ）、（Ｅ）に示すように真空圧以外の圧力を何も供給せずともその開弁状態を維持することができるようになっている。
【００５８】
この状態で真空圧供給ポート４３に真空圧を供給することにより、図５（Ｅ）に示すように開弁状態の真空圧開閉弁１１を介して真空圧出力ポート１０より真空圧を出力することができる。なお真空圧の供給は、図５（Ｂ）〜（Ｄ）の開弁手順の間から行っていてもよく、図５（Ｃ）における真空圧開閉弁１１の開弁した瞬間から真空圧が出力されるようになる。
【００５９】
そして全ての行程が終了して真空圧の供給を止め、全ての流体圧バルブ１６を初期状態に戻す場合には、図５（Ｆ）に示すようにリセット圧供給ポート３９にリセット圧として正圧の圧縮空気を供給することにより、全てのリセット圧力室３８に導入されたリセット圧が真空圧スプール９を後退限位置まで押圧移動させ、全ての真空圧開閉弁１１を閉弁させることができる。このとき真空圧開閉弁１１内に残留していた真空圧の残圧は、連通状態となっている第１、第２内周環状溝２４，２５および真空ベント系の流路を介して外気に排出される（大気空気が流入して大気圧に戻される）。この状態からリセット圧の供給を止めることで、図５（Ａ）の初期状態に戻ることになる。
【００６０】
なお、他の開閉戻し手段としてリセット圧力室３８に圧縮ばねを挿入することで真空圧開閉弁１１を単動型に構成することも可能であり、その場合にはリセット圧を供給しなくとも主パイロット圧の供給を停止した際に圧縮ばねの押圧力によって真空圧スプール９を後退限位置まで押圧移動させて真空圧開閉弁１１を閉弁させることができる。
【００６１】
以上より、１つの流体圧バルブ１６を開弁状態に設定する、すなわち真空圧スプール９を前進限位置まで移動させ真空圧開閉弁１１を開弁状態に設定するためには、副パイロット圧と主パイロット圧のどちらか一方だけ供給している状態またはそれらが交代して供給するのではなく、両方一緒に供給している状態とすることが必要であり、それにより初めて真空圧開閉弁１１の主パイロット圧力室５２に主パイロット圧が供給されて真空圧スプール９を前進限位置に押圧移動し開弁状態とすることができる。
【００６２】
このことから、例えば図４（Ｂ）におけるマトリックス配置のうちの上から３行目で左から３列目に位置する流体圧バルブを被選択流体圧バルブ１６ｓとして開弁状態に設定する場合には、この被選択流体圧バルブ１６ｓを構成している被選パイロット圧開閉弁１５ｓに接続する副パイロット圧流路７１ｃおよび主パイロット圧流路６９Ｃの両方に一緒に正圧を供給することで、被選択パイロット圧開閉弁１５ｓに接続する被選択真空圧開閉弁１１ｓ（被選択流体圧開閉弁）を開弁状態とし、この結果、被選択流体圧バルブ１６ｓに対して真空圧を出力可能な開弁状態に設定することができる。なお、このように開閉作動される被選択流体圧バルブ１６ｓは１本のみに限られるものではなく、順次開閉作動を行うのであれば複数本の流体圧バルブ１６を選択して開閉させることも可能である。
【００６３】
図６は流体圧バルブユニット１の作動を制御する制御部を示す空気圧回路図であり、１つの正圧供給源７６と６つの副パイロット圧供給ポート７２ａ〜７２ｆの間にはそれぞれ第１流路７７ａ〜７７ｆが接続され、同じ正圧供給源７６と５つの主パイロット圧供給ポート７０Ａ〜７０Ｅの間にはそれぞれ第２流路７８Ａ〜７８Ｅが接続され、また同じ正圧供給源７６とリセット圧供給ポート３９の間には第３流路７９が接続されている。またその他方で、１つの真空圧供給源８０と真空圧供給ポート４３の間には第４流路８１が接続されている。各第１流路７７ａ〜７７ｆ、各第２流路７８Ａ〜７８Ｅ、第３流路７９および第４流路８１には、流路を開閉する給排制御弁８２ａ〜８２ｆ，８２Ａ〜８２Ｅ，８３，８４が設けられている。
【００６４】
各給排制御弁８２ａ〜８２ｆ，８２Ａ〜８２Ｅ，８３，８４は、ソレノイドにより作動する電磁弁であり、はじめに全ての給排制御弁８２ａ〜８２ｆ，８２Ａ〜８２Ｅ，８３，８４のソレノイドを無通電状態とすることにより、全ての主パイロット圧供給ポート７０Ａ〜７０Ｅ、副パイロット圧供給ポート７２ａ〜７２ｆ、リセット圧供給ポート３９、真空圧供給ポート４３が大気開放されて全ての流体圧バルブ１６には何も正圧および負圧が供給されない状態となる。
【００６５】
そして前記例のように３行３列目に位置する流体圧バルブを被選択流体圧バルブ１６ｓとして開弁状態に設定する場合には、第１流路７７ｃに対応する給排制御弁８２ｃと、第２流路７８Ｃに対応する給排制御弁８２Ｃのソレノイドに通電して各流路７７ｃ，７８Ｃに正圧の圧縮空気を供給すればよい。
【００６６】
このように本実施の形態の流体圧バルブユニット１は、開閉作動の対象となる流体圧バルブ１６を最大でマトリックス配置の行数と列数の乗算値（積）に相当する多くの本数で備えていながら、それらを実際に切り換え操作する給排制御弁８２の設置個数は前記の行数と列数にそれぞれ対応する主パイロット圧流路６９Ａ〜６９Ｅの本数と副パイロット圧流路７１ａ〜７１ｆの本数の加算値（和）と同数でよいことになる。
【００６７】
したがって本実施の形態の例にあっては３０本もの多数の流体圧バルブ１６を制御することに対し、給排制御弁８２をそれぞれに個別に対応させるよう３０個もの多数個設ける必要がなく、前述したように給排制御弁８２の必要設置個数を行数と列数の和である１１個に抑えることができる。またその他に必要となるリセット圧用の給排制御弁８３と真空圧用の給排制御弁８４もそれぞれ１つ設置すればよく、したがって給排制御弁８２，８３，８４の合計必要設置個数を１３個もの少数に抑えることができたことから、流体圧バルブユニット１と制御部を含めた全体を小型軽量かつ低コストに構成することができる。
【００６８】
以上により本実施の形態の流体圧バルブユニット１は、多数備えた流体圧バルブ１６のうち任意に選択された１つまたは複数の流体圧バルブ１６を開弁状に設定することができ、かつ小型で製造コストを抑えることのできる構成となっている。
【００６９】
また、複数の流体圧バルブ１６がユニットブロック２に複数行、複数列のマトリックス配置で設けられていることで、多数の流体圧バルブ１６を狭い設置間隔で密接に併設することができ、全体を小型化できる。また各スプール９，１４の内部に出力ポート１０または出力孔５１に連通する連通孔３２，３３，６３，６４を形成していることによっても各流体圧バルブ１６の軸直交方向の設置スペースを省略してそれぞれの設置間隔を狭くすることができる。
【００７０】
また、真空圧開閉弁１１およびパイロット圧開閉弁１５がスプールタイプであることからそれぞれ真空圧やパイロット圧からスプール９，１４の操作力に影響を受けることがなく安定した開閉作動が可能であり、また各開閉弁１１，１５がベントポート４２，７５を設けた３ポート弁として機能していることからそれぞれ閉弁状態において出力ポート１０または出力孔５１から残圧を排出することができる。
【００７１】
また、パイロット圧開閉弁１５が圧縮ばね５０を備えて通常状態で閉弁状態となる単動型であり、かつ真空圧開閉弁１１がリセット圧供給ポート３９に正圧のリセット圧を供給されない限り閉弁状態とならない構成であることから、流体圧バルブ１６を一度開弁状態に設定した後には何も圧力を供給せずともその開弁状態を維持することができるようになっている。
【００７２】
図７は、他の実施の形態の流体圧バルブユニットの断面図であって、前記一実施の形態の場合の図１におけるＡ−Ａ線に沿う断面に対応する図である。この図においては、図１、図２、図３に示した流体圧バルブユニットと共通する部材や形状部分には同一の符号が付されている。
【００７３】
本実施の形態の流体圧バルブユニットは、複数行、複数列のマトリックス配置で多数本備えた流体圧バルブを全て開弁状態として真空圧を供給し出力させたのち、任意に選択したものを閉弁状態に設定して真空破壊させるものである。
【００７４】
図７において、本実施の形態の流体圧バルブユニット１０１は前記一実施の形態と比較して真空圧供給系の流路およびポートと真空ベント系の流路およびポートとが逆に配置されたものであり、真空圧スリーブ７の小径円筒部７ｄの外周側面に形成された環状溝が真空圧環状溝１１９であり、それと第１内周環状溝２４とを連通する孔が流体圧供給ポートとしての真空圧連通路１２２を構成している。また第２真空圧スリーブ半体７ｂの大径円筒部７ｃの外周側面に形成された環状溝が真空ベント環状溝１１８であり、それと第３内周環状溝２６とを連通する孔がベントポートとしての真空ベント連通路１２１を構成している。
【００７５】
これにより、真空圧スプール９が後退限位置にあるときは、真空圧連通路１２２（流体圧供給ポート）と真空圧出力ポート１０（流体圧出力ポート）との間が開通して真空圧開閉弁１１が開弁状態となり、また真空圧スプール９が前進限位置にあるときは、真空圧連通路１２２と真空圧出力ポート１０との間を閉止して真空圧開閉弁１１が閉弁状態となる。このような本実施の形態においても、真空圧開閉弁１１はスプールタイプの３ポート弁として機能する。このほかの構成は前記一実施の形態と全く同じである。
【００７６】
図８は、本実施の形態における１つの流体圧バルブ１１６に着目し、初期状態である開弁状態から真空圧を供給して出力させ、真空破壊させた後にまた初期状態に戻すまでの行程における各手順に対応した状態断面図である。
【００７７】
始めに、図８（Ａ）において、真空圧スプール９およびパイロット圧スプール１４がどちらも後退限位置に位置して両方の開閉弁１１，１５が閉弁状態となっており、どのポートにも真空圧、パイロット圧が供給されない初期状態となっている。
【００７８】
次に、図８（Ｂ）に示すように、真空供給ポート１４３に真空圧を供給することにより開弁状態の真空圧開閉弁１１を介して真空圧出力ポート１０より真空圧を出力することができる。
【００７９】
図８（Ｃ）に示すように、副パイロット圧流路７１に副パイロット圧を供給することにより、ばね力に抗してパイロット圧スプール１４を前進限位置まで押圧移動させ、パイロット圧開閉弁１５が開弁状態となる。
【００８０】
ここで図８（Ｄ）に示すように、主パイロット圧供給ポート７０に主パイロット圧を供給することにより、開弁状態のパイロット圧開閉弁１５を介し真空圧開閉弁１１内の主パイロット圧力室５２へ主パイロット圧が導入されて真空圧スプール９を前進限位置まで押圧移動させる。この結果、前述したように真空圧開閉弁１１が閉弁状態となるとともに、真空圧開閉弁１１内に残留していた真空圧の残圧が第２、第３内周環状溝２５，２６および真空ベント系の流路を介して外気に排出され（大気空気が流入して大気圧に戻され）、真空圧出力ポート１０において真空状態が破壊されるようになる。
【００８１】
このようにして真空圧開閉弁１１を一度閉弁した後には、主パイロット圧および副パイロット圧の供給を止めても真空圧スプール９は第１、第２、第４シールリング３４，３５，３７の摩擦によって図８（Ｅ）に示すように前進限位置に位置したままとなり、真空圧開閉弁１１の閉弁状態が維持される。一方、パイロット圧スプール１４はばね力により後退限位置まで押し戻されてパイロット圧開閉弁１５は閉弁状態となる。なお真空圧の供給は、図８（Ｅ）の閉弁状態設定後に行ってもよく、その場合には他の初期状態のままとなっていた流体圧バルブ１１６から真空圧が出力されるようになる。
【００８２】
そして全ての行程を終了して流体圧バルブ１１６を全て初期状態に戻す場合には、図８（Ｆ）に示すようにリセット圧供給ポート３９を介して全てのリセット圧力室３８にリセット圧を供給し、真空圧スプール９を後退限位置まで押圧移動させて真空圧開閉弁１１を開弁させる。この状態からリセット圧の供給を止めることで、図８（Ａ）の初期状態に戻ることになる。
【００８３】
以上より本実施の形態においては、マトリックス配置で備えた多数本の流体圧バルブ１１６のうちの任意に選択した被選択流体圧バルブ１１６ｓに対し、それに連通する主パイロット圧流路６９と副パイロット圧流路７１の両方に一緒に正圧を供給することで閉弁状態に設定することができる。したがって本実施の形態では、始めに全ての流体圧バルブ１１６を開弁状態として真空圧を供給し出力させたのち、任意に選択した被選択流体圧バルブ１１６ｓを閉弁状態に作動して真空破壊させる行程が行えるものとなっている。
【００８４】
また本実施の形態の流体圧バルブユニット１０１においても、図６に示した前記一実施の形態の空気圧回路図と同様に、被選択流体圧バルブ１１６ｓを開閉作動させるための給排制御弁８２の設置個数がマトリックス配置の行数と列数の加算値（和）と同数でよいため、流体圧バルブユニット１０１と制御部を含めた装置全体を小型軽量かつ低コストに構成することができる。
【００８５】
また本実施の形態の流体圧バルブユニットにおいて、真空ベントポート１４２の代わりに真空破壊圧供給ポートを設けて外部の正圧供給源に接続する構成も有用であり、図９にそのような変形例の流体圧バルブユニット２０１による各手順に対応した状態断面図を示す。
【００８６】
図９において、第２真空圧スリーブ半体７ｂの大径円筒部７ｃの外周側面に形成された環状溝が真空破壊圧環状溝２１８であり、それと第３内周環状溝２６とを連通する孔が真空破壊圧連通路２２１を構成し、それらはユニットブロック２の側面２ｄに形成された真空破壊圧供給ポート２４２に連通している。
【００８７】
真空破壊圧供給ポート２４２には図示しない給排制御弁を介して正圧供給源に接続されており、図９（Ｄ）に示すように真空圧開閉弁１１が閉弁状態となる際にそれら真空破壊圧供給系の流路を介して正圧を第２、第３内周環状溝２５，２６および真空圧スプール９内部に供給することにより真空破壊を急速に行うことができるようになる。
【００８８】
なお、上記２つの実施の形態および１つの変形例の流体圧バルブユニット１，１０１，２０１は、各流体圧バルブ１６，１１６の真空圧出力ポート１０に流体圧駆動機器を接続してそれらへの真空圧の給排切り換えを制御する用途に限られず、他の利用形態に応じて多様な構成のノズル組立体をカバー部材２ｃに取り付けて利用することもできる。たとえば、図示しないが、一方の側面に各真空圧出力ポート１０に連通させるために同じピッチのマトリックス配置で大ピッチ入力孔を形成し、それらに各々連通する小ピッチ出力孔を他方の側面にさらに小さいピッチのマトリックス配置で形成したピッチ縮小ノズル板をカバー部材２ｃに取り付けることもできる。このピッチ縮小ノズル板を取り付けることにより、たとえば半導体ウエハがマトリックス配置で細かく分断されることにより並置された状態の多数の微小チップに対して、任意の不良チップを選定して吸着せずに、他の優良チップを一度に吸着させて搬送することができるようになる。
【００８９】
また本発明の流体圧バルブユニット１，１０１，２０１は、各流体圧バルブ１６，１１６に出力させる流体圧を真空圧に限ることなく正圧を出力させることも可能であり、その場合には図６における真空圧供給源８０を新たな正圧供給源に代えるか、または第４流路８１を他の流路７７，７８，７９と同じ正圧供給源７６に接続すればよい。
【００９０】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、各流体圧バルブ１６，１１６は長方形のマトリックス配置で全ての行と列が交差する位置に設けられる構成に限られるものではない。それ以外にマトリックス配置上において部分的に流体圧バルブ１６，１１６を設けることも可能であり、また各行と各列に対応する各パイロット圧流路６９，７１が曲線状に形成されて互いに平行となっていない配置としてもよい。このような場合でも各流体圧バルブ１６，１１６が連通する主パイロット圧流路６９Ａ〜６９Ｅと副パイロット圧流路７１ａ〜７１ｆの組み合わせがそれぞれ異なる連通構成となっていれば、行数と列数の加算値と同数の給排制御弁８２を備えるだけで１つの被選択流体圧バルブ１６ｓ，１１６ｓのみを開閉作動することが可能となる。
【００９１】
また、各流体圧バルブ１６，１１６は鉛直方向に沿って相互に平行となる配置で設けられる構成に限られるものではない。たとえば各流体圧バルブ１６，１１６が水平方向に沿って相互に平行となる配置で設けられる構成としてもよく、さらにはユニットブロック２を円柱形状に形成して各流体圧バルブ１６，１１６を放射状の配置で設けるなど多様な配置構成が考えられる。
【００９２】
また、各流体圧バルブ１６，１１６は、１つのユニットブロック２に収容せずにそれぞれ気密性の高いケーシング等に個別に収容した構成としてもよく、その場合でも各流体圧バルブ１６，１１６間の接続構成が同じであって密接に併設してあれば前記実施形態と同様に小型化、低コスト化の効果が得られる。
【００９３】
【発明の効果】
本発明によれば、各流体圧バルブを個別に開閉作動させるための給排制御弁の設置個数が、マトリックス配置の行数と列数にそれぞれ対応する主パイロット圧流路の本数と副パイロット圧流路の本数の加算値（和）と同数でよいため、多数備えた流体圧バルブのうち任意のものの開閉作動を制御することができ、かつ小型で製造コストを低くできる。
【００９４】
また本発明によれば、１つのユニットブロック内に収容されて、複数の流体圧バルブが複数行、複数列のマトリックス配置で設けられていることで、流体圧バルブどうしを狭い設置間隔で密接に併設することができる。
【００９５】
また本発明によれば、全ての流体圧バルブを閉弁させた状態を初期状態とし、被選択流体圧バルブ（被選択流体圧開閉弁）を開弁状態に設定した後にそこからのみ流体圧を出力させる行程が可能となる。
【００９６】
また本発明によれば、全ての流体圧バルブを開弁させた状態を初期状態とし、全ての流体圧バルブから流体圧を出力させた後に被選択流体圧バルブ（被選択流体圧開閉弁）を閉弁状態としてそこからの流体圧の出力のみ停止させる行程が可能となる。
【００９７】
また本発明によれば、真空圧を出力することにより、微細部材などを吸着させる吸着装置等に適用することができる。
【００９８】
また本発明によれば、正圧を出力することにより、流体圧アクチュエータなどの流体圧駆動装置に適用することができる。
【００９９】
また本発明によれば、流体圧開閉弁およびパイロット圧開閉弁がスプールタイプであることからそれぞれ流体圧やパイロット圧からスプールの操作力に影響を受けることのない安定した開閉作動が可能となり、また各開閉弁が排気ポートを有する３ポート弁であることからそれぞれ閉弁状態において出力ポートから残圧を排出することができる。
【０１００】
また本発明によれば、流体圧開閉弁が真空圧を出力する３ポート弁であって、閉止状態の際に３ポート弁の排気ポートを介して出力ポートに正圧を供給することで真空破壊を急速に行うことができる。
【０１０１】
また本発明によれば、各出力ポートが各スプールの軸方向端部側に設けられ、かつ各スプールの外周側面および内部にそれぞれ出力ポートに連通する連通開口孔および出力連通路を形成していることによって、各流体圧バルブの軸直交方向の設置スペースを省略してそれぞれの設置間隔を狭くすることができる。
【０１０２】
また本発明によれば、パイロット圧開閉弁が通常状態で閉弁状態となる単動型であり、かつ流体圧開閉弁が複動型であってリセット圧を供給された場合に初めて主パイロット圧と逆の開閉作動を行う構成であることから、主パイロット圧により流体圧バルブを一度開閉作動させた後には何も圧力を供給せずともその開弁状態を維持できるようになっている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である流体圧バルブユニットを示す斜視図である。
【図２】図１におけるＡ―Ａ線に沿う断面図である。
【図３】図２における１つの流体圧バルブの拡大断面図である。
【図４】（Ａ）は図１における４Ａ―４Ａ線に沿う断面図であり、（Ｂ）は図１における４Ｂ−４Ｂ線に沿う断面図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｆ）は、一実施の形態の流体圧バルブユニットにおける１つの流体圧バルブに着目し、作動行程における各手順に対応した状態断面図である。
【図６】流体圧バルブユニットの作動を制御する制御部を示す空気圧回路図である。
【図７】他の実施の形態の流体圧バルブユニットの断面図であって、一実施の形態の場合の図１におけるＡ−Ａ線に沿う断面に対応する図である。
【図８】（Ａ）〜（Ｆ）は、他の実施の形態における１つの流体圧バルブに着目し、作動行程における各手順に対応した状態断面図である。
【図９】（Ａ）〜（Ｆ）は、他の実施の形態の変形例における１つの流体圧バルブに着目し、作動行程における各手順に対応した状態断面図である。
【符号の説明】
１        一実施の形態の流体圧バルブユニット
２        ユニットブロック
２ａ      第１ブロック
２ｂ      第２ブロック
２ｃ      カバー部材
４        真空圧開閉弁収容孔
５        パイロット圧開閉弁収容孔
６        開閉弁収容孔対
７        真空圧スリーブ
８        スプール収容孔
９        真空圧スプール
１０      真空圧出力ポート（流体圧出力ポート）
１１      真空圧開閉弁（流体圧開閉弁）
１１ｓ    被選択真空圧開閉弁（被選択流体圧開閉弁）
１２      パイロット圧スリーブ
１３      スプール収容孔
１４      パイロット圧スプール
１５      パイロット圧開閉弁
１５ｓ    被選択パイロット圧開閉弁
１６      流体圧バルブ
１６ｓ    被選択流体圧バルブ
１７      リセット環状溝
１８      真空ベント環状溝
１９      真空圧環状溝
２０      リセット圧連通路
２１      真空ベント連通路
２２      真空圧連通路（流体圧供給ポート）
２３      Ｖパッキン
２４      第１内周環状溝
２５      第２内周環状溝
２６      第３内周環状溝
２７      第１内周仕切り部
２８      第２内周仕切り部
２９      第１外周環状溝
３０      第２外周環状溝
３１      第３外周環状溝
３２      径方向連通孔（出力連通路）
３２ａ    連通開口孔
３３      軸方向連通孔（出力連通路）
３４      第１シールリング
３５      第２シールリング
３６      第３シールリング
３７      第４シールリング
３８      リセット圧力室
３９      リセット圧供給ポート
４０      リセット圧共通流路（リセット圧流路）
４１      リセット圧分岐流路（リセット圧流路）
４２      真空ベントポート
４３      真空圧供給ポート
４５      主パイロットベント環状溝
４６      主パイロット圧環状溝
４７      主パイロットベント連通路
４８      主パイロット圧連通路（パイロット圧供給ポート）
５０      圧縮ばね
５１      主パイロット圧出力孔（パイロット圧出力ポート）
５２      主パイロット圧力室
５３      第４内周環状溝
５４      第５内周環状溝
５５      第６内周環状溝
５６      第３内周仕切り部
５７      第４内周仕切り部
５８      ばね受け部
６０      第４外周環状溝
６１      第５外周環状溝
６２      第６外周環状溝
６３      径方向連通孔（出力連通路）
６３ａ    連通開口孔
６４      軸方向連通孔（出力連通路）
６５      第５シールリング
６６      第６シールリング
６７      第７シールリング
６８      第８シールリング
６９，６９Ａ〜６９Ｅ  主パイロット圧流路
７０，７０Ａ〜７０Ｅ  主パイロット圧供給ポート
７１，７１ａ〜７１ｆ  副パイロット圧流路
７２，７２ａ〜７２ｆ  副パイロット圧供給ポート
７３      副パイロット圧連通路
７４      副パイロット圧力室
７５      主パイロットベントポート
７６      正圧供給源
７７ａ〜７７ｆ  第１流路
７８Ａ〜７８Ｅ  第２流路
７９      第３流路
８０      真空圧供給源
８１      第４流路
８２，８２ａ〜８２ｆ  給排制御弁
８２Ａ〜８２Ｅ，８３，８４  給排制御弁
１０１    他の実施の形態の流体圧バルブユニット
２０１    他の実施の形態の流体圧バルブユニットの変形例
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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