(57)【要約】【課題】浄化効率が良好であり、簡易な構造とすることが可能な揮発性有機化合物浄化装置を提供する。【解決手段】密閉空間であるハウジング１１の内部の浄化部と、揮発性有機化合物の含有液の供給源（泥水槽５）と連通しており、前記揮発性有機化合物の含有液と圧縮空気を吸引混合して、前記浄化部内に噴霧するための揮発性有機化合物噴霧手段（圧縮機３，エゼクタ４，噴射ノズル１２）と、前記浄化部と接続管２６〜２８からにより連通しているＶＯＣ除去手段（活性炭塔２３）と、前記浄化部と前記ＶＯＣ除去手段との間に介装されている消音手段（消音装置２２）と、を備えている揮発性有機化合物浄化装置１０とした。【選択図】　図１
2004025154.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉空間である浄化部と、
揮発性有機化合物の含有液の供給源と連通しており、前記揮発性有機化合物の含有液と圧縮空気を吸引混合して、前記浄化部内に噴霧するための揮発性有機化合物噴霧手段と、
前記浄化部と接続管により連通している揮発性有機化合物除去手段とを備え、
前記揮発性有機化合物噴霧手段の先端部を前記浄化部内に上向きに突出させており、
前記揮発性有機化合物噴霧手段から前記浄化部内に向けて噴霧された前記揮発性有機化合物の含有液と前記圧縮空気の混合物を衝突させるための衝突部材及び前記混合物を透過させる網状部材のうちの少なくとも一方が、前記浄化部内に設けられていることを特徴とする揮発性有機化合物浄化装置。
【請求項２】
前記浄化部と前記揮発性有機化合物除去手段との間に介装されている消音手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の揮発性有機化合物浄化装置。
【請求項３】
前記浄化部と前記接続管との接合部の近傍において、前記浄化部側に導風部材が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の揮発性有機化合物浄化装置。
【請求項４】
前記浄化部と前記消音手段との間に介装されている液体分除去手段と、
前記浄化部から前記揮発性有機化合物除去手段への空気流を形成するための空気流形成手段とを備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物浄化装置。
【請求項５】
直列に接続された２基以上の請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物浄化装置を用い、
最上流に設置された揮発性有機化合物浄化装置における揮発性有機化合物噴霧手段は、前記揮発性有機化合物の含有液の供給源と連通しており、
それ以外の揮発性有機化合物浄化装置は、
各々、上流側に隣接する揮発性有機化合物浄化装置における浄化部内に噴霧された前記揮発性有機化合物の含有液を、
後流側における揮発性有機化合物浄化装置の揮発性有機化合物噴霧手段により、対応する揮発性有機化合物浄化装置における浄化部内に向けて噴霧することが可能となるように構成されていることを特徴とする揮発性有機化合物浄化システム。
【請求項６】
前記２基以上の揮発性有機化合物浄化装置を上流側から順に複数のグループに区分した場合において、
前記各グループにおける前記各揮発性有機化合物浄化装置の前記揮発性有機化合物噴霧手段から噴霧される前記揮発性有機化合物の含有液と前記圧縮空気の混合物の粒子の大きさを比較したとき、
それぞれ隣接する上流側の前記各グループにおける前記混合物の粒子が、下流側の前記各グループにおける前記混合物の粒子よりも微細な粒子となるように構成されていることを特徴とする請求項５に記載の揮発性有機化合物浄化システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、溶媒中に溶解している揮発性有機化合物（以下、「ＶＯＣ［Ｖｏｌａｔｉｌｅ　Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ］」という）を浄化するための装置及び複数の前記装置を使用したＶＯＣの浄化システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、水等の溶媒中（以下、水溶液について説明する）に溶解しているＶＯＣを浄化するための代表的な浄化方法としては、以下の３種類の方法が存在していた。
第１の方法は、ＶＯＣ水溶液に生石灰を混合して、その発熱によりＶＯＣを揮発させて除去する方法である。
また、第２の方法は、曝気手段を用い、ＶＯＣ水溶液と空気を混合することによりＶＯＣを揮発させて除去する方法である。
さらに、第３の方法は、ＶＯＣ水溶液に天日の太陽熱を照射し、自然乾燥させることによりＶＯＣを揮発させて除去する方法である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記第１の方法では、ＶＯＣは除去可能であるが、浄化処理後の水溶液が強アルカリ性となり、排液の処理が煩雑となるという問題を有していた。
また、前記第２の方法では、浄化効率が非常に悪いという問題点を有しており、特に、粘性の高い水溶液について、その現象が顕著であった。この場合において、浄化効率を向上させるためには、空気とＶＯＣ水溶液との接触面積及び接触時間を充分に確保する装置を用いなければならず、装置が大規模かつ高価にならざるを得ないという問題点を有していた。
さらに、前記第３の方法においても、浄化効率が非常に悪く、加えて、日照や湿度等の天候により浄化効率が左右され、計画に合った浄化処理ができないという問題点を有していた。
【０００４】
本発明は、前記各問題点を解決するためになされたものであり、浄化効率が良好であり、簡易な構造とすることが可能なＶＯＣ浄化装置及びＶＯＣ浄化システム（以下、各々「浄化装置」及び「浄化システム」という）を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の浄化装置は、密閉空間である浄化部と、ＶＯＣの含有液（以下、「ＶＯＣ含有液」という）の供給源と連通しており、前記ＶＯＣ含有液と圧縮空気を吸引混合して、前記浄化部内に噴霧するためのＶＯＣ噴霧手段と、前記浄化部と接続管により連通しているＶＯＣ除去手段とを備え、前記ＶＯＣ噴霧手段の先端部を前記浄化部内に上向きに突出させており、前記ＶＯＣ噴霧手段から前記浄化部内に向けて噴霧された前記ＶＯＣの含有液と前記圧縮空気の混合物を衝突させるための衝突部材及び前記混合物を透過させる網状部材のうちの少なくとも一方が、前記浄化部内に設けられていることを特徴としている。
【０００６】
ここで、密閉空間とは、完全な気密性を要求するものではなく、除去されたＶＯＣが外部に排出されることを防止できる構造であればよい。
また、ＶＯＣ除去手段は、活性炭等の吸着物質を用いて、ＶＯＣを吸着して除去する手段を使用することが好適である。
【０００７】
本発明の浄化装置は、ＶＯＣ含有液と圧縮空気を吸引混合して、浄化部内に噴霧するためのＶＯＣ噴霧手段を備えており、当該ＶＯＣ噴霧手段の先端部から浄化部内に向けてＶＯＣ含有液と圧縮空気の混合物（以下、「空気混合液」という）をジェット混合して噴霧可能となっている。そのため、噴霧された空気混合液中のＶＯＣを、空気と接触させて浄化部内で気化（揮発）させることができるため、空気混合液中からＶＯＣを短時間で効率的除去することが可能となる。
また、浄化部と連通しているＶＯＣ除去手段を備えていることから、有害なＶＯＣが浄化部の外部に流出することを効果的に防止することができる。
また、ＶＯＣ噴霧手段の先端部を浄化部内に上向きに突出させていることから、噴霧された空気混合液の浄化部内における滞留時間を長く維持させることができる。従って、空気混合液を空気と接触させる時間を長時間確保することができるため、浄化効率を向上させることができる。
さらに、浄化部内に、衝突部材及び空気混合液を透過させる網状部材のうちの少なくとも一方が設けられていることから、噴霧された空気混合液を前記各部材に衝突あるいは透過させることにより、当該空気混合液の粒子が拡散する際に微小粒子にすることができる。従って、より効率的に、空気混合液中のＶＯＣを、空気と接触させて浄化部内で気化させることが可能となる。
【０００８】
また、前記浄化装置において、前記浄化部と前記ＶＯＣ除去手段との間に介装されている消音手段を備えているものであってもよい。
【０００９】
本発明の浄化装置によれば、消音手段を備えていることから、圧縮空気供給手段を使用して圧縮空気を発生させた場合であっても、騒音の低減を図ることができる。
【００１０】
また、前記浄化装置において、前記浄化部と前記接続管との接合部の近傍において、前記浄化部側に導風部材が設けられているものであってもよい。
【００１１】
ここで、導風部材は、接合部の近傍に、邪魔板を交互に対向して設けること等により、ダクト形状に形成すると好適である。
【００１２】
浄化部からＶＯＣ除去手段へと送られる空気混合液から除去された後におけるＶＯＣを含有した空気は、液体分を多く含有している。
本発明の浄化装置によれば、浄化部からＶＯＣ除去手段へと送られる前記ＶＯＣを含有した空気を導風部材に衝突させることにより、液体分の一部を除去することができる。
【００１３】
さらに、前記浄化装置において、前記浄化部と前記ＶＯＣ除去手段（好ましくは消音手段）との間に介装されている液体分除去手段（気液分離手段）と、前記浄化部から前記ＶＯＣ除去手段への空気流を形成するための空気流形成手段とを備えているものであってもよい。
ここで、液体分除去手段は、液体分だけでなく微細な土粒子等を除去可能となるように構成されていることが好適である。
【００１４】
本発明の浄化装置によれば、液体分除去手段により、浄化部からＶＯＣ除去手段に送られる液体分を含有している空気から、当該液体分を除去することができるため、ＶＯＣ除去手段におけるＶＯＣの除去効率を向上させることが可能となる。
【００１５】
さらに、本発明の浄化システムは、直列に接続された２基以上の前記ＶＯＣ浄化装置を用い、最上流に設置されたＶＯＣ浄化装置におけるＶＯＣ噴霧手段は、前記ＶＯＣの含有液の供給源と連通しており、それ以外のＶＯＣ浄化装置は、各々、上流側に隣接するＶＯＣ浄化装置における浄化部内に噴霧された前記ＶＯＣの含有液を、後流側におけるＶＯＣ浄化装置のＶＯＣ噴霧手段により、対応するＶＯＣ浄化装置における浄化部内に向けて噴霧することが可能となるように構成されていることを特徴としている。
【００１６】
ここで、前記浄化システムにおいて、ＶＯＣ除去手段、消音手段及び空気流形成手段の内の少なくとも一つの手段を、浄化装置の数より少ない数とし、幾つかの浄化装置で共用してもよい。
【００１７】
本発明の浄化システムによれば、直列に接続された２基以上の前記浄化装置を用い、各々、上流側に隣接するＶＯＣ浄化装置における浄化部内に噴射されたＶＯＣ含有液を、後流側における浄化装置のＶＯＣ噴霧手段により、対応する各浄化装置の浄化部内に噴霧することができることから、処理対象のＶＯＣ含有液を、各浄化装置において複数回に亘り連続的に処理することが可能となる。従って、濃縮された高濃度のＶＯＣ含有液の浄化を効率的に行うことが可能となる。
【００１８】
さらに、前記浄化システムにおいて、前記２基以上のＶＯＣ浄化装置を上流側から順に複数のグループに区分した場合において、前記各グループにおける前記各ＶＯＣ浄化装置の前記ＶＯＣ噴霧手段から噴霧される空気混合液の粒子の大きさを比較したとき、それぞれ隣接する上流側の前記各グループの前記空気混合液の粒子が、下流側の前記各グループの前記空気混合液の粒子よりも微細な粒子となるように構成されているものであってもよい。
【００１９】
一般的に、ＶＯＣ含有液を噴霧して空気と接触させることで気化させて除去する場合には、当該ＶＯＣ含有液の濃度が高濃度であるほど除去率が大きくなり、低濃度になるに伴い浄化効率が低下する。
本発明の浄化システムによれば、各グループにおけるＶＯＣ浄化装置のＶＯＣ噴霧手段から噴霧される空気混合液の粒子の大きさを比較したとき、それぞれ隣接する上流側の前記各グループの空気混合液の粒子が、下流側の前記各グループの空気混合液の粒子よりも微細な粒子となるように構成されている。そのため、浄化が進行するにつれて低濃度となるＶＯＣ含有液であっても、微細な粒子とすることで、より効率的に、空気混合液中のＶＯＣを、空気と接触させて浄化部内で気化させることが可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の一形態について、ＶＯＣを含む泥水（以下、「ＶＯＣ含有泥水」という）を浄化する場合を例として、図面を参照して詳細に説明する。
なお、本発明の浄化装置１０は１基でも使用可能であるが、後記するように複数基を使用して、浄化システムＳとして使用するとより効果が高いため、以下の説明では、浄化装置１０及び浄化システムＳのそれぞれについて、その説明を行う。
また、各実施形態の説明において、同一の構成要素に関しては同一の符号を付し、重複した説明は省略するものとする。さらに、説明中での左右方向とは、各図に示されている向きに対応したものである。
【００２１】
［浄化装置］
（１）構成
図１及び図２に示すように、本発明の浄化装置１０は、密閉空間である浄化部を形成するための略直方体であるハウジング１１を備えており、当該ハウジング１１の内部が浄化部となっている。
そして、このハウジング１１の左壁面部における中間高さからやや低い位置には、エゼクタ４に接続されている複数本の噴射ノズル１２が上向きに突設されている。エゼクタ４は、給気管１３を介して圧縮機３に接続されているとともに、給液管１４を介して泥水槽５（ＶＯＣの含有液の供給源）と連通している。このように、圧縮機３，エゼクタ４及び噴霧ノズル１２からＶＯＣ噴霧手段の主要部が構成されている。
【００２２】
なお、泥水槽５には、浄化対象であるＶＯＣ含有泥水が貯溜されている。
また、場合によっては、泥水槽５からエゼクタ４にＶＯＣ含有泥水を送液するために、ポンプを補助的に用いてもよい。
さらに、噴射ノズル１２の数及び形状は、処理すべきＶＯＣ含有泥水の量及び濃度により適切に定められるものであり、図１及び図２に示す実施形態では、各エゼクタ４に接続されている２本の噴霧ノズル１２が、幅方向に並設されている。
【００２３】
また、前記ハウジング１１の天井部から右内壁面の下部に向けて斜め右下がりとなるように、金網部を有する網板１６ａ（網状部材）と、邪魔板１６ｂ（衝突部材）が所定間隔で平行に設けられている。
そして、前記ハウジング１１の左側上部の隅角部において、天井部から斜め左下がりとなるように第１導風板１７ａ（導風部材）が、また、左内壁面から斜め右上がりとなるように第２導風板１７ｂ（導風部材）が、所定間隔で平行に取り付けられている。この第１導風板１７ａの下端部と第２導風板１７ｂの上端部の高さ位置は略一致するように設けられており、ハウジング１１の内部の空気は両導風板１７ａ，１７ｂの間を通って後記接続管に導入されるようなダクト構造になっている。
【００２４】
前記ハウジング１１の下部には、排液槽８に接続されている排液管１８が取り付けられており、当該排液管１８の中途部にはポンプ９が介設されている。これにより、ハウジング１１の内部でＶＯＣが除去された泥水を当該排液槽８に送液可能となっている。
【００２５】
また、浄化部である前記ハウジング１１の左側面部には、当該ハウジング１１の内部が大気圧以下の圧力となることを防止するための吸気口１１ａが設けられ、圧力が自動バランスするようになっている。この吸気口１１ａには、万一、浄化部から浄化後におけるＶＯＣ及び液体分を含有した空気（以下、「ＶＯＣ含有湿潤空気」という）が排出された場合においても、外部にＶＯＣが漏出することがないように、活性炭フィルタ１９が設けられており、そのような場合には、当該活性炭フィルタ１９により、ＶＯＣが除去されるようになっている。
そして、この吸気口１１ａは、外気をハウジング１１の内部に吸引するときにのみ開く、バタフライ弁（図示せず）が設けられている。なお、このバタフライ弁の替わりに、外気をハウジング１１の内部に吸引するときにのみ開放される他の構造を用いることもできる。
【００２６】
さらに、前記ハウジング１１の左壁面の上隅部には接続管２６，２７，２８を介して、その上流側から下流側に向かって順に、送風機２１（空気流形成手段）、サイクロン式ミストセパレータ２２（液体分除去手段）、消音装置３０（消音手段）及び活性炭塔２３（ＶＯＣ除去手段）が設けられている。
【００２７】
前記送風機２１は、ＶＯＣ含有湿潤空気をハウジング１１の内部から吸引して、活性炭塔２３に向かう空気流を形成するために設けられている。
そのため、この送風機２１は、サイクロン式ミストセパレータ２２と消音装置３０の間や、消音装置３０と活性炭塔２３の間等、送風効率が良好となるように任意の場所に設けることができる。
【００２８】
前記サイクロン式ミストセパレータ２２は、縮径部を下向きにして配置されている截頭円錐台形状であり、上端部に水平に接続されている接続配管２６からＶＯＣ含有湿潤空気を導入し、当該ＶＯＣ含有湿潤空気の流入速度を利用して旋回運動を与え、その遠心力により液体分及び微細土粒子を除去できるようになっている。このサイクロン式ミストセパレータ２２により液体分が分離された空気（以下、「ＶＯＣ含有乾燥空気」という）は、消音装置３０に送られた後に、活性炭塔２３に導入されるようになっているとともに、分離された液体分は、先端部に集められた後に、ハウジング１１の左壁部に接続されている返送管２９により、当該ハウジング１１の内部に戻されるようになっている。
【００２９】
図３に示すように、前記消音装置３０は、円筒状である外筒３１の内部が仕切部材３４により上下の２室に画設されており（上室３０ａに比べて下室３０ｂの容積が大きく形成されている（図１参照））、当該上下室３０ａ，３０ｂにはそれぞれ上下の回動部材３２，３３により４つの空間に区画されている。各回動部材３２，３３は、吸音材が表面に貼付されている２枚の長方形板を十字形状（平面視）となるように組み合わせており、中央部３２ａ，３３ａが軸部材３５により回動自在に軸支されているとともに、上下左右の各辺にシール材３２ｂ，３３ｂが設けられている。
【００３０】
また、仕切部材３４は、円板から扇形部分が切除された形状をなしており、当該切除された開口部３４ａ（左側に形成されている）のみから、上室３０ａから下室３０ｂへ空気を導風することができるようになっている。
さらに、前記消音装置３０の上面３１ａ及び下面３１ｂには、それぞれ、右端部（図３参照）に接続管２７，２８が接続されているとともに、下面３１ｂには排水孔３１ｃが形成されている。
ここで、前記開口部３４ａの位置と、上面３１ａ及び下面３１ｂにおける接続管２７，２８の接続部は、平面視で重ならない位置に設ける必要がある。その理由は、上室３０ａと下室３０ｂとを接続部とを直接的に連通させて空気を排出することで、圧縮機３等の運転音（以下、「騒音」という）が外部に漏出しないようにする必要があるからである。
なお、前記消音装置３０は、サイクロン式ミストセパレータ２２によっても除去が難しい液体分を含む可能性があるために縦型構造の装置を採用したが、その他の構造の装置を用いるものであってもよい。
【００３１】
前記活性炭塔２３（ＶＯＣ除去手段）は、内部に活性炭が充填されており、ハウジング１１の内部で気化したＶＯＣを導入して、当該活性炭によって吸着除去することができるようになっている。
【００３２】
（２）浄化方法
前記浄化装置１０を使用した浄化方法について説明を行う。
圧縮機３とエゼクタ４を作動させ、当該エゼクタ４においてＶＯＣ含有泥水と圧縮空気を混合して（以下、「空気混合泥水」という）、噴霧ノズル１２からハウジング１１の内部にジェット噴射させる。すると、噴射された空気混合泥水は、網板１６ａを通過して、さらに細かい霧状になるとともに、邪魔板１６ｂと衝突して飛散し、空気混合泥水中のＶＯＣが気化することにより、ＶＯＣ含有泥水中からＶＯＣが除去される。
そして、ハウジング１１の内部に噴霧された空気混合泥水は、当該ハウジング１１の底部に貯溜され、ポンプ９により排液槽８に排出されることになる。
【００３３】
また、ハウジング１１の内部におけるＶＯＣ含有湿潤空気は、送風機２１を作動させることにより接続管２６から排出される。このＶＯＣ含有湿潤空気は、ダクト構造に形成されている第１導風板１７ａと第２導風板１７ｂとの間を通過して接続管２７に導かれることになるが、多量の液体分を含んでいるため、当該第１導風板１７ａと第２導風板１７ｂに衝突することにより、液体分の一部が除去されて、ハウジングの１１底部に貯溜することになる。
【００３４】
そして、ハウジング１１から排出されたＶＯＣ含有湿潤空気は、サイクロン式ミストセパレータ２２に導入され、液体分及び微細土粒子が除去された後のＶＯＣ含有乾燥空気が消音装置３０に導入される。
このＶＯＣ含有乾燥空気は、まず、上部回動部材３２により仕切られた上室３０ａの空間部に一旦密封され、その後、当該上部回動部材３２の回動に伴って開口部３４ａに導かれて下室３０ｂに到達する。そして、下部回動部材３３により仕切られた下室３０ｂの空間部に一旦密封され、その後、当該下部回動部材３３の回動に伴って、接続管２８から排出されることになり、上下室３０ａ，３０ｂに至る間に、その流れが遮断されながら間欠的に導風される。この過程により、ＶＯＣ含有乾燥空気を媒介して伝播される騒音は、その流れが遮断されるとともに、吸音材によって騒音が吸音されて減衰する。従って、騒音が浄化装置１０の外部に漏れることを防ぐことができる。
その後、消音装置３０から排出されたＶＯＣ含有乾燥空気は、活性炭塔２３に導入され、ＶＯＣが吸着除去されることになる。
【００３５】
このように前記浄化装置１０によれば、噴射ノズル１２からハウジング１１の内部に向けて空気混合泥水をジェット混合して噴射することができることから、ＶＯＣ含有泥水を送気された圧縮空気と混合させて、非常に大きい空気との接触面積を確保することが可能となるため、短時間で効率的にＶＯＣを気化させて除去することができる。従って、この浄化装置１０を用いることにより、従来、除去が難しかった粘性の高い液体に含有されているＶＯＣの除去を非常に効率的に行うことができるようになる。
また、エゼクタ４を使用してＶＯＣ含有泥水と圧縮空気とを混合して噴射させることにより、微細な霧状とすることができることから、効率的にＶＯＣを気化させることができる。
【００３６】
さらに、前記浄化装置１０は、ハウジング１１と連通している活性炭塔２３を備えていることから、有害なＶＯＣがハウジング１１の外部に流出することを効果的に防止することができる。
また、サイクロン式ミストセパレータ２２を備えているため、ハウジング１１から活性炭塔２３に送られるＶＯＣ含有湿潤空気から液体分及び微細土粒子を除去することができ、当該活性炭塔２３において、ＶＯＣの除去効率を向上させることができる。
【００３７】
［浄化システム］
（１）構成
図４に示すように、本発明の浄化システムＳは、直列に接続された複数基（本実施形態では３基）の前記浄化装置１０を用いている。
なお、以下の説明において、各浄化装置を区別する必要がある場合には、各浄化装置及びその構成要素に番号及び３桁の符号を付し、その符号中、下２桁は、前記浄化装置１０の説明に用いた符号と同一の符号を付し、上１桁は、各浄化装置の番号を付すものとする。
【００３８】
前記浄化システムＳにおいて、最上流に設置された第１浄化装置１１０における第１エゼクタ１０４は、給液管１４を介して泥水槽５に連通しているとともに、圧縮機１０３と接続されており、当該泥水槽５に貯溜されているＶＯＣ含有泥水と圧縮空気を第１エゼクタ１０４内で混合して、第１噴射ノズル１１２からジェット噴射することができるようになっている。
【００３９】
また、第１ハウジング１１１は、第１浄化装置１１０の下流側に設置されている第２浄化装置２１０における第２エゼクタ２０４と第１排液管１１８を介して接続されており、当該第２エゼクタ２０４及び第１排液管１１８は、第２浄化装置２１０のＶＯＣ噴霧手段の一部を構成している。
また、第２ハウジング２１１は、第２浄化装置２１０の下流側に設置されている第３浄化装置３１０における第３エゼクタ３０４と第２排液管２１８を介して接続されており、当該第３エゼクタ３０４及び第２排液管２１８は、第３浄化装置３１０のＶＯＣ噴霧手段の一部を構成している。
【００４０】
そして、第２浄化装置２１０及び第３浄化装置３１０は、それぞれ、上流側に隣接する浄化装置１１０，２１０におけるハウジング１１１，２１１の内部に噴射されたＶＯＣ含有泥水を、後流側における浄化装置２１０，３１０のＶＯＣ噴霧手段を用いて、各々のハウジング２１１，３１１の内部に噴射することが可能となっている。
また、最下流に設けられている第３浄化装置３１０は、第３排液管３１８を介して排液槽８と接続されており、最終処理された泥水をポンプ９により送液可能となっている。
【００４１】
前記第１浄化装置１１０〜第３浄化装置３１０は、上流側から順に、高濃度浄化対応（ＶＯＣ濃度５０ｐｐｍ程度にまで減少させる装置）、中濃度浄化対応（ＶＯＣ濃度５０ｐｐｍ程度〜３０ｐｐｍ程度にまで減少させる装置）、低濃度浄化対応（ＶＯＣ濃度３０ｐｐｍ以下にまで減少させる装置）の３種類のグループに区分されている。各浄化装置１１０〜３１０は、第１浄化装置１１０から第３浄化装置３１０の順に、圧縮機１０３〜３０３から供給される圧縮空気量及び噴射ノズル数（本実施形態では、順に２つ、３つ、４つ）を増加させるとともに、空気混合液が微細な霧状となるように工夫された噴射ノズル形状を採用すること等を調節することにより、各噴霧ノズル１１２〜３１２から噴霧されるＶＯＣ含有泥水の粒子を、順次、微小粒子にすることができるように構成されている。
【００４２】
なお、前記のように、各浄化装置１１０〜３１０を３種類のグループに分けた理由は、以下の通りである。
図５に示されているように、例えば、高濃度（約１００ｐｐｍ）のＶＯＣ濃度であるＶＯＣ含有液につき浄化装置を１回のみ使用して浄化した場合には、約５０ｐｐｍにまでＶＯＣ濃度が低下する。
一方、中濃度（約５０ｐｐｍ）のＶＯＣ濃度であるＶＯＣ含有液につき、前記場合と同一条件で浄化装置を１回のみ使用して浄化した場合には、約３５ｐｐｍにまでしかＶＯＣ濃度が低下せず、さらにもう１回浄化を行った場合でも、約３０ｐｐｍにしかＶＯＣ濃度は減少しない。
さらに、低濃度（約３０ｐｐｍ）のＶＯＣ濃度であるＶＯＣ含有液につき、約１０ｐｐｍのＶＯＣ濃度にまで浄化するためには、前記場合と同一条件で浄化装置を４回使用して浄化しなければならない。
【００４３】
このように、ＶＯＣ含有液が高濃度のＶＯＣ濃度であるほどＶＯＣの除去効率が大きく、低濃度のＶＯＣ濃度になるに従って浄化効率が低下してしまう。そのため、同一条件下であれば、浄化回数を増加させなければＶＯＣ濃度を低下させてることはできない。従って、前記浄化システムＳでは、低濃度のＶＯＣ濃度であるＶＯＣ含有液を浄化させるための浄化装置について、空気混合液の粒子を、可能な限り微小粒子になるようにし、霧状物質の空気との接触面積を大きく確保させて気化しやすくすることで、浄化効率を向上させている。
【００４４】
なお、前記第１浄化装置１１０から第３浄化装置３１０のそれ以外の構成は、前記で説明した浄化装置１０と同一である。また、各浄化装置１１０〜３１０には、それぞれの処理能力等に応じた規格の圧縮機１０３〜３０３、送風機１２１〜３２１、サイクロン式ミストセパレータ１２２〜３２２、消音装置１３０〜３３０及び活性炭塔１２３〜３２３が設けられている。
さらに、浄化システムＳを構成する浄化装置の数及びグループの数は処理を行う含有泥水の量や濃度等に応じて適切に定めることができ、また、各グループにおける浄化装置の構造や寸法等を異なるようにしてもよい。
【００４５】
（２）浄化方法
前記浄化システムＳを用いた浄化方法について説明する。
各圧縮機１０３〜３０３と各エゼクタ１０４〜４０４を作動させ、第１浄化装置１１０における第１ハウジング１１１の内部に第１噴霧ノズル１１２からＶＯＣ含有泥水と圧縮空気の混合物をジェット噴射させる。すると、噴射されたＶＯＣ含有泥水と圧縮空気が高速で接触して混合されるため、泥水中からＶＯＣが揮発して除去されることになる。
【００４６】
第１ハウジング１１１の内部に噴射され、ＶＯＣの一部が除去された泥水（以下、「一次噴射処理泥水」という）は、当該第１ハウジング１１１の底部に貯溜される。
この一次噴射処理泥水は、第２エゼクタ２０４により第１ハウジング１１１から排出され、第２圧縮機２０３から送風された圧縮空気と混合されて、第２浄化装置２１０における第２ハウジング２１１の内部に噴射され、前記第１浄化装置１１１の場合と同様の原理により、さらに、ＶＯＣの一部が除去される。以下、第３浄化装置３１０においても、前記と同様にＶＯＣが除去される。従って、この浄化システムＳでは、ＶＯＣ含有泥水は計３回の処理が行われた後に、ポンプ９の動作で排液槽８に排液されることになる。
【００４７】
このように、前記浄化システムＳは、各々、上流側に隣接する浄化装置１１０，２１０におけるハウジング１１１，２１１の内部に噴射されたＶＯＣ含有泥水を、後流側における浄化装置２１１，３１１のＶＯＣ噴霧手段により、各々のハウジング２１１，３１１の内部に噴射することが可能となるように構成されている。そのため、各浄化装置１１０〜３１０において連続的にＶＯＣの除去を行うことができるため、噴射された泥水中にＶＯＣが残留していた場合であっても、そのＶＯＣを確実に除去することができる。従って、濃縮された高濃度のＶＯＣ含有泥水であっても、非常に簡易かつ安価に浄化を行うことができる。
【００４８】
また、上流側から下流側に至る前記各グループにおける各浄化装置１１０〜３１０の噴射ノズル１１２〜３１２から噴霧される空気混合泥水の粒子が、順次、微小粒子になるように構成されており、下流側のグループにおける浄化装置２１０，３１０において霧状物質の空気との接触面積を大きく確保することができるため、ＶＯＣの含有濃度が低濃度になった場合でも浄化効率を向上させることができる。
【００４９】
さらに、各浄化装置１１０〜３１０を同一の構造としてユニット化し、エゼクタ１０４〜３０４及び噴霧ノズル１１２〜３１２の数を増減させる構造とすれば、一つの浄化装置を大型化させることなく、各現場の状況に応じて、簡易かつ安価に浄化システムを構築できる。
【００５０】
以上、本発明について、好適な実施形態の一例を説明した。しかし、本発明は、前記実施形態に限られず、前記の各構成要素については、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜設計変更が可能である。特に、本発明は、一般的なＶＯＣに有効であり、芳香族（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）、ケトン・アルデヒド（メチルエチルケトン、アセトアルデヒド等）、有機ハロゲン化合物（トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン（パークレン）等）、硫黄化合物（メルカプタン等）、アミン・アミド化合物（ジエチルアミン等）などの各種物質に適用可能である。
なお、前記消音手段、空気流形成手段等は、一例を示したにすぎず、その他の構造の装置を用いるものであってもよい。
【００５１】
【発明の効果】
本発明によれば、浄化効率が良好であり、簡易な構造とすることが可能であり、さらには、安価である浄化装置及び浄化システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の揮発性有機化合物浄化装置を示す側断面図である。
【図２】本発明の揮発性有機化合物浄化装置を示す平面図である。
【図３】消音装置を示す分解斜視図である。
【図４】本発明の揮発性有機化合物浄化システムを示す概念図である。
【図５】揮発性有機化合物含有液を同一の揮発性有機化合物浄化装置で浄化する場合において、当該揮発性有機化合物含有液中の揮発性有機化合物濃度の違いと浄化回数についての関係の一例を示すグラフである。
【符号の説明】
Ｓ　　　浄化システム（揮発性有機化合物浄化システム）
３　　　圧縮機
４　　　エゼクタ
５　　　泥水槽（ＶＯＣの含有液の供給源）
８　　　排液槽
１０　　浄化装置（揮発性有機化合物浄化装置）
１１　　ハウジング（浄化部）
１２　　エゼクタ
１６ａ　網板（網状部材）
１６ｂ　邪魔板（衝突部材）
１７ａ　第１導風板（導風部材）
１７ｂ　第２導風板（導風部材）
２１　　送風機（空気流形成手段）
２２　　サイクロン式ミストセパレータ（液体分除去手段）
２３　　活性炭塔（ＶＯＣ除去手段）
３０　　消音装置（消音手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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