(57)【要約】　　　（修正有）【課題】ワーク落下防止の機能、ワークの載置位置に対する柔軟な位置調整機能を有するワーク保持手段を備えたワーク搬送装置を提供する。【解決手段】水平移動手段に設けられ、ワークを保持するワーク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処理装置との間で前記ワークの受け渡しが行なわれるようにする昇降手段１３とを備え、クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送するようにされてなるワーク搬送装置において、ワーク保持手段は、ワークの両側面へコの字状に延びるワーク保持部２６を有し、ワークの底面を保持するハンド３２を前記ワーク保持部２６の両側部の下端に対向して設けられている。また、ワーク保持手段が水平面内で移動可能な旋回手段４０、ワークの向きを変えられる回転手段５０が設けられ、載置条件に対し柔軟に対応できる。【選択図】　図４
2004025427.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを保持するワーク保持手段と、
クリーンルーム内上方の天井空間で、前記ワーク保持手段を水平方向に移動させる水平移動手段と、
前記水平移動手段に設けられ、前記ワーク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処理装置との間で前記ワークの受け渡しが行なわれるようにする昇降手段とを備え、
前記クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送するようにされてなるワーク搬送装置において、
前記ワーク保持手段は昇降手段の下部に設けられ、ワークの両側面へコの字状に延びるワーク保持部を有し、ワークの底面を保持するハンドを前記ワーク保持部の両側部の下端に対向して設けたことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記ワークの上面を支持するワーク支持部材を突出可能に前記ワーク保持部の中央付近に設けたことを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記ワーク保持部は、前記ハンドを前記ワーク保持部の両端部の下端に水平面内に回転可能に軸支させて回動するハンド回転駆動部を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記ハンド回転駆動部は、前記ワーク保持部に軸支された前記ハンドの回動軸をバネを介してモータの出力軸に連結されたこと特徴とする請求項３に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
前記昇降手段は、多関節アームからなり、該多関節アームが伸縮することにより前記ワーク保持手段を昇降させる機能を有し、
前記多関節アームの各関節軸及び前記ワーク保持部は、中空構造にされており、各アーム及び前記ワーク保持部の内部空間は連通されて、負圧が付与されていることを特徴とする請求項１乃至４に記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記昇降手段と前記ワーク保持手段の中継位置に前記ワー
ク保持手段を水平面内で移動させることが可能な旋回手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至５に記載のワーク搬送装置。
【請求項７】
前記ワーク手段は保持したワークの向きを変えることができる回転手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至６に記載のワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本願の発明は、クリーンルーム用のワーク搬送装置に関し、特に半導体部品、液晶表示パネル、医薬品、薬品、加工食品等のクリーンルーム内生産ラインにおいて、複数の処理装置間を巡って各処理装置にワークを搬送するようにされてなるワーク搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路、液晶表示パネル等では、塵埃の付着により製品の歩留りが低下する。また、医薬品、薬品、加工食品等では、無菌の衛生的な環境において生産されることが望ましい。このため、それらの生産部門を含む広い分野において、クリーンルーム内生産ラインが稼働しており、クリーンルーム内に設置される各種処理室、ワーク搬送装置等に関して種々の技術開発が図られている。
【０００３】
それらのうち、ワーク搬送装置に関し、本出願人は、図１に示すようなクリーンルーム内上方の天井空間で、ワークを保持するワーク保持手段を任意の３次元方向に移動させることができる移動手段を備えたワーク搬送システムを創案し、特許出願をした（特願２００１−２８３４０７号公報参照）。このものにおいては、天井空間に一対の水平な固定ガイドレールが平行に配設されており、これら一対の固定ガイドレール間に、水平な走行ガイドレールが１本ないし複数本架設されていて、この走行ガイドレールが固定ガイドレールに沿って走行できるようになっている。また、走行ガイドレールには、該走行ガイドレールに沿って走行する走行体が設けられており、これら固定ガイドレール、走行ガイドレール、走行体によって水平移動手段が構成されている。さらに、この走行体には、ワーク保持手段を昇降させることができる昇降手段が設けられていて、該昇降手段を前記水平移動手段に加えて、３次元移動手段が構成されている。
【０００４】
このワーク搬送システムは、前記のように構成されているので、クリーンルームの床面にワーク搬送のためのエリアが必要とされることがなく、クリーンルーム内を有効活用することができる。このため、同一設備に対しては、必要なクリーンルーム容積を小さくすることができ、クリーンルームの設備コストおよび運用コストを安価にすることができる。また、クリーンルーム内に設置される処理室等の装置の設置位置や設置方向が制約を受けにくく、最適な配置を選択することができる。さらに、新たに処理室等の装置を追加する場合や処理室等の装置の配置を変更する場合も、その配置や設置方向を自由に選択することができる。したがって、処理室等の装置の配置の変更、増設などに対するコストも安価にすることができる。さらに、また、ワーク保持手段をある位置から他の位置に直線的に移動させることができ、クリーンルーム内におけるワークの処理効率も向上する、等々の優れた効果を奏するものである。
【０００５】
しかしながら、この従来のワーク搬送システムにあっては、図１０に示すように昇降手段１１３に設けられたワーク保持手段２１１によって、ワーク（ウエハまたはレチクル）複数枚を納めた密閉コンテナ（ワーク収納容器）２０６の上面に設けられたフランジ２０２をチャック２０１で保持して搬送する構造となっているが、このときフランジ２０２が破損して密閉コンテナが落下することが懸念されていた。また、ウエハ又はレチクル等のワークは一般に高価で、クリーンルーム内の天井空間で搬送されるため、安全のためにはワーク保持手段２１１とは別にワーク落下防止手段を付加することが要求されるが、クリーンルーム内の搬送においてこのようなワーク落下防止手段をワーク３次元移動手段に設けられたワーク保持手段２１１とは別に備えることは、装置の複雑化を招きコスト負担を強いると共に、塵埃等の原因となる可能性を否定できなかった。
【０００６】
また、ワーク三次元移動手段においては、ワークを載置する位置に対し大まかな位置合わせは容易であるが、ワークを載置する位置に対し正確な位置合わせは、大変困難であった。さらに、ワークを載置する位置より受取ったワークの向きを変えて、他のワークを載置する位置へワークを受け渡す必要がある場合に対応できないことが難点であった。
【０００７】
【特許文献１】
特願２００１−２８３４０７号公報
【特許文献２】
特開平１０−２７９２８７号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本願の発明は、従来のワーク搬送装置が有する前記のような問題点を解決し、ワーク落下防止の機能を果たすシンプルで有効なワーク保持部を備え、移送先の条件に対しフレキシブルに対応できるワーク搬送装置を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段および効果】
本願の発明は、前記のような課題を解決したワーク搬送装置に係り、その請求項１に記載された発明は、ワークを保持するワーク保持手段と、クリーンルーム内上方の天井空間で、前記ワーク保持手段を水平方向に移動させる水平移動手段と、前記水平移動手段に設けられ、前記ワーク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処理装置との間で前記ワークの受け渡しが行なわれるようにする昇降手段とを備え、前記クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送するようにされてなるワーク搬送装置において、前記ワーク保持手段は昇降手段の下部に設けられ、ワークの両側面へコの字状に延びるワーク保持部を有し、ワークの底面を保持するハンドを前記ワーク保持部の両側部の下端に対向して設けたことを特徴とするとするワーク搬送装置である。
【００１０】
請求項１に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。クリーンルーム内上方の天井空間で、ワークを保持するワーク保持手段を任意の方向に移動させ、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送するときに、前記ワーク保持手段はワークの両側面へコの字状に延びるワーク保持部を有し、ワークの底面を保持するハンドを前記ワーク保持部の両側部の下端に対向して設けているため、ハンドがワークの底面の両側を上向きに支えるとともにワークを保持し、ワークの垂直方向に対する落下防止機能として働き、落下によるワークの破損の虞がない。また、ワーク保持手段が同時に落下防止機能として働くため、別途、ワーク保持手段の他に特別の落下防止手段を設ける必要がなく、装置の簡単化と低コストを実現する。
【００１１】
また、請求項２に記載のように請求項１に記載の発明を構成することにより、前記ワーク保持部の中央付近に設けられたワーク支持部材がワーク上面に対して突出してワークを支持し、ワーク下面を保持しているハンドと協動してワークの水平方向への位置ズレ等を阻止することができる。この結果、前記水平移動手段によって発生するワークのワーク保持手段に対する位置ズレ等が阻止され、ワークの落下が防止される。
【００１２】
また、請求項３に記載のように請求項１乃至２に記載の発明を構成することにより、前記ワーク保持手段に設けられたハンド回転駆動部において、ハンドを水平面内で回転させてワークの下面へハンドを突出させ、ワークを下面から確実に保持すると共に垂直方向へのワークの落下を防止することができる。また、ワークを保持しない場合はハンドをワーク保持部の両側部の下端に蔵っておくことができ、他障害物との衝突等を回避することができる。
【００１３】
また、請求項４に記載のように請求項３に記載の発明を構成することにより、ハンドはバネを介してモータの出力軸に連結しているので、ハンドの停止位置に設けているストッパへ該ハンドが衝突する際に、モータから伝えられる回転駆動力を吸収してハンドのスムーズな停止を可能にし、モータの破損を防止することができる。
【００１４】
また、請求項５に記載のように請求項１乃至４に記載の発明を構成することにより、多関節アームの各関節軸及びワーク保持部は中空構造にされ、各アーム及びワーク保持部の内部空間は連通されて、負圧が付与される。この結果、多関節アームを構成する各アーム及びワーク保持部における、例えば可動部分による発塵をクリーンルーム内に流出しないようにし、クリーンルーム内のクリーン度の維持が容易になる。
【００１５】
また、請求項６に記載のように請求項１乃至５に記載の発明を構成することにより、昇降手段とワーク保持手段の中継に旋回手段を備えているので、ワーク保持手段を水平面内で移動させることができる。この結果、ワーク保持手段がワークを載置する位置に対してワークを移載する時、ＸＹ方向において微調整が必要な場合でも、ワーク保持手段がワークを載置する位置に対し正確な位置合わせを行い、ワークを載置することが可能となる。
【００１６】
また、請求項７に記載のように請求項１乃至６に記載の発明を構成することにより、ワーク保持手段は回転手段を備えているので、保持したワークを回転させることができる。この結果、ワーク保持部は保持したワークを任意の向きに回転させることができるため、多様な向きに配置されている装置の載置台に対して柔軟にワークの向きを合わせて載置することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
次に、図１乃至１０に図示される本願の請求項１乃至７に記載された発明の実施形態について説明する。
【００１８】
図１は、本実施形態におけるワーク搬送装置が適用されるクリーンルーム内生産ラインの斜視図、図２は、同ワーク搬送装置が備える昇降手段が上昇又は下降する途中の状態を示す正面図、図３は、同側面図、図４は同ワーク搬送装置が備える昇降手段が上昇又は下降する途中の状態を示す斜視図、図５は同ワーク搬送装置が備えるワーク保持手段によりワークを保持している状況を示す底面図、図６は同ワーク搬送装置が備えるワーク保持手段によりワークを保持している他の実施状況を示す正面図である。図７は旋回手段と回転手段の構造を示す断面図、図８は旋回手段による動作を示す図、図９は回転手段による動作を示す図である。
【００１９】
本実施形態におけるワーク搬送装置が適用されるクリーンルーム内生産ラインは、図１に図示されるように、クリーンルーム内の床面２に、複数の処理室（処理装置）３が２列に分かれて並設されており、各処理室３には、インターフェイス装置４が付設されている。
【００２０】
各処理室３は、順次ワークの処理をする設備であって、それぞれ異なる処理を実施するものであるが、ワーク処理のタクトタイムのバランス等を考慮して、同一処理室が複数含まれていてもよい。このような処理室３としては、例えば、半導体ウエハのレジスト塗布、露光、現像、イオン打込み、アニール、スパッタリング等の処理を行なうための半導体ウエハ処理装置がある。以下の説明においても、半導体ウエハに対する処理を念頭において説明するが、同様のワーク搬送装置は、レチクル処理装置に対しても、同様に適用され得るものである。
【００２１】
インターフェイス装置４は、処理室３とクリーンルームとを遮断するためのバッファ空間を構成するものであって、処理室３におけるワークの受け渡しは、インターフェイス装置４を介して実行される。インターフェイス装置４のワーク搬入出口５は、ワークの搬入出を行なう場合以外は密閉されている。
【００２２】
処理室３およびインターフェイス装置４は、メンテナンス要員やオペレータ要員が作業をするための最低限のメンテナンスエリアを隔てて整列配置されており、クリーンルームの床面積を出来るだけ小さくして、クリーンルームの最大活用を図り、また、後述するワーク搬送装置１０によるワーク搬送の効率化を図っている。但し、各処理室３は、特に複数列に並んでいる必要はないし、また、前面（インターフェイス装置４が設けられる面）の向きも規定されておらず、ある程度のランダム配置が許される。
【００２３】
このクリーンルームの上部空間には、ワーク（ウエハまたはレチクル）を複数枚納めたＦＯＵＰ等の密閉コンテナ（ワーク収納容器）６を各処理室３に処理順序に従って搬送するためのワーク搬送装置１０が設けられている。ワークは、要求される高度なクリーン度を保つために、密閉コンテナ６内に密閉した状態で搬送される。床面２には、ワーク搬送車７の走行用スペースが設けられており、クリーンルーム外から搬送されてきた密閉コンテナ６をワーク搬送車７が受けると、ワーク搬送車７は、そこに敷設された軌条に沿って所定の位置まで走行して、その密閉コンテナ６をワーク搬送装置１０に受け渡す。
【００２４】
ワーク搬送装置１０は、密閉コンテナ６を保持するワーク保持手段１１と、クリーンルーム内上方の天井空間でワーク保持手段１１を水平方向に移動させる水平移動手段１２と、該水平移動手段１２に設けられ、多関節アームからなる昇降手段１３とを備えている。昇降手段１３は、その多関節アームが伸縮することによりワーク保持手段１１を昇降させて、ワーク保持手段１１と各処理室３との間でワークの受け渡しが行なわれるようにする。水平移動手段１２と昇降手段１３とにより３次元移動機構が構成されている。
【００２５】
水平移動手段１２は、図１に図示されるように、クリーンルーム内上方の天井空間に平行に配設された一対の水平な固定ガイドレール１４と、これらの固定ガイドレール１４間に１本ないし複数本の走行ガイドレール２８が架設されており、該走行ガイドレール２８に沿って走行する走行体１５が配設されている。昇降手段１３は、例えば図６においてその基端部（始端第１アーム１６の基端部）がこの走行体１５に回動可能に連結されていて、走行体１５に随伴して走行する。
【００２６】
この実施形態においては、水平移動手段１２は、クリーンルーム内上方の天井空間で、一対の固定ガイドレール１４間に挟まれた任意の水平面内での移動が可能であり、昇降手段１３およびワーク保持手段１１をある位置から中央の通路を挟んで反対側の他の位置に直線的に移動させて、ワーク保持手段１１と各処理室３との間でのワークの受け渡しを行なわせることができる。なお、一対の水平な固定ガイドレール１４間の間隔は、処理室３の配置形態（設置位置、設置方向）に応じて適宜設定され、クリーンルーム一杯に取ることも可能である。
【００２７】
次に、昇降手段１３の構造について、詳細に説明する。昇降手段１３は、図２乃至図４に図示されるように、５つのアーム１６〜２０を有する多関節アームからなり、始端第１アーム１６の基端部は、前記のとおり、走行体１５に回動可能に連結されていて、昇降手段１３が走行体１５に随伴して水平面内で走行することができるようになっている。
【００２８】
また、５つのアーム１６〜２０は、図３により良く図示されているように、１つの仮想鉛直面Ａを中心にして、始端第１アーム１６はその左方に、第２アーム１７はその右方に、第３アーム１８はその左方に、というように、順次交互に互い違いに配置され、それらの各端部で順次交互に互い違いに重ねて連結されている。このようにすることにより、多関節アームの重心がずれることがなくなり、アーム全体の重量バランスが安定して、多関節アームが伸長（昇降手段１３が下降）したときにも、重力による撓みが少なくなる。また、昇降手段１３の折り畳みがコンパクトになり、走行に伴う気流の乱れを最小限に抑えることができる。
【００２９】
昇降手段１３は、また、単一の駆動源モータ２１とアーム相互間の一定の回動比（１：２：１：２：１）を有する構造とを有しており、このモータ２１が作動して、各アーム１６〜２０が回動することにより、多関節アーム全体（昇降手段１３）が伸縮する。そして、これにより、終端第５アーム２０に固着されたワーク保持手段１１が一直線上を昇降するようになっている。この昇降は、モータ２１の制御により自動的に行なわれる。なお、回動比１：２：１を基本とするアーム相互間の一定回動比を有する構造のもとでは、多関節アームを構成するアームの数は、５つに限定されず、３つでもよく、あるいは７つとされてもよい。
【００３０】
このモータ２１は、図３に図示されるように、第１アーム１６側に設けられており、該第１アーム１６の内部空間の上方の空いたスペースを活用して、そこに納められている。このようにすることにより、単一の駆動源モータ２１とアーム相互間の一定の回動比を有する構造とから発生する塵埃のシールは、全てアーム側で行なえばよいことになり、シールがし易い構造が得られる。水平移動手段１２に対する始端第１アーム１６の回動、およびアーム相互間の一定の回動比を有する構造を介した後続の第２〜第５アーム１７〜２０の回動は、全てこのモータ２１の作動によって行なわれる。アーム相互間の一定の回動比を有する構造としては、例えば、一定の径比を有する複数のプーリと複数のベルトとを用いたもの、複数の歯車のみの連携によるもの、複数のワイヤーのみの連携によるもの等周知の伝動機構を使用することができる。
【００３１】
多関節アームを構成する５つのアーム１６〜２０のうち、隣接するアーム同士を回動可能に連結する関節軸２２〜２５（図４参照）の各々は、詳細には図示されないが、中空構造にされており、各アーム１６〜２０の内部空間は連通されて、負圧が付与されている。また、ワーク保持手段１１が備えるワーク保持部２６も中空構造にされていて、各アーム１６〜２０の内部空間に連通されており（図３中、鎖線で連通された連通路参照）、その駆動部より発生する塵埃が負圧により吸引されてアーム側に導かれるようになっている。
【００３２】
そして、これら各アーム１６〜２０、ワーク保持部２６の内部空間において発生した塵埃は、走行体１５の内部空間を介して固定ガイドレール１４の内部空間に吸引されて、その一方端側の排出口からクリーンルームの外に排出される。あるいは、また、固定ガイドレール１４の途中に設けられる単数もしくは複数のフィルターを通してクリーンルーム内に排出されるようにされてもよい。この結果、多関節アームを構成する各アーム１６〜２０及びワーク保持部２６における、例えば可動部分による発塵をクリーンルーム内に流出しないようにし、クリーンルーム内のクリーン度の維持が容易になる。
【００３３】
次にワーク保持手段１１を水平面内で移動させる旋回手段４０について図７を参照して説明する。旋回手段４０はアーム２０の下端に設けられた、平面視楕円形の中空の筐体４３をアーム２０とワーク保持手段１１の中継位置に備えている。アーム２０内には仕切部材４５が内部を上下に区画し、前記仕切部材４５に載置しているモータ４００の出力軸４２が仕切部材４５を貫通し、仕切部材４５の下へ突出した出力軸４２の外周にはギア４１ａが装着され、ギア４１ｂと噛合している。ギア４１ｂには中空軸４４が装着され、中空軸４４の上端は仕切部材４５に設けられた開口４８から突出し、下端は筐体４３の内部へ挿通し、前記筐体４３内部を仕切部材４７により区画された空間Ｓへ突出している。そして、仕切部材４７に設けられた開口４６を通じてアーム２０内部と筐体４３の内部を連通し、前記筐体４３及び仕切部材４７を前記中空軸４４が貫通する部分は各々固定されている。上記のような構成において、モータ４００で発生した回動動力が出力軸４２に装着したギア４１ａからギア４１ｂへと伝わると、ギア４１ｂに装着している中空軸４４が回転し始める。すると、前記中空軸４４に固定された筐体４３は中空軸４４を軸心として回動する。前記旋回手段４０による、旋回動作の外観を図８に示す。旋回動作前図８（ａ）の状態から前記筐体４３が中空軸４４を中心として９０度右へ旋回すると図８（ｂ）に示されるように破線位置から実線位置へワークが旋回する。
【００３４】
本実施例では筐体４３の形状を平面視楕円形としたが、これに限られることなく、平面視円形、その他の形状であってもよい。また、出力軸４２が筐体４３を貫通する位置を筐体４３の中心位置では無く、偏心位置にし、フットプリントを最小限にして、旋回ストロークを出来るだけ大きくしているが、上記のような実施形態に囚われず、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、ワーク保持手段１１を水平面内で旋回させる種々の変形が可能である。
【００３５】
次に、前記ワーク保持手段１１に設けられた回転手段５０について図７を参照して説明する。筐体４３の内部にはモータ５００が収容されている。前記モータ５００の出力軸５１には上記旋回手段４０の構造と同じく、外周にギア５２ａが装着され、ギア５２ｂと噛合されている。ギア５２ｂには中空軸５３が装着され、前記中空軸５３の下端はワーク保持手段１１に固定されている。従って、前記出力軸５１の回転に伴い前記ワーク保持手段１１は任意の方向へ回転可能となる。図９に前記回転手段５０によるワーク保持手段１１の回転動作の外観を示す。図９（ａ）の回転動作前の状態から中空軸５３を中心としてワーク保持手段１１が右回りに９０度回転した（ｂ）の状態へと変位する。
【００３６】
図９に示すようにアーム２０と筐体４３、筐体４３とワーク保持手段１１の連結部分を包囲する凹凸部Ｔが形成されているが、これは連結部分の回転動作により発生する虞のある塵を連結部分から外部へ放出しないようにラビリンス構造としたものである。また、前記中空軸５３により、筐体４３の内部とワーク保持部２６の内部が連通し、また、前記中空軸４４によりアーム２０の内部と筐体４３の内部が連通されていることになり、アーム１６からワーク保持部２６にわたり吸引が可能となる。そのため、昇降手段１３内部及び旋回手段４０内部、ワーク保持手段１１内部で塵が発生しても、外部へ放出することがない。
【００３７】
本実施例ではモータ４００及び５００を用いて旋回手段４０、回転手段５０を駆動させたが、減速機等を用いて前記旋回手段４０及び回転手段５０の駆動を１つのモーターで行うことも可能である。
【００３８】
次に、ワーク保持手段１１の構造について、詳細に説明する。ワーク保持手段１１は、図３乃至４のようにワークを保持する際にワークを密閉した密閉コンテナ６の上側から密閉コンテナの両側面へコの字状に延びるワーク保持部２６を有しており、更に、そのワーク保持部２６の両端部の下端には水平面内に回転可能に軸支されたハンド３２とハンド回転駆動部としてのモータ１０１が各々備えられている。
【００３９】
更に、モータ１０１の出力軸には図３に示すようにバネ１０２の一方端が連結され、他方端がハンド３２に固定された回転軸１０３に垂直同軸に連結されている。このため、モータ１０１の回転駆動によりハンド３２を水平面内で一方向へ回転させ（図５において破線の位置へ回転）、密閉コンテナ６の下面へハンド３２を突出させ、密閉コンテナ６を下面から垂直方向に保持する。ハンド３２の形状は平板状で、密閉コンテナ６の底面を表した図５にある通り、密閉コンテナ６を保持しない場合はハンド３２を逆方向へ回転させ、ワーク保持部２６の破線の位置に納める。
【００４０】
又、図４において、ハンド３２を回転するとハンド３２の回転方向の停止位置に設けた図示しないストッパへ該ハンド３２が衝突した際には、モータ１０１から伝えられる回転駆動力をバネ１０２が吸収してハンド３２のスムーズな停止を可能にし、モータ１０１等の破損を防止することができる。
【００４１】
又、図２において、ワーク保持部２６には、密閉コンテナ６を保持している際に密閉コンテナ６の上面に対して突出可能なワーク支持部材２００が設けられている。ハンド３２が回転して密閉コンテナ６を垂直方向に保持した後、ワーク支持部材２００が下方向に突出して水平方向に対するワークの位置ズレを防ぐ。前記の水平移動手段１２および昇降手段１３の３次元移動機構によるワーク搬送の間はこれらの機構によるワークの落下を防止する。
【００４２】
なお、ワーク保持手段１１におけるワーク保持の方法としては、コの字状に延びるワーク保持部２６の下端部に設けたハンド３２を水平面内に回転（旋回）させる他、他の実施状況として、図６の（ａ）に示すようにハンド３２を水平面内でスライドさせるフォークタイプの採用も可能である。また、同様に、ワーク保持部の両肩部分を可動にし、ハンドを下端に固定して両肩部分をワーク保持部に対してスライドする（ｂ）や、回転する（ｃ）タイプの構造の採用も可能である。
【００４３】
ここで本発明のワーク搬送装置によって行われる一連のワークの搬送動作について簡単に説明するする。ワーク搬送装置１０は水平移動手段１２により搬送対象となる密閉コンテナ６の所定位置付近に到着すると、昇降手段１３によりワーク保持手段１１が密閉コンテナ６の上方まで下降させられる。そして、旋回手段４０及び回転手段５０により、密閉コンテナ６の正確な保持位置に対して、ワーク保持手段１１のＸＹ位置や向きを調整し位置決めを行い、下降する。そして、ワーク保持部２６が密閉コンテナ６を保持すると、昇降手段１３により上昇させられて、水平移動手段１２により異なる所定の処理室３まで搬送される。ワーク保持手段１１が所定の処理室３の位置に到着すると、昇降手段１３により下降させられ、密閉コンテナ６は大まかな載置位置で一旦、停止する。そして、旋回手段４０及び回転手段５０によりインターフェース装置４の載置台の正確なワークの載置位置に対し、密閉コンテナ６のＸＹ位置や向きの調整が行われる。その後、ワーク保持部２６が密閉コンテナ６の把持を解き、密閉コンテナ６がインターフェイス装置４の載置台上に載置され、本発明のワーク搬送装置による搬送動作が完了する。
【００４４】
本発明のワーク搬送装置１０は、前述のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
【００４５】
クリーンルーム内上方の天井空間で、ワークを保持するワーク保持手段１１を任意の３次元方向に移動させ、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送するときに、前記ワーク保持手段１１はワークの両側面へコの字状に延びるワーク保持部２６を有し、ワークの底面を保持するハンド３２を前記ワーク保持部２６の両側部の下端に対向して設けているため、ハンド３２がワークの底面の両側を上向きに支えるとともにワークを保持し、ワークの垂直方向に対する落下防止機能として働き、落下によるワークの破損の虞がない。また、ワーク保持手段１１が同時に落下防止機能として働くため、別途、ワーク保持手段の他に特別の落下防止手段を設ける必要がなく、装置の簡単化と低コストを実現する。
【００４６】
また、ワーク保持部２６の中央付近に設けられたワーク支持部材２００がワーク上面に対して突出してワークを支持し、ワーク下面を保持しているハンド３２と協動してワークの水平方向への位置ズレ等を阻止することができる。この結果、前記水平移動手段によって発生するワークのワーク保持手段１１に対する位置ズレ等が阻止され、落下防止が阻止される。
【００４７】
また、ハンド３２を水平面内で回転させてワークの下面へハンド３２を突出させ、ワークを下面から確実に保持すると共に垂直方向へのワークの落下を防止することができる。
【００４８】
また、ワークを保持しない場合はハンド３２をワーク保持部２６の両側部の下端に蔵っておくことができ、他障害物との衝突等を回避することができる。
【００４９】
また、ハンド３２はバネ１０２を介してモータ１０１の出力軸に連結してい
るので、ハンド３２の停止位置に設けているストッパへ該ハンド３２が衝突する際に、モータ１０１から伝えられる回転駆動力を吸収してハンド３２のスムーズな停止を可能にしモータ１０１の破損を防止することができる。
【００５０】
また、多関節アームの各関節軸２２〜２５及びワーク保持部２６は中空構造にされ、各アーム１６〜２０及びワーク保持部２６の内部空間は連通されて、負圧が付与される。この結果、多関節アーム１６〜２０を構成する各アーム及びワーク保持部２６における、例えば可動部分による発塵をクリーンルーム内に流出しないようにし、クリーンルーム内のクリーン度の維持が容易になる。
【００５１】
また、昇降手段とワーク保持手段の中継に旋回手段を備えているので、ワーク保持手段を水平面内で移動させることができる。その結果、ワーク保持手段がワークを載置する位置に対してワークを移載する時、ＸＹ方向において微調整が必要な場合でも、ワーク保持手段がワークを載置する位置に対し正確な位置合わせを行い、ワークを載置することが可能となる。
【００５２】
また、ワーク保持手段は回転手段を備えているので、保持したワークを回転させることができる。その結果、ワークの受取り、受渡し時に任意の向きにワーク保持部を回転させることができるため、多様な向きに配置されている装置の載置台に対して柔軟にワークの向きを合わせて受渡しすることができる。
【００５３】
なお、本願の発明は、以上に述べた実施形態に限定されず、その発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形実施が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願の請求項１ないし請求項５に記載された発明におけるワーク搬送装置が適用されるクリーンルーム内生産ラインの斜視図である。
【図２】同ワーク搬送装置が備える昇降手段が上昇又は下降する途中の状態を示す正面図である。
【図３】同側面図である。
【図４】同ワーク搬送装置が備える昇降手段が上昇又は下降する途中の状態を示す斜視図である。
【図５】同ワーク搬送装置が備えるワーク保持手段によりワークを保持している状況を示す底面図である。
【図６】同ワーク搬送装置が備えるワーク保持手段によりワークを保持している他の実施状況を示す正面図である。
【図７】同ワーク搬送装置が備えるワーク保持手段の断面図である。
【図８】旋回手段によるワーク保持手段の旋回動作を示す図である。
【図９】回転手段によるワーク保持手段の回転動作を示す図である。
【図１０】従来のワーク搬送装置が備えるワーク保持手段によりワークを保持している状況を示す底面図である。
【符号の説明】
１…クリーンルーム内生産ライン、２…床面、３…処理室、４…インターフ
ェイス装置、５…ワーク搬入出口、６…密閉コンテナ、７…ワーク搬送車、１
０…ワーク搬送装置、１１…ワーク保持手段、１２…水平移動手段、１３…昇
降手段、１４…固定ガイドレール、１５…走行体、１６〜２０…第１〜第５ア
ーム、２１…駆動原モータ、２２〜２５…関節軸、２６…ワーク保持部、２８
…走行ガイドレール、３２…ハンド、４０…旋回手段、５０…回転手段、４０
０、１０１、５００…モータ、１０２…バネ、１０３…回転軸、２００…ワー
ク支持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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