(57)【要約】【課題】オーバーハング部を有する隔壁を簡易に形成でき、コスト削減及び歩留まりを向上させると共に、表示領域の大画面化が可能となる自発光表示装置の製造方法及び自発光表示装置を提供する。【解決手段】基板１１上に第１電極１２ａを形成する第１電極形成工程と、第１電極１２ａの一部を覆うように第１電極１２ａから突出させて電気絶縁性の隔壁１７を形成する隔壁形成工程と、体積膨張する液状部材１６を、隔壁１７で構成される開口部内に隔壁１７の高さよりも浅く充填させ、液状部材１６を体積膨張させることで、隔壁１７の上部に、基板１１に平行な方向に突出するオーバーハング部１７ａを形成するオーバーハング部形成工程と、開口部内に露出する第１電極上に、有機発光層２１Ｒ等を有する有機層の薄膜を形成する発光層形成工程と、有機層の薄膜上に第２電極１８を形成する第２電極形成工程とを有する。【選択図】        図２
2004303552.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な基板上に第１電極を形成する第１電極形成工程と、
前記第１電極の一部を覆うように前記第１電極から突出させて電気絶縁性の隔壁を形成する隔壁形成工程と、
体積膨張する液状部材を、前記隔壁で構成される開口部内に前記隔壁の高さよりも浅く充填させ、前記液状部材を体積膨張させることで、前記隔壁の上部に、前記基板に平行な方向に突出するオーバーハング部を形成するオーバーハング部形成工程と、
体積膨張した前記液状部材を除去した前記開口部内に露出する前記第１電極上に、有機発光層を有する有機層の薄膜を形成する発光層形成工程と、
前記有機層の薄膜上に第２電極を形成する第２電極形成工程と
を有することを特徴とする自発光表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記隔壁形成工程では、
前記隔壁の基となる隔壁形成材料層を、前記基板に形成された前記第１電極上に成膜する工程と、
前記隔壁形成材料層に前記開口部に対応したパターンを露光する工程と、
前記隔壁形成材料層を現像処理して前記開口部に対応した前記パターンを形成する工程とを有し、
前記オーバーハング部形成工程では、
前記開口部内に充填した前記液状部材を固相化して構成した隔壁形成部材を前記隔壁の方向へ体積膨張させ、
前記開口部内における前記隔壁の側面に前記隔壁形成部材によって、前記開口部のパターンよりも広くなるように三次元領域を形成し、
前記隔壁形成部材を除去することを特徴とする請求項１に記載の自発光表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記液状部材は、現像処理のリンス液であることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の自発光表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記液状部材は、前記リンス液を置換した置換液であることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の自発光表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記液状部材は、前記隔壁形成材料層を溶解しない液体であることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の自発光表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記オーバーハング部形成工程では、前記液状部材の表面高さが前記隔壁の上部より低くなるように、リンス後の前記液状部材の液量を調整することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の自発光表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記隔壁形成部材の厚さは、前記有機層の薄膜及び前記第２電極の厚さの和よりも厚いことを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の自発光表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記オーバーハング部形成工程では、前記液状部材の固相化は冷却することによりなされていることを特徴とする請求項２ないし請求項７のいずれかに記載の自発光表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記オーバーハング部形成工程では、前記液状部材の冷却は前記液状部材の上方からなされることを特徴とする請求項８に記載の自発光表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記オーバーハング部形成工程では、前記液状部材の固相化が雰囲気を減圧或いは真空にすることによりなされていることを特徴とする請求項２ないし請求項７のいずれかに記載の自発光表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記オーバーハング部形成工程では、前記隔壁形成部材の除去が昇華によりなされていることを特徴とする請求項２ないし請求項１０のいずれかに記載の自発光表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記昇華は、雰囲気を減圧或いは真空にすることによりなされていることを特徴とする請求項１１に記載の自発光表示装置の製造方法。
【請求項１３】
基板上に形成された第１電極と、
前記第１電極の開口部を露出させて前記基板上に突出する電気絶縁性の隔壁と、
露出した前記第１電極の部分の各々上に形成された有機発光層を有する有機層の薄膜と、
前記有機層の薄膜上に形成された複数の第２電極と
を備え、
前記隔壁の上部には前記基板に平行な方向に突出するオーバーハング部が形成されている
ことを特徴とする自発光表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイのような複数の発光部を配列形成してなる自発光表示装置の製造方法及び自発光表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、表示装置（ディスプレイ）にはＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）装置や、各種の素子で構成されるフラットパネルディスプレイがある。フラットパネルディスプレイは、軽量かつブラウン管よりも発光効率に優れており、コンピュータやテレビジョンなどの画面表示用に開発されてきており、現在ではアクティブマトリクス駆動方式の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）が商品化されている。
【０００３】
ＬＣＤは、自ら発光せずに外部光（バックライト）を受けて表示を行なうタイプのディスプレイであり、視野角が狭い、自発光型ではないために周囲が暗い環境下ではバックライトの消費電力が大きい、今後実用化が期待されている高精細度の高速のビデオ信号に対して十分な応答性能を備えていない等の問題点が指摘されている。
【０００４】
こうした数々の問題点を解決可能なディスプレイとして、近年、有機発光材料を用いた有機ＥＬディスプレイが注目されている。この有機ＥＬディスプレイは自発光型のために、バックライトが不要であるだけでなく視野角が広く、消費電力の低減を図ることが可能である。更に、上述の高精細度の高速のビデオ信号に対して十分な応答性能を備えていると考えられている。そのため、有機ＥＬディスプレイは、従来は液晶ディスプレイが主流であった用途への開発が進められてきている。
【０００５】
このような有機ＥＬディスプレイを構成するのは、透明基板上に透明導電膜よりなる短冊状の電極層（陽極）が設けられ、この透明電極層と交差するように有機発光層及び金属薄膜よりなる短冊状の電極層（陰極）が設けられて、透明電極層と金属電極層との間に有機ＥＬ層が挟まれた構造を有する有機ＥＬ素子である。この有機ＥＬ素子では、透明電極層と金属電極層とがマトリクス構造を形成しており、選択された透明電極層と金属電極層との間に電圧を加えて有機発光層に電流を流すことによって、画素を発光させる。
【０００６】
有機ＥＬディスプレイのカラー表示を実現する方法としては、複数色の発光層を用いた複数画素で１つのカラー画素を構成する方法や、１色の発光層と色変換層とを組み合わせてカラー画素を構成する方法や、１色の発光層とカラー・フィルタとを組み合わせる方法があるが、輝度や発光効率の点から考えると、今後、複数色の発光層を用いる方法が有望であると考えられている。
【０００７】
ところで、有機材料からなる発光層は、水や空気の接触等による劣化が大きな問題となる。従って、発光層の形成後にはリソグラフィなどのウエットプロセスを使用することはできない。そのために、陰極のパターニングは、一般にメタルマスクを利用した蒸着またはスパッタ技術によって行なわれる。ところが、陰極のメタルマスクは極細の短冊状に開口したものとなるため、その剛性からパターニング精度の向上が困難となっていた。
そこで、基板上に隔壁あるいは溝を形成し、これらをマスクとして蒸着等を行なうことにより、所望の形状の電極をパターニングする方法が各種提案されてきている（例えば特許文献１参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開平８−３１５９８１号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらの従来の方法では、隔壁や溝の形成工程が複雑であるためにコストが高く、歩留まりが低下するという問題点があった。従って、従来の有機ＥＬディスプレイでは、隔壁を簡易に形成できないことからコスト削減及び歩留まりを向上させることができず、さらには大画面化が困難であった。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解消して、オーバーハング部を有する隔壁を簡易に形成でき、コスト削減及び歩留まりを向上させると共に、表示領域の大画面化が可能となる自発光表示装置の製造方法及び自発光表示装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上述の目的は、第１の発明によれば、透明な基板上に第１電極を形成する第１電極形成工程と、前記第１電極の一部を覆うように前記第１電極から突出させて形成した電気絶縁性の隔壁を形成する隔壁形成工程と、体積膨張する液状部材を、前記隔壁で構成される開口部内に前記隔壁の高さよりも浅く充填させ、前記液状部材を体積膨張させることで、前記隔壁の上部に、前記基板に平行な方向に突出するオーバーハング部を形成するオーバーハング部形成工程と、体積膨張した前記液状部材を除去した前記開口部内に露出する前記第１電極上に、有機発光層を有する有機層の薄膜を形成する発光層形成工程と、前記有機層の薄膜上に第２電極を形成する第２電極形成工程とを有することを特徴とする自発光表示装置の製造方法により、達成される。
上記構成によれば、このようなオーバーハング部を隔壁に形成すると、第１電極上に形成される第２電極の幅が各有機層の薄膜の幅よりも狭くなり、第１電極と第２電極との絶縁を確実にすることができるので、歩留まりの良い自発光表示装置を製造することができる。また、各有機層の薄膜により構成される画素を容易に形成することができることから、自発光表示装置は、その表示領域を大画面化しても、容易に且つ安価に製造することができる。また、この自発光表示装置の製造方法によれば、従来よりも隔壁を簡易に形成可能であることから、製造コストを抑え、安価に製造することができる。
【００１２】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記隔壁形成工程では、前記隔壁の基となる隔壁形成材料層を、前記基板に形成された前記第１電極上に成膜する工程と、前記隔壁形成材料層に前記開口部に対応したパターンを露光する工程と前記隔壁形成材料層を現像処理して前記開口部に対応した前記パターンを形成する工程とを有し、前記オーバーハング部形成工程では、前記開口部内に充填した前記液状部材を固相化して構成した隔壁形成部材を前記隔壁の方向へ体積膨張させ、前記開口部内における前記隔壁の側面に前記隔壁形成部材によって、前記開口部のパターンよりも広くなるように三次元領域を形成し、前記隔壁形成部材を除去することを特徴とする。
上記構成によれば、隔壁で構成された開口部のパターン内で、液状部材が固相化されて構成された隔壁形成部材の体積膨張により、隔壁にオーバーハング部を簡易に形成することができる。
【００１３】
第３の発明は、第１の発明または第２の発明のいずれかの構成において、前記液状部材は、現像処理のリンス液であることを特徴とする。
上記構成によれば、現像処理で用いたリンス液が体積膨張する液状部材であれば、リンス液を開口部内に充填させる液状部材として用いることができる。
【００１４】
第４の発明は、第１の発明または第２の発明のいずれかの構成において、前記液状部材は、前記リンス液を置換した置換液であることを特徴とする。
上記構成によれば、現像処理で用いたリンス液が体積膨張する液状部材でなくても、リンス液を体積膨張する液状部材に置換することで、その置換液を開口部内に充填させる液状部材として用いることができる。
【００１５】
第５の発明は、第１の発明ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記液状部材は、前記隔壁形成材料層を溶解しない液体であることを特徴とする。
上記構成によれば、液状部材を開口部に充填させた際に、既に形成済みの隔壁形成材料層に影響を与えないようにすることができる。
【００１６】
第６の発明は、第１の発明ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記オーバーハング部形成工程では、前記液状部材の表面高さが前記隔壁の上部より低くなるように、リンス後の前記液状部材の液量を調整することを特徴とする。
上記構成によれば、隔壁形成部材の体積膨張により、隔壁の上部に、基板に平行な方向に突出するオーバーハング部を形成することができる。
【００１７】
第７の発明は、第１の発明ないし第６の発明のいずれかの構成において、前記隔壁形成部材の厚さは、前記有機層の薄膜及び前記第２電極の厚さの和よりも厚いことを特徴とする。
上記構成によれば、液状部材の厚さが、有機層の薄膜及び第２電極の厚さの和よりも厚いので、液状部材が固相化して構成された隔壁形成部材が隔壁の側面に、有機層の薄膜及び第２電極の高さよりも深い三次元領域を形成することができる。
【００１８】
第８の発明は、第２の発明ないし第７の発明のいずれかの構成において、前記オーバーハング部形成工程では、前記液状部材の固相化は冷却することによりなされていることを特徴とする。
上記構成によれば、液状部材の固相化を冷却により実現していることから急速に行うことができるので、自発光表示装置の製造効率を向上することができる。
【００１９】
第９の発明は、第８の発明の構成において、前記オーバーハング部形成工程では、前記液状部材の冷却は前記液状部材の上方からなされることを特徴とする。
上記構成によれば、液状部材の上部から冷却されることで上部から固相化するため、液状部材が固相化してもその高さ方向に体積膨張しないようにすることができる。
【００２０】
第１０の発明は、第２の発明ないし第７の発明のいずれかの構成において、前記オーバーハング部形成工程では、前記液状部材の固相化が雰囲気を減圧或いは真空にすることによりなされていることを特徴とする。
上記構成によれば、液状部材の固相化を雰囲気を減圧或いは真空にすることにより実現していることから急速に行うことができるので、自発光表示装置の製造効率を向上することができる。
【００２１】
第１１の発明は、第２の発明ないし第１０の発明のいずれかの構成において、前記オーバーハング部形成工程では、前記隔壁形成部材の除去が昇華によりなされていることを特徴とする。
上記構成によれば、隔壁形成部材の除去を昇華により急速に行うことができるので、自発光表示装置の製造効率を向上することができる。
【００２２】
第１２の発明は、第第１１の発明の構成において、前記昇華は、雰囲気を減圧或いは真空にすることによりなされていることを特徴とする。
上記構成によれば、隔壁形成部材の除去を、雰囲気を減圧或いは真空にして昇華により急速に行うことができるので、自発光表示装置の製造効率を向上することができる。
【００２３】
上述の目的は、第１３の発明によれば、基板上に形成された第１電極と、前記第１電極の開口部を露出させて前記基板上に突出する電気絶縁性の隔壁と、露出した前記第１電極の部分の各々上に形成された有機発光層を有する有機層の薄膜と、前記有機層の薄膜上に形成された複数の第２電極とを備え、前記隔壁の上部には前記基板に平行な方向に突出するオーバーハング部が形成されていることを特徴とする自発光表示装置により、達成される。
上記構成によれば、このようなオーバーハング部を隔壁に形成すると、第１電極上に形成される第２電極の幅が各有機層の薄膜の幅よりも狭くなり、第１電極と第２電極との絶縁を確実にすることができるので、自発光表示装置を製造した際に歩留まりが良くなる。また、各有機層の薄膜により構成される画素を容易に形成することができることから、自発光表示装置は、その表示領域を大画面化しても、容易に且つ安価に製造することができる。また、この自発光表示装置によれば、従来よりも隔壁を簡易に形成可能であることから、製造コストを抑え、安価に製造することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の好ましい実施形態に係る自発光表示装置の断面構造例を表す断面図である。
自発光表示装置は、例えば図示の有機ＥＬディスプレイ１００である。この有機ＥＬディスプレイ１００は、蛍光性の無機及び有機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極とで挟んだ構成を有し、上記薄膜に電子及び正孔（ホール）を注入して再結合させることにより励起子（エキシトン）を生成させ、このエキシトンが失活する際の光の放出（蛍光・燐光）を利用して発光させる素子である。
【００２５】
こうした有機ＥＬディスプレイ１００に用いられる蛍光性材料のうち、赤、緑及び青色の発光色を呈する材料を、後述する自発光表示装置の製造方法を用いて、ＴＦＴ等の素子基板上に液滴吐出パターニングすることで、例えば自発光型のフルカラーＥＬ表示デバイスを製造することができる。本発明におけるデバイスの範囲には、このようなＥＬ表示デバイスの基板をも含むものである。
【００２６】
有機ＥＬディスプレイ１００は、基板１１、透明電極１２ａ、隔壁１７、有機発光層２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂ及び陰極１８を備えている。
基板１１は、透光性を有する材料からなる透明な部材である。第１電極としての透明電極１２ａは、第２電極としての陰極１８の対をなす陽極であり、この基板１１上に形成されている。隔壁１７は、透明電極１２ａの開口部を露出させて基板１１上に突出する電気絶縁性の隔壁を構成している。
【００２７】
また、有機発光層２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂは、それぞれ露出した透明電極１２ａの部分の各々上に有機層の薄膜として形成されている。陰極１８は、有機層の薄膜の各有機発光層２１Ｒ，２１Ｇ，１２Ｂごとに複数設けられている。
本実施形態において特徴的なことは、隔壁１７の上部には、基板１１に平行な方向に突出するオーバーハング部１７ａが形成されていることである。
【００２８】
このようなオーバーハング部１７ａが形成されていると、図示のように透明電極１２ａ上に形成される陰極１８の幅が各有機発光層２１Ｒ等の幅よりも狭くなるため、透明電極１２ａと陰極１８との絶縁を確実にすることができる。また、各有機発光層２１Ｒ等により構成される画素を容易に形成することができることから、有機ＥＬディスプレイ１００は、その表示領域を大画面化しても、容易に且つ安価に製造することができる。
【００２９】
有機ＥＬディスプレイ１００は以上のような構成であり、次に図１を参照しつつその製造方法の一例について詳細に説明する。
図２及び図３は、それぞれ図１に示した有機ＥＬディスプレイの製造方法の手順の一例を説明するための断面工程図である。
まず、図２（ａ）に示すように透光性を有する材料からなる透明な基板１１を用意する。この基板１１は材質、厚さ、サイズなどが特に限定されることはなく、例えばガラスや、透光性を有するポリエステルフィルムのような有機高分子材料等を用いることができる。さらに、この基板１１は、例えば十分に洗浄される。
【００３０】
次にこの基板１１上には、第１電極を構成する透明導電材料層１２が成膜される。この透明導電材料層１２は、導電性の高いものが望ましく、例えば酸化インジウム錫（ＩＴＯ）や酸化錫（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）等が用いられる。ここでは、透明導電材料層１２の一例としてＩＴＯを用いることとする。透明導電材料層１２の成膜方法は、特に限定されることはないが、ＤＣスパッタ法やＲＦマグネトロンスパッタ法、さらにはＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  ＶａｐｏｕｒＤｅｐｏｓｉｔｏｎ）法や反応性真空蒸着法等によって成膜することができる。この透明導電材料層１２は、この状態で第１電極としての上記透明電極１２ａを構成する。この透明電極１２ａは、後に形成する有機発光層２１Ｒ等に対する陽極として用いられる。
【００３１】
次に、図２（ｂ）に示すように透明電極１２ａを覆う状態で隔壁形成材料１３を基板全面に成膜し、次に同図２（ｂ）所望のパターンが形成されたフォトマスク１４を近接させて隔壁形成材料層を形成し、所定形状のパターンの露光を行う。あるいはレンズを介してそのパターンの露光を行う。ここでは、隔壁形成材料１３としてフォトレジストを用いることとする。このフォトレジストは、例えば２μｍ程度スピンコートにより成膜され、プリベークされる。次に画素がパターニングされたフォトマスクを用いて露光がされる。
【００３２】
その後、図２（ｃ）に示すように通常の方法、例えばパドル法を採用し、この基板上に現像液１５を盛り、現像を行って、現像液中に隔壁パターン１３ａを形成する。ここでは、現像液を基板１１上に盛るいわゆるパドル法を用いたが、これに限らず、例えば現像液に浸すディップ現像を採用しても構わない。
【００３３】
そして、例えば常温にて現像処理のリンス液を基板１１上に流し、現像液及び、隔壁パターン１３ａを除く、溶解した隔壁形成材料１３の除去を行う。リンス方法は、リンス液に浸すデッィプ法でも構わない。そして、図２（ｄ）に示すように隔壁形成のために固相化させる液状部材１６を表面に充填する。表面に充填する液状部材１６は、例えば隔壁１７を構成する隔壁形成材料１３を溶解しない液体であるのが望ましく、後述する固相化工程において体積膨張するものであればどのような液体を用いてもよい。
【００３４】
本実施形態では、固相化させる液状材料１６として、例えば上記現像処理のリンスに使用したリンス液を用いることとする。この液状部材１６は、このような現像処理のリンス液であり、且つ、例えば体積膨張する材料である。しかし、これも一実施の形態に過ぎず、液状材料１６として、リンス液を水等の置換液で置換し、その置換液を用いてもよい。尚、この処理は液体で行う必要があるので、現像処理環境の温度は、例えば液体の融点以上とするのが望ましい。
【００３５】
次に図２（ｅ）に示すように隔壁パターン１３ａが露出するように液状部材１６の液量を調整する。この液量調整方法としては、基板１１を例えばホットプレートに置いて下から加熱することで、基板１１に盛られているリンス液を蒸発させる方法を採用する。液状部材１６の液量は、例えば液体表面の高さが隔壁１７の上部より低くするのが望ましい。
【００３６】
またさらには、液状部材１６の液量は、その厚さが、後に形成される図１の有機発光層２１Ｒ等の厚さと陰極１８の厚さの和より大きいのが望ましく、厳密な制限はない。具体的には、図２（ｅ）に示す液状部材１６の表面高さが、隔壁１７の上端から０．２μｍ以下程度あれば十分である。また、液状部材１６の液量調整方法としては、上記液量範囲内に液状部材１６を調整できる方法であれば、どのような方法を採用しても構わない。その後、隔壁パターン１３ａ内の液量を一定に保てるまで、例えば基板１１が冷却される。
【００３７】
その後、図２（ｆ）に示すように隔壁パターン１３ａ間に充填されている液状部材１６が固相化され、固相化された液状部材１６でなる隔壁形成部材１６ａが形成される。具体的には、液状部材１６の温度を保ちつつ液状部材１６の周囲の雰囲気温度を降下させ、大気に接している水等の液状部材１６を冷却し、その表面を凍結させる。その際、隔壁パターン１３ａの変形を引き起こさない温度で、且つ、水等の液状部材１６が固相化する温度範囲にて冷却する必要があるため、ここでは、雰囲気の冷却温度を例えば−５℃とした。
【００３８】
その後、残りの液状部材１６が一様に凍結するように雰囲気温度及び基板温度を下げ、雰囲気の圧力を減圧することで、液状部材１６全体を急速凍結させて隔壁形成部材１６ａを構成する。この液状部材１６を固相化する方法としては、固相化する際に高さ方向への膨張を抑制することができるのであれば、特に限定されることなく様々な手法を採用することができる。ここでは、液体の固相化方法としては、例えば冷却を用いることとするが、これ以外にも気化熱を用いてもよい。
【００３９】
液状部材１６の冷却方法としては、例えば固相化が液状部材１６の上方からなされる方法であれば、特に限定されることなく様々な手法を採用することができる。このように液状部材１６の上方から固相化させるのは、先に固相化した液状部材１６の上面部分がまず隔壁１７に当接することで、これから固相化する液状部材１６が上方（高さ方向）に体積膨張することを規制するためである。従って、固相化すると、液状部材１６は、主に基板１１に平行な方向に沿って隔壁１７の方へ体積膨張するようになる。
【００４０】
これにより、高さ方向以外に液状部材１６が体積膨張して、液状部材１６の周囲の隔壁１７は縦方向及び横方向ともに約１μｍ程度押圧される。その後、この温度を保って液状部材１６を液化しないようにしながら、例えば雰囲気の圧力を下げて液状部材１６を昇華させる。これにより、隔壁１７は、オーバーハング部１７ａを保持したまま固相化された隔壁形成部材１６ａを除去することができ、例えば片側約１μｍ幅で、０．２μｍ程度の膜厚のオーバーハング部１７ａが形成される。各隔壁１７の断面は、形成されたオーバーハング部１７ａの存在によりＴ字型となる。
【００４１】
このように液状部材１６の固相化が高さ方向への膨張が抑制されることで、隔壁形成部材１６ａは、上述のように隔壁１７に近接する方向への固相の体積膨張が促進され、隔壁１７を押しつけ、パターンよりも図１に示すようにひとまわり程大きな三次元領域１７ｂが形成される。この三次元領域１７ｂは、透明電極１２ａ、隔壁１７及びオーバーハング部１７ａによって包囲されて構成されている。
【００４２】
また、固相化する速度をできるだけ速くすることで、隔壁１７が液状部材１６ａの表面張力によって変形するのを防ぐため、固相化は例えば急速に行うことが好ましい。具体的には、例えば図２（ｆ）に示す基板１１の温度は一定に保ちつつ低温雰囲気中に置いて液状部材１６の表面から冷却し、表面が凍結したら雰囲気を減圧にする、あるいは真空にすることによって液状部材１６ａ全体を急速に固相化して隔壁形成部材１６ａを形成することができる。また、液状部材１６ａを固相化する方法において、基板１１の冷却を用いる場合、冷却温度は隔壁パターン１３ａが変形を起こさず、かつ、液状部材１６が固相化する温度範囲で行う必要がある。
【００４３】
その後、隔壁形成部材１６ａを除去することで、図２（ｇ）に示すように基板１１から突出する隔壁１７には、上述のように基板１１に平行な方向に突出するオーバーハング部１７ａが形成される。このオーバーハング部１７ａは、その断面がＴ字型の隔壁１７が形成される。その際、隔壁１７の形状が保持されたまま、固相化された隔壁形成部材１６ａを除去する必要がある。隔壁形成部材１６ａの除去方法としては、例えば昇華を用いることとする。
【００４４】
このような隔壁形成部材１６ａの除去方法では、固相から液相を経ずに気体化しているため、固相化した隔壁形成部材１６ａが昇華していく際に、隔壁パターン１３ａと固相化した隔壁形成部材１６ａとの界面に働く力は極僅かであり、かつ固相は変形しにくい。このため、隔壁パターン１３ａは、その形状が保持されたままの状態となり、隔壁１７を構成する。尚、昇華する速度は雰囲気の圧力を下げる、あるいは真空にすると速くなることから、減圧あるいは真空雰囲気中でこの固相化した隔壁形成部材１６ａを昇華させるとスループット的に優れる。
【００４５】
隔壁１７の基板１１からの高さは、後に形成される陰極１８と透明電極１２ａが電気的に短絡されない様な高さであれば特に制約はないが、有機ＥＬディスプレイ１００の製造コストを考慮すると隔壁１７の高さをある程度の高さに抑えることが望ましい。具体的には、隔壁１７の高さは、例えば１μｍ以上１０μｍ以下の範囲に設定することとする。
【００４６】
その後、図３に示すように隔壁１７をスペーサとして、基板１１上には、蒸着を行うための成膜用マスク１９（以下「マスク」という）を配置し、このマスク１９上からの成膜によって開口部２０内に有機発光層２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂを形成する。ここでは、マスク１９の移動、交換と成膜を順次繰り返すことによって、例えば赤色（Ｒ）を発光する有機発光層２１Ｒ、緑色（Ｇ）を発光する有機発光層２１Ｇ及び青色（Ｂ）を発光する有機発光層２１Ｂを、それぞれ所定厚さに成膜する。
【００４７】
マスク１９を用いての蒸着方法としては、例えばマスク１９を１つの開口が１つの透明電極１２ａ上からその隣接する透明電極１２ａ上へ配置されるようにマスク１９を順次移動せしめる発光層形成工程を順次繰り返す方法を用いることもできる。このような手法においては、隔壁１７の存在により、マスク１９の位置合わせ、移動して搭載するように配置した蒸着の際に、マスク１９による有機発光層２１Ｒ等の有機層を傷つけることがない。
【００４８】
各色の有機発光層２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂは、それぞれ有機正孔輸送層（図示省略）や有機発光層（図示省略）等の積層膜を備える。また、各色の有機発光層２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂの形成順や配置順、その材料の種類、構成、膜厚、色素のドーピング形態等については、特に限定されることなく様々な形態を採用することができる。
【００４９】
具体的には、例えば、緑色を有する有機層２１Ｇとしては、ＴＰＤやα−ＮＰＤなどからなる有機正孔輸送層上に、Ａｌｑ３からなる電子輸送層をかねた有機発光層を積層させた２層構造からなるものが採用されている。また、発光色によっては、適当な色素をドーピングさせたＡｌｑ３で有機発光層を構成する。これらの材料は、低分子有機材料であるため、例えば真空蒸着法によって成膜することができる。
【００５０】
尚、膜の構成によっては、各色素がドーピングされた有機発光層のみをマスク１９を用いてパターン形成し、その他の膜は、マスク１９を用いずに一括成膜するようにしても良い。さらに、発光色は、ＲＧＢ３色に限定されることはなく、他の発光色の組み合わせであってもよい。
また、有機発光層２１Ｒ等の有機層の薄膜の成膜方法として、本実施形態では一例として蒸着を用いたが、これに限定されるものではなく、例えばスピンコート法、ディップ法、インクジェット法或いはスリットコート法等の成膜方法をそれぞれ用いることもできる。
これらの方法を用いて有機層の薄膜を成膜する際は、各有機発光層２１Ｒ等が隔壁１７のオーバーハング部１７ａを回り込む様に成膜することが好ましい。
【００５１】
以上のような処理の後、図３に示すように隔壁１７にマスク１９を配置して、基板１１に対してほぼ垂直になるように真上から、図示しない導電性材料が、各有機発光層２１Ｒ等の各々上に所定厚に一括成膜される。これによって、図１の隔壁１７間の有機発光層２１Ｒ等には、それぞれこの導電性材料からなる陰極１８が形成される。
【００５２】
上記導電性材料をほぼ垂直方向から成膜することにより、隔壁１７のオーバーハング部１７ａで陰極１８を分断する。その結果、隔壁１７両側近傍の陰極１８が、電気的に絶縁される。また、導電性材料が隔壁１７のオーバーハング部１７ａの三次元領域１７ｂ内に回り込む程度が、有機発光層２１Ｒ等がオーバーハング部１７ａの三次元領域１７ｂに回り込む程度よりも小さくなることから、図１のように有機発光層２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂが陰極１８からはみ出し、陰極１８と透明電極１２ａとのショートを生じさせないようにすることができる。
【００５３】
陰極１８を構成する材料としては、例えばアルミニウム（Ａｌ）が用いられるがこれに限定されるものではなく、例えばアルミニウムにリチウム（Ｌｉ）を適当な方法でドーピングした材料や、マグネシウム（Ｍｇ）−銀（Ａｇ）合金などの周期表２Ａ族系の金属を含有する合金を用いてもよい。これらの材料は、いずれも仕事関数が低く、有機発光層２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂにおける発光のしきい値を下げる効果を有している。また、陰極１８を形成するための成膜方法は限定されることはなく、例えば真空蒸着法、スパッタ法等が用いられる。
【００５４】
以上の処理の後、有機発光層２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂが空気中の酸素や水分に触れないようにこれらを保護するため、例えば低温で低ダメージの成膜が可能な材料によってオーバーコート用の絶縁性保護膜を形成したり、薄型トランジスタ（ＴＦＴ：Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を搭載させることで、有機ＥＬディスプレイが完成する。
【００５５】
以上説明したように、本発明の好ましい実施形態によれば、パターン露光を行い、現像処理した後、隔壁パターン１３ａ内に液状部材１６ａを充填し、充填した液状部材１６ａを固相化して隔壁パターン１３ａよりもひとまわり大きな三次元領域１７ｂが形成し、形成した形状を保持した状態で固相化した液体を除去することでオーバーハング部１７ａを有する断面Ｔ字型の隔壁１７を簡易に製造でき歩留まりを向上させることが可能となる。しかも、本発明による隔壁形成方法は、基板１７の大きさに関係なく形成できるため、有機ＥＬディスプレイ１００の大画面化への適応も可能である。
本発明は、上記実施の形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。例えば上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】有機ＥＬディスプレイの構成例を示す断面図。
【図２】有機ＥＬディスプレイの製造方法及び隔壁の製造方法を説明するための断面工程図。
【図３】有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための断面工程図。
【符号の説明】
１１・・・基板、１２・・・透明電極材料（層）、１２ａ・・・透明電極（第１電極）、１３・・・隔壁形成材料、１３ａ・・・隔壁パターン、１４・・・フォトマスク、１５・・・現像液、１６・・・液状部材、１６ａ・・・隔壁形成部材、１７・・・隔壁、１７ａ・・・オーバーハング部、１７ｂ・・・三次元領域、１８・・・陰極（第２電極）、１９・・・蒸着マスク、２０・・・開口部、２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂ・・・有機層、２２・・・導電性材料、１００・・・有機ＥＬディスプレイ（自発光表示装置）
【図１】
2004303552.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004303552.tif 000005