(57)【要約】【課題】凹凸が小さく、厚みばらつきの小さい樹脂またはセラミックスシートを得るための乾燥装置を提供する。【解決手段】中空直方体状をなす装置本体の内部で長尺状の基材を一方向に向けて走行させ、該基材の走行方向の反対方向に熱風を流しながら、該基材の上面に塗工した樹脂またはセラミックスシートを該基材上で乾燥させる乾燥装置において、前記熱風の送風口とは別に該基材の幅方向の全体に向けて気体を吹き出すための吹き出し口を、前記基材上部に前記基材と略平行の中空管に設けた乾燥装置とする。【選択図】    図１
2004190954.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空直方体状をなす装置本体の内部で長尺状の基材を一方向に向けて走行させ、該基材の走行方向の反対方向に熱風を流しながら、基材の上面に塗工した樹脂またはセラミックスシートを基材上で乾燥させる乾燥装置において、前記熱風の送風口とは別に前記基材上部に前記基材と略平行の中空管を備え、該中空管に前記基材の幅方向の全体に向けて気体を吹き出すための吹き出し口を設けたことを特徴とする乾燥装置。
【請求項２】
前記中空管を前記装置本体の前半部分に設けたことを特徴とする請求項１に記載の乾燥装置。
【請求項３】
前記基材と前記吹き出し口との距離が、前記装置本体の乾燥室外枠上部の内側と前記基材との距離の１／２以下であることを特徴とする請求項１、２のいずれかに記載の乾燥装置。
【請求項４】
前記中空管の長さが前記シートの幅よりも長いことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の乾燥装置。
【請求項５】
前記気体の吹き出し口が、前記中空管の長手方向に設けたスリットまたは複数の貫通孔の少なくとも１種からなることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の乾燥装置。
【請求項６】
前記気体を前記基材方向に流すための整流板を前記中空管の上部に設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の乾燥装置。
【請求項７】
アルコール類、ケトン類、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素および酢酸エステル類からなる群から選ばれた少なくとも１種を含むシートを乾燥させることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の乾燥装置。
【請求項８】
請求項１〜７に記載の乾燥装置を用いて作製されたことを特徴とする樹脂またはセラミックスからなるシート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は乾燥装置に関し、詳しくは、長尺状の基材の上面に塗工した樹脂またはセラミックスを、前記基材を一方向に走行させながら該基材上で乾燥（成膜）する乾燥装置およびこの乾燥装置を用いて作製されたシートに関する。特に好適には、ハイブリッドＩＣ基板、抵抗器用基板等のセラミックス基板用のグリーンシートを乾燥させるための乾燥装置およびこの乾燥装置を用いて作製されたシートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
特許文献１には長尺状の基材の上面にドクターブレード法等により基材上に塗工された樹脂またはセラミックス（以下、セラミックスともいう）からなるシート（以下、セラミックスシートともいう）を基材上で成形するための乾燥装置として、乾燥装置出口側の整流板付きの熱風送風口から入口側へ熱風を流し、基材に塗工したセラミックスに熱風を直接吹き付けて乾燥させる構造の乾燥装置（不図示）が開示されている。
【０００３】
また、特許文献２には、図４に示すように基材５６の走行路を上部に貫通孔を設けた密閉通路形成体５４で囲い、密閉通路形成体５４の上下各々に基材５６の走行方向と反対方向に第１、第２の熱風を流して基材５６を加熱し、密閉通路形成体５４内部においてセラミックスから蒸発する有機溶剤が概ね自然対流によってこの貫通孔から排出される構造の乾燥装置５７が開示されている。
【０００４】
また、特許文献３には、図５に示したように、基材６２上方に第１および第２のプレートを順次設け、第１と第２のプレートの間を概ね自然対流とした自然乾燥空間６５を設け、自然乾燥空間６５から排出される有機溶剤を排気するための通気孔を有するプレート６６を基材６２上部に設けた乾燥装置６７が開示されている。
【０００５】
〔特許文献１〕
特開平５−２８５９２４号公報
〔特許文献２〕
特開平１０−３３７５２０号公報
〔特許文献３〕
特開平１０−３１４６５０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１の乾燥装置は、乾燥装置の出口側に１箇所の熱風の送風口を設け、入口側１箇所から熱風を排気する構造となっており、熱風の送風口内部に熱風の流れを整流するための整流板を設けている。このため、乾燥（成膜）させようとするセラミックスシートが熱風それ自身の影響を直接受けて、塗工されたセラミックスシートの表面を流れる熱風の流速が変動し、セラミックスシート表面の凹凸が大きくなるという問題があった。また、セラミックスシート表面の場所によって熱風の流速が異なるため、有機溶媒（有機溶剤）の気化（蒸発）する速度や量がセラミックスシートの場所によって局所的に異なり、セラミックスシートに亀裂が入ったりするという問題もあった。
【０００７】
また、特許文献２に示した乾燥装置では、乾燥初期にセラミックスシートに強い熱風が当たることによって起こるセラミックスシートの厚みのばらつきや亀裂を防止するため自然乾燥を試みている。この乾燥装置では、密閉通路形成体５４内部に熱風の対流が起こることによって、セラミックスシート上を流れる熱風の流速が基材の幅方向の中心部と外縁部とで異なる。その結果、セミックスシートの幅方向の乾燥速度が不均一となることによって、セラミックスシート表面に凹凸ができたり、厚みが不均一となったり、場合によってはセラミックスシートに亀裂が入ったりするという問題があった。また、強制的にセラミックスシートに熱風が当たらない構造であるため、セラミックスシートに含まれる有機溶剤の乾燥速度が遅いという問題があった。
【０００８】
また、特許文献３に示した乾燥装置は、乾燥装置６７内部を走行する基材６２上部にプレート６６の位置を変更することにより樹脂シート６４上を流れる熱風の流量を制御し、樹脂シートの乾燥速度を制御しようとしているものの、熱風の速度を基材６２の幅方向全体に渡って均一になるように制御していないため、樹脂シー６４に含まれる有機溶剤の乾燥速度が樹脂シート６４の幅方向で異なっていた。その結果、樹脂シートの厚みがばらついたり、樹脂シートに亀裂が入ったりするという問題があった。
【０００９】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は凹凸が小さく、厚みばらつきの小さいセラミックスシートを得るための乾燥装置を提供することを目的とする。また、本発明の他の目的は、さらに有機溶剤の乾燥速度が速い乾燥装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の乾燥装置は、中空直方体状をなす装置本体の内部で長尺状の基材を一方向に向けて走行させ、該基材の走行方向の反対方向に熱風を流しながら、基材の上面に塗工した樹脂またはセラミックスシートを基材上で乾燥させる乾燥装置において、前記熱風の送風口とは別に前記基材上部に前記基材と略平行の中空管を備え、該中空管に前記基材の幅方向の全体に向けて気体を吹き出すための吹き出し口を設けたことを特徴とする。
【００１１】
本発明の乾燥装置においては、前記熱風の送風口とは別に前記基材上部に前記基材と略平行の中空管を備え、該中空管に前記基材の幅方向の全体に向けて気体を吹き出すための吹き出し口を設けて吹き出し口から気体を吹き出すことによって、セラミックシートの幅方向の全体に渡って乾燥速度が一定となるため、亀裂がなくかつ厚みばらつきの小さいセラミックシートを得ることができるとともに、セラミックスシート表面部の溶剤を一時的に素早く乾燥させて表面に堅い被膜部を形成させることによって、部分的な凹凸がないセラミックスシートを得ることができる。
【００１２】
また、本発明の乾燥装置は、前記中空管を前記装置前半部分に設けたことを特徴とする。乾燥装置の前半部分に中空管を設けることによりさらに厚みばらつきが小さなセラミックシートを得ることができる。
【００１３】
また、本発明の乾燥装置は、前記基材と前記吹き出し口との距離が、前記装置本体の乾燥室外枠上部の内側と前記基材との距離の１／２以下であることを特徴とする。これによって、吹き出し口から吹き出される気体が前記熱風の流れによって乱されることなく、前記基材の幅方向の全体に渡って気体を均一な流速でセラミックスシートに吹き付けることができるため、さらに厚みばらつきの小さなセラミックスシートを得ることができる。
【００１４】
また、本発明の乾燥装置は、前記中空管の長さが前記シートの幅よりも大きいことを特徴とする。中空管をセラミックスシートの幅よりも大きくすることにより、基材の走行方向と反対方向に流れる熱風の速度を基材の幅方向の全体に渡って一定となるようさらに整流でき、その結果厚みばらつきの特に小さいセラミックスシートを得ることができる。
【００１５】
また、本発明の乾燥装置は、前記気体の吹き出し口が、前記中空管の長手方向に設けたスリットまたは複数の貫通孔の少なくとも１種からなることを特徴とする。スリットまたは複数の貫通孔の少なくとも１種からなる吹き出し口からセラミックスシート表面に向けて気体を流すことによって、一時的にセラミックスシート表面に形成される堅い被膜部の厚みを均一にすることができ、これによって部分的な凹凸がさらに少ないセラミックスシートを得ることができる。
【００１６】
また、本発明の乾燥装置は、前記気体を前記基材方向に流すための整流板を前記中空管の上部に設けたことを特徴とする。これによって、基材の走行方向と反対方向に流れる熱風の速度を基材の幅方向の全体に渡って一定となるよう著しく整流できるので、著しく厚みばらつきの小さなセラミックスシートを得ることができる。
【００１７】
また、本発明の乾燥装置は、アルコール類、ケトン類、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素および酢酸エステル類からなる群から選ばれた少なくとも１種を乾燥させる前記乾燥装置であることを特徴とする。本発明の乾燥装置はこれらの有機溶剤の乾燥に好適である。その理由は、前記乾燥装置のような構造とすることによって、セラミックスシートから蒸発するこれらの有機溶剤の乾燥速度をシートの幅方向に渡って均一にすることができるため、厚みのばらつきが小さく、かつ亀裂がないセラミックスシートを得ることができるからである。
【００１８】
また、本発明のシートは、前記乾燥装置を用いて作製された樹脂またはセラミックスからなるシートであることを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図に基づき本発明の実施形態について詳述する。
【００２０】
図１は本発明の乾燥装置の概略断面図、図２、３は本発明の乾燥装置の一部を示す斜視図である。
【００２１】
まず、図１により本発明の乾燥装置４０を用いてセラミックスシート１６ｂが得られる工程を説明する。容器１０内には有機溶剤とセラミックスを含む溶液１１が入っている。溶液１１は、回転ローラー１４によって一方向へ走行する基材１３とブレード１２との間で厚みを一定にして擦り切られた後、有機溶剤を含むセラミックスシート１６ａとして中空直方体状の乾燥装置外枠３０の内部へと入る。セラミックスシート１６ａはまず、乾燥装置４０の最初にある予備室２５へ入る。予備室２５から乾燥室２３ａに入ったセラミックスシート１６ａに含まれる有機溶剤は、乾燥室２３ａ、２３ｂ、２３ｃ内で熱風３４によって暖められ乾燥する。乾燥室は複数の室に分けられていることが望ましく、例えば図１では仕切板２４によって乾燥室を２３ａ、２３ｂ、２３ｃの３つの乾燥室に分けている。乾燥室２３ａ、２３ｂ、２３ｃは完全な密閉ではなく、各乾燥室間には熱風３４が相互に流れる構造となっている。乾燥室２３ａには基材１３上に基材１３と略平行に中空管３１が設けられ、中空管３１に設けた吹き出し口３４から気体３２がセラミックスシート１６ａの幅方向全体に渡って吹き付けられる。乾燥室から出たセラミックスシート１６ａは有機溶剤が蒸発した後のセラミックスシート１６ｂとなり回収される。なお、セラミックシート１６ａと１６ｂは溶液１１を用いて作製されるが、乾燥装置４０の内部にあるセラミックスシートを１６ａ、乾燥装置４０から出たセラミックスシートを１６ｂと記す。
【００２２】
乾燥装置外枠３０は中空直方体状をなし、好ましくは高さ０．３〜１ｍ、幅０．５〜２ｍ、長さ５〜５０ｍの大きさである。このような形状とすることが好ましいのは、熱風３４の流れを制御し、セラミックスシート１６ａを均一に乾燥させるためである。
【００２３】
基材１３は、塗工されたセラミックスシート１６ａを支持し一方向に走行させる機能を有する。基材１３は、例えばベルトコンベア、または、さらにベルトコンベア上に離型シートを載せた部材からなる。前記離型シートはセラミックスシート１６ｂの表面を平滑にし、かつベルトコンベアとセラミックスシート１６ｂを剥離するために設ける。
【００２４】
熱風３４は、送風口２１から送風ガス２２ａとして乾燥室（２３ａ、２３ｂ、２４ｃ）内部に送られ、排出口２０から排出ガス２２ｂとして排出される。熱風は空気を加熱したガス、窒素等の不活性ガスを加熱したガスを用いることが好ましい。
【００２５】
本発明の乾燥装置４０は、中空直方体状をなす乾燥装置外枠３０の内部で長尺状の基材１３を一方向に向けて走行させ、基材１３の走行方向の反対方向に熱風３４を送風口２１から流し排出口２０から排出しながら、基材１３の上面に塗工したセラミックスシート１６ａを基材１３上で乾燥する乾燥装置において、送風口２１とは別に基材１３の全体に向けて気体を吹き出すための吹き出し口３４を備えた中空管３１を、基材１３上部に基材１３と略平行に設けることが重要である。
【００２６】
図２のように、中空管３１を基材１３の上部に基材１３と略平行に設け、中空管３１に設けた吹き出し口３４から基材１３の幅方向の全体に向けて気体３２を吹き出すことは次のような作用効果がある。
【００２７】
第１に、基材１３の走行方向の反対方向に流れる熱風３４の速度を基材１３の幅方向全体に渡って一定となるよう整流でき、これによってセラミックシート１６ａの幅方向の全体に渡って乾燥速度が一定となるため、乾燥装置４０内部にあるセラミックシート１６ａの幅方向の乾燥収縮率が一定となり、その結果亀裂がなくかつ厚みばらつきの小さいセラミックシート１６ｂを得ることができる。第２に、セラミックスシート１６ａ近傍で気体を吹き付け、セラミックス１６ａ表面部の溶剤を一時的に素早く乾燥させてセラミック１６ａ表面に堅い被膜部を形成させることによって、セラミック１６ａからの急激な蒸発を抑制でき、これによって部分的な凹凸がないセラミックシート１６ｂを得ることができる。
【００２８】
これら第１、第２の作用効果をさらに大きくするためには吹き出し口から吹き出される気体の吹き出し方向を図１に示したように、中空管３１からセラミックスシート１６ａに向かう方向（図１の下側方向）、かつ基材１３の走行方向（図１の左から右へ向かう方向）の反対方向が好ましく、特に好ましくは吹き出し口から吹き出される気体の吹き出し方向と基材との角度の上限を９０°未満、下限を１°とする。
【００２９】
なお、セラミックシート１６ｂの厚みばらつきはセラミックシート１６ｂの長さ方向および幅方向の厚みの変動を意味し、セラミックシートの凹凸はピンホールのような微小領域の局所的凹凸を意味する。また、吹き出し口３４を設けた中空管３１は少なくとも１個あればよいが、セラミックスシート１６ｂの厚みばらつきをさらに低減するためには２個以上設けることが好ましい。さらに、中空管３１に設けた吹き出し口３４からセラミックスシート１６ａ方向に気体を吹き出すことにより、セラミックスシート１６ａに含まれる有機溶剤の蒸発速度を早めることができる。
【００３０】
気体３２は、空気、窒素ガス等の不活性ガスの少なくとも１種を含む気体からなる。セラミックス１６ａの急激な乾燥を抑制するため、気体３２は、熱風３４よりも送風温度が低い方が好ましい。特に好ましくは、気体３２はコンプレッサー等により送風される高圧空気を気体３２の供給源とする。
【００３１】
上述した本発明の乾燥装置４０は、樹脂およびセラミックスのいずれかの乾燥装置に適しているが、特にセラミックスの乾燥に好適である。この理由は、セラミックスは乾燥時に亀裂の入りやすいという問題点を、本発明の乾燥装置４０を用いることにより解決できるからである。
【００３２】
また、本発明の乾燥装置４０においては、中空管３１を乾燥装置４０の前半部分に設けた方が好ましい。乾燥装置４０の前半部分にあるセラミック１６ａは、乾燥装置４０の後半部分にあるセラミック１６ａよりも有機溶剤を多く含んでいるため粘度が低く、熱風が当たると変形しやすい。このため、乾燥装置４０の前半部分に中空管１３を設け、中空管１３から気体３２を吹き出すことにより、さらに厚みばらつきが小さなセラミックシート１６ｂを得ることができる。
【００３３】
また、本発明の乾燥装置４０は、基材１３と吹き出し口３４の距離が、乾燥装置４０の乾燥室外枠３０上部の内側と基材１３の距離の１／２以下であることが好ましい。これによって、吹き出し口３４から吹き出される気体３２が熱風の流れによって乱されることなく、基材１３の幅方向の全体に渡って気体３２を均一な流速でセラミックスシート１６ａに吹き付けることができるため、さらに厚みばらつきの小さなセラミックスシート１６ｂを得ることができる。
【００３４】
また、セラミックスシート１６ａを特に均一に乾燥させて厚みばらつきの小さいセラミックスシート１６ｂを得るためには、吹き出し口３４の位置を基材１３の上部から１０〜２５０ｍｍの高さとすることが特に好ましい。吹き出し口３４の位置を基材１３の上部から１０〜２５０ｍｍの高さとするにより、吹き出し口３４から吹き出される気体３２が熱風の流れによって乱されることなく、基材１３の幅方向の全体に渡って気体３２を均一な流速でセラミックスシート１６ａに吹き付けることができるからである。
【００３５】
また、図２に示すように吹き出し口３４を中空管３１の長手方向に設けた貫通孔とし、貫通孔の内径の下限を０．２ｍｍ、上限を５ｍｍ、貫通孔の平均ピッチの下限を２ｍｍ、上限を５０ｍｍとすることが特に好ましい。この理由は、貫通孔の内径が０．２ｍｍ未満であると、吹き出し口３４から吹き出される気体３２の流量を大きくすることが困難であるため、セラミックスシート１６ｂの厚みばらつきを著しく抑制することができないためである。また、吹き出し口３４の内径が５ｍｍを越えると、気体３２基材１３の幅方向の全体に渡って気体３２を均一な流速で吹き出すことが困難となり、その結果セラミックスシート１６ｂの厚みばらつきを著しく抑制することが困難となるからである。
【００３６】
また、本発明の乾燥装置４０は中空管３１の長さがセラミックスシート１６ａの幅よりも大きいことが好ましい。中空管３１をセラミックスシート１６ａの幅よりも大きくすることにより、第１に、基材１３の走行方向と反対方向に流れる熱風３４の速度を基材１３の幅方向全体に渡って一定となるようさらに整流でき、その結果厚みばらつきの特に小さいセラミックスシート１６ｂを得ることができる。
【００３７】
また、本発明の乾燥装置４０は吹き出し口３４が、中空管３１の長手方向に設けたスリットまたは複数の貫通孔の少なくとも１種からなることが好ましい。これによって、一時的にセラミックスシート１６ａ表面に形成される堅い被膜部の厚みを均一にすることができ、これによって部分的な凹凸がさらに少ないセラミックスシート１６ｂを得ることができる。
【００３８】
また、本発明の乾燥装置４０は吹き出し口３４から吹き出される気体３２を基材１３方向に流すための整流板３３を図１および図３に示すように中空管３１の上部に設けることが好ましい。これによって、基材の走行方向と反対方向に流れる熱風の速度を基材の幅方向の全体に渡って一定となるよう著しく整流できるので、著しく厚みばらつきの小さなセラミックスシートを得ることができる。
【００３９】
また、本発明の乾燥装置４０は、アルコール類、ケトン類、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素および酢酸エステル類からなる群から選ばれた少なくとも１種からなる有機溶剤を含むシートを乾燥させるための乾燥装置であることが好ましい。この理由は、これらの有機溶剤以外の有機溶剤を用いるとセラミックスシート１６ａに亀裂が入ったり、セラミックスシート１６ｂに大きな凹凸ができたりするからである。
【００４０】
また、本発明のシートは乾燥装置４０を用いて得られるセラミックシートであることが重要である。本発明の乾燥装置４０を用いて作製されたセラミックスシート１６ｂは厚みばらつきが小さく、ピンホールが著しく少ない。本発明のシートは、乾燥後のセラミッックスシート１６ｂおよびこれを焼成して得られる焼結体を意味する。
【００４１】
本発明の乾燥装置を用いて作製されるセラミックスシート１６ｂの材質は、主成分がアルミナ、ジルコニア、ムライト、コージエライト、シリカ、マグネシアのうち少なくとも１種が好適である。特に、本発明の乾燥装置はアルミナを主成分とするセラミックスシートの乾燥に好適である。
【００４２】
また、本発明の乾燥装置を用いて作製されたセラミックスシートは、電子部品用基板、高周波回路パッケージ用基板に好適に用いられ、電子部品用基板の中でも抵抗用基板として特に好適に用いることができる。
【００４３】
また、樹脂シートを乾燥させる場合も上記と同様の乾燥装置を用いる。
【００４４】
また、樹脂シートを乾燥させる場合も、上述したように中空管３１を乾燥装置４０の前方に設けることが好ましい。また、中空管３１の長さが前記シートの幅よりも大きいことが好ましい。また、気体３２の吹き出し口３４が、中空管３１の長手方向に設けたスリットまたは複数の貫通孔の少なくとも１種からなることが好ましい。また、気体３２を基材１３方向に流すための整流板３３を中空管３１の上部に設けることが特に好ましい。
【００４５】
また、本発明の乾燥装置により作成される樹脂シートの種類としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂がある。これらの樹脂シートは、電子部品用積層パッケージ基板、半導体パッケージ封止体、高周波回路パッケージ用蓋体・基体として好適に用いることができる。
【００４６】
【実施例】
実施例１
図１、２、３に示した乾燥装置を用いて、以下のようにセラミックスシート１６ｂを作製した。なお、図１の乾燥装置における乾燥室は３室となっているが、実施例においては４室に区分し、各乾燥室の温度は基材１３の入口側から順番に６０℃、８０℃、１００℃、１２０℃に設定した。
【００４７】
イソプロピルアルコール５重量％とトルエン９５重量％からなる有機溶剤に対して、セラミックス（酸化アルミニウム粉末９５重量％と焼結助剤粉末５重量％とを含有）の固形分が７０重量％となるよう混合し、さらにセラミックス１００重量部に対してブチラール樹脂（ＰＶＢ）を６重量％添加、混合し溶液１１を作製し、溶液１１を容器１０に投入した。溶液１１を、回転ローラー１３によって一方向へ走行する基材１３とブレード１２との間でセラミックスシート１６ｂの厚みを０．５８ｍｍ、幅１０００ｍｍ程度となるよう擦り切り、有機溶剤を含むセラミックスシート１６ａを中空直方体状乾燥装置４０にて次の条件で乾燥し、セラミックスシート１６ｂを得た。
【００４８】
乾燥室外枠３０は長さ３０ｍ、高さ０．５ｍ、幅１５００ｍｍとした。鉄板製の支持板１５上に基材１３としてベルトコンベア上に幅１１００ｍｍの離型用の紙シートを載せ、速度１ｍ／ｍｉｎでセラミックスシート１６ａ基材１３とともに走行させた。中空管３１は両端を開放した内径１００ｍｍ、長さ１２００ｍｍの鋼管とし、６０℃に設定した乾燥室に設けた。気体３２は圧力１．２ｋｇ／ｃｍ２の圧縮空気を用い、中空管３１の両端から圧縮空気を投入した基材１３方向に流した。吹き出し口３４として、図２のように直径１ｍｍの貫通孔を１０ｍｍ間隔で中空管３１の長さ方向に直線上に開け、吹き出し口の高さが基材上面から５０ｍｍ、かつ吹き出し口３４から吹き出される圧縮空気の流れる方向が基材に対して４５°となる様にした。
【００４９】
得られたセラミックスシート１６ｂの幅方向の中心部と両端部の３箇所を大きさ２０×２０ｍｍでセラミックシート１６ｂの長さ方向に５ｍ間隔で２０箇所、計１００個サンプリングし、厚みをマイクロメータで、直径１００μｍ以上のピンホールおよび１００μｍ以上の長さの亀裂の有無を目視で調べた。さらに、得られたセラミックシート１６ｂを１６００℃で５時間焼成し、得られた焼結セラミックスシートの厚みをマイクロメータで測定した。
【００５０】
その結果、１００個サンプリングしたセラミックスシート１６ｂの試料の厚みの最大値と最小値の差は０．０３ｍｍとなり、また、ピンホールと亀裂は全く観察されなかった。また、得られた焼結セラミックスシートの厚みの最大値と最小値の差は０．０３ｍｍであった。
【００５１】
一方、中空管３１を付けなかった場合は、セラミックスシートの厚みの最大値と最小値の差は、乾燥後では０．１０ｍｍ、焼結後では０．０９ｍｍと大きく、かつピンホールが３０個、亀裂が５個観察された。
【００５２】
実施例２
図３のように中空管３１の上部に、整流板３５として基材走行方向長さ１２００ｍｍ、幅１３００ｍｍの鉄板を固定し、その他は実施例１と同様にしてセラミックスシート１６ｂを得た。さらに実施例１と同様にセラミックスシート１６ｂの厚み、ピンホール、亀裂、および焼結セラミックスシートの厚みを調べた。その結果、セラミックスシート１６ｂの試料の厚みの最大値と最小値の差は０．０２ｍｍと実施例１よりもさらに厚みのばらつきが小さくなり、また、ピンホールと亀裂は全く観察されなかった。また、得られた焼結セラミックスシートの厚みの最大値と最小値の差は０．０２ｍｍとなり、実施例１よりもさらに小さくなった。
【００５３】
実施例３
樹脂としてポリカーボネートウレタン（日本ミラクトラン社製「Ｅ９８０」）１００部、ウレタン微粒子（大日精化社製「ＵＰ０９０８」）２０部、をＤＭＦ（Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド）：ＭＥＫ（メチルエチルケトン）＝１：１の混合溶媒で５％に希釈したものを容器１０に投入し、その他は実施例１と同様に乾燥して樹脂シートを得た。乾燥後の樹脂シートの厚み、ピンホール、亀裂を実施例１と同様に測定した。その結果、樹脂シートの厚みの最大値と最小値の差は０．０２ｍｍとなり、また、ピンホールと亀裂は全く観察されなかった。
【００５４】
一方、中空管３１を付けなかった場合は、乾燥後の樹脂シートの厚みの最大値と最小値の差は０．１０ｍｍと大きく、かつピンホールが７０個、亀裂が２０個観察された。
【００５５】
実施例４
実施例２と同様に整流板３５を設け、その他は実施例３と同様にして、樹脂シートを作製し、厚み、ピンホール、亀裂を調べた。その結果、樹脂シートの厚みの最大値と最小値の差は０．０１ｍｍとなり、実施例３よりもさらに小さくなった。
【００５６】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、厚みのばらつきが小さく、ピンホールや亀裂の少ない樹脂シートやセラミックスシートを得るための乾燥装置を提供することできる。また、本発明の乾燥装置を用いて作製された樹脂シートやセラミックスシートは、ハイブリッドＩＣ基板、抵抗器用基板板、多層配線基板等の基板に充分適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の乾燥装置を示す概略断面図である。
【図２】本発明の乾燥装置の一部を示す斜視図である。
【図３】本発明の乾燥装置の一部を示す斜視図である。
【図４】従来の乾燥装置を示す概略断面図である。
【図５】従来の乾燥装置を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１０：容器
１１、６１：溶液
１２、６０：ブレード
１３、５６、６２：基材
１４：回転ローラー
１５：支持板
１６ａ：セラミックス
１６ｂ：セラミックスシート
２０、５１：排出口
２１、５２：送風口
２２ａ：送風ガス
２２ｂ：排出ガス
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ：乾燥室
２４：仕切板
２５：予備室
３０、５３：乾燥室外枠
３１：中空管
３２：気体
３３：整流板
３４：吹き出し口
４０、５７、６７：乾燥装置
５４：密閉通路形成体
５５：搬入口
５８：搬出口
６４：樹脂シート
６５：自然乾燥空間
６６：プレート
６８：支持板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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