(57)【要約】【課題】液圧増圧器が生成する二次圧の脈動を最小とすることにある。【解決手段】プランジャ２ａを有するとともに液圧出力回路を互いに接続された複数本のプランジャシリンダ２と、それらのプランジャシリンダ２のプランジャ２ａにそれぞれピストンロッド１ａを結合されてピストンロッド１ａの前進移動によりそのプランジャ２ａを押すとともにピストンロッド１ａの後退移動によりそのプランジャ２を引く複数本の液圧シリンダ１と、前記複数本の液圧シリンダ１の順次の二本ずつの組の一方の液圧シリンダ１のピストンロッド１ａの前進移動終了直前と他方の液圧シリンダ１のピストンロッド１ａの前進移動開始直後とが互いに重なるタイミングで前記複数本の液圧シリンダ１のそれぞれのピストンロッド１の前進移動および後退移動を繰り返させる制御装置６と、を具えてなる低脈動液圧増圧器である。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プランジャを有するとともに液圧出力回路を互いに接続された複数本のプランジャシリンダと、
それらのプランジャシリンダのプランジャにそれぞれピストンロッドを結合されてピストンロッドの前進移動によりそのプランジャを押すとともにピストンロッドの後退移動によりそのプランジャを引く複数本の液圧シリンダと、
前記複数本の液圧シリンダの順次の二本ずつの組の一方の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動終了直前と他方の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動開始直後とが互いに重なるタイミングで前記複数本の液圧シリンダのそれぞれのピストンロッドの前進移動および後退移動を繰り返させる液圧シリンダ制御手段と、
を具えてなる、低脈動液圧増圧器。
【請求項２】
前記プランジャシリンダと前記液圧シリンダとを二本ずつ具えることを特徴とする、請求項１記載の低脈動液圧増圧器。
【請求項３】
前記液圧シリンダ制御手段は、
前記複数本の液圧シリンダのそれぞれに対して液圧を供給するとともにそれらの液圧シリンダのそれぞれの前進移動と後退移動とを切り替える複数の方向制御弁と、
それらの方向制御弁の作動タイミングを制御する方向制御弁制御手段と、
を有することを特徴とする、請求項１または２記載の低脈動液圧増圧器。
【請求項４】
前記液圧シリンダ制御手段は、
前記複数本の液圧シリンダのそれぞれに対する液圧を生成するとともにそれらの液圧シリンダのそれぞれの前進移動と後退移動とを切り替える複数の液圧ポンプと、
それらの液圧ポンプの作動状態を制御する液圧ポンプ制御手段と、
を有することを特徴とする、請求項１または２記載の低脈動液圧増圧器。
【請求項５】
前記低脈動液圧増圧器と、
前記低脈動液圧増圧器の前記互いに接続された液圧出力回路から供給される高圧の被処理液を複数の方向からチャンバ内に高速で噴出させてそのチャンバ内で互いに衝突させ、その被処理液の乳化・分散を行わせる処理器と、
を具えてなる、請求項１から４までの何れか記載の低脈動液圧増圧器を用いた湿式乳化・分散装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液圧を増圧する増圧器（いわゆるブースタ）に関し、特には、増圧した液圧の脈動が殆どない低脈動液圧増圧器に関するものである。また、この発明は、その低脈動液圧増圧器を用いた湿式乳化・分散装置にも関するものである。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
液圧増圧機は、高圧水の生成、高油圧の生成等に使用されるもので、高圧水によるハイドロフォーム成形機や、湿式ジェットミル（液体中に分散された微小粒子を二個のノズルから高速で噴出させ、互いに衝突させることで更に粉砕するもの）等に多用され、高油圧による配管の小径化および油圧機器の軽量化にも役立っている。
【０００３】
ところで、従来の液圧増圧機で増圧した液圧には脈動があるため、湿式ジェットミル等では微粒子に粉砕する場合、一定の粒径とならず、大きな粒径のバラツキの原因となっている。又ハイドロフォーミング成形機の場合でも成形条件が一定にならないため、非常に大きなシリンダを用いて、一回の成形を一度の押し工程で仕上げている。従って液圧増圧器は、脈動のない一定の高圧を保ちながら連続して吐出できるものが理想的である。
【０００４】
液圧増圧機は通常、油圧シリンダを一次側（低圧側）とし、その油圧シリンダのピストンの強大な推力で二次側（高圧側）のプランジャシリンダ２の、前記ピストンより小径のプランジャ２ａを押して高い二次圧を得ており、例えば、図９（ａ）に示す従来の方式は、一次側の片ロッド複動型のシリンダ１に一次圧Ｐｐを供給し、そのシリンダ１のピストンロッド１ａで二次側のプランジャ２ａを進退移動させてプランジャシリンダ２の液圧出力回路に二次圧Ｐｓを得るものである。なお、図中符号３はカップリング、４はチェック弁をそれぞれ示す。この方式ではピストンロッド１ａの前進移動の時のみ二次圧Ｐｓが生成され、後退移動の時は二次圧Ｐｓはゼロとなる。従って、図９（ｂ）に示すように二次圧Ｐｓは概ね矩形波となり、脈動は最大となる。
【０００５】
図１０（ａ）に示す他の従来の方式は、一次側を両ロッドのシリンダ１としており、ピストンロッド１ａの図では右行移動と左行移動とで、ともに二次圧Ｐｓを生成させることが可能である。しかしながらこの方式も、両ロッドのシリンダ１のピストンロッド１ａが移動方向反転時に一瞬停止するため、図１０（ｂ）に示すように二次圧Ｐｓに脈動が発生する。
【０００６】
図１１（ａ）に示すさらに他の従来の方式のように、１２０°の位相差を有するクランク軸５を回転させて、三本のプランジャシリンダ２Ａ，２Ｂ，２Ｃのプランジャ２ａをサイン波形で図１１（ｂ）に示すように進退移動させる方式も、各プランジャシリンダ２Ａ〜２Ｃのプランジャ２ａの前進動作だけが二次圧の生成に寄与しているため、図１１（ｃ）に示すように各プランジャシリンダの半サイクル毎の吐出量Ｑが１２０°の位相差をもって重なり、合成流量Ｑｃは図１１（ｄ）のようになる。従って、この方式も二次圧がゼロになることはないが、やはり非常に大きな鋸歯状波に近い形の脈動が発生する。流量Ｑｃの脈動は二次圧の脈動発生の主原因である。本発明は、このような二次圧の脈動を最小とすることを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】
この発明の低脈動液圧増圧器は、プランジャを有するとともに液圧出力回路を互いに接続された複数本のプランジャシリンダと、それらのプランジャシリンダのプランジャにそれぞれピストンロッドを結合されてピストンロッドの前進移動によりそのプランジャを押すとともにピストンロッドの後退移動によりそのプランジャを引く複数本の液圧シリンダと、前記複数本の液圧シリンダの順次の二本ずつの組の一方の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動終了直前と他方の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動開始直後とが互いに重なるタイミングで前記複数本の液圧シリンダのそれぞれのピストンロッドの前進移動および後退移動を繰り返させる液圧シリンダ制御手段と、を具えてなるものである。
【０００８】
かかる液圧増圧器にあっては、プランジャを有するとともに液圧出力回路を互いに接続された複数本のプランジャシリンダのプランジャにそれぞれピストンロッドを結合されてピストンロッドの前進移動によりそのプランジャを押すとともにピストンロッドの後退移動によりそのプランジャを引く複数本の液圧シリンダのそれぞれのピストンロッドの前進移動および後退移動を、液圧シリンダ制御手段が、それらの液圧シリンダの順次の二本ずつの組の一方の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動終了直前と他方の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動開始直後とが互いに重なるタイミングで繰り返させる。
【０００９】
従って、この発明の液圧増圧器によれば、複数本の液圧シリンダの順次の二本組の最初の組の二本のうちの一方の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動終了直前に他方の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動が開始され、その他方の液圧シリンダを含む次の組の二本のその他方の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動終了直前にもう一方の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動が開始されるというようにして、僅かの重なり期間を持って常に何れか一本の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動が行われるとともに、その間に他の液圧シリンダの後退移動が行われるので、複数本のプランジャシリンダの互いに接続された液圧出力回路に生成される二次圧の脈動を最小とすることができる。
【００１０】
なお、この発明の液圧増圧器においては、前記プランジャと前記液圧シリンダとを二本ずつ具えていても良く、このようにすればプランジャと液圧シリンダとの本数が最少限の簡易な構成で低脈動液圧増圧器を構成することができる。
【００１１】
そしてこの発明の液圧増圧器においては、前記液圧シリンダ制御手段は、前記複数本の液圧シリンダのそれぞれに対して液圧を供給するとともにそれらの液圧シリンダのそれぞれの前進移動と後退移動とを切り替える複数の方向制御弁と、それらの方向制御弁の作動タイミングを制御する方向制御弁制御手段と、を有していてもよく、また前記液圧シリンダ制御手段は、前記複数本の液圧シリンダのそれぞれに対する液圧を生成するとともにそれらの液圧シリンダのそれぞれの前進移動と後退移動とを切り替える複数の液圧ポンプと、それらの液圧ポンプの作動状態を制御する液圧ポンプ制御手段と、を有していても良い。
【００１２】
一方、前記低脈動液圧増圧器を用いたこの発明の湿式乳化・分散装置は、前記低脈動液圧増圧器と、前記低脈動液圧増圧器の前記互いに接続された液圧出力回路から供給される高圧の被処理液を複数の方向からチャンバ内に高速で噴出させてそのチャンバ内で互いに衝突させ、その被処理液の乳化・分散を行わせる処理器と、を具えてなるものである。
【００１３】
かかる湿式乳化・分散装置によれば、前記低脈動液圧増圧機が増圧して処理器に連続的に供給する、脈動のない一定圧の高圧の被処理液を、処理器が、複数の方向からチャンバ内に高速で噴出させてそのチャンバ内で互いに衝突させ、その被処理液の乳化・分散を行わせるので、乳製品や薬品等の被処理液の乳化・分散処理を均質にかつ効率的に行うことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の実施の形態を実施例によって、図面に基づき詳細に説明する。ここに、図１は、この発明の低脈動液圧増圧器の一実施例を示す構成図であり、図中従来例と同様の部分はそれと同一の符号にて示す。この実施例の液圧増圧器は、プランジャシリンダと液圧シリンダとを二本ずつ具えるものであり、ここでは図１に示す如く、二本のプランジャシリンダ２Ａ，２Ｂのプランジャ２ａに二本の液圧シリンダ１Ａ，１Ｂのピストンロッド１ａをそれぞれカップリング３を介して結合するとともに、二本のプランジャシリンダ２Ａ，２Ｂの液圧出力回路をチェック弁４を介して互いに接続し、それらの液圧シリンダ１Ａ，１Ｂに供給する一次圧を制御する液圧シリンダ制御手段としての制御装置６を設け、さらに二本のプランジャシリンダ２Ａ，２Ｂをそれぞれチェック弁４を介してリザーバに接続してそこから作動液を吸入し得るように構成している。
【００１５】
この実施例の液圧増圧器は、二本の液圧シリンダ１Ａ，１Ｂのピストンロッド１ａで二本のプランジャシリンダ２Ａ，２Ｂのプランジャ２ａをそれぞれ進退移動させる。これは図８（ａ）に示す両ロッドのシリンダ１のシリンダロッド１ａで二本のプランジャシリンダ２のプランジャ２ａを進退移動させる方式と近似している。しかしながらこの実施例では、従来の両ロッドのシリンダ１を二本のシリンダ１に分割したことにより、次のような作用・効果を得ることが出来る。
【００１６】
すなわちこの実施例では、液圧シリンダ１Ａおよび１Ｂのピストンロッド１ａを前進移動開始前に後退限位置まで移動させておいて（例えば可動ストロークの５％とする）、先ず、液圧シリンダ１Ａのピストンロッド１ａの前進移動（押し動作）をスタートさせる。次いで、液圧シリンダ１Ａのピストンロッド１ａが例えば可動ストロークの９５％の前進限位置に達する直前に液圧シリンダ１Ｂのピストンロッド１ａの前進移動（押し動作）をスタートさせる。そして、液圧シリンダ１Ａのピストンロッド１ａが可動ストロークの９５％の前進限位置に達したら直ちに、前進移動よりも高速で後退移動（引き動作）させ、可動ストロークの５％の後退限位置まで戻ったらそこでストップさせて待機させておき、液圧シリンダ１Ｂのピストンロッド１ａが可動ストロークの９５％の前進限位置に達する直前に液圧シリンダ１Ａのピストンロッド１ａの前進移動をスタートさせる。さらに、液圧シリンダ１Ｂのピストンロッド１ａが可動ストロークの９５％の前進限位置に達したら直ちに、前進移動よりも高速で後退移動（引き動作）させ、可動ストロークの５％の後退限位置まで戻ったらそこでストップさせて待機させておく。
【００１７】
このように液圧シリンダ１Ａと液圧シリンダ１Ｂとのピストンロッド１ａの前進移動の動作タイミングを僅かに重ね合わせることにより、液圧シリンダ１Ａ，１Ｂのピストンロッド１ａに結合されたプランジャシリンダ２Ａ，２Ｂのプランジャ２ａも全く同じ動作を行う。従って、プランジャシリンダ２Ａ，２Ｂのそれぞれの液圧出力回路の作動液流量Ｑの波形は図２に示すようになることから、プランジャシリンダ２Ａ，２Ｂの合成流量Ｑｃの波形は、前進移動の動作タイミングの重ね合わせ量が過剰な場合には図３（ａ）に示すように突起を持つものとなり、前進移動の動作タイミングの重ね合わせ量が不足の場合には図３（ｂ）に示すように凹みを持つものとなり、前進移動の動作タイミングの重ね合わせ量が適正な場合には僅かな変動を持つかまたは図３（ｃ）に示すように平滑になものとなる。しかして、一般に二次圧の脈動発生の主原因はプランジャシリンダの液圧出力回路の流量の脈動であるから、この実施例の液圧増圧器によれば二次圧Ｐｓの脈動を最小とすることができる。
【００１８】
図４は、上記実施例の液圧増圧器において液圧シリンダ１Ａ，１Ｂに供給する一次圧を制御する制御装置６の構成例を示すものであり、この例では、一方向吐出の固定容量ポンプまたは可変容量ポンプであるポンプ７で一方向流れの加圧作動液を生成し、二個の４ポート方向制御弁８Ａ，８Ｂで流れの方向を切り替え、液圧シリンダ１Ａ，１Ｂのピストンロッド１ａを進退移動させる。これらの方向制御弁８Ａ，８Ｂとしては電磁比例弁やサーボ弁を使用でき、これらの方向制御弁８Ａ，８Ｂの制御用のソレノイドコイルやトルクモータは、中央処理ユニット（ＣＰＵ）を持つ通常のプログラマブル・コントローラ９に接続し、そのプログラマブル・コントローラ９には、液圧シリンダ１Ａ，１Ｂのそれぞれのピストンロッド１ａの位置を検出するリニアスケール１０を接続する。これによりプログラマブル・コントローラ９は方向制御弁制御手段として機能し、あらかじめ与えられたプログラムに基づいて、先に述べた重なりのある動作タイミングで液圧シリンダ１Ａとシリンダ１Ｂとのピストンロッド１ａの進退移動を制御する。
【００１９】
図５は、制御装置６の他の構成例を示すものであり、この例では、二方向回転二方向吐出の固定容量ポンプであるポンプ７を駆動するモータ１１をプログラマブル・コントローラ９で正逆転運転させて二方向の流れの加圧作動液を生成し、液圧シリンダ１Ａ，１Ｂのピストンロッド１ａを進退移動させる。この場合、ピストンロッド１ａの変位を正確に検出し制御する必要があるため、液圧シリンダ１Ａ，１Ｂのピストンロッド１ａにそれぞれ設けた突起１ｂで作動する三つのリミットスイッチＬＳ１〜ＬＳ３を設け（図では液圧シリンダ１Ａについてのみ示す）、リミットスイッチＬＳ１で後退限位置を決め、リミットスイッチＬＳ２で重なり合い量を決め、リミットスイッチＬＳ３で前進限位置（反転位置）を決めて、それらの位置へのピストンロッド１ａの到達を検出し、プログラマブル・コントローラ９に入力する。また、ここでは片ロッドシリンダである液圧シリンダ１Ａ，１Ｂのヘッド側とロッド側との容積差に起因する液量差を補償するため、通常の補償回路１２を設ける。これによりプログラマブル・コントローラ９は液圧ポンプ制御手段として機能し、あらかじめ与えられたプログラムに基づいて、先に述べた重なりのある動作タイミングで液圧シリンダ１Ａとシリンダ１Ｂとのピストンロッド１ａの進退移動を制御する。この構成は、方向制御弁、電磁比例弁、サーボ弁等の制御弁が一切不要である。
【００２０】
図６は、制御装置６のさらに他の構成例を示すものであり、この例では、一方向回転二方向吐出の可変容量ポンプであるポンプ７を駆動するモータ１１をプログラマブル・コントローラ９で常に同一方向に回転させるとともに、プログラマブル・コントローラ９でポンプ７の斜板の角度を制御することによって吐出容量および吐出方向を任意に設定する。この場合も、ピストンロッド１ａの変位を正確に検出し制御する必要があるため、液圧シリンダ１Ａ，１Ｂのシリンダ内部または外部にリニアスケール１０を取り付けてその出力信号をプログラマブル・コントローラ９に入力する。また、上記補償回路１２を設ける。これによりプログラマブル・コントローラ９は液圧ポンプ制御手段として機能し、あらかじめ与えられたプログラムに基づいて、先に述べた重なりのある動作タイミングで液圧シリンダ１Ａとシリンダ１Ｂとのピストンロッド１ａの進退移動を制御する。この構成は、モータ１１の回転方向および回転速度が常に一定であり、また図５の構成と同じく制御弁が一切不要である。
【００２１】
図７は、この発明の湿式乳化・分散装置の一実施例を示す構成図であり、図中先の実施例と同様の部分はそれと同一の符号にて示す。すなわちこの実施例の湿式乳化・分散装置は、図１に示す実施例の低脈動液圧増圧器を一台具えるとともに、その低脈動液圧増圧器の二本のプランジャシリンダ２Ａ，２Ｂの互いに接続された液圧出力回路２ｂから高圧の被処理液を供給される処理器１３を二台具えており、ここにおける二本のプランジャシリンダ２Ａ，２Ｂは、密閉型の被処理液タンク１４から被処理液を供給され、その被処理液の粘度が高い場合等に対応すべく、被処理液タンク１４内に加圧不活性ガス源または加圧空気源１５から不活性ガスまたは空気が供給されて被処理液が加圧され、各プランジャシリンダ２Ａ，２Ｂへの被処理液の供給が円滑に行われる。この被処理液タンク１４内の圧力は、調圧弁１６によって適度に維持される。
【００２２】
また、ここにおける二台の処理器１３は、互いに同一の構成を持つとともに、被処理液の処理量が多い場合に対応し得るように流体回路的に互いに並列に接続されており、各処理器１３は、図８に断面を模式的に示すように、ここでは互いに整列する二本の流入路１３ａを介して図中矢印で示すように二方向から高圧の被処理液を供給され、それらの被処理液を、互いに対抗するノズル１３ｂを通して増速させてチャンバ１３ｃ内に高速で向かい合わせに噴出させてそのチャンバ１３ｃ内で互いに正面衝突させ、その被処理液中に分散している粗粒同士を衝突させて粉砕することでその被処理液の乳化・分散を行わせた後、その被処理液を一本の流出路１３ｄから図中矢印で示すように流出させる。なお、ノズル１３ｂは、通常は超硬合金で形成されるが、セラミックス粉や研磨粉等の高硬度の粗粒を被処理液中に入れて粉砕する場合には、ノズルの摩耗防止のためダイヤモンドで形成されていても良い。
【００２３】
かかる実施例の湿式乳化・分散装置によれば、図１に示す実施例の低脈動液圧増圧器が増圧して二台の処理器１３に連続的に供給する、脈動のない一定圧の高圧の被処理液を、それらの処理器１３がそれぞれ、二方向からチャンバ１３ｃ内に高速で噴出させてそのチャンバ１３ｃ内で互いに衝突させ、その被処理液の乳化・分散を行わせるので、乳製品や薬品等の被処理液の乳化・分散処理を均質にかつ効率的に行うことができる。
【００２４】
以上、図示例に基づき説明したが、この発明は上述の例に限定されるものでなく、例えば、この発明の低脈動液圧増圧器は、プランジャシリンダと液圧シリンダとを三本ずつ具え、液圧シリンダ１Ａ−１Ｂ，１Ｂ−１Ｃ，１Ｃ−１Ａというように順次に組にして、それらの組で一方の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動終了直前にもう一方の液圧シリンダのピストンロッドの前進移動が開始されるように作動タイミングを重なり合わせても良く、あるいはプランジャシリンダと液圧シリンダとをさらに多く具えて同様に制御しても良い。また、液圧シリンダの作動タイミングの制御は、通常のパーソナル・コンピュータやシーケンサ等の制御装置で行っても良い。そして、増圧する液体は油でも水でも、乳製品や薬品等でも良い。
【００２５】
また、この発明の湿式乳化・分散装置は、二台あるいはそれ以上の台数の前記低脈動液圧増圧器から高圧の被処理液を処理器１３に供給して処理器１３のチャンバ１３ｃ内に二方向あるいはそれ以上の方向から被処理液を噴出させるようにしても良く、その場合に、二種類あるいはそれ以上の種類の被処理液を二台あるいはそれ以上の台数の前記低脈動液圧増圧器からそれぞれ供給して処理器１３のチャンバ１３ｃ内で衝突させるとともに混合するようにしても良い。さらに、処理器１３の接続も、三台以上を並列接続しても良く、粒子をより細かくするとともにより分散させるために複数段直列接続しても良い。また、処理量が少ない場合には処理器１３を一台としても良い。そして、被処理液の粘度が低い場合には被処理液タンク１４を大気圧開放型のタンクとしても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の低脈動液圧増圧器の一実施例を示す構成図である。
【図２】上記実施例の液圧増圧器の各プランジャシリンダの液圧出力回路の作動液流量波形を示す特性線図である。
【図３】上記実施例の液圧増圧器の二本のプランジャシリンダの液圧出力回路の合成流量波形を示す特性線図である。
【図４】上記実施例の液圧増圧器の一次圧を制御する制御装置の構成例を示す説明図である。
【図５】上記実施例の液圧増圧器の一次圧を制御する制御装置の他の構成例を示す説明図である。
【図６】上記実施例の液圧増圧器の一次圧を制御する制御装置のさらに他の構成例を示す説明図である。
【図７】この発明の湿式乳化・分散装置の一実施例を示す構成図である。
【図８】上記実施例の湿式乳化・分散装置における処理器の構造を模式的に示す断面図である。
【図９】（ａ）は、従来の方式の一例を示す構成図、（ｂ）は、その方式での二次圧波形を示す特性線図である。
【図１０】（ａ）は、従来の方式の他の一例を示す構成図、（ｂ）は、その方式での二次圧波形を示す特性線図である。
【図１１】（ａ）は、従来の方式のさらに他の一例を示す構成図、（ｂ）は、その方式でのプランジャストロークを示す特性線図、（ｃ）は、その方式での各プランジャシリンダの液圧出力回路の作動液流量波形を示す特性線図、（ｄ）は、その方式での三本のプランジャシリンダの液圧出力回路の合成流量波形を示す特性線図である。
【符号の説明】
１，１Ａ，２Ａ，３Ａ　液圧シリンダ
１ａ　ピストンロッド
１ｂ　突起
２　プランジャシリンダ
２ａ　プランジャ
２ｂ　液圧出力回路
３　カップリング
４　チェック弁
５　クランク軸
６　制御装置
７　ポンプ
８Ａ，８Ｂ　方向制御弁
９　プログラマブル・コントローラ
１０　リニアスケール
１１　モータ
１２　補償回路
１３　処理器
１３ａ　流入路
１３ｂ　ノズル
１３ｃ　チャンバ
１３ｄ　流出路
１４　被処理液タンク
１５　加圧不活性ガス源または加圧空気源
１６　調圧弁
Ｐｐ　一次圧
Ｐｓ　二次圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2004068833.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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