(57)【要約】【課題】ピストンロッドの回転を防止でき、従って、電子部品を実装基板上の所定の位置および所定の向きに確実に搭載させることのできる流体圧シリンダを提供する。また、製造が容易で製造コストが安価な流体圧シリンダを提供する。【解決手段】シリンダ本体１１は、ピストン２１を軸方向に往復動自在に収容し、ピストン２１の両端面との間で空気圧室２９，３０を形成する。ピストン２１に設けられ、シリンダ本体１１から外部に突出するピストンロッド１２と、シリンダ本体１１内に組み込まれ、ピストン２１およびピストンロッド１２の外周面を案内する案内孔１９，２０が形成された空気軸受１８と、ピストン２１に形成され、非円形の横断面を有する回り止め部２４と、回り止め部２４に対応して空気軸受２２に形成された回り止め部案内孔２３とを有する。【選択図】　　図２
2004144112.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピストンを軸方向に往復動自在に収容し、前記ピストンの両端面との間で空気圧室を形成するシリンダ本体と、
前記ピストンに設けられ、前記シリンダ本体から外部に突出するピストンロッドと、
前記シリンダ本体内に組み込まれ、前記ピストンおよび前記ピストンロッドの外周面を案内する案内面が形成された空気軸受と、
前記ピストンまたは前記ピストンロッドに形成され非円形の横断面を有する回り止め部と、
前記回り止め部に対応して前記空気軸受に形成された回り止め案内部とを有することを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項２】
請求項１記載の流体圧シリンダにおいて、前記空気軸受に圧縮空気を供給する軸受ポートと、前記それぞれの空気圧室に圧縮空気を供給する推力ポートとを前記シリンダ本体に形成したことを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項３】
請求項１または２記載の流体圧シリンダにおいて、前記シリンダ本体の端部に前記ピストンロッドと前記空気軸受との間を通過した空気を排出する集塵ポートを形成したことを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の流体圧シリンダにおいて、前記ピストンの一端に前記ピストンロッドを設け、他端に前記回り止め部を設け、前記推力ポートを前記空気圧室に連通させる隙間を前記回り止め案内部に形成したことを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の流体圧シリンダにおいて、前記ピストンの両端にそれぞれピストンロッドを設けたことを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の流体圧シリンダにおいて、前記ピストンロッドの途中に吸着用真空ポートを設けたことを特徴とする流体圧シリンダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は流体圧力によりロッドが往復動する流体圧シリンダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
流体圧シリンダは、シリンダチューブやシリンダブロック等からなるシリンダ本体と、シリンダ本体内に形成された円筒状室内に往復動自在に収容されるピストンと、ピストンに一体となってシリンダ本体の外部に突出するピストンロッドとを有している。ピストンの両端面に作動流体を給排することによるピストンの往復動はピストンロッドを介して外部に伝達されることとなる。
【０００３】
流体圧シリンダには作動形式により、ピストン両側に形成される圧力室の一方にのみ作動流体を供給し、逆方向の移動はばねや外力により行うようにする単動形と、ピストンロッドの前進移動と後退移動をともに作動流体によって行うようにする複動形とがある。また、ピストンの両側にピストンロッドが設けられたタイプは両ロッド形と言われ、一方側にピストンロッドが設けられたタイプは単ロッド形と言われる。
【０００４】
空気圧シリンダを用いた装置としては、生産ラインの工程から工程へワークを搬送する搬送装置等がある。たとえば、半導体チップ等の電子部品を検査する場合、トレイなどに配置された多数の電子部品を搬送装置により検査ボードに搭載するようにしている。また、実装基板に電子部品を搭載する場合にも搬送装置を用いて所定の順序で電子部品を実装基板に搭載するようにしている。
【０００５】
このような搬送装置には、水平方向に移動自在な搬送ヘッドが設けられ、搬送ヘッドには垂直方向に移動自在な上下動部材が取り付けられている。また、上下動部材の先端には吸着具が装着されており、吸着された電子部品は上昇移動された後に水平移動され下降移動されることにより所定の位置まで搬送される。この上下動部材として空気圧シリンダが用いられており、ピストンロッドの先端に吸着具を設け空気圧シリンダに圧縮空気を供給制御することにより、電子部品の上昇および下降移動を可能とする。
【０００６】
また、電子部品を実装基板に搭載する際には、所定の位置はもちろんのこと所定の向きに電子部品を搭載する必要があるため、吸着時の向きを維持すべくピストンロッドの回転を防止する空気圧シリンダが開発されている。
【０００７】
このような空気圧シリンダとしては、ピストンロッドの断面形状を矩形または楕円等に加工することによりピストンロッドの回転を防止するものや、ピストンとピストンロッドとの中心軸を相互に偏心させたものが知られている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の空気圧シリンダでは、ピストンおよびピストンロッドとそれらの軸受部との間に隙間が生じないよう、高い加工精度が求められた。ピストンロッドの断面形状を矩形や楕円等に加工する空気圧シリンダにあっては、ピストンロッドの加工が困難であるとともに、軸受やシール部材についても専用のものが必要であり製造コストが増大するおそれがある。
【０００９】
本発明の目的は、ピストンロッドの回転を防止でき、従って、電子部品を実装基板上の所定の位置および所定の向きに確実に搭載させることのできる流体圧シリンダを提供することにある。
【００１０】
本発明の目的は、高い加工精度が要求されないため、製造の容易な流体圧シリンダを提供することにある。
【００１１】
本発明の目的は、製造コストを低減させることのできる流体圧シリンダを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の流体圧シリンダは、ピストンを軸方向に往復動自在に収容し、前記ピストンの両端面との間で空気圧室を形成するシリンダ本体と、前記ピストンに設けられ、前記シリンダ本体から外部に突出するピストンロッドと、前記シリンダ本体内に組み込まれ、前記ピストンおよび前記ピストンロッドの外周面を案内する案内面が形成された空気軸受と、前記ピストンまたは前記ピストンロッドに形成され非円形の横断面を有する回り止め部と、前記回り止め部に対応して前記空気軸受に形成された回り止め案内部とを有することを特徴とする。
【００１３】
本発明の流体圧シリンダは、前記空気軸受に圧縮空気を供給する軸受ポートと、前記それぞれの空気圧室に圧縮空気を供給する推力ポートとを前記シリンダ本体に形成したことを特徴とする。本発明の流体圧シリンダは、前記シリンダ本体の端部に前記ピストンロッドと前記空気軸受との間を通過した空気を排出する集塵ポートを形成したことを特徴とする。
【００１４】
本発明の流体圧シリンダは、前記ピストンの一端に前記ピストンロッドを設け、他端に前記回り止め部を設け、前記回り止め案内部に前記推力ポートを前記空気圧室に連通させる隙間を形成したことを特徴とする。本発明の流体圧シリンダは、前記ピストンの両端にそれぞれピストンロッドを設けたことを特徴とする。
【００１５】
本発明の流体圧シリンダは、前記ピストンロッドの途中に吸着用真空ポートを設けたことを特徴とする。
【００１６】
本発明の流体圧シリンダによれば、外部からピストンロッドを回転させようとする回転力が加わった場合でも、回り止め部の外周面と接触している回り止め部案内孔の内周面が回り止め部の回転を阻止するので、ピストン、ピストンロッドおよび回り止め部が一体となる軸部材は、回転することなく軸方向に摺動できる。これにより、流体圧シリンダを、半導体チップなどの電子部品を吸着して部品収容部から実装基板やテストボードに搭載する搬送装置に使用する場合、電子部品を実装基板上の所定の位置および所定の向きに確実に搭載させることができる。
【００１７】
また、回り止め部と空気軸受との間に隙間が設けられているので、給排ポートより供給された圧縮空気は直接ピストンに伝達され、より大きな押圧がピストンに加えられ、小さな流体圧でも確実に往復動を行うことができる。このように、本発明の流体圧シリンダによれば、回り止め部の全周をシールする場合ほど高い加工精度が要求されないため、製造が容易になる。また、製造コストを低減することもできる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１９】
図１は本発明の一実施の形態である流体圧シリンダ１０を示す斜視図である。図１に示すように、ほぼ長方体形状を有するシリンダ本体１１は、２つのシリンダチューブ１１ａ，１１ｂにより構成され、このシリンダ本体１１の外部に突出するピストンロッド１２が摺動自在に装着されており、シリンダ本体１１の上端面に形成される２つの給排ポート１３，１４のそれぞれに圧縮空気を供給制御することにより、ピストンロッド１２が往復動される。
【００２０】
図２（ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）におけるＢ−Ｂ線に沿う断面図であり、図２（ｃ）は図２（ａ）におけるＣ−Ｃ線に沿う断面図である。図２（ａ）に示すように、シリンダチューブ１１ａ，１１ｂの内部には、それぞれ長手方向に向けて空気軸受収容孔１５，１６が形成されており、これらのシリンダチューブ１１ａ，１１ｂをねじ部材１７により締結することによりシリンダ本体１１が組み立てられる。
【００２１】
シリンダチューブ１１ａの空気軸受収容孔１５には、多孔質材料からなる空気軸受１８が装着され、この空気軸受１８にはピストン案内孔１９とピストンロッド案内孔２０とが同軸上に形成されており、ピストン２１がピストン案内孔１９に摺動自在に収容され、端面に雌ねじ部１２ａを有するピストンロッド１２がピストンロッド案内孔２０に摺動自在に収容されている。ピストン２１の一端面にピストンロッド１２は固定され一体となって摺動する。
【００２２】
同様に、シリンダチューブ１１ｂの空気軸受収容孔１６には、多孔質材料からなる空気軸受２２が装着され、この空気軸受２２には回り止め部案内孔２３がピストン案内孔１９と同軸上に形成されている。ピストン２１の他端部には回り止め部２４が同軸上に設けられており、この回り止め部２４が回り止め部案内孔２３に摺動自在に装着されている。これにより、ピストン２１およびピストンロッド１２は、軸部材２５として一体となって摺動する。なお、軸部材２５を構成するピストン２１とピストンロッド１２は、締結部材等の固定手段、嵌合または接着により固定しても良いし、一体に成形しても良い。
【００２３】
図２（ａ）に示すように、シリンダ本体１１の上端面には、空気軸受１８，２２に圧縮空気を供給するため軸受ポート２６が形成されており、シリンダ本体１１の下端面には、軸受ポート２６から空気軸受１８に供給された圧縮空気を空気軸受２２にも供給するため連通孔２７が形成されている。シリンダ本体１１の上端面には、空気軸受１８を透過した圧縮空気を排出するため、空気軸受収容孔１５に連通して集塵ポート２８が形成されている。
【００２４】
また、ピストン２１の一端面側にはシリンダチューブ１１ａにより後退空気圧室２９が形成され、回り止め部２４の開放端側のシリンダチューブ１１ｂには前進空気圧室３０が形成されており、後退空気圧室２９には、シリンダチューブ１１ａの上端面に形成された給排ポート１３が連通し、前進空気圧室３０には、シリンダチューブ１１ｂの上端面に形成された給排ポート１４が連通している。さらに、図示しない圧縮空気供給装置が給排ポート１３，１４に接続される。
【００２５】
この圧縮空気供給装置を作動させ、給排ポート１３より圧縮空気を案内して給排ポート１４より圧縮空気を排出すると、ピストン２１は後退空気圧室２９の圧縮空気に押圧され後退限位置に摺動する。これに対し、給排ポート１４より圧縮空気を案内して給排ポート１３より圧縮空気を排出すると、ピストン２１は前進空気圧室３０の圧縮空気に押圧され前進限位置に摺動してピストンロッド１２をシリンダ本体１１の外部に突出させる。なお、図２（ａ）に示す状態は、ピストン２１が後退限位置に作動した状態を示している。
【００２６】
また、圧縮空気供給装置は軸受ポート２６にも接続され、圧縮空気を供給すると、空気軸受１８とピストン２１およびピストンロッド１２との間に空気層が形成され、同様に空気軸受２２と回り止め部２４との間にも空気層が形成されるので、摺動抵抗を減少することができる。この圧縮空気は集塵ポート２８より排出されるとともに、給排ポート１３，１４の排気側より排出される。なお、集塵ポート２８には真空供給装置が装着され、真空供給装置を作動すると空気層の形成を促進させるとともに、軸受から漏れた空気を吸引することによって、ピストンロッド１２とシリンダ本体１１との間からの外部への発塵を防いでいる。
【００２７】
図２（ｂ）に示すように、この実施の形態では、断面形状が四角形の空気軸受収容孔１６に、断面形状が四角形の回り止め部案内孔２３を有する空気軸受２２が装着され、この回り止め部案内孔２３に、四隅が円弧状に切り欠かれた四辺形の断面形状を有する回り止め部２４が摺動自在に装着されている。これにより、外部からピストンロッド１２を回転させようとする回転力が加わった場合でも、回り止め部２４の外周面と接触している回り止め部案内孔２３の内周面が回り止め部２４の回転を阻止するので、ピストン２１、ピストンロッド１２および回り止め部２４が一体となる軸部材２５は、回転することなく軸方向に摺動できる。
【００２８】
上述した流体圧シリンダ１０を半導体チップなどの電子部品を吸着して部品収容部から実装基板やテストボードに搭載する搬送装置に使用する場合には、電子部品を吸着する吸着具（図示しない）がピストンロッド１２の端面に形成される雌ねじ部１２ａに取り付けられる。そして、流体圧シリンダ１０は、ピストンロッド１２が上下方向を向くように搬送装置（図示しない）に取り付けられる。このとき、シリンダ本体１１の側端面に形成されるねじ孔１１ｃを用いて搬送装置に直接流体圧シリンダ１０を取り付けることができる。
【００２９】
このように搬送装置に取り付けられた流体圧シリンダ１０は、部品収容部においてピストンロッド１２を下降移動させて電子部品を吸着する。次いで、ピストンロッド１２を上昇移動させた後に、流体圧シリンダ１０を搬送装置により水平移動させて実装基板の位置まで移動させる。電子部品が実装基板上の所定の位置まで搬送された状態のもとで、ピストンロッド１２を下降移動させて電子部品を実装基板に搭載する。このとき、ピストンロッド１２は回転しないので、電子部品を実装基板上の所定の位置および所定の向きに確実に搭載させることができる。
【００３０】
また、図２（ｂ）に示すように、回り止め部２４と空気軸受２２との間に隙間３１が設けられているので、給排ポート１４より供給された圧縮空気は直接ピストン２１に伝達され、より大きな押圧力をピストン２１に加えることができ、低い流体圧でも確実に軸部材２５の往復動を行うことができる。このように、本発明の流体圧シリンダ１０は、回り止め部２４の全周をシールする場合に比して高い加工精度が要求されないため、製造が容易になり、製造コストを低減することができる。
【００３１】
図３（ａ）〜（ｆ）はそれぞれ本発明の他の実施の形態である流体圧シリンダを示す断面図であり、それぞれ図２（ａ）におけるＢ−Ｂ線に沿う部分と同様な部分が示されている。図３において、図２に示された構成部分と同一の構成部分には同一の参照符号を付してある。
【００３２】
図３（ａ）および（ｂ）に示した実施の形態では、断面円形の空気軸受収容孔１６に、断面形状が四角形の回り止め部案内孔２３を有する空気軸受２２が装着され、回り止め部案内孔２３には、四隅が切り欠かれたほぼ四辺形の断面形状を有する回り止め部２４が摺動自在に装着されている。
【００３３】
図３（ｃ）に示した実施の形態では、断面形状が四角形の空気軸受収容孔１６に、四隅が切り欠かれたほぼ四辺形の断面形状の回り止め部案内孔２３を有する空気軸受２２が装着され、この空気軸受２２の回り止め部案内孔２３に、断面形状がほぼ八角形の回り止め部２４が摺動自在に装着されている。
【００３４】
図３（ｄ）に示した実施の形態では、断面円形の空気軸受収容孔１６に、断面形状が四角形の回り止め案内孔２３を有する空気軸受２２が装着され、この空気軸受２２の回り止め部案内孔２３に、各辺に凹部が形成された四辺形の断面形状を有する回り止め部２４が摺動自在に装着されており、この凹部により回り止め部２４と空気軸受２２との間の隙間３１が形成されることになる。
【００３５】
図３（ｅ）に示した実施の形態では、断面形状が長方形の空気軸受収容孔１６に、断面形状が長方形の空気軸受２２が装着され、この空気軸受２２の回り止め部案内孔２３に、四隅が切り欠かれた長方形の断面形状を有する回り止め部２４が摺動自在に装着されている。
【００３６】
図３（ｆ）に示した実施の形態では、断面形状が楕円形の空気軸受収容孔１６に、断面形状が長方形の回り止め案内孔２３を有する空気軸受２２が装着され、この空気軸受２２の回り止め部案内孔２３に、回り止め部案内孔２３より長手方向の寸法が短い四辺形の断面形状を有する回り止め部２４が摺動自在に装着されている。
【００３７】
図４は本発明の他の実施の形態である流体圧シリンダ３２を示す断面図である。
【００３８】
このシリンダ本体３３はシリンダチューブ３３ａ，３３ｂにより構成されている。シリンダチューブ３３ａの空気軸受収容孔３４には、多孔質材料からなる空気軸受３５が装着され、この空気軸受３５にはピストン案内孔３６とピストンロッド案内孔３７とが同軸上に形成されており、ピストン３８がピストン案内孔３６に摺動自在に収容され、端面に雌ねじ部３９ａを有するピストンロッド３９がピストンロッド案内孔３７に摺動自在に収容されている。
【００３９】
シリンダチューブ３３ｂの一端部には空気軸受収容孔４０が形成されており、この空気軸受収容孔４０には多孔質材料からなる空気軸受４１が装着され、空気軸受４１には回り止め部案内孔４２がピストン案内孔３６と同軸上に形成されている。ピストン３８の他端部には回り止め部４３が同軸上に設けられており、この回り止め部４３が回り止め部案内孔４２に摺動自在に装着されている。ピストン３８の一端面側にはピストンロッド３９が設けられ、他端面側には回り止め部４３が設けられており、これらは軸部材４４として一体となって摺動する。
【００４０】
シリンダチューブ３３ｂの他端側は端板４５によって封止されており、端板４５は、一面側に回り止め部４３との衝突の際の衝撃を吸収するためのダンパ４６が備えられており、他面側に設けられたスナップリング４７によってシリンダチューブ３３ｂに固定されている。
【００４１】
シリンダチューブ３３ａの上端面には、空気軸受３５に圧縮空気を供給するため軸受ポート４８と、空気軸受３５を透過した圧縮空気を排出するための空気軸受収容孔３４に連通する排気ポート４９とが形成され、シリンダチューブ３３ａの下端面には、空気軸受３５の複数箇所に連通する連通孔５０が軸受ポート４８に連通して形成されている。また、シリンダチューブ３３ｂの上端面には、空気軸受４１に圧縮空気を供給するため軸受ポート５１が形成されている。
【００４２】
また、シリンダチューブ３３ａ内部のピストン３８の一端面側には後退空気圧室５２が形成され、シリンダチューブ１１ｂ内部の回り止め部４３の端部側には前進空気圧室５３が形成されている。後退空気圧室５２には、シリンダチューブ３３ａの上端面に形成された給排ポート１４ａが連通し、前進空気圧室５３には、シリンダチューブ３３ｂの上端面に形成された給排ポート１４ｂが連通しており、給排ポート１４ａ，１４ｂには、図示しない圧縮空気供給装置が接続されることになる。
【００４３】
この圧縮空気供給装置を作動させ、給排ポート１４ａより圧縮空気を案内して給排ポート１４ｂより圧縮空気を排出すると、ピストン３８は後退空気圧室５２の圧縮空気に押圧され後退限位置に摺動する。これに対し、給排ポート１４ｂより圧縮空気を案内して給排ポート１４ａより圧縮空気を排出すると、ピストン３８は前進空気圧室５３の圧縮空気に押圧され前進限位置に摺動してピストンロッド３９をシリンダ本体３３外に突出させる。なお、図４には、ピストン３８が後退限位置に作動した状態を示している。
【００４４】
また、圧縮空気供給装置は軸受ポート４８，５１にも接続されるようになっており、それぞれの軸受ポート４８，５１に圧縮空気を供給すると、空気軸受３５、４１とピストン３８およびピストンロッド３９との間に空気層が形成され、同様に空気軸受４１と回り止め部４３との間にも空気層が形成されるので、摺動抵抗を減少することができる。この圧縮空気は、排気ポート４９より排出されるとともに、給排ポート１４ａ，１４ｂの排気側より排出される。
【００４５】
排気ポート４９には図示しない真空供給装置を装着することができ、真空供給装置を作動すると空気層の形成を促進させるとともに、軸受から漏れた空気を吸引することによって、ピストンロッド１２とシリンダ本体１１との間から外部への発塵をも防いでいる。排気ポート４９と雌ねじ部３９ａとを連通させる吸着用真空ポート４９ａがピストンロッド３９の途中に形成されている。
【００４６】
この実施の形態では、空気軸受収容孔４０の断面形状は円形であり、空気軸受４１の回り止め部案内孔４２は、断面形状がほぼ円形である。回り止め部案内孔４２に装着される回り止め部４３は、その断面形状は非円形であり、回り止め部案内孔４２との間に円弧状の隙間が複数形成されている。
【００４７】
図５は本発明の他の実施の形態である流体圧シリンダ５４を示す断面図である。
【００４８】
シリンダ本体５５はシリンダチューブ５５ａ，５５ｂとにより構成されており、シリンダチューブ５５ａ，５５ｂの外側に突出するピストンロッド５６，５７が摺動自在に装着されており、シリンダ本体５５の上端面に形成される２つの給排ポート５８，５９のそれぞれに圧縮空気を供給制御することにより、ピストンロッド５６，５７は往復動することになる。
【００４９】
シリンダチューブ５５ａ，５５ｂの内部には、それぞれ長手方向に向けて空気軸受収容孔６０，６１が形成されており、これらシリンダチューブ５５ａ，５５ｂが嵌合または接着等の結合手段を用いて結合されることによって、シリンダ本体５５は形成されている。
【００５０】
シリンダチューブ５５ａの空気軸受収容孔６０には、多孔質材料からなる空気軸受６２が装着され、この空気軸受６２の内方にはピストン案内孔６３とピストンロッド案内孔６４とが同軸上に形成されており、ピストン６５の一端側がピストン案内孔６３に摺動自在に収容され、端面に雌ねじ部５６ａを有するピストンロッド５６がピストンロッド案内孔６４に摺動自在に収容されている。
【００５１】
シリンダチューブ５５ｂの空気軸受収容孔６１には、多孔質材料からなる空気軸受６６が装着され、この空気軸受６６にはピストンロッド案内孔６７がピストンロッド案内孔６４と同軸上に形成されており、端面に雌ねじ部５７ａを有するピストンロッド５７がピストンロッド案内孔６７に摺動自在に収容されている。ピストン６５の一端面側にはピストンロッド５６が設けられ、他端面側にはピストンロッド５７が設けられており、これらは軸部材６８として一体となって摺動する。
【００５２】
シリンダチューブ５５ａ，５５ｂの上端面には、それぞれ空気軸受６２，６６に圧縮空気を供給するため軸受ポート６９，７０が形成されており、シリンダ本体５５の下端面には、空気軸受６２の複数箇所に連通する連通孔７１が形成されている。ピストン６５の一端面側にはシリンダチューブ５５ａにより後退空気圧室７２が形成され、ピストン６５の他端面側にはシリンダチューブ５５ａおよびシリンダチューブ５５ｂにより前進空気圧室７３が形成されている。この後退空気圧室７２と前進空気圧室７３とのそれぞれには、シリンダ本体５５の上端面に形成された給排ポート５８，５９がそれぞれ連通しており、給排ポート５８，５９には図示しない圧縮空気供給装置が接続されることになる。
【００５３】
この圧縮空気供給装置を作動させ、給排ポート５８より圧縮空気を案内して給排ポート５９より圧縮空気を排出すると、ピストン６５は後退空気圧室７２の圧縮空気に押圧され後退限位置に摺動し、ピストンロッド５６をシリンダ本体５５内に収容するとともにピストンロッド５７をシリンダ本体５５外に突出させる。
【００５４】
これに対し、給排ポート５９より圧縮空気を案内して給排ポート５８より圧縮空気を排出すると、ピストン６５は前進空気圧室７３の圧縮空気に押圧され前進限位置に摺動し、ピストンロッド５７をシリンダ本体５５内に収容するとともにピストンロッド５６をシリンダ本体５５外に突出させる。この圧縮空気は、給排ポート５８，５９の排気側より排出される。
【００５５】
この実施の形態では、ピストンロッド５７に回り止め部が形成されている。図示はしないが、ピストンロッド５７の断面形状およびピストンロッド案内孔６７の開口形状としては、楕円形、矩形など様々な非円形の形状とすることができる。
【００５６】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【００５７】
たとえば、図示する流体圧シリンダはそれぞれ複動形であるが、単動形としても良い。また、空気軸受に用いられる多孔質材料としては、焼結銅や焼結アルミニウムなどの焼結金属、焼結フッ素樹脂などの焼結樹脂、焼結カーボン、および母金属相中に金属やセラミックスの粒子やむ繊維を加えて焼結することにより固体化した焼結複合材料などを使用することができる。
【００５８】
【発明の効果】
本発明の流体圧シリンダによれば、外部からピストンロッドを回転させようとする回転力が加わった場合でも、回り止め部の外周面と接触している回り止め部案内孔の内周面が回り止め部の回転を阻止するので、ピストン、ピストンロッドおよび回り止め部が一体となる軸部材は、回転することなく軸方向に摺動できる。これにより、流体圧シリンダを、半導体チップなどの電子部品を吸着して部品収容部から実装基板やテストボードに搭載する搬送装置に使用する場合、電子部品を実装基板上の所定の位置および所定の向きに確実に搭載させることができる。
【００５９】
また、回り止め部と空気軸受との間に隙間が設けられているので、給排ポートより供給された圧縮空気は直接ピストンに伝達され、より大きな押圧がピストンに加えられ、小さな流体圧でも確実に往復動を行うことができる。このように、本発明の流体圧シリンダによれば、回り止め部の全周をシールする場合ほど高い加工精度が要求されないため、製造が容易になる。また、製造コストを低減することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である流体圧シリンダを示す斜視図である。
【図２】（ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図であり、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図３】（ａ）〜（ｆ）はそれぞれ本発明の他の実施の形態である流体圧シリンダを示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態である流体圧シリンダを示す断面図である。
【図５】本発明の他の実施の形態である流体圧シリンダを示す断面図である。
【符号の説明】
１０　　　流体圧シリンダ
１１　　　シリンダ本体
１１ａ，１１ｂ　　シリンダチューブ
１２　　　ピストンロッド
１２ａ　　雌ねじ部
１３，１４　　　給排ポート
１５，１６　　　空気軸受収容孔
１７　　　ねじ部材
１８，２２　　　空気軸受
１９　　　ピストン案内孔（案内孔）
２０　　　ピストンロッド案内孔
２１　　　ピストン
２３　　　回り止め部案内孔（案内孔）
２４　　　回り止め部
２５　　　軸部材
２６　　　軸受ポート
２７　　　連通孔
２８　　　集塵ポート
２９　　　後退空気圧室
３０　　　前進空気圧室
３１　　　隙間
３２　　　流体圧シリンダ
３３　　　シリンダ本体
３３ａ，３３ｂ　　シリンダチューブ
３４，４０　　　空気軸受収容孔
３５，４１　　　空気軸受
３６　　　ピストン案内孔（案内孔）
３７　　　ピストンロッド案内孔（案内孔）
３８　　　ピストン
３９　　　ピストンロッド
３９ａ　　雌ねじ部
４２　　　回り止め部案内孔（案内孔）
４３　　　回り止め部
４４　　　軸部材
４５　　　端板
４６　　　ダンパ
４７　　　スナップリング
４８　　　軸受ポート
４９　　　排気ポート
５０　　　連通孔
５１　　　軸受ポート
５２　　　後退空気圧室
５３　　　前進空気圧室
５４　　　流体圧シリンダ
５５　　　シリンダ本体
５５ａ，５５ｂ　　シリンダチューブ
５６，５７　　　ピストンロッド
５６ａ，５６ｂ　　雌ねじ部
５８，５９　　　給排ポート
６０，６１　　　空気軸受収容孔
６２，６６　　　空気軸受
６３　　　ピストン案内孔（案内孔）
６４，６７　　　ピストンロッド案内孔（案内孔）
６５　　　ピストン
６８　　　軸部材
６９，７０　　　軸受ポート
７１　　　連通孔
７２　　　後退空気圧室
７３　　　前進空気圧室
【図１】
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【図２】
2004144112.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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