(57)【要約】【課題】マイクロプロセッサ等を含むシステム内の低いインピーダンスを測定する。【解決手段】マイクロプロセッサ(14)を有するシステム内のインピーダンスを測定する方法(56)は、マイクロプロセッサ(14)をリセットモードに保持し、マイクロプロセッサに周波数FCLKのクロックを供給して、第１の電流レベルを測定するステップ(57,58)と、周波数FCLK/Nのクロックを供給して、第２の電流レベルを測定するステップ(59,60)と、マイクロプロセッサをリセットモードに保持し、クロック周波数をFCLKとFCLK/Nの間でトグルし、周期的電流波形を生成している間に、システム内の複数のポートにおける電圧を複数回測定して、複数組の電圧測定値を得るステップ(61,62,63)とを含む。複数組の電圧測定値は平均される。【選択図】図4
2004144747.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　マイクロプロセッサ（１４）を備えたシステムにおけるインピーダンス測定方法（５６）であって、
　前記マイクロプロセッサ（１４）をリセット・モードに保持し、前記マイクロプロセッサに対してクロックを周波数ＦＣＬＫで供給している間に、第１の電流レベルを測定し（５７、５８）、及び、前記クロックを周波数ＦＣＬＫ／Ｎで供給している間に、第２の電流レベルを測定するステップ（５９、６０）と、
　前記マイクロプロセッサをリセット・モードに保持して、ＦＣＬＫとＦＣＬＫ／Ｎの間でクロック周波数をトグルしている間に、周期的電流波形を発生して、複数回にわたって、前記システムの少なくとも１つのポートにおける電圧を測定して、少なくとも１組の電圧測定値を取得し、前記複数組をなす電圧測定値を平均するステップ（６１、６２、６３）と、
　ＦＣＬＫを変化させ、平均電圧測定値のフーリエ成分を求めて、クロック周波数依存ノイズを求め、前記クロック周波数依存ノイズを除去して、フィルタリングを施された平均電圧を発生するステップ（６４）と、
　前記フィルタリングを施された平均電圧のフーリエ成分を、交番する第１と第２の電流レベルを有する前記周期的電流波形のフーリエ成分で割ることによって、インピーダンスを求めるステップ（６５）
を含む、方法。
【請求項２】
　前記第１と第２の電流レベルを測定する前記ステップが、前記システムの電圧調整器（２５）のセンス抵抗器（２４）におけるそれぞれの電圧降下を測定するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
　少なくとも１つのポートにおける電圧を測定する前記ステップが、前記マイクロプロセッサの半導体ダイ（１４）、前記マイクロプロセッサのパッケージング（１２）、及び、前記システムのプリント回路基板（１０）に配置された電源及び接地パッド（２８〜３２）における電圧を測定するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
　インピーダンスを求める前記ステップが、下記式を利用して前記インピーダンスを求めるステップを含み、
【数４】
2004144747.tif 000006
ここで、Ｆｆ（ｇ（ｔ））が、周波数ｆにおける関数ｇ（ｔ）のフーリエ成分であり、Ｖが電圧であり、Ｉが電流であり、ｔが時間である、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
　周期的電流波形を発生する前記ステップが、階段状波形を発生するステップ（６１）を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
　周期的電流波形を発生する前記ステップが、台形波形を発生するステップ（６１）を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
　マイクロプロセッサを備えたシステムにおけるインピーダンスを求める方法（５６）であって、
　前記マイクロプロセッサをリセット・モードに保持して、前記マイクロプロセッサにおいて階段状波形を発生させ、前記マイクロプロセッサに周波数ＦＣＬＫ及びＦＣＬＫ／Ｎのクロックを供給すると共に、周波数ＦＣＬＫ及びＦＣＬＫ／Ｎにおけるそれぞれの第１及び第２の電流レベルを測定するステップ（５７、５８、５９、６０）と、
　前記マイクロプロセッサをリセット・モードに保持して、ＦＣＬＫとＦＣＬＫ／Ｎの間でクロック周波数をトグルしている間に、前記システムの複数のポート（２８〜３２）における電圧を測定して、複数の組をなす電圧測定値を求め、次に、前記複数組をなす電圧測定値を平均するステップ（６１、６２、６３）と、
　ＦＣＬＫを変化させて、クロック周波数依存ノイズを求め、前記クロック周波数依存ノイズを除去して、フィルタリングを施された平均電圧を発生するステップ（６４）と、
　前記フィルタリングを施された平均電圧のフーリエ成分を、交番する第１と第２の電流レベルを有する階段状波形のフーリエ成分で割ることによって、周波数の関数としてインピーダンスを求めるステップ（６５）
を含む、方法。
【請求項８】
　複数のポートにおける電圧を測定する前記ステップが、前記マイクロプロセッサの半導体ダイ（１４）、前記マイクロプロセッサのパッケージング（１２）、及び、前記システムのプリント回路基板（１０）に配置された電源及び接地パッド（２８〜３２）における電圧を測定するステップを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
　インピーダンスを求める前記ステップが、下記式を利用して前記インピーダンスを求めるステップを含み、
【数５】
2004144747.tif 000007
ここで、Ｆｆ（ｇ（ｔ））が、周波数ｆにおける関数ｇ（ｔ）のフーリエ成分であり、Ｖが電圧であり、Ｉが電流であり、ｔが時間である、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
　階段状波形を発生する前記ステップが、台形波形を発生するステップを含む、請求項７に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、一般に、電子回路の分野に関し、とりわけ、低インピーダンスの測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
　マイクロプロセッサ・チップ、プリント回路基板、及び、電子パッケージング（電子パッケージ）といったコンピュータ・システム及び電子回路の開発におけるいくつかの要素が、これらのシステムの配電回路網（電力分配回路網）において、広い帯域幅にわたって低インピーダンスが必要とされる原因をなしている。電源レベルを低くし、信号遷移時間を短縮し、ダイ・サイズを縮小するためには、さらに、電源電流及びクロック速度を着実に増すためには、配電回路網のインピーダンス・レベルが極めて低いことが必要になる。コンピュータ・システムにとって典型的な目標インピーダンスは、２年毎に、１／５に低下している。ノイズの発生、電磁放射、及び、干渉を最小限に抑えるためには、ミリオーム及びサブミリオームの範囲の低インピーダンスが望ましい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
　高速信号の信号の完全性を検証するための技法は、広く利用可能であるが、高周波数において、ミリオーム及びサブミリオームの範囲の極めて低いインピーダンスを正確に測定する必要性は、依然として満たされていない。配電回路網のインピーダンス測定には、時間領域の反射計器（または時間領域反射率測定器）が利用されてきた。しかし、時間領域の反射測定（または反射率測定）は、この方法に用いられるオシロスコープのノイズ及び非線形性のため、ミリオーム範囲のインピーダンス測定には適さない。ＲＬＣ（抵抗、インダクタンス、及び、キャパシタンス）計では、数百メガヘルツの周波数におけるサブオームのインピーダンスを測定することはできない。回路パラメータの測定には、ベクトル・ネットワーク・アナライザも利用されているが、アクセスできるのは、半導体チップの外部ポイントだけであり、内部インピーダンスを測定することは不可能である。さらに、ベクトル・ネットワーク・アナライザは、システムに電流を供給し、それを強制的に送り込むことによってインピーダンスを測定するが、回路に電流を均一に通して、満足のいく測定を実現することはできない。これら従来の技法に共通した欠点には、システムの稼動中に、ダイ上のインピーダンス測定値を得ることができないという点も含まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
　本発明の１実施態様による、マイクロプロセッサを備えたシステムにおけるインピーダンスの測定方法には、マイクロプロセッサをリセット・モードに保持し、周波数ＦＣＬＫでマイクロプロセッサにクロックを供給すると共に、第１の電流レベルを測定するステップと、周波数ＦＣＬＫ／Ｎでクロックを供給し、第２の電流レベルを測定するステップが含まれる。マイクロプロセッサをリセット・モードに保持し、ＦＣＬＫとＦＣＬＫ／Ｎの間でクロック周波数をトグルして、周期的電流波形を発生させると共に、複数回数にわたって、システムの少なくとも１つのポートにおける電圧を測定して、複数の組をなす電圧測定値を求める。複数の組をなす電圧測定値は平均される。この方法には、さらに、ＦＣＬＫを変化させて、平均した電圧測定値のフーリエ成分を求め、クロック周波数依存ノイズを求めるステップと、クロック周波数依存ノイズを除去して、フィルタリングを施された平均電圧を発生するステップと、フィルタリングを施された平均電圧のフーリエ成分を、交番する第１と第２の電流レベルを有する周期的電流波形のフーリエ成分で割ることによって、インピーダンスを求めるステップが含まれる。
【０００５】
　本発明のもう１つの実施態様によれば、マイクロプロセッサを備えるシステムにおいてインピーダンスを求める方法には、マイクロプロセッサをリセット・モードに保持して、マイクロプロセッサにおいて階段状波形（ステップ波形）を発生するステップと、まず、周波数ＦＣＬＫでマイクロプロセッサにクロックを供給して、第１の電流レベルを測定するステップと、ＦＣＬＫ／Ｎの周波数でクロックを供給して、第２の電流レベルを測定するステップが含まれる。この方法には、さらに、マイクロプロセッサをリセット・モードに保持するステップと、ＦＣＬＫとＦＣＬＫ／Ｎの間でクロック周波数をトグルして、システムの複数のポートにおける電圧を測定し、複数の組をなす電圧測定値を取得するステップと、複数の組をなす電圧測定値を平均するステップが含まれる。この方法には、ＦＣＬＫを変化させて、クロック周波数依存ノイズを求めるステップと、クロック周波数依存ノイズを除去して、フィルタリングを施された平均電圧を発生するステップと、フィルタリングを施された平均電圧のフーリエ成分を、交番する第１と第２の電流レベルを有する周期的電流波形のフーリエ成分で割ることによって、周波数の関数としてインピーダンスを求めるステップが含まれる。
【０００６】
　本発明のさらにもう１つの実施態様によるシステムには、周波数ＦＣＬＫでマイクロプロセッサにクロックを供給すると共に（またはその間に）、マイクロプロセッサをリセット・モードに保持して、第１の電流レベルを測定し、周波数ＦＣＬＫ／Ｎでクロックを供給すると共に、第２の電流レベルを測定するための手段と、マイクロプロセッサをリセット・モードに保持して、ＦＣＬＫとＦＣＬＫ／Ｎの間でクロック周波数をトグルすると共に（またはその間に）、周期的電流波形を発生して、複数回にわたりシステムの少なくとも１つのポートにおける電圧を測定して、少なくとも１組の電圧測定値を得るための手段と、複数の組をなす電圧測定値を平均するための手段が含まれる。このシステムには、さらに、ＦＣＬＫを変化させ、平均した電圧測定値のフーリエ成分を求めて、クロック周波数依存ノイズを求め、クロック周波数依存ノイズを除去して、フィルタリングを施された平均電圧を発生するための手段と、フィルタリングを施された平均電圧のフーリエ成分を、交番する第１と第２の電流レベルを有する周期的電流波形のフーリエ成分で割ることによって、インピーダンスを求めるための手段が含まれる。
【発明の効果】
【０００７】
　本発明によれば、マイクロプロセッサ等を含むシステム等における低いインピーダンスの測定が可能になる。
【実施例】
【０００８】
　本発明の望ましい実施態様及びその利点については、図面の図１〜６を参照することによって最も良く理解される。それぞれの図面の同様の及び対応する部分には、同じ番号を付している。本発明と、本発明の目的及び利点をより完全に理解できるよう、添付図面を参照しつつ説明を行う。
【０００９】
　図１は、本発明の教示による低インピーダンス測定システムの実施態様の１つを例示する略ブロック図である。例示を目的として、図１には、コンピュータ処理装置（ＣＰＵ）のプリント回路基板１０、プリント回路基板上１０に配置された半導体チップ・パッケージ１２、及び、パッケージ１２内の半導体ダイ１４に対する、本発明のシステム及び方法の適用が示されている。下記によって表わされるオームの法則を用いて、インピーダンス（Ｚ）が周波数の関数として求められる。
【００１０】
【数１】
2004144747.tif 000003
ここで、Ｆｆ（ｇ（ｔ））は、周波数ｆにおける関数ｇ（ｔ）のフーリエ成分であり、Ｖは電圧であり、Ｉは電流であり、ｔは時間である。時間の関数としての電圧は、正確に測定することが可能であるが、同時に、電流の変動を測定するのは極めて困難である。本発明の実施態様では、対象とする周波数範囲内において、制御可能で、既知の特性を有する電流を発生させることによってこのタスクを実現する。発生された電流は、測定結果への追加ノイズの導入を回避するために、波形が単純である。
【００１１】
　マイクロプロセッサの動作中に周期的電流を発生させる働きをする３つのコンピュータ・アルゴリズムが、インピーダンス測定中における使用に備えて提供される。電流は、階段状波形（ステップ波形）または台形波形といった単純な波形を有している。コンピュータ・アルゴリズムは、それぞれ、一連のコンピュータ命令を含んでいる。第１のアルゴリズムは、大電力を発生するための、４つの整数加算アセンブリ言語命令といった、所定の数のコンピュータ命令を含むＨＯＴコードである。整数減算、及び、ＡＮＤ、ＯＲ、ＮＯＲ、ＸＯＲ等の論理演算といった、他のコンピュータ命令を利用することも可能である。第２のアルゴリズムは、小電力を発生するための、４つの整数無演算アセンブリ言語命令といった、所定の数のコンピュータ演算を含むＣＯＬＤコードである。ＨＯＴ及びＣＯＬＤコードは、実行されると、２つの異なる一定電流レベルを生じるが、この場合、ＨＯＴコードは、ＣＯＬＤコードよりも多量の電流を発生する。ＨＯＴ及びＣＯＬＤコードを交互に連続して組み合わせることによって、ＴＨＲＯＢコードが生成される。ＨＯＴとＣＯＬＤの間の遷移幅によって、測定インピーダンスの高周波数境界が決まる。ＨＯＴ及びＣＯＬＤコードは、命令の取り出しによって導入される失速を回避するために、即時実行に備えて、マイクロプロセッサの命令キャッシュに常駐するのが望ましい。さらに、低周波数境界を低下させるために、十分に長いＨＯＴの期間、及び、その後の十分に長い交番するＣＯＬＤ期間が持続するのが望ましい。これは、コードにループを導入することによって実現可能である。
【００１２】
　本発明の教示による低インピーダンス測定プロセスの１実施態様２０のフローチャートに関する図２を参照すると、図２のブロック２２に示すように、ＨＯＴコードを実行して、安定な電力レベルを生成することにより、Ｉｄｄ（ＨＯＴ）の測定が可能になり、ＣＯＬＤコードを実行して、安定な最低電力レベルを生成することにより、Ｉｄｄ（ＣＯＬＤ）の測定が可能になる。Ｉｄｄ（ＨＯＴ）及びＩｄｄ（ＣＯＬＤ）は、プリント回路基板１０上に配置された電圧調整モジュール（ＶＲＭ）２５のセンス抵抗器２４に結合された電圧計２３を用いて、抵抗器２４両端における電圧降下を測定することによって求めることが可能である。次に、ブロック２６及び２７では、所定の長さのＨＯＴ及びＣＯＬＤ期間を交番させるＴＨＲＯＢコードが実行され、半導体ダイ１４、チップ・パッケージング（チップ・パッケージ）１２、及び、プリント回路基板１０に配置されたＶｄｄ及びＶｓｓ（電源及び接地）パッド２８〜３２間で、複数の電圧測定値Ｖ１（ｔ）、Ｖ２（ｔ）、．．．、Ｖｎ（ｔ）が得られる。Ｖ１（ｔ）、Ｖ２（ｔ）、．．．、Ｖｎ（ｔ）は、以下では、ポート１〜ポートｎにおける測定電圧降下とも呼ばれる。ポート１における電圧Ｖ１（ｔ）は、オンチップ電圧降下の測定値であり、特にＶｄｄ−Ｖｓｓ検知のためにチップ上に設けられた専用テスト・パッドを用いて測定される。これらのテスト・パッドは、高インピーダンスの能動差動プローブ３４のような計測器に接続する働きをする。電圧測定は、例えば、差動プローブ３４に結合されたオシロスコープ３６を用いて実施される。
【００１３】
　図５を簡単に参照すると、Ｖ１（ｔ）に関する典型的な波形３７が示されている。望ましい実施態様の場合、ＴＨＲＯＢコードにより、図５に示すように、５０％のデューティ・サイクル及び約２０マイクロ秒（μｓ）の周期で、ＨＯＴ及びＣＯＬＤ波形３８が得られる。ブロック４０に示すように、オシロスコープ３６によって提供される長期平均数学関数を用いて、多数の測定値を平均することによって、ランダム・ノイズが低減する。図５には、２５，０００回に及ぶオシロスコープによる掃引を平均した結果である、典型的な平均電圧波形４２が示されている。ランダム・ノイズは、一般に、システムの動作環境内にある発生源から生じ、通常、不定で、非周期的である。
【００１４】
　図２に戻ると、ブロック４４では、ブロック２２〜４０に示すように、異なるクロック周波数で、ＨＯＴ、ＣＯＬＤ、及び、ＴＨＲＯＢコードを連続して実行して、それらのクロック周波数における電流及び電圧が測定される。高速フーリエ変換（ＦＦＴ）を用いて、測定電圧波形のフーリエ成分を求めることによって、クロック周波数の変化に応じて変動する周期的ノイズを分離することが可能である。次に、このクロック依存ノイズ（クロック周波数依存ノイズ）は、ブロック４６に示すように、平均された電圧測定値からフィルタリングにより除去される。波形内の小さな周期的スパイクは、コードにおけるループ分岐によって生じる。図５には、フィルタリングを施された典型的な平均電圧波形４８が示されている。図２のブロック５０では、インピーダンスＺ１ｉ（ここで、ｉ＝１〜ｎ）が、下記によって求められる。
【００１５】
【数２】
2004144747.tif 000004
　ここで、Ｆｆは、電圧または電流のフーリエ成分であり、Ｚ１１は、マイクロプロセッサの電源（供給）ループのインピーダンスであり、Ｚ１２は、ポート１に関する電流の予測中における、電子パッケージのポート２に関する伝達インピーダンスであり、Ｚ１３は、ポート１に関する電流の予測中における、電子パッケージのポート３に関する伝達インピーダンス等である。図６には、対象とする周波数範囲について、ＨＯＴ、ＣＯＬＤ、及び、ＴＨＲＯＢコードを用いて得られた典型的なインピーダンス波形５２が示されている。
【００１６】
　周期の異なる、いくつかの異なるＴＨＲＯＢコードを提供して、広い周波数範囲をカバーするのが望ましい。周期の長い階段状または台形波形によって、低周波数における測定の正確度が向上し、周期が短くなると、高周波数における正確度が向上する。
【００１７】
　図３は、本発明の教示による低インピーダンス測定システムのもう１つの実施態様を示す略ブロック図である。コンピュータ・コードＨＯＴ、ＣＯＬＤ、及び、ＴＨＲＯＢを利用して、周期的台形電流波形を発生するのではなく、マイクロプロセッサ・チップに組み込まれた「Ｎ分割」（divide-by-N）動作モードを利用して、必要な波形を発生させる。マイクロプロセッサは、それのリセット・ライン５２を低に保持することによって、リセット・モードにされる一方で、クロック周波数がＦＣＬＫまたはＦＣＬＫ／Ｎで供給される。ここで、ＦＣＬＫは、マイクロプロセッサの動作範囲によって決まり、Ｎは正の整数である。Ｎ分割動作モードは、通常、システムのパワー・アップ・シーケンス中に生じるオンチップ位相ロックループ（ＰＬＬ）・テスト・モードを用いることによって利用可能である。台形電流波形の周期は、５０％などの所定のデューティ・サイクルで波形を生じる外部パルス発生器５４を用いて制御するのが望ましい。
【００１８】
　本発明の教示による低インピーダンス測定プロセスの第２の実施態様５６のフローチャートに関する図４を参照する。ブロック５７及び５８では、システムがリセット・モードに保持され、クロック周波数がＦＣＬＫに設定されると共に、Ｉｄｄ電流が測定される。ブロック５９及び６０に示すように、システムは、再びリセット・モードに保持されるが、クロック周波数は、ＦＣＬＫ／Ｎに設定されて、再び、Ｉｄｄが測定される。ブロック６２では、システムは、再び、リセット・モードに保持され、クロック周波数は、ＦＣＬＫとＦＣＬＫ／Ｎの間でトグルされる。ブロック６３に示すように、オシロスコープ３６を用いて、半導体ダイ１４、パッケージング（パッケージ）１２、及び、プリント回路基板１０上のそれぞれのテスト・パッド２８〜３２から複数の電圧Ｖ１〜Ｖｎが測定される。ＦＣＬＫ及びＦＣＬＫ／ＮにおけるＩｄｄ電流、及び、立ち上がり及び立下り時間によって、時間の経過に応じた電流波形Ｉ（ｔ）が決まる。周期的電流波形の立ち上がり時間は、Ｎ分割モードで発生した電流に対する電圧応答のフーリエ変換によって求めることが可能であり、逆立ち上がり時間または立ち下がり時間は、フーリエ変換の最小値の周波数に対応する。
【００１９】
　次に、ブロック６４に示すように、オシロスコープ３６によって提供される長期平均数学関数（または数学的長期平均化機能）を利用して、ランダム・ノイズが低減される。ランダム・ノイズを適切にフィルタリングして除去するために、平均関数（または平均化機能）において、多数のオシロスコープ掃引が利用される。ランダム・ノイズは、一般に、システムの動作環境内にある発生源から生じ、不定で、非周期的である。
【００２０】
　その後、ブロック６５において、異なるそれぞれのクロック周波数において、電圧測定値が得られる。高速フーリエ変換（ＦＴＴ）を用いて、さまざまなクロック周波数における測定電圧波形のフーリエ成分を求めることによって、クロック周波数に応じて変動する周期的ノイズを分離することが可能になる。例えば、クロック周波数は、１メガヘルツ（ＭＨｚ）〜１ギガヘルツ（ＧＨｚ）の範囲で変化させることが可能である。クロック依存ノイズ（クロック周波数依存ノイズ）は、平均電圧波形からフィルタリングして除去される。ブロック６６では、インピーダンスＺ１ｉ（ｉ＝１〜ｎ）が、下記によって求められる。
【００２１】
【数３】
2004144747.tif 000005
ここで、Ｆｆは、電圧または電流のフーリエ成分であり、Ｚ１１は、マイクロプロセッサの電源（供給）ループのインピーダンスであり、Ｚ１２は、ポート１に関する電流の予測中における、電子パッケージのポート２に関する伝達インピーダンスであり、Ｚ１３は、ポート１に関する電流の予測中における、電子パッケージのポート３に関する伝達インピーダンス等である。図６には、対象とする周波数範囲について、周波数Ｎ分割技法を用いて得られた典型的なインピーダンス波形７０が示されている。
【００２２】
　コンピュータ・コードに対してＮ分割技法を用いる電流励起の利点には、測定結果への追加ノイズの排除が含まれる。当業者には明らかなように、マイクロプロセッサの動作中に、オペレーティング・システムまたはシステムの他のサブコンポーネントによって導入されるノイズが存在する。さらに、コンピュータ・コード自体が、電流波形の形状を歪ませる可能性のある追加ノイズを導入する。クロック、オペレーティング・システム、または、測定計器に関連したランダム・ノイズを回避するために、台形波形の鋭いエッジでトリガする、オシロスコープを利用した電圧波形の長期平均化が望ましい。
【００２３】
　マイクロプロセッサ(14)を有するシステム内のインピーダンスを測定する本発明による方法(56)は、マイクロプロセッサ(14)をリセットモードに保持し、マイクロプロセッサに周波数FCLKのクロックを供給して、第１の電流レベルを測定するステップ(57,58)と、周波数FCLK/Nのクロックを供給して、第２の電流レベルを測定するステップ(59,60)と、マイクロプロセッサをリセットモードに保持し、クロック周波数をFCLKとFCLK/Nの間でトグルし、周期的電流波形を生成している間に、システム内の複数のポートにおける電圧を複数回測定して、複数組の電圧測定値を得るステップ(61,62,63)とを含む。複数組の電圧測定値は平均される。この方法はさらに、FCLKを変化させ、平均した電圧測定値のフーリエ成分を求めて、クロック周波数依存ノイズを求めるステップと、クロック周波数依存ノイズを除去して、フィルタリングされた平均電圧を生成するステップ(64)と、フィルタリングされた平均電圧のフーリエ成分を、交番する第１と第２の電流レベルを有する周期的電流波形のフーリエ成分で割ることによってインピーダンスを求めるステップ(65)とを含む。
【００２４】
　本明細書で説明した本発明のさまざまな実施態様によって、半導体ダイ、電子チップ・パッケージング、及び、プリント回路基板のさまざまなポイントにおいて、広い周波数範囲にわたって、電源（供給）ループの極めて低いインピーダンスを測定するシステム及び方法が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の教示による低インピーダンス測定システムの１実施態様の略ブロック図である。
【図２】本発明の教示による低インピーダンス測定の１実施態様のフローチャートである。
【図３】本発明の教示による低インピーダンス測定システムの別の実施態様の略ブロック図である。
【図４】本発明の教示による低インピーダンス測定の別の実施態様のフローチャートである。
【図５】本発明の教示に従う、ＣＯＬＤ、ＨＯＴ、及び、ＴＨＲＯＢアルゴリズムの１実施態様によって生成された電圧、及び、予測電流及び電圧波形のグラフである。
【図６】本発明の実施態様によって生成されたインピーダンス計算結果のグラフである。
【符号の説明】
【００２６】
１０　プリント回路基板
１２　パッケージング
１４　半導体ダイ
２４　センス抵抗器
２５　電圧調整器
２８〜３２　パッド
【図１】
2004144747.tif 000008
【図２】
2004144747.tif 000009
【図３】
2004144747.tif 000010
【図４】
2004144747.tif 000011
【図５】
2004144747.tif 000012
【図６】
2004144747.tif 000013