(57)【要約】【課題】垂直磁気記録媒体を提供する。【解決手段】基板上に垂直磁気記録膜が備えられ、前記基板と垂直磁気記録膜の間に介在されるものであって、Ｐｔによる第１下地層、Ｐｔによる第２下地層及びＰｔによる第３下地層の積層構造を有する多層構造の垂直配向下地層が介在されている構造を有する。これにより、３層構造の垂直配向下地膜を使用して、Ｐｔ下地層の垂直配向特性と結晶格子との一致性を確保し、かつ、小さな結晶粒を有する垂直配向膜を設け、このような優秀な垂直配向特性と小さな結晶粒とを有する垂直配向膜によって、垂直磁気記録膜の熱的安定性及び高密度記録特性、優秀なＳＮ比特性を得ることが可能となる。【選択図】　　　図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に垂直磁気記録膜が備えられ、
前記基板と垂直磁気記録膜の間に介在されるものであって、Ｐｔによる第１下地層、Ｐｔによる第２下地層及びＰｔによる第３下地層の積層構造を有する多層構造の垂直配向下地層が介在されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
【請求項２】
前記第１下地層及び第３下地層のうち少なくとも何れか１つがＰｔ又はＰｔ合金により形成され、第２下地層はＴｉ又はＴｉ合金により形成されることを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項３】
前記垂直配向下地層と前記基板の間に軟磁性層が介在されていることを特徴とする請求項１または２に記載の垂直磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は垂直磁気記録媒体に係り、特に記録密度が増大した垂直磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
垂直磁気記録媒体は、一般に水平磁気記録メカニズムに比べて高い記録密度を有するものと知られている。したがって、最近のハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、高い記録密度を実現するために垂直磁気記録媒体を採用している。ここで、垂直磁気記録媒体は、磁化方向が媒体の平面に対して垂直な方向に配列されるものである。このような垂直磁気記録媒体における記録密度は、垂直磁気記録層の特性と、磁気記録層内で磁化を垂直に配向させる下地層とに大きく影響される。
【０００３】
図１は、従来の垂直磁気記録媒体であって、単一磁気層垂直磁気記録媒体の積層構造を示し、図２及び図３は、従来の二重磁気層垂直磁気記録媒体の積層構造を示す。
【０００４】
図１に示すように、基板１１上に情報の記録が行われる垂直磁気記録膜１３が備えられており、前記基板１１と垂直磁気記録膜１３間には、垂直磁気膜の磁気配列を垂直に配向する垂直配向下地膜１２が介在されている。前記垂直磁気記録膜１３上には、垂直磁気記録膜１３の外部から保護する保護膜１４が形成され、その上にはＨＤＤの磁気ヘッドとの衝突及び摺動によるヘッド及び保護膜の摩耗を減少させるための潤滑膜１５が形成されている。
【０００５】
図２に示すように、基板２１上に情報の記録が行われる垂直磁気記録膜２３が備えられており、前記基板２１と垂直磁気記録膜２３の間には、記録時にヘッドから出る垂直磁気フィールドの磁路を形成する軟磁性膜２２が介在されている。また、前記垂直磁気記録膜２３上には保護膜２４及び潤滑膜２５が形成される。
【０００６】
図３に示すように、基板２２１上に情報の記録が行われる垂直磁気記録膜２２４が備えられており、前記基板２２１と垂直磁気記録膜２２４の間には、垂直配向下地膜２２３及び軟磁性膜２２２が介在されている。前記垂直磁気記録膜２２４上には、保護膜２２５及び潤滑膜２２６が形成される。
【０００７】
垂直磁気記録膜１３，２３，２２４の下部に垂直配向下地膜１２，２２３や軟磁性層２２が備えられている磁気記録媒体の場合、垂直磁気記録膜１３，２３，２２４をなしている元素の種類や構成比によって、垂直配向下地膜の種類及び構造に大きな影響を及ぼす。
【０００８】
ＴｉやＰｔよりなる既存の配向膜の場合は、垂直磁気記録膜の特性に大きな影響を及ぼす。垂直配向下地膜がＴｉにより形成される場合は、垂直磁気記録膜との結晶格子定数差により垂直磁気記録膜と垂直配向膜間に厚い初期成長膜が形成されることによって、垂直磁気記録膜の配向特性を悪化させるという問題点がある。
【０００９】
また、垂直配向下地膜がＰｔにより形成される場合は、垂直磁気記録膜との格子定数差が小さいために優秀な垂直配向特性を有するが、一部の垂直磁気記録膜において結晶粒を大きくし、エクスチェンジカップリングを増加させて、情報の記録／再生時にＳＮ比（Ｓｉｇｎａｌ／Ｎｏｉｓｅ　Ｒａｔｉｏ）を悪化させてしまうという問題点がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであって、垂直配向特性を向上させて、記録密度をさらに向上させ得る垂直磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明に係る垂直磁気記録媒体は、基板上に垂直磁気記録膜が備えられ、前記基板と垂直磁気記録膜の間に介在されるものであって、Ｐｔによる第１下地層、Ｐｔによる第２下地層及びＰｔによる第３下地層の積層構造を有する多層構造の垂直配向下地層が介在されている（請求項１）。
【００１２】
前記本発明に係る垂直磁気記録媒体において、前記第１下地層及び第３下地層のうち少なくとも何れか１つがＰｔ又はＰｔ合金により形成され、第２下地層はＴｉ又はＴｉ合金により形成されることが望ましい（請求項２）。
【００１３】
また、前記本発明に係る垂直磁気記録媒体の一実施例によれば、前記垂直配向下地層と前記基板の間に軟磁性層が介在される（請求項３）。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面に基づき、本発明に係る垂直磁気記録媒体の望ましい実施例を詳細に説明する。
【００１５】
図４及び図５は、本発明に係る垂直磁気記録媒体の第１，第２実施例の積層構造を示す。第１実施例は、単一磁気層垂直磁気記録媒体であり、第２実施例は、二重磁気層垂直磁気記録媒体である。
【００１６】
図４に示すように、基板３００上に第１下地膜３０１，第２下地膜３０２，第３下地膜３０３が順次に形成され、第３下地膜３０３上には情報の記録が行われる垂直磁気記録膜３０４が備えられている。垂直磁気記録膜３０４上には、一般的な磁気記録媒体のように保護膜３０５及び潤滑膜３０６が形成される。
【００１７】
図５を参照すると、図４に示された実施例とは異なり、基板４００上に軟磁性膜４０１が予め形成されている。そして、軟磁性膜４０１上に第１下地膜４０２，第２下地膜４０３，第３下地膜４０４が順次に形成され、第３下地膜４０４上には情報の記録が行われる垂直磁気記録膜４０５が備えられている。また、垂直磁気記録膜４０５上には、一般の磁気記録媒体のように保護膜４０６及び潤滑膜４０７が形成される。
【００１８】
前記したような本発明に係る垂直磁気記録媒体の特徴は、垂直磁気記録膜３０４，４０５の垂直配向特性を向上させるために、３層の下地膜３０１，３０２，３０３，４０２，４０３，４０４により垂直配向下地膜を構成するという点にある。
【００１９】
前記第１下地膜３０１，４０２、及び第３下地膜３０３，４０４は、Ｐｔを主材料とし、中間の第２下地膜３０２，４０３は、Ｔｉを主材料とする。
【００２０】
単一のＰｔ下地膜を垂直配向膜として使用する場合、一部の垂直磁気記録膜において、大きなエクスチェンジカップリングと大きな結晶粒を誘発してノイズを増加させ、保磁力、第２四分面（ｓｅｃｏｎｄ　ｑｕａｄｒａｎｔ）ヒステリシスループ傾度などの磁気的特性を低下させてしまうといった短所が現れる。
【００２１】
このような現象は、Ｐｔ下地膜の厚さと関係がある。Ｐｔ下地膜が厚い場合は、下地膜の結晶粒を大きくし、これにより垂直磁気記録膜の結晶粒サイズ及びエクスチェンジカップリングを増加させる。
【００２２】
極薄のＰｔ下地膜は、垂直磁気記録膜の結晶粒サイズ及びエクスチェンジカップリングを減少させ、優秀な垂直配向性を提供する。しかし、Ｐｔ下地膜が過度に薄い場合には、完全なＰｔ下地膜の構造を形成することができず、実質的に使用が困難となる。
【００２３】
本発明は、Ｐｔ下地膜の短所を克服して優秀な垂直下地膜特性を与えるために、薄い第１下地膜を蒸着してＰｔ下地膜の安定した構造を形成し、結晶粒サイズの拡大を防止し、さらに、Ｐｔ第１下地膜の特性を引き出すために、Ｔｉなどよりなる極薄の第２下地膜を蒸着する。そして、最終的にＰｔ第３下地膜を蒸着して、垂直磁気記録膜に優れた磁気積層特性を与え、結晶粒サイズ及びエクスチェンジカップリングを減少させて、優秀なＳＮ比と熱的安定性を有する垂直磁気記録媒体を得ることが可能となる。
【００２４】
図６は、本発明に係る３層構造の垂直配向層を適用した垂直磁気記録媒体と、従来のＰｔ，Ｔｉ単一層構造の垂直配向下地膜を使用した垂直磁気記録媒体の磁気的特性を示すヒステリシスループである。
【００２５】
図６に示すように、本発明に係る３階構造の垂直配向下地膜を有する垂直磁気記録媒体が、従来の構造の媒体に比べて高い保磁力（Ｈｃ値）と核生成磁界（Ｈｎ値）及び角形比（ＳＱ値）を有することが分かる。このような結果から、優秀な熱的安定性と低いエクスチェンジカップリングとを確保できることが分かる。
【００２６】
図７は、本発明に係る３層構造の垂直配向下地膜を有する垂直磁気記録媒体の結晶粒サイズと結晶配向性とを示している。図７に示すように、本発明に係る垂直磁気記録媒体は、従来の垂直磁気記録媒体と類似した大きさの結晶粒サイズと優秀な垂直配向性とを有していることが分かる。このような結果から、高密度記録と優秀なＳＮ比とが得られることが分かる。
【００２７】
以上、本発明の望ましい実施例について説明したが、当業者にとって本発明の精神を離脱せず、前記望ましい実施例を考慮した多くの変化及び修正は容易かつ自明なものであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲によって明確になる。本願の技術内容の開示及び発表は単に例示的なものに過ぎず、真の技術的な保護範囲は特許請求の範囲によってのみ決まるべきである。
【００２８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明に係る垂直磁気記録媒体によれば、３層構造の垂直配向下地膜を使用して、Ｐｔ下地層の垂直配向特性と結晶格子との一致性を確保し、かつ、小さな結晶粒を有する垂直配向膜を設け、このような優秀な垂直配向特性と小さな結晶粒とを有する垂直配向膜によって、垂直磁気記録膜の熱的安定性及び高密度記録特性、優秀なＳＮ比特性を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の単一磁気層の垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図である。
【図２】従来の二重磁気層垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図である。
【図３】従来の他の二重磁気層垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図である。
【図４】本発明に係る垂直磁気記録媒体の第１実施例の積層構造を示す図である。
【図５】本発明に係る垂直磁気記録媒体の第２実施例の積層構造を示す図である。
【図６】本発明に係る垂直磁気記録媒体の磁気ヒステリシスループを示す図である。
【図７】本発明に係る垂直磁気記録媒体の結晶粒サイズ及び垂直配向特性を説明するための図である。
【符号の説明】
３００：基板
３０１：第１下地膜
３０２：第２下地膜
３０３：第３下地膜
３０４：垂直磁気記録膜
３０５：保護膜
３０６：潤滑膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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