(57)【要約】【課題】本発明は、スパッタ装置及び真空蒸着装置などの真空装置を使い、結晶を堆積させる際、シャッタを真空のチャンバー内部に入れ、安定かつスムーズな動作に加え、シャッタの位置の微調整、動作範囲の縮小するようにすること。【解決手段】チャンバー外部より操作する外部操作部２と、該外部操作部２と連動して回転するシャフト３と、該シャフト３の外周に遊挿して設けられたシャッタ移動筒部５と、該シャッタ移動筒部５の外周に存し該シャッタ移動筒部５を回り止めし、シャッタ移動筒部５の先端５ａに取り付けられたシャッタ７とからなること。シャフト３の回転により、シャッタ移動筒部５が前後に平行移動すること。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバー外部より操作する外部操作部と該外部操作部と連動して回転するシャフトと、該シャフトの外周に遊挿して設けられたシャッタ移動筒部と該シャッタ移動筒部の外周に存し該シャッタ移動筒部を回り止めし前記シャッタ移動筒部の先端に取り付けられたシャッタとからなり、前記シャフトの回転により、前記シャッタ移動筒部が前後に平行移動してなることを特徴とした真空成膜用スライドシャッタ装置。
【請求項２】
請求項１において、前記シャッタ移動筒部を回り止めするために外部固定筒部を設けたことを特徴とした真空成膜用スライドシャッタ装置。
【請求項３】
請求項１において、前記シャフトの先端に固着された突起と、前記シャッタ移動筒部の内側に設けた螺旋状溝が係合することを特徴とした真空成膜用スライドシャッタ装置。
【請求項４】
請求項１において、前記シャッタ移動筒部を平行に案内するために、導入機本体に固定する前記外部固定筒部の内側に長手方向に沿ったガイド溝を設けたことを特徴とする真空成膜用スライドシャッタ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属ずる技術分野】
本発明は、スパッタ装置及び真空蒸着装置などの真空装置を使い、結晶を堆積させる際、真空成膜用スライドシャッタ装置を真空のチャンバー内部に入れ、安定かつスムーズな動作に加え、前記シャッタの位置の微調整、動作範囲の縮小ができる真空成膜用スライドシャッタ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来は、図６に示すように、シャッタの外部操作部とチャンバーａ内部の前記シャッタが同じ動作をする直線導入型のため、前記外部操作部を前後に押し引きする必要がある。前記シャッタを引く操作をする際、図６の距離Ｌを手前に引く必要があり、チャンバーａ外部周囲で余分な空間を使い邪魔になっていた。さらに、チャンバーａ内部が真空なため、チャンバーａ外部からでは、スムーズな動きと位置の微調整が難しかった。
【０００３】
また、図７に示すように、前記シャッタの前記外部操作部の回転によって、前記シャッタが左右に首を振るため〔図７（Ｂ）参照〕、チャンバーａ内部で前記シャッタが左右に納まる空間〔図７Ｙ方向、Ｍなる空間〕が必要となっていた。このことより、チャンバーａ内部で前記シャッタを操作したとき、前記シャッタが動作できる空間を必要とするため、前記シャッタを左右に振っても可能な空間がチャンバーａ内部にある装置でしか使用できなかった。
【０００４】
【特許文献１】
実開平６−１６４５８号
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に示すように、スパッタ装置などの真空装置は内部体積がほぼ限られている為、前記シャッタをチャンバー内部で幅広く動かすことはできない。さらに、内部は真空になっていることから、前記シャッタの位置の微調整、安定かつスムーズな動きの操作が難しいという問題点が挙げられる。
【０００６】
本発明は、このような従来の問題点を改善しようとするもので、回転による操作のみで、安定かつスムーズな動作に加え、前記シャッタの位置の微調整、動作範囲の縮小ができる真空成膜用スライドシャッタ装置を提供することができる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そこで、上記課題を解決すべく鋭意、研究を重ねた結果、本発明は、チャンバー外部より操作する外部操作部と該外部操作部と連動して回転するシャフトと、該シャフトの外周に遊挿して設けられたシャッタ移動筒部と該シャッタ移動筒部の外周に存し該シャッタ移動筒部を回り止めし前記シャッタ移動筒部の先端に取り付けられたシャッタとからなり、前記シャフトの回転により、前記シャッタ移動筒部が前後に平行移動してなることを特徴とした、真空成膜用スライドシャッタ装置を提供したことにより、前記課題を解決したものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１実施形態について図面に基づいて説明する。図１は本発明の全体構成図及び装置断面図である。
【０００９】
図１（Ａ）に示すように本発明の主要部は、導入機１、外部操作部２、シャフト３、突起４、シャッタ移動筒部５、外部固定筒部６、シャッタ７より構成されている。外部固定筒６は、導入機１に固定されている。
【００１０】
図１（Ｂ）は突起４箇所での断面図である。前記シャフト３と、シャッタ移動筒部５と、外部固定筒部６の断面図である。
【００１１】
図２は本発明の分解図であり、図２（Ａ）の突起４が固着されたシャフト３と、シャッタ７の取り付けられたシャッタ移動筒部５と〔図２（Ｂ）参照〕、外部固定筒部６〔図２（Ｃ）参照〕より構成される。
【００１２】
図２（Ａ）は、固定された導入機１に対して、前記外部操作部２を回すことで、シャフト３が連動して回転するようになっており、該シャフト３の先端に固着された前記突起４も連動して回転する。前記導入機１には、外螺子８が切られていて、該外螺子８が前記外部固定筒部６の端の内螺子１１に螺合して固定されている。
【００１３】
図２（Ｂ）は、前記シャッタ移動筒部５であり、移動部先端５ａには前記シャッタ７が取り付けられている。また、シャッタ移動筒部５の外周には回り止片９が固着されている。
【００１４】
図２（Ｃ）は、前記外部固定筒部６で、シャッタ移動筒部５に設けられた回り止片９が通るガイド溝１２が形或され、該ガイド溝１２を回り止片９が通ることで、シャッタ移動筒部５は平行移動する。ガイド溝１２と回り止片９はそれぞれ凹凸が逆でも作用する。これは、ガイド溝１２を溝ではなく凸にし、回り止片９がある場所をシャッタ移動筒部５の端から端まで溝を掘ることにより可能になる。シャッタ移動筒部５が平行移動した際、終端１３で止まる。
【００１５】
図３では、シャッタ移動筒部５の機構を説明する。図３（Ａ）は、シャッタ移動筒部５で、図３（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）は図３（Ａ）の一点鎖線箇所の断面図を表す。図３（Ｄ）のように、筒の内側には螺旋状溝１０が掘られており、該螺旋状溝１０を前記突起４が係合することにより、シャッタ移動筒部５が、図１（Ａ）及び図３（Ａ）において紙面上、左右方向に動作する。このときの突起４は、該突起４とシャッタ移動筒部５の内側の螺旋状溝１０は凹凸がそれぞれ逆でも作用する。突起４の場所に溝を作り、螺旋状溝１０に螺旋状凸を付けてもよいということである。
【００１６】
図４は、前記外部操作部２の回転操作により、シャッタ移動筒部５が前進する様子を示す。外部操作部２の回転で、前記シャフト３の先端に固着された突起４が回転し、シャッタ移動筒部５の内側の螺旋状溝１０を通ることでシャッタ移動部５が、図４（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）の順に前進することができる。外部による操作で目盛１５が図４（Ａ）から図４（Ｃ）に移動したとき、シャッタ移動筒部５及びシャッタ７が動いているのが分かる。
【００１７】
外部操作部２の回転操作で図４（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）の順に動くことより、従来技術の図６のような外部操作部２付近での引き出す空間である距離Ｌが要らない。また、従来技術の図７のようにチャンバーａ内の空間であるＭも縮小できる。
【００１８】
図５（Ａ）は、前記シャッタ移動筒部５の移動部先端５ａにシャッタ７を取り付けるときの説明図である。シャッタ７は、調整スペース１７の範囲で微調整して固定できる。固定する際、留具１８ａの軸部が調整スペース１７を通り、シャッタ７端に設けた調整筒部１６に通し、反対側から螺子等の留具１８ｂが調整スペース１７を通り、留具１８ａと固定することによって、シャッタ７はシャッタ移動筒部の先端５ａに固定することができる。特に、調整スペース１７の長孔の範囲内においてシャッタ７の位置調整ができる。
【００１９】
図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のシャッタ移動筒部５の移動部先端５ａにシャッタ７を固定したときの、固定箇所の断面図である。つまり、図１（Ａ）のＸ−Ｘ矢視断面図である。
【００２０】
【発明の効果】
以上のように請求項１の発明では、外部操作部の回転のみでシャッタを前進後退でき、さらに小スペースでシャッタを前後に動かすことができるという効果をもっている。さらに、外部操作部の回転という簡単な操作で無理なくシャッタを動かすことができ、外部操作部の回転速度を調整することでシャッタの位置の微調整ができるという効果を持っている。
【００２１】
請求項２の発明では、シャフトの回転に伴うシャッタ移動筒部の回転を止め、平行で安定した動きが可能になるという効果を持っている。
【００２２】
請求項３の発明では、シャッタ移動筒部の微調整ができ、安定且つスムーズな動きができる効果を持っている。
【００２３】
請求項４の発明では、シャフトの回転によるシャッタ移動筒部の回転を止めるために、ガイド溝を設けることによって、シャッタ移動筒部に設けた回り止片がガイド溝を通り回転を止める効果を持っている。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は本発明の全体図である。
（Ｂ）は（Ａ）の一点鎖線部箇所の断面図である。
【図２】（Ａ）はシャフトの付いた導入機である。
（Ｂ）はシャッタ付のシャッタ移動筒部である。
（Ｃ）はシャッタ移動筒部の回転を防止する外部固定筒部である。
【図３】（Ａ）はシャッタ移動筒部の斜視図である。
（Ｂ）は（Ａ）の一点鎖線部箇所の断面図である。
（Ｃ）は（Ａ）の一点鎖線部箇所の断面図である。
（Ｄ）は（Ａ）の一部を内部的に見た斜視図である。
【図４】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は外部操作部によるシャッタの動作を示した図である。
【図５】（Ａ）はシャッタ取付部の分解斜視図である。
（Ｂ）は図１（Ａ）のＸ−Ｘ矢視断面図である。
【図６】従来の直線導入型の横断平面図である。
【図７】従来の左右動作型の横断平面図である。
【符号の説明】
１・・・・・・・導入機
２・・・・・・・外部操作部
３・・・・・・・シャフト
４・・・・・・・突起
５・・・・・・・シャッタ移動筒部
５ａ・・・・・・先端
６・・・・・・・外部固定筒部
７・・・・・・・シャッタ
８・・・・・・・外螺子
９・・・・・・・回り止片
１０・・・・・・・螺旋状溝
１１・・・・・・・内螺子
１２・・・・・・・ガイド溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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