(57)【要約】【課題】フューエルカット時のガスセンサの異常出力を机上で評価できるガスセンサの検査装置を提供すること。【解決手段】ガスセンサの検査装置において、ガスセンサが着脱可能であるとともに、ガスセンサが装着されているときに、プロテクタを自身の内部に収容し、さらに自身の内側の被測定ガスを外側に排出する１又は２以上の排出孔を有する筒状部材と、筒状部材の先端側を密封するフランジ状の部材であって、その外周面が筒状部材の内周面に接してスライド可能にセンサ側に弾性部材により押さえられており、ガスセンサが筒状部材に装着されているときにガスセンサのプロテクタの先端面に接し、ガスセンサのプロテクタ先端面の通気孔と対応する板面に被測定ガスを吹出すためのノズル部を有するノズル部材と、を備える。【選択図】図２
2004205259.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端側に被測定ガスを検出する検出部が形成された検出素子と、
前記検出部に対して間隔をおいて覆うとともに、自身の先端面及び側壁面に複数の通気孔を有するプロテクタと、を備えたガスセンサの検査装置において、
前記ガスセンサが着脱可能であるとともに、前記ガスセンサが装着されているときに、前記プロテクタを自身の内部に収容し、さらに自身の内部の被測定ガスを外側に排出する１又は２以上の排出孔を有する筒状部材と、
前記筒状部材の先端側を密封するフランジ状の部材であって、その外周面が前記筒状部材の内周面に接して前記筒状部材の軸方向にスライド可能で、前記ガスセンサが前記筒状部材に装着されているときに前記ガスセンサのプロテクタの先端面に接し、前記ガスセンサのプロテクタ先端面の通気孔と対応する板面に被測定ガスを前記プロテクタ内に吹出すためのノズル部を有するノズル部材と、
を備えることを特徴とするガスセンサの検査装置。
【請求項２】
酸素を蓄積する酸素ボンベと、
窒素を蓄積する窒素ボンベと、
前記酸素ボンベ及び前記窒素ボンベと流路を介して接続するとともに、前記酸素ボンベ及び前記窒素ボンベから所定流量で供給される酸素ガス及び窒素ガスを所定濃度に混合した被測定ガスを生成し、前記被測定ガスを２以上の濃度に切り替える機能を有し、前記被測定ガスを第２の流路を介して前記ノズル部に供給する混合装置と、
を有することを特徴とする請求項１記載のガスセンサの検査装置。
【請求項３】
前記ノズル部は、前記ガスセンサのプロテクタ先端面の通気孔を介して前記ガスセンサの検出部に被測定ガスを吹き付けることを特徴とする請求項１又は２記載のガスセンサの検査装置。
【請求項４】
前記プロテクタとしては、被測定ガスが打ち込まれる前記先端面の通気孔と被測定ガスが排出される前記側壁面の通気孔とが隔離されているものを用いることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一に記載のガスセンサの検査装置。
【請求項５】
前記ノズル部は、インジェクションノズルを備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一に記載のガスセンサの検査装置。
【請求項６】
前記流路上に流通するガスを乾燥する乾燥装置を有することを特徴とする請求項２乃至５のいずれか一に記載のガスセンサの検査装置。
【請求項７】
前記流路上に流通するガスを冷却する冷却装置を有することを特徴とする請求項２乃至６のいずれか一に記載のガスセンサの検査装置。
【請求項８】
前記排出孔と第３の流路を介して接続するとともに前記測定室内のガスを強制的に排気する排気装置を備えることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一に記載のガスセンサの検査装置。
【請求項９】
先端側に被測定ガスを検出する検出部が形成された検出素子と、
前記検出部に対して間隔をおいて覆うとともに、自身の先端面及び側壁面の少なくともいずれか一方に複数の通気孔を有するプロテクタと、を備えたガスセンサの前記プロテクタ内に前記被測定ガスを供給することで、前記被測定ガスを検出するガスセンサの検査方法において、
前記被測定ガスとはガス濃度が異なる第２の被測定ガスを供給することにより、前記プロテクタ内を前記被測定ガスから前記第２の被測定ガスに瞬時に交換することを特徴とするガスセンサの測定方法。
【請求項１０】
前記第２の被測定ガスは、前記被測定ガスの酸素濃度を切り換えることにより生成されることを特徴とする請求項９記載のガスセンサの測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車等の内燃機関における排気ガス中の特定ガス成分濃度の測定に用いられるガスセンサの検査装置及び測定方法に関し、特に、フューエルカット時のガスセンサの異常出力を机上で評価できるガスセンサの検査装置及び測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
自動車等の内燃機関における排気ガス中の特定ガス成分濃度の測定に用いられるガスセンサの一つとして、排気ガス中等の窒素酸化物（ＮＯｘ）濃度を測定するために用いられるＮＯｘセンサがある。ＮＯｘセンサは、第１拡散孔を介して被測定ガス側に連通された第１測定室と、この第１測定室に第２拡散孔を介して連通された第２測定室とを、酸素イオン伝導性の固体電解質層にて形成し、第１測定室には、固体電解質層を多孔質の電極で挟むことにより第１酸素ポンプセルと酸素分圧検知セルとを形成し、更に、第２測定室には、同じく固体電解質層を多孔質の電極で挟むことにより第２酸素ポンプセルを形成したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このＮＯｘセンサでは、被測定ガスである内燃機関等からの排気中に存在するＮＯｘ以外の他のガス成分（酸素、一酸化炭素、二酸化炭素等）に影響されることなく、被測定ガス中のＮＯｘ濃度を検出できるように、次のような制御が行われる。
【０００４】
即ち、酸素分圧検知セルからの出力電圧が予め設定された一定値となるように第１酸素ポンプセルに電流（以下、第１ポンプ電流Ｉｐ１という）を流すことにより、第１測定室内の酸素濃度を酸素が極めて少ない低酸素濃度（例えば１０００ｐｐｍ程度）に制御する。これと共に、その低酸素濃度に制御された被測定ガスが流入する第２測定室側で、第２酸素ポンプセルに第２測定室内の酸素を汲み出す方向に一定電圧を印加して、第２測定室から酸素を汲み出すように制御する。すると、第２酸素ポンプセルは、該第２酸素ポンプセルを構成する多孔質電極の触媒機能によって、被測定ガス中のＮＯｘを窒素と酸素とに分解し、このＮＯｘの分解により得られた酸素を第２測定室から抜き取る。この時、第２酸素ポンプセルに流れる電流値（以下、第２ポンプ電流Ｉｐ２という）から、被測定ガス中のＮＯｘ濃度が検出できる。
【０００５】
なお、第１測定室内の酸素濃度をゼロにするのではなく、低酸素濃度となるように第１ポンプ電流を制御するのは、第１測定室内を酸素濃度ゼロの状態に制御すると、第１酸素ポンプセルを構成する多孔質電極が第１測定室内に流入した被測定ガス中のＮＯｘ成分を分解してしまい、第２酸素ポンプセルを用いたＮＯｘ濃度の測定ができなくなるからである。
【０００６】
そして、このＮＯｘセンサでは、第２ポンプ電流から被測定ガス中のＮＯｘ濃度を求めることができるだけでなく、第１ポンプ電流から被測定ガス中の酸素濃度を求めることができる。
【０００７】
このようなＮＯｘセンサでは、燃料を供給した状態（定常状態）から遮断した状態（フューエルカット状態）にした直後（フューエルカット時）に一時的な応答が定常状態の応答の範囲を超えて（オーバシュートして）、すぐには定常状態の応答に戻らないといった現象が起こる。なかには定常状態の応答に戻るまでに１５秒以上の時間がかかるという不具合を生ずる（異常出力を生ずる）ものがある。
【０００８】
一方、フューエルカット時の排気ガスは大気ガスであり、通常、ＮＯｘが含まれていないため、定常状態におけるオフセット値（ＮＯｘガス＝０ｐｐｍでの出力）に基づいてＮＯｘセンサの零点補正を行なっている。このため、フューエルカット時にもＮＯｘセンサの出力が正しい値を示すことが必要である。
【０００９】
そのため、従来の不具合品の検査方法として、実車にてフューエルカット時での全数検査を行ない、異常出力が出ないことを確認していた。
【００１０】
【特許文献１】
欧州特許出願公開第０６７８７４０号明細書
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、実車での検査では、取り付け本数などの制限があるとともに、危険を伴うことがあり、また、測定の再現性が保証され難いといった問題があった。
【００１２】
本発明の目的は、フューエルカット時のガスセンサの異常出力を検査効率良く、安全でかつ再現性が保障され、机上で評価できるガスセンサの検査装置を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
発明者の見解によれば、フューエルカット時にＮＯｘセンサから異常出力が出る原因として、第１酸素ポンプセルの−側電極が活性でないと、酸素濃度が急変した際、第１酸素ポンプセルで十分に酸素を汲み出すことができず、余分な酸素が第２室に流れ込み、オフセット値を上昇させることがわかった。つまり、活性が低い検出素子では、酸素濃度の変化が速いと、第１酸素ポンプセルに係るＩｐ１の制御が追いつけなくなる。原因としては、例えば、フューエルカット時は燃焼が起こっていないため、ガス温が燃焼時に比べて低く、それにより素子が冷やされ、素子の活性が低下することが挙げられる。なお、被測定ガス中のＨ２Ｏは電極を活性化させる役割があるため、被測定ガス中に十分なＨ２Ｏが存在している雰囲気では、オーバシュートが起こりにくいが、フューエルカット時は、排気ガス（大気）内にオーバーシュートを起こりにくくするだけのＨ２Ｏが存在していないのも要因の一つである。以上の見解に基づき、以下の発明がなされるに至った。
【００１４】
本発明の第１の視点においては、先端側に被測定ガスを検出する検出部が形成された検出素子と、前記検出部に対して間隔をおいて覆うとともに、自身の先端面及び側壁面に複数の通気孔を有するプロテクタと、を備えたガスセンサの検査装置において、前記ガスセンサが着脱可能であるとともに、前記ガスセンサが装着されているときに、前記プロテクタを自身の内部に収容し、さらに自身の内部の被測定ガスを外側に排出する１又は２以上の排出孔を有する筒状部材と、前記筒状部材の先端側を密封するフランジ状の部材であって、その外周面が前記筒状部材の内周面に接して前記筒状部材の軸方向にスライド可能で、前記ガスセンサが前記筒状部材に装着されているときに前記ガスセンサのプロテクタの先端面に接し、前記ガスセンサのプロテクタ先端面の通気孔と対応する板面に被測定ガスを前記プロテクタ内に吹出すためのノズル部を有するノズル部材と、を備えることを特徴とする。
【００１５】
また、前記ガスセンサの検査装置において、酸素を蓄積する酸素ボンベと、窒素を蓄積する窒素ボンベと、前記酸素ボンベ及び前記窒素ボンベと流路を介して接続するとともに、前記酸素ボンベ及び前記窒素ボンベから所定流量で供給される酸素ガス及び窒素ガスを所定濃度に混合した被測定ガスを生成し、前記被測定ガスを２以上の濃度に切り替える機能を有し、前記被測定ガスを第２の流路を介して前記ノズル部に供給する混合装置と、を有することが好ましい。
【００１６】
また、前記ガスセンサの検査装置において、前記ノズル部は、前記ガスセンサのプロテクタ先端面の通気孔を介して前記ガスセンサの検出部に被測定ガスを吹き付けることが好ましい。
【００１７】
また、前記ガスセンサの検査装置において、前記プロテクタとしては、被測定ガスが打ち込まれる前記先端面の通気孔と被測定ガスが排出される前記側壁面の通気孔とが隔離されていることが好ましい。
【００１８】
また、前記ガスセンサの検査装置において、前記ノズル部は、インジェクションノズルを備えることが好ましい。
【００１９】
また、前記ガスセンサの検査装置において、前記流路上に流通するガスを乾燥する乾燥装置を有することが好ましい。
【００２０】
また、前記ガスセンサの検査装置において、前記流路上に流通するガスを冷却する冷却装置を有することが好ましい。
【００２１】
また、前記ガスセンサの検査装置において、前記排出孔と第３の流路を介して接続するとともに前記測定室内のガスを強制的に排気する排気装置を備えることが好ましい。
【００２２】
本発明の第２の視点においては、先端側に被測定ガスを検出する検出部が形成された検出素子と、前記検出部に対して間隔をおいて覆うとともに、自身の先端面及び側壁面の少なくともいずれか一方に複数の通気孔を有するプロテクタと、を備えたガスセンサの前記プロテクタ内に前記被測定ガスを供給することで、前記被測定ガスを検出するガスセンサの検査方法において、前記被測定ガスとはガス濃度が異なる第２の被測定ガスを供給することにより、前記プロテクタ内を前記被測定ガスから前記第２の被測定ガスに瞬時に交換することを特徴とする。これにより、フューエルカット時におけるセンサの特性を検査することができる。なお、「瞬時に交換する」というのは、ガスセンサのプロテクタ内の被測定ガスが１００％の状態から２０％の状態（第２の被測定ガスがプロテクタ内に８０％となる状態）に１秒以内の時間で交換するということである。さらに、０．５秒以内の時間で交換することが好ましい。
【００２３】
また、前記ガスセンサの検査方法において、前記第２の被測定ガスは、前記被測定ガスの酸素濃度を切り換えることにより生成されることが好ましい。
【００２４】
【発明の実施の形態】
ガスセンサの検査装置であって、ガスセンサと着脱可能であるとともに、前記ガスセンサ（図２の５０）の検出部（図２の５７）を収容する測定室を有する治具（図２の１０ａ）と、前記測定室内に配された前記ガスセンサの検出部に被測定ガスを吹き付けるノズル部（図２の１７）と、前記測定室内のガスを排出するための排気孔（図２の１６）と、を備えることにより、酸素濃度の変化が速く、水分が少く、しかも素子温（検出部の温度）が冷やされやすい環境（すなわち、フューエルカット時のオーバシュートがおこる環境）を測定室においてつくりだすことができ、ガスセンサの異常出力を机上で評価できる。
【００２５】
【実施例】
本発明の実施例１について図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施例１に係るガスセンサの検査装置の構成を模式的に示したブロック図である。図２は、本発明の実施例１に係るガスセンサの検査装置における治具を拡大した部分断面図である。図３は、ガスセンサの構成を示した模式図である。
【００２６】
図１を参照すると、この検査装置１は、治具１０ａ、１０ｂ、１０ｃと、混合装置２０と、ボンベ３０、４０と、を有する。ガスセンサ５０は、各治具１０ａ、１０ｂ、１０ｃに装着されており、濃度検出装置６０とコネクタ５１、６１を介して電気的に接続する。
【００２７】
治具１０ａは、フューエルカット時におけるオーバーシュートを机上で引き起こすための標準当具であり、円筒状部材１１と、ノズル部材１２と、を有する（図２参照）。図１の治具１０ｂ、１０ｃも、治具１０ａと同様のものである。
【００２８】
円筒状部材１１は、ガスセンサ５０のネジ螺旋部５２の直径とほぼ同じ直径の内周面部１３を有し、内周面部１３の上部にガスセンサ５０のネジ螺旋部５２と嵌合するネジ螺旋部１４を有し、内周面部１３側の上側端部にＯリング５３を収納するための段部１５を有し、ガスセンサ５０を治具１０ａに装着した場合のガスセンサ５０のプロテクタ５４（側壁面）の孔５５の軸方向の高さと対応する位置に貫通する複数の排気孔１６を有する（図２参照）。排気孔１６は、円筒状部材１１の内周面側のガスを外周面側に排出するための孔である。排気孔１６は、ガスセンサ５０が治具１０ａに装着され、ノズル孔１７からガスが吹き出される時に、ガスセンサ５０のプロテクタ５４の孔５５から吹き出されるガスの流れの方向に沿って配されるように設計されている。
【００２９】
ノズル部材１２は、円筒状部材１１の先端側開口側を密封するフランジ状の部材であり、その軸方向外周面が円筒状部材１１の内周面に接して軸方向にスライド可能に上側にバネ１８によって付勢されており、ガスセンサ５０が治具１０ａに装着されているときにガスセンサ５０のプロテクタ５４の先端面にその後端側が接し、ガスセンサ５０のプロテクタ５４の先端面の孔５６と対応するガスを吹出すためのノズル孔１７を軸方向に有する（図２参照）。ノズル孔１７は、先端側から配管７０を介して混合装置（図１の２０）と接続する。また、ノズル部材１２は、ガス交換性を高くするために、ノズル孔１７からガスセンサ５０のプロテクタ５４の孔５６にガスを打ち込み、直接検出部５７に吹き付けるようにしている。
【００３０】
混合装置２０は、ボンベ３０、４０から配管８０、９０を介して供給される各種のガスを所定濃度に混合し、混合されたガスを配管７０を介して治具１０ａ、１０ｂ、１０ｃに供給する（図１参照）。また、混合装置２０は、フューエルカットを想定してガスの濃度比を切り替える機能を有する。実施例１において混合装置２０では、高流速を実現するために、配管７０（φ１ｍｍ）にガス流速２０ｍ／ｓｅｃ以上、ガス流量１リットル／ｍｉｎに設定している。また、混合装置２０では、２系統のガスを切り替える際、両方のガスとも絶えず一定流量を流し放しにしておき、それを切り替えることで、ガス交換の応答性を上げている。なお、混合装置２０が治具１０ａに供給するガスは、室温である。
【００３１】
ボンベ３０は、窒素ガスを蓄積するガスボンベであり、レギュレータ（図示せず）により所定流量で窒素ガスを配管８０を介して混合装置２０に供給する。
【００３２】
ボンベ４０は、酸素ガスを蓄積するガスボンベであり、レギュレータ（図示せず）により所定流量で酸素ガスを配管９０を介して混合装置２０に供給する。
【００３３】
ガスセンサ５０は、Ｏ２とＮＯｘ濃度を同時に測定することができるＮＯｘセンサであり、コネクタ５１と、ネジ螺旋部５２と、Ｏリング５３と、プロテクタ５４と、検出部５７が形成された検出素子５９と、ヒータ５８と、を有する（図２参照）。
【００３４】
コネクタ５１は、濃度検出装置６０のコネクタ６１と電気的機械的に接続するコネクタであり（図１参照）、検出部５７及びヒータ５８と電気的に接続する（図２参照）。
【００３５】
ネジ螺旋部５２は、治具の円筒状部材１１のネジ螺旋部１４と嵌合する部分である（図２参照）。
【００３６】
Ｏリング５３は、ガスセンサ５０を治具１０ａに装着した時にガス漏れを防止するためのシール部材である（図２参照）。
【００３７】
プロテクタ５４は、検出部５７及びヒータ５８を覆い保護する保護部材であり、側壁面（曲面部）に複数（実施例１では６つ）の貫通する孔５５を有し、先端面（底面部）にも貫通する孔５６（中央に１つ）を有する。治具１０ａのノズル孔１７から吹き出されたガスは、プロテクタ５４の孔５６を通って、検出部５７に当たり、その後、プロテクタ５４の孔５５から排気される。プロテクタの孔５５と孔５６は、隔離しており、ガスの流れを良くしている。
【００３８】
検出部５７は、前記従来の技術において説明したものと同様の構成であり、第１拡散孔５７１を介して被測定ガス側に連通された第１測定室５７２と、この第１測定室５７２に第２拡散孔５７４を介して連通された第２測定室５７５とを、酸素イオン伝導性の固体電解質層にて形成し、第１測定室５７２には、固体電解質層を多孔質の電極で挟むことにより第１酸素ポンプセル５７３と酸素分圧検知セル５７７とを形成し、更に、第２測定室５７５には、同じく固体電解質層を多孔質の電極で挟むことにより第２酸素ポンプセル５７６を形成したものである（図３参照）。
【００３９】
ヒータ５８は、検出部５７を加熱する加熱部材である（図２参照）。
【００４０】
濃度検出装置６０は、ガスセンサ５０で検出された電気信号に基づき酸素濃度若しくはＮＯｘ濃度を検出する装置であり、ガスセンサ５０のコネクタ５１と電気的機械的に接続するコネクタ６１を有する（図１参照）。
【００４１】
次に実施例１の動作について図面を用いて説明する。図４は、本発明の実施例１に係るガスセンサの検査装置の動作を説明するためのＮＯｘ濃度と時間の関係を模式的に示したグラフである。図５〜７は、本発明の実施例１に係るガスセンサの検査装置によって測定されたガスセンサのＮＯｘ濃度と時間の関係を模式的に示したグラフである。検査装置の構成については図１〜３を適宜参照されたい。
【００４２】
まず、各治具１０ａ、１０ｂ、１０ｃにガスセンサ５０を装着し、それぞれのガスセンサ５０を濃度検出装置６０に接続する（ステップＡ１）。
【００４３】
次に、大気雰囲気にて５〜８分間（本実施例では５分間）、各ガスセンサ５０（のヒータ５８）をＲｐｖｓ＝２００Ωに制御しつつ、暖機する（ステップＡ２）。このとき、混合装置２０から治具１０ａ、１０ｂ、１０ｃにガスが供給されていない。また、この段階では、ＮＯｘ濃度の測定は行なっていない。
【００４４】
次に、混合装置２０からＯ２＝７％、Ｈ２Ｏ＝０％、Ｎ２＝調整（９３％）の濃度のガスを各治具１０ａ、１０ｂ、１０ｃに供給し、６０秒間暖機する（ステップＡ３）。ここでは、ＮＯｘ濃度の測定は、予備的に行なっている。
【００４５】
次に、混合装置２０においてＯ２＝２０％、Ｈ２Ｏ＝０％、Ｎ２＝調整（８０％）の濃度のガスに切り換えてこのガスを各治具１０ａ、１０ｂ、１０ｃに供給し、同時に本測定を開始し、３０秒間保持する（ステップＡ４）。ここで、本測定では、ステップＡ４の切り換え後の３秒後、１０秒後、２５秒後のＮＯｘ濃度（センサ出力Ｉｐ２のオフセット値）を計測する。
【００４６】
図５から図７は、図４の実験結果である。なお、横軸の起点（０秒）は既にステップＡ１、Ａ２を終了しているもので、ステップＡ３からの時間である（図４参照）。また、６０秒にて、ステップＡ３からステップＡ４に切り換えている（図４参照）。
【００４７】
オフセット値の規格について説明する。本測定の終了後、前記本測定の結果に基づいて、次の全ての条件を満たすものを合格とし、それ以外は不合格とした。図４を参照すると、▲１▼ステップＡ４の切り換え後、３秒後のＮＯｘ濃度（センサ出力Ｉｐ２のオフセット値）が１０秒後のＮＯｘ濃度に比べて小さいか否か？▲２▼ステップＡ４の切り換え後、１０秒後のＮＯｘ濃度と２５秒後のＮＯｘ濃度との差が±７ｐｐｍ以内か？
【００４８】
図５を参照すると、このグラフに係るガスセンサは、ステップＡ４の切り換え後、３秒後のＮＯｘ濃度（０ｐｐｍ；オフセット値）が１０秒後のＮＯｘ濃度（１０ｐｐｍ）に比べて小さく、かつ、１０秒後のＮＯｘ濃度（１０ｐｐｍ）と２５秒後のＮＯｘ濃度（１５ｐｐｍ）との差が±７以内（＋５）なので、合格品となる。次に、図６を参照すると、このグラフに係るガスセンサは、ステップＡ４の切り換え後、３秒後のＮＯｘ濃度（３５ｐｐｍ；オフセット値）が１０秒後のＮＯｘ濃度（２５ｐｐｍ）に比べて大きいので、不合格品となる。次に、図７を参照すると、このグラフに係るガスセンサは、ステップＡ４の切り換え後、３秒後のＮＯｘ濃度（２５ｐｐｍ；オフセット値）が１０秒後のＮＯｘ濃度（２０ｐｐｍ）に比べて大きいので、不合格品となる。
【００４９】
その他の実施例について説明する。
【００５０】
実施例２として、図２の排気孔１６の外側から負圧をかける。治具１０ａ内のガスを吸引することにより、ガス交換性を上げることができる。
【００５１】
実施例３として、図２のノズル孔１７のところにインジェクタを使用する。吹き出し方向が強制され、ガス交換性を上げることができる。
【００５２】
実施例４として、ガスに水分が含まれないようにするため、図１の配管７０、８０若しくは９０上に乾燥剤、乾燥装置を設ける。
【００５３】
実施例５として、素子冷え（検出部の温度の低下）が起こるようにするため、図１の配管７０、８０若しくは９０上に冷却装置を設ける。
【００５４】
実施例６として、実施例１に示したＮＯｘセンサについて限定されるわけではなく、ＨＣセンサ、ＣＯセンサ等のフューエルカット時にオーバーシュートしてしまうセンサの検査装置としても使用できる。
【００５５】
実施例７として、実施例１に示したように定常状態からフューエルカット状態の変化を検査することに限定されるものではなく、フューエルカット状態から定常状態の変化について検査してもよい。具体的には、図４に示すステップＡ５のことで、フューエルカット状態のガス濃度（Ｏ２＝２０％、Ｈ２Ｏ＝０％、Ｎ２＝調整（８０％））から定常状態のガス濃度（Ｏ２＝７％、Ｈ２Ｏ＝０％、Ｎ２＝調整（９３％））に切り換えて、オフセット値を計測して、検査してもよい。さらに、定常状態からフューエルカット状態への変化、及び、フューエルカット状態から定常状態の変化の両方について検査してもよい。
【００５６】
【発明の効果】
本発明によれば、フューエルカット時のガスセンサの異常出力を検査効率が高く、安全で、測定の再現性が高く、机上で評価できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１に係るガスセンサの検査装置の構成を模式的に示したブロック図である。
【図２】本発明の実施例１に係るガスセンサの検査装置における治具を拡大した部分断面図である。
【図３】ガスセンサの構成を示した模式図である。
【図４】本発明の実施例１に係るガスセンサの検査装置の動作を説明するためのＮＯｘ濃度と時間の関係を模式的に示したグラフである。
【図５】本発明の実施例１に係るガスセンサの検査装置によって測定された合格品に係るガスセンサのＮＯｘ濃度と時間の関係を模式的に示したグラフである。
【図６】本発明の実施例１に係るガスセンサの検査装置によって測定された不合格品に係る第１のガスセンサのＮＯｘ濃度と時間の関係を模式的に示したグラフである。
【図７】本発明の実施例１に係るガスセンサの検査装置によって測定された不合格品に係る第２のガスセンサのＮＯｘ濃度と時間の関係を模式的に示したグラフである。
【符号の説明】
１  検査装置
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ  治具
１１  円筒状部材
１２  ノズル部材
１３  内周面部
１４  ネジ螺旋部
１５  段部
１６  排気孔
１７  ノズル孔
１８  バネ
２０  混合装置
３０、４０  ボンベ
５０  ガスセンサ
５１  コネクタ
５２  ネジ螺旋部
５３  Ｏリング
５４  プロテクタ
５５、５６  孔
５７  検出部
５８  ヒータ
５９  検出素子
６０  濃度検出装置
６１  コネクタ
７０、８０、９０  配管
５７１  第１拡散孔
５７２  第１測定室
５７３  第１酸素ポンプセル
５７４  第２拡散孔
５７５  第２測定室
５７６  第２酸素ポンプセル
５７７  酸素分圧検知セル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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