(57)【要約】【課題】カセットが載置位置からずれたり、カセットに収納されるウエハフレームの突出を防止するストッパ機構が解除されずに、カセット載置台に載置された場合には搬送時にウエハの損傷等が発生する恐れがある。【解決手段】本発明は、搬送時に回転シャフト６によりウエハフレーム３の突出防止するストッパ機構を備えるフレームカセット１又は通常のカセットを利用する載置台であり、カセット載置台２４の載置面に設けられた干渉部材３２により、フレームカセットの載置時にストッパ機構が解除されず回転シャフト６が干渉部材３２と干渉してフレームカセット１が浮き上がったり、位置決め部材２９ａ，２９ｂからずれて適正に載置されなかった場合には、カセット検出センサ２６ａ，２６ｂにより正しく載置されていないことが検出され、警告や搬送動作の禁止を行うカセット載置台及びこのカセット載置台を備える装置である。【選択図】    図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被処理体を収納するカセットを位置決めして載置するカセット載置台であって、
上記カセット載置台上に載置された上記カセットに収納される上記被処理体の搬出搬入を行う被処理体搬送部と、
上記カセット載置台の載置面上に設けられ、上記カセットの底面の当接によりカセットの載置状態を検出するカセット検出センサと、
上記カセット検出センサからの検出信号により載置状態を判断し、適正な載置状態でないと判断した際に、上記被処理体搬送部と、
で構成されることを特徴とするカセット載置台。
【請求項２】
複数の被処理体を収納可能で、該被処理体の前方に張り出す様に係止され、該被処理体の突出や滑り出しを防止するストッパ機構を有するカセットを載置するカセット載置台であって、
上記カセット載置台の載置面上に設けられ、上記カセットが所定位置に載置されるようにガイドする位置決め部材と、
上記載置面上に設けられ、上記カセットの底面の当接により載置状態を示唆する検出信号を出力するカセット検出センサと、
上記載置面上に設けられ、上記カセットが載置された際に、上記カセット内側で上記被処理体の前方に張り出している状態の上記ストッパ機構に干渉するように設けられる干渉部材と、
上記カセット検出センサからの検出信号により載置状態を判断し、適正な載置状態ではないと判断した際に、上記被処理体の搬送動作禁止を指示する制御部と、
で構成され、
上記カセット載置台に上記カセットを載置した際に、上記被処理体の前方に張り出している状態の上記ストッパ機構が上記干渉部材に乗り上げた場合には、不適正な載置状態と判断され、告及び上記被処理体の搬送動作が停止されることを特徴とするカセット載置台。
【請求項３】
上記被処理体は、半導体ウエハ又は、半導体ウエハが貼り付けられたウエハフレームであることを特徴とする請求項１又は２に記載のカセット載置台。
【請求項４】
複数の被処理体を収納するカセットを位置決めして載置するカセット載置台と、
上記カセット載置台の載置面上に設けられ、上記カセットの底面の当接によりカセットの載置状態を検出するカセット検出センサと、
上記カセット載置台に載置された上記カセットに収納される上記被処理体の搬出搬入を行う被処理体搬送部と、
上記被処理体搬送部より上記被処理体を受け取り、処理又は検査を行う処理・検査部と、
上記被処理体の搬送、処理・検査の制御を行う制御部と、
を具備し、
上記カセット検出センサからの検出信号に基づいて上記制御部が上記カセットの載置状態が不適正であると判断した際に、上記カセット載置台に上記カセットに備えられるストッパ機構が解除されずに載置された場合及び、上記位置決め部材に従って載置されていないと上記制御部が判断した場合に、上記制御部が上記被処理体搬送部における搬送動作を禁止することを特徴とするカセット載置台を備える装置。
【請求項５】
上記カセットには、上記被処理体の突出や滑り出しを防止するストッパ機構を備え、上記カセット載置台の載置面上には、上記カセットの内側で上記ストッパ機構に干渉する干渉部材を設け、上記カセット載置台へ上記カセットに備えられるストッパ機構が解除されずに載置された場合及び、上記位置決め部材に従って載置されていないと上記制御部が判断した場合に、上記制御部が上記被処理体搬送部の搬送動作を禁止することを特徴とする請求項４に記載のカセット載置台を備える装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハやウエハフレーム等の被処理体を複数収納するカセットを載置するカセット載置台に係り、特にカセットの載置状態による搬送エラーの改善に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体デバイスを製造するためのウエハ処理工程（前工程）においては、複数枚の半導体ウエハ（以下、ウエハ）をカセットに収納して、各製造工程間での受け渡しを行っている。このカセットは、その半導体製造工場、半導体製造装置や検査装置等の仕様に沿った様々な形状、材質のものが利用されている。
【０００３】
通常、このカセットには、２５枚から２６枚程度のウエハが収納され、半導体製造装置や検査装置のカセット載置台へは、自動搬送システム（搬送ロボットを含む）、または作業者により載置されている。
【０００４】
このカセット載置台に載置されたカセット内のウエハは、装置側に設けられた搬送機構の例えば搬送アームにより１枚ずつウエハが取り出され、処理位置や又は検査位置まで搬送されている。
【０００５】
カセットをカセット載置台へ載置する場合は、開口側が下向きになると、カセットからウエハが突出又は滑り出てしまう恐れがある。
【０００６】
また、カセットは、ウエハの一部が突出した状態のままで、カセット載置台にセットされて、ウエハの取り出し等の搬送を開始してしまうと、搬送アームに正しく受け渡されなくなる。
【０００７】
半導体製造工程における組立工程の中には、グラインディング工程でウエハ裏面を研削して厚さを薄くした後、ダイシング工程でウエハをチップ（ダイ）化する。このダイシング工程においては、前述したように薄化されたウエハがウエハテープを貼ったウエハフレームに貼り付けられて、専用のウエハフレームカセット（以下、フレームカセットと称する）に収納されている。このウエハフレームを利用するのは、薄化されたウエハは、非常に割れやすくなるため、搬送時の割れを防止するために用いられている。
【０００８】
このフレームカセットの場合も、ウエハフレームが突出したり滑り出てこないようにしなければならないが、ウエハカセットとは対処方法がやや異なっている。つまり、このフレームカセットは、ウエハフレームを収納するため、ウエハカセットと比較して大型で重量が重くなっている。従って、作業者がフレームカセットをカセット載置台に載置する際に、フレームカセットを傾けてしまう可能性がウエハカセットに比べて高くなる。
【０００９】
ウエハやウエハフレームのカラットからの突出を防止するために例えば、特許文献１に開示されるようなウエハフレームの突出、滑り出しを防止するためのストッパが設けられている。
【００１０】
この例では、ストッパはフレームカセットの背面から取り出す例であるが、フレームカセットの前面に設けて、カセット搬送時や載置時のウエハフレームからウエハフレームの突出や滑り出しを防止することができる。この例では、回動によりフレーム突出防止位置と、フレーム開放位置とのいずれかに設定される。このうち、フレーム突出防止位置に設定されたストッパは、ウエハカセット内に張り出している状態となる。
【００１１】
【特許文献１】
特開平８−０８０８９８号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
前述したフレームカセットを載置するカセット載置台側には、ストッパ機構がフレーム突出防止位置又は、フレーム開放位置のいずれに設定されているかを検出する機構を有していないため、作業者自身による確認作業となっている。
従って、載置の際に作業者がこの確認作業を怠ったり、不十分な確認作業であった場合には、フレーム突出防止位置に設定されたストッパ機構がウエハカセット内に張り出している状態のままとなっている。この状態で搬送動作を開始する操作すると、搬送アームがフレームカセット内のウエハフレームを受け取るためにカセット内に差し込まれる。この際に、ストッパ機構と搬送アームに持たれているウエハフレームとがぶつかり、フレームカセットを動かしたり、ウエハフレームに貼り付けられたウエハを損傷させてしまう等の重大な問題が発生する恐れがある。また、ストッパ機構がフレーム突出防止位置からフレーム開放位置までの途中にあった場合においても同様に、ウエハフレームの搬送に支障を生じさせることになる。
【００１３】
また、カセット載置台のカセット載置面には、フレームカセットが正しい位置に載置されるようにガイド部材（位置決め部材）が設けられている。このガイド部材に従ってフレームカセットが正しく置かれていなかった場合、フレームカセットの一部がガイド部材に乗り上げて傾いた状態となるため、搬送アームがウエハフレームにぶつかったり、ウエハフレームの中心位置が大きくずれるなど、搬送エラーを起こす虞がある。
【００１４】
そこで本発明は、複数の被処理体をを収納するカセットがカセット載置台上に適正に載置されていない場合や、被処理体の突出や滑り出しを防止するストッパ機構を有するカセットに対して、載置時にストッパ機構が解除されていない場合に搬送動作を禁止させることが可能なカセット載置台及びこのカセット載置台を備える装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために、
第１に、複数の被処理体を収納するカセットを位置決めして載置するカセット載置台であって、上記カセット載置台上に載置された上記カセットに収納される上記被処理体の搬出搬入を行う被処理体搬送部と、上記カセット載置台の載置面上に設けられ、上記カセットの底面の当接によりカセットの載置状態を検出するカセット検出センサと、上記カセット検出センサからの検出信号により載置状態を判断し、適正な載置状態でないと判断した際に、上記被処理体搬送部と、
で構成されることを特徴とするカセット載置台を提供する。
【００１６】
第２に、複数の被処理体を収納するカセットを位置決めして載置するカセット載置台と、上記カセット載置台の載置面上に設けられ、上記カセットの底面の当接によりカセットの載置状態を検出するカセット検出センサと、上記カセット載置台に載置された上記カセットに収納される上記被処理体の搬出搬入を行う被処理体搬送部と、上記被処理体搬送部より上記被処理体を受け取り、処理又は検査を行う処理・検査部と、上記被処理体の搬送、処理・検査の制御を行う制御部と、
を具備し、上記カセット検出センサからの検出信号に基づいて上記制御部が上記カセットの載置状態が不適正であると判断した際に、上記カセット載置台に上記カセットに備えられるストッパ機構が解除されずに載置された場合及び、上記位置決め部材に従って載置されていないと上記制御部が判断した場合に、上記制御部が上記被処理体搬送部における搬送動作を禁止するカセット載置台を備える装置を提供する。
【００１７】
以上のような構成において、上記第１の要旨によれば、カセットの搬送時には、フレーム突出防止位置に設定されているストッパ機構により、ウエハフレームの突出や滑り落ちが防止されている。このストッパ機構によりウエハフレームが係止されている状態でカセット載置台に載置した場合には、ストッパ機構がカセット載置台に設けられた干渉部材と干渉して、フレームカセットが正しく載置されていないと判断され、警告や搬送動作を禁止する制御が行われる。
【００１８】
第２の要旨によれば、カセット載置台を備えた装置は、カセット載置面上の所定位置にカセットが載置されなかった場合、又は、ストッパ機構が解除されずにカセットが載置された場合には、制御部の判断により操作部上の表示部から警告がなされると共に、搬送部における搬送動作が停止される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
本発明のカセット載置台は、複数の被処理体を収容し、これらの被処理体の突出や滑り出しを防止するストッパ機構を有するカセットに適用される。以下の説明では、被処理体をウエハが貼り付けられたウエハフレームを例として、また、カセットをフレームカセットを例として説明する。
【００２０】
図１は、本発明のカセット載置台に用いられるストッパ機構を有するフレームカセットの外観構成を示し、図２は、ストッパ機構の構成を示す図である。図３は、このフレームカセットを使用する装置の一例となるウエハ検査装置を上から見た外観構成を示す図である。図４は、本発明の実施形態となるフレームカセットを載置するカセット載置台の外観構成を示す図である。
【００２１】
図１に示すフレームカセット１は、２枚の側面部材１ａとこれらを上面、下面（載置面）で繋ぐ上・下支持部材１ｂとにより構成される。各側面部材１ａの内面側には、複数、例えば２５枚のウエハフレーム３を支持するための２５段の溝からなるフレーム支持部位２が設けられており、各溝にウエハフレーム３を収納する。このウエハフレーム３は、内側にウエハテープ４が設けられており、このウエハテープ４上には、ウエハ５が貼り付けられている。
【００２２】
フレームカセット１の一方の側面部材１ａの前方側（ウエハフレーム３を搬出搬入側）の上下には、切り欠き部７、９が設けられている。この切り欠き部７、９は、後述する回転シャフト６が側面部材１ａの上面及び下面からはみ出さないようにするために設けられている。
【００２３】
切り欠き部７、９の面上には、上下方向に同軸となる穴１１がそれぞれ設けられており、これらの穴１１には、図２（ｂ）に示すように回動可能なコの字型の回転シャフト６の両端が差し込まれている。以下の説明において、フレームカセット１からウエハフレーム３を搬入搬出可能な状態における回転シャフト６の位置を「フレーム開放位置」と称し、フレームカセット１からのウエハフレーム３の突出又は滑り出しを防止し、フレームカセット１の搬送可能な状態における回転シャフト６の位置を「フレーム突出防止位置」と称する。
【００２４】
図２（ａ）に示すように、図１のＡ方向から見たフレームカセット１の下面（載置面）側の切り欠き部９の面上には、回転シャフト６をフレーム突出防止位置に係止するための係止溝１０ａと、回転シャフト６をフレーム開放位置に係止するための係止溝１０ｂが設けられている。また、図２（ｂ）に示すように、切り欠き部７、９の段差部分の側面部材１ａの外側には、回転シャフト６をフレーム開放位置に係止したときに回転シャフト６の縦部分を収納するための溝８が上下方向に設けられている。これらの回転シャフト６、係止溝１０ａ、１０ｂ及び溝８によりストッパ機構が構成されている。
【００２５】
尚、図１において回転シャフト６を実線で示す状態又は図２（ａ）に示す状態は、回転シャフト６がフレーム突出防止位置にあり、フレームカセット１の搬送可能状態を示している。
【００２６】
一方、図１において回転シャフト６を点線で示す状態は、後述するカセット載置台２４の載置（又は、搭載）され、回転シャフト６におけるフレーム突出防止が解除されたフレーム開放位置にあり、フレームカセット１内からウエハフレーム３の搬入搬出が可能な状態を示している。
【００２７】
次に図３を参照して、このようなストッパ機構が設けられたフレームカセットを使用するウエハ検査装置の一例について説明する。
このウエハ検査装置は、ダイシング工程でウエハ５をチップ（ダイ）化する前に、ウエハ５の外観検査（傷等の検出）を行う装置である。
【００２８】
このウエハ検査装置は、大別して、エレベータ部２１、搬送部２２、検査部２３、及びこれらを制御する制御部（図示せず）とで構成される。エレベータ部２１は、フレームカセット１を載置するためのカセット載置台２４と、フレームカセット１内に収納された任意のウエハフレーム３を搬送部２２の搬送アーム（図示せず）に載せるためにカセット載置台２４を上下させる載置台駆動部２５とで構成される。検査部２３の前方には、複数の操作用キーと、動作状態や警告等を示すための表示部とが配置される操作部２８が設けられている。尚、この警告は、表示においては、光の点灯・点滅又は文字・記号による表示を行ってもよし、表示に換わって、ブザー音又は音声による警告アナウンスであってもよく、またこれらを組み合わせてもよい。
【００２９】
カセット載置台２４の載置面上には、後述する位置決め部材２９ａ，２９ｂとカセット検出センサ２６ａ，２６ｂが設けられている。これらのカセット検出センサ２６ａ，２６ｂは、フレームカセット１が位置決め部材２９ａ、２９ｂによりカセット載置台２４上に正しく（適正）位置決めされているか否かを検出する。制御部は、カセット検出センサ２６ａ、２６ｂから位置決め不適正を示す検出信号が送られると、操作部２８上の表示部により警告がなされると共に、搬送部２２における搬送動作を禁止する制御が行われる。この搬送動作の禁止は、フレームカセット１（回転シャフト６のフレーム開放位置設定を含む）が正しい位置に載置されない限り解除されないものとする。
【００３０】
作業者がカセット載置台２４へフレームカセット１を載置する直前に、ストッパ機構を解除する。そのフレームカセット１を載置面上に載置し、検査装置の操作部２８にて検査開始を指示すると、フレームカセット１内に収納されたウエハフレーム３が搬送部２２によって１枚取り出されて、検査部２３へ搬送される。検査部２３において検査が終了したウエハフレーム３は、搬送部２２によって元のフレームカセット１に戻される。
【００３１】
図４には、前述したカセット載置台の具体的な構成例を示し説明する。
このカセット載置台２４の載置面上には、フレームカセット１を載置する位置を定めるそれぞれ一対の前方側位置決め部材２９ａ及び後方側位置決め部材２９ｂと、カセット載置台２４にフレームカセット１が適正に載置されたことを検知するためのカセット検出センサ２６ａ，２６ｂと、フレームカセット１内からウエハフレーム３が一定量以上突出していないことを検知するためのフレーム突出センサ２７が設けられている。また、載置面中央には、フレームカセット１の下支持部材１ｂ（図示せず）により位置決めを行うための中央位置決め部材３３が設けられている。
【００３２】
このカセット検出センサ２６ａ，２６ｂは、前方側位置決め部材２９ａの近傍で、フレームカセット１の両方の側面部材１ａに押されてオンするように配置されており、フレームカセット１が適正に載置され、カセット載置台２４の載置面にフレームカセット１の底面全体が接触しないと両方のカセット検出センサ２６ａ，２６ｂがオンしないように調整されている。
【００３３】
さらに、カセット載置台２４の載置面上において、ストッパ機構が設けられた切り欠き部９の下面と対向するように矩形形状の干渉ベース部材３２ａが設けられている。
【００３４】
更に、干渉ベース部材３２ａ上には、欠き部９の下方を除き、フレーム支持部位２側から側面部材１ａの前方側にかけるＬ字型形状のシャフト干渉部材３２ｂが設けられている。干渉ベース部材３２ａ及びシャフト干渉部材３２ｂからなる干渉部材３２は、回転シャフト６がフレーム突出防止位置を含むフレーム支持部位２側のフレームカセット１内に存在した状態でカセット載置台２４の載置面に載置されると、回転シャフト６がシャフト干渉部材３２ｂに乗り上げて、側面部材１ａの一方が傾いた状態となり、フレームカセット底面の全面が接触できないようにしている。これにより、カセット検出センサ２６ｂがオンせず、回転シャフト６がウエハフレーム３の搬送を妨害するフレーム突出防止状態にあることを前述した装置の制御部が判断する。この判断により、操作部２８上の表示部で警告表示が行われ、ウエハフレーム３の搬送動作が禁止される。尚、回転シャフト６がシャフト干渉部材３２ｂに当接しない位置、例えば、側面部材１ａの外側にあり、ウエハフレーム３の搬送を妨害しなければ、必ずしも溝８に係止（嵌合）していなくとも、搬送禁止とはならないが、ウエハフレーム３の搬送時には、回転シャフト６が溝８に係止されていることが好ましい。
【００３５】
以上説明したように、本実施形態によれば、フレームカセット１がストッパ機構によりウエハフレーム３を係止しているフレーム突出防止状態で装置のカセット載置台に載置された場合には、ストッパ機構が載置台に設けられた干渉部材と干渉して、フレームカセット１が正しく載置されない。これにより、載置の際に作業者がストッパ機構の解除（回転シャフトのフレーム開放位置設定）の作業を怠ったり、解除の確認が不十分であった場合、フレームカセット１が正しい位置に載置されずに、フレームカセット１に傾きが生じ、カセット検出センサ２６ａ、２６ｂによりフレームカセット１の載置異常を確実に検出でき、搬送エラーの発生を防止することができる。
【００３６】
尚、本実施形態では、ウエハが貼り付けられたウエハフレームを収納するフレームカセットを例として説明しているが、単にウエハを収納するウエハカセットにも簡単に適用することができる。また、本発明のカセット載置台は、ストッパ機構を備えていないカセットがカセット載置台面上に適正に載置されていなかった場合でも、カセット検出センサ２６ａ、２６ｂによりカセットの載置異常を確実に検出して搬送を禁止することができる。
【００３７】
また、カセット検出センサ２６ａ，２６ｂは、下支持部材１ｂの下面と対向する位置又は、両端の側面部材１ａの下面と対向する位置に配置されて、フレームカセット１の側面部材１ａ又は下支持部材１ｂを検出するように配置してもよい。特に、サイズの異なるフレームカセット等を扱うことができる汎用性のあるカセット載置台においては、カセット検出センサの位置は、共通してカセットを検出できる位置が好ましく、例えば、下支持部材１ｂの下面と対向するカセット載置台２４の中央近傍等が考えられる。
【００３８】
また、本実施形態では１台のウエハ検査装置におけるカセット載置台を例として説明しているが、製造ラインのシステムとして構築されている場合には、このカセット載置台の搬送エラー情報をホストコンピュータに伝送して、システムとして管理することも容易にできる。
【００３９】
次に図５を参照して、本発明の実施形態におけるカセット載置台に用いられるストッパ機構を有するフレームカセットの変形例について説明する。
【００４０】
前述したフレームカセット１の回転シャフト６におけるフレーム開放位置とフレーム突出防止位置の切り換えは、回動距離が長く作業者によることが前提であった。図５に示す変形例では、自動搬送システムにおけるカセット搬送ロボットに対応可能な構成のフレームカセットについて説明する。ここでは、ストッパ機構についてのみ示し、これ以外の構成は、前述したフレームカセット１と同等であり、ここでの説明は省略する。
【００４１】
図５（ａ）に示すように、ストッパ機構の回転シャフト４１は、回転シャフト６と同様に、側面部材の前方の上下に設けられた切り欠き部の面上に、上下方向に同軸となる穴がそれぞれ形成され、これらの穴に回動可能に回転シャフト両先端が差し込まれている。
【００４２】
差し込まれた回転シャフト４１の両先端又は一方の先端部分には、穴の中にコイルばね４５が設けられて、ストッパ４３に押し付けられる回動方向に付勢されている。この回転シャフト４１は、ウエハフレーム（図示せず）に当接する縦シャフト部分、この縦シャフト部分を上下で支持する支持シャフト部分によるコ字型状となっている。この支持シャフト部分は、屈曲された例えば、くの字型に外側に折れ曲げられている。このくの字型形状にすることにより、図１に示すようなウエハフレーム３が滑り出てきた際に、ウエハフレーム角のアール部分が縦シャフト部分を外側に向かう様に押すことになるため、回転シャフト４１はストッパ４３に押し付けられた状態を維持し、外部へウエハフレーム３が滑り出ることを防止する。この時の回転シャフト４１は、フレーム突出防止位置にあるものとする。
【００４３】
また、回転シャフト４１の上側の支持シャフト部分には、カセット搬送ロボット等（図示せず）が回転シャフト４１の回動動作を容易に行えるようにするために、搬送ロボットの可動部位と連結するためのつめ部４２が設けられている。
【００４４】
図５（ｂ）は、フレームカセット１が装置のカセット載置台に載置されている状態を示している。カセット搬送ロボットの可動部位が、回転シャフト４１のつめ部４２を押して回動させて、回転シャフト４１の縦シャフト部分が側面部材の前方まで回動された状態を維持しつつ、カセット載置台に載置する。
この時の回転シャフト４１は、フレーム開放位置にあるものとする。このカセット載置台の載置面上には、図１に示した干渉部材３２ｂに相当する干渉部材４７が設けられており、回転シャフト４１が回動して元の状態（図２（ａ）に示す状態）へ戻らないように保持する。
【００４５】
この干渉部材４７を載置面に設けることにより、回転シャフト４１がフレーム突出防止位置にある、又は少なくともフレーム支持部位２側に回転シャフト４１がある場合に、カセット載置台の載置面に載置すると、回転シャフト４１が干渉部材４７に乗り上げて、側面部材の一方が傾いた状態となり、フレームカセット底面の全面を接触させることができなくなる。これにより、カセット検出センサ２６ａ，２６ｂがオンせず、回転シャフト４１がウエハフレーム３の搬送を妨害するフレーム突出防止状態にあることを前述した装置の制御部が判断して、警告及び搬送動作を禁止する。
【００４６】
また、検査や処理の終了後に、フレームカセット１を搬送ロボットが持ち上げると、回転シャフト４１は、バネ４５の付勢力により回動して、図５（ａ）に示すフレーム突出防止位置に戻る。
【００４７】
図５（ｃ）に示すように、側面部材の前方の上側に設けられた切り欠き部の面上において、回転シャフト４１の回動範囲内に開放位置係止部材４４を設ける。
【００４８】
この開放位置係止部材４４は、上下可動ができ、側面部材内に設けられたばね４６により上方に押し上げるように付勢されている。
【００４９】
この開放位置係止部材４４は、フレームカセット１をカセット載置台に載置しない状態で、作業者がウエハフレームの出し入れを行う場合など使用する。開放位置係止部材４４は、回動に伴い回転シャフト４１が当接し、一旦押し下げられるが、ばね４６により上方に押し戻され、回転シャフト４１を開放位置で係止する。また、開放位置係止部材４４を作業者が指等で押し下げると、回転シャフト４１は、回動して元の状態（図５（ａ）に示すフレーム突出防止位置の状態）へ戻る。尚、付勢力の異なるバネ４５に入れ替えることにより、この元の状態に戻る速さを容易に調整することができる。
【００５０】
以上説明したように、本変形例は、前述した実施形態と同様な作用効果を得ることができる。
【００５１】
さらに、ストッパ機構のフレーム突出防止位置とフレーム開放位置の切り換えが容易であり、自動搬送システムにも好適する。また、作業者によりストッパ機構の位置切り換え操作を行わなくとも、カセット載置台に載置されている以外は、通常でフレーム突出防止位置に設定されているため、ウエハフレームの突出や滑り出しを防止することができる。また、作業者等によるウエハフレームの出し入れの際には、開放位置係止部材によりストッパ機構を開放状態を維持させることができ、作業が容易になる。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、カセットがカセット載置台に適正に載置されているかを確実に検出し、また、被処理体の突出や滑り出しを防止するストッパ機構を有するカセットに対して、載置時にストッパ機構がフレーム開放位置にあるか検出し、被処理体の搬送に支障を生じさせるフレーム突出防止位置や不適正なカセット載置である場合に、搬送動作を禁止させることが可能なカセット載置台及びこのカセット載置台を備える装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカセット載置台に用いられるストッパ機構を有するフレームカセットの外観構成を示す図である。
【図２】フレームカセットのストッパ機構の構成を示す図である。
【図３】フレームカセットを使用する装置の一例となるウエハ検査装置を上から見た外観構成を示す図である。
【図４】本発明の実施形態となるフレームカセットを載置するカセット載置台の外観構成を示す図である。
【図５】本発明のカセット載置台に用いられるストッパ機構を有するフレームカセットの外観構成を示す図である。
【符号の説明】
１…フレームカセット、１ａ…側面部材、１ｂ…上・下支持部材、２…フレーム支持部位、３…ウエハフレーム、４…ウエハテープ、５…ウエハ、６…回転シャフト、７，９…切り欠き部、８…溝、１０ａ，１０ｂ…係止溝、１１…穴、２１…エレベータ部、２２…搬送部、２３…検査部、２４…カセット載置台、２５…載置台駆動部、２６ａ，２６ｂ…カセット検出センサ、２７…フレーム突出センサ、２８…操作部、２９ａ，２９ｂ…位置決め部材、３２…干渉部材、３３…中央位置決め部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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