(57)【要約】【課題】精密圧力計測機器の圧力がゼロにおける指示値を正確に計測することができる精密圧力計測機器の校正装置を実現する。【解決手段】校正装置５１は、重錘型圧力標準器１０３から精密圧力計測機器５２を介して流入する液体を受けるホルダー５３と  ホルダー５３を上下動可能に支持し、目盛が設けられた支持台５４と、を備え、重錘を載置しない場合における重錘型圧力標準器１０３の圧力定義位置の高さと、精密圧力計測機器５２の位置の高さと、ホルダー５３内に流入されホルダー５３内に受けられた液体の液面８４の高さと、が、同じになるようにホルダー５３を設定し、液面８４の高さを目盛で計測することにより、精密圧力計測機器５２の圧力がゼロにおける指示値を校正する。【選択図】    図１
2004205454.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定圧力をピストン・シリンダ機構により力に変換し、この力を重錘に働く重力と釣り合わせて計ることにより、圧力値を求める重錘型圧力標準器を用いて、精密圧力計測機器の指示値を校正する校正装置であって、
該重錘型圧力標準器から該精密圧力計測機器を介して流入する液体を受けるホルダーと、
該ホルダーを上下動可能に支持し、目盛が設けられた支持台と、
を備え、
重錘を載置しない場合における該重錘型圧力標準器の圧力定義位置の高さと、該精密圧力計測機器の位置の高さと、該ホルダー内に流入され該ホルダー内に受けられた液体の液面の高さと、が、同じになるように該ホルダーを設定し、該液面の高さを該目盛で計測することにより、該精密圧力計測機器の圧力がゼロにおける指示値を校正することを特徴とする精密圧力計測機器の校正装置。
【請求項２】
前記ホルダーは、
前記液体を受ける器となっている本体と、
該本体の下方に形成され、断面が最下端部に行くほど小さくなる本体下部と、から成り、
該ホルダーには、前記液体が流入する流入孔と、薄刃状の縁を有するオリフィスと、が設けられ、該ホルダーの該オリフィスよりも下方に位置する外周面には溝が形成され、さらに、該オリフィス下方に続く器となっている該本体の内周面が、テーパ状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の精密圧力計測機器の校正装置。
【請求項３】
前記溝は、前記本体の外周面の全周及び、該全周の少なくとも一カ所から前記本体下部の最下端部まで形成されていることを特徴とする請求項２記載の精密圧力計測機器の校正装置。
【請求項４】
前記ホルダーの最下端部には、前記液体を導く案内部材が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の精密圧力計測機器の校正装置。
【請求項５】
前記溝の凹部の角のうち、地面に対して、より上側の方に位置する角は、なだらかに形成されていることを特徴とする請求項２又は３記載の精密圧力計測機器の校正装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、精密圧力計測機器の表示値を校正する装置に関し、特には、精密圧力計測機器の圧力がゼロにおける指示値を正確に計測するための校正装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、重錘型圧力標準器を用いて、各種圧力計の検査・校正が行われている。重錘型圧力標準器は、測定圧力をピストン・シリンダ機構により力に変換し、この力を重錘に働く重力と釣り合わせて計ることにより、圧力値を求めるものであり、重錘型圧力計、圧力天秤等とも呼ばれている。重錘型圧力標準器は、重錘を乗せるピストン・シリンダ部を基本構成要素とし、通常、これに配管系、加圧ポンプ等の圧力発生部を付帯させて構成されている。
【０００３】
図４は、従来から用いられている重錘型圧力標準器の模式的な断面図である。この重錘型圧力標準器は、地面に設置されたヘッド２５上に設けられ、試験圧力の標準となる重錘２０を載置するピストン２１ａと、ピストン２１ａが挿入されるシリンダ２１と、目盛定めや圧力指示値の校正を受ける圧力計１０と、圧力計１０への管路を開閉するバルブ９と、圧力を伝達する液体のタンク１及びタンク１への管路を開閉するバルブ２と、圧力伝達を行う液体の液体路２２と、試験圧力を発生させる圧力発生部であるピストン２３、シリンダタンク２６、及びハンドル２４と、で構成されている。
【０００４】
図４（ａ）に示されるように、校正を行う試験圧力に相当する重錘２０をピストン２１ａ上に載置し、ハンドル２４を操作してピストン２３の吐出圧力を増加させる。すると、重錘２０がピストン２１ａと共に押し上げられ、圧力を伝達する液体の液圧と平衡する。このときの圧力計１０の指示値がおよそ重錘２０相当の圧力となる。校正が終了したとき、ハンドル２４を逆方向に操作してピストン２３の吐出圧力を低下させて重錘２０とピストン２１ａとを下げる。
【０００５】
次に、他の試験圧力による校正を行うときは、試験圧力に相当する重錘２０をピストン２１ａ上に載置して、上記と同様の操作を行い、該当圧力の校正を行う。上記の通り、順次校正を行う試験圧力に相当する重錘２０を選定して、各種圧力計の目盛定めや圧力指示の校正を行うようになっている。
【０００６】
このような重錘型圧力標準器において、図４（ｂ）に示すように、重錘２０がピストン２１ａ上に載置されていない場合は、圧力がゼロ（以下、ゼロ圧力という）の場合である。ゼロ圧力の場合、ピストン２１ａの底面が接する液体の液面３０の地面からの高さ位置が、校正されるべき圧力計の指示値の基準となる圧力定義位置（以下、圧力定義レベル、又は、リファレンスレベルという）となる。一方、ゼロ圧力の状態のとき、重錘型圧力標準器において、タンク１内の液体の液面３１の地面からの高さ位置が、ゼロ圧力時の圧力定義位置（以下、ゼロ圧力定義位置、又は、ゼロリファレンスレベルという）となる。
【０００７】
なお、上記に関連する従来技術としては、例えば、指示値を校正すべき精密圧力計の受圧部と、圧力標準器である油圧式基準重錘型圧力計の油圧との中間に、窒素ガス等気体を介在させることにより、校正作業の時間を短縮し、校正の精度を向上する精密圧力計の校正装置が開示されている（例えば特許文献１参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開昭５１−１３６４６７号公報（第１頁第２欄、第１図）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、精密圧力計が用いられることが多くなり、特に、デジタル式の絶対油圧計等は、簡便なためその利用度が高くなっている。このようなデジタル式等の精密圧力計では、ゼロ圧力時における指示値を正確に計測することが要求される。
【００１０】
しかし、前述したように、リファレンスレベルとゼロリファレンスレベルとの定義が異なるため、ゼロ圧力時において、両者の高さ位置が異なる場合が生じる。圧力媒体が液体の場合、この両者の高さの差により生じる圧力値の誤差は、無視できないほど大きいため、この圧力値の誤差を求めて補正をする等の処理が必要である。しかし、重錘型圧力標準器において、ゼロリファレンスレベルの高さを計測することは難しい。これは、重錘型圧力標準器において、ゼロリファレンスレベルにある液体の液面の高さ位置を正確に計測する手段が従来なかったこと、又は、ゼロリファレンスレベルにある液体の液面が位置している配管が外から見えないため、この液面の高さを計測できないこと等の理由による。
【００１１】
このため、リファレンスレベルの高さとゼロリファレンスレベルの高さとの差により生じる圧力値の誤差を補正することができず、従来、ゼロ圧力又はゼロ圧力近傍における圧力計の指示値は、正確に計測できないという問題があった。
【００１２】
本発明は、上記に鑑み、精密圧力計測機器の圧力がゼロにおける指示値を正確に計測することができる精密圧力計測機器の校正装置を実現することを課題とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、測定圧力をピストン・シリンダ機構により力に変換し、この力を重錘に働く重力と釣り合わせて計ることにより、圧力値を求める重錘型圧力標準器を用いて、精密圧力計測機器の指示値を校正する校正装置であって、該重錘型圧力標準器から該精密圧力計測機器を介して流入する液体を受けるホルダーと該ホルダーを上下動可能に支持し、目盛が設けられた支持台と、を備え、重錘を載置しない場合における該重錘型圧力標準器の圧力定義位置の高さと、該精密圧力計測機器の位置の高さと、該ホルダー内に流入され該ホルダー内に受けられた液体の液面の高さと、が、同じになるように該ホルダーを設定し、該液面の高さを該目盛で計測することにより、該精密圧力計測機器の圧力がゼロにおける指示値を校正することを特徴とする精密圧力計測機器の校正装置を提供する。
【００１４】
前記ホルダーは、前記液体を受ける器となっている本体と、該本体の下方に形成され、断面が最下端部に行くほど小さくなる本体下部と、から成り、該ホルダーには、前記液体が流入する流入孔と、薄刃状の縁を有するオリフィスと、が設けられ、該ホルダーの該オリフィスよりも下方に位置する外周面には溝が形成され、さらに、該オリフィス下方に続く器となっている該本体の内周面が、テーパ状に形成されていることが好ましい。
【００１５】
前記溝は、前記本体の外周面の全周及び、該全周の少なくとも一カ所から前記本体下部の最下端部まで形成されていることが好ましい。
【００１６】
前記ホルダーの最下端部には、前記液体を導く案内部材が設けられていることが好ましい。
【００１７】
前記溝の凹部の角のうち、地面に対して、より上側の方に位置する角は、なだらかに形成されていることが好ましい。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明に係る精密圧力計測機器の校正装置の実施の形態を実施例に基づいて図面を参照して説明する。
本発明は、精密圧力計測機器の圧力がゼロにおける指示値を正確に計測するための精密圧力計測機器の校正装置であるが、まず、本発明の基本原理について説明する。
【００１９】
ゼロ圧力時において、前述したように、リファレンスレベルとゼロリファレンスレベルとの高さの差が生じることにより、圧力値の誤差が生じる。この圧力値の誤差の大きさは、ρ×ｇ×ｈで表される。ここで、ρは、重錘型圧力標準器の液体の密度であり、ｇは重力加速度、ｈは、リファレンスレベルとゼロリファレンスレベルとの高さの差である。
【００２０】
本発明は、上記原理を利用するものであり、本発明の校正装置によりゼロリファレンスレベルの高さ位置を計測することにより、ゼロ圧力時における精密圧力計測機器の指示値を正確に校正する。また、リファレンスレベルを基準として、リファレンスレベルとゼロリファレンスレベルとの高さの差を小さくして、この高さの差により生じる圧力値の誤差を小さくする。これにより、ゼロ圧力時において、精密圧力計測機器の指示値に生じる誤差を小さくする。
【００２１】
（実施例）
図１は、本発明の１実施例に係る精密圧力計測機器の校正装置（以下、単に校正装置という。）の使用状態を示す模式的な側面図である。本発明の校正装置５１を用いて、ゼロ圧力時における精密圧力計測機器５２の指示値を校正する。被構成機器となる精密圧力計測機器５２は、例えば、デジタル式の絶対油圧計である。本発明の校正装置５１を用いた精密圧力計測機器５２の指示値の校正に際し、重錘型圧力標準器１０３が、準備される。なお、図１では、校正装置５１及び精密圧力計測機器５２の側面図が示され、便宜上、重錘型圧力標準器１０３のみ、断面図が示されている。
【００２２】
図１に示すように、重錘型圧力標準器１０３、精密圧力計測機器５２、及び校正装置５１は、それぞれ、地面上に並設される。重錘型圧力標準器１０３は、ヘッド１２５上に載置されており、重錘を載置するピストン１２１ａと、ピストン１２１ａが挿入されるシリンダ１２１と、精密圧力計測機器５２へ繋がる管１０４の管路を開閉するバルブ１０９と、圧力を伝達する液体のタンク１０１及びタンク１０１への管路を開閉するバルブ１０２と、圧力伝達を行う液体の液体路１２２と、圧力発生部であるピストン１２３、シリンダタンク１２６、及びハンドル１２４と、を含む。
【００２３】
重錘型圧力標準器１０３に接続されている管１０４は、精密圧力計測機器５２に取り外し可能に接続されている。バルブ１０９を開閉することにより、重錘型圧力標準器１０３内の液体を精密圧力計測機器５２に流入させることができる。この液体には、例えば、３０℃ぐらいの温度でも１ＧＰａ程度の圧力まではその液体の粘度が変化しないものが用いられる。
【００２４】
一方、本発明に係る校正装置５１は、ホルダー５３と、支持台５４とを備える。ホルダー５３の内側は、器になっており、支持台５４に上下動可能に支持されている。校正装置５１は、精密圧力計測機器５２と、管５５により取り外し可能に接続されている。管５５には、バルブ５６が設けられており、バルブ５６を開閉することにより管５５の管路を開閉して、重錘型圧力標準器１０３から精密圧力計測機器５２を介して液体をホルダー５３内に流入させることができる。
【００２５】
ホルダー５３は、器になっているため、管５５から流入して来た液体を受けることができる。ホルダー５３には、オリフィス（図１には図示せず。後述する図３参照）が設けられており、ホルダー５３が受けることができる液量よりも多くの液量が流入してきた液体を、このオリフィスから外部へ流出させる。ホルダー５３から流出した液体は、支持台５４の下部に載置された受け皿６０内に溜まる。
【００２６】
本発明の校正装置５１について、図２及び図３を用いて、さらに詳しく説明する。図２（ａ）（ｂ）は、校正装置５１の正面から見た断面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。なお、図２（ｂ）に示されるホルダー５３については断面図が示されている。また、図３（ａ）（ｂ）は、ホルダー５３の縦断面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。校正装置５１は、液体を受ける器となっているホルダー５３と、ホルダー５３を上下動可能に支持する支持台５４とを備える。支持台５４は、土台５９と、上下動シャフト６２と、２本のリニアシャフト６１と、ホルダー支え６５と、を含む。
【００２７】
図２に示されるように、棒状の上下動シャフト６２は土台５９の中央部に設けられ、２本のリニアシャフト６１は、それぞれ、土台５９上であって上下動シャフト６２の両側に、上下動シャフト６２と平行に設けられる。ホルダー支え６５は、リニアシャフト６１間に橋渡しされており、リニアシャフト６１上で上下動可能にネジ止め等により固定されている。
【００２８】
ホルダー支え６５には、片持ち梁状の突き出し部６５ａが設けられており、突き出し部６５ａの先端６５ｂに開けられた孔にホルダー５３がはめ込まれてネジ止め等により固定されている。このようにして、ホルダー支え６５が前方に突き出した突き出し部６５ａを介して、支持台５４にホルダー５３を上下動可能に支えている。
【００２９】
上下動シャフト６２には、ネジが切られており、ホルダー支え６５は、両側のリニアシャフト６１に支持されつつ、上下動シャフト６２上を上下動可能である。上下動シャフト６２の上方に位置する、支持台５４の上端部付近には、ホルダー５３を上下動シャフト６２上で上下動させるための上下動ハンドル６３、及び、ホルダー５３を上下動シャフト６２の所定位置で固定するストッパーノブ６４が設けられている。上下動ハンドル６３を回してホルダー５３を上下動シャフト６２上で移動させ、所望の位置でストッパーノブ６４により固定する。こうして、ホルダー５３の高さ位置を容易に調整することができる。
【００３０】
リニアシャフト６１，上下動シャフト６２、及びホルダー支え６５は、カバー６６により覆われている。カバー６６の側面には、ホルダー５３の地面からの高さ位置を計測するための目盛板が設けられている。
【００３１】
また、ホルダー支え６５により支持されているホルダー５３の真下方向であって、土台５９上には、ホルダー５３から流出した液体を受けるための受け皿６０が載置されている。
【００３２】
図３に示されるように、ホルダー５３は、本体５３ａと本体下部５３ａとから成る。ホルダー５３は、例えばステンレスで形成される。ホルダー５３の本体５３ａの内側は、器になっており、重錘型圧力標準器１０３から精密圧力計測機器５２を介して流入してきた液体を受けることができる。器となっている本体５３ａの開口部８９は、中央に孔の空いた蓋８８で塞がれている。蓋８８は、例えばアクリル板で形成される。また、本体５３ａの外周面５３ｆには、ホルダー５３をホルダー支え６５に固定するための溝９０が形成されている。
【００３３】
本体下部５３ｂは、本体５３ａの下方に続けて形成されている。地面と平行な方向における本体下部５３ｂの断面の面積は、本体下部５３ｂの最下端部５３ｃに行くほど小さくなっている。本実施例では、本体５３ａは円筒形状に形成され、本体下部５３ｂは、頂点を下向きにした円錐形に形成されており、本体下部５３ｂの最下端部５３ｃが、円錐の頂点となる。
【００３４】
器になっているホルダー５３の本体５３ａには、液体が流入する流入孔８０と、液体が流出するオリフィス８１とが設けられている。流入孔８０は、器となっている本体５３ａの内側側面の最下部５３ｇに設けられ、流入孔８０を通じて、管５５（図１参照）から液体を流入させる。オリフィス８１は、液体を噴出させる孔であり、薄刃状の縁８１ａを有する。このオリフィス８１から、器となっている本体５３ａが受けることができる以上に流入してきた液体を外部へ流出させる。
【００３５】
オリフィス８１の薄刃状の縁８１ａから、器となっている本体５３ａの内側へ延びる内面５３ｄは、テーパ状に形成される。流入孔８０からホルダー５３内に液体が流入すると、ホルダー５３内で液体が受けられ、余分に流入した液体は、オリフィス８１から外部へ流出する。したがって、オリフィス８１の薄刃状の縁８１ａの高さまでホルダー５３内に受けられた液体の液面８４が来る。このとき、薄刃状の縁８１ａを有するオリフィス８１及びテーパ状の内面５３ｄにより、液面８４に生じる表面張力が緩和されるため、液面８４は、ほぼ水平になる。
【００３６】
オリフィス８１よりも下方に位置するホルダー５３の外周面５３ｆには、全周にわたって溝８３ａが形成されており、さらに、この全周にわたって形成された溝８３ａの少なくとも一カ所８３ｃから、本体下部５３ｂの最下端部５３ｃまで溝８３ｂが形成されている。さらに、詳しく溝８３ｂについて説明すると、本実施例では、円柱形状の本体５３ａ（図３（ａ）（ｂ）ではホルダー５３の左側面）に設けられたオリフィス８１からおよそ左右に９０度離れた外周面５３ｆ（図３（ｂ）ではホルダー５３の真正面及び図示されない真正面と反対側の面）上の、溝８３ａの一カ所８３ｃから最下端部５３ｃまで、溝８３ｂが形成されている。
【００３７】
つまり、図３（ｂ）では、溝８３ａと共に、ホルダー５３の真正面に縦方向に１本のみ溝８３ｂが図示されているが、ホルダー５３の真正面とは反対側の外周面５３ｆ（図示せず）にも同様に溝８３ｂが形成されている。
【００３８】
溝８３ａ、８３ｂの凹部８３ｄの断面形状の例を図３（ｃ）（ｄ）に示す。溝８３ａ、８３ｂを形成するとその凹部８３ｄには、角８４ａ〜８４ｄ、８５ａ、８５ｂができるが、これらの角８４ａ〜８４ｄ、８５ａ、８５ｂのうち、地面に対して、より上側の方に位置する角８４ｃ、８４ｄ、８５ｂは、なだらかに形成されている（尖った角がとれている。即ち、角２丸みがつけられて曲面に形成されている。）。溝８３ａ、８３ｂの凹部の幅及び深さは、例えば３ｍｍである。なお、本明細書では、地面は、図３（ａ）〜（ｄ）では、紙面の下方に位置する。
【００３９】
これらの溝８３ａ、８３ｂは、ホルダー５３内からオリフィス８１を介して流出した余分な液体を流れ込ませるためのものである。液体は、オリフィス８１からオリフィス８１下方のホルダー５３の外周面５３ｆを伝って溝８３ａに流れ込む。溝８３ａ、８３ｂのより上側の方の角８４ｃ、８４ｄ、８５ｂから、溝８３ａ、８３ｂ内に液体が流れ込んで来たとき、液体の粘度のため、重力により液体を下方（地面方向）に引っ張る力が働く。しかし、液体が流れ込んでくる溝８３ａ、８３ｂのより上側の方の角８４ｃ、８４ｄ、８５ｂが、なだらかに形成されているので、角８４ｃ、８４ｄ、８５ｂを伝う液体が重力により引っ張られる力を緩和させることができる。
【００４０】
液体は、溝８３ａから、さらに溝８３ｂに流れ込み、本体下部５３ｂの最下端部５３ｃへと流れていく。液体は、溝８３ａ、８３ｂを流れるので、この液体が、ホルダー５３の外周面５３ｆを伝って、外周面５３ｆを汚すことを防ぐ。
【００４１】
また、前述したように、ホルダー５３の外周面５３ｆにおいて、溝８３ｂが、溝８３ａの一カ所８３ｃから下方に向かって本体下部５３ｂの最下端部５３ｃまで形成されている。このため、オリフィス８１から流出した液体が溝８３ａから溝８３ｂをつたって下方に流れ、オリフィス８１から見て反対側（オリフィス８１から左右に９０度以上離れた側）のホルダー５３の外周面５３ｆに形成された溝８３ａまで、液体が流れて行くことが少なくなる。したがって、この反対側のホルダー５３の外周面５３ｆが液体で汚れることを防ぎ、全体として液体で汚れるホルダー５３の外周面５３ｆの面積を少なくすることができる。
【００４２】
ホルダー５３の最下端部５３ｃには、この液体を導く案内部材８７が設けられている。さらに、具体的に言うと、案内部材８７として例えば、糸が用いられ、この糸が最下端部５３ｃに装着されたプラグ５３ｈの孔５３ｅにネジ止め等により止められる。この糸は取り替え可能である。案内部材８７である糸をつたって落下した液体は、支持台５４の土台５９上に載置されている受け皿６０（図２参照）で受けられる。
【００４３】
溝８３ａ及び溝８３ｂを流れてきた液体は、案内部材８７をつたって落下するので、案内部材８７を設けない場合に比べ、粘度が大きい液体が重力に引っ張られることを緩和する効果がある。
【００４４】
（作用）
次に、図１から図３を参照しつつ、本発明の作用について説明する。図１に示されるように、本発明の校正装置５１を重錘型圧力標準器１０３及び精密圧力計測機器５２と共に、地面上に並設する。重錘型圧力標準器１０３において、ピストン１２１ａが接する液面１２７の地面からの高さ位置がリファレンスレベル（圧力定義レベル）であり、このリファレンスレベルの地面からの高さ位置は、正確に計測することが可能である。
【００４５】
精密圧力計測機器５２は、例えば台４９の上に載置して、精密圧力計測機器５２の高さが上記リファレンスレベルの高さ位置と同じになるようにする。さらに、校正装置５１のホルダー５３が上記リファレンスレベルの高さ位置とほぼ同じになるように上下動ハンドルを回してホルダー５３を支持台５４上で上下動させ、ストッパーノブ６４で固定して、大まかに高さ調整する。
【００４６】
そして、重錘型圧力標準器１０３に重錘を載置しない状態において、ハンドル１２４を用いてやや圧力をかけ重錘型圧力標準器１０３内の液圧を精密圧力計測機器５２内の液圧よりも高くなるように調整した後、バルブ１０９及びバルブ５６を開く。すると、重錘型圧力標準器１０３内の液体は、管１０４を介して精密圧力計測機器５２へ、さらに、管５５を介してホルダー５３内に流れ込む。このとき、重錘型圧力標準器１０３内の液圧を精密圧力計測機器５２内の液圧よりもやや高くなるように調整したため、精密圧力計測機器５２内の汚れた液体が管１０４を介して重錘型圧力標準器１０３内に逆流しない。したがって、重錘型圧力標準器１０３内に精密圧力計測機器５２からの汚れた液体が流入して重錘型圧力標準器１０３が汚れることを防止できる。
【００４７】
ホルダー５３内に流入孔８０を介して流入して来た液体は、器となっているホルダー５３内で受けられる。ホルダー５３を支持台５４上で上下動ハンドル６３を用いて上下動させ、ホルダー５３内に流入してきた液体の液面８４がオリフィス８１の薄刃状の縁８１ａまで来るように、ホルダー５３の高さ位置を精密に調整する。重錘型圧力標準器１０３及び精密圧力計測機器５２から校正装置５１へ流入してくる液体の流れが止まり、平衡状態になったら、目盛板６７により液面８４の高さ位置を計測する。
【００４８】
前述したように、ホルダー５３にはテーパ状の内面５３ｄ及び薄刃状の縁８１ａを有するオリフィス８１が設けられ、液面８４に生じる表面張力を緩和する工夫が成されている。したがって、表面張力が液面８４の高さ位置に及ぼす影響を少なくして、より正確に液面８４の高さ位置を計測できる。
【００４９】
ホルダー５３内に余分に流入した液体は、オリフィス８１からホルダー５３の外側へ流出し、さらに、溝８３ａ、８３ｂ及び案内部材８７を伝って落下し、受け皿６０に溜まる。ホルダー５３の溝８３ａ、８３ｂや案内部材８７を液体が伝っていくので、粘度が大きい液体が重力に引っ張られることが緩和され、液面８４に与える影響を少なくして、より精密に液面８４の高さ位置を計測することができる。
【００５０】
目盛板６７により計測された液面８４の高さ位置の値と、重錘型圧力標準器１０３で読み取られるリファレンスレベルの高さ位置の値との差が、ゼロ圧力時における圧力の誤差値となる。また、液面８４の高さ位置がリファレンスレベルの高さ位置とできるだけ同じになるように、ホルダー５３の高さ位置をより精密に調整することで、この誤差値をより小さくすることができる。つまり、本発明の校正装置５１により、ゼロ圧力時における精密圧力計測機器５２の指示値を精密に校正することができると共に、ゼロ圧力時における圧力の誤差値を正確に見積もることができる。
【００５１】
以上、本発明に係る精密圧力計測機器の校正装置の実施形態を実施例に基づいて説明したが、本発明は特にこのような実施例に限定されることなく、特許請求の範囲記載の技術的事項の範囲内でいろいろな実施例があることはいうまでもない。
【００５２】
【発明の効果】
以上の構成から成る本発明に係る精密圧力計測機器の校正装置によると、精密圧力計測機器の圧力がゼロにおける指示値を容易かつ正確に校正することができるとともに、ゼロ圧力時における圧力の誤差値を正確に見積もることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例に係る精密圧力計測機器の校正装置の使用状態を示す模式的な側面図である。
【図２】本発明の校正装置の縦断面図、及び側面図である。
【図３】ホルダーの断面図及び側面図である。
【図４】従来から用いられている重錘型圧力標準器の模式的な断面図である。
【符号の説明】
１、１０１    タンク
２、９、５６、１０２、１０９    バルブ
１０    圧力計
２０    重錘
２１、１２１    シリンダ
２１ａ、２３、１２１ａ、１２３    ピストン
２２、１２２    液体路
２５、１２５    ヘッド
２６、１２６    シリンダタンク
３０、３１、８４、１２７    液面
４９    台
５１    校正装置
５２    精密圧力計測機器
５３    ホルダー
５３ａ    本体
５３ｂ    本体下部
５３ｃ    最下端部
５３ｄ    内面
５３ｅ    孔
５３ｆ    外周面
５３ｇ    最下部
５３ｈ    プラグ
５４    支持台
５９    土台
６０    受け皿
６１    リニアシャフト
６２    上下動シャフト
６３    上下動ハンドル
６４    ストッパーノブ
６５    ホルダー支え
６５ａ    突き出し部
６５ｂ    先端
６６    カバー
６７    目盛板
８０    流入孔
８１    オリフィス
８１ａ    縁
８３ａ、８３ｂ、９０    溝
８３ｃ    一カ所
８３ｄ    凹部
８４ａ〜８４ｄ、８５ａ、８５ｂ    角
８７    案内部材
８８    蓋
８９    開口部
１０３    重錘型圧力標準器
【図１】
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【図２】
2004205454.tif 000004
【図３】
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【図４】
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