(57)【要約】【課題】従来よりも生産性を向上させることができる被研磨物保持具を提供しようとするもの。【解決手段】一体的に回転駆動される一対の外周歯車付きプレート２の各外面に固定される被研磨物保持具１であって、被研磨物６を配設するリセス孔７が開設されたテンプレート８と被研磨物６のバッキング材９とを具備し、前記両外周歯車付きプレート２を駆動して回転運動させつつ、前記両外周歯車付きプレート２の各外面に対向して配されたそれぞれの研磨布１１との間で被研磨物６を研磨するようにした【選択図】　　　　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一体的に回転駆動される一対の外周歯車付きプレートの各外面に固定される被研磨物保持具であって、被研磨物を配設するリセス孔が開設されたテンプレートと被研磨物のバッキング材とを具備し、前記両外周歯車付きプレートを駆動して回転運動させつつ、前記両外周歯車付きプレートの各外面に対向して配されたそれぞれの研磨布との間で被研磨物を研磨するようにしたことを特徴とする被研磨物保持具。
【請求項２】
前記バッキング材はテンプレートの下面に配置された請求項１記載の被研磨物保持具。
【請求項３】
前記バッキング材はテンプレートのリセス孔内に配置された請求項１記載の被研磨物保持具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばシリコンウエハその他の被研磨物保持具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、研磨機で被研磨物（シリコン、ガリウム砒素、インジウム燐等の半導体ウエハや半導体基板、各種基板、ガラス、ＬＣＤ、ディスクなど）の精密平面研磨を行う際に被研磨物保持具が使用されている。
【０００３】
すなわち、被研磨物保持具にシリコンウエハなどの被研磨物を装着して研磨機の定盤に取り付け、この研磨機の対向する定盤には研磨布を固定する。そして、前記被研磨物と研磨布との間に研磨砥粒を含む研磨液を供給して互いに摺動させることにより研磨作業を行う。
【０００４】
ところで、研磨処理量をできればもっと増やして生産性を向上させたいという要望がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
そこでこの発明は、従来よりも生産性を向上させることができる被研磨物保持具を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するためこの発明では次のような技術的手段を講じている。
▲１▼　この発明の被研磨物保持具は、一体的に回転駆動される一対の外周歯車付きプレートの各外面に固定される被研磨物保持具であって、被研磨物を配設するリセス孔が開設されたテンプレートと被研磨物のバッキング材とを具備し、前記両外周歯車付きプレートを駆動して回転運動させつつ、前記両外周歯車付きプレートの各外面に対向して配されたそれぞれの研磨布との間で被研磨物を研磨するようにしたことを特徴とする。
【０００７】
この被研磨物保持具は、一体的に回転駆動される一対の外周歯車付きプレートの両外面に固定され、これら両外面の被研磨物保持具のテンプレートに開設されたリセス孔にそれぞれ被研磨物を配設し、前記両外周歯車付きプレートの各外面に対向して配された研磨布との間で被研磨物を研磨するようにしたので、被研磨物は一体的に回転駆動される一対の外周歯車付きプレートの片面側のみならず両面で研磨することができ、同時に研磨することができる被研磨物の枚数を倍にすることができる。
▲２▼　また、前記バッキング材はテンプレートの下面に配置されたこととしてもよい。
【０００８】
このように構成すると、構成材料の寿命を外周歯車付きプレートとそれ以外の材料とに分けることができ、各外周歯車付きプレートの再利用が可能である。
▲３▼　また、前記バッキング材はテンプレートのリセス孔内に配置されたこととしてもよい。
【０００９】
このように構成すると、構成材料の寿命をバッキング材とそれ以外の材料とに分けることができ、研磨条件等によりバッキング材の寿命が短い場合このバッキング材の交換のみで継続して使用することが可能である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
（実施形態１）
図１乃至図４に示すように、この実施形態の被研磨物保持具１（テンプレート・アッセンブリー）は、一体的に回転駆動される一対のガラス・エポキシ製の外周歯車付きプレート２の各外面に固定される。そして、被研磨物保持具１が固定された外周歯車付きプレート２の背面同士を接触させ重ね合わせて一体的にセットし、後述のように回転駆動して研磨作業を行う。
【００１１】
このように外周歯車付きプレート２はガラス・エポキシ製としているが、この外周歯車付きプレート２（外面に被研磨物保持具１を固定する）は２枚重ねて一対として一体的に回転駆動するようにしており、従来のように外周歯車付きプレート２を１枚だけで駆動する場合と比較して強度的に非常に優れる。
【００１２】
図３及び図４に示すように、研磨時には前記各一対の外周歯車付きプレート２は背面同士を重ね合わせて研磨機３内に４対（計８個）配設する（各外面には計２個づつの被研磨物保持具１が固定される）。各外周歯車付きプレート２は外周に遊星歯車４を有しており、中央の太陽歯車５と噛み合いながら回転駆動される。
【００１３】
この被研磨物保持具１は、シリコンウエハその他の被研磨物６を配設するための４箇所のリセス孔７が開設されたテンプレート８（直径は約３００〜１３００ｍｍ程度）と、被研磨物６のバッキング材９とを具備する。前記バッキング材９は、テンプレート８の下面全面に配置している。
【００１４】
前記テンプレート８の材質としては、エポキシ樹脂とガラスクロスとの積層板、熱硬化性及び熱可塑性のポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリサルフォン樹脂、ポリパラフェニレン樹脂、硬質ポリウレタン樹脂若しくはフェノール樹脂などの単体シート、或いはこれらのＦＲＰシートなどで形成することができる。
【００１５】
また、バッキング材９はポリウレタン樹脂よりなる発泡シートなどにより形成することができ、その裏面に外周歯車付きプレート２に貼り付け固定するための粘着層１０を形成している。
【００１６】
そして研磨作業を行う際には、研磨機３の中央の太陽歯車５を駆動することにより４対（計８個）の外周歯車付きプレート２を駆動して回転運動させつつ、前記それぞれの外周歯車付きプレート２の各外面の被研磨物保持具１の被研磨物６に対向して配された研磨布１１（上側定盤１２と下側定盤１３とにそれぞれ配設）との間で複数の被研磨物６を一遍に研磨するようにしている。
【００１７】
次に、この実施形態の被研磨物保持具１の使用状態を説明する。
【００１８】
この被研磨物保持具１は、一体的に回転駆動される一対の外周歯車付きプレート２の両外面に固定され、これら両外面の被研磨物保持具１のテンプレート８に開設されたリセス孔７にそれぞれ被研磨物６を配設し、前記両外周歯車付きプレート２の各外面に対向して配された研磨布１１との間で被研磨物６を研磨するようにしたので、被研磨物６は一体的に回転駆動される一対の外周歯車付きプレート２の片面側のみならず両面で研磨することができ、同時に研磨することができる被研磨物６の枚数を倍にすることができ、従来よりも生産性を向上（単位時間当たりの研磨処理量が２倍）させることができるという利点がある。
【００１９】
この実施形態では、研磨機３に４対の外周歯車付きプレート２が配され、重ね合わせた４対の各外周歯車付きプレート２の表裏両面に被研磨物保持具１が固定され、表裏両面の被研磨物保持具１には４枚のシリコンウエハが配設されるので、研磨機３の１回の作業工程で４（被研磨物保持具）×４（被研磨物）×２（表裏両面）でシリコンウエハの片面３２枚分を一遍に精密研磨することができる。
【００２０】
また、前記被研磨物保持具１のバッキング材９はテンプレート８の下面の全面に配置するようにしたので、構成材料の寿命を外周歯車付きプレート２とそれ以外の材料とに分けることができ、各外周歯車付きプレート２の再利用が可能であるという利点がある。
（実施形態２）
次に、実施形態２を実施形態１との相違点を中心に説明する。
【００２１】
図５に示すように、この実施形態では被研磨物保持具１のバッキング材９はテンプレート８の下面の全面ではなく、テンプレート８の４箇所に開設されたリセス孔７内に配置している。
【００２２】
すなわち、テンプレート８自体もバッキング材９と同様に粘着層１０を介して各外周歯車付きプレート２に貼り付け固定するようにしている。
【００２３】
このような構造とすると、構成材料の寿命をバッキング材９とそれ以外の材料とに分けることができ、研磨条件等によりバッキング材９の寿命が短い場合このバッキング材９の交換のみで継続して使用することが可能であるという利点がある。
【００２４】
【発明の効果】
この発明は上述のような構成であり、次の効果を有する。
【００２５】
被研磨物は一体的に回転駆動される一対の外周歯車付きプレートの片面側のみならず両面で研磨することができ、同時に研磨することができる被研磨物の枚数を倍にすることができるので、従来よりも生産性を向上させることができる被研磨物保持具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の被研磨物保持具（外周歯車付きプレートの外面に固定した状態）の実施形態１を説明する平面図。
【図２】図１の被研磨物保持具（一対の外周歯車付きプレートの各外面に固定した状態）を説明する中央断面図。
【図３】図１の被研磨物保持具（４対の外周歯車付きプレートの各外面に固定）を研磨機に装着して研磨する工程を説明する中央断面図。
【図４】図１の被研磨物保持具（４対の外周歯車付きプレートの各外面に固定）を研磨機に装着して研磨する工程を説明するため、上側定盤を外した状態の斜視図。
【図５】この発明の被研磨物保持具（一対の外周歯車付きプレートの各外面に固定した状態）の実施形態２を説明する中央断面図。
【符号の説明】
１　被研磨物保持具
２　外周歯車付きプレート
６　被研磨物
７　リセス孔
８　テンプレート
９　バッキング材
１１　研磨布
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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