(57)【要約】【課題】光信号と電気信号が共存した回路基板上で、光信号とともに電気信号をも伝達することができる光導波路配線であって、夫々の信号の信号処理のための分岐・統合部分の省配線化を可能として、電子・光機器の高機能化及び小型軽量化を実現するための回路基板に用いられる光電子導波路を提供する。【解決手段】導体材料で一体的に形成された光導波路内にて光信号とともに電気信号を伝達可能な光電子導波路と、光透過性及び電気絶縁性を有する材料で形成され、上記光信号の伝達方向を遮るように上記光電子導波路に介在された光信号通過部と、非光透過性を有する導体材料で形成され、上記光信号通過部の前後において夫々の上記光電子導波路と電気的に接続された電気信号通過部とを備えさせた光電子導波路配線を用いて、光信号及び電気信号の伝達、及び信号処理を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光信号を伝達する光導波路であって、光透過性を有する導体材料で一体的に形成され、上記光導波路内にて上記光信号とともに電気信号をも伝達可能な光電子導波路と、
上記光透過性及び電気絶縁性を有する材料で形成され、上記光電子導波路における上記光信号の伝達方向を遮るように上記光電子導波路に介在された光信号通過部と、
非光透過性を有する導体材料で上記光信号通過部に積層されて形成され、上記光信号通過部の前後における夫々の上記光電子導波路と電気的に接続された電気信号通過部とを備え、
上記光電子導波路において伝達される上記光信号及び上記電気信号のうちより、上記光信号が上記光信号通過部に入力されるとともに、上記電気信号が上記電気信号通過部に入力されることにより、上記夫々の信号が互いに分岐され、上記光信号通過部を通過された上記光信号と、上記電気信号通過部を通過された上記電気信号とが上記光電子導波路に入力されることにより、上記分岐された夫々の信号が合流されることを特徴とする光電子導波路配線。
【請求項２】
上記電気信号通過部が、上記通過させる電気信号に対して信号処理を行うことができる電気信号処理部を有する請求項１に記載の光電子導波路配線。
【請求項３】
上記電気信号処理部が、上記非光透過性を有する導体材料として電気抵抗材料で形成されて、抵抗の機能を有する請求項２に記載の光電子導波路配線。
【請求項４】
上記電気信号処理部がインダクタの機能を有する請求項２に記載の光電子導波路配線。
【請求項５】
上記電気信号処理部が、上記電気信号の通過経路を横切るようにして誘電体材料により形成された誘電部を有し、コンデンサの機能を有する請求項２に記載の光電子導波路配線。
【請求項６】
上記電気信号処理部が、上記電気信号の通過経路を横切るようにして形成された空気層部を有し、コンデンサの機能を有する請求項２に記載の光電子導波路配線。
【請求項７】
光信号を伝達する光導波路であって、光透過性を有する導体材料で一体的に形成され、上記光導波路内にて上記光信号とともに電気信号をも伝達可能な光電子導波路と、
上記光透過性及び電気絶縁性を有する材料で形成され、上記光電子導波路における上記光信号の伝達方向を遮るように上記光電子導波路に介在された光信号通過部とを備え、
上記光信号通過部がコンデンサの機能を有することを特徴とする光電子導波路配線。
【請求項８】
上記光信号通過部が、上記通過させる光信号に対して信号処理を行うことができる光信号処理部を有する請求項１から６のいずれか１つに記載の光電子導波路配線。
【請求項９】
上記光信号処理部が、入力される上記光信号における所定の波長のみを通過させる光波長フィルタで形成されている請求項８に記載の光電子導波路配線。
【請求項１０】
上記光信号処理部が、入力される上記光信号における所定の方向の光信号のみを通過させる光アイソレータで形成されている請求項８に記載の光電子導波路配線。
【請求項１１】
上記光信号処理部が、入力される上記光信号における波長に対する光強度分布を少なくさせる機能を有する光フィルタで形成されている請求項８に記載の光電子導波路配線。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光信号を伝達可能な光導波路配線に関するものであり、特に、上記光導波路配線において光信号ととともに電気信号をも伝達することができ、さらに、上記伝達される光信号と電気信号とを夫々分岐させて個別に信号処理することが可能な光電子導波路配線に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子・光機器であるデジタル機器等の高機能化や処理速度の高速化等に伴い、このようなデジタル機器においては、電気信号のみが伝達されて取り扱われる電子回路に代わって、電気信号及び光信号が伝達されて取り扱われる光電子回路が採用されて内蔵されるようになってきている。
【０００３】
このような光電子回路が形成される回路基板においては、電気信号を伝達する配線パターンが形成されるとともに、光信号を伝達する光導波路配線が形成されて、電気信号及び光信号の伝達を行うことが可能となっている。
【０００４】
しかしながら、このような回路基板においては、電気信号とともに光信号の伝達も行われるため、配線（すなわち、配線パターンや光導波路配線）の数が増加するだけでなく、電気信号と光信号とを相互に変換するための光電子変換素子等の回路基板への形成若しくは実装が必要となり、回路基板における上記配線が複雑化するという問題点がある。
【０００５】
また、光信号の伝達に用いられる上記光導波路配線においては、光信号を急な角度又は曲率で屈曲させると、光の性質上、著しくその光の強度が減衰されて、光信号を減衰させてしまうこととなり、光信号の伝達において支障を来たす場合がある。従って、光信号を急な角度で屈曲させる光導波路配線を形成するためには、上記減衰を防止すべく、光導波路に経路上に光信号の反射用のミラー等の載置が必要となり、このような場合にあっては、益々回路基板における配線が複雑化してしまう。
【０００６】
そこで、上記配線の複雑化を解消するため、例えば、図９に示すような電気信号の伝達を行う配線と光信号の伝達を行う配線（光導波路配線）とが接合されて、擬似的に１本の配線（すなわち、外観的に１本の配線）とされた光電子配線が考え出されている（例えば、特許文献１参照）。ここで、このような光電子配線５０の断面構造を模式的に示す模式説明図を図９に示し、図９に基づいて光電子配線５０の構造について説明する。
【０００７】
図９に示すように、光電子配線５０は、光信号を伝達可能な光導波路５１ａ（又は５１ｂ）の周囲を覆うように導体層５３ａ（又は５３ｂ）が形成されている。すなわち、中核部が光導波路５１ａ（又は５１ｂ）、その外核部が導体層５３ａ（又は５３ｂ）として、２層構造にて光電子配線５０が形成されている。これにより、上記中核部である光導波路５１ａ（又は５１ｂ）において光信号の伝達が可能となるとともに、上記外核部である導体層５３ａ（又は５３ｂ）において電気信号の伝達が可能となっている。なお、光導波路５１ａ（又は５１ｂ）は絶縁性材料にて形成されているため、その周囲に導体層５３ａ（５３ｂ）が形成されても、電気信号が導通されることはない。このように、光導波路５１ａ（又は５１ｂ）と導体層５３ａ（又は５３ｂ）とを併せて光電子配線５０を形成し、構造的には２本の配線であるものの、外観的には１本の配線とさせることにより、上記回路基板における上記配線の複雑化を解消することができる。
【０００８】
さらに、このような光電子配線５０において、伝達される光信号及び電気信号の夫々の信号処理を行う場合の光電子配線５０の構造について説明する。図９に示すように、光電子配線５０における上記夫々の信号の処理が行われる部分において、上記２層構造の光電子配線５０が、夫々の層に分岐、すなわち、光導波路５１ａと導体層５３ａに分岐される。
【０００９】
上記分岐された光導波路５１ａは光信号の信号処理部の一例である光フィルタ５２の入口側である図示左側に接続されており、この光フィルタ５２に光信号が導かれて通過されることにより、光信号の信号処理を行うことが可能となっている。さらに、光フィルタ５２の出口側である図示右側に、光導波路５１ｂが接続されおり、この光導波路５１ｂにより光フィルタ５２にて信号処理が施された光信号を送り出すことが可能となっている。
【００１０】
一方、上記分岐された導体層５３ａの端部には、配線パターン５４ａが接続されており、この配線パターン５４ａが光電子配線５０より引き出されて、電気信号の信号処理部の一例である抵抗器５６の図示左側端部に接続されている。さらに、抵抗器５６の図示右側端部には配線パターン５４ｂが接続されており、この配線パターン５４ｂにより抵抗器５６により信号処理が施された電気信号を送り出すことが可能となっている。
【００１１】
さらに、光フィルタ５２よりの光導波路５１ｂは、再び、導体層５３ｂと統合され、また、抵抗器５６よりの配線パターン５４ｂの端部が、この導体層５３ｂに接続される。これにより、信号処理が施された夫々の信号が２層構造の光電子配線５０に合流されて、この光電子配線５０により伝達することが可能となっている。
【００１２】
【特許文献１】
特開平１０−２８２３５号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構造の光電子配線５０は、外観的には１本の配線であるものの、構造的には光導波路５１ａと導体層５３ａとの２層構造（すなわち、２本の配線）を有しているため、光信号と電気信号とは夫々別々の層において伝達されており、根本的な配線構造の簡素化を図ることができず、上記配線の複雑化を完全に解消することができないという問題点がある。
【００１４】
さらに、上記構造の光電子配線５０が用いられた回路基板により形成された光電子回路では、２層構造を有するが外観的に１本の配線とされている光電子配線５０における光導波路５１ａ（又は５１ｂ）により光信号を伝達し、導体層５３ａ（又は５３ｂ）により電気信号を伝達することができるものの、光信号と電気信号の夫々の信号処理を行う際に、光信号のための配線（光導波路）と電気信号のための配線（導体層あるいは配線パターン）を外観的に夫々分岐させて、上記分岐後に別々の信号処理部にて信号処理を行った後、再び夫々の配線を外観的に１本の配線である光電子配線５０に信号を合流させるといった方式が採られているため、上記夫々の信号の分岐から、夫々の信号処理部を経由して、再び夫々の信号を合流させるまでの間においては、上記夫々の信号毎に分離された個別の配線が必要であり、上記分岐部分においては省配線化が十分に行われていないこととなる。
【００１５】
また、光フィルタ５２及び抵抗器５６は、光導波路５１ａ及び５１ｂ、及び配線パターン５４ａ及び５４ｂが形成された後に、夫々に接続されるため、光フィルタ５２及び抵抗器５６の周囲には、上記接続の作業を行うためのスペースを確保しておく必要があり、光フィルタ５２と抵抗器５６とは互いに上記スペースを確保するために離れて配置させることとなる。このようなスペースを確保することは、光電子配線５０において、上記信号処理部をコンパクト化することを妨げる要因となっている。
【００１６】
よって、このような光電子配線５０が用いられる場合にあっては、光電子回路における配線の簡素化、配線の最短接続等が十分ではなく、このような光電子回路を内蔵するデジタル機器等における処理速度の高速化、高機能化、さらに、小型軽量化への対応を阻害するという問題点がある。
【００１７】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、光信号と電気信号が共存した回路基板上で、光信号とともに電気信号をも伝達することができる光導波路配線であって、夫々の信号の信号処理のための分岐・統合部分の省配線化を可能として、電子・光機器の高機能化及び小型軽量化を実現するための回路基板に用いられる光電子導波路配線を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１９】
本発明の第１態様によれば、光信号を伝達する光導波路であって、光透過性を有する導体材料で一体的に形成され、上記光導波路内にて上記光信号とともに電気信号をも伝達可能な光電子導波路と、
上記光透過性及び電気絶縁性を有する材料で形成され、上記光電子導波路における上記光信号の伝達方向を遮るように上記光電子導波路に介在された光信号通過部と、
非光透過性を有する導体材料で上記光信号通過部に積層されて形成され、上記光信号通過部の前後における夫々の上記光電子導波路と電気的に接続された電気信号通過部とを備え、
上記光電子導波路において伝達される上記光信号及び上記電気信号のうちより、上記光信号が上記光信号通過部に入力されるとともに、上記電気信号が上記電気信号通過部に入力されることにより、上記夫々の信号が互いに分岐され、上記光信号通過部を通過された上記光信号と、上記電気信号通過部を通過された上記電気信号とが上記光電子導波路に入力されることにより、上記分岐された夫々の信号が合流されることを特徴とする光電子導波路配線を提供する。
【００２０】
本発明の第２態様によれば、上記電気信号通過部が、上記通過させる電気信号に対して信号処理を行うことができる電気信号処理部を有する第１態様に記載の光電子導波路配線を提供する。
【００２１】
本発明の第３態様によれば、上記電気信号処理部が、上記非光透過性を有する導体材料として電気抵抗材料で形成されて、抵抗の機能を有する第２態様に記載の光電子導波路配線を提供する。
【００２２】
本発明の第４態様によれば、上記電気信号処理部がインダクタの機能を有する第２態様に記載の光電子導波路配線を提供する。
【００２３】
本発明の第５態様によれば、上記電気信号処理部が、上記電気信号の通過経路を横切るようにして誘電体材料により形成された誘電部を有し、コンデンサの機能を有する第２態様に記載の光電子導波路配線を提供する。
【００２４】
本発明の第６態様によれば、上記電気信号処理部が、上記電気信号の通過経路を横切るようにして形成された空気層部を有し、コンデンサの機能を有する第２態様に記載の光電子導波路配線を提供する。
【００２５】
本発明の第７態様によれば、光信号を伝達する光導波路であって、光透過性を有する導体材料で一体的に形成され、上記光導波路内にて上記光信号とともに電気信号をも伝達可能な光電子導波路と、
上記光透過性及び電気絶縁性を有する材料で形成され、上記光電子導波路における上記光信号の伝達方向を遮るように上記光電子導波路に介在された光信号通過部とを備え、
上記光信号通過部がコンデンサの機能を有することを特徴とする光電子導波路配線を提供する。
【００２６】
本発明の第８態様によれば、上記光信号通過部が、上記通過させる光信号に対して信号処理を行うことができる光信号処理部を有する第１態様から第６態様のいずれか１つに記載の光電子導波路配線を提供する。
【００２７】
本発明の第９態様によれば、上記光信号処理部が、入力される上記光信号における所定の波長のみを通過させる光波長フィルタで形成されている第８態様に記載の光電子導波路配線を提供する。
【００２８】
本発明の第１０態様によれば、上記光信号処理部が、入力される上記光信号における所定の方向の光信号のみを通過させる光アイソレータで形成されている第８態様に記載の光電子導波路配線を提供する。
【００２９】
本発明の第１１態様によれば、上記光信号処理部が、入力される上記光信号における波長に対する光強度分布を少なくさせる機能を有する光フィルタで形成されている第８態様に記載の光電子導波路配線を提供する。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３１】
（第１実施形態）
本発明の第１の実施形態にかかる光電子導波路配線の一例である光電子導波路配線１０１は、光信号を伝達可能な光導波路配線が、さらに電気信号をも伝達可能であって、上記伝達される光信号と電気信号の夫々を上記配線内で分岐させて、上記電気信号に対して信号処理を行った後、再び上記分岐された光信号とこの信号処理が施された電気信号とを合流させて、上記配線にて伝達することを可能とする配線構造により構成される信号処理モジュール５を備えている。
【００３２】
このような光電子導波路配線１０１の構造を模式的に示す模式説明図を図１に示す。図１において、（Ａ）は光電子導波路配線１０１における光信号及び電気信号の伝達方向沿いの模式断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の光電子導波路配線１０１の半透過平面図であり、（Ｃ）はこの光電子導波路配線１０１の等価回路図を示したものである。
【００３３】
図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、光電子導波路配線１０１において、１は光信号とともに電気信号をも伝達することができる導電性及び光透過性を有する光導波路の一例である光電子導波路であり、光電子導波路１は伝達される夫々の信号が信号処理モジュール５を通過して伝達可能なように、信号モジュール５と接続されている。ここで、光電子導波路１は、例えば、ＩＴＯ等の透明導電材料により形成されており、例えば、断面が正方形や真円の形状を有しているというような構造的な特徴を有している。これにより、光電子導波路１においては、光信号とともに電気信号をも同時的に伝達することが可能となっている。さらに、光電子導波路１は、光信号及び電気信号の伝達方向に直交する方向沿いにおける断面が略正方形状となるように形成されており、例えば、その形成高さ（若しくは厚さ）及び形成幅が１０μｍ程度となるように形成されている。
【００３４】
また、信号処理モジュール５は、光電子導波路１に接続されて一体的となるように形成されており、電気信号を通過させないが光信号を通過させる光信号通過部２と、その逆に、光信号を通過させないが電気信号を通過させる電気信号通過部の一例であって、上記通過させた電気信号に対して信号処理を行う電気信号処理部３とにより構成されている。
【００３５】
光信号通過部２は、電気絶縁性及び光透過性を有する材料で形成されており、例えば、一般的に光導波路を形成する材料として用いられる石英ガラスで形成されている。なお、上記石英ガラスに代えて、多成分系のガラス、例えば、ポリイミド等の有機系のものにより、光信号通過部２が形成されるような場合であってもよい。また、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、光信号通過部２は、光電子導波路１の上記略正方形状の断面と略同じ形状の断面（若しくは端面）を有しており、その図示左側における接続端面２ａが図示左方に配置されている光電子導波路１ａの接続端面１ｃと合致するように接続されるとともに、その図示右側における接続端面２ｂが図示右方に配置されている光電子導波路１ｂの接続端面１ｄと合致するように接続されている。これにより、夫々の光電子導波路１ａ及び１ｂと光信号通過部２の夫々において、光信号の伝達方向の周囲に形成される４つの夫々の面は、互いに連続的かつ一体的な状態とされている。
【００３６】
また、電気信号処理部３は、光透過性を有さない（すなわち、非光透過性を有する）導体材料で形成されており、例えば、ＮｉＣｒ系の電気抵抗材料により形成されて、一般的な回路基板における抵抗体の機能を有している。なお、上記ＮｉＣｒ系の電気抵抗材料に代えて、導体材料に電気絶縁性の材料が混ぜ込まれた材料、例えば、Ｓｉ０２等により電気信号処理部３が形成されるような場合であってもよい。このように電気信号処理部３が上記抵抗体の機能を備えていることにより、この電気信号処理部３を通過される電気信号に対して信号処理（又は信号加工）を行うことが可能となっている。
【００３７】
また、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、電気信号処理部３は、光電子導波路１及び光信号通過部２の上面（図１（Ａ）の図示上側の面）に、夫々の形成幅に合致するように積層されて形成されており、すなわち、電気信号処理部３は、上記連続的かつ一体的な状態とされている光電子導波路１及び光信号通過部２の上面との間に、隙間をあけることなく形成されている。さらに、電気信号処理部３は、トリミング等が施されることによりその形成厚さが、例えば１μｍ以下程度となるように薄膜で形成されている。また、電気信号処理部３は、その下面における図示左側端部３ａにおいて、光電子導波路１ａの上面側接続部１ｅに接続されており、さらに、その下面における図示右側端部３ｂにおいて、光電子導波路１ｂの上面側接続部１ｆに接続されている。これにより、光信号通過部２を介して互いに絶縁性が保たれた状態で接続されている光電子導波路１ａと１ｂを、光信号通過部２の前後間で短絡している。よって、電気信号処理部３を介して、光電子導波路１ａと１ｂとの間の導通が確保されて、この電気信号処理部３を通しての電気信号の伝達が可能となっている。
【００３８】
また、電気信号処理部３の抵抗体としての容量（すなわち抵抗容量）は、その形成厚さである膜厚と光電子導波路１ａ及び１ｂとの接続部分を除くその形成長さとにより決定され、所望の抵抗容量に応じて上記膜厚及び上記形成長さが決められて、電気信号処理部３が形成される。なお、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、電気信号処理部３の上記形成長さは、光信号通過部２の形成長さと略同じ寸法となっている。
【００３９】
なお、上記電気抵抗材料により抵抗体としての機能を有する電気信号処理部３が形成されるような場合に代えて、例えば、導体材料によりコイル状に加工されて電気信号処理部が形成されるような場合であってもよい。このような場合にあっては、上記電気信号処理部がインダクタの機能を有することとなり、通過される電気信号に対して上記インダクタの機能に基づく信号処理を施すことが可能となる。
【００４０】
次に、このような構造を有する光電子導波路配線１０１を形成する方法について説明する。
【００４１】
まず、このような光電子導波路配線１０１が形成される回路基板上に、スパッタリング法により上記導電性及び光透過性を有する材料を用いて膜を形成する。次に、上記形成された膜に対してドライエッチングを施し、略正方形状の断面を有する光電子導波路１ａ及び１ｂを、上記回路基板の表面沿いに形成するとともに、光電子導波路１ａ及び１ｂの間に、光信号通過部２となる石英ガラスを挿入するための間隙を設けるように、パターニングを行う。その後、上記石英ガラスを用いて別途形成された光信号通過部２を上記間隙に挿入して固定するとともに、光信号通過部２の夫々の接続端面２ａ及び２ｂを夫々の光電子導波路１ａ及び１ｂに接続する。最後に、メタルマスクを用いたスパッタリング法により、光電子導波路１ａ及び１ｂと光信号通過部２の上面にＮｉＣｒ系の電気抵抗材料による膜を形成し、電気信号処理部３となる部分を形成する。その後、上記形成された膜が必要な膜厚となるように、トリミング等を施すことによりその膜厚を調整して、電気信号処理部３を形成する。これにより、上記回路基板上に光電子導波路配線１０１が形成される。
【００４２】
なお、光電子導波路１ａ及び１ｂと光信号通過部２の形成において、上記のように夫々を個別に形成するような場合に代えて、上記回路基板上に、電気絶縁性及び光透過性を有する材料により光導波路を一体的に形成した後に、イオンシャワードーピング等の手法を用いて、上記光導波路に部分的に導電性を付与して、上記導電性が付与された部分を光電子導波路１ａ及び１ｂとして形成し、上記導電性を付与しない部分を光信号通過部２として形成するような場合であってもよい。
【００４３】
ここで、図１（Ａ）において、このような光電子導波路配線１０１における電気信号の伝達経路１１（図示点線矢印部分）と、光信号の伝達経路１２（図示実線矢印部分）とを示す。図１（Ａ）に示すように、光電子導波路配線１０１における図示左側から右側に向けて夫々の信号は伝達されており、光電子導波路１ａ内を伝達されている夫々の信号は、信号処理モジュール５において分岐される。上記分岐された信号のうち、光信号通過部２においては光信号のみが通過され、電気信号処理部３においては電気信号のみが通過されるとともに抵抗体の機能に基づく電気信号の処理が施される。その後、光信号通過部２を通過した光信号及び信号処理が施された電気信号が光電子導波路１ｂにて再び統合（合流）される。これにより、夫々の信号が信号処理モジュール５を通過したこととなり、夫々の信号が再び光電子導波路１ｂ内を図示右方向に伝達される。
【００４４】
このような夫々の信号の伝達を行う光電子導波路配線１０１は、図１（Ｃ）に示す等価回路図により表される。図１（Ｃ）に示すように、３１で示す電気信号は、３３で示す抵抗体（すなわち、電気信号処理部３）によって信号処理（又は信号加工）が施されている。また、光信号通過部２を通過している３２で示す光信号は、信号処理が施されることもなく（すなわち、その光の波長や強度等が変更されることもなく）、光信号通過部２を通過されるのみとなっている。
【００４５】
（第１実施形態による効果）
上記第１実施形態によれば、以下のような種々の効果を得ることができる。
【００４６】
まず、光電子回路等において伝達される光信号と電気信号とが、従来のように、別々の配線、又は２層構造の配線でもって伝達されるのではなく、外観的及び構造的に１本の配線とされた、すなわち、単層構造を有する光電子導波路１を用いて、光信号及び電気信号を同時的に伝達することができる。すなわち、光信号を伝達可能な光導波路が、光透過性を有する導体材料で形成されていることにより、同一の上記光導波路において光信号だけでなく電気信号をも伝達することができる。これにより、光電子回路が形成される回路基板において、形成される配線数を削減（すなわち、統合化）することができるとともに、その配線自体を光電子導波路１として単層構造で形成することができるため、配線の省配線化及びその構造の簡素化を図ることができ、このような光電子回路が用いられる光・電子機器の小型軽量化を実現することが可能となる。
【００４７】
さらに、このような光電子導波路１により伝達される光信号及び電気信号のうちの電気信号のみの信号処理を行うような場合にあっては、光電子導波路１に信号処理モジュール５が介在されるようにして形成された光電子導波路配線１０１を用いることにより、上記夫々の信号を信号処理モジュール５に伝達し、信号処理モジュール５において、光信号のみが光信号通過部２を通過され、かつ、電気信号のみが電気信号処理部２を通過させながら信号処理を行うことができる。このような信号処理モジュール５の機能は、光電子導波路１ａと１ｂとの間に介在されて接合された光信号通過部２が光透過性及び電気絶縁性を有する材料である石英ガラスで形成されており、さらに、光信号通過部２をその前後間で短絡するように夫々の光電子導波路１ａ及び１ｂに電気的に接続された電気信号処理部３が非光透過性を有する導体材料であるＮｉＣｒ系の電気抵抗材料で形成されていることにより達成され得るものである。つまり、１本の光電子導波路１において同時的に伝達される光信号と電気信号とを、信号処理のために別々の配線に大きく分岐させることなく、光電子導波路１の経路上に形成された信号処理モジュール５を通過させることにより、夫々の信号の分岐、分岐された信号のうちの電気信号のみの信号処理、さらに、その後、夫々の信号の統合を行うことができる。従って、このような夫々の信号の分岐・統合部分及び信号処理部の省配線化及びその構造の簡素化を図ることができ、このような光電子導波路配線１０１を用いた回路基板により形成される光電子回路を内蔵する光・電子機器の小型軽量化を図ることができる。
【００４８】
また、このような信号処理モジュール５においては、光信号通過部２がその夫々の接続端面２ａ及び２ｂが、夫々の光電子導波路１ａ及び１ｂの夫々の接続端面１ｃ及び１ｄに合致するように接続されていること、及び、上記接続された光信号通過部２と夫々の光電子導波路１ａ及び１ｂの上面側接続部１ｅ及び１ｆを覆うように薄膜状に積層されて、かつ、光信号通過部２をその前後間で短絡するように電気信号処理部３が形成されていることにより、上記夫々の接続部分の最短接続化を行うことができ、伝達ロスを削減することができる。従って、信号処理モジュール５の処理速度の高速化及び小型軽量化を可能とし、光・電子機器の処理速度の高速化を図ることができる。
【００４９】
（第２実施形態）
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、本発明の第２の実施形態にかかる光電子導波路配線の一例である光電子導波路配線１０２は、上記第１実施形態の光電子導波路配線１０１の信号処理モジュール５における光信号通過部２に代えて、通過される光信号の処理を行う光信号処理部７を備える信号処理モジュール６を備えている点において、上記光電子導波路配線１０１と異なっており、その他の構造は同様である。以下に、この異なる構造を中心に説明する。なお、光電子導波路配線１０２が有する構成部分のうち、光電子導波路配線１０１と同じ構成部分については同じ符号を付している。
【００５０】
このような光電子導波路配線１０２の構造を模式的に示す模式説明図を図２に示す。図２において、（Ａ）は光電子導波路配線１０２における光信号及び電気信号の伝達方向沿いの模式断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の光電子導波路配線１０２の電気信号処理部３を透過させた半透過平面図であり、（Ｃ）はこの光電子導波路配線１０２の等価回路図を示したものである。
【００５１】
図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、夫々の光電子導波路１ａと１ｂとの間に介在されるように信号処理モジュール６が接続されており、信号処理モジュール６は、電気信号処理部３と光信号通過部の一例でもある光信号処理部７とを備えている。
【００５２】
ここで光信号処理部７について説明すると、光信号処理部７は、電気絶縁性及び光透過性を有する材料の一例である誘電体多層薄膜により形成されており、通過される光信号が有する様々な波長のうちの所定の波長のみを選択的に通過させる波長選択式の光フィルタとして形成されている。また、光信号処理部７（すなわち、上記光フィルタ）は、その形状、夫々の光電子導波路１ａ及び１ｂとの接続状態等については、上記第１実施形態の光信号通過部２と同様であるので、これらに関する説明を省略する。
【００５３】
また、このような構造を有する光電子導波路配線１０２は、上記第１実施形態の光電子導波路配線１０１と同様な方法にて形成することがでいる。ただし、回路基板状に電気絶縁性及び光透過性を有する材料により光導波路を一体的に形成した後に、上記光導波路に部分的に導電性を付与することによっては、この光電子導波路配線１０２を形成することはできない。
【００５４】
ここで、図２（Ａ）において、このような光電子導波路配線１０２における電気信号の伝達経路２１（図示点線矢印部分）と、光信号の伝達経路２２（図示実線矢印部分）とを示す。図２（Ａ）に示すように、光電子導波路配線１０２における図示左側から右側に向けて夫々の信号は伝達されており、光電子導波路１ａ内を伝達されている夫々の信号は、信号処理モジュール６において分岐される。上記分岐された信号のうち、光信号処理部７においては光信号のみが入力されるとともに、光信号処理部７が有する光フィルタの機能により、光信号が有する様々な波長のうちの選択された所定の波長のみが通過されるように上記光信号が信号処理を施されて通過される。一方、電気信号処理部３においては電気信号のみが通過されるとともに抵抗体の機能に基づく電気信号の処理が施される。その後、光信号処理部７を通過して信号処理が施された光信号及び電気信号処理部３を通過して信号処理が施された電気信号が、光電子導波路１ｂにて再び統合（合流）される。これにより、夫々の信号が信号処理モジュール６を通過したこととなり、夫々の信号が再び光電子導波路１ｂ内を図示右方向に伝達される。
【００５５】
また、このような夫々の信号の伝達を行う光電子導波路配線１０２は、図２（Ｃ）に示す等価回路図により表される。図２（Ｃ）に示すように、３１で示す電気信号は、上記第１実施形態の光電子導波路配線１０１と同様に、３３で示す抵抗体（すなわち、電気信号処理部３）によって信号処理（又は信号加工）が施されている。一方、光信号処理部７、すなわち上記光フィルタを通過している３４で示す光信号は、３５で示す光フィルタ（すなわち光信号処理部７）によって信号処理（又は信号加工）が施され、例えば、光フィルタ３５に入力される前の電気信号３４が有していた様々な波長λ１、λ２、λ３、・・・、λｎ、の内より、所定の波長である波長λ１のみが選択的に通過されて、上記光信号に対する信号処理が行われている。
【００５６】
なお、上記においては光信号処理部７として上記波長選択式の光フィルタが用いられる場合について説明したが、このような場合に代えて、光信号の信号処理の内容に応じて、光信号処理部７として、光信号における様々な方向の光のうちの所定の方向の光のみを通す光アイソレータを備えさせるような場合であってもよく、また、光信号が有する様々な波長における光強度の分布を解消するような利得等価光フィルタを備えさせるような場合であってもよい。なお、上記光アイソレータ及び利得等価光フィルタの夫々は、光透過性及び電気絶縁性を有する材料により形成されているため、光信号のみを通過させることができ、電気信号を通過させることはない。
【００５７】
また、信号処理モジュール６において電気抵抗材料で形成された抵抗体の機能を有する電気信号処理部３が備えられるような場合に代えて、導体材料で形成されて単に導体パターンとしての機能を有する（すなわち、通過させる電気信号に対して信号処理を施さない）電気信号通過部が備えられているような場合であってもよい。このような場合にあっては、信号処理モジュール６に入力される光信号と電気信号の夫々に対して信号処理を行うことができる。
【００５８】
（第２実施形態による効果）
上記第２実施形態によれば、上記第１実施形態による効果に付け加えて、さらに、光電子導波路配線１０２において信号処理モジュール６に電気信号処理部３とともに光信号処理部７をも備えさせることができるため、光電子導波路１ａにより伝達される光信号と電気信号とを分岐させた後、電気信号処理部３にて電気信号の処理を行うとともに、光信号処理部７にて光信号の処理を行うことができ、さらに、上記信号処理が施された夫々の信号を再び光電子導波路１ｂにて合流させることができる。
【００５９】
また、光信号処理部７において、光透過性及び電気絶縁性を有する材料により形成される、光フィルタ、光アイソレータ、又は利得等価光フィルタ等を選択的に備えさせることにより、電気信号を通過させずに光信号のみを通過させて、光信号処理部７に所望の信号処理機能を持たせることができ、より様々な信号処理に対応することができる。従って、このような光電子導波路配線１０２が用いられる光電子回路が内蔵される光・電子機器の高機能化を図ることができる。
【００６０】
また、このような光信号処理部７は、光電子導波路１ａと１ｂとの間に介在されるように接続されるため、最短距離にてその接続を行うことができ、光信号の伝達ロスを低減させることができ、光電子回路における処理速度の高速化を図ることができる光電子導波路配線を提供することができる。
【００６１】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態にかかる光電子導波路配線の一例である光電子導波路配線１０３は、上記第１実施形態の光電子導波路配線１０１の信号処理モジュール５における抵抗体の機能を有する電気信号処理部３に代えて、コンデンサの機能を有する電気信号処理部１３を備える信号処理モジュール８を備えている点において、上記光電子導波路配線１０１と異なっており、その他の構造は同様である。以下に、この異なる構造を中心に説明する。なお、光電子導波路配線１０３が有する構成部分のうち、光電子導波路配線１０１と同じ構成部分については同じ符号を付している。
【００６２】
このような光電子導波路配線１０３の構造を模式的に示す模式説明図を図３に示す。図３に示すように、夫々の光電子導波路１ａと１ｂとの間に介在されるように信号処理モジュール８が接続されており、信号処理モジュール８は、電気信号処理部１３と光信号通過部２とを備えている。
【００６３】
ここで電気信号処理部１３について説明すると、図３に示すように、電気信号処理部１３には、非光透過性を有する導体材料により薄膜状に形成された２つの導体膜１４及び１５と、夫々の導体膜１４及び１５との間に挟まれるように、誘電体材料の一例であるチタン酸バリウム（あるいは、チタン酸ストロンチウムであってもよい）で形成された誘電部１６とが形成されて備えられている。また、夫々の導体膜１４及び１５は、誘電部１６を介在させている部分において互いに略平行に、かつ、光電子導波路１ａ及び１ｂと光信号通過部２の夫々の図示上面とも略平行となるように配置されており、図示下側より上方に向けて、導体膜１４、誘電部１６、導体膜１５の順で配置されている。
【００６４】
また、導体膜１４はその下面である接続端面１４ａが光電子導波路１ａの上面側接続部１ｅに電気的に接続されている。また、誘電部１６は、上記導体膜１４の上面全体及び光信号通過部２の上面を覆うように形成されている。さらに、導体膜１５は、上記誘電部１６の上面全体を覆うように形成されているとともに、その図示右側端部近傍において下方に向けられた段部１５ｂが形成されており、この段部１５ｂの下面である接続端面１５ａが、光電子導波路１ｂの上面側接続部１ｆに電気的に接続されている。従って、導体膜１４と光電子導波路１ａとは互いに電気的に接続されており、また、導体膜１５と光電子導波路１ｂとは互いに電気的に接続されている。このように電気信号処理部１３が構成されることにより、電気信号処理部１３がコンデンサ（若しくはキャパシタ）の機能を有することとなる。なお、導体膜１４と１５とは誘電部１６を介して配置されているため、夫々の間の電気的な絶縁性が保たれた状態とされているということができるが、一般的なコンデンサの特性に基づいて、導体膜１４と１５及び誘電部１６に一時的に電気信号が通過することが可能であるため、導体膜１４と１５とは夫々の間の電気的な導通が可能な状態でもある。また、例えば、このような電気信号処理部１３におけるその形成幅は１〜３ｍｍ程度であり、誘電部１６の形成厚みは０．１〜０．５μｍ程度である。
【００６５】
なお、上記のように電気信号処理部１３が構成されるような場合に代えて、例えば、図４に示す光電子導波路配線１０４（光電子導波路配線１０３の変形例である）の模式説明図に示すように、電気信号処理部１７が構成されるような場合であってもよい。図４に示す電気信号処理部１７は、導体膜１４が形成されていない点において上記電気信号処理部１３と異なっている。しかしながら、光信号処理部１７においては、光電子導波路１ａが導体材料で形成されていることを利用して、光電子導波路１ａに上記導体膜１４の役割を担わせることにより、導体膜１４の形成を不要とすることを可能としている。このような電気信号処理部１７によれば、導体膜１４の形成を不要として、その形成厚さを薄くすることができる。
【００６６】
ここで、図３において、このような光電子導波路配線１０３における電気信号の伝達経路２３（図示点線矢印部分）と、光信号の伝達経路２４（図示実線矢印部分）とを示す。なお、図４の光電子導波路配線１０４においても同様に夫々の伝達経路２３及び２４を示すが、図３と同様であるため、代表して図３を用いて以下に説明する。
【００６７】
図３に示すように、光電子導波路配線１０３において、図示左側から右方向に向けて光信号が伝達されており、この光信号は、信号処理モジュール８の光信号通過部２を通過されてる。一方、電気信号は、光電子導波路配線１０３において双方向に伝達されており、例えば、光電子導波路１ａにおいて図示右向きに伝達される電気信号は、信号処理モジュール８において光信号と分岐されて、電気信号処理部１３に入力される。電気信号処理部１３に入力された電気信号は、導体膜１４を通過して、誘電体１６に電荷として蓄積され、誘電体１６を通過することはない。ただし、コンデンサの特性により、電気信号の入力開始時等においては、一時的に電気信号が誘電体１６を通過、すなわち導通が確保された状態となり得る。このように誘電体１６に蓄積された電荷は、電気信号として導体膜１４を通過して電気信号処理部１３より取り出されて、光電子導波路１ａにおいて図示左方向に伝達される。同様に、光電子導波路１ｂにおいて図示左向きに伝達される電気信号は、信号処理モジュール８において電気信号処理部１３に入力される。電気信号処理部１３に入力された電気信号は、導体膜１５を通過して、誘電体１６に電荷として蓄積され、誘電体１６を通過することはない（上記同様にコンデンサの特性により一時的に電気信号が通過される場合もある）。このように誘電体１６に蓄積された電荷は、電気信号として導体膜１５を通過して電気信号処理部１３より取り出されて、光電子導波路１ｂにおいて図示右方向に伝達される。このように、電気信号処理部１３においては、入力された電気信号を電荷として蓄積して、さらに蓄積された電荷を取り出して電気信号として再び伝達する信号処理、すなわち、コンデンサ（あるいはキャパシタ）の機能としての信号処理を行うことが可能となっている。
【００６８】
なお、このような夫々の信号の伝達を行う光電子導波路配線１０３（又は光電子導波路配線１０４）は、図５に示す等価回路図により表される。図５に示すように、３６で示す電気信号は、３８で示すコンデンサ（すなわち、電気信号処理部１３）によって信号処理（又は信号加工）、すなわち、電気信号の電荷としての蓄積が施されている。一方、光信号通過部２を通過される３２で示す光信号は、信号処理が施されることもなく（すなわち、その光の波長や強度等が変更されることもなく）、光信号通過部２を通過されるのみとなっている。
【００６９】
また、上記においては、光電子導波路配線１０３の信号処理モジュール８が光信号通過部２を備えるような場合について説明したが、このように光信号通過部２が備えられるような場合に代えて、上記第２実施形態の信号処理モジュール６のように光信号処理部７が備えられるような場合であってもよい。このような場合にあっては、信号処理モジュール８において、より様々な信号処理を行うことができ、信号処理モジュール８の信号処理機能を多様化することができる。
【００７０】
（第３実施形態による効果）
上記第３実施形態によれば、上記第１実施形態による効果と同様な効果を得ることができるとともに、さらに付け加えて、電気信号処理部１３を２つの導体膜１４及び１５と夫々の導体膜１４及び１５との間に挟まれるようにして形成された誘電部１６とが形成されていることにより、電気信号処理部１３に入力される電気信号を誘電体１６において電荷として蓄積することができるとともに、さらに蓄積された電荷を再び電気信号として誘電部１６より取り出すことができる。すなわち、電気信号処理部１３にコンデンサ（あるいはキャパシタ）の機能を備えさせて、その機能に基づいた信号処理を上記電気信号に対して施すことができる。従って、光電子導波路配線１０３に対してこのような機能を備えさせることができ、より様々な信号処理に対しても対応することができ、このような光電子導波路配線１０３が用いられる光電子回路が内蔵される光・電子機器の高機能化を図ることができる。
【００７１】
（実施例）
ここで、上記夫々の実施形態にかかる光電子導波路配線１０１〜１０４を用いた実施例１〜３について以下に説明する。
【００７２】
（実施例１）
まず、実施例１にかかる光電子導波路配線１０５の構造を模式的に示す模式説明図を図６に示す。
【００７３】
図６に示すように、光電子導波路配線１０５は、上記第３実施形態の光電子導波路配線１０３と同様に電気信号処理部６１がコンデンサの機能を有しているが、この電気信号処理部６１の構造が、上記光電子導波路配線１０３と異なっている。ただし、その他の構造は、上記光電子導波路配線１０３と同様であるため、この異なる構造部分についてのみ、以下に説明する。
【００７４】
図６に示すように、光電子導波路配線１０５における電気信号処理部６３には、光電子導波路１ａの上面側接続部１ｅに、その下面である接続端面６４ａが電気的に接続された導体膜６４と、光電子導波路１ｂの上面側接続部１ｆに、その下面である接続端面１ｆが電気的に接続された導体膜６５とが形成されて備えられている。また、夫々の導体膜６４及び６５は、夫々の光電子導波路１ａ及び１ｂの上面及び光信号通過部２の上面に略同じ形成厚さでもって形成されている。さらに、光信号通過部２の上面における図示略中央部分において、導体膜６４及び６５は、夫々の端部が対向するように配置されており、夫々の端部の間には寸法ｄを有する空隙である空気層６７が形成されている。すなわち、導体膜６４と６５とは、空気層６７により互いに接続されることなく、電気的な絶縁性が保たれている（ただし、上記コンデンサの特性により、電気的な導通が可能な状態でもある）。なお、光電子導波路配線１０５においては、図６に示すように、伝達経路６８（図示点線矢印部分）により電気信号が、伝達経路６９（図示実線矢印部分）により光信号が伝達される。また、空気層６７の寸法ｄは、例えば、１０〜１００μｍ程度である。
【００７５】
このように電気信号処理部６１が形成されていることにより、空気層６７は絶縁層でもあるため、空気層６７が上記第３実施形態における誘電部１６の役割を果たすことができる。従って、導体膜６４及び６５との間に空気層６７が形成されていることにより、電気信号処理部６１がコンデンサの機能を有することができ、電気信号処理部６１に入力される電気信号に対して、上記コンデンサの機能としての信号処理を施すことができる。
【００７６】
また、電気信号処理部６１の形成厚さは、導体膜６４及び６５の形成厚さと同じとなるため、電気信号処理部６１の形成厚さをより薄くすることができ、信号処理モジュール６１をコンパクトに形成することができる。
【００７７】
（実施例２）
次に、実施例２にかかる光電子導波路配線１０６の構造を模式的に示す模式説明図を図７に示す。
【００７８】
図７に示すように、光電子導波路配線１０６は、上記第１実施形態の光電子導波路配線１０１における抵抗体としての機能を有する電気信号処理部３と、上記第３実施形態の光電子導波路配線１０３におけるコンデンサとしての機能を有する電気信号処理部１３とが直列的に配列されて形成された電気信号処理部７１を備えている。
【００７９】
図７に示すように、光電子導波路１ａの上面側接続部１ｅには、その下面である接続端面７２ａが電気的に接続されるように、電気抵抗材料により導体膜７２が形成されている。また、光信号通過部２の上面における図示略中央付近には、導体膜７４が形成されており、導体膜７４の図示左側端部が、導体膜７２の図示右側端部と電気的に接続されている。さらに、導体膜７４の上面を覆うように誘電部７６が形成されており、また、この誘電部７６の上面を覆うように導体膜７５が形成されている。また、導体膜７５はその下面図示右側における接続端面７５ａにて、光電子導波路１ｂの上面側接続部１ｆに電気的に接続されている。なお、導体膜７２及び７４と、導体膜７５とは互いに接触されることなく、電気的な絶縁性が保たれている（ただし、上記コンデンサの特性により、電気的な導通が可能な状態でもある）。なお、光電子導波路配線１０６においては、図７に示すように、伝達経路７８（図示点線矢印部分）により電気信号が、伝達経路７９（図示実線矢印部分）により光信号が伝達される。
【００８０】
このような光電子導波路配線１０６によれば、電気信号処理部７３において、抵抗体の機能に基づく信号処理と、コンデンサに基づく信号処理とを併せて備え持つこととなり、より様々な信号処理に対応することができる。
【００８１】
（実施例３）
次に、実施例３にかかる光電子導波路配線１０７の構造を模式的に示す模式説明図を図８に示す。
【００８２】
図８に示すように、光電子導波路配線１０７は、上記第３実施形態の信号処理モジュール８と同様に電気信号に対してコンデンサの機能に基づく信号処理を行うことができるが、電気信号処理部と光信号通過部とが統合された構造の信号処理モジュール８１を備えている。
【００８３】
図８に示すように、光電子導波路配線１０７は、光透過性及び電気絶縁性を有する材料（例えば、石英ガラス等）により形成された光信号通過部８２を備えている。この光信号通過部８２は、電気絶縁性を有するとともに、導電性を有する夫々の光電子導波路１ａ及び１ｂとの間に介在して夫々に接続されている。そのため、この光信号通過部８２が上記第３実施形態の誘電部１６の役割を、夫々の光電子導波路１ａ及び１ｂが上記第３実施形態の導体膜１４及び１５の役割を果たすことができ、上記コンデンサの機能を有することとなる。従って、信号処理モジュール７１において、光信号のみを通過させることができる光信号通過部７２は、電気信号に対してコンデンサの機能に基づく信号処理を施すことができる。なお、光電子導波路配線１０７においては、図８に示すように、伝達経路８８（図示点線矢印部分）により電気信号が、伝達経路８９（図示実線矢印部分）により光信号が伝達される。
【００８４】
このような光電子導波路配線１０７によれば、信号処理モジュール８１において、電気信号処理部を形成されなくても、電気絶縁材料により形成された光信号通過部８２を用いて、コンデンサの機能に基づく電気信号に対する信号処理を施すことができる。従って、信号処理モジュール８１をよりコンパクトに形成することができる。
【００８５】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【００８６】
【発明の効果】
本発明の上記第１態様によれば、光電子回路等において伝達される光信号と電気信号とが、従来のように、別々の配線、又は２層構造の配線でもって伝達されるのではなく、外観的及び構造的に１本の配線とされた、すなわち、単層構造を有する光電子導波路を用いて、光信号及び電気信号を伝達することができる。すなわち、光信号を伝達可能な光導波路が、光透過性を有する導体材料で一体的に形成されていることにより、同一（すなわち１本）の上記光導波路において光信号だけでなく電気信号をも伝達することができる。これにより、光電子回路が形成される回路基板において、形成される配線数を削減（すなわち、統合化）することができるとともに、その配線自体を上記光電子導波路として単層構造で形成することができるため、配線の省配線化及びその構造の簡素化を図ることができ、このような光電子回路が用いられる光・電子機器の小型軽量化を実現することが可能となる。
【００８７】
さらに、このような上記光電子導波路において伝達される光信号の伝達経路（伝達方向）を遮るように上記光電子導波路に介在させて、光透過性及び電気絶縁性を有する材料で形成された光信号通過部と、上記光信号通過部の前後における夫々の上記光電子導波路と電気的に接続されるように、非光透過性を有する（すなわち、光透過性を有さない）導体材料で上記光信号通過部に積層されて形成された電気信号通過部とが備えられて光電子導波路配線が形成されていることにより、上記光電子導波路配線において伝達される光信号と電気信号との分岐及びその後の統合（合流）を、より簡素化された配線構造でもって行うことができる。すなわち、上記光信号通過部が光透過性及び電気絶縁性を有していることにより、上記光電子導波路により伝達される光信号と電気信号が、上記光信号通過部において上記電気信号は通過されず、上記光信号のみを通過させることとなる。また、上記電気信号通過部が非光透過性及び導電性を有していることにより、上記伝達される夫々の信号が、上記電気信号通過部において上記光信号は通過されず、上記電気信号のみを通過させることとなる。よって、同一の上記光電子導波路にて伝達される光信号及び電気信号とを、上記光信号通過部と上記電気信号通過部において分岐させることができる。また、上記分岐された夫々の信号は、上記光信号通過部及び上記電気信号通過部を通過した後、再び上記光電子導波路に入力されて統合（合流）させることができる。
【００８８】
従って、このような夫々の信号の分岐・統合部分の省配線化及びその構造の簡素化を図ることができ、このような光電子導波路配線を用いた回路基板により形成される光電子回路を内蔵する光・電子機器の小型軽量化を図ることができる。
【００８９】
また、上記光信号通過部に積層させるようにして上記電気信号通過部を形成するというように、上記夫々の信号の分岐・統合部分の省配線化及びその構造の簡素化及びコンパクト化を図ることにより、上記光電子導波路配線内を伝達される夫々の信号の伝達ロスを低減させることができ、上記光電子導波路配線における伝達速度を向上させて、このような光電子導波路配線が用いられる光・電子機器の処理速度の高速化を図ることができる。
【００９０】
本発明の上記第２態様によれば、さらに、このような上記光電子導波路により伝達される光信号及び電気信号のうちの電気信号のみの信号処理を行うような場合にあっては、上記光電子導波路配線における上記電気信号通過部を電気信号処理部とさせることにより、光信号のみを上記光信号通過部に通過させ、かつ、電気信号のみを上記電気信号処理部に通過させながら、上記通過される電気信号の信号処理を行うことができる。つまり、１本の上記光電子導波路において同時的に伝達される光信号と電気信号とを、信号処理のために別々の配線に大きく分岐させることなく、上記光電子導波路の経路上に形成された上記光信号通過部及び上記電気信号処理部を用いて、上記光信号通過部において上記光信号のみを通過させて、上記電気信号処理部において上記電気信号を通過させながら信号処理を施し、その後、夫々の信号を上記光電子導波路に入力させて統合させることができる。また、電気信号のための信号処理部を上記光電子導波路と離れて備えさせるのではなく、上記光電子導波路に介在して接続されている上記光信号通過部に積層させて上記電気信号処理部が形成されているため、上記電気信号処理部を上記光信号通過部及び上記光電子導波路と一体的に形成してコンパクトな構造とすることができる。従って、このような夫々の信号の分岐・統合部分の省配線化及びその構造の簡素化及びコンパクト化を図ることができるとともに、さらに、上記コンパクト化により、接続距離を短縮化することができ、高速化された信号処理をも行うことができ、このような光電子導波路配線を用いた回路基板により形成される光電子回路を内蔵する光・電子機器の小型軽量化及び信号処理の高速化を図ることができる。
【００９１】
本発明の上記第３態様から上記第６態様によれば、上記光電子導波路配線における上記電気信号処理部を、電気抵抗材料で形成することにより抵抗の機能を備えさせることができ、また、コイル状に形成することによりインダクタの機能を備えさせることができ、さらに、誘電体材料で形成すること、あるいは空気層部を形成することによりコンデンサ（又はキャパシタ）の機能を備えさせることができる。従って、電気信号処理部に様々な信号処理機能を備えさせることができ、様々な信号処理に対応するこができる多様性を備えた光電子導波路配線を提供することができる。
【００９２】
本発明の上記第７態様によれば、上記光電子導波路配線において、コンデンサの機能に基づいた電気信号の信号処理を備えさせることが要求されるような場合に、上記電気信号処理部を形成させなくても、電気絶縁材料で形成されている上記光信号通過部を上記コンデンサの誘電体部分として、さらに上記光信号通過部を介して夫々接続されている上記光電子導波路を上記誘電体部分を挟むようにして配置された上記コンデンサの導体部分として、上記光信号通過部に上記コンデンサの機能を備えさせることができる。従って、さらに小型軽量化及び構造の簡素化を図ることができる光電子導波路配線を提供することができる。
【００９３】
本発明の上記第８態様によれば、上記光電子導波路配線における上記電気信号通過部を上記電気信号処理部として、通過される電気信号に対する信号処理を可能とするのと同様に、上記光信号通過部を光信号処理部として、通過される光信号に対する信号処理を可能とさせることができる。従って、このような夫々の信号の分岐・統合部分の省配線化及びその構造の簡素化を図ることができるとともに、さらに電気信号に加えて光信号の信号処理をも行うことができ、このような光電子導波路配線を用いた回路基板により形成される光電子回路を内蔵する光・電子機器の小型軽量化を図ることができる。
【００９４】
本発明の上記第９態様から上記第１１態様によれば、上記光電子導波路配線における上記光信号処理部を、光波長フィルタで形成することにより、入力される光信号における所定の波長のみを通過させるような信号処理を行うことができ、また、光アイソレータで形成することにより、所定の方向の波長のみを通過させるような信号処理を行うことができ、さらに、入力される光信号の波長に対する光強度分布を少なくさせる機能を有する光フィルタで形成することにより、この光フィルタが有する機能を備えさせることができる。従って、上記光信号処理部に様々な信号処理機能を備えさせることができ、様々な信号処理に対応するこができる多様性を備えた光電子導波路配線を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる光電子導波路配線の模式説明図であり、（Ａ）は光電子導波路配線の光信号及び電気信号の伝達方向沿いの模式断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の光電子導波路配線における電気信号処理部を透過させた半透過平面図であり、（Ｃ）は光電子導波路配線の等価回路図である。
【図２】本発明の第２実施形態にかかる光電子導波路配線の模式説明図であり、（Ａ）は光電子導波路配線の光信号及び電気信号の伝達方向沿いの模式断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の光電子導波路配線における電気信号処理部を透過させた半透過平面図であり、（Ｃ）は光電子導波路配線の等価回路図である。
【図３】本発明の第３実施形態にかかる光電子導波路配線の光信号及び電気信号の伝達方向沿いの模式断面図である。
【図４】上記第３実施形態の変形例にかかる光電子導波路配線の光信号及び電気信号の伝達方向沿いの模式断面図である。
【図５】図３の光電子導波路配線の等価回路図である。
【図６】本発明の実施例１にかかる光電子導波路配線の光信号及び電気信号の伝達方向沿いの模式断面図である。
【図７】本発明の実施例２にかかる光電子導波路配線の光信号及び電気信号の伝達方向沿いの模式断面図である。
【図８】本発明の実施例３にかかる光電子導波路配線の光信号及び電気信号の伝達方向沿いの模式断面図である。
【図９】従来の光電子配線の光信号及び電気信号の伝達方向沿いの模式断面図である。
【符号の説明】
１、１ａ、及び１ｂ…光電子導波路、１ｃ、及び１ｄ…接続端面、１ｅ、及び１ｆ…上面側接続端面、２…光信号通過部、２ａ、及び２ｂ…接続端面、３…電気信号処理部、３ａ…端部（左側）、３ｂ…端部（右側）、５、及び６…信号処理モジュール、７…光信号処理部、８…信号処理モジュール、１１…光信号の伝達経路、１２…電気信号の伝達経路、１３…電気信号処理部、１４、及び１５…導体膜、１６…誘電部、１７…電気信号処理部、２１、及び２３…電気信号の伝達経路、２２、及び２４…光信号の伝達経路、３１…電気信号、３２…光信号、３３…抵抗体、３４…光信号、３５…光フィルタ、３６…電気信号、３８…コンデンサ、１０１〜１０７…光電子導波路配線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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