(57)【要約】【課題】内部にマイクロ流路を供えるチップを検査する際は、マイクロ流とチップのポートに流体導管を接着剤等により固定して検査を行っていたため、作業性が悪く、また、検査後のチップは使用できないので廃棄せざるを得なかった。【解決手段】内部にマイクロ流路からなる反応室１７を形成したマイクロ流路チップ４は、チップ固定部材３のチップソケット部８に嵌合する。このとき、チップ裏面の圧電振動子１６のリード線１８はコネクタ端子１１に自動的に接続する。チップ固定部材３にピン２１で揺動自在に支持した導管接続部材２に対して、導管固定部材５を導管固定部材保持具６により保持している。導管固定部材５には、可撓性の流体導管４０の先端部４５を、チップの表面に開口するポートに対向するように固定している。導管固定部材２をチップ固定部材３に対して閉じると、可撓性の流体導管４０の先端部４５はポートに圧接する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に複数の流体ポートを有し内部に流路を形成したマイクロ流路チップを嵌合する凹部を備えたチップ固定部材と、
前記チップ固定部材に嵌合した前記マイクロ流路チップの表面に対して相対的に可動な導管接続部材と、
前記導管接続部材に保持され、先端開口が前記マイクロ流路チップの流体ポートに対向する位置に配置した複数の可撓性の流体導管を固定する導管固定部材とを備え、
前記導管接続部材には前記流体導管を開閉する複数のバルブを設けたことを特徴とするバルブ付きマイクロ流路チップ用ソケット。
【請求項２】
前記導管接続部材は前記チップ固定部材に対してヒンジにより揺動自在に支持したことを特徴とする請求項１記載のバルブ付きマイクロ流路チップ用ソケット。
【請求項３】
前記導管接続部材には前記チップ固定部材に係合する係合部材を設けたことを特徴とする請求項２記載のバルブ付きマイクロ流路チップ用ソケット。
【請求項４】
前記チップ固定部材の凹部には、マイクロ流路チップ嵌入時にマイクロ流路に設けたリード線に接続する端子を設けたことを特徴とする請求項１記載のバルブ付きマイクロ流路チップ用ソケット。
【請求項５】
前記バルブは導管接続部材に螺合するねじであり、ねじ直下に配置した前記流体導管をねじの回転で押し潰すことにより閉鎖することを特徴とする請求項１記載のバルブ付きマイクロ流路チップ用ソケット。
【請求項６】
前記導管接続部材には前記流体導管に対応する複数の溝を備え、該溝に流体導管を配置した状態で前記導管固定部材を導管接続部材に保持する導管固定部材保持具を備えたことを特徴とする請求項１記載のバルブ付きマイクロ流路チップ用ソケット。
【請求項７】
前記溝に進退自在に設けたねじを備え、該ねじの回転で前記溝内に配置した流体導管を押し潰すことにより流体導管を閉鎖することを特徴とする請求項６記載のバルブ付きマイクロ流路チップ用ソケット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の流体開口を備え内部にマイクロ流路を形成して各種化学反応試験を行うチップを着脱することができ、そのチップに対して複数の流体管路を接続・離脱自在とし、且つその流体管路に設けたバルブにより任意の流体管路からチップに対して流体を供給し、排出することができるようにしたバルブ付きマクロ流路チップ用ソケットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年の各種化学反応装置、化学分析装置、バイオ分析・処理装置においては、微量の試料や試薬等を反応させるため、マイクロメータオーダーの流路と反応部を形成したチップを用いることが多くなっている。このマイクロ流路チップにおいては、例えば図８に示すように、内部に流体の混合を行うことができる反応室５１を備え、図示の例においては同図（ｂ）のように、この反応室５１に対してマイクロ流路チップ５０の表面５２側に開口する第１ポート５３、第２ポート５４、第３ポート５５を連通し、第１ポート５３から導入する第１流体５６と第２ポート５４から導入する第２流体５７とを反応室５１で混合して化学反応を生起させ、その流体を第３ポート５５から外部に排出している。
【０００３】
このマイクロ流路チップ５０においては、図８（ｂ）に示すように、酸化珪素等の素材からなる第１基板５８に対して、その裏面側に開口するように前記反応室５１及び各ポートをエッチング等により形成し、その裏面側に表面が平坦な第２基板５９を貼り付けることによって前記反応室５１及び各ポートを閉じている。
【０００４】
このようなマイクロ流路チップ５０に対して実際に流体を導入し、排出するに際しては、例えば前記図９（ａ）に斜視図で示す前記のようなマイクロ流路チップ５０に対して、同図（ｂ）に示すように、例えば第１ポート５３に対して第１流体導管６０を接着剤６１等で連結固定し、同様に第２ポート５４に対しては第２流体導管６２を接着剤６３等で、また第３流体導管５５に対しては第３流体導管６４を接着剤６５等で連結固定している。
【０００５】
このようなマイクロ流路チップとしては前記のような最も単純な２ポートからの流体を混合して１ポートから排出するチップの他、例えば図１０（ａ）に示すように、第１ポート７１、第２ポート７２、第３ポート７３から各々流体を導入することができるようにし、これらの流体を反応室７５で混合し、第４ポート７４から反応後の流体を排出するようなマイクロ流路チップ７６を用いることもある。
【０００６】
上記マイクロ流路チップは更に種々の態様でポートを形成し、各種の流体の混合を行い、その排出も複数のポートから行うことができるようにすることも可能である。また、複雑な化学反応を連続して行わせるため、このようなマイクロ流路チップを複数接続し、例えば図９（ｂ）に示すような第３流体導管６４から排出した流体を次のマイクロ流路チップの流体導入管路に接続し、そのチップ内で他の流体と混合して排出する等の流路構成を採用することもできる。
【０００７】
このように、マイクロ流路チップの１つの反応室に対して多くに流体を導入するため、導入する流体の種類の数だけポートを形成する必要があり、このマイクロ流路チップ７６では例えば図９（ｂ）に示すよう、全体として８個のポートを形成可能とし、このうちの任意の位置のポートを使用して流体導管を接続して使用することができる。
【０００８】
なお、上記のようなマイクロ流路を形成したチップを用いることは、例えば特許文献１に記載されている。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００１−７４７２４号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなマイクロ流路チップは現在は広範な分野で利用されるようになっているが、これを製造するに際しては、前記のように極めて微細なマイクロ流路が所定の状態で形成されているか否かを試験する必要がある。従来このようなときには、製造されるマイクロ流路チップの内の任意のものをサンプルで取り出し、そのサンプルのマイクロ流路チップに対して例えば前記図９（ｂ）に示すように各ポートに流体導管を接続し、実際に各流体導管に流体を導入及び排出して、所定の流路が形成されているか否かの試験を行うこととなる。
【００１１】
しかしながら、前記のように各ポートに対して流体導管を接続するに際しては、接着剤等によって気密に接続する必要があるため、このような試験を行った後のマイクロ流路チップを再生するためにはその接着剤等を剥がす必要があるため、実際上はこのような試験後のマイクロ流路チップは再度使用することができない。
【００１２】
そのため、全品チェックを行うことができないばかりでなく、高価なマイクロ流体チップを廃棄する必要があり、多くの無駄を生じることととなる。また、前記のようにポートに対して流体導管を各々接続する必要があり、作業性が低下するという問題もある。
【００１３】
したがって本発明は、マイクロ流体チップを容易に試験を行うことができ、またその試験に際しマイクロ流路チップに対して損傷を与えることなく試験を行うことができ、それにより試験後のマイクロ流路チップを使用することが可能となり、且つ製造されたチップの全品チェックも可能となるようにしたバルブ付きマイクロ流路チップ用ソケットを提供することを主たる目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明のバルブ付きマイクロ流路チップ用ソケットは、表面に複数の流体ポートを有し内部に流路を形成したマイクロ流路チップを嵌合する凹部を備えたチップ固定部材と、前記チップ固定部材に嵌合した前記マイクロ流路チップの表面に対して相対的に可動な導管接続部材と、前記導管接続部材に保持され、先端開口が前記マイクロ流路チップの流体ポートに対向する位置に配置した複数の可撓性の流体導管を固定する導管固定部材とを備え、前記導管接続部材には前記流体導管を開閉する複数のバルブを設けたものである。
【００１５】
また、前記導管接続部材は前記チップ固定部材に対してヒンジにより揺動自在に支持したものであり、また、前記導管接続部材には前記チップ固定部材に係合する係合部材を設けたものであり、また、前記チップ固定部材の凹部には、マイクロ流路チップ嵌入時にマイクロ流路に設けたリード線に接続する端子を設けたものであり、また、前記バルブは導管接続部材に螺合するねじであり、ねじ直下に配置した前記流体導管をねじの回転で押し潰すことにより閉鎖するようにしたものであり、また、前記導管接続部材には前記流体導管に対応する複数の溝を備え、該溝に流体導管を配置した状態で前記導管固定部材を導管接続部材に保持する導管固定部材保持具を備えたものであり、また、前記溝に進退自在に設けたねじを備え、該ねじの回転で前記溝内に配置した流体導管を押し潰すことにより流体導管を閉鎖するようにしたものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例を図面に沿って説明する。図１には本発明によるバルブ付きマイクロ流路チップ用ソケット１の全体構成の断面図を示しており、（ａ）は導管接続部材２をチップ固定部材３からヒンジ部を中心に上方に解放している状態を示し、（ｂ）は導管接続部材２をチップ固定部材３に対して閉じている状態を示している。また、図２及び図３にはチップ固定部材３及びこれに装着されるマイクロ流路チップ４を示し、図４〜図７には導管接続部材２とこれに装着される導管固定部材５、更にこの導管固定部材５を導管接続部材２に対して保持する導管固定部材保持具６を示している。
【００１７】
チップ固定部材３の表面７には図２（ｂ）に示すようにチップソケット部８を備え、例えば前記図８及び図９に示したような構成のマイクロ流路チップ４を嵌合することができるようにしている。図示の例においては、このチップソケット部８はチップソケット部８の四周方向において、上方に突出する複数の爪部１０を備えてチップソケット部８の四方を囲んでおり、これらの爪部１０で形成される空間に図２（ａ）に示すようなマイクロ流路チップ４を嵌合している。
【００１８】
図２及び図３に示す例においては、チップソケット部８の四周の各々における複数の爪部１０の間及びその側部に複数のコネクタ端子１１を配置しており、これらのコネクタ端子１１の先端部を爪部１０の下部においてチップソケット部８内に突出させて突出部９を形成しており、それによりこのチップソケット部８にマイクロ流路チップ４を嵌合するとき、その底部が前記突出部９上に載置され、チップソケット部８内に収納することができるようにしている。また、コネクタ端子１１の他端部は図３（ｂ）に示すように、チップ固定部材３の裏面側に突出しており、任意のコネクタ端子に対して外部から電力を供給するようにしている。
【００１９】
なお、ここで用いられるマイクロ流路チップ４は、例えば図１に断面図で示すように、マイクロ流路１２が形成された第１基板１３と、この裏側に貼り付けられる第２基板１４から構成され、第２基板１４の裏面には凹部１５を形成し、この凹部１５に圧電振動子１６を取り付けており、この圧電振動子１６に通電して振動させることにより、マイクロ流路チップ４内に形成された優待流路の一部としての反応室１７内の混合流体が充分に混合できるようにしている。
【００２０】
圧電振動子１６のリード線１８は、第２基板１４の下面に延在し、それにより、このマイクロ流路チップ４を前記のようにチップソケット部８に収納し、その底部をコネクタ端子１１の突出部９に載置するとき、その突出部９が前記圧電振動子１６の底面に延在しているリード線１８と接続することができ、それにより圧電振動子１６に対して外部から電力を供給することができるようにしている。
【００２１】
チップ固定部材３はその側面にヒンジ支持部２０を図中上方に突出して設けており、後述する導管接続部材２のヒンジ支持部３０とピン２１により回動自在に支持している。またチップ固定部材３におけるこのヒンジ支持部２０に対向する側面には、図中右方向に突出した表面１９と平行に係止突起２２を備えている。
【００２２】
導管接続部材２は、図４に示すように中心部に開口２４を形成しており、その開口２４には、図１に示す組立状態においてチップ固定部材３の表面に対向する面である内側面２５側に拡径段部３９を形成している。また、内側面２５には図中８本の溝２６を形成しており、そのうち４本は図示実施例においては略四角形の導管接続部材２の対角線方向に形成し、他の４本は図中左右の側面方向に各々２本ずつ平行に形成している。
【００２３】
図中８個の溝２６には図４（ａ）に示すようにねじ穴２７が各々開口しており、個のねじ穴２７を備えており、このねじ穴２７には、図４（ｂ）に示すように各々ねじバルブ２８を螺合している。また、前記溝２６が形成されない図中上下の両側面に沿って嵌合溝２９を形成しており、この部分に後述する導管固定部材保持具６の係止爪３７が嵌合することができるようになっている。
【００２４】
導管接続部材２の図４中左方向の側面には２個のヒンジ支持部３０が突出しており、両ヒンジ支持部３０の中間部には前記チップ固定部材３のヒンジ支持部２０が嵌合する空間となっている。また、２個のヒンジ支持部３０には各々ストッパ３１を突出しており、図１（ａ）に示すようにチップ固定部材３から導管接続部材２を解放し、更に略垂直方向まで解放するときにこのストッパ３１がチップ固定部材３の側面に当接してそれ以上解放しないようにすると共に、その状態を保持することができるようにしている。
【００２５】
導管接続部材２の図４中右側の側面にも２個のヒンジ支持部３２を備えており、両ヒンジ支持部３２の間には揺動爪３３をピン３４によりヒンジ支持部３２で揺動自在に支持している。また、ピン３４にはねじりバネ３５が巻かれており、図１に示すように、このねじりバネ３５によって揺動爪３３を図１中時計回り方向に付勢している。それにより、図１（ａ）に示す状態から同図（ｂ）に示すように導管接続部材２をチップ固定部材３に対して閉じるとき、揺動爪３３がチップ固定部材３の係止突起２２に弾性的に係合し、両部材が一体化するようになっている。
【００２６】
導管固定部材保持具６は図５（ａ）及び図６（ａ）に示すように、導管接続部材２の嵌合溝２９に嵌合する係止爪３７を両側に突出しており、その中心部には開口３８を形成し、図６（ａ）に示されるようにその裏面には四角形の凹部４０を形成している。
【００２７】
また、導管固定部材５は図５（ｂ）及び図６（ｂ）に示すように、四角形の基板４１に円形の基台４２を突出し、この基台４２から四角形の導管支持部４３を突出すると共に、図示実施例においては８本の可撓性の流体導管４４をこれらの部材を貫通して設けている。この流体導管４４の先端部４５は導管支持部４３からわずかに突出しており、例えば図１（ｂ）に示すように導管接続部材２がチップ固定部材３に対して閉じているとき、この先端部４５がチップ固定部材３に支持されたマイクロ流路チップ４のポートに嵌入し、また、ポートが存在しない部分の前記先端部４５は、マイクロ流路チップ４の表面に対してその弾性によって変形しながら押しつけられるようになっている。
【００２８】
導管固定部材５に設けられる流体導管４４は、その先端部４５が前記図１０（ｂ）に示すような、このマイクロ流路チップの各種の使用態様によって存在しうる全てのポートの位置に対応して予め固定している。
【００２９】
導管固定部材５の円形の基台４２は導管固定部材保持具６の開口３８に嵌合可能となっており、この嵌合時には導管固定部材５の四角形の基板４１が、導管固定部材５の凹部４０に嵌合する。導管固定部材保持具６に対して導管固定部材５が嵌合した状態は図５（ｃ）に示されている。
【００３０】
上記のように導管固定部材５と導管固定部材保持具６とを組み合わせつつ、図６に示すように導管固定部材保持具６の係止爪３７を、導管接続部材２の嵌合溝２９に嵌合して組み付ける際、導管固定部材５から延びる流体導管４４の可透性を利用して導管接続部材２の溝２６内に嵌入するように曲げる。図６（ｂ）に示す流体導管４４の状態は、流体導管の自由状態から前記のように溝２６に入るように曲げた状態を示しており、これらの流体導管は図示のように何ら拘束のない状態では、その弾性力によって元の自由状態に戻ることとなる。このような溝２６を形成し、この溝内に流体導管を嵌入することによって、流体導管を安定して保持することができるようにしている。
【００３１】
図７（ａ）のように導管固定部材５を導管固定部材保持具６に嵌合し、導管固定部材保持具６を同図（ｂ）に示す導管接続部材２に対して係止爪３７と係止溝２９の弾性係合によって同図（ｃ）に示すようにこれらは一体化する。
【００３２】
このようにして組み立てられた状態の断面図が図１に示されており、その使用に際しては、同図（ａ）に示すように導管接続部材２をチップ固定部材３から解放している状態で、前記図２に示すようにチップソケット部８にマイクロ流路チップ４を嵌合し、次いで導管接続部材２を図１（ａ）の状態から同図（ｂ）に示す状態にチップ固定部材３に対して閉じると、図中下方に突出している流体導管４４の先端部４５が、マイクロ流路チップ４のポートが存在する部分では同図（ｂ）の図中左側のポートに示すようにそのポート内に密封状態で嵌合し、また、ポートが存在しない部分では図中右側の流体導管４４に示すようにマイクロ流路チップ４の表面に弾性変形しながら押しつけられる。
【００３３】
このとき、導管接続部材２の揺動爪３３がチップ固定部材３の係止突起２２に係合しており、導管接続部材２とチップ固定部材３とが一体化している。この状態では、流体導管４４が全て導管接続部材２の溝２６に入っており、チップソケット部８に嵌合した試験を行うチップ４のポートに対応している流体導管４４以外の流体導管４４に対しては、ねじバルブ２８を回転して図１の図中右側の流体導管４４に示すようにその先端で流体導管４４を流体導管固定部材保持具６の裏面に対して押しつけ、その流路を閉鎖する。
【００３４】
なお、図１においてはねじバルブ２８の先端によって直接流体導管４４を押しつける例を示したが、例えばねじバルブ２８に押圧用球体を設け、その球体によって流体導管４４を押しつけることもでき、その他適宜のガイド部材を用いて流体導管を押しつけて閉鎖するようにしても良い。
【００３５】
このように全てがセットされた状態で、バルブが解放されている流体導管４４に流体を供給することにより、マイクロ流体チップ４内の流れの状態を検査することができる。また、必要に応じてマイクロ流路チップ４の裏面に設けた圧電振動子１６に対して通電し、振動状態を検査することもできる。検査の終了後は、導管接続部材２の揺動爪３３をねじりバネ３５の付勢力に抗して揺動し、その係止状態を解放し、次いで導管接続部材２をピン２１を中心に再び図１（ａ）に示すようにチップ固定部材３から解放する。この状態で、チップソケット部８のマイクロ流体チップを次のものと交換し、以下同様の作動を繰り返して検査を行う。その際に、チップソケット部８に嵌合するマイクロ流路チップのポートの配置に対応してねじバルブ２８を解放し、或いは閉鎖する。
【００３６】
上記実施例においては、本発明者が実際に製造した装置の例を示したものであるが、本発明はこれ以外に種々の態様で実施することができ、例えばチップ固定部材３と導管接続部材２の相対的な移動に際しては、ヒンジによる移動以外に、互いに平行に移動する機構を用いることもでき、またバルブとしてねじバルブを用いる以外に、電磁バルブ等、公知の種々のバルブを使用することもできる。また、前記実施例においてはチップ固定部材にリード線を設けた例を示したが、圧電振動子を用いないマイクロ流路チップの時には必ずしもリード線を設ける必要はない。更に流体導管固定部材を流体導管接続部材に固定するときには、上記実施例のように導管固定部材保持具を用いることなく種々の固定手段で固定することも可能であり、また、流体導管を溝に嵌入することなく、適宜の導管ガイド部材があるば良く、更に流体導管を開閉するバルブは必ずしも溝内の流体導管に対して作用させる必要はない。また、上記実施例においてはマイクロ流路チップのポートに凹部５４を設け、この凹部５４に流体導管４４の先端部４５を嵌合した例を示したが、この凹部は必ずしも必要が無く、場合によっては逆に凸部とし、その凸部に先端部４５を外嵌するように構成しても良い。
【００３７】
また、このような装置はマイクロ流路チップの試験のために使用する以外に、各種のマイクロ流路チップを使用する実験等において、実際にこのマイクロ流路チップ内で化学反応を行わせることも可能である。その際には、例えば１つのマイクロ流路チップに例えば前記１０に示すようなこのチップに形成可能な全てのポートを予め形成しておき、このマイクロ流路チップを前記チップソケット部に嵌合し、化学反応に必要な流路以外の流体管路をバルブにより閉じ、解放している流体管路を利用して所定の流体を導入し、所望の化学反応を行わせることもでで、単一の汎用マイクロ流路チップを用いて、所望の化学反応のために使用することもできる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、マイクロ流体チップの試験を容易に行うことができ、またその試験に際しマイクロ流路チップに接着剤で流体導管を接続する等によって流体導管に損傷を与えることなく試験を行うことができる。また、このように試験によってチップに損傷を与えることがないので試験後のマイクロ流路チップをそのまま使用することが可能となり、それにより製造されたチップの全品チェックも可能となるようにしたバルブ付きマイクロ流路チップ用ソケットとすることができる。また、導管接続部材にバルブを設けているので、予め複数流路のマイクロ流路チップに対応可能なように全ての流体導管を固定しておき、マイクロ流路チップに合わせて任意の導管のみを連通させるようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の断面図であり、（ａ）は導管接続部材の解放状態の断面図であり、（ｂ）は閉鎖状態の断面図である。
【図２】本発明のチップ固定部材とそれに収納されるマイクロ流路チップの斜視図であり、（ａ）はマイクロ流路チップの一実施例の拡大斜視図であり、（ｂ）はマイクロ流路チップを収納する前の状態を示すチップ固定部材の斜視図であり、（ｃ）はマイクロ流路チップを収納後のチップ固定部材の斜視図である。
【図３】チップ固定部材の表側、及び裏側の斜視図である。
【図４】流路接続部材の表側、及び裏側の斜視図である。
【図５】導管固定部材と導管固定部材保持具の関係を示す斜視図であり、（ａ）は導管固定部材を導管固定部材保持具単独の斜視図であり、（ｂ）は導管固定部材単独の斜視図であり、（ｃ）は導管固定部材と導管固定部材保持具を結合した状態を示す斜視図である。
【図６】導管固定部材を導管固定部材保持具により流路接続部材に取り付ける前の相互の関係を示す斜視図であり、（ａ）は取り付け前の導管固定部材保持具の斜視図、（ｂ）は取り付け前の導管固定部材の斜視図であり、（ｃ）は取り付け前の流路接続部材の斜視図である。
【図７】導管固定部材を導管固定部材保持具に取り付けて流路接続部材に取り付ける前の関係を示す斜視図であり、（ａ）は導管固定部材を導管固定部材保持具に取り付けた状態の斜視図であり、（ｂ）は導管固定部材保持具を取り付ける前の導管固定部材の斜視図であり、（ｃ）は導管固定部材を保持した導管固定部材保持具を導管固定部材に取り付けた状態の斜視図である。
【図８】従来のマイクロ流路チップの例を示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ部分の断面図である。
【図９】従来のマイクロ流路チップに流体導管を取り付ける例を示し、（ａ）はマイクロ流路チップのみの斜視図、（ｂ）は流体導管を取り付けた状態の斜視図である。
【図１０】従来のマイクロ流路チップの他の例を示し、（ａ）はその斜視図、（ｂ）は更に他の例の斜視図である。
【符号の説明】
１  マイクロ流路チップ用ソケット
２  導管接続部材
３  チップ固定部材
４  マイクロ流路チップ
５  導管固定部材
６  導管固定部材保持具
７  表面
８  チップソケット部
９  突出部
１０  爪部
１１  コネクタ端子
１２  マイクロ流路
１３  第１基板
１４  第２基板
１５  凹部
１６  圧電振動子
１７  反応室
１８  リード線
１９  表面
２０  ヒンジ支持部
２１  ピン
２２  係止突起
２４  開口
２５  内側面
２６  拡径段部
２７  ねじ穴
２８  ねじバルブ
２９  嵌合溝
３０  ヒンジ支持部
３１  ストッパ
３２  ヒンジ支持部
３３  揺動爪
３４  ピン
３５  ねじりバネ
３７  係止爪
３８  開口
４０  凹部
４１  基板
４２  基台
４３  導管支持部
４４  流体導管
４５  先端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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