(57)【要約】【課題】ＴＦＴアレイ基板の異なるレイアウトに対応した部材を要することなく共通の部材の使用を可能とすること。【解決手段】ＴＦＴアレイ基板２と電気的に接続するプローバフレーム３を備える。プローバフレーム３は、ＴＦＴアレイ基板２の各ＴＦＴアレイに設けられた各駆動電極端子と各配線を介して接続されるアレイ検査用電極と接触するプローバピンを備え、このプローバピンのピン位置を各ＴＦＴアレイ基板のレイアウトに対して共通とする。プローバピンのピン位置を常に同じ位置とする構成とすることにより、単一のプローバフレームでレイアウトが異なるＴＦＴアレイ基板に対応することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜トランジスタをマトリックス状に形成してなるＴＦＴアレイ基板のアレイ検査を行う装置であって、
前記ＴＦＴアレイ基板と電気的に接続するプローバフレームを備え、
前記プローバフレームは、前記ＴＦＴアレイ基板の各ＴＦＴアレイに設けられた各駆動電極端子に各配線を介して接続されるアレイ検査用電極と接触するプローバピンを備え、
当該プローバピンのピン位置は各ＴＦＴアレイ基板のレイアウトに対して共通であることを特徴とする、ＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項２】
前記プローバフレームと外部装置とに対して着脱自在に接続する接続手段を備え、
当該接続手段は前記プローバピンと外部装置との間の接続関係を切り換える切換手段を備えることを特徴とする、請求項１に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項３】
前記切換手段は、前記プローバピンと接続する電極と外部装置と接続する電極との電極間を、ＴＦＴアレイ基板のレイアウトに応じて接続する配線を備える接続切換コネクタであることを特徴とする、請求項２に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項４】
前記切換手段は、前記プローバピンと外部装置と接続する電極との間の接続を外部制御信号により切り換えるスイッチング素子を備えることを特徴とする、請求項２に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスブレイなどに使われるＴＦＴアレイ基板の検査に使用するＴＦＴアレイ検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
薄膜トランジスタアレイ基板（以下、ＴＦＴアレイ基板という）は、マトリックス状に配置された薄膜トランジスタと、この薄膜トランジスタに駆動信号を供給する信号電極とを備える。図１１はＴＦＴアレイ基板の概略、及び従来のＴＦＴアレイ検査装置の概略を説明するための図である。図１１において、ＴＦＴアレイ基板１２はガラス基板等で形成される基板上に複数のＴＦＴアレイ１２ａを備え、各ＴＦＴアレイ１２ａはマトリックス状に配列された複数の薄膜トランジスタ（図示していない）を備え、この薄膜トランジスタは、走査信号電極端子１２ｂ，映像信号電極端子１２ｃからの信号により駆動される。
【０００３】
このＴＦＴアレイ基板１２に形成される各ＴＦＴアレイ１２ａを検査する装置としてＴＦＴアレイ検査装置１１が知られている。ＴＦＴアレイ検査装置１１は、走査信号電極端子１２ｂ，映像信号電極端子１２ｃと電気的に接続する検査用プローバ電極１１ｂ−１，１１ｂ−２と検査回路１１ｃを備える。検査回路１１ｃは電圧供給手段と検出手段とを備え、電圧供給手段から所定の電圧を印加し、検出手段により電流を検出して、ゲート−ソース間の短絡、点欠陥、断線等を調べる。
【０００４】
このようなＴＦＴアレイ検査装置の例として、例えば特許文献１が知られている。
【特許文献１】
特開２００１−２７２６４３号公報（第２，５図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ＴＦＴアレイは例えば液晶パネルとして使用される。このＴＦＴアレイは様々なサイズや仕様があり、ＴＦＴアレイ基板上には、これら様々なサイズや仕様のパネルがレイアウトされている。そのため、ＴＦＴアレイ基板上に形成される駆動用電極はレイアウト毎に異なる。
【０００６】
そのため、従来、ＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置においても、ＴＦＴアレイのレイアウトに応じて検査用プローバ電極の電極位置を設定したものを用意しておき、検査するＴＦＴアレイ基板に応じて交換する必要があり、交換に手間を要し検査時間を要するという問題がある。
【０００７】
また、新たにレイアウトを変更すると、ＴＦＴアレイ基板装置も新たに用意する必要がある。この新たなＴＦＴアレイ検査装置に要する費用は、ＴＦＴアレイ検査の主たるランニングコストとなっている。
【０００８】
各ＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ基板装置に代えて、ＴＦＴアレイ基板に配置されるＴＦＴアレイの全電極と接触するプローバピンを備えたプローバフレームも提案されているが、このプローバフレームにおいても、ＴＦＴアレイ基板装置と同様に、ＴＦＴアレイの新たなレイアウトに対しては、電極配列に対応したプローバフレームをそれぞれ用意する必要がある。
【０００９】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、ＴＦＴアレイ基板の異なるレイアウトに対応した部材を要することなく共通の部材の使用を可能とすることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ＴＦＴアレイ基板のアレイ検査において、異なるレイアウトのＴＦＴアレイ基板に対して共通のプローバフレームを用いる構成とすることにより、ＴＦＴアレイ基板の異なるレイアウトに対応した部材をそれぞれ用意することを不要とする。
【００１１】
図１は本発明のＴＦＴアレイ検査装置を説明するための概略図である。
【００１２】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置１は、薄膜トランジスタをマトリックス状に形成してなるＴＦＴアレイ基板のアレイ検査を行う装置であって、ＴＦＴアレイ基板２と電気的に接続するプローバフレーム３を備え、このプローバフレーム３は、ＴＦＴアレイ基板２の各ＴＦＴアレイに設けられた各駆動電極端子に各配線を介して接続されるアレイ検査用電極と接触するプローバピンを備え、このプローバピンのピン位置を各ＴＦＴアレイ基板のレイアウトに対して共通とする。プローバピンのピン位置を常に同じ位置とする構成とすることによって、レイアウトに対応した部材を用意したり交換することなく、単一のプローバフレームで、レイアウトが異なるＴＦＴアレイ基板に対応することができる。
【００１３】
さらに、本発明のＴＦＴアレイ検査装置１は、上記した共通のプローバフレーム３を介して外部装置（図示していない）との間の電気的な接続を行うために、プローバフレーム３と外部装置とに対して着脱自在に接続する接続手段４を備え、この接続手段４はプローバピン３と外部装置との間の接続関係を切り換える切換手段を備える。
【００１４】
ＴＦＴアレイと外部装置との間は、プローバフレーム３及び接続手段４を介して電気的に接続され、ＴＦＴアレイに対して駆動電圧が印加され、外部装置はＴＦＴアレイから検出信号を検出することができる。接続手段４は着脱自在とすることにより、検査対象のＴＦＴアレイ基板の交換において、プローバフレームとの接続を容易に切り換えることができる。
【００１５】
切換手段４は接続切換コネクタ、あるいはスイッチング素子を備える構成とすることができる。
【００１６】
接続切換コネクタは、プローバピンと接続する電極と外部装置と接続する電極との電極間の配線を、ＴＦＴアレイ基板のレイアウトに応じて定める。この接続切換コネクタを交換することにより、異なるレイアウトのＴＦＴアレイ基板と外部装置との間を所望の電気的接続関係に設定することができる。
【００１７】
また、スイッチング素子を備える構成では、このスイッチング素子によりプローバピンと外部装置と接続する電極との間の接続を外部制御信号により切り換え、異なるレイアウトのＴＦＴアレイ基板と外部装置との間を所望の電気的接続関係に設定する。
【００１８】
外部装置は、ＴＦＴアレイを駆動する電圧を供給する電源装置、ＴＦＴアレイの信号を検出する検出手段、検出信号に基づいてＴＦＴアレイの短絡，点欠陥，断線等の検査を行う検査手段とすることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
【００２０】
図２は本発明のＴＦＴアレイ検査装置を説明するために各構成部分を分離して示した概略図であり、図３は本発明のＴＦＴアレイ検査装置をＴＦＴアレイに取り付けた状態を示した概略図である。また、図４はＴＦＴアレイ基板を説明するための概略平面図である。
【００２１】
図１において、ＴＦＴアレイ基板２はＴＦＴアレイ検査装置１が検査する検査対象であり、基板上にはＴＦＴアレイ２ａが形成されている。このＴＦＴアレイ基板２の形成されるＴＦＴアレイ２ａのレイアウトは、例えば液晶パネルのサイズや仕様に応じて種々に設定される。図４（ａ），（ｂ）は、ＴＦＴアレイ基板２の一例を示している。ＴＦＴアレイ基板２上のＴＦＴアレイ２ａには薄膜トランジスタがマトリックス状に形成され、各薄膜トランジスタを駆動する信号電極端子（例えば、走査信号電極端子，映像信号電極端子）が形成されている。また、ＴＦＴアレイ基板２上には、アレイ検査用電極２ｂが形成される。ＴＦＴアレイ基板のレイアウトは、各アレイＴＦＴアレイ２ａのサイズや仕様に応じてそれぞれ設定されるのに対して、アレイ検査用電極２ｂは異なるレイアウトに対して共通に設定され、その電極位置も共通している。
【００２２】
このアレイ検査用電極２ｂと各ＴＦＴアレイ２ａとの間は、それぞれのレイアウトに対応したパターンの配線２ｃにより接続される。したがって、図４（ａ）のアレイ検査用電極２ｂと図４（ｂ）のアレイ検査用電極２ｂのピン配列は共通している。
【００２３】
なお、図４に示す例では、アレイ検査用電極２ｂをＴＦＴアレイ基板２の一つの側辺に沿って設ける構成を示しているが、対向する二つの側辺に沿って設けることも、直交する側辺に沿って設けることも、あるいは、これらを組み合わせた構成とすることもできる。
【００２４】
以下、ＴＦＴアレイ基板２として、対向する二つの側辺に沿ってアレイ検査用電極２ｂを設けた構成を例を用いて、本発明のＴＦＴアレイ検査装置を説明する。
【００２５】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置１は、プローバフレーム３（３Ａ，３Ｂ）と接続手段４（４Ａ、４Ｂ）を備える。図２，３において、プローバフレーム３は、ＴＦＴアレイ基板２のアレイ検査用電極２ｂと電気的に接続するプローバピンを備え、このプローバピンのピン数及び配列はアレイ検査用電極２ｂに対応して設けられる。
【００２６】
前記したように、アレイ検査用電極２ｂは異なるレイアウトのＴＦＴアレイ基板２に対して共通の配列であるため、このアレイ検査用電極２ｂと電気的に接続するプローバフレーム３は、異なるレイアウトのＴＦＴアレイ基板２に対して共通に使用することができる。プローバフレーム３には、接続手段４と電気的に接続するためにフレーム側コネクタ３ａが設けられ、プローバフレーム内においてプローバピンとの間で配線により接続されている。
【００２７】
なお、ＴＦＴアレイ基板２に設けたアレイ検査用電極２ｂの構成が各側辺で異なる場合には、対応するプローバフレーム３Ａとプローバフレーム３Ｂは異なる構成となる。また、図２，３では、プローバピンはプローバフレーム３の下面に設けられているため図示していない。
【００２８】
接続手段４は、プローバフレーム３と外部装置との間を電気的に接続すると共に、異なるレイアウトのＴＦＴアレイ基板と外部装置との間の電気的接続関係を切り換える。このために、接続手段４が備える切換手段は、切換コネクタにより構成する他、外部信号によるスイッチング素子の駆動により電気的接続関係を切り換える構成とすることもできる。接続手段４とプローバフレーム３との間の電気的接続は、プローバフレーム３に設けたフレーム側コネクタ３ａに接続手段４を接続することで行う。
【００２９】
外部装置は、ＴＦＴアレイ２ａに駆動信号を供給する電源（図示していない）や、ＴＦＴアレイ２ａの電流等を検出してアレイ検査を行う検査装置（図示していない）とすることができ、また、この検査装置との間を電気的に接続する構成部分も含ませることができる。ここでは、電源装置や検査装置との間を電気的に接続する外部装置として、パレット５やステージ６を含むものとする。
【００３０】
パレット５はＴＦＴアレイ基板２を支持する部材であり、ステージ６はパレット６を移動自在に支持する部材である。なお、パレット５の一部には、ＴＦＴアレイ基板２を搬送する搬送装置の一部を挿入するための溝が形成されている。
【００３１】
パレット５は、プローバフレーム３との間を接続手段４を介して電気的に接続するために、接続手段４と電気的に接続するパレット側コネクタ５ａを備え、また、スイッチング６との間を電気的に接続するためにパレット側コネクタ５ｂを備える。パレット側コネクタ５ａとパレット側コネクタ５ｂの間は、パレット５内に設けた配線で接続される。
【００３２】
スイッチング６は、パレット５との間を電気的に接続するために、パレット側コネクタ５ｂと電気的に接続するステージ側コネクタ６ａを備える。ステージ側コネクタ６ａと電源装置や検査装置との間は、コネクタや配線（共に図示していない）を介して接続することができる。
【００３３】
なお、フレーム側コネクタ３ａのプローバフレーム３における位置と、パレット側コネクタ５ａのパレット５における位置は、プローバフレーム３を設置した状態において接続手段４が両コネクタと接続できる位置関係となるように設定される。また、パレット側コネクタ５ａのパレット５における位置と、ステージ側コネクタ６ａのステージ６における位置は、ステージ６上にパレット５を設置した状態において両コネクタが接続できる位置関係となるように設定される。
【００３４】
上記構成において、ＴＦＴアレイ基板２を載置したパレット５をステージ６上に配置し、プローバフレーム３をＴＦＴアレイ基板２のアレイ検査用電極２ｂ上に配置し、さらに、接続手段４をプローバフレーム３のフレーム側コネクタ３ａとパレット５側のパレット側コネクタ５ａの上に配置することにより、ＴＦＴアレイ検査装置１に対して検査対象であるＴＦＴアレイ基板２がセットされる。
【００３５】
このＴＦＴアレイ基板２のセットにおいて、ステージ側コネクタ６ａとパレット側コネクタ５ａとを接続することによりステージ６とパレット５との間の電気的接続が行われ、パレット側コネクタ５ａとフレーム側コネクタ３ａとの間を接続手段４で接続することによりパレット５とプローバフレーム３との間の電気的接続が行われ、アレイ検査用電極２ｂにプローバフレーム３のプローバピン（図示していない）を接触させるとによりプローバフレーム３とＴＦＴアレイ基板２との間の電気的接続が行われる。
【００３６】
検査対象であるＴＦＴアレイ基板２を交換する場合には、パレット５上に載置したＴＦＴアレイ基板２を交換し、プローバフレーム３は交換することなく同一のプローバフレーム３を用いて行うことができる。なお、ＴＦＴアレイ基板と外部装置との配線関係の切り換えを接続手段４の配線で行う場合には、交換するＴＦＴアレイ基板２に対応した配線が施された接続手段４に交換する。一方、ＴＦＴアレイ基板と外部装置との配線関係の切り換えを接続手段４が備えるスイッチング素子で行う場合には、接続手段４の交換は不要であり、制御信号によりスイッチング素子の接続関係を切り換えることで、交換したＴＦＴアレイ基板２に対応することができる。
【００３７】
なお、図３（ａ）は接続手段４を取り付ける前の状態を示し、図３（ｂ）は接続手段４を取り付けた状態を示している。図３（ａ），（ｂ）において、プローバフレーム３の一方のプローバフレーム３Ａは、下側に位置するＴＦＴアレイ基板３のアレイ検査用電極２ｂが透けて見えるように示している。
【００３８】
次に、ＴＦＴアレイ基板、プローバフレーム、及び接続手段の接続について、図５〜図８を用いて説明する。図５はＴＦＴアレイ基板、プローバフレーム、接続手段、パレットの関係を説明するための図であり、図６，７は接続手段によるプローバフレームと接続手段との接続をするための図である。
【００３９】
図５において、パレット５上に配置されたＴＦＴアレイ基板２には、ＴＦＴアレイ２ａのレイアウトにかかわらず共通配列のアレイ検査用電極２ｂが形成される。ここで、ＴＦＴアレイ基板２上にプローバフレーム３を配置し、プローバフレーム３のプローバピンをアレイ検査用電極２ｂに接触させる。プローバフレーム３のプローバピンはアレイ検査用電極２ｂに対応した配列されているため、ＴＦＴアレイ基板のレイアウトが異なる場合であっても共通した一つのプローバフレーム３で対応することができる。
【００４０】
プローバフレーム３を配置した後、プローバフレーム３に設けたフレーム側コネクタ３ａとパレット５に設けたパレット側コネクタ５ａとに対して接続手段４を接続する。接続手段４は、フレーム側コネクタ３ａと接続するフレーム用コネクタ４ａと、パレット側コネクタ５ａと接続するパレット用コネクタ４ｂと、両コネクタ間を接続する切換配線４ｃとを備える。切換配線４ｃは、フレーム用コネクタ４ａとパレット用コネクタ４ｂとの間の接続関係を切り換える切換手段を構成し、これにより異なるレイアウトのＴＦＴアレイ基板と外部装置との間の電気的接続関係の切り換えを行う。
【００４１】
接続手段は、ＴＦＴアレイ基板のレイアウトに応じて予め用意しておき、検査対象のＴＦＴアレイ基板に対応した接続手段を選択する。これにより、ＴＦＴアレイ基板のレイアウトが異なる場合であっても、一つのプローバフレームを共通して使用することができる。
【００４２】
図６（ａ）はフレーム側コネクタ３ａとパレット側コネクタ５ａの関係を示し、図６（ｂ），（ｃ）は、切換配線４ｃの配線状態が異なる切換コネクタ４Ａの構成を示している。切換コネクタ４Ａは、接続手段４の一構成例であり、切換コネクタ４Ａ自体を交換することにより、ＴＦＴアレイ基板側とパレット側との接続関係を切り換えるものである。
【００４３】
図６（ａ）において、フレーム側コネクタ３ａが備える端子の内、端子１〜５、及び端子１７〜２１は、ＴＦＴアレイ基板側の配線により、それぞれ異なるＴＦＴアレイ基板のＧｅ，Ｇｏ，Ｄ１，Ｄ２，Ｃの各端子に接続されている。
【００４４】
ここで、端子１〜５をパレット用コネクタ５ａの端子Ｇｅ，Ｇｏ，Ｄ１，Ｄ２，Ｃに接続するには、図６（ｂ）に示す切換コネクタ４Ａを選択する。この切換コネクタ４Ａは端子１〜５に対応する切換配線４ｃを備えており、この切換コネクタ４Ａ４を選択することによりとにより、端子１〜５をパレット用コネクタ５ａの対応する端子に接続することができる。
【００４５】
また、端子１７〜２２をパレット用コネクタ５ａの端子Ｇｅ，Ｇｏ，Ｄ１，Ｄ２，Ｃに接続するには、図６（ｃ）に示す切換コネクタ４Ａ′を選択する。この接続手段４は端子１７〜２２に対応する切換配線４ｃを備えており、この切換コネクタ４Ａ′を選択することによりとにより、端子１〜５をパレット用コネクタ５ａの対応する端子に接続することができる。
【００４６】
図７（ａ）は図６（ｂ）に示す切換コネクタ４Ａを用いた接続状態を示し、図７（ｂ）は図６（ｃ）に示す切換コネクタ４Ａ′を用いた接続状態を示している。
【００４７】
接続手段４による、ＴＦＴアレイ基板とパレット側との接続関係の切換は、前記したように接続手段４を交換することにより物理的に行う他に、外部信号により電気的に行うようにしてもよい。
【００４８】
図８は、接続手段４による接続関係の切換を外部信号により行う場合を説明するための概略図である。図８において、接続手段４は、スイッチング素子を有する切換手段４Ｂを備える。このスイッチング素子は、外部信号（図示していない）からの制御により接続関係を電気的に切り換える。この切り換えにより、前記図６，７で示したと同様に、ＴＦＴアレイ基板側とパレット側との接続関係を切り換えることができる。
【００４９】
前記態様は、ＴＦＴアレイ基板の一つの側辺、あるいは対向する二つの側辺に対してプローバフレームを配置した構成例について示しているが、本発明のプローバフレームは、ＴＦＴアレイ基板の直交する二つの側辺やこれらの組合せとすることもできる。
【００５０】
図９，１０は、プローバフレームの他の構成例を説明するための図である。
【００５１】
図９は、ＴＦＴアレイ基板の直交する二つの側辺位置や、ＴＦＴアレイ基板を横切る位置に配置する例を示している。プローバフレーム３Ａ，３Ｂは、ＴＦＴアレイ基板２に対して対向する二つの側辺に配置される。プローバフレーム３Ｃは、前記側辺に対して直交する位置に配置される。また、プローバフレーム３Ｄは、ＴＦＴアレイ基板を横切る位置に配置される。また、図１０に示すプローバフレーム３Ｅは、ＴＦＴアレイ基板の外周、及びＴＦＴアレイ基板を横切る構成例である。
【００５２】
アレイ検査用の電極がＴＦＴアレイ基板の内側に形成される構成では、ＴＦＴアレイ基板を横切るプローバフレームを用いることにより、電気的接続を行うことができる。
【００５３】
本発明のＴＦＴアレイ検査装置において、接続手段の交換は手差しで行う他、接続手段を交換自在に保持する機構、複数の接続手段からＴＦＴアレイ基板に対応した接続手段を選択する機構、選択した接続手段を搬送して交換する機構等を備えることにより、自動交換を行うこともできる。
【００５４】
本発明の態様によれば、異なるレイアウトであっても共通するプローバフレームを使用することができ、レイアウトの変更に伴う配線の変更も接続手段を交換することで対応することができる。
【００５５】
また、本発明の態様によれば、異なるＴＦＴアレイ基板に対してプローバフレームを共通して使用することができるため、ＴＦＴアレイ検査装置のランニングコストを低減させ、検査工程を少なくすることができる。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ＴＦＴアレイ基板の異なるレイアウトに対応した部材を要することなく共通の部材の使用を可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＴＦＴアレイ検査装置を説明するための概略図である。
【図２】本発明のＴＦＴアレイ検査装置を説明するために各構成部分を分離して示した概略図である。
【図３】本発明のＴＦＴアレイ検査装置をＴＦＴアレイに取り付けた状態を示した概略図である。
【図４】ＴＦＴアレイ基板を説明するための概略平面図である。
【図５】本発明のＴＦＴアレイ基板、プローバフレーム、接続手段、パレットの関係を説明するための図である。
【図６】本発明の接続手段によるプローバフレームと接続手段との接続をするための図である。
【図７】本発明の切換コネクタを用いた接続状態を示す図である。
【図８】本発明の接続手段による接続関係の切換を外部信号により行う場合を説明するための概略図である。
【図９】本発明のプローバフレームの他の構成例を説明するための図である。
【図１０】本発明のプローバフレームの他の構成例を説明するための図である。
【図１１】ＴＦＴアレイ基板の概略、及び従来のＴＦＴアレイ検査装置の概略を説明するための図である。
【符号の説明】
１…ＴＦＴアレイ検査装置、２…ＴＦＴアレイ基板、２ａ…ＴＦＴアレイ、２ｂ…アレイ検査用電極、３、３Ａ〜３Ｅ…プローバフレーム、３ａ…フレーム側コネクタ、４，４Ａ，４Ａ′…接続手段、４Ｂ…切換手段、４ａ…プローバフレーム用コネクタ部、４ｂ…プローバフレーム用コネクタ部、４ｃ…切換配線、５…パレット、５ａ，５ｂ…パレット側コネクタ、６…ステージ、６ａ…ステージ側コネクタ、１１…ＴＦＴアレイ検査装置、１１ｂ−１，１１ｂ−２…検査用プローバ電極、１１ｃ…検査回路、１２…ＴＦＴアレイ基板、１２ａ…ＴＦＴアレイ、１２ｂ…走査信号電極端子、１２ｃ…映像信号電極端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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