(57)【要約】【課題】導光ファイバから出射する光の光量を減少させることなく、出射光の断面を矩形状に整形し、かつ出射光の断面全体にわたって照度を均一化する導光装置を提供する。【解決手段】光ファイババンドル１６の光出射端面側先端部がスリーブ部材１３及び出射部外囲１４に覆われている。出射部外囲１４に、ガラスロッド４０を保持するガラスロッド保持部材４２が取り付けられる。ガラスロッド４０は位置決めピン４４によりガラスロッド保持部材４２に固定され、その光入射端面４０ｉが光ファイババンドル１６の光出射端面１６ｏと対向している。ガラスロッド４０の光出射端面４０ｏは矩形状になっている。光出射端面４０ｏから出射する光は、ガラスロッド４０の境界面で全反射しつつ伝播する過程で、断面全体にわたって照度が均一化されると共に断面が矩形状に整形される。【選択図】　図２
2004063597.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハ周辺部の露光に用いられる導光装置であって、複数の光ファイバを束ねることにより構成され、第１光入射端面と第１光出射端面とを有する光ファイババンドルと、
第２光入射端面と第２光出射端面とを有し、前記光ファイババンドルの第１光出射端面から出射した光を前記第２光入射端面から取り入れて前記第２光出射端面に導くことにより、前記第２光出射端面から出射する光の断面における照度を均一化するガラスロッドと、
前記ガラスロッドの第２光入射端面が前記光ファイババンドルの第１光出射端面と対向するように、前記ガラスロッドを前記光ファイババンドルの光出射端面側先端部に固定するガラスロッド保持部材とを備え、
前記ガラスロッドの第２光出射端面が矩形状である
ことを特徴とする導光装置。
【請求項２】
前記ガラスロッドが、下記式（１）及び（２）；
【数１】
2004063597.tif 000009
【数２】
2004063597.tif 000010
Ｌ［ｍｍ］：前記ガラスロッドの長さ
ｄ［ｍｍ］：前記ガラスロッドの第２光出射端面における対角線の長さ
ｎ：空気の屈折率
ｎ´：前記ガラスロッドの屈折率
θ：前記光ファイバから空気中への最大出射角度
θ´：前記光ファイバから最大出射角度で出射した光が前記第２光入射端面に入射したときの屈折角
で表される関係式を満たすものである
ことを特徴とする請求項１記載の導光装置。
【請求項３】
前記光ファイババンドルの光出射端面側先端部を覆うスリーブ部材を備え、
前記ガラスロッド保持部材が、前記スリーブ部材に着脱可能に取り付けられた
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の導光装置。
【請求項４】
前記光ファイババンドルの光出射端面側先端部において前記複数の光ファイバが互いに接着剤で接着された
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の導光装置。
【請求項５】
前記光ファイババンドルの第１光出射端面と、前記ガラスロッドの第２光入射端面とが隙間を介して対向している
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の導光装置。
【請求項６】
前記光ファイババンドルの光出射端面側先端部を覆うスリーブ部材と、
前記光ファイババンドルの光出射端面側先端部近傍の部位と、前記スリーブ部材とに固定されることにより、前記光ファイババンドルが前記先端部近傍で湾曲した状態を保持する湾曲部保持部材とを備えた
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の導光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハ周辺部の不要レジストを除去するための露光に用いられる導光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハのフォトリソグラフィーを用いたパターン形成過程において、パターン形成部の周辺部が露光されず、当該周辺部にレジストが残ることがある。周辺部に残存したレジストは剥離して半導体ウェハに付着するダストとなるおそれがあるので、次の工程に移る前に除去される必要がある。半導体ウェハ周辺部の不要レジストを除去するために、導光装置により導かれた光を除去部分に照射し、除去部分上の照射スポットを移動させて除去部分全体を露光する方法が用いられる。かかる露光方法においては、除去部分全体にわたって均一に露光するために、導光装置からの出射光の断面が矩形状になるように整形され、かつ出射光の断面全体にわたって照度が均一化されることが要求される。
【０００３】
かかる導光装置の従来技術としては、例えば特開平１０−７４６７６に開示される導光装置がある。特開平１０−７４６７６の導光装置では、照射ヘッドに設置された矩形状の透過部を有するアパーチャ部材が、導光装置からの出射光の断面を矩形状に整形する。また、Ｕｎｉｔｅｄ　Ｓｔａｔｅｓ　Ｐａｔｅｎｔ　Ｎｏ．　４，９６４，６９２には、光ファイババンドルの光出射端面から出射した光を均一化するコア・クラッド構造の茎状部材（ａ　ｃｌａｄ
ｃａｎｅ　ｅｌｅｍｅｎｔ）を備えた導光装置が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の導光装置には、アパーチャ部材の遮光部が導光ファイバから出射する光の外輪を遮光するので、出射光の光量が減少してしまうという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、導光ファイバから出射する光の光量を減少させることなく、出射光の断面を矩形状に整形し、かつ出射光の断面全体にわたって照度を均一化する導光装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の導光装置は、半導体ウェハ周辺部の露光に用いられる導光装置であって、複数の光ファイバを束ねることにより構成され、第１光入射端面と第１光出射端面とを有する光ファイババンドルと、第２光入射端面と第２光出射端面とを有し、光ファイババンドルの第１光出射端面から出射した光を第２光入射端面から取り入れて第２光出射端面に導くことにより、第２光出射端面から出射する光の断面における照度を均一化するガラスロッドと、ガラスロッドの第２光入射端面が光ファイババンドルの第１光出射端面と対向するように、ガラスロッドを光ファイババンドルの光出射端面側先端部に固定するガラスロッド保持部材とを備え、ガラスロッドの第２光出射端面が矩形状であることを特徴とする。
【０００７】
ガラスロッドが、光ファイババンドルから出射した光を取り入れて出射光の断面全体にわたって照度を均一化させる。また、ガラスロッドの第２光出射端面が矩形状であるので、ガラスロッドからの出射光も断面が矩形状になるように整形される。そのため、アパーチャ部材を適用し出射光の断面外輪を遮光して整形する必要がない。その結果、光ファイババンドルによって導光された光を光量の減少なく半導体ウェハ周辺部に照射することができる。
【０００８】
また、本発明の導光装置は、ガラスロッドが、下記式（１）及び（２）で表される関係式を満たすものであることが好適である。
【０００９】
【数３】
2004063597.tif 000003
【００１０】
【数４】
2004063597.tif 000004
Ｌ［ｍｍ］：ガラスロッドの長さ
ｄ［ｍｍ］：ガラスロッドの第２光出射端面における対角線の長さ
ｎ：空気の屈折率
ｎ´：ガラスロッドの屈折率
θ：光ファイバから空気中への最大出射角度
θ´：光ファイバから最大出射角度で出射した光が第２光入射端面に入射したときの屈折角
ガラスロッドが上記の条件を充足することにより、中心軸からガラスロッドに入射する光ファイバからの出射光のうち最大出射角成分が、少なくとも１回ガラスロッドの境界面（ガラスロッドとクラッド又は外気との界面）で全反射する。そのため、各光ファイバからの出射光がガラスロッドの境界面で全反射して混合することにより、光ファイババンドルの第１光出射端面上における照度のむらが良好に均一化される。
【００１１】
また、本発明の導光装置は、光ファイババンドルの光出射端面側先端部を覆うスリーブ部材を備え、ガラスロッド保持部材が、スリーブ部材に着脱可能に取り付けられたことが好適である。
【００１２】
ガラスロッド保持部材をスリーブ部材から取り外すことができるので、ガラスロッドの交換、洗浄が容易になる。
【００１３】
また、本発明の導光装置は、光ファイババンドルの光出射端面側先端部において複数の光ファイバが互いに接着剤で接着されたことが好適である。
【００１４】
光ファイババンドルの光出射端面側先端部において光ファイバが互いに接着剤で接着されることにより、光ファイババンドルの形状に関わらず光出射端面側先端部の形状が維持される。また、光ファイババンドルの第１光出射端面におけるコア端面の密度が高くなり暗部（コア端面以外の部分）が少なくなる。そのため、第１光出射端面における光量密度が高くなる。
【００１５】
また、本発明の導光装置は、光ファイババンドルの第１光出射端面と、ガラスロッドの第２光入射端面とが隙間を介して対向していることが好適である。
【００１６】
ガラスロッドの第２光入射端面と光ファイババンドルの第１光出射端面との間に隙間があることにより、第２光入射端面及び第１光出射端面が互いに接触することにより損傷するのを防止できる。
【００１７】
また、本発明の導光装置は、光ファイババンドルの光出射端面側先端部を覆うスリーブ部材と、光ファイババンドルの光出射端面側先端部近傍の部位とスリーブ部材とに固定されることにより光ファイババンドルが先端部近傍で湾曲した状態を保持する湾曲部保持部材とを備えたことが好適である。
【００１８】
かかる構造の湾曲部保持部材により光ファイババンドルが光出射端面側先端部近傍で湾曲した状態が保持されるので、光出射端面側先端部近傍における光ファイババンドルの占めるスペースを小さくすることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の導光装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２０】
まず、本実施形態の導光装置１の構造を説明する。図１は、導光装置１の外観を示す図である。図２は、導光装置１の図１に示す領域Ｘを拡大した部分断面図である。導光装置１は、光出射端面側に、複数の光ファイバ心線（ＵＶ透過用石英ファイバ心線）を束ねた光ファイババンドル１６がＰＶＣ被覆１７で覆われることにより構成された導光ケーブル１０を備える。導光ケーブル１０は、光入射端面側で、導光ケーブル２０と導光ケーブル３０とに分岐する。導光ケーブル２０と導光ケーブル３０における心数はほほ同数であり、それぞれを構成する光ファイバ心線を分岐部で縒り合わせることにより導光ケーブル１０の光ファイババンドル１６が構成される。この導光ケーブルの分岐部は、分岐部外囲１１で覆われている。
【００２１】
光ファイババンドル１６の光出射端面側先端部は、断面が矩形状になるように光ファイバ心線同士が接着剤で接着された上、スリーブ部材１３に嵌合されている。光ファイババンドル１６の光出射端面側先端部の構造をより詳細に説明する。図３は、導光ケーブル１０の光出射端面を示す図である。図６は、光ファイババンドル１６の光出射端面側先端部がスリーブ部材１３に嵌合される様子を示す図である。光ファイババンドル１６は、光出射端面側先端部（図６に示す領域Ｙに相当する部分）において光ファイバ心線同士が接着剤で接着されることにより、形状が固定される。この際、図３に示されるように、光出射端面側先端部の断面形状は、横８．０ｍｍ、縦４．０ｍｍの矩形状に整形される。また、光出射端面側先端部における光ファイバ心線の配列は、その他の部分における光ファイバ心線の配列に対し、できる限りランダムであるのが望ましい。このように光出射端面側先端部における光ファイバ心線の配列をランダムにすることは、各光ファイバ心線からの出射光の光量のばらつきを均一化するのに資する。
【００２２】
図３及び６に示されるように、スリーブ部材１３は、全体の形状が楕円柱形状になっている筒状の部材である。スリーブ部材１３の中空部は、断面が横８．０ｍｍ、縦４．０ｍｍの矩形状になっており、一方の開口部において側壁が僅かに突出することにより段差１３ａが形成されている。段差１３ａの厚みは、所定の長さｇになるように調整される。光出射端面側先端部が接着剤で固定された光ファイババンドル１６は、中空部に挿入されることにより、スリーブ部材１３に嵌合される。嵌合されたとき、段差１３ａが光ファイババンドル１６の光出射端面１６ｏを係止し、スリーブ部材１３の底面と光出射端面１６ｏとの間に間隔ｇの隙間ができる。このように、光ファイババンドル１６がスリーブ部材１３に嵌合されることにより、光ファイババンドル１６の形状の変化に関わらず光出射端面側先端部の形状が維持される。さらに、光出射端面側先端部が接着剤で固められることにより、形状が更に強固に固定されると共に、光出射端面１６ｏにおけるコア端面の密度が高くなり暗部（コア端面以外の部分）が少なくなる。そのため、光出射端面１６ｏにおける光量密度が高くなる。
【００２３】
スリーブ部材１３は、全体の形状が楕円柱形状になっている筒状部材であって、楕円柱形状の中空を有する出射部外囲１４が、スリーブ部材１３の底面と出射部外囲１４の底面とが同一平面上に位置するように、取り付けられる。光ファイババンドル１６の光出射端面側先端部は、出射部外囲１４とＰＣＶ被覆１７とにより覆われる。
【００２４】
図２に示すように、光ファイババンドル１６の光出射端面側先端部には、照射ヘッド４が着脱可能に取り付けられている。照射ヘッド４は、ガラスロッド保持部材４２、ガラスロッド保持部材４２に収容されたガラスロッド４０及びガラスロッド４０を固定する位置決めピン４４を備えて構成され、ガラスロッド４０が光ファイババンドル１６の光出射端面１６ｏと対向して設置されている。照射ヘッド４及びガラスロッド４０の構造を詳細に説明する。図４は、照射ヘッド４の光出射端面を示す図である。ガラスロッド４０は、底面が横８．０ｍｍ、縦４．０ｍｍの矩形状であり、長さ（高さ）が４０．０ｍｍの四角柱の形状をなす。ガラスロッド４０の一方の底面が光入射端面４０ｉとなり、他方の底面が光出射端面４０ｏとなる。
【００２５】
図２及び４に示すように、ガラスロッド保持部材４２は、筒状をなし、先端部（ガラスロッド収容部）における断面の内周及び外周は共に楕円形になっている。末端部（出射部外囲取付け部）における断面の内周及び外周も楕円形になっているが、出射部外囲取付け部における内周径はガラスロッド収容部における内周径よりも大きい。
【００２６】
ガラスロッド収容部において、断面内周の長径は、８．０ｍｍ（ガラスロッド４０の光出射端面４０ｏの横辺の長さ）よりも長く、短径は、４．０ｍｍ（ガラスロッド４０の光出射端面４０ｏの縦辺の長さ）よりも長くなるように設定されている。また、中空部の長さは４０．０ｍｍ（ガラスロッド４０の長さ）に設定されている。ガラスロッド収容部の側壁には、位置決めピン挿入孔４２ａが、先端部側と末端部側にそれぞれ４個ずつ形成されている。ガラスロッド収容部に挿入されたときガラスロッド４０は自由度をもって収容されるが、位置決めピン挿入孔４２ａに挿入される位置決めピン４４がガラスロッド４０の位置を固定する。なお、位置決めピン挿入孔４２ａの側面にネジ溝を形成し、位置決めピン４４に代えて位置決めネジを位置決めピン挿入孔４２ａに螺合させてもよい。
【００２７】
出射部外囲取付け部における断面内周の形状及び大きさは、出射部外囲１４の外周と同一であり、出射部外囲１４が出射部外囲取付け部の中空部に嵌合するように設定されている。出射部外囲１４を出射部外囲取付け部の中空部に嵌合することにより、照射ヘッド４が着脱可能に出射部外囲１４に取り付けられる。すなわち、照射ヘッド４は、照射部外囲１４を介してスリーブ部材１３に着脱可能に取り付けられることになる。このように、照射ヘッド４が着脱可能となっているのでガラスロッド４０の交換、洗浄が容易になる。
【００２８】
出射部外囲取付け部における内周径がガラスロッド収容部における内周径よりも大きいので、両者の境界部に段差４２ｂができる。出射部外囲１４が出射部外囲取付け部の中空部に嵌合されたとき、この段差４２ｂが出射部外囲１４の底面を係止する。他方、ガラスロッド４０がガラスロッド収容部に挿入されたとき、ガラスロッド４０は光入射端面４０ｉが段差４２ｂ（出射部外囲１４及びスリーブ部材１３の底面）と同一平面上に位置するように固定される。前述のとおり、スリーブ部材１３の底面と光ファイババンドル１６の光出射端面１６ｏとの間には間隔ｇの隙間があるので、ガラスロッド４０の光入射端面４０ｉと光ファイババンドル１６の光出射端面１６ｏとの間には間隔ｇの隙間ができることになる。このように、光入射端面４０ｉと光出射端面１６ｏとの間に隙間があることにより、光入射端面４０ｉ及び光出射端面１６ｏが損傷するのを防止できる。
【００２９】
以上のとおり、照射ヘッド４が導光ケーブル１０の先端部に取り付けられたとき、ガラスロッド４０は、その光入射端面４０ｉが間隔ｇの隙間を介して光ファイババンドル１６の光出射端面１６ｏと対向するように、固定される。さらに、位置決めピン４４の位置をずらすことにより、光入射端面４０ｉが光出射端面１６ｏからの出射光を漏れなく拾うことができるようにガラスロッド４０の姿勢が調整される。
【００３０】
図１及び２に示すように、導光ケーブル１０は先端部近傍で直角方向に湾曲し、その形状が湾曲部保持部材１２により保持されている。湾曲部保持部材１２は、リング１２２、リング１２４、固定板１２６及びネジ１２８を備えて構成される。リング１２２は、導光ケーブル１０の先端部近傍の部位に固定される。また、リング１２４は、出射部外囲１４の外周面に固定される。すなわち、リング１２４は、出射部外囲１４を介してスリーブ部材１３に固定されることになる。固定板１２６の両端部は、それぞれリング１２２、リング１２４に取り付けられ、ネジ１２８によるネジ締め後エキポシ系接着剤で固定される。このように構成される湾曲部保持部材１２が適用されることにより、導光ケーブル１０の先端部近傍の部位とスリーブ部材１３とが引き合うような力が作用するので、導光ケーブル１０の先端部近傍における湾曲状態が保持される。なお、湾曲部において光ファイババンドル１６は耐屈曲構造となるように光ファイバ心線が撚り合わされている。例えば、約２００心の光ファイバ心線が撚り合わされてサブバンドルが構成され、更に７束のサブバンドルが撚り合わされることにより、光ファイババンドルが構成される。このように、導光ケーブル１０が先端部近傍で直角方向に湾曲し、その形状が湾曲部保持部材１２により保持されていることで、出射光の垂直落射状態の良好な維持や、光ファイババンドル１６の度重なる湾曲による損傷防止、露光装置への取り付け時に導光ケーブル１０の先端部が浮動状態にあることによる装置内周辺部との接触による損傷を防止することが可能となる。
【００３１】
導光装置１の入射部側では、第１光入射部を構成する導光ケーブル２０の先端部が入射部外囲２４で覆われている。図５は、第１光入射部の端面を示す図である。図５に示すように、導光ケーブル２０を構成する光ファイババンドルの先端面（光入射端面２６ｉ）が入射部外囲２４から露出している。光入射端面２６ｉは円形状をなす。導光ケーブル２０は先端部近傍において湾曲し、湾曲部保持部材２２により湾曲状態が保持されている。導光ケーブル２０におけると同様に、導光ケーブル３０は先端部に第２光入射部を備え、また湾曲部保持部材３２により湾曲状態が保持されている。光源が第１入射部に接続され、半導体ウェハ周辺部を露光するための光が第１光入射部の光入射端面２６ｉから光ファイババンドルに取り込まれる。更に大きい光量が要求される場合には第２光入射部にも別の光源が接続される。
【００３２】
次に、導光装置１の作用・効果を説明する。光源の光は、光ファイババンドルにより導光され、光出射端面１６ｏから出射する。光出射端面１６ｏからの出射光は、ガラスロッド４０の光入射端面４０ｉに入射する。光入射端面４０ｉに入射した光は、ガラスロッド４０内を伝播して光出射端面４０ｏから出射するが、その過程で出射光の断面における照度が均一化されると共に出射光の断面形状が整形される。
【００３３】
ガラスロッド４０において出射光の断面における照度が均一化されると共に出射光の断面形状が整形される過程を詳細に説明する。図７は、ガラスロッド４０の長さ方向に沿った断面（光出射端面４０ｏの対角線を含む断面）において光が全反射して伝播する様子を示す図である。この対角線の長さｄは、式（３）に表されるように８．９４ｍｍである。
【００３４】
【数５】
2004063597.tif 000005
ｗｈ：光出射端面４０ｏの横辺の長さ＝８．０ｍｍ
ｗｌ：光出射端面４０ｏの縦辺の長さ＝４．０ｍｍ
【００３５】
本実施形態において光ファイババンドル１６を構成する光ファイバ心線の空気中への最大出射角度θ（光ファイバ心線の光軸と出射光とがなす最大角度）は１１．５°である。このような最大角度成分の光が、光入射端面４０ｉからガラスロッド４０に入射すると、最大角度成分の光と光軸（ガラスロッド４０の中心軸）とがなす角度θ´は、式（２）から導かれる式（４）に表されるように７．７６８°になる。
【００３６】
【数６】
2004063597.tif 000006
【００３７】
【数７】
2004063597.tif 000007
ｎ：空気の屈折率＝１
ｎ´：ガラスロッド４０の屈折率＝１．４７５
【００３８】
ここで、上記の最大角度成分の光（中心軸上からガラスロッド４０に入射したと仮定する。）が少なくとも１回ガラスロッド４０と空気との界面で全反射するためのガラスロッド４０の長さの条件は、式（１）に表される。
【００３９】
【数８】
2004063597.tif 000008
Ｌ［ｍｍ］：ガラスロッド４０の長さ
【００４０】
本実施形態のガラスロッド４０の長さは４０．０ｍｍであり、上記の条件を充足する。そのため、各光ファイバ心線からの出射光がガラスロッド４０と空気との界面で全反射して混合することにより、光ファイババンドル１６の光出射端面１６ｏ上における照度のむらが均一化される。すなわち、各光ファイバ心線ごとに導光される光の曲げ損失が異なること、光出射端面１６ｏ上には光が伝播しないクラッドの領域があることなどの原因により、光出射端面１６ｏ上において照度のむらが生じる。しかし、本実施形態のガラスロッド４０を適用して、各光ファイバ心線からの出射光を混合させることにより、照度のむらを均一化することができる。
【００４１】
また、ガラスロッド４０の光出射端面４０ｏが矩形状になっているので、光出射端面４０ｏから出射する光の断面が矩形状に整形される。そのため、アパーチャ部材を適用し出射光の断面外輪を遮光して整形する必要がない。その結果、光ファイババンドルによって導光された光を光量の減少なく半導体ウェハ周辺部に照射することができる。なお、光ファイババンドルの光出射端面及びガラスロッドの光入射端面の形状は、矩形状でなくてもよい。この場合でも、ガラスロッドの光出射端面が矩形状になっている限り、ガラスロッドの光出射端面から出射する光の断面が矩形状に整形される。
【００４２】
図８は、導光装置１が適用された半導体ウェハ周辺部露光装置５の概略図である。半導体ウェハ周辺部露光装置５は筐体５２を備え、筐体５２の内部で半導体ウェハ６の周辺部（レジスト除去部分）が露光される。半導体ウェハ６は、回転支持板５４上に設置される。照射ヘッド移動装置５６が、照射ヘッド４を支持し、照射ヘッド４の位置を制御する。照射ヘッド４は半導体ウェハ６の周辺部（レジスト除去部分）の一点を照射し、回転支持板５４による半導体ウェハ６の回転と、照射ヘッド移動装置５６による照射ヘッド４の照射スポットの移動とにより半導体ウェハ６の周辺部（レジスト除去部分）が満遍なく露光される。
【００４３】
光出射端面側の先端部において導光ケーブル１０の光軸は鉛直方向を向いているが、導光ケーブル１０は同先端部近傍で光軸が水平方向を向くように湾曲しているので、鉛直方向における筐体５２の大きさを小型化させることができる。また、照射ヘッド４を収納位置に移動させたときの収納スペースを小さくすることができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、導光ファイバから出射する光の光量を減少させることなく、出射光の断面を矩形状に整形し、かつ出射光の断面全体にわたって照度を均一化する導光装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】導光装置１の外観を示す図である。
【図２】導光装置１の図１に示す領域Ｘを拡大した部分断面図である。
【図３】導光ケーブル１０の光出射端面を示す図である。
【図４】照射ヘッド４の光出射端面を示す図である。
【図５】第１光入射部の端面を示す図である。
【図６】光ファイババンドル１６の光出射端面側先端部がスリーブ部材１３に嵌合される様子を示す図である。
【図７】ガラスロッド４０の長さ方向に沿った断面（光出射端面４０ｏの対角線を含む断面）において光が全反射して伝播する様子を示す図である。
【図８】導光装置１が適用された半導体ウェハ周辺部露光装置５の概略図である。
【符号の説明】
１…導光装置、１０、２０、３０…導光ケーブル、１１…分岐部外囲、１２、２２、３２…湾曲部保持部材、１２２、１２４…リング、１２６…固定板、１２８…ネジ、２４、３４…入射部外囲、２６ｉ…光入射端面、１３…スリーブ部材、１３ａ…段差、１４…出射部外囲、１６…光ファイババンドル、１６ｏ…光出射端面、１７…ＰＶＣ被覆、４…照射ヘッド、４０…ガラスロッド、４０ｉ…光入射端面、４０ｏ…光出射端面、４２…ガラスロッド保持部材、４２ａ…位置決めピン挿入孔、４２ｂ…段差、４４…位置決めピン、５…半導体ウェハ周辺部露光装置、５２…筐体、５４…回転支持板、５６…照射ヘッド移動装置、６…半導体ウェハ。
【図１】
2004063597.tif 000011
【図２】
2004063597.tif 000012
【図３】
2004063597.tif 000013
【図４】
2004063597.tif 000014
【図５】
2004063597.tif 000015
【図６】
2004063597.tif 000016
【図７】
2004063597.tif 000017
【図８】
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