(57)【要約】【課題】異物付着の有無を自己診断可能な熱式質量流量センサを提供する。【解決手段】ヒータ２と、このヒータ２の上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータ２による流体の温度上昇を検出する温度センサ３，４とを有するセンサ本体６と、制御部７とからなる。制御部７は、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、ヒータ２を加熱させ、上流側と下流側の両温度センサ３，４の出力値を比較して、その比較結果から同じならセンサ本体６への異物の付着はないと判定し、所定範囲を超える相違があれば異物の付着があると判定する。【選択図】  図１
2004205376.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、
被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記ヒータを加熱させ、前記上流側と下流側の両温度センサの出力値を比較して、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備える
ことを特徴とする熱式質量流量センサ。
【請求項２】
流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、
被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記ヒータを加熱させ、この状態で前記上流側と下流側の各温度センサの少なくとも一方または双方の出力値の変化を一定時間測定し、この測定結果と制御部に備えられた所定の出力特性データとを比較して、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備える
ことを特徴とする熱式質量流量センサ。
【請求項３】
流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、
被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記ヒータを加熱させ、この状態で所定時間が経過した時における前記上流側と下流側の各温度センサの少なくとも一方または双方の出力値を測定し、この測定結果と制御部に備えられた所定の出力値とを比較して、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備える
ことを特徴とする熱式質量流量センサ。
【請求項４】
流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサと、前記上流側の温度センサの更に上流側に設けられて雰囲気温度を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、
被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記雰囲気温度を検出する温度センサの出力値と、前記ヒータの上流または下流にある温度センサの少なくもいずれか一方の出力値とを比較し、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備える
ことを特徴とする熱式質量流量センサ。
【請求項５】
燃料ガスの供給路に請求項１から４のいずれかに一つに記載の熱式質量センサを備えたガス燃焼装置であって、
ガス燃焼装置の制御手段が、前記熱式質量流量センサの制御部と連係され、前記ガス供給路へのガス供給を遮断している際に、前記制御部にセンサ本体への異物の付着の有無を判定させる制御構成を備えた
ことを特徴とするガス燃焼装置。
【請求項６】
所定の警報出力手段を備えてなり、
前記制御手段は、前記制御部からセンサ本体への異物付着があるとの判定結果を得た場合に、前記警報出力手段を通じてセンサ本体への異物付着を報知する制御構成を備えた
ことを特徴とする請求項５に記載のガス燃焼装置。
【請求項７】
前記燃料ガスの供給路に異物除去手段を備えてなり、
前記制御手段は、前記制御部からセンサ本体への異物付着があるとの判定結果を得た場合に、前記異物除去手段を動作させてセンサ本体に付着した異物を除去させる制御構成を備えた
ことを特徴とする請求項５に記載のガス燃焼装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は熱式質量流量センサおよび燃焼装置に関し、より詳細には、ガス燃焼装置において、燃料ガスの流量を正確に検出することによりガス燃焼装置を正確に制御するための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開平８−４２８４７号公報
近時、ガス燃焼装置においては、燃料ガスの供給路に燃料ガスの流量を検出する流量センサを設け、この流量センサの測定結果に基づいて、バーナへの燃料ガスの供給量を調節する構成を備えた燃焼装置が提案されている（たとえば特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、この種のガス燃焼装置では、バーナでの燃焼量の制御が、上記流量センサの測定結果に依存するため、流量センサにゴミや水滴などの異物が付着してその出力値が狂うと、燃焼装置の制御が正常に機能しなくなる。
【０００４】
そのため、この種の燃焼装置においては、フィルタを設けたり、ダストトラップ構造を採用するなどして、燃料供給路への異物の侵入を防いでいる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなフィルタやダストトラップ構造の採用によっても、燃料供給路への異物の侵入を完全に防止することは困難であり、まれに流量センサに異物が付着し、その結果、センサ出力値が狂うことがあり、燃焼装置の正常な動作の妨げとなることがあった。
【０００６】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、異物付着の有無を自己診断可能な熱式質量流量センサを提供し、もってセンサへの異物付着による誤動作を防止し得るガス燃焼装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１に記載の熱式質量流量センサは、流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記ヒータを加熱させ、前記上流側と下流側の両温度センサの出力値を比較して、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項２に記載の熱式質量流量センサは、流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記ヒータを加熱させ、この状態で前記上流側と下流側の各温度センサの少なくとも一方または双方の出力値の変化を一定時間測定し、この測定結果と制御部に備えられた所定の出力特性データとを比較して、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項３に記載の熱式質量流量センサは、流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記ヒータを加熱させ、この状態で所定時間が経過した時における前記上流側と下流側の各温度センサの少なくとも一方または双方の出力値を測定し、この測定結果と制御部に備えられた所定の出力値とを比較して、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項４に記載の熱式質量流量センサは、流体の流量を測定するためのセンサであって、ヒータと、このヒータの上流および下流の両脇に設けられて前記ヒータによる流体の温度上昇を検出する温度センサと、前記上流側の温度センサの更に上流側に設けられて雰囲気温度を検出する温度センサとを有するセンサ本体と、このセンサ本体の制御部とからなる熱式質量流量センサにおいて、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記制御部が、前記雰囲気温度を検出する温度センサの出力値と、前記ヒータの上流または下流にある温度センサの少なくもいずれか一方の出力値とを比較し、その比較結果から前記センサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明のガス燃焼装置は、燃料ガスの供給路に請求項１から４のいずれかに一つに記載の熱式質量センサを備えたガス燃焼装置であって、ガス燃焼装置の制御手段が、前記熱式質量流量センサの制御部と連係され、前記ガス供給路へのガス供給を遮断している際に、前記制御部にセンサ本体への異物の付着の有無を判定させる制御構成を備えたことを特徴とする。
【００１２】
そして、その好適な実施態様として、所定の警報出力手段を備えてなり、前記制御手段は、前記制御部からセンサ本体への異物付着があるとの判定結果を得た場合に、前記警報出力手段を通じてセンサ本体への異物付着を報知する制御構成を備えたことを特徴とする。また、前記燃料ガスの供給路に異物除去手段を備えてなり、前記制御手段は、前記制御部からセンサ本体への異物付着があるとの判定結果を得た場合に、前記異物除去手段を動作させてセンサ本体に付着した異物を除去させる制御構成を備えたことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１４】
実施形態１
本発明の熱式質量流量センサは、従来の熱式質量流量センサを改変して、センサ表面への異物の付着の有無を判定可能に構成したものであって、図１はその概略構成を示している。
【００１５】
図示のように、この熱式質量流量センサ１は、ヒータ２と、このヒータ２の上流および下流の両脇に設けられて上記ヒータ２による流体の温度上昇を検出する上流側および下流側の各温度センサ３，４と、上記上流側の温度センサ３の更に上流に設けられて雰囲気温度を検出する温度センサ５と、これらヒータ２や各温度センサ３〜５を備えたセンサ本体６と、このセンサ本体６の制御部７とを主要部として構成される。
【００１６】
なお、図において矢符で示すのは被測定対象である流体の流れの向きを示している。また、符号８は上記ヒータ２や各温度センサ３〜５と上記制御部７とを電気的に接続するハーネスを示している。
【００１７】
ここで、上記ヒータ２はシリコンウエハからなるセンサ本体６の表面にエッチングされた抵抗体であり、制御部７からの通電によって発熱する。また、各温度センサ３〜５は白金薄膜抵抗素子を主要部とする周知の温度センサであって、上記ヒータ２と同様にセンサ本体６の表面に設けられ、周囲の温度に応じたセンサ出力を制御部７に与える。そして、制御部７はマイクロコンピュータで構成され、上記ヒータ２を加熱させて、この時の温度センサ３，４のセンサ出力（出力値）から流体の質量流量を測定する。なお、これらの点は従来の熱式質量流量センサと同様であるので、その詳細な説明は省略する。
【００１８】
そこで、次に、本発明の特徴であるセンサ表面への異物付着の有無判定について説明する。
【００１９】
本発明では、この判定は、上記制御部７のソフトウェアの制御構成によって以下のように実現される。
【００２０】
すなわち、本実施形態に示す熱式質量流量センサ１では、センサ表面への異物付着の有無の判定にあたり、上記制御部７が、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、上記ヒータ２を通電させ、その状態で、上記上流側の温度センサ３と下流側の温度センサ４のセンサ出力値（センサ出力電圧）を比較することによって、センサ表面への異物の付着の有無を判定する。
【００２１】
このような制御構成を採用する前提として、熱式質量流量センサ１では、流体が静止状態にある時にヒータ２を加熱すると、センサ表面に異物が付着していなければ、その熱は図２(a)の左図に示すように、ヒータ２を中心として概ね放射状に広がる。そのため、このように異物が付着していない状態では、ヒータ２の両脇に等間隔で配設された上流側および下流側の各温度センサ３，４のセンサ出力は、いずれも、時間の経過に伴って概ね図２(a)の右図に示すような曲線を描きながら上昇する。つまり、温度センサ３，４の出力値を比較すると、常にほぼ同じ値を示すことになる。
【００２２】
これに対し、センサ表面に異物が付着していると、その時のセンサ出力は上記図２(a)の右図とは異なる特性を示す。たとえば、図２(b)の左図は、センサ表面に熱伝導率の高い異物が温度センサ４側に偏って付着した場合の一例を示している。このような場合、異物が付着した側の温度センサ４のセンサ出力は、図２(b)の右図に示すように、通常の場合（上記図２(a)の場合）に比べ速く上昇する（なお、熱伝導率の低い異物が付着した場合は反対に遅くなる)。つまり、温度センサ３または４のいずれかに異物が付着していると、両温度センサ３，４の出力値は異なる値を示すこととなる。
【００２３】
本実施形態にかかる熱式質量流量センサ１は、このような、センサ表面への異物の付着の有無によるセンサ出力特性の相違に基づいて、センサ表面への異物付着の有無を制御部７に判定させるもので、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、上記制御部７が、上記ヒータ２に通電してこれを加熱状態とし、この状態で上記上流側の温度センサ３と下流側の温度センサ４のセンサ出力値を制御部７で比較し、その結果、両温度センサ３，４の出力値がほぼ同じ値（所定の誤差の範囲内）であれば、上記制御部７は、センサ表面に異物は付着していないと判定する。反対に両センサ３，４の出力値が上記所定の誤差の範囲を超えて相違する（バラツキが出る）場合には、センサ表面に異物が付着している判定する。
【００２４】
実施形態２
次に、本発明の第二の実施形態について説明する。この実施形態は、上記実施形態１における制御部７の制御構成の改変例である。
【００２５】
すなわち、この第二の実施形態では、センサ表面への異物付着の有無の判定にあたり、上記制御部７が、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、上記ヒータ２を通電させ、この状態で、上記上流側と下流側の各温度センサ３，４のうち少なくとも一方または双方の出力値の経時的変化（出力特性）を一定時間測定する。そして、このようにして得られた温度センサ３，４の測定結果と、制御部７に予め備えられた所定の出力特性データとを比較して、その比較結果からセンサ本体への異物の付着の有無を判定する。
【００２６】
ここで、上記制御部７に予め備えられる所定の出力データとしては、予めセンサ表面に異物が付着していない状態で、上記ヒータ２に通電し、その状態で上記温度センサ３，４の出力特性の少なくとも一方について、少なくとも上記一定時間測定したデータ（つまり、図２(a)の右図に示すような出力特性データ）が用いられる。そして、この出力特性データは、上記制御部７に備えられる所定の記憶領域（図示せず）に予め記憶させておく。そして、上述した異物付着の有無の判定の際に、この記憶領域から読み出され、温度センサ３，４で測定された出力特性と比較される。
【００２７】
そして、この比較の結果、測定された出力特性と上記記憶領域に記憶された出  力特性データとがほぼ一致（所定の誤差の範囲内）すれば、上記制御部７はセンサ表面に異物は付着していないと判定する。反対に両出力特性が上記所定の誤差の範囲を超えて相違する（バラツキが出る）場合には、センサ表面に異物が付着している判定する。
【００２８】
なお、ここで上記記憶領域に記憶させる出力特性データとして、上記温度センサ３，４のうち少なくとも一方のデータを記憶させることとしているのは、センサ表面に異物が付着していなければ上記温度センサ３，４の出力特性はほぼ同じとなるので、双方について記憶させておかなくても判定可能であるからである。また、判定にあたり、上記上流側と下流側の各温度センサ３，４のうち少なくとも一方または双方について比較を行うのは、少なくとも一方について異物付着が検出されれば他方について比較を行わなくとも異物が付着していると判定できるからである。
【００２９】
このように、本発明の第二の実施形態では、ヒータ２の加熱を開始してから一定時間の出力特性を用いてセンサ表面への異物の付着の有無が判断されるので、異物付着の有無についての判定を正確に行うことができる。
【００３０】
実施形態３
次に、本発明の第三の実施形態について説明する。この第三の実施形態は、上記第二の実施形態の改変例であって、この場合、上記制御部７は、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、上記ヒータに通電・加熱し、この状態で所定時間が経過した時における前記上流側と下流側の各温度センサの少なくとも一方または双方の出力値を測定する。そして、この測定結果と上記制御部７に備えられた所定の出力値とを比較して、その比較結果から上記センサ表面への異物の付着の有無を判定する。
【００３１】
すなわち、上述した第二の実施形態では、センサ表面への異物付着の判定にあたり、センサ出力の経時的な変化（出力特性）を比較したが、本実施形態では、ヒータ加熱から所定時間経過後の一時点におけるセンサ出力を比較する。
【００３２】
したがって、本実施形態では、上記制御部７に予め備えられる所定の出力値のデータは、出力値の比較を行う特定の時点についてのデータであればよく、上述した第二の実施形態のように経時的な変化のデータを記憶させておく必要はない。また、判定は、上記ヒータに通電後の所定時間経過後であれば、一回だけでなく時間を変えて複数回比較を行うように構成することも可能である。
【００３３】
そして、この比較の結果、測定された出力値と上記記憶領域に記憶された出  力値データとがほぼ同じ値（所定の誤差の範囲内）であれば、上記制御部７はセンサ表面に異物は付着していないと判定する。反対に両出力特性が上記所定の誤差の範囲を超えて相違する（バラツキが出る）場合には、センサ表面に異物が付着している判定する。
【００３４】
なお、ここで上記記憶領域に記憶させる出力値データとして、上記温度センサ３，４のうち少なくとも一方のデータを記憶させることとしているのは、センサ表面に異物が付着していなければ上記温度センサ３，４の出力値はほぼ同じとなるので、双方について記憶させておかなくても判定可能であるからである。また、判定にあたり、上記上流側と下流側の各温度センサ３，４のうち少なくとも一方または双方について比較を行うのは、少なくとも一方について異物付着が検出されれば他方について比較を行わなくとも異物が付着していると判定できるからである。
【００３５】
実施形態４
次に、本発明の第四の実施形態について説明する。この第四の実施形態は、上記温度センサ３，４と、上記雰囲気温度を測定する温度センサ５とを用いてセンサ表面への異物の付着を判定する。
【００３６】
すなわち、本実施形態では、センサ表面への異物付着の有無の判定にあたり、上記制御部７が、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、前記雰囲気温度を検出する温度センサ５の出力値と、上記ヒータ２の上流または下流にある温度センサ３，４のうちの少なくともいずれか一方の出力値とを比較し、その比較結果からセンサ本体への異物の付着の有無を判定する制御構成を備える。
【００３７】
つまり、被測定対象である流体が静止状態にあり、かつヒータ２が加熱されていない状態において、センサ表面に異物が付着していなければ、温度センサ５と温度センサ３，４の周囲温度の温度はほぼ同じ値を示すことになる。その一方で、センサ表面に異物が付着していると、異物の影響によって温度センサ５の出力値と温度センサ３，４の出力値は異なる値を示すこととなる。
【００３８】
本実施形態はこの点に着目してセンサ表面への異物の付着の有無を判定するものであり、被測定対象である流体が静止状態にあるときに、上記制御部７が、温度センサ５の出力値と温度センサ３，４のうちの少なくともいずれか一方の出力値とを比較し、その比較結果がほぼ同じ値（所定の誤差の範囲内）であれば、上記制御部７はセンサ表面に異物は付着していないと判定する。反対に両出力値が上記所定の誤差の範囲を超えて相違する（バラツキが出る）場合には、センサ表面に異物が付着している判定する。
【００３９】
なお、ここで、判定にあたり、上記上流側と下流側の各温度センサ３，４のうち少なくとも一方または双方について比較を行うのは、少なくとも一方について異物付着が検出されれば他方について比較を行わなくともセンサ表面に異物が付着していると判定できるからである。
【００４０】
実施形態５
次に、本発明に係る熱式質量流量センサ１を用いたガス燃焼装置（たとえば、給湯装置）１０について、図３を用いて説明する。
【００４１】
図３は、燃料ガスの供給路に燃料ガスの流量を検出する流量センサを備え、この流量センサの測定結果に基づいて、バーナへの燃料ガスの供給量を調節する構成を備えた給湯装置の概略構成を示すブロック図である。
【００４２】
すなわち、この給湯装置１０は、従来の給湯装置と同様に、バーナに燃焼用の空気を供給するためのファンモータ１１と、バーナへの燃料供給量を調節するガス流量制御弁１２と、給湯装置への入水量などを測定する入水量等検出手段（水量センサ）１３と、入水温度や出湯温度を測定する入水温度等検出手段（温度センサ）１４と、バーナに供給される燃料ガスの流量を測定するガス流量検出手段１５と、給湯設定温度の設定操作等の各種操作を行うための操作手段１６と、制御手段１７を主要部として備える。
【００４３】
そして、本実施形態では、上記ガス流量検出手段１５として、上記実施形態１乃至４のいずれかに記載された熱式質量流量センサ１が用いられる。つまり、本実施形態では、ガス流量検出手段１５として、センサ表面への異物付着の有無を判定できる流量センサが用いられる。そして、この熱式質量流量センサ１の制御部７が、給湯装置１０の制御手段１７と連係するように設けられる。つまり、給湯装置１０の制御手段１７はマイクロコンピュータを主要部として構成されるため、本実施形態では上記制御部７はこの制御手段１７のソフトウェアによって実現される。
【００４４】
また、ガス流量検出手段１５に上記熱式質量流量センサ１を採用したことに伴い、本実施形態では、上記制御手段１７には警報出力手段１８と異物除去手段１９とが設けられる。
【００４５】
警報出力手段１８は、異常の発生を外部に報知するためのものであって、たとえば発光ダイオードなどのように異常の発生を視認可能に報知する表示灯や、ブザー音発生器のように異常の発生を聴取可能に報知する音声等の出力装置で構成される。
【００４６】
また、異物除去手段１９は、熱式質量流量センサ１の表面に付着した異物を除去するための装置であって、たとえばセンサ表面に流体を噴射して異物を除去する流体噴射装置や、あるいはセンサ表面の異物を直接拭き取る拭取装置などで構成される。
【００４７】
そして、このように構成されてなる給湯装置１０では、上記制御手段１７は、ガス流量制御弁１２を閉弁させているとき（つまり、ガス供給路へのガスの供給を遮断した状態にあるとき）に、上記熱式質量流量センサ１の制御部７に対して上述した異物付着の判定処理を行わせるように構成される。そして、この判定において、センサ表面への異物付着ありと判定されると、制御手段１７は、この判定結果に基づいて、上記警報出力手段１８を通じて外部にその旨を報知する。
【００４８】
また、同様に、熱式質量流量センサ１の制御部７において、センサ表面への異物付着ありと判定されると、制御手段１７は、この判定結果に基づいて、上記異物除去手段１９を動作させてセンサ本体に付着した異物を除去させる。
【００４９】
このように、本発明の給湯装置１０によれば、センサ表面に異物が付着すると、給湯装置１０が警報出力手段１８を通じてその旨を外部に放置する一方で、異物除去手段１９によって異物の除去を行うので、センサ表面への異物付着により給湯装置１０が誤動作するのを回避することができる。
【００５０】
なお、上述した実施形態はあくまでも本発明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこれらに限定されることなくその範囲内で種々の設計変更が可能である。
【００５１】
たとえば、上述した実施形態では、本発明の熱式質量流量センサ１を給湯装置１０に適用した場合を示したが、本発明の熱式質量流量センサ１は給湯装置以外の他の装置にも適用可能である。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の熱式質量流量センサによれば、制御部が、熱式質量流量センサに備えられた温度センサの出力値に基づいてセンサ表面への異物の付着の有無を判定する制御構成を備えているので、異物付着を速やかに発見することができる。したがって、異物付着による流量の誤測定を回避することができ、誤った測定値に基づく機器の誤動作を防止することができる。
【００５３】
また、本発明のガス燃焼装置は、燃焼装置の制御手段が、熱式質量流量センサの制御部と連係されているので、ガス供給路へのガス供給が遮断されているとき（換言すれば燃焼装置が停止状態にあるとき）に、熱式質量流量センサにセンサ本体への異物の付着の有無を判定させることができる。
【００５４】
また、燃焼装置に警報出力手段を備えさせ、センサ本体への異物付着があるとの判定結果を得た場合に、警報出力手段を通じて異物の付着を報知することにより、センサ表面への異物付着を速やかに知ることができる。
【００５５】
また、燃焼装置に異物除去手段を備えさせ、センサ本体への異物付着があるとの判定結果を得た場合に、異物除去手段を動作させてセンサ表面に付着した異物を除去することにより、センサ出力の異常による燃焼装置の誤動作を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る熱式質量流量センサの概略構成を示す説明図である。
【図２】左図に熱式質量流量センサへの異物付着の状態を示し、右図に左図に対応した熱式質量流量センサの出力特性を示しており、図２(a)は流体が静止状態にあり、かつセンサ表面に異物が付着していない状態を、図２(b)は流体が静止状態にあり、かつセンサ表面に異物が付着している状態を示している。
【図３】本発明に係るガス燃焼装置の概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１              熱式質量流量センサ
２              ヒータ
３，４，５      温度センサ
６              センサ本体
７              制御部
１０            給湯装置（ガス燃焼装置）
１７            制御手段
１８            警報出力手段
１９            異物除去手段
【図１】
2004205376.tif 000003
【図２】
2004205376.tif 000004
【図３】
2004205376.tif 000005