(57)【要約】【課題】欠陥凸部の検出精度を十分に向上させることができる塗布厚調整用バーの表面検査装置及び表面検査方法を提供する。【解決手段】塗布厚調整用バーの表面検査装置１１は、塗布厚調整用バー２０を回転させるための回転駆動機構１５と、表面硬度が塗布厚調整用バー２０の表面硬度よりも低く設定されている表面検査用フィルム２６を有している表面検査機構１６とを備えている。そして、塗布厚調整用バー２０を回転させるとともにその表面に表面検査用フィルム２６を一定の荷重で接触させる。次いで、表面検査用フィルム２６を塗布厚調整用バー２０の表面から離間させ、塗布厚調整用バー２０の表面に形成されている欠陥凸部由来の傷が表面検査用フィルム２６に形成されているか否かを検査し、塗布厚調整用バー２０の表面に欠陥凸部が形成されているか否かを検査するようになっている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
断面円形状をなす塗布厚調整用バーを回転させるための回転駆動機構と、表面硬度が塗布厚調整用バーの表面硬度よりも低く設定されている表面検査用フィルムを有する表面検査機構とを備え、回転駆動機構によって塗布厚調整用バーを回転させるとともに塗布厚調整用バーの表面に表面検査用フィルムを一定の荷重で接触させた後、表面検査用フィルムを塗布厚調整用バーの表面から離間させ、塗布厚調整用バーの表面に形成されている欠陥凸部由来の傷が表面検査用フィルムに形成されているか否かを検査することにより、塗布厚調整用バーの表面に欠陥凸部が形成されているか否かを検査するように構成されていることを特徴とする塗布厚調整用バーの表面検査装置。
【請求項２】
前記表面検査用フィルムは、厚みが５０〜１００μｍのベースフィルムの表面に、硬度が塗布厚調整用バーの表面硬度よりも低い金属材料により形成されている表面検査層が設けられている請求項１に記載の塗布厚調整用バーの表面検査装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の塗布厚調整用バーの表面検査装置を用い、回転駆動機構によって塗布厚調整用バーを回転させるとともに塗布厚調整用バーの表面に表面検査用フィルムを一定の荷重で接触させた後、塗布厚調整用バーの表面から表面検査用フィルムを離間させ、塗布厚調整用バーの表面に形成されている欠陥凸部由来の傷が表面検査用フィルムに形成されているか否かを検査することにより、塗布厚調整用バーの表面に欠陥凸部が形成されているか否かを検査することを特徴とする塗布厚調整用バーの表面検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気テープ、電子部品、液晶表示材料、プリンターリボン、プリペードカード、機能性包材、写真フィルム等の用途のフィルムを製造するときに使用される塗布厚調整用バーの表面検査に用いられる塗布厚調整用バーの表面検査装置及び表面検査方法に関するものである。より詳しくは、欠陥凸部の検出精度を十分に向上させることができる塗布厚調整用バーの表面検査装置及び表面検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
連続して走行するポリエステルフィルム等のベースフィルムの表面に塗布液を塗布する方法としては、バー塗布方法、リバースロール塗布方法、グラビアロール塗布方法、エクストルージョン塗布方法等が挙げられる。これらの中でも、設備が簡単で薄層塗布が可能であるために、バー塗布方法が広く用いられている。バー塗布方法に用いられる塗布装置は、バー本体と、その表面に巻回されるワイヤーとを有する塗布厚調整用バーを備えている。そして、ベースフィルムの表面に塗布液を過剰に塗布した後、塗布液が塗布された側のベースフィルムの表面に塗布厚調整用バーを押し付けことによって、塗布厚を調整するように構成されている。
【０００３】
従来、塗布厚調整用バーの表面検査方法としては、帯状光源により塗布厚調整用バーの表面に光を照射し、塗布厚調整用バーの表面からの光の反射状況に基づいて欠陥の有無を判定するステップと、当該欠陥の画像を取り込むステップとを備えている。さらに、予め決められたしきい値との比較に基づいて、取り込んだ画像に含まれる欠陥の評価を行なうステップを備えている（例えば特許文献１参照。）。そして、帯状光源から照射した光を塗布厚調整用バーの表面に形成された欠陥によって光散乱させ、画像として取り込む。次いで、取り込まれた画像について、予め決められたしきい値との比較に基づき、大きさが１０μｍ以上の欠陥のみを検出する。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−１７９１５９号公報（第２〜５頁）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この従来の塗布厚調整用バーの表面検査方法においては、大きさが１０μｍ未満の欠陥は問題にならないとして検出対象から除外されているために、塗布厚調整用バーの表面からの高さが数μｍの欠陥凸部を検出することができず、欠陥凸部の検出精度が低いという問題があった。ここで、塗布厚調整用バーの表面に高さが例えば２〜３μｍの欠陥凸部が形成されているときは、ベースフィルムの表面に塗布厚調整用バーを押し付けたときに、欠陥凸部によってベースフィルムに傷等のフィルム欠陥が発生する。さらに、欠陥凸部によって塗布液がベースフィルムから掻き落とされることにより、ベースフィルムに対する塗布筋欠陥等の塗布欠陥が発生する。
【０００６】
本発明は、上記のような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的とするところは、欠陥凸部の検出精度を十分に向上させることができる塗布厚調整用バーの表面検査装置及び表面検査方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明の塗布厚調整用バーの表面検査装置は、断面円形状をなす塗布厚調整用バーを回転させるための回転駆動機構と、表面硬度が塗布厚調整用バーの表面硬度よりも低く設定されている表面検査用フィルムを有する表面検査機構とを備え、回転駆動機構によって塗布厚調整用バーを回転させるとともに塗布厚調整用バーの表面に表面検査用フィルムを一定の荷重で接触させた後、表面検査用フィルムを塗布厚調整用バーの表面から離間させ、塗布厚調整用バーの表面に形成されている欠陥凸部由来の傷が表面検査用フィルムに形成されているか否かを検査することにより、塗布厚調整用バーの表面に欠陥凸部が形成されているか否かを検査するように構成されているものである。
【０００８】
請求項２に記載の発明の塗布厚調整用バーの表面検査装置は、請求項１に記載の発明において、前記表面検査用フィルムは、厚みが５０〜１００μｍのベースフィルムの表面に、硬度が塗布厚調整用バーの表面硬度よりも低い金属材料により形成されている表面検査層が設けられているものである。
【０００９】
請求項３に記載の発明の塗布厚調整用バーの表面検査方法は、請求項１又は請求項２に記載の塗布厚調整用バーの表面検査装置を用い、回転駆動機構によって塗布厚調整用バーを回転させるとともに塗布厚調整用バーの表面に表面検査用フィルムを一定の荷重で接触させた後、塗布厚調整用バーの表面から表面検査用フィルムを離間させ、塗布厚調整用バーの表面に形成されている欠陥凸部由来の傷が表面検査用フィルムに形成されているか否かを検査することにより、塗布厚調整用バーの表面に欠陥凸部が形成されているか否かを検査するものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１に示すように、塗布厚調整用バーの表面検査装置１１（以下、単に検査装置１１ともいう）は、細長四角板状の支持板１２の四隅に支持脚１３が垂下された架台１４上に、回転駆動機構１５と表面検査機構１６とが据付けられて構成されている。
【００１１】
回転駆動機構１５を構成する第１モータ１７は、四角板状の基台１８を介して架台１４の一端部上に据付けられ、第１モータ１７の回転軸１７ａの先端にはチャック装置１９が取付けられている。このチャック装置１９は複数の把持片１９ａを備え、それらの先端側が開閉するようになっている。
【００１２】
そして、各把持片１９ａが開いた状態で各把持片１９ａの内側に塗布厚調整用バー２０（以下、単にバー２０ともいう）の端部を挿入し、各把持片１９ａを閉じてチャックすることにより、バー２０をチャック装置１９に取付けるように構成されている。チャック装置１９に取付けられたバー２０は、第１モータ１７によって図１のＡ矢視線の方向に回転される。
【００１３】
第１モータ１７の回転速度、即ちバー２０の回転速度は好ましくは５〜２０ｒｐｍ、より好ましくは５〜１０ｒｐｍに設定されている。バー２０の回転速度が５ｒｐｍ未満では、回転速度が遅いためにバー２０の表面検査効率が低下する。一方、２０ｒｐｍを超えると、バー２０の回転速度が速すぎるために、バー２０の表面と表面検査用フィルム２６とが強く摺接することにより、表面検査用フィルム２６にフィルム破断が発生するおそれがある。
【００１４】
図１及び図２に示すように、架台１４の他端部の前面側には平面逆コ字状の検査用凹部２１が切欠き形成され、架台１４上において検査用凹部２１の後方には、表面検査機構１６を構成する第１バーホルダ２２が据付けられている。第１バーホルダ２２は、ウレタン樹脂等の合成樹脂材料により架台１４の長手方向に延びる四角柱状に形成され、その上面には断面半円状の第１バー支持溝２３が第１バーホルダ２２の長手方向に延びるように凹設されている。そして、第１バー支持溝２３内には、チャック装置１９に取付けられたバー２０が支持されるように構成されている。
【００１５】
架台１４において第１バーホルダ２２の後方には、頂面が前方及び後方に向かうに従い低くなるように傾斜する五角柱状をなすフィルム支持体２４が立設されている。フィルム支持体２４の頂縁にはその全体にわたってクリップ２５が複数取付けられ、各クリップ２５には表面検査用フィルム２６の一端部がそれぞれ保持されている。
【００１６】
図４に示すように、表面検査用フィルム２６は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリエチレンナフタレート等のポリエステル製の第１ベースフィルム２６ａの表面に、硬度が後述するバー２０の表面硬度よりも低い金属材料製の表面検査層２６ｂが化学蒸着等により被覆されることによって形成されている。このため、表面検査用フィルム２６は、その表面硬度がバー２０の表面硬度よりも低く設定されている。硬度がバー２０の表面硬度よりも低い金属材料の具体例としては、ビッカース硬さで約３０Ｈｖのアルミニウム（Ａｌ）や約５０Ｈｖの真鍮等が挙げられる。さらに、Ａｌ−亜鉛（Ｚｎ）−マグネシウム（Ｍｇ）−銅（Ｃｕ）合金（Ａ５０５２Ｐ−Ｈ１１２）、Ａｌ−Ｍｇ−ケイ素（Ｓｉ）−Ｃｕ合金（Ａ５０８３Ｐ−０）、ジュラルミン（Ａ２０１７Ｐ−Ｔ３５１、Ａ２０１７Ｐ−Ｔ４５１）、超々ジュラルミン（Ａ７０７５Ｐ−Ｔ６５１）等のアルミニウム合金が挙げられる。これらアルミニウム合金の硬度は５８〜１６０Ｈｖである。これらの中でも、アルミニウムはビッカース硬さが低く、欠陥凸部２７の検出精度をより向上させることができるために好ましい。
【００１７】
第１ベースフィルム２６ａの厚みは好ましくは５０〜１００μｍ、より好ましくは６０〜９０μｍ、さらに好ましくは７０〜８０μｍであり、幅は例えば本実施形態では１００ｍｍである。第１ベースフィルム２６ａの厚みが５０μｍ未満では、表面検査用フィルム２６が薄いために柔軟性が高く、バー２０の外周面に溝が形成されているときには、バー２０の表面に表面検査用フィルム２６が接触するときに、表面検査用フィルム２６がバー２０の外周面の溝に食込みやすい。よって、食込みによって表面検査用フィルム２６に傷が発生し、この傷とバー２０の表面に形成されている欠陥凸部２７由来の傷とを判別することが困難になり、欠陥凸部２７の検出精度が低下する。
【００１８】
一方、１００μｍを超えると、表面検査用フィルム２６が厚いために柔軟性が低く、バー２０の表面検査においてバー２０の表面に表面検査用フィルム２６が接触するときに、バー２０の表面に表面検査用フィルム２６が接触する部分の面積が小さくなる。このため、バー２０の表面に表面検査用フィルム２６を十分に接触させることができない。
【００１９】
表面検査層２６ｂの厚みは好ましくは３００〜７００Å、より好ましくは４００〜６００Å、さらに好ましくは４５０〜５５０Åである。表面検査層２６ｂの厚みが３００Å未満では、表面検査層２６ｂが薄いために透ける。このため、欠陥凸部２７由来の傷を確認するのが困難になる。一方、７００Åを超えると表面検査用フィルム２６の製造コストが嵩み、不経済である。
【００２０】
図１、図２及び図４に示すように、表面検査用フィルム２６は、バー２０の表面検査に使用されるときには、表面検査層２６ｂが内方に向くように一端部がクリップ２５に保持されるとともに他端部に重り２８が取付けられることにより、第１バーホルダ２２の前面側に吊下げられる。さらに、一定の荷重で表面の一部、即ち表面検査層２６ｂの表面の一部がバー２０の表面の一部に接触する。
【００２１】
荷重は好ましくは１．０〜３．０Ｎ、より好ましくは１．５〜２．５Ｎである。荷重が１．０Ｎ未満では、荷重が小さすぎるために、表面検査用フィルム２６がバー２０の表面に十分接触できず、バー２０の表面検査を行なうのが困難になる。一方、３．０Ｎを超えると、荷重が大きすぎるために、表面検査用フィルム２６にフィルム破断が発生するおそれがある。
【００２２】
図６に示すように、バー２０は、円柱状をなすバー本体２０ａの中間部の外周面にワイヤー２０ｂが巻回されることにより、断面円形状に形成されている。本実施形態では、バー本体２０ａは直径が１〜５０ｍｍであるとともに長さが０．５〜２．５ｍであり、ワイヤー２０ｂの直径は５０〜１５０μｍである。バー本体２０ａ及びワイヤー２０ｂは、ステンレス鋼等の金属材料によりそれぞれ形成されている。尚、図面においては、ワイヤー２０ｂは、理解を容易にするためにその直径を誇張して大きく描かれている。
【００２３】
図７に示すように、ワイヤー２０ｂの表面には摩耗改質膜２９が化学蒸着等によって被覆され、この摩耗改質膜２９によってワイヤー２０ｂの摩耗を抑制してバー２０の耐久性を向上させるようになっている。ここで、バー２０の表面とは摩耗改質膜２９の表面を示し、バー２０の表面硬度とは摩耗改質膜２９の表面硬度を示す。摩耗改質膜２９の材質の具体例としては、表面硬度がビッカース硬さで３０００〜５０００Ｈｖのダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、２０００〜３０００Ｈｖのハードクロム、５００〜１０００Ｈｖの炭化チタン等が挙げられる。摩耗改質膜２９の厚みは好ましくは２．０μｍ以下、より好ましくは０．５〜１．０μｍである。
【００２４】
このバー２０は、磁気テープ、電子部品、液晶表示材料、プリンターリボン、プリペードカード、機能性包材、写真フィルム等の用途のフィルムを製造するときに使用される塗布装置を構成している。具体的には、図８に示すように、塗布装置３０は、四角板状をなす基盤３１上に塗布機構３２と塗布厚調整機構３３とが据付けられて構成されている。塗布装置３０は、複数の搬送ローラ３４によって図８のＢ矢視線の方向に連続して走行する第２ベースフィルム３５の下方に、塗布機構３２が上流側に位置するとともに塗布厚調整機構３３が下流側に位置するように配設されている。
【００２５】
図９に示すように、バー２０は、塗布厚調整機構３３を構成する第２バーホルダ３６の上面に凹設された第２バー支持溝３７内に支持されている。バー２０の端部は図示しない第２モータに取付けられ、第２モータにより第２ベースフィルム３５の進行方向に対して順方向、即ち図９のＣ矢視線の方向に回転されるように構成されている。
【００２６】
そして、図８に示すように、塗布機構３２により第２ベースフィルム３５の下面に塗布液３８を塗布厚が調整された後の塗布量に対して過剰に塗布する。続いて、第２ベースフィルム３５にバー２０が下方から押し付けられバー２０が回転されることにより、第２ベースフィルム３５を押し上げるとともに、過剰分の塗布液３８がバー２０によって掻き落とされて塗布量が計量され、塗布厚が調整されるように構成されている。
【００２７】
次いで、バー２０の表面検査方法について説明する。図１に示すように、バー２０の表面検査を行なうときには、まずバー２０の端部をチャック装置１９に取付ける。このとき、バー２０は第１バー支持溝２３内に支持され、その撓みを防止することができる。続いて、表面検査用フィルム２６を、その他端部に重り２８を取付けるとともにバー２０の表面検査を行なう箇所に対応するクリップ２５に一端部を保持させ、表面検査層の表面の一部がバー２０の表面の一部に接触するように、第１バーホルダ２２の前面側に吊下げる。
【００２８】
そして、第１モータ１７によってバー２０を回転させる。このとき、図３に示すように、化学蒸着による摩耗改質膜２９のワイヤーへの被覆等によってバー２０の頂部等の表面に高さが２〜３μｍ等の欠陥凸部２７が形成されているときには、欠陥凸部２７により表面検査層２６ｂが傷つけられ、表面検査用フィルム２６には欠陥凸部２７由来の傷２６ｃが発生する。さらに、第１バーホルダがウレタン樹脂等の合成樹脂材料によって形成されることにより、回転しているバー２０と第１バーホルダの第１バー支持溝との摺接によって摩耗改質膜２９が研磨されるのを防止することができる。
【００２９】
バー２０の回転時間は好ましくは５〜８０秒、より好ましくは１０〜６０秒、さらに好ましくは３０〜４０秒である。バー２０の回転時間が５秒未満では、回転時間が短いために、欠陥凸部２７によって表面検査層２６ｂを十分に傷つけることができない。一方、８０秒を超えると、回転時間が長いためにバー２０の表面検査効率が低下する。
【００３０】
そして、バー２０の回転を停止させた後、表面検査用フィルム２６をクリップ２５から取外す。次いで、暗室内において表面検査層２６ｂの表面に光源から光を照射し、表面検査層２６ｂの表面からの光の反射状況に基づいて欠陥凸部２７由来の傷２６ｃが表面検査用フィルム２６に発生しているか否かを目視により検査し、バー２０の表面に欠陥凸部２７が形成されているか否かを検査する。
【００３１】
表面検査によって欠陥凸部２７由来の傷２６ｃを検出したときには、表面検査用フィルム２６の表面検査層２６ｂと接触していた箇所のバー２０の表面全体を、ダイヤモンドペーパー等によって均一に研磨する。続いて、上述と同様にしてバー２０全体にわたって表面検査を行なう。表面検査用フィルム２６に欠陥凸部２７由来の傷２６ｃが発生しなくなるまで上述の工程を繰返すことにより、バー２０の表面の欠陥凸部２７を全て研磨除去し、バー２０の表面の平滑性を向上させることができる。
【００３２】
そして、欠陥凸部２７が全て除去されたバー２０を、チャック装置１９から取外した後に塗布装置３０の第２バー支持溝３７内に支持し、フィルムの製造に使用する。ここで、バー２０の表面は、形成されていた欠陥凸部２７は全て研磨除去されて平滑性が向上されている。このため、第２ベースフィルム３５に塗布液３８が過剰に塗布された後にバー２０によって過剰分の塗布液３８が掻き落とされるときに、第２ベースフィルム３５に傷等のフィルム欠陥が発生するのを防止することができる。さらに、第２ベースフィルム３５に対する塗布筋欠陥等の塗布欠陥が発生するのを防止することができる。
【００３３】
さて、バー２０の表面検査において、図４に示すように、バー２０が回転されるときには、欠陥凸部２７は、バー２０の回転に伴って表面検査用フィルム２６の表面検査層２６ｂと接触する。ここで、表面検査層２６ｂは硬度がバー２０の表面硬度よりも低い金属材料により形成され、表面検査用フィルム２６は一定の荷重でバー２０の表面に接触している。このため、図５に示すように、表面検査層２６ｂは、その表面が欠陥凸部２７によって外方へ押圧されることなく削られ、欠陥凸部２７によって傷つけられる。
【００３４】
よって、欠陥凸部２７の高さが数μｍであっても表面検査用フィルム２６に欠陥凸部２７由来の傷２６ｃを確実に発生させることができ、欠陥凸部２７の検出精度を十分に向上させることができる。尚、図４及び図５においては、第１ベースフィルム２６ａ及び表面検査層２６ｂは、理解を容易にするためにその厚さを誇張して厚く描かれている。
【００３５】
以上詳述した本実施形態によれば、次のような効果が発揮される。
・  本実施形態の塗布厚調整用バーの表面検査装置１１は、バー２０を回転させるための回転駆動機構１５と、表面硬度がバー２０の表面硬度よりも低く設定されている表面検査用フィルム２６を有している表面検査機構１６とを備えている。
【００３６】
そして、塗布厚調整用バー２０の表面検査方法によれば、回転駆動機構１５によってバー２０を回転させるとともにバー２０の表面に表面検査用フィルム２６を一定の荷重で接触させた後、バー２０の表面から表面検査用フィルム２６を離間させる。次いで、バー２０の表面に形成されている欠陥凸部２７由来の傷２６ｃが表面検査用フィルム２６に形成されているか否かを検査することにより、バー２０の表面に欠陥凸部２７が形成されているか否かを検査する。
【００３７】
このため、高さが数μｍの欠陥凸部２７であっても表面検査用フィルム２６に確実に欠陥凸部２７由来の傷２６ｃを発生させることができ、従来のバー２０の表面検査方法に比べて、欠陥凸部２７の検出精度を十分に向上させることができる。さらに、従来のバー２０の表面検査方法に比べて、バー２０の表面検査を容易に行なうことができる。
【００３８】
・  表面検査用フィルム２６は、第１ベースフィルム２６ａの表面に、硬度がバー２０の表面硬度よりも低い金属材料製の表面検査層２６ｂが被覆されることにより形成され、第１ベースフィルム２６ａの厚みは５０〜１００μｍが好ましい。この場合、欠陥凸部２７の検出精度が低下するのを防止することができる。さらに、表面検査層２６ｂが金属材料により形成されることにより、暗室内において表面検査層２６ｂの表面に光を照射するときに、光が表面検査層２６ｂ内に入射することなく反射させることができ、欠陥凸部２７由来の傷２６ｃを容易に検出することができる。
【００３９】
・  表面検査層２６ｂはアルミニウムで形成されるのが好ましい。この場合、アルミニウムの硬度がバー２０の表面硬度に比べて大きく低下しているために欠陥凸部２７が表面検査層２６ｂを容易に傷つけることができ、欠陥凸部２７の検出精度をより十分に向上させることができる。さらに、表面検査用フィルム２６の製造コストを低減することができる。
【００４０】
・  バー２０の回転速度は好ましくは５〜２０ｒｐｍに設定されている。この場合、表面検査用フィルム２６にフィルム破断が発生するのを抑制することができる。
【００４１】
尚、前記実施形態を次のように変更して構成することもできる。
・  前記バー２０の表面検査において、全てのクリップ２５に表面検査用フィルム２６の一端部をそれぞれ同時に保持させてもよい。この場合、バー２０の表面全体にわたって一度に表面検査を行なうことにより、バー２０の表面検査効率を向上させることができる。
【００４２】
・  前記フィルム支持体２４の長さを短くするとともに、その頂縁に１個のクリップ２５を取付ける。そして、フィルム支持体２４を架台１４の長手方向に移動可能に構成してもよい。
【００４３】
・  前記バー本体２０ａを円筒状に形成してもよいし、バー２０を円柱状、円筒状等に形成されたバー本体２０ａのみから形成されているフラットバーとして構成してもよい。また、円柱状、円筒状等に形成されたバー本体２０ａの外周面に溝を凹設してバー２０を形成してもよい。
【００４４】
【実施例】
次に、実施例を挙げて前記実施形態をさらに具体的に説明する。
（実施例１〜５）
実施例１においては、表面検査装置１１を用い、表面に高さが２μｍの欠陥凸部２７及び１０μｍの欠陥凸部２７がそれぞれ形成されているバー２０の表面検査を行なった。ここで、バー本体２０ａは、直径を１０ｍｍとするとともに長さを１．５ｍとした。ワイヤー２０ｂは直径８０μｍとし、その表面にＤＬＣにより形成されている表面硬度が３５００Ｈｖの摩耗改質膜２９を１．０μｍの厚さで被覆した。表面検査用フィルム２６の第１ベースフィルム２６ａは、ＰＥＴにより形成するとともに厚さを７５μｍとした。表面検査層２６ｂは、硬度が約３０Ｈｖのアルミニウムにより形成するとともに厚さを５００Åとした。さらに、荷重を２．０Ｎとするとともにバー２０の回転速度を１０ｒｐｍとし、バー２０の回転時間を３５秒とした。
【００４５】
実施例２においては、第１ベースフィルム２６ａの厚みを１２μｍに変更した以外は実施例１と同様にしてバー２０の表面検査を行なった。実施例３においては、第１ベースフィルム２６ａの厚みを１２５μｍに変更した以外は、実施例１と同様にしてバー２０の表面検査を行なった。実施例４においては、表面検査用フィルム２６を厚さが７５μｍのアルミニウム箔に変更した以外は、実施例１と同様にしてバー２０の表面検査を行なった。実施例５においては、表面検査用フィルム２６を、硬度が約５０Ｈｖであるとともに厚さが７５μｍの真鍮製のフィルムに変更した以外は、実施例１と同様にしてバー２０の表面検査を行なった。
【００４６】
その結果、各実施例において、表面検査用フィルム２６には各欠陥凸部２７由来の傷２６ｃがそれぞれ発生しているのを確認することができ、高さが２μｍの欠陥凸部２７と１０μｍの欠陥凸部２７とをそれぞれ検出することができた。さらに、実施例１においては、第１ベースフィルム２６ａの厚みが５０〜１００μｍの間であるために、表面検査用フィルム２６には各欠陥凸部２７由来の傷２６ｃ以外の傷は発生せず、各欠陥凸部２７由来の傷２６ｃを容易に確認することができた。
【００４７】
次に、前記実施形態から把握できる技術的思想について以下に記載する。
（１）前記金属材料はアルミニウムである請求項２に記載の塗布厚調整用バーの表面検査装置。この構成によれば、欠陥凸部の検出精度をより向上させることができる。
【００４８】
（２）前記塗布厚調整用バーの回転速度が５〜２０ｒｐｍに設定されている請求項１、請求項２及び上記（１）のいずれか一項に記載の塗布厚調整用バーの表面検査装置。この構成によれば、表面検査用フィルムにフィルム破断が発生するのを抑制することができる。
【００４９】
【発明の効果】
本発明は、以上のように構成されているため、次のような効果を奏する。
請求項１及び請求項２に記載の発明の塗布厚調整用バーの表面検査装置によれば、欠陥凸部の検出精度を十分に向上させることができる。
【００５０】
請求項３に記載の発明の塗布厚調整用バーの表面検査方法によれば、塗布厚調整用バーを回転させるとともに塗布厚調整用バーの表面に表面検査用フィルムを一定の荷重で接触させるという簡単な操作で、欠陥凸部の検出精度を十分に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の塗布厚調整用バーの表面検査装置を示す斜視図。
【図２】塗布厚調整用バーの表面検査装置を示す断面図。
【図３】表面検査用フィルムに欠陥凸部由来の傷が発生した状態を示す要部拡大平面図。
【図４】塗布厚調整用バーと表面検査用フィルムとが接触した状態を示す要部断面図。
【図５】塗布厚調整用バーと表面検査用フィルムとが接触した状態を示す要部断面図。
【図６】塗布厚調整用バーを示す部分破断側面図。
【図７】塗布厚調整用バーを示す要部断面図。
【図８】塗布装置を示す概念図。
【図９】塗布装置を示す要部断面図。
【符号の説明】
１１…塗布厚調整用バーの表面検査装置、１５…回転駆動機構、１６…表面検査機構、２０…塗布厚調整用バー、２６…表面検査用フィルム、２６ａ…第１ベースフィルム、２６ｂ…表面検査層、２６ｃ…傷、２７…欠陥凸部。
【図１】
2004205367.tif 000003
【図２】
2004205367.tif 000004
【図３】
2004205367.tif 000005
【図４】
2004205367.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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