(57)【要約】【課題】複数の基板をエッチングする方法において、基板接続用テープによって隣り合う各基板の縁部を連結する際に、基板接続用テープの貼り付け誤差を解消し、基板接続用テープの回路パターン上への貼付を解消することを課題とする。【解決手段】搬送手段で水平に搬送される複数の基板をエッチングする方法において、隣り合う各基板の搬送方向に対する直角方向の縁部に位置する余白部分にのみ基板接続用テープを貼り付けて基板を互いに連結する基板のエッチング方法。【選択図】　図１
2004063535.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送手段で水平に搬送される複数の基板をエッチングする方法において、隣り合う各基板の搬送方向に対する直角方向の縁部に位置する余白部分のみ基板接続用テープを貼り付けて基板を互いに連結することを特徴とする基板のエッチング方法。
【請求項２】
搬送手段で水平に搬送される複数の基板をエッチングする方法において、エッチングの直前の工程にて隣り合う各基板の搬送方向に対する直角方向の縁部に位置する余白部分にのみ基板接続用テープを貼り付けて基板を互いに連結し、その連結された状態の各基板を搬送手段により搬送しながら少なくともエッチングおよびレジスト除去を行い、レジスト除去で基板接続用テープを除去して各基板を分離することを特徴とする基板のエッチング方法。
【請求項３】
基板接続用テープが貼り付く基板上の領域を、基板の搬送方向に対する直角方向の端から１０ｍｍ以上設けることを特徴とする、請求項１または２に記載の基板のエッチング方法。
【請求項４】
基板接続用テープが貼り付く基板上の領域を、基板の搬送方向の端から１０ｍｍ以上設けることを特徴とする、請求項１〜３の何れかに記載の基板のエッチング方法。
【請求項５】
基板接続用テープを基板の搬送方向の端からもう一方の端に渡って貼り付けることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の基板のエッチング方法。
【請求項６】
基板接続用テープを基板の表裏面に貼り付けることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の基板のエッチング方法。
【請求項７】
基板接続用テープを基板の片面のみに貼り付けることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の基板のエッチング方法。
【請求項８】
基板接続用テープを基板の表と裏にまたがって貼り付けることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の基板のエッチング方法。
【請求項９】
基板接続用テープを基板に貼り付けた際に、搬送方向に対する直角方向の端から基板接続用テープが基板の外側にはみ出して貼り付けることを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載の基板のエッチング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板やリードフレーム等に用いられる基板のエッチング方法に関し、特に搬送手段により搬送される複数の基板の上面側を均一にエッチングすることができるエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
多数のプリント基板を連続的に効率よくエッチングする方法として、例えばローラコンベア等の搬送手段によりプリント基板を水平に搬送し、平行に配列されたスプレー管群でエッチング液をその表面にスプレーする方法が採用されている。そしてプリント基板の片面をエッチングする場合は、搬送されるプリント基板の上方または下方のいずれかにエッチング液のスプレー管群を配列する。また、両面を同時にエッチングする場合は上方および下方の両方にスプレー管群を配列する。
【０００３】
このようなエッチング方法において、水平に搬送されるプリント基板の上方におけるスプレー管群の各ノズルよりスプレーされたエッチング液は、プリント基板の上表面を流れて周辺部から下方へ流下するが、その際プリント基板の上表面の中央部は周辺部よりエッチング液の滞留を生じやすいので、スプレーされたエッチング液が反応面に作用しにくいものである。そのためプリント基板の中央部におけるエッチング速度が周辺部より低下し、均一なエッチングを行うことが困難になり、それがプリント基板のファイン化を妨げる大きな原因になっているのである。
【０００４】
この問題を解決するため、プリント基板に衝突するエッチング液の接触圧力を均一にするのではなく、その搬送方向に対して直角方向の周辺部より中間部に衝突するエッチング液の圧力を高くし、プリント基板の中間部から周辺部へのエッチング液の流れを円滑にする方法が知られている。そしてそれを実現する装置の１例として、プリント基板の搬送方向と直角方向に並んだ各スプレーのノズル長を列の両端側より中間部を大とするように構成し、中間部のスプレー管のノズルをプリント基板の上表面に近づけ、プリント基板の中間部に衝突するエッチング液の接触圧力を周辺部より高くする方法が知られている。
【０００５】
しかしながら、プリント基板の搬送方法に対して直角方向の中間部に衝突するエッチング液の接触圧力を周辺部よる大きくするだけでは、プリント基板の搬送方向に対して直角方向の不均一なエッチング現象は制御できるが、プリント基板の搬送方向に不均一なエッチング現象を解決するまでには至らない。
【０００６】
これを解消すべく、帯状の基板接続用テープで基板の縁部同士を連結しエッチングおよびレジスト除去をするエッチングの方法が特願２００１−０１９５９６号、同２００２−１５６０２３号、同２００２−１６２４１６号等に提案されている。この方法によると、プリント基板上面のエッチング液のほとんどが搬送方向に対して直角方向に流下するため、搬送方向に不均一なエッチング現象が明らかに抑制できた。
【０００７】
基板接続用テープを基板の縁部に貼り付ける方法としては、同様に、特願２００１−０１９５９６号、同２００２−１５６０２３号、同２００２−１６２４１６号等に記載されている。つまり、基板が基板連結部中に搬入される前に基板が順に押し詰められ、搬送方向の端が互いに接した状態で基板連結部内に通過し、そして図９に示したように、隣接する基板の縁部の全域に帯状の接続用テープが貼り付けられて基板が連結する。
【０００８】
しかし、図９のように基板接続用テープを基板の搬送方向の縁部の全域に貼り付けた場合では、基板接続用テープの消費量が多くなるだけでなく、基板接続用テープの面積が大きいため、基板に対して略平行に貼り付ければ最良であるが、基板に対して貼り付ける角度が少しでも生じると、回路パターンが形成される領域に基板接続用テープがかぶってしまう。このような問題があり、回路パターンが形成される領域に対して接近して貼り付けなければならず、貼り付けが非常に困難である。また、機械的に基板接続用テープを貼り付ける際には、搬送中の基板の動作に合わせて貼り付けるため、搬送速度が大きい場合には、貼り付け領域に誤差を生じ、結果として、回路パターンが形成される領域に基板接続用テープが貼付され、その部分に欠陥が生じる問題があった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、複数の基板をエッチングする方法において、基板接続用テープによって隣り合う各基板の縁部を連結する際に、基板接続用テープの貼り付け誤差を解消し、基板接続用テープの回路パターン上への貼付を解消することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決する本発明の基板のエッチング方法は、搬送手段で水平に搬送される複数の基板をエッチングする方法において、隣り合う各基板の搬送方向に対する直角方向の縁部に位置する余白部分にのみ基板接続用テープを貼り付けて基板を互いに連結する基板のエッチング方法である。
【００１１】
この方法によって、基板接続用テープの消費量が減少しコスト的に有利になる他、自動で貼り付ける際に、装置が簡便となり、また貼り付け誤差が生じ基板接続用テープに多少の角度が生じても、誤差によってずれた面積は、図９のように基板の搬送方向の縁部の全域渡って貼り付けた場合に比べて小さい。また、基板接続用テープが貼り付けられる領域の搬送方向の領域は、回路パターンが形成される領域以外であるため、基板搬送速度が大きく搬送方向に貼り付けの誤差が生じても、結果として、回路パターンが形成される領域には基板接続用テープが貼付されず欠陥品は生じない。
【００１２】
また、搬送手段で水平に搬送される複数の基板をエッチングする方法において、エッチングの直前の工程にて隣り合う各基板の搬送方向に対する直角方向の縁部に位置する余白部分にのみ基板接続用テープを貼り付けて基板を互いに連結し、その連結された状態の各基板を搬送手段により搬送しながら少なくともエッチングおよびレジスト除去を行い、レジスト除去で基板接続用テープを除去して各基板を分離する基板のエッチング方法によっては、レジスト除去部を連続して有するエッチングのラインを使用して、基板接続用テープを除去する手段としてレジスト除去が適用でき、高スループットとなり好適である。
【００１３】
また、基板接続用テープが貼り付く基板上の領域を、基板の搬送方向に対する直角方向の端から１０ｍｍ以上設けることで、エッチングの搬送速度が速くても切断しない十分な強度を保持でき好適である。
【００１４】
また、基板接続用テープが貼り付く基板上の領域を、基板の搬送方向の端から１０ｍｍ以上設けることによって、接着不良が生じにくく、エッチングの搬送速度が速くても基板接続用テープが剥がれない十分な接着強度を有するため好適である。
【００１５】
また、基板接続用テープを基板の搬送方向の端からもう一方に端に渡って貼り付けることで、基板接続用テープを各基板ごとに切断せずに貼り付けることが可能となり、テープを貼り付ける装置が簡略化でき好適である。
【００１６】
また、基板接続用テープを基板の表裏面に貼り付けることによって、強度が増すため好適である。
【００１７】
また、基板接続用テープを基板の片面に貼り付けることによっても、強度的に表裏面に貼り付ける必要がない条件に於いては、コスト的に有利であり、貼り付けが容易となるので好適である。
【００１８】
また、基板接続用テープを基板の表と裏にまたがって貼り付けることで、基板の側部も支持するため強度が増す他、基板の表裏の貼り付け位置の誤差が発生しないため好適である。
【００１９】
基板接続用テープを基板に貼り付ける際には多少の誤差が生じるため、基板接続用テープを基板に貼り付けた際に、搬送方向に対する直角方向の端から基板接続用テープが外側にはみ出して貼り付けられるが、エッチング等の性能を損なうおそれがないため良好なエッチングが可能である。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の基板のエッチング方法について詳細に説明する。
【００２１】
図１および図２は、隣り合う各基板の搬送方向に対する直角方向の縁部に位置する余白部分にのみ基板接続用テープ１を貼り付けて基板を互いに連結した状態を上からみた概念図である。１は基板接続用テープ、４は基板、２１は位置情報の領域、２２は製品情報の領域、点線内の領域２３は回路パターンが形成される領域であり、大きな矢印は搬送方向である。なお、図２〜９における矢印も同様に基板４の搬送方向を表す。本発明においては、図１または図２に示したとおり、隣り合う各基板４の搬送方向の縁部の両端に基板接続用テープ１を貼り付けて基板４を互いに連結する。基板接続用テープ１はエッチングレジストとしてはたらくため、基板接続用テープ１が貼り付けられた領域は、最終的にべた画像となる。そのため、図１に示すように、基板接続用テープ１が回路パターンが形成される領域２３にかぶらないように貼り付ける必要がある。同様に、位置情報の領域２１や製品情報の領域２２にもテープがかぶらないようにすることが好ましい。図１に示すように、基板４の搬送方向に対する直角方向の端の内側に貼り付けてもよく、また図２に示すように基板４の搬送方向に対する直角方向の端の外側にはみ出して貼り付けてもよい。本発明に係わる、余白部分とは、回路パターンが形成される領域以外の領域のことをいう。
【００２２】
図１または図２におけるＬ１は、基板接続用テープ１が貼り付く基板４上の領域の基板４の搬送方向に対する直角方向の端からの長さである。エッチングの搬送速度、液温、スプレー圧、搬送距離等の条件を、一般的な１２〜３５μｍの銅箔を処理するような条件よりも負荷が大きいエッチング条件で処理した場合においては、Ｌ１が１０ｍｍ以上であることで、基板接続用テープ１が切断しにくくなる。Ｌ１が１０ｍｍより小さい場合であっても、一般的な１２〜３５μｍの銅箔を処理するエッチング条件であれば、基板接続用テープ１の切断は生じず、精度の良いエッチングが実施できる。
【００２３】
図１または図２に於けるＬ２は、基板４の搬送方向の端からの長さである。Ｌ２が１０ｍｍ以上であることで、基板接続用テープ１を基板４に貼り付ける面積が当然大きくなるので、接着不良が生じにくくなる。また、一般的な１２〜３５μｍの銅箔を処理するような条件よりも負荷が大きいエッチング条件で処理した場合においては、Ｌ２が１０ｍｍ以上であることで、基板接続用テープ１が基板４から剥がれにくくなる。Ｌ２が１０ｍｍより小さい場合であっても、加圧してしっかり貼り付けることで、一般的な１２〜３５μｍの銅箔を処理するエッチング条件であって、基板４に通常の粗面化処理が施してあれば、基板接続用テープ１の剥がれが生じず、精度の良いエッチングが実施できる。
【００２４】
Ｌ１、Ｌ２の距離は、基板接続用テープ１の使用量や貼り付けの手間がゆるす限り、回路パターンが形成される領域２３と位置情報の領域２１と製品情報の領域２２にかぶらないようにする範囲内でできるだけ長くすることがより強いエッチング部の応力に耐える上で好ましい。
【００２５】
図３は、基板接続用テープ１を基板４の搬送方向の端からもう一方の端に渡って貼り付け、基板４を互いに連結した状態を上からみた概念図である。図３（ａ）に示すように、基板接続用テープ１が回路パターンが形成される領域２３にかぶらないように、一連の基板接続用テープ１で連続的に貼り付ける。このように貼り付けることによって、基板接続用テープ１を各基板４ごとに切断しなくて済むため、貼り付け装置が簡易となる。また、図３（ｂ）に示すように片側のみ一連の基板接続用テープ１を貼り付け、もう片側に切断した基板接続用テープ１を貼り付けても、基板４の連続体を形成するのに十分な強度であって、図３（ａ）の場合と比較して基板４の製品とならずに最終的に廃棄する領域が小さくなるため良い。
【００２６】
図４は、基板接続用テープ１を表裏面に貼り付けた断面図である。基板接続用テープ１を基板４の表裏面に貼り付けることで、片面に貼り付ける場合に比べて強度が増すため好適である。図４（ａ）は切断した基板接続用テープ１を表裏面に貼り付けた断面図であり、図４（ｂ）は一連の基板接続用テープ１を表裏面に貼り付けた断面図である。
【００２７】
また、基板接続用テープ１を基板４の片面に貼り付けることによっても、強度的に表裏面に貼り付ける必要がない場合に於いては、コスト的に有利であり、貼り付けが容易となるので好適である。図５（ａ）は切断した基板接続用テープ１を片面に貼り付けた断面図であり、図５（ｂ）は一連の基板接続用テープ１を片面に貼り付けた断面図である。
【００２８】
図６に基板接続用テープ１を、基板４の表と裏にまたがって貼り付けた状態の断面図を示した。図６は、紙面の垂直方向が基板４の搬送方向である。基板接続用テープ１を基板搬送方向を折り目として折り曲げて、基板４を基板接続用テープ１の間に挟んで貼り付けることで、接続強度が増し好適に使用できる。基板接続用テープ１は、切断したものでも、一連のものでも良い。
【００２９】
図７（ａ）、図７（ｂ）に示したように、表裏面に片面づつ交互に貼り付けたり、片面に一連の基板接続用テープ１を貼り付け、もう片面側に切断した基板接続用テープ１を一つおきに貼り付けるような貼り付け方をしてもよい。図３（ｂ）や図７の例のように、一連の基板接続用テープ１や切断した基板接続用テープ１を使用して、表裏面、片面、基板４の表裏面にまたがった貼り付け方を組み合わせて貼り付ける方法が選択できる。これは、エッチング部の引っ張り応力、装置の貼り付けるスペース、基板４上の余白部分の位置や面積、基板接続用テープ１の使用量等を考えて、適当な貼り付け方を選択できる。
【００３０】
次に、本発明に係わる基板接続用テープ１について説明する。本発明に係わる基板接続用テープ１は、例えば、使用するエッチング液噴出圧力や搬送中の引っ張り応力によって切断せず、エッチング終了後にレジスト除去液で除去できる基板接続用テープを適用できる。具体的には、ネガ型のレジストフィルム、ポジ型のレジストフィルム、不織布にアルカリ可溶性樹脂を含浸させたテープ、金属層と粘着性樹脂の２層からなるテープ、金属層とレジストフィルムの２層からなるテープ、硬化したドライフィルムと未硬化のドライフィルムの２層からなるテープ、金属層と硬化したドライフィルムと未硬化のドライフィルムの３層からなるテープ、金属層と硬化したドライフィルムと粘着性樹脂の３層からなるテープ、等が挙げられ、これらは、特願２００２−１５６０２３号、同２００２−１６２４１６号等に記載されている。また、市販しているセロハンテープ、マスキングテープ、ポリテトラフルオロエチレンテープ、ガムテープ、銅テープ、アルミテープ、等が挙げられるが、レジスト除去で溶解しないため、これを用いるとエッチング後に基板を切断するか、強力な薬剤を使用する等の対処が必要となる。本発明に係わる基板接続用テープ１は、基板４を接続することが可能であれば特に限定されず、その主旨を越えない限りどのようなものを使用してもよい。
【００３１】
次に、本発明のエッチング方法を実施する工程を、図８に示したプロセスフロー図で説明する。なお、この例はプリント基板の表裏面に導体パターンの形成を行うものである。
【００３２】
図８において、５は基板４に一連の各処理を施すべく基板４を水平方向に搬送する搬送手段、６は搬送される基板４相互をそれらの縁部同士で連結する基板連結部６で、現像部８で現像された後に基板４相互を連結するようにしてある。基板連結部６によって連結された後に、エッチング部９にてエッチング処理が行われ、その水洗後に、レジスト除去部１０によってレジスト除去が行われるのである。なお、図には示していないが、基板連結部６を現像部８の前の工程にしても、基板接続用テープ１が現像液に対して溶解しないため、基板搬送速度が現像部８とエッチング部９が同一となること以外は特に問題ない。
【００３３】
エンドレスに構成されたローラコンベア等の搬送手段５は、その上面に複数の基板４を連続的に矢印の方向に向かって水平に搬送する。接続前の各基板４は露光部７で露光され、現像部８で基板４上にレジストパターンが形成される。次いで、基板４は基板連結部６中に搬送される前または途中において順に押し詰められ、そして基板連結部６を通過する間に隣接する基板４の搬送方向の両縁部間に基板接続用テープ１が、基板の搬送方向の縁部の両端に、例えば図１〜７のように貼り付けられ、基板４が連結されて細長い連続体を形成する。
【００３４】
このように接続された各基板４は、接続された状態でエッチング部９に搬送され、そこでレジストパターンの存在しない部分がエッチング液で除去される。エッチング液は上下に平行に配列されたスプレー管群１２のノズルから基板４の表裏面にスプレーされ、スプレーされたエッチング液は液溜めに落下し、ポンプでスプレー管群１２に循環される。塩化第二鉄、塩化第二銅などのエッチング液が一般的に使用される。
【００３５】
エッチング部９でエッチングされた各基板４は、次のレジスト除去部１０に進む。レジスト除去部１０に進んだ基板４は、レジスト除去液で上下からスプレーされ、不要となったレジストパターンが除去されると共にレジスト除去液に溶解する性質である場合では基板接続用テープ１が除去される。基板接続用テープ１がレジスト除去液に溶解しない場合には、レジスト除去部１０が終了したのち、基板４ごと切断されるか物理的に除去される。レジスト除去部１０の上下には、スプレー管群１３が平行に配列され、それらのノズルから基板４の表裏面にレジスト除去液がスプレーされる。スプレーされたレジスト除去液は下方に設けられた液溜めに落下し、ポンプを設けた循環配管でスプレー管群１３に循環される。レジスト除去液は一般的に市販されているレジスト除去液を使用するか、２〜３質量％水酸化ナトリウム水溶液や水酸化カリウム水溶液を３０〜６０℃に加温して使用する。
【００３６】
本発明に係わる基板４とは、プリント基板またはリードフレーム用基板が挙げられる。プリント基板であれば、フレキシブル基板、リジッド基板に分類され、フレキシブル基板は通常がポリエステルやポリイミドが絶縁材料として用いられ、その他にもアラミド、ポリエステル−エポキシベースが用いられている。フレキシブル基板の絶縁層の厚さは１３μｍ〜１２５μｍ程度で、その両面もしくは片面に１〜３５μｍ程度の銅箔が設けられており、非常に可撓性があるためエッチングの際にたわみが多く、本発明のエッチング方法が好適に使用される。また、リジッド基板であったら、紙基材またはガラス基材にエポキシ樹脂またはフェノール樹脂等を浸漬させた絶縁性基板を必要枚数重ね、その片面もしくは両面に金属箔を載せ、加熱、加圧して積層されたものが挙げられる。また、内層配線パターン加工後、プリプレグ、金属箔等を積層して作製する多層用のシールド板、またスルーホールやビアホールを有する多層板も挙げられる。厚さは６０μｍから３．２ｍｍ程度であり、プリント基板としての最終使用形態により、その材質と厚さが選定される。これらプリント基板は、例えば「プリント回路技術便覧−第二版−」（（社）プリント回路学会編、日刊工業新聞社発刊）や「多層プリント回路ハンドブック」（Ｊ．Ａ．スカーレット編、（株）近代化学社発刊）に記載されているものを使用することができる。リードフレーム用基板であれば、銅、鉄、クロム、亜鉛、スズ等からなる合金板等が挙げられる。
【００３７】
【実施例】
以下本発明を実施例により詳説するが、本発明はその主旨を超えない限り、下記実施例に限定されるものではない。
【００３８】
実施例１
１８μｍ銅箔（（株）日鉱マテリアルズ製）に、保護フィルムを剥離したレジストフィルム（日立化成工業（株）製、３８μｍ厚）を貼り付け、紫外線を照射して、レジストフィルムを硬化させ、マイラーフィルムを剥離した。次に、再び保護フィルムを剥離したレジストフィルム（日立化成工業（株）製、３８μｍ厚）を、上記の硬化したレジストフィルム層に貼り付け、マイラーフィルムを剥離して基板接続用テープを作製し、３ｍｍ×４０ｍｍ、６ｍｍ×２０ｍｍ、６ｍｍ×４０ｍｍ、１２ｍｍ×２０ｍｍ、１０ｍｍ×４０ｍｍ、２０ｍｍ×２０ｍｍ、１４ｍｍ×４０ｍｍ、２８ｍｍ×２０ｍｍのサイズに切断したものを複数枚用意した。
【００３９】
一方、複数の両面銅張積層板（面積３４０ｍｍ×５１０ｍｍ、基材厚み０．２ｍｍ、銅箔厚１８μｍ）にそれぞれレジストフィルムをラミネートし、回路パターン等の露光を実施した。次に、マイラーフィルムを剥離したのち、アルカリ現像を実施して、レジストパターンを形成した。
【００４０】
このようにレジストパターン形成した基板を５１０ｍｍ側が隣合うように隣接して、上記で作製した基板接続用テープを、基板の搬送方向の縁部の両端の表裏に図１および図４（ａ）のように貼り付けた。このとき、表１に従い貼り付ける領域の違いにより８通りの貼り付け条件を実施した。なお、Ｌ１およびＬ２は図１または図２に示したように、Ｌ１は基板接続用テープが貼り付く基板の領域の基板の搬送方向に対する直角方向の端からの長さであり、Ｌ２は基板の搬送方向の端からの長さである。貼り付けの際、搬送速度が０．５ｍ／ｍｉｎの速度の基板に貼り付けを行ったが、貼り付ける基板接続用テープの面積は基板に対して極めて小さいこと、図２に示すように、基板の端から基板接続用テープがはみ出しても良いこと、また基板の搬送方向の縁部の両端には余白部分が搬送方向につながって存在すること等より、貼り付ける際に１〜２ｍｍ程度のずれが生じたが回路パターンが形成される領域に基板接続用テープがかぶらなかった。
【００４１】
【表１】
2004063535.tif 000003
【００４２】
次に、塩化第二鉄溶液（液温度：４０℃、スプレー圧：３．０ｋｇ／ｃｍ２）にて搬送距離６ｍ、搬送速度２．２ｍ／ｍｉｎの条件にてエッチングを行った。エッチングを終了しても、すべての場合において基板接続用テープの切断および基板のジャムはみられなかった。次に、３質量％水酸化ナトリウム水溶液によってレジスト除去を施すことによって基板接続用テープを除去し良好な回路パターンを得ることができた。
【００４３】
実施例２
両面銅張積層板（面積３４０ｍｍ×５１０ｍｍ、基材厚み０．２ｍｍ、銅箔厚１８μｍ）に実施例１で用意した基板接続用テープを表１のように、貼り付ける領域の違う８通りの貼り付け方をして、塩化第二鉄溶液（液温度：４５℃、スプレー圧：３．０ｋｇ／ｃｍ２）にて搬送距離６ｍの条件において、基板の搬送速度を変えてエッチングを施し、基板が隣りの基板と重なりあってしまうようなジャムや、基板接続用テープが切断してしまうような問題が発生する搬送速度を調べた結果、表２に示すような結果となった。
【００４４】
【表２】
2004063535.tif 000004
【００４５】
表２の結果、すべての場合において、２．８ｍ／ｍｉｎより小さい値の条件ではエッチング処理が可能であることが分かったが、その中でも、条件（５）〜（８）の結果から分かるように、Ｌ１かつＬ２の距離が１０ｍｍ以上であると、搬送速度を３．８ｍ／ｍｉｎとしても問題が起こらないのに比べて、条件（１）〜（４）の結果より、Ｌ１またはＬ２の距離が１０ｍｍより小さいと、搬送速度を３．０ｍ／ｍｉｎより大きくすることでジャムまたは基板接続用テープの切断が起こった。結果として、Ｌ１またはＬ２の距離が１０ｍｍより小さいと、基板の銅箔やエッチングの条件等が限定される範囲が非常に狭くなる。よって、Ｌ１、Ｌ２の長さは１０ｍｍ以上にすることがより好ましい。
【００４６】
実施例３
実施例１と同様にして、１８μｍ銅箔（（株）日鉱マテリアルズ製）に、保護フィルムを剥離したレジストフィルム（日立化成工業（株）製、３８μｍ厚）を貼り付け、紫外線を照射して、レジストフィルムを硬化させ、マイラーフィルムを剥離した。次に、再び保護フィルムを剥離したレジストフィルム（日立化成工業（株）製、３８μｍ厚）を、上記の硬化したレジストフィルム層に貼り付け、マイラーフィルムを剥離して基板接続用テープを作製し、スリットを行い１０ｍｍ幅で一連の基板接続用テープを用意した。
【００４７】
一方、両面銅張積層板（面積３４０ｍｍ×５１０ｍｍ、基材厚み０．２ｍｍ、銅箔厚１８μｍ）にレジストフィルムをラミネートし、回路パターンの露光を実施した。次に、マイラーフィルムを剥離したのち、アルカリ現像を実施して、レジストパターンを形成した。
【００４８】
レジストパターン形成後の基板を５１０ｍｍ側が隣合うように隣接して、上記で作製した基板接続用テープを、基板の搬送方向の縁部の両端の表裏に図３（ａ）および図４（ｂ）のように貼り付けた。基板の端から基板接続用テープがはみ出しても良いこと、また基板の搬送方向の縁部の両端には余白部分が搬送方向につながって存在すること等より、１〜２ｍｍ程度の貼り付けづれが生じたが回路パターンが形成される領域に基板接続用テープがかぶらなかった。
【００４９】
次に、塩化第二鉄溶液（液温度：４０℃、スプレー圧：３．０ｋｇ／ｃｍ２）にてエッチング処理を搬送距離６ｍ、搬送速度２．２ｍ／ｍｉｎの条件にて行った。エッチング処理を終了しても、基板接続用テープの切断および基板のジャムはみられなかった。次に、３質量％水酸化ナトリウム水溶液によってレジスト除去を施すことによって基板接続用テープを除去し良好な回路パターンを得ることができた。
【００５０】
実施例４
実施例１、３と同様にして１４×２０ｍｍのサイズの基板接続用テープおよび１０ｍｍ幅で一連の基板接続用テープを用意した。さらに、銅箔厚が１２μｍの銅張積層板を用いたこと以外は実施例１と同様にレジストパターンを形成した銅張積層板を用意した。その基板を５１０ｍｍ側が隣合うように隣接して、１４×２０ｍｍのサイズの基板接続用テープを、基板の搬送方向の縁部の両端の片面に図１、図２または図５（ａ）のように貼り付けた。また、同様にして、１０ｍｍ幅で一連の基板接続用テープを、基板の搬送方向の縁部の両端の片面に図３（ａ）および図５（ｂ）のように貼り付けた。実施例１と同様に、貼り付ける基板接続用テープの面積は基板に対して極めて小さいこと、図２に示すように、基板の端から基板接続用テープがはみ出しても良いこと、また基板の搬送方向の縁部の両端には余白部分が搬送方向につながって存在すること等より、貼り付ける際に１〜２ｍｍ程度づれが生じたが回路パターンが形成される領域に基板接続用テープがかぶらなかった。
【００５１】
次に、塩化第二鉄溶液（液温度：４０℃、スプレー圧：２．８ｋｇ／ｃｍ２）にてエッチング処理を搬送距離４．５ｍ、搬送速度２．２ｍ／ｍｉｎの条件にて行った。エッチング処理を終了しても、双方とも基板接続用テープの切断および基板のジャムはみられなかった。次に、３質量％水酸化ナトリウム水溶液によってレジスト除去を施すことによって基板接続用テープを除去し、双方とも良好な回路パターンを得ることができた。
【００５２】
実施例５
実施例１と同様にして３０ｍｍ×２０ｍｍのサイズの基板接続用テープを用意した。また、実施例１と同様にレジストパターンを形成した銅張積層板を用意した。次に、基板接続用テープを３０ｍｍ幅の方向で面積が半分になるように折り曲げ、基板搬送方向の縁部の両端に基板接続用テープの折り目が基板の側面になるようにして表裏にまたがって基板接続用テープを基板に貼り付けることによって基板を接続した。実施例１と同様に、貼り付ける基板接続用テープの面積は基板に対して極めて小さいこと、基板の端から基板接続用テープがはみ出しても良いこと、また基板の搬送方向の縁部の両端には余白部分が搬送方向につながって存在すること等より、貼り付ける際に１〜２ｍｍ程度づれが生じたが回路パターンが形成される領域に基板接続用テープがかぶらなかった。
【００５３】
次に、塩化第二鉄溶液（液温度：４０℃、スプレー圧：３．０ｋｇ／ｃｍ２）にてエッチング処理を搬送距離６ｍ、搬送速度２．２ｍ／ｍｉｎの条件にて行った。エッチング処理を終了しても、基板接続用テープの切断および基板のジャムはみられなかった。次に、３質量％水酸化ナトリウム水溶液によってレジスト除去を施すことによって基板接続用テープを除去し良好な回路パターンを得ることができた。
【００５４】
比較例１
実施例１と同様にして基板接続用テープを作製し、３０ｍｍ×５１０ｍｍの面積の帯状に切断したものを用意した。また、実施例１と同様にレジストパターンを形成した銅張積層板を用意した。
【００５５】
レジストパターンを形成した基板を５１０ｍｍ側が隣合うように隣接して、３０ｍｍ×５１０ｍｍのサイズの基板接続用テープを、基板の搬送方向の縁部の表裏に図９のように貼り付けた。この際、搬送速度が０．５ｍ／ｍｉｎの基板に貼り付けを行ったが、基板接続用テープの５１０ｍｍの辺が基板の搬送方向の辺に対して約１〜２度傾いただけでも、基板接続用テープのズレが約９〜１８ｍｍにもおよび、また、貼り付ける場所から搬送方向には回路パターン形成領域があるため、結果として回路パターンが形成される領域に基板接続用テープがかぶってしまう問題が発生した。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したごとく、本発明の基板のエッチング方法によって、基板接続用テープによって隣り合う各基板の縁部を連結する際に、搬送方向の縁部の両端に基板接続用テープを貼り付けることで、貼り付けの誤差を解消し、基板接続用テープの回路パターン上への貼付を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】隣り合う各基板の搬送方向に対する直角方向の縁部に位置する余白部分にのみ基板接続用テープを貼り付けて基板を互いに連結した状態を上からみた概念図。
【図２】隣り合う各基板の搬送方向に対する直角方向の縁部に位置する余白部分にのみ基板接続用テープを貼り付けて基板を互いに連結した状態を上からみた概念図。
【図３】基板接続用テープを基板の搬送方向の端からもう一方の端に渡って貼り付け、基板を互いに連結した状態を上からみた概念図。
【図４】基板接続用テープを表裏面に貼り付けた断面図。
【図５】基板接続用テープを片面に貼り付けた断面図。
【図６】基板接続用テープを基板の表と裏にまたがって貼り付けた断面図。
【図７】基板接続用テープの貼り付け方を組み合わせた例の断面図。
【図８】本発明のエッチング方法を実施するプロセスフロー図。
【図９】基板接続用テープを基板の搬送方向の縁部の全域に貼り付け、基板を互いに連結した状態を上からみた概念図。
【符号の説明】
１　基板接続用テープ
４　基板
５　搬送手段
６　基板連結部
７　露光部
８　現像部
９　エッチング部
１０　レジスト除去部
１１　転写ローラ
１２、１３　スプレー管群
２１　位置情報の領域
２２　製品情報の領域
２３　回路パターンが形成される領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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