(57)【要約】【課題】被測定ガス室に共存する酸素による影響を小さくし，高い精度で特定ガス濃度を検出可能な積層型ガスセンサ素子を提供すること。【解決手段】酸素ポンプセルの被測定ガス室に面するポンプ電極２１において，積層型ガスセンサ素子の長手方向に沿ったポンプ電極２１の側面２１１，２１２と，該側面２１１，２１２と対向する被測定ガス室１１の内側面１１１，１１２とのクリアランス部の長手方向と直交する幅方向の長さの総計Ｇは０．５ｍｍ以下である。または，被測定ガス室に面するポンプ電極の面積をＳｅ，積層型ガスセンサ素子の長手方向に沿ったポンプ電極の側面と該側面と対向する被測定ガス室の内側面との間のクリアランス部の面積の総計をＳｇとした場合，Ｓｇ／Ｓｅ≦０．３である。【選択図】  図３
2004151018.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入する被測定ガス室と，
酸素イオン導電性の固体電解質板の表面に，一方のポンプ電極が上記被測定ガス室に面するように設けた一対のポンプ電極を有し，これら一対のポンプ電極へ通電することにより上記被測定ガス室に酸素を導入または排出し，上記被測定ガス室の酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと，
酸素イオン導電性の固体電解質板の表面に，一方のセンサ電極が上記被測定ガス室に面するように設けた一対のセンサ電極を有し，これら一対のセンサ電極間に生じる酸素イオン電流に基づいて，上記被測定ガス室内の特定ガス濃度を検出するセンサセルとを有する積層型ガスセンサ素子であって，
上記酸素ポンプセルの上記被測定ガス室に面するポンプ電極において，
上記積層型ガスセンサ素子の長手方向に沿った上記ポンプ電極の側面と，該側面と対向する上記被測定ガス室の内側面とのクリアランス部の上記長手方向と直交する幅方向の長さの総計Ｇの最小値は０．５ｍｍ以下であることを特徴とする積層型ガスセンサ素子。
【請求項２】
請求項１において，上記クリアランス部の総計Ｇが０．５ｍｍ以下である部分の積層型ガスセンサ素子の長手方向に沿った長さがポンプ電極全体の上記長手方向に沿った長さに対して１／４以上を占めていることを特徴とする積層型ガスセンサ素子。
【請求項３】
所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入する被測定ガス室と，
酸素イオン導電性の固体電解質板の表面に，一方のポンプ電極が上記被測定ガス室に面するように設けた一対のポンプ電極を有し，これら一対のポンプ電極へ通電することにより上記被測定ガス室に酸素を導入または排出し，上記被測定ガス室の酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと，
酸素イオン導電性の固体電解質板の表面に，一方のセンサ電極が上記被測定ガス室に面するように設けた一対のセンサ電極を有し，これら一対のセンサ電極間に生じる酸素イオン電流に基づいて，上記被測定ガス室内の特定ガス濃度を検出するセンサセルとを有する積層型ガスセンサ素子であって，
上記被測定ガス室に対し被測定ガスを導入する導入部よりガス流れ下流における上記酸素ポンプセルにおける上記被測定ガス室に面するポンプ電極の形成範囲において，
上記被測定ガス室に面するポンプ電極の面積をＳｅ，上記積層型ガスセンサ素子の長手方向に沿った上記ポンプ電極の側面と該側面と対向する上記被測定ガス室の内側面との間のクリアランス部の面積の総計をＳｇとした場合，Ｓｇ／Ｓｅ≦０．３であることを特徴とする積層型ガスセンサ素子。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項において，酸素イオン導電性の固体電解質板の表面に，一方のモニタ電極が上記被測定ガス室に面するように設けた一対のモニタ電極を有し，これら一対のモニタ電極間に生じる電流値または起電力に基づいて，上記被測定ガス室内の酸素濃度を検出する酸素モニタセルを備えることを特徴とする積層型ガスセンサ素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，自動車用内燃機関の排気系等に使用され，ＮＯｘ濃度等の検出に利用できる積層型ガスセンサ素子に関する。
【０００２】
【従来技術】
自動車用内燃機関等から排出される排気ガスを原因とする大気汚染は現代社会に深刻な問題を引き起こしており，排気ガス中の公害物質であるＮＯｘ等に対する浄化基準法規が年々厳しくなっている。
排気ガス中のＮＯｘ濃度を検出し，検出結果をエンジン燃焼制御モニタ，触媒モニタ等にフィードバックすれば，より効率よく排気ガス浄化を行うことができると考えられる。このような背景から，排気ガス中のＮＯｘ濃度を精度高く検出可能な積層型ガスセンサ素子が求められていた。
【０００３】
ところで，従来よく知られた積層型ガスセンサ素子として，図１６に示す構成の素子が挙げられる。
図１６に示す積層型ガスセンサ素子９は，第１被測定ガス室１１と対面するよう酸素ポンプセル９２が配置され，該酸素ポンプセル９２に電圧を印加することで，第１被測定ガス室１１内にある酸素を素子外部ヘポンピングする。または，第１被測定ガス室１１内へ素子外部の酸素をポンピングする。
そして，第１被測定ガス室１１内の酸素濃度を検知可能な酸素モニタセル９３を設け，この酸素モニタセル９３が検出する第１被測定ガス室１１内の酸素濃度が定常状態となるように，酸素ポンプセル９２がフィードバック制御される。
【０００４】
第１被測定ガス室１１と連通する第２被測定ガス室１２には，ＮＯｘを電極上で分解して生成した酸素イオンによるイオン電流を測定することで，ＮＯｘ濃度を測定するよう構成したセンサセル９４を設けておく。
上述したごとく第１被測定ガス室１１内の酸素濃度は定常状態となるよう制御されているため，第２被測定ガス室１２内の酸素濃度も一定となる。従って，センサセル９４における電極間を移動する酸素イオンの量，即ちセンサセル９４における酸素イオン電流の大きさはＮＯｘ濃度に対応する。
このように，第１及び第２被測定ガス室１１，１２に導入した被測定ガス中のＮＯｘ濃度を，素子外の雰囲気中の酸素濃度増減にかかわらず，精度高く測定することができる。
【０００５】
【特許文献１】
特許第２８８５３３６号公報
【０００６】
【解決しようとする課題】
ところで，被測定ガス中の酸素濃度が％のオーダーで存在し，ＮＯｘがｐｐｍのオーダーで存在する場合，非常に微量なＮＯｘを精度よく測定するために，ＮＯｘ検出に影響のでないレベルまで酸素を酸素ポンプセルによって排出し，被測定ガス室の酸素濃度を非常に少なくする必要がある。また，この問題はＮＯｘ以外の特定ガスを検出する際にも生じることがある。
【０００７】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，被測定ガス室に共存する酸素による影響を小さくし，高い精度で特定ガス濃度を検出可能な積層型ガスセンサ素子を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題の解決手段】
第１の発明は，所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入する被測定ガス室と，酸素イオン導電性の固体電解質板の表面に，一方のポンプ電極が上記被測定ガス室に面するように設けた一対のポンプ電極を有し，これら一対のポンプ電極へ通電することにより上記被測定ガス室に酸素を導入または排出し，上記被測定ガス室の酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと，
酸素イオン導電性の固体電解質板の表面に，一方のセンサ電極が上記被測定ガス室に面するように設けた一対のセンサ電極を有し，これら一対のセンサ電極間に生じる酸素イオン電流に基づいて，上記被測定ガス室内の特定ガス濃度を検出するセンサセルとを有する積層型ガスセンサ素子であって，
上記酸素ポンプセルの上記被測定ガス室に面するポンプ電極において，
上記積層型ガスセンサ素子の長手方向に沿った上記ポンプ電極の側面と，該側面と対向する上記被測定ガス室の内側面とのクリアランス部の上記長手方向と直交する幅方向の長さの総計Ｇの最小値は０．５ｍｍ以下であることを特徴とする積層型ガスセンサ素子にある（請求項１）。
【０００９】
第１の発明にかかる積層型ガスセンサ素子は，被測定ガス室に面するポンプ電極の側面と，該側面と対向する被測定ガス室の内側面とのクリアランス部の幅方向長さの総計Ｇの最小値が０．５ｍｍ以下と，十分小さくなっている。
【００１０】
また，第２の発明は，所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入する被測定ガス室と，
酸素イオン導電性の固体電解質板の表面に，一方のポンプ電極が上記被測定ガス室に面するように設けた一対のポンプ電極を有し，これら一対のポンプ電極へ通電することにより上記被測定ガス室に酸素を導入または排出し，上記被測定ガス室の酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと，
酸素イオン導電性の固体電解質板の表面に，一方のセンサ電極が上記被測定ガス室に面するように設けた一対のセンサ電極を有し，これら一対のセンサ電極間に生じる酸素イオン電流に基づいて，上記被測定ガス室内の特定ガス濃度を検出するセンサセルとを有する積層型ガスセンサ素子であって，
上記被測定ガス室に対し被測定ガスを導入する導入部よりガス流れ下流における上記酸素ポンプセルにおける上記被測定ガス室に面するポンプ電極の形成範囲において，
上記被測定ガス室に面するポンプ電極の面積をＳｅ，上記積層型ガスセンサ素子の長手方向に沿った上記ポンプ電極の側面と該側面と対向する上記被測定ガス室の内側面との間のクリアランス部の面積の総計をＳｇとした場合，Ｓｇ／Ｓｅ≦０．３であることを特徴とする積層型ガスセンサ素子である（請求項３）。
【００１１】
第２の発明にかかる積層型ガスセンサ素子は，ポンプ電極の面積とクリアランス部の面積との間にＳｇ／Ｓｅ≦０．３なる関係が成立し，ポンプ電極の面積と比較してクリアランス部の面積が十分小さくなっている。
【００１２】
ところで被測定ガス室においてポンプ電極の表面付近を流れる被測定ガス（後述する図３の矢線１１８）は上記ポンプ電極により含まれる酸素のイオン化が生じやすい。ここで発生した酸素イオンは一対のポンプ電極の間を酸素イオン電流となって流れ，被測定ガス室の外部に容易に排出される。
しかしながら，ポンプ電極の側面と該側面と対向する被測定ガス室の内側面との間を流れる被測定ガス（後述する図３の矢線１１９）はポンプ電極との距離が遠く，ここに含まれる酸素はポンプ電極によってイオン化され難い。
【００１３】
ところでセンサセルにおける特定ガス濃度検出は，被測定ガス室に面するセンサ電極上で特定ガスを分解し，この分解により発生した酸素イオンから生じる一対のセンサ電極間に流れる酸素イオン電流に基づいて行う。
仮にセンサ電極上で被測定ガス室に含まれる酸素が分解された場合，特定ガスに由来する酸素イオンと酸素に由来する酸素イオンとが混じって，正確に特定ガス濃度が検出なくなるおそれある。
【００１４】
第１の発明にかかる積層型ガスセンサ素子は，ポンプ電極の側面と被測定ガス室の内側面とのクリアランス部の総計が十分小さく（請求項１），または第２の発明にかかる積層型ガスセンサ素子は，ポンプ電極の面積に比べてクリアランス部の面積が十分小さく（請求項３），より多くの被測定ガスを酸素ポンプセルのポンプ電極上を通過させることができる。
従って，被測定ガス室の酸素濃度をより薄くして，特定ガス濃度検出に対する酸素の影響をより小さくし，精度の高い特定ガス濃度の測定が可能となる。
【００１５】
以上，本発明によれば，被測定ガス室に共存する酸素による影響を小さくし，高い精度で特定ガス濃度を検出可能な積層型ガスセンサ素子を提供することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
第１の発明（請求項１），第２の発明（請求項３）における積層型ガスセンサ素子において，酸素ポンプセルのポンプ電極形状は，後述する図３に示すように長手方向と直交する幅方向に略均一な幅を備えた長方形，幅が不均一な形状（図５），長方形の４つの頂点を丸めた略楕円形（図１２）等の各種の形状に構成することができる。
また，被測定ガス室の形状は，ポンプ電極と同様に長方形や略楕円形等に構成することができるが，内側面とポンプ電極の側面との間のクリアランス部をより小さくするために，ポンプ電極の形状と略同形状に構成することが好ましい。
【００１７】
ここに第１の発明におけるクリアランス部の総計Ｇについて，積層型ガスセンサ素子をポンプ電極の表面を含む平面で切断した断面の模式図である図４を用いて説明する。
Ｓは被測定ガス室の内側面，Ｔはポンプ電極の側面を示す曲線で，Ｕ０１とＵ０２はそれぞれポンプ電極の長手方向における端部を通過する直線，Ｕ１〜Ｕ３はポンプ電極を横切る直線で，Ｕ０１，Ｕ０２，Ｕ１〜Ｕ３は全て積層型ガスセンサ素子の長手方向と直交する幅方向と平行な直線である。
各直線Ｕ０１，Ｕ０２，Ｕ１〜Ｕ３がＳやＴと交わる交点がＳ０１〜Ｓ０４，Ｓ１１〜Ｓ１６，Ｔ１１〜Ｔ１６である。
【００１８】
図４において，Ｇは，同一の直線Ｕ１上における距離Ｓ１１−Ｔ１１，距離Ｓ１２−Ｔ１２を足した値，Ｕ２上におけるＳ１３−Ｔ１３，Ｓ１４−Ｔ１４を合計した値等となる。または，Ｓ０１−Ｓ０２，Ｓ０３−Ｓ０４の長さとなる。
そして，ポンプ電極の側面全体のいずれかにおいてＧが０．５ｍｍ以下となれば第１の発明が成立する。
図４にかかるポンプ電極の場合は，直線Ｕ２上のＳ１３−Ｔ１３とＴ１４−Ｓ１４にかかるＧが最小の部分となり，他の部分はこれより大きいため，この部分の距離が０．５ｍｍ以下であれば第１の発明が成立する。
なお，ポンプ電極の側面を示す曲線が複数ある場合も同様の方法でＧを考えることができる。
【００１９】
また，クリアランス部の総計Ｇは最小で０．５ｍｍ以下となる条件を満たせば第１の発明の効果を得ることができるが，最小で０．２ｍｍ以下とすることで，より高い検出精度を備えた積層型ガスセンサ素子を得ることができる。
また，クリアランス部の総計Ｇが０である，すなわちポンプ電極の側面が被測定ガス室の内側面と接触した状態にある場合に，最も検出精度の高い積層型ガスセンサ素子を得ることができる。
また，積層型ガスセンサ素子の長手方向とは，略断面長方形で柱状の積層型ガスセンサ素子の長軸方向である。
【００２０】
次に，第１の発明において，上記クリアランス部の総計Ｇが０．５ｍｍ以下である部分の積層型ガスセンサ素子の長手方向に沿った長さがポンプ電極全体の上記長手方向に沿った長さに対して１／４以上を占めている時に，より検出精度の高い積層型ガスセンサ素子を得ることができる（請求項２）。
また，ポンプ電極全体の長さにおける１／２以上を，クリアランス部の総計Ｇが０．５ｍｍ以下である部分が占めている場合は，更に検出精度の高い優れた積層型ガスセンサ素子を得ることができる。
【００２１】
また，第２の発明におけるポンプ電極の面積等について，積層型ガスセンサ素子をポンプ電極の表面を含む平面で切断した断面の模式図である図７を用いて説明する。
Ｓは被測定ガス室の内側面，Ｔはポンプ電極の側面を示す曲線で，点Ｖは被測定ガス導入部の中心位置，Ｖ０は点Ｖを通る幅方向と平行な直線，Ｖ１はポンプ電極の長手方向における端部を通過し，幅方向と平行な直線である。
第２の発明におけるポンプ電極の面積Ｓｅとは，曲線Ｔと直線Ｖ０にて囲まれた領域の面積であり，クリアランス部の面積の総計Ｓｇとは，直線Ｖ０，Ｖ１曲線Ｔ，Ｓで囲まれた領域の面積である。
【００２２】
なお，後述する図１１に示すごとく，積層型ガスセンサ素子の端面から被測定ガスを導入する方式では，ポンプ電極全体がガス流れの下流側に含まれるため，電極全体の面積をＳｅとする。Ｓｇは電極の長手方向の両端を通る幅方向の直線間によって区切られる領域となる。
このクリアランス部の面積Ｓｇとポンプ電極の面積ＳｅとについてＳｇ／Ｓｅ≦０．３であれば，第２の発明にかかる効果を得ることができる。
また，Ｓｇ＝０である場合，すなわちポンプ電極の側面が被測定ガス室の内側面と接触した状態にある場合は，最も検出精度の高い積層型ガスセンサ素子を得ることができる。
【００２３】
また，第１，第２の発明にかかる積層型ガスセンサ素子は２セルまたはそれ以上のセルを備えた構成のＮＯｘセンサ素子やＣＯセンサ素子，ＨＣセンサ素子に適用することができる。
【００２４】
また，第１及び第２の発明において，酸素イオン導電性の固体電解質板の表面に，一方の電極が上記被測定ガス室に面するように設けた一対の電極を有し，これら一対の電極間に生じる電流値または起電力に基づいて，上記被測定ガス室内の酸素濃度を検出する酸素モニタセルを備えることが好ましい（請求項４）。
これにより被測定ガス室の酸素濃度を監視することができる。
【００２５】
そして，例えば被測定ガス室の酸素濃度が所定の範囲内に納まるように酸素ポンプセルの作動を制御する等の構成を加えて，センサセルの一対の電極間に流れる酸素イオン電流がより正確に測定したい特定ガス濃度に対応するように積層型ガスセンサ素子を構成することができる。
なお，電流値に基づいて酸素濃度を検出する酸素モニタセルは限界電流式の酸素センサとして機能し，起電力に基づいて酸素濃度を検出する酸素モニタセルは酸素濃淡起電力式の酸素センサとして機能するよう構成する（後述する図１，実施例１参照）。
【００２６】
【実施例】
以下に，図面を用いて第１の発明の実施例について説明する。
（実施例１）
本例にかかる積層型ガスセンサ素子について説明する。
本例の積層型ガスセンサ素子１は，図１に示すごとく，所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入する被測定ガス室と，酸素イオン導電性の固体電解質板１６の表面に，一方のポンプポンプ電極２１が上記被測定ガス室１１に面するように設けた一対のポンプポンプ電極２１，２２を有し，これら一対のポンプポンプ電極２１，２２へ通電することにより上記被測定ガス室１１に酸素を導入または排出し，上記被測定ガス室１１の酸素濃度を調整する酸素ポンプセル２と，酸素イオン導電性の固体電解質板１４の表面に，一方のセンサセンサ電極４２が上記被測定ガス室１２に面するように設けた一対のセンサセンサ電極４１，４２を有し，これら一対のセンサセンサ電極４１，４２間に生じる酸素イオン電流に基づいて，上記被測定ガス室１２内の特定ガス濃度を検出するセンサセル４とを有する。
【００２７】
そして，図３に示すごとく，上記酸素ポンプセル２の上記被測定ガス室１１に面するポンプポンプ電極２１において，上記積層型ガスセンサ素子１の長手方向に沿った上記ポンプポンプ電極２１の側面２１１及び２１２と，該側面２１１及び２１２と対向する上記被測定ガス室１１の内側面１１１及び１１２とのクリアランス部の上記長手方向と直交する幅方向に沿った長さの総計Ｇ１＋Ｇ２＝Ｇは０．５ｍｍ以下である。
【００２８】
以下，詳細に説明する。
本例にかかる積層型ガスセンサ素子１は，酸素ポンプセル２を構成するシート状の固体電解質板１６と，酸素モニタセル３，センサセル４を構成するシート状の固体電解質板１４と，第１被測定ガス室１１及び第２被測定ガス室１２を構成するシート状のスペーサ１５と，基準ガス室１２１，１２２を形成するシート状のスペーサ１７，１３３，１３２と，各セル２，３，４を加熱するヒータ１９とを，図１や図２に示すごとく，順次積層して構成する。
【００２９】
第１被測定ガス室１１及び第２被測定ガス室１２は，素子外部から被測定ガスを導入する内室であり，図２に示すごとく，固体電解質板１４，１６との間に位置するスペーサ１５に設けた２つの抜き穴１１０，１２０にて形成する。上記抜き穴１１０，１２０間には抜き穴１１０，１２０よりも幅細の絞り部１０２を設け，該絞り部１０２を境として，積層型ガスセンサ素子１の先端部側（図１及び図２における左側）から順に，抜き穴１１０により第１被測定ガス室１１が，抜き穴１２０により第２被測定ガス室１２を構成する。
【００３０】
また，第１被測定ガス室１１は，固体電解質板１４を貫通する拡散抵抗手段としてのピンホール１０１を介して，素子の外部と連通する。
このピンホール１０１の穴径は，該ピンホール１０１を通過して第１被測定ガス室１１及び第２被測定ガス室１２に導入する被測定ガスの拡散速度が所定の速度となるよう適宜設定する。
【００３１】
また，固体電解質板１４には，素子外部側からピンホール１０１の開口端を覆うように多孔質アルミナ等よりなる多孔質保護層１３１を形成する。
これにより，第１被測定ガス室１１及び第２被測定ガス室１２内に位置するポンプ電極２１，３２，４２の被毒や，ピンホール１０１の目詰まりを防止する。
【００３２】
基準ガス室１２１，１２２は，一定の酸素濃度をもつ基準酸素濃度ガスとして大気を導入する内室である。
基準ガス室１２１は，固体電解質板１６の下方に積層したスペーサ１７に設けた抜き穴１２１０，基準ガス室１２２は，固体電解質板１４の上方に積層したスペーサ１３３に設けた抜き穴１２２０にて形成する。
この抜き穴１２１０，１２２０は，それぞれ積層型ガスセンサ素子１の長手方向に伸びる溝としての通路部１２１１，１２２１を有し，この通路部１２１１，１２２１を通して大気を導入することができる。
【００３３】
酸素ポンプセル２は，固体電解質板１６と，該固体電解質板１６を挟むように対向配置した一対のポンプ電極２１，２２とより構成する。
一対のポンプ電極２１，２２のうち，ポンプ電極２１は，第１被測定ガス室１１及び第２被測定ガス室１２におけるガス流れ上流側に位置する第１被測定ガス室１１に面して固体電解質板１６に接して設け，他方の電極２２は基準ガス室１２１に面して固体電解質板１６に接して設ける。
【００３４】
センサセル４は，固体電解質板１４と，該固体電解質板１４を挟むように対向配置した一対のセンサ電極４１，４２とより構成する。
一対のセンサ電極４１，４２のうち一方のセンサ電極４２は，第１被測定ガス室１１及び第２被測定ガス室１２におけるガス流れ下流側に位置する第２被測定ガス室１２に面して固体電解質板１４に接して設け，他方のセンサ電極４１は基準ガス室１２２に面して固体電解質板１４に接して設ける。
【００３５】
酸素モニタセル３は，固体電解質板１４と，固体電解質板１４を挟むように対向配置した一対のモニタ電極３１，３２とより構成する。
一対のモニタ電極３１，３２のうち一方のモニタ電極３２は，第１被測定ガス室１１及び第２被測定ガス室１２におけるガス流れ下流側に位置する第２被測定ガス室１２に面して固体電解質板１４に接して設け，他方のモニタ電極３１は基準ガス室１２２に面して固体電解質板１４に接して設ける。
【００３６】
また，図２に示すように，これら各電極２１，２２，３１，３２，４１，４２には，電気信号を取出したり，電源から電力を供給するために，電極リード部２１１，２２１，３１１，３２１，４１１，４２１が一体に形成されている。
また，固体電解質板１４，１６上のポンプ電極２１等以外の部位，特に電極リード部２１１等の形成部位には，固体電解質板１４，１６と電極リード部２１１，３２１，４２１等の間にアルミナ等の絶縁層を形成しておくことが好ましい（図示略）。
【００３７】
また，図２に示すように，各セル２，３，４の電極２１等は，それぞれ各リード部２２１等及び各スペーサ１７等に形成したスルーホール１８０を通して，積層型ガスセンサ素子１の外部に露出形成された外部端子部３１０，３２０，４１０，４２０，２１０，２２０に電気的に接続する。
外部端子部３１０等に適当なコネクタを介し圧着やろう付け等によりリード線を接続することで，外部に設けた回路（詳細は後述する）と各セル２，３，４との間で電気信号のやりとり等が可能となる。
また，符合３２２，４２２は電極リード部３２１，４２１と導通する内部端子である。
【００３８】
酸素ポンプセル２はポンプ電源２５１と電流計２５２を備えたポンプ回路２５０に，酸素モニタセル３は電源３５１と電流計３５２を備えたモニタ回路３５０に，センサセル４は電源４５１と電流計４５２を備えたセンサ回路４５０に上記外部端子部３１０等を介して接続する。
【００３９】
ヒータ１９は，発熱部１９１を外部電源（図示略）からの給電により発熱させ，各セル２，３，４を活性温度まで加熱するために設けてある。
上記ヒータ１９は，アルミナ製のヒータ基板１９５の上面に，通電発熱する発熱部１９１をパターニング形成し，この発熱部１９１の上面（スペーサ１７側の面）に，絶縁のため被覆板１９６を積層してなる。
なお，図２より明らかであるが，ヒータ端子部１９０，外部端子部２１０，２２０は積層型ガスセンサ素子１のヒータ１９側の表面（図面下方）に，外部端子部３１０，３２０，４１０，４２０は，スペーサ１３２側の表面（図面上方）に設けてある。
【００４０】
次に，酸素ポンプセル２にかかるポンプ電極２１と第１被測定ガス室１１との寸法等について以下に説明する。
図３に示すごとく，ポンプ電極２１，第１被測定ガス室１１はいずれも積層型ガスセンサ素子１長手方向と同一方向が長辺となる長方形である。ポンプ電極２１の一方の側面２１１の延長線がＭ１，該側面２１１と対向する内側面１１１の延長線がＮ１で，Ｍ１とＮ１との距離はポンプ電極２１の端部２１３から端部２１４の範囲において均一でＧ１となる。
また，ポンプ電極２１の他方の側面２１２の延長線がＭ２，対向する内側面１１２の延長線がＮ２で，Ｍ２とＮ２との距離はポンプ電極２１の端部２１３から端部２１４の範囲において均一でＧ２となる。
よって，ポンプ電極２１の側面２１１，２１２と，対向する内側面１１１，１１２とのクリアランス部の総計ＧはＧ１＋Ｇ２となり，本例にかかる積層型ガスセンサ素子１においてＧは０．５ｍｍ以下となるよう構成する。
【００４１】
次に，本例にかかる積層型ガスセンサ素子１の各部の組成について説明する。
各スペーサ１７，１５，１３３，１３２はアルミナ等の絶縁材料よりなる。
酸素ポンプセル２，酸素モニタセル３，センサセル４を構成するための固体電解質板１４，１６は，ジルコニアやセリア等の酸素イオン導電性を有するセラミックよりなる。
酸素ポンプセル２及び酸素モニタセル３の一方の電極２１，３２には，第１被測定ガス室１１及び第２被測定ガス室１２におけるＮＯｘの分解を抑制するため，ＮＯｘ分解活性の低い電極を用いることが好ましく，具体的には，ＰｔとＡｕを含有する多孔質サーメット電極を好適に用いることができる。この場合，上記多孔質サーメット電極において，金属成分中のＡｕの含有量は，１〜１０重量％程度とすることが好ましい。
【００４２】
また，センサセル４の第２被測定ガス室１２に面したセンサ電極４２は，被測定ガス中のＮＯｘを分解するために，ＮＯｘの分解活性の高い電極を用いることが好ましく，具体的には，ＰｔとＲｈを含有する多孔質サーメット電極を好適に用いることができる。この場合，上記多孔質サーメット電極において，金属成分中のＲｈの含有量は１０〜５０重量％程度とすることが好ましい。
【００４３】
固体電解質板１４，１６，スペーサ１５，１７，１３３，１３２，アルミナ絶縁板１９６及びヒータシート１９５は，ドクターブレード法や押し出し成形法等により，シート形状に成形することができる。
また，上記の各ポンプ電極２１等，リード２１１等及び端子部２１０等は，スクリーン印刷等により形成することができる。そして，各シートは積層して焼成することにより，一体化される。
【００４４】
また，酸素ポンプセル２，酸素モニタセル３，センサセル４の基準ガス室１２１，１２２と対面する電極２２，３１，４１には，例えば，Ｐｔ多孔質サーメット電極を用いることが好ましい。
そして，発熱部１９１及びヒータリード部１９２は，Ｐｔとアルミナ含有セラミックとからなるサーメット材料より構成する。
【００４５】
次に，上記構成の積層型ガスセンサ素子の動作原理を説明する。
被測定ガスは多孔質保護層１３１，ピンホール１０１を通過して第１被測定ガス室１１に導入される。このとき導入されるガス量は多孔質保護層１３１，ピンホール１０１の拡散抵抗により定まる。その後，被測定ガスは絞り部１０２を通過して第２被測定ガス室１２に導入される。
【００４６】
酸素ポンプセル２の一対のポンプ電極２１，２２に基準ガス室１２１側の電極２２が＋極となるようにポンプ電源にて電圧を印加した場合，上記第１被測定ガス室１１側のポンプ電極２１上で被測定ガス中の酸素が還元されて酸素イオンとなり，ポンピング作用により電極２２側に排出される。
【００４７】
逆に，第１被測定ガス室１１側のポンプ電極２１が＋極となるように電圧を印加した場合，基準ガス室１２１側の電極２２上で酸素が還元されて酸素イオンとなり，ポンピング作用によりポンプ電極２１側に排出される。
この酸素ポンプ作用を利用して第１被測定ガス室１１，これと連通した第２被測定ガス室１２の酸素濃度を制御することができる。
なお，このとき，ポンプ電極２１の上を通過する矢線１１８のような被測定ガスの酸素は充分イオン化されるが，矢線１１９を通過する被測定ガスからはあまり酸素がイオン化しない。
【００４８】
酸素モニタセル３の一対のモニタ電極３１，３２に，基準ガス室１２２側のモニタ電極３１が＋極となるように所定の電圧（例えば０．４０Ｖ）を印加することで，上記第２被測定ガス室１２側のモニタ電極３２上で被測定ガス中の酸素が還元されて酸素イオンとなり，ポンピング作用によりモニタ電極３１側に排出される。
モニタ電極３２はＮＯｘの分解に不活性なＰｔ−Ａｕサーメット電極であるため，モニタ電極３１，３２間に流れる酸素イオン電流は，多孔質保護層１３１，ピンホール１０１，第１被測定ガス室１１等を通過して，モニタ電極３２に到達する被測定ガス中の酸素量に依存し，ＮＯｘ量には依存しない。
従って，このモニタ電極３１，３２間の電流値が所定の一定値（例えば，０．２μＡ）となるように，酸素ポンプセル２のポンプ電極２１，２２間の印加電圧を制御すれば，第２被測定ガス室１２を常に一定の酸素濃度となるよう制御できる。
【００４９】
センサセル４の一対のセンサ電極４１，４２に，基準ガス室１２２側のセンサ電極４１が＋極となるように所定の電圧（例えば０．４０Ｖ）を印加する。センサ電極４２は，ＮＯｘの分解に活性なＰｔ−Ｒｈサーメット電極であるため，上記第２被測定ガス室１２側のセンサ電極４２上で被測定ガス中の酸素やＮＯｘが還元されて酸素イオンとなり，ポンピング作用によりセンサ電極４１側に排出される。
【００５０】
そして，図１に示すごとく，本例にかかる積層型ガスセンサ素子１では，酸素モニタセル３のモニタ電極３１，３２間の電流値が一定値（例えば０．２μＡ）となるように，酸素ポンプセル２を制御する。
このとき，被測定ガス中にＮＯｘが存在しなければ，センサセル４のセンサ電極４１，４２間の電流値も一定値（例えば０．２μＡ）となる。一方，被測定ガス中にＮＯｘが存在すると，ＮＯｘ濃度に応じて電流値が増加する。これにより，被測定ガス中のＮＯｘ濃度が検出可能となる。
【００５１】
次に，本例の作用効果について説明する。
本例の積層型ガスセンサ素子１は，図３に示すごとく，被測定ガス室１１に面するポンプ電極２１の側面２１１，２１２と，対向する内側面１１１，１１２とのクリアランス部の総計Ｇが０．５ｍｍ以下と，十分小さくなっている。
よって，より多くの被測定ガスを酸素ポンプセル２のポンプ電極２１上を矢線１１８に示すように通過させることができる。
従って，被測定ガス室１１，１２の酸素濃度をより薄くして，ＮＯｘ濃度検出に対する酸素の影響をより小さくし，精度の高い特定ガス濃度の測定が可能となる。
【００５２】
以上，本発明によれば，被測定ガス室に共存する酸素による影響を小さくし，高い精度で特定ガス濃度（本例はＮＯｘ）を検出可能な積層型ガスセンサ素子を提供することができる。
【００５３】
また，図４は不定形のポンプ電極２１及び第１の被測定ガス室１１を持つ場合についての説明図である。
図４では，ＧはＳ０１−Ｓ０２，Ｓ１１−Ｔ１１の距離＋Ｔ１２−Ｓ１２の距離・・・等といった具合に場所ごとに異なる。
このような場合，最も小さなＧが０．５ｍｍ以下であれば本例にかかる効果を得ることができる。
【００５４】
（実施例２）
本例は，場所によってクリアランス部の総計Ｇが異なるポンプ電極２１を備えた積層型ガスセンサ素子について説明する。
図５に示すごとく，本例のポンプ電極２１は，図面左方の側面２１１と対向する内側面１１１との距離は右方より広くてＧ１’，右方はＧ１，図面左方の側面２１２と対向する内側面１１２との距離は右方より広くてＧ２’，右方はＧ２である。Ｇ１，Ｇ２にかかる部分の幅太のポンプ電極２１の長手方向に沿った長さはＬで，ポンプ電極２１全体の長さはＬｅである。
【００５５】
本例にかかる積層型ガスセンサ素子において，図面左方のクリアランス部の総計はＧ１’＋Ｇ２’＝０．８ｍｍ，図面右方のクリアランス部の総計はＧ１＋Ｇ２＝０．４ｍｍ，Ｌｅ＝６ｍｍ，Ｌ＝４ｍｍである。
【００５６】
従って，クリアランス部の総計Ｇが０．５ｍｍ以下である部分の長さは，ポンプ電極全体の長さに対して１／４以上を占めており，より精度の高い積層型ガスセンサ素子を得ることができる（詳細は実施例４の測定参照）。
なお，本例の積層型ガスセンサ素子のその他の構成は実施例１と同様である。
【００５７】
（実施例３）
本例は，実施例１と同様の構成で，ポンプ電極の面積に関して以下に示す条件を満たした積層型ガスセンサ素子について説明する。
図６に示すごとく，本例のポンプ電極２１は，実施例１と同形である。被測定ガスの導入路となるピンホール１０１（実施例１の図１参照）の中心位置を図６に投影した位置がＶで，該Ｖを通り幅方向に平行な直線がＶ０となる。また，ポンプ電極２１において，長手方向の第２被測定ガス室１２側の端部を通る幅方向に平行な直線がＶ１となる。
【００５８】
本例にかかる積層型ガスセンサ素子は，Ｖ０よりも図面右方のポンプ電極２１の表面積（図６において斜線のハッチングを付した面積）がＳｅで１０ｍｍ２，被測定ガス室の内側面１１１，１１２，ポンプ電極２１の側面２１１，２１２，直線Ｖ０及びＶ１で囲まれた面積（図６において点々のハッチングを付した面積）Ｓｇが１．５ｍｍ２で，Ｓｇ／Ｓｅ≦０．３である。
【００５９】
本例の積層型ガスセンサ素子１は，図６に示すごとく，被測定ガス室１１に面するポンプ電極２１のＶ０より右側の破線のハッチングを付した面積Ｓｅに比べて，内側面１１１と側面２１１等に囲まれて点々のハッチングを付した面積Ｓｇが充分小さくなって，Ｓｇ／Ｓｅ≦０．３となっている。
よって，より多くの被測定ガスを酸素ポンプセルのポンプ電極２１上を通過させることができる。
従って，被測定ガス室１１，１２の酸素濃度をより薄くして，ＮＯｘ濃度検出に対する酸素の影響をより小さくし，精度の高い特定ガス濃度の測定が可能となる。
その他，積層型ガスセンサ素子の詳細な構成は実施例１と同様である。
【００６０】
また，図７は不定形のポンプ電極２１及び第１の被測定ガス室１１を持つ場合についての説明図である。
この場合も図６と同様に，ポンプ電極のＶ０より右側の面積Ｓｅに比べて，Ｖ０，Ｖ１，Ｔ及びＳで囲まれた面積Ｓｇが充分小さくなって，Ｓｇ／Ｓｅ≦０．３であれば，本例と同様の効果を得ることができる。
【００６１】
（実施例４）
本例は各種積層型ガスセンサ素子について検出誤差を測定して，それぞれ性能評価を行った。
実施例１に示すごとき積層型ガスセンサ素子において，Ｇを違えた試料をいくつか準備して，それぞれについて検出誤差についての測定を行った。
すなわち，Ｇ＝０の場合の検出誤差を１として，Ｇが異なる他の積層型ガスセンサ素子についても同様に検出誤差を測定し，まとめて図８に記載した。
【００６２】
検出誤差の測定方法について説明する。
Ｇの異なる積層型ガスセンサ素子を準備し，１００ｐｐｍのＮＯを含有する被測定ガス中にさらし，被測定ガス中の酸素濃度を１０ｐｐｍ〜２０％まで変化させたときのＮＯｘ濃度の検出誤差を測定した。これは，クリアランスが大きくなる（すなわちＧが大きくなる）と，酸素ポンプセルで排出できない酸素が多くなるため，酸素濃度による検出誤差が大きくなることに基づく。
図８より，Ｇが大きくなると検出誤差が大きくなり，高い検出精度を得るにはＧ≦０．５以下（好ましくは０．２以下）であることが必要だと判明した。
【００６３】
また，同様の試験を，実施例２に示すごとき積層型ガスセンサ素子において，Ｌ／Ｌｅを違えた試料をいくつか準備して検出誤差を測定した。
Ｌ／Ｌｅ＝１の時の検出誤差を１として，Ｌ／Ｌｅが異なる他の積層型ガスセンサ素子についても同様に検出誤差を測定して，まとめて図９に記載した。
図９より，Ｌ／Ｌｅが小さくなると検出誤差が増大するため，Ｇ≦０．５ｍｍとした上で，より高い検出精度を得るためにＬ／Ｌｅを０．２５以上とすることが望ましいことが分かった。
【００６４】
また，同様の試験を，実施例３に示すごとき積層型ガスセンサ素子において，Ｓｇ／Ｓｅを違えた試料をいくつか準備して検出誤差を測定した。
Ｓｇ／Ｓｅ＝０の時の検出誤差を１として，Ｓｇ／Ｓｅが異なる他の積層型ガスセンサ素子についても同様に検出誤差を測定して，まとめて図１０に記載した。
図１０より，Ｓｇ／Ｓｅが大きくなると検出誤差が増大するため，高い検出精度を得るためにＳｇ／Ｓｅを０．３以下であることが必要だと判明した。
【００６５】
（実施例５）
本例は，図１１に示すごとく，端面１５０に第１被測定ガス室１１に抜けるピンホール１０３を設け，ここから被測定ガスを第１被測定ガス室１１に導入するよう構成した積層型ガスセンサ素子である。
このような構成にかかる積層型ガスセンサ素子であっても，実施例１〜実施例３に示すような条件でポンプ電極２１や第１被測定ガス室１１を構成することで，実施例１〜実施例３と同様の効果が得られることが分かった。
なお，この構成の場合にかかる実施例３に示したＳｅはポンプ電極２１の表面積となる。ポンプ電極２１全体が被測定ガスのガス流れ下流に含まれるためである。
【００６６】
（実施例６）
本例は，図１２，図１３に示すごとく，ポンプ電極２１，第１被測定ガス室１１が共に楕円である積層型ガスセンサ素子１である。
図１２に示すごとく，長手方向に沿ったポンプ電極２１の側面２１１や２１２と，該側面２１１や２１２と対向する内側面１１１や１１２との幅方向の長さの総計Ｇ１＋Ｇ２＝Ｇを０．５ｍｍ以下とすることで，実施例１と同様の作用効果を得ることができる。
【００６７】
また，図１３に示すごとく，Ｓは第１被測定ガス室１１の内側面，Ｔはポンプ電極２１の側面を示す曲線で，点Ｖは被測定ガス導入部となるピンホール（図示略）の中心位置，Ｖ０は点Ｖを通る幅方向と平行な直線，Ｖ１はポンプ電極２１の長手方向における端部を通過し，幅方向と平行な直線とした場合，曲線Ｔと直線Ｖ０にて囲まれた部分がポンプ電極の面積Ｓｅ，直線Ｖ０，Ｖ１曲線Ｔ，Ｓで囲まれた部分がクリアランス部の面積の総計Ｓｇとなる。
これについてＳｅ／Ｓｇ≦０．３とすることで，実施例３と同様の作用効果を得ることができる。
【００６８】
（実施例７）
本例にかかる積層型ガスセンサ素子１は，図１４に示すごとく，素子の各部構成は実施例１と略同じであるが回路構成が異なる。
すなわち，ポンプ回路２５０は電源２５１と電流計２５２とを備え，予め求めておいた酸素ポンプセル２に対する印加電圧と酸素ポンプセル２に流れる電流の関係に基づいて，酸素ポンプ電流が限界電流と一致するように，酸素濃度に応じた電圧を印加する。
これにより，第１被測定ガス室１１と第２被測定ガス室１２の酸素濃度を所定の低濃度に制御することができる。
【００６９】
この方法で第１被測定ガス室１１，第２被測定ガス室１２の酸素濃度を制御すると，実施例１にかかる酸素モニタセルに基づいた制御に比べて，第２被測定ガス室１２内の酸素濃度は変動しやすく，したがってセンサセル４のセンサ電極４１，４２間に流れる電流をそのままセンサ信号とするとＮＯｘの検出精度が悪化する。
そこで，センサセル４のセンサ電極４１，４２間に流れる電流と酸素モニタセル３のモニタ電極３１，３２間に流れる電流との差を電流差検出回路４５９において検出し，この値をセンサ信号とすることにより，第２被測定ガス室１２内の酸素濃度変動の影響を減らして，被測定ガス中の酸素濃度に依存しないより正確なＮＯｘ濃度にかかるセンサセル出力を得ることができる。
【００７０】
このような積層型ガスセンサ素子１に，図３，図５，図７，図１１〜図１３にかかるポンプ電極２１を設けることで，他の実施例と同様に，測定精度の高い素子を得ることができる。
【００７１】
（実施例８）
本例にかかる積層型ガスセンサ素子６は，図１５に示すごとく，第２の酸素ポンプセル５を設けた４セル構成素子である。
本例の積層型ガスセンサ素子１は，実施例１と同様のヒータ１９に基準ガス室６４０用のスペーサ６４，酸素モニタセル３とセンサセル４を設けた固体電解質板６３，第１被測定ガス室１１，第２被測定ガス室１２用のスペーサ６２，酸素ポンプセル２と第２酸素ポンプセル５用の固体電解質板６１を積層して構成した。
【００７２】
酸素ポンプセル２は，第１被測定ガス室１１に面したポンプ電極２１と，多孔質保護層１３１で覆われて素子外部の被測定ガスにさらされた電極２２を有し，電源２５１を備えたポンプ回路２５０に接続される。
モニタセル３は，第１被測定ガス室１１に面したモニタ電極３２と基準ガス室６４０に面したモニタ電極３１を有し，電圧計３５７を備えた回路３５０に接続される。
センサセル４は，第２被測定ガス室１２に面したセンサ電極４２と基準ガス室６４０に面したセンサ電極４１を有し，電流計４５７を備えた回路４５０に接続される。
また，モニタ電極３１，４１は一体の電極である。
電圧計３５７と電源２５１との間には，電圧計３５７で検出した電圧値に基づいて酸素ポンプセル２の電源２５１を制御する制御回路２５５が接続される。
【００７３】
第２酸素ポンプセル５は，第１酸素ポンプセル２の電極２２と一体に形成した電極５１と，第２被測定ガス室１２にさらされる電極５２を有し，電源５５１を備えた回路５５０に接続される。
【００７４】
実施例１では，第２被測定ガス室１２の酸素濃度を酸素モニタセル３に流れる電流値により検出したが，本例は，酸素モニタセル３のモニタ電極３１，３２間に発生する起電力から検出する。
この場合の作動の一例を図９に基づいて説明する。
酸素モニタセル３のモニタ電極３２は第１被測定ガス室１１に面し，モニタ電極３１は大気が導入される基準ガス室６４０に面している。モニタ電極３１，３２間には，第１被測定ガス室１１と基準ガス室６４０との酸素濃度の違いにより，ネルンストの式に基づいた起電力が発生する。
【００７５】
基準ガス室６４０の酸素濃度は一定であるので，モニタ電極３１，３２間に発生する起電力は第１被測定ガス室１１の酸素濃度を反映する事になる。したがって，モニタ電極３１，３２間に発生する起電力が所定の一定値（例えぱ０．２０Ｖ）になるように酸素ポンプセル２のポンプ電極２１，２２間の印加電圧を制御すれぱ，第２被測定ガス室１２へ流れ込む酸素濃度を一定に制御できる。
【００７６】
さらに，本例では，第２酸素ポンプセル５が形成してあり，酸素ポンプセル２で排出できずに第２被測定ガス室１２に流入した酸素を外部に排気する。
これにより，第２被測定ガス室１２内の酸素濃度はほぽ０となり，センサセル４により，高精度なＮＯｘ濃度測定が可能となる。
【００７７】
このような積層型ガスセンサ素子１に，図３，図５，図７，図１１〜図１３にかかるポンプ電極２１を設けることで，他の実施例と同様に，測定精度の高い素子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，（ａ）積層型ガスセンサ素子の長手方向の断面説明図，（ｂ）幅方向の断面説明図（図１（ａ）のＡ−Ａ矢視断面説明図）。
【図２】実施例１における，積層型ガスセンサ素子の斜視展開図。
【図３】実施例１における，ポンプ電極と第１被測定ガス室とにおいて，側面と内側面とのクリアランス部の総計を示す平面図（図１（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面説明図）。
【図４】実施例１における，不定形のポンプ電極及び第１の被測定ガス室におけるクリアランス部の総計についての説明図。
【図５】実施例２における，ポンプ電極の幅が部分的に異なる積層型ガスセンサ素子の断面説明図。
【図６】実施例３における，被測定ガス室に面するポンプ電極の面積とクリアランス部の面積総計とを示す積層型ガスセンサ素子の断面説明図。
【図７】実施例３における，不定形のポンプ電極及び第１の被測定ガス室におけるポンプ電極の面積とクリアランス部の面積総計についての説明図。
【図８】実施例４における，積層型ガスセンサ素子においてクリアランス部の長さの総計Ｇと検出誤差との関係を示す線図。
【図９】実施例４における，積層型ガスセンサ素子においてＬ／Ｌｅと検出誤差との関係を示す線図。
【図１０】実施例４における，積層型ガスセンサ素子において，被測定ガス室に面するポンプ電極の面積Ｓｅとクリアランス部の面積の総計Ｓｇとの間の比Ｓｇ／Ｓｅと検出誤差との関係を示す線図。
【図１１】実施例５における，端面から被測定ガスを被測定ガス室に導入するよう構成した積層型ガスセンサ素子の断面説明図。
【図１２】実施例６における，ポンプ電極が楕円の積層型ガスセンサ素子についてＧ１及びＧ２を図示した断面説明図。
【図１３】実施例６における，ポンプ電極が楕円の積層型ガスセンサ素子についてＳｅ及びＳｇを図示した断面説明図。
【図１４】実施例７における，酸素ポンプセルに対する印加電圧と酸素ポンプセルに流れる電流に基づいて制御する構成の積層型ガスセンサ素子の（ａ）長手方向の断面説明図，（ｂ）幅方向の断面説明図（図１４（ａ）のＣ−Ｃ矢視断面説明図）。
【図１５】実施例８における，第１と第２の酸素ポンプセルを備えた積層型ガスセンサ素子の説明図。
【図１６】従来における，積層型ガスセンサ素子の説明図。
【符号の説明】
１．．．積層型ガスセンサ素子，
１１，１２．．．第１及び第２被測定ガス室，
１４，１６．．．固体電解質板，
２．．．酸素ポンプセル，
２１，２２．．．ポンプ電極，
３．．．酸素モニタセル，
３１，３２．．．モニタ電極，
４．．．センサセル，
４１，４２．．．センサ電極，
【図１】
2004151018.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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