(57)【要約】【課題】紫外線の透過率がよく、紫外線照射による粘着剤層の粘着力低下が可能であり、かつセンサー等による判別が可能な程度に着色が施されている紫外線硬化型粘着シートを提供すること。【解決手段】基材フィルム上に紫外線硬化性粘着剤層が積層されている紫外線硬化型粘着シートであって、前記紫外線硬化型粘着シートは、３００〜４００ｎｍの波長光における透過率の最大値が３０％以上になり、かつ、４００〜７５０ｎｍの波長光における透過率の最小値が５０％以下になるように着色されていることを特徴とする紫外線硬化型粘着シート。【選択図】　　　　図１
2004051736.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材フィルム上に紫外線硬化性粘着剤層が積層されている紫外線硬化型粘着シートであって、
前記紫外線硬化型粘着シートは、３００〜４００ｎｍの波長光における透過率の最大値が３０％以上になり、かつ、４００〜７５０ｎｍの波長光における透過率の最小値が５０％以下になるように着色されていることを特徴とする紫外線硬化型粘着シート。
【請求項２】
基材フィルムが少なくとも１層の着色層を有することを特徴とする請求項１記載の紫外線硬化型粘着シート。
【請求項３】
請求項１または２記載の紫外線硬化型粘着シートを用いて、電子部品を保護し、加工する工程を有することを特徴とする加工電子部品の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の製造方法により得られる加工電子部品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は紫外線硬化型粘着シートに関する。本発明の紫外線硬化型粘着シートは、各種物品の保護シートとして有用である。特に物品を加工する際の保護シートとして利用できる。被加工物品としては、たとえば、半導体ウエハ、ガラス、セラミック、樹脂などの電子部品が主としてあげられる。前記粘着シートは、これら物品を保護して、研磨、研削、ポリッシング、ダイシング、切断などの加工を施す際に好適に適用できる。
【０００２】
【従来の技術】
紫外線硬化型粘着シートの粘着剤層は、各種物品に対して高い粘着力を有するため、各種物品の加工時等にはそれらをしっかりと保護する。一方、前記粘着剤層は加工終了後には紫外線照射により粘着力が低減する現象を利用して、被加工物品から粘着シートを容易に剥がしたり、または被加工物品を粘着シートから回収できる。
【０００３】
前記紫外線硬化型粘着シートを形成する基材フィルムおよび粘着剤層は、通常、無色、透明である。無色、透明の粘着シートでは、粘着シートの有無を判断するのが困難であり、また被着体への貼り付ける際にセンサー等による確認を容易に行うことができない。そのために前記粘着シートとしては、基材フィルムの表面に細かい凹凸（マット処理）を設けたり、不透明化したものが用いられている。しかし、基材フィルムが不透明では粘着シートを貼って保護した被着体が見えなくなり、またはボケてしか見えないため、粘着シートを貼った状態の被着体の検査ができない場合もあった。
【０００４】
また基材フィルムに着色を施した紫外線硬化型粘着シートが知られている。しかし、着色した粘着シートは紫外線透過性に悪影響を及ぼし、着色の濃度によっては紫外線が透過しづらくなる。その結果、粘着シートに紫外線を照射しても、粘着剤層の粘着力の低下が少なく、粘着シートの剥離が困難になるといった問題がある。たとえば、電子部品等の加工分野で特に多く使用される青色は、紫外線の透過性が悪く、紫外線硬化型粘着シートにとって最適な色とは言いがたい。
【０００５】
着色した紫外線硬化型粘着シートとしては、たとえば、基材フィルム中にフタロシアニン系色素を練り込み、紫外領域の特定波長光の透過率を調整したものがある（特開平１０−１７２９３１号公報、特開平１０−２１７４８０号公報）。しかし、当該公報に記載の粘着シートは、基材フィルムに色素が用いられていはいるものの、前記色素は弱い紫外線で紫外線硬化型粘着剤が反応を起こさないようにコントロールするために用いられているに過ぎない。そのため、前記粘着シートは可視光領域における色の発現は考慮されておらず、センサー等により判別可能な程度に着色が行われていない。また前記粘着シートでは、基材フィルムに色素を練り込んでいるため、容易に色彩や濃度を変更することができず、また任意に模様を描くこともできない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、紫外線の透過率がよく、紫外線照射による粘着剤層の粘着力低下が可能であり、かつセンサー等による判別が可能な程度に着色が施されている紫外線硬化型粘着シートを提供することを目的とする。
【０００７】
また本発明は、前記紫外線硬化型粘着シートを用いた加工電子部品の製造方法を提供すること、さらには当該製造方法により得られた加工電子部品を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは前記課題を解決すべく粘着シートに施す着色に留意して鋭意検討を重ねた結果、以下に示す紫外線硬化型粘着シートにより上記問題点を解決できることを見出し本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち本発明は、基材フィルム上に紫外線硬化性粘着剤層が積層されている紫外線硬化型粘着シートであって、
前記紫外線硬化型粘着シートは、３００〜４００ｎｍの波長光における透過率の最大値が３０％以上になり、かつ、４００〜７５０ｎｍの波長光における透過率の最小値が５０％以下になるように着色されていることを特徴とする紫外線硬化型粘着シート、に関する。
【００１０】
上記本発明の紫外線硬化型粘着シートは、３００〜４００ｎｍの波長光における透過率の最大値が３０％以上になるように着色されている。３００〜４００ｎｍの波長光は、紫外線硬化性粘着剤層中に含有されている光重合開始剤の紫外線吸収波長領域である。当該波長領域で透過率の最大値を３０％以上にすることで、紫外線照射により粘着剤層を硬化させて、その粘着力を低下させることができる。波長光３００ｎｍ未満、または波長光４００ｎｍを超える領域で、透過率の最大値が３０％以上を満足していたとしても、３００〜４００ｎｍの波長光で透過率の最大値が３０％未満では、粘着剤層を硬化させるのに十分なエネルギーを吸収できず、粘着剤層の硬化が不十分になり粘着力が低下しない。３００〜４００ｎｍの波長光における透過率の最大値は３０％以上であり、好ましくは４０％以上である。なお、紫外線硬化型粘着シートは、遮光フィルムから取り出すと反応が始まるため、その取扱い性から当該波長領域での透過率の最大値は９０％以下とするのが好ましい。また前記透過率の最大値を満足する波長領域は、３５０〜４００ｎｍであるのが好ましい。
【００１１】
また本発明の紫外線硬化型粘着シートは、４００〜７５０ｎｍの波長光における透過率の最小値が５０％以下になるように着色されている。４００〜７５０ｎｍの波長光は、可視光領域であり、当該領域で透過率の最小値を５０％以下にすることで、センサー等による判別可能な着色が施される。波長光４００ｎｍ未満、または波長光７５０ｎｍを超える領域で、透過率の最小値が５０％以下を満足していたとしても、４００〜７５０ｎｍの波長光で透過率の最小値が５０％を超える場合には着色が薄く、センサー等による判別可能な程度に着色されていない。４００〜７５０ｎｍの波長光における透過率の最小値は５０％以下であり、好ましくは３０％以下である。また前記透過率の最小値を満足する波長領域は、４５０〜６００ｎｍであるのが好ましい。なお、本発明の紫外線硬化型粘着シートは、透明に着色されており、センサー等による判別可能であり、粘着シートを通して、被着体の外観検査が可能である。
【００１２】
前記紫外線硬化型粘着シートにおいて、基材フィルムが少なくとも１層の着色層を有することが好ましい。
【００１３】
紫外線硬化型粘着シートの着色方法は特に限定されないが、着色の容易さから基材フィルム表面に着色層を設けるのが好ましい。基材フィルムに色素を練り込んで着色する場合には、特定形状で着色し難い。基材フィルム表面は、基材フィルムの粘着剤層側でも、その反対側でもよい。基材フィルムが多層の場合は、多層間に着色層を設けることもできる。着色層の形成は、通常、印刷により行うことができる。着色層を印刷により形成する場合には、上記波長の範囲で、さまざまな模様を基材フィルム上に描くことができ、意匠性に優れた粘着シートが得られる。なお、基材フィルムの着色は、基材フィルム中に顔料を配合することにうより行うことも可能であるが、この方法では色彩や濃度の変更が容易ではなく、任意の模様を描くことも難しく、印刷法等により着色層を形成する方法には及ばない。
【００１４】
また本発明は、前記紫外線硬化型粘着シートを用いて、電子部品を保護し、加工する工程を有することを特徴とする加工電子部品の製造方法、に関する。また本発明は、当該製造方法により得られる加工電子部品、に関する。
【００１５】
本発明の紫外線硬化型粘着シートは、半導体ウエハ、ガラス、セラミック、樹脂等の電子部品を保護して、研磨、研削、ポリッシング、ダイシング、切断などの加工を施す際に好適に適用できる。電子部品に粘着シートの貼付け時には、粘着シートが着色していることからセンサーによる確認が可能である。加工時には粘着シートは電子部品にしっかりと接着しており、粘着シートを通して被着体を検査可能である。一方、加工後には、紫外線照射により、粘着剤層を硬化して粘着力を低下させることができ、加工電子部品から粘着シートを容易に剥離することができ、加工精度のよい電子部品が得られる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の紫外線硬化型粘着シートを図面を参照しながら説明する。前記粘着シートは、図１の断面図に示すように、基材フィルム１上に紫外線硬化性粘着剤層２が積層されている。図１では、基材フィルム１の粘着剤層２側に着色層１ａが設けられている。図１では、着色層１ａが基材フィルム１の粘着剤層２側にのみ設けられているが、着色層１ａは基材フィルム１の粘着剤層２の反対側にあっもよく、基材フィルム１の両側にあってもよい。また、基材フィルムが多層である場合には、各フィルム層の片側または両側に着色層を設けて基材フィルム中に着色層を設けることができる。また本発明の紫外線硬化型粘着シートは、粘着剤層２を保護するためにセパレータ３を用いることが好ましい。かかる本発明の粘着シートはシートを巻いてテープ状とすることもできる。粘着シートは、被着体の形状に応じて打ち抜いたものでもよい。
【００１７】
基材フィルムは、半導体ウエハやガラス表面保護、それらの切断等に使用される各種の材料を特に制限なく使用することができるが、紫外線を透過するものを用いる。例えばその材料として、低密度ポリエチレン、直鎖状ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル（ランダム、交互）共重合体、エチレン−ブテン共重合体、エチレン−ヘキセン共重合体、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、フッ素樹脂、セルロース系樹脂、及びこれらの架橋体などのポリマーがあげられる。前記各基材フィルムは、同種または異種のものを適宜に選択して使用することができ、必要に応じて数種をブレンドしてたものを用いることができる。
【００１８】
基材フィルムは、無延伸で用いてもよく、必要に応じて一軸または二軸の延伸処理を施したものを用いてもよい。基材フィルムの表面には、必要に応じてマット処理、コロナ放電処理、プライマー処理、架橋処理（化学架橋（シラン））などの慣用の物理的または化学的処理を施すことができる。透明性を得るために、マット処理された基材フィルムはその側に粘着剤を塗布し、透明化を図るのが好ましい。
【００１９】
前記基材フィルムの厚みは、通常１０〜４００μｍ、好ましくは３０〜２５０μｍ程度である。基材フィルムの厚みが１０μｍ未満では、粘着シートに、こし、強度がなく、使用時にしわになったり、ちぎれたりするおそれがある。４００μｍを超える場合には、非常に硬くなり、粘着シートの変形が困難になり、粘着シートの貼付け、剥離が難しくなる。
【００２０】
基材フィルムの着色手段は特に制限されず、基材フィルムに印刷する方法等により着色層を形成するのが好ましい。印刷には、色素を含有するインク、塗料等が用いられる。着色する色の種類は、前記各波長領域での透過率の条件を満足するものであれば特に限定されない。たとえば、赤、紅、朱、だいだい、オレンジ等の赤色系に着色するのが好ましい。その他に、黄や紫もあげられるが、色の見易さからは、赤色系が好ましい。たとえば、色素（インク）として、アゾ顔料、バーミリオン、弁柄、アリザリン、クリムソン、コチニール、キナクリドン系顔料等があげられる。着色層の厚さは、０．２〜５μｍ、好ましくは０．５〜３μｍとするのが好ましい。
【００２１】
粘着剤層の形成には紫外線照射によって粘着力が低下する紫外線硬化性粘着剤を用いる。紫外線硬化型粘着剤は炭素−炭素二重結合等の紫外線硬化性の官能基を有し、かつ粘着性を示すものを特に制限なく使用することができる。
【００２２】
紫外線硬化型粘着剤としては、たとえば、前記アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の一般的な感圧性粘着剤に、紫外線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合した添加型の紫外線硬化性粘着剤を例示できる。前記感圧性粘着剤としては、半導体ウエハやガラス等の汚染をきらう電子部品の超純水やアルコール等の有機溶剤による清浄洗浄性などの点から、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤が好ましい。
【００２３】
前記アクリル系ポリマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル（例えば、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ−ブチルエステル、ｔ−ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、２−エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、エイコシルエステルなどのアルキル基の炭素数１〜３０、特に炭素数４〜１８の直鎖状又は分岐鎖状のアルキルエステルなど）及び（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル（例えば、シクロペンチルエステル、シクロヘキシルエステルなど）の１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマーなどがあげられる。なお、（メタ）アクリル酸エステルとはアクリル酸エステルおよび／またはメタクリル酸エステルをいい、本発明の（メタ）とは全て同様の意味である。
【００２４】
前記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性などの改質を目的として、必要に応じ、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル又はシクロアルキルエステルと共重合可能な他のモノマー成分に対応する単位を含んでいてもよい。このようなモノマー成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸などの酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー；アクリルアミド、アクリロニトリルなどがあげられる。これら共重合可能なのモノマー成分は、１種又は２種以上使用できる。これら共重合可能なモノマーの使用量は、全モノマー成分の４０重量％以下が好ましい。
【００２５】
さらに、前記アクリル系ポリマーは、架橋させるため、多官能性モノマーなども、必要に応じて共重合用モノマー成分として含むことができる。このような多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレートなどがあげられる。これらの多官能性モノマーも１種又は２種以上用いることができる。多官能性モノマーの使用量は、粘着特性等の点から、全モノマー成分の３０重量％以下が好ましい。
【００２６】
前記アクリル系ポリマーは、単一モノマー又は２種以上のモノマー混合物を重合に付すことにより得られる。重合は、溶液重合、乳化重合、塊状重合、懸濁重合等の何れの方式で行うこともできる。清浄な被着体への汚染防止等の点から、低分子量物質の含有量が小さいのが好ましい。この点から、アクリル系ポリマーの数平均分子量は、好ましくは３０万以上、さらに好ましくは４０万〜３００万程度である。
【００２７】
また、前記粘着剤には、ベースポリマーであるアクリル系ポリマー等の数平均分子量を高めるため、外部架橋剤を適宜に採用することもできる。外部架橋方法の具体的手段としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン系架橋剤などのいわゆる架橋剤を添加し反応させる方法があげられる。外部架橋剤を使用する場合、その使用量は、架橋すべきベースポリマーとのバランスにより、さらには、粘着剤としての使用用途によって適宜決定される。一般的には、上記ベースポリマー１００重量部に対して、１〜５重量部程度配合するのが好ましい。さらに、粘着剤には、必要により、前記成分のほかに、従来公知の各種の粘着付与剤、老化防止剤などの添加剤を用いてもよい。
【００２８】
配合する紫外線硬化性のモノマー成分としては、たとえば、ウレタンオリゴマー、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリストールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレートなどがあげられる。また紫外線硬化性のオリゴマー成分はウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系など種々のオリゴマーがあげられ、その分子量が１００〜３００００程度の範囲のものが適当である。紫外線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分の配合量は、前記粘着剤層の種類に応じて、粘着剤層の粘着力を低下できる量を、適宜に決定することができる。一般的には、粘着剤を構成するアクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、例えば５〜５００重量部、好ましくは４０〜１５０重量部程度である。
【００２９】
また、紫外線硬化型粘着剤としては、上記説明した添加型の紫外線硬化性粘着剤のほかに、ベースポリマーとして、炭素−炭素二重結合をポリマー側鎖または主鎖中もしくは主鎖末端に有するものを用いた内在型の紫外線硬化性粘着剤があげられる。内在型の紫外線硬化性粘着剤は、低分子成分であるオリゴマー成分等を含有する必要がなく、または多くは含まないため、経時的にオリゴマー成分等が粘着剤在中を移動することなく、安定した層構造の粘着剤層を形成することができるため好ましい。
【００３０】
前記炭素−炭素二重結合を有するベースポリマーは、炭素−炭素二重結合を有し、かつ粘着性を有するものを特に制限なく使用できる。このようなベースポリマーとしては、アクリル系ポリマーを基本骨格とするものが好ましい。アクリル系ポリマーの基本骨格としては、前記例示したアクリル系ポリマーがあげられる。
【００３１】
前記アクリル系ポリマーへの炭素−炭素二重結合の導入法は特に制限されず、様々な方法を採用できるが、炭素−炭素二重結合はポリマー側鎖に導入するのが分子設計が容易である。たとえば、予め、アクリル系ポリマーに官能基を有するモノマーを共重合した後、この官能基と反応しうる官能基および炭素−炭素二重結合を有する化合物を、炭素−炭素二重結合の紫外線硬化性を維持したまま縮合または付加反応させる方法があげられる。
【００３２】
これら官能基の組合せの例としては、カルボン酸基とエポキシ基、カルボン酸基とアジリジル基、ヒドロキシル基とイソシアネート基などがあげられる。これら官能基の組合せのなかでも反応追跡の容易さから、ヒドロキシル基とイソシアネート基との組合せが好適である。また、これら官能基の組み合わせにより、上記炭素−炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーを生成するような組合せであれば、官能基はアクリル系ポリマーと前記化合物のいずれの側にあってもよいが、前記の好ましい組み合わせでは、アクリル系ポリマーがヒドロキシル基を有し、前記化合物がイソシアネート基を有する場合が好適である。この場合、炭素−炭素二重結合を有するイソシアネート化合物としては、たとえば、メタクリロイルイソシアネート、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、ｍ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネートなどがあげられる。また、アクリル系ポリマーとしては、前記例示のヒドロキシ基含有モノマーや２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルのエーテル系化合物などを共重合したものが用いられる。
【００３３】
前記内在型の紫外線硬化性粘着剤は、前記炭素−炭素二重結合を有するベースポリマー（特にアクリル系ポリマー）を単独で使用することができるが、特性を悪化させない程度に前記紫外線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合することもできる。紫外線硬化性のオリゴマー成分等は、通常ベースポリマー１００重量部に対して３０重量部の範囲内であり、好ましくは０〜１０重量部の範囲である。
【００３４】
前記紫外線硬化型粘着剤には、紫外線線等により硬化させる場合には光重合開始剤を含有させる。光重合開始剤としては、例えば、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、α−ヒドロキシ−α，α´−ジメチルアセトフェノン、２−メチル−２−ヒドロキシプロピオフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどのα−ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフエノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）−フェニル］−２−モルホリノプロパン−１などのアセトフェノン系化合物；べンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテルなどのベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタールなどのケタール系化合物；２−ナフタレンスルホニルクロリドなどの芳香族スルホニルクロリド系化合物；１−フェノン−１，１―プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシムなどの光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３′−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２−クロロチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２，４−ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジクロロチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソンなどのチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフィノキシド；アシルホスフォナートなどがあげられる。光重合開始剤の配合量は、粘着剤を構成するアクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、例えば１〜１０重量部、好ましくは３〜５重量部程度である。
【００３５】
本発明の粘着シートの作製は、たとえば、基材フィルムに紫外線硬化性粘着剤層を形成することにより行うことができる。前記粘着剤層の形成方法は、特に制限されず、基材フィルムに粘着剤層を直接、塗布して形成する方法、また別途、剥離ライナーに粘着剤層を形成した後、それらを基材フィルムに貼り合せる方法等を採用することができる。粘着剤層の厚みは特に制限されないが、半導体ウエハ表面の凹凸に追従するため、通常３〜３００μｍ程度、好ましくは１０〜１５０μｍである。
【００３６】
セパレータは、必要に応じて設けられる。セパレータの構成材料としては、紙、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート等の合成樹脂フィルム等があげられる。セパレータの表面には、粘着剤層からの剥離性を高めるため、必要に応じてシリコーン処理、長鎖アルキル処理、フッ素処理等の離型処理が施されていても良い。セパレータの厚みは、通常１０〜２００μｍ、好ましくは２５〜１００μｍ程度である。
【００３７】
以下に、前記紫外線硬化型粘着シートを用いた例として、半導体ウエハの裏面研削方法について説明する。まず、前記紫外線硬化型粘着シートを半導体ウエハに貼合せる。粘着シートを貼合わせる際は、光学系のセンサーを用いると容易になる。半導体ウエハのパターン面への粘着シートの貼り付けは、常法に従って用いられる。たとえば、テーブル上にパターン面が上になるように半導体ウエハを載置し、その上に粘着シートの粘着剤層をパターン面に重ね、圧着ロールなどの押圧手段により、押圧しながら貼り付ける。また、加圧可能な容器（例えばオートクレープなど）中で、半導体ウエハと粘着シートを上記のように重ね、容器内を加圧することによりウエハに貼り付けることも出きる。この際、押圧手段により押圧しながら貼り付けてもよい。また、真空チャンバ−内で、上記と同様に貼り付けることもできる。
【００３８】
前記粘着シートの貼合わせ後には、半導体ウエハの外縁に沿って、または、半導体ウエハの外縁よりも僅かに外側で切断する。外縁からの外側の幅は１ｍｍ以内とするのが好ましい。切断方法は特に制限されず、たとえば、鋼製カッター、レーザー、熱等があげられる。なお、粘着シートは、適用する半導体ウエハに合わせて予め切断しておくことができる。粘着シートを、予め、半導体ウエハ形状に打ち抜いている場合には、粘着シートの端が、半導体ウエハの端に合い、外周も揃うように貼合わせる。貼り付けた後に、テープ欠陥や、ウエハ上の異物などをテープ越しに目視、または、顕微鏡にて観察する。
【００３９】
次いで半導体ウエハ裏面を研削する。研削は所定の厚さになるまで実施する。例えば、半導体ウエハの直径８インチの場合には１５０μｍ程度まで研削を行う。研削手段は．常法を採用でき、たとえば、研削機（バックグラインド）等があげられる。
【００４０】
研削後には、紫外線照射を行い、紫外線硬化型粘着シートの粘着剤層を硬化させる。通常、紫外線の照射量は、１０〜１０００ｍＪ／ｃｍ２　程度が好ましい。さらに好ましくは５０〜６００ｍＪ／ｃｍ２　である。照射強度が１０ｍＪ／ｃｍ２　未満では、粘着剤層が硬化しない場合がある。照射強度が１０００ｍＪ／ｃｍ２　を超えると、硬化が進み、粘着剤層が割れるおそれがある。紫外線照射後には、紫外線硬化型粘着シートを容易に剥離することができる。
【００４１】
以上は、紫外線硬化型粘着シートを、半導体ウエハの裏面研削に適用する場合を代表例として説明したが、本発明の紫外線硬化型粘着シートの適用はこの例に限るものではなく、半導体ウエハのダイシングや、ガラスの保護などの各種の用途に適応可能である。
【００４２】
【実施例】
以下に本発明の実施例を述べるが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、各例中、部は重量部である。
【００４３】
（紫外線硬化型粘着剤）
エチルアクリレート４０重量部、ブチルアクリレート５０重量部、２−ヒドロキシエチルアクリレート１０重量部からなる配合組成物をトルエン溶液中で共重合させて、数平均分子量３０００００のアクリル系共重合ポリマーを得た。続いてこの共重合ポリマー１００重量部に対し、２０重量部の２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを付加反応させ、ポリマー分子内側鎖に炭素−炭素二重結合を導入した。このポリマー１００重量部に対して、さらにポリイソシアネート系架橋剤１重量部、アセトフェノン系光重合開始剤３部を混合して紫外線硬化型粘着剤を調製した。
【００４４】
実施例１
（着色層の形成）
厚さ５０μｍの透明ポリエチレンテレートフィルム（東レ（株）製，ルミラ−）の片側全面に、グラビア法にて赤色インク（大日本インキ化学工業（株）製，１０４紅）により、厚さ２μｍの着色層を形成した。
【００４５】
（紫外線硬化型粘着シートの作製）
上記紫外線硬化型粘着剤を、離型処理されたフィルム上に塗布、乾燥して厚さ５０μｍの粘着剤層を形成した。この粘着剤層を前記基材フィルムの着色層に貼り合せて紫外線硬化型粘着シートを作製した。
【００４６】
実施例２
（着色層の形成）
片面マット処理された１００μｍの低密度ポリエチレンフィルム（ＬＤＰＥ）のマット面側全面に、グラビア法にて紫色インク（大日本インキ化学工業（株）製，６０８紫）により、厚さ１．５μｍの着色層を形成した基材フィルムを作製した。
【００４７】
（紫外線硬化型粘着シートの作製）
上記紫外線硬化型粘着剤を、離型処理されたフィルム上に塗布、乾燥して厚さ１５μｍの粘着剤層を形成した。この粘着剤層を前記基材フィルムの着色層に貼り合せて紫外線硬化型粘着シートを作製した。
【００４８】
比較例１
実施例１において、赤色インクにより形成した着色層の厚さを１０μｍに変えたこと以外は実施例１と同様にして基材フィルムを作製した。また実施例１と同様にして紫外線硬化型粘着シートを作製した。
【００４９】
比較例２
実施例１において、赤色インクに代えて青色インク（大日本インキ化学工業（株）製，６０１群青）を用いたこと以外は実施例１と同様にして基材フィルムを作製した。また実施例１と同様にして紫外線硬化型粘着シートを作製した。
【００５０】
比較例３
実施例１で用いた透明ＰＥＴフィルムに、印刷により着色層を施すことなく、実施例１と同様にして、粘着剤層を形成して紫外線硬化型粘着シートを作製した。
【００５１】
実施例および比較例で得られた紫外線硬化型粘着シートについて以下の評価を行った。結果を表１に示す。
【００５２】
（光の透過率）
紫外線硬化型粘着シートの透過率を（株）島津製作所製の分光光度計ＭＰＳ−２０００により測定した。３００〜４００ｎｍの波長光における透過率の最大値およびその波長光、４００〜７５０ｎｍの波長光における透過率の最小値およびその波長光を示す。
【００５３】
（使用性）
半導体ウエハのミラー面に紫外線硬化型粘着シートを貼った後のシートの有無を目視で行い、以下の基準で評価した。なお、目視でシートを確認できた場合には、テープ有無センサー（　（株）キーエンス製，ＦＵ−３５ＦＡ／ＦＳ−Ｍ１）も問題なく機能し、確認できない場合にはテープ有無センサーは有効に機能しなかった。
○：目視で確認できる。
×：目視で確認できない。
【００５４】
（粘着力の測定）
半導体ウエハのミラー面に紫外線硬化型粘着シートを貼った後、日東精機（株）製のＵＮ１１０を使用して、２００ｍＪ／ｃｍ２　の紫外線照射を行う前後の粘着力を測定した。粘着力（Ｎ／２０ｍｍ）の測定は、万能引張試験機を用いて、Ｔ字剥離（２３℃，剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）によって行った。
【００５５】
【表１】
2004051736.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の紫外線硬化型粘着シートの断面図の一例である。
【符号の説明】
１　　基材フィルム
１ａ　着色層
２　　紫外線硬化性粘着剤層
３　　セパレータ
【図１】
2004051736.tif 000004