(57)【要約】【課題】流体の流れが脈動流のような非定常なものである場合においても、流速および流量を高い測定精度で測定することのできる超音波流体計測装置を提供する。【解決手段】被計測流体が流れる計測流路１０と、計測流路１０の被計測流体の流動方向Ｆに対し直交する幅Ｗ方向を超音波が横切って伝播するように計測流路１０の上流側および下流側にそれぞれ配設された少なくとも一対の超音波送受信器１２，１３と、被計測流体の流速の変化を検知する流速変化率検知手段２７と、超音波送受信器１２，１３の送受信信号の伝播時間差と流速変化率検知手段２７の検知結果との両方に基づいて流量を算出する流量演算手段３１とを備えている。【選択図】　　　図１
2004020480.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被計測流体が流れる計測流路と、
前記被計測流体の流動方向を超音波が横切って伝播するように前記計測流路の上流側および下流側にそれぞれ配設された少なくとも一対の超音波送受信器と、
被計測流体の流速の変化を検知する流速変化率検知手段と、
前記超音波送受信器の送受信信号の伝播時間差と前記流速変化率検知手段の検知結果に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えていることを特徴とする超音波流体計測装置。
【請求項２】
流量演算手段は、超音波送受信器の送受信信号の伝播時間差から流速を求める流速計測制御部と、被計測流体の流れ状態に応じて流速を補正する複数の流速補正係数が予め記憶された流速補正係数記憶部と、流速変化率検知手段の検知結果に基づき前記流速補正係数記憶部から読み出した前記流速補正係数によって前記流速計測制御部で求めた流速を補正したのち、補正流速に基づき流量を算出する流量演算部とを備えている請求項１に記載の超音波流体計測装置。
【請求項３】
流量演算手段は、流速変化率検知手段の検知結果と流速計測制御部が計測した流速との双方に基づき流速補正係数記憶部から流速補正係数を読み出す流速補正係数設定部を備えている請求項２に記載の超音波流体計測装置。
【請求項４】
流速変化率検知手段は、超音波送受信器の送受信信号の時間変化に基づき流速の変化を検知する構成を有している請求項１ないし３の何れかに記載の超音波流体計測装置。
【請求項５】
流速補正係数記憶部は、流量の大小、被計測流体の流動方向および流速の変化率の少なくとも３種類の流れ状態が組み合わされた少なくとも８通りの流速補正係数が記憶されている請求項２ないし４の何れかに記載の超音波流体計測装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体や液体などの流体の流速や流量を超音波を用いて計測する超音波流体計測装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の従来の超音波流体計測装置としては、例えば、特開平９−１８９５９１号公報に開示されたものが知られている。この超音波流体計測装置は、図７に示すように、一端にフランジ２を有して流体を一方（図の左方）から他方（図の右方）に流す円筒状の測定管１と、その測定管１の中心線を挟み、且つその中心線に対して所定の角度で対向配置されて相互に超音波の授受を行う一対の超音波送受波器３，４と、測定管１に対し同一方向で、且つ平行の向きで測定管１の流体吸入口７に配列して設けられた複数本の細管９からなる整流体８と、上記一対の超音波送受波器３，４の検出データに基づき流体の流速および流量を測定する測定部（図示せず）とにより構成されている。
【０００３】
上記超音波流体計測装置は、測定管１の内部を流れる流体の流速を、一対の超音波送受波器３，４相互間で交互に発射されて受信される超音波の伝播時間差として検出し、この流体速度に測定管１の断面積を乗じて流量を算出している。この超音波流体計測装置では、流体吸入口７から測定管１へ流入する流体を、整流体８を構成する複数本の細管９によって流れ方向を測定管１と同一方向に規制していることにより、流体が流体吸入口７部分で様々な角度から吸い込まれたり、捩じれなどの乱れがあっても、細管９を通過する過程で整流することができる。これにより、流体吸入口７に近い位置に超音波送受波器３，４を設けた場合であっても、整流は安定した流線となり、正常な状態で伝播時間を測定することができ、流速の測定精度の悪化を防止できるとされている。
【０００４】
仮に、上記整流体８を設けない場合には、流体が流体吸入口７に対し様々な角度から吸い込まれる場合や、捩じれを伴って吸い込まれる際に、流体が渦を巻く状態で測定管１内を流下したりして、流体の乱れが顕著になる。このように流体が測定管１内を乱れた状態で流れた場合には、超音波送受波器３，４相互間で授受される超音波が流体中を伝播するとき、乱れの境界面で様々な反射や屈折を生じて、結果的に超音波の受信波のレベルが大きく変動して測定不能、あるいは内部流線の傾きによって測定精度が悪化することになる。このような不具合の発生を防止しようとすれば、測定管１における超音波送受波器３，４の取付位置を、流線が十分に安定する流体吸入口７から離れた下流側に設定することが必要となる。そのような構成とした場合には、測定管１が長くなって取付場所の制約を受けるという問題が発生する。上記超音波流体計測装置は、整流体８を設けることにより、上述した問題の解消を図ったものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記超音波流体計測装置では、超音波送受波器３，４間で計測した流速に、測定管１の断面積を乗じて流量を算出しているので、正確な流量を算出するためには、超音波送受波器３，４の取付位置と流量にそれぞれ対応した流速補正計数が必要となる。ところがこの流速補正計数は、流体の流れが定常である場合には主として流量に応じて変化するが、流体の流れが脈動流のように非定常な場合には流量の変化率によって流速分布が変化することから、常に流量に応じた流速補正計数を用いる場合には、流速および流量の測定精度が低下するという問題が生じることになる。
【０００６】
そこで、本発明は、上記従来の課題に鑑みてなされたもので、流体の流れが脈動流のような非定常なものである場合においても、流速および流量を高い測定精度で測定することのできる超音波流体計測装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る超音波流体計測装置は、被計測流体が流れる計測流路と、前記被計測流体の流動方向を超音波が横切って伝播するように前記計測流路の上流側および下流側にそれぞれ配設された少なくとも一対の超音波送受信器と、被計測流体の流速の変化を検知する流速変化率検知手段と、前記超音波送受信器の送受信信号の伝播時間差と前記流速変化率検知手段の検知結果に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えていることを特徴としている。
【０００８】
この超音波流体計測装置では、流速変化率検知手段の検知結果に基づいて被計測流体の流れが定常流か非定常流かを判別することができるので、この判別結果に基づいて、超音波送受信器の送受信信号の伝播時間差から求めた被計測流体の流速を補正するための最適な流速補正係数を決定することができる。したがって、非計測流体の流れが脈動流などの非定常なものであっても、流速および流量の計測精度を高めることができる。
【０００９】
上記発明において、流量演算手段は、超音波送受信器の送受信信号の伝播時間差から流速を求める流速計測制御部と、被計測流体の流れ状態に応じて流速を補正する複数の流速補正係数が予め記憶された流速補正係数記憶部と、流速変化率検知手段の検知結果に基づき前記流速補正係数記憶部から読み出した前記流速補正係数によって前記流速計測制御部で求めた流速を補正したのち、補正流速に基づき流量を算出する流量演算部とを備えている構成とすることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、予め被計測流体の種々の流れ状態に対応した複数の流速補正係数を例えば実験的に求めて流速補正係数記憶部に記憶しておき、流速変化率検知手段の検知結果である被計測流体の流れ状態に対応して最適な流速補正係数を流速補正係数記憶部から読み出せばよいので、最適な流速補正係数を決定する制御処理を簡便、且つ正確に行うことができる。
【００１１】
また、上記構成において、流量演算手段は、流速変化率検知手段の検知結果と流速計測制御部が計測した流速との双方に基づき流速補正係数記憶部から流速補正係数を読み出す流速補正係数設定部を備えている構成とすることが好ましい。この構成によれば、瞬時の計測流速のデータと被計測流体の流れ状態の判別結果との両方を用いて最適な流速補正係数を一層簡単、且つ正確に設定することができ、被計測流体のより幅広い範囲の流れ状態に対して計測精度を一層高めることができる。
【００１２】
また、上記発明において、流速変化率検知手段は、超音波送受信器の送受信信号の時間変化に基づき流速の変化を検知する構成を有していることが好ましい。この構成によれば、例えば、超音波送受信器の送受信信号の伝播時間差に基づき流速を算出する既存の流速計測制御部に、流速の変化を検知する機能を兼備させることが可能となるから、流速変化率を検知するための構成を新たに設ける必要がなくなり、コストの低減と装置全体の小型化とを測ることができる。
【００１３】
また、上記発明において、流速補正係数記憶部には、流量の大小、被計測流体の流動方向および流速の変化率の少なくとも３種類の流れ状態が組み合わされた少なくとも８通りの流速補正係数が記憶されていることが好ましい。これにより、流速補正係数として、小流量と大流量の別、流動方向の順方向と逆方向の別、流速の変化における増速流と減速流との別に基づいて、少なくとも３種類の流れ状態が組み合わされた少なくとも８通りの値を設定できるので、計測流路内の流速分布が大きく変化する少なくとも３種類の流れ状態のみに基づいて最適な流速補正係数を選択して設定することができ、広範囲な流れ状態に対して効率的に計測精度を高めることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１５】
（第１の実施の形態）
図１および図２はそれぞれ本発明の第１の実施の形態に係る超音波流体計測装置の概略構成を示す横断面図および縦断面図である。この超音波流体計測装置は、流路壁１１に囲まれて被計測流体が流れる計測流路１０を有し、流路壁１１には、上流側および下流側の一対の超音波送受信器１２，１３が、計測流路１０の幅方向に対し超音波が図の左方から右方へ横切って伝播するように相対向する配置で配設されている。両超音波送受信器１２と１３は、図１に示すように、計測流路１０の幅方向を斜めに横切るように距離Ｌだけ隔てられ計測流路１０を流れる被計測流体の流動方向Ｆに対して所定の角度θだけ傾斜して配設され、且つ、図２に示すように計測流路１０の高さＨ方向に対しほぼ中央に位置している。
【００１６】
また、超音波送受信器１２，１３の取付箇所には、超音波の送受を可能とする超音波ガイド孔１４，１７がそれぞれ設けられている。更に両超音波ガイド孔１４，１７が相対向する箇所には、図１および図２に２点鎖線で示すように、相対向する一対の超音波送受信器１２，１３間で送信された超音波が流路壁１１の壁面に反射することなく相手側に直接的に伝播される超音波伝播路１８が形成されている。
【００１７】
また、計測流路１０の上流側（図の左側）は、上流側屈曲部１９を介して、被計測流体の入口となる流体導入部２０に連通されているとともに、計測流路１０の下流側（図の右側）は、下流側屈曲部２１を介して、被計測流体の出口となる流体導出部２２に連通されている。これにより、この超音波流体計測装置は、被計測流体の流路全体のコンパクト化が図られている。なお、上流側屈曲部１９には開閉弁（図示せず）が設けられている。
【００１８】
また、計測流路１０の入口側には整流体２３が配設されており、被計測流体の流れ方向を整える方向規制部２３ａと、流速分布の均一化または流れの変動を低減するための抵抗部２３ｂとを有している。方向規制部２３ａは、計測流路１０における被計測流体の流動方向Ｆと同一方向に、かつ互いに平行に配置された複数枚の板状の仕切壁からなり、計測流路１０の横断面を均一に分割している。抵抗部２３ｂは、被計測流体の流動方向Ｆに対する長さが短い多数の微細形状の連通路を計測流路１０の横断面に対して形成する形状を有している。なお、この整流体２３は、流路壁１１の内壁面に設けられた凹部２４に嵌め込まれて、流路壁１１に対し段差が生じない状態で取り付けられている。
【００１９】
流路壁１１における流体入口側の内壁面には、流速変化率検知手段２６が配設されている。この流速変化率検知手段２６は、被計測流体の流速の変化率（つまり流速の増大または減少の変化率）を検知するものであって、周知の流速センサ、あるいは被計測流体の流れの動圧を受ける抵抗体と周知の圧力センサとを組み合わせた構成からなる。
【００２０】
流速補正係数記憶部２７には、被計測流体の種々の流動状態に対応して実験的に予め求められた流速補正係数が記憶されている。流速補正係数設定部２８は、上記流速変化率検知手段２６から得られる変化率信号に基づいて被計測流体の流れの状態が定常流か非定常流かを判別して、その判別結果に対応する流速補正係数を流速補正係数記憶部２７から読み出しする。流速計測制御部２９は、一対の超音波送受信器１２，１３間での送受信を制御するとともに両超音波送受信器１２，１３の送受波信号の伝播時間を計測して、その伝播時間と後述の演算式とに基づき流速を算出するものである。流量演算部３０は、流速計測制御部２９から入力する流速のデータと流速補正係数設定部２８から入力する流速補正係数とに基づいて、被計測流体の流量を算出するものである。上記した流速補正係数記憶部２７、流速補正係数設定部２８、流速計測制御部２９および流量演算部３０は、流量演算手段３１を構成する。
【００２１】
つぎに、上記超音波流体計測装置における流量計測動作について説明する。計測流路１０における超音波伝播路１８では、被計測流体の流れに対して流速計測制御部２９の制御によって一対の超音波送受波器１２，１３間で計測流路１０を横切るように超音波の送受が行われる。このとき、流速計測制御部２９は、上流側超音波送受信器１２から発射された超音波が下流側超音波送受信器１３で受信されるまでの伝搬時間Ｔ１　を計測するとともに、下流側超音波送受信器１３から発射された超音波が上流側超音波送受信器１２で受信されるまでの伝搬時間Ｔ２　を計測して、その計測データと後述の演算式に基づき流速を算出する。
【００２２】
すなわち、計測流路１０内を流れる被計測流体の流速をＶ、被計測流体の流動方向Ｆと上記超音波伝播路１８とのなす角度をθ、両超音波送受信器１２，１３間の距離をＬ、被測定流体の音速をＣとそれぞれした場合に、Ｔ１　＝Ｌ／（Ｃ＋Ｖｃｏｓθ）、Ｔ２　＝Ｌ／（Ｃ−Ｖｃｏｓθ）となるから、Ｔ１　の逆数からＴ２　の逆数を減算して、上記各式から音速Ｃを消去して、Ｖ＝（Ｌ／２ｃｏｓθ）×〔（１／Ｔ１　）−（１／Ｔ２　）〕の式が導かれる。この式において、角度θおよび距離Ｌは既知であるから、流速計測制御部２９は、計測した伝搬時間Ｔ１　，Ｔ２　の値に基づいて流速Ｖを算出できる。
【００２３】
いま、空気の流量を計測することを仮定した場合は、角度θを４５°、距離ＬＡ　７０ｍｍ、音速Ｃを３４０ｍ／ｓ、流速Ｖを８ｍ／ｓと想定すると、伝搬時間Ｔ１　は、２．０×１０−４秒となり、伝搬時間Ｔ２　は、２．１×１０−４秒となり、瞬時に計測ができる。
【００２４】
ところで、上述の式によって算出される流速Ｖは超音波伝播路１８で計測したものであり、この超音波伝播路１８は、計測流路１０内を斜めに横切るものであるから、上記の超音波伝播路１８内で計測した平均流速は、超音波伝播路１８の断面位置が異なる箇所毎に流れの状態が異なるとともに、高さＨ方向の断面における流路全体を計測したものでない。そのため計測流路１０に直交する横断面全域から算出した平均流速に対して差が生じることになる。しかも、超音波伝播路１８内の超音波の強度分布は、両超音波送受信器１２，１３の中心軸上である中央部において最も強くなる特性を有しているため、超音波伝播路１８内の高さＨ方向の中心部を主体的に計測することになる。
【００２５】
被計測流体の流量Ｑは、計測流路１０の被計測流体の流れ方向に直交する横断面積をＳ、流速補正係数をＫとすると、Ｑ＝ＫＶＳの式から算出することができる。ところで、上記流速補正係数Ｋは、横断面積Ｓにおける流速分布を考慮して求める必要がある。すなわち、流速補正係数Ｋは、両超音波送受信器１２，１３間の超音波の伝搬時間Ｔ１　，Ｔ２　に基づき算出した流速Ｖと計測流路１０内の被計測流体の総流量とを結びつける係数であるから、流量Ｑを精度良く算出するためには、流速補正係数Ｋを被計測流体の流動状態に応じた適切な値に設定する必要がある。
【００２６】
通常、流量が少ない定常な流れの場合における流速分布は、図２の被計測流体の速度分布Ｕに示すように、流路壁１１から遠ざかるに伴って速度が順次大きくなる放物線状の凸形となる。そのため、上記流速分布では、最大流速の発生位置が高さＨ方向のほぼ中央付近に存在し、中央部と周辺部との流速差が比較的大きい。これに対して、両超音波送受信器１２，１３によって流速を計測する箇所は主に計測流路１０の中央部であるから、算出される流速は、流速分布における最大流速に近い値となる。したがって、流速補正係数Ｋとしては、「１」より小さい値を用いる必要がある。一方、流量が多くなって、いわゆる乱流領域になると、速度分布は、上述の放物線状の凸形から、中央付近が平らなほぼ台形状に変化する。すなわち、中央部と周辺部とにおける流速の差が小さくなる。そのため、流速補正係数Ｋとしては、「１」に近い値を用いる必要がある。これに対して、上記超音波流体計測装置では、流速変化率検知手段２６に出力に基づいて最適な流速補正係数Ｋを設定する構成になっており、この点について、以下に詳述する。
【００２７】
図３は、流速が変化する非定常な流れの場合における計測流路１０内の流速の変化の一例を示す流速分布の説明図であり、図の左側から右方に流れる流量をプラス流量として示したものである。図４は非定常な流れの場合における流量の変化の一例を示す説明図である。図３の各流速分布Ｕ１〜Ｕ５は、流量が図４に示すように変化した場合における変化を示したものである。すなわち、図４のＰ１の区間に示すような定常流の状態では図３の流速分布Ｕ１のような流速の変化となる。図４に示すＰ１，Ｐ３，Ｐ４の各区間は、流量が減少してく途中の状態を示したものであり、図３の流速分布Ｕ２，Ｕ３，Ｕ４のような流速の変化となる。
【００２８】
Ｐ３は、プラス流量からマイナス流量への変化点であって、実流量が「０」の状態であり、そのときの流速分布Ｕ３は、図３に明示するように、非常に複雑な分布になっている。すなわち、流速分布Ｕ３は、計測流路１０の中央部において図の右向きの速度を有しているが、流路壁１１の近傍箇所において図の左向きの速度を有しており、全体としての流量が「０」になっている。
【００２９】
すなわち、中央部付近の流速が減少しつつある非定常な状態では、計測される流速が「０」となる時点よりも少し前の時点て流量が「０」になる状態が生じていることになるので、この実施の形態では、流速変化率検知手段２６の出力に基づいて流速補正係数設定部２８が適切な流速補正係数Ｋを算出する。なお、流速変化率検知手段２６が流路壁１１の近傍箇所の被計測流体の流れの変化を検知し、この流速変化率検知手段２６からの出力に基づいて流速補正係数設定部２８が流速補正係数Ｋを算出する構成とすることもできる。この場合、流路壁１１の近傍箇所の被計測流体の流速が「０」となった少し後で全体の流量が「０」となることは言うまでもない。
【００３０】
上記超音波流体計測装置では、計測流路１０内の流れの状態が定常流または非定常に流量変化する非定常流の各々に応じて生じる特徴的な流速分布を予め求めるとともに、その流速分布の特質に基づいて種々の流れ状態についての流速補正係数Ｋを実験的に求めて、このようにして求めた流速補正係数Ｋを数表の形でデータベース化して上記流速補正係数記憶部２７に予め記憶されている。したがって、流速補正係数設定部２８は、流速変化率検知手段２６から入力される信号、つまり計測流路１０内の被計測流体の流れ状態の変化に対応した信号に基づいて被検出流体の流れ状態を判別して、その判別結果に対応する流速補正係数Ｋを流速補正係数記憶部２７から読み出して流量演算部３０に対し出力する。流量演算部３０は、流速計測制御部２９で算出して入力される流速のデータと、流速補正係数記憶部２７から入力される流速補正係数Ｋに基づいて流速Ｖを算出した上で、流量Ｑを算出するので、流量Ｑを高精度に求めることができる。
【００３１】
（第２の実施の形態）
図５および図６は本発明の第２の実施の形態に係る超音波流体計測装置の概略構成を示す横断面図および縦断面図であり、これらの図において、図１および図２と同一若しくは同等のものには同一の符号を付して、重複する説明を省略する。この実施の形態が第１の実施の形態と相違するのは以下の構成のみである。すなわち、第１の実施の形態では、流速変化率検知手段２６から入力する流速変化率のデータのみに基づいて流速補正係数設定部２８が被計測流体の流れ状態を判別して、その判別結果に基づく最適の流速補正係数Ｋを流速補正係数記憶部２７から読み出すようにしていたが、この実施の形態では、流速補正係数設定部２８が、流速変化率検知手段２６から入力される流体変化率と、流速計測制御部２９から入力される流速との両方に基づいて計測流路１０内の被計測流体の流れ状態を特定して、その結果に基づき最適な流速補正係数Ｋを流速補正係数記憶部２７から読み出す構成になっている。
【００３２】
したがって、この実施の形態では、図６に矢印で示すように、被計測流体の順方向（図の左側から右方）の流れと逆方向（図の右側から左方）の流れとで流速分布が大きく異なる場合であっても、的確な流速補正係数Ｋを設定することが可能となる。すなわち、図６に示すように、計測流路１０内の流速分布Ｕは流路形状によって大きく異なり、この実施の形態では、計測流路１０に角部３２が存在することにより、この角部３２によって被計測流体のいわゆる剥離流れ３３が生じるために、最大流速Ｕｍａｘ　の位置が流路の高さＨ方向の片側に偏位した流速分布Ｕとなる。したがって、このような場合には、第１の実施の形態の図２に示すような最大流速Ｕｍａｘ　が高さＨ方向の中央部付近にある場合の流速補正係数Ｋとは異なる流速補正係数Ｋを設定しなければ、正確な流量を求めることができない。
【００３３】
そこで、この実施の形態では、計測流路１０が入口側と出口側とで異なる場合であっても、流速変化率検知手段２６からの流速変化率に基づき判別する被計測流体の流れ状態に加えて、流速計測制御部２９からの流速Ｖ、つまり被計測流体の流れの方向と大きさを考慮して、最適な流速補正係数Ｋを設定するので、やはり正確な流量Ｑを算出することができる。
【００３４】
なお、流速変化率は、一対の超音波送受信器１２，１３の送受信信号の時間変化から求めることもできるから、流速計測制御部２９に流速変化率を算出する機能を付加することが可能であり、その場合には、流速変化率検知手段２６が不要となり、コストの低減および装置全体の小型化を測ることができる。
【００３５】
また、流速補正係数Ｋは、被計測流体の流量の大小と、被計測流体の流動方向と、被計測流体の流速の変化率とによって大きく変化するので、これら３種類の流れ状態の要素を組み合わせた少なくとも８通りの値を使い分けることができる。すなわち、上記各実施の形態のように、種々の流れ状態に応じてその時々の最適な流速補正係数Ｋを流速補正係数記憶部２７からその都度読み出すのではなく、計測流路１０内の流速分布が大きく変化する少なくとも３種類の流れ状態のみに基づいて少なくとも８種類の流速補正係数Ｋを使い分けることにより、広範囲な流れ状態に対して効率良く高精度な測定をすることができる。流量の大小や変化率を２種類ではなく、より多くに分割することにより、さらに計測精度を高めることができるのは言うまでもない。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように本発明の超音波流体計測装置よれば、流速変化率検知手段の検知結果に基づいて被計測流体の流れが定常流か非定常流かを判別することができるので、この判別結果に基づいて、超音波送受信器の送受信信号の伝播時間差から求めた被計測流体の流速を補正するための最適な流速補正係数を決定することができる。したがって、非計測流体の流れが脈動流などの非定常なものであっても、流速および流量の計測精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る超音波流体計測装置の概略構成を示す横断面図。
【図２】同上の超音波流体計測装置の概略構成を示す縦断面図。
【図３】同上の超音波流体計測装置における流速が変化する非定常な流れの場合における計測流路内の流速の変化を示す流速分布の説明図。
【図４】同上の非定常な流れの場合における流量の変化の一例を示す説明図。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る超音波流体計測装置の概略構成を示す横断面図。
【図６】同上の超音波流体計測装置の概略構成を示す縦断面図。
【図７】従来の超音波流体計測装置を示す側面図。
【符号の説明】
１０　計測流路
１２，１３　超音波送受信器
２６　流速変化率検知手段
２７　流速補正係数記憶部
２８　流速補正係数設定部
２９　流速計測制御部
３０　流量演算部
３１　流量演算手段
Ｆ　流動方向
【図１】
2004020480.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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