(57)【要約】【課題】複数の光源から放射される光に起因した対物レンズの軸上色収差の影響を低減することのできるカラー顕微鏡を提供する。【解決手段】レーザ顕微鏡１００は、レーザ光源１０を含むレーザ光学系１と、白色光源２０を含む白色光光学系２を備えている。レーザ光学系１は、試料からの応答光が共通対物レンズ１７を通り、第１結像レンズ１６、リレーレンズ１５、第２結像レンズ１８を通って、ピンホールを備えた光絞り部１９ａを通過して第１受光素子１９ｂに入光する。各色光光学系２は、試料からの応答光が共通対物レンズ１７を通り、第１ハーフミラー２２及び第２ハーフミラー２３で反射され、第３の結像レンズ２４によって第２受光素子２５に入光される。【選択図】　　　図１
2004021004.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光源からの光が共通の対物レンズを通って試料に集光され、該試料からの応答光が、前記共通の対物レンズを通って受光手段に入射されることにより得られた情報に基づいてカラー映像用の信号を生成するカラー顕微鏡において、
前記複数の光源からの光が前記対物レンズを通過することにより発生する軸上色収差を吸収するために前記対物レンズと前記試料との間の相対距離を調整するための相対距離調整手段を有することを特徴とするカラー顕微鏡。
【請求項２】
輝度情報を得るための第１の光源を備えた第１光学系と、色情報を得るための第２の光源を備えた第２光学系とを含み、これら第１、第２の光学系が共通の対物レンズを含み、前記第１光学系により獲得した前記輝度情報と前記第２光学系により獲得した前記色情報とを合成することによりカラー映像用の信号を生成するカラー顕微鏡において、
前記第１光学系での前記対物レンズの焦点距離を測定するための第１焦点距離測定手段と、
前記第２光学系での前記対物レンズの焦点距離を測定するための第２焦点距離測定手段と、
前記第１焦点距離測定手段により得られた前記第１光学系での前記対物レンズの焦点距離と、前記第２焦点距離測定手段により得られた前記第２光学系での前記対物レンズの焦点距離との焦点距離差を記憶するためのメモリと、
前記対物レンズと試料との間の相対距離を調整するための相対距離調整手段とを有することを特徴するカラー顕微鏡。
【請求項３】
前記第１光学系により前記輝度情報を得る又は前記第２光学系により前記色情報を得るときに、これに先だって、前記第１光学系での前記対物レンズの焦点距離又は前記第２光学系での前記対物レンズの焦点距離となるように前記メモリに記憶した焦点距離差に基づいて前記相対距離調整手段により前記対物レンズと前記試料との間の相対距離を調整することを特徴とする請求項２に記載のカラー顕微鏡。
【請求項４】
前記第２光学系による前記色情報を１回獲得した後、前記第１光学系により前記輝度情報を複数回獲得する毎に、獲得した輝度情報と前記色情報とを合成することにより前記カラーに基づいてカラー映像用の信号を生成することを特徴とする請求項２又は３に記載のカラー顕微鏡。
【請求項５】
前記第１光学系が単色光の光源を含む共焦点光学系で構成され、
前記第１光学系の第１の光源が可視光を放射し、前記第２光学系の第２の光源が、前記第１の光源とは異なる波長の光を放射することを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載のカラー顕微鏡。
【請求項６】
前記第１光学系の光源の波長が紫外線領域又は赤外線領域の波長であり、前記第２光学系の光源が白色光源からなることを特徴とする請求項５に記載のカラー顕微鏡。
【請求項７】
前記相対距離調整手段が、前記対物レンズを移動させる手段で構成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のカラー顕微鏡。
【請求項８】
前記相対距離調整手段が、前記試料を載せる試料ステージを移動させる手段で構成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のカラー顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はカラー顕微鏡に関する。本発明は、好適にはコンフォーカル走査顕微鏡に適用される。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、共焦点原理を利用したコンフォーカル顕微鏡が知られている。このコンフォーカル顕微鏡は、対物レンズとピンホールを有し、対物レンズの焦点位置に試料がある場合、該ピンホールを通過したレーザ光（応答光）を第１受光素子で受光するので、観察したい高さの部分についての画像（コンフォーカル（共焦点）画像）だけが、鮮明に映し出される（解像度が高くなる）。かかる共焦点画像は白黒（無彩色）の映像となる。
【０００３】
しかし、かかる白黒の映像では情報が少なく、つまり、試料の色彩に関する情報が得られず、傷や付着物の種類の判別など詳細な観察が困難となる場合がある。そのため、特許第３２０５５３０号公報や特開平１１−１４９０７号公報に見られるようなカラー（有彩色）顕微鏡が開発されており、この種のカラー顕微鏡は、一般的には、可視領域の波長の光源が使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、例えば、例えば解像度を高めるために、輝度情報を得るための光源（典型的にはレーザ光源）として紫外線領域または可視光線領域中で短波長領域（４００〜４２０ｎｍ程度）にある波長の単色光を用いた場合、色情報を得るための光源（典型的には白色光源）の波長とは大きく異なることから、色収差の問題が発生する。
【０００５】
この色収差には、横の色収差（倍率色収差）と、縦の色収差（軸上色収差）とが知られているが、異なる光源からの光によって対物レンズに軸上色収差が発生したときには、使用する光源によって焦点距離が大きく異なり、また、例えば短波長の単色光は被写界深度が小さいため、焦点ボケによって十分なる輝度情報又は色情報が得られないという問題が発生する。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、複数の光源から放射される光に起因した対物レンズの軸上色収差の影響を低減することのできるカラー顕微鏡を提供することにある。
【０００７】
波長が大きく異なる複数の光源を用いて良好な画面又は像を得ることのできるカラー顕微鏡を提供することにある。
【０００８】
輝度情報を得るための光の波長と色情報を得るための光の波長とが大きく異なっていたとしても、良好な解像度と良好な色再現性とを両立することのできるコンフォーカルカラー走査顕微鏡を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
かかる技術的課題は、本発明の第１の観点によれば、
複数の光源からの光が共通の対物レンズを通って試料に集光され、該試料からの応答光が、前記共通の対物レンズを通って受光手段に入射されることにより得られた情報に基づいてカラー映像用の信号を生成するカラー顕微鏡を前提として、
前記複数の光源からの光が前記対物レンズを通過することにより発生する軸上色収差を吸収するための前記対物レンズと前記試料との間の相対距離を調整するための相対距離調整手段を有することを特徴とするカラー顕微鏡を提供することにより達成される。
【００１０】
上述した技術的課題は、本発明の第２の観点によれば、
輝度情報を得るための第１の光源を備えた第１光学系と、色情報を得るための第２の光源を備えた第２光学系とを含み、これら第１、第２の光学系が共通の対物レンズを含み、前記第１光学系により獲得した前記輝度情報と前記第２光学系により獲得した前記色情報とを合成することによりカラー映像用の信号を生成するカラー顕微鏡を前提として、
前記第１光学系での前記対物レンズの焦点距離を測定するための第１焦点距離測定手段と、
前記第２光学系での前記対物レンズの焦点距離を測定するための第２焦点距離測定手段と、
前記第１焦点距離測定手段により得られた前記第１光学系での前記対物レンズの焦点距離と、前記第２焦点距離測定手段により得られた前記第２光学系での前記対物レンズの焦点距離との焦点距離差を記憶するためのメモリと、
前記対物レンズと試料との間の相対距離を調整するための相対距離調整手段とを有することを特徴とするカラー顕微鏡を提供することにより達成される。
【００１１】
本発明は、第１光学系と第２光学系とで用いられる共通の対物レンズの色収差補正が十分になされていない波長領域の光を発する光源を使用するときに効果的である。本発明は、最も典型的には、前記第１光学系により前記輝度情報を得る又は前記第２光学系により前記色情報を得るときに、これに先だって、前記第１光学系での前記対物レンズの焦点距離又は前記第２光学系での前記対物レンズの焦点距離となるように前記メモリに記憶した焦点距離差に基づいて前記相対距離調整手段により前記対物レンズと前記試料との間の相対距離が調整される。これによれば、第１又は第２の光学系で輝度情報又は色情報を得るときに、対物レンズの軸上色収差の影響を受けることなく輝度情報又は色情報を獲得することができる。したがって、第１光学系で使用する光源と第２光学系で使用する光源との間で大きく波長の異なっていたとしても良好なカラー画面を得ることができる。
【００１２】
また、一般的に、色情報を獲得するのに用いられる第２光学系の光源による被写界深度は、輝度情報を獲得するのに用いられる第１光学系の光源よりも大きいことから、第２光学系で前記色情報を１回獲得した後、この色情報に基づいて、第１光学系により複数回獲得した輝度情報を合成することにより実用上支障のないカラー映像用の信号を生成することができる。これによれば、カラー顕微鏡の動作工程の幾つかを省くことができるため、カラー映像用信号を素早く生成することが可能になる。
【００１３】
本発明は、前記第１光学系が単色光の光源を含む共焦点光学系で構成されたコンフォーカルカラー顕微鏡に好適に適用される。このコンフォーカルカラー顕微鏡において、輝度情報を得るための第１光学系の光源として、紫外線領域又は赤外線領域の波長の光源を用いることができ、特に、解像度の高い画像を得るために紫外線領域または可視光線領域中で短波長領域（例えば４００〜４２０ｎｍ程度）にある波長の単色光を発する光源を採用しても、軸上色収差を影響を受けることなく良好なカラー画面を得ることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
【００１５】
第１の実施形態（図１〜図４）
　図１において、コンフォーカル走査顕微鏡（レーザ顕微鏡）１００は、レーザ光学系（第１光学系）１と、白色光光学系（第２光学系）２とを備えている。
【００１６】
レーザ光学系１
　レーザ光学系１は、試料ｗの深度に関する情報を検出できる共焦点光学系で、可視領域の波長のレーザ光であってもよいが、赤外線領域又は紫外線領域のレーザ光、好ましくは紫外線領域または可視光線領域中で短波長領域（４００〜４２０ｎｍ程度）にある波長のレーザ光Ｌ１を出射するレーザ光源１０を有する。なお、レーザ光源１０に代えて、赤外線領域又は紫外線領域の波長の単色光を放射する光源、例えば高輝度ランプであってもよく、また、レーザ光学系１は単一であってもよいが、複数であってもよい。複数のレーザ光学系１を具備している場合、各レーザ光学系１は、異なる波長の単色光源を備えることなる。
【００１７】
レーザ光源１０の光軸上には、レーザ光源１０側から、順に、第１のコリメートレンズ１１、偏光ビームスプリッタ１２、１／４波長板１３、二次元走査装置１４、リレーレンズ１５、第１の結像レンズ１６、対物レンズ１７が配設されている。
【００１８】
対物レンズ１７の焦点位置の付近には、試料ステージ３０が配設されており、試料ステージ３０は、ステージ制御回路４０によりＺ方向（上下方向）に駆動制御され、Ｘ、Ｙ方向については手動ハンドルで移動可能となっており、この試料ステージ３０の上下方向位置を調整することにより、対物レンズ１７はレーザ光Ｌ１を試料ｗの表面に集光させる。前述の二次元走査装置１４は、例えば２枚のガルバノミラーから構成され、レーザ光Ｌ１を偏向させることで、試料ｗへの集光位置を試料ｗの表面に沿って二次元的（Ｘ方向及び／又はＹ方向）に走査させる。
【００１９】
上下動可能な試料ステージ３０は、対物レンズ１７との間の相対距離を調整するものであり、この相対距離を調整するのに、図１などの仮想線で模式的に図示したように、対物レンズ１７を上下動させる駆動機構３１を設けてもよい。
【００２０】
試料ｗで反射されたレーザ光（応答光）Ｌ１は、レーザ入射光と同じ経路をたどって、対物レンズ１７、第１の結像レンズ１６、リレーレンズ１５を通り、再び、二次元走査装置１４を介して１／４波長板１３および偏光ビームスプリッタ１２を透過し、第２の結像レンズ１８に向かう。応答光つまり反射光であるレーザ光Ｌ１は、第２の結像レンズ１８で集光されてピンホールを有する光絞り部１９ａを通り、光絞り部１９ａを通過したレーザ光Ｌ１は第１受光素子１９ｂに入射する。第１受光素子１９ｂは、たとえばフォトマルチプライヤまたはフォトダイオードなどで構成され、入射したレーザ光Ｌ１を光電変換して、アナログ光量信号を、出力アンプおよびゲイン制御回路（図示せず）を介して第１Ａ／Ｄコンバータ４１に出力する。
【００２１】
つぎに、レーザ光学系１によって得られる輝度情報について説明する。
【００２２】
前述の光絞り部１９ａは、第２の結像レンズ１８の焦点位置に配設されており、一方、光絞り部１９ａのピンホールは極めて微小であるから、レーザ光Ｌ１が試料ｗ上で焦点を結ぶと、その応答光Ｌ１が、第２の結像レンズ１８によって光絞り部１９ａのピンホールで結像し、第１受光素子１９ｂに入射する受光光量が著しく大きくなり、逆に、レーザ光Ｌ１が試料ｗ上で焦点を結んでいないと、その応答光Ｌ１は、光絞り部１９ａのピンホールを殆ど通過しないので、第１受光素子１９ｂの受光光量が著しく小さくなる。したがって、レーザ光学系１による撮像領域（走査領域）のうち、焦点の合った部分（合焦点の撮像単位）について明るい映像が得られ、一方、それ以外の高さの部分については暗い映像が得られる。なお、レーザ光学系１は、単色光としてレーザ光Ｌ１を用いた共焦点光学系であり、特に、短波長である紫外線領域のレーザ光を用いたときには、分解能に優れた輝度情報を得ることができる。
【００２３】
白色光光学系２
　白色光光学系２は、白色光（色情報用の照明光）Ｌ２を出射する白色光源２０を光源としている。白色光源２０の光軸上には、第２のコリメートレンズ２１、第１のハーフミラー２２、第２のハーフミラー２３および前記対物レンズ１７が配設されており、前記第１のハーフミラー２２において２つの光学系１、２の光軸が合致するように白色光光学系２が配設されている。したがって、白色光Ｌ２は、共通の対物レンズ１７を通ってレーザ光Ｌ１の走査領域と同一の箇所に集光される。
【００２４】
また、試料ｗで反射された白色光（応答光）Ｌ２は、白色入射光と同じ経路をたどって、先ず、共通の対物レンズ１７を通り、次いで第１のハーフミラー２２で反射され、更に、第２のハーフミラー２３で反射され、そして、第３の結像レンズ２４を通り、この第３の結像レンズ２４によってカラーＣＣＤ（第２受光素子）２５の表面で結像する。すなわち、カラーＣＣＤ２５は、光絞り部１９ａと共役ないし共役に近い位置に配設されている。なお、カラーＣＣＤ２５で撮像された画像は、アナログのカラー撮像情報として、ＣＣＤ駆動回路４３に読み出されて第２Ａ／Ｄコンバータ４２に出力される。
【００２５】
ここに、カラー撮像情報とは、光の三原色（赤、緑、青）についての強度からなる映像情報や、輝度情報および色差情報や、水平同期信号およびカラーバースト信号を含んだ複合カラー映像情報など、そのまま、または、加工した後、カラーの映像を映し出すことのできる情報をいう。
【００２６】
つぎに、後述するカラー共焦点画像モードにおいて作動する図２のカラー映像信号作成手段５について説明する。
【００２７】
カラー映像信号作成手段５は、第１受光素子１９ｂからの輝度情報と、カラーＣＣＤ２５からの色情報とを組み合わせて、カラー映像用のデジタル信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏを作成するものである。前記カラー映像信号作成手段５は、第１および第２領域回路５１、５２と、輝度変換回路５３などを備えている。ここに、輝度情報とは、色彩を含まない輝度に関する情報をいい、「色情報」とは、たとえば色差信号のように、色の強度のバランスに関する情報をいう。
【００２８】
前記第１および第２領域回路５１、５２は、図３に示すように、それぞれ、レーザ光学系１および白色光光学系２の撮像領域Ａ１、Ａ２の所定の共通部分を映像領域ＡＯとして選択し、選択した部分についてデジタル信号を出力する。すなわち、図２の第１領域回路５１は、前記映像領域ＡＯについて、カラーＣＣＤ２５の各画素に対応した分解能で輝度信号ｉを輝度用メモリＭｉに記憶させる。一方、前記第２領域回路５２は、前記映像領域ＡＯについて、各画素ごとに赤、緑、青の色強度信号ｒｍ、ｇｍ、ｂｍを第１色強度メモリＭｒ１、Ｍｇ１、Ｍｂ１に記憶させる。なお、色強度信号とは、三原色についての輝度（強度）を含む信号をいう。
【００２９】
前記輝度変換回路５３は、下記の演算式（１）、（２）、（３）にしたがって、各画素についての前記色強度信号ｒｍ、ｇｍ、ｂｍの輝度情報を、輝度信号ｉの輝度情報に置換して、変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏを求め、該信号を第２色強度メモリＭｒ２、Ｍｇ２、Ｍｂ２に記憶させるものである。
【００３０】
Ｒｏ＝Ｉ・Ｒｍ／（Ｒｍ＋Ｇｍ＋Ｂｍ）　・・・（１）
Ｇｏ＝Ｉ・Ｇｍ／（Ｒｍ＋Ｇｍ＋Ｂｍ）　・・・（２）
Ｂｏ＝Ｉ・Ｂｍ／（Ｒｍ＋Ｇｍ＋Ｂｍ）　・・・（３）
【００３１】
ここに、Ｉは輝度信号ｉの輝度であり；
Ｒｍ、ｇｍ、ｂｍは色強度信号ｒｍ、ｇｍ、ｂｍの輝度（強度）であり；
Ｒｏ、Ｇｏ、Ｂｏは変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏの輝度（強度）である。
【００３２】
なお、第１および第２色強度メモリＭｒ１〜Ｍｂ１、Ｍｒ２〜Ｍｂ２は、カラーＣＣＤ２５のうち前述の映像領域Ａｏの部分の画素に対応した記憶部を有している。
【００３３】
このようにして得られた変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏは、カラーＣＣＤ２５からのカラー撮像情報のうちの輝度情報を、第１受光素子１９ｂからの輝度情報に置換した信号となる。前記変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏは、前記第２色強度メモリＭｒ２、Ｍｇ２、Ｍｂ２から読み出されて、Ｄ／Ａコンバータ６０に出力され、更に、加算器６１において同期信号ａが付加されて、アナログの複合カラー映像信号ｃとなる。該複合カラー映像信号ｃはモニタ６２に出力されて、試料ｗの映像が映し出される。
【００３４】
走査顕微鏡１００の使用方法
　走査顕微鏡１００は、領域探索モード、白黒（無彩色）共焦点画像モードおよびカラー共焦点画像モード（第１カラースライス画面モード）の３つのモードのうち１つを選択して用いる。これらのモードの設定は、操作部６３（図２）を操作して設定する。
【００３５】
領域探索モードが選択されると、カラー映像信号作成手段５は図１のレーザ駆動回路４４を停止させると共に、ＣＣＤ駆動回路４３を作動させてカラーＣＣＤ２５により撮像させる。この領域探索モードでは、図２の第２領域回路５２から第１色強度メモリＭｒ１、Ｍｇ１、Ｍｂ１に記憶された色強度信号ｒｍ、ｇｍ、ｂｍが、そのまま、Ｄ／Ａコンバータ６０に出力されて、被写界深度の深い通常の拡大画像がモニタ６２に映し出される。したがって、図１の試料ステージ３０をＸ方向及び／又はＹ方向に移動させることにより、撮像したい領域を探し出すことができる。
【００３６】
白黒共焦点画像モードが選択されると、カラー映像信号作成手段５（図２）は、レーザ光学系１のレーザ駆動回路４４および二次元走査装置１４などを作動させ、レーザ光学系１により撮像させる。この白黒共焦点画像モードでは、図２の第１領域回路５１から輝度用メモリＭｉに記憶された輝度信号ｉが、そのまま、Ｄ／Ａコンバータ６０に出力されて、解像度の高い白黒（無彩色）の拡大画像がモニタ６２に映し出される。
【００３７】
カラー共焦点画像モード（第１スライスモード）が選択されると、以下に説明するように、レーザ駆動回路４４とＣＣＤ駆動回路４３とが交互に駆動される。
【００３８】
第１カラースライス画面モード（図４）
　すなわち、図４のステップＳ１で該モードが選択されると、先ず、ステップＳ２に進み、ステージ制御回路４０により試料ステージ３０をＺ方向（上下方向）に駆動制御しながら白色光学系２により色情報を得るときの対物レンズ１７の焦点距離つまり対物レンズ１７と試料ｗと間の距離を予め測定し、また、同様に、レーザ光学系１により輝度情報を得るときの対物レンズ１７の焦点距離つまり対物レンズ１７と試料ｗとの間の距離を予め測定して、この両者の距離の差つまり白色光源２０の場合とレーザ光源１０の場合との間の焦点距離の差ｒを予め測定し、これをメモリに記憶させる。この焦点距離の差ｒは、実質的に、白色光学系２とレーザ光学系１との軸上色収差である。試料ステージ３０を駆動する代わりに、駆動手段３１により対物レンズ１７を上下移動させることにより、試料ｗとの相対距離を調整するための手段を構成するようにしてもよい。
【００３９】
ついで、ステップＳ３に進み、レーザ光Ｌ１による１画面分の走査がなされた後、ステップＳ４に進む。ステップＳ４では図１のレーザ駆動回路４４が停止し、レーザ１０からレーザ光Ｌ１が出射されなくなる。
【００４０】
次いでステップＳ５に進み、白色光源２０で試料ｗに照射する。この際に、ステージ制御回路４０によりＺ方向（上下方向）に駆動制御して、対物レンズ１７と試料ｗとの間の距離を調整して、先にステップＳ２でメモリに記憶してある焦点距離の差ｒに相当する距離だけ試料ステージ３０を上方又は下方に移動させる。これにより、白色光源２０による対物レンズ１７の焦点距離に試料ｗを位置させることができ、白色光源２０から放射された光は直ちに試料ｗ上に集光される。この試料ｗで反射した白色光はカラーＣＣＤ２５に電荷を蓄積する（ステップＳ６）。
【００４１】
このステップＳ６で得た図２の色強度信号ｒｍ、ｇｍ、ｂｍは、該信号に含まれている輝度情報が前記ステップＳ３のレーザ光走査で得た輝度信号ｉの輝度情報に置換され、変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏとなる。該変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏは、それぞれ、第２色強度メモリＭｒ２、Ｍｇ２、Ｍｂ２に記憶された後、Ｄ／Ａコンバータ６０に出力されてカラーの拡大画像がモニタ６２に映し出される（ステップＳ７）。
【００４２】
次いで、ステップＳ８で、ステージ制御回路４０によりＺ方向（上下方向）に駆動制御して、先にステップＳ５で試料ステージ３０を移動させたのとは逆方向に同じ量だけ試料ステージ３０を移動させて、次のレーザ光走査に備える。すなわち、第１カラースライス画像モードがオフされるまで、上記ステップＳ３〜Ｓ８の動作を反復して、前記レーザ光Ｌ１の走査と、ＣＣＤ駆動回路４３による電荷の蓄積および読み出しが繰り返され、カラー共焦点画像が得られる。
【００４３】
本実施形態の場合、図１のカラーＣＣＤ２５によって撮像する（カラーＣＣＤ２５に電荷を蓄積する）際には、レーザ駆動回路４４を停止してレーザ光Ｌ１がカラーＣＣＤ２５に入射しないようにしている。したがって、レーザ光Ｌ１の色を帯びた映像になることもなく、試料ｗの実際の色に近い色彩の映像が得られる。
【００４４】
なお、レーザ光Ｌ１がカラーＣＣＤ２５に入射しないようにする手段としては、レーザ光Ｌ１を遮光するシャッタを用いたり、あるいは、レーザ光Ｌ１の走査範囲をカラーＣＣＤ２５の撮像領域外に設定するなど種々の方法を採用することができる。また、レーザ光Ｌ１がカラーＣＣＤ２５に入射して、レーザ光Ｌ１の色を帯びても、カラーの映像が得られるので、本発明の範囲に含まれる。
【００４５】
図５以降の図面は、第１実施形態の変形例又は他の実施の形態を示すものであるが、これらにおいて上述した第１の実施の形態に含まれる要素と実質的に同じ要素には同一の参照符号を付すことにより、その説明を省略する。
【００４６】
第１実施形態の変形例（図５）
　上述した第１の実施形態では、操作部６３を操作することにより、領域探索モード、白黒（無彩色）共焦点画像モードおよびカラー共焦点画像モード（第１カラースライス画面モード）の３つのモードのうち１つを選択して用いるようになっていたが、別の付加的な選択肢として又は第１カラースライス画面モード（図４）に代えて次の第２カラースライス画面モード（図５）を用意してもよい。
【００４７】
すなわち、図５のステップＳ１０１で、この第２カラースライス画面モードが選択されると、先ず、ステップＳ１０２に進み、ステージ制御回路４０によりＺ方向（上下方向）に駆動制御しながら白色光学系２により色情報を得るときの対物レンズ１７の焦点距離つまり対物レンズ１７と試料ｗと間の距離を予め測定し、また、同様に、レーザ光学系１により輝度情報を得るときの対物レンズ１７の焦点距離つまり対物レンズ１７と試料ｗとの間の距離を予め測定して、この両者の距離の差つまり白色光源２０の場合とレーザ光源１０の場合との間の焦点距離の差ｒを予め測定し、これをメモリに記憶させる。
【００４８】
ついで、ステップＳ１０３に進み、カウント値（ｉ）をゼロにセットした後、ステップＳ１０４で、図外の入力手段により、操作者は、１回の色情報の取得に対する輝度情報の取得回数ｎを入力する。次いで、ステップＳ１０５で、レーザ光Ｌ１による１画面分の走査がなされた後、ステップＳ１０６に進む。ステップＳ１０６では図１のレーザ駆動回路４４が停止し、レーザ１０からレーザ光Ｌ１が出射されなくなる。
【００４９】
次いでステップＳ１０７に進み、白色光源２０で試料ｗに照射する。この際に、ステージ制御回路４０によりＺ方向（上下方向）に駆動制御して、対物レンズ１７と試料ｗとの間の距離を先にステップＳ１０２でメモリに記憶してある焦点距離の差ｒに相当する距離だけ試料ステージ３０を上方又は下方に移動させる。これにより、白色光源２０から放射された光は直ちに試料ｗ上に集光される。この試料ｗで反射した白色光はカラーＣＣＤ２５に電荷を蓄積する（ステップＳ１０８）。
【００５０】
このステップＳ１０８で得た図２の色強度信号ｒｍ、ｇｍ、ｂｍは、該信号に含まれている輝度情報が前記ステップＳ１０５のレーザ光走査で得た輝度信号ｉの輝度情報に置換され、変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏとなる。該変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏは、それぞれ、第２色強度メモリＭｒ２、Ｍｇ２、Ｍｂ２　に記憶された後、Ｄ／Ａコンバータ６０に出力されてカラーの拡大画像がモニタ６２に映し出される（ステップＳ１０９）。
【００５１】
次いで、ステップＳ１１０で、ステージ制御回路４０によりＺ方向（上下方向）に駆動制御して、先にステップＳ１０７で試料ステージ３０を移動させたのとは逆方向に同じ量だけ試料ステージ３０を移動させて、次のレーザ光走査に備える。
【００５２】
次のステップＳ１１１でカウント値（ｉ：変数）をインクリメントしてカウント値をカウントアップし、次のステップＳ１１２でカウント値（ｉ）が「ｉ＝ｎ」となったか否かを判定し、カウント値がｎよりも小さいときには、ステップＳ１１３に進んで、レーザ光Ｌ１による１画面分の走査が行われ、この走査の結果は、上記ステップＳ１０９と同様の処理がなされモニタ６２に表示される（ステップＳ１１４）。この操作は、ステップＳ１０４で操作者が入力した所定の回数ｎだけ輝度情報のサンプリングが繰り返して行われ、この所定回数の輝度情報のサンプリングの間は、ステップＳ１０８で得た１回の色情報と組み合わせてモニタ表示される。
【００５３】
そして、第２カラースライス画像モードがオフされるまで（ステップＳ１１５）、上記ステップＳ１０５〜１１４の動作を反復して、前記レーザ光Ｌ１の走査と、ＣＣＤ駆動回路４３による電荷の蓄積および読み出しが繰り返される。
【００５４】
この図５の変形例によれば、白色光源２０によるときの被写界深度がレーザ光源１０によるときの被写界深度よりも大きいという特性を利用して、色情報の獲得回数を減じることにより、カラー走査顕微鏡１００のカラースライス画像の更新速度を改善することができる。
【００５５】
ところで、前述のカラー共焦点画像モードで凹凸のある試料ｗを観察すると、焦点（高さ）の合っていない部分の映像が暗くなる。そこで、図６、図７に示すように、かかる凹凸のある試料ｗの観察に適した凹凸用カラー共焦点画像（カラー超深度画面）モードを備えているのがよい。
【００５６】
コンフォーカル走査顕微鏡（レーザ顕微鏡）１００が凹凸用カラー共焦点画像（カラー超深度画面）モードを具備している場合、図６に示すようなカラー映像信号作成手段５を含むのがよい（カラー映像信号作成手段５以外は図２と同一の構成）。すなわち、カラー映像信号作成手段５は最大輝度記憶部ＭｍａｘおよびＺ座標記憶部Ｍｚからなるメモリを有するのがよい。最大輝度記憶部Ｍｍａｘは、走査領域における各撮像単位（カラーＣＣＤ２５の各画素に対応する単位）ごとに、第１受光素子１９ｂ（図２）が受光した最大輝度Ｉｍａｘを記憶するものである。前記Ｚ座標記憶部Ｍｚは、輝度Ｉが最大輝度ＩｍａｘとなったときのＺ座標（試料ステージ３０の高さ）を各撮像単位ごとに記憶するものである。輝度比較手段５４は最大輝度記憶部Ｍｍａｘに記憶されている最大輝度Ｉｍａｘと、輝度用メモリＭｉに新たに記憶された輝度Ｉとを各撮像単位ごとに比較するものである。この比較の結果、各撮像単位ごとにメモリ輝度用メモリＭｉに新たに記憶された輝度Ｉが最大輝度Ｉｍａｘよりも大きければ、当該輝度Ｉを最大輝度として最大輝度記憶部Ｍｍａｘに記憶させる。Ｍｒｉｉ、Ｍｇｉｉ、Ｍｂｉｉは輝度Ｉが最大輝度Ｉｍａｘになった時のＺ座標位置にγを加えた位置でのｒｍ、ｇｍ、ｂｍの値をメモリする。また、輝度変換回路５３以下の処理は、先の第１実施例の輝度変換回路３２で詳述した変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏ及びカラー撮像情報のうち輝度情報に関する処理と同様の処理を行う。前記第２色強度メモリＭｒ２、Ｍｇ２、Ｍｂ２は合成撮像情報記憶部を構成しており、前記Ｚ座標記憶部Ｍｚに記憶された各画素のＺ座標＋γにおいてカラーＣＣＤ２５の各画素が受光したカラー撮像情報のうち、輝度情報を最大輝度Ｉｍａｘで置換した信号を記憶する。第２色強度メモリＭｒ２、Ｍｇ２、Ｍｂ２は、図１の試料ステージ３０の高さが変化して第１光学系１と第２光学系が各々合焦点となったときの輝度情報と色情報を合成した情報を各画素（撮像単位）ごとに記憶する。
【００５７】
第１凹凸用カラー共焦点画像（第１カラー超深度画面）モード（図７）
　この第１カラー超深度画面モードは、前述した領域探索モード、白黒（無彩色）共焦点画像モード、第１及び／又は第２のカラースライス画面モードなどの動作モードの一つに加えられて、操作者が操作部６３を操作することにより、この第１カラー超深度画面モードを動作させることができる（図７のステップＳ２０１）。
【００５８】
この図７において、ステップＳ２０２において、ステージ制御回路４０によりＺ方向（上下方向）に駆動制御しながら白色光学系２により色情報を得るときの対物レンズ１７の焦点距離つまり対物レンズ１７と試料ｗと間の距離を予め測定し、また、同様に、レーザ光学系１により輝度情報を得るときの対物レンズ１７の焦点距離つまり対物レンズ１７と試料ｗとの間の距離を予め測定して、この両者の距離の差つまり白色光源２０の場合とレーザ光源１０の場合との間の焦点距離の差ｒを予め測定し、これをメモリに記憶させる。
【００５９】
次いで、ステップＳ２０３で試料ステージ３０を上昇端まで移動させた後、ステップＳ２０４で、第２光学系２（白色光源）によって撮像し、カラーＣＣＤ２５に電荷を蓄積してカラー撮像情報を得る。
【００６０】
つづいて、図７のステップＳ２０５に進み、第１光学系１によってレーザ光Ｌ１を走査して撮像することで、輝度情報を得る。
【００６１】
そして、このステップＳ２０５において獲得した輝度情報を図６の最大輝度記憶部Ｍｍａｘに、各撮像単位（カラーＣＣＤ２５の画素に対応する単位）ごとに記憶させ、当該撮像時のＺ座標をＺ座標記憶部Ｍｚに記憶させる。
【００６２】
次にステップＳ２０６に進み、試料ステージ３０（図１）を１段階下降させた後、図７のステップＳ２０７に進む。このステップＳ２０７では、再び、第２光学系２によってカラー撮像情報を得て、この内容を図６の第１色強度メモリＭｒ１、Ｍｇ１、Ｍｂ１に各画素ごとに記憶させ、図７のステップＳ２０８に進む。
【００６３】
ステップＳ２０８では、第１光学系１によってレーザ光Ｌ１を走査しながら、以下に説明するように、最大輝度記憶部Ｍｍａｘの最大輝度Ｉｍａｘを更新記憶させると共に、最大輝度Ｉｍａｘを更新した撮像単位については第２色強度メモリＭｒ２、Ｍｇ２、Ｍｂ２に記憶させていた変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏを更新記憶させる。
【００６４】
次いで、図７のステップＳ２０９に進み、試料ステージ３０が下降端＋γでなければ、ステップＳ２０６に戻り、一方、試料ステージ３０が下降端＋γであれば、ステップＳ２１０に進んで、変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏがＤ／Ａコンバータ６０に出力された後、複合カラー映像信号ｃが得られる。つまり、図７のステップＳ２０６〜ステップＳ２０９を繰り返すことで、前記図６の最大輝度記憶部Ｍｍａｘの最大輝度Ｉｍａｘと、変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏの更新を繰り返す。したがって、ステップＳ２１０で出力される変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏの輝度は、下記の式（２１）〜（２３）で表される。
【００６５】
Ｒｏ＝Ｉｍａｘ・Ｒｍ／（Ｒｍ＋Ｇｍ＋Ｂｍ）　　・・・（２１）
Ｇｏ＝Ｉｍａｘ・Ｇｍ／（Ｒｍ＋Ｇｍ＋Ｂｍ）　　・・・（２２）
Ｂｏ＝Ｉｍａｘ・Ｂｍ／（Ｒｍ＋Ｇｍ＋Ｂｍ）　　・・・（２３）
【００６６】
なお、図７のステップＳ２１１でモードＯＦＦであれば、当該モードを終了する。
【００６７】
このように、第１カラー超深度画面モード（第１凹凸用カラー共焦点画像モード）では、図１のカラーＣＣＤ２５の各画素ごとに、第１光学系１と第２光学系２が各々合焦点となった際の輝度情報及び色情報についてのカラー撮像情報を用いるので、凹凸があっても各画素ごとに焦点の合った映像が得られるから、通常のカラーの拡大画像よりもピントの合った映像が得られる。
【００６８】
ところで、前述した第１実施例及びその変形例にあっては、輝度変換を行ったが、この輝度変換は必ずしも必要はない。すなわち、前述の図７のステップＳ２０５およびステップＳ２０８で輝度変換を行わずに、Ｍｒｉｉ、Ｍｇｉｉ、Ｍｂｉｉ（図６）に記憶されているカラー撮像情報を第２色強度メモリＭｒ２、Ｍｇ２、Ｍｂ２に出力して、つまり、下記の式（３１）〜（３３）に従って、複合カラー映像信号ｃを得てもよい。
【００６９】
Ｒｏ＝Ｒｍ　・・・（３１）
Ｇｏ＝Ｇｍ　・・・（３２）
Ｂｏ＝Ｂｍ　・・・（３３）
【００７０】
この場合も、図６、図７に例示の変形例と同様に、図１のカラーＣＣＤ２５の各画素ごとに合焦点となった際のカラー撮像情報を用いるので、通常のカラー拡大画像と異なり、厳密にピントの合った映像が得られる。
【００７１】
第２凹凸用カラー共焦点画像（第２カラー超深度画面）モード（図８）
この第２カラー超深度画面モードは、上述した第１カラー超深度画面モード（図７）の変形例である。したがって、前述した領域探索モード、白黒（無彩色）共焦点画像モード、第１及び／又は第２のカラースライス画面モードなどの動作モードの一つに加えられて、操作者が操作部６３（図２）を操作することにより、この第２カラー超深度画面モードを動作させることができる（図８のステップＳ３０１）。
【００７２】
この図８に示すフローチャートにおいて、先に説明した第１カラー超深度画面モード（図７）と実質的に同じ工程にはステップ番号に括弧書きで図７のステップ番号を付記することにより、適宜、その説明を省略又は援用する。
【００７３】
ステップＳ３０２でこの第２カラー超深度画面モードに入ると、ステップＳ３０２に進む。このステップＳ３０２は、第１モードでのステップＳ２０２（図７）と同様に、焦点距離差ｒを予め測定して、これをメモリに記憶させる。次いで、ステップＳ３０３に進み、このステップＳ３０３で、図外の入力手段により、操作者は、１回の色情報の取得に対する輝度情報の取得回数ｎを入力する。
【００７４】
次いで、ステップＳ３０４で、第１モードでのステップＳ２０３（図７）と同様に、試料ステージ３０を上昇端まで移動させた後、ステップＳ３０５で、第１モードでのステップＳ２０４と同様に、第２光学系２（白色光源）によって撮像し、カラーＣＣＤ２５に電荷を蓄積してカラー撮像情報を得る。
【００７５】
次いで、ステップＳ３０６でカウント値（ｉ）をゼロにセットして、次のステップＳ３０７に進み、第１モードでのステップＳ２０５（図７）と同様に、第１光学系１によってレーザ光Ｌ１を走査して撮像することで、輝度情報を得る。
【００７６】
次にステップＳ３０８に進み、第１モードでのステップＳ２０６（図７）と同様に、試料ステージ３０（図１）を１段階下降させた後、ステップＳ３０９に進んで、カウント値（ｉ）をカウントアップする。
【００７７】
次のステップＳ３１０で、第１モードでのステップＳ２０８と同様に、第１光学系１によってレーザ光Ｌ１を走査しながら、最大輝度記憶部Ｍｍａｘの最大輝度Ｉｍａｘを更新記憶させると共に、最大輝度Ｉｍａｘを更新した撮像単位については第２色強度メモリＭｒ２、Ｍｇ２、Ｍｂ２に記憶させていた変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏを更新記憶させる。すなわち、レーザ光Ｌ１を走査して新たに図６の輝度用メモリＭｉに記憶された輝度Ｉと、最大輝度記憶部Ｍｍａｘに記憶されている最大輝度Ｉｍａｘとを、各撮像単位ごとに、輝度比較手段５４が比較する。該比較の結果、Ｉ＞Ｉｍａｘであれば、当該撮像単位については、輝度比較手段５４が当該輝度Ｉを新たな最大輝度Ｉｍａｘとして最大輝度記憶部Ｍｍａｘに記憶させると共に、第１色強度メモリＭｒ１、Ｍｇ１、Ｍｂ１に記憶されている色強度信号ｒｍ、ｇｍ、ｂｍから最大輝度位置＋γでの色情報つまりカラー撮像情報を輝度変換して、変換色強度信号ｒ０、ｇ０、ｂ０として第２色強度メモリＭｒ２、Ｍｇ２、Ｍｂ２の当該撮像単位のアドレスに更新記憶させる。一方、前記比較の結果、輝度Ｉが最大輝度Ｉｍａｘ以下であれば、当該撮像単位については、最大輝度Ｉｍａｘ及び変換色強度信号ｒ０、ｇ０、ｂ０の更新をしない。なお、ｎ個分の輝度情報に対して１個のカラー撮像情報が対応するため、採用すべきカラー撮像情報は最大輝度＋γにもっとも近いＺ位置でのカラー撮像情報となる。
【００７８】
次のステップＳ３１１では、カウント値（ｉ）が「ｉ＝ｎ」となったか否かを判定し、カウント値がｎよりも小さいときには、ステップＳ３０８に進んで、同じ色情報を用いて輝度情報のサンプリングを繰り返す。
【００７９】
ステップＳ３１１は、カウント値（ｉ）が「ｉ＝ｎ」、つまり操作者が入力した所定回数の輝度情報のサンプリングが終了したら、ステップＳ３１２に進んで、試料ステージ３０が下降端に存在しているか否かを判定し、試料ステージ３０が下降端＋γでなければ、ステップＳ３０５に戻り、一方、試料ステージ３０が下降端＋γであれば、ステップＳ３１３に進んで、第１モードでのステップＳ２１０と同様に、変換色強度信号ｒｏ、ｇｏ、ｂｏがＤ／Ａコンバータ６０に出力された後、複合カラー映像信号ｃが得られる。
【００８０】
第２の実施形態（図９）
　前記第１の実施形態では、試料ｗの表面および第１受光素子１９ｂにおいて点状に集光するレーザ光Ｌ１を用いたが、試料ｗの表面および第１受光素子１９ｂにおいて線状に集光するラインレーザ光Ｌ１を用いてもよい。すなわち、図９に示す第２の実施形態のレーザ顕微鏡２００のように、レーザ光Ｌ１に代えてＹ方向に長いラインレーザ光Ｌ１を用いると共に、点状の第１受光素子１９ｂに代えてＹ方向に長い一次元ＣＣＤ１９Ａを用い、更に、二次元走査装置１４に代えて一次元走査装置１４Ａを用いる。この場合、図９（ｂ）のように、ラインレーザ光Ｌ１が試料ｗの表面で集光した際の長手方向に直交する方向に、ラインレーザ光Ｌ１を走査する。なお、光絞り部１９ａはスリット状（溝状）にする。
【００８１】
また、第１の実施形態では、試料ｗで反射された白色光（応答光）Ｌ２が、対物レンズ１７と第１の結像レンズ１６との間に配置した第１のハーフミラー２２で反射されるようになっていたが、この第２の実施形態の顕微鏡２００では、図１の第１の結像レンズ１６と第３の結像レンズ２４を共通化させることで、第２のハーフミラー２３が第１結像レンズ１と第１のリレーレンズ１５との間に配置される。
【００８２】
したがって、試料ｗで反射された白色光（応答光）Ｌ２は、対物レンズ１７、第１の結像レンズ１６を通り、次いで、第２のハーフミラー２２で反射され、カラーＣＣＤ（第２受光素子）２５の表面で結像するようになっている。
【００８３】
前記第２の実施形態では、図９のレーザ光学系１の第１受光素子１９Ａの前方に光絞り部１９ａを設けたが、該光絞り部１９ａは必ずしも設ける必要はない。
【００８４】
第３の実施形態（図１０）
　図１０に示す第３の実施形態のレーザ顕微鏡３００のように、第２の結像レンズ１８の焦点の位置に白黒用の一次元ＣＣＤ１９Ａを設け、第１の一次元走査装置１４Ａを第１のコリメートレンズ１１と偏光ビームスプリッタ１２の間に設け、第２の一次元走査装置１４Ｂを１／４波長板１３と第１リレーレンズ１５との間に設けてもよい。
【００８５】
この第３の実施形態の顕微鏡３００では、第２のハーフミラー２３を、図１と同様に、対物レンズ１７と第１の結像レンズ１６との間に配置してもよく、或いは、図９に図示のように、第１結像レンズ１６と第１リレーレンズ１５との間に配置してもよい。
【００８６】
第４の実施形態（図１１）
　図１１に示す第４の実施の形態のレーザ顕微鏡４００は、図１の第１の実施の形態のレーザ顕微鏡１００と図９の第３の実施の形態のレーザ顕微鏡３００とを組み合わせたものである。すなわち、レーザ光源１０から第１のリレーレンズ１５までの光路構成と第１リレーレンズ１５から第１受光素子１９ｂまでの光路構成は第１実施の形態のレーザ顕微鏡１００と同一であり、また、第１リレーレンズ１５と対物レンズ１７間の光路構成は第３の実施の形態のレーザ顕微鏡３００と同一である。
【００８７】
以上、本発明の好ましい実施の形態を説明したが、例えば、図１、図９、図１０及び図１１の第２光学系２において、第２受光素子として、カラーＣＣＤの他に、前方に回転ＲＧＢフィルタを用いた二次白黒面受光素子（例えばＣＣＤ）であってもよいし、ダイクロックミラー群と各々がＲＧＢフィルタ用の３つの二次白黒面受光素子であってもよく、また、ＭＯＳ型などの他の固体撮像素子や複数の撮像管を組み合わせたテレビカメラなどを用いることもできる。
【００８８】
なお、レーザ光Ｌ１を走査する走査装置を白色応答光に対して兼用する場合は、次のような例が考えられる。図１１の場合は、二次元走査装置１４がＸ方向走査部とＹ方向走査部とより構成（Ｙ方向走査部が第１リレーレンズ１５側、言い換えれば、白色応答光を最初にＹ方向に走査する）されている場合、Ｙ方向走査部とＸ方向走査部との間に第２のハーフミラー２３を配置してもよい。この場合、第２受光素子としては一次元カラー受光素子や、前方に回転ＲＧＢフィルタを設けた一次元白黒受光素子や、ダイクロックミラー群と３つの一次元白黒受光素子を用いる。
【００８９】
また、図９と図１０の場合は、１／４波長板１３と一次元走査装置１４Ａ（図１０においては１４Ｂ）の間に第２のハーフミラー２３を配置してもよい。この場合、第２受光素子としてはダイクロックミラー群と３つの一次元白黒受光素子を用いる。なお、第２受光素子として一次元カラー受光素子や、前方に回転ＲＧＢフィルタを設けた一次元白黒受光素子も用いることができるが、この場合は、第２受光素子を第１受光素子として使用できる。但し、回転ＲＧＢフィルタは、ＲＧＢ以外に白色応答光を直接一次元白黒受光素子に導く部分（開口部など）が必要となる。
【００９０】
同様に、図１１においても、二次元走査装置１４と１／４波長板１３との間に第２ハーフミラー２３を配置してもよい。この場合、第２受光素子としては、前方に回転ＲＧＢフィルタを設けた二次元受光素子や、ダイクロックミラー群と３つの二次元受光素子を用いる。
【００９１】
なお、前述した各々の第２のハーフミラー２３の配置の変形例において、第２のハーフミラー２３の配置が変更されたことに伴い、第２受光素子２５、ＣＣＤ駆動回路４３及び第２Ａ／Ｄ４２の配置も変更されることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の走査顕微鏡の概略構成図である。
【図２】ブロック図である。
【図３】撮像領域を示す平面図である。
【図４】第１カラースライス画面モードでの操作手順を説明するためのフローチャートである。
【図５】第２カラースライス画面モードでの操作手順を説明するためのフローチャートである。
【図６】第１実施形態の他の変形例に関するカラー映像信号作成手段のブロック図である。
【図７】第１カラー超深度画面モードでの操作手順を説明するためのフローチャートである。
【図８】第２カラー超深度画面モードでの操作手順を説明するためのフローチャートである。
【図９】第２実施形態の走査顕微鏡の概略構成図である。
【図１０】第３実施形態の走査顕微鏡の概略構成図である。
【図１１】第４実施形態の走査顕微鏡の概略構成図である。
【符号の説明】
１：第１光学系
１６：対物レンズに隣接した第１の結像レンズ
１７：共通対物レンズ
１９ｂ：第１受光素子
２：第２光学系
２０：色情報用の照明光（白色光源）
２５：第２受光素子
３１：対物レンズを上下動させる駆動手段
４０：試料ステージ制御回路
Ｌ１：レーザ光又は高輝度ランプ
Ｌ２：白色光
【図１】
2004021004.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2004021004.tif 000011
【図１０】
2004021004.tif 000012
【図１１】
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