(57)【要約】【課題】ＦＰＣに貼付けられたＡＣＦテープの貼付け状態を仮圧着の段階で光学的に検出し、不良品を仮圧着の段階で除外することで不良率を低下させ、不良品を廃棄することなく修復して使用することができるフレキシブル基板を液晶パネルに圧着する方法を提供する。【解決手段】ＦＰＣ７にＡＣＦテープ１２を貼付け、仮圧着位置で、ＦＰＣ７と液晶パネル１のアライメントマークの位置合わせと、ＦＰＣ７と液晶パネル１の仮圧着と、ＡＣＦテープ１２の貼付け状態の良否の検査を行い、貼付け状態の良品は本圧着工程へ移送して本圧着を行い、不良品は排出領域へ取り出すようにする。【選択図】　　　図１
2004021051.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレキシブル基板を液晶パネルにＡＣＦテープを用いて圧着する方法において、フレキシブル基板にＡＣＦテープを貼付け、このフレキシブル基板と液晶パネルを仮圧着する位置で、上記フレキシブル基板のアライメントマークと液晶パネルのアライメントマークの位置合わせと、フレキシブル基板と液晶パネルの仮圧着と、ＡＣＦテープの貼付け状態の良否の検査とを行なうことを特徴とするフレキシブル基板を液晶パネルに圧着する方法。
【請求項２】
フレキシブル基板を吸着保持して間歇移送する移送機構の吸着ツールを移動自在とし、上記吸着ツールの各停止位置を、フレキシブル基板の受け取り位置と、フレキシブル基板に対するＡＣＦテープの貼付け位置と、フレキシブル基板と液晶パネルの仮圧着位置と、不良品の排出位置に設定し、上記仮圧着位置に、液晶パネルを上下と回動及び平面的に位置調整可能となるパネルテーブルで支持し、吸着ツールでフレキシブル基板と液晶パネルを仮圧着する仮圧着ユニットが配置され、この仮圧着位置に、吸着ツールの移動とパネルテーブルの移動によりフレキシブル基板と液晶パネルのアライメントマークの位置合わせを行うと共に、フレキシブル基板と液晶パネルの仮圧着後に、アライメントマーク周辺部分のＡＣＦテープの貼付け状態の良否を光学的に判断する検査手段を配置したフレキシブル基板を液晶パネルに圧着する装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、フレキシブル基板を液晶パネルに圧着する方法と装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器のディスプレイとして多用されている液晶パネル１は、図８に示すように、第１のガラス基板２と第２のガラス基板３を貼合わせ、その間に液晶を封入すると共に、その周囲に半導体素子４が取り付けられ、端部には狭いピッチで電極５が一列に形成され、電極５の両端部に点状のアライメントマーク６が施された構造になっている。
【０００３】
上記液晶パネル１の電極５に接続されるドライバのフレキシブル基板７は、図７に示すように両端に電極８、９が設けられ、液晶パネル１の電極５と接続する側の電極８は液晶パネル１の電極５と一致する条件で保護部１０から所定長さだけ露出し、電極８の両端部に輪状のアライメントマーク１１が、液晶パネル１のアライメントマーク６と一致する間隔で施され、アライメントマーク１１と反対側の位置に、固定用の孔１４が設けられている。
【０００４】
なお、上記フレキシブル基板７としては、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）、テープオートメーテッドボンデング部品（ＴＡＢ部品）等を挙げることができ、以降の説明においてこれらを総称して単にＦＰＣ７と称する。
【０００５】
上記液晶パネル１の電極５にＦＰＣ７を接続する方法としては、異方性導電テープ（以下ＡＣＦテープという）１２を用いる方法が一般的である。このＡＣＦテープ１２は、導電性粒子を含む粘着性のあるテープであり、図４に示すように、取り扱いを簡便にするため、その一面側に離型紙１３が貼着されている。
【０００６】
従来、ＡＣＦテープ１２を用いて液晶パネル１にＦＰＣ７を貼付ける方法は、先ず、液晶パネル１側に離型紙１３から剥がしたＡＣＦテープ１２を貼付け、次に、ＡＣＦテープ１２上にＦＰＣ７を圧着する方法が採られている。このとき、ＡＣＦテープ１２は、液晶パネル１とＦＰＣ７の重ね合わせ量に見合う幅のものを用いていたため、液晶パネル１の外側において、圧着実装されたＦＰＣ７の電極８の一部に剥き出し部分が発生する。
【０００７】
このように、電極８の一部に剥き出し部分があると、その剥き出し部分が断線や腐食の原因となって不良品の発生率が高くなる。
【０００８】
従来、このような電極の剥き出し部分は、フッソ樹脂等を塗布し、その後、ＵＶ照射で硬化させることにより、剥き出し部分をマスクするようにしているが、このような方法では、フッソ樹脂等を塗布して硬化させる工程が別途必要になり、その結果、コスト上昇の要因となるばかりでなく、効率も悪くなる。
【０００９】
上記のような電極の剥き出し部分を覆うため、広幅のＡＣＦテープ１２を使用することも考えられるが、ＡＣＦテープ１２の液晶パネル１からはみ出た部分がＦＰＣ７側に接着しないため、実際に広幅のＡＣＦテープ１２を使用することができない。
【００１０】
また、従来の液晶パネル１における電極は適当な間隔を設けて複数組を設け、各電極群ごとにＦＰＣを接続するようになっており、このような液晶パネルとＦＰＣの圧着に使用しているＡＣＦテープ１２の長さは、液晶パネルの電極８を設けた辺に沿って長い一本の連続したものを使用している。このため、ＦＰＣ７間の各隙間の間にもＡＣＦテープ１２が貼付けられることになるが、ＦＰＣ７間のＡＣＦテープ１２は不要な部分となる。
【００１１】
このため、従来の圧着方法では、ＡＣＦテープ１２の余分な使用があるため、不経済になるばかりでなく、仮圧着や本圧着の工程時に圧着ツールがこのＡＣＦテープ１２の露出部分に上記圧着ツールが接着しないような処理、例えば、フッソ樹脂系シートを挟むようにする必要があり、これらの処理に手間がかかるという問題がある。
【００１２】
また、液晶パネル１にＦＰＣ７を接続し、ディスプレイとして正しく組み立てるには、ＡＣＦテープ１２を端部の電極の上に正しく貼付けられていなければならないと共に、貼付け前にＡＣＦテープ１２から離型紙１３が完全に剥離されていなければならず、そのため、液晶パネル１に対するＡＣＦテープ１２の貼付け状態を検査する必要があり、この検査のオペレータによる目視検査では、能率が悪いだけでなく、検査ミスもおかしやすいため、液晶パネル１に貼付けられたＡＣＦテープ１２の貼付け状態を光学的に検査する方法が、特開平９−３４３７２号で提案されている。
【００１３】
この検査方法は、液晶パネルのガラス基板に貼付けられたＡＣＦテープを、ガラス基板側から透過光を当てて認識し、輝度のヒストグラムで良否を判定するようになっているが、ＦＰＣ７に貼付けられたＡＣＦテープの貼付け状態を自動的に検査する手段は存在しなかった。
【００１４】
上記のように、液晶パネル１側にＡＣＦテープ１２を貼付け、このＡＣＦテープ１２上にＦＰＣ７を圧着する方法は、上述したようないくつかの問題点があり、このため、最近では、ＦＰＣ７側にＡＣＦテープ１２を先に貼付け、このＦＰＣ７を液晶パネル１に貼付けるような工程に変わってきた。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ＦＰＣ７側にＡＣＦテープ１２を先に貼付けるには、ＡＣＦテープ１２を貼付ける工程で、離型紙１３を残してＡＣＦテープ１２をハーフカットするため、テープエッジに、変形やめくれ、浮き上がり等が発生する。その結果、ＡＣＦテープ１２が貼られていない状態（特に両端部分）が発生し、圧着後の製品に不良品が生じるという問題がある。
【００１６】
そこで、この発明の課題は、ＦＰＣに貼付けられたＡＣＦテープの貼付け状態を仮圧着の段階で光学的に検出し、不良品を仮圧着の段階で除外することで不良率を低下させ、不良品を廃棄することなく修復して使用することができ、しかも、位置決め、仮圧着、ＡＣＦテープの貼付け状態の検査が同一の工程で行なえ、作業効率の向上が図れるフレキシブル基板を液晶パネルに圧着する方法及び装置を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記のような課題を解決するため、方法の発明は、フレキシブル基板を液晶パネルにＡＣＦテープを用いて圧着する方法において、フレキシブル基板にＡＣＦテープを貼付け、このフレキシブル基板と液晶パネルを仮圧着する位置で、上記フレキシブル基板のアライメントマークと液晶パネルのアライメントマークの位置合わせと、フレキシブル基板と液晶パネルの仮圧着と、ＡＣＦテープの貼付け状態の良否の検査とを行なう構成を採用したものである。
【００１８】
また、装置の発明は、フレキシブル基板を吸着保持して間歇移送する移送機構の吸着ツールを移動自在とし、上記吸着ツールの各停止位置を、フレキシブル基板の受け取り位置と、フレキシブル基板に対するＡＣＦテープの貼付け位置と、フレキシブル基板と液晶パネルの仮圧着位置と、不良品の排出位置に設定し、上記仮圧着位置に、液晶パネルを上下と回動及び平面的に位置調整可能となるパネルテーブルで支持し、吸着ツールでフレキシブル基板と液晶パネルを仮圧着する仮圧着ユニットが配置され、この仮圧着位置に、吸着ツールの移動とパネルテーブルの移動によりフレキシブル基板と液晶パネルのアライメントマークの位置合わせを行うと共に、フレキシブル基板と液晶パネルの仮圧着後に、アライメントマーク周辺部分のＡＣＦテープの貼付け状態の良否を光学的に判断する検査手段を配置した構成を採用したものである。
【００１９】
上記移送機構は、円形に形成したインデックステーブルの下部で周囲の位置に四個の吸着ツールを等間隔の配置で取り付け、インデックステーブルが吸着ツールの配置間隔に一致する角度だけ間歇回転し、各吸着ツールは、インデックステーブルに対して昇降動するように取り付けられ、各吸着ツールの停止位置が、ＦＰＣの受け取り位置と、ＦＰＣに対するＡＣＦテープの貼付け位置と、ＦＰＣと液晶パネルの仮圧着位置と、不良品の排出位置に設定されている。
【００２０】
上記ＦＰＣの受け取り位置には、積み重ねもしくは並べられたパレット上のＦＰＣを吸着し、このＦＰＣを受け取り位置に停止する吸着ツールに供給するための搬送テーブルが配置されている。
【００２１】
また、ＡＣＦテープの貼付け位置に配置したＡＣＦテープ切断供給機構は、吸着ツールの直下に配置され、離型紙を下にしたＡＣＦテープを支持するバックアップベースと、バックアップベースのテープ入側に位置し、離型紙を残してＡＣＦテープをカットするカッターと、ＦＰＣを吸着した吸着ツールの下降でＦＰＣにＡＣＦテープを貼付け、バックアップベースが下降すると吸着ツールの下部に待機位置から接近動し、ＦＰＣに貼付けられたＡＣＦテープから離型紙を剥がす剥がしローラとで形成されている。
【００２２】
上記ＦＰＣと液晶パネルの仮圧着位置に配置した仮圧着ユニットは、上面で液晶パネルを吸着保持し、Ｘ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動可能となるパネルテーブルと、吸着ツールの下方に位置し、パネルテーブルが前進したとき、液晶パネルのＦＰＣ貼付け部分の下部を支持する透明の受台とで形成されている。
【００２３】
この仮圧着位置に配置した検査手段は、受台の上部に透過光を照射する光源を配置し、受台の下方位置にＦＰＣのアライメントマークと液晶パネルのアライメントマークを確認し、かつ、両アライメントマーク周辺部のＡＣＦテープの貼付け状態を撮影して検査するＣＣＤカメラを設置し、ＣＣＤカメラの画像を処理するための画像処理装置とで形成され、ＦＰＣのアライメントマークと液晶パネルのアライメントマークの位置合わせは、ＦＰＣのアライメントマークを確認後、液晶パネルのアライメントマークを検出し、この検出信号に基づいてパネルテーブルを移動させることにより、液晶パネルのアライメントマークをＦＰＣのアライメントマークに一致させることにより行なう。
【００２４】
また、ＡＣＦテープの貼付け状態の検査は、アライメントマーク周辺部分をＣＣＤカメラで撮影し、画像処理装置により基準点かどうかを判断することで、パネルテーブルを移動させて液晶パネルのアライメントマークを画像中心に合わせる。
【００２５】
次に、画像処理装置により、ＣＣＤカメラで撮影した画像を基に、２５６階調の輝度を基準の輝度を境に二つの輝度に振り分け、グレイサーチ画像を２値化（白黒）し、所要数の検査枠を設定して斑点状に映った導電粒子の斑点面積、塊数を基準と照らし合わせ、ＡＣＦテープの有無の判定を行なうものである。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図示例と共に説明する。なお、液晶パネルとＦＰＣ及びＡＣＦテープについては、従来の技術の項と同一の符号を使用する。
【００２７】
図１は、ＦＰＣ７を液晶パネル１に圧着する装置の平面図、図２はこの装置における仮圧着部の構造を示している。
【００２８】
同図において、ＦＰＣ７を間歇移送する移送機構２１は、円形に形成したインデックステーブル２２の下部で周囲の位置に四個の吸着ツール２３を等間隔の配置で取り付け、インデックステーブル２２が吸着ツール２３の配置間隔に一致する角度だけ間歇回転し、各吸着ツール２３は、下面に吸着ヘッド部２４と吸着パッド２５を備え、ＦＰＣ７を水平に吸着保持するようになっており、この吸着ツール２３は、インデックステーブル２２の支持台２６に対して昇降軸２７で上下動するように取り付けられ、図示省略したが、昇降軸２７に連結したシリンダやカム等の適宜駆動手段で所定ストロークの上下動が付与される。
【００２９】
上記各吸着ツール２３の各停止位置が、ＦＰＣ７の受け取り位置ａと、ＦＰＣ７に対するＡＣＦテープ１２の貼付け位置ｂと、ＦＰＣ７と液晶パネル１の仮圧着位置ｃと、不良品の排出位置ｄに順次設定されている。
【００３０】
上記ＦＰＣ７の受け取り位置ａには、積み重ねもしくは並べられたパレット上のＦＰＣ７を吸着し、このＦＰＣ７を受け取り位置ａに停止する吸着ツール２３に供給するための搬送テーブル２８が吸着ツール２３に対して進退動するように配置されている。
【００３１】
上記ＦＰＣ７に対するＡＣＦテープ１２の貼付け位置ｂには、ＡＣＦテープ１２をＦＰＣ７に貼付けるためのＡＣＦテープ切断供給機構２９が配置されている。
【００３２】
このＡＣＦテープ切断供給機構２９は、図４に示すように、貼付け位置ｂに停止する吸着ツール２３の直下に配置され、離型紙１３を下にしたＡＣＦテープ１２を支持する昇降自在のバックアップベース３０と、バックアップベース３０のテープ入側でＡＣＦテープ１２の上部に位置して昇降自在となり、離型紙１３を残してＡＣＦテープ１２をカットするカッター３１と、カッター３１の直下でＡＣＦテープ１２の下面を支持する受け台３２と、この受け台３２のテープ入側に位置してＡＣＦテープ１２の下面を支持する定位置ガイドローラ３３と、上記バックアップベース３０に対してテープ出側の位置に待機し、ＦＰＣ７を吸着した吸着ツール２３の下降でＦＰＣ７にＡＣＦテープ１２を貼付け、バックアップベース３０が下降すると吸着ツール２３の下部に待機位置から接近動し、ＦＰＣ７に貼付けられたＡＣＦテープ１２から離型紙１３を剥がす上下一対の剥がしローラ３４、３５とで形成されている。
【００３３】
上記仮圧着位置ｃには、停止する吸着ツール２３の下部に液晶パネル１を進退動させ、吸着ツール２３とでＦＰＣ７と液晶パネル１をＡＣＦテープ１２を介して仮圧着するための仮圧着ユニット３７が配置されている。
【００３４】
この仮圧着ユニット３７は、上面で液晶パネル１を吸着保持し、Ｘ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動可能となるパネルテーブル３８と、仮圧着位置ｃで停止する吸着ツール２３の下方に位置し、パネルテーブル３８が前進したとき、液晶パネル１のＦＰＣ７の貼付け部分の下部を支持するガラス等の透明な受台３９とで形成され、パネルテーブル３８は、液晶パネル１とＦＰＣ７の仮圧着後に、この液晶パネル１を吸着保持したまま下流側に配置した本圧着ユニット４０に向けて移動し、本圧着ユニット４０では、圧着ツール４１で液晶パネル１とＦＰＣ７の仮圧着部分を加熱加圧して本圧着する。
【００３５】
上記仮圧着位置ｃは、仮圧着前にＦＰＣ７のアライメントマーク１１と液晶パネル１のアライメントマーク６の位置合わせを行い、仮圧着後にアライメントマーク６、１１の周辺部分におけるＡＣＦテープ１２の貼付け状態の良否を光学的に検査する検査手段４２が配置されている。
【００３６】
この検査手段４２は、図２と図３のように、透明な光透過性受台３９の上部で両側の位置に、アライメントマーク６、１１の周辺部分に向けて透過光を照射する光源４３を配置し、受台３９の下方で両側の位置に、ＦＰＣ７のアライメントマーク１１と液晶パネル１のアライメントマーク６を確認し、かつ、両アライメントマーク６、１１周辺部のＡＣＦテープ１２の貼付け状態を撮影して検査するＣＣＤカメラ４４を設置し、ＣＣＤカメラ４４の画像を処理する画像処理装置（図示省略）を別途配置して形成され、ＣＣＤカメラ４４は、上部筒体４５の内部にハーフミラー４６を組み込み、ファイバー照明４７等からの光をハーフミラー４６で上方に反射し、両アライメントマーク６、１１の検出のための光源（同軸落射照明）としている。
【００３７】
上記透過光を照射する光源４３としては、ハロゲンランプ、紫外光、キセノンランプ等を用いることができ、この検査手段４２によるＦＰＣ７のアライメントマーク１１と液晶パネル１のアライメントマーク６の位置合わせは、ＦＰＣ７を吸着保持した吸着ツール２３をＦＰＣ７のアライメントマーク１１がＣＣＤカメラ４４のピントが合う位置まで下降させ、このアライメントマーク１１を確認後、吸着ツール２３を上昇位置にまで退避させ、続いて、パネルテーブル３８を前進させて液晶パネル１を透明の受台３９上に臨ませ、液晶パネル１のアライメントマーク６を検出し、この検出信号に基づいてパネルテーブル３８を移動させることにより、アライメントマーク６の位置補正を行い、液晶パネル１のアライメントマーク６をＦＰＣ７のアライメントマーク１１に一致させる。
【００３８】
また、仮圧着後のＡＣＦテープ１２の貼付け状態の検査は、光源４３からの透過光を利用してアライメントマーク６、１１の周辺部分をＣＣＤカメラ４４で撮影し、その画像を画像処理装置が２５６階調で認識し、基準点かどうかを判断することで、パネルテーブルを移動させて液晶パネルのアライメントマークを画像中心に合わせる。
【００３９】
更に、２５６階調の輝度を基準の輝度を境に二つの輝度に振り分け、グレイサーチ画像を２値化（白黒）し、所要数の検査枠を設定する。
【００４０】
斑点状に映った導電粒子の斑点面積、塊数を基準と照らし合わせ、ＡＣＦテープの有無の判定を行なうものである。
【００４１】
次に、フレキシブル基板を液晶パネルに圧着する方法を詳細に説明する。
【００４２】
図１のように、搬送テーブル２８が積み重ねもしくは並べられたパレット上のＦＰＣ７を吸着し、このＦＰＣ７を受け取り位置ａに停止する吸着ツール２３に供給すると、吸着ツール２３はＦＰＣ７を吸着保持し、インデックステーブル２２の９０度の回転で、ＦＰＣ７を吸着保持した吸着ツール２３はＦＰＣ７に対するＡＣＦテープ１２の貼付け位置ｂに移動する。
【００４３】
この貼付け位置ｂのＡＣＦテープ切断供給機構２９は、図４（Ａ）に示すように、ＡＣＦテープ１２をカッター３１で離型紙１３を残してＦＰＣ７の電極８に見合う長さにカットし、図４（Ｂ）のように、バックアップベース３０上に位置するＡＣＦテープ１２に対して吸着ツール２３が下降し、ＦＰＣ７の電極８の部分をＡＣＦテープ１２上に圧着させて貼付けると、図４（Ｃ）のごとく、バックアップベース３０が下降し、上下一対の剥がしローラ３４、３５が往復動し、ＦＰＣ７に貼付けられたＡＣＦテープ１２から離型紙１３を剥がし、この後、吸着ツール２３は上昇位置に戻る。
【００４４】
インデックステーブル２２が更に９０度回転すると、ＡＣＦテープ１２が貼付けられたＦＰＣ７は、仮圧着位置ｃに移動する。
【００４５】
この仮圧着位置ｃでは、検査手段４２でＦＰＣ７と液晶パネル１のアライメントマーク６、１１の位置合わせと、ＦＰＣ７と液晶パネル１の仮圧着後に、アライメントマーク６、１１の周辺部分のＡＣＦテープ１２の貼付け状態の良否の検査とが行なわれる。
【００４６】
先ず、ＦＰＣ７と液晶パネル１のアライメントマーク６、１１の位置合わせは、図５のように、吸着ツール２３を、吸着保持したＦＰＣ７のアライメントマーク１１がＣＣＤカメラ４４のピントが合う位置まで下降させ、ハロゲンランプ，紫外光，キセノンランプ等を光源として、必要に応じ透過光を補助的に併用しても良い。
【００４７】
これらを光源としてＣＣＤカメラ４４で撮影して、このアライメントマーク１１を確認後、吸着ツール２３を上昇位置にまで退避させ、続いて、パネルテーブル３８上に液晶パネル１を供給し、パネルテーブル３８を前進させて液晶パネル１の電極５を設けた部分を透明の受台３９上に臨ませ、この状態でＣＣＤカメラ４４の撮影により液晶パネル１のアライメントマーク６を検出し、図９のように、この検出信号に基づいてパネルテーブル３８を移動させることにより、アライメントマーク６、６′の位置補正を行い、液晶パネル１のアライメントマーク６、６′をＦＰＣ７のアライメントマーク１１、１１′に一致させる。
【００４８】
次に、図６のように、パネルテーブル３８と吸着ツール２３を下降させ、液晶パネル１の電極形成部分とＦＰＣ７のＡＣＦテープ１２を貼付けた部分を受台３９上に載せ、吸着ツール２３の上からの押圧でＡＣＦテープ１２を介して液晶パネル１とＦＰＣ７を仮圧着する。このとき、ＡＣＦテープ１２を本圧着よりも低温で加熱することで仮圧着が行なわれる。
【００４９】
これにより、液晶パネル１とＦＰＣ７は、両端に位置するアライメントマーク６、１１がそれぞれ一致した状態で仮圧着され、吸着ツール２３はＦＰＣ７の吸着を解いた状態で上昇位置に戻り、パネルテーブル３８も少し上昇し、液晶パネル１を受台３９上から浮かせる。
【００５０】
上記のようにして仮圧着が終わると、図６のように、光源４３の点灯で仮圧着したアライメントマーク６、１１の付近を照射し、透過照明を利用して検査手段４２のＣＣＤカメラ４４でアライメントマーク６、１１の付近を撮影し、画像処理装置は撮影したアライメントマーク６、１１の周辺部分を２５６階調で認識し、基準点かどうかを判断することで、図１０のように液晶パネル及びＦＰＣの左右のアライメントマーク６、６′，１１、１１′がＣＣＤカメラ４４の左右の画像枠Ａ、Ａ′内における画像中心Ｂ、Ｂ′となるよう、パネルテーブル３８を移動させる。
【００５１】
更に、２５６階調の輝度を基準（任意、自動設定可）の輝度を境に二つの輝度に振り分け、グレイサーチ画像を２値化（白黒）し、必要に応じ複数の検査枠Ｃ、Ｃ′を設定する。
【００５２】
検査枠Ｃ内において、斑点状に映った導電粒子の斑点面積、塊数を基準と照らし合わせ、ＡＣＦテープ１２の有無の判定を行なうものであり、図１１はＡＣＦテープ１２、１２′が正常に貼付けられているときの２値サーチ画像を示し、斑点状の画像になっているのに対し、図１２はＡＣＦテープ１２、１２′が正常に貼付けられていない部分が、白色無地の画像になっている。
【００５３】
このように、液晶パネル１とＦＰＣ７の仮圧着後にＡＣＦテープ１２の貼付状態の良否の検査を行い、ＡＣＦテープ１２の貼付状態が正常であると、パネルテーブル３８が後退動して仮圧着位置ｃから後退動し、後続の本圧着ユニット４０へと移動し、本圧着工程が行なわれる。
【００５４】
また、ＡＣＦテープ１２の貼付状態が不良の際、吸着ツールでＦＰＣを吸着し、液晶パネルはパネルテーブルで吸着することでＦＰＣを引き剥がし、排出位置ｄへＦＰＣを排出するとともに液晶パネルはパネルテーブル外へ排出されることになる。
もしくは、仮圧着ユニット近辺に別途液晶パネル排出領域を設け、不良品（ＦＰＣ仮圧着状態）を排出しても良い。
【００５５】
上記のように、各吸着ツール２３が間歇移動して各位置ａ乃至ｄに停止するごとに各位置ａ乃至ｄで上記のような工程が並行して行なわれることになる。
なお、この実施例におけるアライメントマークの形状はこの形だけに限定されない。
また、アライメントの際にパネルテーブルだけでなく吸着ツールの移動もしくは吸着ツールとパネルテーブルの両者を移動させる構造としてもよい。
【００５６】
【発明の効果】
以上のように、この発明によると、ＦＰＣを液晶パネルにＡＣＦテープを用いて圧着する方法において、ＦＰＣにＡＣＦテープを貼付け、仮圧着位置で、ＡＣＦと液晶パネルの位置合わせを行い、仮圧着後に、ＡＣＦテープ貼付けの良否の判定を行なうようにしたので、仮圧着の段階でＡＣＦテープ貼付けの不良品を除外することができるため、製品の不良率が低下し、信頼性が向上する。
【００５７】
また、仮圧着の段階でＡＣＦテープ貼付けの不良品を検出できるため、不良品を回収して修理することが可能になり、不良品を廃棄する必要がないので経済的である。
【００５８】
更に、仮圧着の同一工程で、位置決め、仮圧着及びＡＣＦテープ貼付け状態の検査が可能になり、作業効率が向上すると共に、位置決めとＡＣＦテープ貼付け状態の検査のカメラを共用できるので、設備コストの低減につながることになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】フレキシブル基板を液晶パネルに圧着する装置の平面図
【図２】同上における仮圧着部の側面図
【図３】同上における仮圧着部の正面図
【図４】（Ａ）は同上におけるＡＣＦテープ貼付け機構の貼付け前の状態を示す側面図、（Ｂ）はＡＣＦテープにＦＰＣを圧着した状態を示す側面図、（Ｃ）はＡＣＦテープから離型紙を剥離した状態を示す側面図
【図５】同上における仮圧着部のアライメントマーク位置決め状態の側面図
【図６】同上における仮圧着部のＡＣＦテープ検査状態の側面図
【図７】ＡＣＦテープを貼着したＦＰＣの平面図
【図８】液晶パネルの平面図
【図９】アライメントマークの画像を示す説明図
【図１０】アライメントマークを画像の中心へ移動させる状態の説明図
【図１１】ＡＣＦテープ検査画像の良品の状態を示す説明図
【図１２】ＡＣＦテープ検査画像の不良品の状態を示す説明図
【符号の説明】
１　　　液晶パネル
２　　　第１のガラス基板
３　　　第２のガラス基板
４　　　半導体素子
５　　　電極
６　　　アライメントマーク
６′　　アライメントマーク
７　　　ＦＰＣ
８　　　電極
９　　　電極
１０　　保護部
１１　　アライメントマーク
１１′　アライメントマーク
１２　　ＡＣＦテープ
１３　　離型紙
２１　　移送機構
２２　　インデックステーブル
２３　　吸着ツール
２４　　吸着ヘッド部
２５　　吸着パッド
２６　　支持台
２７　　昇降軸
２８　　搬送テーブル
２９　　ＡＣＦテープ切断供給機構
３０　　バックアップベース
３１　　カッター
３２　　受け台
３３　　定位置ガイドローラ
３４　　剥がしローラ
３５　　剥がしローラ
３７　　仮圧着ユニット
３８　　パネルテーブル
３９　　受台
４０　　本圧着ユニット
４１　　圧着ツール
４２　　検査手段
４３　　光源
４４　　ＣＣＤカメラ
４５　　上部筒体
４６　　ハーフミラー
４７　　ファイバー照明
【図１】
2004021051.tif 000003
【図２】
2004021051.tif 000004
【図３】
2004021051.tif 000005
【図４】
2004021051.tif 000006
【図５】
2004021051.tif 000007
【図６】
2004021051.tif 000008
【図７】
2004021051.tif 000009
【図８】
2004021051.tif 000010
【図９】
2004021051.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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