(57)【要約】【課題】被検球面の曲率半径が外径に対して小さいレンズであっても、その面精度測定を精度良く行うことが可能なフィゾーレンズ及びフィゾー干渉計を提供する。【解決手段】フィゾー干渉計１におけるフィゾーレンズ１０を、レーザー光源２から入射された光を発散させる第１レンズ（負のパワーを有するレンズ）Ｇ１と、この第１レンズＧ１により発散された光を集光して焦点Ｐに収束させるとともに第１レンズＧ１において生じた球面収差の補正を行う略透明な平行平板に回折光学素子面を有するバイナリ光学素子Ｂ及び第２〜第７レンズ（正のパワーを有するレンズ）Ｇ２〜Ｇ７とから構成する。【選択図】　図１
2004020478.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレンズ素子を光軸上に配列して構成されたレンズ群を有し、光源からの光を入射端側から前記レンズ群内に入射させ、最も出射端側に位置する前記レンズ素子のレンズ面であるフィゾー面において前記光の一部を参照光として前記レンズ群内に反射させるとともに、残りの前記光を前記フィゾー面を通ってフィゾーレンズ焦点に向けて照射させるように構成され、
被検レンズを、その被検レンズの被検球面の曲率中心が前記フィゾーレンズ焦点と一致するとともに前記被検球面が前記フィゾー面と対向するように配置し、前記フィゾー面を通って前記フィゾーレンズ焦点に向けて照射された前記光を前記被検球面において反射させて前記フィゾー面から前記レンズ群内に被検光として逆入射させ、
前記参照光及び前記被検光を前記入射端側から取り出すフィゾーレンズであって、
前記レンズ群中に少なくとも１枚の回折光学素子面を有して構成されることを特徴とするフィゾーレンズ。
【請求項２】
略透明な平行平板を有し、前記平行平板に前記回折光学素子面が設けられたことを特徴とする請求項１に記載のフィゾーレンズ。
【請求項３】
前記フィゾーレンズの実行Ｆナンバーが０．６２以上（前記出射端側開口数が０．８０６以上）で、バックフォーカスが１８０ｍｍ以上であり、
前記レンズ群を構成する各レンズの硝材の屈折率が１．６９以上であり、
前記光源が平行光束化されたレーザー光を光源とすることを特徴とする請求項１または２に記載のフィゾーレンズ。
【請求項４】
前記レンズ群が少なくとも７枚のレンズを有し、
少なくとも１枚が負のパワーを有するレンズであり、残りの少なくとも５枚が正のパワーを有するメニスカスレンズであることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のフィゾーレンズ。
【請求項５】
前記レンズ群が少なくとも７枚のレンズを有し、
前記光源から入射された光を発散させる負のパワーを有するレンズと、
前記負のパワーを有するレンズで発生した負の球面収差を抑制するための少なくとも１枚の正のパワーを有するレンズと、
前記光を集光して前記焦点に向けて収束させる少なくとも５枚の正のパワーを有するレンズとで構成されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のフィゾーレンズ。
【請求項６】
前記レンズ群が少なくとも７枚のレンズを有し、
前記レンズ群のうちフィゾー面が形成されたレンズを含む少なくとも５枚が前記光源から出射された光を収束させるためのサブレンズ群を構成し、
前記サブレンズ群が、中間に位置する正のパワーを有する両凸レンズと、
前記両凸レンズより入射端側に配置され且つ入射端側に凹となる向きに配置された正のパワーを有するメニスカスレンズと、
前記両凸レンズより出射端側に配置され且つ出射端側に凹となる向きに配置された正のパワーを有するメニスカスレンズとで構成されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のフィゾーレンズ。
【請求項７】
レーザー光源と、
請求項１〜６のいずれかに記載のフィゾーレンズと、
前記フィゾーレンズ焦点と一致する位置に被検球面の曲率中心が配置され且つ前記被検球面が前記フィゾー面と対向するように配置された被検レンズと、
前記レーザー光源から出射した光が前記被検球面において反射された被検光と前記フィゾーレンズのフィゾー面で反射された参照光とを干渉させて干渉パターンを形成させる干渉パターン形成装置とを有して構成されることを特徴とするフィゾー干渉計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主として半導体用縮小投影露光装置の投影光学系を構成するレンズの面精度の測定を行うために必要なフィゾーレンズ、及びこのフィゾーレンズを備えたフィゾー干渉計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体用縮小投影露光装置の開口数（以下、「ＮＡ」と呼ぶ）及び使用波長は、半導体素子の高密度化、対象線幅の細線化に伴って年々大口径化、短波長化する傾向にある。使用する光線の波長は水銀灯のｉ線（波長３６５．０１５ｎｍ）から、ＫｒＦエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）へ移り、ＡｒＦエキシマレーザー（波長１９３ｎｍ）を光源とした縮小投影露光装置も実用化の段階に入っている。
【０００３】
このような縮小投影露光装置に用いられる投影レンズ（通常、組み合わせレンズからなる）の硝材は、短波長のレーザー光を対象とすることから現在のところ蛍石や石英に限られているが、これらの硝材は宝石の一種であるため極めて高価であり、縮小投影露光装置の価格を大幅に上げる結果となっている。このためエキシマレーザーを光源とする縮小投影露光装置においては、投影レンズの一部を非球面レンズにして所定の光学性能を持たせることでレンズの枚数を減らしたり、図６に示すように、レンズ１で光線を強く曲げレンズ系を通る光線の高さを制限することでレンズ２の代わりにより小さな径のレンズ２′を使用して、使用する硝材の量を減らして価格の低減化が図られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図６に示す投影レンズ（レンズ１）のように高い屈折力を有するレンズにあっては、同一外径であっても被検球面の曲率半径Ｒの外径Ｄに対する割合は小さく（Ｒ／Ｄが小さく）なり、結果として投影光学系を構成する各レンズの面精度を測定するフィゾー干渉計においてフィゾーレンズの実効Ｆナンバー（＝１／（２＊被検レンズに対するＮＡ））が従来のものでは不足してしまい、図７（ｂ）に示すように被検球面の周辺部が収束光からはみ出して、面精度測定を精度良く行うことが困難となる。
【０００５】
この問題はフィゾーレンズのＮＡを大きくすることで解決できるが、ＮＡを大きくすると球面収差が増大するとともにフィゾー面の曲率がきつくなる。フィゾー面の存在するレンズは正のパワーを持つメニスカスレンズで構成されるため、フィゾー面の曲率がきつくなることに合わせて、正のパワーを維持する為にフィゾー面でない方の面の曲率もきつくなり、縁厚の薄いレンズとなってしまう。このためフィゾーレンズのＮＡを大きくすることは、球面収差の補正の困難と、フィゾー面の存在するレンズの縁厚の減少という加工上の問題を生じ、従来の単なるレンズ群のみでの構成ではＮＡを大きくすることに限界が生じている。
【０００６】
本発明はこのような問題に鑑みなされたものであり、被検球面の曲率半径が外径に対して小さいレンズであっても、その面精度測定を精度良く行うことが可能なフィゾーレンズ及びこのフィゾーレンズを備えたフィゾー干渉計を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明に係るフィゾーレンズは、複数のレンズ素子を光軸上に配列して構成されたレンズ群を有し、光源からの光を入射端側からレンズ群内に入射させ、最も出射端側に位置するレンズ素子のレンズ面であるフィゾー面においてその光の一部を参照光としてレンズ群内に反射させるとともに、残りの光をフィゾー面を通ってフィゾーレンズ焦点に向けて照射させるように構成され、被検レンズを、その被検レンズの被検球面の曲率中心がフィゾーレンズの焦点と一致するとともに被検球面がフィゾー面と対向するように配置し、フィゾー面を通ってフィゾーレンズ焦点に向けて照射された光を被検球面において反射させてフィゾー面からレンズ群内に被検光として逆入射させ、参照光及び被検光を入射端側から取り出すフィゾーレンズであって、このレンズ群中に少なくとも１枚の回折光学素子面を有して構成される。
【０００８】
なお、このフィゾーレンズは、略透明な平行平板を有し、その平行平板に回折光学素子面が設けられることが好ましい。
【０００９】
また、このフィゾーレンズの実行Ｆナンバーが０．６２以上（被検レンズ側開口数が０．８０６以上）で、バックフォーカスが１８０ｍｍ以上であり、レンズ群を構成する各レンズの硝材の屈折率が１．６９以上であり、光源が平行光束化されたレーザー光を光源とするように構成されることが好ましい。
【００１０】
ここで、フィゾーレンズを構成するレンズ群が少なくとも７枚のレンズを有し、少なくとも１枚が負のパワーを有するレンズであり、残りの少なくとも５枚が正のパワーを有するメニスカスレンズであることが好ましい。
【００１１】
または、そのレンズ群が少なくとも７枚のレンズを有し、光源から入射された光を発散させる負のパワーを有するレンズと、この負のパワーを有するレンズで発生した負の球面収差を抑制するための少なくとも１枚の正のパワーを有するレンズと、その光を集光して焦点に向けて収束させる少なくとも５枚の正のパワーを有するレンズとで構成されることが好ましい。
【００１２】
あるいは、そのレンズ群が少なくとも７枚のレンズを有し、そのレンズ群のうちフィゾー面が形成されたレンズを含む少なくとも５枚が光源から出射された光を収束させるためのサブレンズ群を構成し、このサブレンズ群が、中間に位置する正のパワーを有する両凸レンズと、両凸レンズより入射端側に配置され且つ入射端側に凹となる向きに配置された正のパワーを有するメニスカスレンズと、前記両凸レンズより出射端側に配置され且つ出射端側に凹となる向きに配置された正のパワーを有するメニスカスレンズとで構成されることが好ましい。
【００１３】
また、本発明に係るフィゾー干渉計は、レーザー光源と、上記したフィゾーレンズと、そのフィゾーレンズ焦点と一致する位置に被検球面の曲率中心が配置され且つ被検球面がフィゾー面と対向するように配置された被検レンズと、レーザー光源から出射した光が被検球面において反射された被検光とフィゾーレンズのフィゾー面で反射された参照光とを干渉させて干渉パターンを形成させる干渉パターン形成装置とを有して構成される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図２を用いて本発明に係るフィゾーレンズを用いたフィゾー干渉計について説明する。図２に示すように、このフィゾー干渉計１は、レーザー光源２とビームエキスパンダ３と、ハーフミラー４と、フィゾーレンズ１０（本発明に係るフィゾーレンズ）と、結像レンズ５及び観察面６とを有して構成されている。ここで、フィゾーレンズ１０は、反射防止膜が施されたレンズ群であり（図３では簡略化して表示しており、具体的には後述するように図１に示す構成となっている）、レーザー光源２側から入射された光を集光して焦点Ｐに収束させる。ここで、フィゾーレンズ１０の最終球面は参照面であるフィゾー面（反射防止膜が施されていないレンズ面）Ｆであり、焦点Ｐを曲率中心とする球面に形成されている。被検レンズＭは、その被検球面Ｑの曲率中心がフィゾーレンズ１０の焦点Ｐに一致するとともに、フィゾー面Ｆと被検球面Ｑが対向するように配置されている。
【００１５】
レーザー光源２から出射された光はビームエキスパンダー３によりその光束径が拡大されるとともに平行光束にされ、ハーフミラー４を介してフィゾーレンズ１０に入射される。フィゾーレンズ１０内を進行した光はフィゾー面Ｆに垂直に入射され、屈折することなく透過（すなわちフィゾー面Ｆは入射光線に対してパワーを持たない）して被検球面Ｑに至るが、このフィゾー面Ｆは前述したように反射防止膜が施されていないため、一部の光はフィゾー面Ｆにおいて反射される。このフィゾー面Ｆにおいて反射された光（参照光）は進行してきた光路を逆にたどってフィゾーレンズ１０内を進行した後ハーフミラー４により反射され、直角方向に曲げられて進行する。一方、フィゾー面Ｆを透過した光は被検球面Ｑにおいて反射されるが、この被検球面Ｑにおいて反射された光（被検光）も進行してきた光路を逆にたどって進行する。すなわち、被検球面Ｑにおいて反射した後フィゾー面Ｆに垂直に入射し、参照光と同様にフィゾーレンズ５内を進行し、ハーフミラー４により直角に曲げられて進行する。
【００１６】
このようにハーフミラー４により直角方向に曲げられた被検光と参照光は結像レンズ５により集光されて観察面６上に干渉パターンを形成する。この干渉パターンは被検球面Ｑの面形状を表示するものであり、その画像を取り入れて解析することにより面精度を測定することが可能である。このように、フィゾー干渉計１を用いることにより被検レンズＭの面精度を測定することが可能であるが、本発明においては上記フィゾーレンズ１０の構成に特徴があり、以下、このことについて詳細に説明する。
【００１７】
このフィゾー干渉計１に用いられているフィゾーレンズ１０は前述したように反射防止膜が施されたレンズ群であり、図１に示すように、レーザー光源２側から順に、負のパワーを有するレンズの第１レンズＧ１、第１レンズＧ１に近い方の面に回折光学素子面が形成された略透明の平行平板（以下、「バイナリー光学素子」と呼ぶ）Ｂ、第１レンズＧ１側に凹である正のパワーを有するメニスカスレンズの第２、第３及び第４レンズＧ２〜Ｇ４、両面が凸である両凸レンズの第５レンズＧ５、第１レンズＧ１側に凸である正のパワーを有するメニスカスレンズの第６及び第７レンズＧ６，Ｇ７が光軸上に並べられて構成されている。
【００１８】
ここで、図１に示すレンズ面の符号Ｓ１〜Ｓ１６はレーザー光源２側から順に付されており、第１レンズＧ１のレーザー光源２側のレンズ面が第１レンズ面Ｓ１、第７レンズＧ７の被検球面Ｑ側のレンズ面（すなわちフィゾー面Ｆ）が第１６レンズ面Ｓ１６となっている。
【００１９】
フィゾーレンズ１０において、測定可能な被検レンズＭの被検球面Ｑはバックフォーカス（以下、「Ｂ．ｆ」と呼ぶ）と有効Ｆナンバーによって決まる。被検レンズＭが大口径でかつ外径に対する曲率半径の比が小さいものである場合、フィゾーレンズ１０のＢ．ｆは大きく、また有効Ｆナンバーは小さく取らなければならない。また、フィゾーレンズ１０による被検レンズＭの表面の面精度の測定は図３を用いて上述した構成で行われることから、フィゾーレンズ１０に要求される性能は球面収差及びそれに伴う軸上の波面収差に影響される。よって、フィゾーレンズ１０においては球面収差を低減することが重要である。
【００２０】
第１レンズＧ１はビームエキスパンダー３から入射された光を発散させるために設けられた負のパワーを有するレンズであり、これによりフィゾーレンズ１０が必要とするＢ．ｆ及び実効Ｆナンバーが確保される。また、第２〜第７レンズＧ２〜Ｇ７は、第１レンズＧ１で発生する負の球面収差を補正するための正のパワーを有するメニスカスレンズであり、合わせて第１レンズＧ１で発散された光を集光して焦点Ｐに収束させる。第２〜第７レンズＧ２〜Ｇ７は、中央の第５レンズＧ５を挟んで、第１レンズＧ１側に第２〜第４レンズＧ２〜Ｇ４が第１レンズＧ１側に凹となる向きに配置されており、被検球面Ｑ側に第６及び第７レンズＧ６，Ｇ７が被検球面Ｑ側に凹となる向きに配置されている。
【００２１】
上記の構成において、実効Ｆナンバーがそう大きくないときは第１レンズＧ１で発生する負の球面収差を後に続く正のパワーを有するメニスカスレンズ（第２〜第７レンズＧ２〜Ｇ７）で補正をすることができるが、実効Ｆナンバーが０．６２程度になると負の球面収差を第２〜第７レンズＧ２〜Ｇ７で補正することが困難となる。第１レンズＧ１の負の球面収差を補正するために、第２〜第７レンズＧ２〜Ｇ７の曲率を大きくすると、実効Ｆナンバーの維持が困難となったり、正の球面収差が発生し球面収差及び波面収差を補正することができなくなる。
【００２２】
そこで、本発明に係るフィゾーレンズ１０では、各レンズの曲率がきつくならないように、各レンズに屈折率が１．６９以上の硝材を使用してパワーを確保するとともに、回折光学素子の一種であるバイナリー光学素子Ｂを使用して、上述した第１レンズＧ１で発生する負の球面収差のうち、第２〜第７レンズＧ２〜Ｇ７で補正することができない部分を補うように構成されている。バイナリー光学素子Ｂは、屈折レンズと同様なレンズとしてのパワー、非球面性による収差補正の効果を持っており、透明な平行平板上に設けられた回折光学素子面を有して構成されている。バイナリー光学素子ＢはＬＳＩや液晶ディスプレイを製造する際に用いられる光リソグラフィ技術によって作ることができ、本実施例で使用するバイナリー光学素子Ｂは平行平板上に回折光学素子面を形成しているためＬＳＩや液晶ディスプレイを製造するための技術と方法がそのまま利用できるため製造が容易である。このバイナリー光学素子Ｂの回折光学素子面の形状は回転対称であり、式（１）に示す位相差関数として表される。
【００２３】
【数１】
2004020478.tif 000003
【００２４】
ここで、ρは正規化された放射口径座標（Ｎｏｒｍａｌｉｚｅｄ　Ｒａｄｉａｌ　Ａｐｅｒｔｕｒｅ　Ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅ）を表しており、中心接平面上の距離ｙ（バイナリー光学素子Ｂの径方向の高さ）と規格化半径Ｒで式（２）により求められる。また、Αｉはρの第２ｉ次の係数であり、Φがρに対応した波面の位相差を表しているため、ρ＝１でΑｉだけ位相がずれる偶数時の関数の総和で表現される。バイナリー光学素子Ｂはこの位相差関数（１）より求められた位相情報から平行平板上の形状（厚さ）が決められる。
【００２５】
なお、第７レンズＧ７はフィゾー面Ｓ１６（Ｆ）を有しているが、このフィゾー面Ｓ１６（Ｆ）は上述したように入射光線に対してパワーを持たないため、集光のためのパワーは第１レンズＧ１側の第１５レンズ面Ｓ１５が受け持つこととなり、結局この第１５レンズ面Ｓ１５の曲率半径が外径に対して大きくなる。そのため、第７レンズＧ７の縁厚部分が薄くなり、レンズの加工が困難となる。よって、本実施形態では第７レンズＧ７の硝材を他のレンズの硝材の屈折率より高いもの（屈折率が１．７９以上）を用い、さらに、バイナリ光学素子Ｂでパワーと収差補正の機能を補うことで第１５レンズ面Ｓ１５の曲率がきつくならないように構成している。
【００２６】
図１に示す例ではバイナリー光学素子Ｂを第１レンズＧ１の直後に配設した構成としたが、その他の位置にも配設は可能である。以下ににバイナリー光学素子Ｂの配置場所が異なる実施例を説明する。
【００２７】
【実施例１】
以下、フィゾーレンズ１０の具体的な実施例を示す。この実施例１におけるフィゾーレンズ１０の第１〜第７レンズＧ１〜Ｇ７とバイナリー光学素子Ｂの構成及び形状は図１に示す通りである。この例ではバイナリー光学素子Ｂを第１レンズＧ１の直後に配置しており、回折光学素子面は第３レンズ面Ｓ３に形成されている。第１レンズＧ１による球面収差成分のうち高次のものをバイナリー光学素子Ｂで補正し、後に続く第２〜第７レンズＧ２〜Ｇ７で球面収差成分のうち低次のものの補正を行い合わせて結像を行うように構成している。この構成によるとバイナリ光学素子Ｂの径は小さいもので良いため製造コストを低くすることができる。
【００２８】
次に数値実施例を示す。照射する光はＨｅ−Ｎｅレーザー光（波長６３２．８ｎｍ）とし、ビームエキスパンダー３による拡大後の光の光束径は１０２ｍｍとした。表１に実施例１におけるフィゾーレンズ１０を構成する各レンズのデータを示し（図１に示すレンズの構成に対応）、表２にバイナリー光学素子Ｂのパラメータを示す。なお、バイナリー光学素子Ｂの形状を表す位相差関数の次数は１００次で、規格化半径Ｒは１６６．９９２３９ｍｍである。
【００２９】
【表１】
2004020478.tif 000004
【００３０】
【表２】
2004020478.tif 000005
【００３１】
この結果得られたフィゾーレンズ１０の被検球面Ｑ側のＮＡは０．８０６であった。また、このときフィゾーレンズ１０のＢ．ｆは１８０ｍｍ、実効Ｆナンバーは０．６２であり、全長は８５５．７２３ｍｍであった。また、フィゾーレンズ１０の球面収差は図３に示すように０．００６λ（λはレーザー波長。以下同じ）であり、極めて良好であった。
【００３２】
【実施例２】
この実施例２におけるフィゾーレンズ１０の各レンズＧ１〜Ｇ７及びバイナリー光学素子Ｂの構成及び形状は図４に示す通りである。この例ではバイナリー光学素子Ｂを第５レンズＧ５の直後に配置しており、回折光学素子面は第１１レンズ面Ｓ１１に形成されている。このような構成によると、第５レンズＧ５の第１０レンズ面Ｓ１０を出た光が平行光束に近く、また、光束の最も広がった部分であるため、バイナリー光学素子Ｂの径は大きくなるものの、光線の各ＮＡ成分に対して有効に球面収差の補正をすることが可能である。
【００３３】
次に数値実施例を示す。照射する光は実施例１と同様にＨｅ−Ｎｅレーザー光（波長６３２．８ｎｍ）とし、ビームエキスパンダー３による拡大後の光の光束径は実施例１と同様に１０２ｍｍとした。表３に実施例２におけるフィゾーレンズ１０を構成する各レンズのデータを示し（図４に示すレンズの構成に対応）、表４にバイナリー光学素子Ｂのパラメータを示す。なお、バイナリー光学素子Ｂの形状を表す位相差関数の次数は１８０で、規格化半径Ｒは５９１．８２５９４ｍｍである。
【００３４】
【表３】
2004020478.tif 000006
【００３５】
【表４】
2004020478.tif 000007
【００３６】
この結果得られたフィゾーレンズ１０の被検球面Ｑ側のＮＡは０．８０６であった。また、このときフィゾーレンズ１０のＢ．ｆは１８０ｍｍであり、実効Ｆナンバーは０．６２であり、全長は８７４．４７９ｍｍであった。また、フィゾーレンズ１０の球面収差は図５に示すように０．０１１λであり、極めて良好であった。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るフィゾーレンズ及びフィゾー干渉計によれば、フィゾーレンズに略透明な平行平板上に回折光学素子面を有したバイナリー光学素子を使用することにより、フィゾーレンズを構成するレンズのパワーを抑えることができるため、従来と同様な実効Ｆナンバー（０．６２）とバックフォーカス（１８０ｍｍ）を実現しても球面収差が少なく且つフィゾーレンズを構成するレンズの加工が容易であり、さらに、このフィゾーレンズを備えたフィゾー干渉計により被検球面の曲率半径が外径に対して小さいレンズであっても、その面精度測定を精度良く行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るフィゾーレンズの実施例１における構成及び形状を示す図である。
【図２】本発明に係るフィゾー干渉計の構成を示す図である。
【図３】本発明に係るフィゾーレンズの実施例１における球面収差を示すグラフである。
【図４】本発明に係るフィゾーレンズの実施例２における構成及び形状を示す図である。
【図５】本発明に係るフィゾーレンズの実施例２における球面収差を示すグラフである。
【図６】レンズ１の屈折力を大きくすることにより、光の進行方向にあるレンズの径を小さくすることができることを示す説明図である。
【図７】従来のフィゾーレンズにおいて、面精度を十分に測定できる被検レンズと面精度を十分には測定できない被検レンズとを比較して示す説明図であり、（Ａ）は被検球面の曲率半径Ｒが外径Ｄに対して大きい（Ｒ／Ｄが大きい）被検レンズを被検対象とした場合、（Ｂ）は被検球面の曲率半径Ｒが外径Ｄに対して小さい（Ｒ／Ｄが小さい）被検レンズを被検対象とした場合を示している。
【符号の説明】
１　フィゾー干渉計
２　レーザー光源
３　ビームエキスパンダー
４　ハーフミラー
５　結像レンズ
６　観察面
１０　フィゾーレンズ
Ｌ１　第１レンズ（負レンズ）
Ｌ２〜Ｌ７　第２〜第７レンズ（正レンズ）
Ｂ　バイナリー光学素子
Ｓ１〜Ｓ１６　第１〜第１６レンズ面
Ｆ　フィゾー面
Ｍ　被検レンズ
Ｑ　被検球面
Ｐ　フィゾーレンズの焦点
【図１】
2004020478.tif 000008
【図２】
2004020478.tif 000009
【図３】
2004020478.tif 000010
【図４】
2004020478.tif 000011
【図５】
2004020478.tif 000012
【図６】
2004020478.tif 000013
【図７】
2004020478.tif 000014