(57)【要約】【課題】画面の一部分にしか発生しないスポットブルーミングを検出することが可能な固体撮像装置の検査方法、検査装置および検査プログラムを提供する。【解決手段】ＣＣＤ２から出力され、Ａ／Ｄ変換部３によって変換され、メモリ４に記憶された画像データを取り出して、メディアン処理部１１により縦方向のメディアン処理を行い、このメディアン処理後の画像データについて加算処理部１２により縦方向の加算処理を行い、この加算処理後の画像データについて微分処理部１３により微分処理を行い、この微分処理後の値について判定部１４により規格値判定を行い、この判定結果を出力部１５により出力する。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マトリックス状に配列された受光素子と、この受光素子の列方向の配列に隣接対応して配置され各受光素子から電荷を読み出して転送を行う第１転送部と、この列方向に配置される複数の第１転送部に接続配置され各第１転送部から転送された電荷を外部に転送する第２転送部とを備えた固体撮像装置の検査方法であって、
前記第１転送部および第２転送部によって転送された電荷によって得られた画像データ対し、前記第１転送部の配置方向の平均化処理を行うステップと、
前記平均化処理後の画像データについて前記第１転送部の配置方向の値を加算するステップと、
前記加算後の画像データについて規格値判定を行うステップと、
前記規格値判定の結果を出力するステップと
を含む固体撮像装置の検査方法。
【請求項２】
前記規格値判定を行う前に、前記加算後の画像データの微分処理を行うことを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置の検査方法。
【請求項３】
マトリックス状に配列された受光素子と、この受光素子の列方向の配列に隣接対応して配置され各受光素子から電荷を読み出して転送を行う第１転送部と、この列方向に配置される複数の第１転送部に接続配置され各第１転送部から転送された電荷を外部に転送する第２転送部とを備えた固体撮像装置の検査装置であって、
前記第１転送部および第２転送部によって転送された電荷によって得られた画像データ対し、前記第１転送部の配置方向の平均化処理を行う手段と、
前記平均化処理後の画像データについて前記第１転送部の配置方向の値を加算する手段と、
前記加算後の画像データについて規格値判定を行う手段と、
前記規格値判定の結果を出力する手段と
を備えた固体撮像装置の検査装置。
【請求項４】
前記加算処理部と判定部との間に、前記加算後の画像データの微分処理を行う微分処理部を備えた請求項３記載の固体撮像装置の検査装置。
【請求項５】
マトリックス状に配列された受光素子と、この受光素子の列方向の配列に隣接対応して配置され各受光素子から電荷を読み出して転送を行う第１転送部と、この列方向に配置される複数の第１転送部に接続配置され各第１転送部から転送された電荷を外部に転送する第２転送部とを備えた固体撮像装置の検査プログラムであって、
前記第１転送部および第２転送部によって転送された電荷によって得られた画像データ対し、前記第１転送部の配置方向の平均化処理を行う手段と、
前記平均化処理後の画像データについて前記第１転送部の配置方向の値を加算する手段と、
前記加算後の画像データについて規格値判定を行う手段と、
前記規格値判定の結果を出力する手段と
してコンピュータを機能させるための固体撮像装置の検査プログラム。
【請求項６】
前記規格値判定を行う前に、前記加算後の画像データの微分処理を行う手段としてさらにコンピュータを機能させるための請求項５記載の固体撮像装置の検査プログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像装置のブルーミングを検査するための検査方法、検査装置および検査プログラムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
固体撮像装置の概略構成を図８に示す。この固体撮像装置では、光電変換を行う受光素子２１をマトリックス状に配列することで受光部が形成されている。また、受光素子２１の列方向（縦方向）の配列に隣接対応して、各受光素子２１から読み出した電荷の垂直方向の転送を行う垂直転送部２２が配置されている。また、列方向に配置される垂直転送部２２には、電荷を水平方向に転送する水平転送部２３が接続配置されている。
【０００３】
このような構成の固体撮像装置では、入射した光が受光部に投影され、各受光素子２１には、光電効果により光量に応じた電荷が蓄積される。そして、各受光素子２１に一定時間蓄えられた電荷は、各受光素子２１から垂直転送部２２に読み出され、水平転送部２３に送られ、１フィールド（画像）ごとに水平転送部２３によって転送され、Ａ／Ｄ変換されてメモリ４へ蓄積される。
【０００４】
ところで、この種の固体撮像装置においては、受光素子２１に強い入射光があると、この受光素子２１から垂直転送部２２に電荷が漏れ出してしまうブルーミングという現象が生じることが知られている。図９はブルーミング発生のイメージを示している。図９に示すように、強い光６１が当たってブルーミング６２が発生すると、画像６０に縦筋が出力される。
【０００５】
従来、このブルーミングの検出は、横方向の１ラインだけを抽出し、画像処理することによって行う。図１０に示すように、ブルーミング６２は画像６０とこの次の画像７０の間の出力にも発生するため、通常のブルーミングの測定はこれらの間の１ラインを用いて行う。より具体的には、図１１（ａ）に示すように抽出した１ラインに対してメディアン処理を行い（同図（ｂ））、このメディアン処理したものと原画像との差を比較する（同図（ｃ））。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この従来の方法では、測定に用いた１ラインには出力されなかったスポットブルーミングを検出することができない。図１２に示すように、スポットブルーミング７１では、縦筋が画像７０全体ではなく、一部分にしか発生しないからである。スポットブルーミングも固体撮像装置の欠陥の一つであるため、これを検出できないと高品質の撮像画像が得られないという不都合がある。
【０００７】
そこで、本発明においては、このように画面の一部分にしか発生しないスポットブルーミングを検出することが可能な固体撮像装置の検査方法、検査装置および検査プログラムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、マトリックス状に配列された受光素子と、この受光素子の列方向の配列に隣接対応して配置され各受光素子から電荷を読み出して転送を行う第１転送部と、この列方向に配置される複数の第１転送部に接続配置され各第１転送部から転送された電荷を外部に転送する第２転送部とを備えた固体撮像装置の検査方法であって、第１転送部および第２転送部によって転送された電荷によって得られた画像データ対し、第１転送部の配置方向の平均化処理を行うステップと、平均化処理後の画像データについて第１転送部の配置方向の値を加算するステップと、加算後の画像データについて規格値判定を行うステップと、規格値判定の結果を出力するステップとを含む検査方法である。
【０００９】
本発明によれば、画像データ対して第１転送部の配置方向の平均化処理を行い、平均化処理後の画像データについて第１転送部の配置方向の値を加算することで、第１転送部の配置方向の一部分にしか発生しないスポットブルーミングを抽出することができ、さらに加算後の画像データについて規格値判定を行い、規格値判定の結果を出力することで、スポットブルーミングを検出することができる。
【００１０】
また、本発明の検査方法では、規格値判定を行う前に、加算後の画像データの微分処理を行うことで、さらにスポットブルーミングを強調して抽出することも可能である。
【００１１】
上記本発明の検査方法は、第１転送部および第２転送部によって転送された電荷によって得られた画像データ対し、第１転送部の配置方向の平均化処理を行う手段と、平均化処理後の画像データについて第１転送部の配置方向の値を加算する手段と、加算後の画像データについて規格値判定を行う手段と、規格値判定の結果を出力する手段とを備えた固体撮像装置の検査装置により実施することができる。
【００１２】
また、第１転送部および第２転送部によって転送された電荷によって得られた画像データ対し、第１転送部の配置方向の平均化処理を行う手段と、平均化処理後の画像データについて第１転送部の配置方向の値を加算する手段と、加算後の画像データについて規格値判定を行う手段と、規格値判定の結果を出力する手段としてコンピュータを機能させるための固体撮像装置の検査プログラムの実行により実施可能である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施の形態における固体撮像装置の検査装置の構成を示すブロック図である。
図１において、本実施形態における固体撮像装置は、固体撮像素子としてのＣＣＤ（電荷結合素子）２、ＣＣＤ２から出力された画像のアナログ値をデジタル値に変換するＡ／Ｄ変換部３、Ａ／Ｄ変換部３によって変換された画像データを記憶するメモリ４、およびメモリ４に記憶された画像データを外部へ出力する外部出力部５を備える。
【００１４】
ＣＣＤ２は、図８において既に説明したように、光電変換を行う受光素子２１がマトリックス状に配列され、受光素子２１の列方向（縦方向）の配列に隣接対応して、各受光素子２１から読み出した電荷の垂直方向の転送を行う垂直転送部２２が配置されたものである。また、列方向に配置される垂直転送部２２には、電荷を水平方向に転送する水平転送部２３が接続配置されている。
【００１５】
一方、本実施形態における検査装置１は、固体撮像装置のメモリ４から画像データを読み出して処理するものであって、この画像データに対し縦方向の平均化処理としてのメディアン処理を行うメディアン処理部１１、メディアン処理後の画像データについて縦方向の加算処理を行う加算処理部１２、加算処理後の画像データについて微分処理を行う微分処理部１３、微分処理後の値について規格値判定を行う判定部１４、および判定結果を出力する出力部１５を備える。
【００１６】
以下、上記構成の検査装置１による固体撮像装置の検査手順について説明する。図２は図１の検査装置１によるＣＣＤのブルーミングの検査フローを示している。
【００１７】
ステップＳ１０１では、メモリ４から検査装置１へ画像データを取り込む。図３は取り込んだ画像データの例を示している。図３の各セル内の数値はマトリックス状に配列された各受光素子２１から読み出した電荷に基づくデータ（光量）である。図３の例では、左から４列目、上から２〜５段目に縦筋状のスポットブルーミングが発生している。なお、図３の縦方向のセルはＣＣＤ２の垂直転送部２２の配置方向に配列された各受光素子２１、横方向は水平転送部２３の配置方向に配列された各受光素子２１を示している。以下、図４および図５についても同様である。
【００１８】
ステップＳ１０２では、この取り込んだ画像データに対し、メディアン処理部１１によって縦方向のメディアン処理を行う。図４はこのメディアン処理後の画像データの例を示している。ここで、縦方向のメディアン処理とは、垂直転送部２２の配置方向すなわち図３の縦方向のメディアン処理をいう。このメディアン処理によって、図４に示すようにスポットブルーミングが発生している左から４列目、上から２〜５段目のセルを残して、他のセルの値が一定となっているのが分かる。
【００１９】
ステップＳ１０３では、このメディアン処理後の画像データについて、加算処理部１２により縦方向の加算処理を行う。図５はこの加算処理後の画像データの例を示している。ここで、縦方向の加算処理とは、メディアン処理と同様、垂直転送部２２の配置方向すなわち図３の縦方向の各セルの値を上から順に加算する処理をいう。図５に示すように、最下段の値が縦方向のすべてのセルの合計値となっており、スポットブルーミングが発生している左から４列目の値のみ突出しているのが分かる。図６はこの図５の最下段の値を縦軸にとったイメージを表している。
【００２０】
ステップＳ１０４では、図６に示すようにスポットブルーミングが大きな値として出力されている縦ラインを強調するため、微分処理部１３による微分処理を行う。図７はこの微分処理をイメージで表した図である。まず、同図（ａ）に示すように、加算されたラインと、それを２ビット右にシフトしたものとの差を取り出す。次に、同図（ｂ）に示すように、加算されたラインと、それを２ビット左にシフトしたものとの差を取り出す。そして、図７（ｃ）に示すように、この二つを足し合わせることによって、スポットブルーミングが出力されている縦ラインを強調した値が得られる。
【００２１】
ステップＳ１０５では、この強調した値を判定部１４によって規格値判定する。規格値判定では、測定値が判定基準値としての判定上限値よりも小さいか否かを判定し（ステップＳ１０６）、小さい場合には判定結果を“ＯＫ”とする（ステップＳ１０７）。そうでない場合には判定結果を“ＮＧ”とする（ステップＳ１０８）。
【００２２】
ステップＳ１０９では、判定部１４による判定結果を出力部１５へ出力する。これにより、縦筋状に画像の一部分にのみ発生しているスポットブルーミングを測定することが可能となる。
以上のステップＳ１０１〜Ｓ１０９の手順は、コンピュータのプログラムとして実現が可能である。
【００２３】
このように、本実施形態における検査装置では、従来のように画像と画像の間の横方向の１ラインだけをブルーミングの検出に用いるのではなく、画像全体を用いて縦方向のメディアン処理および加算処理を行うことにより、ある一部分にのみ出力されるスポットブルーミングを検出することが可能である。
【００２４】
【発明の効果】
本発明によれば、画像データ対して第１転送部の配置方向の平均化処理を行い、平均化処理後の画像データについて第１転送部の配置方向の値を加算することで、これまで検出できなかったスポットブルーミングを検出することが可能である。これにより、固体撮像装置の品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における固体撮像装置の検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の検査装置によるＣＣＤのブルーミングの検査フロー図である。
【図３】ＣＣＤによって取り込んだ画像データの例を示す図である。
【図４】メディアン処理後の画像データの例を示す図である。
【図５】加算処理後の画像データの例を示す図である。
【図６】加算処理後の値のイメージを表す図である。
【図７】微分処理をイメージで表した図である。
【図８】固体撮像装置の概略構成を示す図である。
【図９】ブルーミング発生のイメージを示す図である。
【図１０】画像間に発生するブルーミングのイメージを示す図である。
【図１１】従来のブルーミング検出の例を示す図である。
【図１２】スポットブルーミング発生のイメージを表す図である。
【符号の説明】
１　検査装置
２　ＣＣＤ
３　Ａ／Ｄ変換部
４　メモリ
５　外部出力部
１１　メディアン処理部
１２　加算処理部
１３　微分処理部
１４　判定部
１５　出力部
２１　受光素子
２２　垂直転送部
２３　水平転送部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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