(57)【要約】【課題】高温環境にあっても安定に搬送台車の走行に伴う振動データを得ることができる搬送台車の振動監視モニター装置を提供する。【解決手段】高温雰囲気の密閉空間である真空処理室１の覗き窓１ａから搬送台車（基板Ｇ）の走行方向に照射したレーザ光の光路３３上の点を含むとともに搬送台車の走行方向に沿って傾斜する斜辺３３ａを有し、前記搬送台車において前記レーザ光と対向するように配設したブロック３２を備えて、前記レーザ光と前記ブロック３２の斜辺３２ａとの交点Ｏと、基準点との間の距離を計測し、前記搬送台車の前記走行方向と直交する方向への振動に伴う振幅を、前記交点Ｏと基準点との間の距離の変化量に変換して前記搬送台車の前記振動を検出する。【選択図】　図１
2004144494.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高温雰囲気の複数の密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレール上を走行するとともに、太陽電池のガラスパネル等、所定の部材を載置して搬送する搬送台車の走行中の振動を監視する搬送台車の振動監視モニター装置であって、
前記密閉空間の覗き窓から前記搬送台車の走行方向にレーザ光を照射するレーザ変位計と、
このレーザ変位計が照射したレーザ光の光路上の点を含むとともに前記搬送台車の走行方向に沿って傾斜する斜辺を有し、前記搬送台車において前記レーザ光と対向するように配設したブロックとを備えて前記レーザ光と前記ブロックの斜辺との交点と、前記密閉空間の覗き窓等の基準点との間の距離を計測し、
前記搬送台車の前記走行方向と直交する方向への振動に伴う振幅を、前記交点と基準点との間の距離の変化量に変換して前記搬送台車の前記振動を検出することを特徴とする搬送台車の振動監視モニター装置。
【請求項２】
〔請求項１〕に記載する搬送台車の振動監視モニター装置において、
密閉空間の覗き窓から搬送台車の走行方向に他のレーザ光を照射する他のレーザ変位計を追加するとともに、この他のレーザ変位計のレーザ光は搬送台車の走行方向と直交する面に照射してこの面と基準点との間の距離を計測するものとし、
前記基準点とブロックとの間の距離を計測するレーザ変位計の計測値から前記他のレーザ変位計の計測値を差し引いて前記搬送台車の進行方向に沿う振動成分の影響を除去するようにしたことを特徴とする搬送台車の振動監視モニター装置。
【請求項３】
〔請求項１〕又は〔請求項２〕に記載する搬送台車の振動監視モニター装置において、
レーザ変位計の代わりにドップラー振動計を用いたことを特徴とする搬送台車の振動監視モニター装置。
【請求項４】
高温雰囲気の複数の密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレール上を走行するとともに、太陽電池のガラスパネル等、所定の部材を載置して搬送する搬送台車の走行中の振動を監視する搬送台車の振動監視モニター装置であって、
前記レールの不連続部分における前記搬送台車の走行によるレール側の振動を計測する加速度計等のレール側振動検出手段を前記不連続部分に配設した状態で、前記搬送台車を走行させるとともに、この搬送台車に搭載した加速度計等の搬送台車側振動検出手段で前記不連続部分における搬送台車側の振動を検出し、
各不連続部分におけるレール側の振動量と、搬送台車側の振動量との相関を、搬送台車の速度、レール間の段差及び隙間等の走行条件を変えて予め検出するとともに、この検出結果に基づく相関データを作成してこれを記憶するデータベースを有し、
前記搬送台車の実走行に伴い前記レール側振動検出手段により得る振動データと前記データベースに記憶してある前記相関データとを比較することにより搬送台車の振動を検出することを特徴とする搬送台車の振動監視モニター装置。
【請求項５】
高温雰囲気の複数の密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレール上を走行するとともに、太陽電池のガラスパネル等、所定の部材を載置して搬送する搬送台車の走行中の振動を監視する搬送台車の振動監視モニター装置であって、
前記搬送台車の走行中の振動を検出する加速度計等の振動検出手段と、この振動検出手段が検出した振動データを記憶しておくデータロガー等の記録手段とを密閉容器に封入して前記搬送台車に搭載したことを特徴とする搬送台車の振動監視モニター装置。
【請求項６】
高温雰囲気の複数の密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレール上を走行するとともに、太陽電池のガラスパネル等、所定の部材を載置して搬送する搬送台車の走行中の振動を監視する搬送台車の振動監視モニター装置であって、
前記搬送台車の走行中の振動を検出するようこの搬送台車に搭載した加速度計等の振動検出手段と、
前記振動検出手段が検出した振動データを無線送信するようこの搬送台車に搭載した送信機と、
この送信機が送信した振動データを受信機で受信して分析するよう前記密閉空間の外部に配設した検出手段とを有することを特徴とする搬送台車の振動監視モニター装置。
【請求項７】
〔請求項１〕乃至〔請求項６〕の何れか一つに記載する搬送台車の振動監視モニター装置において、
検出した搬送台車の振動データのレベルが設定値を超えたとき警報を発する警告手段を有することを特徴とする搬送台車の振動監視モニター装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は搬送台車の振動監視モニター装置に関し、特に太陽電池等の製膜を行うプラズマＣＶＤ装置、スパッタリング装置、ドライエッチング装置等に適用して有用なものである。
【０００２】
【従来の技術】
基板に製膜を施す装置として、プラズマＣＶＤ装置、スパッタリング装置、ドライエッチング装置等の製膜装置が知られている。この種の製膜装置のとしては、主として、複数の処理室を直列に並べたインライン型と、中央の基板搬送共通室の周辺に複数の基板処理室を並列に並べたクラスタ型がある。
【０００３】
これらのうち、インライン型真空処理装置は、例えば図４に示すように、真空処理室１に隣接してロード室２ａ、アンロード室２ｂが設けられている。真空処理室１は、例えば１バッチあたり２枚の基板Ｇの製膜処理を行う製膜ユニット３を有し、この製膜ユニット３の両側部には、基板加熱ヒータ４が設けられている。
【０００４】
プラズマＣＶＤ装置の場合、真空処理室１では、内部を減圧させた状態でＳｉＨ４　（シランガス）等からなる原料ガスを含む製膜ガスを送り込み、基板加熱ヒータ４によって基板Ｇを加熱しながら、非接地電極として設けられた図示しないラダー電極に高周波電力を供給することによりプラズマを発生させる。かくして原料ガスを分解し、基板加熱ヒータ４によって加熱された基板Ｇの表面にシリコン系製膜を施す。
【０００５】
この種の製膜装置では、まず基板Ｇをロード室２ａに搬入し、ロード室２ａで大気圧から真空とした後、真空処理室１に搬送して上記製膜を行い、次いでアンロード室２ｂで大気圧に戻して次の行程に搬送される。
【０００６】
基板Ｇをロード室２ａ、真空処理室１、アンロード室２ｂに搬送するためには搬送台車５が用いられている。この搬送台車５は、システム内を走行するための台車本体６と、基板Ｇを支持すべく台車本体６に配設された爪等の支持機構を含むフレーム７を有する。台車本体６は、システム内、即ちロード室２ａ、真空処理室１、アンロード室２ｂの床面上に敷設されたレール８に沿って移動する。
【０００７】
図５はクラスタ型真空処理装置の全体構造を示す概略図である。同図に示すように、当該クラスタ型真空処理装置において、その中央部には共通搬送室１１が配設され、この共通搬送室１１の周囲にはこの共通搬送室１１を取り囲むように５つの製膜室（真空処理室）１２ａ〜１２ｅ、ロード室１３、アンロード室１４、予備室１５が配置されている。そして、共通搬送室１１と各製膜室１２ａ〜１２ｅ、ロード室１３、アンロード室１４、予備室１５との間にはそれぞれ台車移動接続室１６ａ〜１６ｈが配置され、共通搬送室１１と連通すると共に、各ゲート弁１７ａ〜１７ｈを介して各製膜室１２ａ〜１２ｅ、ロード室１３、アンロード室１４、予備室１５と連通している。
【０００８】
共通搬送室１１にて、床部にはターンテーブル１８が所定角度に割出回転可能に設けられ、このターンテーブル１８上には２本のレール１９が敷設され、各レール１９にはガラス基板Ｇを搭載可能な搬送台車２０が移動自在に支持されている。ロード室１３には搬入テーブル２１が隣接して配置されており、ガラス基板Ｇを搭載した搬送台車２０が搬入テーブル２１からロード室１３及び台車移動接続室１６ｆを通って共通搬送室１１に移動可能となっている。また、アンロード室１４には搬出テーブル２２が隣接して配置されており、ガラス基板Ｇを搭載した搬送台車２０が共通搬送室１１から台車移動接続室１６ｇ及びアンロード室１４を通って搬出テーブル２２に移動可能となっている。
【０００９】
各製膜室１２ａ〜１２ｅはガラス基板Ｇを真空雰囲気中で処理するものでほぼ同様の構成となっており、ガラス基板Ｇを搭載した搬送台車２０が共通搬送室１１、台車移動接続室１６ａ〜１６ｅ、製膜室１２ａ〜１２ｅの間で移動可能となっている。なお、共通搬送室１１、台車移動接続室１６ｈ、予備室１５との間でも搬送台車２０が移動可能となっている。
【００１０】
上述の如きインライン型真空処理装置及びクラスタ型真空処理装置は、高温（１００°Ｃ乃至２００°Ｃ）雰囲気の複数の密閉空間と、各密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレールとを有する装置であり、また所定の部材を載置して前記レール上を走行する搬送台車を有する装置である。
【００１１】
すなわち、図４に示すインライン型真空処理装置では、真空処理室１、ロード室２ａ及びアンロード室２ｂ等が独立した密閉空間を形成しており、図５に示すクラスタ型真空処理装置では、共通搬送室１１、製膜室１２ａ乃至１２ｅ、ロード室１３、アンロード室１４、予備室１５及び台車移動接続室１６ａ乃至１６ｈ等が独立した密閉空間を形成している。また、図４に示すレール８及び図５に示すレール１９が、各密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレールとなっている。さらに、図４に示す搬送台車５及び図５に示す搬送台車２０が、所定の部材を載置してレール上を走行する搬送台車となっている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
上述の如くレール８（図４の場合）及びレール１９（図５の場合）は不連続である。これは、各密閉空間を形成する室（例えば真空処理室１、製膜室１２ａ乃至１２ｅ等）の出入り口等において扉を開閉する必要上、この位置において一旦レール８、１９を断ち切る必要があるからである。この結果、搬送台車５（図４の場合）及び搬送台車２０（図５の場合）がレール８、１９の継ぎ目を通過する際に振動が発生し、このときの衝撃力によってガラス基板Ｇを損傷する虞がある。かかる衝撃力は搬送台車の速度、継ぎ目の段差、継ぎ目に堆積したパーティクル等の異物の存在等、種々の原因（走行条件）によって発生する。上述の如き搬送台車５、２０でガラス基板Ｇを搬送する場合には、特にその進行方向と直角方向の振動による揺れが有害である。
【００１３】
そこで、搬送台車５、２０の走行中の振動を定量的に把握したいという要望がある。継ぎ目の清掃等、当該装置の保守を適正に行うためである。
【００１４】
ところが、上述の如き搬送台車５、２０が高温及び真空雰囲気を走行するものであることとも相俟ってこの種の振動監視モニターを有する真空処理装置は提案されていない。なお、関連する公知文献としては下記の特許文献１を挙げることができる。これはクラスタ型真空処理装置を一般的な構造を開示するものである。
【００１５】
【特許文献１】
特開平２００１−１２７１３３号公報
【００１６】
本発明は、上記従来技術に鑑み、高温環境にあっても安定に搬送台車の走行に伴う振動データを得ることができる搬送台車の振動監視モニター装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の構成は次の点を特徴とする。
【００１８】
１）　高温雰囲気の複数の密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレール上を走行するとともに、太陽電池のガラスパネル等、所定の部材を載置して搬送する搬送台車の走行中の振動を監視する搬送台車の振動監視モニター装置であって、
前記密閉空間の覗き窓から前記搬送台車の走行方向にレーザ光を照射するレーザ変位計と、
このレーザ変位計が照射したレーザ光の光路上の点を含むとともに前記搬送台車の走行方向に沿って傾斜する斜辺を有し、前記搬送台車において前記レーザ光と対向するように配設したブロックとを備えて前記レーザ光と前記ブロックの斜辺との交点と、前記密閉空間の覗き窓等の基準点との間の距離を計測し、
前記搬送台車の前記走行方向と直交する方向への振動に伴う振幅を、前記交点と基準点との間の距離の変化量に変換して前記搬送台車の前記振動を検出すること。
【００１９】
２）　上記１）に記載する搬送台車の振動監視モニター装置において、
密閉空間の覗き窓から搬送台車の走行方向に他のレーザ光を照射する他のレーザ変位計を追加するとともに、この他のレーザ変位計のレーザ光は搬送台車の走行方向と直交する面に照射してこの面と基準点との間の距離を計測するものとし、
前記基準点とブロックとの間の距離を計測するレーザ変位計の計測値から前記他のレーザ変位計の計測値を差し引いて前記搬送台車の進行方向に沿う振動成分の影響を除去するようにしたこと。
【００２０】
３）　上記１）又は２）に記載する搬送台車の振動監視モニター装置において、
レーザ変位計の代わりにドップラー振動計を用いたこと。
【００２１】
４）　高温雰囲気の複数の密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレール上を走行するとともに、太陽電池のガラスパネル等、所定の部材を載置して搬送する搬送台車の走行中の振動を監視する搬送台車の振動監視モニター装置であって、
前記レールの不連続部分における前記搬送台車の走行によるレール側の振動を計測する加速度計等のレール側振動検出手段を前記不連続部分に配設した状態で、前記搬送台車を走行させるとともに、この搬送台車に搭載した加速度計等の搬送台車側振動検出手段で前記不連続部分における搬送台車側の振動を検出し、
各不連続部分におけるレール側の振動量と、搬送台車側の振動量との相関を、搬送台車の速度、レール間の段差及び隙間等の走行条件を変えて予め検出するとともに、この検出結果に基づく相関データを作成してこれを記憶するデータベースを有し、
前記搬送台車の実走行に伴い前記レール側振動検出手段により得る振動データと前記データベースに記憶してある前記相関データとを比較することにより搬送台車の振動を検出すること。
【００２２】
５）　高温雰囲気の複数の密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレール上を走行するとともに、太陽電池のガラスパネル等、所定の部材を載置して搬送する搬送台車の走行中の振動を監視する搬送台車の振動監視モニター装置であって、
前記搬送台車の走行中の振動を検出する加速度計等の振動検出手段と、この振動検出手段が検出した振動データを記憶しておくデータロガー等の記録手段とを密閉容器に封入して前記搬送台車に搭載したこと。
【００２３】
６）　高温雰囲気の複数の密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレール上を走行するとともに、太陽電池のガラスパネル等、所定の部材を載置して搬送する搬送台車の走行中の振動を監視する搬送台車の振動監視モニター装置であって、
前記搬送台車の走行中の振動を検出するようこの搬送台車に搭載した加速度計等の振動検出手段と、
前記振動検出手段が検出した振動データを無線送信するようこの搬送台車に搭載した送信機と、
この送信機が送信した振動データを受信機で受信して分析するよう前記密閉空間の外部に配設した検出手段とを有すること。
【００２４】
７）　上記１）乃至６）の何れか一つに記載する搬送台車の振動監視モニター装置において、
検出した搬送台車の振動データのレベルが設定値を超えたとき警報を発する警告手段を有すること。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。以下に説明する各実施の形態は図４に示すインライン型真空処理装置（プラズマＣＶＤ装置）に適用した場合である。なお、図１において図示しない部材であっても図４に示す部材には、図４と同様の符号を用いて説明する。
【００２６】
＜第１の実施の形態＞
図１は本発明の第１の実施の形態に係る搬送台車（平面的に見た場合）の振動監視モニター装置を概念的に示す説明図である。同図に示すように、本形態に係る搬送台車の振動監視モニター装置は、真空処理室１等、高温雰囲気の複数の密閉空間（他に図４に示すロード室２ａ及びアンロード室２ｂ）を有するとともに、真空処理室１等の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間（例えば、図４に示す真空処理室１とロード室２ａ、真空処理室１とアンロード室２ｂ）内の区域との間が不連続であると同時に、全体として各密閉空間（例えば、図４に示す真空処理室１、ロード室２ａ、アンロード室２ｂ）を貫通する一本の搬送路を形成するレール８を有するプラズマＣＶＤ装置に適用する。当該プラズマＣＶＤ装置においては、太陽電池のガラスパネル等の基板Ｇである所定の部材を載置して搬送する搬送台車５が、前記レール８上を走行する。
【００２７】
かかるプラズマＣＶＤ装置においては、搬送台車５が不連続なレール８上を走行するため、その継ぎ目部分で大きく振動することがあり、特に基板Ｇが衝撃に弱いガラスである場合にはこれを損傷する虞がある。このため、搬送台車５の走行に伴う振動データを把握しておく必要がある。
【００２８】
本形態に係る搬送台車５の振動監視モニター装置は、レーザ変位計３１とブロック３２とを備えている。ここで、レーザ変位計３１は、前記真空処理室１の覗き窓１ａから搬送台車５の走行方向（図１の矢印で示す左右方向）にレーザ光を照射するとともに、反射したレーザ光を受光して反射物体迄の距離を計測するものである。ブロック３２は、前記レーザ変位計３１が照射したレーザ光の光路３３上の点Ｏを含むとともに搬送台車５の走行方向に沿って傾斜する斜辺３２ａを有し、前記搬送台車５において前記レーザ光と対向するように配設したものである。したがって、本形態においては、前記ブロック３２が反射物体となる。そして、搬送台車５がその走行方向に対して直角方向（図１の上下方向）に振動した場合、図１中に実線で示す位置にあるブロック３２が点線で示す位置に移動する。このように、ブロック３２が搬送台車５とともに走行方向と直角な方向に振動した場合、光路３３とブロック３２の交点Ｏがこの光路３３上を振動する。すなわち、搬送台車５の走行方向と直交する方向への振動に伴う振幅を、前記交点Ｏと基準点（例えばレーザ変位計３１のレーザ光の出射端）との間の距離の変化量に変換することができる。
【００２９】
ここで、本形態に係るブロック３２の斜辺３２ａの角度は、光路３３に対して４５°とした。光路３３に対する斜辺を有していれば、前述の如く搬送台車５の走行方向と直交する方向への振動に伴う振幅を、交点Ｏと基準点との間の距離の変化量に変換することはできる。ただ、斜辺３２ａを４５°とした場合が最も良好な振動データを得ることができる。搬送台車５が振動していない状態である原点位置に対して対象な変位量を得ることができるからである。ちなみに、搬送台車５をその走行方向と直交する方向に正弦波で加振した場合、レーザ変位計３１で計測する光路３３上の距離の変化量は前記加振信号と相似な正弦波となった。
【００３０】
かかる本形態によれば、密閉空間である真空処理室１等が高温雰囲気、真空雰囲気等の場合であっても、搬送台車５の走行方向に沿う広い範囲におけるこの走行方向と直交する方向の振動を良好に検出することができる。すなわち、レーザ光は搬送台車５の走行方向に沿って照射されているので、かかる方向における基準位置の近傍位置から遠隔位置迄を見通して走行路上に複数箇所存在するレール８の各継ぎ目等での振動を一台のレーザ変位計３１で的確に検出し得る。
【００３１】
ちなみに、搬送台車５の走行方向と直交する方向における基板Ｇとの間の距離を計測することによっても、同様に基板Ｇの振動の振幅を検出することはできるが、この検出は、計測器と基板Ｇとが搬送台車５の走行に伴い相対向した瞬間しか計測することができず、十分な振動データが得られないばかりでなく、複数のレール８の継ぎ目がある場合にはそれぞれの部位に計測器を設置する必要がある。したがって、設備費が高騰する。
【００３２】
＜第２の実施の形態＞
図２は本発明の第２の実施の形態に係る搬送台車（平面的に見た場合）の振動監視モニター装置を概念的に示す説明図である。同図中図１と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
【００３３】
図２に示すように、本形態に係る搬送台車５の振動監視モニター装置は、真空処理室１の覗き窓１ａに隣接する他の覗き窓１ｂから搬送台車５の走行方向に他のレーザ光を照射する他のレーザ変位計３４を追加したものである。このレーザ変位計３４のレーザ光は搬送台車５の走行方向と直交する面に照射してこの面と基準点との間の距離を計測する。補正部３５では、レーザ変位計３１の計測値から前記他のレーザ変位計３４の計測値を差し引いた後、これを振動検出値として出力している。
【００３４】
本形態によれば、レーザ変位計３４で搬送台車５の進行方向に沿う振動成分を検出することができる。そして、補正部３５では、搬送台車５の進行方向に沿う振動成分を含むレーザ変位計３１の測定値からレーザ変位計３４で検出する搬送台車５の進行方向に沿う振動成分を差し引いたので、レーザ変位計３４の測定値に重畳される搬送台車５の進行方向に沿う振動成分の影響を除去することができる。
【００３５】
なお、上記レーザ変位計３１又はレーザ変位計３１、１３の代わりにドップラー振動計を用いることもできる。
【００３６】
＜第３の実施の形態＞
また、次のようなデータベースを構築しておくことで、搬送台車５の不連続部等、特定部位での振動を検出することができる。これを第３の実施の形態として説明する。先ず、前記レール８の不連続部分における前記搬送台車５の走行によるレール８側の振動を計測する加速度計等のレール側振動検出手段を前記不連続部分に配設し、かかる状態で、搬送台車５を走行させる。このとき、この搬送台車５に搭載した加速度計等の搬送台車側振動検出手段で前記不連続部分における搬送台車５側の振動を検出し、各不連続部分におけるレール８側の振動量と、搬送台車５側の振動量との相関を求める。かかる相関データを、搬送台車５の速度、レール間の段差及び隙間等の走行条件を変えて予め検出してこのときの相関データをデータベースとする。かくして、前記搬送台車５の実走行に伴い前記レール８側の振動検出手段により得る振動データと前記データベースに記憶してある相関データとを比較することにより搬送台車５の不連続部等、特定部位での振動を検出する。すなわち、図３に示すように、レール８側の振動量と、事前に取得した搬送台車５側の振動量のデータベースを構築しておくことで、搬送台車５の実走行に伴うレール８側の振動データと前記データベースに記憶してある相関データとを比較することにより搬送台車５の特定部位での振動を検出する。
【００３７】
さらに、搬送台車５の走行中の振動を検出する加速度計等の振動検出手段と、この振動検出手段が検出した振動データを記憶しておくデータロガー等の記録手段とを密閉容器に封入して前記搬送台車５に搭載しておくことによっても、搬送台車５の不連続部等、特定部位での振動を検出することができる。
【００３８】
この場合、一定期間の振動データを収拾することができ、これに基づき異常な振動部分を特定することにより保守データとして有効に利用する。すなわち、異常な振動部分では、異物の付着、レールの緩み等が考えられるので、その原因を究明して、清掃を行う等の適切な保守作業の実施に資することができる。
【００３９】
さらに、前記搬送台車５の走行中の振動を検出するよう、この搬送台車５に搭載した加速度計等の振動検出手段と、前記振動検出手段が検出した振動データを無線送信するようこの搬送台車５に搭載した送信機と、この送信機が送信した振動データを受信機で受信して分析するよう前記密閉空間の外部に配設した検出手段とを備えることによっても、真空処理室１等の外部で特定部分の振動データを得ることができる。
【００４０】
なお、検出した搬送台車５の振動データのレベルが設定値を超えたとき警報を発するように構成することも勿論できる。この場合には、搬送台車５で搬送する基板Ｇ等の部材の損傷が懸念されるような異常な振動を発生した場合に、これを瞬時に告知することができる。
【００４１】
【発明の効果】
以上実施の形態とともに具体的に説明した通り、〔請求項１〕に記載する発明は、高温雰囲気の複数の密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレール上を走行するとともに、太陽電池のガラスパネル等、所定の部材を載置して搬送する搬送台車の走行中の振動を監視する搬送台車の振動監視モニター装置であって、前記密閉空間の覗き窓から前記搬送台車の走行方向にレーザ光を照射するレーザ変位計と、このレーザ変位計が照射したレーザ光の光路上の点を含むとともに前記搬送台車の走行方向に沿って傾斜する斜辺を有し、前記搬送台車において前記レーザ光と対向するように配設したブロックとを備えて前記レーザ光と前記ブロックの斜辺との交点と、前記密閉空間の覗き窓等の基準点との間の距離を計測し、前記搬送台車の前記走行方向と直交する方向への振動に伴う振幅を、前記交点と基準点との間の距離の変化量に変換して前記搬送台車の前記振動を検出するので、
密閉空間が高温雰囲気、真空雰囲気等の場合であっても、搬送台車の走行方向に沿う広い範囲におけるこの走行方向と直交する方向の振動を良好に検出することができる。すなわち、走行方向と直交する方向における部材との間の距離を計測することによっても、同様の部材の振動の振幅を検出することはできるが、この検出は、計測器と部材とが搬送台車の走行に伴い相対向した瞬間しか計測することができず、十分な振動データが得られないばかりでなく、複数のレールの継ぎ目がある場合にはそれぞれの部位に計測器を設置する必要がある。
したがって、本願発明によれば、低廉なコストで、必要十分な振動データを良好に得ることができるという効果を奏する。
【００４２】
〔請求項２〕に記載する発明は、〔請求項１〕に記載する搬送台車の振動監視モニター装置において、密閉空間の覗き窓から搬送台車の走行方向に他のレーザ光を照射する他のレーザ変位計を追加するとともに、この他のレーザ変位計のレーザ光は搬送台車の走行方向と直交する面に照射してこの面と基準点との間の距離を計測するものとし、前記基準点とブロックとの間の距離を計測するレーザ変位計の計測値から前記他のレーザ変位計の計測値を差し引いて前記搬送台車の進行方向に沿う振動成分の影響を除去するようにしたので、
〔請求項１〕に記載する発明の作用・効果に加え、搬送台車の走行方向と直角な方向の振動成分のみを精確に抽出することができるという効果を奏する。ブロックの交点との距離に基づき搬送台車の前記直角な方向への振動を検出した場合、このとき検出される振動成分には搬送台車の走行方向への振動成分も含まれており、この成分が測定すべき振動成分に対する誤差となるからである。
【００４３】
〔請求項３〕に記載する発明は、〔請求項１〕又は〔請求項２〕に記載する搬送台車の振動監視モニター装置において、レーザ変位計の代わりにドップラー振動計を用いたので、
レーザ変位計の代替品としてドップラー振動計を使用することにより、〔請求項１〕又は〔請求項２〕と同様の効果を奏する。
【００４４】
〔請求項４〕に記載する発明は、高温雰囲気の複数の密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレール上を走行するとともに、太陽電池のガラスパネル等、所定の部材を載置して搬送する搬送台車の走行中の振動を監視する搬送台車の振動監視モニター装置であって、前記レールの不連続部分における前記搬送台車の走行によるレール側の振動を計測する加速度計等のレール側振動検出手段を前記不連続部分に配設した状態で、前記搬送台車を走行させるとともに、この搬送台車に搭載した加速度計等の搬送台車側振動検出手段で前記不連続部分における搬送台車側の振動を検出し、各不連続部分におけるレール側の振動量と、搬送台車側の振動量との相関を、搬送台車の速度、レール間の段差及び隙間等の走行条件を変えて予め検出するとともに、この検出結果に基づく相関データを作成してこれを記憶するデータベースを有し、前記搬送台車の実走行に伴い前記レール側振動検出手段により得る振動データと前記データベースに記憶してある前記相関データとを比較することにより搬送台車の振動を検出するので、
一度、振動データを収拾してデータベースに記憶しておけば、搬送台車の実走行時の振動を密閉空間の外部で簡単且つ確実に計測することができるという効果を奏する。
【００４５】
〔請求項５〕に記載する発明は、高温雰囲気の複数の密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレール上を走行するとともに、太陽電池のガラスパネル等、所定の部材を載置して搬送する搬送台車の走行中の振動を監視する搬送台車の振動監視モニター装置であって、前記搬送台車の走行中の振動を検出する加速度計等の振動検出手段と、この振動検出手段が検出した振動データを記憶しておくデータロガー等の記録手段とを密閉容器に封入して前記搬送台車に搭載したので、
一定期間の振動データを収拾することができ、これに基づき異常な振動部分を特定することにより保守データとして有効に利用する。すなわち、異常な振動部分では、異物の付着、レールの緩み等が考えられるので、その原因を究明して、清掃を行う等の適切な保守作業の実施に資することができる。
【００４６】
〔請求項６〕に記載する発明は、高温雰囲気の複数の密閉空間の所定区域毎に配設され、隣接する密閉空間内の区域との間が不連続であると同時に、全体として前記各密閉空間を貫通する一本の搬送路を形成するレール上を走行するとともに、太陽電池のガラスパネル等、所定の部材を載置して搬送する搬送台車の走行中の振動を監視する搬送台車の振動監視モニター装置であって、前記搬送台車の走行中の振動を検出するようこの搬送台車に搭載した加速度計等の振動検出手段と、前記振動検出手段が検出した振動データを無線送信するようこの搬送台車に搭載した送信機と、この送信機が送信した振動データを受信機で受信して分析するよう前記密閉空間の外部に配設した検出手段とを有するので、
密閉空間の環境に影響されることなく必要な振動データを外部で収拾することができる。
【００４７】
〔請求項７〕に記載する発明は、〔請求項１〕乃至〔請求項６〕の何れか一つに記載する搬送台車の振動監視モニター装置において、検出した搬送台車の振動データのレベルが設定値を超えたとき警報を発する警告手段を有するので、
搬送台車で搬送する部材の損傷が懸念されるような異常な振動を発生した場合に、これを瞬時に告知することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る搬送台車の振動監視モニター装置を概念的に示す説明図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係る搬送台車の振動監視モニター装置を概念的に示す説明図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態に係るデータベースの構成を概念的に示す説明図である。
【図４】インライン型真空処理装置の構造を示す概略構成図である。
【図５】クラスタ型真空処理装置の全体構造を示す概略図である。
【符号の説明】
１　　　　真空処理室
１ａ、１ｂ　　　　覗き窓
５　　　　搬送台車
３１、３４　　　　レーザ変位計
３２　　　　ブロック
３２ａ　　　　斜辺
３３　　　　　光路
３５　　　　補正部
Ｏ　　　　交点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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