(57)【要約】【課題】動作制御用プログラムを切り替えるに際して、外部よりこのプログラムをファイルとして送信し、且つこのプログラムを起動させることが可能な基板処理装置のプログラム追加方法を提供する。【解決手段】動作制御用プログラムと処理用プログラムにより主制御部１４の下で制御されて被処理体に対して所定の処理を施す処理ユニット１０を有すると共に、外部監視装置６との間で通信を行うために所定の通信用プログラムの下で動作する送受信部１２を有する基板処理装置のプログラム追加方法において、新たな動作制御用プログラムをファイルとして外部監視装置側から基板処理装置側へ送信する工程と、基板処理装置側へ送信された新たな動作制御用プログラムを起動させる指令を外部監視装置側から送信する工程とを有する。【選択図】　図１
2004047837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
動作制御用プログラムと処理用プログラムにより主制御部の下で制御されて被処理体に対して所定の処理を施す処理ユニットを有すると共に、外部監視装置との間で通信を行うために所定の通信用プログラムの下で動作する送受信部を有する基板処理装置のプログラム追加方法において、
少なくとも新たな動作制御用プログラムをファイルとして前記外部監視装置側から前記基板処理装置側へ送信する工程と、
前記基板処理装置側へ送信された前記新たな動作制御用プログラムを起動させる指令を前記外部監視装置側から送信する工程と、
を有することを特徴とする基板処理装置のプログラム追加方法。
【請求項２】
前記新たな動作制御用プログラムには、前記処理ユニットにおける必要な動作の開始及び終了をリアルタイムで認識する機能が含まれることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置のプログラム追加方法。
【請求項３】
前記新たな動作制御用プログラムと共に、或いは独立して新たな通信用プログラムを前記外部監視装置側から送信する工程を含むことを特徴とする請求項１または２記載の基板処理装置のプログラム追加方法。
【請求項４】
前記新たな通信用プログラムを起動させる指令を前記外部監視装置側から送信する工程を含むことを特徴とする請求項３記載の基板処理装置のプログラム追加方法。
【請求項５】
前記新たな通信用プログラムと前記新たな動作制御用プログラムとは、同一のファイル内に含まれた状態で送信されることを特徴とする請求項２または３記載の基板処理装置のプログラム追加方法。
【請求項６】
前記新たな通信用プログラムと前記新たな動作制御用プログラムとは異なるファイル内に含まれた状態で送信されることを特徴とする請求項２または３記載の基板処理装置のプログラム追加方法。
【請求項７】
前記新たな通信用プログラムには、前記新たな動作制御用プログラムを用いて認識された動作の開始及び終了の事実を、リアルタイムで前記外部監視装置に向けて送信する機能を有することを特徴とする請求項３乃至６のいずれかに記載の基板処理装置のプログラム追加方法。
【請求項８】
動作制御用プログラムと処理用プログラムにより主制御部の下で制御されて被処理体に対して所定の処理を施す処理ユニット及び所定の通信用プログラムの下で動作して外部監視装置との間で通信を行う送受信部を有する基板処理装置と、
前記基板処理装置の送受信部と通信を行う送受信部及び少なくとも新たな動作制御用プログラムとこの新たな動作制御用プログラムを起動させる指令とを送信するように指示する制御部を有する外部監視装置と、
を備えたことを特徴とする基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等の被処理体に対して所定の処理を施すための基板処理装置のプログラム追加方法及び基板処理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体ウエハ等の被処理体に対して、成膜処理、エッチング処理、酸化拡散処理、アニール処理等の各種の処理を施す基板処理装置（例えば半導体製造装置）は、工場出荷の段階においてこの装置の動作を制御するための動作制御用プログラム等が主制御部に組み込まれている。そして、出荷先において、実際に半導体ウエハを処理する時のガス種、ガス供給量、プロセス温度、プロセス圧力、処理時間等を規定した処理用プログラム（プロセスレシピとも称す）が組み込まれる。そして、この動作制御用プログラム及び処理用プログラムが上記主制御部のオペレーティングシステム上で起動することにより、半導体ウエハは自動的に処理されることになる。
【０００３】
また、この種の基板処理装置は、外部に設けられた外部監視装置との間で必要な情報の送信、受信を行うための送受信部を有しており、この送受信部は通信用プログラムで動作し、外部監視装置との間でインタフェースをとりつつ情報の送受信を行う。ここで用いられる送受信部としては、例えばＨＣＩ（Ｈｏｓｔ　　Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ　Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）方式が用いられている。
【０００４】
【発明が解決使しようとする課題】
ところで、半導体製造工程の改良や種々の情勢の変化に伴って、工場出荷段階で基板処理装置に組み込んだ動作制御用プログラムを、より機能が優れた、すなわちバージョンアップされた新しい動作制御用プログラムと変更させる必要が生ずる場合が、その後に発生する。例えば、半導体ウエハがプロセスチャンバに搬入されたか否か、このゲートバルブが閉じられたか否か、処理用プログラム（プロセスレシピとも称す）が開始されたか否か、ウエハの処理単位（例えば２５枚）であるロットの処理が開始されたか否か等をリアルタイムで監視したい場合などが生ずるが、従来の動作制御用プログラムではこの要求を満たすことができない場合があるので、これらの要求を満たすことができる新たな動作制御用プログラムと変換したい場合が生ずる。この場合、従来にあっては、この新たな動作制御用プログラムをフロッピディスク等の記憶媒体に収納し、オペレータは、このフロッピディスクを持って基板処理装置の設置場所まで行き、ここで装置動作中の場合には基板処理装置の動作を数時間停止して、その間に上記新たな動作制御用プログラムを主制御部に読み込ませる（ロード）などして、プログラムを切り替えるようにしていた。
【０００５】
しかしながら、この場合には、オペレータがプログラムの切り替えのためにその都度、基板処理装置の設置場所まで行かねばならず、特に、プログラムを切り替えるべき基板処理装置が数１０台、或いは数１００台にもなる場合には、このプログラム切り替え操作だけで多くの時間と労力とを要してしまう、といった問題があった。
また、オペレータがプログラム切り替えのために行った時に装置が稼働中の場合には、装置の動作を一旦中断しなければならないか、或いはプロセスが終了するまで、オペレータが待機しなければならず、装置の稼働率の低下や時間的な無駄が生ずる場合があった。
【０００６】
尚、本願の関連発明として、特開平１０−１４９９６８号公報に開示されているように、プログラムレシピを修正する技術や、特開平１１−１９５５６６号公報に開示されているように、プログラムレシピを自動補正する技術も知られているが、本願発明とは直接的には関係するものではない。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、動作制御用プログラムを切り替えるに際して、外部よりこのプログラムをファイルとして送信し、且つこのプログラムを起動させることが可能な基板処理装置のプログラム追加方法及び基板処理システムを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、動作制御用プログラムと処理用プログラムにより主制御部の下で制御されて被処理体に対して所定の処理を施す処理ユニットを有すると共に、外部監視装置との間で通信を行うために所定の通信用プログラムの下で動作する送受信部を有する基板処理装置のプログラム追加方法において、少なくとも新たな動作制御用プログラムをファイルとして前記外部監視装置側から前記基板処理装置側へ送信する工程と、前記基板処理装置側へ送信された前記新たな動作制御用プログラムを起動させる指令を前記外部監視装置側から送信する工程と、を有することを特徴とする基板処理装置のプログラム追加方法である。
【０００８】
このように、外部監視装置側から新たな動作制御用プログラムを送信し、更に、この新たな動作制御用プログラムを外部から起動させるように指令を出すようにしたので、オペレータが基板処理装置の設置場所にわざわざ行くことなく、この動作制御用プログラムを新たな動作制御用プログラムと切り替えることが可能となる。また、動作制御用プログラムの切り替え操作は、装置のアイドリング中に行えばよいので、稼働中の装置を停止させる必要もない。
【０００９】
この場合、例えば請求項２に規定するように、前記新たな動作制御用プログラムには、前記処理ユニットにおける必要な動作の開始及び終了をリアルタイムで認識する機能が含まれる。
また、例えば請求項３に規定するように、前記新たな動作制御用プログラムと共に、或いは独立して新たな通信用プログラムを前記外部監視装置側から送信する工程を含む。
また、例えば請求項４に規定するように、　前記新たな通信用プログラムを起動させる指令を前記外部監視装置側から送信する工程を含む。
この場合には、新たな通信用プログラムを外部より送信し、これを起動させることができる。
【００１０】
また、例えば請求項５に規定するように、前記新たな通信用プログラムと前記新たな動作制御用プログラムとは、同一のファイル内に含まれた状態で送信される。
また、例えば請求項６に規定するように、前記新たな通信用プログラムと前記新たな動作制御用プログラムとは異なるファイル内に含まれた状態で送信される。
また、例えば請求項７に規定するように、前記新たな通信用プログラムには、前記新たな動作制御用プログラムを用いて認識された動作の開始及び終了の事実を、リアルタイムで前記外部監視装置に向けて送信する機能を有する。
【００１１】
請求項８に係る発明は、上記方法発明を実施する装置発明であり、すなわち、動作制御用プログラムと処理用プログラムにより主制御部の下で制御されて被処理体に対して所定の処理を施す処理ユニット及び所定の通信用プログラムの下で動作して外部監視装置との間で通信を行う送受信部を有する基板処理装置と、前記基板処理装置の送受信部と通信を行う送受信部及び少なくとも新たな動作制御用プログラムとこの新たな動作制御用プログラムを起動させる指令とを送信するように指示する制御部を有する外部監視装置と、を備えたことを特徴とする基板処理システムである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る基板処理装置のプログラム追加方法及び基板処理システムの一実施例を添付図面に基づいて詳述する。
図１は本発明に係る基板処理装置を含む基板処理システムの一実施例を示す概略構成図、図２は基板処理装置と外部監視装置との間の情報の送受信状態を示すタイムチャートである。
図示するように、この基板処理システム２は、半導体ウエハ等の被処理体に対して所定の処理を施すための半導体製造装置のような基板処理装置４と、この基板処理装置４の各種動作を監視するための外部監視装置６とにより主に構成されており、これらの両装置４、６は、有線、或いは無線を含めた通信ライン８により接続されている。図示例では、１台の基板処理装置４しか記載されていないが、実際には、複数台の基板処理装置がこの外部監視装置６と通信ライン８を介して接続されており、例えばＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ　Ａｒｅａ　Ｎｅｔｗｏｒｋ）等を構築している。
【００１３】
上記基板処理装置４は、実際に半導体ウエハに対して処理を行う処理ユニット１０と、上記外部監視装置６との間で通信を行うインタフェース機能を有する送受信部１２及びこの基板処理装置４の全体の動作を制御するコンピュータ等よりなる主制御部１４を有している。更に、この基板処理装置４は、必要な情報（データ）類を記憶する記憶部１６、オペレータが必要に応じて情報等の入出力を行う入出力部１８を有しており、各部はバス２０を介して互いに接続されている。上記処理ユニット１０は、例えば３つのプロセスチャンバ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃと、これらのチャンバ２２Ａ〜２２Ｃに共通に接続されてウエハＷを搬出入させるトランスファチャンバ２４及び複数枚のウエハを収納したカセットを外部より搬入するカセットチャンバ２６等よりなり、いわゆるクラスタツール化されている。尚、この処理ユニット１０の構成は、単に一例を示したに過ぎず、これに限定されない。
【００１４】
そして、上記基板処理装置４の全体は、コンピュータよりなる主制御部１４のオペレーティングシステム上で動く動作制御用プログラムによって制御される。すなわち、この動作制御用プログラムによって、ウエハＷの搬入搬出、カセットの搬入搬出、各プロセスチャンバ２２Ａ〜２２Ｃとトランスファチャンバ２４との間を仕切るゲートバルブＧ等の開閉等の各種の動作が制御される。この動作制御用プログラムは、例えば工場出荷段階で予め記憶部１６等に記憶されている。また、この動作制御用プログラムとは別に、ウエハＷを処理する時に必要なガス種、ガス供給量、プロセス温度、プロセス圧力、プロセス時間等を規定した処理用プログラム（プロセスレシピ）も予め記憶されており、この処理用プログラムに基づいてウエハＷに対して実際に所定の処理が施される。
【００１５】
更に、上記送受信部１２は、情報の送受信時にはこれが独立して動作できるように通信用プログラムに基づいて動作できるようになっている。
また、上記外部監視装置６は、例えばパーソナルコンピュータ等よりなる。この外部監視装置６は、制御部３０、情報等を入出力するキーボードやディスクドライブ等を有する入出力部３２、各種の情報を表示するディスプレイ３４、各種の情報を記憶する記憶部３６及び上記基板処理装置４との間で情報の送受信を行うインタフェース機能を有する送受信部３８とを主に有している。
【００１６】
次に、以上のように構成された基板処理システムにおいて、プログラムを追加する方法について説明する。
まず、通常の動作においては、基板処理装置４においては、主制御部１４の制御下において、予め出荷時に準備された動作制御用プログラム及び顧客等によって準備された処理用プログラムに基づいて半導体ウエハＷに対して所定の処理が順次施されることにる。
そして、この際の必要な情報、例えば各種のセンサ情報等は、動作制御用プログラムによって取得され、そして、この情報は送受信部１２から通信ライン８を介して外部監視装置６へ送信され、ここでオペレータ等によってモニタされている。
【００１７】
このような状況下において、半導体製造工程の改良や種々の情勢の変化に伴って、より優れた機能を有するプログラム、すなわちバージョンアップされた動作制御用プログラムを用いたい場合が生ずる場合がある。例えば工場出荷時の動作制御用プログラムには、各動作の開始と終了、例えばウエハの各チャンバーへの搬入開始と搬入終了、ゲートバルブの開閉の状態、処理用プログラムが開始されたか否か等をリアルタイムで認識する機能は含まれていなかったが、半導体製造工程の改良等によって、上記各動作の開始或いは終了等をリアルタイムで外部監視装置６側で認識する必要が生ずる場合も発生する。
このような場合には、まず、上述したような各種の動作の開始と終了等を認識することが可能な新たな動作制御用プログラムを作成してこれを、外部監視装置６の記憶部３６に読み込んで記憶する。そして、この新たな動作制御用プログラムを、この外部監視装置６より電子ファイルの形で通信ライン８を介して基板処理装置４側へ送信（ダウンロード）する。
【００１８】
そして、この基板処理装置４では、受信したこの新たな動作制御用プログラムを記憶部１６へ記憶する。そして、この基板処理装置４では、上記外部監視装置６側より、上記ファイル（新たな動作制御用プログラム）と同時に送信された、或いは後に送信されてくるプログラム起動指令によって、上記記憶部１６に記憶されていた新たなプログラムをこの主制御部１４のオペレーティングシステム上にプログラム的に連結させることによって起動させる。
これによって、工場出荷時に読み込まれていた動作制御用プログラムに替えて、上記新たな動作制御用プログラムが立ち上がることになり、その後、この動作制御用プログラムの制御下で、この基板処理装置４は動作し、例えば各種の動作の開始と終了とが検出されて、その結果がリアルタイムで外部監視装置６側へ送信されることになる。
【００１９】
ここで上記した一連の動作を、図２に示すフローチャートを参照して説明する。
まず、前述したように新たな動作制御用プログラムを作成し、これを外部監視装置６の記憶部３６へ記憶させたならば、この新たな動作制御用プログラムを通信ライン８を介して基板処理装置４側へファイルとして送信（ロード）する（Ｓ１）。この送信は、例えばＦＴＰ（Ｆｉｌｅ　Ｔｒａｎｓｆｅｒ　Ｐｒｏｔｏｃｏｌ）を用いる。基板処理装置４側では、このロードされた新たな動作制御用プログラムをこの記憶部１６へ記憶することによって格納する（Ｓ２）。
【００２０】
次に、上記外部監視装置６からは、プログラムの起動要求を示す指令（起動要求指令）を、上記基板処理装置４に向けて送信する（Ｓ３）。この起動要求指令は、ネットワークにつながれたコンピュータを遠隔操作するための方式である例えばＴＥＬＮＥＴを用いて行われる。尚、この起動要求指令は、上記新しい動作制御用プログラムを送信する際に、これと一緒に１つのファイルとして送信してもよい。
上述のように、起動要求指令を受けた基板処理装置は、今まで動作していた古い動作制御用プログラムから新しい動作制御用プログラムに切り替わってこれがオペレーティングシステム上で起動されることになる（Ｓ４）。尚、この時、例えば半導体ウエハが処理途中だったりして古い動作制御用プログラムが動作している場合には、半導体ウエハの処理が完了して、例えば待機状態になった時などに新旧の動作制御用プログラムの切り替えが行われる。
【００２１】
このようにして、新しい動作制御用プログラムが起動されると、このプログラムに従って、例えば各種の動作の開始と終了、センサ類の情報等に関するデータがこの基板処理装置４内で取得されてこの記憶部１６に記憶されて行く。
これと同時に、上記外部監視装置６側から、定期的に、例えば１分間に２〜３回程度、各種の情報取得の要求信号が基板処理装置４側に向けて送信されており（Ｓ５）、この時、基板処理装置４の記憶部１６に送信すべきデータ、すなわち各種の動作の開始・停止の存否、プロセスレシピの開始・停止の存否、センサ類に関するデータが記憶されていた場合には、このデータを読み出し（Ｓ６）、このデータ情報を上記外部監視装置６に向けて送信することになる（Ｓ７）。上述のように、このステップＳ５〜Ｓ７は常時繰り返し行われているので、従って、外部監視装置６ではリアルタイムで上記基板処理装置４の動作状況を把握することが可能となる。
【００２２】
このようにして、一連の処理が終了して基板処理装置４の稼働を停止したい時には、この外部監視装置６はプログラム終了要求の指令を送信し、この指令を受けた基板処理装置４は、この基板処理装置４を制御している新しい動作制御用プログラムを停止させ、そして、処理終了の応答を外部監視装置６に向けて送信することになる（Ｓ９）。
以上のようにして、基板処理装置４において新しい動作制御用プログラムに切り替えてこれを用いたい場合には、オペレータが装置の設置場所にわざわざ出向いて行く必要がなく、この新しい動作制御用プログラムをファイルとして送信し、これを起動させることができる。そして、この種の基板処理装置が複数台設けられている場合には、上記したプログラムの送信を各装置に対して行えばよく、プログラムの切り替え操作を迅速に行うことが可能となる。
【００２３】
また、プログラムの切り替えのために基板処理装置自体の動作も停止させる必要がない。そして、上記した動作制御用プログラムは、何回でも別の新しい動作制御用プログラムでもって切り替えることができ、必要に応じて何回でもバージョンアップをすることができる。
尚、上記基板処理装置を新たな動作制御用プログラムの下で再起動する時には、上記ステップＳ１以降を繰り返し行ってもよいし、この新たな動作制御用プログラムを基板処理装置４の記憶部１６に記憶させたまま保持し、これを再起動させる指令（Ｓ３）を送信するようにしてもよい。
【００２４】
また、ここでは新しい動作制御用プログラムを送信し、これを起動する場合を例にとって説明したが、これに限定されず、例えば機能が拡張された新しい通信用プログラムを送信し、これを起動させることができるし、また、新しい処理用プログラム（プロセスレシピ）を送信することもできるのは勿論である。
尚、ここでは被処理体として半導体ウエハを処理する場合を例にとって説明したが、これに限定されず、ガラス基板、ＬＣＤ基板等を処理する場合にも本発明を適用できるのは勿論である。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の基板処理装置のプログラム追加方法及び基板処理システムによれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
請求項１〜３、５〜８に係る発明によれば、外部監視装置側から新たな動作制御用プログラムを送信し、更に、この新たな動作制御用プログラムを外部から起動させるように指令を出すようにしたので、オペレータが基板処理装置の設置場所にわざわざ行くことなく、この動作制御用プログラムを新たな動作制御用プログラムと切り替えることができる。また、動作制御用プログラムの切り替え操作は、装置のアイドリング中に行えばよいので、稼働中の装置を停止させることなく上記プログラムの切り替えを行うことができる。
請求項４に係る発明によれば、新たな通信用プログラムを外部より送信し、これを起動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理装置を含む基板処理システムの一実施例を示す概略構成図である。
【図２】基板処理装置と外部監視装置との間の情報の送受信状態を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
２　基板処理システム
４　基板処理装置
６　外部監視装置
８　通信ライン
１０　処理ユニット
１２　送受信部
１４　主制御部
１６　記憶部
１８　入出力部
２２Ａ〜２２Ｃ　プロセスチャンバ
３０　制御部
３８　送受信部
【図１】
2004047837.tif 000003
【図２】
2004047837.tif 000004