(57)【要約】【課題】低コストで、且つ、空気の乱れを生じたりすることなく、大型ガラス基板等の薄板状材を気体により浮上させた状態で搬送する。【解決手段】搬送装置１０は、大型薄板状の基板１２を鉛直面から５〜１０°の傾斜角度の搬送面１４に沿って水平方向に搬送するものであり、搬送面１４と平行な平滑面２０を備えた背面板１８と、この背面板１８の上側端縁１８Ａ近傍に設けられた気体吹出ノズル２２と、基板１２の下端縁１２Ａを支持する搬送ローラ列１６とを有しており、気体吹出ノズル２２から吹出した気体を、平滑面２０の幅方向端部から、平滑面２０と基板１２との間に流入させて気体からなる流体膜Ｆによって基板１２を浮上させて平滑面２０と非接触状態とし、この状態で、搬送ローラ列１６により搬送力を付与して搬送する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送すべき大型薄板状材の搬送方向と直交する幅方向の寸法よりも小さい幅の平滑な背面板を搬送路に沿って配置し、この背面板に対して前記大型薄板状材を上側から被せ、且つ、前記背面板から前記幅方向にはみ出した前記大型薄板状材の幅方向端部に対して、その裏面側から、該大型薄板状材の裏面と前記背面板との間に斜めに気流を吹き付けて、両者の間に流体膜を形成し、前記大型薄板状材を背面板と非接触で、且つ、該背面板に沿って搬送することを特徴とする大型薄板状材の搬送方法。
【請求項２】
請求項１において、前記背面板を水平に配置し、この背面板から幅方向にはみ出した前記大型薄板状材の幅方向両端縁を、搬送ローラにより下方から支持し、且つ、搬送することを特徴とする大型薄板状材の搬送方法。
【請求項３】
請求項２において、前記大型薄板状材の前記背面板から幅方向にはみ出した部分の裏面に対して、前記背面板の幅方向両端近傍の外側から幅方向内側に、且つ、上方に向けて気流を吹き付けることを特徴とする大型薄板状材の搬送方法。
【請求項４】
請求項１において、前記背面板を、上端側が鉛直面から５〜１０°傾くように設けると共に、該背面板に対して斜め上方から前記大型薄板状材を被せ、且つ、該大型薄板状材の下端を搬送手段により支持すると共に搬送することを特徴とする大型薄板状材の搬送方法。
【請求項５】
請求項４において、前記大型薄板状材の、前記背面板から上方にはみ出した部分における裏面と、前記背面板の上端縁との間の位置に、斜め下向きに気流を吹き付けることを特徴とする大型薄板状材の搬送方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記背面板の幅Ｗｔを、前記大型薄板状材における幅Ｗｓに対して、Ｗｓ／６≦Ｗｔ≦Ｗｓ／２の範囲となるように設定することを特徴とする大型薄板状材の搬送方法。
【請求項７】
搬送面に沿って、且つ、該搬送面の斜め下方を含む下方に配置され、表面が平滑で、搬送方向と直交する幅方向の寸法が、搬送すべき大型薄板状材の幅よりも小さい背面板と、この背面板の幅方向外側の少なくとも一方に配置され、前記大型薄板状材の幅方向の少なくとも一方の端縁を支持し、前記搬送面に沿って搬送可能な搬送手段と、前記背面板の幅方向少なくとも一方の端縁近傍に配置され、前記背面板に沿って、前記搬送手段により支持された前記大型薄板状材の裏面に対して、幅方向内側に斜めに気流を吹き付け可能とされたノズルと、を有してなる大型薄板状材の搬送装置。
【請求項８】
請求項７において、前記搬送面及び背面板は水平であり、前記搬送手段は、前記背面板の幅方向両側に配置され、前記大型薄板状材の幅方向両端縁を支持して搬送力を付与する搬送ローラ列であることを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【請求項９】
請求項８において、前記ノズルは、前記背面板の幅方向両側端縁に沿って、前記搬送方向に適宜間隔で、且つ、前記搬送面よりも下側位置から、前記背面板の幅方向側端縁における上側角部に対して斜め上向きに配置されたことを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【請求項１０】
請求項７において、前記搬送面及び背面板は、鉛直面に対して５〜１０°傾けて設けられ、前記搬送手段は、前記搬送面の下端位置に設けられ、搬送面上の大型薄板状材の下端縁を支持、搬送するようにされたことを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【請求項１１】
請求項１０において、前記ノズルは、前記背面板の上側端縁近傍に沿って、搬送方向に適宜間隔で、且つ、該上側端縁の搬送面側の角部近傍に向けて配設されたことを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【請求項１２】
請求項７乃至１１のいずれかにおいて、前記背面板の表面の粗さＨmaxが１００μ以下、好ましくは１０μ以下であることを特徴とする大型薄板状材の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶表示（ＬＣＤ）パネル、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）などの平面板ディスプレイに用いる大型で薄いガラス基板、装飾用金属薄板、金属箔に高分子フィルムをラミネートした積層材のような大型薄板状材を搬送する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
大型のＬＣＤ用ガラス基板は、サイズが、例えば７５０ｍｍ×９５０ｍｍ、厚さが０．７ｍｍなどであって、大きさに比べて非常に薄く、近い将来、１２００ｍｍ×１５００ｍｍあるいは１４００ｍｍ×１７００ｍｍと更に大型化が考えられている。
【０００３】
上記のような大型のガラス基板を水平に搬送する際に、その幅方向両端のみならず、幅方向中央部を支持しなければ大きく垂れ下がってしまうが、このようなガラス基板は、特にその外周端部を除いた部分に搬送装置などが接触しないことが要求されている。
【０００４】
このための手段としては、例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３等に開示されるような、空気などの気体を用いて基板を浮上させ非接触で搬送する技術が提案されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−１３９１６０号公報
【特許文献２】
特開平１１−２６８８３０号公報
【特許文献３】
特開平１１−２６８８３１号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような搬送装置は、複数のノズルから圧縮空気などを噴出するようにし、且つ、その噴出方向、噴出及び停止を複雑に制御することによって、基板を浮上させ、目的の方向に搬送させるようにしているので、製造コスト及び運転コストが非常に高くなると共に、例えばクリーンルーム内においては、複数のノズルから比較的高い圧力の空気などが噴出するので、クリーンルーム内に気流の乱れを生じてしまうという問題点がある。
【０００７】
更に、このような問題点を解決するために、例えば多孔質セラミクス板を水平に配置し、その下側から空気を送り込んで、搬送されるガラス基板と多孔質セラミクス板との間に流体膜を形成し、これによってガラス基板を浮上させるようにしたものがある。
【０００８】
しかしながら、この多孔質セラミクス板は非常に高価であり、製造コストが増大してしまうという問題点がある。
【０００９】
又、大型薄板状材の幅方向縁端を搬送ローラ列により下方から接触支持すると共に、面板に形成された多数の気体噴出孔から気体を噴出して面板と大型薄板状材との間に静圧気体からなる流体膜を形成し、前記搬送ローラ列により搬送することも考えられるが、この場合は、多数の気体噴出孔を設ける必要があり、製造コストが増大し、又、ここからの気体の噴出量が大きくなるのでランニングコストが高くなるのみならず、クリーンルーム内での気流の乱れの原因となるという問題点がある。
【００１０】
この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、多数の気体噴出孔を設けることなく低コストで、且つ、気体の噴出量が少なくて、クリーンルーム内でも気流の乱れが生じないようにした大型薄板状材の搬送方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本方法発明は、搬送すべき大型薄板状材の搬送方向と直交する幅方向の寸法よりも小さい幅の平滑な背面板を搬送路に沿って配置し、この背面板に対して前記大型薄板状材を上側から被せ、且つ、前記背面板から前記幅方向にはみ出した前記大型薄板状材の幅方向端部に対して、その裏面側から、該大型薄板状材の裏面と前記背面板との間に斜めに気流を吹き付けて、両者の間に流体膜を形成し、前記大型薄板状材を背面板と非接触で、且つ、該背面板に沿って搬送することを特徴とする大型薄板状材の搬送方法により、上記目的を達成するものである。
【００１２】
又、前記背面板を水平に配置し、この背面板から幅方向にはみ出した前記大型薄板状材の幅方向両端縁を、搬送ローラにより下方から支持し、且つ、搬送するようにしてもよい。
【００１３】
更に、前記大型薄板状材の前記背面板から幅方向にはみ出した部分の裏面に対して、前記背面板の幅方向両端近傍の外側から幅方向内側に、且つ、上方に向けて気流を吹き付けるようにしてもよい。
【００１４】
又、前記背面板を、上端側が鉛直面から５〜１０°傾くように設けると共に、該背面板に対して斜め上方から前記大型薄板状材を被せ、且つ、該大型薄板状材の下端を搬送手段により支持すると共に搬送するようにしてもよい。
【００１５】
更に、前記大型薄板状材の、前記背面板から上方にはみ出した部分における裏面と、前記背面板の上端縁との間の位置に、斜め下向きに気流を吹き付けるようにしてもよい。
【００１６】
更に又、前記背面板の幅Ｗｔを、前記大型薄板状材における幅Ｗｓに対して、Ｗｓ／６≦Ｗｔ≦Ｗｓ／２の範囲となるように設定してもよい。
【００１７】
本装置発明は、搬送面に沿って、且つ、該搬送面の斜め下方を含む下方に配置され、表面が平滑で、搬送方向と直交する幅方向の寸法が、搬送すべき大型薄板状材の幅よりも小さい背面板と、この背面板の幅方向外側の少なくとも一方に配置され、前記大型薄板状材の幅方向の少なくとも一方の端縁を支持し、前記搬送面に沿って搬送可能な搬送手段と、前記背面板の幅方向少なくとも一方の端縁近傍に配置され、前記背面板に沿って、前記搬送手段により支持された前記大型薄板状材の裏面に対して、幅方向内側に斜めに気流を吹き付け可能とされたノズルと、を有してなる大型薄板状材の搬送装置により、上記目的を達成するものである。
【００１８】
又、前記搬送面及び背面板は水平であり、前記搬送手段は、前記背面板の幅方向両側に配置され、前記大型薄板状材の幅方向両端縁を支持して搬送力を付与する搬送ローラ列としてもよい。
【００１９】
更に、前記ノズルは、前記背面板の幅方向両側端縁に沿って、前記搬送方向に適宜間隔で、且つ、前記搬送面よりも下側位置から、前記背面板の幅方向側端縁における上側角部に対して斜め上向きに配置するようにしてもよい。
【００２０】
又、前記搬送面及び背面板は、鉛直面に対して５〜１０°傾けて設けられ、前記搬送手段は、前記搬送面の下端位置に設けられ、搬送面上の大型薄板状材の下端縁を支持、搬送するようにしてもよい。
【００２１】
更に、前記ノズルは、前記背面板の上側端縁近傍に沿って、搬送方向に適宜間隔位置で、且つ、該上側端縁の搬送面側の角部近傍に向けて配設されるようにしてもよい。
【００２２】
更に又、前記背面板の表面の粗さＨmaxが１００μ以下、好ましくは１０μ以下としてもよい。
【００２３】
この発明においては、大型薄板状材を、平滑面からなる背面板に被せ、背面板からはみ出した幅方向端部を搬送手段により支持し、且つ背面板の端縁部から、背面板と大型薄板状材との間に気体を吹き込み、非接触で支持しつつ前記搬送手段により搬送するので、低コストで気流の乱れが少なく、粉塵の飛散あるいは発生等を防止することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して詳細に説明する。
【００２５】
図１、図２に示されるように、本発明の実施の形態の第1例に係る大型薄板状材の搬送装置１０は、大型薄板状材（以下基板）１２を、鉛直面から５〜１０°の傾斜面を搬送面１４として、その下端縁１２Ａを、搬送ローラ列１６により支持して搬送するものであって、前記搬送面１４上の基板１２における上下方向の中央部１２Ｂに相当する位置で、搬送方向に長く、且つ、搬送方向と直交する幅方向寸法が基板１２の幅よりも小さい背面板１８を搬送面１４に沿って連続して設け、この背面板１８により、基板１２の前記中央部１２Ｂを非接触で斜め下側から支持するように構成されている。
【００２６】
前記背面板１８は、前述のように、搬送方向に長い板状体であって、前記搬送面１４と平行、且つ、隣接する平滑面２０を有している。前記背面板１８の上側端縁１８Ａに沿って気体吹出ノズル２２が、搬送方向適宜間隔に設けられている。
【００２７】
これら気体吹出ノズル２２は前記上側端縁１８Ａの近傍に、これと平行に搬送方向に連続して配置され、送気パイプ２４に適宜間隔で設けられた気体噴出孔により構成されている。
【００２８】
前記基体吹出ノズル２２は、図３に拡大して示されるように、前記搬送面１４よりも背面板１８側（図において右側）位置から、前記上側端縁１８Ａにおける搬送面１４側の角部のわずかに上側位置に向けて、斜め下向きに気体、例えば空気を吹き付けて、前記平滑面２０と基板１２との間に、該１２基板の中央部１２Ｂを平滑面２０に接触しない程度に僅かに離間させる流体膜Ｆを形成できるようにされている（詳細後述）。
【００２９】
前記搬送面１４は、更に詳細には、図２に示されるように、搬送方向と平行な鉛直面に対する傾斜角度θが、５°＜θ≦１０°に設定され、前記背面板１８は、前記搬送面１４上の前記基板１２の裏面側に配置されている。
【００３０】
又、前記搬送ローラ列１６は、複数の搬送ローラ１７を搬送面１４の下端に沿って一列に並べたものであり、各搬送ローラ１７は、その回転軸１７Ａが水平面に対して角度θだけ傾斜し、且つ、前記搬送面１４と直交して配置されている。更に、この搬送ローラ１７は、支持する基板１２の背面板１８から下方にはみ出した部分の下端縁１２Ａにおける裏面側が接触可能な大径の鍔部１７Ｂを備えていて、いわゆる段付ローラとされている。
【００３１】
図１、図２の符号１９は、前記各搬送ローラ１７毎にその下側及び各搬送ローラ１７間の適宜位置に配置された吸引ノズルを示す。この吸引ノズル１９は一本の集合吸気管１９Ａを介して負圧が印加されて、搬送ローラ１７との接触により基板１２の下端縁１２Ａから発生する微塵を吸引して排出するようにされている。前記搬送ローラ１７の上端部を除く部分、吸引ノズル１９、集合吸気管１９Ａは、搬送方向に延在された四角筒状ケース２１内に収納され、内部の微塵が外側に漏れないようにされている。
【００３２】
ここで、前記背面板１８の上下方向の幅Ｗｔは、基板１２における上下方向の幅Ｗｓに対して、Ｗｓ／６≦Ｗｔ≦Ｗｓ／２の範囲となるようにされている。
【００３３】
前記送気パイプ２４に対しては、図３に示されるように、ブロワー３２からフィルター３４を介して、ダクトホース３６により、例えば比較的低圧の空気が供給され、前記多数の気体吹出ノズル２２から噴出されるようになっている。
【００３４】
前記気体吹出ノズル２２の径及び送気パイプ２４における搬送方向のピッチは、ここから噴出した空気が基板１２の裏面と、平滑面２０の表面との間に薄い流体膜Ｆを形成できればよいので、大量の空気を噴出して動圧気体で基板１２を浮上させる場合と比較して小さくてもよい。
【００３５】
この実施の形態の例に係る搬送装置１０に対しては、例えば搬送ロボットにより基板１２を上方から搬入したり、あるいは搬送方向上流側からコンベア等によって搬入するが、このとき、気体吹出ノズル２４から気体を噴出させると、背面板１８と平滑面２０との間に気体が入り込み、ここに流体膜Ｆが形成される。又、この流体膜Ｆを形成する気流は背面板１８の下側端縁１８Ｂと基板１２との間から下方に流出する。
【００３６】
このとき、前記流体膜Ｆの厚さは、基板１２が背面板１８の平滑面２０に接触することを阻止できるものであればよく、従って吹出ノズル２２からの吹き出した気体の量がわずかであっても基板１２を背面板１８に対して非接触で維持することができる。
【００３７】
又、気体吹出ノズル２２から噴出された気体は、前記背面板１８と基板１２との間を通って、該背面板１８の下側端縁１８Ｂの位置から下向きに噴出される。
【００３８】
従って、この搬送装置１０がクリーンルーム内に設置されている場合は、クリーンルーム内のダウンフローと方向が一致して、該クリーンルーム内での気流に乱れが生じることがなく、従って微細な埃等が巻き上げられて、クリーン度が低下することがない。
【００３９】
更に、気体吹出ノズル２２から吹き出される気体の量が少ないので、基板１２が背面板１８から過剰に浮上して搬送中に不安定な状態になることがなく、安定して搬送面１４上に基板が維持される。
【００４０】
又、搬送ローラ１７の回転軸１７Ａが水平面に対して角度θ傾けられているので、基板１２の下端縁１２Ａに対して垂直になり、この下端縁１２Ａを安定して支持でき、且つ、鍔部１７が下端縁１２Ａの横滑りを抑制しているので、搬送中の基板１２の、搬送面１４からのずれを規制する。
【００４１】
更に、基板１２の搬送は、該基板１２の下端縁１２Ａを搬送ローラ列１６で支持し、且つ搬送力を付与してなされるので、気体吹出ノズル２２から供給される気体は、単に流体膜Ｆを形成して基板１２が平滑面２０に接触しないようにしているのみであって、搬送力を発生させる必要がない。
【００４２】
従って、気体吹出ノズル２２から噴出される気体の量及び圧力は従来の動圧気体による搬送装置と比較して少なく、且つ、低圧であってもよい。又、搬送ローラ列１６は、基板１２の荷重のかなりの部分を支えるが、基板１２は薄板状であり、１個当たりの搬送ローラ１７が負担する荷重が少ないので、僅かな搬送力によって基板１２を搬送面１４に沿って搬送することができると共に、搬送ローラ１７との接触による下端縁１２Ａの損傷を少なくすることができる。
【００４３】
ここで、前記背面板１８を搬送面１４に沿って搬送方向に長く形成した場合、基板１２が通過中でない位置の気体吹出ノズル２２からは無駄に気体が流出してしまうが、気体吹出ノズル２２からの吹出量がわずかであるので、大部分の気体が、基板１２がない位置から流出してしまって、基板１２と平滑面２０との間に流体膜Ｆを形成できないということはない。
【００４４】
なお、基板１２と平滑面２０との間における流体の速度を一定値以上とすると、高速気流による負圧が発生し、基板１２は背面板１８の平滑面２０に、接触しない程度に吸引され、これにより、基板１２を安定して搬送面１４上に維持することができる。
【００４５】
又、流体膜Ｆの最小の厚さは、平滑面２０における表面粗さによって決定される。即ち、平滑面２０の粗さが小さいほど、流体膜Ｆを薄くしても、基板１２との接触を抑制でき、表面の凹凸が大きい場合は、流体膜Ｆを該凹凸よりも厚くしなければ、基板１２と接触してしまう。
【００４６】
従って、表面の粗さが一定値以上の場合は、気体の供給量を増大して、流体膜Ｆの厚さを大きくしなければならないが、その限界は、平滑面２０の粗さＨmaxが１００μ以下、好ましくは１０μ以下である。
【００４７】
このＨmaxが小さく、且つ平滑面２０のうねりが少ない場合は、流体膜Ｆの厚さが非常に薄くても、基板１２を、平滑面２０に非接触とすることができる。
【００４８】
又、吸気ノズル１９は、例えばクリーンルーム内で基板１２に沿って流下する気体中に含まれる浮遊微塵、基板１２のエッジ、特に下端縁１２Ａと搬送ローラ列１６との接触によるチッピング片を吸入して排出させることができる。
【００４９】
上記搬送装置１０は、搬送面１４の上下方向中央位置における水平方向に１列の背面板１８と下端縁１２Ａを支持する搬送ローラ列１６、及び気体吹出ノズル２２とにより構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、背面板は基板１２における幅方向中央部１２Ｂが平滑面２０に非接触とするものであればよく、又、他の位置に別個の背面板を設けてもよい。更に、搬送力付与手段としての搬送ローラ列は、コンベア等の他の搬送手段としてもよい。
【００５０】
なお、上記搬送装置１０において、搬送面１４を鉛直面に近い角度に設定すると、搬送装置１０の装置面積が減少し、且つ、背面板１８での基板１２の支持荷重が減少する。
【００５１】
従って、傾斜角θが小さい程本発明の効果が大きいことになるが、搬送面１４を鉛直に近い状態とすると、基板１２を搬送面１４内に維持することが困難であるので、傾斜角の最小値は５°を越えるものとする。又、傾斜角があまりにも大きいと装置面積の減少率が少なく、流体膜Ｆの形成に必要な気体の消費量も増大してしまうので、傾斜角θの限界は１０°とする。
【００５２】
次に、図４に示されるように、搬送面が水平の場合の、本発明の実施の形態の第２例に係る搬送装置３０について説明する。
【００５３】
この搬送装置３０は、例えば大型のＰＤＰ用の基板１２を、搬送面３４に沿って水平に搬送するものであり、搬送面３４における搬送方向と直交する幅方向中央部位置に配置された搬送方向に長い水平の背面板３６と、搬送面３４における幅方向両端位置で、搬送方向に配置された幅方向一対の搬送ローラ列３８Ａ、３８Ｂと、前記背面板３６の幅方向両端縁３６Ａ、３６Ｂに沿って、搬送方向適宜間隔に配置された気体吹出ノズル３２Ａ、３２Ｂとから構成されている。前記背面板３６の上面は水平の平滑面３７とされている。
【００５４】
又、図４、図５に示されるように、前記基板１２は、背面板３６よりも、搬送方向と直交する方向の幅が大きく、背面板３６から幅方向両側にはみ出した側端縁１３Ａ、１３Ｂにおいて、前記一対の搬送ローラ列３８Ａ、３８Ｂによって支持されるようになっている。図４、図５の符号３９は前記搬送ローラ列３８Ａ、３８Ｂを構成する搬送ローラを示す。
【００５５】
前記気体吹出ノズル３２Ａ、３２Ｂは、前記背面板３６の幅方向両端縁３６Ａ、３６Ｂの外側に沿って配置された送気パイプ３１Ａ、３１Ｂに、搬送方向適宜間隔に形成された気体吹出孔により構成されている。
【００５６】
又、気体吹出ノズル３２Ａ、３２Ｂの吹出し方向は、図６に示されるように、前記背面板３６における幅方向両端縁３６Ａ、３６Ｂの上側の角部と、この上方において搬送面３４に沿って搬送される基板１２の裏面との隙間に、気体を斜め下方から、且つ背面板３６の幅方向中央側に向かって吹き込むようにされている。
【００５７】
この発明の実施の形態の例に係る搬送装置３０において、背面板３６の平滑面３７と基板１２の裏面との間に吹き込まれた気体（空気）は、流体膜Ｆを構成し、この流体膜Ｆからは、気体が、基板１２の搬送方向前後端から流出される。
【００５８】
前記送気パイプ３１Ａ、３１Ｂに対しては、図５に示されるように、ブロワー４０からフィルター４２を介して、ダクトホース４４により比較的低圧の空気が供給されるようになっている。
【００５９】
この実施の形態の例に係る搬送装置３０は、例えばフォーク状の搬送ロボットにより基板１２を上方から搬入したり、あるいは搬送方向上流側からコンベア等によって搬入するが、このとき、気体吹出ノズル３２Ａ、３２Ｂから所定の圧力で気体を吹出させる。
【００６０】
このようにすると、吹出した気体が背面板３６の幅方向両端線３６Ａ、３６Ｂの上側角部と基板１２の裏面との交差部から、該裏面と平滑面３７との間に入り込んで流体膜Ｆを形成する。
【００６１】
又、基板１２の搬送は、流体膜Ｆによって基板１２の幅方向中央部を浮上させた状態で、該基板１２の幅方向両端を搬送ローラ列３８Ａ、３８Ｂで支持し、且つ搬送力を付与するので、前記気体吹出ノズル３２Ａ、３２Ｂから供給される気体は、単に流体膜を形成して基板１２が背面板３６に接触しないようにしているのみであって、搬送力を発生させる必要がない。
【００６２】
従って、気体吹出ノズル３２Ａ、３２Ｂから噴出される空気の量及び圧力は従来の気体による搬送装置と比較して少なく、且つ、低圧であってもよい。又、搬送ローラ列３８Ａ、３８Ｂは、基板１２の荷重のかなりの部分が前記背面板３６によって支えられるので、僅かな搬送力によって基板１２を搬送面３４に沿って搬送することができる。更に、搬送ローラ列３８Ａ、３８Ｂに係る荷重が少ないので、その反力としての基板１２の幅方向両端にかかる力が少なく、該基板１２に歪みを生じさせるようなことが少ない。
【００６３】
上記搬送装置３０は、搬送面３４の幅方向中央位置における１枚の背面板３６と幅方向両端の一対の搬送ローラ列３８Ａ、３８Ｂにより構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、背面板は搬送面１４における幅方向中央部を少なくとも浮上させるものであればよく、又、他の位置に別個の背面板を設けてもよい。更に、搬送力付与手段としての搬送ローラ列は、コンベア等の他の搬送手段としてもよく、必要に応じて、その幅方向位置を変更してもよい。
【００６４】
上記のような各実施の形態の例において、背面板は単純な平滑面を有する板状体であり、従って、低コストで簡単に製造することができる。
【００６５】
又、気体吹出ノズルは搬送されてくる基板１２と背面板の端部との間に気体を吹き込んで、流体膜を形成するものであればよく、その孔の方向、大きさ等の設計の自由度が大きい。
【００６６】
又、動圧気体による従来の浮上搬送手段と比較すると、ブロワーから低圧の気体を供給するのみで足りるので、ブロワーを含めた装置の製造コストを大幅に低減させることができ、更に、気体吹出ノズルの複雑な制御が不要であるので、構造が簡単である。
【００６７】
なお、上記の実施の形態の例は、ＰＤＰ用のガラス基板を搬送するためのものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、面積に比較して板厚の薄いいわゆる薄板を搬送する場合について適用されるものである。従って、金属薄板、樹脂の薄板等の撓みを生じ易い材料の搬送の場合に適用される。
【００６８】
又、流体膜を形成する気体は、空気に限定されるものでなく、窒素ガス、希ガス等であってもよい。
【００６９】
【発明の効果】
本発明は、上記のように構成したので、低コストで、且つ、クリーンルーム内等の空気の乱れを生じたりすることがなく、大型ガラス基板等の薄板状材を安定して搬送することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の第１例に係る搬送装置を示す正面図
【図２】同側面図
【図３】同搬送装置の要部を拡大して示す断面図
【図４】本発明の実施の形態の第２例に係る搬送装置を示す断面図
【図５】同平面図
【図６】同搬送装置の要部を拡大して示す断面図
【符号の説明】
１０、３０…搬送装置
１２…基板（大型薄板状材）
１２Ａ…下端縁
１４、３４…搬送面
１６、３８Ａ、３８Ｂ…搬送ローラ列
１７、３９…搬送ローラ
１８、３６…背面板
１８Ａ…上側端縁
１８Ｂ…下側端縁
２０、３７…平滑面
２２、３２Ａ、３２Ｂ…気体吹出ノズル
３６Ａ、３６Ｂ…幅方向端縁
Ｆ…流体膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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