(57)【要約】【課題】光起電力体に設けられる集電電極としての金属細線の曲がりの発生を抑えることにより、金属細線の曲がりによる出力低下のない光起電力素子を歩留まり良く生産する。【解決手段】導電性樹脂で被覆された金属細線を光起電力体の主面に固定する工程と、金属細線を固定した光起電力体を加熱する工程と、弾性フィルムを、弾性フィルムを挟んで光起電力体側の気体の圧力よりも反対側の気体の圧力が大きい状態で光起電力体と金属細線とに押し当てる工程とを含む光起電力素子の製造方法である。【選択図】      図１
2004363459.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性樹脂で被覆された金属細線を光起電力体の主面に固定する第一の工程と、前記金属細線を固定した前記光起電力体を加熱する第二の工程と、前記弾性フィルムを挟んで前記光起電力体の側とは反対側にある第一気体の圧力が、前記弾性フィルムと前記光起電力体の前記主面との間にある第二気体の圧力より大きい状態で前記弾性フィルムを光起電力体と金属細線に押し当てる第三の工程とを含む光起電力素子の製造方法。
【請求項２】
前記第一の工程はさらに、前記光起電力体の第一領域と、前記光起電力体の第二領域の形状を維持した状態で、前記第一領域と、前記第二領域との間にある前記光起電力体の中間領域を前記主面の法線方向とは反対側に凸上に弾性変形させる第一の副工程と、前記金属細線の第一部分を前記第一領域に固定し、かつ前記金属細線の第二部分を前記第二領域に固定する第二の副工程と、前記弾性変形を元に戻すことによって前記第一部分と前記第二部分との間にある前期金属細線の中間部分に張力を加える第三の副工程とからなることを特徴とする請求項１に記載の光起電力素子の製造方法。
【請求項３】
前記第一の工程の前に、前記光起電力体を円柱の側面に沿った形状に整形する工程を有し、かつ前記第一の工程において前記金属細線の長手方向が前記円柱の軸に平行となるように前記金属細線を固定することを特徴とする請求項１又は２に記載の光起電力素子の製造方法。
【請求項４】
導電性樹脂で被覆された金属細線を光起電力体の主面に固定する第一の手段と、前記金属細線を固定した前記光起電力体を加熱する第二の手段と、前記弾性フィルムを挟んで前記光起電力体の側とは反対側にある第一気体の圧力が、弾性フィルムと前記光起電力体の前記主面との間にある第二気体の圧力より大きい状態で前記弾性フィルムを光起電力体と金属細線に押し当てる第三の手段とを有する光起電力素子の製造装置。
【請求項５】
前記第一の手段はさらに、前記光起電力体の第一領域と、前記光起電力体の第二領域の形状を維持した状態で、前記第一領域と、前記第二領域との間にある前記光起電力体の中間領域を前記主面の法線方向とは反対側に凸上に弾性変形させる第一の副手段と、前記金属細線の第一部分を前記第一領域に固定し、かつ前記金属細線の第二部分を前記第二領域に固定する第二の副手段と、前記弾性変形を元に戻すことによって前記第一部分と前記第二部分との間にある前期金属細線の中間部分に張力を加える第三の副手段とからなることを特徴とする請求項４に記載の光起電力素子の製造装置。
【請求項６】
前記光起電力体を円柱の側面に沿った形状に整形する手段を有し、かつ前記第一の手段は前記金属細線の長手方向が前記円柱の軸に平行となるように前記金属細線を固定する手段であることを特徴とする請求項４又は５に記載の光起電力素子の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光起電力素子の製造方法に関するものであり、より詳細には光起電力体の表面に金属細線を接着してなる集電電極を有する光起電力素子の形成方法において、金属細線を接着する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光起電力素子の電極構造は主に、電流を集めるための比較的細い金属からなる櫛歯状や格子状の集電電極と、この集電電極によって集められた電流を集めるためのバスバーと呼ばれる比較的太い金属からなる電極とからなる。電極材料としては銀や銅のように比抵抗の低い材料が好適に用いられる。
【０００３】
これら電極の形成方法の中で、特に集電電極の形成には蒸着法、メッキ法、スクリーン印刷法が好適に用いられる。
【０００４】
しかし、蒸着法では堆積速度が遅いこと、真空プロセスを用いるためスループットが低いこと、また、線状のパターンを形成するためにはマスキングが必要であり、またマスク部分に堆積した金属は無駄になる等の問題点がある。
【０００５】
一方、スクリーン印刷法では、印刷に使用する導電性ペーストの比抵抗が、最も低いものでも４．０×１０−５Ωｃｍであり、低抵抗な電極が得にくい問題がある。一般には純粋なバルクの銀よりも１桁抵抗が高くなる。
【０００６】
さらに蒸着法やスクリーン印刷法の場合、仮に集電電極の面積を変えずに抵抗を下げるために電極の厚みを厚くすることが必要であるが、実用的に可能な厚みは蒸着法の場合、１μｍ以下、印刷法の場合１０μｍ〜２０μｍである。このような厚みでは必然的に集電電極の幅が２００μｍ以上となりアスペクト比（縦横の比）が非常に小さくなり、シャドーロスが大きくなってしまう問題がある。
【０００７】
これらに対し、特開平０７−３３５９２１号公報（特許文献１）、特開平１１−１４５５０２号公報（特許文献２）に開示されるように、金属細線を、導電性粒子を含む樹脂で被覆した集電電極が知られている。この発明は導電性の良い銅等の金属細線を用いるため長い集電電極を形成した場合でも電気抵抗ロスが少なく、またアスペクト比が１：１とできるためシャドーロスも小さくすることが可能である。また、この発明では、細線の固定は導電性樹脂を用いて簡便な方法で行われている。
【０００８】
図６に特開平１１−１４５５０２号公報（特許文献２）に開示された光起電力素子の集電電極形成方法の模式図を示す。以下図に従って従来例を説明する。
（ａ）基板と基板上に形成された光起電力層とからなる光起電力体６０１の主面上の端部に両面粘着テープ６０６を貼り付けている。
（ｂ）光起電力体６０１全体を湾曲させた状態で、導電性樹脂被覆を施した金属細線６０２を複数本、並べて、各金属細線の端部を両面粘着テープ６０６に固定し、さらにその上に銅箔からなるバスバー電極６０７を貼り付けている。
（ｃ）常時加熱された熱板６０３の上に光起電力体６０１を載せている。
（ｄ）下面が弾性フィルム６０４からなるチャンバー６０５を光起電力体６０１と熱板６０３の上に被せている。このとき弾性フィルム６０４が自重で下方に伸長して弓の弦の様に張った金属細線６０２に接触し、金属細線６０２を断線させたり、その張力を緩めたりすることが無い様に、チャンバー６０５内部を不図示の排気口と不図示の排気手段によって排気し、弾性フィルム６０４の下面側の空気と上面側（上チャンバー内部）の空気とに圧力差を生じさせることによって、弾性フィルム６０４を上方に引きつけた状態にある。
（ｅ）熱板６０３に複数箇所空けられた排気口６０８より、弾性フィルム６０４の下方の空気を排気し、かつチャンバー６０５内部に空気を入れて、金属細線６０２を光起電力体６０１表面に熱圧着させている。
【０００９】
特開平０７−３３５９２１号公報（特許文献１）、特開平１１−１４５５０２号公報（特許文献２）の方法では熱板６０８は常時一定温度に加熱されており、光起電力体６０１を熱板６０８に押し付けることで、光起電力体６０１と金属細線６０２の加熱を行い、光起電力体６０１を熱板６０８上から取り去ることで加熱を終了している。こうすることで光起電力体６０１を短時間に加熱冷却することが可能になるため、これらの方法は量産性に優れた方法と言える。
【００１０】
【特許文献１】
特開平０７−３３５９２１号公報
【特許文献２】
特開平１１−１４５５０２号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
特開平０７−３３５９２１号公報（特許文献１）の方法では金属細線６０２を光起電力体６０１上に熱圧着する際に金属細線６０２が曲がる問題があった。この金属細線６０２の曲がりを防止するために特開平１１−１４５５０２号公報（特許文献２）の方法では金属細線６０２を光起電力体６０１に熱圧着する前に、予め金属細線６０２に張力を加えている。
【００１２】
しかし、この方法では金属細線６０２に張力を加えてから、金属細線６０２を光起電力体６０１上に接着固定するまでの間に張力が緩んだ場合に、金属細線６０２が曲がって光起電力体６０１上に接着されてしまうことがあった。
【００１３】
金属細線６０２が曲がって光起電力体上に接着された場合、集電経路が長くなることによって、ジュール損失が大きくなる。さらに、金属細線６０２が光起電力体６０１の光入射面上に曲がって接着される場合は、金属細線６０２が光入射面に形成する影の面積が大きくなるために光起電力素子の発電量が低下する。
【００１４】
本発明が解決しようとする課題は、上記金属細線６０２の曲がりの発生を抑えることによって光起電力素子のジュール損失や発電量の低下を防ぐことである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための手段である本発明の光起電力素子の製造方法は、
導電性樹脂で被覆された金属細線を光起電力体の主面に固定する第一の工程と、前記金属細線を固定した前記光起電力体を加熱する第二の工程と、前記弾性フィルムを挟んで前記光起電力体の側とは反対側にある第一気体の圧力が、弾性フィルムと前記光起電力体の前記主面との間にある第二気体の圧力より大きい状態で前記弾性フィルムを光起電力体と金属細線に押し当てる第三の工程とを含むことを特徴とする。
【００１６】
また、前記第一の工程はさらに、前記光起電力体の第一領域と、前記光起電力体の第二領域の形状を維持した状態で、前記第一領域と、前記第二領域との間にある前記光起電力体の中間領域を前記主面の法線方向とは反対側に凸上に弾性変形させる第一の副工程と、前記金属細線の第一部分を前記第一領域に固定し、かつ前記金属細線の第二部分を前記第二領域に固定する第二の副工程と、前記弾性変形を元に戻すことによって前記第一部分と前記第二部分との間にある前期金属細線の中間部分に張力を加える第三の副工程とからなることを特徴とする。
【００１７】
また、前記第一の工程の前に、前記光起電力体を円柱の側面に沿った形状に整形する工程を有し、かつ前記第一の工程において前記金属細線の長手方向が前記円柱の軸に平行となるように前記金属細線を固定することを特徴とする。
【００１８】
上記課題を解決するための手段である本発明の光起電力素子の製造装置は、
導電性樹脂で被覆された金属細線を光起電力体の主面に固定する第一の手段と、前記金属細線を固定した前記光起電力体を加熱する第二の手段と、前記弾性フィルムを挟んで前記光起電力体の側とは反対側にある第一気体の圧力が、前記弾性フィルムと前記光起電力体の前記主面との間にある第二気体の圧力より大きい状態で前記弾性フィルムを光起電力体と金属細線に押し当てる第三の手段とを有することを特徴とする。
【００１９】
また、前記第一の手段はさらに、前記光起電力体の第一領域と、前記光起電力体の第二領域の形状を維持した状態で、前記第一領域と、前記第二領域との間にある前記光起電力体の中間領域を前記主面の法線方向とは反対側に凸上に弾性変形させる第一の副手段と、前記金属細線の第一部分を前記第一領域に固定し、かつ前記金属細線の第二部分を前記第二領域に固定する第二の副手段と、前記弾性変形を元に戻すことによって前記第一部分と前記第二部分との間にある前期金属細線の中間部分に張力を加える第三の副手段とからなることを特徴とする。
【００２０】
また、前記光起電力体を円柱の側面に沿った形状に整形する手段を有し、かつ前記第一の手段は前記金属細線の長手方向が前記円柱の軸に平行となるように前記金属細線を固定する手段であることを特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施態様例を説明する。
【００２２】
図７に本発明の実施の形態を説明する図を示す。図は本発明を模式的に表すものである。本発明の光起電力素子の製造方法は光起電力体７０１の主面上に不図示の導電性樹脂で被覆された金属細線７０２を固定する第一の工程（図７ａ乃至ｂ）と、金属細線７０２を固定した光起電力体７０２に熱７０３を加える第二の工程（図７ｃ）と、弾性フィルム７０４を挟んで光起電力体７０１の側とは反対側にある第一気体７０９の圧力が、弾性フィルム７０４と光起電力体７０１の主面との間にある第二気体７１０の圧力よりも大きい状態で、弾性フィルム７０４を光起電力体７０１に押し当てる第三の工程（図７ｄ乃至ｅ）とを含むものである。
【００２３】
金属細線７０２を光起電力体７０１に熱圧着するためには、金属細線７０２と光起電力体７０１とに熱を加え、かつ金属細線７０２を光起電力体７０１に押し当てるための圧力を加えることが必要である。金属細線７０２が曲がって光起電力体７０１に熱圧着されることを防ぐためには、金属細線７０２を光起電力体７０１に押し当ててから、熱を加えることが最も好ましい。しかし、量産性を考慮すると現実には図７の様に熱を加えながら圧力を加える方法で金属細線７０２の曲がりを抑えることが望まれる。なぜなら、熱は八方に拡散し易く、また瞬時に取り去ることが困難なものであり、熱圧着処理を繰り返すうちに、圧力を加える手段も高温になることが多く、その結果として加熱が始まってから圧力が加わることになるからである。ここで言う圧力を加える手段とは、例えば弾性フィルム７０４と弾性フィルム７０４を光起電力体７０１に押し当てる際に光起電力体７０１を支える部材（図７では不図示、図６では熱板６０３）である。高温になった圧力を加える手段の熱を完全に取り去ってから、次ぎの熱圧着処理に移ったのでは処理に時間がかかり量産性が低下するため望ましくない。
【００２４】
この量産性の低下を防ぐために従来は図６に示した様に常時過熱した熱板６０３の上に光起電力体６０１を載せ、光起電力体６０１に熱を加えながら、かつ弾性フィルム６０４を挟んで光起電力体６０１の側とは反対側にある第一気体の圧力が、弾性フィルム６０４と光起電力体６０１の主面との間にある第二気体の圧力よりも小さい状態で、弾性フィルム６０４を光起電力体６０１に押し当てていた。
【００２５】
しかし、従来の方法では光起電力体６０１の加熱が始って（図６ｃ）から金属細線６０２を光起電力体６０１に押し当てる圧力が加えられる（図６ｅ）までの時間的に間が空くため、その間に金属細線６０２を光起電力体６０２の主面上に固定している部分の緩みや、金属細線６０２の反り、捩れが発生し易く、その結果、金属細線６０２が曲がって光起電力体６０１の主面に熱圧着され易かった。
【００２６】
これは弾性フィルム６０４によって金属細線６０２が光起電力体６０１の主面上に押し当てられるまでの間に光起電力体６０１と金属細線６０２の温度が上昇することに起因している。即ち、温度が上昇した際には、金属細線を被覆している導電性樹脂と金属細線６０２とには、熱膨張率の差があり、また、導電性樹脂の被覆の厚みに斑がある等の理由から金属細線６０２の反り、捩れが発生する。また、金属細線６０２を光起電力体６０１上に固定している粘着テープ６０６が軟化し易い、金属細線６０２自体が熱膨張により伸長する等の理由から金属細線６０２に加えられている張力が緩和され、金属細線６０２に反り、捩れが発生し易くなる。
【００２７】
光起電力体６０１と金属細線６０２の温度は、特に金属細線弾性フィルム６０４を挟んで光起電力体６０１の側とは反対側にある第一気体の圧力が、弾性フィルム６０４と光起電力体６０１の主面との間にある第二気体の圧力よりも小さい状態で、弾性フィルム６０４を上方に引き上げつつ、弾性フィルム６０４を光起電力体６０１の主面に重ねて（図６ｄ）から、第二気体を排気し、かつ第一気体の圧力を高ることによって弾性フィルム６０４を光起電力体６０１の主面に密着させる（図６ｅ）までの間に急激に上昇するため、この間に金属細線６０２の反り、捩れが最も発生し易かった。
【００２８】
然るに、本発明においては、金属細線弾性フィルム７０４を挟んで光起電力体７０１の側とは反対側にある第一気体の圧力が、弾性フィルム７０４と光起電力体７０１の主面との間にある第二気体の圧力よりも大きい状態で、弾性フィルム７０４を下方に押し下げつつ、弾性フィルム７０４を光起電力体７０１の主面に重ねる。そのため、従来の金属細線弾性フィルム６０４を挟んで光起電力体６０１の側とは反対側にある第一気体の圧力が、弾性フィルム６０４と光起電力体６０１の主面との間にある第二気体の圧力よりも小さい状態で、弾性フィルム６０４を上方に引き上げつつ、弾性フィルム６０４を光起電力体６０１の主面に重ねて（図６ｄ）から、第二気体を排気し、かつ第一気体の圧力を高ることによって弾性フィルム６０４を光起電力体６０１の主面に密着させる（図６ｅ）場合に比較して、加熱から弾性フィルム６０４を光起電力体６０１の主面に密着させるまでの間が無い。つまり、金属細線６０２が弾性フィルム６０４によって光起電力体６０１に押し当てられること無く自由な状態で温度が急激に上昇することが無い。
【００２９】
逆に言えば本発明では弾性フィルム７０４によって光起電力体７０１に金属細線７０２を押し当てた状態で急激に温度を上昇させる。したがって、金属細線７０２の温度が急激に上昇することに伴い、様々な理由によって発生する金属細線７０２を反らせ、捻らせようとする力を弾性フィルム７０４によって抑えこむことが可能であり、その結果、金属細線６０２が曲がって光起電力体６０１の主面に熱圧着されることを非常に少なくすることが可能となる。
【００３０】
金属細線７０２が光起電力体７０１の光入射面上に曲がって接着されることを防止すれば、金属細線７０２が光入射面に形成する影の面積が大きくなるために光起電力素子の発電量が低下することや、集電経路が長くなることによって、ジュール損失が大きくなることを防止可能である。
【００３１】
図８に本発明に含まれる別の実施の形態を説明する図を示す。図は本発明を模式的に表すものである。図７の実施の形態と異なる点は導電性樹脂で被覆された金属細線８０２を光起電力体８０１の主面に固定する第一の工程が、光起電力体８０１の第一領域８１１と、光起電力体８０１の第二領域の形状８１３を維持した状態で、光起電力体８０１の中間領域８１２を光起電力体８０１の主面の法線方向とは反対側に凸上に弾性変形させる第一の副工程と、金属細線８０２の第一部分８１４を第一領域８１１に固定し、かつ金属細線８０２の第二部分８１５を第二領域８１３に固定する第二の副工程と、中間領域８１２の弾性変形を元に戻すことによって第一部分８１４と第二部分８１５との間にある金属細線８０２の中間部分に張力を加える第三の副工程とからなる点である。
【００３２】
金属細線８０２が曲がって熱圧着されることを防ぐために、金属細線８０２を光起電力体８０１の主面上に固定する際に金属細線８０２に張力を加えておくことが従来行われていた。従来の方法は図６に示すように光起電力体６０１全体を湾曲させておき、その両端に金属細線６０２の両端部それぞれ固定する方法である。この方法では図６ｂのａ−ａ’断面に示すように金属細線６０２に加えられた張力Ｔは金属細線６０２を光起電力体６０１の主面上から主面法線方向に引き剥がす方向の成分を有する。このような引き剥がし方向の力に対して金属細線６０２を固定することは困難であり、この部分で張力が緩み、金属細線６０２の反り、捻れが発生することがあった。
【００３３】
然るに本実施の形態の方法では前述したように、中間領域８１２の弾性変形を元に戻しているので図８ｂのａ−ａ’断面に示すように金属細線６０２に加えられた張力Ｔには金属細線８０２を光起電力体８０１の主面から主面法線方向に引き剥がす成分は有しない。したがってこの部分で張力が緩み、金属細線の８０２の反り、捻れの発生することを抑えることが可能である。
【００３４】
図９に本発明に含まれる別の実施の形態を説明する図を示す。図は本発明を模式的に表すものである。図７の実施の形態と異なる点は光起電力体９０１が円柱の側面に沿った形状に整形されており、かつ金属細線９０２を光起電力体９０１の主面上に固定する第一の工程において、金属細線９０２の方向と前記円柱の軸の方向とが平行になるように固定する点である。
【００３５】
従来光起電力体は図６ａの様に平板状であり撓み易かった。金属細線６０２を光起電力体６０１の主面上に固定した後に光起電力体が金属細線６０２に沿った方向で撓んだ場合、金属細線６０２に張力が加わる。その張力が強すぎた場合、金属細線６０２と光起電力体６０１との固定部分が緩み、金属細線６０２自体の塑性変形による伸長が生じ、その結果、金属細線６０２の反り、捩れが発生しやすかった。
【００３６】
然るに本実施例の形態の方法では光起電力体９０１が金属細線９０２に対して垂直な方向に反った形状を有するため、金属細線９０２と平行な方向に対して撓みにくくなっている。したがって、従来よりも金属細線９０２の反り、捩れを抑えることが可能である。
【００３７】
以下に上述の用語の説明をする。
【００３８】
（導電性樹脂）
導電性のフィラーをバインダー樹脂の中に分散させたものである。フィラーとしては銀、銅等の金属粉末や、ＩＴＯ、ＺｎＯ、ＳｎＯ２、Ｉｎ２Ｏ３、ＴｉＯ２等の酸化物粉末、カーボン、グラファイト粉末等が挙げられる。また、バインダー樹脂としては金属細線に被覆を形成しやすく、作業性に優れ、柔軟性があり、耐候性に優れた樹脂が好ましい。具体的には、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリビニルホルマール樹脂、アルキド樹脂あるいはこれらを変性した樹脂などの熱硬化性樹脂が好適な材料として挙げられる。とりわけ、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂はエナメル線用絶縁被覆材料として用いられており柔軟性や生産性の面で優れた材料である。しかも、耐湿性、接着性の面でも光起電力素子の集電電極用材料として好適に用いられる。この他、ブチラール樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、メラミン樹脂、ブチラール樹脂、アクリル樹脂、スチレン樹脂、ポリエステル樹脂、フッ素樹脂などの熱可塑性樹脂を用いることもできる。これらの中、ブチラール樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂が柔軟性、耐湿性、接着性の面で優れた材料で光起電力素子の集電電極用材料として好適に用いられる。本発明の効果はこれら導電性樹脂の種類によらない。
【００３９】
（金属細線）
金属細線は、線材として工業的に安定に供給されているものが好ましく、かつ、前記金属細線を形成する金属体の材質としては、比抵抗が１０−４Ωｃｍ以下の金属を用いることが望ましい。例えば、銅、銀、金、白金、アルミニウム、モリブデン、タングステンなどの材料が、比抵抗が小さいため好適に用いられる。中でも、銅が、電気抵抗が低いうえに安価であることから望ましい。また、前記金属細線はこれらの金属の合金であってもよい。前記金属細線の表面には、所望に応じて、腐食防止、酸化防止、導電性樹脂との接着性の向上、電気的導通の改良などの目的で薄い金属層や樹脂層を形成したものでもよい。該表面金属層としては、例えば、銀、パラジューム、銀とパラジュームの合金、金などの腐食されにくい貴金属や、ニッケル、錫などの耐食性のよい金属を用いることができる。なかでも、金、銀、錫が湿度などの影響を受けにくいため、当該金属層として好適に用いられる。前記金属層の形成方法としては、例えば、メッキ法、クラッド法が好適に用いられる。
【００４０】
金属細線を被覆する導電性樹脂の厚みは、所望に応じて決定されるものであるが、例えば断面が円形の金属細線であれば、直径の１％から１０％の厚みが好適である。電気的導通、耐食性の効果、金属層厚みを考慮して金属層の比抵抗は、１０−６Ωｃｍ以上１００Ωｃｍ以下が好適である。前記金属細線の断面形状は円形が好適であるが、矩形であってもよく所望に応じて適宜選択される。前記金属細線の直径は、電気抵抗ロスとシャドーロスとの和が最小となるように設定して選択されるものであるが、具体的には例えば直径２５μｍから１ｍｍまでの銅線が好適に用いられる。より好ましくは、２５μｍから２００μｍとすることで効率のよい光起電力素子が得られる。２５μｍより細い場合は金属細線が切れやすく製造が困難となり、また電気ロスも大きくなる。また、２００μｍ以上であるとシャドーロスが増大する場合や、光起電力素子表面の凹凸が大きくなって表面を被覆する際にＥＶＡなどの充填材を厚くしなければならなくなる場合がある。前記金属細線は公知の伸線機によって所望の直径に成型して作製できる。伸線機を通過した金属細線は硬質であるが、伸び易さや曲げ易さなどの所望の特性に応じて公知の方法でアニールし、軟質にしてもよい。本発明の効果は金属細線の種類によって失われるものではないが、本発明は金属細線が曲がって光起電力体の主面に圧着されることを防ぐためのものであるから、本発明の効果は曲がり易い金属細線に対して高いと言える。曲がり易い金属細線としては断面直径が１０乃至２００μｍであり、材質は銅、銀が挙げられる。また、芯線の周りに熱膨張率の異なる金属の皮膜を有する場合も、熱を加えた場合に熱膨張率の差によって金属細線に反り、捩れが発生し易い。
【００４１】
（光起電力体）
入射する光のエネルギーを電力に変換する作用を有するものである。
【００４２】
光起電力体は光のエネルギーを電力に変換する層である光起電力層単独体であっても、光起電力層と、光起電力層の形状を維持するための基板、電流を流すための電極層、光を反射させるための層等との複合体であってもよい。
【００４３】
一般的には光起電力層は半導体接合からなる。半導体は材料の面で大きくシリコン系と、ガリウム砒素や硫化カドミウムに代表される化合物半導体系とに分けられる。また接合のバンド構造の面で、単純な同種のｐ型半導体とｎ型半導体との接合であるｐｎ接合型、禁制帯の異なる異種半導体の接合からなるヘテロ接合型、半導体と金属のショットキーバリア型に分類される。結晶構造の面での分類では結晶系、アモルファス系に分類される。層構造の面では接合一層からなるシングル、接合二層を重ねて直列化したタンデム、さらに三層を重ねたトリプル等が公知である。
【００４４】
基板は導電性、絶縁性どちらでも良い。導電性基板としてはステンレスやアルミ等の金属基板が好適に用いられる。絶縁基板としてはガラス、セラミック、樹脂による基板が挙げられる。
【００４５】
電流を流すための層は光起電力体の光入射側である場合は、ＩＴＯ、Ｓｎ２Ｏ３等の透明導電性酸化物層が用いられる。反光入射側である場合は、銀、アルミ等の太陽光に対して反射率の高く、導電率の高い層が用いられる。また、太陽光を反射させるための層としてはＺｎＯ層が好適に用いることが公知である。
【００４６】
光起起電力素子の製造方法に関する本発明の効果は、光起電力層の材質、形状、製法によって失われるものでは無い。しかし、本発明は光起電力体に熱が加わり初めてからの金属細線の温度上昇が激しい場合ほど、その効果は顕著と考えられる。したがって、光起電力体の中でも熱容量が小さい物、熱伝導率が高い物に対して、本発明の効果は発揮される。特に厚みが５乃至５００μｍの金属基板上に形成された厚みが１００ｎｍ乃至１０μｍのシリコン半導体層からなる光起電力体が好ましい。
【００４７】
（第一の工程）
導電性樹脂の被覆を有する金属細線を光起電力体の主面に固定する工程である。金属細線は樹脂、低融点金属等を介して、もしくはこれらによって押さえつけることによって光起電力体の主面に固定することが可能である。樹脂は接着樹脂や粘着樹脂が公知である。具体的には接着樹脂、粘着樹脂としては、例えば、アクリル系、ゴム系、シリコーン系、ポリビニルエーテル系、エポキシ系、ポリウレタン系、ナイロン系、ポリアミド系、無機系、または複合型接着剤などが挙げられる。これらの中で、特に接着性、タック、保持力、耐電性、耐湿性などに優れているものとして、アクリル系、シリコーン系接着剤が好適に用いられる。さらに、作業性、量産性を高めるために、基材と上記接着剤を重ねた構成の粘着テープ、両面粘着テープを用いることも可能である。その際の基材としては、集電電極を加熱形成する時の耐熱性が要求され、例えば、ポリイミド、ＰＥＴなどが用いられる。低融点金属としては半田、錫、鉛、インジウム等が公知である。
【００４８】
また、金属細線の導電性樹脂被覆を除去し、金属細線を直に光起電力体に溶接、ヒュージング、ワイヤボンディング等の手法で固定してもよい。
【００４９】
上記の方法を光起電力体の主面を構成する材質、主面の凹凸等に適した方法を選ぶことが可能である。
【００５０】
本発明の効果はこれら金属細線の固定の方法によって失われるものではないが、本発明は金属細線の曲がりが発生し易い固定方法の場合に効果的と言える。特に固定が簡便で容易な両面粘着テープによるものである場合は効果的である。
【００５１】
（第二の工程）
光起電力体を加熱する方法としては、抵抗加熱、赤外線加熱、電磁誘導加熱、オイルヒータ加熱、熱風加熱等公知の方法が利用可能である。しかし、制御が容易で安価であることから抵抗加熱が好適に用いられる。温度を計測しフィードバック制御をすることも容易である。また、加熱安定性を高めるために熱容量の高い物体を熱浴として用意し、そこから熱を供給することも可能である。本発明の効果はこれら加熱方法や、加熱の方向によって失われるものではないが、弾性フィルムによって金属細線を光起電力体の主面上に押し当てるまでの間に加熱がより進行する方法であるほど、効果が顕著であると言える。特に金属板に抵抗ヒータを組み込んだ加熱手段の場合は効果的である。
【００５２】
（弾性フィルム）
弾性フィルムは、第一の気体と第二の気体の圧力を分ける隔壁となるもので、かつ金属細線に圧力を均一にかけるためのもので、耐熱性、耐久性に優れたフィルムが使用される。具体的には、シリコンゴム、フッ素ゴム、ネオプレンゴムなどの弾性を有する材料が好適に用いられる。弾性フィルムの厚みは、所望に応じて設計されるものであるが、５００μｍから２ｍｍ程度が好適である。弾性フィルム表面には、金属細線の導電性樹脂被覆が弾性フィルムに付着するのを防ぐためと、弾性フィルムが加熱された際に出てくるオイルなどが光起電力体に付着するのを防ぐための副フィルムを貼付してもよい。具体的には、１００μｍ程度の厚みのＰＴＦＥ，ＥＴＦＥ，ＰＦＡなどの公知の高分子フィルムが用いられる。また、強度を向上するために、これらの材料にガラス繊維を含浸させたものでもよい。弾性フィルムによって金属細線を光起電力体に押し当てる力は、第一気体と第二気体の圧力差によって調節可能である。その意味で本発明の効果は弾性フィルムの種類によらないと言えるが、好ましくは第一気体と第二気体の圧力差が０．０１乃至０．５ＭＰａの範囲である場合はＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＦＡ等の適度な弾性係数を有する材質で、厚みが０．０５乃至１ｍｍの弾性フィルムが好適である。
【００５３】
（第三の工程）
第一気体の圧力が第二気体の圧力よりも大きい状態を形成する方法は、弾性フィルムを内壁とする体積一定の密閉された空間にバルブを通じてポンプによって第一気体を押しこみ加圧する方法、弾性フィルムを内壁とする密閉された空間に第一気体を入れ、密閉された空間の体積を小さくする方法、密閉された空間の第一気体を加熱する方法等、公知の方法が利用可能である。また、気体の出入り口を制限した弾性フィルムを内壁とする準密閉空間にある第二気体を真空ポンプで吸引することによって、第二気体の圧力を下げる方法も可能である。第一気体と第二気体の圧力差は任意の圧力差が適宜用いられる。本発明の効果はこれらの方法や圧力差の選択によって失われるものではないが、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＦＡ等の適度な弾性係数を有する材質で、厚みが０．０５乃至１ｍｍの弾性フィルムを使用する場合、圧力差は０．０１乃至０．５ＭＰａの範囲が好適である。また、金属細線に余計な力を加えないために、第二気体に流れを生じさせない方法である第一気体を加圧する方法が好ましい。
【００５４】
（第一の副工程）
光起電力体の中間領域を弾性変形させる方法としては光起電力体を真空吸着パッドで固定して応力を加える方法、磁性体を含む光起電力体を電磁石で固定して応力を加える方法、粘着剤を介して光起電力体を部材に固定し、部材を通して応力を加える方法等が可能である。本発明はこれらの方法の種類によらず、本発明の効果が生じる範囲で種々の公知の方法が使用できる。
【００５５】
（円柱）
光起電力体を円柱の側面に沿った形状に整形する効果は円柱の直径が小さいほど大きいが、過ぎる場合、金属細線を光起電力体に押し当てる力が不均一になるため好ましくない。円中の直径は光起電力体を平板上に置いた場合に凸部の高さが光起電力体の横幅の１乃至２０％が好適である。また、円柱は完全なる円柱である必要はなく、本発明の効果が生じる範囲において変形させることも可能である。また、円柱の軸の方向と、金属細線の長手方向とは完全平行である必要はなく、本発明の効果が生じる範囲で平行からずらすことも可能である。
【００５６】
（光起電力素子）
光起電力体に電力を取り出すための電極を形成したものである。本発明の光起電力素子は金属細線からなる電極を有するものであるが、金属細線からなる電極の他に導電性ペーストを印刷してなる電極、金属箔を固定してなる電極、金属材料を蒸着、スパッタ等の成膜方法で膜状に形成してなる電極、半田等の低融点金属を印刷した後にリフローさせてなる電極等が組合されていてよい。
【００５７】
【実施例】
本発明の光起電力素子の電極製造方法について実施例に基づいて詳しく説明する。
【００５８】
（実施例１）
本例の光起電力素子の電極製造方法を図１に示す。以下図に従って本例を説明する。
【００５９】
（ａ）以下の方法によって、光起電力体１０１を製作した。
【００６０】
基板として表面を洗浄した厚さ０．１５ｍｍのＳＵＳ４３０からなるロール状ステンレス基板を用意した。次に基板の表面上にタングステン、銀、酸化亜鉛の薄膜層（厚さ１μｍ以下）を公知のスパッタ法によって作製した。次に公知の電析法によって厚み約２μｍの酸化亜鉛の層を形成し、さらに公知のＣＶＤ法によってｎ層、ｉ層、ｐ層の３層からなる厚さ約３μｍの微結晶シリコン層を２層と、ｎ層、ｉ層、ｐ層の３層からなる厚さ１μｍ以下のアモルファスシリコン層とを重ね光起電力層を形成した。最後に公知のスパッタ法によって厚さ７０ｎｍのＩＴＯ層を形成した。この基板を切断することにより、光起電力体１０１（２３９ｍｍ×３５６ｍｍ）を作製した。この光起電力体１０１に対して、次の処理を行うことにより基板端部における光起電力層の短絡を防止した。
【００６１】
まず、光起電力体１０１の表面上に、ＩＴＯ層のエッチング剤（ＦｅＣｌ３）含有ペーストを基板の外周に沿ってスクリーン印刷した後、純水洗浄することにより、ＩＴＯ層の一部を除去しＩＴＯ層からなる上部電極と、基板、タングステン、銀、酸化亜鉛からなる下部電極との電気的な分離を確実にした。
【００６２】
（ｂ）以下の方法によって、光起電力体１０１上に導電性樹脂被覆を有する金属細線１０２を複数本ならべて固定した。
【００６３】
第一に次の要領で金属細線１０２を準備した。原材料として直径４〜５ｍｍの銅線の外周に厚み５０μｍの銀箔を貼り付けたものを準備した。次にそれを伸線装置により直径１００μｍの芯線に整形した。この芯線を連続的に作製しボビンに５００ｇ巻き取った。整形後の銀の被覆は厚み約１μｍであった。次にエナメル線用のロールコータ装置により芯線の周りに導電性フィラーを含有する樹脂からなる被覆を形成した。被覆は完全硬化した内層と、金属細線１０２を光起電力層上に接着固定するための外層の二層構造にした。
【００６４】
内層の形成方法は以下の通りである。まず芯線をボビンから巻き出し内層形成処理槽を通した。内層形成処理槽は内層用のフィラーを含有した樹脂を巻き上げている回転ロールと、フェルトよりなる。内層形成処理層に通された芯線はまず、回転ロールに接触する。この際に回転ロールが巻き上げている樹脂が芯線に塗布される。さらに芯線はフェルトに接触する。この際に余分な樹脂が除去される。さらに芯線は加熱炉を通過する。この際に塗布された樹脂が完全に硬化する。樹脂の塗布量の偏芯を防ぐために、この塗布、除去、硬化の一連の工程を複数回行った。芯線の巻き取り側で樹脂が塗布された芯線の外径を測定し、その値をフィードバックさせて樹脂の粘度を調整した。フィードバックの機構は、樹脂の粘度を低下させて回転ロールが巻き上げる樹脂量が下げ、塗布量が減少させる機構である。樹脂の粘度調整は溶剤のキシレンを加えることで行った。使用した樹脂の構成は次の通りである。フィラーとして直径が３０±２０ｎｍのカーボンブラックを使用した。カーボンブラックは体積密度３５％に調整した。フィラーと樹脂の混合比は、混合物の重量を１００として、ブチラール樹脂６．４重量部、クレゾール樹脂、フェノール樹脂、芳香族炭化水素系樹脂４．２重量部、硬化材としてジオールイソシアネート１８重量部、溶剤としてキシレン１８重量部、ジエチレングリコールモノメチルエーテルを１２重量部、シクロヘキサノンを３．６重量部、さらにカップリング剤としてγ−メルカプトプロピルトリメトキシシランを０．７重量部ペイントシェーカーで混合分散して作製した。以上のようにして完成した内層の被覆の厚みは約５μｍ、抵抗率は約０．５Ωｃｍであった。
【００６５】
外層の形成方法は以下の通りである。内層が塗布された芯線を外層形成処理槽に通した。外層形成処理槽は外層用のフィラーを含有した樹脂を巻き上げている回転ロールと、ダイスよりなる。外層形成処理層に通された芯線はまず、回転ロールに接触する。この際に回転ロールが巻き上げている樹脂が芯線に塗布される。さらに芯線はダイスを通過する。この際に余分な樹脂が除去される。さらに芯線は加熱炉を通過する。この際に塗布された樹脂の溶剤が蒸発し樹脂が半硬化する。樹脂の塗布量の偏芯を防ぐために、この塗布、除去、硬化の一連の工程を複数回行った。回数を重ねるごとにダイスの穴径は大きくし、最終的に外層の厚みは２０μｍとした。使用した樹脂の構成は次の通りである。フィラーとして直径が３０±２０ｎｍのカーボンブラックを使用した。カーボンブラックを３５重量部、ウレタン樹脂４１重量部、フェノキシ樹脂１４重量部、硬化材として水素添加ジフェニルメタンジイソシアネート６重量部、溶剤として芳香族系溶剤４重量部、さらにカップリング剤としてγ−メルカプトプロピルトリメトキシシランを０．７重量部ペイントシェーカーで混合分散して作製した。以上のようにして完成した外層の被覆の抵抗率は約０．５Ωｃｍであった。
【００６６】
第二に準備した金属細線１０２を長さ３５０ｍｍに裁断し、反りや、捩れを除去した直線状の金属細線１０２を複数本用意した。反りや、捩れを除去する方法は、金属細線１０２を接触する二つの回転ゴムローラの間を通す方法を採用した。
【００６７】
第三に用意した直線状金属細線１０２を光起電力体１０１の表面に等間隔で平行に並べ、粘着樹脂（セメダイン）１０６を上から塗布することによって光起電力体１０１上に固定した。
【００６８】
（ｃ）工程ｂを経た光起電力体１０１を、金属細線１０２を光起電力体１０１上に熱圧着させるための装置に挿入した。
【００６９】
この装置は上部チャンバー１０５と熱板１０３とから成る装置である。上部チャンバー１０５は逆さにした金属箱の縁に弾性フィルム１０４を密着させた構造を有する。弾性フィルム１０４は厚さ約５０μｍのＰＴＦＥフィルムを使用している。この上部チャンバーには空気を出し入れする口（不図示）が設けられており、この口以外は気密性が高いものである。熱板１０３は加熱用のヒータ（不図示）を内部に組み込んだ金属板である。熱板１０３は常時２１０℃の一定温度に加熱されている。熱板１０３には上面に複数の穴が設けられている。この穴は不図示の熱板１０３裏面の口に貫通している。この穴の用途は二つあり、一つは熱板１０３の上面に載せられた光起電力体１０１を吸着する用途であり、もう一つは熱板１０３直上の空気を吸引する用途である。装置に挿入した光起電力体は熱板１０３上に置いた。この瞬間から光起電力体１０１の温度は緩やかに上昇し始めた。これは、光起電力体１０１と熱板１０３の接触部の熱伝導や、光起電力体１０１と熱板１０３の間の空気対流によるもの考えられる。このとき上部チャンバー内部の圧力は０．２ＭＰａに設定した。
【００７０】
（ｄ）上部チャンバー１０５を下降させ、金属細線１０２を光起電力体上に熱圧着させた。
【００７１】
光起電力体１０１を熱板１０３の上に載せてから約１秒の後に、上部チャンバーを、内圧を０．２ＭＰａに保持したまま下降させた。この時同時に熱板１０３に空けられた穴１０８から空気の吸引を行った。この一連の作業によって、急激に光起電力体１０１の温度が上昇し始めた。これは弾性フィルム１０４によって光起電力体１０１が熱板１０３に押し付けられ、光起電力体１０１と熱板１０３の接触面積が広がったことによるものと考えられる。また、上部チャンバーの金属箱の縁と、熱板１０３の上面とによって弾性フィルム１０４が挟まれることによって、弾性フィルム１０４の下面と熱板１０３の上面との間に気密空間が生じ、この気密空間に残った空気が熱板１０３に空けられた穴から吸引されることによって弾性フィルム１０４が下方に押し付けられられた。この時の穴１０８内部の圧力は約−８０ｋＰａであった。したがって、弾性フィルム１０４は、その上面に加わる圧力（０．２ＭＰａ）と下面に加わる圧力（−８０ｋＰａ）の差圧２８０ｋＰａによって、下方に押し付けられたことになる。弾性フィルム１０４の押し付け完了してから約０．１秒の後に上部チャンバーの圧力を大気圧に戻し６０秒間保持した。この間に金属細線１０２は光起電力体を通して伝わる熱と、弾性フィルム１０４によって加わる光起電力体１０１面に押し付ける方向の圧力とによって光起電力体１０１上に熱圧着された。
【００７２】
同じ方法により複数枚の光起電力体１０１に金属細線１０２を熱圧着して、金属細線に一定基準以上の曲がりが発生する確率を調べたところ０．１１％であった。作製した光起電力素子の出力をＡＭ１．５グローバルの太陽光スペクトルで１００ｍＷ／ｃｍ２の光量の擬似太陽光源（以下シミュレータと呼ぶ）を用いて測定し、変換効率を求めたところ、金属細線の曲がりが発生した光起電力素子は金属細線の曲がりが全く発生しなかったものと比較して約１％低下していた。
【００７３】
（実施例２）
本例の光起電力素子の電極製造方法を図２に示す。実施例１では、直線状金属細線１０２を平板状の光起電力体１０１の表面に等間隔で平行に並べ、粘着樹脂（セメダイン）１０６を上から塗布することによって光起電力体１０１上に固定した。実施例２ではこの部分を光起電力体２０１の中央部を下に凸に弾性変形させた状態で、光起電力体２０１の端部主面上に金属細線２０２の端部を夫々、両面テープ２０６を介して固定する方法に変更した。光起電力体２０１の中央部を下に凸に弾性変形させる方法は光起電力体２０１の端部を不図示の平板部材で下支えし、中央部に裏面から電磁石を固定して、かつ電磁石を引き下げる方法で行った。引き下げた量は約５ｍｍである。また、使用した両面テープ２０６は厚み１００μｍのＰＥＴフィルムと厚さ２５μｍのポリイミドフィルムをシリコン粘着剤で張り合わせた基材の両面にさらにシリコン系粘着剤を塗布したものである。金属細線２０２の端部を両面テープ２０６に張りつけた後、さらに上からバスバー電極となる厚さ１００μｍの銅箔２０７を貼付した。その他の部分は実施例１と全く同様に行った。実施例１と同様に複数枚の光起電力体２０１に金属細線２０２を熱圧着して、金属細線に実施例１と同じ基準以上の曲がりが発生する確率を調べたところ０．０５％であった。作製した光起電力素子の出力をＡＭ１．５グローバルの太陽光スペクトルで１００ｍＷ／ｃｍ２の光量の擬似太陽光源（以下シミュレータと呼ぶ）を用いて測定し、変換効率を求めたところ、金属細線の曲がりが発生した光起電力素子は金属細線の曲がりが全く発生しなかったものと比較して約１％低下していた。
【００７４】
（実施例３）
本例の光起電力素子の電極製造方法を図３に示す。本例は実施例２と、予め光起電力体３０１を円柱の側面に沿った形状（図３ａ参照）に整形した点においてのみ異なる。この整形は公知の整形機によって光起電力体３０１を主面法線方向に凸状に反らせたものである。光起電力体３０１の反り量は、光起電力体３０１を平面上に置いた際に最も高い部分が約１ｃｍとなる量であった。その後に金属細線３０２の方向と円柱の軸の方向とが平行になるように金属細線３０２を光起電力体３０１の主面上に固定した。
【００７５】
図２ｃに示したように本例のような反りが光起電力体にない場合、光起電力体は金属細線に沿った方向に撓みが発生し易い。この金属細線に沿った方向の撓みによって金属細線の張力は、金属細線を光起電力体の表面から引き剥がす方向の成分を有することになり、金属細線を固定した部分が緩みやすくなる。その結果、金属細線が光起電力体の主面上に曲がって熱圧着され易くなる。しかし、本実施例では、この反りがあるため図３ｃにおいて光起電力体は金属細線３０２に沿った方向に撓まなかった。
【００７６】
実施例１と同様に複数枚の光起電力体３０１に金属細線３０２を熱圧着して、金属細線に実施例１と同じ基準以上の曲がりが発生する確率を調べたところ０．０１％であった。作製した光起電力素子の出力をＡＭ１．５グローバルの太陽光スペクトルで１００ｍＷ／ｃｍ２の光量の擬似太陽光源（以下シミュレータと呼ぶ）を用いて測定し、変換効率を求めたところ、金属細線の曲がりが発生した光起電力素子は金属細線の曲がりが全く発生しなかったものと比較して約１％低下していた。本例と実施例２との比較から光起電力体を円柱の側面に沿った形状に整形し、円柱の軸に沿った方向に金属細線を熱圧着することの効果は明らかである。
【００７７】
（実施例４）
本例の光起電力素子の電極製造方法を図４に示す。実施例２と本例とは、金属細線４０２を光起電力体４０１の主面に固定する際に、光起電力体４０２全体を公知の方法によって図４ｂに示すように、金属細線４０２の方向に沿った方向において湾曲させた点においてのみ異なる。
【００７８】
実施例１と同様に複数枚の光起電力体４０１に金属細線４０２を熱圧着して、金属細線に実施例１と同じ基準以上の曲がりが発生する確率を調べたところ０．０９％であった。作製した光起電力素子の出力をＡＭ１．５グローバルの太陽光スペクトルで１００ｍＷ／ｃｍ２の光量の擬似太陽光源（以下シミュレータと呼ぶ）を用いて測定し、変換効率を求めたところ、金属細線の曲がりが発生した光起電力素子は金属細線の曲がりが全く発生しなかったものと比較して約１％低下していた。本例と実施例２との比較から金属細線を光起電力素子の主面上に固定する際に光起電力体の中央部のみを弾性変形させることの効果は明らかである。
【００７９】
（比較例１）
本例の光起電力素子の電極製造方法を図５に示す。本例と実施例１とは、図５ｃにおいて上部チャンバーを−８０ｋＰａに減圧した状態で下降させ、図５ｄにおいて、上部チャンバーの内圧を０．２ＭＰａに加圧させた点においてのみ異なる。
【００８０】
実施例１と同様に複数枚の光起電力体４０１に金属細線４０２を熱圧着して、金属細線に実施例１と同じ基準以上の曲がりが発生する確率を調べたところ３．２５％であった。作製した光起電力素子の出力をＡＭ１．５グローバルの太陽光スペクトルで１００ｍＷ／ｃｍ２の光量の擬似太陽光源（以下シミュレータと呼ぶ）を用いて測定し、変換効率を求めたところ、金属細線の曲がりが発生した光起電力素子は金属細線の曲がりが全く発生しなかったものと比較して約１％低下していた。本例と実施例１との比較から本発明の効果は明らかである。
【００８１】
【発明の効果】
本発明によって、導電性樹脂の被覆を有する金属細線からなるを光起電力体の主面上に熱圧着してなる集電電極の形成方法において、金属細線の曲がりの発生を抑えることが可能となる。これによって、金属細線の曲がりによる出力低下のない光起電力素子を歩留まり良く生産することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を説明する図である。
【図２】本発明の別の実施例を説明する図である。
【図３】本発明の別の実施例を説明する図である。
【図４】本発明の別の実施例を説明する図である。
【図５】本発明の実施例に対する比較例を説明する図である。
【図６】従来技術を説明する図である。
【図７】本発明の実施態様例を説明する図である。
【図８】本発明の別の実施態様例を説明する図である。
【図９】本発明の別の実施態様例を説明する図である。
【符号の説明】
１０１、２０１、３０１、４０１、５０１、６０１、７０１、８０１、９０１光起電力体
１０２、２０２、３０２、４０２、５０２、６０２、７０２、８０２、９０２金属細線
１０３、２０３、３０３、４０３、５０３、６０３、７０３、８０３、９０３熱板または熱
１０４、２０４、３０４、４０４、５０４、６０４、７０４、８０４、９０４弾性フィルム
１０５、２０５、３０５、４０５、５０５、６０５  上部チャンバー
１０６、２０６、３０６、４０６、６０６  接着剤または粘着テープ
２０７、３０７、４０７、６０７  バスバー電極
１０８、２０８、３０８、４０８、５０８、６０８  吸引用の穴
７０９、８０９、９０９  第一気体
７１０、８１０、９１０  第二気体
８１１  第一領域
８１２  中間領域
８１３  第二領域
８１４  第一部分
８１５  第二部分
【図１】
2004363459.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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