(57)【要約】【課題】基板固定装置に搬送された基板が小さい場合でも搬送レールに傾きが生じることなく、確実に基板を固定する。【解決手段】基板固定装置３は、第一の押さえ付け部材３１と、第二の押さえ付け部材３２と、移動機構３６と、駆動手段３７と、を備える。この基板固定装置３に、第二の押さえ付け部材３２を第一の押さえ付け部材３１の方向に移動させて、基板Ｐを両面から押さえ付ける際に、第二の押さえ付け部材３２の中央寄りの基板Ｐの端部Ｐ１と、当該端部Ｐ１側の第二の押さえ付け部材３２の端部との間に、基板Ｐの厚さに相当する距離の第二の押さえ付け部材３２の上昇を規制する上昇規制部材３９を設けた。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を一方の面から押さえ付ける第一の押さえ付け部材と、
前記基板を他方の面から押さえ付ける第二の押さえ付け部材と、
前記第二の押さえ付け部材を前記第一の押さえ付け部材の方向に往復移動させる移動機構と、
前記移動機構を駆動する駆動手段と、
を備える基板固定装置であって、
前記移動機構により、前記第二の押さえ付け部材を前記第一の押さえ付け部材の方向に移動させて、前記基板を両面から押さえ付ける際に、前記第二の押さえ付け部材の中央寄りの前記基板の端部と、当該端部側の前記第二の押さえ付け部材の端部との間に、前記基板の厚さに相当する距離の前記第二の押さえ付け部材の上昇を規制する上昇規制部材を設けたことを特徴とする基板固定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板固定装置において、
前記第二の押さえ付け部材の一端部から当該一端部側の前記基板の端部までの距離と、前記第二の押さえ付け部材の他端部から当該他端部側の前記上昇規制部材の端部までの距離を等しくしたことを特徴とする基板固定装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の基板固定装置において、
前記上昇規制部材は、前記第二の押さえ付け部材の上昇を規制する距離を調整可能であることを特徴とする基板固定装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板固定装置において、
前記上昇規制部材を複数設けたことを特徴とする基板固定装置。
【請求項５】
基板を一方の面から押さえ付ける第一の押さえ付け部材と、
前記基板を他方の面から押さえ付ける第二の押さえ付け部材と、
前記第二の押さえ付け部材を前記第一の押さえ付け部材の方向に往復移動させる駆動手段と、を備える基板固定装置であって、
前記第二の押さえ付け部材は、複数の押さえ付け部から形成され、それぞれの押さえ付け部に対して前記駆動手段を設けたことを特徴とする基板固定装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板固定装置において、
それぞれの駆動手段を、互いに独立して制御する制御手段を備え、
前記制御手段は、前記基板の大きさに応じて前記駆動手段の駆動を制御する、又は、前記第二の押さえ付け部材による前記基板を押さえ付ける力を制御することを特徴とする基板固定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板固定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板上に電子部品を実装するための基板表面実装装置が知られており、この基板表面実装装置は、前工程から基板搬送装置によって搬入された基板を所定の位置に一旦停止させて固定し、基板上に電子部品を実装した後に次工程にむけて基板搬送装置によって搬出するものである。
図１０に示すように、基板搬送装置は三つに分割され、例えば、前工程から搬入された基板が、その前の基板が電子部品を実装中の間待機するための実装待機部Ａと、電子部品を実装するために基板を位置決め及び固定する電子部品搭載部（基板固定装置）Ｂと、電子部品の実装を終えた基板が次工程に搬出されるまでの間待機するための搬出待機部Ｃと、に分割されている。
【０００３】
電子部品搭載部Ｂは、図１１に示すように、モータ等のアクチュエータによって回転駆動されるドライブシャフト１０１、ドライブシャフト１０１に固定されたドライブプーリ１０２、ドライブプーリ１０２と搬送プーリ１０３に架けられた搬送ベルト１０４等を備えており、搬送ベルト１０４は、摩擦抵抗によってドライブプーリ１０２の駆動が伝えられ、搬送プーリ１０３により屈曲、案内された経路を走行する。
また、基板Ｐの搬送経路の左右両側に配設される搬送レール１０５上の平面部で高さ方向を支えられた状態で搬送ベルト１０４が走行し、搬送ベルト１０４上の基板Ｐを搬送する。
【０００４】
搬送レール１０５には、サポートシャフト（図示しない）が固定されており、レールガイド１０６に取り付けられたシャフトサポート（図示しない）に設けられた軸受部（図示しない）と嵌合することで上下方向に動作可能となっている。そして、図１２に示すように、エアシリンダ、ソレノイド、モータ等のアクチュエータ１０７によって上下に移動するバックアップテーブル１０８を上昇させると、レールガイドシャフト１０９を介して搬送レール１０５を持ち上げる。搬送レール１０５は、搬送ベルト１０４上の基板Ｐとともに上方に移動し、レールガイド１０６の上面に固定されたＰＷＢガイド１１０の下面に基板Ｐを押さえ付ける。この押さえ付けにより、基板Ｐは電子部品の実装のために十分な固定力を得ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、電子部品を実装する基板Ｐが小さくなった場合には、図１４に示すように、バックアップテーブル１０８により左右のレールガイドシャフト１０９に均等に力Ｆｄ，Ｆｅがかかり、一旦はＰＷＢガイド１１０に対して平行に押しつけられるが、十分な保持力を得るためにさらに力が加えられると、基板ＰとＰＷＢガイド１１０との接触部を支点としてモーメントＭｄ，Ｍｅがかかる。一般的に基板Ｐは電子部品搭載部Ｂの端部を基準に停止することが多く、また、基板Ｐの大きさが小さいことから、支点から左右のレールガイドシャフト１０９までの距離の差が大きくなると、搬送レール１０５にかかるモーメントの差も大きくなり、搬送レール１０５に傾きが生じ、基板Ｐの片側にガタが生じることとなる。基板Ｐの保持にガタが生じることで、電子部品の搭載ミスが生じてしまう。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、基板が小さい場合でも搬送レールに傾きが生じることなく、確実に基板を固定できる基板固定装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、例えば、図１〜図６に示すように、基板Ｐを一方の面から押さえ付ける第一の押さえ付け部材３１と、前記基板Ｐを他方の面から押さえ付ける第二の押さえ付け部材３２と、前記第二の押さえ付け部材３２を前記第一の押さえ付け部材３１の方向に往復移動させる移動機構３６と、前記移動機構３６を駆動する駆動手段３７と、を備える基板固定装置３であって、前記移動機構３６により、前記第二の押さえ付け部材３２を前記第一の押さえ付け部材３１の方向に移動させて、前記基板Ｐを両面から押さえ付ける際に、前記第二の押さえ付け部材３２の中央寄りの前記基板Ｐの端部Ｐ１と、当該端部Ｐ１側の前記第二の押さえ付け部材３２の端部との間に、前記基板Ｐの厚さに相当する距離の前記第二の押さえ付け部材３２の上昇を規制する上昇規制部材３９を設けたことを特徴とする。
【０００８】
請求項１に記載の発明によれば、基板が第二の押さえ付け部材に対してかなり小さい場合に、第二の押さえ付け部材を第一の押さえ付け部材の方向に移動させると、基板の端部を支点として第二の押さえ付け部材の両端部にモーメントがかかる。ここで、第二の押さえ付け部材の中央寄りの基板の端部と、当該端部側の第二の押さえ付け部材の端部との間に、基板の厚さに相当する距離の第二の押さえ付け部材の上昇を規制する上昇規制部材が設けられているので、第二の押さえ付け部材の両端部にかかるモーメントの差によって第二の押さえ付け部材が傾こうとしても、上昇規制部材が阻止することとなって、基板をがたつくことなく確実に固定することができる。
また、上昇規制部材を設けることにより、第二の押さえ付け部材によって押し付けられる力は基板と上昇規制部材とに分散されてかかるので、基板に集中的に力が加わることがなくなり、小さい基板や薄い基板であっても割れ等を防止することができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、例えば、図１〜図６に示すように、請求項１に記載の基板固定装置３において、前記第二の押さえ付け部材３２の一端部から当該一端部側の前記基板Ｐの端部までの距離と、前記第二の押さえ付け部材３２の他端部から当該他端部側の前記上昇規制部材３９の端部までの距離を等しくしたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明によれば、第二の押さえ付け部材の一端部から当該一端部側の基板の端部までの距離と、第二の押さえ付け部材の他端部から当該他端部側の上昇規制部材の端部までの距離を等しくしたので、第二の押さえ付け部材の両端部にかかるモーメントが等しくなって互いに相殺されることとなって、第二の押さえ付け部材をほぼ水平に保つことができる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、例えば、図６に示すように、請求項１又は２に記載の基板固定装置３において、前記上昇規制部材３９は、前記第二の押さえ付け部材３２の上昇を規制する距離を調整可能であることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明によれば、上昇規制部材は、第二の押さえ付け部材の上昇を規制する距離を調整可能であるため、一つの上昇規制部材であらゆる厚さの基板に適用することができる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、例えば、図１〜図６に示すように、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板固定装置３において、前記上昇規制部材３９を複数設けたことを特徴とする。
【００１４】
請求項４に記載の発明によれば、上昇規制部材を複数設けたので、基板の形状が異なってもいずれかの上昇規制部材によって基板が傾くのを防止することができる。また、上昇規制部材を複数設けたことにより、第二の押さえ付け部材から加わる力をより分散できるので、基板に集中的に力が加わるのを防止することができる。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、例えば、図７〜図９に示すように、基板Ｐを一方の面から押さえ付ける第一の押さえ付け部材３１と、前記基板Ｐを他方の面から押さえ付ける第二の押さえ付け部材５２と、前記第二の押さえ付け部材５２を前記第一の押さえ付け部材３１の方向に往復移動させる駆動手段５７と、を備える基板固定装置５であって、前記第二の押さえ付け部材５２は、複数の押さえ付け部５２ｕから形成され、それぞれの押さえ付け部５２ｕに対して前記駆動手段５７を設けたことを特徴とする。
【００１６】
請求項５に記載の発明によれば、第二の押さえ付け部材は、複数の押さえ付け部から形成され、それぞれの押さえ付け部に対して駆動手段を設けたので、駆動手段からの駆動出力をダイレクトに押さえ付け部に伝達することができることとなって、駆動出力の損失を低減することができる。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、例えば、図７〜図９に示すように、請求項５に記載の基板固定装置５において、それぞれの駆動手段５７を、互いに独立して制御する制御手段を備え、前記制御手段は、前記基板Ｐの大きさに応じて前記駆動手段５７の駆動を制御する、又は、前記第二の押さえ付け部材５２による前記基板Ｐを押さえ付ける力を制御することを特徴とする。
【００１８】
請求項６に記載の発明によれば、制御手段が各駆動手段を互いに独立して制御し、基板の大きさに応じて駆動手段の駆動を制御したり、第二の押さえ付け部材による基板を押さえ付ける力を制御したりするので、駆動手段の駆動に用いるエネルギー源を節約することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る基板固定装置を一般的な電子部品実装装置に適用した場合について詳細に説明する。
【００２０】
〔第一の実施の形態〕
図１は、本発明の第一の実施の形態の基板固定装置３を示すものである。
電子部品実装装置は、基板Ｐを搬送するための基板搬送装置２、基板搬送装置２により所定の位置まで搬送された基板Ｐを固定するための基板固定装置３等を備えている。
なお、電子部品実装装置は、上記装置以外にも、電子部品を備える電子部品供給装置や電子部品を基板Ｐ上に装着する吸着ノズル等を備えているが、公知のものであるため、説明を省略し、以下、基板搬送装置２及び基板固定装置３について説明する。
【００２１】
基板搬送装置２は、図１及び図２に示すように、基板Ｐを搬送するものであり、駆動源となるモータ（図示しない）、モータのドライブシャフト２１に連結されたドライブプーリ２２、基板Ｐを上面に載置して搬送する搬送ベルト２３の搬送経路を案内する搬送プーリ２４を備えている。
これらは、図１及び図２に示すように配置され、モータを正転あるいは逆転することにより、搬送ベルト２３を時計回り及び反時計回りに回転させることができるようになっている。
また、搬送ベルト２３の一部が後述する搬送レール３２上に沿って配置されており、この部分に基板Ｐが載置されて搬送される。また、ここでは基板Ｐを固定して電子部品が実装される。
【００２２】
基板固定装置３は、基板搬送装置２によって搬送されてきた基板Ｐを上面から押さえ付ける第一の押さえ付け部材としてのＰＷＢガイド３１、基板Ｐを搬送ベルト２３を介して下面から押さえ付ける第二の押さえ付け部材としての搬送レール３２、この搬送レール３２をＰＷＢガイド３１の方向に往復移動させる移動機構３６、この移動機構３６を駆動する駆動手段としてのエアシリンダ装置３７、ＰＷＢガイド３１や移動機構３６を支持するとともに、外壁となるレールガイド３８、ＰＷＢガイド３１と搬送レール３２とで基板Ｐを両面から押さえ付ける際に、基板Ｐの厚さに相当する距離の搬送レール３２の上昇を規制する上昇規制手段としてのスペーサ３９等を備えている。
【００２３】
ＰＷＢガイド３１は、図３及び図４に示すように、レールガイド３８の上端部に所定の間隔をおいて取り付けられた平面視略矩形状の板材である。ＰＷＢガイド３１は、一端部が搬送経路側に延出されており、この延出部３１ａで基板Ｐの上面を押さえ付けることができる。なお、延出部３１ａは基板Ｐの両側縁部を押さえ付ける程度に延出されており、電子部品の実装の障害とならないようになっている。
【００２４】
搬送レール３２は、レールガイド３８の側面に沿って設けられた側面視略矩形状の板材である。搬送レール３２のうち、基板Ｐの搬送方向の両端部付近には、一方の面から他方の面に向けて貫通された開口部３２ａが形成され、この開口部３２ａには、上下方向に沿ってサポートシャフト３３が設けられている。また、サポートシャフト３３には、軸受３４を介してシャフトサポート３５が設けられており、このシャフトサポート３５は、レールガイド３８に固着され、搬送レール３２の上下方向への移動を規制している。すなわち、搬送レール３２が下方に移動する際には、搬送レール３２の開口部３２ａ上面がシャフトサポート３５の上面に当接することによって移動量が規制され、搬送レール３２が上方に移動する際には、搬送レール３２の開口部３２ａ下面がシャフトサポート３５の下面に当接することによって移動量が制限される。また、搬送レール３２の上端部には、ＰＷＢガイド３１と交互に所定の間隔をおいて、基板Ｐの側方へのずれを規制するサイドサポート３２ｓが設けられている。なお、サイドサポート３２ｓは、搬送レール３２と一体に形成してもよいし、別個に形成したものを接合してもよい。
【００２５】
移動機構３６は、エアシリンダ装置３７のピストン３７ａの上端部にほぼ水平に設けられた平面視略矩形状のバックアップテーブル３６ａ、このバックアップテーブル３６ａの上面に立設されるとともに、その上端部が搬送レール３２の下面に当接され、ピストン３７ａの駆動を搬送レール３２に伝達するレールガイドシャフト３６ｂ等を備えている。
なお、エアシリンダ装置３７は、汎用のものが用いられる。なお、エアシリンダ装置３７は、ピストン３７ａが上方に伸縮するように配置されている。
【００２６】
スペーサ３９は、図１，図２，図５に示すように、搬送レール３２の中央寄りの基板Ｐの端部（モーメントの支点となる端部。以下、支点という）Ｐ１と、この支点Ｐ１側の搬送レール３２の端部との間の開口部３２ａ（図１においては紙面に向かって左側）の側部に形成された取付部３２ｂに嵌め込まれ、搬送レール３２の表面からネジＢ等によって固定されている。
スペーサ３９を形成する材料としては、基板Ｐと同じ厚さで、容易に弾性変形しない材料であればよく、例えば、基板Ｐを成形した際の基板Ｐの切れ端を用いれば、スペーサ３９を製作する工程を省くことができ、基板Ｐとスペーサ３９とを同じ厚さとすることができるので好適である。
なお、スペーサ３９は、基板Ｐの搬送方向に合わせて搬送レール３２のいずれの端部に取り付けてもよい。
【００２７】
次に、上記のような構造を有する基板固定装置３の動作について説明する。
なお、基板Ｐは、基板搬送装置２によって電子部品を実装可能な位置まで搬送されているものとする。
エアシリンダ装置３７を駆動し、ピストン３７ａを上方に伸張させると、ピストン３７ａの上端部に設けられたバックアップテーブル３６ａが上昇し、バックアップテーブル３６ａの上面に立設されたレールガイドシャフト３６ｂも上昇する。
そして、レールガイドシャフト３６ｂの上昇によって搬送レール３２は、サポートシャフト３３に沿って上昇する。
【００２８】
搬送レール３２の上昇にともない、搬送レール３２の上端の搬送ベルト２３上に載置された基板Ｐも上昇し、やがて基板Ｐの上面はＰＷＢガイド３１の延出部３１ａに当接する。このとき、基板Ｐの上面はＰＷＢガイド３１、下面は搬送レール３２上の搬送ベルト２３によって押さえ付けられ、側方はサイドサポート３２ｓによって基板Ｐのずれが防止された状態となるため、基板Ｐががたつくことなく、確実に保持される。
【００２９】
ここで、搬送された基板Ｐが搬送レール３２に対してかなり小さい場合における基板Ｐの固定方法について説明する。
エアシリンダ装置３７を駆動させる前に、搬送レール３２の取付部３２ｂに、基板Ｐと同じ厚さを有するスペーサ３９を嵌め込み、ネジＢ等にて固定する。
そして、上記の方法と同様の方法で、搬送レール３２を上昇させていくと、基板Ｐの端部を支点Ｐ１として、搬送レール３２の両端部にはモーメントがかかることになるが、例えば、図１及び図２に示すように、基板Ｐを図面に向かって右端に合わせて設置した場合、支点Ｐ１から搬送レール３２の右端よりも、支点Ｐ１から搬送レール３２の左端までの方が距離が長いため、搬送レール３２の左端にかかるモーメントが右端にかかるモーメントよりも大きくなり、搬送レール３２は左側が上方へ傾斜しようとする。
しかし、開口部３２ａの下面とシャフトサポート３５の下面との間の隙間には、基板Ｐと同じ厚さのスペーサ３９が取り付けられているので、搬送レール３２は傾くことがなくなってほぼ水平の状態を維持することができる。
【００３０】
本実施の形態の基板固定装置３によれば、電子部品を実装するために固定される基板Ｐと同じ厚さを有するスペーサ３９を開口部３２ａとシャフトサポート３５との隙間に取り付けたので、基板Ｐが搬送レール３２に対してかなり小さい場合に、搬送レール３２の各端部にかかるモーメントの大きさが異なって搬送レール３２が傾こうとしても、スペーサ３９がその動きを防止することとなって、基板Ｐの固定にガタが生じなくなり、搬送レール３２や基板Ｐをほぼ水平に保つことができる。
【００３１】
また、基板Ｐを保持するために加えられる荷重は基板Ｐの大きさにかかわらず一定であり、基板Ｐの大きさが小さくなると基板Ｐを保持するＰＷＢガイド３１の数が減少することになる。これによって、基板Ｐにかかる圧力が大きくなってしまうが、スペーサ３９を設けることにより基板Ｐにかかる力を分散させることができるので、基板Ｐに力が集中的にかかることがなくなり、基板Ｐの割れ等を防止することができる。
【００３２】
また、図示しないが、スペーサ３９を複数設けることにより、基板Ｐの形状が異なってもいずれかのスペーサ３９によって基板Ｐが傾くのを防止することができる。また、スペーサ３９を複数設けることにより、搬送レール３２から加わる力をより分散できるので、基板Ｐに集中的に力が加わるのを防止することができる。
【００３３】
（変形例）
図６に示すように、変形例の基板固定装置４は、上昇規制部材としてストッパねじ機構４９を設けたものである。なお、その他の構成要素は上述の基板固定装置３と同様であるため、同一符号を付して説明を省略する。
このストッパねじ機構４９は、搬送レール３２の下面から搬送レール３２の開口部３２ａの下面に向けて上下方向に貫通されて雌ねじが形成された孔部４９ａに、雄ねじが形成されたストッパねじ４９ｂを搬送レール３２の下面側から螺合し、搬送レール３２の開口部３２ａの下面から突出したストッパねじ４９ｂの先端部で搬送レール３２の動きを規制するものである。
これにより、搬送される基板Ｐの厚さが変化しても、ストッパねじ４９ｂを回して開口部３２ａへの突出長さを調整するだけで、あらゆる厚さの基板Ｐに対応することができるので、作業性が向上する。また、あえて基板Ｐにモーメントをかけた状態で基板Ｐを固定したい場合であっても、ストッパねじ４９ｂの調整だけで容易に行うことができる。
【００３４】
〔第二の実施の形態〕
図７は、本発明の第二の実施の形態の基板固定装置５を示すものである。なお、第一の実施の形態の基板固定装置３と同様の構成要素については、同一符号を付して説明を省略する。
基板固定装置５は、複数の搬送部５２ｕを基板Ｐの搬送方向に並べて搬送レール５２を形成し、各搬送部５２ｕに対してエアシリンダ装置５７を設けたものである。
搬送部５２ｕには、開口部５２ａが形成されており、開口部５２ａ内にはエアシリンダ装置５７のピストン５７ａの先端部が開口部５２ａの上面に当接した状態で設けられている。また、エアシリンダ装置５７のシリンダ５７ｂの下面と開口部５２ａの下面との間には隙間ができるようにされ、この隙間が搬送部５２ｕの移動可能な距離となっている。
【００３５】
また、各エアシリンダ装置５７は、公知のＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等を備えた制御手段（図示しない）によって互いに独立して制御されている。制御手段は、搬送部５２ｕの上面に基板Ｐが載置されていることを認識すると、エアシリンダ装置５７を駆動させる電気信号を発信し、ピストン５７ａを伸張させるようになっている。
なお、制御手段は、上記形態に限られるものではなく、基板Ｐが載置されていない搬送部５２ｕに対応するエアシリンダ装置５７の空気圧を、基板Ｐが載置されている搬送部５２ｕに対応するエアシリンダ装置５７の空気圧より低くなるように制御してもよい。
【００３６】
次に、上記のような構造を有する基板固定装置５の動作について図８、図９を用いて説明する。
図８に示すように、例えば、基板Ｐが搬送レール５２に対して小さい場合には、基板Ｐが載置されている搬送部５２ｕに対応するエアシリンダ装置５７を起動し、搬送部５２ｕを上昇させる。この際、基板Ｐが載置されていない搬送部５２ｕは基板Ｐが搬送されてくる前の状態のままである。また、図９に示すように、例えば、基板Ｐが搬送レール５２とほぼ同じ長さであれば、全てのエアシリンダ装置５７を起動させ、全ての搬送部５２ｕを上昇させる。
【００３７】
本実施の形態の基板固定装置５によれば、搬送レール５２を複数の搬送部５２ｕから形成し、各搬送部５２ｕに対応するエアシリンダ装置５７を設けたので、基板Ｐの長さが変化しても、基板Ｐが載置された搬送部５２ｕだけを上昇させることにより、搬送部５２ｕの端部に大きなモーメントがかかることがなくなって、各搬送部５２ｕが傾くのを防止することができる。また、搬送部５２ｕの開口部５２ａ内にエアシリンダ装置５７を設けたので、搬送レール５２の下方にバックアップテーブル３６ａやエアシリンダ装置５７を設ける必要がなくなり、基板固定装置５を小型化することができる。これに伴い、消費電力の減少、エアシリンダ装置５７へのエアの供給を安定させることができる。
さらに、各搬送部５２ｕに対してエアシリンダ装置５７を設けたので、エアシリンダ装置５７からの駆動出力をダイレクトに搬送部５２ｕに伝達することができることとなって、駆動出力の損失を低減することができる。
また、基板Ｐが載置されていない搬送部５２ｕに対応するエアシリンダ装置５７の空気圧を、基板Ｐが載置されている搬送部５２ｕに対応するエアシリンダ装置５７の空気圧より低くなるように制御すれば、搬送ベルト２３等に余分な負荷がかかるのを防止することができる。
【００３８】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、第二の実施の形態において、エアシリンダ装置を搬送部の下方に設け、バックアップテーブル等の移動機構を介してエアシリンダ装置と搬送部とを連結してもよい。
また、駆動手段は、エアシリンダ装置に限らず、モータやソレノイド等のアクチュエータであればその種類は問わない。
また、スペーサやストッパねじと接触するのは、シャフトサポートに限らずレールガイドに別個固定されているものでもよい。
また、スペーサやストッパねじをレールガイドに設けてもよい。
【００３９】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、第二の押さえ付け部材にモーメントがかかる際の支点となる基板の端部と、当該端部側の第二の押さえ付け部材の端部との間に、基板の厚さに相当する距離の第二の押さえ付け部材の上昇を規制する上昇規制部材が設けられているので、基板をがたつくことなく確実に固定することができる。
また、上昇規制部材を設けることにより、小さい基板や薄い基板であっても割れ等を防止することができる。
【００４０】
請求項２に記載の発明によれば、第二の押さえ付け部材の一端部から当該一端部側の基板の端部までの距離と、第二の押さえ付け部材の他端部から当該他端部側の上昇規制部材の端部までの距離を等しくしたので、第二の押さえ付け部材をほぼ水平に保つことができる。
【００４１】
請求項３に記載の発明によれば、上昇規制部材は、第二の押さえ付け部材の上昇を規制する距離を調整可能であるため、一つの上昇規制部材であらゆる厚さの基板に適用することができる。
【００４２】
請求項４に記載の発明によれば、上昇規制部材を複数設けたので、基板の形状が異なってもいずれかの上昇規制部材によって基板が傾くのを防止することができる。また、上昇規制部材を複数設けたことにより、基板に集中的に力が加わるのを防止することができる。
【００４３】
請求項５に記載の発明によれば、第二の押さえ付け部材は、複数の押さえ付け部から形成され、それぞれの押さえ付け部に対して駆動手段を設けたので、駆動出力の損失を低減することができる。
【００４４】
請求項６に記載の発明によれば、制御手段が各駆動手段を互いに独立して制御し、基板の大きさに応じて駆動手段の駆動を制御したり、第二の押さえ付け部材による基板を押さえ付ける力を制御したりするので、駆動手段の駆動に用いるエネルギー源を節約することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態の基板搬送装置及び基板固定装置を説明するための側面図である。
【図２】上記実施の形態における搬送レールに対して小さい基板を固定した状態での基板搬送装置及び基板固定装置を説明するための側面図である。
【図３】上記実施の形態における基板搬送装置及び基板固定装置を説明するための断面図である。
【図４】上記実施の形態における搬送レールに対して小さい基板を固定した状態での基板搬送装置及び基板固定装置を説明するための断面図である。
【図５】上記実施の形態におけるスペーサの取付部を説明するための斜視図である。
【図６】上記実施の形態における変形例を説明するための側面図である。
【図７】本発明の第二の実施の形態の基板搬送装置及び基板固定装置を説明するための側面図である。
【図８】上記実施の形態における搬送レールに対して小さい基板を固定した状態での基板搬送装置及び基板固定装置を説明するための側面図である。
【図９】上記実施の形態における搬送レールとほぼ同じ大きさの基板を固定した状態での基板搬送装置及び基板固定装置を説明するための側面図である。
【図１０】従来技術における基板表面実装装置を説明するための側面図である。
【図１１】上記従来技術における電子部品搭載部を説明するための側面図である。
【図１２】上記従来技術における基板を固定したときの電子部品搭載部を説明するための側面図である。
【図１３】上記従来技術における搬送レールに対して小さい基板を固定したときの電子部品搭載部を説明するための側面図である。
【図１４】上記従来技術における搬送レールに対して小さい基板を固定したときの搬送レールにかかるモーメントを説明するための側面図である。
【符号の説明】
３，４，５　　　　　基板固定装置
３１　　　　　　ＰＷＢガイド（第一の押さえ付け部材）
３２，５２　　　搬送レール（第二の押さえ付け部材）
３６　　　　　　移動機構
３７，５７　　　エアシリンダ（駆動手段）
３９　　　　　　スペーサ（上昇規制部材）
５２ｕ　　　　　搬送部（押さえ付け部）
Ｐ　　　　　　　基板
Ｐ１　　　　　　端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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