(57)【要約】【課題】製造が容易であるとともに、寸法精度が高いアクチュエータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】アクチュエータ１は、薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダを保持しつつ、これをＸ方向に変位させるものであり、樹脂成型体１０、及び圧電素子１３ａ，１３ｂを備えている。樹脂成型体１０は、連結部１１及び２本のアーム部１２ａ，１２ｂを有しており、樹脂から一体成型されている。これらのアーム部１２ａ，１２ｂは、面Ｓ２ａと面Ｓ２ｂとの間においてヘッドスライダを狭持する。アーム部１２ａ，１２ｂには、面Ｓ３ａ，Ｓ３ｂにそれぞれ圧電素子１３ａ，１３ｂが接着されている。これらの圧電素子１３ａ，１３ｂは、アーム部１２ａ，１２ｂを変位させるものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダを保持する一対のアーム部と、
前記各アーム部を連結する連結部と、
前記各アーム部に取り付けられ、前記各アーム部を変位させる一対の圧電素子と、を備え、
前記アーム部と前記連結部とは、樹脂によって一体成型されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダを変位させるアクチュエータの製造方法であって、
一方向に延在する支持台と、前記延在方向に沿って前記支持台の表面の両側に立設され、前記ヘッドスライダを保持する一対の側壁部とを有する基体を、樹脂によって一体成型する成型工程と、
前記各側壁部の外面に圧電素子を取り付ける取付工程と、
を備えることを特徴とするアクチュエータの製造方法。
【請求項３】
薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダを変位させるアクチュエータの製造方法であって、
一方向に延在する支持台と、前記延在方向に沿って前記支持台の表面及び裏面の両側にそれぞれ立設され、前記ヘッドスライダを保持する二対の側壁部とを有する基体を、樹脂によって一体成型する成型工程と、
前記各側壁部の外面に圧電素子を取り付ける取付工程と、
前記基体が二対の前記側壁部を一対ずつ有する２つの部分に分断されるように、前記支持台を前記延在方向に沿って切断する分断工程と、
を備えることを特徴とするアクチュエータの製造方法。
【請求項４】
前記基体を、前記支持台の前記延在方向に沿って所定の間隔で複数に切断する切断工程を備えることを特徴とする請求項２又は３に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項５】
前記取付工程において、前記圧電素子は帯状をしており、前記支持台の前記延在方向と前記圧電素子の長手方向とが一致するように前記圧電素子を取り付けることを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載のアクチュエータの製造方法。
【請求項６】
前記圧電素子は、積層圧電素子であることを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項に記載のアクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータ及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＨＤＤ用のマイクロアクチュエータとして、表面に圧電素子が接着された一対のアームを備え、各アームの一端を支持部材により固定した構成のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。かかる構成のアクチュエータにおいては、支持部材の材料としては、ジルコニアセラミックス、ガラス及び金属等が主に用いられてきた。また、アームの材料としては、ジルコニアセラミックス及び金属等が主に用いられてきた。
【０００３】
【特許文献１】
特開平２００２−２６４１１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のアクチュエータは、アームを支持部材に対して高精度に位置合わせして接着しなければならないため、製造工程が複雑になってしまうという問題があった。そのうえ、従来のアクチュエータはアーム部の長さ等の寸法精度が低く、それゆえに信頼性も低いという問題があった。特に、ＨＤＤ用のマイクロアクチュエータのような極小型のアクチュエータを製造する場合には、支持部材及びアームの加工製作が非常に困難であり、上記の問題が顕著であった。
【０００５】
そこで、本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、製造が容易であるとともに、寸法精度が高いアクチュエータ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明によるアクチュエータは、薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダを保持する一対のアーム部と、各アーム部を連結する連結部と、各アーム部に取り付けられ、各アーム部を変位させる一対の圧電素子と、を備え、アーム部と連結部とは、樹脂によって一体成型されていることを特徴とする。
【０００７】
ここで、連結部とアーム部とが一体成型されている。これにより、連結部とアーム部とを位置決めして接合する必要がないため、製造が容易なアクチュエータが実現される。また、位置決めが不要であるため、アーム部の長さ等の寸法精度が高いアクチュエータが実現される。さらに、連結部とアーム部とが樹脂によって成型されている。このため、成型加工が容易となり、製造が容易で且つ寸法精度の高いアクチュエータが好適に実現される。
【０００８】
このアクチュエータにおいて、圧電素子に電圧が印加されると、電歪効果により圧電素子に歪みが生じる。すると、その歪みによる力がアーム部に伝わることにより、アーム部が変位する。この変位の向き及び大きさは、圧電素子に印加する電場の向き及び大きさによって制御することができる。
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明によるアクチュエータの製造方法は、薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダを変位させるアクチュエータの製造方法であって、一方向に延在する支持台と、その延在方向に沿って支持台の表面の両側に立設され、ヘッドスライダを保持する一対の側壁部とを有する基体を、樹脂によって一体成型する成型工程と、各側壁部の外面に圧電素子を取り付ける取付工程と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
あるいは、本発明によるアクチュエータの製造方法は、薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダを変位させるアクチュエータの製造方法であって、一方向に延在する支持台と、その延在方向に沿って支持台の表面及び裏面の両側にそれぞれ立設され、ヘッドスライダを保持する二対の側壁部とを有する基体を、樹脂によって一体成型する成型工程と、各側壁部の外面に圧電素子を取り付ける取付工程と、基体が二対の側壁部を一対ずつ有する２つの部分に分断されるように、支持台を延在方向に沿って切断する分断工程と、を備えることを特徴としてもよい。
【００１１】
これらの製造方法においては、支持台と側壁部とが一体成型されてなる基体を用いているので、連結部とアーム部とが一体に設けられたアクチュエータが得られる。このため、本製造方法によれば、寸法精度の高いアクチュエータが容易に得られる。また、基体を樹脂によって成型している。これにより、成型加工が容易となるため、アクチュエータをより容易に製造することができる。
【００１２】
また、本発明によるアクチュエータの製造方法は、圧電素子を取り付けてから、基体を、支持台の延在方向に沿って所定の間隔で複数に切断する切断工程を備えることが好適である。この場合、複数のアクチュエータを一度の製造において得ることができる。
【００１３】
取付工程において、圧電素子は帯状をしており、支持台の延在方向と圧電素子の長手方向とが一致するように圧電素子を取り付けることが好適である。これにより、複数のアクチュエータをまとめて製造する場合、各々のアクチュエータに対して個別に圧電素子を接着する工程を省くことができる。
【００１４】
圧電素子は、積層圧電素子であることが好適である。この場合、アーム部の最大変位量が大きなアクチュエータを得ることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、図示の便宜上、図面の寸法比率は図示の値に限定されず、また説明のものと必ずしも一致しない。
【００１６】
図１は、本発明によるアクチュエータの一実施形態を示す斜視図である。アクチュエータ１は、薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダを保持しつつ、これをＸ方向に変位させるものであり、樹脂成型体１０、及び圧電素子１３ａ，１３ｂを備えている。樹脂成型体１０は、連結部１１及び２本のアーム部１２ａ，１２ｂを有しており、樹脂から一体成型されている。樹脂としては、例えば、液晶ポリマー、ガラスフリット入りのポリブチレンテレフタート（ＰＢＴ）等を用いることができる。連結部１１は、四角柱形状をしており、２本のアーム部１２ａ，１２ｂを支持するとともに連結する部分である。
【００１７】
連結部１１の一つの側面Ｓ１の両側に、それぞれアーム部１２ａ，１２ｂが立設されている。アーム部１２ａ，１２ｂは、ともに側面Ｓ１の法線方向に延びる同一の四角柱形状をしており、対をなしている。これらのアーム部１２ａ，１２ｂは、互いに対向する面Ｓ２ａと面Ｓ２ｂとの間においてヘッドスライダを狭持するものである。
【００１８】
アーム部１２ａ，１２ｂには、対向する面Ｓ２ａ，Ｓ２ｂとは反対側の面Ｓ３ａ，Ｓ３ｂにそれぞれ圧電素子１３ａ，１３ｂが接着されている。圧電素子１３ａ，１３ｂは、長方形の板状をしており、その長辺がアーム部１２ａ，１２ｂの延びる方向に沿って接着されている。また、圧電素子１３ａ，１３ｂは、所定の位置に形成された電極から電圧を印加されると、電歪効果によりアーム部１２ａ，１２ｂの延びる方向に伸張或いは収縮する。圧電素子１３ａ，１３ｂが伸張するか収縮するかは、印加する電圧の向きによって制御することができる。また、伸縮或いは収縮する長さは、印加する電圧の大きさによって制御することができる。
【００１９】
図２は、アクチュエータ１の動作を説明するための図である。図２は、ＨＤＤに設けられたアクチュエータ１を示している。アクチュエータ１は、ＨＤＤのサスペンション６０に固定されている。サスペンション６０は、磁気ヘッドの浮上力を制御するロードビーム６１、及びアクチュエータ１を支えるジンバル６２を有して構成されている。また、アクチュエータ１は、アーム部１２ａ及びアーム部１２ｂによって、ヘッドスライダ６３を狭持している。ヘッドスライダ６３のＨＤ（図示せず）に対向する面Ｓ４が、いわゆるＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）面である。また、ＡＢＳ面Ｓ４には、ヘッドスライダ６３を記録再生時にＨＤから浮上させるためのスライダレール（図示せず）が形成されている。
【００２０】
このＨＤＤにおいて、アクチュエータ１は、薄膜磁気ヘッドとＨＤとの位置関係を主にＨＤの面方向において調整する。例えば、圧電素子１３ａ及び圧電素子１３ｂ（図示せず）のそれぞれに所定の電圧を印加することにより、圧電素子１３ａを伸張させ、且つ圧電素子１３ｂを収縮させる。すると、側面Ｓ３ａが圧電素子１３ａから引張り力を受けることにより、アーム部１２ａがアーム部１２ｂに近づく側に屈曲する。一方、側面Ｓ３ｂ（図示せず）が圧電素子１３ｂから縮み力を受けることにより、アーム部１２ｂがアーム部１２ａから遠ざかる側に屈曲する。これにより、ヘッドスライダ６３は、図中Ｘ方向のアーム部１２ａからアーム部１２ｂの向きに変位する。この変位量は、圧電素子１３ａ，１３ｂに印加する電圧の大きさによって制御される。また、圧電素子１３ａ，１３ｂに印加する電圧の向きを逆にすると、ヘッドスライダ６３は、Ｘ方向のアーム部１２ｂからアーム部１２ａの向きに変位する。
【００２１】
本実施形態によるアクチュエータ１の効果について説明する。アクチュエータ１においては、連結部１１とアーム部１２ａ，１２ｂとが一体成型されている。これにより、連結部１１とアーム部１２ａ，１２ｂとを位置決めして接合する必要がないため、製造が容易なアクチュエータ１が実現されている。また、アクチュエータ１は、容易に製造できるので低コストである。また、連結部１１とアーム部１２ａ，１２ｂとの位置決めが不要であるため、アーム部の長さ等の寸法精度が高く、それゆえ信頼性の高いアクチュエータ１が実現されている。さらに、連結部１１とアーム部１２ａ，１２ｂとが樹脂によって成型されている。このため、成型加工が容易となり、容易に製造可能であり且つ寸法精度の高いアクチュエータ１を好適に実現することができる。
【００２２】
図３は、図１の圧電素子１３ａ，１３ｂの一構成例を説明するための図である。圧電素子１３は、複数の圧電セラミック層２１、複数の内部電極層２２、及び外部電極２３ａ，２３ｂを備える積層圧電素子である。図３においては、圧電素子１３の内部構造を断面図で示している。図に示すように、圧電セラミック層２１と内部電極層２２とは、交互に積層されて積層体をなしている。したがって、各々の圧電セラミック層２１が２つの内部電極層２２で挟まれた構成となっている。また、積層体の積層方向に垂直な一側面Ｓ５がアクチュエータ１に対する取付け面となる。
【００２３】
また、積層体の上面及び下面から側面Ｓ５とは反対の側面の一部にかけて、それぞれ外部電極２３ａ，２３ｂが設けられている。ここでは、圧電セラミック層２１の伸縮方向（図の上下方向）に垂直な面を積層体の上面及び下面としている。なお、アクチュエータ１のアーム部１２ａ，１２ｂが導電性をもつ場合、外部電極２３ａ，２３ｂがアーム部１２ａ，１２ｂに接触してショートするのを防ぐために、外部電極２３ａ，２３ｂは、積層体の上面及び下面において側面Ｓ５側の端部にまで達しないように設けられる。
【００２４】
これらの外部電極２３ａ，２３ｂは、ともに内部電極層２２と接続される。このとき、それぞれの内部電極層２２は、外部電極２３ａ，２３ｂのいずれか一方にのみ接続される。具体的には、内部電極層２２のうち、外部電極２３ａに接続されるものを内部電極層２２ａとし、外部電極２３ｂに接続されるものを内部電極層２２ｂとすると、内部電極層２２は、積層方向に沿って内部電極層２２ａと２２ｂとが交互に現れる構成となっている。
【００２５】
なお、かかる構成の下では、内部電極層２２ａ，２２ｂ間に電圧を印加した場合、圧電セラミック層２１に生じる電場ベクトルの向きが、隣接する圧電セラミック層２１どうしで逆向きとなる。そこで、圧電セラミック層２１の全てが揃って伸張或いは収縮するように、隣接する圧電セラミック層２１どうしの表裏が反対になるように積層している。
【００２６】
上記構成において、外部電極２３ａ，２３ｂに電位差を与えることにより、内部電極層２２ａ，２２ｂ間に電圧を印加すると、圧電素子１３が伸張或いは収縮する。このような積層型の圧電素子１３をアクチュエータ１に対して設けた場合、アーム部１２ａ，１２ｂに対して、大きな引張り力或いは縮み力を与えることができるため、アーム部１２ａ，１２ｂの最大変位量を大きくすることができる。ただし、アクチュエータ１に設ける圧電素子としては、積層型のものに限らず、単板型あるいはバイモルフ型のものであってもよい。
【００２７】
図４（Ａ）〜図４（Ｄ）は、本発明によるアクチュエータの製造方法の一実施形態を示す工程図である。まず、図４（Ａ）に示す基体３０を樹脂によって一体成型する（成型工程）。この基体３０は、支持台３１、及び側壁部３２ａ，３２ｂを有している。支持台３１は、一方向に延びる直方体形状をしている。図に示すように、この支持台３１が延びる方向をＹ方向とする。支持台３１の表面Ｓ６上の両側には、Ｙ方向に沿って側壁部３２ａ，３２ｂが平行に立設されている。これらの側壁部３２ａ，３２ｂは、ともに同一の直方体形状をしており、対をなしている。
【００２８】
次に、図４（Ｂ）に示すように、側壁部３２ａ，３２ｂの外面に対して、それぞれ圧電素子３３ａ，３３ｂを接着により取り付ける（取付工程）。ここで、側壁部３２ａ，３２ｂの外面とは、それぞれ他方の側壁部３２ｂ，３２ａに対向する面に対して裏側となる面をいう。この接着は、例えばエポキシ系樹脂等の熱硬化性樹脂を接着剤として用いて、樹脂を加熱硬化することにより行うことができる。本取付工程においては、圧電素子３３ａ，３３ｂとして、その電歪効果による伸縮方向と垂直な方向を長手方向とする帯状に形成された積層圧電素子を用いている。そして、圧電素子３３ａ，３３ｂをその長手方向がＹ方向と一致するように接着する。
【００２９】
次に、圧電素子３３ａ，３３ｂが接着された基体３０を、Ｙ方向と垂直な方向に沿って切断する（切断工程）。図４（Ｃ）に、このとき切断される部分を一点鎖線Ｌ１で示す。本切断工程においては、一点鎖線Ｌ１で示すように、基体３０をＹ方向に沿って所定の間隔で複数に切断する。
【００３０】
以上により、図４（Ｄ）に示すアクチュエータ３を複数得る。各アクチュエータ３は、支持台３１から切り出された連結部３６、側壁部３２ａ，３２ｂから切り出された１対のアーム部３７ａ，３７ｂ、及び圧電素子３３ａ，３３ｂから切り出された圧電素子３８ａ，３８ｂを有して構成される。
【００３１】
本実施形態による製造方法においては、支持台３１及び側壁部３２ａ，３２ｂが一体成型されてなる基体３０を用いているため、連結部３６及びアーム部３７ａ，３７ｂが一体的に設けられたアクチュエータ３が得られる。これにより、連結部３６とアーム部３７ａ，３７ｂとを位置決めして接合する必要がないため、アクチュエータ３を容易に製造することができる。また、このため、アクチュエータ３を低コストで製造することができる。さらに、連結部３６とアーム部３７ａ，３７ｂとの位置決めが不要であるため、アーム部の長さ等の寸法精度が高く、それゆえ信頼性の高いアクチュエータ３を得ることができる。
【００３２】
また、基体３０を樹脂によって成型している。このため、成型加工が容易となり、寸法精度の高いアクチュエータ３を好適に製造することができる。
【００３３】
また、切断工程において、基体３０をＹ方向に沿って所定の間隔で複数に切断している。これにより、寸法が同一の複数のアクチュエータ３を一度の製造において得ることができる。このため、本製造方法は、アクチュエータの量産化及び低コスト化に適している。
【００３４】
また、取付工程において、帯状の圧電素子３８ａ，３８ｂを、その長手方向がＹ方向と一致するように接着している。これにより、複数のアクチュエータ３をまとめて製造する場合、各々のアクチュエータ３に対して個別に圧電素子を接着する工程を省くことができるため、製造工程が簡略化される。
【００３５】
また、圧電素子３８ａ，３８ｂとして、積層圧電素子を用いている。このため、アーム部３７ａ，３７ｂの最大変位量が大きなアクチュエータ３を得ることができる。
【００３６】
また、取付工程において、接着剤として熱硬化性樹脂を用いた場合、接着剤を短時間で、且つ低歪みで硬化させることができる。さらに、熱硬化させることにより基体３０のアニーリングが行われるため、接着と同時に基体３０の歪みを低減することができる。
【００３７】
図５（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明によるアクチュエータの製造方法の他の実施形態を示す工程図である。まず、図５（Ａ）に示す基体４０を樹脂によって一体成型する（成型工程）。この基体４０は、支持台３１、及び側壁部３２ａ〜３２ｄを有しており、支持台３１が延びる方向（Ｙ方向）に垂直な断面がＨ字状をしている。
【００３８】
支持台３１の表面Ｓ６の両側には、図４（Ａ）と同様に、Ｙ方向に沿って側壁部３２ａ，３２ｂが平行に立設されている。また、支持台３１の裏面Ｓ７の両側にも、Ｙ方向に沿って側壁部３２ｃ，３２ｄが平行に立設されている。側壁部３２ｃ，３２ｄは、側壁部３２ａ，３２ｂと同様に、ともに同一の直方体形状をしており、対をなしている。
【００３９】
次に、図５（Ｂ）に示すように、側壁部３２ａ〜３２ｄの外面に対して、それぞれ圧電素子３３ａ〜３３ｄを接着する（取付工程）。ここで、側壁部３２ｃ，３２ｄの外面とは、それぞれ他方の側壁部３２ｄ，３２ｃに対向する面に対して裏側となる面をいう。本取付工程においては、圧電素子３３ａ，３３ｂと同様に、帯状に形成された積層圧電素子を圧電素子３３ｃ，３３ｄとして用い、その長手方向がＹ方向と一致するように接着する。
【００４０】
次に、支持台３１をＹ方向に沿って切断することにより、基体４０を２つに分断する（分断工程）。本実施形態においては、特に、表面Ｓ６及び裏面Ｓ７に平行、且つ表面Ｓ６及び裏面Ｓ７から等距離にある面で支持台３１を切断する。図５（Ｃ）に、このとき切断される部分を二点鎖線Ｌ２で示す。この切断により、基体４０は、表面Ｓ６を含む支持台３１、及び側壁部３２ａ，３２ｂからなる図中上側の部分と、裏面Ｓ７を含む支持台３１及び側壁部３２ｃ，３２ｄからなる図中下側の部分とに分断される。この後、さらに２つに分断された基体４０のそれぞれを、Ｙ方向と垂直な方向に沿って切断する（切断工程）。図５（Ｃ）に、このとき切断される部分を一点鎖線Ｌ３で示す。本切断工程においても、図４（Ｃ）と同様に、基体４０を所定の間隔で複数に切断する。
【００４１】
以上により、図５（Ｄ）に示すアクチュエータ４を複数得る。ここで示すアクチュエータ４は、分断工程において２つに分断された基体４０のうち、特に図４（Ｃ）中の上側の部分から得られたものである。すなわち、アクチュエータ４は、支持台３１から切り出された連結部４１、側壁部３２ａ，３２ｂから切り出された１対のアーム部４２ａ，４２ｂ、及び圧電素子３３ａ，３３ｂから切り出された圧電素子４３ａ，４３ｂを有して構成されている。
【００４２】
本実施形態による製造方法においては、支持台３１及び側壁部３２ａ〜３２ｄが一体成型されてなる基体４０を用いているため、連結部４１及びアーム部４２ａ〜４２ｄが一体的に設けられたアクチュエータ４が得られる。よって、アクチュエータ４を容易に且つ低コストで製造することができる。さらに、連結部４１とアーム部４２ａ〜４２ｄとの位置決めが不要であるため、アーム部の長さ等の寸法精度が高く、それゆえ信頼性の高いアクチュエータ４を得ることができる。
【００４３】
また、基体４０を樹脂によって成型している。このため、成型加工が容易となり、寸法精度の高いアクチュエータ４を好適に製造することができる。
【００４４】
また、支持台３１の表面Ｓ６だけでなく裏面Ｓ７にも側壁部３２ｃ，３２ｄが設けられた基体４０を用いているため、表面Ｓ６にだけ側壁部を設けた場合に比して、一度の製造でより多くのアクチュエータを得ることができる。このため、本製造方法は、アクチュエータの量産化及び低コスト化に特に適している。
【００４５】
また、分断工程を切断工程よりも先に実行している。これにより、分断工程において２つに分断された基体４０のそれぞれからは、アーム部が延びる方向についての寸法が高精度で一致するアクチュエータを複数得ることができる。特に、本実施形態では、表面Ｓ６及び裏面Ｓ７から等距離の面で支持台３１を切断しているため、分断された基体４０のそれぞれから得られるアクチュエータどうしも、アーム部が延びる方向についての寸法が一致する。ただし、切断工程を分断工程よりも先に実行することとしてもよい。
【００４６】
【発明の効果】
製造が容易であるとともに、寸法精度が高いアクチュエータ及びその製造方法が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるアクチュエータの一実施形態を示す斜視図である。
【図２】アクチュエータ１の動作を説明するための図である。
【図３】図１の圧電素子１３ａ，１３ｂの一構成例を説明するための図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明によるアクチュエータの製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明によるアクチュエータの製造方法の他の実施形態を示す工程図である。
【符号の説明】
１，３，４…アクチュエータ、１０…樹脂成型体、１１，３６，４１…連結部、１２ａ，１２ｂ，３７ａ，３７ｂ，４２ａ，４２ｂ…アーム部、１３，１３ａ，１３ｂ，３３ａ〜３３ｄ，３８ａ，３８ｂ，４３ａ，４３ｂ…圧電素子、２１…圧電セラミック層、２２ａ，２２ｂ…内部電極層、２３ａ，２３ｂ…外部電極、３０，４０…基体、３１…支持台、３２ａ〜３２ｄ…側壁部、６０…サスペンション、６１…ロードビーム、６２…ジンバル、６３…ヘッドスライダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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