(57)【要約】【課題】石英ガラス製の窓部材にクラックが発生したり、またロウ付け部にクラックが発生して気密性が損なわれたりするのを有効に防止し、蓋体に対する窓部材の接合を長期に亘って強固に保持することを可能とした赤外線センサ素子収納用パッケージを提供すること。【解決手段】赤外線センサパッケージ１は、上面の凹部１ａの底面に載置部１ｂを有するセラミック製の基体２と、基体２の上面に外周部が取着され、中央領域に窓５が開けられた金属製の蓋体４と、側面から両主面の外周部にかけて全周に亘ってメタライズ層８が形成され、窓５の内周面５ａにメタライズ層８がロウ付けされる石英ガラス製の窓部材７とを具備し、窓５は、内周面５ａに窓部材７の側面７ａのメタライズ層８の中央部に接合される、窓５の中心に向かって突出しかつ先端６ａが尖っている凸部６が全周に亘って連続して形成されている。【選択図】　図１
2004063793.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に形成された凹部の底面に赤外線センサ素子が載置される載置部を有するセラミックスから成る基体と、該基体の上面の前記凹部の周囲に下面の外周部が取着される、中央領域に窓が開けられた金属から成る蓋体と、側面から両主面の外周部にかけて全周にわたってメタライズ層が形成され、前記窓の内周面に前記メタライズ層がロウ材を介して接合された石英ガラスから成る窓部材とを具備する赤外線センサ素子収納用パッケージにおいて、前記窓は、内周面に前記窓部材の側面の前記メタライズ層の中央部に接合される、前記窓の中心に向かって突出しかつ先端が尖っている凸部が全周にわたって連続して形成されていることを特徴とする赤外線センサ素子収納用パッケージ。
【請求項２】
前記凸部は、前記先端より上側の傾斜面と前記先端より下側の傾斜面とを有しており、前記上側の傾斜面と前記窓部材の主面に平行な面とのなす角度をＡ、前記下側の傾斜面と前記窓部材の主面に平行な面とのなす角度をＢとしたとき、３０°≦Ａ＋Ｂ≦１２０°かつ０．２≦Ａ／Ｂ≦０．６とされていることを特徴とする請求項１記載の赤外線センサ素子収納用パッケージ。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の赤外線センサ素子収納用パッケージと、前記基体の載置部に載置固定された赤外線センサ素子と、前記基体の上面の前記凹部の周囲に外周部が取着された前記蓋体とを具備したことを特徴とする赤外線センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、石英ガラスから成る窓部材を通じて外部の赤外線を受光する赤外線センサ素子を収納した赤外線センサ素子収納用パッケージおよび赤外線センサ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、赤外線センサ素子を収容する赤外線センサ素子収納用パッケージ（以下、赤外線センサパッケージともいう）の窓部材として、例えばサファイア製のものが用いられてきた。しかしながら、近年、人などの周囲よりも温度が高い物体の存在を感知してドアを開ける装置や、防犯などを目的とした赤外線センサ装置用として赤外線を効率よく透過させる窓部材の需要が高まってきている。そのため、窓部材として短波長から長波長にわたる優れた光透過性を有し、特に赤外線を効率よく透過させることができ、高純度で無色透明、高耐熱性等の特性を有する石英（ＳｉＯ２）ガラス製のものが広く用いられるようになってきている。
【０００３】
特に、ＯＨ基が極めて少ないＩ型無水天然石英ガラスは、赤外線を含めた光の吸収が極めて小さく、赤外線透過用の窓部材の材料として極めて有用である。そして、石英ガラス製の窓部材は、例えば、赤外線センサパッケージの蓋体にロウ付けされて用いられ、内部に収容する赤外線センサ素子に赤外線を効率良く入射させることができる。
【０００４】
石英ガラス製の窓部材をロウ付けする場合、例えば円板状の窓部材の一方の主面の外周部から側面にかけて接合用のメタライズ層を被着させ、そのメタライズ層をロウ材を介して蓋体に形成された窓の内周面に接合する。メタライズ層は、例えば、銅（Ｃｕ）−チタン（Ｔｉ）等からなる金属ペーストを例えばスクリーン印刷法により窓部材の側面に被着し、約８９０℃で加熱し焼成することにより形成される。この形成条件は、石英ガラスの歪み点が１０７０℃であり、サファイア製の窓部材を接合する際に一般的に用いられるモリブデン（Ｍｏ），マンガン（Ｍｎ），Ｍｏ−Ｍｎ合金等のように１３５０〜１４５０℃程度の温度で焼成される金属を用いることができないことから設定されたものである。仮にＭｏ−Ｍｎ合金を約１４００℃で被着させると、石英ガラス製の窓部材は変形して赤外線の透過率が劣化したり、また、石英ガラス製の窓部材が窓にロウ付けされたときに窓部材の変形に起因してロウ付け部の厚さが不均一となる場合がある。その結果、長時間にわたって赤外線センサ装置を作動させると、ロウ付け部の厚さが不均一なことにより発生する小さな応力で気密性が損なわれることがあった。
【０００５】
ここで、図３は、メタライズ層１８が側面１７ａから主面１７ｂにかけて被着された従来の石英ガラス製の窓部材１７とその周辺の具体的構成を示す部分拡大断面図であり、また図４は、従来の赤外線センサパッケージ１１で中央領域に窓（開口）１５が形成された蓋体１４を有するものの斜視図である。これらの図において、１１は略直方体の赤外線センサパッケージ、１２はＦｅ（鉄）−Ｎｉ（ニッケル）−Ｃｏ（コバルト）合金，Ｆｅ−Ｎｉ合金等から成り、上面に凹部が形成されているとともにその凹部の底面に赤外線センサ素子が載置される載置部を有する基体、１４はＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金，Ｆｅ−Ｎｉ合金等からなる蓋体、１５は窓である（特開２００１−３５８１２６公報参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図３，図４に示したような従来構成の赤外線センサパッケージ１１では、石英ガラスの熱膨張係数が０．５×１０−６／℃程度と極めて小さいため、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金（熱膨張係数１１．３×１０−６／℃）やＦｅ−Ｎｉ合金（熱膨張係数１２．５×１０−６／℃）等の金属から成る蓋体１４に、接合の信頼性に優れる銀（Ａｇ）ロウ１９（ロウ付け温度６００〜９００℃）を用いて窓部材１７を接合すると、ロウ付け後の冷却過程で基体１２やＡｇロウ１９（熱膨張係数１９．６×１０−６／℃）と窓部材１７との熱膨張差に起因する応力が発生する。この応力が石英ガラス製の窓部材１７の下側主面と側面との間の稜部に集中し、その結果、稜部を起点とするクラックが発生し、これにより赤外線が反射して透過率が低下したり、さらには赤外線センサパッケージの気密性が損なわれるという問題点があった。
【０００７】
また、窓部材１７の下側主面の外周部１７ｂにおけるメタライズ層１８は、Ａｇロウ１９を介して窓部材１７を蓋体１４の窓１５にロウ付けした後に数百度から室温まで温度が下がる際に、窓部材１７と蓋体１４との熱膨張係数差によりロウ付け部にクラックが発生し、その結果、窓部材１７が剥れてしまう場合があった。
【０００８】
さらに、赤外線センサパッケージは赤外線センサ素子の上面に結露するのを防止するために、通常その内部が真空に近い気圧にまで減圧されて使用される。ところが、石英ガラスのヤング率は一般的に用いられるサファイア（Ａｌ２Ｏ３）からなる窓部材に比べて１／５程度（７５ＧＰａ）と小さく、減圧に際して内側方向に僅かに反ってしまう場合がある。そして、この反りに起因して窓部材１７を接合しているＡｇロウ１９などのロウ材にマイクロクラックが発生し、このマイクロクラックが時間の経過とともに成長して赤外線センサパッケージの気密性が損なわれるという不具合を発生させていた。
【０００９】
従って、本発明は上記問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、石英ガラス製の窓部材にクラックが発生したり、またロウ付け部にクラックが発生して気密性が損なわれたりするのを有効に防止し、蓋体に対する窓部材の接合を長期に亘って強固に保持することを可能とした赤外線センサパッケージおよび赤外線センサ装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージは、上面に形成された凹部の底面に赤外線センサ素子が載置される載置部を有するセラミックスから成る基体と、該基体の上面の前記凹部の周囲に下面の外周部が取着される、中央領域に窓が開けられた金属から成る蓋体と、側面から両主面の外周部にかけて全周にわたってメタライズ層が形成され、前記窓の内周面に前記メタライズ層がロウ材を介して接合された石英ガラスから成る窓部材とを具備する赤外線センサ素子収納用パッケージにおいて、前記窓は、内周面に前記窓部材の側面の前記メタライズ層の中央部に接合される、前記窓の中心に向かって突出しかつ先端が尖っている凸部が全周にわたって連続して形成されていることを特徴とする。
【００１１】
本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージは、窓は、内周面に窓部材の側面のメタライズ層の中央部に接合される、窓の中心に向かって突出しかつ先端が尖っている凸部が全周にわたって連続して形成されていることから、凸部の先端付近にロウ材の溜りおよび良好なメニスカスが形成され、凸部を強固に接合することができる。また、窓部材と蓋体との熱膨張係数差によって凸部から窓部材に圧縮応力が加わるが、ロウ材の溜りおよびメニスカスにより圧縮応力は緩和され、よって圧縮応力により凸部の先端が潰れて変形することが無く、またこれにより気密性が損なわれることも無い。
【００１２】
本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージにおいて、好ましくは、前記凸部は、前記先端より上側の傾斜面と前記先端より下側の傾斜面とを有しており、前記上側の傾斜面と前記窓部材の主面に平行な面とのなす角度をＡ、前記下側の傾斜面と前記窓部材の主面に平行な面とのなす角度をＢとしたとき、３０°≦Ａ＋Ｂ≦１２０°かつ０．２≦Ａ／Ｂ≦０．６とされていることを特徴とする。
【００１３】
本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージは、３０°≦Ａ＋Ｂ≦１２０°かつ０．２≦Ａ／Ｂ≦０．６とされていることから、凸部の上側の傾斜面側のロウ材の体積を下側の傾斜面側のロウ材の体積よりも大きくすることができ、その結果、減圧された赤外線センサ素子収納用パッケージ内部と大気圧との差圧により下に凸となるように反っている窓部材に、上に凸となるように応力を作用させることができる。従って、窓部材が僅かに下方に反っているのを有効に緩和することができ、またロウ付け部に発生するマイクロクラックに起因して気密性が損なわれるのを防ぐことができる。
【００１４】
従って、本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージは、蓋体に石英ガラス製の窓部材を強固かつ信頼性良く接合できるとともに、赤外線の透過率の高い石英ガラスからなる窓部材を有するものとなる。
【００１５】
本発明の赤外線センサ装置は、本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージと、前記基体の載置部に載置固定された赤外線センサ素子と、前記基体の上面の前記凹部の周囲に外周部が取着された前記蓋体とを具備したことを特徴とする。
【００１６】
本発明の赤外線センサ装置は、上記の構成により、上記本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージの作用効果を有する、赤外線センサ素子が長期に亘り正常かつ安定して作動し得る信頼性の高いものとなる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージについて以下に詳細に説明する。図１（ａ）は本発明の赤外線センサパッケージについて実施の形態の一例を示す断面図であり、（ｂ）は本発明の赤外線センサパッケージの平面図を示す。また、図２は本発明の赤外線センサパッケージを構成する石英ガラス製の窓部材の接合部とその周辺部を示す部分拡大断面図である。
【００１８】
これらの図において、１は赤外線センサパッケージ、１ａは凹部、１ｂは載置部、２は基体、３は赤外線センサ素子、４は蓋体、５は蓋体４に形成された窓、５ａは窓５の内周面、６は窓５の内周面に設けた凸部、６ａは凸部６の先端、６ｂは凸部６の上側の傾斜面、６ｃは凸部６の下側の傾斜面、７は円板状等の形状の石英ガラスから成る窓部材、７ａは窓部材７の側面、７ｂは窓部材７の主面の外周部、８はメタライズ層、９はロウ付け部である。そして、基体２と蓋体４と窓部材７とで内部に赤外線センサ素子３を気密に収納するための容器が基本的に構成される。
【００１９】
本発明において、凸部６、ロウ付け部９以外の赤外線センサパッケージ１および赤外線センサ装置全体の基本構成は、従来の赤外線センサパッケージを示す図４と同様であり、各部材の詳細な説明は省略する。
【００２０】
本発明の赤外線センサパッケージ１は、上面に形成された凹部１ａの底面に赤外線センサ素子３が載置される載置部１ｂを有するセラミックスから成る基体２と、基体２の上面の凹部１ａの周囲に下面の外周部が取着される、中央領域に窓５が開けられた金属から成る蓋体４と、側面から両主面の外周部にかけて全周にわたってメタライズ層８が形成され、窓５の内周面５ａにメタライズ層８がロウ材を介して接合された石英ガラスから成る窓部材７とを具備し、窓５は、内周面５ａに窓部材７の側面７ａのメタライズ層８の中央部に接合される、窓５の中心に向かって突出しかつ先端６ａが尖っている凸部６が全周にわたって連続して形成されている。
【００２１】
本発明において、凸部６は、先端６ａより上側の傾斜面と先端より下側の傾斜面とを有しており、上側の傾斜面６ｂと窓部材７の主面に平行な面Ｃ（図２）とのなす角度をＡ（図２）、下側の傾斜面６ｃと窓部材７の主面に平行な面Ｃとのなす角度をＢ（図２）としたとき、３０°≦Ａ＋Ｂ≦１２０°かつ０．２≦Ａ／Ｂ≦０．６とされていることが好ましい。
【００２２】
Ａ＋Ｂ＜３０°では、凸部６の先端６ａ付近の剛性が小さくなってロウ付け時に変形し易くなり、この変形により基体２の気密性が破れ易くなる。また１２０°を超えると、窓部材７の側面７ａと先端６ａとの間にあるロウ材の体積が小さくなって接合強度が低下する。
【００２３】
Ａ／Ｂ＜０．２では、上側の傾斜面６ｂと窓部材７の側面７ａとの間に溜まるロウ材の量が多くなり過ぎて、窓部材７に必要以上に上に凸の反りを発生させてしまい、ロウ付け部９にクラックが発生し易くなる。また、Ａ／Ｂ＞０．６では、上側の傾斜面６ｂと窓部材７の側面７ａとの間に溜まるロウ材の量が少なくなり過ぎて接合強度が低下し易くなる。
【００２４】
本発明において、凸部６の先端６ａは、３０〜３００μｍ程度の曲率半径の半球状等の曲面状となっていることが好ましい。この場合、凸部６の先端６ａから窓部材７の側面７ａに加わる圧縮応力が有効に緩和される。また、凸部６の先端６ａは、窓部材７の側面７ａに略平行とされた先端面となるように面取り加工されていてもよい。この場合も上記と同様に圧縮応力が有効に緩和される。
【００２５】
また、凸部６は蓋体４の主面に連続するようにして形成されていてもよい。
【００２６】
本発明の赤外線センサパッケージ１は、半導体素子３を収容するための容器であり、アルミナセラミックスなどからなる基体２と、基体２の上面に接合されたＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金やＦｅ−Ｎｉ合金などの金属からなる蓋体４とで構成され、基体２の上面に形成された凹部１ａの底面の載置部１ｂに赤外線センサ素子３を載置固定し、基体２の上面に窓部材７を設けた蓋体４を接合することによって、赤外線センサ装置が構成される。
【００２７】
蓋体４は、図１，図２に示すように、その中央領域に窓５が設けられ、窓５の内周面５ａには全周に亘って凸部６が形成されている。さらに蓋体４は、窓部材７の側面７ａに凸部６の先端６ａがロウ付け部９を介して接合され、赤外線センサ素子３を気密に封止するとともに、赤外線センサ素子３に外部から入射する赤外線を透過させて赤外線センサ素子３で受光するための窓部材７を有する。そして、外部の赤外線は窓部材７を通して赤外線センサ素子３に入射し、被測定物の存在および温度が認識される。
【００２８】
窓５の内周面５ａに形成された凸部６と窓部材７との接合は以下の［１］〜［４］の工程によって行われる。この接合は、窓部材７として用いられる石英ガラスが圧縮応力に対して充分に耐える強度を有しているという特性を利用している。
【００２９】
［１］窓部材７の側面７ａから主面の外周部７ｂにかけて、例えばＣｕ粉末とＴｉ粉末とを混合したＣｕ−Ｔｉ粉末に有機溶剤、溶媒を添加混合して得た金属ペーストを塗布する。この場合、主面の外周部７ｂにはスクリーン印刷法等により印刷する。また側面７ａには、例えばスクリーン印刷に用いるメッシュ状の版に金属ペーストを供給し、次にスキージにより版の裏面に略均一な厚みで金属ペーストを押出し、この版の裏面に対して窓部材７の側面７ａを回転させながら押し付けることにより、金属ペーストを略均一な厚さ（例えば２０μｍ程度）で被着させる。
【００３０】
窓部材７の側面７ａから外周部７ｂにかけて金属ペーストを被着させるのは、窓部材７の稜部に集中する応力に対して、稜部周辺を補強するためである。
【００３１】
［２］次に、約８９０℃で窒素中において５分間加熱し、窓部材７の側面７ａおよび外周部７ｂにメタライズ層８を固着させる。
【００３２】
［３］次に、窓部材７を窓５に嵌め込んだ状態とする。このとき、蓋体４は、酸化防止およびロウ付けの接合性を高めるうえで、予めＮｉメッキ層および金（Ａｕ）メッキ層をいずれも０．５〜９μｍの範囲の厚さで被着させる。この場合、溶融したロウ材を窓部材７の側面７ａと窓５の内周面５ａとの隙間に侵入させ易くするために、窓部材７の側面７ａと窓５の内周面５ａとの隙間を１０〜３０μｍとすることが好ましい。また、凸部６に対する窓部材７の接合位置を合わせるために、窓部材７の下にカーボンなどからなるスペーサーを挿入しておくのがよく、窓部材７の側面７ａの上下方向の中央部に凸部６を接合することが容易となる。
【００３３】
［４］次に、リング状のＡｇロウ（ＢＡｇ−８：ＪＩＳＺ３２６１等）を窓５の内周面５ａと窓部材７の側面７ａとの間の隙間の上を覆うように隙間に沿って載置し、８００℃の温度で、還元雰囲気下で加熱することにより溶融させて、窓部材７を窓５の凸部６の先端面６ａにロウ付けする。
【００３４】
このロウ付けに際して、窓５が窓部材７よりも大きく熱膨張し、Ａｇロウは溶融して容易に窓５と窓部材７との隙間に侵入する。その後、徐々に冷えてＡｇロウが固化する際に、窓５が窓部材７をその中心方向に圧縮しながら収縮していくことによって、窓部材７が窓５の内周面５ａの凸部６から圧縮応力を受けている状態でＡｇロウが固化することになる。このような接合状態となった赤外線センサパッケージ１は、赤外線センサ素子３が作動時に例えば数十度の熱を発生した場合、この熱により窓５が窓部材７との熱膨張係数差で広がろうとしても、圧縮応力が若干開放されるだけで、窓部材７を押し付ける圧縮応力が相殺されることはない。よって、引張り応力に対して強度が小さい窓部材７は中心方向に向かって常に圧縮された状態となり、窓部材７には引張り応力による破壊が発生することがない。
【００３５】
【実施例】
本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージの実施例について以下に説明する。
【００３６】
Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金から成る蓋体４の窓５の内周面に形成した凸部６において、先端６ａを通り窓部材７の主面に平行な面Ｃと上側の傾斜面６ｂとのなす角度Ａと、面Ｃと下側の傾斜面６ｃとのなす角度Ｂとの和であるＡ＋Ｂを、２５，３０、４５，６０，８０，１００，１２０，１３０（°）としたものを各１０個ずつ作製し、これらの蓋体４の窓５に石英ガラスから成る窓部材７をＡｇロウで接合した。そして、ロウ付け部９のマイクロクラックの有無、接合強度（窓部材の剥離）を調査した。
【００３７】
このとき、蓋体４は、全体の寸法が縦３ｍｍ×横５ｍｍ×厚さ２ｍｍ、窓５の直径（凸部６を除く）が１１ｍｍ、凸部６の長さが２ｍｍであり、窓部材７は、厚さが２ｍｍで直径が６．９５ｍｍの円板状とした。評価結果を表１に示す。
【００３８】
【表１】
2004063793.tif 000003
【００３９】
表１より、Ａ＋Ｂが３０〜１２０°ではロウ付け部９にマイクロクラックが発生せず、接合強度の劣化が発生しないことが判明した。
【００４０】
次に、Ａ＋Ｂを４５，６０，７５，９０（°）とし、これらの各場合に、Ａ／Ｂを０．１５，０．２，０．４５，０．６，０．６５，０．７とした各種サンプルを各１０個作製した。これらのサンプルについて、窓部材７のロウ付け部９におけるマイクロクラック発生の有無および接合強度（窓部材の剥離）を調査した。その結果を表２に示す。
【００４１】
【表２】
2004063793.tif 000004
【００４２】
表２より、Ａ／Ｂが０．２〜０．６の場合、ロウ付け部９にマイクロクラックが発生しないことが判明した。これは、基体２の内部が減圧状態となっていることに起因する窓部材７の下に凸の反りが、本発明の窓部材７の接合構造によって緩和された結果であり、その有効性が確認された。
【００４３】
なお、本発明は上記実施の形態および実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更を行うことは何等差し支えない。
【００４４】
【発明の効果】
本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージは、上面に形成された凹部の底面に赤外線センサ素子が載置される載置部を有するセラミックスから成る基体と、基体の上面の凹部の周囲に下面の外周部が取着される、中央領域に窓が開けられた金属から成る蓋体と、側面から両主面の外周部にかけて全周にわたってメタライズ層が形成され、窓の内周面にメタライズ層がロウ材を介して接合された石英ガラスから成る窓部材とを具備し、窓は、内周面に窓部材の側面のメタライズ層の中央部に接合される、窓の中心に向かって突出しかつ先端が尖っている凸部が全周にわたって連続して形成されていることにより、凸部の先端付近にロウ材の溜りおよび良好なメニスカスが形成され、凸部を強固に接合することができる。また、窓部材と蓋体との熱膨張係数差によって凸部から窓部材に圧縮応力が加わるが、ロウ材の溜りおよびメニスカスにより圧縮応力は緩和され、よって圧縮応力により凸部の先端が潰れて変形することが無く、またこれにより気密性が損なわれることも無い。
【００４５】
本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージは、好ましくは、凸部は、先端より上側の傾斜面と先端より下側の傾斜面とを有しており、上側の傾斜面と窓部材の主面に平行な面とのなす角度をＡ、下側の傾斜面と窓部材の主面に平行な面とのなす角度をＢとしたとき、３０°≦Ａ＋Ｂ≦１２０°かつ０．２≦Ａ／Ｂ≦０．６とされていることにより、凸部の上側の傾斜面側のロウ材の体積を下側の傾斜面側のロウ材の体積よりも大きくすることができ、その結果、減圧された赤外線センサ素子収納用パッケージ内部と大気圧との差圧により下に凸となるように反っている窓部材に、上に凸となるように応力を作用させることができる。従って、窓部材が僅かに下方に反っているのを有効に緩和することができ、またロウ付け部に発生するマイクロクラックに起因して気密性が損なわれるのを防ぐことができる。
【００４６】
従って、本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージは、蓋体に石英ガラス製の窓部材を強固かつ信頼性良く接合できるとともに、赤外線の透過率の高い石英ガラスからなる窓部材を有するものとなる。
【００４７】
本発明の赤外線センサ装置は、本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージと、基体の載置部に載置固定された赤外線センサ素子と、基体の上面の凹部の周囲に外周部が取着された蓋体とを具備したことにより、上記本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージの作用効果を有する、赤外線センサ素子が長期に亘り正常かつ安定して作動し得る信頼性の高いものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージについて実施の形態の一例を示し、（ａ）は赤外線センサ素子収納用パッケージの断面図、（ｂ）は赤外線センサ素子収納用パッケージの平面図である。
【図２】本発明の赤外線センサ素子収納用パッケージにおける蓋体の窓と窓部材との接合部を示す部分拡大断面図である。
【図３】従来の赤外線センサ素子収納用パッケージにおける蓋体の窓と窓部材との接合部を示す部分拡大断面図である。
【図４】従来の赤外線センサ素子収納用パッケージの斜視図である。
【符号の説明】
１：赤外線センサ素子収納用パッケージ
１ａ：凹部
１ｂ：載置部
２：基体
３：赤外線センサ素子
４：蓋体
５：窓
５ａ：内周面
６：凸部
６ａ：先端
６ｂ：上側の傾斜面
６ｃ：下側の傾斜面
７：窓部材
７ａ：側面
８：メタライズ層
【図１】
2004063793.tif 000005
【図２】
2004063793.tif 000006
【図３】
2004063793.tif 000007
【図４】
2004063793.tif 000008