(57)【要約】【課題】薄型化を図ることができると共に、必要に応じてマグネットの外周面に直交する端面にも第２着磁部を設けることが可能な磁気式エンコーダとそのような磁気式エンコーダを組み込んだ電動アクチュエータを提供すること。【解決手段】動力源としてのステッピングモータのモータハウジングに回転可能に取り付けられた回転軸と、回転軸に同軸に固着されたマグネットと、マグネットの外周面に取り付けられた第１着磁部と、マグネットの外周面に直交する端面に必要に応じて設けられた第２着磁部と、第１着磁部に対向・配置されると共に必要に応じて設けられた第２着磁部に対向・配置された各検出素子と、各検出素子の信号を処理するための回路部品を備えた回路基板とを具備したもの。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
動力源としてのステッピングモータのモータハウジングに回転可能に取り付けられた回転軸と、
上記回転軸に同軸に固着されたマグネットと、
上記マグネットの外周面に取り付けられた第１着磁部と、
上記マグネットの上記外周面に直交する端面に必要に応じて設けられた第２着磁部と、
上記第１着磁部に対向・配置されると共に必要に応じて設けられた上記第２着磁部に対向・配置される各検出素子と、
上記各検出素子の信号を処理するための回路部品を備えた回路基板と、
を具備したことを特徴する磁気式エンコーダ。
【請求項２】
請求項１記載の磁気式エンコーダにおいて、
上記回路基板は片面基板であって上記モータハウジング面に直接固定されていることを特徴とする磁気式エンコーダ。
【請求項３】
請求項２記載の磁気式エンコーダにおいて、
上記回路基板は鉄ベース基板であることを特徴とする磁気式エンコーダ。
【請求項４】
請求項１記載の磁気式エンコーダにおいて、
上記回路基板は上記モータハウジング面に対して離間・配置されていてその両面が使用されるように構成されていることを特徴とする磁気式エンコーダ。
【請求項５】
回転駆動されるねじと該ねじに螺合しその回転を規制されたナットとからなる駆動機構と、
上記駆動機構のネジを回転・駆動するステッピングモータと、
上記ステッピングモータに取り付けられた上記請求項１〜請求項４の何れかに記載の磁気式エンコーダと、
を具備したことを特徴とする電動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、例えば、電動アクチュエータに組み込まれて使用される磁気式エンコーダと電動アクチュエータに係り、特に、ステッピングモータとの組み合わせで使用されるものであって、軸方向の厚みを薄くすることができ、それによって、組込対象の装置のコンパクト化を図ることができるように工夫したものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
エンコーダはモータの回転数に比例したパルスを出力することによって、該モータの回転数や回転位置を検出する位置センサとしての役割を果たすものである。又、エンコーダには大きく分けて、「光学式」と「磁気式」とがある。
【０００３】
まず、光学式エンコーダの場合は、光源から発せられた一定波長の光を受光素子で受ける。その際、光源と受光素子の間には、多スリットが空けられた回転ディスク（コードホイール）が配置されていて、該回転ディスクは回転軸に同軸に取り付けられている。また、格子の役割をする固定ディスクが配置されている。そして、上記回転ディスクが回転することによって、前述の回転ディスクと固定ディスクの相対位置が変化し、光源からの光を受光素子に届かせるか否かを検知し、受光素子がパルスを出力するものである。
【０００４】
一方、磁気式エンコーダの場合は、円板型マグネットの外周面又はスラスト方向面に多極着磁が施されていると共に該多極着磁部に対して微細なギャップを介して磁気抵抗効果素子等の磁気検出素子が対向・配置されている。そして、マグネットが回転することによる微細磁束の変化を磁気検出素子によって検出して多パルス信号として出力するものである。
【０００５】
又、エンコーダの必要信号としては、主となる多パルス信号（Ａ相およびＡ相に電気角で９０度の位相差を持ったＢ相）の他に、高精度仕様では、１回転に１回のインデックス信号、すなわちＺ相信号が必要であることが多い。
【０００６】
又、Ｚ相信号が必要な場合には、磁気式エンコーダの回転ディスクに別体マグネットを貼る必要がある。又は、着磁体外周面にＡ、Ｂ相検出用の第１のトラックと、Ｚ相検出用の第２のトラックを設け、Ａ、Ｂ相の着磁は一定波長の繰り返し着磁からなり、Ｚ相検出用の着磁は、単独着磁部よりなるように構成する必要がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特公平８−２０２７１号公報
【０００８】
又、例えば、エンコーダを電動アクチュエータに組み込む場合、アクチュエータの仕様（アブソリュート仕様）によっては電源停止時に、必要な多回転情報を保持するため、バッテリで駆動する必要がある。その場合、エンコーダ自身の消費電力を押さえるために、比較的消費電力の大きな各検出素子、その他必要回路をパルス駆動し、低消費電力化することが実施されている。
尚、電動アクチュエータの仕様としては、通常の「インクリメンタル仕様」と上記「アブソリュート仕様」とがあり、アブソリュート仕様の場合には、電源停止時においても作用点の位置を記憶しておく必要があるものである。
【０００９】
以上が光学式或いは磁気式のエンコーダの一般的な構成・作用であるが、ここで、具体的にその構成をみてみる。
まず、図１０を参照して従来の磁気式エンコーダの構成を説明する。まず、モータハウジング３０１があり、このモータハウジング３０１にはシャフト３０３が回転可能に取り付けられている。このシャフト３０３は図示しないモータの回転軸出力軸側の反対側が突出・配置されたものである。上記シャフト３０３の外周側には、ブッシング３０５及びロータヨーク３０７を介してマグネット３０９が取り付けられている。
【００１０】
上記マグネット３０９の外周面には第１トラック３１１と第２トラック３１３が設けられている。上記第１トラック３１１には、１回転に１回の単極着磁部３１５が設けられていると共に、上記第２トラック３１３には必要な多極着磁部３１７が設けられている。
【００１１】
一方、上記マグネット３０９の外周側には、まず、単極着磁部３１５に対向するように磁気検出素子３１９が支持部材３２１に取り付けられた状態で対向・配置されている。又、多極着磁部３１７に対向するように、別の磁気検出素子３２３が支持部材３２５に取り付けられた状態で対向・配置されている。
又、上記磁気検出素子３１９、３２３からの出力信号を電気的に処理して必要とするパルス信号に変換するための各種電子部品を搭載した回路基板３２７がモータハウジング３０１に取り付けられている。
【００１２】
上記構成によると、第２トラック３１３に設けられた多極着磁部３１７及び磁気検出素子３２３を介して主となる多パルス信号（Ａ相およびＡ相に電気角で９０度の位相差を持ったＢ相）を得ると共に第１トラック３１１に設けられた単極着磁部３１５及び磁気検出素子３１９を介して１回転に１回のインデックス信号、すなわちＺ相信号を得ることになる。それによって、モータの回転数や回転位置を検出するものである。
【００１３】
次に、図１１を参照して磁気式エンコーダの別の従来例を説明する。まず、モータハウジング４０１があり、このモータハウジング４０１にはシャフト４０３が回転可能に取り付けられている。上記シャフト４０３にはロータブッシング４０５が一体に固定されていて、該ロータブッシング４０５の外周には所定のギア４０７が形成されている。
【００１４】
上記モータハウジング４０１には樹脂製の柱部材４０９が立設されていて、該柱部材４０９にはマグネット４１１が一体に設けられている。又、上記マグネット４１１には磁気抵抗効果素子４１３が取り付けられている。又、回路基板４１５はねじ部材４１７によってモータハウジング４０１に取付・固定されている。
【００１５】
上記構成によると、まず、シャフト４０３が回転すると、一体に固定されたギア４０７が回転する。そして、磁気抵抗効果素子４１３のすぐ後方にあるマグネット４１１から発生する磁束は、全体として磁性材料で形成されたロータブッシング４０５に収束する。ロータブッシング４０５の外周にはギア４０７が切ってあるため、ギア４０７の歯の山部と谷部で磁気抵抗が異なるため、微視的な磁束の変化が起こる。
【００１６】
この磁束の変化は、磁気抵抗効果素子４１３の中を鎖交するので、磁気抵抗効果素子４１３自体の配置ピッチを適切に設定すれば、エンコーダ信号として、多パルス信号を取り出すことが出来る。このエンコーダ出力は、回路基板４１５に導かれ、図示しないドライバ、レシーバを介してコントローラ側に入力される。
尚、このタイプの磁気式エンコーダの場合にはＺ相出力が取り出せない構成になっている。
【００１７】
次に、図１２を参照して光学式エンコーダの従来例を説明する。まず、モータハウジング５０１があり、このモータハウジング５０１にはシャフト５０３が回転可能な状態で取り付けられている。このシャフト５０３にはブッシング５０５を介してコードホイール５０７が取り付けられている。このコードホイール５０７には、上記シャフト５０３と同心上に多数のスリット（図示せず）が形成されている。
【００１８】
又、エンコーダブロック５０９が設置されていて、このエンコーダブロック５０９にはスリット５１１が形成されている。上記コードホイール５０７はこのスリット５１１に入り込んだ状態で設置されている。又、回路基板５１３が設置されていて、ねじ部材５１５によってモータハウジング５０１に取付・固定されている。又、上記スリット５１１を挟んで上下両側には発光体５１７と受光素子５１９が対向・配置されている。
尚、ここに示す光学式エンコーダの場合はこのままでは、Ｚ相出力が取り出せない構成になっている。
【００１９】
上記構成によると、シャフト５０３が回転すると、コードホイール５０７が一体に回転する。コードホイール５０７は、エンコーダブロック５０９のスリット５１１に嵌合しているため、スリットの片側にある発光体５１７より発せられた光がコードホイール５０７の回転している多数スリットを通過し、反対側の受光素子５１９に到達する。受光素子５１９の上面（スリット５１１側の面）にはコードホイール５０７の多数スリットピッチと略同じピッチの図示しない固定ディスクが形成されており、この固定ディスクが格子の役割を果たす。
【００２０】
すなわち、固定ディスクの窓の部分が回転するコードホイール５０７に刻まれたスリットと一致した場合、受光素子５１９に光が届き、逆に格子の部分と丁度一致した場合は、受光素子５１９に光が届かない。受光素子５１９は光を感知すれば、電流を流すので、コードホイール５０７が、１回転するとコードホイール５０７に刻まれた多数スリットと同じパルス数を出力することになる。これを図示しないドライバ、レシーバを介して、コントローラ側に送り込むものである。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の構成によると次のような問題があった。
すなわち、図１０に示したような磁気式エンコーダの場合には、一体のマグネット３０９のトラックを第１トラック３１１と第２トラック３１３に分離・配置して、夫々のトラック３１１、３１３に単極着磁部３１５、多極着磁部３１７を設け、又、それに対応するように磁気検出素子３１９、３２３を対向・配置させるように構成しているので、スラスト方向（軸方向）の厚さが大きくなってしまい、例えば、これを電動アクチュエータに組み込んだ場合には、電動アクチュエータの軸方向寸法が大きくなってしまうという問題があった。
又、図１１に示すようなタイプの磁気式エンコーダの場合には、Ａ、Ｂ相はメカ的にギアを構成するため、あまり、多パルスにできない上、Ｚ相を出力することができないという問題があった。
又、図１２に示した光学式エンコーダの場合には、例えば、電動アクチュエータに組み込む場合には、該電動アクチュエータの仕様に応じて専用のコードホイール５０７やエンコーダブロック５０９を必要とし、それによって、高価なものになってしまうという問題があった。
【００２２】
本発明はこのような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、薄型化を図ることができると共に、必要に応じてマグネットの外周面に直交する端面にも第２着磁部を設けることが可能な磁気式エンコーダとそのような磁気式エンコーダを組み込んだ電動アクチュエータを提供することにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するべく本願発明の請求項１による磁気式エンコーダは、動力源としてのステッピングモータのモータハウジングに回転可能に取り付けられた回転軸と、上記回転軸に同軸に固着されたマグネットと、上記マグネットの外周面に取り付けられた第１着磁部と、上記マグネットの上記外周面に直交する端面に必要に応じて設けられた第２着磁部と、上記第１着磁部に対向・配置されると共に必要に応じて設けられた上記第２着磁部に対向・配置された各検出素子と、上記各検出素子の信号を処理するための回路部品を備えた回路基板と、を具備したことを特徴するものである。
又、請求項２による磁気式エンコーダは、請求項１記載の磁気式エンコーダにおいて、上記回路基板は上記モータハウジング面に直接固定されていることを特徴とするものである。
又、請求項３による磁気式エンコーダは、請求項２記載の磁気式エンコーダにおいて、上記回路基板は鉄ベース基板であることを特徴とするものである。
又、請求項４による磁気式エンコーダは、請求項１記載の磁気式エンコーダにおいて、上記回路基板は上記モータハウジング面に対して離間・配置されていてその両面が使用されるように構成されていることを特徴とするものである。
又、請求項５による電動アクチュエータは、回転駆動されるねじと該ねじに螺合しその回転を規制されたナットとからなる駆動機構と、上記駆動機構のネジを回転・駆動するステッピングモータと、上記ステッピングモータに取り付けられた上記請求項１〜請求項４の何れかに記載の磁気式エンコーダと、を具備したことを特徴とするものである。
【００２４】
すなわち、本願発明による磁気式エンコーダは、動力源としてのステッピングモータを用いたタイプにおいて、マグネットの外周面に取り付けられた第１着磁部と、上記マグネットの上記外周面に直交する端面に必要に応じて設けられた第２着磁部とを設けた構成とし、それによって、軸方向の厚みを薄くすることを可能にしたものである。よって、例えば、電動アクチュエータに組み込んだ場合であっても、電動アクチュエータの軸方向に長さを短縮させることができるものである。
その際、回路基板については上記モータハウジング面に直接固定する構成が考えられ、又、必要な場合には、回路基板を鉄ベース基板とすることが考えられる。
又、回路基板をモータハウジング面に対して離間・配置することが考えられ、この場合には、回路基板の両面を有効利用することができる。
尚、駆動の対象物としては様々なものが想定されるが、例えば、電動アクチュエータ用とすることが考えられ、請求項５はそれを電動アクチュエータとしてクレームしたものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図１乃至図６を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。図１は本実施の形態による電動アクチュエータの全体の構成を示す断面図であり、まず、ハウジング１がある。上記ハウジング１にはモーターカバ３が連結されている。上記モーターカバ３内にはステッピングモータ５が収容・配置されている。
【００２６】
上記ステッピングモータ５の回転軸５ａにはジョイント部材７を介してボールネジ９が連結されている。上記ボールネジ９にはボールナット１１が螺合していて、このボールナット１１には中空ロッド１３が固着されている。又、上記中空ロッド１３の先端にはロッド１５が連結されている。上記ジョイント部材７は軸受部材８、１０によって回転可能に支持されている。
【００２７】
よって、ステッピングモータ５が回転・駆動されることによりボールネジ９が回転する。このボールネジ９の回転によってその回転を規制されているボールナット１１が軸方向に移動し、それによって、中空ロッド１３ひいてはロッド１５が軸方向に移動することになる。
【００２８】
上記構成をなす電動アクチュエータには磁気式エンコーダ２１が取り付けられている。以下、この磁気式エンコーダの構成について説明する。
上記磁気式エンコーダ２１は図２に示すような構成になっている。まず、モータハウジング２３があり、このモータハウジング２３にはシャフト２５が回転可能に取り付けられている。このシャフト２５は図示しないモータの回転軸出力軸側の反対側が突出・配置されたものである。上記シャフト２５の外周側には、ブッシング２７及びロータヨーク２９を介してマグネット３１が取り付けられている。
【００２９】
上記マグネット３１の外周面には第１トラック３３が設けられている。又、この第１トラック３３に直交する端面には第２トラック３５が設けられている。上記第１トラック３３には、多極着磁部３７が設けられていると共に、上記第２トラック３５には１回転に１回の単極着磁部３９が設けられている。この実施の形態の場合には、マグネット３１の円周面とそれに直交する端面を有効利用するように構成しているので、軸方向の厚みが薄くて済むものである。
【００３０】
一方、上記マグネット３１の外周側には、まず、多極着磁部３７に対向するように磁気検出素子４０が支持部材４１に取り付けられた状態で対向・配置されている。又、単極着磁部３９に対向するように、別の磁気検出素子４３が回路基板４５に取り付けられた状態で対向・配置されている。上記回路基板４５は上記磁気検出素子３９、４３からの出力信号を電気的に処理して必要とするパルス信号に変換するための各種電子部品を搭載したものであり、既に述べたモータハウジング２３に取り付けられている。
【００３１】
ここで、上記磁気検出素子４０と多極着磁部３７の関係を説明する。図３は、多極着磁部３７と磁気検出素子４０との関係を示す配置図であり、以下その動作を交えながら説明する。まず、シャフト２５が回転することにより、そのシャフト２５と同軸に取り付けられたマグネット３１が回転する。マグネット３１の最外周側には多極着磁部３７が設けられている。磁気検出素子４０は、マグネット３１の多極着磁部３７の着磁ピッチλ（Ｎ−Ｓ間）の１／２ピッチ位置に２本配置され、互いに直列に結線され、１つの相（便宜的にＡ相とする）４１を形成している。
【００３２】
又、その相を構成する位置と更に１／４ピッチ離れて、上記Ａ相４１と同じ１／２ピッチ位置に磁気検出素子４２が２本配置されてＢ相を形成している。図４は、磁気検出素子４０の等価回路で、これは、Ｎ、Ｓに関係なく極があると抵抗値が下がり、極がないと、抵抗値が上がる、等価的な抵抗素子体を示している。
従って、この磁気検出素子４０の対向する位置にＮ−Ｓ−Ｎ（２ピッチ）の１周期分の磁束変化があれば、出力は２パルスの信号が得られることになる。
この信号が、Ａ相、Ｂ相から出力されるが、前述のように配置してあるので、Ａ相、Ｂ相出力は、結果として、９０度位相のずれた連続した信号として得られる。例えば、外周に４００極（Ｎ−Ｓ）着磁を施し、対向する磁気検出素子４０の出力は、Ａ相、Ｂ相からそれぞれ９０度位相ずれた、１回転に４００パルスの出力が得られることになる。
【００３３】
次に、既に説明した回路基板４５の構成を図５を参照して説明する。この実施の形態の場合、回路基板４５は、いわゆる「アブソリュート仕様」信号処理にも対応できるような回路構成となっている。図５に示すように、エンコーダ部４５とコントローラ部４７とから構成されていて、エンコーダ部４５は、センサ４９、信号増幅処理回路５１、ラインドライバ５３とから構成されている。上記センサ４９とは、既に説明した磁気検出素子４０を意味するものである。
【００３４】
又、コントローラ部４７は、ラインレシーバ５４、カウンタ５５、パルス発信器５７、スイッチ５９等から構成されている。又、バッテリ６１が設けられている。そして、アブソリュート仕様時にはスイッチ５９が実線で示されるように切り換えられてバッテリー６１によって駆動されることになる。これに対して、通常時には、スイッチ５９が切り換えられて、内部電源６３より直接駆動されることになる。
【００３５】
又、回路基板４５の構造であるが、通常の片面ガラスエポキシ基板の代わりに、図６に示すような構造も可能になっている。まず鉄製の基板本体６５があり、この基板本体６５にはガラスエポキシ樹脂製の絶縁体６７が設けられていて、この絶縁体６７に銅箔パターン６９が設けられているものである。
【００３６】
以上の構成を基にその作用を説明する。まず、図２において、第１トラック３３に設けられた多極着磁部３７及び磁気検出素子４０を介して主となる多パルス信号（Ａ相およびＡ相に電気角で９０度の位相差を持ったＢ相）を得る。又、第２トラック３５に設けられた単極着磁部３９及び磁気検出素子４３を介して１回転に１回のインデックス信号、すなわちＺ相信号を得ることになる。それによって、モータの回転数や回転位置を検出するものである。
【００３７】
以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、ステッピングモータを使用すると共に磁気式エンコーダを使用した電動アクチュエータにおいて、磁気式エンコーダ２１のマグネット３１の端面を第２トラック３５として利用するようにしたので、磁気式エンコーダ２１の軸方向の厚みを小さくすることができ、それによって、電動アクチュエータとしても軸方向の寸法を小さくすることができる。
又、回路基板４５を鉄製とすれば、ステッピングモータ５側からの漏洩磁束を遮断してそれによる影響を軽減させることができる。
【００３８】
次に、図７を参照して本発明の第２の実施の形態を説明する。前記第１の実施の形態の場合には、マグネット３１の端面に設けられた第２トラック３５に単極着磁部３９を設けるようにしたが、この第２の実施の形態の場合には、マグネット３１に貫通孔７１を穿孔し、該貫通孔７１にインデックスマグネット７３をマグネット３１の端面と面一になるように埋め込んだ構成になっている。このように構成しても前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができるものである。
尚、前記第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
【００３９】
次に、図８及び図９を参照して本発明の第３の実施の形態を説明する。前記第１及び第２の実施の形態の場合には、回路基板４５を片面タイプとしてモーターハウジング２３に取付・固定するようにしたが、この第３の実施の形態の場合は、回路基板８１を両面タイプとして、モーターハウジング２３に対して離間した位置に配置したものである。そして、ネジ部材８３によってモーターハウジング２３に取付・固定されているものである。
【００４０】
上記回路基板８１の断面構造は図９に示すようなものである。すなわち、ガラスエポキシ樹脂製の基板本体８５があって、該ガラスエポキシ樹脂製の基板本体の両面に銅箔パターン８７、８９を設けた構成になっている。
尚、その他の構成は前記第１、第２の実施の形態と同様の構成になっているので、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
【００４１】
したがって、前記第１、第２の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができると共に、回路基板６１を両面タイプとしたことにより、その両側面を有効利用することができ、それによって、コンパクト化を図ることができる。
【００４２】
尚、本発明は前記第１乃至第３の実施の形態に限定されるものではない。
前記第１〜第３の実施の形態の場合には、多極着磁部と単極着磁部の両方を設けた場合を例に挙げて説明したが、多極着磁部のみを設ける場合もある。要は、マグネットの端面に着磁部を選択的に設けることができる構成になっていて、何れでも選択することができるものである。
又、第１着磁部と第２着磁部の内第１着磁部が多極着磁部で第２着磁部が単極着磁部の場合だけに限らず、その逆の場合も考えられる。
前記各実施の形態の場合には、電動アクチュエータを対象機器として説明したが、それ以外にも様々な対象機器が想定される。
【００４３】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明による磁気式エンコーダと電動アクチュエータによると、動力源としてのステッピングモータを用いたタイプにおいて、マグネットの外周面に取り付けられた第１着磁部と、上記マグネットの上記外周面に直交する端面に必要に応じて設けられた第２着磁部とを設けた構成としたので、、それによって、軸方向の厚みを薄くすることができるようになった。そして、これを、例えば、電動アクチュエータに組み込んだ場合には、電動アクチュエータの軸方向に長さを短縮させることができるものである。
又、回路基板を鉄ベース基板とした場合には、ステッピングモータ側からの漏洩磁束を遮断してそれによる影響を軽減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、電動アクチュエータの全体の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図で、磁気式エンコーダの構成を示す断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を示す図で、磁気検出素子と多極着磁部との関係を示す図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態を示す図で、磁気検出素子の等価回路図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態を示す図で、アブソリュートエンコーダの制御回路の構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態を示す図で、回路基板の断面構造を示す一部断面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態を示す図で、磁気式エンコーダの構成を示す断面図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態を示す図で、磁気式エンコーダの構成を示す断面図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態の説明に使用した図で、回路基板の断面構造を示す一部断面図である。
【図１０】従来例を示す図で、磁気式エンコーダの構成を示す断面図である。
【図１１】従来例を示す図で、磁気式エンコーダの構成を示す断面図である。
【図１２】従来例を示す図で、光学式エンコーダの構成を示す断面図である。
【符号の説明】
５　ステッピングモータ
２１　磁気式エンコーダ
２３　モータハウジング
２５　シャフト
３１　マグネット
３７　多極着磁部
３９　単極着磁部
４０　磁気検出素子
４３　磁気検出素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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