(57)【要約】【課題】安定なファブリペロー干渉計を提供すること。【解決手段】ファブリペロー干渉計が二つの鏡（１、２）を具備し、前記二つの鏡（１、２）が、この鏡（１、２）の光学表面（３、４）の間に光路長（ｎＬ）を有して互いに平行に配置され、干渉計が、この干渉計の光軸（７）に対して平行に入射された光入力信号（５）に応答して光出力信号（６）を射出する。干渉計は、干渉計の光軸（７）に対して角度（θ）で傾いている基準光束（８ａ、８ｂ、８ｃ）の少なくとも一本に干渉計を通過させるための手段を干渉計が備えることにより安定化される。本発明は干渉計を安定化させるための方法に関するものでもある。【選択図】　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
二つの平坦な鏡（１、２）を具備するファブリペロー干渉計であって、前記二つの鏡（１、２）が、鏡（１、２）の光学表面（３、４）の間に光路長（ｎＬ）を有して互いに平行に配置されており、前記干渉計が、この干渉計の光軸（７）に平行に入射された光入力信号（５）に応答して光出力信号（６）を射出する、ファブリペロー干渉計において、前記干渉計の光軸（７）に角度（θ）で傾いている少なくとも一つの基準光束（８ａ、８ｂ、又は８ｃ）が前記干渉計を通り抜けるための手段が、備えられていることを特徴とする、ファブリペロー干渉計。
【請求項２】
基準光束（８ａ、８ｂ、８ｃ）もしくは各々の基準光束（８ａ、８ｂ、８ｃ）の、出力強度を検出するための検出手段が設けられていて、前記検出手段が、前記干渉計を透過もしくは前記干渉計から反射した基準光束の強度に対応した電気基準信号を供給することを特徴とする、請求項１に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項３】
角度（θ）が、０度と３度の間にあることを特徴とする、請求項１又は２のいずれかに記載のファブリペロー干渉計。
【請求項４】
フィードバックループと、鏡（１、２）の光学表面（３、４）の間の光路長を変化させるための手段（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）とが設けられていて、前記干渉計が共振状態にあって基準光束を透過させる値まで光路長を変化させて安定化させることによって電気信号の強度を最適化するために、フィードバックループが、電気基準信号を受け取り、また光路長を変化させるための前記手段に連結されていることを特徴とする、請求項２に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項５】
三本の基準光束（８ａ、８ｂ、８ｃ）が干渉計を通り抜けるための手段が、備えられていて、三本の基準光束が、互いに平行であり且つ干渉計の光軸（７）に角度（θ）で傾いていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項６】
三本の基準光束が、前記鏡の周縁部において前記干渉計を通り抜けることを特徴とする請求項５に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項７】
鏡（１、２）を通り抜ける基準光束（８ａ、８ｂ、８ｃ）の三つの通過点（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）が、前記鏡の周縁部で規則正しく配置されていることを特徴とする、請求項６に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項８】
各々の基準光束の出力強度を検出するための検出手段が備えられていて、前記検出手段が各々の基準光束についての単独の電気基準信号を供給することを特徴とする、請求項５〜７のいずれか一項に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項９】
フィードバックループと、鏡の光学表面の傾きを変化させるための手段（８ａ、８ｂ、８ｃ）とが設けられており、鏡の光学表面の傾斜を互いに変化させて鏡の平行度を安定化させることにより基準信号の強度を最適化するために、フィードバックループが、基準光束の強度に対応した三つの電気基準信号を受け取り、また傾斜を変化させるための前記手段に結び付けられていることを特徴とする、請求項１に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項１０】
少なくとも一つの安定化光束（９ａ）が干渉計を通り抜けるための手段が備えられており、各々の安定化光束（９ａ）が、基準光束（８ａ）の一つに対応し、また干渉計の光軸（７）と、対応する基準光束（８ａ）とによって規定される平面に対して角度（ψ）で傾斜していることを特徴とする、請求項１に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項１１】
安定化光束（９ａ）もしくは各々の安定化光束（９ａ）の出力強度と、基準光束（８ａ）の出力強度とを検出するための検出手段が設けられていて、前記検出手段が、安定化光束と、対応する基準光束との強度の差に一致する電気安定化信号を供給することを特徴とする、請求項１０に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項１２】
フィードバックループと鏡の光学表面の間の光路長を変化させるための手段（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）とが備えられていて、電気安定化信号がゼロになる光路長の値であって、その光路長において基準光束の透過された強度と安定化光束の透過された強度とが等しくなる光路長の値に光路長を安定化させる為に、フィードバックループが、電気安定化信号を受け取り、また光路長を変化させるための前記手段に結び付けられていることを特徴とする、請求項１１に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項１３】
基準光束（８ａ、８ｂ、８ｃ）もしくは各々の基準光束（８ａ、８ｂ、８ｃ）が、入力光束が占めていない鏡の部分において干渉計を通り抜けることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一項に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項１４】
光入力信号（５）を干渉計の内と外とに導くために鏡（Ｍ１、Ｍ２）が備えられていて、前記鏡（Ｍ１、Ｍ２）が、基準光束の波長を透過させ、また光入力信号の波長を反射することを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一項に記載のファブリペロー干渉計。
【請求項１５】
ファブリペロー干渉計を安定化させる方法であって、前記干渉計が、二つの平坦な鏡（１、２）を具備していて、前記二つの平坦な鏡（１、２）が、この鏡の光学表面（３、４）の間に光路長（ｎＬ）を有して互いに平行に配置されていて、前記干渉計が、この干渉計の光軸（７）に対して平行に入射された光入力信号（５）に応答して光出力信号（６）を射出する、ファブリペロー干渉計において、前記干渉計の光軸に対して角度（θ）で傾いている少なくとも一つの基準光束（８ａ、８ｂ、又は８ｃ）が前記干渉計を透過させられることを特徴とする、ファブリペロー干渉計を安定化させる方法。
【請求項１６】
前記干渉計を透過した基準光束の出力強度が測定されること、及び基準信号の出力強度を最適化することにより、鏡の光路長が、前記干渉計が共振状態にあって基準光束を透過させる値に安定化されることを特徴とする、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
若干数の基準光束（８ａ、８ｂ、８ｃ）が前記干渉計を透過させられ、別個の基準光束が、互いに平行であり、且つ前記干渉計の光軸（７）に角度（θ）で傾いていて、更に鏡（１、２）の表面上に規則正しく配置された異なる点（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）で鏡（１、２）を通り抜けることを特徴とする、請求項１５又は１６のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、請求項１の前文によるファブリペロー干渉計に関するものであり、また請求項１５の前文による、干渉計を安定化させる方法に関するものである。
【０００２】
ファブリペロー干渉計は、可視光の分析に使用される非常に高い分解能を有する分光計である。図１ａに示されるように、それは、互いに平行に正確に配置された非常に平坦な二枚の鏡からなるものであり、これらの鏡は、これらの鏡の間の間隔を変化させることができる（圧電形変換器のような）適切な掃引装置をもっている（図１ａ）。
【０００３】
装置は、調整可能な共振器として作動する。第一鏡に垂直な入射光は、波長λが方程式（１）の条件を満足するときはいつも干渉計によって透過させられる。
【数１】
2004020564.tif 000003
ここで、Ｌは鏡の間隔であり、ｎは鏡の間の媒質の屈折率であり、ｐは整数である。多くの適用事例において、間隔Ｌは圧電手段によって変えられる。
【０００４】
干渉計の透過曲線は、鏡の間隔Ｌの関数として方程式（２）で与えられ、また図１ｂに示される。
【数２】
2004020564.tif 000004
【０００５】
光は鏡の間で多数の反射を繰り返すので、共振ピークが鋭くなる。ピーク間隔のピーク幅に対する比率は、フィネスＦとして知られている。フィネスは、鏡の平面度と反射率とに依存しており、そしてフィネスの典型的な実用値は、約３０〜１００が使用される。
【０００６】
ファブリペロー干渉計は、その非常に高い分解能の故に非常に有用な機器ではあるが、それは安定性を維持するのが難しい極めて鋭敏な装置である。図１ｂを参照すると、透過ピークの中を掃引するためには、僅か３ｎｍの鏡の間隔の変化が必要とされることがわかる。従って、安定な作動のために、鏡の間隔と平行度は１ｎｍのオーダーで維持されなければならない。
【０００７】
【従来の技術】
実際には、そのように高い安定性を得ることは非常に難しい。低膨張率の材料を構造体に使用したとしても、純粋に受動的な安定性は、０．１℃より優れた温度安定性を維持することを必要とし、更に機械的緩和が、性能に限界を設けることに結果的につながる。
【０００８】
能動的フィードバック安定化がしばしば実際に使用されるが、これは、掃引モードでのみ使用され得るものであって、通常は基準光束を必要とする。フィードバックシステムは、透過された基準光束の高さを最大化するために、鏡の間隔と配置を調節することにより作動する。そのようなシステムは、複雑であり、また非掃引型干渉計を安定化させるために使用することができない。
【０００９】
白色干渉縞を使用する構成が、非掃引型干渉計においても平行度を維持するために使用されているが、前記構成は鏡の間隔を維持するためには使用できない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、ファブリペロー干渉計とそれを安定化させる方法とを提供することであり、単純なやり方で干渉計の長期にわたる完全な安定性を得ることを可能にするものである。ファブリペロー干渉計を安定化させるための方法は、掃引型あるいは非掃引型干渉計に対して同等に適用される。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、根本的な課題が、請求項１の前文による干渉計を使って解決され、請求項１は、少なくとも一つの基準光束が干渉計を通り抜けるための手段が準備されることを特徴としており、また前記基準光束は、干渉計の光軸に対して角度（θ）で傾いている。本発明の根本的な課題は、請求項１５による方法によっても解決される。好適な実施態様が従属請求項によって特徴付けられている。
【００１２】
従って、本発明は、二つの平坦な鏡を具備するファブリペロー干渉計を提供するものであり、前記二つの平坦な鏡は、鏡の光学表面の間に光路長を有して互いに平行に配置されており、また前記干渉計は、その光軸に対して平行に入射された光入力信号に応答して光出力信号を射出し、また干渉計の光軸に対して角度（θ）で傾いている少なくとも一つの基準光束に干渉計を通り抜けさせるための手段が、備えられている。基準光束と光軸との間の角度（θ）は、好ましくは０度より大きく、典型的には０度と３度との間にある。
【００１３】
検出手段が、基準光束の出力強度もしくは各基準光束の出力強度を検出するために備えられていて、干渉計を透過したかあるいは干渉計から反射した基準光束の強度に対応した電気基準信号を供給する。
【００１４】
好ましくは、フィードバックループと鏡の光学表面の間の光路長を変化させるための手段とが備えられ、干渉計が共振状態にあって基準光束が透過する値に光路長を変化させて安定化させることによって基準信号の強度を最適化するために、フィードバックループは、電気基準信号を受け取り、また光路長を変化させるための前記手段に結び付けられている。
【００１５】
好適な実施態様では、ファブリペロー干渉計は、三本の基準光束に干渉計を通過させるための手段を具備しており、三本の基準光束は、互いに平行であり且つ干渉計の光軸に対して角度（θ）で傾けられている。この実施態様では、三本の基準光束は、干渉計の鏡の周縁部を好ましく通り抜ける。鏡を通り抜ける基準光束の三つの点は、鏡の周縁部に規則正しく配置されることが好ましい。この実施態様では、検出手段が、各々の基準光束の出力強度を検出するために備えられており、前記検出手段は、各々の基準光束に関する別々の電気基準信号を供給する。
【００１６】
本発明の別の態様では、フィードバックループと鏡の光学表面の傾きを変化させるための手段とを具備したファブリペロー干渉計が提供され、前記フィードバックループは、鏡の光学表面の傾きを互いに変化させてその結果鏡の平行度を安定化させることによって基準信号の強度を最適化するために、基準光束の強度に対応した三つの電気基準信号を受け取り、また傾きを変化させるための手段に結び付けられている。
【００１７】
本発明の更なる実施態様では、少なくとも一つの安定化光束に干渉計を通過させるための手段を、ファブリペロー干渉計が備えており、各々の安定化光束は、基準光束の中の一つに対応し、そして干渉計の光軸と、対応する基準光束とによって規定される平面に対して角度（ψ）で傾いている。この実施態様では、安定化光束又は各々の安定化光束と、対応する基準光束との出力強度を検出するための検出手段が備えられている。更にこの実施態様では、フィードバックループと、鏡の光学表面の間の光路長を変化させるための手段とが備えられており、そして安定化信号がゼロである光路長値であり、且つ基準光束と安定化光束との透過された強度が等しくなるところの光路長値に光路長を安定化させる為に、前記フィードバックループは、電気安定化信号を受け取り、また光路長を変化させるための手段に結び付けられている。
【００１８】
本発明は、少なくとも一つの基準光束に干渉計を透過させることによって、ファブリペロー干渉計を安定化させるための方法も開示しており、前記基準光束は干渉計の光軸に対して角度（θ）で傾いており、角度（θ）はゼロより大であることが好ましい。この方法は、掃引モードあるいは非掃引モードにある干渉計を安定化させるために適用できる。干渉計の掃引は、基準光束もしくは各々の基準光束と、光軸との間の角度（θ）を変化させることにより達成される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明が、以下の説明において添付図を参照しながら、単に例示として説明される。
【００２０】
本発明による、ファブリペロー干渉計の好適な実施態様とファブリペロー干渉計を安定化させるための好適な方法は、三本の平行な基準光束８ａ、８ｂ、８ｃを使用する。光束は、干渉計を垂直ではなく微小な角度θで通り抜ける。センサーが光束の強度を計測し、フィードバックループが各々の光束の強度を最適化する。このことは図２に概略的に示されている。フィードバックループは図３に概略的に示されている。
【００２１】
基準光束に関しては、以下の方程式が適用できる。
【数３】
2004020564.tif 000005
フィードバックループはこの条件を維持し、そこでθが変えられると、その結果鏡の間隔が変化させられる。角度θの典型的な値は、０度と約３度の間にある。一例として、Ｌが３ｍｍに等しく、λが０．５μｍに等しいなら、間隔Ｌは、θが０．０１ｒａｄから約０．０１６３ｒａｄ（おおよそ０．５７３°から０．９３６°）まで変化させられるとき、λ／２だけ変化させられるであろう。
【００２２】
θの変化に対する間隔Ｌの感度は、微分方程式（４）により得ることができる。
【数４】
2004020564.tif 000006
【００２３】
３ｍｍの間隔Ｌに対してδＬが１ｎｍで且つθが０．０１ｒａｄなら、その時δθは３．３×１０−５ｒａｄである。この計算はこの構造の利点を直ちに示している。３．３×１０−５ｒａｄの回転は、正確かつ再現可能性をもって形成するのが簡単であり、その回転は例えば長さ３３０ｍｍのレバーの端における約１０μｍの移動量に相当する。
【００２４】
回転は基本的に温度不変量であり、一様な温度変化は、寸法は変えるが角度は変えないということが銘記されるべきである（もちろん使用材料は等しい熱膨張係数をもっているという条件で）。
【００２５】
方程式（４）は、鏡の間隔が、ｃｏｓθに依存しているだけでなく、レーザーの波長λと二つの鏡１、２の間の媒質の屈折率ｎにも依存していることを示している。ｎの変化は以下に示すように重要ではない。基準の単一周波数レーザーの波長は、１０８分の１より大きい。上記の例に適用されて、これは無視し得る僅か３×１０−２ｎｍの鏡の間隔における変化を招く。
【００２６】
三つの圧電形変換器１０ａ、１０ｂ、１０ｃが鏡の間隔を変化させることと平行度を調整することとに使用される（図１ａでは、三つの圧電形変換器の中の二つだけが示されている）。これは図２に示されている。互いに独立している三本の光束の安定化をするためには、混合された信号を使って変換器を駆動することが都合よい。例えば変換器Ａが、信号ＶＡ−ａ（ＶＢ＋ＶＣ）を受け、また他の軸についても同様であるとすると、信号ＶＡだけが光束Ａに関する鏡の間隔に影響を与えるように小文字“ａ”を調整することが可能である。光束Ｂ及びＣについても同様である（図３と対照のこと）。
【００２７】
信号ＶＡ他に変調信号を加えることにより、標準的な位相敏感検波技術を各々の光束の強度を最適化するために使用することが可能である。
【００２８】
変調信号は、多少のノイズをシステムに不可避的に加える。以下に記載された技術は、変調信号を使うことなしに安定化を達成することができる。
【００２９】
図４では、分かり易くするために三本の基準光束の中のただ一つの（８ａ）が示されている。図２の構成のように、この基準光束８ａは外部の手段によって平面ＡＢＣにおいて角度θで回転させられている。ここでしかし第二の光束９ａが形成され、この第二の光束９ａは前記面に対して小さな角度ψをなしている。角度ψは、０．５度〜１度のオーダーの角度である。
【００３０】
第一の光束に対しては方程式（３）、即ち、以下の式が適用でき、
【数５】
2004020564.tif 000007
一方第二の光束に対しては、以下の方程式が適用できる。
【数６】
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【００３１】
ｃｏｓθは１に非常に近いので、これらの方程式は、Ｌ０−Ｌψが基本的に掃引角度θから独立していることを示している。鏡の間隔ＬがＬ０とＬψとの間の中間に設定されたとすると、両方の光束の強度は等しくなる。
【００３２】
強度の差を測定することにより、Ｌにおける誤差ΔＬの符合を決定することがここで可能になる。図５を参照すると、Ｌの誤差がマイナス（Ｌが過小）であるなら、そのとき強度Ｉ０はＩψより大きく、一方プラスのΔＬに対しては、逆が成り立つ。
【００３３】
強度の差が、増幅されて変換器を駆動するために使用されるなら、両方の信号は、強度差が図５の状態Ｃに相当してゼロになるまで最適化される。
【００３４】
この安定化方法はもちろん同時に全ての軸に適用される。変調信号を必要としないことが、ノイズの低減と良好な安定性とを招く。
【００３５】
上述の干渉計は、三本の基準光束８ａ、８ｂ、８ｃと、三本の安定化光束９ａ、９ｂ、９ｃとを必要とする。基準光束は互いに対して正確に平行である必要があり、安定化光束も同様である。基準光束と安定化光束との間の角度ψは、角度θが変化するとき一定に維持されなければならない。図６は、単純な構成を示しており、この構成によって光束を引き出すことができる。
【００３６】
三つのコーナーキューブＵ、Ｖ、Ｔ及び小さな角度の光学くさびＷが使用されている。分かり易くするために、コーナーキューブＵ及びＴ並びに光学くさびＷだけが図６に示されている。三つのコーナーキューブＵ、Ｖ、Ｔの相対位置が図６の挿入図に示されている。入射レーザー光束６１が、光学くさびＷに対してある角度で当たり、そして光学くさびＷによって屈折させられ、また光学くさびＷの両面から反射される。基準光束８ａは、コーティングされていない光学くさびＷの前面からの反射により形成され、安定化光束９ａは裏面からの反射により形成される。光束６１は、光学くさびＷの透過の後に、コーナーキューブＵ及びＶによって順次反射されて、光束６２及び６３になる。次に光束６３が、基準光束８ｂと安定化光束９ｂの第二ペアを形成する。コーナーキューブＵ及びＴからの反射の後光学くさびを透過した光束６３が、光束６４及び最後に６５になり、前記光束６５が基準光束８ｃと安定化光束９ｃの第三ペアを形成する（基準／安定化光束のこの第三ペア、光束６５、及びコーナーキューブＴは、分かりやすくする為に図６には図示されていない。また重要な反射光束だけが示されており、多くの付加的な反射光束が存在するがそれらの全ては適当なマスクを使って消去されている。）。
【００３７】
次いで、基準／安定化光束の三つのペアである８ａ、９ａ；８ｂ、９ｂ；８ｃ、９ｃは、軸Ｘを中心に回転することができる鏡（図６には図示されない）に当たり、その結果前記鏡が、一定角度ψを維持しつつ角度θが変化するのを可能にする。
【００３８】
干渉計は、角度θを変えることにより掃引される。標準の機械的・光学的技術をこの角度を変化させるために使用することができる。これが達成されるのに使用される手段は、従来技術においてよく知られている。鏡の間隔Ｌは、角度θに対して線形には変化しないが、コサイン関数を媒介として変化することも明らかである。例えばステップモータ制御の下でθを変化させることにより、コンピュータ制御を使って掃引を線形化することは簡単である。
【００３９】
今までのところ、論述は、角度的にずらされた基準光束８ａ、８ｂ、若しくは８ｃを使ってどのように干渉計を安定化させて掃引するかが説明された。実際に、干渉計は、その光軸７に正確に平行に干渉計に入射された光入力信号５の形にあるいくつかの光源を掃引して分析するために使用されるであろう。基準光束８ａ、８ｂ、８ｃが測定に影響を与えないということが重要である。この目的を達成する二つの方法が以下に説明される。
【００４０】
方法１
三本の基準光束８ａ、８ｂ、８ｃは、干渉計の鏡１、２の縁の周辺の比較的小さな部分を占める。鏡の表面３、４の残りの領域は測定のために使用できる。図７は、このことがどのように実現されるかを示している。（干渉計の鏡１、２より小さい）二つの鏡Ｍ１及びＭ２が、測定光束（これは光入力信号５である）を干渉計の内と外に向けるために使用される。基準光束８ａ、８ｂ、８ｃはＭ１とＭ２の外側を通り抜ける。測定光束と基準光束とが同様の波長を有していることは、条件ではないが、ここでは前提としている。
【００４１】
方法２
測定光束５と基準光束８ａ、８ｂ、８ｃとが大きく異なった波長を有しているところの別の構成が、図８に示されるようにダイクロイックミラーを使用している。ダイクロイックミラーＭ１及びＭ２は、基準波長を透過させ、また測定波長を反射する。鏡の配置は図７と基本的に同じであるが、但しここでは干渉計の鏡の領域の全てが測定のために利用可能である。この場合には干渉計の鏡は、基準波長と測定波長の両方における高い反射率のためにコーティングされていなければならない。
【００４２】
測定のために干渉計を使用する場合、波長λ１は、方程式（１）に従ってｑの順番で測定され、ここで、
【数７】
2004020564.tif 000009
であり、これを方程式（３）と比較することにより以下を示せる。
【数８】
2004020564.tif 000010
【００４３】
換言すると、測定された波長は屈折率には依存していないといえる（但し、ｎにおける分散をとおしてλ１とλが大きく異なっているなら）。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１ａは、ファブリペロー干渉計の概略図である。
図１ｂは、鏡の間隔の関数としての干渉計伝達曲線である。
【図２】図２は、本発明によるファブリペロー干渉計の、三本の基準光束を示した図である。
【図３】図３は、鏡の平行度と鏡の光学表面の光路長とを変えるための手段を制御するためのフィードバックループの回路図である。
【図４】図４は、本発明の好適な実施態様による、一つの基準光束と一つの安定化光束とによって透過された干渉計の一つの鏡の概略図である。
【図５】図５は、干渉計を透過した後における図４の基準光束と安定化光束が測定された強度のプロット図であり、異なる鏡の間隔Ｌについて示した図である。
【図６】図６は、基準光束と安定化光束とを引き出すための光学的手段を示した概略図である。
【図７】図７は、干渉計の内外で測定光束を少し動かす・かき混ぜる？？ための鏡を具備している干渉計の概略配置図である。
【図８】図８は、図７の配置とは別の実施態様の概略配置図である。
【符号の説明】
１…鏡
２…鏡
３…光学表面
４…光学表面
５…光入力信号
６…光出力信号
７…光軸
８ａ…基準光束
９ａ…安定化光束
【図１】
2004020564.tif 000011
【図２】
2004020564.tif 000012
【図３】
2004020564.tif 000013
【図４】
2004020564.tif 000014
【図５】
2004020564.tif 000015
【図６】
2004020564.tif 000016
【図７】
2004020564.tif 000017
【図８】
2004020564.tif 000018