(57)【要約】【課題】整定時間を短縮することが可能なリニアアクチュエータを実現する。【解決手段】空気軸受けと位置センサを用い摺動摩擦が無く絶対位置決めが可能なリニアアクチュエータにおいて、位置センサから位置信号を取り込みスライダーの位置速度制御を行う位置速度制御手段と、推定重力外乱値をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換手段と、位置速度制御手段の出力からＤ／Ａ変換手段の出力を減算して駆動信号としてスライダーを移動させるリニアモータに供給する減算器と、この減算器の出力をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換手段と、スライダーの位置速度制御に先立ち外乱オブザーバを用いてＡ／Ｄ変換手段の出力に基づきコギング数周期分の推定外乱値を求めると共にこの推定外乱値の平均値を求めておき、この平均値を推定重力外乱値として出力する制御手段とを設ける。【選択図】　　　　　　　　　　図１
2004140916.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気軸受けと位置センサを用い摺動摩擦が無く絶対位置決めが可能なリニアアクチュエータにおいて、
前記位置センサから位置信号を取り込みスライダーの位置速度制御を行う位置速度制御手段と、
推定重力外乱値をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換手段と、
前記位置速度制御手段の出力から前記Ｄ／Ａ変換手段の出力を減算して駆動信号として前記スライダーを移動させるリニアモータに供給する減算器と、
この減算器の出力をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換手段と、
前記スライダーの位置速度制御に先立ち外乱オブザーバを用いて前記Ａ／Ｄ変換手段の出力に基づきコギング数周期分の推定外乱値を求めると共にこの推定外乱値の平均値を求めておき、この平均値を前記推定重力外乱値として出力する制御手段と
を備えたことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記位置速度制御手段が、
前記位置信号をディジタル信号に変換する第２のＡ／Ｄ変換手段と、
前記制御手段で演算された速度信号をアナログ信号に変換する第２のＤ／Ａ変換手段と、
前記制御手段からの位置指令値をアナログ信号に変換する第３のＤ／Ａ変換手段と、
前記制御手段からの速度指令値をアナログ信号に変換する第４のＤ／Ａ変換手段と、
前記第３のＤ／Ａ変換手段の出力から前記位置信号を減算する第２の減算器と、
この第２の減算器の出力から速度指令信号を発生させる速度指令信号発生手段と、
この速度指令信号発生手段の出力と前記第４のＤ／Ａ変換手段の出力を加算し、前記第２のＤ／Ａ変換手段の出力を減算する第３の減算器と、
この第３の減算器の出力を電圧信号に変換して出力する速度／電圧変換手段とから構成されたことを特徴とする
請求項１記載のリニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記位置速度制御手段が、
前記位置信号をディジタル信号に変換する第２のＡ／Ｄ変換手段と、
位置指令値から前記位置信号を減算して差分から速度指令信号を発生させ、速度指令値と前記速度指令信号の和から速度信号を減算し電圧信号に変換して出力する前記制御手段と、
前記制御手段の出力をアナログ信号に変換する第２のＤ／Ａ変換手段とから構成されたことを特徴とする
請求項１記載のリニアアクチュエータ。
【請求項４】
前記外乱オブザーバが、
遅い極が設定されたことを特徴とする
請求項１記載のリニアアクチュエータ。
【請求項５】
前記制御手段が、
前記外乱オブザーバを用いて求めた前記推定外乱値から平均値を算出して保持することを特徴とする
請求項１記載のリニアアクチュエータ。
【請求項６】
前記制御手段が、
前記外乱オブザーバを用いて求めた前記推定外乱値の和の値を保持することを特徴とする
請求項１記載のリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気軸受けと位置センサを用い摺動摩擦が無く絶対位置決めが可能なリニアアクチュエータに関し、特に整定時間を短縮することが可能なリニアアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の空気軸受けと位置センサを用い摺動摩擦が無く絶対位置決めが可能なリニアアクチュエータに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２４５１９３号公報
【特許文献２】
特開２００２−０５８２７１号公報
【０００４】
図７はこのような従来のリニアアクチュエータの一例を示す斜視図である。但し、図７において制御回路等の記載は省略されている。図７において１は空気軸受けによって空気浮上している可動部であるスライダーをリニアモータで駆動し、磁歪ポテンショセンサ等の絶対位置検出が可能な位置センサが内蔵されているモータ部、２はモータ部１に内蔵されている位置センサからの信号を処理する位置センサ信号処理回路、３は電磁弁である。
【０００５】
ここで、図７に示す従来例を簡単に説明する。電磁弁３からは図７中”ＡＲ０１”に示すように加圧された空気がモータ部１に供給され、可動部であるスライダーを空気浮上させる。
【０００６】
一方、図７中”ＤＳ０１”に示すように図示しない制御回路からのリニアモータの駆動信号がモータ部１に印加され、モータ部１は当該駆動信号に基づきリニアモータでスライダーの位置を直接移動させ、位置センサ信号処理回路２で処理されたスライダーの絶対位置の位置信号が図７中”ＰＳ０１”に示すように図示しない制御回路に帰還されスライダーの位置制御がなされる。
【０００７】
この結果、磁歪ポテンショセンサ等によりスライダーの絶対位置が検出可能で、可動部であるスライダーが空気軸受けによって空気浮上しているので摺動摩擦が無いので高寿命、コンタミレス及び高制御性が得られることになる。
【０００８】
但し、図７に示すような従来のリニアアクチュエータでは、これまでの搬送系に専ら用いられてきたボールネジとは異なり、可動部であるスライダーを駆動するリニアモータでは推力リップルの原因となるコギング（電気バネ）が生じてしまうと言った問題点があった。
【０００９】
このようなコギングを低減させることはリニアモータに用いられている永久磁石の形状を最適化することによって実現できるものの推力の低下を伴うと言った問題点があった。
【００１０】
図８はこのようなコギング力及び重力の和である外乱（重力＋コギング力）を補償することが可能なリニアアクチュエータの制御回路の一例を示す構成ブロック図である。
【００１１】
図８において４はＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）やＭＰＵ（Ｍｉｃｒｏ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）等の制御手段、５，６，７及び１６はＤ／Ａ変換手段、８及び１５はＡ／Ｄ変換手段、９は速度指令信号発生手段、１０は速度／電圧変換手段、１１はモータ部、１２は位置センサ、１３，１４及び１７は減算器である。
【００１２】
また、４，５，６，７，８，９，１０，１３，１４，１５，１６及び１７は制御回路５０を、５，６，７，８，９，１０，１３及び１４は位置速度制御手段５１をそれぞれ構成している。
【００１３】
制御手段４からの複数の出力はＤ／Ａ変換手段５，６，７及び１６にそれぞれ接続され、Ｄ／Ａ変換手段５の出力は減算器１４の第１の加算入力端子に接続される。また、Ｄ／Ａ変換手段６及び７の出力はそれぞれ減算器１３の加算入力端子及び減算器１４の減算入力端子に接続される。さらに、Ｄ／Ａ変換手段１６の出力は減算器１７の減算入力端子に接続される。
【００１４】
減算器１３の出力は速度指令信号発生手段９に接続され、速度指令信号発生手段９の出力は減算器１４の第２の加算入力端子に接続される。また、減算器１４の出力は速度／電圧変換手段１０に接続される。
【００１５】
そして、速度／電圧変換手段１０の出力である駆動信号は減算器１７の加算入力端子に接続され、減算器１７の出力である外乱補償が施された駆動信号がモータ部１１に印加される。
【００１６】
また、減算器１７の出力はＡ／Ｄ変換手段１５に接続され、Ａ／Ｄ変換手段１５の出力は制御手段４に接続される
【００１７】
一方、位置センサ１２の出力はＡ／Ｄ変換手段８に接続されると共に減算器１３の減算入力端子に接続され、Ａ／Ｄ変換手段８の出力は制御手段４に接続される。
【００１８】
ここで、図８に示す従来例の動作を図９及び図１０を用いて説明する。図９は外乱値推定モードにおける制御回路５０の動作を説明するフロー図、図１０は通常搬送モードにおける制御回路５０の動作を説明するフロー図である。
【００１９】
外乱値推定モード時、図９中”Ｓ００１”において制御回路５０はスライダーを任意の位置に移動させると共に図８中”ＯＢ１１”に示す外乱オブザーバを用いて当該任意の位置における外乱（重力＋コギング力）を推定する。
【００２０】
例えば、スライダーを任意の位置に移動させ当該任意の位置における図８中”ＤＳ１１”に示す駆動信号をＡ／Ｄ変換手段１５で取り込むと共に外乱を推定し推定外乱値として求める。
【００２１】
図９中”Ｓ００２”において制御回路５０は推定した推定外乱値を制御回路５０の記憶手段（図示せず。）等に記憶させる。
【００２２】
このように、制御回路５０は外乱値推定モードで推定した任意の位置における推定外乱値を用いて通常搬送モードで位置速度制御を行う。
【００２３】
すなわち、図１０中”Ｓ１０１”において制御回路５０は図８中”ＯＢ１１”に示す外乱オブザーバを用いて推定外乱値を駆動信号から減算すると共に図１０中”Ｓ１０２”において外乱補償された駆動信号により位置速度制御を行う。
【００２４】
例えば、図８中”ＯＢ１１”に示す外乱オブザーバは推定外乱値をＤ／Ａ変換手段１６により図８中”ＣＭ１１”に示すようなアナログ信号に変換し、減算器１７において駆動信号から減算させて図８中”ＤＳ１１”に示すような外乱補償された駆動信号をモータ部１１に供給して位置速度制御を行う。
【００２５】
この結果、外乱オブザーバを用いて外乱値推定モードで任意の位置の推定外乱値（重力＋コギング力）を求めて記憶しておき、通常搬送モードで記憶しておいた推定外乱値を駆動信号から減算させて外乱補償することにより、外乱（重力＋コギング力）を補償することが可能になる。
【００２６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図８に示すような従来のリニアアクチュエータでは、外乱オブザーバで推定した任意の位置における推定外乱値に基づきコギングの補償を行っていたが、これはスライダーのある任意の位置における”重力＋コギング力”の推定外乱値に基づきスライダーの全ての位置に関するコギングの補償を行っていることになる。
【００２７】
一方、コギング力には周期性が存在するため、任意の位置の決定方法によっては推定外乱値はコギング力の周期性の起因して変動してしまう。
【００２８】
この場合、正確に重力が推定できていないため、推定した外乱推定値によっては位置速度制御手段５１（位置速度制御手段５１を構成する積分器）に負担ががかかり、当該積分器のリミット値を大きくしなければならず。整定時間が長くなってしまうと言った問題点があった。
従って本発明が解決しようとする課題は、整定時間を短縮することが可能なリニアアクチュエータを実現することにある。
【００２９】
【課題を解決するための手段】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
空気軸受けと位置センサを用い摺動摩擦が無く絶対位置決めが可能なリニアアクチュエータにおいて、
前記位置センサから位置信号を取り込みスライダーの位置速度制御を行う位置速度制御手段と、推定重力外乱値をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換手段と、前記位置速度制御手段の出力から前記Ｄ／Ａ変換手段の出力を減算して駆動信号として前記スライダーを移動させるリニアモータに供給する減算器と、この減算器の出力をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換手段と、前記スライダーの位置速度制御に先立ち外乱オブザーバを用いて前記Ａ／Ｄ変換手段の出力に基づきコギング数周期分の推定外乱値を求めると共にこの推定外乱値の平均値を求めておき、この平均値を前記推定重力外乱値として出力する制御手段とを備えたことにより、整定時間を短縮することが可能になる。
【００３０】
請求項２記載の発明は、
請求項１記載の発明であるリニアアクチュエータにおいて、
前記位置速度制御手段が、
前記位置信号をディジタル信号に変換する第２のＡ／Ｄ変換手段と、前記制御手段で演算された速度信号をアナログ信号に変換する第２のＤ／Ａ変換手段と、前記制御手段からの位置指令値をアナログ信号に変換する第３のＤ／Ａ変換手段と、前記制御手段からの速度指令値をアナログ信号に変換する第４のＤ／Ａ変換手段と、前記第３のＤ／Ａ変換手段の出力から前記位置信号を減算する第２の減算器と、この第２の減算器の出力から速度指令信号を発生させる速度指令信号発生手段と、この速度指令信号発生手段の出力と前記第４のＤ／Ａ変換手段の出力を加算し、前記第２のＤ／Ａ変換手段の出力を減算する第３の減算器と、この第３の減算器の出力を電圧信号に変換して出力する速度／電圧変換手段とから構成されたことにより、整定時間を短縮することが可能になる。
【００３１】
請求項３記載の発明は、
請求項１記載の発明であるリニアアクチュエータにおいて、
前記位置速度制御手段が、
前記位置信号をディジタル信号に変換する第２のＡ／Ｄ変換手段と、位置指令値から前記位置信号を減算して差分から速度指令信号を発生させ、速度指令値と前記速度指令信号の和から速度信号を減算し電圧信号に変換して出力する前記制御手段と、前記制御手段の出力をアナログ信号に変換する第２のＤ／Ａ変換手段とから構成されたことにより、整定時間を短縮することが可能になる。
【００３２】
請求項４記載の発明は、
請求項１記載の発明であるリニアアクチュエータにおいて、
前記外乱オブザーバが、
遅い極が設定されたことにより、制御系のパラメータの算出に用いる質量と実際の質量とが異なることに由来するモデルミスマッチングがある場合であっても外乱オブザーバの設計が容易になる。
【００３３】
請求項５記載の発明は、
請求項１記載の発明であるリニアアクチュエータにおいて、
前記制御手段が、
前記外乱オブザーバを用いて求めた前記推定外乱値から平均値を算出して保持することにより、推定外乱値テーブルを予め作成して用いる従来例と比較して制御手段の記憶手段の記憶容量を小さくすることができる。
【００３４】
請求項６記載の発明は、
請求項１記載の発明であるリニアアクチュエータにおいて、
前記制御手段が、
前記外乱オブザーバを用いて求めた前記推定外乱値の和の値を保持することにより、推定外乱値テーブルを予め作成して用いる従来例と比較して制御手段の記憶手段の記憶容量を小さくすることができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係るリニアアクチュエータの制御回路の一実施例を示す構成ブロック図である。
【００３６】
図１において５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７及び５１は図８と同一符号を付してあり、４ａはＣＰＵやＭＰＵ等の制御手段である。また、４ａ，５，６，７，８，９，１０，１３，１４，１５，１６及び１７は制御回路５０ａを構成している。
【００３７】
制御手段４ａからの複数の出力はＤ／Ａ変換手段５，６，７及び１６にそれぞれ接続され、Ｄ／Ａ変換手段５の出力は減算器１４の第１の加算入力端子に接続される。また、Ｄ／Ａ変換手段６及び７の出力はそれぞれ減算器１３の加算入力端子及び減算器１４の減算入力端子に接続される。さらに、Ｄ／Ａ変換手段１６の出力は減算器１７の減算入力端子に接続される。
【００３８】
減算器１３の出力は速度指令信号発生手段９に接続され、速度指令信号発生手段９の出力は減算器１４の第２の加算入力端子に接続される。また、減算器１４の出力は速度／電圧変換手段１０に接続される。
【００３９】
そして、速度／電圧変換手段１０の出力である駆動信号は減算器１７の加算入力端子に接続され、減算器１７の出力である外乱補償が施された駆動信号がモータ部１１に印加される。
【００４０】
また、減算器１７の出力はＡ／Ｄ変換手段１５に接続され、Ａ／Ｄ変換手段１５の出力は制御手段４ａに接続される
【００４１】
一方、位置センサ１２の出力はＡ／Ｄ変換手段８に接続されると共に減算器１３の減算入力端子に接続され、Ａ／Ｄ変換手段８の出力は制御手段４ａに接続される。
【００４２】
ここで、図１に示す実施例の動作を図２、図３、図４、図５及び図６を用いて説明する。但し、図８に示す従来例と同様の部分に関する説明は省略する。
【００４３】
図２は制御回路５０ａの動作を説明するフロー図、図３及び図４は重力外乱値の推定原理を示す特性曲線図、図５は実測の推定重力外乱値の一例を示す特性曲線図、図６は実際の外乱と推定外乱値の一例を示す特性曲線図である。
【００４４】
図２中”Ｓ２０１”において制御回路５０ａは動作に必要なＣＰＵ、Ａ／Ｄ変換手段及びＤ／Ａ変換手段の初期化等の各種初期化処理を行う。
【００４５】
そして、図２中”Ｓ２０２”において制御回路５０ａはスライダーを低速且つ等速で移動させて駆動信号を順次取り込むと共に図２中”Ｓ２０３”において外乱オブザーバを用いて取り込んだ駆動信号に基づき外乱を推定して推定外乱値を求める。
【００４６】
例えば、負荷質量が”０．５ｋｇ”であるスライダーを図３中”ＣＨ３１”に示すような速度指令値に基づき低速で等速移動させた時の図１中”ＤＳ２１”に示す駆動信号をＡ／Ｄ変換手段１５で取り込むと共に図１中””ＯＢ２１”に示す外乱オブザーバによって図３中”ＣＨ３２”に示すような推定外乱値を求める。
【００４７】
同様に、例えば、負荷質量が”０．１５ｋｇ”であるスライダーを図４中”ＣＨ４１”に示すような速度指令値に基づき低速で等速移動させた時の図１中”ＤＳ２１”に示す駆動信号をＡ／Ｄ変換手段１５で取り込むと共に図１中””ＯＢ２１”に示す外乱オブザーバによって図４中”ＣＨ４２”に示すような推定外乱値を求める。
【００４８】
図２中”Ｓ２０４”において制御回路５０ａはコギングの数周期分移動、言い換えれば、コギングの数周期分の推定外乱値を取り込んだか否かを判断し、もし、取り込みが未了であれば図２中”Ｓ２０３”に示すステップに戻る。
【００４９】
もし、図２中”Ｓ２０４”においてコギングの数周期分の推定外乱値の取り込みを完了した場合には、図２中”Ｓ２０５”において制御回路５０ａは取り込んだ推定外乱値の平均値を算出する。
【００５０】
ここで、コギング力は周期的な力であるためその平均値は”０”であり、取り込んだ推定外乱値の平均値は推定重力外乱値となる。
【００５１】
例えば、図３中”ＣＨ３２”に示すような数周期分の推定外乱値の平均値は図３中”ＡＶ３１”に示すようになり、負荷質量が”０．５ｋｇ”であるスライダーの重力外乱値の理論値”４．９Ｎ”に対して平均値は”４．９０２Ｎ”となりほぼ同一となる。
【００５２】
同様に、例えば、図４中”ＣＨ４２”に示すような数周期分の推定外乱値の平均値は図４中”ＡＶ４１”に示すようになり、負荷質量が”０．１５ｋｇ”であるスライダーの重力外乱値の理論値”１．４７Ｎ”に対して平均値は”１．４６４Ｎ”となりほぼ同一となる。
【００５３】
最後に、図２中”Ｓ２０６”において制御回路５０ａは求めた平均値（推定重力外乱値）を駆動信号から減算して外乱補償をしながら通常の位置速度制御を行う。
【００５４】
例えば、図１中”ＯＢ２１”に示す外乱オブザーバは求めた平均値である推定重力外乱値をＤ／Ａ変換手段１６により図１中”ＣＭ２１”に示すようなアナログ信号に変換し、減算器１７において駆動信号から減算させて図１中”ＤＳ２１”に示すような外乱補償された駆動信号をモータ部１１に供給する。
【００５５】
以上のようなアルゴリズムで実測を行った結果、負荷重量が”０．２ｋｇ”の場合には、図５中”ＣＨ５１”に示すような推定外乱値を取り込み、図５中”ＣＨ５２”に示すような平均値である推定重力外乱値を得ることができる。
【００５６】
一方、負荷重量が”０．０ｋｇ（無負荷）”の場合には、図５中”ＣＨ５３”に示すような推定外乱値を取り込み、図５中”ＣＨ５４”に示すような平均値である推定重力外乱値を得ることができる。
【００５７】
この結果、外乱オブザーバを用いてコギング数周期分の推定外乱値を求めると共に当該推定外乱値の平均値である推定重力外乱値を求め、求めた推定重力外乱値を駆動信号から減算させて外乱補償することにより、制御手段５０ａを構成する積分器のリミット値を大きくする必要性がなくなるので、整定時間を短縮することが可能になる。
【００５８】
なお、図１に示す実施例では制御系である位置速度制御手段５２ではアナログ信号処理を行っているが、勿論、ディジタル信号処理をする構成であっても構わない。すなわち、制御手段４ａ内で外乱補償された駆動信号を生成して、最終的にアナログ信号に変換してモータ部１１に供給しても構わない。
【００５９】
この場合には、Ｄ／Ａ変換手段の一部が削除可能になるため回路規模を小さくすることが可能になる。
【００６０】
また、図１に示す実施例ではコギングの数周期分の推定外乱値を取り込んで平均値を計算しているが、コギングの周期数に関しては２周期以上であれば、何周期であっても構わない。
【００６１】
また、図６中”ＣＨ６１”に示す実際の外乱と図６中”ＣＨ６２に示すがイランオブザーバによる推定外乱値との間には図６中”ＰＨ６１”に示すような位相差が存在するが、図２中”Ｓ２０５”に示すステップにおいて平均値を取ることにより、当該位相差は平均値とは無関係、言い換えれば、推定重力外乱値は位相差の影響を受けないことになる。
【００６２】
また、上述のように位相差が推定重力外乱値に関係しないため、外乱オブザーバの極の設定に際して制御系が安定する遅い極を設定することが可能になる。このため、制御系のパラメータの算出に用いる質量と実際の質量とが異なることに由来するモデルミスマッチングがある場合であっても外乱オブザーバの設計が容易になる。
【００６３】
また、図１に示す実施例においては、制御回路５０ａ（制御手段４ａ）が各時間（若しくは、位置）における推定外乱値から平均値を算出して求めた平均値を制御回路５０ａ（制御手段４ａ）の記憶手段に保持しておけば良いので、推定外乱値テーブルを予め作成して用いる従来例と比較して制御回路５０ａ（制御手段４ａ）の記憶手段の記憶容量が小さくても構わない。
【００６４】
また、推定外乱値の平均値を求める場合には、平均値そのものではなく制御回路５０ａ（制御手段４ａ）が各時間（若しくは、位置）における推定外乱値の和の値を制御回路５０ａ（制御手段４ａ）の記憶手段に保持しておいても良いので、推定外乱値テーブルを予め作成して用いる従来例と比較して制御回路５０ａ（制御手段４ａ）の記憶手段の記憶容量が小さくても構わない。
【００６５】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
請求項１，２及び請求項３の発明によれば、外乱オブザーバを用いてコギング数周期分の推定外乱値を求めると共に当該推定外乱値の平均値である推定重力外乱値を求め、求めた推定重力外乱値を駆動信号から減算させて外乱補償することにより、制御手段を構成する積分器のリミット値を大きくする必要性がなくなるので、整定時間を短縮することが可能になる。
【００６６】
また、請求項４の発明によれば、外乱オブザーバを遅い極を設定することにより、制御系のパラメータの算出に用いる質量と実際の質量とが異なることに由来するモデルミスマッチングがある場合であっても外乱オブザーバの設計が容易になる。
【００６７】
また、請求項５及び請求項６の発明によれば、制御手段４が推定外乱値から平均値を算出して求めた平均値、若しくは、推定外乱値の和の値を制御手段の記憶手段に保持することにより、推定外乱値テーブルを予め作成して用いる従来例と比較して制御手段の記憶手段の記憶容量を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るリニアアクチュエータの制御回路の一実施例を示す構成ブロック図である。
【図２】制御回路の動作を説明するフロー図である。
【図３】重力外乱値の推定原理を示す特性曲線図である。
【図４】重力外乱値の推定原理を示す特性曲線図である。
【図５】実測の推定重力外乱値の一例を示す特性曲線図である。
【図６】実際の外乱と推定外乱値の一例を示す特性曲線図である。
【図７】従来のリニアアクチュエータの一例を示す斜視図である。
【図８】コギングに起因するリップルを低減させることが可能なリニアアクチュエータの制御回路の一例を示す構成ブロック図である。
【図９】外乱値推定モードにおける制御回路の動作を説明するフロー図である。
【図１０】通常搬送モードにおける制御回路の動作を説明するフロー図である。
【符号の説明】
１　モータ部
２　位置センサ信号処理回路
３　電磁弁
４，４ａ　制御手段
５，６，７，１６　Ｄ／Ａ変換手段
８，１５　Ａ／Ｄ変換手段
９　速度指令信号発生手段
１０　速度／電圧変換手段
１１　モータ部
１２　位置センサ
１３，１４，１７　減算器
５０，５０ａ　制御回路
５１　位置速度制御手段
【図１】
2004140916.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004140916.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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