(57)【要約】【課題】充分な天井高さを確保できるとともに、照明装置のメンテナンスなどが容易に行えるファンフィルタユニットを提供する。【解決手段】ＦＦＵ１０は、スペース５０に照明装置４８を内蔵したので、システム天井フレーム２０の下部から照明装置を廃して天井高さを高く得ることができる。また、半閉止部材６４が区画スペース５０の上方に設けられているので、天井チャンバ１４側から照明装置４８のメンテナンスを行うことができる。【選択図】　　図２
2004144434.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシングと、
該ケーシング内部に設けられたファンと、
前記ファンの下方で前記ケーシングに設けられた清浄フィルタと、から成るファンフィルタユニットにおいて、
前記ケーシング内部の一部を分割して照明装置を配置するスペースを形成したことを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項２】
前記ケーシングには、前記照明装置を配置するスペースの上部に、着脱可能な半閉止板が取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載されたファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はファンフィルタユニットに係り、特にクリーンルームの天井部に配設されるファンフィルタユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵ）は、一般にクリーンルームの天井部に配設される。このＦＦＵはケーシング内にファンと清浄フィルタとが設けられ、ファンによって清浄フィルタにエアを濾過させ、得られた清浄エアをクリーンルームの室内に供給する（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−２０６５２７
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のＦＦＵを備えたクリーンルームでは、天井の桟の下面に照明装置が設置される。このため、床から天井までの高さが照明装置分だけ低くなる不具合があった。さらに、天井の桟の下面に照明装置が取り付けられているため、室内に配置された半導体製造装置などが邪魔となり、照明装置の電球の交換ができない場合があった。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みて成されたもので、天井高さを確保できるとともに、照明装置のメンテナンスなどが容易に行えるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の本発明は、ケーシングと、該ケーシング内部に設けられたファンと、前記ファンの下方で前記ケーシングに設けられた清浄フィルタと、から成るファンフィルタユニットにおいて、前記ケーシング内部の一部を分割して照明装置を配置するスペースを形成したことを特徴としている。
【０００７】
請求項１に記載の本発明によれば、ケーシング内部の一部を分割して照明装置を配置するスペースを形成したので、ファンフィルタユニットに照明装置を内蔵でき、充分な天井高さを確保できる。
【０００８】
また、請求項２に記載の本発明によれば、ケーシングの照明装置が配置されるスペースの上部に、着脱可能な半閉止板が取り付けられ、天井チャンバ側から照明装置のメンテナンスが行なえる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係るファンフィルタユニット（ＦＦＵ）の好ましい実施の形態について詳説する。図１は本発明に係るファンフィルタユニット１０を用いたクリーンルーム１２の概念図である。
【００１０】
同図に示すようにクリーンルーム１２は、主にＦＦＵ１０が設けられた天井チャンバ１４，室１６，床下チャンバ１８から構成されている。天井チャンバ１４と室１６とはシステム天井フレーム２０で区画され、室１６と床下チャンバ１８とはグレーチング床２２により区画されている。なお、天井チャンバ１４と床下チャンバ１８とはリターンエリア１５を介して接続されている。
【００１１】
システム天井フレーム２０は格子状に区画され、規則的に開口孔２４，２４…が形成され、この開口孔２４にはＦＦＵ１０、１０、…が配設されている。なお、符号２１，２１…は、システム天井フレーム２０をクリーンルーム１２の天井１３から支持するための吊り金具である。このシステム天井フレーム２０の下方には、半導体製造装置５などが設置される室１６が形成されている。
【００１２】
床下チャンバ１８には排気ダクト２６が設けられ、グレーチング床２２から排出されたエアの一部が排気ダクト２６を介して外部に排気される。また、天井チャンバ１４には給気ダクト２８が設けられ、外気が給気ダクト２８を介して天井チャンバ１４に供給される。
【００１３】
図２（ａ）は本発明に係るファンフィルタユニット１０の側断面図、同図（ｂ）はその平面図である。
【００１４】
ＦＦＵ１０は、ケーシング４０内に内蔵されたファン４４，清浄フィルタ４６などから構成される。ケーシング４０内部の両サイドには区画壁５４，５４が設けられ、この区画壁５４，５４によってケーシング４０内部が分割され、スペース５０，５０が形成されている。スペース５０には照明装置４８が設置され、この照明装置４８は、不図示の配線を介して照明電源コネクター６２に接続されている。
【００１５】
スペース５０，５０の上面には、半閉止板６４，６４が着脱可能に設けられ、スペース５０，５０の下方に相当する位置には、アルミエキスパンドメタル６６，６６が設けられている。半閉止板６４は、多孔板で構成される。なお、アルミエキスパンドメタルに代えて、ＳＵＳエキスパンドメタルや塩ビ金網、アルミ格子ルーバーなどの透光性と通気性を備えた他の部材を用途に応じて用いても良い。なお、符号６１は電源コネクターボックスである。
【００１６】
ケーシング４０の中央にはファン４４が設けられ、図示しないモータによってファン４４が回転される。ケーシング４０の上部には、障害物の侵入を防止するファンガード４５が設けられている。なお、ファン４４のモータはＦＦＵ電源コネクター６０に接続されている。
【００１７】
ファン４４の下方でケーシング４０の下面には、清浄フィルタ４６が敷設されている。
【００１８】
次に、前記の如く構成されたＦＦＵ１０の作用を以下に説明する。
【００１９】
ＦＦＵ１０のファン４４を駆動すると、天井チャンバ１４内（図１参照）のエアがケーシング４０内部に吸引される。吸引されたエアは清浄フィルタ４６によってエア中の塵埃が除去され、清浄エアとして室１６に供給される。図１において、この清浄エアは、室１６に浮遊する塵埃とともにグレーチング床２２を通って床下チャンバ１８に排出される。床下チャンバ１８に排出された塵埃を含んだエアはその一部が排気ダクト２６を介して外部に排気され、残りのエアがリターンエアとしてリターンエリア１５を介して天井チャンバ１４に戻される。このリターンエアは給気ダクト２８から供給される外気とともに、ＦＦＵ１０内部に再度吸引される。
【００２０】
さらに、室１６に比べて天井チャンバ１４は負圧となるため、照明装置４８まわりのエアは半閉止板６４を介して天井チャンバ１４に吸引され、このとき照明装置４８まわりで生じる熱や塵埃も天井チャンバ１４に放出される。このため照明装置４８に起因する熱や塵埃が、室１の天井面近傍で滞留することを防止できる。
【００２１】
ＦＦＵ１０では、スペース５０に照明装置４８を内蔵し、ＦＦＵ１０と照明装置４８を一体型としたので充分な天井高さを確保できる。また、システム天井フレーム２０の下部から照明装置を廃したので、照明の交換が天井チャンバ１４側から容易にできる。
【００２２】
さらに、半閉止板６４がスペース５０の上面に設けられているので、天井チャンバ１４側から照明装置４８のメンテナンスを容易に行うことができる。すなわち、天井チャンバ１４側から半閉止板６４を取り外して照明装置４８の電球の交換などが行える。
【００２３】
また、従来のＦＦＵ取り付け作業では、ＦＦＵ取り付け後にＦＦＵ配線、照明器具取り付け、照明器具配線の作業手順を要したのに対し、本発明に係るＦＦＵ１０では、ＦＦＵ１０の取り付け後にＦＦＵ電源コネクター６０と照明電源コネクター６２をジョイントして作業が完了するので、作業の簡素化が可能となる。
【００２４】
上述した本発明に係るファンフィルタユニットは、前記実施の形態に限定されるものではない。たとえば、本実施の形態に係るＦＦＵ１０では照明装置４８を内蔵した例を示したが、これに限ることなく、スペース５０にスピーカや火災感知器などを内蔵することも可能で、各用途に応じてこれら機器をＦＦＵ１０に適用できる。
【００２５】
また、ＦＦＵ１０の両側にスペース５０を設置した例を示したが、片側のみにスペース５０を設置してもよい。
【００２６】
【発明の効果】
本発明に係るファンフィルタユニットによれば、ケーシング内部の一部を分割して照明装置を配置するスペースを形成したので、ファンフィルタユニットに照明装置を内蔵でき、充分な天井高さを確保できる。また、スペースの上部に着脱可能な半閉止板を取り付けたので、照明装置のメンテナンスも容易に行える。さらに、照明装置で生じる熱や塵埃を半閉止板を介して天井チャンバ側に放出できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係るファンフィルタユニットを用いたクリーンルームの概念図
【図２】本発明の実施形態に係るファンフィルタユニットを示す側断面図および平面図
【符号の説明】
１０…ファンフィルタユニット、１２…クリーンルーム、１６…室、４０…ケーシング、４４…ファン、４６…清浄フィルタ、４８…照明装置、５０…スペース、５４…区画壁、６４…半閉止板
【図１】
2004144434.tif 000003
【図２】
2004144434.tif 000004