(57)【要約】【課題】剥離したドライフィルムレジストが搬送ローラーシャフトに巻き付くことがないＰＤＰ基板用のドライフィルムレジスト剥離装置を提供する。【解決手段】複数の搬送ローラーシャフト２を配列し、搬送される基板１上のドライフィルムレジスト９をスプレーノズル５から吐出した剥離液６により剥離するドライフィルムレジスト剥離装置において、それぞれの搬送ローラーシャフト２は、その下方向に位置すプーリー４と平ベルト３によって連結し、基板１は平ベルト３を介して搬送ローラーシャフト２により搬送される。【選択図】　　　図１
2004020820.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の搬送ローラーシャフトを配列し、搬送される基板上のドライフィルムレジストを剥離液により剥離するドライフィルムレジスト剥離装置において、
それぞれの前記搬送ローラーシャフトは、その下方向に位置すプーリーと平ベルトによって連結し、前記基板は前記平ベルトを介して前記搬送ローラーシャフトにより搬送されることを特徴とするドライフィルムレジスト剥離装置。
【請求項２】
前記基板はＰＤＰを構成する基板であることを特徴とする請求項１記載のドライフィルムレジスト剥離装置。
【請求項３】
前記プーリーには前記平ベルトの片寄りを防止する手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載のドライフィルムレジスト剥離装置。
【請求項４】
前記平ベルトの内周、前記プーリーの外周および前記搬送ローラーシャフトの外周には前記平ベルトの片寄りを防止する手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載のドライフィルムレジスト剥離装置。
【請求項５】
それぞれの前記搬送ローラーシャフトはその真下に位置する前記プーリーと前記平ベルトで連結していることを特徴とする請求項１記載のドライフィルムレジスト剥離装置。
【請求項６】
それぞれの前記搬送ローラーシャフトはその真下から水平方向にシフトした箇所に位置する前記プーリーと前記平ベルトで連結していることを特徴とする請求項１記載のドライフィルムレジスト剥離装置。
【請求項７】
前記剥離液により剥離したドライフィルムレジストは進行する前記基板の後方より流れ落ちるようになっていることを特徴とする請求項１記載のドライフィルムレジスト剥離装置。
【請求項８】
基板を搬送する複数の搬送ローラーシャフトを配列した基板搬送機構において、
それぞれの前記搬送ローラーシャフトは、その下方向に位置すプーリーと平ベルトによって連結し、前記基板は前記平ベルトを介して前記搬送ローラーシャフトにより搬送されることを特徴とする基板搬送機構。
【請求項９】
前記基板はＰＤＰを構成する基板であることを特徴とする請求項８記載の基板搬送機構。
【請求項１０】
前記プーリーには前記平ベルトの片寄りを防止する手段が設けられていること特徴とする請求項８記載の基板搬送機構。
【請求項１１】
前記平ベルトの内周、前記プーリーの外周および前記搬送ローラーシャフトの外周には前記平ベルトの片寄りを防止する手段が設けられていることを特徴とする請求項８記載の基板搬送機構。
【請求項１２】
それぞれの前記搬送ローラーシャフトはその真下に位置する前記プーリーと前記平ベルトで連結していることを特徴とする請求項８記載の基板搬送機構。
【請求項１３】
それぞれの前記搬送ローラーシャフトはその真下から水平方向にシフトした箇所に位置する前記プーリーと前記平ベルトで連結していることを特徴とする請求項８記載の基板搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はドライフィルムレジスト剥離装置および基板搬送機構に係り、特に搬送ローラーシャフト方式によりＰＤＰを構成する基板（以下、ＰＤＰ基板、と称す）の搬送を行い、この基板上のドライフィルムレジストを剥離する装置および基板搬送機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
先ず図５乃至図７を参照してＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）およびその製造方法について説明する。
【０００３】
図５はＡＣ型プラズマディスプレイパネルの代表的な構造を示す斜視図である。アドレス電極２７が形成された背面基板２６には、誘電体層２８が形成され、また、放電空間を単位発行セル毎に区画している隔壁（リブ）２９がストライプ状に形成されている。このように作られた放電空間の内側には、可視光の発行とカラー化のために赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の蛍光体層３０が規則的に形成されている。
【０００４】
一方、前面基板２１には、放電させるための帯状のバス電極２３を含む透明電極２２が形成され、その上が誘電体層２４および保護層２５で覆われている。この一対の透明電極間の放電で生じる紫外線によって、各蛍光体層が励起され発光する。
【０００５】
この隔壁（リブ）の形成方法には、スクリーン印刷法、アディティブ法、サンドブラスト法などが従来から知られているが、なかでもサンドブラスト法は高アスペクト比且つ高精細のリブ形成方法として注目されている。
【０００６】
図６にサンドブラスト法による隔壁（リブ）形成方法を示す。通常のサンドブラスト法は、工程４１において、まずアドレス電極２７を形成した背面基板２６上に隔壁（リブ）材３１としてガラスペーストをスリットダイコータ法やロールコータ法により一括に塗布し、１００〜１６０℃程度の温度で乾燥して、厚み１００〜１５０μｍのリブ材層を形成する（Ａ）。
【０００７】
その後、工程４２において、リブ材層３１上にドライフィルムレジスト材（ＤＦＲ）９Ａを張り付け（Ｂ）、次に工程４３において、ガラスマスク３２を用いて紫外線３３を照射した露光を行い（Ｃ）、工程４４において、現像を行う（Ｄ）。このような露光・現像（フォトリソグラフィー法）により隔壁（リブ）形成用のネガパターン９を形成する。
【０００８】
その後、工程４５において、このドライフィルムレジスト９のパターンをマスクにして研磨材３４によるサンドブラスト加工によりリブ材層３１の不要部分を除去し（Ｅ）、最後に工程４６において、ドライフィルムレジスト９を剥離する（Ｆ）。
【０００９】
次に図７を参照して、リフトオフ法により透明電極を形成する方法を説明する。まず工程５１において、ガラス基板による前面基板２１上にドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）９Ａを張り付け（Ａ）、次に工程５２において、ガラスマスク３５を用いて紫外線３３を照射した露光を行い（Ｂ）、工程５３において、現像を行う（Ｃ）。このような露光・現像（フォトリソグラフィー法）により透明電極形成用のネガパターン９を形成する。
【００１０】
その後、工程５４おいて、スパッタリングにより酸化スズやインジウムとスズの合成酸化膜である透明電極材３６を全面に被着し（Ｄ）、最後に、工程５５でレジスト９を剥離するリフトオフ法により、透明電極材３６による透明電極２２を形成する。
【００１１】
次に、図６（Ｆ）においてサンドブラスト法に用いたドライフィルムレジスト９の剥離工程４６や、図７（Ｅ）においてリフトオフ法のためのレジスト剥離工程５５を行う従来技術のドライフィルムレジスト剥離装置を図８を参照して説明する。
【００１２】
回転駆動機構（図示省略）により回転する複数の搬送ローラーシャフト２が水平方向に配列し、剥離するドライフィルムレジスト９を有する基板１が搬送ローラシャフト２の回転により搬送方向１０に搬送される。
【００１３】
スプレーノズル５から剥離液６を基板に吹き付けてドライフィルムレジスト９を基板１から剥離する。エヤーナイフ７から吹き付けられるエヤー８によって、水洗槽への剥離液の持ち込みを防止する為の、剥離液の液切りを行う。また、下方には剥離されたレジストを集めるための剥離レジスト受け１５が設けられている。
【００１４】
このような従来技術のドライフィルム剥離装置では、図８に示すように、剥離されたドライフィルムレジスト９が搬送ローラシャフトー２に巻き付いた状態となり、基板１の搬送にスリップ・蛇行等の不都合が発生する。
【００１５】
このために従来は定期的に、搬送ローラーシャフト２に巻付いたドライフィルムレジスト９を除去する作業を行っていた。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来技術では、定期的にこのドライフィルムレジスト９を除去する為に装置を停止する必要があり、これにより稼働率を大きく低下させる要因となっていた。
【００１７】
あるいは、搬送ローラーシャフト２への巻付きが原因となる基板の蛇行による搬送不具合が発生してからこれを認識してドライフィルムレジスト９を除去することもあったため、所定の搬送が行われていない基板が発生して品質管理上の問題となっていた。
【００１８】
したがって本発明の目的は、剥離したドライフィルムレジスト９が搬送ローラーシャフト２に巻き付くことがないＰＤＰ基板ドライフィルムレジスト剥離装置を提供することである。
【００１９】
本発明の他の目的は、上記した有効な剥離装置を可能にする基板搬送機構を提供することである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明の特徴は、複数の搬送ローラーシャフトを配列し、搬送される基板上のドライフィルムレジストを剥離液により剥離するドライフィルムレジスト剥離装置において、それぞれの前記搬送ローラーシャフトは、その下方向に位置すプーリーと平ベルトによって連結し、前記基板は前記平ベルトを介して前記搬送ローラーシャフトにより搬送されるドライフィルムレジスト剥離装置にある。
【００２１】
本発明の他の特徴は、基板を搬送する複数の搬送ローラーシャフトを配列した基板搬送機構において、それぞれの前記搬送ローラーシャフトは、その下方向に位置すプーリーと平ベルトによって連結し、前記基板は前記平ベルトを介して前記搬送ローラーシャフトにより搬送される基板搬送機構にある。
【００２２】
これらのドライフィルムレジスト剥離装置あるいは基板搬送機構において、前記基板はＰＤＰ基板であることができる。
【００２３】
また、これらのドライフィルムレジスト剥離装置あるいは基板搬送機構において、前記プーリーには前記平ベルトの片寄りを防止する手段が設けられていることが好ましい。あるいは、前記平ベルトの内周、前記プーリーの外周および前記搬送ローラーシャフトの外周には前記平ベルトの片寄りを防止する手段が設けられていることが好ましい。
【００２４】
さらに、これらのドライフィルムレジスト剥離装置あるいは基板搬送機構において、それぞれの前記搬送ローラーシャフトはその真下に位置する前記プーリーと前記平ベルトで連結していることができる。あるいは、それぞれの前記搬送ローラーシャフトはその真下から水平方向にシフトした箇所に位置する前記プーリーと前記平ベルトで連結していることができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明を説明する。図１は本発明の実施の形態を示す概略側面図であり、図２は本実施の形態の要部を示す斜視図である。また、図３は本実施の形態の要部の図であり、（Ａ）は図１のＡ−Ａ部の拡大して示す断面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ部を拡大して示す断面図である。
【００２６】
先ず、図１を参照して、本実施の形態のＰＤＰ基板用のドライフィルムレジスト剥離装置は、水平方向に配列し、それぞれが回転駆動機構（図示省略）により回転する複数の搬送ローラーシャフト２と、剥離液６を基板に吹き付けてドライフィルムレジスト９を基板１から剥離するスプレーノズル５と、エヤー８を吹き付けて、水洗槽への剥離液の持ち込みを防止する、いわゆる剥離液の液切りを行うエヤーナイフ７とを具備し、さらに、下方に剥離されたレジストを集めるための剥離レジスト受け１５を有している。
【００２７】
さらに本発明の実施の形態のＰＤＰ基板用のドライフィルムレジスト剥離装置では、それぞれの搬送ローラーシャフト２と対になって下方向にプーリー４が配置され、搬送ローラシャフト２と下方向にプーリー４とが平ベルト３によって連結している。
【００２８】
プーリー４は、回転軸受け（図示省略）により支持されて回転するプーリーシャフト１４（図２、図３）に固定され、回転駆動機構（図示省略）により回転する搬送ローラーシャフト２を駆動源として平ベルト３を介してプーリー４が回転する。
【００２９】
図６（Ｆ）においてサンドブラスト法に用いたドライフィルムレジスト９の剥離工程４６や、図７（Ｅ）においてリフトオフ法のためのレジスト剥離工程５５を行うために図１のＰＤＰ基板用ドライフィルムレジスト剥離装置に投入されたＰＤＰを構成する基板１は、搬送ローラシャフト２の回転により回転する平ベルト３を介して搬送方向１０に搬送される。
【００３０】
基板１を搬送しながら、上面よりスプレーノズル５により剥離液６を噴霧してドライフィルムレジスト９を剥がし基板後端部へ流しながら剥離を行い、エヤーナイフ７から吹き付けられるエヤー８により、水洗槽への剥離液の持ち込みを防止する為の、剥離液の液切りを行う。
【００３１】
平ベルト３は基板１の幅よりも広い幅を有して搬送ローラシャフト２を被覆している。したがって、基板後端部から落下する剥離レジスト９は平ベルト３に被着し、搬送ローラーシャフト２に被着することはない。
【００３２】
平ベルト３に被着した剥離レジスト９は、平ベルトに沿って落下し、下方向においてプーリー４上を回転する際に平ベルト３から容易に離脱されて剥離レジスト受け１５に落下収容される。そして本発明では、基板に直接接触して基板を搬送する方法を平ベルト３に依存している。したがって、搬送ローラーシャフトの外周を延長したことと同じ効果が得られるため、この点からも、ドライフィルムレジスト９が平ベルト３に周回して巻付いて不都合を発生することはない。
【００３３】
図２は、本実施の形態において、搬送ローラーシャフト１、プーリー４および平ベルト３の複数対を配列した態様を示す斜視図である。
【００３４】
さらに、本実施の形態では図３に示すように、平ベルト３のベルト片寄り防止手段が設けられている。
【００３５】
すなわち軸受け（図示省略）により両側を支持されて回転するプーリーシャフト１４に取り付けられて、平ベルト３を介して搬送ローラーシャフト２の回転により回転するプーリー４の両側には、平ベルト３の幅にミートした一対の第１の蛇行防止リブ１２が設けられている。
【００３６】
さらに、平ベルト３の内側には複数の凸部が一周に亘って第２の蛇行防止リブ１３として設けられ、この第２の蛇行防止リブ１３の位置、幅にミートした凹部が搬送ローラーシャフト２の外周およびプーリー４の外周にそれぞれ形成されている。
【００３７】
したがって、平ベルト３は、両側を第１の蛇行防止リブ１２に規制されながら、また、第２の蛇行防止リブ１３を凹部に入り込ませながら、回転するから、平ベルトの片寄り、蛇行は発生しない。
【００３８】
尚、ここでは第１の蛇行防止リブ１２および第２の蛇行防止リブ１３の両者を設けた場合を例示したが、第１の蛇行防止リブ１２あるいは第２の蛇行防止リブ１３の一方だけを設けた場合でもそれなりの効果を有する。
【００３９】
図４は本発明の他の実施の形態を示す図である。尚、図４において図１と同一もしくは類似の箇所は同じ符号を付してあるから、重複する説明は省略する。
【００４０】
図１の実施の形態では、搬送ローラーシャフト２とその真下のプーリー４とを平ベルト３で連結する構成であったが、その他の構成についても適応することができる。
【００４１】
すなわち、図４の実施の形態では、対となる下部のプーリー４の配置を変更することで、平ベルト３に傾斜角度を持たせて長さを拡大した構成である。
【００４２】
本構成は、プーリー４の配置を一つ前の位置に変更しており、それに伴って平ベルトの傾斜角度と長さを拡大することが可能となる。
【００４３】
従って、平ベルトを取り付けるプーリー４の配置を変更することで、平ベルト３の長さ・傾斜を拡大することができ、ドライフィルムレジスト９の周回巻付きを先の実施の形態よりも低減させることが可能である。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のよれば、搬送ローラーシャフトと、下方向に位置するプーリーと、両者を連結する平ベルトとを対として基板を搬送しているから、基板から剥離したドライフィルムレジストが搬送ローラーシャフトに巻き込むことがなくなり、搬送ローラーシャフトへのドライフィルムレジスト巻付きによる基板搬送時の基板の蛇行・スリップ等の不具合を回避することができる。
【００４５】
また、搬送ローラーシャフトに巻き込まれたドライフィルムレジストを除去する作業が不要になり、この作業のための装置停止も不要となるから、生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態の要部を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態の要部の図であり、（Ａ）は図１のＡ−Ａ部の拡大して示す断面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ部を拡大して示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態を示す図である。
【図５】ＡＣ型プラズマディスプレイパネルの代表的な構造を示す図である。
【図６】ＡＣ型プラズマディスプレイパネルの製造において、サンドブラスト法により隔壁（リブ）を形成する工程を示す図である。
【図７】ＡＣ型プラズマディスプレイパネルの製造において、リフトオフ法により透明電極を形成する工程を示す図である。
【図８】従来技術を示す図である。
【符号の説明】
１　　基板
２　　搬送ローラーシャフト
３　　平ベルト
４　　プーリー
５　　スプレーノズル
６　　剥離液
７　　エヤーナイフ
８　　エヤー
９　　ドライフィルムレジスト
９Ａ　　ドライフィルムレジスト材
１０　　搬送方向
１２　　第１の蛇行防止リブ
１３　　第２の蛇行防止リブ
１４　　プーリーシャフト
１５　　剥離レジスト受け
２１　　前面基板
２２　　透明電極
２３　　バス電極
２４　　誘電体層
２５　　保護層
２６　　背面基板
２７　　アドレス電極
２８　　誘電体層
２９　　隔壁（リブ）
３０　　蛍光体層（Ｒ，Ｇ，Ｂ）
３１　　隔壁（リブ）材
３２　　ガラスマスク
３３　　紫外線
３４　　研磨材
３５　　ガラスマスク
３６　　透明電極材
４１　　隔壁材（リブ材）ペースト塗布工程
４２　　ドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）張り付け工程
４３　　露光工程
４４　　現像工程
４５　　サンドブラスト加工工程
４６　　レジスト剥離工程
５１　　ドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）張り付け工程
５２　　露光工程
５３　　現像工程
５４　　スパッタリング（透明電極形成）工程
５５　　レジスト剥離工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
2004020820.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2004020820.tif 000008
【図７】
2004020820.tif 000009
【図８】
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