(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイパネルに用いる隔壁の形成方法において、隔壁の欠けを低減させることを目的とする。【解決手段】少なくともガラス成分と感光性ペーストとからなる隔壁材料２４を用いてフォトリグラフィー法により隔壁２１を形成する際、隔壁材料２４の塗布、乾燥、露光、現像の後、現像によりパターニングされた現像後隔壁２７に紫外線２８を照射し、その後焼成する。【選択図】　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともガラス成分と感光性ペーストとからなる隔壁材料を用いてフォトリソグラフィー法により隔壁を形成する際、隔壁材料の塗布、乾燥、露光、現像の後、現像によりパターニングされた隔壁に紫外線を照射し、その後焼成することを特徴とする隔壁の形成方法。
【請求項２】
隔壁に紫外線を照射する際、大気中より酸素濃度が少ない雰囲気で行うことを特徴とする請求項１記載の隔壁の形成方法。
【請求項３】
少なくともガラス成分と感光性ペーストとからなる隔壁材料を用いてフォトリソグラフィー法により隔壁を形成する際、隔壁材料の塗布、乾燥、露光、現像の後、現像によりパターニングされた隔壁にレーザーを照射し、その後焼成することを特徴とする隔壁の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス放電パネルであるプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）に用いる隔壁の形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＰＤＰを用いたディスプレイは、視認性に優れた表示パネル（薄型表示デバイス）として注目されており、高精細化および大画面化が進められている。
【０００３】
このＰＤＰには、大別して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大画面化および製造の簡便性から、現状では、ＡＣ型で面放電型のＰＤＰが主流を占めるようになってきている。
【０００４】
従来、このＰＤＰの隔壁の形成方法としては、特開平０１−２９６５３４号公報などで示されるように、少なくともガラス粒子、フィラー、感光性樹脂、溶剤成分を含むペーストを用いる手法がある。図５により、この従来の手法について概略を述べる。
【０００５】
図５（ａ）に示すように、基板１上に形成された電極２、誘電体３上に、図５（ｂ）に示すように、印刷法や、ダイコート法等により隔壁材料４を塗布し、そして乾燥を行う。次に所望の隔壁形状を得るために、図５（ｃ）に示すように、マスク５を用いて紫外線６により隔壁材料４を感光させる。この後、現像することにより、図５（ｄ）に示すように感光した部分の現像後、隔壁７が残る。最後に、焼成することにより、有機物を除去し、図５（ｅ）に示すような所望の隔壁８を得ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような隔壁の形成方法においては、図６に示すように隔壁８の一部が欠如して隔壁欠け部９が発生する課題があった。この隔壁の欠けを低減させるには、隔壁露光時の紫外線の露光量を増加させればよいが、露光量を増加すると、隔壁が所望の形状からずれてしまうという新たな課題が発生してしまう。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みなされたもので、隔壁の欠けを低減させることを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために本発明は、隔壁材料の塗布、乾燥、露光、現像の後、現像によりパターニングされた隔壁に紫外線を照射し、その後焼成するものであり、これにより隔壁の欠けを低減させることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の請求項１に記載の発明は、少なくともガラス成分と感光性ペーストとからなる隔壁材料を用いてフォトリソグラフィー法により隔壁を形成する際、隔壁材料の塗布、乾燥、露光、現像の後、現像によりパターニングされた隔壁に紫外線を照射し、その後焼成することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１において、隔壁に紫外線を照射する際、大気中より酸素濃度が少ない雰囲気で行うことを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明は、少なくともガラス成分と感光性ペーストとからなる隔壁材料を用いてフォトリソグラフィー法により隔壁を形成する際、隔壁材料の塗布、乾燥、露光、現像の後、現像によりパターニングされた隔壁にレーザーを照射し、その後焼成することを特徴とする。
【００１２】
ところで、上述した隔壁の欠けは、局所的に紫外線による架橋反応が促進されてないためだと推定される。その原因としては、ガラス粒子等を含むため紫外線の散乱等により均一に架橋が進まない。このため、現像後は、形状を維持できるが（現像後では隔壁の欠けは確認できない）、焼成時には、熱収縮の力が働くため、局所的に架橋が不足しているところは、熱収縮の力により切れてしまい、隔壁の欠けにつながると推察される。
【００１３】
そこで、本発明のように、現像後、架橋を促進させることにより、焼成時の熱収縮に対して、架橋が促進されていない部分への応力の集中を避けることができ、焼成時に発生する隔壁の欠けをなくすことができる。
【００１４】
以下、本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルに用いる隔壁の形成方法について、図１〜図４の図面を用いて説明する。
【００１５】
まず、ＰＤＰにおけるパネル構造の一例を図１、図２を用いて説明する。図１に示すように、ガラス基板などの透明な前面側の基板１１上には、走査電極１２と維持電極１３とで対をなすストライプ状の表示電極１４が複数対形成され、そして基板１１上の隣り合う表示電極１４間には遮光層１５が配置形成されている。この走査電極１２および維持電極１３は、それぞれ透明電極１２ａ、１３ａおよびこの透明電極１２ａ、１３ａに電気的に接続された銀等のバス電極１２ｂ、１３ｂとから構成されている。また、前記前面側の基板１１には、前記複数対の電極群を覆うように誘電体層１６が形成され、その誘電体層１６上には保護膜１７が形成されている。
【００１６】
また、前記前面側の基板１１に対向配置される背面側の基板１８上には、走査電極１２及び維持電極１３の表示電極１４と直交する方向に、誘電体層１９で覆われた複数のストライプ状のデータ電極２０が形成されている。このデータ電極２０間の誘電体層１９上には、データ電極２０と平行にストライプ状の複数の隔壁２１が配置され、この隔壁２１間の側面および誘電体層１９の表面に蛍光体層２２が設けられている。
【００１７】
これらの基板１１と基板１８とは、走査電極１２および維持電極１３とデータ電極２０とが直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、周囲が封止され、そして前記放電空間には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうちの一種または混合ガスが放電ガスとして封入されている。また、放電空間は、隔壁２１によって複数の区画に仕切ることにより、表示電極１４とデータ電極２０との交点が位置する複数の放電セル２３が設けられ、その各放電セル２３には、赤色、緑色及び青色となるように蛍光体層２２が一色ずつ順次配置されている。
【００１８】
このパネル本体の電極配列は、図２に示すように、Ｍ行×Ｎ列の放電セルからなるマトリックス構成であり、行方向にはＭ行の走査電極ＳＣＮ１〜ＳＣＮＭおよび維持電極ＳＵＳ１〜ＳＵＳＭが配列され、列方向にはＮ列のデータ電極Ｄ１〜ＤＮが配列されている。
【００１９】
図３は本実施の形態に係る隔壁の形成方法を示す工程断面図である。図３（ａ）に示すように、データ電極２０、誘電体層１９が形成された基板１８に対して、図３（ｂ）に示すように、ダイコート法等により隔壁材料２４を塗布し、そして乾燥を行う。次に所望の隔壁形状を得るために、図３（ｃ）に示すように、マスク２５を用いて紫外線２６により隔壁材料２４を感光させる。この後、現像することにより、図３（ｄ）に示すように感光した部分の現像後隔壁２７が残る。次に、図３（ｅ）に示すように、現像されパタ−ンが形成された現像後隔壁２７に紫外線２８を照射する。この工程により、焼成時の熱収縮で、隔壁の欠けを生じないように架橋を促進させる。そして図３（ｆ）に示すように、焼成することで欠けの発生のない所望の隔壁２１を得ることができる。
【００２０】
ここで、図３（ｅ）で示した紫外線を照射する際、大気中より酸素濃度が少ない雰囲気で行うことにより、より効果的に架橋を促進することができ、短時間で処理を行うことができる。
【００２１】
また、本発明の他の実施の形態として、図４に示すように、上記説明の工程と同じく、データ電極２０、誘電体層１９、現像後隔壁２７を形成した後、基板１８に対して、レーザー照射手段２９を用いて、現像後隔壁２７の表面にレーザー光３０を照射し、現像後隔壁２７表面の熱重合を促進させる方法を用いることもできる。この工程により、焼成時の熱収縮で、隔壁の欠けを生じないように架橋を促進させることができ、この工程後、焼成することにより、欠けの発生のない所望の隔壁２１を得ることができる。
【００２２】
以上説明したように本発明においては、少なくともガラス成分と感光性ペーストとからなる隔壁材料を用いてフォトリソグラフィー法により隔壁を形成する際、隔壁材料の塗布、乾燥、露光、現像の後、現像によりパターニングされた隔壁に紫外線、またはレーザーを照射し、その後焼成する方法であり、現像後、隔壁材料の架橋を促進させることにより、焼成時の熱収縮に対して、架橋が促進されていない部分への応力の集中を避けることができ、焼成時に発生する隔壁の欠けをなくすことができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、隔壁の欠けがなくなるため歩留りのよい高品質なＰＤＰを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルのパネル構造を示す斜視図
【図２】同プラズマディスプレイパネルの電極配列を示す説明図
【図３】（ａ）〜（ｆ）は本発明の一実施の形態による隔壁の形成方法の主要部を示す工程断面図
【図４】本発明の他の実施の形態による隔壁の形成方法の主要部を示す概略断面図
【図５】（ａ）〜（ｅ）は従来の隔壁の形成方法の主要部を示す工程断面図
【図６】従来の課題である隔壁欠け部を示す概略斜視図
【符号の説明】
１８　基板
１９　誘電体層
２０　データ電極
２１　隔壁
２４　隔壁材料
２７　現像後隔壁
２８　紫外線
２９　レーザー照射手段
３０　レーザー光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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