(57)【要約】【課題】電子部品の少なくとも２種類の電気的特性を効率よく短時間で測定することのできる特性測定方法及び特性測定装置を得る。【解決手段】矢印ａ，ａ’方向に間欠的に回転駆動されるターンテーブル１０Ａ，１０Ｂの保持部１１Ａ，１１Ｂに対して、パーツフィーダ２０Ａ，２０Ｂから電子部品（コンデンサ）を１個ずつ供給し、該コンデンサを容量測定器３０の測定位置２Ａ，２Ｂ及び絶縁抵抗測定器４０の測定位置３Ａ，３Ｂへ搬送し、容量の測定及び絶縁抵抗の測定を行う。この場合、ターンテーブル１０Ａに供給された電子部品に対して容量を測定している間に、ターンテーブル１０Ｂに供給された電子部品に対して絶縁抵抗を測定する。一方、ターンテーブル１０Ａに供給された電子部品に対して絶縁抵抗を測定している間に、ターンテーブル１０Ｂに供給された電子部品に対して容量を測定する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の少なくとも２種類の電気的特性を測定するための方法であって、
第１及び第２の特性測定手段に対してそれぞれ独立した第１及び第２の循環搬送経路から電子部品を間欠的に順次搬送し、
前記第１の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第２の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第２の特性測定手段によって電気的特性を測定し、
前記第１の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第２の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第２の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１の特性測定手段によって電気的特性を測定すること、
を特徴とする電子部品の特性測定方法。
【請求項２】
電子部品の少なくとも２種類の電気的特性を測定するための方法であって、
第１及び第２の特性測定手段に対してそれぞれ独立した第１及び第２の循環搬送経路から電子部品を間欠的に順次搬送し、
前記第１の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１及び第２の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第２の循環搬送経路から測定済みの電子部品を選別的に取り出し、
前記第２の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１及び第２の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第１の循環搬送経路から測定済みの電子部品を選別的に取り出すこと、
を特徴とする電子部品の特性測定方法。
【請求項３】
電子部品の少なくとも２種類の電気的特性を測定するための装置であって、
第１及び第２の特性測定手段と、
前記第１及び第２の特性測定手段に対して電子部品を間欠的に順次搬送するそれぞれ独立した第１及び第２の循環搬送経路と、
前記第１及び第２の循環搬送経路に対してそれぞれの第１位置で電子部品を順次供給する供給手段と、
前記第１及び第２の特性測定を終了した電子部品をそれぞれの第２位置で第１及び第２の循環搬送経路から選別的に取り出す取出し手段と、を備え、
前記第１の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第２の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第２の特性測定手段によって電気的特性を測定し、
前記第１の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第２の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第２の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１の特性測定手段によって電気的特性を測定すること、
を特徴とする電子部品の特性測定装置。
【請求項４】
電子部品の少なくとも２種類の電気的特性を測定するための装置であって、
第１及び第２の特性測定手段と、
前記第１及び第２の特性測定手段に対して電子部品を間欠的に順次搬送するそれぞれ独立した第１及び第２の循環搬送経路と、
前記第１及び第２の循環搬送経路に対してそれぞれの第１位置で電子部品を順次供給する供給手段と、
前記第１及び第２の特性測定を終了した電子部品をそれぞれの第２位置で第１及び第２の循環搬送経路から選別的に取り出す取出し手段と、を備え、
前記第１の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１及び第２の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第２の循環搬送経路から電子部品を第２位置で選別的に取り出し、
前記第２の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１及び第２の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第１の循環搬送経路から電子部品を第２位置で選別的に取り出すこと、
を特徴とする電子部品の特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンデンサやチップコイルなどの電子部品の電気的特性を測定するための特性測定方法及び特性測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術と課題】
一般に、コンデンサやチップコイルなどの電子部品は出荷する前に検査工程に付す。ここでの検査工程では、例えばコンデンサであれば、静電容量及び絶縁抵抗といった電気的特性を測定し、測定結果に基づいて良品のみを選別する。この種の検査工程は、大量の部品を取り扱うために能率的に進めなければならない。
【０００３】
従来、コンデンサの検査工程においては、図６に示す特性測定装置を用いていた。この特性測定装置は、特開平４−２５４７６９号公報に開示されているもので、概略、ターンテーブル１０と、パーツフィーダ２０と、Ｃ測定器３０と、ＩＲ測定器４０と、取出し装置（図示せず）と、装置全体を制御するコントローラ５０とで構成されている。
【０００４】
ターンテーブル１０は、周縁部にコンデンサを１個ずつ保持する保持部１１を等間隔に備え、矢印ａ方向に間欠的に回転駆動可能である。即ち、ターンテーブル１０は保持部１１にコンデンサを１個ずつ保持して矢印ａ方向に間欠的に搬送する循環搬送経路を構成している。パーツフィーダ２０は供給位置１においてコンデンサを１個ずつ前記保持部１１に供給する。静電容量測定器３０（以下、Ｃ測定器と記す）は測定位置２においてコンデンサの静電容量を測定する。絶縁抵抗測定器４０（以下、ＩＲ測定器と記す）は測定位置３においてコンデンサの絶縁抵抗を測定する。
【０００５】
絶縁抵抗の測定は、充電、測定、放電のそれぞれを行うために時間を要することから、例えば図６の場合では、測定位置３は２７個分のコンデンサを一度に測定できる領域に設定され、ターンテーブル１０の回転を止めて２７個のコンデンサに対して同時にＩＲ測定を行う。取出し装置は特に図示していないが、取出し位置４において測定済みのコンデンサを良品のみを選別的に取り出す。
【０００６】
以上の構成からなる特性測定装置において、コンデンサは、供給位置１において保持部１１に１個ずつ供給されて間欠的に搬送され、まず、測定位置２において静電容量が測定され、測定位置３に順次搬送されていく（図７の“搬送＋Ｃ測定”）。測定位置３に２７個のコンデンサが揃うとターンテーブル１０の回転を停止させ、２７個のコンデンサに対して一度に絶縁抵抗の測定が行われる（図７の“ＩＲ測定”）。
【０００７】
次に、ターンテーブル１０を再度間欠回転させつつ、取出し位置４にて測定済みコンデンサを１個ずつ選別的に取り出す。このとき、パーツフィーダ２０からは新たなコンデンサが１個ずつ供給され、前述の静電容量の測定及び測定位置３への搬送が行われる（図７の“取出し／搬送＋Ｃ測定”）。
【０００８】
しかしながら、このような特性測定にあっては、図７に示すように、Ｃ測定とＩＲ測定を順次交代に行うため、効率の悪いものであり、検査工程に多大な時間を要していた。特に、高いＣ値を有するチップ型コンデンサの場合では、ＩＲ測定時の充電に時間がかかり能率低下が顕著であった。また、Ｃ測定器３０やＩＲ測定器４０を交互に作動させるために利用効率の悪いものであった。
【０００９】
一方、前記特性測定装置の改良として、図８に示すものが知られていた。この特性測定装置は特開平１０−２２１３９６号公報に記載されているもので、ターンテーブル１０を右半分領域と左半分領域に分けて、それぞれの領域に供給位置１Ａ、１Ｂ、Ｃ測定位置２Ａ，２Ｂ、ＩＲ測定位置３Ａ，３Ｂ、取出し位置４Ａ，４Ｂを設定し、それぞれにパーツフィーダ２０Ａ，２０Ｂ、Ｃ測定器３０Ａ，３０Ｂ、ＩＲ測定器４０Ａ，４０Ｂ、取出し装置を設けたものである。
【００１０】
以上の構成からなる特性測定装置は、一つのターンテーブル１０に二つの測定器を設けたものであり、特性の測定は二つの領域で並行に処理される。即ち、コンデンサは、各供給位置１Ａ，１Ｂにおいて保持部１１に１個ずつ供給されて間欠的に搬送され、まず、測定位置２Ａ，２Ｂにおいて静電容量が測定され、測定位置３Ａ，３Ｂに順次搬送されていく（図９の“搬送＋Ｃ測定”）。測定位置３Ａ，３Ｂに４個のコンデンサが揃うとターンテーブル１０の回転を停止させ、４個のコンデンサに対して一度に絶縁抵抗の測定が行われる（図９の“ＩＲ測定”）。
【００１１】
次に、ターンテーブル１０を再度間欠回転させつつ、取出し位置４Ａ，４Ｂにて測定済みコンデンサを１個ずつ選別的に取り出す。このとき、パーツフィーダ２０Ａ，２０Ｂからは新たなコンデンサが１個ずつ供給され、前述の静電容量の測定及び測定位置３Ａ，３Ｂへの搬送が行われる。
【００１２】
しかしながら、このような改良された特性測定装置にあっては、並列処理のために測定効率の向上を図ることはできるが、図９に示すように、搬送のための工程を解消することはできず、即ち、Ｃ測定及びＩＲ測定を行わない時間の存在をなくすることはできず、Ｃ測定器やＩＲ測定器の利用効率を上げて効率改善を行う余地が残されている。
【００１３】
また、高価なＣ測定器及びＩＲ測定器がターンテーブルの右半分領域及び左半分領域それぞれで必要となり、コスト面からも不向きであった。
【００１４】
そこで、本発明の目的は、電子部品の少なくとも２種類の電気的特性を効率よく短時間で測定することのできる特性測定方法及び特性測定装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段及び作用】
以上の目的を達成するため、本発明に係る第１の特性測定方法は、第１及び第２の特性測定手段に対してそれぞれ独立した第１及び第２の循環搬送経路から電子部品を間欠的に順次搬送し、前記第１の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第２の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第２の特性測定手段によって電気的特性を測定し、前記第１の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第２の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第２の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１の特性測定手段によって電気的特性を測定することを特徴とする。
【００１６】
以上の第１の特性測定方法は、第１及び第２の特性測定手段と、前記第１及び第２の特性測定手段に対して電子部品を間欠的に順次搬送するそれぞれ独立した第１及び第２の循環搬送経路と、前記第１及び第２の循環搬送経路に対してそれぞれの第１位置で電子部品を順次供給する供給手段と、前記第１及び第２の特性測定を終了した電子部品をそれぞれの第２位置で第１及び第２の循環搬送経路から選別的に取り出す取出し手段とを備え、前記第１の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第２の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第２の特性測定手段によって電気的特性を測定し、前記第１の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第２の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第２の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１の特性測定手段によって電気的特性を測定することを特徴とする第１の特性測定装置によって行うことができる。
【００１７】
前記第１の特性測定方法及び特性測定装置においては、第１及び第２の測定手段に対して二つの循環搬送経路から電子部品を送り込み、第１及び第２の測定手段を同時に作動させて２種類の電気的特性を同時に測定する。従って、搬送のみを行う工程が測定工程に吸収され、第１及び第２の測定手段を効率的に使用して短時間で電子部品の電気的特性を測定することが可能である。
【００１８】
また、本発明に係る第２の特性測定方法は、第１及び第２の特性測定手段に対してそれぞれ独立した第１及び第２の循環搬送経路から電子部品を間欠的に順次搬送し、前記第１の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１及び第２の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第２の循環搬送経路から測定済みの電子部品を選別的に取り出し、前記第２の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１及び第２の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第１の循環搬送経路から測定済みの電子部品を選別的に取り出すことを特徴とする。
【００１９】
以上の第２の特性測定方法は、第１及び第２の特性測定手段と、前記第１及び第２の特性測定手段に対して電子部品を間欠的に順次搬送するそれぞれ独立した第１及び第２の循環搬送経路と、前記第１及び第２の循環搬送経路に対してそれぞれの第１位置で電子部品を順次供給する供給手段と、前記第１及び第２の特性測定を終了した電子部品をそれぞれの第２位置で第１及び第２の循環搬送経路から選別的に取り出す取出し手段とを備え、前記第１の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１及び第２の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第２の循環搬送経路から電子部品を第２位置で選別的に取り出し、前記第２の循環搬送経路に供給された電子部品に対して前記第１及び第２の特性測定手段によって電気的特性を測定している間に、前記第１の循環搬送経路から電子部品を第２位置で選別的に取り出すことを特徴とする第２の特性測定装置によって行うことができる。
【００２０】
前記第２の特性測定方法及び特性測定装置においては、第１及び第２の測定手段に対して二つの循環搬送経路から電子部品を送り込み、第１及び第２の循環搬送経路に保持されている電子部品に対して第１及び第２の測定手段を同時にかつ交互に作動させ、一方の循環搬送経路で電気的特性の測定を行っている間に他方の循環搬送経路から測定済みの電子部品を選別的に取り出す。従って、取出しのみを行う工程が測定工程に吸収され、第１及び第２の測定手段を効率的に使用して短時間で電子部品の電気的特性を測定することが可能である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る電子部品の特性測定方法及び特性測定装置の実施形態について、添付図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態では、被測定電子部品としてコンデンサを例にとってその静電容量Ｃ及び絶縁抵抗ＩＲを測定する場合を説明する。
【００２２】
（第１実施形態、図１〜図３参照）
第１実施形態である特性測定装置は、図１に示すように、概略、コンデンサの循環搬送経路として機能する二つのターンテーブル１０Ａ，１０Ｂに対して、コンデンサの供給位置１Ａ，１Ｂ、Ｃ測定位置２Ａ，２Ｂ、ＩＲ測定位置３Ａ，３Ｂ、取出し位置４Ａ，４Ｂを設定し、２組のパーツフィーダ２０Ａ，２０Ｂ、一つのＣ測定器３０、一つのＩＲ測定器４０、二つの取出し装置（図示せず）を設けたもので、それぞれはコントローラ５０によって全体的に制御される。また、コントローラ５０は測定の制御をも行う。
【００２３】
ターンテーブル１０Ａ，１０Ｂは従来のターンテーブルと同様にその周縁部にコンデンサの保持部１１Ａ，１１Ｂを等間隔に設けたもので、それぞれ矢印ａ，ａ’方向に回転駆動される。また、パーツフィーダ、Ｃ測定器、ＩＲ測定器、取出し装置は従来と同じ構成を有するものである。
【００２４】
以上の構成からなる特性測定装置において、コンデンサは、まず、ターンテーブル１０Ａを矢印ａ方向に間欠的に回転させつつ、供給位置１Ａにおいて保持部１１Ａに１個ずつ供給されて間欠的に搬送され、測定位置２Ａにおいて静電容量が測定され、測定位置３Ａに順次搬送されていく（図２の上段“Ｃ測定（搬送）”）。図１の場合では、測定位置３Ａに２７個のコンデンサが揃うとターンテーブル１０Ａの回転を停止させ、２７個のコンデンサに対して一度に絶縁抵抗の測定が行われる（図２の上段“ＩＲ測定”）。即ち、充電、ＩＲ測定及び放電が行われる。
【００２５】
ターンテーブル１０Ａに保持されているコンデンサに対してＩＲ測定が行われている間に、ターンテーブル１０Ｂを矢印ａ’方向に間欠的に回転させつつ、コンデンサは供給位置１Ｂにおいて保持部１１Ｂに１個ずつ供給されて間欠的に搬送され、測定位置２Ｂにおいて静電容量が測定され、測定位置３Ｂに順次搬送されていく（図２の下段“Ｃ測定（搬送）”）。図１の場合では、測定位置３Ｂに２７個のコンデンサが揃うとターンテーブル１０Ｂの回転を停止させ、２７個のコンデンサに対して一度に絶縁抵抗の測定が行われる（図２の下段“ＩＲ測定”）。
【００２６】
一方、ターンテーブル１０Ｂに保持されているコンデンサに対してＩＲ測定が行われている間に、ターンテーブル１０Ａを再度矢印ａ方向に間欠的に回転させつつ、測定済みのコンデンサを取出し位置４にて１個ずつ選別的に取り出す。このとき、パーツフィーダ２０Ａからは新たなコンデンサが１個ずつ供給され、前述の静電容量の測定及び測定位置３Ａへの搬送が行われる（図２の上段“Ｃ測定（取出し／搬送）”）。
【００２７】
以上の動作がターンテーブル１０Ａ，１０Ｂに関して連続して実行されていく。即ち、一方のターンテーブル１０Ａに供給されたコンデンサに対してＩＲ測定が行われている間に、他方のターンテーブル１０Ｂに供給されたコンデンサに対してＣ測定が行われる。逆に、一方のターンテーブル１０Ａに供給されたコンデンサに対してＣ測定が行われている間に、他方のターンテーブル１０Ｂに供給されたコンデンサに対してＩＲ測定が行われる。
【００２８】
本第１実施形態においては、図２に示すように、Ｃ測定器３０及びＩＲ測定器４０を同時に作動させて２種類の電気的特性を同時に測定する。従って、コンデンサの搬送（取出しを含めて）を行う工程が測定工程に吸収され、測定器３０，４０を効率的に使用して短時間でコンデンサの特性を測定することが可能である。
【００２９】
なお、図２では、Ｃ測定時間とＩＲ測定時間とが等しい場合を示したが、図３に示すように、ＩＲ測定時間の方が長くなるような場合でも、一方のＩＲ測定の間に他方のＣ測定が行われるようにすればよい。
【００３０】
また、本第１実施形態では、以下に説明する第２実施形態でも同様であるが、Ｃ測定器又はＩＲ測定器の一方のターンテーブル側の測定端子の使用中は他方のターンテーブル側の測定端子をオープンにするか、オープンにしない場合であっても測定器の方で測定する側の信号に切り替えることにより、測定誤差を最小限にして測定することが可能である。
【００３１】
（第２実施形態、図４、図５参照）
図４に示す第２実施形態である特性測定装置は、基本的には前記第１実施形態と同じ機器を使用しているものであり、同じ機器には図１と同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
【００３２】
この特性測定装置においては、ＩＲ測定位置３Ａ，３Ｂを、充電領域３Ａ−１，３Ｂ−１、測定領域３Ａ−２，３Ｂ−２、放電領域３Ａ−３，３Ｂ−３に区分けしている。即ち、ターンテーブル１０Ａ，１０Ｂの保持部１１Ａ，１１Ｂに保持された各コンデンサに対しては、充電領域３Ａ−１，３Ｂ−１で充電が行われ、測定領域３Ａ−２，３Ｂ−２でＩＲ測定が行われ、放電領域３Ａ−３，３Ｂ−３で放電が行われる。
【００３３】
この特性測定装置において、コンデンサは、まず、ターンテーブル１０Ａを矢印ａ方向に間欠的に回転させつつ、供給位置１Ａにおいて保持部１１Ａに１個ずつ供給されて間欠的に搬送され、測定位置２Ａにおいて静電容量が測定され、充電領域３Ａ−１を搬送されていく間に充電が行われ、測定領域３Ａ−２で絶縁抵抗が測定され、さらに、放電領域３Ａ−３で放電される（図５の上段“Ｃ、ＩＲ測定”）。
【００３４】
次に、測定を終えた各コンデンサは取出し位置４Ａにて１個ずつ選別的に取り出される（図５の上段“取出し”）。この取出しが開始されると同時に、ターンテーブル１０Ｂを矢印ａ’方向に間欠的に回転させつつ、コンデンサが供給位置１Ｂにおいて保持部１１Ｂに１個ずつ供給され、測定位置２Ｂにおいて静電容量が測定され、充電領域３Ｂ−１を搬送されていく間に充電が行われ、測定領域３Ｂ−２で絶縁抵抗が測定され、さらに、放電領域３Ｂ−３で放電される（図５の下段“Ｃ、ＩＲ測定”）。次に、測定を終えた各コンデンサは取出し位置４Ｂにて１個ずつ選別的に取り出される（図５の下段“取出し”）。
【００３５】
以上の動作がターンテーブル１０Ａ，１０Ｂに関して連続して実行されていく。即ち、一方のターンテーブル１０Ａに供給されたコンデンサに対してＣ測定及びＩＲ測定が行われている間に、他方のターンテーブル１０Ｂから測定済みのコンデンサが選別的に取り出される。逆に、他方のターンテーブル１０Ｂに供給されたコンデンサに対してＣ測定及びＩＲ測定が行われている間に、一方のターンテーブル１０Ａから測定済みのコンデンサが選別的に取り出される。
【００３６】
本第２実施形態においては、図５に示すように、一方のターンテーブルに供給されたコンデンサに対してＣ測定器３０及びＩＲ測定器４０を同時に作動させて２種類の電気的特性を同時に測定する。同時にそれと並行して他方のターンテーブルに供給されて２種類の電気的特性を測定されたコンデンサを選別的に取り出す。従って、コンデンサの取出しを行う工程が測定工程に吸収され、測定器３０，４０を効率的に使用して短時間で電子部品の電気的特性を測定することが可能である。
【００３７】
（他の実施形態）
なお、本発明に係る電子部品の特性測定方法及び特性測定装置は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。
【００３８】
特に、被測定電子部品としては、コンデンサ以外に、チップコイルやコモンモードチョークコイルなどであってもよい。チップコイルの場合は直流抵抗（Ｒｄｃ）とインダクタンスが測定される。コモンモードチョークコイルの場合は直流抵抗（Ｒｄｃ）、インダクタンス又は絶縁抵抗が測定される。
【００３９】
前記実施形態では、２７個のコンデンサに対して一度にＩＲ測定が行われているが、言うまでもなく一度に測定する個数は限定されない。
【００４０】
また、前記実施形態では、第１及び第２の循環搬送経路としてターンテーブルを用いた場合を示したが、エンドレスベルト等のような直線的な循環搬送経路を用いてもよい。
【００４１】
さらに、前記実施形態では、Ｃ測定の後にＩＲ測定が行われているが、順序を逆にして、ＩＲ測定の後にＣ測定を行ってもよい。
【００４２】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明に係る第１の特性測定方法及び特性測定装置によれば、第１及び第２の測定手段に対して二つの循環搬送経路から電子部品を送り込み、第１及び第２の測定手段を同時に作動させて２種類の電気的特性を同時に測定するため、搬送のみを行う工程が測定工程に吸収され、第１及び第２の測定手段を共有し、かつ、効率的に使用して短時間で電子部品の電気的特性を測定することができる。
【００４３】
また、本発明に係る第２の特性測定方法及び特性測定装置によれば、第１及び第２の測定手段に対して二つの循環搬送経路から電子部品を送り込み、第１及び第２の循環搬送経路に保持されている電子部品に対して第１及び第２の測定手段を同時にかつ交互に作動させ、一方の循環搬送経路で電気的特性の測定を行っている間に他方の循環搬送経路から測定済みの電子部品を選別的に取り出すため、取出しのみを行う工程が測定工程に吸収され、第１及び第２の測定手段を共有し、かつ、効率的に使用して短時間で電子部品の電気的特性を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る特性測定方法及び特性測定装置の第１実施形態を示す概略説明図。
【図２】前記第１実施形態の動作状態の一例を示すタイムチャート図。
【図３】前記第１実施形態の動作状態の他の例を示すタイムチャート図。
【図４】本発明に係る特性測定方法及び特性測定装置の第２実施形態を示す概略説明図。
【図５】前記第２実施形態の動作状態を示すタイムチャート図。
【図６】従来の特性測定装置の一例を示す概略説明図。
【図７】図６の特性測定装置の動作状態を示すタイムチャート図。
【図８】従来の特性測定装置の他の例を示す概略説明図。
【図９】図８の特性測定装置の動作状態を示すタイムチャート図。
【符号の説明】
１Ａ，１Ｂ…供給位置
２Ａ，２Ｂ…Ｃ測定位置
３Ａ，３Ｂ…ＩＲ測定位置
４Ａ，４Ｂ…取出し位置
１０Ａ，１０Ｂ…ターンテーブル
１１Ａ，１１Ｂ…保持部
２０Ａ，２０Ｂ…パーツフィーダ
３０…Ｃ測定器
４０…ＩＲ測定器
５０…コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004020338.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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