(57)【要約】【課題】特にビームランディング量の測定に適したカラー陰極線管測定方法及び測定装置を提供するものである。【解決手段】カラー陰極線管の測定方法は、被測定陰極線管のパネルの前面側から測定領域の蛍光面１２を撮像する撮像手段２と、被測定陰極線管のパネルの前面側から測定領域の蛍光面への電子ビームを２色の蛍光体に跨がらない範囲でウォーブリングさせる磁界発生手段１４と、撮像手段２により測定した位置データに基づき演算処理するコンピュータを有する画像処理装置３とを備え、撮像手段２により、磁界発生手段１４の磁界が０のとき、磁界発生手段１４により電子ビームを蛍光体層の配列方向にウォーブリングさせたときの、夫々の測定領域の１色の蛍光体層における発光領域の両端位置を測定し、各位置に対応するデータを基にコンピュータにより、演算処理してビームランディング量を測定する。【選択図】      図１
2004363051.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定陰極線管のパネルの前面側から測定領域の蛍光面を撮像する撮像手段と、
前記被測定陰極線管のパネルの前面側から前記測定領域の蛍光面への電子ビームを２色の蛍光体に跨がらない範囲でウォーブリングさせる磁界発生手段と、
前記撮像手段により測定した位置データに基づき演算処理するコンピュータを有する画像処理装置とを備え、
前記撮像手段により、前記磁界発生手段の磁界が０のとき、前記磁界発生手段により電子ビームを蛍光体層の配列方向にウォーブリングさせたときの、夫々の前記測定領域の１色の蛍光体層における発光領域の両端位置を測定し、
前記各位置に対応するデータを基に前記コンピュータにより、演算処理してビームランディング量を測定する
ことを特徴とするカラー陰極線管の測定方法。
【請求項２】
前記磁界発生手段から発生するウォーブリング磁界は、前記被測定陰極線管に配置されたディガウス手段から発生する最大磁界よりも小さい
ことを特徴とする請求項１記載のカラー陰極線管の測定方法。
【請求項３】
電子ビームが両側を光吸収層で挟まれた１色の蛍光体層の全領域を発光させる状態から、前記電子ビームをウォーブリングさせる
ことを特徴とする請求項１記載のカラー陰極線管の測定方法。
【請求項４】
前記磁界発生手段はコイル装置からなり、前記コイル装置に流す電流を制御して、前記電子ビームを、第１のウォーブリング量でウォーブリングさせた後、前記第１のウォーブリング量より多い第２のウォーブリング量でウォーブリングさせ、
前記電流に対する電子ビーム変位量のデータを前記位置データと共に前記コンピュータで演算処理する
ことを特徴とする請求項１記載のカラー陰極線管の測定方法。
【請求項５】
被測定陰極線管のパネルの前面側から測定領域の蛍光面を撮像する撮像手段と、
前記被測定陰極線管のパネルの前面側から前記測定領域の蛍光面への電子ビームを２色の蛍光体に跨がらない範囲でウォーブリングさせる磁界発生手段と、
前記撮像手段により測定した位置データに基づきビームランディング量を演算処理するコンピュータを有する画像処理装置とを備えて成る
ことを特徴とするカラー陰極線管の測定装置。
【請求項６】
前記磁界発生手段は、発生するウォーブリング磁界が前記被測定陰極線管に配置されたディガウス手段から発生する最大磁界よりも小さく設定されて成る
ことを特徴とする請求項５記載のカラー陰極線管の測定装置。
【請求項７】
前記磁界発生手段はコイル装置からなり、前記コイル装置に流す電流を制御して、前記電子ビームを、第１のウォーブリング量でウォーブリングさせた後、前記第１のウォーブリング量より多い第２のウォーブリング量でウォーブリングさせるようにして成る
ことを特徴とする請求項５記載のカラー陰極線管の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラー陰極線管の蛍光体幅の中心に対する電子ビーム幅の中心の差、いわゆるビームランディング量の測定、さらに電子ビーム幅の測定、蛍光体幅の測定、カーボンストライプ幅の測定等に使用されるカラー陰極線管の測定方法及びこの方法を実施するためのカラー陰極線管の測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、カラー陰極線管のビームランディング量の測定、電子ビーム幅の測定、蛍光体幅の測定、光吸収層であるカーボン層の幅の測定等を可能にしたカラー陰極線管の測定装置が提案されている。その１つに、このような測定をキャビネットに収納されたカラー陰極線管のパネルの前面から行えるようにした測定装置が特許文献１で提案されている。特許文献１の測定装置は、パネル前面側に測定ポイントに対応して、その測定ポイントの領域の蛍光面を撮像するＣＣＤ固体撮像カメラと、磁性コアにコイルを巻装し電子ビームを蛍光体ストライプの配列方向、即ち左右方向に振らせるための垂直磁界を発生させる磁界発生手段を配置され、さらに磁界発生手段を制御し、またＣＣＤ固体撮像カメラの撮像信号を画像処理するコンピュータを含む画像処理装置を備えている。この測定装置においては、磁界発生手段のコイル電流を零にして電子ビームを１色の蛍光体層を発光する状態から、コイルに流す電流量を制御して２色の蛍光体層に跨がるように電子ビームを移動させ、ＣＣＤ固体撮像カメラからの撮像信号を画像処理することによって、電子ビーム幅、蛍光体幅、カーボン層幅、ビームランディング量等を測定する。
【０００３】
図７は、電子ビーム幅の測定に適用した場合を示す。この例では、磁界発生手段から垂直磁界を発生させ、電子ビーム４２を図示するように、左方向に移動し、この電子ビーム４２が２色の蛍光体即ちこの緑蛍光体４３Ｇ以外の左側の赤蛍光体４３Ｒにも当たるようにする。このときの電子ビーム４２は図７Ａに示すように、対応する緑蛍光体４３Ｇ以外の赤蛍光体４３Ｒにも跨がる。このときＣＣＤ固体撮像カメラより得られる撮像信号は図７Ｂに示すようになり、画像処理装置のコンピュータにおいては、赤蛍光体４３Ｒの発光開始点４５と緑蛍光体４３Ｇの発光終了点４６の距離を演算し、この距離を電子ビーム４２の幅の測定値として出力する。
【０００４】
上述測定が終了後に、この測定したカラー陰極線管の帯磁を消磁するためデガウス処理を行う。このために、磁界発生手段のコイルに徐々に零まで減衰する交番電流が供給される。
この測定装置は、カラー陰極線管をキャビネットに収納した状態でパネル外側から測定できる利点がある。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−２８７６９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した測定装置は、更なる高精細、高解像度のカラー陰極線管に対しては測定終了後の磁気転写が無視できないことが分かってきた。
即ち、上述の測定装置では、所要の単色蛍光体層から隣の色の蛍光体層に跨がるように電子ビームを振らせるために、比較的に強い測定用の磁界が必要である。カラー陰極線管には、色選別機構（例えばアパーチャグリル、シャドーマスク）が配置されており、この色選別機構が磁性体であるため、測定用磁界が強いとコイル電流を切っても色選別機構に磁界が残る（いわゆる着磁）状態になる。この着磁された磁場は、新たなミスランディングを引き起こすので、測定の度毎に交番減衰磁界を与えて色選別機構の消磁を行っている。しかし、測定用の磁界を交番減衰磁界で零にしても、地磁気の存在で色選別機構が地磁気を打ち消す方向に着磁（いわゆる磁気転写）し、この磁気転写が無視できない。
【０００７】
カラー陰極線管においては、地磁気の影響をなくすために、ディガウスコイルを設けて地磁気をキャンセルさせている。一方、測定時のコイルにより磁界を与える領域は極めて小さな範囲であるため、測定磁界はディガウスコイルによる最大磁界よりも大きくなる。このため、ディガウスコイルの減衰磁界による地磁気のキャンセル残と、測定側の減衰磁界による地磁気のキャンセル残りの差分が生じ、この差分により測定前と測定後でビームランディング量が変化することが分かってきた。従って、測定後のビームランディングに影響与えない高精度の測定が望まれている。
【０００８】
本発明は、上述の点に鑑み、磁気転写の影響を抑制し、高精度の測定を可能にしたカラー陰極線管の測定方法及びこの方法を実施するための測定装置を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るカラー陰極線管の測定方法は、被測定陰極線管のパネルの前面側から測定領域の蛍光面を撮像する撮像手段と、被測定陰極線管のパネルの前面側から測定領域の蛍光面への電子ビームを２色の蛍光体に跨がらない範囲でウォーブリングさせる磁界発生手段と、撮像手段により測定した位置データに基づき演算処理するコンピュータを有する画像処理装置とを備え、撮像手段により、磁界発生手段の磁界が０のとき、磁界発生手段により電子ビームを蛍光体層の配列方向にウォーブリングさせたときの、夫々の測定領域の１色の蛍光体層における発光領域の両端位置を測定し、各位置に対応するデータを基にコンピュータにより、演算処理してビームランディング量を測定する。
【００１０】
本発明のカラー陰極線管の測定方法では、磁界発生手段により、電子ビームを２色の蛍光体に跨がらない範囲でウォーブリングすることにより、ウォーブリングの磁界の強さは、カラー陰極線管に設けられたディガウス手段から発生する最大磁界よりも小さくすることができる。これにより、カラー陰極線管に装着された色選別機構に対して地磁気をキャンセルするための磁気転写量は、磁界発生手段から磁界に影響されず、維持される。即ち、磁界発生手段の消磁による磁気転写の影響を抑えることができる。従って、測定前後でのビームランディングを変化させることがない。
撮像手段により、磁界発生手段の磁界が０のときの、測定領域の１色の蛍光体層における発光領域の両端位置と、磁界発生手段により電子ビームをウォーブリングさせたときの、測定領域の１色の蛍光体層における発光領域の両端位置を測定することができる。
コンピュータにより上記各位置のデータを基に演算処理することで、ビームランディング量を測定することができる。
撮像手段、磁界発生手段をパネル前面側に設けられるので、カラー陰極線管をキャビネットに収納した状態で、ビームランディング量の測定を可能にする。
【００１１】
本発明に係るカラー陰極線管の測定装置は、被測定陰極線管のパネルの前面側から測定領域の蛍光面を撮像する撮像手段と、被測定陰極線管のパネルの前面側から測定領域の蛍光面への電子ビームを２色の蛍光体に跨がらない範囲でウォーブリングさせる磁界発生手段と、撮像手段により測定した位置データに基づきビームランディング量を演算処理するコンピュータを有する画像処理装置とを備えて成る。
【００１２】
本発明のカラー陰極線管の測定装置では、電子ビームを２色の蛍光体に跨がらない範囲でウォーブリングさせる磁界発生手段を備えるので、ウォーブリングの磁界の強さをカラー陰極線管に設けられているディガウス手段からの最大磁界より小さくすることができる。これにより、カラー陰極線管に装着された色選別機構に対して地磁気をキャンセルするための磁気転写量は、磁界発生手段から磁界に影響されず、維持される。即ち、磁界発生手段の消磁による磁気転写の影響を抑えることができる。従って、測定前後でのビームランディングを変化させることがない。
撮像手段を備えるので、測定領域における磁界発生手段の磁界が０のときの、１色の蛍光体層の発光領域の両端位置と、磁界発生手段により電子ビームをウォーブリングさせたときの、測定領域の１色の蛍光体層における発光領域の両端位置を測定することが可能になる。
コンピュータを有する画像処理装置を備えるので、上記各位置のデータを基に演算処理を行い、ビームランディング量を測定することができる。
パネルの前面側に撮像手段及び磁界発生手段が配置されるので、カラー陰極線管をキャビネット内の収納した状態で、ビームランディング量の測定が可能になる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係るカラー陰極線管の測定方法に用いられる測定装置の一実施の形態を示す。
本実施の形態に係るカラー陰極線管の測定装置１は、被測定カラー陰極線管１１の前面部分から測定する撮像手段、本例ではＣＣＤ固体撮像カメラ２と、カラー陰極線管からの電子ビームを移動及びウォーブリングするための磁界発生手段１４と画像処理装置３とを備えて成る。磁界発生手段１４は、磁性コアに１対のコイル８ａ、８ｂを実装して形成される。ＣＣＤ固体撮像カメラ２は画像処理装置３へと接続されている。画像処理装置３は、Ａ／Ｄ変換回路４を介して、イメージメモリ５へと繋がっており、イメージメモリ５はマイクロコンピュータより成る中央制御装置（ＣＰＵ）６へと接続される構成となっている。中央制御装置６は、モニタ７に接続されている。また、このコイル８ａ、８ｂは、コイル電流発生回路１０介してＤ／Ａ変換回路９、中央制御装置６と接続された構成である。
被測定カラー陰極線管１１は、パネル内面に各色蛍光体層からなる蛍光面１２が形成され、この蛍光面１２に近接対向して色選別機構１５が配置されてなる。本例では、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の蛍光体ストライプと、各色蛍光体ストライプ間に配された光吸収層となるカーボンストライプとかなるブラックマトリクス型の蛍光面１２が形成される。色選別機構１５としては、アパーチャグリル、シャドーマスク等で構成させる。ＣＣＤ固体撮像装置２は、被測定カラー陰極線管１１に対して、例えば２ｍｍ角以下の小さい領域の測定ポイントを撮像するものである。測定するポイントは任意の箇所であり、画面の複数箇所を測定ポイントとすることができる。この被測定カラー陰極線管１１には、図示せざるも、パネルからファンネルにかけて、地磁気をキャンセルするためのディガウスコイルが巻装される。
【００１５】
電子ビームをウォーブリングするために磁界発生手段１４から発生する磁界は、ディガウスコイルから発生する交番減衰磁界のうちの最大磁界より小さく設定される。即ち、ウォーブリングに際しての磁界は、図２及び図３に示すように、所要の１色の蛍光体ストライプと両側のカーボンストライプを含む領域内のみで隣の色の蛍光体ストライプを跨がないように、電子ビームがウォーブリングするに十分な磁界強度に設定される。
【００１６】
本実施の形態の測定装置１では、ＣＣＤ固体撮像カメラ２で撮像した撮像信号を画像処理装置３を構成するアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回路４を介してイメージメモリ５に供給して記憶する。画像処理装置３では、中央制御装置（ＣＰＵ）６において、イメージメモリ５に記憶された撮像信号を画像処理して算出し、この算出結果をモニタ７に供給して表示する。また、中央制御装置６においては、磁界発生手段１４を構成するコイル８ａ，８ｂに流す電流量を演算して電流量制御信号を得る。この電流量制御信号が、デジタル信号をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換回路９を介してコイル電流発生回路１０に、コイル８ａ，８ｂに流す電流量を制御する制御信号として供給される。このときの電流量制御信号は、前述したように電子ビームを２色の蛍光体ストライプに跨がらない範囲で移動、あるいはウォーブリングできる磁界が発生する値とし、これは中央制御装置６においてなされる。さらに中央制御装置６においては、ＣＣＤ固体撮像カメラ２の撮像信号から測定領域の１色の蛍光体ストライプにおける発光領域の両端位置、即ち発光開始点と発光終了点の位置データを基に後述する演算を行うようになされる。
【００１７】
次に、上述の測定装置１を用いて本発明のカラー陰極線管の測定方法の実施の形態を説明する。本例は蛍光体幅ＰＷの中心と電子ビーム幅ＢＷの中心との差を表すビームランディング量ＬＤの測定に適用した場合である。
本実施の形態に係るビームランディング量の測定方法では、図４に示す点Ａ〜Ｊの位置データを求め、この位置データを基に画像処理装置のコンピュータにて演算してビームランディング量を算出する。
概要としては、図５に示すように、オフセット（ｏｆｆｓｅｔ）の初期値０の状態から電子ビームの位置を測定しながらオフセット（ｏｆｆｓｅｔ）の値を変化して行き、電子ビームが所定の位置（指定位置）にきたときの状態をＯＦ１とする。その後で、電子ビームをウォーブリングし、−ｗｏｂｂ１＋ＯＦ１，＋ｗｏｂｂ１＋ＯＦ１を出力する。このときの位置データの測定が終了した後、−ｗｏｂｂ１＊１．２＋ＯＦ１，−ｗｏｂｂ１＊１．２＋ＯＦ１を出力する。このときの位置データを測定する。夫々の位置データを基にビームランディング量を算出する。
【００１８】
先ず、１回目の走査（ラフスキャンという）を行う。この走査では、電子ビームを指定の位置に移動し、電子ビームを左右に振る量を所定値にするための動作を行う。ここで、磁界発生手段のコイル８ａ，８ｂに電流を流して電子ビーム２２を振る。
【００１９】
即ち、図２Ａ（第１段階）で示すように、電子ビーム２２を測定領域の指定の位置に移動する。電子ビーム２２が照射される指定の位置は、１色の蛍光体ストライプ、本例では緑色蛍光体ストライプ２３Ｇとその両側のカーボンストライプ２４ａ及び２４ｂとの跨がる位置である。磁界発生手段のコイル８ａ，８ｂへ電流を流さないオフセット＝０のときに（図５参照）、電子ビーム２２が図２Ａの指定位置に照射されていれば、良いことになる。０は、オフセット（ｏｆｆｓｅｔ）の初期値である。図１のＤ／Ａ変換回路９の出力は、Ｄ／Ａ変換出力＝０である。電子ビーム２２が、指定位置に照射されないときは、電子ビームの位置を測定しながら、後述のフローチャートで示すようにオフセット（ｏｆｆｓｅｔ）の値が変化して、つまり、コイル８ａ，８ｂに流すオフセット電流を変化させて電子ビーム２２を指定位置に移動させる。電子ビームが指定位置にきたときの状態つまりオフセットの決定位置をＯＦ１とする。例えば、電子ビーム２２が一方のカーボンストライプ２４ａに達しておらず、電子ビーム２２の左端が緑色蛍光体ストライプ２３Ｇの内部にある状態のときには、コイル８ａ，８ｂに所要のオフセット電流を供給し、オフセット＝ＯＦ１として電子ビーム２２を左側へ図２Ａに示す指定の位置に来るように移動させる（図５参照）。
図１のＤ／Ａ変換回路９の出力は、Ｄ／Ａ変換出力＝オフセット（ＯＦ１＝ｏｆｆｓｅｔ）
次に、図２Ｂ（第２段階）で示すように、オフセット＝ＯＦ１を基準に電子ビーム２２をウォーブリングし、左にＷＢだけ振る（図５参照）。
図１のＤ／Ａ変換回路９の出力は、Ｄ／Ａ変換出力＝ウォーブリング（ＷＢ＝−ｗｏｂｂ１）＋オフセット（ＯＦ１＝ｏｆｆｓｅｔ）
次に、図２Ｃ（第３段階）で示すように、オフセット＝ＯＦ１を基準に電子ビーム２２をウォーブリングし、右に＋ＷＢだけ振る（図５参照）。
図１のＤ／Ａ変換回路９の出力は、Ｄ／Ａ変換出力＝ウォーブリング（ＷＢ＝＋ｗｏｂｂ１）＋オフセット（ＯＦ１＝ｏｆｆｓｅｔ）
この場合も後述のフローチャートで示すように、電子ビームを測定しながらウォーブリング（ｗｏｂｂ）の値を変化させていき、つまりコイル８ａ，８ｂに流すウォーブリング電流を変化させていき、ウォーブリングの値ｗｏｂｂ１を決定する。
ウォーブリング量のＷＢは電子ビーム２２が蛍光体ストライプ幅の所要パーセントの範囲に照射されるように設定される。
【００２０】
これによって、図２Ａ〜図２Ｃにおいて、緑色蛍光体ストライプ２３Ｇが電子ビームにより発光している発光領域の両端位置（いわゆる発光開始点と発光書量点）の仮想原点Ｏからの距離を測定する。図２Ａでは距離ＺＬ１，ＺＲ１が測定される。図２Ｂでは距離ＮＬ１，ＮＲ１が測定される。図２Ｃでは距離ＰＬ１，ＰＲ１が測定される。これらの距離ＺＬ１，ＺＲ１，ＮＬ１，ＮＲ１，ＰＬ１，ＰＲ１が、図４の発光領域のエッジ部に対応する位置データＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆに対応する。
【００２１】
この第１回目の走査では、データＡとデータＣが一致し、データＢとデータＦが一致する条件を満たすまで、上記のオフセットとウォーブリングの値を変化させ、第１段階〜第３段階（図２Ａ〜図２Ｃ）のループを繰り返す。
【００２２】
次に示す式は、図２Ａ〜Ｃに対応する。
本例では、ウォーブリング（コイルに電流を流して電子ビームを振る）を３段階で１周期として行う。ここで使用しているｃｏｎｆｉｇ  ｗｏｂｂとはあらかじめ決められたウォーブリングの初期値である。
一番最初は、ｏｆｆｓｅｔ＝０，ｗｏｂｂ＝ｃｏｎｆｉｇ  ｗｏｂｂ／２とする。
【００２３】
第１段階    ｄａｏｕｔ＝ｏｆｆｓｅｔ
第２段階    ｄａｏｕｔ＝ｏｆｆｓｅｔ  −  ｗｏｂｂ
第３段階    ｄａｏｕｔ＝ｏｆｆｓｅｔ  ＋  ｗｏｂｂ
なお、ｄａｏｕｔは、図１の測定装置１のＤ／Ａ変換回路９のデータである。ｏｆｆｓｅｔは、所定の位置（指定位置）にビームを動かすときのデータである。測定開始字はｏｆｆｓｅｔ＝０とします。ｏｆｆｓｅｔは、ビームの初期位置に応じて変化させていく。ｗｏｂｂは、ビームを左右に振る絶対量を示す。
【００２４】
下記の条件を満たすまでｏｆｆｓｅｔとｗｏｂｂの値を変化させ、ループ（第１段階〜第３段階）を繰り返す。下記の式で使用しているｏｆｆｓｅｔｓｐｅｃ、ｗｏｂｂｓｐｅｃはあらかじめ決められた設定ループを抜けるための規格である。
Ｉｆ（（ｚｒ  −  ｎｒ）  ＋  （ｚｌ  −  ｐｌ））  ／  （ｚｒ  −  ｚｌ）＞（  １  ＊  ｏｆｆｓｅｔｓｐｅｃ）    ｏｆｆｓｅｔ  ＋＝１０
Ｅｌｓｅ  Ｉｆ（（ｚｒ  −  ｎｒ）  ＋  （ｚｌ  −  ｐｌ））  ／  （ｚｒ  −  ｚｌ）＜（  −１  ＊  ｏｆｆｓｅｔｓｐｅｃ）    ｏｆｆｓｅｔ  −＝１０
Ｉｆ（（ｚｒ  −  ｎｒ）  −  （ｚｌ  −  ｐｌ））  ／  （ｚｒ  −  ｚｌ）＞（  ｗｏｂｂｓｐｅｃ  ＋  ｏｆｆｓｅｔｓｐｅｃ）  ｗｏｂｂ  −＝１０
Ｅｌｓｅ  Ｉｆ（（ｚｒ  −  ｎｒ）  −  （ｚｌ  −  ｐｌ））  ／  （ｚｒ  −  ｚｌ）＜（  ｗｏｂｂｓｐｅｃ  −  ｏｆｆｓｅｔｓｐｅｃ）    ｗｏｂｂ  ＋＝１０
ｏｆｆｓｅｔ＝１０，ｗｏｂｂ＝１０とは、値を少しずつ刻みながら変化させて条件を満たすときの、刻み量である。
【００２５】
次に、２回目の走査（精密スキャンという）を行う。この走査では、図３Ａ（第１段階）で示すように、電子ビーム２２を測定領域の指定の位置に移動する。次に、電子ビーム２２を左右に振る。このときのウォーブリング量は、第１回目のウォーブリング量の例えば１．２倍とする（図５参照）。即ち、図３Ｂ（第２段階）に示すように、オフセット＝ＯＦ１を基準に電子ビーム２２をウォーブリングし、左に−１．２ｗｏｂｂ１だけ振る（図５参照）。次いで、図３Ｃ（第３段階）に示すように、オフセット＝ＯＦ１を基準に電子ビーム２２をウォーブリングし、右に＋１．２ｗｏｂｂ１だけ振る（図５参照）。
【００２６】
これによって、図３Ａ〜図３Ｃにおいて、緑色蛍光体ストライプ２３Ｇが電子ビームにより発光している発光領域の両端位置（いわゆる発光開始点と発光終了点）の仮想原点Ｏからの距離を測定する。図３Ａでは距離ＺＬ２，ＺＲ２が測定され、図３Ｂでは距離ＮＬ２，ＮＲ２が測定される。図３Ｃでは距離ＰＬ２，ＰＲ２が測定される。これらの距離ＺＬ２，ＺＲ２，ＮＬ２，ＮＲ２，ＰＬ２，ＰＲ２が、図４の発光領域のエッジ部に対応する位置データＡ，Ｂ，Ｇ，Ｈ，Ｉ，Ｊに対応する。
【００２７】
例えば左への２回のウォーブリングにより、位置データＤとＨの差分Δｄで、コイル８ａ，８ｂに流すウォーブリング電流の単位電流当たりの電子ビームの移動距離（いわゆる感度）が測定される。右への２回のウォーブリングで得られる位置データＥとＦの差分も同様の感度が得られる。従って、例えば位置データＨに２回目のウォーブリング電流に相当する電子ビームの移動距離Ｘ１を加算することにより、電子ビーム２２の右端位置データＢＲが求められる。また、位置データＩから２回目のウォーブリング電流に相当する電子ビームの移動距離Ｘ１を減算することにより、電子ビーム２２の左端位置データＢＬが求められる。この位置データＢＲ及びＢＬにより、電子ビーム幅の中心が求まり、位置データＡ及びＢから蛍光体幅の中心が求まる、結果としてビームランディング量ＬＤが求まる。
【００２８】
次に示す式は、図３Ａ〜Ｃに対応する精密スキャンで得られた位置データと先の図２Ａ〜Ｃに対応するラフスキャンで得られた位置データとからビームランディング量を求めた式である。
【００２９】
ラフスキャンの最後に測定した値をＺＬ１，ＺＲ１，ＮＬ１，ＮＲ１，ＰＬ１，ＰＲ１とする。ＺＬ１，ＺＲ１は、カーボンストライプエッジ測定用スレッシュホールドレベルを使用して測定する。ＮＬ１，ＮＲ１，ＰＬ１，ＰＲ１は測定色の電子ビーム幅測定用のスレッシュホールドを使用して測定する。最後のｗｏｂｂをｗｏｂｂ１に代入する。さらに１．２倍した値をｗｏｂｂ２に代入し、その値をｗｏｂｂに代入する。ｏｆｆｓｅｔは最後の値をそのまま使用する。
ステップ１    ｄａｏｕｔ＝ｏｆｆｓｅｔ
ステップ２    ｄａｏｕｔ＝ｏｆｆｓｅｔ  −  １．２  ＊  ｗｏｂｂ
ステップ３    ｄａｏｕｔ＝ｏｆｆｓｅｔ  ＋  １．２  ＊  ｗｏｂｂ
【００３０】
ＺＬ２，ＺＬ２はカーボンストライプエッジ測定用スレッシュホールドレベルを使用して測定する。ＮＬ２，ＮＲ２，ＰＬ２，ＰＲ２は測定色の電子ビーム幅測定用のスレッシュホールドを使用して測定する。
【００３１】
測定時のカメラの振動の影響をキャンセルするため、カーボンストライプエッジの補正を行う。
２回測定するので下記の式で平均処理を行う。
ＺＬ＝（ＺＬ１  ＋  ＺＬ２）  ／  ２
ＺＲ＝（ＺＲ１  ＋  ＺＲ２）  ／  ２
一次変数へ代入
ＴＰＬ１＝（ＰＲ１  −  ＺＲ）  ＋  ＰＬ１
ＴＰＬ２＝（ＰＲ２  −  ＺＲ）  ＋  ＰＬ２
ＴＮＲ１＝（ＮＬ１  −  ＺＬ）  ＋  ＮＲ１
ＴＮＲ２＝（ＮＬ２  −  ＺＬ）  ＋  ＮＲ２
【００３２】
計算変数へ代入
ＰＬ１＝ＴＰＬ１
ＰＬ２＝ＴＰＬ２
ＮＲ１＝ＴＮＲ１
ＮＲ２＝ＴＮＲ２
【００３３】
測定要素を計算してビームランディング量ＬＤを求める。
ここで蛍光体幅をＰＷとする。ビーム幅をＢＷとする。仮想原点からビーム左端までの距離をＢＬとする。仮想原点からビーム右端までの距離をＢＲとする。ビームランディング量をＬＤとする。
ＰＷ＝ＺＲ  −  ＺＬ
Ｙ＝（ｙ２  −  ｙ１）  ＊（ｘ  −  ｘ１）／（ｘ２  −  ｘ１）  ＋  ｙ１
ＢＬ＝（ＰＬ２  −  ＰＬ１）（０  −  （ｏｆｆｓｅｔ  ＋  ｗｏｂｂ１））  ／  （ｗｏｂｂ２  −  ｗｏｂｂ１）＋ＰＬ１
ＢＲ＝（ＮＲ２  −  ＮＲ１）（０  −  （ｏｆｆｓｅｔ  −  ｗｏｂｂ１））  ／  （ｗｏｂｂ１  −  ｗｏｂｂ２）＋ＮＲ１
ＢＷ＝ＢＲ  −  ＢＬ
ＬＤ＝（（ＢＲ  ＋  ＢＬ）  −  （ＺＲ  ＋  ＺＬ）  ）  ／  ２
【００３４】
図６は、上述した一連の測定方法を模式化したフローチャートである。
ここでのビームランディング量測定モードは、単色蛍光体ストライプに照射されている電子ビームを両側のカーボンストライプ内に収まるようにウォーブリングして演算処理される。
【００３５】
ステップＳ１は、図５に示すオフセット（ｏｆｆｓｅｔ）に初期値として零を代入し、ウォーブリング（ｗｏｂｂ）にＷＢを代入する。ステップＳ２は、測定した位置データである点Ａ〜点Ｆを設定する（図４参照）。ステップＳ３は、点Ａと点Ｃとが等しいか否かを判定する。点Ａが点Ｃと等しいならステップＳ４へ進む。点Ａが点Ｃと等しくない場合はステップＳ１３へ進み、オフステップ（ｏｆｆｓｔｅｐ）、即ち、ｏｆｆｓｅｔにｓｔｅｐを足した値をｏｆｆｓｅｔに代入した後、ステップＳ２へと戻る。ステップＳ１３，１４では、ｏｆｆｓｅｔ＝ｏｆｆｓｅｔ＋ｓｔｅｐとし、ｓｔｅｐの初期値（例えば、１０ずつ）を入れておく。オフセット調整量に基づき、ｓｔｅｐの値を変えて（例えば、１０ずつ）ｏｆｆｓｅｔに代入されることになる。
【００３６】
ステップＳ４は点Ｂと点Ｆとが等しいか否かを判定する。点Ｂが点Ｆと等しいならステップＳ５へ進む。点Ｂが点Ｆと等しくない場合はステップＳ１４へ進み、ｏｆｆｓｅｔにｓｔｅｐを引いた値ををｏｆｆｓｅｔに代入した後、ステップＳ２へと戻る。
【００３７】
点Ａ＝点Ｃ、点Ｂ＝点Ｆの条件が満たされた後のステップＳ５では、電子ビームのウォーブリングの測定を行う。この測定では、ウォーブリングされた電子ビームが予め設定された領域、即ち蛍光体ストライプ幅の何％（例えば８０％）に照射されているかが測定される。ステップＳ６は、電子ビームが予め設定された照射領域より大きいか否かを判定する。図４を参照して、左辺の点Ａから点Ｂを引いて例えば０．８を掛けてさらに１．１を掛けた値が右辺の点Ｆから点Ｅを引いた値より大きいなら、ステップＳ７に進む。ステップＳ６において、左辺の値が右辺の値より小さいなら、ステップＳ１５進む。ステップＳ１５ではｗｏｂｂからｓｔｅｐを引いた値をｗｏｂｂに代入した後、ステップＳ５に戻り処理を行う。
【００３８】
ステップＳ７は、電子ビームが予め設定された照射領域より小さいか否かを判定する。図４を参照して、左辺の点Ａから点Ｂを引き、例えば０．８を掛け更に０．９を掛けた値が右辺の点Ｆから点Ｅを引いた値より小さいなら、ステップＳ８に進む。Ｓ７において、左辺の値が右辺の値より大きいなら、ステップＳ１６に進む。ステップＳ１６では、ｗｏｂｂにｓｔｅｐを足した値をｗｏｂｂに代入した後、ステップＳ５に戻り処理を行う。このウォーブリング（ｗｏｂｂ）の場合も、前述のオフセット（ｏｆｆｓｅｔ）と同様に、ｗｏｂｂ＝ｗｏｂｂ＋ｓｔｅｐとし、ｓｔｅｐの初期と（例えば、１０）を入れておく。
【００３９】
ウォーブリング幅の条件が満たされたならば、この時の値をラフスキャンの全てのデータの変数〔００１〕に代入する。変数〔００１〕におけるデータＺＬ１，ＺＲ１，ＮＬ１，ＮＲ１，ＰＬ１，ＰＲ１，ｗｏｂｂ１が求まる。
【００４０】
次に、ステップＳ９において、ｗｏｂｂ１を例えば１．２倍した値をｗｏｂｂ２に代入し、その値をｗｏｂｂに代入し、ステップＳ１０で精密スキャンを行って測定する。ステップＳ１１において、変数〔００２〕におけるデータＺＬ２，ＺＲ２，ＮＬ２，ＮＲ２，ＰＬ２，ＰＲ２が求まる。次いで、ステップＳ１２において、変数〔００１〕のデータＺＬ１，ＺＲ１，ＮＬ１，ＮＲ１，ＰＬ１，ＰＲ１，ｗｏｂｂ１と、変数〔００２〕のデータＺＬ２，ＺＲ２，ＮＬ２，ＮＲ２，ＰＬ２，ＰＲ２，ｗｏｂｂ２とを用いて演算処理し、ビームランディング量ＬＤを求める。
図６では、本発明の理解を容易にするためにオフセットの設定と、ウォーブリングの設定を夫々行うように説明したが、実際には両方同時に行われる。
【００４１】
上述の本実施の形態に係るカラー陰極線管の測定方法によれば、特にビームランディング量ＬＤの測定に際して、電子ビームを隣り合う２色の蛍光体ストライプに跨がらない範囲で電子ビームをウォーブリングすることにより、磁界発生手段１４からの測定磁界の強さを小さくすることができる。ウォーブリングを隣り合う２色の蛍光体ストライプに跨がらない範囲であれば、磁界発生手段１４からの測定磁界の強さは、カラー陰極線管１１に配設したディガウスコイルから発生する最大磁界よりも小さくすることができる。このため、測定終了後に色選別機構への着磁の影響を小さくすることができ、同時に色選別機構に着磁された測定磁界を消磁させたときに、ディガウスコイルによって色選別機構に転写した地磁気を打ち消すための転写磁界に影響を与えることがない。即ち、測定前後でビームランディング（ビーム軌道）は変化されない。従って、測定後のビームランディングに影響を与えないで高精度の測定ができる。
【００４２】
第１のウォーブリングとこれより僅かに大きい第２のウォーブリングを行って夫々の位置データを測定することにより、測定点毎の感度、即ち単位電流当たりの電子ビームの変位量（移動量）を測定することがき、各測定点におけるビームランディング量をより正確に測定することができる。
ウォーブリングした電子ビームが隣り合う蛍光体ストライプに跨がっていないので、ビームエッジを測定色で測定することができ、カラー撮像カメラの色感度の影響を受けない。
パネルの前面に磁界発生手段１４及び撮像カメラ２を配置して測定するので、カラー陰極線管をキャビネット内に収めた状態で測定が可能になり、検査工程での工数を減らし、測定の作業効率を向上することができる。
【００４３】
本実施の形態に係るカラー陰極線管の測定装置によれば、電子ビームを隣り合う２色の蛍光体ストライプに跨がらない範囲でウォーブリングさせる磁界発生手段１４を備えるので、ウォーブリングさせる測定磁界の強さをカラー陰極線管に設けられているディガウスコイルからの最大磁界より小さくすることができる。これにより、カラー陰極線管に装着された色選別機構に対して地磁気をキャンセルするための磁気転写量は、磁界発生手段から磁界に影響されず、維持される。即ち、磁界発生手段の消磁による磁気転写の影響を抑えることができる。従って、測定前後でのビームランディングを変化させることなく、特にビームランディング量の高精度な測定が可能になる。
電子ビームを隣り合う２色の蛍光体ストライプに跨がらないようにウォーブリングさせる磁界発生手段１４を備えるので、測定に際して測定色でビームエッジを測定することができ、カラー撮像カメラの色感度の影響を受けない。
測定装置１を構成する磁界発生手段１４及びＣＣＤ固体撮像カメラ２が測定すべきカラー陰極線管のパネル前面側に配置されるので、カラー陰極線管をキャビネット内に収めた状態で測定することができる。
本実施の形態の測定装置は、ビームランディング量専用測定モードを備えることができる。
【００４４】
図６では、演算処理の一例を示したが、本実施の形態のビームランディング量（ＬＤ）測定モードに準じる演算処理であれば、測定点の数、演算処理の方式、演算処理の順番、演算処理の回数等を任意に変更して測定することができる。
【００４５】
また、上例においては、ＣＣＤ固体撮像カメラ２の撮像信号を画像処理することにより、電子ビームの幅の外に、カーボントライプ２４ａ，２４ｂの幅、蛍光体ストライプ２３Ｒ，２３Ｇ，２３Ｂの幅を測定できる。
【００４６】
【発明の効果】
本発明に係るカラー陰極線管の測定方法によれば、測定に際して必要最小限しか電子ビームを振らないので、色選別機構への着磁の影響を抑制し、地磁気をキャンセルするために色選別機構に転写した転写磁界への影響を抑制することができる。従って、測定後のビームランディング（ビーム軌跡）が変更されない。そして、高精度の測定を可能にする。
【００４７】
磁界発生手段からの発生するウォーブリング磁界を被測定陰極線管に配置されたディガウス手段から発生する最大磁界より小さくするときは、電子ビームは隣り合う２色の蛍光体層に跨がることがない。これにより、地磁気をキャンセルするために色選別機構に転写した転写磁界への影響を抑制することができる。
電子ビームが両側を光吸収層で挟まれた１色の蛍光体層の全域を発光させる状態から、電子ビームをウォーブリングさせて測定することにより、ビームランディング量の測定に必要なデータを得ることができる。
磁界発生手段のコイル装置に流す電流を制御してウォーブリング量の異なる第１及び第２のウォーブリングをさせることにより、両者のデータから測定点での単位電流当たりの電子ビームの変位量（移動量）、所謂感度を測定でき、これに基いて各測定点でのビームランディング量の測定をより正確に測定することができる。
ウォーブリングは他の色の蛍光体層に跨がらないので、ビームエッジの測定の際、測定色（単色）で測定でき、カラー撮像手段の色感度の影響を受けることがない。
【００４８】
本発明に係るカラー陰極線管の測定装置によれば、電子ビームを隣り合う２色の蛍光体層に跨がらない範囲でウォーブリングさせる磁界発生手段を備えるので、ウォーブリングさせる測定磁界の強さを被測定陰極線管に設けられているディガウス手段からの最大磁界より小さくすることができる。これにより、カラー陰極線管に装着された色選別機構に対して地磁気をキャンセルするための転写磁界に影響を与えず、特にビームランディング量の高精度な測定を可能にする。
【００４９】
磁界発生手段で発生するウォーブリング磁界が被測定カラー陰極線管のディガウス手段から発生する最大磁界より小さく設定されることにより、電子ビームは隣り合う２色の蛍光体層に跨がることがない。これにより、ウォーブリング磁界の色選別機構への着磁を小さくし、地磁気をキャンセルするために色選別機構に転写した転写磁界への影響を抑制することができる。
磁界発生手段のコイル装置に流す電流を制御してウォーブリング量の異なる第１及び第２のウォーブリングをさせることにより、両者のデータから測定点での単位電流当たりの電子ビームの変位量（移動量）、所謂感度を測定でき、これに基いて各測定点でのビームランディング量の測定をより正確に測定することができる。
電子ビームを隣り合う２色の蛍光体ストライプに跨がらないようにウォーブリングさせる磁界発生手段１４を備えるので、測定に際して測定色でビームエッジを測定することができ、カラー撮像カメラの色感度の影響を受けない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るカラー陰極線管測定方法に用いられる測定装置の一実施の形態を示す構成図である。
【図２】Ａ〜Ｃ  本発明に係るカラー陰極線管の測定方法をビームランディング量の測定に適用した場合のラフスキャン工程の説明図である。
【図３】Ａ〜Ｃ  本発明に係るカラー陰極線管の測定方法をビームランディング量の測定に適用した場合の精密スキャン工程の説明図である。
【図４】図２及び図３で測定したデータをまとめて記載した説明図である。
【図５】本発明に係るオフセット及びウォーブリングの説明に係る波形図である。
【図６】本発明に係るビームランディング量（ＬＤ）測定モードを説明するフローチャートである。
【図７】Ａ，Ｂ  従来のカラー陰極線管測定装置による蛍光体幅を測定する説明図である。
【符号の説明】
１・・カラー陰極線管測定装置、２・・ＣＣＤ固体撮像カメラ、３・・画像処理装置、４・・Ａ／Ｄ変換回路、５・・イメージメモリ、６・・中央制御装置、７・・モニタ、８ａ，８ｂ・・コイル、９・・Ｄ／Ａ変換回路、１０・・コイル電流発生回路、１１・・カラー陰極線管、１２・・蛍光面、１３・・カバー、２１、４１・・スリット、２２，３０，３１，３２，３３，３４、４２・・電子ビーム、２３Ｒ，４３Ｒ・・赤色蛍光体，２３Ｇ，４３Ｇ・・緑色蛍光体，２３Ｂ，４３Ｂ・・青色蛍光体、２４ａ，２４ｂ・・カーボンストライプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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