(57)【要約】【課題】往復運動の機能を備えた機械や機械部品の騒音、振動を正確かつ安定に測定できるようにした騒音・振動の測定装置などの提供。【解決手段】近接センサ４は、搬送装置１のテーブル２が予め定めてある測定位置Ｐを通過したこと検出したときに、その旨の検出信号を出力する。マイクロフォン５は、搬送装置１のテーブル２が往復運動する際に発生する騒音を集め、これを電気信号に変換する。騒音測定器６は、近接センサ４からの検出信号が供給されるタイミングで、その検出信号をトリガとして、そのときのマイクロフォン５からの出力信号に基づき、騒音の強度（大きさ）の測定、騒音のスペクトル解析などを行う。【選択図】　　図１
2004020521.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
往復運動する往復運動部材を備えた機械または機械部品が、前記往復運動部材を往復運動させる際に発生する騒音、振動を測定する騒音・振動の測定方法であって、
前記往復運動部材を往復運動させ、その往復運動部材があらかじめ設定した測定位置に達したことを検出し、
それを検出したタイミングで前記騒音及び振動のうちの少なくとも一方を測定するようにしたことを特徴とする騒音・振動の測定方法。
【請求項２】
往復運動する往復運動部材を備えた機械または機械部品が、前記往復運動部材を往復運動させる際に発生する騒音、振動を測定する騒音・振動の測定方法であって、
前記往復運動部材を往復運動させ、行きまたは帰りのどちらか一方向に進行する際に、前記往復運動部材があらかじめ設定した測定位置に達したことを検出し、
それを検出したタイミングで前記騒音及び振動のうちの少なくとも一方を測定するようにしたことを特徴とする騒音・振動の測定方法。
【請求項３】
往復運動する往復運動部材を備えた機械または機械部品が、前記往復運動部材を往復運動させる際に発生する騒音、振動を測定する騒音・振動の測定装置であって、
前記往復運動部材を往復運動させたときに、その往復運動部材があらかじめ設定した測定位置に達したことを検出する検出手段と、
前記騒音および振動のうちの少なくとも一方を電気信号に変換して出力する変換手段と、
前記検出手段が前記往復運動部材が測定位置に達したことを検出したタイミングで、前記変換手段からの電気信号に基づいて前記騒音及び振動のうちの少なくとも一方を測定する測定手段と、
を備えたことを特徴とする騒音・振動の測定装置。
【請求項４】
往復運動する往復運動部材を備えた機械または機械部品が、前記往復運動部材を往復運動させる際に発生する騒音、振動を測定する騒音・振動の測定装置であって、
前記往復運動部材を往復運動させ、行きまたは帰りのどちらか一方向に進行する際に、前記往復運動部材があらかじめ設定した測定位置に達したことを検出する検出手段と、
前記騒音および振動のうちの少なくとも一方を電気信号に変換して出力する変換手段と、
前記検出手段が前記往復運動部材が測定位置に達したことを検出したタイミングで、前記変換手段からの電気信号に基づいて前記騒音及び振動のうちの少なくとも一方を測定する測定手段と、
を備えたことを特徴とする騒音・振動の測定装置。
【請求項５】
往復運動する往復運動部材を備えた直動装置を生産する方法であり、その生産過程において前記直動装置の騒音、振動を検査する検査工程を含んでいる直動装置の生産方法であって、
前記検査工程において、
前記往復運動部材を往復運動させ、その往復運動部材があらかじめ設定した測定位置に達したことを検出し、
それを検出したタイミングで前記直動装置が発生する騒音及び振動のうちの少なくとも一方の測定を行うようにしたことを特徴とする直動装置の生産方法。
【請求項６】
往復運動する往復運動部材を備えた直動装置を生産する方法であり、その生産過程において前記直動装置の騒音、振動を検査する検査工程を含んでいる直動装置の生産方法であって、
前記検査工程において、
前記往復運動部材を往復運動させ、行きまたは帰りのどちらか一方向に進行する際に、前記往復運動部材があらかじめ設定して測定位置に達したことを検出し、
それを検出したタイミングで前記直動装置が発生する騒音及び振動のうちの少なくとも一方の測定を行うようにしたことを特徴とする直動装置の生産方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、往復運動するテーブルのような往復運動部材を備えた機械、またはそのような往復運動部材を備えた機械部品（ボールねじ、リニアガイド、リニアモータ等）において、往復運動部材が往復運動する際に発生する騒音、振動を測定する騒音・振動の測定方法、および騒音・振動の測定装置の改良に関するものである。
【０００２】
また、本発明は、上記の騒音・振動の測定方法を使用したものであって、ボールねじ、リニアガイド、リニアモータなどの直動装置の生産方法の改良に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】
従来、往復運動するテーブルのような往復運動部材を備えた機械や機械部品では、その往復運動部材が往復運動する際に発生する騒音や振動音を、例えば以下のような方法で測定していた。
すなわち、往復運動部材を往復運動させ、その往復運動に伴って発生する騒音や振動を、往復運動の開始から終了までの全期間にわたって連続的に測定し、測定者が目視によりその最大値を読み取るようにしていた。
【０００４】
一方、ボールねじ、リニアガイド、リニアモータなどの直動装置を生産する工程では、例えば最終の生産工程においてその直動装置の往復運動部材を往復運動させ、上記と同様に騒音、振動の測定を行い、直動装置の品質を管理するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、往復運動の機能を備えた機械や機械部品では、往復運動部材が往復運動する際に、その往復経路（ストローク）の端でいったん停止し、逆方法に動き出すことを繰り返すので、発生する騒音、振動は安定しない。また、往復運動部材の往時（行き）と復時（帰り）とで騒音、振動の状態が変化することがしばしばあるなどのため、騒音、振動の測定値は変動しやすかった。
【０００６】
また、往復運動の機能を備えた機械や機械部品では、往復運動部材を最高速度で動作させた時に発生する騒音、振動が問題になることがあるが、往復運動部材は停止状態から加速、減速、再停止を繰り返すため、最高速度に達した瞬間またはある短い時間の騒音、振動を知ることは難しかった。
このような不都合は、上記の直動装置を生産する工程で行う騒音、振動の測定の場合にも問題となり、その解消が望まれていた。
【０００７】
そこで、本発明の第１の目的は、往復運動の機能を備えた機械や機械部品の騒音、振動を正確かつ安定に測定できるようにした騒音・振動の測定方法、および騒音・振動の測定装置を提供することにある。
本発明の第２の目的は、直動装置の生産工程においてその直動装置の騒音、振動を正確かつ安定に測定できるようにし、直動装置の品質の向上を図るようにした直動装置の生産方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し、本発明の第１の目的を達成するために、請求項１〜請求項４に記載の発明は、以下のように構成した。
すなわち、請求項１に記載の発明は、往復運動する往復運動部材を備えた機械または機械部品が、前記往復運動部材を往復運動させる際に発生する騒音、振動を測定する騒音・振動の測定方法であって、前記往復運動部材を往復運動させ、その往復運動部材があらかじめ設定した測定位置に達したことを検出し、それを検出したタイミングで前記騒音及び振動のうちの少なくとも一方を測定するようにしたことを特徴とするものである。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、往復運動する往復運動部材を備えた機械または機械部品が、前記往復運動部材を往復運動させる際に発生する騒音、振動を測定する騒音・振動の測定方法であって、前記往復運動部材を往復運動させ、行きまたは帰りのどちらか一方向に進行する際に、前記往復運動部材があらかじめ設定した測定位置に達したことを検出し、それを検出したタイミングで前記騒音及び振動のうちの少なくとも一方を測定するようにしたことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、往復運動する往復運動部材を備えた機械または機械部品が、前記往復運動部材を往復運動させる際に発生する騒音、振動を測定する騒音・振動の測定装置であって、前記往復運動部材を往復運動させたときに、その往復運動部材があらかじめ設定した測定位置に達したことを検出する検出手段と、前記騒音および振動のうちの少なくとも一方を電気信号に変換して出力する変換手段と、前記検出手段が前記往復運動部材が測定位置に達したことを検出したタイミングで、前記変換手段からの電気信号に基づいて前記騒音及び振動のうちの少なくとも一方を測定する測定手段と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、往復運動する往復運動部材を備えた機械または機械部品が、前記往復運動部材を往復運動させる際に発生する騒音、振動を測定する騒音・振動の測定装置であって、前記往復運動部材を往復運動させ、行きまたは帰りのどちらか一方向に進行する際に、前記往復運動部材があらかじめ設定した測定位置に達したことを検出する検出手段と、前記騒音および振動のうちの少なくとも一方を電気信号に変換して出力する変換手段と、前記検出手段が前記往復運動部材が測定位置に達したことを検出したタイミングで、前記変換手段からの電気信号に基づいて前記騒音及び振動のうちの少なくとも一方を測定する測定手段と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１２】
このように請求項１および請求項３に係る発明では、測定対象のテーブルなどの往復運動部材が任意の一点を通過する瞬間の騒音を繰り返し測定できるので、測定条件を一定の下で、精度良く安定した騒音、振動が測定できる。
また、請求項１および請求項３に係る発明では、測定点（測定位置）を任意に設定できるので、例えば往復運動部材が最高速度に達した瞬間のような一瞬の繰り返しを捕らえて測定できる。
【００１３】
さらに、請求項２および請求項４に係る発明では、往復運動部材が行きまたは帰りのどちらか一方向に進行する際に、任意の測定位置を通過するタイミングで騒音や振動を測定できるので、騒音、振動を解析する場合に測定条件を詳細に設定可能となる。
また、本発明の第２の目的を達成するために、請求項５および請求項６に記載の発明は、以下のように構成した。
【００１４】
すなわち、請求項５に記載の発明は、往復運動する往復運動部材を備えた直動装置を生産する方法であり、その生産過程において前記直動装置の騒音、振動を検査する検査工程を含んでいる直動装置の生産方法であって、前記検査工程において、前記往復運動部材を往復運動させ、その往復運動部材があらかじめ設定した測定位置に達したことを検出し、それを検出したタイミングで前記直動装置が発生する騒音及び振動のうちの少なくとも一方の測定を行うようにしたことを特徴とするものである。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、往復運動する往復運動部材を備えた直動装置を生産する方法であり、その生産過程において前記直動装置の騒音、振動を検査する検査工程を含んでいる直動装置の生産方法であって、前記検査工程において、前記往復運動部材を往復運動させ、行きまたは帰りのどちらか一方向に進行する際に、前記往復運動部材があらかじめ設定して測定位置に達したことを検出し、それを検出したタイミングで前記直動装置が発生する騒音及び振動のうちの少なくとも一方の測定を行うようにしたことを特徴とするものである。
【００１６】
このように請求項５および請求項６に係る発明によれば、直動装置の往復運動部材が任意の一点を通過する瞬間の騒音や振動を測定できる。このため、生産ラインを流れる各直動装置について騒音や振動の測定条件を一定にでき、その一定の測定条件の下で、精度良く安定した騒音や騒音の測定が可能である。この結果、直動装置の製造品質の向上を図ることが可能となる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
本発明の騒音・振動測定装置の第１実施形態について、図１を参照して説明する。
この第１実施形態は、図１に示すように、直動の搬送装置１のテーブル２が往復運動をするときに発生する騒音を測定する騒音測定装置であり、近接センサ４と、マイクロフォン５と、騒音測定器６とを備えている。
【００１８】
搬送装置１は、往復運動部材としてのテーブル２が案内溝３に案内されて移動できるようになっており、かつ、図示しないモータなどによりテーブル２が案内溝３に案内されて往復運動ができる機構（図示せず）を備えている。
近接センサ４は、搬送装置１のテーブル２が予め定めてある測定位置（測定点）Ｐを通過したこと検出するセンサであり、例えば図１の位置に配置されている。この近接センサ４の検出信号は、トリガ信号として騒音測定器６に供給されるようになっている。
【００１９】
マイクロフォン５は、搬送装置１のテーブル２が往復運動する際に発生する騒音を集め、これを電気信号に変換するものである。マイクロフォン５は、例えば、測定位置Ｐにテーブル２が達したときに、そのテーブル２の上面と対抗する上方の位置に配置されている。マイクロフォン５から出力される電気信号は、騒音測定器６に供給されるようになっている。
【００２０】
なお、マイクロフォン５からの出力信号は、必要の応じて増幅器（図示せず）で増幅して騒音測定器６により供給するようにしても良い。
騒音測定器６は、近接センサ４からの検出信号が供給されるタイミングで、その検出信号をトリガとして、そのときのマイクロフォン５からの出力信号に基づき、騒音の強度（大きさ）の測定、騒音のスペクトル（周波数分布）解析などを行うものであり、例えばＦＦＴアナライザなどが使用される。
【００２１】
次に、このような構成からなる第１実施形態の騒音測定装置を使用して搬送装置１の騒音を測定する測定方法の一例について説明する。
まず、その測定対象である搬送装置１を、図１に示すように所定の位置に配置させる。次に、搬送装置１がテーブル２の往復運動を開始させると、テーブル２は例えば図１の右端から左端に向けて移動を開始する。
【００２２】
テーブル２が移動すると、この移動に伴って搬送装置１は騒音を発生するので、マイクロフォン５は、その騒音を集めて電気信号に変換し、その変換した電気信号を騒音測定器６に出力している。その後、テーブル２が測定位置Ｐに達すると、近接センサ４は、テーブル２が測定位置Ｐに達した旨を検出し、その旨の検出信号を騒音測定器６に出力する。
【００２３】
騒音測定器６は、近接センサ４からの検出信号が供給されるタイミングで、それをトリガとして、そのときのマイクロフォン５からの出力信号に基づいて騒音の強度の測定、騒音のスペクトル解析などを行う。
その後、テーブル２は案内溝３の終端まで移動すると、逆方法に移動を開始して再び測定位置Ｐを通過するが、その通過の際にも、騒音測定器６はその通過の際の騒音を上記と同様に測定する。
【００２４】
以上説明したように、第１実施形態によれば、搬送装置１のテーブル２が任意の一点を通過する瞬間の騒音を繰り返し測定できるので、測定条件を一定の下で、精度良く安定した騒音の測定が可能である。
また、この第１実施形態によれば、測定点（測定タイミング）を任意に設定できるので、例えばテーブル２が最高速度に達した瞬間のような一瞬の繰り返しを捕らえて測定できる。
【００２５】
なお、上記の測定点を変更するには、搬送装置１のセット位置を図１のままとし、近接センサ４の設置位置を任意の位置に変更する方法と、近接センサ４の設置位置を図示の位置に固定したままとし、搬送装置２のセット位置を図示の位置から任意の位置に変更する方法とがある。
次に、図１に示す第１実施形態の騒音測定装置は、ボールねじ、リニアガイド、リニアモータなどの直動装置を生産する生産方法に使用できるので、それを使用した直動装置の生産方法について以下に説明する。
【００２６】
すなわち、ボールねじのような直動装置を生産する場合には、その生産過程の最終段階において、直動装置の騒音を検査する工程が含まれるので、その検査工程を、第１実施形態の騒音測定装置を使用して行う場合の一例について、以下に説明する。
この説明では、ボールねじのような直動装置を生産する生産ラインのうちの検査工程の領域に、図１に示すような第１実施形態の騒音測定装置が設置されているものとする。
【００２７】
いま、検査対象である直動装置が、その検査工程の領域に到達すると、その直動装置は、その検査位置にセットされる。すなわち、直動装置は、図１に示す搬送装置１の配置されていると同様の状態にセットされる。
次に、直動装置のテーブルのような往復運動部材の往復運動が開始され、その往復運動部材は、所定方向に移動を開始する。
【００２８】
往復運動部材の移動に伴い、直動装置は騒音を発生するので、マイクロフォン５は、その騒音を集めて電気信号に変換し、その変換した電気信号を騒音測定器６に出力している。その後、往復運動部材が測定位置Ｐに達すると、近接センサ４は、往復運動部材が測定位置Ｐに達した旨を検出し、その旨の検出信号を騒音測定器６に出力する。
【００２９】
騒音測定器６は、近接センサ４からの検出信号が供給されるタイミングで、それをトリガとして、マイクロフォン５からの出力信号に基づいて騒音の強度の測定、騒音のスペクトル解析などを行う。
その後、往復運動部材は終端まで移動すると、逆方法に移動を開始して再び測定位置Ｐを通過するが、その通過の際にも、騒音測定器６はその通過の際の騒音を上記と同様に測定する。
【００３０】
以上説明したように、このような直動装置の生産方法によれば、直動装置の往復運動部材が任意の一点を通過する瞬間の騒音を測定できる。このため、生産ラインを流れる各直動装置について騒音の測定条件を一定にでき、その一定の測定条件の下で、精度良く安定した騒音の測定が可能である。この結果、直動装置の製造品質の向上を図ることが可能となる。
【００３１】
次に、本発明の騒音・振動測定装置の第２実施形態について、図１および図２を参照して説明する。
この第２実施形態は、図１と同様に搬送装置１の騒音を測定する騒音測定装置であるが、図１の騒音測定器６を、図２に示すように多チャンネルデータレコーダ１１に置き換えたものである。
【００３２】
すなわち、この第２実施形態は、図２に示すように、近接センサ４の検出信号とマイクロフォン５の出力信号とを、多チャンネルデータレコーダ１１の各入力端子にそれぞれ入力するようにしたものである。
多チャンネルデータレコーダ１１は、マイクロフォン５からの出力信号に基づいて時間とともに変化する騒音の強度（大きさ）などを求め、この求めた騒音の強度を、近接センサ４からの検出信号と併せて記録紙などに並列（同時）に記録できるようになっている。
【００３３】
次に、このような構成からなる第２実施形態の騒音測定装置を使用して搬送装置１の騒音を測定する測定方法の一例について説明する。
まず、その測定対象である搬送装置１を、図１に示すように所定の位置に配置させる。次に、搬送装置１がテーブル２の往復運動を開始させると、テーブル２は移動を開始する。
【００３４】
この移動に伴い搬送装置１は騒音を出し始め、この騒音がマイクロフォン５で集められ、その騒音が電気信号に変換されて多チャンネルデータレコーダ１１に出力される。一方、近接センサ４は、テーブル２の検出の有無に応じた検出信号を多チャネルデータレコーダ１１に出力する。
多チャンネルデータレコーダ１１は、マイクロフォン５からの出力信号に基づいて時間とともに変化する騒音の強度を求め、この求めた騒音の強度を、近接センサ４からの検出信号と並べて記録紙に同時に出力する。
【００３５】
ここで、近接センサ４が、テーブル２が測定位置Ｐに達したことを検出すると、その旨の検出信号を騒音測定器６に出力する。このときには、多チャンネルデータレコーダ１１は、騒音の強度に併せてその検出信号が検出された旨（例えば検出信号がＬレベルからＨレベルに変化）を並列に記録紙に出力する。
このため、この第２実施形態の騒音測定装置によれば、搬送装置１の騒音測定の際に、その騒音の強度の経時変化を観察しつつ、そのテーブル２が測定位置Ｐを通過したタイミングを知ることができる。これにより、その通過時の騒音を精度良く測定できる。
【００３６】
従って、第２実施形態によれば、上記の第１実施形態と同様な効果を奏することができる。
次に、本発明の測定装置の第３実施形態について、図１および図３を参照して説明する。
この第３実施形態は、図１と同様に搬送装置１の騒音を測定する騒音測定装置であるが、図１の近接センサ４と騒音測定器６との間にフリップフロップ１２を介在させ、搬送装置１のテーブル２が任意の方向に移動する場合にのみ、騒音の測定を行うようにしたものである。
【００３７】
その他の部分の構成は、図１に示す第１実施形態の騒音測定装置の構成と同じであるので、同一の構成要素には同一の符号を付してその説明は省略する。
次に、このような構成からなる第３実施形態の騒音測定装置を使用して搬送装置１の騒音を測定する測定方法の一例について説明する。
まず、その測定対象である搬送装置１を、図１に示すように所定の位置に配置させる。次に、搬送装置１がテーブル２の往復運動を開始させると、テーブル２は移動を開始する。
【００３８】
テーブル２が移動すると、この移動に伴って搬送装置１は騒音を発生するので、マイクロフォン５は、その騒音を集めて電気信号に変換し、その変換した電気信号を騒音測定器６に出力している。
テーブル２が、図１に示すように測定位置Ｐに達すると、近接センサ４は、テーブル２が測定位置Ｐに達したことを検出し、その検出信号によりフリップフロップ１２をセットするので、フリップフロップ１２の出力がＬレベルからＨレベルとなる。このフリップフロップ１２の出力は、騒音測定器６に供給される。
【００３９】
このため、騒音測定器６は、近接センサ４からの検出信号が供給されるタイミングで、それをトリガとして、そのときのマイクロフォン５からの出力信号に基づいて騒音の強度の測定、騒音のスペクトル解析などを行う。
その後、テーブル２は終端まで移動すると、逆方法に移動を開始して再び測定位置Ｐを通過するときには、近接センサ４はテーブル２が測定位置に達したことを検出する。この検出信号は、フリップフロップ１２に供給されるが、フリップフロップ１２の出力はＨレベルのままである。このため、騒音測定器６はトリガ信号が得られないので、騒音の測定は行わない。
【００４０】
そして、テーブル２が元の位置に戻ったことが確認されると、その確認を条件に、リセット端子１３にリセット信号が入力されるので、これによりフリップフロップ１２はリセットされる。このリセット動作は自動、手動のいずれであってもかまわない。
以上説明したように、第３実施形態によれば、搬送装置１のテーブル２を任意の方向に移動する場合に、任意の測定位置を通過するタイミングで騒音を測定できるので、騒音を解析する場合に測定条件を詳細に設定可能となる。
【００４１】
ここで、第３実施形態では、フリップフロップ１２を使用することにより、搬送装置１のテーブル２が任意の方向に進む際に得られる近接センサ４の検出信号を騒音測定器６に取り込むようにしたが、フリップフロップ１２をカウンタに代えるようにしても良い。
すなわち、カウンタを複数のフリップフロップで構成し、その各フリップフロップの出力を選択的に騒音測定器６に供給するようにすれば、テーブル２の移動方法に応じて得られる近接センサ４の検出信号を、騒音測定器６が取り込むことができる。この結果、騒音測定器６は、テーブル２の行きの場合、またはその帰りの場合の騒音を測定できる。
【００４２】
なお、図２に示す第２実施形態の騒音測定装置、および図３に示す第３実施形態の騒音測定装置は、上記の第１実施形態の騒音測定装置と同様にボールねじ、リニアガイド、リニアモータなどの直動装置を生産する生産方法に使用できるが、上記と基本的に同様であるので、その説明はここでは省略する。
次に、本発明の騒音・振動測定装置の第４実施形態について、図４を参照しながら説明する。
【００４３】
この第４実施形態は、図４に示すように、直動の搬送装置１のテーブル２が往復運動をするときに発生する振動を測定する振動測定装置であり、近接センサ４と、振動センサ２１と、振動測定器２２とを備えている。
近接センサ４は、図１に示す近接センサ４と同様に構成されているので、その説明は省略する。
【００４４】
振動センサ２１は、搬送装置１の振動を測定する際に、そのテーブル２上に適宜手段により固定されて使用されるセンサであり、搬送装置１のテーブル２が往復運動する際に発生する振動を検出し、この検出した振動を電気信号に変換するようになっている。振動センサ２１からの電気信号は、移動自在な信号線２３を介して振動測定器２２に供給されるようになっている。
【００４５】
振動測定器２２は、近接センサ４からの検出信号が供給されるタイミングで、それをトリガとして振動センサ２１からの出力信号を取り込み、この取り込んだ出力信号に基づいて振動の強度の測定、振動のスペクトル解析などを行うものであり、例えばＦＦＴアナライザなどが使用される。
次に、このような構成からなる第４実施形態の振動測定装置を使用して搬送装置１の振動を測定する測定方法の一例について説明する。
【００４６】
まず、その測定対象である搬送装置１を、図４に示すように所定の位置に配置させる。次に、搬送装置１がテーブル２上に振動センサ２１を適宜手段により固定させ、この状態でテーブル２の往復運動を開始させると、テーブル２は移動を開始する。
テーブル２が移動すると、この移動に伴って搬送装置１は振動を発生するので、振動センサ２１は、その振動を電気信号に変換し、その変換した電気信号を振動音測定器２２に出力している。その後、テーブル２が測定位置Ｐに達すると、近接センサ４は、テーブル２が測定位置Ｐに達した旨を検出し、その旨の検出信号を振動測定器２２に出力する。
【００４７】
振動測定器２２は、近接センサ４からの検出信号が供給されるタイミングで、それをトリガとして、そのときの振動センサ２１からの出力信号に基づいて振動の強度の測定、振動のスペクトル解析などを行う。
その後、テーブル２は終端まで移動すると、逆方法に移動を開始して再び測定位置Ｐを通過するが、その通過の際にも、振動測定器２２はその通過の際の振動を上記と同様に測定する。
【００４８】
以上説明したように、第４実施形態によれば、搬送装置１のテーブル２が任意の一点を通過する瞬間の振動を繰り返し測定できるので、測定条件を一定の下で、精度良く安定した振動の測定が可能である。
次に、図１に示す第４実施形態の振動測定装置は、ボールねじ、リニアガイド、リニアモータなどの直動装置を生産する生産方法に使用できるので、それを使用した直動装置の生産方法について以下に説明する。
【００４９】
すなわち、ボールねじのような直動装置を生産する場合には、その生産過程の最終段階において、直動装置の振動を検査する工程が含まれるので、その検査工程を、第４実施形態の振動測定装置を使用して行う場合の一例について、以下に説明する。
この説明では、ボールねじのような直動装置を生産する生産ラインのうちの検査工程の領域に、図４に示すような第４実施形態の振動測定装置が設置されているものとする。
【００５０】
いま、検査対象である直動装置が、その検査工程の領域に到達すると、その直動装置は、その検査位置にセットされる。すなわち、直動装置は、図４に示す搬送装置１の配置されていると同様の状態にセットされる。
次に、直動装置のテーブルなどの往復運動部材上に振動センサ２１が適宜手段で固定され、その状態で往復運動部材の往復運動が開始されると、往復運動部材は所定方向に移動を開始する。
【００５１】
往復運動部材の移動に伴い、直動装置は振動を発生するので、振動センサ２１は、その振動を電気信号に変換し、その変換した電気信号を振動測定器２２に出力している。その後、往復運動部材が測定位置Ｐに達すると、近接センサ４は、往復運動部材が測定位置Ｐに達した旨を検出し、その旨の検出信号を振動測定器２２に出力する。
【００５２】
振動測定器２２は、近接センサ４からの検出信号が供給されるタイミングで、それをトリガとして、そのときの振動センサ２１からの出力信号に基づいて振動の強度の測定、振動のスペクトル解析などを行う。
その後、往復運動部材は終端まで移動すると、逆方法に移動を開始して再び測定位置Ｐを通過するが、その通過の際にも、振動測定器２２はその通過の際の振動を上記と同様に測定する。
【００５３】
以上説明したように、このような直動装置の生産方法によれば、直動装置の往復運動部材が任意の一点を通過する瞬間の振動を測定できる。このため、生産ラインを流れる各直動装置について振動の測定条件を一定にでき、その一定の測定条件の下で、精度良く安定した振動の測定が可能である。この結果、直動装置の製造品質の向上を図ることが可能となる。
【００５４】
ここで、図４に示す第４実施形態は、振動センサ２１の出力信号に基づき振動測定器２２で振動測定を行うようにしたものであるが、その変形例について説明する。
まず、第１の変形例は、図２に示すような多チャンネルデータデコーダ１１を使用するものである。この場合には、多チャンネルデータデコーダ１１の入力端子に、近接センサ４の出力信号と振動センサ２１の出力信号をそれぞれ入力するように構成する。従って、この第１の変形例では、振動を測定するが、図２に示す第２実施形態と類似の構成となる。
【００５５】
次に、第２の変形例は、図４に示す近接センサ４と振動測定器２２との間に、図３に示すようなフリップフロップ２２を設けるようにしたものである。従って、この第２の変形例では、振動を測定するが、図３に示す第３実施形態と類似の構成となる。
なお、上記の第１〜第３実施形態は、搬送装置１の騒音を測定する騒音測定装置として説明し、上記の第４実施形態は、搬送装置１の振動を測定する振動測定装置として説明した。
【００５６】
しかし、本発明は、搬送装置１の騒音と振動とを同時に測定するようにしても良い。この場合には、その測定条件に応じて所望の騒音測定装置と振動測定装置とを組み合わせることになる。
なおまた、上記の実施形態において、テーブル２の速度が最高速度に達する位置で、近接センサ４がその検出信号を発生するように設定しておけば、テーブルが最高速度で運転されている瞬間の騒音や振動を測定することができる。
【００５７】
また、上記の実施形態では、テーブル２が測定位置に達した瞬間を検出するために、近接センサ４を使用するようにしたが、これに代えてフォトセンサ、赤外線センサなどを使用するようにしても良い。
【００５８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の騒音・振動測定方法およびその測定装置によれば、測定条件を一定の下で、精度良く安定した騒音、振動が測定できる。
また、本発明の騒音・振動測定方法およびその測定装置によれば、騒音、振動を測定する場合に測定条件を詳細に設定可能となる。
さらに、本発明の直動装置の生産方法によれば、生産ラインを流れる各直動装置について騒音や振動の測定条件を一定にでき、その一定の測定条件の下で、精度良く安定した騒音や騒音の測定が可能である。この結果、直動装置の製造品質の向上を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第２実施形態の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の第３実施形態の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の第４実施形態の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１　搬送装置
２　テーブル（往復運動部材）
３　案内溝
４　近接センサ
５　マイクロフォン
６　騒音測定器
１１　多チャンネルデータデコーダ
１２　フリップフロップ
２１　振動センサ
２２　振動測定器
【図１】
2004020521.tif 000003
【図２】
2004020521.tif 000004
【図３】
2004020521.tif 000005
【図４】
2004020521.tif 000006