(57)【要約】【課題】垂直磁気記録層のさらなる微細化により高密度記録を可能にする。【解決手段】垂直磁気記録層の下に、結晶粒子と炭化物またはホウ化物を含む分離相とを有する下地層、及びその下に結晶粒子を構成する元素の１つを含む下地層を設けた垂直磁気記録媒体。【選択図】    図１
2004303375.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性基板と、該非磁性基板上に形成された第１の下地層と、該第１の下地層上に形成され、結晶粒子及び該結晶粒子を取り囲む分離相を有する第２の下地層と、該第２の下地層上に形成された垂直磁気記録層とを有する垂直磁気記録媒体であって、
前記第１の下地層は、第２の下地層の該結晶粒子を構成する元素のうち少なくとも１つの元素を含み、
前記分離相は、炭化物及びホウ化物のうち少なくとも１つの化合物を含むことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
【請求項２】
前記第１の下地層と基板との間に、さらに軟磁性層を含むことを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項３】
前記分離相は、Ａｌ４Ｃ３、ＨｆＣ、Ｍｏ２Ｃ、ＮｂＣ、ＴａＣ、ＴｉＣ、ＶＣ、ＷＣ、ＺｒＣ、ＡｌＢ２、ＨｆＢ２、ＭｏＢ２、ＮｂＢ、ＮｂＢ２、ＴａＢ、ＴａＢ２、ＴｉＢ２、ＶＢ２、ＷＢ、ＺｒＢ２、ＣｒＢ、ＣｒＢ２、ＣｅＢ６、ＬａＢ６、及びＳｍＢ６からなる群から選択される少なくとも１つの化合物を含む請求項１または２に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項４】
前記第２の下地層は、前記化合物を１ないし５０ａｔ％含有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項５】
前記第２の下地層は、前記化合物を５ないし３０ａｔ％含有することを特徴とする請求項４に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項６】
前記結晶粒子は、面心立方格子及び六方稠密構造のうち少なくとも１つからなることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項７】
前記結晶粒子は、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｙ、Ｐｄ、Ｒｅ、及びＲｈからなる群から選択される少なくとも１種の元素を含む請求項１ないし６のいずれか６項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項８】
前記第１の下地層は、第２の下地層の該結晶粒子を構成する元素のうち少なくとも１つの元素を６０ａｔ％以上含有する請求項１ないし７のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項９】
前記垂直磁気記録層は、Ｃｏ、及びＰｔを含むことを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体と記録再生ヘッドとを具備することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項１１】
前記記録再生ヘッドは、単磁極記録ヘッドである請求項９に記載の磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録技術を用いたハードディスク装置等に用いられる磁気記録媒体、及びそれを用いた磁気記録再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータを中心に利用されている情報記録、再生を行う磁気記憶装置（ＨＤＤ）は、その大容量、安価性、データアクセスの早さ、データ保持の信頼性などの理由により、近年徐々に応用の幅を広げ、家庭用ビデオデッキ、オーディオ機器、車載ナビゲーションシステムなど様々な分野で利用されている。ＨＤＤの利用の幅が広がるにつれ、その記憶容量の高密度化の要求も増し、近年ＨＤＤの高密度化開発はますます激しさを増している。
【０００３】
現在、市販されている磁気記録再生装置には、面内磁気記録方式が利用されている。使用される磁気記録層は、情報を記録する磁性粒子が、基板に対して平行方向にその磁化容易軸を持つ。ここで、磁化容易軸とは磁化の向きやすい軸のことであり、Ｃｏ基合金の場合、Ｃｏの六方稠密構造のｃ軸のことを指す。面内磁気記録媒体では、記録密度が高密度になるにつれ、磁気記録層の記録ビットが小さくなりすぎ、その情報が熱的に消去されるいわゆる熱ゆらぎ効果によって、記録再生特性が悪化する可能性がある。さらに、高密度化につれ、記録ビット間の境界領域で発生する反磁界の影響により媒体から発生するノイズが増大する傾向がある。
【０００４】
これに対して、磁気記録層中の磁化容易軸が基板に対して、略垂直方向に配向したいわゆる垂直磁気記録方式は、高密度化の際にも記録ビット間の反磁界の影響が少なく、また高密度化においても静磁気的に安定であるために、面内記録方式に変わる技術として、近年大きな注目を集めている。垂直磁気記録媒体は一般に、硬質磁性材料の磁気記録層と、磁気記録層を配向させるための配向制御下地層と、磁気記録層の表面を保護する保護層から形成されている。この垂直磁気記録媒体には、さらに、磁気記録層への記録に用いられる磁気ヘッドが発生する磁束を集中させる役割を担う軟磁性裏打ち層を磁気記録層と基板との間に設けることもしばしば行われる。
【０００５】
垂直磁気記録媒体においても、記録密度の高密度化には、熱安定性を保ちながら低ノイズ化を実現することが望まれている。低ノイズ化を実現するための微細化には様々な方法があるが、一般には、磁気記録層の磁性粒子そのものを微細化する方法が用いられている。現在、面内磁気記録媒体及び垂直磁気記録媒体の両方に広く用いられているＣｏＣｒ系磁気記録層を例にとると、磁気記録層にＴａやＢを添加させたり、適当な温度で熱することにより、非磁性Ｃｒをその粒界に偏析させ、磁性粒子の微細化を試みてきた。しかし、垂直磁気記録媒体の場合は、面内磁気記録媒体よりＣｒ偏析の程度が弱いために、磁性粒子間の分離が不十分で、粒子間の磁気的相互作用が比較的大きいままとなっている。このため、記録ビット間の転移ノイズがうまく低減することができないという問題が起こっている。
【０００６】
また、磁性粒子を微細化する他の方法として、磁性層の下に、磁性層の配向や粒径を制御する目的で形成される配向制御下地層の粒径を微細にするという方法がある。例えば結晶粒子と、添加物として酸化物あるいは窒化物を用いて結晶粒界に形成された分離相とからなるいわゆるグラニュラ構造をもつ下地層を用いることで、その下地層を構成する結晶の微細化及び分離を図る方法がある（例えば、特許文献１参照）。また、添加物として例えば酸化チタン、酸化ケイ素等を使用し、磁気記録層及び下地層の両方をグラニュラ構造にする方法もある（例えば、特許文献２参照）。しかしながら、より高密度に対応するため、添加物の量を増加すると、磁気記録層の配向性の劣化や磁気特性劣化が起こりやすい。また、グラニュラ構造を持つ膜は、しばしば結晶粒子の微細化は達成されても、結晶粒子の配向性が良くない。このため、下地層上に形成される磁気記録層の微細化が達成できても、その結晶性が乱れ、磁気記録媒体として特性を十分引き出すことができないことが多い。このように、より高密度に対応できる垂直磁気記録媒体を得るには、さらなる構造の改善、特に下地層の改善が求められていた。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００３−３６５２５号公報
【０００８】
【特許文献２】
特開２００２−２５０３０号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第１の目的は、より高密度の記録が可能であり、磁気記録層の磁性粒子を微細化し、その結晶性を改善して、磁気記録層の結晶配向性の良好にせしめ、より高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体を得ることにある。
【００１０】
また、本発明の第２の目的は、磁気記録層の磁性粒子を微細化し、その結晶性を改善して、磁気記録層の結晶配向性を良好にせしめ、より高密度記録が可能な磁気記録再生装置を得ることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、非磁性基板と、該非磁性基板上に形成された第１の下地層と、該第１の下地層上に形成され、結晶粒子及び該結晶粒子を取り囲む分離相を有する第２の下地層と、該第２の下地層上に形成された垂直磁気記録層とを有する垂直磁気記録媒体であって、
前記第１の下地層は、第２の下地層の該結晶粒子を構成する元素のうち少なくとも１つの元素を含み、
前記分離相は、炭化物及びホウ化物のうち少なくとも１つの化合物を含むことを特徴とする垂直磁気記録媒体を提供する。
【００１２】
また、本発明は、非磁性基板、該非磁性基板上に形成された第１の下地層、該第１の下地層上に形成され、結晶粒子及び該結晶粒子を取り囲む分離相を有する第２の下地層、及び該第２の下地層上に形成された垂直磁気記録層を有する垂直磁気記録媒体と、
記録再生ヘッドとを有し、
前記第１の下地層は、第２の下地層の該結晶粒子を構成する元素のうち少なくとも１つの元素を含み、
前記分離相は、炭化物及びホウ化物のうち少なくとも１つの化合物を含むことを特徴とする磁気記録再生装置を提供する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の垂直磁気記録媒体は、非磁性基板、該非磁性基板上に順に形成された第１の下地層、第２の下地層、及び垂直磁気記録層を有する。
【００１４】
第２の下地層は、結晶粒子と、この結晶粒子を取り囲む分離相とを含み、この分離相は、炭化物及びホウ化物のうち少なくとも１つを含有する。
【００１５】
また、第１の下地層は、結晶粒子を構成する元素のうち少なくとも１つの元素を含む。
【００１６】
本発明の磁気記録再生装置は、上述の垂直磁気記録媒体を適用した装置であって、この垂直磁気記録媒体と、記録再生ヘッドとを含む。
【００１７】
本発明の垂直磁気記録媒体は、その第２の下地層が、多数の結晶粒子と、それを取り囲む分離相を含む。この分離相は、隣接する結晶粒子を分離する分離相としてその粒界に存在する。本発明では、分離相として、汎用されている酸化物や窒化物ではなく、炭化物やホウ化物を使用している。一般に、磁気記録媒体を作製する際に用いるスパッタリング法などの蒸着法を用いると、標的物質は原子状態となって基板上に飛来し、その後、再結合を経て化合物状態に戻る。このとき、酸化物や窒化物のような気体元素の化合物を用いた場合、製膜中に一部が酸素や窒素として気化してしまい、化合物中に欠損が発生する。一方、炭化物やホウ化物のような固体元素の化合物を用いると、気化が起こらないために欠損が起こりにくい。よって、結晶性にバラつきが見られず、静磁気特性や電磁変換特性の分散が少ないという利点を持つ。また、炭化物やホウ化物は、酸化物に比べてその融点が高く、結晶粒子と固溶しにくく、より安定である。また、窒化物は、炭化物やホウ化物と同程度に融点が高いけれども、磁性層中に拡散した場合に、Ｃｏ磁性粒子の磁気異方性を乱すという不利点を有しているのに対し、炭素やホウ素は、垂直磁気記録層に拡散しても磁気異方性に対して悪影響は与えない。また、特に垂直磁気記録層としてＣｒが添加されたＣｏＰｔ系磁性層を用いた場合には、製膜時に、炭素やホウ素が垂直磁気記録層にまで拡散したとしても、これらの炭素やホウ素はＣｒ偏析を促進するという効果を有するために、磁気記録媒体としての記録再生特性を改善することが可能となる。
【００１８】
また、本発明では、第２の下地層の結晶粒子を構成する物質を含む第１の下地層を、第２の下地層の下にさらに設ける。これにより、結晶粒子と分離相を有する膜に起こりがちなその結晶粒子の結晶性の乱れを改善することができる。この結晶性を改善することにより、第２の下地層上に形成される垂直磁気記録層の転移ノイズがより低減される。
【００１９】
本発明の垂直磁気記録媒体の一例を表す断面図を図１に示す。
【００２０】
図示するように、この磁気記録媒体１０は、
非磁性基板１上に、第１の下地層２、第２の下地層３、及び垂直磁気記録層４が順に積層された構造を有する。
【００２１】
第１の下地層は、結晶粒子を構成する元素のうち少なくとも１つの元素を６０ａｔ％ないし１００ａｔ％含有することが望ましい。
【００２２】
これにより、結晶性の改善がより良好となり、磁気記録層の転移ノイズがさらに低減される。
【００２３】
また、第２の下地層の結晶粒子として、垂直磁気記録層との結晶整合性を考慮し、面心立方構造や六方稠密構造を用いることが好ましい。これにより、結晶粒子及び分離相を有する第２の下地層とその上の垂直磁気記録層の結晶成長が改善され、微細でかつ結晶性の良い垂直磁気記録層が得られる。
【００２４】
このような結晶粒子の材料として、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｙ、Ｐｄ、Ｒｅ、及びＲｈからなる群から選択される少なくなくとも１種を使用できる。
【００２５】
第２の下地層の分離相は、Ａｌ４Ｃ３、ＨｆＣ、Ｍｏ２Ｃ、ＮｂＣ、ＴａＣ、ＴｉＣ、ＶＣ、ＷＣ、ＺｒＣ、ＡｌＢ２、ＨｆＢ２、ＭｏＢ２、ＮｂＢ、ＮｂＢ２、ＴａＢ、ＴａＢ２、ＴｉＢ２、ＶＢ２、ＷＢ、ＺｒＢ２、ＣｒＢ、ＣｒＢ２、ＣｅＢ６、ＬａＢ６、及びＳｍＢ６からなる群から選択されることが好ましい。
【００２６】
これらの化合物には、融点が高く安定であるという利点がある。さらに好ましくは、ＨｆＣ、ＮｂＣ、ＴａＣ、ＴｉＣ、ＷＣ、ＺｒＣ、ＨｆＢ２、ＮｂＢ、ＴａＢ２、ＴｉＢ２、ＶＢ２、ＣｅＢ６、ＬａＢ６、及びＳｍＢ６であり、これらの化合物を用いることにより、良好な結晶性を保ちつつ、かつ粒径を微細にするという効果がある。
【００２７】
また、第２の下地層中の分離相の含有量は、１ないし５０ａｔ％であることが好ましい。さらに好ましくは、５ないし３０ａｔ％である。分離相の含有量が上述の範囲内であると、垂直磁気記録層が形成される第２の下地層表面において、結晶粒子が露出し、分離相により結晶粒子が分離された表面構造をとりやすくなる。これにより、その上に形成される垂直磁気記録層の結晶配向性が良好となる。
【００２８】
分離相の含有量が１ａｔ％未満であると、第２の下地層の隣接する結晶粒子を分離する効果が低下し、垂直磁気記録層の磁性粒子の粒径が大きくなる傾向があり、５０ａｔ％を超えると、第２の下地層表面において、結晶粒子が分離相に覆われやすくなり、垂直磁気記録層の結晶配向性を向上する効果が低下する傾向がある。
【００２９】
また、垂直磁気記録層として、ＣｏＣｒ系合金、ＣｏＰｔ系合金、ＣｏＣｒＰｔ系合金、ＣｏＰｔＯ系合金、ＣｏＰｔＣｒＯ系合金、ＣｏＰｔ−ＳｉＯ２系合金、ＣｏＣｒＰｔＢ系合金、及びＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２系合金等を使用することが好ましく、特に好ましくはＣｏ、Ｃｒ、Ｐｔを含む合金を使用することができる。
【００３０】
これらの合金は、結晶配向性が良い、磁気異方性が強い、熱ゆらぎ耐性に優れているという利点を有する。
【００３１】
また、第１の下地層と基板との間には、軟磁性層を設けることができる。
【００３２】
高透磁率な軟磁性層を設けることにより、軟磁性層上に垂直磁気記録層を有するいわゆる垂直二層媒体が構成される。この垂直二層媒体において、軟磁性層は、垂直磁磁気記録層を磁化するための磁気ヘッド例えば単磁極ヘッドからの記録磁界を、水平方向に通して、磁気ヘッド側へ還流させるという磁気ヘッドの機能の一部を担っており、磁界の記録層に急峻で充分な垂直磁界を印加させ、記録再生効率を向上させる役目を果たし得る。
【００３３】
軟磁性材料としては、飽和磁束密度が高く、軟磁気特性が良好なＣｏＺｒＮｂ、ＣｏＴａＺｒ、ＦｅＣｏＢ、ＦｅＣｏＮ、ＦｅＴａＣ、ＦｅＴａＮ、ＦｅＮｉ、及びＦｅＡｌＳｉなどが用いられる。
【００３４】
また、軟磁性層と基板との間に、例えば面内硬磁性膜及び反強磁性層等のバイアス付与層を設けることができる。軟磁性層は磁区を形成しやすく、この磁区からスパイク状のノイズが発生することから、バイアス付与層の半径方向の一方向に磁界を印加することにより、その上に形成された軟磁性層にバイアス磁界をかけて磁壁の発生を防ぐことができる。バイアス付与層を積層構造として異方性を細かく分散して大きな磁区を形成しにくくすることもできる。
【００３５】
バイアス付与層材料としては、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＰｔＢ、ＣｏＣｒＰｔＴａ、ＣｏＣｒＰｔＣ、ＣｏＣｒＰｔＣｕＢ、ＣｏＣｒＲｕＢ、ＣｏＣｒＰｔＷＣ、ＣｏＣｒＰｔＷＢ、ＣｏＣｒＰｔＴａＮｄ、ＣｏＳｍ、ＣｏＰｔ、ＣｏＰｔＯ、ＣｏＣｒＰｔＯ、ＣｏＰｔ−ＳｉＯ２、及びＣｏＣｒＰｔＯ−ＳｉＯ２があげられる。
【００３６】
非磁性基板として、ガラス基板、Ａｌ系の合金基板あるいは表面が酸化したＳｉ単結晶基板，セラミックス，及びプラスチック等を使用することができる。さらに，それら非磁性基板表面にＮｉＰ合金などのメッキが施されている場合でも同様の効果が期待される。
【００３７】
磁気記録層上には、保護層を設けることができる。保護層としては、例えばＣ，ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ），ＳｉＮｘ，ＳｉＯｘ，ＣＮｘがあげられる。
【００３８】
スパッタリング法として、コンポジットターゲットを用いた単元のスパッタリング法及びそれぞれの物質のターゲットを用いた、多元同時スパッタリング法を用いることができる。
【００３９】
図２に、本発明の垂直磁気記録媒体の他の例を表す断面図を示す。
【００４０】
図示するように、この垂直磁気記録媒体２０は、基板１と第１の下地層２との間に、軟磁性層５が形成されていること以外は、図１と同様の構成を有する。
【００４１】
また、図３に、本発明の垂直磁気記録媒体のさらに他の例を表す断面図を示す。
【００４２】
図示するように、この垂直磁気記録媒体３０は、基板１と軟磁性層５との間に、バイアス付与層６が形成されていること以外は、図２と同様の構成を有する。
【００４３】
なお、第１の下地層、第２の下地層、軟磁性層、及びバイアス付与層は、いずれも例えばスパッタ法等の蒸着法により形成することができる。
【００４４】
さらに、図４に、本発明の磁気記録再生装置の一例を一部分解した斜視図を示す。
【００４５】
本発明に係る情報を記録するための剛構成の磁気ディスク１２１はスピンドル１２２に装着されており、図示しないスピンドルモータによって一定回転数で回転駆動される。磁気ディスク１２１にアクセスして情報の記録を行う記録ヘッド及び情報の再生を行うためのＭＲヘッドを搭載したスライダー１２３は、薄板状の板ばねからなるサスペンション１２４の先端に取付けられている。サスペンション１２４は図示しない駆動コイルを保持するボビン部等を有するアーム１２５の一端側に接続されている。
【００４６】
アーム１２５の他端側には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ１２６が設けられている。ボイスコイルモータ１２６は、アーム１２５のボビン部に巻き上げられた図示しない駆動コイルと、それを挟み込むように対向して配置された永久磁石および対向ヨークにより構成される磁気回路とから構成されている。
【００４７】
アーム１２５は、固定軸１２７の上下２カ所に設けられた図示しないボールベアリングによって保持され、ボイスコイルモータ１２６によって回転揺動駆動される。すなわち、磁気ディスク１２１上におけるスライダー１２３の位置は、ボイスコイルモータ１２６によって制御される。なお、図４中、１２８は蓋体を示している。
【００４８】
【実施例】
以下、実施例を示し、本発明を具体的に説明する。
【００４９】
実施例１
２．５インチ磁気ディスク用のガラス基板からなる非磁性基板を用意した。
【００５０】
１×１０−５Ｐａの真空度の真空チャンバー内に非磁性基板を設置し、基板温度を２５０℃まで加熱して、ガス圧０．６ＰａのＡｒ雰囲気中でＤＣマグネトロンスパッタリングを行った。
【００５１】
まず、非磁性基板をターゲットに対向するように配置し、ＤＣ５００Ｗをターゲットに放電し、裏打ち非磁性層として、Ｃｒ層を厚さ４０ｎｍ形成した。その上に厚さ２５ｎｍになるようにバイアス付与層として、ＣｏＣｒＰｔ強磁性層を製膜した。得られたＣｏＣｒＰｔ強磁性層上に、厚さ２００ｎｍのＣｏＺｒＮｂ軟磁性層を形成した。
【００５２】
その後、１×１０−５Ｐａの真空度の真空チャンバー内において、基板温度を室温まで低下させた。ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層上に、第１の下地層として、Ｐｔターゲットを用いて、ＤＣ５００Ｗで放電し、厚さ５ｎｍになるように製膜してＰｔ層を形成した。次に、Ｐｔ層上に、第２の下地層として、Ｐｔ−２０ａｔ％ＷＣのコンポジットターゲットをＤＣ５００Ｗで放電させ、厚さ１０ｎｍまで製膜してＰｔ−ＷＣ膜を形成した。
【００５３】
その後、Ｃｏ−１６ａｔ％Ｃｒ−１０ａｔ％Ｐｔ−８ａｔ％ＳｉＯ２のコンポジットターゲットを用意し、Ｐｔ−ＷＣ下地膜上に、ＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２垂直磁気記録層を１５ｎｍ製膜した。
【００５４】
最後に、Ｃ保護層を７ｎｍの厚さで製膜した。
【００５５】
このように真空容器内で連続して製膜した基板を大気中に取り出した後、ディップ法によりパーフルオロポリエーテル系潤滑膜を１．５ｎｍの厚さに形成し、垂直磁気記録媒体を得た。
【００５６】
また、上記垂直磁気記録媒体の試験用媒体として、Ｐｔ−ＷＣ第２の下地層の上に垂直磁気記録層ＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２を形成しない以外は同様にして試験用媒体を得た。
【００５７】
図５に、得られた垂直磁気記録媒体の構成を表す概略断面図を示す。
【００５８】
図示するように、この垂直磁気記録媒体４０は、非磁性基板１上に、Ｃｒ非磁性膜１８、ＣｏＣｒＰｔ強磁性層１６、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層１５、Ｐｔ第１の下地層１２、Ｐｔ−ＷＣ第２の下地層１３、ＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２垂直磁気記録層１４、Ｃ保護層１７、及び図示しない潤滑層を順次積層した構造を有する。
【００５９】
まず、試験用媒体を用い、その第２の下地層に対して、透過型分析電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて、粒径分布を調べた。その結果、Ｐｔを主成分とした結晶粒子と、そのＰｔ粒子を取り囲むＷＣを主成分とした分離相を確認することができた。また結晶粒子の結晶粒径はおよそ５ないし７ｎｍであった。
【００６０】
また、第２の下地層の結晶配向性をＸ線回折測定を用いて調べたところ、Ｐｔ（１１１）のピークを観測した。
【００６１】
さらに、そのＰｔ（１１１）ピークに対して、ロッキングカーブ測定を行った。得られたピークの半値幅は５°という良好な値が得られ、結晶粒子の結晶性が良好であることが分かった。
【００６２】
また、得られた垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層に対してＴＥＭ測定を行い、垂直磁気記録層中の磁性粒子の粒径分布を調べた。その結果、５ないし７ｎｍの粒径分布を持った微細なＣｏ磁性粒子を観測することができた。
【００６３】
また、この垂直磁気記録層に対して、Ｘ線回折測定を行ったところ、強いＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２（００．２）ピークを観測した。このＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２（００．２）ピークに対してロッキングカーブ測定を行ったところ、ピークの半値幅は６°という良好な結晶性を得た。
【００６４】
得られた垂直磁気記録媒体について、電磁石を備えた着磁装置を用いて、円板上基板の半径方向外向きに１１８５Ａ／ｍ（１５ｋＯｅ）の磁界を印加し、バイアス付与層の強磁性層の面内半径方向への磁化を行った。
【００６５】
着磁された垂直磁気記録媒体について、米国ＧＵＺＩＫ社製リードライトアナライザ１６３２及びスピンスタンドＳ１７０１ＭＰを用いて、記録再生特性の評価を行った。記録再生ヘッドは、記録部に単磁極、再生素子に磁気抵抗効果を利用した、記録トラック幅０．２５μｍ、再生トラック幅０．１５μｍのヘッドを用いた。また、測定はディスクの回転数は４２００ｒｐｍで、中心より半径位置２２．２ｍｍと一定の位置で行った。
【００６６】
その結果、媒体のＳＮＲｍ（再生信号出力Ｓ  ：  線記録密度１１９ｋＦＣＩの出力、Ｎｍ  ：  ７１６ｋＦＣＩでのｒｍｓ値（ｒｏｏｔ  ｍｅａｎ  ｓｑｕａｒｅ））が２３．８ｄＢという良好な媒体を得ることができた。
【００６７】
比較例１
比較の垂直磁気記録媒体として、非磁性基板上に、第１の下地層として、Ｔｉのターゲットを用い、Ｔｉ層を５ｎｍの厚さで形成し、また第２の下地層としてＲｕターゲットを用いて、Ｒｕ層を２０ｎｍの厚さで形成した以外は、実施例１の垂直磁気記録媒体と同様にして垂直磁気記録媒体を得た。
【００６８】
得られた垂直磁気記録媒体は、第１の下地層、第２の下地層が異なること以外は、図５に示す垂直磁気記録媒体と同様の層構成を有する。
【００６９】
また、Ｒｕ第２の下地層の上に垂直磁気記録層を形成しない以外は、上記垂直磁気記録媒体と同様にして試験用媒体を得た。
【００７０】
得られた試験用媒体のＲｕ第２の下地層表面に対し、ＴＥＭを用いてその粒径分布を調べた。その結果、結晶粒径はおよそ１０ないし１３ｎｍであった。
【００７１】
また、第２の下地層の結晶配向性をＸ線回折測定を用いて調べたところ、Ｒｕ（００．２）のピークを観測した。そのＲｕ（００．２）ピークに対して、ロッキングカーブ測定を行った。得られたピークの半値幅は９°という値を得た。
【００７２】
また、得られた垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層に対してＴＥＭ測定を行い、垂直磁気記録層中の磁性粒子の粒径分布を調べた。その結果、１０ないし１４ｎｍの粒径分布を持つことが分かった。
【００７３】
また、この垂直磁気記録層に対して、Ｘ線回折測定を行ったところ、ＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２（００．２）ピークを観測した。
【００７４】
さらに、このＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２（００．２）ピークに対してロッキングカーブ測定を行ったところ、ピークの半値幅は１０°という値を得た。
【００７５】
実施例１と同様に記録再生特性の評価を行ったところ、ＳＮＲｍが１９．８ｄＢであった。
【００７６】
実施例２
第２の下地層として、Ｐｔと、下記表１に示すような様々な金属ホウ化物との組合せからなるＰｔ−２０ａｔ％ＭＢｘコンポジットターゲット（Ｍ＝Ａｌ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｗ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｃｅ、Ｌａ、Ｓｍ、ｘ＝１、２、６）を用意した。Ｐｔ−２０ａｔ％ＷＣのコンポジットターゲットの代わりに、これらの様々な金属ホウ化物コンポジットターゲットを使用する以外は、実施例１と同様にして、垂直磁気記録媒体及び試験用媒体を作成した。
【００７７】
得られた垂直磁気記録媒体は、第１の下地層、第２の下地層が異なること以外は、図５に示す垂直磁気記録媒体と同様の層構成を有する。
【００７８】
試験用媒体の第２の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ４ないし９ｎｍであった。
【００７９】
得られた垂直磁気記録媒体に対して、実施例１と同様にしてＴＥＭ測定、Ｘ線測定、ロッキングカーブ測定、及び記録再生特性評価を行った。その結果を表１に併せて示す。
【００８０】
【表１】
2004303375.tif 000003
【００８１】
表１から、ＡｌＢ２、ＨｆＢ２、ＭｏＢ２、ＮｂＢ、ＮｂＢ２、ＴａＢ、ＴａＢ２、ＴｉＢ２、ＶＢ２、ＷＢ、ＺｒＢ２、ＣｒＢ、ＣｒＢ２、ＣｅＢ６、ＬａＢ６、及びＳｍＢ６等の様々なホウ化物を用いると、比較例１の従来の媒体よりも、良い特性を示すことが分かった。
【００８２】
実施例３
第２の下地層として、Ｒｕと、下記表２に示すような様々な金属炭化物との組合せからなるＲｕ−１０ａｔ％ＭｘＣｙコンポジットターゲット（Ｍ＝Ａｌ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｗ、Ｚｒ、ｘ＝１、２、４、ｙ＝１、３）を用意した。
【００８３】
Ｐｔ−２０ａｔ％ＷＣのコンポジットターゲットの代わりに、これらの様々な金属炭化物コンポジットターゲットを使用し、第１の下地層として第２の下地層の結晶粒子を構成するＲｕを用いた以外は実施例１と同様にして、垂直磁気記録媒体及び試験用媒体を作成した。
【００８４】
得られた垂直磁気記録媒体は、第１の下地層、第２の下地層が異なること以外は、図５に示す垂直磁気記録媒体と同様の層構成を有する。
【００８５】
試験用媒体の第２の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ４ないし９ｎｍであった。
【００８６】
得られた垂直磁気記録媒体に対して、実施例１と同様にしてＴＥＭ測定、Ｘ線測定、ロッキングカーブ測定、及び記録再生特性評価を行った。その結果を表２に併せて示す。
【００８７】
【表２】
2004303375.tif 000004
【００８８】
表２から分かるように、Ａｌ４Ｃ３、ＨｆＣ、Ｍｏ２Ｃ、ＮｂＣ、ＴａＣ、ＴｉＣ、ＶＣ、ＷＣ、及びＺｒＣ等の様々な炭化物を用いると、比較例１の従来の媒体よりも、良い特性を示すことが分かった。
【００８９】
実施例４
第２の下地層として、下記表３に示すように、Ｒｕと様々な金属ホウ化物との組合せからなるコンポジットターゲットＲｕ−ＭＢｘ（Ｍ＝Ａｌ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｗ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｃｅ、Ｌａ、Ｓｍ、ｘ＝１、２、６）を、ホウ化物の添加量を種々変化させて用意した。
【００９０】
Ｐｔ−２０ａｔ％ＷＣのコンポジットターゲットの代わりに、これらの様々なコンポジットターゲットを使用し、第１の下地層として第２の下地層の結晶粒子を構成するＲｕを用いた以外は実施例１と同様にして、垂直磁気記録媒体及び試験用媒体を作成した。
【００９１】
得られた垂直磁気記録媒体は、第１の下地層、第２の下地層が異なること以外は、図５に示す垂直磁気記録媒体と同様の層構成を有する。
【００９２】
試験用媒体の第２の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ４ないし９ｎｍであった。
【００９３】
得られた垂直磁気記録媒体に対して、実施例１と同様にして記録再生特性評価を行った。その結果を表３に併せて示す。
【００９４】
【表３】
2004303375.tif 000005
【００９５】
表３から、ＡｌＢ２、ＨｆＢ２、ＭｏＢ２、ＮｂＢ、ＮｂＢ２、ＴａＢ、ＴａＢ２、ＴｉＢ２、ＶＢ２、ＷＢ、ＺｒＢ２、ＣｒＢ、ＣｒＢ２、ＣｅＢ６、及びＳｍＢ６等の様々なホウ化物について、Ｒｕに対するその添加量が１ないし５０ａｔ％でより良い特性を示すことが分かった。また、さらに望ましくは、Ｒｕに対する添加量が５ないし３０ａｔ％の場合であることが分かった。
【００９６】
実施例５
第２の下地層として、様々な組成比を持つＰｔと金属炭化物の組合せからなるコンポジットターゲットＰｔ−ＭｘＣｙ（Ｍ＝Ａｌ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｗ、Ｚｒ、ｘ＝１、２、４、ｙ＝１、３）を用意した。下記表４に、使用した金属炭化物とその添加量を示す。Ｐｔ−２０ａｔ％ＷＣのコンポジットターゲットの代わりに、これらの様々な金属炭化物のコンポジットターゲットを使用する以外は、実施例１と同様にして、垂直磁気記録媒体及び試験用媒体を作成した。
【００９７】
得られた垂直磁気記録媒体は、第１の下地層、第２の下地層が異なること以外は、図５に示す垂直磁気記録媒体と同様の層構成を有する。
【００９８】
試験用媒体の第２の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ４ないし９ｎｍであった。
【００９９】
得られた垂直磁気記録媒体に対して、記録再生特性評価を行った。その結果を下記表４に併せて示す。
【０１００】
【表４】
2004303375.tif 000006
【０１０１】
表４から、Ａｌ４Ｃ３、ＨｆＣ、Ｍｏ２Ｃ、ＮｂＣ、ＴａＣ、ＴｉＣ、ＶＣ、ＷＣ、及びＺｒＣ等の様々な炭化物の組成量が、Ｐｔに対して１ないし５０ａｔ％で良い特性を示すことが分かる。さらに望ましくは、Ｐｔに対する添加量が５ないし３０ａｔ％の場合である。
【０１０２】
実施例６
第２の下地層として、下記表５に示すような様々な金属と炭化物の組合せからなるＭ−１５ａｔ％ＴｉＣ（Ｍ＝Ｐｔ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｙ、Ｒｅ、Ｒｈ）コンポジットターゲットを使用し、さらに第１の下地層として、第２の下地層に合わせた金属Ｍ（Ｍ＝Ｐｔ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｙ、Ｒｅ、Ｒｈ）を各々使用した以外は、実施例１と同様にして、垂直磁気記録媒体及び試験用媒体を作成した。
【０１０３】
得られた垂直磁気記録媒体は、第１の下地層、第２の下地層が異なること以外は、図５に示す垂直磁気記録媒体と同様の層構成を有する。
【０１０４】
試験用媒体の第２の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ４ないし９ｎｍであった。
【０１０５】
得られた垂直磁気記録媒体に対して、実施例１と同様にしてＴＥＭ測定、Ｘ線測定、ロッキングカーブ測定、及び記録再生特性評価を行った。その結果を表５に示す。
【０１０６】
【表５】
2004303375.tif 000007
【０１０７】
表５から、第２の下地層として様々なＭ−ＴｉＣ（Ｍ＝Ｐｔ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｙ、Ｒｅ、Ｒｈ）を用いて、さらに第２の下地層と同じＭ（Ｍ＝Ｐｔ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｙ、Ｒｅ、Ｒｈ）を第１の下地層として用いた本発明の垂直磁気記録媒体は、比較例１の従来の媒体よりも、良い特性を示すことが分かった。
【０１０８】
実施例７
第２の下地層として、下記表６に示すように、様々な金属とホウ化物の組合せからなるＭ−１５ａｔ％ＨｆＢ２（Ｍ＝Ｐｔ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｙ、Ｒｅ、Ｒｈ）コンポジットターゲットを使用し、さらに、第１の下地層として、第２の下地層に合わせた金属Ｍ（Ｍ＝Ｐｔ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｙ、Ｒｅ、Ｒｈ）ターゲットを使用すること以外は実施例１と同様にして、垂直磁気記録媒体及び試験用媒体を作成した。
【０１０９】
得られた垂直磁気記録媒体は、第１の下地層、第２の下地層が異なること以外は、図５に示す垂直磁気記録媒体と同様の層構成を有する。
【０１１０】
試験用媒体の第２の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ５ないし８ｎｍであった。
【０１１１】
得られた垂直磁気記録媒体に対して、実施例１と同様にしてＴＥＭ測定、Ｘ線測定、ロッキングカーブ測定、記録再生特性評価を行った。その結果を表６に示す。
【０１１２】
【表６】
2004303375.tif 000008
【０１１３】
表６から、第２の下地層として様々なＭ−ＨｆＢ２（Ｍ＝Ｐｔ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｙ、Ｒｅ、Ｒｈ）を用い、さらに第２の下地層と同じＭ（Ｍ＝Ｐｔ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｙ、Ｒｅ、Ｒｈ）を第１の下地層として用いた本発明の垂直磁気記録媒体が、比較例１の従来の媒体よりも、良い特性を示すことが分かった。
【０１１４】
実施例８
第１の下地層として、様々な組成比を持つＲｕ−ｘ  ａｔ％Ｃｏコンポジットターゲットを用意し、第１の下地層の組成比を変化させて使用し、また、第２の下地層として、Ｒｕ−２５ａｔ％ＶＣターゲットを用意し、第２の下地層にＲｕ−２５ａｔ％ＶＣを形成した以外は、実施例１と同様にして、垂直磁気記録媒体及び試験用媒体を作成した。
【０１１５】
得られた垂直磁気記録媒体は、第１の下地層、第２の下地層が異なること以外は、図５に示す垂直磁気記録媒体と同様の層構成を有する。
【０１１６】
試験用媒体の第２の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ６ないし１１ｎｍであった。
【０１１７】
得られた垂直磁気記録媒体に対して、ＴＥＭ測定、記録再生特性評価を行った。
【０１１８】
その結果として、図６にＲｕ−ｘ  ａｔ％ＣｏのＣｏ含有率と、ＳＮＲｍ及び磁性粒子の平均粒径との関係を表すグラフ図を示す。
【０１１９】
図中、曲線１０１は、ＳＮＲｍを、曲線１０２は、磁性粒子の平均粒径を各々示す。
【０１２０】
図６から、第１の下地層のＲｕ−ｘ  ａｔ％Ｃｏの組成比が、Ｃｏが４０ａｔ％以下、すなわちＲｕが６０ａｔ％以上で、本発明の垂直磁気記録媒体が、良い特性を示すことが分かった。
【０１２１】
実施例９
実施例１と同様にして２．５インチ磁気ディスク用のガラス基板からなる非磁性基板上に、Ｃｒ層、ＣｏＣｒＰｔ強磁性層、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層を各々形成した。
【０１２２】
次に、基板温度を下げることなく、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性層上に、第１の下地層として、Ｐｔターゲットを用いて、ＤＣ５００Ｗで放電し、厚さ５ｎｍになるように製膜してＰｔ層を形成した。さらに、Ｐｔ層上に、第２の下地層として、Ｐｔ−３０ａｔ％ＣｅＢ６をＤＣ５００Ｗで放電させ、厚さ１０ｎｍまで製膜してＰｔ−ＣｅＢ６層を形成した。
【０１２３】
その後、Ｃｏ−１８ａｔ％Ｃｒ−１６ａｔ％Ｐｔ−１ａｔ％Ｂのターゲットを用意し、Ｐｔ−ＣｅＢ６下地膜上に、ＣｏＣｒＰｔＢ垂直磁気記録層２５ｎｍ製膜した。
【０１２４】
最後に、Ｃ保護層を７ｎｍの厚さで製膜した。
【０１２５】
このように真空容器内で連続して製膜した基板を大気中に取り出した後、ディップ法によりパーフルオロポリエーテル系潤滑膜を１．５ｎｍの厚さに形成し、垂直磁気記録媒体を得た。
【０１２６】
得られた垂直磁気記録媒体は、第１の下地層、第２の下地層が異なること以外は、図５に示す垂直磁気記録媒体と同様の層構成を有する。
【０１２７】
また、上記垂直磁気記録媒体の試験用媒体として、第２の下地層の上にＣｏＣｒＰｔＢ垂直磁気記録層を形成しない以外は同様にして試験用媒体を得た。
【０１２８】
試験用媒体の第２の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ５ないし８ｎｍであった。
【０１２９】
得られた垂直磁気記録媒体に対して、実施例１と同様にしてＴＥＭ測定、Ｘ線測定、ロッキングカーブ測定、及び記録再生特性評価を行った。
【０１３０】
その結果、垂直磁気記録層は５〜９ｎｍの粒径分布を持つことが分かった。
【０１３１】
この垂直磁気記録層に対して、Ｘ線回折測定を行ったところ、ＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークを観測した。
【０１３２】
このＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークに対してロッキングカーブ測定を行ったところ、ピークの半値幅は６°という値を得た。
【０１３３】
また、垂直磁気記録媒体について、実施例１と同様に記録再生特性の評価を行ったところ、ＳＮＲｍが２３．５ｄＢであった。
【０１３４】
比較例２
従来の垂直磁気記録媒体として、非磁性基板上に、第１の下地層として、Ｔｉのターゲットを用い、Ｔｉ膜を５ｎｍの厚さで形成し、また第２の下地層としてＲｕターゲットを用いて、Ｒｕ膜を２０ｎｍの厚さで形成した以外は、実施例９と同様にして垂直磁気記録媒体を得た。
【０１３５】
得られた垂直磁気記録媒体は、第１の下地層、第２の下地層が異なること以外は、図５に示す垂直磁気記録媒体と同様の層構成を有する。
【０１３６】
また、Ｒｕ第２の下地層の上に垂直磁気記録層を形成しない以外は、上記垂直磁気記録媒体と同様にして試験用媒体を得た。
【０１３７】
得られた試験用媒体のＲｕ第２の下地層表面に対し、ＴＥＭを用いてその粒径分布を調べた。その結果、結晶粒径はおよそ１２ないし１６ｎｍであった。
【０１３８】
得られた垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層に対してＴＥＭ測定を行い、垂直磁気記録層中の磁性粒子の粒径分布を調べた。その結果、１２〜１６ｎｍの粒径分布を持つことが分かった。
【０１３９】
この垂直磁気記録層に対して、Ｘ線回折測定を行ったところ、ＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークを観測した。また、
ＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークに対してロッキングカーブ測定を行ったところ、ピークの半値幅は１２°という値を得た。
【０１４０】
この垂直磁気記録媒体について、実施例１と同様に記録再生特性の評価を行ったところ、ＳＮＲｍが１８．８ｄＢであった。
【０１４１】
比較例３
非磁性基板上に、下地層として、酸化コバルト（Ｃｏ３Ｏ４）を６５質量％、酸化シリコン（ＳｉＯ２）と酸化チタン（ＴｉＯ２）のモル比が１：１の混合物３５質量％からなる焼結ターゲットを用いて、厚さ１０ｎｍの配向制御膜を形成し、第２の下地層を形成しないこと以外は、実施例９の垂直磁気記録媒体と同様にして垂直磁気記録媒体及び試験用媒体を得た。
【０１４２】
試験用媒体の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ１２ないし１４ｎｍであった。
【０１４３】
得られた垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層に対してＴＥＭ測定を行い、垂直磁気記録層中の磁性粒子の粒径分布を調べた。その結果、１３〜１５ｎｍの粒径分布を持つことが分かった。
【０１４４】
また、この垂直磁気記録層に対して、Ｘ線回折測定を行ったところ、ＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークを観測した。
【０１４５】
このＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークに対してロッキングカーブ測定を行ったところ、ピークの半値幅は１４°という値を得た。
【０１４６】
得られた垂直磁気記録媒体について、実施例１と同様に記録再生特性の評価を行ったところ、ＳＮＲｍが１５．２ｄＢであった。
【０１４７】
比較例４
下地層として、酸化コバルト（Ｃｏ３Ｏ４）の代わりに、組成の異なる酸化コバルト（ＣｏＯ）を用いる以外は、比較例３と同様にして垂直磁気記録媒体及び試験用媒体を得た。
【０１４８】
試験用媒体の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ１０ないし１２ｎｍであった。
【０１４９】
得られた垂直磁気記録媒体について、実施例９と同様にして、ＴＥＭ測定、Ｘ線測定、ロッキングカーブ測定、記録再生特性評価を行った。その結果、１０〜１２ｎｍの粒径分布を持つことが分かった。
【０１５０】
また、この垂直磁気記録層に対して、Ｘ線回折測定を行ったところ、ＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークを観測した。
【０１５１】
このＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークに対してロッキングカーブ測定を行ったところ、ピークの半値幅は１３°という値を得た。
【０１５２】
また、垂直磁気記録媒体について、実施例１と同様に記録再生特性の評価を行ったところ、ＳＮＲｍが１７．２ｄＢであった
比較例５
下地層として、酸化コバルト（Ｃｏ３Ｏ４）の代わりに、Ｃｒ−２０ａｔ％Ｔｉを用いる以外は、比較例３と同様にして垂直磁気媒体及び試験用媒体を得た。
【０１５３】
試験用媒体の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ１２ないし１６ｎｍであった。
【０１５４】
実施例１と同様にして、ＴＥＭ測定、Ｘ線測定、ロッキングカーブ測定、記録再生特性評価を行った。その結果、１３〜１６ｎｍの粒径分布を持つことが分かった。
【０１５５】
また、この垂直磁気記録層に対して、Ｘ線回折測定を行ったところ、ＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークを観測した。
【０１５６】
このＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークに対してロッキングカーブ測定を行ったところ、ピークの半値幅は１１°という値を得た。
【０１５７】
また、この垂直磁気記録媒体について、実施例１と同様に記録再生特性の評価を行ったところ、ＳＮＲｍが１４．６ｄＢであった。
【０１５８】
実施例１０
第２の下地層として、Ｐｔと様々な金属の炭化物であるＰｔ−３０ａｔ％ＭｘＣｙコンポジットターゲット（Ｍ＝Ａｌ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｗ、Ｚｒ、ｘ＝１、２、４、ｙ＝１、３）を用意し、第２の下地層の炭化物の材料を下記表７のように変化させた以外は、実施例９と同様にして、垂直磁気記録媒体及び試験用媒体を作成した。
【０１５９】
試験用媒体の第２の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ５ないし９ｎｍであった。
【０１６０】
得られた垂直磁気記録媒体に対して、実施例１と同様にしてＴＥＭ測定、Ｘ線測定、ロッキングカーブ測定、記録再生特性評価を行った。その結果を表７に示す。
【０１６１】
【表７】
2004303375.tif 000009
【０１６２】
表７から、Ａｌ４Ｃ３、ＨｆＣ、Ｍｏ２Ｃ、ＮｂＣ、ＴａＣ、ＴｉＣ、ＶＣ、ＷＣ、及びＺｒＣ等の様々な炭化物を用いると、比較例２の従来の媒体よりも、良い特性を示すことが分かる。
【０１６３】
実施例１１
第２の下地層として、Ｒｕと金属ホウ化物コンポジットターゲットＲｕ−２０ａｔ％ＭＢｘ（Ｍ＝Ａｌ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｗ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｃｅ、Ｌａ、Ｓｍ、ｘ＝１、２、６）を用意し、第２の下地層のホウ化物の材料を変化させ、さらに第１の下地層として第２の下地層の結晶粒子を構成するＲｕを用いた以外は、実施例９と同様にして、垂直磁気記録媒体及び試験用媒体を作成した。
【０１６４】
試験用媒体の第２の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ５ないし９ｎｍであった。
【０１６５】
得られた垂直磁気記録媒体に対して、実施例９と同様にしてＴＥＭ測定、Ｘ線測定、ロッキングカーブ測定、記録再生特性評価を行った。その結果を下記表８に示す。
【０１６６】
【表８】
2004303375.tif 000010
【０１６７】
表８から、ＡｌＢ２、ＨｆＢ２、ＭｏＢ２、ＮｂＢ、ＮｂＢ２、ＴａＢ、ＴａＢ２、ＴｉＢ２、ＶＢ２、ＷＢ、ＺｒＢ２、ＣｒＢ、ＣｒＢ２、ＣｅＢ６、ＬａＢ６、及びＳｍＢ６等の様々なホウ化物を用いると、比較例２の従来の媒体よりも、良い特性を示すことが分かった。
【０１６８】
実施例１２
垂直磁気記録媒体として、Ｃｒ非磁性層、ＣｏＣｒＰｔ強磁性層、及びＣｏＺｒＮｂ軟磁性層を製膜しない以外は、実施例９と同様にして、垂直磁気記録媒体及び試験用媒体を作製した。
【０１６９】
図７に、本発明の垂直磁気記録媒体のさらに他の例の構成を表す断面図を示す。
【０１７０】
図示するように、垂直磁気記録媒体５０は、非磁性基板１上に、Ｐｔ第１の下地層２２、Ｐｔ−ＣｅＢ６第２の下地層２３、ＣｏＣｒＰｔＢの垂直磁気記録層２４、Ｃ保護層２７、及び図示しない潤滑膜を順次積層した構成を有する。
【０１７１】
試験用媒体の第２の下地層表面をＴＥＭにて観察したところ、結晶粒子と、それを取り囲む分離相とを確認できた。また、結晶粒径はおよそ５ないし７ｎｍであった。
【０１７２】
得られた垂直磁気記録媒体に対して、実施例９と同様にしてＴＥＭ測定、Ｘ線測定、ロッキングカーブ測定を行った。その結果、垂直磁気記録層は５〜８ｎｍの粒径分布を持つことが分かった。
【０１７３】
また、この垂直磁気記録層に対して、Ｘ線回折測定を行ったところ、ＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークを観測した。
【０１７４】
このＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークに対してロッキングカーブ測定を行ったところ、ピークの半値幅は５°という値を得た。
【０１７５】
この垂直磁気記録媒体について、磁気抵抗効果を用いた記録トラック幅０．２５μｍ、再生トラック幅０．１５μｍのリング型ヘッドを用いて、記録再生特性の評価を行ったところ、ＳＮＲｍが２１．５ｄＢであった。
【０１７６】
比較例６
第１の下地層として、Ｔｉのターゲットを用いて、Ｔｉ膜を５ｎｍの厚さで形成し、また、第２の下地層としてＲｕターゲットを用いて、Ｒｕ膜を厚さ２０ｎｍの厚さで形成した以外は、実施例１２と同様にして従来の垂直磁気記録媒体を得た。
【０１７７】
得られた垂直磁気記録媒体は、第１の下地層及び第２の下地層が異なる以外は、図７と同様の層構成を有する。
【０１７８】
また、Ｒｕ第２の下地層の上に垂直磁気記録層を形成しない以外は、上記垂直磁気記録媒体と同様にして試験用媒体を得た。
【０１７９】
得られた試験用媒体のＲｕ第２の下地層表面に対し、ＴＥＭを用いてその粒径分布を調べた。その結果、結晶粒径はおよそ１１ないし１５ｎｍであった。
【０１８０】
得られた垂直磁気記録媒体に対して、実施例１と同様にしてＴＥＭ測定、Ｘ線測定、ロッキングカーブ測定を行った。その結果、垂直磁気記録層は１１〜１５ｎｍの粒径分布を持つことが分かった。
【０１８１】
また、この垂直磁気記録層に対して、Ｘ線回折測定を行ったところ、ＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークを観測した。
【０１８２】
このＣｏＣｒＰｔＢ（００．２）ピークに対してロッキングカーブ測定を行ったところ、ピークの半値幅は１１°という値を得た。
【０１８３】
この垂直磁気記録媒体について、磁気抵抗効果を用いた記録トラック幅０．２５μｍ、再生トラック幅０．１５μｍのリング型ヘッドを用いて、記録再生特性の評価を行ったところ、ＳＮＲｍが１６．８ｄＢであった。
【０１８４】
【発明の効果】
本発明によれば、垂直磁気記録層の磁性粒子を微細化し、その結晶性を改善して、垂直磁気記録層の結晶配向性を良好にすることができるので、より高密度な垂直磁気記録が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の垂直磁気記録媒体の第１の例を表す断面図
【図２】本発明の垂直磁気記録媒体の第２の例を表す断面図
【図３】本発明の垂直磁気記録媒体の第３の例を表す断面図
【図４】本発明の磁気記録再生装置の一例を一部分解した斜視図
【図５】本発明の垂直磁気記録媒体の第４の例を表す断面図
【図６】第１の下地層中の結晶粒子成分の割合と磁気特性との関係を表すグラフ図
【図７】本発明の垂直磁気記録媒体の第５の例を表す断面図
【符号の説明】
１…非磁性基板、２、１２、２２…第１の下地層、３、１３、２３…第２の下地層、４、１４、２４…垂直磁気記録層、５、１５…軟磁性層、６、１６…バイアス付与層、７、１７、２７…保護層、１０、２０、３０、４０、５０…垂直磁気記録媒体、１２１…磁気ディスク、１２２…スピンドル、１２３…スライダー、１２４…サスペンション、１２５…アーム、１２６…ボイスコイルモータ、１２７…固定軸
【図１】
2004303375.tif 000011
【図２】
2004303375.tif 000012
【図３】
2004303375.tif 000013
【図４】
2004303375.tif 000014
【図５】
2004303375.tif 000015
【図６】
2004303375.tif 000016
【図７】
2004303375.tif 000017