(57)【要約】【課題】プレート部材積層方向の高さ寸法を抑制することが可能な冷却装置を提供すること。【解決手段】複数のプレート１１０、１２０、１３０が積層されて構成され、発熱体１０を冷却する冷却装置１００において、冷却水の導入口１０６および導出口１０７は、プレート１１０、１２０、１３０の延在方向の端部側の面に形成され、この導入口１０６および導出口１０７に入口パイプ１６０および出口パイプ１７０が接合されている。これによると、プレート１１０、１２０、１３０積層方向の高さ寸法を抑制することが可能である。【選択図】        図１
2004270970.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプレート部材（１１０、１２０、１３０）が積層されてなり、
前記複数のプレート部材（１１０、１２０、１３０）の積層体の内部に連通口（１０６、１０７）を介して外部と連通する流体通路（１０５）を備え、
表面に取り付けられた発熱体（１０）の熱を、前記連通口（１０６、１０７）から導出入され前記流体通路（１０５）を流通する受熱媒体に放出して前記発熱体（１０）を冷却する冷却装置において、
前記連通口（１０６、１０７）は、前記プレート部材（１１０、１２０、１３０）延在方向の端部側の面に形成されていることを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
前記連通口（１０６、１０７）は、隣接する複数の前記プレート部材（１３０Ｃ、１３０Ｄ）の端部の同じ位置に同一形状の切欠部（１３３Ｃ、１３３Ｄ）を設けることにより矩形状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の冷却装置。
【請求項３】
前記連通口（１０６、１０７）には、前記受熱媒体を流通する配管部材（１６０、１７０）が、外方に向けて突設されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の冷却装置。
【請求項４】
前記配管部材（１６０、１７０）は、連結部材（１８０）を介して、前記連通口（１０６、１０７）に接合されていることを特徴とする請求項３に記載の冷却装置。
【請求項５】
前記連結部材（１８０）は、前記連通口（１０６、１０７）を覆うように配設されるとともに、前記配管部材（１６０、１７０）を挿設する貫通孔（１８３）を有することを特徴とする請求項４に記載の冷却装置。
【請求項６】
前記貫通孔（１８３）は、円形状の孔であることを特徴とする請求項５に記載の冷却装置。
【請求項７】
前記連結部材（１８０）には突出部（１８２）が形成され、前記複数のプレート部材（１１０、１２０、１３０）の積層体には前記突出部（１８２）が嵌合する嵌合凹部（１０４ａ）が形成されていることを特徴とする請求項４ないし請求項６のいずれか１つに記載の冷却装置。
【請求項８】
前記連結部材（１８０）は、Ｌ字状に折り曲げられて前記突出部（１８２）が形成された金属板部材（１８０）であることを特徴とする請求項７に記載の冷却装置。
【請求項９】
前記複数のプレート部材（１１０、１２０、１３０）の積層体には、前記連結部材（１８０）の形状に対応した凹部（１０４）が形成され、前記連結部材（１８０）は前記凹部（１０４）内に挿設されていることを特徴とする請求項４ないし請求項８のいずれか１つに記載の冷却装置。
【請求項１０】
前記複数のプレート部材（１１０、１２０、１３０）の積層体は、内部に冷媒を貯留する冷媒槽部（１０１）と、前記冷媒と前記流体通路（１０５）を流通する前記受熱媒体とを熱交換させる熱交換部（１０２）とを有し、
前記冷媒槽部（１０１）に貯留されている冷媒が前記発熱体（１０）から受熱して沸騰気化し、その冷媒蒸気が有する潜熱を、前記熱交換部（１０２）において前記流体通路（１０５）を流通する前記受熱媒体に放出して前記発熱体（１０）を冷却することを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１つに記載の冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子等の発熱体を冷却する冷却装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本出願人は、先に特願２００２−１７４３４０において、図９に例示すような冷却装置を提案している。
【０００３】
図９に示す冷却装置２００は、複数のプレート部材２１０、２２０、２３０を積層して構成されている。冷却装置２００は、冷媒槽部２０１、熱交換部２０２、冷媒拡散部２０３からなり、プレート部材２３０に形成された図示しない開口部により、内部には冷媒が封入された図示しない密閉空間および外部からの冷却水が流通する図示しない冷却水通路が形成されている。冷却水通路両端部の冷却水の導入口２０６および導出口２０７はプレート部材積層体の上面側に形成されており、導入口２０６には入口パイプ２６０が、導出口２０７には出口パイプ２７０が接合されている。
【０００４】
そして、冷媒槽部２０１の下面側に取り付けられた発熱体１０を冷却するときには、冷媒槽部２０１に貯留されている冷媒が発熱体１０から受熱して沸騰気化し、その冷媒蒸気が有する潜熱を、熱交換部２０２において、入口パイプ２６０から導入され冷却水通路を流通し出口パイプ２７０から導出される冷却水に放出するようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術の冷却装置２００では、冷却水の導入口２０６および導出口２０７が上面側に形成されているので、入口パイプ２６０、出口パイプ２７０等の配管部材が接続されると、冷却装置２００のプレート部材積層方向の実質的な高さが大きくなるという問題がある。冷却装置２００の高さが大きくなると、高さ方向の寸法の小さなスペースには設置できない場合があるという不具合が発生する。
【０００６】
本発明は、上記点に鑑みてなされたものであって、プレート部材積層方向の高さ寸法を抑制することが可能な冷却装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、
複数のプレート部材（１１０、１２０、１３０）が積層されてなり、
この複数のプレート部材（１１０、１２０、１３０）の積層体の内部に連通口（１０６、１０７）を介して外部と連通する流体通路（１０５）を備え、
表面に取り付けられた発熱体（１０）の熱を、連通口（１０６、１０７）から導出入され流体通路（１０５）を流通する受熱媒体に放出して発熱体（１０）を冷却する冷却装置において、
連通口（１０６、１０７）は、プレート部材（１１０、１２０、１３０）延在方向の端部側の面に形成されていることを特徴としている。
【０００８】
これによると、連通口（１０６、１０７）に配管部材等を接続したとしても、プレート部材（１１０、１２０、１３０）積層方向の高さが大きくなり難い。したがって、プレート部材（１１０、１２０、１３０）積層方向の高さ寸法を抑制することが可能である。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明では、連通口（１０６、１０７）は、隣接する複数のプレート部材（１３０Ｃ、１３０Ｄ）の端部の同じ位置に同一形状の切欠部（１３３Ｃ、１３３Ｄ）を設けることにより矩形状に形成されていることを特徴としている。
【００１０】
これによると、複数のプレート部材端部の異なる位置に切欠部を設ける、もしくは異なる形状の切欠部を設ける必要がないので、連通口（１０６、１０７）の形成が容易である。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明では、連通口（１０６、１０７）には、受熱媒体を流通する配管部材（１６０、１７０）が、外方に向けて突設されていることを特徴としている。
【００１２】
これによると、流体通路（１０５）内に受熱媒体を流通し易い。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明では、配管部材（１６０、１７０）は、連結部材（１８０）を介して、連通口（１０６、１０７）に接合されていることを特徴としている。
【００１４】
これによると、配管部材（１６０、１７０）を複数のプレート部材（１１０、１２０、１３０）の端部側面に接合し易い。
【００１５】
また、請求項５に記載の発明では、連結部材（１８０）は、連通口（１０６、１０７）を覆うように配設されるとともに、配管部材（１６０、１７０）を挿設する貫通孔（１８３）を有することを特徴としている。
【００１６】
これによると、連通口（１０６、１０７）を覆うように配設した連結部材（１８０）の貫通孔（１８３）に配管部材（１６０、１７０）を挿設して、配管部材（１６０、１７０）を連通口（１０６、１０７）に、容易かつ確実に接合することが可能である。
【００１７】
また、請求項６に記載の発明では、貫通孔（１８３）は、円形状の孔であることを特徴としている。
【００１８】
これによると、配管部材（１６０、１７０）は、一般的に円筒状であるので、配管部材（１６０、１７０）を挿設して接合し易い。
【００１９】
また、請求項７に記載の発明では、連結部材（１８０）には突出部（１８２）が形成され、複数のプレート部材（１１０、１２０、１３０）の積層体には突出部（１８２）が嵌合する嵌合凹部（１０４ａ）が形成されていることを特徴としている。
【００２０】
これによると、突出部（１８２）を嵌合凹部（１０４ａ）に嵌合させることで、連結部材（１８０）を、複数のプレート部材（１１０、１２０、１３０）の積層体に対し、容易に位置決めすることができる。
【００２１】
また、請求項８に記載の発明では、連結部材（１８０）は、Ｌ字状に折り曲げられて突出部（１８２）が形成された金属板部材（１８０）であることを特徴としている。
【００２２】
これによると、平板状の金属板部材をプレス加工等によりＬ字状に折り曲げることで、突出部（１８２）を容易に形成することができる。
【００２３】
また、請求項９に記載の発明では、複数のプレート部材（１１０、１２０、１３０）の積層体には、連結部材（１８０）の形状に対応した凹部（１０４）が形成され、連結部材（１８０）はこの凹部（１０４）内に挿設されていることを特徴としている。
【００２４】
これによると、プレート部材（１１０、１２０、１３０）の積層体から連結部材（１８０）が突出することを抑制することができる。
【００２５】
また、請求項１０に記載の発明では、
複数のプレート部材（１１０、１２０、１３０）の積層体は、内部に冷媒を貯留する冷媒槽部（１０１）と、冷媒と流体通路（１０５）を流通する受熱媒体とを熱交換させる熱交換部（１０２）とを有し、
冷媒槽部（１０１）に貯留されている冷媒が発熱体（１０）から受熱して沸騰気化し、その冷媒蒸気が有する潜熱を、熱交換部（１０２）において流体通路（１０５）を流通する受熱媒体に放出して発熱体（１０）を冷却することを特徴としている。
【００２６】
冷媒の潜熱移動を利用した冷却効率の高い冷却装置では、冷媒槽部（１０１）等を設ける必要があるため、プレート部材（１１０、１２０、１３０）積層方向の高さが大きくなり易い。したがって、本発明により、プレート部材（１１０、１２０、１３０）積層方向の高さ寸法を抑制することが可能となる効果は大きい。
【００２７】
なお、上記各手段に付した括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係の一例を示す。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
【００２９】
（第１の実施形態）
図１は、本実施形態の冷却装置１００の全体側面図、図２は図１のＡ部拡大図、図３〜図５は各プレート１１０、１３０Ａ〜１３０Ｆ、１２０の平面図である。
【００３０】
本実施形態の冷却装置１００は、冷媒を貯留する冷媒槽部１０１と、この冷媒槽部１０１で発熱体１０の熱を受けて沸騰した冷媒を受熱媒体である冷却水と熱交換させる熱交換部１０２と、冷媒槽部１０１から熱交換部１０２を通って流入した蒸気冷媒を水平方向に拡散させる冷媒拡散部１０３（以上図２参照）とを備えている。
【００３１】
冷却装置１００は、例えば半導体素子（ＩＧＢＴ）等の発熱体１０の熱によって、内部に封入される冷媒が沸騰気化し、外部から供給される冷却水によって冷媒蒸気が凝縮液化する際にその凝縮潜熱を冷却水に放出することで発熱体１０を冷却するものとしている。冷却装置１００は、冷媒の潜熱移動を利用した冷却効率の高い所謂水冷式沸騰冷却装置である。
【００３２】
冷却装置１００は、図２に示すように、上側プレート１１０と、この上側プレート１１０の下側に配置される下側プレート１２０との間に、それぞれ複数の開口部１３１Ａ〜１３１Ｆ、１３２Ｃ、１３２Ｄ（図３〜図５参照）を有する中間プレート１３０（中間プレート１３０Ａ〜１３０Ｆ）が複数積層され、配管部材である入口パイプ１６０および出口パイプ１７０、連結部材である連結プレート１８０が設けられたものである。尚、上記各部材は、熱伝導性に優れるアルミニウムあるいはアルミニウム合金からなり、これら部材が一体でろう付けされることによって冷却装置１００は形成される。
【００３３】
上側プレート１１０は、図３（ａ）に示すように、略長方形を成すプレート部材であり、図中の右辺側に２つの凹部１１４が設けられている。
【００３４】
中間プレート１３０Ａ〜１３０Ｆは、それぞれ図３（ｂ）、図３（ｃ）、図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）、図５（ａ）に示すように、上側プレート１１０と外形を同一とするプレート部材としており、中間プレート１３０Ａ〜１３０Ｆには、上側プレート１１０の凹部１１４と同じ位置に同一形状の凹部１３４が設けられている。
【００３５】
また、中間プレート１３０Ａ〜１３０Ｆには、それぞれに長円状の複数の冷媒開口部１３１Ａ〜１３１Ｆのいずれかが設けられている。冷媒開口部１３１Ａ〜１３１Ｆは、上下方向あるいは左右方向に複数配列され、中間プレート１３０Ａ〜１３０Ｆが積層された時に、互いに重なり合い（連通し合い）、１つの密閉空間を形成するようになっている。
【００３６】
また、図４（ａ）、図４（ｂ）に示すように、中間プレート１３０Ｃ、１３０Ｄには、上記の冷媒開口部１３１Ｃ、１３１Ｄに加えて、冷却水開口部１３２Ｃ、１３２Ｄが設けられている。冷却水開口部１３２Ｃ、１３２Ｄは、一部を除いて櫛状をなし、櫛歯に相当する部位は上記の冷媒開口部１３１Ｃ、１３１Ｄの間に延設されている。
【００３７】
そして、冷却水開口部１３２Ｃ、１３２Ｄは、櫛歯の先端に相当する部位等の端部が、互いにずれた位置に設けられており、中間プレート１３０Ｃ、１３０Ｄを交互に積層した際に冷却水開口部１３２Ｃ、１３２Ｄ全体が連通して、受熱媒体の流体通路である冷却水通路１０５を形成するようになっている。
【００３８】
中間プレート１３０Ｃ、１３０Ｄにおいて、図中上下最右方側の冷却水開口部１３２Ｃ、１３２Ｄと凹部１３４との間には、これらを連通するように２つの切欠部１３３Ｃ、１３３Ｄが形成されている。切欠部１３３Ｃ、１３３Ｄは、各中間プレート１３０Ｃ、１３０Ｄの同じ位置に同一の形状で形成されており、中間プレート１３０Ａ〜１３０Ｆが積層された時には、後述する矩形状の導入口１０６および導出口１０７を形成するようになっている。
【００３９】
下側プレート１２０は、図５（ｂ）に示すように、上側プレート１１０と外形を同一とするプレート部材としており、下側プレート１２０には、上側プレート１１０の凹部１１４と同じ位置に凹部１１４より深い（図中左右方向に長い）凹部１２４が設けられている。
【００４０】
そして、図２に示すように、上側プレート１１０と下側プレート１２０との間に各中間プレート１３０Ａ〜１３０Ｆが積層されている。即ち、上側プレート１１０と下側プレート１２０との間には、上側プレート１１０側から、中間プレート１３０Ａが２枚、中間プレート１３０Ｂが１枚、中間プレート１３０Ｃと中間プレート１３０Ｄとが交互に６枚、中間プレート１３０Ｂが１枚、中間プレート１３０Ｅが１枚、中間プレート１３０Ｆが２枚積層されている。
【００４１】
上記の積層構成により、最も下側４枚のプレート部材からなる冷媒槽部１０１内には、冷媒を貯留するための空間が、冷媒開口部１３１Ｅ、１３１Ｆにより形成される。
【００４２】
その上側８枚のプレート部材からなる熱交換部１０２内には、冷媒槽部１０１の冷媒貯留空間と連通した冷媒通路が、冷媒開口部１３１Ｂ、１３１Ｃ、１３１Ｄにより形成されるとともに、両端に外部との連通口としての導入口１０６および導出口１０７を有する冷却水通路１０５（図２には図示せず、図４参照）が、冷却水開口部１３２Ｃ、１３２Ｄにより形成される。
【００４３】
さらに、最も上側３枚のプレート部材からなる冷媒拡散部１０３内には、熱交換部１０２の冷媒通路と連通し、冷媒蒸気を水平方向に拡散するための冷媒通路が、冷媒開口部１３１Ａにより形成される。
【００４４】
また、上述のように各プレート１１０、１３０、１２０が積層されると、図６に示すように、各プレート１１０、１３０、１２０の積層体の端面には、前述の凹部１１４、１３４、１２４により、後述する連結プレート１８０の形状に対応した凹部１０４が形成される。
【００４５】
連結プレート１８０は、平板状の部材をプレス等によりＬ字状に折り曲げ加工した金属板部材であり、平面部１８１と、平面部１８１に対し垂直方向に突出した突出部１８２とからなる。図６に示すように、連結プレート１８０の平面部１８１には、配管部材である入口パイプ１６０および出口パイプ１７０（図６では出口パイプ１７０側の図示は省略）を挿設するための円形状の貫通孔１８３が形成されている。
【００４６】
そして、連結プレート１８０を各プレート１１０、１３０、１２０の積層体端面の凹部１０４内に配設すると、平面部１８１が凹部１０４内の導入口１０６もしくは導出口１０７（図６では導出口１０７は省略）を覆うとともに、貫通孔１８３の全域が導入口１０６もしくは導出口１０７外周の内側に配設されるようになっている。図６では、導入口１０６内の構成の図示を省略している。
【００４７】
なお、凹部１０４の最下部には、下側プレート１２０の凹部１２４が他のプレート１１０、１３０の凹部１１４、１３４より深く形成されることにより、連結プレート１８０の突出部１８２を嵌合するための嵌合凹部１０４ａが形成されている。
【００４８】
入口パイプ１６０および出口パイプ１７０は、同一形状をしており、外部配管との接続のために設けられた略円筒状のアルミニウム合金材からなる配管部材である。
【００４９】
前述の上側プレート１１０および下側プレート１２０は、熱伝導特性よりアルミニウム材からなり、中間プレート１３０は、母材となるアルミニウム合金材の表面にろう材層が形成されたクラッド材を用いている。また、アルミニウム合金材からなる連結プレート１８０の内側面にもろう材がクラッドされている。
【００５０】
冷却装置１００を形成するときには、図６に示すように、上側プレート１１０、中間プレート１３０（１３０Ａ〜１３０Ｆ）、外側プレート１２０を積層し、積層体の凹部１０４内に連結プレート１８０を挿設する。そして、連結プレート１８０の貫通孔１８３内に入口パイプ１６０および出口パイプ１７０（図示略）の端部を挿設する。
【００５１】
このとき、入口パイプ１６０および出口パイプ１７０と連結プレート１８０との間には、ろう材１９０を供給する。このように、各部材を組み立てたら、治具等により仮固定した後、加熱して一体ろう付けする。
【００５２】
なお、図示は省略しているが、このように形成された冷却装置１００には、その内部の冷媒貯留空間に通じる注入パイプが設けられており、内部空間に注入パイプを通じて所定量の冷媒が注入され、注入後、注入パイプの先端を封じ切って密閉されている。冷媒としては、ここではフロン（ＨＦＣ１３４ａ）を用いている。
【００５３】
上記構成に基づき、本実施形態の冷却装置１００の作動について簡単に説明する。冷媒槽部１０１における冷媒は、発熱体１０の熱を受けて沸騰気化し、熱交換部１０２内の冷媒通路を上昇する。そして、冷却水通路１０５を流通する冷却水によって冷却されて主に壁面側で凝縮液化して、自重によって冷媒槽部１０１に還流する。
【００５４】
熱交換部１０２内の冷媒通路上昇中に凝縮しなかった冷媒蒸気は、冷媒拡散部１０３内の冷媒通路により拡散し、熱交換部１０２内の主に上昇圧力の小さい冷媒通路を下降する。そして、冷却水通路１０５を流通する冷却水によって冷却されて凝縮液化して、冷媒槽部１０１に還流する。
【００５５】
上述の構成および作動によれば、導入口１０６および導出口１０７は、各プレート１１０、１２０、１３０延在方向（積層方向に垂直な方向）の端部側の面に形成され、この導入口１０６および導出口１０７に入口パイプ１６０および出口パイプ１７０が外方に向けて突設されているので、各プレート部材１１０、１２０、１３０積層方向の実質的な高さが大きくならない。
【００５６】
また、冷却装置１００の上面（上側プレート１１０の表面）に、電子部品を搭載する必要がある場合には、入口パイプ１６０および出口パイプ１７０が干渉することなく、搭載面積を充分に確保することができる。
【００５７】
また、熱交換部１０２の主要構成である中間プレート１３０Ｃ、１３０Ｄは、端部の同じ位置に同一形状の切欠部１３３Ｃ、１３３Ｄを有し、これにより矩形状の導入口１０６および導出口１０７を形成している。したがって、導入口１０６および導出口１０７を略円形状とする場合等に対し、中間プレートの形状パターン数を低減することができる。
【００５８】
導入口１０６および導出口１０７は矩形状であるが、これらを覆うとともに、円筒状の入口パイプ１６０および出口パイプ１７０を挿設する円形状の貫通孔１８３を有する連結プレート１８０を採用することにより、導入口１０６および導出口１０７に、入口パイプ１６０および出口パイプ１７０を確実かつ容易に接合することができる。
【００５９】
また、冷却装置１００を形成するときには、連結プレート１８０は凹部１０４内に挿設され、連結プレート１８０の突出部１８２は、嵌合凹部１０４ａ内に挿設嵌合される。したがって、ろう付け前の仮固定時に、位置決めおよび仮固定が容易であり、接合面積も確実に確保することができる。
【００６０】
さらに、ろう付け後は、連結プレート１８０を、各プレート１１０、１２０、１３０の積層体の内部に埋設できるので、冷却装置１００の水平方向（各プレート部材延設方向）の寸法を抑制することが可能である。
【００６１】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について図７に基づいて説明する。本第２の実施形態は、前述の第１の実施形態と比較して、入口パイプ１６０および出口パイプ１７０の接合部の構成が異なる。なお、第１の実施形態と同様の部分については、同一の符号をつけ、その説明を省略する。
【００６２】
図７に示すように、本第２の実施形態のＬ字状の連結プレート１８５は、各プレート１１０、１２０、１３０の積層体の端面において、上下の中間プレート１３０Ｂ間（熱交換部１０２）に突設されている。したがって、下側から５枚目に配設された中間プレート１３０Ｂ以外のプレート１１０、１２０、１３０には、第１の実施形態で示した凹部１１４、１２４、１３４は形成されていない。下側から５枚目に配設された中間プレート１３０Ｂに形成された凹部１３４が、本実施形態における嵌合凹部であり、この凹部１３４に連結プレート１８５の突出部１８７が挿設嵌合され接合されている。
【００６３】
上述の構成によれば、第１の実施形態と同様に、各プレート部材１１０、１２０、１３０積層方向の実質的な高さが大きくならない。また、凹部１３４に挿設嵌合された連結プレート１８５の突出部１８７は、上下の中間プレート１３０Ｄと中間プレート１３０Ｅとに挟持されるので、ろう付け前の仮固定時に、位置決めおよび仮固定が確実かつ容易である。
【００６４】
（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態について図８に基づいて説明する。本第３の実施形態は、前述の第１の実施形態と比較して、入口パイプ１６０および出口パイプ１７０の接合部に連結プレートを用いていない。なお、第１の実施形態と同様の部分については、同一の符号をつけ、その説明を省略する。
【００６５】
図８に導入口１０６側のみ示すように、本第３の実施形態の導入口１０６に突設される配管部材である入口パイプ１６５は、各プレート１１０、１２０、１３０の積層体側の端部が、拡管加工もしくは縮管加工により、導入口１０６の形状に対応して矩形状となっている。
【００６６】
そして、連結プレートを用いずに、各プレート１１０、１２０、１３０の積層体と入口パイプ１６５との間に供給されるろう材１９０により接合される。図８では、導入口１０６内の構成の図示を省略している。なお、図示していない導出口１０７側も同一の構成である。
【００６７】
上述の構成によれば、第１の実施形態と同様に、各プレート部材１１０、１２０、１３０積層方向の実質的な高さが大きくならない。また、連結プレートを採用しないので、部品点数も削減できる。
【００６８】
（他の実施形態）
上記各実施形態では、積層されたプレート部材の枚数は１５枚であったが、これに限定されるものではない。また、各プレート部材の冷媒開口部や冷却水開口部の開口パターンも限定されるものではない。
【００６９】
また、上記第１実施形態では、連結プレート１８０を、積層体の積層方向全域に渡って形成した凹部１０４内に挿設するものであり、上記第２の実施形態では、連結プレート１８５を、熱交換部１０２の端部のみに突設するものであったが、熱交換部１０２の端部のみに凹部を形成し、この凹部内に挿設するものであってもよい。
【００７０】
これによれば、第１の実施形態に比較して、ろう付け前の仮固定時に、位置決めおよび仮固定を一層容易かつ確実におこなうことができる。
【００７１】
また、上記各実施形態では、冷媒としてフロンを採用したが、水、アルコール、フロロカーボン等を用いてもよい。
【００７２】
また、上記各実施形態では、冷却装置１００は、所謂沸騰冷却装置であったが、冷媒による潜熱移動を介さずに、発熱体の熱を直接受熱媒体に放出するタイプの冷却装置であっても、本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態における冷却装置の全体側面図である。
【図２】図１のＡ部拡大図である。
【図３】（ａ）は上側プレート、（ｂ）、（ｃ）は中間プレートを示す平面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は中間プレートを示す平面図である。
【図５】（ａ）は中間プレート、（ｂ）は下側プレートを示す平面図である。
【図６】第１の実施形態における冷却装置の要部の組み付け状態を説明するための図である。
【図７】第２の実施形態における冷却装置の要部拡大図である。
【図８】第３の実施形態における冷却装置の要部の組み付け状態を説明するための図である。
【図９】先の出願における冷却装置の全体側面図である。
【符号の説明】
１０  発熱体
１００  冷却装置
１０１  冷媒層部
１０２  熱交換部
１０４  凹部
１０４ａ  凹部（嵌合凹部）
１０５  冷却水通路（流体通路）
１０６  導入口（連通口）
１０７  導出口（連通口）
１１０  上側プレート（プレート部材）
１２０  下側プレート（プレート部材）
１３０、１３０Ａ〜１３０Ｅ  中間プレート（プレート部材）
１３３Ｃ、１３３Ｄ  切欠部
１６０  入口パイプ（配管部材）
１７０  出口パイプ（配管部材）
１８０  連結プレート（連結部材、金属板部材）
１８２  突出部
１８３  貫通孔
【図１】
2004270970.tif 000003
【図２】
2004270970.tif 000004
【図３】
2004270970.tif 000005
【図４】
2004270970.tif 000006
【図５】
2004270970.tif 000007
【図６】
2004270970.tif 000008
【図７】
2004270970.tif 000009
【図８】
2004270970.tif 000010
【図９】
2004270970.tif 000011