(57)【要約】【課題】エージング工程におけるパネルの割れを防止する。【解決手段】プラズマディスプレイパネル２１に所定の電圧を印加して表示駆動を行うエージング工程において、個々のプラズマディスプレイパネル２１を冷却手段を備えたエージングユニットに設置し、そのエージングユニットの冷却手段でプラズマディスプレイパネル２１を冷却しながらエージングを行う。これにより、エージング工程中のパネル温度上昇を抑制し、エージング工程中のパネル割れを防止することができるという効果が得られる。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加して表示駆動を行うエージング工程において、個々のプラズマディスプレイパネルを冷却手段を備えたエージングユニットに設置し、そのエージングユニットの冷却手段でプラズマディスプレイパネルを冷却しながらエージングを行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに熱伝導部材を介在させて放熱板を設けることにより構成したことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
冷却手段は、送風装置によりプラズマディスプレイパネルを空冷する手段であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに熱交換器を接触させて冷却する手段であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
プラズマディスプレイパネルと熱交換器の間に熱伝導部材を配置したことを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに絶縁性液体を接触させ、かつその絶縁性液体を冷却することにより前記プラズマディスプレイパネルを冷却する手段であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
冷却手段は、プラズマディスプレイパネルを約８０℃以下に冷却するものである請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
エージング時間は、０．５時間以上２．０時間以下である請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加して表示駆動を行うエージング工程において、個々のプラズマディスプレイパネルを冷却手段を備えたエージングユニットにほぼ水平に設置し、そのエージングユニットの冷却手段でプラズマディスプレイパネルを冷却しながらエージングを行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに熱伝導部材を介在させて放熱板を設けることにより構成したことを特徴とする請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】
冷却手段は、送風装置によりプラズマディスプレイパネルを空冷する手段であることを特徴とする請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１２】
冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに熱交換器を接触させて冷却する手段であることを特徴とする請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１３】
プラズマディスプレイパネルと熱交換器の間に熱伝導部材を配置したことを特徴とする請求項１２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１４】
冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに絶縁性液体を接触させ、かつその絶縁性液体を冷却することにより前記プラズマディスプレイパネルを冷却する手段であることを特徴とする請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１５】
冷却手段は、プラズマディスプレイパネルを約８０℃以下に冷却するものである請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１６】
エージング時間は０．５時間以上２．０時間以下である請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１７】
プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加して表示駆動を行うエージング工程において、個々のプラズマディスプレイパネルを冷却手段を備えたエージングユニットに設置し、このエージングユニットを多段に積み重ね、前記個々のエージングユニットの冷却手段でプラズマディスプレイパネルを冷却しながら複数枚のプラズマディスプレイパネルのエージングを行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１８】
個々のプラズマディスプレイパネルを冷却手段を備えたエージングユニットにほぼ水平に設置したことを特徴とする請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１９】
冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに熱伝導部材を介在させて放熱板を設けることにより構成したことを特徴とする請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２０】
冷却手段は、送風装置によりプラズマディスプレイパネルを空冷する手段であることを特徴とする請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２１】
冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに熱交換器を接触させて冷却する手段であることを特徴とする請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２２】
プラズマディスプレイパネルと熱交換器の間に熱伝導部材を配置したことを特徴とする請求項２１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２３】
冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに絶縁性液体を接触させ、かつその絶縁性液体を冷却することにより前記プラズマディスプレイパネルを冷却する手段であることを特徴とする請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２４】
冷却手段は、プラズマディスプレイパネルを約８０℃以下に冷却するものである請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２５】
エージング時間は０．５時間以上２．０時間以下である請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大画面の放電ディスプレイ装置として知られているプラズマディスプレイパネルの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
このプラズマディスプレイパネルでは、ガス放電により紫外線を発生させ、この紫外線で蛍光体を励起して発光させカラー表示を行っている。そして、基板上に隔壁によって区画された表示セルが設けられており、これに蛍光体層が形成されている構成を有する。
【０００３】
このプラズマディスプレイパネルには、大別して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大画面化および製造の簡便性から、現状では、プラズマディスプレイパネルの主流は、３電極構造の面放電型のもので、その構造は、一方の基板上に平行に隣接した表示電極対を有し、もう一方の基板上に表示電極と交差する方向に配列されたアドレス電極と、隔壁、蛍光体層を有するもので、比較的蛍光体層を厚くすることができ、蛍光体によるカラー表示に適している。
【０００４】
このようなプラズマディスプレイパネルを用いたプラズマディスプレイ装置は、液晶パネルに比べて高速の表示が可能であり、視野角が広いこと、大型化が容易であること、自発光型であるため表示品質が高いことなどの理由から、フラットパネルディスプレイの中で最近特に注目を集めており、多くの人が集まる場所での表示装置や家庭で大画面の映像を楽しむための表示装置として各種の用途に使用されている。
【０００５】
まず、プラズマディスプレイパネルの構造について図８を用いて説明する。図８に示すように、ガラス基板などの透明な前面側の基板１上には、スキャン電極とサステイン電極とで対をなすストライプ状の表示電極２が複数列形成され、そしてその電極群を覆うように誘電体層３が形成され、その誘電体層３上には保護膜４が形成されている。
【０００６】
また、前記前面側の基板１に対向配置される背面側の基板５上には、スキャン電極及びサステイン電極の表示電極２と交差するように、絶縁体層６で覆われた複数列のストライプ状のアドレス電極７が形成されている。このアドレス電極７間の絶縁体層６上には、アドレス電極７と平行に複数の隔壁８が配置され、この隔壁８間の側面および絶縁体層６の表面に蛍光体層９が設けられている。
【０００７】
これらの基板１と基板５とは、スキャン電極およびサステイン電極の表示電極２とアドレス電極７とがほぼ直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、周囲が封止され、そして前記放電空間には、例えばネオンとキセノンの混合ガスが放電ガスとして封入されている。また、放電空間は、隔壁８によって複数の区画に仕切ることにより、表示電極２とアドレス電極７との交点が位置する複数の放電セルが設けられ、その各放電セルには、赤色、緑色及び青色となるように蛍光体層９が一色ずつ順次配置されている。
【０００８】
図９にこのプラズマディスプレイパネルの電極配列を示しており、図９に示すようにスキャン電極およびサステイン電極とアドレス電極とは、Ｍ行×Ｎ列のマトリックス構成であり、行方向にはＭ行のスキャン電極ＳＣＮ１〜ＳＣＮＭおよびサステイン電極ＳＵＳ１〜ＳＵＳＭが配列され、列方向にはＮ列のアドレス電極Ｄ１〜ＤＮが配列されている。
【０００９】
このような電極構成のプラズマディスプレイパネルにおいては、アドレス電極とスキャン電極の間に書き込みパルスを印加することにより、アドレス電極とスキャン電極の間でアドレス放電を行い、放電セルを選択した後、スキャン電極とサステイン電極との間に、交互に反転する周期的な維持パルスを印加することにより、スキャン電極とサステイン電極との間で維持放電を行い、所定の表示を行うものである。
【００１０】
図１０に上記で説明した構造のパネルを組み込んだプラズマディスプレイ装置の全体構成の一例を示している。図において、パネル１０を収容する筐体は、前面枠１１と金属製のバックカバー１２とから構成され、前面枠１１の開口部には光学フィルターおよびパネル１０の保護を兼ねたガラス等からなる前面カバー１３が配置されている。また、この前面カバー１３には電磁波の不要輻射を抑制するために、例えば銀蒸着が施されている。さらに、バックカバー１２には、パネル１０等で発生した熱を外部に放出するための複数の通気孔１２ａが設けられている。
【００１１】
前記パネル１０は、アルミニウム等からなるシャーシ部材１４の前面に熱伝導シート１５を介して接着することにより保持され、そしてシャーシ部材１４の後面側には、パネル１０を表示駆動させるための複数の回路ブロック１６が取り付けられている。前記熱伝導シート１５は、パネル１０、および回路ブロック１６に搭載された表示駆動を行うための電気回路を安定に動作させるために、パネル１０で発生した熱をシャーシ部材１４に効率よく伝えて放熱を行うもので、必要に応じてシャーシ部材１４の回路ブロック１６が配置される側に空冷のためのファンを取り付け、シャーシ部材１４に伝熱された熱を外部に放出することが行われる。
【００１２】
また、回路ブロック１６はパネル１０の表示駆動とその制御を行うための電気回路を備えており、パネル１０の縁部に引き出された電極引出部に、シャーシ部材１４の四辺の縁部を越えて延びる複数のフレキシブル配線板（図示せず）によって電気的に接続されている。さらに、シャーシ部材１４の後面には、回路ブロック１６を取り付けたり、バックカバー１２を固定するためのボス部１４ａがダイカスト等による一体成型により突設されている。なお、このシャーシ部材１４は、アルミニウム平板に固定ピンを固定して構成してもよい。
【００１３】
また、このようなＡＣ型のプラズマディスプレイパネルは、大きく分けて前面パネルと背面パネルの２つの部分から構成され、次のようにして製造される。
【００１４】
まず、前面パネルは、前面側のガラス基板上に透明導電膜による電極を形成した後、銀（Ａｇ）などの電極材料を印刷、焼成してバス電極を形成することにより表示電極を設け、その上に誘電体ガラス材料を塗布して焼成することにより誘電体層を形成し、その後酸化マグネシウム（ＭｇＯ）の保護膜蒸着により形成することにより作成される。
【００１５】
一方、背面パネルは、背面側のガラス基板上にＡｇなどの電極材料を印刷、焼成してアドレス電極を形成するとともに、ガラス材料を塗布して焼成することにより絶縁体層を形成し、さらにそのアドレス電極を仕切るような形で隔壁を形成し、さらにその隔壁間に蛍光体材料の塗布、焼成により蛍光体層を形成することにより作成される。
【００１６】
このようにそれぞれ所定の工程を経た後は、背面パネルの周囲に封着ガラスフリットを塗布し、前面パネルと重ね合わせた後、封着ガラスフリットを加熱溶融させる封着工程を行うことにより、前面パネルと背面パネルの外周部を封着ガラスで封着する。その後、前面パネルと背面パネルとの間にできる放電空間について、加熱しながら内部を排気する排気工程を行い、その後内部の放電空間に放電ガスを所定の圧力で導入することによりプラズマディスプレイパネルが製造される。
【００１７】
ところで、このようなプラズマディスプレイパネルの製造工程においては、その製造されたパネルの放電特性が時間とともに大きく変化し安定した性能を実現することができない。
【００１８】
そこで、一般的には、プラズマディスプレイパネルを製造した後、特許文献１、特許文献２に示すように、所定の電圧を印加して、所定の時間放電をさせるというエージング工程を行い、放電特性を安定化させることが行われる。
【００１９】
【特許文献１】
特開平１１−２１３８９１号公報
【特許文献２】
特開２００２−７５２０７号公報
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このようなプラズマディスプレイパネルの製造工程において、パネルを製造した後、特性安定化のためのエージング工程を行っている途中で、前面パネル、背面パネルを構成しているガラス基板にひびが入り、割れてしまうという問題が発生していた。
【００２１】
ところで、一般に、電気機器に用いられる電子部品についても、特性安定化のためにエージングという工程が行われるが、そのエージング工程は特性安定化の目的と、電子部品を製造する過程において発生している欠陥部分を破壊し、欠陥部分を持つ製品を出荷しない狙いもあることから、上記プラズマディスプレイパネルにおけるエージング工程における割れもあまり大きく問題視されなかった。
【００２２】
しかし、大型の表示装置として脚光を浴び、需要が拡大する中で、パネルの生産性を向上させる要求が高まってきており、各メーカにおいて各種の取り組みがなされている。
【００２３】
本発明はこのような現状において、エージング工程におけるパネルの割れを防止することを目的とするものである。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加して表示駆動を行うエージング工程において、個々のプラズマディスプレイパネルを冷却手段を備えたエージングユニットに設置し、そのエージングユニットの冷却手段でプラズマディスプレイパネルを冷却しながらエージングを行うことを特徴とする。
【００２５】
本発明者らは、パネルの生産性を向上させる要求が高まり、パネルの製造工程の見直しを行う中で、エージング工程について検討を行った結果、本発明を見出したものである。すなわち、通常エージング工程では、パネルの実使用時に印加する電圧よりも高い電圧を印加して放電をさせ、所定時間、例えば４時間程度パネルを実際に点灯させて表示駆動することを行っており、このためパネルには実際の使用時よりも高い温度の熱が生じ、その熱によって生じる応力のためにパネルが割れてしまうということを見出した。
【００２６】
また、パネルの割れはパネルを構成するガラス基板が持つ欠陥部にエージング時の熱によるストレスが加わることによるものと考えられるが、プラズマディスプレイパネルは大面積のガラス基板により構成されることから、エージング時にパネルの面内における場所によって温度差が生じやすく、パネルの割れが発生する場所は、その温度差が発生する場所であることを見出した。
【００２７】
このような本発明者らの知見に基づき、本発明はエージング工程において、個々のプラズマディスプレイパネルを冷却手段を備えたエージングユニットに設置し、そのエージングユニットの冷却手段でプラズマディスプレイパネルを冷却しながらエージングを行うものであり、エージング工程におけるパネルの割れを防止し、パネルの生産性を向上させることができるものである。
【００２８】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の請求項１に記載の発明は、プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加して表示駆動を行うエージング工程において、個々のプラズマディスプレイパネルを冷却手段を備えたエージングユニットに設置し、そのエージングユニットの冷却手段でプラズマディスプレイパネルを冷却しながらエージングを行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００２９】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１において、冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに熱伝導部材を介在させて放熱板を設けることにより構成したことを特徴とする。
【００３０】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１において、冷却手段は、送風装置によりプラズマディスプレイパネルを空冷する手段であることを特徴とする。
【００３１】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１において、冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに熱交換器を接触させて冷却する手段であることを特徴とする。
【００３２】
さらに、請求項５に記載の発明は、請求項４において、プラズマディスプレイパネルと熱交換器の間に熱伝導部材を配置したことを特徴とする。
【００３３】
また、請求項６に記載の発明は、請求項１において、冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに絶縁性液体を接触させ、かつその絶縁性液体を冷却することにより前記プラズマディスプレイパネルを冷却する手段であることを特徴とする。
【００３４】
また、請求項７に記載の発明は、請求項１において、冷却手段は、プラズマディスプレイパネルを約８０℃以下に冷却するものである。
【００３５】
また、請求項８に記載の発明は、請求項１において、エージング時間は、０．５時間以上２．０時間以下である。
【００３６】
本発明の請求項９に記載の発明は、プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加して表示駆動を行うエージング工程において、個々のプラズマディスプレイパネルを冷却手段を備えたエージングユニットにほぼ水平に設置し、そのエージングユニットの冷却手段でプラズマディスプレイパネルを冷却しながらエージングを行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００３７】
また、請求項１０に記載の発明は、請求項９において、冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに熱伝導部材を介在させて放熱板を設けることにより構成したことを特徴とする。
【００３８】
また、請求項１１に記載の発明は、請求項９において、冷却手段は、送風装置によりプラズマディスプレイパネルを空冷する手段であることを特徴とする。
【００３９】
また、請求項１２に記載の発明は、請求項９において、冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに熱交換器を接触させて冷却する手段であることを特徴とする。
【００４０】
さらに、請求項１３に記載の発明は、請求項１２において、プラズマディスプレイパネルと熱交換器の間に熱伝導部材を配置したことを特徴とする。
【００４１】
また、請求項１４に記載の発明は、請求項９において、冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに絶縁性液体を接触させ、かつその絶縁性液体を冷却することにより前記プラズマディスプレイパネルを冷却する手段であることを特徴とする。
【００４２】
また、請求項１５に記載の発明は、請求項９において、冷却手段は、プラズマディスプレイパネルを約８０℃以下に冷却するものである。
【００４３】
また、請求項１６に記載の発明は、請求項９において、エージング時間は０．５時間以上２．０時間以下である。
【００４４】
本発明の請求項１７に記載の発明は、プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加して表示駆動を行うエージング工程において、個々のプラズマディスプレイパネルを冷却手段を備えたエージングユニットに設置し、このエージングユニットを多段に積み重ね、前記個々のエージングユニットの冷却手段でプラズマディスプレイパネルを冷却しながら複数枚のプラズマディスプレイパネルのエージングを行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００４５】
また、請求項１８に記載の発明は、請求項１７において、個々のプラズマディスプレイパネルを冷却手段を備えたエージングユニットにほぼ水平に設置したことを特徴とする。
【００４６】
また、請求項１９に記載の発明は、請求項１７において、冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに熱伝導部材を介在させて放熱板を設けることにより構成したことを特徴とする。
【００４７】
また、請求項２０に記載の発明は、請求項１７において、冷却手段は、送風装置によりプラズマディスプレイパネルを空冷する手段であることを特徴とする。
【００４８】
また、請求項２１に記載の発明は、請求項１７において、冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに熱交換器を接触させて冷却する手段であることを特徴とする。
【００４９】
さらに、請求項２２に記載の発明は、請求項２１において、プラズマディスプレイパネルと熱交換器の間に熱伝導部材を配置したことを特徴とする。
【００５０】
また、請求項２３に記載の発明は、請求項１７において、冷却手段は、プラズマディスプレイパネルに絶縁性液体を接触させ、かつその絶縁性液体を冷却することにより前記プラズマディスプレイパネルを冷却する手段であることを特徴とする。
【００５１】
また、請求項２４に記載の発明は、請求項１７において、冷却手段は、プラズマディスプレイパネルを約８０℃以下に冷却するものである。
【００５２】
また、請求項２５に記載の発明は、請求項１７において、エージング時間は０．５時間以上２．０時間以下である。
【００５３】
以下、本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法について、図１〜図７の図面を用いて説明する。なお、本発明において、パネルの構成および製造工程については、上述した内容と同様で、パネルを製造した後のエージング工程が異なるのみであるため、以降ではその説明を省略する。
【００５４】
（実施の形態１）
図１（ａ）、（ｂ）に本発明の実施の形態１によるプラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング工程を実施している状態を示しており、図１（ａ）は断面図、図１（ｂ）は平面図である。
【００５５】
すなわち、本発明においては、まず、一対の基板を基板間に放電空間が形成されるように対向配置し、前記放電空間で放電が発生するように基板に電極群を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルを製造する。
【００５６】
その後、個々のプラズマディスプレイパネルを１枚ずつエージングユニットに設置し、プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加して表示駆動を行うエージング工程を実施する。このエージング工程では、図１（ａ）のように、パネル２１をエージングユニットの支持基板２２上に置き、そしてパネル２１の端子２３に導線２４によって一方を高周波電源２５に接続するとともに、他方を接地し、パネル２１の実使用時に印加する電圧よりも高いエージング電圧を印加して放電させ、所定時間パネルを実際に点灯させてエージングを行う。このとき、パネル２１は、ほぼ水平となるように、エージングユニットに設置する。
【００５７】
前記エージングユニットは、支持基板２２の裏面に、この支持基板２２に密着させて放熱フィン２６ａを有するアルミニウムからなる放熱板２６を設け、またパネル２１と支持基板２２の間に密着性に優れた熱伝導部材２７を介在させて設けることにより、エージングユニットに冷却手段を設置した構成であり、パネル２１にエージング電圧を印加してエージングを行うときに、パネル２１に発生する熱は、熱伝導部材２７、支持基板２２を介して、放熱板２６に伝熱され、そして放熱板２６から空間に放出され、パネル２１は冷却される。
【００５８】
なお、エージング工程は、プラズマディスプレイパネルとして出荷する際に特性の安定化を図るのが主目的であるが、ガラス基板が持つ欠陥部により実使用時にパネルに割れが発生しないように、実使用時に割れに至る欠陥部を持つ状態でパネルが出荷されるのを防ぐこともできることから、エージング時におけるパネルの温度が、実使用時におけるパネルの温度程度になるようにパネルを冷却すればよい。
【００５９】
本発明者らの実験によれば、パネル２１に割れが起こり得る温度は８０℃〜１００℃であり、プラズマディスプレイパネルが設置される個々のエージングユニットに冷却手段を設ける構成とすることによりパネル２１の温度を約７０℃以下とすることができる。また、パネル２１全面の熱を放熱板２６に伝熱して放熱することにより、パネル２１を冷却する構成であるため、パネル２１の面内における温度差も少なくすることができ、パネル２１に実使用時以上の熱による大きなストレスが加わることがないため、エージング時にパネル２１が割れるということを防ぐことができる。
【００６０】
なお、本実施の形態では熱を放出する目的で放熱板２６を用いたが、放熱板２６の代わりに、単に厚みの厚い金属板、例えば厚みの厚いアルミニウム板を用いるだけでも冷却効果を発揮することができ、パネル２１の割れ防止について同様な効果が得られた。
【００６１】
（実施の形態２）
図２（ａ）、（ｂ）に本発明の実施の形態２によるプラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング工程を実施している状態を示しており、図２（ａ）は断面図、図２（ｂ）は平面図である。
【００６２】
すなわち、本実施の形態２においては、上記実施の形態１と同様に、プラズマディスプレイパネルを１枚ずつエージングユニットに設置し、プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加して表示駆動を行うエージングを実施する。そして、エージング工程においては、図２（ａ）のようにパネル２１をエージングユニットの支持基板２２上にほぼ水平となるように置き、そしてパネル２１の端子２３に導線２４によって一方を高周波電源２５に接続するとともに、他方を接地し、パネル２１の実使用時に印加する電圧よりも高いエージング電圧を印加して放電させ、所定時間パネルを実際に点灯させてエージングを行う。
【００６３】
前記エージングユニットは、冷却手段として送風装置を備えており、その送風装置を用いてパネル２１を空冷しながらエージングを行う。この送風装置としては、例えば１０ｃｍ程度の適当な間隔をあけて複数個の送風機２８をパネル２１の上方に設ける。送風機２８の数は任意でよいが、図２（ｂ）のようにパネル２１に対して隈なく送風できるように小型のものを多く設ける方が好ましい。送風機２８は、それを支持するために設けた送風機フレーム２９に取り付けられ、送風機フレーム２９は支持基板２２を囲むように設けた支持フレーム３０に配置されている。すなわち、図２（ａ）、（ｂ）に示す構成において、送風機２８がパネル２１方向への送風を行うことにより、上記実施の形態１と同様にパネル２１が冷却されるので、エージング時のパネル２１の割れを防止することができる。
【００６４】
なお、本実施の形態２では送風機２８をパネル２１の表面側に設けたが、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、パネル２１の表面側および裏面側の両面、あるいは裏面側のみに設けても同様な効果が得られることは言うまでもない。また、パネル２１方向に送風したが、逆方向に送風してもよい。さらに、図４に示すように、エージングユニットに放熱板２６と熱伝導部材２７による冷却手段を設ける実施の形態１と併用すれば、冷却をより効果的に行うことができる。
【００６５】
（実施の形態３）
図５（ａ）、（ｂ）に本発明の実施の形態３によるプラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング工程を実施している状態を示しており、図５（ａ）は断面図、図５（ｂ）は平面図である。
【００６６】
すなわち、本実施の形態３においても、上記実施の形態１と同様に、プラズマディスプレイパネルを１枚ずつエージングユニットに設置し、プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加して表示駆動を行うエージングを実施する。このエージング工程においては、図５（ａ）のようにパネル２１をエージングユニットの支持基板２２上に設けた熱交換器３１の上にほぼ水平となるように置き、そしてパネル２１の端子２３に導線２４によって一方を高周波電源２５に接続するとともに、他方を接地し、パネル２１の実使用時に印加する電圧よりも高いエージング電圧を印加して放電させ、所定時間パネルを実際に点灯させてエージングを行う。
【００６７】
エージングユニットの熱交換器３１は、パイプ３２によって冷却装置３３と接続されており、パイプ３２には、例えば純水のような液体の溶媒が循環している。また、パネル２１に熱交換器３１を接触させるようにしておけばよいが、図５に示すようにパネル２１と熱交換器３１の間に熱伝導部材３４を設けることで、冷却の効率を上げることができる。また、熱交換器３１の内部は、パイプが蛇行した構造をもっており熱を効果的に奪えるように構成されている。
【００６８】
このように図５に示す構成により、エージング時に熱交換器３１による冷却手段によってパネル２１を冷却することができ、上記実施の形態と同様に、パネル２１の割れを防止することができる。
【００６９】
なお、本実施の形態３では熱交換器３１を用いる例のみを示したが、実施の形態１ならびに実施の形態２の少なくとも一方と併用してもよいことは言うまでもない。
【００７０】
（実施の形態４）
図６（ａ）、（ｂ）に本発明の実施の形態４によるプラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング工程を実施している状態を示しており、図６（ａ）は断面図、図６（ｂ）は平面図である。
【００７１】
すなわち、本実施の形態４においても、上記実施の形態１と同様に、プラズマディスプレイパネルを１枚ずつエージングユニットに設置し、プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加して表示駆動を行うエージングを実施する。このエージング工程においては、図６（ａ）のようにパネル２１をエージングユニットの支持基板２２上にほぼ水平となるように置き、そしてパネル２１の端子２３に導線２４によって一方を高周波電源２５に接続するとともに、他方を接地し、パネル２１の実使用時に印加する電圧よりも高いエージング電圧を印加して放電させ、所定時間パネルを実際に点灯させてエージングを行う。
【００７２】
エージングユニットは、図６（ａ）のように、パネル２１を載置した支持基板２２を囲むように容器３５を設け、その容器３５内部には絶縁性液体３６を入れ、支持基板２２の一部または全部を浸す構造とすることにより冷却手段を備えた構成である。また、容器３５には、絶縁性液体３６を循環させるためのパイプ３７を設け、そのパイプ３７を介して冷却装置３８に接続した構成とする。なお、絶縁性液体３６としては、エチレングリコール、純水を用いることができる。純水を用いる場合は、パイプ３７にイオン交換樹脂３９を挿入し、抵抗値を監視維持することにより実現することができる。
【００７３】
このように図６に示す構成により、上記実施の形態と同様に、エージング時に絶縁性液体３６によってパネル２１を冷却することにより、パネル２１の割れを防止することができる。なお、本実施の形態４では、熱伝導部材を用いない場合を示したが、パネル２１と支持基板２２の間に熱伝導部材を介在させることにより、冷却をより効果的に行うことができる。
【００７４】
以上の実施の形態により説明したように本発明によれば、エージング時に、個々のプラズマディスプレイパネルを冷却手段を備えたエージングユニットに設置し、パネル２１に割れが起こり得る温度である８０℃〜１００℃の温度以下、すなわち約８０℃以下に冷却することにより、パネル２１の面内における温度差も少なくすることができ、パネル２１に実使用時以上の熱による大きなストレスが加わることがないため、エージング時に良品となるべきパネル２１が割れるということを防ぐことができる。また、本発明において、エージング工程では、パネルの実使用時に印加する電圧よりも高い電圧を印加して放電をさせるが、その時間として、特性の安定化の目的では０．５時間以上あればよいが、確実なエージングのためには、エージング時間として０．５時間以上２．０時間以下が望ましい。
【００７５】
なお、上記実施の形態による説明では、１枚のパネルを冷却する場合の例のみを示したが、実際のエージング工程においては、複数枚のパネルを一度にエージングすることが行われる。この場合は、上記実施の形態で説明した構成を多段に積み重ねた状態で行えばよく、また、この多段に積み重ねた構成を横に複数個並べた状態で行ってもよい。図７は、実施の形態２に示す送風機を用いたエージングユニットを、複数段（図７のものは４段）積み重ねた場合の例を示しており、図７に示すような状態で複数枚のパネルのエージングを行う。図７に示すように、適当な間隔をあけて配置した複数個の送風機２８が取り付けられた送風機フレーム２９は、多段に積み重ねて設けられた複数の支持フレーム３０にそれぞれ配置されており、各段のエージングユニットの送風機２８の下方に、支持基板２２上にほぼ水平に保持されたパネル２１を載置し、送風機２８を用いてパネル２１を冷却しながらエージングを行う。すなわち、パネル２１を冷却するための冷却手段である送風機２８は、複数のパネル２１のそれぞれに対応して個別に設けられており、各段の送風機２８に対応してそれぞれ１枚のパネル２１をセットした状態でエージングを行う。これにより、複数のパネル２１のそれぞれを、各パネル２１に対応して設けられた送風機２８によって確実に冷却することができるので、複数のパネル２１のそれぞれについてパネル割れを防止できるとともに、効率よくパネル２１のエージングを行うことができる。なお、パネル２１を保持する支持基板２２は、横方向にスライド可能な構造とし、パネル２１の出し入れを容易にする構造としてもよい。
【００７６】
また、本発明においては、パネルをほぼ水平に保持した状態でエージングを行うため、次のような効果を得ることができる。すなわち、パネルをほぼ垂直に保持した状態でエージングを行った場合、パネルの温度上昇に伴って発生する空気の対流によって、パネルが割れるほどではないが、パネル面内の場所によって温度差が生じやすくなり、このような状態でエージングを行うと、放電開始電圧は温度特性を持っているため、パネル面内の放電セルの電気特性が不均一になる。例えば、パネルをほぼ垂直に保持した状態で、実施の形態１で説明したような放熱板２６を用いてパネルを冷却しながらエージングを行うと、パネル２１の上方部分が下方部分に比べて温度が高くなりやすい。これに対し、パネル２１をほぼ水平に保持した状態でエージングを行うと、空気対流の影響を受けずにエージングを行うことが可能となるので、パネルをほぼ垂直に保持した状態でエージングする場合に比べて、パネルの面内の温度差が小さくなり、エージングの均一性が向上し、パネル面内の放電セルの電気特性をより均一にすることができる。
【００７７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明にかかるプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、エージング工程中のパネル温度上昇を抑制し、エージング工程中のパネル割れを防止することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング工程時の状態を示す概略断面図および平面図
【図２】（ａ）、（ｂ）は本発明の他の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング工程時の状態を示す概略断面図および平面図
【図３】（ａ）、（ｂ）は本発明の他の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング工程時の状態を示す概略断面図
【図４】本発明の他の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング工程時の状態を示す概略断面図
【図５】（ａ）、（ｂ）は本発明の他の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング工程時の状態を示す概略断面図および平面図
【図６】（ａ）、（ｂ）は本発明の他の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング工程時の状態を示す概略断面図および平面図
【図７】プラズマディスプレイパネルを多段に積み重ねた状態でエージングを行うときの状態を示す概略断面図
【図８】プラズマディスプレイパネルの構成を示す斜視図
【図９】プラズマディスプレイパネルの電極配列を示す配線図
【図１０】プラズマディスプレイパネルを用いたプラズマディスプレイ装置の構成を示す分解斜視図
【符号の説明】
２１　パネル
２２　支持基板
２５　高周波電源
２６　放熱板
２８　送風機
３１　熱交換器
３６　絶縁性液体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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