(57)【要約】【課題】炉体内部に面状ヒータを多段に設けたガラス基板用熱処理装置において、最上段や最下段の面状ヒータのように、片側方向にしか他の面状ヒータが位置せず、両側方向に他の面状ヒータが位置する面状ヒータに比べて熱が逃げやすく、温度が上昇しにくい面状ヒータであったとしても、低コストで他の面状ヒータと同様に温度を上昇させることができるガラス基板用熱処理装置を提供すること。【構成】最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータに、放熱を防止するための放熱防止用被覆体を設けた。【選択図】　　　図３
2004144337.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炉体内部に面状ヒータを多段に設けたガラス基板用熱処理装置において、
最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータに、放熱を防止するための放熱防止用被覆体を設けたことを特徴とするガラス基板用熱処理装置。
【請求項２】
前記放熱防止用被覆体は、最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータの外側面四隅に設けたことを特徴とする請求項１記載のガラス基板用熱処理装置。
【請求項３】
前記放熱防止用被覆体は、断熱性素材からなることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のガラス基板用熱処理装置。
【請求項４】
前記放熱防止用被覆体は、下端開口の箱状に形成していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラス基板用熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガラス基板用熱処理装置に関し、例えば、液晶パネル用のガラス基板や、同液晶パネルに取付けられるカラーフィルター用のガラス基板の焼成や乾燥などに用いられる熱処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、配向膜や偏向膜が形成された液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用のガラス基板Ｂや同ＬＣＤに用いられるカラーフィルター（ＣＦ）用のガラス基板Ｂなどの焼成や乾燥に用いる電子具品用の熱処理装置として、図１０に示すような熱の放射伝導を利用した遠赤外線放射加熱方式の熱処理装置Ｘがあった（特許文献１参照。）。
【０００３】
上記熱処理装置Ｘにおいては、内周面に断熱材（図示せず）を貼設した箱型の炉本体１０１を設けて、同炉本体１０１の内部に、赤外線放射板１１１により面状ヒータ１１２を両側から挟んで形成した面状ヒータ複合体を、炉本体１０１の側壁１０１ａから所定の間隔を空けて立設していた。
【０００４】
また、かかる立設した面状ヒータ複合体を縦面状ヒータ１　０２とすると、対向する左右側の縦面状ヒータ１０２，１０２の一方には給気孔１０３を、他方には排気孔１０４を複数穿設しており、かかる給・排気孔１０３，１０４と方向が対応するように、前記炉本体１０１の対向する左右側壁１０１ａ，１０１ａの一方には給気口１０５を、他方には排気口１０６を設けていた。
【０００５】
また、対向する左右側の縦面状ヒータ１０２，１０２には、それぞれ前後方向に伸延する正面視コ字状のヒータ支持体１０７を多段に配設して、同ヒータ支持体１０７によって、水平に寝かせた状態の面状ヒータ複合体（以下、横面状ヒータ１０　８という）を挿脱自在に支持し、各横面状ヒータ１０８，１０８間にガラス基板加熱空間ｔを形成していた。
【０００６】
さらに、各ガラス基板加熱空間ｔにおいては、ガラス基板Ｂを水平に支持するための石英管１０９を前後方向に伸延させて、同石英管１０９を横面状ヒータ１０８の上方に配設した石英管支持体１１０により支持していた。
【０００７】
そして、上記構成よりなる熱処理装置Ｘにおいては、給・排気口１０５，１０６、及び給・排気孔１０３，１０４を介して炉本体１０１の内部の空気を少量ずつ入れ換えて、ガラス基板Ｂからの揮発性塵類を排出しつつ、各ガラス基板加熱空間ｔ内のガラス基板Ｂを加熱処理していた。
【０００８】
【特許文献１】
実用新案登録第３０６６３８７号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の熱処理装置においては、炉本体の内部に横面状ヒータを多段に設けているため、最上段や最下段の横面状ヒータのように、片側方向にしか他の横面状ヒータが位置しない横面状ヒータにおいては、両側方向に他の横面状ヒータが位置する横面状ヒータに比べて熱が逃げやすく、温度が上昇しにくくかった。
【００１０】
そのため、炉本体内部の温度分布にむらが生じてしまい、最上段や最下段の横面状ヒータの近傍に位置するガラス基板加熱空間においては、他のガラス基板加熱空間に比べて内部に収容されたガラス基板を十分に加熱することができず、ガラス基板の品質にばらつきが生じてしまっていた。
【００１１】
そこで、温度が上昇しにくい最下段や最上段や最下段の横面状ヒータに関しては、最初から面状ヒータの温度を高く設定することも考えられるが、制御回路が複雑になるとともに、消費電力も増加するので、コストがかかってしまう。従って、低コストで最上段や最下段の横面状ヒータの温度を他の面状ヒータと同様に上昇させることができる熱処理装置が望まれていた。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
そこで、請求項１記載の本発明では、炉体内部に面状ヒータを多段に設けたガラス基板用熱処理装置において、最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータに、放熱を防止するための放熱防止用被覆体を設けた。
【００１３】
また、請求項２記載の本発明では、前記放熱防止用被覆体は、最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータの外側面四隅に設けた。
【００１４】
また、請求項３記載の本発明では、前記放熱防止用被覆体は、断熱性素材から形成した。
【００１５】
また、請求項４記載の本発明では、前記放熱防止用被覆体は、下端開口の箱状に形成した。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明は、炉体内部に面状ヒータを多段に設けたガラス基板用熱処理装置において、最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータに、放熱を防止するための放熱防止用被覆体を設けたものである。
【００１７】
すなわち、炉体内部に面状ヒータを多段に設けた場合には、最上段や最下段の面状ヒータが他の面状ヒータに比べて温度が上昇しにくく、炉体内部の温度分布にむらが生じてしまうので、最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータに対して面状ヒータからの放熱を防止するための放熱防止用被覆体を配設し、面状ヒータから熱が逃げないようにするのである。
【００１８】
このように、面状ヒータからの放熱を防止することにより、最上段や最下段の面状ヒータも他の面状ヒータと同様に温度を上昇させることができ、炉体内部の温度分布にむらが生じるのを防止することができる。従って、炉体内部に収容された全てのガラス基板を均一に加熱して、温度差による品質のばらつきを防止することができ、歩留まりを向上させることができる。
【００１９】
なお、本熱処理装置の熱処理対象となるガラス基板は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やＬＣＤ用のカラーフィルター（ＣＦ）などであり、本熱処理装置は、かかる電子部品用途のものを熱処理する場合に好適に用いることができる。また、面状ヒータとしては、例えば遠赤外線を放射する面状ヒータを用いる。
【００２０】
また、前記放熱防止用被覆体は、特に温度が上昇しにくい最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータの外側面四隅に設けることによって、効率よく最上段や最下段の面状ヒータ全体の温度を上昇させることができると共に、最上段や最下段の面状ヒータにおける温度分布のむらを防止することができる。従って、最上段や最下段の面状ヒータの近傍に位置するガラス基板の一側面全体を均一に加熱して、温度差によるガラス基板の撓みや歪みを防ぐことができ、効率よく歩留まりを向上させることができる。
【００２１】
また、前記放熱防止用被覆体は、断熱性素材により形成すれば、面状ヒータからの熱を効率よく遮断して外方に逃げないようにすることができ、放熱防止用被覆体の厚みを薄くしたり、形状をコンパクトにしたりすることが可能となる。
【００２２】
さらに、前記放熱防止用被覆体は、下端開口の箱状に形成するのが望ましく、かかる形状とすれば、面状ヒータからの熱を効率よく放熱防止用被覆体の内部に蓄積することができ、面状ヒータの温度を一層効率よく上昇させることができる。しかも、単純な構造なので、コストをかけることなく簡単に機能性の高い放熱防止用被覆体を設けることができる。
【００２３】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を、図面を参照しながら説明する。
【００２４】
図１は、本発明に係るガラス基板用熱処理装置の一実施例としての焼成炉Ａの正面断面図であり、図示するように、本実施例における焼成炉Ａでは、箱型に形成した炉本体１の内周面に断熱材（図示せず）を貼設し、しかも、同炉本体１の内部に炉本体１の側壁１ａから所定の間隔を空けて面状ヒータを立設している。
【００２５】
かかる立設させた面状ヒータを縦面状ヒータ２とすると、対向する左右側の縦面状ヒータ２，２の一方には給気孔３を、他方には排気孔４を複数穿設しており、かかる給・排気孔３，４と方向が対応するように、前記炉本体１の対向する左右側壁１ａ，１ａの一方には給気口５を、他方には排気口６を設けている。
【００２６】
また、上記左右側の縦面状ヒータ２，２には、それぞれ前後方向に伸延するレール状のヒータ支持体７を多段に配設し、同ヒータ支持体７によって、水平に寝かせた状態の面状ヒータ（以下、横面状ヒータ８という）を挿脱自在に支持し、各横面状ヒータ８，８間にガラス基板加熱空間Ｔを形成している。なお、図示するように、各ガラス基板加熱空間Ｔには、前記縦面状ヒータ２に穿設した給・排気口５，６がそれぞれ開口している。
【００２７】
さらに、各ガラス基板加熱空間Ｔにおいては、ガラス基板Ｂを水平に支持するための石英管を前後方向に伸延させており、同石英管は、横面状ヒータの上方に配設した石英管支持体により支持している。なお、石英管と石英管支持体の構造は、前記図１０に示すものと同様であり、図１では図示を省略している。
【００２８】
本実施例における焼成炉Ａは上記構成からなり、ここで、本発明の要旨ともなる横面状ヒータ８からの放熱を防止する放熱防止用被覆体２５についてさらに詳説する。
【００２９】
図１〜図３に示すように、放熱防止用被覆体２５は、ステンレスを下端開口の箱状に形成したものであり、最上段に設けた横面状ヒータ８の外側面四隅にそれぞれ配置している。各放熱防止用被覆体２５の下端開口縁には、最上段の横面状ヒータ８の外側面に沿ってフランジ状に伸延させた取付部２５ａを形成しており、同取付部２５ａをボルト２６で横面状ヒータ８に固定している。
【００３０】
このように、本実施例では、最上段の横面状ヒータ８に放熱防止用被覆体２５を設けているので、下方にしか他の横面状ヒータ８が存在しておらず、上下両側を別の横面状ヒータ８によって挟まれた横面状ヒータ８と比べて温度が上昇しにくい最上段の横面状ヒータ８においても、放熱を防いで他の横面状ヒータ８と同様に温度を上昇させることができる。そして、炉本体１の内部の温度分布にむらが生じるのを防止して、炉本体１の内部に収容された全てのガラス基板Ｂを均一に加熱し、温度差によってガラス基板Ｂの品質にばらつきが生じるのを防止することができる。
【００３１】
特に、本実施例では、放熱防止用被覆体２５を下端開口の箱状に形成しているので、横面状ヒータ８からの熱を効率よく放熱防止用被覆体２５の内部に蓄積して、横面状ヒータ８の温度を効率よく上昇させることができる。しかも、単純な構造なので、例えば既存のガラス基板熱処理用装置に対しても、上記放熱防止用被覆体２５を低コストで且つ簡単に付設することができる。
【００３２】
また、本実施例では、放熱防止用被覆体２５は、横面状ヒータ８の四隅に設けているが、これは、図４に示すように、横面状ヒータ８を１〜３０の部位に分けた場合、四隅となる１、５、２６、３０の部位が他の部位と比べて温度が上昇しにくいからであり、本実施例のように、最上段の横面状ヒータ８において、四隅からの放熱を重点的に防止した場合には、効率よく最上段の横面状ヒータ８の温度を上昇させることができると共に、最上段の横面状ヒータ８における温度分布のむらを防止することができる。
【００３３】
また、本実施例では、前述の通り放熱防止用被覆体２５をステンレスにより形成しているが、放熱防止用被覆体２５の素材としてはこれに限らない。例えば耐熱性樹脂のような断熱性のある素材で放熱防止用被覆体２５を形成すれば、横面状ヒータ８からの熱を効率よく遮断して外方に逃げないようにすることができ、放熱防止用被覆体２５の厚みを薄くしたり、形状をコンパクトにしたりすることが可能となる。
【００３４】
さらに、本実施例では、最上段の横面状ヒータ８にのみ放熱防止用被覆体２５を設けているが、これに限らず、放熱防止用被覆体２５は、最上段の横面状ヒータ８と同じく温度が上昇しにくい最下段の横面状ヒータ８にも設けることができる。そして、最上段の横面状ヒータ８と最下段の横面状ヒータ８とのどちらか一方にのみ、或いは両方に放熱防止用被覆体２５を設けることができる。
【００３５】
ところで、本実施例では、上述した構成以外にも、その他の構成として横面状ヒータ８のスライド・収容構造を設けている。横面状ヒータ８のスライド・収容構造とは、すなわち、横面状ヒータ８と、同横面状ヒータ８を支持するヒータ支持体７との構造のことであり、以下においてかかる横面状ヒータ８とヒータ支持体７との構造を詳説する。
【００３６】
なお、横面状ヒータ８は、炉本体１の内部への挿入時に最初に挿入される側を先端部８ａ、他端側を後端部８ｂとし、ヒータ支持体７は、横面状ヒータ８を炉本体１の内部に収容したときに同横面状ヒータ８の先端部８ａを支持する側を奥側部７ａ、他端側を前側部７ｂとして説明する。
【００３７】
横面状ヒータ８は、図７、図８に示すように、矩形板状に形成した面状ヒータ２３を、同じく矩形板状に形成した上下２枚の赤外線放射板２４，２４によって両側から挟むと共に、かかる面状ヒータ２３及び両赤外線放射板２４，２４の周縁部を断面視略コ字状のヒータ固定枠１１で共に挟んでボルト１２で固定することにより、単一の横面状ヒータ８となしている。
【００３８】
また、横面状ヒータ８の先端側左右端部には、後述するヒータ支持体７のヒータ支持面７ｃ上をスライド可能なステンレス製のヒータ側転動輪１３をそれぞれ取り付けている。
【００３９】
すなわち、図７、図８に示すように、断面視略コ字状である前記ヒータ固定枠１１の縦片部１１ａに、ヒータ側転動輪１３をステンレス製の回転軸１４を介して回転自在に取り付けており、しかも、かかるヒータ側転動輪１３の底部を横面状ヒータ８の下端よりも下方に位置させている。なお、ヒータ側転動輪１３は、ヒータ支持体７との摩擦や焼き付きを確実に防止すべく、耐熱性樹脂により形成してもよい。
【００４０】
ヒータ支持体７は、ステンレス製であり、図７、図８に示すように、縦面状ヒータ２の内側面に当接する第１縦片部７ｄと、同第１縦片部７ｄの下端から炉本体１の中央方向に向かって水平に突出する横片部７ｅと、同横片部７ｅの突出先端から下方に向かって垂直に垂下する第２縦片部７ｆとから正面視段状に形成すると共に、第１縦片部７ｄをボルト１５で固定することにより縦面状ヒータ２に取り付けている。そして、前記横片部７ｅの上面を、実際に横面状ヒータ８と当接して同横面状ヒータ８を支持するヒータ支持面７ｃとしている。
【００４１】
また、ヒータ支持体７の前側部７ｂには、矩形板状の転動輪取付片１６を前記第２縦片部７ｆと平行となるように横片部７ｅに垂設して、同転動輪取付片１　６と第２縦片部７ｆとの間に上記横面状ヒータ８を案内可能なステンレス製の支持体側転動輪１７を軸架している。なお、支持体側転動輪１７は、横面状ヒータ８との摩擦や焼き付きを確実に防止すべく、耐熱性樹脂により形成してもよい。図中、１８は支持体側転動輪１７との焼き付きを防止すべく耐熱性樹脂により形成したカラー、１９は一端に把持部１９ａを設けたステンレス製の回転軸である。
【００４２】
図５、図６に示すように、前記支持体側転動輪１７の回転軸１９は、上記転動輪取付片１６と第２縦片部７ｆとにそれぞれ設けられた側面視略門状の軸受け孔２０に係止される。すなわち、前記支持体側転動輪１７の回転軸１９は、略門状を成す軸受け孔２０の２つの縦孔部２０ａ，２０ｃのどちらかに係止されるとともに、両縦孔部２０ａ，２０ｃを連絡する横孔部２０ｂを介して両縦孔部２０ａ，２０ｃ間を自由に移動可能である。
【００４３】
しかも、両縦孔部２０ａ，２０ｃは、一方（ここでは前側の縦孔部）が他方（ここでは奥側の縦孔部）よりも下方に長く伸延していて段違いになっており、より長い縦孔部を下段縦孔部２０ａ、他方を上段縦孔部２０ｃとすると、前記支持体側転動輪１７は、その回転軸１９を下段縦孔部２０　ａと上段縦孔部２０ｃとのどちらに係止するかによって上下位置が変わることとなる。かかる構成により、本実施例では、支持体側転動輪１７を上下に自在に移動できるようにしている。
【００４４】
特に、支持体側転動輪１７の直上方となるヒータ支持体７の横片部７ｅは開口させており、回転軸１９を上段縦孔部２０ｃに係止したときには、支持体側転動輪１７の頂部がヒータ支持面７ｃよりも上方に位置し、回転軸１９を下段縦孔部２０ａに係止したときには、支持体側転動輪１７の頂部がヒータ支持面７ｃよりも下方に位置するようにしている。
【００４５】
このとき、軸受け孔２０を設けた転動輪取付片１６と第２縦片部７ｆとは、支持体側転動輪１７の回転軸１９を上下移動自在に支持する輪支持部２１として作動し、簡単な構成でありながら確実に支持体側転動輪１７を上下に移動させることができる。しかも、簡単な構成であるが故に、破損しにくく、且つ低コストで設けることができる。
【００４６】
また、ヒータ支持体７の奥側部７ａには、横片部７ｅの復員の第１縦片部７ｄ側を奥側部７ａに向かって下方に傾斜させて、ヒータ側転動輪１３を沈降状態に収納するための転動輪収納凹部２２を設けている。
【００４７】
そして、本実施例では、横面状ヒータ８のスライド・収容構造を上述したような構造としたことにより、横面状ヒータ８は、以下のようにして炉本体１の内部に挿脱され（スライドされ）、載置される（収容される）。
【００４８】
すなわち、横面状ヒータ８を炉本体１の内部に挿入するときには、図５に示すように、まず、支持体側転動輪１７の回転軸１９を軸受け孔２０の上段縦孔部２０ｃに係止して、図７（ａ）に示すように、支持体側転動輪１７の頂部をヒータ支持体７のヒータ支持面７ｃよりも上方に突出させる。そして、図８（ａ）に示すように、ヒータ側転動輪１３をヒータ支持体７のヒータ支持面７ｃ上に載置すると共に、図７（ａ）に示すように、前記支持体側転動輪１７の頂部に横面状ヒータ８の下面を当接させて、図９（ａ）に示すように、両転動輪１３，１７を転動させつつ横面状ヒータ８を炉本体１の内部へ挿入する。
【００４９】
このとき、横面状ヒータ８は両転動輪１３，１７の転動によって炉本体１の内部へと繰り出されるので、横面状ヒータ８の重量が大きかったとしても、大きな抵抗を受けることなく円滑に横面状ヒータ８を炉本体１の内部へ挿入することができる。
【００５０】
そして、横面状ヒータ８が炉本体１の内部へ深く挿入されて、ヒータ側転動輪１３がヒータ支持体７の転動輪収納凹部２２まで行き着くと、ヒータ側転動輪１３は転動輪収納凹部２２の傾斜面２２ａに沿って転動しながら次第に下降し、最終的には、図８（ｂ）に示すように、これまでヒータ側転動輪１３によってヒータ支持面７ｃの上方に持ち上げられていた横面状ヒータ８の先端部８ａが、ヒータ支持面７ｃに当接する。
【００５１】
このように、ヒータ側転動輪１３が転動輪収納凹部２２に沈降状態に収容されたら、次に、支持体側転動輪１７の回転軸１９を軸受け孔２０の上段縦孔部２０ｃから下段縦孔部２０ａへと移動させて、図７（ｂ）に示すように、支持体側転動輪１７の頂部をヒータ支持体７のヒータ支持面７ｃよりも下方に沈降させる。これにより、図７（ｂ）、図８（ｂ）、図９（ｂ）に示すように、横面状ヒータ８の下面をヒータ支持体７のヒータ支持面７ｃにぴったりと密着させて、横面状ヒータ８を炉本体１の内部に収容・載置することができる。
【００５２】
しかも、前述の如く、横面状ヒータ８の下面とヒータ支持体７のヒータ支持面７ｃとの間には隙間が発生していないので、各横面状ヒータ８，８間に形成されるガラス基板加熱空間Ｔ同士の間で、空気の流通がほとんど生じず、各ガラス基板加熱空間Ｔにおける温度分布にむらが生じるのを防止することができる。
【００５３】
なお、図６に示すような収容状態にある横面状ヒータ８を炉本体１の内部から引き出す場合には、軸受け孔２０の下段縦孔部２０ａに係止されている支持体側転動輪１７の回転軸１９を上段縦孔部２０ｃへと移動させて、図７（ａ）に示すように、再び支持体側転動輪１７の頂部をヒータ支持体７のヒータ支持面７ｃよりも上方に突出させると共に、ヒータ支持体７の転動輪収納凹部２２に沈降状態に収容されているヒータ側転動輪１３を、横面状ヒータ８を引き出しながら転動輪収納凹部２２の傾斜面２２ａに沿って転動させて、次第に転動輪収納凹部２２の外部に上昇させる。
【００５４】
そして、図８（ａ）に示すように、ヒータ側転動輪１３をヒータ支持体７のヒータ支持面７ｃ上に載置すると共に、図７（ａ）に示すように、前記支持体側転動輪１７の頂部に横面状ヒータ８の下面を当接させて、図９（ａ）に示すように、両転動輪１３，１７の転動によって横面状ヒータ８を炉本体１の外部へと繰り出すのである。
【００５５】
このときも、前記横面状ヒータ８の挿入時と同様に、横面状ヒータ８の重量が大きかったとしても、大きな抵抗を受けることなく円滑に横面状ヒータ８を炉本体１の外部へ引き出すことができる。
【００５６】
なお、図７に示すように、支持体側転動輪１７とそのカラー１　８とはある程度の接触面積を有するので、既に焼成炉Ａを作動させたことがあり、炉本体１の内部を加熱したことがある場合には、炉本体１の内部から横面状ヒータ８を引き出そうとしても、支持体側転動輪１７とカラー１８とが焼き付いていて、支持体側転動輪１７を転動できないおそれがある。しかし、本実施例では、前述したように、焼き付きを防止すべく支持体側転動輪１７のカラー１８を耐熱性樹脂製としているので、例え炉本体１の内部を加熱した後であったとしても、支持体側転動輪１７を円滑に転動させることができる。
【００５７】
【発明の効果】
本発明は、上記してきた態様で実施されるものであり、下記の効果を奏する。
【００５８】
（１）請求項１記載の本発明では、炉体内部に面状ヒータを多段に設けたガラス基板用熱処理装置において、最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータに、放熱を防止するための放熱防止用被覆体を設けたので、他の面状ヒータと比べて温度が上昇しにくい最上段や最下段の面状ヒータも、他の面状ヒータと同様に温度を上昇させることができ、炉体内部の温度分布にむらが生じるのを防止することができる。従って、炉体内部に収容された全てのガラス基板を均一に加熱して、温度差による品質のばらつきを防止することができ、歩留まりを向上させることができる。
【００５９】
（２）請求項２記載の本発明では、前記放熱防止用被覆体は、最上段及び／又は最下段に設けた面状ヒータの外側面四隅に設けたので、特に温度が上昇しにくい面状ヒータの四隅からの放熱を効果的に防止して、効率よく最上段や最下段の面状ヒータ全体の温度を上昇させることができると共に、最上段や最下段の面状ヒータにおける温度分布のむらを防止することができる。従って、最上段や最下段の面状ヒータの近傍に位置するガラス基板の一側面全体を均一に加熱して、温度差によるガラス基板の撓みや歪みを防ぐことができ、効率よく歩留まりを向上させることができる。
【００６０】
（３）請求項３記載の本発明では、前記放熱防止用被覆体は、断熱性素材から形成したので、面状ヒータからの熱を効率よく遮断して外方に逃げないようにすることができ、放熱防止用被覆体の厚みを薄くしたり、形状をコンパクトにしたりすることが可能となる。
【００６１】
（４）請求項４記載の本発明では、前記放熱防止用被覆体は、下端開口の箱状に形成したので、面状ヒータからの熱を効率よく放熱防止用被覆体の内部に蓄積することができ、面状ヒータの温度を一層効率よく上昇させることができる。しかも、単純な構造なので、コストをかけることなく簡単に機能性の高い放熱防止用被覆体を設けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるガラス基板用熱処理装置の一実施例としての焼成炉の正面断面図である。
【図２】放熱防止用被覆体を示す正面断面視による説明図である。
【図３】放熱防止用被覆体の取付位置を示す斜視による説明図である。
【図４】横面状ヒータの各部位を示す説明図である。
【図５】本発明にかかるガラス基板用熱処理装置の一実施例としての焼成炉におけるヒータのスライド状態を示す図であり、（ａ）は側面視による全体説明図、（ｂ）はｉの拡大説明図、（ｃ）はｉｉの拡大説明図である。
【図６】同焼成炉におけるヒータの収容状態を示す図であり、（ａ）は側面視による全体説明図、（ｂ）はｉｉｉの拡大説明図、（ｃ）はｉｖの拡大説明図である。
【図７】同焼成炉におけるヒータのスライド・収容状態を示す図であり、（ａ）はＩ−Ｉ線における断面説明図、（ｂ）はＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面説明図である。
【図８】同焼成炉におけるヒータのスライド・収容状態を示す図であり、（ａ）はＩＩ−ＩＩ線における断面説明図、（ｂ）はＩＶ−ＩＶ線における断面説明図である。
【図９】ヒータの側面視による説明図であり、（ａ）はスライド状態を示す側面視による模式図、（ｂ）は収容状態を示す側面視による模式図である。
【図１０】従来のガラス基板用熱処理装置の正面断面図である。
【符号の説明】
Ａ　焼成炉
Ｂ　ガラス基板
Ｔ　ガラス基板加熱空間
１　炉本体
２５　放熱防止用被覆体
【図１】
2004144337.tif 000003
【図２】
2004144337.tif 000004
【図３】
2004144337.tif 000005
【図４】
2004144337.tif 000006
【図５】
2004144337.tif 000007
【図６】
2004144337.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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