(57)【要約】【課題】微小変位用のアクチュエータを有する磁気ディスク装置や光ディスク装置の記録／再生ヘッド支持機構において、アクチュエータの変位性能を阻害することなく電磁変換素子または光学モジュールの静電破壊を防ぐ。【解決手段】電磁変換素子または光学モジュールが設けられたスライダ２と、サスペンション３とを有し、スライダ２がこれを変位させるためのアクチュエータ４を介してサスペンション３に支持されており、スライダ２に電気的に接続する接地用配線９０を含む配線パターンを有し、この配線パターンが、サスペンション３に密着する密着配線５Ａと、サスペンション３から離れてスライダ２まで延び、アクチュエータ４によるスライダ２の変位方向に可動および／または変形可能な浮動配線５Ｂとを含む記録／再生ヘッド支持機構。【選択図】　　　　　図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁変換素子または光学モジュールが設けられたスライダと、サスペンションとを有し、スライダがこれを変位させるためのアクチュエータを介してサスペンションに支持されており、
電磁変換素子または光学モジュールに電気的に接続する配線と、スライダに電気的に接続する接地用配線とを含む配線パターンを有し、この配線パターンが、サスペンションに密着する密着配線と、サスペンションから離れてスライダまで延び、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および／または変形可能な浮動配線とを含む記録／再生ヘッド支持機構。
【請求項２】
電磁変換素子または光学モジュールが設けられたスライダと、サスペンションとを有し、スライダがこれを変位させるためのアクチュエータを介してサスペンションに支持されており、
サスペンションの先端部がスライダ側に湾曲または屈曲し、かつ、前記先端部が、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および／または変形可能な可撓領域を有し、
この可撓領域の表面に配線パターンが密着しており、この配線パターンが、電磁変換素子または光学モジュールに電気的に接続する配線と、スライダに電気的に接続する接地用配線とを含む記録／再生ヘッド支持機構。
【請求項３】
サスペンションが導電性材料から構成され、前記配線パターンから前記接地用配線が引き出されてサスペンションに電気的に接続されている請求項１または２の記録／再生ヘッド支持機構。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかの記録／再生ヘッド支持機構を有する記録／再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスクドライブ（以下、ＨＤＤと略記する）や光ディスクドライブなどの記録／再生装置における記録／再生ヘッド支持機構と、この記録／再生ヘッド支持機構を有する記録／再生装置とに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＨＤＤに用いられる従来の磁気ヘッド支持機構は、電磁変換素子を設けたスライダをサスペンションにより支持し、電磁変換素子に接続する配線パターンを設けたものが一般的である。
【０００３】
電磁変換素子は、電気信号と磁気信号とを相互に変換するための磁極およびコイルや、これらに加え、磁気信号を電圧信号に変換するための磁気抵抗効果素子などを有するものであり、これらは薄膜形成技術や組立加工技術等により形成されている。スライダは、Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣやＣａＴｉＯ３などの非磁性セラミックスやフェライトなどの磁性体から構成され、その形状は概ね直方体状であり、ディスク媒体に対向する面（エアベアリング面）が、ディスク媒体と微小な距離を隔てて浮上するための圧力を発生するのに適した形状に加工されたものである。スライダを支持するサスペンションは、弾性を有するステンレス板などに曲げや抜きなどの加工を施すことにより形成されたものである。
【０００４】
スライダには、実際の使用時に静電気が発生することがある。この静電気は、コンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）におけるスライダ浮上面とディスク媒体表面との間の摺動、高速回転するディスク媒体表面に対してスライダの浮上量が非常に小さいことにより生じるスライダ浮上面とディスク媒体表面との接触、スライダと空気との間の摩擦などによって発生する。
【０００５】
スライダに静電気が生じると、電磁変換素子に静電破壊現象の発生することがある。これを防止するために多くの磁気ヘッドでは、スライダを接地している（例えば特開平２−６１８１０号公報、特開平２−２４４４１９号公報、特開平８−１１１０１５号公報）。上記特開平２−６１８１０号公報には、スライダに設けた磁気コアに電気的に接続した導体を、アース電位であるサスペンションのジンバル部に導電性接着剤により接着した薄膜磁気ヘッドが記載されている。また、上記特開平２−２４４４１９号公報には、スライダ側面とサスペンションとを導電性接着剤により接着することが記載されている。また、上記特開平８−１１１０１５号公報には、サスペンション上に設けたフレキシブル配線基板に接地電極を設け、この接地電極をスライダに電気的に接続した磁気ヘッド装置が記載されている。
【０００６】
ところでＨＤＤでは、小型化、高密度記録化が進むにしたがって、トラック密度がより高く、トラック幅がより狭くなってきている。高密度記録ＨＤＤにおいてトラッキング精度を向上させるためには、電磁変換素子やスライダをサスペンションに対し微小変位させるアクチュエータを磁気ヘッドに設けることが有効である。このようなアクチュエータは、例えば特開平６−２５９９０５号公報、同６−３０９８２２号公報、同８−１８０６２３号公報に記載されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
アクチュエータを有する磁気ヘッドでは、アクチュエータによりスライダを駆動する際にスライダがサスペンションに対し相対的に変位する。したがって、サスペンション側とスライダ側とを接続する電気配線がこの変位を阻害する可能性がある。
【０００８】
しかし、アクチュエータを設けることが記載されている前記各公報には、スライダの接地に関する記載はない。したがって、当然、アクチュエータを介在させた場合にアクチュエータの変位性能を阻害することなくスライダを接地するための手段については記載されていない。
【０００９】
本発明の目的は、微小変位用のアクチュエータを有する磁気ディスク装置や光ディスク装置の記録／再生ヘッド支持機構において、アクチュエータの変位性能を阻害することなく電磁変換素子または光学モジュールの静電破壊を防ぐことである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、以下の構成により達成される。
（１）　電磁変換素子または光学モジュールが設けられたスライダと、サスペンションとを有し、スライダがこれを変位させるためのアクチュエータを介してサスペンションに支持されており、
電磁変換素子または光学モジュールに電気的に接続する配線と、スライダに電気的に接続する接地用配線とを含む配線パターンを有し、この配線パターンが、サスペンションに密着する密着配線と、サスペンションから離れてスライダまで延び、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および／または変形可能な浮動配線とを含む記録／再生ヘッド支持機構。
（２）　電磁変換素子または光学モジュールが設けられたスライダと、サスペンションとを有し、スライダがこれを変位させるためのアクチュエータを介してサスペンションに支持されており、
サスペンションの先端部がスライダ側に湾曲または屈曲し、かつ、前記先端部が、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および／または変形可能な可撓領域を有し、
この可撓領域の表面に配線パターンが密着しており、この配線パターンが、電磁変換素子または光学モジュールに電気的に接続する配線と、スライダに電気的に接続する接地用配線とを含む記録／再生ヘッド支持機構。
（３）　サスペンションが導電性材料から構成され、前記配線パターンから前記接地用配線が引き出されてサスペンションに電気的に接続されている上記（１）または（２）の記録／再生ヘッド支持機構。
（４）　上記（１）〜（３）のいずれかの記録／再生ヘッド支持機構を有する記録／再生装置。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の記録／再生ヘッド支持機構は、電磁変換素子または光学モジュールが設けられたスライダと、サスペンションとを有し、スライダがこれを変位させるためのアクチュエータを介してサスペンションに支持されたものである。以下、本発明を、スライダに電磁変換素子が設けられた磁気ヘッドに適用する場合を例に挙げて説明する。
【００１２】
まず、サスペンション、アクチュエータおよびスライダの代表的な構成について説明する。
【００１３】
図１１に、アクチュエータを有する磁気ヘッド支持機構の構成例を分解斜視図として示す。この磁気ヘッド支持機構は、電磁変換素子１を設けたスライダ２と、このスライダ２を支持するサスペンション３とを有し、スライダ２とサスペンション３との間に、アクチュエータ４を設けたものである。
【００１４】
アクチュエータ４は、スライダ２をサスペンション３に対して微小変位させるためのものであり、サスペンション３の末端部に設けたジンバル部３ａに、接着等により固定してある。ジンバル部３ａは、スライダをディスク媒体面に追従させることを目的として、エッチングや打ち抜き等により溝を設けることにより形成したものである。なお、この磁気ヘッドには、サスペンション全体を駆動するための主アクチュエータ（ＶＣＭ等）も設けられる。
【００１５】
アクチュエータ４は、固定部４３と可動部４４とを有し、さらに、これらを接続する２本の棒状の変位発生部４１、４１を有する。変位発生部４１には、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少なくとも１層設けられ、電極層に電圧を印加することにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電歪材料層は、逆圧電効果または電歪効果により伸縮する圧電・電歪材料からなる。変位発生部４１の一端は固定部４３を介してサスペンションに連結され、変位発生部４１の他端は可動部４４を介してスライダに連結され、変位発生部４１の伸縮によりスライダが変位して、電磁変換素子がディスク媒体の記録トラックと交差するように弧状に変位する構成となっている。
【００１６】
アクチュエータ４では、変位発生部４１において、圧電・電歪材料層がＰＺＴ等のいわゆる圧電材料から構成されている場合、圧電・電歪材料層には、通常、変位性能向上のための分極処理が施されている。この分極処理による分極方向は、アクチュエータの厚さ方向である。電極層に電圧を印加したときの電界の向きが分極の向きと一致する場合、両電極間の圧電・電歪材料層はその厚さ方向に伸長（圧電縦効果）し、その面内方向では収縮（圧電横効果）する。一方、電界の向きが分極の向きと逆である場合、圧電・電歪材料層はその厚さ方向に収縮（圧電縦効果）し、その面内方向では伸長（圧電横効果）する。そして、一方の変位発生部と他方の変位発生部とに、収縮を生じさせる電圧を交互に印加すると、一方の変位発生部の長さと他方の変位発生部の長さとの比率が変化し、これによって両変位発生部はアクチュエータの面内において同方向に撓む。この撓みによって、固定部４３に対し可動部４４が、電圧無印加時の位置を中央として図中矢印方向に揺動することになる。この揺動は、可動部４４が、変位発生部４１の伸縮方向に対しほぼ直交する方向に弧状の軌跡を描く変位であり、揺動方向はアクチュエータの面内に存在する。したがって、電磁変換素子も弧状の軌跡を描いて揺動することになる。このとき、電圧と分極とは向きが同じなので、分極減衰のおそれがなく、好ましい。なお、両変位発生部に交互に印加する電圧が変位発生部を伸長させるものであっても、同様な揺動が生じる。
【００１７】
図示するアクチュエータでは、両変位発生部に、互いに逆の変位が生じるような電圧を同時に印加してもよい。すなわち、一方の変位発生部と他方の変位発生部とに、一方が伸長したとき他方が収縮し、一方が収縮したとき他方が伸長するような交番電圧を同時に印加してもよい。このときの可動部４４の揺動は、電圧無印加時の位置を中央とするものとなる。この場合、駆動電圧を同じとしたときの揺動の振幅は、電圧を交互に印加する上記場合の約２倍となる。ただし、この場合、揺動の一方の側では変位発生部を伸長させることになり、このときの駆動電圧は分極の向きと逆となる。このため、印加電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行う場合には、圧電・電歪材料の分極が減衰するおそれがある。したがって、分極と同じ向きに一定の直流バイアス電圧を加えておき、このバイアス電圧に前記交番電圧を重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の向きが分極の向きと逆になることがないようにする。この場合の揺動は、バイアス電圧だけを印加したときの位置を中央とするものとなる。
【００１８】
図示するアクチュエータは、所定箇所に電極層を設けた圧電・電歪材料の板状体に孔部および切り欠きを形成することにより、変位発生部４１、固定部４３および可動部４４を一体的に形成した構造となっている。したがって、アクチュエータの剛性および寸法精度を高くでき、組立誤差が生じる心配もない。また、アクチュエータ製造に接着剤を用いないため、変位発生部の変形によって応力が生じる部分に接着剤層が存在しない。このため、接着剤層による伝達ロスや、接着強度の経年変化などの問題も生じない。
【００１９】
本明細書において圧電・電歪材料とは、逆圧電効果または電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が高いことから、通常、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。アクチュエータをセラミックス圧電・電歪材料から構成する場合、シート法や印刷法等の厚膜法を用いて容易に製造できる。なお、アクチュエータは、薄膜法により作製することもできる。圧電・電歪材料が結晶構造を有する場合、多結晶体であっても単結晶体であってもよい。
【００２０】
電極層の形成方法は特に限定されず、圧電・電歪材料層の形成方法を考慮して、導電性ペーストの印刷、焼成や、スパッタ、蒸着等の各種方法から適宜選択すればよい。
【００２１】
アクチュエータは、変位発生部に、両側を電極層に挟まれた圧電・電歪材料層が少なくとも１層存在する構成であればよいが、好ましくは、このような圧電・電歪材料層が２層以上積層された積層型のものであることが好ましい。圧電・電歪材料層の伸縮量は電界強度に比例するが、上記積層型とすれば、圧電・電歪材料層が薄くなるので、必要な電界強度が低電圧で得られるようになり、駆動電圧を低減できる。また、単層構造の場合と同じ駆動電圧とすれば、より大きな伸縮量が得られる。圧電・電歪材料層の厚さは特に限定されず、駆動電圧や、必要とされる伸縮量、製造しやすさ等の各種条件に応じて適宜決定すればよいが、通常、５〜５０μｍ程度であることが好ましい。圧電・電歪材料層の積層数の上限は特になく、目的とする厚さの変位発生部が得られるように適宜決定すればよい。なお、最も外側にある電極層のさらに外側には、通常、カバー部としての圧電・電歪材料層が設けられる。
【００２２】
スライダ２は、電気抵抗が比較的低いセラミックス、例えばＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣやＭｎ−Ｚｎフェライトなどから構成される。スライダ２の一側面には、絶縁層を介して磁性コアやコイルなどが設けられて電磁変換素子１を構成している。
【００２３】
なお、図示はしていないが、サスペンション３の表面には、アクチュエータ４を駆動するための配線パターンや、電磁変換素子１に接続される配線パターンが必要に応じて形成される。また、サスペンション３表面に、ヘッドドライブ用のＩＣチップ（リードライトＩＣ）を搭載してもよい。信号処理ＩＣをサスペンション上に設ければ、電磁変換素子から信号処理ＩＣまでの配線パターンの長さを短くできるので、誘導成分が減って共振周波数を高くすることができる。
【００２４】
本発明は、図１１に示す構造の一体型アクチュエータを利用する場合に好適であるが、このほか、圧電素子を用いる組立構造の各種アクチュエータ、静電気力を用いるアクチュエータ、電磁力を用いるアクチュエータ等のいずれを利用する場合にも適用できる。
【００２５】
サスペンション３は、一般に、ステンレス鋼等の弾性を有する金属材料から構成するが、樹脂等の絶縁性材料から構成してもよい。一方、配線パターンは、その一部を、樹脂被覆によって導体線を覆う構造とし、これをサスペンション表面に密着させることが一般的である。このような構造の配線パターンの形成方法は特に限定されないが、例えば、サスペンション３の表面に絶縁膜として樹脂膜を形成し、この上に導体線を形成し、さらに、保護膜として樹脂膜を形成する方法を用いたり、このような樹脂膜と導体線との積層体からなる配線用フィルム（フレキシブル配線基板）を、サスペンション３に接着したりする方法を利用する。
【００２６】
本発明では、上述したような構成を有する磁気ヘッド支持機構において、スライダを接地することにより電磁変換素子の静電破壊を防ぐ。以下、本発明および参考例におけるスライダの接地について具体的に説明する。
【００２７】
第１の態様（参考例）では、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および／または変形可能な電気的接続部材により、サスペンションが有する接地領域とスライダとが電気的に接続される。
【００２８】
第１の態様の構成例を図１に示す。図１は、サスペンション３に、アクチュエータ４を介してスライダ２を取り付けた状態を示す側面図である。アクチュエータ４の固定部４３とサスペンション３との接着およびアクチュエータ４の可動部４４とスライダ２との接着には、いずれも接着剤７ａが利用されている。サスペンション３は金属等の導電性材料から構成され、接地電位に保たれている。したがって、ここではサスペンション３自体が上記接地領域となる。スライダ２とサスペンション３とは、柔軟性の高いリード線８により電気的に接続され、スライダ２に発生した静電気はリード線８を経てサスペンション３に流れる。なお、スライダ２およびサスペンション３に対するリード線８の電気的接続は、それぞれ導電性接着剤７ｂによりなされている。
【００２９】
第１の態様の他の構成例を図２に示す。図２は、サスペンション３に、アクチュエータ４を介してスライダ２を取り付けた状態を、サスペンション３のディスク媒体対向面側から見た平面図である。図２では、サスペンション３表面に接地用配線９０が形成され、その一端に上記接地領域である接地用電極９１が接続されている。接地用配線９０の他端は、接地電位の導電体（ＨＤＤの筐体など）に接続されている。接地用電極９１とスライダ２とは、柔軟性の高いリード線８により電気的に接続されているので、スライダ２は接地されていることになる。なお、スライダ２および接地用電極９１に対するリード線８の電気的接続は、それぞれ導電性接着剤７ｂによりなされている。図中の符号５２は、２本の信号用配線と１本の接地用配線とからなるアクチュエータ駆動用配線であり、サスペンション３表面に密着して設けられている。また、図中の符号５１は、電磁変換素子を電気的に接続する信号用配線であり、サスペンション３の図中裏面側からサスペンション３の先端を回り込んで、スライダ２に設けた電磁変換素子の端子電極群へと接続する。
【００３０】
図１および図２では、柔軟性の高いリード線８を用いるため、スライダ２の接地がアクチュエータ４の変位を妨げることはない。また、リード線８のスライダ２への接続箇所を比較的自由に選択できる。図２に示す構成は、サスペンション３が絶縁性材料から構成されている場合にもスライダ２の接地が可能である。
【００３１】
図３に、第１の態様の他の構成例を示す。図１では、スライダ２の背面側、すなわち、スライダ２のサスペンション３側の面に、アクチュエータ４を配置しているが、図３では、全体の高さを抑えるためにスライダ２の側面側にアクチュエータ４を配置している。図３におけるそのほかの構成は、図１と同様である。なお、第１の態様に限らず、本発明に包含されるすべての態様において、スライダとアクチュエータとの位置関係は図１および図３のいずれであってもよい。
【００３２】
第２の態様（参考例）では、アクチュエータの少なくとも一部に導電性領域が形成されており、この導電性領域を介して、サスペンションの接地領域とスライダとが電気的に接続される。
【００３３】
第２の態様の構成例を図４に示す。図４は、サスペンション３に、アクチュエータ４を介してスライダ２を取り付けた状態を示す側面図である。サスペンション３は、金属等の導電性材料から構成され、接地電位に保たれている。また、アクチュエータ４の表面には、固定部４３と可動部４４とを結ぶように、前記導電性領域として接地用導体９が形成されている。また、アクチュエータ４の固定部４３とサスペンション３との接着およびアクチュエータ４の可動部４４とスライダ２との接着には、いずれも導電性接着剤７ｂが利用され、これらの接着剤７ｂは、上記接地用導体９の一端部および他端部をそれぞれ覆っている。したがって、スライダ２は接地されていることになる。
【００３４】
なお、アクチュエータの種類によっては、アクチュエータの全体または表面付近を導電性材料から構成することができる。この場合には、アクチュエータの全体または表面付近を前記導電性領域として利用し、スライダを接地することができる。
【００３５】
第２の態様の他の構成例を図５に示す。図５に示すアクチュエータ４は、前記した積層型の圧電アクチュエータである。前述したように、積層型の圧電アクチュエータでは、各圧電・電歪材料層を一対の電極層が挟んだ構造になっている。図５では、この一対の電極層の一方である接地電極（図中の接地用導体９）を、スライダ２接地のための前記導電性領域として利用している。具体的には、接地用導体９の両端をアクチュエータ４の側面に露出させ、一端をサスペンション３に、他端をスライダ２に、それぞれ導電性接着剤７ｂにより電気的に接続することにより、スライダ２を接地している。そのほかの構成は図４と同様である。
【００３６】
図４および図５では、アクチュエータ４をサスペンション３およびスライダ２にそれぞれ接着するに際し、通常の接着剤に替えて導電性接着剤を用い、かつ、アクチュエータ４の製造に際し、接地用導体９を形成ないし露出させるだけでスライダ２を接地することができる。そのため、スライダ２の接地がアクチュエータ４の変位性能を阻害することは全くない。しかも、スライダ２を接地させるために必要な工程数の増加も少なくて済む。
【００３７】
なお、図４および図５では導電性接着剤だけを利用しているが、導電性接着剤は、接着性樹脂中に銀箔や炭素粉末などの導電性材料を分散させたものが一般的であり、通常の接着剤に比べ接着性が劣ることがある。したがって、必要に応じ通常の接着剤を併用してもよい。
【００３８】
図６に、第２の態様の他の構成例を示す。図６では、スライダ２の電磁変換素子に電気的に接続する信号用配線を含むフレキシブル配線基板からなる配線パターンが設けられている。この配線パターンは、サスペンション３表面に密着する密着配線５Ａと、サスペンション３から離れてスライダ２まで延びる浮動配線５Ｂとから構成される。なお、アクチュエータ駆動用配線は図示を省略してある。
【００３９】
密着配線５Ａと浮動配線５Ｂとからなる配線パターンは、まず、サスペンション３の媒体対向面にフレキシブル配線基板からなる密着配線を形成し、次いで、サスペンション３先端部を除去し、上記密着配線の一部を浮動状態とすることにより形成したものである。図示例では、あらかじめフレキシブル配線基板の先端部に、電磁変換素子との電気的接続を行うための端子電極群を形成した後、この端子電極群近傍を端子電極板３２として残すように、サスペンション３先端部の一部を除去している。そして、浮動配線５Ｂをスライダ２側に湾曲または屈曲させて、端子電極板３２の一方の面をスライダ２に他方の面をアクチュエータ４にそれぞれ接着すると共に、前記端子電極群をスライダ２の端子電極群と接続している。サスペンション３の一部除去は、例えば打ち抜きやウエットエッチングにより行うことができる。
【００４０】
図６では、アクチュエータ４の接地用導体９を、スライダ２接地のための前記導電性領域として利用している点で図５と同様である。ただし、図６では、アクチュエータ４の可動部４４側において、接地用導体９と端子電極板３２の一方の面とを導電性接着剤７ｂにより接続し、さらに、端子電極板３２の他方の面とスライダ２とを導電性接着剤７ｂにより接続している。端子電極板３２はサスペンション３と同じ導電性材料から構成されているので、スライダ２とサスペンション３とを電気的に接続することができる。
【００４１】
図５および図６では、導電性のサスペンション３と接地用導体９とを導電性接着剤７ｂにより接続することにより、これらを介してスライダ２を接地させているが、このほか、接地用導体９に接地用配線を接続して、この接地用配線をサスペンション３側に引き出す構成としてもよい。具体的には、例えば図２に示すように接地用配線を含むアクチュエータ駆動用配線５２を用いればよい。その場合、接地用配線は導電性のサスペンション３に接続してもよく、接地電位の導電体（ＨＤＤの筐体など）に接続してもよい。前者の場合、図１０における接地用配線９０と同様に、配線パターンの途中から接地用配線を引き出してサスペンション３に接続すればよい。後者の場合、サスペンション３が導電体である必要はない。このように接地用配線を利用すれば、スライダ２を接地させるための製造工程変更を最小限に抑えることができる。また、サスペンション３に対するアクチュエータ４の接着を通常の接着剤で行うことができるため、導電性接着剤を利用する場合に比べ接着強度を高くできる。
【００４２】
第３の態様（本発明）における磁気ヘッドは、電磁変換素子に電気的に接続する配線と、スライダに電気的に接続する接地用配線とを含む配線パターンを有する。この配線パターンは、サスペンションに密着する密着配線と、サスペンションから離れてスライダまで延びる浮動配線とを含み、この密着配線は、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および／または変形可能なものである。
【００４３】
第３の態様の構成例を図７に示す。図７は、サスペンション３に、アクチュエータ４を介してスライダ２を取り付けた状態を、サスペンション３のディスク媒体対向面側から見た平面図である。
【００４４】
図７では、スライダ２の電磁変換素子に電気的に接続する信号用配線５１を含むフレキシブル配線基板からなる配線パターンが設けられている。この配線パターンは、サスペンション３表面に密着する密着配線５Ａと、サスペンション３から離れてスライダ２まで延びる浮動配線５Ｂとから構成される。なお、図中の符号５２は、アクチュエータ駆動用配線であり、サスペンション３表面に密着して設けられている。
【００４５】
密着配線５Ａと浮動配線５Ｂとからなる配線パターンは、まず、サスペンション３の媒体対向面にフレキシブル配線基板からなる密着配線を形成し、次いで、サスペンション３先端部を除去し、上記密着配線の一部を浮動状態とすることにより形成したものである。図示例では、あらかじめフレキシブル配線基板の先端部に４つの端子電極からなる端子電極群９４を形成した後、端子電極群９４近傍を端子電極板３２として残すように、サスペンション３先端部の一部を除去している。そして、浮動配線５Ｂをスライダ２側に湾曲または屈曲させて、端子電極板３２をスライダ２の図中裏面側に接着すると共に、端子電極群９４をスライダ２の端子電極群と接続している。ただし、端子電極板３２を形成することは必須ではなく、浮動配線５Ｂをスライダ２の端子電極群に直接つなぐ構成としてもよい。サスペンション３の一部除去は、例えば打ち抜きやウエットエッチングにより行うことができる。
【００４６】
図７では、浮動配線５Ｂを、スライダ２の端子電極群と接続可能であって、かつ、その接続した状態においてアクチュエータ４によるスライダ２の変位方向に可動および／または変形可能となるように、形成する。したがって、浮動配線５Ｂがアクチュエータ４の変位性能を阻害することはない。
【００４７】
密着配線５Ａと浮動配線５Ｂとからなる配線パターンには、電磁変換素子に電気的に接続する信号用配線５１に加え、接地用配線９０が含まれる。この接地用配線９０は、一端が、浮動配線５Ｂに形成された端子電極群９４と並ぶ接地用電極９１に接続され、他端が、接地電位の導電体（ＨＤＤの筐体など）に接続されている。接地用電極９１は、スライダ２に導電性接着剤や金ボール等により電気的に接続されるので、スライダ２は接地されることになる。
【００４８】
図７では、浮動配線５Ｂ上の接地用電極９１を、スライダ２の電磁変換素子形成面に電気的に接続しているが、この面にＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ等の低抵抗セラミックスが露出していない場合には、図８に示すように接地用電極９１の位置を変更することにより、低抵抗セラミックスが露出している側面に接続することができる。また、図９に示すように、浮動配線５Ｂ上の接地用電極９１とスライダ２とを、リード線８により接続する構成とすれば、スライダ２への接続箇所を比較的自由に選択することができる。
【００４９】
第３の態様では、上記した浮動配線５Ｂのような柔軟性をもつ配線を用いてスライダ２を接地させるため、スライダ２の接地がアクチュエータ４の変位性能を阻害することはほとんどない。また、スライダ２を接地させるに際し、アクチュエータ４の構造を変更する必要がない。また、他の態様に比べ工程数が少なくて済み、生産工程の自動化にも適している。
【００５０】
図１０に、第３の態様の他の構成例を示す。図１０では、密着配線５Ａから接地用配線９０を引き出し、その端部を導電性接着剤７ｂによりサスペンション３に固定している。この構造とする場合には、サスペンション３を導電性材料から構成する。図１０におけるそのほかの構成は、図８と同様である。
【００５１】
なお、第３の態様では、サスペンション３の媒体と対向しない表面に密着配線５Ａを形成し、この密着配線５Ａに連続する浮動配線５Ｂが、サスペンション３を乗り越えてスライダ２に到達する構成としてもよい。
【００５２】
第４の態様（本発明）における磁気ヘッドでは、サスペンションの先端部がスライダ側に湾曲または屈曲し、かつ、前記先端部が、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および／または変形可能な可撓領域を有する。この可撓領域の表面には配線パターンが密着しており、この配線パターンは、電磁変換素子に電気的に接続する配線と、スライダに電気的に接続する接地用配線とを含む。
【００５３】
第４の態様の磁気ヘッドは、上記第３の態様の磁気ヘッドと類似の方法により作製することができる。例えば第３の態様を示す図７では、端子電極板３２とサスペンション３との間を完全に除去しているが、第４の態様の磁気ヘッドを作製する場合には、端子電極板３２とサスペンション３との間を完全には除去せずに、その一部を、上記配線パターンが密着した状態で残すようにすればよい。そして、この端子電極板が、図７に示す端子電極板３２と同様にアクチュエータ４を越えてスライダ２に届くように、サスペンション先端部を湾曲または屈曲させればよい。このような構成とする場合、サスペンション先端部は、上記のように湾曲または屈曲させることが可能であって、かつ、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および／または変形が可能な程度に剛性が低い必要がある。このように剛性が低い可撓領域は、上記したように密着配線を形成してからサスペンション先端部の両側をエッチングすることによって形成できるが、先端部の剛性が低くなる形状にあらかじめ加工されているサスペンションを用いてもよい。なお、第４の態様においても、第３の態様と同様に端子電極板３２は必須ではない。
【００５４】
以上では、記録／再生ヘッドのうちＨＤＤの磁気ヘッドについて述べたが、本発明は光ディスク装置にも適用できる。従来の光ディスク装置では、少なくともレンズを有する光学モジュールを備えた光ピックアップを利用している。この光ピックアップは、光ディスクの記録面に焦点が合うようにレンズが機械的に制御されるものである。しかし、最近、光ディスクの記録密度を飛躍的に高める方法として、ニア・フィールド記録が提案されており［ＮＩＫＫＥＩ　ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ　１９９７．６．１６（ｎｏ．６９１），ｐ．９９］、このニア・フィールド記録では、浮上型ヘッドを用いる。この浮上型ヘッドは、浮上型磁気ヘッドと同様なスライダを用い、このスライダに、ＳＩＬ（ｓｏｌｉｄ　ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ　ｌｅｎｓ）と呼ばれる半球状のレンズと、磁界変調記録用コイルと、プリフォーカスレンズとを有する光学モジュールを組み込んだものである。ニア・フィールド記録用の浮上型ヘッドは、米国特許第５，４９７，３５９号明細書にも記載されている。このような浮上型ヘッドでは、ＨＤＤ用の磁気ヘッドと同様に高記録密度化に伴ってトラッキング精度の向上が必要とされるため、微小変位アクチュエータが有効である。したがって、本発明は、このような光記録媒体用の記録／再生ヘッド（光学ヘッド）にも適用することができる。
【００５５】
より一般的にいうと、本発明が適用できる光学ヘッドは、上記した磁気ヘッドと同様なスライダを有し、このスライダに光学モジュールを組み込むか、スライダ自体を光学モジュールから構成したものである。光学モジュールは少なくともレンズを有し、さらに、必要に応じてレンズアクチュエータや磁界発生用コイルなどが組み込まれる。このような光学ヘッドとしては、上記したニア・フィールド記録用の浮上型ヘッドのほか、スライダが記録媒体表面を摺動するような光学ヘッド、すなわち疑似接触型や接触型の光学ヘッドが挙げられる。本発明を光学ヘッドに適用した場合については、上記説明において電磁変換素子を光学モジュールと読み替えれば、容易に理解できる。なお、本発明は、磁気ヘッドにおいても疑似接触型や接触型のものに適用することができる。
【００５６】
本明細書では、記録／再生ヘッドを、記録再生ヘッドと記録専用ヘッドと再生専用ヘッドとを含む概念とし、記録／再生装置も同様に、記録再生装置と記録専用装置と再生専用装置とを含む概念とする。また、記録媒体も、記録可能媒体に限らず、例えば再生専用光ディスクなどのように再生専用型の媒体を含む概念とする。
【００５７】
【発明の効果】
本発明の記録／再生ヘッド支持機構では、アクチュエータの変位性能を阻害することなくスライダを接地することができるので、電磁変換素子や光学モジュールの位置決め精度を犠牲にすることなく、これらの静電破壊を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の態様の磁気ヘッドの構成例を示し、サスペンションにアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す側面図である。
【図２】第１の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションの媒体対向面にアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す平面図である。
【図３】第１の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションにアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す側面図である。
【図４】第２の態様の磁気ヘッドの構成例を示し、サスペンションにアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す側面図である。
【図５】第２の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションにアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す側面図である。
【図６】第２の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションにアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す側面図である。
【図７】第３の態様の磁気ヘッドの構成例を示し、サスペンションの媒体対向面にアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す平面図である。
【図８】第３の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションの媒体対向面にアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す平面図である。
【図９】第３の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションの媒体対向面にアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す平面図である。
【図１０】第３の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションの媒体対向面にアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す平面図である。
【図１１】磁気ヘッド支持機構の構成例を示す分解斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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