(57)【要約】【課題】高圧が印加されるＸ線管と高圧電源とを簡易に接続することができると共に、装置の小型化を図り得る接続用中継プラグ及びコネクタ等を提供する。【解決手段】Ｘ線発生装置１は、高圧電源ユニット１００を内蔵しないタイプのものであり、ブロック５内に配置された電子銃３と、それに対向するターゲット部４とを有するＸ線管２を備えるものである。電子銃３は、径の異なる複数のリング状端子が多段に配置された中継プラグ６を介して、高圧ケーブル８が接続され且つ複数のスプリング端子が多段に配置されたコネクタ７と接続される。【選択図】　図１
2004047129.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高圧電源系と、複数の接続端子を有する被電圧印加体との間に設けられる中継プラグであって、
前記複数の接続端子の各々と接続され、略環状を成し互いに径が異なり、且つ該径の大きさの順に多段に配置された複数の第１の導電部材を備える中継プラグ。
【請求項２】
当該中継プラグは、互いに径が異なり且つ略筒状又は略柱状を成す複数の第１の胴部が該径の大きさの順に多段に構成され、該各第１の胴部に前記各第１の導電部材が設置されたものである、ことを特徴とする請求項１記載の中継プラグ。
【請求項３】
前記複数の第１の導電部材が同軸状に配置されて成る、ことを特徴とする請求項１記載の中継プラグ。
【請求項４】
高圧電源系と、複数の接続端子を有する被電圧印加体との間に設けられるコネクタであって、
前記高圧電源系と接続され、略環状を成し互いに径が異なり、且つ該径の大きさの順に多段に配置された複数の第２の導電部材を備えるコネクタ。
【請求項５】
当該コネクタは、互いに径が異なり且つ略筒状を成す複数の第２の胴部が該径の大きさの順に多段に構成され、該各第２の胴部に前記各第２の導電部材が設置されたものである、ことを特徴とする請求項４記載のコネクタ。
【請求項６】
前記複数の第２の導電部材がコイル状を成す、ことを特徴とする請求項４記載のコネクタ。
【請求項７】
前記各第２の導電部材が第１の径を有する第１コイル部と、該第１の径よりも大きい第２の径を有する第２コイル部とを有する、ことを特徴とする請求項４記載のコネクタ。
【請求項８】
前記複数の第２の導電部材が同軸状に配置されて成る、ことを特徴とする請求項４記載のコネクタ。
【請求項９】
高圧が印加され、複数の接続端子を有し、且つ電子を発生する被電圧印加体としての電子発生部と、
前記電子発生部からの前記電子が照射されてＸ線を発生するターゲット部と、
前記電子発生部に接続された請求項１記載の中継プラグと、
前記中継プラグに接続され、且つ、高圧電源系に接続される請求項４記載のコネクタと、
を備えるＸ線発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、中継プラグ、コネクタ、及びＸ線発生装置に関し、詳しくは、マイクロフォーカスＸ線源として利用されるＸ線発生装置、並びに、それに用いられる特に高圧用の中継プラグ及びコネクタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
マイクロフォーカスＸ線源は、焦点径が数百μｍ程度の一般型Ｘ線源に比して、数μｍ〜１０μｍ程度の微小焦点を達成できるという優れた特徴を有している。これにより拡大像のエッジ部分の‘ボケ’を防止して鮮明画像が得られるため、電子部品、セラミックス、プラスチック、複合材料、新素材等のＸ線非破壊検査、多層プリント基板のＸ線計測装置、多層プリント基板の穴開け装置、ＦＡ用・産業用のＸ線ＣＴ装置、その他Ｘ線分析装置、等の広範な用途に有用である。
【０００３】
また、一般に、Ｘ線源として利用されるＸ線発生装置は、電子（線）を発生する電子銃（カソード）と、これに対向設置されたＸ線発生用のターゲットとを有するＸ線管を備えており、このＸ線管に高熱及び高圧発生用の電源回路系が接続された状態で使用される。近年では、装置の軽量コンパクト化及び保守の容易化を実現すべく、電源回路系を含む高電圧変換ユニットとＸ線発生装置とを分離した構成が主流となりつつある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、Ｘ線管と高電圧変換ユニットとを分離した構成を採用する場合、高圧となる両者の接続部位の電気的なシールを担保すべく、高絶縁性を有するブロック筐体内に当該接続部分を格納する必要がある。具体的には、ブロック筐体内において、高圧ケーブルコネクタとＸ線管の電子銃の接続端子（通常は、複数のステムピン）とを確実に接続しなければならない。
【０００５】
この場合、通常用いられる複数の接続孔を有するソケットタイプ等の接続具を用いると、目視が困難なブロック内での接続であるため、位置合わせを含めて複数ピンを有する電子銃との接続は困難となる。殊に、高圧下での絶縁をより確実なものとするには、油中接続が望ましいことが多く、この場合には、接続操作が極めて困難となる。また、一般に、耐高圧用のコネクタ類は、形状が大型となる傾向にあるが、これでは、Ｘ線管自体の規模が大きくなるため、電源系をＸ線管から分離しても装置の軽量コンパクト化を十分に達成できなくなる。
【０００６】
そこで、本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、高圧が印加されるＸ線管等の被電圧印加体と高圧電源系とを簡易に接続することができ、しかも装置の小型化を図ることができる接続用の中継プラグ、コネクタ、及び、これらを備えるＸ線発生装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明による中継プラグは、高圧電源系と、複数の接続端子を有する被電圧印加体との間に設けられるものであって、上記複数の接続端子の各々と接続され、略環状を成し互いに径が異なり、且つ、その径の大きさの順に、例えば、被電圧印加体側から高圧電源系側に向かって径が順次小さくなるように、多段に配置された複数の第１の導電部材を備えることを特徴とする。
【０００８】
このように構成された中継プラグにおいては、複数の第１の導電部材が、被電圧印加体が有する複数の接続端子の各々と接続される。これらの各第１の導電部材は、互いに径が異なる略環状（例えばリング状）を成しており、径の順に多段に配置される。よって、当該中継プラグは、先端に向かって先細るような形状で、且つ、断面がステップ形状となるように形成され得る。したがって、中継プラグの外形と略同形状の嵌合凹部を有するようコネクタを用いれば、高圧電源系との接続時に、位置決め及び結合を簡易に実施できる。
【０００９】
具体的には、本発明の中継プラグは、互いに径が異なり且つ略筒状又は略柱状を成す複数の第１の胴部が該径の大きさの順に多段に構成され、各第１の胴部に各第１の導電部材が設置されたものである。
【００１０】
このようにすれば、各第１の導電部材を確実に位置合わせして多段配置することが平易となり、被電圧印加体側に大径のものを設置し先端に向かって順次小径のものを設置する際の組み立ても簡便となる。また、複数の第１の胴部がステップ状に配置されると、各第１の導電部材間の見通しがそれらの第１の胴部で遮られるので、当該中継プラグ部位での耐電圧性（耐放電性）の向上が図られる。
【００１１】
好ましくは、複数の第１の導電部材が同軸状に配置されて成ると有用である。こうすることにより、各第１の導電部材間の距離を均等化し易くなり、中継プラグの耐電圧性（耐放電性）が向上され、被電圧印加体の動作が安定化され得る。
【００１２】
また、本発明によるコネクタは、高圧電源系と、複数の接続端子を有する被電圧印加体との間に設けられるものであって、高圧電源系が接続され、略環状を成し互いに径が異なり、且つ、その径の大きさの順に、例えば、被電圧印加体側から高圧電源系側に向かって径が順次小さくなるように、多段に配置された複数の第２の導電部材を備えるものである。
【００１３】
このようなコネクタにおいては、互いに径が異なる略環状を成す第２の導電部材が多段に配置されるので、各第２の導電部材の径を本発明の中継プラグに備わる第１の導電部材の径に対応させることにより、中継プラグとコネクタとを嵌合させ得る。これにより、高圧電源系と被電圧印加体とを簡易且つ確実に接続させることができる。
【００１４】
具体的には、本発明のコネクタは、互いに径が異なり且つ略筒状を成す複数の第２の胴部が該径の順に多段に構成され、各第２の胴部内に各第２の導電部材が設置されたものである。
【００１５】
このようにすれば、各第２の導電部材を確実に位置合わせして多段配置することが平易となり、被電圧印加体側に大径のものを設置し、高圧電源系に向かって小径のものを順次設置する際の組み立ても簡便となる。また、複数の第２の胴部がステップ状に配置されたときに、各第２の導電部材間の見通しがそれら第２の胴部で遮られるので、当該コネクタ部位での耐電圧性（耐放電性）が高められ得る。
【００１６】
さらに、複数の第２の導電部材がコイル状を成すと好ましい。こうすれば、第２の導電部材がバネとして機能する弾性体（コイルスプリング）となり、その弾力性によってコネクタの軸方向つまり中継プラグとの接続方向に伸縮すると共に、両者が嵌合されたときに第１の導電部材と第２の導電部材との押付力が高められる。また、第１の導電部材及び第２の導電部材の寸法形状に対する裕度（許容誤差）を過度に制限する必要がなく、製作が平易となる。
【００１７】
またさらに、各第２の導電部材が第１の径を有する第１コイル部と、この第１の径よりも大きい第２の径を有する第２コイル部とを有すると好適である。
【００１８】
この場合、例えば、第２コイル部に比して径が小さい第１コイル部を第１の導電部材と接触させる一方、第２コイル部を第１コイル部の言わば土台として用いることができる。こうすれば、第２の導電部材全体を同径のコイル状とする場合に比して、第１コイル部の位置ずれ（特にコイル軸に垂直な方向の‘横ずれ’）が防止され、第１の導電部材との接触が確実に担保される。また、各第２の導電部材を高圧電源系からのケーブル等と接合する際に、径が大きい第２コイル部側にリード線をハンダ付け等で接合するようにすれば、狭隘な部位での作業性が高められる。
【００１９】
さらにまた、複数の第２の導電部材が同軸状に配置されて成るとより好ましい。これにより、各第２の導電部材間の距離を均等化し易くなり、コネクタの耐電圧性（耐放電性）が向上され、被電圧印加体の動作が安定化され得る。
【００２０】
また、本発明によるＸ線発生装置は、高圧が印加され、複数の接続端子を有し、且つ電子を発生する被電圧印加体としての電子発生部と、電子発生部からの電子が照射されてＸ線を発生するターゲット部と、電子発生部に接続された本発明の中継プラグと、その中継プラグに接続されており且つ高圧電源系に接続される本発明のコネクタとを備えるものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。さらに、図面の寸法比率は、図示の比率に限られるものではない。
【００２２】
図１は、本発明による中継プラグ及びコネクタを備えるＸ線発生装置の好適な一実施形態の要部を模式的に示す断面図である。Ｘ線発生装置１は、筐体容器（図示せず）内にＸ線管２（被電圧印加体）が収容されると共に、高圧電源ユニット１００（高圧電源系）を内蔵しないタイプのものであり、かかる構成によりコンパクト化及び軽量化が実現されている。すなわち、高熱発生源であるトランス、高圧発生回路、制御回路等が内蔵された高圧電源ユニット１００と、Ｘ線発生装置１とを分離して構成することにより、軽量コンパクト化と共に保守が簡易となり、Ｘ線管２を例えば計測対象試料に近接させても、その試料に対する熱的な影響を軽減でき、利便性を向上できる。
【００２３】
また、Ｘ線管２は、非破壊検査等に利用されるマイクロフォーカスＸ線源として構成され、主として、電子を発生・放出する電子銃３（被電圧印加体，電子発生部）と、これに対向設置されたターゲット部４を備えている。ターゲット部４は、例えば金属製の筒状胴部４１内に設けられたサポート４２にターゲットロッド４３の一方端が結合されたものである。ターゲットロッド４３の他方の先端は、所定の角度で斜めに切断されており、ターゲット金属４４が例えばロウ付けにより接合されている。さらに、筒状胴部４１には、ターゲット金属４４に対面するようにＸ線出射窓４５が設けられている。
【００２４】
一方、電子銃３は、略筒状のブロック５内に、後述する中継プラグ６及びコネクタ７と共に収容されている。また、ターゲット部４側に位置するブロック５の一方端には、環状部材５１を介してヘッド部５２が結合されており、このヘッド部５２の外方面にターゲット部４が結合されており、その内方面に電子銃３の一方端が固定されている。電子銃３の内部には、図示しないヒーター電極、カソード電極、グリッド電極、フォーカス電極等が設けられている。また、それらの各電極と導通する複数のステムピン３１（接続端子）が電子銃３の他方端面から外部に向かって突出するように設置されている。
【００２５】
なお、以下においては、ステムピン３１が、ヒーター電極，カソード電極，グリッド電極，フォーカス電極に対応して少なくとも４本設けられた例について説明するが、図示の都合上、図面上には２本のステムピン３１，３１のみ記載するものとする。
【００２６】
また、電子銃３は、断面ステップ状の外形を有する中継プラグ６を介して、断面ステップ状の内形を有するコネクタ７と接続されている。さらに、コネクタ７には、ブロック５の他方端に当接する環状つば部７５が形成されており、このつば部７５によりブロック５の他方端５ｂが封止されている。またさらに、コネクタ７の内部には、高圧電源ユニット１００に接続された高圧ケーブル８が、中継プラグ６が嵌め込まれていない後端部側から挿入されている。
【００２７】
また、高圧ケーブル８は、固着具８ａ，８ｂ，８ｃによってコネクタ７のつば部７ａを含む端部に固着されている。さらに、ブロック５の内部には、絶縁油、絶縁樹脂、絶縁ガス等の絶縁媒体９が充填又は固定されている。なお、本実施形態では、以下、絶縁媒体９として絶縁油を例にとって説明する。
【００２８】
このように構成されたＸ線発生装置１では、高圧電源ユニット１００が運転されると、電子銃３内において、ヒーター電極でカソード電極が加熱され、一定の温度となると、カソード電極から電子が放出される。放出された電子は、グリッド電極で加速され、フォーカス電極で収束されて、ターゲット部４のターゲット金属４４に衝突する。そして、この衝突によって、電子がＸ線と熱とに変換され、発生したＸ線が、図示矢印Ｊで示す方向へ出射され、Ｘ線出射窓４５を通してＸ線発生装置１の外部へ放出される。
【００２９】
ここで、図２は、電子銃３、中継プラグ６、及びコネクタ７を示す正面図（一部透視図）である。これらの接続方法としては、例えば、ブロック５内に設置された電子銃３に中継プラグ６を嵌め込み、絶縁媒体９としての絶縁油をブロック５に注入した後、予め高圧ケーブル８が接合されたコネクタ７を中継プラグ７に油中接続し、最後にブロック５を封止するといった手順を例示できる。
【００３０】
また、図３は、中継プラグ６の構造を示す断面図である。図２及び３に示す如く、中継プラグ６は、略筒状又は略柱状を成し多段に形成された複数の胴部６１〜６４（第１の胴部）の各先端部に、それぞれリング状端子６１ａ〜６４ａ（第１の導電部材）が接合されたものである。各胴部６１〜６４は絶縁材料で形成されており、それら自体が複数段形状を有している。
【００３１】
また、胴部６１〜６４は、各リング状端子６１ａ〜６４ａが設けられた部位の外径が、電子銃３側に当接する端部６ａからコネクタ７側に位置する端部６ｂに向かって徐々に小さくなるように（つまり先細るように）、外周部がステップ状（段差状）に形成されている。これにより、各々径の異なるリング状端子６１ａ〜６４ａが、中継プラグ６の端部６ａから端部６ｂに向かって径が徐々に小さくなるように確実に位置決めされる。
【００３２】
また、このように胴部６１〜６４の外周部がステップ状に形成されているので、隣り合うリング状端子６１ａ〜６４ａ間の見通しが胴部６１〜６４の一部によって遮断される。さらに、胴部６１〜６４は、胴部６２〜６４を貫通する導電部材ｄ１の両端部に形成された雌ネジ部に、それぞれ端部６ａ，６ｂ側から雄ネジＮ１，Ｎ２が螺合して、全てが同軸状に固定されている。またさらに、胴部６１における電子銃３の４本のステムピン３１に対応する位置には、各ステムピン３１が挿嵌される接続孔（図示せず）が形成されている。さらにまた、胴部６２の内部は、シリコン等の絶縁体Ｚで埋め込まれている。
【００３３】
ここで、図４及び５を参照して中継プラグ６の組み立て手順の一例を説明する。図４は、本発明の中継プラグ６の部品断面図であり、図５は、図４に示す胴部６２におけるＶ−Ｖ線断面図である。まず、胴部６１に設けられたステムピン３１用の接続孔（図示せず）にリード線６５が接続された雌ソケット６６を取り付ける。なお、本実施形態では、リング状端子６４ａは、雄ネジＮ２を介して導電部材ｄ１と雌ソケット６６のリード線６５を接続される。また、図４においては、リング状端子６２ａ，６３ａに接続されるリード線の図示を省略した。
【００３４】
次に、各リード線６５を、リング状端子６１ａ〜６３ａにそれぞれハンダ付けする。また、及びリング状端子６４ａは、雄ネジＮ２を介して導電部材ｄ１とリード線６５をハンダ付けする。このとき、リング状端子６２ａ用のリード線６５を、胴部６２に設けられた貫通孔ｈ１を通して引き出した後、リング状端子６２ａにハンダ付けする。また、リング状端子６３ａ用のリード線６５を、胴部６２，６３に設けられた貫通孔ｈ２を通して引き出した後、リング状端子６３ａにハンダ付けする。
【００３５】
それから、各胴部６１〜６４とリング状端子６１ａ〜６４ａとを交互に組み上げ（リング状端子６１ａと胴部６２との間には導電部材ｄ１を組み込む）、雄ネジＮ１，Ｎ２を締め付けて全体を固定する。その後、胴部６１に設けられた絶縁体注入孔ｈｓから、液状シリコン剤等を注入し、乾燥させて絶縁体Ｚを形成し、中継プラグ６の組み立てを終了する。
【００３６】
さらに、図２及び６を参照して、コネクタ７について説明する。図６は、コネクタ７の構造を示す断面図である。図２及び６に示す如く、コネクタ７は、略筒状を成し多段に形成された複数の胴部７１〜７４（第２の胴部）の各先端部に、それぞれスプリング端子７１ａ〜７４ａ（第２の導電部材）が配置されたものである。各胴部７１〜７４は絶縁材料で形成されており、それら自体が複数段形状を有している。また、スプリング端子７１ａ〜７４及び胴部７１〜７４の周囲には、それらを覆うように外胴部７０が設けられており、胴部７４の後段には高圧ケーブル８の端部が内挿されたつば部７５が連結されている。
【００３７】
さらに、胴部７１〜７４は、各スプリング端子７１ａ〜７４ａが設置される部位の径が、中継プラグ６側に位置する外胴部７０の端部７ａからつば部７５側の端部６ｂに向かって徐々に小さくなるように（つまりコネクタ７の内部空間が先細るように）、内周部がステップ状（段差状）に形成されている。これにより、各々径の異なるスプリング端子７１ａ〜７４ａが、コネクタ７の端部７ａから端部７ｂに向かって徐々に径が小さくなるように確実に位置決めされる。
【００３８】
また、このように胴部７１〜７４の内周部がステップ状に形成されているので、隣り合うスプリング端子７１ａ〜７４ａ間の見通しが胴部７１〜７４によって遮断される。さらに、後述するように各スプリング端子７１ａ〜７４ａに接続されたリード線と、高圧ケーブル８の導体線Ｌ１〜Ｌ４の接点間、及び、これらの接点とスプリング端子７１ａ〜７４ａ間の見通しが、胴部７１〜７４によって遮断されている。
【００３９】
またさらに、胴部７１〜７４は、隣接する胴部同士の一方の内部に他方の外部が嵌合し、それらの嵌合状態が、スプリング端子７１ａ〜７４ａと高圧ケーブル８との接合等によって、全てが同軸状に固定されている。加えて、胴部７４とつば部７５と高圧ケーブル８とで画成される内部空間が、シリコン等の絶縁体Ｚで埋め込まれている。なお高圧ケーブル８のつば部７５内に挿入された部位は、凹凸部８１が形成されており、当該部位におけるケーブルパスを伸長し耐電圧性を向上している。
【００４０】
ここで、図７及び８を参照してコネクタ７の組み立て手順の一例を説明する。図７は、本発明のコネクタ７の部品断面図であり、図８は、図７に示す胴部７４におけるＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。まず、各スプリング端子７１ａ〜７４ａにリード線を接続するためのリボン状金具Ｓｙをハンダ付けし、更にその金具Ｓｙにリード線（図示せず）をハンダ付けする。各スプリング端子７１ａ〜７４ａは、それぞれ小径スプリング部Ｓ１ａ〜Ｓ４ａ（第１コイル部）と大径スプリング部Ｓ１ｂ〜Ｓ４ｂ（第２コイル部）とから構成されており、大径スプリング部Ｓ１ｂ〜Ｓ４ｂが、それぞれ胴部７１〜７４の先端に当接する。また、金具Ｓｙは、これらの大径スプリング部Ｓ１ｂ〜Ｓ４ｂに固着されている。
【００４１】
次に、各リード線を胴部７１〜７４に設けられた貫通孔ｈ１１〜ｈ１４を通すようにして、スプリング端子７１ａ〜７４ａと胴部７１〜７４とを交互に組み上げる。次いで、高圧ケーブル８をつば部７５の端部７ｂ側から挿入し、各導体線Ｌ１〜Ｌ４を露出させ、胴部７４から引き出したリード線と、それらに対応する各導体線Ｌ１〜Ｌ４の導体とをハンダ付けする。それから、胴部７４の周縁部に設けられた回転防止棒挿入孔Ｋに回転防止棒を挿入して固定した後、つば部７５の先端部側壁に設けられた絶縁体注入孔ｈｓから、液状シリコン剤等を注入し、絶縁体Ｚを形成する。
【００４２】
そして、こうして組み上げたものを、外胴部７０内に挿嵌し、外胴部７０の後端部内周面に形成された雌ネジ７０ｎと、つば部７５の外周面に形成された雄ネジ７５ｎとを螺合させて固定し、コネクタ７の組み立て及び高圧ケーブル８の接続を終了する。
【００４３】
このような構成を有する中継プラグ６、コネクタ７、及びこれらを備えるＸ線発生装置１によれば、電子銃３の端面から突出する複数のステムピン３１が、先端に向かって細径となる中継プラグ６に接続されるので、目視できないような状況下では接続が困難な複数のステムピンから成るサークル状端子が、接続が極めて簡易な形状の端子に変換される。また、高圧ケーブル８が接続されたコネクタ７が、中継プラグ６を受け入れ易い内部形状を有しており、両者が嵌合することにより、気中及び油中を問わず、各ステムピン３１と導通する中継プラグ６のリング状端子６１ａ〜６４ａと、高圧ケーブル８の各導体線Ｌ１〜Ｌ４と導通するコネクタ７のスプリング端子７１ａ〜７４ａとの接合を確実且つ簡便に実現できる。
【００４４】
さらに、中継プラグ６のリング状端子６１ａ〜６４ａが多段に構成され、且つ、コネクタ７のスプリング端子７１ａ〜７４ａがそれらに対応して多段に構成されているので、位置決めが簡易であり、しかも、その接続状態を維持できる。またさらに、リング状端子６１ａ〜６４ａ、及び、スプリング端子７１ａ〜７４ａが、それぞれステップ状に形成された胴部６１〜６４、及び胴部７１〜７４の先端部に設置されるので、これらの胴部によって端子間の一部又は全部が直接見通せない状態となる。よって、各端子間、接点間、及び端子−接点間の放電発生が抑止され、中継プラグ６及びコネクタ７共に耐電圧性が向上される。
【００４５】
さらにまた、中継プラグ６の各胴部６１〜６４及びリング状端子６１ａ〜６４ａ、並びに、コネクタ７の各胴部７１〜７４及びスプリング端子７１ａ〜７４ａが同軸状に設けられているので、両者が周方向に回動しても位置ずれが生じない。加えて、これらが同軸状に配置されているので、各端子間の距離が等間隔且つ平均的に一定に保たれるので、局所的な放電の発生を抑止できる。
【００４６】
また、スプリング端子７１ａ〜７４ａが、コイル状を成して弾性を有するので、中継プラグ６とコネクタ７が接続された状態において、リング状端子６１ａ〜６４ａとの押し付け力が高められ、当接し合う端子同士の接触をより確実且つ強固なものとすることができる。
【００４７】
さらに、各スプリング端子７１ａ〜７４ａが、主としてそれぞれ小径スプリング部Ｓ１ａ〜Ｓ４ａと大径スプリング部Ｓ１ｂ〜Ｓ４ｂとで構成され、後者が胴部７１〜７４に支持されるので、リング状端子６１ａ〜６４ａと当接する前者の横ずれを防止できる。よって、互いに接する端子相互の適正な接続状態を維持できる。
【００４８】
しかも、中継プラグ６は、主部品である胴部６１〜６４とリング状端子６１ａ〜６４ａを軸方向に沿って交互に組み上げて固定するだけで組み立てられるので、複雑な組立技法や工程を要さない。よって、組み立てが簡易であり、製作工数の増大を防止できる。この点に関しては、コネクタ７の場合も同様であり、組み立てが簡易であり、製作工数の増大を防止できる。
【００４９】
さらに、端子が多段に構成された中継プラグ６及び同コネクタ７を採用することにより、Ｘ線管２と高圧電源ユニット１００との接続部位の省スペース化を実現できる。よって、Ｘ線発生装置１の大型化を防止できる。またさらに、中継プラグ６とコネクタ７とのカップリング方式を採用するので、両者の抜き差しが自在であり、当該接続部位ひいてはＸ線発生装置１の保守が簡便となる。加えて、コネクタ７のつば部７５内に挿入された高圧ケーブル８のストレート部分に凹凸部８１が形成され、これによりケーブルパスが伸長されているので、この点においても高圧耐性の向上が図られる。
【００５０】
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。例えば、高圧部のむき出し構造が許容される場合には、中継プラグ６をコネクタ７のような雌型とし、逆にコネクタ７を中継プラグ６のような雄型としてもよい。また、リング状端子６１ａ〜６４ａをコイル状としてもよく、スプリング端子７１ａ〜７４ａをリング状としてもよい。さらに、Ｘ線管２の構造は、エンドウィンドウ型でもサイドウィンドウ型でも、更には他の構造でも構わない。さらに、中継プラグ６及びコネクタ７は、マイクロフォーカスＸ線源用途に限定されるものではない。またさらに、Ｘ線管２の電子銃３からステムピン３１を突出させずに、雌型ソケットとし、その雌型ソケットのソケット孔に挿し込まれるピン端子を中継プラグ６の端部６ａ側から突出させてもよい。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明の中継プラグ、コネクタ、及び、これらを備えるＸ線発生装置によれば、高圧が印加されるＸ線管等の被電圧印加体と高圧電源系とを簡易に接続することができ、組み立てが簡便であり、且つ、保守性に優れると共に、高圧電源系と分離して構成できる上に更なる装置の小型化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による中継プラグ及びコネクタを備えるＸ線発生装置の好適な一実施形態の要部を模式的に示す断面図である。
【図２】電子銃、中継プラグ、及びコネクタ７を示す正面図（一部透視図）である。
【図３】中継プラグの構造を示す断面図である。
【図４】中継プラグの部品断面図である。
【図５】図４に示す胴部におけるＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】コネクタの構造を示す断面図である。
【図７】コネクタの部品断面図である。
【図８】図７に示す胴部におけるＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。
【符号の説明】
１…Ｘ線発生装置、２…Ｘ線管（被電圧印加体）、３…電子銃（被電圧印加体，電子発生部）、４…ターゲット部、６…中継プラグ、７…コネクタ、８…高圧ケーブル、３１…ステムピン（接続端子）、６１〜６４…胴部（第１の胴部）、６１ａ〜６４ａ…リング状端子（第１の導電部材）、７１〜７４…胴部（第２の胴部）、７１ａ〜７４ａ…スプリング端子（第２の導電部材）、１００…高圧電源ユニット（高圧電源系）、Ｓ１ａ〜Ｓ４ａ…小径スプリング部（第１コイル部）、Ｓ１ｂ〜Ｓ４ｂ…大径スプリング部（第２コイル部）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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