(57)【要約】【課題】本発明は、蒸着、或いはスパッタ装置類の成膜装置に適用可能で、被成膜物を搭載したワーク位置を常時検出することが可能であり、成膜装置を自動化することができるレリーズ真空位置スイッチを提供すること。【解決手段】真空の作業エリアを保持する真空容器１で、フランジ１１の一方端に可動体７を収納したレリーズケーブル金具６ｂを固着し、他方端に透明筒状体１４をＯリング１２とＯリング押エ１３で真空シールと固着を行い、真空作業エリア内のワーク４の変位を可動体７の一方端が検知して、その可動体７の他方端が透明筒状体１４の内部を移動する様子を外部に設けた変位信号を電気信号に変換する機能を備えた検出装置１５でその変位を監視でき、且つ透明筒状体１４の内面が直接真空容器１に曝されない構造を設けたレリーズ真空位置スイッチである。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空の作業エリアを保持する真空容器（１）で、真空容器（１）の一部が通常作業室から見えるように突出した透明筒状体（１４）と、真空作業エリア内のワーク（４）の変位を可動体（７）の一方端が検知して、その可動体（７）の他方端が前記透明突起筒（１４）の内部を移動でき、且つ外部から見える位置検出装置と、位置検出装置の変位を透明突起筒（１４）の外部から検出する検出装置（１５）を備えたレリーズ真空位置スイッチ。
【請求項２】
真空作業エリアを保持する真空容器（１）で変位検出が行われる請求項１のレリーズ真空位置スイッチ。
【請求項３】
前記可動体（７）と排気孔（６ｃ）を有するレリーズケーブル（６）を使用した請求項１のレリーズ真空位置スイッチ。
【請求項４】
真空容器（１）の一部が通常作業室から見えるように突出した透明筒状体（１４）である請求項１のレリーズ真空位置スイッチ。
【請求項５】
位置検出装置の変位を透明突起筒（１４）の外部から監視し、変位を電気信号に変換する請求項１のレリーズ真空位置スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空容器内で行う蒸着、或いはスパッタなどの成膜を行う成膜装置で、被成膜物を搭載したワーク位置を常時監視し、位置決めを行うためのスイッチに関し、特に成膜装置の自動運転が可能となり、成膜時間の短縮や省力化することができるレリーズ真空位置スイッチに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
蒸着、或いはスパッタ装置等の成膜装置では被成膜物に膜付けするのが目的であるが、蒸着物、或いはスパッタ粒子は真空容器内の四方八方に飛び散るため、ガラス製の覗き窓があると一部はそこに達し、ガラス内面に膜が付き鏡のようになってしまい、内部が見えなくなってしまう。
【０００３】
そのため、ガラス製の覗き窓越しに被成膜物を搭載したワーク位置を検出する光又はレーザを用いた方法では、センサ投光部より出た光又はレーザは、覗き窓ガラスで反射してしまい、センサ受光部に届かなくなってしまう。
【０００４】
機械式リミットスイッチ、近接スイッチなども考えられるが、真空中で使用すると接点間のアーク引き、回路間放電、或いはケースの破裂などトラブルに繋がる要因が色々と考えられることから、メーカーは保証しない。
【０００５】
仮に真空中で使用出来たとしても、成膜を行うプラズマなどに直接曝されることもあり、電気ノイズ、温度、磁場などの影響を受け、電気回路が誤動作することもある。
【０００６】
更に、これらの電気部品から発生するアウトガスが成膜物の品質に悪影響を与えることもあり、安易に使用することができない。
【０００７】
成膜装置の被成膜物を搭載したワーク位置を検出しようとする場合には、ワークとワーク駆動部を機械的に連結した特殊機構が必要となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上の従来の問題点を解消し、蒸着・スパッタ装置類の成膜装置に適用可能で、被成膜物を搭載したワーク位置を常時検出可能とするレリーズ真空位置スイッチを提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の課題は、レリーズ真空位置スイッチであって、上記問題点を解決するために、図１に示すように、フランジ１１の一方端にレリーズケーブル金具６ｂを固着し、他方端に透明筒状体１４をＯリング１２とＯリング押エ１３で真空シールと固着を行い、真空作業エリア内のワーク４の変位を可動体７の一方端が検知して、その可動体７の他方端が透明筒状体１４の内部を移動する様子を外部に設けた検出装置１５でその変位を監視でき、且つ透明筒状体１４の内面が直接真空容器１に曝されない構造を設けたレリーズ真空位置スイッチによって解決される。
【００１０】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態を、実施例に基づき、添付図を参照しつつ説明する。
図２は本発明の簡易型の実施例で、図１同じ構成要素には同じ符号を付している。
【００１１】
図２に示す実施例では、図１のレリーズケーブル金具６ａ、インナーチューブ６ｅ、シールド６ｆ、スプリングワイヤ７ｂがなく、可動部７は入力ピン７ａと出力ピン７ｃが直接内部で固着されている。その他は、図１と同じ構成とすることができる。
【００１２】
図１に示す実施例では、フランジ１１の一方端にレリーズケーブル金具６ｂを固着し、他方端に透明筒状体１４をＯリング１２とＯリング押エ１３で真空シールと固着を行う。
【００１３】
フランジ１１をＯリング３の付いた真空容器フランジ２に固着し、ワーク４が可動部７の入力ピン７ａに接触するようにレリーズケーブル金具６ａを支持台５に調整し、ロックナット８で固着する。
【００１４】
透明筒状体１４の外部から、出力ピン７ｃの位置を常時監視し、変位を電気信号に変換する検出装置１５を設ける。
【００１５】
蒸着物、或いはスパッタ粒子がインナーチューブ６ｅと可動部７の摺動部を通って、透明筒状体１４に達することはなくなる。そのため透明筒状体１４の内面に膜が付き、内部が見えなくなると言うことはなくなる。
【００１６】
真空容器１を真空排気する時、レリーズケーブル内も排気孔６ｃ及び両端にパッキン９を設けたフィルタ１０を通して排気される。そのため摺動で発生したパーティクルが真空容器１内へ飛散するのを防止できる。
【００１７】
真空容器１内にはレリーズケーブル６とパッキン９及びフィルタ１０しか入らないので、制御回路は電気ノイズ、磁場、温度などの影響を受け誤動作すると言うことはなくなる。
【００１８】
真空容器１内に入れられるレリーズケーブル６とパッキン９及びフィルタ１０にアウトガスの少ない材料、例えば、ステンレス、或いはテフロンなどの材料を使用することにより、真空容器１に与えるアウトガスの影響を最小限に抑えることができる。
【００１９】
レリーズケーブル６が真空容器１内に入るため、可動体７を無負荷位置に保持するスプリング６ｄの伸縮力に大気圧と真空の圧力差を考慮する必要がなくなり、最低の伸縮力をもつスプリングにすることができる。
【００２０】
スプリング６ｄをレリーズケーブル金具６ｂ側に配置することにより、レリーズケーブル６を屈曲させた時に残る、出力ピン７ｃの無負荷時のオフセット量を最小にすることができる。
【００２１】
レリーズケーブル６には、電気部品が使用されていないので、可動体７の入力ピン７ａ側を液体に入れて使用することもできる。
【００２２】
【発明の効果】
本発明によれば、前記従来技術の欠点を解消し、成膜装置類に適用可能で、被成膜物を搭載したワーク位置を常時監視可能であり、幅広い応用が可能となる。例えば、ワークのオバーラン防止、または、位置検出、位置決めなどが低コストで簡単に、且つ確実に行える。
【００２３】
また本発明を２位置間を往復させて成膜する多層成膜に使用することにより、成膜時間の短縮や無人化運転ができるようになるため、コストダウン及び省力化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のレリーズ真空位置スイッチの概略構成図。
【図２】図１の簡易レリーズ真空位置スイッチの概略構成図。
【符号の説明】
１        真空容器
２        フランジ
３        Ｏリング
４        ワーク
５        支持金具
６        レリーズケーブル
６ａ    レリーズケーブル金具
６ｂ    レリーズケーブル金具
６ｃ    排気孔
６ｄ    スプリング
６ｅ    インナーチューブ
６ｆ    シールド
７      可動体
７ａ  入力ピン
７ｂ  スプリングワイヤ
７ｃ  出力ピン
８        ロックナット
９        パッキン
１０        フイルタ
１１        フランジ
１２        Ｏリング
１３        Ｏリング押エ
１４        透明筒状体
１５        検出装置
【図１】
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【図２】
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