(57)【要約】　　　（修正有）【課題】仮付け後の手直しによる外観上の品質低下を解消しかつ製造時間の大幅な短縮を実現することができるようにした石英ガラス治具の製造装置及び方法を提供する。【解決手段】台座５と天板４間に複数本の溝棒６ａ，６ｅを所定間隔で組み込んでなる石英ガラス治具の製造装置であって、基台１２と、該基台の上面に設けられた長尺状ガイド部材と、該長尺状ガイド部材の一端部に固定される台座治具ユニット１６と、該長尺状ガイド部材に摺動可能に固定される台座枕ユニットと、該長尺状ガイド部材に摺動可能に固定される天板治具ユニット４４と、該長尺状ガイド部材に摺動可能に固定される天板枕ユニット３４と、該長尺状ガイド部材に摺動可能に固定される溝棒治具ユニットとを有するようにした。【選択図】　図６
2004140135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
台座と天板間に複数本の溝棒を所定間隔で組み込んでなる石英ガラス治具の製造装置であって、基台と、該基台の上面に設けられた長尺状ガイド部材と、前記台座を着脱自在に支持する台座治具を着脱自在に装着しかつ該長尺状ガイド部材の一端部に固定される台座治具ユニットと、前記台座を載置する台座枕を着脱自在に装着しかつ該台座治具ユニットに隣接して該長尺状ガイド部材に摺動可能に固定される台座枕ユニットと、前記天板を着脱自在に支持する天板治具を着脱自在に装着しかつ該台座治具ユニットに相対向して該長尺状ガイド部材に摺動可能に固定される天板治具ユニットと、前記天板を載置する天板枕を着脱自在に装着しかつ該天板治具ユニットに隣接して該長尺状ガイド部材に摺動可能に固定される天板枕ユニットと、前記溝棒を載置する複数の溝棒治具をそれぞれ着脱自在に装着しかつ該台座枕ユニットと天板枕ユニットとの間に位置して該長尺状ガイド部材に摺動可能に固定される溝棒治具ユニットとを有することを特徴とする石英ガラス治具の製造装置。
【請求項２】
前記溝棒治具ユニットが台座側溝棒治具ユニット及び天板側溝棒治具ユニットの２つの溝棒治具ユニットであることを特徴とする請求項１記載の石英ガラス治具の製造装置。
【請求項３】
前記台座治具ユニットが、台座用クランプアームを有し、該クランプアームによって前記台座を前記台座治具に押圧支持するようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載の石英ガラス治具の製造装置。
【請求項４】
前記台座治具ユニットが、一対の台座用センタリングアームを有し、該センタリングアームによって該台座のセンター位置出しを行うようにしたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の石英ガラス治具の製造装置。
【請求項５】
前記天板治具ユニットが、天板用クランプアームを有し、該クランプアームによって前記台座を前記台座治具に押圧支持するようにしたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の石英ガラス治具の製造装置。
【請求項６】
前記天板治具ユニットが、一対の台座用センタリングアームを有し、該センタリングアームによって該天板のセンター位置出しを行うようにしたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載の石英ガラス治具の製造装置。
【請求項７】
前記天板治具ユニット及び前記台座側溝棒治具ユニットがリニアカウンタ機構を備えていることを特徴とする請求項２〜６のいずれか１項記載の石英ガラス治具の製造装置。
【請求項８】
前記溝棒治具を板状体で形成し、該板状体の両側端部分に前記溝棒中の上溝棒をその溝底が互いに内方に向くように載置する一対の上溝棒載置凹部を設け、該板状体の中央部分に前記溝棒中の下溝棒をその溝底が垂直下方を向くように載置する下溝棒垂直載置凹部を設け、該板状体の中央部分の両側隣接部分に前記溝棒中の下溝棒をその溝底が斜め内方を向くように載置する下溝棒傾斜載置凹部を設け、下溝棒が１本の場合には該下溝棒垂直載置凹部に載置し、下溝棒が２本の場合には下溝棒傾斜載置凹部に載置するようにしたことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載の石英ガラス治具の製造装置。
【請求項９】
前記上溝棒載置凹部の台座側の内端部に溝棒の溝内に挿入可能な幅狭立壁を設け、前記下溝棒垂直載置部の台座側の端部に幅狭垂直壁を設け、前記下溝棒傾斜載置凹部の台座側の端部に幅狭傾斜壁を設けたことを特徴とする請求項８記載の石英ガラス治具の製造装置。
【請求項１０】
上溝棒をその溝が前記幅狭立壁に挿入するように前記上溝棒載置凹部に載置し、下面を平坦とした平板部と該平板部の上面に立設された垂直部とを有し所定の寸法に成型されたＴ型治具を、その平板部下面が該上溝棒載置凹部の内側壁に当接しかつその垂直部上面が該上溝棒の溝底に当接するように配置し、該上溝棒を該Ｔ型治具方向に押圧固定することによって、該溝底が該垂直部上面に押し当てられ、該上溝棒の溝底の位置及び角度が正確に設定されるようにしたことを特徴とする請求項９記載の石英ガラス治具の製造装置。
【請求項１１】
前記一対の上溝棒載置凹部に載置された一対の上溝棒の溝底間に溝幅保持治具を挿着し、仮付けを行うようにしたことを特徴とする請求項１０記載の石英ガラス治具の製造装置。
【請求項１２】
請求項１１記載の装置を用い、下記（ａ）〜（ｏ）の工程からなることを特徴とする石英ガラス治具の製造方法。
（ａ）台座枕ユニット、天板治具ユニット、天板枕ユニット、台座側溝棒治具ユニット及び天板側溝棒治具ユニットを全て摺動可能とする工程。
（ｂ）台座治具を台座治具ユニットに、台座枕を台座枕ユニットに、天板治具を天板治具ユニットに、天板枕を天板枕ユニットに、及び一対の溝棒治具を一対の溝棒治具ユニットにそれぞれ装着する工程、
（ｃ）天板治具ユニットを、製造される石英ガラス治具の全長位置に移動する工程、
（ｄ）台座枕ユニット、天板枕ユニット及び一対の溝棒治具ユニットを所定間隔位置に移動する工程、
（ｅ）台座を台座治具にあてがいながら台座枕上にのせた状態を維持し、台座用センタリングアームにて台座を挟み、台座の倒れ防止及びセンター位置出しを行い、台座用クランプアームにて台座を台座治具方向へ押さえつけて固定し、ついで台座用センタリングアームを外側へ逃がし遠ざけ、さらに台座枕ユニットを固定することによって、台座を台座治具に装着する工程、
（ｆ）溝棒の所定の基準溝の寸法に台座側溝棒治具ユニットを移動し固定する工程、
（ｇ）一本の溝棒を溝棒治具に仮に装着し、天板側溝棒治具ユニットを所定位置に調整すると同時に台座側溝棒治具の台座側の端面と該溝棒の基準溝面とを密接させ、ついで該天板側溝棒治具ユニットを固定する工程、
（ｈ）所定本数の溝棒を一対の溝棒治具に載置する工程、
（ｉ）Ｔ型治具を各溝棒治具の上溝棒載置凹部内に配置しかつ上溝棒を該Ｔ型治具方向に押圧固定する工程、
（ｊ）天板治具ユニット及び天板枕ユニットを台座の反対方向に一旦移動する工程、
（ｋ）天板を天板治具にあてがいながら天板枕上にのせた状態を維持し、センタリングアームにて天板を挟み、天板の倒れ防止及びセンター位置出しを行い、クランプアームにて天板を天板治具方向へ押さえつけて固定し、ついでセンタリングアームを外側へ逃がし遠ざけることによって、天板を天板治具に装着する工程、
（ｌ）天板治具ユニットを、製造される石英ガラス治具の全長位置に移動し固定するとともに天板枕ユニットを所定位置に移動し固定する工程、
（ｍ）天板近くの上溝棒の溝底間に溝幅保持治具を挿着し、天板と溝棒との仮付けを行う工程、
（ｎ）台座近くの上溝棒の溝底間に溝幅保持治具を挿着し、台座と溝棒との仮付けを行う工程、
（ｏ）溝幅保持治具及びＴ型治具を取り外し、天板用クランプアーム及び台座用クランプアームを外して上奥へ逃がし、天板治具ユニットを台座の反対方向に所定距離だけ移動した後、仮付けした石英ガラス治具を取り外す工程。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンウェーハ等の半導体ウェーハを熱処理する際等に用いられる石英ガラス治具の新規な製造装置及び方法に関する。
【０００２】
【関連技術】
シリコンウェーハ（シリコン基板ともいわれる）の各種熱処理工程（例えば熱拡散、熱酸化工程等）には、現在多くの場合、通常「縦型ボート」と称する高純度石英ガラス製のウェーハ熱処理用治具（石英ガラス治具）が用いられている。また、ウェーハ熱処理用治具の下部に断熱を目的として設置される遮熱治具も使用されている。
【０００３】
図１７に示すごとく、この石英ガラス治具２は、天板４と台座５の間に複数本（図示の例では４本）の溝棒６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄが設計された間隔で組み込まれており、それらの溝棒６ａ〜６ｄには数十枚にも及ぶウェーハＷを載置係止するための多数の溝８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄが形成されている。
【０００４】
ウェーハＷは４本の溝棒６ａ〜６ｄの同一高さの溝８ａ〜８ｄによってほぼ水平に係止される構成であるため、この石英ガラス治具２においては溝棒６ａ〜６ｄ（上溝棒６ａ，６ｄ及び下溝棒６ｂ，６ｃ）の各々に設けられる数十もの溝８ａ〜８ｄは４本の溝棒６ａ〜６ｄに共通して寸法精度の高いものでなければならない。さらに、これに加えて、それら４本の溝棒６ａ〜６ｄが石英ガラス製の天板４及び台座５に極めて正確な向きでかつ高精度で溶接固定される必要がある。なお、図１７においては、下溝棒６ｂ，６ｃを２本設けた場合を示したが、図１８に示すように溝８ｅが形成された下溝棒６ｅを１本設ける構造も用いられる。
【０００５】
従来、このような石英ガラス治具の製作は、図１９に示すごとく、定盤９等の基台上で各種のカーボン治具（当てがい具）１１等を用いて天板４と台座５を所定の間隔で左右に平行に位置させ、４本の溝棒６ａ〜６ｄを設計された向き間隔で該天板４及び台座５に順に溶接（当初は仮溶接）し、仮付け組み立て品を作成する（ここまでの作業を仮付け作業という）。この仮付け組み立て品の寸法精度を計測器で計測し、修正を要する場合は仮溶接をやり直し、最終的に寸法精度が確認された上で、本格的に溶接固定する方法がとられている。
【０００６】
一方、前記した遮熱治具においては、台座又は円筒に丸棒又はパイプを溶接して組み立てられている。
【０００７】
上記した従来方法は、▲１▼カーボン治具１１の内面間の間隔ｊを所定間隔にするのが困難で、薄いシートなどをカーボン治具１１面に配置して行う等のカーボン治具１１間の間隔の面倒な微調整作業が不可欠、▲２▼溝棒６ａ〜６ｄの相互間隔は各溝棒の径の中心ｍを基準として設定する（図１９）が、溝棒６ａ〜６ｄの径のバラツキに起因してその径の中心を見出すのが困難で溝棒のセット位置を決めるのが非常に難しい（遮熱治具の場合には、丸棒又はパイプの径にバラツキがあるため同様に芯出し設定が難しい）、▲３▼天板４と台座５の芯を一致させるのが困難（遮熱治具の場合には、保温筒の円筒と底板の芯を一致させることが困難）、▲４▼台座５から４本の溝棒６ａ〜６ｄの第一溝（溝棒の最下に位置する溝をいう）までの設定が困難でその寸法位置精度もよくない、などの作業上の問題点を有している。
【０００８】
このため、設計寸法通りの寸法精度を第１回の仮溶接で達成することは不可能で、少なくとも３〜４回の仮溶接のやり直しの工程が入るという大きな不利があり、設計通りの寸法精度を達成するには、時間が非常にかかり、大変な労力を必要とするものであった。
【０００９】
上記した各作業は作業者の手作業のみで行われ、また製造される石英ガラス治具は非常に高価であるため、その作業には所謂職人芸を必要とし、長年の経験を蓄積した熟練作業者のみが行える領域であった。そのため、工程内検査において不具合が発生する事も多く、この場合、各部品をバラし、仮溶接のやり直しの工程がはいるという大きな問題点を有している。
【００１０】
特に、縦型ボートの製造工程においては、天板４及び台座５と溝棒６ａ〜６ｄを溶接する作業があるが、この作業時には台座５上にある基準面から溝棒６ａ〜６ｄの第一溝までの距離、基準面と各溝棒６ａ〜６ｄの垂直度、及び図１６に示すように縦型ボートの仮想中心Ｘから下溝棒６ｂ，６ｃの溝底Ｖ１、Ｖ１までの距離Ｙ、上溝棒６ａ，６ｄの溝底Ｖ２、Ｖ２間距離Ｚ等々多種に渡り寸法及び公差がうたわれており、これを守りながら縦型ボートを組み立てていくために、種々のカーボン治具を駆使しながら製造するが、それぞれの部品は厳密にはその都度寸法が微妙に違うため、治具を用いて部品の位置を決めるのに微妙な調整が必要で時間を要する作業であった。
【００１１】
上述した作業者の手作業による石英ガラス治具の製造における多大な困難性を解消するため、本出願人等は石英ガラス治具製造作業の機械化を図るべく研究を重ねて石英ガラス治具の製造装置を完成し、既に提案した（特開平９−７４０７０号公報及び特開平１０−１８２１７５号公報）。これらの装置は手作業に比較すれば、格段に効率よく石英ガラス治具を製造することができるが、いずれの装置も溝棒の中心を寸法決めの規準の一つとしており、縦型ボートの仮想中心から下溝底までの距離や上溝底間距離については充分な配慮がなされていなかった。
【００１２】
【特許文献１】
特開平９−７４０７０号公報
【特許文献２】
特開平１０−１８２１７５号公報
【００１３】
そのため、これらの装置によって石英ガラス治具の仮付け組立品を作成した場合でも寸法修正を必要とする場合が多く、仮溶接をやり直す場合が多々あり、それだけ製造時間が長くなってしまい、また仮組み立て後の手直しによる外観上の品質低下も避けることができなかった。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑みなされたもので、縦型ボートの仮想中心から下底溝までの距離及び上溝底間距離という、製品の使用上重要である寸法から製品を組み立てることを可能とし、仮付け組立品の手直しがほとんど不要となり、その結果仮付け後の手直しによる外観上の品質低下を解消しかつ製造時間の大幅な短縮を実現することができるようにした石英ガラス治具の製造装置及び方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の石英ガラス治具の製造装置は、台座と天板間に複数本の溝棒を所定間隔で組み込んでなる石英ガラス治具の製造装置であって、基台と、該基台の上面に設けられた長尺状ガイド部材と、前記台座を着脱自在に支持する台座治具を着脱自在に装着しかつ該長尺状ガイド部材の一端部に固定される台座治具ユニットと、前記台座を載置する台座枕を着脱自在に装着しかつ該台座治具ユニットに隣接して該長尺状ガイド部材に摺動可能に固定される台座枕ユニットと、前記天板を着脱自在に支持する天板治具を着脱自在に装着しかつ該台座治具ユニットに相対向して該長尺状ガイド部材に摺動可能に固定される天板治具ユニットと、前記天板を載置する天板枕を着脱自在に装着しかつ該天板治具ユニットに隣接して該長尺状ガイド部材に摺動可能に固定される天板枕ユニットと、前記溝棒を載置する複数の溝棒治具をそれぞれ着脱自在に装着しかつ該台座枕ユニットと天板枕ユニットとの間に位置して該長尺状ガイド部材に摺動可能に固定される溝棒治具ユニットとを有することを特徴とする。
【００１６】
前記溝棒治具ユニットとしては、台座側溝棒治具ユニット及び天板側溝棒治具ユニットの２つの溝棒治具ユニットを用いるのが好ましい。
【００１７】
前記台座治具装着ユニットが、一対のセンタリングアームを有し、該センタリングアームによって前記台座を把持するとともに該台座のセンター位置出しを行うようにすると、台座の所定位置への固定を容易に行うことができる。
【００１８】
前記天板治具装着ユニットが、一対のセンタリングアームを有し、該センタリングアームによって前記天板を把持するとともに該天板のセンター位置出しを行うようにすると、天板の所定位置への固定を容易に行うことができる。
【００１９】
前記天板治具ユニット及び前記台座側溝棒治具ユニットにリニアカウンタ機構を備えることによって、上記ユニットの移動距離を正確に表示することが可能となる。
【００２０】
前記溝棒治具を板状体で形成し、該板状体の両側端部分に前記溝棒中の上溝棒を載置する上溝棒載置凹部をそれぞれ設け、該板状体の中央部分及び中央部分の両側隣接部分に前記溝棒中の下溝棒を載置する第１及び第２下溝棒載置凹部をそれぞれ設け、下溝棒が１本の場合には該第１下溝棒載置凹部に載置し、下溝棒が２本の場合には第２下溝棒載置凹部に載置するように構成するのが好ましい。
【００２１】
前記上溝棒載置凹部の前記台座治具ユニット側の内端部に溝棒の溝内に挿入可能な幅狭立壁を設け、前記下溝棒垂直載置部の前記台座治具ユニット側の端部に幅狭垂直壁を設け、前記下溝棒傾斜載置凹部の前記台座治具ユニット側の端部に幅狭傾斜壁を設け、上溝棒をその溝が前記幅狭立壁に挿入するように前記上溝棒載置凹部に載置し、下面を平坦とした基部と該基部の上面に立設された垂直部とを有し所定の寸法に成型されたＴ型治具を、その基部下面が該上溝棒載置凹部の内側壁に当接しかつその垂直部上面が該上溝棒の溝底に当接するように配置し、該上溝棒を該Ｔ型治具方向に押圧固定することによって、該溝底が該垂直部上面に押し当てられ、該上溝棒の溝底の位置及び角度を正確に設定することが可能となる。
【００２２】
前記一対の上溝棒載置凹部に載置された一対の溝棒の溝底間に溝幅保持治具を挿着し、仮付けを行うのが好ましい。
【００２３】
本発明の石英ガラス治具の製造方法は、上記した本発明の装置を用い、下記（ａ）〜（ｏ）の工程からなることを特徴とする。
（ａ）台座枕ユニット、天板治具ユニット、天板枕ユニット、台座側溝棒治具ユニット及び天板側溝棒治具ユニットを全て摺動可能とする工程。
（ｂ）台座治具を台座治具ユニットに、台座枕を台座枕ユニットに、天板治具を天板治具ユニットに、天板枕を天板枕ユニットに、及び一対の溝棒治具を一対の溝棒治具ユニットにそれぞれ装着する工程、
（ｃ）天板治具ユニットを、製造される石英ガラス治具の全長位置に移動する工程、
（ｄ）台座枕ユニット、天板枕ユニット及び一対の溝棒治具ユニットを所定間隔位置に移動する工程、
（ｅ）台座を台座治具にあてがいながら台座枕上にのせた状態を維持し、台座用センタリングアームにて台座を挟み、台座の倒れ防止及びセンター位置出しを行い、台座用クランプアームにて台座を台座治具方向へ押さえつけて固定し、ついで台座用センタリングアームを外側へ逃がし遠ざけ、さらに台座枕ユニットを固定することによって、台座を台座治具に装着する工程、
（ｆ）溝棒の所定の基準溝の寸法に台座側溝棒治具ユニットを移動し固定する工程、
（ｇ）一本の溝棒を溝棒治具に仮に装着し、天板側溝棒治具ユニットを所定位置に調整すると同時に台座側溝棒治具の台座側の端面と該溝棒の基準溝面とを密接させ、ついで該天板側溝棒治具ユニットを固定する工程、
（ｈ）所定本数の溝棒を一対の溝棒治具に載置する工程、
（ｉ）Ｔ型治具を各溝棒治具の上溝棒載置凹部内に配置しかつ上溝棒を該Ｔ型治具方向に押圧固定する工程、
（ｊ）天板治具ユニット及び天板枕ユニットを台座の反対方向に一旦移動する工程、
（ｋ）天板を天板治具にあてがいながら天板枕上にのせた状態を維持し、センタリングアームにて天板を挟み、天板の倒れ防止及びセンター位置出しを行い、クランプアームにて天板を天板治具方向へ押さえつけて固定し、ついでセンタリングアームを外側へ逃がし遠ざけることによって、天板を天板治具に装着する工程、
（ｌ）天板治具ユニットを、製造される石英ガラス治具の全長位置に移動し固定するとともに天板枕ユニットを所定位置に移動し固定する工程、
（ｍ）天板近くの上溝棒の溝底間に溝幅保持治具を挿着し、天板と溝棒との仮付けを行う工程、
（ｎ）台座近くの上溝棒の溝底間に溝幅保持治具を挿着し、台座と溝棒との仮付けを行う工程、
（ｏ）溝幅保持治具及びＴ型治具を取り外し、天板用クランプアーム及び台座用クランプアームを外して上奥へ逃がし、天板治具ユニットを台座の反対方向に所定距離だけ移動した後、仮付けした石英ガラス治具を取り外す工程。
【００２４】
本発明者らは、縦型ボートの仮想中心から下溝棒の溝底までの距離や上溝棒の溝底間距離についてを規準の一つとして考え、かつ極力機械的構造がシンプルである、即ち重力を利用し基本的に溝棒を治具に置くだけでセッティングが完了するような機械を考案、製作した。この機械によれば特開平９−７４０７０のように多軸を複雑に制御するための高額な設備も不要で、特開平１０−１８２１７５とは違い一度に３本又は４本の溝棒をセットすることが可能で、かつ上記二つの公報と共通する違いは、二つの公報ではいずれも溝棒の中心を基準として製品を組み立てるのに対して、本発明装置では縦型ボートの仮想中心から下溝棒の溝底までの距離、上溝棒の溝底間距離という、製品の使用上重要である寸法から製品を組み立てることである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明するが、図示例は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。
【００２６】
図１は本発明の石英ガラス治具の製造装置の一つの実施の形態を示す概略斜視図である。図２は同上の概略側面図である。図３は同上の概略上面図である。図４は本発明装置に台座治具、台座枕、左右一対の溝棒治具、天板治具及び天板枕を装着しかつ台座枕及び台座治具に台座を支持せしめセンタリングアームでセンター位置出しを行っている状態を示す概略側面図である。図５は本発明装置に台座を装着し、溝棒を載置した後、天板枕及び天板治具に天板を支持せしめセンタリングアームでセンター位置出しを行っている状態を示す概略側面図である。図６は本発明装置に台座及び天板を装着し溝棒を載置した状態を示す概略側面図である。図７は台座治具ユニット基体に台座治具を固着する場合の構成の１例を示す説明図である。図８は溝棒治具の１例を示す斜視図である。図９は図８の溝棒治具の裏面側を示す斜視図である。図１０は溝棒治具に４本の溝棒を載置した場合を示す図面で、（ａ）は一部断面側面図及び（ｂ）は小プレート治具の摘示斜視図である。図１１は溝棒治具に３本の溝棒を載置した場合を示す一部断面側面図である。図１２は上溝棒を台座側溝棒治具に載置した状態を示す断面説明図である。図１３は上溝棒を天板側溝棒治具に載置した状態を示す断面説明図である。図１４は上溝棒を上溝棒載置凹部に載置し、Ｔ型治具によって溝底の位置及び角度を正確に設定する態様を示す図面で、（ａ）は断面説明図、（ｂ）はＴ字型治具の摘示斜視図、（ｃ）はクサビ型治具の側面図である。図１５は上溝棒の溝底間に溝幅保持治具を挿着した状態を示す一部断面説明図である。図１６は縦型ボートの仮想中心から下溝棒の溝底までの距離及び上溝棒の溝底間距離を示す説明図である。
【００２７】
図１〜３において、１０は本発明の石英ガラス治具の製造装置で、基台１２を有している。該基台１２の上面には長尺状ガイド部材であるガイドレール１４、１４が長手方向に設けられている。該ガイドレール１４、１４の一端部（図２及び図３においては左端部）には台座治具ユニット１６が固定されている。該台座治具ユニット１６には台座治具１８が着脱自在に装着される。２０は台座治具ユニット１６の一部を構成する台座治具セット板である。該台座治具セット板２０の台座治具セット面２２には垂直方向にガイド溝２４が穿設されており、該ガイド溝２４には係合凸部２６を有する台座治具止め具２８が上下動自在に挿着されている。図７に示されるように、該台座治具セット面２２に台座治具１８を当接せしめ、該台座治具止め具２８を下方に移動させて台座治具１８の上端面に形成された係合凹部３０に係合凸部２６を係合させることによって台座治具１８は台座治具セット面２２に固着される。該台座治具１８には台座５が後述するように着脱自在に支持される。３２はガイドネジで、該ガイドレール１４、１４に平行して該基台１２の上面に設けられている。
【００２８】
３４は台座枕ユニットで、該台座治具ユニット１６に隣接して前記ガイドレール１４、１４に摺動可能に取付けられている。該台座枕ユニット３４は前記基台１２の両側部に位置する連結バー３６と一体的に形成されており、基台１２の一側部に設けられた第１エアクランプ３８が連結バー３６をクランプすることにより、該台座枕ユニット３４及び連結バー３６は所定位置に固定される。４０は第１エアクランプ３８のオンオフを行う第１スイッチ機構である。該台座枕ユニット３４は台座５を載置する台座枕４２を着脱自在に装着する。
【００２９】
４４は天板治具ユニットで、前記台座治具ユニット１６に相対向して前記ガイドレール１４、１４に摺動可能に取付けられている。該天板治具ユニット４４の一側部に設けられた第５エアクランプ４６が連結バー３６をクランプすることにより該天板治具ユニット４４は連結バー３６に固定される。４８は第５エアクランプ４６のオンオフを行う第５スイッチ機構である。該天板治具ユニット４４には天板治具４９が着脱自在に装着される。５１は天板治具ユニット４４の一部を構成する天板治具セット板である。この天板治具セット板５１の天板治具セット面にも、図７に示した台座治具ユニット１６の場合と同様に、天板治具４９が固着される。該天板治具４９には天板４が後述するように着脱自在に支持される。５０は該天板治具ユニット４４の摺動を行うためのハンドルである。該ハンドル５０にはロッド（図示せず）が連結され、該ロッドの先端には前記ガイドネジ３２と噛合する歯車（図示せず）が取付けられている。したがって、該ハンドル５０を回すことによって該天板治具ユニット４４は該ガイドネジ３２に沿って移動し、ハンドル５０の回転量によってその移動距離を正確に表示することができ、リニアカウンタとして作用する。即ち、天板治具ユニット４４はリニアカウンタ機構を備えている。
【００３０】
５２は天板枕ユニットで、該天板治具ユニット４４に隣接して前記ガイドレール１４、１４に摺動可能に取付けられている。該天板枕ユニット５２の一側部に設けられた第４エアクランプ５４が連結バー３６をクランプすることにより、該天板枕ユニット５２は連結バー３６に固定される。５６は第４エアクランプ５４のオンオフを行う第４スイッチ機構である。該天板枕ユニット５２は天板４を載置する天板枕５８を着脱自在に装着する。
【００３１】
６０は台座側溝棒治具ユニットで、前記台座枕ユニット３４と天板枕ユニット５２の間に位置して前記ガイドレール１４、１４に摺動可能に取付けられている。該台座側溝棒治具ユニット６０の一側部に設けられた第２エアクランプ６２が連結バー３６をクランプすることにより、該台座側溝棒治具ユニット６０は連結バー３６に固定される。６４は第２エアクランプ６２のオンオフを行う第２スイッチ機構である。該台座側溝棒治具ユニット６０には台座側溝棒治具６６が着脱自在に装着される。該台座側溝棒治具６６には、後述するように、溝棒６ａ〜６ｅが載置される。６８は該台座側溝棒治具ユニット６０の摺動を行うためのハンドルである。該ハンドル６８にロッド（図示せず）が連結され、該ロッドの先端には前記ガイドネジ３２と噛合する歯車（図示せず）が取付けられている。したがって、該ハンドル６８を回すことによって該台座側溝棒治具ユニット６０は該ガイドネジ３２に沿って移動し、ハンドル６８の回転量によってその移動距離を正確に表示することができ、リニアカウンタとして作用する。即ち、台座側溝棒治具ユニット６０はリニアカウンタ機構を備えている。
【００３２】
７０は天板側溝棒治具ユニットで、前記台座側溝棒治具ユニット６０と天板枕ユニット５２の間に位置して前記ガイドレール１４、１４に摺動可能に取付けられている。該天板側溝棒治具ユニット７０の一側部に設けられた第３エアクランプ７２が連結バー３６をクランプすることにより、該天板側溝棒治具ユニット７０は連結バー３６に固定される。７４は第３エアクランプのオンオフを行う第３スイッチ機構である。該天板側溝棒治具ユニット７０には天板側溝棒治具７６が着脱自在に装着される。該天板側溝棒治具７６には、後述するように、溝棒６ａ〜６ｅが載置される。
【００３３】
７８は、台座用クランプアーム手段で、先端部にクランプ板８０を備えた台座用クランプアーム８２を有している。該クランプアーム８２は支脚部材８４に上下動可能に固定されている。該支脚部材８４は幅方向ガイドネジ８６及び長手方向ガイドネジ８８に連結されており、ハンドル９０及び９２を回転させることによって幅方向及び長手方向に移動可能とされている。
【００３４】
９４は、台座用センタリングアーム手段で、一対の台座用センタリングアーム９６、９６を有している。該センタリングアーム９６、９６の先端部には把持部９８、９８が設けられており、台座５の両側部を該把持部９８、９８で把持することによって、該台座５のセンター位置出しを行うことができる。該台座用センタリングアーム手段９４には、幅方向ガイドネジ１００及び長手方向ガイドネジ１０２が設けられており、ハンドル１０４を回転させることによって該センタリングアーム９６、９６の開閉を行いかつハンドル１０６を回転させることによって該センタリングアーム９６、９６を長手方向に移動させることができる。
【００３５】
１０８は、天板用クランプアーム手段で、先端部にクランプ板１０９を備えた天板用クランプアーム１１０を有している。該クランプアーム１１０は支脚部材１１２に上下動可能に固定されている。該支脚部材１１２は幅方向ガイドネジ１１４及び長手方向ガイドネジ１１６に連結されており、ハンドル１１８及び１２０を回転させることによって幅方向及び長手方向に移動可能とされている。
【００３６】
１２２は、天板用センタリングアーム手段で、一対の天板用センタリングアーム１２４、１２４を有している。該センタリングアーム１２４、１２４の先端部には把持部１２６、１２６が設けられており、天板４の両側部を該把持部１２６、１２６で把持することによって、該天板４のセンター位置出しを行うことができる。該台座用センタリングアーム手段１２２には、幅方向ガイドネジ１２８及び長手方向ガイドネジ１３０が設けられており、ハンドル１３２を回転させることによって該センタリングアーム１２４、１２４の開閉を行いかつハンドル１３４を回転させることによって該センタリングアーム１２４、１２４を長手方向に移動させることができる。
【００３７】
前記溝棒治具６６及び７６はいずれも同一の構成を有しており、溝棒治具６６を例として具体的構成について説明する。溝棒治具６６は、図８及び図９に示すごとく、板状体６３によって形成されている。該板状体６３の両側端部分には前記溝棒６ａ〜６ｅ中の上溝棒６ａ、６ｄをその溝底Ｖが互いに内方に向くように載置する一対の上溝棒載置凹部６５、６５が設けられている〔図１０（ａ）及び図１１〕。該上溝棒載置凹部６５、６５の台座側の内端部には溝棒６ａ、６ｄの溝内に挿入可能な幅狭立壁６７が設けられ、その外端部にはガイド突壁６９が設けられている。
【００３８】
図１４（ａ）に示すように、上溝棒６ａをその溝８ａが該幅狭立壁６７に挿入するように該上溝棒載置凹部６５に載置し、下面を平坦とした平板部７１と該平板部７１の上面に立設された垂直部７３とを有し所定の寸法に形成されたＴ型治具７５〔図１４（ｂ）〕をその平板部７１下面が上溝棒載置凹部６５の内側壁６５ａに当接しかつその垂直部７３上面が上溝棒６ａの溝底Ｖに当接するように配置し、該上溝棒６ａをＴ型治具７５方向に押圧固定することによって、該溝底Ｖが該垂直部７３上面に押し当てられ、該上溝棒６ａの溝底Ｖの位置及び角度を正確に設定することができる。上溝棒６ａのＴ型治具７５方向への押圧固定手段としては種々の態様が適用ができるが、例えば、図１４（ｂ）に示したように、垂直面に前記ガイド突壁６９に嵌合する凹溝７７を穿設したクサビ型治具７９を用い、該凹溝７７をガイド突壁６９に嵌合した状態で下方に押圧することによって該上溝棒６ａを側方に押圧固定することができる。該上溝棒６ａ、６ｄを実際に該凹部６５、６５に載置する場合には、その高さ調整を行うために図１０（ｂ）に示したような小プレート治具８１を敷き込むのが好適である。
【００３９】
該板状体６３の中央部分には溝棒６ａ〜６ｅ中の下溝棒６ｅをその溝底Ｖが垂直下方を向くように載置する下溝棒垂直載置凹部８３が設けられている（図１１）。該下溝棒垂直載凹部８３の台座側の端部には幅狭垂直壁８５が設けられている。また、板状体６３、６３の中央部分の両側隣接部分には溝棒６ａ〜６ｅ中の下溝棒６ｂ、６ｃをその溝底Ｖが斜め内方を向くように載置する下溝棒傾斜載置凹部８７、８７が設けられている〔図１０（ａ）〕。該下溝棒傾斜載置凹部８７、８７の台座側の端部には幅狭傾斜壁８９、８９が設けられている。
【００４０】
図１５において、９１は溝幅保持治具で、長尺状の基ロッド９３を有している。該基ロッド９３の両端部には係止支ロッド９５、９７が設けられている。この溝幅保持治具９１を上溝棒６ａ、６ｄの溝底Ｖ間に挿着した際、図１５に示すように、係止支ロッド９５、９７が上溝棒６ａ、６ｄに係止し、溝幅保持治具９１が落下しないように構成されている。
【００４１】
上述した本発明装置を用いて石英ガラス治具、例えば縦型ボートを製造する場合について主に図４〜図６とともに説明する。図５及び図６においては、下溝棒６ｅを１本設けた縦型ボートの例が図示されている。
【００４２】
（ａ）まず、第１〜第５のスイッチ機構４０、４８、５６、６４、７４をオフとして第１〜第５のエアクランプ３８、４６、５４、６２、７２を全てフリーとし、台座枕ユニット３４、天板治具ユニット４４、天板枕ユニット５２、台座側溝棒治具ユニット６０、天板側溝棒治具ユニット７０を移動可能としておく。
【００４３】
（ｂ）台座治具１８を台座治具ユニット１６に、台座枕４２を台座枕ユニット３４に、天板治具４９を天板治具ユニット４４に、天板枕５８を天板枕ユニット５２に、台座側溝棒治具６６を台座側溝棒治具ユニット６０に、及び天板側溝棒治具７６を天板側溝棒治具ユニット７０にそれぞれ装着する。
【００４４】
（ｃ）天板治具ユニット４４を、製造される石英ガラス治具２の全長位置に移動する。この時天板治具ユニット４４の位置はリニアカウンタによってカウンタ表示される。
【００４５】
（ｄ）台座枕ユニット３４、天板枕ユニット５２、台座側溝棒治具ユニット６０及び天板側溝棒治具ユニット７０を所定間隔位置に移動する。
【００４６】
（ｅ）台座５を台座治具１８にあてがいながら台座枕４２上に載置した状態を維持し、台座用センタリングアーム９６、９６にて台座５を挟み、台座５の倒れ防止及びセンター位置出しを行い（図４）、台座用クランプアーム８２にて台座５を台座治具１８方向へ押さえつけて固定し、ついで台座用センタリングアーム９６、９６を外側へ逃がし遠ざけ、さらに台座枕ユニット３４を第１エアクランプ３８によって固定することによって、台座５を台座治具１８に装着する。なお、台座５を台座枕４２上に載置した際に、台座５と台座枕４２との間に図１０（ｂ）に示した小プレート治具８１と同様の治具を敷き込むことによってその高さ調整を行うことができる。
【００４７】
（ｆ）溝棒の所定の基準溝の寸法に台座側溝棒治具ユニット６０を移動し第２エアクランプ６２によって固定する。
【００４８】
（ｇ）一本の溝棒、例えば６ａを台座側及び天板側溝棒治具６６、７６に仮に装着し、天板側溝棒治具ユニット７０を所定位置に調整する（この時図１３に示すように天板側溝棒治具７６の台座側の端面７６ａと該溝棒６ａの溝壁面Ｂとの間には間隙ｔを形成しておく）と同時に台座側溝棒治具６６の台座側の端面６６ａと該溝棒６ａの基準溝壁面Ａとを密接させ（図１２）、ついで該天板側溝棒治具ユニット７０を第３エアクランプ７２によって固定する。上記台座側溝棒治具６６の台座側の端面６６ａは台座側溝棒治具６６に備えられたリニアカウンタによってカウンタ表示されるカウンタ表示寸法面となる。
【００４９】
（ｈ）図１０（ｂ）に示した小プレート治具８１を台座側溝棒治具６６及び天板側溝棒治具７６の上溝棒載置凹部６５にセットし、所定本数の溝棒６ａ、６ｄ、６ｅ（図５及び図６では３本）を台座側溝棒治具６６及び天板側溝棒治具７６に載置する。この場合、溝棒が３本の場合には図１１に示したように載置し、溝棒が４本の場合には図１０（ａ）に示したように載置する。
【００５０】
（ｉ）Ｔ型治具７５を各溝棒治具６６、７６の上溝棒載置凹部６５内に配置しかつ図１４（ａ）に示すように、クサビ型治具７９を各溝棒治具６６、７６にセットし、下方に押圧することによって、上溝棒６ａ、６ｄを該Ｔ型治具７５方向に押圧固定する。
【００５１】
（ｊ）天板治具ユニット４４及び天板枕ユニット５２を台座５の反対方向に一旦移動する。
【００５２】
（ｋ）天板４を天板治具４９にあてがいながら天板枕５８上にのせた状態を維持し、天板用センタリングアーム１２４、１２４にて天板４を挟み、天板４の倒れ防止及びセンター位置出しを行い（図５）、天板用クランプアーム１１０にて天板４を天板治具４９方向へ押さえつけて固定し、ついで天板用センタリングアーム１２４を外側へ逃がし遠ざけ、さらに天板枕ユニット５２を固定することによって、天板４を天板治具４９に装着する。
【００５３】
（ｌ）天板治具ユニット４４を、製造される石英ガラス治具２の全長寸法位置に移動し第２エアクランプ４６によって固定するとともに天板枕ユニット５２を所定位置に移動し第３エアクランプ５４によって固定する（図６）。この時天板治具ユニット４４の位置はリニアカウンタによってカウンタ表示される。
【００５４】
（ｍ）天板４近くの上溝棒６ａ、６ｄの溝底Ｖ間に溝幅保持治具９１を挿着し、天板４と溝棒６ａ、６ｄ、６ｅとの仮付け（仮溶接）を行う。
【００５５】
（ｎ）台座５近くの上溝棒６ａ、６ｄの溝底Ｖ間に溝幅保持治具９１を挿着し、台座５と溝棒６ａ、６ｄ、６ｅとの仮付け（仮溶接）を行う。
【００５６】
（ｏ）溝幅保持治具９１及びＴ型治具７５を取り外し、天板用クランプアーム１１０及び台座用クランプアーム８２を外して上奥へ逃がし、第２エアクランプ４６をオフ（フリー）とし天板治具ユニット４４を台座５の反対方向（図６において右方向）に所定距離（例えば２００ｍｍ）だけ移動する。その後、台座枕用ユニット３４の第１エアクランプ３８をオフ（フリー）とし、台座側溝棒治具ユニット６０のハンドル６８を回して、仮組み（仮溶接）した石英ガラス治具を台座の反対方向（図６においては右方向）へ１００ｍｍ程移動する。この時に台座枕ユニット３４、台座側溝棒治具ユニット６０、天板側溝棒治具ユニット７０及び天板枕ユニット５２の４ユニットが第２〜第４エアクランプ６２、７２、５４をオンとすることによって連結バー３６に連結している。最後に、天板４及び台座５を持って仮組みされた石英ガラス治具（縦型ボート）を真上へ取り外す。
【００５７】
このようにして石英ガラス治具、例えば縦型ボートを製造することによって、これまでの修正方法ではその後の修正に必要な時間を含まない作業時間だけでも、平均１００分かかっていたものが、この方法によれば約４０分と最大６０分の製造時間の短縮を行うことができた。また、組み立て後に頻発した手直しになる外観上の品質低下や、手直し不要な組み立ての実現と効果が認められた。図１６に示すように、仮想中心Ｘから下溝棒６ｂ、６ｃの溝底Ｖ１、Ｖ１までの距離Ｙ、上溝棒６ａ、６ｄの溝底Ｖ２，Ｖ２間距離Ｚという、製品を使用する上で重要である寸法から製品を組み立てることができた。
【００５８】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本発明によれば、縦型ボートの仮想中心から下底溝までの距離及び上溝底間距離という、製品の使用上重要である寸法から製品を組み立てることを可能とし、仮付け組立品の手直しがほとんど不要となり、その結果仮付け後の手直しによる外観上の品質低下を解消しかつ製造時間の大幅な短縮を実現することができるという効果が達成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の石英ガラス治具の製造装置の一つの実施の形態を示す概略斜視図である。
【図２】同上の概略側面図である。
【図３】同上の概略上面図である。
【図４】本発明装置に台座治具、台座枕、左右一対の溝棒治具、天板治具及び天板枕を装着しかつ台座枕及び台座治具に台座を支持せしめセンタリングアームでセンター位置出しを行っている状態を示す概略側面図である。
【図５】本発明装置に台座を装着し、溝棒を載置した後、天板枕及び天板治具に天板を支持せしめセンタリングアームでセンター位置出しを行っている状態を示す概略側面図である。
【図６】本発明装置に台座及び天板を装着し溝棒を載置した状態を示す概略側面図である。
【図７】台座治具ユニット基体に台座治具を固着する場合の構成の１例を示す説明図である。
【図８】溝棒治具の１例を示す斜視図である。
【図９】図８の溝棒治具の裏面側を示す斜視図である。
【図１０】溝棒治具に４本の溝棒を載置した場合を示す図面で、（ａ）は一部断面側面図及び（ｂ）は小プレート治具の摘示斜視図である。
【図１１】溝棒治具に３本の溝棒を載置した場合を示す一部断面側面図である。
【図１２】上溝棒を台座側溝棒治具に載置した状態を示す断面説明図である。
【図１３】上溝棒を天板側溝棒治具に載置した状態を示す断面説明図である。
【図１４】上溝棒を上溝棒載置凹部に載置し、Ｔ型治具によって溝底の位置及び角度を正確に設定する態様を示す図面で、（ａ）は断面説明図、（ｂ）はＴ字型治具の摘示斜視図、（ｃ）はクサビ型治具の側面図である。
【図１５】上溝棒の溝底間に溝幅保持治具を挿着した状態を示す一部断面説明図である。
【図１６】縦型ボートの仮想中心から下溝棒の溝底までの距離及び上溝棒の溝底間距離を示す説明図である。
【図１７】縦型ボート（溝棒４本）の１例を示す斜視説明図である。
【図１８】縦型ボート（溝棒３本）の１例を示す斜視説明図である。
【図１９】縦型ボートの従来方法による仮付け作業の一例を示す断面的説明図である。
【符号の説明】
２：石英ガラス治具、３：溝棒、４：天板、５：台座、６ａ，６ｄ：上溝棒、６ｂ，６ｃ，６ｅ：下溝棒、８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ：溝、９：定盤、１０：石英ガラス治具の製造装置、１１：カーボン治具、１２：基台、１４：ガイドレール、１６：台座治具ユニット、１８：台座治具、２０：台座治具セット板、２２：台座治具セット面、２４：ガイド溝、２６：係合凸部、２８：台座治具止め具、３０：係合凹部、３２：ガイドネジ、３４：台座枕ユニット、３６：連結バー、３８，４６，５４，６２，７２：エアクランプ、４０，４８，５６，６４，７４：スイッチ機構、４２：台座枕、４４：天板治具ユニット、４９：天板治具、５０，６８，９０，１０４，１０６，１１８，１３２，１３４：ハンドル、５１：天板治具セット板、５２：天板枕ユニット、５８：天板枕、６０：台座側溝棒治具ユニット、６３：板状体、６５：上溝棒載置凹部、６５ａ：内側壁、６５：上溝棒載置凹部、６６：台座側溝棒治具、６６ａ：端面、６７：幅狭立壁、６９：ガイド突壁、７０：天板側溝棒治具ユニット、７１：平板部、７３：垂直部、７５：Ｔ型治具、７６：天板側溝棒治具、７７：凹溝、７９：クサビ型治具、８０：クランプ板、８１：小プレート治具、８２：台座用クランプアーム、８３：下溝棒垂直載置凹部、８４：支脚部材、８５：幅狭垂直壁、８６：幅方向ガイドネジ、８７：下溝棒傾斜載置凹部、８８：長手方向ガイドネジ、８９：幅狭傾斜壁、９１：溝幅保持治具、９４：台座用センタリングアーム手段、９６：台座用センタリングアーム、９８：把持部、１００：幅方向ガイドネジ、１０２：長手方向ガイドネジ、１０９：クランプ板、１１０：天板用クランプアーム、１１２：支脚部材、１１４：幅方向ガイドネジ、１１６：長手方向ガイドネジ、１２２：台座用センタリングアーム手段、１２４：天板用センタリングアーム、１２６：把持部、１２８：幅方向ガイドネジ、１３０：長手方向ガイドネジ、Ａ：基準溝壁面、Ｂ：溝壁面、Ｖ１、Ｖ２：溝底、Ｗ：ウェーハ、Ｘ：仮想中心。
【図１】
2004140135.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2004140135.tif 000016
【図１５】
2004140135.tif 000017
【図１６】
2004140135.tif 000018
【図１７】
2004140135.tif 000019
【図１８】
2004140135.tif 000020
【図１９】
2004140135.tif 000021
【手続補正書】
【提出日】平成14年11月27日(2002.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記天板治具ユニットが、天板用クランプアームを有し、該クランプアームによって前記天板を前記天板治具に押圧支持するようにしたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の石英ガラス治具の製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記天板治具ユニットが、一対の天板用センタリングアームを有し、該センタリングアームによって該天板のセンター位置出しを行うようにしたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載の石英ガラス治具の製造装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
２：石英ガラス治具、３：溝棒、４：天板、５：台座、６ａ，６ｄ：上溝棒、６ｂ，６ｃ，６ｅ：下溝棒、８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ：溝、９：定盤、１０：石英ガラス治具の製造装置、１１：カーボン治具、１２：基台、１４：ガイドレール、１６：台座治具ユニット、１８：台座治具、２０：台座治具セット板、２２：台座治具セット面、２４：ガイド溝、２６：係合凸部、２８：台座治具止め具、３０：係合凹部、３２：ガイドネジ、３４：台座枕ユニット、３６：連結バー、３８，４６，５４，６２，７２：エアクランプ、４０，４８，５６，６４，７４：スイッチ機構、４２：台座枕、４４：天板治具ユニット、４９：天板治具、５０，６８，９０，１０４，１０６，１１８，１３２，１３４：ハンドル、５１：天板治具セット板、５２：天板枕ユニット、５８：天板枕、６０：台座側溝棒治具ユニット、６３：板状体、６５：上溝棒載置凹部、６５ａ：内側壁、６６：台座側溝棒治具、６６ａ：端面、６７：幅狭立壁、６９：ガイド突壁、７０：天板側溝棒治具ユニット、７１：平板部、７３：垂直部、７５：Ｔ型治具、７６：天板側溝棒治具、７７：凹溝、７９：クサビ型治具、８０：クランプ板、８１：小プレート治具、８２：台座用クランプアーム、８３：下溝棒垂直載置凹部、８４：支脚部材、８５：幅狭垂直壁、８６：幅方向ガイドネジ、８７：下溝棒傾斜載置凹部、８８：長手方向ガイドネジ、８９：幅狭傾斜壁、９１：溝幅保持治具、９４：台座用センタリングアーム手段、９６：台座用センタリングアーム、９８：把持部、１００：幅方向ガイドネジ、１０２：長手方向ガイドネジ、１０９：クランプ板、１１０：天板用クランプアーム、１１２：支脚部材、１１４：幅方向ガイドネジ、１１６：長手方向ガイドネジ、１２２：台座用センタリングアーム手段、１２４：天板用センタリングアーム、１２６：把持部、１２８：幅方向ガイドネジ、１３０：長手方向ガイドネジ、Ａ：基準溝壁面、Ｂ：溝壁面、Ｖ１、Ｖ２：溝底、Ｗ：ウェーハ、Ｘ：仮想中心。