(57)【要約】【課題】微小部品を正確にピックアップし、かつ微小部品に損傷を与えることのない微小部品の吸着治具を提供すること。【解決手段】先端に設けた吸着穴４から空気を吸引することにより微小部品７を吸着する微小部品の吸着治具Ａにおいて、吸着穴４の周辺に空気の吹き出し穴５を設けた。また、吸着穴４と吹き出し穴５とを連通する逃がし経路６を吸着治具Ａの内部に設けることもできる。【選択図】　　図１
2004025330.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に設けた吸着穴から空気を吸引することにより微小部品を吸着する微小部品の吸着治具において、吸着穴の周辺に空気の吹き出し穴を設けたことを特徴とする微小部品の吸着治具。
【請求項２】
吸着穴と吹き出し穴とを連通する逃がし経路を吸着治具の内部に設けた請求項１に記載の微小部品の吸着治具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主にＩＣ、トランジスタ、受動部品などの電子部品のピックアップ、搬送、搭載の際に使用する微小部品の吸着治具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
携帯電話に代表される携帯通信機器の普及に伴い、電子部品の小型化が急速に進んでいる。ＩＣのみならず個別半導体であるトランジスタ、ダイオードや受動部品である抵抗、コンデンサ、インダクターにもその影響は波及しており、チップコンデンサでは１００５（１ｍｍ×０．５ｍｍ）が一般化し、０６０３（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ）の採用も広がりつつある。このような状況のなかで電子部品の組立てや実装に使用される製造装置にも新たな対応が求められており、特に微小部品を正確にピックアップし、搬送した上で、所定の場所に正確に搭載する技術が重要である。
【０００３】
電子部品のピックアップには、コレットやチャックと呼ばれる治具が使用されるが、微小部品に対しては、治具の先端に微小な吸着穴を設け、この穴から吸気することで発生する真空圧を利用して治具の先端に部品を吸着する方法が一般的である。
【０００４】
図３に従来のコレットの例を示す。同図（ａ）に示すように治具の中心に吸着穴４を開けただけの簡単なものから、同図（ｂ）及び（ｃ）に示すように部品のピックアップ精度を向上させるため、治具の先端に位置決め用窪み８を設けたタイプも存在する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらの吸着治具を用いても、部品が微小かつ軽量になるにつれ、吸着穴から吸い込まれる空気流の乱れにより、部品がずれたり、傾いた状態で治具に吸着される問題があった。さらに吸着時の真空圧により部品の治具接触面に傷が入りやすいという問題もあった。
【０００６】
また、最近、ＩＣチップを５０μｍ以下まで薄くして、複数のＩＣチップを積層することが盛んになりつつあり、従来の吸着治具では、そのような薄い部品をハンドリングすることは困難であり、吸着した場合、部品が変形または破損するおそれがあった。
【０００７】
本発明の目的は、微小部品を正確にピックアップし、かつ微小部品に損傷を与えることのない微小部品の吸着治具を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、本発明では、治具先端の吸着穴の周辺に空気を供給する別の穴を設け、この穴から吹き出た空気が吸着穴に吸い込まれることで安定した空気流を発生させ、これにより微小部品の正確な吸着が達成されるようにした。
【０００９】
すなわち、本発明の微小部品の吸着治具は、先端に設けた吸着穴から空気を吸引することにより微小部品を吸着する微小部品の吸着治具において、吸着穴の周辺に空気の吹き出し穴を設けたことを特徴とする。
【００１０】
また、吸着穴と吹き出し穴とを連通する逃がし経路を吸着治具の内部に設けることもできる。これにより、いったん微小部品が吸着された後は、真空圧の一部がこの逃がし経路から開放され、過大な圧力が微小部品の吸着面にかかることがなく、微小部品の損傷を防止することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示す実施例に基づき本発明の実施の形態を説明する。
【００１２】
図１は本発明による吸着治具の一実施例を示す縦断面図であり、同図（ａ）は微小部品を吸着する前の状態を示し、同図（ｂ）は微小部品を吸着した後の状態を示す。
【００１３】
図１（ａ）に示すように、吸着治具Ａの先端には吸着穴４が設けられており、この吸着穴４から空気を吸引することで微小部品７を吸着する。また、吸着穴４の周縁に位置決め用窪み８を設け、微小部品７の吸着位置の精度を向上させるようにしてもよい。
【００１４】
吸着穴４の周囲には空気を吹き出すための吹き出し穴５が設けられており、図中に矢印で示すように、吹き出し穴５から吹き出した空気が吸着穴４に吸い込まれることにより、吸着穴４の先端周辺において安定した空気流を発生させることができる。この安定した空気流により微小部品７の正確なピックアップが可能となる。吹き出し穴５の数や位置は、吸着対象の微小部品７に合わせて決めることができる。
【００１５】
吸着治具Ａの内部では、吸着穴４から分岐して吹き出し穴５と連通する逃がし経路６が設けられている。この逃がし経路６を設けることにより、図２（ｂ）に示すように微小部品７を吸着した状態では、吸着穴４に印加された真空圧の一部は逃がし経路６を通ってリークされる。これにより、吸着された微小部品７の治具接触面にかかる力は最小限に押さえられ、微小部品７表面の損傷を防止することができる。
【００１６】
図２は、本発明による吸着治具の製造方法の一例を示す説明図である。本発明の吸着治具Ａは、図２に示すパーツ１、パーツ２及びパーツ３を組み合わせることにより製造することができる。
【００１７】
図２において、パーツ１とパーツ２の中心には吸着穴４が開けられている。パーツ１の上部は円錐状に形成されており、その表面には突起部９が設けられている。パーツ２の下部には、パーツ１上部の円錐部分を嵌め込み可能な円錐状凹部１０が設けられている。パーツ３は円筒状であり、その内径はパーツ１及びパーツ２の外径よりも大きく形成されている。
【００１８】
このような構成において、パーツ１の上部をパーツ２の下部に嵌め込むと、パーツ１の突起部９がパーツ２の円錐状凹部１０に内面に突き当たることによって生じる隙間により、真空圧の逃がし経路６が形成される。さらにパーツ１及びパーツ２をパーツ３に挿入することにより、空気の吹き出し穴５が形成される。
【００１９】
【発明の効果】
本発明では、吸着穴の周辺に空気の吹き出し穴を設けたことによって、吸着穴の先端周辺で安定した空気流を発生させることができるので、微小部品の正確な吸着が可能となる。さらに、吸着穴と吹き出し穴とを連通する逃がし経路を吸着治具の内部に設けたことによって、微小部品を吸着後、その圧力を下げることができるので、微小部品の表面に損傷を与えない吸着が可能となり、とくに、微小部品が薄い場合は、その変形または損傷も防止でき有効である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による吸着治具の一実施例を示す縦断面図である。
【図２】本発明による吸着治具の製造方法の一例を示す説明図である。
【図３】従来の吸着治具の例を示す説明図である。
【符号の説明】
Ａ　吸着治具
１〜３　吸着治具のパーツ
４　吸着穴
５　吹き出し穴
６　逃がし経路
７　微小部品
８　位置決め用窪み
９　突起部
１０　円錐状凹部
【図１】
2004025330.tif 000003
【図２】
2004025330.tif 000004
【図３】
2004025330.tif 000005