(57)【要約】【課題】個々のファンフィルターユニットの作動状況を室内側から直接確認できる機構を提供する。【解決手段】高性能フィルター４の一次側にファン１０及びファンケース７を設け、ファン１０の作動によりファンケース７内に吸入した空気を高性能フィルター４で清浄化して二次側に吹出可能としたファンフィルターユニット１において、高性能フィルター４の吹出側に、ファンフィルターユニット１の作動状況を表示する表示手段（２１）を設けた。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高性能フィルターの一次側にファン及びファンケースを設け、ファンの作動によりファンケース内に吸入した空気を高性能フィルターで清浄化して二次側に吹出可能としたファンフィルターユニットにおいて、高性能フィルターの吹出側に、ファンフィルターユニットの作動状況を表示する表示手段を設けたことを特徴とするファンフィルターユニット。
【請求項２】
表示手段として、高性能フィルターの吹出側に発光部材を設け、該発光部材にフィルター枠部に埋設した配線を通じてファンケース側から給電するようにした請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
表示手段として、ファンケース内に発光部材を設け、導光部材によって高性能フィルターの吹出側で発光させるようにした請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
表示手段として、高性能フィルターの吹出側に発光部材を設け、該発光部材をファンケース側から非接触状態で誘導される起電力によって発光させるようにした請求項１記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルームやクリーンブースの天井部、及び、各種空気清浄機器に使用するファンフィルターユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ファンフィルターユニットは、高性能フィルターとファンケースを一体にしてユニット単体で空気清浄機能を有し、クリーンルームやクリーンブースの天井部、生産ライン上などに多台数用いられている。
【０００３】
図９はクリーンルームの例を示すものであり、天井面に配置されたファンフィルターユニット９１からルーム内空間９２に清浄空気が吹出され、ルーム内空間９２を所定の陽圧度に保持する一方、ルーム内を流下した空気は、床面の空気回収口９３から床下のリターンスペース９４に回収される。
【０００４】
このようなクリーンルームにおいて、多数のファンフィルターユニット９１は、一般に室外に設置した制御盤からの集中制御によって、全体若しくは一部分のみの運転／停止や作動状況を一括して管理されている。しかし、クリーンルーム内の作業者が室内側からファンフィルターユニット９１の運転状況、障害発生等を把握することは品質管理を行う上で重要であるにも拘らず、個々のファンフィルターユニット９１の運転状況を室内側から直接目視して確認できる機構は無かった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は従来の技術の上記の点に鑑みて、個々のファンフィルターユニットの作動状況を室内側から直接確認できる機構を提供することを目的としてなされたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、高性能フィルターの一次側にファン及びファンケースを設け、ファンの作動によりファンケース内に吸入した空気を高性能フィルターで清浄化して二次側に吹出可能としたファンフィルターユニットにおいて、高性能フィルターの吹出側に、ファンフィルターユニットの作動状況を表示する表示手段を設けた。上記表示手段として、高性能フィルターの吹出側に発光部材を設け、該発光部材にフィルター枠部に埋設した配線を通じてファンケース側から給電するようにした。また、上記表示手段として、ファンケース内に発光部材を設け、導光部材によって高性能フィルターの吹出側で発光させるようにした。更に、上記表示手段として、高性能フィルターの吹出側に発光部材を設け、該発光部材をファンケース側から非接触状態で誘導される起電力によって発光させるようにしても良い。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１に本発明実施形態のファンフィルターユニット１を示す。図においてファンフィルターユニット１は、フィルターユニット２の上側にファンユニット３を固定してなり、例えば、図示例のように、クリーンルーム天井部を構成するフレームＦにパッキングを介して支持されている。
【０００８】
フィルターユニット２は、ＨＥＰＡフィルター、ＵＬＰＡフィルター等からなる高性能フィルター４、該高性能フィルター４を支持する支持枠５、及び高性能フィルター４の表面を保護するネット状保護部材６（ラス網）からなる。
【０００９】
ファンユニット３は、前記フィルターユニット２の上面を覆うファンケース７の上面中央に空気吸入口８を設け、該空気吸入口８にはプレフィルター９を設ける一方、ファンケース７の内部には前記空気吸入口８に臨ませてファン１０（ターボランナー）を設けてある。ファン１０はファンモータ１１の回転軸に固定され、該ファンモータ１１はファンケース７内に架設した架台１２に固定されている。
【００１０】
ファンモータ１１はサーキットプロテクタ付きの電源スイッチ１３を介して主電源に接続され、該ファンモータ１１の作動により、空気吸入口８からプレフィルター９を介してファンケース７内に空気が吸入され、高性能フィルター４でろ過されて下面より清浄空気が吹出される。
【００１１】
以上のような基本構造をなすファンフィルターユニット１の空気吹出側表面には、ファンフィルターユニット１の作動状況を表示する表示手段として表示灯２１が設けられている。該表示灯２１は、主にファンモータ１１の運転表示を行うものであり、表示灯２１への給電がファンケース７内、即ち、高性能フィルター４の導入側（１次側）からなされるのに対し、表示は高性能フィルター４の吹出側（２次側）で行う必要がある。しかし、ファンフィルターユニット１の吹出側表面は全体的に清浄空気の吹出面である上、周縁部の支持枠５はクリーンルーム天井部のフレームＦで隠れるためこの部分に表示灯を設けることはできない。
【００１２】
そこで本発明においては、以下のような構成によって微粒子のリークを回避しつつ吹出側にて表示を行えるようにした。即ち、
（１）高性能フィルター４の吹出側に発光部材を設け、フィルター枠部に埋設した配線を通じてファンケース７側から給電する
（２）ファンケース７内に発光部材を設け、導光部材によって高性能フィルター４の吹出側で発光させる。
（３）高性能フィルター４の吹出側に発光部材を設け、ファンケース７側から非接触状態で誘導される起電力によって発光させる。
【００１３】
図２は、本発明第１実施形態（１）の表示灯２１を示すものであり、図において表示灯２１は、発光ダイオード（ＬＥＤ）等の発光部材をネット状保護部材６に固定すると共に、表示灯２１への給電用に極細配線２２を使用し、該配線２２を支持枠５と高性能フィルター４との間に接着剤２４を用いて埋め込むことで、配線２２部分における微粒子のリークを防止している。
【００１４】
また、フィルターユニット２とファンユニット３は、パッキング２５を介して気密状態を保持しつつ分離可能に接合され、高性能フィルター４やファン１０のメンテナンス時には分離される。そこで、表示灯側配線２２と給電側配線２３とのコネクター２６をファンケース７との接合部（２５）に設けることで、ファンユニット２とフィルターユニット３との接合と同時に、表示灯２２への給電配線２２，２３の接続がなされるようにしている。
【００１５】
図８（ａ）〜（ｃ）は表示灯２１を点灯させる回路の例を示すものであり、図８（ａ）は、ファンモータ１１に異常が発生しサーキットプロテクタＣＰによりファンモータ１１の電源回路が遮断された場合に表示灯２１ａを点灯させファンモータ１１の異常を表示する例を示している。また、図８（ｂ）はファンモータ１１の作動と共に点灯し、ファンモータ１１に異常が発生しサーキットプロテクタＣＰにより電源回路が遮断された場合に表示灯２１ｂを消灯させる例を示している。また、図８（ｃ）は上記（ａ），（ｂ）を併用することで、正常運転時には表示灯２１ｂを、異常発生時には表示灯２１ａを点灯させる例を示し、この場合、各表示灯２１ａ，２１ｂの色を異ならせる。更に、異常発生時に表示灯２１ａまたは２１ｂを点滅させるようにしても良い。また、高性能フィルター４の目詰まりを検知するセンサーを設け、該センサーの信号により、表示灯の色を変化させるようにすることもできる。
【００１６】
図３は、上記第１実施形態の別の実施例を示し、図示例では、支持枠５に配線２２を通す穴２７，２８を設け、それらを通じて表示灯側配線２２を直接ファンケース７と接合部（２５）に導いている。この構成により、高性能フィルター４の端部と配線２２との交差を避けることができ、高性能フィルター４の取り付けが容易となる。
【００１７】
次に、図４は本発明第２実施形態（２）の表示灯４１を示すものであり、図において表示灯４１は、ファンケース７内に発光部材４２（ＬＥＤ）を設ける一方、フィルターユニット２の支持枠５（サイドフレーム）に沿って導光部材４３を設け、フィルターユニット２の吹出部表面に達している導光部材４３の先端を表示部（４１）としてなり、導光部材４３の周囲、及び、高性能フィルター４と支持枠５との隙間はコーキング４４によってシールされている。また、４５はファンケース７と支持枠５との接合部をシールするパッキングである。
【００１８】
以上の如く構成された表示灯４１は、ファンケース７側の発光部材４２と、フィルターユニット２側の導光部材４３とが非接触でよいため、ファンユニット３とフィルターユニット２との接合時の位置合わせを厳密に行う必要がなく、組立て時の作業性が良好である。また、高性能フィルター４のコーキングも従来のフィルターユニット２の場合と殆ど同様の手順で行える利点がある。更に、図８（ｃ）に示した複数の表示灯２１ａ，２１ｂを点灯させる場合において、１つの導光部材４３に対して色の異なる複数の発光部材４２を並設することにより、正常運転時、異常発生時、フィルター目詰まり時等で表示色を変化させることができる。
【００１９】
導光部材４３としてはアクリル板等、透光性が良好な透明樹脂や、光ファイバー等を用いることができ、図５に示す如く導光部材４３′の先端を屈曲し、表示部（４１′）の面積を拡大するか若しくは、フィルターユニット２の中央寄りに寄せることにより、表示部（４１′）の視認性を向上することもできる。更に、図６に示すように、支持枠５″（サイドフレーム）を内側に拡張し、該拡張部分を貫通して導光部材４３″を設けることもできる。
【００２０】
次に、図７は本考案第３実施形態（３）の表示灯７１を示すものであり、図において表示灯７１は、高性能フィルター４の１次側及び２次側に空芯コイル７２，７３を設け、１次側コイル７２は、ファンモータ１１と同期して高周波交流電流を発生する高周波発生器７４に接続する一方、２次側コイル７３には表示灯７１（ＬＥＤ）を接続し、１次側コイル７２から２次側コイル７３に誘導される起電力により表示灯７１を発光させるものである。
【００２１】
上記表示灯７１においては、高性能フィルター４に配線や導光部材を貫通する必要が無いので、微粒子のリーク対策は不要であり、既存のファンフィルターユニットに追加することも可能である。また、吹出側に配線が不要であるため、図示例の如く吹出面の中央等、任意の位置に配置することができる。
【００２２】
尚、上記実施形態においてはファン１０にターボファンを用いる場合を示したが、シロッコファン等、他形式のファンを用いても良い。
【００２３】
【発明の効果】
本発明のファンフィルターユニットは、上述の通り、高性能フィルターの一次側にファン及びファンケースを設け、ファンの作動によりファンケース内に吸入した空気を高性能フィルターで清浄化して二次側に吹出可能としたファンフィルターユニットにおいて、高性能フィルターの吹出側に、ファンフィルターユニットの作動状況を表示する表示手段を設けたので、クリーンルームやクリーンブースの天井部、生産ライン上等に設置した場合に、これら清浄区域内で作業を行う作業者が作業現場において個々のファンフィルターユニットの運転状況を直接目視して判断でき、これにより、異常発生に対する迅速な対応が可能となり、清浄度の低下やそれに伴う不良品の発生を未然に防止できる。
【００２４】
またクリーンルームのレイアウト変更に伴うファンフィルターユニットの配置変更時における運動確認や製造装置天井部に設置されたファンフィルターユニットの運転確認を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明実施形態のファンフィルターユニットを示す縦断面図である。
【図２】本発明第１実施形態のファンフィルターユニットを示す要部縦断面図である。
【図３】本発明第１実施形態のファンフィルターユニットの別の実施例を示す要部縦断面図である。
【図４】（ａ）は本発明第２実施形態のファンフィルターユニットを示す要部縦断面図、（ｂ）は同部分の底面図である。
【図５】本発明第２実施形態のファンフィルターユニットの別の実施例を示す要部縦断面図である。
【図６】本発明第２実施形態のファンフィルターユニットの更に別の実施例を示す要部縦断面図である。
【図７】本発明第３実施形態のファンフィルターユニットを示す要部縦断面図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各実施形態における表示灯の点灯回路の例を示す回路図である。
【図９】ファンフィルターユニットを設置したクリーンルームの例を示す概略縦断面図である。
【符号の説明】
１　ファンフィルターユニット
２　フィルターユニット
３　ファンユニット
４　高性能フィルター
５　支持枠
６　ネット状保護部材
７　ファンケース
８　空気吸入口
９　プレフィルター
１０　ファン
１１　ファンモーター
２１，２１ａ，２１ｂ，４１，４１′，４１″，７１　表示灯
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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