(57)【要約】【課題】真空雰囲気内で観察対象を撮影する観察装置の撮影窓に製造工程等に起因する塵等が付着するのを防止する真空雰囲気内観察装置を提供する。【解決手段】本装置は、真空雰囲気内にある観察対象に対面する撮影窓２１１を有し、撮影窓を通して観察対象を撮影してその画像を出力する撮像部２００と、その撮影窓を遮蔽する位置と撮影窓を遮蔽しない位置との間を移動可能な遮蔽部材２５２と、遮蔽部材を撮影窓を遮蔽する位置と撮影窓を遮蔽しない位置との間で変位させる位置決め機構２５０とを備えている。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空雰囲気内にある観察対象に対面する撮影窓を有し、該撮影窓を通して前記観察対象を撮影してその画像を出力する撮像手段と、
前記撮影窓を遮蔽する位置と遮蔽しない位置との間を移動可能な遮蔽部材と、
該遮蔽部材を、前記撮影窓を遮蔽する位置と遮蔽しない位置とのいずれかに設定する位置決め構構と
を備えたことを特徴とする真空雰囲気内観察装置。
【請求項２】
前記撮像手段は、その撮影環境の温度を所定値以下に保持する温度調節手段を備えることを特徴とする請求項１記載の真空雰囲気内観察装置。
【請求項３】
前記温度調節手段は、前記撮影環境に空気又は窒素を供給することで前記温度を保持することを特徴とする請求項２記載の真空雰囲気内観察装置。
【請求項４】
前記温度調節手段は、前記撮影環境の温度を検知する温度センサを有し、その検知温度に応じて前記空気又は窒素の供給量を制御することを特徴とする請求項３記載の真空雰囲気内観察装置。
【請求項５】
前記撮像手段は、前記画像をディジタル信号又はアナログ信号で出力することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の真空雰囲気内観察装置。
【請求項６】
前記ディジタル信号又はアナログ信号は、電話回線ケーブル又はＬＡＮを介して出力されることを特徴とする請求項５記載の真空雰囲気内観察装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空雰囲気内の観察装置に関し、特に半導体製造工程等に用いられる真空チャンバ内の被処理物の製造状況、真空チャンバの形状の欠陥、或いは被処理物の搬送機構の状況等を観察する手段として好適な観察装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
真空雰囲気、例えば、プラズマパネル製造工程や半導体製造工程等における真空チャンバにおいて、オペレータ（或いは自動観察の場合、コンピュータ）は、真空チャンバ内部の被処理物の位置や成膜状況、更には真空チャンバの形状の欠陥の有無を確認しなければならない場合が多くある。そのような場合、従来は、真空チャンバの側壁に設けた監視窓（サイトガラス）を通して、オペレータが真空チャンバ内部の目視観察を行ったり、ビデオカメラを監視窓に近接させて真空チャンバの内部を撮影したりすることで観察していた。
【０００３】
例えば、被処理物が、半導体素子を形成するウエハである場合、近年の生産性向上からウエハの径は増大の一途を辿っている。具体的にはウエハの径は約３００ｍｍと大きくなっており、これに伴って真空チャンバの装置規模も増大している。このため、オペレータが、真空チャンバの外から前述の監視窓を通して内部の状況を隅無く観察したりビデオカメラ等で撮影したりすることは、この真空チャンバの装置規模の増大から困難になってきている。また、近年の半導体素子構成の微細化を受けて、ウエハ上の素子集積度も増大しているので、オペレータが監視窓からウエハの細部を充分に観察することも困難になっている。
【０００４】
そこで、オペレータが上記のような観察対象の細部を充分に観察するために、真空チャンバ内に撮像装置を設け、この撮像装置によって観察対象を撮影し、その撮影画像から観察対象を観察することが考えられる。そのための手段として、例えば、真空雰囲気内を監視するための監視カメラ装置を用いることが考えられる（特許文献１参照）。この監視カメラ装置は、真空雰囲気内部に撮像装置を設け、この撮像装置に連結した駆動ワイヤをオペレータが操作することで、真空雰囲気内の任意箇所を自由に観察できるようになっている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−３４１５６５号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記の半導体製造工程等で用いられている真空チャンバ内部の被処理物やプロセスガス供給口の細部を観察するために、上記のような監視カメラ装置を用いる場合、これを被処理物に接近させて配置すると、被処理物の加工処理によって生成した屑や塵が、撮像部に付着したりこれを傷つけたりして、撮影の妨げとなる恐れがある。
【０００７】
本発明の目的は、真空雰囲気内、例えば真空チャンバ内部を細部まで観察できると共に、被処理物の加工処理等によって生じる屑その他の不要物により観察が妨げられるのを防止できる真空雰囲気内観察装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の真空雰囲気内観察装置は、真空雰囲気内にある観察対象に対面する撮影窓を有し、該撮影窓を通して前記観察対象を撮影してその画像を出力する撮像手段と、前記撮影窓を遮蔽する位置と遮蔽しない位置との間を移動可能な遮蔽部材と、該遮蔽部材を前記撮影窓を遮蔽する位置と遮蔽しない位置とのいずれかに設定する位置決め機構とを具備したことを特徴とする。
【０００９】
本発明の実施態様では、前記撮像手段は、その撮影環境の温度を所定値以下に保持する温度調節手段を備える。この温度調節手段は、例えば、空気又は窒素を前記撮影環境に供給することにより、前記温度を保持する。より詳細には、前記撮影環境の温度を検知する温度センサを有し、その検知温度に応じて空気又は窒素の供給量を制御するように構成する。
【００１０】
別の実施態様では、前記撮像手段は、前記画像をディジタル信号又はアナログ信号として出力する。この場合、ディジタル信号又はアナログ信号は、通信回線又はＬＡＮを介して、画像観察者側に送信される。
【００１１】
【作用及び効果】
本発明によれば、撮像手段により、その撮影窓を通して観察対象を撮影してその画像を出力する。その画像から真空雰囲気内の観察対象の状況がわかる。この撮影時には、位置決め機構により、遮蔽部材は撮像手段の撮影窓を遮蔽しない位置に設定される。一方、上記の撮影時以外は、遮蔽部材を撮像手段の撮影窓を遮蔽する位置に設定しておく。これにより、真空雰囲気内において、例えば前述の半導体製造のための加工処理が行われる際に発生する塵等が、撮像手段に向かって飛散しても、遮蔽部材がそれを遮り、撮影窓が汚れたり傷ついたりするのを防止する。
【００１２】
勿論、本発明は、半導体製造に限らず真空雰囲気内での加工処理や作業によって生じた汚染物等が撮影窓に付着することにより、真空雰囲気内の観察の妨げとなるのを防止し、常に適正な観察を可能にするものとして好適である。
【００１３】
本発明の実施態様によれば、撮像手段は撮像環境の温度を調節する手段を備えているので、製造加工処理等で生じた熱が撮像手段の動作に悪影響を及ぼすような事態になるのを防止し、最適な環境温度を常に維持し続けることが可能になる。
【００１４】
温度調節手段において、空気や窒素のような気体を用いると、撮像環境における温度調節を安価に実施することができる。
【００１５】
また、本発明の別の実施態様によれば、温度センサを用いて撮像環境における温度を検知するので、その検知結果に応じて、上述した空気や窒素の、撮像環境への供給流量を制御する。従って、撮像環境の温度調節を簡便に行うことができる。
【００１６】
更に、本発明の別の実施態様によれば、撮像手段が出力する画像の信号は、ディジタル信号又はアナログ信号であるので、例えばディジタル画像をパソコンのモニタに画面表示させることが容易にできる。また、アナログ信号を用いて画像を表示するための表示装置に、前記画像の信号をＤ／Ａ変換しないで入力することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施例の真空雰囲気内観察装置の構成を示す概観図である。図２は、真空チャンバ１０内に収容された真空雰囲気内観察装置１００の構成を具体的に示す図である。尚、図において断面を示すハッチングを一部省略してある。
【００１８】
真空雰囲気内観察装置１００は、ウエハ２０を撮影する撮像部２００と、この撮像部２００を支持する可動調整機構３００と、後述のように撮像部２００の撮影窓に屑等が付着するのを防止する遮蔽部材２５２の位置を設定するための位置決め機構２５０と、撮像部２００で撮影した画像をＮＴＳＣ信号（アナログビデオ信号）又はディジタル信号として、外部に送出するための出力端子１４０に接続した内部伝送路１２０とを備えている。その画像信号は、出力端子１４０に接続した外部伝送路（電話回線ケーブル又はＬＡＮ）１４２を介して、画像処理装置１５０に伝送される。詳細は後述する。
【００１９】
この真空雰囲気内観察装置１００は、観察対象としての被処理物が搬入される真空チャンバ１０の内部を観察するために用いられる。この真空チャンバ１０を形成している仕切壁１１の正面部分には、本実施例の撮像部２００を支持する可動調整機構３００を通すための貫通孔１２が設けられている。この貫通孔１２は、被処理物の観察位置に応じて適当な位置に設けられる。
【００２０】
真空チャンバ１０内部で処理される被処理物は、例えばウエハ２０であり、真空チャンバ１０内には、これを載置する載置板２２が設けられている。また、載置板２２上にウエハ２０を係止するための係止手段として、クランプ２４が設けられている。尚、係止手段としては、クランプ２４の代わりに、環状の基板ホルダをウエハ２０の周縁に被せて、この基板ホルダと載置板２２を適当な止め具で係止するようにしてもよい。
【００２１】
この真空雰囲気内観察装置１００は、温度調節手段の構成要素として、冷却媒体（例えば、圧縮空気、窒素又は他の気体）を供給する冷却媒体供給機構１１０、冷却媒体が流れる冷却媒体流路１１２、真空チャンバ１０内で使用される撮像部２００に冷却媒体を送り込む冷却媒体入口１１６、及び上記冷却媒体供給機構１１０と冷却媒体入口１１６との間の冷却媒体流路１１２に設けた、流量制御用スピードコントローラ付きの三方向電磁弁１１４を備えている。
【００２２】
位置決め機構２５０は、製造処理工程に起因する屑や塵等から撮影窓を遮断する遮蔽部材２５２を動かす駆動部として、図２に示すように、真空チャンバ１０の外側に設けられた回転可能な摘み２５８と、その回転を伝達するワイヤ２５１と、この先端に連結し遮蔽部材２５２を回動させる回転軸２５４と、ワイヤ２５１と回転軸２５４の連結部分を回転自在に支持する軸受部２５６とを備えている。
【００２３】
摘み２５８は、ネジ状に形成されており、真空雰囲気が仕切壁１１の外部雰囲気に影響されないようにするため、摘み２５８の周縁と後述する第二の気密結合部３１４とは、２個のＯ−リング２６０を用いてシールされている。
【００２４】
画像処理装置１５０は、前述の外部伝送路１４２を介して真空雰囲気内観察装置１００の出力端子１４０に接続される入力端子１５２を有する。この入力端子１５２は、画像出力装置（モニタ）１６０、画像記録装置（例えばハードディスク・レコーダ）１７２、ビデオ・レコーダ１８２、及び送信機１９２にそれぞれ接続されている。ハードディスク・レコーダ１７２は、端末装置としてのコンピュータ端末１７４に接続され、ビデオ・レコーダ１８２は、画像出力装置（モニタ）１８４に接続され、送信機１９２は、無線網を介して受信機１９４に接続されている。そして、受信機１９４は、例えば画像出力装置（モニタ）又はコンピュータ端末１９６に接続されている。
【００２５】
真空雰囲気内観察装置１００の構造において真空チャンバ１０に収容される部分の構成は、主に撮像部２００、位置決め機構２５０、及び可動調整機構３００から成る（図２）。
【００２６】
撮像部２００は、実際に観察対象を撮影して画像信号を生成し出力する機能を有する。この撮像部２００は、遮蔽部材２５２と回転軸２５４を介して連結した、位置決め機構２５０の軸受部２５６が一体に取り付けられている。
【００２７】
可動調整機構３００は、第一及び第二の中空管状体３０２，３０６と、メタルガスケット型配管継手３０４を備えている。第一及び第二の中空管状体３０２，３０６の内部には、前述の内部伝送路１２０、撮像部２００の撮影環境の温度調節（詳細は後述する）を行うために用いられる冷却媒体を流す冷却媒体流路２３０、撮像部２００に電力を供給する供電線２３８、及びこの供電線２３８を被覆する被覆カバー２３９が収容されている。
【００２８】
第一の中空管状体３０２の一端には撮像部２００が結合して支持されており、第一の中空管状体３０２の他端は、メタルガスケット型配管継手３０４を介して第二の中空管状体３０６の一端に着脱可能に結合されている。第二の中空管状体３０６の他端は、真空チャンバ１０の仕切壁１１の貫通孔１２を介して、後述する第二の気密結合部３１４に気密結合されている。
【００２９】
図３は、撮像部２００、遮蔽部材２５２、及び位置決め機構２５０の細部を示す。図１及び図２と同様、断面を示すハッチングが一部省略されている。
【００３０】
撮像部２００は、内部に撮像カメラ２４０を保持する筐体２１０と、この筐体２１０内部の環境温度を調節するため、前述の温度調節手段の構成要素としての冷却媒体供給口２２０及び冷却媒体流路２３０とを有している。
【００３１】
この筐体２１０は、撮影窓２１１を構成するフロントガラス２１２を有している。筐体２１０とフロントガラス２１２との接続には、真空雰囲気と仕切壁１１の外部雰囲気、すなわち大気との圧力差を考慮して、Ｏ−リング２１４を用いている。
【００３２】
撮像カメラ２４０は、基本的に三つの要素、すなわちカメラレンズ２４２、照明部２４４、及び撮像回路２４６を備えている。
【００３３】
照明部２４４は、観察対象に光を当てて、観察対象を明るくする。白色ＬＥＤを用いても良いし、赤外線源でも良い。
【００３４】
撮像回路２４６は、図示しないサンプリング回路、Ａ／Ｄ及びＤ／Ａ変換回路、画像変換回路を有している。そのサンプリング回路は、観察対象の画像を時系列的にサンプリングし、それぞれの画像を所望の個数の画素に標本化する機能を有する。
【００３５】
Ａ／Ｄ変換回路は、サンプリングされた画像をアナログからディジタル信号に変換する、すなわち、得られた画像に起因するアナログ信号を「０」及び「１」の２値化ディジタル信号に変換する機能を有する。Ｄ／Ａ変換回路は、このディジタル信号をアナログビデオ信号に変換する変換回路である。上述したディジタル信号又はアナログ信号は、画像変換回路に入力されて、画像処理され、そして画像信号が出力される。
【００３６】
撮像回路２４６は、ディジタル信号に変換した画像信号、又はＤ／Ａ変換したアナログ画像信号をＮＴＳＣ信号（アナログビデオ信号）として前述の内部伝送路１２０に送出する。
【００３７】
この撮像カメラ２４０の撮像回路２４６は、サンプリング回路、Ａ／Ｄ変換回路、Ｄ／Ａ変換回路、画像変換回路、及び照明部２４４に外部から電力を供給するための供電線２３８が接続されている。
【００３８】
上述した内部伝送路１２０、冷却媒体流路２３０、及び供電線２３８は、筐体２１０の側壁に設けられた貫通孔を通って、第一及び第二の管状体３０２，３０６内部に延びている。
【００３９】
次に、遮蔽部材２５２は、撮影窓２１１を覆う板状体の遮蔽板で構成されている。この遮蔽板は、前述の摘み２５８を回すことで、ワイヤ２５１及び回転軸２５４を介して回動する（図２及び図３）。
【００４０】
図４は、真空チャンバ１０の仕切壁１１を通って支持される可動調整機構３００の部分を示す。
【００４１】
可動調整機構３００は、内部伝送路１２０、冷却媒体流路２３０、及び供電線２３８を内部に収納した第一及び第二の中空管状体３０２，３０６をメタルガスケット型配管継手３０４を介して具備している。この第二の中空管状体３０６は、気密シール手段３１０を介して真空チャンバ１０の仕切壁１１に取り付けられている。
【００４２】
気密シール手段３１０は、着脱自在な一対の気密結合部３１２，３１４を有している。その第一の気密結合部３１２は、真空チャンバ１０の側壁に設置される。第二の気密結合部３１４は、真空チャンバ１０の仕切壁１１の外側で第一の気密結合部３１２に密着するように形成される。
【００４３】
図示の例では、第一の気密結合部３１２は、平らな環状のメタルガスケットを閉じ込めて信頼性の高いシールを作るナイフエッジ型メタルシールフランジ（コンフラットフランジ）から成り、第二の気密結合部３１４も同様の形状である。この第二の気密結合部３１４には、真空チャンバ１０内から仕切壁１１の外部大気側に第二の中空管状体３０６を延出するための第一の貫通孔１３２０が形成されている。また、第二の気密結合部３１４には、ワイヤ２５１及び摘み２５８を連結するための孔として第二の貫通孔２３２０が形成されている。
【００４４】
図２に示すように、第一及び第二の中空管状体３０２，３０６は、メタルガスケット型配管継手３０４を用いて連結されている。両者の連結は、第二の中空管状体３０６を貫通孔１２に通し、この中空管状体３０６を気密結合する第二の気密結合部３１４と第一の気密結合部３１２とをメタルガスケットを挟んで密着固定した後、メタルガスケット型配管継手３０４を介して２つの中空管状体３０２と３０６を接続することによって達成される。
【００４５】
以下、真空雰囲気内観察装置１００を用いてチャンバの内部を観察するときの手順を説明する。
【００４６】
例えば、ウエハ２０を観察する目的で、ウエハ２０近傍に真空雰囲気内観察装置１００の撮像部２００を配置する。具体的には、オペレータが、第一の中空管状体（フレキシブルチューブ）３０２を動かして、第一の中空管状体３０２に接続した撮像部２００をウエハ２０の近傍に位置付ける。
【００４７】
このように撮像部２００の位置を設定した後、オペレータは、初期設定として三方向電磁弁１１４が閉じていることを確認し、かつ遮蔽部材２５２が撮像部２００の撮影窓２１１を遮蔽していることを確認する（図３）。
【００４８】
撮像部２００で観察対象を撮影する際には、オペレータは、摘み２５８を操作して、すなわち摘み２５８を時計方向に回転させる。これにより、ワイヤ２５１も回転し、当該ワイヤ２５１に接続された遮蔽部材２５２を回転させる。そして、オペレータは、遮蔽部材２５２が撮影窓２１１を遮蔽していない位置まで遮蔽部材２５２を変位させる。本装置では、この位置を遮蔽解除位置とする。
【００４９】
この遮蔽解除位置においては、遮蔽を解除する方向に回転させた摘み２５８を停止させるストッパーを設けることが好ましい。例えば、回転軸２５４又はワイヤ２５１に突起を設け、回転軸２５４又はワイヤ２５１と共に回転した突起が筐体２１０に当たってそれ以上回転できなくなる位置を遮蔽解除位置とする。ストッパーとしてこのような突起を設けることにより、オペレータは、摘み２５８を回転させて遮蔽を解除した位置を認識できると共に、それ以上摘み２５８を回転させるのを防止できる。
【００５０】
オペレータは、撮影窓２１１を遮蔽していない位置に遮蔽部材２５２があることを確認後、オペレータ或いは画像観察者は、撮像部２００を通して観察対象の観察を行う。この観察に際しては、上述したように撮像部２００からの出力信号（ディジタル信号又はＮＴＳＣ信号）が、画像出力装置１６０に送られ観察画像が表示される。画像観察者がそれをリアルタイムで観察してもよいし、ハードディスク・レコーダ１７２に一旦観察画像を記録させておいて、画像観察者が、コンピュータ端末１７４によりその画像を編集後、編集画像を観察してもよい。
【００５１】
また、ビデオ・レコーダ１８２によりその画像を情報記録媒体、例えばビデオテープやＣＤ−ＲＯＭに記録して、オペレータがその画像を編集後、編集画像を観察してもよい。
【００５２】
更に、観察画像を無線送信機１９２を用いて無線網を介して無線受信機１９４に送信し、遠隔場所の画像観察者にこの観察画像を送って、画像観察者がその画像をコンピュータ端末１９６の表示画面（ディスプレイ）に表示させて観察してもよい。
【００５３】
尚、撮像部２００で観察対象を撮影している時は、前述の三方向電磁弁１１４を開放して、冷却媒体供給機構１１０から送出される冷却媒体を撮像部２００に供給しておく。この冷却媒体を撮像部２００に供給することにより、所定値以下に撮影環境の温度を保持することができ、熱による撮像部２００の故障を防止することができる。
【００５４】
例えば、撮像部２００内部の体積を約４０００ｍｍ３とした場合に、真空チャンバ１０内が３５０℃において、Ｎ２ガスを２．０ｌ／ｍｉｎ．流したとき、撮像部２００は、３時間の撮影に耐えることができる。
【００５５】
このガス供給量は、適宜変更することが可能である。例えば、筐体２１０内部に温度センサを設けておき、この温度センサが検知する温度に対応して、筐体２１０内部に供給する空気或いは窒素などのガスの供給量を適宜設定すると良い。
【００５６】
撮像部２００での撮影終了後、オペレータは、摘み２５８を反時計方向に回転させる。この動作を受けて、回転軸２５４は、前述とは逆の回転が生じて、この回転軸２５４に接続されている遮蔽部材２５２を回転させる。そして、オペレータは、遮蔽部材２５２が撮影窓２１１を遮蔽する位置まで遮蔽部材２５２を変位させ、その位置を遮蔽位置として位置設定する。
【００５７】
以上のように、遮蔽部材２５２及び位置決め機構２５０を用いて、観察対象の観察を行わないときは、撮像部２００の撮影窓２１１を遮蔽し、観察対象の観察や監視を行う時には、撮影窓２１１の遮蔽を解除するので、真空雰囲気内での処理工程に起因する屑や塵等の汚染物が、観察を行っていない際の撮影窓２１１に付着することを妨げることができる。従って、撮影窓２１１の清掃を定期的に行わなくても、観察対象を充分に観察することができる。
【００５８】
以上、図示の実施例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、上記実施例では、オペレータが、真空チャンバ内で撮像部２００の位置を手動で設定するように構成しているが、真空チャンバの外から撮像部２００の位置を設定する、すなわち遠隔操作できるようにしても良い。そのための手段としては、撮像部２００と第一の中空管状体３０２をボールジョイント（自在継手）で連結すると共に、２つの中空管状体３０２及び３０６の内部に通した駆動ワイヤの一端（この場合、真空チャンバ内に位置する端部）を撮像部２００に連結し、この駆動ワイヤの他端（この場合、真空チャンバの外に位置する端部）を、オペレータが操作可能な操作端末に接続する。操作時には、オペレータは、操作端末を操作して第一の中空管状体３０２内を通る駆動ワイヤを介して撮像部２００を移動させることにより、撮像部２００を目的のウエハ２０近傍の位置に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す概略図である。
【図２】真空雰囲気内観察装置の真空チャンバに収容されている部材を示す図である。
【図３】真空雰囲気内観察装置の撮像部を示す図である。
【図４】真空雰囲気内観察装置の可動調整機構を示す図である。
【符号の説明】
１０…真空チャンバ、１１…仕切壁、１２…貫通孔、２０…ウエハ、２２…載置板、２４…クランプ、１００…真空雰囲気内観察装置、１１０…冷却媒体供給機構、１１２，２３０…冷却媒体流路、１１４…三方向電磁弁、１１６…冷却媒体入口、１２０…内部伝送路、１４０…出力端子、１４２…外部伝送路、１５０…画像処理装置、１５２…入力端子、１６０，１８４…画像出力装置、１７２…ハードディスク・レコーダ、１７４，１９６…コンピュータ端末、１８２…ビデオ・レコーダ、１９２…送信機、１９４…受信機、２００…撮像部、２１０…筐体、２１１…撮影窓、２１２…フロントガラス、２１４，２６０…Ｏ−リング、２２０…冷却媒体供給口、２３８…供電線、２３９…被覆カバー、２４０…撮像カメラ、２４２…カメラレンズ、２４４…照明部、２４６…撮像回路、２５０…位置決め機構、２５１…ワイヤ、２５２…遮蔽部材、２５４…回転軸、２５６…軸受部、２５８…摘み、３００…可動調整機構、３０２…第一の中空管状体、３０４…メタルガスケット型配管継手、３０６…第二の中空管状体、３１０…気密シール手段、３１２…第一の気密結合部、３１４…第二の気密結合部、１３２０…第一の貫通孔、２３２０…第二の貫通孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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