(57)【要約】【課題】以前に実施した加工状態を適正に記憶させることにより、加工後の被加工物に不具合が生じた場合にその要因の特定を可能とするとともに、過去に実施した加工状態を容易に再現させることができるデータ管理プログラム及び、熱加工装置を提供することを目的とする。【解決手段】熱加工装置の管理制御部には、ＣＰＵ５０と、記憶手段５１が設けられている。上記ＣＰＵ５０は、加工部及び電源装置へ電力設定値及び圧力設定値を出力する出力手段５４と、入力操作部５の入力内容を判定する判定手段５５と、この判定手段５５の判定に応じて検出部により検出された状態項目を上記記憶手段５１へ記憶させる記憶指示手段５６と、上記記憶手段５１に記憶されたデータ及び、表示画面を表示する表示手段５７とを備えている。上記記憶手段５１は、電力設定値、圧力設定値及び、状態項目を併せて記憶するようになっている。【選択図】      図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め設定された系内圧力及び温度条件下で成形型内に配置された被加工物を一対の電極により所定の圧力で挟圧しつつ、当該被加工物へ通電して加工するように構成された加工部と、この加工部の各電極に対して電力供給を行う電源装置と、この電源装置及び、上記加工部に接続されるとともに、それぞれを制御する管理制御装置とを備え、
上記加工部には、被加工物の加工時における少なくとも上記系内圧力、温度、成形型の温度、被加工物の温度、各電極の変位量及び、被加工物の電気抵抗値の何れか１つを含む状態項目を検出する検出部が設けられているとともに、
上記管理制御装置には、作業者の入力操作を受付ける入力操作部と、この入力操作部の入力に応じて当該入力内容を表示する表示部とが設けられた熱加工装置において、
上記管理制御装置を用いて作業者の入力操作に応じて上記各電極へ供給する電力及び、被加工物を挟圧する圧力を設定するとともに、これら電力及び圧力の各設定値を上記状態項目と併せて記憶するためのデータ管理プログラムであって、
過去の加工時における上記各設定値を記憶するとともに、新たに加工を行う場合に各設定値を入力操作部による作業者の入力操作で設定する手動設定モードと、予め記憶された各設定値を利用して設定する自動設定モードの何れかを作業者へ選択させるために予め作成されたモード選択画面を記憶する記憶手段と、
上記入力操作部により受付けられた作業者の操作内容を判定する判定手段と、
上記モード選択画面を上記表示部へ表示するとともに、上記判定手段による判定結果が自動設定モードである場合に、上記記憶手段に記憶された各設定値を選択可能な状態で上記記憶手段に予め記憶された設定値選択画面を上記表示部へ表示する表示手段と、
上記手動設定モードで設定された各設定値及び、上記自動設定モードの選択時に設定値選択画面において選択された各設定値を加工部及び、電源装置へ出力する出力手段と、
上記出力手段により出力された各設定値と、これら設定値に応じて駆動する加工部において上記検出部により検出される状態項目とを当該加工の進行程度に応じて随時上記記憶手段へ記憶させる記憶指示手段として上記管理制御装置を機能させることを特徴とするデータ管理プログラム。
【請求項２】
請求項１に記載のデータ管理プログラムにおいて、上記判定手段により設定値選択画面において各設定値が選択されたと判定された場合に、上記表示手段が当該各設定値を編集可能な状態で上記記憶手段に予め記憶された設定値編集画面を表示部へ表示するとともに、上記出力手段が前記設定値編集画面で編集された各設定値を上記加工部及び、電源装置へ出力することを特徴とするデータ管理プログラム。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のデータ管理プログラムにおいて、上記モード選択画面には、さらに少なくとも加工ＩＤ、加工年月日、加工の名称、顧客名、作業者名、予定ピーク温度、予定ピーク圧力、被加工物ＩＤ、被加工物寸法、被加工物の材質、被加工物の重量及び、被加工物の密度を含む管理項目を入力可能な欄が作成され、上記記憶指示手段がこの管理項目を上記各設定値及び、状態項目と併せて記憶手段へ記憶させることを特徴とするデータ管理プログラム。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れかに記載のデータ管理プログラムにおいて、上記設定値選択画面において入力された状態項目、各設定値及び、管理項目の何れかの値、もしくはこれら値の組合わせと一致する各設定値を上記記憶手段に記憶された各設定値の中から抽出する抽出手段として上記管理制御装置をさらに機能させることを特徴とするデータ管理プログラム。
【請求項５】
請求項４に記載のデータ管理プログラムにおいて、上記抽出手段が上記設定値選択画面において入力された状態項目、各設定値及び、管理項目の何れかの値、もしくはこれら値の組合わせと近似する各設定値を上記記憶手段に記憶された各設定値の中から抽出することを特徴とするデータ管理プログラム。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れかに記載のデータ管理プログラムにおいて、上記設定値選択画面において各設定値が選択された場合に、上記表示手段が選択された電力設定値をその電流値を再現させるように制御する電流再現モードと、当該電力設定値を被加工物の温度を再現させるように電流値を制御するＰＩＤ制御モードとを選択可能な状態で上記記憶手段に予め記憶された制御モード選択画面を表示するとともに、上記出力手段が上記各モードに基づいて電力設定値を出力することを特徴とするデータ管理プログラム。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６の何れかに記載のデータ管理プログラムにおいて、上記出力手段が設定値選択画面において選択された各設定値を加工部及び、電源装置へ出力している状態で、上記表示手段が少なくとも選択された各設定値及び、それに対応する状態項目を上記表示部へグラフ表示するとともに、出力手段により出力されている各設定値及び、検出部により検出される状態項目を前記グラフ上へ随時プロット表示していくことを特徴とするデータ管理プログラム。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７の何れかに記載のデータ管理プログラムにおいて、上記状態項目には、電源装置から加工部へ供給される電力中の電力ロス値が含まれているとともに、上記出力手段が手動設定モードで設定された各設定値及び、上記自動設定モードの選択時に上記設定値選択画面において選択された各設定値に対してこの電力ロス値に基づき修正された電力設定値を出力することを特徴とするデータ管理プログラム。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８の何れかに記載の管理制御装置がさらに所定のネットワークと接続可能に構成されるとともに、上記データ管理プログラムが記憶手段に記憶された上記各設定値及び、状態項目をこのネットワークに接続された他の管理制御装置へ送信する送信手段として管理制御装置をさらに機能させるとともに、ネットワークに接続された他の管理制御装置から送信された各設定値及び、状態項目を受信する受信手段として管理制御装置を機能させることを特徴とするデータ管理プログラム。
【請求項１０】
請求項９に記載のデータ管理プログラムにおいて、上記ネットワークに接続された他の管理制御装置を遠隔操作可能とするための遠隔操作手段として上記管理制御装置を機能させることを特徴とするデータ管理プログラム。
【請求項１１】
予め設定された系内圧力及び温度条件下で成形型内に配置された被加工物を一対の電極により所定の圧力で挟圧しつつ、当該被加工物へ通電して加工するように構成された加工部と、この加工部の各電極に対して電力供給を行う電源装置と、この電源装置及び、上記加工部に接続されるとともに、それぞれを制御する管理制御装置とを備えた熱加工装置において、
上記加工部には、被加工物の加工時における少なくとも上記系内圧力、温度、成形型の温度、被加工物の温度、各電極の変位量及び、被加工物の電気抵抗値の何れか１つを含む状態項目を検出する検出部が設けられているとともに、
上記管理制御装置には、作業者の入力操作を受付ける入力操作部と、この入力操作部の入力に応じて当該入力内容を表示する表示部と、
過去の加工時において上記各電極へ供給された電力の電力設定値と、被加工物を挟圧した圧力の圧力設定値とを含む各設定値を記憶するとともに、新たに加工を行う場合に各設定値を入力操作部による作業者の入力操作で設定する手動設定モードと、予め記憶された各設定値を利用して設定する自動設定モードの何れか作業者へ選択させるために予め作成されたモード選択画面を記憶する記憶手段と、
上記入力操作部により受付けられた作業者の操作内容を判定する判定手段と、
上記モード選択画面を上記表示部へ表示するとともに、上記判定手段による判定結果が自動設定モードである場合に、上記記憶手段に記憶された各設定値を選択可能な状態で上記記憶手段に予め記憶された設定値選択画面を上記表示部へ表示する表示手段と、
上記手動設定モードで設定された各設定値及び、上記自動設定モードの選択時に設定値選択画面において選択された各設定値を加工部及び、電源装置へ出力する出力手段と、
上記出力手段により出力された各設定値と、これら設定値に応じて駆動する加工部において上記検出部により検出される状態項目とを当該加工の進行程度に応じて随時上記記憶手段へ記憶させる記憶指示手段とが設けられていることを特徴とする熱加工装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の熱加工装置において、上記判定手段により設定値選択画面において各設定値が選択されたと判定された場合に、上記表示手段が当該各設定値を編集可能な状態で上記記憶手段に予め記憶された設定値編集画面を表示部へ表示するとともに、上記出力手段が前記設定値編集画面で編集された各設定値を上記加工部及び、電源装置へ出力することを特徴とする熱加工装置。
【請求項１３】
請求項１１又は請求項１２に記載の熱加工装置において、上記モード選択画面には、さらに少なくとも加工ＩＤ、加工年月日、加工の名称、顧客名、作業者名、予定ピーク温度、予定ピーク系内圧力、被加工物ＩＤ、被加工物寸法、被加工物の材質、被加工物の重力及び、被加工物の密度を含む管理項目を入力可能な欄が作成され、上記記憶指示手段がこの管理項目を上記各設定値及び、状態項目と併せて記憶手段へ記憶させることを特徴とする熱加工装置。
【請求項１４】
請求項１１乃至請求項１３の何れかに記載の熱加工装置において、上記管理制御装置には、上記設定値選択画面において入力された状態項目、各設定値及び、管理項目の何れかの値、もしくはこれら値の組合わせと一致する各設定値を上記記憶手段に記憶された各設定値の中から抽出する抽出手段がさらに設けられていることを特徴とする熱加工装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の熱加工装置において、上記抽出手段が上記設定値選択画面において入力された状態項目、各設定値及び、管理項目の何れかの値、もしくはこれらの値の組合わせと近似する各設定値を上記記憶手段に記憶された各設定値の中から抽出することを特徴とする熱加工装置。
【請求項１６】
請求項１１乃至請求項１５の何れかに記載の熱加工装置において、上記設定値選択画面において各設定値が選択された場合に、上記表示手段が選択された電力設定値をその電流値を再現させるように制御する電流再現モードと、当該電力設定値を被加工物の温度を再現させるように電流値を制御するＰＩＤ制御モードとを選択可能な状態で上記記憶手段に予め記憶された制御モード選択画面を表示するとともに、上記出力手段が上記各モードに基づいて電力設定値を出力することを特徴とする熱加工装置。
【請求項１７】
請求項１１乃至請求項１６の何れかに記載の熱加工装置において、上記出力手段が設定値選択画面において選択された各設定値を加工部及び、電源装置へ出力している状態で、上記表示手段が少なくとも選択された各設定値及び、それに対応する状態項目を表示部へグラフ表示するとともに、出力手段により出力されている各設定値及び、検出部により検出される状態項目を前記グラフ上へ随時プロット表示していくことを特徴とする熱加工装置。
【請求項１８】
請求項１１乃至請求項１７の何れかに記載の熱加工装置において、上記状態項目には、電源装置から加工部へ供給される電力中の電力ロス値が含まれるとともに、上記出力手段が手動設定モードで設定された各設定値及び、上記自動設定モードの選択時に上記設定値選択画面において選択された各設定値に対してこの電力ロス値に基づき修正された電力設定値を出力することを特徴とする熱加工装置。
【請求項１９】
請求項１１乃至請求項１８の何れかに記載の熱加工装置において、上記管理制御装置がさらに所定のネットワークと接続可能に構成されるとともに、当該管理制御装置が記憶手段に記憶された上記各設定値及び、状態項目をこのネットワークに接続された他の管理制御装置へ送信する送信手段と、ネットワークに接続された他の管理制御装置から送信された各設定値及び、状態項目を受信する受信手段とをさらに備えていることを特徴とする熱加工装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の熱加工装置において、上記管理制御装置がネットワークに接続された他の管理制御装置を遠隔操作可能とするための遠隔操作手段をさらに備えていることを特徴とする熱加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、予め設定された系内圧力及び温度条件下で成形型内に配置された被加工物を一対の電極により所定の圧力で挟圧しつつ、当該被加工物へ通電して加工するように構成された加工部と、この加工部の各電極に対して電力供給を行う電源装置と、この電源装置及び、上記加工部に接続されるとともに、それぞれを制御する管理制御装置とを備えた熱加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、予め設定された系内圧力及び温度条件下で被加工物及び電極が配置される加工部に対し、電源装置からパルス電流を供給することにより放電焼結等の熱加工を行うようにした装置は様々知られている。この種の熱加工装置には、例えば下記特許文献１のようなものが知られている。
【０００３】
上記特許文献１の熱加工装置は、予め設定された系内圧力及び温度条件下で被加工物及び電極が配置される加工部に対して電源供給を行う電源装置と、この電源装置に接続された管理制御装置とを備えている。上記電源装置は、パルス特性の変更が可能なパルス電源回路と、これを制御するＣＰＵとを有している。また、上記管理制御装置は、入力操作に応じてパルス特性に関係するデータを設定する手段と、その設定に応じた信号を電源装置に出力する手段と、データを記憶する手段と、現実の加工状態を監視する手段とを備えている。
【０００４】
上記のように構成される特許文献１の熱加工装置は、上記パルス電源回路によりパルス特性が調整されたパルス電流を被加工物へ与えて熱加工することが可能となる結果、多種多様の材料に対して適正な熱加工の条件や、データを得るための実験を効果的に行うことができる。
【０００５】
【特許文献１】
特許第３１３２５６０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１の熱加工装置は、上記管理制御装置により上記加工部の加工状態を監視しつつ、設定された各要素に応じて加工部を駆動させるため、当該加工部による被加工物の熱加工を適正な状態へ維持することが可能となる一方、上記のように監視された加工状態（例えば、上記系内圧力及び温度条件）が管理制御部により適切に記憶されていなかったため、例えば加工後の被加工物に不具合が生じた場合にその要因を特定することが困難であった（第一の課題）。
【０００７】
また、上記特許文献１の熱加工装置は、上記のように加工条件が管理制御部により適切に記憶されていないため、上記管理制御部により設定されたパルス特性等のデータを再現して、以前に実施した加工状態を再現させようとした場合に当該加工状態を再現することが困難となるだけでなく、このように再現できない要因を特定することができなかった（第二の課題）。
【０００８】
本発明は、上記各課題に鑑みてなされたものであり、以前に実施した加工状態を適正に記憶させることにより、加工後の被加工物に不具合が生じた場合にその要因の特定を可能とするとともに、過去に実施した加工状態を容易に再現させることができるデータ管理プログラム及び、熱加工装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項１に係る発明は、予め設定された系内圧力及び温度条件下で成形型内に配置された被加工物を一対の電極により所定の圧力で挟圧しつつ、当該被加工物へ通電して加工するように構成された加工部と、この加工部の各電極に対して電力供給を行う電源装置と、この電源装置及び、上記加工部に接続されるとともに、それぞれを制御する管理制御装置とを備え、
上記加工部には、被加工物の加工時における少なくとも上記系内圧力、温度、成形型の温度、被加工物の温度、各電極の変位量及び、被加工物の電気抵抗値の何れか１つを含む状態項目を検出する検出部が設けられているとともに、
上記管理制御装置には、作業者の入力操作を受付ける入力操作部と、この入力操作部の入力に応じて当該入力内容を表示する表示部とが設けられた熱加工装置において、
上記管理制御装置を用いて作業者の入力操作に応じて上記各電極へ供給する電力及び、被加工物を挟圧する圧力を設定するとともに、これら電力及び圧力の各設定値を上記状態項目と併せて記憶するためのデータ管理プログラムであって、
過去の加工時における上記各設定値を記憶するとともに、新たに加工を行う場合に各設定値を入力操作部による作業者の入力操作で設定する手動設定モードと、予め記憶された各設定値を利用して設定する自動設定モードの何れかを作業者へ選択させるために予め作成されたモード選択画面を記憶する記憶手段と、
上記入力操作部により受付けられた作業者の操作内容を判定する判定手段と、
上記モード選択画面を上記表示部へ表示するとともに、上記判定手段による判定結果が自動設定モードである場合に、上記記憶手段に記憶された各設定値を選択可能な状態で上記記憶手段に予め記憶された設定値選択画面を上記表示部へ表示する表示手段と、
上記手動設定モードで設定された各設定値及び、上記自動設定モードの選択時に設定値選択画面において選択された各設定値を加工部及び、電源装置へ出力する出力手段と、
上記出力手段により出力された各設定値と、これら設定値に応じて駆動する加工部において上記検出部により検出される状態項目とを当該加工の進行程度に応じて随時上記記憶手段へ記憶させる記憶指示手段として上記管理制御装置を機能させることを特徴とするデータ管理プログラムである。
【００１０】
また、請求項１１の熱加工装置では、上記の各手段として機能するように管理制御部が構成されている。
【００１１】
上記のような熱加工装置は、記憶指示手段により電力設定値、圧力設定値及び、状態項目が記憶手段へ随時記憶されるため、従来の熱加工装置と異なり、加工後の被加工物に不具合が生じた場合であっても、上記記憶手段に記憶された情報から当該不具合の要因を特定することが可能となる。
【００１２】
また、上記熱加工装置は、上述のように記憶指示手段により電力設定値、圧力設定値及び、状態項目が記憶手段へ随時記憶されるとともに、上記モード選択画面で自動設定モードが選択された場合に設定値選択画面が表示され、上記出力手段がこの設定値選択画面において選択された各設定値を加工部及び、電源装置へ出力するように構成されているため、上記のように設定値選択画面において所望の各設定値を選択するといった簡易的な操作で過去に実施した加工状態、すなわち各設定値を再現させることが可能となる。さらに、このように再現される加工状態も上記記憶指示手段により記憶手段へ記憶するように構成されているため、加工状態を適切に再現することができない場合であっても、記憶手段に記憶されている過去の加工状態と、現在の加工状態とを比較することにより、再現されていない項目、すなわち要因を特定することができる。
【００１３】
上記データ管理プログラム又は、熱加工装置において、上記判定手段により設定値選択画面において各設定値が選択されたと判定された場合に、上記表示手段が当該各設定値を編集可能な状態で上記記憶手段に予め記憶された設定値編集画面を表示部へ表示するとともに、上記出力手段が前記設定値編集画面で編集された各設定値を上記加工部及び、電源装置へ出力することが好ましい。
【００１４】
上記のようにすることにより、上記設定値選択画面において選択された過去の各設定値を編集して、これを出力することが可能となる結果、概ね過去に実施したものと同様の各設定値を新たに設定する場合であっても、手動設定モードで設定することなく、過去の各設定値を修正して採用することが可能となるため、より簡易的な操作で過去に実施した加工状態を再現させることができる。
【００１５】
上記データ管理プログラム又は、熱加工装置において、上記モード選択画面には、さらに少なくとも加工ＩＤ、加工年月日、加工の名称、顧客名、作業者名、予定ピーク温度、予定ピーク圧力、被加工物ＩＤ、被加工物寸法、被加工物の材質、被加工物の重力及び、被加工物の密度を含む管理項目を入力可能な欄が作成され、上記記憶指示手段がこの管理項目を上記各設定値及び、状態項目と併せて記憶手段へ記憶させることが好ましい。
【００１６】
上記のようにすることにより、各設定値に対して、上記状態項目のみならず、管理項目も併せて記憶手段に記憶することが可能となるため、加工後の被加工物に不具合が生じた場合であっても、当該被加工物がどのような材質で、いつ、誰が加工を行ったものであるか特定することが可能となる結果、上記不具合の要因をより明確に特定することが可能となる。
【００１７】
なお、上記加工ＩＤとは、例えば、作業現場に応じて設定され、作業場所を特定可能に設定されたものであり、被加工物ＩＤとは、例えば加工後の商品区分を規定するように設定されたものである。
【００１８】
上記データ管理プログラム又は、熱加工装置において、上記設定値選択画面において入力された状態項目、各設定値及び、管理項目の何れかの値、もしくはこれらの組合わせと一致する各設定値を上記記憶手段に記憶された各設定値の中から抽出する抽出手段として上記管理制御装置をさらに機能させることが好ましい。
【００１９】
上記のようにすることにより、上記設定値選択画面において各設定値を選択する場合に、上記状態項目、各設定値及び、管理項目の何れかの値、もしくはこれらの組合わせを入力することにより、これらの値と一致する各設定値が抽出手段により抽出されるため、新たに設定しようとする各設定値と一致する過去に設定された各設定値を容易に検出することが可能となる。
【００２０】
上記データ管理プログラム又は、熱加工装置において、上記設定選択画面において入力された状態項目、各設定値及び、管理項目の何れかの値、もしくはこれら値の組合わせと近似する各設定値を上記記憶手段に記憶された各設定値の中から抽出することが好ましい。
【００２１】
上記のようにすることにより、上記設定値選択画面において各設定値を選択する場合に、上記状態項目、各設定値及び、管理項目の何れかの値、もしくはこれらの組合わせを入力することにより、これらの値と近似する各設定値が抽出手段により抽出されるため、新たに設定しようとする各設定値と近似する過去に設定された各設定値を抽出することが可能となる上に、このように抽出された各設定値の中から適切な条件のものを選択することができ、幅広く各設定値を選択することが可能となる。
【００２２】
上記データ管理プログラム又は、熱加工装置において、上記設定値選択画面において各設定値が選択された場合に、上記表示手段が選択された電力設定値をその電流値を再現させるように制御する電流再現モードと、当該電力設定値を被加工物の温度を再現させるように電流値を制御するＰＩＤ制御モードとを選択可能な状態で上記記憶手段に予め記憶された制御モード選択画面を表示するとともに、上記出力手段が上記各モードに基づいて電力設定値を出力することが好ましい。
【００２３】
上記のようにすることにより、上記制御モード選択画面が、電力設定値をその電流値を再現させるように制御する電流再現モードと、当該電力設定値を被加工物の温度を再現させるように電流値を制御するＰＩＤ制御モードとを選択可能に作成されているため、例えば、被加工物の電気抵抗値が特殊なものである場合（例えば、被加工物の温度変化に伴い当該被加工物の電気抵抗値が変化する場合）に、ＰＩＤ制御モードを選択することにより、当該被加工物に対して適切な電流を付加して、被加工物の温度を適切に再現することが可能となる。
【００２４】
上記データ管理プログラム又は、熱加工装置において、上記出力手段が設定値選択画面において選択された各設定値を加工部及び、電源装置へ出力している状態で、上記表示手段が少なくとも選択された各設定値及び、それに対応する状態項目を上記表示部へグラフ表示するとともに、出力手段により出力されている各設定値及び、検出部により検出される状態項目を前記グラフ上へ随時プロット表示していくことが好ましい。
【００２５】
上記のようにすることにより、上記表示手段が少なくとも選択された各設定値及び、それに対応する状態項目をグラフ表示するとともに、このように表示されたグラフ上へ出力手段により出力されている各設定値及び、検出部により検出される状態項目を随時プロット表示していくため、現時点で出力されている各設定値や現時点での加工部内の状況（すなわち状態項目）が選択された各設定値及び、それに対応する状態項目を適切に再現しているか否かを視覚的に確認することが可能となる。
【００２６】
上記データ管理プログラム又は、熱加工装置において、上記状態項目には、電源装置から加工部へ供給される電力中の電力ロス値が含まれているとともに、上記出力手段が手動設定モードで設定された各設定値及び、上記自動設定モードの選択時に上記設定値選択画面において選択された各設定値に対してこの電力ロス値に基づき修正された電力設定値を出力することが好ましい。
【００２７】
上記のようにすることにより、上記出力手段が電力ロス値に基づき修正された電力設定値を出力するため、本来供給すべき電力を加工部へ適切に供給することができる。ここで、電力ロス値とは、例えば配線自体の電気抵抗による電力損失であり、この電力ロス値は、出力手段により実際に出力された電力値と、上記被加工物の電気抵抗値と出力手段により出力された電流値から算出される電力値（すなわち、加工部で消費される電力値）とを比較することにより求めることができる。
【００２８】
上記管理制御装置がさらに所定のネットワークと接続可能に構成されるとともに、上記データ管理プログラムが記憶手段に記憶された上記各設定値及び、状態項目をこのネットワークに接続された他の管理制御装置へ送信する送信手段として管理制御装置をさらに機能させるとともに、ネットワークに接続された他の管理制御装置から送信された各設定値及び、状態項目を受信する受信手段として管理制御装置を機能させることが好ましい。
【００２９】
また、請求項１９の熱加工装置では、上記の各手段として機能するように管理制御部が構成されている。
【００３０】
上記のようにすることにより、上記送信手段及び、受信手段により記憶手段に記憶された上記各設定値及び、状態項目を上記ネットワークを介して他の管理制御装置と送受信することが可能となるため、記憶手段に記憶された各設定値及び、状態項目をネットワークに接続された他の管理制御装置と共有することが可能となる結果、これらをより有効に利用することができる。
【００３１】
上記データ管理プログラム又は、熱加工装置において、上記ネットワークに接続された他の管理制御装置を遠隔操作可能とするための遠隔操作手段として上記管理制御装置を機能させることが好ましい。
【００３２】
上記のようにすることにより、上記遠隔操作手段により遠隔地にある管理制御装置をネットワークを介して操作することが可能となる結果、作業者が加工現場へ赴くことなく、容易に各設定値の設定及び、被加工物の加工を行うことができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。
【００３４】
図１は本発明の熱加工装置全体の概略図を示し、図２は加工部の構造説明図を示し、図３は制御系の概略を示している。これら図に示す熱加工装置は、加工部１と、この加工部１に対して電力供給を行う電源装置２と、加工部１の加圧装置等を制御する制御盤３と、パソコンからなる管理制御装置４とを備えている。
【００３５】
上記管理制御装置４には、キーボード、マウス等からなる入力操作部５と、各種データ等の表示を行う表示部としてのディスプレー６が具備されている。
【００３６】
上記加工部１は、図２に示すように環境設定用のチャンバー１０内に被加工物としての試料８が設置されるようになっており、例えば放電焼結を行う場合は一対の焼結成形型間に試料８としての焼結材料が保持されるようになっている。さらに、チャンバー１０内には、加圧部材を兼ねる上下一対の電極１１、電極１２が配置されており、後述のように電源装置２から電極１１、電極１２に通電されるようになっている。また、加圧用のサーボモータ１４又は油圧シリンダを備えた加圧装置１３により電極１１、電極１２を押圧し、電極１１、電極１２を介して試料８に加圧力（以下、圧力と示す）を付加するように構成されている。
【００３７】
上記チャンバー１０は、バルブ１５等を介して真空ポンプ１６に接続されるとともに、バルブ１７等を介してガス供給手段１８に接続され、上記真空ポンプ１６によりチャンバー１０内が減圧され、また、必要に応じてガス供給手段１８から不活性ガス等がチャンバー１０内に供給されるようになっている。さらに、チャンバー１０には、試料８の温度を検出する温度センサ１９、熱加工の進行に伴う試料８の形状変化に応じた電極の変位を検出する変位センサ２０、チャンバー１０内の温度を検出する温度センサ２１（図では１個所だが、チャンバー１０内の２個所に設けられている）、チャンバー１０内の真空度（すなわち、系内圧力、この系内圧力には、上記ガス供給手段１８により供給されるガスの分圧も含む）を検出する真空度センサ２２、上記焼結成形型の温度を検出する複数の型温度検出センサ（図示せず、本実施形態では、接触、非接触の２種類が設けられている）等が設けられるとともに、上記電極１１、電極１２間の電位差を検出することにより試料８の電気抵抗値を検出するように構成され、本実施形態では、上記温度センサ１９、変位センサ２０、温度センサ２１、真空度センサ２２、型温度検出センサ、電極１１、電極１２が検出部として機能して、上記各項目、すなわち状態項目を検出するようになっている。
【００３８】
上記電源装置２及び制御盤３は上記管理制御装置４に接続されている。そして、上記電源装置２と管理制御装置４との間でシリアル通信が行われるとともに、管理制御装置４から電圧、電流制御信号等が電源装置２へ送信され、電源装置２から加工電圧、電流値及び、試料８の電気抵抗値等が管理制御装置４へ送信される。また、管理制御装置４と制御盤３のシーケンサ２５との間で通信が行われるとともに、管理制御部４から圧力信号が制御盤３のプレス駆動部２６に送信され、制御盤３の信号変換機２７からアナログデータ（すなわち、上記検出部からの状態項目）が管理制御装置４へ送信されるようになっている。上記プレス駆動部２６には、後述する手動設定処理が選択された場合に電極１１、電極１２に付与する圧力を調整可能なアジャスター２６ａが接続されている。
【００３９】
図４は、上記管理制御装置４及び、電源装置２の基本構成を示し、この図において、管理制御装置４と電源装置２との間のシリアル通信のためにシリアル通信手段３１、シリアル通信手段３２が両装置に設けられているとともに、各種信号（外部指令信号、検出信号等）の入出力のため管理制御装置４にＤ／Ａ変換器３３、Ｉ／Ｏポート３４及び、Ａ／Ｄ変換器３５が、また電源装置２にＡ／Ｄ変換器３６及び、Ｉ／Ｏポート３７が設けられている。さらに、電源装置２は、パルス電源回路４０と、これを制御するＣＰＵ３９と、メモリ３８とを備えている。
【００４０】
そして、必要に応じて各種の制御情報（例えば、後述の電力設定値）がシリアル通信で管理制御装置４から電源装置２へ送信され、それが指令データならばメモリ３８に格納されるようになっている。また、管理制御装置４のＩ／Ｏポート３４から外部指令が送信されてきた場合にも、これをシリアル通信による指示より優先させることもできるようになっている。
【００４１】
また、メモリ３８に格納されたデータは、ＣＰＵ３９によって随時読み出され、このＣＰＵ３９により、Ｄ／Ａ変換器４１を介してパルス電源回路４０が制御されるようになっている。このパルス電源回路４０の出力は、上記加工部１に供給され、かつ、その出力値が管理制御装置４へ送信されるようになっている。
【００４２】
上記パルス電源回路４０は、放電焼結加工等の熱加工のためのパルスを発生させるとともに、そのパルス波形、パルス幅、パルス間隔、電流、電圧等のパルス特性調整要素の変更が可能となるように構成されている。例えば、図５に示すように、パルス電源回路４０は、整流回路４２の出力側に接続されたインバータ４３と、このインバータ４３にトランス４４を介して接続されたパルス出力回路４５とを備え、上記インバータ４３は、４個のトランジスタＴｒ１〜Ｔｒ４及び、ダイオードＤ１〜Ｄ４等で構成され、パルス出力回路４５は、複数のサイリスタＳ１〜Ｓ４を備えている。そして、上記ＣＰＵ３９でトランジスタＴｒ１〜Ｔｒ４及び、サイリスタＳ１〜Ｓ４が制御されることによりパルス特性が調整されるようになっている。
【００４３】
特に、波形が異なる複数種類のパルスパターンが選択可能とされ、具体的には、図６（ａ）のＤＣ波形ＷＡ、同図（ｂ）のパルス波形ＷＢ、同図（ｃ）の交流パルス波形ＷＣ、同図（ｄ）のアップダウンスロープ波形ＷＤの４種類のパターンが選択可能となっている。さらに、同図（ａ）のＤＣ波形ＷＡの場合は、ピーク電流Ｉｐ、電圧、波形モード時間Ｔｍ等が調整可能とされ、同図（ｂ）のパルス波形ＷＢの場合はピーク電流Ｉｐ、ベース電流Ｉｂ、電圧、パルス幅Ｔ１、パルス周期Ｔ２等が調整可能とされるというように、各種のパルス特性調整要素が所定範囲内で調整可能とされている。
【００４４】
また、図６に示す４種類のパターンの２種類以上を組合せて任意の順番で出力することにより、例えば図７に示すように各種波形のパターンが時間的に変化するような出力を得ることも可能である。
【００４５】
一方、管理制御装置４は、図８に示すように、上記入力操作部５、ディスプレー６、電源装置２及び、制御盤３と接続されるとともに、これらを制御するＣＰＵ５０と、このＣＰＵ５０の指示により書き込み、読出し可能に構成された記憶手段５１と、上記ＣＰＵ５０の指示によりＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等の記憶媒体を読み出し可能に構成された記憶媒体読取手段５２とを備えている。このような管理制御装置４は、記憶媒体読取手段５２を利用して、データ管理プログラムが予め記憶された記憶媒体を読み込み、当該プログラムを上記記憶手段５１へ記憶させることにより、後述するような処理を行うこととなる。なお、データ管理プログラムを記憶手段へ記憶させる方法は、上記記憶媒体から読み出すことに限定されず、例えば電気通信回路等を通じて外部の制御装置からダウンロードすることも可能であり、また、データ管理プログラムは、上記のように記憶手段５１へ記憶させることに限定されることはなく、例えば上記ＣＰＵ５０に別途読出し専用記憶手段（すなわち、ＲＯＭ）を接続して、この読出し専用記憶手段に予め記憶させておくことも可能である。
【００４６】
図９は、管理制御装置４の主要機能を示すブロック図である。
【００４７】
図９を参照して、上記ＣＰＵ５０は、上記記憶手段５１から所望のデータを抽出する抽出手段５３と、この抽出手段５３により抽出されたデータを上記電源装置２及び、制御盤３へ出力する出力手段５４と、上記入力操作部５により受付けられた操作内容を判定する判定手段５５と、上記入力操作部５により入力された操作内容及び、上記検出部により検出された状態項目を上記記憶手段へ記憶させる記憶指示手段５６と、上記記憶手段５１に記憶されたデータ及び、後述する画面類を上記ディスプレー６に表示させる表示手段５７として機能するように構成されている。
【００４８】
一方、上記記憶手段５１は、上記加工部１により過去に実施された加工時において各電極１１、１２へ供給された電力の電力設定値と、試料８を挟圧した圧力設定値と、上記チャンバー１０内の状態項目と、後述する管理項目とをそれぞれ１セットとしてデータリストＤＲを作成しつつ、併せて記憶するとともに、後述するモード設定画面５８と、設定値入力画面５９と、設定値選択画面６０と、設定値編集画面６１と、制御モード選択画面６２と、メニュー選択画面６３と、グラフ画面６４と、警告画面６６と、設定値確認画面６７とを画面リストＧＲとして記憶している。
【００４９】
以上説明した管理制御装置４は、以下説明するような処理を行うこととなる。
【００５０】
図１０は、管理制御装置４の処理を示すフローチャートである。
【００５１】
図１０を参照して、管理制御装置４の処理が開始すると、まず、図１７に示すようなメニュー選択画面６３が表示される（ステップＳ１）。このメニュー選択画面６３の上部には、各種メニューを選択可能なメニュー選択バー６３ａが設けられ、このメニュー選択バー６３ａには、「ファイル」、「実験計画」、「実験結果」、「サンプル重量入力」、「実験一覧ファイル」、「ヘルプ」の６種類のメニューを選択できるように作成されている。なお、「ファイル」メニューは、上記データ管理プログラムの処理を終了するためのものであり、「ヘルプ」メニューは、上記データ管理プログラムのバージョン情報を表示するための（すなわち、当該データ管理プログラムのバージョンの新旧を確認するための）メニューであり、ここでは、説明を割愛する。上記メニュー選択バー６３ａにおいて、「実験計画」が選択されると（ステップＳ２）、計画作成処理Ｔが開始する。
【００５２】
図１１は、図１０の計画作成処理Ｔの処理を示すフローチャートである。
【００５３】
図１１を参照して、計画作成処理Ｔが開始すると、まず、図１８に示すようなモード選択画面５８が表示される（ステップＴ１）。このモード選択画面５８には、「ＩＤ（加工ＩＤ）」、「実験年月日（加工年月日）」、「実験名（加工の名称）」、「顧客名」、「研究者（作業者名）」、「予定ピーク温度」、「予定ピーク圧力」、「サンプルＮｏ．（被加工物ＩＤ）」、「サンプルサイズ（被加工物の寸法）」、「原料重量（被加工物の重量）」、「原料の理論密度（被加工物の密度）」の管理項目を入力するための入力欄と、「温度実験モードの自動／手動」、「圧力実験モードの自動／手動」、「条件センサ（上記型温度センサ）のダイス・熱（接触）／ダイス・放（非接触）」、「雰囲気（チャンバー１０内の圧力）の真空／大気圧」の選択欄が作成されている。また、本実施形態においては、上記「顧客名」、「研究者」、「サンプルサイズ」及び、「サンプル材質」の入力欄が必須入力項目に設定されている。さらに、上記モード選択画面５８の下部には、「次へ」のアイコンが作成され、このアイコンが上記入力操作部５により選択されることにより、計画作成処理Ｔが進行することとなる（以下説明する各画面についても同様である）。
【００５４】
上記モード選択画面５８の各入力欄及び、選択欄に対して、上記入力操作部５により各種情報が入力され、上記「次へ」のアイコンが選択されると（ステップＴ２）、上記判定手段５５により上記必須入力項目の全てに情報が入力されているか否かが判定され（ステップＴ３）、必須入力項目が入力されていないと判定された場合には（ステップＴ３でＮＯ）、「必須入力項目は必ず入力して下さい」と記載された警告画面６６が表示される（ステップＴ４）。この警告画面６６は、図１８に示すように上記入力操作部５による確認入力を促すための「ＯＫ」のアイコンが作成され、このアイコンが上記入力操作部５により選択されることにより（ステップＴ５）、上記ステップＴ２が繰り返し実行される。
【００５５】
一方、上記ステップＴ３で必須入力項目が入力されていると判定されると（ステップＴ３でＹＥＳ）、上記記憶指示手段５６により、上記モード選択画面５８に入力された管理項目が記憶手段５１へ記憶される（ステップＴ６）。次いで、上記「温度実験モードの自動／手動」の選択欄において、自動が選択されたか否かが判定され（ステップＴ７）、温度実験モードが自動であると判定されると（ステップＴ７でＹＥＳ）、上記「圧力実験モードの自動／手動」の選択欄において、自動が選択されたか否かが判定される（ステップＴ８）。圧力実験モードが自動であると判定された場合には（ステップＴ８でＹＥＳ）、上記設定値選択画面６０が表示される（ステップＴ９）。
【００５６】
上記設定値選択画面６０には、図１９の（ａ）に示すように過去の加工時における電力設定値、圧力設定値及び、上記状態項目（以下まとめて、加工実測値と示す）が横並びに併記されるとともに、この加工実測値が加工毎に縦並びに併記された一覧表形式で表示されており、当該設定値選択画面６０は、この一覧の中から加工毎の加工実測値を選択可能に作成されている。また、上記設定値選択画面６０の上部には、抽出対象となる加工実測値を選択可能な対象データ選択欄６０ａと、抽出対象となる項目を選択可能な抽出条件選択欄６０ｂと、この抽出条件選択欄６０ｂにより選択された項目における具体的な数値を入力可能な条件項目入力欄６０ｃが設けられている。上記対象データ選択欄６０ａには、図１９の（ｂ）に示すように、抽出対象データとして上記記憶手段５１に記憶された加工実測値の内、「全データ」、「最新２００データ」、現在ディスプレー６に表示されている「表示データ」の何れかを選択可能なプルダウンメニューが表示されるようになっている。また、上記抽出条件選択欄６０ｂには、図１９の（ｃ）に示すように、抽出対象項目として上記電力設定値、圧力設定値、状態項目及び、管理項目中に含まれる何れかの項目を選択可能なプルダウンメニューが表示されるようになっている。このように抽出条件選択欄６０ｂにおいて選択された抽出対象項目の具体的な数値を上記条件項目入力欄６０ｃへ入力することにより（図１９の（ｄ）参照）、上記設定値選択画面６０は、様々の抽出条件で加工実測値を抽出可能に作成されるとともに、このように抽出された加工実測値を上記のような一覧表形式で表示するように作成されている。また、設定値選択画面６０の下部には、上記モード選択画面５８と同様に「次へ」のアイコンが作成されている（図１９の（ａ）参照）。なお、本実施形態では、上記抽出条件選択欄６０ｂが１種類の抽出対象を選択するように作成されているが、例えば抽出条件選択欄６０ｂ及び、上記条件項目入力欄６０ｃを複数個作成し、これらで選択及び、入力された値の組合わせと一致する、又は近似する加工実測値を抽出するようにしてもよい。
【００５７】
上記のような設定値選択画面６０が表示されると、管理制御装置４の処理は、自動加工処理Ｕへ移行する。
【００５８】
図１２は、図１１の自動加工処理Ｕの処理を示すフローチャートである。
【００５９】
上記設定値選択画面６０において、過去の電力設定値、圧力設定値、状態項目及び、管理項目が選択され、上記「次へ」のアイコンが選択されると（ステップＵ１でＹＥＳ）、ここで選択された電力設定値、圧力設定値が上記データリストＤＲから読み出され（ステップＵ２）、上記設定値編集画面６１が表示される（ステップＵ３）。
【００６０】
上記設定値編集画面６１には、図２０に示すように、上記加工実測値における「電流」、「電圧」、「抵抗値（試料８の電気抵抗値）」、「圧力」、「真空（真空度）」、「ダイス・熱」、「熱電対２（一方の温度センサ２１）」、「熱電対３（他方の温度センサ２１）」、「ダイス・放」、「変位」、「変位率（すなわち、時間当りの変位）」の各項目に対する値をそれぞれグラフ表示するためのグラフ表示エリアＧＡと、このグラフ表示エリア上に項目毎のグラフを表示／非表示設定するための表示設定エリアＨＡと、上記グラフ表示エリアＧＡに表示された各項目の数値を表示する編集エリアＳＡが作成されている。また、設定値編集画面６１の下部には、上記と同様に「次へ」のアイコンが作成されている。
【００６１】
上記表示設定エリアＨＡは、上記項目毎にグラフ表示エリアＧＡへ表示するか否かを設定するためのチェック欄６１ａが作成されており、このチェック欄６１ａが上記入力操作部５により選択されることにより、当該チェック欄６１ａ内が項目毎に異なる色で点灯／消灯するように作成されている（図では、色の違いを線種の違いとして表現している）。このチェック欄６１ａ内で点灯する色は、上記グラフ表示エリアＧＡで表示されるグラフの色に設定されている。また、上記表示設定エリアＨＡには、上記グラフ表示エリアＧＡへ表示する倍率を設定する倍率設定欄６１ｂが上記項目毎に作成されている。
【００６２】
上記グラフ表示エリアＧＡは、横軸に時間、縦軸に測定値が設定されており、上記チェック欄６１ａが選択された項目について、グラフ表示するように作成されている。上記編集エリアＳＡは、グラフ表示エリアＧＡに表示された各項目の測定値を測定時間毎に表示するように作成されている。なお、測定時間は、本実施形態では最小０．１秒毎に設定可能に構成されている。
【００６３】
このような設定値編集画面６１では、上記編集エリアＳＡに表示された各項目の加工実測値を上記入力操作部５により修正可能に作成され、このように加工実測値が修正された項目については、上記グラフ表示エリアＧＡへ修正後のグラフが表示されるように作成されている。一方、設定値編集画面６１は、上記グラフ表示エリアＧＡへ表示されたグラフ上の修正対象となるポイント（点）を上記入力操作部５により選択し、このポイントをグラフ表示エリアＧＡ内の所望の位置までドラックアンドドロップすることにより、当該項目のグラフを修正することが可能であり、このようにグラフを修正した場合には、この修正に応じて編集エリアＳＡ内の加工実測値が修正されるように作成されている。
【００６４】
上記のような設定値編集画面６１において、必要に応じて上記加工実測値が修正された後、上記「次へ」のアイコンが選択されると（ステップＵ４）、上記判定手段５５により加工実測値に修正が施されたか否かが判定され（ステップＵ５）、ここで修正が施されていないと判定されると（ステップＵ５でＮＯ）、当該処理がステップＵ７へ移行する。一方、上記ステップＵ５で加工実測値に修正が施されたと判定されると（ステップＵ５でＹＥＳ）、修正後の電力設定値及び、圧力設定値が新しいデータとして上記データリストＤＲへ保存され（ステップＵ６）、上記制御モード選択画面６２が表示される（ステップＵ７）。
【００６５】
上記制御モード選択画面６２は、図２１に示すように、上記のように選択された加工実測値における電力の自動制御モードを選択する自動制御モード選択欄６２ａと、この自動制御モード選択欄６２ａで選択されたモードで制御した場合における焼結成形型の温度（すなわち、上記ダイス・熱及び、ダイス・放による検出温度）の推移をグラフ表示するシュミレーション表示部６２ｂが作成されている。また、制御モード選択画面６２の下部には、上記と同様に「次へ」のアイコンが作成されている。
【００６６】
上記自動制御モード選択欄６２ａには、「電流再現制御」、「ＰＩＤ制御」、「電流セルフチューニング」及び、「電力セルフチューニング」の何れかを選択可能なプルダウンメニューが作成されている。上記「電流再現制御」とは、過去に実施された加工時の電流値又は、これを修正した電流値を再現させるように今回の加工時における電流値を制御するモードである。上記「ＰＩＤ制御」とは、過去に実施された加工時の試料８の温度又は、これを修正した温度を目標温度として電流値を制御するモードである。
【００６７】
上記「電流セルフチューニング」とは、過去に実施された加工時の試料８の温度又は、これを修正した温度に対して、今回の加工時において現時点で発生している試料８の温度とを比較して、この温度差を利用して現時点で出力すべき電流を補正しつつ、電流を制御するモードである。具体的には、以下数式（１）を用いて随時出力電流を求めることとしている。
【００６８】
出力電流＝（Ａ−Ｂ）÷Ａ×Ｃ＋Ｃ・・・（１）
なお、Ａは過去の温度値（修正値も含む）、Ｂは現在の温度値、Ｃは過去の電流値を示している。
【００６９】
上記「電力セルフチューニング」とは、過去に実施された加工時の試料８の温度又は、これを修正した温度に対して、今回の加工時において現時点で発生している試料８の温度とを比較して、この温度差を利用して現時点で出力すべき電力を補正しつつ、電力を制御するモードである。具体的には、以下数式（２）を用いて随時出力電力を求めることとしている。
【００７０】
出力電力＝（Ａ−Ｂ）÷Ａ×Ｄ＋Ｄ・・・（２）
なお、Ｄは過去の電力値を示している。
【００７１】
また、上記シュミレーション表示部６２ｂには、横軸に時間、縦軸に温度が設定されている。また、シュミレーション表示部６２ｂは、上記設定値選択画面６０で選択された加工実測値中（修正値も含む）の「ダイス・熱」及び、「ダイス・放」の測定値のグラフを表示するように作成されている。
【００７２】
上記のような制御モード選択画面６２において上記各制御モードが選択され、上記「次へ」のアイコンが選択されると（ステップＵ８）、上記制御モードが「ＰＩＤ制御」であるか否かが判定され（ステップＵ９）、「ＰＩＤ制御」が選択されていないと判定された場合（ステップＵ９でＮＯ）には、当該処理がステップＵ１１へ移行する。一方、ステップＵ９で「ＰＩＤ制御」が選択されたと判定された場合（ステップＵ９でＹＥＳ）、上記のように選択された電力設定値（修正値も含む）からＰＩＤ係数を算出するとともに上記記憶手段５１へ保存し、上記設定値確認画面６７を表示する（ステップＵ１１）。
【００７３】
上記設定値確認画面６７は、図２２に示すように、上記グラフ表示エリアＧＡと、上記表示設定エリアＨＡとを備えたメイン表示エリアＭＡと、上記グラフ表示エリアＧＡが縮小表示されたサブ表示エリアＢＡが作成されている。また、設定値確認画面６７の下部には、加工を開始するための「スタート」アイコンと、上記測定時間を０．１あるいは１秒に選択するための測定時間選択欄６７ａと、上記検出部により検出される各電極１１、１２の変位量の状態を示す表示ランプ６７ｂが作成されている。なお、本実施形態では、測定時間選択欄６７ａは、プルダウンメニューにより０．１又は１秒に測定時間を設定可能に作成されているが、０．１又は、１秒に限定されることはなく、必要に応じてより多種の測定時間に設定することも可能である。また、上記表示ランプ６７ｂは、各電極１１、１２の１秒当りの変位量が３０μｍ以上の場合には赤色、１０〜３０μｍの場合には黄色、１０μｍ以下の場合には緑色でそれぞれ表示するようになっている。
【００７４】
このような設定値確認画面６７は、そのメイン表示エリアＭＡが上述したグラフ表示エリアＧＡ及び、上記表示設定エリアＨＡと略同様の機能を備えている上に、表示設定エリアＨＡで表示するように設定された項目を必要に応じて上記サブ表示エリアＢＡへ表示可能に作成されている。
【００７５】
上記のような設定値確認画面６７を表示すると（ステップＵ１１）、管理制御部４の処理は、加工処理Ｖへ移行する。
【００７６】
一方、図１１を参照して、計画作成処理ＴのステップＴ８で圧力実験モードが自動ではないと判定された場合には（ステップＴ８でＮＯ）、上記設定値選択画面６０が表示され（ステップＴ１０）、次いで管理制御部４の処理は、温度自動・圧力手動加工処理Ｗへ移行する。
【００７７】
図１３は、図１１の温度自動・圧力手動加工処理Ｗの処理を示すフローチャートである。
【００７８】
図１３を参照して、温度自動・圧力手動加工処理Ｗの処理が開始すると、上記自動加工処理Ｕが実行され、次いで、この自動加工処理Ｕで選択された加工実測値（修正値も含む）と併せて、当該加工実測値中の圧力設定値が未設定の旨の情報（以下未設定情報と示す）を保存する（ステップＷ１）。すなわち、温度自動・圧力手動加工処理Ｗでは、上記設定値選択画面６０において選択された加工実測値（修正値を含む）を利用して試料８の温度や、焼結成形型の温度等を調整するように上記加工部１へ供給する電力の制御を行う一方、圧力設定値については、上記制御盤３のアジャスター２６ａ（図３参照）により設定された値を利用するため、上記自動加工処理Ｕで設定された加工実測値と区別するために当該温度自動・圧力手動加工処理Ｗで選択された加工実測値と併せて上記未設定情報を保存することとしている。上記のように未設定情報を保存すると、上記設定確認画面６７が表示され（ステップＷ２）、次いで当該処理は、加工処理Ｖへ移行する。
【００７９】
一方、図１１を参照して、上記ステップＴ７で温度実験モードが自動ではないと判定されると（ステップＴ７でＮＯ）、圧力実験モードが自動に選択されたか否かが判定される（ステップＴ１１）。圧力実験モードが自動であると判定された場合には（ステップＴ１１でＹＥＳ）、上記設定値選択画面６０が表示され（ステップＴ１２）、温度手動・圧力自動加工処理Ｘが実行される。
【００８０】
図１４は、図１１の温度手動・圧力自動加工処理Ｘの処理を示すフローチャートである。
【００８１】
図１４を参照して、上記設定値選択画面６０において、過去の電力設定値、圧力設定値、状態項目及び、管理項目が選択され、上記「次へ」のアイコンが選択されると（ステップＸ１でＹＥＳ）、ここで選択された上記各データが上記データリストＤＲから読み出され（ステップＸ２）、上記設定値編集画面６１が表示される（ステップＸ３）。この設定値編集画面６１において、必要に応じて上記加工実測値が修正された後、上記「次へ」のアイコンが選択されると（ステップＸ４）、上記判定手段５５により加工実測値に修正が施されたか否かが判定され（ステップＸ５）、ここで修正が施されていないと判定されると（ステップＸ５）、当該処理がステップＸ７へ移行する。一方、上記ステップＸ５で加工実測値修正が施されたと判定されると（ステップＸ５でＹＥＳ）、修正後の電力設定値及び、圧力設定値が新しいデータとして上記データリストＤＲへ保存される（ステップＸ６）。次いで、上記設定値選択画面６０で選択された加工実測値（修正値も含む）と併せて、当該加工実測値中の電力設定値が未設定の旨、上記未設定情報を上記記憶手段５１へ保存する（ステップＸ７）。すなわち、温度手動・圧力自動加工処理Ｘでは、上記設定値選択画面６０で選択された加工実測値を利用して試料８を挟圧する圧力を再現するように当該圧力の制御を行う一方、電力設定値については、試料８の温度や焼結成形型の温度等を加味せずに上記加工実測値に記憶された電流値や、パルス幅、パルス周期等を採用することとしているため、上記自動加工処理Ｕで設定された加工実測値と区別するために当該温度手動・圧力自動加工処理Ｘで選択された加工実測値と併せて上記未設定情報を記憶することとしている。上記のように未設定情報を保存すると、上記設定確認画面６７が表示され（ステップＸ８）、次いで当該処理は、加工処理Ｖへ移行する。
【００８２】
一方、図１１を参照して、上記ステップＴ１１で圧力実験モードが自動ではないと判定された場合には（ステップＴ１１でＮＯ）、上記設定値入力画面５９が表示される（ステップＴ１３）。
【００８３】
上記設定値入力画面５９には、図２３に示すように、上記電源装置２へ供給する電流の設定値を入力する入力欄５９ａと、この入力欄５９ａへ入力された数値を一覧表示する数値表示欄５９ｂと、上記入力欄５９ａで入力された条件を数値表示欄５９ｂへ表示させるための登録アイコン５９ｃと、上記数値表示欄５９ｂに表示された条件を削除する削除アイコン５９ｄとが作成されている。また、上記設定値入力画面５９には、上記と同様に「次へ」のアイコンが作成されている。
【００８４】
上記入力欄５９ａには、直流／パルスを選択可能な波形モード選択欄と、この波形モード選択欄でパルスが選択された場合にそのパルス幅を設定するパルス幅入力欄と、パルス周期を入力するパルス周期入力欄と、ベース電流値を入力するベース電流入力欄と、これら条件に設定された電流を通電するステップ時間を入力するステップ時間入力欄とが作成されている。
【００８５】
上記数値表示欄５９ｂは、上記入力欄５９ａに入力された各数値を横並びに表示させるとともに、上記登録アイコン５９ｃが選択されることにより、各項目を１ステップとして、最大２００ステップまで下方向へ表示（登録）可能に作成されている。このように数値表示欄５９ｂに登録された複数のステップを上記電源装置２へ順次出力するようになっているため、設定値入力画面５９は、複数のステップが組合せて入力されることにより、様々なパターンの出力電流が設定可能とされている。
【００８６】
上記のような設定値入力画面５９が表示されると（ステップＴ１３）、上記管理制御装置４の処理は、手動加工処理Ｙへ移行する。
【００８７】
図１５は、図１１の手動加工処理Ｙの処理を示すフローチャートである。
【００８８】
図１５を参照して、上記設定値入力画面５９において、「次へ」のアイコンが選択されると（ステップＹ１でＹＥＳ）、電力設定値が上記記憶手段５１へ保存され（ステップＹ２）、この電力設定値及び、圧力設定値が未設定の旨、上記未設定情報を上記記憶手段５１へ保存する（ステップＹ３）。すなわち、手動加工処理Ｙでは、試料８の温度や焼結成形型の温度等を加味せずに上記設定値入力画面５９で入力された電力設定値を再現するように電流を制御するとともに、圧力設定値については、上記制御盤３のアジャスター２６ａにより設定された値を利用するため、上記自動加工処理Ｕで設定された加工実測値と区別するために当該手動加工処理Ｙで設定された電力設定値と併せて上記未設定情報を保存することとしている。上記のように未設定情報を保存すると、上記設定確認画面６７が表示され（ステップＹ４）、当該処理は、加工処理Ｖへ移行する。
【００８９】
図１６は、図１２、図１３、図１４、図１５の加工処理Ｖを示すフローチャートである。
【００９０】
図１６を参照して、上記設定値確認画面６７において、上記「スタート」アイコンが選択されたと判定された場合（ステップＶ１でＹＥＳ）、上記各電極１１、１２を駆動するとともに、当該各電極１１、１２が試料８と接触した時点で上記変位量を０へリセットして（ステップＶ２）、各電極１１、１２の駆動を停止する。次いで、上記判定手段５５により上記設定値確認画面６７に表示される加工実測値に未設定情報がないか否かを判定する（ステップＶ３）。ここで、未設定情報があると判定された場合（ステップＶ３でＮＯ）、圧力設定値が未設定のときは上記制御盤３から圧力設定値を受信し、電力設定値が未設定のときは設定もしくは選択された電力設定値を読出し（ステップＶ４）、当該処理はステップＶ５へ移行する。一方、上記ステップＶ３で未設定情報がないと判定された場合、すなわち設定値選択画面６０で選択された加工実測値を採用する場合（ステップＶ３でＹＥＳ）、当該加工実測値中の上記ＰＩＤ係数を含む電力設定値及び、圧力設定値を読出し（ステップＶ５）、上記設定値選択画面６０で選択された加工実測値をグラフ画面６４上に表示する（ステップＶ６）。
【００９１】
上記グラフ画面６４には、図２４に示すように、上述のグラフ表示エリアＧＡと、表示設定エリアＨＡが作成されており、上記設定値選択画面６０で選択された加工実測値が表示されるようになっている。すなわち、上記ステップＶ６において、各設定値が手動加工処理で設定された場合には、殆どの項目が非表示とされている。また、上記表示設定エリアＨＡは、後述するように各設定値を出力中の状態であっても各項目の表示／非表示を変更可能に作成されている。さらに、上記グラフ画面６４は、上記のように選択された加工実測値を表示する一方、後述するように上記検出部により検出された各設定値及び、状態項目を検出毎に随時プロット表示するように作成されている。なお、図では上記加工実測値を破線表示とし、検出された各設定値及び、状態項目を太線で示している。
【００９２】
上記のようなグラフ画面６４が表示されると、ステップＶ４及びステップＶ５で読み出された各設定値の出力を開始し（ステップＶ７）、上記表示設定エリアＨＡによる表示／非表示の変更がなされたか否かを判定し（ステップＶ８）、ここで変更がなされていないと判定されると（ステップＶ８でＮＯ）、当該処理はステップＶ１０へ移行する。一方、ステップＶ８で表示／非表示の変更がなされたと判定されると（ステップＶ８でＹＥＳ）、選択された項目の表示／非表示を行い（ステップＶ９）、次いで測定時間が到来したか否かが判定される（ステップＶ１０）。ここで、測定時間が到来していないと判定されると（ステップＶ１０でＮＯ）、当該処理が上記ステップＶ８から繰り返し実行される一方、測定時間が到来したと判定されると（ステップＶ１０でＹＥＳ）、上記検出部により各設定値及び、状態項目を検出するとともに、これら各項目を上記グラフ画面６４上にプロット表示する（ステップＶ１１）。次いで、このように検出された各設定値及び、状態項目を上記記憶手段５１へ保存し（ステップＶ１２）、上記設定値入力画面５９で入力されたステップ時間（複数ステップの場合は、それらの合計）、すなわち加工時間が終了したか否かが判定される（ステップＶ１３）。ここで、加工時間が終了したと判定されると（ステップＶ１３でＹＥＳ）、各設定値の出力を停止して（ステップＶ１４）、上記ステップＳ１へリターンする（図１０参照）。一方、上記ステップＶ１３で加工時間が終了していないと判定されると（ステップＶ１３でＮＯ）、各電極１１、１２の変位量が予め設定された値であるか否かが判定され（ステップＶ１５）、予め設定された値であると判定されると（ステップＶ１５でＹＥＳ）、当該処理は上記ステップＶ１４へ移行する。一方、上記ステップＶ１４で各電極１１、１２の変位量が予め設定された値ではないと判定された場合（ステップＶ１５でＮＯ）には、検出された電流値が目標となる電流値の誤差が±３０％範囲外であるか否かが判定される（ステップＶ１６）。ここで、電流値誤差が±３０％以上であると判定されると（ステップＶ１６でＹＥＳ）、当該電流値誤差が±３０％未満となるように以後の出力電流値を調整し（ステップＶ１７）、当該処理が上記ステップＶ８から繰り返し実行される。一方、上記ステップＶ１６で電流地誤差が３０％未満であると判定された場合（ステップＶ１６でＮＯ）、当該処理が上記ステップＶ８から繰り返し実行される。
【００９３】
一方、図１０を参照して、上記メニュー選択画面６３において、「実験結果」が選択されると（ステップＳ３でＹＥＳ）、上記設定値選択画面６０が表示され、ここで選択された加工実測値に関するグラフを上記グラフ画面６４を利用して表示し（ステップＳ４）、このグラフ画面６４に作成された終了メニューが選択されることにより（ステップＳ５）、当該処理はステップＳ１へ移行することとなる。
【００９４】
また、上記メニュー選択画面６３において、「サンプル重量入力」が選択されると（ステップＳ６でＹＥＳ）、上記設定値選択画面６０が表示され、ここで選択された加工実測値に関する試料８の重量、体積、密度等を入力可能な画面が表示され、この画面を利用してこれら試料８の重量等を加工実測値に併せて保存して（ステップＳ７）、当該画面に作成された終了メニューが選択されることにより（ステップＳ８）、当該処理はステップＳ１へ移行することとなる。
【００９５】
さらに、上記メニュー選択画面６３において、「実験一覧」が選択されると（ステップＳ９でＹＥＳ）、上記設定値選択画面６０が表示され、ここで選択された加工実測値をＣＳＶ等の汎用フォーマット形式に書き出し（ステップＳ１０）、上記設定値選択画面６０に作成された終了メニューが選択されることにより（ステップＳ１１）、当該処理はステップＳ１へ移行することとなる。
【００９６】
以上説明したように、上記熱加工装置は、データ管理プログラムが過去の加工時における加工実測値（各設定値）を記憶するとともに、新たに加工を行う場合に設定値を入力操作部５による作業者の入力操作で設定する手動加工処理Ｙ、温度手動・圧力自動加工処理Ｘ、温度自動・圧力手動加工処理Ｗ（手動設定モード）と、予め記憶された加工実測値を利用して設定する自動加工処理Ｕ（自動設定モード）の何れかを作業者へ選択させるために予め作成されたモード選択画面５８を記憶する記憶手段５１と、上記入力操作部５により受付けられた作業者の操作内容を判定する判定手段５５と、上記モード選択画面５８をディスプレー６に表示するとともに、判定手段５５による判定結果が自動加工処理Ｕ（自動設定モード）である場合に上記記憶手段５１に記憶された加工実測値を選択可能な状態で記憶手段５１に予め記憶された設定値選択画面６０をディスプレー６へ表示する表示手段５７と、上記手動加工処理Ｙ、温度手動・圧力自動加工処理Ｘ、温度自動・圧力手動加工処理Ｗ（手動設定モード）で設定された各設定値及び、上記自動加工処理Ｕが選択された場合に設定値選択画面６０において選択された加工実測値を加工部１（制御盤３）及び、電源装置２へ出力する出力手段５４と、この出力手段５４により出力された加工実測値及び、各設定値と、これらに応じて駆動する加工部１において上記検出部により検出される状態項目とを加工処理Ｖの処理中に（当該加工の進行程度に応じて）随時記憶手段５１へ記憶させる記憶指示手段５６として上記管理制御装置を機能するように構成されている。
【００９７】
上記のような熱加工装置は、上記記憶指示手段により電力設定値、圧力設定値及び、状態項目が記憶手段５１へ随時記憶されるため、加工後の試料８に不具合が生じた場合であっても、上記記憶手段５１に記憶された情報から当該不具合の要因を特定することができる。
【００９８】
また、上記熱加工装置は、上述のように記憶指示手段５６により電力設定値、圧力設定値及び、状態項目が記憶手段５１へ随時記憶されるとともに、上記モード選択画面５８で自動加工処理Ｕ（自動設定モード）が選択された場合に設定値選択画面６０が表示され、上記出力手段５４がこの設定値選択画面６０において選択された加工実測値（各設定値）を加工部１（制御盤３）及び、電源装置２へ出力するように構成されているため、上記のように設定値選択画面６０において所望の加工実測値（各設定値）を選択するといった簡易的な操作で過去に実施した加工状態、すなわち各設定値を再現させることができる。さらに、このように再現される加工状態も上記記憶指示手段５６により記憶手段５１へ記憶するように構成されているため、加工状態を適切に再現することができない場合であっても、記憶手段５１に記憶されている過去の加工状態と、現在の加工状態とを比較することにより、再現されていない項目、すなわち要因を特定することができる。
【００９９】
一方、上記熱加工装置は、上記データ管理プログラムによって、上記判定手段５５により設定値選択画面６０において加工実測値（各設定値）が選択されたと判定された場合に、上記表示手段５７が当該加工実測値を編集可能な状態で上記記憶手段５１に予め記憶された設定値編集画面６１をディスプレー６へ表示するとともに、上記出力手段５４が設定値編集画面６１で編集された加工実測値を上記加工部１及び、電源装置２へ出力することとしているため、上記設定値選択画面６０において選択された加工実測値を編集して、これを出力することが可能となる結果、概ね過去の加工実測値と同様の各設定値を新たに設定する場合であっても、上記手動加工処理Ｙで設定することなく、過去の加工実測値を修正して採用することが可能となるため、より簡易的な操作で過去に実施した加工状態を再現させることができる。
【０１００】
また、上記モード選択画面５８には、少なくともＩＤ（加工ＩＤ）、実験年月日（加工年月日）、実験名（加工の名称）、顧客名、研究者（作業者名）、予定ピーク温度、予定ピーク圧力、サンプルＮｏ．（被加工物ＩＤ）、サンプルサイズ（被加工物の寸法）、原料重量（被加工物の重量）、原料の理論密度（被加工物の密度）を含む管理項目を入力可能な欄が作成され、上記記憶指示手段５６がこの管理項目を上記電力設定値、圧力設定値及び、状態項目と併せて記憶手段５１へ記憶させるため、加工後の試料８に不具合が生じた場合であっても、当該試料８がどのような材質で、いつ、誰が加工を行ったものであるか特定することが可能となる結果、上記不具合の要因をより明確に特定することができる。
【０１０１】
ところで、上記熱加工装置は、上記データ管理プログラムによって、上記設定値選択画面６０において入力された状態項目、電力設定値、圧力設定値及び、管理項目の何れかの値、もしくはこれらの組合わせと一致する、又は近似する電力設定値及び、圧力設定値を上記記憶手段５１に記憶された加工実測値の中から抽出する抽出手段５３として機能するため、新たに設定しようとする電力設定値及び、圧力設定値と一致する、又は近似する加工実測値を容易に検出することが可能となる。
【０１０２】
また、上記設定値選択画面６０において加工実測値が選択された場合に、上記表示手段５７が選択された電力設定値をその電流値を再現させるように制御する電流再現（電流再現モード）と、当該電力設定値を試料８の温度を再現させるように電流値を制御するＰＩＤ（ＰＩＤ制御モード）とを選択可能な状態で上記記憶手段５１に予め記憶された制御モード選択画面６２を表示するとともに、上記出力手段５４が上記各モードに基づいて電力設定値を出力するように構成されているため、例えば、試料８の電気抵抗値が特殊なものである場合に、ＰＩＤ制御を選択することにより、当該試料８に対して適切な電流を付加して、試料８の温度を適切に再現することができる。
【０１０３】
さらに、上記出力手段５４が設定値選択画面６０において選択された電力設定値及び、圧力設定値を加工部１及び、電源装置２へ出力している状態で、上記表示手段５７が少なくとも選択された加工実測値及び、それに対応する状態項目を上記ディスプレー６へグラフ表示するとともに、出力手段５４により出力されている電力設定値、圧力設定値及び、検出部により検出される状態項目を上記グラフ画面６４上へ随時プロット表示していくように構成されているため、現時点で出力されている電力設定値、圧力設定値や現時点での加工部１内の状況（すなわち、状態項目）が選択された加工実測値及び、それに対応する状態項目を適切に再現しているか否かを視覚的に確認することができる。
【０１０４】
なお、上記状態項目として、試料８の電気抵抗値と出力手段５４により出力された電流値とを用いることによって算出される電力値（すなわち、加工部１で消費される電力値）と、出力手段５４により出力された実際の電力値とを比較することによって得られる電力ロス値を追加することもできる。すなわち、電源装置２と加工部１との間の配線自体の電気抵抗等による電力損失を上記状態項目として上記記憶手段５１へ記憶させることにより、新たに加工を行う場合に設定された各電力設定値に対して上記電力ロス値を加算した電力値を加工部へ出力することが可能となる結果、本来供給すべき電力を加工部へ適切に供給することができる。
【０１０５】
また、上記管理制御装置４のＣＰＵ５０は、さらにインターネットやイントラネット（すなわち、Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）等のネットワークと接続可能に構成するとともに、当該管理制御装置４が記憶手段５１に記憶された上記各設定値、状態項目及び、管理項目をこのネットワークに接続された他の管理制御装置４へ送信する送信手段及び、当該他の管理制御装置４から送信された各設定値、状態項目及び、管理項目を受信する受信手段として機能することも可能である。このようにすることにより、上記送信手段及び、受信手段により記憶手段５１に記憶された各設定値、状態項目及び、管理項目を上記ネットワークを介して他の管理制御装置４と送受信することが可能となるため、記憶手段５１に記憶された各設定値、状態項目及び、管理項目をネットワークに接続された他の管理制御装置４と共有することが可能となる。
【０１０６】
さらに、上記のようにネットワークに接続された管理制御装置４のＣＰＵ５０は、当該ネットワークと接続する他の管理制御部４を遠隔操作するための遠隔操作手段として機能させることも可能である。このようにすることにより、上記遠隔操作手段により遠隔地にある管理制御装置４をネットワークを介して操作することが可能となる結果、作業者が加工現場へ赴くことなく、容易に各設定値の設定及び、試料８の加工を行うことができる。
【０１０７】
また、上記実施形態の熱加工装置では、１台の電源装置２が設けられているが、この構成に代えて、複数台の電源装置２が設けられ、これら電源装置２が管理制御部４で設定された電力設定値をそれぞれ配分して加工部１へ供給するように、管理制御部４を機能させることも可能である。
【０１０８】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明は、データ管理プログラムが過去の加工時における各設定値を記憶するとともに、新たに加工を行う場合に各設定値を入力操作部による作業者の入力操作で設定する手動設定モードと、予め記憶された各設定値を利用して設定する自動設定モードの何れかを作業者へ選択させるために予め作成されたモード選択画面を記憶する記憶手段と、上記入力操作部により受付けられた作業者の操作内容を判定する判定手段と、上記モード選択画面を上記表示部へ表示するとともに、上記判定操作部による判定結果が自動設定モードである場合に上記記憶手段に記憶された各設定値を選択可能な状態で上記記憶手段に予め記憶された設定値選択画面を上記表示部へ表示する表示手段と、上記手動設定モードで設定された各設定値及び、上記自動設定モードの選択時に設定値選択画面において選択された各設定値を加工部及び、電源装置へ出力する出力手段と、上記出力手段により出力された各設定値と、これら設定値に応じて駆動する加工部において上記検出部により検出される状態項目とを当該加工の進行程度に応じて随時記憶手段へ記憶させる記憶指示手段として管理制御装置を機能するように構成されている。
【０１０９】
また、請求項８の熱加工装置では、上記各手段として機能するように管理制御部が構成されている。
【０１１０】
上記のような熱加工装置は、記憶指示手段により電力設定値、圧力設定値及び、状態項目が記憶手段へ随時記憶されるため、従来の熱加工装置と異なり、加工後の被加工物に不具合が生じた場合であっても、上記記憶手段に記憶された情報から当該不具合の要因を特定することが可能となる。
【０１１１】
また、上記熱加工装置は、上述のように記憶指示手段により電力設定値、圧力設定値及び、状態項目が記憶手段へ随時記憶されるとともに、上記モード選択画面で自動設定モードが選択された場合に設定値選択画面が表示され、上記出力手段がこの設定値選択画面において選択された各設定値を加工部及び、電源装置へ出力するように構成されているため、上記のように設定値選択画面において所望の各設定値を選択するといった簡易的な操作で過去に実施した加工状態を再現させることが可能となる。さらに、このように再現される加工状態も上記記憶指示手段により記憶手段へ記憶するように構成されているため、加工状態を適切に再現することができない場合であっても、記憶手段に記憶されている過去の加工状態と、現在の加工状態とを比較することにより、再現されていない項目、すなわち要因を特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の熱加工装置全体の概略図である。
【図２】加工部の構造説明図である。
【図３】制御系の概略を示すブロック図である。
【図４】管理制御装置及び電源装置の基本構成説明図である。
【図５】パルス電源回路を示す回路図である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）はパルス波形が異なる複数種類のパターンを示す説明図である。
【図７】上記複数種類の波形パターンの組合せを示す説明図である。
【図８】管理制御装置の概略を示すブロック図である。
【図９】管理制御装置の主要機能を示すブロック図である。
【図１０】管理制御装置の処理を示すフローチャートである。
【図１１】図１０の計画作成処理の処理を示すフローチャートである。
【図１２】図１１の自動加工処理の処理を示すフローチャートである。
【図１３】図１１の温度自動・圧力手動加工処理の処理を示すフローチャートである。
【図１４】図１１の温度手動・圧力自動加工処理の処理を示すフローチャートである。
【図１５】図１１の手動加工処理の処理を示すフローチャートである。
【図１６】図１２、図１３、図１４、図１５の加工処理を示すフローチャートである。
【図１７】メニュー選択画面の一例を示す画面図である。
【図１８】モード選択画面の一例を示す画面図である。
【図１９】（ａ）は設定値選択画面の一例を示す画面図であり、（ｂ）は（ａ）の対象データ選択欄を拡大して示す画面図であり、（ｃ）は（ａ）の抽出条件選択欄を拡大して示す画面図であり、（ｄ）は（ａ）の条件項目入力欄を拡大して示す画面図である。
【図２０】設定値編集画面の一例を示す画面図である。
【図２１】制御モード選択画面の一例を示す画面図である。
【図２２】設定値確認画面の一例を示す画面図である。
【図２３】設定値入力画面の一例を示す画面図である。
【図２４】グラフ画面の一例を示す画面図である。
【符号の説明】
１  加工部
２  電源装置
４  管理制御装置
５  入力操作部
６  表示部
８  試料
１１、１２  電極
１９  温度センサ
２０  変位センサ
２１  温度センサ
２２  真空度センサ２２
５０  ＣＰＵ
５１  記憶手段
５４  出力手段
５５  判定手段
５６  記憶指示手段
５７  表示手段
５８  モード選択画面
６０  設定値選択画面
６１  設定値編集画面
６２  制御モード選択画面
６４  グラフ画面
【図１】
2004190091.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2004190091.tif 000012
【図１１】
2004190091.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2004190091.tif 000015
【図１４】
2004190091.tif 000016
【図１５】
2004190091.tif 000017
【図１６】
2004190091.tif 000018
【図１７】
2004190091.tif 000019
【図１８】
2004190091.tif 000020
【図１９】
2004190091.tif 000021
【図２０】
2004190091.tif 000022
【図２１】
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【図２２】
2004190091.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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