(57)【要約】【課題】電極端子とスルーホールとを高精度に位置合わせすることが可能なアライメント調整装置およびアライメント調整方法を提供する。【解決手段】ＦＰＣ用ステージ３５を挟んで表示パネル用ステージ２４と反対側に、ＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂを配置する。表示パネル用ステー２４とＦＰＣ用ステージ３５との間にＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂの配置スペースを確保する必要がないため、表示パネルにＦＰＣを接続させる際のＦＰＣ用ステージ３５の移動距離が小さくなる。表示パネルの電極端子とＦＰＣのスルーホールとを正常に位置合わせ可能な正規の移動軸からＦＰＣ用ステージ３５の移動軸がずれていたとしても、ＦＰＣ用ステージ３５の移動に伴う電極とスルーホールとの位置ずれ量が小さくなるため、電極端子とスルーホールとを高精度に位置合わせすることが可能になる。【選択図】　　図１
2004021003.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルに設けられた接続端子と配線基板に設けられた接続孔とを互いに位置合わせするために用いられるアライメント調整装置であって、
前記表示パネルを保持する第１の保持手段と、
前記第１の保持手段により保持された前記表示パネルと対向するように前記配線基板を保持する第２の保持手段と、
前記第２の保持手段を挟んで前記第１の保持手段と反対側に配置され、前記第１の保持手段により保持された前記表示パネルの接続端子および前記第２の保持手段により保持された前記配線基板の接続孔を観察するための観察手段と、
前記観察手段により観察された観察映像に基づいて前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記表示パネルの接続端子と前記配線基板の接続孔とを互いに位置合わせする位置合わせ手段と
を備えたことを特徴とするアライメント調整装置。
【請求項２】
前記観察手段は、前記配線基板越しに前記接続端子を観察するものである
ことを特徴とする請求項１記載のアライメント調整装置。
【請求項３】
前記位置合わせ手段は、
互いに直交する２方向に前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を移動させるための移動機構と、
前記２方向を含む平面内において前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を回転させるための回転機構と
を有することを特徴とする請求項１記載のアライメント調整装置。
【請求項４】
前記接続端子が第１および第２の接続端子を含むと共に、前記接続孔が第１および第２の接続孔を含み、
前記位置合わせ手段は、
前記移動機構を利用して前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記第１の接続端子の位置を基準位置に一致させると共に、この基準位置に位置する前記第１の接続端子の位置と前記第１の接続孔の位置とを互いに一致させ、
前記回転機構を利用して前記基準位置を中心として前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を回転させることにより、前記第２の接続端子の位置と前記第２の接続孔の位置とを互いに一致させ、
前記移動機構を利用して前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記第１の接続孔に前記第１の接続端子を挿通させると共に、前記第２の接続孔に前記第２の接続端子を挿通させる
ことを特徴とする請求項３記載のアライメント調整装置。
【請求項５】
前記第１の接続端子は前記表示パネルに設けられた複数の接続端子のうちの一端側最末端に位置し、かつ前記第２の接続端子は他端側最末端に位置するものであり、
前記第１の接続孔は前記配線基板に設けられた複数の接続孔のうちの一端側最末端に位置し、かつ前記第２の接続孔は他端側最末端に位置するものである
ことを特徴とする請求項４記載のアライメント調整装置。
【請求項６】
前記観察手段は、
前記第１の接続端子および前記第１の接続孔を観察するための第１の観察手段と、
前記第２の接続端子および前記第２の接続孔を観察するための第２の観察手段と
を含むことを特徴とする請求項５記載のアライメント調整装置。
【請求項７】
前記第１および第２の観察手段は、いずれもマクロレンズおよび２直角偏向プリズムを含んで構成されており、
前記第１および第２の観察手段によりそれぞれ観察される観察領域の幅は、各観察手段自体の幅以下になっている
ことを特徴とする請求項６記載のアライメント調整装置。
【請求項８】
前記マクロレンズは固定焦点マクロレンズである
ことを特徴とする請求項７記載のアライメント調整装置。
【請求項９】
各固定焦点マクロレンズ間の間隔は、連続的に変更可能である
ことを特徴とする請求項８記載のアライメント調整装置。
【請求項１０】
さらに、
前記観察手段を吊り下げるように支持する支持手段
を備えたことを特徴とする請求項１記載のアライメント調整装置。
【請求項１１】
前記配線基板は保持具により直接保持され、
前記第２の保持手段は、前記保持具と共に前記配線基板を間接的に保持するものである
ことを特徴とする請求項１記載のアライメント調整装置。
【請求項１２】
前記保持具は、前記配線基板の変形箇所を吸引することにより前記配線基板の形状を矯正するための形状矯正機構を有するものである
ことを特徴とする請求項１１記載のアライメント調整装置。
【請求項１３】
前記接続端子および前記接続孔がいずれも所定の間隔ごとに配列されていると共に、１つの表示パネルに対応する前記配線基板が２つ以上に分割されており、
各配線基板には、各接続端子間のピッチ誤差と各接続孔のピッチ誤差とが前記接続端子と前記接続孔とを位置合わせするために必要な許容誤差範囲内となるように規定された個数の接続孔が設けられている
ことを特徴とする請求項１記載のアライメント調整装置。
【請求項１４】
表示パネルに設けられた接続端子と配線基板に設けられた接続孔とを互いに位置合わせするアライメント調整方法であって、
第１の保持手段を用いて前記表示パネルを保持する第１のステップと、
第２の保持手段を用いて、前記第１の保持手段により保持された前記表示パネルと対向するように前記配線基板を保持する第２のステップと、
前記第２の保持手段を挟んで前記第１の保持手段と反対側に配置された観察手段を用いて、前記第１の保持手段により保持された前記表示パネルの接続端子および前記第２の保持手段により保持された前記配線基板の接続孔を観察する第３のステップと、
位置合わせ手段を用いて、前記観察手段により観察された観察映像に基づいて前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記表示パネルの接続端子と前記配線基板の接続孔とを互いに位置合わせする第４のステップと
を含むことを特徴とするアライメント調整方法。
【請求項１５】
前記第３のステップにおいて、前記配線基板越しに前記接続端子を観察する
ことを特徴とする請求項１４記載のアライメント調整方法。
【請求項１６】
前記第４のステップにおいて、
前記位置合わせ手段として、
互いに直交する２方向に前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を移動させるための移動機構と、
前記２方向を含む平面内において前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を回転させるための回転機構と
を有するものを用いることを特徴とする請求項１４記載のアライメント調整方法。
【請求項１７】
前記接続端子が第１および第２の接続端子を含むと共に、前記接続孔が第１および第２の接続孔を含むようにし、
前記第４のステップは、
前記移動機構を利用して前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記第１の接続端子の位置を基準位置に一致させるステップと、
前記移動機構を利用して前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記基準位置に位置する前記第１の接続端子の位置と前記第１の接続孔の位置とを互いに一致させるステップと、
前記回転機構を利用して前記基準位置を中心として前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を回転させることにより、前記第２の接続端子の位置と前記第２の接続孔の位置とを互いに一致させるステップと、
前記移動機構を利用して前記第１または第２の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、前記第１の接続孔に前記第１の接続端子を挿通させると共に、前記第２の接続孔に前記第２の接続端子を挿通させるステップと
を含むことを特徴とする請求項１６記載のアライメント調整方法。
【請求項１８】
前記第１の接続端子が前記表示パネルに設けられた複数の接続端子のうちの一端側最末端に位置し、かつ前記第２の接続端子が他端側最末端に位置するようにし、
前記第１の接続孔が前記配線基板に設けられた複数の接続孔のうちの一端側最末端に位置し、かつ前記第２の接続孔が他端側最末端に位置するようにする
ことを特徴とする請求項１７記載のアライメント調整方法。
【請求項１９】
前記第３のステップにおいて、
前記観察手段として、
前記第１の接続端子および前記第１の接続孔を観察するための第１の観察手段と、
前記第２の接続端子および前記第２の接続孔を観察するための第２の観察手段と
を含むものを用いることを特徴とする請求項１８記載のアライメント調整方法。
【請求項２０】
前記第１および第２の観察手段として、いずれもマクロレンズおよび２直角偏向プリズムを含むものを用い、
前記第１および第２の観察手段によりそれぞれ観察される観察領域の幅が、各観察手段自体の幅以下となるようにする
ことを特徴とする請求項１９記載のアライメント調整方法。
【請求項２１】
前記マクロレンズとして、固定焦点マクロレンズを用いる
ことを特徴とする請求項２０記載のアライメント調整方法。
【請求項２２】
各固定焦点マクロレンズ間の間隔を連続的に変更可能となるようにする
ことを特徴とする請求項２１記載のアライメント調整方法。
【請求項２３】
支持手段を用いて、前記観察手段を吊り下げるように支持する
ことを特徴とする請求項１４記載のアライメント調整方法。
【請求項２４】
保持具を用いて前記配線基板を直接保持し、
前記第２のステップにおいて、前記第２の保持手段を用いて前記保持具と共に前記配線基板を間接的に保持する
ことを特徴とする請求項１４記載のアライメント調整方法。
【請求項２５】
前記保持具として、
前記配線基板の変形箇所を吸引することにより前記配線基板の形状を矯正するための形状矯正機構を有するものを用いる
ことを特徴とする請求項２４記載のアライメント調整方法。
【請求項２６】
前記接続端子および前記接続孔をいずれも所定の間隔ごとに配列すると共に、１つの表示パネルに対応する前記配線基板を２つ以上に分割し、
前記配線基板として、各接続端子間のピッチ誤差と各接続孔のピッチ誤差とが前記接続端子と前記接続孔とを位置合わせするために必要な許容誤差範囲内となるように規定された個数だけ各配線基板に接続孔が設けらたものを用いる
ことを特徴とする請求項１４記載のアライメント調整方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示パネルと配線基板とを含んで構成される例えば有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ；ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ　）ディスプレイの製造工程において使用されるアライメント調整装置およびこのアライメント調整装置を利用したアライメント調整方法に関し、特に、表示パネルに設けられた接続端子と配線基板に設けられた接続孔とを互いに位置合わせするために使用されるアライメント調整装置およびアライメント調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、各種表示機構を有する多様なディスプレイが広く普及している。中でも、有機ＥＬ現象を利用した有機ＥＬディスプレイは、主に、画質性能が高く、かつ消費電力が少ない点で優れている。
【０００３】
ところで、最近では、ディスプレイ分野において表示画面の大型化が望まれている。有機ＥＬディスプレイの表示画面を大型化する手法としては、例えば、ガラス等の透過性基板に画素を構成する複数の有機ＥＬ素子が設けられてなる表示パネルに、配線接続用のプリント配線基板（ＦＰＣ）を接続させることにより表示ユニットを構成し、複数の表示ユニットをマトリックス状に連結させることにより所望の表示画面サイズを構成する手法が挙げられる。この手法では、例えば、表示パネルの裏面（表示面と反対側の面）に各有機ＥＬ素子ごとに設けられた複数の電極端子と、これらの電極端子に対応してＦＰＣに設けられた複数のスルーホールとが互いに位置合わせされたのち、半田等を利用して電極端子とスルーホールとが互いに接続される。
【０００４】
電極端子とスルーホールとを接続させる際には、例えば、高い接続精度を確保するために、電極端子とスルーホールとを高精度に位置合わせする必要がある。そこで、電極端子とスルーホールとの位置合わせ作業は、例えば、表示パネルやＦＰＣに位置合わせ確認用のアライメントマークを設け、このアライメントマークを視認可能なアライメント調整装置を使用して行われている。
【０００５】
このアライメント調整装置は、例えば、汎用のフリップチップボンダを応用したものであり、表示パネルを装着するための表示パネル用ステージと、この表示パネル用ステージと対向配置され、ＦＰＣを装着するためのＦＰＣ用ステージと、表示パネル用ステージとＦＰＣ用ステージとの間に配置され、上下に位置する表示パネルおよびＦＰＣの双方を同時に観察可能な光学系を有するＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ　ｃｏｕｐｌｅｄ　ｄｅｖｉｃｅ　）カメラとを備えている。表示パネル用ステージおよびＦＰＣ用ステージはいずれも互いに直交する３軸方向に移動可能であり、ＣＣＤカメラは、表示パネル用ステージとＦＰＣ用ステージとの間の位置（観察位置）と退避位置との間を移動可能になっている。
【０００６】
このアライメント調整装置を使用した電極端子とスルーホールとの位置合わせ作業は、例えば、以下の手順により行われる。すなわち、まず、観察位置に位置したＣＣＤカメラを利用して、表示パネルおよび配線基板の双方を観察し、複数の電極端子の位置およびこれらの電極端子と接続されることとなる複数のスルーホールの位置を確認する。続いて、ＣＣＤカメラにより観察された観察映像に基づいてＦＰＣ用ステージを移動させることにより、各電極端子の位置に対して各スルーホールの位置を一致させる。最後に、観察位置から退避位置にＣＣＤカメラを移動させたのち、表示パネル用ステージに向かってＦＰＣ用ステージを移動させることにより、スルーホールごとに電極端子を挿通させる。これにより、複数の電極端子に対して複数のスルーホールが互いに位置合わせされる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のアライメント調整装置では、主に装置構成上の理由により、電極端子にスルーホールを位置合わせする際、十分な位置合わせ精度が得られないおそれがあるという問題があった。十分な位置合わせ精度が得られないと、電極端子とスルーホールとの接続不良が生じるため、有機ＥＬディスプレイの歩留まりが低下してしまう。
【０００８】
また、従来のアライメント調整装置では、装置が大型で高価なため、有機ＥＬディスプレイの製造コストが高くなるという問題もあった。この点を考慮し、有機ＥＬディスプレイの低コスト化を図る上での対策の１つとして、アライメント調整装置を低コスト化する必要がある。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その第１の目的は、電極端子とスルーホールとを高精度に位置合わせすることが可能なアライメント調整装置およびアライメント調整方法を提供することにある。
【００１０】
また、本発明の第２の目的は、低コスト化を実現可能なアライメント調整装置およびアライメント調整方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明のアライメント調整装置は、表示パネルに設けられた接続端子と配線基板に設けられた接続孔とを互いに位置合わせするために用いられるものであり、表示パネルを保持する第１の保持手段と、第１の保持手段により保持された表示パネルと対向するように配線基板を保持する第２の保持手段と、第２の保持手段を挟んで第１の保持手段と反対側に配置され、第１の保持手段により保持された表示パネルの接続端子および第２の保持手段により保持された配線基板の接続孔を観察するための観察手段と、観察手段により観察された観察映像に基づいて第１または第２の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、表示パネルの接続端子と配線基板の接続孔とを互いに位置合わせする位置合わせ手段とを備えるようにしたものである。
【００１２】
本発明のアライメント調整方法は、表示パネルに設けられた接続端子と配線基板に設けられた接続孔とを互いに位置合わせする方法であり、第１の保持手段を用いて表示パネルを保持する第１のステップと、第２の保持手段を用いて、第１の保持手段により保持された表示パネルと対向するように配線基板を保持する第２のステップと、第２の保持手段を挟んで第１の保持手段と反対側に配置された観察手段を用いて、第１の保持手段により保持された表示パネルの接続端子および第２の保持手段により保持された配線基板の接続孔を観察する第３のステップと、位置合わせ手段を用いて、観察手段により観察された観察映像に基づいて第１または第２の保持手段の少なくとも一方を移動させることにより、表示パネルの接続端子と配線基板の接続孔とを互いに位置合わせする第４のステップとを含むようにしたものである。
【００１３】
本発明のアライメント調整装置およびアライメント調整方法では、第２の保持手段を挟んで第１の保持手段と反対側の領域に観察手段が位置する。これにより、第１および第２の保持手段の間の領域に観察手段が位置する場合と比較して第１および第２の保持手段間の間隔が狭くなるため、表示パネルの接続端子と配線基板の接続孔との接続時における第１または第２の保持手段の移動距離が小さくなる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
まず、図１および図２を参照して、本発明の一実施の形態に係るアライメント調整装置の構成について説明する。図１はアライメント調整装置１００の外観構成を表し、図２は図１に示したアライメント装置１００の平面構成を表している。図２には、図１に示したアライメント装置１００のうちの主要な構成要素のみを示している。なお、以下で（「」）書きが添付してある構成要素は、その構成要素が本発明の請求項中に記載された（「」）内の名称の要素に対応していることを表している。
【００１６】
このアライメント調整装置１００は、例えば、表示パネルとＦＰＣ（「配線基板」）と含んで構成される有機ＥＬディスプレイの製造工程において利用され、表示パネルに設けられた複数の電極端子（「接続端子」）とＦＰＣに設けられた複数のスルーホール（「接続孔」）とを互いに位置合わせするために使用されるものである。
【００１７】
アライメント調整装置１００は、ベース１上に設置された位置合わせ機構１０およびモニタ５０と、ベース１に隣接された操作パネル６０とを含んで構成されている。
【００１８】
位置合わせ機構１０は、表示パネルおよびＦＰＣを用いて電極端子とスルーホールとの位置合わせ作業を行うものであり、表示パネルを装着するための表示パネル装着機構２０と、ＦＰＣを装着するためのＦＰＣ装着機構３０（「位置合わせ手段」）と、電極端子およびスルーホールを観察するための観察機構４０（「観察手段」）とを備えている。
【００１９】
表示パネル装着機構２０は、例えば、粗動２軸ステージ２１と、微動２軸ステージ２２と、回転ステージ２３と、表示パネル用ステージ２４（「第１の保持手段」）とがこの順に積層配置され、互いに連結された構成をなしている。
【００２０】
粗動２軸ステージ２１は、図中のＸ軸およびＹ軸の２軸方向に、大きな移動ピッチで表示パネル用ステージ２４を移動させるものである。
【００２１】
微動２軸ステージ２２は、Ｘ軸およびＹ軸の２軸方向に、粗動２軸ステージ２１よりも小さなピッチで表示パネル用ステージ２４を移動させるものである。
【００２２】
回転ステージ２３は、図中の軸線Ｓを中心として表示パネル用ステージ２４を回転させるものである。
【００２３】
表示パネル用ステージ２４は、表示パネルが装着される板状部材であり、例えば、表示パネルを吸引保持するための図示しない吸引チャックを含んで構成されている。
【００２４】
ＦＰＣ装着機構３０は、例えば、２つのコラム３１により支持された天板３２から、４自由度アクチュエータ３３およびフレーム３４を介して、表示パネル用ステージ２４と対向するようにＦＰＣ用ステージ３５（「第２の保持手段」）が吊り下げられた構成をなしている。
【００２５】
４自由度アクチュエータ３３は、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の３軸方向にＦＰＣ用ステージ３５を移動させると共に、軸線Ｓを中心としてＦＰＣ用ステージ３５を回転させるものである。
【００２６】
フレーム３４は、４自由度アクチュエータ３３とＦＰＣ用ステージ３５とを連結し、４自由度アクチュエータ３３の動作をＦＰＣ用ステージ３５に伝達するものである。
【００２７】
ＦＰＣ用ステージ３５は、ＦＰＣが装着される板状部材である。このＦＰＣ用ステージ３５は、例えば、後述するブロック７０Ｘ，７０Ｙ（「保持具」；図３参照）に装着されたＦＰＣを間接的に保持するものであり、ブロック７０Ｘ，７０Ｙを吸引保持するための図示しない吸引チャックを含んで構成されている。
【００２８】
観察機構４０は、例えば、天板３２（「支持手段」）から微動３軸アクチュエータ４１を介して３つのＣＣＤカメラ４２Ａ（「第１の観察手段」），４２Ｂ（「第２の観察手段」），４２Ｃがそれぞれ吊り下げられた構成をなしている。
【００２９】
微動３軸アクチュエータ４１は、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の３軸方向に、比較的小さい移動ピッチでＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃをそれぞれ移動させるものである。
【００３０】
ＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃは、ＦＰＣ用ステージ３５に装着されたＦＰＣ越しに表示パネルを観察するためのものであり、電極端子およびスルーホールの双方を同時に観察可能なものである。これらのＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃは、ＦＰＣ用ステージ３５を挟んで表示パネル用ステージ２４と反対側に配置されており、各ＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃは、例えば、図２に示したように、三角形の各頂点位置に、軸線Ｓを三方から囲むように配置されている。ＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃは、例えば、いずれもマクロレンズ４３（例えば高倍率かつ小型の固定焦点マクロレンズ）および２直角偏向プリズム４４を含んで構成されており、いずれの２つのＣＣＤカメラ（例えば４２Ａ，４２Ｂ）によりそれぞれ観察される観察領域間の幅も、それらの２つのＣＣＤカメラ間の幅Ｌよりも小さくなっている。なお、各マクロレンズ４３間の間隔は、所望の観察領域幅等に応じて連続的に変更可能である。
【００３１】
モニタ５０は、ＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃにより観察された電極端子およびスルーホールを表示するものである。このモニタ５０は、例えば、ＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃのうちの任意の２つにより観察された２つの観察領域映像を同時に表示可能になっている。
【００３２】
操作パネル６０は、位置合わせ機構１０の動作を制御するために用いられるものであり、各種スイッチ等を含んで構成されている。
【００３３】
なお、アライメント調整装置１００は、上記した一連の構成要素の他、例えば、表示パネル用ステージ２４やＦＰＣ用ステージ３５に設けられた吸引チャック等を吸引可能とするためのポンプや、位置合わせ機構１０やモニタ５０を稼働させるための電源等を含んで構成されている。
【００３４】
次に、図３を参照して、ブロック７０Ｘ，７０Ｙの構成について説明する。図３は、ブロック７０Ｘ，７０Ｙの平面構成を拡大して表している。
【００３５】
ブロック７０Ｘ，７０Ｙは、ＦＰＣが直接装着される中間装着部材であり、例えば、特定の平面構成を有するＦＰＣのみならず、互いに異なる平面構成を有する複数種類のＦＰＣが装着可能になっている。
【００３６】
ブロック７０Ｘは、例えば、ブロックベース７１に、固定ネジ７２を用いて３つのブロックパーツ７３Ａ，７３Ｂ，７３Ｅが固定されたものである。これらのブロックパーツ７３Ａ，７３Ｂ，７３Ｅは、例えば、互いに異なる平面構成を有して離間配置されており、各ブロックパーツ７３Ａ，７３Ｂ，７３Ｅには、例えば、ＦＰＣを吸引保持するための複数の吸引孔７４が設けられている。図３では、例えば、ブロックパーツ７３Ａ，７３Ｂ，７３Ｅに吸引孔７４がそれぞれ８つ，４つ，３つ設けられた場合を示している。なお、例えば、ブロックパーツ７３Ｂはブロックパーツ７３Ａに近づく方向または離れる方向にスライド可能であり、ブロックパーツ７３Ａ，７３Ｂ間の間隔は自由に調整可能になっている。また、例えば、ブロックパーツ７３Ｅは、必要に応じて着脱可能になっている。
【００３７】
ブロックパーツ７３Ｅは、例えば、その厚み（図中の紙面に垂直な方向の寸法）が他のブロックパーツ７３Ａ，７３Ｂの厚みよりも小さくなっており、吸引孔７４による吸引機構を利用してＦＰＣの形状を矯正する機構を有している。このブロックパーツ７３Ｅの変形矯正機構に関する詳細については、後述する（図８参照）。
【００３８】
ブロック７０Ｙは、例えば、ブロック７０Ｘとほぼ同様の構成を有するものである。すなわち、ブロック７０Ｙは、固定ネジ７２を用いてブロックベース７１にブロックパーツ７３Ｃ，７３Ｄ，７３Ｆが固定されたものであり、各ブロックパーツ７３Ｃ，７３Ｄ，７３Ｆには吸引孔７４が設けられている。ブロックベース７３Ｆは、例えば、ブロックパーツ７３Ｅと同様に、ＦＰＣの形状を矯正する機能を有している。
【００３９】
次に、図４〜図６を参照して、アライメント調整装置１００を使用した位置合わせ作業に用いられる表示パネルおよびＦＰＣの構成について説明する。図４は表示パネル８０およびＦＰＣ９０の概略断面構成を表し、図５はＦＰＣ９０の平面構成を拡大して表している。また、図６は表示パネル８０に対するＦＰＣ９０の接続配列パターンを説明するためのものである。
【００４０】
表示パネル８０は、有機ＥＬディスプレイの画像表示部を構成するものであり、例えば、図４に示したように、透明なガラス基板８１上に複数の有機ＥＬ発光素子１８０がマトリックス状に配設され、これらの有機ＥＬ発光素子１８０が絶縁層８５中に埋設された構成をなしている。有機ＥＬ発光素子１８０は、例えば、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）よりなる透明電極８２と、正孔注入層，正孔輸入層，発光層などを含む有機ＥＬ膜８３と、銅よりなる金属電極８４とがこの順に積層された積層構造を含んで構成されている。透明電極８２および金属電極８４は、絶縁層８５上に露出した透明電極端子８６および金属電極端子８７（「接続端子」）とそれぞれ接続されており、いずれも所定の間隔ごとに２次元的に配列されている。
【００４１】
ＦＰＣ９０は、表示パネル８０の裏面に接続される配線部材であり、例えば、互いに異なる複数の平面構成を有するように複数に分割されている。このＦＰＣ９０には、図４に示したように、表示パネル８０の透明電極端子８６および金属電極端子８７に対応する箇所に、端子接続用の複数のスルーホール９３が所定の間隔ごとに２次元的に配列されて設けられており、スルーホール９３の内径は、例えば、透明電極端子８６や金属電極端子８７の直径と同等か、それよりも若干大きくなっている。このＦＰＣ９０は、例えば、図５に示したように、二股に分岐した平面構成を有しており、２つの接続部９１Ａ，９１Ｂを有する一方の分岐側の配線部９２Ｘと、２つの接続部９１Ｃ，９１Ｄを有する他方の分岐側の配線部９２Ｙとを含んで構成されている。図４に示した複数のスルーホール９３は、各接続部９１Ａ〜９１Ｄごとに密集して設けられている。
【００４２】
１つのＦＰＣ９０に設けられるスルーホール９３の個数は、例えば、透明電極端子８６（または金属電極端子８７）の配列ピッチ誤差とスルーホール９３の配列ピッチ誤差とに基づいて決定されている。すなわち、例えば、直線状に配列されている複数の透明電極端子８６および複数のスルーホール９３を考えた場合、スルーホール９３の配列個数をｎ、製造上生じるスルーホール９３の配列ピッチ誤差レートをＫｅ、透明電極端子８６の配列ピッチをＰ、透明電極端子８６とスルーホール９３とを互いに位置合わせ可能な許容誤差をＥａとすると、これらのパラメータ間には下記（α）式の関係がある。
【００４３】
Ｅａ≧Ｋｅ×Ｐ×ｎ・・・（α）
【００４４】
関係式（α）に基づき、透明電極端子８６とスルーホール９３とを互いに位置合わせ可能とするためには、スルーホール９３の配列個数ｎが、下記（β）式の関係を満たせばよい。
【００４５】
ｎ≦Ｅａ／（Ｋｅ×Ｐ）・・・（β）
【００４６】
表示パネル８０およびＦＰＣ９０を含んで構成される有機ＥＬディスプレイは、例えば、表示画面の大型化に対応したものである。すなわち、この有機ＥＬディスプレイでは、例えば、１つの表示パネル８０の裏面に、複数のＦＰＣ９０が接続されるようになっている。１つの表示パネル８０に対して複数のＦＰＣ９０を接続させるようにしたのは、主に、ＦＰＣ９０を大型化した場合に生じる不具合、例えば、配線の長尺化に起因して、有機ＥＬディスプレイの稼働時に電圧降下が生じることを防止したものである。表示パネル８０を大型化した場合においても、その表示パネル８０のサイズに応じてＦＰＣ９０を増設することにより、電圧降下を防止しつつ、所望のサイズの表示画面を構成可能となる。なお、この有機ＥＬディスプレイは、例えば、表示パネル８０やＦＰＣ９０の他に、表示画像に対応した表示信号を出力するための図示しない駆動回路基板等を含んで構成されている。ＦＰＣ９０と駆動回路基板とは互いに別体をなす場合もあるし、互いに接続されて一体をなす場合もある。
【００４７】
表示パネル８０は、例えば、図６に示したように、ＦＰＣ９０の接続配列パターンに基づいて規定された複数のパネルエリアＲ１〜Ｒ１６に区分されている。この表示パネル８０の裏面には、例えば、４つのパネルエリア（Ｒ１〜Ｒ４，Ｒ５〜Ｒ８，Ｒ９〜Ｒ１２，Ｒ１３〜Ｒ１６）ごとに１つのＦＰＣ９０が接続され、すなわち全体として４つのＦＰＣ９０が接続されるようになっている。なお、図６では、例えば、パネルエリアＲ１〜Ｒ４のみにＦＰＣ９０が接続された状態を示している。図６には表示パネル８０にＦＰＣ９０を接続させた状態を示しているため、図５に示した状態とはＦＰＣ９０の表裏が反転している。
【００４８】
次に、図１〜図１３を参照して、アライメント調整装置１００を使用したアライメント調整方法について説明する。図７はブロック７０Ｘ，７０Ｙに対するＦＰＣ９０の装着手順を説明し、図８はブロック７０Ｘ，７０ＹによるＦＰＣ９０の形状矯正機構を説明するためのものであり、図７に示したＡ−Ａ線に沿った矢視断面構成を示している。図９はＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂにより観察される観察映像の一例を模式的に表している。図１０〜図１２は透明電極端子８６とスルーホール９３との位置合わせ手順を説明するためのものであり、図１３は表示パネル８０とＦＰＣ９０との接続手順を説明するためのものであり、図４に対応している。なお、図１０〜図１２では、透明電極端子８６およびスルーホール９３をそれぞれ一列だけ模式的に示している。
【００４９】
アライメント調整装置１００を使用して位置合わせ作業を行う際には、位置合わせ作業を行う前に前準備を行う。
【００５０】
すなわち、まず、吸引チャックを利用して表示パネル８０を吸引することにより、表示パネル用ステージ２４上に、透明電極端子８６および金属電極端子８７が上方を向くように表示パネル８０を装着する。続いて、図７に示したように、吸引孔７４を利用してＦＰＣ９０を吸引することにより、ブロック７０Ｘ，７０Ｙ上にＦＰＣ９０を装着する。ＦＰＣ９０を装着する際には、例えば、ブロックパーツ７３Ａ，７３Ｂに接続部９１Ａ，９１Ｂがそれぞれ位置合わせされるようにブロック７０Ｘに配線部９２Ｘを装着すると共に、ブロックパーツ７３Ｃ，７３Ｄに接続部９１Ｃ，９１Ｄがそれぞれ位置合わせされるようにブロック７０Ｙに配線部９２Ｙを装着する。なお、図７に示した一端領域Ｔ１ならびに他端領域Ｔ２は、位置合わせ作業時にＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂによりそれぞれ観察されることとなる領域を示している。
【００５１】
ブロック７０Ｙに配線部９２Ｙを装着した際、例えば、図８に示したように、配線部９２Ｙのうちのブロックパーツ７３Ｃ，７３Ｄ間領域に対応する部分９２ＹＰが、例えば反りや屈曲等に起因して盛り上がり、配線部９２Ｙが部分的に凸状に変形している場合（図中の破線参照）には、ブロックパーツ７３Ｆに設けられた吸引孔７４を利用して部分９２ＹＰを選択的に吸引することにより、配線部９２Ｙを部分的に凹状に変形させるようにする。
【００５２】
最後に、吸引チャックを利用してブロック７０Ｘ，７０Ｙを吸引することにより、ＦＰＣ用ステージ３５の下面に、表示パネル用ステージ２４に装着された表示パネル８０とＦＰＣ９０とが対向するようにブロック７０Ｘ，７０Ｙを装着する。この際、例えば、後工程において表示パネル８０にＦＰＣ９０を仮止め可能とするために、図４に示したように、ＦＰＣ９０の表面にあらかじめ接着剤１１０を塗布しておく。
【００５３】
前準備が完了したのち、まず、微動３軸アクチュエータ４１を利用して、ＦＰＣ９０の接続部９１Ｂに設けられたスルーホール９３群のうちの一端領域Ｔ１がＣＣＤカメラ４２Ａにより観察可能となり、かつ一端領域Ｔ１から最も遠い接続部９１Ｃに設けられたスルーホール９３群のうちの他端領域Ｔ２がＣＣＤカメラ４２Ｂにより観察可能となるように、ＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂをそれぞれ移動させる。これにより、例えば、図９に示したように、モニタ５０のモニタ画面５１には、右画面５１Ｒに、ＣＣＤカメラ４２Ａにより観察されている一端領域Ｔ１の映像が表示されると共に、左画面５１Ｌに、ＣＣＤカメラ４２Ｂにより観察されている他端領域Ｔ２の映像が表示される。
【００５４】
この状態において、複数の透明電極端子８６および複数のスルーホール９３は、互いに位置合わせ可能な配列ピッチ精度を有すると共に、例えば、図１０に示したように、透明電極端子８６群（８６Ａ，８６Ｂ・・・８６Ｙ，８６Ｚ）を結ぶ線Ｎ１に対して、スルーホール９３群（９３Ａ，９３Ｂ・・・９３Ｙ，９３Ｚ）を結ぶ線Ｎ２が傾いているものとする。なお、透明電極端子８６Ａ（「第１の接続端子」）とは表示パネル８０に設けられた複数の透明電極端子８６のうちの一端側最末端に位置し、透明電極端子８６Ｂとは一端側最末端よりも１つ内側に位置するものであり、透明電極端子８６Ｚ（「第２の接続端子」）とは他端側最末端に位置し、透明電極端子８６Ｙとは他端側最末端よりも１つ内側に位置するものである。同様に、スルーホール９３Ａ（「第１の接続孔」）とは接続部９１Ｂに設けられた複数のスルーホール９３のうちの一端側最末端に位置し、スルーホール９３Ｂとは一端側最末端よりも１つ内側に位置するものであり、スルーホール９３Ｚ（「第２の接続孔」）とは接続部９１Ｃに設けられた複数のスルーホール９３のうちの他端側最末端に位置し、スルーホール９３Ｙとは他端側最末端よりも１つ内側に位置するものである。
【００５５】
続いて、粗動２軸ステージ２１および微動２軸ステージ２２を利用して表示パネル用ステージ２４と共に表示パネル８０を移動させることにより、図１０に示したように、軸線Ｓに対応した基準位置Ｐに一端側最末端の透明電極端子８６Ａを位置させる。
【００５６】
続いて、４自由度アクチュエータ３３の移動機構（Ｘ軸方向，Ｙ軸方向）を利用してＦＰＣ用ステージ３５と共にＦＰＣ９０を移動させることにより、図１１に示したように、一端側最末端の透明電極端子８６Ａの位置に一端側最末端のスルーホール９３Ｈの位置を一致させる。これにより、透明電極端子８６Ａおよびスルーホール９３Ａのみが位置合わせされ、他の透明電極端子８６Ｂ，８６Ｙ，８６Ｚおよび他のスルーホール９３Ｂ，９３Ｙ，９３Ｚは未だ位置合わせされていない状態となる。
【００５７】
続いて、４自由度アクチュエータ３３の回転機構を利用してＦＰＣ用ステージ３５と共にＦＰＣ９０を回転させることにより、図１２に示したように、他端側最末端の透明電極端子８６Ｚの位置に他端側最末端のスルーホール９３Ｚの位置を一致させる。これにより、残りの透明電極端子８６Ｂ，８６Ｙ，８６Ｚの位置にスルーホール９３Ｂ，９３Ｙ，９３Ｚの位置がそれぞれ一致すると共に、複数の金属電極端子８７の位置に複数のスルーホール９３の位置がそれぞれ一致することとなる。
【００５８】
最後に、４自由度アクチュエータ３３の移動機構（Ｚ軸方向）を利用して、表示パネル用ステージ２４に向かってＦＰＣ用ステージ３５を移動させることにより、図６および図１３に示したように、接着剤１１０を介して表示パネル８０にＦＰＣ９０を仮接続させる。この状態において、透明電極端子８６および金属電極端子８７は、それぞれスルーホール９３に挿通される。これにより、複数の透明電極端子８６および複数の金属電極端子８７と複数のスルーホール９３との位置合わせ作業が完了する。
【００５９】
こののち、例えば、図１３に示したように、スルーホール９３に半田ボール１２０を投入し、レーザ等で半田ボール１２０を加熱して溶融させることにより、半田を介してスルーホール９３に透明電極端子８６および金属電極端子８７をそれぞれ接着させる。これにより、表示パネル８０にＦＰＣ９０が本接続される。
【００６０】
以上説明したように、本実施の形態に係るアライメント調整装置１００およびこれを使用したアライメント調整方法によれば、ＦＰＣ用ステージ３５を挟んで表示パネル用ステージ２４と反対側にＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂを配置するようにしたので、以下の理由により、透明電極端子８６および金属電極端子８７とスルーホール９３とを互いに高精度に位置合わせすることができる。
【００６１】
すなわち、従来のアライメント調整装置では、上記「従来の技術」の項において説明したように、表示パネル用ステージとＦＰＣ用ステージとの間（観察位置）にＣＣＤカメラが位置するため、表示パネル用ステージとＦＰＣ用ステージとの間にＣＣＤカメラの配置スペースを確保する必要がある。これにより、表示パネル用ステージとＦＰＣ用ステージとは、ＣＣＤカメラの配置スペースを確保可能な比較的大きな間隔を隔てて離間されることとなる。この場合には、例えば、表示パネルにＦＰＣを接続させるべく表示パネル用ステージに向かって移動するＦＰＣ用ステージの移動軸が、電極端子とスルーホールとを正常に位置合わせ可能な正規の移動軸からずれていると、ＦＰＣ用ステージの移動前に、ＣＣＤカメラを利用して電極端子の位置とスルーホールの位置とを高精度に一致させておいたとしても、ＦＰＣ用ステージの移動に伴い、電極端子とスルーホールとの位置関係はずれてしまうため、十分な位置合わせ精度が得られなくなる。このＦＰＣ用ステージの移動に伴う位置ずれ量は、主に、ＦＰＣ用ステージの移動距離、すなわち表示パネル用ステージとＦＰＣ用ステージとの間の間隔の大小に応じて増減する。
【００６２】
これに対して、本実施の形態では、ＦＰＣ用ステージ３５を挟んで表示パネル用ステージ２４の反対側にＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂが配置されているため、従来の場合とは異なり、表示パネル用ステー２４とＦＰＣ用ステージ３５との間にＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂの配置スペースを確保する必要がない。この場合には、表示パネル用ステージ２４とＦＰＣ用ステージ３５との間の間隔を比較的小さくし、これによりＦＰＣ用ステージ３５の移動距離も小さくすることが可能になるなため、ＦＰＣ用ステージ３５の移動に伴って生じる透明電極端子８６および金属電極端子８７とスルーホール９３との位置ずれ量は、従来の場合よりも小さくなる。したがって、透明電極端子８６および金属電極端子８７とスルーホール９３とを高い精度で位置合わせすることが可能となるのである。
【００６３】
さらに、本実施の形態では、ＦＰＣ用ステージ３５の移動距離の短縮に基づき、ＦＰＣ用ステージ３５の移動スペースが小さくて済むため、従来の場合よりも装置の小型化およびこれに伴う低コスト化を図ることができる。この装置の低コスト化は、特に、上記したＦＰＣ用ステージ３５の移動距離の短縮に基づく他、例えば、（１）複雑な光学系を有する高価な上下方向同時観察方式のＣＣＤカメラに代えて、簡略な光学系を有する安価な一方向観察方式のＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂを用いた点、（２）ＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂに関して、観察位置から退避位置に移動する移動機構が不要になる点、（３）位置合わせ作業にアライメントマークを使用しないため、表示パネル８０やＦＰＣ９０にアライメントマークを設ける必要がなく、アライメントマークを設けるスペース分だけ表示パネル８０やＦＰＣ９０を小型化可能な点などに基づいても実現される。
【００６４】
また、本実施の形態では、図１に示したように、天板３２からＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂを吊り下げるようにしたので、天板３２により、鉛直方向（図中のＺ軸方向）に延在するように上方からＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂが支持され、鉛直方向におけるＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂの静止安定性が確保される。したがって、例えば、水平方向（Ｘ軸方向）に延在するように側方からＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂを支持した場合と比較して、鉛直方向の振動等に起因するＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂの位置ずれが抑制されるため、観察時の焦点ずれを防止することができる。
【００６５】
また、本実施の形態では、粗動２軸ステージ２１および微動２軸ステージ２２を含んで表示パネル装着機構２０を構成したので、例えば、図１０に示したように、一端側最末端の透明電極端子８６Ａの位置を基準位置Ｐに一致させる際、粗動２軸ステージ２１による比較的大きなピッチの移動機構および微動２軸ステージ２２による比較的小さなピッチの移動機構の双方を随時利用することにより、粗動２軸ステージ２１または微動２軸ステージ２２の一方のみを含む場合と比較して、表示パネル用ステージ２４をより簡便かつ短時間で移動させることができる。
【００６６】
また、本実施の形態では、図７に示したように、複数の吸引孔７４による吸引機構を利用してブロック７０Ｘ，７０ＹにＦＰＣ９０を装着するようにしたので、一式のブロック７０Ｘ，７０Ｙに、互いに異なる平面構成を有する複数種類のＦＰＣ９０を装着させることが可能になる。したがって、ＦＰＣ９０の種類に対応した数だけブロックを準備する必要がないため、この観点においても装置の低コスト化に寄与することができる。
【００６７】
また、本実施の形態では、図１０〜図１２に示したように、複数の透明電極端子８６および複数の金属電極端子８７の位置と複数のスルーホール９３の位置とを一致させる際に、一端側最末端の透明電極端子８６Ａの位置を基準位置Ｐに一致させた状態から、Ｘ軸方向およびＹ軸方向への移動機構を利用してＦＰＣ用ステージ３５を移動させることにより、一端側最末端の透明電極端子８６Ａの位置に一端側最末端のスルーホール９３Ａの位置を一致させたのち、基準位置Ｐ（軸線Ｓ）を中心とする回転機構を利用してＦＰＣ用ステージ３５を移動させることにより、他端側最末端の透明電極端子８６Ｚの位置に他端側最末端のスルーホール９３Ｚの位置を一致させるようにしている。この場合には、ＦＰＣ用ステージ３５を移動させるためにＸ軸方向およびＹ軸方向への移動機構のみを利用する場合と比較して、複数の透明電極端子８６および複数の金属電極端子８７の位置と複数のスルーホール９３の位置とを一致させる手順が簡略化される。したがって、位置合わせ作業に要する作業時間の短縮し、これにより位置合わせ工程の低コスト化を図ることができる。また、高価な画像認識システム等を用いることなく、ＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂを利用した肉眼観察手法を用いて位置合わせ作業を行うことが可能なため、この観点においても装置の低コスト化に寄与することができる。
【００６８】
また、本実施の形態では、高倍率かつ小型の固定焦点マクロレンズ４３を含む２つのＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂを使用するようにしたので、１台の大型ズーム式カメラを使用する場合とは異なり、ズーム切替を行うことなく簡便に２つの観察領域（一端領域Ｔ１，他端領域Ｔ２）を観察することができると共に、互いに近接した複数の微細なスルーホール９３を高倍率で観察することができる。また、装置全体の軽量化を図ることもできる。
【００６９】
また、本実施の形態では、図８に示したように、ブロック７０Ｙ（ブロックパーツ７３Ｃ，７３Ｄ）に装着されたＦＰＣ９０の配線部９２Ｙが部分的に凸状に変形している場合に、ブロックパーツ７３Ｆに設けられた吸引孔７４を利用して部分９２ＹＰを吸引することにより、配線部９２Ｙを部分的に凹状に変形させるようにしたので、表示パネル８０にＦＰＣ９０を接続させる際に妨げとなる配線部９２Ｙの変形形状が矯正される。したがって、表示パネル８０にＦＰＣ９０を正常に接続させることができる。また、ブロック７０ＹにＦＰＣ９０を装着したのちにおいても配線部９２Ｙの変形形状を矯正可能端点に基づき、主に部分９２ＹＰ周辺部の寸法に関するＦＰＣ９０の許容可能な製造誤差範囲を広げることができる。
【００７０】
また、本実施の形態では、上記（β）式の条件を満たす配設個数となるように複数のスルーホール９３が設けられたＦＰＣ９０を用いるようにしたので、透明電極端子８６および金属電極端子８７やスルーホール９３の配置位置ずれに起因して位置合わせ不良を生じることなく、透明電極端子８６および金属電極端子８７とスルーホール９３とを確実に位置合わせすることができる。
【００７１】
なお、本実施の形態では、位置合わせ作業にＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂを利用するようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、表示パネル用ステージ２４に装着された表示パネル８０やＦＰＣ用ステージ３５に装着されたＦＰＣ９０の装着方向に応じて、複数のＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃのうちの任意の２つの組み合わせを用いることが可能である。いずれの組み合わせを用いた場合においても、上記実施の形態と同様の位置合わせ作業を行うことが可能となり、同様の効果を得ることができる。
【００７２】
また、本実施の形態では、複数の透明電極端子８６および複数の金属電極端子８７の位置と複数のスルーホール９３の位置とを一致させるために、表示パネル用ステージ２４を静止させたまま、ＦＰＣ用ステージ３５を移動させるようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、ＦＰＣ用ステージ３５を静止させたまま、表示パネル用ステージ２４を移動させるようにしてもよいし、あるいは表示パネル用ステージ２４およびＦＰＣ用ステージ３５の双方を移動させるようにしてもよい。いずれの場合においても、表示パネル装着機構２０の回転移動機構またはＦＰＣ装着機構３０の回転移動機構を利用することにより、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００７３】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形可能である。具体的には、アライメント調整装置１００の構成やそのアライメント調整装置１００を使用したアライメント調整方法の手順に関する詳細は、必ずしも上記実施の形態において説明したものに限られるものではなく、ＦＰＣ用ステージ３５を挟んで表示パネル用ステージ２４と反対側に配置されたＣＣＤカメラ４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃを使用することにより表示パネル８０およびＦＰＣ９０を観察し、その観察映像に基づいて複数の透明電極端子８６および複数の金属電極端子８７と複数のスルーホール９３とを位置合わせすることにより高精度な位置合わせ作業を実現可能な限り、自由に変更可能である。
【００７４】
また、例えば、上記実施の形態では、有機ＥＬディスプレイを構成する表示パネル８０の透明電極端子８６および金属電極端子８７とＦＰＣ９０のスルーホール９３との位置合わせ作業に本発明を適用する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、表示パネル８０およびＦＰＣ９０と同様の接続機構を有する他のディスプレイに本発明を適用するようにしてもよいし、あるいはディスプレイ以外の他の機器に本発明を適用するようにしてもよい。いずれの場合においても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００７５】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１ないし請求項１３のいずれか１項に記載のアライメント調整装置または請求項１４ないし請求項２６のいずれか１項に記載のアライメント調整方法によれば、第２の保持手段を挟んで第１の保持手段と反対側に配置された観察手段を用いて表示パネルの接続端子および配線基板の接続孔を観察しながら、位置合わせ手段を用いて電極端子と接続孔とを位置合わせするようにしたので、第１および第２の保持手段の間に観察手段が配置される場合と比較して、第１および第２の保持手段の間の間隔が狭くなり、これにより表示パネルと配線基板との接続時における第１または第２の保持手段の移動距離が小さくなる。したがって、例えば接続端子と接続孔とを正常に位置合わせ可能な正規の移動軸から第１または第２の保持手段の移動軸がずれていたとしても、その移動に伴う位置ずれ量がより小さくなるため、接続端子と接続孔とを高精度に位置合わせすることができる。また、移動距離の短縮に基づき、第１または第２の保持手段の移動スペースが小さくて済むため、装置の小型化および低コスト化を図ることもできる。
【００７６】
また、請求項４記載のアライメント調整装置または請求項１７記載のアライメント調整方法によれば、基準位置に第１の接続端子が位置する状態から、移動機構を利用して第１の接続端子の位置と第１の接続孔の位置とを一致させると共に、基準位置を中心とする回転機構を利用して第２の接続端子の位置と第２の接続孔の位置とを一致させたのち、移動機構を利用して第１の接続孔に第１の接続端子を挿通させると共に、第２の接続孔に第２の接続端子を挿通させるようにしたので、移動機構のみを利用する場合と比較して、複数の接続端子の位置と複数の接続孔の位置とを一致させる手順が簡略化される。したがって、位置合わせ作業に要する作業時間を短縮し、位置合わせ工程の低コスト化を図ることができる。
【００７７】
また、請求項１０記載のアライメント調整装置または請求項２３記載のアライメント調整方法によれば、支持手段を用いて観察手段を吊り下げるようにしたので、この支持手段により上方向から観察手段が支持され、鉛直方向における観察手段の静止安定性が確保される。したがって、例えば水平方向から観察手段を支持した場合と比較して、鉛直方向の振動等に起因する観察手段の位置ずれが防止されるため、観察時の焦点ずれを防止することができる。
【００７８】
また、請求項１２記載のアライメント調整装置または請求項２５記載のアライメント調整方法によれば、保持具の形状矯正機構を利用し、配線基板の変形箇所を吸引することにより配線基板を矯正するようにしたので、表示パネルと配線基板とを接続させる際に妨げとなる配線基板の変形形状が矯正される。したがって、表示パネルと配線基板とを正常に接続させることができる。
【００７９】
また、請求項１３記載のアライメント調整装置または請求項２６記載のアライメント調整方法によれば、各接続端子間の配列ピッチ誤差と各接続孔間の配列ピッチ誤差とが接続端子と接続孔とを位置合わせするために必要な許容誤差範囲となるような個数だけ接続孔が設けられた配線基板を用いるようにしたので、接続端子や接続孔の配置位置ずれに起因して位置合わせ不良を生じることなく、接続端子と接続孔とを確実に位置合わせすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るアライメント調整装置の外観構成を表す図である。
【図２】図１に示したアライメント調整装置の平面構成を表す平面図である。
【図３】ブロックの平面構成を拡大して表す平面図である。
【図４】表示パネルおよびＦＰＣの概略断面構成を表す断面図である。
【図５】ＦＰＣの平面構成を拡大して表す平面図である。
【図６】表示パネルに対するＦＰＣの接続配列パターンを説明するための図である。
【図７】ブロックに対するＦＰＣの装着手順を説明するための図である。
【図８】ブロックによるＦＰＣの形状矯正機構を説明するための断面図である。
【図９】位置合わせ作業時にモニタに表示される観察映像を模式的に表す図である。
【図１０】透明電極端子とスルーホールとの位置合わせ手順を説明するための図である。
【図１１】図１０に続く手順を説明するための図である。
【図１２】図１１に続く手順を説明するための図である。
【図１３】表示パネルとＦＰＣとの接続手順を説明するための図である。
【符号の説明】
１…ベース、１０…位置合わせ機構、２０…表示パネル装着機構、２１…粗動２軸ステージ、２２…微動２軸ステージ、２３…回転ステージ、２４…表示パネル用ステージ、３０…ＦＰＣ装着機構、３１…コラム、３２…天板、３３…４自由度アクチュエータ、３４…フレーム、３５…ＦＰＣ用ステージ、４０…観察機構、４１…微動３軸アクチュエータ、４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ…ＣＣＤカメラ、４３…固定焦点マクロレンズ、４４…２直角偏向プリズム、５０…モニタ、６０…操作パネル、７０Ｘ，７０Ｙ…ブロック、７１…ブロックベース、７２…固定ネジ、７３Ａ〜７３Ｆ…ブロックパーツ、７４…吸引孔、８０…表示パネル、８１…ガラス基板、８２…透明電極、８３…有機ＥＬ膜、８４…金属電極、８６（８６Ａ，８６Ｂ，８６Ｙ，８６Ｚ）…透明電極端子、８７…金属電極端子、９０…ＦＰＣ、９１Ａ〜９１Ｄ…接続部、９２Ｘ，９２Ｙ…配線部、９３（９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｙ，９３Ｚ）…スルーホール、１１０…接着剤、１２０…半田ボール、１８０…有機ＥＬ発光素子、Ｐ…基準位置、Ｒ１〜Ｒ１６…パネルエリア、Ｓ…軸線。
【図１】
2004021003.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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