(57)【要約】【課題】ＬＣＤ，ＰＤＰ等の板状搬送物を搬送するに際して、搬送中に基板に傷をつけることなく搬送できるローラコンベアを提供する。【解決手段】各支軸３０の左右両端に回動ローラ３を設け、これを並設することで搬送路ａを構成している。搬送路ａの中間部には空気吹き出し路４を配置し、これを搬送路ａの全長に亘って設置してある。空気吹き出し路４の上面は通気性を有する平らな多孔面４ａと成し、ここから空気を噴出して同多孔面４ａの上を移動する板状物ｂの下面に向けて噴出し、両者の間に薄い空気層を作り、板状物ｂの中央部を非接触状態にて浮上した状態とする。即ち、板状物ｂの中央部が薄い空気層により非接触状態を維持できるので、搬送がスムースで、また搬送工程において板状物ｂに擦り傷等のダメージを与えることを回避できる。【選択図】  図１
2004196482.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物を略水平に搬送するローラコンベアであって、左右両側のフレームの間に支軸を架設して回転自在に軸受し、この支軸をコンベア搬送方向へ適宜間隔を置いて並設すると共に、各支軸を駆動機構により回動自在に構成し、上記各支軸の両端部には所定径の回動ローラを取り付けて各々支軸に固定し、これら支軸両端の回動ローラの上で板状物の両側縁部を支承するようにして搬送路を成し、上記搬送路の幅方向の中間部に沿って気密性を保持した空気吹き出し路を配置して同搬送路の略全長に亘って設置し、該空気吹き出し路の上面は適宜な通気性を有する平らな多孔面と成し、同空気吹き出し路内に供給される空気を空気吹き出し路の上面の多孔から噴出するように構成し、上記各回動ローラ外周の最上部のレベルに対し、上記空気吹き出し路上面の多孔面のレベルを所定量下げて成るローラコンベア。
【請求項２】
上記搬送路の一側に沿って長軸状の駆動磁気車を配置して回転自在に軸支すると共に、各支軸の一端部に従動磁気車を取り付け固定して一線状に並列し、上記駆動磁気車と各従動磁気車とが略直交するように配置して、これら従動磁気車の外周と、駆動磁気車の外周とを近接せしめ、上記駆動磁気車の支軸を駆動源に連絡して各従動磁気車を同期させて駆動回転するように構成して成る請求項１記載のローラコンベア。
【請求項３】
上記駆動磁気車と、支軸端部の各従動磁気車と、これら磁気車の軸受部とを、コンベア一側のフレームの外側に配置して成る請求項２記載のローラコンベア。
【請求項４】
上記搬送路に架設される支軸の中間部に支承ローラを装着し、この支承ローラの外周面最上部のレベルを上記回動ローラ外周の最上部のレベルと同じく成るように構成した請求項１乃至３記載の何れか１項記載のローラコンベア。
【請求項５】
多孔面からの空気の吹き出しにより、搬送路上を搬送されるパネルの略中央部を浮上させ、その浮上レベルを左右の回動ローラ外周の最上部同士を結ぶ仮想線よりも上方となるように構成した請求項１乃至４記載の何れか１項記載のローラコンベア。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、薄く弱い板状物、例えば液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネル等の板状物を搬送するローラコンベアに関する。
【従来の技術】
【０００２】
図１１（ａ），（ｂ）は、板状物を搬送する従来のローラコンベアである。このローラコンベア１００は左右両側部にフレーム１０１を設置してある。これらのフレーム１０１間に支軸１０２を架設し、ローラコンベア１００の搬送方向へ向けて適宜な間隔を置いて並設してある。各支軸１０２の両端部には板状物の側縁を支承するローラ１０６を取り付け固定し、支軸１０２と一体化して回動するように構成してある。
また、上記した各支軸１０２の略中央部分には、上記ローラ１０６と同径な中央ローラ１０３を設け、支軸１０２に対して自由に回動するように構成してある。また、上記した各支軸１０２の一端部には、ベルトやチェーン、歯車等の駆動伝達機構（図示せず）が内設して、各支軸１０２及びローラ１０６，中央ローラ１０３を同期した状態で駆動回転するように構成してある。
【０００３】
上記したように支軸１０２の両端部に設けたローラ１０６の外側周囲にはガイド部１０６ａを突出形成し、板状物の左右両縁部を下から支承すると同時に、同ガイド部により板状物の幅方向のずれをガイドし、搬送路上の板状物が水平を保ち真っ直ぐに移動するように構成してある。
ところで、上記したように構成したローラコンベア１００を用いて液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルの基板を搬送する際には、基板の左右両側縁部位を各支軸１０２の両端に設けたローラ１０６の外周面上にて支承し、且つ同ローラの駆動回転に伴って搬送路上を移動して行く。
この際、薄くて幅のある基板は中央部が下がるように変形しようとするが、搬送路の中央部に沿って設けた各中央ローラ１０３に下から支承され、略平面的な形状を維持した状態で搬送される。
【０００４】
【特許文献１】
特願2000−373954号，特願2001-130766号，特願2001-115669号
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように構成したローラコンベア１００は液晶ディスプレイパネル（略0.5mm〜0.7mm程）やプラズマディスプレイパネル（略2.8mm）の基板のように大型で肉薄の板材を搬送することを前提として構成してあるが、幅1200mm〜1500mm程度の幅があるため、基板の中央が下がるように変形して搬送路の中央部に配置した中央ローラ１０３の外周面と常に接触した状態で搬送されることになる。しかし、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルの基板は強度が低くさらに傷付き易いので、基板の中央部が上記中央ローラとの接触により擦り傷が付くことがあり、場合によっては高価な基板が不良品となってしまうことも有り得る。
【０００６】
本発明は上記した如き従来事情に鑑みなされたものであり、その課題とする処は、上記したような液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネル等の基板を搬送するに際して、搬送中に基板に傷をつけることなく且つ低発塵で確実に搬送できるローラコンベアを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記した課題を解決するために、本発明のローラコンベアは、左右両側のフレームの間に支軸を架設して回転自在に軸受してある。支軸はコンベア搬送方向へ適宜間隔を置いて並設することにより、搬送路を構成する。また、各支軸は駆動機構により連繋した状態で回動するように構成してある。
各支軸の両端部には所定径の回動ローラを取り付けて支軸に固定し、各支軸の両端に設けた回動ローラの外周面上にて板状物の両側縁部を支承しつつ同回動ローラが駆動回転して板状物を順次搬送する。
【０００８】
搬送路の中間部に沿っては気密性を保持した空気吹き出し路を配置してある。この空気吹き出し路は搬送路の略全長に亘って設置してある。
空気吹き出し路の上面は適宜な通気性を有する平らな多孔面と成し、空気吹き出し路内に圧搾空気を供給することにより空気吹き出し路内の気圧が高まり、平坦な多孔面から全面的に空気が吹き出る。多孔面から吹き出した空気はその上を通過する基板を押し上げて多孔面との間に薄い空気層を作り、搬送の間、基板の中央部を浮上せしめて非接触状態を保つ。
また、上記したように多孔面からの噴出空気により中央部が浮上する基板の左右両側の縁部は、支軸両端に設けた回動ローラの外周面により下から支承され、同回動ローラの駆動回転に伴って搬送路上を搬送されて行く。
尚、上記した空気吹き出し路の幅は任意に変更してもよいが、搬送路の中央部分に沿って設置するのが好ましい。
【０００９】
請求項２記載のローラコンベアは、上記した請求項１記載のローラコンベアにあって、搬送路の一側に沿って長軸状の駆動磁気車を配置して回転自在に軸支してある。また、各支軸の一端部には従動磁気車を装着して一線状に並列する。
そして、平面視において上記従動磁気車の外周面に上記駆動磁気車が略直交し、さらに両磁気車の周面同士を近接せしめる。したがって、上記駆動磁気車を駆動源により駆動回転させると、その磁界の移動に伴って各従動磁気車が追動して回転し、各支軸と各回動ローラとが同期して駆動回転する。
尚、請求項３及び請求項５の説明は後述する発明の実施態様の欄で合わせて説明する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
図１乃至図３は、本発明を実施したローラコンベアＡを示している。このローラコンベアＡは、脚１１により支持した左右両フレーム１ａ，１ｂを具備し、このフレーム１ａ，１ｂの間に回動ローラ３を装着する支軸３０が並設してある。左右の両フレーム１ａ，１ｂはアルミを押出して成る長尺状の板状体であり、図２の断面に視るように、中空部１１ａやボルト，ナット，止着金具等を内装するための切欠溝１１ｂ等を形成して肉抜きしてある。これらフレーム１ａ，１ｂの下部同士の間には連結杆１ｃを横架して、左右のフレーム１ａ，１ｂを連結している。
【００１１】
尚、本実施例のローラコンベアＡは幅700mm〜８００mm，及び1200mm〜1500mm程度のパネルを搬送する仕様であり、例えば液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルの基板、すなわち複数のパネルに分割する前の状態のものを搬送する。また、ローラコンベアＡはクリーンルーム内に設置することが多いため、塵の発生等は極力避ける工夫がなされている。尚、本実施例のローラコンベアＡの上流端と下流端とには、同様なローラコンベアを接続する場合や他の移送装置を接続する場合とがある。
【００１２】
上記した左右両フレーム１ａ，１ｂに沿っては合成樹脂等から成る軸受体７を定間隔を置いて配置し、ボルト７１を用いてフレーム１ａ，１ｂの側部に取り付け固定する。そして左右一対となる軸受体７同士の間に回動ローラ３の支軸３０を架設し、該支軸３０の両端にて回動ローラ３を保持する。
上記した各回動ローラ３の支軸３０は、自重により中央部が垂れ下がるのを回避するためにパイプ状の中空軸としてある。支軸３０は図２，図３，図５にて示すように両端部に嵌装したベアリング３１をフレーム１ａ，１ｂに取り付け固定した軸受体７のＵ字部凹部７２に押し込んで嵌入し、そのＵ字部凹部７２の下部に形成した円弧部７３にピッタリと嵌合した状態で軸受している。
即ち上記したＵ字凹部７２の幅はベアリング３１の直径より若干小さく形成し、また円弧部７３はベアリング３１の直径と略一致するように構成する。これにより、支軸３０を軸受するベアリング３１は軸受体７のＵ字凹部７２の幅を押し広げながら円弧部７３内にピッタリと嵌まった状態にて保持される。
【００１３】
図５にて示す軸受体７’は上記した軸受体７と同様な機能を具備しているが、直径の異なる２種類のベアリングを嵌装できるように構成してある。即ち、軸受体７の一方に上記した軸受体７と同一なＵ字凹部７２を形成すると共に、反対側に小径なＵ字凹部７４を形成すると共に、その奥部に小径なベアリングを同様に嵌装するための円弧部７５を形成して成る。この軸受体７’は大小２種類のベアリングを装着することができるので、支軸の径を変更する必要が生じた場合等に有効である。
【００１４】
両端部に回動ローラ３を固定した支軸３０を両フレーム１ａ，１ｂの各軸受体７間に順次架設すると、各支軸３０とこれらの左右両端部に設けた回動ローラ３とがローラコンベアＡの搬送方向へ向けて一定の間隔をおいて並列する。また、各支軸３０の右側端と左側端とには所定の幅、即ちパネルｂの幅と略同じ間隔をおいて配置した回動ローラ３が搬送方向へ並列し、パネルｂを搬送するための搬送路ａを構成する（図１，図２）。
【００１５】
搬送路ａの左右両側に並列する回動ローラ３は、例えばポリアセタールやポリエチレン等の合成樹脂からなり、ローラ外周３ａの外側の縁に沿ってガイド鍔３ｂを周設してある。また、上記ローラ外周３ａには溝を凹設して滑り止め用のＯリング３ｃを嵌装してある（図６）。即ち、パネルｂの搬送路ａの幅は左右回動ローラ３に周設したガイド鍔３ｂ間の幅となり、その幅はパネルｂの幅よりも若干広く設定してパネルｂが搬送される際に、搬送路ａ上を略一直線に搬送されるように構成してある。尚、上記したＯリング３ｃは必ずしも設ける必要はなく、ローラの外周面でパネルｂを支承するように構成してもよい。
【００１６】
上記した如く搬送路ａを構成する支軸３０の一端部、この実施例の場合右側端部は、軸受体７から外側へ延出し、この延出部に従動磁気車５を取り付け固定してある。尚、従動磁気車５の構成は後で詳しく説明する。
また、上記右側フレーム１ａの外側部には長軸状に構成される駆動磁気車６を設置する。右側フレーム１ａの外側面には、軸支持体８を適宜な間隔を置いて取り付け固定し、これら軸支持体８のベアリング付き挿通孔８ａに長軸６０を順次挿通して軸受する。この長軸６０には所定の間隔を置いて駆動磁気車６を配設し、各従動磁気車５の真下に位置するように構成してある（図２，図５）。
尚、上記した駆動磁気車６は幅の狭い２個の磁気車同士を２個並べて一体化して使用することにより、コストを抑えつつ従動磁気車５の径に対応した長さを確保することによりトルクを増大せしめている。
【００１７】
図６は、駆動磁気車６と従動磁気車５との配置と方向を表している。
駆動磁気車６は右側フレーム１ａの外側に沿って平行となるように沿設してある。上述したように、各従動磁気車５は支軸３０を搬送路ａの幅方向へ向けて回転自在に軸支してあり、相手となる各駆動磁気車６の真上に位置せしめている。そして、駆動磁気車６の外周と従動磁気車５の外周とが若干の隙間を介して接近し、且つ平面視において互いの軸芯同士が直交するように設置してある。
【００１８】
上記した駆動磁気車６は、Ｍn −Ａl 磁石等の永久磁石からなり、筒状に形成した周面に、Ｎ極帯６ｎとＳ極帯６ｓとを螺旋状に着磁することにより構成してある。この駆動磁気車６は、長尺状の長軸６０を具備し、この長軸６０に所定の間隔を置いて装着してある。
一方、支軸３０の一端に装着される従動磁気車５は、上記した駆動磁気車６と同様に、筒状に形成した周面にＮ極帯５ｎとＳ極帯５ｓとを螺旋状に着磁してある。
上記駆動磁気車６は、ＮＳ両極帯６ｎ，６Ｓのピッチ、即ち、螺旋ピッチは、支軸３０の端部に設けた従動磁気車５のＮＳ両極体５ｎ，５ｓの両螺旋ピッチに一致させてある。
【００１９】
よって、上記したように磁気車５，６を利用した駆動機構にあっては、駆動磁気車６のＮＳ両極帯６ｎ，６ｓと、従動磁気車５のＮＳ両極体５ｎ，５ｓとは、磁界による吸引力により常時最接近した状態を維持しようとする。即ち、長軸６０と共に駆動磁気車６を駆動回転させると、螺旋状に構成されるＮＳ両極帯６ｎ，６ｓの範囲は、回転に伴って駆動磁気車６の軸芯方向へ向けて連続的に移動する。
【００２０】
一方、各従動磁気車５は、上記駆動磁気車６と平面視において軸芯が略直交し、且つＮＳ両極帯５ｎ，５ｓを周面に沿って交互に配置してあるため、駆動磁気車６のＮＳ両極帯６ｎ，６ｓの螺旋移動を追って順次移動して回転する。
これにより、駆動磁気車６の磁力と各従動磁気車５の磁力が互いに作用して回転力を作り、これら従動磁気車５を取り付けた各支軸３０及び回動ローラ３を同一方向へ駆動回転せしめてパネルｂを搬送するための駆動力を得る。
ちなみに、駆動磁気車６を逆方向に回転させると、各従動磁気車５及び支軸３０，回動ローラ３も逆方向に回転する。
【００２１】
支軸３０及び回動ローラ３を回動せしめる従動磁気車は、図７にて示すように構成してもよい。この従動磁気車５’は、従動磁気車の周面に沿ってＮ極５ｎとＳ極５ｓとを交互に着磁したものである。支軸３０に設ける従動磁気車５’は、上記したもののようにＮ極とＳ極とを上記した如く配置しても、前述した従動磁気車５と同様に駆動回転する。従って、非接触で駆動伝達しているため、従来の駆動伝達機構と比較して、格段に発塵を抑えることができる。
尚、上述した磁気車は、特願平5-290500号，特願平2001−624001号等にて開示される磁気車と同様なものである。
【００２２】
上記した長軸６０の始端部側には駆動源５０を設置してある。駆動源５０はギヤケース５３を具備し、これをフレーム１ａ始端の側部に取り付け固定してある。駆動モータ５１は上記ギヤケース５３に取り付け固定し、歯車列５２を介してモータ出力軸５４と長軸６０との間を連絡している（図１）。
本発明のローラコンベアＡは、上記したように回動ローラ３を支持する支軸３０の右側端に装着した各従動磁気車５とその軸受体７、さらに各駆動磁気車６，長軸６０と支軸受け８を右フレーム１ａの外側に配置し、上記駆動部から出やすい塵がフレーム１ａを境にして搬送路ａ側へ侵入することを防止している。また、上記した構造は右側フレーム１ａの外側カバー５５にて全面的に覆うことにより、塵の影響でパネルの搬送に不具合が生じないように万全の配慮をしている。尚、外側カバー５５より空気を吸引することにより、より高いクリーン度が得られることは言うまでもない。
【００２３】
上記した如く構成した搬送路ａの中央部には空気吹き出し路４を同搬送路ａの全長に亘って設けてある。空気吹き出し路４は搬送方向へ向けて長い箱形状の通気路４ｂと、該通気路４ｂの上に定間隔を置いて５個の気密ケース４ｃを並設して成る。この気密ケース４ｃと上記した通気路４ｂとは接合面の孔を介して連通しており、通気路４ｂの下面中央に設けた空気供給口４ｄから供給される空気を通気路４ｂから各気密ケース４ｃ内へ供給するように構成してある。本実施例の場合、上記気密ケース４ｃは搬送方向へ５個等間隔にて並設してある（図１，図３）。尚、上記した空気吹き出し路４を構成する通気路の幅は任意に変更しても良いが、上記実施例のように、搬送路の１／３程度に設定したものが良好な結果が得られた。
【００２４】
各気密ケース４の上面開口は蓋体４ｅにより閉塞される。この蓋体４ｅの上面には小孔を全面にわたって穿設することにより穿孔面４ａを構成してある。この穿孔面４ａに穿設された小孔からは供給された気密ケース４ｃ内に供給された空気が吹き出す。吹き出した空気は搬送路ａ上を搬送されるパネルｂの下面に向けて噴出し、穿孔面４ａとパネルｂの下面との間に薄い空気層が出来てパネルｂの中央部を無接触状態で浮上させるように構成してある（図８）。ちなみに上記気密ケース４の内部は０．１〜１．０ kＰa程度の静圧を保つように設定してある。
上記した蓋体４ｅは０．４mm程度のステンレス板から成り、本実施例の場合、直径0.5mmの孔を１mmのピッチで穿設してあるが、これらの数値や材質等は適宜に変更してもよい。
また、上記した気密ケース４ｃの下面に設けた吸気供給口４ｄにはブロワー等の空気供給装置（図示せず）に連絡する給気ホース４１を接続して空気の供給を行なっている。
尚、空気供給口４ｄから供給される空気は当然クリーン度の高い空気であることは言うまでもない。
【００２５】
また、多孔面を構成する多孔材は上記したように金属に小径な孔４ａ'を多数穿設したものを使用する他に、フィルターや繊維質等の多孔質体を使用してもよい。例えば気孔径が５μ〜１００μのＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）や気孔径５μ〜３０μの超高密度ポリエチレン等の気孔素材を用いても同様な効果が得られる。
但し、この場合はクリーンな圧縮空気を用いればより効果が期待できる。
【００２６】
上記したように構成した気密ケース４は空気噴出ユニット４０となっており、この実施例の場合、１つの空気噴出ユニット４０に５個ずつの気密ケース４ｃを装着してある。また、本実施例の場合、上記した空気噴出ユニット４０はローラコンベアＡの搬送路ａの中央に沿って２個の空気噴出ユニット４０を直列に接続してある。この空気噴出ユニット４０はローラコンベアの全長寸法に応じて増減するものである。したがって、図４にて示すローラコンベアＡ'のように３個の空気噴出ユニットを接続してもよい。また、上記実施例では気密ケース４ｃの空気噴出ユニット４０を搬送路ａに１列設けたが、搬送路の幅が広い場合は搬送路に２列以上の空気噴出ユニットを並列してもよい。
【００２７】
搬送路ａに沿って並設した支軸３０における空気噴出ユニット４０の左右両側に近接した部位にはベアリング４６付きの支承ローラ４２を回転自在に取り付け支持してある。支承ローラ４２は上記気密ケース４ｃ上面の多孔面４ａから吹き出る空気が何らかの原因で停止した場合に、降下するパネルｂ中央部を下から支えるものである。
よって各支承ローラ４２外周の最上部のレベルは、左右両側の回動ローラ３最上部、即ちＯリング３ｃ同士を結んだ仮想水平線Ｌと同じレベルであり、且つ多孔面４ａよりも２mm〜３mm上に位置する程度に設定する。
さらに、各空気噴出ユニット４０から吹き出る空気により搬送路ａ上のパネルｂ中央部のレベルｃ１が仮想水平線Ｌよりも上に浮上するように構成する。具体的には、上記レベルｃ１は仮想水平線Ｌと極めて接近したレベルか、若しくは仮想水平線Ｌから２mm程度までの範囲で浮上するように構成するのが最適である。尚、上記した支承ローラ４２はパネルｂの幅に応じてその設置数や設置位置は任意に変更してもよい。また、ローラの形状や材質も適宜に変更してもよい。
【００２８】
上記した如く構成したローラコンベアＡにより液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネル等の薄板状のパネルｂを搬送する際の説明をする。
パネルｂは、上記ローラコンベアＡの上流側から始端部に搬入されると、その左右両側端部が左右両回動ローラ３に乗り上げて下から支承される。この際、同パネルｂは駆動回転する回動ローラ３の外周３ａに嵌装した軟質合成樹脂やゴム等からなるＯリング３ｃに最小限の接触面、即ち線接触的に接触して下流側へ向けて送られる。
【００２９】
パネルｂが搬送路ａ上に移動したと同時に、空気吹き出し路４から上方へ向けて噴出する空気が同バネルｂの下面中央部に当たって同パネルｂ中央部を浮上させる。この際、パネルｂ中央部の浮上レベルは、前記したように、仮想水平線Ｌよりもｃ１の分、即ち１mm〜２mm程度の範囲で吹き上げられ、中央部が上に盛り上がる形で浮上する（図８）。
上記したように搬送路ａ上に搬入されたパネルｂは、中央部が浮上した状態にて左右両側部位を回動ローラ３により支承されつつ前進する。この際、パネルｂが左右に移動すると、左右の回動ローラ３に周設したガイド鍔３ｂの内側に当接して中央へ戻される。パネルｂはこのような動きを繰り返しながら搬送路ａの終端から下流側へ向けて搬送される。
【００３０】
また、上記したように搬送路ａの上をパネルｂが搬送されている最中に空気噴出ユニット４０から吹き出される空気が何らかの理由で停止してしまった場合、パネルｂの中央部は降下するが、左右の支承ローラ４２の上に接触し、同支承ローラ４２が回転することによりパネルｂが下からスムースに支承され、回動ローラ３の駆動力により下流側の搬送エリアに移行する。
上記したようなトラブルが発生した場合、左右の両支承ローラ４２によりパネルｂの中央部が支承ローラ３により下から支承されることにより、パネルｂが空気噴出ユニット４０の多孔面４ａ上に触れて擦れるようなことを防止することができる。即ちパネルｂが上記多孔面４ａと擦れ合って傷がつき、不良品となる支障を回避することができる。
又、面接触より線接触にすることで、ダメージを軽減させることができる。
尚、上記パネルｂの左右両端はその後カットされるものであり、この位置に擦り傷等ができても支承はない。無論、本発明のローラコンベアは上記したような液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネル以外の板状物の搬送にも利用できる。
【００３１】
【発明の効果】
以上の如く、本発明のローラコンベアは、各支軸の両端部に所定径の回動ローラを取り付け固定し、該支軸をコンベアの搬送方向へ並設してある。そして、左右両側の回動ローラの上に板状物の両側縁部を支承するように成し、これにより板状物の搬送路を構成している。
また、上記搬送路の中間部に沿って空気吹き出し路を配置し、これを同搬送路の略全長に亘って設置している。空気吹き出し路の上面は通気性を有する平らな多孔面と成し、同空気吹き出し路内に供給される空気を多孔から噴出して同多孔面の上を移動する板状物の下面に対して噴出し、両者の間に薄い空気層を作り、板状物の略中央部を非接触状態にて浮上した状態として搬送路上をスムースに搬送する。
本願のローラコンベアによる搬送状態においては、板状物の左右両側縁部を回動ローラにより支承して同板状物を確実に搬送し得ると共に、自重により垂れ下がる板状物の中央部を多孔面から噴出する空気により薄い空気層を作り、搬送物を非接触状態にて支承するものであるから、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネル等の薄く弱い板状物を今までになく円滑に搬送することができる。
また、従来のローラコンベアにおいては中央ローラとの接触により板状物の中央に接触による擦り傷等ができてしまう不具合もあったが、本発明のローラコンベアにおいては、板状物の中央部が薄い空気層により非接触状態を維持できるので、搬送工程において板状物に擦り傷等のダメージを与えることを効果的に回避することがでてきる。
【００３２】
請求項２記載のローラコンベアは、請求項１記載のローラコンベアにおいて、搬送路の一側に沿って長軸状の駆動磁気車を配置して軸支すると共に、各支軸の一端部に従動磁気車を装着して一線状に並列にしてある。また、上記駆動磁気車と各従動磁気車とは略直交するように配置してあり、これら従動磁気車の外周と、駆動磁気車の外周とを近接せしめることにより、上記駆動磁気車を駆動源に連絡して駆動回転可能に構成して成るものである。
したがって、本発明のローラコンベアは駆動機構を磁気車により構成することにより、駆動ベルトの摩耗や発塵、接触騒音、接触抵抗発生することを一切無くし、さらに上述した噴出空気層を利用した浮上搬送と相俟って支軸の駆動回転を極めてスムースに行なうことができる。よって、ＬＣＤやＰＤＰ等の基板のクリーンで安全な搬送に極めて適している。
【００３３】
請求項３記載のローラコンベアは、上記請求項２記載のローラコンベアにおいて、各駆動磁気車と、支軸端部の各従動磁気車と、これら磁気車の軸受部とを一側のフレームの外側に配置したものであるから、仮に支軸の軸受部や駆動軸の軸受部から塵が発生しても、それはフレームの外側に位置するために、板状物が搬送される搬送路上まで塵が舞う可能性を低減し、製品に塵が付着するような不具合を低減することができる。
【００３４】
請求項４記載のローラコンベアは、搬送路に架設される支軸の中間部に支承ローラを回転可能に設置してある。そして、この支承ローラの外周面最上部のレベルと上記回動ローラ外周の最上部とを同じレベルにしてある。
したがって、板状物の搬送中に空気吹き出し路への圧搾空気の供給が停止した場合でも、空気層により浮上していた搬送中の板状物は、回動自在な支承ローラにて支承されて静かに移動を続けるので、空気の吹き出し機能が停止した場合でも搬送中の板状物が空気吹き出し路の多孔面に接触してダメージを受けることも回避できる。
【００３５】
請求項５記載のローラコンベアは、多孔面からの空気の吹き出しにより、搬送路上を搬送されるパネル中央部を浮上させ、その浮上レベルを左右の回動ローラ外周の最上部同士を結ぶ仮想線よりも上方となるように構成したものであるから、パネル中央部のレベルに余裕が生じ、搬送中の振動によりバネルの中央部が上下に振動しても、振動の最下位にて支承ローラや空気吹き出し路の多孔面に当接する不具合を確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施したローラコンベアを示す平面図。
【図２】図１におけるII-II線断面図である。
【図３】空気噴出ユニット部分を示す縦断側面図。
【図４】３つの空気噴出ユニットを接続した実施例を示す縦断側面図。
【図５】図１中のｆ部分を一部切欠して示す拡大側面図。
【図６】本発明を実施したローラコンベアに使用する磁気車と回動ローラを示す斜視図。
【図７】従動磁気車の外周にＳ極とｎ極とを交互に配置してなる従動磁気車とＳ極とｎ極とを螺旋に配置した駆動歯車とから成る磁気車を示す斜視図。
【図８】同ローラコンベアの縦断面図であり、パネルの浮上レベルを表している。
【図９】図１におけるｇ部分の拡大図。
【図１０】図２におけるｈ部分を拡大して示す縦断面図。
【図１１】（ａ）は従来のパネル搬送用のローラコンベアの搬送路を示す平面図，（ｂ）は（ａ）のX-X線断面図。
【符号の説明】
Ａ，Ａ’・・・ローラコンベア
ａ・・・搬送路
ｂ・・・パネル
１ａ，１ｂ・・・フレーム
３・・・回動ローラ
３０・・・支軸
４・・・空気吹き出し路
４ａ・・・多孔面
４ｂ・・・通気路
５・・・従動磁気車
６・・・駆動磁気車
７・・・軸受体
８・・・支軸受
４０・・・空気噴出ユニット
６０・・・長軸
【図１】
2004196482.tif 000003
【図２】
2004196482.tif 000004
【図３】
2004196482.tif 000005
【図４】
2004196482.tif 000006
【図５】
2004196482.tif 000007
【図６】
2004196482.tif 000008
【図７】
2004196482.tif 000009
【図８】
2004196482.tif 000010
【図９】
2004196482.tif 000011
【図１０】
2004196482.tif 000012
【図１１】
2004196482.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成15年2月7日(2003.2.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【特許文献１】
特願２０００−３７３９５４号
【特許文献２】
特願２００１−１３０７６６号
【特許文献３】
特願２００１−１１５６６９号