(57)【要約】【課題】ヨーイング等を抑え、高い位置決め精度を確保できる直進ステージのガイド機構を得る。【解決手段】レール部１１ａと、このレール部１１ａの幅よりも狭い幅を有するレール支持部１１ｂと、を有するガイドレール１１と、レール部１１ａの外周面上を囲繞し、レール支持部１１ｂが挿入されるスリット１２ａが形成された筒状のスライダ１２と、を有する直進ステージのガイド機構１０において、スリット１２ａにより形成された一対の開口端面１２ｄのそれぞれに第１噴出口２１を形成し、開口端面１２ｄと開口端面１２ｄに隣接したレール支持部１１ｂの側面１１ｄとの間に流体を流入させるようにした。【選択図】　図２
2004144155.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レール部と、このレール部に連結又は一体形成され、かつ前記レール部の幅よりも狭い幅を有するレール支持部と、を有するガイドレールと、
前記レール部の外周面上を囲繞し、前記レール支持部が挿入されるスリットが形成された筒状のスライダと、
を有し、
前記レール部の外周面及び前記レール支持部の側面と、前記筒状のスライダの内側面及び前記スリットにより形成された一対の開口端面との間に、前記スライダに形成された給気孔を介して、流体が流入することで前記ガイドレールと前記スライダとが非接触状態にされる直進ステージのガイド機構であって、
前記一対の開口端面の各々には、前記スライダの外側面側から供給された前記流体が流出する第１噴出口が形成され、前記開口端面と前記開口端面に隣接した前記レール支持部の側面との間に前記第１噴出口から流体が流入されることを特徴とする直進ステージのガイド機構。
【請求項２】
請求項１に記載の直進ステージのガイド機構において、
前記レール部は矩形状断面を有し、
この矩形状断面のレール部の上面と対向する前記スライダの内側面には、前記スライダの幅方向中央に対して対称な位置に一対の第２噴出口が形成され、
前記矩形状断面のレール部の下面と対向する前記スライダの内側面には、前記スライダの幅方向中央に対して対称な位置に一対の第３噴出口が形成されたことを特徴とする直進ステージのガイド機構。
【請求項３】
請求項１に記載の直進ステージのガイド機構において、
前記レール部は矩形状断面を有し、
この矩形状断面のレール部の上面と対向する前記スライダの内側面には、前記スライダの幅方向中央に第２噴出口が形成され、
前記矩形状断面のレール部の下面と対向する前記スライダの内側面には、前記スライダの幅方向中央に対して対称な位置に一対の第３噴出口が形成されたことを特徴とする直進ステージのガイド機構。
【請求項４】
請求項１に記載の直進ステージのガイド機構において、
前記第１噴出口が、前記スライダのスライド方向に所定間隔で複数形成されたことを特徴とする直進ステージのガイド機構。
【請求項５】
請求項２又は請求項３に記載の直進ステージのガイド機構において、
前記第２噴出口及び前記第３噴出口が、前記スライダのスライド方向に所定間隔で複数形成されたことを特徴とする直進ステージのガイド機構。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の直進ステージのガイド機構において、
前記ガイドレールの幅方向の一側に設けられ、前記ガイドレールの側面を付勢し前記ガイドレールを他側へ移動させるための一側治具と、
前記ガイドレールの幅方向の他側に設けられ、前記ガイドレールの側面を付勢し前記ガイドレールを一側へ移動させるための他側治具と、
を前記ガイドレールに沿って複数設けたことを特徴とする直進ステージのガイド機構。
【請求項７】
長手方向に沿って所定間隔毎に第１螺子孔が形成された棒状のガイドレールと、
前記ガイドレールの上面を覆いながら前記ガイドレールに固定され、かつ前記第１螺子孔の位置に合わせて第２螺子孔が形成された棒状のガイドレール補助部材と、
第１小孔部と第１開口部とを有する第１貫通孔が形成され、かつ前記第２螺子孔に螺合される大螺子部材と、
前記第２螺子孔に螺合された状態の前記大螺子部材の前記第１貫通孔に前記第１開口部側から挿通され、前記第１螺子孔に螺合される小螺子部材と、
前記ガイドレール補助部材と係合され、前記ガイドレールに沿って移動するスライダと、
を有し、
前記第１貫通孔の前記第１開口部は、前記小螺子部材の頭部を収容可能に形成され、
前記第２螺子孔は、雌螺子が形成された第２小孔部と、前記大螺子部材の頭部を収容可能に形成された第２開口部とを有し、
前記大螺子部材をその頭部が前記第２開口部と当接するまで挿入したとき、前記大螺子部材の先端は前記ガイドレール補助部材の下面よりも突出することを特徴とする直進ステージのガイド機構。
【請求項８】
幅方向に沿って所定間隔毎に第１螺子孔が形成された棒状のガイドレールと、
前記ガイドレールの上面を覆いながら前記ガイドレールに固定され、かつ前記第１螺子孔の位置に合わせて第２螺子孔が形成された棒状のガイドレール補助部材と、
第１小孔部と第１開口部とを有する第１貫通孔が形成され、かつ前記第２螺子孔に螺合される大螺子部材と、
前記第２螺子孔に螺合された状態の前記大螺子部材の前記第１貫通孔に前記第１開口部側から挿通され、前記第１螺子孔に螺合される小螺子部材と、
前記ガイドレール補助部材と係合され、前記ガイドレールに沿って移動するスライダと、
を有し、
前記第１貫通孔の前記第１開口部は、前記小螺子部材の頭部を収容可能に形成され、
前記第２螺子孔は、雌螺子が形成された第２小孔部と、前記大螺子部材の頭部を収容可能に形成された第２開口部とを有し、
前記大螺子部材をその頭部が前記第２開口部と当接するまで挿入したとき、前記大螺子部材の先端は前記ガイドレール補助部材の下面よりも突出することを特徴とする直進ステージのガイド機構。
【請求項９】
請求項７又は請求項８に記載の直進ステージのガイド機構において、
前記ガイドレール補助部材の前記複数の第２螺子孔間には、前記小螺子部材が直接挿通される第３螺子孔が形成され、
この第３螺子孔の位置に合わせて前記ガイドレールに前記第１螺子孔が形成されたことを特徴とする直進ステージのガイド機構。
【請求項１０】
長手方向に沿って所定間隔毎に第１螺子孔が形成された棒状のレール支持部と、
前記レール支持部の上面を覆いながら前記レール支持部に固定され、かつ前記第１螺子孔の位置に合わせて第２螺子孔が形成された棒状のレール部と、
第１小孔部と第１開口部とを有する第１貫通孔が形成され、かつ前記第２螺子孔に螺合される大螺子部材と、
前記第２螺子孔に螺合された状態の前記大螺子部材の前記第１貫通孔に前記第１開口部側から挿通され、前記第１螺子孔に螺合される小螺子部材と、
前記レール部と係合され、前記レール部に沿って移動するスライダと、
を有し、
前記第１貫通孔の前記第１開口部は、前記小螺子部材の頭部を収容可能に形成され、
前記第２螺子孔は、雌螺子が形成された第２小孔部と、前記大螺子部材の頭部を収容可能に形成された第２開口部とを有し、
前記大螺子部材をその頭部が前記第２開口部と当接するまで挿入したとき、前記大螺子部材の先端は前記レール部の下面よりも突出することを特徴とする直進ステージのガイド機構。
【請求項１１】
幅方向に沿って所定間隔毎に第１螺子孔が形成された棒状のレール支持部と、
前記レール支持部の上面を覆いながら前記レール支持部に固定され、かつ前記第１螺子孔の位置に合わせて第２螺子孔が形成された棒状のレール部と、
第１小孔部と第１開口部とを有する第１貫通孔が形成され、かつ前記第２螺子孔に螺合される大螺子部材と、
前記第２螺子孔に螺合された状態の前記大螺子部材の前記第１貫通孔に前記第１開口部側から挿通され、前記第１螺子孔に螺合される小螺子部材と、
前記レール部と係合され、前記レール部に沿って移動するスライダと、
を有し、
前記第１貫通孔の前記第１開口部は、前記小螺子部材の頭部を収容可能に形成され、
前記第２螺子孔は、雌螺子が形成された第２小孔部と、前記大螺子部材の頭部を収容可能に形成された第２開口部とを有し、
前記大螺子部材をその頭部が前記第２開口部と当接するまで挿入したとき、前記大螺子部材の先端は前記レール部の下面よりも突出することを特徴とする直進ステージのガイド機構。
【請求項１２】
請求項１０又は請求項１１に記載の直進ステージのガイド機構において、
前記レール部の前記複数の第２螺子孔間には、前記小螺子部材が直接挿通される第３螺子孔が形成され、
この第３螺子孔の位置に合わせて前記レール支持部に前記第１螺子孔が形成されたことを特徴とする直進ステージのガイド機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スライダがガイドレールに沿ってスライドする直進ステージのガイド機構に係り、特にスライダのヨーイングやピッチングを抑えたものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図９は、従来の直進ステージ１を示す説明図である。この直進ステージ１は左右対称とされ、断面凹形状のベッド２の凹部に固定子３が相対向して設けられている。また、ベッド２の開口側端面２ａのそれぞれには、ガイドレール４が敷設されている。各々のガイドレール４にはスライダ５が係合され、この２つのスライダ５上に正方形板状のステージ６が設けられている。また、ステージ６の中央には可動子７が連結され、この可動子７の下端側は、２つの固定子３の間に挟み込まれている。そして、固定子３と可動子７とでリニアモータを構成し、スライダ５上のステージ６の駆動源とされている。
【０００３】
次に、図１０を用いて、この直進ステージ１のガイド機構８を示す。ガイドレール４は、スライダ５と係合するレール部４ａと、このレール部４ａを支える支持部４ｂとからなり、断面凸形状の棒状の部材である。一方、スライダ５は、断面凸形状の溝５ａが形成された筒状の部材である。ガイドレール４とスライダ５との係合は、スライダ５に形成された溝５ａにレール部４ａが挿入されるようにスライダ５をガイドレール４に沿ってスライドさせることで行われる。また、スライダ５には、不図示のコンプレッサーからチューブ９を介して空気等のガスが供給される。
【０００４】
図１１は、図１０のＡ−Ａ線断面図である。ガイドレール４とスライダ５との係合面には、僅かな隙間が形成され、この隙間にスライダ５に形成された給気孔５ｂから空気が送り込まれる構成にされている。給気孔５ｂから噴出されるガスは、レール部４ａの上面、側面、及び下面で受け止めるようにされている。かかる３面支持構造は、ＸＹステージ等に用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】
特開２００２−１３０２８１号公報　（第３，４頁、第２，４図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、直線運動ステージや複合ステージに要求される精度は、ナノテクノロジーの語が示す通り、ナノオーダが要求され、さらに２１世紀に対応するためにｎｍの位置決め精度が要請されている。
しかしながら、上述したような直進ステージのガイド機構８では、スライダ５がガイドレール４上を移動するときのヨーイングやピッチング等が大きく、十分な位置決め精度が得られないという問題があった。
【０００６】
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解消して、ヨーイングやピッチング等を抑え、より高い位置決め精度を得られる直進ステージのガイド機構を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の直進ステージのガイド機構は、レール部と、このレール部に連結又は一体形成され、かつ前記レール部の幅よりも狭い幅を有するレール支持部と、を有するガイドレールと、前記レール部の外周面上を囲繞し、前記レール支持部が挿入されるスリットが形成された筒状のスライダと、を有し、前記レール部の外周面及び前記レール支持部の側面と、前記筒状のスライダの内側面及び前記スリットにより形成された一対の開口端面との間に、前記スライダに形成された給気孔を介して、流体が流入することで前記ガイドレールと前記スライダとが非接触状態にされる直進ステージのガイド機構であって、前記一対の開口端面の各々には、前記スライダの外側面側から供給された前記流体が流出する第１噴出口が形成され、前記開口端面と前記開口端面に隣接した前記レール支持部の側面との間に前記第１噴出口から流体が流入されることを特徴とする。
【０００８】
請求項１に記載の発明によれば、一対の開口端面の各々に第１噴出口が形成され、この第１噴出口から開口端面とレール支持部の側面との間に流体を流し込むようにしたので、筒状のスライダがガイドレールの長手方向を回転中心軸として回転しようとしても、その回転が抑止される。すなわち、一方の第１噴出口がレール支持部の側面に近づくと、他方の第１噴出口はレール支持部の側面から遠ざかり、第１噴出口から噴出される流体によるスライダの開口端面をレール支持部の側面から離隔させる力が、一方の第１噴出口側の方が他方の第１噴出口側よりも大きくなるので、スライダの回転が抑止される。従って、スライダのローリングを抑え、スライダとガイドレールとの隙間が左右で異なるのを抑止することができる。そのため、スライダとガイドレールとの隙間に存在する流体の圧力が左右で相異するのを抑止でき、スライダの左右の滑り易さを均一に維持し易くなる。従って、ヨーイングも抑止される。
【０００９】
請求項２に記載の直進ステージのガイド機構は、請求項１に記載の直進ステージのガイド機構において、前記レール部は矩形状断面を有し、この矩形状断面のレール部の上面と対向する前記スライダの内側面には、前記スライダの幅方向中央に対して対称な位置に一対の第２噴出口が形成され、前記矩形状断面のレール部の下面と対向する前記スライダの内側面には、前記スライダの幅方向中央に対して対称な位置に一対の第３噴出口が形成されたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明によれば、レール部の上下面とスライダの内側面との間に第２噴出口及び第３噴出口から流体を流入させるようにしたので、スライダのレール部に対する上下の移動が抑止される。また、一対の第２噴出口及び一対の第３噴出口をスライダの幅方向中央に対して対称な位置に形成したので、ローリングが抑止され、ひいてはヨーイングも抑止される。
【００１１】
請求項３に記載の直進ステージのガイド機構は、請求項１に記載の直進ステージのガイド機構において、前記レール部は矩形状断面を有し、この矩形状断面のレール部の上面と対向する前記スライダの内側面には、前記スライダの幅方向中央に第２噴出口が形成され、前記矩形状断面のレール部の下面と対向する前記スライダの内側面には、前記スライダの幅方向中央に対して対称な位置に一対の第３噴出口が形成されたことを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明によれば、レール部の上下面とスライダの内側面との間に第２噴出口及び第３噴出口から流体を流入させるようにしたので、スライダのレール部に対する上下の移動が抑止される。また、第２噴出口をスライダの幅方向中央に形成し、一対の第３噴出口をスライダの幅方向中央に対して対称な位置に形成したので、ローリングが抑止され、ひいてはヨーイングも抑止される。
【００１３】
請求項４に記載の直進ステージのガイド機構は、請求項１に記載の直進ステージのガイド機構において、前記第１噴出口が、前記スライダのスライド方向に所定間隔で複数形成されたことを特徴とする。
【００１４】
請求項４に記載の発明によれば、第１噴出口をスライダのスライド方向に所定間隔で複数形成したので、より効果的にスライダのローリングやヨーイングが抑止される。
【００１５】
請求項５に記載の直進ステージのガイド機構は、請求項２又は請求項３に記載の直進ステージのガイド機構において、前記第２噴出口及び前記第３噴出口が、前記スライダのスライド方向に所定間隔で複数形成されたことを特徴とする。
【００１６】
請求項５に記載の発明によれば、第２噴出口及び第３噴出口をスライダのスライド方向に所定間隔で複数形成したので、スライダがガイドレール上を移動するときのピッチングが抑止される。
【００１７】
請求項６に記載の直進ステージのガイド機構は、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の直進ステージのガイド機構において、前記ガイドレールの幅方向の一側に設けられ、前記ガイドレールの側面を付勢し前記ガイドレールを他側へ移動させるための一側治具と、前記ガイドレールの幅方向の他側に設けられ、前記ガイドレールの側面を付勢し前記ガイドレールを一側へ移動させるための他側治具と、を前記ガイドレールに沿って複数設けたことを特徴とする。
【００１８】
請求項６に記載の発明によれば、一側治具と他側治具とによりガイドレールを付勢すれば、ガイドレールが多少曲がっていても矯正することが可能である。また、第１噴出口を開口端面に設けたので、内側面に設けた場合よりも第１噴出口を一側治具及び他側治具に近接させることができ、より小さな付勢力で効果的にガイドレールを矯正することができる。そして、スライダをガイドレールに沿ってスライドさせ、そのときの真直度やヨーイングを計測し、その計測結果に応じてガイドレールの曲がりを矯正すれば、高い真直度を確保でき、またヨーイングを抑えることができる。
【００１９】
請求項７に記載の直進ステージのガイド機構は、長手方向に沿って所定間隔毎に第１螺子孔が形成された棒状のガイドレールと、前記ガイドレールの上面を覆いながら前記ガイドレールに固定され、かつ前記第１螺子孔の位置に合わせて第２螺子孔が形成された棒状のガイドレール補助部材と、第１小孔部と第１開口部とを有する第１貫通孔が形成され、かつ前記第２螺子孔に螺合される大螺子部材と、前記第２螺子孔に螺合された状態の前記大螺子部材の前記第１貫通孔に前記第１開口部側から挿通され、前記第１螺子孔に螺合される小螺子部材と、前記ガイドレール補助部材と係合され、前記ガイドレールに沿って移動するスライダと、を有し、前記第１貫通孔の前記第１開口部は、前記小螺子部材の頭部を収容可能に形成され、前記第２螺子孔は、雌螺子が形成された第２小孔部と、前記大螺子部材の頭部を収容可能に形成された第２開口部とを有し、前記大螺子部材をその頭部が前記第２開口部と当接するまで挿入したとき、前記大螺子部材の先端は前記ガイドレール補助部材の下面よりも突出することを特徴とする。
【００２０】
請求項７に記載の発明によれば、次のように組立てが行われる。先ず、ガイドレール補助部材の第２螺子孔に第２開口部側から大螺子部材が挿入され、第２小孔部に形成された雌螺子に螺合される。次いで、その先端がガイドレール補助部材の下面より突出せず、かつ大螺子部材の頭部がガイドレール補助部材の上面から突出しないかほとんど突出しない位置まで、大螺子部材を第２小孔部に螺合させる。次いで、大螺子部材が螺合した状態のガイドレール補助部材をガイドレール上に載置する。次いで、大螺子部材の第１貫通孔に小螺子部材を挿通し、さらに小螺子部材の頭部が大螺子部材の第１開口部と当接する位置までガイドレールの第１螺子孔に小螺子部材を螺合させる。すると、ガイドレール補助部材がイドレールの上面に載置された状態で固定される。最後に、スライダをガイドレール補助部材に係合させる。
【００２１】
そして、組立てが終了した後、スライダをガイドレールに沿ってスライドさせピッチングを計測する。ピッチングが大きい場合には、スライダとガイドレール補助部材との係合を解き、さらに小螺子部材と第１螺子孔との螺合を解き、小螺子部材を大螺子部材から抜き取る。次いで、長手方向に沿って複数配置された大螺子部材の全部又は一部の螺合状態をピッチングの計測結果に応じて変化させる。より具体的には、一部又は全部の大螺子部材をガイドレール補助部材の下面から突出するようにし、ガイドレール補助部材に傾きを設け、大まかな補正をする。
【００２２】
次いで、小螺子部材を再び大螺子部材の第１貫通孔に挿通し、第１螺子孔に螺合させ、締結を行う。すると、大螺子部材とガイドレールが当接していない箇所の小螺子部材の締結力によりガイドレール補助部材は、ガイドレールの長手方向に沿って撓みを生じる。そして、その後のスライダの変位の計測結果に応じて何度も微調整すれば、ピッチングが飛躍的に小さくなる。
【００２３】
請求項８に記載の直進ステージのガイド機構は、幅方向に沿って所定間隔毎に第１螺子孔が形成された棒状のガイドレールと、前記ガイドレールの上面を覆いながら前記ガイドレールに固定され、かつ前記第１螺子孔の位置に合わせて第２螺子孔が形成された棒状のガイドレール補助部材と、第１小孔部と第１開口部とを有する第１貫通孔が形成され、かつ前記第２螺子孔に螺合される大螺子部材と、前記第２螺子孔に螺合された状態の前記大螺子部材の前記第１貫通孔に前記第１開口部側から挿通され、前記第１螺子孔に螺合される小螺子部材と、前記ガイドレール補助部材と係合され、前記ガイドレールに沿って移動するスライダと、を有し、前記第１貫通孔の前記第１開口部は、前記小螺子部材の頭部を収容可能に形成され、前記第２螺子孔は、雌螺子が形成された第２小孔部と、前記大螺子部材の頭部を収容可能に形成された第２開口部とを有し、前記大螺子部材をその頭部が前記第２開口部と当接するまで挿入したとき、前記大螺子部材の先端は前記ガイドレール補助部材の下面よりも突出することを特徴とする。
【００２４】
請求項８に記載の発明によれば、請求項７と同様に組立てが行われる。そして、スライダのローリングの変位の計測結果に応じて大螺子部材と小螺子部材とを微調整すれば、ローリングが飛躍的に小さくなる。ひいては、ヨーイングも抑止される。
【００２５】
請求項９に記載の直進ステージのガイド機構は、請求項７又は請求項８に記載の直進ステージのガイド機構において、前記ガイドレール補助部材の前記複数の第２螺子孔間には、前記小螺子部材が直接挿通される第３螺子孔が形成され、この第３螺子孔の位置に合わせて前記ガイドレールに前記第１螺子孔が形成されたことを特徴とする。
【００２６】
請求項９の発明によれば、大螺子部材をガイドレール補助部材の下面から突出させてガイドレール補助部材を傾かせ、それから第２螺子孔に螺合された大螺子部材の第１貫通孔及び第３螺子孔に小螺子部材を挿通し、ガイドレールの第１螺子孔に螺合させる。そのため、第２螺子孔間に設けられた第３螺子孔には、直接小螺子部材が挿入されるので、小螺子部材の第１螺子孔への螺合具合を変えるだけで、容易にガイドレール補助部材の撓み具合が微調整される。
【００２７】
請求項１０に記載の直進ステージのガイド機構は、長手方向に沿って所定間隔毎に第１螺子孔が形成された棒状のレール支持部と、前記レール支持部の上面を覆いながら前記レール支持部に固定され、かつ前記第１螺子孔の位置に合わせて第２螺子孔が形成された棒状のレール部と、第１小孔部と第１開口部とを有する第１貫通孔が形成され、かつ前記第２螺子孔に螺合される大螺子部材と、前記第２螺子孔に螺合された状態の前記大螺子部材の前記第１貫通孔に前記第１開口部側から挿通され、前記第１螺子孔に螺合される小螺子部材と、前記レール部と係合され、前記レール部に沿って移動するスライダと、を有し、前記第１貫通孔の前記第１開口部は、前記小螺子部材の頭部を収容可能に形成され、前記第２螺子孔は、雌螺子が形成された第２小孔部と、前記大螺子部材の頭部を収容可能に形成された第２開口部とを有し、前記大螺子部材をその頭部が前記第２開口部と当接するまで挿入したとき、前記大螺子部材の先端は前記レール部の下面よりも突出することを特徴とする。
【００２８】
請求項１０の発明によれば、次のように組立てが行われる。先ず、レール部の第２螺子孔に第２開口部側から大螺子部材が挿入され、第２小孔部に形成された雌螺子に螺合される。次いで、その先端がレール部の下面より突出せず、かつ大螺子部材の頭部がレール部の上面から突出しないかほとんど突出しない位置まで、大螺子部材を第２小孔部に螺合させる。次いで、大螺子部材が螺合した状態のレール部をレール支持部上に載置する。次いで、大螺子部材の第１貫通孔に小螺子部材を挿通し、さらに小螺子部材の頭部が大螺子部材の第１開口部と当接する位置までレール支持部の第１螺子孔に小螺子部材を螺合させる。すると、レール部がレール支持部の上面に載置された状態で固定される。最後に、スライダをレール部に係合させる。
【００２９】
そして、組立てが終了した後、スライダをレール部に沿ってスライドさせピッチングを計測する。ピッチングが大きい場合には、スライダとレール部との係合を解き、さらに小螺子部材と第１螺子孔との螺合を解き、小螺子部材を大螺子部材から抜き取る。次いで、長手方向に沿って複数配置された大螺子部材の全部又は一部の螺合状態をピッチングの計測結果に応じて変化させる。より具体的には、一部又は全部の大螺子部材をレール部の下面から突出するようにし、レール部に傾きを設け、大まかな補正をする。
【００３０】
次いで、小螺子部材を再び大螺子部材の第１貫通孔に挿通し、第１螺子孔に螺合させ、締結を行う。すると、大螺子部材とレール支持部が当接していない箇所の小螺子部材の締結力によりレール部は、レール支持部の長手方向に沿って撓みを生じる。そして、その後のスライダの変位の計測結果に応じて何度も微調整すれば、ピッチングが飛躍的に小さくなる。
【００３１】
請求項１１に記載の直進ステージのガイド機構は、幅方向に沿って所定間隔毎に第１螺子孔が形成された棒状のレール支持部と、前記レール支持部の上面を覆いながら前記レール支持部に固定され、かつ前記第１螺子孔の位置に合わせて第２螺子孔が形成された棒状のレール部と、第１小孔部と第１開口部とを有する第１貫通孔が形成され、かつ前記第２螺子孔に螺合される大螺子部材と、前記第２螺子孔に螺合された状態の前記大螺子部材の前記第１貫通孔に前記第１開口部側から挿通され、前記第１螺子孔に螺合される小螺子部材と、前記レール部と係合され、前記レール部に沿って移動するスライダと、を有し、前記第１貫通孔の前記第１開口部は、前記小螺子部材の頭部を収容可能に形成され、前記第２螺子孔は、雌螺子が形成された第２小孔部と、前記大螺子部材の頭部を収容可能に形成された第２開口部とを有し、前記大螺子部材をその頭部が前記第２開口部と当接するまで挿入したとき、前記大螺子部材の先端は前記レール部の下面よりも突出することを特徴とする。
【００３２】
請求項１１に記載の発明によれば、請求項１０と同様に組立てが行われる。そして、スライダのローリングの変位の計測結果に応じて大螺子部材と小螺子部材とを微調整すれば、ローリングが飛躍的に小さくなる。ひいては、ヨーイングも抑止される。
【００３３】
請求項１２に記載の直進ステージのガイド機構は、請求項１０又は請求項１１に記載の直進ステージのガイド機構において、前記レール部の前記複数の第２螺子孔間には、前記小螺子部材が直接挿通される第３螺子孔が形成され、この第３螺子孔の位置に合わせて前記レール支持部に前記第１螺子孔が形成されたことを特徴とする。
【００３４】
請求項１２の発明によれば、大螺子部材をレール部の下面から突出させてレール部を傾かせ、それから第２螺子孔に螺合された大螺子部材の第１貫通孔及び第３螺子孔に小螺子部材を挿通し、レール支持部の第１螺子孔に螺合させる。そのため、第２螺子孔間に設けられた第３螺子孔には、直接小螺子部材が挿入されるので、小螺子部材の第１螺子孔への螺合具合を変えるだけで、容易にレール部の撓み具合が微調整される。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態による直進ステージのガイド機構を示す斜視図である。ガイド機構１０は、断面矩形状のレール部１１ａと、このレール部１１ａと一体形成されたレール支持部１１ｂとを有するガイドレール１１と、レール部１１ａの外周面上を囲繞し、レール支持部１１ｂが挿入されるスリット１２ａが形成された筒状のスライダ１２とを有している。ガイドレール１１は、レール支持部１１ｂの下面１１ｃを定盤１３の上面１３ａに当接させることで、定盤１３上に載置されている。そして、このガイドレール１１を定盤１３に固定させるために、レール支持部１１ｂの一側及び他側には、それぞれ一側治具及び他側治具である固定治具１４が設けられている。
【００３６】
この固定治具１４は、定盤１３上に２つの螺子１５で固定された断面Ｌ字状のナット部材１６と、このナット部材１６に螺合されたボルト１７と、レール支持部１１ｂの側面１１ｄを傷つけないように設けられた金属製のスペーサー１８とから構成されている。また、固定治具１４は、レール支持部１１ｂの長手方向に沿って所定間隔で複数設けられている。このとき、一側及び他側の固定治具１４は相対向して設けられている。なお、ガイドレール１１やスライダ１２の材料としては、大理石、グラナイト、アルミニウム、鉄、ステンレス、セラミックス、又は石英ガラス等の材料が用いられる。
【００３７】
また、スライダ１２の幅方向に対して垂直な外側面１２ｂの中央には、それぞれ継手１９が取り付けられ、この継手１９の一端には、不図示のコンプレッサーから送風される流体である空気を流通させるチューブ２０が取り付けられている。
【００３８】
図２は、図１のＢ−Ｂ線断面図である。
スライダ１２には、その幅方向中央に対して左右対称に給気孔１２ｃが形成されており、継手１９側から流入した空気は、第１噴出口２１、第２噴出口２２、及び第３噴出口２３から流出する。第１噴出口２１は、スリット１２ａにより形成された一対の開口端面１２ｄの各々に相対向して形成されている。第２噴出口２２は、レール部１１ａの上面１１ｅに対向するスライダ１２の内側面１２ｅに、スライダ１２の幅方向中央に対して対称な位置に一対形成されている。第３噴出口２３は、レール部１１ａの下面１１ｆに対向するスライダの内側面１２ｅに、スライダ１２の幅方向中央に対して対称な位置に一対形成されている。
【００３９】
そして、レール部１１ａの上面１１ｅと下面１１ｆと側面１１ｇとからなる外周面及びレール支持部１１ｂの側面１１ｄと、筒状のスライダ１２の内側面１２ｅ及び開口端面１２ｄと、の間に第１噴出口２１、第２噴出口２２、及び第３噴出口２３から空気を流入させガイドレール１１とスライダ１２とを非接触状態にする。
【００４０】
図３は、スライダ１２のガイドレール１１上でのヨーイングの計測結果を示している。縦軸は角度を示し、横軸は、スライダ１２のガイドレール１１上での移動距離を示している。より具体的には、スライダ１２が４００ｍｍ進む毎にその間の左右方向の傾斜角の最大値と最小値との差をプロットしたものである。２点鎖線は、従来型の直進ステージのガイド機構８を示しており、実線は、本発明に係る直進ステージのガイド機構１０を示している。
図に示すように、従来型及び本発明ともに移動距離が大きくなる程ヨーイングも増加する傾向にあり、移動距離が２０００ｍｍの所で最大のヨーイングになっている。従来型では、３秒程の傾きが生じていたが、本発明は、１秒程に減少している。
【００４１】
図４は、スライダ１２のガイドレール１１上での水平方向の真直度の計測結果を示している。縦軸は変位量を示し、横軸は、スライダ１２のガイドレール１１上での移動距離を示している。より具体的には、スライダ１２が４００ｍｍ進む毎にその間のスライダ１２の幅方向への変位の最大値と最小値との差をプロットしたものである。２点鎖線は、従来型の直進ステージのガイド機構８を示しており、実線は、本発明に係る直進ステージのガイド機構１０を示している。
図に示すように、従来型及び本発明ともに移動距離が大きくなる程変位量も増加する傾向にあり、移動距離が２０００ｍｍの所で最大の変位量になっている。
従来型では、５μｍ程の変位が生じていたが、本発明は、１μｍ未満に抑えられている。
【００４２】
以上述べたように第１実施形態によれば、一対の開口端面１２ｄの各々に第１噴出口２１を形成し、この第１噴出口２１から開口端面１２ｄとレール支持部１１ｂの側面１１ｄとの間に流体を流し込むようにしたので、筒状のスライダ１２がガイドレール１１の長手方向を回転中心軸として回転しようとしても、その回転が抑止される。すなわち、一方の第１噴出口２１がレール支持部１１ｂの側面１１ｄに近づくと、他方の第１噴出口２１はレール支持部１１ｂの側面１１ｄから遠ざかり、第１噴出口２１から噴出される流体によるスライダ１２の開口端面１２ｄをレール支持部１１ｂの側面１１ｄから離隔させる力が、一方の第１噴出口２１側の方が他方の第１噴出口２１側よりも大きくなるので、スライダ１２の回転が抑止される。従って、スライダ１２のローリングを抑え、スライダ１２とガイドレール１１との隙間が左右で異なるのを抑止することができる。そのため、スライダ１２とガイドレール１１との隙間に存在する流体の圧力が左右で相異するのを抑止でき、スライダ１２の左右の滑り易さを均一に維持し易くなる。従って、ヨーイングも抑止され、高い位置決め精度の直進ステージのガイド機構１０を得ることができる。
【００４３】
また、第１実施形態では、一対の第２噴出口２２及び一対の第３噴出口２３をスライダ１２の幅方向中央に対して対称な位置に形成したので、ローリングを抑止でき、ひいてはヨーイングも抑止することができる。
【００４４】
さらに、第１実施形態では、レール支持部１１ｂの一側及び他側に設けた固定治具１４によりガイドレール１１を付勢するようにしたので、ガイドレール１１が多少曲がっていても矯正することが可能である。また、第１噴出口２１を開口端面１２ｄに設けたので、内側面１２ｅに設けた場合よりも第１噴出口２１を固定治具１４に近接させることができ、より小さな付勢力で効果的にガイドレール１１を矯正することができる。そして、スライダ１２をガイドレール１１に沿ってスライドさせ、そのときの真直度やヨーイングを計測し、その計測結果に応じてガイドレール１１の曲がりを矯正すれば、高い真直度を確保でき、またヨーイングを抑えることができる。
【００４５】
［第２実施形態］
図５は、第２実施形態による直進ステージのガイド機構の要部を示す分解斜視図である。なお、この第２実施形態は、ガイドレール上にガイドレール補助部材が設けられた点で第１実施形態と異なるため、その部分の構成についてのみ説明する。
ガイドレール部２８は、ガイドレール２４と、ガイドレール補助部材２５と、ガイドレール補助部材２５に螺合される大螺子部材である六角穴付きボルト２６と、ガイドレール２４とガイドレール補助部材２５とを締結するための小螺子部材である六角穴付きボルト２７とを有している。
【００４６】
ガイドレール２４は、レール部２４ａとこのレール部２４ａと一体形成されたレール支持部２４ｂとを有している。レール部２４ａには、その長手方向と幅方向とに沿って所定間隔毎に第１螺子孔２４ｃが形成されている。ガイドレール２４の上面２４ｄには、ガイドレール補助部材２５が上面２４ｄを覆いながらガイドレール２４に固定される。このガイドレール補助部材２５には、第１螺子孔２４ｃの位置に合わせて第２螺子孔２５ａ又は第３螺子孔２５ｆが形成されている。この第２螺子孔２５ａは、雌螺子が形成された第２小孔部２５ｂと、六角穴付きボルト２６の頭部２６ａを収容可能に形成された第２開口部である座繰り穴２５ｃとを有している。また、第２螺子孔２５ａは、ガイドレール補助部材２５の四隅に形成されている。そして、第３螺子孔２５ｆは、第２螺子孔２５ａ間等に形成されており、幅方向には中央に一列形成されている。また、第３螺子孔２５ｆには座繰り穴２５ｇが形成されている。
【００４７】
六角穴付きボルト２６には、六角穴付きボルト２７の螺子部２７ａが挿入される第１貫通孔２６ｄが形成されている。この第１貫通孔２６ｄは、第１小孔部２６ｂと六角穴付きボルト２７の頭部２７ｂが収容される第１開口部である六角穴２６ｃとを有している。六角穴２６ｃは、六角穴付きボルト２６をガイドレール補助部材２５に螺合させるために、六角レンチが挿入できるように六角柱状に形成されている。また、六角穴付きボルト２６の螺子部２６ｅは、雌螺子が形成された第２小孔部２５ｂに螺合される。
そして、スライダ１２は、ガイドレール２４のレール部２４ａ及びガイドレール補助部材２５を囲繞して係合され、ガイドレール２４に沿って移動可能にされる。
【００４８】
組立てにあたっては、先ず、ガイドレール補助部材２５の第２螺子孔２５ａに座繰り穴２５ｃ側から六角穴付きボルト２６が挿入し、第２小孔部２５ｂに形成された雌螺子に螺合する。このとき、その先端がガイドレール補助部材２５の下面２５ｄより突出せず、かつ六角穴付きボルト２６の頭部２６ａがガイドレール補助部材２５の上面２５ｅから突出しない位置まで、六角穴付きボルト２６を第２小孔部２５ｂに螺合させる。次いで、六角穴付きボルト２６が螺合した状態のガイドレール補助部材２５をガイドレール２４上に載置する。
【００４９】
次いで、六角穴付きボルト２６の第１貫通孔２６ｄに六角穴付きボルト２７を挿通し、さらに六角穴付きボルト２７が六角穴付きボルト２６の六角穴２６ｃの底面と当接する位置まで第１螺子孔２４ｃに六角穴付きボルト２７を螺合させる。すると、ガイドレール補助部材２５がガイドレール２４の上面２４ｄに載置された状態で固定される。次いで、第３螺子孔２５ｆにも六角穴付きボルト２７を直接挿通し、座繰り穴２５ｇの底面に当接するまで六角穴付きボルト２７を第１螺子孔２４ｃに螺合させる。最後に、スライダ１２をガイドレール補助部材２５に係合させる。なお、第３螺子孔２５ｆに六角穴付きボルト２７を直接挿通するとは、六角穴付きボルト２６のような筒状部材の内部でなく、第３螺子孔２５ｆそのものに挿通することをいう。
【００５０】
次に、図６に図５の組立図を示す。図に示すように、ガイドレール補助部材２５は、六角穴付きボルト２７により締付けられ、幅方向及び長手方向ともに撓んでいる。六角穴付きボルト２６はガイドレール補助部材２５の下面２５ｄより突出しガイドレール２４の上面２４ｄと当接している。なお、ガイドレール２４の上面２４ｄとガイドレール補助部材２５の下面２５ｄとの隙間Ｌ１は、マイクロメートルオーダである。
【００５１】
この第２実施形態のガイドレール部２８では、以下のようにしてスライダ１２の位置決め精度を向上させる。
上述したようにして組立てが終了した後、スライダ１２をガイドレール部２８に沿ってスライドさせピッチング及びローリングを計測する。ピッチング又はローリングが大きい場合には、スライダ１２とガイドレール補助部材２５との係合を解き、さらに六角穴付きボルト２７と第１螺子孔２４ｃとの螺合を解き、六角穴付きボルト２７を六角穴付きボルト２６の第１貫通孔２６ｄ又は第３螺子孔２５ｆから抜き取る。次いで、六角穴付きボルト２６の全部又は一部の螺合状態をピッチング及びローリングの計測結果に応じて変化させる。より具体的には、一部又は全部の六角穴付きボルト２６をガイドレール補助部材２５の下面２５ｄから突出するようにし、ガイドレール補助部材２５に傾きを設け、大まかな補正をする。
【００５２】
次いで、六角穴付きボルト２７を再び六角穴付きボルト２６の第１貫通孔２６ｄ及び第３螺子孔２５ｆに挿通し、第１螺子孔２４ｃに螺合させ、締結を行う。
すると、この締結力によりガイドレール補助部材２５は、ガイドレール２４の水平面に対して撓みを生じる。特に、第３螺子孔２５ｆに螺合された六角穴付きボルト２７は撓み具合の微調整の役割を果たす。その後、再びスライダ１２を取付け、変位の計測をし、第３螺子孔２５ｆの六角穴付きボルト２７を六角レンチにより微調整すれば、スライダ１２の位置決め精度は容易かつ飛躍的に向上する。
【００５３】
この第２実施形態でも第１実施形態と同様の作用効果を奏する。
さらに、第２実施形態によれば、六角穴付きボルト２６をガイドレール補助部材２５の下面２５ｄから突出させてガイドレール補助部材２５を傾かせ、その後第２螺子孔２５ａに螺合された六角穴付きボルト２６の第１貫通孔２６ｄ及び第３螺子孔２５ｆに、六角穴付きボルト２７を挿通し、ガイドレール２４の第１螺子孔２４ｃに螺合させる。第２螺子孔２５ａ間に設けられた第３螺子孔２５ｆには、六角穴付きボルト２７が直接挿通されるので、六角穴付きボルト２７の第１螺子孔２４ｃへの螺合具合を六角レンチにより変えるだけで、容易にガイドレール補助部材２５の撓み具合を微調整することができる。従って、スライダ１２移動時のピッチング及びローリングを抑止することができ、ひいてはヨーイングを抑止することができる。
【００５４】
［第３実施形態］
図７は、第３実施形態による直進ステージのガイド機構の要部を示す分解斜視図である。なお、この第３実施形態は、レール部とレール支持部を分離しボルト等で締結した点で第１実施形態と異なるため、その部分の構成についてのみ説明する。
ガイドレール２９は、レール支持部３０と、レール部３１と、レール部３１に螺合される六角穴付きボルト２６と、レール支持部３０とレール部３１とを締結するための六角穴付きボルト２７とを有している。
【００５５】
レール支持部３０には、その長手方向に沿って所定間隔毎に第１螺子孔３０ａが形成されている。また、幅方向には、左右一対の第１螺子孔３０ａが形成されている。レール支持部３０の上面３０ｂには、レール支持部３０よりも幅広のレール部３１が上面３０ｂを覆いながらレール支持部３０に固定される。このレール部３１には、第１螺子孔３０ａの位置に合わせて第２螺子孔３１ａ又は第３螺子孔３１ｆが形成されている。この第２螺子孔３１ａは、雌螺子が形成された第２小孔部３１ｂと、六角穴付きボルト２６の頭部２６ａを収容可能に形成された第２開口部である座繰り穴３１ｃとを有している。また、第２螺子孔３１ａは、レール部３１の長手方向両端側に形成されている。第３螺子孔３１ｆは、レール部３１の長手方向における第２螺子孔３１ａ間に形成されている。また、第３螺子孔３１ｆには座繰り穴３１ｇが形成されている。
【００５６】
また、六角穴付きボルト２６の螺子部２６ｅは、雌螺子が形成された第２小孔部３１ｂに螺合される。
そして、スライダ１２は、ガイドレール２９のレール部３１を囲繞して係合され、ガイドレール２９に沿って移動可能にされる。
【００５７】
組立てにあたっては、先ず、レール部３１の第２螺子孔３１ａに座繰り穴３１ｃ側から六角穴付きボルト２６が挿入し、第２小孔部３１ｂに形成された雌螺子に螺合する。このとき、その先端がレール部３１の下面３１ｄより突出せず、かつ六角穴付きボルト２６の頭部２６ａがレール部３１の上面３１ｅから突出しない位置まで、六角穴付きボルト２６を第２小孔部３１ｂに螺合させる。次いで、六角穴付きボルト２６が螺合した状態のレール部３１をレール支持部３０上に載置する。
【００５８】
次いで、六角穴付きボルト２６の第１貫通孔２６ｄに六角穴付きボルト２７を挿通し、さらに六角穴付きボルト２７が六角穴付きボルト２６の六角穴２６ｃの底面と当接する位置まで第１螺子孔３０ａに六角穴付きボルト２７を螺合させる。すると、レール部３１がレール支持部３０の上面３０ｂに載置された状態で固定される。次いで、第３螺子孔３１ｆにも六角穴付きボルト２７を直接挿通し、座繰り穴３１ｇの底面に当接するまで六角穴付きボルト２７を第１螺子孔３０ａに螺合させる。最後に、スライダ１２をレール部３１に係合させる。なお、第３螺子孔３１ｆに六角穴付きボルト２７を直接挿通するとは、六角穴付きボルト２６のような筒状部材の内部でなく、第３螺子孔３１ｆそのものに挿通することをいう。
【００５９】
次に、図８に図７の組立図を示す。図に示すように、レール部３１は、六角穴付きボルト２７により締め付けられ、幅方向及び長手方向ともに撓んでいる。六角穴付きボルト２６はレール部３１の下面３１ｄより突出しレール支持部３０の上面３０ｂと当接している。なお、レール支持部３０の上面３０ｂとレール部３１の下面３１ｄとの隙間Ｌ２は、マイクロメートルオーダである。
【００６０】
この第３実施形態のガイドレール２９では、以下のようにしてスライダ１２の位置決め精度を向上させる。
上述したようにして組立てが終了した後、スライダ１２をガイドレール２９に沿ってスライドさせピッチング及びローリングを計測する。ピッチング又はローリングが大きい場合には、スライダ１２とレール部３１との係合を解き、さらに六角穴付きボルト２７と第１螺子孔３０ａとの螺合を解き、六角穴付きボルト２７を六角穴付きボルト２６の第１貫通孔２６ｄ又は第３螺子孔３１ｆから抜き取る。次いで、六角穴付きボルト２６の全部又は一部の螺合状態をピッチング及びローリングの計測結果に応じて変化させる。より具体的には、一部又は全部の六角穴付きボルト２６をレール部３１の下面３１ｄから突出するようにし、レール部３１に傾きを設け、大まかな補正をする。
【００６１】
次いで、六角穴付きボルト２７を再び六角穴付きボルト２６の第１貫通孔２６ｄ及び第３螺子孔３１ｆに挿通し、第１螺子孔３０ａに螺合させ、締結を行う。
すると、この締結力によりレール部３１は、レール支持部３０の水平面に対して撓みを生じる。特に、第３螺子孔３１ｆに螺合された六角穴付きボルト２７は撓み具合の微調整の役割を果たす。その後、再びスライダ１２を取付け、変位の計測をし、第３螺子孔３１ｆの六角穴付きボルト２７を六角レンチにより微調整すれば、スライダ１２の位置決め精度は容易かつ飛躍的に向上する。
【００６２】
この第３実施形態でも第１及び第２実施形態と同様の作用効果を奏する。
さらに、第３実施形態によれば、第２実施形態のようにガイドレール補助部材２５を設けなくても良いので、幅方向の微調整では劣るものの部品点数を減少させることができ、より簡易な構成でスライダ１２移動時のピッチング及びローリングを抑止することができ、ひいてはヨーイングを抑止することができる。
【００６３】
なお、上述した第１実施形態では、給気孔１２ｃをスライダ１２のスライド方向の中央に設けたが、スライド方向に所定間隔で、複数設けても良い。このようにすれば、第１噴出口２１の存在によりローリングやヨーイングの抑止効果が高まり、第２噴出口２２及び第３噴出口２３の存在によりピッチングの抑止効果が高まる。
また、第１実施形態では、一対の第２噴出口２２をスライダ１２の幅方向中央に対して対称な位置に形成したが、第２噴出口２２はスライダ１２の幅方向中央に１つ形成するものであっても良い。
【００６４】
さらに、第１実施形態では、流体として空気を用いた例について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、不活性ガスを用いても良い。要するに、スライダ１２をガイドレール１１に沿って精度良くスライドさせることができる流体であれば良い。
また、第１実施形態では、一側及び他側の固定治具１４を相対向させて設けた例について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、一側の２つの固定治具１４の中間付近に設けても良い。
【００６５】
上述した第２及び第３実施形態では、大螺子部材として六角穴付きボルト２６を用いた例について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、十字穴付き螺子に第１貫通孔２６ｄが形成されたものでも良い。又は、螺子部だけを有する筒状の部材の一端側に六角レンチ挿入用の穴を形成するようにしても良い。ただし、頭部がないため、マイクロメートルオーダの位置決めには、好適でない。
【００６６】
また、第２及び第３実施形態では、小螺子部材として六角穴付きボルト２７を用いた例について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、単なる螺子であっても良い。
さらに、第２及び第３実施形態では、第１小孔部２６ｂの断面形状は特に限定するものではない。例えば、正方形断面であっても良い。
【００６７】
また、第２及び第３実施形態では、第１開口部として六角穴２６ｃを形成した例について説明したが、これに限定されるものでない。例えば、直方体状の穴であっても良い。
さらに、第２実施形態では、第３螺子孔２５ｆに六角穴付きボルト２７を挿通した例について述べたが、第３螺子孔２５ｆを形成せずに全て第２螺子孔２５ａとして六角穴付きボルト２６を螺合させても良い。この場合、六角穴付きボルト２６とガイドレール２４とが当接していない箇所の六角穴付きボルト２７によりガイドレール補助部材２５のガイドレール２４水平面に対する撓みを調整できる。
【００６８】
また、第３実施形態では、第３螺子孔３１ｆに六角穴付きボルト２７を挿通した例について述べたが、第３螺子孔３１ｆを形成せずに全て第２螺子孔３１ａとして六角穴付きボルト２６を螺合させても良い。この場合、六角穴付きボルト２６とレール支持部３０とが当接していない箇所の六角穴付きボルト２７によりレール部３１のレール支持部３０水平面に対する撓みを調整できる。
【００６９】
【発明の効果】
本発明によれば、スライダの一対の開口端面の各々に第１噴出口を形成し、この第１噴出口から開口端面とレール支持部の側面との間に流体を流し込むようにしたので、スライダの回転が抑止され、ひいてはヨーイングも抑えることができ、スライダの位置決めを高精度にすることができる。
また、第１噴出口を開口端面に設けたので、内側面に設けた場合よりも第１噴出口を一側治具及び他側治具に近接させることができ、ガイドレールの曲がりを矯正するために一側治具と他側治具とによりガイドレールに加える付勢力を小さくすることができる。また、ガイドレールの曲がりは矯正されるので、スライダがガイドレールをスライドするときに高い真直度を確保でき、ヨーイングも抑えることができる。
さらに、大螺子部材と小螺子部材とにより、ガイドレール補助部材又はレール部のレール支持部水平面に対する撓みを調整できるようにしたので、スライダ移動時のピッチング及びローリングを抑止することができ、ひいてはヨーイングを抑止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態による直進ステージのガイド機構を示す斜視図である。
【図２】図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図３】第１実施形態による直進ステージのガイド機構のヨーイングの計測結果を示す説明図である。
【図４】第１実施形態による直進ステージのガイド機構の真直度の計測結果を示す説明図である。
【図５】第２実施形態による直進ステージのガイド機構の要部の分解斜視図である。
【図６】図５の組立図である。
【図７】第３実施形態による直進ステージのガイド機構の要部の分解斜視図である。
【図８】図７の組立図である。
【図９】従来例による直進ステージを示す説明図である。
【図１０】図９のガイド機構を示す斜視図である。
【図１１】図１０のＡ−Ａ線断面図である。
【符号の説明】
１０　ガイド機構
１１，２４　ガイドレール
１１ａ，３１　レール部
１１ｂ，３０　レール支持部
１１ｄ　側面
１１ｅ　上面
１１ｆ　下面
１２　スライダ
１２ａ　スリット
１２ｂ　外側面
１２ｄ　開口端面
１２ｅ　内側面
１４　固定治具
２１　第１噴出口
２２　第２噴出口
２３　第３噴出口
２４ｃ，３１ａ　第１螺子孔
２４ｄ，３０ｂ　上面
２５　ガイドレール補助部材
２５ａ，３１ａ　第２螺子孔
２５ｂ，３１ｂ　第２小孔部
２５ｃ　座繰り穴
２５ｄ，３１ｄ　下面
２５ｆ，３１ｆ　第３螺子孔
２６　六角穴付きボルト
２６ａ　頭部
２６ｂ　第１小孔部
２６ｃ　六角穴
２６ｄ　第１貫通孔
２７　六角穴付きボルト
２７ｂ　頭部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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