(57)【要約】【課題】電磁弁ヘッドの交換作業中においても他の電磁弁ヘッドへの圧縮空気の供給に影響を与えず、また空圧部品の作動位置を保持できるようにする。【解決手段】１つのユニット本体１４に多数の電磁弁ヘッド１５が着脱可能に取り付けられ、多数ある空圧部品２がそれぞれ対応する電磁弁ヘッド１５に接続されている。ユニット本体１４の内部において、圧縮空気が供給されて装着状態の複数の電磁弁ヘッド１５にそれぞれ接続する分岐流路１６ｂに流体供給閉止弁１７が設けられ、装着状態の各電磁弁ヘッド１５とそれぞれに対応する空圧部品２に連通するユニット内入出流路１８に流体入出閉止弁１９が設けられている。一部の電磁弁ヘッド１５の交換作業中においても対応する流体供給閉止弁１７と流体入出閉止弁１９を閉止することで他の電磁弁ヘッド１５への圧縮空気の供給に影響を与えず、また空圧部品２の作動位置を保持できる。【選択図】　図２
2004140138.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
給排用電磁弁を開閉制御することにより流体供給源から流体圧作動手段への作動流体の流入と、前記流体圧作動手段からの作動流体の流出と、それら流入出の閉止とを切り換えて前記流体圧作動手段の作動を制御する半導体製造装置であって、
前記給排用電磁弁を備える複数の電磁弁ヘッドと、
前記複数の電磁弁ヘッドを着脱可能なユニット本体と、
前記流体供給源に一端部を接続する共通流路と、前記共通流路の他端部から分岐して前記ユニット本体へ装着した状態の前記複数の電磁弁ヘッドの各々に接続する複数の分岐流路とを有する流体供給流路と、
前記ユニット本体へ装着した状態の前記複数の電磁弁ヘッドの各々に前記流体圧作動手段を接続させる複数の流体入出流路と、
前記複数の分岐流路上に設けられた流体供給閉止弁とを有することを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】
給排用電磁弁を開閉制御することにより流体供給源から流体圧作動手段への作動流体の流入と、前記流体圧作動手段からの作動流体の流出と、それら流入出の閉止とを切り換えて前記流体圧作動手段の作動を制御する半導体製造装置であって、
前記給排用電磁弁を備える複数の電磁弁ヘッドと、
前記複数の電磁弁ヘッドを着脱可能なユニット本体と、
前記流体供給源に一端部を接続する共通流路と、前記共通流路の他端部から分岐して前記ユニット本体へ装着した状態の前記複数の電磁弁ヘッドの各々に接続する複数の分岐流路とを有する流体供給流路と、
前記ユニット本体へ装着した状態の前記複数の電磁弁ヘッドの各々に前記流体圧作動手段を接続させる複数の流体入出流路と、
前記ユニット本体内の前記複数の分岐流路上に設けられたユニット内供給閉止弁とを有することを特徴とする半導体製造装置。
【請求項３】
給排用電磁弁を開閉制御することにより流体供給源から流体圧作動手段への作動流体の流入と、前記流体圧作動手段からの作動流体の流出と、それら流入出の閉止とを切り換えて前記流体圧作動手段の作動を制御する半導体製造装置であって、
前記給排用電磁弁を備える電磁弁ヘッドと、
前記電磁弁ヘッドを着脱可能なユニット本体と、
前記ユニット本体へ装着した状態の前記電磁弁ヘッドに前記流体供給源を接続させる流体供給流路と、
前記ユニット本体へ装着した状態の前記電磁弁ヘッドに前記流体圧作動手段を接続させる流体入出流路と、
前記流体入出流路上に設けられた流体入出閉止弁とを有することを特徴とする半導体製造装置。
【請求項４】
給排用電磁弁を開閉制御することにより流体供給源から流体圧作動手段への作動流体の流入と、前記流体圧作動手段からの作動流体の流出と、それら流入出の閉止とを切り換えて前記流体圧作動手段の作動を制御する半導体製造装置であって、
前記給排用電磁弁を備える電磁弁ヘッドと、
前記電磁弁ヘッドを着脱可能なユニット本体と、
前記ユニット本体へ装着した状態の前記電磁弁ヘッドに前記流体供給源を接続させる流体供給流路と、
前記ユニット本体へ装着した状態の前記電磁弁ヘッドに前記流体圧作動手段を接続させる流体入出流路と、
前記ユニット本体内の前記流体入出流路上に設けられたユニット内入出閉止弁とを有することを特徴とする半導体製造装置。
【請求項５】
給排用電磁弁を開閉制御することにより流体供給源から流体圧作動手段への作動流体の流入と、前記流体圧作動手段からの作動流体の流出と、それら流入出の閉止とを切り換えて当該流体圧作動手段の作動を制御する半導体製造装置であって、
前記給排用電磁弁を備える電磁弁ヘッドと、
前記電磁弁ヘッドを着脱可能な複数のユニット本体と、
前記流体供給源に一端部を接続する共通供給流路と、前記共通供給流路の他端部から分岐して前記複数の電磁弁ユニットの各々に接続する複数の分岐供給流路とを有する流体供給流路と、
前記複数のユニット本体の各々に装着した状態の前記電磁弁ヘッドの各々に前記流体圧作動手段を接続させる流体入出流路と、
前記ユニット本体内の前記複数の分岐供給流路上に設けられたユニット選択供給弁とを有していることを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置に関し、特に、空圧部品を有する半導体製造装置に適用して有効な技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
たとえばドライエッチング装置などの半導体製造装置をはじめ、工作機械、水処理装置、化学装置、包装機械及び食品機械などの産業機械の多くは、各可動部を作動させるアクチュエータとしてのエアシリンダやその制御用のエア圧駆動弁などの空圧部品を備えており、空気圧を利用して複雑な動作をするようになっている。そのため、空気圧の方向制御弁を多数使用する必要が生じており、その方向制御弁としては、たとえば電磁石によって操作される電磁弁が用いられている。単体の電磁弁を多数個取り付けようとすると、取り付けスペースの制約を受けて適切な配置が困難になることから、複数の電磁弁が集約されたマニホールド型の多連電磁弁（以降、電磁弁ユニットという）が使用される（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
半導体装置の製造工程では、半導体ウェハ（以降、単にウェハと記す）はローダ部にセットされた後、モータにより駆動する搬送アームによってチャンバの搬入室まで搬送される。またチャンバ搬入室の開閉扉の開閉制御にもエアシリンダが用いられる場合もある。
【０００４】
【非特許文献１】
「油空圧便覧」株式会社オーム社、１９７５年４月２０日、ｐ．６４７−６４８
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者は、電磁弁ユニットの電磁弁ヘッドが故障した際の電磁弁ヘッドの交換作業において以下のような課題が存在することを見出した。その課題を図５を用いて説明する。
【０００６】
すなわち、図５に示すように、電磁弁ユニット１００は、たとえば複数の電磁弁ヘッド１０１とそれらが取り付けられたユニット本体１０２とを有する。図示しない圧縮ポンプなどによって圧縮された空気は、バルブ１０６及び供給配管１０３を通じてユニット本体１０２に装着された電磁弁ヘッド１０１に送り込まれている。そしてユニット本体１０２に設置された複数の電磁弁ヘッド１０１が図示しない駆動回路から駆動信号を受けて個別に開閉制御されており、それにより各々の電磁弁ヘッド１０１が入出配管１０５を介してエアシリンダなどの空圧部品１０４へ圧縮空気の流入および排出を制御している。
【０００７】
電磁弁ヘッド１０１の故障が原因で空圧部品１０４に動作不良が発生した場合、その動作不良に対応する電磁弁ヘッド１０１を交換する必要がある。そして通常では一部の電磁弁ヘッドを交換している間においてもその他の電磁弁ヘッド１０１に対応する空圧部品を全て停止することはありえず、その間においても他の電磁弁ヘッドには圧縮空気を供給しておく必要がある。しかし、交換のために電磁弁ヘッドを離脱した際には対応する供給配管１０３から圧縮空気が自由に放出されてしまう。この場合、圧縮ポンプの容量にも限界があることから、他の電磁弁ヘッドへの供給圧を大きく低下させてしまい、対応する空圧部品が作動不能になってしまう。
【０００８】
また通常では、電磁弁ヘッドの交換作業を行った後で空圧部品の作動の再開を円滑に行えるよう、電磁弁ヘッドを取り外す前に空圧部品の作動位置を所定の待機位置に位置決めし、交換作業中においてその内部状態を維持して作動位置を保持することが必要となる。
【０００９】
特にドライエッチング装置またはスパッタリング装置などの半導体製造装置が備えるチャンバの内部は常に真空に近い減圧状態に保持することが前提となっており、このチャンバの開閉扉をエアシリンダにより開閉制御している場合には、対応する電磁弁ヘッダの交換作業中にその閉位置を保持し続ける必要性が高い。もし閉位置を保持できずにチャンバ内へ空気が流入して減圧状態が損なわれた場合には、作業を再開する前にチャンバ内の減圧状態を復帰させるためのいわゆる真空引き作業を行う必要がある。この真空引き作業は約１２時間以上を要するため、電磁弁ヘッド１０１の交換後、エッチングまたは成膜などのウェハへの処理を直ちに開始することができない問題がある。
【００１０】
本発明の目的は、電磁弁ヘッドの交換作業中においても他の電磁弁ヘッドへの圧縮空気の供給に影響を与えることのない半導体製造装置を提供することにある。
【００１１】
また、本発明の他の目的は、電磁弁ヘッドの交換作業中においても空圧部品の作動位置を保持可能な半導体製造装置を提供することにある。
【００１２】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１４】
すなわち、本発明は、給排用電磁弁を開閉制御することにより流体圧作動手段に対する作動流体の流入、流出及び閉止を切り換えて流体圧作動手段の作動を制御するものであって、給排用電磁弁を備える複数の電磁弁ヘッドと、それら電磁弁ヘッドを着脱可能なユニット本体と、流体供給源に接続する共通流路とそこから分岐して各電磁弁ヘッドに接続する複数の分岐流路とで構成する流体供給流路と、各電磁弁ヘッドに流体圧作動手段を接続させる複数の流体入出流路と、複数の分岐流路上に設けられた流体供給閉止弁とを有するものである。
【００１５】
また、本発明は、給排用電磁弁を開閉制御することにより流体圧作動手段の作動を制御するものであって、給排用電磁弁を備える電磁弁ヘッドと、電磁弁ヘッドを着脱可能なユニット本体と、電磁弁ヘッドに流体供給源を接続させる流体供給流路と、電磁弁ヘッドに流体圧作動手段を接続させる流体入出流路と、流体入出流路上に設けられた流体入出閉止弁とを有するものである。
【００１６】
また、本発明は、ユニット本体内で流体供給流路の分岐流路及び流体入出流路のそれぞれにユニット内供給閉止弁及びユニット内入出閉止弁が設けられているものである。
【００１７】
また、本発明は、給排用電磁弁を開閉制御することにより流体圧作動手段の作動を制御するものであって、給排用電磁弁を備える電磁弁ヘッドと、電磁弁ヘッドを着脱可能な複数のユニット本体と、流体供給源に接続する共通供給流路とそこから分岐して各電磁弁ユニットに接続する複数の分岐供給流路とで構成する流体供給流路と、各電磁弁ヘッドに流体圧作動手段を接続させる流体入出流路と、ユニット本体内で複数の分岐供給流路上に設けられたユニット選択供給弁とを有するものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１９】
（実施の形態１）
本実施の形態１の半導体製造装置は、たとえば真空に近い減圧状態のチャンバ内でドライエッチングを行う半導体製造装置であり、図１はその半導体製造装置のうちのチャンバ及びその空圧部品の制御構成の概略図であり、図２はその制御構成の要部を説明する図である。
【００２０】
図１に示すように、この半導体製造装置は、内部と外部の気密性を維持して吸引ポンプ４１により内部を真空に近い減圧状態にできるチャンバ１と、その周辺の機械的作動を行う流体圧作動手段としての複数の空圧部品２と、作動流体である圧縮空気の供給源（流体供給源）となる圧縮ポンプ３と、供給配管４を介して圧縮ポンプ３から供給された圧縮空気を、入出配管５を介して空圧部品２に分配しそれら作動を制御する電磁弁ユニット６とを有している。
【００２１】
チャンバ１の下面にはウェハＷよりも大きい搬入孔７が設けられている。搬入孔７の下方には搬入孔７より大きい基台９が配置され、その上面には伸縮自在なジャバラ型の胴体部１０ａを介して搬入孔７を塞ぐことの可能な開閉扉１０が設置してある。空圧部品２の１つであるエアシリンダ２ａの上下動によって開閉扉１０のが搬入孔７に対して開閉作動するようになっている。また基台９には開閉扉１０を貫通して上下動可能なワークステージ１２が設けられており、開閉扉１０が開いた状態では外部のモータ４８により駆動する回転搬送アーム４２からワークステージ１２上にウェハＷが載置できるようになっている。
【００２２】
開閉扉１０を閉じることでチャンバ１内を高い気密状態とすることができ、流量調整バルブ４３を備えた排出配管４４を介して吸引ポンプ４１がチャンバ１内を減圧状態とし、その後にガス配管４５を介してチャンバ内にエッチングガスを低い気圧で封入できるようになっている。またチャンバ１内の上方には平板形状の電極４６が設置されており、これは高周波電源４７から供給された高周波電力をエッチングガスに加えてチャンバ１内にプラズマを発生させるようになっている。
【００２３】
供給配管４には開閉バルブ１３が設けられており、電磁弁ユニット６への圧縮空気の供給と停止を切り換えることができる。電磁弁ユニット６は１つのユニット本体１４に多数の電磁弁ヘッド１５を装着するマニホールド型の多連電磁弁であり、多数ある空圧部品２がそれぞれ対応する電磁弁ヘッド１５に接続され、また各電磁弁ヘッド１５はユニット本体１４に対して着脱可能となっている。
【００２４】
図２に示すようにユニット本体１４の内部には、供給配管４に接続する共通流路１６ａと、その他端部の分岐点Ｓから分岐して装着状態の複数の電磁弁ヘッド１５にそれぞれ接続する分岐流路１６ｂとを有しており、各分岐流路１６ｂにはユニット内供給閉止弁としての流体供給閉止弁１７が設けられている。またユニット本体１４の内部には装着状態の各電磁弁ヘッド１５とそれぞれに対応する入出配管５（図１参照）とを接続するユニット内入出流路１８を有しており、これらユニット内入出流路１８にはユニット内入出閉止弁としての流体入出閉止弁１９が設けられている。またユニット本体１４の内部には一端部がユニット本体１４の外部に開放し、他端部が分岐して装着状態の各電磁弁ヘッド１５に接続するユニット内排気流路２０を有している。また流体供給閉止弁１７及び流体入出閉止弁１９はどちらもニードルバルブで構成され、図示しない制御手段により個別に開閉制御されるものであり、それぞれが設けられている流路の完全な開通と閉止を切り換えることができるようになっている。
【００２５】
以上によりユニット本体１４に装着された状態の各電磁弁ヘッド１５は、供給配管４に接続する分岐流路１６ｂと、外部に開放するユニット内排気流路２０に対して並列に接続され、さらにそれぞれ対応する空圧部品２，２ａには個別に接続される構成となっている。ここで、供給配管４及び共通流路１６ａ及び分岐流路１６ｂを合わせた全体が流体供給流路２１を構成している。またユニット内入出流路１８及び入出配管５を合わせた全体が流体入出流路２２を構成している。
【００２６】
流体供給閉止弁１７及び流体入出閉止弁１９はどちらも装着する電磁弁ヘッド１５ごとに設ける必要があり、その全部の設置個数は多いものとなるが、それらを全てユニット本体１４の内部に収容するよう設けることにより全体の設置スペースを大幅に省略化することができる。また各空圧部品２はその内部でノーマルクローズ弁２３（詳細は後述する）を設けており、それを介して外部の入出配管５に接続される構成となっている。
【００２７】
次に各電磁弁ヘッド１５の内部構成について説明する。各電磁弁ヘッド１５は、装着状態時に分岐流路１６ｂ及びユニット内入出流路１８に接続する主流路２４を内部に有し、この主流路２４上には供給用電磁弁２５が設けられている。また主流路２４上であって供給用電磁弁２５からユニット内入出流路１８へ向かう側にはユニット内排気流路２０に接続する排気流路２６を有し、この排気流路２６上には排気用電磁弁２７が設けられている。
【００２８】
これら供給用電磁弁２５と排気用電磁弁２７が給排用電磁弁を構成しており、電磁弁ヘッド１５の装着時においてはそれらが電磁弁ユニット６の外部に設けられた弁駆動回路２８に電気的に接続され、弁駆動回路２８から駆動信号を受けることによりそれぞれ個別に開閉制御されるようになっている。
【００２９】
その制御方法としては、例えば供給用電磁弁２５と排気用電磁弁２７を共に閉止した場合は、主流路２４にも排気流路２６にも圧縮空気が全く流れない状態となり、すなわち空圧部品２，２ａの作動を完全に停止したことになる。また排気用電磁弁２７を閉止して供給用電磁弁２５のみを開通した場合は、分岐流路１６ｂから主流路２４を介してユニット内入出流路１８にのみ圧縮空気が流通する状態となり、すなわち空圧部品２，２ａに対して圧縮空気を流入することになる。逆に供給用電磁弁２５を閉止して排気用電磁弁２７のみを開通した場合には、ユニット内入出流路１８から主流路２４の一部及び排気流路２６を介してユニット内排気流路２０へ圧縮空気が流通する状態となり、すなわち空圧部品２，２ａから圧縮空気を排気することになる。このようにして電磁弁ヘッド１５は空圧部品２，２ａに対する圧縮空気の流入、排気及び閉止を切り換えてその作動を制御するようになっている。
【００３０】
以下、本発明の半導体製造装置の作動について説明する。まず図２において圧縮ポンプ３から送られてきた圧縮空気が供給配管４を介して電磁弁ユニット６に供給され、さらに流体供給閉止弁１７および流体入出閉止弁１９がともに開通されることにより空圧部品２の作動を制御できる状態となる。この状態において、上述したような弁駆動回路２８の駆動制御により各電磁弁ヘッド１５内の供給用電磁弁２５および排気用電磁弁２７の開閉制御を行うことで、対応する空圧部品２の圧縮空気の流出入と閉止を切り換えることができ、それにより半導体製造装置中の機械的な作動を制御できるようになっている。
【００３１】
そして供給用電磁弁２５または排気電磁弁２７に故障が生じた場合には、その故障した電磁弁を電磁弁ヘッド１５ごと交換する作業が必要になるが、その交換作業を行う前の準備として、対応する空圧部品２の作動位置を所定の待機位置に位置決めし、その後に対応する流体供給閉止弁１７および流体入出閉止弁１９を閉止させる。
【００３２】
このように作動位置が待機位置に位置決めされた空圧部品２は、交換作業後にあらためて空圧部品２の作動位置の校正（キャリブレーション）を行わずにすぐ作動を再開できることになる。また流体供給閉止弁１７が閉止されたことによって供給配管４から電磁弁ヘッド１５への圧縮空気の流入が遮断された状態となり、また流体入出閉止弁１９が閉止されたことによって空圧部品２と電磁弁ヘッド１５との間の圧縮空気の入出が遮断されて空圧部品２の内部状態が維持される状態となる。このような準備状態とした上で、ユニット本体１４から故障した電磁弁ヘッド１５を離脱し、代わりに使用可能な他の電磁弁ヘッド１５を装着するといった交換作業を行うことができる。
【００３３】
ここで電磁弁ヘッド１５とユニット本体１４との着脱構造について説明すると、一般的には着脱作業が容易に行えるように電磁弁ヘッド１５はほぼ柱状形状に形成され、ユニット本体１４にはこの電磁弁ヘッド１５を嵌合挿入可能なスロット穴が形成される構造となる。またそれらが備える各流体流路どうしの接続は、前記スロットの挿入方向に嵌合可能な配置のオス型とメス型のプラグ対で構成される。
【００３４】
これにより新しい電磁弁ヘッド１５をユニット本体１４に装着する際には、電磁弁ヘッド１５そのものをユニット本体１４に取り付けて固定するだけでなく、その装着とともに電磁弁ヘッド１５側の主流路２４の両端部がユニット本体１４側の分岐流路１６ｂ及びユニット内入出流路１８にそれぞれ同時に接続され、また電磁弁ヘッド１５側の排気流路２６がユニット本体１４側のユニット内排気流路２０に接続されるようになっている。しかしこのような構成では、逆に電磁弁ヘッド１５をユニット本体１４から離脱した直後から分岐流路１６ｂ、ユニット内入出流路１８及びユニット内排気流路２０のそれぞれの嵌合開口部が周囲の空間に開放してしまうことになる。
【００３５】
従来技術による半導体製造装置においては、これら開放状態となったユニット本体１４内の各流路の開口部から圧縮空気が自由に放出されてしまい、それによりユニット本体１４から離脱されていない他の電磁弁ヘッド１５へは圧縮空気が十分に供給されずに供給圧が大幅に低下してしまう問題があり、また空圧部品２においては内部の圧力が下がって内部状態が変化し、待機位置の作動位置を保持できなくなるといった問題があった。特に図１に示すエアシリンダ２ａのようにチャンバ１の開閉扉１０を閉位置に保持して内部の減圧状態を維持するものである場合、その閉位置に対応する待機位置を保持できなくなるとチャンバ１内に空気が流入してしまい減圧状態が損なわれることになる。
【００３６】
しかし本発明の半導体製造装置においては、ユニット本体１４内の分岐流路１６ｂ及びユニット内入出流路１８のそれぞれの開口部付近に各々の流通を完全に遮断できる流体供給閉止弁１７及び流体入出閉止弁１９を設けており、上述したようにそれらの弁１７，１９を閉止した後には電磁弁ヘッド１５を離脱しても各流路１６ｂ，１８の開口部からは圧縮空気の放出が完全に防止されることになる。
【００３７】
図３は空圧部品２の内部に設けられたノーマルクローズ弁２３の開閉作動特性を示す図であり、横軸は時間を示し、縦軸は空圧部品２内部の圧力を示している。図３において、ユニット本体１４内に流体入出閉止弁１９を設けていない場合には、曲線Ｘで示すように電磁弁ヘッド１５を離脱してから時間経過とともに空圧部品２内部の圧力が減少し、最終的に周囲の大気圧と同じ圧力にまで低下してしまう。その途中において所定の開閉作動圧を下回った時点でノーマルクローズ弁２３は自動的に閉止状態となるが、その時点はすでに空圧部品２の内部状態は大きく変化してしまい電磁弁ヘッド１５を離脱させる前の作動位置（待機位置）を保持できなくなってしまう。
【００３８】
その一方で本発明のようにユニット本体１４内に流体入出閉止弁１９を設けている場合には、その弁を閉止して空圧部品２からの圧縮空気の放出を防ぐことにより、直線Ｙで示すように電磁弁ヘッド１５の離脱後に時間が経過しても空圧部品２内部の圧力が維持され、ノーマルクローズ弁２３も開通状態のままとなる。このため電磁弁ヘッド１５の交換作業中においても空圧部品２の内部状態は維持され続けて作動位置を待機位置に保持できるようになる。
【００３９】
以上述べたように本発明の半導体製造装置によれば、電磁弁ヘッド１５の交換作業中においても流体供給閉止弁１７が閉止されていることにより、他の装着状態の電磁弁ヘッド１５に影響を与えることなく、十分な圧力で圧縮空気を供給して空圧部品２の作動性能を確保することができる。
【００４０】
また電磁弁ヘッド１５の交換作業中においても流体入出閉止弁１９が閉止されていることによって、空圧部品２の内部状態を維持して位置決めされた待機位置を保持することができ、それにより電磁弁ヘッド１５の交換作業後であってもすぐに空圧部品２の作動を再開することができる。特にこの構成は半導体製造装置においてチャンバ１の開閉扉１０の閉位置を保持して内部の減圧状態を維持するようなエアシリンダ２ａなどへの適用には有効である。
【００４１】
なお、流体供給閉止弁１７及び流体入出閉止弁１９は、それぞれユニット本体１４の外部に設置してもよく、その場合は設置スペースが広く必要となるが、前記の効果は同様に得ることができる。
【００４２】
また本発明は、電磁弁ユニット６が電磁弁ヘッド１５を１つだけ装着する単装電磁弁の構成であっても、前記のように電磁弁ヘッド１５の交換作業中においても空圧部品２の作動位置を保持することが可能である。
【００４３】
（実施の形態２）
図４は、本実施の形態２の半導体製造装置のうちの空圧部品を制御する要部構成を説明する図である。図４に示すように本実施の形態２の半導体製造装置は、１本の共通供給流路２９ａとそれから分岐する分岐供給流路２９ｂを介して同一の圧縮ポンプ３に並行接続しているユニットＡとユニットＢを有している。ユニットＡは、前記実施の形態１の半導体製造装置（図２参照）が有しているものと同じ構成の電磁弁ユニット６と、それにより作動制御される空圧部品２で構成されており、ユニットＢは電磁弁ユニット３０と空圧部品２で構成されている。
【００４４】
電磁弁ユニット３０のユニット本体３１においては、その内部の分岐供給流路２９ｂ上にユニット選択供給弁３２が１つだけ設けられており、またユニット内排気流路２０の下流側開口部付近に流体排気閉止弁３３が１つだけ設けられ、それ以外の構成は全て電磁弁ユニット６（前記実施の形態１）と同じ構成である。なお図中では図示煩雑を避けるためにユニットＡとユニットＢのそれぞれに弁駆動回路２８を設けているよう示しているが、実際にはこれら２つの弁駆動回路２８は同一の装置内に構成されるものであり、各ユニットに同時に駆動信号を出力できるようになっている。
【００４５】
ここで、例えばある１つの電磁弁ユニット内において、一部の電磁弁ヘッド１５の交換作業中に、他の電磁弁ヘッド１５に対応する空圧部品２の作動を全て停止してもよい場合には、流体供給閉止弁１７を各電磁弁ヘッド１５ごとに設ける必要はなく、電磁弁ユニット３０のように共通する流路（図中の分岐供給流路２９ｂ）にユニット選択供給弁３２を１つだけ設ける構成としてよい。この場合には設置する弁の数が大幅に少なくなるため、構造の単純化及び製造コストの削減を図ることができるとともに、電磁弁ユニット３０ごとに選択的に圧縮空気の供給を切り換えてできるだけむだな圧縮空気の流通を回避し、他の電磁弁ユニット６への供給圧の低下を防ぐことができる。
【００４６】
また空圧部品２の種類によっては、位置センサーを設けて作動位置をフィードバック制御するなどのように、その作動位置を正確に校正することや把握することが不要なものがある。このように空圧部品２の作動位置を保持する必要がない場合や、また設置構成上からも保持すべき待機位置がないといった場合には、電磁弁ユニット３０のように流体入出流路上の閉止弁は省略することができ、構造の単純化及び製造コストの削減を図ることができる。
【００４７】
以上、本発明者によってなされた発明を発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００４８】
たとえば、前記実施の形態においては半導体製造装置のチャンバ１を開閉するエアシリンダ２ａを空圧部品２の例に取り、その制御構成について説明したが、その要部である空圧部品制御装置は他にも多数の空圧部品を利用する工作機械、水処理装置、化学装置、包装機械及び食品機械などの産業機械に汎用的に適用できるものである。
【００４９】
また前記実施の形態においては、機械的作動の制御手段として圧縮空気を作動流体に用いた空気圧回路で構成したが、本発明はこれに限られず、作動油を作動流体として用いた油圧回路で構成することも可能である。
【００５０】
【発明の効果】
本願によって開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下の通りである。
（１）　一部の電磁弁ヘッドの交換作業中においてもそれらに対応する流体供給閉止弁を閉止して流体供給流路の流通を遮断できることにより、他の装着状態の電磁弁ヘッドへの圧縮空気供給圧に影響を与えることなくそれらに対応する空圧部品の作動性能を確保することができる。
（２）　電磁弁ヘッドの交換作業中においてもそれらに対応する流体入出閉止弁を閉止して流体入出流路の流通を遮断できることにより、空圧部品の内部状態を維持してその位置決めされた待機位置を保持することができ、それにより電磁弁ヘッドの交換作業後すぐに空圧部品の作動を再開することができる。
（３）　流体供給閉止弁及び流体入出閉止弁を全てユニット本体の内部に収容するよう設けることにより全体の設置スペースを大幅に省略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である半導体製造装置のうちのチャンバ及びその空圧部品の制御構成の概略図である。
【図２】図１中の空圧部品の制御構成の要部を説明する図である。
【図３】空圧部品の内部に設けられたノーマルクローズ弁の開閉作動特性を示す図である。
【図４】本発明の他の実施の形態である半導体製造装置のうちの空圧部品を制御する要部構成を説明する図である。
【図５】本発明者が検討した課題について説明する半導体製造装置の空圧部品の制御構成の概略図である。
【符号の説明】
１　　　チャンバ
２　　　空圧部品
２ａ　　エアシリンダ
３　　　圧縮ポンプ（流体供給源）
４　　　供給配管
５　　　入出配管
６　　　電磁弁ユニット
７　　　搬入孔
９　　　基台
１０　　開閉扉
１２　　ワークステージ
１３　　開閉バルブ
１４　　ユニット本体
１５　　電磁弁ヘッド
１６ａ　共通流路
１６ｂ　分岐流路
１７　　流体供給閉止弁（ユニット内供給閉止弁）
１８　　ユニット内入出流路
１９　　流体入出閉止弁（ユニット内入出閉止弁）
２０　　ユニット内排気流路
２１　　流体供給流路
２２　　流体入出流路
２３　　ノーマルクローズ弁
２４　　主流路
２５　　供給用電磁弁（給排用電磁弁）
２６　　排気流路
２７　　排気用電磁弁（給排用電磁弁）
２８　　弁駆動回路
２９ａ　共通供給流路
２９ｂ　分岐供給流路
３０　　電磁弁ユニット
３１　　ユニット本体
３２　　ユニット選択供給弁
３３　　流体排気閉止弁
４１　　吸引ポンプ
４２　　搬送アーム
４３　　流量調整バルブ
４４　　排出配管
４５　　ガス配管
４６　　電極
４７　　高周波電源
４８　　モータ
１００　電磁弁ユニット
１０１　電磁弁ヘッド
１０２　ユニット本体
１０３　供給配管
１０４　空圧部品
１０５　入出配管
１０６　バルブ
Ｗ　　　ウェハ
Ｓ　　　分岐点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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