(57)【要約】【課題】製造が容易で、製造誤差によるリニアモータの効率の低下が少ない、リニアモータを搭載したアクチュエータユニットを提供する。【解決手段】固定された１本の軌道レール６上を摺動自在なスライダ５に、ステータ２，２により駆動される可動子１を片持状態で支持する支持腕４を有することを特徴とする。これによって、アクチュエータユニットの組み立て調整が簡素化でき、製造時における歩留まり及びスループットの向上を図ることができる。そして、リニアモータ以外のアクチュエータユニットを構成する部品も、従来のものよりも精度が低いものを使用することができるため、製造コストを低廉化できる。更に、従来のものと比べると、軌道レールの平行度や上下レベル等の誤差による摺動抵抗の増加という要因がないため、リニアモータの効率を向上させることができる。【選択図】　　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定された１本の軌道レール上を摺動自在なスライダに、ステータにより駆動される可動子を片持状態で支持する支持腕を有することを特徴とするリニアモータを搭載したアクチュエータユニット。
【請求項２】
前記ステータと前記軌道レールとは、互いに直交する面上にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１記載のリニアモータを搭載したアクチュエータユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータを搭載したアクチュエータユニットに関し、特に、スライダが摺動する軌道レールとステータの組み立てが容易なリニアモータを搭載したアクチュエータユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体製造装置、電子部品実装機、機械内搬送装置等において、リニアモータを搭載したアクチュエータユニットが多く使用されるようになってきている。このような、アクチュエータユニットは、一般に、中央に配置されたステータにより駆動される可動子が、ステータの両側にステータと平行に配置された２本の軌道レールに摺動自在に取り付けられたスライダによって、両側から支持された構造とされている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００３】
図２は従来の吸引力相殺型リニアモータを搭載したアクチュエータユニットの断面図である。
【０００４】
図２において、ベース７の上に、一対のステータ２，２が互いに平行に配置されており、両ステータ２，２の対向する側面には、永久磁石３，３が取り付けられている。そして、両ステータ２，２の間には、ステータ２，２の磁場と自己の発生する磁場との相互作用によって駆動される可動子１が配置されている。
【０００５】
また、ステータ２，２の両側のベース７上には、ステータ２，２と平行に一対の軌道レール６，６が配置されている。この軌道レール６，６には、摺動自在にスライダ５，５が取り付けられている。そして、両スライダ５，５上に跨って可動テーブル４’が設けられており、両スライダ５，５同士を固定している。更に、この可動テーブル４’の中央下部に、可動子１が固定されており、可動子１は、可動テーブル４’を介して、両スライダ５，５により、両ステータ２，２の間の空中に支持された構成とされている。
【０００６】
かかる構成において、可動子１内の電磁石（図示せず）に電流が流されると、可動子１の周りに磁場が生じ、この磁場と、永久磁石３，３の磁場とが相互作用して可動子１に駆動力が働く。これにより、スライダ５，５が軌道レール６，６上を摺動して、可動テーブル４’に動力が発生することになる。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−６４９６８号公報
【０００８】
【特許文献２】
特開平９−１４０１１８号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のリニアモータを搭載したアクチュエータユニットでは、ステータ２，２と平行に２本の軌道レール６，６をベース７上に配置する必要がある。そのため、軌道レール６，６同士の配置の精度、すなわち、平行度や上下レベル等の誤差が大きいと、スライダ５，５の摺動抵抗が大きくなる。その結果、リニアモータの効率が低下する。
【００１０】
更に、両ステータ２，２と両軌道レール６，６との平行度、及び、可動子１と軌道レール６，６との平行度の誤差が大きいと、可動子１と永久磁石３との距離を一定に保つことができず、リニアモータの効率が低下する。
【００１１】
そして、上記各部の誤差がないように精度よくアクチュエータユニットを製造するのは極めて困難であり、ベース７を精密加工する必要がある。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、製造が容易で、製造誤差によるリニアモータの効率の低下が少ない、リニアモータを搭載したアクチュエータユニットを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るリニアモータを搭載したアクチュエータユニットは、固定された１本の軌道レール上を摺動自在なスライダに、ステータにより駆動される可動子を片持状態で支持する支持腕を有することを特徴とする。
【００１４】
これにより、軌道レールが１本であるため、軌道レールが２本の場合に生じる軌道レール同士の平行からのずれに起因する摺動抵抗の増大がなくなる。また、軌道レールが１本であるため、軌道レールとステータとの平行度の調整も行いやすい。従って、可動子とステータとの間隙を一定の間隙に近づけやすくなる。さらに、軌道レールとステータとの平行度の調整も行いやすい。そのため、製造も容易となり、リニアモータ以外のアクチュエータユニットを構成する部品も、従来のものよりも精度が低いものを使用することができる。
【００１５】
また、本発明においては、前記ステータと前記軌道レールとは、互いに直交する面上にそれぞれ設けることができる。
【００１６】
これにより、ステータと軌道レールとの配置が極めて容易となる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明に係る吸引力相殺型リニアモータを搭載したアクチュエータユニットの断面図である。
【００１８】
図１において、本実施形態に係るリニアモータを搭載したアクチュエータユニットは、水平面７ａと垂直面７ｂとからなる直角面状の表面を有するベース７上に配置される。
【００１９】
ベース７の垂直面７ｂ上には一対のステータ２，２が互いに平行に配置されており、両ステータ２，２の対向する側面には、永久磁石３，３が取り付けられている。そして、両ステータ２，２の間には、ステータ２，２の磁場と自己の発生する磁場との相互作用によって駆動される可動子１が配置されている。尚、本実施形態におけるリニアモータは、吸引力相殺型リニアモータである。
【００２０】
また、ベース７の水平面７ａ上には、ステータ２，２と平行に１本の軌道レール６が配置されている。この軌道レール６には、摺動自在にスライダ５が取り付けられている。そして、スライダ５と可動子１とを接続する直角に曲折した支持腕である可動テーブル４が設けられており、可動子１は可動テーブル４により、スライダ５に片持状態で支持されている。
【００２１】
かかる構成において、可動子１内の電磁石（図示せず）に電流が流されると、可動子１の周りに磁場が生じ、この磁場と、永久磁石３，３の磁場とが相互作用して可動子１に駆動力が働く。これにより、スライダ５が軌道レール６上を摺動して、可動テーブル４に動力が発生することになる。
【００２２】
このように、本実施形態においては、軌道レール６が１本であるため、上記従来のアクチュエータユニットのように、２本の軌道レールの取付誤差による摺動抵抗の増加という問題がなく、スライダ５の摺動抵抗を大幅に減少させることができる。また、軌道レール６とステータ２，２との平行度調整も、従来に比べて容易である。従って、軌道レール６とステータ２，２との平行度を向上することができ、可動子１と永久磁石３，３との間の間隙幅を一定に近づけることが容易である。従って、リニアモータの効率を向上させることができる。
【００２３】
更に、直角面を有するベース７にアクチュエータユニットを組み立てることで、組み立てが更に容易となる。
【００２４】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係るリニアモータを搭載したアクチュエータユニットでは、アクチュエータユニットの軌道レールを１本としたために、アクチュエータユニットの組み立て調整が簡素化でき、製造時における歩留まり及びスループットの向上を図ることができる。そして、リニアモータ以外のアクチュエータユニットを構成する部品も、従来のものよりも精度が低いものを使用することができるため、製造コストを低廉化できる。更に、従来のものと比べると、軌道レールの平行度や上下レベル等の誤差による摺動抵抗の増加という要因がないため、リニアモータの効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る吸引力相殺型リニアモータを搭載したアクチュエータユニットの断面図である。
【図２】従来の吸引力相殺型リニアモータを搭載したアクチュエータユニットの断面図である。
【符号の説明】
１　可動子
２　ステータ
３　永久磁石
４，４’　可動テーブル
５　スライダ
６　軌道レール
７　ベース
７ａ　水平面
７ｂ　垂直面
【図１】
2004140888.tif 000003
【図２】
2004140888.tif 000004