(57)【要約】【課題】高密度化、大面積化、低コスト化、低ノイズ化を図れない。【解決手段】可動部材３とこの可動部材３に対向する導電性部材４とを有し、導電性部材４に電位を与えることで可動部材３が静電力によって変形変位するアクチュエータ部６を備えるとともに、アクチュエータ基板１には光に応答する光応答部材７を一体的に設け、光応答部材７を介して電位供給線８の電位を導電性部材４に与える。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部材とこの可動部材に対向する導電性部材とを有し、前記導電性部材に電位を与えることで前記可動部材が静電力によって変形又は変位するアクチュエータ部を備えている静電型アクチュエータにおいて、光に応答する光応答部材が一体的に設けられ、この光応答部材を介して前記アクチュエータ部の導電性部材に電位が与えられることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記光応答部材が整流性を有する光導電体であることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の静電型アクチュエータにおいて、前記光応答部材がシリコン系膜により形成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、前記導電性部材は前記光応答部材の光が入射される部位に接しており、かつ前記導電性部材が光を透過する部材であることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の静電型アクチュエータにおいて、前記アクチュエータ部及び各アクチュエータ部に対応する光応答部材を複数備え、複数の光応答部材の電位入力側は共通に接続されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の静電型アクチュエータを駆動する駆動装置であって、駆動情報に応じて光を出射する光源と、この光源から出射された光を複数の前記アクチュエータ部の各光応答部材に対して走査するための走査手段を備えていることを特徴とする静電型アクチュエータの駆動装置。
【請求項７】
請求項６に記載の静電型アクチュエータの駆動装置において、前記静電型アクチュエータの光応答部材に光を照射して前記導電性部材に電位を与え、前記可動部材の電位との電位差で前記光照射とほぼ同時に前記可動部材を変位又は変形させることを特徴とする静電型アクチュエータの駆動装置。
【請求項８】
請求項６に記載の静電型アクチュエータの駆動装置において、前記静電型アクチュエータの光応答部材に光を照射して前記導電性部材に電位を与え、前記光照射後に前記可動部材に所定の電位を与えて前記導電性部材と可動部材との間に電位差を発生させ、前記光照射の後に前記可動部材を変位又は変形させることを特徴とする静電型アクチュエータの駆動装置。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の静電型アクチュエータの駆動装置において、前記可動部材の変位又は変形後に前記導電性部材の電位を初期の電位にリセットすることを特徴とする静電型アクチュエータの駆動装置。
【請求項１０】
液滴を吐出するノズルが連通する液室を有し、この液室内の液を加圧する加圧手段を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記請求項１ないし５のいずれかに記載の静電型アクチュエータを有し、この静電型アクチュエータのアクチュエータ部で前記加圧手段が構成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、このヘッドはライン型ヘッドであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
ノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが前記請求項１０又は１１に記載の液滴吐出ヘッドであり、前記請求項６ないし９のいずれかに記載の静電型アクチュエータの駆動装置を備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載のインクジェット記録装置において、１つの前記液滴吐出ヘッドに対する前記光源が１つであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１４】
少なくとも一部に光を反射するミラー部材を有し、このミラー部材を変形又は変位させることで光の進行方向を変化させる光デバイスであって、前記ミラー部材を変形又は変位させるアクチュエータ部と、光に応答する光応答部材とを有し、この光応答部材を介して前記アクチュエータ部に駆動用電位が与えられることを特徴とする光デバイス。
【請求項１５】
少なくとも一部に印加される電圧に応じて屈折率が変化する光偏向部材を有し、この光偏向部材に電圧を印加することで光の進行方向を変化させる光デバイスであって、前記光偏向部材に光に応答する光応答部材を介して駆動用電位が与えられることを特徴とする光デバイス。
【請求項１６】
請求項１４又は１５に記載の光デバイスを駆動する駆動装置であって、前記光デバイスの光応答部材に対する光の照射の有無、照射する光の強弱又は波長の差にて駆動を制御することを特徴とする光デバイスの駆動装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の光デバイスの駆動装置において、光情報に応じた光の照射とほぼ同時に前記光デバイスを動作させることを特徴とする光デバイスの駆動装置。
【請求項１８】
請求項１６に記載の光デバイスの駆動装置において、光の照射により得られた光駆動情報を所定時間保持した後前記光デバイスを動作させることを特徴とする光デバイスの駆動装置。
【請求項１９】
請求項１６に記載の光デバイスの駆動装置において、光の照射により得られた光駆動情報を所定時間保持した後、複数の前記光デバイスを略同時に動作をさせることを特徴とする光デバイスの駆動装置。
【請求項２０】
光情報信号を複数のポートから入力し、それぞれの光路を決定して複数のポートから出力伝送する光デバイスにおいて、入力光情報信号の進行方向を変える光偏向を行なって出力光情報信号のポートを決定する光路切替手段を有し、この光路切替手段が請求項１４又は１５のいずれかに記載の光デバイスで構成されていることを特徴とする光デバイス。
【請求項２１】
請求項２０の光デバイスを駆動する駆動装置であって、請求項１６ないし１９のいずれかに記載の光デバイスの駆動装置を含むことを特徴とする光デバイスの駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は静電型アクチュエータ、静電型アクチュエータの駆動装置、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置、光デバイス及び光デバイスの駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体装置や液晶表示装置の製造技術を応用した微細な電気機械システム（一般的にＭＥＭＳ：Ｍｉｒｃｏ　Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍｓ）の開発、特に微細な光学システムや生体分析用システムにおける応用を目指して開発が盛んであり、また、画像出力のためのインクジェット記録装置に使われているインクジェットヘッドやその他の液滴吐出ヘッドとして実用化されている。
【０００３】
液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドとしては、加圧手段（圧力発生手段、アクチュエータ）として圧電素子などの電気機械変換素子（圧電型アクチュエータ）を用いて吐出室の壁面を形成している振動板を変形変位させることでインク滴を吐出させるピエゾ型のもの、吐出室内に配設した発熱抵抗体などの電気熱変換素子（サーマル型アクチュエータ）を用いてインクの膜沸騰でバブルを発生させてインク滴を吐出させるサーマル型のもの、吐出室の壁面を形成する振動板とこれに対向する電極（静電型アクチュエータ）を用いて振動板を静電力で変形させることでインク滴を吐出させる静電型のものなどがある。また、インクに電荷を付与して被記録媒体側に配置した電極（静電吸引アクチュエータ）を用いて静電引力でインク滴を吐出させる静電吸引型のものなどがある。
【０００４】
このようなインクジェットヘッドにおいては、アクチュエータは全て複数のノズル孔それぞれに対応して一対一で設置されていることが通常であり、そのためアクチュエータを駆動する駆動装置も同数必要となるのが通常である。ただし、サーマルアクチュエータにおいては過剰発熱を抑制するため、マトリクス駆動により複数のノズルに対応する複数のサーマルアクチュエータを一つの駆動装置で駆動する場合もある。
【０００５】
このように、アクチュエータとほぼ同数の駆動装置は、圧電アクチュエータや静電アクチュエータや静電吸引アクチュエータにおいてはアクチュエータとは別基板に構成される駆動回路チップにて構成されることが一般的であり、サーマルアクチュエータにおいては同一基板内に構成されることが一般的である。
【０００６】
この違いはサーマルアクチュエータが集積化が容易なシリコン基板に構成されるのに対し、圧電アクチュエータ、静電アクチュエータや静電吸引アクチュエータは製造工程の都合により該シリコン基板上に形成が困難なためである。
【０００７】
すなわち、駆動するアクチュエータに選択的に画像情報を伝達する駆動回路を同一基板上に形成できない上記素子（サーマルアクチュエータ以外）は、駆動回路チップ内の駆動装置と一対一でＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ　Ｐｒｉｎｔｅｄ　Ｃｉｒｃｕｉｔｓ、フレキシブルなプリント配線板）やワイヤボンディングにより接続することが必要となる。
【０００８】
この場合、アクチュエータの電位供給取り出し部位（一般的にパッドと称される）に対し駆動回路チップを一対一でＦＰＣやワイヤボンディングにより接続する工程歩留りは、パッド数やパッド寸法に強く依存し、ヘッドの高密度化（高集積化）や大面積化（１チップ内のアクチュエータ数の増大）によって特に製品の歩留を低下させる問題を有している。
【０００９】
また、上記ＦＰＣやワイヤボンディングによる接続の微細な限界は現状約３０〜４０μｍであり、このことがアクチュエータ及びそれを用いた製品の高密度化や大面積化の進展を阻止しているといえる。
【００１０】
さらに、例えばライン型のインクジェットヘッド（印字領域が用紙の一辺方向に亘り形成され、ヘッド自体移動する必要がないヘッド）を構成する場合、用紙がＡ４やＡ３サイズになると１０００ピンの駆動回路チップが数十個必要となり、それにより製品のコストを大幅に上昇させる問題もある。なお、ライン型インクジェットヘッドはヘッド自体が移動する必要がないので、それを保持する機構の強度を低減でき、同時に移動に伴う振動も発生せず、用紙の一辺方向を同時に印字するので、軽量で低振動で高速なインクジェット記録装置を提供することが可能であり、今後実用化を目指さなければならないヘッドである。
【００１１】
上記のように、駆動回路をアクチュエータと同一基板上又はアクチュエータ基板に接合して設置することは重要であるが、現状で可能なものは上記サーマルアクチュエータである。しかしながら、サーマルアクチュエータは動作時に大量の発熱があるために連続した素子の同時駆動が困難であったり、消費電力が高いという問題を有している。さらに、シリコン基板上に形成することが必要なため、１チップの大面積化が困難である問題を有している。
【００１２】
上記サーマルアクチュエータ以外で駆動装置を同一基板上に形成する方法としては、ガラス基板上に形成されたアクチュエータと同一基板上に、１アクチュエータごとに薄膜トランジスタを複数設置して駆動装置とする方法が考えられるが、例えばアクチュエータが画像形成装置や映像表示装置の場合は、複数あるアクチュエータを画像入力信号に合わせて適時動作させることが必要となり、画像情報を記憶する素子（メモリ）も同時に形成することが必須となる。
【００１３】
そのため、１アクチュエータを適時動作させるための駆動装置に含まれる上記機能素子の数が増大し、製造歩留りを大幅に低下させる問題を有している。また、増大した上記機能素子の占める面積割合が大きく、製品の高密度化を阻害する問題もある。さらに、薄膜によるメモリ素子も現状では良好なものが得られていない。
【００１４】
ここで、従来のインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置としては、例えば、特開平８−２３８７７４号公報に開示されているように、静電吸引型アクチュエータを用いたインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、インク噴射室の側壁に埋設された静電界印加用電極部とその電圧を印加するための高圧電源部の間に、インクの吐出を制御する制御素子部とその制御素子部を制御するプロセス制御部を配置し、さらに制御素子部が発光部と光導電部を具備し、別途プロセス制御部に具備された発光量制御部により発光部の動作を制御して光導電部に受光させ光導電部の抵抗を変化させ、インク噴射室の側壁に埋設された静電界印加用電極部の電圧を制御するようにして、静電界印加用電極とノズル孔前方に配置された対向電極部との間の電位差を制御し、インク噴射室中のインクに電荷を付与し、電荷を有するインクが対向電極部に向けて静電吸引されるようにしたものが知られている。
【００１５】
また、特許第３０３０７８７号公報や再公表特許ＷＯ９７／２９９１に開示されているように、圧電アクチュエータを複数個並列に配置したインクジェットヘッドにおいて、圧電アクチュエータの一方の電極を各々独立して光導電体に接続し、他方の電極を共通に任意の電位に接続し、光走査手段により前記複数の光導電体に選択的に光照射を行い、それにより圧電アクチュエータを選択的に変形させてインク滴を噴射させるものが知られている。
【００１６】
上述した液滴吐出ヘッド以外に、ＭＥＭＳに属するものとしては、光伝送装置として用いられる光クロスコネクトが実用化されている。現在、情報を伝達する手段は主に電気機器によるところが多いが、情報量の増大に伴い徐々に光による伝達手段すなわち光伝送装置を用いることが増えてきている。現在の光伝送の主な用途は都市間や国間や大陸間を光ファイバーにより伝送することであり、その中で光クロスコネクトは複数の反射ミラーを個別に動作させ光路を選択し光ファイバから別の光ファイバへ光情報を伝達する目的で使われている。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
先ず、上述した従来のインクジェット記録装置にあっては、光によりアクチュエータである静電界印加用電極の電位を制御しているが、同装置では制御素子部はアクチュエータと同一基板上には設置されておらず、前述したＦＰＣやワイヤボンディングによる接続歩留りの低下やコスト増加を招くという課題があり、更に静電吸引方式であるために高い駆動電圧（数千Ｖ）が必要となり、それによる電磁ノイズが発生するという課題や電荷をインクに付与するために消費電力が大きいという課題がある。
【００１８】
また、圧電型アクチュエータと光導電体とを組み合わせたインクジェットヘッドにあっては、そもそも圧電型アクチュエータは微細なパターン化が困難であり、現状の印刷ピエゾ方式では４００ｄｐｉ（ｄｏｔｓ　ｐｅｒ　ｉｎｃｈ）が限界であり、また積層ピエゾ素子のダイシング加工方式では３００ｄｐｉが限界と考えられるため、ヘッドの高密度化、特に１２００ｄｐｉ以上の高密度化を図ることが困難であるという課題がある。
【００１９】
次に、上述した光伝送技術は今後の情報量の増大に伴ってオフィス内や機器内でも用いられることが考えられ、この場合には上記大規模光通信網で用いられている光クロスコネクト装置と同様にオフィス内や機器内でも光路の切替装置が必要となり、その光路切替装置としては現状の光クロスコネクト装置に代表されるように、電気信号により駆動装置を動作させ光路切替用アクチュエータを動作させるものが考えられる。
【００２０】
ところが、光路切替装置を電気信号により駆動動作させることは、駆動装置内で多数の金属配線を経由することに起因する情報伝達の遅延を発生させるので、光路切替の応答性の高速化を阻害するという課題が表面化すると考えられる。また、駆動装置に起因する電磁ノイズは高速動作に合わせて増大することが予想され、その低減をいかに図るかという課題が生じる。
【００２１】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、高密度化、大面積化、高歩留り化、低コスト化を図れる静電型アクチュエータ、静電型アクチュエータの駆動装置、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置、光デバイス及び光デバイスの駆動装置を提供することを目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る静電型アクチュエータは、可動部材とこの可動部材に対向する導電性部材とを有し、導電性部材に電位を与えることで可動部材が静電力によって変形又は変位するアクチュエータ部を備えるとともに、光に応答する光応答部材が一体的に設けられ、この光応答部材を介してアクチュエータ部の導電性部材に電位が与えられる構成としたものである。
【００２３】
ここで、光応答部材が整流性を有する光導電体であることが好ましく、また、光応答部材がシリコン系膜により形成されていることが好ましい。さらに、導電性部材は光応答部材の光が入射される部位に接触しており、かつ導電性部材が透明であることが好ましい。また、複数のアクチュエータ部及び各アクチュエータ部に対応する光応答部材を有し、各光応答部材の電位入力側は共通に接続されていることが好ましい。
【００２４】
本発明に係る静電型アクチュエータの駆動装置は、駆動情報に応じて光を出射する光源と、この光源から出射された光を本発明に係る静電型アクチュエータの複数のアクチュエータ部の各光応答部材に対して走査する手段とを備えている構成としたものである。
【００２５】
ここで、静電型アクチュエータの光応答部材に光を照射して導電性部材に電位を与え、可動部材の電位との電位差で光照射とほぼ同時に可動部材を変位又は変形させることができる。また、静電型アクチュエータの光応答部材に光を照射して導電性部材に電位を与え、光照射後に可動部材に所定の電位を与えて導電性部材と可動部材との間に電位差を発生させ、光照射の後に可動部材を変位又は変形させることができる。
【００２６】
この場合、可動部材の変位又は変形後に前記導電性部材の電位を初期の電位にリセットすることが好ましい。
【００２７】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、液室内の液を加圧する加圧手段を本発明に係る静電型アクチュエータのアクチュエータ部で構成したものである。ここで、このヘッドはライン型ヘッドであることが好ましい。
【００２８】
本発明に係るインクジェット記録装置は、ノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを本発明に係る液滴吐出ヘッドで構成し、この液滴吐出ヘッドを構成する静電型アクチュエータを駆動する本発明に係る静電型アクチュエータの駆動装置を備えているものである。ここで、静電型アクチュエータの駆動装置は光源が１つであることが好ましい。
【００２９】
本発明に係る光デバイス及びその駆動装置は、ミラー部材を変形又は変位させるアクチュエータ部と、光に応答する光応答部材とを有し、この光応答部材を介してアクチュエータ部に駆動用電位が与えられる構成とし、或いは、電圧に応じて屈折率が変化する光偏向部材に光に応答する光応答部材を介して駆動用電位が与えられる構成として、光デバイスの光応答部材に対する光の照射の有無、照射する光の強弱又は波長の差にて駆動を制御する手段を備えているものである。
【００３０】
ここで、光情報に応じた該光の照射とほぼ同時に前記光デバイスを動作させ、或いは、光の照射により得られた光駆動情報を所定時間保持した後光デバイスを動作させ、若しくは、光の照射により得られた光駆動情報を所定時間保持した後、複数の光デバイスをほぼ同時に動作をさせることができる。
【００３１】
本発明に係る他の光デバイス及びその駆動装置は、光情報信号を複数のポートから入力し、それぞれの光路を決定して複数のポートから出力伝送する光デバイスであって、入力光情報信号の進行方向を変える光偏向を行なって出力光情報信号のポートを決定する光路切替手段を有し、この光路切替手段が上記本発明に係る光デバイスで構成され、上記本発明に係る光デバイスの駆動装置を備えているものである。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。本発明の静電型アクチュエータの第１実施形態について図１ないし図３を参照して説明する。なお、図１は同アクチュエータの可動部材長手方向に沿う断面説明図、図２は同アクチュエータの平面説明図、図３は同アクチュエータの光応答部材の層構造の説明に供する説明図である。
【００３３】
この静電型アクチュエータは、アクチュエータ基板１上に絶縁性膜２を設け、この絶縁性膜２に形成した凹部２ａの開口部側に可動部材３を設けるととも、アクチュエータ基板１上で凹部２ａの底面側に導電性部材４を設けて、これらの可動部材３と導電性部材４とを絶縁性膜２に設けた凹部２ａで構成されるギャップ５を介して対向させ、これらの可動部材３と対向する導電性部材５とによって可動部材３を静電力で変形、変位させる静電型のアクチュエータ部６を構成している。
【００３４】
また、アクチュエータ基板１上の導電性部材４はアクチュエータ部６外に引き出して引出し部４ａを形成し、この引出し部４ａ上には光に対して応答する光応答部材７を電気的接続状態で設けることで導電性部材４を光応答部材７に接して設け、また、光応答部材７の電位入力側には絶縁性膜２上に形成した電位供給線（部材）８を接続している。これらの光応答部材７と導電性部材４の引出し部４ａと電位供給線８によってアクチュエータ部６を駆動／非駆動にするための駆動部９を構成している。このようにアクチュエータ基板１上に光応答部材７を設けることで、この静電型アクチュエータは光応答部材７を一体的に設けている。
【００３５】
ここで、アクチュエータ基板１としては微細化を図るためにシリコン基板やガラス基板などの一般に半導体プロセスや液晶プロセスにて用いられている基板を用いることが好ましく、この実施形態では、アクチュエータ基板１の外側から光応答部材７に光（光駆動信号）１０を入射させるので、光を透過する部材、例えば透明なガラス基板を用いている。
【００３６】
絶縁性膜２は、アクチュエータ基板１上に形成できるものであればよく、基板１上に堆積して形成しても良いし、あるいは基板１が絶縁性基板の場合には基板１自体をエッチングにより加工して形成してもよい。
【００３７】
可動部材３は、少なくとも一部が導電性を有する部材で形成している。なお、一部が導電性を有していることには、絶縁性の基材に導電性を有する部材を堆積、或いは絶縁性の基材に導電性の膜（層）を積層する場合も含まれる。この実施形態では、可動部材３としては、ニッケル、チタン、アルミニウム、多結晶シリコン、結晶シリコン、窒化シリコン膜の単層又は積層のいずれかで構成している。
【００３８】
また、導電性部材４は、導電性を有する部材であれば、特に限定されるものではないが、アクチュエータ基板１の外側から光応答部材７に光（光駆動信号）１０を入射させる場合、導電性部材４も光を透過する部材、例えば透明な部材で形成する。なお、この導電性部４は、ここでは両端が光応答部材７とアクチュエータ部６で終端しており、電気的に浮いている構造となっている。
【００３９】
このように、導電性部材（又はその一部）を光応答部材の光が照射される部位に接して設け、かつ導電性部材を光を透過する部材で形成することにより、導電性部材を透過して光応答部材に光照射を行うことが可能になり、静電型アクチュエータ及びその駆動装置の小型化を図ることができる。
【００４０】
光応答部材７は、光導電体や光起電力膜で構成している。この光応答部材７の材質としては、照射される光駆動信号１０の照射時間や発生キャリアの移動時間、すなわち、光応答部材７中を移動し導電性部材４の電位を決定する時間、導電性部材４の電位（この導電性部材４の電位は光駆動信号照射時のオン抵抗による分圧により決定される。）などにより決定される。例えば、無機感光体である非晶質シリコン、非晶質セレンや、有機感光体や、多層非晶質シリコン薄膜や、結晶シリコン等を用いることができる。
【００４１】
この光応答部材７は、複数のアクチュエータ部６に対してはそれぞれ設けられ、かつ、互いに分離して設けられている。
【００４２】
この光応答部材７は、ｐｎ接合ｐｉｎ構造などの整流性を有する光導電体であることが好ましく、例えば非晶質シリコン系の積層膜や結晶シリコンのｐ型ｎ型接合膜を用いることが好ましい。
【００４３】
例えば、図３に示すように、光応答部材７は、非晶質シリコン膜１１、１２、１３の積層膜で構成し、導電性部材４の引出し部４ａと接している非晶質シリコン１１はボロン（硼素）を混入させたｐ型半導体の非晶質シリコン膜とし、その上方の膜１２はｉ型（真性）半導体で不純物を混入させていない非晶質シリコン膜とし、更にその上方の膜１３はリン（燐）を混入させたｎ型半導体の非晶質シリコン膜としている。
【００４４】
このように光応答部材７をｐｉｎ構造の非晶質シリコン系積層膜とすることで、ｐｉｎを順方向にバイアスした場合、すなわちｐ型半導体１１を相対的に正電位にした場合には電流が流れ、逆方向にバイアスした場合、すなわちｎ型半導体１３を相対的に正電位にした場合には電流が流れない整流性を有した光導電体となる。
【００４５】
この光応答部材７に光を照射した場合、上記逆方向にバイアスした場合でも光照射に伴いキャリアが発生し、光応答部材７の抵抗が低下して電流が流れ、導電性部材４を任意の電位とすることができる。また、ｐ型半導体１１を順方向にバイアスすることにより、導電性部材４の電位を初期値にリセットすることができる。なお、上記非晶質シリコン膜は各層成膜条件を変えて、例えばプラズマＣＶＤ法による連続成膜にて形成することができる。
【００４６】
このように、光応答部材をｐｎ接合やｐｉｎ構造などの整流性を有する光導電体とすることにより、光照射に応じた抵抗変化により静電アクチュエータの導電性部材の電位を決定することができ、かつｐ型半導体を相対的に正バイアスすることにより、導電性部材の電位を初期値にリセットすることができ、静電型アクチュエータの動作を任意に制御することができるようになる。
【００４７】
また、光応答部材７をシリコン系膜により構成することで、静電型アクチュエータの作製工程に応じた光応答部材７を得ることができる。すなわち、アクチュエータ部６の作製工程の上限温度がおよそ４００度以下の場合は非晶質シリコン膜を用いてｐｉｎ構造の光応答部材を構成でき、アクチュエータ部６の作製工程の上限温度がおよそ６００度以下の場合はレーザー照射により再結晶化させた再結晶シリコン膜を用いてｐｎ接合構造の光応答部材７を構成でき、アクチュエータが作製工程がシリコン基板を用いる場合は、結晶シリコンによるｐｎ接合構造の光応答部材７を構成できる。
【００４８】
すなわち、光応答部材７をシリコン系膜とすることによりアクチュエータの作製工程に適した光応答部材７を得ることができる。また、光応答部材７に照射される光駆動信号１０の照射時間に応じて、最適な光応答部材７を得ることができる。つまり、光応答部材７に照射される光駆動信号１０の照射時間が数十ｎｓｅｃ〜数μｓｅｃと比較的長い場合は移動度が０．５〜１０ｃｍ２／Ｖ／ｓｅｃと比較的遅い非晶質シリン膜を用いてｐｉｎ構造の光応答部材を構成でき、光駆動信号１０の照射時間が数ｎｓｅｃ以下と比較的短い場合は移動度が４００〜１０００ｃｍ２／Ｖ／ｓｅｃと速い再結晶シリコン膜又は結晶シリコン膜を用いてｐｎ接合構造の光応答部材７を構成することができる。
【００４９】
電位供給線８は、アルミニウム、クロム、チタン、窒化チタン等の金属配線により形成している。この電位供給線８には外部から導電性部材４に与える電位が印加される。ここでは、電位供給線８は各アクチュエータ部６の各導電性部材４毎に設けている。
【００５０】
このように構成した静電型アクチュエータにおいては、例えば、可動部材３を接地電位とし、電位供給線８に外部から所定の電位（第１の電位）を供給した状態で、光駆動信号１０をアクチュエータ基板１の外側から導電性部材４を介して光応答部材７に入射（光照射）することによって、光応答部材７の抵抗値が変化し、導電性部材４に第１の電位が与えられ、可動部材３の電位との電位差によって、可動部材３と導電性部材４との間に静電力が生じて、可動部材３は導電性部材４側に変形変位する。
【００５１】
このとき、目的とするアクチュエータ部６に対応する駆動部９の光応答部材７に対してのみ光駆動信号１０を入射する（選択的に光を照射する）ことによって、所要のアクチュエータ部６の可動部材３を選択的に変形変位（動作）させることができる。
【００５２】
このように、この静電型アクチュエータにおいては、一次元（又は二次元状でもよい。）に複数個配置されたアクチュエータ部の可動部材に対向する導電性部材に、アクチュエータ部と同一基板上（又は該アクチュエータ基板に接合してもよい。）に設けた光応答部材を介して所要の電位を与えるようにしたので、光応答部材に入射する光駆動信号により任意のアクチュエータ部を動作させることが可能となり、高価な駆動チップを多数ワイヤボンディングなどにより接続する必要がなくなる。
【００５３】
これにより、アクチュエータ部の駆動電圧が高い場合や数万個のアクチュエータ部を駆動する場合でも対応することができ、アクチュエータの高密度化（高集積化）、大面積化（１チップ内のアクチュエータ数の増大）、高歩留化、低コスト化を図ることができる。
【００５４】
つまり、アクチュエータ部と同一基板上又はアクチュエータ基板と接合して光応答部材を含む駆動部を設け、光応答部材に目的に応じた光を入射させアクチュエータ部を適時動作させることができるので、複数のアクチュエータ部を駆動するそれぞれの駆動部を同一基板上又は接合して簡単に構成でき、従来のように別チップで構成する場合に比べ、ワイヤボンディング数及びＦＰＣ接続を大幅に低減でき、高密度化したアクチュエータの製品歩留を向上でき、また接続手段との接続面積の制限をなくすことができるので、高密度化や大面積化が可能となり、コストの低減を図ることができる。また、複雑な駆動回路が不要である点でも、アクチュエータの面積割合を増大でき、高密度化を図れる。
【００５５】
また、静電型アクチュエータの駆動を光駆動信号により行うことができるので、各アクチュエータ部に作用させる駆動電圧が駆動部（駆動装置）の制限を受けなくなり、駆動電圧を容易に大きくすることが可能になり、それによりアクチュエータ性能を向上させることができる。従来のように駆動部を別チップで構成する場合は、駆動電圧の上昇は駆動部のコスト上昇を招くのに対し、このようなコスト上昇もなくなる。
【００５６】
さらに、複数のアクチュエータ部を駆動するそれぞれの駆動部を同一基板上又は接合して簡単に構成できるので、駆動部を別チップで構成する場合はアクチュエータ数が増えるに従い駆動チップ数も増大するが、本発明の静電型アクチュエータでは光駆動信号のオン／オフ制御用の駆動手段（駆動回路）を１個で構成することができて、大幅なコスト低減を図れる。
【００５７】
さらにまた、アクチュエータ部を駆動するための駆動部の構成が簡単で、多数の金属配線を経由することが不要となり、金属配線に起因する情報伝達の遅延を抑制でき、アクチュエータ動作の高速化が可能となるとともに、電磁ノイズの発生も抑制できる。
【００５８】
次に、本発明に係る静電型アクチュエータの第２実施形態について図４ないし図６を参照して説明する。なお、図４は同アクチュエータの可動部材長手方向に沿う断面説明図、図５は同アクチュエータの平面説明図、図６は同アクチュエータの光応答部材の層構造の説明に供する説明図である。
【００５９】
この静電型アクチュエータにおいては、アクチュエータ基板１は光駆動信号１０を上方から入射するので透明である必要がなく、ここではシリコン基板を用いている。また、アクチュエータ基板１上の絶縁性膜２としてはシリコン酸化膜を用いている。
【００６０】
そして、アクチュエータ基板１にエッチングで彫り込み部１ａを形成して、この彫り込み部１ａ内に光応答部材１７を設けている。この光応答部材１７は、図６に示すように、結晶シリコンのｐｎ接合膜としている。すなわち、導電性部材４と接している部分はボロン（硼素）を混入させたｐ型半導体である結晶シリコン膜２１とし、電位供給線８と接合する部分はリン（燐）を混入させたｎ型半導体である結晶シリコン膜２３としている。
【００６１】
そして、アクチュエータ基板１の表面側で光応答部材１７の結晶シリコン膜２１に導電性部材４の引出し部４ａを接触（電気的接合）し、結晶シリコン膜２３に電位供給線８を接触（電気的接合）し、電位供給線８に外部から与えられる電位を光応答部材１７を介してアクチュエータ部６の導電性部材４に与えるようにしている。
【００６２】
このように構成した静電型アクチュエータにおいては、光応答部材１７は、ｐｎを順方向にバイアスした場合、すなわちｐ型半導体２１を相対的に正電位にした場合には電流が流れ、逆方向にバイアスした場合、すなわちｎ型半導体２３を相対的に正電位にした場合には電流が流れない整流性を有した光導電体となる。
【００６３】
ここで、光応答部材１７に光を照射した場合、上記逆方向にバイアスした場合でも、光照射に伴いキャリアが発生し、光応答部材１７の抵抗が低下して電流が流れ、導電性部材４を任意の電位とすることができる。さらに、ｐ型半導体２１を順方向にバイアスすることにより、該導電性部材４の電位を初期値にリセットすることができる。
【００６４】
なお、光応答部材１７として結晶シリコンによるｐｎ接合構造の光応答部材を構成したことにより、光駆動信号１０の照射時間が数ｎｓｅｃ以下と比較的短い場合でも移動度が５００〜１０００ｃｍｍ２／Ｖ／ｓｅｃと速いことに起因して電位供給線８の電位を導電性部材４へ供給することが可能となる。
【００６５】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドの第１実施形態について図７及び図８を参照して説明する。なお、図７は同ヘッドの可動部材（振動板）長手方向に沿う断面説明図、図８は同ヘッドの平面説明図である。
【００６６】
このインクジェットヘッドは、サイドシュータ方式のヘッドであり、前述した本発明に係る静電型アクチュエータの第１実施形態で説明した静電型アクチュエータと、流路基板４１及びノズル板４２を組み合わせたものである。
【００６７】
すなわち、静電型アクチュエータのアクチュエータ基板３１上に設けた絶縁性膜３２上に流路基板４１を積層し、更に流路基板４１上にノズル板４２を積層した構造をなし、これらによってインク滴を吐出するノズル４５が連通する流路である加圧液室４６、加圧液室４６に流体抵抗部４７を介してインクを供給する共通液室４８を形成している。
【００６８】
流路基板４１は、単結晶シリコン基板からなり、加圧液室４６及び加圧液室４６の壁面である底面を構成する可動部材である振動板５０を形成するための凹部と、各々の加圧液室４６にインクを供給するための共通液室４８を形成するための凹部と、加圧液室４６と共通液室４８とを連通する流体抵抗部４７となる溝部を有する。
【００６９】
なお、振動板５０は、流路基板４１を形成するシリコン基板に高濃度ボロンをドープして形成したボロン原子を１Ｅ２０／ｃｍ３以上含有する高濃度ボロン拡散層で形成することもでき、あるいは、振動板５０は、この他、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ　ｏｎ　Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板の活性層、金属等の導電性を有する薄膜などで形成することもできる。この振動板５０の外面側（加圧液室と反対側の面）には絶縁性薄膜、例えばシリコン酸化膜やシリコン窒化膜を形成している。
【００７０】
そして、アクチュエータ基板３１には前述した静電型アクチュエータの第１実施形態と同様に、可動部材である振動板５０に絶縁性膜３２に形成した凹部で形成される所定のギャップ３５を介して対向する導電性部材３４を設けて、振動板５０と導電性部材３４とによって振動板５０を静電力で変形、変位させて加圧液室４６内の液体であるインクを加圧するための加圧手段となるアクチュエータ部３６を構成している。
【００７１】
また、導電性部材３４をアクチュエータ部３６外に引き出した引出し部４６ａを光応答部材３７に電気的に接続し、この光応答部材３７の電位入力側に電位供給線３８を接続して、これらによってアクチュエータ部３６を駆動するための駆動部３９を構成している。ここで、各アクチュエータ部３６に対応する電位供給線３８は共通接続部３８ａを介してすべてのチャンネル（アクチュエータ部３６）で共通に接続している。なお、光応答部材３７は前述した光応答部材７と同じ構成としている。
【００７２】
ノズル板４３にはインク滴を吐出する複数のノズル４５を配置形成している。このノズル板４３としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、ポリイミド樹脂フィルム等の樹脂、シリコンウエハ等及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。
【００７３】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、例えば、振動板５０を接地電位とし、電位供給線３８に外部から所要の電位を供給した状態で、アクチュエータ基板３１の外側から導電性部材３４を介して光応答部材３７に光駆動信号４０を入射することによって、光応答部材３７の抵抗値が変化し、導電性部材３４に所要の電位が与えられ、振動板５０の電位との電位差によって振動板５０と導電性部材３４との間に静電力が生じて、振動板５０は導電性部材３４側に変形変位する。
【００７４】
これにより、加圧液室４６の内容積が増大して共通液室４８から流体抵抗部４７を介してインクが加圧液室４６内に補充され、この状態で導電性部材３４の電位を例えば振動板５０の電位と同じにする（振動板５０と導電性部材３４との間に電位差が生じない電位を導電性部材３４に与える。）ことによって、振動板５０と導電性部材３４との間の静電力が消失して、振動板５０が復帰変形するので、加圧液室４６内のインクが加圧されてノズル４５からインク滴が吐出される。
【００７５】
このとき、目的とするアクチュエータ部３６に対応する駆動部３９の光応答部材３７に対してのみ光駆動信号４０を入射することによって、所要のアクチュエータ部３６の振動板５０を選択的に変形変位させて、インク滴を吐出させることができる。
【００７６】
このように液滴吐出ヘッドにおいて本発明に係る静電型アクチュエータを備えることによって、光応答部材に入射する光駆動信号により任意のアクチュエータ部（加圧手段）を動作させることが可能となり、高価な駆動チップを多数ワイヤボンディングなどにより接続する必要がなくなり、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）の高密度化（高集積化）、大面積化、高歩留化、低コスト化を図ることができる。
【００７７】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドの第２実施形態について図９及び図１０を参照して説明する。なお、図９は同ヘッドの可動部材長手方向に沿う断面説明図、図１０は同ヘッドの平面説明図である。なお、第１実施形態と対応する部分には同一符号を付して説明する。
【００７８】
このインクジェットヘッドは、エッジシューター方式のヘッドであり、前述した本発明に係る静電型アクチュエータの第２実施形態で説明した静電型アクチュエータと、流路基板４１及び天板４４を組み合わせたものである。
【００７９】
すなわち、静電型アクチュエータのアクチュエータ基板３１上に設けた絶縁性膜３２上に流路基板４１を積層し、更に流路基板４１上に天板４４を積層した構造をなし、これらによってインク滴を吐出するノズル４５が連通する流路である加圧液室４６、加圧液室４６に流体抵抗部となるインク供給路（連通部）４７を介してインクを供給する共通液室４８を形成している。
【００８０】
流路基板４１は、単結晶シリコン基板からなり、ノズル４５となる溝部と、ノズル４５が連通する加圧液室４６及び加圧液室４６の壁面である底面を構成する可動部材である振動板５０を形成するための凹部と、各々の加圧液室４６にインクを供給するための共通液室４８を形成するための凹部と、加圧液室４６と共通液室４８とを連通する流体抵抗部４７となる溝部を有する。なお、ノズル４５の周辺には前記第１実施形態と同様に撥水性膜を形成している。
【００８１】
なお、ここでも、振動板５０は、流路基板４１を形成するシリコン基板に高濃度ボロンをドープして形成したボロン原子を１Ｅ２０／ｃｍ３以上含有する高濃度ボロン拡散層で形成することもでき、あるいは、振動板５０は、この他、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ　ｏｎ　Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板の活性層、金属等の導電性を有する薄膜などで形成することもできる。この振動板５０の外面側（加圧液室と反対側の面）には絶縁性薄膜、例えばシリコン酸化膜やシリコン窒化膜を形成している。
【００８２】
そして、アクチュエータ基板３１には前述した静電型アクチュエータの第２実施形態と同様に、可動部材である振動板５０に絶縁性膜３２に形成した凹部で形成される所定のギャップ３５を介して対向する導電性部材３４を設けて、振動板５０と導電性部材３４とによって振動板５０を静電力で変形、変位させて液室４６内の液体であるインクを加圧するための加圧手段となるアクチュエータ部３６を構成している。
【００８３】
また、導電性部材３４をアクチュエータ部３６外に引き出した引出し部３４ａをアクチュエータ基板３１に埋め込んだ光応答部材３７に電気的に接続し、この光応答部材３７に絶縁性膜３２上に形成した電位供給線３８を接続して、これらによってアクチュエータ部３６を駆動するための駆動部３９を構成している。ここで、各アクチュエータ部３６に対応する電位供給線３８は共通接続部３８ａを介してすべてのチャンネルで共通に接続している。なお、光応答部材３７は前述した光応答部材１７と同じ構成としている。
【００８４】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、例えば、電位供給線３８に外部から所要の電位を供給した状態で、アクチュエータ基板３１の上方から光応答部材３７に光駆動信号４０を入射することによって、光応答部材３７の抵抗値が変化し、導電性部材３４が任意の電位に決定される。このとき、振動板５０と導電性部材３４との間の電位差は振動板（可動部材）５０が大きく変位変形するには至らない電位差に設定してあるので、振動板５０が導電性部材３４側に大きく引き寄せられることはない。そのため、この段階では流体抵抗部３７を介してインクが加圧液室４６に供給されない。
【００８５】
そして、すべての印字領域に対する光駆動信号４０の走査が終了した時点で、振動板５０に別の任意の電位を供給すると、振動板５０と導電性部材３４の電位差が大きくなり、振動板５０が変位変形して導電性部材３４側に引き寄せられる。それにより、インクが加圧液室３６に供給される。すなわち、アクチュエータ部の第一の動作が行われる。この第一の動作は選択された全てのアクチュエータ部で同時に行われる。
【００８６】
その後、電位供給線３８に別の任意の電位を供給すると、光応答部材３７が順方向にバイアスされて導電性部材３４の電位が初期値にリセットされ、導電性部材３４側に引き寄せられた全てのアクチュエータ部３６の振動板５０が元の位置に戻り、選択された素子（チャンネル）に対応するノズル４５からインク滴が吐出される。
【００８７】
このとき、目的とするアクチュエータ部３６に対応する駆動部３９の光応答部材３７に対してのみ光駆動信号４０を入射することによって、所要のアクチュエータ部３６の振動板５０を選択的に変形変位させてインク滴を吐出することができる。
【００８８】
次に、本発明に係る静電型アクチュエータの駆動装置の第１実施形態に係る駆動装置を含む本発明に係るインクジェット記録装置について図１１ないし図１３を参照して説明する。なお、図１１は同記録装置の概略斜視説明図、図１２は同記録装置の概略構成図、図１３は同記録装置のヘッド部の概略構成図である。
このインクジェット記録装置は、記録装置本体６１内に、印字（記録）する被記録媒体である用紙６２と略同じ幅を有する本発明に係る液滴吐出ヘッドである長尺状のライン型インクジェットヘッド６３を配置し、給紙ローラ６４で用紙６２を給紙し、搬送ローラ６５で用紙６２を搬送しながらライン型インクジェットヘッド６３で用紙６２上に所要の画像を記録して排紙トレイ６６に排紙する。
【００８９】
ここで、ライン型インクジェットヘッド６２は、図１３に示すように、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッド７１とこのインクジェットヘッド７１の各光応答部材に走査光を照射するための本発明に係る静電型アクチュエータの駆動装置を構成する走査光源システム７２とを一体化したものである。
【００９０】
インクジェットヘッド７１は、前述した本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドの第１実施形態又は第２実施形態で説明したインクジェットヘッドと同様な構成とし、ノズル４５を副走査方向（用紙６２の搬送方向）と直交する方向に用紙６２と略同じ幅領域に所定のピッチで形成している。なお、一列のノズル配置で所定の画像密度が得られない場合には、２列のノズルを千鳥状に配置する。この場合、走査光源システム７２は各列のノズルに対応する光応答部材に光駆動信号を与えるために２組用いれば良い。
【００９１】
走査光源システム７２は、駆動情報である印字情報（画像情報）に応じてレーザー光（光駆動信号）を出射する半導体レーザー光源８１と、このレーザー光源８１からのレーザー光をインクジェットヘッド７１の各光応答部材３７に入射させるためのコリメートレンズ８２、ポリゴンミラー８３、走査レンズ８４及び折り返しレンズ８５から構成される走査手段である走査光学系とを有し、ライン型インクジェットヘッド７１の各光応答部材３７をライン方向に光走査する。
【００９２】
次に、このインクジェット記録装置の作用について本発明に係る静電型アクチュエータの駆動装置の作用を含めて説明する。
まず、走査光源システム７２において、印字情報（記録情報）に対応する光駆動信号（レーザー光）が半導体レーザー光源８１より出射され、コリメートレンズ８２を経由しポリゴンミラー８３に入射する。ポリゴンミラー８３の回転に応じて光駆動信号４０は走査され、走査レンズ８４にて印字領域に拡大して、折返しミラー８５にて折返し反射され、インクジェットヘッド７１の整列した光応答部材３７のうちの所要の光応答部材３７に照射される。
【００９３】
ここで、インクジェットヘッド７１は、前述したように、光駆動信号４０が照射された光応答部材３７の抵抗が変化し、導電性部材３４の電位が任意の値に決定される。このとき、第２の電位である振動板（可動部材）５０との電位差により振動板５０と導電性部材３４との間に静電力が生じて、振動板５０が導電性部材３４側に変位変形し導電性部材３４側に引き寄せられる。これにより、共通液室４８から流体抵抗部４７を経由してインクが加圧液室４６内に供給される。すなわち静電型アクチュエータ３６の第一の動作が行われる。
【００９４】
次に、全ての印字領域に対する光駆動信号４０の走査が終了した時点で、電位供給線３８に別の任意の電位を与える。これにより、光応答部材３７が順方向にバイアスされて導電性部材３４の電位が初期値にリセットされ、導電性部材３４側に引き寄せられた全ての静電型アクチュエータの可動部材である振動板５０が元の位置に戻り、選択されたアクチュエータ部３６（チャンネル）に対応するノズル孔４５からインク滴８６が吐出される。すなわち、静電型アクチュエータの第二の動作が行われる。
【００９５】
このように、駆動情報に応じて光を出射する１つの光源と、この光源からの出射光を複数のアクチュエータ部の各光応答部材に対して走査する手段とを備えることにより、画像情報（印字情報）に応じて各光応答部材に対して照射する光をオン／オフしながら各光応答部材を走査することができ、光源を必要最小限の数とすることができ、低コスト化及び小型化を図ることができる。なお、ここでは、光応答部材に照射する光をポリゴンミラーを用いて走査する構成としたが、ガルバノミラー等を用いて走査する構成とすることもできる。
【００９６】
これにより、ライン型インクジェットヘッドを用いる場合に、各光応答部材が各アクチュエータ部間或いはヘッド間（複数のヘッドチップを用いる場合）を通して用紙の一辺方向に整列しており、光源は各アクチュエータ部間あるいはヘッド間を通して走査される構成とすることで、光応答部材に対する光走査を用紙の一辺を通して行うことが可能となり、走査光源数を低減できより低コスト化を図ることができる。
【００９７】
また、光応答部材に必要に応じて光駆動信号を照射することにより導電性部材の電位を電位供給線の任意の電位と等しくし、対向する可動部材（振動板）に供給される異なる電位との電位差により、光照射とほぼ同時に振動板が変位又は変形する構成としているので、光照射とほぼ同時に加圧液室にインクの供給を行うことができる。
【００９８】
さらに、振動板の変位又は変形後に、導電性部材の電位供給線に任意の異なる電位を与えることにより、光応答部材を介して接続される導電性部材の電位を初期電位にリセットすることができ、選択したチャンネルのノズルからインク滴を吐出させることができる。
【００９９】
さらにまた、振動板の変位変形動作又は導電性部材の電位のリセット動作を複数個設置された静電型アクチュエータの駆動部で同時に行うようにしているので、用紙の幅に亘り配置されたチャンネル（ノズル）のうちの選択されたチャンネルのノズルからインク滴の吐出を同時に行うことができ、各チャンネル（アクチュエータ部）の動作の均一性を向上することができる。
【０１００】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドを用いたインクジェットヘッドをライン型インクジェットヘッドとして構成する、つまりインクジェットヘッドが画像を印字する用紙の一辺のほぼ全域に渡り一個又は複数個整列して配置されているヘッドとすることにより、高歩留及び高密度なライン型インクジェットヘッドを得ることができ、高速記録が可能で、しかも高精彩な画像を記録することができるヘッドを低コストで得ることができ、更にヘッドの移動がないので低騒音化、低振動化を図ることができる。
【０１０１】
次に、このインクジェット記録装置における静電型アクチュエータの駆動装置の第２実施形態について図１４をも参照して説明する。
まず、記録する用紙サイズをＡ４サイズとしたとき、インクジェットヘッド７１のノズル４５は直列にＡ４サイズの用紙の一辺方向の幅（２１０ｍｍ）に亘り一列に整列配置される。ここで、インクジェットヘッド７１の密度を１２００ｄｐｉとすると、２１０ｍｍ幅内に総数９９２２個の素子（駆動部３９、アクチュエータ部３６、加圧液室４６、ノズル孔４５：チャンネル）が配置される。
【０１０２】
そして、インクジェット記録装置の仕様を５ｐｐｍ（ｐｒｉｎｔ　ｐｅｒ　ｍｉｎ）とすると、Ａ４サイズの用紙１枚に印字時間として許される時間は約１０ｓｅｃである。このとき、上記一列のノズルを有するインクジェットヘッド７１で印字に許される時間は、１０ｓｅｃ／（１２００×２９７／２５．４）＝１０／１４０３２＝０．０００７１３ｓｅｃ、すなわち、７１３μｓｅｃである。したがって、この７１３μｓｅｃの間に光駆動信号４０の走査を終了させ、インク滴を吐出させることが必要となる。
【０１０３】
このとき、１列の印字時間７１３μｓｅｃの内、光走査時間が７００μｓｅｃ、リセット時間が１３μｓｅｃとすると、光走査時間の内１素子（１チャンネル）の光応答部材３７に光駆動信号（光）が照射される時間は７０．６ｎｓｅｃとなる。
【０１０４】
また、上記インクジェットヘッド７１は、各アクチュエータ部３６の振動板５０をシリコン基板からなる流路基板４１から形成しているので、流路基板４１に電位を印加することですべての振動板５０は略同じ電位となり、また、電位供給線３８は共通接続部３８ａですべてのチャンネルで共通にしているので、電位供給線３８に電位を印加することですべての電位供給線３８は略同じ電位になる。
【０１０５】
まず、時点Ｔ１において、電位供給線３８に図１４（ａ）に示すように＋２０Ｖの電位Ｖ１を与え、また振動板５０に同図（ｂ）に示すように−２０Ｖの電位Ｖ２を与える。また、導電性部材３４の電位Ｖｘには所期状態で−２０Ｖの電位が与えられる。したがって、この時点Ｔ１においては、Ｖ１＝２０Ｖ、Ｖ２＝−２０Ｖ、Ｖｘ＝−２０Ｖであるので、｜Ｖ２−Ｖｘ｜＝０Ｖであって、導電性部材３４と振動板５０との間には静電力は生じない。
【０１０６】
ここで、光駆動信号４０は、画像情報に対応して、インク滴を吐出させるアクチュエータ部３６（チャンネル）に対応する光応答部材３７を走査するときにレーザーオン状態（Ｌｅａｓｅｒ　ｏｎ）になり、インク滴を吐出させないアクチュエータ部３６に対応する光応答部材３７を走査するときにレーザーオフ状態（Ｌｅａｓｅｒ　ｏｆｆ）になる信号である。
【０１０７】
したがって、光駆動信号４０が照射されたチャンネルでは、同図（ｃ）に示すように、光応答部材３７に対応する導電性部材３４の電位ＶｘはＶｘ＝２０Ｖとなるので、同図（ｅ）に示すように導電性部材３４と振動板５０の電位差が｜Ｖ２−Ｖｘ｜＝４０Ｖとなり、振動板５０と導電性部材３４の間に静電引力が作用し、振動板５０が導電性部材３４側に変形変位し、対応する加圧液室４６にインクが供給される。
【０１０８】
一方、光駆動信号４０が照射されないチャンネルでは、同図（ｄ）に示すように導電性部材３４の電位ＶｘはＶｘ＝−２０Ｖのままであるので、同図（ｆ）に示すように導電性部材３４と振動板５０の電位差は｜Ｖ２−Ｖｘ｜＝０Ｖとなり、振動板５０と導電性部材３４の間に静電引力が発生せず、振動板５０は変形変位しない。
【０１０９】
そして、各チャンネルについて光駆動信号４０に対応した振動板５０の状態を保持したまま、すべてのチャンネルに対する光駆動信号４０の走査が終了した同図の時点Ｔ２からリセット時間となる。
【０１１０】
このリセット時間において、電位供給線３８に対する電位Ｖ１をＶ１＝−２０Ｖにすると、光応答部材３７のｐｉｎ構造が順方向にバイアスされるので、導電性部材３４の電位ＶｘがＶｘ＝−２０Ｖとなる。それによって、すべてのチャンネルで導電性部材３４と振動板５０の電位差が｜Ｖ２−Ｖｘ｜＝０Ｖとなり、変形変位していた振動板５０が元の位置に復元して、対応するノズル４５からインク滴が吐出される。
【０１１１】
次に、このインクジェット記録装置における静電型アクチュエータの駆動装置の第３実施形態について図１５をも参照して説明する。
まず、記録する用紙サイズをＡ４サイズとしたとき、インクジェットヘッド７１のノズル４５は直列にＡ４サイズの用紙の一辺方向の幅（２１０ｍｍ）に亘り一列に整列配置される。ここで、インクジェットヘッド７１の密度を１２００ｄｐｉとすると、２１０ｍｍ幅内に総数９９２２個の素子（駆動部３９、アクチュエータ部３６、加圧液室４６、ノズル孔４５：チャンネル）が配置される。
【０１１２】
そして、インクジェット記録装置の仕様を５０ｐｐｍ（ｐｒｉｎｔ　ｐｅｒ　ｍｉｎ）とすると、Ａ４サイズの用紙１枚に印字時間として許される時間は約１ｓｅｃである。このとき、上記一列のノズルを有するインクジェットヘッド７１で印字に許される時間は、１ｓｅｃ／（１２００×２９７／２５．４）＝１／１４０３２＝０．００００７１３ｓｅｃ、すなわち、７１．３μｓｅｃである。したがって、この７１．３μｓｅｃの間に光駆動信号４０の走査を終了させ、インク滴を吐出させることが必要となる。
【０１１３】
このとき、１列の印字時間７１．３μｓｅｃの内、光走査時間が４０μｓｅｃ、変形変位時間が２０μｓｅｃ、リセット時間が１１．３μｓｅｃとすると、光走査時間の内１素子（１チャンネル）の光応答部材３７に光駆動信号（光）が照射される時間は４ｎｓｅｃとなる。このように比較的短い照射時間で良好に導電性部材３４に所要の電位Ｖｘを与えるためには、光応答部材３７として、前記第２実施形態のインクジェットヘッドのように移動度の高い単結晶シリコンによる光応答部材を用いることが好ましい。
【０１１４】
また、上記インクジェットヘッド７１は、各アクチュエータ部３６の振動板５０はシリコン基板からなる流路基板４１から形成しているので、流路基板４１に電位を印加することですべての振動板５０は略同じ電位となり、また、電位供給線３８は共通接続部３８ａですべてのチャンネルで共通にしているので、電位供給線３８に電位を印加することですべての電位供給線３８は略同じ電位になる。
【０１１５】
まず、時点Ｔ１において、電位供給線３８に図１５（ａ）に示すように＋２０Ｖの電位Ｖ１を与え、また振動板５０に同図（ｂ）に示すように０Ｖの電位Ｖ２を与える。また、導電性部材３４の電位Ｖｘには所期状態で−２０Ｖの電位が与えられる。したがって、この時点Ｔ１においては、Ｖ１＝２０Ｖ、Ｖ２＝０Ｖ、Ｖｘ＝−２０Ｖであるので、｜Ｖ２−Ｖｘ｜＝２０Ｖである。
【０１１６】
このとき、導電性部材３４と振動板５０との間にはこの２０Ｖの電位差による静電力が生じるが、振動板５０のパラメータ（厚さ、剛性など）及び振動板５０と導電性部材３４との間のギャップ長を設定することによって、この２０Ｖの電位差による静電力では振動板５０が大幅に変形変位しない（わずかに変形する）ようにしているので、加圧液室４６へのインク供給は行われない。
【０１１７】
ここで、光駆動信号４０は、画像情報に対応して、インク滴を吐出させるアクチュエータ部３６（チャンネル）に対応する光応答部材３７を走査するときにレーザーオン状態（Ｌｅａｓｅｒ　ｏｎ）になり、インク滴を吐出させないアクチュエータ部３６に対応する光応答部材３７を走査するときにレーザーオフ状態（Ｌｅａｓｅｒ　ｏｆｆ）になる信号である。
【０１１８】
したがって、光駆動信号４０が照射されたチャンネルでは、同図（ｃ）に示すように、光応答部材３７に対応する導電性部材３４の電位Ｖｘは−２０Ｖから２０Ｖに変化し、同図（ｅ）に示すように導電性部材３４と振動板５０の電位差｜Ｖ２−Ｖｘ｜は光照射に応じて２０Ｖから０Ｖに減少しそして２０Ｖに戻る。このときもインク供給は行われない。
【０１１９】
一方、光駆動信号４０が照射されないチャンネルでは、同図（ｄ）に示すように導電性部材３４の電位ＶｘはＶｘ＝−２０Ｖのままであるので、同図（ｆ）に示すように導電性部材３４と振動板５０の電位差が｜Ｖ２−Ｖｘ｜＝２０Ｖとなるが、前述したように、振動板５０はほとんど変形変位せず、インク供給は行われない。
【０１２０】
そして、各チャンネルについて光駆動信号４０に対応した振動板５０の状態を保持したまま、すべてのチャンネルに対する光駆動信号４０の走査が終了した同図の時点Ｔ２において、同図（ｂ）に示すように、振動板５０の電位Ｖ２を−２０Ｖにすることで、光駆動信号４０が照射されたチャンネルでは、同図（ｅ）に示すように、光応答部材３７に対応する導電性部材３４の電位Ｖｘが２０Ｖになっているので、同図（ｅ）に示すように導電性部材３４と振動板５０の電位差が｜Ｖ２−Ｖｘ｜＝４０Ｖとなり、振動板５０と導電性部材３４の間に静電引力が作用し、光駆動信号４０が照射された（レーザーオンの）すべての光応答部材３７に対応するアクチュエータ部３６のすべての振動板５０が導電性部材３４側に略同時に変形変位し、対応する加圧液室４６にインクが供給される。
【０１２１】
その後、時点Ｔ３において、電位供給線３８に対する電位Ｖ１をＶ１＝−２０Ｖにすると、光応答部材３７のｐｉｎ構造が順方向にバイアスされるので、導電性部材３４の電位ＶｘがＶｘ＝−２０Ｖとなる。それによって、すべてのチャンネルで導電性部材３４と振動板５０の電位差は｜Ｖ２−Ｖｘ｜＝０Ｖとなり、変形変位していた振動板５０が元の位置に復元して、選択されたすべてのチャンネルのノズル４５からインク滴が吐出される。
【０１２２】
このように、光応答部材に必要に応じて光を照射することにより導電性部材の電位を電位供給線の任意の電位と等しくし、光照射終了後対向する可動部材に異なる電位を供給して導電性部材と可動部材の間に任意の電位差を発生させ、光照射の後に可動部材を変位又は変形することにより、インクの供給（共通液室からの流体抵抗部位を経由した加圧液室への供給）などのアクチュエータの第一の動作を光照射後に行うことができ、全てのアクチュエータの光走査後に選択したアクチュエータに対するインク供給を同一時間で均一に行うことができるようになる。
【０１２３】
次に、本発明に係る光デバイスである光偏向デバイスの第１実施形態について図１６を参照して説明する。なお、同図は同光偏向デバイスの断面説明図である。
この光偏向デバイスは、基板１０１上に絶縁性膜１０２を形成し、この絶縁性膜１０２に形成した凹部の開口側に可動部材である少なくとも表面が光を反射することが可能なミラー部材１０３を変位可能に配置し、このミラー部材１０３に所定のギャップ１０５を置いて凹部底面に導電性部材１０４を配置して、これらのミラー部材１０３と導電性部材１０４とでアクチュエータ部１０６を構成している。
【０１２４】
なお、ここでは可動部材全体をミラー部材１０３としているが、可動部材の一部或いは表面にのみ光を反射するミラー部材１０３を設けた構成とすることもできる。また、ミラー部材１０３を含むアクチュエータ部１０６は一次元状に複数配置しても良いし、二次元状に複数配置しても良い。
【０１２５】
ここで、基板１０１は光を透過する基板、例えば前述した透明のガラス基板を用いて外部から基板１０１を介して内部に光駆動信号１１０が入射できるようにしている。ミラー部材１０３は、例えばアルミニウム系金属を用いたり、導電性材料の表面に反射率を増加させるため誘電体多層膜や金属膜を形成したものを用いることが好ましい。導電性部材１０４もここでは光を透過する部材、例えば透明部材で形成し、また任意の電位を与えることができる構造とし、前述した静電型アクチュエータの各実施形態と異なり電気的に浮いてない構成としている。
【０１２６】
また、導電性部材１０４上には光応答部材１０７を配置し、これらの導電性部材１０４と光応答部材１０７でアクチュエータ部１０６を駆動する駆動部１０９を構成している。この光応答部材１０７は、導電性部材１０４と電気的に接続され、光の照射の有無、照射する光の強弱、あるいは照射する光の波長によって抵抗値が変化する部材である。
【０１２７】
このように構成した光偏向デバイスの作用について説明すると、ミラー部材１０３と導電性部材１０４にそれぞれに任意の電圧を印加し、ミラー部材１０３と導電性部材１０４との間に電位差を生じさせることで、ミラー部材１０３でもある可動部材に静電引力が作用する。
【０１２８】
このとき、透明な基板１０１及び導電性部材１０４を透過して光駆動信号１１０が光応答部材１０７に入射すると、発生するキャリアにより光応答部材１０７の抵抗が下がり、見掛け上導電性部材１０４とミラー部材１０３との距離が近づいたことになる。そうすると、光駆動信号１１０を光応答部材１０７に入射すると略同時にミラー部材１０３に作用する静電引力が大きくなり、ミラー部材１０３である可動部材が導電性部材１０４側に強く引き寄せられ、それに応じて光情報信号１１１の反射方向が変化し、光偏向される。
【０１２９】
このように、光の進行方向を変えるために可動部材の少なくとも一部にミラー部材を有し、かつ光応答部材を有し、この光応答部材の少なくとも一部が可動部材に対向する導電性部材に電気的に接続され、それにより光応答部材への光の照射の有無又は強弱或いは波長の差にて、アクチュエータ部の動作すなわち駆動を制御する構成であることにより、電気信号のみによる複雑な駆動装置を構成する必要がなく、金属配線による遅延が低減されて高速であり、かつ低コストで小型化できる光偏向デバイスが得られる。
【０１３０】
次に、本発明に係る光デバイスである光偏向デバイスの第２実施形態について図１７を参照して説明する。なお、同図は同光デバイスの断面説明図である。
この光偏向デバイスは、基板１２１上に絶縁性膜１２２を形成し、この絶縁性膜１２２に形成した凹部内に、基板１２１表面側から導電性部材１２３、光応答部材１２４、光偏向部材１２５及び導電性部材１２６を順次積層して、これらによってアクチュエータ部１２７及び駆動部１２８を構成している。
【０１３１】
ここで、基板１２１は透明基板、例えば前述した透明のガラス基板を用いて外部から基板１２１を介して内部に光駆動信号１３０及び光情報信号１３１が入射できるようにしている。導電性部材１２３及び１２６は光を透過する部材で形成し、また光応答部材１２４及び光偏向部材１２５それぞれ任意の電位を与えることができる構造としている。
【０１３２】
なお、光情報信号１３１は、光駆動信号１３０と同様に導電性部材１２３を透過し、また光応答部材１２４及び光偏向部材１２５並びに導電性部材１２６を透過する波長の光を用いている。この場合、光情報信号１３１と光駆動信号１３０は同じ光束であってもよいが、波長は異ならせる必要がある。
【０１３３】
光応答部材１２４は、光の照射の有無、照射する光の強弱、あるいは照射する光の波長によって抵抗値が変化する部材であり、かつ、光を透過する部材で形成している。光偏向部材１２４は、電圧に応じて屈折率が変化する部材であり、かつ、光を透過する部材、例えばここでは液晶部材を用いている。
【０１３４】
このように構成した光デバイスにおいては、導電性部材１２３と導電性部材１２６のそれぞれに任意の電圧を印加することにより、光偏向部材１２５と光応答部材１２４はその抵抗により分圧される。すなわち、光偏向部材１２５には任意の電位差が生じ、光情報信号１３１は任意の方向へ変更される。
【０１３５】
このとき、透明な導電性部材１２３を透過して光駆動信号１３０が光応答部材１２５に入射すると、発生するキャリアにより光応答部材１２４の抵抗が下がり、光偏向部材１２５に作用する電圧が上昇することとなる。これにより、光応答部材１２５に対する光の照射とほぼ同時に光偏向部材１２５の屈折率が変化し、光情報信号１３１の偏向方向が変更される。
【０１３６】
このように、アクチュエータの少なくとも一部に電圧に応じて屈折率が変化する光偏向部材を有し、かつアクチュエータを駆動するための光応答部材を有し、かつ光応答部材の少なくとも一部がアクチュエータと電気的に接続しており、それにより光応答部材への光の照射の有無又は強弱或いは波長の差にてアクチュエータの動作すなわち駆動を制御する構成とすることにより、、必要に応じて光情報信号に波長多重させて又は先立って光駆動信号を同一光束で伝送することができるので、前記第１実施形態に係る光デバイスに比べてもさらなる高速かつ小型化した光偏向装置が得られる。
【０１３７】
次に、本発明に係る光デバイスである光偏向デバイスの第３実施形態について図１８を参照して説明する。なお、同図は同光デバイスの断面説明図である。
この光デバイスは、前述した本発明に係る静電型アクチュエータの第１実施形態と本発明に係る光偏向デバイスの第１実施形態とを組み合わせて適用したものであり、基板１４１上に絶縁性膜１４２を形成し、この絶縁性膜１４２に形成した凹部の開口側に可動部材である少なくとも表面で光を反射することが可能なミラー部材１４３を変位可能に配置し、このミラー部材１４３に所定のギャップ１４５を置いて凹部底面に導電性部材１４４を配置して、これらのミラー部材１４３と導電性部材１４４とでアクチュエータ部１４６を構成している。
【０１３８】
なお、ここでは可動部材全体をミラー部材１４３としているが、可動部材の一部や表面だけに光を反射するミラー部材１４３を設けた構成とすることもできる。また、ミラー部材１４３を含むアクチュエータ部１４６は一次元状に複数配置しても良いし、二次元状に複数配置しても良い。
【０１３９】
ここで、基板１４１は透明基板、例えば前述した透明のガラス基板を用いて外部から基板１４１を介して内部に光駆動信号１５０が入射できるようにしている。ミラー部材１４３は、例えばアルミニウム系金属を用いたり、導電性材料の表面に反射率を増加させるため誘電体多層膜や金属膜を形成したものを用いることが好ましい。導電性部材１４４もここでは透明部材で形成し、また任意の電位を与えることができる構造とし、前述した静電型アクチュエータの各実施形態と異なり電気的に浮いてない構成としている。
【０１４０】
また、導電性部材１４４はアクチュエータ部１４６の外部に引き出して引出し部１４４ａとし、この引出し部１４４ａ上には光応答部材１４７を配置し、更に光応答部材１４７には電位供給線１４８を接続して、これらの導電性部材１４４と光応答部材１４７及び電位供給線１４８でアクチュエータ部１４６を駆動する駆動部１４９を構成している。この光応答部材１４７は、導電性部材１４４と電気的に接続され、光の照射の有無、照射する光の強弱、あるいは照射する光の波長によって抵抗値が変化する部材である。
【０１４１】
このように構成した光偏向デバイスの作用について説明すると、ミラー部材１４３に所要の電位を与え、電位供給線１４８に所定の電位を与えた状態で、光応答部材１４７に光駆動信号１５０を照射することによって、導電性部材１４４の電位が電位供給線１４８の電位に等しくなり、ミラー部材１４３と導電性部材１４４との間に電位差を生じさせることで、ミラー部材１４３でもある可動部材に静電引力が作用して、ミラー部材１４３が導電性部材１４４側に変形変位する。
【０１４２】
これにより、光応答部材１４７に光駆動信号１５０を照射すると略同時にミラー部材１４３に入射される光情報信号１５１の反射方向が変化し、光偏向される。
【０１４３】
このように、光応答部材をアクチュエータ部の導電性部材と電気的に接続し、さらに光応答部材を電位供給線と接続して、光応答部材に入射する光駆動信号に依存して光応答部材の抵抗を変化させ、導電性部材の電位を電位供給線の電位と同一にする構成とすることで、安定した光偏向動作を容易に行わせることができる。
【０１４４】
次に、本発明に係る光デバイスである光偏向デバイスの第４実施形態について図１９を参照して説明する。なお、同図は同光デバイスの断面説明図である。なお、第３実施形態と対応する部分には同一符号を付している。
この光偏向デバイスは、前述した本発明に係る静電型アクチュエータの第１実施形態と本発明に係る光偏向デバイスの第２実施形態とを組み合わせて適用したものであり、基板１４１上の絶縁性膜１４２に形成した凹部に光を透過する導電性部材１４４、光偏向部材１６５、透明の導電性部材１６６を順次積層し、これらによってアクチュエータ部１６７を構成している。なお、光偏向部材１６５は前記光デバイスの第２実施形態の光偏向部材１２５と同様である。また、その他は前記第３実施形態と同様である。
【０１４５】
このように構成した光偏向デバイスの作用について説明すると、電位供給線１４８に所定の電位を与えた状態で、光応答部材１４７に光駆動信号１５０を照射することによって、導電性部材１４４の電位が電位供給線１４８の電位に等しくなり、光偏向部材１６５の両側に印加される導電性部材１４４と１６６との間の電位が変化するので、光応答部材１４７に光駆動信号１５０を照射すると略同時にアクチュエータ部１６７に入射される光情報信号１５１の反射方向が変化し、光偏向される。
【０１４６】
このように、光情報に応じた光駆動信号の照射とほぼ同時にアクチュエータ部を動作させることにより、時間遅れを生じさせない光偏向動作を行うことができる。
【０１４７】
次に、光デバイスの他の駆動方法について簡単に説明すると、例えば、光駆動信号の照射により得られた光駆動情報を任意の時間保持した後、アクチュエータ部（光偏向部）を動作させることもできる。
【０１４８】
これは、例えば図１８で説明した第３実施形態に係る光デバイスにおいて、前述した図１４で説明したタイミングチャートに従って駆動することにより実現することができる。すなわち、図１４に記載の光走査時間が光駆動情報の任意の時間の保持に対応し、その後の変位変形時間が上記アクチュエータ部（光偏向部）の動作時間に対応する。
【０１４９】
また、光の照射により得られた光駆動情報を任意の時間保持した後、複数個のアクチュエータ部に同時に任意の信号を入力し、光駆動信号に従った各アクチュエータ部の動作をさせることもできる。
【０１５０】
これは、例えば図１８で説明した第３実施形態に係る光デバイスにおいて、アクチュエータ部を複数設けて、導電性部材１４４の電位供給線１４８及びミラー部材１４３のそれぞれの電位が複数のアクチュエータ部１４６間で共通になる構造とすることにより、図１４に記載のタイミングチャートに従って駆動することにより実現することができる。すなわち、図１４に記載の光走査時間が光駆動情報の任意の時間の保持に対応し、その後の変位変形時間が上記複数のアクチュエータ部の動作時間に対応する。
【０１５１】
次に、本発明の光デバイスである光伝送装置の実施形態について図２０を参照して説明する。なお、同図は同光伝送装置の概略構成図である。
この光伝送装置２０１は、光情報信号を複数のポート２０２から入力し、それぞれの光路を決定して複数のポート２０３から出力伝送する。ここで、入力された光情報信号の進行方向を変える光偏向を行なって出力する光情報信号のポートを決定する光路切替手段２０４として、上述した本発明に係る光デバイスである光偏向装置を備えている。これにより、高速な光偏向が行えるので、光伝送装置自体の高速化が可能となる。
【０１５２】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。
【０１５３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る本発明に係る静電型アクチュエータによれば、可動部材とこの可動部材に対向する導電性部材とを有し、導電性部材に電位を与えることで可動部材が静電力によって変形又は変位するアクチュエータ部を備えるとともに、光に応答する光応答部材が一体的に設けられ、この光応答部材を介してアクチュエータ部の導電性部材に電位が与えられる構成としたので、高密度化、大面積化、低コスト化を図れる。
本発明に係る静電型アクチュエータの駆動装置によれば、駆動情報に応じて光を出射する光源と、この光源から出射された光を本発明に係る静電型アクチュエータの複数のアクチュエータ部の各光応答部材に対して走査する手段とを備えているので、本発明に係る静電型アクチュエータの駆動装置の簡略化を図れる。
【０１５４】
本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、液室内の液を加圧する加圧手段を本発明に係る静電型アクチュエータのアクチュエータ部で構成したので、高密度化、大面積化、低コスト化を図れる。
【０１５５】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、ノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを本発明に係る液滴吐出ヘッドで構成し、この液滴吐出ヘッドを構成する静電型アクチュエータを駆動する本発明に係る静電型アクチュエータの駆動装置を備えているので、高画質画像を高速で記録することができる。
【０１５６】
本発明に係る光デバイス及びその駆動装置によれば、ミラー部材を変形又は変位させるアクチュエータ部と、光に応答する光応答部材とを有し、この光応答部材を介してアクチュエータ部に駆動用電位が与えられる構成とし、或いは、電圧に応じて屈折率が変化する光偏向部材に光に応答する光応答部材を介して駆動用電位が与えられる構成とし、小型の光偏向デバイスを得ることができる。
【０１５７】
本発明に係る他の光デバイス及びその駆動装置によれば、光情報信号を複数のポートから入力し、それぞれの光路を決定して複数のポートから出力伝送する光デバイスであって、入力光情報信号の進行方向を変える光偏向を行なって出力光情報信号のポートを決定する光路切替手段を有し、この光路切替手段が上記本発明に係る光デバイスで構成され、上記本発明に係る光デバイスの駆動装置を備えているので、高速で、小型で、電磁ノイズの少ない光伝送デバイスを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る静電型アクチュエータの第１実施形態の可動部材長手方向に沿う断面説明図
【図２】同アクチュエータの平面説明図
【図３】同アクチュエータの光応答部材の構成の説明に供する要部拡大断面説明図
【図４】本発明に係る静電型アクチュエータの第２実施形態の可動部材長手方向に沿う断面説明図
【図５】同アクチュエータの平面説明図
【図６】同アクチュエータの光応答部材の構成の説明に供する要部拡大断面説明図
【図７】本発明に係る液滴吐出ヘッドの第１実施形態の振動板長手方向に沿う断面説明図
【図８】同ヘッドの平面説明図
【図９】本発明に係る液滴吐出ヘッドの第２実施形態の振動板長手方向に沿う断面説明図
【図１０】同ヘッドの平面説明図
【図１１】本発明に係るインクジェット記録装置の実施形態を説明する概略斜視説明図
【図１２】同記録装置の側面概略説明図
【図１３】同記録装置のライン型インクジェットヘッドの概略構成図
【図１４】同記録装置におけるヘッド駆動の他の例の説明に供する説明図
【図１５】同記録装置におけるヘッド駆動の更に他の例の説明に供する説明図
【図１６】本発明に係る光偏向デバイスの第１実施形態の断面説明図
【図１７】本発明に係る光偏向デバイスの第２実施形態の断面説明図
【図１８】本発明に係る光偏向デバイスの第３実施形態の断面説明図
【図１９】本発明に係る光偏向デバイスの第４実施形態の断面説明図
【図２０】本発明に係る光伝送デバイスの実施形態の断面説明図
【符号の説明】
１…アクチュエータ基板、３…可動部材、４…導電性部材、７、１７…光応答部材、８…電位供給線、３１…アクチュエータ基板、３４…導電性部材、３７…光応答部材、４１…流路基板、４３…ノズル板、４４…天板、４５…ノズル、４６…加圧液室、４７…インク供給路（連通部）、４８…共通液室、６３…ライン型インクジェットヘッド、７１…インクジェットヘッド、７２…走査光源システム、１０３…ミラー部材、１０４…導電性部材、１０７…光応答部材、１２４、１２７…導電性部材、１２５…光応答部材、１２６…光偏向部材、２０１…光伝送デバイス。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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