(57)【要約】　　　（修正有）　【課題】低コストで、大面積構造に製造可能な可視波長で発光する有機面発光レーザアレイ（有機ＶＣＳＥＬＳ）を提供する。【解決手段】ａ）複数の有機レーザ空洞デバイスであって、各有機レーザ空洞デバイスは、ｉ）所定波長範囲の光に対して反射性であり、ポンプビーム光６０を受け取って伝送するための第１誘電体スタック３０と、ｉｉ）第１誘電体スタックから伝送されたポンプビーム光を受け取って、光を放出するための有機活性領域４０と、ｉｉｉ）伝送されたポンプビーム光および有機活性領域からのレーザ光を反射して、有機活性領域に戻すための第２誘電体スタック５０とを含み、第１誘電体スタックと第２誘電体スタックとの組合せおよび有機活性領域がレーザ光７０を発生するようにした、複数の有機レーザ空洞デバイスと、ｂ）所望のレーザ出力が得られるように、複数の有機レーザ空洞デバイスについての所定の配置、とを備える。【選択図】図１
2004140372.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　ａ）複数の有機レーザ空洞デバイスであって、各有機レーザ空洞デバイスは、
　　ｉ）所定波長範囲の光に対して反射性であり、ポンプビーム光を受け取って伝送するための第１誘電体スタックと、
　　ｉｉ）第１誘電体スタックから伝送されたポンプビーム光を受け取って、光を放出するための有機活性領域と、
　　ｉｉｉ）伝送されたポンプビーム光および有機活性領域からのレーザ光を反射して、有機活性領域に戻すための第２誘電体スタックとを含み、第１誘電体スタックと第２誘電体スタックとの組合せおよび有機活性領域がレーザ光を発生するようにした、複数の有機レーザ空洞デバイスと、
　ｂ）所望のレーザ出力が得られるように、複数の有機レーザ空洞デバイスについての所定の配置、とを備える有機レーザ空洞構造。
【請求項２】
　　ａ）１以上の次元のパターンに配置された複数の有機レーザ空洞デバイスを備える有機レーザ空洞構造であって、各有機レーザ空洞デバイスは、所定波長範囲の光に対して反射性であり、ポンプビーム光を受け取って伝送するための第１誘電体スタックと、第１誘電体スタックから伝送されたポンプビーム光を受け取って、光を放出するための有機活性領域と、伝送されたポンプビーム光および有機活性領域からのレーザ光を反射して、有機活性領域に戻すための第２誘電体スタックとで特徴付けられ、第１誘電体スタックと第２誘電体スタックとの組合せおよび有機活性領域がレーザ光を発生するものであり、所望の光放射が得られるように複数の有機レーザ空洞デバイスについての所定の配置を伴うようにした、有機レーザ空洞構造を用意するステップと、
　ｂ）所望の光放射を特定のターゲット位置に方向付けするステップと、を備える光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法。
【請求項３】
　　ａ）１以上の次元のパターンに配置された複数の有機レーザ空洞デバイスを備える有機レーザ空洞構造であって、各有機レーザ空洞デバイスは、所定波長範囲の光に対して反射性であり、ポンプビーム光を受け取って伝送するための第１誘電体スタックと、第１誘電体スタックから伝送されたポンプビーム光を受け取るための有機活性領域と、伝送されたポンプビーム光および有機活性領域からのレーザ光を反射して、有機活性領域に戻すための第２誘電体スタックとで特徴付けられ、第１誘電体スタックと第２誘電体スタックとの組合せおよび有機活性領域がレーザ光を発生するものであり、所望の光放射が得られるように複数の有機レーザ空洞デバイスについての所定の配置を伴うようにした、有機レーザ空洞構造を用意するステップと、
　ｂ）複数の有機レーザ空洞デバイスのうちの１つ以上を選択的に励起することによって、所望の光放射を特定のターゲット位置に方向付けするステップと、を備える光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、一般に垂直空洞面発光レーザ（Vertical Cavity Surface Emitting Lasers(ＶＣＳＥＬｓ)）またはマイクロ空洞レーザ、特に有機マイクロ空洞レーザまたは有機ＶＣＳＥＬＳの分野に関するものであり、より詳しくは本発明は有機レーザ空洞の種々のアレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
　無機半導体（例えばＡｌＧａＡｓ）をベースとする垂直空洞面発光レーザ(ＶＣＳＥＬｓ)は、８０年代半ばから開発されている（Kinoshita et al. IEEE Journal of Quantum Electronics, Vol. QE-23, No.6, June 1987)。彼らは、８５０ｎｍで発光するＡｌＧａＡｓベースのＶＣＳＥＬｓが多くの企業によって製造され、１００年を超える寿命を有するという見解に達している（Choquette et al.,Proceedings of the IEEE, Vol.85, No.11, November 1997）。近赤外レーザの成功によって、近年では可視波長範囲で発光するＶＣＳＥＬｓを製造するための他の無機材料系へと注目が集まっている（Wilmsen, Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers, Cambridge University Press, Cambridge, 2001）。可視レーザには多くの応用が見込まれており、例えば、ディスプレイ、光記憶の読み取り／書き込み、レーザプリント、およびプラスチック光ファイバを使用した短距離間電気通信である（Ishigure et al., Electronics Letters, 16th March 1995, Vol.31, No.6）。世界中の多数の産業および学術の研究所における取り組みにもかかわらず、可視スペクトル幅を有する光出力を生成する可視レーザダイオード（あるいはエッジ・エミッタ(edge emitter)またはＶＣＳＥＬｓ)の開発では、まだなされていない研究が多く残されている。
【０００３】
　可視波長ＶＣＳＥＬｓを製造するための取り組みにおいては、無機ベースのシステムをあきらめて、有機ベースレーザシステムに絞るのが有利であろう。なぜなら可視スペクトルでは、有機ベース利得材料は無機ベース利得材料よりも多くの有利な点に恵まれているからである。例えば、代表的な有機ベース獲得材料は非ポンプ分散／吸収損失が少なく、量子効率が高いという特性がある。無機レーザシステムと比較すると、有機レーザは相対的に製造価格が低く、全可視範囲を超えて発光するように製造でき、任意のサイズ規模にでき、最も重要なことは、１つのチップから複数の波長（例えば、赤色、緑色、および青色）を発光させることが可能である。過去数年間で有機ベースの固体レーザの製造への関心が高まっている。レーザ利得材料はポリマーまたは微小の分子であり、多数の異なる共振空洞構造、例えば、マイクロ空洞（Kozlov et al., 米国特許番号６,１６０,８２８、２０００年１２月１２日発行）、導波路、リングマイクロレーザ、および分布帰還型（例えば、Kranzelbinder et al., Rep. Prog. Phys. 63,(2000) 729-762 and Diaz-Garcia et al.、米国特許番号５,８８１,０８３、１９９９年３月９日発行）が採用されていた。これらの構造全てにおける問題点は、レーザ発振を行うために、他のレーザ源を用いた光ポンピングによって空洞を励起する必要があったことである。レーザ空洞は電気的にポンプすることが好ましく、これにより概して構造がよりコンパクトになり、変調がより容易になるからである。
【０００４】
　電気的にポンプされる有機レーザを達成するのに主な障害は、有機材料のキャリア移動度が小さく、通常、およそ１０−５ｃｍ２／（Ｖ・ｓ）である。このようにキャリア移動度が小さいことは多くの問題点をもたらす。キャリア移動度が低いデバイスは、大きな電圧降下とオーミック発熱を回避するために薄い層を用いることが一般に制限される。これらの薄い層によって、発振モードが損失の多いカソード(cathode)およびアノード(anode)に侵入する結果となり、発振閾値が大きく増加させる原因となる（Kozlov et al., Journal of Applied Physics, Volume 84, No. 8, October 15, 1998）。無機材料での電子正孔の再結合は、ランジュヴァン(Langevin)再結合（このレートはキャリア移動度に応じて定まる）によって支配されるため、低いキャリア移動度は、規模オーダーで１重項励起子(singlet excitons)よりも多くの荷電キャリアを有することになる。この結果の１つは、電荷誘起された（ポーラロン(polaron)）吸収が重大な損失メカニズムになり得る、ということである（Tessler et al., Applied Physics Letters, Volume 74, Number 19, May 10, 1999）。レーザデバイスが５％の内部量子効率を有すると仮定すると、現在までに報告されている最も低い発振閾値〜１００Ｗ／ｃｍ２を用い(Berggren et al., Letters to Nature, Volume 389, page 466, October 2, 1997)、上記の損失メカニズムを無視すると、レーザデバイスは電気的にポンプされた発振閾値１０００Ａ／ｃｍ２に対してより低い制限を加えることとなるであろう。これらの損失メカニズムを含むことにより、発振閾値は１０００Ａ／ｃｍ２を優に上回るであろう。この値は現在までに報告されている最も高い電流密度であり、有機デバイスによって維持可能なものである(Tessler, Advanced Materials, 1998, 10, No.1, page 61)。
【特許文献１】米国特許第６１６０８２８号
【特許文献２】米国特許第５８８１０８３号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
　このような難点を回避する１つの方法は、レーザ媒体として非晶質(amorphous)有機材料ではなく結晶有機材料を用いることである。この手法は近年採用されたもので(Schon, Science, Volume 289, July 28, 2000)、利得物質として単結晶テトラセン(tetracene)を用いてファブリ−ぺロ(Fabry-Perot)共振器が構成された。結晶テトラセンを用いることにより、より高い電流密度を得られ、より厚い層を用いることができ（キャリア移動度が２ｃｍ２／（Ｖ・ｓ）程度のため）、そしてポーラロン吸収はより低くなる。利得物質として結晶テトラセンを使用することにより、室温でのレーザ閾値電流密度は約１５００Ａ／ｃｍ２となった。
【０００６】
　有機レーザのための電気的ポンプの代わりは、発光ダイオード(ＬＥＤｓ)などのインコヒーレント光源による光ポンプであり、該光源は例えば発光ダイオード(ＬＥＤｓ)であり、無機のもの(McGehee et al., Applied Physics Letters, Volume 72, Number 13, March 30, 1998)または有機のもの(Berggren et al., 米国特許番号５,８８１,０８９、１９９９年３月９日発行）がある。特に活性媒体としてホスト−ドーパント(host-dopant)結合を用いた場合、非ポンプ有機レーザシステムが、発振波長で大幅に減少した散乱および吸収を合わせた損失（〜０．５ｃｍ-1）を有する結果となる可能性がある。これらの微小な損失を利用したとしても、現在までに報告されている有機レーザの最も小さな光ポンプ閾値は１００Ｗ／ｃｍ２であり、これは導波路レーザ設計に基づいている(Berggren et al., Letters to Nature Volume 389, October 2, 1997)。既製の無機ＬＥＤｓは２０Ｗ／ｃｍ２以下の出力密度しか出すことができず、インコヒーレント光源による光ポンプの利用という異なる手段を取る必要がある。さらに、発振閾値を下げるために、利得体積(gain volume)を最小限にするようなレーザ構造を選択する必要があり、ＶＣＳＥＬベースマイクロ空洞レーザはこの基準を満たす。ＶＣＳＥＬベースの有機レーザ空洞を用いると光ポンプ出力密度閾値を５Ｗ／ｃｍ２以下にすることが可能であろう。結果として、実用的な有機レーザデバイスは、ＬＥＤｓなどの容易に入手可能なインコヒーレント光源を用いて光ポンプをすることにより駆動可能である。
【０００７】
　有機ベースの利得媒体には不利な点もあるが、入念にレーザシステムを設計することで克服できる。有機材料は、低い光および温度損傷閾値によって損失が生じることがある。デバイスへの回復不能なダメージを排除するために、該デバイスは制限したポンプ出力密度を有することになる。有機材料はさらに、酸素や水蒸気のような種々の環境要因に敏感である。これらの変動に対する敏感性を減少させる取り組みは、一般にデバイスの寿命が長くなる結果をもたらす。
【０００８】
　有機ベースレーザの利点の１つは、利得材料が典型的な非晶質であることから、高い結晶性（無機または有機材料）を要する利得材料を有するレーザと比較して、デバイスを安価に形成できることである。さらに、有機非晶質利得材料ベースのレーザは、大きな領域の単結晶材料の形成とは無関係に、大きな面積にわたって製造できる。結果として、該範囲を任意のサイズ規模にでき、より大きな出力が得られる。非晶質の性質により、有機ベースレーザは様々な種類の基板上で成長できる。したがって、ガラス、可撓性プラスチック、およびＳｉのような材料がこれらのデバイスのサポートとすることが可能である。したがって、顕著なコスト利点および非晶質有機ベースレーザのための有用なサポート材料に関して幅広い選択が可能となる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
　本発明は、上述した１つまたはそれ以上の問題を克服するものである。短く要約すると、本発明の一態様によれば、
　ａ）複数の有機レーザ空洞デバイスであって、各有機レーザ空洞デバイスは、
　　ｉ）所定波長範囲の光に対して反射性であり、ポンプビーム光を受け取って伝送するための第１誘電体スタック(dielectric stack)と、
　　ｉｉ）第１誘電体スタックから伝送されたポンプビーム光を受け取って、光を放出するための有機活性領域と、
　　ｉｉｉ）伝送されたポンプビーム光および有機活性領域からのレーザ光を反射して、有機活性領域に戻すための第２誘電体スタックとを含み、第１誘電体スタックと第２誘電体スタックとの組合せおよび有機活性領域がレーザ光を発生するようにした、複数の有機レーザ空洞デバイスと、
　ｂ）多数の応用のために所望のレーザ出力が得られるように、複数の有機レーザ空洞デバイスについての所定の配置、とを備える有機レーザ空洞構造が記載されている。
【発明の効果】
【００１０】
　有機レーザ空洞デバイスの利点の１つは、低コストで個々にアドレス指定可能な素子アレイに容易に製造可能なことである。このようなアレイでは、各素子は近接する素子とはインコヒーレントで、別個のポンプ源（例えば、ＬＥＤまたはＬＥＤ群）でポンプすることが可能になる。応用の要求に応じて、アレイは１次元（線形）または２次元（面）にすることができる。アレイの素子は、数多くの波長をシングルアレイによって形成できるように、複数のホスト−ドナー結合および／または複数の空洞設計を含んでもよい。さらに、有機レーザ空洞デバイスは、無機ＶＣＳＥＬデバイスにとって典型的な単結晶の支持についての要求がないため、大面積構造に製造可能である。
【００１１】
　上記および他の目的、特徴および本発明の利点は下記の説明および図によって明らかになるであろう。説明および図中では、可能な限り、図面に共通する同一の特徴を示すために同一の参照番号が使用される。
【００１２】
　理解を容易にするために、図と共通する同一の要素を示すために同一の参照番号を可能な限り使用する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
　本発明では、垂直空洞有機レーザデバイス（ＶＣＳＥＬｓ）を説明する用語を、短い語である「有機レーザ空洞デバイス」と置換可能に使用する。有機レーザ空洞構造は、大面積のものとして製造され、発光ダイオード(ＬＥＤｓ)で光ポンプされる。
【００１４】
　垂直空洞有機レーザデバイス１０の概略図を図１に示す。基板２０は、光透過性または不透明(opaque)でよく、意図する方向の光ポンプおよびレーザ発光に依存する。光透過性の基板２０は、透明なガラス、プラスチック、またはサファイアなどの他の透明な材料でもよい。代わりに、不透明な基板は、限定しないが、半導体材料（例えばシリコン）またはセラミック材料を使用してもよく、この場合、光ポンプおよび発光の両方が同じ面を通じて生ずる。基板上に、底部誘電体スタック(dielectric stack)３０が堆積され、続いて有機活性領域４０が堆積される。その後、上部誘電体スタック５０が堆積される。ポンプビーム６０は、垂直空洞有機レーザデバイス１０を光学的にポンプする。ポンプビーム６０の光源は、発光ダイオード(ＬＥＤ)からの発光のようにインコヒーレントであってもよい。代わりに、ポンプビーム６０は、コヒーレントのレーザ源から発生してもよい。図１では、上部誘電体スタック５０からのレーザ発光７０を示す。代わりに、誘電体スタック反射率の適切な設計によって、レーザ発光が基板２０を通過するとともに、上部誘電体スタック５０を通じてレーザデバイスを光ポンプしてもよい。シリコンなどの不透明な基板の場合、光ポンプおよびレーザ発光の両方が上部誘電スタック５０を通じて生ずる。
【００１５】
　有機活性領域４０の好ましい材料は、微小分子量の有機ホスト−ドーパント組合せであり、典型的には高真空の熱蒸発によって堆積される。これらのホスト−ドーパント組合せは、利得媒体に関して非ポンプ散乱／吸収損失が非常に小さくなるので有利である。真空中で堆積した材料は、スピンコートされたポリマー材料より均一に堆積可能であることから、有機分子は分子量が小さいことが好ましい。本発明で使用するホスト材料は、ポンプビーム６０を充分に吸収して、フォスターエネルギー転送(Foster energy transfer)によって励起エネルギーの大部分をドーパント材料へ転送できるように選択される。当業者は、フォスターエネルギー転送の概念は周知であり、ホストとドーパント分子間の非放射エネルギー転送に関係する。赤色発光レーザで有用なホスト−ドーパント組合せの例として、ホストとしてアルミニウム・トリス(tris)(８−ヒドロキシキノリン(hydroxyquinoline)）（Ａｌｑ)、ドーパント（体積割合１％で）として〔４−（ジシアノメチレン(dicyanomethylene)）−２−ｔ−ブチル(butyl)−６−（１，１，７，７−テトラメチルジュロリディル(tetramethyljulolidyl)−９−エニル(enyl)）−４Ｈ−ピラン(pyran)〕(DCJTB)がある。他のホスト−ドーパント組合せが他の波長発光を用いてもよい。例えば、緑色で有用な組合せは、ホストとしてＡｌｑ、ドーパント（体積割合０．５％で）として〔１０−（２−ベンゾシアゾリル(benzothiazolyl)）−２，３，６，７−テトラヒドロ(tetrahydro)−１，１，７，７−テトラメチル(tetramethyl)−１Ｈ，５Ｈ，１１Ｈ−[１]ベンゾピラノ(Benzopyrano)[６，７，８-ｉｊ]キノリジン(quinolizin)−１１−ｏｎｅ〕（Ｃ５４５Ｔ）がある。他の有機利得領域材料は、ポリマー物質、例えばポリフェニレンビニレン(polyphenylenevinylene)誘導体、ジアルコキシ(dialkoxy)−ポリフェニレンビニレン(polyphenylenevinylene)、ポリ−パラ−フェニレン(poly-para-phenylene)誘導体、およびポリフルオレン(ployfluorene)誘導体があり、これらは共に譲渡された２００１年２月２７日発行の米国特許番号６１９４１１９Ｂ１でWolk et al. によって教示され、ここに参照される。有機活性領域４０の目的は、伝送されたポンプビーム光６０および放出レーザ光を受け入れることである。
【００１６】
　底部および上部誘電体スタック３０，５０は、好ましくは従来の電子ビーム堆積によってそれぞれ堆積され、交互に並んだ、例えばＴｉＯ２およびＳｉＯ２などの高屈折率および低屈折率の誘電体材料を含んでもよい。他の材料では、高屈折率層としてＴａ２Ｏ５を用いてもよい。底部誘電体スタック３０は、約２４０℃の温度で堆積される。上部誘電スタック５０の堆積プロセス中は、有機活性材料が溶融しないように温度を約７０℃に保持する。本発明の別の実施形態では、上部誘電体スタックは、反射性の金属ミラー層の堆積によって置換される。典型的な金属は、銀またはアルミニウムで、９０％を超える反射率を有する。この代替的実施形態では、ポンプビーム６０およびレーザ発光７０は基板２０を通過して進行する。レーザ空洞１０の所望の発光波長に応じて、底部誘電体スタック３０および上部誘電体スタック５０は、所定の波長範囲のレーザ光に対して反射性となる。
【００１７】
　極めて高いフィネス(finesse)を有する垂直マイクロ空洞を用いることにより、非常に低い閾値（０．１Ｗ／ｃｍ２パワー密度未満）での発振転移が可能になる。この低い閾値により、他のレーザシステムに従来から使用されているレーザダイオードの集光した出力の代わりに、インコヒーレント光源がポンピングのために使用可能になる。ポンプ光源の例としては、ＵＶ　ＬＥＤまたはＵＶ　ＬＥＤアレイ、例えばＣｒｅｅ社の(具体的には、XBRIGHTＲ900 Ultra Violet Power ChipＲ LEDs）がある。これらの光源は、約４０５ｎｍ波長を中心とする光を放出し、チップ型で２０Ｗ／ｃｍ２程度のパワー密度を出すことが知られている。したがって、ＬＥＤのデバイスパッケージおよび延長した角度発光プロファイルに起因する利用効率の制限を考慮しても、ＬＥＤ輝度は、発振閾値を超える何倍ものレベルでレーザ空洞をポンプするのに充分である。
【００１８】
　レーザ効率は、図２に示すような垂直空洞有機レーザ素子８０のための活性領域設計によって向上する。有機活性領域４０（図１に示す）は、１つまたは複数の周期的利得領域１００と、周期的獲得領域１００の片側に設置された有機スペーサ層１１０（図２に示す）とを含み、周期的利得領域１００がデバイスの定在電磁界の波腹(antinode)１０３と一致するように配列される。これは図２に示しており、有機活性領域４０におけるレーザの定在電磁界パターン１２０が概略的に描かれている。誘導放出は波腹１０３で最高になり、電磁界の節(nodes)１０５でごくわずかとなるため、図２に示すような活性領域４０を形成することは本質的に有利である。有機スペーサ層１１０は、誘導または自発放出に関らず、レーザ発光７０またはポンプビーム６０の波長をあまり吸収しない。スペーサ層１１０の例としては、有機材料１，１−ビス(Bis)−（４−ビス(bis)−（４−メチル−フェニル(methyl-phenyl)）−アミノ(amino)−フェニル(phenyl)）−シクロヘキサン(cyclohexane)（ＴＡＰＣ）がある。ＴＡＰＣは、レーザ発光７０またはポンプビーム６０のエネルギーをあまり吸収せず、しかも屈折率が大部分の有機ホスト材料よりもわずかに低いことから、スペーサ材料として良好に機能する。屈折率の差は有用であり、これは電磁界の波腹と周期的利得領域１００との間の重なりを最大化するのに役立つ。本発明を参照して以下で説明するように、バルク利得領域の代わりに周期的利得領域１００を用いることにより、より高いパワー変換効率および不要な自発放出の顕著な減少を達成できる。周期的利得領域１００の配置は、標準的な光学マトリクス法を用いて決定される(Corzine et al. IEEE Journal of Quantum Electronics, Volume 25, No. 6, June 1989)。良好な結果を得るには、周期的利得領域１００の厚さを５０ｎｍあるいはそれ未満にすることが必要で、不要な自発放出を防ぐことができる。
【００１９】
　図３に示した位相ロック有機レーザアレイデバイス１９０を用いて空間コヒーレンスの程度を保ちながら、レーザを領域内で増やすことができる。２次元の位相ロック有機レーザアレイデバイス１９０を形成するために、ピクセル間領域２１０ごとに分離した有機レーザ空洞デバイス２００をＶＣＳＥＬの表面上で規定する必要がある。位相ロックを行うために、好ましくは強度および位相情報が有機レーザ空洞デバイス２００間で交換されるべきである。これは、レーザ発光をデバイス領域へ弱く閉じ込めることによって最良に達成され、例えばミラーのうちの１つの反射率を変調することなど、わずかな組み込み屈折率あるいは利得導波によってなされる。好ましい実施形態では、反射率変調がエッチング領域２２０の底部誘電体スタック３０におけるパターニングおよび形成により影響を受けている。ここでは、標準的なフォトリソグラフィおよびエッチング技術を用いて、底部誘電体スタック３０の表面上に円柱２１１の２次元アレイを形成している。上述したように、有機レーザマイクロ空洞デバイス構造の残部は、パターン化した底部誘電体スタック３０上に堆積される。好ましい実施例では、レーザピクセルの形状は円形であるが、他のピクセルの形状も可能であり、例えば方形であってもよい。ピクセル間の間隔は０．２５〜４μｍの範囲である。また、位相ロックアレイ動作は、より大きなピクセル間隔でも生ずるが、光ポンピングエネルギーを非効率的に用いることになる。エッチング領域２２０を形成するには、エッチング深さは２００〜１０００ｎｍの深さが好ましい。底部誘電体スタック３０の中まで奇数番の層を超えてエッチングすることにより、エッチング領域での縦モード波長について利得媒体のピークから離れるように顕著なシフトに作用することが可能になる。これによりレーザ発振動作が抑制され、ピクセル間領域２１０での自発放出は大幅に低減される。エッチング領域２２０を形成した最終結果として、レーザ発光は有機レーザ空洞デバイス２００に弱く閉じ込められ、ピクセル間領域２１０からのレーザ発振がなくなり、コヒーレント位相ロックレーザ光が位相ロック有機レーザアレイデバイス１９０によって放出される。
【００２０】
　有機レーザ空洞構造は、複数の有機レーザ空洞デバイス２００についての所定の配置である。図４は、１次元有機レーザ空洞構造２２１を示す。１次元有機レーザ空洞構造では有機レーザ空洞デバイス２００をリニアに配置している。構造の素子となる有機レーザ空洞デバイス２００は、種々の形状が可能であり、図示した円形の他にも例えば方形、三角形等でもよいことが理解されよう。図４は、有機レーザ空洞構造のほんの一例であり、有機レーザ空洞素子２００の配置は幾何学的に規定される。幾何学的に既定する方法とは、規則的なパターン反復を意味する。この場合、個々の有機レーザ空洞デバイス２００は、１次元有機レーザ空洞構造２２１の全長に沿って反復している。
【００２１】
　図５は、本発明によって形成した有機レーザ空洞構造を示し、有機レーザ空洞デバイスの２次元配置が描かれている。こうした２次元有機レーザ空洞構造２２２は、有機レーザ空洞デバイス２００を２次元に延びる規則的パターンに組み立てることによって形成される。こうしたデバイスの組立ては当業者には周知である。ピクセル間領域２１０は、一般に、有機レーザ空洞デバイス２００を分離する構造である非レーザ発振部分からなる。
【００２２】
　こうした１次元有機レーザ空洞構造２２１および２次元有機レーザ空洞構造２２２の応用は、ラインよびエリアのフォト活性印刷プロセス、ラインよびエリアの放射ディスプレイ等である。発光有機レーザ空洞デバイス２００の規則的反復は、組立てプロセスの結果として、印刷およびディスプレイ応用のための露出装置を形成する。こうした構造における有機レーザ空洞デバイス２００の間隔は、応用の分解能条件によって定める。例えば、プリンタの応用では、有機レーザ空洞デバイス２００は、約２０〜５０μｍの直径を有する円形であってもよく、該有機レーザ空洞デバイス２００間の間隔（ピクセル間領域２１０）も同等の長さであってよい。図示していないが、有機レーザ空洞デバイス２００の直径がアレイ内で変化する配置もまた本発明の実施形態と考えられる。
【００２３】
　図６は、本発明によって形成した有機レーザ空洞構造を示し、実質的にランダムな配置である２次元有機レーザ空洞構造２２３が描かれている。実質的にランダムな２次元有機レーザ空洞構造２２３は、図１〜図３でのデバイス説明に従って組み立てた有機レーザ空洞デバイス２００を含んでいる。実質的にランダムな２次元有機レーザ空洞構造２２３は、エリア内での単一の有機レーザ空洞デバイス２００のランダム配置として最良に説明できる。図示していないが、有機レーザ空洞デバイス２００の直径がアレイ内で実質的にランダムな形態で変化する配置もまた本発明の１つの実施形態と考えられる。実質的にランダムな２次元有機レーザ空洞構造２２３は、情報の暗号化および画像のディスプレイを含む数多くの分野での応用を有する。
【００２４】
　図７は、本発明によって形成した有機レーザ空洞構造の概略的な上面図であり、有機レーザ空洞デバイスの２次元６角配置が描かれている。こうした６角２次元の有機レーザ空洞構造２２４は、２次元の最密充填アレイを作成するように組立てられた有機レーザ空洞デバイス２００を含む。こうしたアレイの利点は、高いパワー密度を有する光放射の供給を含む。高いパワー密度は、６角配置の最密充填の性質により実現できる。図７は、３つの発光有機レーザ空洞素子２２５を示す。他の充填配置も実施しても構わない。
【００２５】
　図８は、本発明によって形成した有機レーザ空洞構造を示し、有機レーザ空洞デバイス２２６の２次元バイヤー(Bayer)パターン配置が描かれている。こうしたバイヤー２次元有機レーザ空洞構造２２６は、マルチ波長の光出力を形成し、ここではレーザ発光が、光スペクトルの赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）領域で個別の波長で発生するように設計されている。光スペクトルの赤色領域は約６００〜６５０ｎｍの波長の範囲に対応している。光スペクトルの緑色領域は約５００〜５５０ｎｍの波長の範囲に対応し、光スペクトルの青色領域は約４５０〜５００ｎｍの波長の範囲に対応している。有機レーザ空洞デバイス２００の適切な設計により、光出力波長は可視光スペクトル（約４５０〜７００ｎｍ）全体にわたって指定できる。異なる波長のポンプビーム光を実質的に単一波長出力を形成するために用いてもよいことが理解できよう。これは、底部誘電体スタック３０と上部誘電体スタック５０の材料および厚さの適切な設計、有機活性領域４０の材料の選択、および有機レーザ空洞デバイス２００の寸法によって実現できる。代わりに、単一波長ポンプビーム光が、複数の実質的に異なる波長出力を形成してもよい。また、このことは構造での種々の有機レーザ空洞デバイス２００によって実現できる。有機レーザ空洞構造のいずれもが、当面の応用にとって好適なマルチ波長の光出力を生成するように、設計および組立てが可能であることが理解されよう。バイヤー２次元有機レーザ空洞構造２２６の場合、赤色および青色の光出力チャネルに対して２：１の比率となる緑色光出力チャンネルの過剰重み付けが存在する。この構造は、例えば典型的なＣＣＤ光検出アレイのピクセルの１対１直接照射が望まれる応用において利点がある。バイヤーパターンは、典型的には、ＣＣＤおよびＣＭＯＳ光検出のための色感度を提供するカラーフィルタアレイで採用されている（不図示）。
【００２６】
　図９は、本発明によって形成した有機レーザ空洞構造を示し、有機レーザ空洞デバイス２００の１次元またはリニア配置が描かれており、有機レーザ空洞デバイス２００間の空間的関係を示す。空間的関係は、ｄ＝（有機レーザ空洞デバイス２００の直径）およびｌ＝（有機レーザ空洞デバイス２００間での中心から中心への分離間隔）で定義される。これらの２つのパラメータは、レーザ光出力の出力特性を制御するために使用可能である。例えば、実質的に同一の波長出力となるように設計された有機レーザ空洞デバイス２００を用いて組み立てた有機レーザ空洞構造に関して、有機レーザ空洞デバイス２００の位相ロックはパラメータｄおよびｌに強く依存する。位相ロックレーザ光出力生成についての好ましい実施形態では、ｄ＝３〜５μｍ、およびｌ＝３．２５〜９μｍである。上述したように、有機レーザ空洞デバイス２００の間隔が大きいほど、有機レーザ空洞デバイス２００間の面積が増加するため、位相ロックの損失および光使用効率の減少につながる。このような位相ロックの主たる利点は、個々の有機レーザ空洞デバイス２００の光パワーのコヒーレント加算を生成することである。このようにして有機レーザ空洞構造の出力パワーが増加可能となる。ある応用では、有機レーザ空洞デバイス２００間の完全なインコヒーレンスが望ましく、各有機レーザ空洞デバイス２００は独立したレーザとして機能する。このようにして有機レーザ空洞デバイス２００から異なるレーザ光出力位相を達成することもできる。この場合、個々の有機レーザ空洞デバイス２００の独立は、ｌ＞９μｍ、但しｄ＝３〜５μｍ、と値を定めることで達成できる。言うまでもなく、これらのパラメータの他の多くの組み合わせによっても所望の出力を形成できることが理解されよう。同様に、有機レーザ空洞構造の素子間でのコヒーレントの程度を制御することは、当業者に周知なように、１次元構造に限られない。位相ロックレーザ光出力のサブ構造をより大きなアレイの素子の内部に作って、サブ構造は互いに独立しているようにした有機レーザ空洞構造を考慮することも、本発明の実施形態である。この設計により、出力有機レーザ空洞構造を同時に仕上げることが、種々の応用にとって光出力および分解能を最適化することを容易にする。さらに、円形の有機レーザ空洞デバイス２００が図９に描かれているが、他の幾何学的形状でもよく、ある種の応用には有利であろう。例えば、Wilmsen et al., Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers, Cambridge University Press, Cambridge, 2001 で説明されているように、適切な寸法を有する方形の有機レーザ空洞デバイス２００は、有機レーザ空洞構造から偏光レーザ発光を生成するために使用可能である。
【００２７】
　図１０は、異なる波長の有機レーザ空洞デバイスのサブ構造が組み立てられた有機レーザ空洞構造を描いている。こうしたマルチ波長の有機レーザ空洞構造２２７は、３Ｘ３の赤色（ｒ）、緑色（ｇ）、および青色（ｂ）領域のサブ構造を有する（不図示）。上述のように、これらは互いに位相ロックされていてもされていなくてもよく、それは応用の必要条件に依存している。位相ロックの制御は、図９に示した距離パラメータを変えることによって達成できる。
【００２８】
　図１１は、本発明によって形成した有機レーザ空洞構造を示し、フレキシブル支持体のに組み立てられている。前述のように有機レーザ空洞の基板の必要条件が緩和されるので、フレキシブル有機レーザ空洞構造２２８が製造可能になる。こうしたフレキシブル有機レーザ空洞構造２２８は、構造が軽量で種々の非平面に応じて変形できる点で、多くの利点を有する。さらに、有機レーザ空洞デバイス２００間の空間的関係は、フレキシブル基板上にこうしたデバイスを形成することによって、影響を受けることがある。こうして複数の有機レーザ空洞デバイス間の空間的関係は互いに変化する。フレキシブル基板を伸張することは、有機レーザ空洞デバイス２００間のコヒーレンスの程度を変化させるのに使用できる。有機レーザ空洞構造の特徴（マルチ波長、素子間のコヒーレンス制御など）のいずれも、フレキシブル有機レーザ空洞構造２２８との組み合わせで実現できることが理解されよう。
【００２９】
　図１２は、本発明によって形成した有機レーザ空洞構造を示し、例えば複数のＬＥＤなどの光源２２９が、時間依存性光出力を発生させるようにして有機レーザ空洞構造に向けて照射する。発光体２３０は、有機レーザ空洞構造２３１に直接に向けられ、レーザ空洞を光励起する。こうした時間依存性有機レーザ空洞構造２３１は多数の方法で実現できる。この場合、発光体２３０が回転する時間依存性有機レーザ空洞構造２３１を光ポンプする。有機レーザ空洞構造は、有機レーザ空洞デバイス２００の非均一パターンが基板上に存在するように、組み立てられる。有機レーザ空洞構造２３１の回転は時間依存性出力を発生させる。同様に、固定した有機レーザ空洞構造２３１を時間変化する非均一光源によって光ポンプして、こうした出力を生成することもできる。
【００３０】
　さらに、光源２２９は、実質的に単一波長レーザ出力を形成する単一波長ポンプビーム光、または単一波長レーザ出力を形成する実質的に異なる波長のポンプビーム光、あるいは複数の実質的に異なる波長出力を形成する実質的に異なる波長のポンプビーム光を含むものでもよい。
【００３１】
　図１３は、光ポンプを有機レーザ空洞構造へ提供し、レーザ光出力をターゲットへ向けるフォトン源からの光を方向付けするための方法をブロック図形式で描いている。ステップ２３２において光が生成され、有機レーザ空洞構造を光励起する手段を提供する。有機レーザ空洞構造をポンピングする場合、広範囲の可能性ある光源が利用可能であり、これにより結果として有機レーザ空洞素子２００からのレーザ発振のためのパワー閾値は低くなる。例えば、発光ダイオード（無機または有機）のアレイは、この能力で使用してもよい。ステップ２３３では、光は有機レーザ空洞構造に方向付けされる。ポンプ光を方向付けして左右するには種々の方法があり、例えばレンズとミラーを使用してもよい。これらの光学系は、能動部品(active)または受動部品(passive)として説明できよう。レンズ、フィルタおよびミラーは受動光学部品の例である。これらはポンプ光についての空間分布、光強度、偏光（polarization)等を変化させるのに使用できる。能動光学部品は、種々の光変調器（電気光学、音響光学）を含んでもよく、入射ポンプ光についての強度、露光時間、偏光または空間分布を変化させるのに使用できる。ステップ２３４で説明する有機レーザ空洞構造は、ポンプ光を受けとって、入力ポンプ光に応じてレーザ光を生成する。ステップ２３４からのレーザ光出力の正確な形状は、各種実施形態で上述したように、有機レーザ空洞構造の特徴によって定まる。ステップ２３４で生成されたレーザ光は、ステップ２３５での素子を用いてターゲットに向けて方向付けされる。ステップ２３３のように、これらの素子はレンズ、ミラー、変調器などを含んでよく、レーザ光の強度、露光時間、偏光、および空間分布を変化させるのに使用される。さらに、ステップ２３４での有機レーザ空洞構造によって放出された光の位相は、ターゲットに向けられた出力ビームの位相に作用するように、位相変調してもよい。ステップ２３５は、有機レーザ空洞構造の出力を、意図したターゲットに方向付けして制御するための手段を提供する。有機レーザ空洞構造の出力は、光放射の単一波長またはマルチ波長を含んでもよい。ステップ２３６は、種々の形状を持つターゲット自体を含む。これらのターゲットは、感光性材料、光放射ベースの通信のための受光器または検出器などの物体を含んでもよく、あるいは物体をマーキングするため、空間的寸法を得るために物体を走査するため、認証用に空間的にエンコードする情報を得るため、あるいは物体のスペクトル分析のための物体上の場所を含んでもよい。感光性材料は、写真材料または電気写真材料、染料を切除するための受光層、または受光材料上の他の材料を含んでもよい。
【００３２】
　有機レーザ空洞構造は、配置が幾何学的に規定される。
【００３３】
　有機レーザ空洞構造は、配置がリニア配置である。
【００３４】
　有機レーザ空洞構造は、配置が２次元の配置である。
【００３５】
　有機レーザ空洞構造は、配置が実質的にランダムな配置である。
【００３６】
　有機レーザ空洞構造は、配置が６角２次元配置である。
【００３７】
　有機レーザ空洞構造は、配置がバイヤーパターン配置である。
【００３８】
　有機レーザ空洞構造は、配置が複数の有機レーザ空洞素子間の空間的関係によって規定される。
【００３９】
　有機レーザ空洞構造は、空間的関係が固定される。
【００４０】
　有機レーザ空洞構造は、空間的関係が可変である。
【００４１】
　有機レーザ空洞構造は、所望のレーザ出力が複数の有機レーザ空洞素子から放射する異なるレーザ出力波長を含む。
【００４２】
　有機レーザ空洞構造は、所望のレーザ出力が複数の有機レーザ空洞素子から放射する実質的に同じレーザ出力波長を含む。
【００４３】
　有機レーザ空洞構造は、所望のレーザ出力が複数の有機レーザ空洞素子各々の異なるレーザ光出力位相を含む。
【００４４】
　有機レーザ空洞構造は、所望のレーザ出力が複数の有機レーザ空洞素子各々の実質的に同じレーザ光出力位相を含む。
【００４５】
　有機レーザ空洞構造は、所望のレーザ出力が複数の有機レーザ空洞素子各々の実質的に同じレーザ光出力偏光を含む。
【００４６】
　有機レーザ空洞構造は、所望のレーザ出力が複数の有機レーザ空洞素子各々の異なるレーザ光出力偏光を含む。
【００４７】
　有機レーザ空洞構造は、所定の配置が、幾何学的配置、位相配置、波長配置、偏光配置、および空間配置からなる群から選んだ組み合わせである。
【００４８】
　有機レーザ空洞構造は、所定の配置が平面である。
【００４９】
　有機レーザ空洞構造は、所定の配置が非平面である。
【００５０】
　有機レーザ空洞構造は、単一波長ポンプビーム光が実質的に異なる波長出力を形成する。
【００５１】
　有機レーザ空洞構造は、単一波長ポンプビーム光が実質的に単一波長レーザ出力を形成する。
【００５２】
　有機レーザ空洞構造は、実質的に異なる波長のポンプビーム光が単一波長レーザ出力を形成する。
【００５３】
　有機レーザ空洞構造は、実質的に異なる波長のポンプビーム光が複数の実質的に異なる波長出力を形成する。
【００５４】
　有機レーザ空洞構造は、所望のレーザ出力がポンプビーム光に対して時間依存性関係である。
【００５５】
　有機レーザ空洞構造は、複数の有機レーザ空洞デバイス間の空間的関係が互いに変化する。
【００５６】
　有機レーザ空洞構造は、所定の配置がフレキシブル基板上に形成される。
【００５７】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、光放射を特定のターゲット位置に方向付けすることは物体をマーキングすることを含む。
【００５８】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、さらに感光性材料を露光することを含む。
【００５９】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、さらに光放射ベースの通信を可能にするステップを含む。
【００６０】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、空間的寸法を得るために物体を走査することを含む。
【００６１】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、物体のスペクトル分析を行うことを含む。
【００６２】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、認証用に情報をエンコードすることを含む。
【００６３】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、ａ）１以上の次元のパターンに配置された複数の有機レーザ空洞デバイスを備える有機レーザ空洞構造であって、各有機レーザ空洞デバイスは、所定波長範囲の光に対して反射性であり、ポンプビーム光を受け取って伝送するための第１誘電体スタックと、第１誘電体スタックから伝送されたポンプビーム光を受け取って、光を放出するための有機活性領域と、伝送されたポンプビーム光および有機活性領域からのレーザ光を反射して、有機活性領域に戻すための第２誘電体スタックとで特徴付けられ、第１誘電体スタックと第２誘電体スタックとの組合せおよび有機活性領域がレーザ光を発生するものであり、マルチ波長の所望の光放射が得られるように複数の有機レーザ空洞デバイスについての所定の配置を伴うようにした、有機レーザ空洞構造を用意するステップと、ｂ）マルチ波長を有する所望の光放射を特定のターゲット位置に方向付けするステップと、を備える。
【００６４】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、光放射の特定のターゲット位置方向付けすることは物体をマーキングすることを含む。
【００６５】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、さらに感光性材料を露光することを含む。
【００６６】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、さらに光放射ベースの通信を可能にするステップを含む。
【００６７】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、空間的寸法を得るために物体を走査することを含む。
【００６８】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、物体のスペクトル分析を行うことを含む。
【００６９】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、認証用に情報をエンコードすることを含む。
【００７０】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、ａ）１以上の次元のパターンに配置された複数の有機レーザ空洞デバイスを備える有機レーザ空洞構造であって、各有機レーザ空洞デバイスは、所定波長範囲の光に対して反射性であり、ポンプビーム光を受け取って伝送するための第１誘電体スタックと、第１誘電体スタックから伝送されたポンプビーム光を受け取って、光を放出するための有機活性領域と、伝送されたポンプビーム光および有機活性領域からのレーザ光を反射して、有機活性領域に戻すための第２誘電体スタックとで特徴付けられ、第１誘電体スタックと第２誘電体スタックとの組合せおよび有機活性領域がレーザ光を発生するものであり、別々のマルチ位相の所望の光放射が得られるように複数の有機レーザ空洞デバイスについての所定の配置を伴うようにした、有機レーザ空洞構造を用意するステップと、ｂ）別々のマルチ位相を有する所望の光放射を特定のターゲット位置に方向付けするステップと、を備える。
【００７１】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、光放射の特定のターゲット位置方向付けすることは物体をマーキングすることを含む。
【００７２】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、さらに感光性材料を露光することを含む。
【００７３】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、さらに光放射ベースの通信を可能にするステップを含む。
【００７４】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、空間的寸法を得るために物体を走査することを含む。
【００７５】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、物体のスペクトル分析を行うことを含む。
【００７６】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、認証用に情報をエンコードすることを含む。
【００７７】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、ａ）１以上の次元のパターンに配置され、互いに可変の空間的関係を持つように間隔付けされた複数の有機レーザ空洞デバイスを備える有機レーザ空洞構造であって、各有機レーザ空洞デバイスは、所定波長範囲の光に対して反射性であり、ポンプビーム光を受け取って伝送するための第１誘電体スタックと、第１誘電体スタックから伝送されたポンプビーム光を受け取って、光を放出するための有機活性領域と、伝送されたポンプビーム光および有機活性領域からのレーザ光を反射して、有機活性領域に戻すための第２誘電体スタックとで特徴付けられ、第１誘電体スタックと第２誘電体スタックとの組合せおよび有機活性領域がレーザ光を発生するものであり、所望の光放射が得られるように複数の有機レーザ空洞デバイスについての所定の配置を伴うようにした、有機レーザ空洞構造を用意するステップと、ｂ）所望の光放射を特定のターゲット位置に方向付けするステップと、を備える。
【００７８】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、光放射の特定のターゲット位置方向付けすることは物体をマーキングすることを含む。
【００７９】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、さらに感光性材料を露光することを含む。
【００８０】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、さらに光放射ベースの通信を可能にするステップを含む。
【００８１】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、空間的寸法を得るために物体を走査することを含む。
【００８２】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、物体のスペクトル分析を行うことを含む。
【００８３】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、認証用に情報をエンコードすることを含む。
【００８４】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、光放射の特定のターゲット位置方向付けすることは物体をマーキングすることを含む。
【００８５】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、さらに感光性材料を露光することを含む。
【００８６】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、さらに光放射ベースの通信を可能にするステップを含む。
【００８７】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、空間的寸法を得るために物体を走査することを含む。
【００８８】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、物体のスペクトル分析を行うことを含む。
【００８９】
　光放射を特定のターゲット位置に方向付けする方法は、認証用に情報をエンコードすることを含む。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】光ポンプされた有機レーザ空洞デバイスの概略的な側面断面図である。
【図２】周期的に構成された有機利得領域を有する光ポンプされた有機ベース垂直空洞レーザの概略的な側面断面図である。
【図３】光ポンプされた２次元位相ロック有機垂直空洞レーザアレイデバイスの概略的な側面断面図である。
【図４】本発明に係る有機レーザ空洞構造を示し、有機レーザ空洞デバイスの１次元配置を示す。
【図５】本発明に係る有機レーザ空洞構造を示し、有機レーザ空洞デバイスの２次元配置を示す。
【図６】本発明に係る有機レーザ空洞構造を示し、有機レーザ空洞デバイスの２次元な実質的にランダムな配置を示す。
【図７】本発明に係る有機レーザ空洞構造の概略的な上面図であり、有機レーザ空洞デバイスの２次元６角配置を示す。
【図８】本発明に係る有機レーザ空洞構造を示し、有機レーザ空洞デバイスの２次元バイヤー(Bayer)パターン配置を示す。
【図９】本発明に係る有機レーザ空洞構造を示し、有機レーザ空洞デバイスの１次元またはリニア配置、および有機レーザ空洞デバイス間の空間的な関係を示す。
【図１０】有機レーザ空洞構造を示し、異なる波長の有機レーザ空洞デバイスのサブアレイが製造される。
【図１１】本発明に係る有機レーザ空洞構造を示し、該構造はフレキシブル支持体の上に製造される。
【図１２】本発明に係る有機レーザ空洞構造を示し、均一な光源が有機レーザ空洞構造を時間依存性の光出力を発生させるようにして照射する。
【図１３】本発明に係る有機レーザ空洞構造からの光をターゲットへ向ける方法を示す。
【符号の説明】
【００９１】
　　１０　　垂直空洞有機レーザデバイス
　　２０　　基板
　　３０　　底部誘電体スタック
　　４０　　有機活性領域
　　５０　　上部誘電体スタック
　　６０　　ポンプビーム
　　７０　　レーザ発光
　　８０　　垂直空洞有機レーザデバイス
　１００　　周期的利得領域
　１０３　　波腹
　１０５　　電磁界節
　１１０　　有機スペーサ層
　１２０　　電磁波領域パターン
　１９０　　位相ロック有機レーザアレイデバイス
　２００　　有機レーザ空洞デバイス
　２１０　　ピクセル間領域
　２１１　　円柱
　２２０　　エッチング領域
　２２１　　１次元有機レーザ空洞構造
　２２２　　２次元有機レーザ空洞構造
　２２３　　実質的にランダムな２次元有機レーザ空洞構造
　２２４　　６角２次元有機レーザ空洞構造
　２２５　　発光有機レーザ空洞デバイス
　２２６　　バイヤー２次元有機レーザ空洞構造
　２２７　　マルチ波長有機レーザ空洞構造
　２２８　　フレキシブル有機レーザ空洞構造
　２２９　　光源
　２３０　　発光体
　２３１　　時間依存性有機レーザ空洞構造
　２３２　　フォトン源ステップ
　２３３　　能動または受動光学系ステップ
　２３４　　有機レーザ空洞構造がポンプ光を受けてレーザ光を生成するステップ
　２３５　　能動または受動光学系ステップ
　２３６　　ターゲットステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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