(57)【要約】【課題】ＤＵＴの信号応答特性の測定を改善する方法および装置を提供する。【解決手段】デバイス１０の信号応答特性ｄを求めるため、第１の信号ｓ1が第１の時間関数で変化され、同時に第２の信号ｓ2が、第１の関数とは異なる第２の時間関数で変化される。第１および第２の信号ｓ1、ｓ2は、時間依存妨害信号ｅに晒されるデバイス１０に結合される。信号応答は第１および第２の信号ｓ1、ｓ2および時間依存妨害信号ｅに応答してデバイス１０から取り出される。信号応答特性ｄは、受信した信号応答を、第１および第２の信号ｓ1、ｓ2、またはそれらから得られる信号と関連して解析し、受信した信号応答および第１、第２の信号ｓ1、ｓ2、またはそれらから得られる信号を用いて少なくとも部分的に時間依存妨害信号ｅを除去することにより得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
デバイスの信号応答特性を決定する方法であって、
第１の時間関数を有する第１の信号を送り出し、同時に、第１の時間関数とは異なる第２の時間関数を有する第２の信号を送り出すステップと、
前記第１および第２の信号を、時間依存妨害信号に晒される前記デバイスに結合するステップと、
前記第１および第２の信号および前記時間依存妨害信号に応答した、前記デバイスからの信号応答を受信するステップと、
前記受信した信号応答を、前記第１および第２の信号、または、それらから得られる信号と関連して解析し、前記受信した信号応答および前記第１および第２の信号、または、それらから得られる信号を利用して、少なくとも部分的に前記時間依存妨害信号を除去することにより前記信号応答特性を導き出すステップと、
を含む方法。
【請求項２】
前記第１および第２の信号を、それぞれ、第１の部分と第２の部分とに分割し、前記第１および第２の信号の前記第１の部分を前記デバイスに結合するステップと、
前記受信信号応答と前記第１および第２の信号の前記第２の部分とを重畳するステップと、
前記重畳信号の少なくとも２つから前記信号応答特性を導き出すステップと、
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記重畳信号の少なくとも２つから前記信号応答特性を導き出すステップが、
前記少なくとも２つの重畳信号から前記時間依存妨害信号を少なくとも部分的に復元するステップと、
前記デバイスの前記信号応答特性から前記時間依存妨害信号を少なくとも部分的に分離するステップと、
を含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の時間関数によって決まる第１の搬送周波数を有する第１の重畳信号を検出し、前記第２の時間関数によって決まる、前記第１の搬送周波数とは異なる第２の搬送周波数を有する第２の重畳信号を検出するステップと、
前記第１の重畳信号と前記第２の重畳信号とを比較して、前記時間依存妨害信号を復元するステップと、
前記第１および第２の重畳信号の少なくとも一方から前記復元した時間依存妨害信号を取り去るステップと、
をさらに含む、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
少なくとも１つの波長可変レーザ源を用いて、第１および／または第２の光信号を発生することと、前記デバイスが光学デバイスである、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
時間とともに波長がほぼ線形に変化するように、前記第１または第２の時間関数の少なくとも一方が設定される、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記信号のそれぞれについて、波長と時間との関係を測定するステップをさらに含む、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記第１および第２の搬送周波数を有する前記第１および第２の重畳信号を検出するステップが、
時間と周波数の少なくとも一方の関数として前記重畳信号のそれぞれのパワーを検出し、前記重畳信号のそれぞれに関するインターフェログラム表現を作成するステップと、
前記インターフェログラム表現のそれぞれから時間に関する群遅延関数を決定するステップと、
を含む、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記第１および第２の信号を同時に送り出すステップに、タイム・マークを設定するステップが含まれており、ここで、前記第１の信号の特徴が前記第２の信号の特徴と一致することと、
前記第１および第２の信号を同時に送り出すステップに、タイム・マークを設定するステップが含まれており、ここで、前記第１の信号の波長が前記第２の信号の波長と一致することと、
のうちの少なくとも一方が含まれる、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
前記タイム・マークが、できれば、複数の群遅延関数のそれぞれにおいて、零点の働きをする、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記第１の重畳信号と前記第２の重畳信号との比較ステップが、
前記第１または第２の、時間に関する可変波長関数をそれぞれ用いて、時間に関する群遅延関数を波長の群遅延関数として再構成するステップと、
前記第２の再構成群遅延関数から前記第１の再構成群遅延関数を引くことにより、信号応答特性を、結果生じる差信号から取り除くステップと、
前記差信号にフーリエ変換を施すステップと、
前記第１の信号を変調する前記時間依存妨害信号を表す前記差信号内の第１のシグネチャ、および、前記第２の信号を変調する前記時間依存妨害信号を表す第２のシグネチャを識別するステップと、
前記第１のシグネチャと前記第２のシグネチャを相関させるステップと、
前記第１のシグネチャに逆フーリエ変換を施して、前記時間依存妨害信号を取り出すステップと、
前記第１の信号に対応する前記群遅延関数から前記時間依存妨害信号を取り去るステップと、
のうちの１つ以上を含む、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
前記群遅延関数を再構成するステップと、
前記再構成された群遅延関数を引くステップと、
フーリエ変換を実施するステップと、
前記フーリエ変換においてシグネチャを識別するステップと、
前記シグネチャを相関させるステップと、
逆フーリエ変換を実施するステップと、
前記第１の信号から前記相関された妨害信号を取り去るステップと、
のうちの１つ以上のステップが繰り返し反復される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第１および第２の信号を同時に送り出すステップが、
前記第１の時間関数に従って前記第１の信号の波長を変化させるステップと、
前記第２の時間関数に従って前記第２の信号の波長を変化させるステップと、
前記第１の時間関数に従って前記第１の信号を変調するステップと、
前記第２の時間関数に従って前記第２の信号を変調するステップと、
前記第１の時間関数に従って、振幅と波長の少なくとも一方に関して前記第１の信号を変調するステップと、
前記第２の時間関数に従って、振幅と波長の少なくとも一方に関して前記第２の信号を変調するステップと、
のうちの少なくとも１つを含む、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
デバイスの信号応答特性を求めるよう適合された装置であって、
前記デバイスは時間依存妨害信号に晒され、
前記デバイスは、第１および第２の信号に応答して信号応答を提供し、
前記第１の信号に第１の時間関数が備えられ、
前記第２の信号が、前記第１の信号と同時に送り出され、かつ第２の時間関数を有し、
前記第１の関数は前記第２の関数と異なり、
前記デバイスからの信号応答を、前記第１および第２の信号、または、それらから得られる信号と関連して解析し、前記受信した信号応答および前記第１および第２の信号、または、それらから得られる信号を用いて、少なくとも部分的に前記時間依存妨害信号を除去することによって前記信号応答特性を導き出すよう適合された解析装置を備えている、
装置。
【請求項１５】
前記第１の信号および前記第２の信号を送り出す少なくとも１つの信号源と、
それぞれ、線幅がかなり狭い第１の信号および第２の信号を送り出す少なくとも１つの信号源と、
前記第１の信号を発生する第１の波長可変信号源および前記第２の信号を発生する第２の波長可変信号源と、
前記第１および第２の信号に応答した、前記デバイスからの信号応答を受信するよう適合された受信器と、
のうちの少なくとも１つをさらに備えている、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記第１および第２の信号を含む入力重畳信号の経路内に配置され、前記入力信号を、第１の経路を進行する第１の部分と、第２の経路を進行する第２の部分とに分割にするための第１の信号スプリッタであって、前記第１の経路は、前記第１の部分を被測定デバイスに供給するように構成されている、第１の信号スプリッタと、
前記第１および第２の経路内に配置され、前記第１の部分が、前記第２の部分とは異なる経路長にわたって進行した後、前記入力信号の前記第１および第２の部分を重畳し、結果生じる経路を進行する前記重畳信号における前記第１の部分と前記第２の部分との間に干渉を生じさせる第２の信号スプリッタと、
前記結果生じる経路内にあって、ある所与の周波数範囲にわたる前記入力信号の周波数の変化時に、周波数と時間の少なくとも一方の関数として、前記結果生じる経路を進行する前記重畳信号のパワーを検出するための検出装置と、
前記入力信号の前記経路に接続され、前記入力信号内の前記第１または第２の信号のそれぞれの波長を求めるようになっており、さらに、前記入力信号内の前記第１または第２の信号のそれぞれの時間と波長との間の関数を決定する制御装置を備えていて、該制御装置が、前記検出装置に接続されていて、前記重畳信号の解析を施すようになっている、波長基準装置と、
のうちの少なくとも１つをさらに備えている、請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１７】
前記制御装置が、前記検出装置によって検出される信号データのフーリエ変換を実施するよう適合されている、請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記第１の時間関数に従って波長が変化する前記第１の信号が送り出されることと、
前記第２の信号が前記第１の信号と同時に送り出され、その波長が前記第２の時間関数に従って変化することと、
のうちの少なくとも１つを備えている、請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定デバイス（ＤＵＴ）の信号応答特性の測定に関する。
【背景技術】
【０００２】
デバイスの信号応答特性を求めることは、通信測定装置産業における共通の目的である。特に、光学、電気、および／または、音響デバイスの応答特性の解明のため、研究および開発への関心が高まっている。
【０００３】
既知のアプローチの１つは、干渉測定の実施であり、この場合、例えば、分割されて、ＤＵＴを通るように導かれる、並びに、直接検出装置に導かれる入力信号のランタイム（runtime）の変化によって、インターフェログラムを作成し、解析して、強度伝播、偏光、および／または、群遅延特性等を導き出すことが可能である。例えば、デバイスを通るランタイムは、周波数が変化する結果として変動する。対応するデバイス依存特性群遅延により、ＤＵＴを通過しない、入力信号から分割された信号との強め合う干渉または弱め合う干渉が生じる。
【０００４】
例えば、光学デバイスに関連したＤＵＴの信号応答特性に関する既知の干渉測定については、欧州特許第１  ２０７３７７  Ａ２号明細書に記載がある。その教示は、本引用により、本明細書に組み込まれる。
【０００５】
【特許文献１】欧州特許第１  ２０７３７７  Ａ２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、ＤＵＴの信号応答特性の測定を改善することにある。この目的は、独立請求項によって解決される。望ましい実施態様は、従属請求項によって提供される。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の実施態様によれば、波長可変信号源を用いて、第１と、少なくとも第２の信号を、それぞれ、発生する。少なくともあるタイム・スパンにわたって、両信号源によって同時に信号を発生することによって、発生した信号の重ね合わせが可能になる。発生した両信号は、後続のプロセス・ステップにおいて、ヘテロダインを施すことによって、波長の異なる信号が得られるようにする場合、信号の解析を容易にするため、かなり狭い線幅を示すのが望ましい。「ヘテロダイン」および「重ね合わせ」は、下記において類義語を意味するものとして用いられる。
【０００８】
発生される信号数に従って、対応する数の信号源が利用される。しかし、１つの信号源で同時に２つの信号を発生可能な場合には、用いる信号源数を減らすことが可能である。本発明による信号源には、波長可変手段も設けられている。一例を挙げると、例えば、一般に光学用途に用いられる外部リットマン（Ｌｉｔｔｍａｎｎ）またはリトロ（Ｌｉｔｔｒｏｗ）空洞共振器のような、波長可変空洞共振器を含む信号源がある。
【０００９】
少なくとも２つの信号が同時に結合するが、それぞれ、波長対時間の、異なる関数依存性を利用する信号源が、独立して作動される（それぞれ、波長が可変であることが望ましい）。発生される各信号に関する少なくとも２つの関数的挙動は、任意の形をとることが可能であるが、単純な多項式表現が望ましい。最も望ましい実施態様の場合、時間とともに波長が線形に増減する。各信号は、固有の多項係数が付与される。下記では、時間に対する波長の関数的変化が掃引速度として表わされる。
【００１０】
本発明の特徴は、例えば、発生される第１と第２の信号間における波長の差が時間とともに変化するといったように、時間に対する（例えば、波長の）関数的依存性（掃引速度と呼ばれる場合もある）が、第１と第２の信号間において異なるということである。
【００１１】
実施態様の１つは、第１の信号の波長が、時間的に変化して、例えば、一定の掃引速度といった、特定の関数的挙動を示し、第２の信号の波長が、できれば、限りなく低速で変化する態様の１つに関するものである。すなわち、第２の信号の波長は、実際には、ほぼ一定に保たれる。この場合、妨害信号が第２の信号を変調して、準ＤＣ信号が得られる。しかしながら、干渉測定もまた準ＤＣ信号を発生する。第２の信号を振幅変調して、干渉計信号と妨害信号の分離を改善するのが望ましい。
【００１２】
実施態様の１つでは、第１と第２の信号の少なくとも一方が、できれば、振幅と波長の少なくとも一方に関して変調される。第１と第２の信号の一方が変調され、もう一方は、時間経過につれて波長が変化される。
【００１３】
第１と第２の信号は、入力信号経路を介して、ＤＵＴに同時に入力される。そこで、例えば、デバイスの特性群遅延をもたらすといった、デバイスの信号応答挙動が、実際の信号周波数と無関係に、信号に加えられる。
【００１４】
しかし、波長依存内部特性以外に、外乱が、デバイスの信号応答特性に影響を及ぼす可能性がある。これらの外乱は、通常、時間依存挙動を含んでいる。
【００１５】
例えば、干渉計アームの一部である光学ＤＵＴが、干渉測定に影響を及ぼす可能性のある振動または音響雑音等にさらされる可能性がある。外乱は、入力および遅延信号の位相情報に影響を及ぼす可能性がある。
【００１６】
従って、第１と第２の入力信号が、結果として、こうした時間依存妨害信号によって変調される可能性がある。
【００１７】
実施態様の１つによれば、波長依存応答特性は、少なくとも部分的に、時間依存外乱から分離される、あるいは、換言すれば、時間依存外乱が、少なくとも部分的に、波長依存応答特性から除去される。時間に対する波長の関数依存性が異なるため、２つの信号のそれぞれと共に供給される情報は、例えば、干渉測定において独立して保持することが可能である。これを実現するため、第１と第２の信号を、それぞれ、第１と第２の部分に分割することが可能である。第１の部分は、既に上述のように、ＤＵＴに結合される。第２の部分は、その後、第１の部分の２つの信号とのヘテロダインが施される。従って、４つの信号が、互いにヘテロダインを施される。
【００１８】
実施態様の１つでは、ＤＵＴを含む干渉計アームは、「局部発振器」とも呼ばれる、分割された部分が辿る信号経路よりも、かなり長い信号経路を備えている。結果として、ＤＵＴを通って、その局部発振器でヘテロダインされる第１の信号は、その間に波長が変化されるため、波長がわずかに異なっている。従って、干渉計のアーム長に比例した低搬送周波数を有するヘテロダイン信号（heterodyned signal）が生じることになり、時間に対して可変波長が線形に変化する場合、搬送周波数は掃引速度によって決まる。従って、異なる掃引速度を選択すると、ヘテロダイン信号のそれぞれについて、異なる搬送周波数が得られることになる。
【００１９】
従って、利点の１つは、信号応答特性に関する情報が、時間依存妨害情報とともに、ヘテロダイン信号に保持されるということである。デバイス特性応答信号および時間依存妨害信号を個別に導き出すために、２つの独立したヘテロダイン信号を解析することができるので、所望の情報の取り出しのために、数学的および信号処理解析が可能になる。従って、時間依存妨害信号を得て、測定された干渉信号から取り除くことによって、ＤＵＴの信号応答特性の質的向上をもたらすことが可能になる。
【００２０】
本発明は、２つの独立した信号を発生する２つの信号源の利用に制限されるものではない。外乱信号の解析度および分離度をいっそう改善するために、複数の信号を発生して、測定システムおよびＤＵＴに結合することが可能である。
【００２１】
もう１つの態様では、発生した第１と第２の両方の信号の波長が同じになるタイム・マークが設定される。この特徴により、ヘテロダイン信号の一方から得られる情報を利用して、もう一方のヘテロダイン信号の解析にその情報を取り入れることで、ヘテロダイン信号の信号処理がさらに大幅に向上する。
【００２２】
本発明は、１つ以上の適合するソフトウェア・プログラムによって部分的にまたは完全に実現または支援され得るものであり、このプログラムは、任意の種類のデータ記憶媒体に記憶することができるか、または、その媒体によって供給されることができ、また、任意の適合するデータ処理装置内で、または、によって実行可能である。ソフトウェア・プログラムまたはルーチンは、信号処理を実施し、データを解析するための検出装置と共に用いられるのが望ましい。特に、フーリエ変換（ＦＦＴ）を実施する装置を用いて、記録された信号から波長および時間依存情報を取り出すことが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１には、その基本原理を明らかにし、同時に、光学デバイスに関連した本発明の実施態様が示されている。第１および第２の波長可変レーザ源２、４は、それぞれ、信号ｓ1（ｔ）およびｓ2（ｔ）を発生して、送り出す。これらは、波長依存応答特性ｄ（ω）を示す光学デバイス１０に結合される。光学デバイス１０は、例えば、振動のような外乱を受けやすい。これらの外乱は、時間依存妨害信号ｅ（ｔ）で信号ｓ1（ｔ）およびｓ2（ｔ）を変調する。
【００２４】
検出装置６、８は、それぞれ、被変調信号ｓ1’（ｔ，ω）およびｓ2’（ｔ，ω）を受信する。波長依存応答特性ｄ（ω）の検査が目的である。従って、非結合信号ｓ1およびｓ2の波長λｔが、図２に示すように一定の掃引速度によって変化させられる。両方のレーザ源２、４を調整して同じ波長λstartが得られるところのタイム・マークｔstartが存在する。下記では、ｔstartは時間軸における零点の働きをする。
【００２５】
本発明を用いることにより、２つの信号ｓ1、ｓ2を利用して、デバイス（１０）の同じ群遅延特性、および、デバイス（１０）に作用する妨害信号の同じ時間依存特性が、別個に描画される。関連する波長および時間範囲は、両方の信号によってカバーされる。変数としての波長および時間に依存する２つの応答信号を適切に変換することによって、時間依存および波長依存応答特性を導き出すことが可能である。
【００２６】
図８には、本発明によるより詳細な構成が示されている。レーザ源２、４によって発生された第１および第２の信号が、まず、偏光コントローラ２０に入力されるが、この偏光コントローラを利用することによって、さらに、光学デバイス１０の偏光依存特性を検査することが可能である。次に、両信号が重畳され、一部は、分割されて、波長基準装置４０に向かう。波長基準装置の第１の部分４４は、結合された２つの信号間の相対的波長差を較正するため、異なる光路長をもたらすファラデー・ミラー４１、４２が含まれている。
【００２７】
第２の部分４８にはＨＣＮガス・セルが備えられ、このＨＣＮガス・セルはマッハ・ツェンダ経路レイアウト内に配置されて、ＨＣＮガス・セルの吸収特性に関して波長の絶対較正を提供する。検出装置は、第１および第２の部分４４、４８を用いて測定される時間および波長情報を得るために用いられる。
【００２８】
重畳信号の別の部分は、その接合経路を光カプラ２３に向かって進行し、そこで、第１と第２の部分に分割される。第１の部分は、スイッチ２２を介して、光路２６上を外部ＤＵＴ１０に向かって移動し、第２の部分は、光路２４上をさらに移動する。ＤＵＴ１０内を移動することによって、特性群遅延、および、例えば、振動による外乱変調を受けた、入力信号の第１の部分が、光カプラ５０において、第２の部分とのヘテロダインを施される。検出装置６を利用して、おそらくは、偏光スプリッタ５４、５６によって識別される、インターフェログラムが記録される。
【００２９】
光路２８に沿って、デバイス１０によって反射された応答信号と、第２の部分の信号とのヘテロダインを施して、検出装置８で記録することが可能である。
【００３０】
図４には、ヘテロダイン信号のスペクトルの展開が示されている。図２に示すように、第１の信号の波長を変化させるため、一定の掃引速度ｖ1＝４０ｎｍ／ｓが適用され、第２の信号の波長を変化させるため、一定の掃引速度ｖ2＝２０ｎｍ／ｓが適用される。従って、検出装置６において、４つの電界が時間ｔにおいて干渉する：
Ｅ1,DUT（ω1＋△ω1）    ここで、△ω1＝ｖ1×Ｌ×ω12／ｃ2
Ｅ1,LO（ω1）
Ｅ2,DUT（ω2＋△ω2）    ここで、△ω2＝ｖ2×Ｌ×ω22／ｃ2
Ｅ2,LO（ω2）
ここで、「ＤＵＴ」は、ＤＵＴ経路信号を表わし、「ＬＯ」は、局部発振器経路信号を表わし、添え字は、それぞれ、第１または第２のレーザ源を表わしている。
【００３１】
第１と第２の信号が同じ偏光コントローラを通過するので、全ての電界は同じ偏光を示す。アーム長Ｌによって、掃引速度に比例した位相遅延が生じる。従って、搬送周波数ω1およびω2において、Ｅ1,LOとヘテロダインされた信号Ｅ1,DUT、および、Ｅ2,LOとヘテロダインされた信号Ｅ2,DUTを表わした２つのインターフェログラムが得られる。さらに、Ｅ１およびＥ２電界が、互いに相殺し合うが、図４に示すように、ｔstartから１６ｆｓ経過していると、波長差が１ＧＨｚに対応する８ｐｍまで増大し、この周波数は、受信機の一般的に用いられる帯域通過周波数をはるかに超えている。
【００３２】
搬送周波数に関して、それぞれ、群遅延関数ｇｄ1またはｇｄ2（図３。図全体にわたって時間または波長軸には任意の系単位が用いられる）が導き出される。できる限り純粋な妨害信号情報を取り出すため、時間軸は、図２に従って波長に置き換えて再構成されている。この表現において、一方の関数をもう一方の関数から引くことにより、図５に示すように、デバイスの波長依存特性が、結果生じる差関数から除去される。
【００３３】
フーリエ変換が実施され（図６ａ）、帯域通過周波数内に保持される搬送周波数に対応するヘテロダイン信号のシグネチャ（signature）が、互いに相関させられる。次に、相関関数（図６ｂ）を再展開して、ほぼ純粋な妨害信号を表わす群遅延関数（図７ａ）が導き出される。この信号は、もとの群遅延関数ｇｄ1またはｇｄ2の適合する一方から取り除くことが可能である。ＤＵＴ１０の信号応答特性を示すほとんど妨害のない群遅延関数が得られる（図７ｂ）。また、導き出される群遅延関数の質をさらに向上させるため、上述のステップを反復する繰り返しプロセスを用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の原理の特徴を明らかにする図である。
【図２】２つの同時に変化される、非結合信号の波長対時間の関数依存性を示す図である。
【図３】非結合信号に関して記録された波長数に関する群遅延関数を示す図である。
【図４】ヘテロダイン信号の搬送周波数の推移を示す図である。
【図５】図３に表示の２つの群遅延関数のオーバーレイを示す図である。
【図６】（ａ）はオーバーレイされた群遅延関数のフーリエ・スペクトルを示し、（ｂ）はスペクトル内で識別されたシグネチャ間の相関関数を示す図である。
【図７】（ａ）は図３に表示された吸収特徴を含む群遅延関数と共に、図６の（ｂ）に表示された相関関数をフーリエ展開することによって生成された群遅延関数を示し、（ｂ）は図７の（ａ）に示す信号を取り去ることによって生じた群遅延関数を示す図である。
【図８】本発明による妨害のない群遅延関数を求めるための測定装置を含む構成を示す図である。
【符号の説明】
【００３５】
２：第１の波長可変信号源
４：第２の波長可変信号源
６、８：検出装置
１０：被測定デバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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