(57)【要約】【課題】チャージ導入管内部の活性炭も脱離させることで、一部の活性炭のみが急速に劣化することを防止する。【解決手段】チャージ室とパージ室とを分離して備えるキャニスタにおいて、パージ室のみならずチャージ室にも内燃機関の吸気系と連通するパージ通路を設け、さらにこのパージ通路中にパージ流量に応じて開閉するパージ切替弁を設ける。これによって、低負荷運転時に高濃度の蒸発燃料が吸気ポートに流入することを防止しつつ、高負荷運転時のようにパージ流量が多く空燃比に対する影響が少ないときに、通常のパージと同時にチャージ導入管内部に存在する吸着剤を脱離することができる。従って、かかる部位の吸着剤の劣化のみが急速に進行することがない。パージ切替弁は一方向弁であり、これによって所定の負圧以上のときのみ第２のパージ通路からのパージを実行することが可能となる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内燃機関の燃料タンクから発生する蒸発燃料を吸着処理するキャニスタであって、
蒸発燃料が導入され、液化した燃料を底部に貯留するチャージ室と、
該チャージ室と内壁によって区切られているパージ室と、
蒸発燃料を吸着及び脱離する吸着剤を内部に収容し、大気及び前記パージ室と連通する吸着剤層と、
前記チャージ室内の蒸発燃料を前記吸着剤層に導入し、該吸着剤層の内部にて開口するチャージ導入管と、
前記燃料タンクと前記チャージ室を連通するチャージ通路と、
前記パージ室と前記内燃機関の吸気系とを連通する第１のパージ通路と、
前記チャージ室と前記内燃機関の吸気系とを連通する第２のパージ通路と、
前記チャージ室と前記パージ室とを連通し、該チャージ室に貯留された液体燃料を前記パージ室に導入する液体燃料通路と、を備えるキャニスタと、
前記第２のパージ通路の途中に配設され、流量に応じて自動的に開閉するパージ切替弁と、
を含む内燃機関の蒸発燃料処理装置。
【請求項２】
内燃機関の燃料タンクから発生する蒸発燃料を吸着処理するキャニスタであって、
蒸発燃料が導入され、液化した燃料を底部に貯留するチャージ室と、
該チャージ室と内壁によって区切られているパージ室と、
蒸発燃料を吸着及び脱離する吸着剤を内部に収容し、大気及び前記パージ室と連通する吸着剤層と、
前記チャージ室内の蒸発燃料を前記吸着剤層に導入し、該吸着剤層の内部にて開口するチャージ導入管と、
前記燃料タンクと前記チャージ室を連通するチャージ通路と、
前記パージ室と前記内燃機関の吸気系とを連通する第１のパージ通路と、
前記チャージ室と前記内燃機関の吸気系とを連通する第２のパージ通路と、
前記チャージ室と前記パージ室とを連通し、該チャージ室に貯留された液体燃料を前記パージ室に導入する液体燃料通路と、を備えるキャニスタと、
前記第２のパージ通路の途中に配設され、信号に応じて開閉可能な第１のパージ切替弁と、
パージ流量を算出する手段と、
算出したパージ流量が予め定められた値以上であるときに、前記第１のパージ切替弁を開弁するよう制御する制御手段と、
を含む内燃機関の蒸発燃料処理装置。
【請求項３】
前記第１のパージ通路の途中に配設され、信号に応じて開閉可能な第２のパージ切替弁をさらに備え、
前記制御手段は、前記算出したパージ流量に応じて第２のパージ切替弁を制御する、請求項２に記載の内燃機関の蒸発燃料処理装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記算出したパージ流量の積算が予め定められた値に達したときに、前記第２のパージ切替弁を閉弁するように制御する、請求項３に記載の蒸発燃料処理装置。
【請求項５】
前記第１のパージ通路の途中に配設され、信号に応じて開閉可能な第２のパージ切替弁をさらに備え、
前記制御手段は、所定時間毎に前記第２のパージ切替弁を閉弁するように制御する、請求項２に記載の蒸発燃料処理装置。
【請求項６】
内燃機関の燃料タンクから発生する蒸発燃料を吸着処理するキャニスタであって、
蒸発燃料が導入され、液化した燃料を底部に貯留するチャージ室と、
該チャージ室と内壁によって区切られているパージ室と、
蒸発燃料を吸着及び脱離する吸着剤を内部に収容し、大気及び前記パージ室と連通する吸着剤層と、
前記チャージ室内の蒸発燃料を前記吸着剤層に導入し、該吸着剤層の内部にて開口するチャージ導入管と、
前記燃料タンクと前記チャージ室を連通するチャージ通路と、
前記パージ室と前記内燃機関の吸気系とを連通する第１のパージ通路と、
前記チャージ室と前記内燃機関の吸気系とを連通する第２のパージ通路と、
前記チャージ室と前記パージ室とを連通し、該チャージ室に貯留された液体燃料を前記パージ室に導入する液体燃料通路と、を備えるキャニスタと、
前記第２のパージ通路の途中に配設され、信号に応じて開閉可能な第１のパージ切替弁と、
前記内燃機関の負荷状態を判定する手段と、
低負荷状態と判定されたときに、前記第１のパージ切替弁を閉弁するように制御する制御手段と、
を含む内燃機関の蒸発燃料処理装置。
【請求項７】
前記内燃機関の低負荷状態はアイドル運転中の状態である、請求項６に記載の内燃機関の蒸発燃料処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内燃機関の燃料系に備えられる蒸発燃料処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
燃料タンクからキャニスタに流入する蒸発燃料は、キャニスタに到達するまでに液化することがある。この液化した燃料には高沸点成分が多く含まれているため、燃料が直接キャニスタ内の活性炭層に入ると、活性炭が劣化してしまうという問題がある。そのため、従来、リキッドトラップ室（以下「ＬＴ室」という）を備えるキャニスタが一般に知られている（特許文献１参照）。チャージポートからキャニスタに流入した液化燃料は一時的にＬＴ室内に蓄えられ、蒸発燃料のみが活性炭層に流入するようになっている。ＬＴ室内に蓄えられた液化燃料は、パージの実行時に負圧によってジェットによりパージポート内部に吸い上げられて気化し、パージエアとともに内燃機関の吸気ポートに放出される。
【０００３】
上記従来技術では、チャージポートからキャニスタに流入した蒸発燃料が活性炭層を通過することなく直接パージポートに流入しないように、チャージ室から活性炭層に連通するチャージ導入管は、活性炭層の内部で開口するように設けられている。こうすることで、キャニスタ内に流入した蒸発燃料は必ず活性炭に吸着され、その後パージエアによって脱離されることになる。従って、燃料タンクにおいて濃度の高い蒸発燃料が生じたときでも、活性炭層に一度吸着されるので、高濃度の蒸発燃料が内燃機関の吸気ポートに直接噴射されることによる空燃比の変動を抑えることができる。
【０００４】
【特許文献１】
実公平７−４１８８６
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、チャージ導入管を活性炭層の中で開口させれば、導入管の内部にまで活性炭が侵入することになる。この部分の活性炭は、常に蒸発燃料にさらされることになるため、パージを行っても脱離されることがなく、急速に劣化が進行してしまうという問題がある。
【０００６】
そこで、チャージ導入管内部の活性炭も脱離させることで、一部の活性炭のみが急速に劣化することを防止する装置が必要とされている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の一形態（請求項１）は、内燃機関の燃料タンクから発生する蒸発燃料を吸着処理するキャニスタであって、蒸発燃料が導入され、液化した燃料を底部に貯留するチャージ室と、該チャージ室と内壁によって区切られているパージ室と、蒸発燃料を吸着及び脱離する吸着剤を内部に収容し、大気及び前記パージ室と連通する吸着剤層と、前記チャージ室内の蒸発燃料を前記吸着剤層に導入し、該吸着剤層の内部にて開口するチャージ導入管と、前記燃料タンクと前記チャージ室を連通するチャージ通路と、前記パージ室と前記内燃機関の吸気系とを連通する第１のパージ通路と、前記チャージ室と前記内燃機関の吸気系とを連通する第２のパージ通路と、前記チャージ室と前記パージ室とを連通し、チャージ室に貯留された液体燃料を前記パージ室に導入する液体燃料通路と、を備えるキャニスタと、前記第２のパージ通路の途中に配設され、流量に応じて自動的に開閉するパージ切替弁と、を含む内燃機関の蒸発燃料処理装置である。
【０００８】
この形態によれば、チャージ室とパージ室とを分離して備えるキャニスタにおいて、パージ室のみならずチャージ室にも内燃機関の吸気系と連通するパージ通路を設け、さらにこのパージ通路中にパージ流量に応じて開閉するパージ切替弁を設けることによって、低負荷運転時に高濃度の蒸発燃料が吸気ポートに流入することを防止しつつ、高負荷運転時のようにパージ流量が多く空燃比に対する影響が少ないときに、通常のパージと同時にチャージ導入管内部に存在する吸着剤を脱離することができる。従って、かかる部位の吸着剤の劣化のみが急速に進行することがない。パージ切替弁は一方向弁であり、これによって所定の負圧以上のときのみ第２のパージ通路からのパージを実行することが可能となる。
【０００９】
本発明の別の形態では、パージ切替弁は信号に応じて開閉可能な電磁バルブ等の弁である（請求項２）。この場合、パージ流量を算出する手段と、算出したパージ流量が予め定められた値以上であるときに、第１のパージ切替弁を開弁するよう制御する制御手段とをさらに備えることによって、請求項１に係る形態と同様の効果が得られる。
【００１０】
本発明のさらに別の形態では、第１のパージ通路の途中に配設され、信号に応じて開閉可能な第２のパージ切替弁をさらに備えており、この場合、制御手段は算出されたパージ流量に応じて第２のパージ切替弁を制御する（請求項３）。より具体的には、制御手段は、算出されたパージ流量の積算が予め定められた値に達したときに、第２のパージ切替弁を閉弁するように制御する（請求項４）。代替として、制御手段は、所定時間毎に第２のパージ切替弁を閉弁するように制御する（請求項５）。このように、パージ流量等に基づいて第２のパージ切替弁を閉弁することで、チャージ導入管内に存在する吸着剤の脱離をより効果的に行えるようになる。
【００１１】
本発明のさらに別の形態では、パージ流量を算出する手段の代わりに内燃機関の負荷状態を判定する手段を備えており、この場合、制御手段は、低負荷状態と判定したときに第１のパージ切替弁を閉弁するように制御する（請求項６）。これによって、パージした燃料が空燃比に与える影響が大きい低負荷の運転時に、蒸発燃料が吸着剤層を介さずに第１のパージ通路を経由して内燃機関の吸気系にパージされることが回避される。低負荷状態には例えばアイドル運転中の状態が含まれる（請求項７）。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に図面を参照してこの発明の実施の形態を説明する。
【００１３】
図１は、この発明の一実施形態に係る蒸発燃料処理装置が適用される内燃機関の全体構成図であり、内燃機関（以下、「エンジン」という）１、キャニスタ２５及び電子制御ユニット（以下、「ＥＣＵ」という）５が示されている。
【００１４】
エンジン１は、例えば４気筒を備えるエンジンである。吸気管２の上流側にはスロットル弁３が配されている。スロットル弁３にはスロットル弁開度センサ（θＴＨ）４が設けられており、スロットル弁３の開度に応じた電気信号をＥＣＵ５に送る。
【００１５】
吸気管２のスロットル弁３の下流側には、吸気管圧力（ＰＢＡ）センサ１３及び吸気温（ＴＡ）センサ１４が設けられており、それぞれ吸気管圧力及び吸気温を検出して電気信号に変換し、ＥＣＵ５に送る。
【００１６】
吸気管２の吸気ポートには燃料噴射弁６が各気筒毎に設けられる。燃料噴射弁６の開弁時間は、ＥＣＵ５からの制御信号により制御される。スロットル弁３を介して取り込まれた空気は吸気管２を通り、燃料噴射弁６から噴射された燃料と混合してエンジン１の各気筒に供給される。
【００１７】
燃料噴射弁６及び燃料タンク９を接続する燃料供給管７の途中には燃料ポンプ８が設けられており、燃料を燃料タンク９から燃料噴射弁６に供給する。燃料ポンプ８と燃料噴射弁６の間にはレギュレータ（図示せず）が設けられており、吸気管２から取り込まれる空気の圧力と、燃料供給管７を介して供給される燃料の圧力との間の差圧を一定にするよう動作して、燃料の圧力が高すぎる時はリターン管（図示せず）を通して余分な燃料を燃料タンク９に戻す。
【００１８】
エンジン１のシリンダブロックの冷却水が充満した気筒周壁にはエンジン水温（ＴＷ）センサ１５が取付けられており、エンジン冷却水の温度を検出して電気信号に変換し、ＥＣＵ５に送る。エンジン１のカム軸周囲またはクランク軸周囲にはエンジン回転数（ＮＥ）センサ１６が取付けられており、エンジン１のクランク軸の１８０度回転毎に所定のクランク角度位置で信号パルス（ＴＤＣ信号パルス）を出力し、ＥＣＵ５に送る。
【００１９】
燃料タンク９は、チャージ通路２０を介してキャニスタ２５に接続され、燃料タンク９で発生した蒸発燃料がキャニスタ２５に流入するようになっている。チャージ通路２０内の燃料タンク側には内圧センサ１１が取付けられており、チャージ通路２０内の内圧と大気との差圧を検出する。
【００２０】
チャージ通路２０の途中には、正圧弁と負圧弁を備える二方向弁２３が設けられている。正圧弁は、タンク内圧が大気圧より所定圧だけ高くなった時に開く弁であり、これが開弁状態にあると、蒸発燃料がキャニスタ２５に流れてそこで吸着され一時的に貯留される。負圧弁は、タンク内圧がキャニスタ２５側の圧力より所定圧だけ低くなったとき開く弁であり、これが開弁状態にあるとキャニスタ２５に吸着された蒸発燃料が燃料タンク９に戻される。
【００２１】
キャニスタ２５は、蒸発燃料を吸着する活性炭等の吸着剤を内蔵している。また、通路２６を介して大気に連通する吸気口（図示せず）を有している。また、キャニスタ２５は、パージ通路２８及び２９を介して吸気管２のスロットル弁３の下流側に接続される。パージ通路の途中には電磁弁であるパージ制御弁３０が設けられている。エンジン１の運転時に、負圧の作用で大気が通路２６からキャニスタ２５内に吸入され、キャニスタの吸着剤層を通過するときに吸着剤から燃料が脱離され、パージ通路２８、２９を通って吸気管２にパージされる。エンジン１の運転状態に応じたＥＣＵ５からの制御信号に基づいて、パージ制御弁３０のオン／オフデューティ比を変更することにより、パージ流量を連続的に制御することが可能である。
【００２２】
キャニスタ２５及びパージ通路２８、２９の構造については、図２を参照して後述する。
【００２３】
ＥＣＵ５は、本発明の制御手段を構成するユニットであり、各部の制御を行うための演算を実行するＣＰＵ５ａ、各部の制御を行うためのプログラム及び各種のデータを格納する読取り専用メモリ（ＲＯＭ）５ｂ、ＣＰＵ５ｂによる演算の作業領域を提供し、エンジン各部から送られてくるデータ及びエンジン各部に送り出す制御信号を一時記憶するランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）５ｃ、各部から送られてくるデータを受け取る入力インタフェース５ｄ、及び各部に制御信号を送る出力インタフェース５ｅを備える。
【００２４】
各種センサからの入力信号は入力インタフェース５ｄに渡される。入力インタフェース５ｄは、入力信号波形を整形して電圧レベルを所定レベルに修正し、アナログ信号値をデジタル信号値に変換する。ＣＰＵ５ａは、変換されたデジタル信号を処理し、各種入力信号に応じて、エンジン１の運転状態を判定し、これに応じてＲＯＭ５ｂに記憶された制御プログラムに従って演算を実行し、車の各部のアクチュエータに送る制御信号を作り出す。この制御信号は出力インタフェース５ｅに送られる。出力インタフェース５ｅは、パージ制御弁３０やパージ切替弁（図示せず、後述）に制御信号を送る。
【００２５】
続いて、本発明の一実施形態に係るキャニスタ２５の構造について説明する。図２は、キャニスタ２５の一部分についての図である。ケース５０の内部は、チャージ室（リキッドトラップ室ともいう）５２とパージ室５３とに区画されている。ケース５１の内部には、フィルタ５８を介して活性炭６０が充填されている吸着剤層がある。チャージ室５２からは、チャージ導入管（「インナーポット」ともいう）５９がフィルタ５８を貫通して吸着剤層の内部で開口するように配設されている。また、ケース５１の側部には燃料排出孔５７が設けられており、パージ室５３と連通するようになっている。図示しないが、ケース５１には大気孔が設けられており、通路２６（図１）を介して大気と連通している。パージ室５３の側部には第１のパージポート５４が設けられており、パージ通路２８を介してエンジン１の吸気管２と連通するようになっている。また、チャージ室５２の側部には、チャージポート５５と第２のパージポート５６が設けられている。チャージポート５５はチャージ通路２０を介して燃料タンク９に連通し、第２のパージポート５６はパージ通路２９を介して吸気管２と連通するようになっている。
【００２６】
また、第１のパージポート５４との接合部が絞られているジェット６２が設けられている。ジェット６２の一端はチャージ室５２とパージ室５３を区切る壁を貫通してチャージ室５２の内部にまで伸びており、チャージ室内に液化した燃料が貯留されているときにジェット６２の下端が液体燃料中で開口するようになっている。ジェット６２は、パージ室５３の負圧が所定値より大きい場合に、ジェット６２を介して液体燃料がチャージ室からパージ室内に吸い上げられ、パージポート５４内に噴射されるような構造をしている。
【００２７】
図３は、図２に示したキャニスタ２５を用いた第１の実施例を説明する図である。
【００２８】
キャニスタの第１のパージポート及び第２のパージポートは、それぞれパージ通路２８、２９を介して吸気管２に接続される。第２のパージポートに連通するパージ通路２９の途中には、パージ切替弁６７が設けられる。パージ切替弁６７は、パージ流量が所定値以上になると開く構造の弁（例えば、ボールバルブまたはダイヤフラム式のバルブ）である。第１のパージポートに連通するパージ通路２８にはパージ切替弁は配設されない。
【００２９】
エンジン１のアイドル中などのパージ流量が比較的少ない場合には、パージ切替弁６７は閉じた状態にある。このときは、図３中の矢印▲１▼で示すように、蒸発燃料は第１のパージポートのみから流出する。従って、チャージ通路から流入する蒸発燃料は必ず吸着剤層を通ってパージされることになるから、燃料タンクからの蒸発燃料濃度が急変した場合でも、パージエアが吸着剤層を通過せずに吸気管に流入するショートサーキットは起こりえないため、エンジンにおける空燃比が大になることによるトルクの急変といった不具合は生じない。
【００３０】
エンジンの吸気量が増大し、これにつれてパージ流量が大きくなると、パージ切替弁６７が開弁する。すると、図３中の矢印▲１▼の流れに加えて、矢印▲２▼の流れも生じることになる。このとき、流れ▲２▼によりチャージ導入管内の活性炭にもパージエアが流れるようになる。こうすることで、常に蒸発燃料にさらされているチャージ導入管内に存在する活性炭についても適切に脱離を行えるので、チャージ導入管内の活性炭のみが早く劣化してしまうことを防止することができる。
【００３１】
代替として、パージ切替弁６７は電磁式バルブであっても良い。この場合、パージ切替弁６７は、パージ流量の大小やエンジン負荷などのエンジンの運転状態に応じて、ＥＣＵ５からの指令によって閉弁・開弁される。
【００３２】
図４は、図２に示したキャニスタ２５を用いた第２の実施例を説明する図である。
【００３３】
第１の実施例のように、第２のパージポート５６を設けることによって、パージ流量が大である場合にのみチャージ導入管内の活性炭についても脱離を行わせるだけでは、パージ流量の不足等のため、活性炭の完全な脱離が行えないような場合も考えられる。そこで、この第２の実施例では、さらにパージ流量を増す方法を提供する。
【００３４】
第１の実施例と同様に、キャニスタの第１のパージポート及び第２のパージポートは、それぞれパージ通路２８、２９を介して吸気管２に接続される。第２のパージポートに連通するパージ通路２９の途中には、第１のパージ切替弁６７が設けられる。パージ切替弁６７は、第１の実施例と同様に、パージ流量が所定値以上になると開く構造の弁である。さらに、第１のパージポートに連通するパージ通路２８には第２のパージ切替弁６８が配設される。
【００３５】
第２のパージ切替弁６８は、ＥＣＵからの信号で開閉する電磁式バルブである。第２のパージ切替弁６８は、第１のパージ切替弁６７が開いている状態のときには閉弁されるように制御される。この場合、パージ流量が大のときに、図４中矢印▲１▼で示すパージの流れが遮断され、チャージ導入管を通過するパージの流れ▲２▼のみとなる。これにより、チャージ導入管を流れるパージ流量が増加するので、チャージ導入管内の活性炭の脱離をより効果的に行えるようになる。
【００３６】
代替として、第２のパージ切替弁６８は、第１のパージ切替弁６７が開いているときに一部だけ閉じるようにしても良い。
【００３７】
さらなる代替として、第１のパージ切替弁６７も電磁バルブとすることもできる。この場合の制御フローを図５に示す。
【００３８】
まず、ステップＳ８０で、パージ流量の算出値が所定値以下であるか否かを判定する。所定値を上回る場合は、アイドル運転中などのようにエンジン負荷が小さいか否かを判定する（Ｓ８２）。Ｓ８０、Ｓ８２の判定がＹＥＳ、つまりパージ流量が少なかったりエンジン負荷が小さいときは、吸気管２にパージされる燃料量が増えることによるエンジンの空燃比に与える影響が大きいので、チャージされた蒸発燃料が吸着剤層を通過することなく直接吸気管内にパージされないように、第１のパージ切替弁６７を閉弁し、第２のパージ切替弁６８を開弁することによって（Ｓ９０）、チャージされた蒸発燃料が必ず吸着剤層を通過するようにする。
【００３９】
Ｓ８０及びＳ８２の判定がともにＮＯ、つまり、パージ流量がある程度大きかったりエンジン負荷が大きい場合は、チャージされた蒸発燃料がそのままパージとして吸気管内に放出されてもエンジンの空燃比に与える影響が少ないと考えられる。この場合は、さらにパージ流量算出値の積算が所定値に達したか否かを判定する（Ｓ８４）。積算が所定値に達していない場合は、第１及び第２のパージ切替弁６７、６８を両方とも開弁する（Ｓ８８）。積算が所定値に達している場合は、チャージ導入管内の活性炭の吸着燃料量が相当多くなっていると考えられるため、チャージ導入管内の流量をなるべく多くして活性炭の脱離を行わせしめたいため、第２パージ切替弁６８を閉弁することによって、パージの流れを図４の▲２▼のみとするのである（Ｓ８６）。
【００４０】
代替として、Ｓ８４において、前回チャージ導入管を脱離したときから予め定められた時間が経過したか否かを判定しても良い。
【００４１】
本発明のいくつかの実施形態について述べたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では直列４気筒エンジンについて説明したが、気筒数の異なるエンジンにも本発明を適用できる。また、本発明は、クランク軸を鉛直方向とした船外機などのような船舶推進機用エンジンの制御にも適用できる。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、パージ通路を切り替えることにより、チャージ導入管内の活性炭の劣化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るキャニスタが適用される内燃機関の概略全体図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るキャニスタの構造を説明する模式図である。
【図３】第１の実施例の構成図である。
【図４】第２の実施例の構成図である。
【図５】第２の実施例におけるパージ切替弁の制御フローチャートである。
【符号の説明】
１    内燃機関（エンジン）
２    吸気管
３    吸気絞り弁
５    電子制御装置（ＥＣＵ）
６    燃料噴射弁
９    燃料タンク
２０    チャージ通路
２３    二方向弁
２５    キャニスタ
２６    大気連通路
２８    第１のパージ通路
２９    第２のパージ通路
３０    パージ制御弁
５２    チャージ室
５３    パージ室
５４    第１のパージポート
５５    チャージポート
５６    第２のパージポート
５９    チャージ導入管（インナーポット）
６０    吸着剤層
６２    ジェット
６７    第１のパージ切替弁
６８    第２のパージ切替弁
【図１】
2004316547.tif 000003
【図２】
2004316547.tif 000004
【図３】
2004316547.tif 000005
【図４】
2004316547.tif 000006
【図５】
2004316547.tif 000007