(57)【要約】【目的】光学装置用検査台の製作性と経済性，耐久性，即応性及び作業性を高める。【構成】検査台１に、ステージ２を所望角度に傾斜させるステージ傾斜手段３と、前記ステージ２を直線的にスライドさせるステージスライド手段４とを設ける。ステージ２をターンテーブルとし、その上面にマット７を貼付する。ステージ傾斜手段３を、架台１０とスライド板１１，リンク１２，ロック手段１３と支軸１４とで構成する。ステージスライド手段４を、一対の平行なガイド棒１５，１５とスライド板１１軸受１６とで構成する。【選択図】  図１
2004151216.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査物を光学装置のレンズを通して検査するために、前記検査物を載置するステージを備えた光学装置用検査台において、該検査台は、前記ステージを所望角度に傾斜させるステージ傾斜手段と、前記ステージを直線的にスライドさせるステージスライド手段とを備えていることを特徴とする光学装置用検査台。
【請求項２】
前記検査台は、前記ステージを昇降させるステージ昇降手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の光学装置用検査台。
【請求項３】
前記ステージがターンテーブルであることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の光学装置用検査台。
【請求項４】
前記ステージ傾斜手段は、架台及び該架台上に配設される傾斜板と、一端を前記架台に回動可能に連結し、他端を前記傾斜板に枢支されるリンクと、前記一端回りに回動したリンクを固定して、該リンクの回動によって傾斜した前記傾斜板の傾斜状態を保持するロック手段とを備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光学装置用検査台。
【請求項５】
前記ステージスライド手段は、複数の平行なガイド棒と、該ガイド棒に軸受を介してスライド可能に設けられたスライド板とを備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の光学装置用検査台。
【請求項６】
前記ステージスライド手段は、複数のガイド溝を備えたスライド板と、該ガイド溝を相対移動するガイドピンとを備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の光学装置用検査台。
【請求項７】
前記ステージ昇降手段は、架台及び該架台上に配設されるスライド板と、これら架台及びスライド板の両側部に形成されるガイド溝と、２つのリンクをＸ字状に交差させて交差部を支軸にて枢支した一対のＸ字状リンクとを備え、各リンクの下端を前記架台のガイド溝にスライド可能に装着し、各リンクの上端を前記スライド板のガイド溝にスライド可能に装着したことを特徴とする請求項２に記載の光学装置用検査台。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、精密部品や微生物等の検査物を拡大鏡や顕微鏡等の光学装置で検査する際に、検査物を載置するのに用いる光学装置用検査台に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の顕微鏡用検査台には、下ステージと、この下ステージに対してスライド可能に支持された上ステージと、前記下ステージ上で前記上ステージのスライド方向に沿って張り渡されたワイヤロープと、このワイヤロープの前記上ステージのスライド方向に沿った部分に対して外径が略接する位置に配置され、前記上ステージに回転可能に支持されたプーリと、このプーリに対して、前記ワイヤロープの前記上ステージのスライド方向に沿った部分から離れた位置に配置され、前記上ステージに回転可能に支持されたハンドル部とを備え、前記ワイヤロープは、前記プーリとハンドル部とに巻き付けられ、前記ハンドル部の回転操作により前記上ステージをスライドさせるものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−１６６２１６号公報（第２−４頁，図１−図３）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この顕微鏡用検査台は、耐久限度の低いワイヤロープを上ステージのスライドに用いているため、ワイヤロープの伸びによって、検査物の位置調整に誤差を生じたり、位置調整時の操作フィーリングを損なうという問題がある。また、ワイヤロープが延びたり耐久限度に達した場合には、張力の調整や交換作業を熟練した作業員に頼らなければならないという不具合がある。さらに、上ステージのスライドには、ハンドル部やベアリング，プーリ，ボールといった多数の部品を必要とし、中でもハンドル部は構造が複雑であり、またベアリングは高価な精密部品であって、製作的にも経済的にも極めて不利であった。また、ハンドル部を用いた上ステージのスライドは、微調整が可能であるものの、ハンドル部を多回転させなければならないため、即応性に劣るという欠点がある。
【０００５】
さらに、近年の顕微鏡用検査台に対するユーザの要求は多様化しており、ステージを任意の方向に向かせることが求められているが、前述の顕微鏡用検査台では、上ステージをＸ軸方向やＹ軸方向の平面スライドしかできず、作業性のわるいものとなっていた。
【０００６】
本発明は、かかる実情を背景にしてなされたもので、その目的とするところは、製作性と経済性，耐久性，即応性及び作業性に優れた光学装置用検査台を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述の目的に従って、検査物を光学装置のレンズを通して検査するために、前記検査物を載置するステージを備えた光学装置用検査台において、該検査台は、前記ステージを所望角度に傾斜させるステージ傾斜手段と、前記ステージを直線的にスライドさせるステージスライド手段とを備えていることを特徴としている。
【０００８】
前述のステージとして、ターンテーブルを用いることができる。ステージ傾斜手段は、架台及び該架台上に配設されるスライド板と、一端を前記架台に回動可能に連結し、他端を前記スライド板に枢支されるリンクと、前記一端回りに回動したリンクを固定して、該リンクの回動によって傾斜した前記スライド板の傾斜状態を保持するロック手段とを備えた構成とすることができる。ステージスライド手段は、複数の平行なガイド棒と、該ガイド棒に軸受を介してスライド可能に設けられたスライド板とを備えた構成であってもよく、複数のガイド溝を備えたスライド板と、該ガイド溝を相対移動するガイドピンとを備えた構成であってもよい。また、ステージ昇降手段を、架台及び該架台上に配設されるスライド板と、これら架台及びスライド板の両側部に形成されるガイド溝と、２つのリンクをＸ字状に交差させて交差部を支軸にて枢支した一対のＸ字状リンクとを備え、各リンクの下端を前記架台のガイド溝にスライド可能に装着し、各リンクの上端を前記スライド板のガイド溝にスライド可能に装着した構成とすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光学装置用検査台を、拡大鏡用に適用した形態例を図面に基づいて説明する。
【００１０】
図中、図１〜図５は本発明の第１形態例を示し、図１はステージを傾斜させた状態の拡大鏡用検査台の側面図、図２は図１の正面図、図３はステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の平面図、図４は同じくステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の正面図、図５は同じくステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の断面側面図である。
【００１１】
図１〜図５の第１形態例に示す拡大鏡用検査台１は、精密部品等の検査物（図示せず）を載置するステージ２と、該ステージ２を所望角度に傾斜させるステージ傾斜手段３と、ステージ２を左右方向へスライドさせるステージスライド手段４とを備えており、これらステージ２〜ステージスライド手段４は、いずれも拡大鏡を使用する観察者の手動によって操作される。
【００１２】
ステージ２は、四角形のスライド板５に合成樹脂製の回転板６を介して回転可能に支持される金属製のターンテーブルで、上面にはマット７が貼着されており、ステージ２を回転させることによって、マット７上に載置した検査物を拡大鏡レンズの光軸上に回動して検査物をレンズで拡大検査したり、検査物を光軸外に回動して着脱がワンタッチで行えるようにしている。マット７には、軟質合成樹脂等の滑り抵抗を持たせた材料を用いたり粗面加工が施されていて、ステージ２を所定角度に傾斜させた場合にも、マット７上の検査物が容易に脱落することがないようにしている。
【００１３】
ステージ傾斜手段３は、下面四隅に脚片を備える横長方形の架台１０と、該架台１０上に配設される傾斜板１１と、該傾斜板１１を架台１０に起伏可能に連結する一対のリンク１２，１２と、傾斜板１１の傾斜状態を保持するロック手段１３，１３とからなっている。架台１０の上面奥側の左右隅部には軸受部１０ａ，１０ａが突設されており、各軸受部１０ａに、リンク１２の一端がロック手段１３を用いて回動可能に枢支されている。
【００１４】
傾斜板１１は、架台１０よりもやや小さな横長方形に形成されており、左右両側板１１ａ，１１ａの中央よりもやや後側に、リンク１２の他端が支軸１４を用い枢支されている。傾斜板１１の上面には、一対のガイド棒１５，１５が左右方向に架設され、該ガイド棒１５，１５に、前述のスライド板５がスリーブ状の軸受１６，１６を用いてスライド可能に支持されている。スライド板５とガイド棒１５，１５、軸受１６，１６は、前述のステージスライド手段４を構成し、スライド板５に敷設したつまみ１７を把持して、ステージ２を手動操作にてＸ軸方向である左右二方向へスライドできるようにしている。
【００１５】
前記ロック手段１３には、取っ手付きのねじ部材がリンク１２の支軸として用いられており、軸受部１０ａへのねじ込みを緩めた場合には、リンク１２が一端回りに回動するのを許容し、また軸受部１０ａに強く締め付けた場合には、ロック手段１３との間にリンク１２の一端を強固に挟み込んで、リンク１２の回動を阻止する。したがって、ロック手段１３のねじ込みを緩めた状態で、リンク１２をその一端回りに回動させると、傾斜板１１が架台１０上の水平状態から、側板１１ａ，１１ａの手前側下縁を架台１０にすべらせながら徐々に傾斜していき、傾斜板１１を所望の角度に傾斜させた状態でロック手段１３を締め付けてリンク１２を固定することにより、傾斜板１１の傾斜状態が保持される。
【００１６】
以上のように構成される本形態例の拡大鏡用検査台１は、ステージ傾斜手段３やステージスライド手段４を用いて、スライド板５上のステージ２を拡大鏡のレンズの下方にスライドさせる。観察者は一般的に、拡大鏡のレンズを見やすい状態に傾斜させた状態でマット７上の検査物を覗くようになるため、ステージ２もステージ傾斜手段３を用いて観察者の目と対向するよう傾斜状態に設定されることとなる（例えば図１，２）。そして、マット７の適宜箇所に精密部品等の検査物を載置し、ステージスライド手段４による横スライドやステージ２の回動によって微調整しながら、検査物をレンズの面積内に位置させる。
【００１７】
マット７は、滑り抵抗を持たせた材料を用いたり粗面加工を施してあるため、ステージ２を傾斜させてもマット７上の検査物は落下しにくいが、クリップや止めピン等の固定具を併用して、検査物をステージ２やマット７に固定することも妨げない。また、検査物が精密部品等の小物の場合には、検査物をステージ２の中心から外れた位置に載置しておくことにより、ターンテーブルのステージ２を半周程度回動させるだけで、検査物をレンズの面積内外にスライドさせることができる。したがって、マット７上の検査物をレンズの外側へスライドして、広いスペースを使って検査物の交換が行えるので、交換作業を短時間でかつ簡便に行うことができる。
【００１８】
このように、本形態例の拡大鏡用検査台１は、従来にはないステージ傾斜手段３を持つため、観察者が拡大鏡のレンズを通して、ステージ２上の検査物を観察者の見やすい任意の角度に傾けることができ、観察者にむりな姿勢を強いなくて済むので、作業性が高まる。また、ステージ傾斜手段３やステージスライド手段４に、耐久限度の低いワイヤロープを用いないので、伸びによって誤差を生じたり操作フィーリングを損なうことがなく、ワイヤロープの張力調整や交換作業も不要である。
【００１９】
さらに、ステージ２やステージ傾斜手段３，ステージスライド手段４を用いた検査物の位置調整は、これらを直接回転したり横スライドあるいは傾斜状態に操作するため、ハンドル部を多回転させて位置調整を行う従来に較べて即応性が高い。しかも、ステージ２やステージ傾斜手段３，ステージスライド手段４のそれぞれの構成は、部品点数が少なく、またベアリング等の高価な精密部品を使用しないから、製作性に優れるばかりか低コスト化が図れる。さらに、ステージ２にターンテーブルを採用したことにより、マット７上に載置した検査物をステージ２の周方向に移動させて、拡大鏡を用いた検査や検査物の着脱作業を容易に行うことができる。
【００２０】
次に、本発明の第２形態例を図６〜図９に基づいて説明する。
【００２１】
図中、図６はステージを傾斜させた状態の拡大鏡用検査台の正面図、図７は図６の側面図、図８はステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の断面正面図、図９は同じくステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の断面側面図である。
【００２２】
なお、前記第１形態例と同一構成箇所については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００２３】
本形態例の拡大鏡用検査台２０は、第１形態例と同様のステージ２１とステージ傾斜手段２２，ステージスライド手段２３に加えて、ステージ２１を拡大鏡のレンズ方向に接近または離反させるステージ昇降手段２４を備えており、これらステージ２１〜ステージ昇降手段２４は、いずれも拡大鏡を使用する観察者の手動によって操作される。
【００２４】
ステージ２１は、ステージ昇降手段２４を介して連結されるステージスライド手段２３の傾斜板２５と略同じ大きさの横長方形で下面を解放した箱形に形成されており、その上面に前記第１形態例と同様のマット２６が貼着されるとともに、長手方向両側板にガイド片２７，２７が設けられている。ガイド片２７のそれぞれには、中央近傍にガイド溝２７ａ，２７ａが縦方向に形成されており、各ガイド溝２７ａに挿通したガイドピン２８をステージ２１の長手方向両側板に螺着することにより、ガイド片２７を長手方向両側板に沿ってマット２６の上下方向へにスライドできるようにしており、ガイド片２７を傾斜状態のマット２６よりも上側に突出させることによって、マット２６上の検査物の落下を防ぐようにしている。
【００２５】
ステージ２１の長手方向両側板内側には、直列のガイド溝３０，３０が対向して設けられており、長手方向両側板に対向するガイド溝３０，３０にスライドピン３１，３１の両端をスライド可能に係止して、該スライドピン３１，３１をステージ２１の幅方向に架設し、これらスライドピン３１，３１にステージ昇降手段２４の４つのリンク３２の上端を枢支して、前述のステージスライド手段２３を構成している。ガイド溝３０とスライドピン３１とは、左右方向に相対移動可能な関係にあり、ステージ２１を手動操作してＸ軸方向である左右二方向へスライドできるようにしている。
【００２６】
ステージ傾斜手段２２は、前記傾斜板２５と、この傾斜板２５よりもやや大きな横長方形の板材を用いた架台３３と、該架台３３に突設される軸受部３３ａ，３３ａと、架台３３に前記傾斜板２５を起伏可能に連結する一対のリンク１２，１２，ロック手段１３，１３，支軸１４，１４とからなっており、第１形態例と同様に、傾斜板２５を所望の傾斜状態に保持する。
【００２７】
傾斜板２５は、内部空間を有する箱形に形成されており、長手方向両側板内側に４つのガイド溝３４が、ステージ２１のガイド溝３０と同様に設けられ、これらガイド溝３４に、ガイドピン３５，３５が両端をスライド可能に係止して架設されており、両ガイドピン３５，３５にステージ昇降手段２４の４つのリンク３２の下端が枢支されている。
【００２８】
リンク３２は、２枚ずつＸ字状に組み合わせして、ステージ２１と傾斜板２５と間の長手方向両側部にＸ字状リンク３６として配設され、両Ｘ字状リンク３６，３６の中間部の交差部分に支軸３７を架設して、ステージ２１及び傾斜板２５とガイド溝３０，３４、スライドピン３１，３５、Ｘ字状リンク３６、支軸３７とで前述のステージ昇降手段２４を構成しており、双方のＸ字状リンク２６，３６を伸張または縮小することによって、ステージ２１を傾斜板２５に対向させながら上昇または下降位置へ移動して、ステージ２１を任意の高さに停止させることができるようにしている。
【００２９】
傾斜板２５内部のガイドピン３５，３５には、戻しばね３８が調設されており、該戻しばね３８の牽引力にて双方のガイドピン３５，３５を近接方向に付勢してＸ字状リンク３６，３６の伸張を助長し、ステージ２１を軽い操作力で簡便に上昇させることができるようにしている。
【００３０】
本形態例の拡大鏡用検査台２０は、以上のように構成されており、ステージ傾斜手段２２，ステージスライド手段２３は、それぞれ前記第１形態例と同様の作用を行う。また、ステージ昇降手段２４は、ステージ２１を傾斜板２５に対向させながらＺ軸方向に昇降させる。したがって、ステージ２１上の検査物を拡大鏡のレンズ下方の観察者の見やすい位置に接近または離間させ、同時に検査物のピント合わせも行うことができる。
【００３１】
なお、本発明のステージ傾斜手段とステージスライド手段，ステージ昇降手段，ロック手段のそれぞれは、形態例で示した以外の構成であってもよい。また、各形態例でステージの上面に設けた滑り止め用のマットは省略してもよく、ステージを傾斜しさせる場合には、検査物を他の固定具でステージに固定してもよい。さらに本発明は、顕微鏡用の検査台としても適用が可能である。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光学装置用検査台によれば、ステージ傾斜手段を用いて、観察者がステージ上の検査物を観察者の見やすい任意の角度に傾けることができる。したがって、観察者にむりな姿勢を強いなくて済み、作業性が高まる。また、ステージ傾斜手段やステージスライド手段には、耐久限度の低いワイヤロープを用いないので、伸びによって誤差を生じたり操作フィーリングを損なうことがなく、ワイヤロープの張力調整や交換作業も不要であり、耐久性とメンテナンス性に優れたものとなる。
【００３３】
さらに、ステージやステージ傾斜手段，ステージスライド手段を用いた検査物の位置調整は、これらを直接回転したり横スライドあるいは傾斜状態に手動操作するため、ハンドル部を多回転させて位置調整を行う従来に較べて即応性が高い。しかも、ステージやステージ傾斜手段，ステージスライド手段のそれぞれの構成は、部品点数が少なく、またベアリング等の高価な精密部品を使用しないから、製作性に優れるばかりか低コスト化が図れる。
【００３４】
さらに、本発明のステージ昇降手段によれば、ステージを傾斜板に対向させながらＺ軸方向に昇降させるので、ステージ上の検査物を拡大鏡のレンズ軸方向へ容易に移動させることができ、併せて検査物のピント合わせも簡便に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１形態例を示すステージを傾斜させた状態の拡大鏡用検査台の側面図
【図２】本発明の第１形態例を示す図１の正面図
【図３】本発明の第１形態例を示すステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の平面図
【図４】本発明の第１形態例を示すステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の正面図
【図５】本発明の第１形態例を示す同じくステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の断面側面図
【図６】本発明の第２形態例を示すステージを傾斜させた状態の拡大鏡用検査台の正面図
【図７】本発明の第２形態例を示す図６の側面図
【図８】本発明の第２形態例を示すステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の断面正面図
【図９】本発明の第２形態例を示すステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の断面側面図
【符号の説明】
１…拡大鏡用検査台、２…ステージ、３…ステージ傾斜手段、４…ステージスライド手段、５…スライド板、６…回転板、７…マット、１０…架台、１０ａ…軸受部、１１…傾斜板、１１ａ…側板、１２…リンク、１３…ロック手段、１４…支軸、１５…ガイド棒、１６…軸受、２０…拡大鏡用検査台、２１…ステージ、２２…ステージ傾斜手段、２３…ステージスライド手段、２４…ステージ昇降手段、２５…傾斜板、２６…マット、２７…ガイド片、２７ａ…ガイド溝、２８…ガイドピン、３０…ガイド溝、３１…スライドピン、３２…リンク、３３…架台、３３ａ…軸受部、３４…ガイド溝、３５…ガイドピン、３６…Ｘ字状リンク、３７…支軸、３８…戻しばね
【図１】
2004151216.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004151216.tif 000008
【図７】
2004151216.tif 000009
【図８】
2004151216.tif 000010
【図９】
2004151216.tif 000011