(57)【要約】【課題】乾燥部１００内の熱を効率良く断熱することができるができるＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。【解決手段】室温が互いに異なる上下の乾燥部１００間を隔てる第１断熱材７０２と第２断熱材７０４との間に、両断熱材７０２、７０４を仕切るように金属板７０３を配置するとともに、金属板７０３に冷却管７０１を接触させて設ける。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬出搬入口より、ＰＤＰ用基板を乾燥室内に搬入し、上記基板に対して上記基板上方の給排気管から加熱ガスを給排気して上記基板を乾燥させる乾燥室が、上下に積み重ねられ、かつ上記上下の乾燥室での室内の温度が互いに異なるＰＤＰ用基板乾燥装置において、
上記上側の乾燥室の底部の外側に設けられ、上記底部と大略同じ面積を有する第１断熱材と、
上記下側の乾燥室の上部の外側に設けられ、上記上部と大略同じ面積を有する第２断熱部材と、
上記第１断熱材と上記第２断熱材とに挟まれるように設けられ、上記第１断熱材または上記断熱材と大略同じ面積を有する金属板と、
冷却媒体が循環する通路を有する管であって、上記金属板に接するように設けられた冷却管とを備えて、
上記いずれか一方の断熱材を伝わってきた熱を上記冷却管に移動させることにより、上記いずれか他方の断熱材に移動するのを低減させるようにしたことを特徴とするＰＤＰ用基板乾燥装置。
【請求項２】
上記冷却管は上記金属板の大略全面に渡り、蛇行して設けられた請求項１に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置。
【請求項３】
上記金属板及び上記冷却管の材質はアルミニウムである請求項１または２に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレィ用基板（以下ＰＤＰ用基板）の製造において、ガラス基板上に形成された電極、透明誘電体層、リブ、又は、蛍光体層等の膜を乾燥させるために使用するＰＤＰ用基板乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のＰＤＰ用基板乾燥装置は、ＰＤＰ用の前面基板上に形成された電極の膜を乾燥し、上記前面基板上に形成された透明誘電体層等の膜を乾燥させるようにしている。また、ＰＤＰ用基板乾燥装置は、ＰＤＰ用の背面基板上に形成されたリブの膜を乾燥し、上記背面基板上に形成された蛍光体層等の膜を乾燥させるようにしている。上記各乾燥工程のために、長尺な横置き型乾燥炉が、それぞれ配置されている。
【０００３】
しかしながら、上記構造のものでは、平面的に複数の乾燥炉を横置きに並べているため、工場内における乾燥装置の占有面積がかなり大きくなるとともに、乾燥装置全体の表面積も、大きくなっている。その結果、乾燥装置から放散される熱量も全消費熱量のうち４０〜５０％を占める。
【０００４】
そこで、工場内における乾燥装置の占有面積及び乾燥装置全体の表面積を減少させる目的で、横置き型乾燥炉の乾燥装置に代わり、各乾燥炉を上方向に何段にも積み重ねた、縦型の多段の乾燥室より構成される多段乾燥装置が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照。）。
【０００５】
このような多段乾燥装置によって、省スペ−ス化、省エネルギ−化を実現することができる。
【０００６】
ところで、基板上に形成された膜を乾燥させるための乾燥室内の温度は、基板上に形成された膜の種類によって、変更する必要がある。例えば、基板上に形成されたリブを乾燥させるのに必要な乾燥室内の温度は、大略２００℃前後であり、基板上に形成された蛍光体層を乾燥させるのに必要な温度は、大略１００℃前後である。これらの異なる種類の基板上の膜を同時に乾燥処理すべく、何段にも積み重ねられた各乾燥室内は、それぞれ断熱材を挟んで仕切られており、それぞれ異なった温度に設定できるようになっている。具体的には、ある乾燥室内の温度が大略２００℃前後に設定され、該乾燥室と断熱材を挟んで設けられる別の乾燥室内の温度が大略１００℃前後に設定されることで、リブと蛍光体層を同時に乾燥処理できるようになっている。大略２００℃前後に設定された高温の乾燥室内の熱が、大略１００℃前後に設定された低温の乾燥室内へ移動しないように、５０ｍｍ〜２００ｍｍの厚みを有した断熱材が、高温側の乾燥室と低温側の乾燥室との間に設けられている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平５−２０３３６４号公報
【特許文献２】
特開平５−２０３３６５号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし上記の構造では、積み重ねられた乾燥室と乾燥室との間に設けられる断熱材の厚みの形成寸法が大きいため、多段の乾燥装置の全高が高くなり、装置の省スペース化が十分には図れないといった問題があった。
【０００９】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、多段の乾燥装置の全高を低くして省スペース化を図り、乾燥室内の熱を効率良く断熱することができるＰＤＰ用基板乾燥装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１１】
本発明の第１態様によれば、搬出搬入口より、ＰＤＰ用基板を乾燥室内に搬入し、上記基板に対して上記基板上方の給排気管から加熱ガスを給排気して上記基板を乾燥させる乾燥室が、上下に積み重ねられ、かつ上記上下の乾燥室での室内の温度が互いに異なるＰＤＰ用基板乾燥装置において、
上記上側の乾燥室の底部の外側に設けられ、上記底部と大略同じ面積を有する第１断熱材と、
上記下側の乾燥室の上部の外側に設けられ、上記上部と大略同じ面積を有する第２断熱部材と、
上記第１断熱材と上記第２断熱材とに挟まれるように設けられ、上記第１断熱材または上記断熱材と大略同じ面積を有する金属板と、
冷却媒体が循環する通路を有する管であって、上記金属板に接するように設けられた冷却管とを備えて、
上記いずれか一方の断熱材を伝わってきた熱を上記冷却管に移動させることにより、上記いずれか他方の断熱材に移動するのを低減させるようにしたことを特徴とするＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１２】
本発明の第２態様によれば、上記冷却管は上記金属板の大略全面に渡り、蛇行して設けられた第1の態様に記載のＰＤＰ用基板冷却装置を提供する。
【００１３】
本発明の第３態様によれば、上記金属板及び上記冷却管の材質はアルミニウムである第１または第２態様に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１５】
本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置５００は、図１に示すように、直方体形状の乾燥室５０２の下面全体に配置された基台５０１上において、図１の左半分に直方体形状の上下移載空間５０６内に配置された上下移載部３００と、図１の右半分のほぼ中央部に配置された冷却部２００と、その冷却部２００の上に４段に積み重ねられた乾燥部１００と、乾燥部１００を動作制御している制御部６００とを備えている。
【００１６】
乾燥室５０２の外側で図１の左側下部に炉外排気口５０３と、その炉外排気口５０３の上方に配置された搬入・搬出口５０５と、上下移載空間５０６の天井に配置されたフィルターユニット５０４とを備えている。
【００１７】
搬入・搬出口５０５は、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００外においてガラス基板１０上に被乾燥物の一例として電極又は透明誘電体層又はリブ又は蛍光体層等の膜が形成されたＰＤＰ用基板１０を上記乾燥室５０２内に搬入する搬入口であり、かつ、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００内で乾燥後のＰＤＰ用基板１０をＰＤＰ用基板乾燥装置５００外に搬出する搬出口である。
【００１８】
上下移載部３００は、ＰＤＰ用基板１０を出し入れする基板移載部３１０と、基板移載部３１０を昇降させる上下駆動部３２０を備えている。
【００１９】
基板移載部３１０は、四角筒の形状しており、搬入・搬出口５０５と、４段の各乾燥部１００と、冷却部２００とに対してＰＤＰ用基板１０を出し入れするように駆動する。
【００２０】
上下駆動部３２０は、基板移載部３１０を、乾燥部１００の４段それぞれに対向する４つの位置と、冷却部２００かつ搬入・搬出口５０５に対向する位置とに適宜上昇下降して、位置決めして停止する。尚、冷却部２００かつ搬入・搬出口５０５に対向する基板移載部３１０の位置を基準位置２０とする。
【００２１】
上下駆動部３２０は、上下方向に平行に配設された上下駆動軸３２１ａと３２１ｂと、制御部６００に接続されかつ上下駆動軸３２１ａと３２１ｂとを同期して上下に移動させるように駆動する上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂとを備えている。よって、上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂとを駆動することにより基準位置２０を含む上記５つの位置に位置決めして停止することができる。上下駆動軸３２１ａと３２１ｂの各上端に基板移載部３１０の底面が取り付けられ、各下端はフリーとなっていて、上下駆動軸３２１ａと３２１ｂとの上下軸の途中に上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂが乾燥室５０２に固定されている。２つの上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂとを、制御部６００の制御の下に正逆同期回転させて上下駆動軸３２１ａと３２１ｂとを昇降させることにより、基板移載部３１０を上記所定位置に位置決め停止可能としている。
【００２２】
以下、図１において左側を正面側とし、右側を背面側とする。
【００２３】
基板移載部３１０は、筐体３１５と、搬入・搬出口側受け渡し口３１２と、乾燥部側受け渡し口３１３と、ローラ３１１と、ヒータ３１４とを備えている。
【００２４】
筐体３１５は、四角筒の形状でありかつ正面側と背面側に開口があり、正面側開口部に搬入・搬出口側受け渡し口３１２と、背面側開口部に乾燥部側受け渡し口３１３とを備えている。
【００２５】
ローラ３１１は、筐体３１５内部において上記両側の受け渡し口３１２、３１３間の下方に等間隔で横方向に平行にかつＰＤＰ用基板１０が入ってくる方向に直交して複数本、例えば４本設けられ、ＰＤＰ用基板１０を両側の上記受け渡し口３１２、３１３へそれぞれ移動させるように制御部６００の制御の下で例えば、図示しないモータにより正逆同期回転可能となっている。尚、ローラ３１１の一方の端部に設けた図示しない歯車に図示しないチェーンベルトを渡し掛け、チェーンベルトに図示しないモータから動力を伝達することによって、一斉に駆動されて回転するようになっている。
【００２６】
ヒータ３１４は、筐体３１５内部を一定温度に加熱して保持するために、筐体３１５内側上面のほぼ全体に設けられている。
【００２７】
一方、上下移載空間５０６の天井にはフィルターユニット５０４が設けられ、フィルターユニット５０４を通った清浄なエアーが、上下移載空間５０６を通って、乾燥室５０２の下部に設けられた排気口５０３より排気されることで、乾燥室５０２内を清浄に保つようにしている。
【００２８】
上記乾燥部１００は、上下移載部３００から送られてくるＰＤＰ用基板１０上の電極又は透明誘電体層又はリブ又は蛍光体層等を、乾燥させるためにそれぞれ適した温度を維持するようにそれぞれ異なる温度、例えば大略１２０℃前後、大略１６０℃前後、大略１００℃前後にそれぞれ温度管理された室であり、独立した各室は、断熱部７００を介して重ねて配置されている。断熱部７００の詳細は後述する。
【００２９】
各乾燥部１００は、筐体１０１と、正面扉１０２と、背面メンテナンス用扉１０３と、揺動ローラ１０４と、正面ヒータ１０５と、背面ヒータ１０６と、側面ヒータ１０７と、上部ヒータユニット１１０と、下ヒータユニット１２０とを備えている。
【００３０】
筐体１０１は、四角筒の形状でありかつ正面側と背面側にそれぞれ正面側開口１０１ａと背面側開口１０１ｂとを備えており、正面側開口１０１ａに配置された正面扉１０２と、背面側開口１０１ｂに配置された背面メンテナンス用扉１０３とを備えている。
【００３１】
正面扉１０２は基板移載部３１０よりＰＤＰ用基板１０を出し入れするために、正面側開口１０１ａの下端縁部に配置されたヒンジ１６１により開閉可能かつ密閉可能に正面側開口１０１ａに配置されている。ＰＤＰ用基板１０を出し入れするときのみ正面扉１０２が開閉することで、乾燥部１００内の熱量が逃げることを最小限に抑えることが可能となっている。
【００３２】
正面ヒータ１０５は、正面扉１０２の内側に溶剤の結露が生じないように正面扉１０２の内側を一定温度、例えば、大略８０℃前後に保持するために、正面扉１０２の内側のほぼ全体に設けられている。
【００３３】
背面メンテナンス用扉１０３は、乾燥部１００のメンテナンスを行うために、背面側開口１０１ｂに開閉可能かつ密閉可能に背面側開口１０１ｂに配置されている。
【００３４】
背面ヒータ１０６は、背面扉１０３の内側に溶剤の結露が生じないように背面扉１０３の内側を一定温度例えば、大略８０℃前後に保持するために、背面扉１０３の内側のほぼ全体に設けられている。
【００３５】
側面ヒータ１０７も、筐体１０１内部の相対する両側面側に溶剤の結露が生じないように筐体１０１内部の両側面を一定温度に保持するために、筐体１０１内部の両側面のほぼ全体にそれぞれ設けらている。
【００３６】
揺動ローラ１０４は、筐体１０１の内部において、上記両側の扉１０２、１０３の間の下方に等間隔で横方向に平行にかつＰＤＰ用基板１０が入ってくる方向に直交して複数本、例えば６本設けられ、上下移載部３００に対してＰＤＰ用基板１０を出し入れしかつ筐体内で図１の左右に揺動させるように制御部６００の制御の下で例えば図示しないモータにより正逆同期回転可能となっている。尚、ローラ３１１の一方の端部に設けた図示しない歯車に図示しないチェーンベルトを渡し掛け、チェーンベルトに図示しないモータから動力を伝達することによって、一斉に駆動されて回転するようになっている。また, ＰＤＰ用基板１０を左右に揺動するストロークは、ローラ１０４が停止した位置から例えば左に１／２ピッチと、右に１／２ピッチとの間の範囲とすることができる。ここで、ピッチとは、等間隔に配置された揺動ローラ１０４の配置ピッチを表す。
【００３７】
上部ヒータユニット１１０は、膜乾燥用として筐体１０１内部を加熱して一定温度に保持するために、筐体１０１内側上面のほぼ全体に設けられており、給気管１１２と排気管１１３とを備えている。給気管１１２に形成された図示しない給気穴よりガスが乾燥部１００内に供給されるようになっている。また、乾燥部１００内の溶剤を含んだガスは、排気管１１３に形成された図示しない排気穴から排気管１１３を通って冷却部２００の外へ排気されるようになっている。
【００３８】
下ヒータユニット１２０は、膜乾燥用として筐体１０１内部を加熱して一定温度に保持するために、上部ヒータユニット１１０に相対するように揺動ローラ１０４の下方に設けられている。
【００３９】
このような乾燥部１００の構成は、４段における他の段の乾燥部１００の構成と同一である。
【００４０】
４段の乾燥部１００の最下部に配置されている乾燥部１００のさらに下方に断熱部７００を介して配置された冷却部２００は、筐体２０１と、正面扉２０２と、背面メンテナンス用扉２０３と、揺動ローラ２０４と、正面ヒ−タ２０５と、背面ヒータ２３６と、側面ヒータ２０７と、下部冷却プレート２０６と、上部ヒータ２１１とを備えている。
【００４１】
筐体２０１は、四角筒の形状でありかつ正面側と背面側にそれぞれ正面側開口２０１ａと背面側開口２０１ｂとを備えており、正面側開口２０１ａに配置された正面扉２０２と、背面側開口２０１ｂに配置された背面メンテナンス用扉２０３とを備えている。
【００４２】
正面扉２０２は基板移載部３１０よりＰＤＰ用基板１０を出し入れするために、正面側開口２０１ａの下端縁部に配置されたヒンジ２６１により開閉可能かつ密閉可能に正面側開口に配置されている。ＰＤＰ用基板１０を出し入れするときのみ正面扉２０２が開閉することで、冷却部２００内の熱量が逃げることを最小限に抑えることが可能となる。正面ヒータ２０５は、正面扉２０２内側に溶剤の結露が生じないように正面扉２０２内側を一定温度、例えば、大略８０℃前後に保持するために、正面扉２０２内側のほぼ全体に設けられている。
【００４３】
背面メンテナンス用扉２０３は、冷却部２００のメンテナンスを行うために、背面側開口２０１ｂの上端縁部に配置されたヒンジ２６２により開閉可能かつ密閉可能に背面側開口２０１ｂに配置される。背面ヒータ２０６は、背面扉２０３の内側に溶剤の結露が生じないように背面扉２０３の内側を一定温度例えば、大略８０℃前後に保持するために、背面扉２０３の内側のほぼ全体に設けられている。
【００４４】
揺動ローラ２０４は、筐体２０１の内部において、上記両側の扉２０２、２０３の間の下方に等間隔で横方向に平行にかつＰＤＰ用基板１０が入ってくる方向に直交して複数本、例えば６本設けられ、上下移載部３００に対してＰＤＰ用基板１０を出し入れしかつ筐体２０１内で図１の左右に揺動させるように制御部６００の制御の下で例えば図示しないモータにより正逆同期回転可能となっている。尚、ローラ３１１の一方の端部に設けた図示しない歯車に図示しないチェーンベルトを渡し掛け、チェーンベルトに図示しないモータから動力を伝達することによって、一斉に駆動されて回転するようになっている。また, ＰＤＰ用基板１０を左右に揺動するストロークは、ローラ２０４が停止した位置から例えば左に１／２ピッチと、右に１／２ピッチとの間の範囲とすることができる。ここで、ピッチとは、等間隔に配置された揺動ローラ２０４の配置ピッチを表す。
【００４５】
上部ヒータ２１１は、筐体２０１内部の上面に溶剤の結露が生じないように筐体２０１内部の上面を一定温度、例えば、大略８０℃前後に保持するために、筐体２０１内部の上面のほぼ全体に設けられて、上部ヒータ２１１に相対するように揺動ローラ２０４の下方に板状の下部冷却プレート２０６が、ＰＤＰ用基板１０を冷却するために設けられている。
【００４６】
側面ヒータ２０７も、筐体２０１内部の相対する両側面側に溶剤の結露が生じないように筐体２０１内部の両側面を一定温度に保持するために、筐体２０１内部の両側面のほぼ全体にそれぞれ設けらている。ここで、冷却工程とは、ＰＤＰ基板１０を冷却部２００内で冷却している間をいう。
【００４７】
冷却プレート２０６には、冷却部２００内にガスを給気するための図示しない給気穴が複数個形成されており、図示しない給気穴よりガスが冷却部２００に給気されるようになっている。また、冷却部２００内の溶剤を含んだガスは、図示しない排気管から冷却部２００の外へ排気されるようになっている。
【００４８】
乾燥部１００及び冷却部２００に供給されるガスの一例としては空気を用いることができ、被乾燥物に応じてＯ２の多く含まれた空気や、Ｎ２の多く含まれた不活性ガス等を用いる。
【００４９】
上記被乾燥物とは、背面基板用のＰＤＰ用基板上１０に形成された電極、透明誘電体層、リブ、又は、蛍光体層等の膜のことをいい、また前面基板用のＰＤＰ用基板上１０に形成された電極または透明誘電体層の膜のことをいう。
【００５０】
以上のように構成されたＰＤＰ用基板乾燥装置５００の各乾燥部１００、冷却部２００、上下移載部３００、排気部４００、給気部４２０のそれぞれの動作は、制御部６００に格納されている動作制御プログラムによって動作制御されている。
【００５１】
なお、上記のように構成された、上記ＰＤＰ用基板乾燥装置５００は、以下の如く動作する。
【００５２】
まず、乾燥対象のＰＤＰ用基板１０が、搬入・搬出口５０５を通って、基板移載部３１０のローラ３１１の回転により基板移載部３１０に搬入される。ＰＤＰ用基板１０が搬入された基板移載部３１０、上下駆動モータ３２２ａ、３２２ｂの同期回転により、昇降し、所定の温度設定された乾燥部１００に対向する位置で位置決め停止される。位置決め停止が完了すると、基板移載部３１０のローラ３１１及び、乾燥部１００のローラ１０４の回転によって、ＰＤＰ用基板１０は乾燥部１００内に搬入される。乾燥部１００内に搬入されたＰＤＰ用基板１０は、所定時間で乾燥が終了し、再び基板移載部３１０に移載され、冷却部２００に同様に搬入される。冷却部２００内で冷却されたＰＤＰ用基板１０は、基板移載部３１０を通って、基板搬入・搬出口５０５から搬出される。
【００５３】
一方、図２〜４に図示するように、４段に積み重ねられた乾燥部１００において、各乾燥部１００をそれぞれ仕切っている断熱部７００及び最下段の乾燥部と冷却部２００とを仕切っている断熱部７００について説明する。
【００５４】
断熱部７００は、第１断熱材７０２と、金属板７０３と、冷却水管７０１と、第２断熱材７０４とを上から下にこの順で備えている。
【００５５】
第１断熱材７０２は、筐体１０１の底面の面積とほぼ同じ面積を有する板状の部材であって、上側の筐体１０１の底部１０１ｅに設けられている。
【００５６】
金属板７０３は、伝熱性の良い、例えばアルミニウムの材質であって、第１断熱材７０２の下面の面積とほぼ同じ面積を有する板状の部材であって、第１断熱材７０２の下面に設けられている。また、金属板７０３は、冷却水管７０１の表面に熱を移動させるのに十分な厚みを持っていれば良い。
【００５７】
冷却水管７０１は、伝熱性の良い、例えばアルミニウム管であって、金属板７０３の下面に沿って、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の背面側と正面側とで複数個所折り返して、蛇行するように金属板７０３に接して設けられている。ここで、背面側は図２の下側で、正面側は図２の上側である。冷却水管７０１が金属板７０３の下面に接することで、金属板７０３の熱が冷却水管７０１に直接移動するようになっている。また、冷却水管７０１の一端は、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００外に設けられているポンプ７１０に連通して接続され、他端はＰＤＰ用基板乾燥装置５００外に設けられている冷却装置７１１に連通して接続されている。なお、ポンプ７１０と冷却装置７１１は連通して接続されている。よって、ポンプ７１０から送り出される冷却水は、冷却水管７０１の一端から冷却水管７０１内を通って、冷却水管７０１の他端から排出され、冷却装置７１１を通ってポンプ７１０に戻るようになっている。また、冷却水は冷却装置を通る際に、図示しない放熱板に形成された通路を通ることで、冷却されるようになっている。つまり、冷却水が冷却水管７０１と冷却装置７１１とポンプ７１０とを循環することで、冷却水管７０１内には常に冷却された冷却水が供給されるようになっている。
【００５８】
第２断熱材７０４は、第１断熱材７０２の下面の面積とほぼ同じ面積を有する板状の部材であって、下側の筐体１０１の上部１０１ｆと金属板７０３との間で、冷却水管７０１の隙間に入るように設けられている。
【００５９】
以上のように構成された断熱部７００によって、例えば、図２の上側の乾燥部１００内の温度が、下側の乾燥部１００内の温度より高温に設定されている場合、上側の乾燥部１００内の熱が筐体１０１の底部１０１ｅから第１断熱材７０２を通って金属板７０３の上面に移動する。金属板７０３の上面の熱は、金属板７０３内を通って金属板７０３に接して設けられている冷却水管７０１の表面に移動する。冷却水管７０１の表面の熱は、冷却水管７０１内の冷却水に移動し、冷却水が冷却水管７０１と冷却装置７１１とポンプ７１０との間を循環することで、冷却水の熱は、直ちに冷却水管７０１内から外部に移動するようになっている。また、冷却水管７０１の表面の熱は、断熱材７０４によって、下側の乾燥部１００に移動しないようになっている。つまり、上側の乾燥部１００内の熱が下側の乾燥部１００内に移動しないようになっている。
【００６０】
また、逆に、上側の乾燥部１００内温度が、下側の乾燥部１００内の温度より低温に設定されている場合、下側の乾燥部１００内の熱は、第２断熱材７０４を通って、一部が冷却水管７０１の表面に移動し、残りが金属板７０３の下面に移動するようになっている。冷却水管７０１の表面の熱は、冷却水管７０１内の冷却水に移動し、冷却水の熱は、直ちに冷却水管７０１内から外部に移動するようになっている。金属板７０３の下面の熱は、金属板７０３内を通って冷却水管７０１の表面に移動し、冷却水管７０１の表面の熱は、冷却水管７０１内の冷却水に移動し、冷却水の熱は、直ちに冷却水管７０１内から外部に移動するようになっている。また、金属板７０３の上面の熱は、断熱材７０２によって、上側の乾燥部１００に移動しないようになっている。つまり、下側の乾燥部１００内の熱が上側の乾燥部１００内に移動しないようになっている。
【００６１】
このように、高温側の乾燥部１００内から外部へ移動する熱は、熱伝導性の良い金属板７０３と熱伝導性の良い冷却水管７０１により効率的に冷却水管内の冷却水へ移動し、さらに該冷却水を冷却水管内とＰＤＰ用基板乾燥装置５００外との間で循環させることで、冷却水管７０１内の冷却水の熱は、逐次、奪われるため、高温の乾燥部１００内から低温の乾燥部１００または冷却部２００内への熱の移動を効率的に遮断することができる。また、金属板７０３、第１断熱材７０２及び第２断熱材７０４は、筐体の上部１０１ｆまたは底部１０１ｅとほぼ同じ大きさで設けられているため、高温側から低温側へ移動する熱が、冷却水管７０１の隙間を抜けていくことが無いようになっており、高温側から低温側への熱の移動を完全に遮断できる。
【００６２】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。
【００６３】
図４では、冷却水管７０１の上に金属板７０３を配置していたが、これに限らず図５に示すように、本実施形態の第１の変形例として、冷却水管７０１の下に配置しても良い。冷却水管７０１の下に金属板７０３を配置しても、冷却水管７０１の上に金属板７０３を配置した場合と同様に，高温側から低温側への熱の移動を効率的に、かつ完全に遮断することができる。
【００６４】
上記実施形態によれば、室温が互いに異なる上下の乾燥部１００間を隔てる第１断熱材７０２と第２断熱材７０４との間に、両断熱材７０２、７０４を仕切るように金属板７０３を配置するとともに、金属板７０３に冷却管７０１を接触させて設けるようにしている。従って、高温側の乾燥部１００からいずれか一方の断熱材を通って金属板７０３に伝わった熱は、いずれか他方の断熱材に伝わるよりも、冷却管７０１の冷却媒体に伝わり、いずれか他方の断熱材に熱が移動するのを大幅に低減することができる。この結果、多段の乾燥装置の全高を低くして省スペース化を図り、乾燥室内の熱を効率良く断熱することができる。
【００６５】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。本実施形態における第２の変形例である断熱部７５０を図６に示す。
【００６６】
断熱部７５０は、冷却水管を１本ではなく、２本、即ち第１冷却水管７０５と第２冷却水管７０６に分割して設けたものである。図６の左側を第１側面側とし、図６の右側を第２側面側とし、また図６の上側はＰＤＰ用基板乾燥装置５００の正面側を示し、図６の下側は背面側を示す。
【００６７】
第１冷却水管７０５は、第１側面側とほぼ中央部付近との間で、複数個所折り返して蛇行し、金属板７０３の左側半分に接して設けられている。第２冷却水管７０６は、第１冷却水管７０５に対して対称に配置され、第２側面側とほぼ中央部付近との間で、複数個所折り返して蛇行し、金属板７０３の右側の半分に設けられている。
【００６８】
第１冷却水管７０５には、第１ポンプ７３０と第１冷却装置７３１とが連通して接続されており、第２冷却水管７０６には、第２ポンプ７４０と第２冷却装置７４１とが連通して接続されている。
【００６９】
このように、第１冷却水管７０５、７０６にそれぞれポンプ７３０、７４０及び冷却装置７３１、７４１を独立駆動可能に設けることで、より効果的に冷却水管７０５、７０６の冷却を行うことができ、高温側から低温側の熱の移動をさらに効果的かつ完全に遮断することができるようになる。
【００７０】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【００７１】
【発明の効果】
本発明によれば、室温が互いに異なる上下の乾燥部間を隔てる第１断熱材と第２断熱材との間に、両断熱材を仕切るように金属板を配置するとともに、金属板に冷却管を接触させて設けるようにしている。従って、高温側の乾燥部からいずれか一方の断熱材を通って金属板に伝わった熱は、いずれか他方の断熱材に伝わるよりも、冷却管の冷却媒体に伝わり、いずれか他方の断熱材に熱が移動するのを大幅に低減することができる。この結果、多段の乾燥装置の全高を低くして省スペース化を図り、乾燥室内の熱を効率良く断熱することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の構成を表す一部断面を有する右側面図である。
【図２】本発明のＰＤＰ用基板乾燥装置の断熱部の構成を示す図１のＡ−Ａ矢視図である。
【図３】本発明のＰＤＰ用基板乾燥装置の断熱部の構成を示す図１における拡大図である。
【図４】本発明のＰＤＰ用基板乾燥装置の断熱部の構成を示す図１のＢ−Ｂ矢視図である。
【図５】本発明の第１の変形例における断熱部の構成を示す図１のＢ−Ｂ矢視図である。
【図６】本発明の第２の変形例における断熱部の構成を示す図１のＢ−Ｂ矢視図である。
【符号の説明】
１０…ＰＤＰ用基板、１００…乾燥部、１０１…筐体、１０１ａ…正面側開口、１０１ｅ…底部、１０１ｆ…上部、１１１…上ヒータ、１１２…給気管、１１３…排気管、７０１…冷却水管、７０２…第１断熱材、７０３…金属板、７０４…第２断熱材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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