(57)【要約】【課題】気体励起装置用電極群ユニットの寿命延長が可能な、電極群ユニットの洗浄方法を提供する。【解決手段】洗浄方法は、側板４４，４５と、側板に保持される多数の電極棒４２を含み、気体励起装置に装着される電極群ユニット４１の保護電極棒の洗浄方法であって、２群の電極棒の少なくとも一方が、芯電極包囲鞘体を含む保護電極棒群であり、保護電極棒の両端部は側板の非貫通孔内部に装入保持され、端子部露出端部は防水シール材で水密包埋されて非貫通孔内部に装入され、保護電極棒端子部の接続リード線は側板内部で水密に接続し、電極棒群ごとにメインリード線に集結し、メインリード線は外部に延びる部分で外皮によって保護されており、洗浄操作において、洗浄対象電極群ユニットに含まれる電極棒を、アンモニア水又はアルカリ金属水酸化物水溶液と相互に相対的に移動する条件下で接触させることによりアルカリ洗浄処理を実施する。【選択図】  図７
2004268001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に平行に配置した一対の耐水性及び絶縁性材料製側板と、その一対の側板によって両端を保持される相互に平行に配置された多数の電極棒とを含み、気体励起装置への着脱が可能で、気体励起装置に装着して使用される電極群ユニットの洗浄方法であって、
前記の多数の電極棒が２群に分かれて放電することによって気体励起が可能であり、その２群の少なくとも一方の電極棒群が、芯電極と、その芯電極の周囲を包囲する耐水性絶縁体鞘体とを含む保護電極棒からなる群であり、各々の保護電極棒の両端部は、それぞれ、前記の一対の側板の内側表面にそれぞれ設けた非貫通孔内部に装入されることによって保持されており、各々の保護電極棒の一方の端部は前記絶縁体鞘体によって封鎖されており、もう一方の端部は芯電極と接続する端子部が露出しているが、少なくとも前記芯電極と接続する端子部が露出している前記端部は、防水シール材によって水密に包埋されて前記非貫通孔内部に装入されており、更に、各々の保護電極棒の一方の端部にて前記芯電極と接続する端子部に接続するリード線は、前記の一対の側板の内部で水密状態で前記端子部と接続すると共に、前記の２群の電極棒群ごとに１本ずつのメインリード線に集結し、更に、前記の計２本のメインリード線は、一対の側板の各外側表面から外部に延びる部分で耐水性及び絶縁性外皮によって保護されているものとし、
洗浄操作においては、前記の洗浄対象の電極群ユニットに含まれる電極棒を、アンモニア水又はアルカリ金属水酸化物水溶液と相互に相対的に移動する条件下で接触させることによってアルカリ洗浄処理を実施することを特徴とする、前記の電極群ユニットの洗浄方法。
【請求項２】
前記の２群の電極棒群の一方が、保護電極棒の群であり、もう一方の電極棒群も、保護電極棒の群である、請求項１に記載の洗浄方法。
【請求項３】
前記の２群の電極棒群の一方が、保護電極棒の群であり、もう一方の電極棒群が、露出電極棒の群である、請求項１に記載の洗浄方法。
【請求項４】
前記絶縁体鞘体がガラス製であり、前記アルカリ水溶液が３〜７％水酸化ナトリウム水溶液である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の洗浄方法。
【請求項５】
前記アルカリ洗浄処理を４０〜８０℃にて実施する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の洗浄方法。
【請求項６】
前記アルカリ洗浄処理を実施した後に、中和洗浄処理を実施する、請求項１〜５のいずれか一項に記載の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体励起装置に装着して用いる電極群ユニットの洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
交流高圧放電条件下に気体を誘導して気体分子を励起し、低温プラズマを発生させる気体励起装置としては種々の装置が知られており、例えば、特開平９−１９９２６１号公報（特許文献１）や米国特許第５，４８３，１１７号明細書（特許文献２）にも、気体励起装置が記載されている。こうした従来公知の気体励起装置の代表的な態様を図１に示す。図１は、気体励起装置５０のハウジング５１の側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図である。前記気体励起装置５０は、被処理気体Ｇの流入用開口部５２と処理済み気体Ｃの排出用開口部５３とを備えた大略直方体状のハウジング５１を有し、前記ハウジング５１の内部には、多数の保護電極５４を備えている。前記の保護電極５４は、図２の模式的断面図に示すとおり、芯電極５５と、その芯電極５５の周囲を包囲する円筒状鞘体５６とを含み、前記の円筒状鞘体５６は、絶縁体材料からなる。更に、前記の保護電極５４は、２系列の電極群５４Ａ，５４Ｂに分かれており、それぞれ電線５７Ａ，５７Ｂに接続し、電線５７Ａ，５７Ｂは交流電源５８と接続している。また、一方の系列の電極群５４Ｂに接続する電線５７Ｂは、アースされている。なお、図２に示すとおり、ハウジング５１内部において最も外側に配置され、ハウジング５１の内壁と対向する各保護電極５４Ｂは、それぞれ、ハウジング５１の内壁との間で放電が発生しないように、アースされる電線５７Ｂに接続するのが好ましい。原理的にはハウジング５１それ自体をアースする必要はないが、安全上の観点からハウジング５１それ自体をアースするのが好ましい。
【０００３】
更に、前記の気体励起装置によって発生する低温非平衡プラズマを利用する脱臭装置や空気浄化装置が知られている。例えば、特開２００１−２９３０７９号公報（特許文献３）には、低温プラズマを発生する高圧放電部と、その下流に配置され、酸化促進触媒が充填されている触媒部とを有する低温プラズマ脱臭装置が記載されている。前記高圧放電部では、被処理気体に対して高圧放電により解離エネルギーを与えることによりラジカルを発生させる。すなわち、放電により気体中に放出された電子が、臭気ガス中の気体分子に射突し、分子を活性化させる。その活性分子の一部は解離してラジカルとなり、臭気ガス中の悪臭物質を酸化分解したり、あるいは、オゾンを生成させるものと考えられる。ラジカルにより生成された前記オゾンも、悪臭物質を酸化させ、悪臭物質の処理に貢献するものと考えられる。また、放電そのものの有するエネルギーによっても、悪臭物質の酸化分解が行われる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平９−１９９２６１号公報
【特許文献２】
米国特許第５，４８３，１１７号明細書
【特許文献３】
特開２００１−２９３０７９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
図１に示すタイプの気体励起装置においては、従来から、絶縁体鞘体として比較的廉価なガラス管が広く使用されている。このような気体励起装置を長期間運転すると、種々の故障が発生していた。例えば、オゾン発生量の著しい低下（すなわち、気体励起効率の著しい低下）や、保護電極の絶縁体鞘体（すなわち、ガラス管）での破壊（例えば、ピンホールやクラック）の発生などである。
【０００６】
本発明者は、こうした故障の原因を検討した結果、被処理気体が含有する湿気による影響が大きいことを見出した。例えば、汚染大気を処理する場合には、被処理汚染大気が比較的大量の水分を含むことがあり、こうした汚染大気を処理すると故障が頻発する。また、被処理気体を励起処理する前処理として被処理気体に水蒸気を噴霧するミスト処理を実施すると、故障発生頻度が更に上昇する。
そこで、本発明者は、気体励起装置における電機関連部分の水密（ｗａｔｅｒｔｉｇｈｔ）化に取り組み、気体励起装置を水密化構造とするためには、気体励起装置の全体を水密化するよりも、電極棒を保持する電極群ユニットを作成し、その電極群ユニットを水密化構造として気体励起装置に装着して使用するのが有効であることを見出した。この電極群ユニットを気体励起装置への着脱が可能な構造にすると、個々の電極棒が破損した場合にも、取り替えが容易になるので便利である。水密化構造を有する電極群ユニットの１個ないし数個を気体励起装置に装着して使用する実験を繰り返したところ、極めて良好な結果が得られた。
【０００７】
しかしながら、前記気体励起装置に、汚染大気などの被処理気体を通過させて放電処理を実施すると、保護電極棒の電極表面（すなわち、ガラス管表面）が激しく汚染され、処理前は透明であったガラス管の表面に黒色の被膜が形成され、約４００〜５００時間の連続放電処理で、内部の芯電極が全く見えない状態にまでなる。こうした状態で汚染大気などへの放電処理を続けると、処理能力の低下だけでなく、不均質な放電が発生しやすくなり、異常放電又はそれに伴う電極棒破壊が起こることがある。
そこで、前記電極棒表面の汚れを洗い落とすために、前記気体励起装置から電極群ユニットを取り出し、上水道水又は工業用水を、ガラス管保護電極棒表面にシャワー状に噴霧したり、水流状で噴射して、ガラス管表面の黒色被膜を除去し、透明なガラス表面に戻す洗浄処理を実施していた。気体励起装置の処理能力の維持や電極の充分な保護を維持するには、こうした洗浄処理を、一般には、毎日、実施する必要がある。
【０００８】
ところが、上水道水又は工業用水による洗浄処理を毎日繰り返すと、ガラス管表面に、点状の堆積物が付着することを本発明者は更に見出した。ガラス管表面に、洗浄水の液滴が残留している状態で放電処理が再開されると、その液滴部分に、種々の水不溶性物質粒子が集まり、水不溶性の点状堆積物を形成するものと考えられる。この点状堆積物は、水不溶性であり、前記の上水道水又は工業用水による洗浄処理では除去することができないので、そのまま放電処理を繰り返すと、次第にツララ状に生長し、ついには隣接する電極表面にまで到達する程度まで生長してしまうこともわかった。ツララ状堆積物が隣接電極棒表面に到達するまで生長していない状態であっても、それらの存在は、均質な放電を妨害し、異常放電による電極破壊の原因となるので、その発生及び生長を防止する対策が必要となっていた。
そこで、本発明者は、洗浄用水を上水道水又は工業用水から蒸留水などの純水に代えてみたところ、点状堆積物の発生頻度はほとんど減少しないが、点状堆積物の付着量は、減少した。また、ツララ状堆積物への生長速度も低下した。しかしながら、依然として、ツララ状堆積物の発生を完全に防止することはできなかった。
【０００９】
更にまた、本発明者は、前記の気体励起装置の使用目的や環境と、純水による洗浄処理後の堆積物の発生状態との関連を調査したところ、前記の気体励起装置が極めて多様な目的や環境において使用されているにもかかわらず、堆積物の発生状態には、ほとんど差異がないことも見出した。例えば、前記の気体励起装置は、汚染大気の浄化処理に使用されている。この場合、被処理大気には浮遊粒子、特には浮遊粒子状物質（ＳＰＭ）や、水蒸気、ＮＯｘ、又はＳＯｘなどが大量に含まれており、水不溶性堆積物の原因物質も、浮遊粒子状物質（ＳＰＭ）や無機酸化物などが中心になると思われる。また、前記の気体励起装置は、悪臭物質除去処理にも使用されている。この場合、被処理気体には、硫黄化合物や、アミン類などが大量に含まれており、水不溶性堆積物の原因物質も、硫黄単体などが中心になると思われる。更に、前記の気体励起装置は、作業環境浄化処理にも使用されている。この場合、被処理気体には、炭化水素や、有機ハロゲン化合物などが大量に含まれており、水不溶性堆積物の原因物質も、炭化水素変成物や金属塩などが中心になると思われる。更にまた、前記の気体励起装置の使用目的としては、生活排水由来臭気除去などがあり、それらの被処理気体もそれぞれ相違するため、水不溶性堆積物の原因物質もそれぞれ相違する筈である。
【００１０】
以上のように、種々雑多な使用環境での原因物質も種々雑多である筈にもかかわらず、同様の現象が発生し、更に洗浄水を純水に交換しても、被処理気体と接触する電極棒表面にはツララ状堆積物が生成するため、その原因が不明であり、発生を防止する手段も、従来は知られていなかった。
従って、こうしたツララ状堆積物の発生を観察した場合でも、それらを放置するしかなく、ツララ状堆積物を原因とする処理能力の低下、不均質な放電の発生、及び異常放電による電極破壊を防ぐことはできなかった。
従って、本発明の課題は、極めて多様な目的や環境において使用されている気体励起装置において、被処理気体と接触する電極棒表面に発生する前記堆積物を簡易な方法で除去する手段を提供することにあり、前記堆積物の除去により、前記気体励起装置の処理能力の低下、不均質な放電の発生、及び異常放電による電極棒破壊を防ぎ、そして前記気体励起装置の寿命を延長させることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記の課題は、本発明により、相互に平行に配置した一対の耐水性及び絶縁性材料製側板と、その一対の側板によって両端を保持される相互に平行に配置された多数の電極棒とを含み、気体励起装置への着脱が可能で、気体励起装置に装着して使用される電極群ユニットの洗浄方法であって、
前記の多数の電極棒が２群に分かれて放電することによって気体励起が可能であり、その２群の少なくとも一方の電極棒群が、芯電極と、その芯電極の周囲を包囲する耐水性絶縁体鞘体とを含む保護電極棒からなる群であり、各々の保護電極棒の両端部は、それぞれ、前記の一対の側板の内側表面にそれぞれ設けた非貫通孔内部に装入されることによって保持されており、各々の保護電極棒の一方の端部は前記絶縁体鞘体によって封鎖されており、もう一方の端部は芯電極と接続する端子部が露出しているが、少なくとも前記芯電極と接続する端子部が露出している前記端部は、防水シール材によって水密に包埋されて前記非貫通孔内部に装入されており、更に、各々の保護電極棒の一方の端部にて前記芯電極と接続する端子部に接続するリード線は、前記の一対の側板の内部で水密状態で前記端子部と接続すると共に、前記の２群の電極棒群ごとに１本ずつのメインリード線に集結し、更に、前記の計２本のメインリード線は、一対の側板の各外側表面から外部に延びる部分で耐水性及び絶縁性外皮によって保護されているものとし、
洗浄操作においては、前記の洗浄対象の電極群ユニットに含まれる電極棒を、アンモニア水又はアルカリ金属水酸化物水溶液と相互に相対的に移動する条件下で接触させることによってアルカリ洗浄処理を実施することを特徴とする、前記の電極群ユニットの洗浄方法によって解決することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
最初に、気体励起装置の構造及び原理について、水密化構造を採用する前の従来型の気体励起装置に沿って説明する。
気体励起装置は、一般に、被処理気体の流入用開口部と処理済み気体の排出用開口部とを有するハウジング内に、交流電源と接続する少なくとも一対の電極を備える。そして、前記の一対の電極の組み合わせは、例えば、
（Ａ）芯電極と、その芯電極の周囲を包囲する絶縁体鞘体とを含み、その絶縁体鞘体の外側表面が被処理気体と接触する保護電極同士の組み合わせ（すなわち、保護電極同士の組み合わせ）であるか、又は
（Ｂ）（１）前記の保護電極と、（２）被処理気体と直接に接触する露出電極との組み合わせ（すなわち、保護電極と露出電極との組み合わせ）である。なお、前記組み合わせ（Ｂ）においては、前記露出電極と前記ハウジングとが共にアースされている。
【００１３】
本明細書において、前記組み合わせ（Ａ）の電極を有する装置を、以下に「保護電極型装置」と称し、前記組み合わせ（Ｂ）の電極を有する装置を、以下に「露出電極型装置」と称することにする。前記の保護電極型装置は、従来から公知であるが、前記の露出電極型装置は、従来は知られていない（特願２００２−３４１１５８号明細書参照）。前記の「保護電極型装置」は、例えば、特開平９−１９９２６１号公報（前記特許文献１）や米国特許第５，４８３，１１７号明細書（前記特許文献２）に記載されている気体の励起装置と同様の装置である。
【００１４】
まず、前記の保護電極型装置の代表的態様について、添付図面に沿って説明する。図１は、保護電極型装置５０のハウジング５１の側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図である。前記保護電極型装置５０は、大略直方体状のハウジング５１の上面に相当する部分に被処理汚染気体（例えば大気）Ｇの流入用開口部５２を備え、前記ハウジング５１の底面に相当する部分に処理済み気体（例えば大気）Ｃの排出用開口部５３を備えている。また、高圧放電処理が実施される前記ハウジング５１の内部には、多数の保護電極５４を備えている。前記の保護電極５４は、図２の模式的断面図に示すとおり、円柱状芯電極５５と、その芯電極５５の周囲を包囲する円筒状鞘体５６とを含む。多数の保護電極５４は、それぞれ相互に間隔を隔てて平行に、しかも被処理汚染気体の流れ方向に対して垂直方向に配置されており、それら各電極の両端部は、それぞれハウジング５１の支持壁５１Ａ，５１Ｂで支持されている。
【００１５】
複数の保護電極５４は２系統に分割されており、それぞれがグループ化されて電線５７Ａ，５７Ｂに一括して接続し、電線５７Ａ，５７Ｂは交流電源５８と接続している。また、一方の系列の保護電極５４Ｂに接続する電線５７Ｂは、アースされている。なお、図２に示すとおり、ハウジング５１内部において最も外側に配置され、ハウジング５１の内壁と対向する各保護電極５４Ｂは、それぞれ、ハウジング５１の内壁との間で放電が発生しないように、アースされる電線５７Ｂに接続するのが好ましい。原理的にはハウジング５１それ自体をアースする必要はないが、安全上の観点からハウジング５１それ自体をアースするのが好ましい。
【００１６】
こうした保護電極型装置５０の流入用開口部５２から、例えば被処理気体（例えば大気）Ｇを流入し、２系統の電極群５４Ａ，５４Ｂに交流電源５８によって高電圧を印加すると、２系統の電極群５４Ａ，５４Ｂ間で放電が起こり、気体分子が励起状態となってラジカルが発生する。これらのラジカルにより、被処理気体中の悪臭物質が酸化分解されたり、あるいは、オゾンを生成させるので、被処理気体は酸化処理される。また、こうして発生したラジカル及びオゾンと共に被処理気体を排出用開口部５３から排出し、酸化促進触媒が充填されている触媒部（図示せず）に送付して、ラジカル及びオゾンと被処理気体との反応を更に進行させ、気体の処理を続行することができる。更に、２系統の電極群５４Ａ，５４Ｂに交流電源５８によって高電圧を印加すると、２系統の電極群５４Ａ，５４Ｂ間で放電が起こり、各電極の表面、すなわち、それぞれの円筒状鞘体５６の表面に被処理気体（例えば大気）中の浮遊粒子、特には浮遊粒子状物質（ＳＰＭ）を付着させることができる。
【００１７】
前記の保護電極型装置で用いる各保護電極の円筒状鞘体の外側表面は、被処理気体と直接に接触する。従って、耐蝕性を有し、清浄操作や取替え操作などのメンテナンスが容易な材料、例えば、合成樹脂（例えば、ポリテトラフルオロエチレン、又はセラミックス）、あるいはガラスを用いるのが好ましい。また、前記の保護電極における鞘体の形状も、前記の芯電極を保護することができる形状である限り特に限定されるものではないが、前記の芯電極の形状に対応して、筒状体若しくは柱状体、特には、円筒状体若しくは円柱状体であることができる。
【００１８】
前記の保護電極における芯電極の形状は、特に限定されるものではないが、棒状体（例えば、筒状体若しくは柱状体、特には、円筒状体若しくは円柱状体）、あるいは、導線を撚って製造した撚り線型電極であることもできる。前記芯電極は、任意の導電性材料から構成することができ、例えば、アルミニウム若しくはその合金、銅、炭素質材料、鉄若しくはその合金、あるいはタングステンを挙げることができる。なお、前記の芯電極は、被処理気体と直接に接触しないので、特に耐蝕性を有する必要はない。
【００１９】
前記の保護電極型装置内で、複数の保護電極群の配置は、ハウジング内部で放電がほぼ均等に発生し、各電極間を通過する被処理気体がほぼ均等に処理されるように配置されている。しかしながら、複数の保護電極群を、相互に間隔を隔てて平行に、しかも被処理気体の流れ方向に対して垂直方向に配置すると共に、一方の電極系列５４Ａの１つの保護電極が、もう一方の電極系列５４Ｂの４つの保護電極により包囲され、逆に、もう一方の電極系列５４Ｂの１つの保護電極が、一方の電極系列５４Ａの４つの保護電極により包囲される状態で配置するのが好ましい。
【００２０】
次に、露出電極型装置を添付図面に沿って説明する。露出電極型装置は、前記図１及び図２に示すタイプの従来型装置を改良した装置である。最初に、露出電極型装置と前記保護電極型装置との基本構造の差異を図３及び図４に沿って説明する。
図３は、前記図１及び図２に示す保護電極型装置の基本的構造を示す模式的断面図である。保護電極型装置５０は、前記のとおり、被処理汚染気体Ｇの流入用開口部５２と処理済み気体Ｃの排出用開口部５３とを備えたハウジング５１を有し、前記ハウジング５１の内部には、保護電極５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｂを備えている。前記の保護電極５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｂは、それぞれ芯電極５５と、その芯電極５５の周囲を包囲する鞘体５６とを含む。前記電極５４Ａは電線５７Ａに接続し、前記電極５４Ｂ，５４Ｂはそれぞれ電線５７Ｂに接続し、電線５７Ａ，５７Ｂは交流電源５８と接続している。また、電極５４Ｂ，５４Ｂは、ハウジング５１内の外側に配置され、ハウジング５１の内壁と対向するので、それらと接続する電線５７Ｂは、アースされている。
【００２１】
一方、図４は、露出電極型装置の基本的構造を示す模式的断面図である。露出電極型装置１０は、被処理汚染気体Ｇの流入用開口部２と処理済み気体Ｃの排出用開口部３とを備えたハウジング１を有し、前記ハウジング１の内部には、保護電極４Ａと、露出電極４Ｂ，４Ｂとを備えている。保護電極型装置５０は、前記のとおり、保護電極５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｂを備えているのに対し、露出電極型装置１０は、保護電極５４Ｂ，５４Ｂの代わりに、露出電極４Ｂ，４Ｂを備えている点で異なる。前記の保護電極４Ａは、保護電極型装置５０と同様に、芯電極５と、その芯電極５の周囲を包囲する鞘体６とを含む。また、保護電極４Ａは電線７Ａと接続し、露出電極４Ｂ，４Ｂは、それぞれ電線７Ｂに接続し、電線７Ａ，７Ｂは交流電源８と接続している。また、露出電極４Ｂ，４Ｂに接続する電線７Ｂは、アースされている。更に、露出電極型装置１０では、ハウジング１もアースする必要があり、この点でも保護電極型装置５０と相違する。なお、露出電極型装置１０においては、保護電極４Ａ側に高電圧を印加するのが好ましいので、保護電極４Ａをハウジング１内部において最も外側に配置するのは好ましくない。すなわち、図４に示すとおり、露出電極４Ｂ，４Ｂをハウジング１内部において最も外側に配置して、ハウジング１の内壁と対向させるのが好ましい。
【００２２】
図３に示す保護電極型装置では、保護電極５４Ａ内の芯電極５５と両側の各保護電極５４Ｂ内の芯電極５５との間で放電が起こる。この放電では、１対の芯電極５５，５５の間に、２つの鞘体５６の絶縁体層の２層が介在する。一方、図４に示す露出電極型装置１０では、保護電極４Ａ内の芯電極５と両側の各露出電極４Ｂとの間で放電が起こる。この放電では、１つの芯電極５と露出電極４Ｂとの間には、１つの鞘体６の絶縁体層の１層のみが介在するだけであり、励起能力が向上するので、ラジカル発生量が増大し、オゾンの生成量も増大する。なお、図４に示す露出電極型装置１０では、ハウジング１と露出電極４Ｂ，４Ｂとがいずれもアースされているので、ハウジング１と露出電極４Ｂ，４Ｂとの間で放電が発生しない。
【００２３】
図４に示すとおり、露出電極型装置１０においては、図１及び図２に示す保護電極型装置５０における一対の保護電極５４Ａ，５４Ｂの代わりに、保護電極４Ａと露出電極４Ｂとの組み合わせを用いる点が異なるだけある。そこで、前記の露出電極型装置の或る態様を、図５及び図６に沿って説明する。すなわち、図５は、露出電極型装置１０のハウジング１の側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図であり、図６はその模式的断面図である。
【００２４】
図５及び図６に示すように、露出電極型装置１０は、保護電極型装置５０と同様に、大略直方体状のハウジング１の上面に相当する部分に被処理気体（例えば大気）Ｇの流入用開口部２を備え、前記ハウジング１の底面に相当する部分に処理済み気体（例えば大気）Ｃの排出用開口部３を備えている。また、高圧放電処理が実施される前記ハウジング１の内部には、複数の円筒状保護電極４Ａ及び複数の円筒状露出電極４Ｂが、それぞれ相互に間隔を隔てて平行に、しかも被処理汚染気体（例えば大気）の流れ方向に対して垂直方向に配置されており、それら各電極の両端部は、それぞれハウジング１の支持壁１Ａ，１Ｂで支持されている。
【００２５】
一方、円筒状露出電極４Ｂは、前記保護電極４の円筒状鞘体６とほぼ同様の寸法を有し、電極表面が露出しているので、被処理気体（例えば大気）と直接に接触する。複数の保護電極４Ａと複数の露出電極４Ｂとは、それぞれがグループ化されて電線７Ａ，７Ｂに一括して接続し、電線７Ａ，７Ｂは交流電源８と接続している。また、ハウジング１内の最も外側には露出電極４Ｂが配置され、複数の露出電極４Ｂに接続する電線７Ｂは、アースされている。更に、ハウジング１もアースする。
【００２６】
こうした露出電極型装置１０の流入用開口部２から被処理汚染気体（例えば大気）Ｇを流入し、２系統の電極群４Ａ，４Ｂに交流電源８によって高電圧を印加すると、２系統の電極群４Ａ，４Ｂ間で放電が起こり、気体分子が励起状態となってラジカルが発生する。これらのラジカルにより、被処理気体中の悪臭物質が酸化分解されたり、あるいは、オゾンを生成させるので、被処理気体は酸化処理される。また、こうして発生したラジカル及びオゾンと共に被処理気体を排出用開口部３から排出し、酸化促進触媒が充填されている触媒部（図示せず）に送付して、ラジカル及びオゾンと被処理気体との反応を更に進行させ、気体の処理を続行することができる。更に、２系統の電極群４Ａ，４Ｂに交流電源８によって高電圧を印加すると、２系統の電極群４Ａ，４Ｂ間で放電が起こり、露出電極４Ｂの表面、及び保護電極４Ａの表面、すなわち、円筒状鞘体６の表面に気体（例えば大気）中の浮遊粒子、特には浮遊粒子状物質（ＳＰＭ）を付着させることができる。
【００２７】
前記の露出電極型装置で用いる露出電極は、任意の導電性材料から構成することができ、例えば、アルミニウム若しくはその合金、銅、炭素質材料、鉄若しくはその合金、あるいはタングステンを挙げることができる。なお、前記の露出電極は、被処理気体（例えば汚染大気）と直接に接触するので、耐蝕性を有し、清浄操作や取替え操作などのメンテナンスが容易な金属、例えば、ステンレススチール（例えば、ＳＵＳ３０４）を用いるのが好ましい。
また、前記の露出電極の形状も特に限定されるものではないが、棒状体（例えば、筒状体若しくは柱状体、特には、円筒状体若しくは円柱状体）、あるいは、導線を撚って製造した撚り線型電極であることもできる。
【００２８】
前記の露出電極型装置内で、複数の露出電極群と複数の保護電極群との配置は、それぞれハウジング内部で放電がほぼ均等に発生し、各電極間を通過する被処理汚染大気がほぼ均等に処理されるように配置されている。しかしながら、複数の露出電極群と複数の保護電極群とを、相互に間隔を隔てて平行に、しかも被処理汚染大気の流れ方向に対して垂直方向に配置すると共に、１つの露出電極が４つの保護電極により包囲され、しかも１つの保護電極が４つの露出電極により包囲される状態で配置するのが好ましい。
【００２９】
本発明による洗浄方法は、前記の保護電極型や露出電極型の気体励起装置に装着される電極群ユニット単位で実施され、その電極群ユニットに含まれている保護電極棒や露出電極棒の表面に形成される前記のような点状堆積物及びツララ状堆積物を、前記保護電極表面及び／又は前記露出電極表面から除去することができる。
本発明による洗浄方法の対象となる水密化電極群ユニットの一態様を図７（模式的斜視図）に示す。水密化電極群ユニット４１は、耐水性及び絶縁性材料製の左側板４４と、同じく耐水性及び絶縁性材料製の右側板４５とを有し、それらの左側板４４と右側板４５とは、相互に平行に配置されている。それらの一対の左側板４４と右側板４５との間には、相互に平行に配置された多数の電極棒４２が保持されている。
【００３０】
前記左側板４４の内側表面４４ａ及び前記右側板４５の内側表面４５ａには、それぞれ非貫通孔が設けてあり、それらの非貫通孔の内部に、各電極棒４２の端部が装入されることによって保持されている。また、必要により、前記左側板４４と前記右側板４５との中間に、図７に示すように、中央支持板４８を設けることができ、その中央支持板４８に設けた貫通孔に、各電極棒４２を貫通させることによって電極棒４２の保持を強化することもできる。中央支持板の数は限定されず、２つ以上の中央支持板を設けることもできる。
【００３１】
前記左側板４４の外側表面４４ｂ及び前記右側板４５の外側表面４５ｂには、それぞれの中央部に切頭円錐状突出部４４Ａ，４５Ａを担持し、それらの切頭頂上部からケーブル線４６，４７が出ている。前記の水密化電極群ユニット４１に含まれる全ての電極棒４２は、２群に分かれて、前記ケーブル線４６，４７を介して交流電源（図示せず）と接続しており、放電電位が印加されると、それらの２群の電極棒４２間で放電することによって、電極棒４２間に存在する気体の励起が可能になる。
【００３２】
前記の水密化電極群ユニット４１が、保護電極型気体励起装置に装入されて使用される場合には、前記の水密化電極群ユニット４１に含まれる電極棒４２は、全てが保護電極棒となり、それらが２群に分かれ、保護電極棒間で放電が行われる。一方、前記の水密化電極群ユニット４１が、露出電極型気体励起装置に装入されて使用される場合には、前記の水密化電極群ユニット４１に含まれる電極棒４２は、保護電極棒のグループと露出電極棒のグループとの２群に分かれ、保護電極棒と露出電極棒との間で放電が行われる。
【００３３】
本発明方法の洗浄対象である電極群ユニットは、前記の通り、水密化構造を有する。まず、各々の保護電極棒は、芯電極と、その芯電極の周囲を包囲する耐水性絶縁体鞘体とからなり、その一方の端部は、前記絶縁体鞘体によって封鎖されている。もう一方の端部では、芯電極と接続する端子部が耐水性絶縁体鞘体から露出しているが、保護電極棒内部への開口部は防水シール材（例えば、合成ゴム、エラストマー、又は樹脂）によって水密にシールされている。また、保護電極棒の端子部側の端部は、防水シール材（例えば、合成ゴム、エラストマー、又は樹脂）によって、絶縁性材料製側板の内部に水密に包埋されている。更に、それらの端子部と接続するリード線も、絶縁性材料製側板の内部に水密に包埋されている。
【００３４】
各保護電極棒の端子部と接続する各リード線は、絶縁性材料製側板の内部において、前記の２群の電極棒群ごとに１本ずつのメインリード線に集結し、更に、前記の計２本のメインリード線は、絶縁性材料製側板の各外側表面から外部に延びる部分で耐水性及び絶縁性外皮によって保護されている２本のケーブル線に接続される。一般には、図７に示すように、一方の群に属する電極棒群に接続するケーブル線４６を左側板４４から外側へ延ばし、もう一方の群に属する電極棒群に接続するケーブル線４７を右側板４５から外側へ延ばすのが好ましい。この態様では、それぞれの側板４４，４５に保持される保護電極棒の約半分が閉鎖端部側で保持され、残りの約半分が端子部露出側の端部で保持される。従って、水密化シール材による電極棒端部の包埋操作が両方の側板４４，４５で必要になり、電極棒は両側の端部で水密にシールされる。
【００３５】
電極群ユニットが露出電極棒を含む場合にも、露出電極棒の一方の端部には交流電源と接続する端子部が存在するので、両端部を両方の側板４４，４５の内部で、防水シール材（例えば、合成ゴム、エラストマー、又は樹脂）によって水密にシールする。
【００３６】
本発明による洗浄方法の対象となる水密化電極群ユニットの別の態様を図８（模式的斜視図）に示す。水密化電極群ユニット６１は、耐水性及び絶縁性材料製の左側板６４と、同じく耐水性及び絶縁性材料製の右側板６５とを有し、それらの左側板６４と右側板６５とは、相互に平行に配置されている。それらの一対の左側板６４と右側板６５との間には、相互に平行に配置された多数の電極棒６２が保持されている。
【００３７】
前記左側板６４の内側表面６４ａ及び前記右側板６５の内側表面６５ａには、それぞれ非貫通孔が設けてあり、それらの非貫通孔の内部に、各電極棒６２の端部が装入されることによって保持されている。また、必要により、前記左側板６４と前記右側板６５との中間に、図８に示すように、中央支持板６８ａ，６８ｂを設けることができ、その中央支持板６８ａ，６８ｂに設けた貫通孔に、各電極棒６２を貫通させることによって電極棒６２の保持を強化することもできる。中央支持板の数は限定されず、図７に示す態様のように１つの中央支持板を設けることも、あるいは３つ以上の中央支持板を設けることもできる。
【００３８】
前記左側板６４の外側側面６４ｂ及び前記右側板６５の外側側面６５ｂには、それぞれの中央部に切頭円錐状突出部６４Ａ，６５Ａを担持し、それらの切頭頂上部からケーブル線６６，６７が出ている。前記の水密化電極群ユニット６１に含まれる全ての電極棒６２も、２群に分かれて、前記ケーブル線６６，６７を介して交流電源（図示せず）と接続しており、放電電位が印加されると、それらの２群の電極棒６２間で放電することによって、電極棒６２間に存在する気体の励起が可能になる。
【００３９】
前記の水密化電極群ユニット６１が、保護電極型気体励起装置に装入されて使用される場合には、前記の水密化電極群ユニット６１に含まれる電極棒６２は、全てが保護電極棒となり、それらが２群に分かれ、保護電極棒間で放電が行われる。一方、前記の水密化電極群ユニット６１が、露出電極型気体励起装置に装入されて使用される場合には、前記の水密化電極群ユニット６１に含まれる電極棒６２は、保護電極棒のグループと露出電極棒のグループとの２群に分かれ、保護電極棒と露出電極棒との間で放電が行われる。
【００４０】
電極群ユニットは、気体励起装置への着脱が可能であり、その１個ないし数個を気体励起装置に装着して使用される。従って、洗浄方法を実施する場合には、気体励起装置から電極群ユニットを取り出し、電極群ユニットのみを、例えば、洗浄用の水槽に装入する。
【００４１】
本発明の洗浄方法によれば、前記のような点状堆積物及びツララ状堆積物を、前記保護電極棒表面及び／又は前記露出電極棒表面から除去することができる。すなわち、前記の通り、例えば、図７及び図８に示すような電極群ユニットにおいて、被処理気体と接触する保護電極棒の電極棒表面（例えば、ガラス管表面）に付着する汚れを、上水道水又は工業用水あるいは純水によって洗浄する処理を繰り返した場合に、保護電極棒の電極棒表面に、点状の堆積物が形成され、更にその点状堆積物からツララ状の堆積物が生長する。本発明の洗浄方法により、このような点状堆積物及びツララ状堆積物を容易にしかも効果的に除去することができる。
【００４２】
本発明の洗浄方法においては、アルカリ洗浄処理によって、前記点状堆積物及び前記ツララ状堆積物を除去することができる。前記のアルカリ洗浄処理に用いる前記アルカリ水溶液としては、アンモニア水溶液又はアルカリ金属水酸化物水溶液を用いることができる。アンモニア水溶液とアルカリ金属水酸化物水溶液を組み合わせて使用することもできる。
【００４３】
アンモニア水溶液とアルカリ金属水酸化物水溶液の濃度は、処理時間と保護電極棒の耐水性絶縁体鞘体（特に、ガラス製鞘体）の損傷とを考慮して選択するのが好ましい。実際には、アンモニア水溶液を用いる場合は、２５〜４５％水溶液が好ましく、３５〜４５％水溶液がより好ましい。また、アルカリ金属水酸化物（例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム）の水溶液を用いる場合は、３〜２０％水溶液が好ましく、５〜１０％水溶液がより好ましい。本発明方法におけるアルカリ洗浄処理では、アルカリ水溶液として、水酸化ナトリウム水溶液を用いることが好ましく、３％〜７％水酸化ナトリウム水溶液を用いることがより好ましい。
【００４４】
アンモニアやアルカリ金属水酸化物の濃度が、前記の範囲よりも低いと、洗浄時間が極めて長時間となり、実用的でなくなる。一方、アンモニアやアルカリ金属水酸化物の濃度が、前記の範囲より高くても、点状堆積物及びツララ状堆積物を効果的に除去することができるが、作業環境が悪化し、短時間の洗浄処理によって保護電極棒の耐水性絶縁体鞘体（特に、ガラス製鞘体）の損傷が進行するので、注意が必要になる。
【００４５】
本発明方法のアルカリ洗浄処理は、加熱下で実施するのが好ましい。加熱温度は、好ましくは４０〜８０℃、より好ましくは５０℃〜７０℃、最も好ましくは５５℃〜６５℃である。加熱下で実施することにより、アルカリ洗浄処理時間を短縮することができ、その結果、ガラス製鞘体の損傷程度を抑制することができる。
【００４６】
本発明方法のアルカリ洗浄処理に必要な時間は、前記点状堆積物及び前記ツララ状堆積物を充分に除去可能であって、しかも絶縁体鞘体（特にはガラス製鞘体）の表面を実質的に損傷させない範囲で選択する。従って、使用するアルカリ水溶液の種類や、絶縁体鞘体の材料によって、アルカリ洗浄処理に必要な時間は変動する。或る特定のアルカリ水溶液によって、或る特定の材料からなる絶縁体鞘体上に形成される前記点状堆積物及び前記ツララ状堆積物を除去する場合に必要なアルカリ洗浄処理時間は、適当なパイロット実験を実施し、処理後の絶縁体鞘体表面を顕微鏡で観察することによって簡単に決定することができる。
【００４７】
本発明者の実験によれば、例えば、３％〜７％水酸化ナトリウム水溶液を用いて、４０〜８０℃にて、保護電極棒のガラス製鞘体をアルカリ洗浄処理する場合には、２０〜１２０分間の処理によって、前記点状堆積物及び前記ツララ状堆積物を充分に除去することができ、しかもガラス製鞘体は実質的に損傷されない。
【００４８】
アルカリ洗浄処理は、前記電極棒表面と前記アルカリ水溶液とを相互に相対的に移動する条件下で接触させることによって実施し、好ましくは、実質的に連続的に相対的に移動する状態で、前記電極棒表面とアルカリ水溶液に接触させることによって実施する。
【００４９】
アルカリ洗浄処理は、具体的には、例えば、アルカリ水溶液に電極群ユニットを攪拌下に浸漬させるか、アルカリ水溶液を装入した容器に電極群ユニットを浸漬させた状態で、電極群ユニットを水平方向及び／又は垂直方向に移動させるか、前記容器の下部からアルカリ水溶液に気体（例えば、空気）を供給することによって、実施することができる。あるいは、流水状に流れるアルカリ水溶液に電極群ユニットを浸漬させるか、又は電極群ユニットにアルカリ水溶液を噴霧するか又は噴射することもできる。
前記のアルカリ洗浄処理は、被洗浄電極棒と、その電極棒表面に接触するアルカリ水溶液とが、実質的に連続的に相対的に移動する状態で実施する処理と、アルカリ水溶液中に被処理電極群ユニット全体を浸漬させて静置する処理とを組み合わせて実施することもできる。
【００５０】
洗浄に用いるアルカリ水溶液は、浸漬処理の間に適宜交換してもよい。電極棒表面全体の洗浄を促進するためにはアルカリ水溶液を一定時間毎に取り替え、浸漬処理を２〜４回繰り返し行うことができる。なお、交換の前後で、アルカリの種類及び／又はｐＨ値が異なるアルカリ水溶液を用いてもよい。
【００５１】
本発明方法では、前記のアルカリ洗浄処理の後で、絶縁体鞘体表面からアルカリ成分を除去する目的で、中和洗浄処理を実施することができる。中和洗浄処理では、中性又は弱酸性の洗浄水を用いて、電極棒表面を洗浄する。洗浄方法は、前記のアルカリ洗浄処理と同様の方法で実施することができる。
中和洗浄処理に用いる洗浄水は特に限定されず、水道水、蒸留水、又はイオン交換水などを挙げることができる。
【００５２】
本発明方法によるアルカリ洗浄処理及び場合により続いて実施する中和洗浄処理は、前記点状堆積物及び前記ツララ状堆積物を除去する目的で実施するものであり、前記点状堆積物及び前記ツララ状堆積物が形成された状態で実施するのが好ましい。すなわち、図７及び図８に示すような電極群ユニットにおいて、被処理気体と接触する保護電極棒の電極棒表面（例えば、ガラス管表面）及び露出電極棒表面に付着する汚れを洗浄する場合には、従来通り、上水道水又は工業用水あるいは純水によって洗浄するのが好ましい。
【００５３】
【実施例】
以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、これらは本発明の範囲を限定するものではない。
【実施例１】
（１）電極群ユニットの準備
ガラス製鞘体を有する保護電極棒（外径＝約４ｍｍ；長さ＝約７００ｍｍ）を装填した図７に示すタイプの電極群ユニット（保護電極棒総数＝５１５個）を装着した気体励起装置によって、汚染大気の浄化処理を実施した。各保護電極棒のガラス管表面に付着する黒色被膜は、毎日、気体励起装置から電極群ユニットを取り出し、純水によって洗浄して除去した。汚染大気の処理を開始してから２０日間経過した後に、気体励起装置から電極群ユニットを取り出し、純水によって黒色皮膜を除去し、この電極群ユニットを被処理電極群ユニットとして用いた。なお、各ガラス管表面には、点状堆積物及びツララ状堆積物が付着していることを確認した。
（２）アルカリ洗浄処理
水道水に水酸化ナトリウムを添加して調製した５％水酸化ナトリウム洗浄液６０Ｌを、１００Ｌバケツに、液面の高さが約３５０ｍｍとなるように装入した。この洗浄液に、前項（１）の被処理電極群ユニットを浸漬させた。洗浄液の液温を６０℃に維持しながら、洗浄液を攪拌機によって攪拌した。
浸漬開始から２０分間経過した後、被処理電極群ユニットを前記のバケツから取り出し、純水で洗浄してから電極群ユニットの表面を観察したところ、処理前には付着していた点状堆積物及びツララ状堆積物が完全に除去されていた。
こうして洗浄された電極群ユニットを乾燥した後、気体励起装置に装着してオゾン発生量を測定した。その発生量は、未使用の電極群ユニットを用いた場合の発生量と同等であった。
【００５４】
【実施例２】
水酸化ナトリウム洗浄液として７％水酸化ナトリウム洗浄液を用いること以外は、実施例１に記載の方法と同一の方法でアルカリ洗浄処理を行った。
浸漬開始から１５分間経過した後、被処理電極群ユニットを前記のバケツから取り出し、純水で洗浄してから電極群ユニットの表面を観察したところ、処理前には付着していた点状堆積物及びツララ状堆積物が完全に除去されていた。
こうして洗浄された電極群ユニットを乾燥した後、気体励起装置に装着してオゾン発生量を測定した。その発生量は、未使用の電極群ユニットを用いた場合の発生量と同等であった。
【００５５】
【実施例３】
アルカリ洗浄処理温度を４０℃としたこと以外は、実施例１に記載の方法と同一の方法でアルカリ洗浄処理を行った。
浸漬開始から６０分間経過した後、被処理電極群ユニットを前記のバケツから取り出し、純水で洗浄してから電極群ユニットの表面を観察したところ、処理前には付着していた点状堆積物及びツララ状堆積物が完全に除去されていた。
こうして洗浄された電極群ユニットを乾燥した後、気体励起装置に装着してオゾン発生量を測定した。その発生量は、未使用の電極群ユニットを用いた場合の発生量と同等であった。
【００５６】
【実施例４】
水酸化ナトリウム洗浄液として３％水酸化ナトリウム洗浄液を用いること以外は、実施例１に記載の方法と同一の方法でアルカリ洗浄処理を行った。
浸漬開始から４０分間経過した後、被処理電極群ユニットを前記のバケツから取り出し、純水で洗浄してから電極群ユニットの表面を観察したところ、処理前には付着していた点状堆積物及びツララ状堆積物が完全に除去されていた。
こうして洗浄された電極群ユニットを乾燥した後、気体励起装置に装着してオゾン発生量を測定した。その発生量は、未使用の電極群ユニットを用いた場合の発生量と同等であった。
【００５７】
【比較例１】
水酸化ナトリウム洗浄液として、５％水酸化ナトリウム洗浄液を用いること、及びアルカリ洗浄処理温度を３０℃としたこと以外は、実施例１に記載の方法と同一の方法でアルカリ洗浄処理を行った。
攪拌浸漬処理を６０分間行った後に、被処理電極群ユニットを前記のバケツから取り出し、純水で洗浄してから電極棒の表面を観察したところ、点状堆積物及びツララ状堆積物がほとんど除去されていなかった。
【００５８】
【比較例２】
水酸化ナトリウム洗浄液として、７％水酸化ナトリウム洗浄液を用いること、及びアルカリ洗浄処理温度を２０℃としたこと以外は、実施例１に記載の方法と同一の方法でアルカリ洗浄処理を行った。
攪拌浸漬処理を６０分間行った後に、被処理電極群ユニットを前記のバケツから取り出し、純水で洗浄してから電極棒の表面を観察したところ、点状堆積物及びツララ状堆積物がほとんど除去されていなかった。
【００５９】
【比較例３】
水酸化ナトリウム洗浄液として、３％水酸化ナトリウム洗浄液を用いること、及びアルカリ洗浄処理温度を４０℃としたこと以外は、実施例１に記載の方法と同一の方法でアルカリ洗浄処理を行った。
攪拌浸漬処理を６０分間行った後に、被処理電極群ユニットを前記のバケツから取り出し、純水で洗浄してから電極棒の表面を観察したところ、点状堆積物及びツララ状堆積物がほとんど除去されていなかった。
【００６０】
【比較例４】
水酸化ナトリウム洗浄液として、１０％水酸化ナトリウム洗浄液を用いること、及びアルカリ洗浄処理温度を２０℃としたこと以外は、実施例１に記載の方法と同一の方法でアルカリ洗浄処理を行った。
攪拌浸漬処理を６０分間行った後に、被処理電極群ユニットを前記のバケツから取り出し、純水で洗浄してから電極棒の表面を観察したところ、点状堆積物及びツララ状堆積物がほとんど除去されていなかった。
【００６１】
【参考例】
前記実施例１（１）と同様の処理を実施して、前記実施例１（１）と同様の被処理電極群ユニットを得た後、この被処理電極群ユニットから保護電極棒を取り出し、被処理電極棒サンプルとして用いた。なお、各ガラス管表面には、点状堆積物及びツララ状堆積物が付着していることを確認した。
一方、水道水に水酸化ナトリウムを添加して５％、７％、及び１０％水酸化ナトリウム洗浄液を調製し、これらの水酸化ナトリウム洗浄液６０Ｌを１００Ｌバケツに、液面の高さが約３５０ｍｍとなるようにそれぞれ装入した。洗浄液の液温を６０℃に維持しながら、洗浄液を攪拌機によって攪拌した。前記の洗浄条件で２０時間浸漬させた後、被処理電極サンプルをバケツから取り出し、純水で洗浄した。被処理電極棒サンプルのガラス管表面の電子顕微鏡写真（倍率＝１００００倍）を撮影し、表面の損傷状態を観察した。
【００６２】
結果を図９（５％水酸化ナトリウム洗浄液に浸漬した場合）、図１０（７％水酸化ナトリウム洗浄液に浸漬した場合）、及び図１１（１０％水酸化ナトリウム洗浄液に浸漬した場合）に示す。
５％水酸化ナトリウム洗浄液に６０℃で２０時間浸漬した場合は、ガラス管表面に凸凹が全く観察されず、損傷されていないことが分かった。また、７％水酸化ナトリウム洗浄液に６０℃で２０時間浸漬した場合には、ガラス管表面に小さい凹凸が観察されるものの、大きい凹凸は全く観察されなかったので、ほとんど損傷されていないことが分かった。更に、１０％水酸化ナトリウム洗浄液に６０℃で２０時間浸漬した場合には、ガラス管表面に大きい凸凹が観察され、損傷していることが分かった。
従って、前記実施例１（２）の条件、すなわち、５％水酸化ナトリウム洗浄液に６０℃で２０分間浸漬する条件で洗浄処理を約６０回実施しても、保護電極棒のガラス表面を損傷することがないことが分かった。また、前記実施例２の条件、すなわち、７％水酸化ナトリウム洗浄液に６０℃で１５分間浸漬する条件で洗浄処理を約８０回実施しても、保護電極棒のガラス表面を実質的に損傷することがないことが分かった。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、極めて多様な目的や環境において使用されている図７又は図８に示すタイプのような電極群ユニットにおいて、被処理気体と接触する電極棒表面に発生する前記堆積物を簡易な方法で除去することができ、前記堆積物の除去により、前記電極群ユニットの処理能力の低下、不均質な放電の発生、及び異常放電による電極破壊を防ぎ、そして前記電極群ユニットの寿命を延長させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】保護電極型気体励起装置のハウジングの側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図である。
【図２】図１の保護電極型気体励起装置の模式的断面図である。
【図３】保護電極型気体励起装置の基本的構造を示す模式的断面図である。
【図４】露出電極型気体励起装置の基本的構造を示す模式的断面図である。
【図５】露出電極型気体励起装置のハウジングの側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図である。
【図６】図５の露出電極気体励起装置の模式的断面図である。
【図７】本発明の洗浄方法における洗浄対象の電極群ユニットの一態様を模式的に示す斜視図である。
【図８】本発明の洗浄方法における洗浄対象の電極群ユニットの別の態様を模式的に示す斜視図である。
【図９】本明細書の参考例にて５％水酸化ナトリウム洗浄液で処理した保護電極棒のガラス管表面の構造を示す図面に代わる電子顕微鏡写真である。
【図１０】本明細書の参考例にて７％水酸化ナトリウム洗浄液で処理した保護電極棒のガラス管表面の構造を示す図面に代わる電子顕微鏡写真である。
【図１１】本明細書の参考例にて１０％水酸化ナトリウム洗浄液で処理した保護電極棒のガラス管表面の構造を示す図面に代わる電子顕微鏡写真である。
【符号の説明】
１・・・ハウジング；１Ａ，１Ｂ・・・支持壁；２・・・流入用開口部；
３・・・排出用開口部；４Ａ・・・保護電極；
４Ｂ・・・露出電極；５・・・芯電極；６・・・円筒状鞘体；
７Ａ，７Ｂ・・・電線；８・・・交流電源；１０・・・気体励起装置；
４１，６１・・・電極群ユニット；４２，６２・・・電極棒
４４，６４・・・左側板；４４ａ，６４ａ・・・左側板内側表面；
４４ｂ・・・左側板外側表面；
４４Ａ，４５Ａ，６４Ａ，６５Ａ・・・切頭円錐状突出部；
４５，６５・・・右側板；４５ａ，６５ａ・・・右側板内側表面；
４５ｂ・・・右側板外側表面；４６，４７，６６，６７・・・ケーブル線；
４８，６８ａ，６８ｂ・・・中央支持板；
５０・・・気体励起装置；５１・・・ハウジング；
５１Ａ，５１Ｂ・・・支持壁；５２・・・流入用開口部；
５３・・・排出用開口部；５４（５４Ａ，５４Ｂ）・・・保護電極；
５５・・・芯電極；５６・・・円筒状鞘体；５７Ａ，５７Ｂ・・・電線；
５８・・・交流電源；６４ｂ・・・左側板外側側面；
６５ｂ・・・右側板外側側面；Ｇ・・・被処理気体；Ｃ・・・処理済み気体。
【図１】
2004268001.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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