(57)【要約】【課題】三弗化窒素等の窒素弗化物を含有するガスの浄化において、空気中で比較的に安定で保存、取扱いが容易であり、浄化中に希釈ガスの種類により熱暴走を引き起こしたり浄化後の後処理で急激な発熱や有害ガスの発生等の危険を起こすことがなく、また浄化中に浄化筒内で圧力損失の増加あるいは閉塞を起こすことがなく、さらにＮＯｘを排出することなく、効率よく窒素弗化物を含有するガスを浄化できる浄化剤及び浄化方法を提供する。【解決手段】酸化第一錫、及び、アルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、ランタノイドの酸化物、水酸化物、炭酸塩から選ばれる１種以上の化合物を有効成分として含む浄化剤とする。また、窒素弗化物を含有するガスを、加熱下で、前記浄化剤と接触させて浄化する。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化第一錫、及び、アルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、ランタノイドの酸化物、水酸化物、炭酸塩から選ばれる１種以上の化合物を有効成分として含むことを特徴とする窒素弗化物を含有するガスの浄化剤。
【請求項２】
アルカリ土類金属が、マグネシウム、カルシウム、またはストロンチウムである請求項１に記載の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤。
【請求項３】
ランタノイドがランタンである請求項１に記載の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤。
【請求項４】
浄化剤中の重量割合として、有効成分が７０％以上含まれる請求項１に記載の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤。
【請求項５】
浄化剤に含まれる錫の原子数と、アルカリ土類金属の原子数及びランタノイドの原子数を合せた原子数の比が、１：０．１〜２．０である請求項１に記載の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤。
【請求項６】
有効成分とともに、成型助剤として金属弗化物を含む請求項１に記載の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤。
【請求項７】
金属弗化物が弗化カリウムである請求項６に記載の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤。
【請求項８】
窒素弗化物が、三弗化窒素、四弗化二窒素、二弗化二窒素、及び六弗化二窒素から選ばれる１種以上である請求項１に記載の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤。
【請求項９】
有害成分として窒素弗化物を含有するガスを、加熱下で、酸化第一錫、及び、アルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、ランタノイドの酸化物、水酸化物、炭酸塩から選ばれる１種以上の化合物を有効成分として含む浄化剤と接触させて浄化することを特徴とする窒素弗化物を含有するガスの浄化方法。
【請求項１０】
窒素弗化物を含有するガスと浄化剤の接触温度が、２００〜８００℃である請求項９に記載の窒素弗化物を含有するガスの浄化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は窒素弗化物を含有するガスの浄化剤及び浄化方法に関する。さらに詳細には、空気中で比較的に安定で保存、取扱いが容易であり、浄化中あるいは浄化後の後処理で危険を伴うことなく、またＮＯｘを排出することなく、半導体製造工程等から排出される窒素弗化物を含有するガスを、効率よく浄化することが可能な浄化剤及び浄化方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工業においては、シリコン、シリコン酸化物等のドライエッチングガスやＣＶＤ装置のチャンバークリーニングガスとして、三弗化窒素が使用されている。三弗化窒素は水に対する溶解度が小さく、酸やアルカリともほとんど反応しない等室温ではかなり安定であり、地球温暖化に対する影響が大きいことが認められているほか、許容濃度が１０ｐｐｍと報告されており、毒性が高く、大気にそのまま放出した場合は人体および環境に悪影響を与えるので、半導体製造工程で使用した後は浄化する必要がある。
【０００３】
また、三弗化窒素は常温、常圧では安定であるが、ドライエッチングやクリーニング工程中に熱、放電等により、四弗化二窒素、二弗化二窒素、六弗化二窒素等の窒素弗化物を生成する。これらのガスは三弗化窒素よりも毒性が強いため、三弗化窒素と同様に浄化しなければならない。
【０００４】
従来から、窒素弗化物の浄化剤としては、カルシウム及び／またはマグネシウムを有効成分とする浄化剤（特開平６−９９０３３号公報）、金属亜鉛、金属アルミニウムまたは両者の混合物を主成分とする浄化剤（特開平６−１３４２５６号公報）、ジルコニウムまたはジルコニウム系合金から成る浄化剤（特開平６−２３８１２８号公報）、酸化第一錫を有効成分とする浄化剤（特開平１１−５０１８号公報）等が開発されている。窒素弗化物は常温で安定であるため、いずれの浄化剤を使用する場合においても、加熱して浄化処理されている。
また、その他の浄化方法としては、窒素弗化物を含有するガスを、水素、メタン、プロパン等を用いた焼却炉の火炎中に導入して燃焼させる方法、加熱下で金属酸化物と接触させて浄化する方法等が行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、カルシウム及び／またはマグネシウムを有効成分とする浄化剤、あるいは、金属亜鉛、金属アルミニウムまたは両者の混合物を主成分とする浄化剤は、有効成分、主成分が、酸素あるいは水と反応しやすいため、保存、取扱いが難しいほか、浄化後の未反応浄化剤の後処理には急激な発熱、有害ガスの発生等の危険を伴うことがあった。また、ジルコニウムまたはジルコニウム系合金から成る浄化剤は、常温の空気中では安定であるが、浄化温度近辺の高温下では酸素と激しく反応する。更に三弗化窒素の濃度が高い等の理由により高温になると、通常三弗化窒素の希釈ガスとして使用される窒素とも激しく反応し、熱暴走を引き起こす虞があった。
【０００６】
また、酸化第一錫を有効成分とする浄化剤は、常温から高温の空気中で比較的に安定であるが、三弗化窒素を含むガスの浄化により生成するＳｎＦ２の密度が、有効成分であるＳｎＯと比べて小さいため、浄化剤の除害反応が終了した部分が膨張して、浄化筒内で圧力損失の増加あるいは閉塞を起こし、浄化能力が残っているにもかかわらず新しい浄化剤と交換して浄化を継続する必要があった。
さらに、窒素弗化物を含有するガスを、焼却炉の火炎中に導入して燃焼させる方法、加熱下で金属酸化物と接触させて浄化する方法は、ＮＯｘを排出するという不都合があった。
【０００７】
従って、本発明が解決しようとする課題は、三弗化窒素等の窒素弗化物を含有するガスの浄化において、空気中で比較的に安定で保存、取扱いが容易であり、浄化中に希釈ガスの種類により熱暴走を引き起こしたり浄化後の後処理で急激な発熱や有害ガスの発生等の危険を起こすことがなく、また浄化中に浄化筒内で圧力損失の増加あるいは閉塞を起こすことがなく、さらにＮＯｘを排出することがなく、効率よく窒素弗化物を含有するガスを浄化できる浄化剤及びそれを用いた浄化方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、これらの課題を解決すべく鋭意検討した結果、酸化第一錫、及び、アルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、ランタノイドの酸化物、水酸化物、炭酸塩から選ばれる１種以上の化合物を有効成分として含む浄化剤は、空気中で比較的に安定であり、保存、取扱い等が容易であることを見い出した。また、本発明者らは、有害成分として窒素弗化物を含有するガスを、加熱下で前記浄化剤と接触させることにより、浄化中に希釈ガスの種類により熱暴走を引き起こしたり浄化後の後処理で急激な発熱や有害ガスの発生等の危険を起こすことなく、また浄化中に浄化筒内で圧力損失の増加あるいは閉塞を起こすことなく、さらにＮＯｘを排出することなく、効率よく窒素弗化物を含有するガスを浄化できることを見い出し、本発明の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤及び浄化方法に到達した。
【０００９】
すなわち本発明は、酸化第一錫、及び、アルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、ランタノイドの酸化物、水酸化物、炭酸塩から選ばれる１種以上の化合物を有効成分として含むことを特徴とする窒素弗化物を含有するガスの浄化剤である。
また、本発明は、有害成分として窒素弗化物を含有するガスを、加熱下で、酸化第一錫、及び、アルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、ランタノイドの酸化物、水酸化物、炭酸塩から選ばれる１種以上の化合物を有効成分として含む浄化剤と接触させて浄化することを特徴とする窒素弗化物を含有するガスの浄化方法でもある。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤及び浄化方法は、窒素、アルゴン、ヘリウム等のガス中に含まれる三弗化窒素、四弗化二窒素、二弗化二窒素、六弗化二窒素等の窒素弗化物を浄化するための浄化剤及び浄化方法に適用される。本発明の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤は、酸化第一錫、及び、アルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、ランタノイドの酸化物、水酸化物、炭酸塩から選ばれる１種以上の化合物を有効成分として含む浄化剤である。
また、本発明の窒素弗化物を含有するガスの浄化方法は、窒素弗化物を含有するガスを、加熱下で、前記浄化剤と接触させて浄化する浄化方法である。
【００１１】
以下、本発明の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤について詳細に説明する。
本発明の浄化剤において、有効成分の一つとして用いられる酸化第一錫（ＳｎＯ）は、粉末等の状態で純度９８％以上のものが市販されているので、通常はこれらの市販品を用いることができる。
また、前記以外の有効成分であるアルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、ランタノイドの酸化物、水酸化物、炭酸塩としては、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、ユーロピウム等の酸化物、水酸化物、炭酸塩を例示することができるが、安価かつ入手しやすい点で、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、またはランタンの酸化物、水酸化物、炭酸塩を用いることが好ましい。尚、これらのアルカリ土類金属化合物、ランタノイド化合物は単独で用いてもよく２種類以上を併用してもよい。
【００１２】
本発明の浄化剤は、浄化剤に含まれる錫の原子数と、アルカリ土類金属の原子数及びランタノイドの原子数を合せた原子数の比が、１：０．１〜２．０となるように、好ましくは０．３〜１．０となるように調製される。アルカリ土類金属の原子数及びランタノイドの原子数を合せた原子数が、錫の原子数の１０％未満である場合は、三弗化窒素を含むガスの浄化中に、主としてＳｎＯがＳｎＦ２に変換される反応が起こる。ＳｎＦ２は密度が４．５７ｇ／ｃｍ３であり、主成分であるＳｎＯ（密度６．９５ｇ／ｃｍ３）と比較して小さいため、浄化剤の除害反応が終了した部分が膨張して、浄化筒内で圧力損失の増加あるいは閉塞を起こす不都合を生じる。また、アルカリ土類金属の原子数及びランタノイドの原子数を合せた原子数が、錫の原子数の２．０倍を超える場合は、ＮＯｘを排出する不都合を生じる。
【００１３】
また、本発明の浄化剤は、造粒の際の成型性や成型強度を高めるために、有効成分のほかに成型助剤を加えることができる。このような成型助剤としては、弗化リチウム、弗化ナトリウム、弗化カリウム、弗化マグネシウム、弗化カルシウム、弗化ランタン等の金属弗化物を用いることができるが、この中でも成型強度を高める効果が優れている点で弗化カリウムを用いることが特に好ましい。これらは、単独あるいは２種類以上を混合して用いることもできる。これらの成型助剤を加える場合は、浄化剤を調製する際に有効成分に添加、混練される。成型助剤の添加量は、成型条件などによって異なり一概には特定できないが、少なすぎる場合は成型助剤としての効果が得られず、多すぎる場合は浄化能力が低下することから、通常は浄化剤全重量に対して０．１〜１０ｗｔ％であり、好ましくは０．５〜５ｗｔ％である。
【００１４】
また、本発明の浄化剤は、窒素弗化物の浄化に悪影響を及ぼさない不純物、不活性物質等を含んでいてもよい。さらに、使用前の浄化剤は水分を含んでいてもよいが含まない方が好ましく、通常は浄化剤中の水分が２ｗｔ％以下となるように調製される。尚、これらの成型助剤、不純物、不活性物質、水分等を含んだ場合においても、浄化剤中の有効成分の含有量は、通常は７０ｗｔ％以上、好ましくは９０ｗｔ％以上である。
【００１５】
本発明の浄化剤を成型する方法については特に制限はなく、例えば、浄化剤成分に水を加えてスラリーまたはケーキ状とした後、押出し成型し適当な長さに切断して乾燥させる方法、あるいは、浄化剤成分を打錠成型により造粒する方法等を用いることができる。
また、本発明の浄化剤は、酸化第一錫等と、前述のアルカリ土類金属化合物及びランタノイド化合物から選ばれる１種以上の化合物等を、混合し成型することにより調製しても、酸化第一錫等を成型するとともにアルカリ土類金属化合物及びランタノイド化合物から選ばれる１種以上の化合物等を成型した後、これらを混合することにより調製してもよい。
本発明の浄化剤においては、いずれの調製方法においても、通常は直径が１〜１０ｍｍ程度の球状、直径が０．５〜５ｍｍ程度で長さが２〜２０ｍｍ程度の円柱状、あるいはこれに類似する形状、またはこれに相当する大きさ及び形状となるように成型して調製される。
【００１６】
次に、本発明の窒素弗化物を含有するガスの浄化方法について詳細に説明する。
本発明の浄化方法は、窒素弗化物を含有するガスを、加熱下で前述のような浄化剤と接触させることにより浄化する方法である。但し、浄化剤の有効成分の一部として、アルカリ土類金属の水酸化物、炭酸塩、ランタノイドの水酸化物、炭酸塩を用いた場合は、前記のうちいくつかの化合物は加熱下では酸化物となり、アルカリ土類金属の酸化物、ランタノイドの酸化物として効果を発揮する。
【００１７】
三弗化窒素を含有するガスを、本発明の浄化方法により、酸化第一錫及び酸化カルシウムを有効成分として含む浄化剤と接触させることにより浄化する場合は、次の（式１）（式２）または（式３）の反応が起こると推測される。本発明の浄化方法においては、これらの反応式からも明らかなようにＣａＳｎＦ６、ＳｎＯ２、ＣａＦ２が生成するが、これらの反応生成物を併せた体積と、反応する前の浄化剤の有効成分の体積の差は小さいので、浄化筒の充填部材（浄化剤及び反応生成物）が膨張して、浄化筒内で圧力損失の増加あるいは閉塞を起こす虞がない。例えば、（式３）の反応の場合、浄化剤の有効成分であるＳｎＯ、ＣａＯの密度は、各々６．９５ｇ／ｃｍ３、３．３７ｇ／ｃｍ３で、反応生成物であるＳｎＯ２、ＣａＦ２の密度は、各々７．０ｇ／ｃｍ３、３．０８ｇ／ｃｍ３であり、これらは等モル比なので、両者の平均密度の差は小さく体積の差も小さい。
【００１８】
【化１】
2004025025.tif 000002
【００１９】
尚、前記の反応において、ＣａＯ等のアルカリ土類金属化合物の代わりにＬａ２Ｏ３等のランタノイド化合物を用いた場合は、前記の反応式に準じて窒素弗化物を含有するガスが浄化される。
【００２０】
本発明の浄化方法において、窒素弗化物を含有するガスと浄化剤を接触させる温度は、通常は２００〜８００℃、好ましくは２５０〜６００℃である。温度が２００℃よりも低い場合は、窒素弗化物の浄化能力が低下する。また、温度が８００℃よりも高い場合は、浄化筒にステンレス鋼を使用することができなくなり、より耐熱性の高い材質を必要とする不都合を生じる。
また、浄化を行なう際の浄化筒内の圧力は、通常は常圧であるが、例えば１ＫＰａのような減圧から０．２ＭＰａ（絶対圧力）のような加圧下で行なうこともできる。
【００２１】
本発明の浄化方法において、浄化剤を充填するための浄化筒は、通常は円筒状であり、大きさは通常は内径１０〜５００ｍｍ、長さは２０〜２０００ｍｍ程度である。浄化筒に充填される浄化剤の充填長は、通常は１０〜１０００ｍｍ程度、好ましくは５０〜５００ｍｍ程度である。浄化剤の充填長が１０ｍｍ以下の場合は、窒素弗化物を含有するガスの浄化が不充分となり、１０００ｍｍ以上の場合は圧力損失が大きくなる。また、浄化筒を加熱するための手段としては、通常は浄化筒の外側にヒーターが設置され、外部の制御装置により温度がコントロールされる。尚、本発明の浄化方法においては、浄化剤を固定床として用いるほか、移動床、流動床として用いることができる。
【００２２】
本発明の浄化方法を適用する場合の窒素弗化物を含有するガスの流速には特に制限はないが、一般的にガス中に含有される窒素弗化物の濃度が高いほど流速を小さくすることが望ましい。窒素弗化物の濃度は、通常は１％以下であるが、流量が小さい場合にはさらに高濃度の窒素弗化物を含有するガスの浄化処理も可能である。
浄化筒は窒素弗化物の濃度、流量等に応じて設計されるが、窒素弗化物の濃度が０．１％以下のような比較的低濃度では空筒線速度（ＬＶ）は０．５〜５０ｃｍ／ｓｅｃ、窒素弗化物の濃度が０．１〜１％程度ではＬＶは０．０５〜２０ｃｍ／ｓｅｃ、窒素弗化物の濃度が１％以上のような高濃度では１０ｃｍ／ｓｅｃ以下の範囲で設計することが好ましい。
【００２３】
【実施例】
次に、本発明の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤及び浄化方法を、実施例により具体的に説明するが、本発明がこれらにより限定されるものではない。
【００２４】
実施例１
（浄化剤の調製）
市販の酸化第一錫（純度９９％）及び酸化カルシウム（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、原子数の比（Ｓｎ：Ｃａ）が、１：０．５となるように混合した。混合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で１０秒間加圧することにより成型して得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを浄化剤とした。
【００２５】
（浄化試験）
前記の浄化剤を、内径２３．９ｍｍ、長さ２００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の浄化筒の内部に、充填長が１００ｍｍとなるように充填した。浄化筒の浄化剤の温度を４００℃に加熱した後、ＮＦ３（流量１３．４６ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１３４６ｍｌ／ｍｉｎ）を浄化筒に導入してＮＦ３を含むガスを浄化した。
この間、１０分毎に浄化筒の排出口から排出される浄化ガスの一部を採取し、ガスクロマトグラフ法（検出下限１０ｐｐｍ）によって分析を行ない、ＮＦ３が検出されるまでの時間を測定して、浄化剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＮＦ３の浄化処理量（Ｌ）（浄化処理能力）を求めるとともに、ＮＯｘの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表１に示す。
【００２６】
実施例２，３
実施例１の浄化剤の調製における酸化第一錫と酸化カルシウムの混合比を、原子数の比（Ｓｎ：Ｃａ）が、各々１：０．３、１：０．７５となるように混合したほかは、実施例１と同様にして浄化剤を調製した。これらの浄化剤を用いて、実施例１と同様にしてＮＦ３の浄化試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００２７】
実施例４，５
実施例１の浄化試験におけるＮＦ３の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１と同様にしてＮＦ３の浄化試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００２８】
実施例６，７
実施例１の浄化剤の調製における酸化カルシウムを、各々水酸化カルシウム、炭酸カルシウムに替えたほかは実施例１と同様にして浄化剤を調製した。これらの浄化剤を用いて、実施例１と同様にしてＮＦ３の浄化試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００２９】
実施例８，９
実施例１の浄化剤の調製における酸化カルシウムを、各々酸化マグネシウム、酸化ストロンチウムに替えたほかは実施例１と同様にして浄化剤を調製した。これらの浄化剤を用いて、実施例１と同様にしてＮＦ３の浄化試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００３０】
実施例１０
（浄化剤の調製）
市販の酸化第一錫（純度９９％）及び酸化ランタン（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、原子数の比（Ｓｎ：Ｌａ）が、１：０．５となるように混合した。混合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で１０秒間加圧することにより成型して得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを浄化剤とした。
【００３１】
（浄化試験）
前記の浄化剤を、内径２３．９ｍｍ、長さ２００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の浄化筒の内部に、充填長が１００ｍｍとなるように充填した。浄化筒の浄化剤の温度を４００℃に加熱した後、ＮＦ３（流量１３．４６ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１３４６ｍｌ／ｍｉｎ）を浄化筒に導入してＮＦ３を含むガスを浄化した。
この間、１０分毎に浄化筒の排出口から排出される浄化ガスの一部を採取し、ガスクロマトグラフ法（検出下限１０ｐｐｍ）によって分析を行ない、ＮＦ３が検出されるまでの時間を測定して、浄化剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＮＦ３の浄化処理量（Ｌ）（浄化処理能力）を求めるとともに、ＮＯｘの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表１に示す。
【００３２】
実施例１１，１２
実施例１０の浄化剤の調製における酸化第一錫と酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ｓｎ：Ｌａ）が、各々１：０．３、１：０．７５となるように混合したほかは、実施例１０と同様にして浄化剤を調製した。これらの浄化剤を用いて、実施例１０と同様にしてＮＦ３の浄化試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００３３】
実施例１３，１４
実施例１０の浄化試験におけるＮＦ３の濃度を各々０．２％、２．０％に変えたほかは実施例１０と同様にしてＮＦ３の浄化試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００３４】
実施例１５，１６
実施例１０の浄化剤の調製における酸化ランタンを、各々水酸化ランタン、炭酸ランタンに替えたほかは実施例１０と同様にして浄化剤を調製した。これらの浄化剤を用いて、実施例１０と同様にしてＮＦ３の浄化試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００３５】
実施例１７
（浄化剤の調製）
市販の酸化第一錫（純度９９％）、酸化カルシウム（純度９９％）及び酸化ランタン（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、原子数の比（Ｓｎ：Ｃａ：Ｌａ）が、１：０．３：０．２となるように混合した。混合物を内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で１０秒間加圧することにより成型して得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを浄化剤とした。
【００３６】
（浄化試験）
前記の浄化剤を、内径２３．９ｍｍ、長さ２００ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌ製の浄化筒の内部に、充填長が１００ｍｍとなるように充填した。浄化筒の浄化剤の温度を４００℃に加熱した後、ＮＦ３（流量１３．４６ｍｌ／ｍｉｎ）を含有する窒素（合計流量１３４６ｍｌ／ｍｉｎ）を浄化筒に導入してＮＦ３を含むガスを浄化した。
この間、１０分毎に浄化筒の排出口から排出される浄化ガスの一部を採取し、ガスクロマトグラフ法（検出下限１０ｐｐｍ）によって分析を行ない、ＮＦ３が検出されるまでの時間を測定して、浄化剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＮＦ３の浄化処理量（Ｌ）（浄化処理能力）を求めるとともに、ＮＯｘの排出の有無を検知管（（株）ガステック製）により調査した。その結果を表１に示す。
【００３７】
実施例１８
実施例１７の浄化剤の調製における酸化第一錫、酸化カルシウム、酸化ランタンの混合比を、原子数の比（Ｓｎ：Ｃａ：Ｌａ）が、１：０．２：０．３となるように混合したほかは、実施例１７と同様にして浄化剤を調製した。これらの浄化剤を用いて、実施例１７と同様にしてＮＦ３の浄化試験を行なった。その結果を表１に示す。
【００３８】
比較例１
（浄化剤の調製）
市販の酸化第一錫（純度９９％）１０００ｇに、弗化カリウム（ＫＦ、関東化学（株）製、試薬特級）５０ｇを６５ｇの水に溶かした水溶液を加えてかき混ぜた。得られたケーキを押し出し成型機によって直径１．６ｍｍのノズル板より押し出し、得られた成型物を切断して長さ３〜５ｍｍ程度のペレットとし、窒素雰囲気下で１２０℃に加熱しながら約１２時間乾燥することによって浄化剤を調製した。
【００３９】
（浄化試験）
前記の浄化剤を用いたほかは実施例１と同様にしてＮＦ３の浄化試験を行なった。しかし、ＮＦ３が検出される前に浄化筒の圧力損失が大きくなったため浄化試験を中止した。ＮＯｘの排出の有無とともに、浄化試験を中止するまでの時間から、浄化剤１Ｌ（リットル）当たりに対するＮＦ３の浄化処理量（Ｌ）（浄化処理能力）を求めた結果を表１に示す。
【００４０】
比較例２
市販の酸化カルシウム（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で１０秒間加圧した。成型して得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを浄化剤とした。
前記の浄化剤を用いたほかは実施例１と同様にしてＮＦ３の浄化試験を行なった。しかし、浄化試験開始後すぐに数千ｐｐｍのＮＯの排出が確認されたため浄化試験を中止した。
【００４１】
比較例３
市販の酸化ランタン（純度９９％）を１００μｍ以下になるまで粉砕し、内径２０ｍｍ、高さ５ｍｍの型に詰めた後、油圧ジャッキを用いて１５０〜１６０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で１０秒間加圧した。成型して得られた剤を破砕して、さらに篩により３．３６ｍｍの目の開きを通過し２．００ｍｍの目の開きを通過しないものを浄化剤とした。
前記の浄化剤を用いたほかは実施例１と同様にしてＮＦ３の浄化試験を行なった。しかし、浄化試験開始後すぐに数千ｐｐｍのＮＯの排出が確認されたため浄化試験を中止した。
【００４２】
【表１】
2004025025.tif 000003
【００４３】
【発明の効果】
本発明の窒素弗化物を含有するガスの浄化剤により、その保存、取扱い等が容易にできるようになった。また、本発明の窒素弗化物を含有するガスの浄化方法により、浄化中に希釈ガスの種類により熱暴走を引き起こしたり浄化後の後処理で急激な発熱や有害ガスの発生等の危険を起こすことなく、また浄化中に浄化筒内で圧力損失の増加あるいは閉塞を起こすことなく、さらにＮＯｘを排出することなく、効率よく窒素弗化物を含有するガスを浄化できるようになった。