(57)【要約】【課題】ケーブルおよびダクトの通過のために真空ポンプ系の下の空間の一部を自由にし、かつ、疑似床に関して真空ポンプ系を機械的に隔離する真空ポンプ系用中間支持プラットフォームを提供すること。【解決手段】本発明によれば、真空ポンプ系１５、１６は、支持スラブ２１と、支持スラブ２１上に載る柱によって保持される疑似床タイル１００の並置から形成されるクリーンルーム疑似床との間の中間空間に組み込まれる。真空ポンプ系１５、１６の床面積要件より大きく、疑似床タイル１００のサイズに実質的に等しいプラットフォーム１は、支持スラブ２１上に載る脚部１７〜２０によって支持スラブ２１から離れて保持される。したがって、ケーブルおよびダクトの自由な通過のために、真空ポンプ系１５、１６の下の空間の一部は自由になる。同時に、真空ポンプ系１５、１６は、振動の伝達を回避するために疑似床に関して隔離される。【選択図】　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持スラブ（２１）と、前記支持スラブ（２１）上に載る疑似床タイル支持柱（９、１０、１１、１２）によって保持される疑似床タイル（１００）の並置から形成されるクリーンルーム疑似床との間の中間空間に真空ポンプ系（１５、１６）を組み込むための装置であって、
サイズが組み込まれる真空ポンプ系（１５、１６）の床面積要件より大きく、疑似床タイル（１００）のサイズに実質的に等しいプラットフォーム（１）と、
前記プラットフォーム（１）を、前記支持スラブ（２１）と平行に、かつ、それから離れて、かつ、組み込まれる真空ポンプ系（１５、１６）の高さより大きい高さの距離で前記疑似床から離れて保持するための手段を含むことを特徴とする装置。
【請求項２】
前記プラットフォーム（１）は、各々が疑似床タイル支持柱（９〜１２）を挟む挟み具（２ａ）を有し、かつ、前記プラットフォーム（１）を挟む接続部（２ｂ）を有する４つの支持ブロック（２、３、４）によって定位置に持ち上げられることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記接続部（２ｂ）は、上向きに垂直に突き出して前記プラットフォーム（１）の対応する下部筐体に嵌まるシャフト（２ｃ）を含むことを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記プラットフォーム（１）の前記対応する下部筐体は、前記プラットフォーム（１）の下側の面上に固定されたＵ字型部（１３、１４）の中央枝内の穴であることを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記プラットフォーム（１）は、前記４つの支持ブロック（２、３、４）によって定位置に維持されるために、３つの長穴および１つの円形の穴を含むことを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項６】
各支持ブロック（２、３、４）は、前記真空ポンプ系（１５、１６）から前記疑似床（１００）への振動の伝達を防止する、弾力のある減衰中間リンク（２ｄ）を含むことを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項７】
前記プラットフォーム（１）は、前記疑似床タイル（１００）を持ち上げる手段（９、１０、１１、１２）とは独立しており、前記支持スラブ（２１）上に載っている、４つの脚部（１７、１８、１９、２０）によって持ち上げられることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記脚部（１７〜２０）は、前記プラットフォーム（１）の垂直方向位置を適合するための長さ調節手段（１７ａ）を有することを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記プラットフォーム（１）はサイズが約６５０×５６０ｍｍである一方、前記脚部（１７〜２０）は、約４８０ｍｍの辺を備えた正方形に、かつ、長さに関して偏心した位置に配置されることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
前記プラットフォーム（１）は、連続した上部周辺リム（１ｂ）で縁取りされた連続シート（１ａ）を含み、全体が液体保持タンクを構成することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
前記プラットフォーム（１）は、前記プラットフォーム（１）と前記真空ポンプ系（１５、１６）との間に挟み込まれるポリマ製マット（４４）を載せることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
１つまたは２つの真空ポンプ系（１５、１６）を担持する前記プラットフォーム（１）は、前記支持スラブ（２１）の開口部（２１ｃ）の上方に保持されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１３】
１つまたは２つの真空ポンプ系（１５、１６、１１５、１１６）を担持する前記プラットフォーム（１、１０１）は、前記開口部（２１ａ、２１ｂ）の間の前記支持スラブ（２１）の開口部のない領域（２１ｄ）の上方に保持されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１４】
指向性キャスタ（２９〜３２）を有し、組み込まれる真空ポンプ系（１５、１６）の高さより高い高さを有する４つの支持脚（２５〜２８）を備え、ウインチ（３８）を担持する可動架台（３７）が滑動するスライドレール（３５、３６）を備えた２つの横断部材（３３、３４）を備えた可動吊り上げフレーム（２２）を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１５】
前記ウインチはＴ字型連結用構成部品（４３）を担持するケーブル（４２）の上で機能し、前記Ｔ字型連結用構成部品（４３）は、その調整可能中央領域（４３ａ）によって前記ケーブル（４２）の終端に接続され、前記真空ポンプ系（１５、１６）を装着するために、その枝の終端に固定用穴（４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ）を有することを特徴とする請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
疑似床（１００）および支持スラブ（２１）および真空ポンプ系（１５、１６）を備えたクリーンルームを含む半導体製造工場であって、前記真空ポンプ系（１５、１６）は、ケーブルおよびダクトの通過および疑似床（１００）に関して前記真空ポンプ系（１５、１６）を機械的に隔離するために前記真空ポンプ系（１５、１６）の下の空間の一部を自由にする、前記支持スラブ（２１）と前記疑似床（１００）との間の中間空間における中間支持プラットフォーム（１）を備えた請求項１に記載の装置によって支持されることを特徴とする工場。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体構成部品製造工場内の支持スラブとクリーンルーム疑似床との間に位置する中間空間内に、真空ポンプラインの少なくとも一部を組み込むことを可能にする手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体構成部品製造工場のクリーンルームの床は、長さ８０ｃｍ、幅４０ｃｍの穴が一定の間隔で貫通する厚さ９０ｃｍのコンクリート支持スラブ上に載る疑似床で構成されている。この穴は、ダクトおよびケーブルを下部構造へ通過させるために使用されている。
【０００３】
この支持スラブ上には、６０ｃｍ間隔の格子点に、工場によって高さが可変のジャッキ脚部が固定され、それらの上には、アルミニウムで作られた６０ｃｍ×６０ｃｍの穴開き疑似床タイルが載っている。ジャッキ脚部の高さは、工場によって約４３ｃｍと約１２０ｃｍとの間で変えることができる。疑似床タイル上には、半導体構成部品製造設備の各品目が設置されている。疑似床タイルの下方の容積には、疑似床タイルで構成される疑似床上に設置された製造設備の稼働のために必要な様々なダクトおよびケーブルが通っている。
【０００４】
支持スラブと疑似床との間の中間空間に、真空ラインの少なくとも一部、例えば、ポンピングされたガスの処理のための関連装置を恐らく備えた一次ポンプで構成される真空ポンプ系を組み込むという提案は、最近、例えば、国際特許出願ＷＯ　０１／８２０１９号明細書でなされている。
【０００５】
【特許文献１】
国際特許出願ＷＯ　０１／８２０１９号明細書
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、スラブと疑似床との間の空間への真空ポンプ系の組み込みの主な長所を利用することを目的とする。すなわち、
ポンプとクリーンルーム内に設置される真空チャンバとの近さを介した有用なポンピング性能の改善、
真空ポンプが従来より据え付けられている下部構造（ｂａｓｅｍｅｎｔ）の空間の節約、
長く、時々加熱される下部構造（ｂａｓｅｍｅｎｔ）から機械へのポンピングラインの節約である。
【０００７】
しかし、支持スラブと疑似床との間の中間空間における真空ポンプ系の存在はケーブルおよびダクトの通過を妨害し、疑似床に伝達されて疑似床上に設置された設備の稼働を妨害する振動の発生の危険をもたらす。これらの振動は、設備が半導体構成部品の製造のために使用される場合において特に有害である。なぜなら、それらの振動は、処理されている半導体ウエハの汚染源となるからである。
【０００８】
したがって、本発明は、ケーブルおよびダクトの通過のための、支持スラブと疑似床との間の中間空間における真空ポンプ系の空間要件から生じ得る短所を回避すること、および、可能性のある真空ポンプ系の振動に関連した問題を回避することも目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このために、本発明の根本にある思想は、ケーブルおよびダクトの通過のために真空ポンプ系の下の空間の一部を自由にし、かつ、疑似床に関して真空ポンプ系を機械的に隔離する中間支持プラットフォームによって、真空ポンプ系を支持することを含む。
【００１０】
したがって、これらの目的ならびに他の目的を達成するために、本発明は、支持スラブと、支持スラブ上に載る疑似床タイル支持柱によって保持される疑似床タイルの並置から構成されるクリーンルーム疑似床との間の中間空間に真空ポンプ系を組み込むための装置であって、
サイズが組み込まれる真空ポンプ系の床面積要件より大きく、疑似床タイルのサイズに実質的に等しいプラットフォームと、
プラットフォームを、支持スラブと平行に、かつ、それから離れて、かつ、組み込まれる真空ポンプ系の高さより高い高さの距離で疑似床から離れて（ａｔ　ａ　ｄｉｓｔａｎｃｅ）保持するための手段を含む装置を提供する。
【００１１】
真空ポンプ装置が疑似床タイルの下方にこのように支持されるという事実は，クリーンルーム内の空間を節約することを可能にする一方、同時に、プラットフォームの下に自由空間、すなわち、疑似床上に設置される設備の稼働のために必要なダクトおよびケーブルを通過させるために十分な空間を残す。
【００１２】
プラットフォームを支持するために、２つのタイプの支持手段が定義される。
【００１３】
第１の実施形態によれば、プラットフォームは、各々が疑似床タイル支持柱を挟む挟み具を有し、かつ、プラットフォームを挟む接続部を有する４つの支持ブロックによって定位置に持ち上げられる。
【００１４】
例えば、接続部は、垂直に上向きに突き出し、かつ、プラットフォームの対応する下部筐体に嵌まるシャフトを含むことができる。
【００１５】
プラットフォームの対応する下部筐体は、プラットフォームの下側の面上に固定されたＵ字型部の中央枝内に形成される単純な穴であってよい。
【００１６】
好ましくは、プラットフォームは、それが４つの支持ブロックによって定位置に維持されるために、３つの長穴（ｏｂｌｏｎｇ　ｈｏｌｅ）および１つの円形の穴を含む。このようにして、プラットフォームは、疑似床タイル支持柱または他のプラットフォーム支持手段のいかなる位置決めの欠陥にかかわらず、正確に定置することができる。
【００１７】
１つの有利な実施形態によれば、振動の伝達を防止するために、各支持ブロックは、真空ポンプ系から疑似床への振動の伝達を防止する、弾力のある減衰（ｄａｍｐｅｄ）中間リンクを含む。
【００１８】
第２の実施形態によれば、プラットフォームは、疑似床タイルを持ち上げる手段とは独立して支持スラブ上に載る４つの脚部によって持ち上げられる。
【００１９】
この場合、脚部は、好ましくは、プラットフォームの垂直方向位置を適合するための長さ調節手段を有する。
【００２０】
上記の２つの実施形態において、プラットフォームは有利に連続であり、連続した上部周辺リムを有することができ、全体が液体保持タンクを構成する。したがって、プラットフォームは、クリーンルーム内の設備を制御するための警報または指示を発するために流体流を検出することを可能にする湿度検出器に結合することができる。
【００２１】
好ましくは、プラットフォームは、プラットフォームと真空ポンプ系との間に挟み込まれるポリマ製マットを載せており、真空ポンプ系から疑似床への振動の伝達をさらに低減する。
【００２２】
他の態様によれば、本発明の装置は、指向性キャスタを有し、組み込まれる真空ポンプ系の高さより高い高さを有する４つの支持脚を備え、ウインチを担持する可動架台が滑動するスライドレールを備えた２つの横断部材を備えた可動吊り上げフレームも含む。
【００２３】
好ましくは、ウインチはＴ字型連結用構成部品を担持するケーブルの上で機能し、Ｔ字型連結用構成部品は、その調整可能中央領域によってケーブルの終端に接続され、真空ポンプ系を装着するためにその枝の終端に固定穴を有する。
【００２４】
可動吊り上げフレームは、一方で、真空ポンプ装置をそれらのプラットフォーム上に定置することを可能にし、他方で、最善の安全条件下で、スラブと疑似床との間の空間から真空ポンプ装置を取り除くことを可能にする。
【００２５】
別の態様によれば、本発明は、疑似床および支持スラブおよび真空ポンプ系を備えたクリーンルームを含む半導体製造工場であって、ケーブルおよびダクトの通過のため、および、疑似床に関して真空ポンプ系を機械的に隔離するために真空ポンプ系の下の空間の一部を自由にする、支持スラブと疑似床との間の中間空間における中間支持プラットフォームによって、真空ポンプ系が支持される工場を提供する。
【００２６】
本発明の他の目的、特徴、および、利点は、付属の図面と関連して述べられる以下の特定の実施形態の説明から理解される。
【００２７】
【発明の実施の形態】
図１に示す実施形態において、真空ポンプ系を組み込むための本装置は、寸法が組み込まれるポンプ系の床面積要件より大きい長方形のプラットフォーム１を含み、これらの寸法は実質的に疑似床タイル１００の寸法と等しい。プラットフォーム１は、長方形プラットフォーム１の４つのそれぞれの角５、６、７、および、８の周辺に配置される支持ブロック２、３、および、４などの４つの支持ブロックによって定位置に持ち上げられる。
【００２８】
支持ブロック２などの各支持ブロックは、コンクリートの支持スラブ２１上に載る柱９、１０、１１、および、１２などの個々の疑似床タイル支持柱を挟む挟み具２ａを含む。支持ブロック２は、プラットフォーム１を挟む接続部２ｂを含む。
【００２９】
接続部２ｂは、プラットフォーム１の対応する下部筐体に嵌まるために上向きに垂直に突き出すシャフト２ｃを含む。
【００３０】
支持ブロック２は、プラットフォーム１と、対応する疑似床タイル支持柱９との間の振動の伝達を防止する、弾力のある減衰中間リンクも含む。例えば、弾力のある減衰中間リンクは、支持ブロック２の本体とシャフト２ｃとの間に配置されるサイレントブロック（Ｓｉｌｅｎｔｂｌｏｃ）２ｄである。
【００３１】
１つの有利な実施形態によれば、高価ではなく、効果的であるので、プラットフォーム１は、プラットフォーム１の下側の面に固定された２つのＵ字型部１３および１４を含み、これの中央枝は、これが２つの側面枝によって接続されるプラットフォーム１から離れて設置される。したがって、支持ブロック２のシャフト２ｃを受けることを意図された下部筐体は、Ｕ字型部１３の中央枝内に設けられる単純な穴である。
【００３２】
図１に示す実施形態において、プラットフォーム１は、見える３つの支持ブロック２、３、および、４と、図中には見えない第４のブロックとによって定位置に保たれる。このため、プラットフォーム１は、４つのブロックの個々のシャフトを受ける、３つの長円形の穴および１つの円形の穴を含む。
【００３３】
図１において明らかに分かるように、プラットフォーム１は、連続した上部周辺リム１ｂで縁取りされた連続シート１ａを含み、全体が液体保持タンクを構成する。
【００３４】
他の形状も可能ではあるが、本発明によれば、プラットフォーム１は、有利には、隣り合う２つの連続する疑似床タイル支持柱１０および１１の間の距離Ｄよりわずかに小さな幅Ｌ１を持つ長方形を有利に有する一方、その長さＬ２は距離Ｄより大きい。
【００３５】
例えば、プラットフォーム１は約６５０ｍｍ×５６０ｍｍのサイズを有する。
【００３６】
例えば、図２に示す第２の実施形態においては図１のプラットフォームの多くの要素が再び見出されており、これらの要素は同じ参照番号によって示す。したがって、連続した上部周辺リム１ｂおよび垂直な定位置保持用シャフトのための通過用穴を有する２つのＵ字型部１３および１４を備えた長方形プラットフォーム１を再び見出すことができる。
【００３７】
この図は、プラットフォーム１上に横に並んで配置される２つの真空ポンプ系１５および１６も描く。
【００３８】
プラットフォーム１は、疑似床タイル１００を持ち上げる手段とは独立し、支持スラブ２１上に直接載る４つの脚部、それぞれ１７、１８、１９、および、２０によって持ち上げられる。脚部１７〜２０は、支持スラブ２１に関してプラットフォーム１の垂直方向位置を適合するための、例えば、ねじジャッキ１７ａなどの長さ調節手段を有する。各脚部１７〜２０は、プラットフォーム１のＵ字型部１３または１４内に設けられる穴の１つに嵌められる垂直シャフト１７ｂを有する上部端を有する。各脚部１７〜２０は、支持スラブ２１上にネジ止めまたはいかなる手段によっても固定されるプレート１７ｃなどの固定用プレートをその基部に有する。
【００３９】
脚部１７〜２０は、プラットフォーム１よりサイズが小さな正方形に配置される。例えば、サイズが約６５０ｍｍ×５６０ｍｍのプラットフォームの場合、脚部は約４８０ｍｍの辺を持つ正方形、かつ、プラットフォーム１によって構成される長方形に関して偏心した位置に配置される。
【００４０】
４つの脚部１７〜２０によって形成される正方形はプラットフォーム１の幅に関して実質的に中心が合わせられるが、長さに関しては偏心される。
【００４１】
上記２つの実施形態において、プラットフォーム１は、プラットフォーム１と真空ポンプ系１５、１６との間に挟み込まれる（図２）ポリマ製マットを有利に載せる（図１）。
【００４２】
図３および４は、支持スラブ２１に設けられる開口部に関する１つまたは複数のプラットフォームの相対的位置決めを示す。したがって、一般に厚さ９０ｃｍのコンクリートで作られる支持スラブ２１は、支持スラブ２１の上方の上部空間と支持スラブ２１の下方の下部空間との間にダクトおよびケーブルを通過させるために使用される、例えば、長さ８０ｃｍで幅４０ｃｍの開口部２１ａ、２１ｂ、および、２１ｃなどの穴または開口部によって一定の間隔で貫通される。
【００４３】
両図は、真空ポンプ系のための３つの可能な配置を示す。
【００４４】
第１の配置は、脚部１７、１８、１９、および、２０などの脚部によって担持され、支持スラブ２１の開口部２１ｃの上方に直接保持されるプラットフォーム１自身の上に横に並んで支持される真空ポンプ系１５および１６に関して示す。
【００４５】
第２の配列は、開口部２１ａと２１ｂとの間の支持スラブ２１の開口部のない（ｓｏｌｉｄ）領域２１ｄの上方のプラットフォーム１０１によって担持される真空ポンプ装置１１５および１１６に関して示す。
【００４６】
第３の配列は、開口部の上方に配置されるが、前述の真空ポンプ系１５および１６に比較して直角に配向された真空ポンプ装置２１５および２１６に関して示す。
【００４７】
プラットフォーム１の長方形の形状の１つの長所は、真空ポンプ系１５および１６を、開口部２１ａ、２１ｂ、２１ｃの相対的な位置にかかわらず、疑似床タイル１００に向けて、上述の２つの向きに設置するために、プラットフォーム１上のポンプ系１５および１６の水平方向配置の選択にいくらかの自由をもたらすことである。
【００４８】
図５を検討すると、可動吊り上げフレーム２２の斜視図であり、これは、プラットフォーム１上の真空ポンプ系を定置すること、および、満足できる安全条件下でそれらを取り除くことを可能にする。
【００４９】
可動吊り上げフレーム２２は、指向性キャスタ２９、３０、３１、３２を有する４つの支持脚２５、２６、２７、および、２８の上部端を連結する２つの縦方向部材２３および２４を含む。指向性キャスタ２９および３２は旋回に関して（ｐｉｖｏｔ−ｗｉｓｅ）ロックすることができる。指向性キャスタ３０および３１は回転について（ｒｏｔａｔｉｏｎ−ｗｉｓｅ）ロックすることができる。
【００５０】
縦方向部材２３および２４は、ウインチ３８を担持する可動架台３７が滑動するスライドレール（３５、３６）を担持する２つの横断部材３３および３４によって連結される。
【００５１】
可動架台３７は、ラック４１に噛み合うピニオン４０を駆動するハンドル３９の操作によって、連続的に移動させることができる。
【００５２】
ウインチ３８は、真空ポンプ系を装着するための枝の終端に固定用穴４３ｂ、４３ｃ、４３ｄを有するＴ字型連結用構成部品４３に下部終端が固定されるケーブル４２の上で機能する。ケーブル４２は、調整可能中央領域４３ａにおいてＴ字型連結用構成部品４３に接続され、バランスを取ることを可能にする。
【００５３】
可動吊り上げフレーム２２は、クリーンルームの清浄度クラスに適する材料で構築され、いかなる粒子も発生しない。これは跨座する枠を形成し、その寸法は、ポンプ系を定置または取り除くために疑似床タイルを跨ぐことができるように、かつ、クリーンルームに設置される設備の様々な品目間で容易に移動できるように選択される。
【００５４】
ウインチ３８は、完全に安全に真空ポンプ系を引き上げ、下ろすことができ、その際、指向性キャスタ３０および３１は回転についてロックされる。
【００５５】
本発明は明示的に説明された実施形態に限定されず、当業者の能力の範囲内にあるその様々な改変および一般化を含む。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態による組み込み装置を説明する斜視図である。
【図２】２つの真空ポンプ系を支持する、本発明の第２の実施形態による組み込み装置の斜視図である。
【図３】支持スラブ上の真空ポンプユニットの可能な位置を説明する斜視図である。
【図４】疑似床タイル、支持スラブ内の開口部、および、真空ポンプ系を支持するプラットフォームの相対位置を説明する上面図である。
【図５】本発明の１つの実施形態による可動吊り上げフレームの斜視図である。
【符号の説明】
１　プラットフォーム
１ｂ　上部周辺リム
２、３、４　支持ブロック
２ａ　挟み具
２ｂ　接続部
２ｃ　シャフト
２ｄ　中間リンク
９、１０、１１、１２　支持柱
１３、１４　Ｕ字型部
１５、１６　真空ポンプ系
１７ａ　長さ調節手段
１７、１８、１９、２０　脚部
２１　支持スラブ
２２　可動吊り上げフレーム
２３、２４　縦方向部材
２５、２６、２７、２８　指示脚
２９、３０、３１、３２　指向性キャスタ
３３、３４　横断部材
３５、３６　スライドレール
３７　可動架台
３８　ウインチ
３９　ハンドル
４０　ピニオン
４１　ラック
４２　ケーブル
４３　Ｔ字型連結用構成部品
４３ａ　調整可能中央領域
４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ　固定用穴
４４　ポリマ製マット
１００　疑似床タイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【外国語明細書】
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