(57)【要約】【課題】石英バーナーのバーナー本体を構成している複数本の石英管相互の軸芯の傾きや偏心を、簡単な操作で、しかも、効率良く正確に修正することができる調心用治具及び調心方法を提供すること。【解決手段】調心用治具５１上に多重のリング状に装備された各管端位置決め部６１，６２，６３を石英バーナー３１の各石英管４１，４２，４３の先端に押圧する一方で、石英管４１，４２，４３相互の溶接部を加熱により軟化させることで、各石英管４１，４２，４３の軸芯を、各石英管４１，４２，４３を押圧している各管端位置決め部６１，６２，６３の中心に一致させる。【選択図】　　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数本の石英管を同心状に配置した同心状多重管構造のバーナー本体を備えた石英バーナーであって、
前記各石英管の先端の内周は該石英管の管壁の板厚に対して１／３以上の範囲を面取りしたテーパ面が形成されていることを特徴とする石英バーナー。
【請求項２】
石英管の先端に押圧することで前記石英管の先端位置の心出しを行う管端位置決め部を、多重管構造を構成している複数本の石英管相互の間隔に応じた多重構造に一体形成したことを特徴とする石英バーナーの調心用治具。
【請求項３】
前記管端位置決め部として、石英管の先端に当接させた際に、石英管の半径方向の位置ずれを縮小する方向の力を石英管に作用させるテーパ面を備えたことを特徴とする請求項２に記載の石英バーナーの調心用治具。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載の石英バーナーの調心用治具の管端位置決め部をバーナー本体の各石英管の先端に押圧する一方で、前記バーナー本体の石英管相互を接合している溶接部を加熱により軟化させ、各石英管相互の先端の間隔を、前記石英バーナーの調心用治具の管端位置決め部相互の間隔に一致させることを特徴とする石英バーナーの調心方法。
【請求項５】
請求項１に記載の石英バーナー又は請求項４に記載の石英バーナーの調心方法により調心された石英バーナーを用い、反応容器内においてバーナー本体の各石英管相互の隙間からそれぞれ原料ガスを噴出させて火炎の加水分解反応により生じたガラス微粒子を出発ロッドの外周に堆積させて作製することを特徴とする光ファイバー母材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、石英バーナーの多重管構造のバーナー本体を構成している複数本の石英管相互の軸芯の傾きや偏心を修正して、石英管相互間の間隔を所定の間隔に調整する石英バーナーの調心用治具及び調心方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバ用多孔質母材の製造法として、Ｈ２　ガス及びＯ２　ガスを燃焼ガスとし、Ａｒガス又はＮ２　ガスなどの不活性ガスをキャリアガス又はシールガスとし、ＳｉＣｌ４　、ドープ剤としてのＧｅＣｌ４　などの各種の原料ガスをバーナーに供給し、これらの原料ガスによる火炎の加水分解反応により生じたガラス微粒子を、堆積基準点に設置した出発ターゲット材に向けて噴出・堆積させる方法が良く知られている。
【０００３】
ところで、製造時に金属系の不純物が混入した光ファイバ用多孔質母材は、光ファイバ化した際に伝送損失の増大を招く。そこで、製造時に金属系の不純物が混入することを防止するために、素材に石英ガラスを使用した石英バーナーが開発されている。
【０００４】
図８（ａ），（ｂ）は、このような石英バーナーの従来例を示したものである。
この石英バーナー１は、各種の原料ガス用に複数のガス導入路３ａ〜３ｄを備えたバーナー本体３と、前記バーナー本体３の各ガス導入路３ａ〜３ｄに接続される複数個のガス供給用枝管５ａ〜５ｄとを備えている。
【０００５】
ここに、バーナー本体３は、径の異なる複数本の石英管１１〜１４相互を同心状に嵌合配置すると共に、隣接する石英管同士は内側の石英管の外周に外側の石英管の基端部１２ａ，１３ａ，１４ａを溶接することで同心状多重管構造に形成されている。
このバーナー本体３は、最内側の石英管１１の内部空間と、隣接する石英管相互間の隙間とが、それぞれ原料ガスを導くガス導入路３ａ〜３ｄとなっている。
【０００６】
また、各ガス供給用枝管５ａ〜５ｄは、石英ガラス製の管体で、図示せぬガス供給装置からのガス供給用チューブを前述した各ガス導入路３ａ〜３ｄに接続するために、各石英管１１〜１４の基端部１１ａ，１２ａ，１３ａ，１４ａ寄り位置に溶接装備される。
以上の石英バーナー１は、同心状多重管構造をなしたバーナー本体３の先端に、複数種の原料ガスによる火炎を形成する。
【０００７】
なお、従来の石英バーナー１の場合、隣接する石英管相互の溶接部は、図８（ａ）に示すように、外側の石英管の基端部１２ａ，１３ａ，１４ａが徐々に径を縮小した湾曲面状の形態で内側の石英管の外周に繋がる構造に形成している。
【０００８】
なお、火炎の加水分解反応により生じたガラス微粒子を出発ターゲット材に堆積させる際、ガラス微粒子の収率を向上させるためには、各ガス導入路３ａ〜３ｄに流す各種の原料ガスの流量の微調整が不可欠となる。
そして、原料ガスの流量の微調整で火炎の正確な制御を実現するには、前記バーナー本体３が高精度に製造されていること、即ち、ガス導入路３ａ〜３ｄを形成する各石英管１１〜１４相互間に、許容範囲を超える軸芯のずれや傾きが生じていないことが前提となる。
【０００９】
そこで、石英バーナー１を製造した場合には、最終工程で、バーナー本体３における石英管１１〜１４相互間の隙間寸法をチェックし、石英管の軸芯のずれや傾きによって隙間寸法が許容範囲を超えている箇所が発生している場合には、その軸芯のずれや傾きを修正する調心処理を行う。
【００１０】
図９及び図１０は、バーナー本体を構成している石英管相互の軸芯のずれや傾きを修正する従来の調心方法を示したものである。
図９は、バーナー本体を構成している石英管２１，２２相互の先端部２１ａ，２２ａの位置が揃っている石英バーナーの場合を示している。一方、図１０は、バーナー本体を構成している石英管２１，２２相互の先端部２１ａ，２２ａの位置が意図的にずれて設定された石英バーナーの場合を示している。
何れの石英管２１，２２も、先端部２１ａ，２２ａは軸線に直交する平坦面で、通常、管壁の板厚が１．０〜２．５ｍｍ程度の場合、内外周の角部には、０．１〜０．２ｍｍ程度の面取りが施される。
【００１１】
何れの石英バーナーの場合も、従来では、石英管２１，２２間の設計上の隙間寸法に相応した厚さ寸法Ｂを有した隙間チェック治具２４を、石英管２１，２２間の隙間ｓに挿入し、所定の緊密度で隙間チェック治具２４が抜き差しできる場合には、隙間寸法ｓが許容範囲内であると判定する。
そして、それ以外の場合、例えば、隙間ｓが大きくて隙間チェック治具２４の抜き差しが緩過ぎる場合、あるいは隙間ｓが小さくて隙間チェック治具２４が挿入不能の場合は、隙間寸法ｓが許容範囲外であると判定し、石英管２１，２２相互の溶接部を加熱により軟化させることで、これらの石英管２１，２２相互の接合状態を調整可能にし、隙間チェック治具２４の抜き差しが緊密になるように、各石英管２１，２２の軸芯の位置の調整を行う。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の調心方法では、隣接する石英管２１，２２間の隙間ｓが許容範囲内にあるか否かをチェックするのに、隙間ｓの周方向に沿う複数箇所で、隙間チェック治具２４の抜き差しを繰り返さなければならず、更に、図８に示したバーナー本体３のように、石英管相互間の隙間が多重に並ぶ場合には、それぞれの隙間毎に、個別にチェックしなければならず、作業性が悪いという問題があった。
また、一つのバーナー本体上で、石英管相互間の隙間寸法が、多種に及ぶ場合には、予め多種の隙間チェック治具を用意しておいて、隙間毎に専用の隙間チェック治具に交換して調心を行わなければならず、調心作業者への作業負担が大きいという問題もあった。
【００１３】
また、隙間チェック治具２４の抜き差し操作のために隙間チェック治具２４の厚さ寸法Ｂに余裕代を見込んでおかなければならないこと、更には、隙間チェック治具２４の抜き差しの際の判断基準である緊密性等に、作業者の主観が関わること等から、０．５ｍｍ以下の高精度な偏心調整が極めて困難であるという問題もあった。
【００１４】
また、図１０に示したように、隣接する石英管２１，２２の先端部２１ａ，２２ａが段差を有しているような場合には、隙間チェック治具２４の抜き差し時に、隙間チェック治具２４が矢印Ｄ方向に傾くおそれがあり、隙間チェック治具２４が傾いたために隙間ｓの適性度を見誤るおそれがあった。また、隣接する石英管２１，２２の先端部２１ａ，２２ａが段差を有しているような場合には、軸芯の傾き等で先端側の隙間Ｓ１が基準より大きく開いていても、見抜くのが難しいという問題があった。
【００１５】
更に、用途によっては、バーナー本体を構成する複数の石英管相互を、完全な同心状ではなく、意図的に偏心させた配置とすることもあるが、このように、石英管相互の軸芯を偏心させた場合には、従来の隙間チェック治具２４による調心方法では、適切な調心ができないという問題もあった。
【００１６】
本発明は、前述した問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、多重管構造の石英バーナーを構成している複数本の石英管相互の軸芯の傾きや偏心を、簡単な操作で、しかも、効率良く正確に修正することができ、石英管相互間の間隔を所定の間隔に高精度に調整することができる石英バーナー、石英バーナーの調心用治具、並びに、調心方法及び調心された石英バーナーを用いて作製する光ファイバー母材の製造方法を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る石英バーナーは、請求項１に記載したように、複数本の石英管を同心状に配置した同心状多重管構造のバーナー本体を備えた石英バーナーであって、前記各石英管の先端の内周は該石英管の管壁の板厚に対して１／３以上の範囲を面取りしたテーパ面が形成されていることを特徴とする。
上記目的を達成するために、本発明に係る石英バーナーの調心用治具は、請求項２に記載したように、石英管の先端に押圧することで前記石英管の先端位置の心出しを行う管端位置決め部を、多重管構造を構成している複数本の石英管相互の間隔に応じた多重構造に一体形成したことを特徴とする。
【００１８】
なお、好ましくは、請求項３に記載したように、前記石英バーナーの調心用治具では、前記管端位置決め部として、石英管の先端に当接させた際に、石英管の半径方向の位置ずれを縮小する方向の力を石英管に作用させるテーパ面を備えた構成とすると良い。
【００１９】
また、上記目的を達成するために、本発明に係る石英バーナーの調心方法は、請求項４に記載したように、請求項２又は請求項３に記載の石英バーナーの調心用治具の管端位置決め部をバーナー本体の各石英管の先端に押圧する一方で、前記バーナー本体の石英管相互を接合している溶接部を加熱により軟化させ、各石英管相互の先端の間隔を、前記石英バーナーの調心用治具の管端位置決め部相互の間隔に一致させることを特徴とする。
【００２０】
また、上記目的を達成するために、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、請求項５に記載したように、請求項１に記載の石英バーナー又は請求項４に記載の石英バーナーの調心方法により調心された石英バーナーを用い、反応容器内においてバーナー本体の各石英管相互の隙間からそれぞれ原料ガスを噴出させて火炎の加水分解反応により生じたガラス微粒子を出発ロッドの外周に堆積させて作製することを特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る好適な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明に係る石英バーナーの調心用治具及び調心方法で調心を行う石英バーナーを示したものである。
この石英バーナー３１は、各種の原料ガス用に複数のガス導入路３３ａ，３３ｂ，３３ｃを備えたバーナー本体３３と、前述の各ガス導入路３３ａ，３３ｂ，３３ｃに接続される複数個のガス供給用枝管３５ａ，３５ｂ，３５ｃとを備えている。
【００２２】
ここに、バーナー本体３３は、径の異なる３本の石英管４１，４２，４３相互を同心状に嵌合配置すると共に、隣接する石英管同士は相互の軸芯を一致させて内側の石英管の外周に外側の石英管の基端部４２ａ，４３ａを溶接することで同心状多重管構造に形成されている。
このバーナー本体３３は、最内側の石英管４１の内部空間と、隣接する石英管相互間の隙間とが、それぞれ原料ガスを導くガス導入路３３ａ，３３ｂ，３３ｃとなっている。
【００２３】
また、各ガス供給用枝管３５ａ，３５ｂ，３５ｃは、石英ガラス製の管体で、図示せぬガス供給装置からのガス供給用チューブを前述した各ガス導入路３３ａ，３３ｂ，３３ｃに接続するために、各石英管４１，４２，４３の基端部４１ａ，４２ａ，４３ａ寄り位置に溶接装備される。
以上の石英バーナー３１は、同心状多重管構造をなしたバーナー本体３３の先端に、複数種の原料ガスによる火炎を形成する。
【００２４】
以上の各石英管４１，４２，４３の先端の内周は、図２に示すように、管壁の板厚ｔの約８０％の範囲を面取りしたテーパ面４１ｂ，４２ｂ，４３ｂが形成されている。
【００２５】
図２は、本発明に係る石英バーナーの調心用治具及び調心方法の第１の実施の形態を示したものである。
この第１の実施の形態の石英バーナーの調心用治具５１は、石英管の先端に押圧することで石英管の先端位置の心出しを行う３個のリング状の管端位置決め部６１，６２，６３を、前記バーナー本体３３を構成している３本の石英管４１，４２，４３相互の間隔に応じた多重構造に金属材料等により一体形成したものである。
金属材料等としては、Ｎｉ、ハステロイ、テフロン（登録商標）を挙げることができる。
【００２６】
本実施の形態の場合、各管端位置決め部６１，６２，６３は、前述の各石英管４１，４２，４３と同一径の筒体５３，５４，５５の先端を面取りしたテーパ面である。これらの各管端位置決め部６１，６２，６３のテーパは、筒体５３，５４，５５の先端外周を面取りすることによって、石英管４１，４２，４３の先端のテーパ面４１ｂ，４２ｂ，４３ｂに密着する傾斜に仕上げられている。
【００２７】
以上の各管端位置決め部６１，６２，６３としてのテーパ面は、図３に示すように、石英管４１，４２，４３の先端のテーパ面４１ｂ，４２ｂ，４３ｂに所定の押圧力Ｐで当接させた際に、当接させた石英管４１，４２，４３の半径方向の位置ずれδを縮小する方向の力Ｆを石英管４１，４２，４３に作用させる。
【００２８】
次に、前記調心用治具５１を用いて石英バーナー３１の各石英管４１，４２，４３の軸芯の傾きや偏心を修正する調心方法について説明する。
本実施の形態の調心方法は、前記調心用治具５１の各管端位置決め部６１，６２，６３を石英バーナー３１の各石英管４１，４２，４３の先端に押圧する一方で、前記バーナー本体３３の石英管４１，４２，４３相互を接合している溶接部を加熱により軟化させて、図３に示した半径方向の力Ｆによって、各石英管４１，４２，４３相互の先端の間隔を、調心用治具５１の管端位置決め部６１，６２，６３相互の間隔に一致させるものである。
【００２９】
以上に説明した第１の実施の形態の調心用治具５１及び調心方法においては、石英バーナー３１の各石英管４１，４２，４３の先端部の心出しは、調心用治具５１の管端位置決め部６１，６２，６３を前記石英管４１，４２，４３の先端部に押圧することによって行い、石英管４１，４２，４３相互間の隙間への抜き差しが必要ないため、調心用治具５１に抜き差し操作のための余裕代を見込む必要が無く、管端位置決め部６１，６２，６３を高精度に形成しておくことで、０．５ｍｍ以下の高精度な偏心調整も可能になる。
【００３０】
また、調心用治具５１の管端位置決め部６１，６２，６３は、リング状で、心出しする石英管４１，４２，４３の先端部の全周を同時に捕捉可能なため、１回の押圧操作で、速やかに石英管４１，４２，４３の偏心調整等を行うことができ、同様の操作の繰り返しによる作業性の低下を防止することができる。
更に、本実施の形態の調心用治具５１は、管端位置決め部６１，６２，６３を、バーナー本体３３の石英管４１，４２，４３の数量に応じた多重構造に装備しているため、例えば各ガス導入路３３ａ，３３ｂ，３３ｃ毎に隙間寸法が異なる場合でも、バーナー本体３３の全石英管４１，４２，４３を一括して、一回の押圧操作で偏心調整することができる。
従って、バーナー本体３３の複数本の石英管４１，４２，４３相互の軸芯の傾きや偏心を、一回の押圧操作で一括して効率良く正確に修正することができ、石英管４１，４２，４３相互間の間隔を設計した通りの所定の間隔に高精度に調整することができる。
【００３１】
また、本実施の形態の調心用治具５１では、管端位置決め部６１，６２，６３としてテーパ面を備える一方で、この管端位置決め部６１，６２，６３に当接する石英バーナー３１の各石英管４１，４２，４３の先端には、管壁の板厚ｔに対して約８０％の範囲を管端位置決め部６１，６２，６３と同じ傾斜のテーパ面としている。
そのため、管端位置決め部６１，６２，６３と石英管４１，４２，４３の先端部との接触面積を大きく確保することができ、管端位置決め部６１，６２，６３による押圧時に、調心方向の付勢力を安定確保することができ、調心用治具５１における調心性能の向上を図ることができる。
【００３２】
なお、上記の実施の形態では、バーナー本体３３の各石英管４１，４２，４３の先端には、管壁の板厚ｔに対して約８０％の範囲となるテーパ面を形成したが、テーパ面を形成する範囲は、石英管の板厚ｔに対して１／３以上の範囲とすれば、管端位置決め部に対してほぼ十分な接触面積を確保することができ、第１の実施の形態と同等の作用効果が得られると推測される。
【００３３】
図４は、本発明に係る石英バーナーの調心用治具及び調心方法の第２の実施の形態を示したものである。
この第２の実施の形態で扱う石英バーナー７１は、バーナー本体７２の多重管構造を構成する石英管４１，４２相互の先端が、位置をずらして、段差Ｌを付けた形態になっている。
そこで、第２の実施の形態の調心用治具７５は、石英管４１，４２の先端の段差に応じて、石英管４１，４２の先端に当接する管端位置決め部７６，７７が先端部に形成される筒体５３，５４の長さに差を付けている。
【００３４】
管端位置決め部７６，７７及び、石英管４１，４２の先端が、同じ傾斜角のテーパ面に形成されている点は、第１の実施の形態と同様である。
【００３５】
このように、本発明に係る石英バーナーの調心用治具及び調心方法は、石英バーナー７１のバーナー本体７２を構成する石英管４１，４２の先端部が、段差を有するような場合でも、有用である。
【００３６】
なお、本発明に係る調心用治具の管端位置決め部の具体的な形態は、上記実施の形態で示した大きな単一のテーパ面に限るものではなく、加工性等を考慮して、適宜に改善、改良することが可能である。
例えば、図５に示すように、バーナー本体を構成している石英管８１，８２の先端面が、軸線に直交する平坦面で、更に、先端面の内外周の両角に面取り８３を施した形態の場合に、調心用治具８５の管端位置決め部８６，８７は、前記石英管８１，８２の先端が導入されるリング状の浅い溝に形成し、各溝の両側面の面取り８３が接触するテーパ面８９を装備した構成としても良い。
【００３７】
また、図５に示した調心用治具８５では、隣接する管端位置決め部８６，８７間の隆起部９１の断面形状を、先端が尖った形状にしているが、図６に示すように、隆起部９１の先端を滑らかな半円状にしても良い。
【００３８】
また、本発明の石英バーナーの調心用治具は、調心するバーナー本体の石英管の数量に相応して管端位置決め部を多重に一体形成することを特徴としており、バーナー本体の石英管の数量の多少に関係なく、多種の石英バーナーに応用可能である。
【００３９】
また、上記の実施の形態では、調心用治具は金属材料製としたが、機械的な強度や仕上げの寸法精度等の条件を満たすなら、他の材料製とすることも可能である。
【００４０】
また、本発明の調心方法では、調心用治具上の各管端位置決め部が、それぞれ個別に対応する石英管の心出しを行うため、バーナー本体上の各石英管相互が意図的に芯をずらして偏心配置されているような場合でも、良好に各石英管を所定位置に心出しすることができる。
従って、調心するバーナー本体を構成する石英管の配置は、上記の各実施の形態に示した同心状の多重管構造に限らない。バーナー本体を構成する一部の石英管同士が、互いに、意図的に軸芯を偏心させた配置となるような場合でも、石英管相互間の間隔を設計上の意図通りの所定の間隔に高精度に調整することができる。
【００４１】
図７は、上記した何れかの方法によって予め調心された石英バーナーを用いて製作する光ファイバー母材の製造方法に適用される装置の概略図である。
この装置は、光ファイバ母材を所謂、ＯＶＤ法（外付法）、ＶＡＤ法（気相軸付法）によって製作することができるもので、ＯＶＤ法の例として、反応容器１００内に、コア又はコア及びクラッドを有するガラスロッド１０２両端にダミーロッド１０３を接続してなる出発ロッド１０５が回転及び上下方向に可動自在に設けられている。該出発ロッド１０５を回転させつつ上下方向に往復運動させながら、予め調心した石英バーナー３１にＨ２等の燃料ガス及びＯ２等の助燃性ガスを導入して形成される火炎中にガラス原料となるＳｉＣｌ４やＧｅＣｌ４　及び不活性ガス等を流し、火炎中での加水分解反応や酸化反応によりＳｉＯ２やＧｅＯ２等のガラス微粒子を生成し、生成したガラス微粒子を、回転する出発ロッドに対して径方向に堆積させ、該出発ロッド外周にガラス微粒子堆積体１０７を形成する。形成したガラス微粒子堆積体は高温加熱により透明ガラス化し、光ファイバ母材として作製される。このガラス母材を線引きして光ファイバが形成される。
【００４２】
このように石英管相互の間隔を高精度に調心したバーナーを用いることにより、光ファイバ母材から形成される光ファイバも設計通りの特性のものを得ることができる。
【００４３】
【発明の効果】
以上に説明したように、石英管の先端部の心出しは、調心用治具の管端位置決め部を石英管の先端部に押圧することによって行い、従来技術として述べたような石英管相互間の隙間への抜き差しが必要ないため、調心用治具に抜き差し操作のための余裕代を見込む必要が無く、管端位置決め部を高精度に形成しておくことで、０．５ｍｍ以下の高精度な偏心調整も可能になる。
また、調心用治具の管端位置決め部は、リング状で、心出しする石英管の先端部の全周を同時に捕捉可能なため、１回の押圧操作で、速やかに石英管の偏心調整等を行うことができ、同様の操作の繰り返しによる作業性の低下を防止することができる。
更に、本発明の調心用治具は、管端位置決め部を、バーナー本体の石英管の数量に応じた多重構造に装備しているため、バーナー本体の全石英管を一括して、一回の押圧操作で偏心調整することができる。
また、調心用治具上の各管端位置決め部が、それぞれ個別に対応する石英管の心出しを行うため、バーナー本体上の各石英管相互が意図的に芯をずらして偏心配置されているような場合でも、良好に各石英管を所定位置に心出しすることができる。
従って、複数本の石英管相互が意図的に軸芯を偏心させた配置されている場合も含めて、バーナー本体の複数本の石英管相互の軸芯の傾きや偏心を、一回の押圧操作で一括して効率良く正確に修正することができ、石英管相互間の間隔を設計した通りの所定の間隔に高精度に調整することができる。
【００４４】
また、調心用治具を、管端位置決め部としてテーパ面を備えた構成とした場合には、この管端位置決め部に当接する石英バーナーの各石英管の先端には、管壁の板厚ｔに対して、例えば、板厚ｔの１／３以上の範囲を管端位置決め部と同じ傾斜のテーパ面としておくことで、管端位置決め部と石英管の先端部との接触面積を大きく確保することができ、管端位置決め部による押圧時に、調心方向の付勢力を安定確保することができ、調心用治具における調心性能の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る石英バーナーの調心用治具及び調心方法で調心を行う石英バーナーの斜視図である。
【図２】本発明に係る石英バーナーの調心用治具及び調心方法の第１の実施形態の要部の縦断面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の石英バーナーの調心用治具及び調心方法による作用説明図である。
【図４】本発明に係る石英バーナーの調心用治具の第２の実施形態の要部の縦断面図である。
【図５】本発明に係る石英バーナーの調心用治具の第３の実施形態の要部の縦断面図である。
【図６】本発明に係る石英バーナーの調心用治具の第４の実施形態の要部の縦断面図である。
【図７】本発明に係る石英バーナーを用いて作製する光ファイバ母材の製造方法に適用される装置の概略図である。
【図８】石英バーナーの構造説明図で、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ矢視図である。
【図９】石英管の先端を揃えた石英バーナーに対する従来の調心方法の説明図である。
【図１０】石英管の先端を段違いにした石英バーナーに対する従来の調心方法の説明図である。
【符号の説明】
３１　石英バーナー
３３　バーナー本体
３３ａ，３３ｂ，３３ｃ　ガス導入路
４１，４２，４３　石英管
４１ｂ，４２ｂ，４３ｂ　テーパ面
５１　調心用治具
５３，５４，５５　筒体
６１，６２，６３　管端位置決め部
７１　石英バーナー
７２　バーナー本体
７５，８５　調心用治具
７６，７７　管端位置決め部
８３　面取り
８５　調心用治具
８９　テーパ面
９１　隆起部
１００　反応容器
１０２　ガラスロッド
１０３　ダミーロッド
１０５　出発ロッド
１０７　ガラス微粒子堆積体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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