(57)【要約】【課題】電子機器の内部を流れる電流から電磁波の放射要因となる箇所を特定する。【解決手段】被測定対象である電子機器近傍の磁界分布または電界分布から導かれた電流分布、電圧分布、電力分布またはインピーダンス分布のうち少なくとも一つを、前記電子機器の画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図の画面に、重畳または複数画面に表示し、同一座標を示すポインタを設ける，また上記電流分布、電圧分布、消費電力分布、インピーダンス分布等の周波数特性，時間特性，層または平面別分布表示の方法により、従来よりも格段に分解能が高く，被測定対象の測定箇所が多い場合、測定した磁界分布が複雑な場合等においても、電磁界を発生する配線、部品等を特定することを可能とする電子機器表示装置を提供する。【選択図】　図２
2004020403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子機器近傍の磁界分布から導かれる電流分布、電圧分布、電力分布、インピーダンス分布のうち少なくとも一つを表示する電子機器表示装置であって，前記電子機器の画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図の画面に，前記導かれた電流分布を重畳表示することを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項２】
請求項１記載の電子機器表示装置であって、前記重畳表示するにあたり、前記被測定対象を白黒もしくはそのトーン表示することを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項３】
電子機器近傍の磁界分布を表示する電子機器表示装置であって、前記磁界分布と、前記電子機器の画面、ＣＡＤデータ、レイアウトデータまたは回路図を、複数の画面で表示することを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項４】
請求項３記載の電子機器表示装置であって、前記磁界分布を表示する画面と、前記電子機器の画像、ＣＡＤデータ、レイアウトデータまたは回路図を表示する画面に、同一の座標を指示するポインタを表示することを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項５】
請求項３記載の電子機器表示装置であって、前記磁界分布から電流分布、電圧分布、電力分布、インピーダンス分布のうち少なくとも一つを導き、表示することを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項６】
請求項５記載の電子機器表示装置であって、前記導かれた分布を表示する画面と、前記電子機器の画像、ＣＡＤデータ、レイアウトデータまたは回路図を表示する画面に、同一の座標を指示するポインタを表示することを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項７】
電子機器近傍の磁界分布を表示する電子機器表示装置であって、前記電子機器の層毎に前記磁界分布を分離表示することを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項８】
請求項７記載の電子機器表示装置であって、前記磁界分布から層毎に電流分布、電圧分布、電力分布、インピーダンス分布のうち少なくとも一つを導き、表示することを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項９】
電子機器近傍の電界分布から導かれる電流分布、電圧分布、電力分布、インピーダンス分布のうち少なくとも一つを表示する電子機器表示装置であって，前記電子機器の画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図の画面に，前記導かれた分布を重畳表示することを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項１０】
電子機器近傍の電界分布を表示する電子機器表示装置であって、前記電界分布と、前記電子機器の画面、ＣＡＤデータ、レイアウトデータまたは回路図を、複数の画面で表示することを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項１１】
電子機器近傍の電界分布を表示する電子機器表示装置であって、前記電子機器の層毎に前記電界分布を分離表示することを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項１２】
請求項１から１１のうちいずれか一つに記載の電子機器表示装置であって、前記表示する分布が、周波数変化に応じた表示となることを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項１３】
請求項１から１１のうちいずれか一つに記載の電子機器表示装置であって、前記表示する分布が、時間変化に応じた表示となることを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項１４】
請求項１から１１のうちいずれか一つに記載の電子機器表示装置であって、前記表示する分布が、前記電子機器の断面毎に移り変わる表示となることを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項１５】
電子機器近傍の磁界分布を表示する電子機器表示装置であって、前記磁界分布が、時間変化に応じた表示となることを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項１６】
電子機器近傍の電界分布を表示する電子機器表示装置であって、前記電界分布が、時間変化に応じた表示となることを特徴とする電子機器表示装置。
【請求項１７】
電子機器の磁界分布を測定する第一の工程と、前記測定分布から電磁波ノイズ発生源を特定する第二の工程と、前記電磁波ノイズ発生源の特定に基づき電子機器を改善する第三の工程とを有する電子機器の製造方法であって、前記工程のうち少なくとも一つの工程では、前記磁界分布から導かれる電流分布、電圧分布、電力分布、インピーダンス分布のうち少なくとも一つを利用することを特徴とする電子機器の製造方法。
【請求項１８】
電子機器の電界分布を測定する第一の工程と、前記測定分布から電磁波ノイズ発生源を特定する第二の工程と、前記電磁波ノイズ発生源の特定に基づき電子機器を改善する第三の工程とを有する電子機器の製造方法であって、前記工程のうち少なくとも一つの工程では、前記電界分布から導かれる電流分布、電圧分布、電力分布、インピーダンス分布のうち少なくとも一つを利用することを特徴とする電子機器の製造方法。
【請求項１９】
配線が形成された基板と、前記基板の上に実装された電子部品を有する電子機器であって、前記電子機器の配線は、前記電子機器の磁界分布から導かれる電流分布、電圧分布、電力分布、インピーダンス分布のうち少なくとも一つを利用することにより特定された不要輻射の発生源の情報を用いて設計された配線であることを特徴とする電子機器。
【請求項２０】
配線が形成された基板と、前記基板の上に実装された電子部品を有する電子機器であって、前記電子機器の配線は、前記電子機器の電界分布から導かれる電流分布、電圧分布、電力分布、インピーダンス分布のうち少なくとも一つを利用することにより特定された不要輻射の発生源の情報を用いて設計された配線であることを特徴とする電子機器。
【請求項２１】
請求項１９または２０記載の電子機器であって、前記電子機器の配線は、前記導かれた分布を前記電子機器の画像、ＣＡＤデータ、レイアウトデータまたは回路図の画面に重畳表示することにより特定された不要輻射の発生源の情報を用いて設計された配線であることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子機器から放射される電磁波ノイズの発生源を特定し、表示する電子機器表示装置、前記電磁波ノイズの低減を図る電子機器、およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来は，半導体や回路基板、及びそれらを用いた電子機器の近傍磁界分布を測定し，この磁界分布を表示するか、またはその電子機器の画像に投影した。
【０００３】
例えば、特開２０００−１９２０４においては、アンテナ・プローブにて被測定対象である回路基板の磁界分布を測定し、この結果（磁界分布等高線図５０３）を図５に示すように回路基板画像５０２の上に重畳表示５０１していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし，この方法では，発生要因である電流そのものではなく、電流の流れる配線からある高さｚ＝ｈにおける磁界を測定し，表示しているため，得られる磁界分布には広がりがあり、従って電磁波ノイズの発生源を配線や部品単位で特定することができないという問題がある。そのため、電磁波ノイズの低減を図る電子機器の製造方法においては、配線や部品単位で電磁波ノイズ発生源を特定する別工程が必要となる。
【０００５】
また、被測定対象の測定箇所が多い場合、測定した磁界分布が複雑な場合または３次元的に被測定対象を確認したい場合において、重畳表示では視認性が悪いという問題もある。
【０００６】
そこで本発明では、電子機器内部において電磁波ノイズの発生源を配線、部品単位で特定することができる電子機器表示装置を提供することを目的とする。
【０００７】
また、本発明の他の目的は、電磁波ノイズの低減を図った電子機器、及び電磁波ノイズを発生する電子機器の改善工程の高速化、簡易化を可能にする電子機器の製造方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記目的の少なくとも一つを解決する為に、本願において開示される発明のうち代表的なものを簡単に説明すれば次の通りである。
（１）電子機器近傍の磁界分布から電流分布を導き、表示する電子機器表示装置であって、前記電子機器の前記電流分布を層毎に分離表示するとことを特徴とする電子機器表示装置。
（２）電子機器の磁界分布を測定する第一の工程と、前記測定分布から電磁波ノイズ発生源を特定する第二の工程と、前記電磁波ノイズ発生源の特定に基づき電子機器を改善する第三の工程とを有する電子機器の製造方法であって、
前記工程のうち少なくとも一つの工程では、前記磁界分布から電流分布、電圧分布、電力分布、インピーダンス分布のうち少なくとも一つを導き、前記導かれた分布を前記電子機器の画像、ＣＡＤデータ、レイアウトデータまたは回路図の画面に重畳表示する工程を有することを特徴とする電子機器の製造方法。
（３）電磁波ノイズの低減を図った電子機器であって、前記電磁波ノイズの発生源を特定する工程では、電子機器近傍の磁界分布から電流分布、電圧分布、電力分布、インピーダンス分布のうち少なくとも一つを導き、前記導かれた分布を前記電子機器の画像、ＣＡＤデータ、レイアウトデータまたは回路図の画面に重畳表示することを特徴とする電子機器。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態について図を併用しつつ具体的に説明する。
図１に示す測定系の様に，アンテナ・プローブ１０１を走査系ステージ１０２に取り付け，台座１０３の上に半導体や回路基板等を含む電子機器を搭載し，これら被測定対象近傍にアンテナ・プローブ１０１を走査系ステージ１０２で移動させ，被測定対象の動作時における近傍磁界分布または近傍電界分布を，計測器１０５で測定し，その測定データ５０３を表示装置付き計算機１０４で読み込む。この表示装置付き計算機１０４には，測定対象の画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図のデータを格納しておく。または走査系ステージ１０２にカメラを搭載し，そのカメラから撮影した画像を取り込んでも良い。
【００１０】
なお、本発明でいう近傍とは、被測定対象上（０ｃｍ）より遠く、測定する周波数の上限（ｆｍａｘ）より定まる波長（λ＝ｃ／ｆｍａｘ）までの距離範囲を指す。
例えば、測定周波数帯域が３０ＭＨｚ〜１ＧＨｚならば、上限が１ＧＨｚであり、
λ＝３Ｅ８／１Ｅ９＝３０ｃｍとなり、
測定する周波数が単一周波数で３０ＭＨｚならば、ｆｍａｘ＝３０ＭＨｚであり、
λ＝３０Ｅ６／１Ｅ９＝１０ｃｍとなる。
【００１１】
上記測定データ５０３から，　表示装置付き計算機１０４内部で
Ｈ（ｘｈ，ｙｈ，ｚｈ）＝ｆ｛ｉ（ｘｉ，ｙｉ，ｚｉ）｝　｜　ｒ＝√｛（ｘｈ−ｘｉ）＾２＋（ｙｈ−ｙｉ）＾２＋（ｚｈ−ｚｉ）＾２｝
の関係が正確にまたは近似的に成り立つ電流分布Ｉ（ｘｉ，ｙｉ）：２０３を算出し，図６に示す回路基板上に電流分布を重畳表示することで，電磁波を発生する要因となる電流経路が配線，部品単位で認識できる。同様に半導体では，図２に示す様に，その画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図のデータ２０２に対して，上記と同様にして算出した電流分布２０３を重畳表示２０１する事で，電流経路がわかる。さらに，電子機器筐体では，図１２に示す様に，その画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図のデータ１１０２に対して，同様にして算出された電流分布２０３を重畳表示１２０１する事で，電流経路または筐体表面上電流分布がわかる。同じく電子筐体に対し、電磁界分布５０３を重畳表示１１０１している図１１と比較すると、その効果は明らかである。
【００１２】
ここで，重畳表示では，被測定対象の画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図に，探査結果を重ねるため，見難くなるおそれがある。そのため，被測定対象の画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図を白黒またはそのトーン表示で表示し，電流分布を強度毎に色分けすることが考えられる。
【００１３】
次に，被測定対象の測定箇所が多い場合または探査した電流分布が複雑な場合においては、重畳表示では認識し難いという問題がある。
そこで，図８に示すように，被測定対象の画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図５０２と探査した結果の電流分布２０３を，複数の画面に表示することが考えられる。図８は回路基板の例であるが，これは，図３に示すＬＳＩの場合や図１４に示す筐体の場合でも同様のことが可能である。なお、この複数画面表示において、表示する分布は電流分布に限るものではなく、図７や図１３に示すように電磁界分布であっても同様の効果が得られることは言うまでもない。
【００１４】
ここで，被測定対象の画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図２０２，５０２と探査した結果の電流分布２０３が別画面であるため，電流の位置と被測定対象の画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図上の位置とが一致して認識できない問題が生じる。これに対しては，同座標表示ポインタ３０２を設け，被測定対象の画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図上の座標と探査した結果の電流分布上の座標とが同じ位置を示すようにすることで解消できる。このように、複数画面表示することで、複数の分布を視認性に優れた形で同時に見ることができ、より利用性の高いものを提供できる。
【００１５】
なお、上記複数の画面を構成するには、図２０に示すように一つの画面装置上に複数の画面を有する形態でも、図２１に示すように複数の画面装置を用いる形態でもよい。また、複数の画面に表示される対象は、被測定対象の画像、ＣＡＤデータ、レイアウトデータまたは回路図、測定および探査された分布のうちどの組合せでもよく、図２２のように、改善前後の電流分布どうしを表示してもよい。
【００１６】
上記同座標ポインタの表示方法では，立体構造の筐体等では平面に投影した位置は認識出来るが，３次元的に被測定対象を確認したい場合には困難が生じる。そこで，図１０に示すように，被測定対象の画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図５０２を表示する平面と，測定した結果の電流分布２０３を表示する平面とを分離（例えば平行移動）して表示することが考えられる。
図１０は回路基板の例であるが，これは，図４に示すＬＳＩの場合，および図１６に示す筐体の場合でも同様のことが可能である。なお、この平面分離表示において、表示する分布は電流分布に限るものではなく、図９や図１５に示すように電磁界分布であっても同様の効果が得られることは言うまでもない。
【００１７】
以上は被測定対象近傍の磁界分布を測定し，この磁界分布から電流を求めた場合の表示方法を主として記載したが，被測定対象近傍の電界分布を測定し，この電界分布から次式
Ｅ（ｘｈ，ｙｈ，ｚｈ）＝ｇ｛Ｖ（ｘｉ，ｙｉ，ｚｉ）｝　｜　ｒ＝√｛（ｘｈ−ｘｉ）＾２＋（ｙｈ−ｙｉ）＾２＋（ｚｈ−ｚｉ）＾２｝
により電圧分布を求めた場合，同様の表示方法が考えられる。
【００１８】
さらに，被測定対象近傍の磁界分布および電界分布から被測定対象上の電流分布および電圧分布の両方を計算により求めることも出来る。
【００１９】
さらに，電流分布と電圧分布の両方を求めた場合，
Ｐ（ｘ，ｙ，ｚ）＝ｉ（ｘ，ｙ，ｚ）×Ｖ（ｘ，ｙ，ｚ）
ｚ（ｘ，ｙ，ｚ）＝Ｖ（ｘ，ｙ，ｚ）／ｉ（ｘ，ｙ，ｚ）
の式より，被測定対象上の電力分布，インピーダンス分布を求めることが可能であり，上記表示方法に適用することが可能である。
【００２０】
さらに測定する被測定対象近傍磁界を周波数特性として測定し，各周波数に対する電流分布を算出することで，図１７に示すように表示する分布を周波数特性の表示とすることが可能である。この図１７は，終端が解放端であるマイクロストリップライン１７０１上に複数の周波数成分を含む電流が流れた場合の結果であり，周波数毎の電流分布波形１７０４は導体１７０３上に分布しており，この周波数毎の表示例１７０２である。
【００２１】
また，測定する被測定対象近傍磁界を時間特性として測定し，電流分布の時間特性を算出し，これをフーリエ変換により周波数特性に変換することで，図１７に示すように表示する分布を周波数特性の表示とすることが可能である。
上記周波数特性を表示する方法についても，測定する対象を近傍磁界分布または近傍電界分布とし，電流，電圧，電力またはインピーダンス分布を算出することで，電流，電圧，電力またはインピーダンス分布の，各々の周波数特性の表示が可能となる。
【００２２】
さらに測定する被測定対象近傍磁界を時間特性として測定し，電流分布の時間特性１７０４を算出することで，図１８に示すように表示する分布を時間特性の表示とすることが可能である。この図１８は，終端が解放端であるマイクロストリップライン１７０１とそのマイクロストリップライン１７０１上を電流が流れ始めた場合の時間特性表示１８０１であり，導体１７０３上に時間毎の電流分布波形１７０４は分布している。このように、時間特性表示においては、電磁ノイズ発生源を配線、部品単位で特定できるだけでなく、電磁ノイズ発生の原因の一つである不連続点をも特定し、改善することができる。
【００２３】
上記時間に応じた表示の方法についても，測定する対象を近傍磁界分布または近傍電界分布とし，電流，電圧，電力またはインピーダンス分布を算出することで，電流，電圧，電力またはインピーダンス分布の，各々の時間特性の表示が可能となる。
【００２４】
また図１９の例は，マイクロストリップライン１７０１に対して近傍磁界分布から電流分布を層毎に求めた結果であり，最上層の導体部１７０４には供給した電流分布１７０３が流れ，中間層の誘電体部分には電流が存在せず，最下層のグランドプレーン１９０２には，リターン電流１９０３が流れていることがわかる。
【００２５】
この様に，上記被測定対象の近傍磁界分布または近傍電界分布を測定し，このデータから，電流分布，電圧分布，電力分布またはインピーダンス分布のうち少なくとも一つを算出し，その周波数特性または時間特性を表示する装置において，位置を２次元平面の多層構造として，３次元的に求め，この各平面に対する分布，周波数特性または時間特性を層毎に表示することが可能となる。
【００２６】
なお、上述した重畳表示、複数画面表示、平面分離表示、層毎・平面毎・構造毎に表示、周波数変化に応じた表示または時間変化に応じた表示等は併用することでさらに視認性、利用性に優れた電子機器表示装置を提供できる。
【００２７】
また、上記分布、上記表示を利用することにより、電磁波ノイズの低減を図った電子機器、及び電磁波ノイズを発生する電子機器の改善工程の高速化、簡易化を可能にする電子機器の製造方法を提供できる。
【００２８】
以上、本発明によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００２９】
また、上記実施例において開示した観点の代表的なものは次の通りである。
（１）電子機器近傍の磁界分布から電流分布を導き、表示する電子機器表示装置であって，前記電子機器の画像，ＣＡＤデータ，レイアウトデータまたは回路図の画面に，前記導かれた電流分布を重畳表示することを特徴とする電子機器表示装置。
（２）上記（１）記載の電子機器表示装置であって、前記重畳表示するにあたり、前記被測定対象を白黒もしくはそのトーン表示することを特徴とする電子機器表示装置。
（３）電子機器近傍の磁界分布を測定し、表示する電子機器表示装置であって、前記磁界分布と、前記電子機器の画面、ＣＡＤデータ、レイアウトデータまたは回路図とを、複数の画面で表示することを特徴とする電子機器表示装置。
（４）上記（３）記載の電子機器表示装置であって、前記磁界分布を表示する画面と、前記電子機器の画像、ＣＡＤデータ、レイアウトデータまたは回路図を表示する画面に、同一の座標を指示するポインタを表示することを特徴とする電子機器表示装置。
（５）上記（３）記載の電子機器表示装置であって、前記磁界分布から電流分布を導き、表示することを特徴とする電子機器表示装置。
（６）上記（５）記載の電子機器表示装置であって、前記電流分布を表示する画面と、前記電子機器の画像、ＣＡＤデータ、レイアウトデータまたは回路図を表示する画面に、同一の座標を指示するポインタを表示することを特徴とする電子機器表示装置。
（７）電子機器近傍の磁界分布を測定し、表示する装置であって、前記電子機器の層毎に前記磁界分布を分離表示することを特徴とする電子機器表示装置。
（８）上記（７）記載の電子機器表示装置であって、前記磁界分布から層毎に電流分布を導き、表示することを特徴とする電子機器測定表示装置。
（９）上記（１）、（５）、（８）のうちいずれか一つに記載の電子機器表示装置であって、磁界分布から導き出す対象が電圧分布であることを特徴とする電子機器表示装置。
（１０）上記（１），（５），（８）のうちいずれか一つに記載の電子機器表示装置であって、磁界分布から導き出す対象が電力分布であることを特徴とする電子機器表示装置。
（１１）上記（１），（５），（８）のうちいずれか一つに記載の電子機器表示装置であって、磁界分布から導き出す対象がインピーダンス分布であることを特徴とする電子機器表示装置。
（１２）上記（１）から（１１）のうちいずれか一つに記載の電子機器表示装置であって、測定する対象が電界分布であることを特徴とする電子機器表示装置。
（１３）上記（１）から（１１）のうちいずれか一つに記載の電子機器測定表示装置であって、測定する対象が磁界分布と電界分布の両方であることを特徴とする電子機器表示装置。
（１４）上記（１）から（１３）のうちいずれか一つに記載の電子機器表示装置であって、表示する分布が、周波数変化に応じた表示となることを特徴とする電子機器表示装置。
（１５）上記（１）から（１３）のうちいずれか一つに記載の電子機器表示装置であって、表示する分布が、時間変化に応じた表示となることを特徴とする電子機器表示装置。
（１６）上記（１）から（１３）のうちいずれか一つに記載の電子機器表示装置であって、表示する分布が、断面毎に移り変わる表示となることを特徴とする電子機器表示装置。
（１７）電子機器近傍の磁界分布を測定し、表示する装置であって、表示する分布が、時間変化に応じた表示となることを特徴とする電子機器表示装置
（１８）上記（１７）記載の電子機器表示装置であって、測定する対象が電界分布であることを特徴とする電子機器表示装置。
（１９）電子機器の磁界分布を測定する第一の工程と、前記測定分布から電磁波ノイズ発生源を特定する第二の工程と、前記電磁波ノイズ発生源の特定に基づき電子機器を改善する第三の工程とを有する電子機器の製造方法であって、
前記工程のうち少なくとも一つの工程では、前記磁界分布から導かれる電流分布、電圧分布、電力分布、インピーダンス分布のうち少なくとも一つを利用することを特徴とする電子機器の製造方法。
（２０）上記（１９）記載の電子機器の製造方法であって、測定する対象が電界分布であることを特徴とする電子機器の製造方法。
（２１）電磁波ノイズの低減を図った電子機器であって、前記電磁波ノイズの発生源を特定する工程では、電子機器近傍の磁界分布から導かれる電流分布、電圧分布、電力分布、インピーダンス分布のうち少なくとも一つを利用することを特徴とする電子機器。
（２２）上記（２１）記載の電子機器であって、測定する対象が電界分布であることを特徴とする電子機器。
（２３）上記（２１）または（２２）記載の電子機器であって、前記導かれた分布を前記電子機器の画像、ＣＡＤデータ、レイアウトデータまたは回路図の画面に重畳表示する工程を有することを特徴とする電子機器。
【００３０】
【発明の効果】
本願において開示された発明のうち代表的なものによって、少なくとも次のいずれかの効果を得ることができる。
（１）従来よりも分解能が高く、電磁界の発生源を配線、部品単位で特定することができる。
（２）被測定対象の測定箇所が多い場合、測定した磁界分布が複雑な場合、または３次元的に被測定対象を確認したい場合においても、視認性に優れた形で表示することができる。
（３）電磁界ノイズ発生要因の一つである配線の不連続点を特定し、改善することができる。
（４）改善前後の電流分布を複数画面で表示することができるので、改善後の効果を確認できる。
（５）電子機器の磁界分布を測定する第一の工程と、前記測定分布から電磁波ノイズ発生源を特定する第二の工程と、前記電磁波ノイズ発生源の特定に基づき電子機器を改善する第三の工程とを有する電子機器の製造方法において、高速化、簡易化が可能である。
（６）上記（５）記載の製造方法の高速化、簡易化に基づき、電磁波ノイズの低減を図った電子機器を量産することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】測定系を示す図。
【図２】ＬＳＩ内電流分布重畳表示を示す図。
【図３】ＬＳＩ内電流分布複数画面表示を示す図。
【図４】ＬＳＩ内電流分布平面分離表示を示す図。
【図５】回路基板上電磁界分布重畳表示を示す図。
【図６】回路基板上電流分布重畳表示を示す図。
【図７】回路基板上電磁界分布複数画面表示を示す図。
【図８】回路基板上電流分布複数画面表示を示す図。
【図９】回路基板上電磁界分布平面分離表示を示す図。
【図１０】回路基板上電流分布平面分離表示を示す図。
【図１１】筐体表面上電磁界分布重畳表示を示す図。
【図１２】筐体表面上電流分布重畳表示を示す図。
【図１３】筐体表面上電磁界分布複数画面表示を示す図。
【図１４】筐体表面上電流分布複数画面表示を示す図。
【図１５】筐体表面上電磁界分布平面分離表示を示す図。
【図１６】筐体表面上電流分布平面分離表示を示す図。
【図１７】マイクロストリップライン電流分布周波数特性表示を示す図。
【図１８】マイクロストリップライン電流分布時間特性表示を示す図。
【図１９】マイクロストリップライン電流分布層分離表示を示す図。
【図２０】複数画面表示の形態を示す図。
【図２１】複数画面表示の形態を示す図。
【図２２】改善前後の電流分布複数画面表示を示す図。
【符号の説明】
１０１・・・アンテナ・プローブ
１０２・・・走査系ステージ
１０３・・・台座
１０４・・・表示装置付き計算機
１０５・・・計測器
２０１・・・ＬＳＩ内電流分布重畳表示
２０２・・・ＬＳＩレイアウト
２０３・・・探査結果（例えば電流分布）
３０１・・・ＬＳＩ内電流探査結果複数画面表示
３０２・・・同座標表示ポインタ
４０１・・・ＬＳＩ内電流探査結果平面分離表示
５０１・・・回路基板上電磁界分布重畳表示
５０２・・・回路基板レイアウト
５０３・・・探査結果（例えば電磁界分布）
６０１・・・回路基板上電流分布重畳表示
７０１・・・回路基板上電磁界分布複数画面表示
８０１・・・回路基板上電流分布複数画面表示
９０１・・・回路基板上電磁界分布平面分離表示
１００１・・・回路基板上電流分布平面分離表示
１１０１・・・筐体表面上電磁界分布重畳表示
１１０２・・・筐体形状データ
１２０２・・・筐体表面上電流分布重畳表示
１３０１・・・筐体表面上電磁界分布複数画面表示
１４０１・・・筐体表面上電流分布複数画面表示
１５０１・・・筐体表面上電磁界分布平面分離表示
１６０１・・・筐体表面上電流分布平面分離表示
１７０１・・・マイクロストリップライン
１７０２・・・電流分布周波数特性表示
１７０３・・・導体
１７０４・・・電流分布波形
１８０１・・・電流分布時間特性表示
１９０１・・・電流分布層分離表示
１９０２・・・グランドプレーン
１９０３・・・リターン電流
２２０１・・・ＬＳＩ内電流分布表示（改善前）
２２０２・・・ＬＳＩ内電流分布表示（改善後）
【図１】
2004020403.tif 000003
【図２】
2004020403.tif 000004
【図３】
2004020403.tif 000005
【図４】
2004020403.tif 000006
【図５】
2004020403.tif 000007
【図６】
2004020403.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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