(57)【要約】【課題】生産効率を向上できる吐出装置を提供する。【解決手段】設定された加速度において所定の位置に液状体を吐出できる吐出タイミングを予め実験などにより計測しておき、この情報を記憶部２７に記憶させておく。Ｙ軸駆動装置３０が吐出ノズル２１Ｒを移動させると、タイマ２８が吐出ノズル２１Ｒおよび載置台１２の相対的な移動時間を計測する。制御部２６は、この移動時間を監視し、記憶部２７の情報に基づいて、移動時間が吐出タイミングに達した時に液状体を載置台１２上のマザー基板へ吐出させる。吐出ノズル２１Ｒおよび載置台１２が相対的に加速して移動している場合でも、所定の位置に液状体を吐出でき、生産効率を向上できる。【選択図】　図３
2004025505.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吐出物上に流動性を有する液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドおよび前記被吐出物を相対的に移動させる移動手段と、
この移動手段により前記吐出ヘッドおよび前記被吐出物を相対的に移動させる際の速度の変動に対応して前記液状体を吐出させる制御をする制御手段と、
を具備したことを特徴とした吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の吐出装置において、
前記制御手段は　前記吐出ヘッドおよび前記被吐出物を相対的に移動させる際の加速度の大きさに基づいて前記液状体の吐出を制御する
ことを特徴とした吐出装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の吐出装置において、
前記制御手段は、前記被吐出物の前記液状体が吐出される位置に基づいて相対的な移動の際の速度の変動に対応して前記液状体の吐出を制御する
ことを特徴とした吐出装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の吐出装置において、
相対的な移動の際の速度の変動は、前記移動手段により所定速度で相対的に移動させる移動初期時の加速および前記所定速度から移動を停止させる停止初期時の減速である
ことを特徴とした吐出装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の吐出装置において、
相対的な移動の際の速度の変動に対応して前記液状体を吐出させるタイミングに関するタイミング情報を記憶する記憶手段を具備し、
前記制御手段は、前記記憶手段に記憶されたタイミング情報に基づいて前記液状体の吐出を制御する
ことを特徴とした吐出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の吐出装置において、
前記記憶手段は、前記被吐出物の前記液状体が吐出される位置に基づいて相対的な移動の際の一定速度での前記液状体の吐出タイミングをタイミング情報として記憶し、
前記制御手段は、相対的な移動時の速度変動の大きさに対応して前記タイミング情報に記述されたタイミングを可変設定し、この可変設定したタイミングに基づいて前記液状体の吐出を制御する
ことを特徴とした吐出装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載の吐出装置において、
前記記憶手段は、相対的な移動の際の速度の変動時に前記被吐出物へ前記液状体を吐出させて前記液状体が着弾した着弾位置の実測データに基づいて得られた前記液状体を吐出させるタイミングをタイミング情報として記憶する
ことを特徴とした吐出装置。
【請求項８】
被吐出物上に流動性を有する液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを前記被吐出物と相対的に移動させ、
この相対的な移動時の速度の変動に基づいて前記吐出ヘッドの前記吐出ノズルから前記液状体を吐出させる
ことを特徴とする吐出方法。
【請求項９】
被吐出物上に流動性を有する液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを前記被吐出物と相対的に移動させ、この相対的な移動時の速度の変動に基づいて前記液状体を吐出させる制御をコンピュータに実行させる
ことを特徴とした吐出制御プログラム。
【請求項１０】
請求項９に記載の吐出制御プログラムがコンピュータで読み取り可能に記録された
ことを特徴とした吐出制御プログラムを記録した記録媒体。
【請求項１１】
基材と、この基材上に吐出された流動性を有する液状体とを有するデバイスであって、
前記液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドが前記基材に対して相対的に移動され、この相対的な移動時の速度の変動に基づいて前記液状体が前記基材上に吐出されて形成された
ことを特徴とした基材を有するデバイス。
【請求項１２】
基板と、この基板上に形成された異なる色を呈するカラーフィルタを備えた電気光学装置であって、
前記カラーフィルタは、所定の色のフィルタ材料を含有する液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドが前記基板に対して相対的に移動され、この相対的な移動時の速度の変動に基づいて前記液状体が前記基板上に吐出されて形成された
ことを特徴とした電気光学装置。
【請求項１３】
電極が複数設けられた基板と、この基板上に前記電極に対応して複数設けられたエレクトロルミネッセンス（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ，ＥＬ）発光層とを備えた電気光学装置であって、
前記ＥＬ発光層は、ＥＬ発光材料を含有する液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドが、前記基板に対して相対的に移動され、この相対的な移動時の速度の変動に基づいて前記液状体が前記基板上に吐出されて形成された
ことを特徴とした電気光学装置。
【請求項１４】
基材上に流動性を有する液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドと、
前記吐出ノズルと前記基材とを相対的に移動させる移動手段とを備え、前記吐出ノズルまたは前記基材の相対的な移動時の速度の変動に基づいて前記吐出ヘッドの吐出ノズルから前記液状体を吐出させる
ことを特徴とした基板を有するデバイスの製造装置。
【請求項１５】
基材上に流動性を有する液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを前記基材と相対的に移動させ、この相対的な移動時の加速度に応じて予め設定されたタイミングで前記吐出ヘッドの吐出ノズルから前記液状体を吐出させて、前記基材上に所定の層を形成させる
ことを特徴とする基材を有するデバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流動性を有した液状体を吐出する吐出装置およびその方法に関する。また、本発明は、吐出装置を制御する吐出制御プログラムおよびそのプログラムを記録した記録媒体に関する。さらに、本発明は、液晶装置、ＥＬ装置などの電気光学装置や、電気光学部材、半導体装置、光学部材、試薬検査部材などの基材を有するデバイス、この基材を有したデバイスを製造する製造方法およびその製造装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来、例えばインクジェット方式などの液滴吐出方法でドット状配列のカラーフィルタやＥＬ発光層などを形成する方法が提案されている。これは、フィルタ材料やＥＬ発光材料などの液状体を複数の吐出ノズルから基板上に吐出することにより形成するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の液滴吐出方法では、吐出ヘッドの基板に対する移動速度が０の時、あるいは移動速度が一定である時のみに液状体を吐出する。そして、吐出ヘッドが移動速度の目標値に達するまでの加速時や停止の際の減速時では液状体を吐出しない。このため、この吐出ヘッドの加減速時における時間が生産ロスにつながり、生産効率の向上が図れない。
【０００４】
本発明の目的は、このような点に鑑みて、生産効率を向上することができる吐出装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
そのため、本発明は、吐出ヘッドの加減速時にも液状体を吐出させることによって前記目的を達成しようとするものである。
具体的には、被吐出物上に流動性を有する液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドと、吐出ヘッドおよび被吐出物を相対的に移動させる移動手段と、この移動手段により吐出ヘッドおよび被吐出物を相対的に移動させる際の速度の変動に対応して液状体を吐出させる制御をする制御手段とを具備したことを特徴とする。
【０００６】
この構成の吐出装置では、吐出ノズルが被吐出物に対して相対的に移動している場合においても、その速度の変動に応じて制御手段が吐出ノズルから液状体を吐出するように制御するので、例えば目標速度に達するまでの加速時や停止の際の減速時の時間を無駄にすることがなく、生産効率が向上する。
【０００７】
この際、制御手段は　吐出ヘッドおよび被吐出物を相対的に移動させる際の加速度の大きさに基づいて液状体の吐出を制御することが望ましい。
この構成の吐出装置では、制御手段が加速度の大きさに基づいて液状体の吐出を制御する。したがって、加速度が変化した場合でも、適切な吐出が行われ、吐出位置が正確かつ確実に制御される。
【０００８】
また、制御手段は、被吐出物の液状体が吐出される位置に基づいて相対的な移動の際の速度の変動に対応して液状体の吐出を制御することが望ましい。
この構成の吐出装置では、制御手段が液状体の吐出位置に基づいて吐出を制御する。よって、吐出ヘッドおよび被吐出物の相対的な移動時に速度の変動があった場合でも、所望の吐出位置に液状体が吐出され、吐出性能が良好となる。
【０００９】
この際、相対的な移動の際の速度の変動は、移動手段により所定速度で相対的に移動させる移動初期時の加速および所定速度から移動を停止させる停止初期時の減速であることが望ましい。
移動手段により吐出ヘッドおよび被吐出物の相対的な移動時には、移動速度が所定速度に達するまで加速を行う必要がある。また、移動手段が所定速度から移動を停止させる場合には、減速を行う必要がある。この構成の吐出装置では、移動初期時あるいは停止初期時にも移動の速度の変動に応じて制御手段が液状体の吐出を制御するので、良好な吐出性能が得られる。これは、加減速を繰り返す移動を行う場合などに特に有用である。
【００１０】
また、本発明の吐出装置は、相対的な移動の際の速度の変動に対応して液状体を吐出させるタイミングに関するタイミング情報を記憶する記憶手段を具備し、制御手段は、記憶手段に記憶されたタイミング情報に基づいて液状体の吐出を制御することが望ましい。
この構成の吐出装置では、記憶手段が液状体の吐出のタイミング情報を記憶しているので、制御手段において吐出タイミングを演算するなどの処理をする必要がなく、制御が簡略化する。
【００１１】
この際、記憶手段は、被吐出物の液状体が吐出される位置に基づいて相対的な移動の際の一定速度での液状体の吐出タイミングをタイミング情報として記憶し、制御手段は、相対的な移動時の速度変動の大きさに対応してタイミング情報に記述されたタイミングを可変設定し、この可変設定したタイミングに基づいて液状体の吐出を制御することが望ましい。
この構成の吐出装置では、記憶手段に記憶された一定速度での液状体の吐出タイミングの情報を元に、制御手段がこのタイミング情報を可変設定して液状体の吐出を制御するので、記憶手段に記憶しておく情報が最小限に抑えられ、かつ様々な速度変動にも対応可能である。
【００１２】
この際、記憶手段は、相対的な移動の際の速度の変動時に被吐出物へ液状体を吐出させて液状体が着弾した着弾位置の実測データに基づいて得られた液状体を吐出させるタイミングをタイミング情報として記憶することが望ましい。
この構成の吐出装置では、実験などによって速度の変動時における液状体の着弾位置を計測し、この実測データに基づいたタイミング情報を記憶部に記憶させておくので、制御手段はこのタイミング情報に基づいて吐出タイミングを制御すればよい。したがって、例えば液状体の物性の違いや吐出装置の性能の違いなどを考慮に入れて液状体の吐出タイミングを決定することができるので、制御が簡単で、かつ吐出位置が正確である。
【００１３】
本発明の吐出方法は、被吐出物上に流動性を有する液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを被吐出物と相対的に移動させ、この相対的な移動時の速度の変動に基づいて吐出ヘッドの吐出ノズルから液状体を吐出させることを特徴とする。
この方法の本発明によれば、吐出ヘッドおよび被吐出物の相対的な移動時の速度の変動に基づいて液状体の吐出タイミングを制御できるので、加減速時にも被吐出物への吐出作業をすることができ、生産効率が向上する。
【００１４】
本発明の吐出制御プログラムは、被吐出物上に流動性を有する液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを被吐出物と相対的に移動させ、この相対的な移動時の速度の変動に基づいて液状体を吐出させる制御をコンピュータに実行させることを特徴とする。
このような吐出制御プログラムの構成によれば、請求項１から請求項７に記載の発明と同様の作用効果を奏することができる。
【００１５】
また、この発明においては、プログラムによってコンピュータを作動させるので、設定値、判定値の変更等を簡便に行うことができる。すなわち、本発明をプログラムで提供すれば、ＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体や、インターネット等の通信手段を介して電子機器にインストールして組み込むことができるので、加減速時の速度の変動に基づいた液状体の吐出タイミングの設定等を各電子機器の特性や液状体の物性などに応じて最適にかつ簡単に設定することができ、より精度の高い制御を行うことができる。
【００１６】
本発明では、吐出する液状体としてカラーフィルタ材料を含有する液状体を用い、被吐出物として液状体を挟持する一対の基板の一方に吐出させてカラーフィルタを形成して電気光学装置を製造することに好都合である。
【００１７】
あるいは、本発明では、吐出する液状体としてＥＬ発光材料を含有する液状体を用い、被吐出物である基板上に吐出させてＥＬ発光層を形成して電気光学装置を製造することに好都合である。
【００１８】
さらに、本発明では、流動性を有する液状体を被吐出物である基材上に吐出して基材を有するデバイスを製造することに好都合である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の吐出装置をカラーフィルタ製造用の液滴吐出装置１０に適用した場合の全体を示す斜視図である。
この図１において、液滴吐出装置１０は、吐出ヘッド１３と、吐出ヘッド１３および被吐出物としてのマザー基板３を相対的に移動させる移動手段としての駆動装置１５と、制御手段としての吐出コントローラ１４とを有する。なお、本発明にかかる吐出装置は、吐出ヘッド１３と、駆動装置１５と、吐出コントローラ１４とを備えて構成されている。
【００２０】
マザー基板３は、図２に示されるように、ガラス、プラスチックなどによって形成された方形状の基板（本発明においては、「基材」ともいう。）であり、内部には複数のカラーフィルタ形成領域８が設定されている。このカラーフィルタ形成領域８の表面には、複数のフィルタエレメント６がドットパターン状、本実施形態ではドットマトリックス状に形成されている。フィルタエレメント６は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁７によって区画されている。
ここで、フィルタエレメント６のピッチは、カラーフィルタ２の用途や、大きさ等によって適宜決定される。また、本発明における「隔壁」は「バンク」の意味も含む言葉として使われ、基板からほぼ垂直な角度の側面や、９０度以上や９０度未満の角度を持った側面を有する基板から見て凸になる部分を指す。
【００２１】
図１に戻って、吐出ヘッド１３は、カラーフィルタ用のインクなどの流動性を有する液状体としてのフィルタエレメント材料４を収納する三個の液状体タンク２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂを備えている。この液状体タンク２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂは、液滴吐出装置１０の基台１１上に固定されており、内部にはそれぞれＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色のフィルタエレメント材料４が収納されている。また、液状体タンク２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂは、それぞれの吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂにチューブ状の供給管路２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂで接続されている。供給管路２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂの途中には、所定の圧力でフィルタエレメント材料４を汲み上げ、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂへ送液するポンプ２３Ｒ，２３Ｇ，２３Ｂが設けられている。これらのポンプ２３Ｒ，２３Ｇ，２３Ｂと吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂとの間の供給管路２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂには、フィルタエレメント材料４の圧力変動を吸収するためのダンパ２４Ｒ，２４Ｇ，２４Ｂが備えられている。これらのダンパ２４Ｒ，２４Ｇ，２４Ｂは、圧力変動を効果的に吸収するために、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂの近傍に設けられている。
【００２２】
吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂは、図示しないが、フィルタエレメント材料４が吐出される複数個の吐出孔を有し、これらの吐出孔は、それぞれＸ軸方向に平行かつ列状に複数個配置されている。吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂ内の吐出孔までの液状体流路には、液状体流路の体積を変化させる振動板が設けられ、この振動板には圧電素子などからなる制御素子（加圧体）が取り付けられている。加圧体に電圧が印加されると加圧体が変形し、振動板が液状体流路を圧縮して、吐出孔からフィルタエレメント材料４が吐出されるようになっている。
また、複数個の吐出孔のピッチは、フィルタエレメント６のＸ軸方向のピッチの整数倍に設定されている。また、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂは、互いに平行に配置されており、これら三色の吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂを、マザー基板３のＹ軸方向に沿って移動させると、三色の吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂが同時に移動することになる。
【００２３】
駆動装置１５は、マザー基板３が載置される載置台１２をＸ軸方向に移動させるＸ軸駆動装置２９と、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１ＢをＹ軸方向に移動させるＹ軸駆動装置３０とを有する。
Ｘ軸駆動装置２９は、ステッピングモータ等のＸ軸モータ３１と、このＸ軸モータ３１の回転に伴って回転するボールねじ軸３３と、ボールねじ軸３３に螺合されるとともに、載置台１２を支持するスライダ３２とを有する。
また、Ｙ軸駆動装置３０は、ステッピングモータ等のＹ軸モータ３４と、このＹ軸モータ３４の回転に伴って回転するボールねじ軸３６と、ボールねじ軸３６に螺合されるとともに、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂが載置された台３７を支持するスライダ３５とを有する。
なお、台３７に載置された吐出ノズル２１および載置台１２の位置制御は、ステッピングモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法によって実現することもできる。
このような駆動装置１５により、Ｘ軸モータ３１およびＹ軸モータ３４を回転させることで吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂおよび載置台１２が相対的に二次元に移動できるようになっている。
【００２４】
吐出コントローラ１４は、液滴吐出装置１０の全般の制御を司るものである。この吐出コントローラ１４は、図３に示されるように、駆動装置１５への移動指令や吐出ノズル２１への吐出指令を出力する制御部２６と、移動時の速度の変動としての加速度に対応した吐出タイミングを記憶する記憶手段としての記憶部２７と、移動時間を計測するタイマ２８とを備えている。
制御部２６は、記憶部２７に記憶されたタイミング情報に基づいて、マザー基板３の所定のフィルタエレメント６にフィルタエレメント材料４を吐出するための制御を行うものである。制御部２６は、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂにそれぞれ設けられた加圧体と電気的に接続されており、フィルタエレメント材料４の吐出の指令が送信されるようになっている。ここで、図３においては、吐出ヘッド１３のうち、Ｒ色のフィルタエレメント材料４が吐出される吐出ノズル２１Ｒについてのみ記載してある。
また、制御部２６は、Ｘ軸モータ３１およびＹ軸モータ３４に電気的に接続されており、載置台１２あるいは吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂの移動の指令が送信されるようになっている。
【００２５】
記憶部２７は、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１ＢがＹ軸方向へ移動する際にフィルタエレメント材料４を吐出するタイミングが記憶されている。本実施形態においては、Ｙ軸駆動装置３０の移動の目標速度およびこの目標速度へ達するまでの加速度は予め設定されている。よって、移動速度は図４に示されるように、Ｙ軸の移動範囲に対して移動初期には一定の加速度で加速し、目標速度に達した後は一定速度で移動し、その後停止初期時には一定の負の加速度で減速するものとする。
フィルタエレメント材料４を吐出するタイミングは、予め実験により計測された実測データに基づいて作成される。つまり、設定された加速度（加速時および減速時における加速度）におけるフィルタエレメント材料４の着弾位置を、例えば顕微鏡などで計測し、所定の等間隔になるように吐出タイミングを調整する。調整された吐出タイミングは吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂの移動開始からの時間で表わされ、これらの情報がテーブルなどとして記憶部２７に記憶されている。ここで、吐出タイミングと着弾位置との関係は、フィルタエレメント材料４の物性によって異なるので、実験はそれぞれの色のフィルタエレメント材料４について行われ、各色の吐出タイミングが記憶部２７に記憶されている。
【００２６】
次に、液滴吐出装置１０の動作について説明する。
電源投入によって液滴吐出装置１０が作動すると、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂおよび載置台１２が所定の初期位置にセットされる。また、吐出コントローラ１４の制御部２６は記憶部２７に記憶されたそれぞれの色に対応した吐出タイミングの情報を読み込み、タイマ２８を０に設定する。
その後、Ｙ軸方向への吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂの走査が開始され、同時にフィルタエレメント材料４の吐出が開始される。この時、吐出タイミングは以下のように制御される。
【００２７】
まず、制御部２６は、Ｙ軸駆動装置３０に移動の指令を出力する。この指令によりＹ軸モータ３４が所定の加速度となるような回転速度でボールねじ軸３６を回転させ、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１ＢをＹ軸方向に移動させる。タイマ２８は、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂの移動と同時に移動時間の計測を開始する。
そして制御部２６は、この移動時間をそれぞれの色について監視する。例えば、Ｒ色のフィルタエレメント材料４について説明すれば、移動時間が記憶部２７に記憶された吐出タイミングに達すると、制御部２６は吐出ノズル２１Ｒの加圧体に吐出指令の信号を送信する。これにより加圧体には電圧が印加され、加圧体が変形することにより振動板が液状体流路を狭め、吐出孔よりフィルタエレメント材料４が吐出される。
【００２８】
吐出ノズル２１Ｒの移動速度が目標速度に達すると、Ｙ軸駆動装置３０は、その速度を保持して定速で吐出ノズル２１Ｒを移動させる。この時制御部２６は、引き続き移動時間の監視を行い、一定の間隔で吐出信号を送信することとなる。その後、減速時においても同様に記憶部２７からのタイミング情報に基づいて、吐出ノズル２１Ｒの移動時間が吐出タイミングに達すると制御部２６が吐出ノズル２１Ｒに吐出指令の信号を送信することにより所定のタイミングでフィルタエレメント材料４を吐出させる。
このような吐出制御をＧ色のフィルタエレメント材料４を吐出する吐出ノズル２１ＧおよびＢ色のフィルタエレメント材料４を吐出する吐出ノズル２１Ｂにおいても同様に行い、Ｙ軸方向の一ライン分のフィルタエレメント材料４の吐出を行う。
【００２９】
マザー基板３に対する一ライン分の吐出作業が終了すると、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂは反転移動して初期位置へ復帰する。そして載置台１２は、Ｘ軸駆動装置２９によって駆動されてＸ軸方向へあらかじめ決められた移動量だけ移動する。この移動と同時に、タイマ２８は再び０に設定される。
載置台１２がＸ軸方向に所定量移動したことにより相対的に移動した吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂは、前述のＹ軸方向の移動および移動時のフィルタエレメント材料４の吐出を繰り返し実行する。
【００３０】
ここで、Ｘ軸方向の移動量およびフィルタエレメント材料４の吐出量は、駆動装置１５の走査方法によって適宜決定される。例えば、一回の移動および吐出でフィルタエレメント６の容積を全部埋める場合には、フィルタエレメント材料４の吐出量は、フィルタエレメント６の容積に対応する量となり、また、Ｘ軸方向の移動量は、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂの吐出範囲分となる。あるいは、フィルタエレメント材料４の吐出を数回に渡って行う場合には、フィルタエレメント材料４の吐出量を回数分に分割し、Ｘ軸方向の移動量も吐出範囲分を回数分に分割した量として、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂを所定回数同じフィルタエレメント６上を通過させて、フィルタエレメント材料４を吐出すればよい。
【００３１】
こうしてカラーフィルタ形成領域８の一列分の吐出作業が完了すると、載置台１２はＸ軸駆動装置２９によって駆動されて、次列のカラーフィルタ形成領域８の初期位置へ搬送される。そして、当該列のカラーフィルタ形成領域８に対して同様にＹ軸方向の移動およびフィルタエレメント材料４の吐出を繰り返してフィルタエレメント６を形成する。
【００３２】
以上のような装置によって形成されたフィルタエレメント６は、例えば図５（ａ）に示すいわゆるストライプ配列、図５（ｂ）に示すいわゆるモザイク配列、図５（ｃ）に示すいわゆるデルタ配列などの配列を有する。ストライプ配列は、マトリクスの縦列が全て同色になる配列である。また、モザイク配列は、縦横の直線上に並んだ任意の三つのフィルタエレメント６がＲ、Ｇ、Ｂの三色となる配色である。さらに、デルタ配列は、フィルタエレメント６の配置を段違いにし、任意の隣接する三つのフィルタエレメント６がＲ、Ｇ、Ｂの三色となる配色である。
【００３３】
各フィルタエレメント形成領域８に所定量のフィルタエレメント材料４が充填されると、ヒータによってマザー基板３を例えば７０℃程度に加熱して、フィルタエレメント材料４の溶媒を蒸発させる。この蒸発により、フィルタエレメント材料４の体積が減少し、平坦化する。体積の減少が激しい場合には、カラーフィルタ２として十分な膜厚が得られるまで、フィルタエレメント材料４の供給と加熱とを繰り返して実行する。以上の処理により、最終的にフィルタエレメント材料４の固形分のみが残留して膜化し、これにより、希望する各色のフィルタエレメント６が形成される。
【００３４】
以上により、フィルタエレメント６が形成された後、それらのフィルタエレメント６を完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行する。その後、例えば、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法、またはインクジェット法などといった適宜の手法を用いて保護膜を形成する。この保護膜は、フィルタエレメント６などの保護およびカラーフィルタ２の表面の平坦化のために形成される。
その後、マザー基板３上のカラーフィルタ形成領域８の周りに切断用の溝を形成し、それらの溝に沿ってマザー基板３を切断することにより、個々のカラーフィルタ２が形成される。
このようなカラーフィルタ２を例えば液晶装置などのカラー表示のために用いる場合には、カラーフィルタ２の表面にさらに電極や配向膜などを積層すればよい。
【００３５】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果が得られる。
すなわち、Ｙ軸駆動装置３０が加速しながら移動する間にも吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂからフィルタエレメント材料４が吐出されるので、加速時間を無駄にすることなく生産効率が向上できる。
また、これにより、加速時にもフィルタエレメント材料４を吐出するので、吐出ヘッド１３のＹ軸方向移動範囲のほぼ全部を利用してフィルタエレメント材料４を吐出でき、加速のためのスペースが無駄にならず、十分な有効吐出範囲が確保される。また反対に、これにより液滴吐出装置１０を小さく構成することが可能となる。
さらに、加速時間を吐出作業に利用することで生産効率が向上するので、これにより生産コストを低減できる。
【００３６】
タイマ２８がＹ軸方向の移動時間を計測し、これが吐出タイミングに達した時に制御部２６がフィルタエレメント材料４を吐出させるので、正確かつ確実な吐出性能が得られる。
また、記憶部２７が速度の変動に対応した各色の吐出タイミング情報を記憶しているので、制御部２６は記憶部２７に記憶されたタイミング情報に基づいてフィルタエレメント材料４を吐出させればよく、応答性のよい制御が実現できる。
さらに、記憶部２７に記憶された情報は、実験などにより求めた実測データにより作成されたものなので、フィルタエレメント材料４の物性や液滴吐出装置１０の性能を考慮に入れて情報を構築でき、より正確な吐出が実現できる。
【００３７】
目標速度までの加減速時の加速度が一定に設定されているので、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１ＢがＹ軸方向に移動する時に各色のフィルタエレメント材料４の吐出タイミングを特定でき、吐出制御を簡略化することができる。また、加速度が予め設定されているので、実験により吐出タイミングを求める際にも所定の加速度についてのみ実験を行えばよく、情報の構築を簡略化できる。
【００３８】
吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂ近傍にダンパ２４Ｒ，２４Ｇ，２４Ｂが設けられているので、ダンパ２４Ｒ，２４Ｇ，２４Ｂによって圧力変動が吸収され、安定した大きさの液滴を吐出できる。従来では、加速時間を短くするために加速度を上げると、供給経路２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂ内でのフィルタエレメント材料４の圧力変動により吐出する液滴の大きさが変動してしまい、良好な吐出性能が得られない場合があるため、加速度を上げることにも限界があった。しかしながら、本発明によれば、ダンパ２４Ｒ，２４Ｇ，２４Ｂによって圧力変動を吸収できるので、加減速時にフィルタエレメント材料４を吐出しても安定した吐出性能が得られる。
また、これにより、処理速度を上げることが可能となり、より一層生産効率が向上する。さらに、吐出コントローラ１４において圧力変動による液滴への影響を考慮した制御を行う必要がなく、制御を簡略化できる。
【００３９】
プログラムによって制御部２６を作動させるので、設定値や判定値の変更等を簡単に行うことができる。
【００４０】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、本実施形態では予め記憶部２７が設定され、プログラムソフトが内蔵されていたが、これに限らず、記憶媒体にプログラムソフトを記憶させて、これをコンピュータで読み込むことによって制御部２６に吐出制御をさせてもよい。
記憶媒体は、例えばＲＡＭ（Ｒａｎ　ｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体などといった外部記憶装置などが採用できる。これらの記憶媒体は、機能的には液滴吐出装置１０の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域や、図５に示す各種のＲ、Ｇ、Ｂ配列を実現するためのＲ、Ｇ、Ｂの内の一色のマザー基板１２内における吐出位置を座標データとして記憶するための記憶領域や、その他各種の記憶領域が設定される。
このような記録媒体によれば、液滴吐出装置１０の性能やフィルタエレメント材料４の物性などによって吐出条件の設定を簡単に調整することができ、より柔軟な制御ができる。また、記録媒体をコンピュータで読み込むことでプログラムを実行できるので、既存の液滴吐出装置１０にも簡単に組み込むことができる。
【００４１】
吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂは、圧電素子などの加圧体のたわみ変形を利用してフィルタエレメント材料４を吐出する構造であったが、これに限らない。例えば、加熱により発生するバブルによってフィルタエレメント材料４を吐出する方式でもよい。
また、Ｒ，Ｇ，Ｂの三色のフィルタエレメント材料４を一台の液滴吐出装置１０に収納してマザー基盤３に吐出していたが、これに限らず、例えば一台の液滴吐出装置１０で一色のフィルタエレメント材料４を吐出してもよい。この場合には、他の二色のフィルタエレメント材料４をそれぞれの液滴吐出装置１０で吐出して製造するように構成すればよい。これによれば、一台の液滴吐出装置１０で一色のフィルタエレメント材料４の吐出を制御すればよいので、制御を簡単にできる。
さらに、駆動装置１５は、Ｘ軸駆動装置２９およびＹ軸駆動装置３０が交互に駆動されていたが、これに限らず　両方を一度に駆動して走査してもよい。また、フィルタエレメント材料４の吐出は、Ｙ軸方向の一方方向の移動時のみに吐出を行っていたが、これに限らない。つまり、本実施形態では、一ライン分の吐出作業が終了すると吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂは反転移動して初期位置へ復帰したが、この時に反転移動しながら吐出を行ってもよい。あるいは、フィルタエレメント材料４の吐出は、Ｙ軸方向に移動しながら行っていたが、載置台１２をＸ軸方向に移動させて吐出を行ってもよい。
このように、液滴吐出装置１０は、フィルタエレメント材料４が加速時にも所定のフィルタエレメント６に適切に吐出されるような構造であれば任意に構成されてよい。
【００４２】
吐出装置は、カラーフィルタ２を製造するための液滴吐出装置１０に適用されたが、これに限らず、例えば吐出装置によってＥＬ装置などの電気光学装置を製造してもよい。
まず、代表的なＥＬ装置の構造について説明する。図６は、ＥＬ装置１００の配線構造を示す模式図である。
図６に示すＥＬ装置１００（電気光学装置）は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ（Ｔｈｉｎ　Ｆｉｌｍ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ、以下では、ＴＦＴと略記する）を用いたアクティブマトリクス方式のＥＬ装置である。
【００４３】
このＥＬ装置１００は、図６に示すように、複数の走査線１０１と、各走査線１０１に対して直角に交差する方向に延びる複数の信号線１０２と、各信号線１０２に並列に延びる複数の電源線１０３とがそれぞれ配線された構成を有するとともに、走査線１０１と信号線１０２の各交点付近に、画素領域Ａが設けられている。
【００４４】
信号線１０２には、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン及びアナログスイッチを備えるデータ線駆動回路８５が接続されている。また、走査線１０１には、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査線駆動回路８０が接続されている。
さらに、画素領域Ａ各々には、走査線１０１を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用ＴＦＴ１１２と、このスイッチング用ＴＦＴ１１２を介して信号線１０２から共有される画素信号を保持する保持容量１１３と、この保持容量１１３によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用ＴＦＴ１２３と、この駆動用ＴＦＴ１２３を介して電源線１０３に電気的に接続したときに当該電源線１０３から駆動電流が流れ込む画素電極２３０（電極）と、この画素電極２３０と陰極５０（一方の電極）との間に挟み込まれた機能層１１０とが設けられている。画素電極２３０と陰極５０と機能層１１０により、発光素子が構成されている。
【００４５】
このＥＬ装置１００によれば、走査線１０１が駆動されてスイッチング用ＴＦＴ１１２がオン状態になると、そのときの信号線１０２の電位が保持容量１１３に保持され、該保持容量１１３の状態に応じて、駆動用ＴＦＴ１２３のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用ＴＦＴ１２３のチャネルを介して、電源線１０３から画素電極２３０に電流が流れ、さらに機能層１１０を介して陰極５０に電流が流れる。機能層１１０は、これを流れる電流量に応じて発光する。
【００４６】
次に、ＥＬ装置１００の具体的な態様を図７〜１０を参照して説明する。図７はＥＬ装置１００の構成を模式的に示す平面図である。図８は図７のＡ−Ｂ線に沿う断面図、図９は図７のＣ−Ｄ線に沿う断面図である。図１０は図８の要部拡大断面図である。
【００４７】
図７に示すＥＬ表示装置１００は、光透過性と電気絶縁性を備える基板２００と、図示略のスイッチング用ＴＦＴに接続された画素電極が基板２００上にマトリックス状に配置されてなる図示略の画素電極域と、画素電極域の周囲に配置されるとともに各画素電極に接続される電源線１０３と、少なくとも画素電極域上に位置する平面視ほぼ矩形の画素部３００（図中一点鎖線枠内）とを具備して構成されている。また画素部３００は、中央部分の実表示領域４００（図中二点鎖線枠内）と、実表示領域４００の周囲に配置されたダミー領域５００（一点鎖線および二点鎖線の間の領域）とに区画されている。
【００４８】
実表示領域４００には、それぞれ画素電極を有する表示領域Ｒ、Ｇ、ＢがＡ−Ｂ方向およびＣ−Ｄ方向に離間して配置されている。
また、実表示領域４００の図中両側には、走査線駆動回路８０が配置されている。この走査線駆動回路８０はダミー領域５００の下側に位置して設けられている。
さらに実表示領域４００の図中上側には、検査回路９０が配置されている。この検査回路９０はダミー領域５００の下側に位置して設けられている。この検査回路９０は、ＥＬ表示装置１００の作動状況を検査するための回路であって、例えば検査結果を外部に出力する不図示の検査情報出力手段を備え、製造途中や出荷時の表示装置の品質、欠陥の検査を行うことができるように構成されている。
【００４９】
走査線駆動回路８０および検査回路９０の駆動電圧は、所定の電源部から駆動電圧導通部３１０（図８参照）および駆動電圧導通部３４０（図９参照）を介して印加されている。また、これら走査線駆動回路８０および検査回路９０への駆動制御信号および駆動電圧は、このＥＬ表示装置１００の作動制御を司る所定のメインドライバなどから駆動制御信号導通部３２０（図８参照）および駆動制御信号導通部３５０（図９参照）を介して送信および印加されるようになっている。なお、この場合の駆動制御信号とは、走査線駆動回路８０および検査回路９０が信号を出力する際の制御に関連するメインドライバなどからの指令信号である。
【００５０】
ＥＬ表示装置１００は、図８および図９に示すように、基板２００と封止基板３０１とが封止樹脂４０１を介して貼り合わされている。基板２００、封止基板３０１および封止樹脂４０１とで囲まれた領域には、乾燥剤４５０が挿入されるとともに、窒素ガスが充填された窒素ガス充填層４６０が形成されている。
また、基板２００上には、画素電極２３０を駆動するための駆動用ＴＦＴ１２３などを含む回路部１１１が形成され、その上に機能層１１０（図１０参照）が設けられている。機能層１１０は、図１０に示すように、画素電極２３０と、この画素電極２３０から正孔を注入／輸送可能な正孔注入／輸送層７０と、電気光学物質の一つである有機ＥＬ物質を備える有機ＥＬ層６０（発光層）とがこの順に形成されている。さらに有機ＥＬ層６０の上層には、有機ＥＬ層６０に対して電子を注入し易くする緩衝層であるバッファ層２２２を介して陰極５０が形成されている。
【００５１】
このような正孔注入／輸送層７０を画素電極２３０と有機ＥＬ層６０の間に設けることにより、有機ＥＬ層６０の発光効率、寿命などの素子特性が向上する。そして、有機ＥＬ層６０では、正孔注入／輸送層７０から注入された正孔と、陰極５０からの電子とが結合して蛍光を発生させる構成が形成されている。
【００５２】
陰極５０は、図８〜１０に示すように、実表示領域４００およびダミー領域５００の総面積より広い面積を備え、それぞれを覆うように形成され、バッファ層２２２の上層をなし、ほぼ矩形状の第１陰極層５０ａ（電極層）と、第１陰極層５０ａより広い面積とされて第１陰極層５０ａを覆うように形成されたほぼ矩形状の第２陰極層５０ｂ（電極層）とからなる２層構造とされている。
【００５３】
次に、実表示領域４００に設けられた駆動用ＴＦＴ１２３の近傍の構成について、図１０を参照して説明する。図１０は画素領域Ａを図７のＡ−Ｂ方向に沿った断面を示している。
図１０に示すように、基板２００の表面には、ＳｉＯ２を主体とする下地保護層２８１を下地として、その上層にはシリコン層２４１が形成されている。このシリコン層２４１の表面は、ＳｉＯ２および／またはＳｉＮを主体とするゲート絶縁層２８２によって覆われている。なお、本明細書において、「主体」とする成分とは、構成成分のうち最も含有率の高い成分を指すこととする。
【００５４】
そして、このシリコン層２４１のうち、ゲート絶縁層２８２を挟んでゲート電極２４２と重なる領域がチャネル領域２４１ａとされている。なお、このゲート電極２４２は図示略の走査線１０１の一部である。一方、シリコン層２４１を覆い、ゲート電極２４２が形成されたゲート絶縁層２８２の表面は、ＳｉＯ２を主体とする第１層間絶縁層２８３によって覆われている。
【００５５】
また、シリコン層２４１のうち、チャネル領域２４１ａのソース側には低濃度ソース領域２４１ｂおよび高濃度ソース領域２４１Ｓが設けられる一方、チャネル領域２４１ａのドレイン側には低濃度ドレイン領域２４１ｃおよび高濃度ドレイン領域２４１Ｄが設けられて、いわゆるＬＤＤ（Ｌｉｇｈｔ　Ｄｏｐｅｄ　Ｄｒａｉｎ）構造となっている。これらのうち、高濃度ソース領域２４１Ｓは、ゲート絶縁層２８２と第１層間絶縁層２８３とにわたって開孔するコンタクトホール２４３ａを介して、ソース電極２４３に接続されている。このソース電極２４３は、上述した電源線１０３（図６参照、図１０においてはソース電極２４３の位置に紙面垂直方向に延在する）の一部として構成される。一方、高濃度ドレイン領域２４１Ｄは、ゲート絶縁層２８２と第１層間絶縁層２８３とにわたって開孔するコンタクトホール２４３ｂを介して、ソース電極２４３と同一層からなるドレイン電極２４４に接続されている。
【００５６】
ソース電極２４３およびドレイン電極２４４が形成された第１層間絶縁層２８３の上層は、例えばアクリル系の樹脂成分を主体とする第２層間絶縁層２８４によって覆われている。この第２層間絶縁層２８４は、アクリル系の絶縁膜以外の材料、例えば、ＳｉＮ、ＳｉＯ２などを用いることもできる。そして、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ）からなる画素電極２３０が、この第２層間絶縁層２８４の面上に形成されるとともに、当該第２層間絶縁層２８４に設けられたコンタクトホール２３０ａを介してドレイン電極２４４に接続されている。すなわち、画素電極２３は、ドレイン電極２４４を介して、シリコン層２４１の高濃度ドレイン領域２４１Ｄに接続されている。
【００５７】
なお、走査線駆動回路８０および検査回路９０に含まれるＴＦＴ（駆動回路用ＴＦＴ）、すなわち、例えばこれらの駆動回路のうち、シフトレジスタに含まれるインバータを構成するＮチャネル型又はＰチャネル型のＴＦＴは、画素電極２３と接続されていない点を除いて上記駆動用ＴＦＴ１２３と同様の構造とされている。
【００５８】
画素電極２３０が形成された第２層間絶縁層２８４の表面は、画素電極２３０と、例えばＳｉＯ２などの親液性材料を主体とする親液性制御層２５０と、アクリルやポリイミドなどからなる有機バンク層２２１とによって覆われている。そして、画素電極２３０には親液性制御層２５０に設けられた開口部２５０ａ、および有機バンク２２１に設けられた開口部２２１ａの開口内部に、正孔注入／輸送層７０と、有機ＥＬ層６０とが画素電極２３０側からこの順で積層されている。なお、親液性制御層２５０の「親液性」とは、少なくとも有機バンク層２２１を構成するアクリル、ポリイミドなどの材料と比べて親液性が高いことを意味するものとする。
以上に説明した基板２００から第２層間絶縁層２８４までの層は回路部１１１を構成している。
【００５９】
また、このようなＥＬ表示装置１００は、カラー表示を行うべく、各有機ＥＬ層６０が、その発光波長帯域が光の三原色にそれぞれ対応して形成されている。例えば、有機ＥＬ層６０として、発光波長帯域が赤色に対応した赤色用有機ＥＬ層、緑色に対応した緑色用有機ＥＬ層、青色に対応した青色用有機ＥＬ層６０とをそれぞれに対応する表示領域Ｒ、Ｇ、Ｂに設け、これら表示領域Ｒ、Ｇ、Ｂをもってカラー表示を行う１画素が構成されている。また、各色表示領域の境界には、金属クロムをスパッタリングなどにて成膜した図示略のＢＭ（ブラックマトリクス）が、有機バンク層２２１と親液性化制御層２５０との間に位置して形成されている。
【００６０】
このようなＥＬ装置１００を製造する方法について、以下、簡略化した構造のＥＬ装置４１に基づいて説明する。
図１１に示されるように、透明基板４５上には、画素電極４２が形成され、これらの間を隔壁すなわちバンク４３が設けられている。このような透明基板４５上に、本発明の吐出装置１を用いて正孔注入層４７を形成する。その上から、別の吐出装置１を用いてＲ色発光層４４Ｒ、Ｇ色発光層４４Ｇ、及びＢ色発光層４４Ｂを所定のフィルタエレメント内に形成する。そして、全体を対向電極４６で被うことによってＥＬ装置４１を形成する。なお、図示しないが、画素電極には複数の薄膜トランジスタが形成されていてもよい。また、対向電極を反射型とする場合は、発光方向が基板側となる。逆に、画素電極を反射型、もしくは画素電極の下方に反射性の材料を配置する場合には対向電極が透明性を有し、対向電極側に光が発光する。
なお、対向電極の上方には封止材が形成されている。これは、発光素子を酸素，水分から保護するためのものである。例えば、缶封止といった形態を用いることができる。また、封止材と対向電極との間に保護膜を形成しても良い。
【００６１】
この表示装置４１の製造においても、上述した実施形態の液滴吐出装置１０を用いることにより、同様の作用効果を享受できる。
また、図７〜１０に示した構造のＥＬ装置１００においても、同様に吐出装置１を用いて製造することができる。なお、この場合、有機ＥＬ層６０だけでなく、走査線１０１，信号線１０２，スイッチング用ＴＦＴ１１２，駆動用ＴＦＴ１２３などを本発明の吐出装置を用いて形成してもよい。
【００６２】
ここでは、カラー表示を念頭においたＥＬ発光層を備えたアクティブマトリックス型の表示装置４１について説明したが、例えば単色表示の表示装置に適用してもできる。また、アクティブマトリックス型の表示装置としては、この図６〜１１の構成に限られない。さらに、ＥＬ発光層を備えた表示装置としては、アクティブマトリックス型に限らず、例えばパッシブマトリックス型の表示装置としてもできる。
【００６３】
あるいは本発明の吐出装置は、カラーフィルタ２の保護膜を製造するために適用する、二次元にインクを吐出して描画する描画装置に適用するなど、液状体を被吐出物に吐出して形成されるデバイスを製造する用途に任意に適用できる。
【００６４】
加速度および目標速度は、本実施形態ではそれぞれあらかじめ設定されていたが、これに限らず、例えば、加速度または目標速度が変化するものであってもよい。図１２に示されるように、目標速度が変化しそれに伴って加速度が変化する場合には、目標速度および時間から加速度を算出する加速度算出手段を吐出コントローラ１４に設けて、その加速度に応じて吐出タイミングを制御してもよい。この場合には、記憶部２７には、各加速度および目標速度におけるフィルタエレメント材料４の吐出タイミングをあらかじめ計測して記憶させておけばよい。
また、図１３に示されるように、目標速度に達する加速時に加速度が変化する場合でも、例えば駆動装置１５に吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂおよび載置台１２の移動の加速度を検出する加速度検出手段を設け、吐出コントローラ１４が検出された加速度に応じて随時吐出タイミングを制御すればよい。
あるいは、一定速度で移動する領域を有さず、加速および減速を繰り返して移動する場合にも制御部２６が良好に吐出タイミングを制御する。
【００６５】
また、吐出タイミングは本実施形態ではタイマ２８によって時間で制御していたが、これに限らず、例えば、位置を検出して吐出タイミングを制御してもよい。つまり、吐出ノズル２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂに、載置台１２に対しての相対的な位置を検出する位置検出手段を設けて、この相対的な位置によって吐出タイミングを制御しても本発明の目的を達成できる。
また、記憶部２７に記憶された吐出タイミングは、本実施形態では実験によって計測されていたが、これに限らず、例えば計算によって算出された吐出タイミングを記憶部２７に記憶させてもよい。これは、加速度があらかじめ設定されておらず、各加速度における吐出タイミングを計測しなければならない場合などでは、計測する必要がないので、特に有用である。あるいは、記憶部２７を設けずに、制御部２６において演算によって吐出タイミングを算出して制御してもよい。
【００６６】
そして、上記各実施の形態の電気光学装置が組み込まれる電子機器としては、例えば図１４（ａ）に示されるようなパーソナルコンピュータ６００、図１４（ｂ）に示されるような携帯電話６０１やＰＨＳ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ　Ｈａｎｄｙｐｈｏｎｅ　Ｓｙｓｔｅｍ）などの携帯型電話機、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ（Ｐｏｉｎｔ　Ｏｆ　Ｓａｌｅｓ）端末、ＩＣカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、エンジニアリング・ワークステーション（Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ　Ｗｏｒｋ　Ｓｔａｔｉｏｎ：ＥＷＳ）、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、図１４（ｃ）に示されるような時計６０２、ゲーム機器などの様々な電子機器に適用できる。
【００６７】
【発明の効果】
このような本発明によれば、吐出ヘッドの移動の加速時にも制御手段が相対的な移動時の加速度に応じて所定のタイミングで液状体を被吐出物上に吐出させるので、加速時間が無駄にならず、生産効率を向上させることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる液滴吐出装置の全体を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかるカラーフィルタおよびマザー基板を示す平面図である。
【図３】本発明の一実施形態にかかる吐出コントローラのブロック図である。
【図４】本発明の一実施形態にかかる吐出ノズルのＹ軸方向の移動速度を示す図である。
【図５】本発明の一実施形態にかかるカラーフィルタのフィルタエレメントの配列を示す図である。
【図６】本発明にかかるＥＬ装置の配線構造を示す模式図である。
【図７】本発明にかかるＥＬ装置の構成を模式的に示す平面図である。
【図８】図７のＡ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図９】図７のＣ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図１０】図８の要部拡大断面図である。
【図１１】本発明にかかるＥＬ装置の一部を示す断面図である。
【図１２】本発明にかかる吐出ノズルの移動速度の変形例を示す図である。
【図１３】本発明にかかる吐出ノズルの移動速度の別の変形例を示す図である。
【図１４】本発明にかかる電気光学装置が組み込まれた電子機器を示す図である。
【符号の説明】
２…カラーフィルタ
３…被吐出物としてのマザー基板
４…液状体としてのフィルタエレメント材料
１０…液滴吐出装置
１３…吐出ヘッド
１４…制御手段としての吐出コントローラ
１５…移動手段としての駆動装置
２１…吐出ノズル
２７…記憶手段としての記憶部
４１，１００…ＥＬ装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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