(57)【要約】【目的】本発明は、すだれ状弾性表面波共振器において、傾斜型構造のすだれ状電極を構成することにより、基本モードを効率よく励振することにより、容量比の小さな弾性表面波共振器を得ることを目的としている。【構成】すだれ状電極を伝搬方向に直角な幅方向に分割し、かつ分割したすだれ状電極の中心位置を伝搬方向にＮ・λずらした構造の傾斜型弾性表面波すだれ状電極共振器が本特許の構成である。この場合、傾斜型弾性表面波すだれ状電極共振器の両端に短絡型の反射器を設けることにより、高Ｑ，低容量比の弾性表面波共振器が得られる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板或いは圧電薄膜基板上に設けられたすだれ状電極において、すだれ状電極を弾性表面波の伝搬方向に直角な方向に分割し、分割されたすだれ状電極の電極本数を分割された電極毎に、同一、或いは異なった値にすると共に、分割したすだれ状電極の中心位置，ｃ１，ｃ２，・・・ｃｋを伝搬方向にＮ・λ（正負電極の中心距離をλ／２、λ：弾性表面波の励振中心波長、Ｎは正の整数で通常はＮ＝１）ずらした構造の弾性表面波共振器及びその共振器を用いた弾性表面波フィルタ及び弾性表面波機能素子。
【請求項２】
圧電基板或いは圧電薄膜基板上に設けられたすだれ状電極において、すだれ状電極を弾性表面波の伝搬方向に直角な方向に分割し、分割されたすだれ状電極の電極本数を分割された電極毎に、同一、或いは異なった値にすると共に、分割したすだれ状電極の中心位置，ｃ１，ｃ２，・・・ｃｋを伝搬方向にＮ・λ（正負電極の中心距離をλ／２、λ：弾性表面波の励振中心波長、Ｎは正の整数で通常はＮ＝１）ずらした構造の弾性表面波共振器の両側にその反射位相が励振位相と同位相となるように配置した反射器を設けた構造の弾性表面波共振器及びその共振器を用いた弾性表面波フィルタ及び弾性表面波機能素子。
【請求項３】
圧電基板或いは圧電薄膜基板上に設けられたすだれ状電極において、すだれ状電極を弾性表面波の伝搬方向に直角な方向に分割し、分割されたすだれ状電極の電極本数を分割された電極毎に、同一、或いは異なった値にすると共に、分割したすだれ状電極の中心位置，ｃ１，ｃ２，・・・ｃｋを伝搬方向にＮ・λ（正負電極の中心距離をλ／２、λ：弾性表面波の励振中心波長、Ｎは正の整数で通常はＮ＝１）ずらした構造の弾性表面波共振器の両側にその反射位相が励振と同位相となるようにその周期がほぼλ／２の短絡型の反射器を設けた構造の弾性表面波共振器及びその共振器を用いた弾性表面波フィルタ及び弾性表面波機能素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、すだれ状弾性表面波共振器において、傾斜型構造のすだれ状電極を構成することにより、基本モードを効率よく励振することにより、容量比の小さな弾性表面波共振器に関する。
圧電体単結晶基板上にすだれ状電極を作製した弾性表面波共振器は、弾性表面波フィルタ、広帯域の発振器などに広く応用され研究開発が盛んに行われ、すでに移動体通信のフィルタとして広く用いられている。しかし、更なる広帯域と特性の改善が求められており、本特許はこの要求に答えるものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の弾性表面波共振器は
（１）正規型の電極の両側に反射器を設けた構造、
（２）正規型共振器のみの構造、
（３）励振電極であるすだれ状電極の伝搬方向に直角な電極の幅方向を重み付けし、その両側に反射器を設けた構造、
（４）（３）の場合の反射器を設けない構造
などが提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の弾性表面波共振器の内、特に上記の（３）（４）の方法の共振器は縦モードの基本波のモードに一致した励振を行うことにより容量比γの小さい、
（１）、（２）の場合より、良好な特性の共振器が得られている。しかし、この方法では重み付けをすだれ状電極の交差幅方向の幅を伝搬方向に対して変化させることによる、いわゆるアポタイズド法を用いて行っているため、
（１）弾性表面波の回折効果が大きい（２）伝搬方向の励振強度と反射器の数が伝搬方向で異なるため、所望の特性が得られない、（３）伝搬方向の電極の対数が異なることによる重み付け損失が生ずる、などの欠点がある。
本特許は上記の欠点を取り除いた傾斜重み付け弾性表面波共振器に関するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本特許は、図１のようにすだれ状電極を伝搬方向に直角な幅方向に、その幅がａ１，ａ２，・・・ａｋになるように分割し、かつ幅ａ１，ａ２，・・・ａｋの電極対数をｎ１，ｎ２，ｎ３，・・・ｎｋとすると共に、ａ１，ａ２，・・・ａｋの電極の中心位置をλづつずらした構造の傾斜型の弾性表面波共振器とした構造の共振器である。このような構造の共振器とすることにより、
（１）弾性表面波の回折効果が軽減される。（２）励振電極と反射器の数が軸方向でほぼ同じになるため、所望の特性が得られない、（３）伝搬方向の電極の対数がほぼ等しくなるため、重み付け損失がほとんど零となる、など従来の欠陥をとり除いた共振器を得ることができる。また、図２のように、傾斜型共振器の両側に反射器を構成した構造とすることにより、更に大きなＱ値（尖鋭度）をもつ共振器が得られる。特に，伝搬方向の励振分布の重み付けを、基本波のモード分布を同じにする、例えば傾斜型すだれ状電極の中心に対してｃｏｓ型、或いはｃｏｓｈ型とすることにより、最良のγ値をもつ共振器が得られる。
【０００５】
【実施例】図２は実施例の一つである。即ち、すだれ状電極を伝搬方向に直角な幅方向に、その幅がａ１，ａ２，・・・ａｋになるように分割し、かつ幅ａ１，ａ２，・・・ａｋの電極対数をｎ１，ｎ２，ｎ３，・・・ｎｋとすると共に、ａ１，ａ２，・・・ａｋの電極の中心位置ｃ１，ｃ２．・・・ｃｋをλづつずらした構造の傾斜型の弾性表面波共振器とした構造の共振器の例である。この場合の伝搬方向の強度分布は、基本モードに一致した分布とすることにより、小さな容量比と大きなＱ値の共振器が得られる。
図３は実施例の２であり、図２の傾斜型共振器の両側に短絡型の反射器を配置して、反射位相が励振位相を強め合うように反射器を設けた構造の共振器の例であり、更に大きなＱ値（尖鋭度）をもつ共振器が得られる。特に，この場合も伝搬方向の励振分布の重み付けを、基本波のモード分布と同じにする、例えば傾斜型すだれ状電極の中心に対してｃｏｓ型或いはｃｏｓｈ型とすることにより、最良のγ値をもつ共振器が得られる。
【０００６】
【発明の効果】
図４は本特許の内、反射器をもたない構造の共振器の計算結果を示す。スプリアス信号の無い良好な共振器特性が得られていることが判る。
図５は反射器をもたない構造の本特許の共振器を３個ラダー型に構成したフィルタの特性を示す。共振器がスプリアス特性をもたないことからスプリアス信号のない、挿入損失がほとんど零の良好なフィルタ特性が得られていることが判る。
【０００７】
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、すだれ状電極を伝搬方向に直角な幅方向に分割し、かつ分割したすだれ状電極の中心位置を伝搬方向にＮ・λずらした構造の傾斜型弾性表面波すだれ状電極共振器の図である。
【図２】傾斜型弾性表面波すだれ状電極共振器の図である。
【図３】傾斜型弾性表面波すだれ状電極共振器の両端に短絡型の反射器をもつ構造の弾性表面波共振器の図である。
【図４】反射器をもたない構造の傾斜型弾性表面波共振器の周波数特性を示す図である。
【図５】図４の共振器をラダー型に構成したフィルタの特性を示す図である。
１…圧電基板或いは圧電薄膜基板に上に設けられたすだれ状電極を幅方向に分割したすだれ状電極のその幅がａ１のすだれ状電極
２…幅がａ２のすだれ状電極
３…幅がａｋのすだれ状電極４…反射器をもたない傾斜型すだれ状共振器
５…反射器をもった傾斜型すだれ状共振器．
６…反射器の部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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