(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の帯電を最小限に抑えて移載時に基板が容易に剥がれるようにし、かつ帯電に起因した基板の外観不良等の発生を効果的に防止することができる、吸着プレート装置を提供する。【解決手段】吸着プレート装置としての冷却プレート装置のプレート本体１１の内部には冷却機構が設けられており、プレート本体１１の載置面１２上に載置される基板２０を冷却するようになっている。プレート本体１１の載置面１２上には、複数の支持突起１３及び複数の補助突起１４が形成されており、これらの各支持突起１３及び各補助突起１４の頂部端面１３ａ，１４ａにより基板２０を支持するようになっている。各支持突起１３には基板２０を真空吸着するための真空吸引孔１３ｂが形成されている。各支持突起１３のうち基板２０に接触する頂部端面１３ａは、真空吸引孔１３ｂにより基板２０を真空吸引した際に基板２０と密着するような平滑性を有している。【選択図】  図３
2004303961.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が載置される載置面を有するプレート本体と、
基板を支持するよう前記プレート本体の前記載置面上に形成された複数の支持突起とを備え、
前記各支持突起には前記基板を真空吸着するための真空吸引孔が形成され、前記各支持突起のうち前記基板に接触する頂部端面は、前記真空吸引孔により前記基板を真空吸引した際に前記基板と密着するような平滑性を有することを特徴とする吸着プレート装置。
【請求項２】
前記各支持突起の前記頂部端面は、ＪＩＳ  Ｂ０６０１により規定される算術平均粗さＲａが０＜Ｒａ≦１．６μｍである表面粗さを有することを特徴とする、請求項１に記載の吸着プレート装置。
【請求項３】
前記各支持突起は、前記プレート本体の前記載置面内にて格子状に配置されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の吸着プレート装置。
【請求項４】
前記各支持突起とともに前記基板を支持するよう前記プレート本体の前記載置面上に形成された複数の補助突起をさらに備えたことを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の吸着プレート装置。
【請求項５】
前記プレート本体は基板を冷却するものであることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれかに記載の吸着プレート装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルター基板等を製造するための製造ラインで用いられる吸着プレート装置に係り、とりわけ、基板を真空チャック方式で保持する吸着プレート装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
吸着プレート装置としては例えば、基板を冷却する冷却プレート装置が知られている。このような冷却プレート装置は一般に、水冷機構等により一定の低温に保たれたプレート本体を有し、このプレート本体の表面上に基板を真空チャック方式で全面密着させることにより当該基板の冷却を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の吸着プレート装置では、プレート本体の表面上に基板を全面密着させるので、プレート本体と基板との間の接触面積が大きくなり基板が帯電しやすい。このため、基板をプレート本体から取り外して次工程の別の処理装置等に移載させる際に、プレート本体から基板が剥がれにくくなり、最悪の場合には基板が割れてしまうおそれがあるという問題がある。また、基板が帯電してしまうことから、基板を次工程の別の処理装置等に移載させる際に、アーク放電等が発生し、基板の外観不良等を引き起こすおそれがあるという問題がある。
【０００４】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、基板の帯電を最小限に抑えて移載時に基板が容易に剥がれるようにし、かつ帯電に起因した基板の外観不良等の発生を効果的に防止することができる、吸着プレート装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板が載置される載置面を有するプレート本体と、基板を支持するよう前記プレート本体の前記載置面上に形成された複数の支持突起とを備え、前記各支持突起には前記基板を真空吸着するための真空吸引孔が形成され、前記各支持突起のうち前記基板に接触する頂部端面は、前記真空吸引孔により前記基板を真空吸引した際に前記基板と密着するような平滑性を有することを特徴とする吸着プレート装置を提供する。
【０００６】
なお、本発明において、前記各支持突起の前記頂部端面は、ＪＩＳ  Ｂ０６０１により規定される算術平均粗さＲａが０＜Ｒａ≦１．６μｍである表面粗さを有することが好ましい。
【０００７】
また、本発明において、前記各支持突起は、前記プレート本体の前記載置面内にて格子状に配置されていることが好ましい。
【０００８】
さらに、本発明においては、前記各支持突起とともに前記基板を支持するよう前記プレート本体の前記載置面上に形成された複数の補助突起をさらに備えることが好ましい。
【０００９】
さらにまた、本発明において、前記プレート本体は基板を冷却するものであることが好ましい。
【００１０】
本発明によれば、載置面上に形成された複数の支持突起により基板を支持するプレート本体において、各支持突起に形成された真空吸引孔により基板を真空吸着するとともに、各支持突起の頂部端面が、真空吸引孔により基板を真空吸引した際に基板と密着するような平滑性を有しているので、各支持突起の頂部端面上で基板を吸着保持した場合でも、各支持突起以外の部分に位置する載置面と基板との間の空間から空気が排気されることがなく、各支持突起により支持された基板をフラットな状態に保つことができる。このため、各支持突起以外の部分で基板が載置面に接触してしまうことを効果的に防止することができ、基板の帯電を最小限に抑えて移載時に基板が容易に剥がれるようにし、かつ帯電に起因した基板の外観不良等の発生を効果的に防止することができる。特に、本発明によれば、各支持突起により支持された基板をフラットな状態に保つことができるので、各支持突起の高さを低くしてプレート本体の載置面と基板との間の間隔を小さくすることができ、プレート本体により基板を冷却するような場合において、プレート本体の冷却効率を十分に確保することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１２】
まず、図１により、本発明の一実施の形態に係る吸着プレート装置の全体構成について説明する。なお、本実施の形態においては、吸着プレート装置の一例として、冷却プレート装置を例に挙げて説明する。
【００１３】
図１に示すように、冷却プレート装置１０は、冷却対象となる基板２０が載置されるプレート本体１１を備えている。
【００１４】
ここで、プレート本体１１の内部には冷却機構１５が設けられており、プレート本体１１の載置面１２上に載置される基板２０を冷却することができるようになっている。なお、冷却機構１５には温度制御装置１６が接続されており、プレート本体１１の載置面１２の温度を一定の低温に保つことができるようになっている。
【００１５】
また、プレート本体１１の載置面１２上には、図２及び図３に示すように、複数の支持突起１３及び複数の補助突起１４が形成されており、これらの各支持突起１３及び各補助突起１４の頂部端面１３ａ，１４ａにより基板２０を支持することができるようになっている。
【００１６】
ここで、図２及び図３に示すように、各支持突起１３には基板２０を真空吸着するための真空吸引孔１３ｂが形成されており、真空吸引孔１３ｂに接続された真空吸引機構１７（図１参照）により真空引きを行うことにより各支持突起１３と基板２０とを互いに密着させることができるようになっている。なお、各支持突起１３のうち基板２０に接触する頂部端面１３ａは、真空吸引孔１３ｂにより基板２０を真空吸引した際に基板２０と密着するような平滑性を有していることが好ましい。具体的には、各支持突起１３の頂部端面１３ａは、ＪＩＳ（Ｊａｐａｎｅｓｅ  Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ  Ｓｔａｎｄａｒｄｓ）  Ｂ０６０１により規定される算術平均粗さＲａが０＜Ｒａ≦１．６μｍである表面粗さを有していることが好ましい。
【００１７】
一方、各補助突起１４のうち基板２０の下面に接触する頂部端面１４ａは、各支持突起１３の真空吸引孔１３ｂにより基板２０を真空吸引した際でも基板２０と密着しないような平滑性を有していることが好ましい。
【００１８】
ここで、各支持突起１３及び各補助突起１４は、例えば図２に示すような形態で、プレート本体１１の載置面１２内にて格子状に配置されていることが好ましい。
【００１９】
なお、各支持突起１３及び各補助突起１４の配置間隔及び寸法は、基板２０を各支持突起１３及び各補助突起１４により支持した際に基板２０の自重による撓みにより基板２０の下面がプレート本体１１の載置面１２に接触しないような範囲で任意に設定することができる。具体的には例えば、載置面１２の大きさが１３００ｍｍ×１３００ｍｍであるプレート本体１１上に、１１００ｍｍ×１２５０ｍｍの大きさのカラーフィルター基板を載置する場合であれば、各支持突起１３及び各補助突起１４の間隔ａ及びｂはそれぞれ、１００ｍｍ、５０ｍｍ程度に設定することが好ましい。また、各支持突起１３は、その頂部端面１３ａの直径φ１を３ｍｍ程度、高さｈ１を５０μｍ程度に設定することが好ましい。さらに、各補助突起１４は、その頂部端面１４ａの直径φ２を２ｍｍ程度、高さｈ２を５０μｍ程度に設定することが好ましい。なお、各支持突起１３及び各補助突起１４の高さｈ１及びｈ２は等しいことが好ましい。
【００２０】
次に、このような構成からなる冷却プレート装置１０の作用について説明する。
【００２１】
まず、冷却プレート装置１０において、プレート本体１１の内部に設けられた冷却機構１５及びそれに接続された温度制御装置１６を稼働させ、プレート本体１１の載置面１２の温度を一定の低温に保つ。
【００２２】
この状態で、プレート本体１１の上方に基板２０を移動させ、プレート本体１１の載置面１２上に基板２０を載置する。このとき、基板２０は、載置面１２上に形成された複数の支持突起１３及び複数の補助突起１４により支持される。
【００２３】
その後、真空吸引機構１７を稼働させると、各支持突起１３の真空吸引孔１３ｂにより基板２０が真空吸引され、基板２０が各支持突起１３及び各補助突起１４の頂部端面１３ａ，１４ａ上で吸着保持される。このとき、各支持突起１３の頂部端面１３ａと基板２０とは互いに密着し、当該頂部端面１３ａと基板２０との間に局所的な真空吸着状態が形成される。なお、この状態では、各支持突起１３以外の部分に位置する載置面１２と基板２０との間の空間から空気が排気されることがないので、各支持突起１３により支持された基板２０はフラットな状態に保たれる。
【００２４】
この状態で、プレート本体１１により基板２０が十分に冷却された後、基板２０がプレート本体１１から取り外され、次工程の別の処理装置等に移載される。
【００２５】
このように本実施の形態によれば、載置面１２上に形成された複数の支持突起１３により基板２０を支持するプレート本体１１において、各支持突起１３に形成された真空吸引孔１３ｂにより基板２０を真空吸着するとともに、各支持突起１３の頂部端面１３ａが、真空吸引孔１３ｂにより基板２０を真空吸引した際に基板２０と密着するような平滑性を有しているので、各支持突起１３の頂部端面１３ａ上で基板２０を吸着保持した場合でも、各支持突起１３以外の部分に位置する載置面１２と基板２０との間の空間から空気が排気されることがなく、各支持突起１３により支持された基板２０をフラットな状態に保つことができる。このため、各支持突起１３以外の部分で基板２０が載置面１２に接触してしまうことを効果的に防止することができ、基板２０の帯電を最小限に抑えて移載時に基板２０が容易に剥がれるようにし、かつ帯電に起因した基板２０の外観不良等の発生を効果的に防止することができる。特に、本実施の形態によれば、各支持突起１３により支持された基板２０をフラットな状態に保つことができるので、各支持突起１３の高さｈ１を低くしてプレート本体１１の載置面１２と基板２０との間の間隔を小さくすることができ、プレート本体１１の冷却効率を十分に確保することができる。
【００２６】
また、本実施の形態によれば、各支持突起１３とともに各補助突起１４により基板２０を支持するようにしているので、基板２０の自重による撓みをより効果的に防止して、各支持突起１３以外の部分で基板２０が載置面１２に接触してしまうことをより効果的に防止することができる。このため、各支持突起１３及び各補助突起１４の高さｈ１及びｈ２を低くしてプレート本体１１の載置面１２と基板２０との間の間隔をより小さくすることができ、プレート本体１１の冷却効率をより向上させることができる。
【００２７】
さらに、本実施の形態によれば、各補助突起１４の頂部端面１４ａが、各支持突起１３の真空吸引孔１３ｂにより基板２０を真空吸引した際でも基板２０と密着しないような平滑性を有するようにすることにより、各補助突起１４に起因した基板２０の帯電を最小限に抑えて移載時に基板２０がより容易に剥がれるようにすることができる。
【００２８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、吸着プレート装置において、基板の帯電を最小限に抑えて移載時に基板が容易に剥がれるようにし、かつ帯電に起因した基板の外観不良等の発生を効果的に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る冷却プレート装置（吸着プレート装置）の全体構成を示す図。
【図２】図１に示す冷却プレート装置（吸着プレート装置）のプレート本体の表面の構成を示す斜視図。
【図３】図２に示すプレート本体のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図。
【符号の説明】
１０  冷却プレート装置（吸着プレート装置）
１１  プレート本体
１２  載置面
１３  支持突起
１３ａ  頂部端面
１３ｂ  真空吸引孔
１４  補助突起
１４ａ  頂部端面
１５  冷却機構
１６  温度制御装置
１７  真空吸引機構
２０  基板
【図１】
2004303961.tif 000003
【図２】
2004303961.tif 000004
【図３】
2004303961.tif 000005