(57)【要約】【課題】  ブレードを基板の方向に強く押圧した状態で移動させても、基板が傷ついたり、破損したりすることがない。【解決手段】  基台１２の上部に通気性を有する緩衝材２１を設ける。基板１を緩衝材２１の上部に載置し、バキュームポンプを作動させて基台１２の小孔及び緩衝材２１の通気孔を介してエアーを吸引することにより、基板１が緩衝材２１を介して基台１２に弾性的に支持される。ブレード３を移動させたときに基板１に作用するブレードの押圧は緩衝材２１の弾性によって緩衝されるので、基板１が傷ついたり、破損したりするようなことはない。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面にペースト膜が設けられる基板を負圧吸引によって基台に支持し、前記基板の板面に対向して設けられるブレードを相対移動させて、前記ペースト膜にリブ状物を形成するリブ状物の形成装置であって、前記基台と前記基板との間に通気性を有する緩衝材を介装させたことを特徴とするリブ状物の形成装置。
【請求項２】
請求項１に記載のリブ状物の形成装置であって、前記基台にはバキュームポンプに接続される複数の小孔が設けられ、バキュームポンプの作動により前記小孔及び前記緩衝材の通気孔を介してエアーを吸引することにより、前記基台に前記基板が前記緩衝材を介して負圧吸引されるようになっていることを特徴とするリブ状物の形成装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のリブ状物の形成装置であって、前記緩衝材は、不織布であることを特徴とするリブ状物の形成装置。
【請求項４】
請求項１又は２に記載のリブ状物の形成装置であって、前記緩衝材は、発泡シリコーンからなることを特徴とするリブ状物の形成装置。
【請求項５】
請求項４に記載のリブ状物の形成装置であって、前記発泡シリコーンは、導電材を混在させていることを特徴とするリブ状物の形成装置。
【請求項６】
請求項４に記載のリブ状物の形成装置であって、前記発泡シリコーンの上に、導電材が設けられていることを特徴とするリブ状物の形成装置。
【請求項７】
表面にペースト膜が設けられる基板を負圧吸引によって基台に支持し、前記基板の板面に対向して設けられるブレードを相対移動させて、前記ペースト膜にリブ状物を形成するリブ状物の形成方法であって、前記基台と前記基板との間に緩衝材を介装させ、該緩衝材により前記ブレードに弾性力を作用させつつ、前記ペースト膜にリブ状物を形成することを特徴とするリブ状物の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＰＤＰ（ｐｌａｓｍａ  ｄｉｓｐｌａｙ  ｐａｎｅｌ）の製造工程において、基板表面にリブ状物を形成するリブ状物の形成装置及びリブ状物の形成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のリブ状物の形成装置の一例として、図６に示すように、表面にペースト膜２が設けられる基板１を水平に支持する基台３２と、基台３２の上方に水平方向に移動可能に設けられる移動ヘッド３５と、移動ヘッド３５を水平方向に移動させる回転モータ３９と、移動ヘッド３５に取り付けられるとともに、ブレード３を保持可能なブレードホルダ３７と、ブレードホルダ３７を上下方向に移動させるエアーシリンダ４０と、４０とを備えたものが開示されている（特許文献１参照）。
【０００３】
このリブ状物の形成装置３１は、基台３２に図７に示すように、バキュームポンプ（図示せず）に接続される複数の小孔３２ａが設けられ、バキュームポンプの作動により小孔３２ａを介してエアーを吸引することにより、基台３２の上部に基板１が負圧吸引されて支持されるようになっている。そして、エアーシリンダ４０、４０を作動させてブレード３を下降させ、回転モータ３９を作動させてブレード３を水平方向に移動させることにより、ペースト膜２に所望のリブ状物を形成することができるものである。
【特許文献１】特開２０００−２４３２６７号公報（第６−１２頁、図１−図７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記のような構成のリブ状物の形成装置３１にあっては、基板１及び基台３２が共に硬く形成されているため、ブレード３を移動させてペーストを掻き取ってペースト膜２にリブ状物を形成する際のブレード３の押圧が基板１に直接に加わってしまい、基板１に傷が付いたり、破損したりする場合がある。このため、ブレード３を基板１の方向に強く押圧した状態で移動させることができず、ペースト膜２に掻き残りが生じ、リブ状物７、７間に形成されるセル８の底面にペーストが残存し、その残存物のためにプラズマディスプレイ等に使用した場合にアドレス放電電圧にばらつきが生じることがある。特に、基板の厚さ変動や反り等がある場合にそのような問題が顕著に生じる。
【０００５】
本発明は、上記のような従来の問題に鑑みなされたものであって、ブレードを基板の方向に強く押圧した状態で移動させても、基板が傷ついたり、破損したりするようなことがなく、ペーストを十分に掻き取ることができて、ペースト膜に所望のリブ状物を形成することができ、これにより、プラズマディスプレイ等に使用した場合に、アドレス放電電圧にばらつきが生じることがないリブ状物の形成装置及びリブ状物の形成方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、表面にペースト膜が設けられる基板を負圧吸引によって基台に支持し、前記基板の板面に対向して設けられるブレードを相対移動させて、前記ペースト膜にリブ状物を形成するリブ状物の形成装置であって、前記基台と前記基板との間に通気性を有する緩衝材を介装させたことを特徴とする。
請求項２に係る発明は、請求項１に記載のリブ状物の形成装置であって、前記基台にはバキュームポンプに接続される複数の小孔が設けられ、バキュームポンプの作動により前記小孔及び前記緩衝材の通気孔を介してエアーを吸引することにより、前記基台に前記基板が前記緩衝材を介して負圧吸引されるようになっていることを特徴とする。
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載のリブ状物の形成装置であって、前記緩衝材は、不織布であることを特徴とする。
請求項４に係る発明は、請求項１又は２に記載のリブ状物の形成装置であって、前記緩衝材は、発泡シリコーンからなることを特徴とする。
請求項５に係る発明は、請求項４に記載のリブ状物の形成装置であって、前記発泡シリコーンは、導電材を混在させていることを特徴とする。
請求項６に係る発明は、請求項４に記載のリブ状物の形成装置であって、前記発泡シリコーンの上に、導電材が設けられていることを特徴とする。
請求項７に係る発明は、表面にペースト膜が設けられる基板を負圧吸引によって基台に支持し、前記基板の板面に対向して設けられるブレードを相対移動させて、前記ペースト膜にリブ状物を形成するリブ状物の形成方法であって、前記基台と前記基板との間に緩衝材を介装させ、該緩衝材により前記ブレードに弾性力を作用させつつ、前記ペースト膜にリブ状物を形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１に係るリブ状物の形成装置によれば、基板は、基台に通気性を有する緩衝材を介して支持されることになるので、ブレードを基板の方向に強く押圧した状態で移動させた際に基板に作用するブレードの押圧は緩衝材によって緩衝されることになる。従って、基板が傷ついたり、破損したりするようなことはなく、ペーストを十分に掻き取ることができるので、ペースト膜に所望のリブ状物を形成することができる効果が得られ、また、基板は、緩衝材の弾性力によってブレードの方向に常時押圧されることになるので、所望の外形のリブ状物を高精度で形成することができる効果がえられ、その結果、プラズマディスプレイ等に使用した場合に、ペーストの残存物によるアドレス放電電圧にばらつきが生じるのを確実に防止できるという副次的効果が得られる。
【０００８】
請求項２に係るリブ状物の形成装置によれば、基台の上部に緩衝材を介して基板が支持されることになるので、ブレードを基板の方向に強く押圧した状態で移動させた際に基板に作用するブレードの押圧は緩衝材によって緩衝されることになる結果、基板が傷ついたり、破損したりするようなことはなく、ペーストを十分に掻き取ることができるので、ペースト膜に所望のリブ状物を形成することができる効果が得られ、
【０００９】
請求項３に係るリブ状物の形成装置によれば、ペースト膜にリブ状物を形成する際に基板に作用するブレードの押圧は不織布からなる緩衝材によって緩衝され、また、基板は不織布の弾性力によって常時ブレードの方向に押圧されることになるので、基板が傷ついたり、破損したりするのを確実に防止することができ、また所望の外径のリブ状物を確実に高精度に形成することができる効果が得られる。
【００１０】
請求項４に係るリブ状物の形成装置によれば、ペースト膜にリブ状物を形成際に基板に作用するブレードの押圧は発泡シリコーンからなる緩衝材によって緩衝され、また基板は発泡シリコーンの弾性力によって常時ブレードの方向に押圧されることになるので、基板が傷ついたり、破損したりするのを確実に防止することができ、所望の外径のリブ状物を確実に高精度に形成することができる効果が得られるのに加え、基板の取り付け及び取り外しを繰り返しても、緩衝材の機能を常に良好に維持することができる効果が得られる。
【００１１】
請求項５に係るリブ状物の形成装置によれば、緩衝材としての発泡シリコーンに導電材を混在させているので、静電気を帯びた基板が発泡シリコーン上にセットされると、静電気が発泡シリコーン中の導電材及び基台を介して放電されることとなり、基板に帯電している静電気を簡単に放電することができ、静電気による影響を取り除くことができる効果が得られる。
【００１２】
請求項６に係るリブ状物の形成装置によれば、発泡シリコーンの上に、導電材が設けられているので、発泡シリコーン上の導電材に基板がセットされた時点で、基板に帯電する静電気を放電させることができ、静電気による影響を取り除くことができる効果が得られる。
【００１３】
請求項７に係るリブ状物の形成方法によれば、基板は、緩衝材を介して基台に支持されることになるので、ブレードを移動させてペースト膜にリブ状物を形成する際に基板に加わるブレードの押圧は緩衝材の弾性によって緩衝され、また、基板は、不織布の弾性力によって常時ブレードの方向に押圧されることになる結果、基板が傷ついたり、破損したりするようなことはなく、ペーストを十分に掻き取ることができるので、ペースト膜に所望のリブ状物を形成することができる効果が得られ、また、基板は、緩衝材の弾性力によってブレードの方向に常時押圧されることになるので、所望の外形のリブ状物を高精度で形成することができる効果が得られる結果、プラズマディスプレイ等に使用した場合に、ペーストの残存物によるアドレス放電電圧にばらつきが生じるのを確実に防止できるという副次的効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。
図１及び図２には、本発明によるリブ状物の形成装置の第１の実施の形態が示されている。図１に示すように、このリブ状物の形成装置１１は、表面にペースト膜２が設けられる基板１を水平に支持する基台１２と、基台１２の上方に水平方向に移動可能に設けられる移動ヘッド１５と、移動ヘッド１５を水平方向に移動させるアクチュエータとしての回転モータ１９と、移動ヘッド１５に取り付けられる少なくとも１つのブレード３（この実施の形態においては１つ）を保持可能なブレードホルダ１７と、ブレードホルダ１７を上下方向に移動させるアクチュエータとしてのエアーシリンダ２０、２０とを備えている。
【００１５】
基台１２は、上面が水平に形成される板状をなすものであって、図２に示すように、上面にはバキュームポンプ（図示しない）に連通する複数の小孔１２ａが設けられている。また、基台１２の上面には、複数の小孔１２ａの各開口部に臨むように所定の厚みの緩衝材２１が敷設され、この緩衝材２１の上部に基板１が載置されるようになっている。
【００１６】
緩衝材２１は、通気性を有する素材からなるものであって、例えば不織布等が挙げられる。緩衝材２１の上部に載置された基板１は、バキュームポンプの作動によって基台１２の複数の小孔１２ａ及び緩衝材２１の通気性を介してエアーを吸引することにより、緩衝材２１の上部に負圧吸引され、水平に支持される。
【００１７】
基台１２の上面の四隅にはそれぞれ支柱１３（１本のみ図示）が立設され、この支柱１３には一対の雄ネジ軸１４、１４が水平かつ互いに平行に架設され、この雄ネジ軸１４、１４に移動ヘッド１５が水平方向に移動自在に取り付けられている。
【００１８】
移動ヘッド１５の両端部には一対の雌ネジ軸受１６、１６が設けられ、この雌ネジ軸受１６、１６に一対の雄ネジ軸１４、１４を螺合させることにより、移動ヘッド１５が一対の雄ネジ軸１４、１４に水平方向に移動自在に取り付けられる。
【００１９】
一方の雄ネジ軸１４の一端部はアクチュエータである回転モータ１９に連結され、回転モータ１９を作動させて雄ネジ軸１４を回転させることにより、移動ヘッド１５が一対の雄ネジ軸１４、１４に沿って水平方向に移動するようになっている。
【００２０】
移動ヘッド１５にはアクチュエータである一対のエアーシリンダ２０、２０が取り付けられ、このエアーシリンダ２０、２０のロッドの先端部にはブレードホルダ１７が水平に取り付けられ、エアーシリンダ２０、２０の作動によりブレードホルダ１７が上下方向に移動するようになっている。
【００２１】
ブレードホルダ１７の下面側には所定の深さの取付溝１８が設けられ、この取付溝１８内にブレード３の上端部を挿入させてネジ等により固定することで、ブレード３がブレードホルダ１７に保持されるようになっている。この場合、ブレード３は、長手方向が移動ヘッド１５の移動方向に直交する方向を向くように、ブレードホルダ１７に保持されている。
【００２２】
ブレード３は、板状をなすものであって、下端部に長手方向に所定のピッチで長方形状の複数のくし歯５、５…が設けられ、隣接するくし歯５、５間に長方形状のスリット６が設けられる。各くし歯５の下端部は、進行方向前方側の面が裏面側に所定の角度で傾斜する傾斜面に形成され、これにより先端が尖ったエッジ状に形成されている。
【００２３】
ブレード３は、ペーストと反応したり、ペーストに溶解されることのない金属、セラミック、プラスチック等により形成される。特に、寸法精度、耐久性の観点からセラミック若しくはＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ基の合金が好ましい。
【００２４】
基板１のペースト膜２を構成するペーストは、ガラス粉末又はガラス・セラミック混合粉末と、樹脂と、溶媒（溶剤と可塑剤と分散剤）とを含むペーストであり、ガラス粉末は、ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＰｂＯ等を主成分として、その軟化点が３００℃〜６００℃であることが必要である。
【００２５】
ガラス・セラミック混合粉末とは、ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＰｂＯ等を主成分とするガラス粉末と、フィラーの役割を果たすアルミナ、ジルコン、コージェライト、ムライト、フォルステライト等のセラミック粉末とを含むものである。このセラミック粉末は、焼成後のリブ状物７の強度を向上させるための混合される。セラミック粉末は６０容積％以下が好ましい。セラミック粉末が６０容積％以上になるとリブ状物７が多孔質になり好ましくない。
【００２６】
樹脂は、バインダとしての機能を有し、熱分解しやすく、溶剤に溶けて高粘土を有するポリマーであって、セルロース系樹脂（エチルセルロース、メチルセルロース等）、アクリル系樹脂（メチルメタクリル、エチルメタクリル等）、塩化ビニル樹脂、フェノール樹脂などが挙げられる。
【００２７】
溶剤としては、非水系溶剤（アルコール系、エーテル系、芳香族系、炭化水素系等の有機溶剤）が挙げられ、非水系溶剤は、アルコール系及びエーテル系の溶剤が好ましい。好ましいアルコールとしては、αテレピネオール等が挙げられ、好ましいエーテルとしては、ジベンジルエーテル等が挙げられる。
【００２８】
表面にペースト膜２を形成した基板１を、基台１２の上部の緩衝材２１の上部に載置し、バキュームポンプを作動させて基台１２の複数の小孔１２ａ及び緩衝材２１の通気孔を介してエアーを吸引し、基板１を緩衝材２１の上部に負圧吸引によって弾性的に支持する。
【００２９】
そして、エアーシリンダ２０、２０を作動させてブレードホルダ１７を下降させて、ブレードホルダ１７に保持されているブレード３の複数のくし歯５、５…をそれぞれ基板１のペースト膜２に突き刺し、回転モータ１９を作動させて雄ネジ軸１４を回転させ、移動ヘッド１５と一体にブレードホルダ１７及びブレード３を水平方向に移動させる。
【００３０】
このようにして、基板１の上部に目的とする外形のリブ状物７、７…が形成される。
【００３１】
この場合、基板１は、緩衝材２１を介して基台１２の上部に支持されているので、ブレード３を基板１の方向に強く押圧した状態で水平方向に移動させても、緩衝材２１の弾性力によって基板１に作用するブレード３の押圧を緩衝させることができるので、基板１の表面に傷が付いたり、破損したりするようなことはない。また、基板１は緩衝材２１によってブレード３の方向に常時押圧されているので、ブレード３による押圧力が逃げてしまってリブ状物７の形成に影響を与えるようなことはなく、確実に所望の形状のリブ状物７を形成することができる。
【００３２】
そして、基板１の表面に目的とする外形のリブ状物７、７…を形成した後に、乾燥工程、焼成行程を経ることにより、基板１の表面に目的とするリブ状物７、７…を形成することができる。
【００３３】
上記のように構成したこの実施の形態によるリブ状物の形成装置１１にあっては、基台１２の上部に通気性を有する緩衝材２１を設け、この緩衝材２１の上部に基板１を支持するように構成したので、ブレード３のくし歯５、５…を基板１の方向に強く押圧した状態で水平方向に移動させても、緩衝材２１の弾性力によって基板１に作用するブレード３の押圧を緩衝させることができるので、基板１に傷が付いたり、破損したりするようなことがなく、ペースト膜２を十分に掻き取ることができ、隣接するリブ状物７、７間に位置するセル８の底面にペーストが凸凹に掻き残るようなことはない。
【００３４】
図３には、本発明によるリブ状物の形成装置の第２の実施の形態が示されている。
前述した第１の実施形態では、基台１２と基板１とに例えば不織布からなる緩衝材２１を用いたが、この実施形態においては、図３に示すように、緩衝材２１として発泡シリコーン２２が用いられている。
【００３５】
発泡シリコーン２２は、基台１２に設けられた複数の小孔１２ａの各開口部に臨むように、所定の厚みをもって基台１２の上面に設けられている。そして、発泡シリコーン２２の上に基板１が載置されるようになっている。なお、図３において、図２と同一部分には同一符号を付している。
【００３６】
このように、発泡シリコーン２２からなる緩衝材２１を用いると、ブレード３のくし歯５、５…を基板１の方向に強く押圧した状態で水平方向に移動させたとき、発泡シリコーン２２の弾性力によって基板１に作用するブレード３の押圧を緩衝させることができるので、基板１に傷が付いたり、破損したりするようなことがなく、ペースト膜２を十分に掻き取ることができ、隣接するリブ状物７、７間に位置するセル８の底面（図１参照）にペーストが凸凹に掻き残るようなことはなく、基本的には前述した第１の実施形態と同様の作用効果が得られる。
【００３７】
それに加え、以下の効果を奏することができる。
即ち、リブ状物７を有する基板１は、基台１２から取り外された後、再び取り付けられ、それが幾度が繰り返されることがある。そのようなとき、緩衝材２１としての発泡シリコーン２２では、その上面が平らになっており、その上に基板１の取り付け及び取り外しを繰り返しても、前述した第１の実施形態のような不織布のように毛羽立つことがおそれがなく、それにより、基板１の取り付け及び取り外しを繰り返しても、緩衝材２１の機能を常に良好に維持することができる。
【００３８】
図４には、本発明によるリブ状物の形成装置の第３の実施の形態が示されている。
この場合は、図４に示すように、基台１２と基板１とに介装された緩衝材２１として、発泡シリコーン２２内に導電材２３が混在して形成されている。導電材２３としては、例えばカーボン、導電性のポリマー、金属、導電性の金属酸化物、導電性の窒素酸化物等が挙げられる。
【００３９】
このように、発泡シリコーン２２に導電材２３が混在することで、発泡シリコーン２２全体に導電性が付与された場合、以下の作用効果を奏することができる。
つまり、基板１が例えばガラスなどで構成されている場合、基板１が静電気を帯びていることがある。
【００４０】
その点、上述のように発泡シリコーン２２が導電性２３を有していると、静電気を帯びた基板１が発泡シリコーン２２上にセットされると、静電気が発泡シリコーン２２中の導電材２３及び基台２１を介して放電されることとなるので、基板１に帯電している静電気を簡単に放電することができ、静電気による影響を取り除くことができる。
また、発泡シリコーン２２が緩衝材であることにより、前記第２の実施の形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００４１】
このような導電材２３としては、発泡シリコーン２２自体に混在させることに限定されるものではなく、以下に示す図５のように構成することもできる。
図５は、本発明によるリブ状物の形成装置の他の実施の形態をそれぞれ示している。
図５に示す第４の実施形態においては、発泡シリコーン２２ａの上に、薄く形成された
フィルム状の導電材２３を設けて緩衝材２１が形成されている。
このフィルム状の導電材２３としては、カーボン、導電性のポリマー、金属、導電性の金属酸化物、導電性の窒素酸化物等が挙げられる。
【００４２】
図５に示す実施形態のように、発泡シリコーン２２ａ上にフィルム状の導電材２３を設けたり、発泡シリコーン２２a上にフィルム状の導電材２３ｂを設けたりしても、それらの緩衝材２１上に基板１がセットされた時点で、基板１に帯電する静電気を放電させることができるので、第３の実施の形態と同様、静電気による影響を取り除くことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明に係るリブ状物の形成装置によれば、基板が傷ついたり、破損したりするようなことはなく、ペーストを十分に掻き取ることができるので、ペースト膜に所望のリブ状物を形成することができる効果が得られ、また、基板は、緩衝材の弾性力によってブレードの方向に常時押圧されることになるので、所望の外形のリブ状物を高精度で形成することができる効果がえられ、その結果、プラズマディスプレイ等に使用した場合に、ペーストの残存物によるアドレス放電電圧にばらつきが生じるのを確実に防止できるという副次的効果が得られるため、産業上の利用可能性は認められる。  
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明によるリブ状物の形成装置の第１の実施の形態を示した概略図である。
【図２】図１の部分拡大断面図である。
【図３】本発明によるリブ状物の形成装置の第２の実施の形態を示した、図２に対応する拡大断面図である。
【図４】本発明によるリブ状物の形成装置の第３の実施の形態を示した拡大断面図である。
【図５】本発明によるリブ状物の形成装置の第４の実施の形態を示した要部の拡大断面図である。
【図６】従来のリブ状物の形成装置の一例を示した概略断面図である。
【図７】図６の部分拡大断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１    基板
２    ペースト膜
３    ブレード
５    くし歯
７    リブ状物
１１    リブ状物の形成装置
１２    基台
１２ａ    小孔
１７    ブレードホルダ
２１    緩衝材
２２、２２ａ  発泡シリコーン
２３    導電材
【図１】
2004303714.tif 000003
【図２】
2004303714.tif 000004
【図３】
2004303714.tif 000005
【図４】
2004303714.tif 000006
【図５】
2004303714.tif 000007
【図６】
2004303714.tif 000008
【図７】
2004303714.tif 000009