(57)【要約】【課題】第１の基板と第２の基板との撮像方向の軸回りのずれを防止して、精密な位置合せを実現すること。【解決手段】一対の第１のアライメントマーク２ｂを形成した第１の基板２と、一対の第２のアライメントマーク３ａを形成した第２の基板３とからなる電気光学装置であって、隣り合う第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａとが撮像方向において規定の間隔を有し、一対の第１のアライメントマーク２ｂを相互に結んだ線分の中点Ｐ１と、一対の第２のアライメントマーク３ａを相互に結んだ線分の中点Ｐ２とを結んだ共通線分の長さが規定の長さＬ１であって、一対の第１のアライメントマーク２ｂを相互に結んだ線分と、共通線分とが規定の角度θで交差されてなるように構成した。【選択図】      図２
2004151654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の第１のアライメントマークを形成した第１の基板と、一対の第２のアライメントマークを形成した第２の基板とからなる電気光学装置であって、
隣り合う前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有し、
前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置と、前記一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置とを結んだ共通線分の長さが規定の長さであって、
前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分と、前記共通線分とが規定の角度で交差されてなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
一対の第１のアライメントマークを形成した第１の基板と、一対の第２のアライメントマークを形成した第２の基板とからなる電気光学装置であって、
一方の前記第１のアライメントマークと、前記一方の第１のアライメントマークと対応する前記第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して隣り合うとともに、
前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の中点と、前記一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の中点とを結んだ共通線分の長さが規定の長さであって、
前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分と、前記共通線分とが規定の角度で交差されてなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項３】
前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを同一又は相似の形状で形成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
第１の基板に第２の基板を貼り合せる貼り合せ領域を複数形成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の電気光学装置。
【請求項５】
一対の第１のアライメントマークを形成した第１の基板に、一対の第２のアライメントマークを形成した第２の基板を貼り合せる貼り合せ工程と、
前記一対の第１のアライメントマークと前記一対の第２のアライメントマークとを撮像する撮像工程と、
撮像した前記一対の第１のアライメントマークと前記一対の第２のアライメントマークとに基づいて前記一対の第１のアライメントマークの規定位置と、前記一対の第２のアライメントマークの規定位置を特定する位置特定工程と、
特定した一方の第１のアライメントマークの規定位置と、前記一方の第１のアライメントマークに対応する第２のアライメントマークの規定位置とを撮像方向において規定の間隔を有して隣り合わせるとともに、前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置と、前記一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置とを結んだ共通線分の長さが規定の長さとなり、かつ前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分と前記共通線分とが規定の角度で交差するように位置合せする位置合せ工程と
を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
前記位置特定工程が、撮像した前記一対の第１のアライメントマークと前記一対の第２のアライメントマークとを二値化して、前記一対の第１のアライメントマークの規定位置と、前記一対の第２のアライメントマークの規定位置を特定することを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
前記位置特定工程が、二値化した前記一対の第１のアライメントマークと、前記一対の第２のアライメントマークをパターンマッチングして、前記一対の第１のアライメントマークの規定位置と前記一対の第２のアライメントマークの規定位置を特定することを特徴とする請求項６に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
前記位置特定工程が、予め登録した第１のパターンに基づいてパターンマッチングして、前記一対の第１のアライメントマークの規定位置を特定し、
予め登録した前記一対の第２のパターンに基づいてパターンマッチングして、第２のアライメントマークの規定位置を特定することを特徴とする請求項７に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
前記位置合せ工程が、前記一対の第１のアライメントマークを相互に結ぶ線分の規定の位置に対して、撮像方向において規定の長さを有し、かつ前記一対の第１のアライメントマークを相互に結ぶ線分と規定の角度で交差する前記共通線分の端点を中心とする許容範囲内に、前記一対の第２のアライメントマークを相互に結ぶ線分の規定の位置が位置したときに位置合せを終了することを特徴とする請求項５〜８のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
前記許容範囲が一辺を許容値とする正方形に囲まれた範囲であることを特徴とする請求項９に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
前記許容範囲が直径を許容値とする円に囲まれた範囲であることを特徴とする請求項９に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
前記許容範囲が対角線の長さを許容値とする正方形に囲まれた範囲であることを特徴とする請求項９に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
第１の基板に形成した複数の貼り合せ領域に第２の基板をそれぞれ貼り合せる場合において、前記位置合せ工程が、第１の基板の貼り合せ領域ごとに予め登録した補正値に基づいて、規定の長さと規定の角度を補正することを特徴とする請求項５〜１２のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項５〜１３のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えた電子機器。
【請求項１５】
一対の第１のアライメントマークを形成した第１の基板と、一対の第２のアライメントマークを形成した第２の基板とからなる電気光学装置であって、
隣り合う前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとが規定の間隔を有し、
前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置と、前記一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置とを結んだ共通線分の長さが規定の長さであって、
前記共通線分が前記第１の基板又は前記第２の基板に形成された配線パターンと略並行となるように、前記第１の基板と前記第２の基板が配置されてなることを特徴とする電気光学装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法並びに電子機器に関し、更に詳しくは、第１の基板と第２の基板とを精密に位置合せした電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法並びに電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術に係る電気光学装置は、位置合せの基準となる第１のアライメントマークを形成した第１の基板と、位置合せの対象となる第２のアライメントマークを形成した第２の基板とからなり、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすものであった（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献】
特開昭６３−１９３２１０号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを規定の間隔を有して位置合せしても、第１の基板と第２の基板とは撮像方向の軸回りにずれを生じる結果、電気光学装置の性能を十分に発揮しない場合が生じていた。
【０００５】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、第１の基板と第２の基板との撮像方向の軸回りのずれを防止して、精密な位置合せを実現することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る電気光学装置は、一対の第１のアライメントマークを形成した第１の基板と、一対の第２のアライメントマークを形成した第２の基板とからなる電気光学装置であって、隣り合う前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有し、前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置と、前記一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置とを結んだ共通線分の長さが規定の長さであって、前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分と、前記共通線分とが規定の角度で交差されてなることを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、隣り合う第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有するので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において重なることがない。また、一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置と、一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置とを結んだ共通線分の長さが規定の長さであって、一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分と共通線分とが規定の角度で交差するので、第１の基板と第２の基板とを撮像方向の軸回りに精密に位置合せできる。
【０００８】
本発明に係る電気光学装置は、一対の第１のアライメントマークを形成した第１の基板と、一対の第２のアライメントマークを形成した第２の基板とからなる電気光学装置であって、一方の前記第１のアライメントマークと、前記一方の第１のアライメントマークと対応する前記第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して隣り合うとともに、前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の中点と、前記一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の中点とを結んだ共通線分の長さが規定の長さであって、前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分と、前記共通線分とが規定の角度で交差されてなることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、一方の第１のアライメントマークと、一方の第１のアライメントマークと対応する第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して隣り合うので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において重なることがない。また、一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の中点と、一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の中点とを結んだ共通線分の長さが規定の長さであって、一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分と共通線分とが規定の角度で交差するので、第１の基板と第２の基板とを撮像方向の軸回りに精密に位置合せできる。
【００１０】
なお、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを円形で形成することが好ましい。第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを円形で形成すれば、第１の基板と第２の基板のいずれか一方が撮像方向の軸回りに回転しても、基板の回転に影響されることなく、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを円形として捉えることができる。
【００１１】
また、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとをそれぞれ塗りつぶした図形で形成することが好ましい。さらに、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを同一又は相似の形状で形成することが好ましい。くわえて、予め定めた撮像範囲に前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークのみを有することが好ましい。予め定めた撮像範囲に第１のアライメントマークと第２のアライメントマークのみを有すれば、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを容易に検出できる。
【００１２】
また、本発明に係る電気光学装置は、第１の基板に第２の基板を貼り合せる貼り合せ領域を複数形成したことを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、電気光学装置を貼り合せ領域ごとに切り離すことにより、複数の電気光学装置を得ることができるので、生産効率の向上を図ることができる。
【００１４】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、一対の第１のアライメントマークを形成した第１の基板に、一対の第２のアライメントマークを形成した第２の基板を貼り合せる貼り合せ工程と、前記一対の第１のアライメントマークと前記一対の第２のアライメントマークとを撮像する撮像工程と、撮像した前記一対の第１のアライメントマークと前記一対の第２のアライメントマークとに基づいて前記一対の第１のアライメントマークの規定位置と、前記一対の第２のアライメントマークの規定位置を特定する位置特定工程と、特定した一方の第１のアライメントマークの規定位置と、前記一方の第１のアライメントマークに対応する第２のアライメントマークの規定位置とを撮像方向において規定の間隔を有して隣り合わせるとともに、前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置と、前記一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置とを結んだ共通線分の長さが規定の長さとなり、かつ前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分と前記共通線分とが規定の角度で交差するように位置合せする位置合せ工程とを含むことを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、特定した一方の第１のアライメントマークの規定位置と一方の第１のアライメントマークに対応する第２のアライメントマークの規定位置とを撮像方向おいて規定の間隔を有して隣り合わせるので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において重なることがない。また、一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置と、一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置とを結んだ共通線分の長さが規定の長さとなり、かつ一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分と共通線分とが規定の角度で交差するように位置合わせするので、第１の基板と第２の基板とを撮像方向の軸回りに精密に位置合せできる。
【００１６】
なお、前記位置特定工程が、撮像した前記一対の第１のアライメントマークと前記一対の第２のアライメントマークとを二値化して、前記一対の第１のアライメントマークの規定位置と、前記一対の第２のアライメントマークの規定位置を特定することが好ましい。さらに、前記位置特定工程が、二値化した前記一対の第１のアライメントマークと、前記一対の第２のアライメントマークをパターンマッチングして、前記一対の第１のアライメントマークの規定位置と前記一対の第２のアライメントマークの規定位置を特定することが好ましい。規定位置は、アライメントマークの重心位置が多く用いられる。
【００１７】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、前記位置特定工程が、予め登録した第１のパターンに基づいてパターンマッチングして、前記一対の第１のアライメントマークの規定位置を特定し、予め登録した前記一対の第２のパターンに基づいてパターンマッチングして、第２のアライメントマークの規定位置を特定することを特徴とする。
【００１８】
この発明によれば、予め登録した第１のパターンに基づいてパターンマッチングして、第１のアライメントマークの規定位置を特定し、予め登録した第２のパターンに基づいてパターンマッチングして、第２のアライメントマークの規定位置を特定するので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを個別に識別できる。
【００１９】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、前記位置合せ工程が、前記一対の第１のアライメントマークを相互に結ぶ線分の規定の位置に対して、撮像方向において規定の長さを有し、かつ前記一対の第１のアライメントマークを相互に結ぶ線分と規定の角度で交差する前記共通線分の端点を中心とする許容範囲内に、前記一対の第２のアライメントマークを相互に結ぶ線分の規定の位置が位置したときに位置合せを終了することを特徴とする。
【００２０】
この発明によれば、位置合せ工程が、一対の第１のアライメントマークを相互に結ぶ線分の規定の位置に対して撮像方向において規定の長さを有し、かつ一対の第１のアライメントマークを相互に結ぶ線分と規定の角度で交差する共通線分の端点を中心とする許容範囲内に、一対の第２のアライメントマークを相互に結ぶ線分の規定の位置が位置したときに位置合せを終了するので、撮像方向の軸回りに精密に位置合せできる。
【００２１】
なお、前記許容範囲が一辺を許容値とする正方形に囲まれた範囲としても良く、前記許容範囲が直径を許容値とする円に囲まれた範囲としても良い。また、前記許容範囲が対角線の長さを許容値とする正方形に囲まれた範囲としても良い。
【００２２】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、第１の基板に形成した複数の貼り合せ領域に第２の基板をそれぞれ貼り合せる場合において、前記位置合せ工程が、第１の基板の貼り合せ領域ごとに予め登録した補正値に基づいて、規定の長さと規定の角度を補正することを特徴とする。
【００２３】
この発明によれば、第１の基板の貼り合せ領域ごとに予め登録した補正値に基づいて、規定の長さと規定の角度を補正するので、第１の基板の貼り合せ領域ごとに貼り合せ位置を調整できる。
【００２４】
上記した電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えた電子機器であることを特徴とする。
【００２５】
また、本発明に係る電気光学装置は、一対の第１のアライメントマークを形成した第１の基板と、一対の第２のアライメントマークを形成した第２の基板とからなる電気光学装置であって、隣り合う前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとが規定の間隔を有し、前記一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置と、前記一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置とを結んだ共通線分の長さが規定の長さであって、前記共通線分が前記第１の基板又は前記第２の基板に形成された配線パターンと略並行となるように、前記第１の基板と前記第２の基板が配置されてなることを特徴とする。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、この発明に係る電気光学装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、本発明が適用できる電気光学装置は、例えば液晶パネルや有機ＥＬパネル、プラズマディスプレイパネル、電気泳動ディスプレイパネル等があり、もちろんこれに限定されるものでなく、二枚の基板が対向配置されて位置決めされる電気光学装置にはすべて適用が可能である。
【００２７】
（実施の形態１）
実施の形態１に係る電気光学装置１の構成について説明する。なお、図１は電気光学装置の平面図であって、（ａ）は電気光学装置の平面図、（ｂ）はアライメントマークの拡大図、（ｃ）は電気光学装置の隅部を拡大した拡大平面図であり、図２はアライメントマークの位置関係を説明する説明図である。
【００２８】
電気光学装置１は、図１に示すように、透明な矩形の第１の基板（以下の説明においてＴＦＴ基板と称する。）２と、透明な矩形の第２の基板（以下の説明において対向基板と称する。）３をシール材４により貼り合せたものである。ＴＦＴ基板２の貼り合せ面には、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）２ａを形成してあり、その対角位置となる両隅部には、位置合せの基準となる塗りつぶした円形の第１のアライメントマーク２ｂをそれぞれ形成してある。一方、対向基板３の貼り合せ面の対角位置となる両隅部には、位置合せの対象となる塗りつぶした円形の第２のアライメントマーク３ａをそれぞれ形成してある。そして、ＴＦＴ基板２と対向基板３とは、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置と第２のアライメントマーク３ａの規定位置とが撮像方向において規定の間隔Ｌを有して一対をなす。
【００２９】
また、電気光学装置１は、図２に示すように、ＴＦＴ基板２に形成した第１のアライメントマーク２ｂの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ１と、対向基板３に形成した第２のアライメントマーク３ａの規定位置を相互に結んだ中点Ｐ２が規定の位置関係を有する。即ち、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ１と、第２のアライメントマークの規定位置を相互に結んだ中点Ｐ２を結んだ線分の長さが規定の長さ（共通線分）Ｌ１であって、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置を相互に結んだ線分と規定の角度θで交差する関係を有する。又、この共通線分は、ＴＦＴ基板に形成される配線パターンと略並行となる関係を有するようにしてもよい。
【００３０】
次に、ＴＦＴ基板２と対向基板３の貼り合せ方法について説明する。まず、対向基板３の貼り合せ面にシール材４を塗布する。次に、ＴＦＴ基板２の貼り合せ面と対向基板３の貼り合せ面を対向して載置する。そして、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａの位置合せを行う。即ち、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置と第２のアライメントマーク３ａの規定位置とが撮像方向において規定の間隔Ｌを有して一対をなすとともに、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ１と、第２のアライメントマークの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ２を結んだ線分を想定し、その線分の長さＬ１が規定の長さであって、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置を相互に結んだ線分と規定の角度θで交差する態様で位置合せを行う。その後、シール材４に例えば紫外線など硬化に必要なエネルギーを与えてシール材４を仮硬化させ、ＴＦＴ基板２と対向基板３を固定する。
【００３１】
実施の形態１に係る電気光学装置１は、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ１と、第２のアライメントマーク３ａの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ２とを結んだ線分の長さが規定の長さＬ１であって、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置を相互に結んだ線分と規定の角度θで交差するが、中点に限らず、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置を相互に結んだ線分を規定の割合で内分した点と、第２のアライメントマーク３ａの規定位置を相互に結んだ線分を規定の割合で内分した点とを結んだ線分の長さが規定の長さであって、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置を相互に結んだ線分の規定の角度で交差するものであっても良い。
【００３２】
また、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置を相互に結んだ線分を規定の割合で外分した点と、第２のアライメントマーク３ａの規定位置を相互に結んだ線分を規定の割合で外分した点とを結んだ線分の長さが規定の長さであって、第１のアライメントマークの規定位置を相互に結んだ線分の規定の角度で交差するものであっても良い。
【００３３】
また、ＴＦＴ基板２に形成した多数の第１のアライメントマークから任意の二つの第１のアライメントマーク２ｂを選択するとともに、対向基板３に形成した多数の第２のアライメントマークから任意の二つの第２のアライメントマーク３ａを選択して、ＴＦＴ基板２と対向基板３の位置合せをしても良い。
【００３４】
また、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａを塗りつぶした円形で形成してあるが、塗りつぶした円形に限らず、白抜きの円形であっても良い。また、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａの形状は円形に限られるものではなく、三角形、四角形等の多角形であっても良い。また、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａの形状は同一であっても良いし、相似であっても良い。
【００３５】
また、電気光学装置１は、矩形のものに限らず、円形のもののほか、楕円形等であってもよい。この場合において、ＴＦＴ基板２の貼り合せ領域の周縁部の対向する位置に一対の第１のアライメントマーク２ｂを形成し、対向基板３の貼り合せ領域の周縁部の対向する位置に一対の第２のアライメントマーク３ａを形成することが好ましい。
【００３６】
実施の形態１に係る電気光学装置１は、位置合せの基準となる第１のアライメントマーク２ｂをＴＦＴ基板２の貼り合せ面に形成し、位置合せの対象となる第２のアライメントマーク３ａを対向基板３の貼り合せ面に形成してあるので、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａは精密アライメントカメラの同一の被写界深度Ｈ内にあり、同一の撮像範囲に捉えられる。また、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置と第２のアライメントマーク３ａの規定位置とが撮像方向において規定の間隔Ｌを有して一対をなすので、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａが貼り合せ方向において重なることがない。さらに、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ１と、第２のアライメントマーク３ａの規定位置を相互に結んだ中点Ｐ２とが規定の位置関係を有するので、ＴＦＴ基板２と対向基板３の撮像方向の軸回りに精密な位置合せができる。
【００３７】
実施の形態１に係るパネルモジュール１は、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａを円形で形成しているので、ＴＦＴ基板２と対向基板３のいずれか一方が撮像方向の軸回りに回転しても基板の回転に影響されることなく、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａを円形として捉えることができる。
【００３８】
（実施の形態２）
実施の形態２に係る電気光学装置の構成を図３に基づいて説明する。なお、図３は実施の形態２に係る電気光学装置の構成を示した平面図である。
【００３９】
電気光学装置１１は、透明な円形の第１の基板（以下の説明においてＴＦＴ基板と称する。）１２に、透明な矩形の第２の基板（以下の説明において対向基板と称する。）１３をシール材１４により複数貼り合せたものである。例えば、ＴＦＴ基板１２は８インチのウエハであり、その貼り合せ面に、縦横に複数の対向基板１３を貼り合せる矩形の領域１２ａを形成してある。各領域１２ａにはＴＦＴ１２ｂが形成してあり、その対角位置となる両隅部には、位置合せの基準となる塗りつぶした円形の第１のアライメントマーク１２ｃをそれぞれ形成してある。一方、対向基板１３の貼り合せ面の対角位置となる両隅部には、位置合せの対象となる塗りつぶした円形の第２のアライメントマーク１３ａを形成してある。そして、ＴＦＴ基板１２の各貼り合せ領域１２ａと対向基板１３とは、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとがそれぞれ撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす。
【００４０】
また、実施の形態１に係る電気光学装置と同様に、ＴＦＴ基板１２に形成した第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分の中点と、対向基板１３に形成した第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ中点とが規定の位置関係を有する。即ち、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分の中点と、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ中点を結んだ線分の長さが規定の長さであって、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分と規定の角度で交差する関係を有する。又、この共通線分は、ＴＦＴ基板に形成される配線パターンと略並行となる関係を有するようにしてもよい。
【００４１】
次に、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３の貼り合せ方法について説明する。まず、対向基板１３の貼り合せ面にシール材１４を塗布する。次に、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに対向基板１３の貼り合せ面を対向して載置する。そして、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの位置合せを行う。即ち、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置と第２のアライメントマーク１３ａの規定位置とがそれぞれ撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすとともに、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分の中点と、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ線分の中点を結んだ線分を想定し、その線分の長さが規定の長さであって、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分と規定の角度で交差する態様で位置合せを行う。その後、シール材１４に例えば紫外線などの硬化に必要なエネルギーを与えてシール材１４を仮硬化させ、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３を固定する。
【００４２】
ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに対向基板１３を載置して位置合せすることにより、ＴＦＴ基板１２に複数の対向基板１３を貼り合せた電気光学装置１１とすることができる。
【００４３】
実施の形態２に係る電気光学装置１１は、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分の中点と、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ線分の中点とを結んだ線分の長さが規定の長さであって、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分と規定の角度で交差するが、中点に限らず、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分を規定の割合で内分した点と、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ線分を規定の割合で内分した点とを結んだ線分の長さが規定の長さであって、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分の規定の角度で交差するものであっても良い。
【００４４】
また、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分を規定の割合で外分した点と、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ線分を規定の割合で外分した点とを結んだ線分の長さが規定の長さであって、第１のアライメントマークの規定位置を相互に結んだ線分の規定の角度で交差するものであっても良い。
【００４５】
また、ＴＦＴ基板１２に形成した多数の第１のアライメントマークから任意の二つの第１のアライメントマーク１２ｃを選択するとともに、対向基板１３に形成した多数の第２のアライメントマークから任意の二つの第２のアライメントマーク１３ａを選択して、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３の位置合せをしても良い。
【００４６】
また、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを塗りつぶした円形で形成してあるが、塗りつぶした円形に限らず、白抜きの円形であっても良い。また、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの形状は、円形に限られるものでなく三角形、四角形等の多角形であっても良い。また、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの形状は同一であっても良いし、相似であっても良い。
【００４７】
また、電気光学装置１１の貼り合せ領域は、矩形のものに限らず、円形のもののほか、楕円形等であってもよい。この場合において、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域の周縁部の対向する位置に一対の第１のアライメントマーク１２ｃを形成し、対向基板１３の貼り合せ領域の周縁部の対向する位置に一対の第２のアライメントマーク１３ａを形成することが好ましい。
【００４８】
また、ＴＦＴ基板１２に複数の対向基板１３を貼り合せるものとしたが、複数のＴＦＴ基板に複数の対向基板を貼り合せるものとしてもよい。
【００４９】
実施の形態２に係る電気光学装置１１によれば、位置合せの基準となる第１のアライメントマーク１２ｃをＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域に形成し、位置合せの対象となる第２のアライメントマーク１３ａを対向基板１３の貼り合せ面に形成してあるので、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとは精密アライメントカメラの同一の被写界深度内にあり、同一の撮像範囲に捉えられる。また、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置と第２のアライメントマーク１３ａの規定位置とが撮像方向に規定の間隔を有して一対をなすので、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａが撮像方向において重なることがない。さらに、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分の中点と、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ中点とが規定の位置関係を有するので、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３の撮像方向の軸回りに精密な位置合せができる。
【００５０】
また、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを円形で形成しているので、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３のいずれか一方が撮像方向の軸回りに回転しても基板の回転に影響されることなく、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを円形として捉えることができる。
【００５１】
また、ＴＦＴ基板１２に複数の対向基板１３を貼り合せた電気光学装置１１をその後の工程において、貼り合せ領域ごとに切り離すことにより、それぞれ独立した電気光学装置にすることができるので、電気光学装置を効率よく生産することができる。
【００５２】
図４〜１０に基づいて、実施の形態２に係る電気光学装置１１を製造する電気光学装置の製造装置４０の構成について説明する。なお、図４は電気光学装置の製造装置の概要を説明する平面図、図５は図４に示した電気光学装置の製造装置を構成するマウント装置の機能を説明する図、図６は図４に示した電気光学装置の製造装置を構成するアライメント装置を説明するブロック図、図７は図６に示したアライメント装置の作用を説明するフローチャート、図８は精密アライメントカメラで撮像した撮像範囲を示した図、図９は位置合せ判定を説明するフローチャート、図１０は位置合せ判定における許容範囲を説明する図である。
【００５３】
電気光学装置の製造装置４０は、対向基板１３を供給する給材装置５０と、給材装置５０から供給した対向基板１３にシール材１４を塗布するシール材塗布装置６０と、対向基板１３に塗布したシール材１４の状態を検査する検査装置７０と、ＴＦＴ基板１２を搬入する搬入装置８０と、ＴＦＴ基板１２に対向基板１３を貼り合せるマウント装置９０と、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３を位置合せしてシール材１４を仮硬化するアライメント装置１００とを有している。
【００５４】
次に、電気光学装置の製造装置４０の作用について説明する。給材装置５０は、対向基板１３をシール材塗布装置６０に供給する。シール材塗布装置６０はシール材１４を塗布して、対向基板１３を検査装置７０に送る。検査装置７０はシール材１４の状態を検査して、シール材１４の状態が良好な場合にマウント装置９０に対向基板１３を供給し、シール材１４の状態が不良の場合に検査装置７０から対向基板１３を排出する。搬入装置８０はＴＦＴ基板１２をマウント装置９０に搬入する。マウント装置９０は、搬入したＴＦＴ基板１２にシール１４を塗布した対向基板１３を順次貼り合せる。対向基板１３を貼り合せたＴＦＴ基板１２は、アライメント装置１００に搬出され、精密位置合せをした後にシール材１４を仮硬化して次の工程に搬出する。
【００５５】
図５に示すように、マウント装置９０は、シール材１４を塗布した対向基板１３を反転して、ＴＦＴ基板１２に順次貼り合せるが、対向基板１３を保持したまま、仮位置合せすることが好ましい。仮位置合せを行うと、アライメント装置１００において位置合せにかかる時間を短縮でき、電気光学装置１１を効率的に製造できるからである。なお、仮位置合せについても、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを利用して位置合せ行う。
【００５６】
次に、アライメント装置１００をより詳細に説明する。アライメント装置１００は、ＴＦＴ基板１２と、ＴＦＴ基板１２に載置した対向基板１３とを位置合せするものである。
【００５７】
図６に示すように、アライメント装置１００は、コントロールユニット１０１と、画像処理ユニット１０２と、位置合せユニット１０５とを有している。画像処理ユニット１０２には、電気光学装置１１の一方の隅部を撮像する精密アライメントカメラであるＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ１０３と、前記一方の隅部の対角に位置する他の隅部を撮像する精密アライメントカメラであるＣＣＤカメラ１０４とを接続してある。画像処理ユニット１０２には、第１のアライメントマーク１２ｃに対応するパターン２２と、第２のアライメントマーク１３ａに対応するパターン２３とが、予め登録してある。また、画像処理ユニット１０２は、撮像範囲を二値化して、予め登録した第１のアライメントマーク１２ｃに対応するパターン２２と第２のアライメントマーク１３ａに対応するパターン２３とに基づいて二値化した撮像範囲をパターンマッチングすることにより、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置と、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算し、その結果をコントロールユニット１０１に送信する機能を有している。
【００５８】
コントロールユニット１０１は、画像処理ユニット１０２から得た情報に基づいて、位置合せユニット１０５を制御するものであり、予め規定の間隔、規定の長さと角度、各貼り合せ領域１２ａごとの補正値であるオフセットデータが登録してある。
【００５９】
位置合せユニット１０５は、ＴＦＴ基板１２を吸着して前後方向と左右方向の位置合せを行うＸ−Ｙテーブル１０６と、対向基板１３を吸着して角度方向の位置合せを行うとともに対向基板１３を圧着するヘッド１０７とを有している。Ｘ−Ｙテーブル１０６は、左右方向（Ｘ方向）の位置合せを行うＸ軸１０８と、前後方向（Ｙ方向）の位置合せを行うＹ軸１０９とを有している。ヘッド１０７は、撮像方向の軸回りの位置合せを行うθ軸１１０と、対向基板１３をＴＦＴ基板１２に圧着するＺ軸１１１とを有している。
【００６０】
図７に基づいて、アライメント装置１００の作用について説明する。対向基板１３を載置したＴＦＴ基板１２をＸ−Ｙテーブル１０６に供給する。Ｘ−Ｙテーブル１０６が供給されたＴＦＴ基板１２を吸着し、ヘッド１０７が下降して対向基板１３を吸着し、加圧して適正な間隙を確保する。次に、位置合せを開始する（ステップＳ１）。まず、コントロールユニット１０１がマーク位置の取得要求を画像処理ユニットに送信する（ステップＳ２）。
【００６１】
画像処理ユニット１０２は、マーク位置取得要求の受信を条件に第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを撮像する（ステップＳ３）。このとき、図８に示すように、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとは同一の被写界深度内にあり、同一の撮像範囲３０に捉えられる。なお、この撮像範囲は予め定めたものであり、その範囲には第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａのみを有している。画像処理ユニット１０２は、撮像した画面を二値化して、予め登録した第１のアライメントマーク１２ｃに対応するパターン２２と第２のアライメントマーク１３ａに対応するパターン２３に基づいてパターンマッチングを行い、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算する（ステップＳ４）。その演算結果は画像処理ユニット１０２からコントロールユニット１０１に送信する（ステップＳ５）。
【００６２】
コントロールユニット１０１が第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの位置情報を受信すると（ステップＳ６）、位置合せ判定を行う（ステップＳ７）。位置合せが適正な場合（ステップＳ７：ＯＫ）、即ち、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすとともに、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分の中点と第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ線分の中点とを結んだ線分の長さが規定の長さであって、第１のアライメントマークの規定位置を相互に結んだ線分と規定の角度で交差している場合には、位置合せを終了する（ステップＳ８）。
【００６３】
一方、位置合せが適正でない場合（ステップＳ７：ＮＧ）、即ち、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなしていない場合、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分の中点と第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ線分の中点とを結んだ線分の長さが規定の長さでない場合、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分の中点と第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ線分の中点とを結んだ線分が第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分と規定の角度で交差しない場合には、Ｘ−Ｙテーブル１０６の移動量と、ヘッド１０７の移動量を算出する（ステップＳ９）。そして、Ｘ−Ｙテーブル１０６の移動量とヘッド１０７の移動量に基づいて、Ｘ−Ｙテーブル１０６とヘッド１０７を移動する（ステップＳ１０）。移動が終了すると（ステップＳ１１：ＹＥＳ）、ステップ２に戻る。以下、上記したステップを繰り返し、位置合せを完了する。
【００６４】
図９に基づいて、位置合せ判定Ｓ７をさらに詳しく説明する。位置合せ判定Ｓ７では、まず、ＴＦＴ基板１２に形成した第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ１と第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ２を求める（ステップＳ７１）。第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ１から規定の長さを有し、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を相互に結んだ線分に対して規定の角度θを有する線分の端点を求める（ステップＳ７２）。対向基板１３を貼り合せるＴＦＴ基板１２の各貼り合せ領域に設定してあるオフセットデータに基づいて、この端点を補正する（ステップＳ７３）。この補正した端点を規定位置として許容範囲Ｐ２ｐを算出し（ステップＳ７４）、この許容範囲Ｐ２ｐ内に第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ２があるか否かを判定する（ステップＳ７５）。第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ中点Ｐ２が算出した許容範囲Ｐ２ｐにある場合には位置合せが適正であると判定し、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ中点Ｐ２が許容範囲Ｐ２ｐにない場合には位置合せが適正でないと判定する。
【００６５】
図１０に基づいて、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を相互に結んだ線分の中点があるべき位置に対する許容範囲を説明する。許容範囲は許容値と許容図形を決定することにより定まる。
【００６６】
正方形を選択した場合には、（ａ）に示すように、第２のアライメントマークの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ２があるべき位置を中心として一辺を許容値とする正方形Ｐ２ｐが許容範囲となり、円を選択した場合には、（ｂ）に示すように、第２のアライメントマークの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ２があるべき位置を中心として直径を許容値とする円Ｐ２ｑが許容範囲となる。また、４５度傾けた正方形を選択した場合には、（ｃ）に示すように第２のアライメントマークの規定位置を相互に結んだ線分の中点Ｐ２があるべき位置を中心として対角線の長さを許容値とする正方形Ｐ２ｒが許容範囲となる。許容値を同じ値、たとえば、プラス１ミクロン、マイナス１ミクロンにすると、正方形、円、４５度傾けた正方形の順に許容範囲は狭くなる。
【００６７】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、マウント装置９０において対向基板１３が貼り合わされていない貼り合せ領域に対しては位置合せを行わないことが好ましい。
【００６８】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、画像処理ユニット１０２が、撮像した画面を二値化して、予め登録したパターン２２とパターン２３に基づいてパターンマッチングを行い、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算するが、撮像した画面を二値化した後に、重心検出して第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算してもよく、形状外形から第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算してもよい。
【００６９】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、マウント装置９０がＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域に複数の対向基板１３を貼り合せた後にアライメント装置１００がＴＦＴ基板１２と対向基板１３とを位置合せするが、マウント装置９０とアライメント装置１００の間を交互に移動して対向基板の貼り合せと位置合せを交互にするものとしてもよい。
【００７０】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに複数の対向基板１３を貼り合せるが、一枚のＴＦＴ基板１２に一枚の対向基板１３を貼り合せてもよく、この場合には装置に起因する誤差、基板、機種に起因する誤差に基づいて補正することが好ましい。
【００７１】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、Ｘ−Ｙテーブル１０６がＴＦＴ基板１２を吸着して前後方向と左右方向の位置合せを行い、ヘッド１０７が対向基板１３を吸着して角度方向の位置合せを行うとともに対向基板１３を圧着するが、Ｘ−Ｙテーブル１０６が対向基板１３を吸着して前後方向と左右方向の位置合せを行い、ヘッド１０７がＴＦＴ基板１２を吸着して角度方向の位置合せを行うとともに対向基板１３を圧着するものとしてもよい。
【００７２】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、ＴＦＴ基板１２を吸着して前後方向と左右方向の位置合せを行うＸ−Ｙテーブル１０６と、対向基板１３を吸着して角度方向の位置合せを行うとともに対向基板１３を圧着するヘッド１０７とを有しているので、ＴＦＴ基板１２に比較して小型の対向基板１３を撮像方向の軸回りの位置合せができる。
【００７３】
なお、本発明により製造される電気光学装置は、例えば、図１１に示されるような携帯電話機等の電子機器に搭載できる。さらにこの他に、ＰＤＡ（ＰｅｒｓｏｎａｌＤｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、液晶プロジェクタ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機などの電子機器に搭載できることは言うまでもない。
【００７４】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に係る電気光学装置によれば、隣り合う第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向おいて規定の間隔を有するので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において重なることがない。また、一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定位置と、一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置とを結んだ共通線分の長さが規定の長さであって、一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分と規定の角度で交差するので、第１の基板と第２の基板とを撮像方向の軸回りに精密に位置合せできる。
【００７５】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを円形で形成したので、第１の基板と第２の基板のいずれか一方が撮像方向の軸回りに回転しても、基板の回転に影響されることなく、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを円形として捉えることができるので、精密に位置合せできる。
【００７６】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、予め定めた撮像範囲に第１のアライメントマークと第２のアライメントマークのみを有するので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを容易に検出でき、精密に位置合せできる。
【００７７】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、電気光学装置を貼り合せ領域ごとに切り離すことにより、複数の電気光学装置を得ることができるので、生産効率の向上を図ることができる。
【００７８】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、特定した一方の第１のアライメントマークの規定位置と第２のアライメントマークの規定位置とを撮像方向おいて規定の間隔を有して隣り合わせるので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが貼り合せ方向において重なることがない。また、一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置と、一対の第２のアライメントマークを相互に結んだ線分の規定の位置とを結んだ共通線分の長さが規定の長さとなり、かつ一対の第１のアライメントマークを相互に結んだ線分と共通線分とが規定の角度で交差するように位置合わせするので、第１の基板と第２の基板とを撮像方向の軸回りに精密に位置合せできる。
【００７９】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、撮像した第１のアライメントマークを、予め登録した第１のパターンに基づいてパターンマッチングして、第１のアライメントマークの規定位置を特定し、第２のアライメントマークを、予め登録した第２のパターンに基づいてパターンマッチングして、第２のアライメントマークの規定位置を特定するので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを個別に識別できる。
【００８０】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、位置合せ工程が、一対の第１のアライメントマークを相互に結ぶ線分の規定の位置に対して撮像方向において規定の長さを有し、かつ一対の第１のアライメントマークを相互に結ぶ線分と規定の角度で交差する共通線分の端点を中心とする許容範囲内に、一対の第２のアライメントマークを相互に結ぶ線分の規定の位置が位置したときに位置合せを終了するので、撮像方向の軸回りに精密に位置合せできる。
【００８１】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、第１の基板の貼り合せ領域ごとに予め登録した補正値に基づいて、規定の間隔を補正するので、第１の基板の貼り合せ領域ごとに貼り合せ位置を調整できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１に係る電気光学装置の説明図であって、（ａ）は電気光学装置の平面図、（ｂ）は隅部に形成したアライメントマークの拡大図、（ｃ）は電気光学装置の隅部を拡大した拡大正面図である。
【図２】アライメントマークの位置関係を説明する説明図である。
【図３】実施の形態２に係る電気光学装置の平面図である。
【図４】電気光学装置の製造装置の概要を説明する平面図である。
【図５】図４に示した電気光学装置の製造装置を構成するマウント装置の機能を説明する図である。
【図６】図４に示した電気光学装置の製造装置を構成するアライメント装置のブロック図である。
【図７】図６に示したアライメント装置の作用を説明するフローチャートである。
【図８】精密アライメントカメラで撮像した撮像範囲を示した図である。
【図９】位置合せ判定を説明するフローチャートである。
【図１０】位置合せ判定における許容範囲を説明する図あって、（ａ）は図形に正方形を用いたもの、（ｂ）は図形に円を用いたもの、（ｃ）は図形に４５度傾けた正方形を用いたものである。
【図１１】電気光学装置を適用した携帯電話機を示した図である。
【符号の説明】
１  電気光学装置
２  ＴＦＴ基板（第１の基板）
２ｂ  第１のアライメントマーク
３  対向基板（第２の基板）
３ａ  第２のアライメントマーク
４  シール材
１１  電気光学装置
１２  ＴＦＴ基板（第１の基板）
１３  対向基板（第２の基板）
１４  シール材
５０  給材装置
６０  シール材塗布装置
７０  検査装置
８０  搬入装置
９０  マウント装置
１００  アライメント装置
１０１  コントロールユニット
１０２  画像処理ユニット
１０３，１０４  ＣＣＤカメラ
１０５  位置合せユニット
１０６  Ｘ−Ｙテーブル
１０７  ヘッド
１０８  Ｘ軸
１０９  Ｙ軸
１１０  θ軸
１１１  Ｚ軸
６００  携帯電話機
【図１】
2004151654.tif 000003
【図２】
2004151654.tif 000004
【図３】
2004151654.tif 000005
【図４】
2004151654.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2004151654.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2004151654.tif 000012
【図１１】
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