(57)【要約】【課題】小型で、組み立て調整が容易であり、小型の素子、部品等を精度良く、高速に位置決めすることができるステージ装置を提供すること。【解決手段】リニア型駆動モータ４を移動ステージ１の下側に配置し、移動ステージ１の位置をリニアエンコーダ１０により測定して制御装置にフィードバックし、リニア型駆動モータ４により移動ステージ１を位置決めする。リニア型駆動モータ４は、移動磁界を発生させる円筒状のコイルを備えた駆動部４ａと、軸方向に直線的に移動可能な円柱状のシャフト４ｂとから構成される。リニア型駆動モータ４の駆動部４ａにはヒートパイプ６が配設され、ヒートパイプ６により駆動部４ａで発生した熱を放熱部７に導き放熱させる。なお、温度センサ１１により温度を測定し、所定位置決め精度に対す熱影響を無視し得ない温度になったときリニア型駆動モータ４に供給する電流値を制限するようにしてもよい。【選択図】　　　　　図１
2004064916.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアガイドにより移動可能に支持される移動ステージと、上記リニアガイドが取り付けられた固定ステージと、
上記移動ステージを上記リニアガイドに沿って移動させるリニア型駆動モータとを備えた直動型ステージ装置であって、
上記リニア型駆動モータは、
移動磁界を発生させる円筒状のコイルを有する駆動部と、
上記コイル内を貫通し、Ｓ極とＮ極が軸方向に交互配置され、軸方向に直線的に移動可能な円柱状のシャフトとから構成され、
上記円筒状のコイルとシャフトは上記移動ステージの移動面の下側に配置され、上記駆動モータのシャフトもしくは円筒状のコイルのいずれか一方が上記移動ステージに取り付けられ、他方が上記固定ステージに固定されており、
上記リニア型駆動モータのシャフトと、上記リニアガイドが平行に配置されている
ことを特徴とする直動型ステージ装置。
【請求項２】
上記移動ステージの位置を測定する位置測定手段と、位置決め制御手段を設け、
上記位置測定手段により測定された移動ステージの位置信号を、上記位置決め制御手段にフィードバックして、位置決め制御手段により上記駆動モータを制御し上記移動ステージの位置決めを行う
ことを特徴とする直動ステージ装置。
【請求項３】
上記移動ステージを駆動するリニア型駆動モータの発生熱量を局所的に輸送する熱輸送手段と、放熱部を設け、
上記放熱部を位置測定手段に対する熱影響を最小にできる箇所に設けて、上記リニア型駆動モータの発生熱量を上記熱輸送手段により上記放熱部に導き、上記放熱部から放熱させる
ことを特徴とする直動ステージ装置。
【請求項４】
上記位置測定手段近傍の温度変化を計測する温度測定手段と、
上記温度測定手段により測定された温度が、所定の位置決め精度に対す熱影響が無視し得なくなった温度になったとき、上記リニア型駆動モータに供給する電流値を制限する手段を設けた
ことを特徴とした直動ステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種被駆動体の位置決めに用いられる直動型ステージ装置に関し、特に、光学素子等の比較的小型の素子、部品等を精度良く、高速に位置決めすることができ、大きなスペースを必要としない直動型ステージ装置に関するものである。
本発明の直動型ステージ装置は、各種装置の機械要素として、あるいは、単独で各種位置決めに用いることができる。
【０００２】
【従来の技術】
被駆動体の位置決め等を行うための直動型ステージ装置は、各種工作機械、光学機械、露光装置等の各種装置で用いられている。
直動型ステージを移動させるための駆動手段としては、従来からモータとボールネジを用いるものや、リニアモータを用いるもの等の電気的な駆動手段を用いるもの、油圧、空気圧を用いるものなどが、種々提案されている。
図５に従来の直動型ステージ装置の構成例を示す。図５に示すものは、モータとボールネジを用いて、ステージを移動させるものである。
【０００３】
図５において、図５（ａ）はステージ装置の上面図、（ｂ）は側面図であり、１０１は移動ステージ、１０２はモータ、１０３は固定ステージであり、移動ステージ１０１は固定ステージ１０３に設けられたリニアガイド１０４により同図の矢印方向に移動可能に取り付けられる。
モータ１０２の回転軸には、ボールネジ１１０が連結され、該ボールネジ１１０は、移動ステージ１０１の下面に取り付けられた移動部材１１１と係合しており、ボールネジ１１０が回転すると、移動部材１１１と移動ステージ１０１が同図の矢印方向に移動する。
また、モータ１０２にはエンコーダ１１２が取り付けられ、該エンコーダ１１２によりモータ１０２の回転量が検出され、位置決め制御装置（図示せず）にフィードバックされる。
位置決め制御装置は、上記エンコーダ１１２からのフィードバック信号とが外部から与えられる目標位置との偏差に基づき、上記モータ１０２を駆動して、ボールネジ１１０を回転させて、移動ステージ１０１を目標位置まで移動させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
図５に示した直動型ステージ装置は、以下の問題を有していた。
（１）移動ステージ１０１の外側にモータ１０２、エンコーダ１１２が配置されており、装置が大型化する。このため、各種装置の機械要素として使用すると、装置全体が大型化するといった問題があった。
なお、モータ１０２、エンコーダ１１２を移動ステージの下側に配置するすれば、ステージ装置をコンパクト化することができるが、この場合、移動ステージ１０１の大きさに対して、上記モータ１０２が大きい場合には、その分移動ステージ１０１の移動ストロークが小さくなる。
特に、移動ステージ１０１により光学素子等の比較的小型の素子、部品等を位置決めする場合には、移動ステージ１０１に対して、モータ１０２の大きさが相対的に大きくなるので、移動ステージ１０１の移動ストロークが著しく制限される。
（２）ボールネジを使用して移動ステージ１０１を移動させているので、移動ステージ１０１を、比較的小さなパワーのモータで高精度で位置決めすることができるものの、移動ステージ１０１を高速に移動させることができない。
例えば、大きさが８０ｍｍ×３０ｍｍ以下の移動ステージを１０００ｍｍ／ｓｅｃ以上の高速で移動させようとする場合、最低限の走行抵抗に打ち勝つためのモータ容量及び増速機構を設けると、駆動部分が移動ステージ本体より大型化してしまい、組み合わせることでステージ全体の容積が大型化してしまう。
移動ステージの移動速度を２０ｍｍ／ｓｅｃ程度まで減速した場合においても、使用されるモータの容量はステージ本体と同程度になってしまう。
（３）図５に示したものでは、モータ１０２に取り付けたエンコーダ１１２により検出したモータの回転量を、位置決め制御装置１０４にフィードバックして、移動ステージ１０１の位置決めを行っており、移動ステージ１０１の位置を直接検出していないので（このような制御系をここではセミクローズド方式と呼ぶ）、絶対位置決めを必要とする例えば光学分野で使用する場合には、位置誤差が生じやすい。
すなわち、移動ステージ１０１の原点合わせをして、移動ステージ１０１上に取り付けられる被駆動物の位置を微調整しておいても、その位置が一旦ずれると、位置ずれが自動的に修復されず、再度、微調整を行う必要がでてくる。
特に、温度変化等により、モータ１０２の回転角に対して移動ステージ１０１の位置がずれると、それがそのまま位置誤差となる。
【０００５】
一方、移動ステージの駆動手段としてリニアモータを用い、移動ステージの下側にリニアモータ取り付けて移動ステージを位置決めするものも種々提案されている。
駆動手段として、被駆動体を直線的に移動させるリニアモータを用いれば、移動ステージの下側にリニアモータを収納することが可能であり、ステージ装置のコンパクト化を図ることができる。また、回転運動を直線運動に変換する必要がないので、ボールネジを用いたものに比べ移動ステージを高速移動させることが可能となる。
しかし、リニアモータを用いた場合には、以下の問題が生ずる。
（１）従来から用いられているリニアモータは、比較的構造が複雑であり、小型化するのが難しく、光学素子等の比較的小型の素子、部品等を位置決めするためのステージ装置に適用するのが困難である。
（２）従来から用いられているリニアモータは、通常、移動磁界を発生する固定子に、所定量のギャップを介して可動子を対向させて配置したものであり、上記ギャップ量が大きくなると駆動力が低下する。このため、該ギャップ量が適切な値になるように組み立て調整を行う必要があり、組み立て調整が比較的難しい。特に、比較的小型の素子、部品等を位置決めするためのステージ装置に適用する場合には、リニアモータ自体も小型化する必要があり、相対的に上記ギャップ量も小さくなるので、組み立て調整が一層困難となる。
（３）従来から用いられているリニアモータは，　通常効率を高めるために、コア及びバックヨークに鉄を使用する場合が多く、吸着力が発生することでコア及びヨークの剛性を高める必要が生じる小型化の妨げになった。
例えば、特開２０００−３３３４３５公報では、マグネットヨークを薄肉かつ一体化することで高い剛性にし、小型化を図ることを提案しているが、一定の吸着力が生じる状況では薄肉化には限界が生じる。
また、渦電流が発生し熱が生じることで、構造部材の温度上昇を招き、高精度位置決めが必要な場合においては部材の熱膨張による位置ずれが、再現性悪化をきたすことがあった。
特開２００１−２１８４４３公報では、コイルからの発熱の影響を最小化するために、熱輸送媒体として流体を用いた流体循環システムを提案している。
しかし、外部に対す熱影響を排除する為、コイル外周面を流体が循環するハウジングで覆う構造となっており、コイル自体が大型化してしまう為に搭載するステージ自体の小型化への対応が困難であるとい課題が存在した。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、本発明の目的は、ステージ装置をコンパクト化することができ、また、組み立て調整が比較的容易であり、光学素子等の比較的小型の素子、部品等を精度良く、高速に位置決めすることができるステージ装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、上記課題を次のようにして解決する。
（１）リニアガイドにより移動可能に支持される移動ステージと、上記リニアガイドが取り付けられた固定ステージと、上記移動ステージを上記リニアガイドに沿って移動させるリニア型駆動モータとを備えた直動型ステージ装置において、上記リニア型駆動モータを、移動磁界を発生させる円筒状のコイルを備えた駆動部と、該コイル内を貫通し、Ｓ極とＮ極が軸方向に交互配置され、軸方向に直線的に移動可能な円柱状のシャフトとから構成する。
そして、上記円筒状のコイルとシャフトを上記移動ステージの移動面の下側に配置し、上記駆動モータのシャフトもしくは円筒状のコイルのいずれか一方を上記移動ステージに取り付け、他方を上記固定ステージに固定し、上記リニア型駆動モータのシャフトと、上記リニアガイドを平行に配置する。
（２）上記移動ステージの位置を測定するリニアエンコーダを上記リニア型駆動モータのシャフトと平行に配置するとともに、位置決め制御手段を設ける。
そして、上記リニアエンコーダにより測定された移動ステージの位置信号を、位置決め制御手段にフィードバックして、上記位置決め制御手段により上記駆動モータを制御し上記移動ステージの位置決めを行う。
（３）上記リニア型駆動モータの発生熱量を局所的に輸送する熱輸送手段を設け、また、上記位置測定手段に対する熱影響を最小にできる箇所に放熱部を設け、上記リニア型駆動モータの発生熱量を上記熱輸送手段により放熱部に導き、該放熱部から放熱させる。
（４）上記移動ステージの位置測定手段における温度変化を計測する温度測定手段を設け、上記温度測定手段により測定された温度が、所定位置決め精度に対す熱影響が無視し得なくなった温度になったとき、上記リニア型駆動モータに供給する電流値を制限する。
【０００８】
本発明においては、上記のように、移動磁界を発生させる円筒状のコイルと、上記コイル内を貫通し、Ｓ極とＮ極が軸方向に交互配置され、軸方向に直線的に移動可能な円柱状のシャフトとから構成したリニア型駆動モータを用いたので、リニア型駆動モータをコンパクト化することができ、光学素子等の比較的小型の素子、部品等を位置決めするための小型のステージ装置であっても、リニア型駆動モータを移動ステージの下側に配置することができ、ステージ装置のコンパクト化を図ることができる。
また、リニア型駆動モータは、円筒状のコイル内にＳ極とＮ極が軸方向に交互配置され円柱状のシャフトを有する構成であり、比較的に大きな駆動力を得ることができるため、移動ステージを高速に位置決めすることが可能であり、また、効率が良いので、発熱も少なく温度上昇による熱膨張による誤差等が発生しにくい。
さらに、コンパクトな空間内にヒートパイプ等の熱輸送手段を配置することで、負荷が増大した際の、コイル温度上昇に伴う、位置決精度劣化を緩和することが可能となり、位置決め精度が向上する。
また、要求精度に対し、位置測定手段周辺の温度上昇による測定精度劣化の影響が大きくなる場合には、リニア駆動モータ電流値を自動的に制限する制御を行うことで、一定の位置決再現性を保証することができる。
また、本発明で使用されるリニア型駆動モータは、上記構成であるので、シャフトが円筒状のコイル内で多少偏心しても、駆動力が低下することがない。このため、リニアガイドと、リニア型駆動モータのシャフトとの間の平行度が多少狂っても、駆動力が低下することがない。
したがって、従来のリニアモータのようにギャップ量を適切な値に調整する必要がなく、従来のリニアモータを用いたものと比べ、組み立て調整を容易にすることができる。
さらに、位置測定手段と、位置決め制御手段を設け、位置測定手段により測定された移動ステージの位置信号を、位置決め制御手段にフィードバックして、移動ステージの位置決めを行うことにより、移動ステージの絶対位置決めが可能となる。このため、位置決めした後に、位置ずれが生じても、自動的に修復される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の実施例のステージ装置の構成を示す図である。図１（ａ）は上面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）は図１（ｂ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１（ａ）は移動ステージ１の一部を切り欠いて、内部構造が見えるようにものである。
図１において、１は移動ステージ、２は固定ステージであり、移動ステージ１と固定ステージ２の間にはリニアガイド３が設けられ、移動ステージ１はリニアガイド３に沿って同図（ａ）（ｂ）の左右方向に移動可能である。
４は後述するリニア型駆動モータ（以下駆動モータという）であり、駆動モータ４は、移動磁界を発生する円筒状のコイルを備えた駆動部４ａと、該コイルにより生ずる駆動力により、図１（ａ）（ｂ）の左右方向に移動するシャフト４ｂを備えている。シャフト４ｂの両端には、連結部材５が取り付けられ、該連結部材５は移動ステージ１の下面に固定されている。したがって、駆動モータ４のシャフト４ｂが同図（ａ）（ｂ）の左右方向に移動すると、これと一体で移動ステージ１が移動する。
【００１０】
図２に本実施例で使用される駆動モータの構成例を示す。
本実施例で用いられる駆動モータは、同図（ａ）に示すように、移動磁界を発生させる円筒状のコイル４ｃを備えた駆動部４ａと、コイル４ｃ内を貫通し、Ｓ極とＮ極が軸方向に交互配置され、軸方向に直線的に移動可能な円柱状のシャフト４ｂとから構成されており、シャフト４ｂが、コイル４ｃの軸に直交する方向にある程度移動できるように、コイル４ｃとシャフト４ｂの間にはギャップが設けられている。
コイル４ｃは円筒状であり、シャフト４ｂは円柱状であるので、同図（ｂ）に示すように、磁石が発する磁束を全方向で駆動力として利用することができ、また、シャフト４ｂとコイル４ｃ間のギャップが変動しても、駆動モータ４の駆動力は変動しない。
コイル４ｃは図２（ｃ）に模式的に示すように、例えばｕ，ｗ，ｖ相のコイルからなり、図示しない交流電源からコイル４ｃに交流電圧を印加して、移動磁界を発生させることにより、電流の流れる方向と磁束に直交する方向に推力が生じて、シャフト４ｂは移動磁界の方向に移動する。また、磁界の移動を停止させることにより、シャフト４ｂは停止する。
本実施例の駆動モータ４は上記構成であり、従来のリニアモータのように渦電流による発熱が少なく、また、比較的小さな供給電力で、大きな駆動力を得ることができ、従来のリニアモータに比べ効率が高い。
また、シャフト４ｂと、コイル４ｃ間のギャップが多少変わっても駆動力が変化しない。このため、コイルを有する駆動部４ａとシャフト４ｂの取り付け位置が多少狂ったり、リニアガイド３とシャフト４ｂの平行度が多少狂っても、駆動力が変化せず、従来のリニアモータのようにギャップ量が適切な値になるように組み立て調整を行う必要がなく、組み立て調整が容易である。
【００１１】
図１に戻り、移動ステージ１の下面には、リニアエンコーダ・スケール１０ｂが取付けられ、固定ステージ２にはリニアエンコーダ１０のリードヘッド１０ａが取付けられている。リードヘッド１０ａにより、リニアエンコーダ・スケール１０ｂを読み取ることにより、移動ステージ１の位置が検出され、リニアエンコーダ１０により検出された移動ステージ１の位置は、後述する位置決め制御装置にフィードバックされる。また、上記リニアエンコーダ１０の近傍には、温度センサ１１が取り付けられている。
【００１２】
図３に本実施例のステージ装置の制御系の構成例を示す。
同図に示すように、上記リニアエンコーダ１０により検出された移動ステージ１の位置信号は、位置決め制御装置１２にフィードバックされる。位置制御部１２ａは、上記目標位置信号と位置フィードバック信号の偏差に基づき駆動モータ４への駆動信号を求め、この駆動信号はドライバ１２ｂ、電流リミッタ１２ｄを介して駆動モータ４の駆動部４ａに与えられ、移動ステージ１の位置が目標位置に一致するように制御する。
また、移動ステージ１が限界位置に達すると、リミットセンサ１３（図１では図示せず）が出力を発生する。リミットセンサ１３の出力は、ドライバ１２ｂに与えられ、ドライバ１２ｂはこれにより駆動信号をオフにして、駆動モータ４を停止させる。
さらに、リニアエンコーダ１０の近傍の温度が温度センサ１１により検出され、温度監視部１２ｃに与えられる。
温度監視部１２ｃは、リニアエンコーダ１０の近傍の温度を監視し、温度上昇によりリニアエンコーダ１０の測定精度が低下し、予め定められた位置決め精度を満たせない状態になると、出力を発生して、ドライバ１２ｂに設けられた電流リミッタ１２ｃにより、駆動モータ４に供給される駆動電流を制限する。
【００１３】
本実施例のステージ装置は、前記したように光学素子等の比較的小型の素子、部品等を高速に位置決めするために用いられ、発生推力は５Ｎ（ニュートン）以上、最大移動速度は１００ｍｍ／ｓｅｃ以上で、一定の動作環境で１μｍ内の精度で位置決め可能としたものである。また、全体の大きさは、８０ｍｍ×３０ｍｍ以下の小型の構造体内に上記駆動モータ４を内蔵させている。
このため、駆動モータ４に比較的大きな駆動力が要求され、駆動モータ４の発熱が問題となる。
例えば、推力が５Ｎの駆動モータで、加減速時間の割合が１０％程度の場合、、駆動モータ４の温度は２０°Ｃ程度上昇する。この駆動モータ４の発熱により、移動ステージ１等の温度が上昇すると、移動ステージ１の熱膨張等により位置決め精度が低下する。特に、上記リニアエンコーダ１０の周辺の温度が上昇すると、位置検出精度等が低下し、これによる位置決め誤差が問題となってくる。
そこで、本実施例では、前記したように、リニアエンコーダ１０の近傍の温度を温度センサ１１により検出し、温度上昇によりリニアエンコーダ１０の測定精度が低下し、予め定められた位置決め精度を満たせない状態になると、駆動モータ４に供給される駆動電流を制限する。これにより、所望の位置決再現性を保証することができる。
なお、リニアエンコーダ・スケール１０ｂの温度が上昇し、熱膨張により長さが延びると、位置検出誤差が生ずるので、リニアエンコーダ・スケール１０ｂを発熱部分からできるだけ離して配置するのが望ましく、例えば図１に示すように固定ステージ側に発熱源である駆動部４ａを取り付けた場合には、リニアエンコーダ・スケール１０ｂを移動ステージの下面に取り付けるのが望ましい。また、位置検出誤差をできるだけ低減するため、リニアエンコーダ・スケール１０ｂを、熱膨張係数の少ない材料で形成するのが望ましい。
【００１４】
しかし、駆動モータ４の発熱によりリニアエンコーダ１０の近傍の温度が上昇すると、駆動モータ４の電流値の制限が頻繁に起こり、駆動モータ４の駆動力が低下し、所望の性能を得ることができなくなる。
そこで、本実施例では、図１に示すように、ヒートパイプ６を駆動モータ４の固定子に取付け、駆動モータ４で発生する熱を該ヒートパイプ６を介して放熱部７に導き、駆動モータ４が発生する熱を効率的に外部に放熱させるように構成するとともに、放熱部７をリニアエンコーダ１０からできるだけ離れた位置に配置した。
これにより、位置決め精度に大きく影響するリニアエンコーダ１０の近傍の温度の上昇を抑え、駆動モータ４の発熱が位置決め精度に与える影響を最小限にすることができる。
【００１５】
図４は、上記ヒートパイプ６とリニアエンコーダ１０と放熱部７の配置関係を斜視図で示したものであり、同図は、図１（ａ）のＡ−Ａ方向から見た斜視図である。
同図に示すように、駆動モータ４の側面のヒートパイプ６が取り付けられ、ヒートパイプ６により駆動モータ４で発生する熱が、リニアエンコーダ１０の反対側に設けられた放熱部７に導かれる。放熱部７は、同図に示すように、固定ステージ２に複数の切り溝２ａを設けたものである。
上記構成とすることにより、駆動モータ４により発生した熱を、放熱部７に導き効果的に放熱させることができる。
すなわち、ヒートパイプ６を設けて駆動部４ｂでの発熱を放熱部７から放熱させることにより、移動ステージ１側は、輻射および対流伝熱となるので外気温と同程度の温度にすることができる。また、固定ステージ２側は、放熱部７での温度は上昇するものの、リニアエンコーダ１０近傍の温度は、同様に外気温程度に抑えることができる。このため、ステージ装置の温度上昇により生ずる精度の低下を最小限に抑えることができる。
なお、放熱部７の構造は図２に示すように切り溝を設ける外、冷却用のフィン等を取り付けたものであってもよい。
【００１６】
上記実施例では、駆動モータ４の駆動部４ａを固定ステージ２に取付け、シャフト４ｂを動かして、移動ステージ１を移動させるように構成したが、シャフト４ａを固定ステージ２側に取付け、また、駆動部４ａを移動ステージ１に取付け、駆動部４ａを動かして、移動ステージ１を移動させるように構成してもよい。この場合には、放熱部７を移動ステージ１側に設け、ヒートパイプ６により駆動部４ａで発生する熱を上記放熱部７に導くようにすればよい。
この場合も、放熱部７をリニアエンコーダ１０からできるだけ離れた位置に配置するのが望ましい。
また上記実施例では、移動ステージの移動方向が１軸のみの構成を示したが、ＸＹ方向に移動する移動ステージを構成する場合には、移動方向が上記軸に直交する同様の構成のステージ装置を段積みすればよい。
【００１７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）円筒状のコイルと、Ｓ極とＮ極が軸方向に交互配置された円柱状のシャフトとから構成したリニア型駆動モータを用いたので、リニア型駆動モータをコンパクト化することができ、光学素子等の比較的小型の素子、部品等を位置決めするための小型のステージ装置であっても、リニア型駆動モータを移動ステージの下側に配置することができ、ステージ装置のコンパクト化を図ることができる。
（２）上記構成のリニア型駆動モータを用いたので、比較的に大きな駆動力を得ることができ、移動ステージを高速に位置決めすることが可能であり、また、効率が良いので、発熱も少なく温度上昇による熱膨張による誤差等が発生しにくい。
（３）上記構成のリニア型駆動モータは、シャフトが円筒状のコイル内で多少偏心しても、駆動力が低下することがない。このため、従来のリニアモータのようにギャップ量を適切な値に調整する必要がなく、組み立て調整を容易にすることができる。
（４）位置測定手段と、位置決め制御手段を設け、位置測定手段により測定された移動ステージの位置信号を、位置決め制御手段にフィードバックして、移動ステージの位置決めを行うようにしたので、移動ステージの絶対位置決めが可能となり、位置ずれが生じても、自動的に修復させることができる。
（５）ヒートパイプ等の熱輸送手段を配置し、リニア型駆動モータの円筒状のコイルで発生する熱をヒートパイプを介して放熱部に導き、放熱させるようにしたので、負荷が増大した際の、コイル温度上昇に伴う、位置決精度劣化を緩和することが可能となり、位置決め精度が向上させることができる。
（６）位置測定手段周辺の温度が上昇し、測定精度劣化する状況になったとき、リニア駆動モータ電流値を自動的に制限することにより、一定の位置決再現性を保証することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例のステージ装置の構成を示す図である。
【図２】本実施例で用いられるリニア型駆動モータの構成例を示す図である。
【図３】本発明の実施例のステージ装置の制御系の構成例を示す図である。
【図４】ヒートパイプと放熱部の配置を示す図である。
【図５】従来のステージ装置の構成例を示す図である。
【符号の説明】
１　　移動ステージ
２　　固定ステージ
３　　リニアガイド
４　　リニア型駆動モータ
４ａ　駆動部
４ｂ　シャフト
４ｃ　コイル
５　　連結部
６　　ヒートパイプ
７　　放熱部
１０　リニアエンコーダ
１２　位置決め制御装置
１３　リミットセンサ
１１　温度センサ
【図１】
2004064916.tif 000003
【図２】
2004064916.tif 000004
【図３】
2004064916.tif 000005
【図４】
2004064916.tif 000006
【図５】
2004064916.tif 000007