(57)【要約】【課題】リニアモータの効率、信頼性およびコストに関し、空隙内に設けられた永久磁石の吸引力による変形防止と空隙量低減による効率向上、信頼性向上を図る。【解決手段】透磁率の高い薄板を積み重ねて形成され３つの磁極を有して、中央の磁極２７にコイル２９を巻回するアウタヨーク２１と、磁極と空隙を隔てて配置される永久磁石４０，４１と、透磁率の高い薄板を積み重ねて形成されるインナヨーク３０と、インナヨーク３０に固定された出力軸５２からなり、インナヨーク３０に前記永久磁石を固着した。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透磁率の高い薄板を積層面が磁力線に沿うように積層し、かつ中央の磁極にコイルを捲回することで少なくとも３つの磁極を形成したアウタヨークと、前記磁極と空隙を隔て対向配置された永久磁石が固着され、透磁率の高い薄板を積層面が磁力線に沿うように積層して形成されたインナヨークと、前記インナヨークに固定された出力軸とを備えたリニアモータ。
【請求項２】
永久磁石が平板形状であることを特徴とする請求項１記載のリニアモータ。
【請求項３】
出力軸を共有するとともに、前記出力軸を中心に、少なくとも２組以上の請求項１又は２に記載のリニアモータを等角度に配置することを特徴とするリニアモータ。
【請求項４】
インナヨークまたはアウタヨークに接触する部材が非磁性材料にて形成されていることを特徴とする請求項１から３記載のリニアモータ。
【請求項５】
請求項１から４記載のいずれか１項に記載のリニアモータと、前記リニアモータのアウタヨークに取り付けられ、前記リニアモータと軸心を共有する略円筒形のシリンダと、前記リニアモータの出力軸に連結され、前記シリンダに往復自在に挿入される円筒形のピストンと、一端が前記アウタヨークや前記シリンダなどを含む固定部に取り付けられ、他端が前記出力軸や前記ピストンを含む可動部に取り付けられた共振ばねとを備え、前記固定部及び前記可動部の質量と、前記共振ばねのばね定数とで決まる共振周波数近傍で駆動されることを特徴とするリニアモータコンプレッサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のリニアモータとしては特開平１１−３１３４７６号公報に記載されているものが知られている。
【０００３】
以下図面を参照しながら上記従来のリニアモータについて説明する。
【０００４】
図４は、従来のリニアモータの縦断面図である。図５は、図４のＣ−Ｃ線による断面図である。
【０００５】
図４、図５において、１はインナヨークであり、略長方形状で透磁率の高い薄板を多数積み重ねて角柱状に形成している。３はアウタヨークであり、略長方形状で透磁率の高い薄板２を多数積み重ねて角柱状に形成すると共に軸方向４にスロット５，６を切り欠いて３つの磁極７，８，９を形成している。１０はコイルであり、アウタヨーク３の中央の磁極８の周りに巻かれている。１１はヨークブロックであり、アウタヨーク３とインナヨーク１が、磁極７，８，９を有する面から所定空隙１２となる様に固定されている。
【０００６】
１４は可動部であり、インナヨーク１とアウタヨーク３の対向する方向に磁化した一対の永久磁石１５，１６と、永久磁石支持体１７、出力軸１８から構成されている。永久磁石１５，１６は、磁化の向きが交互に逆向きになるように軸方向に所定間隔を設けてインナヨーク１とアウタヨーク３間の空隙１２内に配置され、永久磁石支持体１７を介して出力軸１８に固定されている。
【０００７】
１９は軸受けであり、出力軸１８を軸方向に往復動可能で軸回転を規制して支持している。
【０００８】
以上のように構成されたリニアモータについて、以下その動作を説明する。コイル１０に電流を通電すると、アウタヨーク３の磁極７，８，９に異磁極が交互に発生し、可動部１４の永久磁石１５，１６との磁気的吸引，反発作用により、コイル電流の大きさと永久磁石１５，１６の磁束密度に比例した推力が発生し、永久磁石支持体１７を介して出力軸１８が所定方向に移動する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の構成では、永久磁石１５，１６はインナヨーク１側及びアウタヨーク３側の両側の空隙確保が必要であり、永久磁石１５，１６自身を構造体として可動部を構成すると、永久磁石１５，１６の吸引力による永久磁石１５，１６や永久磁石支持体１７の変形によってヨークとの擦れが発生したり、永久磁石１５，１６の破損が生じる等の信頼性低下や、出力軸１８と軸受１９の摺動損失増大による効率低下などの欠点があった。
【００１０】
本発明は従来の課題を解決するもので、永久磁石の吸引力に起因する変形による擦れや破損等の信頼性低下および効率低下を防止することを目的とする。
【００１１】
また、変形を小さくするために空隙量を大きくして永久磁石１５，１６の吸引力を小さくすると、磁束密度が低下して効率が低下する欠点があった。
【００１２】
本発明の他の目的は、永久磁石とインナヨーク側及びアウタヨーク側の空隙量を小さくする構成にすることで同じ永久磁石量でも効率の高いリニアモータを提供することである。
【００１３】
また、空隙量を変えずに変形を小さくするために、永久磁石１５，１６と永久磁石支持体１７や出力軸１８との締結剛性の高い構造にすると、可動部が大型化すると共に、剛性確保のために形状が複雑化するため組み立て性や生産性が非常に悪くなって高価になる欠点があった。
【００１４】
本発明の他の目的は、可動部が大型化したり剛性確保のために形状が複雑化することなく、組み立て性や生産性が良く、安価なリニアモータを提供することである。
【００１５】
また、同じく空隙量を変えずに変形を小さくするために、永久磁石１５，１６の板厚を厚くして永久磁石１５，１６自身の剛性を高めると、永久磁石１５，１６の重量が大幅に増大して、非常に高価になる欠点があった。
【００１６】
本発明の他の目的は、永久磁石の変形が小さく、且つ板厚を薄くできる構成にすることで、効率低下を防止しつつ永久磁石重量を削減し、安価なリニアモータを提供することである。
【００１７】
また、上記従来の構成は、インナヨーク１とアウタヨーク３を固定するヨークブロック１１の材料が磁性体で形成されている場合、電流を通電した時に磁極に生じる磁路や永久磁石１５，１６の磁路に迂回路が形成され、効率が低下する欠点があった。
【００１８】
本発明の他の目的は、インナヨークやアウタヨークの磁極に生じる磁路や永久磁石の磁路の阻害を防止し、効率低下を防止することである。
【００１９】
また、上記従来の構成のリニアモータにコンプレッサ機構を付加した従来のリニアモータコンプレッサの構成では、リニアモータの永久磁石１５，１６の吸引力に起因してコンプレッサ機構摺動部の摩擦力が増大することで、リニアモータコンプレッサの過度な発熱や摩耗の増大による信頼性低下や、摺動損失増大に伴う効率低下が生じるとの欠点があった。
【００２０】
本発明の他の目的は、リニアモータの永久磁石吸引力に起因するコンプレッサ機構摺動部の過度な発熱や摩耗の増大による信頼性低下や、摺動損失増大に伴う効率低下を防止することである。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の発明は、透磁率の高い薄板を積層面が磁力線に沿うように積層し、かつ中央の磁極にコイルを捲回することで少なくとも３つの磁極を形成したアウタヨークと、前記磁極と空隙を隔てて対向配置された永久磁石が固着され、透磁率の高い薄板を積層面が磁力線に沿うように積層して形成されたインナヨークと、前記インナヨークに固定された出力軸とを備えたリニアモータであり、インナヨークを磁路形成の機能に加えて永久磁石の変形防止の構造部材として用いることで、永久磁石の吸引力や、往復動時の推力、慣性力が作用した場合においても、永久磁石がインナヨークに固着されており、作用力と比較して剛性が非常に高い構成であることから、永久磁石やその支持部材の変形が小さくなり、アウタヨークやインナヨークと擦れが発生することを妨げ、剛性の小さい永久磁石が補強されることでこの折損破壊を防ぐことができる等の作用を有する。
【００２２】
また、永久磁石とインナヨークを固着しているため、空隙はアウタヨークと永久磁石の１箇所だけとなり、インナヨークとアウタヨークの総空隙量を小さくすることができ、空隙の磁束密度が大きくなるためモータ推力が増大してモータ効率を向上できる。また、同じモータ推力であれば、同様に空隙量を小さくできるため、永久磁石量やコイル，インナヨーク，アウタヨークの重量を低減しても、所定の磁束密度を保持できるため、リニアモータの小型化が図れるとの作用を有する。
【００２３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明に、さらに、永久磁石を平板形状にしたものであり、アウタヨークは、薄板を積層面が磁力線に沿うように積層し、かつ中央の磁極にコイルを捲回することで磁極を形成するが、永久磁石が平板形状であるため、磁力線が永久磁石の平板平面に対して垂直に発生するため、所定の空隙を隔てて永久磁石と対面するアウタヨークや、永久磁石を固着するインナヨークの積層した薄板を磁力線に沿って単純積層で形成でき、生産性を大幅に向上できると共に、可動部についても永久磁石とインナヨークを平面どうしで固着すれば良いため組み立て性が良好であり、さらに、永久磁石も平板形状で成形が容易であると同時に、永久磁石の固着で空隙を小さくできることで、永久磁石使用量を大幅に減らせるという作用を有する。
【００２４】
請求項３に記載の発明は、出力軸を共有するとともに、前記出力軸を中心に、少なくとも２組以上の請求項１又は２に記載のリニアモータを等角度に配置するものであり、リニアモータの永久磁石の吸引力が他のリニアモータの永久磁石の吸引力とバランスするため、永久磁石やその支持部材の変形による擦れや破損等の信頼性低下や吸引力のアンバランス力に起因する効率の低下を防止するとの作用を有する。
【００２５】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３に記載の発明に、さらに、インナヨークまたはアウタヨークに接触する部材を非磁性材料にて形成したものであり、インナヨークやアウタヨークの磁極に生じる磁路や永久磁石の磁路の阻害を防止し、効率の低下を防ぐ作用を有する。
【００２６】
請求項５に記載の発明は、請求項１から４記載のいずれか１項に記載のリニアモータと、前記リニアモータのアウタヨークに取り付けられ、前記リニアモータと軸心を共有する略円筒形のシリンダと、前記リニアモータの出力軸に連結され、前記シリンダに往復自在に挿入される円筒形のピストンと、一端が前記アウタヨークや前記シリンダなどを含む固定部に取り付けられ、他端が前記出力軸や前記ピストンを含む可動部に取り付けられた共振ばねとを備え、前記固定部及び前記可動部の質量と、前記共振ばねのばね定数とで決まる共振周波数近傍で駆動されることを特徴とするリニアモータコンプレッサであり、永久磁石の吸引力に起因する出力軸の変形や軸方向以外の作用力を防止できるリニアモータを用いてリニアモータコンプレッサを構成することにより、コンプレッサ機構部の摺動部の摩擦力を低減でき、コンプレッサ機構摺動部の過度な発熱や摩耗の増大による信頼性低下や、摺動損失増大に伴う効率低下を防止することができるとの作用を有する。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明によるリニアモータの実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、従来と同一構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００２８】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１によるリニアモータの縦断面図である。図２は図１のＡ−Ａ線による矢視図である。
【００２９】
図１，図２において、２１はアウタヨークであり、略長方形状で透磁率の高い薄板２２を、中心軸２３を含む平面に対して垂直に多数積み重ねて角柱状に形成すると共に中心軸２３の軸方向にスロット２４，２５を切り欠いて３つの磁極２６，２７，２８を形成している。２９はコイルであり、アウタヨーク２１の中央の磁極２７の周りに巻かれている。３０はインナヨークであり、略長方形状で透磁率の高い薄板３１を中心軸２３を含む平面に対して垂直に多数積み重ねて角柱状に形成している。これらの薄板としては、表面に絶縁皮膜が施され、できるだけ飽和磁束密度が高く鉄損が低い特性を有することが望ましい。
【００３０】
４０，４１は平板形状の永久磁石であり、板厚方向に磁化されている。永久磁石４０，４１は、保磁力の大きいＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系の希土類磁石が望ましい。
【００３１】
５０はベースであり、中央の磁極２７の周りにコイル２９が巻かれているアウタヨーク２１を固定すると共にベース５０に設置された軸受け５１で出力軸５２を往復動可能で軸回転を規制して支持している。ベース５０及び出力軸５２はいずれも鉄に比べ十分に電気抵抗が大きく、非磁性であるステンレスなどの材料で形成されている。
【００３２】
６０は可動部であり、インナヨーク３０と永久磁石４０，４１と出力軸５２から成り、アウタヨーク２１の磁極を形成する面に対向して所定空隙６１を隔てる位置にインナヨーク３０を配置し、空隙６１中のインナヨーク３０の表面にアウタヨーク２１と対向する方向に磁化した１対の平板形状の永久磁石４０，４１を薄板２２と垂直に固着すると共に、インナヨーク３０と永久磁石４０，４１が往復動可能になる様に出力軸５２に固定されている。６２は永久磁石４０，４１から発生した磁束を示す線である。
【００３３】
７０は第１リニアモータアッシーであり、アウタヨーク２１と永久磁石４０，４１とインナヨーク３０とで構成されている。
【００３４】
７１は第２リニアモータアッシーであり、第１リニアモータアッシー７０と同一部品で構成され、中心軸２３を中心として第１リニアモータアッシー７０に対して軸対象の位置に配置されて第１リニアモータアッシー７０と同様にベース５０と出力軸５２に固定されている。
【００３５】
以上の様に構成されたリニアモータについて、以下その動作を説明する。
【００３６】
永久磁石４１から発生した磁束６２は、インナヨーク３０、永久磁石４０、空隙６１、アウタヨーク２１、空隙６１を通って永久磁石４１に戻ると共に空隙６１に静磁界を発生する。
【００３７】
そして、アウタヨーク２１の中央の磁極２７の周りに巻かれているコイル２９に交流電流が供給されると、磁極２６，２７，２８には軸方向に異磁極が交互に形成され、可動部６０の永久磁石４０，４１との磁気的吸引、反発作用により、コイル２９電流の大きさと永久磁石４０，４１の磁束密度に比例した推力が発生し、可動部６０が交流電流の周波数に同期して往復動する。
【００３８】
この時、可動部６０の永久磁石４０，４１はインナヨーク３０に固着されており、永久磁石４０，４１の吸引力や、往復動時の推力、慣性力が作用した場合においても、作用力と比較して可動部６０の剛性が大幅に大きいため、永久磁石４０，４１が変形、破損することは無い。
【００３９】
従って、永久磁石やその支持部材の変形による擦れや破損等の信頼性低下防止や、出力軸と軸受の摺動損失増大による効率低下を防止できると共に、永久磁石とインナヨークを固着しているため、インナヨークとアウタヨークの空隙量を小さくでき、同じ永久磁石でも空隙の磁束密度が大きくなるためモータ効率を向上することができる。また、同じモータ推力であれば、同様に空隙量を小さくできるため、永久磁石量やコイル，インナヨーク，アウタヨークの重量を低減しても、所定の磁束密度を保持できるため、リニアモータの小型，低コスト化を図ることができる。
【００４０】
また、アウタヨーク２１は、薄板２２を積層面が磁力線に沿うように積層し、かつ中央の磁極２７にコイル２９を捲回することで形成するが、永久磁石４０，４１が平板形状であるため、磁力線が永久磁石４０，４１の平板平面に対して垂直に発生するため、所定の空隙を隔てて永久磁石４０，４１と対面するアウタヨーク２１や、永久磁石４０，４１を固着するインナヨーク３０の積層した薄板３１を磁力線に沿って単純積層で形成でき、生産性を大幅に向上できると共に、可動部６０についても永久磁石４０，４１とインナヨーク３０を平面どうしで固着すれば良いため組み立て性が良好であり、さらに、永久磁石４０，４１も平板形状で成形が容易であると同時に、永久磁石４０，４１の固着で空隙を小さくできることで、永久磁石４０，４１の使用量を大幅に減らすことができ、組み立て性が良好で小型，低コスト化を図ることができる。従って、コストの安いリニアモータを提供することができる。
【００４１】
また、第１リニアモータアッシー７０の永久磁石４０，４１は、アウタヨーク２１に対して常に磁気的吸引力を生じているため、永久磁石４０，４１が固着されているインナヨーク３０を介して出力軸５２にもアウタヨーク２１方向に吸引力が作用する。ところが、第２リニアモータアッシー７１が第１リニアモータアッシー７０の軸対象位置に配置されているため、第１リニアモータアッシー７０の磁気的吸引力と同じ大きさで方向が逆向きの吸引力が出力軸５２に作用する。従って、出力軸５２の作用力がバランスし、吸引力によるアンバランス力に起因する効率の低下を防止することができる。
【００４２】
また、ベース５０や出力軸５２は、インナヨーク３０またはアウタヨーク２１等の磁束６２を生じている部材に接触しているが、非磁性材料にて形成されているため、インナヨーク３０やアウタヨーク２１の磁極２６，２７，２８に生じる磁路や永久磁石４０，４１の磁路の阻害を生じることは無い。従って、モータ効率の低下を防止できる。
【００４３】
尚、本実施の形態ではインナヨークを可動部、アウタヨークを固定部として構成したが、インナヨークを固定部、アウタヨークを可動部として構成しても同様の効果が得られる。
【００４４】
また、本実施の形態ではアウタヨークの磁極数が３つの場合で説明したが、磁極数が４個以上で、２個以上の磁極にコイルを捲回する構成の場合においても同様の効果が得られる。
【００４５】
また、本実施の形態で用いるアウタヨーク２１は、コイル２９を中央の磁極２７の周りに巻きつけて容易に成形できるため、薄板を出力軸に対して放射状に積み重ねてアウタヨークを形成する方式のリニアモータと比較して、成形装置の自動化や高速化による生産性向上も容易であり、コイルの成形やリニアモータの組立てのコストが増大することなく安価なリニアモータを提供できるとの効果を有する。
【００４６】
（実施の形態２）
図３は本発明の実施の形態２によるリニアモータコンプレッサの縦断面図である。
【００４７】
図３において、８０は実施の形態１で示した図１と同一構成のリニアモータである。８１はコンプレッサ機構であり、出力軸５２と同軸上に固定されたピストン８２と、ピストン８２を往復動可能に嵌合しベース５０に固定されたシリンダ８３と、シリンダ８３に固定されたシリンダヘッド８４とから構成されている。８５はピストン８２とシリンダ８３の摺動部であり、８６はピストン８２とシリンダ８３およびシリンダヘッド８４とから構成される圧縮室である。８７は共振ばねであり、一端がばねケース８７ａを介してアウタヨーク３やシリンダ８３などを含む固定部８８に取り付けられ、他端が出力軸５６やピストン８２を含む可動部８９に取り付けられている。共振ばね８７は、固定部８８及び可動部８９の質量と、共振ばね８７のばね定数とで決まる共振周波数が駆動周波数とほぼ一致するよう、調整されている。
【００４８】
以上の様に構成されたリニアモータコンプレッサについて、以下その動作を説明する。
【００４９】
リニアモータ８０に交流電流が供給されると、可動部８９は固定部８８に対して往復動し、可動部８９のインナヨーク３０や出力軸５２およびピストン８２が一体となって往復動することにより、圧縮室８６内に吸入された冷媒ガスを順次圧縮し、外部の冷凍サイクルへ吐出する。
【００５０】
この際、可動部８９が中立位置から、上死点あるいは下死点方向に移動すると、共振ばね８７の変形が大きくなり、可動部８９には逆向きの加速度が作用する。そして、上死点、下死点において可動部８９の速度が零となるが、共振ばねに蓄えられるエネルギーは最大となる。そして可動部８９が再び中立位置へ戻る際には、共振ばね８７の変形は徐々に小さくなり、これに伴い共振ばねに蓄えられたエネルギーは、可動部８９の速度として回収される。
【００５１】
ここで、電源の周波数を、固定部８８及び可動部８９の質量と、共振ばね８７のばね定数とで決まる共振周波数とほぼ一致させていることで、可動部８９の変位と共振ばね８７からの加速度の周期が同期され、その結果エネルギーロスは小さく抑えられ、可動部８９を効率良く往復動させることができる。
【００５２】
またこの時、シリンダ８３中のピストン８２は、摺動部８５で高速摺動しているが、リニアモータ８０中で使用されている永久磁石４０，４１及びインナーヨークの剛性が高く、吸引力もバランスしているため出力軸５２の変形や軸方向以外の作用力も生じない。従って、シリンダ８３中の出力軸５２と同軸上に固定されたピストン８２は、摺動部８５において、異常なこじりを生じること無く往復摺動できる。従って、コンプレッサ機構部の摺動部の摩擦力を低減でき、コンプレッサ機構摺動部の過度な発熱や摩耗の増大による信頼性低下や、摺動損失増大に伴う効率低下を防止することができる。
【００５３】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１に記載の発明は、透磁率の高い薄板を積層面が磁力線に沿うように積層し、かつ中央の磁極にコイルを捲回することで少なくとも３つの磁極を形成したアウタヨークと、磁極と空隙を隔て対向配置された永久磁石が固着され、透磁率の高い薄板を積層面が磁力線に沿うように積層して形成されたインナヨークと、インナヨークに固定された出力軸からなり、永久磁石とインナヨークとが固着されているので、永久磁石が変形することは無く、永久磁石の吸引力に起因する変形による擦れや破損等の信頼性低下防止や、出力軸と軸受の摺動損失増大による効率低下を防止できると共に、永久磁石とインナヨークを固着しているため、インナヨークとアウタヨークの空隙量を小さくでき、空隙の磁束密度が大きくなるため永久磁石を小型化できると共にモータ効率を向上することができる。
【００５４】
また、請求項２に記載の発明は、磁極と一定の空隙を隔てて配置される永久磁石が平板形状であるため、可動部の永久磁石とインナヨークを平面で固着すれば良いため組み立て性が良好で、さらに永久磁石とインナヨークも平板形状のため成形が容易であり、生産性を向上できると同時に空隙を小さくできることで永久磁石使用量を大幅に減らすことが可能である。従って、コストの安いリニアモータを提供することができる。
【００５５】
また、請求項３に記載の発明は、少なくとも２個以上のリニアモータを往復軸に対して対象位置に配置するため、出力軸に作用する吸引力がバランスし、アンバランス力に起因する効率の低下を防止することができる。
【００５６】
また、請求項４に記載の発明は、インナヨークまたはアウタヨークに接触する部材が非磁性材料にて形成されたものであり、インナヨークやアウタヨークの磁極に生じる磁路や永久磁石の磁路の阻害を防止し、モータ効率の低下を防止することができる。
【００５７】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１から４記載のいずれか１項に記載のリニアモータと、前記リニアモータのアウタヨークに取り付けられ、前記リニアモータと軸心を共有する略円筒形のシリンダと、前記リニアモータの出力軸に連結され、前記シリンダに往復自在に挿入される円筒形のピストンと、一端が前記アウタヨークや前記シリンダなどを含む固定部に取り付けられ、他端が前記出力軸や前記ピストンを含む可動部に取り付けられた共振ばねとを備え、前記固定部及び前記可動部の質量と、前記共振ばねのばね定数とで決まる共振周波数近傍で駆動されることを特徴とするリニアモータコンプレッサとしたので、エネルギーロスが小さく抑えられ、可動部を効率良く往復動させることができると共に、リニアモータ中で使用されている永久磁石及びインナーヨークの剛性が高く、吸引力もバランスしているため、永久磁石の吸引力に起因する出力軸の変形や軸方向以外の作用力を防止できるため、コンプレッサ機構部の摺動部の摩擦力を低減でき、コンプレッサ機構摺動部の過度な発熱や摩耗の増大による信頼性低下や、摺動損失増大に伴う効率低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるリニアモータの実施の形態１の縦断面図
【図２】図１のＡ−Ａ線による矢視図
【図３】本発明によるリニアモータコンプレッサの実施の形態２の縦断面図
【図４】従来のリニアモータの縦断面図
【図５】図４のＣ−Ｃ線による断面図
【符号の説明】
２１　アウタヨーク
２２　薄板
２６，２７，２８　磁極
２９　コイル
３０　インナヨーク
４０，４１　永久磁石
５０　　ベース
５２　出力軸
６１　空隙
７０　第１リニアモータアッシー
７１　第２リニアモータアッシー
８０　リニアモータ
８１　シリンダ
８２　ピストン
８７　共振ばね
８８　固定部
８９　可動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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