(57)【要約】【課題】被加工物の表面に傷を生じたり、洗浄後も被加工物表面に研磨材や研磨屑が残存し、欠陥の原因となる問題の改良及び回収組成物の濾過性を改良するＣＭＰプロセス用研磨組成物を提供する。【解決手段】水、研磨材及び水媒体中で熱可逆性を示す化合物（Ａ）からなることを特徴とするＣＭＰプロセス用研磨組成物を用いる。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
水、研磨材及び水媒体中で熱可逆性を示す化合物（Ａ）からなることを特徴とするＣＭＰプロセス用研磨組成物。
【請求項２】
前記（Ａ）が熱可逆性増粘剤（ａ）及び／又は非イオン界面活性剤（ｂ）である請求項１記載の研磨組成物。
【請求項３】
前記（ａ）が、炭素数２〜４のアルキレンオキシド付加物の（メタ）アクリル酸エステルの（共）重合体、（メタ）アクリル酸アミドを必須単量体とする（共）重合体、ビニルエーテル（共）重合体、ポリイミノエチレン基（重合度２〜５０）を有するビニル、環状アミノ基又はアルキル基の炭素数５以上のアルキルアミノ基とエポキシ基を有する単量体からなる重合体、アルキルナフタレンホルマリン縮合物のアルキレンオキシド付加物、アルキレンオキシド変性ポリオルガノシロキサン、セルロース系熱可逆性増粘剤からなる群から選ばれる１種以上の化合物である請求項２記載の研磨組成物。
【請求項４】
前記（ｂ）が炭素数２〜４のアルキレンオキシド付加型非イオン界面活性剤及び／又は多価アルコ−ル型非イオン界面活性剤である請求項２又は３記載の研磨組成物。
【請求項５】
前記（Ａ）の水媒体中で熱可逆性を示す温度（Ｔ）が２５〜８０℃である請求項１〜４の何れか記載の研磨組成物。
【請求項６】
研磨材が、二酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化セリウム、窒化珪素、及び酸化ジルコニウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の無機化合物である請求項１〜５の何れか記載の研磨組成物。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか記載の研磨組成物を用いて、前記（Ａ）の熱可逆性を示す温度を超えた温度で研磨する工程を含むことを特徴とするデバイスウエハの生産方法。
【請求項８】
請求項１〜６の何れか記載の研磨組成物を用いて研磨されてなる研磨物。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＣＭＰプロセス用研磨組成物に関する。さらに詳しくはデバイスウェハや液晶ディスプレー用基板の表面平坦化加工に最適な研磨組成物に関するものである。なお、ＣＭＰプロセスとは、化学研磨と機械研磨とを組み合わせたメカノケミカル研磨（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｐｌａｎａｒｉｚａｔｉｏｎ）を意味する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＣＭＰプロセス用研磨液としては、被研磨体の平坦性の向上を目的として有機高分子型陰イオン性界面活性剤を含有するものが知られている（特開２００１−５７３５３号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の陰イオン性界面活性剤は、ＣＭＰプロセス用研磨液と配合すると経時的に凝集が起こるため、使用する直前に混合する必要があり、作業性に劣り、研磨特性にもばらつきが発生するという問題、さらにＣＭＰプロセス用研磨液の回収使用に際し、濾過の目詰まりが激しく回収ロスが大きいという問題があった。
本発明は、優れた研磨特性（平坦性等）を安定して発揮しうるＣＭＰプロセス用研磨組成物を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の問題点を解決すべく鋭意検討した結果、水媒体中において２５℃以上８０℃以下の特定の温度で熱可逆性を示す化合物をＣＭＰプロセス用研磨組成物に添加することにより、上記の問題点が解決されることを見いだし、本発明に到達した。
【０００５】
すなわち本発明は、水、研磨材及び水媒体中で熱可逆性を示す化合物（Ａ）からなることを特徴とするＣＭＰプロセス用研磨組成物；及び研磨時の温度が該（Ａ）の熱可逆性を示す温度を超える温度で研磨する工程を含むことを特徴とするデバイスウエハの生産方法である。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明において水媒体中で熱可逆性を示す化合物とは、水媒体中における特定の温度（以下転移温度Ｔという）で構造が変化する化合物をいい、さらに詳しくは水媒体中における転移温度以上で構造が変化することにより水媒体に対する溶解性が低下する化合物をいう。本発明において、上記転移温度（Ｔ℃）は化合物（Ａ）の固形分１重量％を溶解した水溶液を徐々に加熱（１℃／分）してゆき、その水溶液が白濁し始める温度を目視で測定することによって求められる。本発明の化合物（Ａ）の転移温度Ｔは２５℃以上８０℃以下が好ましく、３０℃以上７０℃以下がさらに好ましい。
この様な水媒体中で熱可逆性を示す化合物（Ａ）としては、例えば熱可逆性増粘剤（ａ）及び非イオン系界面活性剤（ｂ）等が挙げられる。
熱可逆性増粘剤（ａ）としては、具体的には下記の（ａ―１）〜（ａ―８）のものが挙げられる。
【０００７】
（ａ―１）アルキレンオキシド（炭素数２〜４）付加物の（メタ）アクリル酸エステルの（共）重合体
（ｉ）環状アミンのアルキレンオキシド１〜４０モル付加物の（メタ）アクリル酸エステルを必須単量体とする（共）重合体
例えば、モルホリノエチル（メタ）アクリレート重合体等、特開平６−９８４８号公報に記載のもの；
（ｉｉ）炭素数５以上の非環状アミンのアルキレンオキシド１〜４０モル付加物の（メタ）アクリル酸エステルを必須単量体とする（共）重合体
例えば、ジイソプロピルアミノエチル（メタ）アクリレート重合体等；
（ｉｉｉ）モノオール若しくはジオールのアルキレンオキシド３〜４０モル付加物のモノ（メタ）アクリル酸エステルを必須単量体とする（共）重合体
例えば、テトラエチレングリコールモノエチルエーテルモノ（メタ）アクリレート重合体、ペンタエチレングリコールモノブチルエーテルモノ（メタ）アクリレート重合体、メトキシトリオキシプロピレンテトラオキシエチレン（メタ）アクリレート重合体、テトラプロピレングリコールのエチレンオキシド６モル付加物のモノ（メタ）アクリレート重合体等；
【０００８】
（ａ―２）（メタ）アクリル酸アミドを必須単量体とする（共）重合体
（ｉ）総炭素数３〜６のモノアルキルアミン若しくはアルコキシアルキルアミンの（メタ）アクリル酸アミドを必須単量体とする（共）重合体
例えば、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド重合体、Ｎ−メトキシプロピル（メタ）アクリルアミド重合体等、特開平１−１４２７６号公報に記載のもの；
（ｉｉ）総炭素数２〜８のジアルキルアミン、ジアルコキシアルキルアミン若しくは環状アミンの（メタ）アクリル酸アミドを必須単量体とする（共）重合体
例えば、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド重合体、Ｎ−（メタ）アクリロイルピロリジン重合体等、特開昭６０−２３３１８４号公報に記載のもの等；
（ｉｉｉ）環状アミノ基又はアルキル基の炭素数５以上のアルキルアミノ基を有する（メタ）アクリル酸アミドを必須単量体とする（共）重合体
例えば、Ｎ−モルホリノエチル（メタ）アクリルアミド重合体等；
【０００９】
（ａ−３）ビニルエーテル（共）重合体
（ｉ）アルキレン基の炭素数が２〜４のポリオキシアルキレン（重合度３〜４０）モノオール若しくはジオールのモノビニルフェニルエーテルを必須単量体とする（共）重合体
例えば、テトラエチレングリコールモノメチルエーテルモノビニルフェニルエーテル重合体、ペンタエチレングリコールモノエチルエーテルモノビニルフェニルエーテル重合体、メトキシペンタオキシプロピレンテトラオキシエチレンビニルフェニルエーテル重合体、テトラプロピレングリコールのエチレンオキシド８モル付加物のモノビニルフェニルエーテル重合体等；
（ｉｉ）アルキル（炭素数１〜６）ビニルエーテル重合体
例えばメチルビニルエーテル重合体等；
（ｉｉｉ）酢酸ビニル／ビニルアルコール共重合体等
【００１０】
（ａ−４）ポリイミノエチレン基（重合度２〜５０）を有するビニル単量体を必須単量体とする（共）重合体
例えば、テトラエチレンイミンモノ（メタ）アクリルアミド重合体、特開平９−１２７８１号公報に記載のもの等；
（ａ−５）環状アミノ基又はアルキル基の炭素数５以上のアルキルアミノ基とエポキシ基を有する単量体からなる重合体
例えば、ポリモルホリノエチルグリシジルエーテル、特開平９−３１３４０号公報に記載のもの等；
（ａ−６）アルキルナフタレンホルマリン縮合物（縮合度２〜２０）のアルキレンオキシド３０〜６００モル付加物
例えば、特開昭６３−１９３９０１号公報に記載のもの等；
（ａ−７）アルキレンオキシド変性ポリオルガノシロキサン（縮合度１０〜１００、アルキレンオキシド１０〜４０モル付加物）
特開平６−２５６６１７号公報に記載のもの等；
（ａ−８）セルロース系熱可逆性増粘剤
例えば、メチルセルロース、ヒドロキシメチルセルロース等；
【００１１】
これらの内、好ましくは（ａ−１）（ａ−２）であり、特に好ましくは（ａ−１）の（ｉ）、（ｉｉ）及び（ａ−２）の（ｉ）、（ｉｉ）である。
上記（ａ）内、（ａ−１）〜（ａ−７）のゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ法）による重量平均分子量は、好ましくは１，０００〜５，０００，０００、さらに好ましくは２，０００〜５００，０００である。１，０００以上であると、研磨を行った際の被研磨表面が平坦になり、５，０００，０００以下であると組成物の粘度が高すぎず、取り扱いが容易である。
（ａ）は、公知の重合、縮合、エーテル化反応等の方法で製造することができ、いずれの方法で製造したものでも用いることができる。
【００１２】
非イオン界面活性剤（ｂ）の具体例としては、アルキレンオキシド付加型非イオン界面活性剤（ｂ−１）及び多価アルコール型非イオン界面活性剤（ｂ−２）等が挙げられる。
（ｂ−１）は、高級アルコール、高級脂肪酸又はアルキルアミン等に直接アルキレンオキシドを付加させるか、グリコール類にアルキレンオキシドを付加させて得られるポリアルキレングリコール類に高級脂肪酸などを反応させるか、あるいは多価アルコールに高級脂肪酸を反応して得られたエステル化物にアルキレンオキシドを付加させるか、高級脂肪酸アミドにアルキレンオキシドを付加させることにより得られる。
【００１３】
（ｂ−１）に用いられる高級アルコールとしては、炭素数８〜２４の飽和又は不飽和で一級又は二級の脂肪族アルコールが挙げられる。炭素数は一定のものあるいは混合品のいずれでも良い。
脂肪族飽和一級アルコールとしては、オクチルアルコール、デシルアルコール、ラウリルアルコール、ミリスチルアルコール、パルミチルアルコール、ステアリルアルコール、チーグラー触媒を用いて合成されたアルコール（例えば、ＡＬＣＯＬ　１２１４：ＣＯＮＤＥＡ社製）、オキソ法で合成されたアルコール（例えば、ドバノール２３，２５，４５：三菱油化社製、トリデカノール：協和発酵社製、オキソコール１２１３，１２１５，１４１５：日産化学社製、ダイヤドール１１５−Ｌ，１１５Ｈ，１３５：三菱化成社製）等が挙げられる。
脂肪族不飽和一級アルコールとしては、オレイルアルコール等が挙げられる。脂肪族二級アルコールとしてはｎ−パラフィンを酸化法により得られるものが挙げられ、油化学第２１巻第５号第２３３〜２４２頁（１９７２）に記載されているものが挙げられる。
【００１４】
（ｂ−１）に用いられる高級脂肪酸としては、炭素数８〜２４の飽和または不飽和の脂肪酸が挙げられ、オクチル酸、ラウリル酸、ミリスチル酸、パルミチル酸、ステアリル酸、オレイル酸等が挙げられる。
（ｂ−１）に用いられるアルキレンオキシドとしては、炭素数２〜４のアルキレンオキシド、例えばエチレンオキシド、プロピレンオキシド及びブチレンオキシドが挙げられる。
これらのうち好ましいものは、エチレンオキシド及びエチレンオキシドとプロピレンオキシドのランダム又はブロック付加物である。
アルキレンオキシドの付加モル数としては１０〜５０モルが好ましく、該アルキレンオキシドのうち５０〜１００重量％がエチレンオキシドであるものがさらに好ましい。
【００１５】
（ｂ−１）としては、（ｂ−１−１）ポリオキシアルキレンアルキルエーテル、（ｂ−１−２）ポリオキシアルキレン高級脂肪酸エステル、（ｂ−１−３）ポリオキシアルキレン多価アルコール高級脂肪酸エステル、（ｂ−１−４）ポリオキシアルキレンアルキルフェニルエーテル、（ｂ−１−５）ポリオキシアルキレンアルキルアミノエーテル及び（ｂ−１−６）ポリオキシアルキレンアルキルアルカノールアミド等が挙げられる。
上記（ｂ−１−２）、（ｂ−１−３）及び（ｂ−１−６）を構成する高級脂肪酸としては、パーム油、牛脂、ナタネ油、米ぬか油、魚油等の天然油脂由来のものが通常用いられるが、合成系の高級脂肪酸も使用できる。
これらのうちで好ましいものは、炭素数が８〜２４の飽和及び不飽和の高級脂肪酸である。
【００１６】
（ｂ−１−３）及び（ｂ−２）に用いられる多価アルコールとしては、例えばエチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ネオペンチルアルコール、ペンタエリスリトール、ソルビタン、ソルビトール、ショ糖、ブドウ糖等が挙げられる。
（ｂ−１−４）を構成するアルキルフェニル基としては、炭素数８〜２４のアルキル基を有するモノ又はジアルキルフェニル基が挙げられる。
（ｂ−１−５）を構成するアルキルアミノ基としては、炭素数８〜２４の飽和又は不飽和アルキル基を有するモノ又はジアルキルアミノ基が挙げられる。
（ｂ−１−６）を構成するアルキルアルカノールアミド基は、アルカノールアミンと高級脂肪酸の脱水反応によって得られる基である。アルカノールアミンとしては、モノエタノールアミン、ジエタノ−ルアミン、モノイソプロパノールアミン等が挙げられる。
【００１７】
（ｂ−１−１）の具体例としては、オクチルアルコールエチレンオキサイド付加物、ラウリルアルコールエチレンオキサイド付加物、ステアリルアルコールエチレンオキサイド付加物、オレイルアルコールエチレンオキサイド付加物、ラウリルアルコールエチレンオキサイドプロピレンオキサイドブロック付加物等が挙げられる。
（ｂ−１−２）の具体例としては、ステアリル酸エチレンオキサイド付加物、ラウリル酸エチレンオキサイド付加物等が挙げられる。
（ｂ−１−３）の具体例としては、ポリエチレングリコールのラウリン酸ジエステル、ポリエチレングリコールのオレイン酸ジエステル、ポリエチレングリコールのステアリン酸ジエステル等が挙げられる。
【００１８】
（ｂ−１−４）の具体例としては、ノニルフェノールエチレンオキサイド付加物、ノニルフェノールエチレンオキサイドプロピレンオキサイドブロック付加物、オクチルフェノールエチレンオキサイド付加物、ビスフェノールＡエチレンオキサイド付加物、ジノニルフェノールエチレンオキサイド付加物等が挙げられる。
（ｂ−１−５）の具体例としては、ラウリルアミンエチレンオキサイド付加物、ステアリルアミンエチレンオキサイド付加物等が挙げられる。
（ｂ−１−６）の具体例としては、ヒドロキシエチルラウリン酸アミドのエチレンオキサイド付加物、ヒドロキシプロピルオレイン酸アミドのエチレンオキサイド付加物、ジヒドロキシエチルラウリン酸アミドのエチレンオキサイド付加物等が挙げられる。
【００１９】
（ｂ−２）としては、（ｂ−２−１）多価アルコール脂肪酸エステルアルキレンオキサイド付加物、（ｂ−２−２）多価アルコールアルキルエーテルアルキレンオキサイド付加物、（ｂ−２−３）多価アルコール脂肪酸エステル、（ｂ−２−４）多価アルコールアルキルエーテルが挙げられる。
【００２０】
（ｂ−２−１）の具体例としては、エチレングリコールモノオレートエチレンオキサイド付加物、エチレングリコールモノステアレートエチレンオキサイド付加物、トリメチロールプロパンモノステアレートエチレンオキサイドプロピレンオキサイドランダム付加物、ソルビタンモノラウレートエチレンオキサイド付加物、ソルビタンモノステアレートエチレンオキサイド付加物、ソルビタンジステアレートエチレンオキサイド付加物、ソルビタンジラウレートエチレンオキサイドプロピレンオキサイドランダム付加物等が挙げられる。
（ｂ−２−２）の具体例としては、ソルビタンモノステアリルエーテルエチレンオキサイド付加物、メチルグリコシドエチレンオキサイドプロピレンオキサイドランダム付加物、ラウリルグリコシドエチレンオキサイド付加物、ステアリルグリコシドエチレンオキサイドプロピレンオキサイドランダム付加物等が挙げられる。
（ｂ−２−３）の具体例としては、ペンタエリスリトールモノラウレート、ペンタエリスリトールモノオレート、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンジラウレート、ソルビタンジオレート、ショ糖モノステアレート等が上げられる。
（ｂ−２−４）の具体例としては、ペンタエリスリトールモノブチルエーテル、ペンタエリスリトールモノラウリルエーテル、ソルビタンモノメチルエーテル、ソルビタンモノステアリルエーテル、メチルグリコシド、ラウリルグリコシド等が挙げられる。
【００２１】
非イオン界面活性剤（ｂ）の内、（ｂ−１−１）〜（ｂ−１−６）及び（ｂ−２−１）〜　（ｂ−２−２）が疎水性に変化した際の増粘効果が大きいため好ましく、（ｂ−１−３）〜（ｂ−１−６）及び（ｂ−２−１）が、さらに好ましい。
非イオン性界面活性剤（ｂ）の重量平均分子量は好ましくは１００〜１０，０００であり、さらに好ましくは１５０〜７，０００であり、特に好ましくは２００〜５，０００である。
非イオン性界面活性剤（ｂ）の重量平均分子量が１００以上であると被加工物の表面品質が良好となり、また重量平均分子量が１０，０００以下であると研磨作業性の面で好ましい。重量平金分子量の測定はＧＰＣ法による。特に断りのない限り、以下も同じである。
【００２２】
本発明のＣＭＰプロセス用研磨組成物において、該化合物（Ａ）の含量は０．０１〜１０重量％が好ましく、特に好ましくは０．１〜５重量％である。０．０１％以上では研磨組成物の潤滑性が良好となり、１０重量％未満では研磨組成物の転移温度（Ｔ℃）以下での粘度が高すぎず取り扱い易い。
【００２３】
本発明の研磨材は、二酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化セリウム、窒化珪素、及び酸化ジルコニウムからなる群より選ばれる。また、これらの中から複数のものを選んで併用してもよい。
二酸化珪素には、コロイダルシリカ、フュームドシリカ、及びその他の製造法や製法の異るものが多種存在する。二酸化珪素の粒子径は、ＢＥＴ法により測定した平均粒子径で好ましくは０．００５〜０．５μｍ、さらに好ましくは０．０１〜０．２μｍである。粒子径が、０．００５μｍ以上であると研磨速度が十分に大きく実用的である。また、０．５μｍ以下であると、被研磨表面が粗くならず、またスクラッチが発生する等の問題も起らない。
酸化アルミニウムには、α−アルミナ、δ−アルミナ、θ−アルミナ、κ−アルミナ、及びその他の形態的に異る物がある。また製造法からフュームドアルミナと呼ばれるものもある。
窒化珪素は、α−窒化珪素、β−窒化珪素、アモルファス窒化珪素、及びその他の形態的に異る物がある。
酸化ジルコニウムは、結晶系からみて、単斜晶系、正方晶系及び非晶質のものがある。また、製造法からフュームドジルコニアと呼ばれるものもある。
【００２４】
酸化アルミニウム、窒化珪素及び酸化ジルコニウムの粒子径は、ＢＥＴ法により測定した平均粒子径で、好ましくは０．０１〜１０μｍ、さらに好ましくは０．０５〜３μｍである。粒子径が、０．０１μｍ以上であると研磨速度が十分に大きく実用的である。また、１０μｍ以下であると、被研磨表面が粗くならず、またスクラッチが発生する等の問題がおこらない。
酸化セリウムには、酸化数から３価、４価のもの、また結晶系からみて、六方晶系、等軸晶系、及び面心立方晶系のものがある。酸化セリウムの粒子径は、走査型電子顕微鏡により観察される平均粒子径で、０．０１μｍ以上１０μｍ以下、好ましくは０．０５μｍ以上３μｍ以下でである。研磨材の粒子径が、０．０１μｍ以上であると研磨速度が十分に大きく実用的である。また、１０μｍ以下であると、被研磨表面が粗くならず、またスクラッチが発生する等の問題がおこらない。
本発明の組成物には、これらのものを任意に、必要に応じて組み合わせて用いることができる。その組み合わせや使用する割合は特に限定されない。
【００２５】
研磨用組成物中の研磨材の含有量は、組成物全量に対して、好ましくは０．１〜５０重量％であり、さらに好ましくは１〜４０％である。研磨材の含有量が、０．１重量％以上であると研磨速度が十分大きくなり、５０重量％以下であると組成物の粘度が大きくなりすぎず、分散性が良好であり取り扱い易い。
【００２６】
本発明のＣＭＰプロセス用研磨組成物には、さらに必要により公知の防錆剤を加えることができる。
防錆剤としては、特に限定されないが、例えば、炭素数２〜１６の脂肪族又は脂環族アミン類（オクチルアミン等のアルキルアミン；オレイルアミン等；シクロヘキシルアミン等のシクロアルキルアミン等）及びそのＥＯ（１〜２モル）付加物；アルカノールアミン類（モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノプロパノールアミン等）及びそのＥＯ（１〜２モル）付加物；脂肪族カルボン酸類（オレイン酸、ステアリン酸等）とアルカリ金属又はアルカリ土類金属との塩；スルフォン酸類（石油スルホネート等）；りん酸エステル類（ラウリルホスフェート等）、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カルシウム等のケイ酸塩類、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム、ポリリン酸ナトリウム等のリン酸塩類、亜硝酸ナトリウム等の亜硝酸塩類等がある。具体的には、［石油製品添加剤］（昭和４９年８月１０日幸書房発行）に記載のさび止め剤が使用できる。又、これらは２種以上を併用してもよい。
【００２７】
本発明ＣＭＰプロセス用研磨組成物には、粘度を調整する目的で、メタノール、エタノール、プロパノール等の１価の水溶性アルコール；エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、グリセリン、ポリエチレングリコール（重合度２〜５０）等の２価以上の水溶性アルコールを、性能に悪影響のない範囲の量で配合してもよい。またこれらは２種以上を併用してもよい。好ましくはＣＭＰプロセス用研磨組成物１００重量部に対して４０重量部以下である。
【００２８】
本発明ＣＭＰプロセス用研磨組成物には、該化合物（Ａ）以外にアニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、両性界面活性剤を配合してもよい。また、さらに、公知のキレート剤、ｐＨ調整剤、消泡剤等の添加剤を配合することができる。
具体的には、アニオン性界面活性剤としては、炭素数８〜２４の炭化水素系カルボン酸又はその塩、［ポリオキシエチレン（重合度＝１〜１００）ラウリルエーテル酢酸ナトリウム、ポリオキシエチレン（重合度＝１〜１００）ラウリルスルホコハク酸２ナトリウム等］、炭素数８〜２４の炭化水素系硫酸エステル塩［ラウリル硫酸ナトリウム、ポリオキシエチレン（重合度＝１〜１００）ラウリル硫酸ナトリウム、ポリオキシエチレン（重合度＝１〜１００）ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ポリオキシエチレン（重合度＝１〜１００）ヤシ油脂肪酸モノエタノールアミド硫酸ナトリウム、］、炭素数８〜２４の炭化水素系スルホン酸塩［ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム等］及び炭素数８〜２４の炭化水素系リン酸エステル塩［ラウリルリン酸ナトリウム等］、その他［スルホコハク酸ポリオキシエチレン（重合度＝１〜１００）ラウロイルエタノールアミド２ナトリウム、ヤシ油脂肪酸メチルタウリンナトリウム、ヤシ油脂肪酸サルコシンナトリウム、ヤシ油脂肪酸サルコシントリエタノールアミン、Ｎ−ヤシ油脂肪酸アシル−Ｌ−グルタミン酸トリエタノールアミン、Ｎ−ヤシ油脂肪酸アシル−Ｌ−グルタミン酸ナトリウム、ラウロイルメチル−β−アラニンナトリウム等］等が挙げられる。
【００２９】
カチオン性界面活性剤としては、第４級アンモニウム塩型［塩化ステアリルトリメチルアンモニウム、塩化ベヘニルトリメチルアンモニウム、塩化ジステアリルジメチルアンモニウム、エチル硫酸ラノリン脂肪酸アミノプロピルエチルジメチルアンモニウム等］、アミン塩型［ステアリン酸ジエチルアミノエチルアミド乳酸塩、ジラウリルアミン塩酸塩、オレイルアミン乳酸塩等］等が挙げられる。両性界面活性剤としては、ベタイン型両性界面活性剤［ヤシ油脂肪酸アミドプロピイルジメチルアミノ酢酸ベタイン、ラウリルジメチルアミノ酢酸ベタイン、２−アルキル−Ｎ−カルボキシメチル−Ｎ−ヒドロキシエチルイミダゾリニウムベタイン、ラウリルヒドロキシスルホベタイン、ラウロイルアミドエチルヒドロキシエチルカルボキシメチルベタインヒドロキシプロピル等］、アミノ酸型両性界面活性剤［β−ラウリルアミノプロピオン酸ナトリウム等］が挙げられる。
これらの１種または２種以上が使用出来る。
キレート剤としてはポリアクリル酸ナトリウム、エチレンジアミン四酢酸ナトリウム、コハク酸ナトリウム、１−ヒドロキシエタン−１，１−ジホスホン酸ナトリウム等が挙げられる。
ｐＨ調整剤としては酢酸、ほう酸、クエン酸、蓚酸、燐酸、塩酸等の酸；水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア等のアルカリが挙げられる。
これらの添加剤の配合量は目的により種々変えることができるが、好ましくは０．０１〜４０重量％、特に好ましくは０．０１〜２０重量％である。
本発明のＣＭＰプロセス用研磨組成物には予め水を配合しても良く、水の量は任意に変えることができるが、好ましくは５〜９５重量％、特に好ましくは１０〜９０重量％である。
【００３０】
本発明のＣＭＰプロセス用研磨組成物の製造方法は各原料を配合すればよく、通常の混合装置により製造することができる。ＣＭＰプロセス用研磨組成物は、タンクからポンプを使って、研磨装置の定盤上の研磨ヘッド付近へ供給され、通常、１分間に１００〜５００ｍｌ使用される。ここで定盤は、温度調節された水をその内部に循環させることによって温度が調整される。その温度は、研磨時にＣＭＰプロセス用研磨組成物の温度が該化合物（Ａ）の転移温度を上回るような温度に設定される。即ち、研磨時の摩擦による発熱とＣＭＰプロセス用研磨組成物の供給による温度低下を加味した温度であり、好ましくは転移温度の１〜２０℃以内である。
また、このＣＭＰプロセス用研磨組成物の研磨時の温度上昇を制御するためにＣＭＰプロセス用研磨組成物を温度調節しておいてもよく、通常、転移温度の１〜２０℃以下程度である。
また、研磨パッドは通常のポリウレタン発泡体等が使用可能である。
【００３１】
研磨後は、ウェハ上に残ったＣＭＰプロセス用研磨組成物や研磨屑等が洗浄により除去される。本プロセスでは該（Ａ）のＴ℃以下の水を使用することにより、析出した（Ａ）が溶解除去されるため清浄な表面が得られる。水温は、好ましくはＴ℃の１〜２０℃以下である。洗浄装置は通常のバッチ式、枚葉式のいずれも使用可能である。
本発明のＣＭＰプロセス用研磨組成物は、半導体産業等におけるデバイスウェハや液晶ディスプレー用基板の表面平坦化加工に使用される。
【００３２】
基板を水、研磨材、一定の転移温度（Ｔ℃）で水に対する溶解度が大幅に変化する（Ａ）からなる研磨液で研磨する方法で、研磨中の温度がＴ℃を超える場合、水に溶解していた化合物（Ａ）が析出し、デバイスウェハに対する研磨に選択性が生じることで、研磨後の基板の平坦性が向上する。また、析出した化合物は（Ａ）、研磨後に転移温度（Ｔ℃）以下で洗浄することで、水に再度溶解するため、容易に除去することができる。
【００３３】
【実施例】
以下、実施例により本発明を更に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。以下において、部及び％はそれぞれ重量部又は重量％を示す。
【００３４】
実施例１
コロイダルシリカ（体積平均粒子径０．０５μｍ）を、攪拌機を用いて水酸化カリウム水溶液に分散させて研磨材濃度２０重量％、ｐＨ１０．８の研磨液を調製した。
一方、モルホリノエチルメタクリレート９０部、メタクリル酸１０部及び２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）０．１部をアンプルに加え、凍結脱気後密閉し、５０℃で８時間重合させて転移温度６５℃の共重合体を得た。上記研磨液に、共重合体を１％添加してＣＭＰプロセス用研磨組成物１を得た。
【００３５】
実施例２
実施例１と同様にして、　Ｎ−アクリロイルピロリジン１００部及び２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）１部をアンプルに加え、凍結脱気後密閉し、５０℃で８時間重合させて転移温度５６℃の重合体を得た。この重合体を実施例１の研磨液に１％添加してＣＭＰプロセス用研磨組成物２を得た。
【００３６】
実施例３
化合物として、ソルビタンモノステアレートにエチレンオキサイドを４モル付加させたもの（転移温度Ｔ＝４３℃）を用いた以外は実施例１と同様にしてＣＭＰプロセス用研磨組成物３を得た。
実施例４
化合物として、ラウリルアルコールにエチレンオキサイドを７モル付加させたもの（転移温度Ｔ＝４７℃）を用いた以外は実施例１と同様にしてＣＭＰプロセス用研磨組成物４を得た。
実施例５
化合物として、ノニルフェノールにエチレンオキサイドを９モル付加させたもの（転移温度Ｔ＝５０℃）を用いた以外は実施例１と同様にしてＣＭＰプロセス用研磨組成物５を得た。
【００３７】
実施例６
化合物として、ラウリルアミンにエチレンオキサイドを７モル付加させたもの（転移温度Ｔ＝４５℃）を用いた以外は実施例１と同様にしてＣＭＰプロセス用研磨組成物６を得た。
比較例１
ヒュームドシリカ（体積平均粒子径０．１５μｍ）を、攪拌機を用いて水酸化カリウム水溶液に分散させて研磨材濃度１５重量％、ｐＨ１０．８の研磨液組成物７を調製した。
【００３８】
比較例２
化合物として、ラウリルアルコールにエチレンオキサイドを１０モル付加させたもの（転移温度Ｔ＝９０℃）を用いた以外は実施例１と同様にしてＣＭＰプロセス用研磨組成物８を得た。
比較例３
酸化セリウム（体積平均粒子径０．２５μｍ）を、攪拌機を用いて水に分散させた。次いでこの分散液にポリアクリル酸アンモニウム塩水溶液２重量％を加え、研磨材濃度５重量％、ｐＨ８．３のＣＭＰプロセス用研磨組成物９を調整した。
【００３９】
＜評価１＞
実施例１〜６及び比較例１〜３で作成したＣＭＰプロセス用研磨組成物による研磨試験を行った。被加工物としては、熱酸化法により表面に酸化珪素膜を１μｍの厚みで成膜した直径８インチシリコンウェハを使用した。研磨は片面研磨機（ＭＡＴ社製　ＭＡＴ　ＡＲＷ−６８１）を使用し、研磨パッドは、ロデール社製ＩＣ１０００を定盤に貼り付けた。
研磨条件は、加工圧力５ｐｓｉ、定盤回転数６０ｒｐｍ、ウェハ回転数５８ｒｐｍ、ＣＭＰプロセス用研磨組成物供給量１５０ｍｌ／分、研磨時間２分で行った。
研磨後、ウェハを純水スクラブ洗浄、乾燥し、研磨によるウェハ上のスクラッチ磨を観測した。観測には、ケーエルエー・テンコール社製サーフスキャンＳＰ−１を使用し、ウェハ上の０．２μｍ以上のスクラッチ数を以下の基準で判定し表１に示した。
◎：　２０個未満
○：　２０個以上３０個未満
△：　３０個以上４０個未満
×：　４０個以上
【００４０】
＜評価２＞
研磨に使用したＣＭＰプロセス用研磨組成物を回収し、その１リットルを孔径１μｍのメンブランフィルター（直径４７ｍｍ）を使って１次側圧力２ｋｇ／ｃｍ２で濾過性試験を行った。２次側圧力（ｐ２）と１次側圧力（ｐ１）の比（圧力損失）（ｐ１／ｐ２）を以下の基準で判定し、表１に示した。
◎：３０％未満
○：３０％以上６０％未満
△：６０％以上９０％未満
×：９０％以上又は途中で目詰まりして濾過不能
【００４１】
＜評価３＞
次にこれらのＣＭＰプロセス用研磨組成物による表面に凹凸を有するパターンウェハーの研磨試験を行った。被加工物としては、ＳＫＷ７−２（ＳＫＷ社製）パターンウェハーを使用した。
研磨は片面研磨機ＭＡＴ−ＡＲＷ６８１Ｍ（ＭＡＴ社）を使用し、研磨パッドは、ＩＣ１０００（０５０）Ｋ−Ｇｒｏｏｖｅ（Ｒｏｄｅｌ社製）を用いた。
研磨条件は、研磨時の研磨ヘッド圧力４０ｋＰａ、研磨ヘッド回転速度を５８ｒｐｍ、研磨定盤の回転速度を６０ｒｐｍ、研磨液流量を２００ｍｌ／分、研磨時間１分とした。
研磨後のパターンウェハーを流水中でよく洗浄後、スピンドライヤ等を用いて半導体基板上に付着した水滴を払い落としいてから乾燥させ、光干渉式膜厚測定機（ナノスペック／ＡＦＴ　６１００Ａ　ナノメトリクス社製）を用いて、ウェハーの中心、６時方向へ半径の１／２、９時方向へ半径の１／２、１２時方向へ半径の１／２及び３時方向のエッジ部に存在する合計５つのダイ中の、凸部と凹部の線幅の比が１０：９０、３０：７０、４０：６０、５０：５０、６０：４０、７０：３０及び９０：１０の７点を測定し、各点における凸部と凹部の膜厚の差の平均値をウェハーの残存段差として算出し、以下の基準で判定した結果を表１に示した。
◎：　２０００Å未満
○：　２０００Å以上３０００Å未満
△：　３０００Å以上５０００Å未満
×：　５０００Å以上
【００４２】
【表１】
2004051756.tif 000002
【００４３】
【発明の効果】
本発明のＣＭＰプロセス用研磨組成物下記の効果を奏する。
（１）スクラッチが少なく、優れたウェハ表面の仕上がりが得られる。
（２）回収研磨組成物の濾過性にも優れる。
（３）表面に凹凸を有するデバイスウェハーの段差緩和性能にも優れる。