(57)【要約】【課題】部品実装基板検査装置に用いられる基板検査用データを生成する場合において、装置に部品コード変換テーブルの登録を支援させることにより、基板検査用データの生成作業にかかる労力を軽減させる。【解決手段】検査対象となる部品実装基板の基板設計データに含まれる部品の部品座標で示される基板上の各部品を撮像することによって得られる部品の計測画像から、パーツライブラリの各部品検査データの検査パラメータを使って部品の形状またはランドの形状を抽出する。得られた形状と当該部品検査データに含まれる検査ウインドウとの一致度を計測し、一致度があらかじめ設けられた基準値以上であるときに、当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査の観点から規定される部品の種類に応じて用意され、その種類の部品の形状またはその種類の部品に適用されるランドの形状に対応した検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む部品検査データを複数蓄積したパーツライブラリから、検査対象となる部品実装基板に実装される部品についての部品検査データを抽出し、これを用いて、その部品実装基板の検査内容を規定する基板検査データを作成するときに、その部品実装基板に実装される部品の部品型式を部品検査データの識別情報に変換するために用いられる部品コード変換テーブルの登録方法であって、
検査対象となる部品実装基板に実装される部品の部品型式、部品座標を含む基板設計データを使用し、
前記基板設計データの部品座標で示される基板上の各部品を撮像することによって得られる部品の計測画像から前記パーツライブラリの各部品検査データの検査パラメータを使って部品の形状またはランドの形状を抽出し、
前記抽出された形状と当該部品検査データに含まれる検査ウインドウとの一致度を計測し、
前記一致度があらかじめ設けられた基準値以上であるときに、当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録することを特徴とする部品コード変換テーブルの登録方法。
【請求項２】
前記各部品検査データとの一致度の計測の結果、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが複数あるとき、最も一致度の高い部品検査データを選択し、
当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該最も一致度の高い部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録する請求項１に記載された部品コード変換テーブルの登録方法。
【請求項３】
前記各部品検査データとの一致度の計測の結果、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが存在しないとき、当該部品の計測画像を基に、その部品の形状とランドの形状に対応した検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む新たな部品検査データを作成し、
当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該新たに作成された部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録する請求項１に記載された部品コード変換テーブルの登録方法。
【請求項４】
前記一致度を判定するための基準値を、部品の種類に応じて設定する請求項１ないし３に記載された部品コード変換テーブルの登録方法。
【請求項５】
検査の観点から規定される部品の種類に応じて用意され、その種類の部品の形状またはその種類の部品に適用されるランドの形状に対応した検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む部品検査データを複数蓄積したパーツライブラリから、検査対象となる部品実装基板に実装される部品についての部品検査データを抽出し、これを用いて、その部品実装基板の検査内容を規定する基板検査データを作成するときに、その部品実装基板に実装される部品の部品型式を部品検査データの識別情報に変換するために用いられる部品コード変換テーブルの登録装置であって、
前記パーツライブラリを記憶するパーツライブラリ記憶手段と、
検査対象となる部品実装基板に実装される部品の部品型式および部品座標を含む基板設計データを記憶する基板設計データ記憶手段と、
前記基板設計データの部品座標で示される基板上の各部品を撮像することによって部品の計測画像を生成する画像生成手段と、
前記画像生成手段で生成された計測画像から前記パーツライブラリの各部品検査データの検査パラメータを使って部品の形状またはランドの形状を抽出する画像処理手段と、
前記画像処理手段で抽出された形状と当該部品検査データに含まれる検査ウインドウとの一致度を計測する画像計測手段と、
前記一致度があらかじめ設けられた基準値以上であるときに、当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録する変換テーブル登録手段とを具備する部品コード変換テーブル登録装置。
【請求項６】
前記各部品検査データとの一致度の計測の結果、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが存在しないとき、当該部品の前記計測画像を表示するための表示手段と、
外部からの操作入力に応じて、前記表示手段に表示された計測画像に基づき、その部品の形状とランドの形状とに対応した検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む新たな部品検査データを作成する部品検査データ作成手段と、
当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該新たに作成された部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録する変換テーブル登録手段とを具備する請求項５に記載された部品コード変換テーブル登録装置。
【請求項７】
検査の観点から規定される部品の種類に応じて用意され、その種類の部品の形状またはその種類の部品に適用されるランドの形状に対応した検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む部品検査データを複数蓄積したパーツライブラリから部品実装基板に実装される部品についての部品検査データを抽出することによりその部品実装基板の検査内容を規定する基板検査データを作成するときに、その部品実装基板に実装される部品の部品型式を部品検査データの識別情報に変換するために用いられる部品コード変換テーブルの登録装置のコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
検査対象となる部品実装基板に実装される部品の部品型式および部品座標を含む基板設計データの部品座標により示される基板上の各部品を撮像させ、部品の計測画像を生成するステップと、
前記生成された計測画像から前記パーツライブラリの各部品検査データの検査パラメータを使って部品の形状またはランドの形状を抽出するステップと、
前記抽出された形状と当該部品検査データに含まれる検査ウインドウとの一致度を計測するステップと、
前記一致度があらかじめ設けられた基準値以上であるときに、当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録するステップとを前記コンピュータに実行させるようにした部品コード変換テーブルの登録用プログラム。
【請求項８】
前記各部品検査データとの一致度の計測の結果、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが複数あるとき、最も一致度の高い部品検査データを選択するステップと、
当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該最も一致度の高い部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録するステップとを含む請求項７に記載された部品コード変換テーブルの登録用プログラム。
【請求項９】
前記各部品検査データとの一致度の計測の結果、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが存在しないとき、部品の種類に応じて検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む情報があらかじめ登録されている既定の部品検査データを当該部品の新たな部品検査データとして適用して作成するステップと、
当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該新たに作成された部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録するステップとを含む請求項７に記載された部品コード変換テーブルの登録用プログラム。
【請求項１０】
前記各部品検査データとの一致度の計測の結果、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが存在しないとき、当該部品の計測画像を表示させるステップと、
外部からの操作入力に応じて、前記表示された計測画像に基づき、その部品の形状とランドの形状とに対応した検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む新たな部品検査データを作成するステップと、
当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該新たに作成された部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録するステップとを含む請求項７に記載された部品コード変換テーブルの登録用プログラム。
【請求項１１】
請求項７ないし１０のいずれかに記載されたプログラムが格納され、コンピュータで読み取り可能な記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は基板検査装置の基板検査用データの生成に関する。この基板検査装置は部品実装基板の検査に用いられる。
【０００２】
【従来の技術】
この種の基板検査装置に使用される基板検査用データの生成に用いられる従来技術として、特許文献１に記載の方法がある。本方法において、検査用データの自動生成は以下の手順で行なわれる。
【０００３】
まず、複数の部品種について、検査対象部位と検査基準とを対応づけたライブラリデータと、各部品ごとにその識別情報とライブラリデータを対応づけるための変換テーブルとを記憶しておく。
検査対象基板上の各部品について、その識別情報、実装方向、およびその実装位置を外部より入力する。
外部より入力された識別情報および上記変換テーブルを用いて、その部品に該当するライブラリデータを読み出し、この読み出されたライブラリデータと上記実装方向および実装位置とを合成することにより、検査用データの自動生成を行なう。
【０００４】
従来技術として、さらに特許文献２に記載の方法がある。この方法においては、検査用データの自動生成は以下の手順で行なわれる。
【０００５】
検査対象となる部品の状態と対応する検査情報とから構成された部品ライブラリと、検査対象となる基板ごとに実装部品および部品座標データとをあらかじめ記憶しておく。
上記部品座標データをもとに順次基板上の部品を撮像し、画像処理により検査対象部分の計測を行う。
その計測値と一致する検査情報を部品ライブラリデータより検索することによって検査用データの自動作成を行なう。
【０００６】
【特許文献１】
特許第２５７０２３９号公報
【０００７】
【特許文献２】
特許第２８５０８０７号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような従来技術においては、検査用データの自動生成のために必要となる部品コード変換テーブル（以下単に「変換テーブル」と呼ぶ。）を容易に、かつ短時間に作成するための課題が解決できていない。
【０００９】
すなわち、特許文献１に記載の方法を用いて検査用データの自動生成を行なうには、変換テーブルをあらかじめ作成しておく必要がある。変換テーブルを作成するためには、各部品ごとにその識別情報とライブラリデータを対応づける作業が必要となる。
【００１０】
この作業は、特許文献３にも記載されているように、概ね、以下のように行なわれる。
まず、検査対象となる実装基板上の部品をカメラで撮像し、撮像された画像とライブラリデータとをオペレータが目視で比較しながら該当するライブラリデータを順次検索する。該当するライブラリデータが見つかると、オペレータは、当該部品の識別情報をこのライブラリデータに対応付けするためのデータを変換テーブルに登録する。この作業を基板上の全部品について行い、変換テーブルを完成させる。
【００１１】
【特許文献３】
特開平１１−２５８１７６号公報
【００１２】
しかしながら、上記変換テーブル登録作業はオペレータに大変な作業負荷を強いることとなる。ライブラリには、通常、多数の部品が登録されているので、目視により一致するライブラリデータを探す作業は時間がかかる上、オペレータにとって大変な作業となる。しかも、見間違いやオペレータによるばらつきなどの人為的なミスも避けられない。
さらに、該当するライブラリデータが見つからない場合には、対応するライブラリデータを新規に作成しなければならない。オペレータにとってはさらに変換テーブル作成のための負担が大きくなる。
【００１３】
また特許文献２に記載の方法を用いて基板検査用データの自動生成を行なうには、部品実装基板の種類が異なれば、その都度、基板上の各部品を撮像しながら検査用データのティーチングを行なう必要がある。すなわち、検査対象基板の種類ごとに基板上の部品を順次撮像し、さらにその都度部品ライブラリデータを検索する必要があるので、検査用データの生成に多大な時間がかかる。
【００１４】
この発明は上記のような課題に着目してなされたもので、装置に変換テーブルの登録を支援させることにより、基板検査用データの生成作業にかかる労力を軽減させることを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明による変換テーブルの登録方法は、検査の観点から規定される部品の種類に応じて用意され、その種類の部品の形状またはその種類の部品に適用されるランドの形状に対応した検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む部品検査データを複数蓄積したパーツライブラリから、検査対象となる部品実装基板に実装される部品についての部品検査データを抽出し、これを用いて、その部品実装基板の検査内容を規定する基板検査データを作成するときに、その部品実装基板に実装される部品の部品型式を部品検査データの識別情報に変換するために用いられる部品コード変換テーブルの登録方法であって、検査対象となる部品実装基板に実装される部品の部品型式、部品座標を含む基板設計データを使用し、前記基板設計データの部品座標で示される基板上の各部品を撮像することによって得られる部品の計測画像から前記パーツライブラリの各部品検査データの検査パラメータを使って部品の形状またはランドの形状を抽出し、前記抽出された形状と当該部品検査データに含まれる検査ウインドウとの一致度を計測し、前記一致度があらかじめ設けられた基準値以上であるときに、当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録することを特徴とする。
【００１６】
上記方法において、既に変換テーブルにその変換データが登録されている部品型式を持つ部品については、処理の対象外とすることができる。そのため、検査対象となる基板の基板設計データに含まれる部品型式と変換テーブルの部品型式とを比較し、既に登録されているか部品があるかどうかあらかじめ確認しておくようにしてもよい。そして登録されている部品は、本処理の対象外とすることができる。
【００１７】
上記において、「検査の観点から規定される部品の種類」は、検査の対象となる部品本体部やランドの形状、大きさ、およびそれらの色が同じである部品を同一種類と見なして分類される部品の種類とすることができる。また部品の種類を規定するのに、上記部品本体部やランドの形状、大きさ、色だけでなく、さらに検査の観点から必要となるその他の部品の実装条件を加味してさらに細分類してもよい。
【００１８】
「検査用ウインドウの形状データ」には、形状のほかに、検査ウインドウの設定位置および大きさを含むことができる。また、「検査ウインドウで用いる検査パラメータ」は、検査ウインドウ内でＲ，Ｇ，Ｂの各色彩パターンを抽出するのに必要な検査パラメータ（特徴パラメータともいう。各色成分の２値化しきい値のほか、明度に対する２値化しきい値を含む。）、および判定基準値など、各種検査基準情報を含むことができる。
【００１９】
また上記において、「基板設計データ」として、基板設計ＣＡＤシステムから出力されるデータを使用することができる。基板設計データに含まれる「部品型式」として、部品製造メーカの製造型式や検査装置のユーザが個別に決めた部品記号で表記された部品型式を使用することができる。また、このような基板設計データの代わりに、同様な設計データを含む部品実装機用のマウントデータを使用してもよい。
【００２０】
さらに上記において、得られた部品やランドの形状と部品検査データに含まれる検査ウインドウとの一致度を計測する場合に、各検査ウインドウとのパターンマッチングにより一致度を計測することができる。またパターンマッチングの代わりに、あらかじめ各検査ウインドウの大きさを示すデータを部品検査データの一部として登録しておき、得られた部品やランドの形状から大きさを測定し、これらの大きさと上記各検査ウインドウの大きさを示すデータとを比較するようにしてもよい。また一致度の判定は、単に数値で比較する方法、あるいはパーセント値で比較する方法のいずれにより行ってもよい。
【００２１】
パーツライブラリ中の各部品検査データには、そのデータを識別できるように、識別情報が付けられることが望ましい。識別情報としては、その部品を表現するのによく用いられている記号や数字、またはそれらの組み合わせた記号を用いることができる。あるいは識別情報として、パーツライブラリの各部品検査データが記憶されているメモリアドレスを用いるようにしてもよい。
【００２２】
この発明の方法によれば、検査対象となる部品実装基板の設計データに含まれる部品座標を使って部品を撮像し、撮像した画像をもとに部品の検査に使用できる部品検査データをパーツライブラリから検索し、部品型式を部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録するので、基板検査用データの生成に必要となる変換テーブルを容易に作成することができる。
【００２３】
この発明による変換テーブル登録方法の好ましい一実施態様においては、部品の計測画像と各部品検査データとの一致度の計測の結果、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが複数あるとき、最も一致度の高い部品検査データを選択し、当該部品の部品型式を当該最も一致度の高い部品検査データの前記識別情報に変換するようにしている。
【００２４】
上記において、最も一致度の高い部品検査データを選択する際に、基準値以上の部品検査データを一覧表示して、その中から係員が最適な検査データを選ぶようにしてもよい。
この実施態様によれば、部品型式を最も一致度の高い部品検査データの識別情報に変換するので、より精度の高い基板検査用データの生成が可能な変換テーブルを作成することができる。
【００２５】
またこの発明による変換テーブル登録方法の他の好ましい一実施態様においては、部品の計測画像と部品検査データとの一致度の計測の結果、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが存在しないとき、当該部品の計測画像を基に、その部品の形状とランドの形状に対応した検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む新たな部品検査データを作成し、当該部品の基板設計データの部品型式をこの新たに作成された部品検査データの識別情報に変換するようにしている。
【００２６】
上記の態様によれば、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが存在しない場合でも、計測画像に基づいて新たに部品検査データを作成し、この作成された部品検査データの識別情報に部品型式を変換するので、部品検査データを作成する手間が省ける。
【００２７】
さらにまた、この発明による変換テーブル登録方法の他の好ましい一実施態様においては、部品の計測画像と部品検査データとの一致度を判定するための基準値を、部品の種類に応じて設定するようにしている。
【００２８】
上記において、計測画像と部品検査データとの一致度を判定するための基準値を、抵抗、ダイオード、コンデンサ、トランジスタ、ＩＣなどの部品の種類に応じて設定することができる。なお、上記基準値をこのような部品の種類に応じて設定するだけでなく、同じ部品の種類であっても、部品の大きさや色、あるいは電極の形状や寸法の違いに応じて、さらに細分化した基準値を設定するのが望ましい。
【００２９】
次に、この発明の目的を達成するための変換テーブル登録装置は、検査の観点から規定される部品の種類に応じて用意され、その種類の部品の形状またはその種類の部品に適用されるランドの形状に対応した検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む部品検査データを複数蓄積したパーツライブラリから、検査対象となる部品実装基板に実装される部品についての部品検査データを抽出し、これを用いて、その部品実装基板の検査内容を規定する基板検査データを作成するときに、その部品実装基板に実装される部品の部品型式を部品検査データの識別情報に変換するために用いられる部品コード変換テーブルの登録装置であって、前記パーツライブラリを記憶するパーツライブラリ記憶手段と、検査対象となる部品実装基板に実装される部品の部品型式および部品座標を含む基板設計データを記憶する基板設計データ記憶手段と、前記基板設計データの部品座標で示される基板上の各部品を撮像することによって部品の計測画像を生成する画像生成手段と、前記画像生成手段で生成された計測画像から前記パーツライブラリの各部品検査データの検査パラメータを使って部品の形状またはランドの形状を抽出する画像処理手段と、前記画像処理手段で抽出された形状と当該部品検査データに含まれる検査ウインドウとの一致度を計測する画像計測手段と、前記一致度があらかじめ設けられた基準値以上であるときに、当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録する変換テーブル登録手段とを具備することを特徴とする。
【００３０】
上記の構成を具備するこの発明の変換テーブル登録装置として、上記の構成を含む実装基板検査装置、ならびに上記構成のみを備えた装置を使用することができる。
【００３１】
この発明の変換テーブル登録装置の好ましい一実施態様として、前記各部品検査データとの一致度の計測の結果、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが存在しないとき、当該部品の前記計測画像を表示するための表示手段と、外部からの操作入力に応じて、前記表示手段に表示された計測画像に基づき、その部品の形状とランドの形状とに対応した検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む新たな部品検査データを作成する部品検査データ作成手段と、当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該新たに作成された部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録する変換テーブル登録手段とを具備することができる。
【００３２】
上記態様の装置において、部品検査データを新たに作成する場合に、既にパーツライブラリに登録済みの類似の部品検査データを流用して作成することができる。そのため、装置導入時の初期段階で各部品の部品検査データを登録するときに、あらかじめ部品の画像情報も基準画像として含む形で部品検査データをパーツライブラリに登録しておき、この基準画像と上記表示装置に表示された計測画像を見比べながら類似の部品検査データをパーツライブラリから検索できるようにしておくことが望ましい。
【００３３】
上記態様の装置では、一致度が基準値以上となる部品検査データが存在しない場合でも、表示装置に表示された部品の計測画像に基づいて新たに部品検査データを作成する部品検査データ作成手段を備えているので、作成された部品検査データに基づいて変換テーブルの登録を容易に行なうことができる。
【００３４】
次に、この発明の変換テーブル登録装置のコンピュータに実行させるプログラムは、検査の観点から規定される部品の種類に応じて用意され、その種類の部品の形状またはその種類の部品に適用されるランドの形状に対応した検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む部品検査データを複数蓄積したパーツライブラリから部品実装基板に実装される部品についての部品検査データを抽出することによりその部品実装基板の検査内容を規定する基板検査データを作成するときに、その部品実装基板に実装される部品の部品型式を部品検査データの識別情報に変換するために用いられる部品コード変換テーブルの登録装置のコンピュータに実行させるためのプログラムであって、検査対象となる部品実装基板に実装される部品の部品型式および部品座標を含む基板設計データの部品座標により示される基板上の各部品を撮像させ、部品の計測画像を生成するステップと、前記生成された計測画像から前記パーツライブラリの各部品検査データの検査パラメータを使って部品の形状またはランドの形状を抽出するステップと、前記抽出された形状と当該部品検査データに含まれる検査ウインドウとの一致度を計測するステップと、前記一致度があらかじめ設けられた基準値以上であるときに、当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録するステップとを、具備することを特徴としている。
【００３５】
上記のプログラムは、あらかじめ変換テーブル登録装置に組み込んでおくことができるが、この発明にかかる変換テーブルの登録に先だって、外部の装置より上記変換テーブル登録装置の所定のメモリ領域へ読み込ませるようにしてもよい。また、上記変換テーブルの作成のために使用される上記パーツライブラリと基板設計データとは、いずれも、上記変換テーブル登録装置の所定のメモリ領域に、あらかじめ記憶させておくことができるが、上記プログラムと同様に、外部の装置より変換テーブル登録装置の所定のメモリ領域へ読み込ませるようにしてもよい。
【００３６】
上記のプログラムを、この発明の変換テーブル登録装置のコンピュータに実行させることにより、基板検査用データの生成に使用される変換テーブルを容易に作成することができる。
【００３７】
この発明のプログラムの好ましい一実施態様として、各部品検査データとの一致度の計測の結果、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが複数あるとき、最も一致度の高い部品検査データを選択するステップと、当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該最も一致度の高い部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録するステップとを、前記コンピュータに実行させるプログラムを提供することができる。
【００３８】
またこの発明のプログラムの好ましい他の一実施態様として、各部品検査データとの一致度の計測の結果、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが存在しないとき、部品の種類に応じて検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む情報があらかじめ登録されている既定の部品検査データを当該部品の新たな部品検査データとして適用して作成するステップと、当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該新たに作成された部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録するステップとを、前記コンピュータに実行させるプログラムを提供することができる。
【００３９】
さらに、上記プログラムの好ましい他の一実施態様において、各部品検査データとの一致度の計測の結果、一致度が前記基準値以上となる部品検査データが存在しないとき、当該部品の計測画像を表示させるステップと、外部からの操作入力に応じて、前記表示された計測画像に基づき、その部品の形状とランドの形状とに対応した検査ウインドウの形状データおよびその検査ウインドウで用いる検査パラメータを含む新たな部品検査データを作成するステップと、当該部品の前記基板設計データの部品型式を当該新たに作成された部品検査データの識別情報に変換するための情報を変換テーブルに登録するステップとを、前記コンピュータに実行させるようにしてもよい。
【００４０】
上記のような各ステップを具備するこの発明のプログラムを上記装置のコンピュータに実行させることにより、基板検査用データの生成に使用される変換テーブルを容易に、かつ短時間で効率よく作成することができる。
【００４１】
また、この発明の上記プログラムは、コンピュータで読み取り可能な記憶媒体に格納することができる。このような記憶媒体によれば、メンテナンス時に装置にプログラムを再度読み込ませることにより、あるいは必要に応じて、この発明にかかる変換テーブル登録手段を備える他の装置にプログラムを読み込ませることにより、これらの装置において、この発明に係る変換テーブルを容易に作成することができる。
【００４２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の一実施形態を説明する。
図１は、この実施形態に用いる変換テーブル登録装置として使用される基板検査装置の構成を示す。この基板検査装置は、検査対象の部品実装基板を撮像して得た画像を処理して、前記基板上のはんだ付け部位などの良否を判別すると共に、本発明に係る部品型式を部品検査データに変換するための情報（以下単に「変換データ」という。）を変換テーブルに登録するための各手段を備えたものである。本装置は、撮像部３，投光部４，制御処理部５，Ｘ軸テーブル部６，Ｙ軸テーブル部７などにより構成される。なお、図中の１、２は、検査対象の部品実装基板（以下単に「基板１、２」という。）である。
【００４３】
前記Ｙ軸テーブル部７は、基板１，２を支持するコンベヤ２５を具備するもので、図示しないモータによりこのコンベヤ２５を動かして、前記基板１，２をＹ軸方向に（図の紙面に直交する方向）に沿って移動させる。前記Ｘ軸テーブル部６は、Ｙ軸テーブル部７の上方で、撮像部３および投光部４を支持するとともに、これら撮像部３および投光部４をＸ軸方向（図の左右方向）に移動させる。
【００４４】
前記投光部４は、異なる径を有する３個の円環状光源８，９，１０により構成される。これらの光源８，９，１０は、それぞれ赤色光、緑色光、青色光の各色彩光を発光する。観測位置の真上位置に各光源８，９，１０の中心を合わせることにより、各光源８，９，１０は、前記基板１，２の支持面から見て、異なる仰角に対応する方向に位置するように配備される。
【００４５】
前記撮像部３は、カラー画像生成用のＣＣＤカメラであり、その光軸は各光源８，９，１０の中心に対応し、かつ鉛直方向に沿うように位置決めされる。これにより、観測対象である基板１，２からの前記各色彩光の反射光が撮像部３に入射する。撮像部３で生成された画像は、三原色のカラー信号Ｒ，Ｇ，Ｂに変換されて制御処理部５へ入力される。
【００４６】
前記制御処理部５は、ＣＰＵ１１を制御主体とするコンピュータである。制御処理部５は、画像入力部１２，メモリ１３，撮像コントローラ１４，画像処理部１５，ＸＹテーブルコントローラ１６，検査部１７，基板検査データ記憶部１８，パーツライブラリ記憶部１９，入力部２０，ＣＲＴ表示部２１，プリンタ２２，送受信部２３，外部メモリ装置２４などをその構成として含む。
【００４７】
画像入力部１２は、撮像部３からのＲ，Ｇ，Ｂの各画像信号を増幅する増幅回路や、これら画像信号をディジタル信号に変換するためのＡ／Ｄ変換回路などを備える。
【００４８】
メモリ１３には、色彩毎にその色彩の強度をディジタル量で表した濃淡画像データ（計測画像）や、これら濃淡画像を２値化処理して得られる２値画像などを格納するための画像格納領域などが設定される。またこのメモリ１３は、基板検査データの生成（ティーチング）や検査の際に、各種データやプログラムを一時保存する場所としても使用される。
【００４９】
撮像コントローラ１４は、撮像部３および投光部４をＣＰＵ１１に接続するインターフェースなどを備えている。この撮像コントローラ１４は、ＣＰＵ１１からの命令に基づき投光部４の各光源の光量を調整したり、撮像部３の各色彩光出力の相互バランスを保つなどの制御を行う。
【００５０】
ＸＹテーブルコントローラ１６は、前記Ｘ軸テーブル部６およびＹ軸テーブル部７をＣＰＵ１１に接続するインターフェースなどを備えている。このＸＹテーブルコントローラ１６は、ＣＰＵ１１からの命令に基づき、Ｘ軸テーブル部６およびＹ軸テーブル部７の移動動作を制御する。
【００５１】
基板検査データ記憶部１８は、基板の種類毎に、その基板の検査に必要な検査用データファイルを格納するためのメモリである。各検査用データファイルには、対応する基板上の各実装部品につき、部品型式、部品座標、部品実装方向、実装検査ウインドウの設定位置および大きさ、この検査ウインドウ内でＲ，Ｇ，Ｂの各色彩パターンを抽出するのに必要な検査パラメータ（各色成分の２値化しきい値のほか、明度に対する２値化しきい値を含む。）、検査ウインドウに適用される検査プログラムおよび判定基準値などの各種検査基準情報が格納される。
【００５２】
パーツライブラリ記憶部１９は、検査の観点から規定される部品の種類ごとに登録された部品検査データをライブラリ化して格納するためのメモリである。このパーツライブラリを構成する各部品検査データは、あらかじめ設定されたデフォルトの検査基準情報を実際の部品の画像に合わせて修正する作業によって追加、編集される。あるいは、本発明の変換テーブル登録処理の過程において、追加、編集することもできる。各部品検査データは、識別情報によって識別されて、パーツライブラリに登録されている。
【００５３】
前記基板検査データ記憶部１８内の検査用データファイルは、ティーチング時や検査時には、ＣＰＵ１１により読み出されてメモリ１３にセットされる。また画像処理部１５や検査部１７にも供給される。
画像処理部１５は、メモリ１３に格納されたＲ，Ｇ，Ｂの各計測画像より、明度およびＲ，Ｇ，Ｂの各輝度値を画素単位で抽出する。また画像処理部１５は、前記検査用データファイルに基づき、各検査ウインドウ内の計測画像を順に２値化し、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色彩パターンを抽出する。さらに画像処理部１５は、前記検査プログラムに基づき、これら色彩パターンから所定の特徴量を抽出する。
【００５４】
検査部１７は、前記特徴量の抽出結果を判定基準値と比較して、各検査ウインドウにおける検査を実行する。ＣＰＵ１１は、各検査ウインドウの検査結果を総合して基板１、２が良品か否かを判定する。この最終的な判定結果は、ＣＲＴ表示部２１やプリンタ２２，あるいは送受信部２３に出力される。
【００５５】
前記入力部２０は、検査のための各種条件や検査情報を入力するためのもので、キーボードやマウスにより構成される。ＣＲＴ表示部２１（以下単に「表示部２１」という。）は、ＣＰＵ１１から計測画像、画像データ、検査結果、前記入力部２０からの入力データの供給を受けて、これを表示画面上に表示する。またプリンタ２２は、ＣＰＵ１１から検査結果の供給を受けて、これを予め定められた形式でプリントアウトする。
【００５６】
送受信部２３は、部品実装機，はんだ付け装置を含む他の装置との間で各種データのやりとりを行うためのものである。たとえば不良と判定された被検査基板について、その識別情報や不良の内容を後段の修正装置に送信することにより、不良箇所を速やかに修正することができる。
【００５７】
外部メモリ装置２４は、フレキシブルディスク，ＣＤ−Ｒ，光磁気ディスクなどの記憶媒体に各種データを読み書きするための装置である。前記検査結果を保存したり、変換テーブルの登録や基板検査データの作成の際に、既存のパーツライブラリや基板設計データ（ＣＡＤデータ）、あるいは変換テーブルを取り込むために用いられる。なお、これらの各種データは、送受信部２３を用いて外部の装置やシステムから取り込むこともできる。
【００５８】
上記構成において、画像処理部１５および検査部１７は、上記した各処理を実行するためのプログラムを組み込んだ専用のプロセッサにより構成される。ただし、必ずしも、専用のプロセッサを設ける必要はなく、メインの制御を行うＣＰＵ１１に画像処理部１５および検査部１７の機能を付与するようにしてもよい。またメモリ１３，基板検査データ記憶部１８，パーツライブラリ記憶部１９についても、物理上は別個にする必要はなく、同一のメモリ装置（ハードディスク装置など）内に設定することができる。
【００５９】
この実施形態の基板検査装置では、あらかじめ、メモリ１３の所定の変換テーブル記憶領域に、既存の変換テーブルが記憶されており、この変換テーブルに登録されていない変換データを、追加登録するようにしている。ここで「変換データ」とは、部品の型式からパーツライブラリ記憶部１９内の対応する検査データを導くためのデータであり、前記部品型式と検査データの識別情報とをリンクさせたデータとして構成される。この登録は、パーツライブラリと検査対象基板のＣＡＤデータとを用いて、図２に示される処理手順により未登録の部品型式についての変換データを既存の変換テーブルに追加登録することにより行なわれる。
さらにこの実施形態の基板検査装置は、このような方法で作成された変換テーブルを使用して検査対象基板毎の基板検査データを生成した後、その基板検査データを使って基板に実装された部品の実装品質を検査するようにしている。
【００６０】
図２では、まず、ステップ２０１において、ＣＡＤデータを装置に読み込む処理が行なわれる。
このＣＡＤデータは、外部メモリ装置２４から読み込まれ、メモリ１３の所定のＣＡＤデータ記憶領域に記憶される。
【００６１】
図３は、本実施形態で用いられるＣＡＤデータの一例を示す。このＣＡＤデータは、基板設計用データベースから出力された場合のもので、基板上の各部品の部品型式、部品座標、部品実装方向（図示なし）などの情報が含まれたテキストデータとして構成される。なお、このようなＣＡＤデータの代わりに、同様の情報を含むマウントデータを用いることも可能である。
【００６２】
ステップ２０１のＣＡＤデータの読み込みが終了すると、次にステップ２０２において、パーツライブラリを装置に読み込む処理が行なわれる。
パーツライブラリは外部メモリ装置２４から読み込まれ、パーツライブラリ記憶部１９に記憶される。
【００６３】
図４は、本実施形態で用いられるパーツライブラリの一例を示す。ここで用いられるパーツライブラリは、階層状に構成されている。最上位の分類は通常の部品の種類であり、部品の種類ごとに、大きさ、色等に従ってグループに分けられる。各グループは、さらに個々の部品検査データ（以下「バリエーション」ともいう。）に分類される。バリエーションが最も小さい単位である。各バリエーションは、それぞれ個別の識別情報（バリエーション名）によって識別される。
【００６４】
パーツライブラリ記憶部１９には、上記部品の種類ごとにバリエーション名に対応して、そのバリエーションでの各種検査基準情報が格納される。検査基準情報には、検査ウインドウの大きさ（ウインドウの縦，横の寸法）及び相対位置（部品の中心から所定の角までの長さ）、検査パラメータ（検査ウインドウ毎に例えばはんだ付け部位の三原色のパターン、三原色の割合など）、判定基準（基準パラメータと計測パラメータとを比較して良否を判定するための基準）、部品の画像を表す画像情報（基準画像）等が含まれている。
【００６５】
なお、前記ＣＡＤデータとパーツライブラリとは、いずれも送受信部２３を介して、外部の装置やシステムから取り込むようにしてようにしても良い。また、図２の手順では、ＣＡＤデータ、パーツライブラリの順に読み込みを行っているが、この反対にパーツライブラリを読み込んでからＣＡＤデータを読み込むようにしてもよい。
【００６６】
次にステップ２０３において、変換テーブルに変換データが登録されていない部品型式を抽出する処理が行われる。この処理は、ＣＡＤデータ中の部品型式と変換テーブルの部品型式（後述の図１０を参照。）とを比較することにより行われる。抽出された部品型式は、メモリ１３の所定の記憶領域へいったん記憶される。なお、既に変換テーブルに変換データが登録されているＣＡＤデータ中の部品型式は、ステップ２０３での抽出対象とならないため、以下の処理は行われない。
【００６７】
次にステップ２０４において、上記ステップ２０３で抽出された未登録部品型式のうち、最初の部品型式に対応する部品の部品座標で示される基板上の部品位置へ撮像部３を移動する処理が行なわれる。ＣＰＵ１１は、メモリ１３に記憶されているＣＡＤデータから最初の未登録部品の部品座標を読み取り、その部品座標をＸ，Ｙテーブルコントローラ１６へ転送する。Ｘ，Ｙテーブルコントローラ１６は、転送された部品座標を解読し、Ｘ，Ｙテーブルを制御する。その結果、撮像部３を構成するカメラがその部品位置へ移動する。
【００６８】
次にステップ２０５において、部品が撮像され、当該部品の計測画像を生成する処理が行なわれる。カメラからの撮像データは画像入力部１２へ送られ、その内部のＡ／Ｄ変換回路によりディジタル画像に変換される。このディジタル画像は、メモリ１３の所定の入力画像記憶領域に、一旦、記憶される。次にＣＰＵ１１は、メモリ１３から上記入力画像を読み出し、画像処理部１５へ転送する。画像処理部１５において、入力画像はあらかじめ決められた所定の画像処理パラメータ（部品検査データの基準画像を生成する場合も同じ画像処理パラメータが使われる）により画像処理される。こうして当該部品の計測画像が生成される。ＣＰＵ１３は、生成された計測画像をメモリ１３の所定の計測画像記憶領域に格納する。
【００６９】
図５は、チップ抵抗の場合における計測画像の表示例であり、各種の色彩を、それぞれ異なる塗りつぶしパターンにより示す。部品本体部や電極部、およびランドの一部は、それぞれ部品色、ランド色そのものが画像として見える。はんだフィレット部は、その立体形状に応じてＲ，Ｇ，Ｂに色分けされて見える。なお、基板面も、その基板の色に応じた画像として見えるが、図５では、部品の画像を明瞭に示すために、白色領域として示す。
【００７０】
次にステップ２０６において、ステップ２０５で生成された部品の計測画像に適合するバリエーションを検索する処理が行なわれる。バリエーションは、部品の種類ごとに、部品の大きさ、端子数、ランドサイズ、部品色に応じて作成されている。適合するバリエーションかあるかどうかを判断するには、計測画像と当該部品が属する部品の種類における各バリエーションの部品の大きさ、端子数、ランドサイズ、部品色を比較し、所定の基準値の下で一致するかどうか調べればよい。
【００７１】
部品の計測画像と各バリエーションとの比較は、図６に示される処理によって行なわれる。
本実施形態において、端子数、ランドサイズの比較は、部品のランド形状とバリエーションの検査ウインドウのうちランドウインドウとを比較することによって行なわれる。
【００７２】
ステップ６０１において、計測画像からランド形状を抽出する処理が行なわれる。
ＣＰＵ１１は、メモリ１３から計測画像を読み出し画像処理部１５へ転送する。図７（ａ）に端子が３本のＳＯＴの場合における計測画像の一例を示す。以下、このＳＯＴの場合を例にして説明を行なう。
【００７３】
ランド部は、はんだフィレットの形状に応じてＲ，Ｇ，Ｂに色分けされている。一方バリエーションには、図７（ｃ）に示したランドウインドウと共にランドの色パラメータがあらかじめ登録されている。ＣＰＵ１１は、これらの色パラメータを画像処理部１５へ転送する。画像処理部１５は、転送されたバリエーションのランドの色パラメータを使って、計測画像のランド部をＲ，Ｇ，Ｂ毎に２値化する。さらに、各色パラメータ毎の２値画像を合成することにより、図７（ｂ）の計測画像の２値化ランド形状の画像を得る。なお、この２値化画像において、リード部が重なっている部分は、各色パラメータで２値化すると、画像としては表れない。
【００７４】
次にステップ６０２において、上記抽出された計測画像のランド形状とランドウインドウとを比較する処理が行なわれる。この比較はランド形状とランドウインドウとのパターンマッチングによって行なわれる。
図８（ａ），（ｂ）に示されているように、上記ランド形状とバリエーションに記憶されたランドウインドウとを比較し、重なった面積を計算する。本実施例においては、重ねる位置，方向の情報はＣＡＤデータの当該部品の部品座標、部品実装方向の情報を利用する。基板の伸縮などで２値化ランド形状が若干ずれる場合はその位置の周囲で動かしてみて、最も重なりが大きくなる部分を見つける。
【００７５】
次にステップ６０３において、重なり面積があらかじめ設定された基準値以上かどうかを判定する処理が行なわれる。ＣＰＵ１１は、パターンマッチングでの計測結果を画像処理部１５から受け取り、検査部１７に転送する。検査部１７は、ランドウインドウ毎に、計測結果があらかじめ設定された基準値以上かどうかを判定する。そしてランドウインドウ毎の計測結果が、いずれも基準値以上であれば、端子数、ランドサイズが合致していると判断し、その判断結果をＣＰＵ１１に出力する。
【００７６】
なお、上記判定の基準値は、あらかじめ部品の種類に応じて設定されており、メモリ１３の所定の判定基準値記憶領域に記憶されている。ＣＰＵ１１は、上記判定のために、上記判定基準値を読み出して使用する。判定の結果、合致している場合は判定が「ＹＥＳ」となり、ステップ６０４に進む。判定が「ＮＯ」の場合は、ステップ６１０へ進む。
【００７７】
次に本実施形態において、部品の大きさ、部品色の比較は、計測画像の部品サイズとバリエーションの部品本体ウインドウとを比較することによって行なわれる。
【００７８】
ステップ６０４において、計測画像から部品サイズを抽出する処理が行なわれる。部品の大きさ、端子数が合致していると判断されたバリエーションに対して、まず、計測画像の部品色がバリエーションに登録されているものと一致するかどうかを調べる。ランド形状抽出の場合と同様に、バリエーションにはあらかじめ部品本体ウインドウとその色パラメータが登録されている（図７の（ｃ）参照）。選択されたバリエーションの部品本体の色パラメータを使って、画像処理部１５において、計測画像の部品本体部が２値化され、その結果、図８（ｃ）に示すような画像が得られる。明るさの色パラメータは、上限と下限の２つのしきい値として設定されるので、このように部品本体の明るさの部分だけが２値化される。
【００７９】
次にステップ６０５において、上記抽出された計測画像の部品サイズと部品本体ウインドウとを比較する処理が行なわれる。この比較は、部品サイズと部品本体ウインドウとのパターンマッチングにより行なわれる。図８（ｃ）に示されているように、部品サイズとバリエーションに記憶された部品本体ウインドウを比較し、重なった面積を計算する。なお、上記のランド形状のパターンマッチングにより、ランドの正確な位置が分かっているので、この場合の部品本体ウインドウとの位置合わせを正確に行うことができる。
【００８０】
次のステップ６０６において、計測画像の部品サイズと部品本体ウインドウの重なり面積が、あらかじめ設定された基準値以上かどうかを判定する処理が行なわれる。ランド形状の判定の場合と同様に、ＣＰＵ１１は、パターンマッチングでの計測結果を画像処理部１５から受け取り、検査部１７に転送する。検査の結果、基準値以上の場合には、部品の大きさ、部品色が合致していると判定される。合致している場合は、ステップ６０６の判定が「ＹＥＳ」となり、ステップ６０７に進む。判定が「ＮＯ」の場合はステップ６１０に進む。
【００８１】
ステップ６０７において、「適合バリエーションあり」のフラグがセットされる。また続くステップ６０８、６０９において、それぞれ適合バリエーション名と一致度の一時記憶処理、適合バリエーションの計数処理が行われる。その後にステップ６１０へ進む。
【００８２】
ステップ６１０において、当該部品が属する部品の種類における全てのバリエーションについて、検索処理が終了したかどうか判定する処理が行なわれる。まだ検索処理が終了していない場合は、判定結果が「ＮＯ」となり、ステップ６０１へ戻り、上記部品の種類における次のバリエーションとの比較が行なわれる。以降、前記と同様の比較処理が行なわれる。ステップ６１０の判定結果が「ＹＥＳ」の場合は、計測画像データと各バリエーションとの比較処理を終了する。
【００８３】
なお、前記計測画像と各バリエーションとの比較処理においては、パーツライブラリ中の当該部品が属する部品の種類に含まれるバリエーションを検索するようにしている。そのため、バリエーションの検索に先立ち、ＣＡＤデータ中の部品型式を参照してあらかじめ当該部品の種類を特定しておくようにしている。
【００８４】
図２のステップ２０７に戻って、上記に述べたバリエーションの検索の結果、適合するバリエーションがあったどうかを判定する処理が行なわれる。判定結果が「ＹＥＳ」の場合はステップ２０８へ進み、「ＮＯ」の場合はステップ２１２へ進む。
【００８５】
ステップ２０８では、計測画像データと適合するバリエーションが複数あるかどうかを判定する処理が行なわれる。この判定結果が「ＹＥＳ」の場合には、さらにステップ２０９へ進み、「ＮＯ」の場合はステップ２１０へ進む。
【００８６】
次にステップ２０９において、検索された複数のバリエーションのうち、最も一致度の高かったバリエーションを選択する処理が行なわれ、その後、ステップ２１０へ進む。
【００８７】
ステップ２１０において、当該計測画像の部品型式を選択されたバリエーションの識別情報へ変換するための変換データ、すなわち前記部品型式と選択されたバリエーションの識別情報とをリンクさせたデータを変換テーブルに登録する処理が行なわれる。この前記変換データは、ＣＰＵ１１によって、メモリ１３の所定の変換テーブル記憶領域にあらかじめ格納されている変換テーブルに登録される。
なお、変換テーブルは、本変換テーブル登録処理に先立って外部メモリ装置２４、あるいは送受信部２３より本装置に読み込み、メモリ１３の上記所定の変換テーブル記憶領域へ格納するようにしておいてもよい。
【００８８】
ステップ２０７が「ＮＯ」の場合は、ステップ２１２において、当該部品の検査に必要なバリエーションを新たに作成する処理が行なわれる。この場合、バリエーションは、図９に示される処理手順により作成される。
【００８９】
まず、最初にバリエーションを自動で作成するかどうかについて判断される（ステップ９０１）。自動で作成するモードの場合には、次に当該部品の部品型式より当該部品が属する部品の種類とグループが判別される（ステップ９０２）。手動で作成するモードの場合には、ステップ９０１が「ＮＯ」となり、ステップ９１１へ進む。
【００９０】
部品の種類，グループが決まれば、パーツライブラリにあらかじめグループごとに登録されている次に述べるようなデフォルト検査基準情報（例えば図４のグループ１００５のバリエーション参照。）が読み出される（ステップ９０３）。この読み出されたデフォルト検査基準情報と当該部品の計測画像とを組み合わせて新たなバリエーションが作成される（ステップ９０４）。作成されたバリエーションには新しく識別情報が付加され、パーツライブラリ記憶部１９のパーツライブラリに新たに追加登録される（ステップ９０５）。なおこの場合、付加される識別情報として、当該部品の部品型式から判別された部品の種類ごとにあらかじめ決められている識別情報が割り当てられる。
【００９１】
上記デフォルト検査基準情報は、パーツライブラリに部品の種類、グループごとにあらかじめ登録されており、検査ウインドウの大きさ（ウインドウの縦，横の寸法）及び相対位置（部品の中心から所定の角までの長さ）、検査パラメータ（検査ウインドウ毎に例えばはんだ付け部位の三原色のパターン、三原色の割合など）、判定基準（基準パラメータと計測パラメータとを比較して良否を判定するための基準）を含んでいる。これらのデフォルト値を組み合わせて作成された上記バリエーションについては、本処理手順に沿って変換データを変換テーブルに登録した後、当該変換テーブルを使って自動生成した基板検査用データを用いて実際に検査対象基板のテストを行い、最終的にその検査基準情報が調整、あるいは決定されるようにしている。また、その時に、上記割り当てられた識別情報も、正規の識別情報に変更される。
【００９２】
なお、上記の自動作成のステップにおいて、一旦、変換テーブルの自動登録処理を中断し、当該計測画像に基づいてオペレータの操作により新たにバリエーションを作成することもできる。この場合のバリエーションも、図９に示される処理手順により作成される。以下手動による作成のステップから説明を行なう。
【００９３】
まず、計測画像を表示部２１の表示領域に表示し（ステップ９１１）、またその表示領域に以下に述べる図１０に示されるパーツライブラリを併設表示する（ステップ９１２）。次に、当該計測画像とバリエーションごとにあらかじめ登録されている基準画像をオペレータが目視で確認することにより、類似のバリエーションを探す（ステップ９１３）。類似のバリエーションが見つかれば、そのバリエーションに登録されている検査ウインドウを計測画像に重ねて表示する（ステップ９１４−９１５）。そして計測画像の部品の形状およびランド形状に適合するように検査ウインドウの大きさを調整する（ステップ９１６）。
【００９４】
検査ウインドウの調整が終了すれば、次にその検査ウインドウにおいて、当該バリエーションの検査パラメータと判定基準を使って計測画像を画像処理する（ステップ９１７−９１８）。さらに、画像処理により得られた画像と元の計測画像とを比較しながら、検査ウインドウ内の画像が適切な検査対象画像となるように前記検査パラメータと判定基準を微調整する（ステップ９１９）。この調整が終了すると、以上のような手順で作成された検査基準情報と、基準画像として使用される当該計測画像とを含む新たなバリエーションが作成され、識別情報と共にパーツライブラリ記憶部１９のパーツライブラリに新たに追加登録される（ステップ９２０−９２１）。
【００９５】
図１０に、図４で示したパーツライブラリの構成内容を表示部２１に表示した場合の一例を示す。パーツライブラリには、本図の表示画面中央上部のウインドウ内に表示されているような基準画像がバリエーションごとに格納されている。上記類似のバリエーションを探す場合には、表示部２１の表示領域において、計測画像にこのパーツライブラリを併設表示させ、オペレータが当該計測画像の部品が属する部品の種類に含まれるバリエーションを選択し、各バリエーションに含まれる基準画像と計測画像とを目視で確認するようにしている。類似する基準画像を有するバリエーションが見つかれば、オペレータの操作によりそのバリエーションが選択される。
【００９６】
また、前記ステップ２０９で検索された複数のバリエーションのうち最も一致度の高かったバリエーションを選択する場合にも、本ステップの上記類似のバリエーションを探す場合と同様の処理を行うことができる。すなわち、一旦、変換テーブル自動作成処理を中断し、計測画像と検索された複数のバリエーションを順次表示装置２１に表示させる。そして当該計測画像と表示されたバリエーションの基準画像をオペレータが目視で確認しながら、最も一致度の高いバリエーションを選択するようにしてもよい。
【００９７】
図２のステップ２１１では、未登録部品型式の全部品に対して変換テーブル登録処理が終了したかどうか判定する処理が行なわれる。まだ終了していなければ判定結果が「ＮＯ」となり、その場合はステップ２０４に戻り、以降残りの未登録部品型式の部品に対してこれまで述べた処理が繰り返し実行される。全部品に対して変換テーブル登録処理が終了すれば、判定結果が「ＹＥＳ」となり、変換テーブル登録処理を終了する。
【００９８】
図１１に本実施形態の変換テーブルの一例を示す。各部品を識別するための部品型式は、ユーザごとに様々な基準で命名されるが、同図に示すように、部品の種類や特性を示すアルファベットと複数桁の数字の組み合わせが用いられることが多い。一つのバリエーション名には、通常一つ以上の部品型式が対応付けられて登録されている。
【００９９】
なお、これまで述べた本実施形態の変換テーブル登録処理においては、変換テーブルがすでに作成されており、その変換テーブルに登録されていない部品型式の部品を対象として、対応する部品検査データへの変換データを新たに変換テーブルに追加登録する場合を想定している。しかし、このような既存の変換テーブルが無い場合や、変換テーブルを使用しない場合には、本実施形態の変換テーブル登録処理において、前記図２のステップ２０３の処理を止め、検査対象基板のＣＡＤデータに含まれる全ての部品型式についての変換データを登録するようにすればよい。
【０１００】
また本実施形態においては、変換テーブル登録装置として基板検査装置を使用する場合について述べたが、このような基板検査装置以外にも、本発明にかかる変換テーブル登録方法を実施する手段を備えた他の装置を使用することができる。
【０１０１】
【発明の効果】
本発明によれば、部品実装基板検査装置に用いられる基板検査用データの生成に必要となる変換テーブルを容易に作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる基板検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】変換テーブル作成の手順を示すフローチャートである。
【図３】ＣＡＤデータの構成の一例を示す図である。
【図４】パーツライブラリの構成の一例を示す図である。
【図５】部品の計測画像の一例を示す図である。
【図６】部品の計測画像とバリエーションとの比較処理の手順を示すフローチャートである。
【図７】部品の計測画像におけるランド部の画像処理の一例を示す図である。
【図８】部品の計測画像とバリエーションとの画像マッチング処理の一例を示す図である。
【図９】部品の計測画像に基づいて新たにバリエーションを作成する手順を示すフローチャートである。
【図１０】パーツライブラリの表示画面の一例を示す。
【図１１】変換テーブルの一例を示す図である。
【符号の説明】
１，２  基板
３  撮像部
４  投光部
５  制御処理部
１１  ＣＰＵ
１２  画像処理部
１３  メモリ
１８  基板検査データ記憶部
１９  パーツライブラリ記憶部
２０  入力部
２１  ＣＲＴ表示部
【図１】
2004151057.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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