(57)【要約】【課題】分析装置を使用する際に、ユーザ毎の目的にあった分析条件を選択し設定する作業を容易にする。【解決手段】複数のユーザ情報に対応させて記録された複数の分析条件と、入力されたユーザ認証情報に基づいて特定されたユーザ情報とを照合し、特定されたユーザ情報に対応する分析条件を前記複数の分析条件から抽出し、抽出された分析条件をモニタに表示し、表示された分析条件に基づいて分析条件が設定される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のユーザ情報に対応させて複数の分析条件を記録する分析条件記録部と、入力されたユーザ認証情報に基づいてユーザ情報を特定する照合部と、特定されたユーザ情報に対応する分析条件を前記分析条件記録部から抽出する分析条件読出設定部と、抽出された分析条件を表示するモニタと、表示された分析条件に基づいて分析条件が設定される分析条件設定部とを備えたことを特徴とする分析装置。
【請求項２】
請求項１記載の分析装置において、前記分析条件記録部は、前記表示された分析条件の一部に変更があった場合に、指示入力に基づいて当該分析条件が変更されて記録されることを特徴とする分析装置。
【請求項３】
請求項１記載の分析装置において、前記入力されたユーザ情報がシステム管理者を表す場合、前記分析条件記録部に記録された全ての分析条件が前記モニタに表示可能であることを特徴とする分析装置。
【請求項４】
複数のユーザ情報に対応させて記録された複数の分析条件と、入力されたユーザ認証情報に基づいて特定されたユーザ情報とを照合し、特定されたユーザ情報に対応する分析条件を前記複数の分析条件から抽出し、抽出された分析条件をモニタに表示し、表示された分析条件に基づいて分析条件が設定されることを特徴とする分析条件設定方法。
【請求項５】
請求項４記載の方法において、前記表示された分析条件の一部に変更があった場合に、指示入力に基づいて当該分析条件が変更されて記録されることを特徴とする分析条件設定方法。
【請求項６】
請求項４記載の方法において、前記入力されたユーザ情報がシステム管理者を表す場合、前記記録された全ての分析条件が前記モニタに表示可能であることを特徴とする分析条件設定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料の観察や分析を行う分析装置、および分析条件設定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
医用分析装置、理化学分析装置、電子顕微鏡などによる試料の観察や分析を行う装置では、観察や分析を適切に行うために、分析条件を前もって設定する必要がある。
【０００３】
分析条件には、装置の各種設定パラメータがあり、例えば、走査形電子顕微鏡における観察条件を、試料の特性に応じて分析装置が自動的に決定するのではなく、ユーザすなわち操作者の意思で決められる条件と組合わせて、決定する技術が知られている（例えば、特開２００１−３３８６０３号公報参照）。一方、分析装置を使用するユーザはそれぞれの目的を持っており、その目的によって装置に設定すべき条件は異なってくる。
【０００４】
分析装置は高価なため、複数の人が共用して使用することが普通に行われている。そうすると、複数人の複数の目的に対応した条件が登録され、その中から自分の分析にあった条件を選び出すことは非常に困難になってくる。上記技術では、ユーザに応じて分析装置を最適化するという点が配慮されておらず、ユーザにお仕着せの分析条件での測定を強いるという問題点があった。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−３３８６０３号公報（第３頁、図２）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、分析装置を使用する際に、ユーザ毎の目的にあった分析条件を選択し設定する作業を容易にすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、分析条件の登録はユーザ毎に行う。従来ユーザの正当性を確認するために用いられているユーザ認証作業の結果得られるユーザを特定する情報を使用して、登録された分析条件メニューを表示する際、前記ユーザが予め登録した分析条件メニューのみを表示してその中から当該分析に必要な分析条件を選ばせ、直ちに選んだ条件を分析装置に設定するようにしたものである。
【０００８】
更に、前記分析条件はそれを登録した当該ユーザにより自由に変更でき、新たな分析条件として登録することを可能にしたものである。
【０００９】
更にまた、ユーザを一般ユーザとシステム管理者に区分して、システム管理者は全てのユーザについて全ての登録内容を保守（登録・修正・削除）する事を可能にしたものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。
【００１１】
図１は、本発明の実施対象の一例である走査形電子顕微鏡の装置構成図である。中央演算処理装置すなわちＣＰＵ１は、走査形電子顕微鏡の各種制御回路をコントロールする。電子線２３を発生する場合は、ＣＰＵ１からの制御信号がＤＡ変換器２ａ，２ｂ，２ｃを介して高圧発生回路３、フィラメント回路４、バイアス回路５を制御することにより、フィラメント１５、ウェーネルト１６、アノード１７からなる電子銃より電子線２３を発生させる。高圧発生回路３にはエミッション電流検出器６が接続され、その情報がＣＰＵ１へ帰還されて制御に使用される。
【００１２】
上述の電子銃で発生した電子線２３は、必ずしも電子レンズ系の中心を通過するとは限らないので、電子レンズで補正を行う。ＣＰＵ１からの補正情報がＤＡ変換器２ｄを介してガンアライメントコイル制御回路７へ送られ、ガンアライメントコイル１８及びガンアライメントコイル１９を制御する。
【００１３】
次に電子線２３は収束レンズ２０，２１で細く絞られる。ＣＰＵ１からの補正情報がＤＡ変換器２ｅを介して収束レンズ制御回路８によって制御される。
【００１４】
収束された電子線２３は、対物可動絞り９を通過してその電子線スポットの大きさが決められ、偏向コイル２２の作用によってステージ２５上の試料２４が走査される。ＣＰＵ１からの走査信号がＤＡ変換器２ｆを介して走査速度等を制御する走査発振回路１０、電子線を偏向する偏向制御回路１１へ送られ、偏向コイル２２を制御する。
【００１５】
試料２４上を電子線２３が走査することによって、試料２４から二次電子や反射電子等の試料２４の情報信号が発生する。本実施例では二次電子２６の場合を説明するが、反射電子の場合も情報信号の内容が異なるだけで、二次電子の場合と類似の構成でよい。
【００１６】
試料２４の情報信号は、二次電子検出器１４により検出され、表示回路１３での増幅等の信号処理を経てＣＲＴ１２に表示される。ＣＲＴ１２にはＣＰＵ１から表示回路１３へ送られる分析条件などの走査形電子顕微鏡のオペレーション情報も表示される。ＣＲＴ１２には分析条件指示などの入力機能も備えている。
【００１７】
ＣＰＵ１にはパーソナルコンピュータすなわちＰＣ２８が接続され、走査形電子顕微鏡の操作部および取得したデータの記憶部としての機能を有する。
【００１８】
以上は、走査形電子顕微鏡の一般的な構成であるが、本実施例ではさらに、ユーザ認証部２７がＣＰＵ１に接続されている。ユーザ認証部２７は、指紋、ＵＳＢトークン、ＩＣカード等によって走査形電子顕微鏡を使用するユーザの妥当性を認証する装置である。なお、ユーザ認証部２７はＰＣ２８の一部あるいはソフトウェアとして構成されることもある。この場合はユーザ認証のときの指示入力あるいは画面表示はＣＲＴ１２ではなく、ＰＣ２８で行うことができる。
【００１９】
走査形電子顕微鏡における分析条件の一例である加速電圧の場合は、高圧発生回路３、フィラメント回路４、バイアス回路５、エミッション電流検出器６等を調整することで試料に合った妥当な値が決定される。
【００２０】
図２はユーザ認証部２７で実行されるユーザ認証機能を示す機能ブロック図である。図１に示したユーザ認証部２７では、入力されたユーザＩＤ等のユーザ認証情報とユーザ情報記憶部１０５に登録された情報とが照合部１０１で照合され、両情報が一致することによってユーザの使用が許諾される。
【００２１】
ユーザが入力するユーザ認証情報としては、１）ユーザＩＤとパスワード、２）手指・指紋認証、３）瞳虹彩認証、４）ＵＳＢトークン、５）ＩＣカードやその組み合わせなど、種々の方法があり、任意に選択可能である。
【００２２】
ユーザ毎に異なる分析条件が分析条件記録部１０４に記録されている。分析条件読出設定部１０２で認証が有効と判定されたユーザに対応した分析条件メニューを分析条件記録部１０４から取出し、分析条件表示処理部１０３によりその分析条件メニューをＣＲＴ１２に表示させる。
【００２３】
ユーザは表示された分析条件メニューを見て、ユーザがこれから実施する分析に合致する分析条件を選択し、分析条件設定部１０６で設定する。設定された分析条件がセットされ、ＣＲＴ１２にその分析条件が表示され、ユーザは直ちに分析業務に移ることが出来る。以上の手順を以下に詳しく説明する。
【００２４】
図３はユーザ認証処理手順を表したフローチャートである。図１に示したユーザ認証部２７の電源を入れて装置を立ち上げ、ユーザ認証処理手順を開始させ（ステップ３０１）、ユーザＩＤが図２に示した照合部１０１で有効か無効かを判定する（ステップ３０２）。無効の判定の場合はＣＲＴ１２にその旨の表示や警報を出力し（ステップ３０３）、手順が終了する。
【００２５】
ユーザＩＤが有効の場合は、図２に示した分析条件記録部１０４から当該ＩＤの分析条件メニューを呼び出す（ステップ３０４）。呼び出した分析条件が複数個かどうかを判定し（ステップ３０５）、複数個の場合はその分析条件メニューをＣＲＴ１２に表示させる（ステップ３０６）。
【００２６】
ユーザはＣＲＴ１２に表示された分析条件メニューの中からこれからの分析に合致する分析条件に対応した概要メニューを選択し（ステップ３０７）、その分析条件の項目に変更が必要かどうかを判断する（ステップ３０８）。分析条件変更が必要な場合は表示される変更内容設定画面で分析条件を変更する（ステップ３０９）。この変更された分析条件を新しい分析条件として登録するか、登録しないかをユーザは判断し（ステップ３１０）、登録する場合は新しい名称が付けられて登録される（ステップ３１１）。一方、当該分析条件をユーザは今回の分析条件として設定し（ステップ３１２）、分析作業が開始され（ステップ３１３）、ユーザ認証処理手順が終了する（ステップ３１４）。
【００２７】
上述のステップ３０５で分析条件が１個の場合は、ステップ３０６からステップ３１１の間が省略され、ステップ３１２でその分析条件を設定する。これにより直ちに分析作業が開始できる。
【００２８】
上述のステップ３０８で選択した分析条件の変更が不要の場合は、ステップ３０９からステップ３１１の間が省略され、ステップ３１２でその分析条件を設定する。上述のステップ３１０で分析条件を変更したが新しく登録しない場合は、ステップ３１１が省略され、ステップ３１２でその分析条件を設定する。
【００２９】
一致する分析条件が無い場合には、ステップ３０７で最も近い分析条件を選択し、ステップ３０８，３０９で必要な修正を行い、ステップ３１０，３１１で新たな分析条件として名前を付けて登録しておくことにより、次回の分析時に同じ分析を行う場合には、この新たな分析条件が分析条件記録部１０４に記録されているので、分析条件の選択のみですむことになり簡便である。
【００３０】
図４は、分析条件記録部１０４に記録された分析条件のデータ構成を示す構成図である。ユーザメニュー４０１の中の予め登録されたユーザ毎に分析条件メニュー４０２を持ち、例えば、図ではユーザ１について分析条件メニューは分析条件１から分析条件ｍまで持つことを示している。
【００３１】
また、分析条件１について、パラメータメニュー４０３は、パラメータ１からパラメータｎまでの設定値を持つことを示している。図ではユーザ１、分析条件１についてのみ記載されているが、ユーザ２からユーザｋや、分析条件２から分析条件ｍについても同様の構成である。
【００３２】
従来の分析条件の設定方法では、時系列的に順番に設定登録していくため、複数のユーザが次々に設定を繰り返すことによって、あるユーザが必要とする分析条件を直ちに選択することが困難であったが、上述のようにユーザ毎に分析条件を分けることにより、容易に最適な分析条件を選択することが可能となる。
【００３３】
さらに、ユーザは他のユーザの分析条件を読み出すことができないので、他人に改ざんされることなく、機密保持が保たれるという効果がある。したがって、ひとつの分析装置、例えば高価な走査形電子顕微鏡を複数の企業で使用することも可能になり、装置の使用頻度が高くなり、使用効率の向上が図られるとともに分析費用のコストダウンが図られるという効果もある。
【００３４】
図５から図７は、ＣＲＴに表示される画面例を示す図である。図５はユーザ認証画面５０１の例であり、画面５０１にはユーザＩＤ入力ウィンドウ５０２、パスワード入力ウィンドウ５０３、ログインボタン５０４が表示される。
【００３５】
ＣＲＴに備わったキーボード等からユーザＩＤとパスワードを入力し、ログインのボタンをクリックする等して、図２に示したユーザ情報記憶部１０５に予め登録してあるユーザ情報との照合が行われ、一致すればユーザ認証が成功し、当該ユーザは分析装置を使用することが出来る。また、その結果、分析装置はユーザを特定することが出来る。
【００３６】
図６は、図４に示した分析条件メニューの表示画面例である。画面６０１に表示された分析条件メニュー６０２は、ユーザの目的に合わせて「大分類」「中分類」「小分類」というように階層的に表示される。これらの分類の名称はユーザが任意に設定することができる。
【００３７】
また、他のユーザの分析条件メニューは表示されないので、前述したように当該ユーザのみが登録した分析条件だけが表示され、ユーザは容易に必要な分析条件を探し出すことが出来る。
【００３８】
図７は、図４に示したパラメータメニューとその設定値の一覧の表示画面例である。画面７０１に表示されたパラメータメニュー７０２の上方には、分析条件名称表示部７０３に分析条件の名称が表示される。ユーザはこの画面で分析条件のパラメータ設定値の妥当性を確認する。
【００３９】
妥当であると判断した場合、設定ボタン７０５をクリック等することにより、表示されたパラメータ設定値の分析条件が設定される。パラメータを変更する場合は、例えば、パラメータメニュー７０２の該当欄をクリック等してから変更後の値を入力し、設定ボタン７０５をクリック等する。
【００４０】
なお、この変更後の分析条件を、名称を変更せずに上書きして再登録する場合は、設定ボタン７０５をクリック等する。また、この分析条件を別な分析条件として新たに登録する場合は、分析条件名称を変更後、登録ボタン７０４をクリック等する。あるいは、登録ボタン７０４を削除し、登録ボタン７０４の機能を設定ボタン７０５に統合させてもよい。
【００４１】
図８はシステム管理者による分析条件管理の処理手順のフローチャートである。また、図９はシステム管理者がログインしたときの分析条件管理メニューの表示画面例である。システム管理者は全てのユーザの分析メニューを保守、すなわち、登録、修正、削除することができる。
【００４２】
図８において、図３と同様に、図１に示したユーザ認証部２７の電源を入れて装置を立ち上げ、管理者メニューを開始させ（ステップ８０１）、ユーザＩＤが図２に示した照合部１０１で有効か無効かを判定する（ステップ８０２）。ユーザＩＤが無効の場合はその表示または警報を出力し（ステップ８０３）、終了する。
【００４３】
ユーザＩＤが有効の場合、システム管理者がログインしたかどうかを判定し（ステップ８０４）、システム管理者の場合は分析条件管理手順が開始され、全てのユーザの分析条件管理画面をＣＲＴ１２へ表示する（ステップ８０５）。システム管理者はその権限で分析条件メニューの前記保守作業を行い（ステップ８０６）、終了する（ステップ８０７）。
【００４４】
ステップ８０４でログインしたユーザがシステム管理者でない場合は、図３に示したフローチャートのステップ３０４へ手順を進行させる（ステップ８０８）。
【００４５】
図９は、図８のステップ８０５で表示される管理者用の分析条件管理画面９０１の例を示す図である。管理者用の分析条件管理画面９０１には、ユーザ１ａからｋまでのユーザの分析条件メニューが表示され、任意のユーザをクリック等で指示することによって、図４に示した各メニューを表示させることができ、また、登録、修正、削除等の保守作業を行うことができる。
【００４６】
以上の実施例は走査形電子顕微鏡を例に説明したが、分析装置としてこれに限定されるものではない。
【００４７】
本実施例によれば、分析装置を使用する際に、ユーザ毎に登録した分析条件メニューから目的にあった分析条件のメニューを選択できるので、目的にあった分析条件を選択し設定する作業が容易にできるという効果がある。
【００４８】
複数のユーザで装置を共有する場合は各人が登録する分析条件が増えてくると似ているが少しだけ違う条件などが増えてきて、目的にあった分析条件メニューを選択する作業が次第に煩雑になってくる。これに対して本発明ではユーザ毎に分析条件メニューを管理できるため、統一的に整理した形で分析条件メニューを充実させ、ユーザの目的に最適な分析装置を実現することが可能となる効果がある。
【００４９】
すなわち高価な分析装置で複数のユーザで共用せざるを得ないにもかかわらず、ユーザにとってはあたかも自分専用機であるかのような使い勝手を実現する効果がある。
【００５０】
また、ユーザは自分の分析条件メニューを他のユーザには見せたくないという場合も多いが、本発明によれば特定のユーザに対して当該ユーザが予め登録した分析条件メニューしか表示されないので、ユーザ間で機密保持が図られるという効果がある。
【００５１】
【発明の効果】
本発明によれば、分析装置を使用する際に、ユーザ毎に登録した分析条件メニューから目的にあった分析条件のメニューを選択できるので、目的にあった分析条件を選択し設定する作業が容易にできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】走査形電子顕微鏡の装置構成図。
【図２】ユーザ認証部２７で実行されるユーザ認証機能を示す機能ブロック図。
【図３】ユーザ認証処理手順を表したフローチャート。
【図４】分析条件記録部１０４に記録された分析条件のデータ構成を示す構成図。
【図５】ＣＲＴに表示されるユーザ認証画面例を示す図。
【図６】ＣＲＴに表示される分析条件メニューの画面例を示す図。
【図７】ＣＲＴに表示される図４のパラメータメニューとその設定値の画面例を示す図。
【図８】システム管理者による分析条件管理の処理手順のフローチャート。
【図９】管理者用の分析条件管理画面９０１の例を示す図。
【符号の説明】
１…ＣＰＵ、１２…ＣＲＴ、２７…ユーザ認証部、２８…ＰＣ、１０１…照合部、１０２…分析条件読出設定部、１０３…分析条件表示処理部、１０４…分析条件記録部、１０５…ユーザ情報記憶部、１０６…分析条件設定部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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