(57)【要約】【課題】超精密な位置制御のすることのできる静圧軸受け機構を持った比例弁、サーボ弁及び静圧軸受けの形成方法を提供する。【解決手段】スリーブ１６内を移動可能なスプール１８のランド１８ａ、１８ｃに静圧軸受けを設ける。静圧軸受けは各ランド１８ａ、１８ｃの外周面に形成された表面絞り３４，４０からなる。両表面絞り３４，４０へは供給ポートＰＳからの気体供給圧が導かれる。【選択図】        図１
2004270870.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリーブ内に軸方向直動可能に軸支されたスプールと、
スプールの一端に固定され、入力電流に応じてスプールに直進駆動力を与える可動線輪と、
スプールをスリーブ内で所定の軸方向位置に定位し、可動線輪の駆動力に対抗した反力をスプールに与える定位バネと、
スリーブに設けられた供給ポート及び排気ポートに接続された気体供給圧と排気圧とをスプールの位置に応じた割合で負荷へ出力し、可動線輪に与えられる入力電流に応じた気体圧を負荷に出力する比例弁において、
スプールのランドに気体供給圧を導く絞りを設けてスリーブとの間に静圧軸受けを形成し、
前記絞りには供給ポートからの気体供給圧が導かれていることを特徴とする比例弁。
【請求項２】
スリーブ内に軸方向直動可能に軸支されたスプールと、
スプールの一端に固定され、入力電流に応じてスプールに直進駆動力を与える可動線輪と、
スプールをスリーブ内で所定の軸方向位置に定位し、可動線輪の駆動力に対抗した反力をスプールに与える定位バネと、
スリーブに設けられた供給ポート及び排気ポートに接続された気体供給圧と排気圧とをスプールの位置に応じた割合で負荷へ出力し、可動線輪に与えられる入力電流に応じた気体圧を負荷に出力する比例弁において、
スプールのランドに気体供給圧を導く絞りを設けてスリーブとの間に静圧軸受けを形成し、
前記絞りはランドの外周面に形成された表面絞りからなることを特徴とする比例弁。
【請求項３】
スリーブ内に軸方向直動可能に軸支されたスプールと、
スプールの一端に固定され、入力電流に応じてスプールに直進駆動力を与える可動線輪と、
スリーブ内におけるスプール位置を検出するスプール位置検出器と、
スリーブに設けられた供給ポート及び排気ポートに接続された気体供給圧と排気圧とをスプールの位置に応じた割合で負荷へ出力し、可動線輪に与えられる入力電流に応じた気体圧を負荷に出力するサーボ弁において、
スプールのランドに気体供給圧を導く絞りを設けてスリーブとの間に静圧軸受けを形成し、
前記絞りには供給ポートからの気体供給圧が導かれていることを特徴とするサーボ弁。
【請求項４】
スリーブ内に軸方向直動可能に軸支されたスプールと、
スプールの一端に固定され、入力電流に応じてスプールに直進駆動力を与える可動線輪と、
スリープ内におけるスプール位置を検出するスプール位置検出器と、
スリーブに設けられた供給ポート及び排気ポートに接続された気体供給圧と排気圧とをスプールの位置に応じた割合で負荷へ出力し、可動線輪に与えられる入力電流に応じた気体圧を負荷に出力するサーボ弁において、
スプールのランドに気体供給圧を導く絞りを設けてスリーブとの間に静圧軸受けを形成し、
前記絞りはランドの外周面に形成された表面絞りからなることを特徴とするサーボ弁。
【請求項５】
請求項１又は２に記載の比例弁において、
スリーブとスプールとの間にはスプールの直進速度を検出する速度検出器が設けられ、
スプール速度を可動線輪へ負帰還する事によりスプールの直進移動にダンパー効果を与えることを特徴とする比例弁。
【請求項６】
請求項２又は４のいずれか１に記載された比例弁又はサーボ弁において、
供給圧側ランドに設けられた表面絞りには気体供給圧が直接導かれ、
排気圧側ランドに設けられた表面絞りには、スプール内に設けられた導通路を介して気体供給圧が導かれることを特徴とする比例弁又はサーボ弁。
【請求項７】
請求項２，４，６のいずれか１に記載された比例弁又はサーボ弁において、
表面絞りはランドの外周面にスプールの直進移動方向に沿って設けられた複数の薄溝からなる事を特徴とする比例弁又はサーボ弁。
【請求項８】
請求項２，４，６，７のいずれか１に記載された比例弁又はサーボ弁において、
ランドに設けられた表面絞りはスプールの空気室に向かって開口するとともに、
スプールの外側に対しては各ランドの外周によって閉塞されている事を特徴とする比例弁又はサーボ弁。
【請求項９】
軸受け形成部材の表面に表面絞りと同形状のマスキングを施す工程と、
軸受け形成部材表面を全体的に均一なメッキ層で被着する工程と、
軸受け形成部材からマスキングを除去して除去された部分を表面絞りとする工程からなることを特徴とする静圧軸受け用の表面絞り形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、静圧軸受けを持った比例弁及びサーボ弁そしてスプール摺動面に静圧軸受け用の表面絞りを形成する方法の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
あらゆる産業において、加工、測定制御の微細化が急速に進み、ナノメートルレベルの位置決め精度が各種の分野において必要とされるようになってきた。
【０００３】
このような分野としては、例えば半導体製造技術があり、半導体露光プロセス、あるいはこれに関連した各種のプロセスにおいて、ワークを高精度で位置決めする必要が生じてきた。
【０００４】
従来における高精度位置決めは電動リニアモータにより行われることが多かったが、リニアモータにおいては磁界あるいは熱の発生が問題となり、これに代わる位置決め駆動制御アクチュエータとして空気圧アクチュエータが利用されるようになってきた。通常空気圧アクチュエータは空気サーボ弁あるいは空気圧比例弁によって所望の気体圧が供給され、クリーンで且つ粘性のない超精密制御が可能となる。
【０００５】
このような比例弁あるいはサーボ弁においては、スリーブ内に軸方向に直動可能にスプールが支持され、スプールに固定された可動線輪に所定の駆動電流を供給することによって、スプールの直動位置が定まり、これによって空気圧アクチュエータに比例弁あるいはサーボ弁から所望の空気圧が供給される。そして、スリーブ内でのスプールの動きをスムーズに行い、両者間の摩擦を極力除去するためにスプールは静圧軸受けされることが好ましい。
【０００６】
通常、静圧軸受けは固定側であるスリーブに設けられるが、特許文献１に示されるように、スプール側に静圧軸受けを設けた構造も知られている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−２９７２４３号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に示されるような従来技術では、スプールに設けられた空気吹き出し用の軸受け部にはスプールの軸部に設けられた空気通路を介して圧縮空気供給源から圧縮空気が供給されなければならないという問題があった。
【０００９】
すなわち、このような従来装置では、静圧軸受けのために特別な圧縮空気源を設け、これによってスプールをスリーブに対して非接触支持することとしている。
【００１０】
従って、このような従来装置では装置が複雑となり、特にナノメートルレベルの制御を行う小型超精密比例弁あるいはサーボ弁としては適当でないという欠点があった。
【００１１】
また、従来技術における空気吹き出し用の軸受け部はポートと重ならないようにして弁体の周方向に間隔を置いて複数個設けられているが、このような軸受け部は通常オリフィス（ポケット）絞りとして知られるように、弁体に穿設した細い孔から成り、このような細孔は、しばしば目詰まりをおこしやすく、また連続して使用する際に、目詰まりまで行かなくとも、孔径が変化しやすく、これによって静圧軸受け支持のバランスが崩れやすく、ナノメートルレベルの位置決め制御には信頼性が乏しいという問題があった。上記問題は、比例弁でもサーボ弁でも同様に生じており、本発明はこのような従来の課題を解決して、超精密な位置決め制御を可能とする比例弁あるいはサーボ弁を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、スリーブ内に軸方向直動可能に軸支されたスプールと、スプールの一端に固定され、入力電流に応じてスプールに直進駆動力を与える可動線輪と、スプールをスリーブ内で所定の軸方向位置に定位し、可動線輪の駆動力に対抗した反力をスプールに与える定位バネと、スリーブに設けられた供給ポート及び排気ポートに接続された気体供給圧と排気圧とをスプールの位置に応じた割合で負荷へ出力し、可動線輪に与えられる入力電流に応じた気体圧を負荷に出力する比例弁において、スプールのランドに気体供給圧を導く絞りを設けてスリーブとの間に静圧軸受けを形成し、前記絞りには供給ポートからの気体供給圧が導かれていることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、スリーブ内に軸方向直動可能に軸支されたスプールと、スプールの一端に固定され、入力電流に応じてスプールに直進駆動力を与える可動線輪と、スプールをスリーブ内で所定の軸方向位置に定位し、可動線輪の駆動力に対抗した反力をスプールに与える定位バネと、スリーブに設けられた供給ポート及び排気ポートに接続された気体供給圧と排気圧とをスプールの位置に応じた割合で負荷へ出力し、可動線輪に与えられる入力電流に応じた気体圧を負荷に出力する比例弁において、スプールのランドに気体供給圧を導く絞りを設けてスリーブとの間に静圧軸受けを形成し、前記絞りはランドの外周面に形成された表面絞りからなることを特徴とする。
【００１４】
さらに、本発明は、スリーブ内に軸方向直動可能に軸支されたスプールと、スプールの一端に固定され、入力電流に応じてスプールに直進駆動力を与える可動線輪と、スリーブ内におけるスプール位置を検出するスプール位置検出器と、スリーブに設けられた供給ポート及び排気ポートに接続された気体供給圧と排気圧とをスプールの位置に応じた割合で負荷へ出力し、可動線輪に与えられる入力電流に応じた気体圧を負荷に出力するサーボ弁において、スプールのランドに気体供給圧を導く絞りを設けてスリーブとの間に静圧軸受けを形成し、前記絞りには供給ポートからの気体供給圧が導かれていることを特徴とする。
【００１５】
さらに、本発明は、スリーブ内に軸方向直動可能に軸支されたスプールと、スプールの一端に固定され、入力電流に応じてスプールに直進駆動力を与える可動線輪と、スリープ内におけるスプール位置を検出するスプール位置検出器と、スリーブに設けられた供給ポート及び排気ポートに接続された気体供給圧と排気圧とをスプールの位置に応じた割合で負荷へ出力し、可動線輪に与えられる入力電流に応じた気体圧を負荷に出力するサーボ弁において、スプールのランドに気体供給圧を導く絞りを設けてスリーブとの間に静圧軸受けを形成し、前記絞りはランドの外周面に形成された表面絞りからなることを特徴とする。
【００１６】
さらに、本発明は、軸受け形成部材の表面に表面絞りと同形状のマスキングを施す工程と、軸受け形成部材表面を全体的に均一なメッキ層で被着する工程と、軸受け形成部材からマスキングを除去して除去された部分を表面絞りとする工程からなることを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１には本発明に係る静圧軸受けを持った比例弁の好適な第１実施形態が示されている。この実施例は三方向弁からなり、円筒状のハウジング１０の両端にマグネットケース１２，ケースエンド１４がしっかりと密接固定されている。ハウジング１０の内部にはスリーブ１６が固定されており、ハウジング１０及びスリーブ１６には三方向弁を形成するための供給ポートＰＳ、排気ポートＥＸ，負荷ポートＰＬが設けられている。供給ポートＰＳは図示していない圧縮空気源に接続され、排気ポートＥＸは大気に開口され、そして、負荷ポートＰＬは図示していない空気圧アクチュエータの空気室に接続される。
【００１８】
前記スリーブ１６内にはスプール１８が軸方向に直動可能に軸支されており、このスプール１８は３つのランド（弁体）１８ａ、１８ｂ、１８ｃを有し、周知のように、スプール１８が軸方向に移動するときに、ランド１８ｂが各ポートＰＳ、ＥＸ、ＰＬを開閉し、供給ポートＰＳ及び排気ポートＥＸに接続された気体供給圧と排気圧とをスプール１８の位置に応じた割合で負荷ポートＰＬへ出力することができる。
【００１９】
スプール１８の一端にはコイルボビン２０が形成されており、このコイルボビン２０に可動線輪２２が巻回固定されている。前述したマグネットケース１２には前記可動線輪２２の周囲に対向配置されるリング状の永久磁石２４が固定されており、マグネットケース１２自体も磁性体からなり、この結果、可動線輪２２は永久磁石２４の磁界内に配置されることとなる。可動線輪２２には、端子２６から所定の入力電流が供給され、この結果この入力電流に応じた駆動力でスプール１８を軸方向に直進駆動することができる。
【００２０】
スプール１８をスリーブ１６内で所定の軸方向位置に定位するために、スプール１８の両端には定位バネ２８，３０が配置されており、前記可動線輪２２の駆動力に対抗した反力をスプール１８に与えることができ、これによってスプール１８は可動線輪２２に与えられた入力信号に応じた位置に移動してその位置を保持することができる。そして、このようにしてスプール１８の位置が定まると、このときの各ポートＰＳ，ＥＸの開き具合によって負荷ポートＰＬからは所定の気体圧が負荷である空気圧アクチュエータへ出力される。前記定位バネ２８，３０によるスプール１８の無負荷静止位置を調整するために一方の定位バネ２８の軸方向位置はゼロ点調整ネジ３２によって調整される。
【００２１】
本発明において特徴的なことは、比例弁が静圧軸受けを有することであり、本発明においては、この静圧軸受けはスプール１８に設けられている。
【００２２】
図２はスプール１８のランド１８ａに設けられた静圧軸受けを示しており、この静圧軸受けはランド１８ａの外周面に設けられた表面絞り３４からなる。この表面絞り３４はランド１８ａの外周面に複数個設けられた薄溝からなり、この薄溝はスプール１８の直進移動方向に沿って形成されている。そして、この薄溝からなる表面絞り３４はスプール１８の空気室３６に向かって開口するとともに、スプールの外側である排気室３８に対してはランド１８ａの外周によって閉塞されている。すなわち、表面絞り３４はその右端が空気室３６に向かって開き、空気室３６に供給される供給ポートＰＳからの気体圧を導き、これを表面絞り３４の周壁からスリーブ１６との間に吹き出し、所望の非接触静圧軸受け作用を得ることが可能となる。ランド１８ａとスリーブ１６との間に所望の静圧力を得るために、前述した如く表面絞り３４の左端はランド１８ａの外周によって閉塞されており、ランド１８ａの左端部は極めてわずかの間隔によってスリーブ１６との間で静圧軸受けされることとなる。
【００２３】
以上のように、本発明によれば、静圧軸受けを形成するための絞り３４には供給ポートＰＳからの気体供給圧がそのまま導かれ、従来の様に特別な静圧軸受け用の圧縮空気源を必要とすることがないという大きな利点を示すことができる。なお、前述した排気室３８の気体はハウジング１０に設けられた排気孔１０ａから外部へ排気される。
【００２４】
次に、図３を用いて、他方の静圧軸受けが形成されているスプール１８のランド１８ｃを詳細に説明する。
【００２５】
ランド１８ｃ側においても、前述した表面絞り３４と同様の表面絞り４０が形成されるが、このランド１８ｃは排気ポートＥＸと隣接しているために、供給ポートＰＳからの気体供給圧を導くための工夫がなされている。すなわち、図１に示されるようにスプール１８には導通孔４２が設けられており、この導通孔４２は一端が供給ポートＰＳに連通する空気室３６に開口しており、またその他端はランド１８ｃに設けられた導入溝４４に対向している。図３においてこの開口端は導入溝４４に設けられた複数の開口４６として示されている。従ってこの導入溝４４には供給ポートＰＳに接続された気体供給圧が導かれ、排気ポートＥＸと連通する空気室４８とはランド１８ｃに設けられたリング壁５０によって遮蔽されることとなる。従って、ランド１８ｃに一端が導入溝４４に開口し、多端がランド１８ｃによって閉塞された表面絞り４０をスプール１８の直進方向に沿って複数薄溝状に設ければ、前述した図２に示した供給側のランド１８ａと同様に極めて安定した静圧軸受けを得ることが可能となる。
【００２６】
従って、本発明によれば、スプール１８の両側のランド１８ａ、１８ｃに静圧軸受け用の気体供給圧として、供給ポートＰＳの気体供給圧をそのまま利用することができ、特別な静圧軸受け用の圧縮空気源などを必要とすることがなく、構造が簡単で装置を小型化し、ナノメートルレベルの極めて超精密な比例弁を得ることが可能となる。
【００２７】
また、本発明による静圧軸受けはランド１８ａ、１８ｃに設けられた表面絞り３４、４０から構成することができ、従来のオリフィス（ポケット）絞りと異なり、このような表面絞り３４，４０は薄溝の広く且つ浅い周壁を有した絞りからなるので、詰まりに対しても著しく耐力があり、極めて安定した静圧軸受けを提供することが可能となる。
【００２８】
図４には、本発明に係る第２実施形態のサーボ弁が示されており、基本的には空気圧アクチュエータを制御するサーボ弁として、前述した図１に示した比例弁と類似した構造を有するので、対応部材には符号に１００を加えて示し、詳細な説明は省略する。
【００２９】
図４に示したサーボ弁においては、常にスプール１１８の直動位置が検出され、この位置に合わせて可動線輪１２２に供給される駆動電流が制御されることとなる。このために、スプール１８には磁性体からなる変位軸５２が設けられ、一方、ハウジング１１０には前記変位軸５２の周囲に対向して配置される検出コイル５４が設けられる。これらの変位軸５２及び検出コイル５４はスプール位置検出器を形成する。変位軸５２はこれ自体が磁性体から成りあるいはその一部に磁性体が嵌め込まれ、この結果、変位軸５２の位置によって、検出コイル５４は、変位軸５２の位置によって定まる検出信号を端子５６から出力することになる。従って端子５６の出力値を監視することでスプール１１８の位置を正しく検出でき、空気圧アクチュエータに所望の気体圧を供給することができる。
【００３０】
このサーボ弁においても、スプール１１８には前述した比例弁と同様に表面絞り１３４、１４０が設けられ、供給ポートＰＳの気体供給圧によって静体軸受けを得ることが可能となる。
【００３１】
この実施例における絞りの構造は図１〜３に示した実施形態と同様であり、詳細な説明は省略する。
【００３２】
図５には、本発明の第３の実施形態が示され、図１に示した比例弁と類似するがこれを改良したものであり、図１と対応する部材には符号に２００を加えて示し詳細な説明は省略する。
【００３３】
第３実施形態において特徴的なことは、スプール２１８の移動速度が測定され、このスプール速度を可動線輪２２２に負帰還することによりスプール２１８の直進移動にダンパー効果を与えることにある。
【００３４】
このために、図５で明らかな如く、スプール２１８の右端にもコイルボビン６０が設けられ、このコイルボビン６０にはサーチコイル６２が巻回固定されている。そして、このサーチコイル６２と対向するケースエンド２１４の部分には永久磁石６４が設けられ、この結果スプール２１８の軸方向移動に応じてその速度がサーチコイル６２の起電力となって端子６６から外部へ出力される。上記サーチコイル６２及び永久磁石６４は本実施形態の速度検出器を構成している。
【００３５】
端子６６の出力であるスプール速度は図示していない負帰還ループを介して可動線輪２２２の駆動回路へ供給され、これによってスプール２１８の直進移動にダンパー効果を与えることができる。
【００３６】
図６は本実施形態におけるダンパー効果を示し、実線はスプール２１８が駆動されるときの位置変位が誇張して描かれており、Ａで示されるオーバーシュートが見られるが、本実施形態のように、スプール速度を負帰還すれば、破線の特性Ｂの如く、ダンパー効果によってオーバーシュートを確実に除去することが可能であった。
【００３７】
第３実施形態においてもスプール２１８には静圧軸受けが設けられ、この静圧軸受けは供給ポートＰＳからの気体供給圧によって軸受けに必要な圧力を得ており、簡単な構造によって静圧軸受けを構成することができる。
【００３８】
また、この実施形態においても、静圧軸受けを構成する絞りは表面絞りから形成され、簡単な構成でありながら極めて安定した詰まりなどによる問題のない軸受けとして機能することが可能である。
【００３９】
以上のようにして、本発明においては、スプールのランドには表面絞りが形成されるが、ナノメートルレベルの超精密位置制御を行うための静圧軸受けを得るためには、その基本的な構成である表面絞りも極めて精密に加工されなければならない。従来において、このような表面絞りは機械加工、エッチングあるいはショットピーニングによって形成されていた。しかしながら、本発明のようにスプールのランドのような曲面にこれらの成形加工を行うことは困難となり且つ精密な加工を行うことが出来ないという問題があった。そこで、本発明においては、表面絞りとなる部分にあらかじめマスキングを行い、その後にランドの外周全体を所定厚にメッキし、その後にマスキングを除去することによって、メッキされなかった凹部を表面絞りとして用いる表面絞り形成方法を提供する。このような表面絞り加工は、必ずしも前述した本発明の実施例におけるスプールのランドばかりでなく、その他の平面あるいは任意の形状の支持体に対しても応用することが可能である。
【００４０】
図７には、本発明に係る表面絞り形成方法の一例が示されている。
【００４１】
図７（イ）には、スプールのランドあるいは平面支持体などの軸受け形成部材７０が示されており、その表面の表面絞りを形成したい部分にマスキング７２を施す。このマスキングは、テープなどをマスクとして貼着しあるいは所望形状に溶剤を塗布する、あるいは治具によってマスキングするなどによって得られる。
【００４２】
次に図７（ロ）で示されるように、軸受け形成部材７０の全面にメッキ層７４を形成する。このメッキ処理は硬質アルマイト処理又はこれに相当する処理あるいは無電解ニッケルメッキなどによって可能である。実際上、マスキング７２は一般的にメッキが付着しにくいので図７（ロ）のようにその表面にはメッキ層が形成されないが、マスキング７２を次の工程で確実且つ正確に軸受け形成部材７０から引き離すことが出来れば、マスキング７２の上にメッキ層７４が被着されても本発明による表面絞り形成方法は実現可能である。
【００４３】
また、本メッキをする前に、メッキの付着性を良くする、マスキングされた部分にも、メッキをする等のために、同様な、または異なるメッキをあらかじめしておく方法もとられる。
【００４４】
メッキ層７４の厚みは本発明において表面絞りの深さを決定し、実施形態においては１０から２０マイクロメータの範囲で選択される。
【００４５】
次に図７（ハ）に示されるように、軸受け形成部材７０からマスキング７２が除去され、これによってマスキング７２の取り去られた部分に表面絞り７６を得ることができる。
【００４６】
以上のように本発明の表面絞り形成方法によれば、極めて簡単に且つ複雑な形状であっても容易に表面絞りを得ることが可能となり、特にナノメートルレベルの制御を行うときの超精密静圧軸受けを得るために極めて好適である。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば比例弁あるいはサーボ弁において、極めて容易に静圧軸受けを構成することができ、超精密制御に有益な比例弁あるいはサーボ弁を得ることができる。
【００４８】
また、このような静圧軸受け用の表面絞りを簡単な方法によって形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１実施形態の比例弁を示す要部断面図である。
【図２】図１に示した比例弁の供給ポート側静圧軸受けの要部を示す斜視図である。
【図３】図１に示した実施形態の排気ポート側静圧軸受けの要部を示す斜視図である。
【図４】本発明に係る第２実施形態によるサーボ弁を示す要部断面図である。
【図５】本発明の第３実施形態である比例弁の要部を示す断面図である。
【図６】第３実施形態の作用を示す説明図である。
【図７】本発明に係る表面絞り形成方法を示す説明図である。
【符号の説明】
１０，１１０，２１０  ハウジング、１６，１１６，２１６  スリーブ、１８，１１８，２１８  スプール、１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１１８ａ，１１８ｂ，１１８ｃ，２１８ａ，２１８ｂ，２１８ｃ  ランド（弁体）、２２，１２２，２２２  可動線輪、２８，３０，２２８，２３０  定位バネ、３４，、４０，１３４，１４０、２３４，２４０  表面絞り、５２，５４  スプール位置検出器、６２，６４  速度検出器、ＰＳ  供給ポート、ＥＸ  排気ポート、ＰＬ  負荷ポート。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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