(57)【要約】【課題】外部磁界に対して充分な磁気シールド効果を有する磁気不揮発性メモリ素子を効率的に製造する。【解決手段】ＭＲＡＭ素子１０の素子実装面側のトランジスタ部２０下面および素子実装面側と反対側のビット線５０上面に、軟磁性金属を用いて第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂをそれぞれ形成し、第２の磁気シールド層６０ｂ上にはパシベーション膜７０を形成する。これにより、外部磁界からの侵入磁束がＭＲＡＭ素子１０の反転磁界強度以下に抑えられ、信頼性が向上する。さらに、磁気シールド層６０ａ，６０ｂに軟磁性金属を用いることによりスパッタ法で形成可能になり、この軟磁性金属をＭＲＡＭ素子１０各層を形成するターゲットの元素と一部共通にすれば、磁気シールド層６０ａ，６０ｂをＭＲＡＭ素子１０各層と同一スパッタ装置で効率的に形成することが可能になる。【選択図】　　　　図１
2004047656.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部磁界の影響を抑制するための磁気シールド構造を備える磁気不揮発性メモリ素子において、
素子表面に、軟磁性金属を用いて形成されて素子内部への磁束の侵入を抑制する磁気シールド層を有することを特徴とする磁気不揮発性メモリ素子。
【請求項２】
前記磁気シールド層は、素子実装面側の素子表面と、前記素子実装面側と反対側の素子表面とに形成されていることを特徴とする請求項１記載の磁気不揮発性メモリ素子。
【請求項３】
前記磁気シールド層は、磁性層と非磁性層とからなるナノグラニュラー構造を有していることを特徴とする請求項１記載の磁気不揮発性メモリ素子。
【請求項４】
前記磁気シールド層は、その組成元素が素子内部に形成される各層の元素の一部と共通していることを特徴とする請求項１記載の磁気不揮発性メモリ素子。
【請求項５】
前記磁気シールド層の上にパシベーション膜が形成されていることを特徴とする請求項１記載の磁気不揮発性メモリ素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気不揮発性メモリ素子に関し、特にその記憶情報に影響を及ぼすことのある外部磁界を抑制するための磁気シールド構造を備える磁気不揮発性メモリ素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
情報通信機器、特に携帯端末などの個人用小型機器の飛躍的な普及に伴い、これらの機器に内蔵されるメモリやロジックなどの素子には、高集積化、高速化、低電力化など、いっそうの高性能化が要請されている。特に不揮発性メモリはこれからのユビキタス時代には必要不可欠のものと考えられている。不揮発性メモリは、機器の電源が消耗した場合やトラブルが発生した場合、サーバとネットワークとの間に障害が生じて接続が途中で切断された場合などであっても、その記憶情報を保持し、重要な情報を保護することができる。
【０００３】
現在は、このような不揮発性メモリとして、半導体を用いたフラッシュメモリや、強誘電体を用いたＦＲＡＭ（Ｆｅｒｒｏ　ｅｌｅｃｔｒｉｃ　Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）などが広く用いられている。しかしながら、フラッシュメモリは、書き込み速度がマイクロ秒のオーダーと遅いという欠点がある。一方で、ＦＲＡＭは、書き換え可能回数が１０１２〜１０１４程度であり、完全にＳＲＡＭ（Ｓｔａｔｉｃ　Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）やＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ　Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）を置き換えるには、その耐久性が問題となる。さらに、ＦＲＡＭについては、強誘電体キャパシタの微細加工が難しいという問題も指摘されている。
【０００４】
ところで、最近の携帯機器は、使用されていない回路ブロックをスタンバイ状態にして、できるだけ消費電力を抑えるよう設計されている。しかし、高速のワークメモリと大容量ストレージメモリを兼ねることができる不揮発性メモリが実現できれば、消費電力とメモリの無駄をなくすことができるようになる。また、電源を入れると瞬時に起動できる、いわゆるインスタント・オン機能も、高速の大容量不揮発性メモリが実現できれば可能になってくる。
【０００５】
これらを実現するための不揮発性メモリとして注目されているのが、例えばＭＲＡＭ（Ｍａｇｎｅｔｉｃ　Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）と呼ばれる磁気メモリである（Ｗａｎｇ　ｅｔ　ａｌ．，　ＩＥＥＥ　Ｔｒａｎｓ．　Ｍａｇｎ．　３３　（１９９７），　４４９８）。ＭＲＡＭ素子は、ナノ磁性体特有のスピン依存伝導現象に基づく磁気抵抗効果を利用した半導体磁気メモリであり、外部から電力を供給することなく記憶情報の保持を可能とした不揮発性メモリである。
【０００６】
ＭＲＡＭ素子の情報の書き込みは、マトリックス状に配線したビット線とワード線の交点の合成磁場によって、交叉したセルの磁性スピンを反転させて、その向きを“１”，“０”の情報として記録することにより行われる。また、情報の読み出しは、磁気抵抗効果を応用したＴＭＲ（Ｔｕｎｎｅｌ　ＭａｇｎｅｔｒｏＲｅｓｉｓｔａｎｃｅ）効果を利用して行う。このＴＭＲ効果とは、スピンの向きによって抵抗値が変化する減少であり、ＭＲＡＭ素子が情報を読み出す際は、この抵抗値の高い／低いにより情報の“１”，“０”を検出する。
【０００７】
また、ＭＲＡＭ素子は、構造が単純であるため高集積化が容易であり、また、磁気モーメントの回転により記録を行うため、書き換え可能回数が非常に大きくなる。また、アクセス時間についても非常に高速であることが予想され、１００ＭＨｚで動作可能であることも既に報告されている（Ｒ．Ｓｃｈｅｕｅｒｌｅｉｎ　ｅｔ　ａｌ．，　ＩＳＳＣＣ　Ｄｉｇｅｓｔ　ｏｆ　Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　Ｐａｐｅｒｓ，ｐｐ．１２８−１２９，Ｆｅｂ．２０００）。このように、ＭＲＡＭ素子は、近年のＴＭＲ材料の特性向上と相まっていっそう注目を集めるようになってきており、高速かつ不揮発性の大容量メモリとして期待される。
【０００８】
しかしながら、ＭＲＡＭ素子は、その情報の記憶・保持に磁性体を用いるため、ＭＲＡＭ素子の外部磁界の影響で記憶情報が消されたり書き換えられたりする可能性がある。通常、ＭＲＡＭ素子が実装されるのは、電子機器内部の基板上である。基板上には、電子機器の種類にもよるが、近年の高密度実装の進展により、ＭＲＡＭ素子のほかに、半導体素子や通信用素子、超小型モータなどが非常に密に実装されている。電子機器内部にも、アンテナ素子や各種メカニカル部品、電源などが実装されており、ＭＲＡＭ素子が実装された基板とともに、ひとつの機器を構成している。そのため、ＭＲＡＭ素子は、その周囲に直流、低周波数から高周波数に渡る広い周波数範囲の磁界成分が混在する環境下で使用されることになる。したがって、ＭＲＡＭ素子の実用化に当たっては、ＭＲＡＭ素子の記録情報の保持信頼性確保のために、ＭＲＡＭ素子自身の実装方法や磁気シールド方法を工夫し、外部磁界からの耐性を向上させることが必要である。
【０００９】
ＭＲＡＭ素子の磁気シールド方法の例としては、米国特許５９０２６９０号および米国特許５９２９７７２号において、ＭＲＡＭ素子の磁気シールド構造が提案されている。これらのうち、米国特許５９０２６９０号では、ＭＲＡＭ素子のパシベーション膜として、軟磁性金属酸化物である絶縁性のフェライト（ＭｎＺｎおよびＮｉＺｎフェライト）層を使うことで、ＭＲＡＭ素子に磁気シールド特性を持たせる提案がなされている。また、米国特許５９２９７７２号では、高透磁率磁性体であるパーマロイを、パッケージの内部に形成することにより磁気シールド効果を持たせ、内部素子への磁束の侵入を防ぐ提案がなされている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来提案されているＭＲＡＭ素子の磁気シールド構造は未だ完全とは言えず、ＭＲＡＭ素子への磁束の侵入により、記憶情報の消失や書換えが生じてしまう可能性があるという問題点があった。
【００１１】
磁束の侵入を防ぐためには、高い透磁率を持つ磁性材料を素子の周囲に配置し、磁束を内部へ侵入させない磁路を形成することが最も重要である。その点、従来のフェライトのパシベーション膜を形成する方法やパッケージ内部にパーマロイを形成する方法では、磁路が完全に閉じていないため、不完全な磁気シールド構造となっているといえる。
【００１２】
また、フェライト層をパシベーション膜として用いる場合、フェライトは酸化物磁性体であるため、スパッタ法により成膜するときには酸素欠損が起こりやすく、完全なフェライト層をパシベーション膜として用いることは困難であった。一方、フェライト層の形成をスパッタ法以外の方法に求めると、工程およびコストが増加し、歩留まりも低下するという問題があった。
【００１３】
さらに、パッケージ内の上下にパーマロイを配置すればフェライトのパシベーション膜よりも高いシールド性能を得られるものの、上下のパーマロイが磁気的に接続されないため、磁路が確保されない。この場合、高周波電磁界に対して効果があるが、ＭＲＡＭ素子周囲の電磁界のような低周波磁界に対しては大きな効果は期待できない。上下のうち一方のパーマロイを素子のグランド層に導電性接着剤で接合するとしても、磁路が確保されないことに変わりはなく、やはり大きな磁気シールド効果は得られない。
【００１４】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、広い周波数帯域の外部磁界に対して充分に磁気シールド効果を発揮する磁気シールド構造を備える磁気不揮発性メモリを提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、外部磁界の影響を抑制するための磁気シールド構造を備えるＭＲＡＭ素子において、素子表面に、軟磁性金属を用いて形成されて素子内部への磁束の侵入を抑制する磁気シールド層を有することを特徴とするＭＲＡＭ素子が提供される。
【００１６】
上記構成によれば、磁気シールド層が、ＭＲＡＭ素子表面に形成されることで、ＭＲＡＭ素子内部への磁束の侵入が抑制される。さらに、磁気シールド層の形成に軟磁性金属を用いることで、フェライトなどの軟磁性金属酸化物を用いた場合に比べて高透磁率の磁気シールド層が得られるとともに、その形成をスパッタ法によっても行うことが可能になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は磁気シールド構造を備えたＭＲＡＭ素子の構成例を示す概略図である。
【００１８】
ＭＲＡＭ素子１０には、スイッチング用に形成されたトランジスタ部２０に、Ａｌなどのワード線３０を介して、情報が記憶・保持されるＴＭＲ素子部４０が形成され、その上にＡｌなどのビット線５０が形成されている。さらに、トランジスタ部２０下面およびビット線５０上面には、外部磁界からの磁束の侵入を抑制するための第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂがそれぞれ形成されている。
【００１９】
このＭＲＡＭ素子１０の実装面側の素子表面であるトランジスタ部２０下面と反対側の素子表面であるビット線５０上面に形成されている第２の磁気シールド層６０ｂ上には、ＭＲＡＭ素子１０の保護のため窒化シリコン（ＳｉＮ）などのパシベーション膜７０が形成されている。
【００２０】
ＭＲＡＭ素子１０のトランジスタ部２０は、シリコン基板２１上に形成されたゲート２２、およびシリコン基板２１に形成されたソース２３並びにドレイン２４を有している。トランジスタ部２０のゲート２２は、ＭＲＡＭ素子１０のワード線３０に接続されている。
【００２１】
ＴＭＲ素子部４０は、大きく、固定層４１、絶縁層４２、記録層４３、およびバリア層４４に分けられる。このＴＭＲ素子部４０の固定層４１は、膜厚３００ÅのＰｔＭｎ層４１ａ、膜厚３０ÅのＦｅＣｏ層４１ｂ、膜厚８ÅのＲｕ層４１ｃ、および膜厚２０ÅのＦｅＣｏ層４１ｄが、順に積層された構造になっている。ＰｔＭｎ層４１ａは、ワード線３０に接続されてＴＭＲ素子部４０がトランジスタ部２０と接続されている。また、絶縁層４２は膜厚１５ÅのＡｌ２Ｏ３層で、記録層４３は膜厚３０ÅのＦｅＣｏ層で、バリア層４４は膜厚５０ÅのＴａ層で、それぞれ構成されている。これらのうち、バリア層４４はビット線５０に接続されている。
【００２２】
第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂは、軟磁性金属を用いて形成されてナノグラニュラー構造を有することによってより高い透磁率を実現する軟磁性層、あるいは透磁率の高い軟磁性金属からなる軟磁性層である。第１の磁気シールド層６０ａはシリコン基板２１下面に形成されており、第２の磁気シールド層６０ｂはビット線５０上面に形成されている。
【００２３】
なお、図示しないが、第２の磁気シールド層６０ｂとビット線５０との間には、第２の磁気シールド層６０ｂの材質により、別にバリア層を設ける構成としてもよい。例えば、第２の磁気シールド層６０ｂが導電性材料で形成されている場合にはバリア層としてＡｌ２Ｏ３層などを形成する。これにより、第２の磁気シールド層６０ｂとビット線５０との間が絶縁され、ＭＲＡＭ素子１０の信頼性が向上する。このようなバリア層の形成に当たっては、導電性のほか、第２の磁気シールド層６０ｂ、ビット線５０および形成すべきバリア層の熱膨張係数の関係など、種々の特性を考慮してその材質を選定する。
【００２４】
このような構成のＭＲＡＭ素子１０に対して外部磁界による磁束が進入してきた場合、磁束は、ＭＲＡＭ素子１０を構成する要素の中で特に第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂに進入し易い。第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂが高透磁率の軟磁性層であるため磁束進入傾向が高いからである。さらに、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂのいずれかに進入した磁束はその磁気シールド層内部を流れ易く、その後に磁気シールド層端部から漏れ出しても今度は他方の磁気シールド層に進入し易い。すなわち、このようなＭＲＡＭ素子１０では、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂによって磁路が確保される。したがって、ＭＲＡＭ素子１０において、情報が記憶・保持されるＴＭＲ素子部４０への磁束の侵入が効果的に抑制されるようになる。
【００２５】
次に、上記構成のＭＲＡＭ素子１０が有する磁気シールド層の形成方法について述べる。
ナノグラニュラー構造の第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂの形成は、通常のナノグラニュラー形成方法に従って行うことができる。例えばナノグラニュラー膜を形成すべき面に対して（Ｃｏ０．９２Ｆｅ０．０８）９０Ａｌ１０ターゲットを用いたスパッタ法を施し、磁性層であるＦｅＣｏ層の粒界に非磁性層であるＡｌ２Ｏ３層が形成されたＦｅＣｏ−Ａｌ−Ｏナノグラニュラー膜を形成することが可能である（日本応用磁気学会誌Ｎｏ．２５，　８７１−８７４，　（２００１））。このようなナノグラニュラー膜としては、上記のＦｅＣｏ−Ａｌ−Ｏナノグラニュラー膜のほか、Ｆｅ−Ａｌ−Ｏ，Ｃｏ−Ａｌ−Ｏなどの組成を有するナノグラニュラー膜を用いてもよい。
【００２６】
また、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂの形成に用いられる高透磁率の軟磁性金属材料としては、例えばＦｅ，ＦｅＣｏ，ＦｅＳｉ，ＦｅＳｉＡｌ，ＦｅＡｌ，ＮｉＦｅを用いることが可能である。このような材料を用いて軟磁性層を形成する場合も、ナノグラニュラー膜形成の場合と同様、スパッタ法を用いて成膜することができる。
【００２７】
このような方法で形成される第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂを備えたＭＲＡＭ素子１０を形成する場合には、例えば、まず、シリコン基板２１となるウェハ上に通常の方法でトランジスタ部２０を形成し、これをスパッタ装置内にセットする。次いで、ワード線３０、ＴＭＲ素子部４０を構成する各層、およびビット線５０をスパッタ法により順に積層形成する。そして、トランジスタ部２０下面およびビット線５０上面に、それぞれ第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂを上記の例に示したようなターゲットを用いてスパッタ法により形成する。
【００２８】
第２の磁気シールド層６０ｂの形成後は、その上にパシベーション膜７０を形成する。その後、パシベーション膜７０上に形成するパッド用にパシベーション膜７０および第２の磁気シールド層６０ｂの穴あけ加工など、必要に応じたプロセスを経た後ダイシングされ、最上部がパシベーション膜７０で保護された個々のＭＲＡＭ素子１０が形成される。
【００２９】
この例によるもののほか、ＭＲＡＭ素子１０の形成方法としては、例えば、第１の磁気シールド層６０ａはシリコン基板２１下面にＴＭＲ素子部４０形成前にあらかじめ形成しておき、その後スパッタ装置内にセットし、ビット線５０形成後には第２の磁気シールド層６０ｂのみを形成するようにしてもよい。この場合には、あらかじめ形成される第１の磁気シールド層６０ａは、スパッタ法以外の他の成膜方法によって形成することも可能になる。
【００３０】
さらに、ＭＲＡＭ素子１０の形成方法としては、例えば、トランジスタ部２０、ワード線３０、ＴＭＲ素子部４０を構成する各層、およびビット線５０の形成までが適当な方法を用いて終了しているものをスパッタ装置内にセットし、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂをスパッタ法で形成するようにしてもよい。なお、この場合にも、第１の磁気シールド層６０ａは、スパッタ法以外の他の成膜方法によって形成し、第２の磁気シールド層６０ｂのみをスパッタ法で形成することが可能である。
【００３１】
これらの例に示したように、ＭＲＡＭ素子１０の形成においては、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂをスパッタ法により形成することができる。そして、ここで注目すべきは、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂである軟磁性層の形成に用いるターゲットの組成元素が、ＭＲＡＭ素子１０を構成する各層の形成に用いるターゲットの元素の一部に共通している点である。
【００３２】
すなわち、ひとつのスパッタ装置に、ＴＭＲ素子部４０などの形成用のＦｅ，Ｃｏ，Ｐｔ，Ｍｎ，Ａｌなどのターゲットと、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂ形成用のターゲットとを備えることができ、各層を同一チャンバ内で形成することができる。これにより、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂを有するＭＲＡＭ素子１０を形成する際に、ＭＲＡＭ素子１０の記憶保持特性に影響を及ぼすことのある不純物混入などを抑制することが可能になるとともに、製造コストの削減や生産性の向上を図ることができるようになる。
【００３３】
なお、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂは、上記スパッタ法のほか、めっき法やスピンコート法など、従来公知の種々の成膜技術を利用することが可能である。さらに、膜原料となる微粒子粉末をエアロゾル化して被成膜物に衝突させて成膜するエアロゾル・デポジション（ＡＤ）法も、特に厚膜を容易にかつ高速で形成でき、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂの形成に用いることが可能である。
【００３４】
さらに、前述したように、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂをそれぞれ異なる成膜方法を用いて形成することも可能である。例えば、シリコン基板２１下面に形成する第１の磁気シールド層６０ａはスピンコート法によって成膜し、ビット線５０上面に形成する第２の磁気シールド層６０ｂはスパッタ法によって成膜することもできる。各成膜方法の選択に当たっては、ＭＲＡＭ素子１０の生産性や形成すべき磁気シールド層の膜厚などを考慮する。
【００３５】
次に、磁気シールド層による磁気シールド特性について述べる。
この磁気シールド特性の評価では、磁気シールド層はナノグラニュラー構造を有する軟磁性層とし、その組成をＦｅ−Ａｌ−Ｏとした。Ｆｅ−Ａｌ−Ｏナノグラニュラー膜は、まず、ＦｅおよびＡｌをスパッタした後、このスパッタ装置内を酸化雰囲気とすることによって自然酸化させて形成した。なお、この特性評価に当たり、飽和磁化および異方性磁界の測定については、別の基板にＦｅ−Ａｌ−Ｏを磁場印加しながら成膜し、測定を行っている。
【００３６】
形成したナノグラニュラー膜の飽和磁化は１．１Ｔ、保持力は２．３Ａ／ｍ、異方性磁界は６ｋＡ／ｍであった。また、透磁率は、μ’＝２００，μ”＝２０（共に１００ＭＨｚでの値）であり、高周波数になると損失が高くなる傾向が見られた。
【００３７】
さらに、磁気シールド層を形成したＭＲＡＭ素子と、磁気シールド層を形成していないＭＲＡＭ素子とを形成し、これらにそれぞれ外部磁界を印加してＭＲＡＭ素子内部での磁界強度を測定した。外部からの印加磁界は２００Ｏｅとし、ＭＲＡＭ素子の磁気シールド層の膜厚は２００ｎｍまで変化させて測定した。
【００３８】
図２は磁気シールド層の膜厚と内部磁界強度との関係を示す図である。図２において、縦軸は磁気シールド層の膜厚（ｎｍ）を、横軸は内部磁界強度（Ｏｅ）をそれぞれ示している。
【００３９】
図２に示すように、ＭＲＡＭ素子に対する２００Ｏｅの外部磁界の印加による内部磁界強度は、磁気シールド層の膜厚が厚くなるのに伴って低減される。一般にＭＲＡＭ素子の反転磁界は３０Ｏｅ程度であり、図２に示した結果からは、これ以下に外部磁界を低減させるためには磁気シールド層を１７０ｎｍ程度の膜厚にする必要があることがわかる。ただし、磁気シールド層の最適な膜厚はＭＲＡＭ素子が置かれる周囲の磁気環境や磁気シールド層の材質によって変化するので、この結果はすべてのＭＲＡＭ素子に１７０ｎｍ程度の膜厚が必要になるということを規定するものではない。図２の関係より、磁気シールド層の膜厚を変化させることによって内部磁界強度を調節することが可能であり、ＭＲＡＭ素子の磁気環境に応じて膜厚を設定することが可能である。
【００４０】
以上説明したように、本発明では、ＭＲＡＭ素子形成後に同一スパッタ装置でフェライト層を形成することが装置的にも特性的にも困難であって、かつ、フェライト層を形成してもフェライト自体その透磁率が軟磁性金属に比較して小さい、といった従来の問題点を考慮し、軟磁性金属を用いた磁気シールド層を形成するようにした。
【００４１】
軟磁性層である磁気シールド層としては、ナノグラニュラー構造を有するもの、または高透磁率軟磁性金属からなるものを形成する。このような軟磁性層は、その組成元素が、スパッタ法によるＭＲＡＭ素子の各層形成用のターゲットの元素と一部共通しているため、軟磁性層を形成する際には、ＭＲＡＭ素子各層の形成と同一スパッタ装置を用いることが可能になる。これにより、磁気シールド構造を備えたＭＲＡＭ素子形成の効率化が図られ、工程を必要最小限に抑えて製造コストの削減を図ることが可能になる。
【００４２】
このように形成された磁気シールド構造を有するＭＲＡＭ素子は、外部磁界が印加された場合にも、侵入磁束がＭＲＡＭ素子の記録層の反転磁界強度以下に抑えられ、記憶保持の安定性が向上し、厳しい磁界環境下でも使用することが可能になる。
【００４３】
また、上記のＭＲＡＭ素子１０を、その上面下面に形成した第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂを磁気的に結合させた構成とすることも可能である。図３は磁気シールド層を磁気的に結合したＭＲＡＭ素子の構成例を示す概略図である。ただし、図３では、図１に示した構成要素と同一の要素については同一の符号を付し、説明の詳細は省略する。
【００４４】
ＭＲＡＭ素子１０には、その上面、下面に第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂがそれぞれ形成されている。ＭＲＡＭ素子１０は、第１の磁気シールド層６０ａの面側でリードフレーム８０に実装され、また、第２の磁気シールド層６０ｂ上には、パシベーション膜７０が形成されている。このＭＲＡＭ素子１０の側面に、第３の磁気シールド層６０ｃを形成する。この第３の磁気シールド層６０ｃは、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂを磁気的に結合させるようになっている。
【００４５】
このような磁気シールド構造を備えたＭＲＡＭ素子１０においては、第１，第２，第３の磁気シールド層６０ａ，６０ｂ，６０ｃによって磁路が形成される。したがって、外部磁界からの磁束はＭＲＡＭ素子１０の内部に侵入せず、透磁率の高い第１，第２，第３の磁気シールド層６０ａ，６０ｂ，６０ｃを伝わり、内部への侵入が抑制される。さらに、第１，第２，第３の磁気シールド層６０ａ，６０ｂ，６０ｃのいずれかに進入した磁束は、磁気シールド層端部から漏れ出されずに、あるいは漏れ出しても、隣接する磁気シールド層へと流れ易くなるので、外部磁界からＭＲＡＭ素子１０を効果的にシールドすることが可能である。
【００４６】
第３の磁気シールド層６０ｃは、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂと同様に、軟磁性層で形成される。この第３の磁気シールド層６０ｃの形成には、スパッタ法、めっき法、スピンコート法、ＡＤ法などの成膜技術を利用することができる。形成方法の選択に当たっては、第３の磁気シールド層６０ｃが形成される素子の構成や生産性、形成すべき第３の磁気シールド層６０ｃの膜厚を考慮して選択することができる。
【００４７】
なお、第３の磁気シールド層６０ｃは、図３に示したようにＭＲＡＭ素子１０の一側面にのみ形成するようにしてもよいが、ＭＲＡＭ素子１０の周囲を取り囲むように形成すれば、より確実に磁束の侵入を抑制することが可能になる。
【００４８】
また、リードフレーム８０上に、一体構造として軟磁性体の突起または軟磁性材料で表面被覆されている突起を設けておき、そこにＭＲＡＭ素子１０を配置するようにすることも可能である。図４は磁気シールド層を磁気的に結合したＭＲＡＭ素子の他の構成例を示す概略図である。ただし、図４では、図３に示した構成要素と同一の要素については同一の符号を付し、説明の詳細は省略する。
【００４９】
図４に示したように、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂを形成したＭＲＡＭ素子１０を、軟磁性体または軟磁性材料で表面被覆されている突起８１が一体で形成されているリードフレーム８０に実装する。この突起８１は、リードフレーム８０に対して垂直方向に突出して形成され、リードフレーム８０に実装されるＭＲＡＭ素子１０の側面側に位置するように形成されている。ＭＲＡＭ素子１０をリードフレーム８０に実装する際には、第１，第２の磁気シールド層６０ａ，６０ｂの端部が突起８１と接触するように、または突起８１のごく近傍に位置されるようにする。
【００５０】
このような突起８１によっても、上記の図３に示した第３の磁気シールド層６０ｃと同様の効果が得られ、外部磁界からＭＲＡＭ素子１０を効果的に磁気シールドすることができる。また、突起８１は、ＭＲＡＭ素子１０の周囲を取り囲むように形成すれば、より確実に磁束の侵入を抑制することが可能になる
なお、以上の説明において、軟磁性層である第１，第２の磁気シールド層は、ＭＲＡＭ素子１０の素子実装面側とこれと反対側の面の２箇所に形成する構成としたが、勿論、素子実装面側のみまたは素子実装面側と反対の面側のみに形成する構成としても、一定の周波数帯域の磁界に対して磁気シールド効果を得ることができる。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明では、ＭＲＡＭ素子表面に軟磁性金属を用いて磁気シールド層を形成する。これにより、ＭＲＡＭ素子内部への磁束の侵入を抑制することができるようになる。したがって、外部磁界が印加された場合にも、侵入磁束が記録層の反転磁界強度以下に抑えられ、記憶保持の安定性が向上し、厳しい磁界環境下でも使用可能なＭＲＡＭ素子が実現される。
【００５２】
さらに、磁気シールド層は、軟磁性金属を用いることで、スパッタ法で形成可能となり、特にその組成元素を、ＭＲＡＭ素子の各層をスパッタ法で形成するためのターゲットの元素と一部共通にすることで、ＭＲＡＭ素子各層と同一スパッタ装置で形成することが可能になる。これにより、ＭＲＡＭ素子形成の効率化、製造コストの削減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】磁気シールド構造を備えたＭＲＡＭ素子の構成例を示す概略図である。
【図２】磁気シールド層の膜厚と内部磁界強度との関係を示す図である。
【図３】磁気シールド層を磁気的に結合したＭＲＡＭ素子の構成例を示す概略図である。
【図４】磁気シールド層を磁気的に結合したＭＲＡＭ素子の他の構成例を示す概略図である。
【符号の説明】
１０……ＭＲＡＭ素子、２０……トランジスタ部、２１……シリコン基板、２２……ゲート、２３……ソース、２４……ドレイン、３０……ワード線、４０……ＴＭＲ素子部、４１……固定層、４１ａ……ＰｔＭｎ層、４１ｂ，４１ｄ……ＦｅＣｏ層、４１ｃ……Ｒｕ層、４２……絶縁層、４３……記録層、４４……バリア層、５０……ビット線、６０ａ，６０ｂ……磁気シールド層、７０……パシベーション膜、８０……リードフレーム、８１……突起。
【図１】
2004047656.tif 000003
【図２】
2004047656.tif 000004
【図３】
2004047656.tif 000005
【図４】
2004047656.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月4日(2003.7.4)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部磁界の影響を抑制するための磁気シールド構造を備える磁気不揮発性メモリ素子において、
素子表面に、軟磁性金属を用いて形成されて素子内部への磁束の侵入を抑制する磁気シールド層を有することを特徴とする磁気不揮発性メモリ素子。
【請求項２】
前記磁気シールド層は、素子実装面側の素子表面と、前記素子実装面側と反対側の素子表面とに形成されていることを特徴とする請求項１記載の磁気不揮発性メモリ素子。
【請求項３】
前記磁気シールド層は、磁性層と非磁性層とからなるナノグラニュラー構造を有していることを特徴とする請求項１記載の磁気不揮発性メモリ素子。
【請求項４】
前記磁気シールド層は、その組成元素が素子内部に形成される各層の元素の一部と共通していることを特徴とする請求項１記載の磁気不揮発性メモリ素子。
【請求項５】
前記磁気シールド層の上にパシベーション膜が形成されていることを特徴とする請求項１記載の磁気不揮発性メモリ素子。
【請求項６】
前記素子実装面側の素子表面と前記素子実装面側と反対側の素子表面とに形成された前記磁気シールド層は、磁気的に結合されていることを特徴とする請求項２記載の磁気不揮発性メモリ素子。
【請求項７】
前記組成元素には、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｐｔ，ＭｎおよびＡｌが含まれることを特徴とする請求項４記載の磁気不揮発性メモリ素子。
【請求項８】
外部磁界の影響を抑制するための磁気シールド構造を備える磁気不揮発性メモリ素子の製造方法において、
素子内部に形成する各層と、前記素子内部への磁束の侵入を抑制するために素子表面に形成する磁気シールド層とを、同一チャンバ内でスパッタ法により形成することを特徴とする磁気不揮発性メモリ素子の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気不揮発性メモリ素子およびその製造方法に関し、特にその記憶情報に影響を及ぼすことのある外部磁界を抑制するための磁気シールド構造を備える磁気不揮発性メモリ素子およびその製造方法に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
ＭＲＡＭ素子の情報の書き込みは、マトリックス状に配線したビット線とワード線の交点の合成磁場によって、交叉したセルの磁性スピンを反転させて、その向きを“１”，“０”の情報として記録することにより行われる。また、情報の読み出しは、磁気抵抗効果を応用したＴＭＲ（ＴｕｎｎｅｌＭａｇｎｅｔｏＲｅｓｉｓｔａｎｃｅ）効果を利用して行う。このＴＭＲ効果とは、スピンの向きによって抵抗値が変化する現象であり、ＭＲＡＭ素子が情報を読み出す際は、この抵抗値の高い／低いにより情報の“１”，“０”を検出する。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、広い周波数帯域の外部磁界に対して充分に磁気シールド効果を発揮する磁気シールド構造を備える磁気不揮発性メモリおよびその製造方法を提供することを目的とする。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
図２は磁気シールド層の膜厚と内部磁界強度との関係を示す図である。図２において、横軸は磁気シールド層の膜厚（ｎｍ）を、縦軸は内部磁界強度（Ｏｅ）をそれぞれ示している。