(57)【要約】 【課題】  構造を簡略化することができ、かつ流量調節時に損傷をうけるのを防ぐことができ、しかも操作性に優れ、コスト面でも有利なマイクロ流体素子および流量調節方法を提供する。【解決手段】  毛細管状の流路５と流路５に対して変位可能なダイヤフラム７とを有する素子本体１１と、ダイヤフラム７を押圧して変位させる押圧機構１２を備え、押圧機構１２が、回動することにより素子本体１１に対し変位可能な可動押圧部材１５を備え、この可動押圧部材１５によってダイヤフラム７を押圧することができるように構成されている。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
毛細管状の流路（５）と該流路（５）に対して変位可能なダイヤフラム（７）とを有するマイクロ流体素子本体（１１）と、前記ダイヤフラム（７）を押圧して変位させる押圧機構（１２）を備え、
前記押圧機構（１２）は、回動することによりマイクロ流体素子本体（１１）に対し変位可能な可動押圧部材（１５）を備え、該可動押圧部材（１５）によって前記ダイヤフラム（７）を押圧することができるように構成されていることを特徴とするマイクロ流体素子。
【請求項２】
毛細管状の流路（５）と該流路（５）に対して変位可能なダイヤフラム（７）とを有するマイクロ流体素子本体（１１）と、前記ダイヤフラム（７）を押圧して変位させる押圧機構（２７）を備え、
前記押圧機構（２７）は、弾性的な曲げ変形によりマイクロ流体素子本体（１１）に対し変位可能な可動押圧部材（２９）を備え、該可動押圧部材（２９）によって前記ダイヤフラム（７）を押圧することができるように構成されていることを特徴とするマイクロ流体素子。
【請求項３】
前記押圧機構（３２）は、前記ダイヤフラム（７）の少なくとも１つを押圧する位置および押圧しない位置において、可動押圧部材（３５）の姿勢を維持することができるように構成されている請求項１または２に記載のマイクロ流体素子。
【請求項４】
前記押圧機構（１２）は、前記ダイヤフラム（７）の少なくとも一つを押圧する位置または押圧しない位置において可動押圧部材（１５）が係止するロック機構（２１）を有する請求項１〜３のうちいずれか一項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項５】
前記押圧機構（３２）は、可動押圧部材（３５）を変位させる移動機構（３６）を備え、該移動機構（３６）が、可動押圧部材（３５）に対し回動可能な操作部（４１）を備え、該操作部（４１）を回動させることにより可動押圧部材（３５）を変位させることができるように構成されている請求項１〜４のうちいずれか一項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項６】
前記操作部（６１）と前記可動押圧部材（５５）との間に付勢部材（６５）が設けられ、該付勢部材（６５）は、ダイヤフラム（７ａ、７ｂ）の少なくとも一つを押圧する位置および押圧しない位置において、その弾性により可動押圧部材（５５）の姿勢を維持することができるように構成されている請求項５に記載のマイクロ流体素子。
【請求項７】
前記押圧機構（９２）は、可動押圧部材（９５）を変位させる移動機構（９６）を備え、該移動機構（９６）が、可動押圧部材（９５）に対し平行移動可能とされ、該移動機構（９６）の平行移動により可動押圧部材（９５）を変位させることができるように構成されている請求項１〜４のうちいずれか一項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項８】
前記可動押圧部材（３５）は、第一および第二アーム（４０ｂ、４０ｃ）を備え、これらアーム（４０ｂ、４０ｃ）が、それぞれ異なるダイヤフラム（７ａ、７ｂ）を押圧することができるように構成されている請求項１〜７のうちいずれか一項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項９】
前記マイクロ流体素子本体（３１）が、主流路から分岐した第一および第二の流路（５ａ、５ｂ）を有し、
前記ダイヤフラムが、第一流路（５ａ）に対し変位可能な第一のダイヤフラム（７ａ）と、第二流路（５ｂ）に対し変位可能な第二のダイヤフラム（７ｂ）とを有し、
前記第一および第二アーム（４０ｂ、４０ｃ）は、これらのうち一方のアームが前記ダイヤフラムのうち一方を押圧するときに、他方のアームが前記ダイヤフラムのうち他方を押圧しないように構成されている請求項８に記載のマイクロ流体素子。
【請求項１０】
前記可動押圧部材（１５）は、押圧により変形可能な緩衝部材（２４）を介してダイヤフラム（７）を押圧することができるように構成されている請求項１〜９のうちいずれか一項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項１１】
前記可動押圧部材（１５）と前記ダイヤフラム（７）との間に仲介部材（２５）が設けられ、可動押圧部材（１５）が、この仲介部材（２５）を介してダイヤフラム（７）を押圧することができるように構成されている請求項１〜１０のうちいずれか一項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項１２】
前記仲介部材（２５）がダイヤフラム（７）に固定されている請求項１１に記載のマイクロ流体素子。
【請求項１３】
前記押圧機構がマイクロ流体素子本体に対し着脱自在とされている請求項１〜１２のうちいずれか一項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項１４】
毛細管状の流路（５）と該流路（５）に対して変位可能なダイヤフラム（７）とを有するマイクロ流体素子本体（１８１）の、前記ダイヤフラム（７）を押圧して変位させる押圧機構（１９２）であって、
回動することによりマイクロ流体素子本体（１８１）に対し変位可能な可動押圧部材（１９５）を備え、該可動押圧部材（１９５）によって前記ダイヤフラム（７）を押圧することができるように構成されていることを特徴とする押圧機構（１９２）。
【請求項１５】
請求項１〜１３のうちいずれか一項に記載のマイクロ流体素子の流路内の流体流量を調節する方法であって、可動押圧部材の変位量を調整することによって、流量調節を行うことを特徴とする流量調節方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体が流れる流路の開閉や流体の流量調節を行うことができるマイクロ流体素子及びこのマイクロ流体素子の流量調節方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロ流体素子は、微小な流路が形成された微小ケミカルデバイスとして、反応槽、電気泳動カラム、膜分離機構などに接続されて使用される。
このマイクロ流体素子は、内部に毛細管状の流路を有し、化学、生化学などの微小反応デバイス（マイクロ・リアクター）、集積型ＤＮＡ分析デバイス、微小電気泳動デバイス、微小クロマトグラフィーデバイスなどの微小分析デバイス、質量スペクトルや液体クロマトグラフィーなどの分析試料調製用微小デバイス、抽出、膜分離、透析などの物理化学的処理デバイス、マイクロアレイ製造用スポッタなどとして使用できる。
なお、マイクロ流体素子は、マイクロ流体デバイス、マイクロフルイディックデバイス、マイクロファブリケイテッドデバイス、ラブオンチップ、マイクロトータルアナリティカルシステム（μ−ＴＡＳ）とも呼ばれるものであり、内部に微小な毛細管状の流路が形成された素子をいう。
【０００３】
本出願人によって出願された特許文献１ないし特許文献３には、溝を有する部材の上に柔軟なフィルム状部材を設けて溝を毛細管状の流路とし、このフィルム状部材（ダイヤフラム）を、重錘、ピンチ、アクチュエータ、ネジなどのダイヤフラム圧迫機構で圧迫して変位させることができるマイクロ流体デバイスが開示されている。これらのマイクロ流体素子では、フィルム状部材（ダイヤフラム）の位置調整によって、流路内の流体の流量を調節することができる。
上記マイクロ流体素子では、ダイヤフラム圧迫機構として、マイクロ流体デバイスと一体化されていないバネ式クランプ等の各種アクチュエータや、マイクロ流体デバイスと一体化されたネジ式圧迫機構が採用されている。
【０００４】
また本出願人によって出願された特許文献４には、流量調節用の流体によりダイヤフラムを変位させる機構が開示されている。
【０００５】
しかしながら、上記マイクロ流体素子では、流量調節の対象となる流路の幅が１０〜３００μｍ程度と非常に小さいため、流路に対するダイヤフラム圧迫機構の位置決めに高い精度を要し、そのため、マイクロ流体素子の固定機構やダイヤフラム圧迫機構の構造が複雑化し、高価になるという欠点があった。
また、ネジ式の圧迫機構を用いる場合には、圧迫時に流路の断面積を調整することが比較的容易であるが、ダイヤフラムを圧迫する際に、ダイヤフラムに対してネジ回転方向の力が働くため、ダイヤフラム等を損傷しやすく、特に、小型のマイクロ流体素子にこの機構を採用することは困難であった。
また、流量調節用の流体を用いるマイクロ流体素子では、流量調節用の流体の配管が必要となるため、マイクロ流体素子を小型化するのが困難であった。さらに、マイクロ流体素子ごとに上記流体用の圧力制御装置が必要となるため、装置構成が複雑となり、操作性やコスト面で不利であった。
【特許文献１】特開２００１−７０７８４号公報
【特許文献２】国際公開第０２／２４３２０Ａ１号パンフレット
【特許文献３】特開２００２−２１９６９７号公報
【特許文献４】特開２００２−２３９３７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、構造を簡略化することができ、かつ流量調節時における損傷を防ぐことができ、しかも操作性に優れ、コスト面でも有利なマイクロ流体素子および流量調節方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、ダイヤフラムを押圧して変位させる押圧機構を設け、この押圧機構を、回動または曲げ変形により変位可能な可動押圧部材によってダイヤフラムを押圧するように構成することによって、上記課題を解決することができることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成させた。
【０００８】
即ち、本発明は、毛細管状の流路（５）と該流路（５）に対して変位可能なダイヤフラム（７）とを有するマイクロ流体素子本体（１１）と、前記ダイヤフラム（７）を押圧して変位させる押圧機構（１２）を備え、前記押圧機構（１２）は、回動することによりマイクロ流体素子本体（１１）に対し変位可能な可動押圧部材（１５）を備え、該可動押圧部材（１５）によって前記ダイヤフラム（７）を押圧することができるように構成されているマイクロ流体素子を提供する。
【０００９】
また、本発明は毛細管状の流路（５）と該流路（５）に対して変位可能なダイヤフラム（７）とを有するマイクロ流体素子本体（１１）と、前記ダイヤフラム（７）を押圧して変位させる押圧機構（２７）を備え、前記押圧機構（２７）は、弾性的な曲げ変形によりマイクロ流体素子本体（１１）に対し変位可能な可動押圧部材（２９）を備え、該可動押圧部材（２９）によって前記ダイヤフラム（７）を押圧することができるように構成されているマイクロ流体素子を提供する。
【００１０】
また、本発明は、毛細管状の流路（５）と該流路（５）に対して変位可能なダイヤフラム（７）とを有するマイクロ流体素子本体（１８１）の、前記ダイヤフラム（７）を押圧して変位させる押圧機構（１９２）であって、回動することによりマイクロ流体素子本体（１８１）に対し変位可能な可動押圧部材（１９５）を備え、該可動押圧部材（１９５）によって前記ダイヤフラム（７）を押圧することができるように構成されている押圧機構を提供する。
【００１１】
また、本発明は、前記マイクロ流体素子の流路内の流体流量を調節する方法であって、可動押圧部材の変位量を調整することによって、流量調節を行う流量調節方法を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のマイクロ流体素子では、次の効果を得ることができる。
（１）回動または曲げ変形により変位可能な可動押圧部材によってダイヤフラムを押圧する押圧機構を備えているので、簡単な構造の押圧機構によって、ダイヤフラム押圧位置を精度よく定めることができる。
このため、ダイヤフラム押圧位置決めの精度を低下させることなく、マイクロ流体素子の構造を簡略化することができる。
従って、マイクロ流体素子の小型化および低コスト化が可能となる。
（２）回動または曲げ変形により可動押圧部材を変位させてダイヤフラムを押圧することができるため、ネジ式の押圧機構を用いる従来品と異なり、ダイヤフラムが損傷をうけるのを防ぐことができる。従って、マイクロ流体素子の耐久性を向上させることができる。
（３）可動押圧部材を指や移動機構などにより下方に移動させることによってダイヤフラムを押圧することができるため、容易な操作で流量調節が可能である。
（４）流量調節用の流体を用いる従来品に比べ、付帯装置（流体の圧力制御装置など）が不要となり、装置構成が簡単となる。従って、操作性およびコストの点で有利である。
（５）ダイヤフラム押圧位置および非押圧位置において可動押圧部材の姿勢を維持することができる押圧機構を用いることによって、容易かつ正確な流量調節が可能となる。
（６）ダイヤフラム押圧位置または非押圧位置において可動押圧部材が係止するロック機構を採用することによって、流路の開度を一定に維持することができる。従って、容易かつ正確な流量調節が可能となる。
（７）可動押圧部材が第一および第二アームを備え、これらがそれぞれ異なるダイヤフラムを押圧することができる構成を採用することによって、複数のダイヤフラムを独立的に変位させることができる。従って、複数の流路を独立的に流量調節することができる。
（８）前記第一および第二アームのうち一方のアームが前記ダイヤフラムのうち一方を押圧するときに、他方のアームが前記ダイヤフラムのうち他方を押圧しない構成を採用することによって、一回の操作で、２つの流路のうち一方を開き、他方を閉じることができる。
従って、これら２つの流路のうち一方を閉じる操作と他方を開く操作を別々に行う必要がなく、流路の切り替えを容易かつ短時間で行うことができる。
（９）前記押圧機構がマイクロ流体素子本体に対し着脱自在である構成を採用することによって、押圧機構を、使用済みのマイクロ流体素子から取り外して再利用することができる。従って、マイクロ流体素子の製造コストを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明のマイクロ流体素子は、毛細管状の流路と該流路に対して変位可能なダイヤフラムとを有するマイクロ流体素子本体と、前記ダイヤフラムを押圧して変位させる押圧機構を備え、前記押圧機構が、回動することによりマイクロ流体素子本体に対し変位可能な可動押圧部材を備え、この可動押圧部材によって前記ダイヤフラムを押圧することができるように構成されている。
前記押圧機構は、弾性的な曲げ変形によりマイクロ流体素子本体に対し変位可能な可動押圧部材を備え、この可動押圧部材によって前記ダイヤフラムを押圧することができる構成であってもよい。
可動押圧部材は、マイクロ流体素子本体に対し接近および離間する方向に変位可能に構成することができる。
本発明では、回動または曲げ変形により変位可能な可動押圧部材によってダイヤフラムを押圧する押圧機構を備えているので、簡単な構造の押圧機構によって、ダイヤフラム押圧位置を精度よく定めることができる。
このため、ダイヤフラム押圧位置決めの精度を低下させることなく、マイクロ流体素子の構造を簡略化することができ、マイクロ流体素子の小型化および低コスト化が可能となる。
また、回動または曲げ変形により可動押圧部材を変位させてダイヤフラムを押圧することができるため、ネジ式の押圧機構を用いる従来品と異なり、ダイヤフラムが損傷をうけるのを防ぐことができる。従って、マイクロ流体素子の耐久性を向上させることができる。
また、可動押圧部材を指や移動機構などにより下方に移動させることによってダイヤフラムを押圧することができるため、容易な操作で流量調節が可能である。
また、流量調節用の流体を用いる従来品に比べ、付帯装置（流体の圧力制御装置など）が不要となり、装置構成が簡単となる。従って、操作性およびコストの点で有利である。
なお、本発明において、ダイヤフラムの変位とは、流路断面積を変化させて流路内の流体流量を変化させるためのダイヤフラムの移動をいう。また、ダイヤフラムは、押圧を停止すると完全に未変位状態に復元できることが望ましいが、これに限定されず、復元が不完全となってもよい。
【００１４】
前記押圧機構は、前記ダイヤフラムの少なくとも１つを押圧する位置および押圧しない位置において、可動押圧部材の姿勢を維持することができるように構成されていることが好ましい。
この構成によれば、容易かつ正確な流量調節が可能となる。
なお、上記ダイヤフラムを押圧する位置とは、ダイヤフラムによって流路が完全に閉塞する位置でもよいし、流路が閉塞していない位置でもよい。
【００１５】
前記押圧機構は、前記ダイヤフラムの少なくとも１つを押圧する位置または押圧しない位置において可動押圧部材が係止するロック機構を有する構成を採用できる。
ロック機構を採用することによって、流路の開度を一定に維持することができる。従って、容易かつ正確な流量調節が可能となる。
【００１６】
前記押圧機構は、可動押圧部材を変位させる移動機構を備え、この移動機構が、可動押圧部材に対し回動可能な操作部を備え、この操作部を回動させることにより可動押圧部材を変位させることができるように構成することができる。
この構成によれば、操作部を回動させる簡単な操作によって、流量調節を行うことができる。
前記押圧機構は、前記操作部と可動押圧部材との間に付勢部材が設けられ、この付勢部材が、前記ダイヤフラムの少なくとも１つを押圧する位置および押圧しない位置において、その弾性により可動押圧部材の姿勢を維持することができるように構成することができる。
この構成によれば、押圧機構の構造を簡略化することができる。
【００１７】
前記押圧機構は、可動押圧部材を変位させる移動機構を備え、この移動機構が、可動押圧部材に対し平行移動可能とされ、この移動機構の平行移動により可動押圧部材を変位させることができるように構成することができる。
この構成によれば、流量調節を容易な操作で行うことができる。
【００１８】
前記可動押圧部材は、第一および第二アームを備え、これらアームが、それぞれ異なるダイヤフラムを押圧することができるように構成することができる。
この構成によれば、複数のダイヤフラムを独立的に変位させることができる。従って、複数の流路を独立的に流量調節することができる。
【００１９】
本発明のマイクロ流体素子は、前記マイクロ流体素子本体が、主流路から分岐した第一および第二の流路を有し、前記ダイヤフラムが、第一流路に対し変位可能な第一のダイヤフラムと、第二流路に対し変位可能な第二のダイヤフラムとを有し、前記第一および第二アームが、これらのうち一方のアームが前記ダイヤフラムのうち一方を押圧するときに、他方のアームが前記ダイヤフラムのうち他方を押圧しないように構成することができる。
この構成によれば、一回の操作で、２つの流路のうち一方を開き、他方を閉じることができる。
従って、これら２つの流路のうち一方を閉じる操作と他方を開く操作を別々に行う必要がなく、流路の切り替えを、容易かつ短時間で行うことができる。
【００２０】
前記可動押圧部材は、押圧により変形可能な緩衝部材を介して前記ダイヤフラムを押圧することができるように構成することができる。
緩衝部材は、押圧により変形する特性を有する部材であれば特に限定されない。
例えば、コイルバネなどのバネ、ゴム、エラストマーなどの弾性体、発泡ポリエチレンや発泡ポリウレタンなどの多孔質体、綿などの繊維、スライドカムと弾性体の組み合わせ構造などを挙げることができる。
【００２１】
本発明では、前記可動押圧部材と前記ダイヤフラムとの間に仲介部材を設け、前記可動押圧部材が、この仲介部材を介して前記ダイヤフラムを押圧することができる構成を採用することができる。
仲介部材は、ダイヤフラムに固定されている構成とすることができる。仲介部材は、ダイヤフラムに固定された構成に限定されず、例えば、マイクロ流体素子本体に対し位置決めされたガイド内に、可動押圧部材にもダイヤフラムにも固定されない状態で設けることもできる。
また、仲介部材は、フィルム状部材などに固定されて、ダイヤフラムの変位方向には可動であるが、ダイヤフラムに平行な方向には不動である構成とすることもできる。
仲介部材は、球状、半球状、筒状、柱状、円錐台状、角錐台状の凸状体であることが好ましい。その材質としては、鋼などの金属、ガラス、合成樹脂などを採用できる。
【００２２】
本発明において、前記押圧機構は、前記マイクロ流体素子本体と一体化してもよいし、マイクロ流体素子本体に対し着脱自在に構成してもよい。
押圧機構をマイクロ流体素子本体に対し着脱自在とする場合、押圧機構はマイクロ流体素子本体から独立した部材とされ、押圧機構をマイクロ流体素子本体の所定位置に装着することによってマイクロ流体素子を得ることができる。
押圧機構は、前記可動押圧部材を備えており、マイクロ流体素子本体の所定位置に装着したときに、前記可動押圧部材によって前記ダイヤフラムを押圧することができるものであればその形状は任意である。
押圧機構は、前記マイクロ流体素子本体の、ダイヤフラムが形成された面に密着できる面を有するものが好ましい。押圧機構としては、例えばこの密着面が平面であるものを挙げることができ、この密着面を構成する板状部を有することが好ましい。
押圧機構が板状部を有する場合には、可動押圧部材は、板状部に設けられた欠損部（孔部や切欠）を通して前記ダイヤフラムを押圧することができる。前記板状部の素材は特に限定されないが、剛性の高い素材が好ましい。
前記押圧機構をマイクロ流体素子本体に装着するには、例えば次に示す機構を使用することができる。マイクロ流体素子を利用する装置、例えば分析装置や合成装置に設けられた蓋部に押圧機構を固定しておき、この蓋部を開閉のため回動させたときにダイヤフラムが可動押圧部材により押圧される位置にマイクロ流体素子本体を固定する位置決めピンなどを設けることができる。
前記押圧機構を、マイクロ流体素子本体に対し着脱自在とすることによって、比較的高価な押圧機構を、使用済みのマイクロ流体素子から取り外して再利用することができる。従って、マイクロ流体素子の製造コストを抑えることができる。
【００２３】
本発明の押圧機構は、毛細管状の流路と該流路に対して変位可能なダイヤフラムとを有するマイクロ流体素子本体の、前記ダイヤフラムを押圧して変位させる押圧機構であって、回動することによりマイクロ流体素子本体に対し変位可能な可動押圧部材を備え、該可動押圧部材によって前記ダイヤフラムを押圧することができるように構成されている。
【００２４】
本発明のマイクロ流体素子の流量調節方法は、上記マイクロ流体素子の流路内の流体流量を調節する方法であって、可動押圧部材の変位量を調整することによって、流量調節を行うことを特徴とする。
【００２５】
＜実施例１＞
図１および図２は、本発明のマイクロ流体素子の第一の実施例を示すものである。図２において（ａ）はダイヤフラムを変位させていない状態を示し、（ｂ）はダイヤフラムを変位させた状態を示す。
ここに示すマイクロ流体素子は、毛細管状の流路５と流路５に対して変位可能なダイヤフラム７とを有するマイクロ流体素子本体１１と、ダイヤフラム７を押圧して変位させる押圧機構１２を備えている。なお、以下、マイクロ流体素子本体を、単に素子本体という。
素子本体１１は、基材１上に、第一樹脂層２、第二樹脂層３、および第三樹脂層４が順次積層されて構成されている。樹脂層２、３、４は、エネルギー線硬化性組成物で構成することができる。第三樹脂層４には、押圧により弾性変形可能となる材料が使用される。
第二樹脂層３には、流路５が形成されている。流路５の延在方向の途中部分は、拡幅された広幅部６となっている。広幅部６の形状は円形とすることができる。
広幅部６に対向する部分の第三樹脂層４は、ダイヤフラム７となっている。ダイヤフラム７は、押圧機構１２によって下方に向けて弾性的に変位し、流路５の開度を調整できるようになっている。
流路５の両端部に相当する位置の第三樹脂層４には、それぞれ流入口８および流出口９が形成されており、流体を流入口８から流路５に導入し、流出口９から導出することができるようになっている。
流入口８および流出口９に相当する位置の第三樹脂層４には、それぞれルアーフィッティング１０ａ、１０ｂが設けられている。
【００２６】
押圧機構１２は、素子本体１１に固定された固定部材１３と、固定部材１３に設けられた支軸１９を中心として回動（揺動）する可動押圧部材１５と、可動押圧部材１５が係止する係止用部材２１（ロック機構）とを備えている。
固定部材１３は、板状の基部１３ａと、基部１３ａの両端から上方に延びる延出部１３ｂ、１３ｂとからなり、断面コ字形に形成されている。延出部１３ｂ、１３ｂには、それぞれ軸受け１４が設けられている。支軸１９は、軸受け１４に挿通したピン２０によって構成されている。
可動押圧部材１５は、板状の押圧部材本体１５ａと、押圧部材本体１５ａの基端部に形成された円筒形部分１６と、押圧部材本体１５ａの先端部に形成された略Ｌ字板状の係止部１８と、押圧部材本体１５ａの下面に下方に突出して形成された押圧部１７とを備えている。
円筒形部分１６には、軸受け１６ａが形成されている。
【００２７】
押圧部１７は、下方に向けて縮径する略円錐形とされ、ダイヤフラム７を押圧できる位置（好ましくはダイヤフラム７の中心に相当する位置）に形成されている。押圧部１７は、係止部１８よりも押圧部材本体１５ａの基端側に設けるのが好ましい。
係止用部材２１は、可動押圧部材１５の係止部１８が係止する段部２２を有する。係止用部材２１は、上端が流入口８方向（図中左方）に変位する方向に弾性的に変形可能とされている。係止用部材２１は、可動押圧部材１５を円筒形部分１６方向（図中右方）に弱く付勢する位置に形成するのが好ましい。
【００２８】
〔基材１、第一及び第二樹脂層２、３の作製〕
幅２．５ｃｍ×長さ７．５ｃｍ×厚さ３ｍｍの大日本インキ化学工業株式会社製ポリスチレン「ディックスチレンＸＣ５１０」（以下［ｐ１］と称する）製の基材１上に、バーコーターを用いてエネルギー線硬化性組成物［ｅ１］を塗布し、エネルギー線として紫外線を３秒間照射して、非流動性かつ不完全硬化の状態の第一樹脂層２（厚み９８μｍ）を形成した。
第一樹脂層２の上に、バーコーターを用いてさらにエネルギー線硬化性組成物［ｅ１］を塗布し、流路５及び広幅部６となる部分以外の部分にエネルギー線として紫外線を３秒間照射し、照射部の組成物を非流動性かつ不完全硬化状態とした。非照射部の未硬化のエネルギー線硬化性組成物［ｅ１］を流水によって除去して、断面略矩形の溝状の流路５及び広幅部６を有する第二樹脂層３（厚み９８μｍ）を形成した。
このようにして、第二樹脂層３に、幅１５０μｍ 、深さ９８μｍ 、長さ５０ｍｍの溝状の流路５と、この流路５の途上に直径３００μｍの円筒形の広幅部６を形成して、基材１、第一樹脂層２及び第二樹脂層３の積層体である部材［Ａ１］を作製した。
【００２９】
〔第三樹脂層４の作製〕
二村化学社製ポリプロピレン二軸延伸フィルム「ＦＯＲ」（厚さ３０μｍ、図示せず）のコロナ処理面に、バーコーターを用いてエネルギー線硬化性組成物［ｅ２］を塗布し、これにエネルギー線として紫外線を１秒間照射して、非流動性かつ不完全硬化の状態の塗膜とし、この塗膜を第二樹脂層３上に積層した。
前記ポリプロピレン二軸延伸フィルム側から上記紫外線をさらに３０秒間照射し、上記不完全硬化状態の塗膜を完全硬化させることによって、エネルギー線硬化性組成物［ｅ２］の硬化物からなる第三樹脂層４（厚さ６４μｍ ）を形成すると同時に、第二樹脂層３の表面に固着させた。又この時、第一樹脂層２、第二樹脂層３も同時に硬化した。
前記ポリプロピレン二軸延伸フィルムを剥離することによって、広幅部６に相対する第三樹脂層４の部分がダイヤフラム７となった素子本体１１を作製した。
【００３０】
〔押圧機構の作製〕
大日本インキ化学工業株式会社製ポリスチレン「ディックスチレンＳＲ−５００−１」（ハイインパクトポリスチレン）（以下［ｐ２］と称する）で形成した断面コ字形の部材（長さ１０ｍｍ、幅６ｍｍ、高さ６ｍｍ）に、ドリルにて軸受け１４となる貫通孔（直径０．６２ｍｍ）を穿ち、固定部材１３とした。
可動押圧部材１５をポリスチレン（ｐ２）で作製した。可動押圧部材１５は、板状の押圧部材本体１５ａ（寸法：２０ｍｍ×６ｍｍ×１ｍｍ）の基端部および先端部に、それぞれ円筒形部分１６（直径４ｍｍ）および係止部１８を有する形状とした。押圧部１７は、先端が球面状とされた略円錐形（先端部のＲ：０．２５ｍｍ）とし、押圧部材本体１５ａの先端から約３ｍｍの位置に形成した。円筒形部分１６には、軸受け１６ａとなる貫通孔（直径０．６１ｍｍ）を形成した。
直径０．６ｍｍの鉄製のピン２０を、可動押圧部材１５の軸受け１６ａと固定部材１３の軸受け１４に通し、このピン２０（支軸１９）を支点として可動押圧部材１５が回動できるようにした。
固定部材１３を第三樹脂層４の表面にエポキシ系接着剤にて接着した。
ポリスチレン（ｐ２）で作製した係止用部材２１を、第三樹脂層４の表面にエポキシ系接着剤にて接着した。
【００３１】
〔その他の構造の形成〕
素子本体１１の流路５の両端部に相当する位置の第三樹脂層４に流入口８と流出口９（いずれも直径０．５ｍｍ）を形成した。
流入口８および流出口９に相当する位置の第三樹脂層４に、それぞれルアーフィッティング１０ａ、１０ｂをエポキシ樹脂で接着した。
以上のようにして、マイクロ流体素子を得た。
【００３２】
実施例１で使用したエネルギー線硬化性組成物の調製方法を以下に示す。
〔エネルギー線硬化性組成物［ｅ１］の調製〕
大日本インキ化学工業株式会社製の３官能ウレタンアクリレートオリゴマー「ユニディックＶ４２６３」（平均分子量２０００）６０部、第一工業製薬株式会社製の１，６−ヘキサンジオールジアクリレート「ニューフロンティアＨＤＤＡ」２０部、第一工業製薬株式会社製のノニルフェノキシポリエチレングリコール（ｎ＝１７）アクリレート「Ｎ−１７７Ｅ」２０部、光重合開始剤としてチバガイギー社製の１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン「イルガキュアー１８４」５部、及び重合遅延剤として関東化学社製の２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン０．５部、を均一に混合してエネルギー線硬化性組成物[ｅ１]を調製した。
なお、エネルギー線硬化性組成物[ｅ１]の紫外線硬化物の引張弾性率及び破断伸び率を表１に示した。また、水との接触角は１３度であった。なお、特にことわりがない限り、「部」は「質量部」を意味する。
【００３３】
【表１】
2004270935.tif 000003
【００３４】
〔エネルギー線硬化性組成物［ｅ２］の調製〕
上記「ユニディックＶ−４２６３」４０部、ω−テトラデカンジオールジアクリレートとω−ペンタデカンジオールジアクリレートを主成分とする、ソマール株式会社製のアクリレート混合物「サートマーＣ２０００」６０部、上記「Ｎ−１７７Ｅ」２０部、光重合開始剤として上記「イルガキュアー１８４」５部、及び重合遅延剤として上記２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン０．１部を混合して、エネルギー線硬化性組成物[ｅ２]を調製した。
【００３５】
〔エネルギー線照射〕
エネルギー線として、５０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線（ウシオ電機株式会社製のマルチライト２００型光源ユニットを使用）を用いた。エネルギー線の照射は、窒素雰囲気中で行った。
【００３６】
〔流路の開閉試験〕
ルアーフィッティング１０ａに接続された軟質塩化ビニル製チューブ（図示せず）を通して、マイクロシリンジ（図示せず）から、メチレンブルー（和光純薬株式会社製）にて着色した水（流体）を流路５に注入し、流出口９から流出させ、ルアーフィッティング１０ｂに接続された軟質塩化ビニル製チューブ（図示せず）を通して系外に導出した。
図２（ａ）に示すように、可動押圧部材１５に下方への力が加えられていない状態（通常状態）（ダイヤフラム非押圧位置）では、可動押圧部材１５が下方に回動していないため、ダイヤフラム７は押圧されない。このため、ダイヤフラム７は変位しておらず、流路５内の流体は抵抗なく流れた。
【００３７】
図２（ｂ）に示すように、可動押圧部材１５を指でダイヤフラム７方向（素子本体１１に接近する方向：図中下方）に押圧し、支軸１９を支点として可動押圧部材１５を回動させた。
これによって、押圧部１７がダイヤフラム７を押圧して下方に変位させ、流路５の広幅部６に入り込んだダイヤフラム７によって流路５の断面積が減少し、着色水の流量が低下した。
可動押圧部材１５をさらに回動させ、流路５が完全に塞がれる位置（ダイヤフラム押圧位置）までダイヤフラム７を変位させたところ、流路５における着色水の流れが遮断された。
この際、可動押圧部材１５の係止部１８を係止用部材２１の段部２２にて係止させ、可動押圧部材１５を押圧しなくても着色水の流れが遮断された状態が維持されることを確認した。
係止用部材２１に対する可動押圧部材１５の係止を解除したところ、可動押圧部材１５が上方（素子本体１１から離間する方向）に回動し、ダイヤフラム７が弾性的に上方に変位し、着色水が再び流路５を流れることが確認された。
このように、このマイクロ流体素子では、可動押圧部材１５の変位量を調整することによって、流路５での流体流量を調節できた。
【００３８】
本実施例のマイクロ流体素子では、次の効果を得ることができる。
（１）可動押圧部材１５の回動によって押圧部１７がダイヤフラム７を押圧するように構成されているので、簡単な構造の押圧機構１２によって、押圧部１７がダイヤフラム７を押圧する位置を精度よく定めることができる。
このため、ダイヤフラム押圧位置決めの精度を低下させることなく、マイクロ流体素子の構造を簡略化することができる。
従って、マイクロ流体素子の小型化および低コスト化が可能となる。
（２）可動押圧部材１５の回動により下方に移動する押圧部１７によってダイヤフラム７を押圧することができる。このため、ネジ式の押圧機構を用いる従来品と異なり、ダイヤフラム７に無理な力が加えられることがなく、ダイヤフラム７が損傷をうけるのを防ぐことができる。従って、マイクロ流体素子の耐久性を向上させることができる。
（３）可動押圧部材１５を指などにより下方に回動させることによってダイヤフラム７を押圧することができるため、容易な操作で流量調節が可能である。
（４）流量調節用の流体を用いる従来品に比べ、付帯装置（流体の圧力制御装置など）が不要となり、装置構成が簡単となる。従って、操作性およびコストの点で有利である。
（５）可動押圧部材１５を、下方に回動させた状態で係止用部材２１（ロック機構）に係止させることができるので、可動押圧部材１５を押圧しなくても着色水の流れを遮断した状態を維持することができる。すなわち、係止用部材２１によって、流路５の開度を一定に維持することができる。
従って、容易かつ正確な流量調節が可能となる。
（６）可動押圧部材１５が、基端部に設けられた支軸１９を支点として回動するようになっているので、先端部に設けられた係止部１８において上下動幅が最も大きくなる。このため、係止部１８を係止用部材２１に係止させることによって、流路５の開度を一定に維持することができる。従って、容易かつ正確な流量調節が可能となる。
また、押圧部１７を、係止部１８（先端部）よりも押圧部材本体１５ａの基端側に設けることによって、係止部１８の上下動幅を押圧部１７の上下動幅に比べ大きくすることができる。従って、押圧部１７の高さ位置調整の精度を高めることができる。
【００３９】
＜実施例２＞
図３は、本発明のマイクロ流体素子の第二の実施例を示すものである。図３において（ａ）はダイヤフラムを変位させていない状態を示し、（ｂ）はダイヤフラムを変位させた状態を示す。本実施例は、仲介部材を用いたマイクロ流体素子の例である。
以下の説明において、実施例１との共通部分については、同一の符号を用いて説明を省略する場合がある。
本実施例のマイクロ流体素子では、押圧部２３が円筒形（直径３ｍｍ、高さ３ｍｍ）に形成されている。押圧部２３の下面は平坦に形成されている。
ダイヤフラム７の上面（広幅部６と反対の側）には、仲介部材として凸状部材である鋼球２５（直径０．５ｍｍ）が固定されている。鋼球２５は、ダイヤフラム７のほぼ中心に相当する位置に設けるのが好ましい。鋼球２５は、エネルギー線硬化性組成物［ｅ２］の硬化物によりダイヤフラム７に固定されている。
【００４０】
〔流路の開閉試験〕
実施例１と同様にして、着色水を流路５に導入した。
図３（ａ）に示すように、通常状態では、ダイヤフラム７は変位しておらず、流路５内の流体は抵抗なく流れた。
図３（ｂ）に示すように、可動押圧部材１５を下方に押圧して回動させ、係止用部材２１に係止させると、押圧部２３が鋼球２５を下方に押圧し、ダイヤフラム７が鋼球２５により下方に押圧されて変位し、流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された。
図３（ａ）に示すように、係止用部材２１に対する可動押圧部材１５の係止を解除したところ、流路５内の着色水の流れが回復した。
【００４１】
本実施例のマイクロ流体素子では、ダイヤフラム７を押圧する鋼球２５がダイヤフラム７に固定されているため、ダイヤフラム７に対する可動押圧部材１５の相対位置が変動した場合でも、ダイヤフラム７が押圧される位置が常に一定となる。従って、流路５内の流体の流量を、精度よく調節することが可能である。
また、各部材の寸法精度が低い場合でも正確な流量調節が可能となるため、マイクロ流体素子の製造が容易となり、製造コストを抑えることができる。
また、可動押圧部材１５の位置が変化した場合でも、下方以外の方向の力（例えば水平方向の力）がダイヤフラム７に伝わりにくいため、ダイヤフラム７の損傷を防止できる。
【００４２】
＜実施例３＞
図４は、本発明のマイクロ流体素子の第三の実施例を示すものである。図４において（ａ）はダイヤフラムを変位させていない状態を示し、（ｂ）はダイヤフラムを若干変位させた状態を示し、（ｃ）はダイヤフラムをさらに変位させた状態を示す。本実施例は、緩衝部材を用いたマイクロ流体素子の例である。
本実施例のマイクロ流体素子では、円筒形の押圧部２３（直径３ｍｍ、高さ２ｍｍ）の下面側に、円板状の緩衝部材２４（直径３ｍｍ、厚さ１ｍｍ）が設けられている。緩衝部材２４は、押圧により変形可能な材料であるポリウレタン（日本エラストラン社製の「エラストラン５６４」、以下［ｐ３］と称する）製とし、ゴム系接着剤で押圧部２３に接着した。
係止用部材２６は、可動押圧部材１５の係止部１８が係止する第一および第二の段部２２ａ、２２ｂを有する。第二の段部２２ｂは、第一の段部２２ａよりも低い位置に設けられている。段部２２ａ、２２ｂの高低差は０．５ｍｍとした。その他の構成は、実施例２と同様とした。
【００４３】
〔流路の開閉試験〕
実施例１と同様にして、着色水を流路５に導入した。
図４（ａ）に示すように、通常状態では、ダイヤフラム７は変位しておらず、流路５内の流体は抵抗なく流れた。
図４（ｂ）に示すように、可動押圧部材１５を下方に押圧して回動させ、係止部１８を第一段部２２ａに係止させると、緩衝部材２４が鋼球２５を下方に押圧し、ダイヤフラム７が鋼球２５により下方に押圧されて変位し、流路５が狭くなり、着色水の流量が減少した。
図４（ｃ）に示すように、可動押圧部材１５をさらに下方に回動させ、係止部１８を第二段部２２ｂに係止させると、緩衝部材２４が鋼球２５を下方に押圧し、ダイヤフラム７が変位し、流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された。
図４（ｂ）および図４（ｃ）に示す状態では、緩衝部材２４は、鋼球２５に接する部分が薄くなる方向に変形した。
図４（ａ）に示すように、係止用部材２６に対する可動押圧部材１５の係止を解除したところ、流路５内の着色水の流れが回復した。
【００４４】
本実施例のマイクロ流体素子では、押圧部２３の下面側に、押圧により変形可能な緩衝部材２４が設けられているので、鋼球２５の下方移動距離は、押圧部２３の下方移動距離に比べて小さくなる。
従って、鋼球２５の移動距離に比べ、可動押圧部材１５の回動距離を大きく設定でき、ダイヤフラム７の変位量の微調整が容易となる。例えば、流路５の深さが微小（例えば約１００μｍ）である場合でも、流路５の広さ（断面積）を精度よく所望の値に設定することができる。
また、可動押圧部材１５の回動距離を大きく設定できるため、係止用部材２６（ロック機構）の寸法精度が低い場合でも、可動押圧部材１５を確実に係止用部材２６に係止させることができる。このため、マイクロ流体素子の製造が容易となり、製造コストを抑えることができる。
【００４５】
＜実施例４＞
図５は、本発明のマイクロ流体素子の第四の実施例を示すものである。図５において（ａ）は本実施例のマイクロ流体素子の平面図、（ｂ）及び（ｃ）は該マイクロ流体素子の縦断面図であり、（ｂ）はダイヤフラムを変位させていない状態を示し、（ｃ）はダイヤフラムを変位させた状態を示す。本実施例は、曲げ変形により変位する可動押圧部材を有するマイクロ流体素子の例である。
押圧機構２７は、素子本体１１に固定された固定部材２８と、固定部材２８に固定された可動押圧部材２９と、可動押圧部材２９が係止する係止用部材２１（ロック機構）とを備えている。
可動押圧部材２９は、板状の押圧部材本体２９ａと、押圧部材本体２９ａの先端側部分２９ｃに形成された略Ｌ字板状の係止部１８と、押圧部材本体２９ａの先端側部分２９ｃ下面に下方に突出して形成された押圧部１７とを備えている。
可動押圧部材２９は、押圧部材本体２９ａの基端部２９ｂにおいて固定部材２８に固定されている。
押圧部材本体２９ａは可撓性を有し、弾性的に曲げ変形可能となっている。このため、可動押圧部材２９は、基端側（基端部２９ｂ）が固定部材２８に固定され、先端側（先端側部分２９ｃ）が、押圧部材本体２９ａの曲げ変形により上下動（素子本体１１に対し接近および離間する方向への変位）可能となっている。
押圧部１７が先端側部分２９ｃに設けられているため、可動押圧部材２９は、上下動可能な先端側においてダイヤフラム７を押圧できるようになっている。
【００４６】
〔流路の開閉試験〕
図５（ｂ）に示すように、可動押圧部材２９が、ダイヤフラム７を押圧しない通常位置にあるときには、ダイヤフラム７は変位しておらず、流路５内の流体は抵抗なく流れた。
図５（ｃ）に示すように、可動押圧部材２９を指などで下方に押圧し、押圧部材本体２９ａを曲げ変形させることによって、押圧部１７がダイヤフラム７を押圧する位置まで移動させた。この際、係止部１８を係止用部材２１に係止させた。
これによって、ダイヤフラム７が変位し、流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された。
図５（ｂ）に示すように、係止用部材２１に対する可動押圧部材２９の係止を解除したところ、押圧部材本体２９ａは、未変形状態（通常位置）に弾性的に復元し、着色水の流れが回復した。
【００４７】
本実施例のマイクロ流体素子では、押圧部材本体２９ａの曲げ変形により押圧部１７がダイヤフラム７を押圧するように構成されているので、簡単な構造の押圧機構２７によって、押圧部１７がダイヤフラム７を押圧する位置を精度よく定めることができる。
このため、ダイヤフラム押圧位置決めの精度を低下させることなく、マイクロ流体素子の構造を簡略化することができる。従って、マイクロ流体素子の小型化および低コスト化が可能となる。
また、曲げ変形した状態の可動押圧部材２９への押圧を停止することによって、可動押圧部材２９は、押圧部材本体２９ａの弾性的な復元力により通常位置に戻るため、ダイヤフラム７を直ちに未変位状態に戻すことができる。従って、流量設定値を迅速に変更することが可能である。
また、可動押圧部材２９は、基端部２９ｂが固定部材２８に固定され、先端側部分２９ｃが上下動可能であり、この先端側部分２９ｃに設けられた押圧部１７によってダイヤフラム７を押圧できるように構成されているので、押圧部材本体２９ａのサイズを小さくでき、その設置面積を小さくできる。
また、可動押圧部材２９の先端部において上下動幅が最も大きくなるため、先端部の係止部１８を係止用部材２１に係止させることによって、流路５の開度を一定に維持することができる。従って、容易かつ正確な流量調節が可能となる。
また、押圧部１７を、係止部１８（先端部）よりも押圧部材本体２９ａの基端側に設けることによって、係止部１８の上下動幅を押圧部１７の上下動幅に比べ大きくすることができる。従って、押圧部１７の高さ位置調整の精度を高めることができる。
【００４８】
＜実施例５＞
図６〜図１０は、本発明のマイクロ流体素子の第五の実施例を示すものである。図６は２つのダイヤフラムのうち一方を変位させた状態を示し、図７は２つのダイヤフラムをいずれも変位させていない状態を示し、図８は２つのダイヤフラムのうち他方を変位させた状態を示す。
ここに示すマイクロ流体素子は、素子本体３１と押圧機構３２とを備えている。
素子本体３１には、主流路（図示略）から分岐した第一および第二の流路５ａ、５ｂが形成され、これら流路５ａ、５ｂには、それぞれ第一および第二の広幅部６ａ、６ｂが設けられている。流路５ａ、５ｂの端部には、それぞれ第一および第二流出口（図示略）が形成されている。
広幅部６ａ、６ｂに対向する部分の第三樹脂層４は、それぞれ第一および第二のダイヤフラム７ａ、７ｂとなっている。
ダイヤフラム７ａ、７ｂには、それぞれ第一および第二の鋼球２５ａ、２５ｂ（仲介部材または凸状部材）が固定されている。
【００４９】
押圧機構３２は、素子本体３１に固定された固定部材３３と、固定部材３３に設けられた支持部材３４に支持されて回動（揺動）する可動押圧部材３５と、可動押圧部材３５を回動させる移動機構３６とを備えている。
固定部材３３は、筒状の基部３７と、基部３７の底板部３７ａ上に形成された支持部材３４と、基部３７に取り付けられた連絡板３８とを備えている。
基部３７は、鉄板からなる底板部３７ａ（厚さ０．２ｍｍ）上に、断面コ字形の本体３７ｂ（フェノール樹脂製）を有する角筒状に形成されている。
支持部材３４は、断面コ字形に形成され、一端部３４ａおよび他端部３４ｂにおいて可動押圧部材３５を支持するようになっている。
底板部３７ａの一端側および他端側には、それぞれストッパ３９ａ、３９ｂが形成されている。
【００５０】
可動押圧部材３５は、中央部４０ａから互いに異なる方向に延びる第一および第二アーム４０ｂ、４０ｃを備えている。
第一アーム４０ｂと第二アーム４０ｃとは、互いに交差する方向に形成されている。このため、可動押圧部材３５は、第一および第二アーム４０ｂ、４０ｃのうち一方がほぼ水平であるときに、他方が斜め上方に延びるように形成されている。
第一アーム４０ｂは、厚さ０．２ｍｍの鉄板からなる第一アーム本体４０ｅと第一押圧部２３ａ（直径２ｍｍ、高さ２ｍｍ）とを備えている。第二アーム４０ｃは、厚さ０．２ｍｍの鉄板からなる第二アーム本体４０ｆと第二押圧部２３ｂ（直径２ｍｍ、高さ２ｍｍ）とを備えている。
可動押圧部材３５は、中央部４０ａを中心として回動（揺動）可能とされ、反時計回り方向に回動したときに第一アーム４０ｂが第一ストッパ３９ａに当接し、時計回り方向に回動したときに第二アーム４０ｃが第二ストッパ３９ｂに当接するようになっている。
押圧部２３ａ、２３ｂは、それぞれ第一および第二アーム本体４０ｅ、４０ｆの下面に形成され、それぞれ底板部３７ａに形成された孔部３７ｅ、３７ｆを通して上下動できるようになっている。
【００５１】
移動機構３６は、操作部４１と、操作部４１からほぼ垂直に延びる作動アーム４２と、姿勢維持機構４３とを備えている。
操作部４１は、連絡板３８に設けられた回転軸３８ａを中心として回動するように構成されている。
作動アーム４２は、固定部材３３の上板部３７ｃに設けられた孔部３７ｄに挿通している。
姿勢維持機構４３は、作動アーム４２の先端に設けられた孔部４４内に設けられたコイルバネ４５（付勢部材）と、コイルバネ４５によって作動アーム先端方向に付勢された鋼球４６（凸状部材）とを備えている。
【００５２】
〔流路の開閉試験〕
図６に示すように、操作部４１を、上板部３７ｃに当接するまで時計回り方向に回動させた状態では、作動アーム４２は左方（反時計回り方向）に傾き、コイルバネ４５によって付勢された鋼球４６が第一アーム４０ｂを下方に押圧する。
これによって、可動押圧部材３５は、支持部材３４の一端部３４ａを支点として左方に傾き、第一アーム４０ｂが第一ストッパ３９ａに当接する状態となる。
このため、第一押圧部２３ａは第一鋼球２５ａを下方に押圧し、第一ダイヤフラム７ａが下方に変位し、第一流路５ａが塞がれ、着色水の流れが遮断された。
第一アーム４０ｂによって第一ダイヤフラム７ａが押圧されたときには、第二アーム４０ｃは斜め上方に延びる状態となるため、第二ダイヤフラム７ｂは押圧されない。
従って、着色水は、主流路（図示略）から第二流路５ｂに流れ、第二流出口から流出した。
この状態では、コイルバネ４５によって付勢された鋼球４６によって第一アーム４０ｂが下方に押圧される。操作部４１の回動により鋼球４６が右方に移動すると、作動アーム４２の先端と第一アーム４０ｂとの距離が短くなるため、コイルバネ４５に加えられる圧縮力が大きくなる。このため、コイルバネ４５の反発力により、可動押圧部材３５の姿勢が安定に維持される。
【００５３】
図７に示すように、操作部４１を反時計回り方向に回動させると、作動アーム４２はほぼ鉛直方向に向き、鋼球４６は、可動押圧部材３５の中央部４０ａに設けられた凹部４０ｄに達した。
これによって、可動押圧部材３５は支持部材３４の一端部３４ａおよび他端部３４ｂに支持された状態となり、水平面に対する第一および第二アーム４０ｂ、４０ｃの傾きはほぼ同じとなった。
このため、第一および第二押圧部２３ａ、２３ｂは、いずれも鋼球２５ａ、２５ｂを押圧していない状態となり、ダイヤフラム７ａ、７ｂは変位せず、着色水は主流路（図示略）から流路５ａ、５ｂの双方に流れ、第一および第二流出口から流出した。
この状態では、コイルバネ４５によって付勢された鋼球４６によって中央部４０ａが下方に押圧されるため、可動押圧部材３５が支持部材３４の一端部３４ａおよび他端部３４ｂで支持されることから、可動押圧部材３５の姿勢が安定に維持された。
【００５４】
図８に示すように、操作部４１を上板部３７ｃに当接するまで反時計回り方向に回動させると、作動アーム４２は反時計回り方向に傾き、鋼球４６が第二アーム４０ｃを下方に押圧する。これによって、可動押圧部材３５は、支持部材３４の他端部３４ｂを支点として右方に傾き、第二アーム４０ｃが第二ストッパ３９ｂに当接する状態となる。
このため、第二押圧部２３ｂが第二鋼球２５ｂを下方に押圧し、第二ダイヤフラム７ｂが下方に変位し、第二流路５ｂが塞がれ、着色水の流れが遮断された。
第二アーム４０ｃによって第二ダイヤフラム７ｂが押圧されたときには、第一アーム４０ｂは斜め上方に延びる状態となるため、第一ダイヤフラム７ａは押圧されない。
従って、着色水は、主流路（図示略）から第一流路５ａに流れ、第一流出口から流出した。
この状態では、操作部４１の回動により鋼球４６が左方に移動するとコイルバネ４５に加えられる圧縮力が大きくなるため、コイルバネ４５の反発力により、可動押圧部材３５の姿勢が安定に維持された。
図６に示すように、操作部４１を再び時計回り方向に回動させると、第一ダイヤフラム７ａが下方に変位し、第一流路５ａが塞がれ、着色水は第二流路５ｂに流れ、第二流出口から流出した。
【００５５】
本実施例では、可動押圧部材３５が第一および第二アーム４０ｂ、４０ｃを備え、これらがそれぞれ異なるダイヤフラム７ａ、７ｂを押圧することができるので、２つのダイヤフラム７ａ、７ｂを独立的に変位させることができる。
従って、複数の流路を独立的に流量調節することができる。
【００５６】
本実施例では、可動押圧部材３５が、第一および第二アーム４０ｂ、４０ｃを備えている。これらアーム４０ｂ、４０ｃは、第一アーム４０ｂによって第一ダイヤフラム７ａが押圧されるときに、第二アーム４０ｃにより第二ダイヤフラム７ｂが押圧されないようになっている。さらに、これらアーム４０ｂ、４０ｃは、第二アーム４０ｃによって第二ダイヤフラム７ｂが押圧されるときに、第一アーム４０ｂにより第一ダイヤフラム７ａが押圧されないようになっている。
このため、一回の操作で、２つの流路５ａ、５ｂのうち一方を開き、他方を閉じることができる。
従って、流路５ａ、５ｂのうち一方を閉じる操作と他方を開く操作を別々に行う必要がなく、流路５ａ、５ｂの切り替えを容易かつ短時間で行うことができる。
【００５７】
また、本実施例では、コイルバネ４５と鋼球４６とを有する姿勢維持機構４３を備えているので、可動押圧部材３５を、反時計回り方向に傾いた状態（図６）、傾斜していない状態（図７）、または時計回り方向に傾いた状態（図８）としたときに、その姿勢を安定に維持することができる。
従って、第一および第二流路５ａ、５ｂにおける流量調節を精度よく行うことができる。
また、操作部４１を回動させる簡単な操作によって、第一および第二流路５ａ、５ｂにおける流量調節を行うことができる。
【００５８】
本発明では、付勢部材として、コイルバネ４５の代わりに、例えば安全ピン状の棒バネや板バネを用いた移動機構も可能である。
例えば、付勢部材が圧縮されて装着されており、ダイヤフラム７ａが押圧される第一の安定位置（図６）から、ダイヤフラム７ａ、７ｂが押圧されない第二の安定位置（図７）に移行する際に、付勢部材がより大きく圧縮されるような機構、すなわち複数の位置でそれぞれエネルギー的に安定となる機構も可能である。
【００５９】
＜実施例６＞
図１１ないし図１３は、本発明のマイクロ流体素子の第六の実施例を示すものである。図１１は２つのダイヤフラムのうち一方を変位させた状態を示し、図１２は２つのダイヤフラムのうち他方を変位させた状態を示す。
ここに示すマイクロ流体素子は、流路５ａ、５ｂとダイヤフラム７ａ、７ｂとを有する素子本体３１と、ダイヤフラム７を押圧して変位させる押圧機構５２を備えている。
【００６０】
押圧機構５２は、素子本体３１に固定された固定部材５３と、固定部材５３に対し回動（揺動）可能な可動押圧部材５５と、可動押圧部材５５を回動させる移動機構５６とを備えている。
可動押圧部材５５は、中央部６０ａから互いに異なる方向に延びる第一および第二アーム６０ｂ、６０ｃを備えている。
第一アーム６０ｂと第二アーム６０ｃとは、互いに交差する方向に形成されている。このため、可動押圧部材５５は、第一および第二アーム６０ｂ、６０ｃのうち一方がほぼ水平であるときに、他方が斜め上方に延びるように形成されている。
可動押圧部材５５は、中央部６０ａに設けられた中央凸部６０ｄを支点として回動（揺動）可能とされている。
第一アーム６０ｂは、第一アーム本体６０ｅと第一押圧部２３ａとを備え、第二アーム６０ｃは、第二アーム本体６０ｆと第二押圧部２３ｂとを備えている。
【００６１】
移動機構５６は、操作部６１と、操作部６１からほぼ垂直に延びる作動アーム部６２と、コイルバネ６５（付勢部材）とを備えている。
操作部６１は、固定部材５３に設けられた回転軸５３ａを中心として回動するように構成されている。
コイルバネ６５の上端は、作動アーム部６２に設けられた孔部６４の天面に達し、その下端は、可動押圧部材５５の中央部６０ａに取り付けられた略半球状のバネ受け部６６（付勢部材受け部）に達している。コイルバネ６５は常時圧縮された状態とされる。
【００６２】
〔流路の開閉試験〕
図１１に示すように、操作部６１を、固定部材５３の段部５３ｂに当接するまで時計回り方向に回動させた状態では、作動アーム部６２は左方に傾き、コイルバネ６５の上部が左方に傾き、コイルバネ６５の弾性によりバネ受け部６６に加えられる押圧力が、コイルバネ６５の左部で大きくなる。
これによって、可動押圧部材５５は、中央凸部６０ｄを中心として、第二アーム６０ｃが固定部材５３の底板部５３ｃに当接するまで左方（反時計回り方向）に傾いた。このため、第一押圧部２３ａが第一鋼球２５ａを下方に押圧し、第一ダイヤフラム７ａが下方に変位し、第一流路５ａが塞がれ、着色水の流れが遮断された。
従って、着色水は、主流路（図示略）から第二流路５ｂに流れ、第二流出口から流出した。
【００６３】
図１２に示すように、操作部６１を、固定部材５３の段部５３ｂに当接するまで反時計回り方向に回動させた状態では、作動アーム部６２は右方に傾き、コイルバネ６５の上部が右方に傾き、コイルバネ６５の弾性によりバネ受け部６６に加えられる押圧力が、コイルバネ６５の右部で大きくなる。
これによって、可動押圧部材５５は、第一アーム６０ｂが固定部材５３の底板部５３ａに当接するまで右方（時計回り方向）に傾いた。このため、第二押圧部２３ｂが第二鋼球２５ｂを下方に押圧し、第二ダイヤフラム７ｂが下方に変位し、第二流路５ｂが塞がれ、着色水の流れが遮断された。
従って、着色水は、主流路（図示略）から第一流路５ａに流れ、第一流出口から流出した。
図１１に示すように、操作部６１を再び時計回り方向に回動させると、第一ダイヤフラム７ａが下方に変位し、第一流路５ａが塞がれ、着色水は第二流路５ｂに流れた。
図１１および図１２に示す状態では、操作部６１の回動により作動アーム部６２の傾きが小さくなるとコイルバネ６５に加えられる圧縮力が大きくなるため、コイルバネ６５の反発力により、可動押圧部材５５の姿勢が安定に維持された。
【００６４】
本実施例では、実施例５と同様に、第一および第二流路５ａ、５ｂにおいて、独立的に流量調節することができる。また、流路５ａ、５ｂの切り替えを容易に行うことができる。
本実施例では、移動機構５６がコイルバネ６５を有するので、可動押圧部材５５を、反時計回り方向に傾いた状態（図１１）、または時計回り方向に傾いた状態（図１２）としたときに、その姿勢を安定に維持することができる。
従って、操作部６１を回動させる簡単な操作によって、第一および第二流路５ａ、５ｂの流量調節を精度よく行うことができる。
また、押圧機構５２の構造を簡略化することができる。
【００６５】
＜実施例７＞
図１４は、本発明のマイクロ流体素子の第七の実施例を示すものである。図１４において（ａ）はダイヤフラムを変位させていない状態を示し、（ｂ）はダイヤフラムを変位させた状態を示す。
ここに示すマイクロ流体素子は、流路５とダイヤフラム７とを有する素子本体１１と、ダイヤフラム７を押圧して変位させる押圧機構７２とを備えている。
押圧機構７２は、素子本体１１に固定された固定部材７３と、固定部材７３に固定された可動押圧部材７４と、可動押圧部材７４を変位させる移動機構７５とを備えている。
【００６６】
固定部材７３は、箱状の基部７７と、基部７７内に設けられた中間板７８とを備えている。
可動押圧部材７４は、長板状の押圧部材本体８０（長さ１０ｍｍ、厚さ０．２ｍｍ）と、押圧部材本体８０の下面側に設けられた押圧部２３（直径２ｍｍ、高さ２ｍｍ）とを備えている。
押圧部材本体８０は可撓性を有し、弾性的に曲げ変形可能となっている。
押圧部材本体８０は、基部７７の底板部７７ａの上面に固定された基端部８０ａと、基端部８０ａから先端方向に向けて斜め上方に延びる中間部８０ｂと、先端部８０ｃとを有する。押圧部２３は先端部８０ｃの下面側に設けられている。
可動押圧部材７４は、押圧部材本体８０を曲げ変形させることによって、鋼球２５がダイヤフラム７を押圧しない通常位置（図１４（ａ））から、鋼球２５がダイヤフラム７を押圧する位置（図１４（ｂ））まで変位するようになっている。
【００６７】
移動機構７５は、操作部８１と、略球状の回動中心部８２と、回動中心部８２から下方に延びる作動アーム８３とを備えており、回動中心部８２を中心として回動可能とされている。
操作部８１は棒状に形成され、上板部７７ｂに形成された孔部７７ｃに挿通している。
回動中心部８２は、上板部７７ｂに形成された受け部７７ｄに回動可能に取り付けられている。
作動アーム８３は、可動押圧部材７４に沿って中間板７８に形成された長穴状の孔部７８ａに挿通している。
【００６８】
〔流路の開閉試験〕
図１４（ａ）に示すように、操作部８１を、作動アーム８３が孔部７８ａの周縁部に当接するまで反時計回り方向に回動させた状態では、押圧部材本体８０は未変形であり、押圧部２３は鋼球２５を押圧していない。この状態では、ダイヤフラム７は変位しておらず、流路５内の流体は抵抗なく流れた。
この状態では、操作部８１を時計回り方向に回動させようとすると、押圧部材本体８０が作動アーム８３によって下方に押圧されるため、押圧部材本体８０の反発力により可動押圧部材７４の姿勢が安定に維持された。
【００６９】
図１４（ｂ）に示すように、操作部８１を、作動アーム８３が孔部７８ａの周縁部に当接するまで時計回り方向に回動させた状態では、作動アーム８３が押圧部材本体８０の先端方向に移動し、中間部８０ｂを下方に押圧する。
これによって、押圧部材本体８０は、中間部８０ｂにおいて下方に曲げ変形し、押圧部２３は下方に移動する。
このため、押圧部２３が鋼球２５を下方に押圧し、ダイヤフラム７が下方に変位し、流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された。
【００７０】
この状態では、作動アーム８３が中間部８０ｂの湾曲部分８０ｄより先端側に位置するため、操作部８１を反時計回り方向に回動させようとすると、押圧部材本体８０が作動アーム８３によってさらに下方に押圧されることになる。このため、押圧部材本体８０の反発力により可動押圧部材７４の姿勢が安定に維持された。
図１４（ａ）に示すように、操作部８１を再び反時計回り方向に回動させると、押圧部材本体８０が弾性的に未変形状態に復元し、着色水の流れが回復した。
【００７１】
本実施例では、押圧部材本体８０の曲げ変形により押圧部２３がダイヤフラム７を押圧するように構成されているので、簡単な構成の押圧機構７２によって、ダイヤフラム７が押圧される位置を精度よく定めることができる。
このため、ダイヤフラム押圧位置決めの精度を低下させることなく、マイクロ流体素子の構造を簡略化することができる。従って、マイクロ流体素子の小型化および低コスト化が可能となる。
また、曲げ変形した状態の押圧部材本体８０への押圧を停止することによって、可動押圧部材７４は、押圧部材本体８０の弾性的な復元力により通常位置に戻るため、ダイヤフラム７を直ちに未変位状態に戻すことができる。従って、流量設定値を迅速に変更することが可能である。
【００７２】
＜実施例８＞
図１５および図１６は、本発明のマイクロ流体素子の第八の実施例を示すものである。図１５において（ａ）はダイヤフラムを変位させていない状態を示し、（ｂ）はダイヤフラムを変位させた状態を示す。
ここに示すマイクロ流体素子は、素子本体１１と、押圧機構９２とを備えている。
押圧機構９２は、素子本体１１に固定された筒状の固定部材９３と、固定部材９３に設けられた支持部材９４に支持されて回動（揺動）する可動押圧部材９５と、可動押圧部材９５を回動させる移動機構９６とを備えている。
支持部材９４は、固定部材９３の底板部９３ａ上に形成されている。
【００７３】
可動押圧部材９５は、押圧部材本体９７（長さ１５ｍｍ、厚さ０．２ｍｍ）と、押圧部材本体９７の下面側に設けられた押圧部２３（直径２ｍｍ、高さ２ｍｍ）とを備えている。
押圧部材本体９７は、長板状の主部９８と、主部９８の長さ方向中央に設けられた翼状部９９とを備えている。翼状部９９は主部９８の両側に設けられており、支持部材９４の受け部９４ａに支持されるようになっている。押圧部材本体９７は、翼状部９９を支点として回動するようになっている。
以下、翼状部９９が形成された中央部よりも基端側（図中右方）の押圧部材本体９７を基端側部分９７ａといい、中央部よりも先端側（図中左方）の押圧部材本体９７を先端側部分９７ｂという。
翼状部９９は、主部９８から側方に突出した板状の基部９９ａと、基部９９ａからさらに側方に突出した湾曲板状の先端部９９ｂを備えている。先端部９９ｂは下方に湾出し、下面側（外周面側）が支持部材９４に支持されている。
押圧部２３は、押圧部材本体９７の先端部の下面側に設けられている。
【００７４】
移動機構９６は、操作部１００と、移動機構本体１０１と、作動部１０２とを備えており、可動押圧部材９５の延在方向（図中左右方向）に平行移動可能となっている。
操作部１００は、固定部材９３の上板部９３ｂに形成された孔部９３ｃに挿通している。移動機構本体１０１は、固定部材９３内に設けられ、支持部９３ｄによって支持されている。作動部１０２は、移動機構本体１０１の下面から下方に突出して形成されている。
【００７５】
〔流路の開閉試験〕
図１５（ａ）に示すように、移動機構９６を右方に移動させた状態では、押圧部材本体９７の基端側部分９７ａが作動部１０２によって下方に押圧され、押圧部材本体９７は翼状部９９を中心として右方に傾いた。この状態では、ダイヤフラム７は変位しておらず、流路５内の流体は抵抗なく流れた。
図１５（ｂ）に示すように、移動機構９６を左方に移動させた状態では、押圧部材本体９７の先端側部分９７ｂが作動部１０２によって下方に押圧され、押圧部材本体９７は翼状部９９を中心として左方に傾いた。
このため、押圧部２３が鋼球２５を下方に押圧し、ダイヤフラム７が下方に変位し、流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された。
図１５（ａ）に示すように、移動機構９６を再び右方に移動させると、押圧部材本体９７が右方に傾いた状態となり、着色水の流れが回復した。
【００７６】
作動部１０２が押圧部材本体９７の中央部付近にあるときには、作動部１０２による押圧により翼状部９９の基部９９ａがわずかに下方に弾性的に撓んだ状態となる。
よって、図１５（ａ）および図１５（ｂ）に示す状態（作動部１０２が基端側部分９７ａまたは先端側部分９７ｂにある状態）においては、移動機構９６を押圧部材本体９７の中央部方向に移動させようとすると、翼状部９９の曲げ変形量が大きくなるため、その弾性により、押圧部材本体９７の姿勢が安定に維持される。
【００７７】
本実施例では、左右に平行移動可能な移動機構９６によって可動押圧部材９５を回動させることができるようにされているので、可動押圧部材９５を回動させる操作が容易である。
従って、流量調節を容易な操作で行うことができる。
【００７８】
＜実施例９＞
図１７〜図２０は、本発明のマイクロ流体素子の第九の実施例を示すものである。図１７はダイヤフラムを変位させていない状態を示し、図１８はダイヤフラムを変位させた状態を示す。
ここに示すマイクロ流体素子は、素子本体１１と押圧機構１１２とを備えている。
押圧機構１１２は、素子本体１１に固定された固定部材１１３と、固定部材１１３に設けられた支持部材１１４に支持されて回動（揺動）する可動押圧部材１１５と、可動押圧部材１１５を回動させる移動機構１１６とを備えている。
固定部材１１３は、箱状の基部１１７と、基部１１７の底板部１１７ａ上に形成された支持部材１１４とを備えている。
支持部材１１４は、断面コ字形に形成され、受け部１１４ａにおいて可動押圧部材１１５を支持するようになっている。
【００７９】
可動押圧部材１１５は、押圧部材本体１２０（長さ１５ｍｍ、厚さ０．２ｍｍ）と、押圧部材本体１２０の下面側に設けられた押圧部２３（直径２ｍｍ、高さ２ｍｍ）とを備えている。
押圧部材本体１２０は、長板状の主部１２１と、主部１２１の長さ方向中央に設けられた翼状部１２２とを備えている。翼状部１２２は主部１２１の両側に設けられており、支持部材１１４の受け部１１４ａに支持されるようになっている。押圧部材本体１２０は、翼状部１２２を支点として回動するようになっている。
以下、翼状部１２２が形成された中央部よりも基端側（図中右方）の押圧部材本体１２０を基端側部分１２０ａといい、中央部よりも先端側（図中左方）の押圧部材本体１２０を先端側部分１２０ｂという。
押圧部２３は、押圧部材本体１２０の先端部の下面側に設けられている。
【００８０】
移動機構１１６は、操作部１２３と、操作部１２３によって回動する回動体１２４と、可動押圧部材１１５を回動させる作動アーム１２５とを備えている。
操作部１２３は、昇降体１２６と、コイルバネ１２７（付勢部材）と、操作ロッド１２８とを備えている。
操作ロッド１２８は、昇降体１２６に形成された孔部１２６ａ内に設けられた円錐台状のヘッド部１２９と、ヘッド部１２９から下方に延びるロッド部１３０とを備えている。
コイルバネ１２７は、上端部から下端部に向けて徐々に径が大きくなるように形成され、上端部が操作ロッド１２８のヘッド部１２９の下面側に達し、下端部が基部１１７の上板部１１７ｂに達している。
回動体１２４は、略５角柱状に形成された回動体本体１３１と回動軸１３２とを備え、回動軸１３２を中心として回動できるようになっている。
回動体本体１３１の上部には、逆Ｖ字形に突出した切替凸部１３３が形成されている。切替凸部１３３の一方の面（図中左側の面）である第一面１３４と、他方の面（図中右側の面）である第二面１３５には、それぞれ係止凹部１３４ａ、１３５ａが形成されている。
作動アーム１２５は、回動体本体１３１の下部に形成された孔部１３１ａ内に設けられたコイルバネ１３６（付勢部材）によって下方に付勢されている。
【００８１】
〔流路の開閉試験〕
図１７に示すように、回動体１２４が反時計回り方向に回動した状態では、押圧部材本体１２０の基端側部分１２０ａが作動アーム１２５によって下方に押圧され、押圧部材本体１２０は翼状部１２２を支点として右方（時計回り方向）に傾いている。このとき、操作ロッド１２８の先端は第二面１３５に位置する。この状態では、ダイヤフラム７は変位しておらず、流路５内の流体は抵抗なく流れた。
【００８２】
コイルバネ１２７は下方に向けて徐々に径が大きくなるようにされているため、操作ロッド１２８は、ヘッド部１２９を支点として先端が左右に移動する方向に変位可能である。
このため、操作部１２３の昇降体１２６を下方に押圧すると、コイルバネ１２７の弾性力に抗して操作ロッド１２８が下方に移動し、ロッド部１３０が傾きつつ、その先端が切替凸部１３３の第二面１３５に沿って下降し、係止凹部１３５ａに達した。
昇降体１２６をさらに押圧すると、ロッド部１３０先端は係止凹部１３５ａに係止し、ロッド部１３０が第二面１３５を下方に押圧し、回動体１２４は時計回り方向に回動した。
これによって、押圧部材本体１２０の先端側部分１２０ｂが作動アーム１２５によって下方に押圧され、押圧部材本体１２０は翼状部１２２を中心として左方（反時計回り方向）に傾いた。
このため、押圧部２３が鋼球２５を下方に押圧し、ダイヤフラム７が下方に変位し、流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された。
図１８に示すように、昇降体１２６への押圧を停止すると、コイルバネ１２７の反発力により昇降体１２６は上方移動した。このとき、操作ロッド１２８の先端は第一面１３４に位置する。
【００８３】
昇降体１２６を再度下方に押圧すると、ロッド部１３０先端が切替凸部１３３の第一面１３４に沿って下降し、係止凹部１３４ａに達し、ロッド部１３０が第一面１３４を下方に押圧し、回動体１２４は反時計回り方向に回動した。
図１７に示すように、押圧部材本体１２０は右方に傾いた状態となり、着色水の流れが回復した。
図１７および図１８に示す状態では、回動体１２４を回動させようとするとコイルバネ１３６に圧縮方向の力が加えられるため、可動押圧部材１１５の姿勢は安定に維持される。
【００８４】
本実施例では、操作部１２３を操作することによって可動押圧部材１１５を回動させることができるようにされているので、可動押圧部材１１５を回動させる操作が容易である。従って、流量調節を容易な操作で行うことができる。
また、可動押圧部材１１５の姿勢を安定に維持することができる。
【００８５】
＜実施例１０＞
図２１および図２２は、本発明のマイクロ流体素子の第十の実施例を示すものである。図２１において（ａ）はダイヤフラムを変位させていない状態を示し、（ｂ）はダイヤフラムを変位させた状態を示す。
ここに示すマイクロ流体素子は、素子本体１１と押圧機構１４２とを備えている。
押圧機構１４２は、素子本体１１に固定された固定部材１４３と、固定部材１４３に設けられた支軸１４４を中心として回動する可動押圧部材１４５と、可動押圧部材１４５を回動させる移動機構１４６とを備えている。
可動押圧部材１４５は、板状の押圧部材本体１４７と、押圧部材本体１４７の基端部に形成された円筒形部分１４８と、押圧部材本体１４７の下面に形成された押圧部１７とを備えている。可動押圧部材１４５は、円筒形部分１４８に設けられた支軸１４４を中心として回動するようになっている。
可動押圧部材１４５は、付勢部材（図示略）によって、上方（時計回り方向）に向けて付勢されていることが望ましい。
【００８６】
移動機構１４６は、棒状の操作部１５１と、略円板状のカム１５２とを備えている。
操作部１５１は、固定部材１４３に形成された孔部１４３ａに挿通している。
カム１５２は、中心１５２ａからやや離れた位置に回転軸１５３が設けられており、この回転軸１５３を中心として回動するようになっている。カム１５２の周縁部には、平坦部１５４が形成されている。
平坦部１５４は、回転軸１５３からの距離が比較的大きくなる位置に形成されている。すなわち、平坦部１５４と回転軸１５３との間の距離は、平坦部１５４と中心１５２ａとの間の距離よりも長くなっている。
【００８７】
〔流路の開閉試験〕
図２１（ａ）に示すように、操作部１５１を、孔部１４３ａの周縁部に当接するまで時計回り方向に回動させた状態では、カム１５２の最下部と回転軸１５３との距離が比較的短いため、可動押圧部材１４５は下方に押圧されていない。この状態では、ダイヤフラム７は変位しておらず、流路５内の流体は抵抗なく流れた。
図２１（ｂ）に示すように、操作部１５１を、孔部１４３ａの周縁部に当接するまで反時計回り方向に回動させた状態では、カム１５２の最下部と回転軸１５３との距離が比較的長いため、可動押圧部材１４５がカム１５２によって下方に押圧された。これによって、可動押圧部材１４５が反時計回り方向に回動し、押圧部１７がダイヤフラム７を押圧し、ダイヤフラム７が下方に変位し、流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された。この際、平坦部１５４を押圧部材本体１４７にほぼ平行にすることによって、カム１５２が位置決めされ、可動押圧部材１４５の姿勢が安定に維持された。
図２１（ａ）に示すように、操作部１５１を再び時計回り方向に回動させると、可動押圧部材１４５が時計回り方向に回動し、ダイヤフラム７が未変位状態となり、着色水の流れが回復した。
【００８８】
本実施例では、操作部１５１を操作することによって可動押圧部材１４５を回動させることができるので、可動押圧部材１４５を回動させる操作が容易である。従って、流量調節を容易な操作で行うことができる。
また、カム１５２が平坦部１５４を有するので、ダイヤフラム７が押圧された状態でカム１５２を位置決めし、可動押圧部材１４５の姿勢を安定に維持することができる。
【００８９】
＜実施例１１＞
図２３は、本発明のマイクロ流体素子の第十一の実施例を示すものである。図２３において（ａ）はダイヤフラムを変位させていない状態を示し、（ｂ）はダイヤフラムを変位させた状態を示す。
ここに示すマイクロ流体素子は、素子本体１１と押圧機構１６２とを備えている。
押圧機構１６２は、素子本体１１に固定された固定部材１６３と、固定部材１６３に固定された可動押圧部材１６４と、可動押圧部材１６４が係止する係止用部材１６５（ロック機構）とを備えている。
可動押圧部材１６４は、板状の押圧部材本体１６６と、押圧部材本体１６６の下面に形成された押圧部１７とを備えている。
押圧部材本体１６６は、固定部材１６３から素子本体１１に平行に延びる基部１６７と、基部１６７の先端から上方に延びる延出部１６８とを備えた略Ｌ字形に形成されている。
押圧部１７は、基部１６７の先端側部分１６７ｂの下面に形成されている。
基部１６７の基端部１６７ａは固定部材１６３に固定されている。
押圧部材本体１６６は可撓性を有し、弾性的に曲げ変形可能となっている。
このため、可動押圧部材１６４は、基端側（基端部１６７ａ）が固定部材１６３に固定され、先端側（先端側部分１６７ｂ）が、押圧部材本体１６６の曲げ変形により上下動（素子本体１１に対し接近および離間する方向への変位）可能となっている。
押圧部１７が先端側部分１６７ｂに設けられているため、可動押圧部材１６４は、上下動可能な先端側においてダイヤフラム７を押圧できるようになっている。
延出部１６８の前面側（係止用部材１６５側）には、係止用部材１６５の係止部１６５ａに係止する段部１６８ａが形成されている。
可動押圧部材１６４は、押圧部材本体１６６が未変形状態にあるときに、押圧部１７がダイヤフラム７を押圧し、かつ押圧部材本体１６６を上方に曲げ変形させたときにダイヤフラム７を押圧しないように構成されている。
【００９０】
〔流路の開閉試験〕
図２３（ａ）に示すように、延出部１６８を上方に移動させることによって、押圧部材本体１６６の基部１６７を上方に弾性的に曲げ変形させ、段部１６８ａを、係止用部材１６５の係止部１６５ａに係止させた状態では、押圧部１７はダイヤフラム７を押圧せず、流路５内の流体は抵抗なく流れた。
図２３（ｂ）に示すように、延出部１６８を係止用部材１６５から離れる方向に移動させると、段部１６８ａが係止部１６５ａから離れ、押圧部材本体１６６が未変形状態となる。
この状態では、押圧部材本体１６６の弾性的な復元力により押圧部１７が下降してダイヤフラム７を下方に押圧し、ダイヤフラム７の変位により流路５が塞がれ、着色水の流れが遮断された。
図２３（ａ）に示すように、延出部１６８を上方に移動させ、再び押圧部材本体１６６を曲げ変形させると、着色水の流れが回復した。
【００９１】
本実施例のマイクロ流体素子では、可動押圧部材１６４が未変形状態でダイヤフラム７を押圧するように構成されているので、押圧部材本体１６６の弾性的な復元力によりダイヤフラム７を確実に変位させることができる。
従って、流量調節を精度よく行うことができる。
【００９２】
＜実施例１２＞
図２４は、本発明のマイクロ流体素子の第十二の実施例を示すものである。
ここに示すマイクロ流体素子は、素子本体１８１と押圧機構１９２とを備えている。
素子本体１８１は、素子本体１１と同様に、基材１上に樹脂層２、３、４が積層されて構成され、樹脂層３には、広幅部６を有する流路５が形成されている。広幅部６に相当する部分の樹脂層４はダイヤフラム７となっており、該ダイヤフラム７の上面に鋼球２５ａ（仲介部材）が接着されている。
押圧機構１９２は、固定部材１９３と、固定部材１９３に対し回動（揺動）する可動押圧部材１９５と、可動押圧部材１９５を回動させる移動機構３６とを備えている。
固定部材１９３は、基部１９７と、基部１９７の底板部１９７ａ上に形成された支持部材３４と、基部１９７に取り付けられた連絡板３８とを備えている。
基部１９７は、底板部１９７ａ（板状部）上に、断面コ字形の本体１９７ｂを備えている。底板部１９７ａは、平坦な板状とされ、長さおよび幅が素子本体１８１とほぼ同じとされている。
底板部１９７ａには、第一押圧部２３ａに相当する位置に孔部１９７ｃが形成されており、孔部１９７ｃを通して第一押圧部２３ａが鋼球２５ａを介してダイヤフラム７を押圧できるようになっている。
底板部１９７ａには、ルアーフィッティング１０ａ、１０ｂに相当する位置に、切欠１９８が設けられている。
可動押圧部材１９５は、第二押圧部２３ｂを備えていないこと以外は、前述の可動押圧部材３５と同様の構成である。
押圧機構１９２は、底板部１９７ａの下面を樹脂層４の上面に密着させることによって、素子本体１８１に装着できるようになっている。
押圧機構１９２は、素子本体１８１に対して着脱自在とされている。
【００９３】
〔流路の開閉試験〕
素子本体１８１を、位置決めピン（図示略）を用いてステージ（図示略）上に固定し、押圧機構１９２を、孔部１９７ｃとダイヤフラム７の位置が一致するように素子本体１８１上に重ね合わせた。
実施例５と同様にして、流路の開閉試験を行った。押圧機構１９２によりダイヤフラム７を変位させると着色水の流通が遮断され、押圧機構１９２による押圧を停止しダイヤフラム７を未変位状態にすると着色水の流れが回復した。
【００９４】
本実施例では、押圧機構１９２が素子本体１８１に対し着脱自在であるので、比較的高価な部品である押圧機構１９２を、使用済みのマイクロ流体素子から取り外して再利用することができる。従って、マイクロ流体素子の製造コストを抑えることができる。
【００９５】
＜実施例１３＞
図２５および図２６は、本発明のマイクロ流体素子に使用できる素子本体の他の例を示すものである。
ここに示す素子本体１７１は、基材１上に、第一樹脂層１７２、第二樹脂層１７３、第三樹脂層１７４、および第四樹脂層１７５が順次積層されて構成されている。
第一樹脂層１７２は、厚さ９８μｍのエネルギー線硬化性組成物［ｅ１］硬化物で形成されており、流路１７６となる直線状の欠損部（幅１５０μｍ）を有する。
第三樹脂層１７４は、厚さ９８μｍのエネルギー線硬化性組成物［ｅ１］硬化物で形成されており、流路１７７となる直線状の欠損部（幅１５０μｍ）を有する。この欠損部の一端には直径６００μｍの円形の広幅部６が形成されている。
第二樹脂層１７３は、厚さ９８μｍのエネルギー線硬化性組成物［ｅ１］硬化物で形成されており、前記流路１７６と流路１７７を連通させる連絡流路１７８となる直径２００μｍの円形の貫通孔を有する。
第四樹脂層１７５は、厚さ９８μｍのエネルギー線硬化性組成物［ｅ２］硬化物で形成されており、第三樹脂層１７４の広幅部６に対応する部分がダイヤフラム７となる。
流路１７６の端部に相当する位置の樹脂層１７３、１７４、１７５に流入口８（直径０．５ｍｍ）を形成し、流路１７７の端部に相当する位置の第四樹脂層１７５（直径０．５ｍｍ）に流出口９を形成した。
【００９６】
素子本体１７１を、素子本体１１または素子本体３１に代えて用いること以外は実施例１〜１１と同様にして、マイクロ流体素子を作製した。ただし、押圧機構３２、５２（図６〜図１３を参照）を採用する場合には、２つの押圧部２３ａ、２３ｂのうち一方がダイヤフラム７を押圧するようにした。
【００９７】
〔流路の開閉試験〕
実施例１〜１１と同様にして、流路の開閉試験を行ったところ、押圧機構によりダイヤフラム７を変位させると、ダイヤフラム７は連絡流路１７８の周縁部に当接して連絡流路１７８が塞がれ、着色水の流通が遮断された。
押圧機構による押圧を停止し、ダイヤフラム７を未変位状態にすると、着色水の流れが回復した。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】第一の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の平面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。
【図２】図１に示すマイクロ流体素子の縦断面図である。
【図３】第二の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図４】第三の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図５】第四の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の平面図（ａ）及び、縦断面図（ｂ）、（ｃ）である。
【図６】第五の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図７】第五の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図８】第五の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図９】第五の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の押圧機構の構造を示す分解斜視図である。
【図１０】第五の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の押圧機構の構造を示す分解斜視図である。
【図１１】第六の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図１２】第六の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図１３】第六の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の押圧機構の構造を示す分解斜視図である。
【図１４】第七の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図１５】第八の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図１６】第八の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の押圧機構の構造を示す分解斜視図である。
【図１７】第九の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図１８】第九の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図１９】第九の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の押圧機構の構造を示す分解斜視図である。
【図２０】第九の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の押圧機構の構造を示す分解斜視図である。
【図２１】第十の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図２２】第十の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の押圧機構の構造を示す分解斜視図である。
【図２３】第十一の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の要部を示す断面図である。
【図２４】第十二の実施例として示された本発明のマイクロ流体素子の押圧機構の構造を示す分解斜視図である。
【図２５】本発明のマイクロ流体素子に使用可能なマイクロ流体素子本体の他の例を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図２６】図２５に示すマイクロ流体素子本体の構造を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００９９】
５、１７６、１７７、１７８・・・流路
５ａ・・・第一の流路
５ｂ・・・第二の流路、
７・・・ダイヤフラム
７ａ・・・第一のダイヤフラム
７ｂ・・・第二のダイヤフラム
１１、３１、１７１、１８１・・・マイクロ流体素子本体
１２、２７、３２、５２、７２、９２、１１２、１４２、１６２、１９２・・・押圧機構
１５、２９、３５、５５、７４、９５、１１５、１４５、１６４・・・可動押圧部材
２１、２６、１６５・・・係止用部材（ロック機構）
２４・・・緩衝部材
２５、２５ａ、２５ｂ・・・鋼球（仲介部材）
３６、５６、７５、９６、１１６、１４６・・・移動機構
４０ｂ、６０ｂ・・・第一アーム
４０ｃ、６０ｃ・・・第二アーム
４１、６１、８１、１００、１２３、１５１・・・操作部
６５・・・コイルバネ（付勢部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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