(57)【要約】【課題】基板を効率良く収納しかつ基板の汚染を防止する基板保管装置を提供する。【解決手段】基板保管装置２０は、基板２１を収納するキャリア２２を載置・位置決めし、キャリア２２前面のドア２３を開閉するロードポート２４と、キャリア２２内の基板２１を取り出し、基板保管棚２５に移動・配置するロボット２６と、基板２１を一枚ずつ層状に配置・保管する基板保管棚２５などから構成される。ロボット２６の可動範囲の空間と基板保管棚２５には、清浄窒素がガス導入部２８Ａより充填され、清浄窒素ガス雰囲気に保持される。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する基板収納容器を載置し、該基板収納容器のドアを開閉するロードポートと、
前記基板を保管する基板保管棚と、
前記ロードポートに載置された基板収納容器と基板保管棚との間を、基板を位際する基板移載手段とを備え、
前記基板保管棚は基板ごとに層状に配置して保管することを特徴とする基板保管装置。
【請求項２】
清浄気体を充填するための気体導入部と、
前記清浄気体を流通させる循環手段とを更に備え、
前記基板保管棚及び基板移載手段が外部環境と遮断され、
前記基板が清浄気体に曝されていることを特徴とする請求項１記載の基板保管装置。
【請求項３】
前記基板保管棚は基板ごとに配置する基板収納部を有し、
前記基板収納部が円周あるいは多角形状に配置され、
前記基板保管棚は回転して基板収納部の搬出入口を基板移載手段に対向させることを特徴とする請求項１または２記載の基板保管装置。
【請求項４】
基板収納容器を移載する容器移載手段と、該基板収納容器を保管する容器保管棚とを更に備えたことを特徴とする請求項１〜３のうち、いずれか一項記載の基板保管装置。
【請求項５】
前記基板は各々異なる基板識別標識を有し、該基板識別標識と保管された基板収納部の位置とが関連づけされていることを特徴とする請求項１〜４のうち、いずれか一項記載の基板保管装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置、フラットパネル表示装置、磁気ヘッド等の製造工程において用いられる基板保管装置に係り、特に大型基板の保管に適した基板保管装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工程の工程間の仕掛品や最終製品の基板は、十数枚から数十枚の基板を１つのキャリアに収納し、基板の工程間の搬送はキャリアに収納されＡＧＶ等や製造オペレータにより搬送されている。工程間のプロセスタイムや機械稼働時間の差違等により次工程に供給されるまでの間、基板はキャリアに収納されたまま基板保管棚等に保管される。
【０００３】
図１は、従来の基板保管棚を示す図である。図１に示すように、基板保管棚１０には多数の棚１１が設けられ、それぞれの棚１１には、外部環境と隔離するためのドア１２が設けられ、棚１１の中にキャリア１３ごと基板１４が保管される。基板保管棚１０には、清浄乾燥空気や窒素等が導入・充填されて、基板及びキャリアの汚染等が防止されるようになっている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−３１７２９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、半導体装置等の製造コスト低減のため、基板サイズの拡大化が進められている。半導体装置用基板の直径は従来の２００ｍｍから３００ｍｍへと移行しつつあり、このような大型化に対して、製造装置及び搬送装置のみならず、基板を収納するキャリアや基板保管棚をも基板サイズに対応させる必要がある。とりわけ、基板が大型化するとキャリアが大型化するため、従来と同数の基板を保管するにしても基板保管棚は一層大型になってしまう。したがって、従来のキャリアごとの収納方法では省スペース化には限界がある。
【０００６】
また、一つのキャリア中には、通常同じ製造方法により製造された基板が収納されるが、キャリア中の収納スペースの総てが使用されないで空きが生じている場合が多く、この点からも空間利用効率が低くなっている。
【０００７】
一方、カセットから基板を取り出して単に収納しようとすると、基板表面を汚染するおそれがある。また、３００ｍｍ基板を収納するためのカセットとして、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）がＳＥＭＩ（登録商標、Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  ａｎｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）により規格化されている。ＦＯＵＰは、基板を出し入れするドアが正面にあり、ドアをＦＯＵＰの下方に移動して開くようになっている。２００ｍｍ基板用のカセット（例えば、ＳＭＩＦ  Ｐｏｄ（Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ））はカセットの下面より取り出すようになっていたが、ＦＯＵＰの場合はＦＯＵＰの下方の空間を使用することができないので、より多くの空間を占有してしまう。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、基板を効率良く収納しかつ基板の汚染を防止する基板保管装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の一観点によれば、基板を収納する基板収納容器を載置し、該基板収納容器のドアを開閉するロードポートと、前記基板を保管する基板保管棚と、前記ロードポートに載置された基板収納容器と基板保管棚との間を、基板を位際する基板移載手段とを備え、前記基板保管棚は基板ごとに層状に配置して保管する基板保管装置が提供される。
【００１０】
本発明によれば、基板は基板収納容器から取り出されて基板保管棚に１枚ずつ層状に配置されることにより保管スペースを効率良く使用して省スペース化を図ることができる。
【００１１】
清浄気体を充填するための気体導入部と、前記清浄気体を流通させる循環手段とを更に備え、前記基板保管棚及び基板移載手段が外部環境と遮断され、前記基板が清浄気体に曝されている構成とする。基板保管装置内が清浄雰囲気に保持されることにより、基板の汚染を防止することができる。
【００１２】
前記基板保管棚は基板ごとに配置する基板収納部を有し、前記基板収納部が円周あるいは多角形状に配置され、前記基板保管棚は回転して基板収納部の搬出入口を基板移載手段に対向させる。基板保管棚に基板収納部を多数配置して、回転させて基板を搬出入することができるので、一定のスペースにより多くの基板効率良く収納することができる。
【００１３】
基板収納容器を移載する容器移載手段と、該基板収納容器を保管する容器保管棚とを更に備える。基板保管棚の近くに基板収納容器の容器保管棚を設け、空の基板収納容器を保管して基板の搬出の際には迅速に基板収納容器を準備することができ、外部より搬入する場合と比較して、搬送台車等による搬送数を低減することができる。
【００１４】
前記基板は各々異なる基板識別標識を有し、該基板識別標識と保管された基板収納部の位置とが関連づけされている。生産管理システム上において、基板識別標識と基板が保管された基板収納位置とを関連づけがされることにより、基板の所在や加工状態等を管理することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
（第１の実施の形態）
図２（Ａ）は、本発明の実施形態に係る基板保管装置の概略構成を示す上面図、（Ｂ）は断面図である。図２（Ａ）及び（Ｂ）を参照するに、基板保管装置２０は、半導体装置の中間品等が形成された基板２１を収納するキャリア２２を載置・位置決めし、キャリア２２前面のドア２３を開閉するロードポート２４と、キャリア２２内の基板２１を取り出し、基板保管棚２５に移動・配置するロボット２６と、基板２１を一枚ずつ層状に配置・保管する基板保管棚２５などから構成され、ロボット２６の可動範囲の空間と基板保管棚２５には、清浄窒素がガス導入部２８Ａより充填され、清浄窒素ガス雰囲気に保持されるようになっている。
【００１６】
キャリア２２は前面のドア２３が開閉されるようになっており、例えば３００ｍｍの基板２１に用いられるＦＯＵＰではドア２３は上下に開閉される。キャリア２２には、基板２１が上下に層状に一定の間隔で配置されている。また、キャリア２２内は高清浄雰囲気（例えば清浄度クラス１以上）に保たれており、外部からのコンタミネーション及び内部発塵を防止する構造となっている。
【００１７】
図３は、ロードポート２４を拡大して示す概念図である。図３を参照するに、ロードポート２４は、キャリア２２を載置してキャリア２２前面を基板保管装置２０側のロードポート２９（図２（Ａ）及び（Ｂ）に示す。）に位置決め後、キャリア２２前面のドア２３を下方に移動して基板保管装置２５の内部に向かって開口させる。位置決めする際に外部環境の雰囲気が基板保管装置２５に侵入することがないように、キャリア２２と基板保管装置２０側のポートドア２９のフレーム（図示せず）が密着し、キャリア２２のドア２３とポートドア２９の開閉は、ポートドア２９が最初に開かれた後にキャリア２２のドア２３が開かれるようになっている。なお、キャリア２２のドア２３とポートドア２９との間に形成される空間に閉じこめられた外部環境雰囲気の気体を排気するようにしてもよい。なお、ロードポート２４には、キャリア２２のドア２３及びポートドア２９を開閉して保持する機構が設けられる。
【００１８】
図４は、ロードポート及びキャリアの要部拡大図である。図４を参照するに、ロードポート２４にはキャリア２２内に窒素ガスを充填するガス充填部３０が設けられ、ガス充填部３０は配管３７Ａ及びバルブ３７Ｂを介してガスボンベ等（図示せず）に接続されている。ガス充填部３０はキャリア２２に設けられた自動弁３１と嵌合して、キャリア２２内に清浄な窒素ガスなどが導入される。特に、基板保管棚２５より基板２１をキャリア２２に収納した後で、清浄な窒素ガスなどを充填することによりキャリア内を清浄雰囲気に保持することができる。
【００１９】
図２（Ａ）及び（Ｂ）に戻り、ロボット２６は、基板を載せる２本のアーム３２と、アーム３２をＸ方向に並進移動させるＸステージ３３と、アーム３２及びＸステージ３３を載置してこれらを同時に回転させる回転ステージ３４と、アーム３２、Ｘステージ３３、及び回転ステージ３４を載置してこれらをＹ方向に移動させるＹステージ３５と、Ｙステージ３５を両側より保持して、Ｚ方向（高さ方向）に移動させるリフト３６などより構成されている。アーム３２は例えば金属あるいは樹脂、あるいはそれらの組み合わせよりなる２本の薄板よりなり、アーム３２の一部に吸着機構を設けてより一層確実に基板を保持するようにしてもよい。なお、２本のアーム３２の間の中央に更に１本のアームを設け、基板の中央を支持するようにしてもよい。大型化及び薄板化されて反りにより割れやすい基板２１を安全に移載することができる。
【００２０】
また、ロボット２６は低発塵の清浄度１以上に適合するものが用いられる。キャリアから取り出した基板を塵埃やオイルミスト等で汚染することなく移載することができる。
【００２１】
また、ロボット２６は、キャリア２２内の基板２１を一枚ずつ取り出し、基板保管棚２５の空き位置２５Ａに移載する。この際、基板２１と基板２１を移載した位置が、例えば基板表面に記載された基板識別番号基板と棚位置が関連づけされる。
【００２２】
図２（Ｂ）に示すように、基板保管棚２５は、基板２１を１枚ずつ層状に一定の間隔をもって積載するようになっており、図２（Ａ）に示すように１層に例えば４枚配置することができる。
【００２３】
図５は、基板保管棚２５を拡大して示す概念図である。図５を参照するに、基板保管棚２５は円筒状になっており、回転方向に４つに分割され、分割されたそれぞれの領域２５Ａ〜２５Ｄに基板２１が配置され、効率良く基板２１を保管できるようになっている。基板２１は、保持機構４０（図７に示す。）により層状に配置されている。なお、基板保管棚２５は円筒状に限定されず、図６に示すように、基板保管棚３８は６角形等の多角柱状として、６つに分割された領域３８Ａ〜３８Ｆのそれぞれに基板２１を配置してもよい。基板保管棚３８の底面積をあまり増大させることなく保管基板量を増加させることができる。
【００２４】
図７は、図５や図６に示す基板保管棚２５、３８の基板の保持機構を拡大して示す図である。図７を参照するに、基板の保持機構４０は基板外周部を基板２１の裏面から保持する支持部４１が設けられている。基板の保持機構４０の前面と中央が開口され、ロボット２６が搬出入する際に必要なスペースに、基板厚さを加えた高さ寸法の開口が設けられている。基板２１の保持機構４０は、カーボン等の導電材料が混合されたポリカーボネートやＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）などの樹脂により形成されており、ステンレス等の腐食し難い合金、例えばステンレスにより形成されていてもよい。基板の保持機構４０は、ある一定の枚数、例えば２枚、５枚、１０枚、１３枚等を保管できるカートリッジになっていてもよい。カートリッジを基板保管棚２５から脱着可能とすることにより、必要に応じて基板保管棚２５の保管可能枚数を調整して自由度を増すことができる。なお、支持部４１の基板を支持する爪の幅を適宜設定することにより、例えば直径３００ｍｍの基板を保管するための基板保管棚であっても、２００ｍｍ等のより直径が小なる基板も保管することができる。
【００２５】
図２に戻り、基板保管棚２５は、下方に基板保管棚２５を回転させるための回転機構４２が設けられている。従来の固定された基板保管棚と比較して、同じスペースであっても基板保管可能枚数を増加させることができ、基板の大型化に伴う基板保管装置の拡大化を抑制することができる。回転機構４２は、基板保管棚２５の回転軸４３と、回転軸４３を駆動するモーター４４及びベルト４５と、回転軸４３を支持し基板保管棚２５の清浄雰囲気とモーター４４のある外部環境とを隔離するための磁性流体シール４６などから構成されている。回転軸４３の軸受けから発生する有機ガス等が基板保管装置２０内の雰囲気を汚染することを防止できる。なお磁性流体シール４６の替わりに低発塵タイプのベアリングを用いてもよい。
【００２６】
基板保管装置２０には、外部より清浄乾燥空気あるいは窒素ガス、アルゴンガス等が供給されるガス導入部２８Ａが例えば天面２０Ａに設けられている。これらのガスは、液体空気あるいは液体窒素、液体アルゴンを蒸発させたものを用いることが好ましい。空気中のオイルミストや低分子有機物、亜硫酸化物等により汚染を防止することができる。空気の場合は基板保管装置２０の天面２０ＡにＵＬＰＡフィルタ（ｕｌｔｒａ  ｌｏｗ  ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ  ａｉｒ  ｆｉｌｅｒ）やケミカルエアフィルタ等を設けて、これらのフィルタを通過させてから基板保管装置２０内に導入してもよい。粒子やガス状汚染物質をさらに取り除くことができる。
【００２７】
また、供給されたこれらのガスは、基板保管装置２０内の基板２１が保管された空間を主として上から下へのダウンフローとして流通し、基板保管装置２０の下面に設けられたパンチ状の微細な開口部２５−１を介してより基板保管装置２０の底板２０Ｂに設けられたガス排出部２８Ｂより基板保管装置２０の外部、例えば排気用配管を通じて排出される。供給側と排出側のバランスをとること、例えば、ガス導入部２８Ａの基板保管装置２０に対して開口する開口面積をガス排出部２８Ｂの基板保管装置２０に対して開口する開口面積より大とすることにより、基板保管装置２０内は陽圧に制御され外部環境より気体の流入が防止される。
【００２８】
図８は、基板保管装置２０の制御回路のブロックダイヤグラムである。図８を参照するに、基板保管装置２０の制御回路５０は、ＣＰＵ５１と、各制御部を制御するプログラム等が記憶されているメモリ５２と、ロードポート制御部５３と、ロボット制御部５４と、基板保管棚制御部５５と、後述する生産管理システム等が稼働するＰＣ等と送受信する入出力部５６などから構成され、それぞれがバス５８により接続されている。
【００２９】
生産管理システムから受信した命令に基づいて制御され、例えば基板識別番号、キャリアの容器識別番号、基板の移載元と移載先等の命令を受け取って各制御部５３，５４，５５，５６がそれぞれ協働して基板を所望の場所に移載する。例えば、ロボット２６が所望の棚位置の基板を取り出すために、ＣＰＵ５１によりロボット制御部５４及び基板保管棚制御部５５に命令が出力され、基板保管棚２５が回転して、所望の基板保管棚２５の位置がロボットと対向するように位置決めされる。
【００３０】
本実施の形態によれば、キャリア２２内の基板２１を基板単位で基板保管棚２５に移載することにより効率良く保管することができ、基板２１が大型化しても省スペース化が可能である。また、基板保管装置２５内の清浄度が保持されているので塵埃等によるコンタミネーションを防止することができる。
【００３１】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態の基板保管装置は、第１の実施の形態の基板保管装置に、キャリアのストッカーを設けたことに特徴がある。
【００３２】
図９は、本発明の実施の形態に係る基板保管装置の構成を概念的に示す図である。図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【００３３】
図９を参照するに、基板保管装置６０は、基板２１を収納したキャリア２２を基板保管装置６０内に搬入しあるいは基板保管装置６０から搬出する搬出入ポート６１と、搬出入ポート６１から供給されたキャリア２２を載置・位置決めし、キャリア２２前面のドアを開閉するロードポート２４と、キャリア２２内の基板２１を取り出し、基板保管棚２５に移動・配置するロボット２６と、基板２１を一枚ずつ層状に配置・保管する基板保管棚２５と、キャリア２２を保管するストッカー６２と、キャリア２２を搬出入ポート６１からストッカー６２およびロードポート２４に移載するストッカー用ロボット６３などより構成されている。
【００３４】
搬出入ポート６１は、搬送台車６４、例えばＡＧＶなどにより搬送されたキャリア２２を受け取り、ストッカー用ロボット６３に受け渡し、また搬出する際は逆の動作を行う。
【００３５】
ストッカー用ロボット６３は、受け取ったキャリア２２をロードポート２４に載置し、あるいはストッカー６２の指定された空いた棚６５Ａに保管する。これらの一連の動作は、後述する生産管理システムにより命令が送出され、その命令にしたがって収納する棚位置等が指示される。また、生産管理システムより指定された基板２１が収納されたキャリア２２の取り出しの命令があった場合は、ストッカー用ロボット６３は、キャリア２２が保管された棚６５Ｂより搬出し、指定された搬出先、例えばロードポート２４や搬出入ポート６１に移載する。
【００３６】
ストッカー６２は棚位置が識別された多数の棚６５より構成されている。ストッカー６２には、基板保管棚２５に基板２１を移載されて空になったキャリア２２がストッカー６２に保管される。基板２１を搬出する際に迅速にキャリア２２を準備することができ、また、空のキャリア２２を搬送する必要がない。また、基板２１がキャリア２２の収納可能枚数近くが収納されたキャリア２２が保管されてもよい。この場合はキャリア２２ごと保管してもスペースのロスにはさほどならないと共に基板保管棚２５に移載する手間を省くことができる。
【００３７】
図１０は、生産管理システムのブロックダイヤグラムである。図１０を参照するに、生産管理システム７１は、大別して半導体装置を製造する各工程の生産設備７６の稼働状況を管理し、各工程に供給する材料及び各工程により製造・加工された中間品を管理する生産設備用オートメーションシステム７４と、材料や中間品の各工程間の搬出入等を行う搬送台車８４、材料や中間品を保管するストッカー８６、及び基板保管装置用ロボット８５等の動作を管理する自動搬送システム７５により構成されている。生産管理システム７１にはデータベース７７が接続され、登録情報が記録されている。
【００３８】
基板保管装置７８は、生産設備用オートメーションシステム７４に属している。基板保管装置７８に保管されている基板２１にマーキングされている基板識別番号は、生産管理システム７１に登録されている。また、キャリア２２に収納されている基板２１は、基板識別番号、キャリア２２の容器識別番号及び保管場所が関連付けられて生産管理システム７１のデータベース７７に登録されている。生産管理システム７１により参照されスケジューラ７２に基づいて、基板２１が基板保管装置７８より搬出され、搬送台車８４により移載されて生産設備ステーション７９に供給される。また、生産設備７６において工程の処理を終えた基板２１は、キャリア２２に収納され生産設備ステーション７９から搬送台車８４に取合いの通信が行われ、キャリア２２が搬送台車８４に移載され、下流の工程の生産設備７６の生産設備ステーション７９、あるいは基板保管装置７８等に移送される。これらの搬出入の命令は、生産管理システム７１から生産設備ステーション７９、基板保管装置７８のロードポート８０や搬出入ポート８１、搬送台車８４、ストッカー８６、および基板保管装置用ロボット８５等に送出され、あるいは、生産設備ステーション７９、基板保管装置７８のロードポート８０や搬出入ポート８１、搬送台車８４、ストッカー８６、および基板保管装置用ロボット８５等の間で通信される。生産設備ステーション７９や基板保管装置７８の搬出入ポート８１等に基板２１を収納したキャリア２２が到着すると、到着した基板２１とキャリア２２の情報が逐一、生産管理システムに自動通信されデータベース７７の情報が更新される。
【００３９】
ここで、基板保管装置７８は、上記の第１または第２の実施形態に係る基板保管装置である。図２及び図９に示す基板保管装置２０の基板保管棚２５の各位置に保管されている基板２１や、ストッカー６２に保管されているキャリア２２内に収納されている基板２１の情報が生産管理システム７１のデータベース７７に保存されている。また、基板保管装置用ロボット８５やストッカー用ロボット８３は自動搬送システム７５の一部として制御されている。
【００４０】
なお、生産テストや生産設備７６のコンディションを確認するための基板２１を生産管理システム７１に登録して、本実施の形態の基板保管装置７８に保管しておくことで、生産設備７６のコンディション確認を実施する処理を生産管理システム７１に指示するだけで、基板２１が本実施の形態の基板保管装置７８から生産設備７６の生産設備ステーション７９へ搬送台車８４により自動搬送され、係る処理が終了すると搬送台車８４により自動搬送され基板保管装置７８に戻される。生産テストや生産設備７６のコンディションを確認するための基板２１は、少数でかつ様々な種類がある。本発明の基板保管装置７８は係る基板２１をスペース効率良く保管することができ、かつ、迅速に所望の基板２１を搬出することができる。ひいては、生産テストや生産設備７６のコンディションを確認するためのテストに要する時間を短縮することができ、生産設備の稼働率を向上することができる。
【００４１】
図１１は、半導体装置の生産設備等の配置図である。図１１を参照するに、半導体装置の製造設備は、各製造工程の生産設備７６と、中間品の基板をキャリアごと保管するストッカー８６及び基板保管装置７８と、生産設備７６、ストッカー８６、及び基板保管装置７８を接続する搬送台車８４と、その軌道８８などにより構成されている。
【００４２】
本発明の基板保管装置７８は、少量の基板が高頻度に搬送される軌道８８上に設けることが好ましい。搬送台車８４の作業量を低減し迅速に基板を生産設備７６に供給することができ、生産設備７６の材料待ちによる停止時間を低減することができる。
【００４３】
以上本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００４４】
上記実施形態では、円盤状の基板を例に説明したが、長方形等の四角形、あるいは多角形の基板にも本発明を適用可能であり、基板の形状に限定されない。
【００４５】
なお、以上の説明に関して更に以下の付記を開示する。
（付記１）  基板を収納する基板収納容器を載置し、該基板収納容器のドアを開閉するロードポートと、
前記基板を保管する基板保管棚と、
前記ロードポートに載置された基板収納容器と基板保管棚との間を、基板を位際する基板移載手段とを備え、
前記基板保管棚は基板ごとに層状に配置して保管することを特徴とする基板保管装置。
（付記２）  清浄気体を充填するための気体導入部と、
前記清浄気体を流通させる循環手段とを更に備え、
前記基板保管棚及び基板移載手段が外部環境と遮断され、
前記基板が清浄気体に曝されていることを特徴とする付記１記載の基板保管装置。
（付記３）  前記気体導入部に塵埃及び／又は有機ガス成分を捕獲するフィルタを設けたことを特徴とする付記２記載の基板保管装置。
（付記４）  前記基板保管棚は基板ごとに配置する基板収納部を有し、
前記基板収納部が円周あるいは多角形状に配置され、
前記基板保管棚は回転して基板収納部の搬出入口を基板移載手段に対向させることを特徴とする付記１〜３のうち、いずれか一項記載の基板保管装置。
（付記５）  前記基板収納部は所定枚数ごとに基板を収納し脱着自在であることを特徴とする付記４記載の基板保管装置。
（付記６）  前記ロードポートは基板収納容器内に気体を充填する気体封入部が設けられていることを特徴とする付記１〜５のうち、いずれか一項記載の基板保管装置。
（付記７）  基板収納容器を移載する容器移載手段と、該基板収納容器を保管する容器保管棚とを更に備えたことを特徴とする付記１〜６のうち、いずれか一項記載の基板保管装置。
（付記８）  前記基板は各々異なる基板識別標識を有し、該基板識別標識と保管された基板収納部の位置とが関連づけされていることを特徴とする付記１〜７のうち、いずれか一項記載の基板保管装置。
（付記９）  前記基板収納容器は各々異なる容器識別標識を有し、基板収納容器に収納された基板と基板収納容器は、基板識別標識と容器識別標識を用いて関連づけされていることを特徴とする付記１〜８のうち、いずれか一項記載の基板保管装置。
（付記１０）  前記基板収納容器は、該基板収納容器が保管された容器保管棚の棚位置と関連付けされていることを特徴とする付記７〜９のうち、いずれか一項記載の基板保管装置。
【００４６】
【発明の効果】
以上詳述したところから明らかなように、本発明によれば、基板収納容器ごとに保管せずに、基板が１枚ごとに層状に配置された基板保管棚を備え、清浄雰囲気に保持することにより、基板を効率良く収納しかつ基板の汚染を防止する基板収納装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の基板保管棚を示す図である。
【図２】図２（Ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係る基板保管装置の概略構成を示す上面図、（Ｂ）は断面図である。
【図３】ロードポートを拡大して示す概念図である。
【図４】ロードポートの要部拡大図である。
【図５】基板保管棚を拡大して示す概念図である。
【図６】基板保管棚の他の例を拡大して示す概念図である。
【図７】図７は、図５に示す基板保管棚の基板の保持機構を拡大して示す図である。
【図８】基板保管装置の制御回路のブロックダイヤグラムである。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る基板保管装置の構成を概念的に示す図である。
【図１０】生産管理システムのブロックダイヤグラムである。
【図１１】半導体装置の製造設備等の配置図である。
【符号の説明】
２０        基板保管装置
２１        基板
２２        キャリア
２４        ロードポート
２５、３８  基板保管棚
２６        ロボット
２８Ａ        ガス導入部
２８Ｂ      ガス排出部
４０        保持機構
４２        回転機構
６２        ストッカー
６３        ストッカー用ロボット
６５        棚
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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