(57)【要約】【課題】大型化、薄型化した板ガラス等の板ガラスに対してその品質の一層の向上を図り、迅速に効果的な酸処理を行いうる板ガラスの酸処理設備を提供すること。【解決手段】立てられた状態の板ガラスＧの下端を支持するフリーローラ２０、板ガラスの一方の面に対向するように立設された、その表面部が多孔質材から形成された酸処理ローラ１９、酸処理ローラ１９の表面部に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置、および、酸処理ローラ１９を回転駆動するモータ１８を有する酸処理装置６と、酸処理装置６の上流側に設置された水洗装置３と、下流側に設置された洗浄装置７とを備えており、上記酸処理装置が、酸処理ローラ１９の回転によって板ガラスＧを酸処理ローラ１９の表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されている。【選択図】図１
2004203668.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
立てられた状態の板材の下端を支持して水平方向に搬送する搬送装置と、
上記板材の少なくとも一方の面に対向するように立設された、その表面部に酸処理液を含みうる酸処理部材とを備えており、
該酸処理部材の表面に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置とを備えており、
上記搬送装置により、板材を酸処理部材の表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されてなる板材の酸処理装置。
【請求項２】
立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、
上記板材の少なくとも一方の面に対向するように立設された、その表面部に酸処理液を含みうる酸処理ローラと、
該酸処理ローラの表面部に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置と、
酸処理ローラをその軸回りに回転させるための回転駆動装置とを備えており、酸処理ローラの回転により、板材を酸処理ローラの表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されてなる板材の酸処理装置。
【請求項３】
立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、
上記板材の少なくとも一方の面に対向するように配設された、その表面部に酸処理液を含みうる酸処理用の無端ベルトと、
該無端ベルトの表面部に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置と、
無端ベルトを回動させるための回動駆動装置とを備えており、
無端ベルトの回動により、板材を無端ベルトの表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されてなる板材の酸処理装置。
【請求項４】
上記支持装置が、平行に配列された複数の回転自在のフリーローラから構成されてなる請求項２または３記載の板材の酸処理装置。
【請求項５】
上記酸処理部材が、平行に且つ間隔をおいて立設された複数の上下方向に長尺な酸処理部材要素から構成されてなる請求項１記載の板材の酸処理装置。
【請求項６】
上記酸処理部材要素が、鉛直方向から板材の搬送方向の上流側または下流側に傾斜して立設されてなる請求項５記載の板材の酸処理装置。
【請求項７】
上記酸処理液供給装置が、上記表面部に対し、その上下方向に間隔をおいて複数箇所の酸処理液供給口を有しており、酸処理対象の板材のサイズに応じて酸処理液を供給する酸処理液供給口が切り替えられるように構成されてなる請求項１から３のうちのいずれか一の項に記載の板材の酸処理装置。
【請求項８】
上記酸処理液供給装置が、上記表面部に対し、その上下方向に移動可能な酸処理液供給口を有しており、酸処理対象の板材のサイズに応じて酸処理液供給口が昇降させられるように構成されてなる請求項１から３のうちのいずれか一の項に記載の板材の酸処理装置。
【請求項９】
立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送装置と、
上記板材の面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
上記搬送装置の搬送経路の途中に挿入配置された請求項１から８のうちいずれか一の項に記載の酸処理装置と、
上記搬送経路における該酸処理装置の上流側に配設された、板材の面に水を噴霧する噴霧装置とを備えてなる板材の酸処理設備。
【請求項１０】
立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送装置と、
上記板材の面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
上記搬送装置の搬送経路の途中に挿入配置された請求項１から８のうちいずれか一の項に記載の酸処理装置と、
上記搬送経路における該酸処理装置の下流側に配設された、板材の面に酸処理液を除去するための水を噴射する洗浄装置とを備えてなる板材の酸処理設備。
【請求項１１】
上記搬送経路における該酸処理装置の下流側に配設された、板材の面に酸処理液を除去するための水を噴射する洗浄装置を備えてなる請求項９記載の板材の酸処理設備。
【請求項１２】
上記搬送経路における上記噴霧装置の上流側に、板材の非処理面に向けて膜状気流を噴射する水切り部材を備えてなる請求項９記載の板材の酸処理設備。
【請求項１３】
上記洗浄装置が、酸処理された板材の面に向けて水を噴射する噴水ノズルを備えてなる請求項１０記載の板材の酸処理設備。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は板材の酸処理設備およびその酸処理装置に関する。さらに詳しくは、レアメタル、シリコン、平面型ディスプレー用ガラス等の板材の表面を酸によって処理するための板材の酸処理装置、および、この酸処理装置が用いられる板材の酸処理設備に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、種々の分野で板ガラスが使用されている。とくに液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等に用いられる板ガラス（以下、ガラス基板という）は非常に薄いものである。たとえば、厚さが０．７ｍｍ程度で大きさが５５０ｍｍ×６５０ｍｍ程度のものが多く生産されている。このようなガラス基板のトリミングや分断等の加工は、一般的に板ガラスを水平の状態（横向きの状態）にしてベルトコンベア等によって搬送し、各装置において水平の状態で行う。加工後の板ガラスに対して所望の表面状態を得るために行われる酸処理についても水平の状態で行われる（たとえば特許文献１、特許文献２および特許文献３参照）。
【０００３】
一方、近年、ガラス基板等の分野において、生産性を向上させるために歩留まりをよくする目的で、また、より大型のディスプレイ等に対応することを目的として、複数のガラス基板のもととなるマザーガラスのサイズを大型化したいという要望が出てきている。マザーガラスのサイズを大きくすると一枚のマザーガラスから取れるガラス基板の枚数が多くなり、歩留まりが向上する。さらに、大型ディスプレイ用のガラス基板を製造することも可能となる。加えて、ガラス基板をさらに薄くすることによってディスプレイ等の性能を向上させたいという要望もあり、マザーガラスがいっそう薄型化する傾向がある。その上、ガラス基板の品質に対する要求は年を追うごとに厳しくなっており、且つ、低コスト化への要求もある。
【０００４】
【特許文献１】
特公平４−３７０１８号公報
【特許文献２】
特開平１１−２１７２４０号公報
【特許文献３】
特開２０００−１４０７７８号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したような水平状態で板ガラスを搬送して酸処理する技術では、大型化、薄型化した板ガラスを酸処理する場合、その自重に起因するたわみ等による割れ、板ガラスの面を支持する構造部材からの反力による割れ等の生じるおそれがある。
【０００６】
本発明はかかる課題を解決するためになされたものであり、大型化、薄型化した板ガラスを含む板材に対し、割れ等の損傷を防止し、板材の品質の一層の向上を可能にした酸処理を行うことができる板材の酸処理設備およびその酸処理装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかる板材の酸処理装置は、立てられた状態の板材の下端を支持して水平方向に搬送する搬送装置と、
上記板材の少なくとも一方の面に対向するように立設された、その表面部に酸処理液を含みうる酸処理部材とを備えており、
該酸処理部材の表面に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置とを備えており、
上記搬送装置により、板材を酸処理部材の表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されている。
【０００８】
かかる構成によれば、板材は立てた状態なので、その面に自重の影響や構造物からの大きな反力を受けることなく板材の面をくまなく酸処理することができる。したがって、塵埃に限らず油脂分まで除去することができる。さらに、設備のスペースを節約することができる。
【０００９】
本発明にかかる他の酸処理装置は、立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、
上記板材の少なくとも一方の面に対向するように立設された、その表面部に酸処理液を含みうる酸処理ローラと、
該酸処理ローラの表面部に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置と、
酸処理ローラをその軸回りに回転させるための回転駆動装置とを備えており、酸処理ローラの回転により、板材を酸処理ローラの表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されている。
【００１０】
かかる構成によれば、前述の本発明の酸処理装置の作用に加えて、酸処理部材（ローラ）が板材の搬送機能を持つので、特別な搬送装置を用意する必要がない。
【００１１】
本発明にかかるさらに他の酸処理装置は、立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、
上記板材の少なくとも一方の面に対向するように配設された、その表面部に酸処理液を含みうる酸処理用の無端ベルトと、
該無端ベルトの表面部に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置と、
無端ベルトを回動させるための回動駆動装置とを備えており、
無端ベルトの回動により、板材を無端ベルトの表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されている。
【００１２】
かかる構成によれば、前述の本発明の酸処理装置の作用に加えて、酸処理部材（無端ベルト）の設置数の低減が可能となる。
【００１３】
なお、以上に説明した表面部に酸処理液を含みうる酸処理部材の表面材としては、スポンジなどの多孔質材料が好適に用いられる。
【００１４】
上記支持装置が、平行に配列された複数の回転自在のフリーローラから構成されてなる酸処理装置にあっては、板材の搬送がスムーズになされるので好ましい。
【００１５】
上記酸処理部材が、ローラに代えて、平行に且つ間隔をおいて立設された複数の上下方向に長尺な酸処理部材要素から構成されてなる酸処理装置にあっては、酸処理部材の構造が簡素化される。
【００１６】
上記酸処理部材要素が、鉛直方向から板材の搬送方向の上流側または下流側に傾斜して立設されてなる酸処理装置にあっては、酸処理部材要素からの酸処理液は鉛直に流れ、酸処理部材要素に沿って流れないので、酸処理部材要素の表面の酸処理液の量が均一化される。また、片面のみを酸処理する板材に対しては酸処理面からその反対側の面に酸処理液が回り込むことが防止されるので好ましい。
【００１７】
上記酸処理液供給装置に対して、上記表面部に対し、その上下方向に間隔をおいて複数箇所の酸処理液供給口を配設し、酸処理対象の板材のサイズに応じて酸処理液を供給する上記酸処理液供給口を切り替えうるように構成することができる。
【００１８】
または、上記酸処理液供給装置に、上記表面部に対してその上下方向に移動可能な酸処理液供給口を配設し、酸処理対象の板材のサイズに応じて酸処理液供給口が昇降させられるように構成することもできる。
【００１９】
本発明の板材の酸処理設備は、立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送装置と、
上記板材の面に流体圧を作用させることによってこの板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
上記搬送装置の搬送経路の途中に挿入配置された、前述したうちいずれか一の酸処理装置と、
上記搬送経路におけるこの酸処理装置の上流側に配設された、板材の面に水を噴霧する噴霧装置とを備えている。
【００２０】
かかる構成により、板材はその面に自重の影響や構造物からの大きな反力を受けることなく酸処理することができる。さらに、設備のスペースを節約することができる。
【００２１】
本発明の他の酸処理設備は、立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送装置と、
上記板材の面に流体圧を作用させることによってこの板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
上記搬送装置の搬送経路の途中に挿入配置された、前述したうちいずれか一の酸処理装置と、
上記搬送経路におけるこの酸処理装置の下流側に配設された、板材の面に酸処理液を除去するための水を噴射する洗浄装置とを備えている。
【００２２】
本発明の酸処理設備は上記噴霧装置および洗浄装置をともに備えてもよい。
【００２３】
上記搬送経路における上記噴霧装置の上流側に、板材の非処理面に向けて膜状気流を噴射する水切り部材を備えてなる酸処理設備では、上流工程で板ガラスの表面に付着する可能性のある粒子や塵埃等を水分とともに除去し、その後、噴霧によって非処理面の乾燥を防止することができるので好ましい。
【００２４】
上記洗浄装置が、酸処理された板材の面に向けて水を噴射する噴水ノズルを備えるのが好ましい。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の板材の酸処理設備、ならびに、この酸処理設備に好適に用いられる酸処理装置の実施形態を説明する。
【００２６】
図１は本発明の酸処理設備の一実施形態を示す正面図であり、図２はその平面図である。
【００２７】
図示の酸処理設備１には、後述の酸処理装置６の部分を除いて、矩形の板ガラスＧを立てた状態でその底辺を支持しながら水平方向に搬送するためのベルトコンベア２が配設されている。ベルトコンベアに限らず、たとえばローラコンベア等の公知のコンベアを採用することができる。ベルトコンベア２による搬送方向に沿って、すなわち板ガラスのパスラインＬに沿って、板ガラスＧの表面を純水によって洗浄するための水洗装置３と、板ガラスＧを鉛直状態から若干傾斜させるための倒し装置４と、板ガラスＧの表面から水分を除去するための水切り装置５と、板ガラスＧの片面を酸処理液によって処理するための酸処理装置６と、板ガラスＧの表面から酸処理液等を洗い流すための洗浄装置７とが上流からこの順番で配置されている。酸処理されるべき板ガラスＧは上記各装置３〜７に順に送られて処理される。
【００２８】
酸処理装置６の部分を除いて、ベルトコンベア２の搬送方向（パスラインＬ）に沿って板ガラスＧの面を非接触で支持するための流体ガイド８が立設されている。ただし、図２に示すように上記水切り装置５の部分についてはこの流体ガイド８はパスラインＬの片側にのみ配置されている。その他の装置、つまり、水洗装置３、倒し装置４および洗浄装置７には、流体ガイド８はパスラインＬの両側にそれぞれ配設されている。酸処理装置６には後述するように立った状態の板ガラスを支持することができる酸処理ローラ１９が配設されているため、流体ガイドを必要としない。水切り装置５は後述するように板ガラスの片側の面に対向してエアナイフフレーム１５や噴霧管１６を配設するために、これらの反対側にのみ流体ガイド８を設置している。図１では、理解容易のためにパスラインＬより手前側の流体ガイドはその図示を省略している。
【００２９】
図３に示すように、流体ガイド８は枠部材９とこの枠部材９に取り付けられた流体噴出部１０とを備えている。流体噴出部１０は板ガラスＧの面に向けて支持用の流体圧を作用させるためのものである。流体噴出部１０はその調節機構１１によって全体で板ガラスＧの面に平行となるように調節可能にされている。流体噴出部１０には板ガラスＧの面に向けて流体を噴出する流体噴出孔１０ａが間隔を置いて配列されている。
【００３０】
パスラインＬの左右両側に流体ガイド８が設置されているので板ガラスＧの両面から作用する流体圧がバランスをとり、板ガラスＧが構造部材と接触せずにほぼ鉛直状態を維持することができる。本実施形態では支持用の流体として水が用いられている。支持用流体として液体を用いることにより、板ガラスＧからカレット粒子や他の塵埃を効果的に除去することが可能である。
【００３１】
多数個の流体噴出部１０を配列することに代えて、多孔質材料を使用してガイド面に液体をにじみ出させる多孔質流体ガイドを設置してもよい。この多孔質流体ガイドではガイド用液体の表面張力を利用することができるので、パスラインＬの片側にのみ配設していても板ガラスＧを構造部材と接触させることなく立てた状態で支持することができる。
【００３２】
支持用の流体は液体に限定されず、必要に応じてたとえば清浄気体であってもよい。支持用流体として気体を用いた流体ガイドをパスラインＬの片側にのみ配設するときには、板ガラスＧをこの流体ガイドの方にわずかに傾かせることにより、板ガラスＧの自重の横方向成分と噴出する気体圧による力とのバランスによって非接触で流体ガイドによって支持させる。
【００３３】
図４は水洗装置４の概略平面図である。水洗装置４はパスラインＬの両側に、高圧水を板ガラスＧの面に噴射するための噴水管１２が立設されている。流体ガイド８はこの噴水管１２の範囲を避けて配置されている。噴水管１２にはその上下方向に沿って多数の噴水孔１２ａが形成されており、この噴水孔１２ａから若干上流側に向けて板ガラスＧの面に高圧水が噴出する。パスラインＬを挟んだ両噴水孔１２ａは互いに対向しているため、板ガラスＧに加わる流体の作用が左右でバランスし、板ガラスＧのほぼ鉛直の状態を乱すことはない。水洗装置４により、上流工程で板ガラスＧの面に付着しているおそれのある塵埃やカレット粒子などが洗い落とされる。その両面を水洗された板ガラスＧはベルトコンベア２によって下流の倒し装置４に搬送される。
【００３４】
図１および図５を参照しつつ倒し装置４を説明する。倒し装置４は板ガラスＧを鉛直の状態から下流の水切り装置５および酸処理装置６の傾斜に適合させるために若干傾斜させるものである。図５に示すようにこの倒し装置４ではパスラインＬの両側の流体ガイド８が一体で鉛直状態から外方へ、すなわち、パスラインＬから離れる方向へ若干角度（本実施形態では約５゜）だけ倒れるように構成されている。流体ガイド８を構成する上記枠部材９を、下端の回転軸１３を中心にして駆動シリンダ１４によって傾斜させるものである。
【００３５】
しかし、本発明ではかかる構成に限定されない。たとえば、図６に示すように、パスラインＬの両側の流体ガイド８のうちの一方を図示しない駆動シリンダなどによって傾斜させるように構成してもよい。さらに、図示しない別の水ノズルなどからの流体噴射により、板ガラスを傾斜方向に押すことによって板ガラスＧは傾斜した枠部材９について倒れる。
【００３６】
板ガラスＧは倒し装置４において５゜ほど傾斜させられた状態でベルトコンベア２によって下流の水切り装置５に搬送される。以下、板ガラスＧの倒れ側の面（下流に向かって右側の面）を裏面または酸処理面、その反対側の面を非処理面と呼ぶ。
【００３７】
図１および図７を参照しつつ水切り装置５を説明する。前述のごとく、水切り装置５ではその流体ガイド８が下流を向いてパスラインＬの右側（板ガラスの酸処理面側）にのみ配置されており、予め倒し装置４における流体ガイド８の傾斜方向と同一方向に約５゜傾斜して固定されている。パスラインＬを挟んで流体ガイド８と反対側には、この流体ガイド８に対向して上流側から順に給気管（エアナイフフレームともいう）１５および噴霧装置としての噴霧管１６が配設されている。パスラインＬの流体ガイド側には流体ガイド８に近接してその下流側に水切りローラ１７が配設されている。エアナイフフレーム１５、噴霧管１６および水切りローラ１７はすべて流体ガイド８の傾斜方向に約５゜傾斜させられている。
【００３８】
エアナイフフレーム１５には図示しない給気源から清浄な空気が圧送されている。エアナイフフレーム１５には空気を板ガラスＧの非処理面に向かって吹き出させるための幅狭のスリット１５ａが上下方向に形成されている。このスリット１５ａから噴出する膜状気流Ｎが板ガラスＧの非処理面に吹き付けられる。上記スリットはエアナイフフレーム１５の長手方向に沿ってわずかな間隔をおいて断続的に形成される（図７）か、または、連続して形成される。いずれにしても、板ガラスＧには連続した膜状の気流（エアナイフ）Ｎが上下方向に連続して吹き付けられる。（わずかに上流側へ傾斜している）
エアナイフフレーム１５は鉛直方向に立設してもよいが、図１に示すように本実施形態では鉛直からわずかに上流側へ傾斜している。スリット１５ａの向きが板ガラスＧの面に垂直な方向から僅かに上流側に向いている。したがって、エアナイフＮは板ガラスＧの非処理面の水分を上流を向いてやや下方に吹き飛ばすことができる。その結果、エアナイフフレーム１５から上流側下方に水分を吹き飛ばし、下流側には水分が移動しない。エアナイフＮを通過した板ガラスＧの非処理面からは水分とともに塵埃等が除去される。
【００３９】
ついで、板ガラスＧのエアナイフ処理された面には噴霧管１６から水の霧が吹き付けられる。これは、非処理面に水膜を形成することにより、酸処理中に非処理面が乾燥することを防止するためである。
【００４０】
上記水切りローラ１７は、その上端に配設されたモータ１８により、上下方向に延びる回転軸回りに回転させられる。本実施形態では水切りローラ１７はベルトドライブによって回転させられるが、たとえばチェーンやギア等の公知の伝動機構を用いてもよい。ローラ１７の表面にはスポンジ等の吸水性材料が貼設されている。ローラ全体を吸水性材料から形成してもよい。ベルトコンベア２はこの水切りローラ１７の上流近接部まで延設されているが、水切りローラ１７およびその下流の酸処理装置６の範囲には配設されていない。これは、水切りローラ１７と酸処理装置６の酸処理ローラ１９とが回転することによって板ガラス搬送作用が生じるからである。このために、これらローラ１７、１９は平面視で時計回りに回転させられる。ただし、板ガラスＧを酸処理装置６内で往復動させる場合には酸処理ローラ１９を正逆回転を繰り返す。
【００４１】
板ガラスＧが上記水切りローラ１７に接しながら搬送されることにより、その裏面の水分が水切りローラ１７によって吸収除去される。図示しないが、水切りローラ１７のパスラインＬとは反対側の部分に、水切りローラ１７の長手方向に延びる脱水棒部材等を備えてもよい。この脱水棒部材を水切りローラ１７に押し当てておくことにより、吸収した水分をしごき取ることが可能となる。板ガラスＧは水切り装置５によってその裏面を脱水された後、酸処理装置６に搬送される。
【００４２】
図１、図２および図８を参照しつつ酸処理装置６を説明する。酸処理装置６では流体ガイドは設置されておらず、パスラインＬの片側にのみ、つまり板ガラスＧの酸処理面側にのみ、パスラインＬに沿って複数本の酸処理ローラ１９が平行に配列されている。これらの酸処理ローラ１９は一個のモータ１８によってチェーン駆動されるが、他の公知の伝動機構を用いてもよい。全酸処理ローラ１９は倒し装置４における流体ガイド８の傾斜方向と同一方向（下流に向かって右側）に約５゜傾斜させられている。しかし、全酸処理ローラ１９を鉛直に立設してもよい。ローラ表面に形成される酸処理液膜の表面張力の作用により、板ガラスが酸処理ローラに吸着されるからである。
【００４３】
本実施形態では板ガラスＧの片面のみを酸処理する装置を例示しているのでパスラインＬの片側にのみ酸処理ローラ１９を配設しているが、板ガラスの両面ともに酸処理する場合にはパスラインＬの両側に酸処理ローラ１９を配列すればよい。または、酸処理液を板ガラスの面に直接噴霧してもよい。
【００４４】
酸処理ローラ１９が回転することにより、酸処理液を介して酸処理ローラ１９に自重の一部を預けている板ガラスＧはパスライン方向に移動させられる。したがって、酸処理装置６にはベルトコンベアは設置されていない。板ガラスＧの下端を支持するのは回転自在に整列されたローラ２０である。回転自在であることからフリーローラ２０と呼ぶ。
【００４５】
酸処理ローラ列のパスラインＬとは反対側には、全酸処理ローラ１９に酸処理液を供給するための複数本の酸処理液ヘッダ２１が配設されている（図８）。酸処理液ヘッダ２１は上下に間隔をおいて水平方向に延設されている。各酸処理液ヘッダ２１の板ガラスＧに対向する部分には酸処理液を噴出する複数個の噴出孔２２が形成されている。この噴出孔２２から全酸処理ローラ１９に酸処理液が供給される。一方、酸処理ローラ１９はその表面がスポンジ等の多孔質の部材で形成されている。そのため、上記噴出孔２２から供給された酸処理液は多孔質の酸処理ローラ表面全体に浸透し、この表面には酸処理液がにじみ出た状態となっている。酸処理ローラ１９に接触する板ガラスＧの面には酸処理液が供給されることになる。板ガラスＧの高さ寸法に応じて酸処理液が供給されるヘッダ２１が選択され、図示しない手動切替弁や電磁切替弁によって酸処理液の供給対象が切り替えられる。なお、酸処理が必要ないときには、酸処理液を水等の流体に切り替えることにより対応可能である。酸処理装置６によってその裏面を処理された板ガラスＧは洗浄装置７に搬送される。
【００４６】
図１、図２および図９を参照しつつ洗浄装置７を説明する。洗浄装置７は板ガラスＧの両面を水によって洗浄するとともに、板ガラスＧを約５゜傾斜した状態から鉛直の状態に戻して搬出するためのものである。したがって、水切り装置や酸処理装置が板ガラスＧを傾斜させずに鉛直の状態で処理するように構成されている場合は、この傾斜を立て直す機能は必要ではない。
【００４７】
板ガラスＧは、その両側から水圧が作用するため構造物に接触することなく立った状態で支持される。少なくとも、流体ガイド８から流出する水の表面張力によって立った状態で支持される。この洗浄装置７ではパスラインＬの両側の流体ガイド８が一体で、下流に向かって右側（図中、紙面向こう側）に約５゜傾斜した状態と鉛直の状態との間で揺動するように構成されている。洗浄装置７は前述した倒し装置４（図５）と同様に、流体ガイド８を構成する枠部材９を、下端の回転軸１３を中心にして駆動シリンダ１４によって傾斜させるものである。しかし、本発明ではかかる構成に限定されない。たとえば、図９に示すように、パスラインＬの両側の流体ガイド８のうちの一方を図示しない駆動シリンダなどによって傾斜させるように構成してもよい。
【００４８】
パスラインＬの両側の流体ガイド８からは洗浄用の純水が板ガラスＧに向けて噴出させられている。この噴水により、板ガラスＧの面から酸処理液や塵埃等が洗い流される。
【００４９】
本洗浄装置７のパスラインＬの両側には、流体ガイド８の他に板ガラスＧの両面にリンス用のシャワーを供給するための給水管２５が立設されている。この給水管２５には板ガラスＧに向けて純水を噴出するための複数個の噴水孔が形成されている。両給水管２５は両流体ガイド８とともに鉛直状態と傾斜状態とに揺動可能に構成されている。もちろん、図９に示すように、一方の流体ガイドのみ傾斜する構成のものでは、給水管２５もその一方のみを傾斜させるように構成することになる。この洗浄装置７によって洗浄された板ガラスＧはベルトコンベア２によって下流工程に搬送される。
【００５０】
前述した酸処理装置６では、板ガラスＧの面に酸処理液を供給するために回転駆動式の酸処理ローラ１９を用いたが、本発明ではかかる構成に限定されない。かかる酸処理ローラ１９に代えて固定式の部材を用いてもよい。
【００５１】
図１０には固定式の酸処理部材３２を用いた酸処理装置３１が示されている。この酸処理装置３１においても流体ガイドは設置されていない。パスラインＬの片側にはパスラインＬに沿って複数本の酸処理部材３２が平行に配列されている。これらの酸処理部材３２には板ガラスＧの搬送機能はないので、ベルトコンベア２が設置されている。全酸処理部材３２は倒し装置４における流体ガイド８の傾斜方向と同一方向（下流に向かって右側）に約５゜傾斜して固定されている。前述した酸処理ローラ１９を用いた酸処理装置６と同様に全酸処理部材３２を鉛直に立設してもよい。酸処理液膜の表面張力を利用できるからである。
【００５２】
図１１には酸処理部材３２の構造が示されている。酸処理部材３２は板状の芯材３３の表面を多孔質材３４で覆ったものである。芯材３３には板ガラスＧに対向する面に向けて酸処理液の供給孔３２ｃが形成されており、この供給孔３２ｃに酸処理液が供給される。これにより、多孔質材３４からなる表面に酸処理液が浸透し、その表面から酸処理液がにじみ出る。酸処理部材３２の板ガラスＧに対向する部位はほぼ板ガラスＧに平行な面３２ａにされている。この面３２ａの上流および下流側の部分は傾斜面３２ｂまたはほぼ曲面にされる。板ガラスＧの酸処理面はベルトコンベア２による搬送に伴って各酸処理部材３２の上記面３２ａに接触しつつ酸処理液によって処理される。板ガラスＧはこの酸処理部材３２の面３２ａの液膜に接触しているときには酸処理液の表面張力によって酸処理部材３２にいわば吸着された状態となる。したがって、全酸処理部材３２を鉛直に立設してもよい。
【００５３】
上記酸処理液供給孔３２ｃは各酸処理部材３２の長手方向（上下方向）に沿って複数個形成されている（図１１（ａ））。酸処理部材３２のパスラインＬとは反対側には酸処理液供給機構３５が設置されており、この酸処理液供給機構から各酸処理液供給孔３２ｃに酸処理液が供給される。このとき、板ガラスＧの高さ寸法に応じて、図示しない手動切替弁や電磁切替弁によって異なる供給孔３２ｃに酸処理液を供給することができる。
【００５４】
本酸処理装置３１における酸処理部材３２はパスラインＬに直角な方向には前述のとおり僅かに傾斜されているが、搬送方向の上流側および下流側（図中の右側および左側）には傾斜していない。しかし、図１２に示すように上流および下流のいずれかに向けて傾斜させておくのが好ましい。傾斜させることにより酸処理部材３２の長手方向と板ガラスＧの前端縁とが平行にならず、これらが一致することがない。その結果、板ガラスＧは搬送されている最中、その前端部が酸処理部材３２に達したときに酸処理液が非処理面に回り込むことが制限される。また、酸処理部材３２からの酸処理液は鉛直に流れ、酸処理部材３２に沿って流れないので、酸処理部材３２の表面の酸処理液の量が均一化される。
【００５５】
図１３〜図１５には他の酸処理設備３６が示されている。この酸処理設備３６は板ガラスＧを鉛直状態のまま処理するため、搬入時の倒し装置および搬出時の立て直し装置を備えていない。すなわち、パスラインＬに直下な方向に傾斜させる機構はなく、傾斜してもいない。酸処理のために前述した固定式の酸処理部材３２を採用しており、板ガラスＧは酸処理部材３２の面に液体の表面張力で吸着されて鉛直状態を保つ。板ガラス搬送のためには設備３６の入り口から出口までベルトコンベア２が設置されている。酸処理部材３２も設備３６の入り口から出口まで配列されている。
【００５６】
本酸処理設備３６では、全酸処理部材３２のうち上流端の二本の酸処理部材３２１と下流端の二本の酸処理部材３２２とには酸処理液ではなく板ガラスの水洗のために水が供給される。したがってこれらの酸処理部材を水洗部材と呼ぶ。これらの水洗部材３２１、３２２によって板ガラスＧの処理面が洗浄される。真ん中の七本の酸処理部材３２には酸処理液が供給される。しかし、これらの本数には限定されない。要するに、上流側の水洗部材および下流側の水洗部材によって板ガラスＧの酸処理面を水洗するように構成すればよい。
【００５７】
上流端の水洗部材３２１の範囲を搬入部３７と呼び、中央部の酸処理部材３２の範囲を酸処理部３８と呼び、下流端の水洗部材３２２の範囲を搬出部３９と呼ぶ。搬入部３７において、パスラインＬを挟んで水洗部材３２１の反対側には噴霧管１６が配設されている。この噴霧管１６は前述した水切り装置５における噴霧管１６と同様の構成であるため、その説明を省略する。搬出部３９において、パスラインＬを挟んだ両側には給水管２５が配設されている。給水管２５は水洗部材３２２同士の間隙から板ガラスＧに水流を吹き付ける。この給水管２５は前述した洗浄装置７における給水管２５と同様の構成であるため、その説明を省略する。
【００５８】
図１４に示すように、上流の水洗部材３２１、酸処理部材３２、および、下流の水洗部材３２２に水または酸処理液を供給する機構はそれぞれ独立している。搬入部３７には水洗部材３２１および噴霧管１６に給水するための給水装置４０が配設されており、搬出部３９には水洗部材３２２に給水するための給水装置４１が配設されている。搬出部３９の給水管２５には図示しない給水機構が別途設けられている。酸処理部３８の酸処理部材３２には酸処理液供給機構４２が接続されている。
【００５９】
図１５には酸処理液供給装置４２が示されている。酸処理液供給装置４２は、酸処理液供給管４３と、酸処理部材３２の酸処理液供給孔３２ｃに接続された接続金具４４と、酸処理液供給管４３と接続金具４４とをつなぐホース４５と、ホース４５に取り付けられた止め弁４６とを備えている。本実施形態では、酸処理液を供給すべき酸処理液供給孔３２ｃを選択するのに手動の止め弁４６を用いているが、電磁式の切替弁を用いてもよい。上記各給水装置４０、４１はこの酸処理液供給装置４２と同等の構成であるため、その説明を省略する。
【００６０】
前述した酸処理装置６に採用される酸処理液供給装置もこの酸処理液供給装置４２と同等の構成である。
【００６１】
本酸処理設備３６においても、酸処理部材３２を上流および下流のいずれかに向けて傾斜させておくのが好ましい。また、酸処理部材３２に代えて酸処理ローラを用いてもよい。
【００６２】
図１６には他の酸処理部材５１が示されている。この酸処理部材５１は一対のエンドプーリ５２ａ、５２ｂと、両エンドプーリ５２ａ、５２ｂに掛け回された無端ベルト（以下、単にベルトという）５３とを有している。このベルト５３はスポンジ等の多孔質材から構成されている。一方のエンドプーリ５２ａは駆動プーリであり、モータ１８によって自軸回りに回転させられる。これによってベルト５３が回動する。ベルト全体を多孔質材から構成することに代えて、通常の公知のベルト材の外側表面に多孔質材を貼着したものでもよい。
【００６３】
酸処理部材５１のパスラインＬと反対側にはベルト５３に酸処理液を供給する酸処理液ヘッダ２１が配設されている。この酸処理液ヘッダ２１は図８に示すものと同等の構造であるため、その説明を省略する。ベルト５３にはパスラインの反対側で酸処理液が供給され、パスライン側で板ガラスにこの酸処理液を供給する。すなわち、板ガラスＧはベルト５３が構成している面５３ａに接触しながら、ベルト５３の回動によって搬送される。したがって、ベルトコンベアを必要としない。ベルト５３のスパンおよび一の酸処理装置に設置する酸処理部材５１の数は板ガラスのサイズや処理時間に応じて任意に設定することができる。
【００６４】
また、酸処理液ヘッダ２１からベルト５３に直接酸処理液を供給するのではなく、一方のエンドプーリに酸処理液の供給孔を形成し、この供給孔に酸処理液を供給してもよい。また、ベルト全体を多孔質材から形成しておき、ベルトの裏面（板ガラスと対向する面と反対側の面）から酸処理液を供給してもよい。
【００６５】
以上の構成により、酸処理部材の数量の低減が可能となりるため、構造が簡略化され、一層均一な処理が可能となり、装置のメンテナンスも容易となる。
【００６６】
【発明の効果】
本発明によれば、大型化、薄型化した板ガラスを含む板材に対し、割れ等の損傷を防止し、板材の品質の一層の向上を可能にした酸処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の酸処理設備の一実施形態を概略的に示す正面図である。
【図２】図１の酸処理設備の概略平面図である。
【図３】図１の酸処理設備における流体ガイドの一部を示す横断面図である。
【図４】図１の酸処理設備における水洗装置の一例を示す概略平面図である。
【図５】図１の酸処理設備における倒し装置の一例を示す側面図である。
【図６】図１の酸処理設備における倒し装置の他の例を示す概略側面図であり、図６（ａ）は倒す前の状態を示し、図６（ｂ）は倒した後の状態を示している。
【図７】図１の酸処理設備における水切り装置の一例を示す概略側面図である。
【図８】図１の酸処理設備における酸処理装置の一実施形態を示す概略側面図である。
【図９】図１の酸処理設備における洗浄装置の一例を示す概略側面図であり、図９（ａ）は傾斜状態を示し、図９（ｂ）は直立状態を示している。
【図１０】図１０（ａ）は図１の酸処理設備における酸処理装置の他の実施形態を示す概略正面図であり、図１０（ｂ）はその概略側面図である。
【図１１】図１１（ａ）は図１の酸処理装置における酸処理部材の一例を示す正面図であり、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＸＩ−ＸＩ線断面図である。
【図１２】図１２（ａ）は図１０の酸処理装置における酸処理部材の配列の一例を示す正面図であり、図１２（ｂ）は図１０の酸処理装置における酸処理部材の配列の他の例を示す正面図である。
【図１３】本発明の酸処理設備の他の実施形態を示す正面図である。
【図１４】図１３の酸処理設備の平面図である。
【図１５】図１３の酸処理設備のＸＶ−ＸＶ線矢視側面図である。
【図１６】図１の酸処理装置における酸処理部材の他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１・・・・酸処理設備
２・・・・ベルトコンベア
３・・・・水洗装置
４・・・・倒し装置
５・・・・水切り装置
６・・・・酸処理装置
７・・・・洗浄装置
８・・・・流体ガイド
９・・・・枠部材
１０・・・・流体噴出部
１１・・・・調節機構
１２・・・・噴水管
１３・・・・回転軸
１４・・・・駆動シリンダ
１５・・・・エアナイフフレーム
１６・・・・噴霧管
１７・・・・水切りローラ
１８・・・・モータ
１９・・・・酸処理ローラ
２０・・・・フリーローラ
２１・・・・酸処理液ヘッダ
２２・・・・噴出孔
２５・・・・給水管
３１・・・・酸処理装置
３２・・・・酸処理部材
３３・・・・芯材
３４・・・・多孔質材
３５・・・・酸処理液供給機構
３６・・・・酸処理設備
３７・・・・搬入部
３８・・・・酸処理部
３９・・・・搬出部
４０、４１・・・・給水装置
４２・・・・酸処理液供給装置
４３・・・・酸処理液供給管
４４・・・・接続金具
４５・・・・ホース
４６・・・・止め弁
５１・・・・酸処理部材
５２ａ、５２ｂ・・・・エンドプーリ
５３・・・・ベルト
３２１、３２２・・・・水洗部材
Ｇ・・・・板ガラス
Ｌ・・・・（板ガラスの）パスライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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