(57)【要約】【課題】クリーンルーム内に設備機器を設置する際、フリーアクセスフロアのパンチング穴を利用して固定金具を取り付けるようにする。【解決手段】設備機器の柱脚部８をフリーアクセスフロア１に押し付けて固定する柱脚固定プレート３と、柱脚固定プレート３上にフリーに置かれた押さえプレート４と、押さえプレート４をまたぎ柱脚固定プレート３に開けた平行一対のルーズ穴５を通してパンチング穴２に先端部の鉤型を引っ掛けるＵ字型のフック６と、押さえプレート４のネジ穴にねじ込んで押さえプレート４を上下させるボルト７とを備え、ボルト７を回転させることによって押さえプレート４を上昇させてフック６を引き上げ、フック６がフリーアクセスフロア１のパンチング穴２に係止されると同時にボルト７の下端で柱脚固定プレート３をフリーアクセスフロア１に押し付けて締結し、設備機器を固定する。【選択図】      図１
2004190345.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パンチング穴が格子状に配列して開けられたフリーアクセスフロアで構成されるクリーンルーム内の床に設備機器を設置する際に使用する耐震対策用固定金具において、前記設備機器の柱脚部をフリーアクセスフロアに押し付けて固定するための柱脚固定プレートと、この柱脚固定プレート上にフリーに重ね合わされた押さえプレートと、この押さえプレートをまたぎ前記柱脚固定プレートに開けられた平行一対の長穴を通してフリーアクセスフロアのパンチング穴に先端部の鉤型を引っ掛けるＵ字型のフックと、前記押さえプレートに設けられたネジ穴にねじ込むことによって押さえプレートを上下させるボルトとを備え、ボルトを回転させることによって押さえプレートを上昇させてフックを引き上げ、フックがフリーアクセスフロアのパンチング穴に係止されると同時にボルトの下端で柱脚固定プレートをフリーアクセスフロアに押し付けて締結し、設備機器を固定することを特徴とする耐震対策用固定金具。
【請求項２】
前記柱脚固定プレートに設けられた平行一対の長穴の中心間隔は、フリーアクセスフロアに開けられたパンチング穴のピッチ間隔の整数倍であることを特徴とする請求項１記載の耐震対策用固定金具。
【請求項３】
前記柱脚固定プレートに設けられた平行一対の長穴の長さは、それぞれ複数個のパンチング穴を１列に含む長さであることを特徴とする請求項１記載の耐震対策用固定金具。
【請求項４】
前記フックのＵ字型の中心間隔は、フリーアクセスフロアに開けられたパンチング穴のピッチ間隔の整数倍であることを特徴とする請求項１記載の耐震対策用固定金具。
【請求項５】
前記フックは２個使用して２個所で押さえプレートをまたぎ、押さえプレートには両端部にボルトをねじ込むネジ穴が設けられ、２個所のフックの外側でボルトをねじ込んで締結することを特徴とする請求項１記載の耐震対策用固定金具。
【請求項６】
前記押さえプレートには柱脚固定プレートに設けられたのと同形状の平行一対の長穴が開けられ、前記フックはこの長穴を通して押さえプレートにまたがっていることを特徴とする請求項５記載の耐震対策用固定金具。
【請求項７】
前記押さえプレートは長穴を有さない一枚プレートであって、前記フックはこの一枚プレートの幅方向にまたがっていることを特徴とする請求項５記載の耐震対策用固定金具。
【請求項８】
前記フックは２個使用して２個所で押さえプレートをまたぎ、押さえプレートには中間部の１個所にボルトを締結するネジ穴が設けられ、２個所のフックの間でボルトを締結することを特徴とする請求項１記載の耐震対策用固定金具。
【請求項９】
前記押さえプレートには柱脚固定プレートに設けられたのと同形状の平行一対の長穴が開けられ、前記フックはこの長穴を通して押さえプレートにまたがっていることを特徴とする請求項８記載の耐震対策用固定金具。
【請求項１０】
前記押さえプレートは長穴を有さない一枚プレートであって、前記フックはこの一枚プレートの幅方向にまたがっていることを特徴とする請求項８記載の耐震対策用固定金具。
【請求項１１】
前記押さえプレートの中間部の１個所にボルトを締結するネジ穴を有する押さえプレートには、その両端部にフックの外れを防ぐ凸縁部が設けられていることを特徴とする請求項５または８記載の耐震対策用固定金具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム内の床に設備機器を据え付ける際に、床を構成しているフリーアクセスフロアに設備機器の柱脚部を固定するための固定金具に関するもので、特に耐震対策用として信頼性の高い耐震対策用固定金具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば半導体製造のクリーンルームにおいては、一般的にその床材にフリーアクセスフロアと呼ばれるパンチング穴の開いた正方形のアルミニウム製の板が使用され、この板を複数枚配列して床を構成している。この床構造は、パンチング穴を有することによってクリーンルーム内の気流を床下に落とすことができるとともに、床下に敷設される電線や配管の保守点検を行なうために簡単に取り外しができるようになっている。通常、このパンチング穴は直径８〜１２ｍｍのものが用いられるが、台車等の移動時に発生する振動を押さえるために、最新のクリーンルームでは直径８ｍｍのものが使用されている。
【０００３】
このようなフリーアクセスフロア構造の床に棚等の設備機器を設置する場合には、耐震対策を講じて床に固定する必要がある。そのため従来は、図５の斜視図に示すように、フリーアクセスフロア１１に穴あけ等の加工を施し、かつフリーアクセスフロア１１を一部取り外して床を開口し、その下に設けられているフリーアクセスフロアの支持脚１２に固定金具１３を取り付け、この固定金具１３を介してフリーアクセスフロア１１に開けた穴に長ボルト１４を通してフリーアクセスフロア１１に設備機器１０を固定していた（例えば、引用文献１参照。）。
【０００４】
しかし、棚等の設備機器は、クリーンルーム内のレイアウト変更等でその据え付け位置の移動が頻繁にあり、その都度フリーアクセスフロアを加工して固定金具を取り付ける必要があった。また、加工作業はクリーンルーム内での発塵作業となり、クリーンルーム内の環境を汚染するという問題があった。一方、クリーンルームの床下は、その機能上２〜３ｍの高さが必要であり、フリーアクセスフロアを開口しての作業は非常に危険を伴うものとなっていた。
【０００５】
そこで、上記問題を解決するために、フリーアクセスフロアに加工を施したり開口したりすることなく設備機器を固定できる固定金具が求められていた。そのために、一端にフックを設けたロックボルトを使用し、このフックをフリーアクセスフロアのパンチング穴に引っ掛け、他端側をナットで締結することによってロックプレートを介して設備機器を固定する金具が提案されている（例えば、引用文献２参照。）。しかし、この固定金具はロックボルトにネジが設けられているため、大きな外力が加わった時にネジ部から破損する恐れがあり、所定の強度が得られないため耐震対策用としては信頼性に欠けるという問題があった。
【０００６】
【特許文献１】
特公平０６−０４７８６４号公報（第１図）
【特許文献２】
実公平０７−０４３９５１号公報（第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、これらの問題点を解決するためになされたもので、フリーアクセスフロアに現地加工を施すことなくフリーアクセスフロアのパンチング穴を利用して固定金具を取り付けるようにすることによって、クリーンルーム内の発塵をなくすとともに施工上の安全性を向上させ、また、設備機器の頻繁なレイアウト変更にもフレキシブルに対応できる耐震強度に優れた固定金具を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、パンチング穴が格子状に配列して開けられたフリーアクセスフロアで構成されるクリーンルーム内の床に設備機器を設置する際に使用する耐震対策用固定金具において、前記設備機器の柱脚部をフリーアクセスフロアに押し付けて固定するための柱脚固定プレートと、この柱脚固定プレート上にフリーに重ね合わされた押さえプレートと、この押さえプレートをまたぎ前記柱脚固定プレートに開けられた平行一対の長穴を通してフリーアクセスフロアのパンチング穴に先端部の鉤型を引っ掛けるＵ字型のフックと、前記押さえプレートに設けられたネジ穴にねじ込むことによって押さえプレートを上下させるボルトとを備え、ボルトを回転させることによって押さえプレートを上昇させてフックを引き上げ、フックがフリーアクセスフロアのパンチング穴に係止されると同時にボルトの下端で柱脚固定プレートをフリーアクセスフロアに押し付けて締結し、設備機器を固定することができるようにしている。
【０００９】
また、本発明において、前記柱脚固定プレートに設けられた平行一対の長穴の中心間隔は、フリーアクセスフロアに開けられたパンチング穴のピッチ間隔の整数倍とし、また、前記柱脚固定プレートに設けられた平行一対の長穴の長さは、それぞれ複数個のパンチング穴を１列に含む長さとし、さらに、前記フックのＵ字型の中心間隔は、フリーアクセスフロアに開けられたパンチング穴のピッチ間隔の整数倍となるようにしている。
【００１０】
また、本発明において、前記フックは２個使用して２個所で押さえプレートをまたぎ、押さえプレートには両端部にボルトをねじ込むネジ穴が設けられ、２個所のフックの外側でボルトをねじ込んで締結するようにし、また、この押さえプレートには柱脚固定プレートに設けられたのと同形状の平行一対の長穴が開けられ、前記フックはこの長穴を通して押さえプレートにまたがるようにするか、あるいは、この押さえプレートは長穴を有さない一枚プレートであって、前記フックはこの一枚プレートの幅方向にまたがるようにしている。
【００１１】
また、本発明において、前記フックは２個使用して２個所で押さえプレートをまたぎ、押さえプレートには中間部の１個所にボルトを締結するネジ穴が設けられ、２個所のフックの間でボルトを締結するようにし、また、この押さえプレートには柱脚固定プレートに設けられたのと同形状の平行一対の長穴が開けられ、前記フックはこの長穴を通して押さえプレートにまたがるようにするか、あるいは、この押さえプレートは長穴を有さない一枚プレートであって、前記フックはこの一枚プレートの幅方向にまたがるようにしている。さらに、この押さえプレートの中間部の１個所にボルトを締結するネジ穴を設けた場合には、この押さえプレートの両端部にフックの外れを防ぐ凸縁部を設けている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明における耐震対策用固定金具の一実施の形態を示す図で、図（ａ）は平面図、図（ｂ）は一部断面にした側面図である。
【００１３】
本発明の耐震対策用固定金具（以下、単に固定金具と称する）は、クリーンルーム内においてフリーアクセスフロアに加工を施したりあるいはその一部を取り外して床を開口したりする作業を行なうことなく、フリーアクセスフロアに機能上設けられているパンチング穴を利用して容易に棚等の設備機器を固定できるという特徴を有する。
【００１４】
この固定金具の構造は、図１に示すように、フリーアクセスフロア１のパンチング穴２に棚等の柱脚固定プレート３と押さえプレート４とに設けた長穴（ルーズ穴５）を通して２個のＵ字型フック６の先端部を挿入し、それぞれのフック６をフリーアクセスフロア１のパンチング穴２に引っ掛ける。次いで、押さえプレート４のネジ穴にボルト７をねじ込むことにより押さえプレート４がフック６を引き上げ、同時にボルト７は柱脚固定プレート３をフリーアクセスフロア１に押さえつけて締結する。このようにして、棚等の柱脚部８はフリーアクセスフロア１１に強固に固定される。
【００１５】
ここで、本発明の固定金具を使用するクリーンルームについて説明する。半導体製造に用いられるクリーンルームは、高清浄空間を維持するために天井部に設置された高性能フィルターから吹き出した空気を垂直にダウンフローさせ、床下を通して循環させている。このため、床を構成している床材には、空気が通り抜けるためのパンチング穴の開いたフリーアクセスフロアを採用している。このフリーアクセスフロアは６００ｍｍ×６００ｍｍのアルミダイキャスト製で、床下に敷設された電線や配管の保守点検のために取り外しが容易なパネル構造となっている。パンチング穴の直径は一般的に８ｍｍのものが採用されており、中心間距離１５ｍｍのピッチ間隔で格子状に配置されている。パンチング穴部におけるフリーアクセスフロアの厚みは１０ｍｍとなっている。本発明はこのフリーアクセスフロアのパンチング穴を利用して、棚等をフリーアクセスフロアに固定しようとするものである。
【００１６】
次に、図１に示した本発明の固定金具を構成する各部品について、具体的に説明する。まず、棚等の柱脚部８を挟み込んでフリーアクセスフロア１上に固定するための柱脚固定プレート３は、帯状の鉄板材を曲げ加工したもので、柱脚部８と接触する一端側が持ち上がるように折り曲げ加工されるとともにその先端部は二股状に形成され、また、他端側のフリーアクセスフロア１と接触する平面部分には、平行一対の２本の長穴（ルーズ穴５）が開けられている。この２本のルーズ穴５の平行間隔は、パンチング穴２のピッチ間隔に合わせて、例えば１５ｍｍ、３０ｍｍなど、ピッチ間隔の整数倍に任意に設定する。また、ルーズ穴５の幅はパンチング穴２の直径と同じ８ｍｍとし、その長さは複数個のパンチング穴２を１列にカバーできる長さに任意に設定する。
【００１７】
また、２本のボルト７によって上下する押さえプレート４は、上述した柱脚固定プレート３に設けられた長穴と同じ寸法の２本のルーズ穴５を有する平板で構成され、その両端部にボルト７をねじ込むネジ穴が開けられている。この押さえプレート４は、両端部に２本のボルト７をねじ込むためのネジ穴及びルーズ穴５を設けているため、強度を考慮して厚みを持たせた鉄製とする。また、この押さえプレート４は、フック６を介してボルト７でフリーアクセスフロア１に固定されるまではフリーな状態となっている。
【００１８】
次に、このルーズ穴５を通しパンチング穴２に引っ掛けるフック６について説明する。フック６は丸棒などの棒材をＵ字型あるいはコ字型に曲げ加工し、その先端部は鉤型に曲げられている。この先端部の構造は、強度を考慮した上で直径８ｍｍ、長さ１０ｍｍのパンチング穴２に傾けて挿入できるように直径及び長さを決定し、材質は鉄製とする。
【００１９】
上記のルーズ穴５は、柱脚固定プレート３と押さえプレート４の両方に設けてあり、フック６の先端部をパンチング穴２に挿入する際にフック６を倒して挿入しやすくするためのものであり、同時にフリーアクセスフロア１のパンチング穴２の配置にフック６を合わせることが容易にできるようにしたものである。
【００２０】
次に、上記の固定金具の使用方法について図１を用いて説明する。クリーンルーム内のフリーアクセスフロア１上に設置された棚等の柱脚部８に柱脚固定プレート３の一端部を乗せるようにして配置し、この柱脚固定プレート３上に押さえプレート４をルーズ穴５の位置を合わせて重ね合わせる。ルーズ穴５の方向はパンチング穴２の配列方向と一致させる。次いで、重ね合わされた柱脚固定プレート３と押さえプレート４の２本のルーズ穴５の間をまたいで２個のフック６をルーズ穴５に挿入し、さらにフック６の先端部をパンチング穴２に通して鉤型で引っ掛ける。次いで、押さえプレート４の両端部でかつ２個のフック６の外側に位置するネジ穴にそれぞれボルト７をねじ込むことによって押さえプレート４が上昇を始め、押さえプレート４はフック６を引き上げることによってフック６がフリーアクセスフロア１に固定される。同時にボルト７の締結によってボルト７の下端部で柱脚固定プレート３がフリーアクセスフロア１に押さえつけられ、柱脚部８もフリーアクセスフロア１に押さえつけられる。このように、本発明の固定金具の使用に当たっては、フリーアクセスフロアの加工、開口作業は全く必要がない。
【００２１】
次に、本発明における他の実施の形態について図面を参照して説明する。図２は固定金具の他の実施形態を示す図で、図（ａ）は平面図、図（ｂ）は一部断面にした側面図である。
【００２２】
図２に示すように、本実施の形態の特徴は、押さえプレート４ａにねじ込むボルト７の数を１本にしたことにある。これに伴って、押さえプレート４ａはネジ穴の位置をその中央部の１個所とし、同時にルーズ穴をなくして幅を狭くし、長さを２本のフック６が外れない程度に短くしている。フック６は幅方向にまたがるように位置させ、先端部をパンチング穴２に引っ掛ける。そして、フック６の締め付け時の外れを防ぐために押さえプレート４ａは両端部を上方に起して凸縁部９を形成している。押さえプレート以外の部品構造は前記一実施の形態と同様である。本実施の形態によれば、ボルトが１本で済むことから取り付け工数が削減でき、また、固定金具自体を小型化できるので比較的小形軽量の設備機器には適した構造である。
【００２３】
また、応用例として、図１で示したようなボルト２本で締結する固定金具においては、図３の平面図に示すように、押さえプレート４ｂにはルーズ穴を設けずに幅を狭くした構造としてもよい。また、図２で示したようなボルト１本で締結する固定金具においては、図４の平面図に示すように、押さえプレート４ｃにルーズ穴５を設け、幅を広くした構造としてもよい。いずれにしても、クリーンルーム内のレイアウトや設備機器の種類によって使い分けできるようにしている。
【００２４】
【発明の効果】
本発明の固定金具を使用することにより、クリーンルーム内でフリーアクセスフロアを現地加工することなく容易に棚等を固定することができる。半導体用クリーンルームは非常に発塵を嫌うために、現地加工がなくなることによって高清浄度の室内環境を維持することができる。また、本発明の固定金具は、フリーアクセスフロアのパンチング穴を利用して取り付けるため、取り付け位置の変更が容易であり、かつ棚等のレイアウト変更にフレキシブルに対応できる。
【００２５】
また、従来のように、フックを掛けてフック自体をボルトとしてナットで締め付ける固定手段よりも、ボルトの寸法を大きくできて強度の面で信頼性が持てる。また、締め付け点数も少なくて済み取り付けも容易である。一方、安全性の面からも、稼動中のクリーンルーム内でフリーアクセスフロアを開口しての作業は非常に危険であるため、フリーアクセスフロアを開口する必要がなくなったことによって、施工上の安全性を格段に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における一実施の形態を示す図で、図（ａ）は平面図、図（ｂ）は一部断面にした側面図である。
【図２】本発明における他の実施の形態を示す図で、図（ａ）は平面図、図（ｂ）は一部断面にした側面図である。
【図３】一実施の形態の応用例を示す平面図である。
【図４】他の実施の形態の応用例を示す平面図である。
【図５】従来の固定金具の取り付け方法を示す斜視図である。
【符号の説明】
１    フリーアクセスフロア
２    パンチング穴
３    柱脚固定プレート
４、４ａ、４ｂ、４ｃ    押さえプレート
５    ルーズ穴
６    フック
７    ボルト
８    柱脚部
９    凸縁部
１０    設備機器
１１    フリーアクセスフロア
１２    支持脚
１３    固定金具
１４    長ボルト
【図１】
2004190345.tif 000003
【図２】
2004190345.tif 000004
【図３】
2004190345.tif 000005
【図４】
2004190345.tif 000006
【図５】
2004190345.tif 000007