(57)【要約】【課題】温度変化が激しい環境下においても使用できるシール構造、接合方法およびアクチュエータを低コストで実現する。【解決手段】金属部材３１、３２の表面に腐食生成物層を形成し、この腐食生成物層に溶融し固化して樹脂部材３３を接合したシール構造および接合方法または磁性金属部材からなる磁性部３１、３２と樹脂部材からなる非磁性部３３が隣接して設けられたアクチュエータにおいて、上記の接合方法により磁性部と非磁性部が接合されていることを特徴とするアクチュエータ。【選択図】  図１
2004190784.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属部材と、該金属部材の表面に形成された腐食生成物層と、溶融し固化して前記腐食生成物層に接合された樹脂部材が設けられていることを特徴とするシール構造。
【請求項２】
前記腐食生成物層がリン酸亜鉛皮膜であることを特徴とする請求項１記載のシール構造。
【請求項３】
前記樹脂部材の材料がポリフェニレンサルファイド系樹脂であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシール構造。
【請求項４】
金属部材の表面に腐食生成物を形成する腐食生成物形成工程と、樹脂材料を溶融し固化して樹脂部材を前記腐食生成物に密接するように成形する成形工程が設けられていることを特徴とする接合方法。
【請求項５】
前記腐食生成物がリン酸亜鉛皮膜であることを特徴とする請求項４記載の接合方法。
【請求項６】
前記樹脂材料がポリフェニレンサルファイド系樹脂であることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の接合方法。
【請求項７】
磁性金属部材からなる磁性部と樹脂部材からなる非磁性部が隣接して設けられたアクチュエータにおいて、請求項４〜６のいずれかに記載の接合方法により前記磁性部と前記非磁性部が接合されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項８】
前記磁性部が第１ヨークと該第１ヨークに同軸的に配置された第２ヨークとからなり、前記第１ヨークと前記第２ヨークをインサートして前記非磁性部を成形することにより、少なくとも前記第１ヨークと前記第２ヨークで挟持される位置に前記非磁性部が設けられていることを特徴とする請求項７記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はシール構造、接合方法およびアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来流体シールのためには一般的にＯリングが使用されている。しかしＯリングを使用する場合、部材にＯリング溝をつけなければならず、加工コスト面でもコスト高となるという問題があった。
【０００３】
これに対し、従来技術１として、特許文献１にはゴム材質の弾性を利用したシール構造が開示されている。
【０００４】
従来技術２として、特許文献２には接着材を使用したシール構造が開示されている。
【０００５】
従来技術３として、特許文献３には金属端子を金型内にインサートし、熱可塑性樹脂を射出成形で成形されたコネクタ部が開示されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−２８０９１４号公報（第３頁、図１）
【０００７】
【特許文献２】
実開平７−３４５２３号公報（
【請求項３】）
【０００８】
【特許文献２】
特開平７−３１１１０８号公報（段落
【０００７】）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術１は、ゴム材質に弾性があればシールの信頼性は高いものであるが、シール性確保のためにゴム材質の部品を必ず使用しなければならず、部品数削減によるコスト低減に限界があるという問題があった。
【００１０】
従来技術２は、塗布量の管理、硬化条件の管理、接着剤のはみ出しなどの検査、管理工数が発生してしまう問題があった。また、部品に接着剤を塗布し挿入する場合、部品の抜けは、接着剤の強度により確保されているため、接着剤の劣化が起こり接着強度が低下すると、接着剤の割れ部から流体の漏れが発生してしまう恐れがある。
【００１１】
従来技術３のコネクタ部と端子との間のシールは、雰囲気温度の変化が少ない環境で使用される場合シール性は確保できるが、自動車用部品など温度変化が激しい環境で使用される部品では、部材の熱膨張差により樹脂と金属の間に隙間が発生しシール性が確保されなくなるという問題が生じた。
【００１２】
本発明は上記課題を解決したもので、温度変化が激しい環境下においても使用できるシール構造、接合方法およびアクチュエータを低コストで提供する。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記技術的課題を解決するために、本発明の請求項１において講じた技術的手段（以下、第１の技術的手段と称する。）は、金属部材と、該金属部材の表面に形成された腐食生成物層と、溶融し固化して前記腐食生成物層に接合された樹脂部材が設けられていることを特徴とするシール構造である。
【００１４】
上記第１の技術的手段による効果は、以下のようである。
【００１５】
すなわち、溶融し溶融粘度が低くなった樹脂材料と腐食生成物層との濡れ性がよいため、ファンデルワ−ルス結合力が増し、金属部材と樹脂部材の接合強度が向上するので、温度変化が激しい環境下においても使用できるシール構造が実現できる。またシール性確保のための部品や接着剤を使用しないため、部品や管理のコスト等が低減でき低コスト化できる。
【００１６】
上記技術的課題を解決するために、本発明の請求項２において講じた技術的手段（以下、第２の技術的手段と称する。）は、前記腐食生成物層がリン酸亜鉛皮膜であることを特徴とする請求項１記載のシール構造である。
【００１７】
上記第２の技術的手段による効果は、以下のようである。
【００１８】
すなわち、リン酸亜鉛皮膜は溶融した樹脂材料の濡れ性がよいので、より大きな接合強度が得られ、温度変化が激しい環境下においても使用できるシール構造が実現できる。また水素結合をつくることが可能な樹脂材料を使用すれば、リン酸亜鉛皮膜の水和物と水素結合を形成し、さらに接合強度を向上させることができる。
【００１９】
上記技術的課題を解決するために、本発明の請求項３において講じた技術的手段（以下、第３の技術的手段と称する。）は、前記樹脂部材の材料がポリフェニレンサルファイド系樹脂であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシール構造である。
【００２０】
上記第３の技術的手段による効果は、以下のようである。
【００２１】
すなわち、ポリフェニレンサルファイド系樹脂は溶融粘度が低く、リン酸系皮膜によく濡れ密着面積が多くなるので、接合強度が小さい場合にもシール性を確保できる効果を奏する。
【００２２】
上記技術的課題を解決するために、本発明の請求項４において講じた技術的手段（以下、第４の技術的手段と称する。）は、金属部材の表面に腐食生成物を形成する腐食生成物形成工程と、樹脂材料を溶融し固化して樹脂部材を前記腐食生成物に密接するように成形する成形工程が設けられていることを特徴とする接合方法である。
【００２３】
上記第４の技術的手段による効果は、以下のようである。
【００２４】
すなわち、溶融し溶融粘度が低くなった樹脂材料と腐食生成物との濡れ性がよいため、ファンデルワ−ルス結合力が増し、金属部材と樹脂部材の接合強度が向上するので、温度変化が激しい環境下においても使用できる接合方法が実現できる。また接着剤を使用しないため、管理コスト等が低減でき低コスト化できる。
【００２５】
上記技術的課題を解決するために、本発明の請求項５において講じた技術的手段（以下、第５の技術的手段と称する。）は、前記腐食生成物がリン酸亜鉛皮膜であることを特徴とする請求項４記載の接合方法である。
【００２６】
上記第５の技術的手段による効果は、以下のようである。
【００２７】
すなわち、請求項２と同様、リン酸亜鉛皮膜は溶融した樹脂材料の濡れ性がよいので、より大きな接合強度が得られ、温度変化が激しい環境下においても使用できる接合方法が実現できる。また水素結合をつくることが可能な樹脂材料を使用すれば、リン酸亜鉛皮膜の水和物と水素結合を形成し、さらに接合強度を向上させることができる。
【００２８】
上記技術的課題を解決するために、本発明の請求項６において講じた技術的手段（以下、第６の技術的手段と称する。）は、前記樹脂材料がポリフェニレンサルファイド系樹脂であることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の接合方法である。
【００２９】
上記第６の技術的手段による効果は、以下のようである。
【００３０】
すなわち、請求項３と同様、ポリフェニレンサルファイド系樹脂は溶融粘度が低く、リン酸系皮膜によく濡れ密着面積が多くなるので、接合強度が小さい場合にもシール性を確保できる効果を奏する。
【００３１】
上記技術的課題を解決するために、本発明の請求項７において講じた技術的手段（以下、第７の技術的手段と称する。）は、磁性金属部材からなる磁性部と樹脂部材からなる非磁性部が隣接して設けられたアクチュエータにおいて、請求項４〜６のいずれかに記載の接合方法により前記磁性部と前記非磁性部が接合されていることを特徴とするアクチュエータである。
【００３２】
上記第７の技術的手段による効果は、以下のようである。
【００３３】
すなわち、溶融し溶融粘度が低くなった樹脂材料と腐食生成物との濡れ性がよいため、ファンデルワ−ルス結合力が増し、磁性部と非磁性部の接合強度が向上するので、温度変化が激しい環境下においても使用できるシール性を有するアクチュエータが実現できる。またシール性確保のための部品や接着剤を使用しないため、部品や管理のコスト等が低減でき低コスト化できる。
【００３４】
上記技術的課題を解決するために、本発明の請求項８において講じた技術的手段（以下、第８の技術的手段と称する。）は、前記磁性部が第１ヨークと該第１ヨークに同軸的に配置された第２ヨークとからなり、前記第１ヨークと前記第２ヨークをインサートして前記非磁性部を成形することにより、少なくとも前記第１ヨークと前記第２ヨークで挟持される位置に前記非磁性部が設けられていることを特徴とする請求項７記載のアクチュエータである。
【００３５】
上記第８の技術的手段による効果は、以下のようである。
【００３６】
すなわち、第１ヨークと第２ヨークをインサートして非磁性部を成形しているので、第１ヨークと第２ヨーク間に直接磁束が流れずプランジャを介して磁束が流れるようにでき、吸引力を大きくできる効果を奏する。また第１ヨークと第２ヨークの位置決めが非磁性部成形時に正確にできるので、後加工なしで製造でき低コスト化できる。さらに非磁性部をインサート成形するにより第１ヨークと第２ヨークを固定できるとともに、非磁性部と第１ヨーク間、非磁性部と第２ヨーク間のシールを実現できるので、より低コスト化できる。
【００３７】
【発明の実施の形態】
図１はソレノイド電磁弁を模式的に説明する断面図である。ソレノイド電磁弁１０は、弁部２０とソレノイド（リニアアクチュエータの一種）３０から構成されている。弁部２０は、バルブボディ２１と、このバルブボディ２１内に摺動自在に嵌合された弁体２２から構成されている。バルブボディ２１には、油路の第１入口２１ａ、第２入口２１ｂ、第１出口２１ｃ、第２出口２１ｄが形成されている。弁体２２の内部には、第１入口２３ａ、第２入口２３ｂ、第１出口２３ｃ、第２出口２３ｄを有する油路２３が形成されている。
【００３８】
ソレノイド３０は、第１ヨーク３１、第２ヨーク３２、ヨーク固定部３３、コイル部３４、プランジャ３５、シャフト３６、第１ケース３７、第２ケース３８から構成されている。第１ヨーク３１と第２ヨーク３２は、いずれも磁性金属からなる金属部材（磁性部）で、互いに同軸的に配置されている。ヨーク固定部３３は、その一部が第１ヨーク３１と第２ヨーク３２に挟持される位置に設けられ、第１ヨーク３１と第２ヨーク３２を固定している。そして、第１ヨーク３１、第２ヨーク３２とともにボビン４０を形成している。ヨーク固定部３３は非磁性の樹脂部材である。第１ヨーク３１、第２ヨーク３２およびヨーク固定部３３で形成されるシリンダ３９内に磁性のプランジャ３５が摺動自在に嵌合されている。プランジャ３５にはシャフト３６が連結され、シャフト３６は第１ヨーク３１の内周部を通って弁体２２と連結されている。弁体２２は、弁体２２とバルブボディ２１の間に設けられたスプリング２４によって図１の下方に付勢されている。ボビン４０の外周にはコイル部３４が巻かれている。これらのソレノイド３０の部材は第１ケース３７、第２ケース３８で覆われている。
【００３９】
図示しない制御部によってコイル部３４に電流が流されると、第１ヨーク３１と第２ヨーク３２で形成される磁路の作用によってプランジャ３５が動かされ、これによって弁部２０の油路が開閉される。油路中のオイルは、弁体２２とバルブボディ２１の摺動部分、シャフト３６と第１ヨーク３１の摺動部分からシリンダ３９内にわずかであるが侵入する。このオイルが、第１ヨーク３１とヨーク固定部３３および第２ヨーク３２とヨーク固定部３３の接合部からコイル部３４内に侵入しようとする。従来、単に第１ヨーク３１と第２ヨーク３２を金型内にセット（インサート）し射出成形するインサート成形によってヨーク固定部３３が形成されていた。これをＶＶＴやオートマチックトランスミッション等の油圧制御の自動車用部品として長時間使用すると、シリンダ３９からコイル部３４内にオイルが侵入し、オイル中の成分がコイル部４０のコイルを腐食する不具合があった。これは、金属部材である第１ヨーク３１、第２ヨーク３２と樹脂部材であるヨーク固定部３３とでは熱膨張が異なり、温度変化が激しい環境で使用される自動車用部品として長時間使用すると第１ヨーク３１とヨーク固定部３３の間、第２ヨーク３２とヨーク固定部３３の間に隙間が発生したためと考えられた。本発明者は、金属部材と樹脂部材の接合強度を大きくすれば温度変化が激しい環境でも隙間が発生することなくシール性が確保できると考え、鋭意研究し本発明に至った。
【００４０】
本発明は、金属部材の表面に腐食生成物を形成し、樹脂材料を溶融してたのち固化して腐食生成物の部分密接するように樹脂部材を成形し、金属部材と樹脂部材を接合する方法であり、この方法によって製造されたシール構造およびこのシール構造を有するアクチュエータである。
【００４１】
以下、本発明の実施例に基づいて説明する。
【００４２】
（実施例１）
図１に示したボビン４０を以下のように製造した。別途製造された第１ヨーク３１、第２ヨーク３２を用意する。第１ヨーク３１、第２ヨーク３２の材質は炭素を０．０２ｗｔ％含む純鉄系の材料である
はじめに第１ヨーク３１、第２ヨーク３２の表面に以下に示す化成処理によりリン酸亜鉛皮膜を形成する。この場合、リン酸亜鉛皮膜が腐食生成物であり、リン酸亜鉛皮膜を形成する工程が腐食生成物形成工程である。
【００４３】
１．０×１０−３ｍ３のリン酸に酸化亜鉛２００ｇを溶かし、硝酸２５ｇ、過酸化水素水１５ｇ、酢酸０．２ｇを混合し、化成浴とした。この化成浴をウォータバスにて６０℃にし、イソプロピルアルコールにて脱脂洗浄した第１ヨーク３１、第２ヨーク３２を５分浸漬し、取り出し、９０℃で１０分乾燥した（腐食生成物形成工程）。これによって形成されたリン酸亜鉛皮膜の膜厚は５μｍであった。
【００４４】
この第１ヨーク３１、第２ヨーク３２を射出成形用の金型にセットし、熱可塑性樹脂のポリフェニレンサルファイド系樹脂（ガラスファイバー１５ｗｔ％含有）を用いてヨーク固定部３３をインサート射出成形し、ボビン４０を製造した（成形工程）。射出成形条件は、金型温度１５０℃、樹脂温度３１０℃、射出圧力５０ＭＰａである。
【００４５】
製造されたボビン４０を用いて、エアとオイルのシール性を評価した。シール性の評価は熱衝撃試験前と熱衝撃試験後の両方を行った。熱衝撃試験は、−４０℃で３０分放置し、１５０℃まで５分で上げ、１５０℃で３０分放置し、−４０℃まで５分で冷却するサイクルを１００回繰り返して行った。エアのシール性試験は、図２のようにボビン４０のシリンダ３９をゴム製の下部シール部材５１とゴム製で孔５２ａが設けられた上部シール部材５２を用いてシールし、孔５２ａを介してシリンダ３９内にエア圧０．０９８ＭＰａをかけて、内部のエア圧変化からエア漏れ量を測定して行った。オイルのシール性試験も、エアをエンジンオイルに替えて、エアのシール性試験と同様にオイル漏れ量を測定して行った。
【００４６】
シール性試験のほかに、金属部材と樹脂部材の接合強度を評価した。接合強度を評価するために、第１ヨーク３１、第２ヨーク３２と同じ材質のＪＩＳ  Ｋ６８５０に示す形状の金属部材を用意し、この金属部材に上記と同じ腐食生成物形成工程を実施したのち、金属部材を射出成形の金型内にセットしヨーク固定部３３と同じ樹脂材料をインサート射出成形することにより腐食生成物層を介して金属部材と樹脂材料が接合されたＪＩＳ  Ｋ６８５０に示す引張試験片を作製した。この引張試験片をＪＩＳ  Ｋ６８５０の条件で引張試験を行い、引張剪断強度で接合強度を測定した。
【００４７】
（実施例２）
腐食生成物形成工程におけて、第１ヨーク３１、第２ヨーク３２を化成浴に浸漬する時間が２０分である以外は、実施例１と同じ工程で、ボビン４０を製造するとともに、引張強度試験片も製作し、実施例１と同様の評価を行った。実施例２のリン酸亜鉛皮膜の膜厚は２０μｍであった。
【００４８】
（実施例３）
腐食生成物形成工程におけて、第１ヨーク３１、第２ヨーク３２を化成浴に浸漬する時間が５０分である以外は、実施例１と同じ工程で、ボビン４０を製造するとともに、引張強度試験片も製作し、実施例１と同様の評価を行った。実施例２のリン酸亜鉛皮膜の膜厚は５０μｍであった。
【００４９】
（実施例４）
腐食生成物形成工程におけて、第１ヨーク３１、第２ヨーク３２を化成浴に浸漬する時間が１００分である以外は、実施例１と同じ工程で、ボビン４０を製造するとともに、引張強度試験片も製作し、実施例１と同様の評価を行った。実施例２のリン酸亜鉛皮膜の膜厚は１００μｍであった。
【００５０】
（比較例１）
腐食生成物形成工程なしに、実施例１と同じ工程で、ボビン４０を製造するとともに、引張強度試験片も製作し、実施例１と同様の評価を行った。すなわち比較例１ではリン酸亜鉛皮膜が存在しない。
【００５１】
（評価結果）
エアとオイルのシール性試験結果を表１に、接合強度試験結果を表２に示す。
【００５２】
【表１】
2004190784.tif 000003
【表２】
2004190784.tif 000004
実施例１〜４の熱衝撃試験前のエア漏れ量は、いずれも約０．０１×１０−６ｍ３／ｍｉｎであり、熱衝撃試験後もほとんど変化がなかった。実施例１〜４のオイル漏れ量は熱衝撃試験の前でも後でも０．０１×１０−６ｍ３／ｍｉｎ以下であった。一方、比較例１のエア漏れ量は、熱衝撃試験前では約０．０２×１０−６ｍ３／ｍｉｎと比較的低かったが、熱衝撃試験後には約６×１０−６ｍ３／ｍｉｎとなり実用に供しえないレベルになった。比較例１のオイル漏れ量も、熱衝撃試験前では約０．０１×１０−６ｍ３／ｍｉｎ以下と低かったが、熱衝撃試験後には７×１０−６ｍ３／ｍｉｎとなり実用に供しえないレベルになった。
【００５３】
実施例１〜４の接合強度（引張剪断強度）は熱衝撃試験後でも０．２ＭＰａ以上の高い値を示したが、比較例１では熱衝撃試験の前でも後でも試験機の測定限界以下であった。すなわち、本発明の接合方法で接合すれば大きな接合強度が得られる。また実施例１〜４の結果より、リン酸亜鉛皮膜の膜厚すなわち腐食生成物層の厚さが５０μｍ以下であると接合強度が大きく望ましい。さらに望ましくはリン酸亜鉛皮膜の膜厚すなわち腐食生成物層の厚さが２０μｍ以下にするとさらに接合強度を大きくできる。
【００５４】
金属部材と樹脂部材は熱膨張係数が異なっているため、熱衝撃試験によって金属部材と樹脂部材の界面に応力が働く。比較例１は、熱衝撃試験前には樹脂部材がインサート射出成形の冷却時に収縮し金属部材と密着し、シール性を確保している。しかし、接合強度が小さいために、熱衝撃試験による金属部材と樹脂部材の界面に働く応力によってその界面に隙間が発生し、拡大されたために漏れが発生しシール性が確保できなくなったと考えられる。すなわち、腐食生成物層を形成せずに金属部材と樹脂部材を接合すると、金属部材と樹脂部材の接合強度が低く、温度変化が激しい環境下においてはシール不良が発生する。
【００５５】
一方、本発明のように、金属部材に腐食生成物層を形成して樹脂部材を接合すると、接合強度が大きいために、熱衝撃試験による金属部材と樹脂部材の界面に働く応力が働いても、金属部材と樹脂部材は剥離せず隙間の発生が防止できるので、熱衝撃試験後でもシール性が確保できる。
【００５６】
実施例１〜４において接合強度が大きくなった理由を以下のように推察する。すなわち、溶融した樹脂の粘度が低くなり、水和物を有するリン酸系皮膜と濡れ性を保ちながらリン酸系皮膜表面の空隙やピンホール内に溶融樹脂が入り固化し結合力が増し、リン酸亜鉛皮膜と樹脂部材の接合強度が向上したものと考えられる。
【００５７】
実施例では樹脂材料としてポリフェニレンサルファイド系樹脂を使用した。ポリフェニレンサルファイド系樹脂とはポリフェニレンサルファイド樹脂を基材とし含有する樹脂で、強度強化材（例えば、酸化物系、水酸化物系、硫酸塩系、ケイ酸塩系、窒化物系、炭素系などの無機質材料）などの添加材を含有していてもよいし、ポリフェニレンサルファイド樹脂のみでもよい。本発明に使用できる樹脂材料はポリフェニレンサルファイド系樹脂に限定されることなく、プロピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂、変性ポリフェニレンオキサイド樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリアミド樹脂、芳香族ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、液晶ポリマー、ポリエーテルイミド、ポリベンゾイミダゾール、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン等の樹脂でもよく、他の樹脂とのポリマーブレンドでもよく、これらにポリフェニレンサルファイド系樹脂と同様に添加材を添加したものでもよい。樹脂材料としてポリフェニレンサルファイド系樹脂を使用すれば、フィラーなどの添加材を多く含有することができるため温度変化に伴う寸法変化を小さくすることができるので、接合強度が小さい場合にもシール性を確保できる効果を奏する。なかでも表面に水素結合をつくることが可能な樹脂材料（例えば、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂等）は、腐食生成物の水和物と水素結合を形成し、より接合強度を向上させることができるので望ましい。
【００５８】
樹脂部材の成形方法として実施例では射出成形を用いたが、樹脂材料を溶融し固化できる樹脂材料なら、どんな成形方法でも使用できる。例えば、圧縮成形、トランスファー成形、押出成形などが利用できる。
【００５９】
腐食生成物としてリン酸塩系皮膜を使用した場合、成形温度が３００℃以上になるとリン酸塩系皮膜の水和物がなくなり、表面が酸化してしまい、水素結合をしにくくなるので、望ましくない。一方、成形温度が樹脂材料の融点以下では腐食生成物と樹脂材料の濡れが悪くなるので、望ましくない。したがって、接合強度を大きくするために適した成形温度は、樹脂材料の融点以上でリン酸塩系皮膜の酸化が抑えられる温度である。例えば、ポリフェニレンサルファイド系樹脂、ポリアミド系樹脂等のエンエンプラの場合、成形温度は２５０℃〜３００℃が望ましい。
【００６０】
本発明に使用される金属部材の材料として、実施例では純鉄系材料を使用したが、特に限定されず、鉄系、亜鉛系、ニッケル系、アルミ系等の金属材料でもよい。その形態も板材、線材、棒材でもよく、機械加工材、焼結材、金属射出成形材あるいは母材に金属系の表面処理が施された材料でもよい。
【００６１】
実施例ではリン酸亜鉛皮膜を腐食生成物として使用したが、金属部材の表面に生成された腐食生成物なら利用できる。例えば、Ｆｅ３（Ｏ４）２・８Ｈ２Ｏ、ＦｅＰＯ４・ｎＨ２Ｏ等のリン酸鉄系皮膜、Ｚｎ３（ＰＯ４）・４Ｈ２Ｏ、ＺｎＦｅ（ＰＯ４）２・４Ｈ２Ｏ、ＣａＺｎ２（ＰＯ４）２・２Ｈ２Ｏ、Ｚｎ３（ＰＯ４）２・Ｈ２Ｏ等のリン酸亜鉛系皮膜、（Ｍｎ，Ｆｅ）５Ｈ２（ＰＯ４）４・４Ｈ２Ｏ等のリン酸マンガン系皮膜などのリン酸塩系皮膜、Ｃｒ（ＯＨ）２・ＨＣｒＯ４、ＡｌＰＯ４・２Ｈ２Ｏ、Ｃｒ（ＯＨ）３、Ｃｒ（ＯＨ）ＣｒＯ４などのクロム酸塩系皮膜、ＣｒＰＯ４、ＡｌＰＯ４、ＡｌＯ（ＯＨ）などのクロム酸―リン酸塩系皮膜、ＦｅＣ２Ｏ４、ＮｉＣ２Ｏ４、Ｃｒ２（Ｃ２Ｏ４）３などのシュウ酸塩系皮膜が利用できる。
【００６２】
実施例では金属部材を化成処理することによって腐食生成物を形成させたが、他の方法によって腐食生成物を形成させてもよい。例えば、熱酸化処理、アルミ系金属のアルマイト処理、クロメート処理、メッキなどの方法がある。化成処理とは、金属部材を腐食液（化成浴）と化学反応させ、金属部材の表面に固着性のある腐食生成物を作る処理方法である。化成処理によって腐食生成物を作れば、金属部材の形状によらず金属部材の表面に均一に腐食生成物層を形成できる。化成処理によって形成された腐食生成物の成分は、化成浴を作る際に混合する水溶液や添加剤の組成によって調整可能である。
【００６３】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、金属部材と、該金属部材の表面に形成された腐食生成物層と、溶融し固化して前記腐食生成物層に接合された樹脂部材が設けられていることを特徴とするシール構造および金属部材の表面に腐食生成物を形成する腐食生成物形成工程と、樹脂材料を溶融し固化して樹脂部材を前記腐食生成物に密接するように成形する成形工程が設けられていることを特徴とする接合方法および磁性金属部材からなる磁性部と樹脂部材からなる非磁性部が隣接して設けられたアクチュエータにおいて、上記の接合方法により前記磁性部と前記非磁性部が接合されていることを特徴とするアクチュエータであるので、温度変化が激しい環境下においても使用できるシール構造、接合方法およびアクチュエータを低コストで提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ソレノイド電磁弁を模式的に説明する断面図
【図２】ボビンのシール性の試験方法を説明する断面図
【符号の説明】
３０…ソレノイド（アクチュエータ）
３１…第１ヨーク（磁性部）（金属部材）
３２…第２ヨーク（磁性部）（金属部材）
３３…ヨーク固定部（非磁性部）（樹脂部材）
【図１】
2004190784.tif 000005
【図２】
2004190784.tif 000006