(57)【要約】【課題】塗布特性に異常が生じる前に、管部材を洗浄、または交換できるようにした液体塗布装置を提供する。【解決手段】ウエーハ１の表面上にレジスト液を滴下して、当該レジスト液を該ウエーハ１の表面上に均一な厚さに塗布するスピンコータ１００において、このウエーハ１の裏面を支持する回転ステージ１０と、この回転ステージ１０の上方に吐出口３２を有し当該吐出口３２からレジスト液を滴下する吐出ノズル３０と、この吐出ノズル３０の吐出口３２を含む部位の重量を測定する重量計２０と、を備えたものである。レジスト液塗布処理の過程で、吐出ノズル３０の吐出口３２に許容量以上のレジスト固まり９が形成された場合に、このレジスト固まり９を吐出ノズル３０の吐出口３２を含む部位の重量測定値の変化で確認することができる。【選択図】  図１
2004363222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面上に所定の液体を滴下して、当該液体を該基板の表面上に均一な厚さに塗布する液体塗布装置において、
前記基板の裏面を支持する支持台と、
前記支持台の上方に開口部を有し当該開口部から前記液体を滴下する管部材と、
前記管部材の前記開口部を含む部位の重量を測定する測定部と、を備えたことを特徴とする液体塗布装置。
【請求項２】
前記測定部によって測定された前記管部材の開口部を含む部位の重量測定値を取得すると共に、取得した重量測定値が規格内に入っているかどうか判断する判断部を備えたことを特徴とする請求項１に記載の液体塗布装置。
【請求項３】
前記判断部の判断に従って当該液体塗布装置の液体塗布処理を続行、または停止させる制御部を備えたことを特徴とする請求項２に記載の液体塗布装置。
【請求項４】
前記支持台は、前記基板の裏面を支持する面の中心を通る鉛直線回りに回転可能な回転ステージであることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の液体塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体塗布装置に係り、特に、遠心力によってウエーハ上にレジスト膜又はＳＯＧ（ｓｐｉｎ  ｏｎ  ｇｌａｓｓ）等を均一な厚さに形成するスピンコータに適用して好適な液体塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、半導体装置の製造工程では、回路パターンをウエーハ上に転写するためにリソグラフィ技術が用いられている。このリソグラフィ技術は、スピンコータ等のレジスト塗布装置を用いてウエーハ上にレジスト膜を均一な厚さに形成し、次に、このレジスト膜をステッパ等の露光装置を用いて所定形状に露光し、その後、露光したレジスト膜を現像処理して、所定形状のレジストパターンを形成するような技術である。これらの中で、スピンコータを用いたレジスト膜の形成は、例えば以下の手順により行う。
【０００３】
まず始めに、ウエーハの裏面を回転可能に支持する回転ステージ上に、ウエーハを載置する。次に、この回転ステージの上方に吐出口を有する吐出ノズルから、ウエーハの表面上に所定量のレジスト液を滴下させる。そして、回転ステージを回転させ、ウエーハの表面上に滴下されたレジスト液を遠心力で拡散させる。これにより、ウエーハの表面上に均一な厚さのレジスト膜を形成する。このレジスト膜のウエーハ表面上での厚さ（膜厚）と、その均一性は、現像処理によって完成するレジストパターンの加工精度に大きな影響を与える因子の１つである。
【０００４】
図６（Ａ）及び（Ｂ）は、スピンコータの吐出ノズル３０の構成例を示す断面図である。図６（Ａ）の矢印で示すように、レジスト液は、この吐出ノズル３０を通って吐出口３２まで圧送され、この吐出口３２から回転ステージに載置されたウエーハに向けて滴下される。
また、このようなレジスト液は高い粘性を有し、また乾きやすい性質を有する。そのため、図６（Ｂ）に示すように、吐出口３２ではレジスト液が乾燥して固まり易く、レジスト液の塗布処理の回数を重ねていくと、レジスト液の固まり（以下で、レジスト固まりという）９が吐出口３２に付着してしまう。
【０００５】
このようなレジスト固まり９を吐出口３２にそのまま放置しておくと、図６（Ｂ）の矢印で示すように、レジスト液の流れが妨げられ、所定量のレジスト液を滴下できなかったり、レジスト液の滴下位置がウエーハ表面の中心からずれてしまったりする。
一般に、レジスト液の滴下量が少なくなると、レジスト膜の膜厚が薄くなる傾向がある。また、レジスト液の滴下位置がウエーハ表面の中心からずれてしまうと、レジスト膜に膜ムラが生じる（膜厚の均一性が悪くなる）傾向がある。さらに、レジスト固まり９を吐出口３２にそのまま放置しておくと、このレジスト固まり９がウエーハの表面上に異物として落ちてしまい、現像後のレジストパターンにパターン異常が生じてしまう可能性が高い。
【０００６】
そこで、レジスト膜の形成工程では、通常、一定期間毎に、あるいは一定の処理回数毎に、吐出口３２に付着したレジスト固まり９を取り除く作業を行っている。
また、レジスト固まり９の付着具合と、メンテナンス後の経過時間または処理回数との関係は必ずしも比例関係にあるとは限らない。例えば、第１のロットの塗布処理と、第２のロットの塗布処理との間に生じるスピンコータの停止時間（スタンバイ時間）が長い場合には、メンテナンス後の経過時間や、処理回数が、洗浄の規定時間や規定回数に達する前でも、レジスト固まり９が大量に生じてしまう場合がある。
【０００７】
そのため、レジスト膜の形成工程では、通常、スピンコータによるレジスト液の塗布処理を開始する前に、問題となるような大きさのレジスト固まり９が吐出口３２に付着していないかどうかをオペレータが目視で確認する。そして、このようなレジスト固まり９が吐出口３２に付着していないことを確認した後で、レジスト液の塗布処理を開始する。
【０００８】
【特許文献１】
特開２０００−４２４７２号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来例に係るレジスト膜の形成工程では、スピンコータによるレジスト液の塗布処理を開始する前に、問題となるような大きさのレジスト固まり９が吐出口３２に付着していないかどうかをオペレータが目視で確認していた。
しかしながら、スピンコータは、通常、レジストの感光を防ぐために黄色の蛍光灯で照らされた、いわゆる、イエロールームに設置されている。また、レジスト液とレジスト固まり９は茶系でほぼ同色である。
【００１０】
このため、吐出口３２にレジスト固まり９が付着しているかどうかを目視で確認することは難しく、レジスト固まり９の付着を見逃してしまうという問題があった。レジスト固まり９の付着を見逃してしまうと、レジスト膜の膜厚異常や、膜ムラ、ウエーハ表面への異物の大量付着（以下で、これらを塗布特性の異常という）が生じてしまうおそれがある。
【００１１】
そこで、この発明はこのような問題を解決したものであって、塗布特性に異常が生じる前に、管部材を洗浄、または交換できるようにした液体塗布装置の提供を目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記した課題を解決するために、本発明に係る第１の液体塗布装置は、基板の表面上に所定の液体を滴下して、当該液体を該基板の表面上に均一な厚さに塗布する液体塗布装置において、この基板の裏面を支持する支持台と、この支持台の上方に開口部を有し当該開口部から液体を滴下する管部材と、この管部材の開口部を含む部位の重量を測定する測定部と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１３】
ここで液体とは、例えばレジスト液や、ＳＯＧ形成用の液体（ＳｉＯ２をアルコール等の有機溶媒に溶かした液）である。これらの液体は水と比べて高い粘性を有し、また乾きやすい性質を有するため、管部材の開口部を詰まらせ易い。また、このようなレジスト液や、ＳＯＧ形成用の液体が乾燥して生成した固形物の大きさと、その重量値は比例関係にあり、固形物の大きさが大きいほど、その重量値も大きい。
【００１４】
本発明に係る第１の液体塗布装置によれば、管部材を洗浄し、または交換した後で、当該管部材の開口部を含む部位の重量を定期的に測定することができる。従って、液体塗布処理の過程で、管部材の開口部の周縁に液体が付着し乾燥して、一定量以上の固形物が形成された場合に、この固形物の存在を管部材の開口部を含む部位の重量測定値の変化で確認することができる。これにより、塗布特性に異常が生じる前に、管部材を洗浄、または交換することができ、液体塗布処理の品質の向上に寄与することができる。
【００１５】
本発明に係る第２の液体塗布装置は、上述した第１の液体塗布装置において、測定部によって測定された管部材の開口部を含む部位の重量測定値を取得すると共に、取得した重量測定値が規格内に入っているかどうか判断する判断部を備えたことを特徴とするものである。
本発明に係る第２の液体塗布装置によれば、管部材の開口部の周縁に一定量以上の固形物が形成されたかどうかを判断部で自動的に判断することができるので、オペレータは、管部材の開口部を目視で確認する必要がなく、重量計によって測定された重量測定値を確認する必要もない。従って、第１の液体塗布装置と比べて、オペレータの作業負荷を軽減することができる。
【００１６】
本発明に係る第３の液体塗布装置は、上述した第２の液体塗布装置において、判断部の判断に従って当該液体塗布装置の液体塗布処理を続行、または停止させる制御部を備えたことを特徴とするものである。
本発明に係る第３の液体塗布装置によれば、管部材の開口部の周縁に一定量以上の固形物が形成されたと判断した場合に、液体塗布装置の液体塗布動作をただちに停止させることができる。従って、塗布特性に問題のある不良品の生産と、その流出を防ぐことができ、歩留まりの向上に寄与することができる。
【００１７】
本発明に係る第４の液体塗布装置は、上述した第１〜第３の液体塗布装置において、支持台は、この基板の裏面を支持する面の中心を通る鉛直線回りに回転可能な回転ステージであることを特徴とするものである。
本発明に係る第４の液体塗布装置によれば、基板の表面上に滴下された液体を遠心力で拡散させることができるので、この液体を基板の表面上に簡単、かつ均一な厚さに塗布することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明に係る液体液体塗布装置について説明する。
（１）第１実施形態
図１は、本発明の第１実施形態に係るスピンコータ１００の構成例を示す概念図である。このスピンコータ１００は、ウエーハ１上にレジスト液を滴下し当該ウエーハ１を高速回転させ、このウエーハ１上に薄いレジスト膜を形成する装置である。このウエーハ１は、例えばシリコンウエーハ、ＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎ  ｏｎ  ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）ウエーハ、または、ガラスウエーハ等である。このウエーハ１の厚みは、例えば７００［μｍ］程度である。
【００１９】
図１に示すように、スピンコータ１００は、回転ステージ１０と、カップ１５と、重量計２０と、吐出ノズル３０と、レジスト液圧送部４０と、判断部６０と、データ格納部７０と、表示部８０等から構成されている。
これらの中で、回転ステージ１０は、ウエーハ１の裏面を回転可能に支持するものである。即ち、この回転ステージ１０のウエーハ１の裏面と接触する面（以下で、接触面という）には、多数の孔が設けられている。これらの孔は、真空ポンプ（図示せず）に接続されている。ウエーハ１を回転ステージ１０上に載置した状態で、これらの孔を通して真空引きすると、ウエーハ１の裏面は回転ステージ１０の接触面に吸着されて固定される。また、この回転ステージ１０は、その接触面の中心を通る鉛直線回りに回転可能である。
【００２０】
従って、回転ステージ１０の接触面の中心と、ウエーハ１の中心とを重ね合わせるようにして、この回転ステージ１０上にウエーハ１を載置することで、ウエーハ１をその表面の中心を通る鉛直線回りに回転させることができる。この回転ステージ１０は、例えば金属材料によって構成されている。
また、図１に示すように、吐出ノズル３０は、その先端部に吐出口３２を有し、その後端部がレジスト液圧送部４０に接続されている。この吐出ノズル３０は、例えば半透明のゴム製、または柔軟性を有するプラスチック製の管部材である。この吐出ノズル３０の吐出口３２は、回転ステージ１０の接触面の中心部上方にくるように、その位置が調整されている。レジスト液は、レジスト液圧送部４０の圧送動作によって、吐出ノズル３０を通って吐出口３２まで圧送され、吐出口３２から滴下される。従って、ウエーハ１を回転ステージ上に載置した場合に、このウエーハ１の表面の中心部上にレジスト液が滴下される。
【００２１】
図２（Ａ）は、支持部材３５の構成例を示す側面図である。図２（Ａ）に示すように、吐出ノズル３０は柔軟性を有する管部材である。このため、支持部材による支えが無い場合にはレジスト液の圧送時に吐出ノズル３０が波打ってしまい、レジスト液の滴下位置がウエーハ１表面の中心部上からずれてしまう可能性がある。これを回避するために、吐出ノズル３０は、支持部材３５に沿ってスピンコータの上方に配設され、その先端部にある吐出口３２が回転ステージの接触面の中心部上方まで引き出されている。
【００２２】
図２（Ｂ）は、支持部材３５の構成例を示す底面図である。図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、支持部材３５は、支持板３６と、この支持板３６の先端部に設けられた軸受け３７と、この軸受け３７に通された支持軸３８とから構成されている。このような構成を有する支持部材３５は、スピンコータの上方に配設されており、軸受け３７と支持軸３８が回転ステージ１０の接触面中心部の上方にくるようにその位置が調整されている。支持軸３８は、回転ステージ１０の接触面に対して略垂直に配置されており、回転ステージ１０の接触面に対して垂直方向に、即ち、図２（Ａ）の矢印で示すように、高さ方向に移動可能になっている。
【００２３】
また、この支持軸３８の上面には、軸受け３７の開口面よりも面積の大きいストッパ３８Ａが設けられており、下方向への移動による支持軸３８の軸受け３７からの脱落が防止されている。このような支持部材３５は、例えばプラスチック製、または軽金属製であり、できるだけその重量が小さいことが望ましい。
図２（Ａ）に示すように、吐出ノズル３０の支持板３６に沿った部位は、この支持板３６から離れないように、この支持板３６と一緒にワイヤー３９Ａで縛られ、固定されている。また、吐出ノズル３０の支持軸３８に沿った部位は、この支持軸３８から離れないように、この支持軸３８と一緒にワイヤー３９Ｂで縛られ、固定されている。ワイヤー３９Ａ及び３９Ｂは、例えば、軽金属製、またはプラスチック製の紐である。
【００２４】
図１に示した重量計２０は、吐出ノズル３０の吐出口３２を含む部位の重量を測定し、その重量測定値を判断部６０に出力するものである。例えば、図２（Ａ）に示すように、吐出ノズル３０の支持板３６に沿った部位と支持軸３８に沿った部位との間（以下で、中間部位という）は、ある程度の緩みをもって、軸受け３８の上方に回されている。この吐出ノズル３０の中間部位の上方に重量計２０が配置され、この重量計２０から延びたワイヤー４２によって、当該中間部位は吊らされている。このような構造によって、吐出ノズル３０の吐出口３２を含む部位の重量を重量計２０で測定する。
【００２５】
図１に示すように、上記の回転ステージ１０と、カップ１５と、重量計２０と、吐出ノズル３０と、レジスト液圧送部４０等によって、スピンコータ１００の本体５０が構成されている。
図１に示す判断部６０はＣＰＵ（ｃｅｎｔｒａｌ  ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  ｕｎｉｔ）等からなり、重量計２０と有線または無線等によって接続されている。また、データ格納部７０はＲＡＭ（ｒａｎｄｏｍ  ａｃｃｅｓｓ  ｍｅｍｏｒｙ）等からなり、判断部６０との間でデータの書き込み、読み出し処理が行われる。このデータ格納部７０には、重量計２０によって測定された吐出ノズル３０の重量測定値ｍｎ（ｎ＝１、２、３…）と、その規格値ｍｓｐｅｃと、メンテナンス後からの処理回数ｎ等の諸データが格納される。さらに、表示部８０は、例えば液晶表示装置とスピーカとで構成され、判断部６０に接続されている。この表示部８０には、測定された吐出ノズル３０の重量測定値ｍｎ、規格値ｍｓｐｅｃ、処理回数ｎ等が表示される。
【００２６】
この表示部８０は、判断部６０からの出力によって、データ格納部７０に格納された全ての重量測定値ｍｎが表示可能であり、重量測定値ｍｎの時間変化（トレンド）を数値、またはグラフで簡単に確認することができる。なお、規格値ｍｓｐｅｃは、例えば、吐出ノズル３０の洗浄や交換など、スピンコータ１００のメンテナンスを行った後で、以下のようにして決める。
【００２７】
即ち、吐出ノズル３０の洗浄または交換後に、ダミーのウエーハ１を回転ステージ１０上に載置して、このウエーハ１上にレジスト液を滴下する。そして、回転ステージを回転させて、ウエーハ１の表面上に滴下したレジスト液を遠心力で拡散させ、当該ウエーハ１上にレジスト膜を形成する（以下で、この作業をダミーランという）。このダミーランによって、洗浄後の塗布特性を検査すると共に、洗浄後の吐出ノズル３０内をレジスト液で共液洗浄する。塗布特性に異常がないことを確認した後で、吐出ノズル３０の吐出口３２を含む部位の重量を測定する。そして、この重量測定値の例えば±３％を規格値ｍｓｐｅｃとし、データ格納部７０に格納する。
【００２８】
図３は吐出ノズル３０の重量の測定例を示すフローチャートである。次に、このフローチャートに沿って、図１に示したスピンコータ１００における吐出ノズル３０の重量の測定手順について説明する。
まず始めに、図３のステップ（Ｓ）１で、吐出ノズル３０の吐出口３２を含む部位の重量を重量計２０で測定する。そして、この重量測定値ｍｎを判断部６０を経由してデータ格納部７０に格納する。次に、図３のステップ２で、この重量測定値ｍｎと、規格値ｍｓｐｅｃをデータ格納部７０から判断部６０に読み出して、重量測定値ｍｎが規格値ｍｓｐｅｃの範囲内にあるか否かを当該判断部６０で判断する。
【００２９】
ここで、もし、重量測定値ｍｎが規格値ｍｓｐｅｃの範囲外にあると判断部６０が判断した場合には、図３のステップ７へ進む。このステップ７では、表示部８０を構成する液晶表示装置の画面に異常通知が表示され、スピーカからアラーム音が鳴らされる。この異常通知を受けて、オペレータはスピンコータ１００を停止させ、製品処理を終了させる。この重量測定値ｍｎが規格外となる原因としては、吐出口３２に許容量以上のレジスト固まり９（図６（Ｂ）参照）が付着していることが考えられる。
【００３０】
そこで、異常通知が表示された場合には、オペレータは、スピンコータ１００を用いた製品処理を止めた後で、吐出ノズル３０の吐出口３２にレジスト固まり９が付着していないかどうかを調査する。そして、レジスト固まり９が付着している（または付着の可能性がある）場合には、吐出ノズル３０の吐出口３２を洗浄、または吐出ノズル３０を交換する。そして、吐出口３２の洗浄または交換後に、上述のダミーランを行い、塗布特性等に異常がないことを確認した後で、製品処理をステップ１から再開する。
【００３１】
図２のステップ２で重量測定値ｍｎが規格内にある場合には、図２のステップ３へ進み、回転ステージ１０上にウエーハ１を載置する。次に、ステップ４で、このウエーハ１上にレジスト液を滴下する。そして、ステップ５で、ウエーハ１を所定の回転スピードで、所定の時間だけ回転させて、このウエーハ１の表面上に滴下されたレジスト液を遠心力で当該ウエーハ１の表面上に拡散させる。これにより、ウエーハ１の表面上にレジスト液を均一な厚さに塗布して、レジスト膜を形成する。
【００３２】
次に、図２のステップ６へ進む。このステップ６では、例えばスピンコータ１００のローダ部（図示せず）によって別のウエーハ１が回転ステージ１０に向けて搬送されている場合、即ち、レジスト膜形成の枚葉処理を続ける場合には、図２のステップ１へ戻る。そして、吐出口３２を含む部位の重量を測定する（図２のステップ１〜ステップ７を繰り返す。）。また、スピンコータ１００のローダ部によって別のウエーハ１が搬送されていない場合には、レジスト膜の形成処理を終了する。
【００３３】
このように、本発明に係るスピンコータ１００によれば、吐出ノズル３０を洗浄し、または交換した後で、当該吐出ノズル３０の吐出口３２を含む部位の重量をウエーハ１にレジスト液を塗布する毎に測定することができる。
従って、吐出ノズル３０の吐出口３２にレジスト液が付着し乾燥して、許容量以上のレジスト固まり９が形成された場合に、このレジスト固まり９を吐出ノズル３０の吐出口３２を含む部位の重量測定値の変化で確認することができる。これにより、レジスト液の塗布特性に異常が生じる前に、吐出ノズル３０を洗浄、または交換することができ、レジスト膜形成処理の品質の向上に寄与することができる。
【００３４】
また、このスピンコータ１００によれば、吐出ノズル３０の吐出口３２に許容量以上のレジスト固まり９が形成されたかどうかを判断部６０が自動的に判断し、当該判断部６０が「許容量以上のレジスト固まり９が形成された」と判断した場合には、表示部８０に異常通知を自動的に表示し、アラーム音を自動的に鳴らす。
【００３５】
従って、オペレータは、吐出ノズル３０の吐出口３２を目視で確認する必要がなく、重量計による重量測定値を確認する必要もないので、オペレータの作業負荷を著しく軽減することができる。
この第１実施形態では、ウエーハ１が本発明の基板に対応し、レジスト液が本発明の液体に対応している。また、回転ステージ１０が本発明の支持台に対応し、吐出ノズル３０が本発明の管部材に対応している。さらに、この吐出ノズル３０の吐出口３２が本発明の管部材の開口部に対応している。また、重量計２０が本発明の測定部に対応し、判断部６０が本発明の判断部に対応している。さらに、スピンコータ１００が本発明の液体塗布装置に対応している。
【００３６】
なお、この第１実施形態では、吐出ノズル３０を支持する支持部材として、支持板３６と、軸受け３７と、支持軸３８とからなる支持部材３５（図２（Ａ）及び（Ｂ）参照）を用いる場合について説明した。しかしながら、支持部材の構成はこれに限定されることはない。
図４は、支持部材３５´の構成例を示す側面図である。図４において、図２（Ａ）と同一の機能を有する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。図４に示すように、この支持部材３５´はＬ字型をしており、横方向に延びる支持板３６´と、高さ方向に延びる支持板３８´とから構成されている。これらの中で、支持板３８´が回転ステージ１０の接触面中心部の上方にくるように、その位置が調整されている。この支持板３５´の構成材料は、例えばプラスチック、または軽金属である。
【００３７】
図４に示すように、吐出ノズル３０の支持板３６´に沿った部位は、この支持板３６´から離れないように、この支持板３６´と一緒にワイヤー３９Ａで縛られ、固定されている。また、吐出ノズル３０の支持板３８´に沿った部位は、この支持板３８´に対して高さ方向に移動できる程度の緩みをもって、支持板３８´と一緒にワイヤー３９Ｂで縛られている。
【００３８】
さらに、吐出ノズル３０の支持板３６´に沿った部位と支持板３８´に沿った部位との間の、中間の部位は、ある程度の緩みをもって、ワイヤー４２によって吊らされている。このような構造によれば、図２に示した支持部材３５と比べて、より一層簡単な構造で、吐出ノズル３０の吐出口３２を含む部位の重量を重量計２０で測定することができる。
（２）第２実施形態
図５は、本発明の第２実施形態に係るスピンコータ１００´の構成例を示す概念図である。この第２実施形態において、上述の第１実施形態と異なる点は、重量計２０で測定した重量測定値に基づいて、スピンコータ本体５０のレジスト液塗布動作を続行、または停止させる点である。その他は、上述の第１実施形態と同様である。従って、図５において、図１と同一の機能を有する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
【００３９】
図５に示すコントロール部９０は、図１に示した判断部６０を一機能として備えたものである。このコントロール部９０は、例えばＣＰＵ等からなり、スピンコータ１００´の本体５０と有線または無線等によって接続されている。このコントロール部９０によって本体５０の動作が制御され、レジスト液の塗布処理が実行される。例えば、図３に示した各ステップ１〜７の全ての処理はこのコントロール部９０の制御下で実行される。
【００４０】
また、図５に示すデータ格納部９５は、図１に示したデータ格納部７０を含むものである。このデータ格納部９５は、例えばＲＡＭ及びＲＯＭ（ｒｅａｄ  ｏｎｌｙ  ｍｅｍｏｒｙ）等からなり、コントロール部９０との間でデータの書き込み、読み出し処理が行われる。
このデータ格納部９５には、例えば、スピンコータ１００´の処理シーケンスが格納されている。コントロール部９０は、このデータ格納部９５から処理シーケンスを読み出して、図３に示した各ステップ１〜７を実行する。また、重量計２０によって測定された吐出ノズル３０の重量測定値ｍｎと、その規格値ｍｓｐｅｃと、メンテナンス後からの処理回数ｎ等の諸データが格納される。
【００４１】
このような構成によれば、図３のステップ２で重量測定値ｍｎが規格値ｍｓｐｅｃの範囲外にあるとコントロール部９０が判断した場合に、ステップ７へ進み、オペレータに向けて異常を自動的に通知できる。また、この異常通知と同時に、コントロール部９０の制御によってスピンコータ本体５０のレジスト液塗布動作を自動的に、ただちに停止させることができる。例えば、スピンコータ１００´のローダ（図示せず）と、アンローダ（図示せず）をただちに停止させてウエーハ１の搬送処理を止める。
【００４２】
これにより、塗布特性に問題のある不良品の生産と、その流出を防ぐことができるので、製品の歩留まり向上に寄与することができる。この第２実施形態では、コントロール部９０が本発明の制御部に対応している。
上述の第１、第２実施形態では、本発明の液体の一例として、レジスト液の場合について説明したが、本発明の液体はレジスト液に限られることはなく、例えばＳＯＧ形成用の液体でも良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係るスピンコータ１００の構成例を示す図。
【図２】支持部材３５の構成例を示す図。
【図３】吐出ノズル３０の重量の測定例を示すフローチャート。
【図４】支持部材３５´の構成例を示す図。
【図５】第２実施形態に係るスピンコータ１００´の構成例を示す図。
【図６】吐出ノズル３０の構成例を示す図。
【符号の説明】
１  ウエーハ、９  レジスト固まり、１０  回転ステージ、１５  カップ、２０重量計、３０  吐出ノズル、３２  吐出口、３５、３５´  支持部材、３６、３６´  支持板、３７  軸受け、３８  支持軸、３８´  支持板、３９Ａ、３９Ｂ、４２  ワイヤー、４０  レジスト液圧送部、５０  本体、６０  判断部、７０、９５  データ格納部、８０  表示部、９０  コントロール部、１００、１００´  スピンコータ
【図１】
2004363222.tif 000003
【図２】
2004363222.tif 000004
【図３】
2004363222.tif 000005
【図４】
2004363222.tif 000006
【図５】
2004363222.tif 000007
【図６】
2004363222.tif 000008