(57)【要約】【課題】移載経路を瞬時に変更する。【解決手段】回転と停止を繰返す回転テーブル１６Ａ，１６Ｂ、夫々対をなす回転テーブル１６Ａ，１６Ｂ又はディスク供給台１５Ａ，１５Ｂの何れかにディスクを供給可能なディスク供給アーム１４Ａ，１４Ｂ、ディスク供給台１５Ａ，１５Ｂ、成膜装置１７Ａ，１７Ｂを夫々２組ずつと、回転テーブル１６Ａ，１６Ｂとディスク供給台１５Ａ，１５Ｂ上の４枚のディスクを同時に吸着し、回転テーブル１６Ａ，１６Ｂとディスク排出テーブル１９に移載可能な回転アーム１８とディスク排出テーブル１９を備える。回転アーム１８は、回転テーブル１６Ａ，１６Ｂにディスクを供給した場合は、成膜済ディスクをディスク排出テーブル１９に排出し、ディスク供給台１５Ａ，１５Ｂヘディスクを供給した場合は、ディスクを他方の回転テーブル１６Ｂ，１６Ａに移載し、成膜済ディスクをディスク排出テーブル１９に移載するよう切換え可能に構成する。【選択図】　　　　図２
2004047018.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク供給部、回転テーブル、ディスク供給台、成膜装置を夫々２組ずつと、回転アーム及びディスク排出テーブルを備え、
前記ディスク供給部は、夫々対をなす回転テーブル或いはディスク供給台の何れかに対して選択的にディスクを供給可能に構成され、
また、前記回転テーブルは、所定時間毎に所定角度の回転と停止を繰返すように構成され、
また、前記回転アームは、前記回転テーブルの排出位置とディスク供給台にある４枚のディスクを同時に吸着し、回転テーブルの第２搬入位置とディスク排出テーブルに同時に移載可能に構成され、
ディスク供給部が回転テーブルにディスクを直接供給した場合は、回転アームは成膜後のディスクをディスク排出テーブルに排出し、
ディスク供給部がディスク供給台ヘディスクを供給した場合は、回転アームはディスクを他方の回転テーブルの第２搬入位置に移載すると共に、成膜後のディスクを回転テーブルの排出位置からディスク排出テーブルに移載するように切換え可能に構成したことを特徴とするディスク移載装置。
【請求項２】
２組の回転テーブルとディスク供給台を夫々対称位置に配置すると共に、回転テーブルの排出位置がディスク排出テーブルの搬入位置と線対称となるように配置し、回転アームを１８０度回転させることで、回転テーブルの排出位置とディスク供給台にある４枚のディスクを、回転テーブルの第２搬入位置とディスク排出テーブルの搬入位置に移載可能なように構成したことを特徴とする請求項１記載のディスク移載装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載のディスク移載装置と、このディスク移載装置によってディスク排出テーブルに排出された２枚のディスクを受け取り、所定の樹脂を塗布した後貼り合わせるボンディング部と、このボンディング部で貼り合わされた２枚のディスクの前記樹脂を硬化・乾燥させる接着部と、この硬化・乾燥させたディスクが良品か不良品かを検査する検査部を有することを特徴とする光ディスク製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばＤＶＤ再生専用ディスク（以下、単に「ＤＶＤ」と言う。）の移載装置、及び、この移載装置を備えた光ディスク製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えばＤＶＤは、ＪＩＳ　Ｘ　６２４１に、以下に説明するように、片面１層読み込み用のタイプＡ、両面１層読み込み用のタイプＢ、片面２層読み込み用のタイプＣ、両面２層読み込み用のタイプＤの４種類が規定されている。
【０００３】
▲１▼　タイプＡ
図６（ａ）に示すように、記録層２を有する基板１の、記録層２側に接着層３を介してダミー基板４を設けた片面単層ディスクで、記録層２には基板１側（入射面側）からの一方向だけからアクセスできる。このタイプＡの容量の公称値は４．７ギガバイトである。
【０００４】
▲２▼　タイプＢ
図６（ｂ）に示すように、記録層２ａを有する基板１ａと、記録層２ｂを有する基板１ｂを、接着層３によって一体となした両面単層ディスクで、一方の基板１ａ側からは、一方の記録層２ａにのみ、また、他方の基板１ｂ側からは、他方の記録層２ｂにのみアクセスできる。このタイプＢの容量の公称値は、９．４ギガバイトである。
【０００５】
▲３▼　タイプＣ
図６（ｃ）に示すように、層間にスペーサ５を介在させて配置した二つの記録層２ａ，２ｂを有する基板１の、基板１より離間した側の記録層２ｂに接着層３を介してダミー基板４を設けた片面二層ディスクで、二つの記録層２ａ，２ｂには、基板１側の一方向だけからアクセスできる。このタイプＣの容量の公称値は，８．５ギガバイトである。
【０００６】
▲４▼　タイプＤ
図６（ｄ）に示すように、層間にスペーサ５ａ又は５ｂを介在させて配置した二つの記録層２ａ，２ｂ又は２ｃ，２ｄを夫々に有する二つの基板１ａ，１ｂを接着層３によって一体となした両面二層ディスクで、記録層２ａ，２ｂには、基板１ａ側の一方向だけから、また、記録層２ｃ，２ｄには、基板１ｂ側の一方向だけからアクセスできる。このタイプＤの容量の公称値は、１７．０ギガバイトである。
【０００７】
これらのＤＶＤは、一般的には、基板に単層又は二層の記録層を形成し、それをもう一つの記録層が形成された基板或いはダミー基板と貼り合わせることによって製造される。
【０００８】
タイプＣについては、タイプＢと同じ方法で製造することが可能で、タイプＣにおいて記録層間のスペーサを接着層、ダミー基板との接着層を厚みが０（ゼロ）と考えればタイプＢの構造と一致する。この場合、タイプＢとタイプＣの相違点は、タイプＢでは二つの記録層が共に全反射膜であるのに対し、タイプＣでは基板側の記録層が半透過膜、ダミー基板側の記録層が全反射膜である点である。一般的には、全反射膜としてはアルミが、半透過膜としては金が成膜される。
【０００９】
従って、２台の成膜装置を有するＤＶＤ製造装置があれば、片面がダミー基板のタイプＡを含めて、タイプＡ、タイプＢ、タイプＣの３種類を同じ装置で生産することが可能である。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＤＶＤには下面のみにスタックリングと呼ばれる円周状の突起が内周に設けられているため、上下のディスク基板の形状は異なる。そこで、タイプＡのＤＶＤの製造からタイプＣのＤＶＤの製造に変更する場合は、全反射膜の成膜面を有するディスク基板を、下面用基板から上面用基板に変更する必要がある。従って、前記場合やその逆の場合、一般的には、その都度２台の成膜装置（スパッタ装置）のターゲットを交換することによって行われるが、その作業には作業員が必要で、しかも瞬時に行うことができない。
【００１１】
本発明は、上記した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、２台の成膜装置への基板供給経路を独立して設け、その経路を電気制御で切り替えることによって、例えばタイプＡのＤＶＤとタイプＣのＤＶＤの成膜経路を瞬時に変更することが可能なディスク移載装置及びこのディスク移載装置を備えた光ディスク製造装置を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記した目的を達成するために、本発明に係るディスク移載装置は、所定時間毎に所定角度の回転と停止を繰返す回転テーブルと、夫々対をなす前記回転テーブル或いはディスク供給台の何れかに対して選択的にディスクを供給可能なディスク供給部と、成膜装置を夫々２組ずつと、前記回転テーブルの排出位置とディスク供給台にある４枚のディスクを同時に吸着し、回転テーブルの第２搬入位置とディスク排出テーブルに同時に移載可能に構成された回転アーム及びディスク排出テーブルを備え、前記回転アームは、ディスク供給部が回転テーブルにディスクを直接供給した場合は、成膜後のディスクをディスク排出テーブルに排出し、ディスク供給部がディスク供給台ヘディスクを供給した場合は、ディスクを他方の回転テーブルの第２搬入位置に移載すると共に、成膜後のディスクを回転テーブルの排出位置からディスク排出テーブルに移載するように切換え可能に構成したこととしている。
【００１３】
また、本発明に係る光ディスク製造装置は、上記の本発明に係るディスク移載装置と、このディスク移載装置によってディスク排出テーブルに排出された２枚のディスクを受け取り、所定の樹脂を塗布した後貼り合わせるボンディング部と、このボンディング部で貼り合わされた２枚のディスクの前記樹脂を硬化・乾燥させる接着部と、この硬化・乾燥させたディスクが良品か不良品かを検査する検査部を有することとしている。
【００１４】
そして、このようにすることで、例えばタイプＡのＤＶＤとタイプＣのＤＶＤの成膜経路を瞬時に変更して、製造することが可能になる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明に係るディスク移載装置は、ディスク供給部、回転テーブル、ディスク供給台、成膜装置を夫々２組ずつと、回転アーム及びディスク排出テーブルを備え、前記ディスク供給部は、夫々対をなす回転テーブル或いはディスク供給台の何れかに対して選択的にディスクを供給可能に構成され、また、前記回転テーブルは、所定時間毎に所定角度の回転と停止を繰返すように構成され、また、前記回転アームは、前記回転テーブルの排出位置とディスク供給台にある４枚のディスクを同時に吸着し、回転テーブルの第２搬入位置とディスク排出テーブルに同時に移載可能に構成され、ディスク供給部が回転テーブルにディスクを直接供給した場合は、回転アームは成膜後のディスクをディスク排出テーブルに排出し、ディスク供給部がディスク供給台ヘディスクを供給した場合は、回転アームはディスクを他方の回転テーブルの第２搬入位置に移載すると共に、成膜後のディスクを回転テーブルの排出位置からディスク排出テーブルに移載するように切換え可能に構成したものである。
【００１６】
上記した構成の本発明に係るディスク移載装置によれば、例えばタイプＡのＤＶＤとタイプＣのＤＶＤの成膜経路を瞬時に変更することが可能になる。
【００１７】
また、上記の本発明に係るディスク移載装置において、２組の回転テーブルとディスク供給台を夫々対称位置に配置すると共に、回転テーブルの排出位置がディスク排出テーブルの搬入位置と線対称となるように配置し、回転アームを１８０度回転させることで、回転テーブルの排出位置とディスク供給台にある４枚のディスクを、回転テーブルの第２搬入位置とディスク排出テーブルの搬入位置に移載可能なように構成した場合には、より簡易な構成で、瞬時に、前記ＤＶＤのタイプの変更が行なえるようになる。
【００１８】
また、本発明に係る光ディスク製造装置は、上記の本発明に係るディスク移載装置と、このディスク移載装置によってディスク排出テーブルに排出された２枚のディスクを受け取り、所定の樹脂を塗布した後貼り合わせるボンディング部と、このボンディング部で貼り合わされた２枚のディスクの前記樹脂を硬化・乾燥させる接着部と、この硬化・乾燥させたディスクが良品か不良品かを検査する検査部を有するものである。
【００１９】
このような構成の本発明に係る光ディスク製造装置によれば、例えばタイプＡのＤＶＤからタイプＣのＤＶＤへ変更する場合や、その逆の場合にも、瞬時にその工程を変更して、製造できるようになる。
【００２０】
【実施例】
以下、本発明に係るディスク移載装置を備えた本発明に係る光ディスク製造装置を図１〜図５に示す１実施例に基づいて説明する。
図１は本発明に係る光ディスク製造装置の１実施例としてのインライン式ＤＶＤ製造装置の全体構成を示した説明図、図２は図１に示したインライン式ＤＶＤ製造装置に採用した本発明に係るディスク移載装置の要部構成を示した説明図、図３は本発明に係るディスク移載装置を用いてタイプＡのＤＶＤを製造する場合のディスクの流れを説明する図、図４は本発明に係るディスク移載装置を用いてタイプＣのＤＶＤを製造する場合のディスクの流れを説明する図、図５は図３及び図４の他の実施例を説明する図である。
【００２１】
図１〜図４において、１１Ａは記録層が全反射膜の下面基板Ａを成形する射出成形機、１１Ｂは記録層が半透過膜の上面基板Ｂを成形する射出成形機であり、これらの射出成形機１１Ａ，１１Ｂで成形された下面基板Ａ，上面基板Ｂは、夫々例えばインプットアーム１２Ａ，１２Ｂによって射出成形機１１Ａ，１１Ｂから冷却コンベア１３Ａ，１３Ｂに移送される。
【００２２】
冷却コンベア１３Ａ，１３Ｂに移送された下面基板Ａ，上面基板Ｂは、供給側から排出側に例えば起立状態で送られる過程で冷却され、排出側において夫々ディスク供給アーム１４Ａ，１４Ｂで把持され、製造するタイプによって、例えば夫々が対称な位置に配置されたディスク供給台１５Ａ，１５Ｂ若しくは回転テーブル１６Ａ，１６Ｂに移載される。
【００２３】
例えばタイプＡのＤＶＤを製造する場合は、下面基板Ａと上面基板Ｂは、夫々ディスク供給アーム１４Ａと１４Ｂによって、図３に実線で示したように、直接に回転テーブル１６Ａ上の第１搬入位置１６Ａａａと、回転テーブル１６Ｂ上の第１搬入位置１６Ｂａａに移載される。
【００２４】
この場合、回転テーブル１６Ａ，１６Ｂが図３に夫々白抜き矢印で示した方向に回転することによって、下面基板Ａは１６Ａｂを経て１６Ａｃの位置まで移動したところで、スパッタアーム１７Ａａによって成膜装置１７Ａに取り込まれ全反射膜が成膜される一方、上面基板Ｂは同様に１６Ｂｂを経て１６Ｂｃの位置まで移動するも、スパッタアーム１７Ｂａによって成膜装置１７Ｂに取り込まれることなくパスしてダミー基板となる。
【００２５】
そして、回転テーブル１６Ａ，１６Ｂがさらに回転し、下面基板Ａ及び上面基板Ｂが１６Ａｄ，１６Ｂｄを経て夫々の排出位置１６Ａｅ，１６Ｂｅに移動されてきた時、回転アーム１８によって下面基板Ａ及び上面基板Ｂを同時に吸着する。吸着後は、回転アーム１８を１８０度回転させることで、例えば前記回転テーブル１６Ａ，１６Ｂと線対象の位置に配置されたディスク排出テーブル１９上に下面基板Ａ及び上面基板Ｂを移載する。
【００２６】
これに対し、タイプＣのＤＶＤを製造する場合は、下面基板Ａと上面基板Ｂは、ディスク供給アーム１４Ａと１４Ｂによって、図４に破線で示したように、夫々、一旦、前記搬入位置１６Ａａ，１６Ｂａと同一半径の円弧上位置にあるディスク供給台１５Ａ，１５Ｂ上に移載される。
【００２７】
そして、回転アーム１８によって吸着した後は、回転アーム１８を１８０度回転させ、ディスク供給台１５Ａ上の下面基板Ａは回転テーブル１６Ｂの第２搬入位置１６Ｂａｂへ、また、ディスク供給台１５Ｂ上の上面基板Ｂは回転テーブル１６Ａの第２搬入位置１６Ａａｂに移載される。
【００２８】
回転テーブル１６Ａ，１６Ｂが図４に夫々白抜き矢印で示した方向に回転することによって、回転テーブル１６Ｂ上に移載された下面基板Ａは１６Ｂａａ，１６Ｂｂを経て１６Ｂｃの位置まで移動したところで、スパッタアーム１７Ｂａによって成膜装置１７Ｂに取り込まれて半透過膜が成膜される一方、上面基板Ｂは同様に１６Ａａａ，１６Ａｂを経て１６Ａｃの位置まで移動したところで、スパッタアーム１７Ａａによって成膜装置１７Ａに取り込まれて全反射膜が成膜される。
【００２９】
そして、回転テーブル１６Ａ，１６Ｂがさらに回転し、上面基板Ｂ及び下面基板Ａが１６Ａｄ，１６Ｂｄを経て夫々の排出位置１６Ａｅ，１６Ｂｅに移動されてきた時、回転アーム１８によって上面基板Ｂ及び下面基板Ａを同時に吸着する。吸着後は、回転アーム１８を１８０度回転させることで、前記ディスク排出テーブル１９上に上面基板Ｂ及び下面基板Ａを移載する。
【００３０】
上記の実施例においては、回転アーム１８は、両回転テーブル１６Ａ，１６Ｂの排出位置１６Ａｅ，１６Ｂｅと、両ディスク供給台１５Ａ，１５Ｂにある４枚のディスクを同時に吸着可能で、かつ、図１に示した状態から１８０度回転させた際に、両回転テーブル１６Ａ，１６Ｂの第２搬入位置１６Ａａｂ，１６Ｂａｂとディスク排出テーブル１９に前記４枚のディスクの移載が可能なように、図１に示したような４本のアームを有したものであることは言うまでもない。
【００３１】
また、回転テーブル１６Ａ，１６Ｂ上に載置される下面基板Ａ及び上面基板Ｂの数は、夫々図１〜図４に示したように、６枚である必要はないが、製造能率の点を考慮すると、図５に示したように、少なくとも３枚以上載置することが望ましい。なお、図５は回転テーブル１６Ａ，１６Ｂ上に載置される基板Ａ，Ｂの数が３枚の場合のディスクの流れを示した図である。
【００３２】
上記のタイプＡのＤＶＤを製造する場合と、タイプＣのＤＶＤを製造する場合における動作の切替は、例えば操作スイッチを選択することで、シーケンス制御によって瞬時に切り替えることができるようになっている。
【００３３】
ところで、上記の本発明に係るディスク移載装置により、ディスク排出テーブル１９上に排出された上面基板Ｂと下面基板Ａの２枚は、例えば１８０度回転した位置でボンディングアーム２０によってボンディング装置２１Ａ，２１Ｂの何れかに移送され、ＵＶ硬化樹脂が塗布された後、上面基板Ｂと下面基板Ａが貼り合わされる。
【００３４】
その後、スピンアーム２２によって何れかのスピンテーブル２３Ａ，２３Ｂ上に移送され、このスピンテーブル２３Ａ，２３Ｂにより前記貼り合わせたディスクを回転させた後、乾燥テーブル２４上に移載する。
【００３５】
次に、乾燥テーブル２４が回転し、この回転する乾燥テーブル２４上のディスクにＵＶ照射装置２５でＵＶ（紫外線）を照射して前記塗布したＵＶ硬化樹脂を硬化させて、ＤＶＤの製造工程が終了する。製造されたＤＶＤは検査装置２６でその良否が検査され、良品は良品ストッカ２８Ａに、また、不良品は不良品ストッカ２８Ｂにアウトプットアーム２７によって移送される。
以上の工程によりタイプＡとタイプＣのＤＶＤが製造される。
【００３６】
本実施例ではＤＶＤの移載及び製造装置について説明したが、適用範囲はＤＶＤに限らず、同様のものであれば他のディスクの移載や光ディスクの製造装置としても実施可能であることは言うまでもない。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、製造する例えばＤＶＤのタイプに応じて、移載経路を選択するだけで、タイプＡとタイプＣの成膜経路の変更を行うことができ、成膜装置のターゲット交換作業が不要になった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光ディスク製造装置の１実施例としてのインライン式ＤＶＤ製造装置の全体構成を示した説明図である。
【図２】図１に示したインライン式ＤＶＤ製造装置に採用した本発明に係るディスク移載装置の要部構成を示した説明図である。
【図３】本発明に係るディスク移載装置を用いてタイプＡのＤＶＤを製造する場合のディスクの流れを説明する図である。
【図４】本発明に係るディスク移載装置を用いてタイプＣのＤＶＤを製造する場合のディスクの流れを説明する図である。
【図５】図３及び図４の他の実施例を説明する図である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）はＪＩＳ　Ｘ　６２４１に規定されているＤＶＤの説明図である。
【符号の説明】
Ａ　　　　　　　　下面基板
Ｂ　　　　　　　　上面基板
１３Ａ，１３Ｂ　　冷却コンベア
１４Ａ，１４Ｂ　　ディスク供給アーム
１５Ａ，１５Ｂ　　ディスク供給台
１６Ａ，１６Ｂ　　回転テーブル
１７Ａ，１７Ｂ　　成膜装置
１８　　　　　　　回転アーム
１９　　　　　　　ディスク排出テーブル
２０　　　　　　　ボンディングアーム
２１Ａ，２１Ｂ　　ボンディング装置
２３Ａ，２３Ｂ　　スピンテーブル
２４　　　　　　　乾燥テーブル
２５　　　　　　　ＵＶ照射装置
２６　　　　　　　検査装置
２８Ａ　　　　　　良品ストッカ
２８Ｂ　　　　　　不良品ストッカ
【図１】
2004047018.tif 000003
【図２】
2004047018.tif 000004
【図３】
2004047018.tif 000005
【図４】
2004047018.tif 000006
【図５】
2004047018.tif 000007
【図６】
2004047018.tif 000008