(57)【要約】【課題】テープの弛みが生じないようにして安定かつ円滑な搬送を実現することにある。【解決手段】テープの搬送装置は、テープ１の幅方向の各端部に配置され、回転することでテープ１を搬送するローラ１０を含む。ローラ１０は、少なくとも外周部が弾性体で形成され、テープ１の搬送時に外周部が弾性変形することで、テープ１の幅方向の外方向にテンションを加えることができる。【選択図】        図１
2004203505.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープの幅方向の各端部に配置され、回転することで前記テープを搬送するローラを含み、
前記ローラは、少なくとも外周部が弾性体で形成され、前記テープの搬送時に前記外周部が弾性変形することで、前記テープの幅方向の外方向にテンションを加えるテープの搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載のテープの搬送装置において、
前記ローラの外周部は、前記テープの幅方向の内方向に従って、前記テープから離れるような形状をなしているテープの搬送装置。
【請求項３】
請求項２記載のテープの搬送装置において、
前記ローラの外周部は、前記テープの幅方向の内方向に従って、前記テープから離れるように傾斜しているテープの搬送装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載のテープの搬送装置において、
前記ローラの外周部には、前記テープの幅方向の内側に円周溝が形成されているテープの搬送装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載のテープの搬送装置において、
前記テープを介して前記ローラとは反対側に配置された第２のローラをさらに含み、
前記ローラ及び前記第２のローラによって、前記テープを挟み込んで搬送するテープの搬送装置。
【請求項６】
テープの幅方向の各端部に配置されたローラの回転に伴いテープを搬送する方法であって、
前記ローラは、少なくとも外周部が弾性体で形成され、
前記外周部を弾性変形させることで、前記テープを幅方向の外方向にテンションを加えながら搬送するテープの搬送方法。
【請求項７】
請求項６記載のテープの搬送方法において、
前記ローラの外周部は、前記テープの幅方向の内方向に従って、前記テープから離れるような形状をなしているテープの搬送方法。
【請求項８】
請求項７記載のテープの搬送方法において、
前記ローラの外周部は、前記テープの幅方向の内方向に従って、前記テープから離れるように傾斜しているテープの搬送方法。
【請求項９】
請求項７又は請求項８に記載のテープの搬送方法において、
前記ローラの外周部には、前記テープの幅方向の内側に円周溝が形成されているテープの搬送方法。
【請求項１０】
請求項７から請求項９のいずれかに記載のテープの搬送方法において、
前記テープを介して前記ローラとは反対側に第２のローラが配置されており、
前記ローラ及び前記第２のローラによって、前記テープを挟み込んで搬送するテープの搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テープの搬送装置及び搬送方法に関する。
【０００２】
【発明の背景】
半導体装置の製造では、長尺状のテープをローラによって搬送し、所定工程を流れ作業で行うことがある。ローラはテープの幅方向の両側の端部に配置され、テープはローラが回転することで搬送される。
【０００３】
従来の搬送方法によれば、テープにはその長さ方向にテンションを加えることはできたが、その幅方向にはテンションを加えることができなかったので、搬送途中で幅方向の中央部に弛みが生じることがあり、テープの円滑な搬送ができないことがあった。
【０００４】
本発明の目的は、テープの弛みが生じないようにして安定かつ円滑な搬送を実現することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
（１）本発明の係るテープの搬送装置は、テープの幅方向の各端部に配置され、回転することで前記テープを搬送するローラを含み、
前記ローラは、少なくとも外周部が弾性体で形成され、前記テープの搬送時に前記外周部が弾性変形することで、前記テープの幅方向の外方向にテンションを加える。本発明によれば、テープの搬送時にローラの外周部が弾性変形することで、テープの幅方向の外方向にテンションを加える。テープには、その長さ方向だけでなく幅方向にもテンションが加えられているので、搬送途中でテープの幅方向の中央部に弛みが生じることがない。したがって、テープの安定かつ円滑な搬送を実現することができる。
（２）このテープの搬送装置において、
前記ローラの外周部は、前記テープの幅方向の内方向に従って、前記テープから離れるような形状をなしていてもよい。これによれば、ローラの回転によって、ローラの外周部がテープの幅方向の外方向に引っ張られる。こうして、テープにその幅方向の外方向にテンションが加えられる。
（３）このテープの搬送装置において、
前記ローラの外周部は、前記テープの幅方向の内方向に従って、前記テープから離れるように傾斜していてもよい。これによれば、ローラの回転によって、ローラの外周部がテープの幅方向の外方向に引っ張られる。こうして、テープにその幅方向の外方向にテンションが加えられる。
（４）このテープの搬送装置において、
前記ローラの外周部には、前記テープの幅方向の内側に円周溝が形成されていてもよい。これによれば、ローラの回転によって、ローラの外周部がテープの幅方向の外方向に引っ張られる。こうして、テープにその幅方向の外方向にテンションが加えられる。
（５）このテープの搬送装置において、
前記テープを介して前記ローラとは反対側に配置された第２のローラをさらに含み、
前記ローラ及び前記第２のローラによって、前記テープを挟み込んで搬送してもよい。
（６）本発明に係るテープの搬送方法は、テープの幅方向の各端部に配置されたローラの回転に伴いテープを搬送する方法であって、
前記ローラは、少なくとも外周部が弾性体で形成され、
前記外周部を弾性変形させることで、前記テープを幅方向の外方向にテンションを加えながら搬送する。本発明によれば、テープの搬送時にローラの外周部が弾性変形することで、テープの幅方向の外方向にテンションを加える。テープには、その長さ方向だけでなく幅方向にもテンションを加えることができるので、搬送途中でテープの幅方向の中央部に弛みが生じることがない。したがって、テープの安定かつ円滑な搬送を実現することができる。
（７）このテープの搬送方法において、
前記ローラの外周部は、前記テープの幅方向の内方向に従って、前記テープから離れるような形状をなしていてもよい。これによれば、ローラの回転によって、ローラの外周部がテープの幅方向の外方向に引っ張られる。こうして、テープにその幅方向の外方向にテンションを加えることができる。
（８）このテープの搬送方法において、
前記ローラの外周部は、前記テープの幅方向の内方向に従って、前記テープから離れるように傾斜していてもよい。これによれば、ローラの回転によって、ローラの外周部がテープの幅方向の外方向に引っ張られる。こうして、テープにその幅方向の外方向にテンションを加えることができる。
（９）このテープの搬送方法において、
前記ローラの外周部には、前記テープの幅方向の内側に円周溝が形成されていてもよい。これによれば、ローラの回転によって、ローラの外周部がテープの幅方向の外方向に引っ張られる。こうして、テープにその幅方向の外方向にテンションを加えることができる。
（１０）このテープの搬送方法において、
前記テープを介して前記ローラとは反対側に第２のローラが配置されており、
前記ローラ及び前記第２のローラによって、前記テープを挟み込んで搬送してもよい。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【０００７】
（第１の実施の形態）
図１〜図４は、本発明を適用した第１の実施の形態に係るテープの搬送装置及び搬送方法を説明する図である。図１は、本実施の形態に係るテープの搬送装置及び搬送方法を示す図であり、テープは紙面の表裏方向に搬送される。本実施の形態に係るテープの搬送装置は、半導体装置の製造に使用される。
【０００８】
半導体装置の製造では、長尺状のテープ（基板又はフィルム）１をリール・トゥ・リール搬送し、テープ１の複数の作業対象領域に対して所定の工程が行われる。図１に示す例では、テープ１の作業対象領域に作業対象物３が接着されており、本実施の形態に係る搬送装置を使用して、複数の作業対象物３をテープ１から取り出す工程を行う。リール・トゥ・リール搬送によれば、所定の工程を流れ作業で行えるので、生産効率が向上し生産コストを削減することができる。
【０００９】
テープ１は、ＣＯＦ（Chip On Film）用基板やＴＡＢ（Tape Automated Bonding）用基板であってもよい。その場合、テープ１の作業対象領域（製品となる領域）に対して配線パターンの形成工程を行ってもよいし、電子部品（例えば半導体チップ）の実装工程を行ってもよい。本実施の形態に係る搬送装置によれば、ローラ１０はテープ１の幅方向の中央部を避けて接触するので、配線パターン又は電子部品が損傷するのを防止することができる。
【００１０】
図２は、本実施の形態に係るテープの搬送装置の全体を示す図である。図３は図１の部分拡大図であり、図４は本実施の形態に係るテープの搬送装置の一部（ローラ）を示す図である。本実施の形態に係るテープの搬送装置は、ローラ１０を含む。本実施の形態に示す例では、このテープの搬送装置は、第２のローラ２０と、レール２２と、送出しローラ（ローダ）２４及び巻取りローラ（アンローダ）２６とをさらに含む。このテープの搬送装置は、半導体装置の製造ラインの一部であってもよい。
【００１１】
図２に示すように、テープ１は、複数のローラ（ローラ１０、第２のローラ２０、送出しローラ２４及び巻取りローラ２６）に掛け渡され、複数のローラが所定方向に回転することで搬送される。テープ１は、一定のピッチずつコマ送りされる。図２の矢印に示す方向は、テープ１の搬送方向を指す。
【００１２】
図１に示すように、ローラ１０は、テープ１の幅方向の中央部を避けて配置されている。詳しくは、ローラ１０は、テープ１の幅方向の端部に配置されている。テープ１の幅方向の両方の端部に、一対のローラ１０が配置されることが好ましい。こうすることで、テープ１の幅方向の外方向（中央部から端部の方向）に両側から同時にテンションを加えることができる。
【００１３】
図４に示すように、ローラ１０は、回転の軸部１２と、軸部１２に接続された回転板１４と、を有する。ローラ１０は、軸部１２に動力が伝えられることで駆動できるようになっている。図１に示す例では、ローラ１０の軸部１２は、外方向に延びているが、これとは別に内方向にも延びてもよく、一対のローラ１０が１つの軸部１２で連結されても構わない。
【００１４】
ローラ１０は、少なくとも外周部が弾性体で形成されている。詳しくは、少なくとも、回転板１４の外周部が弾性体で形成されている。回転板１４の全部が弾性体で形成されてもよいし、回転板１４の中央部（軸部１２との連結部）を除いて外周部のみが弾性体で形成されてもよい。弾性体の材質は、例えば周知のゴムを使用することができるが、それに限定されるものではない。弾性体の材質は、ローラ１０の半径、回転速度及び重さなどを考慮して、テープ１に加えるテンションの大きさに応じて決定すればよい。
【００１５】
図４に示すように、ローラ１０の（詳しくは回転板１４の）外周部は、テープ１の幅方向の内方向に従って、テープ１から離れるような形状をなしている。こうすることで、図３に示すように、ローラ１０の回転によって、ローラ１０の外周部がテープ１の幅方向の外方向に引っ張られる。したがって、図１に示すように、テープ１にその幅方向の外方向にテンションが加えられる。例えば、ローラ１０の回転板１４は、傾斜部１６を有してもよい。言い換えれば、ローラ１０の回転板１４は、円錐台形状をなしている。傾斜部１６は、滑らかな面であってもよい。変形例として、ローラ１０の回転板１４の外周部は、階段状になっていてもよい。
【００１６】
図２に示すように、第２のローラ２０は、テープ１を介して、ローラ１０とは反対側に配置されている。第２のローラ２０は、ローラ１０と上下方向に対をなして、ローラ１０とともにテープ１を挟み込んで搬送する。すなわち、第２のローラ２０もテープ１の幅方向の端部に配置されている。第２のローラ２０は、回転の軸部と、軸部に接続された回転板とを有し、テープ１との接触部は平らになっている。第２のローラ２０は、駆動ローラであってもよく、あるいはローラ１０の回転に伴って回転してもよい。第２のローラ２０の回転板は、例えば弾性体（ゴムなど）で形成されてもよい。
【００１７】
図１に示すように、レール２２は、テープ１の幅方向の位置を制御するためのものである。レール２２は、テープ１の幅方向の側部に配置され、テープ１の長さ方向に延びる。図１に示す例では、レール２２の断面はＬ字状をなしている。レール２２によって、テープ１が幅方向に蛇行するのを防止することができる。
【００１８】
本実施の形態に係るテープの搬送装置は、上述のように構成されており、以下にテープの搬送方法を説明する。このテープの搬送方法を適用して、半導体装置を製造してもよい。
【００１９】
まず、テープ１を搬送装置にセットする。詳しくは、テープ１の一方を送出しローラ２４にセットし、他方を巻取りローラ２６にセットする。テープ１は、送出し及び巻取りローラ２４，２６の間で、ローラ１０及び第２のローラ２０に挟まれている。テープ１の幅方向の両方の側部にレール２２を設ければ、テープ１の幅方向の蛇行を防止することができる。
【００２０】
上述したように、テープ１には複数の作業対象物３が接着されている。複数の作業対象物３は、テープ１の長さ方向及び幅方向に複数行複数列に配列されている。作業対象物３は、例えば半導体装置の補強部材であってもよい。補強部材は、半導体チップと配線とのボンディング部を保護するために、半導体装置の裏面側に貼り付けられてもよい。あるいは、補強部材は、半導体装置（又は配線基板）の複数の配線の端子群に、コネクタとして厚くするために貼り付けてもよい。本実施の形態に係るテープの搬送方法を適用すれば、テープ１から複数の補強部材をスムースに取り出すことができる。
【００２１】
図１に示すように、各ローラ（例えば、送出しローラ２４、巻取りローラ２６、ローラ１０、第２のローラ２０）を駆動して、テープ１を搬送する。ローラ１０の外周部は、弾性体で形成され、かつ、テープ１の幅方向の内方向に従ってテープ１から離れるような形状をなしている。これによって、図３に示すように、ローラ１０がテープ１の方向に押圧されたときに、ローラ１０の外周部がテープ１の幅方向の外方向に押し曲げられる。したがって、図１の矢印に示す方向（テープの幅方向の外方向）にテンションが加えられ、テープ１を弛ませることなく搬送することができる。
【００２２】
こうして、テープ１を搬送する間に、ツール３０によって各作業対象物３を取り出す（例えば吸着して取り出す）。テープ１には、テンションが加えられて平坦になっているので、確実に作業対象物３を取り出すことができる。
【００２３】
本実施の形態によれば、テープ１の搬送時にローラ１０の外周部が弾性変形することで、テープ１の幅方向の外方向にテンションを加える。テープ１には、その長さ方向だけでなく幅方向にもテンションが加えられているので、搬送途中でテープ１の幅方向の中央部に弛みが生じることがない。したがって、テープ１の安定かつ円滑な搬送を実現することができる。
【００２４】
（第２の実施の形態）
図５及び図６は、本発明を適用した第２の実施の形態に係るテープの搬送装置及び搬送方法を説明する図である。図５では、テープは紙面の表裏方向に搬送される。図６は、本実施の形態に係るテープの搬送装置の一部（ローラ）を示す図である。本実施の形態では、ローラの形態が上述と異なっている。ローラ４０は、回転の軸部４２と、軸部４２に接続された回転板４４と、を有する。
【００２５】
ローラ４０の（詳しくは回転板４４の）外周部には、円周溝４６が形成されている。円周溝４６は、回転板４４のテープ１の幅方向の内側に形成されている。円周溝４６は、１つであってもよいし、複数であってもよい。円周溝４６の深さは、回転板４４の幅の中心線（図示しない）に至らない程度に浅くてもよいし、それを超える程度に深くてもよい。円周溝４６は深いほうが、テープ１に大きなテンションを加えることができる。円周溝４６の形状は、図６に示すように、凹部であってもよいし、あるいはＶ溝であってもよい。図５に示す例では、ローラ４０のテープ１との接触部は平らになっているが、変形例として、第１の実施の形態で説明したように例えば傾斜していてもよい。なお、その他の構成は、上述の実施の形態で説明した内容を適用することができる。
【００２６】
図５に示すように、ローラ４０を駆動すると、ローラ４０がテープ１の方向に押圧されて円周溝４６が潰される。そして、ローラ４０の外周部がテープ１の幅方向の外方向に押し曲げられる。したがって、テープ１の幅方向の外方向にテンションが加えられ、テープ１を弛ませることなく搬送することができる。
【００２７】
本実施の形態でも第１の実施の形態で説明した効果を達成することができる。
【００２８】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るテープの搬送装置及び搬送方法を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るテープの搬送装置の全体を説明する図である。
【図３】図１の部分拡大図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係るテープの搬送装置の一部を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係るテープの搬送装置及び搬送方法を示すである。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係るテープの搬送装置の一部を示す図である。
【符号の説明】
１  テープ、  １０  ローラ、  １６  傾斜部、  ２０  第２のローラ
４０  ローラ、  ４６  円周溝
【図１】
2004203505.tif 000003
【図２】
2004203505.tif 000004
【図３】
2004203505.tif 000005
【図４】
2004203505.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004203505.tif 000008