(57)【要約】【課題】外径の異なる複数種類のウェーハの外観検査を行う場合における検査時間を短縮し、ウェーハを載せる際の異音を防止しかつ載せることによりウェーハに傷及び汚れ等を生じさせない。【解決手段】底板１１ａと底板の周囲に立ち上げられた周壁１１ｂから成るトレー本体１１と、底板上に底板の略中央から放射状に延びて形成されウェーハ１３，１４，１５を受ける複数本のリブ１２とを備える。複数本のリブ１２に直径の異なる複数種類のウェーハを収容可能であってかつ複数種類のウェーハの外径に相応する内径を有する複数のウェーハ用凹部１２ａ，１２ｂ，１２ｃがそれぞれ形成され、複数のウェーハ用凹部の底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成される。ウェーハ用凹部の底面を形成する複数本のリブ１２の上縁がシリコーンゴム１８により覆われる。【選択図】　図１
2004140049.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
底板（１１ａ）と前記底板（１１ａ）を包囲するように前記底板（１１ａ）の周囲に立ち上げられた周壁（１１ｂ）から成るトレー本体（１１）と、前記底板（１１ａ）上に前記底板（１１ａ）の略中央から放射状に延びて形成されウェーハ（１３，１４，１５）を受ける複数本のリブ（１２）とを備えたウェーハトレイにおいて、
前記複数本のリブ（１２）に直径の異なる複数種類のウェーハ（１３，１４，１５）を収容可能であってかつ前記複数種類のウェーハ（１３，１４，１５）の外径に相応する内径を有する複数のウェーハ用凹部（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ）がそれぞれ形成され、
前記複数のウェーハ用凹部（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ）の底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成された
ことを特徴とするウェーハトレイ。
【請求項２】
ウェーハ用凹部（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ）の底面を形成する複数本のリブ（１２）の上縁がシリコーンゴム（１８）により覆われた請求項１記載のウェーハトレイ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンウェーハに代表されるウェーハの外観検査時に用いるウェーハトレイに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のウェーハは、単結晶のインゴットをスライシングすることにより作られ、エッチングされて洗浄された後に最終的な外観検査が行われる（例えば特許文献１参照。）。この外観検査では、ウェーハを検査用のウェーハトレイに載せて目視により検査される。ここで、従来のウェーハトレイは検査するウェーハを略水平に支持できるように形成されており、検査すべきウェーハを保存するカセットからそのウェーハを取り出して、そのウェーハの大きさに適用したトレイに載せて検査を行っている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−４３４０４号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ウェーハの大きさに適用したトレイを用いて外観検査をすることとなると、外径の異なる複数種類のウェーハをそれぞれ載置するときには、これらのウェーハの外径に対応する複数種類のウェーハトレイを用意しておく必要が生じる。そして外径の異なるウェーハの外観検査に切り替える場合には、ウェーハトレイを切り替えようとするウェーハの外径に対応するものに交換しなければならない。このため、外径の異なる複数種類のウェーハの外観検査をする場合には、ウェーハトレイを切換える作業時間が実際に外観検査を行う時間以外に必要となり、検査時間が増大する不具合があった。
【０００５】
また、従来のウェーハトレイは金属製又は樹脂により作られており、検査すべきウェーハは比較的硬質であるため、このウェーハをトレイに載せる際の異音を防止する必要もあり、かつウェーハトレイには載せることによりウェーハに傷及び汚れ等を生じさせないようなものであることが望まれる。
本発明の目的は、外径の異なる複数種類のウェーハの外観検査を行う場合におけるウェーハトレイの交換作業を不要にすることにより、検査時間を短縮できるウェーハトレイを提供することにある。
本発明の別の目的は、ウェーハを載せる際の異音を防止しかつ載せることによりウェーハに傷及び汚れ等を生じさせないウェーハトレイを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、図１に示すように、底板１１ａとその底板１１ａを包囲するように底板１１ａの周囲に立ち上げられた周壁１１ｂから成るトレー本体１１と、底板１１ａ上に底板１１ａの略中央から放射状に延びて形成されウェーハ１３，１４，１５を受ける複数本のリブ１２とを備えたウェーハトレイの改良である。
その特徴ある構成は、複数本のリブ１２に直径の異なる複数種類のウェーハ１３，１４，１５を収容可能であってかつ複数種類のウェーハ１３，１４，１５の外径に相応する内径を有する複数のウェーハ用凹部１２ａ，１２ｂ，１２ｃがそれぞれ形成され、複数のウェーハ用凹部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成されたところにある。
【０００７】
この請求項１に記載されたウェーハトレイでは、検査すべきウェーハ１３，１４，１５を保存するカセットからそのウェーハ１３，１４，１５を取り出して、複数本のリブ１２にそれぞれ形成された複数のウェーハ用凹部１２ａ，１２ｂ，１２ｃにそのウェーハ１３，１４，１５を載せて目視により外観検査を行う。一方、外径の異なるウェーハ１３，１４，１５の外観検査を行うとき、図示しないカセットから取り出した外径の異なるウェーハ１３，１４，１５を複数本のリブ１２にそれぞれ形成された別のウェーハ用凹部１２ａ，１２ｂ，１２ｂに載せて目視により外観検査を行う。これにより、外径の異なる複数種類のウェーハ１３，１４，１５の外観検査を行う場合でも、それらのウェーハの外径に対応する複数種類のウェーハトレイを用意する必要はなく、従来必要とされたウェーハトレイの交換作業が不要になり、検査時間を従来より短縮する。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明であって、更に図３に示すように、ウェーハ用凹部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの底面を形成する複数本のリブ１２の上縁がシリコーンゴム１８により覆われたウェーハトレイである。
この請求項２に記載されたウェーハトレイでは、比較的硬質である検査すべきウェーハ１３，１４，１５を載せても、シリコーンゴム１８が、その弾性によりウェーハ１３，１４，１５を載せる際の異音を防止する。また、そのシリコーンゴム１８の弾性により、ウェーハ１３，１４，１５を載せても、そのウェーハ１３，１４，１５に傷等が生じるような事態を有効に回避する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、ウェーハトレイ１０は、トレー本体１１と複数本のリブ１２を備える。トレー本外１１は底板１１ａとその底板１１ａを包囲するように底板１１ａの周囲に立ち上げられた周壁１１ｂから構成され、この実施の形態では略四角形状の底板１１ａを有するトレー本体１１を示す。一方、複数本のリブ１２は、底板１１ａの上面にその中心から放射状に延びかつ上方に突設して形成され、この実施の形態では中央から４本のリブ１２が９０度毎に放射状に形成される例を示し、トレー本体１１及び複数本のリブ１２は塩化ビニールにより一体的にプラスチック成形される。複数本のリブ１２は、検査するウェーハ１３，１４，１５受けるためのものであり、保管されている図示しないカセットから取り出されたウェーハ１３，１４，１５はこの複数本のリブ１２の上面に載せられることにより、複数本のリブ１２にて支持され、この状態で外観検査が行われるように構成される。
【００１０】
複数本のリブ１２には、直径の異なる複数種類のウェーハ１３．１４．１５を収容可能であってかつ複数種類のウェーハ１３，１４，１５の外径に相応する内径を有する複数のウェーハ用凹部１２ａ，１２ｂ，１２ｃがそれぞれ形成される。この実施の形態では、外径が１５０ｍｍの第１ウェーハ１３と、外径が１２５ｍｍの第２ウェーハ１４と、外径が１００ｍｍの第３ウェーハ１５の３種類のウェーハの外径に相応する内径、即ち第１ないし第３ウェーハ１３，１４，１５の外径より僅かに大きな内径を有する外側ウェーハ用凹部１２ａ、中間ウェーハ用凹部１２ｂ及び内側ウェーハ用凹部１２ｃがそれぞれ形成される。
【００１１】
ここで、外側ウェーハ用凹部１２ａの内径は第１ウェーハ１３の外径より２〜３ｍｍ大きく形成され、中間ウェーハ用凹部１２ｂの内径は第２ウェーハ１４の外径より２〜３ｍｍ大きく形成され、内側ウェーハ用凹部１２ｃの内径は第３ウェーハ１５の外径より２〜３ｍｍ大きく形成されることが好ましい。更に外側ウェーハ用凹部１２ａ、中間ウェーハ用凹部１２ｂ及び内側ウェーハ用凹部１２ｃの底面は外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成される。即ち、内側ウェーハ用凹部１２ｃの底面は中間ウェーハ用凹部１２ｂの底面より低く形成され、その中間ウェーハ用凹部１２ｂの底面は外側ウェーハ用凹部１２ａの底面より低く形成される。
【００１２】
それぞれのウェーハ用凹部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの底面を形成する複数本のリブ１２の上縁はシリコーンゴム１８により覆われる。図３に示すように、この実施の形態ではシリコーンゴム１８の場合を示し、このシリコーンゴム１８は管状体のものが使用される。即ち、管状体の長手方向にスリット１８ａを形成し、シリコーンゴム１８の持つ弾性によりそのスリット１８ａを開いてリブ１２の上縁にその管状体から成るシリコーンゴム１８を被せ、これによりリブ１２の上縁をシリコーンゴム１８で覆っている。
【００１３】
このように構成されたウェーハトレイ１０を用いたウェーハの外観検査について説明する。
ウェーハ１３，１４，１５の外観検査では、ウェーハ１３，１４，１５を本発明のウェーハトレイ１０に載せて目視により検査される。例えば、検査すべきウェーハが外径１００ｍｍの第３ウェーハ１５である場合には、その第３ウェーハ１５を保存する図示しないカセットからその第３ウェーハ１５を取り出して、複数本のリブ１２にそれぞれ形成された内側ウェーハ用凹部１２ｃに第３ウェーハ１５を載せて目視により外観検査を行う。
【００１４】
一方、外径の異なるウェーハの外観検査を行うとき、例えば直径１００ｍｍの第３ウェーハ１５に替えて直径１２５ｍｍの第２ウェーハ１４の外観検査を行うときには、その第２ウェーハ１４を保存する図示しないカセットからその第２ウェーハ１４を取り出して、複数本のリブ１２にそれぞれ形成された中間ウェーハ用凹部１２ｂに第２ウェーハ１４を載せて目視により外観検査を行う。
従って、本発明のウェーハトレイ１０を用いれば、外径の異なる複数種類のウェーハ１３，１４，１５の外観検査を行う場合でも、それらのウェーハの外径に対応する複数種類のウェーハトレイを用意する必要はなく、本発明のウェーハトレイ１０のみで外径の異なる複数種類のウェーハ１３，１４，１５の外観検査を行うことができる。この結果、外径の異なる複数種類のウェーハ１３，１４，１５の外観検査を行う場合において、従来必要とされたウェーハトレイの交換作業が不要になり、検査時間を従来より短縮することが可能になる。
【００１５】
また、それぞれのウェーハ用凹部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの底面を形成する複数本のリブ１２の上縁をシリコーンゴム１８により覆ったので、比較的硬質である検査すべきウェーハ１３，１４，１５をこのトレイ１０に載せても、そのシリコーンゴム１８が、その弾性によりウェーハ１３，１４，１５を載せる際の異音を防止する。また、そのシリコーンゴム１８の弾性により、ウェーハ１３，１４，１５を載せても、そのウェーハ１３，１４，１５に傷及び汚れ等が生じるような事態を有効に回避することができる。
【００１６】
なお、この実施の形態では、外径の異なる複数種類のウェーハとして、外径１５０ｍｍと外径１２５ｍｍと外径１００ｍｍの３種類のウェーハを挙げたが、外径１２５ｍｍと外径１００ｍｍの２種類のウェーハでもよく、外径１２５ｍｍと外径１５０ｍｍの２種類のウェーハでもよい。また、又は外径１５０ｍｍと外径１００ｍｍの２種類のウェーハでもよく、或いは上記以外の外径のウェーハを２種類又は３種類以上組合せたものでもよい。これらの場合、複数のウェーハ用凹部は上記ウェーハの外径に合せて複数本のリブににそれぞれ複数形成される。
【００１７】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、トレイ本体に形成された複数本のリブに直径の異なる複数種類のウェーハを収容可能であってかつ複数種類のウェーハの外径に相応する内径を有する複数のウェーハ用凹部をそれぞれ形成し、複数のウェーハ用凹部の底面が外側から内側に向うに従って順次段階的に低くなるように形成したので、外径の異なるウェーハの外観検査を行うとき、取り出した外径の異なるウェーハを複数本のリブにそれぞれ形成された別のウェーハ用凹部に載せるだけで外観検査を直ちに行うことができる。この結果、外径の異なる複数種類のウェーハの外観検査を行う場合でも、それらのウェーハの外径に対応する複数種類のウェーハトレイを用意する必要はなく、従来必要とされたウェーハトレイの交換作業が不要になり、検査時間を従来より短縮することができる。
【００１８】
また、ウェーハ用凹部の底面を形成する複数本のリブの上縁をシリコーンゴムにより覆ったので、比較的硬質である検査すべきウェーハを載せても、そのシリコーンゴム等が、その弾性によりウェーハを載せる際の異音を防止する。また、そのシリコーンゴム等の弾性により、ウェーハを載せても、そのウェーハに傷及び汚れ等が生じるような事態を有効に回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウェーハトレイを示す斜視図。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】図２のＢ−Ｂ線断面図。
【符号の説明】
１０　ウェーハトレイ
１１　トレー本体
１１ａ　底板
１１ｂ　周壁
１２　リブ
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ　ウェーハ用凹部
１３，１４，１５　ウェーハ
１８　シリコーンゴム
【図１】
2004140049.tif 000003
【図２】
2004140049.tif 000004
【図３】
2004140049.tif 000005