(57)【要約】【課題】吸着コレットを高速動作させると被吸着物が上下反転したり、前後反転して供給されることがあった。【解決手段】下端に吸引口８ｂを開口させた吸着ロッド８の下端両側に被搬送物の高さより低い側壁９ｂ、９ｂを形成する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロッドの外端面に被搬送物を吸着保持する吸引口を開口させた吸着コレットにおいて、
上記吸引口を開口させた外端面に、被搬送物の高さより短い側壁を、被搬送物を介して対向配置したことを特徴とする吸着コレット。
【請求項２】
側壁の下端の巾を被搬送物の長さより短く設定したことを特徴する請求項１に記載の吸着コレット。
【請求項３】
側壁の巾をロッドの外端面から外方に向かって縮径させたことを特徴とする請求項２に記載の吸着コレット。
【請求項４】
側壁に貫通孔を形成したことを特徴する請求項１に記載の吸着コレット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は微小な電子部品などの被搬送物を吸着保持する吸着コレットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
リードフレームを用いた半導体装置はリードフレーム上に半導体ペレットを供給するマウント工程、半導体ペレット上の電極とリードとを電気的に接続するワイヤボンディング工程、ワイヤボンディング作業が完了したリードフレーム上の要部を樹脂にて被覆する樹脂モールド工程、外装樹脂から露呈したリードフレームの連結部分などの不要部分を切断除去する切断工程、個々に分離された半導体装置の電気的特性や外観を検査する検査工程などを経て製造される。この製造過程で、微小な半導体ペレットや個々に分離された半導体装置の取り出し、供給には一般的に吸着コレットが用いられる。
【０００３】
この吸着コレットの一例を図５から説明する。図において、１は半導体ウエハ（図示せず）を貼着する粘着シート、２は半導体ウエハを分割した半導体ペレットで、粘着シート１を延伸することにより整列状態で離隔配置されている。粘着シート１は図示省略するが延伸リングに張架されＸＹ移送機構により定ピッチ送りされる。３は粘着シート１の下面に配置されたシート吸引枠で、粘着シート１を吸引し固定する。４は下方に向かって縮径させたロッド４ａの下端に吸引口４ｂを開口させた吸着コレットで、図示例では、ロッド４ａの下端面に半導体ペレット２の厚みより長い一対の剥離用側壁部４ｃ、４ｃを形成している。この種吸着コレット４は特開平４−１４８５４７号公報（先行技術）に開示されている。
【０００４】
この吸着コレット４は、取り出し予定の半導体ペレット２上で降下し、剥離用側壁部４ｃの下端を粘着シート１に近接させ、吸引口４ｂから吸引した状態で吸着コレット４を半導体ペレット２に対して図示点線方向に相対移動させ、半導体ペレット２を粘着シート１から剥離し、剥離された半導体ペレット２を直ちに吸引口４ｂに吸着保持し、この状態を保って吸着コレット４を上昇、水平動させ所定の供給ポジションに移動させる。先行技術には剥離用側壁部４ｃの高さを半導体ペレット２の高さより高くすることがこの吸着コレット４の動作を確実にするため必要であることが記載されている。
【０００５】
この種吸着コレット４は微細な半導体ペレットの供給だけでなく、微細な被搬送物一般に適用され、例えば半導体ペレットを組み込んだ小型の半導体装置の製造過程で、検査工程での供給、取り出し、自動実装のためのテープキャリアへの供給などに利用される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、半導体ペレットは一般的に平面一辺長さに比して厚みが十分小さい扁平状で、重心はほぼ中央に位置している。これに対して半導体ペレットを組み込んだ半導体装置で、外径寸法が小さいものは、半導体装置に占める半導体ペレットの重量比が相対的に大きくなる。そのため、外装樹脂内でのリードフレームの構造によって半導体ペレットの位置が半導体装置の重心に大きく影響する。そのため重心が外装樹脂の中心から大きくずれると、半導体ペレットを吸着する際に、半導体ペレットが傾いて上昇し、吸着位置がずれるという問題があった。
【０００７】
このような問題を解消するには、吸着コレット４の吸引口４ｂを半導体装置の外装樹脂に密着または近接されて吸引すればよいが、取り出し速度が低下するという問題があった。また吸引を停止して吸着した半導体装置を開放する際にも重心のずれにより供給位置がずれるため、供給ポジションに近接させて半導体装置を開放する必要があり供給に時間を要するという問題があった。また図６に示すように、外装樹脂５ａの両端から電極５ｂを導出した半導体装置５をロッド６ａの平坦な下端に吸引口６ｂを開口させた吸着コレット６を用い、エンボス７ａを形成したテーピング部材７に供給する場合、外装樹脂５ａに形成した極性表示５ｃの方向をそろえて供給する必要があるが、上下反転し、さらには極性方向が反転して供給されることがあった。
【０００８】
そこで平坦なコレットを図５に示す構造のコレットに交換しても上下反転を確実に防止することができず、供給速度を高めると極性反転して供給されることがあり、改善が望まれていた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題の解決を目的として提案されたもので、ロッドの外端面に被搬送物を吸着保持する吸引口を開口させた吸着コレットにおいて、上記吸引口を開口させた外端面に、被搬送物の高さより短い側壁を、被搬送物を介して対向配置したことを特徴とする吸着コレットを提供する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明による吸着コレットは、吸引口を開口させたロッドの外端面に、被搬送物の高さより短い側壁を、被搬送物を介して対向配置したことを特徴とし、側壁の巾は被搬送物の長さより短く設定することができ、また側壁の巾をロッドの外端面から外方に向かって縮径させることもできる。
【００１１】
これにより吸引口の側壁で囲まれる領域と側壁外部の気圧差を短時間で解消し、吸着した被搬送物の反転を側壁で防止するとともに高速動作を実現できる。
【００１２】
【実施例】
以下に本発明の実施例を図１〜図３から説明する。図において、８は中空ロッド８ａの下端に吸引口８ｂを開口させた吸着ロッドを示す。９は吸着ロッド８の下端に固定された側壁部で、吸着ロッド８に固定する取付部９ａとこの取付部９ａの両側に対向配置された一対の側壁９ｂ、９ｂを一体化したものである。
【００１３】
吸着ロッド８の下端部周面には環状溝８ｃ、８ｄが形成され、側壁部９は中心軸を通る一つの平面で分割され、内面に環状凸部９ｃ、９ｄが形成され、環状溝８ｃ、８ｄと環状凸部９ｃ、９ｄを係合することにより位置決めされている。側壁９ｂ、９ｂの高さは吸着する被搬送物１０の高さより低く設定され、下端の巾が被搬送物１０の長さより短く設定され、図３では吸着ロッド８の下端から下方に向かって側壁９ｂ、９ｂの巾を縮径している。この吸着コレットは従来の吸着コレットと同様に動作する。即ち、被搬送物１０上に吸着ロッド８の下端を近接させ、吸引口８ｂから吸引すると、被搬送物１０は吸引口８ｂに吸着される。このとき、図４に示すように被搬送物１０の重心Ｇがずれていると、持上げられる被搬送物１０は重心Ｇ位置を中心に図示矢印方向に回転しそのまま吸着されると被搬送物１０の位置は吸着ロッド８の軸からずれようとする。
【００１４】
これに対して、被搬送物１０の両側には側壁９ｂ、９ｂが近接配置されているため、エアは主に側壁９ｂ、９ｂ両側の開口部から吸引され、吸引されるエアは被搬送物１０を長さ方向に押圧する。この押圧力は被搬送物１０が傾斜すると長さ方向両側で異なり、先に吸着ロッド８に近接する重心Ｇ位置から離れた端部では、吸着ロッド８との間隔が狭まるため、エアの吸引が弱まり、重心Ｇ位置に近い端部側のエアの流量が増大し、このエアの流れにより被搬送物１０は押圧され、被搬送物１０の回転による位置ずれを矯正する。そのため、吸引状態で吸着ロッド８を被搬送物１０に近接させ、離隔状態で吸着する場合でも吸着ロッド８下端での被搬送物１０の位置ずれを防止又は緩和できる。これにより被搬送物を位置ずれすることなく高速で取り出すことができる。
【００１５】
次に吸着ロッド８を供給ポジションに移動させ供給する場合、吸引口８ｂの吸引動作を停止すると、吸引力が低下し被搬送物１０は自重で落下する。吸着ロッド８から被搬送物１０が離れる際に重心Ｇが位置ずれしていると回転を生じ、重心Ｇ位置側が先にの吸着ロッド８から離れ、外部と吸引口８ｂとを連通させる。この連通部から外気が吸引口８ｂに流れ込むため、回転傾斜した被搬送物１０は自重の他に吸引口８ｂに流入するエアによって押され、回転傾斜を促進させ、供給ポジション上に回転しながら落下し、上下反転の他、極性方向反転することがある。
【００１６】
これに対し、本発明による吸着コレットは、吸着ロッド８の吸引動作を停止させた直後、一対の側壁９ｂ、９ｂによって囲まれる空間に短時間負圧状態を維持する。そのため重心Ｇ位置がずれた被搬送物１０の一端側が先に吸着ロッド８から離れて回転しようとするとき、前記空間が負圧状態であるため、外気が一気に吸引口８ｂに殺到せず、被搬送物１０の回転が抑えられる。そのため、被搬送物１０が吸着ロッド８から離れる際の、被搬送物１０両端の吸着ロッド８との間の開口面積の差異が小さく、被搬送物１０は流入する外気が両端部で平均化し大きく回転することなく自然落下する。また、被搬送物１０の両側は側壁９ｂ、９ｂによってガイドされているため、落下姿勢が保たれ、上下反転や極性方向を反転させることなく供給することができる。
【００１７】
このように吸着ロッド８を被搬送物や供給ポジションから離れた位置で被搬送物の吸着、開放しても、位置ずれ、上下反転、極性位置反転などを防止でき、高速で被搬送物の取り出し、供給ができる。　尚、上記実施例では、側壁９ｂ、９ｂは下方に向かって巾を縮径させたが、下端の巾と同じ巾に形成することができる。また、側壁９ｂ、９ｂの中間に貫通孔を形成し、この貫通孔の形状、径、位置などを調整することにより、被搬送物１０の形状、重心位置に合わせて、最適状態に設定することができる。
【００１８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、吸着ロッドを被搬送物や供給ポジションから離れた位置で被搬送物の吸着、開放しても、位置ずれ、上下反転、極性位置反転などを防止でき、高速で被搬送物の取り出し供給ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す吸着コレットの一部断面正面図
【図２】図１吸着コレットの被搬送物を吸着した状態を示す下面図
【図３】図１吸着コレットの側面図
【図４】図１吸着コレットによる吸着動作を示す側面図
【図５】吸着コレットの一例を示す側断面図
【図６】吸着コレットの他の例を示す側断面図
【符号の説明】
８　吸着ロッド
８ｂ　吸引口
９ｂ、９ｂ　側壁
１０　被搬送物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004063714.tif 000006
【図５】
2004063714.tif 000007
【図６】
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