(57)【要約】【課題】流体搬送チューブにおいて、流体の汚染がなく、静電気が帯電せず、散乱紫外線に侵されず、摺動性のよいチューブを提供することにある。【解決手段】内部に流体を搬送する流路を形成するチューブであって、このチューブは添加物を含有しない樹脂からなる内層を有し、この内層の外周に紫外線吸収剤入の樹脂からなる外層を設け、この外層に潤滑剤を被覆したことを特徴とするチューブ。【選択図】　　　図１
2004069000.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に流体を搬送する流路を形成するチューブであって、このチューブは添加物を含有しない樹脂からなる内層を有し、この内層の外周に紫外線吸収剤入の樹脂からなる外層を設け、この外層に潤滑剤を被覆したことを特徴とするチューブ。
【請求項２】
請求項１に記載のチューブにおいて、前記チューブの内層および外層の樹脂はポリウレタンであることを特徴とするチューブ。
【請求項３】
請求項１および請求項２に記載のチューブにおいて、前記チューブの外層には導電材を含むことを特徴とするチューブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、流体を搬送するチューブに係わり、特に半導体製造プロセスに用いられる露光装置において、半導体素子等を載置して加工処理するために移動するステージに冷却用の流体を搬送するチューブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体素子、液晶表示素子、あるいは薄膜磁気ヘッド等の製造に使用される露光装置にはこれらを載置して、加工処理するために移動するステージ装置が使用される。
【０００３】
そして、品質の高い半導体素子、液晶表示素子あるいは薄膜磁気ヘッド等を製造することができるように、このステージ装置を高精度に位置決め制御するためには、ステージ装置の移動に伴う発熱による温度上昇を防ぐ必要があり、発熱部分の冷却に必要な流体の搬送供給に可塑剤、紫外線吸収剤あるいは導電材などの添加物を含むＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）で成形されるチューブが用いられてきた。
【０００４】
しかしながら、冷却用流体として、耐環境性の観点からこれまで用いられていたフロリナートからＨＦＥ７２００（ハイドロフルオロエーテル７２００：住友スリーエム社製）が用いられるようになり、このＨＦＥ７２００により前記ＰＶＣチューブから多量の溶出物（可塑剤等）が溶出され、このような溶出物は不純物として半導体製造プロセスに悪影響を与えるため、ＰＶＣチューブに代えて可塑剤を含有しないウレタンチューブを用いることが提案されている。しかし、このウレタンチューブは可塑剤を含まないが、露光装置のような苛酷なビーム照射が行われる環境下では紫外線吸収剤が含まれていると共にチューブのタック性防止のためにワックス成分が含まれている。このような紫外線吸収剤やワックス成分は不純物として好ましくない。
【０００５】
なお、上記した冷却用流体を供給するチューブは、流体がチューブ内を流れること等により生じる静電気の帯電を防止することが求められており、このためにチューブ内に導電性部材も含有されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、本発明の課題は、半導体製造プロセスに用いられる露光装置の発熱部分に冷却用流体を供給するチューブにおいて、このチューブに含有される溶出物、ワックス、紫外線吸収剤、導電性材料などを溶出物あるいは不純物としての悪影響を与えないチューブを提供することにある。
【０００７】
さらに、本発明の課題は、上記課題に加えて、流体を搬送する流路内に静電気の発生を防止すると共に、散乱紫外線による劣化防止を図ることができるチューブを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題は、本発明のチューブによって達成される。すなわち本発明のチューブは、内部に流体を搬送する流路を形成するチューブであって、このチューブは添加物を含有しない樹脂からなる内層を有し、この内層の外周に紫外線吸収剤入の樹脂からなる外層を設け、この外層に潤滑剤を被覆したことを特徴とするチューブである。
【０００９】
さらに本発明のチューブは、上記チューブにおいて内層および外層の樹脂がポリウレタンであることを特徴とするチューブである。
【００１０】
さらに、本発明のチューブは、外層に導電材を含むことを特徴とするチューブである。
【００１１】
【作用】本発明のチューブは、内層が添加物を含まない樹脂で形成されているので、添加物の溶出がなく、流体汚染による温度コントロール精度の低下やステージ装置の劣化を防止できる。しかも、チューブ外層に導電剤を分散混合した樹脂原料を使用しているので流体を搬送する流路内に静電気が発生しても速やかに放電されるため、帯電防止効果を発揮し絶縁破壊の心配が無い。さらに、チューブ外層には紫外線吸収剤が存在しているため、散乱紫外線によるチューブ劣化を抑制できる。さらに、チューブを構成するウレタンによるタック性は、チューブの外周面への固体潤滑被膜形成によって解消されるので、露光装置へのスムーズなチューブの組み込み作業性と、組み込まれた後のチューブの摺動抵抗を大きく低減することが可能となる。なお、チューブの構造は２層以上の複数層であっても構わないし、各層が密着・接着・融着の何れで層を成していても構わなく特に制限しない。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明によるチューブの好ましい実施の形態について添付図面を参照して説明する。
図１は、本発明によるチューブの断面図である。
【００１３】
図１を参照すると、チューブ３０が示されており、このチューブ３０は内部に流体を搬送する流路４０を備えており、この流路４０はチューブ３０の内層１０によって形成されており、この内層１０は添加物を含有しない例えばウレタンのような樹脂から構成されている。内層１０の外周には、外層２０が形成されており、この外層２０は、導電性材料と紫外線吸収剤とが分散混合された例えばウレタンのような樹脂から構成されており、さらにその外周面には例えば二硫化モリブデンからなる固体潤滑被膜５０が形成されている。固体潤滑被膜５０は例えば、ポリウレタンをバインダーとし、係るバインダーに固体潤滑剤である二硫化モリブデン、ふっ素樹脂、グラファイト、窒化ボロン等の粉末を分散混合させ、チューブの外周面にコーティングし固定化して形成されている。
【００１４】
以上のような構成になる本発明のチューブの作用について以下に述べる。冷却用流体と接する内層１０は、ワックスあるいは紫外線吸収剤などの不純物を含有しないウレタンで構成されているので冷却用流体中に不純物が溶出することもなく、この内層１０の外周に設けられる外層２０は導電性部材や紫外線吸収剤を含有しているので、半導体製造プロセスの露光装置で発せられる紫外線のチューブへの劣化等の悪影響を排除することができると共に導電性部材によって帯電も防止できる。さらに、外周５０には固体潤滑被膜が形成されているので、例えばウレタン特有のタック性も排除でき、チューブ全体の摺動性に優れている。
【００１５】
【発明の効果】
以上述べてきたように、本発明によるチューブによれば、半導体プロセスに用いられる露光装置のステージに冷却用流体を供給する際、冷却用流体中に不純物が溶出することもなく、しかも紫外線などのビームによるチューブへの劣化等の悪影響を排除することができると共に導電性部材によって帯電も防止することができる。さらに、固体潤滑被膜によりチューブ全体の摺動性に優れるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による冷却用流体搬送チューブの好ましい実施の形態の断面図である。
【符号の説明】
１０：内層、２０：外層、３０：チューブ、４０：流路、５０：固体潤滑被膜
【図１】
2004069000.tif 000003