(57)【要約】【課題】薄型液晶表示素子を、生産性良く、かつエッチング液の使用によるトラブル（ガラス基板のうねり、表面の小さなキズ、エッチング液の表面残留）を生じずに製造することができる薄型液晶表示素子の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】液晶表示素子１個または複数個分の面積をもつ１対のガラス基板を、シール材を介して接着して素子に組み上げたものを準備するか、あるいは、液晶表示素子の複数個分の面積をもつ１対のガラス基板を、シール材を介して接着して素子に組み上げた後、その素子より所定のサイズの１個の液晶表示素子を分断して取り出し、端子部を保護した素子を準備する。上記の素子あるいは端子部を保護した素子のガラス基板の両面もしくは片面を化学研磨により粗研磨する工程Ａを実施した後、この工程Ａを経た素子のガラス基板を機械研磨により中間および仕上げ研磨する工程Ｂを実施する。【選択図】　　　図２
2004021016.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示素子１個または複数個分の面積をもつ１対のガラス基板を、シール材を介して接着して素子に組み上げたものを用い、
該素子のガラス基板の両面もしくは片面を化学研磨により粗研磨する工程Ａを実施した後、この工程Ａを経た素子のガラス基板を機械研磨により中間および仕上げ研磨する工程Ｂを実施することにより、薄型液晶表示素子を得ること
を特徴とする薄型液晶表示素子の製造方法。
【請求項２】
液晶表示素子の複数個分の面積をもつ１対のガラス基板を、シール材を介して接着して素子に組み上げた後、その素子より所定のサイズの１個の液晶表示素子を分断して取り出し、端子部を保護した素子を用い、
その端子部を保護した素子のガラス基板の両面もしくは片面を化学研磨により粗研磨する工程Ａを実施した後、この工程Ａを経た素子のガラス基板を機械研磨により中間および仕上げ研磨する工程Ｂを実施することにより、薄型液晶表示素子を得ること
を特徴とする薄型液晶表示素子の製造方法。
【請求項３】
素子を構成する１対のガラス基板のうち、工程Ａおよび工程Ｂの双方の研磨に供するガラス基板に着目した場合、その着目ガラス基板の厚みを　ｄ０（ｍｍ）　、その着目ガラス基板の工程Ａによる研磨後の厚みを　ｄ１（ｍｍ）　、その着目ガラス基板の工程Ｂによる研磨後の厚みを　ｄ２（ｍｍ）　とするとき、
工程Ａ：　ｄ０−ｄ１　≧　０．０５　、
工程Ｂ：　０．００３　≦ｄ１−ｄ２　≦　０．０５
の関係を共に満たすように工程Ａおよび工程Ｂを実施することを特徴とする請求項２記載の薄型液晶表示素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄型液晶表示素子を製造する方法に関するものである。さらに詳しくは、素子のガラス基板を薄肉化した薄型液晶表示素子の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
昨今、携帯電話、携帯情報端末（ＰＤＡ）、モバイルパソコンに代表される携帯型商品の伸長が著しいが、これらの商品に使用される液晶表示素子に求められる特性として、いわゆる軽薄短小がある。液晶表示素子に用いられる各々の部材につき薄型化、軽量化が進められており、重量および厚みの点で該素子に占める割合の大きいガラス基板においては、特に薄型化、軽量化の要求が強い。
【０００３】
液晶表示素子製造に用いるガラス基板は、たとえば、第１世代と言われる３００ｍｍ×３００ｍｍ程度の大きさのものから、４００ｍｍ×５００ｍｍ程度、５５０ｍｍ×６５０ｍｍ程度、６００ｍｍ×７２０ｍｍ程度、６８０ｍｍ×８８０ｍｍ程度、７３０ｍｍ×９２０ｍｍ程度というように、世代を重ねるほど大型化しており、最近では１０００ｍｍ×１０００ｍｍを越える大きさのものまで実用化の域に入っている。
【０００４】
一方、ガラス基板の厚みについては、以前は　１．１ｍｍ前後が主流であったが、最近では多くが　０．７ｍｍである。ガラス基板の大きさと厚みとの間には密接な関係があり、小型ガラス基板の場合には、最近では　０．５ｍｍ前後の厚みのものも普及過程にあるが、大型ガラス基板の場合には、搬送、保管、取り扱いを行う上で、薄型化にはおのずから限界がある。
【０００５】
液晶晶表示素子を製造する場合、１対の大型ガラス基板をシール材を介して接着して素子に組み上げるが、液晶表示素子のガラス基板を薄くするためには、最初から薄いガラスを用いるか、あるいは液晶表示素子に組み上げた後にガラスを薄くする必要がある。
【０００６】
液晶表示素子に組み上げた後にガラス基板を薄くする方法として、化学研磨法（ケミカル・ポリッシング）および機械研磨法（メカニカル・ポリッシング）が知られている。前者の化学研磨法は、組み上げられた液晶表示素子について、フッ酸等の酸によりガラス基板をエッチングして薄型化を図る方法である。後者の機械研磨法は、酸化セリウム等の砥粒を用いてガラス基板表面を研磨することにより薄型化を図る方法である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、液晶表示素子に組み上げた後にガラス基板を薄くする上記従来の方法は、次に述べるように、それぞれ問題点を有している。
【０００８】
すなわち、化学研磨法にあっては、加工速度が速く、効率の良い方法である反面、ガラス基板の大きなうねりを解消することやガラス基板表面の小さなキズ（凹凸）を平滑化することが難しいという問題点がある。また、ガラス基板表面の小さなキズにエッチング薬液が入り込んで残留する傾向があるため、エッチング後の洗浄によっても、薬液の完全除去が容易ではないという問題点もある。
【０００９】
一方、機械研磨法にあっては、砥粒を用いてガラス基板表面を研磨することから、ガラス基板の大きなうねりを解消したりガラス基板表面の小さなキズ（凹凸）を平滑化することができる反面、加工速度がかなり遅いという別の問題点がある。
【００１０】
本発明は、このような背景下において、薄型液晶表示素子を、生産性良く、かつエッチング液の使用によるトラブル（ガラス基板のうねり、表面の小さなキズ、エッチング液の表面残留）を生じずに製造することができる薄型液晶表示素子の製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の薄型液晶表示素子の製造方法の一つは、
液晶表示素子１個または複数個分の面積をもつ１対のガラス基板を、シール材を介して接着して素子に組み上げたものを用い、
該素子のガラス基板の両面もしくは片面を化学研磨により粗研磨する工程Ａを実施した後、この工程Ａを経た素子のガラス基板を機械研磨により中間および仕上げ研磨する工程Ｂを実施することにより、薄型液晶表示素子を得ること
を特徴とするものである。
【００１２】
本発明の薄型液晶表示素子の製造方法の他の一つは、
液晶表示素子の複数個分の面積をもつ１対のガラス基板を、シール材を介して接着して素子に組み上げた後、その素子より所定のサイズの１個の液晶表示素子を分断して取り出し、端子部を保護した素子を用い、
その端子部を保護した素子のガラス基板の両面もしくは片面を化学研磨により粗研磨する工程Ａを実施した後、この工程Ａを経た素子のガラス基板を機械研磨により中間および仕上げ研磨する工程Ｂを実施することにより、薄型液晶表示素子を得ること
を特徴とするものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下本発明を詳細に説明する。本発明においては、薄型液晶表示素子を、次のようにして製造する。
【００１４】
〈素子の準備〉
本発明においては、まず、液晶表示素子１個または複数個分の面積をもつ１対のガラス基板を、シール材を介して接着して素子に組み上げたものを用いる。あるいはまた、液晶表示素子の複数個分の面積をもつ１対のガラス基板を、シール材を介して接着して素子に組み上げた後、その素子より所定のサイズの１個の液晶表示素子を分断して取り出し、端子部を保護した素子（端子部ハーフカット前の素子でもよい）を用いる。これらの素子は、自社工場で製造したものであっても、他社工場で製造したものであってもよい。
【００１５】
〈ガラス基板〉
以下に述べる薄型液晶表示素子の製造工程に供するガラス基板は、その厚みに特に限定はないものの、ガラス基板１枚当りで、　１．１〜　０．３ｍｍ程度、殊に　１．１〜０．５ｍｍ程度の厚みのものを用いることが多い。
【００１６】
〈工程Ａ〉
工程Ａは、上述の組み上げられた素子あるいは端子部を保護された１個の素子のガラス基板の両面もしくは片面を、化学研磨により粗研磨する工程である。
【００１７】
すなわち、これらの素子をフッ酸等をベースとするエッチング液と接触させると、ガラス基板がエッチング液によりエッチングされる。このときのエッチングは、フッ酸等をベースとするエッチング液を満たしたエッチング槽内に素子を浸漬させることにより行ってもよいし、素子のガラス基板の表面にエッチング液を散布することにより行ってもよい。なお、１対のガラス基板の片面のみを化学研磨するときは、他の面をマスクしておくのが通常である。
【００１８】
〈工程Ｂ〉
工程Ｂは、上記の工程Ａを経た素子のガラス基板を、機械研磨により中間および仕上げ研磨する工程である。
【００１９】
機械研磨は、酸化セリウムや酸化アルミニウムのような砥粒を媒体に分散したスラリーを用いることによりなされる。
【００２０】
このときの機械研磨は、たとえば、下定盤を回転させ、上定盤を回転させつつ揺動させるようにし、上下の定盤間に素子を位置させる方法をはじめ、種々の方法が採用される。なお、１対のガラス基板の両面を機械研磨するときは、片面ずつ逐次的に機械研磨してもよく、両面を同時に機械研磨してもよい。
【００２１】
〈工程順序〉
上記の工程Ａと工程Ｂは、工程Ａを実施した後、その工程Ａを経た素子のガラス基板につき工程Ｂを実施することが重要である。もしこの順序を逆にすると、従来の化学研磨法による問題点、従来の機械研磨法による問題点が解消されないので、本発明の目的を達することができない。
【００２２】
〈工程Ａ、Ｂにおける厚み制御〉
今、素子を構成する１対のガラス基板のうち、工程Ａおよび工程Ｂの双方の研磨に供するガラス基板に着目した場合、その着目ガラス基板の厚みを　ｄ０（ｍｍ）　、その着目ガラス基板の工程Ａによる研磨後の厚みを　ｄ１（ｍｍ）　、その着目ガラス基板の工程Ｂによる研磨後の厚みを　ｄ２（ｍｍ）　とする。そのとき、
工程Ａ：　ｄ０−ｄ１　≧　０．０５　、
工程Ｂ：　０．００３　≦ｄ１−ｄ２　≦　０．０５
の関係を共に満たすように工程Ａおよび工程Ｂを実施することが特に好ましい。より好ましい範囲は、
工程Ａ：　ｄ０−ｄ１　≧　０．１、
工程Ｂ：　０．００５　≦ｄ１−ｄ２　≦　０．０３
である。
【００２３】
ｄ０−ｄ１　が０．０５ｍｍ未満のときは、研磨による薄肉化の度合いが小さいため、工程Ａと工程Ｂとをこの順に行うときの操作の切り替えの煩わしさの方のマイナスが目立つようになる。ｄ１−ｄ２　が０．０５ｍｍを越える場合は、工程Ｂによる研磨量が過多になって、研磨工程に時間がかかりすぎるようになる。ｄ１−ｄ２　が　０．００３ｍｍ未満である場合は、工程Ａによる研磨が大部分を占めるため、化学研磨のみによるときの問題点、すなわち、ガラス基板の大きなうねりや表面の小さなキズの平滑化が不充分となり、ガラス基板の表面にある小さなキズに入り込んだ薬液の洗浄による除去も容易でなくなり、工程Ｂを実施することによる工程Ａの問題点の解消が不充分となる。
【００２４】
〈作用〉
本発明によれば、まず工程Ａにおいて素子のガラス基板を化学研磨により粗研磨することにより、薬液使用による問題点を生ずることなく、速い速度での所定の厚みまでの研磨が可能となる。そして工程Ａを経た素子のガラス基板を、次に工程Ｂにおいて機械研磨により中間および仕上げ研磨するので、大きなうねりや表面の小さなキズであっても平滑化することができ、薬液使用によるトラブルを生ずることもなく、また研磨すべき残りの量が少なくなっているので、機械研磨による薄肉化までの速度が遅いということもほとんど問題にならなくなる。
【００２５】
本発明によるこのようなすぐれた作用効果は、従来の化学研磨法によっては達成することができず、また従来の機械研磨法によっても得られない。
【００２６】
【実施例】
次に実施例をあげて本発明をさらに説明する。
【００２７】
実施例１
〈図面の説明〉
図１は本発明の薄型液晶表示素子の製造工程の一例を示した説明図であり、素子を構成する１対のガラス基板の片面のみを研磨する場合を示してある。
図２は本発明の薄型液晶表示素子の製造工程の他の一例を示した説明図であり、素子を構成する１対のガラス基板の両面を研磨する場合を示してある。
図３は研磨に供する素子の一例を示した斜視図である。
図４は研磨に供する素子の他の一例を示した斜視図である。
【００２８】
図１〜４中、（ＣＦ）はカラーフィルター用のガラス基板、（ＴＦＴ）　はＴＦＴ用のガラス基板である。
【００２９】
〈液晶表示素子の構成〉
サイズが５５０Ｗｍｍ×６５０Ｈｍｍで、厚みｄ０が０．７０ｍｍのガラス基板（原板）を２枚用いて、２３７ｍｍ×３１４ｍｍのサイズの図３または図４に示したようなカラーＴＦＴ液晶モジュール用の液晶表示素子）を作製した。図３の場合には、上側のガラス基板の方が、下側のガラス基板よりも、端子設置部分だけ小サイズになっている。上下のガラス基板の厚みｄ０がいずれも０．７０ｍｍであるので、液晶表示素子を構成する１対のガラス基板の合計厚みは　２ｄ０　＝　１．４０ｍｍ　である（中間層の厚みは無視できる）。
【００３０】
〈工程Ａ〉
次に、図３または図４の液晶表示素子を（図３の場合には端子部を保護しておく）、フッ酸をベースとするエッチング液を満たしたエッチング槽内に２０分間浸漬させた。これにより、素子の両面のガラス基板の厚みがいずれも　ｄ１　＝　０．５１ｍｍとなるまで化学研磨されたので（図２（ロ）参照）、水洗により、液晶表示素子表面に付着しているエッチング液を除去した。
【００３１】
〈工程Ｂ〉
ついで、工程Ａを経た液晶表示素子を、研磨装置を用いて１０分間機械研磨した（両面機械研磨装置を用いれば両面が同時に研磨され、片面機械研磨装置を用いれば片面が研磨される）（図２（ハ）参照）。両面機械研磨装置を用いた場合、素子の両面のガラス基板の厚みがいずれも　ｄ２　＝　０．５０ｍｍとなるまで機械研磨されたので、付着している砥粒を水洗により除去した。
【００３２】
〈両工程における厚み減少量〉
素子を構成する各ガラス基板の厚みｄ０が０．７０ｍｍ、工程Ａによる各ガラス基板の研磨後の厚みｄ１が０．５１ｍｍ、工程Ｂによる研磨後の各ガラス基板の厚みｄ２が０．５０ｍｍであるので、ｄ０−ｄ１＝０．１９ｍｍ、ｄ１−ｄ２＝０．０１ｍｍとなり、
工程Ａによる研磨量：　ｄ０−ｄ１　≧　０．０５　（好ましくはｄ０−ｄ１　≧　０．１）、
工程Ｂによる研磨量：　０．００３　≦ｄ１−ｄ２　≦　０．０５　（好ましくは０．００５　≦ｄ１−ｄ２　≦　０．０３　）
の関係を共に満たしている。
【００３３】
比較例１
実施例１で用いた液晶表示素子を化学研磨することにより、素子を構成する各ガラス基板の厚みがいずれも０．５０ｍｍになるまで研磨した。このときの所要時間は２５分間と短かったが、液晶表示素子表面にエッチング液が入り込むことを充分には防止できず、また液晶表示素子の大きなうねりや表面の小さなキズを平滑化することができなかった。
【００３４】
比較例２
実施例１で用いた液晶表示素子を両面機械研磨装置を用いて機械研磨することにより、素子を構成する各ガラス基板の厚みがいずれも０．５０ｍｍになるまで研磨した。研磨用のスラリーの砥粒は、最初は粗いもの、ついで細かいものを用いた。このときの所要時間は６０分間と長い時間を要した。ただし、エッチング液を用いていないのでそれに起因する問題はなく、また液晶表示素子の大きなうねりや表面の小さなキズを平滑化することは可能であった。
【００３５】
〈対比〉
上記の実施例１、比較例１、比較例２の結果を、下記の表１にまとめて示す。評価については、好ましいものの順に○、□、△、×の符号を付記した。
【００３６】
【表１】　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
2004021016.tif 000003
【００３７】
【発明の効果】
作用の項で述べたように、本発明によれば、まず工程Ａにおいて液晶表示素子のガラス基板を化学研磨により粗研磨しているので、速い速度での所定の厚みまでの研磨が可能となる。そして工程Ａを経た素子のガラス基板を、次に工程Ｂにおいて機械研磨により中間および仕上げ研磨しているので、大きなうねりや表面の小さなキズであっても平滑化することができ、薬液使用によるトラブルを生ずることもなく、また研磨すべき残りの量が少なくなっているので、機械研磨による薄肉化までの速度が遅いということもほとんど問題にならなくなる。
【００３８】
このように、本発明によれば、液晶表示素子を所定の厚みにまで薄肉化して軽量化を図ることができ、かつ平滑な表面が得られ、短時間で薄肉化が達成できるので生産性も良好であり、しかもエッチング液の使用によるトラブルを生じない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の薄型液晶表示素子の製造工程の一例を示した説明図であり、素子を構成する１対のガラス基板の片面のみを研磨する場合を示してある。
【図２】本発明の薄型液晶表示素子の製造工程の他の一例を示した説明図であり、素子を構成する１対のガラス基板の両面を研磨する場合を示してある。
【図３】研磨に供する素子の一例を示した斜視図である。
【図４】研磨に供する素子の他の一例を示した斜視図である。
【図１】
2004021016.tif 000004
【図２】
2004021016.tif 000005
【図３】
2004021016.tif 000006
【図４】
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