(57)【要約】【課題】　アクチュエータの基本モードの固有周期より高速にアクチュエータを変位させる。【解決手段】　圧電振動子の第１の振動モードである基本（１次）モードの固有周期である３０μｓより短い時間の間に、電圧の立ち上げと立ち下げからなるパルス状の波形S0を加えた後に、再び電圧を立ち上げている。初めの電圧の立ち上げP0から電圧の立ち下げP1までの時間と、電圧の立ち下げP1から２度目の電圧の立ち上げP2までの時間はおよそ６μｓで、圧電振動子６０の第２の振動モードとなる２次モードの固有周期のおよそ半分の値である。【選択図】　図３
2004025890.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　駆動手段による駆動力で変位し、この駆動力で励振される第１の振動モードと、この第１の振動モードより高次な第２の振動モードとを有するアクチュエータの駆動方法において、
　前記第１の振動モードの周期より短い区間の間に、前記第２の振動モードの固有周期の略半分の幅を有するパルス状となる駆動力の立ち上げと立ち下げを少なくとも一回行うことにより、前記第２の振動モードを励振し、
　しかる後に必要な変位に駆動する駆動力を作用させることを特徴とするアクチュエータの駆動方法。
【請求項２】
　前記パルス状となる駆動力の立ち下げから前記必要な変位に駆動する駆動力までの時間を、前記第２の振動モードの固有周期の略半分に設定したことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータの駆動方法。
【請求項３】
　前記パルス状となる駆動力の立ち上げと立ち下げの大きさを、前記必要な変位に駆動する駆動力の大きさより大きくしたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータの駆動方法。
【請求項４】
　前記必要な変位に駆動する駆動力が、ステップ状駆動力にパルス状駆動力を重畳させてなることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載のアクチュエータの駆動方法。
【請求項５】
　重畳される前記パルス状駆動力が、前記第１の振動モードの振動を打ち消すように抑制することを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータの駆動方法。
【請求項６】
　前記アクチュエータは、電歪振動子あるいは磁歪振動子からなることを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載のアクチュエータの駆動方法。
【請求項７】
　前記アクチュエータは、縦振動子、横振動子、あるいはねじり振動子であることを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載のアクチュエータの駆動方法。
【請求項８】
　液体室を区画形成している周壁の一部を、アクチュエータで振動させることにより、前記液体室に連通したノズルより液滴を吐出する液体噴射装置において、
　前記アクチュエータは駆動手段による駆動力で変位し、この駆動力で励振される第１の振動モードと、この第１の振動モードより高次な第２の振動モードとを有し、前記第１の振動モードの周期より短い区間の間に、前記第２の振動モードの固有周期の略半分の幅を有するパルス状となる駆動力の立ち上げと立ち下げを少なくとも一回行うことにより前記第２の振動モードを励振し、しかる後に必要な変位に駆動する駆動力を作用させることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項９】
　前記パルス状となる駆動力の立ち下げから前記必要な変位に駆動する駆動力までの時間を、前記第２の振動モードの固有周期の略半分に設定したことを特徴とする請求項８に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１０】
　前記パルス状となる駆動力の立ち上げと立ち下げの大きさを、前記必要な変位に駆動する駆動力の大きさより大きくしたことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１１】
　前記必要な変位に駆動する駆動力が、ステップ状駆動力にパルス状駆動力を重畳させてなることを特徴とする請求項８から請求項１０の何れかに記載のインクジェット記録装置。
【請求項１２】
　重畳される前記パルス状駆動力が、前記第１の振動モードの振動を打ち消すように抑制することを特徴とする請求項１１に記載のインクジェット記録装置。
【請求項１３】
　前記アクチュエータは縦振動モードで駆動される電歪振動子で、前記駆動手段による駆動力は前記電歪振動子に形成された駆動電極に印加される電圧で与えられることを特徴とする請求項８から請求項１２の何れかに記載のインクジェット記録装置。
【請求項１４】
　前記インク室はインクの吐出に係わるインク室の振動モードを持ち、前記アクチュエータの前記第１の振動モードの固有周期は前記インク室の振動モードの固有周期より大きく、前記第２の振動モードの固有周期は前記インク室の振動モードの固有周期より小さいことを特徴とする請求項８から請求項１３の何れかに記載のインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、駆動信号の入力により変位するアクチュエータの駆動方法に関するものである。更に詳しくは、アクチュエータを高速に変位させる駆動方法に関するものである。また、本発明の属するもう一つの技術分野は、インク滴を吐出して記録媒体上に付着させるインクジェット記録装置に関するもので、更に詳しくは、低い電圧で微小なインク滴を高速に吐出させることに適したインクジェット記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
　制御信号の入力により発生する駆動力あるいは駆動力の変化で変位するアクチュエータとして、例えば電歪（圧電）材料を用いた電歪アクチュエータや、磁歪材料を用いた磁歪アクチュエータがある。これらのアクチュエータは、アクチュエータの形状や固定方法等によって決まる固有振動モードを持っている。
【０００３】
　例えば、図１に示す圧電縦振動子は、圧電セラミクス細棒の一端を固定し、細棒の両面に形成された駆動電極間に電圧を印加すると、圧電横効果により細棒の長手方向に変位する。このような一端を固定した棒の縦振動の固有振動数は、
【０００４】
【数１】
2004025890.tif 000003
【０００５】
　で表わされる。ここで、Ｌ：棒の長さ、Ｅ：棒材料の縦弾性係数、γ：棒材料の密度、λ：固有振動モードによって定まる無次元の係数でλ＝π／２，３π／２，５π／２，．．．，（２ｎ−１）π／２（ｎは自然数）である。また、各固有振動数に対応する固有振動モードは、図１８に示すようになる。図１８では、一次モード、二次モード、三次モードの棒の長さ方向の変位状態を、便宜的に棒に垂直方向の変位として表わしている。
【０００６】
　この圧電縦振動子に、外部の駆動回路からの出力電圧を駆動電極間に印加すると、圧電横効果による駆動力が発生し、静的には次式で表現される変位量を発生する。
【０００７】
【数２】
2004025890.tif 000004
【０００８】
　ここで、Ｖ：駆動電圧、ｔ：電極間の圧電細棒の厚さ、Ｌ：棒の長さ、ｄ31：圧電定数である。
【０００９】
　この圧電縦振動子を変位させる時の上記静的変位に至るまでの過渡的振動状態は、電圧の立ち上げ方に大きく支配される。図１９と図２０は、圧電縦振動子に一定の電圧上昇率で立ち上がる擬ステップ電圧を印加した時の、圧電縦振動子先端の変位応答を見たものである。図の横軸は圧電縦振動子の一次モードの基本周期Ｔm1で規格化し、縦軸の変位量は静変位量で規格化してある。
【００１０】
　図１９では、擬ステップ電圧の立ち上がり時間Ｔ1が三次モードの固有周期Ｔm3＝Ｔm1／５より短く、一次モード、二次モード、三次モードの複数のモードが励振され、その結果、静変位のおよそ２倍の変位まで立ち上がるが、鋸波状のリンギングが発生する。
【００１１】
　図２０では、擬ステップ電圧の立ち上がり時間Ｔ1を一次モードの固有周期Ｔm1に等しく設定している。一般にある固有モードの固有振動周期より十分長い立ち上がり時間にすると、その固有モードとより高次の振動の励振は低く抑えられる。逆にある固有モードの固有周期より短い立ち上がり時間にすると、その固有モードとより低次の固有モードは強く励振される。また、立ち上がり時間があるモードの固有振動周期に等しくなる時点で、そのモードの励振は極小となり、その振動モードの励振を可及的に抑えられる。図２０では、擬ステップ電圧の立ち上がり時間Ｔ1を一次モードの固有周期Ｔm1に等しく設定しているため、一次モードと高次モードの励振が共に抑えられ、振動子先端はおよそ立ち上がり時間に等しい時間（即ち一次モードの固有周期Ｔm1に等しい時間）で立ち上がり、オーバシュートやリンギングは発生しない。
【００１２】
　次に、本発明の従来技術となるインクジェット記録装置を説明する。
【００１３】
　一般にインクジェット記録装置においては、インク室の剛性（コンプライアンス）と供給路、ノズルを含むインク流路系の慣性（イナータンス）によって決まるヘルムホルツ周波数を持つインク流れの固有振動が有り、この振動モードを強く励振することによりノズルから高速にインク滴を吐出することが可能となる。
そのため、インク流れの固有振動の周期より短い時間でアクチュエータが変位するよう、アクチュエータの基本振動モードの周期がインク流れの固有振動の周期より短くなるようにする。このような従来技術が、特許文献１に開示されている。
【００１４】
　このようなインクジェット記録装置では、アクチュエータが駆動後にリンギング（残留振動）を起こすとインク流れの固有振動を励振し、非常に僅かな振幅であってもノズルよりミスト状のインク滴が発生する。このミストは、それ自体が記録媒体に付着すると記録品質を低下させるが、記録媒体だけでなくインクジェットヘッドのノズル周囲に付着するとノズル開口部の濡れが不均一になり、付着したミストに引かれてインク滴の吐出方向が変わってしまい、記録媒体上の目的の位置に正確に記録できず、記録品質の低下を招く。
【００１５】
　また、特許文献２に開示されているインクジェット記録装置は、区画形成されたインク室の底壁をなす振動板に、振動板を駆動してインク室を加圧するアクチュエータとしての圧電振動子の一方の端部が当接している。この圧電振動子の他方の端部は基板を介して基台に固定されており、積層された駆動電極に駆動電圧を印加することで、軸方向に伸縮する縦振動モードで駆動される。駆動電圧を上昇させると圧電振動子が縮み、振動板をインク室の面外方向に変形させインク室の容積を増大させる。その後、駆動電圧を下降させると圧電振動子が伸長しインク室の容積を急激に縮小させる。この時発生するインク室の流体圧力により、インク室に連通するノズルよりインク滴が吐出する。駆動電圧の下降は、電圧下降率が一定となる回路で行われているが、この下降の時間を圧電振動子の自由振動（縦振動の基本振動）の周期に実質的に等しくすることで、圧電振動子の残留振動を低くし、ノズルからのミスト状の不要インク滴が吐出するのを抑制している。
【００１６】
　更に、特許文献３に開示されているインクジェット記録装置は、駆動電圧の下降を２段階に分け、電圧下降の中間に電圧下降の停止時間を入れることで、可及的に圧電振動子の残留振動を抑制している。
【特許文献１】特公平４−７１７１２号公報
【特許文献２】特開平６−８４２７号公報
【特許文献３】特開平６−３４００７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
　上記の従来技術が示すとおり、アクチュエータを高速に変位させ、かつ変位のリンギングを十分に小さくするには、そのアクチュエータの変位に係わる基本振動モード、例えば縦振動子の先端変位を出力に用いるアクチュエータでは縦振動の基本振動モード（一次振動モード）を、その固有周期が必要な変位応答時間に等しいかそれ以下となるよう固有周波数を高くしなければならない。即ち、変位応答の速度は、アクチュエータの基本振動モードの固有周期で上限が決められてしまう。一般に、機械構造物の固有振動周波数は構造物が小さくなるほど高くなる。例えば、一様な縦振動子やねじり振動子では固有周波数は長さに反比例し、横振動子（たわみ振動子）では固有周波数は長さの２乗に反比例する。これとは逆に、アクチュエータの変位量は、駆動力が一定であれば寸法が小さくなるほど小さくなる。例えば、一様な縦振動子やねじり振動子では、変位量は長さに比例し、横振動子（たわみ振動子）では、変位量は長さの２乗に比例する。従って、変位速度を高くするには、アクチュエータを小型にすると共にその駆動力、即ち、電気機械変換素子からなるアクチュエータでは駆動電圧を高くしなければならない。
【００１８】
　しかしながら、駆動電圧が高くなると駆動回路が非常に大型・高価になり、また駆動回路やアクチュエータの発熱による性能低下を招くという問題点が発生する。また、アクチュエータ内部の応力が高くなり、アクチュエータの破壊による信頼性低下が生じるなど、アクチュエータ素子自体の限界歪みで特性の上限が決められてしまう。
【００１９】
　また、インクジェット記録装置では、インク滴の吐出に係わるインク室の振動モードの固有振動数（ヘルムホルツ周波数）を高くすることで微小なインク滴を高速に吐出させることが可能となる。そのためには、このインク室の振動モードを駆動できる高い変位速度を持つアクチュエータが必要となる。しかしながら、駆動電圧の立ち上がりを速くするとリンギングが発生し、印字品質を劣化させる不要インクミストが発生する問題点がある。また、アクチュエータの基本モードを高速にするためアクチュエータの小型化を図ると、駆動電圧が非常に高くなってしまう問題点がある。
【００２０】
　そこで、本発明の課題は、基本モードの固有周期以下の時間で変位が立ち上がるアクチュエータの駆動方法を提供し、アクチュエータの基本モードで制限されていた変位応答性の限界を飛躍的に改善し、低駆動力・低電圧で高速に駆動できる高性能なアクチュエータを提供することにある。
【００２１】
　また、アクチュエータの変位速度を飛躍的に向上さることで、微小なインク滴を高速に低駆動力・低電圧で吐出できる、高品位なインクジェット記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
　上記課題を解決するために、本発明は、駆動手段による駆動力で変位し、この駆動力で励振される第１の振動モードと、この第１の振動モードより高次な第２の振動モードとを有するアクチュエータの駆動方法において、前記第１の振動モードの周期より短い区間の間に、前記第２の振動モードの固有周期の略半分の幅を有するパルス状となる駆動力の立ち上げと立ち下げを少なくとも一回行うことにより前記第２の振動モードを励振し、しかる後に必要な変位に駆動する駆動力を作用させるようにしている。
【００２３】
　ここで、前記立ち下げから前記必要な変位に駆動する駆動力までの時間を、前記第２の振動モードの固有周期の略半分に設定することが望ましい。
【００２４】
　また、前記パルス状となる駆動力の立ち上げと立ち下げの大きさに関し、前記必要な変位に駆動する駆動力の大きさより大きくすることが望ましい。
【００２５】
　また、前記必要な変位に駆動する駆動力が、ステップ状駆動力にパルス状駆動力を重畳させてなることが望ましい。ここで、重畳される前記パルス状駆動力が、前記第１の振動モードの振動を打ち消すように抑制することが望ましい。
【００２６】
　また、前記アクチュエータとしては、電歪振動子あるいは磁歪振動子からなることが望ましい。
【００２７】
　また、前記アクチュエータは、縦振動子、横振動子、あるいはねじり振動子であることが望ましい。
【００２８】
　また、本発明は、インク室を区画形成している周壁の一部を、アクチュエータで振動させることにより、前記インク室に連通したノズルよりインク滴を吐出するインクジェット記録装置において、前記アクチュエータは駆動手段による駆動力で変位し、この駆動力で励振される第１の振動モードと、この第１の振動モードより高次な第２の振動モードとを有し、前記第１の振動モードの周期より短い区間の間に、前記第２の振動モードの固有周期の略半分の幅を有するパルス状となる駆動力の立ち上げと立ち下げを少なくとも一回行うことにより前記第２の振動モードを励振し、しかる後に必要な変位に駆動する駆動力を作用させるようにしている。
【００２９】
　ここで、前記立ち下げから前記必要な変位に駆動する駆動力までの時間を、前記第２の振動モードの固有周期の略半分に設定することが望ましい。
【００３０】
　また、前記パルス状となる駆動力の立ち上げと立ち下げの大きさに関し、前記必要な変位に駆動する駆動力の大きさより大きくすることが望ましい。
【００３１】
　また、前記必要な変位に駆動する駆動力が、ステップ状駆動力にパルス状駆動力を重畳させてなることが望ましい。ここで、重畳される前記パルス状駆動力が、前記第１の振動モードの振動を打ち消すように抑制することが望ましい。
【００３２】
　また、前記アクチュエータは縦振動モードで駆動される電歪振動子で、前記駆動手段による駆動力は前記電歪振動子に形成された駆動電極に印加される電圧で与えられることが望ましい。
【００３３】
　また、前記インク室はインクの吐出に係わるインク室の振動モードを持ち、前記アクチュエータの前記第１の振動モードの固有周期は前記インク室の振動モードの固有周期より大きく、前記第２の振動モードの固有周期は前記インク室の振動モードの固有周期より小さいことが望ましい。
【発明の効果】
【００３４】
　本発明によれば、アクチュエータの基本モードの固有周期より短い時間でアクチュエータを立ち上げることが可能となり、高速で変位するアクチュエータを実現することができる。
【００３５】
　また、高速な応答を得る為に、必要以上にアクチュエータを小型にする必要が無く、低い駆動力・駆動電圧で必要な変位量を得ながら、高速に変位するアクチュエータを実現することができ、高い応答速度を持つインク室を駆動することが可能となる。
【００３６】
　さらに、アクチュエータのオーバーシュートや残留振動を抑えることができ、不要インク滴の吐出や、インク吐出の不安定性が発生せず、低駆動電圧と高信頼性を両立させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
　以下に、図面を参照して本発明のアクチュエータの駆動方法について詳しく説明する。
【００３８】
　図１は以下に説明する駆動波形の実施例を適用したアクチュエータで、チタン酸ジルコン酸鉛（以下ＰＺＴと表現する）からなる厚さＨの圧電板を幅Ｗの板棒状に切り出し、一方の端部を基板６１からの張り出し長さＬで基板に接着固定してある。圧電板６０にはその両面に駆動電極６２が形成されており、この駆動電極６２を用いて圧電材料を厚さ方向に分極させてある。この圧電縦振動子の寸法は、厚さＨが２００μｍ、幅Ｗが５００μｍ、張り出し長さＬが２０ｍｍで、圧電材料のおよその材料定数は、比重が７．５、縦弾性係数が６×１０10Ｎ／ｍ2、圧電定数ｄ31は２００×１０-12ｍ／Ｖである。駆動電極へ電圧印加を行うと圧電横効果による圧電歪みが駆動力として作用し、棒は長手方向に収縮する。この長手方向の縦振動の固有周波数は、上記数値を用いて公式より算出すると、１次モードが３４ｋＨｚ、２次モードが１０２ｋＨｚ、３次モードが１７０ｋＨｚとなる。また、固有周期で見ると、１次モードが２９μｓ、２次モードが１０μｓ、３次モードが６μｓとなる。インピーダンスアナライザを用いて共振点を実測すると１次モードの固有周期は３０μｓとなり、上記計算結果と一致した。
【００３９】
　図２（Ａ）に示す駆動電圧波形は、図１に示す圧電振動子の１次モード固有周期に等しい３０μｓで電圧が立ち上がる擬ステップ波形であるが、この駆動波形を図１に示す圧電振動子に印加すると、図２（Ｂ）に示すアクチュエータ変位の応答が得られる。従来技術として説明した様に、この駆動方法によれば、オーバシュートやリンギングが発生せず滑らかに変位が立ち上がるが、変位の立ち上がりに要する時間がおよそ３０μｓも必要とし、立ち上がりの速度が低くなってしまう。
【００４０】
　これに対し、図３は本発明の第１の実施例となる駆動方法を示す図で、図３（Ａ）は圧電振動子に印加する駆動電圧波形で、図３（Ｂ）はアクチュエータとしての圧電振動子の先端変位応答である。図３（Ａ）の駆動電圧波形は、圧電振動子の第１の振動モードである基本（１次）モードの固有周期である３０μｓより短い時間の間に、電圧の立ち上げと立ち下げからなるパルス状の波形S0を加えた後に、再び電圧を立ち上げている。初めの電圧の立ち上げP0から電圧の立ち下げP1までの時間と、電圧の立ち下げP1から２度目の電圧の立ち上げP2までの時間はおよそ６μｓで、圧電振動子６０の第２の振動モードとなる２次モードの固有周期のおよそ半分の値である。この駆動波形により、圧電振動子６０の立ち上がりにおいて基本（１次）モードが立ち上がる前に、２次の変位モードを励振する圧力波が振動子を伝播するため、図３（Ｂ）に示すように急峻な立ち上がりQ0と変位一定のプラトーQ1が得られる。プラトーQ1の後、時間１５μｓ以降にはパルス状の駆動電圧波形を伴った駆動電圧の立ち上がりによる１次モードのリンギングQ2が残留している。
【００４１】
　図３の駆動方法により、振動子先端変位は図２の従来技術に比較して３分の１以下のおよそ８μｓで立ち上がり、非常に高速な立ち上がりを実現できた。しかし、プラトーQ1まで急峻に立ち上がる変位量は静的な変位量であるおよそ０．２５μｍより２割程度小さい。
【００４２】
　これに対し、図４は本発明の第２の実施例となる駆動方法を示す図で、図３に示した実施例を改善したものである。図４（Ａ）は圧電振動子に印加する駆動電圧波形で、図４（Ｂ）はアクチュエータとしての圧電振動子６０の先端変位応答である。図３（Ａ）の駆動電圧波形に対し、図４（Ａ）の駆動電圧波形は、最初の電圧の立ち上げP10と立ち下げP11からなるパルス状の波形S10の高さを、静的な変位量を与える電圧に対しておよそ３割大きくすることで、プラトーQ11まで急峻に立ち上がる変位量を静的な変位量と同程度にすることが可能となった。本駆動方法の様にパルスの高さを変えることにより、プラトーまで急峻に立ち上がる変位量を自由に調整することが可能となる。
【００４３】
　図５は本発明の第３の実施例となる駆動方法を示す図で、図５（Ａ）は圧電振動子に印加する駆動電圧波形で、図５（Ｂ）はアクチュエータとしての圧電振動子の先端変位応答である。本実施例は、図４に示した実施例を改善したものである。即ち、静的な変位量を与える電圧よりおよそ３割高く第１の電圧の立ち上げP20を行う。続いて、圧電振動子６０の第２の振動モードとなる２次モードの固有周期のおよそ半分の値となるおよそ６μｓで電圧の立ち下げP21を行い、第１のパルス状波形S20を形成する。続いて、電圧の立ち下げP21から先と同様およそ６μｓで第２の電圧の立ち上げP22を行う。この立ち上げP22の高さを第１の立ち上げと同様に静的な変位量を与える電圧よりおよそ３割高くする。続いて、第２の立ち上げP22から先と同様およそ６μｓで静的変位を与える電圧まで第２の電圧の立ち下げP23を行う。
【００４４】
　図４（Ａ）と図５（Ａ）とを比較して分かるように、本実施例の駆動波形で、静的な変位にまで駆動するステップ状駆動波形S22に第２のパルス状波形S21を重畳させることで、アクチュエータ変位の立ち上がり後のリンギングを抑制することが可能となる。
【００４５】
　図６は本発明の第４の実施例となる駆動方法を示す図で、図６（Ａ）は圧電振動子６０に印加する駆動電圧波形で、図６（Ｂ）はアクチュエータとしての圧電振動子６０の先端変位応答である。本実施例は、図５に示した実施例を改善し、補助的に重畳させた第２のパルスを基本（１次）モードのリンギングを打ち消すように最適化し、残留振動を抑制したものである。即ち、第２の電圧の立ち上げP32の高さを、第１の立ち上げP30より大きくし、その大きさを基本（１次）モードのリンギングを打ち消すように調整した。本駆動波形により、図６（Ｂ）に示すように、非常に小さいレベルにまでオーバシュートとリンギングを抑制できた。図２（Ｂ）と比較すると、同じアクチュエータを用いて３倍以上高速な立ち上がり速度が得られ、アクチュエータの駆動能力を格段に向上させることができた。
【００４６】
　図７は本発明の第５の実施例となる駆動方法を示す図で、図７（Ａ）は圧電振動子６０に印加する駆動電圧波形で、図７（Ｂ）はアクチュエータとしての圧電振動子６０の先端変位応答である。図７（Ａ）の駆動電圧波形は、圧電振動子の第１の振動モードである基本（１次）モードの固有周期である３０μｓより短い時間の間に、電圧の立ち上げと立ち下げからなるパルス状の波形S40、S41を２つ加えた後に電圧を立ち上げている。電圧の立ち上げと立ち下げの夫々の間隔は圧電振動子の第２の振動モードとなる３次モードの固有周期のおよそ半分の３μｓで、３次の変位モードを励振する圧力波が振動子を伝播するようにしてある。
【００４７】
　この駆動電圧波形に対する応答を図７（Ｂ）で見ると、およそ４μｓで第１の立ち上がりQ40をした後、およそ３μｓの間静止したプラトーQ41を示し、その後およそ３μｓで第２の立ち上がりQ42をし、再びおよそ３μｓの間静止した第２のプラトーQ43を示す。本実施例と図２（Ｂ）を比較すると、本実施例では立ち上がりと静止を繰り返しながらも、従来技術に比べおよそ２倍の立ち上がり速度を示している。
【００４８】
　図８は本発明の第６の実施例となる駆動方法を示す図で、図８（Ａ）は圧電振動子６０に印加する駆動電圧波形で、図８（Ｂ）はアクチュエータとしての圧電振動子６０の先端変位応答である。図８（Ａ）の駆動電圧波形は、図７（Ｂ）の第１の立ち上がりQ40に着目し、駆動波形の最適化を行った。即ち、静的な変位量を与える電圧より２．５倍高く第１の電圧の立ち上げP50を行い、続いて、圧電振動子の第２の振動モードとなる３次モードの固有周期のおよそ半分の値となるおよそ３μｓに電圧の立ち下げP51を行い、第１のパルス状波形S50を形成する。続いて、擬ステップ波形S51、S52を印加し静的変位量に変位させる。この擬ステップ波形は、第１のパルス波形S50と組み合わせた時、基本モードのリンギングを打ち消すように抑制する波形に最適化する必要がある。本実施例では、擬ステップ波形の立ち上がり時刻を調整して、第１のパルス状波形S50で誘導される基本モードの振動と、擬ステップ波形S51、S52で誘導される基本モードの振動が、打ち消しあうよう位相を制御する。即ち、両基本モードの位相が１８０°異なる時刻に調整する。また、擬ステップ波形の立ち上がりP52に要する時間は、高次モードを強く誘導しないよう、２次モードの固有周期より少し短い６μｓとした。擬ステップ波形の立ち上がりP52から静的変位量を与える電圧に立ち下げるP53までの時間、即ち立ち上がり勾配一定の擬ステップ波形に重畳される第２のパルス波形S51の幅は、基本モードの振動を効率よく誘導するよう、基本モードの固有周期のおよそ半分の時間に調整した。この第２のパルスの高さを、第１のパルス状波形で誘導される基本モードの振動を相殺するよう調整することで、図８（Ｂ）に示すように、３次モード固有周期のおよそ半分の時間である５μｓで立ち上がるステップ状に変位する駆動を実現できる。
【００４９】
　図９は本発明の第７の実施例となる駆動方法を示す図で、図９（Ａ）は圧電振動子６０に印加する駆動電圧波形で、図９（Ｂ）はアクチュエータとしての圧電振動子６０の先端変位応答である。図９（Ａ）の駆動電圧波形は、図８（Ａ）の駆動電圧波形同様のアプローチにより最適化されている。図８（Ａ）とは異なり、第１のパルス状波形S60と擬ステップ波形S61、S62とにおいて、駆動回路を簡略化できるよう電圧の立ち上がり勾配P60、P62、P63、電圧の立ち下がり勾配P61、P64をそれぞれ一定な値としている。
【００５０】
　図８（Ｂ）と図９（Ｂ）の応答は、共にリンギングは抑制できているが、オーバシュートQ52、Q62がやや大きくなっている。擬ステップ波形に、第３、第４とパルス状波形を重畳していくことで、このオーバシュートを抑制ことは可能である。しかし、波形が複雑になると、駆動回路が複雑になり、僅かなパラメタ変動で期待した効果や作用が機能しないことも予想される。図８あるいは図９に示した実施例は、初期の立ち上がりQ50、Q60の速度が図２の従来技術と比較して６倍程度向上している。従って、アクチュエータの高速位置決め機能よりアクチュエータの速度が重要で、基本モード程度の周波数成分を持つオーバシュートが問題とならない応用分野で非常に有効な駆動方法である。
【００５１】
　以上の実施例では、圧電素子からなる縦振動子を例にとり駆動方法の説明を行ったが、他の振動モードであっても同じ動作原理により同様な作用効果が得られることは明らかである。例えば、ねじり振動子では、その運動方程式は縦振動子と相似であり、縦振動子の場合の縦弾性係数をねじり振動子の場合には横弾性係数で置き換えることで、ねじり振動に関する一連の公式が得られる。横振動子の場合も、１次モード、２次モード、３次モードの振動を用いて、高次モードにより急峻な立ち上がりを実現しながら１次モードの振動を抑制する本発明の着想が適用できる。しかしながら、横振動子では、１次モード、２次モード、３次モードの固有振動数が縦振動子やねじり振動子のように直線的に並ばず、１次モードと高次モードとの固有振動数の差が大きいため、駆動波形の最適化は他の振動子に比べ難しい。
【００５２】
　ここで、これまで説明した圧電縦振動子は圧電横効果を用いているため、分極時の電圧と同じ方向に電圧を印加する場合、圧電縦振動子は負の歪み（負の変位）を発生する。逆に、圧電縦効果を用いた圧電縦振動子の場合は、分極時の電圧と同じ方向に電圧を印加する場合、圧電縦振動子は正の歪み（正の変位）を発生する。従って、本明細書においては、駆動力あるいは電圧等の駆動信号の立ち上げとは、アクチュエータが目的とする変位に駆動される方向への駆動力あるいは電圧等の駆動信号の変化を意味する場合も有り、その場合は立ち上がり／立ち下がりが正／負の符号には依らない用語の使い方をしている。
【００５３】
　また、本発明は圧電振動子（電歪振動子）だけでなく、磁歪振動子についても同様に適用できるのは明らかである。圧電振動子が駆動電圧による電界が駆動力を発生するのに対し、磁歪振動子では磁界の強さが駆動力を発生する。しかし、磁界の発生手段がコイルであれば、その駆動電流を駆動力として解釈してもよい。
【００５４】
　次に、図面を参照して本発明のインクジェット記録装置について詳しく説明する。
【００５５】
　図１０は、アクチュエータとして縦振動モードの圧電振動子を用いたインクジェット記録装置を示すものであって、各部品を分解し内部構造が見えるように示してある。図１１は、図１０に示した実施例の部分断面図である。
【００５６】
　図１０において、流路形成部材３には、周囲を側壁で区画された細長い直線状のキャビティ５１，５１，５１・・・・が列状に等間隔で２列に形成されており、それぞれのキャビティの一端は、後述するインク溜りを形成する窓４１に連通している。この流路形成部材３をノズル基板１と振動板７とで挟みこみ、封止することで、前述の細長い直線状のキャビティ５１はインク室５を形成し、窓４１はインク溜り４を形成する。また、ノズルプレート１にはインク室５に対応してノズル２，２，２・・・・が穿孔されており、インク室５の一端でノズル２が接続している。
【００５７】
　インク滴吐出の駆動源となるアクチュエータ２２は、棒状の積層圧電素子を素子固定基板２１から梁状に突き出すように、その一方の端部を素子固定基板２１に固着した縦振動子で、この積層圧電素子を素子固定基板２１に複数実装してアクチュエータユニットとして構成されている。図１１に示すように積層圧電素子は、梁状部分で互い違いに交差する電極層２６、２７と圧電材料（本実施例ではチタン酸ジルコン酸鉛を用いた）を積層した活性部を有し、一方の電極層２７は各アクチュエータ毎に個別の電極として、他方の電極層２６はアクチュエータに共通の電極として、図示していない外部の駆動回路へリードフレーム２５を経て接続している。アクチュエータ２２の配置は、一つのアクチュエータ２２が一つのインク室５に対応するように、インク室５の間隔と同じに並べられる。図１０に示す実施例では、２列のインク室５に対応してアクチュエータユニットが２つ実装されている。
【００５８】
　インク流路構成部材とアクチュエータユニットは、基台１１によって相互に固定されている。基台１１には、インク供給管３１が圧入接着されている。インクは図示していない外部のインクタンクよりインク供給管３１と振動板７にあるインク連絡口３３を経て、インク溜り４、更にインク室５へと供給される。各インク室５の底壁を構成する振動板７の部分は弾性壁８として変形可能であり、インク室５と反対面に各インク室毎に形成されている島状の脚部９を持つダイアフラムとなっている。梁状のアクチュエータ２２の先端は、個々のインク室の脚部９に接合している。
【００５９】
　図示していない外部の駆動回路より、積層圧電素子の個別電極２７と共通電極２６間に電圧が印加されると、積層圧電素子の活性部は素子固定基板２１を支点に長手方向に縮み、インク室５の弾性壁８を、図１１において下方にたわませ、インク室５の容積を拡大させる。インク室５の容積の拡大によって、インクがインク溜り４より供給流路６を経てインク室５に供給される。引き続く時間で個別電極２７と共通電極２６間の電圧印加が解除されると、積層圧電素子の活性部は元の長さに伸びインク室５の容積を縮小させ、このとき発生する圧力によってインク室５を満たすインクの一部をインク室５に連通するノズル２よりインク滴として吐出させる。
【００６０】
　次に図１２を用いて、アクチュエータユニットを更に詳細に説明する。
【００６１】
　図１２は、図１０に示した実施例のアクチュエータユニットを拡大した図である。素子固定基板２１は厚さ１ｍｍのアルミナ基板を加工して作られている。梁状の突出部４２はアクチュエータユニットと基台１１を位置決めするために設けられている。列状に配置された積層圧電素子（アクチュエータ２２）は、図１１に示すように、その積層電極の一方は積層圧電素子の梁状先端で外部の電極に接続し、更に側面の電極２８に接続している。また、積層電極の他方は積層圧電素子の素子固定基板２１に固定されている方の先端で外部の電極に接続し、電極２８と対向する側面に形成された電極２９に接続している。積層圧電素子の素子固定基板２１との接合面に設けられた電極２９は個々に積層圧電素子に設けられた個別電極の電気接点として、積層圧電素子と素子固定基板２１との接合と同時に、素子固定基板２１にアクチュエータ２２の個々に対応して設けられた導電性パターン２４へ電気的に接続される。積層圧電素子の他方の面に設けられた電極２８は共通電極の電気接点として、導電性部材２３で連結され、圧電振動子列の両端に設けられたダミーの圧電素子３２を経て、素子固定基板２１の導電性パターン３４に接続している。リードフレーム２５の両側の端子は共通電極の端子として、内側の端子はダミーの圧電素子を除く個々の積層圧電素子の個別電極の端子として、外部の駆動回路に連結される。
【００６２】
　本実施例では、インク室５は２８２μｍの間隔で、即ち１インチ当り９０ノズルの密度で列状に並べられており、図１０に示すように２列のインク室によって１インチ当り１８０ノズルの密度を有するインクジェット記録装置が構成されている。従って、アクチュエータユニットのアクチュエータ２２のピッチも２８２μｍとなっている。
【００６３】
　アクチュエータの製造方法は、素子固定基板２１から張り出すようにして板状の積層圧電素子を素子固定基板２１に接着した後に、積層圧電素子をワイヤソウ等を用いて２８２μｍのピッチの短冊状に切断して、個々のアクチュエータ２２が形成される。切断の方法は、他にダイシングソウを用いても良い。積層圧電素子は、積層方向の厚さがおよそ０．５ｍｍで、素子固定基板２１から張り出している部分の長さがおよそ８ｍｍである。２８２μｍのピッチで並べるために、並び方向の幅は１５０μｍで、切りしろが１３０μｍ程度になる。
【００６４】
　次に、インク室５の底壁を構成する振動板７の構造を図１３を用いて詳細に説明する。
【００６５】
　図１３は、各インク室５の弾性壁８を構成する振動板７を、アクチュエータ２２側から見た部分斜視図である。アクチュエータ２２は、圧電素子への電圧印加により、振動板７に垂直に伸縮する。振動板７には、各々のインク室５の弾性壁となる部分のインク室５の外側に、細長く直線状のインク室に沿うように、細長い島状の厚肉部である脚部９がそれぞれのインク室毎に形成されている。逆に、島状の脚部９の周囲は薄板部１０となっており、脚部９の両端部には広い薄板部１０ａ、１０ｂが形成されている。各パターンは、インク室５の配置に対応するように２８２μｍの間隔で等間隔に列状に配置されている。
【００６６】
　アクチュエータ２２の伸縮に伴うインク室５のおよその体積変形量は、弾性壁８の壁面に垂直方向の移動により排除される容積で与えられる。このように高密度で配置されたインク室５を変形させ、画素形成に必要なインク量をノズル２よりインク滴として吐出させるために、本発明のインクジェット記録装置では、インク室５を細長く形成し、その一面を構成しアクチュエータ２２の伸縮に応じて変形する弾性壁８の面積を広く確保している。本実施例では、インク室５の幅は２００μｍで、長さはおよそ１ｍｍである。振動板７は、これを構成する材料により適切な厚肉部や薄肉部の厚さが変わるが、ニッケルを用いた場合には、厚肉部はその厚みを２５μｍ程度に、また薄肉部はその厚みを１μｍ乃至３μｍ程度である。
【００６７】
　ノズルより微小なインク滴を高速に吐出させるには、インク滴の吐出に係わるインク室の振動モードの固有振動数（ヘルムホルツ周波数）を高くすることが必要である。
【００６８】
　インクジェットヘッドのインク流路に発生するインク流れでは、細い流路でインクを加速する時にインクの質量がイナータンスとして働く。また、インク室はインク圧力で弾性変形する、あるいはインク室を満たすインクがインク圧力で圧縮・膨張するため、これらの体積変位がコンプライアンスとして働く。従って、イナータンスとコンプライアンスの組み合わせによって、インク室の応答は固有な振動モードを持ち、その周波数は下記の式によって得られるヘルムホルツ周波数となる。
【００６９】
【数３】
2004025890.tif 000005
【００７０】
　ここで、Ｃcはインク室のコンプライアンス、Ｍnはノズル内のインクのイナータンス、Ｍsは供給流路のインクのイナータンスである。
【００７１】
Ｃcはインクの圧縮性による成分とインク室の周壁の可撓性による成分の和で、インクの圧縮性による成分Ｃinkは次式で求められる。
【００７２】
【数４】
2004025890.tif 000006
【００７３】
　ここで、κはインクの体積圧縮率で、水系のインクではおよそ０．４５（ＧＰａ）-1である。Ｖcはインク室の容積である。インク室の周壁の可撓性による成分は複雑なインク室構造では簡単な式では表現できず、一般に有限要素法等を用いた数値解析手段を持ちて求められる。
【００７４】
　また、Ｍc、Ｍsは流路の断面積をＳ、インク密度をρ、流路の長さをＬとして、次式で表わせる。
【００７５】
【数５】
2004025890.tif 000007
【００７６】
　ここで、ｋは流路の断面形状で決まる形状係数で、円管ではおよそ１．３である。
【００７７】
流路が複雑な形状の場合には、コンプライアンスと同様に有限要素法等を用いた数値解析手法を用いて求められる。
【００７８】
　さて、上記方法を用いて本実施例のヘルムホルツ周波数を計算すると以下のようになる。
【００７９】
　即ち、ノズルのイナータンスＭnは、ノズル径４０μｍ、直管部の長さ２０μｍ、直管部に接続するテーパ部を加えると、Ｍn＝７０×１０6ｋｇ／ｍ4である。供給流路のイナータンスＭsは、６０μｍ×６０μｍの矩形断面で長さが１５０μｍであるから、Ｍs＝６０×１０6ｋｇ／ｍ4である。コンプライアンスはインク室５の弾性壁８の薄板部の寄与が大部分であり、およそＣc＝１×１０-19ｍ3／Ｐａである。これらの値を用いて計算されるヘルムホルツ周波数は９０ｋＨｚとなり、その固有周期は１１μｓである。
【００８０】
　アクチュエータ２２を駆動し、インク室５に強い圧力振動を発生させるには、上記ヘルムホルツ周波数で決まるインクの吐出に係わるインク室の振動モードの固有周期より速く、アクチュエータ２２を立ちあげる必要がある。アクチュエータ２２の縦振動モードの基本周期はおよそ１６μｓで、このアクチュエータに図１４に示す駆動電圧波形を印加することで、縦振動モードの基本周期よりおよそ３倍速い５μｓ程度で、アクチュエータを立ちあげることが出来る。
【００８１】
　図１４に示す駆動波形は、図３に示したアクチュエータの駆動方法と同じで、図３では圧電横効果を用いた縦振動子を収縮させているのに対し、インクジェット記録装置では圧電横効果を用いた縦振動子を伸長させるのに適用するため、駆動電圧の降下上昇の符号が図３と図１４で反対となっている。
【００８２】
　図１４に示す駆動波形は、アクチュエータ２２の基本周期とインク室５の固有周期よりも緩やかに上昇する電圧の立ち上がりP70の後、アクチュエータ２２の基本周期より短い時間の間に、電圧の立ち下げP71と立ち上げP72からなるパルス状の波形を加えた後に、再び電圧を立ち下げている。電圧の立ち上げP70によりアクチュエータ２２は長手方向に縮み、インク室５の弾性壁８を、図１１において下方にたわませ、インク室５の容積を拡大させる。インク室５の容積の拡大によって、インクがインク溜り４より供給流路６を経てインク室５に供給される。次に、電圧の立ち下げP71と立ち上げP72と立ち下げP73によりアクチュエータは第２の振動モードとなる２次モードの固有周期程度の値である５μｓで長手方向に伸長し、インク室５の容積をインク室５の固有周期より短い時間に急激に縮小させる。このとき発生する圧力によってインク室５を満たすインクにはヘルムホルツ周波数の大きな圧力振動が励起し、インク室５に連通するノズル２よりインク滴が高速に吐出する。
【００８３】
　図３の実施例同様、図１４の駆動波形では電圧の立ち下げP71から電圧の立ち上げP72までの時間と、電圧の立ち上げP72から２度目の電圧の立ち下げP73までの時間はおよそ３μｓで、アクチュエータ２２の第２の振動モードとなる２次モードの固有周期のおよそ半分の値である。
【００８４】
　図１５は、本インクジェット記録装置の第２の実施例で、図５に示したアクチュエータの駆動方法とは駆動電圧の降下上昇の符号が反対となっている。
【００８５】
　図１５に示す駆動波形は、アクチュエータ２２の基本周期とインク室５の固有周期よりも緩やかに上昇する電圧の立ち上がりP80の後、アクチュエータ２２の基本周期より短い時間の間に、電圧の立ち下げP81と立ち上げP82からなるパルス状の波形を加えた後に、再び電圧を立ち下げP83を行い、更に小さな電圧の立ち上げP84を行い、最後に緩やかに電圧を立ち下げP85を行い電圧０に復帰させている。電圧の立ち上げP80によりアクチュエータ２２は長手方向に縮み、インク室５の弾性壁８を下方にたわませ、インク室５の容積を拡大させる。インク室５の容積の拡大によって、インクがインク溜り４より供給流路６を経てインク室５に供給される。次に、電圧の立ち下げP81と立ち上げP82と立ち下げP83と立ち上げP84によりアクチュエータは第２の振動モードとなる２次モードの固有周期程度の値であるおよそ５μｓで長手方向に伸長し、この時、図５に示した様にアクチュエータ２２の伸長後のリンギングを低く抑えられ、不要なインク室５の振動が抑制されている。
【００８６】
　図５の実施例同様、図１５の駆動波形では電圧の立ち下げP81から電圧の立ち上げP82までの時間と、電圧の立ち上げP82から２度目の電圧の立ち下げP83までの時間と、２度目の電圧の立ち下げP83から小さな電圧の立ち上げP84までの時間は、それぞれおよそ３μｓで、アクチュエータ２２の第２の振動モードとなる２次モードの固有周期のおよそ半分の値で、２次モードの振動を強く励振する。また、電圧の立ち上げP84の高さは、基本モードのリンギングを最適に抑制する値に調整する。
【００８７】
　図１６は、本インクジェット記録装置の第３の実施例で、図６に示したアクチュエータの駆動方法とは駆動電圧の降下上昇の符号が反対となっている。
【００８８】
　図１６に示す駆動波形は、アクチュエータ２２の基本周期とインク室５の固有周期よりも緩やかに上昇する電圧の立ち上がりP90の後、アクチュエータ２２の基本周期より短い時間の間に、電圧の立ち下げP91と立ち上げP92からなるパルス状の波形を加えた後に、再び電圧を立ち下げP93と小さな電圧の立ち上げP94を行い、最後に緩やかに電圧を立ち下げP95を行い電圧０に復帰させている。電圧の立ち下げP93は電圧の立ち下げP91より大きく、電圧の立ち上げP94後の電位は、電圧の立ち下げP91後の電位より高く設定されている。
【００８９】
　図６に示した様に、本駆動電圧波形によりアクチュエータ２２の伸長後のリンギングは先の実施例以上に低く抑えられ、不要なインク室５の振動が抑制されている。
【００９０】
　図１４、図１５、図１６に示した実施例では、アクチュエータ２２の伸長後に僅かにリンギングが発生する。このリンギングの成分はアクチュエータの１次モードの成分が大部分であり、その基本周期はおよそ１６μｓである。しかしながら、本実施例のインクジェット記録装置では、そのヘルムホルツ周波数より決まるインク室５の固有周期はおよそ１１μｓで、アクチュエータの基本周期より短く設定されている。従って、インク室５の固有周期より長い周期のリンギングでインク室５が励振されるが、この励振に対するインク室５の応答は小さく、ミスト状の不要インク滴を吐出させることはなく、吐出信頼性に優れたインクジェット記録装置を実現できている。
【００９１】
　また、従来５μｓでアクチュエータを駆動するには、アクチュエータの長さを３ｍｍ程度に短くしなければならず、必要なインク滴重量を得るためには３０Ｖ程度の電圧が必要であった。しかし、上記実施例によれば、駆動電圧は高々１０Ｖ程度であり、３分の１程度の低電圧化が達成できた。
【００９２】
　これまでの実施例では、アクチュエータとして圧電横効果を用いているため、駆動電圧の上昇させインク室５の容積を拡大させた後の駆動電圧の降下時で、第１の振動モードとなる基本モードの固有周期より短い区間の間に、電圧の立ち下げと立ち上げからなるパルス状波形を挿入し、その後電圧を立ち下げている。
【００９３】
　これに対し、圧電縦効果を用いたアクチュエータや、磁歪効果を用いたアクチュエータでは、電圧の上昇に伴いインク室５の容積を収縮させる方向に変位する。従って、駆動電圧波形として図１７に示すように、電圧の上昇時に第１の振動モードとなる基本モードの固有周期より短い区間の間に、電圧の立ち上げP100と立ち下げP101からなるパルス状波形を挿入し、その後電圧の立ち上げP102と立ち下げP103からなる補助パルスを重畳させた擬ステップ波形を用いることで、先の実施例と同様な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明を適用したアクチュエータの斜視図である。
【図２】従来の駆動方法による駆動電圧波形とアクチュエータ変位を示した図である。
【図３】図１のアクチュエータに適用した本発明の駆動波形の実施例を示した図である。
【図４】図１のアクチュエータに適用した本発明の駆動波形の実施例を示した図である。
【図５】図１のアクチュエータに適用した本発明の駆動波形の実施例を示した図である。
【図６】図１のアクチュエータに適用した本発明の駆動波形の実施例を示した図である。
【図７】図１のアクチュエータに適用した本発明の駆動波形の実施例を示した図である。
【図８】図１のアクチュエータに適用した本発明の駆動波形の実施例を示した図である。
【図９】図１のアクチュエータに適用した本発明の駆動波形の実施例を示した図である。
【図１０】本発明の実施例のインクジェット記録装置の構造を説明する斜視図である。
【図１１】図１０のインクジェット記録装置の断面図である。
【図１２】図１０のインクジェット記録装置のアクチュエータ構造を説明する斜視図である。
【図１３】図１０のインクジェット記録装置の振動板の構造を説明する斜視図である。
【図１４】図１０のインクジェット記録装置を駆動する駆動電圧波形の一実施例を示した図である。
【図１５】図１０のインクジェット記録装置を駆動する駆動電圧波形の一実施例を示した図である。
【図１６】図１０のインクジェット記録装置を駆動する駆動電圧波形の一実施例を示した図である。
【図１７】インクジェット記録装置を駆動する駆動電圧波形の一実施例を示した図である。
【図１８】縦振動子の振動モードを説明する図である。
【図１９】従来のアクチュエータの駆動方法と、その応答を示した図である。
【図２０】従来のアクチュエータの駆動方法と、その応答を示した図である。
【符号の説明】
【００９５】
　１　ノズル基板，２　ノズル，３　流路形成部材，４　インク溜り，５　インク室，６　供給流路，７　振動板，８　弾性壁，９　脚部，１０　可撓部，１１　ヘッドフレーム，２１　素子固定基板，２２　アクチュエータ，６０　圧電振動子
【図１】
2004025890.tif 000008
【図２】
2004025890.tif 000009
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2004025890.tif 000022
【図１６】
2004025890.tif 000023
【図１７】
2004025890.tif 000024
【図１８】
2004025890.tif 000025
【図１９】
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【図２０】
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