(57)【要約】【課題】位置決め時における動力伝達用ベルトの全長が変化しない、したがって従動プーリの停止位置がずれない、その結果繰り返し位置決め精度がよいベルト式動力伝達装置を提供する。【解決手段】駆動プーリ１と、従動プーリ２と、これらのプーリに掛け渡された無端の動力伝達用ベルト３と、この動力伝達用ベルト３の背面に圧接して当該ベルトにテンションを付与するテンショナ４からなるベルト式動力伝達装置において、テンショナ４を、テンショナ４とベルト３が接触する外周面に、円周方向の凹凸を持つテンショナとした。【選択図】　　図１
2004144201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動プーリと、従動プーリと、これらのプーリに掛け渡された無端の動力伝達用ベルトと、この動力伝達用ベルトの背面に圧接して当該ベルトにテンションを付与するテンショナからなるベルト式動力伝達装置において、
前記テンショナを、前記テンショナと前記ベルトが接触する外周面に、円周方向の凹凸を持つテンショナとしたことを特徴とするベルト式動力伝達装置。
【請求項２】
前記テンショナの、前記テンショナと前記ベルトが接触する外周面の、円周方向の凹凸の段差を０．５ｍｍ以上としたことを特徴とする請求項１に記載のベルト式動力伝達装置。
【請求項３】
駆動プーリと、従動プーリと、これらのプーリに掛け渡された無端の動力伝達用ベルトと、この動力伝達用ベルトの背面に圧接して当該ベルトにテンションを付与するテンショナからなるベルト式動力伝達装置において、
前記テンショナを歯付きプーリとしたことを特徴とするベルト式動力伝達装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はメカトロ機器の搬送システムなどに用いられるベルト式動力伝達装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
駆動プーリと従動プーリとの間に無端の動力伝達用ベルトを掛け渡し、この動力伝達用ベルトの背面にテンショナを圧接して、このベルトにテンションを付与するようにしたベルト式動力伝達装置は公知である（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平６−８１９２１号公報
【０００４】
図３は特許文献１に記載されているタイプのテンション付与型のベルト式動力伝達装置を示している。
図において、１は駆動プーリ、２は従動プーリであり、駆動プーリ１と駆動プーリ２とに、動力伝達用ベルト３が掛け渡されている。
駆動プーリ１を固設した駆動軸１１が、モータなどの図示しない駆動源によって回転駆動されると、動力伝達用ベルト３を介して従動プーリ２が回転し、従動プーリ２を固設した従動軸２１上にある図示しない負荷系が駆動される。
ウエハ搬送ロボットなどの搬送システムにおいては、動力伝達用ベルトとしてスリップの生じにくいタイミングベルトを用いるとともに、前記ベルトにテンションを付与するテンショナを用いている。
図３はテンショナを用いた例を示す図である。
図３において、４がテンショナであり、このテンショナ４は外周面が平らな平ローラであり、動力伝達用ベルト３の背面に圧接し、動力伝達用ベルト３に所定のテンションを付与している。テンショナ４は、テンショナ４の外周面と動力伝達用ベルト３の背面との間の摩擦力により、動力伝達用ベルト３の走行に伴って従動回転する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のベルト式動力伝達装置では、テンショナ４の外周面と動力伝達用ベルト３の背面との間の摩擦力により、テンショナ４が動力伝達用ベルト３の走行に伴って従動回転するため、テンショナ４の従動回転は動力伝達用ベルト３の走行とは完全に同期しておらず、すべりを伴うものであった。
そのため、負荷の位置決めを伴う繰り返し動作を行うときには、それぞれの位置決め時おけるテンショナ４の停止位置が、他の位置決め時と比べてずれていた。
上記のように、位置決め時におけるテンショナ４の停止位置がずれると、テンショナ４は加工精度により偏芯（回転中心と外周面中心のずれ）しているため、図４に示すように、位置決め時における動力伝達用ベルト３の全長が変化し、従動プーリ２の停止位置もずれ、その結果、繰り返し位置決め精度が悪くなるといった問題があった。
そこで、本発明はこれらの課題を解決するもので、位置決め時における動力伝達用ベルトの全長が変化しない、したがって従動プーリの停止位置がずれない、その結果繰り返し位置決め精度がよいベルト式動力伝達装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、請求項１記載のベルト式動力伝達装置の発明は、駆動プーリと、従動プーリと、これらのプーリに掛け渡された無端の動力伝達用ベルトと、この動力伝達用ベルトの背面に圧接して当該ベルトにテンションを付与するテンショナからなるベルト式動力伝達装置において、前記テンショナを、前記テンショナと前記ベルトが接触する外周面に、円周方向の凹凸を持つテンショナとしたことを特徴とする。
請求項２記載の発明は、請求項１に記載のベルト式動力伝達装置において、前記テンショナの、前記テンショナと前記ベルトが接触する外周面の、円周方向の凹凸の段差を０．５ｍｍ以上としたことを特徴とする。
請求項３記載のベルト式動力伝達装置の発明は、駆動プーリと、従動プーリと、これらのプーリに掛け渡された無端の動力伝達用ベルトと、この動力伝達用ベルトの背面に圧接して当該ベルトにテンションを付与するテンショナからなるベルト式動力伝達装置において、前記テンショナを歯付きプーリとしたことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るベルト式動力伝達装置を示す側面図である。
図において、１は駆動プーリ、２は従動プーリであり、駆動プーリ１と駆動プーリ２とに、動力伝達用ベルト３が掛け渡されている。動力伝達用ベルト３はタイミングベルトである。
４は本発明の第１の実施の形態に係るテンショナで、このテンショナ４は外周面に円周方向の凹凸を持ったテンショナである。このテンショナ４は、動力伝達用ベルト３の背面に圧接し、動力伝達用ベルト３に所定のテンションを付与している。
図１に示す本発明のベルト式動力伝達装置について、前記テンショナの外周面の凹凸の段差を（１）０．１、（２）０．２、（３）０．５、（４）０．８、（５）１．０、（６）２．０、（７）３．０ｍｍとしたテンショナを使用したベルト式動力伝達装置と、比較例として図４に示す従来のベルト式動力伝達装置について、繰り返し位置決め精度に関する評価試験を実施した。
本試験では３０００回の繰り返し動作を行ない、位置決め時の負荷位置を測定し、その測定値の最大値と最小値の差を繰り返し位置決め精度とした。
表１に試験結果を示す。
【０００８】
【表１】
2004144201.tif 000003
【０００９】
この結果から明らかなように、従来のベルト式動力伝達装置の繰り返し位置決め精度が４．５μｍであるのに対し、テンショナの外周面に凹凸を持つベルト式動力伝達装置の繰り返し位置決め精度は２．５μｍ以下と良かった。また、テンショナの外周面の凹凸の段差が０．５ｍｍ以上では、繰り返し位置決め精度が１．０〜１．３μｍとあまり変わらなかった。
テンショナを、外周面に凹凸を持ったテンショナとしたベルト式動力伝達装置は、テンショナの外周面が動力伝達用ベルトの背面に食いつくことにより、テンショナは動力伝達用ベルトの走行に伴って、完全に同期しながら従動回転する。
そのため、負荷の位置決めを伴う繰り返し動作において、位置決め時におけるテンショナの停止位置も、他の位置決め時と比べてかわらない。よって、各位置決め時における動力伝達用ベルトの全長も変わることなく、従動プーリの停止位置も変わらないので、その結果、繰り返し位置決め精度が良くなった。
また、特にテンショナの外周面の凹凸の段差が０．５ｍｍ以上のベルト式動力伝達装置は、位置決め時にテンショナの外周面が動力伝達用ベルト背面にしっかり食いつくことにより、テンショナの停止位置と動力伝達用ベルトの停止位置が確実に固定され、繰り返し位置決め精度がさらに良くなった。
【００１０】
図２は、本発明の第２の実施の形態に係るベルト式動力伝達装置を示す側面図である。
図において、１は駆動プーリ、２は従動プーリであり、駆動プーリ１と駆動プーリ２とに、動力伝達用ベルト３が掛け渡されている。動力伝達用ベルト３はタイミングベルトである。
４’は本発明の第２の実施の形態に係るテンショナで、このテンショナ４’は外周面に円周方向の凹凸を持ったテンショナとして、駆動プーリ１や従動プーリ２と同じ、外周面に凹凸を持つ歯付きプーリを使用した点が特徴である。
このテンショナ４’も、テンショナ４と同じく動力伝達用ベルト３の背面に圧接し、動力伝達用ベルト３に所定のテンションを付与しているので、同様に繰り返し位置決め精度が良くなることは言うまでもない。
また、テンショナとして、駆動プーリや従動プーリと同じ歯付きプーリを使用するので、従来のテンショナであった平ローラを必要とせず、部品の共通化ができるという効果もある。
【００１１】
【発明の効果】
以上述べたように、請求項１記載のベルト式動力伝達装置によれば、駆動プーリと、従動プーリと、これらのプーリに掛け渡された無端の動力伝達用ベルトと、この動力伝達用ベルトの背面に圧接して当該ベルトにテンションを付与するテンショナからなるベルト式動力伝達装置において、前記テンショナを、前記テンショナと前記ベルトが接触する外周面に、円周方向の凹凸を持つテンショナとするので、テンショナの外周面が動力伝達用ベルトの背面に食いつくことにより、テンショナは動力伝達用ベルトの走行に伴って、完全に同期しながら従動回転し、そのため、負荷の位置決めを伴う繰り返し動作において、位置決め時におけるテンショナの停止位置も、他の位置決め時と比べてかわらず、各位置決め時における動力伝達用ベルトの全長も変わることなく、従動プーリの停止位置も変わらないので、その結果、繰り返し位置決め精度を良くすることができる。
また、請求項２記載のベルト式動力伝達装置によれば、前記テンショナの外周面の円周方向の凹凸の段差を０．５ｍｍ以上とするので、位置決め時にテンショナの外周面が動力伝達用ベルト背面にしっかり食いつくことにより、テンショナの停止位置と動力伝達用ベルトの停止位置が確実に固定され、繰り返し位置決め精度をさらに良くすることができる。
さらに、請求項３記載のベルト式動力伝達装置によれば、前記テンショナを歯付きプーリとするので、歯付きプーリの外周面の歯面が動力伝達用ベルトの背面に食いつくことにより、テンショナは動力伝達用ベルトの走行に伴って、完全に同期しながら従動回転し、そのため、負荷の位置決めを伴う繰り返し動作において、位置決め時におけるテンショナの停止位置も、他の位置決め時と比べてかわらず、各位置決め時における動力伝達用ベルトの全長も変わることなく、従動プーリの停止位置も変わらないので、その結果、繰り返し位置決め精度を良くすることができる。
また、テンショナとして、駆動プーリや従動プーリと同じ歯付きプーリを使用するので、従来のテンショナであった平ローラを必要とせず、部品の共通化ができるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態のベルト式動力伝達装置を示す側面図である。
【図２】本発明の実施の形態のベルト式動力伝達装置を示す側面図である。
【図３】従来例のベルト式動力伝達装置を示す側面図である。
【図４】テンショナの停止位置のずれによる従動プーリの停止位置のずれの様子を示すベルト式動力伝達装置の側面図である。
【符号の説明】
１　駆動プーリ
２　従動プーリ
３　動力伝達用ベルト
４、４’　本発明に係るテンショナ
４”　従来例のテンショナ
１１　駆動軸
２１　従動軸
【図１】
2004144201.tif 000004
【図２】
2004144201.tif 000005
【図３】
2004144201.tif 000006
【図４】
2004144201.tif 000007