(57)【要約】【課題】大型のガラス基板であっても天井にぶつかることなく容易に収納できるガラス基板搬送用装置を提供する。【解決手段】複数のガラス基板１を重畳状に収納できるガラス基板搬送用装置であり、該搬送用装置は、ガラス基板１の挿入開口を有するボックス本体２とボックス本体２内にガラス基板１の縁部領域に位置して隣接するガラス基板１、１・・・同士の当接を防止する緩衝部材１７・・・と、前記緩衝部材１７・・・をガラス基板１の挿入開口側から押圧してガラス基板搬送用装置の搬送時にガラス基板１の移動を阻止する押圧手段３とから構成されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガラス基板を重畳状に収納できるガラス基板搬送用装置であり、該搬送用装置は、ガラス基板の挿入開口を有するボックス本体と、ボックス本体内においてガラス基板の縁部領域に位置して隣接するガラス基板同士の当接を防止する緩衝部材と、前記緩衝部材をガラス基板の挿入開口側から押圧してガラス基板搬送用装置の搬送時にガラス基板の移動を阻止する押圧手段と、から構成されたことを特徴とするガラス基板搬送用装置。
【請求項２】
前記緩衝部材は、ガラス基板を挿入開口側からボックス本体内に設置するまでの間、少なくともガラス基板から落下しないようにガラス基板に保持出来る構造である請求項１に記載のガラス基板搬送用装置。
【請求項３】
前記緩衝部材には、ガラス基板を両側より挟持するための挟持部が形成されている請求項２に記載のガラス基板搬送用装置。
【請求項４】
前記挟持部には内部に若干大きな寸法の空洞部が形成されている請求項３に記載のガラス基板搬送用装置。
【請求項５】
前記緩衝部材には、互いに連結するための連結部が形成されている請求項１ないし４の何れかに記載のガラス基板搬送用装置。
【請求項６】
前記緩衝部材の正面部と後面部とに、それぞれ凹部、凸部が形成され、前記凹部と凸部との嵌合で連結部が形成されるようになっている請求項５に記載のガラス基板搬送用装置。
【請求項７】
前記押圧手段が、ボックス本体の挿入開口を閉塞する蓋体である請求項１ないし６の何れかに記載のガラス基板搬送用装置。
【請求項８】
前記押圧手段が、ボックス本体の挿入開口を閉塞する蓋体から長さ調節可能な連結具を介して延びる当接パッドである請求項１ないし６の何れかに記載のガラス基板搬送用装置。
【請求項９】
前記挿入開口部と対向する面に前記緩衝部材を規制する当接パッドが取付けられており、該当接パッドが底面より上方に向かって傾斜するように形成されている請求項１に記載のガラス基板搬送用装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板が搬送装置によって横方向または縦方向からボックス本体内に順次誘導されて収納されるガラス基板搬送用装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、素板ガラス液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板ハイブリッドＩＣセラミックス基板、ウェハなどの各種の基板あるいはこれら基板を用いて製造した完成パネル等（以下単に「ガラス基板」という。）を例えば、ガラスメーカからデバイスメーカに移送する場合に用いられる搬送用ボックスとして、図１３に示すようなボックスが知られていた。
【０００３】
図１３において、０１はガラス基板搬送用ボックスであって、上端が開口する有底の本体部０２と図示しない蓋体で構成され、本体部０２内には複数のガラス基板０３の両側辺ないし下辺（不図示）を支持する複数の縦溝０４ａを有した内挿板０４が一対挿入されている。これらのガラス基板０３は、対向する内挿板０４の縦溝０４ａ内に一枚ずつ係合支持され、上部より蓋体をガラス基板０３の上辺を押えるようにして本体部０２上にかぶせて搬送に供される構成になっているが、近年ガラス基板の輸送効率化、積載効率の向上、輸送枚数当たり単価削減の理由からガラス基板の縦，横寸法が大型化傾向にあり、例えば、基板寸法が１８００×２０００×０．７が主流になってきている。
【０００４】
しかしながら、前記寸法のガラス基板０３を従来の方法で上方よりガラス基板ボックス０２に挿入しようとしても、図１４に示すようにガラス基板０３の端部０３ａが天井０５にぶつかり、上部からの挿入が不可能であるといった問題を有するばかりでなく、搬送装置０６及び真空吸着具０７によってガラス基板０３をガラス基板ボックス０２内部まで搬送するために上記搬送装置０６等が挿入できるスペースを必要とし、ガラス基板０３の収納スペースが制限されていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、近年主流をなす大型化されたガラス基板であっても天井にぶつかることなく容易に収納できるガラス基板搬送用装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のガラス基板搬送用装置は、複数のガラス基板を重畳状に収納できるガラス基板搬送用装置であり、該搬送用装置は、ガラス基板の挿入開口を有するボックス本体と、ボックス本体内においてガラス基板の縁部領域に位置して隣接するガラス基板同士の当接を防止する緩衝部材と、前記緩衝部材をガラス基板の挿入開口側から押圧してガラス基板搬送用装置の搬送時にガラス基板の移動を阻止する押圧手段と、から構成されたことを特徴としている。
この特徴によれば、緩衝部材が取付けられたガラス基板を搬送装置によって開口部より重畳状に収納できるのでガラス基板が天井にぶつかる恐れはない。またガラス基板はその縁部領域に配された緩衝部材で、ガラス基板同士（特に中央部）の接触が阻止されるとともに、緩衝部材を介して全てのガラス基板が押圧固定されるため、収納および搬送工程でガラス基板が破損する恐れもないばかりか、従来のガラス基板搬送用ボックスに比べ大幅なガラス基板の数量を収納できる。
【０００７】
本発明のガラス基板搬送用装置は、前記緩衝部材は、ガラス基板を挿入開口側からボックス本体内に設置するまでの間、少なくともガラス基板から落下しないようにガラス基板に保持出来る構造であることが好ましい。
このようにすれば、ガラス基板に緩衝部材が保持された状態で収納されるため、ボックス本体内にガラス基板と緩衝部材とを同時に効率的に搬入できることになる。
【０００８】
本発明のガラス基板搬送用装置は、前記緩衝部材には、ガラス基板を両側より挟持するための挟持部が形成されていることが好ましい。
このようにすれば、緩衝部材の挟持部によってガラス基板を両側より挟持できるので、ボックス本体内にガラス基板を収納する工程で緩衝部材がガラス基板より脱落する恐れがない。
【０００９】
本発明のガラス基板搬送用装置は、前記挟持部には内部に若干大きな寸法の空洞部が形成されていることが好ましい。
このようにすれば、ガラス基板の端部に緩衝部材を挟持しやすいばかりか、挟持部の挟持力も増加する。
【００１０】
本発明のガラス基板搬送用装置は、前記緩衝部材には、互いに連結するための連結部が形成されていることが好ましい。
このようにすれば、各緩衝部材は互いに連結され、各ガラス基板搬送時の互いのズレを極力防止でき、収納設置状態が安定する。
【００１１】
本発明のガラス基板搬送用装置は、前記緩衝部材の正面部と後面部とに、それぞれ凹部、凸部が形成され、前記凹部と凸部との嵌合で連結部が形成されるようになっていることが好ましい。
このようにすれば、各緩衝部材は互いに凹部と凸部との嵌合で連結され、各ガラス基板の収納設置状態がより安定する。
【００１２】
本発明のガラス基板搬送用装置は、前記押圧手段が、ボックス本体の挿入開口を閉塞する蓋体であることが好ましい。
このようにすれば、ボックス本体にガラス基板と緩衝部材とを搬入した後、蓋体を設置するだけで、内部のガラス基板の移動を阻止できることになる。
【００１３】
本発明のガラス基板搬送用装置は、前記押圧手段が、ボックス本体の挿入開口を閉塞する蓋体から長さ調節可能な連結具を介して延びる当接パッドであることが好ましい。
このようにすれば、収納するガラス基板の枚数に応じていずれの枚数であっても確実に収納固定できる。
【００１４】
本発明のガラス基板搬送用装置は、前記挿入開口部と対向する面に前記緩衝部材を規制する当接パッドが取付けられており、該当接パッドが底面より上方に向かって傾斜するように形成されていることが好ましい。
このようにすれば、ガラス基板が収納工程で開口部に向かって倒れる恐れがない。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１６】
図１〜図１２は、本発明の一実施形態を示すもので、図１は本発明に係るガラス基板搬送用装置の斜視図、図２は本発明に係る緩衝部材の一部を省略した断面図、図３は本発明に係るガラス基板を緩衝部材で保持する状態を示す斜視図、図４は図１のＸ−Ｘ線の一部を省略した断面図、図５（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）は本発明に係るガラス基板間の緩衝用として使用される各種の緩衝部材の平面図、図６（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）は各種緩衝部材の断面図、図７（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は本発明に係るガラス基板搬送用ボックスにガラス基板を収納する工程を示す断面図、図８（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は第２実施例のガラス基板を収納する工程を示す断面図、図９は本発明に係るガラス基板搬送用ボックスの第２実施例の斜視図、図１０（ａ）（ｂ）（ｃ）は第３実施例のガラス基板を収納する工程を示す断面図、図１１（ａ）（ｂ）（ｃ）は第４実施例のガラス基板を収納する工程を示す断面図、図１２は一部を省略した拡大断面図、図１３は従来の搬送ボックスの斜視図、図１４は従来のガラス基板の収納工程を示す断面図である。
【００１７】
図１に示すガラス基板搬送用装置は所定個数のガラス基板１（１８００ｍｍ×２０００ｍｍ×０．７ｍｍ）を例えば、ガラスメーカからデバイスメーカに移送する場合に用いられる搬送用装置として使用するものであって、横長直方体で側部を開口したボックス本体２と側蓋体３とから成り、ボックス本体２は、天井板４、底板５、横側板６ａ、６ｂ及び縦側板７とを組み合わせて構築されている。３枚の側板６ａ、６ｂ及び７は長寸矩形状の横側板６ａ、６ｂと短寸矩形状の縦側板７とからなり、発泡スチロール樹脂（例えばポリエチレン樹脂）を両側からアルミ複合板で挟んだ断面構造となっており、アルミ複合板の最外面と最内面は導電処理のためにポリエステル樹脂系の焼き付け塗料が塗布されている。
【００１８】
また、前記天井板４及び底板５は、いずれも長寸矩形状の形状からなり、前記側板７、６ａ及び６ｂと同材質で同断面構造に形成されている。
【００１９】
更に、前記側蓋体３は、短寸矩形状の形状からなり、前記側板７、６ａ及び６ｂと同材質で同断面構造に形成されている。
【００２０】
前記縦側板７の内面には、硬質の例えばポリエチレン系発泡体より成るガラス基板当接パッド９が貼着されている。このガラス基板当接パッド９は、ガラス基板１の主要部が当接しないように中抜き構造に形成されている。
【００２１】
前記ガラス基板当接パッド９は、断面直角三角形に形成され、この直角三角形の傾斜面１０が収納されるガラス基板１を保持している緩衝部材１７と当接され、垂直面１０’が縦側板７の内面に貼着されている。
【００２２】
前記側蓋体３の内面には、弾性材例えば弾力性のあるポリエチレン系発泡体等で形成された側蓋体パッド１２が接着剤等により貼着されている。この側蓋体パッド１２はガラス基板１の主要部が当接しないように中抜き構造に形成されている。
【００２３】
前記側蓋体パッド１２は、断面逆直角三角形に形成され、この逆直角三角形の傾斜面１１が収納されたガラス基板１を保持している緩衝部材１７と当接され、垂直面１１’が側蓋体３の内面に貼着されている。前記ガラス基板当接パッド９と前記側蓋体パッド１２はいずれもガラス基板１の主要部に当接しないように中抜き構造に形成されているので、押圧しても前記パッド９，１２がガラス面の主要部に当接する恐れはない。
また、前記側蓋体３、天井板４、底板５、横側板６ａ、６ｂ及び縦側板７のそれぞれの外周端縁には、それぞれ硬質アルミ製の枠Ｗが装着されている。
【００２４】
前記ボックス本体２の開口部Ｋを閉塞するための側蓋体３の外周には、ボックス本体２の連結金具１４に対応する位置関係で被連結金具１４’が取付けられている。
【００２５】
連結金具１４及び被連結金具１４’として例えば、パッチン錠が使用され、付勢力の作用で係合保持され、前記側蓋体３の開放がロックされる。
【００２６】
前記ボックス本体２内には緩衝部材１７を介して多数のガラス基板１が重畳状に設置されている。
【００２７】
前記緩衝部材１７は不燃ゴム、弾力性のある合成樹脂等で一体に形成されている。この緩衝部材１７は図２，３に示されるようにデリケートなガラス面の主要部（特に中央部）に接触することなくガラス基板１の縁部領域のみに位置して、このガラス基板を保持出来る構造に形成されている。したがって、ガラス基板１同士の接触は阻止される。
【００２８】
前記ガラス基板１を保持出来る構造として、前記緩衝部材１７のガラス基板１の当接箇所（ガラス基板１の縁部領域）にガラス基板１を両側より挟持するための挟持部２３が設けられている。したがって、ガラス基板１の収納工程で緩衝部材１７が脱落する恐れがない。前記挟持部２３はガラス基板１を弾力により両側より挟持し、ガラス基板１の端部が安定設置できるように入口部２４が狭小で内部が若干大きな空洞部２５が形成されている。このようにすれば、ガラス基板１の端部に緩衝部材１７を挟持しやすくなる。  また、前記緩衝部材１７の正面部と後面部にはそれぞれ凹部２１，凸部２２が形成されている。この凹部２１，凸部２２によって図４に示されるように各緩衝部材を互いに連結することができ、各ガラス基板搬送時の互いのズレを極力防止でき、収納設置状態が安定する。
【００２９】
次ぎに、図５に示すようにガラス基板１の緩衝用として使用される各種の緩衝部材１７の外形形状はＬ字型、コ字型、Ｉ字型等に形成することもできる。この緩衝部材１７はガラス基板１のコーナー部１８や直線部１９を保護するばかりでなく、図６（ｂ）（ｃ）（ｄ）に示すように、前記各緩衝部材１７を互いに連結するために所定箇所に凹部２１や凸部２２を形成することも可能である。
このように各緩衝部材１７を連結することにより、ボックス本体２内にガラス基板１、１・・・を強固に固定できるばかりか搬送時の互いのズレを極力防止できる。
【００３０】
図６（ａ）（ｅ）に示すように凹部２１や凸部２２を設けることなく互いに載置できるようにフラット面２０に形成することも可能である。
また、図６（ｆ）に示すように緩衝部材１７の上面にガラス基板１の縁部領域を載置することもでき、この場合は緩衝部材１７のガラス基板１の当接面に凹部を設けて互いに固定しやすくすることもできる。
【００３１】
次ぎに所定の方法で緩衝部材１７が取付けられたガラス基板１をボックス本体２に収納する方法について説明する。
【００３２】
図７（ａ）に示すように、ガラス基板１は例えば、特殊なフォークリフトやクレーン等の運搬機械（以下搬送装置という）２６に取付けられた真空吸着具２７に吸着されて、ボックス本体２内に横方向から開口部Ｋを通って矢印方向に搬送される。なお、真空吸着具２７に代えて、ガラス基板１を一時的に保持できる機構であればどのような装置でもよい。
【００３３】
図７（ｂ）に示す位置まで搬送装置２６によってガラス基板１が搬送されると、前記ガラス基板に取付けられた緩衝部材１７の先端面が縦側板７の内面に取付けられたガラス基板当接パッド９の傾斜面１０のみに当接し、この状態で真空吸着具２７の吸着を解放すると、前記ガラス基板１は傾斜面１０に立掛けられた状態、すなわち前記当接パッド９の上部にいくに従って縦側板７の内面に近づく方向に傾斜して安定して収納される。また、前記ボックス本体２の底板５内面にゴムまたは合成樹脂製のスベリ止めマット２８を貼着すれば前記緩衝部材１７と前記スベリ止めマット２８上面の摩擦によりガラス基板１の設置状態は更に安定する。
【００３４】
上記ガラス基板１の収納工程を順次繰返すことによって所定のガラス基板１がボックス本体２内に収納される。
次ぎに図７（ｃ）に示すように搬送時にガラス基板１、１・・・の移動を阻止する押圧手段すなわち側蓋体３を矢印方向に移動すると、前記側蓋体３に貼着された側蓋体パッド１２の傾斜面１１が収納されているガラス基板１の緩衝部材１７のみと当接し、図７（ｄ）に示すように各ガラス基板１、１・・・が一定の角度で傾斜した状態で強固に固定されて収納される。更にこの状態を維持するために図１に示すボックス本体２の連結金具１４及び側蓋体３の被連結金具１４’によってボックス本体２と側蓋体３はロックされ、収納された上記ガラス基板１、１・・・は確実に保持固定される。
【００３５】
上記の方法で収納されたガラス基板搬送用装置は、例えばガラスメーカからデバイスメーカに移送する装置として使用される。
【００３６】
ボックス本体２内に収納するガラス基板１、１・・・の数が所定個数に満たない場合の収納方法について説明すると、まず、図８（ａ）に示すように上述したガラス基板の収納方法でガラス基板１、１・・・を収納していく。図８（ｂ）に示す状態でボックス本体２のガラス基板１の収納が完了した場合には図８（ｃ）に示すように蓋体３でボックス本体２の挿入開口部Ｋを閉塞し、次に連結具２９を摺動させて、中蓋体３０を矢印方向に移動させると中蓋体３０に取付けられたガラス基板１の主要部（特に中央部）に当接しないように中抜き構造に形成された中蓋体パッド３１はガラス基板１に取付けられた緩衝部材１７のみを押圧した状態で図８（ｄ）に示すように収納固定される。
【００３７】
図９に示すように、開口部Ｋを閉塞する側蓋体３には長さ調節可能な複数個の連結具２９が独立して且つ摺動可能に取付けられ、この連結具２９の先端部にはボックス本体２内に挿入可能な中蓋体３０が固定されている。また、この中蓋体３０の内面には弾力性のあるポリエチレン系発泡体等で形成された中蓋体パッド３１が接着剤等により貼着されている。押圧手段としての連結具２９は、ネジの螺入で長さ調節を行っているが、エアー、液体等のシリンダーでもよく、限定されるものではない。
【００３８】
次に、ガラス基板１の挿入開口部Ｋばかりでなく天井面にも開口部Ｋ’が設けられているボックス本体２にガラス基板１を収納する方法を図１０（ａ）（ｂ）（ｃ）に基づいて説明する。図１０（ａ）に示すようにボックス本体２が挿入開口部Ｋに向かって上方に傾斜するように傾斜載置台３２上に載置され、上述したガラス基板１の収納方法と同方法により搬送装置２６によって順次収納される。傾斜載置台３２の傾斜によって収納されたガラス基板１も傾斜されて収納される。前記傾斜されたガラス基板１、１・・・の収納が完了すると図１０（ｂ）に示すように側蓋体３及び天井蓋体８によって矢印方向に閉塞される。次に図１０（ｃ）に示すように側蓋体３及び天井蓋体８に取付けられた側蓋体パッド１２及び天井蓋体パッド１３によって緩衝部材１７・・・は縦・横方向から押圧されてボックス本体２内に確実に固定された状態で収納される。
【００３９】
次に、縦型ボックス本体２にガラス基板１・・・を収納する方法について、図１１（ａ）（ｂ）（ｃ）で説明すると、緩衝部材１７が取付けられたガラス基板１の平面部を搬送装置２６に取付けられた真空吸着具２７で吸着されて、前記ボックス本体２内に上方向から開口部Ｋを通って図１１（ａ）に示す矢印方向に搬送され、ボックス本体２内の底面パッド１６上にガラス基板１が重畳状に収納される。この工程を順次繰返すことによって図１１（ｂ）に示すように収納される。次に、天井蓋体８に取付けられた天井蓋体パッド１３によってガラス基板１に取付けられた緩衝部材１７を押圧して図１１（ｃ）に示す状態でガラス基板１は収納固定される。また、前記底面パッド１６はガラス基板１の主要部と当接しない中抜き構造に形成されている。
【００４０】
図１２にはガラス基板１の縁部領域にのみに緩衝部材１７・・・が介在されてボックス本体２内に収納されている状態が示されている。この緩衝部材１７は挟持部や連結部を必要としないためシンプルな緩衝部材１７を提供できる。
【００４１】
３３は各ガラス基板１、１・・・が前記ボックス本体２の内面に直接接触するのを防止し、クッション作用も有する底面当接パッドである。
【００４２】
以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。
【００４３】
【発明の効果】
本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００４４】
（ａ）請求項１に記載の発明によれば、緩衝部材が取付けられたガラス基板を搬送装置によって開口部より重畳状に収納できるのでガラス基板が天井にぶつかる恐れはない。またガラス基板はその縁部領域に配された緩衝部材で、ガラス基板同士（特に中央部）の接触が阻止されるとともに、緩衝部材を介して全てのガラス基板が押圧固定されるため、収納および搬送工程でガラス基板が破損する恐れもないばかりか、従来のガラス基板搬送用ボックスに比べ大幅なガラス基板の数量を収納できる。
【００４５】
（ｂ）請求項２に記載の発明によれば、ガラス基板に緩衝部材が保持された状態で収納されるため、ボックス本体内にガラス基板と緩衝部材とを同時に効率的に搬入できることになる。
【００４６】
（ｃ）請求項３に記載の発明によれば、緩衝部材の挟持部によってガラス基板を両側より挟持できるので、ボックス本体内にガラス基板を収納する工程で緩衝部材がガラス基板より脱落する恐れがない。
【００４７】
（ｄ）請求項４に記載の発明によれば、ガラス基板の端部に緩衝部材が挟持しやすいばかりか、挟持部の挟持力も増加する。
【００４８】
（ｅ）請求項５に記載の発明によれば、各緩衝部材は互いに連結され、各ガラス基板搬送時の互いのズレを極力防止でき、収納設置状態が安定する。
【００４９】
（ｆ）請求項６に記載の発明によれば、各緩衝部材は互いに凹部と凸部との嵌合で連結され、各ガラス基板の収納設置状態がより安定する。
【００５０】
（ｇ）請求項７に記載の発明によれば、ボックス本体にガラス基板と緩衝部材とを搬入した後、蓋体を設置するだけで、内部のガラス基板の移動を阻止できることになる。
【００５１】
（ｈ）請求項８に記載の発明によれば、収納するガラス基板の枚数に応じていずれの枚数であっても確実に収納固定できる。
【００５２】
（ｉ）請求項９に記載の発明によれば、ガラス基板が収納工程で開口部に向かって倒れる恐れがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るガラス基板搬送用装置の斜視図である。
【図２】本発明に係る緩衝部材の一部を省略した断面図である。
【図３】本発明に係るガラス基板を緩衝部材で保持する状態を示す斜視図である。
【図４】図１のＸ−Ｘ線の一部を省略した断面図である。
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）は本発明に係るガラス基板間の緩衝用として使用される各種の緩衝部材の平面図である。
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）は各種緩衝部材の断面図である。
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は本発明に係るガラス基板搬送用ボックスにガラス基板を収納する工程を示す断面図である。
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は第２実施例のガラス基板を収納する工程を示す断面図である。
【図９】本発明に係るガラス基板搬送用ボックスの第２実施例の斜視図である。
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）は第３実施例のガラス基板を収納する工程を示す断面図である。
【図１１】（ａ）（ｂ）（ｃ）は第４実施例のガラス基板を収納する工程を示す断面図である。
【図１２】一部を省略した拡大断面図である。
【図１３】従来の搬送ボックスの斜視図である。
【図１４】従来のガラス基板の収納工程を示す断面図である
【符号の説明】
１                ガラス基板
２                ボックス本体
３                側蓋体
４                天井板
５                底板
６ａ，６ｂ        横側板
７                縦側板
８                天井蓋体
９                ガラス基板当接パッド
１０              傾斜面
１０’            垂直面
１１              傾斜面
１１’            垂直面
１２              側蓋体パッド
１４              連結金具
１４’            被連結金具
１６              底面パッド
１７              緩衝部材
１８              コーナー部
１９              直線部
２０              フラット面
２１              凹部
２２              凸部
２３              挟持部
２４              入口部
２５              空洞部
２６              搬送装置
２７              真空吸着具
２８              スベリ止めマット
２９              連結具
３０              中蓋体
３１              中蓋体パッド
３２              傾斜載置台
３３              底面当接パッド
Ｋ，Ｋ’          開口部
Ｗ                枠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004268983.tif 000006
【図５】
2004268983.tif 000007
【図６】
2004268983.tif 000008
【図７】
2004268983.tif 000009
【図８】
2004268983.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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