(57)【要約】【課題】ヘッドとコントローラ間の信号伝送をディジタル化して外乱の影響を抑えるとともに、ヘッドとコントローラ間を延長ケーブルで接続しても信号の減衰を抑制し、変位検出性能に優れ、拡張性ならびに利便性に優れた変位センサ装置を提供する。【解決手段】コイルＬ１およびコイルＬ２の差動トランスと、可動コア４ａとからなるセンサ部４（変位センサ）、全波整流器５ａ，５ｂ、差動増幅器６、Ａ／Ｄ変換手段７、適合データ記憶手段８、振幅調整部９、駆動部１０およびコネクタＣＮ１を備えたヘッド２と、データ処理手段１２、電源１３、コネクタＣＮ２を備えたコントローラ３と、ヘッド２とコントローラ３とを、データバスＢＤおよびメモリバスＢＭを備え、両端にコネクタＣＮｘとコネクタＣＮｙを有する延長ケーブル１１で接続する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物の変位に応じたセンサ信号を出力する光センサ、磁気センサ、差動トランス等の変位センサ、前記変位センサからのセンサ信号を処理し、変位検出量を供給するヘッドと、前記ヘッドから供給される変位検出量に基づいて前記変位を計測するコントローラと、からなる変位センサ装置であって、
前記ヘッドは、変位検出量をディジタルの変位検出データで供給するＡ／Ｄ変換手段と、前記変位センサを前記コントローラに適合させるための適合データを記憶する適合データ記憶手段と、を備え、
前記コントローラは、前記Ａ／Ｄ変換手段から供給されるディジタルの変位検出データを前記適合データ記憶手段から供給される適合データに基づいて補正や校正の処理をして計測するデータ処理手段を備え、
前記ヘッドと前記コントローラとの間をデータバスおよびメモリバスを有するコネクタで接続可能にしたことを特徴とする変位センサ装置。
【請求項２】
前記変位センサ装置は、前記ヘッドと前記コントローラとの間を前記コネクタを介して延長ケーブルで接続することを特徴とする請求項１記載の変位センサ装置。
【請求項３】
前記適合データ記憶手段は、感度データ、リニア補正データ、レンジデータ、校正データおよび機種データの適合データを格納する適合データ記憶領域を備えたことを特徴とする請求項１記載の変位センサ装置。
【請求項４】
前記適合データ記憶手段は、前記ヘッドに対応する基準の適合データを外部の基準器からインストールしたことを特徴とする請求項３記載の変位センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は測定対象物、例えばハードディスクの反り等の変位を測定する変位センサ装置に係り、特にヘッドとコントローラ間の変位検出量をディジタルで伝送することにより、ノイズ等の外乱やヘッドとコントローラ間を接続する延長ケーブルのインピーダンスに起因する変位検出量の変動を抑制する変位センサ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図４に従来の変位センサ装置の一例ブロック構成図を示す。図４において、変位センサ装置５０は、差動トランス（コイルＬ１，Ｌ２）と可動コア５３ａを用いたセンサ部５３、感度調整部５４を備えたヘッド５１と、全波整流器５５ａ，５５ｂ、差動増幅器５６、振幅調整部５７、駆動部５８、電源５９を備えたコントローラ５２とから構成する。
【０００３】
また、ヘッド５１とコントローラ５２間は、コネクタＣＮａとコネクタＣＮｂを介して直接接続されるか、コネクタＣＮａとコネクタＣＮｂ間に、コネクタＣＮｃおよびコネクタＣＮｄを有する延長ケーブルＣｂを介して接続される。
【０００４】
被測定物体の変位は、センサ部５３のコア５３ａの移動に伴い、差動トランスのコイルＬ１およびコイルＬ２のインダクタンスが同時に反対（増減）方向に変化し、交流のセンサ信号Ｓａ，Ｓｂが変化することによりヘッド５１が検出する。また、ヘッド５１の感度調整部５４を調整することにより、センサ部５３の感度が被測定物体に変位がない場合に、センサ信号Ｓａとセンサ信号Ｓｂが等しく（Ｓａ＝Ｓｂ）なるように調整される。
【０００５】
コントローラ５２は、ヘッド５１から供給されるセンサ信号Ｓａ，Ｓｂをそれぞれ全波整流器５５ａ，５５ｂで全波整流して直流電圧に変換し、変換したそれぞれの直流電圧を差動増幅器５６に入力し、所定の増幅処理を施して変位に対応したリニア出力および外部表示用の表示出力が出力するように構成される。
【０００６】
なお、振幅調整部５７は、全波整流器５５ａからの直流電圧が帰還され、駆動部５８→感度調整部５４を介して常に同じレベルの駆動信号がセンサ部５３に供給されるように制御される。
【０００７】
このように、従来の変位センサ装置５０は、ヘッド５１とコントローラ５２との間の信号伝送がアナログのセンサ信号Ｓａ，Ｓｂで行われる。
【０００８】
また、従来の変位センサは、「特許文献１」に開示されているように、投光手段、受光用光学系、位置検出手段および補正値メモリとからなるセンサブロックと、演算手段およびリニアリティ補正手段とからなるコントローラブロックとを備え、センサブロックとコントローラブロックとをコネクタで接続し、センサブロックは、検出した被測定物体の位置信号（電流信号）をアナログ電圧信号に変換し、変換したアナログ電圧信号をコネクタを介してコントローラブロックに伝送し、コントローラブロックは、センサブロックから供給されるアナログ電圧信号に基づいて演算を施し、被測定物体の測距信号（測定距離信号）ＬＯを算出し、測距信号（測定距離信号）ＬＯの直線性（リニアリティ）を補正して距離信号Ｌを出力する。
【０００９】
コントローラブロックのリニアリティ補正手段は、演算手段で算出した測距信号（測定距離信号）ＬＯにＡ／Ｄ変換を施し、Ａ／Ｄ変換したディジタルの測距信号（測定距離信号）およびセンサブロックの補正値メモリに格納された補正値データに基づいてＣＰＵがリニアリティ補正の処理を行い、補正処理したディジタル信号にＤ／Ａ変換を施し、アナログの距離信号Ｌが得られる。
【００１０】
この構成により、センサブロックに補正値メモリを備え、リニアリティの補正値データをコントローラブロックのリニアリティ補正手段に供給することにより、測距信号（測定距離信号）ＬＯのリニアリティを補正して距離信号Ｌが得られるので、センサブロックとコントローラブロックとを一対一に対応させる必要がなくなり、任意のセンサブロックをコントローラブロックに接続することができる。
【００１１】
【特許文献１】
特許第２９８６０２３号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
図４に示す従来の変位センサ装置５０および「特許文献１」に開示された従来の変位センサは、ヘッド５１（または、センサブロック）とコントローラ５２（または、コントローラブロック）との間の信号伝送をアナログの信号で伝送するため、アナログの信号が微少な場合には、電界ノイズや磁界ノイズ等の外乱の影響を受け易く、センサ信号（または、位置信号）が正確に伝送されず、被測定物体の変位を高精度に検出できない課題がある。
【００１３】
また、従来の変位センサ装置５０（または、変位センサ）は、ヘッド５１（または、センサブロック）とコントローラ５２（または、コントローラブロック）との間を延長ケーブルＣｂで接続して長くし、変位を測定したいケースが発生した場合、ヘッド５１（または、センサブロック）とコントローラ５２（または、コントローラブロック）との間をアナログの信号で伝送するため、延長ケーブルＣｂのインピーダンスの影響で、アナログの信号が減衰し、変位センサ装置５０（または、変位センサ）の感度が変化して、変位測定に影響を及ぼす課題がある。
【００１４】
この発明はこのような課題を解決するためになされたもので、その目的はヘッドとコントローラ間の信号伝送をディジタル化して外乱の影響を抑えるとともに、ヘッドとコントローラ間を延長ケーブルで接続しても信号の減衰を抑制し、変位検出性能に優れ、拡張性ならびに利便性に優れた変位センサ装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するためこの発明に係る変位センサ装置は、測定対象物の変位に応じたセンサ信号を出力する光センサ、磁気センサ、差動トランス等の変位センサ、変位センサからのセンサ信号を処理し、変位検出量を供給するヘッドと、ヘッドから供給される変位検出量に基づいて変位を計測するコントローラとからなる変位センサ装置であって、ヘッドは、変位検出量をディジタルの変位検出データで供給するＡ／Ｄ変換手段と、変位センサをコントローラに適合させるための適合データを記憶する適合データ記憶手段とを備え、コントローラは、Ａ／Ｄ変換手段から供給されるディジタルの変位検出データを適合データ記憶手段から供給される適合データに基づいて補正や校正の処理をして計測するデータ処理手段を備え、ヘッドとコントローラとの間をデータバスおよびメモリバスを有するコネクタで接続したことを特徴とする。
【００１６】
この発明に係る変位センサ装置は、ヘッドは、変位検出量をディジタルの変位検出データで供給するＡ／Ｄ変換手段と、変位センサをコントローラに適合させるための適合データを記憶する適合データ記憶手段とを備え、コントローラは、Ａ／Ｄ変換手段から供給されるディジタルの変位検出データを適合データ記憶手段から供給される適合データに基づいて補正や校正の処理をして計測するデータ処理手段を備え、ヘッドとコントローラとの間をデータバスおよびメモリバスを有するコネクタで接続したので、ヘッドとコントローラ間の信号伝送をディジタル化して外乱の影響を抑えることができるととともに、コントローラの種類を問わず、ヘッドに適合させることができ、変位検出性能に優れ、コントローラの共通化を図って拡張性ならびに利便性の向上を実現することができる。
【００１７】
また、この発明に係る変位センサ装置は、ヘッドとコントローラとの間をコネクタを介して延長ケーブルで接続可能にしたことを特徴とする。
【００１８】
この発明に係る変位センサ装置は、ヘッドとコントローラとの間をコネクタを介して延長ケーブルで接続可能にしたので、ヘッドとコントローラとの距離を延長しても、延長ケーブルのインピーダンスの影響を受けずに、正確な変位検出データを伝送することができる。
【００１９】
さらに、この発明に係る適合データ記憶手段は、感度データ、リニア補正データ、レンジデータ、校正データおよび機種データの適合データを格納する適合データ記憶領域を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この発明に係る適合データ記憶手段は、感度データ、リニア補正データ、レンジデータ、校正データおよび機種データの適合データを格納する適合データ記憶領域を備えたので、変位検出データを適合データで補正し、ヘッドをコントローラに適合させることができ、ヘッドに対するコントローラの拡張性を実現することができる。
【００２１】
また、この発明に係る適合データ記憶手段は、ヘッドに対応する基準の適合データを外部の基準器からインストールしたことを特徴とする。
【００２２】
この発明に係る適合データ記憶手段は、ヘッドに対応する基準の適合データを外部の基準器からインストールしたので、変位測定時にヘッドとコントローラを接続して調整や設定の必要がなく、作業効率をアップすることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図１はこの発明に係る変位センサ装置の一実施の形態要部ブロック構成図である。なお、本実施の形態は、変位センサに差動トランスを用いた場合について説明する。
【００２４】
図１において、変位センサ装置１は、差動トランス（コイルＬ１，Ｌ２）の変位センサを備えたヘッド２と、ヘッド２が検出した被測定物体の変位を測定するコントローラ３とから構成する。
【００２５】
ヘッド２は、コイルＬ１およびコイルＬ２の差動トランスと、可動コア４ａとからなるセンサ部４（変位センサ）、全波整流器５ａ，５ｂ、差動増幅器６、Ａ／Ｄ変換手段７、適合データ記憶手段８、振幅調整部９、駆動部１０およびコネクタＣＮ１を備える。
【００２６】
センサ部４は、差動トランスを構成するコイルＬ１、コイルＬ２と、可動コア４ａとから構成した変位センサを形成し、被測定物体の変位を可動コア４ａの移動（紙面上の上下方向）で検出し、可動コア４ａの移動に伴って差動トランスのコイルＬ１とコイルＬ２のインダクタンスが互いに逆方向に変化することにより、駆動部１０から供給される交流の駆動信号によって発生する交流のセンサ信号Ｓａとセンサ信号Ｓｂのバランスが崩れ、それぞれセンサ信号Ｓａおよびセンサ信号Ｓｂが全波整流器５ａおよび全波整流器５ｂに入力される。
【００２７】
なお、被測定物体に変位がない場合または被測定物体がない場合には、センサ部４から出力されるセンサ信号Ｓａとセンサ信号Ｓｂはバランスしており、センサ信号Ｓａ＝センサ信号Ｓｂとなる。
【００２８】
全波整流器５ａおよび全波整流器５ｂは、それぞれシリコンダイオード、ショットキーバリアダイオード、トランジスタやＦＥＴのスイッチング素子のブリッジ回路で構成し、センサ部４から供給される交流のセンサ信号Ｓａおよびセンサ信号Ｓｂを全波整流して直流電圧に変換し、直流電圧Ｖａおよび直流電圧Ｖｂを差動増幅器６に供給する。
【００２９】
なお、全波整流器５ａから直流電圧Ｖａを振幅調整部９に帰還し、振幅調整部９は、駆動部１０を介してセンサ部４に供給する交流の駆動信号が常に一定値になるように制御する。
【００３０】
差動増幅器６は、複数の演算増幅器等で構成し、全波整流器５ａから供給される直流電圧Ｖａと全波整流器５ｂから供給される直流電圧Ｖｂとの差（Ｖａ−Ｖｂ）を増幅し、変位検出量として直流の変位信号ＶＫをＡ／Ｄ変換手段７に提供する。
【００３１】
Ａ／Ｄ変換手段７は、Ａ／Ｄ変換器等で構成し、差動増幅器６から提供される変位信号ＶＫに所定のタイミングパルスでＡ／Ｄ変換を施し、ディジタルの変位検出データＤＫを変位検出量としてデータバスＢＤを介してコネクタＣＮ１に出力する。
【００３２】
適合データ記憶手段８は、ＥＥＰＲＯＭ等のメモリで構成し、変位センサ（ヘッド２）をコントローラ３に適合させるための各種の適合データＤＴを記憶し、適合データＤＴをメモリバスＢＭを介してコネクタＣＮ１に出力する。
【００３３】
適合データ記憶手段８のメモリ領域（適合データ記憶領域）には、感度データＤＴ１、リニアリティ補正データＤＴ２、レンジデータＤＴ３、校正データＤＴ４および機種データＤＴ５を格納する。なお、適合データ記憶手段８のメモリ領域（適合データ記憶領域）には、Ａ／Ｄ変換手段７から出力される変位検出データＤＫの一部が検出データＤＴＯとしてコントローラ３のデータ処理手段１２からメモリバスＢＭを介して書き込まれるケースもある。
【００３４】
図２はこの発明に係る適合データ記憶手段の一実施の形態適合データ記憶領域イメージ図である。図２において、適合データ記憶領域は、それぞれ各記憶領域に複数の検出データＤＴＯ、感度データＤＴ１、リニアリティ補正データＤＴ２、レンジデータＤＴ３、校正データＤＴ４および機種データＤＴ５の適合データＤＴを格納（記憶）する。
【００３５】
Ａ／Ｄ変換手段７から出力される変位検出データＤＫと適合データ記憶手段８から出力される適合データＤＴに基づいてコントローラ３で、ヘッド２に見合った補正を実行するように構成するので、ヘッド２をコントローラ３に適合させ、コントローラ３はデータ処理をするだけで、コントローラ３の種類を問わず正確な変位測定を実現することになる。
【００３６】
このように、この発明に係る適合データ記憶手段８は、感度データＤＴ１、リニアリティ補正データＤＴ２、レンジデータＤＴ３、校正データＤＴ４および機種データＤＴ５の適合データＤＴを格納する適合データ記憶領域を備えたので、変位検出データＤＫを適合データＤＴで補正し、ヘッド２をコントローラ３に適合させることができ、ヘッド２に対するコントローラ３の拡張性を実現することができる。
【００３７】
また、適合データ記憶手段８は、ヘッド２毎に対応する基準の適合データＤＴを記憶するが、ヘッド２とコントローラ３を接続する以前に、予め外部の標準器１４からヘッド２に必要とされる理想的な基準の適合データＤＴをインストールして設定する。
【００３８】
適合データ記憶手段８は、基準の適合データＤＴをインストールするので、ヘッド２とコントローラ３を接続して何ら調整や設定をする必要がないため、変位測定に際して準備作業を省くことができるので、変位測定の効率をアップさせることができる。
【００３９】
このように、この発明に係る適合データ記憶手段８は、ヘッド２に対応する基準の適合データＤＴを外部の基準器１４からインストールしたので、変位測定時にヘッド２とコントローラ３を接続して調整や設定の必要がなく、作業効率をアップすることができる。
【００４０】
コントローラ３は、データ処理手段１２、電源１３、コネクタＣＮ２を備え、ヘッド２のＡ／Ｄ変換手段７から伝送されてくる変位検出データＤＫおよび適合データ記憶手段８から伝送されてくる適合データＤＴを受信し、変位検出データＤＫを適合データＤＴで補正して変位量を表示したり、外部にリニア出力ＶＯ１および表示出力ＶＯ２を出力する。
【００４１】
図３はこの発明に係るデータ処理手段の一実施の形態要部ブロック構成図である。図３において、データ処理手段１２は、マイクロプロセッサを基本に各種演算手段、処理手段、メモリ等で構成し、制御手段１５、演算手段１６、記憶手段１７、レンジ判定手段１８、Ｄ／Ａ変換手段１９、表示駆動手段２０、表示器２１を備える。
【００４２】
制御手段１５は、演算手段１６、記憶手段１７、レンジ判定手段１８およびＤ／Ａ変換手段１９を制御することにより、データ処理手段１２の動作を制御する。
【００４３】
制御手段１５は、ヘッド２からデータバスＢＤを介して伝送されてくる変位検出データＤＫおよびメモリバスＢＭを介して伝送されてくる適合データＤＴを取り込み、演算手段１６を制御して変位検出データＤＫと適合データＤＴとの各種演算を実行させ、適合データＤＴに基づいて変位検出データＤＫを補正し、補正変位検出データを記憶手段１７に一時格納させる。なお、補正変位検出データには、感度補正、オフセット補正を含むリニアリティ補正、傾き校正、変位センサ（ヘッド２）の機種データ等が含まれる。
【００４４】
また、制御手段１５は、記憶手段１７に一時格納した補正変位検出データを読み出し、補正変位検出データをレンジ判定手段１８に提供し、補正変位検出データのレンジ判定を実行させる。
【００４５】
さらに、制御手段１５は、補正変位検出データをＤ／Ａ変換手段１９に供給し、ディジタルの補正変位検出データをアナログの補正変位検出データに変換させる制御を実行する。
【００４６】
記憶手段１７は、制御手段１５の制御により、変位検出データＤＫ、適合データＤＴおよび演算手段１６が演算した補正変位検出データを一時格納し、格納したデータを制御手段１５に供給する。なお、格納する適合データＤＴには、感度データＤＴ１、リニアリティ補正データＤＴ２、レンジデータＤＴ３、校正データＤＴ４および機種データＤＴ５がある。
【００４７】
レンジ判定手段１８は、補正変位検出データをレンジデータＤＴ３と比較して判定し、補正変位検出データがレンジデータＤＴ３の範囲にあるか否かにより、ＬＥＤを点灯させたり、ブザーを鳴動させたりする。
【００４８】
Ｄ／Ａ変換手段１９は、Ｄ／Ａ変換器で構成し、ディジタルの補正変位検出データにＤ／Ａ変換を施し、アナログの補正変位検出データを出力し、リニア出力ＶＯ１を外部に出力するとともに、表示駆動手段２０に供給する。
【００４９】
表示駆動手段２０は、Ｄ／Ａ変換手段１９から供給されるリニア出力ＶＯ１をドライブ信号（表示信号）とし、表示信号をＬＣＤ（液晶）等の表示器２１に表示させるとともに、外部に表示出力ＶＯ２を供給する。
【００５０】
つまり、データ処理手段１２は、ヘッド２から伝送される変位検出データＤＫを適合データＤＴにより、感度補正、リニアリティ補正（オフセット補正も含む）、計測レンジ判定、傾きの校正および変位センサの機種表示等を実施し、ヘッド２で検出した被測定物体の変位を高精度に計測して表示する。
【００５１】
なお、データ処理手段１２は、ヘッド２と対になった性能を備える必要がなく、図３に示す一般的な処理手段を備えたものでよく、コントローラ３としての共有化を図ることができる。
【００５２】
図１に戻り、ヘッド２とコントローラ３との間の接続は、それぞれデータバスＢＤおよびメモリバスＢＭを有するコネクタＣＮ１（ヘッド２）とコネクタＣＮ２（コントローラ３）で接続する。
【００５３】
ヘッド２とコントローラ３間の間の信号伝送をディジタル化したので、電界ノイズや磁界ノイズ等の外乱の影響を抑えることができ、変位検出性能を向上させることができる。
【００５４】
また、ヘッド２とコントローラ３との間の距離が長い変位測定をするケースには、ヘッド２とコントローラ３とを、データバスＢＤおよびメモリバスＢＭを備え、両端にコネクタＣＮｘとコネクタＣＮｙを有する延長ケーブル１１で接続する。
【００５５】
データバスＢＤおよびメモリバスＢＭを備えた延長ケーブル１１を用いてヘッド２とコントローラ３間を接続し、ディジタル化した信号伝送を行うので、ケーブルのインピーダンスの影響ならびに電界ノイズや磁界ノイズ等の外乱の影響を抑えて正確な変位検出データを伝送することができる。
【００５６】
なお、本実施の形態は、変位センサに差動トランスを用いた場合について説明したが、本発明は、光センサや磁気センサを用いた変位センサにも同様に適用することができる。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に係る変位センサ装置は、ヘッドは、変位検出量をディジタルの変位検出データで供給するＡ／Ｄ変換手段と、変位センサをコントローラに適合させるための適合データを記憶する適合データ記憶手段とを備え、コントローラは、Ａ／Ｄ変換手段から供給されるディジタルの変位検出データを適合データ記憶手段から供給される適合データに基づいて補正や校正の処理をして計測するデータ処理手段を備え、ヘッドとコントローラとの間をデータバスおよびメモリバスを有するコネクタで接続したので、ヘッドとコントローラ間の信号伝送をディジタル化して外乱の影響を抑えることができるととともに、コントローラの種類を問わず、ヘッドに適合させることができ、変位検出性能に優れ、コントローラの共通化を図って拡張性ならびに利便性の向上を実現することができる。
【００５８】
また、この発明に係る変位センサ装置は、ヘッドとコントローラとの間をコネクタを介して延長ケーブルで接続可能にしたので、ヘッドとコントローラとの距離を延長しても、延長ケーブルのインピーダンスの影響を受けずに、正確な変位検出データを伝送することができる。
【００５９】
さらに、この発明に係る適合データ記憶手段は、感度データ、リニア補正データ、レンジデータ、校正データおよび機種データの適合データを格納する適合データ記憶領域を備えたので、変位検出データを適合データで補正し、ヘッドをコントローラに適合させることができ、ヘッドに対するコントローラの拡張性を実現することができる。
【００６０】
また、この発明に係る適合データ記憶手段は、ヘッドに対応する基準の適合データを外部の基準器からインストールしたので、変位測定時にヘッドとコントローラを接続して調整や設定の必要がなく、作業効率をアップすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る変位センサ装置の一実施の形態要部ブロック構成図
【図２】この発明に係る適合データ記憶手段の一実施の形態適合データ記憶領域イメージ図
【図３】この発明に係るデータ処理手段の一実施の形態要部ブロック構成図
【図４】従来の変位センサ装置の一例ブロック構成図
【符号の説明】
１  変位センサ装置
２  ヘッド
３  コントローラ
４  センサ部
４ａ  可動コア
５ａ，５ｂ  全波整流器
６  差動増幅器
７  Ａ／Ｄ変換器
８  適合データ記憶手段
９  振幅調整部
１０  駆動部
１１  延長ケーブル
１２  データ処理手段
１３  電源
１４  標準器
１５  制御手段
１６  演算手段
１７  記憶手段
１８  レンジ判定手段
１９  Ｄ／Ａ変換手段
２０  表示駆動手段
２１  表示器
ＢＤ  データバス
ＢＭ    メモリバス
Ｌ１，Ｌ２  コイル
Ｓａ，Ｓｂ  センサ信号
ＶＫ    変位信号
ＤＫ    変位検出データ
ＤＴ    適合データ
ＣＮ１，ＣＮ２，ＣＮｘ，ＣＮｙ  コネクタ
ＶＯ１  リニア出力
ＶＯ２  表示出力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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