(57)【要約】【課題】少ない工程数で気密性に優れたチップサイズの電子デバイスを形成することを目的とする。【解決手段】少なくとも片面に機能面および電極を有するチップと、前記チップの前記電極との接続が可能である部位を有する基板からなる電子部品において、接続部に導電性ガラスや金属間化合物を利用することにより前記チップと前記基板間の電気的接続を取ると同時に前記チップ上デバイス面を封止することを特徴とする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に電子回路素子をフリップチップ接続する電子デバイスにおいて、
前記電子回路素子のチップ電極と前記基板の内部電極との間を金−錫（Ａｕ−Ｓｎ）接合、金−銀（Ａｕ−Ａｇ）接合、金−アルミ（Ａｕ−Ａｌ）接合または金−金（Ａｕ−Ａｕ）接合で接続するとともに、前記電子回路素子の周縁部もしくは封止を必要とする部分と、これと対向する前記基板とを前記と同じ接続方法で接合封止したことを特徴とする電子デバイス。
【請求項２】
請求項１に記載の電子デバイスにおいて、
前記電子回路素子は圧電素子であることを特徴とする電子デバイス。
【請求項３】
請求項１に記載の電子デバイスにおいて、
前記電子回路素子は、ＳＡＷチップ、ＦＢＡＲ（圧電薄膜共振器）、又はＭＥＭＳ（マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム）であることを特徴とした電子デバイス。
【請求項４】
請求項１に記載の電子デバイスにおいて、
前記電子回路素子上の電極表面を金（Ａｕ）めっきするとともに、基板の内部電極表面を錫（Ｓｎ）、銀（Ａｇ）、アルミ（Ａｌ）または金（Ａｕ）めっきしたことを特徴とする電子デバイス。
【請求項５】
請求項１に記載の電子デバイスにおいて、
前記基板はプリント基板、又はフレキシブル基板であることを特徴とする電子デバイス。
【請求項６】
請求項１に記載の電子デバイスにおいて、
前記基板は、メタルコア基板であることを特徴とする電子デバイス。
【請求項７】
請求項１に記載の電子デバイスにおいて、
前記基板は、ガラス基板、又はセラミック基板であることを特徴とする電子デバイス。
【請求項８】
請求項１に記載の電子デバイスにおいて、
前記基板は、シリコン基板であることを特徴とする電子デバイス。
【請求項９】
請求項６に記載の電子デバイスにおいて、
前記メタルコア基板のコアメタルと外周封止部を電気的に接続することを特徴とする電子デバイス。
【請求項１０】
錫（Ｓｎ）、銀（Ａｇ）、アルミ（Ａｌ）または金（Ａｕ）めっきが施された内部電極および封止部の他、外部電極及びこれらを接続するスルーホール配線が形成された多数個取り基板に、
電極及び周縁部に金（Ａｕ）めっきが施された各電子回路素子を対向載置し加熱加圧することで、前記電子回路素子電極と前記多数個取り基板の内部電極とを金−錫（Ａｕ−Ｓｎ）接合、金−銀（Ａｕ−Ａｇ）接合、金−アルミ（Ａｕ−Ａｌ）接合または金−金（Ａｕ−Ａｕ）接合で接続を行うとともに、前記各電子回路素子の周縁部とこれと対向する前記基板の封止部とを同様に金−錫（Ａｕ−Ｓｎ）接合、金−銀（Ａｕ−Ａｇ）接合、金−アルミ（Ａｕ−Ａｌ）接合または金−金（Ａｕ−Ａｕ）接合で封止し、
その封止部の部分を順次分離してチップサイズの電子デバイスを得ることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項１１】
錫（Ｓｎ）、銀（Ａｇ）、アルミ（Ａｌ）または金（Ａｕ）めっきが施された内部電極および封止部の他、外部電極及びこれらを接続するスルーホール配線が形成された多数個取り基板に、
電極及び周縁部に金（Ａｕ）めっきが施された各電子回路素子を対向載置し加熱加圧することで、前記電子回路素子電極と前記多数個取り基板の内部電極とを金−錫（Ａｕ−Ｓｎ）接合、金−銀（Ａｕ−Ａｇ）接合、金−アルミ（Ａｕ−Ａｌ）接合または金−金（Ａｕ−Ａｕ）接合で接続を行うとともに、前記各電子回路素子の周縁部とこれと対向する前記基板の封止部とを同様に金−錫（Ａｕ−Ｓｎ）接合、金−銀（Ａｕ−Ａｇ）接合、金−アルミ（Ａｕ−Ａｌ）接合または金−金（Ａｕ−Ａｕ）接合で封止し、
その封止部の部分に、前記電子回路素子搭載方向から前記基板に達する溝加工を施し、上面及び溝加工部をメタライズ処理して、
前記溝加工部を順次分離してチップサイズの電子デバイスを得ることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項１２】
アルミニウム（Ａｌ）を主成分とする櫛歯電極及びチップ電極が形成された表面弾性波ウエハにめっき下地膜としてクロム（Ｃｒ）または銅（Ｃｕ）を成膜し、
これにめっきレジスト膜を塗布して加熱硬化させ、前記チップ電極部のめっきレジストを部分的に紫外線照射および現像で除去後、
そのチップ電極部に所望の厚さの金（Ａｕ）めっきを施し、
その後にめっきレジストを除去し、
前記アルミニウム（Ａｌ）を主成分とする櫛歯電極及びチップ電極に影響を与えないよう前記めっき下地膜のクロム（Ｃｒ）または銅（Ｃｕ）を硝酸２アンモニウムセリウム（（ＣｅＮＨ４）２（ＮＯ３）６）にて選択エッチング除去して形成した金（Ａｕ）めっき付き表面弾性波ウエハを用いて、前記請求項５または請求項６の方法で製造することを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項１３】
請求項１０乃至請求項１２のうちの何れか一項に記載の電子デバイスの製造方法において、
前記基板は、メタルコア基板であることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の電子デバイスの製造方法において、
前記メタルコア基板のコアメタルと外周封止部を電気的に接続することを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気密封止が必要とされる電子部品及びその製造技術に関し、特に、表面弾性波デバイスに適用して有効な技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
携帯電話機などの高周波フィルタとして使用される表面弾性波デバイスは、リチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ３）あるいはリチウムナイオベート（ＬｉＮｂＯ３）などの圧電性単結晶チップ（以下、ＳＡＷチップと記す）表面に櫛歯状電極対を形成し、これをパッケージ基板に搭載して、パッケージ基板の入出力電極と前記櫛歯状電極対とを電気的に接続して構成される。
【０００３】
通常、ＳＡＷチップは表面弾性波が伝播するチップ面、すなわち櫛歯状電極対の形成された面を上にセラミックパッケージ基板にダイボンドされ、櫛歯状電極対につながるチップ電極とそのパッケージ基板の内部電極とをＡｌまたはＡｕを主材とする金属ワイヤでボンディングして電気的接続を行っている。その後、金属性キャップで気密封止して表面弾性波デバイスが構成される。
【０００４】
しかし近年、携帯電話機などの部品に対する小形化の要求が強く、表面弾性波デバイスではＳＡＷチップをパッケージ基板にフリップチップ接続することによりワイヤボンディング領域を省いてその小形化を図っている。
【０００５】
特開平８−３１６７７８号公報（特許文献１）にはその代表的なデバイス構造が開示されており、図１７はその概念図である。これによると、櫛歯状電極１１０を囲むように流動防止枠３２０が設けられたＳＡＷチップ１００をパッケージ基板２００にバンプ４００を介してフリップチップ接続し、ＳＡＷチップ１００の側面から封止樹脂３１０を注入硬化して表面弾性波デバイスを構成している。
【０００６】
封止樹脂３１０は注入のとき流動防止枠３２０で堰き止められるため、櫛歯状電極１１０表面側に空隙５００が形成され、表面弾性波の伝播が確保される。バンプ４００はＡｕワイヤバンプ法で形成され、はんだや導電性レジンなどでパッケージ基板２００に接続される。
【０００７】
なお、本発明に関連する公知文献としては、上記の特開平８−３１６７７８号公報の他に、特開２００１−９４３９０号公報（特許文献２）、特開平４−２９３３１１号公報（特許文献３）、特開平９−２８９４２９号公報（特許文献４）がある。
【０００８】
【特許文献１】
特開平８−３１６７７８号公報
【特許文献２】
特開２００１−９４３９０号公報
【特許文献３】
特開平４−２９３３１１号公報
【特許文献４】
特開平９−２８９４２９号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このようなフリップチップパッケージデバイスには次のような問題が考えられる。
【００１０】
（１）製造上の問題として、流動防止枠３２０の高さをバンプ接続高さより僅かに低く作る必要があるが、バンプ４００の高さバラツキ及びパッケージ基板２００の平坦性バラツキがあるため、流動防止枠３２０とパッケージ基板２００に隙間ができ、封止樹脂３１０の流入を完全に止められない場合が生じる。
【００１１】
（２）信頼性上の問題として、封止材料に樹脂を採用しているため、長時間の使用に対し水分が浸入し櫛歯状電極部で結露した場合、表面弾性波の伝播特性不良が発生する。さらに、櫛歯電極の腐食断線に至る場合がある。
【００１２】
（３）構造上の問題として、ＳＡＷチップ１００のサイズより大き目のパッケージ基板２００が必要であるため従来のパッケージデバイスは小型化に限界がありチップサイズまで小さくできない。
【００１３】
また特開２００１−９４３９０号公報では基板とチップを同サイズとし、外周封止を導電性接着剤とする方式があり、チップサイズの電子部品の形成が可能となる。しかし、導電性接着剤は電気抵抗が高くなること、導電性接着剤は気密パッケージに適していないことが問題となる。
【００１４】
以上述べたように従来のフリップチップパッケージでは、製造上、信頼性上及び構造上の問題があった。その解決課題として、（１）製造上では封止材料が櫛歯状電極に達しない封止工法の開発であり、（２）信頼性上では完全な気密封止が可能な材料の選択、（３）構造上では最小サイズとしてＳＡＷチップサイズのパッケージデバイスの開発である。
【００１５】
また、特開平４−２９３３１１号公報の図１のように、半導体チップを基板にはんだを用いて接合する場合、リフロー時に生じるはんだの酸化膜を除去するためにフラックスを用いる必要があるため、リフロー時にフラックスからガスが発生する。このガスは、ＩＤＴ（くし歯電極）を腐食したり、ＩＤＴの表面にガス成分を付着させるため、ＳＡＷフィルタの周波数特性の劣化（通過損失増大、断線不良、通過周波数シフト）を引き起こす要因となる。ＳＡＷフィルタは、一定範囲の特性周波数を取り出す機能デバイスであるため、このような周波数特性が劣化することは大きな問題で、このようなＳＡＷフィルタを携帯電話に用いると受信機能に障害が発生する。
【００１６】
また、ＳＡＷフィルタを他の電子部品とともにインターポーザ基板に搭載したＭＣＭ（Ｍｕｌｔｉ  Ｃｈｉｐ  Ｍｏｄｕｌｅ）構造を採用する場合、ＳＡＷフィルタを搭載した後の接続工程で用いる接合材の溶融温度が低いため、接続材、特に、はんだの選択性が低いという問題がある。
【００１７】
本発明の目的は、封止材料が櫛歯状電極に達しないで、信頼性ならびに生産性の向上、ならびにコストの低減が図れる表面弾性波デバイスおよびその製造方法を提供することにある。
【００１８】
本発明の目的は、ＳＡＷフィルタの周波数特性の劣化を抑制することが可能な技術を提供することにある。
【００１９】
本発明の目的は、ＳＡＷフィルタをインターポーザ上に搭載したＭＣＭ構造を採用する電子モジュールの周波数特性の劣化を抑制しつつ、温度階層を高い温度で設定可能にする技術を提供することにある。
【００２０】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【００２２】
上記目的を達成するために本発明における電子デバイスは、電極を有する電子回路素子と、前記電子回路素子の前記電極との接続が可能である部位を有する基板からなる電子部品において、前記電子回路素子と前記基板間の電気的接続を取ると同時に前記電子回路素子上デバイス面を封止し前記基板と前記電子回路素子間に空間を確保することを特徴とする。
【００２３】
本発明のチップサイズ電子デバイスはＳＡＷチップとパッケージ基板との電気的接続及び封止について次の２つの手段を例とした。
【００２４】
第１の手段では、ＳＡＷチップとパッケージ基板との電気的接続及び封止に熱圧着による金属接続を行う。予め多数個取りパッケージ基板の内部電極と封止部にはＳｎ、ＡｇまたはＡｕをめっきしておくとともに、表面弾性波ウエハのチップ電極部とチップ周縁部にＡｕめっきを施し、両者を対向位置合せし加熱、加圧して複数チップの電極接続と封止を一括して行う。このような接続により電極接続と封止部は、Ａｕ−Ｓｎ接合、Ａｕ−Ａｇ接合、Ａｕ−Ａｌ接合またはＡｕ−Ａｕ接合が形成されるが、接続時に接合金属が流動することはなく、ＳＡＷチップとパッケージ基板の接続後の間隔はほぼ両者のめっき厚さになり、ＳＡＷチップ櫛歯電極部の空隙形成を確実にする。
【００２５】
第２の手段では、前記電気的接続及び封止材料に流動性の低い導電性ガラスを用いた。予め内外部電極が形成されたセラミックまたはガラス製の多数個取りパッケージ基板には、載置されるＳＡＷチップの周縁部及び電極位置に前記導電性ガラスフリットを印刷、溶融しておく。これにウエハ状態のＳＡＷを対向載置し、加熱、加圧することで導電性ガラスをウエハに融着させ、ウエハに形成された複数チップを一括で封止するとともに電極接続を行う。なお、予め導電性ガラスに数μｍのスペーサガラス球、スペーサガラスロッドあるいは導電粒子からなる微粒子状のスペーサを混入させ、接続高さを確保し、ＳＡＷチップ櫛歯電極部の空隙形成を確実にする。
【００２６】
最終工程では、封止部の中心線をダイサーにて分離することで、チップサイズ表面弾性波デバイスが得られる。あるいは封止部の中心部分をＳＡＷチップ搭載方向からサンドブラストにてパッケージ基板に達する溝加工を施し、上面より蒸着またはめっき法でメタライズ処理し、さらにこの溝加工部をブレークまたはダイシング分離してチップサイズ表面弾性波デバイスを形成する。後者の方法によれば、デバイス背面のメタライズ処理により電磁シールドされたチップサイズ表面弾性波デバイスを得ることができる。また、電磁シールド部と基板のグランド端子を接続することにより電磁シールドの効果向上が可能となる。
【００２７】
導電性ガラスで接続および封止する場合は、ＳＡＷチップ電極とパッケージ基板電極の電気接続を確実にするために、これらの電極はあらかじめＡｕめっきしておくとよい。
【００２８】
以上述べたように、封止材料に熱圧着接合金属を用いた場合、封止時に封止材料はほとんど流動しないため、流動防止枠は不要となる。また、封止材料に導電性ガラスを用いた場合、溶融時でもその流動性が低く、流動防止枠がなくても封止材料が櫛歯状電極に達することはない。これにより前記（１）の課題が解決される。また、封止材料が金属あるいはガラスであるため、完全な気密封止が可能となり（２）の課題が解決される。さらに、封止および電極接続をウエハレベルで行い、最終工程で個片のＳＡＷチップパッケージデバイスに分離するため（３）の課題が解決される。
【００２９】
また、上記目的を達成するために、本発明では、ＳＡＷフィルタの接続方式として、フラックスを使用しない金属接合方式を採用した。
【００３０】
また、ＳＡＷフィルタを搭載した後に、他の電子部品の搭載に用いる接合材料の選択幅を広げる（高い融点を持つ接合材料を利用できるようにする）ために、フラックスを使用しない金属接合方式のうちの金スズ接合方式を採用した。
【００３１】
このように温度階層を容易につけることができるようになるのは、金スズ接合が加熱加圧により、スズの融点よりはるかに高い２８０度程度の融点を備えた金スズ合金を作り出すからである。特に、ＳＡＷフィルタ接合後に、ＳＡＷフィルタの接合に用いた温度よりも高い温度で、かつ金スズ合金の融点よりも低い融点のはんだ（特に、共晶はんだや鉛フリーはんだ）を採用することができるようになる。この特性を、特にはんだを用いたＳＡＷフィルタをインターポーザ基板に他の電子部品とともに搭載したＭＣＭ構造を採用すると、マザー基板へのインターポーザ基板の搭載に用いる接合温度を上げることが可能になる。
【００３２】
また、封止を信号電極の周囲に形成した接続部で行う場合、この接合方式にフラックスを使用しない金属接合方式を採用すると、信号端子の接合と、封止とを同一工程で行えるので、工程数を減らすことができる。
【００３３】
ただし、信号用バンプ又は封止バンプにはんだを用いた場合、雰囲気中にガスが逃げなくなるため、封止空間にガスが溜まることになり、周波数特性の劣化がひどくなる。
【００３４】
そこで、本発明では、信号用バンプと封止用バンプの両方に同じ接合方式を採用している。具体的には、双方に金スズ接合を採用している。特に、部品あるいはモジュール基板側表面メタライズをスズとし、ＳＡＷチップ側バンプ（電気接続部および封止部）を金とし、接続はＳＡＷチップを加熱加圧して行う。こうすることで、スズ融点（２３１．９度）で、接続・封止するにもかかわらず、スズ金化合物が形成されるため、再溶融温度を高温化（２８０度）できるため、融点の高い接合材料をマザーボードへのインターポーザの搭載に採用することができるようになる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。なお、全図を対象に同一機能を示す要素には同じ符号を付した。
【００３６】
図１は本発明による電子デバイスの第１の実施例を示す断面図である。
【００３７】
図２に本発明による電子デバイスの第１の実施例をより詳細に説明する。なお図２は図１の組立工程を示すものであり、図２（ａ）は配線を形成したＳＡＷチップ１００およびパッケージ基板２００を、図２（ｂ）は金バンプ４００、外周封止用金突起４１０および錫めっき３４１を形成したＳＡＷチップ１００およびパッケージ基板２００を、図２（ｃ）はＳＡＷチップ１００およびパッケージ基板２００を接続する工程を、図２（ｄ）は完成後の外観を示している。
【００３８】
まず、図２（ａ）のように、櫛歯電極１１０，チップ電極１２０、外周封止用チップ電極１２３をアルミなどの金属で配線を形成したＳＡＷチップ１００と、内部電極２１０、外周封止用内部電極２１３を銅などの金属で配線を形成したパッケージ基板２００を形成する。このパッケージ基板２００はセラミック基板やシリコン基板やガラス基板など耐湿性に優れた材料であればよい。
【００３９】
図２（ｂ）で図２（ａ）のチップ電極１２０および外周封止用チップ電極１２３上に金バンプ４００および外周封止用金突起４１０をめっきなどにて形成し、また内部電極２１０と外周封止用内部電極２１３上に錫をめっきする。金バンプ４００の形状は四角柱や円柱などどのような形状でも構わない。内部電極２１０および外周封止用内部電極２１３上の錫は印刷方式により形成しても構わない。
【００４０】
上記のように形成したＳＡＷチップ１００およびパッケージ基板２００の位置あわせを行い（図２（ｃ））、加熱および加圧を行う。錫めっき３４１が錫単体である場合、加熱温度は錫融点（２３２℃）以上とし、接触界面で錫のみ溶融させる。金バンプ４００および外周封止金突起４１０と錫めっき３４１界面では錫が溶融し、金と反応することにより金−錫系金属間化合物を形成する。錫が反応すると金バンプ４００および外周封止金突起４１０と錫めっき３４１を塗布した内部電極２１０および外周封止用内部電極２１３間は金属結合される。これにより形成される金−錫系金属間化合物（金属接続部３４０、外周封止用金属接続部３４２）の融点は錫融点である２３２℃より高いため、他の部品を搭載する二次リフローを行っても、リフロー温度が金−錫系金属間化合物融点以下である場合は再溶融せずに金バンプ４００および外周封止金突起４１０と錫めっき３４１を塗布した内部電極２１０および外周封止用内部電極２１３は接続が保たれる。
【００４１】
また、外周が外周封止金突起４１０、金−錫系金属間化合物に囲まれているために、図２（ｄ）のように櫛歯電極１１０は気密封止される。なお、外周封止部はグランドとして利用してもよい。
【００４２】
また、ＳＡＷチップ１００を他の電子部品とともにインターポーザ基板に搭載するＭＣＭ構造を採用する場合、マザーボードへのインターポーザ基板の搭載に用いる接合温度を上げることが可能になる。
【００４３】
図３に図１で示した第１の実施例のウェハ一括形成方式の工程図を示す。図１および図２に対応する部位は同様な番号で記している。図３（ａ）は個片切断前に配線を形成したパッケージ基板２００を、図３（ｂ）は錫めっき３４１を個片切断前に形成したパッケージ基板２００を、図３（ｃ）は電極上に金バンプ４００および外周封止金突起４１０を形成したＳＡＷウェハ１０１およびパッケージ基板２００の位置合わせ工程を、図３（ｄ）は加熱・加圧によりＳＡＷウェハ１０１とパッケージ基板２００を接合する工程を、図３（ｅ）は接続後個片にダイシングする工程を示している。
【００４４】
まず図３（ａ）のように、内部電極２１０、外周封止用内部電極２１３を銅などの金属で形成した個片切断前のパッケージ基板２００を形成する。このパッケージ基板２００はセラミック基板やシリコン基板やガラス基板など耐湿性に優れた材料であればよい。
【００４５】
図３（ｂ）で内部電極２１０と外周封止用内部電極２１３上に錫をめっきする。内部電極２１０および外周封止用内部電極２１３上の錫はめっきの代わりに印刷方式により作製しても構わない。
【００４６】
図３（ｃ）のように、ＳＡＷウェハの状態で櫛歯電極１１０、チップ電極１２０、外周封止用チップ電極１２３をアルミなどの金属で配線を形成したのち、チップ電極１２０および外周封止用チップ電極１２３上に金バンプ４００および外周封止金突起４１０をめっきにて形成する。金バンプ４００の形状は四角柱や円柱などどのような形状でも構わない。また金バンプ４００形成方法はめっきでなくともボールボンディングなどで形成しても構わない。ＳＡＷチップ１００およびパッケージ基板２００の位置あわせを行い（図３（ｃ））、加熱および加圧を行う。
【００４７】
ウェハ上ＳＡＷチップ１００と個片接続前のパッケージ基板２００の線膨張係数差を少なくすることにより、熱収縮によるＳＡＷチップ１００とパッケージ基板２００間のパターンずれは抑えることが可能である。錫めっき３４１が錫単体である場合、加熱温度は錫融点（２３２℃）以上とし、接触界面で錫のみ溶融させる。金バンプ４００および外周封止金突起４１０と錫めっき３４１界面では錫が溶融し、金と反応することにより金−錫系金属間化合物を形成する。錫が反応すると金バンプ４００および外周封止金突起４１０と錫めっき３４１を塗布した内部電極２１０および外周封止用内部電極２１３は金属結合される。これにより形成される金−錫系金属間化合物（金属接続部３４０、外周封止用金属接続部３４２）の融点は錫融点である２３２℃より高いため、他の部品を搭載する二次リフローを行っても、リフロー温度が金−錫系金属間化合物融点以下である場合は再溶融せずに金バンプ４００および外周封止金突起４１０と錫めっき３４１を塗布した内部電極２１０および外周封止用内部電極２１３間は接続が保たれる。また外周が外周封止金突起４１０、金−錫系金属間化合物に囲まれているために、図３（ｄ）のように櫛歯電極１１０は気密封止される。なお、外周封止部はグランドとして利用してもよい。上記のような工程で図３（ｄ）の構造を形成すると、耐湿性も良好でかつ信頼性も向上したパッケージを提供できる。
【００４８】
最後に図３（ｅ）のように、ダイサーを用いて個片に切断することにより、図１の第１の実施例が実現される。切断方法はルータで切断しても構わないし、図７で示したようなサンドブラスト法などで切断しても構わない。上記利点に加え一括して接続することにより、接続工程が個片から一括となること、およびＳＡＷチップ１００とパッケージ基板２００の切断を一括して行うことよりタクトが短縮される。また櫛歯電極１１０が封止されてから切断するため、異物混入による不良の発生を防ぐことができる。
【００４９】
図４は、本発明による第２の実施例でありチップサイズの表面弾性波デバイス９００の断面図である。予め内部電極２１０、外部電極２２０及び両者を接続するスルーホール２３０が形成されたパッケージ基板２００に、導電性ガラス３００を用いてＳＡＷチップ１００が接続かつ封止された構造になっている。
【００５０】
図４の構造では導電性ガラス３００にスペーサとして数μｍのガラス球を混入させて接続高さを制御し、櫛歯電極１１０部の空隙５００を確保する。スペーサ材料としてはガラス球の他、ガラスロッドまたはＡｕめっきしたＮｉ球などの導電粒子を用いてもよい。導電性ガラス３００は、ＳＡＷチップ電極１２０とパッケージ基板２００の内部電極２１０を電気接続するとともにＳＡＷチップ１００の周辺を封止する。
【００５１】
図５は前記チップサイズの表面弾性波デバイス９００の分解斜視図で、導電性ガラス３００の部分でパッケージ基板２００からＳＡＷチップ１００を取り外した状態を示した。導電性ガラス３００は、ＳＡＷチップ１００の信号用チップ電極１２１とパッケージ基板２００の信号用内部電極２１１を接続するとともにＳＡＷチップ１００周縁を封止するよう配置されている。ＧＮＤ用チップ電極１２２はパッケージ基板２００のＧＮＤ用内部電極２１２に導電性ガラス３００で接続されるが、ＳＡＷチップ１００周縁の封止を兼ねている。
【００５２】
図６は、前記チップサイズの表面弾性波デバイス９００の組立工程図である。図６（ａ）において、予め内部電極２１０、外部電極２２０及び両者を接続するスルーホール２３０が形成されたパッケージ基板２００を準備し、
図６（ｂ）において、前記パッケージ基板２００のＳＡＷチップ搭載面に導電性ガラス３００用フリットを印刷・溶融し、パッケージ基板２００の所望の位置に導電性ガラス３００を供給する。
【００５３】
図６（ｃ）において、導電性ガラス３００が付着されたパッケージ基板２００に、ＳＡＷウエハ１０１を対向するように載置し、加熱加圧する。
【００５４】
図６（ｄ）に前記工程後の接続状態を示した。ＳＡＷウエハ１０１はチップ電極１２０と多数個取りパッケージ基板２００の内部電極２１０とに接続されるとともに、各ＳＡＷチップの周縁部は導電性ガラス３００で封止される。
【００５５】
図６（ｅ）において、前記多数個取りパッケージ基板２００の封止部３３０の中心をダイサー８１０にて切断分離することによりチップサイズ表面弾性波デバイス９００を得ることができる。
【００５６】
図７は、図６で説明した工程（ｄ）以降を変更した組立工程図である。図７（ｅ’）において、ＳＡＷウエハ１０１が接続封止されている多数個取りパッケージ基板２００の封止部３３０中心をＳＡＷウエハ１０１搭載方向からサンドブラスト８２０にてパッケージ基板２００に達するまで溝加工し、ＳＡＷチップ１００を分離する。
【００５７】
次に図７（ｆ）において、前記溝加工部を含みＳＡＷチップ１００背面全体を蒸着またはめっき法でメタライズ処理する。メタライズ用金属としてＣｕ、ＮｉあるいはＡｌを用いる。また、背面全体を導電塗料で覆ってもよい。
【００５８】
最後に図７（ｇ）において、前記パッケージ基板２００の溝加工部をブレークまたはダイシング分離して、個別のチップサイズ表面弾性波素子を得る。
【００５９】
図８は本発明による電子デバイスの第３の実施例を示す断面図であって図１に対応する部位は同様な番号で示している。なお６００はシールド材である。
【００６０】
図８の構造は第１の実施例で提案した構造のチップ面および側面をシールド材で封止した構造である。シールド材６００の材質は金属もしくは金属コーティングされた樹脂など外周が金属に囲まれたものであればよい。シールド材６００をもうけることにより、他部品からの電磁波の影響を防止したり、外力によるチップ欠けを防止する効果がある。また、外周封止部と接続することによりグランドとしての利用も可能である。さらには放熱性の向上も期待できる。シールド材６００の形成方法は外周を樹脂でモールドしたのちに表面に金属めっきを施す方法や、防水スプレーもしくは金属粒子入りスプレーを塗布する方法や、金属キャップを張り付ける方法などが考えられる。
【００６１】
図９は本発明による電子デバイスの第４の実施例を示す断面図であって図１に対応する部位は同様な番号を示している。なお、２０１は樹脂層、２０２はコアメタル、２０３は貫通スルーホールである。
【００６２】
本実施例では、ＳＡＷチップ１００には櫛歯電極１１０、金バンプ４００、チップ電極１２０、外周封止用金突起４１０、外周封止用チップ電極１２３がもうけられており、基板はコアメタル２０２の両面に樹脂層２０１を張り付けたのちに配線形成を行い、内部電極２１０や外部電極２２０、外周封止用内部電極２１３、錫めっき３４１、貫通スルーホール２０３を形成したメタルコア基板から構成されている。ここでコアメタル２０２は例えば銅やアルミや４２アロイなどの金属からなり、樹脂層２０１の層数との組み合わせによりメタルコア基板の線膨張係数を調整することができる。上記のＳＡＷチップ１００とメタルコア基板を図２、図３もしくは図７の工程により形成することにより本実施例は実現される。
【００６３】
本実施例では第１の実施例の利点に加えて、メタルコア基板はコアメタル２０２と樹脂層２０１の組み合わせによって線膨張係数を調整することが可能であるため、ＳＡＷチップ１００と線膨張係数差が極めて少ないパッケージ基板を形成することが可能である。このため温度変化による応力が抑えられるため、接続部信頼性は向上する。また外周封止部をコアメタル２０２と接続することにより、外部封止部をグランド端子とすることができる。
【００６４】
また、コアメタル２０２を電磁波のバリアとして使用できるため、他部品からの電磁波の影響を防止することができる。
【００６５】
図１０は本発明による電子デバイスの第５の実施例を示す断面図であって図８および図９に対応する部位は同様な番号で示している。なお６００はシールド材である。
【００６６】
本実施例は第４の実施例で提案した構造のチップ面および側面をシールド材で封止した構造である。シールド材６００の材質は金属もしくは金属コーティングされた樹脂など外周が金属に囲まれたものであればよい。
【００６７】
本実施例では第４の実施例の利点に合わせて、シールド材６００をもうけることにより、他部品からの電磁波の影響を防止したり、外力によるチップ欠けを防止する効果がある。また、外周封止部とコアメタル２０２をシールド材６００で接続することが可能であるため、容易にグランドとして使用できる。さらには放熱性の向上も期待できる。シールド材６００の形成方法は外周を樹脂でモールドしたのちに表面に金属めっきを施す方法や、防水スプレーもしくは金属粒子入りスプレーを塗布する方法や、金属キャップを張り付ける方法などが考えられる。
【００６８】
図１１は本発明による電子デバイスの第６の実施例を示す断面図であって図９に対応する部位は同様な番号を示している。なお、２０４はコアメタル２０２上メタライズである。
【００６９】
本実施例では、ＳＡＷチップ１００には櫛歯電極１１０、金バンプ４００、チップ電極１２０、外周封止用金突起４１０、外周封止用チップ電極１２３がもうけられており、基板はコアメタル２０２の両面に樹脂層２０１を張り付けたのちに配線形成を行い、内部電極２１０や外部電極２２０、メタライズ２０４、錫めっき３４１、貫通スルーホール２０３を形成したメタルコア基板から構成されている。ここでコアメタル２０２は例えば銅やアルミや４２アロイなどの金属からなり、樹脂層２０１の層数との組み合わせによりメタルコア基板の線膨張係数を調整することができる。上記のＳＡＷチップ１００とメタルコア基板を図２、図３もしくは図７の工程により形成することにより形成される。本実施例ではあらかじめ外部封止部となる部位の樹脂層２０１に穴を形成し、コアメタル２０２を露出させる。この穴はレーザ加工やエッチングなどで形成可能である。この穴に必要に応じてメタライズ２０４を施し、さらに錫めっき３４１を形成する。メタライズ２０４はコアメタル２０２上に錫めっき３４１が形成しにくい場合に必要となり、銅、ニッケル、金などがあげられる。この錫めっき３４１の施されたメタルコア基板と上記ＳＡＷチップ１００の位置あわせを行い、加熱加圧することにより本実施例が実現される。
【００７０】
本実施例では第４の実施例の利点に加えて、外周封止部とコアメタル２０２を内部配線を形成せずに接続する事が可能である。
【００７１】
図１２は本発明による電子デバイスの第７の実施例を示す断面図であって図８および図９に対応する部位は同様な番号で示している。
【００７２】
本実施例は第６の実施例で提案した構造のチップ面および側面をシールド材で封止した構造である。シールド材６００の材質は金属もしくは金属コーティングされた樹脂など外周が金属に囲まれたものであればよい。
【００７３】
本実施例では第６の実施例の利点に合わせて、シールド材６００をもうけることにより、他部品からの電磁波の影響を防止したり、外力によるチップ欠けを防止する効果がある。さらには放熱性の向上も期待できる。シールド材６００の形成方法は外周を樹脂でモールドしたのちに表面に金属めっきを施す方法や、防水スプレーもしくは金属粒子入りスプレーを塗布する方法や、金属キャップを張り付ける方法などが考えられる。
【００７４】
図１３は本発明による電子デバイスの第８の実施例を示す断面図であって図８および図９に対応する部位は同様な番号で示している。
【００７５】
本実施例では、ＳＡＷチップ１００には櫛歯電極１１０、金バンプ４００、チップ電極１２０がもうけられており、基板はコアメタル２０２の両面に樹脂層２０１を張り付けたのちに配線形成を行い、内部電極２１０や外部電極２２０、メタライズ２０４、錫めっき３４１、貫通スルーホール２０３を形成したメタルコア基板と、シールド材接続用金めっき６１０を有するシールド材（キャップ）６００から構成されている。ここでコアメタル２０２は例えば銅やアルミや４２アロイなどの金属からなり、樹脂層２０１の層数との組み合わせによりメタルコア基板の線膨張係数を調整することができる。シールド材６００は金属製キャップや、樹脂の外周を金属で覆ったキャップなど外周が金属で覆われたものであればよい。本実施例ではあらかじめ外部封止部となる部位の樹脂層２０１に穴を形成し、コアメタル２０２を露出させる。この穴はレーザ加工やエッチングなどで形成可能である。この穴に必要に応じてメタライズ２０４を施し、さらに錫めっき３４１を形成する。メタライズ２０４はコアメタル２０２上に錫めっき３４１が形成しにくい場合に必要となり、銅、ニッケル、金などがあげられる。上記のＳＡＷチップ１００とメタルコア基板を図２、図３もしくは図７の工程により接続すると同時に上記シールド材６００を接続することにより本実施例は実現される。またシールド材接続用金めっき６１０ははんだでも代替可能である。
【００７６】
本実施例では第７の実施例の利点に加えて、ＳＡＷチップ１００とメタルコア基板の接続と、キャップ６００封止を一括で行えるため外周封止および外力からの保護のための工程が削減できる。
【００７７】
図１４は本発明による電子デバイスの第９の実施例を示す断面図であって図８に対応する部位は同様な番号で示している。
【００７８】
本実施例では、ＳＡＷチップ１００には櫛歯電極１１０、金バンプ４００および外周封止金突起４１０、チップ電極１２０がもうけられており、基板は内部電極２１０や外部電極２２０、メタライズ２０４、錫めっき３４１、貫通スルーホール２０３を形成したフレキシブル基板２０５から構成されている。本実施例では表裏に銅などで形成された配線、内部電極２１０および外部電極２２０を有したフレキシブル基板２０５のデバイス接続面の内部電極２１０と外部電極２２０もしくはすべての配線上に錫めっき３４１を形成する。配線、内部電極２１０および外部電極２２０上に錫めっき３４１が形成しにくい場合はメタライズ２０４を形成するが、それらはニッケル、金などで形成される。上記のＳＡＷチップ１００とフレキシブル基板２０５を図２もしくは図３の工程により接続することにより本実施例は実現される。また図８のように外周にシールド材６００を形成してもよい。シールド材接続用金めっき６１０ははんだでも代替可能である。
【００７９】
本実施例では第１の実施例の利点に加えて、フレキシブル基板２０５の剛性が低いため、使用環境下で温度変化が生じＳＡＷチップ１００とフレキシブル基板２０５の収縮量の違いが発生した場合でもフレキシブル基板２０５が変形することによって接続部への応力集中が低減される。また、フレキシブル基板はプリント基板やセラミック基板に比べて薄いため、電子回路素子の薄型化が可能である。
【００８０】
なお実施例２から９では、パッケージ基板２００の外周封止用内部電極２１３及び内部電極２１０のめっき材をＳｎとして説明したが、これをＡｇまたはＡｕに代え、ＳＡＷウエハ１０１の外周封止用チップ電極１２３及びチップ電極１２０のＡｕバンプとの間でＡｕ−Ａｇ、Ａｕ−ＡｌまたはＡｕ−Ａｕの拡散接合を行なってもよい。さらに外周封止部は図１５に示すように櫛歯電極１１０を取り囲むような形状でもよい。
【００８１】
次に図１６において、ＳＡＷウエハ１０１のチップ電極１２０あるいは外周封止用チップ電極１２３にＡｕめっきを選択的に施す方法をチップ電極１２０を例にとって説明する。
【００８２】
同図１６（ａ）において、櫛歯電極１１０およびチップ電極１２０が形成されたＳＡＷウエハ１０１を準備し、
同図１６（ｂ）において、前記ＳＡＷウエハ１０１のチップ電極１２０形成面にスパッタあるいは蒸着法にて、ＣｒあるいはＣｕをめっき下地膜１０２として成膜する。
【００８３】
同図１６（ｃ）において、前記めっき下地膜１０２が成膜されたＳＡＷウエハ１０１にめっきレジスト膜１０３をスピン塗布し、加熱硬化させる。
【００８４】
同図１６（ｄ）において、前記めっきレジスト膜１０３が塗布・硬化されたＳＡＷウエハ１０１のチップ電極１２０の部分に紫外線照射・現像し選択的にめっきレジスト膜１０３をパターニング除去１０４する。
【００８５】
同図１６（ｅ）において、前記めっきレジスト膜１０３がパターニング除去部１０４されたチップ電極１２０の部分に電解Ａｕめっき１０５を施す。
【００８６】
同図１６（ｆ）において、前記めっきレジスト膜１０３全体をアセトン等により除去する。
【００８７】
同図１６（ｇ）において、硝酸２アンモニウムセリウムにて櫛歯電極１１０及びチップ電極１２０のＡｌに影響を与えないよう、ＣｒあるいはＣｕからなるめっき下地膜１０２を選択エッチング除去し、所望のＡｕめっき付きＳＡＷウエハ１０１を形成する。
【００８８】
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【００８９】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【００９０】
本発明のチップサイズ表面弾性波デバイスは封止材料に流動性の低い導電性ガラスあるいは金属接合材を用いているため、流動防止枠がなくても封止材料が櫛歯状電極に達することはなく、流動防止枠の部品コストおよび組立コストの低減効果が期待できる。また、完全な気密封止が可能となり信頼性の向上が図れる。さらに、封止および電極接続をウエハレベルで行い，最終工程で個片のＳＡＷチップパッケージデバイスに分離するため、デバイスをチップそのもののサイズまで小さくできるとともに、ウエハサイズの一括工程で製造できるため大幅なコストダウンが可能となる。
【００９１】
本発明によれば、ＳＡＷフィルタの周波数特性の劣化を抑制することが可能になる。
【００９２】
本発明によれば、ＳＡＷフィルタをインターポーザ上に搭載したＭＣＭ構造を採用する電子モジュールの周波数特性の劣化を抑制しつつ、温度階層を高い温度で設定可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第１実施例の断面図である。
【図２】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第１実施例の分解斜視図である。
【図３】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第１実施例の組立工程図である。
【図４】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第２実施例の断面図である。
【図５】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第２実施例の分解斜視部である。
【図６】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第２実施例の作製工程図である。
【図７】本発明によるチップサイズ表面弾性波デバイスの第２実施例の他の組立工程図である。
【図８】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第３実施例の断面図である。
【図９】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第４実施例の断面図である。
【図１０】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第５実施例の断面図である。
【図１１】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第６実施例の断面図である。
【図１２】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第７実施例の断面図である。
【図１３】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第８実施例の断面図である。
【図１４】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの第９実施例の断面図である。
【図１５】本発明によるＳＡＷチップとパッケージ基板を接続する電子デバイスの他の外周封止図である。
【図１６】本発明によるＳＡＷウエハへの金めっきプロセス図である。
【図１７】従来の小形表面弾性波デバイスの概念図である。
【符号の説明】
１００…ＳＡＷチップ
１０１…ＳＡＷウエハ
１０２…めっき下地膜
１０３…めっきレジスト膜
１０４…パターニング除去部
１０５…Ａｕめっき
１１０…櫛歯電極
１２０…チップ電極
１２１…信号用チップ電極
１２２…ＧＮＤ用チップ電極
１２３…外周封止用チップ電極
２００…パッケージ基板
２０１…樹脂層
２０２…コアメタル
２０３…貫通スルーホール
２０４…メタライズ
２０５…フレキシブル基板
２１０…内部電極
２１１…信号用内部電極
２１２…ＧＮＤ用内部電極
２１３…外周封止用内部電極
２２０…外部電極
２３０…スルーホール
３００…導電性ガラス
３１０…封止樹脂
３２０…流動防止枠
３３０…封止部
３４０…金属接合部
４００…金バンプ
４１０…外周封止用金突起
５００…空隙
６００…シールド材
６１０…シールド材接続用金めっき
８１０…ダイサー
８２０…サンドブラスト
８３０…メタライズ
９００…チップサイズ表面弾性波デバイス
【図１】
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【図２】
2004214469.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2004214469.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2004214469.tif 000017
【図１６】
2004214469.tif 000018
【図１７】
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