(57)【要約】【課題】吐出ヘッドと基板との間の相対的な移動の際に生じる風圧に起因して、液状体の吐出精度が低下するのを防止した、液状体の吐出装置と液状体の吐出方法、及び電子機器を提供する。【解決手段】基板Ｓ上に液状体を吐出する吐出ヘッド３４を備え、基板Ｓと吐出ヘッド３４とを相対的に移動させつつ吐出ヘッド３４より液状体を吐出する液状体の吐出装置である。吐出ヘッド３４の、基板Ｓと吐出ヘッド３４との相対的な移動方向と対向する側に、吐出ヘッド３４の吐出面３４ａより下側にまで延びて形成された整流板３８ａが設けられている。【選択図】    図３
2004174401.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に液状体を吐出する吐出ヘッドを備え、前記基板と吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ吐出ヘッドより液状体を吐出する液状体の吐出装置において、
前記吐出ヘッドの、前記基板と吐出ヘッドとの相対的な移動方向と対向する側に、前記吐出ヘッドの吐出面より下側にまで延びて形成された整流板が設けられていることを特徴とする液状体の吐出装置。
【請求項２】
前記整流板は、前記移動方向と対向する面が、上方に向けて傾斜していることを特徴とする請求項１記載の液状体の吐出装置。
【請求項３】
前記吐出ヘッドが複数備えられていることを特徴とする請求項１又は２記載の液状体の吐出装置。
【請求項４】
基板上に液状体を吐出する吐出ヘッドを備えた液状体の吐出装置により、前記基板上に液状体を吐出するに際して、
前記基板と吐出ヘッドとの相対的な移動方向と対向する側に、前記吐出ヘッドの吐出面より下側にまで延びる整流板を配置しておき、その状態で、前記基板と吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ、前記吐出ヘッドより液状体を吐出することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれかに記載の液状体の吐出装置、あるいは請求項４記載の液状体の吐出方法によって構成要素の一部が形成されてなることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液状体の吐出精度の低下を防止した、液状体の吐出装置と液状体の吐出方法、及び電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液状体材料としてのインクを吐出する吐出ヘッドを備えた吐出装置として、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタが知られている。
このようなインクジェットプリンタでは、通常、ヘッドから吐出される微小なインク滴（液滴）は記録紙に着弾（付着）しても瞬時にその全てが記録紙に吸着されるとは限らず、一部が霧状に飛散してインクミストとなることがある。
【０００３】
このようにしてインクミストが発生すると、これがインクジェットヘッドのインク吐出口の周囲に飛散することから、インクジェットヘッドと記録紙との間の相対的な移動の際の風圧でこのインクミストが舞い上がり、記録紙やインクジェットプリンタに付着してこれらを汚してしまうといった問題がある。
そこで、このような問題を解消するため、従来、発生したインクミストを回収するインクミスト回収手段を備えたインクジェット方式画像形成装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−２６３８１４号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記のインクジェットヘッドは、近年では吐出ヘッドとして、民生用のインクジェットプリンタだけでなく工業用の吐出装置、すなわち各種デバイスの構成要素を形成するための装置としても使用されるようになってきている。例えば、液晶装置などにおけるカラーフィルタ、有機ＥＬ装置における発光層や正孔注入層、さらには各種デバイスの金属配線、マイクロレンズなどについても、その形成のために前記の吐出ヘッドが用いられるようになってきている。
【０００６】
このような工業用の吐出装置では、記録紙に比べて大きく重い基板に液滴を吐出することから、特にこの基板が移動する場合、吐出ヘッドと基板との間の相対的な移動の際に生じる風圧が記録紙の場合に比べ格段に大きくなる。また、生産性を上げるため、基板の移送速度が益々速くなる傾向にあるが、これに伴って前記の風圧が一層大きくなる傾向にある。
よって、従来の工業用の吐出装置では、発生したインクミストを回収するという以前に、前記の風圧によって吐出ヘッドから吐出される液滴に飛行曲がりが生じ、これにより着弾位置ずれが生じて吐出精度が低下するといった問題がある。
【０００７】
また、近年では、基板を大型化し、この基板に対応させるべく吐出装置に吐出ヘッドを複数備えさせ、これら吐出ヘッドからそれぞれに液滴を吐出させることにより、生産性を上げることがなされている。しかしながら、基板が大型化すればするほど、前記の風圧が大きくなり、液滴の飛行曲がりによる吐出精度の低下がより深刻になってしまう。
【０００８】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、吐出ヘッドと基板との間の相対的な移動の際に生じる風圧に起因して、液状体の吐出精度が低下するのを防止した、液状体の吐出装置と液状体の吐出方法、及び電子機器を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため本発明の液状体の吐出装置は、基板上に液状体を吐出する吐出ヘッドを備え、前記基板と吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ吐出ヘッドより液状体を吐出する液状体の吐出装置において、前記吐出ヘッドの、前記基板と吐出ヘッドとの相対的な移動方向と対向する側に、前記吐出ヘッドの吐出面より下側にまで延びて形成された整流板が設けられていることを特徴としている。
この液状体の吐出装置によれば、基板と吐出ヘッドとの間の相対的な移動の際に風が起こるものの、この相対的な移動方向と対向する側に整流板を設けているので、前記風の流れが整流板によって遮断され、吐出ヘッドの吐出面の下側にまで流れるのが防止される。したがって、この風（風圧）によって吐出ヘッドから吐出された液滴に飛行曲がりが生じ、これにより着弾位置ずれが生じて吐出精度が低下するといった問題が抑えられる。
【００１０】
また、前記液状体の吐出装置においては、前記整流板は、前記移動方向と対向する面が、上方に向けて傾斜しているのが好ましい。
このようにすれば、相対的な移動で起きた風が整流板に衝突した際、整流板の傾斜方向に沿って風が上方に向かうことから、風が基板とは反対の側に向かうことになり、したがって基板に対して風が直接当たることに起因して、基板上に吐出塗布された液状体に乾燥ムラが起こるなどの不都合を防止することができる。
【００１１】
また、前記液状体の吐出装置においては、前記吐出ヘッドが複数備えられていてもよい。
その場合に、処理対象となる基板を大型化しても、複数の吐出ヘッドからそれぞれに液滴を吐出させることでこれに対応することができ、しかも、基板が大型化しているにもかかわらず、整流板によって吐出精度が低下するのを防止することができる。
【００１２】
また、本発明の液状体の吐出方法においては、基板上に液状体を吐出する吐出ヘッドを備えた液状体の吐出装置により、前記基板上に液状体を吐出するに際して、前記基板と吐出ヘッドとの相対的な移動方向と対向する側に、前記吐出ヘッドの吐出面より下側にまで延びる整流板を配置しておき、その状態で、前記基板と吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ、前記吐出ヘッドより液状体を吐出することを特徴としている。
この液状体の吐出方法によれば、基板と吐出ヘッドとの間の相対的な移動の際に風が起こるものの、この相対的な移動方向と対向する側に整流板を配置しているので、前記風の流れを整流板によって遮断することができ、したがって吐出ヘッドの吐出面の下側にまで風が流れるのを防止することができる。よって、この風（風圧）によって吐出ヘッドから吐出された液滴に飛行曲がりが生じ、これにより着弾位置ずれが生じて吐出精度が低下するといった問題を抑えることができる。
【００１３】
本発明の電子機器では、前記の液状体の吐出装置、あるいは前記の液状体の吐出方法によって構成要素の一部が形成されてなることを特徴としている。
この電子機器によれば、良好な吐出精度で構成要素の一部が形成されているので、信頼性の高い良好なものとなる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
図１（ａ）、（ｂ）は、本発明の液状体の吐出装置（以下、吐出装置と記す）の一実施形態を示す図であり、図１（ａ）において符号３０は吐出装置である。この吐出装置３０は、ベース３１、基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３、吐出ヘッド３４を有した吐出ヘッド部４０、液状体タンク３５、等を有して構成されたもので、吐出ヘッド３４より基板（基体）Ｓに対して液状体を吐出し、液状体を膜状に塗布するものである。
【００１５】
ベース３１は、その上に前記基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３を設置したものである。
基板移動手段３２は、Ｙ軸方向に沿って形成されたガイドレール３６を有したもので、例えばリニアモータにより、スライダ３７をガイドレール３６に沿ってＹ軸方向に移動させるよう構成されたものである。
【００１６】
テーブル３９は、基板Ｓを位置決めし、保持するもので、前記スライダ３７上に保持固定されたものである。このテーブル３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをテーブル３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、テーブル３９の位置決めピン（図示せず）により、テーブル３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。このような構成のもとに基板Ｓは、スライダ３７の移動により、テーブル３９に伴われてＹ軸方向に移動させられ、搬送されるようになっている。テーブル３９には、吐出ヘッド３４がインクを捨打ちあるいは試し打ちするための捨打ちエリア（図示せず）が設けられている。この捨打ちエリアは、例えばＸ軸方向に延びて形成されたもので、テーブル３９の後端部側に設けられたものである。
【００１７】
ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、該走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向に吐出ヘッド３４を保持させるスライダ４２を移動可能に保持したものである。スライダ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これにより吐出ヘッド部４０をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。
【００１８】
吐出ヘッド部４０には、図１（ｂ）に示すように吐出ヘッド３４が備えられている。この吐出ヘッド３４には、図１（ａ）に示したように揺動位置決め手段としてのモータ４３、４４、４５、４６が接続されている。そして、モータ４３を作動させると、吐出ヘッド３４はＺ軸に沿って上下動し、Ｚ軸上での位置決めが可能になっている。なお、このＺ軸は、前記のＸ軸、Ｙ軸に対しそれぞれに直交する方向（上下方向）である。また、モータ４４を作動させると、吐出ヘッド３４は図１中のβ方向に沿って揺動し、位置決め可能になり、モータ４５を作動させると、吐出ヘッド３４はγ方向に揺動し、位置決め可能になり、モータ４６を作動させると、吐出ヘッド３４はα方向に揺動し、位置決め可能になる。
【００１９】
このように吐出ヘッド３４は、スライダ４２上において、Ｚ軸方向に直線移動して位置決め可能となり、かつ、α、β、γに沿って揺動し、位置決め可能となっている。したがって、吐出ヘッド３４のインク吐出面を、テーブル３９側の基板Ｓに対する位置あるいは姿勢を、正確にコントロールすることができるようになっている。
ここで、吐出ヘッド３４は、図２（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数のキャビティ１５…とリザーバ１６とが形成されており、これらキャビティ１５…とリザーバ１６とは流路１７を介して連通している。
【００２０】
各キャビティ１５とリザーバ１６の内部とは液状体で満たされるようになっており、これらの間の流路１７はリザーバ１６からキャビティ１５に液状体を供給する供給口として機能するようになっている。また、ノズルプレート１２には、キャビティ１５から液状体を噴射するための孔状のノズル１８が縦横に整列した状態で複数形成されている。一方、振動板１３には、リザーバ１６内に開口する孔１９が形成されており、この孔１９には液状体タンク３５がチューブ２４（図１参照）を介して接続されている。
【００２１】
また、振動板１３のキャビティ１５に向く面と反対の側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１、２１間に挟持され、通電により外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたもので、本発明における吐出手段として機能するものである。
【００２２】
このような構成のもとに圧電素子２０が接合された振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲し、これによりキャビティ１５の容積を増大させる。すると、キャビティ１５内とリザーバ１６内とが連通しており、リザーバ１６内に液状体が充填されている場合には、キャビティ１５内に増大した容積分に相当する液状体が、リザーバ１６から流路１７を介して流入する。
そして、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。よって、キャビティ１５も元の容積に戻ることから、キャビティ１５内部の液状体の圧力が上昇し、ノズル１８から液状体の液滴２２が吐出される。
【００２３】
なお、吐出ヘッドの吐出手段としては、前記の圧電素子（ピエゾ素子）２０を用いた電気機械変換体以外でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式や、帯電制御型、加圧振動型といった連続方式、静電吸引方式、さらにはレーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用で液状体を吐出させる方式を採用することもできる。
【００２４】
また、この吐出ヘッド３４には、図１（ｂ）に示したようにその周囲、すなわちＸ軸方向における両側と、Ｙ軸方向における両側との四周に、整流板３８が配設されている。すなわち、この吐出ヘッド３４は、前述したようにガイドレール３３ｄ、３３ｄ上をＸ軸方向に移動するようになっており、また、基板ＳがＹ軸方向に移動させられるようになっていることから、基板Ｓと吐出ヘッド３４とは、その相対的な移動方向がＸ軸方向、Ｙ軸方向となっている。なお、これら吐出ヘッド３４の移動、基板Ｓの移動は、基本的に往復移動となっていることから、基板Ｓと吐出ヘッド３４との相対的な移動方向は、Ｘ軸方向における両側、Ｙ軸方向における両側となっている。よって、この相対的な移動方向と対向する側として、前述したように吐出ヘッド３４の四周に、すなわち吐出ヘッド３４を囲った状態で整流板３８が配設されているのである。
【００２５】
このような整流板３８は、基板Ｓの移動方向であるＹ軸方向に対向する面が、図３（ａ）に示すように基板Ｓ面に対して直交して、すなわち鉛直方向に延びて形成されていてもよく、図３（ｂ）に示すように上方に向けて傾斜していてもよい。なお、図３（ａ）、（ｂ）では、Ｙ軸方向に対向する整流板３８ａ、３８ａのみを模式的に示している。
【００２６】
また、このような整流板３８（３８ａ）は、図３（ａ）、（ｂ）に示したように、吐出ヘッド３４の吐出面３４ａより下側にまで延びて形成されている。これによって整流板３８ａ、３８ａは、図（ａ）、（ｂ）中矢印Ａで示す基板Ｓの移動（基板Ｓと吐出ヘッド３４との相対的な移動）によって図３（ａ）、（ｂ）中矢印Ｗで示すような風が起こっても、この風を吐出ヘッド３４の吐出面３４ａより下側に通すことなくこれを遮断するようになっている。すなわち、図３（ａ）に示した例では、風が基板Ｓの進行方向と逆の方向に反射され、また図３（ａ）に示した例では、風が基板Ｓの傾斜方向に沿って上方に向かうようになる。
なお、図３（ａ）、（ｂ）ではＹ軸方向に対向する整流板３８ａ、３８ａのみを示したが、Ｘ軸方向に対向する整流板（図示せず）でも、吐出ヘッド３４が移動することで起こる風に対し同様に作用するようになっている。
【００２７】
液状体タンク３５は、図１に示したように吐出ヘッド３４の近傍に配置されたもので、吐出によって形成する構成要素の液状材料（液状体）を貯留したものである。この液状体タンク３５には、その内部、あるいはその外側にヒータ（図示せず）が設けられている。このヒータは、貯留している液状体を加熱するためのもので、特に液状体が高粘性のものの場合などに、加熱することで粘度を低くし、液状体タンク３５から吐出ヘッド３４への液状体の流入を容易にできるようにしたものである。
【００２８】
次に、このような構成の吐出装置３０の動作を基に、本発明の液状体の吐出方法の一例を説明する。
まず、基板Ｓを基板移動手段３２上に載せ、ここに保持固定させる。
次いで、基板Ｓを基板移動手段３２で移動させるとともに、吐出ヘッド３４を基板Ｓ上の吐出位置に移動させ、かつ吐出動作させることにより、液状体を基板Ｓ上の所望位置に吐出する。このとき、基板Ｓと吐出ヘッド３４との間の相対的な移動により、これらの間に風が起こる。具体的には、基板Ｓが移動した際、その表面の粘性抵抗などによって図３（ａ）、（ｂ）で示したようにＹ軸方向に風が起こる。また、吐出ヘッド３４が移動した際、空気層を通過することによってＸ軸方向の風を受けるのと同じ状態となる。
【００２９】
しかしながら、このような風が起こっても、吐出ヘッド３４と基板Ｓとの相対的な移送方向と対向する側に整流板３８を配置しているので、例えばＹ軸方向においては、図３（ａ）、（ｂ）中矢印で示したように起こった風の流れを整流板３８によって遮断し、風が吐出ヘッド３４の吐出面３４ａの下側にまで流れるのを防ぐことができる。したがって、吐出ヘッド３４から吐出された液滴２２に風（風圧）があたることで、飛行曲がりが生じ、これにより着弾位置ずれが生じて吐出精度が低下するといったことを防止することができる。なお、Ｘ軸方向においても、整流板３８によって同様に風を遮断することができることから、Ｙ軸方向の場合と同様に液滴２２の吐出精度の低下を防止することができる。
【００３０】
その後、このようにして液状体を基板Ｓ上に吐出し塗布したら、この基板Ｓを乾燥工程に送る。そして、温風炉やホットプレート、赤外線照射炉などによって乾燥処理を行い、膜中に残った溶媒や分散媒を蒸発させることにより、所望の構成要素を形成する。
【００３１】
このような液状体の吐出装置３０とこれによる液状体の吐出方法によれば、基板Ｓと吐出ヘッド３４との間の相対的な移動によって起こる風に対し、これを整流板３８で遮断するようにしたので、風が吐出ヘッド３４の吐出面３４ａの下側にまで流れるのを防止することができ、したがって、この風（風圧）によって吐出ヘッドから吐出された液滴に飛行曲がりが生じ、これにより着弾位置ずれが生じて吐出精度が低下するといったことを防止することができる。
【００３２】
また、整流板３８ａを、その移動方向と対向する面が図３（ｂ）に示したように上方に向けて傾斜するように形成すれば、風が整流板３８ａに衝突した際、整流板３８ａの傾斜方向に沿って風が上方に向かい、基板Ｓとは反対の側に向かうことから、基板Ｓに対して風が直接当たることを防止することができ、したがって基板Ｓ上に吐出塗布された液状体が風によって部分的に乾燥され、乾燥ムラが起こるといった不都合を防止することができる。
【００３３】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変更が可能である。例えば、生産性向上のために大型化された基板に対応するべく、吐出ヘッドを複数備えた吐出装置に本発明を適用することもできる。
図４（ａ）、（ｂ）は複数の吐出ヘッド３４…を備えた吐出ヘッド群５０の底面を示す図である。図４（ａ）、（ｂ）に示したように、本例の吐出ヘッド群５０は、矩形状の保持板５１に前記の吐出ヘッド３４を６個ずつ２列にして計１２個配置し、保持固定したものである。これら吐出ヘッド３４…は、通常、所定角度斜めに配置することにより、そのノズル間の見掛け上のピッチを短くし、吐出間隔をより狭めて吐出精度を高めるようにしている。なお、この吐出ヘッド群５０は、大型の基板に対応した大きさとなっていることから、基本的にはこれが図１に示したＸ軸方向に移動することはなく、基板のみが図１に示したＹ軸方向に移動するようになっている。ただし、基板がその印字幅を超える大型のものであって、これに塗布を行う場合には、Ｘ軸方向への移動（改行動作）を行うようになっている。
【００３４】
このような吐出ヘッド群５０においても、基板と吐出ヘッド３４…との相対的な移動方向と対向する側に、整流板３８ａが設けられている。図４（ａ）に示した例では、保持板５１の両方の長辺側、すなわち図１に示したＹ軸方向に向く側にそれぞれ整流板３８ａが配設されている。これら整流板３８ａは、全ての吐出ヘッド３４…の吐出面３４ａより下側にまで延びて形成されたもので、一列をなす６個の吐出ヘッド３４…の全ての側方を覆うようにして、配設されたものである。
【００３５】
一方、図４（ｂ）に示した例では、個々の吐出ヘッド３４にそれぞれ独立して整流板３８ａ、３８ａが配設されており、これによって風による影響をより確実に排除するようになっている。
なお、これら図４（ａ）に示した整流板３８ａについても、また図４（ｂ）に示した整流板３８ａについても、その形状については、図３（ａ）に示したように直板状のものでもよく、また図３（ｂ）に示したように移動方向と対向する面が上方に向けて傾斜したものでもよい。
【００３６】
このような吐出ヘッド群５０を備えた吐出装置にあっては、特に処理対象となる基板が大型のものであっても、複数の吐出ヘッド３４…からそれぞれに液滴を吐出させることでこれに対応することができ、しかも、基板が大型化しているにもかかわらず、整流板３８ａによって吐出精度が低下するのを防止することができる。
【００３７】
次に、本発明の適用例として、有機ＥＬ装置の製造例について説明する。
図５は、前記吐出装置により一部の構成要素が製造された有機ＥＬ装置の側断面図であり、まずこの有機ＥＬ装置の概略構成を説明する。
図５に示すようにこの有機ＥＬ装置３０１は、基板３１１、回路素子部３２１、画素電極３３１、バンク部３４１、発光素子３５１、陰極３６１（対向電極）、および封止基板３７１から構成された有機ＥＬ素子３０２に、フレキシブル基板（図示略）の配線および駆動ＩＣ（図示略）を接続したものである。回路素子部３２１は、ＴＦＴ等からなるアクティブ素子が基板３１１上に形成され、複数の画素電極３３１が回路素子部３２１上に整列して構成されたものである。そして、各画素電極３３１間にはバンク部３４１が格子状に形成されており、バンク部３４１により生じた凹部開口３４４に、発光素子３５１が形成されている。陰極３６１は、バンク部３４１および発光素子３５１の上部全面に形成され、陰極３６１の上には封止用基板３７１が積層されている。
【００３８】
有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置３０１の製造プロセスは、バンク部３４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子３５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子３５１を形成する発光素子形成工程と、陰極３６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板３７１を陰極３６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
【００３９】
発光素子形成工程は、凹部開口３４４、すなわち画素電極３３１上に正孔注入層３５２および発光層３５３を形成することにより発光素子３５１を形成するもので、正孔注入層形成工程と発光層形成工程とを具備している。そして、正孔注入層形成工程は、正孔注入層３５２を形成するための第１組成物（液状体）を各画素電極３３１上に吐出する第１吐出工程と、吐出された第１組成物を乾燥させて正孔注入層３５２を形成する第１乾燥工程とを有し、発光層形成工程は、発光層３５３を形成するための第２組成物（液状体）を正孔注入層３５２の上に吐出する第２吐出工程と、吐出された第２組成物を乾燥させて発光層３５３を形成する第２乾燥工程とを有している。
【００４０】
この発光素子形成工程において、正孔注入層形成工程における第１吐出工程と、発光層形成工程における第２吐出工程とで、前記の吐出装置を用いて各液状体の吐出を行っている。
この有機ＥＬ装置３０１の製造においても、正孔注入層３５２、および発光層３５３の形成のための吐出を精度良く行えることから、信頼性の高い良好な有機ＥＬ装置３０１を製造することができる。
【００４１】
なお、本発明が適用されるデバイス、電子機器としては、前記のものに限定されることなく、例えば電気泳動装置や液晶表示装置、プラズマディスプレイ装置、各種半導体装置など種々のものの製造に適用可能である。
【００４２】
前記吐出装置によって一部の構成要素を形成した電子機器の一例を説明する。図６は、このような電子機器の一例としての携帯電話を示す斜視図である。図６において符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は前記の有機ＥＬ装置３０１を用いた表示部を示している。
図６に示した電子機器（携帯電話）は、前記の有機ＥＬ装置からなる表示部１００１を備えているので、特に表示部１００１が高い信頼性を有し、良好なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明の吐出装置の概略構成図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は吐出ヘッドの概略構成図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は整流板を説明するための模式図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は吐出ヘッド群の底面図である。
【図５】有機ＥＬ装置の側断面図である。
【図６】電子機器の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
３０…吐出装置、３４…吐出ヘッド、３４ａ…吐出面、
３８、３８ａ…整流板、５０…吐出ヘッド群、Ｓ…基板（基体）、
１０００…携帯電話本体、１００１…表示部
【図１】
2004174401.tif 000003
【図２】
2004174401.tif 000004
【図３】
2004174401.tif 000005
【図４】
2004174401.tif 000006
【図５】
2004174401.tif 000007
【図６】
2004174401.tif 000008