(57)【要約】【課題】高い洗浄能力を維持しながら、出荷トレイの確実な固定を図ることができるエアブロー装置を提供すること。【解決手段】本発明のエアブロー装置１１は、基台１２、トレイ固定治具６１、クリーナーヘッド２３、磁気発生手段７１などを備える。トレイ固定治具６１は、部品１が載置される出荷トレイ４１を固定すべく、基台１２に配設されている。クリーナーヘッド１５は、エア供給部３５及びエア排出部３６を有し、トレイ固定治具６１の表面側の位置に移動可能に配設されている。磁気発生手段７１は、トレイ固定治具６１の裏面側の位置に配設されている。この装置１１を用いた洗浄方法では、磁性材料からなる押さえ治具５１を出荷トレイ４１の表面上に重ね合わせて配置する。この状態で磁気発生手段７１を作動させ、押さえ治具５１をトレイ固定治具６１側方向に吸引固定しながら、エアブロー洗浄を行う。【選択図】　図５
2004121887.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
部品が載置される出荷トレイを固定すべく、前記基台に配設されたトレイ固定治具と、
エア供給部及びエア排出部を有し、前記トレイ固定治具の表面側の位置に移動可能に配設されたクリーナーヘッドと、
前記トレイ固定治具の裏面側の位置に配設された磁気発生手段と
を備えたことを特徴とするエアブロー装置。
【請求項２】
前記磁気発生手段は、電磁石であることを特徴とする請求項１に記載のエアブロー装置。
【請求項３】
前記出荷トレイを前記トレイ固定治具側方向に吸引して固定するための真空吸着手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のエアブロー装置。
【請求項４】
前記電磁石は磁性材料と非磁性材料とを交互に積層した構造を有するとともに、前記トレイ固定治具も前記電磁石と同様の構造を有することを特徴とする請求項２または３に記載のエアブロー装置。
【請求項５】
基台と、部品が載置される出荷トレイを固定すべく、前記基台に配設されたトレイ固定治具と、エア供給部及びエア排出部を有し、前記トレイ固定治具の表面側の位置に移動可能に配設されたクリーナーヘッドと、前記トレイ固定治具の裏面側の位置に配設された磁気発生手段とを備えたエアブロー装置を用いて、前記部品を洗浄する工程を含む部品の製造方法において、
磁性材料からなる押さえ治具を前記出荷トレイの表面上に重ね合わせて配置し、この状態で前記磁気発生手段を作動させることにより、前記押さえ治具を前記トレイ固定治具側方向に吸引して固定しながら、エアブロー洗浄を行う工程を含むことを特徴とする部品の製造方法。
【請求項６】
前記エアブロー洗浄工程の後、前記部品から磁気を除去する脱磁工程を行うことを特徴とする請求項５に記載の部品の製造方法。
【請求項７】
前記脱磁工程では、前記磁気発生手段である電磁石が発生する磁極の向きを、前記エアブロー洗浄工程のときは逆向きにすることを特徴とする請求項６に記載の部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、出荷トレイ上に載置された電子部品にエアを吹き付けるとともに、前記エアを異物とともに吸引することにより、前記電子部品を洗浄するエアブロー装置、及びそれを用いた部品の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、セラミックパッケージ等の電子部品を出荷トレイ上に多数載置したまま洗浄する方法として、エアブロー装置を用いた洗浄方法がよく知られている（例えば特許文献１，２参照）。かかるエアブロー装置は、一般に、基台、出荷トレイを固定すべく基台に設けられたトレイ固定治具、エアの吹き付け及び吸引を行うクリーナーヘッド等を備えている。クリーナーヘッドは、出荷トレイの固定されたトレイ固定治具の上方位置に移動し、その位置において電子部品にエアを吹き付ける。電子部品の表面に塵などの異物が付着している場合、その異物は、エアの勢いによって吹き飛ばされる。クリーナーヘッドは同時にエアの吸引を行っているため、前記異物はエアとともに吸引されて除去される。その結果、電子部品が洗浄されるようになっている。なお、エアブローの勢いが強すぎると、異物ばかりでなく電子部品自体が吹き飛んだり、出荷トレイが位置ずれしたりするおそれがある。そのため、従来では、電子部品に対応した箇所に抜き孔を有する板状の押さえ治具を用い、その押さえ治具を出荷トレイ上に重ね合わせて配置するという対策を採っている。
【０００３】
ところが、このような対策では、出荷トレイをトレイ固定治具に対して十分に固定することができないので、さらにメカチャックを用いて押さえ治具及び出荷トレイを上方から機械的に押圧してトレイ固定治具に固定するという対策が採られる場合があった。
【０００４】
【特許文献１】
特開平２００２−１５１８９６号公報
【特許文献２】
特開平２００２−１３４５８９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、メカチャックを設けるためには、トレイ固定治具の上方領域にある程度大きいスペースを確保しておく必要がある。このため、メカチャックを避けてさらにその上方にクリーナーヘッドを配設したとすると、トレイ固定治具上の出荷トレイと、クリーナーヘッドとの距離が大きくなってしまう。ゆえに、出荷トレイ上の電子部品に対して近距離からエアブローを効果的に作用させることができず、結果として洗浄能力の低下につながるという問題があった。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、高い洗浄能力を維持しながら、出荷トレイの確実な固定を図ることができるエアブロー装置、及びそれを用いた部品の製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
そして上記課題を解決するための手段としては、基台と、部品が載置される出荷トレイを固定すべく、前記基台に配設されたトレイ固定治具と、エア供給部及びエア排出部を有し、前記トレイ固定治具の表面側の位置に移動可能に配設されたクリーナーヘッドと、前記トレイ固定治具の裏面側の位置に配設された磁気発生手段とを備えたことを特徴とするエアブロー装置がある。
【０００８】
従って、この構成によると、トレイ固定治具の裏面側の位置に磁気発生手段を配設しているため、トレイ固定治具の表面側の位置に例えば磁性材料を配置しておけば、その磁性材料とともに出荷トレイをトレイ固定治具側方向に磁気的に吸引して固定することができる。それゆえ、メカチャックを用いて出荷トレイ等を上方から機械的に押圧して固定しなくても、出荷トレイをトレイ固定治具に対して確実に固定することができる。また、この構成によれば、トレイ固定治具の上方領域にそれほど大きなスペースを確保しておく必要がないため、トレイ固定治具上の出荷トレイとクリーナーヘッドとが比較的近接した状態となる。よって、出荷トレイ上の部品に対して近距離からエアブローを効果的に作用させることができる。つまり、高い洗浄能力を維持することができる。
【０００９】
なお、この装置による洗浄の対象となる部品とは、比較的寸法が小さく出荷トレイ上に載置された状態で複数同時に洗浄されるのが望ましい各種の部品を指し、その好適例としては電子部品を挙げることができる。前記電子部品としては、具体的には、オーガニックパッケージやセラミックパッケージなどの半導体パッケージや、各種チップ部品（ＩＣチップ、チップ抵抗、チップコンデンサ、チップトランジスタ、チップダイオード、チップコイル等）などがある。勿論、この装置の洗浄対象は、電子部品以外の部品であってもよい。
【００１０】
ここで、このエアブロー装置に使用可能な磁気発生手段としては、例えば磁石（永久磁石や電磁石）などを挙げることができる。かかる磁気発生手段は、トレイ固定治具の裏面側の位置に配設される必要がある。仮にこれをトレイ固定治具の表面側の位置に配設しようとすると、トレイ固定治具の上方領域にある程度大きいスペースを確保しておく必要性が生じ、メカチャックのときと同様の問題が起こるからである。その点、トレイ固定治具の裏面側の位置であれば、ある程度スペース的な余裕もあり、そこに磁気発生手段を配設する構成であれば、トレイ固定治具上の出荷トレイとクリーナーヘッドとの距離の増大を回避できるからである。
【００１１】
このエアブロー装置における磁気発生手段は電磁石であることがよい。電気エネルギーを磁気エネルギーに変換する電磁石であれば、供給する電流の向きや大きさ等を任意に変更することにより、磁極の向きや強さを比較的容易にコンロトールすることができる。よって、例えば磁極の向きや強さを変更する必要がある場合（後述する脱磁処理を実施する場合など）に好都合となる。これに対して永久磁石は、電気エネルギーが不要な分だけ経済的である反面、電磁石に比べて磁極の向きや強さをコントロールすることが難しい。また、磁極の向きや強さのコントロールを機械的手段により行おうとすれば、構成が複雑化したり大型化したりするおそれがある。
【００１２】
このエアブロー装置は、出荷トレイを前記トレイ固定治具側方向に吸引して固定するための真空吸着手段をさらに備えることがよい。真空吸着手段があると、真空吸引力の作用によって、出荷トレイをトレイ固定治具側方向に吸着して固定することができる。それゆえ、磁気発生手段の磁気吸引力に加えて真空吸着手段の真空吸引力が働くこととなり、出荷トレイをトレイ固定治具に対してよりいっそう確実に固定することができる。また、この構成であると、出荷トレイの裏面側などに付着した異物も真空引きにより吸引除去することができ、より高いクリーン度を実現することができる。
【００１３】
エアブロー装置に真空吸着手段を設けた構成の場合、前記真空吸着手段（例えば真空ポンプ等）と、トレイ固定治具のトレイ載置面にて開口する真空引き穴とを連通する真空引き通路を形成しておく必要がある。この場合、仮に真空引き通路の一部をトレイ固定治具内に透設するとなると、トレイ固定治具の厚さ方向の寸法が大きくなってしまう。すると、トレイ固定治具の裏面側位置に配設された磁気発生手段の磁力が、トレイ固定治具の表面側にまで及びにくくなるおそれがある。
【００１４】
そこで前記トレイ固定治具の少なくとも一部を磁性材料で構成することがよく、さらには前記電磁石が磁性材料と非磁性材料とを交互に積層した構造を有する場合には、トレイ固定治具も前記電磁石と同様の積層構造を有したものとすることが望ましい。このような磁性材料を用いてトレイ固定治具を構成しておけば、磁気発生手段の発生した磁束を、そのトレイ固定治具内に効率よく流すことができる。よって、磁気発生手段の磁力をトレイ固定治具の表面側にまで十分に及ばせることが可能となり、トレイ固定治具に対する出荷トレイの固定強度の低下を防止することができる。
【００１５】
また、別の解決手段としては、基台と、部品が載置される出荷トレイを固定すべく、前記基台に配設されたトレイ固定治具と、エア供給部及びエア排出部を有し、前記トレイ固定治具の表面側の位置に移動可能に配設されたクリーナーヘッドと、前記トレイ固定治具の裏面側の位置に配設された磁気発生手段とを備えたエアブロー装置を用いて、前記部品を洗浄する工程を含む部品の製造方法において、磁性材料からなる押さえ治具を前記出荷トレイの表面上に重ね合わせて配置し、この状態で前記磁気発生手段を作動させることにより、前記押さえ治具を前記トレイ固定治具側方向に吸引して固定しながら、エアブロー洗浄を行う工程を含むことを特徴とする部品の製造方法がある。
【００１６】
従って、上記製造方法によると、押さえ治具を出荷トレイの表面上に重ね合わせて配置し、さらにこれをトレイ固定治具側方向に磁気的に吸引することにより、エアブロー洗浄時に出荷トレイをトレイ固定治具側方向に吸引して固定することができる。よって、エアブローの勢いを強く設定したとしても、部品の吹き飛びや出荷トレイの位置ずれ等を防止することができ、部品を効果的に洗浄することができる。
【００１７】
前記押さえ治具とは、エアブローによる位置ずれを防止すべく出荷トレイを押さえる機能、及び、エアブローによる吹き飛びを防止すべく部品を押える機能の２つを有するものであることが好ましい。かかる押さえ治具は、トレイ固定治具の上方領域に大きいスペースを確保するためにも、厚さ方向の寸法の小さい板状であることが好ましい。また、直接的な被吸着物である前記押さえ治具は磁性材料からなることが必要とされるが、それ自体が磁石ではないことが望ましい。磁石からなる押さえ治具であったとしても、磁気発生手段の直接的な被吸着物となって出荷トレイを固定することは可能である。しかしながら、磁性材料を含んで構成された部品をエアブロー洗浄する場合には、当該部品が押さえ治具側に吸着され、部品の疵付きや破損等の原因となってしまうからである。従って、部品の疵付き防止等を図るためにも、磁石でない磁性材料（一部の鋼材など）を用いて押さえ治具を構成することが好適である。
【００１８】
ここで、磁性材料を含んで構成された部品の例としては、磁性材料である金めっきが施されたパッドを有する半導体パッケージや、磁性材料であるコバール製のリングやリードフレーム等を有する半導体パッケージなどを挙げることができる。
【００１９】
前記エアブロー洗浄工程の後、前記部品から磁気を除去する脱磁工程を行うことがよい。その理由は、磁気発生手段を作動させてエアブロー洗浄を行うと、部品が磁気を帯びてしまう場合があり、その帯磁した部品を製品として出荷してしまうと、誤動作等を発生させる原因となるからである。ゆえに、帯磁した部品から磁気を除去することで、誤動作等の発生を未然に解消するためである。
【００２０】
前記脱磁工程では、前記磁気発生手段である電磁石が発生する磁極の向きを、前記エアブロー洗浄工程のときは逆向きにすることがよい。このようにすれば、エアブロー洗浄のときとは逆向きの磁力が部品に作用する結果、帯磁した部品の磁気を確実に除去することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施形態の超音波エアブロー装置１１及びそれを用いた電子部品の製造方法を図１〜図５に基づき詳細に説明する。なお、本実施形態における洗浄対象は、水晶振動子及びＳＡＷフィルタを有する矩形状のセラミックパッケージ１（部品）である。かかるセラミックパッケージ１の外表面には、金めっきが施された複数のパッドが形成されている。
【００２２】
図１は、本実施形態における超音波エアブロー装置１１を示す部分概略図である。図２は、出荷トレイ４１を示す平面図である。図３は、押さえ治具５１を示す平面図である。図４は、トレイ固定治具６１を示す平面図である。図５は、使用時において出荷トレイ４１、押さえ治具５１、トレイ固定治具６１等を重ね合わせた状態を示す要部拡大断面図である。
【００２３】
図１に示されるように、本実施形態の超音波エアブロー装置１１は、基台１２を備えている。基台１２の上面１３は、図１にて二点鎖線で示される防塵カバー１４によって全体的に覆われている。基台１２の上面１３には、クリーナーヘッド１５及びそれを支持及び駆動するための各種構成が配設されている。
【００２４】
前記上面１３には水平方向（即ち図１の左右方向）に沿って延びるようにガイドレール１６が設けられている。このガイドレール１６上には一対のスライダ部材１７が摺動可能に係合され、それらのスライダ部材１７の上部にはヘッド支持体１８が一体的に設けられている。ヘッド支持体１８の上端部には第１モータブラケット１９が設けられ、その第１モータブラケット１９を介して第１モータ２０が下向きで固定されている。ヘッド部上下方向駆動手段である前記第１モータ２０の有する回転軸は、上下方向駆動用ボールねじのねじ部材２１に連結されている。上下方向に沿って延びる前記ねじ部材２１は、上下方向駆動用ボールねじを構成するナット部材２２に螺合されている。また、ナット部２２はヘッド本体２３と連結されている。よって、第１モータ２０を駆動させてねじ部材２１を回転させると、その回転運動がナット部材２２によって直線運動に変換され、ナット部２２及びヘッド本体２３が一体的に上下動するようになっている。
【００２５】
また、図１においてヘッド支持体１８の右脇には、第２モータブラケット３１が設けられ、その第２モータブラケット３１を介して第２モータ３２が横向きで固定されている。ヘッド部水平方向駆動手段である前記第２モータ３２の有する回転軸は、水平方向駆動用ボールねじのねじ部材３３に連結されている。水平方向に沿って延びる前記ねじ部材３３は、水平方向駆動用ボールねじを構成するナット部材３４に螺合されている。また、ナット部３４はヘッド支持体１８に対して固定されている。よって、第２モータ３２を駆動させてねじ部材３３を回転させると、その回転運動がナット部材３４によって直線運動に変換され、ナット部３４、ヘッド支持体１８及びヘッド本体２３が一体的に水平移動するようになっている。なお、図１においてはヘッド本体２３がトレイ固定治具６１のある位置付近まで移動した状態も併せて示されている（同図の二点鎖線参照）。
【００２６】
ヘッド本体２３の側部には、エア供給部であるエア供給管３５の一端が接続されるとともに、エア排出部であるエア排出管３６の一端が接続されている。エア供給管３５の他端は図示しないエアコンプレッサに接続されている。そして、このエアコンプレッサからは、超音波振動を付与した清浄なエアが圧送されてくるようになっている。一方、エア排出管３６の他端は図示しない真空ポンプに接続されており、そのヘッド本体２３側から真空ポンプ側へと空気が吸引されるようになっている。なお、エア供給管３５の一部及びエア排出管３６の一部には、伸縮性のある材料が用いられており、ヘッド本体２３の上下動、水平動に支障を来たさない構成となっている。
【００２７】
図１に示されるように、基台１２の上面１３における所定箇所には、トレイ固定治具設置部３７が形成されている。そして、このトレイ固定治具設置部３７には、出荷トレイ４１を固定するためのトレイ固定治具６１が設置されている。
【００２８】
図２，図５に示されるように、本実施形態の出荷トレイ４１は、ＰＥＴからなる透明な板状成形品であって、平面視で矩形状を呈している。この出荷トレイ４１の表面側において外周部を除くほぼ全域には、部品収容用の多数の凹部４２が形成されている。かかる凹部４２は、上記セラミックパッケージ１（部品）を収容可能な大きさに形成されており、かつ出荷トレイ４１の表面側において格子状にレイアウトされている。出荷トレイ４１の表面側外周部には、全体の強度向上等のために突条４３が形成されている。この突条４３の裏面側には係止溝４４が位置しており、かかる係止溝４４はトレイ固定治具６１側の所定部位に対して係止可能となっている。
【００２９】
図３，図５に示されるように、出荷トレイ４１の表面側に載置される押さえ治具５１は、磁性を有する鋼材の一種であるＳＵＳ４３０からなる板材を用いて形成されている。本実施形態の押さえ治具５１は、出荷トレイ４１よりも一回り寸法の小さい略矩形状の部材であり、エッチングにより形成された多数の抜き孔５２を有している。これらの抜き孔５２は押さえ治具５１の表裏面を貫通しているため、前記抜き孔５２を介してエアが通過可能となっている。また、これらの抜き孔５２は、出荷トレイ４１における部品収容用の凹部４２に対応して形成されている。抜き孔５２の中央部には十字状の梁部５３が設けられており、この梁部５３があることによってセラミックパッケージ１の飛び出しが確実に防止されている。そして、かかる押さえ治具５１は、出荷トレイ４１の表面側に重ね合わせた状態でかつ突条４３によって四方から包囲された状態で載置されるようになっている。
【００３０】
図４，図５に示されるように、本実施形態のトレイ固定治具６１は、複数種の金属材料を用いて構成されており、平面視で略矩形状となっている。トレイ固定治具６１を構成する治具本体６２の上面（即ちトレイ載置面６７）には、出荷トレイ４１の外形寸法にほぼ等しい形状及び大きさのトレイ係止リブ６３が形成されている。そして、このトレイ係止リブ６３に出荷トレイ４１の裏面側の係止溝４４が係止されることにより、出荷トレイ４１がトレイ固定治具６１に位置決めされて固定されるようになっている。治具本体６２のトレイ載置面６７においてトレイ係止リブ６３によって包囲される領域内には、出荷トレイ４１の凹部４２に対応して、前記凹部４２よりも若干大きな逃がし穴６４が多数形成されている。従って、出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１に固定した場合には、各逃がし穴６４内に各凹部４２が配置されて逃がされた状態となる。また、前記領域内においてはトレイ載置面６７にて開口する複数の真空引き穴６５が散点的に形成されている。また、治具本体６２内には複数の真空引き通路６６が透設されている。かかる真空引き通路６６の始端は前記真空引き穴６５に連通される一方、終端は図示しない真空ポンプ（真空吸着手段）に接続されている。従って、真空ポンプを作動させることにより、真空引き通路６６を介して真空引き穴６５の周囲の空気が吸引され、これにより出荷トレイ４１の裏面がトレイ載置面６７に固定されるようになっている。
【００３１】
図１，図５に示されるように、本実施形態の場合、トレイ固定治具６１の裏面側の位置には、磁気発生手段である電磁石７１が配設されている。かかる電磁石７１は、磁性材料である鉄層７２と非磁性材料である真鍮層７３とを交互に横方向に並べて積層した構造を有している。かかる電磁石７１は、方向切換スイッチを介して電源に電気的に接続されている（いずれも図示略）。従って、電磁石７１に通電を行うことにより、電磁石７１の周囲に磁気を発生させることが可能となっている。また、方向切換スイッチを操作することにより、磁気の向きを図１の上方向及び下方向のうちのいずれかに選択的に切り換え可能となっている。
【００３２】
また、図５に示されるように、トレイ固定治具６１を構成する治具本体６２についても、電磁石７１と同様に、鉄層７２と真鍮層７３とを交互に横方向に並べて積層した構造となっている。なお、治具本体６２における鉄層７２は、電磁石７１における鉄層７２の直上に位置している。治具本体７２における真鍮層７３は、電磁石７２における真鍮層７３の直上に位置している。
【００３３】
次に、この超音波エアブロー装置１１を用いた洗浄方法について説明する。
【００３４】
まず、セラミックパッケージ１を多数載置した状態の出荷トレイ４１を用意するとともに、その出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１上にセットし、さらにその上に押さえ治具５１をセットする（図５参照）。
【００３５】
ここで電磁石７１を作動させるとともに、真空ポンプを作動させることにより、押さえ治具５１をトレイ固定治具６１側方向（即ち下方向）に吸引して固定する。そして次に、クリーナーヘッド１５を駆動するとともに、出荷トレイ４１及び押さえ治具５１の上方位置にてヘッド本体２３を水平往復動作させながらエアブロー洗浄を行う。このとき、エア供給管３５を介して圧送されるエアがヘッド本体２３から吹き出すとともに、その勢いによってセラミックパッケージ１表面の異物が吹き飛ばされる。そして、吹き飛ばされた異物は、さらにエアとともにヘッド本体２３に吸引された後、エア排出管３６を経て外部に排出されてしまう。
【００３６】
上記のようなエアブロー洗浄工程を所定時間行った後、次いでセラミックパッケージ１から磁気を除去する脱磁工程を行う。具体的には、方向切換スイッチを切り換えて電磁石７１が発生する磁極の向きを、エアブロー工程のときは逆向きにする。例えば、エアブロー工程時における磁極の向きが上方向であったとしたら、脱磁工程では磁極の向きを下向きにする。脱磁工程が終了したら、電磁石７１及び真空ポンプをいったん停止させ、洗浄済みの出荷トレイ４１を取り外し未洗浄の出荷トレイ４１をあらたにセットして、同様の作業を行うようにする。
【００３７】
従って、本実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
【００３８】
（１）本実施形態では、トレイ固定治具６１の裏面側の位置に電磁石７１を配設している。このため、トレイ固定治具６１の表面側の位置に配置された押さえ治具５１とともに、出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１側方向に磁気的に吸引して固定することができる。それゆえ、メカチャックを用いて出荷トレイ４１等を上方から機械的に押圧して固定しなくても、出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１に対して確実に固定することができる。また、この構成によれば、トレイ固定治具６１の上方領域にそれほど大きなスペースを確保しておく必要がないため、トレイ固定治具６１上の出荷トレイ４１とクリーナーヘッド１５のヘッド本体２３とが比較的近接した状態となる。よって、出荷トレイ４１上のセラミックパッケージ１に対して近距離からエアブローを効果的に作用させることができる。つまり、このエアブロー装置１１の構成であれば、高い洗浄能力を維持することができる。
【００３９】
（２）この実施形態では、電磁石７１を磁気発生手段として用いるとともに、それをスペース的に余裕のあるトレイ固定治具６１の裏面側（下面側）の位置に配設している。従って、そのような箇所に電磁石７１を配設する構成であれば、トレイ固定治具６１の表面側（上面側）の位置に何らスペースを確保する必要がなくなる。このため、トレイ固定治具６１上の出荷トレイ４１及び押さえ治具５１と、クリーナーヘッド１５のヘッド本体２３との距離の増大を回避することができる。また、電磁石７１を用いた本実施形態では、磁極の向きの変更が必要となる脱磁処理を実施するにあたって極めて好都合である。
【００４０】
（３）このエアブロー装置１１は、出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１方向に吸引して固定するための手段として、電磁石７１ばかりでなく真空ポンプも備えている。このため、磁気吸引力に加えて真空吸引力が働くこととなり、出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１のトレイ載置面６７に対してよりいっそう確実に固定することができる。また、この構成であると、出荷トレイ４１の裏面側などに付着した異物も真空引きにより吸引除去することができ、より高いクリーン度を実現することができる。よって、セラミックパッケージ１に代表される電子部品の洗浄において有利となる。
【００４１】
（４）本実施形態では、電磁石７１が磁性材料と非磁性材料とを交互に積層した構造を有することに加え、トレイ固定治具６１もそれと同様の積層構造を有している。従って、電磁石７１の発生した磁束をトレイ固定治具６１内に効率よく流すことができる。よって、真空引き通路６６の配設のため治具本体６２を厚肉に形成したとしても、電磁石７１の磁力をトレイ固定治具６１の表面側にまで十分に及ばせることが可能となる。このため、トレイ固定治具６１に対する出荷トレイ４１の固定強度の低下を防止することができる。
【００４２】
（５）本実施形態の電子部品の製造方法では、エアブロー洗浄工程の後に脱磁工程を行うことを特徴としている。従って、エアブロー洗浄時にセラミックパッケージ１が着磁したとしても、脱磁工程によって確実に磁気を除去することができる。
【００４３】
（６）本実施形態にて使用する押さえ治具５１は、ＳＵＳ４３０製であり、磁石ではない磁性材料からなる。従って、被洗浄物であるセラミックパッケージ１が金めっき（磁性材料）を含んで構成されるものであったとしても、それが押さえ治具５１側に吸着されることがない。ゆえに、押さえ治具５１との接触に起因する金めっきの疵付きやはがれ等も防止され、不良品の発生も確実に防止することができる。
【００４４】
なお、本発明の実施形態は以下のように変更してもよい。
【００４５】
・前記実施形態では、押さえ治具５１とともに出荷トレイ４１をトレイ固定治具６１側方向に吸引して固定する手段である電磁石７１を用いて、脱磁工程も行うようにしていた。これに代えて、電磁石７１とは別個に設けられた磁気発生手段により脱磁工程を行うようにしてもよい。
【００４６】
・真空ポンプ等の真空吸着手段は、必須の構成ではないため、不要であれば省略されることもできる。
【００４７】
・押さえ治具５１は必ずしも前記実施形態のような板状でなくてもよく、例えば磁性材料を用いて形成された網目状構造体などであってもよい。
【００４８】
・本発明のエアブロー装置１１は、エアに超音波を付与しないで洗浄を行う装置として具体化されてもよい。
【００４９】
次に、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技術的思想を以下に列挙する。
【００５０】
（１）請求項５乃至７のいずれか１項において、前記押さえ治具は、磁石ではない磁性材料からなることを特徴とする部品の製造方法。
【００５１】
（２）請求項５乃至７のいずれか１項において、前記押さえ治具は、磁石ではない磁性材料からなるとともに、前記部品は磁性材料を含んで構成された電子部品であることを特徴とする部品の製造方法。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を具体化した一実施形態における超音波エアブロー装置を示す部分概略図。
【図２】実施形態において使用される出荷トレイを示す平面図。
【図３】実施形態において使用される押さえ治具を示す平面図。
【図４】実施形態において使用されるトレイ固定治具を示す平面図。
【図５】使用時においてトレイ固定治具、押さえ治具、出荷トレイ等を重ね合わせた状態を示す要部拡大断面図。
【符号の説明】
１…部品としてのセラミックパッケージ
１１…（超音波）エアブロー装置
１２…基台
１５…クリーナーヘッド
３５…エア供給部としてのエア供給管
３６…エア排出部としてのエア排出管
４１…出荷トレイ
５１…押さえ治具
６１…トレイ固定治具
７１…磁気発生手段としての電磁石
７２…磁性材料としての鉄層
７３…非磁性材料としての真鍮層
【図１】
2004121887.tif 000003
【図２】
2004121887.tif 000004
【図３】
2004121887.tif 000005
【図４】
2004121887.tif 000006
【図５】
2004121887.tif 000007