(57)【要約】【課題】額縁部に空気の混入のない品質の良いカラーフィルターを製造する方法の提供。【解決手段】複数の画素１２を囲む矩形状の額縁部１６を有する面に対して、フィルムをラミネートして前記複数の画素１２を囲む矩形状の額縁部１６の面に被覆層を形成する方法において、前記フィルムのラミネート方向（Ａ）が額縁部１６のラミネート上流側の一外側面方向（１６Ａ）に対して直交することなく、傾斜している。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素を囲む矩形状の額縁部を有する面に対して、フィルムをラミネートして前記複数の画素を囲む矩形状の額縁部の面に被覆層を形成する方法において、前記フィルムのラミネート方向が前記額縁部のラミネート上流側の一外側面方向に対して直交しない方向に傾斜していることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項２】
前記フィルムのラミネート方向と前記額縁部のラミネート上流側の一外側面方向とのなす角度（θ）が９０度よりも大きく、１２０度以下であることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項３】
前記フィルムのラミネート方向から前記額縁部のラミネート上流側の一外側面方向とのなす角度（θ）が９１度〜１１０度であることを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項４】
前記フィルムのラミネート方向から前記額縁部のラミネート上流側の一外側面方向とのなす角度（θ）が９３度〜１００度であることを特徴とする請求項３に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項５】
複数の画素を囲む矩形状の額縁部を有する面に対して、フィルムをラミネートして前記複数の画素を囲む矩形状の額縁部の面に被覆層を形成する方法において、前記額縁部のラミネート上流側の外側面側からラミネート上流側に向かってテーパー形状をなす突出部が形成されていることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項６】
前記突出部が、前記額縁部のラミネート上流側の外側面側からラミネート上流側に向かって先細りに形成されていることを特徴とする請求項５に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項７】
前記突出部が、前記額縁部のラミネート上流側の外側面側からラミネート上流側に向かって連続的乃至段階的に厚さが薄く形成されていることを特徴とする請求項５に記載のカラーフィルターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はカラーフィルターの製造方法に係り、特にカラーフィルターをラミネート方式によって製造する際、気泡の発生をなくし、白抜け等の欠陥のない品質に優れたカラーフィルターを製造するのに好適なカラーフィルターの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置を用いてカラー画像を表示するためには、通常、液晶表示装置を構成する２枚の透明基板の一方の面にカラーフィルターを配置する。このカラーフィルターは透明基板の上に微小の間隙を介して縦横両方向に整然と展開配置された多数の微小な矩形の着色画像層からなる矩形のカラーフィルター層が積層された構成からなっている。多数の着色画像層は、通常、それぞれ、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の三色のうちのいずれかの色に着色されていて、そのＲＧＢのそれぞれの着色樹脂層が一定のパターンで組み合されてカラーフィルター層を構成している。
【０００３】
カラーフィルターの製造方法としては、各種の方法が知られているが、最近では、感光性着色樹脂シートを用いる方法が精度の良いカラーフィルターを簡便に製造できるなどの理由で注目を浴びている。この感光性着色樹脂シートを用いる方法では、まずそれぞれの所定の色の着色材（顔料あるいは染料）と感光性樹脂とからなる感光性着色樹脂シートの所定の枚数（通常Ｒ、Ｇ、Ｂ）３枚を製造する。なお、この感光性着色樹脂シートは、通常、可撓性のフィルム状支持体の上に形成される。次にこの感光性着色樹脂シートの一枚を、適当な矩形の基板（ガラス板など）の上に貼り、その状態で画像パターン部分が開口されたシート状のフォトマスクを介して感光性着色樹脂シート表面に光を照射させて着色樹脂シートをパターン状に露光させ、その後、現像することによってその着色樹脂シートの色に現像された画像パターンを形成させる。ついで、その画像パターンが形成された基板表面上に、別の色に着色された感光性着色樹脂シートを重ね合わせ、同様にしてその着色樹脂シートの色に着色された画像パターンを形成させる。最後に残りの感光性着色樹脂シートを用い、同様にしてその着色樹脂シートの色に着色された画像パターンを形成させる。
【０００４】
なお、近年では、ＲＧＢの三色の着色画像パターンの間の色分離を向上させるために、各着色画像の間に間隙を形成させ、その間隙の領域に感光性黒色樹脂層シートを用いて同様な方法で黒色樹脂層（いわゆるブラックマトリックス）と共に多数の各色の画素を有するカラーフィルター層の１パネルの周縁部を構成する額縁部もブラックマトリックスを形成するときに同時に形成することも行なわれている。このブラックマトリックス及び額縁部は、各色の着色画像パターンを形成する前あるいは形成後に設けられる。そして、通常、各色の画素、ブラックマトリックス、額縁部が形成された面は、樹脂シートを用いたラミネート方式で保護層が被覆されるようになっている。
【０００５】
カラーフィルターの需要は近年ますます高くなり、また、それに伴いカラーフィルターの性能の向上と低価格化が要求されている。すなわち、高精度のカラーフィルターを低廉のコストで製造する必要性が高くなっている。上記の感光性着色樹脂シートを用いるカラーフィルターの製造方法は、高精度のカラーフィルターの製造に有利であるが、透明基板上に非常に薄い膜の感光性着色樹脂シートを高精度にラミネートする操作を繰り返し行なうため、その操作の高速化が容易ではないという問題がある。
【０００６】
特に額縁部が形成された後に、各色の着色画像パターンを形成する際あるいは保護層を形成する際にそれぞれのシートを重ね合わせるとき、額縁部付近でシートと透明基板との間に空気が残留しやすい。すなわち、額縁部が形成された後、それぞれのシートを透明基板上の一方の側の辺から他の側の辺へと、透明基板上の空気を追い出しながらラミネートする方法が採られるが、ラミネートを高速で行なうと、透明基板上の空気が充分に追い出されずにシートと額縁部との間に空気が残留しやすくなる。
【０００７】
そして、このような空気が残留している領域では、各感光性着色樹脂層等と基体との密着性が低下する結果、ラミネート工程に前記可撓性のフィルム状支持体（ベースフィルム）を剥離する際に、各感光性着色樹脂層等が剥離しやすくなり、品質のよいカラーフィルターのパネルを得ることができない問題がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、カラーフィルターをラミネート方式で製造する際に、額縁部の付近に空気が残留することを防止し、品質のよいカラーフィルターを製造することができるカラーフィルターの製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記した目的は、下記に発明によって達成される。
すなわち、本発明は、
＜１＞  複数の画素を囲む矩形状の額縁部を有する面に対して、フィルムをラミネートして前記複数の画素を囲む矩形状の額縁部の面に被覆層を形成する方法において、前記フィルムのラミネート方向が前記額縁部のラミネート上流側の一外側面方向に対して傾斜していることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
＜２＞  前記フィルムのラミネート方向と前記額縁部のラミネート上流側の一外側面方向とのなす角度（θ）が９０度よりも大きく、１２０度以下であることを特徴とする＜１＞に記載のカラーフィルターの製造方法。
＜３＞  前記フィルムのラミネート方向から前記額縁部のラミネート上流側の一外側面方向とのなす角度（θ）が９１度〜１１０度であることを特徴とする＜２＞に記載のカラーフィルターの製造方法。
＜４＞  前記フィルムのラミネート方向から前記額縁部のラミネート上流側の一外側面方向とのなす角度（θ）が９３度〜１００度であることを特徴とする＜３＞に記載のカラーフィルターの製造方法。
＜５＞  複数の画素を囲む矩形状の額縁部を有する面に対して、フィルムをラミネートして前記複数の画素を囲む矩形状の額縁部の面に被覆層を形成する方法において、前記額縁部のラミネート上流側の外側面側からラミネート上流側に向かってテーパー形状をなす突出部が形成されていることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
＜６＞  前記突出部が、前記額縁部のラミネート上流側の外側面側からラミネート上流側に向かって先細りに形成されていることを特徴とする前記＜５＞に記載のカラーフィルターの製造方法。
＜７＞  前記突出部が、前記額縁部のラミネート上流側の外側面側からラミネート上流側に向かって連続的乃至段階的に厚さが薄く形成されていることを特徴とする前記＜６＞に記載のカラーフィルターの製造方法。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態について説明する。
本発明において、複数の画素を囲む矩形状の額縁部とは、（１）内部に複数の画素が既に形成された矩形状の額縁部、及び（２）内部に複数の画素が形成されておらず、ブラックマトリックスのみが形成された額縁部の両者を包含する。
【００１１】
したがって、これらの額縁部の面にラミネートされるフィルムとは、前記（１）の場合、既に画素が形成された額縁部を有する面に保護層を形成するための保護層シート、前記（２）の場合、着色画素を形成するための感光性着色樹脂シート、前記保護層シートが挙げられる。また、複数の画素を囲む矩形状の額縁部が設けられる基板としては、特に制約はないが、ハイアパーチャー（ＨＡ方式）の液晶表示装置に組み込まれるカラーフィルターにおける基板、カラーフィルターオンアレイ（ＣＯＡ方式）における基板も含まれる。
【００１２】
図１は、複数の画素を囲む矩形状の額縁部を有する面に対して、フィルムをラミネートして前記複数の画素を囲む矩形状の額縁部の面に被覆層を形成する方法において、前記フィルムのラミネート方向が前記額縁部のラミネート上流側の一外側面方向に対して傾斜している態様を示している。
図１において、１０は透明基板、１２は着色画素、１４はブラックマトリックス、１６は額縁部をそれぞれ示している。
【００１３】
図１に示すように、フィルムのラミネート方向（図中、矢印Ａで示す）が額縁部１６のラミネート上流側の一外側面方向１６Ａに対して傾斜している。このラミネート方向Ａと方向１６Ａとは、直交しない方向に交差していることが必要である。
ラミネート方向Ａと方向１６Ａとが直交、すなわち交差すると額縁部付近でシートと透明基板との間に空気が残留しやすく、この結果、ベースフィルムを剥離するとき感光性着色樹脂層が剥離され、品質のよいカラーフィルターを製造することが困難となる。
【００１４】
ラミネート方向Ａと方向１６Ａとのなす角度（θ１）は、９１度〜１１０度が好ましい、より好ましくは９３度〜１００度である。ラミネート方向Ａと方向１６Ａとのなす角度（θ１）が９１度未満の場合、気泡の混入を防止するためには、ラミネートフィルムの速度を遅くする必要があるが、９１度付近では、例えば、ラミネートフィルムの速度を１．４ｍ／  分以内に抑えると、確実に気泡の混入を防止することができ、９３度以上では、ラミネートフィルムの速度を３．０ｍ／  分以内であれば、確実に気泡の混入を防止することができる。
また、ラミネート方向Ａと方向１６Ａとの角度（θ１）が１２０度を超えると、気泡の混入を防止することができるが、ラミネートされる幅方向領域が変動しすく、ガラス基板上に転写された感光性樹脂層等がラミネートロールに接触して、ラミネートロールを汚す等の問題が生じ易く、製品の歩留まりが低下する等の恐れがあるので、あまり角度が大きくすることは避けるべきであり、好ましくは、１１０度以下、より好ましくは１００度以下である。
【００１５】
図１に示す態様の場合、透明基板上１０にブラックマトリックス１４と額縁部１６が形成された後に、各色の感光性着色樹脂シートをラミネートする際、シートと額縁部１６との間に介在する空気は、ラミネート時に額縁部１６の一外側面方向１６Ａに沿ってそれぞれ移動する。このため、シートとの額縁部１６との間に空気が残存することはない。
【００１６】
また、通常、各色の画素（Ｒ、Ｇ、Ｂ）とブラックマトリックス１６との間に空気が残留すると、その部分は所定の画素が形成されなくなって、画素欠陥部分の発生（いわゆる白抜け）が起こることになり、カラーフィルターの品質が低下することになるが、それぞれの感光性着色樹脂シートを額縁部１６内のブラックマトリックス１４の内部にラミネートして各色の画素を形成する際、フィルムのラミネート方向がブラックマトリックス１４で構成される１つの領域におけるそれぞれ一外側面方向にも傾斜した状態でラミネートされる結果、各色の画素（Ｒ、Ｇ、Ｂ）とブラックマトリックス１６との間にも空気の残留を防止することができ、カラーフィルターの品質が低下することがない。
【００１７】
図２〜図５は、複数の画素を囲む矩形状の額縁部を有する面に対して、フィルムをラミネートして前記複数の画素を囲む矩形状の額縁部の面に被覆層を形成する方法において、前記額縁部のラミネート上流側の外側面側からラミネート上流側に向かってテーパー形状をなす突出部が形成されている態様を示している。
【００１８】
図２は、額縁部１６のラミネート上流側の外側面側からラミネート上流側に向かって先細りに形成された突出部１８が形成されており、この突出部１８は、透明基板１０からの厚みは一定であってもよいが、ラミネート上流側に向かって次第に薄くなっているのが好ましい。図２においては、着色画素の１２の構成は、図１と同一部分は同一符号て示し、詳細な説明は省略する。なお、図２〜図５ではラミネート方向をすべて矢印Ａで示す。
【００１９】
図３は、額縁部１６のラミネート上流側の外側面側からラミネート上流側に向かって、平面形状が三角形の突出部１９が形成されており、この突出部１８は、透明基板１０からの厚みは一定であってもよいが、ラミネート上流側に向かって次第に薄くなっているのが好ましい。図３においては、着色画素１２の構成は、図１と同一部分は同一符号で示し詳細な説明は省略する。なお、突出部としては、図２及び図３に示す三角形状に限らず、フィルムのラミネート方向Ａに対して、傾斜する面を有する三角形状であればよい。
【００２０】
図２及び図３において、ラミネート方向Ａと辺１８Ａとのなす角度（θ２）及ラミネート方向Ａと辺１９Ａとのなす角度（θ３）の好適の範囲は、それぞれ図１に示す場合と同様である。
【００２１】
図４は、額縁部１６のラミネート上流側の外側面側からラミネート上流側に向かって、平面矩形形状であって、断面形状が三角形状の突出部２０が形成されており、図１と同一部分は同一符号で示し詳細な説明は省略する。
【００２２】
また、本発明においては、平面矩形形状であって、額縁部１６のラミネート上流側の外側面側からラミネート上流側に向かって、連続的乃至断続的に厚みが減少している突出部が形成されていてもよい。
図５（Ａ）において、突出部２２は、表面が曲面状に形成されており、図５（Ｂ）において、突出部２４は１段の段差を有し、図５（Ｃ）において、突出部２６は２段の段差部を有している。これらの段差の数は特に制約はないが、多い方が好ましい。
【００２３】
図２及び図３に示す突出部１８、１９を有する額縁部１６を有すカラーフィルター部に対してフィルムをラミネートすると、各々の吐出部１８、１９付近では、フィルムと突出部との間に介在する空気は吐出部１８、１９の傾斜面に沿って押出され、額縁部１６の外側面付近に空気がほとんど滞留しない。
【００２４】
また、図４及び図５に示す突出部２０、２２、２４、２６を有する額縁部１６を有するカラーフィルター部に対してフィルムをラミネートすると、各々の吐出部２０、２２、２４、２６付近では、フィルムと突出部との間に介在する空気は吐出部２０、２２、２４、２６の傾斜面、段差部に沿って上方に押出されて額縁部１６の外側面付近には空気がほとんど滞留しない。
【００２５】
本発明において、突出部１８、１９、２０、２２、２４、２６を有する額縁部１６及びブラックマトリックス１４は、感光性黒色樹脂シートを基板上にラミネートし、ブラックマトリックス１４及び突出部１８、１９、２０、２２、２４、２６を有する額縁部１６の形状に対応した開口部を有するシート状のフォトマスクを介して感光性黒色樹脂シート表面に光を照射させて感光性黒色樹脂シートをパターン状に露光させ、その後、現像することによって形成させることができる。
【００２６】
本発明のカラーフィルターの樹脂層が形成される基板には、「アクティブマトリクス基板」があり、このアクティブマトリクス基板は「薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、単結晶シリコントランジスタ（ＭＯＳＦＥＴ）、ダイオード等が形成されている、液晶素子の基板」等がある。
【００２７】
液晶素子では、アクティブマトリクス基板とこのアクティブマトリクス基板に対向配置された対向基板と、アクティブマトリクス基板と対向基板との間に液晶層が形成されており、アクティブマトリクス基板上に制御信号を伝送する各ゲート信号線と映像信号を伝送する各ソース信号線を公差させて形成し、これらの信号線の公差部位に各スイッチング素子が形成される。
液晶素子としては、これらの信号線及びスイッチング素子上に感光性樹脂層が形成されたものが好ましい。この感光性樹脂層は、各原色のフィルム層からなるカラーフィルターでもよく、透明な感光性樹脂層からなる層間絶縁膜として機能させるものであってもよく、遮光膜でもよく、またカラーフィルターと透明な層間絶縁膜の両方をこの順に重ねたものでもよい。
このような液晶素子においては、各ソース信号線、各ゲート信号線、及び各画素電極間に感光性樹脂層が介在されるため、各信号線と各画素電極をオーバーラップさせることができ、画素の開口率を向上させることができる。
【００２８】
（感光性樹脂層を形成する工程）
本発明において、ラミネート法による感光性樹脂層の形成方法としては、例えば、感光性樹脂層は特開平５−７２７２４号公報に記述されている感光性転写材料、すなわち一体型となったフイルムを用いて形成することが好ましい。該一体型フイルムの構成の一例は、例えば、特開平５−７２７２４号公報に記載された支持体／熱可塑性樹脂層／酸素遮断膜／感光性樹脂層／保護フイルムである。
【００２９】
＜感光性樹脂層＞
本発明における感光性樹脂層は、露光に用いる光の波長における光学濃度（ＯＤ）が０．５〜４であることが必要であり、好ましくは０．８〜３、より好ましくは１．０〜２．５である。感光性樹脂層は、感光性樹脂層組成物における光重合開始剤、ＵＶ吸収剤等の配合量を調整することによっての光学濃度（ＯＤ）を調整することができる。
本発明において、感光性樹脂層のＯＤが０．４、特に０．３より小さいと、コンタクトホールの形成が不充分でコンタクトホールの接続不良が生じやすく、一方、感光性樹脂層のＯＤが４、特に５を超えると、感光性樹脂層組成物の性状が好ましくなく、所定の感光性樹脂層の形成が困難となる。
【００３０】
感光性を付与するための光重合系は表面硬化性のものが好ましい。表面硬化性を得るに酸素遮断膜を付与する、不活性ガス中や真空中で露光する、化学増幅系など酸素障害の無い重合系を用いる。
感光性樹脂組成物としては、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダーからなる感光性樹脂組成物、光重合性組成物、アジド化合物とバインダーとからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型感光性樹脂組成物等が挙げられる。その中でも特に好ましいのは光重合開始剤、光重合性モノマーおよびバインダーを基本構成要素として含む感光性樹脂である。
本発明の感光性樹脂層の素材としては公知の、例えば特願平２−８２２６２に記載されている感光性樹脂がすべて使用できる。
該感光性樹脂層には、アルカリ水溶液により現像可能なものと、有機溶剤により現像可能なものが知られているが、公害防止、労働安全性の確保の観点からアルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。
【００３１】
該感光性樹脂層には、特開平１１−１３３６００号公報記載の「重合性化合物Ｂ」「重合開始剤Ｃ」「界面活性剤」「接着助剤」や、その他の組成物が利用できる。
光を照射した部分が溶解性を帯び現像で除去されるタイプの感光性樹脂層をポジ型感光性樹脂層と呼び、  本発明の感光性樹脂層にはポジ型感光性樹脂層を用いることができる。該ポジ型感光性樹脂層にはノボラック系の樹脂が用いられる。本発明では特開平７−４３８９９号公報記載のアルカリ可溶性ノボラック樹脂系を使用することができる。また、特開平６−１４８８８８号公報記載の、ポジ型感光性樹脂層、即ち、該公報記載のアルカリ可溶性樹脂と感光剤として１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルと該公報記載の熱硬化剤の混合物を含む感光性樹脂層を用いることができる。また特開平５−２６２８５０号公報記載の組成物も活用可能である。
【００３２】
該感光性樹脂層には、染料、顔料、紫外線吸収剤を必要により添加する。該顔料は感光性樹脂層中に均一に分散されており、好ましくは５μｍ以下の粒径、特に好ましくは１μｍ以下の粒径を有して入ることが好ましい。
好ましい染料ないし顔料の例は次の通りである。ビクトリア・ピュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、モノライト・エローＧＴ（Ｃ．Ｉ．ピグメントエロー１２）、パーマネント・エローＧＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１７）、パーマネント・エローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー８３）、パーマネント・カーミンＦＢＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１４６）、ホスターバームレッドＥＳＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１９）、パーマネント・ルビーＦＢＨ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１１）ファステル・ピンクＢスプラ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド８１）モナストラル・ファースト・ブルー（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５）、モノライト・ファースト・ブラックＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック１）及びカーボン。
さらに、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー２２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６４を挙げることができる。
【００３３】
好ましい紫外線吸収剤は、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル−３’，５’−ジ−ｔ−４’−ヒドロキシベンゾエート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−ジ−ヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン、２−（２’−ヒドロキシ−５’−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’−ｔ−ブチル−５’−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、エチル−２−シアノ−３，３−ジ−フェニルアクリレート、２，２’−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス（２，２，６，６−テトラメトル−４−ピリジン）−セバケート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、４−ヒドロキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリデニル）−エステル、２−［２−ヒドロキシ−３，５−ビス（α，α−ジメチルベンジル）フェニル］−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、７−｛［４−クロロ−６−（ジエチルアミノ）−５−トリアジン−２−イル］アミノ｝−３−フェニルクマリン等が挙げられる。
【００３４】
＜酸素遮断膜＞
感光性樹脂層の上にさらに酸素遮断膜を形成して露光することが好ましい。該酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水またはアルカリ水溶液に分散または溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらの内、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンの組み合わせである。（詳細は特開平５−７２７２４号公報参照。）
【００３５】
（感光性樹脂層をパターン露光する工程）
＜パターン露光＞
パターン露光とは、画像パターンが形成されたシャドウマスクを介して感光性樹脂層にパターン化された光を照射することである。このパターン露光時において、パターン露光時の露光マスクと該感光性樹脂層の距離が１６〜３００μｍであることが必要であり、好ましくは２０〜２００μｍ、最も好ましくは３０〜１００μｍである。
【００３６】
前記の距離とは、厳密には露光マスクの感光性樹脂層に対面する面と、感光性樹脂層表面との距離を言い、この距離が１６μｍ未満及び３００μｍを超える範囲では、コンタクトホールにおける画素電極の接続不良が生じやすい。
また、レンズや鏡により画像を投影して露光する方式では、画像のピントの調整し、解像が良く、コンタクトホールにおける画素電極の接続不良が生じない設定を選択できる。
【００３７】
アクティブマトリクス基板上に感光性樹脂層を形成する工程においては、ラミネート方式により感光性樹脂層を形成する際に、それぞれの色の感光性樹脂層の光学濃度（ＯＤ）を前記範囲に調整し、それぞれの感光性樹脂層のパターン露光を前記した条件で行なうことが望ましい。
【００３８】
（感光性樹脂層を現像し該樹脂層にコンタクト部（元穴）を形成する工程）
感光性樹脂層の未硬化部分を除去するには現像液中で回転ブラシで擦るか湿潤スポンジで擦るなどの方法を組み合わせることができる。現像液の液温度は２０℃〜４０℃が好ましい。該現像処理の後に蒸留水、イオン交換水、超純水等による水洗工程を入れることが好ましい。
【００３９】
この工程で使用される現像液は、特に制約はなく、公知の現像液を使用することができるが、現像液は感光性樹脂層が溶解型の現像挙動をするものが好ましい。現像液としては、例えば、ｐＫａ＝７〜１３の化合物を０．０５〜５ｍｏｌｅ／Ｌの濃度含む現像液が好ましいが、さらに水と混和性を有す有機溶剤を少量添加しても良い。現像液のｐＨは８〜１３が好ましい。水と混和性を有する有機溶剤は、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン等がある。該有機溶剤の濃度は０．１重量％〜３０重量％である。さらに公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は０．０１重量％〜１０重量％が好ましい。現像方式は、パドル現像、シャワー現像、シャワー＆スピン現像、ディプ現像等のいずれでもよい。
【００４０】
これらの現像によって感光性樹脂層にコンタクトホールを形成するための元穴が形成されるが、この元穴に透明電極形成前にアッシングやエッチングを実施し、コンタクト部の配線上を洗浄することが望ましい。
【００４１】
突出部は，表面に保護層等が形成された後、基板と共に除去されてカラーフィルターのパネルとなる。突出部は、例えば、研磨等の手段で適宜、除去される。
【００４２】
ハイアパーチャー（ＨＡ）型液晶表示装置を製造する場合、制御信号を伝送するゲート信号線と映像信号を伝送するソース信号線とが交差して形成され、信号線の交差部に、スイッチング装置が前記信号線と接合されて割り当てられ配列形成されたアクティブマトリクス基板に対して、特に、前記スイッチング装置及び信号線を覆うように、感光性熱硬化性樹脂層を有するネガ型感光性熱硬化型転写材料をラミネート法により貼り合わせ、前記アクティブマトリックス基板上に前記感光性熱硬化性樹脂層を転写して貼着し（転写工程）、これをパターン状に露光し、アルカリ現像した（パターニング工程）後、加熱処理して硬化する（熱処理工程）ことにより層間絶縁膜を形成するものである。前記アクティブマトリクス基板においては、複数のゲート信号線と複数のソース信号線とが交差し、交差する複数の交差部にスイッチング装置がマトリックス状に配列形成されていてもよい。
【００４３】
このＨＡ型液晶表示装置の製造方法においては、本発明の方法によって得られたカラーフィルターの着色画素及びブラックマトリックス上に保護層を形成し、平坦化した後、該保護層にさらに導電層としてＩＴＯ膜を成膜し、対向基板を得る。そして、ＨＡ型アクティブマトリックス基板の層間絶縁膜及びＩＴＯ膜の表面に対向させて、前記対向基板のＩＴＯ膜とが対向するように配置し、スペーサーを介在させ間隙を有して固定する。そして、液晶材料を封入し、画像表示を担う液晶層を設けることによりハイアパーチャー（ＨＡ）型液晶表示装置とすることができる。
【００４４】
【実施例】
以下、本発明を実施例を用いて更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
［一体型フイルムの作成］
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体に下記の処方Ｈ、Ｐから成る塗布液を塗り付け、さらに下記感光性樹脂層溶液Ｋ、Ｒ、Ｇ、Ｂ、ＯＣを塗り付け乾燥させ、該仮支持体の上に乾燥膜厚が１４．６μｍの熱可塑性樹脂層と乾燥膜厚が１．６μｍの酸素遮断膜と各種乾燥膜厚（Ｋ、Ｒ、Ｇ、Ｂは２μｍ、ＯＣは２．８μｍ）の感光層を設け、保護フイルムでカバーした。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と酸素遮断膜と感光層が一体となったフイルムを作成し、それぞれのサンプル名を、使用した感光性樹脂層溶液の記号Ｋ、Ｒ、Ｇ、Ｂ、ＯＣ（オーバーコート）とした。
【００４５】
2004240146.tif 000003
【００４６】
＜感光性樹脂層溶液Ｒ＞
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体                ３２質量部
・ペンタエリスリトールヘキサアクリレート                            ３１質量部
・光重合開始剤                                                                            ２．５質量部
２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）１，３，４−オキサジアゾール
・ＵＶ吸収剤                                                                                    １２質量部
７−（２−（４−（３−ヒドロキシメチルピペリジノ）−６−ジエチルアミノ）トリアジニルアミノ）−３−フェニルクマリン
・フェノチアジン                                                                        ０．１質量部
・ＰＲ２５４                                                                                ９．６質量部
（メチルエチルケトンを適宜添加）
【００４７】
＜感光性樹脂層溶液Ｇ＞
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体              ３０質量部
・ペンタエリスリトールヘキサアクリレート                          ２９質量部
・光重合開始剤                                                                          １．５質量部
２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）１，３，４−オキサジアゾール
・ＵＶ吸収剤                                                                              ９．８質量部
７−（２−（４−（３−ヒドロキシメチルピペリジノ）−６−ジエチルアミノ）トリアジニルアミノ）−３−フェニルクマリン
・ＰＹ１３８                                                                          １０．１質量部
・ＰＧ３６                                                        ２０質量部
（メチルエチルケトンを適宜添加）
【００４８】
＜感光性樹脂層溶液Ｂ＞
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体            ４２質量部
・ペンタエリスリトールヘキサアクリレート                        ３２質量部
・光重合開始剤                                                                        １  ．６質量部
２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）１，３，４−オキサジアゾール
・フェノチアジン                                                                    ０．２質量部
・ＰＢ１５：６                                                                            ２４質量部
（メチルエチルケトンを適宜添加）
【００４９】
＜感光性樹脂層溶液ＯＣ＞
・ポリマー                                                                                    ２４質量部
スチレン／マレイン酸共重合体ベンジルアミン変性物（共重合比６８／３２）
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート                    ２０質量部
・光重合開始剤  ＩＲＧ１８４（ＣＡＳ９４７−１９−３）                        １質量部
・ＵＶ吸収剤                                                                                １２質量部
７−（２−（４−（３−ヒドロキシメチルピペリジノ）−６−ジエチルアミノ）トリアジニルアミノ）−３−フェニルクマリン
（メチルエチルケトンを適宜添加）
【００５０】
実施例１（カラーフィルター作製例）
＜基板の洗浄＞
縦３２０ｍｍ横４００ｍｍのガラス基板を、シランカップリング剤液（Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン０．３重量％水溶液）に３０秒浸漬後、純水に３０秒浸漬、１１０℃５分乾燥した。
【００５１】
＜遮光層の形成＞
前期一体型フイルムＫの保護フイルムを剥離後、基板温度１００℃、ゴムローラー温度１３０℃、線圧１００Ｎ／ｃｍ、搬送速度１．０ｍ／分でラミネートした。
超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機で、露光マスク下面と該感光性フイルムの間の距離を７０μｍに設定し、ＶＧＡ用のパターン露光マスクで露光量７０ｍＪ／ｃｍ２でパターン露光後、シャワー現像機で熱可塑性樹脂層と酸素遮断膜を除去し、引き続きシャワー現像機でＫ層（遮光層）を現像後、シャワーとブラシにより残渣除去現像を行い、額縁、突出部及び格子状のパターン画像を得た。
なお、突出部は図２の１８に示すような平面形状を有し、厚み２μｍ、底辺４０ｍｍ、高さ１０ｍｍの二等辺三角形を有していた。
【００５２】
該基板上に、前記一体型フイルムＲの保護フイルムを剥離後、温度１３０℃線圧１００Ｎ／ｃｍ搬送速度１．０ｍ／分でラミネートした。
超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機で、露光マスク下面と該感光性フイルムの間の距離を７０μｍに設定し、ＶＧＡ用のパターン露光マスクで露光量５０ｍＪ／ｃｍ２でパターン露光後、シャワー現像機で熱可塑性樹脂層と酸素遮断膜を除去し、引き続きシャワー現像機でＲ層を現像後、シャワーとブラシにより残渣除去現像を行い、Ｒ画像を得た。引き続き、該基板に対して該樹脂層の側から超高圧水銀灯で５００ｍＪ／ｃｍ２の光でポスト露光後、２２０℃、２５分熱処理した。該基板上に、前記一体型フイルムＧ、Ｂを用い、前記Ｒと同様にしてＧ、Ｂ画像を得た。該基板上に、前記一体型フイルムＯＣの保護フイルムを剥離後、温度１３０℃、線圧１００Ｎ／ｃｍ、搬送速度１．０ｍ／分でラミネートした。
【００５３】
超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機で、露光マスク下面と該感光性フイルムの間の距離を７０μｍに設定し、露光量５０ｍＪ／ｃｍ２でパターン露光後、シャワー現像機で熱可塑性樹脂層と酸素遮断膜を除去し、引き続きシャワー現像機でＯＣ層を現像後、シャワーとブラシにより残渣除去現像を行い、前記基板を覆う保護層画像を得た。引き続き、該基板に対して該樹脂層の側から超高圧水銀灯で５００ｍＪ／ｃｍ２の光でポスト露光後、２２０℃、１３０分熱処理した。
得られたカラーフィルターは、額縁部付近に空気の混入が認められなかった。
【００５４】
実施例２
突出部を形状を図５の（Ｂ）に示す段差部（額縁部の高さ１．６μｍ、１段目の高さ０．８μｍ）を有する突出部２４とした他は、実施例１と同様にしてカラーフィルターを製造した。得られたカラーフィルターは、額縁部付近に空気の混入が認められなかった。
【００５５】
実施例３
図１に示すように、突出部がなく、ラミネート方向（Ａ）を額縁部のラミネート上流側の外側側面方向に対して角度（θ１）を９１度、ラミネートフィルムの速度を１．４ｍ／分としてフィルムをラミネートした他は、実施例１と同様にしてカラーフィルターを製造した。得られたカラーフィルターは、額縁部付近に空気の混入が認められなかった。
【００５６】
実施例４
図１に示すように、突出部がなく、ラミネート方向（Ａ）を額縁部のラミネート上流側の外側側面方向に対して角度（θ１）を９３度、ラミネートフィルムの速度を３．０ｍ／分としてフィルムをラミネートした他は、実施例１と同様にしてカラーフィルターを製造した。得られたカラーフィルターは、額縁部付近に空気の混入が認められなかった。
【００５７】
比較例１
突出部が形成されることなく、ラミネート側の上流側のテーパー角９０度（基板面に対して垂直）である額縁部とした他は、実施例１と同様にしてカラーフィルターを製造した。得られたカラーフィルターは、額縁部付近に空気の混入が認めらた。
【００５８】
比較例２
図１に示すように、突出部がなく、ラミネート方向（Ａ）を額縁部のラミネート上流側の外側側面方向に対して角度（θ１）を９０度、フィルムをラミネートした他は、実施例１と同様にしてカラーフィルターを製造した。得られたカラーフィルターは、額縁部付近に空気の混入が認めらた。
【００５９】
【発明の効果】
以上のように請求項１に記載の本発明のカラーフィルターの製造方法によれば、複数の画素を囲む矩形状の額縁部を有する面に対して、フィルムをラミネートして前記複数の画素を囲む矩形状の額縁部の面に被覆層を形成する方法において、前記フィルムのラミネート方向が前記額縁部の一外側面方向に対して傾斜しているので、ラミネート時のラミネートフィルムと基板上の間に介在する空気は、ラミネート時に額縁部の傾斜面に沿って移動し、額縁部付近に滞留することがなく、品質の良い額縁部を有するカラーフィルターを製造することができる。
また、請求項５に記載の本発明のカラーフィルターの製造方法によれば、複数の画素を囲む矩形状の額縁部を有する面に対して、フィルムをラミネートして前記複数の画素を囲む矩形状の額縁部の面に被覆層を形成する方法において、前記額縁部のラミネート上流側の外側面側からラミネート上流側に向かってテーパー形状をなす突出部が形成されているので、ラミネート時のラミネートフィルムと基板上の間に介在する空気は、ラミネート時に額縁部の傾斜面に沿って移動し、額縁部付近に滞留することがなく、テーパー状の面に沿って押し出され、額縁部付近に滞留することがなく、品質の良い額縁部を有するカラーフィルターを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカラーフィルターの製造方法の好ましい一実施の形態を示す説明図である。
【図２】本発明のカラーフィルターの製造方法の好ましい他の実施の形態を示す説明図である。
【図３】本発明のカラーフィルターの製造方法の好ましい更に他の実施の形態を示す説明図である。
【図４】本発明のカラーフィルターの製造方法の好ましい更に他の実施の形態を示す要部断面図である。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、それぞれ本発明のカラーフィルターの製造方法の好ましい更に他の実施の形態を示す要部断面図である。
【符号の説明】
１０    透明基板
１２    画素
１４    ブラックマトリックス
１６    額縁部
１８、１９、２０、２２、２４、２６  突出部
【図１】
2004240146.tif 000004
【図２】
2004240146.tif 000005
【図３】
2004240146.tif 000006
【図４】
2004240146.tif 000007
【図５】
2004240146.tif 000008