(57)【要約】【課題】長期にわたり高い信頼性を備えた安価でコンパクトなインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】圧電基板２７に刻設された溝内に形成される複数のインク室２２内に導電性材料１０を充填し、該導電性材料１０を、前記インク室２２の少なくとも内壁（隔壁）２９に形成された電極２８を外部の駆動回路に導出するための外部接続用電極（１２）として用いるようにしたインクジェットヘッドにおいて、前記圧電基板２７の後端部では、インク室２２内に充填された導電性樹脂１０の切断面が露出すると共に、圧電基板２７における前記溝の形成方向に対して直交する方向の断面に出現する前記導電性材料１０には、二辺以上の開放辺を有するスリット９０が、少なくとも前記導電性材料１０の一部に存在する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板に刻設された溝内に形成される複数のインク室内に導電性材料を充填し、該導電性材料を、前記インク室の少なくとも内壁に形成された電極を外部の駆動回路に導出するための外部接続用電極として用いるようにしたインクジェットヘッドにおいて、
前記圧電基板の後端部では、前記インク室内に充填された導電性樹脂の切断面が露出すると共に、前記圧電基板における前記溝の形成方向に対して直交する方向の断面に出現する前記導電性材料には、二辺以上の開放辺が、少なくとも前記導電性材料の一部に存在することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
圧電基板にインク室を形成するための溝を刻設する工程と、
前記インク室の少なくとも内壁に電極を形成する工程と、
前記電極を外部の駆動回路に導出させるための外部接続用電極を形成するための導電性材料を前記インク室内に充填する工程と、
前記圧電基板と、カバー部材と、を接着させる工程と、
接着された前記圧電基板とカバー部材を、小片化する工程と、を含み、
前記圧電基板の後端部では、前記インク室内に充填された導電性樹脂の切断面を露出させると共に、前記導電性材料を前記インク室内に充填する工程では、前記圧電基板における前記溝の形成方向に対して直交する方向の断面に出現する前記導電性材料には、二辺以上の開放辺を、少なくとも前記導電性材料の一部に存在させることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタのキャリッジに搭載されるインクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電材料のシェアモードを利用したインクジェットヘッドの構成は、例えば、図５に示される（例えば、特許文献１，２参照）。図示の例では、厚さ方向に分極処理を施した圧電材料を分極方向が相反する方向になるように貼り合わせた圧電材料に複数の溝が形成されたアクチュエータ部材１００と、インク供給口１１１および共通インク室１１３が形成されたカバー部材１１０と、ノズル孔１２１が開けられたノズルプレート１２０と、を貼り合わせることで、複数の溝内にインク室１１２が形成されている。
【０００３】
そのインク室隔壁には、電界を印加するための電極１０１がインク室内に形成されており、かつ、インク室１１２の後半部１０２の底面は、傾斜した曲面形状に加工され、さらに、外部回路との接続のための電極引き出し部として平坦部１０３が形成されている。また、支持基板１４０上に配置されたインクジェットヘッドと駆動用ＩＣ１３０は、後端部１０３に形成された電極１０４とワイヤボンディング技術によりアルミニウムワイヤ１３１で電気的な接続を行っている。この電気的接続については、その他に、例えば駆動用ＩＣが接続されているフレキシブル基板などに形成された外部電極とＡＣＦ（異方性導電フィルム）接続技術により接続することもできる。
【０００４】
次に、従来のインクジェットヘッドのインク室内電極１０１を平坦部に延出させる方法について、図６（ａ）（ｂ）を用いて説明する。まず、アクチュエータ部材の主表面にドライフィルムレジスト１５０をラミネートして硬化させる。次に、ダイサーのダイシングブレード１６０を用いて圧電材料をハーフダイスすることにより、後にインク室１１２になる溝を形成し、ダイシングブレード１６０を上昇させて、その直径に対応したインク室後端部の曲面形状部を形成し、その後平坦部はドライフィルムレジスト１５０のみをカットする。
【０００５】
このようにしてインク室アレイを形成した後に、インク室内にスパッタリング技術やめっき技術を用いてＡｌやＣｕなどの金属電極材料を形成する。また、インク室後端部の曲面形状部および平坦部のドライフィルムレジスト１５０の開口部分にも同様に金属膜形成が行われ、外部回路との接続電極となる。
【０００６】
このように形成されたアクチュエータは、インク室１１２を形成する隔壁に形成された電極１０１において、隔壁を介した向い合う電極に逆位相の電位を印加することでシェアモード駆動を行う。つまり、厚さ方向で分極方向を対称に貼り合わされたインク室隔壁の貼り合わせた境目でインク室隔壁が“く  ”の字に変形し、インク室１１２内の容積変化に伴うインク室１１２内のインク圧力変化を利用してインク室先端部に配置した微小なノズルからインク液滴が吐出される。
【０００７】
上記のような従来のインクジェットヘッド構造では、インク吐出に寄与するアクティブ領域はインク供給孔より先端側のみであり、インク供給孔を含む後ろ側はインクを供給するための領域であり、さらに曲面形状部分および平坦電極部はインク室内の電極を外部回路に接続するための取り出し電極とし、平坦部で駆動用ＩＣに導通した電極との電気的接続を行うための領域である。このような構成では、本来インク吐出に寄与するアクティブエリア以外の部分が非常に大きいため、材料コストが高くなり、安価なインクジェットヘッドを製造できないという問題があった。
【０００８】
また、高い誘電率を有するＰＺＴなどの圧電材料上で平坦部分までインク室内の電極を延出させる必要があるため、静電容量が大きくなり、アクチュエータ駆動に際して、印加駆動波形が鈍ることで高速駆動による高速印字が困難になるという問題があった。
【０００９】
この印加駆動波形の鈍りは、印加電圧を上昇させることで改善できるが、印加電圧を上げれば、アクチュエータの駆動による発熱量が増大してアクチュエータの温度が上昇することによりインク粘度が変化して、安定で高精度な印字が行えなくなるという問題と、高い電圧を印加できる駆動用ＩＣはコスト高になるという問題と、消費電力の低減化が困難であるという問題があった。
【００１０】
このため、アクチュエータのインク室内電極のアクティブエリア以外の部分では、圧電材料と電極との間に低誘電膜を予め製膜することで、アクティブエリア以外の部分での静電容量をほぼ無視できるレベルにするような対策が採られている。しかし、約２００℃という低温度のキューリー点を有する圧電材料であるＰＺＴに対して、低温のプロセスで低誘電率のＳｉ−Ｎ膜を形成するためには非常に高価なＥＣＲ−ＣＶＤ装置が必要とされ、製造コストが上昇して安価なインクジェットヘッドを製造できないという問題があった。
【００１１】
また、上記のような問題に対して、図７に示すような、インク供給孔およびインク室内電極を延出させるための領域を圧電素子の長手方向に求めない構造のものが提案されている。この場合、インクの供給は、圧電材料のアクティブエリアの後端部にインク供給孔を設けることにより行い、インク室１１２内の電極１６５をインク供給側側面もしくはインク吐出側側面に延長し、その延長部分１６５ａで、駆動用ＩＣ１７０に導通する電極１７１との電気的な接続を行っている。
【００１２】
この構成においては、アクチュエータのアクティブエリア以外の部分が少ないため、圧電材料の材料コストを低減できるが、インク室内電極をアクチュエータ側面に９０°に屈曲させて電極の引き出しを行うことになる。そのため、アクチュエータ側面へ電極を引き出すためには、個々のアクチュエータに小片化してからインク室内電極に導通するようにアクチュエータ側面に金属膜を形成する必要があった。
【００１３】
また、引き出した電極間を分離するためには、予めレジストパターニングもしくはベタ電極に引き出した後にダイシングやＹＡＧレーザーによる電極分離工程を必要として、工程が非常に煩雑となり、生産性が低く、生産歩留りも低下し、生産コストが高くなるという問題があった。
【００１４】
しかも、引き出した電極も、インク室１１２からアクチュエータ側面に引き出される屈曲部分で、後の工程やハンドリングで断線する可能性が高く、生産歩留りが低下するといった問題や環境信頼性にも劣るという問題があった。
【００１５】
そこで、本出願人らは、外部接続用の電極がインク室内に充填された導電性樹脂もしくははんだ材料により形成されたインクジェットヘッドを提案している（特許文献２，３参照）。その構成は、例えば、図８に示される。
【００１６】
図示の構成によれば、外部接続用の電極がインク室１１２内に充填された導電性樹脂もしくははんだ等の導電材料１０５により形成されているため、従来では、インク室内電極を実装のためにインク室外に引き出していたが、その必要がなくなり、アクチュエータのアクティブエリア以外の部分がほとんど不要となる。
【００１７】
従って、材料コストを削減することができ、また、静電容量の低減により、駆動周波数向上が可能となるため高速印字を実現でき、かつ、駆動電圧の低減により、駆動用ＩＣの低耐電圧化が行えるため、駆動用ＩＣコストと駆動消費電力の低減化が可能となる。
【００１８】
この場合、パーソナル向けのプリンターとしては、実用上十分な信頼性を確保することができた。しかし、ビジネス向けや産業用としては、さらに長期にわたる過酷な環境条件に耐える高い信頼性が要求される。
【００１９】
しかるに、圧電基板（２〜７ｐｐｍ／℃）のインク室中に比較的大きな線膨張係数を有する導電性樹脂（３０〜８０ｐｐｍ／℃）やはんだなどの金属材料（１５〜２０ｐｐｍ／℃）を充填することで、環境温度変化によって発生する熱膨張のミスマッチに起因して、長期の温度サイクル等において圧電基板からなるインク室隔壁と充填導電性材料との間で剥離やインク室隔壁のクラック等が発生し、長期の環境信頼性に問題が生じた。
【００２０】
そこで、本出願人らは、さらに別の提案をしている。これは、例えば、図９に示すように、外部接続用の電極１０５を、インク室内に充填した導電性樹脂により形成すると共に、充填された導電性樹脂１０５の上側にバルク部材（押さえ部材）１０６を配置して補強した構造を備えている。
【００２１】
【特許文献１】
特開平０４−２５９５６３号公報（段落「００１８」，図４）
【特許文献２】
特開２００２−１７８５１８号公報（段落「０００４」，図６及び
「００６７」〜「００７１」，図１）
【特許文献３】
特開２００２−２１０９５４号公報（段落「００３７」〜「００４
７」，図３，図４）
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
図９に示すような構成によれば、環境信頼性は向上し、ビジネス用や産業用のインクジェットヘッドとして十分な信頼性を確保することができた。しかしながら、充填した導電部材１０５の上側に別のバルク部材１０６を接着したり、インク供給口を形成するカバー部材１１０に複雑で微細な加工を行う必要があった。そのため、プロセスコストが高くなり、安価なインクジェットヘッドを提供することができないという問題が生じた。
【００２３】
本発明は、このような実情に鑑みてなされ、長期にわたり高い信頼性を備えた安価でコンパクトなインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述の課題を解決するための手段を以下のように構成している。
【００２５】
（１）圧電基板に刻設された溝内に形成される複数のインク室内に導電性材料を充填し、該導電性材料を、前記インク室の少なくとも内壁に形成された電極を外部の駆動回路に導出するための外部接続用電極として用いるようにしたインクジェットヘッドにおいて、
前記圧電基板の後端部では、前記インク室内に充填された導電性樹脂の切断面が露出すると共に、前記圧電基板における前記溝の形成方向に対して直交する方向の断面に出現する前記導電性材料には、二辺以上の開放辺が、少なくとも前記導電性材料の一部に存在することを特徴とする。
【００２６】
この構成においては、圧電基板の後端部では、外部接続用の電極として前記インク室内に充填された導電性樹脂の切断面が露出するので、従来のように、インク室内の電極を実装のためにインク室外に引き出す必要がなくなるため、アクチュエータのアクティブエリア以外の部分がほとんど不要となり、コンパクト化が可能となり、材料コストの削減を実現できる。
【００２７】
また、静電容量の低減により、駆動周波数を向上させて高速印字が実現できると共に、駆動電圧の低減化が可能となり駆動用ＩＣの低耐電圧化が行えることから、駆動用ＩＣコストと駆動消費電力の低減化を実現できる。
【００２８】
そして、各インク室内に充填された導電性材料と、圧電基板からなるインク室隔壁との線膨張差に起因して発生する応力は、インク室毎に分離されており、かつ、その応力は、導電性材料に形成した二辺以上の開放辺により導電性材料が容易に変形することで分散・抑制されるため、導電性樹脂のクラックの発生や導電性樹脂とインク室の内壁との間の界面剥離の発生を防止することができ、高い長期信頼性を確保することができる。
【００２９】
（２）圧電基板にインク室を形成するための溝を刻設する工程と、前記インク室の少なくとも内壁に電極を形成する工程と、前記電極を外部の駆動回路に導出させるための外部接続用電極を形成するための導電性材料を前記インク室内に充填する工程と、前記圧電基板と、カバー部材と、を接着させる工程と、接着された前記圧電基板とカバー部材を、小片化する工程と、を含み、
前記圧電基板の後端部では、前記インク室内に充填された導電性樹脂の切断面が露出させると共に、前記導電性材料を前記インク室内に充填する工程では、前記圧電基板における前記溝の形成方向に対して直交する方向の断面に出現する前記導電性材料には、二辺以上の開放辺を、少なくとも前記導電性材料の一部に存在させることを特徴とする。
【００３０】
この製造方法においては、厚さ方向に分極処理を行い所定ピッチで溝加工が行われて各インク室内に駆動用電極が形成された圧電基板（チャンネルウエハ）の溝にインク室内の電極に導通し、かつインク室を形成する溝に直交する断面に二辺以上の開放辺を少なくとも一部に有する導電性材料をインク室内に形成する工程と、前記圧電基板とカバー部材（カバーウエハ）とを接着する工程と、前記接着ウエハを小片化する工程と、を含む。
【００３１】
従って、インク室内の充填導電性材料の小片化断面を外部回路接続用電極に利用することができるため、従来のように、インク室内の電極を実装のためにインク室外に引き出す必要がなくなるため、材料コストを削減することができ、かつ、工程の簡素化を実現することができ、インクジェットヘッドを低コストで生産することができる。
【００３２】
そのインクジェットヘッドは、アクチュエータがコンパクト化され、かつ、静電容量の低減により、駆動周波数向上が行えるため高速印字を実現でき、駆動電圧の低減が行えるため駆動用ＩＣの低耐電圧化により駆動用ＩＣコストおよび駆動消費電力の低減化を実現でき、さらに、圧電基板からなるインク室隔壁との線膨張差に起因して発生する応力を、導電性材料の一部に形成した二辺以上の開放辺により分散・抑制して、導電性樹脂のクラックの発生や導電性樹脂とインク室の内壁との間の界面剥離の発生を防止できる高い長期信頼性を備えている。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００３４】
図１は、インクジェットヘッドの断面図を示す。このインクジェットヘッドは、ＰＺＴ圧電材料からなるアクチュエータ（圧電基板）２７の後端部２１にＡｇ導電性フィラーを含有する導電性樹脂１０が充填されており、充填された導電性樹脂１０の一部にインク室２２の延長方向と略平行に（二以上の開放辺を有する）スリット９０が形成され、アクチュエータ２７の後端部２１で導電性樹脂１０が切断された端面において導電性樹脂１０が露出した構成となっている。
【００３５】
そのＰＺＴ圧電材料には、お互いに逆向きの分極処理されたＰＺＴ基板を貼り合わせたシェブロンタイプのチャンネルウエハを用いており、インク室２２の上部半分と下部半分で分極方向が逆向きになっている。そのインク室２２内にはアクチュエータ駆動用電極２８がインク室２２内全面に形成されており、充填された導電性樹脂１０とアクチュエータ駆動用電極２８は導通状態となっている。そして、アクチュエータ２７のインク吐出面２５には、微小なノズル３１を有するノズルプレート３０が接着されており、アクチュエータ２７の後端部２１の上方には、カバー部材４０に予め形成されたインク供給口４１が配設されている。
【００３６】
このような構成で、アレイ状に並ぶインク室２２は圧電材料からなるインク室隔壁（内壁）２９によって仕切られており、各隔壁２９の電極２８に導通した導電性樹脂１０が外部接続用電極として外部回路と接続され、その導電性樹脂電極１２（１０）に電圧印加すると、インク室隔壁２９の上部半分と下部半分とが厚さ方向に逆向きの分極であるため、インク室隔壁２９の表裏で対向する電極に逆位相の電圧印加を行うことによって、隔壁２９がシェアモードで駆動するアクチュエータの役目をしてインク室２２内のインク圧力をコントロールすることにより、ノズル３１からインク微小液滴を吐出させる。
【００３７】
本実施の形態におけるインクジェットヘッドでは、図示しない駆動用ＩＣに導通したＴＡＢテープ上に形成されたアウタリードとアクチュエータ２７の後端部２１の導電性樹脂電極１２において、ＡＣＦ等を介して、電気的、機械的に接続することができる。
【００３８】
次に、上記インクジェットヘッドの製造方法について図２により説明する。
図２（ａ）に示すように、ダイサーのダイシングブレード７０を用いて相反する方向に分極処理した圧電材料８４および８５を貼り合わせたシェブロンタイプの圧電材料ウエハ８６をハーフダイスすることにより後にインク室２２になる溝を複数条形成する。
【００３９】
次に、図２（ｂ）に示すように、電材料ウエハ８６のインク室２２のアレイに対して直交方向に液状の導電性樹脂１０をディスペンサー７１を用いて、０．５ｍｍ幅でインク室２２上およびインク室隔壁２９上に一文字に塗布供給し、加熱して導電性樹脂１０を硬化させる。
【００４０】
その後、図３（ａ）に示すように、スパッタリング技術によって、ＡｕやＮｉ，Ａｌ，Ｃｕなどの電極材料になる金属８２を導電性樹脂１０上およびインク室内全面に製膜する。その後、駆動用電極形成時にインク室隔壁２９上で短絡している金属膜８２と導電性樹脂１０を図示しないラッピングフィルム等で研削することで、駆動用電極２８および充填された導電性樹脂１０をインク室２２毎に電気的に分離させる。
【００４１】
次に、図３（ｂ）に示すように、インク室形成ブレード７０よりも薄いダイシングブレード７２を用いて、インク室２２の長手方向と平行方向に応力を分散するための開放辺となるスリット９０を導電性材料１０に形成する。
【００４２】
このスリット９０の形成については、環境温度変化などによるアクチュエータ（インク室隔壁２９）と、インク室２２に充填した導電性樹脂１０と、の線膨張係数のミスマッチに起因して各インク室２２内に発生する応力はインク室毎に分離し、発生する応力をスリット幅の形状変化によって抑制して、導電性樹脂１０とインク室隔壁２９の界面剥離や導電性樹脂１０のクラックを防止することが目的であるため、発生する応力が小さかったり、充填する導電性樹脂１０のインク室隔壁２９との接着強度や導電性樹脂１０のバルク強度が高ければ、すべてのインク室２２にスリット９０を形成する必要はなく、例えば５チャンネルおきに形成することもでき、その場合には、スリット形成工程の作業時間短縮化が可能となる。
【００４３】
そして、インク供給口４１用のザグリを形成した圧電材料から成るカバーウエハ８３を用意する。これは、後にインクジェットヘッドに構成されたときにインク供給口４１を形成し、インク室２２の上部を封じるカバー部材４０になる。通常、カバーウエハ８３はインク室２２を形成するアクチュエータとの熱膨張率のマッチングを良くするためにインク室２２を構成する圧電材料と同じ材料を使うが、熱膨張率が比較的近い安価なアルミナセラミックを用いてもよい。
【００４４】
次いで、インク室アレイを形成したチャンネルウエハ８６とカバーウエハ８３を市販の接着剤で接着する。このとき、導電性樹脂１０が充填された部分はカバーウエハ８３のインク供給口４１のためのザグリ部分中央部に来るように位置合わせを行い、図３（ｃ）に示すように、両者を貼り合わせる。その後、同図に破線で示すダイシングラインで、カバーウエハ８３のインク供給口用ザグリ部分でインク室ウエハ８６の導電性樹脂充填部分を図示しないダイサーのダイシングブレードにより切断し、個々のアクチュエータに小片化する。
【００４５】
このとき、切断面には導電性樹脂の切断面がアクチュエータ側面に露出しおり、その露出面が後に接続される駆動用ＩＣに導通した外部回路との電気的接続用電極となり、以上でアクチュエータが完成する。
【００４６】
また、本実施の形態のように、導電性樹脂１０をインク室２２に充填した後に機械加工等でスリット９０を形成する方法の他に、図４に示すように、導電性樹脂１０と片側のインク室隔壁との直接接続をなくすように、スリット９１を形成してもよい。
【００４７】
この構造を安価に製造する方法としては、予めインク室２２の片側の隔壁面にレジスト等を直線性の良いスプレー方式でインク室延長方向に対して直交方向の斜め上方から塗布して硬化させておき、その後に導電性樹脂１０を充填し、導電性樹脂１０の電気的分離のための上部研削等の工程の後にレジストを溶媒で溶解させることで、レジストを予め塗布しておいた部分をスリット９１とすることができる。
【００４８】
この場合においても、図１に示した前記スリット９０と同様に応力分散および応力抑制の効果が期待できる。さらに、このスリット形成方法では機械加工が軽減されるため、導電性樹脂１０へのダメージも軽減されるので、さらに長期の信頼性確保を実現することができる。
【００４９】
以上、図１ないし図４を参照しつつ説明した本実施の形態の構成においては、外部接続用の電極としてインク室２２内に充填された導電性材料１０の溝形成方向に対して直交する方向の断面にて、導電性材料１０の少なくとも一部に、二辺以上の開放辺が存在する。
【００５０】
従って、材料コストの削減を実現でき、アクチュエータのコンパクト化が可能となり、また、静電容量の低減により、駆動周波数を向上させて高速印字が実現できると共に、駆動電圧の低減化が可能となり駆動用ＩＣの低耐電圧化が行えることから、駆動用ＩＣコストと駆動消費電力の低減化を実現できる。
【００５１】
そして、各インク室２２内に充填された導電性材料１０と、圧電基板２７からなるインク室隔壁との線膨張差に起因して発生する応力は、インク室毎に分離されており、かつ、その応力は、上述のように、導電性材料１０に二辺以上の開放辺（スリット）を形成したことより、導電性材料１０の形状が、スリット幅の変化によって比較的に容易に変形することで、分散・抑制されるため、高い長期信頼性を確保することができる。
【００５２】
また、その製造方法においては、厚さ方向に分極処理を行い所定ピッチで溝加工が行われて各インク室２２内に駆動用電極２８が形成された圧電基板（チャンネルウエハ）２７の溝にインク室内の電極２８に導通させ、かつ、二辺以上の開放辺（スリット９０又は９１）が少なくとも一部に存在する導電性材料１０をインク室２２内に形成する工程と、前記圧電基板２７とカバー部材（カバーウエハ）４０とを接着する工程と、前記接着ウエハを小片化する工程と、を含む。
【００５３】
従って、インク室２２内の充填導電性材料１０の小片化断面を外部回路接続用電極に利用することができるため、従来のような外部接続用に電極を引き出すために嵩高くて複雑な構造のアクチュエータを形成する必要がなくなり、工程の簡素化を実現することができ、長期信頼性の高いインクジェットヘッドを安価に提供することができる。
【００５４】
なお、本発明は、上記実施の形態によって限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限度において、適宜、必要に応じて、改良や設計変更を行ってよいのは言うまでもない。
【００５５】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明は、以下の効果を奏する。
【００５６】
（１）圧電基板の後端部では、外部接続用の電極として前記インク室内に充填された導電性樹脂の切断面が露出するので、従来のように、インク室内の電極を実装のためにインク室外に引き出す必要がなくなるため、アクチュエータのアクティブエリア以外の部分がほとんど不要となり、コンパクト化が可能となり、材料コストの削減を実現できる。
【００５７】
また、静電容量の低減により、駆動周波数を向上させて高速印字が実現できると共に、駆動電圧の低減化が可能となり駆動用ＩＣの低耐電圧化が行えることから、駆動用ＩＣコストと駆動消費電力の低減化を実現できる。
【００５８】
そして、各インク室内に充填された導電性材料と、圧電基板からなるインク室隔壁との線膨張差に起因して発生する応力は、インク室毎に分離されており、かつ、その応力は、導電性材料に形成した二辺以上の開放辺により導電性材料が容易に変形することで分散・抑制されるため、導電性樹脂のクラックの発生や導電性樹脂とインク室の内壁との間の界面剥離の発生を防止することができ、高い長期信頼性を確保することができる。
【００５９】
（２）厚さ方向に分極処理を行い所定ピッチで溝加工が行われて各インク室内に駆動用電極が形成された圧電基板（チャンネルウエハ）の溝にインク室内の電極に導通し、かつインク室を形成する溝に直交する断面に二辺以上の開放辺を少なくとも一部に有する導電性材料をインク室内に形成する工程と、前記圧電基板とカバー部材（カバーウエハ）とを接着する工程と、前記接着ウエハを小片化する工程と、を含む。
【００６０】
従って、インク室内の充填導電性材料の小片化断面を外部回路接続用電極に利用することができるため、従来のように、インク室内の電極を実装のためにインク室外に引き出す必要がなくなるため、材料コストを削減することができ、かつ、工程の簡素化を実現することができ、インクジェットヘッドを低コストで生産することができる。
【００６１】
そのインクジェットヘッドは、アクチュエータがコンパクト化され、かつ、静電容量の低減により、駆動周波数向上が行えるため高速印字を実現でき、駆動電圧の低減が行えるため駆動用ＩＣの低耐電圧化により駆動用ＩＣコストおよび駆動消費電力の低減化を実現でき、さらに、圧電基板からなるインク室隔壁との線膨張差に起因して発生する応力を、導電性材料の一部に形成した二辺以上の開放辺により分散・抑制して、導電性樹脂のクラックの発生や導電性樹脂とインク室の内壁との間の界面剥離の発生を防止できる高い長期信頼性を備えている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。
【図２】同インクジェットヘッドの製造方法の説明図である。
【図３】同インクジェットヘッドの製造方法の他の説明図である。
【図４】同他のインクジェットヘッドの断面図である。
【図５】従来のインクジェットヘッドの断面図である。
【図６】同インクジェットヘッドの製造方法の説明図である。
【図７】同他のインクジェットヘッドの断面図である。
【図８】同別のインクジェットヘッドの断面図である。
【図９】同異なるインクジェットヘッドの断面図である。
【符号の説明】
１０−導電性樹脂
２０−圧電基板
２１−後端部
２２−インク室
２７−圧電基板（シェブロンタイプアクチュエータ）
２８−電極（アクチュエータ駆動用電極）
２９−内壁（隔壁）
４０−カバー部材
８０−圧電基板（インク室形成用圧電材料ウエハ）
８１−溝
８３−カバー部材（カバー用ウエハ）
８６−圧電基板（シェブロンタイプインク室形成用圧電材料ウエハ）
９０−開放辺（スリット）
９１−開放辺（スリット）
【図１】
2004174811.tif 000003
【図２】
2004174811.tif 000004
【図３】
2004174811.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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