(57)【要約】【課題】半導体装置のテストコストを算出する場合の担当者の負担を軽減するとともに、計算結果の信頼性を高めたテストコスト算出システムを提供する。【解決手段】テスト製品の内容を規定する製品基準情報と、テスト内容を規定するテスト基準情報と、各工場のテスト運営計画を規定する工場運営基準情報とを通信回線６を介して外部から入手してこれらの各情報をデータベースとして格納する情報収集手段４ａと、この情報収集手段４ａで収集された上記各情報を用いてテスト時のテストコストを所定の計算式に基づいて算出するテストコスト演算手段４ｂとを備えている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスト対象となる半導体装置の製品名、ロットサイズなどのテスト製品の内容を規定する製品基準情報と、テストフロー、テスト装置、テスト時間などのテスト内容を規定するテスト基準情報と、テストを実施する各工場におけるテスト工程ごとの単価や稼働率などの運営計画を規定する工場運営基準情報とを通信回線を介して外部から入手してこれらの各情報をデータベースとして格納する情報収集手段と、この情報収集手段で収集された上記各情報を用いてテスト実施時の加工費や償却費などの計画上のテストコストを所定の計算式に基づいて算出するテストコスト演算手段と、を備えることを特徴とする半導体装置のテストコスト算出システム。
【請求項２】
テスト対象となる半導体装置の製品名、ロットサイズなどのテスト製品の内容を規定する製品基準情報と、テストフロー、テスト装置、テスト時間などのテスト内容を規定するテスト基準情報と、テストを実施する各工場におけるテスト工程ごとの単価や稼働率などの運営計画を規定する工場運営基準情報と、テストを実施する各工場におけるテスト実績情報とを通信回線を介して外部から入手してこれらの各情報をデータベースとして格納する情報収集手段と、この情報収集手段で収集された各情報の内、上記テスト実績情報に基づいて上記テスト基準情報および工場運営基準情報を補正し、その補正後の情報および上記製品基準情報を用いてテスト実施時の加工費や償却費などの実稼働上のテストコストを所定の計算式に基づいて算出するテストコスト演算手段と、を備えることを特徴とする半導体装置のテストコスト算出システム。
【請求項３】
上記テストコスト演算手段は、実稼働上のテストコストを算出するのに加えて、さらに上記製品基準情報、テスト基準情報および工場運営基準情報を用いて計画上のテストコストを算出するものであることを特徴とする請求項２記載の半導体装置のテストコスト算出システム。
【請求項４】
上記テストコスト演算手段は、上記テストコストを項目別に一覧表にしたテストコストテーブルを作成し、このテストコストテーブルを製品価格等を決定する経理部門に伝送するものであることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の半導体装置のテストコスト算出システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンピュータ制御によって半導体装置のテストコストを自動的に算出するテストコスト算出ステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体装置の製造に際しては、その装置の安全性を確認したり、製品の信頼性を高めるために、各種のテストが実施される。このように、半導体装置に対して各種テストを実施する場合、比較的高価なテスト装置が使用され、また、テスト作業には人手も要するので、装置の償却費や人件費などの経費がかかる。そして、半導体装置の各種テストを実施する際にかかる費用を製品価格にある程度反映させるためには、各種テストを実施する際の必要経費であるテストコストを予め算出することが必要となる。
【０００３】
また、上記のようにしてテストコストを一旦算出した後であっても、技術向上や製品の要求品質の変化等によってテストコストを見直す必要性がしばしば発生する。すなわち、半導体装置について各種テストを実施する過程においては、テスト項目として必要なものが後で追加されたり、後日不要なテスト項目として削除される場合があり、また、テスト方法についても効率的な方法が後で採用されるようになるなど、テスト実績を積むのに従ってテスト内容が次第に淘汰されていく。このため、そのようなテスト実績の変化に伴ってテストコストを定期的に見直すことが必要となる。
【０００４】
ところで、従来技術において、担当者は、次のようにして半導体装置についてのテストコストを算出している。
【０００５】
テストコストの算出には、半導体装置の製品名、ロットサイズなどのテスト製品の内容を規定する製品基準情報や、テストフロー、テスト装置、テスト時間などのテスト内容を規定するテスト基準情報や、さらにはテストを実施する各工場におけるテスト工程ごとの単価や稼働率等の運営計画を規定する工場運営基準情報などが必要となる。この場合、従来では、これらの各基準情報は一元管理する状態になっておらず、各部門で独自に情報を管理しているため、担当者はそれらの各基準情報を管理している各部門からそれぞれ個別に情報を収集した上で、テストコストを算出するようにしている。
【０００６】
また、テスト実績の変化に伴ってテストコストを見直す必要が生じた場合には、各工場でのテスト実績の情報をその都度入手し、そのテスト実績情報に基づいてテスト基準情報や工場運営基準情報を補正し、その補正後の情報によって再度実稼働上のテストコストを算出するようにしている。
【０００７】
なお、半導体装置に関して、検査点回路面積のオーバーヘッドを低減する技術が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１０−１９７６０１号公報（第１−３頁、図１）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
前述のように、従来技術では、テストコストを算出するために必要となる製品基準情報、テスト基準情報、工場運営基準情報などは、各情報を管理する部門ごとに別々に存在しているため、テストコストの算出に際して、担当者はこれらの各情報を収集する作業を行わねばならなかった。このため、必要な情報の収集作業に過大な手間と時間を要するとともに、全て手作業で行う必要があったために情報の入力ミスが生じ易かった。また、上記の各基準情報が改定された場合にも、担当者はその都度、改定された事項についての情報を手作業で入力する必要があったため、入力ミス等を生じ易かった。
【００１０】
さらに、各工場ではテスト実績を積むのに伴ってテスト条件が次第に変更されていくことが多いが、従来では、各工場でのテスト実績からテスト条件などが変更されても、その変更事項がテストコストを計算する際に直ちに反映されないため、算出されたテストコストと実際にかかるテストコストとの整合性がとれず、テストコストの計算結果の信頼性が未だ不十分であった。
【００１１】
テストコストの計算結果の信頼性を高めるには、担当者がテスト実績の情報をきめ細かく収集した上でテスト基準情報や工場運営基準情報をその都度手作業で補正する必要が生じるので、その補正のために過大な手間と時間を要していた。
【００１２】
なお、上記の特許文献１の技術は、半導体装置の内部にテスト回路を設ける、いわゆるビルトインセルフテストを実施するための技術であって、半導体装置のテストに要する経費を算出するための技術ではない。
【００１３】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、テストコストを短時間の内に自動的に、かつ精度良く算出できるようにし、これによって、テストコストの計算結果の信頼性を高めるとともに、テストコストの算出に伴う作業者の負担を大幅に軽減することができる半導体装置のテストコスト算出システムを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するために、次のようにしている。
【００１５】
すなわち、第１の発明に係る半導体装置のテストコスト算出システムは、テスト対象となる半導体装置の製品名、ロットサイズなどのテスト製品の内容を規定する製品基準情報と、テストフロー、テスト装置、テスト時間などのテスト内容を規定するテスト基準情報と、テストを実施する各工場におけるテスト工程ごとの単価や稼働率などの運営計画を規定する工場運営基準情報とを通信回線を介して外部から入手してこれらの各情報をデータベースとして格納する情報収集手段と、この情報収集手段で収集された上記各情報を用いてテスト実施時の加工費や償却費などの計画上のテストコストを所定の計算式に基づいて算出するテストコスト演算手段と、を備えることを特徴としている。これにより、半導体装置のテストコストを短時間の内に算出することができるため、作業者の負担を大幅に軽減することができる。
【００１６】
第２の発明に係る半導体装置のテストコスト算出システムは、テスト対象となる半導体装置の製品名、ロットサイズなどのテスト製品の内容を規定する製品基準情報と、テストフロー、テスト装置、テスト時間などのテスト内容を規定するテスト基準情報と、テストを実施する各工場におけるテスト工程ごとの単価や稼働率などの運営計画を規定する工場運営基準情報と、テストを実施する各工場におけるテスト実績情報とを通信回線を介して外部から入手してこれらの各情報をデータベースとして格納する情報収集手段と、この情報収集手段で収集された各情報の内、上記テスト実績情報に基づいて上記テスト基準情報および工場運営基準情報を補正し、その補正後の情報および上記製品基準情報を用いてテスト実施時の加工費や償却費などの実稼働上のテストコストを所定の計算式に基づいて算出するテストコスト演算手段と、を備えることを特徴としている。これにより、半導体装置のテストコストを短時間の内に算出することができるため、作業者の負担を大幅に軽減できるのに加えて、テストコストを計算する際にテスト実績が反映されるため、計算により得られるテストコストと実際にかかるテストコストとの整合性がとれるようになり、テストコストの計算結果の信頼性を一層高めることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１に係る半導体装置のテストコスト算出システムの全体構成を示すブロック図である。
【００１８】
この実施の形態１における半導体装置のテストコスト算出システム１は、各種情報を一括管理する情報管理部門、各工場のテスト部門、技術管理部門、および製品価格等を決定する経理部門にそれぞれコンピュータ２〜５が設置され、これらの各部門のコンピュータ２〜５がＬＡＮなどの通信回線６を介して互いに接続されて構成されている。
【００１９】
また、各部門に設置されたコンピュータ２〜５には、情報を格納するハードディスク等の外部記憶装置２ｈ〜５ｈが設けられるとともに、各コンピュータ２〜５に対しては、情報を入出力するためのキーボードやマウス等の操作部や、情報を表示するディスプレイなど（いずれも図示省略）が設けられている。
【００２０】
情報管理センタのコンピュータ２に付属する外部記憶装置２ｈには、テスト対象となる製品の内容を規定する製品基準情報や、テスト内容を規定するテスト基準情報などがデータベースとして格納されている。
【００２１】
上記の製品基準情報の具体例としては、テスト対象となる半導体装置の製品名、テストを実施する工場名、ロットサイズ、製品歩留まりなどの情報がある。また、テスト基準情報の具体例としては、テストフロー、テスト装置名、テスト時間、製品搬送に要するインデックス時間、同測数（同時にテストを実施するチップの個数）、ロット処理時間、段取り替え時間などの情報がある。
【００２２】
また、テストを実施する各工場に設置されたコンピュータ３に付属する外部記憶装置３ｈには、工場の運営計画を規定する工場運営基準情報や、テストを継続的に実施していく過程で改善変更された事項を示すテスト実績情報などがデータベースとして格納されている。
【００２３】
上記の工場運営基準情報の具体例としては、テスト工程ごとの加工レート（時間当たり単価）、人員や装置の稼働率、製品投入の割合を示す製品負荷率、設備償却費レート、その他の費用係数などの計画値の情報がある。また、テスト実績情報としては、たとえば、加工レートが変更された場合には変更後の加工レートや、人員や装置の実績稼動率など、工場の実態にあった情報が格納されている。
【００２４】
技術管理部門のコンピュータ４は、図示しないキーボードや表示器等を介して外部記憶装置４ｈに格納されている情報の入出力を行うとともに、所定のプログラムをインストールすることにより特許請求の範囲における情報収集手段４ａおよびテストコスト演算手段４ｂが構成されている。
【００２５】
また、この技術管理部門のコンピュータ４に付属する外部記憶装置４ｈには、図２に示すように、情報管理部門のコンピュータ２から通信回線６を介してから取り込んだ製品基準情報やテスト基準情報、ならびに各工場のコンピュータ３から通信回線６を介して取り込んだ工場運営基準情報やテスト実績情報がいずれもデータベースとして格納されるようになっている。
【００２６】
次に、上記構成のテストコスト算出システム１において、技術管理部門のコンピュータ４においてテストコストを算出する場合の処理動作について、図３に示すフローチャートを参照して説明する。なお、図中、符号Ｓは各ステップを意味する。
【００２７】
ここでは便宜上、ある一つの工場に着目し、その工場で製造される１種類の半導体装置について、その製品の全数をＮ工程分にわたってテストする場合を前提としてテストコストを算出するものとする。
【００２８】
まず、技術管理部門において、図示しない端末装置からコンピュータ４に対してどのような内容のテストコストを算出するかの条件を予め設定入力する（Ｓ１）。すなわち、各基準情報のみに基づく計画上のテストコストを算出する場合にはフラグＦ＝０を、工場でのテスト実績を加味した実稼働上のテストコストを算出する場合にはフラグＦ＝１を、計画上および実稼働上の双方のテストコストを算出する場合にはフラグＦ＝２をそれぞれ設定入力する。
【００２９】
次いで、コンピュータ４の情報収集手段４ａは、情報管理センタのコンピュータ２から通信回線６を介して製品基準情報とテスト基準情報を、また工場のコンピュータ３から通信回線６を介して工場運営基準情報をそれぞれ取り込み、これらの基準情報を外部記憶装置４ｈにデータベースとして格納する（Ｓ２）。
【００３０】
次に、コンピュータ４は、フラグＦ＝０か否かを判断し（Ｓ３）、フラグＦ＝０の場合には、計画上のテストコストを算出する必要があるものと判断して次の処理に移行する。
【００３１】
すなわち、テストコスト演算手段４ｂは、外部記憶装置４ｈにデータベースとして格納されている上記の製品基準情報、テスト基準情報、および工場運営基準情報を用いて、次式によって項目別に費用Ａ〜Ｄを算出する（Ｓ９〜Ｓ１２）。
【００３２】
半導体装置の１チップ当たりの工程別の加工費Ａ：
Ａ＝［｛（段取り替え時間＋ロット処理時間）／ロットサイズ｝／人員稼働率］×加工レート／生産負荷率                    ▲１▼
【００３３】
半導体装置の１チップ当たりの工程別の償却費Ｂ：
Ｂ＝［｛（テスト時間＋インデックス時間）／同測数＋（段取り替え時間＋ロット処理時間）／ロットサイズ｝／装置稼働率］×設備償却費レート／生産負荷率                                  ▲２▼
【００３４】
半導体装置の１チップ当たりの工程別のその他費用Ｃ：
Ｃ＝（Ａ＋Ｂ）×その他費用係数                        ▲３▼
【００３５】
半導体装置の１チップ当たりの工程別のテストコストＤ：
Ｄ＝Ａ＋Ｂ＋Ｃ                                        ▲４▼
【００３６】
こうして、半導体装置の１チップ当たりの１工程分の各項目別の費用Ａ〜Ｄが算出されると、次にこの半導体装置に関して全てのテスト工程１〜Ｎについての計算が終了したか否かを判断し（Ｓ１３）、全てのテスト工程１〜Ｎについて各項目別の費用Ａ〜Ｄが算出されるまで、上記のＳ９〜Ｓ１２の計算を繰り返す。
【００３７】
このようにして、上記▲１▼〜▲４▼式に基づいて全てのテスト工程１〜Ｎについて各項目別の費用Ａ〜Ｄが算出されると、次に、１工程目からＮ工程目までの全工程に要する各費用Ａ〜Ｄを項目ごとに積算する。すなわちΣＡ，ΣＢ，ΣＣ，ΣＤを求める（Ｓ１４）。
【００３８】
続いて、コンピュータ４は、各項目ごとの費用の積算値ΣＡ，ΣＢ，ΣＣ，ΣＤを一覧表にした計画上のテストコストテーブルを作成し、この計画上のテストコストテーブルを外部記憶装置４ｈに格納する（Ｓ１５）。次に、フラグＦ＝１であるか否かを判断し（Ｓ１６）、フラグＦ＝１でなければ、この計画上のテストコストテーブルを経理部門のコンピュータ５に通信回線６を介して伝送する（Ｓ１７）。
【００３９】
一方、前述のＳ３において、コンピュータ４は、フラグＦ＝０でない場合には、続いて、フラグＦ＝１か否かを判断する（Ｓ４）。このとき、フラグＦ＝１の場合には、各工場でのテスト実績を加味した実稼働上のテストコストを算出する必要があるものと判断して次の処理に移行する。
【００４０】
すなわち、情報収集手段４ａは、各工場のコンピュータ３から通信回線６を介して工場運営基準情報をそれぞれ取り込み、これらの基準情報を外部記憶装置４ｈにデータベースとして格納する（Ｓ６）。そして、このテスト実績情報に基づいて予め外部記憶装置４ｈに予め格納されている上記のテスト基準情報および工場運営基準情報を補正する（Ｓ７）。
【００４１】
たとえば、図２において、テスト１の工程でテスト装置Ａを用いた場合のテスト時間が当初のテスト基準情報では１０秒であっても、ある工場のテスト実績として８秒で実施されている場合には、テスト時間として８秒となるようにテスト基準情報を補正する。また、テスト２の工程でテスト装置Ｂを用いた加工レートが当初の工場運営基準情報では３５００円であっても、ある工場のテスト実績として３０００円に変更されている場合には、加工レートとして３０００円となるように工場運営基準情報を変更する。
【００４２】
次に、フラグＦ＝０にセットした後（Ｓ８）、テストコスト演算手段４ｂは、その補正後の情報および製品基準情報を用いて上記▲１▼〜▲４▼式に基づいて１工程分の各項目別の費用Ａ〜Ｄを算出し（Ｓ９〜１２）、さらに、これをＮ工程分まで繰り返して１工程目からＮ工程目までの全工程に要する各項目ごとの費用Ａ〜Ｄの積算値、すなわちΣＡ，ΣＢ，ΣＣ，ΣＤを求める（Ｓ１４）。
【００４３】
そして、各項目ごとの費用の積算値ΣＡ，ΣＢ，ΣＣ，ΣＤを一覧表にした実稼働上のテストコストテーブルを作成し、この実稼働上のテストコストテーブルを外部記憶装置４ｈに格納する（Ｓ１５）。続いて、フラグＦ＝１であるか否かを判断し（Ｓ１６）、フラグＦ＝１でなければ、この実稼働上のテストコストテーブルを経理部門のコンピュータ５に通信回線６を介して伝送する（Ｓ１７）。
【００４４】
また、前述のＳ４でフラグＦ＝１でない場合（つまりフラグＦ＝２の場合）、コンピュータ４は、計画上および実稼働上の双方のテストコストを算出する必要があるものと判断して、まず、フラグＦ＝１にセットした後（Ｓ５）、テストコスト演算手段４ｂは、Ｓ９〜Ｓ１５の処理で最初に計画上のテストコストテーブルを作成し、このテストコストテーブルを外部記憶装置４ｈに格納する。
【００４５】
さらに、引き続いて、Ｓ６に戻ってテスト実績情報に基づいてテスト基準情報および工場運営基準情報を補正した後（Ｓ７）、テストコスト演算手段４ｂは、Ｓ９〜Ｓ１５の処理で実稼働上のテストコストテーブルを作成し、この実稼働上のテストコストテーブルを外部記憶装置４ｈに格納する。
【００４６】
続いて、フラグＦ＝１であるか否かを判断し、フラグＦ＝１でなければ、この計画上のテストコストテーブルと実稼働上のテストコストテーブルとを共に経理部門のコンピュータ５に通信回線６を介して伝送する（Ｓ１７）。
【００４７】
上記の説明は、ある一つの工場において製造される１種類の半導体装置についてテストコストを算出する場合であるが、他の種類の半導体装置についても同様にテストコストが算出される。また、その他の工場において製造される各種の半導体装置についても同様にテストコストが算出される。
【００４８】
このように、この実施の形態１では、半導体装置のテストコストの計算結果を示すテストコストテーブルを短時間の内に得ることができるため、作業者の負担を大幅に軽減することができる。また、各製品基準情報、テスト基準情報、工場運営基準情報などの基準情報が改定されても、テストコストを算出する際にはその改定事項が自動的に反映されるため、各基準情報の改定に伴う入力ミス等を確実に防ぐことができる。
【００４９】
また、テスト実績情報に基づいてテスト基準情報および工場運営基準情報を補正して実稼働上のテストコストテーブルを作成する場合には、各工場でのテスト実績が上記▲１▼〜▲４▼式に基づいて算出されるテストコストに反映されるようになるため、計算により得られるテストコストと、実際にかかるテストコストとの整合性がとれるようになる。このため、テストコストの計算結果の信頼性を一層高めることができる。
【００５０】
さらに、計画上のテストコストと実稼働上のテストコストの双方を算出することもできるので、両者を比較することにより、計画上と実稼働上との相違点を分析するなど、今後、半導体装置のテストについて技術改善を図る上での指標を得ることができる。
【００５１】
さらにまた、上記のようにして技術管理部門のコンピュータ４で作成された計画上のテストコストテーブルや実稼働上のテストコストテーブルは、経理部門のコンピュータ５に伝送されるので、経理部門では、これらのテストコストテーブルを参照して、半導体装置の製品価格を設定したり、各工場へのテスト費用の支払いなどの処理を行うことができる。
【００５２】
なお、上記の実施の形態１では、工場で製造される半導体装置の全数をテストする場合を前提としてテストコストを算出する場合の動作について説明したが、本発明は、これに限らず、製造される半導体装置の内から所定の半導体装置を抜き取り的にテストする場合にも適用可能である。その場合には、計算式に用いるロットサイズ、同測数、生産負荷率など、テストコストの計算に必要な項目についての値を適宜変更することにより対処することができる。
【００５３】
【発明の効果】
第１の発明に係る半導体装置のテストコスト算出システムによれば、半導体装置のテストコストを短時間の内に自動的に算出することができるため、テストコストを算出する上での作業者の負担を大幅に軽減することができる。また、各基準情報が改定されても、テストコストを算出する際にはその改定事項が反映されるため、基準情報の改定に伴う入力ミス等を確実に防ぐことができる。
【００５４】
第２の発明に係る半導体装置のテストコスト算出システムによれば、半導体装置のテストコストを短時間の内に自動的に算出することができるため、テストコストを算出する上での作業者の負担を大幅に軽減できるのに加えて、テストコストを計算する際に各工場でのテスト実績が反映されるようになるため、計算により得られるテストコストと実際にかかるテストコストとの整合性がとれるようになり、テストコストの計算結果の信頼性を一層高めることができる。したがって、経理上の指標や技術改善を図る上での指標として有効に活用できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係るテストコスト算出システムの全体構成を示すブロック図である。
【図２】半導体装置のテストコストの算出のためにデータベースとして格納されている各基準情報の一例を示す説明図である。
【図３】テストコストの算出手順を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
１  半導体装置のテストコスト算出システム、２  情報管理部門のコンピュータ、２ｈ  外部記憶装置、３  工場のコンピュータ、３ｈ  外部記憶装置、４  技術管理部門のコンピュータ、４ａ  情報収集手段、４ｂ  テストコスト演算手段、４ｈ  外部記憶装置、５  経理部門のコンピュータ、５ｈ  外部記憶装置、６  通信回線。
【図１】
2004214484.tif 000003
【図２】
2004214484.tif 000004
【図３】
2004214484.tif 000005