(57)【要約】【課題】軽量で、高速回転する回転体の微小な不釣り合い量を正確に測定し、調整できる動バランス調整機の提供。【解決手段】本調整機は回転体である被調整体の基準回転位相マークを検出する基準マークセンサーと、被調整体表面に液状体を吐出して付着させ固化させる加重手段と、吐出位置を相対的に被調整体の周方向及び半径方向にそれぞれ移動させる移動手段と、被調整体の動バランス調整のための加重点と重量の情報入力と基準マークセンサーからの入力に基づいて複数の加重点と重量のベクトル成分の演算を行い、加重手段の液状体の吐出量と移動を制御する制御手段とを備える。【選択図】　　　　図１
2004029003.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体である被調整体の基準回転位相マークを検出する基準マークセンサーと、前記被調整体表面に液状体をノズルから吐出して付着させ固化させる加重手段と、前記ノズルの吐出位置を相対的に被調整体の周方向及び半径方向にそれぞれ移動させる移動手段と、前記被調整体の動バランス調整のための加重点と重量の情報入力と基準マークセンサーからの入力に基づいて複数の加重点と重量のベクトル成分の演算を行い、前記加重手段のノズルからの液状体の吐出量と前記移動手段による前記周方向または半径方向の移動を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする動バランス調整機。
【請求項２】
前記液状体が紫外線により硬化する樹脂液であり、前記加重手段が前記樹脂液を付着された被調整体表面に紫外線を照射する手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の動バランス調整機。
【請求項３】
回転体である被調整体の基準回転位相マークを検出する基準マークセンサーと、前記被調整体表面に窪みを掘削して削り屑を除く除重手段と、該除重手段の前記窪み掘削位置を相対的に被調整体の周方向及び半径方向にそれぞれ移動させる移動手段と、前記被調整体の動バランス調整のための除重点と除重量の情報入力と基準マークセンサーからの入力に基づいて複数の除重点と重量のベクトル成分の演算を行い、前記除重手段の掘削する窪み深さと前記移動手段による前記周方向または半径方向の移動を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする動バランス調整機。
【請求項４】
前記被調整体がポリゴンミラーユニットであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の動バランス調整機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は回転体の動バランス調整機に関し、高速回転するポリゴンミラー等に好適に用いられる動バランス調整機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
軽量で高速回転するポリゴンミラーも、特開平４−１７２２２７号公報に記載しているような、タイヤ用の縦型２面動バランス測定機すなわち、上部にタイヤ装着手段を有する下部のモータのケースの上下２箇所をコイルバネ等で片持ち状に機体固定部に連結すると共に、連結面を一致させて同じく上下２箇所で両者をロードセルやムービングコイル等のケースの振動センサーを介し連結して、モータ軸やタイヤの位置マークを検出する位相センサーとモータの回転速度及び振動センサーの情報からタイヤの上下２面の最大振れ量とその位相角とを求める測定機と同様の測定機により、動バランスを測定している。
【０００３】
その動バランス測定機では、コイルバネがポリゴンミラーよりずっと重量の大きいモータ等を片持ちで支持するためにバネ定数の大きなものになることや、さらにポリゴンミラーを使用時と同じの高速で回転するために摩擦抵抗の少ない動圧軸受で構成されている場合は、動圧軸受で形成される空気層が微小振動を吸収することことにより、高感度の振動センサーを用いないことには微小な不釣り合い量を測定することができないという問題がある。また、振動センサーにモータケースと機体固定部の連結方向の力だけでなく、それに直角方向の力も加わるため、動バランス測定に不必要な力の成分も含めた測定を行ってしまい、測定が不正確になり易いという問題もある。
【０００４】
それに対して、ポリゴンミラー装着手段とポリゴンミラーを回転させるモータを備えた駆動基板部をコロ等で一方向に水平移動可能に支承したり、あるいは上記駆動基板部を上方の機体固定部のモータ回転軸中心を中心とする正方形の４頂点位置から４本の等長吊り紐で水平に吊り下げたりして、駆動基板部の重量がモータ回転軸中心に直角な方向の振動に及ぼす影響をできるだけ軽減するようにした動バランス測定機も知られている。しかし、このような測定機は静バランスの測定機であって、動バランスは測定できない。
【０００５】
一方、例えば上述の動バランス測定機によって回転体のバランス調整のための一定半径位置に付加すべき重り重量と位置位相角を与えるベクトル［Ｍ］を求めることができる。しかし［Ｍ］が与えられても付加すべき重り重量が大きいときや、付加位置が前回の付加位置と同じであるときは、一定半径位置の一点を与える位相角位置に重りを付けることはできなくて、広がった位置に付けるようになるから、１回の与えられた［Ｍ］に基づく動バランス調整で十分な動バランスを取るのは困難であり、何回も動バランス測定とその結果に基づく動バランス調整を繰り返すことになって、動バランス調整に手間が掛かり易いという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述の従来のポリゴンミラー等回転体の動バランス調整における問題を解消するためになされたものであり、正確な動バランス調整のための付加すべき重り重量または除去すべき削り重量と位置情報とを与えられたら１回の付加動作または掘削除去動作で正確な動バランス調整ができるような動バランス調整機の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、回転体である被調整体の基準回転位相マークを検出する基準マーク検出センサーと、前記被調整体表面に液状体をノズルから吐出して付着させ固化させる加重手段と、前記ノズルの吐出位置を相対的に被調整体の周方向及び半径方向にそれぞれ移動させる移動手段と、前記被調整体の動バランス調整のための加重点と重量の情報入力と基準マークセンサーからの入力に基づいて前記加重手段のノズルからの液状体の吐出量と前記移動手段による前記周方向または半径方向の移動を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする動バランス調整機の第１発明の構成、又は、回転体である被調整体の基準回転位相マークを検出する基準マーク検出センサーと、前記被調整体表面に窪みを掘削して削り屑を除く除重手段と、該除重手段の前記窪み掘削位置を相対的に被調整体の周方向及び半径方向にそれぞれ移動させる移動手段と、前記被調整体の動バランス調整のための除重点と除重量の情報入力と基準マークセンサーからの入力に基づいて前記除重手段の掘削する窪み深さと前記移動手段による前記周方向または半径方向の移動を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする動バランス調整機の第２発明の構成によって、前記の目的を達成する。
【０００８】
【作用】
すなわち、本発明の第１または第２発明の動バランス調整機においては、上述の本発明の動バランス測定機又は従来の動バランス測定機によって与えられる被調整体表面の加重すべき位置と加重量の情報または被調整体表面の除重すべき位置と除重量の情報と基準マークセンサーの出力情報に基づいて、制御手段が、加重手段のノズルの吐出位置または除重手段の窪み掘削位置を相対的に被調整体の周方向または半径方向にそれぞれ移動させる移動手段の駆動と、加重手段のノズルからの液状体の吐出または除重手段の掘削する窪みの深さを制御するから、その制御を例えば、与えられた位置だけに加重または除重したと見なし得る与えられた位置からの均等な分布を保持できる範囲の所定量ｍ（ｍは重量又は質量であるが、除重の場合はｈ＝ｍ／ρπｒ２（ｈは半径ｒのエンドミルで削除する円窪みの深さ、ρは被調整体の単位体積当たり重量又は質量）で表される深さｈの円窪みが相当する）、その広がり半径ｒ、加重または除重位置の回動中心からの半径Ｒとして、与えられた加重量または除重量Ｍ、位置位相角θの場合、Ｍ／ｍ＝ｎ＋ｓ（ｎは０又は正整数、ｓは真小数）のｎが０のときは、θの位置にｓ×ｍの加重または除重（除重の場合は半径ｒのエンドミルでｓ×ｈの深さの円窪みを掘削）、ｎが１のときは、θ±２ｒ／Ｒの２位置にそれぞれｍ／２とθの位置にｍ（１−ｃｏｓ２ｒ／Ｒ）＋ｍ×ｓの加重または除重、ｎが２のときは、θ±ｒ／Ｒの２位置にそれぞれｍとθの位置に２ｍ（１−ｃｏｓｒ／Ｒ）＋ｍ×ｓの加重または除重、ｎが３のときは、θ±ｒ／Ｒの２位置にそれぞれｍとθ±２ｒ／Ｒの２位置にそれぞれｍ／２とθの位置に２ｍ（１−ｃｏｓｒ／Ｒ）＋ｍ（１−ｃｏｓ２ｒ／Ｒ）＋ｍ×ｓの加重または除重を行うような制御をすることで、上述の１回の調整で正確な動バランスが得られるようになる。なお、制御は上述の加重や除重をドット状分布にする例に限らず、連続分布にするものでも、周方向に分布する例に限らず、半径方向に分布するものでも同様の結果を得ることができる。
【０００９】
【実施例】
以下図示例によって本発明を説明する。
【００１０】
図１は動バランス測定機の１例を示す概要斜視図、図２は動バランス測定機の駆動基板部の例を示す部分断面図、図３は第１発明の動バランス調整機の１例を示す概要斜視図、図４は第１発明の動バランス調整機によるバランス調整の例を示す被調整体の平面図、図５は第１発明と第２発明の動バランス調整機によるバランス調整の例を示す被調整体の部分斜視図、図６は第１発明と第２発明の動バランス調整機によるバランス調整の他の例を示す被調整体の平面図である。
【００１１】
図１において、１は、上部に回転体である被測定体Ｐを回転自在に装着する例えば図２に詳細を示した被測定体装着手段１０１と、装着された被測定体Ｐを矢印方向に回転させるモータ１２０とを有する駆動基板部、２は、駆動基板部１の下部に一体に垂下状態に設けられて、被測定体Ｐの回転の中心線に直角方向の振動を検出するための被検出部分２１、２２を上下に離して有する振動検出板部、３、４は、振動検出板部２の振動方向に直角の方向に左右の機体固定部７、８と振動検出板部２とを上部で連結している振動検出板部２の振動方向に直角の板バネ、５、６は、同じく左右の機体固定部７、８と振動検出板部２とを下部で連結している板バネ、９、１０は、振動検出板部２の被検出部分２１、２２の加速度あるいは振れ量と言った振れ情報を出力する例えば加速度ピックアップあるいはムービングコイル等を用いた振動センサーであり、それらの出力する振れ情報は、それぞれ回転に同期した成分のみを通してそれ以外の成分やノイズは除去するフィルタ回路を必要に応じて含む増幅回路１１、１２を介してマイクロコンピュータを用いた制御装置１４に入力される。
【００１２】
１３は、被測定体Ｐに設けた基準位置マークＰ１又は被測定体Ｐを回転させる軸等に設けた基準位置マークの検出信号を制御装着１４に出力する例えば発光素子と光電変換素子とからなる回転位相センサー、１５は、制御装置１４に測定機の駆動制御情報や振動センサー９、１０や回転位相センサー１３からの入力の演算制御情報及びスタート信号等を出力する操作パネル、１６は、制御装置１４の入出力制御情報や演算結果等のディスプレーである。
【００１３】
図２において図１と同一符号は同一機能部材を示し、図２の例の動バランス測定機は、駆動基板部１の被測定体装着手段１０１を、駆動基板部１に垂直に支持固定された芯軸１０２と、芯軸１０２に順次嵌着される下スラスト軸受１０３、ラジアル軸受１０５及び上スラスト軸受１０９と、芯軸１０２の上端面に設けたネジ穴に螺合してワッシャー１１８を介し上スラスト軸受１０９、ラジアル軸受１０５及び下スラスト軸受１０３の重なりを締め付け固定する締めネジ１１９とから成るものとし、被測定体Ｐを、上下スラスト軸受１０９、１０３間でラジアル軸受１０５の外径に嵌装される内径が１〜７μｍ程度の間隙を保ち、長さも上下スラスト軸受１０９、１０３との間に同様の間隙を生じさせる長さのカラー１０７と、カラー１０７の外径に嵌着した状態で一体的に設けられて下面側に多数のマグネット１２５を周方向に配設している被動部１１４と、カラー１０７の外径に嵌装されてカラー１０７の外径に設けられたネジに螺合するような固定部材１１７により被動部１１４に押し付けられカラー１０７に固定される多数の反射面１１５を外周に形成されたポリゴンミラー１１６とから成るものとしている。図２のような駆動基板部１は、被測定体Ｐを装着してステータコイル１２４により被動部１１４と一体のカラー１０７やポリゴンミラー１１６等を回転させると、下スラスト軸受１０３の上面に周方向に分布して形成した多数の渦巻き状の深さが数μｍの動圧発生用溝１２１が下スラスト軸受１０３とカラー１０７や被動部１１４との間隙に外周側から中心方向に流れてカラー１０７や被動部１１４を浮かした後、ラジアル軸受１０５とカラー１０７の間隙を上昇してカラー１０７と上スラスト軸受１０９の間隙を中心側から外周方向へと吹き抜ける空気流が発生して、それにより被動部１１４からポリゴンミラー１１６までの回転体を摩擦抵抗少なく２〜３×１０４ｒｐｍの高速回転をさせることができる。すなわち、上下スラスト軸受１０９、１０３及びラジアル軸受１０５とカラー１０７の間は動圧軸受を形成している。これら動圧軸受構成部材は金属好ましくは摩耗耐久性に優れることからセラミックスの何れかで形成され、または軽量安価で容易に得られる樹脂で形成することもできる。
【００１４】
図２の例に限らず、動圧発生用溝１２１を下スラスト軸受１０３のみに設けるだけでなく、ラジアル軸受１０５と下スラスト軸受１０３、或いはラジアル軸受１０５と下スラスト軸受１０３及び上スラスト軸受１０９に形成してもよいし、上スラスト軸受１０９を省略してワッシャー１１８が直接ラジアル軸受１０５を押さえて固定すると共にカラー１０７の上端面に対向するものでもよいし、被測定体装着手段１０１が動圧軸受を形成しない単なるメタル軸受やボールベアリングを用いるものでもよい。
【００１５】
以上のような被測定体装着手段１０１を備えた図１の測定機による動バランス測定は以下のように行われる。
【００１６】
駆動基板部１の被測定体装着手段１０１に前述のように被測定体Ｐを装着して、操作パネル１５で回転数や演算プログラム等を指定した後スタートさせることにより、被測定体Ｐが制御装置１４に制御される駆動基板部１側のステータコイル１２４と被動部１１４側のマグネット１２５とから成るモータ１２０によって使用回転数に回転させられ、被測定体Ｐに不釣り合いがあると振動検出板部２がそれを支持している板バネ３〜６の面に直角で回転中心線に直角の方向に振動する。振動センサー９、１０が振動検出板部２の２箇所の被検出部分２１、２２の振動をそれぞれ検出して増幅回路１１、１２を介し振れ情報を制御装置１４に入力するとともに、回転位相センサー１３が基準位置マークＰ１を検出したタイミング情報を制御装置１４に入力する。それによって制御装置１４の信号処理装置部分が、振れ情報とタイミング情報及び不図示のモータ駆動パルスカウンターやロータリーエンコーダ等の与える被測定体Ｐの回転速度情報から、被検出部分２１、２２の最大振れ量とそれらの基準位置マークＰ１からの位相角度によって与えられる振れベクトル［Ａ１］、［Ａ２］を求めて記憶する。
【００１７】
次に、被測定体Ｐの上面のバランス調整重りを付加する回転中心から一定半径位置に重りの重量と付加位置位相が与えるベクトル［Ｕ１］の重りを付加して、上述と同様に被検出部分２１、２２の最大振れ量とそれらの基準位置マークＰ１からの位相角度によって与えられる振れベクトル［Ｂ１１］、［Ｂ２１］を求めて記憶する。また次に、被測定体Ｐの下面のバランス調整重りを付加する回転中心から一定半径位置に重りの重量と付加位置位相が与えるベクトル［Ｕ２］の重りを付加して、同様に被検出部分２１、２２の最大振れ量とそれらの基準位置マークＰ１からの位相角度によって与えられる振れベクトル［Ｂ１２］、［Ｂ２２］を求めて、
（［Ｂ１１］−［Ａ１］）／［Ｕ１］＝［α１１］、
（［Ｂ２１］−［Ａ２］）／［Ｕ１］＝［α２１］、
（［Ｂ１２］−［Ａ１］）／［Ｕ２］＝［α１２］、
（［Ｂ２２］−［Ａ２］）／［Ｕ２］＝［α２２］により、付加重りによる振れの補正係数ベクトル［α１１］、［α２１］、［α１２］、［α２２］を求め、下記式から被測定体Ｐの動バランス調整のために上下２面の不釣り合い量である、それぞれ一定半径位置に付加すべき重り重量と位置位相角を与えるベクトル［Ｍ１］、［Ｍ２］を求める。
【００１８】
【数１】
2004029003.tif 000003
【００１９】
このベクトル［Ｍ１］、［Ｍ２］は被測定体Ｐの動バランスを正確に調整できる付加すべき重り重量と位置位相角を与える。図２の被測定体Ｐにはベクトル［Ｍ１］、［Ｍ２］の情報に基づき後述のように動バランス調整機によってバランス重りを付加するための円周溝１１６ａ、１１４ａが設けられている。加重量によってバランスを取る代わりに減重量によってバランスを取る場合は、位置位相角をπ進めて加重量を減重量にすればよい。
【００２０】
図３において、３０は、回転体の被調整体Ｑが着脱される例えば上端面にネジ穴またはボルトを有する装着軸とワッシャー及び締め付けネジまたはナットからなる回転バランスの得易い着脱手段３１と、着脱手段３１の前記装着軸を回動させて被調整体Ｑをその回転軸周りに回動させるモータや減速機等の回動手段を有する被調整体回動部、３２は、着脱手段３１に取り付けた被調整体Ｑの表面に例えば紫外線硬化樹脂液や熔融樹脂液または溶解樹脂液のような液状体をノズル３３ａから吐出して付着させ、紫外線照射や冷却または乾燥により固化させる加重手段３３と、加重手段３３を移動させてノズル３３ａの吐出口位置を被調整体回動の半径方向に変位させる図示例の送りネジとナットまたはラックとピニオンの組み合わせあるいは液圧プランジャー等からなる半径方向移動手段３４を有する加重分布部、３５は、被調整体Ｑの表面の加重すべき位置Ｒ，θと重量Ｍの情報すなわち例えば前述のベクトル［Ｍ１］または［Ｍ２］と言った不釣合情報と、被調整体Ｑの基準回転位相マークＱ１を検出する基準マークセンサー３６の検出情報とを入力されて、被調整体回動部３０の回動手段の回動と加重分布部３２の移動手段３４の移動並びに加重手段３３のノズル３３ａからの液状体の吐出を制御するマイクロコンピュータを用いた制御装置である。
【００２１】
図示例の被調整体Ｑは回転中心から半径Ｒの位置に、図２の被測定体Ｐの円周溝１１６ａまたは１１４ａと同様の、動バランス調整用の重りを付着させる半径方向幅２ｒの円周溝Ｑ２を設けられているものであるから、制御装置３５は、不図示の操作パネルによる指示に従って加重手段３３のノズル３３ａを円周溝Ｑ２の半径Ｒ位置に移動させたら、後は移動手段３４を停止させたまま、例えば先に作用の項で述べたようなベクトル［Ｍ１］の加重量Ｍ、加重位置位相角θを操作パネルによって入力されていた場合、Ｍ／ｍ＝ｎ＋ｓ（ｍは一点に付加したと見なし得る一点から均等に分布する範囲の所定加重であるが、図示例では半径方向は円周溝Ｑ２の溝幅で規制されるから、周方向の左右の分布の均等を保持できる範囲の所定重量であって、周方向左右の広がりが片側略ｒ以下となる重量とするのが好ましい、ｎは０又は正整数、ｓは真小数）のｎの値によって、以下のような制御を行う。
【００２２】
ｎが０のときは、θの位置にｓ×ｍの加重、ｎが１のときは、θ±２ｒ／Ｒの２位置にそれぞれｍ／２とθの位置にｍ（１−ｃｏｓ２ｒ／Ｒ）＋ｍ×ｓの加重、ｎが２のときは、θ±ｒ／Ｒの２位置にそれぞれｍとθの位置に２ｍ（１−ｃｏｓｒ／Ｒ）＋ｍ×ｓの加重、ｎが３のときは、θ±ｒ／Ｒの２位置にそれぞれｍとθ±２ｒ／Ｒの２位置にそれぞれｍ／２とθの位置に２ｍ（１−ｃｏｓｒ／Ｒ）＋ｍ（１−ｃｏｓ２ｒ／Ｒ）＋ｍ×ｓの加重を行うように、加重手段３３のノズル３３ａによる液状体の吐出量と被調整体回動部３０の回動手段による回動とを制御する。
【００２３】
図４は上述のｎが３のときの制御によってバランス調整の加重が行われた被調整体Ｑの表面を示しており、２面バランス調整で裏面側のベクトル［Ｍ２］も入力されていた場合は、裏面側にも同様にバランス調整の加重が行われることになる。この加重調整によって、動バランスの非常に優れた回転体を得ることができる。しかし加重調整はこの例に限らず、図５（Ａ）に示したように円周溝Ｑ２に連続分布の加重を行うように制御するものでも、図５（Ｂ）に示したように平らな被調整体Ｑの表面に円弧状連続分布の加重を行うように制御するものでも同様の効果を得ることができる。
【００２４】
また本発明の動バランス調整機は、加重調整するものに限らず、加重手段３３を穿孔径２ｒのエンドミルを用いるミーリングヘッドに替えて、図５（Ｃ）に示したように平らな被調整体Ｑの表面に深さｈの円弧状溝を掘削するか、あるいは先に作用の項で述べたような半径Ｒの円周方向に分布する直径２ｒの円窪みを掘削する制御を行うものでもよい。
【００２５】
なお、例えば図５（Ａ）の連続分布の場合は、付加すべき重量Ｍに相当する樹脂の円周溝Ｑ２を埋める円弧長さｓがｓ≒Ｍ／２ρｒｈ（ρは樹脂の単位体積当たり重量、ｒとｈは円周溝Ｑ２の溝幅の１／２と深さ）となるから、先にノズル３３ａをθ±２ｒ／Ｒの位置からそれぞれ外側に（ｓ−２ｒ）／２の円弧長だけ相対回動させて円周溝Ｑ２に樹脂の充填を行い、最後にＲ，θ位置の円弧長さ２ｒ部分に全部の充填樹脂量をＭとするための不足分樹脂量の充填を行うようにすることで、図４のドット状分布と同様の高い精度で動バランスを調整できる。また、図５（Ｂ）の連続分布の場合は、単位円弧長さ当たりの盛り付け重量ｍを予め求めておいて、ｓ≒Ｍ／ｍのｓを用いて同様にＲ，θ位置を最後とするように樹脂の盛り付けを行えばよい。図５（Ｃ）の場合は、エンドミルの中心をＲ，θ±（Ｍ−ρπｒ２ｈ）／２ρｒｈＲの範囲移動するようして深さｈの溝を掘削すれば、どこから掘削を始めても精度よく動バランスを調整できる。
【００２６】
以上述べた円弧状に加重もしくは除重する例に限らず、図６に示したようにラジアル方向に加重もしくは除重するようにしてもよい。但し、この場合は、溝内に加重するようにはできず、θ位置のＲＳ＝（ＲＬ２−２ＭＲ／ｍ）１／２（但し、ＲＬは加重または除重を行える半径の所定最大値、ｍは単位ラジアル方向長さ当たりの盛り付け加重量または掘削除重量）を満足する半径ＲＳからＲＬまでの間の平面上にｍ割合の盛り付け加重または掘削除重する制御を行うことで精度よく動バランスを調整できる。
【００２７】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の動バランス調整機によれば、正確な調整重量とその位置位相角の情報が与えられるとそれに基づく１回の調整動作で正確な動バランス調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】動バランス測定機の１例を示す概要斜視図。
【図２】動バランス測定機の駆動基板部の例を示す部分断面図。
【図３】第１発明の動バランス調整機の１例を示す概要斜視図。
【図４】第１発明の動バランス調整機によるバランス調整の例を示す被調整体の平面図。
【図５】第１発明と第２発明の動バランス調整機によるバランス調整の例を示す被調整体の部分斜視図。
【図６】第１発明と第２発明の動バランス調整機によるバランス調整の他の例を示す被調整体の平面図。
【符号の説明】
１　駆動基板部
Ｐ　被測定体
Ｐ１　基準位置マーク
２　振動検出板部
３、４、５、６　板バネ
７、８　機体固定部
９、１０　振動センサー
１３　回転位相センサー
１４、３５　制御装置
１５　操作パネル
２１、２２　被検出部分
１０１　被測定体装着手段
１０２　芯軸
１０３　下スラスト軸受
１０５　ラジアル軸受
１０７　カラー
１０９　上スラスト軸受
１１４　被動部
１１６　ポリゴンミラー
１１７　固定部材
１１９　締めネジ
１２０　モータ
１２１　動圧発生用溝
１２４　ステータコイル
１２５　マグネット
３０　被調整体回動部
３１　着脱手段
３２　加重分布部
３３　加重手段
３３ａ　ノズル
３４　移動手段
３６　基準マークセンサー
【図１】
2004029003.tif 000004
【図２】
2004029003.tif 000005
【図３】
2004029003.tif 000006
【図４】
2004029003.tif 000007
【図５】
2004029003.tif 000008
【図６】
2004029003.tif 000009