(57)【要約】【課題】塗膜の発泡を防止するとともに、乾燥効率を向上させる薄膜フィルムの製造方法を提供する。【解決手段】有機溶媒を含むドープを支持体に塗布する塗布工程と、ドープを塗布した支持体を乾燥させる乾燥工程とを有する薄膜フィルムの製造方法において、乾燥工程では、ドープ中の有機溶媒の残存率が２質量％以下になるまでの乾燥時間のうち１／３以上は、ドープの温度Ｔｄ［℃］と下記式（２）で表される温度Ｔｄ［℃］とが、下記式（１）を満たすようにする。式（１）：Ｔａ−２０＜Ｔｄ＜Ｔａ。式（２）：Ｔａ＝｛Ｂ／（Ａ−ｌｏｇγ）｝−Ｃ。ここで、γ＝（０．０８９７９φ３−０．０６３７１φ２＋０．０１５２５φ）−１、Ａ，Ｂ，Ｃは有機溶媒のＡｎｔｏｉｎｅ定数である。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機溶媒を含むドープを支持体に塗布する塗布工程と、ドープを塗布した支持体を乾燥させる乾燥工程とを有する薄膜フィルムの製造方法において、
乾燥工程では、ドープ中の有機溶媒の残存率が２質量％以下になるまでの乾燥時間のうち１／３以上は、ドープの温度Ｔｄ［℃］と下記式（２）で表される温度Ｔａ［℃］とが、下記式（１）を満たすようにすることを特徴とする薄膜フィルムの製造方法。
【数１】
2004091536.tif 000018
ここで、上記式（２）におけるＡ，Ｂ，Ｃは有機溶媒のＡｎｔｏｉｎｅ定数である。また、上記式（３）におけるφは有機溶媒の残存率［−］である。
【請求項２】
前記乾燥工程では、ドープを塗布した支持体を、乾燥炉内を移動させながら、支持体の少なくとも片面にｎ回（ｎは２以上の整数）熱風を吹き付けることを特徴とする請求項１に記載の薄膜フィルムの製造方法。
【請求項３】
前記乾燥工程では、熱風温度Ｔｆ［℃］を、支持体の移動方向前方側に向かって順次高くすることを特徴とする請求項２に記載の薄膜フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記ドープは、有機溶媒と、バインダーポリマーと、光重合開始剤とを含む塗布組成物からなる感光剤レジスト材料であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の薄膜フィルムの製造方法。
【請求項５】
前記支持体が、プラスティック製の薄膜帯状体からなることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の薄膜フィルムの製造方法。
【請求項６】
乾燥工程後のドープ中の有機溶媒の残存率を１質量％以下にすることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の薄膜フィルムの製造方法。
【請求項７】
前記乾燥工程では、ドープ中の有機溶媒の残存率が２質量％以下になるまでの乾燥時間のうち１／３以上は、ドープの温度Ｔｄ［℃］と前記温度Ｔａ［℃］とが、下記式（４）を満たすようにすることを特徴とする薄膜フィルムの製造方法。
【数２】
2004091536.tif 000019
【請求項８】
最後段の熱風温度Ｔｆ（ｎ）を、支持体のガラス転移温度Ｔｇ以下にすることを特徴とする請求項２〜７のいずれかに記載の薄膜フィルムの製造方法。
【請求項９】
１個の乾燥炉につき１回熱風を支持体に吹き付けており、
支持体の乾燥炉内の移動速度をＶ［ｍ／ｓ］とし、１個の乾燥炉長をＬ［ｍ］とし、各乾燥炉の平均伝熱係数をｈ［ｋｃａｌ／（ｍ２　・ｈｒ・℃）］としたときに、各乾燥炉が下記式（５）を満たすことを特徴とする請求項２〜８のいずれかに記載の薄膜フィルムの製造方法。
【数３】
2004091536.tif 000020
ここで、ｈは、５＜ｈ≦１００の範囲である。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機溶媒を含有する塗布型感光材料などのドープを塗布し、乾燥する薄膜フィルムの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ドライフィルムレジストに代表される流延薄膜フィルムを製造する方法は、有機溶媒を含有するドープを支持体に塗布する塗布工程と、塗布したドープを乾燥させる乾燥工程とを有している。その際、乾燥工程においては、ドープを塗布した支持体を、直列するｎ個の乾燥炉内を連続的に通過させ、乾燥炉を流通する熱風によって、ドープ中の有機溶媒を乾燥除去する乾燥方法が採用されることがあった。
しかしながら、そのような乾燥方法では、乾燥条件が適切でない場合に、ドープが発泡して塗膜の外観を悪化させることがあった。そこで、塗膜の外観が向上するように乾燥条件を適切にする乾燥方法が提案されている。例えば、特開平１１−３０４３５９号公報には、熱風の吹き付け方向に特徴を有する乾燥炉を用いて、塗布面の乾燥むらおよび風紋の発生を防止する方法が開示されており、特開２００１−１９１０１８号公報には、乾燥条件を特定して有機溶媒の残存率のばらつきを抑え、塗膜外観のムラや欠陥を防止する方法などが開示されている。
しかしながら、上述した方法では、塗膜の外観を良好にできるものの、乾燥効率を向上させることを想定していないため、短時間に効率よく乾燥させることができなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記事情を鑑みてなされたものであり、塗膜の発泡を防止し、塗膜の外観を低下させずに、乾燥効率を向上させる薄膜フィルムの製造方法を提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、乾燥炉中の支持体上のドープの温度Ｔｄに着目して乾燥方法について鋭意研究を重ねた結果、塗膜の発泡を防止するとともに、乾燥効率を向上させることのできる乾燥方法を見出し、下記の薄膜フィルムの製造方法を発明した。
すなわち、本発明の薄膜フィルムの製造方法は、有機溶媒を含むドープを支持体に塗布する塗布工程と、ドープを塗布した支持体を乾燥させる乾燥工程とを有する薄膜フィルムの製造方法において、
乾燥工程では、ドープ中の有機溶媒の残存率が２質量％以下になるまでの乾燥時間のうち１／３以上は、ドープの温度Ｔｄ［℃］と下記式（２）で表される温度Ｔａ［℃］とが、下記式（１）を満たすようにすることを特徴としている。
【０００５】
【数４】
2004091536.tif 000002
【０００６】
ここで、Ａ，Ｂ，Ｃは有機溶媒のＡｎｔｏｉｎｅ定数である。また、上記式（３）におけるφは有機溶媒の残存率［−］である。さらに、ドープ中の有機溶媒の残存率とは、（ドープ中に残存する有機溶媒の質量／乾燥前のドープ中の有機溶媒の質量）のことであり、単位を有さない値である。
【０００７】
また、Ａｎｔｏｉｎｅ定数とは、蒸気圧に関係する有機溶媒固有の値であり、蒸気圧を近似的に求めることができる下記式（６）のＡｎｔｏｉｎｅ式のＡ，Ｂ，Ｃに代入される値のことである。なお、主要な有機溶媒のＡｎｔｏｉｎｅ定数は、例えば、化学便覧基礎編等に記載されている。
【０００８】
【数５】
2004091536.tif 000003
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の薄膜フィルムの製造方法の一例について説明する。
本発明の薄膜フィルムの製造方法は、有機溶媒を含むドープを支持体に塗布する塗布工程と、ドープを塗布した支持体を乾燥させる乾燥工程とを有している。塗布工程において、支持体に塗布されるドープとは、ポリマーを有機溶媒に溶解させた粘調液体のことである。このドープとしては、バインダーポリマー、モノマー、架橋剤、光重合開始剤、その他の染料などを有機溶媒に溶解させた塗布組成物からなる感光剤レジスト材料が好適に用いられる。
【００１０】
感光剤レジスト材料を構成する有機溶媒としては、例えば、イソプロピルアルコール、メタノール、アセトン、エチルメチルケトン等のアルコール類、ケトン類などを用いることができる。さらに、有機溶媒として、液状のビニル系単量体を用いることもできる。これらの中でも、適度な揮発性を有している点でＡｎｔｏｉｎｅ定数Ａ，Ｂ，Ｃが以下の範囲にある有機溶媒を使用することが好ましい。
５＜Ａ＜１０
９００＜Ｂ＜２０００
１７０＜Ｃ＜２５０
【００１１】
また、バインダーポリマーとしては、例えば、ビニル系ポリマーやアミノ系ポリマーなどを用いることができる。これらの中でも、特にメタクリル酸エステル、アクリル酸エステルあるいはスチレンなどの共重合体が望ましい。
架橋剤としては、例えば、アクリロイル基あるいはメタクリロイル基を有するトリメチロールプロパントリアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレートなどのモノマーを用いることができる。
光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、ミヒラーケトンなどを用いることができる。
また、これらの他に、ハイドロキノンなどの熱重合禁止剤、マラカイトグリーンなどの染料、可塑剤、充填剤、ロフインなどの密着促進剤などが含まれてもよい。
【００１２】
ドープの塗布方法については特に制限はなく、薄膜フィルムやドープの性質などに応じて従来公知の塗布方法を採用できる。
ドープの塗布膜厚は、ドープの機能を過不足なく発揮させるために、１５〜１００μｍであることが望ましい。
【００１３】
ドープを塗布する支持体としては、薄膜状のものであれば制限されないが、帯状であることが好ましい。支持体が帯状であれば、ドープを連続的に塗布する事ができることができ、より効率に製造できる。さらに支持体は、コストや機能の観点から、プラスティック製の薄膜帯状体が好ましい。薄膜帯状体のプラスティックとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン類、ポリスチレン、ポリカーボネート等が挙げられる。
また、支持体の厚さは、フィルムとしての機械的物性に優れることから、数μｍ〜数１０μｍ程度であることが好ましい。
【００１４】
乾燥工程では、通常、ドープを塗布した支持体に熱風を吹き付けてドープ中の有機溶媒を揮発させる。その際、有機溶媒の残存率が２質量％以下になるまでの乾燥時間のうちの１／３以上は、ドープの温度Ｔｄ［℃］と上記式（２）で表される温度Ｔａ［℃］とが、上記式（１）、好ましくは下記式（４）を満たすように、ドープを塗布した支持体を乾燥する。このような範囲の条件で乾燥することによって、ドープの発泡を抑えつつ、効率的に乾燥させることができる。したがって、塗膜の発泡を防止し、塗膜の外観を低下させずに、乾燥効率を向上させることができる。
なお、ＴｄがＴａ−２０より小さい場合は、乾燥温度が十分高くないために乾燥時間が長くなり、乾燥効率が低下する。また、ＴｄがＴａより大きい場合は、ドープの発泡限界を超えることがある。また、式（１）を満たす時間が、ドープ中の有機溶媒の残存率が２質量％以下になるまでの乾燥時間のうち１／３未満であると、乾燥時間が長くなるか、塗膜が発泡する。
【００１５】
【数６】
2004091536.tif 000004
【００１６】
式（１）におけるＴａは、ドープ中の有機溶媒の残存率φを上記式（３）に代入してγを求め、さらにγとＡｎｔｏｉｎｅ定数Ａ，Ｂ，Ｃとを式（２）に代入することよって求めることができる。
【００１７】
この乾燥工程においては、ドープを塗布した支持体を、乾燥炉内を連続的に移動させながら、支持体の少なくとも片面に熱風をｎ回（ｎは２以上の整数）吹き付けることが好ましい。このように乾燥すれば、段階的に温度を変えて乾燥させることができるので、より効率よく乾燥を行うことが可能となり、発泡をより防止できる。
このように、熱風をｎ回吹き付ける場合には、乾燥炉の全長は、塗布物の膜厚、使用される溶剤の種類によっても異なるが、設置スペースの観点から、３００ｍ以下にすることが好ましい。
【００１８】
さらに、ドープを塗布した支持体を、乾燥炉内を連続的に移動させながら乾燥する場合には、熱風温度Ｔｆ［℃］を、支持体の移動方向前方側に向かって順次高くすることが好ましい。熱風温度Ｔｆ［℃］を、支持体の移動方向前方側に向かって順次高くすれば、発泡をより防止しつつ、乾燥効率をより高くできる。
例えば、１個につき１回熱風を支持体に吹き付けている乾燥炉ｎ個内に、支持体を移動させ、ｎ回熱風を吹き付けて乾燥する場合には、後段の乾燥炉の熱風温度を前段の乾燥炉の熱風温度よりも高くする。すなわち、ｎ個の乾燥炉における熱風温度をＴｆ（ｎ）（ｎ＝１〜ｎ）とすると、下記式（７）を満たす。
乾燥が進み、有機溶媒の残存率が小さくなるにつれて、Ｔａは高くなっていくため、このようにＴｆを順次高くすることで、乾燥が進行しても上記式（１）の条件を容易に満たすことができ、効率的な温度設定にできる。一方、式（７）を満たさない場合は、温度設定が非効率になって乾燥効率が低下し、不経済になることがある。
【００１９】
【数７】
2004091536.tif 000005
【００２０】
熱風をｎ回（ｎは２以上の整数）吹き付けて乾燥する場合には、最後段の熱風温度Ｔｆ（ｎ）を、支持体のガラス転移温度Ｔｇ以下にすることが好ましい。支持体のガラス転移温度Ｔｇを超える熱風温度を当てると、支持体が変形する可能性がある。
【００２１】
また、ドープを塗布した支持体を、１個につき１回熱風を支持体に吹き付ける乾燥炉ｎ個内に連続的に移動させて乾燥する場合には、支持体の乾燥炉内の移動速度をＶ［ｍ／ｓ］とし、１個の乾燥炉長をＬ［ｍ］とし、各乾燥炉の平均伝熱係数をｈ［ｋｃａｌ／（ｍ２　・ｈｒ・℃）］（ｈは、５＜ｈ≦１００の範囲である）としたときに、各乾燥炉が下記式（５）を満たすことが好ましい。
ここで、Ｌ／Ｖ［秒］は、乾燥時間を表しており、このＬ／Ｖが（２９７．１／ｈ）＋１１．９５より大きいと、伝熱係数に対して乾燥時間が長すぎる条件となり、乾燥効率が低下することがある。また、（７６．９８／ｈ）＋０．４３２より小さいと、ドープが塗布された支持体が、一個の乾燥炉内に滞在する時間が短くなるため、結局、乾燥炉の個数を増やす必要性が高くなり、装置コストが高くなることがある。
【００２２】
【数８】
2004091536.tif 000006
【００２３】
ドープ中の有機溶媒を低残存率にする乾燥では、いかに効率よく乾燥を行うかが重要になるから、このような乾燥効率の高い薄膜フィルムの製造方法は、乾燥工程後の、ドープ中の有機溶媒の残存率を１質量％以下にする場合に特に有効である。
【００２４】
【実施例】
次に、本発明を実施例に基づき具体的に説明するが、発明はこれによって限定されるものではない。
（実施例１）
はじめに、実施例１で使用した乾燥炉について説明する。この乾燥炉は、図１に示すような１ｍ×１ｍ×１ｍの箱型乾燥炉であり、乾燥容器２に熱風導入口３と熱風導出口４とが取り付けられており、その内部では、熱風は支持体５に対して平行に流れるようになっている。また、乾燥容器２の内部には、天秤６（Ｍｅｔｔｌｅｒ　Ｔｏｌｅｄｏ製、ＧＰ−Ｓ）が設置されており、ドープを塗布した支持体５からなる試料をこの天秤６の上にのせ、質量変化を測定することで、乾燥の経過を観察することができる。
【００２５】
また、上述した乾燥炉１の伝熱係数を以下のようにして求めた。すなわち、ドープを塗布しないＰＥＴフィルムを乾燥炉に入れて７０℃の熱風で昇温した時のＰＥＴフィルムの昇温速度を放射温度計７（タスコジャパン製ＴＨＩ−５００）で測定して、表１に示す結果を得た。そして、これらの値を下記式（８）に代入した。その結果、乾燥炉１の伝熱係数は１０ｋｃａｌ／（ｍ２　・ｈｒ・℃）と求められた。
式（８）において、Ｃｐ［Ｊ／（ｋｇ・Ｋ）］はＰＥＴフィルムの比熱１９９０Ｊ／（ｋｇ・Ｋ）であり、△ｔ［ｍ］はフィルムの厚さ５００μｍであり、ρ［ｋｇ／ｍ３］はＰＥＴの密度１３８０ｋｇ／ｍ３であり、Ｔ［Ｋ］は温度（熱電対の値）であり、Ｔｆ［Ｋ］は熱風温度３４３Ｋ（７０℃）である。
【００２６】
【数９】
2004091536.tif 000007
【００２７】
【表１】
2004091536.tif 000008
【００２８】
次に、薄膜フィルムの製造方法について説明する。この薄膜フィルムの製造方法では、厚さ５０μｍ、５０ｃｍ×５０ｃｍのＰＥＴフィルム（Ｔｇ：１２５℃）に約４０℃に保温した表２に示す組成のドープ１４．４ｇを素早く塗布した後、上述した乾燥炉内に入れ、熱風温度１００℃で、１分間乾燥して薄膜フィルムを製造した。
乾燥の際、放射温度計を使用してドープ温度Ｔｄを２０秒まで５秒ごと、以後１０秒ごとに記録した。また、天秤により質量を測定してドープ中の有機溶媒の残存率を求めた。乾燥時間と有機溶媒の残存率ならびにドープ温度Ｔｄとの関係は表３のようになった。
実験で得られた有機溶媒の残存率から、式（３）によりγを求め、さらに、γおよびＡｎｔｏｉｎｅ定数を式（２）に代入してＴａを求めた。ここで、ドープの溶剤であるメチルエチルケトンのＡｎｔｏｉｎｅ定数は、Ａ＝６．３８４６９、Ｂ＝９１６．０１、Ｃ＝１８１．８４である。
表３に示すように、有機溶媒の残存率が２％以下に達したのは、乾燥開始から２０〜３０秒後であり、それまでの乾燥時間の１／３以上、すなわち１０秒以上は、式（１）の関係を満たすように乾燥していた。
【００２９】
【表２】
2004091536.tif 000009
【００３０】
【表３】
2004091536.tif 000010
【００３１】
（比較例１）
熱風温度を７０℃にしたこと以外は実施例１と同様にして薄膜フィルムを製造した。そのときの有機溶媒の残存率、ドープ温度の測定結果およびＴａを表４に示す。比較例１では、有機溶媒の残存率が２質量％以下になるまでの乾燥時間のうちの１／３以上は、式（１）を満たしていなかった。
【００３２】
【表４】
2004091536.tif 000011
【００３３】
（実施例２）
熱風の風速を上げて伝熱係数を３０ｋｃａｌ／（ｍ２　・ｈｒ・℃）にしたとともに、乾燥開始５秒までの熱風温度を８５℃とし、１０秒までを９０℃とし、その後１００℃に設定したこと以外は実施例１と同様にして薄膜フィルムを製造した。そのときの伝熱係数測定結果を表５に、有機溶媒の残存率、ドープ温度の測定結果およびＴａを表６に示す。このように、有機溶媒の残存率が２％以下に達したのは、乾燥開始から２０〜３０秒後であり、それまでの乾燥時間の１／３以上、すなわち１０秒以上は、式（１）の関係を満たすように乾燥していた。
【００３４】
【表５】
2004091536.tif 000012
【００３５】
【表６】
2004091536.tif 000013
【００３６】
（比較例２）
乾燥開始１０秒までの熱風温度を９５℃とし、その後１００℃にしたこと以外は、実施例２と同様にして薄膜フィルムを製造した。そのときの、有機溶媒の残存率、ドープ温度の測定結果およびＴａを表７に示す。比較例２では、有機溶媒の残存率が２質量％以下になるまでの乾燥時間のうちの１／３以上が、式（１）を満たしていなかった。
【００３７】
【表７】
2004091536.tif 000014
【００３８】
（実施例３）
表１に示す組成を有するドープを支持体に塗布し、これを乾燥して薄膜フィルムを製造した。乾燥炉は、１ｍ×１ｍ×１ｍの箱型のものを３個用意した。この乾燥炉の伝熱係数は、実施例１と同様にして測定し、表８に示す測定結果から２０ｋｃａｌ／（ｍ２　・ｈｒ・℃）と求められた。
【００３９】
【表８】
2004091536.tif 000015
【００４０】
この例で用いた乾燥炉は連結されており、各乾燥炉の内部を、連続する支持体であるフィルムが移動するようになっている。各乾燥炉は、それぞれ独立して温度制御された熱風を吹き付けることができる。また、乾燥炉の支持体入口にはコータが接続され、ここでドープを支持体に１ｍ２　あたり８１．９ｇ塗布した。さらに、乾燥炉の出口から出てきた薄膜フィルムに、直ちにポリエチレンフィルムをラミネートした。
ここで、乾燥炉長Ｌ＝１であり、ドープが塗布された支持体が乾燥炉を通過する速度Ｖを３ｍ／分としたので、Ｌ／Ｖ＝２０秒であり、さらに伝熱係数ｈ＝２０ｋｃａｌ／ｍ２　・ｈｒ・℃であるから、（２９７．１／ｈ）＋１１．９５＝２６．８であり、（７６．９８／ｈ）−０．４３２＝３．１５である。よって、式（５）を満足していた。
【００４１】
連結した乾燥炉で乾燥する場合、乾燥途中の有機溶媒の残存率を測定できない。そこで、図２に示すような１個の乾燥炉１１、図３に示すような２個の乾燥炉１２、図４に示すような３個の乾燥炉１３を用い、１個の乾燥炉１１、２個の乾燥炉１２で乾燥したものを、３個の乾燥炉１３における乾燥途中のものとみなして有機溶媒の残存率を測定した。また、有機溶媒の残存率は、乾燥後、直ちにポリエチレンフィルム１５でラミネートした薄膜フィルム１６の質量から計算した。
なお、図２〜４に示す乾燥炉１１，１２，１３の入口手前には、ドープを支持体に塗布するコータ１７が設けられ、乾燥炉出口には放射温度計１８が取り付けられている。また、図中、破線矢印は熱風の吹き付け方向を示しており、実線矢印は支持体の移動方向を示している。
【００４２】
これらの乾燥炉で乾燥したときの有機溶媒の残存率を、上述した方法により求めた。１個の乾燥炉１１の熱風温度を６０℃として乾燥した場合（運転１）、有機溶媒の残存率は１１．８質量％であった。また、２個連結した乾燥炉１２（全長２ｍ）の一段目の乾燥炉の熱風温度Ｔｆ（１）を６０℃、二段目の乾燥炉の熱風温度Ｔｆ（２）を７７℃として乾燥した場合（運転２）、有機溶媒の残存率は４．０８質量％であった。また、３個連結した乾燥炉１３（全長３ｍ）の一段目の乾燥炉の熱風温度Ｔｆ（１）を６０℃、二段目の乾燥炉の熱風温度を７７℃、三段目の乾燥炉の熱風温度を１０５℃として乾燥した場合（運転３）、有機溶媒の残存率は０．８５質量％であった。そして、運転１，２の有機溶媒の残存率を、運転３における一段目あるいは二段目の乾燥炉を出た直後の有機溶媒の残存率とみなした。これらの結果を表９に示す。
【００４３】
【表９】
2004091536.tif 000016
【００４４】
また、各乾燥炉の出口近傍に取り付けた放射温度計でドープ温度を計測した。さらに、求められた有機溶媒の残存率とＡｎｔｏｉｎｅ定数とを式（２）および式（３）に代入してＴａを計算した。その結果についても、表９に示す。なお、アセトンのＡｎｔｏｉｎｅ定数は、Ａ＝７．２３９６７、Ｂ＝１２７９．８７、Ｃ＝２３７．５０である。
この例では、有機溶媒の残存率が２質量％以下になるのは、乾燥開始から４０〜６０秒後であるから、少なくとも有機溶媒の残存率が２質量％以下になるまでの乾燥時間の１／３以上である２０秒間は式（１）を満たしていた。
【００４５】
（実施例４）
実施例３のドープおよび乾燥炉を用いて乾燥を行った。この例においても、実施例３と同様に、１個の乾燥炉の場合（運転１）、２個乾燥炉を連結した場合（運転２）、３個乾燥炉を連結した場合（運転３）について有機溶媒の残存率を測定し、運転１，２の有機溶媒の残存率を、運転３における一段目あるいは二段目の乾燥炉を出た直後の有機溶媒の残存率とみなした。その際、一段目の乾燥炉の熱風温度Ｔｆ（１）を５５℃とし、二段目の熱風温度Ｔｆ（２）を７８℃とし、三段目の熱風温度Ｔｆ（３）を９５℃とした。有機溶媒の残存率の測定結果を表１０に示す。
また、乾燥の際、移動速度を２．５ｍ／分としたので、伝熱係数ｈが２０ｋｃａｌ／（ｍ２　・ｈｒ・℃）であり、Ｌ／Ｖが２４秒になるから実施例３と同様に式（５）を満たしていた。
この例では、有機溶媒の残存率が２質量％以下になるのは、乾燥開始から４８〜７２秒後であるから、少なくとも有機溶媒の残存率が２質量％以下になるまでの乾燥時間の１／３以上である２４秒間は式（１）を満たしていた。
【００４６】
【表１０】
2004091536.tif 000017
【００４７】
実施例１〜４では、有機溶媒の残存率が２質量％以下になるまでの乾燥時間のうちの１／３以上が、式（１）を満たしていたので、塗膜の発泡が防止されていた上に、乾燥効率が高かった。さらに、実施例２では、式（４）を満たしていたので、より乾燥効率が高かった。また、実施例３、４は連続的に乾燥し、式（５）を満たしており、実施例３はさらに式（４）を満たしていたので乾燥効率が特に高かった。
一方、比較例１では、有機溶媒の残存率が２質量％以下になるまでの乾燥時間のうちの１／３以上が、式（１）を満たしていなかったので、乾燥効率が低下した。
また、比較例２では、熱風温度を高くしすぎて式（１）を満たしていなかったので、塗膜が発泡した。
【００４８】
【発明の効果】
本発明によれば、塗膜の発泡を防止し、塗膜の外観を低下させずに、乾燥効率を大幅に向上させ、短時間で乾燥を完結させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る実施例１で使用した箱型乾燥炉を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る実施例３の運転１に使用した箱型乾燥炉を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る実施例３の運転２に使用した箱型乾燥炉を示す斜視図である。
【図４】本発明に係る実施例３の運転３に使用した箱型乾燥炉を示す斜視図である。
【符号の説明】
１，１１，１２，１３　乾燥炉
５　支持体
１６　薄膜フィルム
【図１】
2004091536.tif 000021
【図２】
2004091536.tif 000022
【図３】
2004091536.tif 000023
【図４】
2004091536.tif 000024