(57)【要約】【課題】ポンプの機種に応じた過速度設定を作業ミスなく正しく設定することができるポンプの過速度検出装置を提供する。【解決手段】コントローラ部１とポンプ本体２からなるポンプにおいて、該ポンプ本体２内にロータを駆動するモータ部３とポンプ機種を識別するための識別素子４を設けると共に、前記コントローラ部１に複数の定格回転速度に応じた過速度設定検出器６を備え、該過速度設定検出器６の中の１つを切換回路７によって選択し、これから運転を開始する前記ポンプの最高回転速度を設定すると共に前記識別素子４を検知して識別したポンプ機種の定格回転速度と前記設定した最高回転速度とを判別し、設定が正しいと判別したときモータ部３を駆動可能とする判別回路５を具備した。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプに、該ポンプのコントローラを具備するものにおいて、該ポンプに、該ポンプの機種に応じた識別素子を設けると共に、前記コントローラは、異なる複数の定格回転速度に応じた過速度設定検出器と、これら過速度設定検出器のいずれかの過速度設定検出器を選択的に切換える切換回路と、選択した過速度設定検出器が前記識別素子からの信号から識別するポンプの機種の定格回転速度に応じた最高回転速度を設定したものか否から判別する判別回路とを具備するポンプの過速度検出装置。
【請求項２】
前記コントローラは、選択した過速度設定検出器がポンプの機種の定格回転速度に応じた最高回転速度を設定していると前記判別回路が判別したときに前記ポンプのモータを運転開始する駆動制御回路を具備する請求項１に記載のポンプの過速度検出装置。
【請求項３】
前記コントローラは、選択した過速度設定検出器がポンプの機種の定格回転速度に応じた最高回転速度を設定していないと前記判別回路が判別したときにエラーの表示を行う表示手段を具備することを特徴とする請求項１に記載のポンプの過速度検出装置。
【請求項４】
前記識別素子は電気抵抗素子からなる請求項１乃至請求項３のいずれか１に記載のポンプの過速度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造装置等において使用されるターボ分子ポンプその他のポンプの過速度検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のターボ分子ポンプとしてポンプ部と、該ポンプ部に接続し該ポンプの回転速度等を制御するコントロール部からなり、該コントロール部により前記ポンプが定格回転速度より大の過速度とならないように制御しているものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この従来のターボ分子ポンプによれば、出荷前に前記ポンプ部に応じて作業員が前記コントロール部の過速度設定を行った後に、該ポンプに該コントロール部を接続して現場で運転を開始しているが、作業ミスにより前記ポンプの機種に対応した過速度設定が前記コントロール部に行われていないと、ポンプが定格回転数に達する以前に過速度エラーで停止したり、又は過速度設定値が定格回転速度よりはるかに大であると、ポンプが異常高速回転の運転状態になってトラブルの危険性がある問題点があった。
【０００４】
本発明はこれらの問題点を解消し、ポンプの機種を識別でき、ポンプの機種に応じた過速度の設定を行って、異常高速回転状態を生じない安全なポンプの過速度検出装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成すべくポンプに、該ポンプのコントローラを具備するものにおいて、該ポンプに、該ポンプの機種に応じた識別素子を設けると共に、前記コントローラは、異なる複数の定格回転速度に応じた過速度設定検出器と、これら過速度設定検出器のいずれかの過速度設定検出器を選択的に切換える切換回路と、選択した過速度設定検出器が前記識別素子からの信号から識別するポンプの機種の定格回転速度に応じた最高回転速度を設定したものか否から判別する判別回路とを具備することを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の１実施の形態を図１により説明する。
【０００７】
１は本発明の１実施の形態であるポンプの過速度検出装置のコントローラ部、２は分子ポンプのポンプ本体を示し、該ポンプ本体２内には、ポンプのロータを駆動するブラシレスモータなどのモータ部３が設けられ、更にポンプの機種を識別するための所定抵抗値の抵抗素子などにより形成された識別素子４を具備している。
【０００８】
前記コントローラ部１は、判別回路５と、該判別回路５に切換回路７を介在して接続し、それぞれ固有の過速度の値が設定されている複数の過速度設定検出器６と、同じく該判別回路５に接続し、正しい設定の時に前記モータ部３を駆動制御するモータ駆動制御回路部８と、前記判別回路５に接続し不適切な設定の時にエラーなどの表示を行う表示部９と、前記判別回路５に接続し運転操作をするための操作部１０とからなり、更に該判別回路５には前記識別素子４が接続している。
【０００９】
尚、ここで過速度とはポンプの定格回転速度をやや超える速度とする。
【００１０】
次に本発明の１実施の形態のポンプの過速度検出装置の作動を図１により説明する。
【００１１】
分子ポンプなどのポンプを運転開始するには、先ず、コントローラ部１内の複数の過速度設定検出器６の中の１つをスライドスイッチなどのスイッチによって形成された外部より切換可能な切換回路７によって予め選択し、選択された過速度設定検出器６により該ポンプの最高回転速度即ち許容される過速度を設定されたことになる。
【００１２】
次に、該コントローラ部１とポンプ本体２を点線で図示したケーブル１ａにより接続して準備が終了する。
【００１３】
そして、操作部１０の運転ボタンを押すと、判別回路５は、ポンプ本体２内の識別素子４の所定抵抗値によりポンプ機種を識別すると共に予め選択された１つの過速度設定検出器６の所定の抵抗素子からなる設定素子６ａとを比較して判別し、選択された過速度設定検出器６の設定が正しければ、即ち、選択された過速度設定検出器６がポンプの機種の定格回路速度に応じた最高回転速度を設定していると該判別回路５が判別したとき、判別信号によって前記モータ駆動制御回路８は前記モータ部３を該最高回転速度までの速度範囲で駆動制御する。
【００１４】
もし、該判別回路５の識別素子４と該設定素子６ａとの比較判別で前記過速度設定検出器６の選択が前記ポンプの機種の定格回転速度より高い回転速度や低い回転速度になっていると、判別回路５は前記モータ駆動制御回路部８に判別信号を送らず、前記モータ部３が駆動せず、代りに表示部９に判別信号を送ってエラー表示を出したり、ポンプ機種を表示する。
【００１５】
作業員はこのエラー表示を見て、切換回路７によって別の過速度設定検出器６に設定を切換えて、再びポンプを運転操作し、設定が正しければポンプは駆動され、否ならばエラー表示がなされ、最終的に正しい設定のみでポンプが駆動される。
【００１６】
この様に、コントローラ部１の過速度設定検出部６の選択設定が正し時のみポンプが駆動されることになり、ポンプの定格回転速度をはるかに超える様な異常な高速運転状態となることがなく、ポンプを安全に運転操作することができる。
【００１７】
又、設定が間違っていてもエラー表示がされ、この過速度設定検出器６の設定が外部から切換可能に形成されていることにより、最終的に正しい設定にすることができる。
【００１８】
【発明の効果】
このように本発明によれば、ポンプの機種を識別できると共に該識別したポンプ機種の定格回転速度とコントローラで選択した最高回転速度とが相応したときにポンプの駆動を可能として、異常な高速回転状態を生じないで安全にポンプを運転操作できる効果を有し、又、従来のコントローラで制御プログラムより過速度の検出と運転の停止を行っている機能に本発明の機能を付加することにより２重の安全性を備える効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施の形態のシステム構成図である。
【符号の説明】
１　　　コントローラ
２　　　ポンプ本体
３　　　モータ部
４　　　識別素子
５　　　判別回路
６　　　過速度設定検出器
６ａ　　設定素子
７　　　切換回路
８　　　モータ駆動制御回路部
９　　　表示部
１０　　操作部
【図１】
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