(57)【要約】【課題】本発明は、往復動作の位置決めを行う動作端における振動の発生を抑制することができ、往復動作を高速化することができる往復動作装置を提供することを課題とする。【解決手段】アクチュエータ２が駆動されると、スプール２ａがアクチュエータ２内に吸引され、スプール２ａに連通した上下移動用のシャフト７によりプレート８が上方に引き動かされ、プレート８に連接されたスライダ４がスライドベース３上をスライド移動し、上限ダンパ９が上限ストッパ１１に当接して上方への移動が規制され、スライダ４、プレート８、シャフト７およびスプール２ａが停止して上限位置に位置決めされると同時に、上限ダンパ９がエア通路１３の開口部に当接する。上限ダンパ９がエア通路１３の開口部に当接すると同時に、エア通路１３内の負圧が上昇し、上限ダンパ９は、真空吸引力によって上限ストッパ１１に当接した状態で保持される。【選択図】　　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動手段によって駆動される移動部材の往復動作を一対の動作端とによって規制する往復動作装置であって、
前記一対の動作端と前記移動部材とがそれぞれ当接した状態を保持する保持手段を具備することを特徴とする往復動作装置。
【請求項２】
前記保持手段は、前記移動部材が前記動作端に当接すると同時に前記移動部材を前記動作端に保持すると共に、前記移動部材が他の前記動作端に移動するタイミングで前記移動部材を解放することを特徴とする請求項１記載の往復動作装置。
【請求項３】
前記駆動手段は、前記移動部材を上下方向に往復動作させ、
前記一対の動作端は、前記移動部材の上限位置を規制する上限動作端と、
前記移動部材の下限位置を規制する下限動作端とからなることを特徴とする請求項１又は２記載の往復動作装置。
【請求項４】
前記上限動作端と前記移動部材とが当接したことを検出する検出手段を具備し、
該検出手段によって前記上限動作端と前記移動部材との当接が検出されると前記駆動手段の駆動を停止させ、
前記保持手段による保持力のみで前記上限動作端と前記移動部材とが当接した状態を保持させることを特徴とする請求項３記載の往復動作装置。
【請求項５】
前記保持手段は、真空吸引力によって前記動作端と前記移動部材とが当接した状態を保持させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の往復動作装置。
【請求項６】
前記保持手段は、電磁石による磁力によって前記動作端と前記移動部材とが当接したそれぞれの状態をそれぞれ保持させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の往復動作装置。
【請求項７】
前記移動部材の前記動作端との接触面もしくは前記動作端の少なくともいずれか一方に、当接による衝撃を緩和する衝撃緩和手段を具備することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の往復動作装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高速で往復動作する往復動作装置に関し、特に動作端における振動の発生を抑える制振機構を有する往復動作装置および往復動作方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５は、従来の往復動作装置の構成を示す正面図である。
従来の往復動作装置は、図５を参照すると、水平に設けられたフレーム２１の一端がフレーム２１と直角に設けられたフレーム２０に固定され、フレーム２１の他端にフレーム２１から垂下し、且つフレーム２０と平行にスライドベース２３が固定して設けられている。さらに、フレーム２０と、スライドベース２３の間にあって、スライドベース２３と平行にフレーム２１から垂下し固定されたアクチュエータ２６が設けられている。
【０００３】
下限ストッパ２２は、フレーム２１と平行で且つフレーム２１との距離がスライド調整可能なようにフレーム２０に設けられており、下限ストッパ２２と下限ストッパ２２に貼付された下限ダンパ２７をアクチュエータ２６のシャフト２８が往復動自在に貫通している。スライドベース２３上をスライド移動自在に設けられたスライダ２４の一端に直結されたプレート２５の一端は、下限ストッパ２２を貫通したシャフト２８と直接又は間接的に連結され、プレート２５の他端に例えばシャッタ３２などのアクティブ部品が取り付けられている。また、スライダ２４の他端には、上限ダンパ２９が貼付されており、スライダ２４の上限の規制をする上限ストッパ３０が上限ダンパ２９に対峙してフレーム２１に設けられ、さらにスライダ２４をフレーム２１から離間させるようにフレーム２１との間に弾性体３１が設けられている。
【０００４】
アクチュエータ２６は、例えば、プッシュ／プルソレノイドであって、アクチュエータ２６が励磁されるとスプール２６ａがアクチュエータ２６内に吸引され、スプール２６ａに貫通したシャフト２８によりプレート２５がフレーム２１側（以下、上方と称す）に引き動かされるため、プレート２５に直結されたスライダ２４がスライドベース２３上をスライド移動して、上限ストッパ３０に上限ダンパ２９が当接し、上方への移動動作が停止して位置決めを完了すると共に、フレーム２１とスライダ２４に挟押されて弾性体３１が圧縮されるようになっている。
【０００５】
アクチュエータ２６の励磁が解かれると、圧縮されていた弾性体３１の復元力に付勢されてスライダ２４およびスライダ２４に直結されたプレート２５がフレーム２１の反対側（以下、下方と称す）に押し戻され、プレート２５の一端に連結されたアクチュエータ２６のシャフト２８およびシャフト２８に連結したスプール２６ａも下方に引き下げられるようになっている。
【０００６】
調整ボルト３３により位置調整された下限ストッパ２２の下限ダンパ２７にスプール２６ａのフランジ２６ｂが当接すると、スライダ２４、プレート２５、シャフト２８およびスプール２６ａのそれぞれ下方への動作が停止して位置決め動作が完了するようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術では、上方および下方への往復動作の位置決めを行う動作端において、上限ダンパ２９と上限ストッパ３０とが当接した瞬間と、下限ダンパ２７とフランジ２６ｂが当接した瞬間とに、上限ダンパ２９および下限ダンパ２７の反発力による微振動が発生する。この微振動は、往復動作が低速であれば短時間で収束するためにシャッタ３２等のアクティブ部品の機能に支障をきたすことはないが、往復動作が高速になるほど衝撃荷重が増加して微振動の収束時間が長くなって収束しにくくなり、さらに微振動が収束する前に次の加振により共振して振幅が増幅するため、シャッタ３２等のアクティブ部品の機能に支障をきたし、往復動作を高速化することができないという問題点があった。
【０００８】
本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、往復動作の位置決めを行う動作端における振動の発生を抑制することができ、往復動作を高速化することができる往復動作装置を提供する点にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決すべく、以下に掲げる構成とした。
請求項１記載の発明の要旨は、駆動手段によって駆動される移動部材の往復動作を一対の動作端とによって規制する往復動作装置であって、前記一対の動作端と前記移動部材とがそれぞれ当接した状態を保持する保持手段を具備することを特徴とする往復動作装置に存する。
また請求項２記載の発明の要旨は、前記保持手段は、前記移動部材が前記動作端に当接すると同時に前記移動部材を前記動作端に保持すると共に、前記移動部材が他の前記動作端に移動するタイミングで前記移動部材を解放することを特徴とする請求項１記載の往復動作装置に存する。
また請求項３記載の発明の要旨は、前記駆動手段は、前記移動部材を上下方向に往復動作させ、前記一対の動作端は、前記移動部材の上限位置を規制する上限動作端と、前記移動部材の下限位置を規制する下限動作端とからなることを特徴とする請求項１又は２記載の往復動作装置に存する。
また請求項４記載の発明の要旨は、前記上限動作端と前記移動部材とが当接したことを検出する検出手段を具備し、該検出手段によって前記上限動作端と前記移動部材との当接が検出されると前記駆動手段の駆動を停止させ、前記保持手段による保持力のみで前記上限動作端と前記移動部材とが当接した状態を保持させることを特徴とする請求項３記載の往復動作装置に存する。
また請求項５記載の発明の要旨は、前記保持手段は、真空吸引力によって前記動作端と前記移動部材とが当接した状態を保持させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の往復動作装置に存する。
また請求項６記載の発明の要旨は、前記保持手段は、電磁石による磁力によって前記動作端と前記移動部材とが当接したそれぞれの状態をそれぞれ保持させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の往復動作装置に存する。
また請求項７記載の発明の要旨は、前記移動部材の前記動作端との接触面もしくは前記動作端の少なくともいずれか一方に、当接による衝撃を緩和する衝撃緩和手段を具備することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の往復動作装置に存する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１１】
図１および図２は、本発明に係る往復動作装置の実施の形態の構成を示す正面図であり、図３は、本発明に係る往復動作装置の実施の形態の制御部の構成を示すブロック図である。
【００１２】
本実施の形態は、図１および図２を参照すると、Ｌ字形フレーム１の側辺１ａにコの字状フレーム６が開口部を下方、すなわちＬ字形フレーム１の底辺１ｂ側に向けて固定されており、コの字状フレーム６内には、駆動手段であるアクチュエータ２がスプール２ａを下方に向けて固定されている。アクチュエータ２のスプール２ａに連接した上下移動用のシャフト７には、プレート８が直接又は間接的に連結されており、プレート８の開放端には、アクティブ部品であるシャッタ１８が設けられ、アクチュエータ２の駆動によってシャッタ１８が図１および図２における上下方向に往復動作する構成となっている。アクチュエータ２は、例えば、プッシュ／プルソレノイドであって、アクチュエータ２が駆動（励磁）されると、スプール２ａがアクチュエータ２内に吸引され、スプール２ａに連通した上下移動用のシャフト７によりプレート８が上方に引き動かされるようになっている。なお、図１は、アクチュエータ２が駆動されておらずシャッタ１８が最も下方に位置する状態（以下、復帰状態と称す）を示しており、図２は、アクチュエータ２が駆動されてシャッタ１８が最も上方に位置する状態（以下、動作状態と称す）を示している。
【００１３】
Ｌ字形フレーム１の底辺１ｂの一端には、Ｌ字形フレーム１の側辺１ａと平行にスライドベース３の一端が固定して設けられており、スライドベース３には、プレート８に固定されたスライダ４がスライドベース３上を上下方向にスライド自在に設けられ、スライダ４とプレート８とシャッタ１８とが一つの移動部材として上下方向に往復動作できる構成となっている。スライドベース３の他端側には、スライダ４の上下限位置を規制するためのストッパユニット５が連接されており、ストッパユニット５を貫通して上下方向に調整可能に設けられた上限ストッパ１１によってスライダ４の動作状態における上限位置が規制され、ストッパユニット５の上面に貼付された下限ダンパ１０によってスライダ４の復帰状態における下限位置が規制される。すなわち、上限ストッパ１１は、移動部材の往復動作を規制する一対の動作端の内の上限動作端として機能し、下限ダンパ１０は、移動部材の往復動作を規制する一対の動作端の内の下限動作端として機能する。
【００１４】
スライダ４の上面には、動作状態において上限ストッパ１１と当接する位置に上限ダンパ９が貼付されており、上限ダンパ９と上限ストッパ１１とが当接することによって動作状態における上限位置が規制される。また、スライダ４の上面には、ストッパユニット５と下限ダンパ１０とを上下移動自在に貫通する下限ストッパ１２が上下方向に調整可能に螺合されており、下限ストッパ１２のストッパユニット５および下限ダンパ１０を貫通した端部には、鍔１２ａが設けられ、鍔１２ａと下限ダンパ１０とが当接することによって復帰状態における下限位置が規制される。なお、上限ダンパ９と下限ダンパ１０とは、ゴム等の弾性体であり、上限ダンパ９と上限ストッパ１１とが当接する際の衝撃と、下限ストッパ１２の鍔１２ａと下限ダンパ１０とが当接する際の衝撃とをそれぞれ緩和させる衝撃緩和手段として機能する。
【００１５】
下限ストッパ１２は、ストッパユニット５の下方面とスライダ４の上方面の間に挟持されたバネ等の弾性体１５を貫通する構成となっており、スライダ４は、弾性体１５によって下方に付勢されている。
【００１６】
上限ストッパ１１には、動作状態を保持するための動作状態保持手段が設けられており、動作状態保持手段は、上限ストッパ１１の中心部を貫通して形成されたエア通路１３と真空ポンプ等の図示しない真空発生源とからなる。動作状態保持手段は、上限ストッパ１１と上限ダンパ９とが当接した動作状態で、上限ストッパ１１の上方端に設けられたプラグ１７に接続された真空発生源によってエア通路１３内の空気を真空吸引してエア通路１３内に負圧を発生させ、エア通路１３内の負圧によって上限ダンパ９を上限ストッパ１１に吸引することにより、上限ストッパ１１と上限ダンパ９との当接を保持することができる。真空発生源は、常に稼働状態になっており、プラグ１７と真空発生源との間の流路に設けられた図１および図２には図示されていない上限位置バルブ４０を切り換えることにより、エア通路１３は、真空発生源によって真空吸引されている状態と大気圧に開放された状態とが切り換えられる。また、図１および図２には図示されていないが、エア通路１３には、エア通路１３内の負圧の状況を検出する負圧センサ４２が設けられている。
【００１７】
また、ストッパユニット５には、復帰状態を保持するための復帰状態保持手段が設けられており、復帰状態保持手段は、下限ストッパ１２の鍔１２ａに当接する下限ダンパ１０の上面からストッパユニット５の側面に設けられたプラグ１６に連通して形成されたエア通路１４と真空ポンプ等の図示しない真空発生源とからなる。復帰状態保持手段は、下限ダンパ１０と下限ストッパ１２の鍔１２ａとが当接した復帰状態で、プラグ１６に接続された真空発生源によってエア通路１４内の空気を真空吸引して、エア通路１４内の負圧によって下限ストッパ１２の鍔１２ａを吸引することにより、下限ダンパ１０と下限ストッパ１２の鍔１２ａとの当接を保持することができる。真空発生源は、常に稼働状態になっており、プラグ１６と真空発生源との間の流路に設けられた図１および図２には図示されていない下限位置バルブ４１を切り換えることにより、エア通路１４は、真空発生源によって真空吸引されている状態と大気圧に開放された状態とが切り換えられ、前述の上限位置バルブ４０と同様な作用をする。
【００１８】
本実施の形態の往復動作装置は、図３に示す制御部４３によって制御され、制御部４３は、アクチュエータ２を駆動する駆動信号を出力するアクチュエータ駆動部４４と、上限位置バルブ４０を切り換える上限位置バルブ切り換え信号を出力する上限位置バルブ切り換え部４５と、下限位置バルブ４１を切り換える下限位置バルブ切り換え信号を出力する下限位置バルブ切り換え部４６とからなり、外部から入力される制御信号と負圧センサ４２の出力である負圧センサ出力に応じて往復動作装置の動作を制御する。
【００１９】
次に、本実施の形態の動作について図４を参照して詳細に説明する。
図４は、本発明に係る往復動作装置の実施の形態の動作を説明するためのタイミングチャートである。
【００２０】
図１に示す復帰状態で、外部から制御部４３に入力されている制御信号がＯＮになると、アクチュエータ駆動部４４は、駆動信号をＯＮにしてアクチュエータ２を駆動する（矢印Ａ）。アクチュエータ２が駆動されると、スプール２ａがアクチュエータ２内に吸引され、スプール２ａに連通した上下移動用のシャフト７によりプレート８が上方に引き動かされ、プレート８に連接されたスライダ４がスライドベース３上をスライド移動し、図２に示すように、上限ダンパ９が上限ストッパ１１に当接して上方への移動が規制され、スライダ４、プレート８、シャフト７およびスプール２ａが停止して上限位置に位置決めされると同時に、上限ダンパ９がエア通路１３の開口部に当接する。
【００２１】
上限位置バルブ切り換え部４５は、上限ダンパ９が上限ストッパ１１に当接する以前に上限位置バルブ切り換え信号をＯＮにしてエア通路１３からの真空吸引を開始しており、上限ダンパ９が上限ストッパ１１（エア通路１３の開口部）に当接すると同時に、エア通路１３内の負圧が上昇し、上限ダンパ９は、真空吸引力によって上限ストッパ１１に当接した状態で保持される。また、エア通路１３内の負圧の上昇により、負圧センサ４２が作動して負圧センサ出力がＯＮになり、アクチュエータ駆動部４４は、駆動信号をＯＦＦにしてアクチュエータ２の駆動を停止する（矢印Ｂ）。上限ダンパ９が上限ストッパ１１に当接する以前であって、真空発生源によって真空吸引されている状態では、エア通路１３内に負圧が発生しているが、上限ダンパ９が上限ストッパ１１に当接することによりエア通路１３内の負圧が急激に上昇し、この負圧の上昇タイミングを負圧センサ４２によって検出することにより、上限ダンパ９と上限ストッパ１１とが当接したことを検出する。
【００２２】
図２に示す動作状態では、シャッタ１８が開いた状態となり、スライダ４が上方に引き動かされることにより、スライダ４とストッパユニット５に挟持された弾性体１５が圧縮され、スライダ４を下方に押し下げようとする付勢力が発生しているが、スライダ４は、エア通路１３内に負圧による真空吸引力によって上限ストッパ１１に上限ダンパ９が当接した状態で維持される。
【００２３】
次に、図２に示す動作状態で、外部から制御部４３に入力されている制御信号がＯＦＦになると、上限位置バルブ切り換え部４５は、上限位置バルブ切り換え信号をＯＦＦにしてエア通路１３を大気圧に開放する（矢印Ｃ）。エア通路１３が大気圧に開放されると、エア通路１３内に負圧による真空吸引力が失われ、弾性体１５の復元力よる付勢と自重とによってスライダ４およびスライダ４に直結されたプレート８が下方に押し戻され、プレート８の一端に直接又は間接的に連結されたアクチュエータ２のシャフト７と、シャフト７に連通したスプール２ａも下方に引き下げられる。スライダ４の上方面に螺合された下限ストッパ１２がスライダ４の移動に伴い下方に引き下げられると、下限ストッパ１２の鍔１２ａが下限ダンパ１０に当接して下方への移動が規制され、スライダ４、プレート８、シャフト７およびスプール２ａが停止して下限位置に位置決めされると同時に、下限ストッパ１２の鍔１２ａがエア通路１４の開口部に当接する。
【００２４】
下限位置バルブ切り換え部４６は、下限ストッパ１２の鍔１２ａが下限ダンパ１０に当接する以前に下限位置バルブ切り換え信号をＯＮにしてエア通路１４からの真空吸引を開始しており、下限ストッパ１２の鍔１２ａがエア通路１４の開口部に当接すると同時に、エア通路１４内の負圧が上昇し、下限ストッパ１２の鍔１２ａは、真空吸引力によって下限ダンパ１０に当接した状態で保持される。
【００２５】
図１に示す復帰状態では、シャッタ１８が閉じた状態となり、スライダ４は、エア通路１４内に負圧による真空吸引力によって下限ストッパ１２の鍔１２ａが下限ダンパ１０が当接した状態で維持される。
【００２６】
次に、外部から制御部４３に入力されている制御信号がＯＮになると、下限位置バルブ切り換え部４６は、上限位置バルブ切り換え信号をＯＦＦにしてエア通路１４を大気圧に開放する（矢印Ｄ）。これによりエア通路１４内の負圧による真空吸引力が失われ、スライダ４が上方へ移動可能となる。以上説明した動作を繰り返して往復動作によるアクティブ部品であるシャッタ１８の開閉機能を有効にすることができる。
【００２７】
以上説明したように、本実施の形態によれば、往復動作の上限動作端である上限ストッパ１１と移動部材であるスライダ４の上限ダンパ９とが当接された状態を保持する動作状態保持手段と、往復動作の下限動作端である下限ダンパ１０と移動部材であるスライダ４の下限ストッパ１２の鍔１２ａとが当接された状態を保持する復帰状態保持手段とを設けることにより、弾性体である上限ダンパ９と下限ダンパ１０とによって上限動作端および下限動作端と移動部材とがそれぞれ当接する際の衝撃をそれぞれ緩和させると共に、上限動作端および下限動作端と移動部材とがそれぞれ当接したそれぞれの状態を保持することができるため、上限ダンパ９および下限ダンパ１０の反発力によって上限動作端および下限動作端でそれぞれ発生する振動をそれぞれ抑制でき、往復動作する移動部材の位置決めを行う上限動作端および下限動作端における振動の発生を抑えて往復動作を高速化することができるという効果を奏する。
【００２８】
さらに、本実施の形態によれば、上限動作端である上限ストッパ１１と移動部材であるスライダ４の上限ダンパ９とが当接したことを検出することによってアクチュエータ２の駆動を停止させるように構成したため、駆動手段であるアクチュエータ２に起因する振動源を排除することができ、上限動作端における振動の発生をより緩和することができるという効果を奏する。
【００２９】
なお、本実施の形態では、アクチュエータ２をプッシュ／プルソレノイドとしたが、往復動作するアクチュエータ２であれば、ソレノイドにこだわるものではなく、また、アクティブ部品としてシャッタ１８の例を記述したが特性測定用プローブなどのように往復動作を伴うものには何にでも適用することができる。
【００３０】
また、本実施の形態では、アクチュエータ２の動作タイミング（アクチュエータ２の駆動を停止するタイミング）を取るための位置検出器として負圧センサ４２を用いて説明したが、負圧センサ４２の代わりに近接センサ、変位センサを用いても良い。
【００３１】
さらに、本実施の形態では、スライダ４の上限位置での保持（動作状態）とスライダ４の下限位置での保持（復帰状態）とに真空吸引力を用いる構成としたが、真空吸引力に替わりに電磁石による磁力によってスライダ４の上限位置での保持（動作状態）とスライダ４の下限位置での保持（復帰状態）と行うようにしても良い。なお、電磁石による磁力を用いる場合には、負圧センサ４２の替わりに上限ストッパ１１と上限ダンパ９とが当接したことを検知する近接センサを設け、近接センサによってアクチュエータ２の駆動を停止するタイミングを決定する。
【００３２】
なお、本発明が上記各実施の形態に限定されず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施の形態は適宜変更され得ることは明らかである。また、上記構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にすることができる。なお、各図において、同一構成要素には同一符号を付している。
【００３３】
【発明の効果】
本発明の往復動作装置は、往復動作の上限動作端である上限ストッパと移動部材であるスライダの上限ダンパとが当接された状態を保持する動作状態保持手段と、往復動作の下限動作端である下限ダンパと移動部材であるスライダの下限ストッパの鍔とが当接された状態を保持する復帰状態保持手段とを設けることにより、弾性体である上限ダンパと下限ダンパとによって上限動作端および下限動作端と移動部材とがそれぞれ当接する際の衝撃をそれぞれ緩和させると共に、上限動作端および下限動作端と移動部材とがそれぞれ当接したそれぞれの状態を保持することができるため、上限ダンパおよび下限ダンパの反発力によって上限動作端および下限動作端でそれぞれ発生する振動をそれぞれ抑制でき、往復動作する移動部材の位置決めを行う上限動作端および下限動作端における振動の発生を抑えて往復動作を高速化することができるという効果を奏する。
【００３４】
さらに、本実施の形態によれば、上限動作端である上限ストッパと移動部材であるスライダの上限ダンパとが当接したことを検出することによってアクチュエータの駆動を停止させるように構成したため、駆動手段であるアクチュエータに起因する振動源を排除することができ、上限動作端における振動の発生をより緩和することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る往復動作装置の実施の形態の構成を示す正面図である。
【図２】本発明に係る往復動作装置の実施の形態の構成を示す正面図である。
【図３】本発明に係る往復動作装置の実施の形態の制御部の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明に係る往復動作装置の実施の形態の動作を説明するためのタイミングチャートである。
【図５】従来の往復動作装置の構成を示す正面図である。
【符号の説明】
１　Ｌ字形フレーム
１ａ　側辺
１ｂ　底辺
２　アクチュエータ
２ａ　スプール
３　スライドベース
４　スライダ
５　ストッパユニット
６　コの字状フレーム
７　シャフト
８　プレート
９　上限ダンパ
１０　下限ダンパ
１１　上限ストッパ
１２　下限ストッパ
１２ａ　鍔
１３、１４　エア通路
１５　弾性体
１６、１７　プラグ
１８　シャッタ
４０　上限位置バルブ
４１　下限位置バルブ
４２　負圧センサ
４３　制御部
４４　アクチュエータ駆動部
４５　上限位置バルブ切り換え部
４６　下限位置バルブ切り換え部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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