(57)【要約】【課題】流量調整弁の消費電力を減少するようにした場合であっても、流量調整弁の制御性が低下しないようにした燃料電池の流量調整弁制御システムを提供する。【解決手段】本発明の流量調整弁制御システムは、流路に配置されて流路を開閉する調整弁２５と、電源から駆動電流の供給を受けて上記調整弁を駆動するモータ２２と、上記モータのトルクを検出するトルク検出手段Ｔと、検出したトルクが基準値を越えたときに上記駆動電流のレベル制限を行う電流制限手段（Ｓ２４）と、弁開度設定指令に応じて上記モータを制御する（Ｓ２０）と共に、この弁開度設定指令が変更されない限り上記電流のレベル制限を継続させる起動制御手段（Ｓ１０，Ｓ１４）と、を備える。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路に配置されて流路を開閉する調整弁と、
電源から駆動電流の供給を受けて前記調整弁を駆動するモータと、
前記モータのトルク値を検出するトルク検出手段と、
検出したトルク値が基準値を越えたときに前記駆動電流のレベル制限を行う電流制限手段と、
弁開度設定指令に応じて前記モータを制御すると共に、この弁開度設定指令が変更されない限り前記電流のレベル制限を継続させる起動制御手段と、
を備える流量調整弁制御システム。
【請求項２】
流路に配置されて流路を開閉する調整弁と、
電源から駆動電流の供給を受けて前記調整弁を駆動するモータと、
前記モータのトルク値を検出するトルク検出手段と、
検出したトルク値が基準値を越えたときに前記駆動電流のレベル制限を行う電流制限手段と、
弁開度設定指令に応じて前記モータを制御すると共に前記電流制限を解除する起動制御手段と、
を備える流量調整弁制御システム。
【請求項３】
前記基準値が前記調整弁の全閉時におけるモータの負荷トルク値に設定される、請求項１又は２に記載の流量調整弁制御システム。
【請求項４】
前記電流制限手段は、前記電流の制限を少なくとも所定時間継続する、請求項１乃至３のいずれかに記載の流量調整弁制御システム。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の流量調整弁制御システムを燃料改質器の酸化エア供給系に備える燃料改質装置。
【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エア等の流体を供給する流量調整弁の制御システムに関し、特に、燃料電池システムに供給する酸化エアの供給に好適な流量調整弁制御システム及びこれを用いた燃料改質装置に関する。
【従来の技術】
燃料電池は、燃料の有する化学エネルギを、機械エネルギや熱エネルギを経由することなく直接電気エネルギに変換する装置であり、高いエネルギ効率が実現可能である。よく知られた燃料電池の形態としては、電解質層を挟んで一対の電極を配置し、一方の電極（陽極側）に水素を含有する燃料ガスを供給すると共に他方の電極（陰極側）に酸素を含有する酸化ガスを供給するものであり、両電極で起きる電気化学反応を利用して起電力を得る。
燃料電池は使用する電解質の種類や運転温度などにより分類されるが、これら燃料電池の中で、固体高分子型燃料電池、りん酸型燃料電池、溶融炭酸塩電解質型燃料電池などでは、水素リッチガスを燃料ガスとして用いることができる。
そこで、燃料電池に改質器を組み合わせ、メタノール、エタノール、天然ガス、ＬＰＧ、ガソリン、軽油、ＤＭＥ（ジメチルエーテル）などの炭化水素系の原燃料を改質して水素を高濃度で含むガスを生成し、これを燃料として燃料電池に供給して発電システムを構成する。このような改質器を用いた構成によれば燃料の貯蔵や取り扱いが容易となるので、次世代車両の駆動システムとして開発が進められている。
改質器は、例えば、メタノールを原燃料としてこれを改質する場合、その改質部でいわゆる水蒸気酸化法（Ｓｔｅａｍ  ｒｅｆｏｒｍｉｎｇ）、部分酸化法（Ｐａｒｔｉａｌ  ｏｘｉｄａｔｉｏｎ  ｒｅｆｏｒｍｉｎｇ）及びこれらを併用したオートサーマル法（Ａｕｔｏｔｈｅｒｍａｌ  ｒｅｆｏｒｍｉｎｇ）等を使用して水素リッチな燃料ガスを生成する。また、改質器のＣＯ浄化部で上記改質に伴って微量発生した一酸化炭素ＣＯを選択酸化反応やシフト反応によって二酸化炭素ＣＯ２に変換する。このため、改質器にはメタノール（原燃料）、水、酸化エアなどの流体の供給機構が設けられる。
例えば、特開２００１−２２７２８号公報には、改質用エアの供給機構が紹介されており、エアを供給する流路に複数の流量調整弁を設けて改質器への供給エア量を設定している。
【特許文献１】
特開２００１−５２７２８号公報
【発明が解決しようとする課題】
上述した燃料電池システムの効率を向上するためには、燃料電池システムの運転を補助する補器類における消費電力を減少することが重要である。複数使用される流量調整弁には、これを駆動するモータが使用されている。この消費電力を減少すべく弁駆動モータのトルクを低く抑えて運転すると、改質器側の内圧変動に起因して負荷がモータの限界トルクを越えるモータトルクオーバが発生することが考えられる。例えば、燃料電池システムの起動時や、燃料電池システムの負荷（例えば、車両モータなど）への過度応答時には、改質器内の改質原料の投入が不安定な状態となり、改質反応によるガス発生状態が変化する。そのため、改質器内で内部圧力変動が起こり、その圧力変動が流量調整弁の二次側に及び駆動モータの負荷の増大や変動をもたらす。トルクオーバは制御エラーの一つとなされており、トルクオーバが発生すると燃料電池システムの運転（制御）の中断原因となる。
また、流量調整弁の動作は電気信号によって制御されるが、消費電力の低減のために電気信号レベルを下げると、周囲の機器や環境からのノイズの影響を受け易くなることが考えられる。
よって、本発明は、流量調整弁の消費電力を減少するようにした場合であっても、流量調整弁の制御性が低下しないようにした流量調整弁制御システムを提供することを目的とする。
また、本発明は、流量調整弁の消費電力を減少するようにした場合であっても、流量調整弁の制御性が低下しないようにした流量調整弁制御を行うようにした燃料改質装置を提供することを目的とする。
【課題を解決する手段】
上記目的を達成するため本発明の流量調整弁制御システムは、流路に配置されて流路を開閉する調整弁と、電源から駆動電流の供給を受けて上記調整弁を駆動するモータと、上記モータのトルク値を検出するトルク検出手段と、検出したトルク値が基準値を越えたときに上記駆動電流のレベル制限を行う電流制限手段と、弁開度設定指令に応じて上記モータを制御すると共に、この弁開度設定指令が変更されない限り上記電流のレベル制限を継続させる起動制御手段と、を備える。
かかる構成とすることによって、モータがトルクリミットを越えても制御が中断されないため、制御性が悪化せず具合がよい。
また、本発明の流量調整弁制御システムは、流路に配置されて流路を開閉する調整弁と、電源から駆動電流の供給を受けて上記調整弁を駆動するモータと、上記モータのトルク値を検出するトルク検出手段と、検出したトルク値が基準値を越えたときに上記駆動電流のレベル制限を行う電流制限手段と、弁開度設定指令に応じて上記モータを制御すると共に上記電流制限を解除する起動制御手段と、を備える。
かかる構成とすることによって、弁開度指令が変更されると電流制限が解除されるので、最大トルクでの制御が再開できるため、電流制限を行っても制御性が悪化せず具合がよい。
好ましくは、上記基準値が上記調整弁の全閉時におけるモータの負荷トルク値に設定される。それにより、調整弁が全閉状態になるとモータ駆動電流の電流制限が行われ、モータが保護される。
好ましくは、上記電流制限手段は、上記電流の制限を少なくとも所定時間継続する。それにより、制御の重要に部分でのノイズなどの外乱による影響をより確実に排除することが可能となる。
また、本発明の燃料改質装置は、上述した流量調整弁制御システムを燃料改質器の酸化エア供給系に備える。それにより、上記の利点を備える燃料改質装置を得る。
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。本発明の実施の形態では、弁開度設定の指令がなされると、指定された弁開度になるように改質器へのエアの供給量を設定する調整弁を駆動するモータが動作する。このモータのトルクが予め定められたリミット値を越えると、弁開度指令が変化しない間は、モータへの供給電流レベルを改質器の定常状態で調整弁が動作可能なトルクが得られるレベルに抑制するようにする。それにより、モータトルクオーバの状態を回避すると共に、この抑制状態を次の弁開度設定指令の発令によって解除することによってモータから調整弁に直ちに最大トルクまでのトルク印加を可能とし、流量調整弁の制御応答性を損なわないようにしている。
図１は、本発明の流量調整弁制御システムを使用した燃料改質装置を概略的に説明する説明図である。同図において、燃料改質装置１は、改質器１０、エア供給系２０及び流量調整弁制御装置３０を備えている。
改質器１０は、水素を含有する原燃料から水素リッチな改質ガスを生成するものであり、燃焼部１１、蒸発部１２、改質部１３、ＣＯ浄化部１４を含んで構成されている。水素を含む原燃料としては、メタン（ＣＨ４）、エタン（Ｃ２Ｈ６）、プロパン（Ｃ３Ｈ８）、ブタン（Ｃ４Ｈ１０）、ガソリン、軽油、天然ガス、メタノール（ＣＨ３ＯＨ）、エタノール（Ｃ２Ｈ５ＯＨ）、ＤＭＥ（ＣＨ３ＯＣＨ３）、アセトン（ＣＨ３Ｃ（＝Ｏ）ＣＨ３）等の種々のものが使用可能であるが、以下の例では、メタノールを使用した場合について説明する。
燃焼部１１は、メタノールや図示しない燃料電池からの余剰水素等を燃焼してメタノールの改質反応（吸熱反応）を行う際に必要な熱量を発生し、蒸発部１２、改質部１３に設けられた熱交換機に供給する。
蒸発部１２は燃焼部１１からの熱を熱交換器に受け、この熱を利用して後述のメタノールタンク及び水タンクから供給されるメタノール及び水を気化させる。
改質部１３は、蒸発部１２で加熱発生した気化ガスを供給される他に内部を加熱する手段として電気式のヒータを備えて適切な反応温度を確保する。改質器１０が定常状態となったときにはこのヒータによって改質部１３内部を改質反応に適した温度に維持することも可能となっている。改質部１３には、例えば、改質反応を促進する触媒金属であるＣｕ−Ｚｎ触媒で形成されたペレットが充填されており、十分に昇温されたメタノール及び水の気化ガスの供給を受けて水蒸気改質反応及び部分酸化改質反応を進行させ、水素リッチな改質ガスを生成する。
水蒸気改質反応は、
ＣＨ３ＯＨ＋Ｈ２Ｏ  →  ＣＯ２＋３Ｈ２−１３１（ｋＪ／ｍｏｌ）    …（４）
ＣＨ３ＯＨ  →  ＣＯ＋２Ｈ２                            …（５）
ＣＯ＋Ｈ２Ｏ  →  ＣＯ２＋Ｈ２                            …（６）
として示される。
更に、改質部１３では、残留した気化メタノールに外部から酸化エア（Ｏ２：２１％，Ｎ２：７９％）を供給して部分酸化改質反応によって水素を生成する。
部分酸化改質反応は、
ＣＨ３ＯＨ＋１／２Ｏ２＋１．９Ｎ２→２Ｈ２＋ＣＯ２＋１５５（ｋＪ／ｍｏｌ）  …（７）
ＣＨ３ＯＨ＋３／２Ｏ２＋５．７Ｎ２→＋ＣＯ２＋２Ｈ２Ｏ＋５．７Ｎ２    …（８）
２ＣＨ３ＯＨ＋２Ｈ２Ｏ→６Ｈ２＋２ＣＯ２＋２Ｈ２Ｏ                    …（９）
として示される。
ＣＯ浄化部１４は、改質部１３から供給される改質ガスに微量含まれる一酸化炭素濃度を低減して図示しない燃料電池装置に供給する。固体高分子型の燃料電池は電池反応を促進する白金又は白金合金の触媒を使用しているのでこの触媒に一酸化炭素が吸着して機能が低下することを防止する。ＣＯ浄化部１４では、改質ガス中の水素に優先して一酸化炭素の酸化を行うべく、一酸化炭素の選択触媒である白金触媒、ルテニウム触媒、パラジウム触媒、金触媒、これらを使用する合金触媒などを担持する担体が充填されている。そして、外部から酸化エアを供給し、選択酸化反応によって一酸化炭素を二酸化炭素に変えている。
選択酸化反応は、
ＣＯ＋１／２Ｏ２→ＣＯ２
として示される。一酸化炭素が低減された改質ガスは図示しない燃料電池に供給される。
上述した改質器１０の各部には、エア供給系２０によって必要な酸化エアが供給される。エア供給系２０は後述の燃料電池にも酸化エアを供給するように構成することが可能である。
エア供給系２０は、エアフィルタ２１、モータ２２、エアポンプ２３、サージタンク２４、複数の流量調整弁２５、流路（配管）２６等によって構成される。エアフィルタ２１はエアを濾過して埃などの異物を除去する。モータ２２は、例えば、直流モータであり、燃料電池によって充電される二次電池から電力の供給を受けてエアポンプ２３を駆動する。モータ２２の回転は図示しないモータ制御手段によって制御される。例えば、直流チョッパによるＰＷＭ制御を使用することが出来、そのデューティ比を適宜に設定することによってモータ２２の回転数が設定される。エアポンプ２３は、濾過されたエアを圧縮してサージタンク（エアタンク）２４に供給する。サージタンク２４は圧縮空気を貯留する。例えば、サージタンク２４には圧力計が設けられる。この圧力計の出力はモータ制御手段に送られ、上述したモータ２２の駆動が制御される。それにより、サージタンク２４の圧力が一定となるように調整される。また、サージタンク２４はエア圧の脈動を減少させる。貯留されたエアはサージタンク２４から複数の流路２６によってそれぞれ改質部１３及びＣＯ浄化部１４の複数のエア投入口に導かれる。各流路２６には、それぞれ流量調整弁２５が設けられている。
図２に示すように、各流量調整弁２５は、調整弁ＶＡ、モータＭＯ、エンコーダＥＮ及びトルク検出器Ｔを含む。調整弁ＶＡは流路２６の途中に配置されて流路２６を任意の開度で開閉する。モータＭＯは流量調整弁制御部３０からの駆動電流に応じたトルクで調整弁ＶＡを駆動する。トルク検出器ＴはモータＭＯへの供給電流からモータで生ずるトルクを計算して制御部３０に送る。なお、機械的トルクを直接的に検出するものであっても良い。エンコーダＥＮは、例えば、ポテンショメータが使用され、調整弁ＶＡの開度を電気信号に変換して制御部３０に送る。制御部３０に送られた情報は入出力部３１で所定サンプリング周期でデータ化され、ＲＡＭ３４の所定領域に書き込まれる。
流量調整弁制御部３０は、図示しない上位の運転制御装置から各調整弁の弁開度指令などの運転パラメータを受けて、複数の流量調整弁２５の弁開度制御を行う。流量調整弁制御部３０は、入出力部３１、ＣＰＵ３２、ＲＯＭ３３、ＲＡＭ３４等を含むコンピュータシステムによって構成される。
例えば、図２に示すように、入出力部３１は、流量調整弁２５の駆動モータＭＯに図示しないレジスタに設定された値に対応する電流を供給すると共に、調整弁２５のエンコーダＥＮから供給される弁開度信号をデジタル値にしてＲＡＭ３４のフラグ・レジスタ領域に書き込む。ＣＰＵ３２は制御プログラムに従って流量調整弁の制御処理を実行する。ＲＯＭ３３は制御プログラムや制御データを記憶する。ＲＡＭ３４は、ＤＭＡ動作が可能であり、その内部に割り当てられたフラグ・レジスタ領域に直接入出力部３１から外部命令、フラグやデータの書き込みが行われる。書き込みが行われたときには、割り込みフラグが設定される。例えば、外部（上位制御コンピュータ）から所定の流量調整弁の弁開度設定を指令する弁開度設定フラグ（ＦＬ）、指定された弁開度を示す指令弁開度、モータＭＯを動作させるモータ駆動フラグ、モータＭＯの現在のトルク、調整弁の現在の弁開度、モータＭＯへの電流供給を抑制（制限）すべき状態であることを示す電流制限フラグ、電流制限が所定時間経過したことを示すタイムアウトフラグなどがある。ＣＰＵ３２はこれらの情報に基づいて流量調整弁のデータ処理を行う。なお、図２では、一組の流量調整弁２５について記載しているが各流量制御弁について同様の制御系（インタフェース）が制御装置３０に構成されている。
次に、図３を参照して制御装置３０の流量調整弁の弁開閉動作について説明する。
まず、燃料電池システムの運転を制御する図示しない上位コンピュータから流量調整弁制御部３０に所定の流量調整弁についての弁開度の設定が指令される。この指令は入出力部３１を介してＲＡＭ３４の弁開度設定フラグをオンにする。また、ＲＡＭ３４の指令弁開度領域に弁開度を書き込ませる。
これをＣＰＵ３２が主プログラムで各種フラグをチェックすることにより検出し、あるいは弁開度設定フラグのオンにより割り込み処理を発生させることなどによって図示の制御ルーチンを実行する（Ｓ１０）。
まず、ＣＰＵ３２は、ＲＡＭ３４の「指令弁開度」領域から設定すべき弁開度を読取る（Ｓ１２）。次に、ＲＡＭ３４の電流制限フラグをリセット（フラグオフ）する。これは後述（図４参照）の解除信号に相当する（Ｓ１４）。ＣＰＵ３２は、ＲＡＭ３４の「電流制限フラグ」を読取り（Ｓ１６）、電流制限フラグがオンかオフかを判別する（Ｓ１８）。この場合は、ステップＳ１４で電流制限フラグをリセットしているので（Ｓ１８；オフ）、流量調整弁２５の「モータ駆動フラグ」をオンに設定する。それにより、入出力部３１から対応する流量調整弁２５のモータＭＯに駆動信号が供給され、モータＭＯが動作する。なお、モータの駆動方向は現在の弁開度と目標弁開度との差から弁開度の増減が判別され、モータの駆動方向が決定される（Ｓ２０）。ＣＰＵ３２はモータＭＯの動作中の駆動トルクをＲＡＭ３４の「モータトルク」領域から読取る。モータＭＯのトルクＴは調整弁ＶＡを開閉する力となる（Ｓ２２）。このトルクＴがリミット値ＴＬを越えないかどうかを判別する（Ｓ２４）。例えば、トルクリミット値ＴＬは弁を全閉状態にしたときに検出されるトルク値を設定することが出来る。越えない場合には（Ｓ２４；ＹＥＳ）、ＲＡＭ２４の「検出弁開度」領域から現在の弁開度を読取る（Ｓ２６）。ＣＰＵ３２は現在の弁開度が指令された弁開度になったかどうかを判別する（Ｓ２６）。まだ、指令された弁開度に至らない場合には（Ｓ２６；ＮＯ）、ステップＳ２０〜Ｓ２８を繰り返し、モータＭＯの動作を継続して調整弁ＶＡを開放又は閉鎖方向に移動する。指定の弁開度になったときには（Ｓ２８；ＹＥＳ）、モータＭＯを停止するべく、「モータ駆動フラグ」をオフに設定する。それにより、入出力部３１から対応する流量調整弁２５のモータＭＯへの駆動信号が停止し、モータＭＯが停止する。このようにして、制御部３０は該当する流量調整弁を指令された弁開度に設定する。
次に、弁の開又は閉の動作中にモータＭＯのトルクＴがリミット値ＴＬを越えた場合（Ｓ２４；ＮＯ）、ＣＰＵ３２はＲＡＭ３２に「電流制限フラグ」をオン設定する（Ｓ３２）。そして、この電流制限を継続すべき時間ｔを設定するタイマをオンにする。タイマはＣＰＵ３２に内蔵のもの（あるいは機能）を使用することが出来る（Ｓ３４）。
ＣＰＵ３２はＲＡＭ３４から「電流制限フラグ」の状態を読取り（Ｓ１６）、電流制限フラグがオンかオフかを判別する（Ｓ１８）。この場合は、ステップＳ３２で「電流制限フラグ」をオンに設定しているので（Ｓ１８；オン）、ＣＰＵ３２はモータＭＯの駆動電流を制限する。すなわち、入出力部３１からモータＭＯに供給される電流出力は抑制される。例えば、改質器１０が定常（正常）状態で動作する場合に必要なトルクが得られる電流出力に制限される（Ｓ３６）。次に、電流制限を継続する時間ｔを設定（Ｓ３４）したタイマがタイムアウトしたかどうかを判別する（Ｓ３８）。タイムアウトしない場合には（Ｓ３８；ＮＯ）、モータＭＯの駆動電流の制限（トルクの抑制）を継続する。このタイマによって少なくとも時間ｔの間は強制的にモータＭＯのトルクは抑制されるので、ノイズ等によって電流出力の制限が阻害されることがより確実に防止される（Ｓ３６、Ｓ３８）。タイムアウトした場合には（Ｓ３８；ＹＥＳ）、モータの駆動電流を抑制した状態で本ルーチンを終了する。
次に、図４を参照して上記制御アルゴリズムによる流量調整弁の制御例について説明する。
まず、時刻ｔ１において上位コンピュータから弁開度指令が発令されると（Ｓ１０）、電流制限の解除信号が発生し、「電流制限フラグ」がリセットされる（Ｓ１４）。モータＭＯが動作する（Ｓ２０）。そして、例えば、改質器の内圧変動によってモータＭＯのトルクＴがトルクリミットＴＬを越えると（Ｓ２４）、「電流制限フラグ」がセットされ（Ｓ３２）、モータトルクが抑制される（Ｓ３６）。この抑制は、少なくともｔ時間は継続し（Ｓ３８）、電流制限が確保される（Ｓ３６）。
時刻ｔ２において、弁開度指令が発令されると（Ｓ１０）、「電流制限フラグ」がリセットされる（Ｓ１４）。モータＭＯへの電流供給の制限は解除され、モータトルクは増大して調整弁ＶＡを指定の弁開度に設定する（Ｓ２０〜Ｓ２８）。
時刻ｔ４において、流量調整弁２５の全閉が指令される（Ｓ１０）。それにより、「電流制限フラグ」がリセットされる（Ｓ１４）。モータＭＯへの電流供給の制限は解除され、モータトルクは増大して調整弁ＶＡを指定の弁開度に設定するかが（Ｓ２０〜Ｓ２８）、全閉となることによって、モータＭＯのトルクＴがトルクリミットＴＬを越え（Ｓ２４）、「電流制限フラグ」がセットされ（Ｓ３２）、モータトルクが抑制される（Ｓ３６）。少なくともｔ時間は継続し（Ｓ３８）、電流制限が確保される（Ｓ３６）。それにより、ノイズによって閉じた状態の弁が開くことが防止される。
このように、実施例では、改質器１０に供給するエアを制御する流量調整弁２５の駆動モータＭＯのトルクを低く抑えて消費電力を低減すると、改質器１０の内圧変動によってモータトルクオーバが発生し易くなるが、この圧力変動によるトルクオーバをエラー判定に入れず、モータＭＯの電流制限を行うようにする。それにより、流量調整弁に起因する運転停止を減らすことが可能となる。また、上記電流制限を改質器の内圧が定常状態のときにモータＭＯが動作可能な電流レベルとする。それにより、内圧変動が収まれば弁が動いて所定開度に設定される。また、上記電流制限は、次の弁開度指令が発令されると解除され、最大トルクで動作可能な状態に復帰する。また、調整弁を全閉状態にしたときにモータＭＯのトルクがトルクリミットＴＬとなるようにし、全閉状態で電流制限が行われるようにする。この制限は次の弁開度設定指令によって解除される。
なお、上述した流量調整弁制御部３０の機能を上位コンピュータがその一部の機能として備えるようにしても良い。
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の流量調整弁制御システム及びこれを用いた燃料改質装置によれば、流量の調整弁を駆動するモータトルクがリミット値を越えた場合であっても、弁制御が中断されないため使いやすい。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の実施例を説明する説明図である。
【図２】図２は、流量調整弁制御部３０の機能を説明する説明図である。
【図３】図３は、流量調整弁制御部３０の弁制御動作例を説明するフローチャートである。
【図４】図４は、流量調整弁制御部３０の弁制御動作例を説明するグラフである。
【符号の説明】
１…燃料改質装置、２…燃料電池システム、１０…改質器、２０…エア供給系、２２…ポンプ駆動用モータ、２３…エアポンプ、２４…サージタンク、２５…流量調整弁、ＭＯ…弁駆動モータ、ＥＮ…エンコーダ、ＶＡ…調整弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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