(57)【要約】【課題】構成要素を大幅に増やすことなく、効率的な駆動を行いながら、可動部の駆動状態をリアルタイムに高精度検出できる電磁アクチュエータである。【解決手段】磁界発生手段の複数の要素１０４の相互作用により可動部を回動させる電磁アクチュエータにおいて、駆動１周期内に、コイル１０４に駆動信号２０２を印加する駆動期間と、駆動信号２０２を印加しない検出期間を設定し、検出期間において可動部の回動によって発生する誘導信号２０４を検出し、駆動信号２０２に同期した基準信号２０７の発生時点と或る信号レベルで検出する誘導信号２０４の通過タイミングとの時間差を検出し、この時間差情報２０８を基にして、駆動信号２０２に対する可動部の回動の位相差情報を算出する。【選択図】　　図１
2004029064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸中心に回動可能な可動部を有し、複数の要素を含む可動部駆動用磁界発生手段を有し、該磁界発生手段の少なくとも１つの要素がコイルであり、該磁界発生手段の複数の要素の相互作用により可動部を回動させる電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法において、該電磁アクチュエータの駆動１周期内に、前記コイルに駆動信号を印加する駆動期間と、駆動信号を印加しない検出期間を設定し、該検出期間において前記可動部の回動によって発生する誘導信号を検出し、駆動信号に同期した基準信号の発生時点と或る信号レベルで検出する誘導信号の通過タイミングとの時間差を検出し、該検出した時間差情報を基にして、駆動信号に対する可動部の回動の位相差情報を算出することを特徴とする電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法。
【請求項２】
前記検出期間において前記可動部の回動によって前記磁界発生手段のコイルに発生する誘導信号を検出することを特徴とする請求項１に記載の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法。
【請求項３】
前記電磁アクチュエータが前記磁界発生手段のコイルと、或る回動角での前記可動部の通過タイミングを検出する検出用コイルとの複数種類のコイルを有しており、前記検出期間において前記可動部の回動によって前記検出用コイルに発生する誘導信号を検出することを特徴とする請求項１に記載の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法。
【請求項４】
前記可動部に印加する駆動信号に同期する基準信号の発生時点と前記可動部が第１、第２の回動角に到達したことの検出信号との時間差情報と、前記基準信号の間隔と、前記第１、第２の回動角差を基にして、駆動信号に対する可動部の回動の位相差情報並びに最大回動角情報を算出することを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法。
【請求項５】
前記駆動期間に、異なる駆動信号を印加する複数の駆動期間を含ませ、該複数の駆動期間の間に必ず検出期間を設定することを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法。
【請求項６】
前記複数の駆動期間を、第１の駆動期間と第２の駆動期間から構成し、前記電磁アクチュエータの駆動１周期内に、前記第１の駆動期間、第１の検出期間、前記第２の駆動期間、第２の検出期間の順に期間を設定し、それぞれの期間の時間間隔を、ほぼ１：１：１：１に設定することを特徴とする請求項５に記載の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法。
【請求項７】
前記異なる駆動信号を、正・負の極性が異なる駆動信号で構成することを特徴とする請求項５または６に記載の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法。
【請求項８】
前記異なる駆動信号を、時間軸に対して、前記電磁アクチュエータの駆動１周期内において、近似的な正弦波である様に設定することを特徴とする請求項５から７の何れかに記載の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法。
【請求項９】
前記検出期間を、前記可動部の回動角速度が最大・最小である期間を含まない様に設定することを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法。
【請求項１０】
請求項１から９の何れかに記載の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法を実行すると共に、前記算出した位相差情報を基に、可動部固有の共振周波数で駆動する共振型電磁アクチュエータの駆動信号の周波数を算出して駆動信号を生成することを特徴とする電磁アクチュエータの制御方法。
【請求項１１】
前記算出した最大回動角情報を基に、駆動信号の印加エネルギーを算出して駆動信号を生成することを特徴とする請求項１０に記載の電磁アクチュエータの制御方法。
【請求項１２】
前記算出した位相差情報が比較的大きい状態では、検出期間を拡大して、駆動信号を一定程度可動部固有の共振周波数へ追従させた後に、検出期間を通常の範囲に戻す処理を行なうことを特徴とする請求項１０または１１に記載の電磁アクチュエータの制御方法。
【請求項１３】
請求項１から９の何れかに記載の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法、或いは請求項１０から１２の何れかに記載の電磁アクチュエータの制御方法を実行する様に構成されたことを特徴とする電磁アクチュエータ。
【請求項１４】
軸中心に回動可能な可動部を有し、複数の要素を含む可動部駆動用磁界発生手段を有し、該磁界発生手段の少なくとも１つの要素がコイルであり、該磁界発生手段の複数の要素の相互作用により可動部を回動させ、可動部の駆動１周期内に、前記コイルに駆動信号を印加する駆動期間と、駆動信号を印加しない検出期間を設定する様に構成された電磁アクチュエータであって、該検出期間において前記可動部の回動によって発生する誘導信号を検出する手段と、駆動信号に同期した基準信号の発生時点と或る信号レベルで検出する誘導信号の通過タイミングとの時間差を検出手段と、該検出した時間差情報を基にして、駆動信号に対する可動部の回動の位相差情報を算出する手段を有することを特徴とする請求項１３に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項１５】
前記誘導信号検出手段は、検出期間において前記可動部の回動によって前記磁界発生手段のコイルに発生する誘導信号を検出する様に構成されたことを特徴とする請求項１４に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項１６】
或る回動角での前記可動部の通過タイミングを検出する検出用コイルを更に有し、前記誘導信号検出手段は、検出期間において前記可動部の回動によって前記検出用コイルに発生する誘導信号を検出する様に構成されたことを特徴とする請求項１４に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項１７】
前記時間差検出手段は、可動部に印加する駆動信号に同期する基準信号の発生時点と前記可動部が第１、第２の回動角に到達したことの検出信号との時間差情報を検出する様に構成され、前記算出手段は、該時間差情報と、基準信号の間隔と、前記第１、第２の回動角差を基にして、駆動信号に対する可動部の回動の位相差情報並びに最大回動角情報を算出する様に構成されたことを特徴とする請求項１４から１６の何れかに記載の電磁アクチュエータ。
【請求項１８】
請求項１４から１７の何れかに記載の電磁アクチュエータの可動部を光ビーム偏向用の手段として用いる光偏向器であって、前記算出した情報を基に、電磁アクチュエータにより偏向される光ビームの出射タイミングの同期信号を出力する様に構成されたことを特徴とする光偏向器。
【請求項１９】
請求項１８に記載の光偏向器と光ビーム光源と光照射面を備え、前記出射タイミングの同期信号を少なくとも該光ビーム光源の点灯及び変調タイミングの制御に用いる様に構成されて、光ビーム光源からの光ビームが光偏向器で偏向されて光照射面に照射されることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザディスプレイ、レーザプリンタ、スキャナ等の光走査装置に用いることができる電磁ガルバノミラー等の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法、駆動制御方法、こうした電磁アクチュエータを含む光偏向器及び画像形成装置などの装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、光偏向器として、電磁力でミラーを駆動する電磁ガルバノミラーが知られている。近年は、半導体プロセスを用いて作製された小型な電磁ガルバノミラーが提案されている。この種の電磁ガルバノミラーは、可動部上にミラーを配置し、その可動部が回動軸中心の回りで回動するようにトーションバーにより本体部から支持される構成になっている。電磁型の構成例としては、ムービングマグネット型（特開平６−８２７１１号公報で提案）やムービングコイル型（特開２００１−１１７０４３号公報で従来例として記載）などが挙げられる。
【０００３】
ムービングマグネット型電磁ガルバノミラーの構成例を図２に示す。この例は、走査ミラー１００１、ガラス基板１００１ａ、鏡面部１００１ｂ、永久磁石１００１ｃ、支持部材１００１ｄ、駆動軸１００１ｅ、磁気発生部１００２、コイル１００２ａ、コイル枠１００２ｂを備える。これの動作は次の如く行われる。コイル１００２ａに通電して、磁気発生部１００２から発生する磁気により、永久磁石１００１ｃの磁極との間で吸引及び反発力が働く。そして、走査ミラー１００１は、支持部材１００１ｄがねじられることで、図２に示す駆動軸１００１ｅを回動中心として矢示のように、磁気発生部１００２から発生する磁気に応じて任意の角度に角変位するよう駆動される。
【０００４】
他方、ムービングコイル型電磁ガルバノミラーの構成例を図３に示す（ここでは上下方向に分離して示されている）。この例は、ベース１１０１、左右一対の支持部１１０２、１１０３、振動体１１０４、外枠部１１０５、外枠部１１０５の開口部１１０５Ａ、反射ミラー部１１０６、左右一対の梁部１１０７、左右一対の永久磁石１１０８、１１０９、駆動用コイル１１１０、駆動手段Ｄを備える。この駆動手段Ｄは、ベース１１０１上に配置された左右一対の永久磁石１１０２、１１０３と反射ミラー部１１０６の外周部に配置された駆動用コイル１１１０とを有し、この駆動用コイル１１１０に正逆交互の駆動電流を通電するように構成されている。この構成において、駆動手段Ｄにより駆動用コイル１１１０に正逆交互の駆動電流が通電されると、一対の永久磁石１１０２、１１０３の外部磁界と駆動用コイル１１１０の電流とによるローレンツ力で反射ミラー部１１０６が一対の梁部１１０７、１１０８を軸として振動する。
【０００５】
前述の電磁ガルバノミラーは、ガルバノミラー固有の共振周波数を持つ駆動信号を印加してやることにより、機械的な共振現象を起こし効率的な駆動を行うことができる。この共振駆動を行うことにより、低投入エネルギーで広振幅の光走査を行える。
【０００６】
しかし、ガルバノミラー固有の共振周波数は、環境温度の変化、ガルバノミラー自体の発熱などにより、容易に変化してしまう。その結果、駆動信号の周波数が、共振周波数からずれてきてしまい、走査振幅が一定に保たれなくなる。そのため、常時ガルバノミラー固有の共振周波数をモニタリングしておく必要がある。
【０００７】
共振周波数のモニタリングの方法としては、検出用のコイルを配置し、駆動用コイルとの相互インダクタンスを用いて計測する方法や、走査光を検出する光センサを用いる方法や、静電の検出用電極を配置して検出する方法が考えられる。しかし、いずれの手段もガルバノミラーの部品及び回路構成要素が大幅に増加してしまい、コスト高の原因となる。
【０００８】
これらを解決するために、電磁ガルバノミラーの駆動により発生する誘導起電圧や誘導起電流を用いて共振周波数をモニタリングする方法がある。特開平２００１−３０５４７１号公報では、単極性のパルスにより駆動波形を生成し、電磁ガルバノミラーの誘導起電圧又は誘導起電流を検出する方法が提案されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
電磁ガルバノミラーを効率的に駆動するためには、正弦波印加信号で駆動を行うことが理想的であり、単極性のパルス駆動波形では大幅な駆動効率の低下が発生してしまう。これは、低消費電力の電磁ガルバノミラーを実現するためには大きな課題となる。また、誘導起電圧又は誘導起電流を用いる場合、微小信号を増幅する必要があり、その為の増幅手段のオフセットやオフセットの変動が、大幅な検出精度低下の原因となるため、そのままでは表示装置や画像形成装置などには用いられない。
【００１０】
また、共振駆動の電磁ガルバノミラーをレーザディスプレイ等の表示装置に用いる場合、正弦波的な速度変化を伴う光走査波形となってしまうため、光利用効率を高めるには、往復走査描画を行う必要がある。そのため、正方向の走査描画開始タイミングと負方向の走査描画開始タイミングを高精度に検出する必要がある。同様に、レーザビームプリンタ等の画像形成装置に用いる場合にも、高速印刷を行うためには、走査描画開始タイミングを高精度に検出する必要がある。
【００１１】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、
▲１▼構成要素を大幅に増やすことなく、
▲２▼共振型電磁アクチュエータの効率的な駆動を行いながら、
▲３▼電磁アクチュエータ固有の共振周波数、電磁アクチュエータの回動タイミング等をリアルタイムに高精度検出できる
電磁ガルバノミラー等の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法、駆動制御方法、こうした電磁アクチュエータを利用した光偏向器及び画像形成装置などの装置を提供することを、その目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法は、軸中心に回動可能な可動部を有し、複数の要素を含む可動部駆動用磁界発生手段を有し、磁界発生手段の少なくとも１つの要素がコイルであり、磁界発生手段の複数の要素の相互作用により可動部を回動させる電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法であって、電磁アクチュエータの駆動１周期内に、コイルに駆動信号を印加する駆動期間と、駆動信号を印加しない検出期間を設定し、検出期間において可動部の回動によって発生する誘導信号を検出し、駆動信号に同期した基準信号の発生時点と或る信号レベルで検出する誘導信号の通過タイミングとの時間差を検出し、検出した時間差情報を基にして、駆動信号に対する可動部の回動の位相差情報を算出することを特徴とする。
【００１３】
上記基本の構成に基づいて以下の様な態様が可能である。
検出期間において可動部の回動によって磁界発生手段のコイルに発生する誘導信号を検出する様にできる。これは駆動用コイルに検出用コイルを兼ねさせる構成である。
【００１４】
電磁アクチュエータが、磁界発生手段のコイルと、或る回動角での可動部の通過タイミングを検出する検出用コイルとの複数種類のコイルを有しており、検出期間において可動部の回動によって前記検出用コイルに発生する誘導信号を検出する様にもできる。これは駆動用コイルと検出用コイルの多段構成を採用する態様である。
【００１５】
可動部に印加する駆動信号に同期する基準信号の発生時点と可動部が第１、第２の回動角に到達したことの検出信号との時間差情報と、基準信号の間隔と、第１、第２の回動角差を基にして、駆動信号に対する可動部の回動の位相差情報並びに最大回動角情報を算出する様にもできる。
【００１６】
駆動期間に、異なる駆動信号を印加する複数の駆動期間を含ませ、複数の駆動期間の間に必ず検出期間を設定する様にもできる。この場合、複数の駆動期間を、第１の駆動期間と第２の駆動期間から構成し、電磁アクチュエータの駆動１周期内に、第１の駆動期間、第１の検出期間、第２の駆動期間、第２の検出期間の順に期間を設定し、それぞれの期間の時間間隔を、ほぼ１：１：１：１に設定する様にできる。さらに、異なる駆動信号を、正・負の極性が異なる駆動信号で構成する様にできる。
【００１７】
また、前記異なる駆動信号を、時間軸に対して、電磁アクチュエータの駆動１周期内において、近似的な正弦波である様に設定する様にできる。また、検出期間を、可動部の回動角速度が最大・最小である期間を含まない様に設定する様にできる。こうして検出期間の限定を行って、高効率駆動を達成できる。
【００１８】
さらに、上記目的を達成する本発明の電磁アクチュエータの制御方法は、上記の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法を実行すると共に、前記算出した位相差情報を基に、可動部固有の共振周波数で駆動する共振型電磁アクチュエータの駆動信号の周波数を算出して駆動信号を生成することを特徴とする。ここにおいて、前記算出した最大回動角情報を基に、駆動信号の印加エネルギーを算出して駆動信号を生成する様にもできる。
【００１９】
また、前記算出した位相差情報が比較的大きい状態では、検出期間を拡大して、一定程度可動部固有の共振周波数へ追従させた後に、検出期間を通常の範囲に戻す処理を行なう様にもできる。
【００２０】
さらに、上記目的を達成する本発明の電磁アクチュエータは、上記の電磁アクチュエータの駆動並びに駆動状態検出方法、或いは上記の電磁アクチュエータの制御方法を実行する様に構成されたことを特徴とする。こうした電磁アクチュエータは、半導体加工プロセスにより一体作製され得る。また、こうした方法を実行する構成は、マイコン、電子回路の技術などを用いて容易に構築される。
【００２１】
また、上記目的を達成する本発明の光偏向器は、上記の電磁アクチュエータの可動部を光ビーム偏向用の手段として用いる光偏向器であって、前記算出した情報を基に、電磁アクチュエータにより偏向される光ビームの出射タイミングの同期信号を出力する様に構成されたことを特徴とする。
【００２２】
また、上記目的を達成する本発明の画像形成装置は、上記の光偏向器と光ビーム光源と光照射面を備え、前記出射タイミングの同期信号を少なくとも光ビーム光源の点灯及び変調タイミングの制御に用いる様に構成されて、光ビーム光源からの光ビームが光偏向器で偏向されて光照射面に照射されることを特徴とする。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して本発明の実施の形態について本発明の原理に触れながら説明する。
【００２４】
典型的には、本発明の実施の形態は、軸中心に回動可能なミラー面を設けた可動板を有した光偏向器である。本発明は、複数の要素を含む磁界発生手段を有し、その磁界発生手段の少なくとも１つの要素がコイルであり、その複数の要素の相互作用により前記可動板を回動させる電磁アクチュエータの構成であれば、適用できる。その例として、従来例で挙げたムービングマグネット型電磁ガルバノミラーや、ムービングコイル型電磁ガルバノミラーが挙げられる。
【００２５】
図１は、本発明の一実施形態の構成例を示すブロック図である。この電磁アクチュエータは、周波数発生手段１０１、駆動信号発生手段１０２、駆動手段１０３、磁界発生手段に含まれるコイル１０４、信号増幅手段１０５、タイミング検出手段１０６、時間差測定手段１０７、駆動制御情報発生手段１０８を備える。ここにおいて、基準クロック２０１、駆動信号２０２、印加信号２０３、誘導信号２０４、増幅信号２０５、タイミング信号２０６、同期信号２０７、測定時間情報２０８、周波数設定情報２０９、振幅設定情報２１０、走査タイミング情報２１１が出・入力される。
【００２６】
周波数発生手段１０１は、コイル１０４に印加する印加信号２０３の共振周波数の基準となる周波数の基準クロック２０１を発生させる。この基準クロック２０１は、駆動信号発生手段１０２により、駆動に必要な波形に整形され、駆動信号２０２として出力される（図４（ａ）参照）。また、駆動信号発生手段１０２は、この駆動信号２０２に同期した同期信号２０７を出力する。ここで、駆動信号２０２が存在する期間を駆動期間、駆動信号２０２が存在しない期間を検出期間とする。本実施形態では、駆動期間は、駆動期間Ａ、駆動期間Ｃという異なる期間を有する。
【００２７】
ここでは、駆動期間Ａは負の駆動信号、駆動期間Ｃは正の駆動信号を印加する期間である。この正負の駆動信号２０２は、同じ形・大きさ・幅である必要は無い。検出期間も、検出期間Ｂ、検出期間Ｄという異なる期間を有する。検出期間Ｂが、可動板の回動角の角速度が増加する期間を検出する期間であれば、検出期間Ｄは、可動板の角速度が減少する期間を検出する期間となり、逆の場合もある。電磁アクチュエータの１周期内に、駆動期間Ａ、検出期間Ｂ、駆動期間Ｃ、検出期間Ｄの順に期間が存在する。ガルバノミラーの駆動効率と位相差（駆動信号２０７と可動板の回動角変化との位相差）を検出できる範囲から考えて、それぞれの期間の比は１：１：１：１が理想的である。しかし、可動板の回動角の位相が大幅にずれている初期状態などでは、検出期間を拡大して、或る程度ガルバノミラー固有の共振周波数へ追従させてから、検出期間を通常の範囲に戻す処理を行ってもよい。また、駆動波形は、必ずしもパルスである必要は無く、駆動期間中に印加される波形は、可動板を効率的に駆動できるものであれば正弦波に近い形のものなど任意のものでよい。
【００２８】
駆動信号２０２は、駆動手段１０３により、印加信号２０３とされてコイル１０４に印加される。コイル１０４に印加された信号により、電磁アクチュエータの可動板が回動し、その回動運動により誘導された信号が誘導信号２０４として発生する。その発生原理と取り扱い法を説明する。
【００２９】
以下の説明のため、可動板の回動角θを、θ＝ａ・ｓｉｎ（２πｆ・ｔ）（ｆ：電磁アクチュエータの駆動周波数、ｔ：時間、ａ：振幅）で変化すると仮定する。ここで、例として図３のようなの構成のムービングコイル型電磁ガルバノミラーを考える。磁束密度は、一様に矢印の方向に掛かっているとする。ここで、電磁誘導でコイル１１１０に発生する信号は、コイル１１１０への鎖交磁束Φの時間的に変化する割合に等しいため、コイルの抵抗値Ｒとすると、誘導起電流Ｉは、
Ｉ＝−ｄΦ／ｄｔ・１／Ｒ　　　　（ａ）
とできる。鎖交磁束Φは、
Φ＝Ｋ・ｓｉｎθ　（Ｋ：定数）　　　　（ｂ）
なので、式（ａ）は、
Ｉ＝Ｋ’ｄθ／ｄｔ・（ｃｏｓθ）＝Ｋ”ｃｏｓ（２πｆ・ｔ）×ｃｏｓ｛ａ・ｓｉｎ（２πｆ・ｔ）｝（Ｋ’、Ｋ”：定数）　（ｃ）
とできる。ここで、ｃｏｓ｛ａ・ｓｉｎ（２πｆ・ｔ）｝≒１と近似できるとすると、Ｉ＝Ｋ”ｃｏｓ（２πｆ・ｔ）とすることができる。これから、誘導起電流Ｉは可動板の回動角θとは位相が９０°ずれて変化していることが分かる。
【００３０】
信号増幅手段１０５には、印加信号２０３と、印加信号２０３による誘導信号と、可動板の回動による誘導信号の和が入力される（図４（ｃ）参照。ただし、図４（ａ）、図４（ｂ）では回動角がゼロの所を時間軸（横軸）の基準として描いていて、図４（ｃ）、図４（ｄ）、図４（ｅ）では同期信号発生時点を時間軸（横軸）の基準として描いている）。この信号増幅手段１０５で、誘導信号２０４を所定の大きさまで増幅する（図４（ｄ）参照）。印加信号２０３による誘導信号がほぼ０であるとみなせば、信号増幅手段１０５で増幅された増幅信号２０５は、検出期間において、可動板の回動角速度に対応した増幅信号となる。さらには、上記した様に共振型電磁アクチュエータの回動角は正弦波的な変化をしているので、増幅信号２０５は、検出期間において、可動板の回動角に対応付けられ得る。ここで、駆動期間に対応する増幅信号２０５は、増幅手段１０５の電源レベル等にクリッピングされる。
【００３１】
この増幅信号２０５に基づき、タイミング検出手段１０６において、１点以上の信号レベル（回動板の或る回動角に対応する図５でのφ１、φ２）での通過タイミングをタイミング信号２０６（図５でのｔｄ１、ｔｄ２、ｔｄ３、ｔｄ４）として出力する。このタイミング信号２０６と、駆動信号発生手段１０２からの同期信号２０７（図４（ｅ）参照）との時間差を時間差測定手段１０７で測定し、測定時間情報２０８として出力する。この測定時間情報２０８から、駆動制御情報発生手段１０８で、周波数設定情報２０９を生成する。後述するように、周波数設定情報２０９の生成は１点の信号レベルでの通過タイミングを測るだけでも可能であるが、振幅設定情報２１０や回動タイミング情報２１１を更に生成する場合には、２点以上の信号レベルでの通過タイミングを測って、２点以上の信号レベル間隔の情報をも用いて、駆動制御情報発生手段１０８で、周波数設定情報２０９、振幅設定情報２１０、回動タイミング情報２１１を生成する。
【００３２】
ここで、上記時間差情報から駆動信号とガルバノミラーの回動角との位相差を得て、それが可動板の駆動制御に有効に用いられる原理を説明する。図７（ａ）は、電磁アクチュエータのコイルへの印加信号の周波数と、電磁アクチュエータの最大回動角との関係を示す図である。図７（ｂ）は、電磁アクチュエータのコイルへの印加信号の周波数と、印加信号と電磁アクチュエータの回動角の位相差との関係を示す図である。図７（ａ）で回動角が最大の点が、この条件での電磁アクチュエータの共振周波数である。これらの図から、「共振周波数付近では、電磁アクチュエータの回動角の上記位相差が大きく変化する」、また「共振周波数からの印加信号周波数のズレと、回動角の上記位相差は相関を持っている」ことが確認できる。これらについては、環境温度等の変化により、固有の共振周波数の値が変化しても、同じ現象・相関を確認することができる。
【００３３】
次に、電磁アクチュエータが置かれている周辺の環境温度を互いに変えた２つのデータ（特性Ａ、Ｂ）を図８（ａ）、（ｂ）に示す。図８（ａ）は、横軸に印加周波数、縦軸に最大回動角を示している。図８（ｂ）は、横軸に印加周波数、縦軸に上記位相差を示している。この図から分かるように、「電磁アクチュエータの環境温度が変わると、共振周波数は著しく変化する」。具体的な例としては、温度が１℃変わると、共振周波数は数Ｈｚ変わる場合もある。そのため、この電磁アクチュエータを共振周波数付近で駆動する場合は、環境温度によって最大回動角が大きく変化してしまう。具体的な例としては、共振周波数から印加信号の周波数が１Ｈｚずれるだけで、最大回動角が半減してしまう場合もある。そのため、電磁アクチュエータ固有の共振周波数の変化に対応させて、印加信号の周波数を追従させてやる必要がある。
【００３４】
ここで、何らかの外的要因で特性Ａから特性Ｂに変わるとする（これは、共振周波数が高くなることに対応する）。同じ印加周波数で駆動しているままであると、回動角が大幅に減少する。しかし、図８（ａ）の特性Ａに示すように共振点を中心としてほぼ対称となるような共振特性の場合、共振周波数が変化した時に回動角波形の振幅だけを検出したのでは、共振周波数が高低のいずれ側に変化したのかを検出することができない。
【００３５】
そこで、「共振周波数からの印加周波数のズレと、上記位相差は相関を持っている」ことを利用して、図８（ｂ）に示すように、駆動信号の位相情報の変化を検出して、共振周波数が高低のいずれ側に変化したのかを検出できる様にする。すなわち、図８（ａ）、図８（ｂ）の特性Ａ、Ｂで示すように、「共振周波数が高い方へ変化した場合には、位相差が正の方向に大きくなる（回動角の位相が遅れる）。一方、共振周波数が低い方へ変化した場合には、位相差が負の方向に大きくなる（回動角の位相が進む）。」ことを利用する。このようにして、駆動制御情報発生手段１０８では、測定時間情報から回動角の上記位相差情報を得て、共振周波数と印加周波数が一致するように制御する為に、周波数設定情報２０９を出力する（周波数追従制御）。
【００３６】
本発明によれば、回動角の位相差情報を得ることは、増幅信号２０５における往復の同一点での測定時間情報の平均を取ることにより実現できる。具体的には、駆動信号の同期信号２０７の時間情報と、ゼロ点からの或る回動角φ１に対応した増幅信号２０５の或るレベルを通過する時点の時間情報を測定する。この場合、電磁アクチュエータが１周期回動する間に、双方向で２回の時間情報ｔｄ１、ｔｄ２を計測できる。上述した様に共振型電磁アクチュエータの回動角は正弦波的な変化をしていて増幅信号２０５とは９０°位相がずれている。これら増幅信号２０５の測定時間情報の平均を取ることにより、位相９０°または２７０°のところの増幅信号２０５の時間情報が得られる。つまり、位相０°または１８０°での回動角の時間差情報（同期信号２０７の時間情報との差）が得られる。この得られた時間差情報が位相０°または１８０°の回動角でのものであるとすると、印加周波数の周期Ｔを用いて、式（１）のように回動角のゼロ点での時間差情報Ｄｃが得られる。
Ｄｃ＝１／２・（ｔｄ１＋ｔｄ２）　（位相０°の場合）　または　Ｄｃ＝１／２・（ｔｄ１＋ｔｄ２−Ｔ）　（位相１８０°の場合）　　　（１）
【００３７】
更に、印加周波数ｆの周期Ｔから、式（２）のように、駆動信号の同期信号２０７と回動角との位相差情報ωを得ることができる。
ω＝２πｆ・Ｄｃ　（０≦ω＜２π）　　　　（２）
【００３８】
ゼロ点からの或る回動角に対応した複数の点において同様の処理を行い、積算平均化を行うことにより、さらに高精度な位相差情報が得られる。式（１）、（２）からの位相差情報を用いて（上述した様に、この位相差情報は、共振周波数からの印加周波数のズレの大きさと方向の情報を含んでいる）、常時印加周波数の設定を変更することによって、共振型電磁アクチュエータの周波数追従制御を行うことができる。
【００３９】
増幅信号のゼロクロスタイミングより上記位相差を検出する方法では、増幅手段の使用環境によるオフセットの変動により、ゼロクロス点が変化してしまい、検出精度低下が問題となる。しかし、本発明によれば、平均した時間を情報として用いるため、増幅手段のオフセットやオフセットの変動による影響や、最大回動角の大きさの変化等に影響を受けることなく、正確な回動角の各種情報を得ることができる。
【００４０】
上記の方法により、印加周波数を共振周波数に一致させた場合でも、電磁アクチュエータの最大回動角は一定とはならない場合があり、光偏向器における走査ビームの振幅を一定に保てない。これは、環境温度などの要因により、Ｑ値等が変化してしまい、同じ印加エネルギーでも同じ回動角振幅を得ることができないからである。そのため、周波数追従制御に加えて、電磁アクチュエータの最大回動角情報から、電磁アクチュエータの最大回動角が一定なる様に印加エネルギーを調整してやる必要がある（振幅制御）。そのために、測定時間情報から現在の最大回動角情報を得て、電磁アクチュエータの最大回動角が一定になるように印加信号２０３の振幅・デューティ比等を変化させる。
【００４１】
本発明によれば、最大回動角情報は、増幅信号２０５における複数の点での時間情報を測定し、以下の式から算出できる。周波数追従制御は、上述したように増幅信号２０５における１つの点での時間情報を測定するのみでも可能であったが、振幅制御は、増幅信号２０５における複数の点での時間情報を測定する必要がある。
【００４２】
図５で、増幅信号２０５の信号レベルφ１、φ２、時間差Ｄｃ、検出タイミングｔｄ１、ｔｄ２、ｔｄ３、ｔｄ４、印加周波数周期Ｔとすると、
φ１＝Ａｓｉｎ２π・１／Ｔ・（ｔｄ２−Ｄｃ）　　　　（３）
φ２＝Ａｓｉｎ２π・１／Ｔ・（ｔｄ３−Ｄｃ）　　　　（４）
ここで、φ０＝φ１＋φ２とすると、式（３）、（４）より、
Ａ＝φ０／｛ｓｉｎ２π・１／Ｔ・（ｔｄ２−Ｄｃ）＋ｓｉｎ２π・１／Ｔ・（ｔｄ３−Ｄｃ）｝　　　　（５）
となり、式（５）よりφα、ｔαの関係式は、式（６）のようになる。
φα＝Ａｓｉｎ２π・１／Ｔ・（ｔα−Ｄｃ）
＝φ０／｛ｓｉｎ２π・１／Ｔ・（ｔｄ２−Ｄｃ）＋ｓｉｎ２π・１／Ｔ・（ｔｄ３−Ｄｃ）｝・ｓｉｎ２π・１／Ｔ・（ｔα−Ｄｃ）　　　　（６）
式（６）でｔα＝１／４・Ｔとすると、式（７）のように最大回動角Θが得られる。
Θ＝φ０／｛ｓｉｎ２π・１／Ｔ・（ｔｄ２−Ｄｃ）＋ｓｉｎ２π・１／Ｔ・（ｔｄ３−Ｄｃ）｝・ｓｉｎ２π・（１／４−Ｄｃ／Ｔ）
（７）
この式（７）の最大回動角情報を用いることにより、共振型電磁アクチュエータの振幅制御を行うことができる。
【００４３】
ここで、式（１）、（２）、（６）、（７）では、或るレベルでのタイミング信号ｔｄ１、ｔｄ２、ｔｄ３、ｔｄ４、レベル間隔φ０、周波数ｆ、周期Ｔのみで記述されるため、増幅信号のレベルのゼロ点との関係に対して制約は無い。つまり、増幅手段１０５においてオフセットが存在しても、レベル間隔φ０は一定に保たれるので、ゼロ点からのレベルの変動による影響を受けることはない。また、オフセットの変動の周期は、電磁アクチュエータの駆動周期に対して、著しく長く且つ変動も連続的なため、電磁アクチュエータの駆動周期毎の増幅信号２０５に対してオフセットの変動は影響を与えない。
【００４４】
共振型電磁アクチュエータは、正弦波的な回動角の変化をするため、画像形成装置においてビームを走査させる場合、片方向走査よりも双方向走査の方が効率良い走査を行うことができる。しかし、双方向走査のレーザ点灯や変調タイミングがずれてしまうと、形成する画像の画質劣化を招く。そのため、ビームの走査タイミング情報を正確に把握する必要がある。よって、上記測定情報から現在の回動角の回動タイミング情報を得て、ビームの走査タイミング情報として、出力するのがよい。
【００４５】
この場合も、回動タイミング情報は、ｔαとφαの関係式（６）から得ることができる。ここで、周波数追従制御によっても共振周波数に完全に印加周波数が一致していない時、現在の回動タイミング情報を出力することにより、その情報を基にビームを点灯又は変調させて、画像形成装置の描画位置及び描画振幅を一定位置に保つことができる。
【００４６】
以上の説明では、電磁アクチュエータをムービングコイル型として説明したが、本発明はムービングマグネット型を始め、コイルを含む複数の要素を含む磁気発生手段を有した電磁アクチュエータであれば、同様にＩ＝Ｋ”ｃｏｓ（２πｆ・ｔ）で誘導起電流を近似することができ、上記のことは適用できる。
【００４７】
また、「ｃｏｓ｛ａ・ｓｉｎ（２πｆ・ｔ）｝≒１」と近似したが、近似により精度低下が問題になる場合は、前述の式を補正して用いればよい。同様に、磁束密度は、均一であると仮定しているが、精度低下が問題になるようであれば、前述の式に磁束密度の変化・分布を考慮して補正を行ってやればよい。可動板の厚さ、コイルと永久磁石の配置なども考慮して、上記式を補正することで、より高精度な検出を行うこともできる。
【００４８】
また、以上の説明では、駆動用コイルと検出用コイルを兼用としたが、駆動用コイルと検出用コイルを別の構成にし、駆動用コイルに駆動期間の印加信号を入力し、検出用コイルからの検出期間の誘導信号を増幅して、上記処理を実行してもよい。この構成であれば、駆動用コイルと検出用コイルをそれぞれ最適に配置でき、駆動効率と検出精度の向上を図ることができる。
【００４９】
加えて、駆動用コイルと検出用コイルを別の構成にし、検出用コイルは或る回動角の通過タイミングを検出できるような検出手段に含まれるようにして、複数の回動角の通過タイミング情報を用いてもよい。この構成であれば、実際の回動角の位置によってタイミング情報を得ているため、「ｃｏｓ｛ａ・ｓｉｎ（２πｆ・ｔ）｝≒１」の近似が問題になるような精度でも、信号処理を簡易に行なえて処理回路の負担を軽くできる。
【００５０】
以上の様に本発明を用いると、電磁アクチュエータであっても、駆動と同時に電磁誘導による検出を行うことができる。電磁誘導は、容易な構成で高精度な検出を実現できる検出法であるので、低コストで高精度な検出を実現できる。また、電磁アクチュエータに検出部を組み込むことが容易で、コンパクトな電磁アクチュエータを実現できる。
【００５１】
電磁アクチュエータは、理想的には正弦波駆動することが最も効率として良い。しかし、正弦波駆動を行う場合、駆動のために発生する磁場により、コイルによる磁場検出を行うことが困難となってしまう。そのため、本発明の一形態では、電磁アクチュエータの１周期内に、２種類の駆動期間と、検出期間を有することにより、効率的な電磁アクチュエータの駆動を行なえる。ここでは、単極の矩形波で駆動した場合より、正・負パルスで駆動した方が、効率的な駆動ができ、低消費電力を実現できる。
【００５２】
また、本発明では、検出期間の誘導起電圧又は誘導起電流を増幅手段により増幅し検出信号として用いる。しかし、検出に関しては、検出期間に誘導信号のピークが含まれない場合、検出期間の信号を増幅しただけでは、電磁アクチュエータの最大回動角情報を得ることができない。更に、増幅手段のオフセット変動が存在するため、電磁アクチュエータの位相差情報や、電磁アクチュエータの回動タイミングを高精度に検出することは困難となる。そのため、本発明の一形態では、複数の回動角での通過タイミングを測定し、測定した時間情報と複数の回動角間の角度差を基に最大回動角情報を得る。本発明では、増幅手段のオフセットが存在しても、回動角検出点の相関により算出を行うため、検出精度がオフセットの影響を受けない。また、上記時間差を検出するレベルは、回動角のゼロ点に対しての関係の制約が無いため、検出手段や駆動信号の自由度が増加する。また、電磁アクチュエータの１駆動周期に対して、増幅手段のオフセットの変動の周期は、極端に大きいため、オフセットの変動が精度の低下をもたらすことは無い。このように、本発明は、検出手段の構成要素からの影響を受けることなく、検出を行うことができる。
【００５３】
さらに、本発明は、或る回動角での可動板の通過タイミングを検出できるコイルを電磁アクチュエータに用いると、最適な構成の検出用コイルを最適な位置に配置できて駆動磁場の影響を検出用コイルが受けないため、高効率な駆動と高精度な検出を同時に行うことができる。
【００５４】
【実施例】
以下に、より具体的な実施例を図面に沿って説明する。
【００５５】
（実施例１）
本実施例では、図２の構成のムービングコイル型の共振型電磁ガルバノミラーを用いて、光偏向器としてレーザ光の光走査を行う。また、図１の構成を用いて、上記実施の形態で述べたように走査ミラー１００１の駆動、駆動状態検出、駆動制御を行う。さらに、図４と同様に、駆動信号波形は、正・負パルス駆動を用い、駆動手段１０３により印加信号２０３としてコイル１０４に印加される。本実施例でも、電磁アクチュエータの１駆動周期中に、駆動期間Ａ、検出期間Ｂ、駆動期間Ｃ、検出期間Ｄを有し、その時間の比は、１：１：１：１である。検出期間の誘導信号２０４は増幅手段１０５により増幅信号２０５とされる。そして、増幅信号２０５において２つのレベルを通過するタイミングはタイミング検出手段１０６で検出され、この検出値と同期信号２０７に基づいて時間差測定手段１０７により測定時間情報２０８が測定される。駆動制御信号情報発生手段１０８は、検出された測定時間情報２０８から上記式（１）、（２）により上記位相差情報を算出し、それをもとに走査ミラー１００１の周波数追従制御を行う。また、同様に上記式（１）、（７）により算出した走査ミラー１００１の最大回動角情報により、印加信号２０３の振幅を調整し、走査光の振幅制御を行う。
【００５６】
ここで、電磁ガルバノミラーの環境温度を変化させて、強制的に走査ミラー１００１の共振周波数を変化させてみる。本実施例では、電磁ガルバノミラーの共振周波数が変動した場合でも、駆動周波数を共振周波数に追従させられ、安定な走査を行うことができる。また、電磁ガルバノミラーの回動角の位相を一定に保てるため、走査光のタイミングを安定に制御できる。加えて、振幅制御により、環境温度変化で電磁ガルバノミラーのＱ値等が変化した場合でも、一定の走査振幅を得ることができる。また、環境温度を任意のまま、長時間駆動しても、同様な結果が得られる。
【００５７】
この結果、共振型電磁ガルバノミラーを光偏向器に用いた際、光を安定に走査することができ、本実施例を高性能な光偏向器として用いられる。また、余分なセンサの構成を増やすことなく、高精度検出と高効率な駆動を行なえる。
【００５８】
（実施例２）
実施例２は、図６の構成を用いて走査ミラー１００１の駆動、駆動状態検出、駆動制御を行う。この点以外は、実施例１と同様である。以下に相違点のみを述べる。図６において、１０９は駆動用コイルであり、１１０と１１１は検出用コイルであり、実施例２では実施例１と異なり駆動用コイル１０９と検出用コイル１１０、１１１を別構成としている。検出コイル１１０、１１１は、それぞれ或る回動角を可動板（走査ミラー１００１）が通過した際、最大の信号を出力する様に設けられている。駆動信号波形は実施例１と同様の波形であり、駆動手段１０３により駆動用コイル１０９に印加され、検出用コイル１１０、１１１には印加されない。そして、電磁誘導により、可動板（走査ミラー１００１）の回動で発生する検出用コイル１１０、１１１からの誘導信号２０４は増幅手段１０５で増幅され、増幅信号２０５として用いられる。
【００５９】
タイミング検出手段１０６により、それぞれの検出用コイル１１０、１１１からの増幅信号２０４のピークタイミングが検出され、タイミング信号２０６として出力される。本実施例では、共振型電磁アクチュエータの可動板の回動角は正弦波的な変化をしているが、増幅信号２０４とは位相がずれていないので、この検出値の処理は実施例１と若干異なる（本実施例では、位相９０°または２７０°での回動角の時間差情報（同期信号２０７の時間情報との差）が得られる）。しかし、上記式（１）がＤｃ＝１／４・（２ｔｄ１＋２ｔｄ２−Ｔ）（位相９０°の場合）、またはＤｃ＝１／４・（２ｔｄ１＋２ｔｄ２−３Ｔ）（位相２７０°の場合）と若干変わるのみで、実質的に同様な処理が行なわれる。
【００６０】
この構成を用いた結果、実施例１に比べて、検出用のコイル１１０、１１１を最適な位置に配置することができ、高精度な検出ができる。また、検出精度の更なる高精度化のための算出式の補正が不要となり、信号処理の負荷が少なくなって、回路構成の減少化、トータルの回路の低消費電力化という効果が得られる。
【００６１】
（実施例３）
図１０は本発明の光偏向器を用いたレーザビームプリンタの基本的な構成を示す本実施例の模式図である。図１０において、２００２はレーザ光源であり、２００３はレンズ或いはレンズ群であり、２００４は書き込みレンズまたはレンズ群であり、２００６はドラム状感光体（画像表示面）である。２つのレンズ或いはレンズ群２００３、２００４の間には、共振型電磁ガルバノミラーを用いた光偏向器２００１が配置されている。この光偏向器２００１では、実施例１の周波数追従制御と振幅追従制御に加えて、回動タイミング情報を出力して、レーザ光源２００２の点灯及び変調タイミングの制御、及び感光体２００６の回転駆動の制御を行なう。
【００６２】
光偏向器２００１は、ドラム状感光体２００６の回転中心と平行な一次元方向に光を走査する光スキャナ装置として機能する。ここにおいて、レーザ光源２００２から射出されたレーザ光は、光走査のタイミングと関係した所定の強度変調を受けており、電磁ガルバノミラー２００１により一次元的に走査される。一方、ドラム状感光体２００６は回転中心の回りで所定の回転速度で回転している。そして、感光体２００６は図示しない帯電器により表面が一様に帯電されている。従って、光偏向器２００１による走査と感光体２００６の回転とに基づき、走査されたレーザ光は書き込みレンズ２００４により感光体２００６の表面にパターン状に二次元状に入射されることになり、その光入射部分と光非入射部分とで静電潜像が形成される。図示しない現像器により、感光体２００６の表面の静電潜像に対応したパターンのトナー像が形成され、これを例えば図示しない用紙に転写・定着することで用紙上に可視画像が形成される。
【００６３】
図９に、実施例３での制御のフローチャートを示す。初期起動時は、駆動信号２０２の周波数を予め設定された値に設定し、検出された同期信号２０７と誘導信号２０４との位相差情報が、予め設定された位相差と一致するまで、駆動信号２０２の周波数の増減を行う。この際、環境温度が予め想定したものとほぼ一致しているとは限らない。また、電磁アクチュエータは、駆動を開始してから装置温度が安定するまで暫く時間が必要となるため、装置起動時は周波数追従制御が重要になる。この周波数制御により、駆動周波数が共振周波数に一致するまでは、設定値からの位相ズレが走査光に存在し、そのままではレーザビームの印刷開始位置や終了位置がずれてしまう。しかし、アクチュエータの温度が安定して上記位相ズレが無くなるまで印刷を行えないのであれば、プリンターの起動が極めて遅いものになってしまう。
【００６４】
そのため、初期起動時は、周波数追従制御を行いつつ、可動板の回動角の位相ズレを把握するために上記式（６）より回動タイミング情報を得て、これを、レーザビームの点灯及び変調のタイミング制御、及び感光体２００６の回転駆動の制御を行うために用いる。これにより上記位相ズレを考慮できるようになり、更に式（７）の最大回動角情報を用いて、レーザビーム点灯及び変調の制御、及び感光体２００６の回転駆動の制御をすることによって、印刷開始位置及び終了位置を一定位置に固定できる。また、上記位相差が０になる、つまり共振周波数と駆動周波数が一致する場合は、初期設定の回動タイミング情報を出力し、振幅制御のみを行なう。これにより、処理回路の負担が軽減され、低消費電力化が図られる。
【００６５】
この結果、本発明の上記位相差等の回動角情報を用いることによって、従来の電磁アクチュエータを用いたものに比べ、初期起動時間が短縮されるレーザビームプリンタを実現できる。また、回動角情報を用いることによって、電磁アクチュエータと感光体２００６の回転との同期を取れるようになり、印刷位置を精度良く制御できて、高品位な印刷を実現することができる。
【００６６】
（実施例４）
図１１は、本発明の光偏向器を用いた光学機器であるレーザディスプレイの基本的な構成を示す本実施例の模式図である。図１１において、２００２はレーザ光源であり、２００３はレンズ或いはレンズ群であり、２００４は書き込みレンズまたはレンズ群であり、２００５は投影面（画像表示面）である。２つのレンズ或いはレンズ群５０３、５０４の間には、光偏向器群２００１が配置されている。光偏向器群２００１は、２つの電磁ガルバノミラー２００１ａ、２００１ｂを備えており、レーザ光源２００２からレンズ或いはレンズ群２００３を経て到来する光が電磁ガルバノミラー２００１ａにより第１方向の回りでの偏向作用を受け、電磁ガルバノミラー２００１ａにより偏向された光が電磁ガルバノミラー２００１ｂにより第１方向と直交する第２方向の回りでの偏向作用を受けて、書き込みレンズまたはレンズ群２００４を経て投影面２００５上へと投影されて画像を形成する。
【００６７】
２つの電磁ガルバノミラー２００１ａ、２００１ｂは本発明によるものであり、半導体作製プロセスを用いて作製される。レーザ光源２００２から入射したレーザ光は、光走査のタイミングと関係した所定の強度変調を受けて２つの電磁ガルバノミラー２００１ａ、２００１ｂにより２次元的に走査される。そして、上記した様に、この走査されたレーザ光は書き込みレンズ２００４を経て投影面２００５上に画像を形成する。周波数追従制御及び振幅制御、回動タイミング情報出力は、水平走査用電磁ガルバノミラーに対して用いられて、実施例１、３と同様の処理が行われる。
【００６８】
この結果、水平走査用と垂直走査用の電磁ガルバノミラーの同期を取ることが可能となり、走査ビームの位置制御が可能となって、高画質な２次元画像を表示することができる。また、複雑な検出部が不要な電磁ガルバノミラーを画像表示装置に用いられるため、超小型な画像表示装置を実現できる。さらに、高効率なミラー駆動と駆動状態検出を両立できるため、低消費電力の表示装置を実現することができる。
【００６９】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明により、共振型電磁ガルバノミラーなどの電磁アクチュエータの構成要素を大幅に増やすことなく、その効率的な駆動を行いながら、高精度な駆動状態検出を行うことができる。従って、検出された情報により、周波数追従制御や振幅制御を行うことができ、回動タイミング情報を出力することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明による電磁アクチュエータの構成例を示す図である。
【図２】図２は本発明も適用できるムービングマグネット型電磁アクチュエータの構成例を示す図である。
【図３】図３は本発明も適用できるムービングコイル型電磁アクチュエータの構成例を示す図である。
【図４】図４は本発明の実施の形態を説明するための信号図である。
【図５】図５は本発明の実施の形態を説明するための信号図であって、本発明の増幅信号から最大回動角、走査タイミング情報を算出することを説明するための図である。
【図６】図６は本発明の実施例２を実施するための構成例を示す図である。
【図７】図７は本発明の共振周波数追従制御を説明する図である。
【図８】図８は本発明の共振周波数追従制御を説明する図である。
【図９】図９は本発明の実施例３の光偏向器の制御の一部を示すチャート図である。
【図１０】図１０は本発明の実施例３の光偏向器を１次元画像形成に用いた構成図である。
【図１１】図１１は本発明の実施例４の光偏向器を２次元画像表示装置に用いた構成図である。
【符号の説明】
１０１　　周波数発生手段
１０２　　駆動信号発生手段
１０３　　駆動手段
１０４、１００２ａ、１１１０　　コイル
１０５　　誘導信号増幅手段
１０６　　タイミング検出手段
１０７　　時間差測定手段
１０８　　駆動制御手段
１０９　　駆動用コイル
１１０、１１１　　検出用コイル
２０１　　基準クロック
２０２　　駆動信号
２０３　　印加信号
２０４　　誘導信号
２０５　　増幅信号
２０６　　タイミング信号
２０７　　同期信号
２０８　　測定時間情報
２０９　　周波数設定情報
２１０　　振幅設定情報
２１１　　回動タイミング情報
１００１　　走査ミラー
１００１ａ　　ガラス基板
１００１ｂ　　鏡面部
１００１ｃ　　永久磁石
１００１ｄ　　支持部材
１００１ｅ　　駆動軸
１００２　　磁気発生部
１００２ｂ　　コイル枠
１１０１　　ベース
１１０２、１１０３　　左右一対の支持部
１１０４　　振動体
１１０５　　外枠部
１１０５Ａ　　外枠部の開口部
１１０６　　反射ミラー部
１１０７　　左右一対の梁部
１１０８、１１０９　　左右一対の永久磁石
２００１　　共振型電磁ガルバノミラーを用いた光偏向器ないし光偏向器群
２００１ａ、２００１ｂ　　共振型電磁ガルバノミラー
２００２　　レーザ光源
２００３　　レンズないしレンズ群
２００４　　書き込みレンズないし書き込みレンズ群
２００５　　投影面
２００６　　感光体
【図１】
2004029064.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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