(57)【要約】【課題】ミラーの回動範囲が、設計した値より小さくなることを、抑制できるようにする。【解決手段】枠部１３０と可動枠１３２とを連結する連結部１６１が、一端が前記枠部に固定され、他端が前記可動構造体に固定された２つの連結部材から構成され、可動枠１３２とミラー１３１とを連結するミラー連結部１６２が、一端が前記枠部に固定され、他端が前記可動構造体に固定された２つの連結部材から構成されているようにした。【選択図】        図１
2004240013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部材を介して基板の上に離間して支持された枠部材と、この枠部材の開口領域内で少なくとも一対の連結部を介してこれらを通る回動軸を中心に回動可能に支持された板状の可動構造体とを少なくとも備え、前記可動構造体の一部には反射部が設けられ、前記可動構造体の回動により前記反射部を変位させて光スイッチ動作を行う光スイッチ装置において、
前記連結部は、一端が前記枠部材に固定され、他端が前記可動構造体に固定された複数の連結部材から構成されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項２】
請求項１記載の光スイッチ装置において、
前記連結部は、２つの前記連結部材から構成されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項３】
請求項１〜２のいずれか１項に記載の光スイッチ装置において、
前記連結部材は、一対の連結部を通る回動軸の方向とは異なる方向に延在する延在部を備える
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の光スイッチ装置において、
前記可動構造体は、開口部を有する可動枠とこの可動枠の開口領域内に配置されて前記反射部が設けられたミラーとから構成され、
前記ミラーは、一対のミラー連結部を介してこれらを通る回動軸を中心に回動可能に前記可動枠に支持され、
前記ミラー連結部は、一端が前記可動枠に固定され、他端が前記ミラーに固定された複数の連結部材から構成されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項５】
請求項４記載の光スイッチ装置において、
前記ミラー連結部は、２つの前記連結部材から構成されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項６】
請求項４または５記載の光スイッチ装置において、
前記ミラー連結部は、前記ミラーが配置された側より前記可動枠に形成された切欠き内に配設されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれか１項に記載の光スイッチ装置において、
前記ミラー連結部を構成する連結部材は、一対のミラー連結部を通る回動軸の方向とは異なる方向に延在する延在部を備える
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項８】
請求項４〜７のいずれか１項に記載の光スイッチ装置において、
前記ミラー連結部は、２つの前記連結部材に加え、これらの間かつ前記ミラーの回動軸上に配置された連結部材を備える
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項９】
請求項４〜８のいずれか１項に記載の光スイッチ装置において、
前記可動枠は、リング状に形成され、
前記ミラーは、円形に形成されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項１０】
請求項９記載の光スイッチ装置において、
前記連結部を構成する連結部材は、前記リング状に形成された可動枠の周方向に延在する延在部を備える
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項１１】
請求項９または１０記載の光スイッチ装置において、
前記ミラー連結部を構成する連結部材は、前記円形に形成されたミラーの周方向に延在する延在部を備える
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項１２】
請求項４〜１１のいずれか１項に記載の光スイッチ装置において、
前記連結部は、前記開口領域の側より前記可動枠に形成された切欠き内に配設されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項１３】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の光スイッチ装置において、
前記可動構造体は、円形に形成されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項１４】
請求項１３記載の光スイッチ装置において、
前記連結部材は、前記円形に形成された可動構造体の周方向に延在する延在部を備える
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか１項に記載の光スイッチ装置において、
前記連結部は、２つの前記連結部材に加え、これらの間かつ前記可動構造体の回動軸上に配置された連結部材を備える
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の光スイッチ装置において、
前記連結部は、前記開口領域の側より前記枠部材に形成された切欠き内に配設されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回動するミラーにより信号光の経路を変更する光スイッチ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インターネット通信網などにおける基盤となる光ネットワークにおいて必須となる波長分割多重技術（ＷＤＭ）には、光スイッチ装置が必要不可欠な要素部品となる。この種の光スイッチ装置には、光導波路型やＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）型などがあるが、中でも、回動する微細な反射面を有するＭＥＭＳ型の光スイッチ装置が有望視されている。
【０００３】
このＭＥＭＳ型の光スイッチ装置は、例えば、固定構造体と可動ミラーを有する反射構造体とから構成されている。固定構造体は、土台となる基板及びこの上に形成された電極などである。反射構造体は、支持部材と可動部材を有し、ミラーとして作用する可動部材が、固定構造体と離間してトーションバネ（ヒンジ）によって支持部材に接続されている。
このように構成された光スイッチは、固定構造体と回動する反射構造体との間に働く引力、あるいは反発力によって反射構造体が回動することで光路を切り替えるスイッチング動作を行う。
【０００４】
上記光スイッチは、例えば、図９（ａ）の側面図に示すように構成されている（非特許文献１参照）。図９（ａ）において、基板９０１には、凸領域９０２が形成され、凸領域９０２の上面に制御電極９０３が形成されている。また、基板９０１の上には、凸領域９０２の上部に開口領域を有する枠体９０４が配設されている。枠体９０４の開口領域内には、図９（ｂ）の平面図に示すように、可動枠９０５とミラー９０６とが配置され、可動枠９０５は、一対のヒンジ９０７により枠体９０４に吊設され、ミラー９０６は、一対のヒンジ９０８により可動枠９０５に吊設されている。ミラー９０６の一方の面には、反射面が形成されている。
【０００５】
ヒンジ９０７は、枠体９０４の内側の開口領域の中心を通る軸上に配置され、この軸を中心に、可動枠９０５は回動可能とされている。また、ヒンジ９０８は、可動枠９０５の内側の開口領域の中心を通る軸上に配置され、この軸を中心に、ミラー９０６は回動可能とされている。ここで、ヒンジ９０７による軸とヒンジ９０８による軸とは直交し、ミラー９０６は、２軸動作が可能な状態となっている。また、このように回動可能とされているミラー９０６の下部に設けられている制御電極９０３は、図示しない配線に接続し、ミラー９０６を駆動するための静電力を発生する。
【０００６】
なお、出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を本件の出願時までに発見するには至らなかった。
【０００７】
【非特許文献１】
Ｔａｅ−Ｓｉｋ  Ｋｉｍ，Ｓａｎｇ−Ｓｈｉｎ  Ｌｅｅ，Ｙｏｕｎｇｊｏｏ  Ｙｅｅ，Ｊｏｎｇ  ＵＫ  Ｂｕ，Ｈｙｕｎ−Ｈｏ  Ｏｈ，Ｃｈｉｌ−ＧｅｕｎＰａｒｋ，ａｎｄ  Ｍａｎ−Ｈｙｏ  Ｈａ  ”ＥＬＥＣＴＲＯＳＴＡＴＩＣ  ＭＩＣＲＯＭＩＲＲＯＲ  ＷＩＴＨ  ＢＵＩＬＴ−ＩＮ  ＬＡＲＧＥ  Ａｉｒ−ＧＡＰ  ＦＯＲ  ＷＩＤＥ  ＲＡＮＧＥ  ＯＦ  ＲＯＴＡＴＩＯＮＡＬ  ＡＣＴＵＡＴＩＯＮ”，Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ  ｏｐｔｉｃａｌ  ＭＥＭＳ  ２００１，ＩＥＥＥ／ＬＥＯＳ，ｐ９９，１００（２００１）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の光スイッチ装置では、例えば、ミラー９０６に対して基板９０１の方向から重力が加わる状態で使用するとき、ヒンジ９０７，９０８が撓むことにより、可動枠９０５やミラー９０６が制御電極９０３が形成されている方向に落ち込む場合がある。このように、ミラー９０６が制御電極９０３の方向に落ち込むと、ミラー９０６の回動範囲が小さくなる。このように、従来の光スイッチ装置では、ミラーを回動可能に吊設している連結部であるヒンジの変形により、ミラーの回動範囲が、設計した値より小さくなるという問題があった。
【０００９】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、ミラーの回動範囲が、設計した値より小さくなることを、抑制できるようにすることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光スイッチ装置は、支持部材を介して基板の上に離間して支持された枠部材と、この枠部材の開口領域内で少なくとも一対の連結部を介してこれらを通る回動軸を中心に回動可能に支持された板状の可動構造体とを少なくとも備え、可動構造体の一部には反射部が設けられ、可動構造体の回動により反射部を変位させて光スイッチ動作を行うものであり、連結部を、一端が枠部材に固定され、他端が可動構造体に固定された複数の連結部材から構成したものである。連結部は、例えば、２つの連結部材から構成すればよい。
【００１１】
上記光スイッチ装置において、連結部材は、一対の連結部を通る回動軸の方向とは異なる方向に延在する延在部を備えるようにしてもよい。
また、上記光スイッチ装置において、可動構造体は、開口部を有する可動枠とこの可動枠の開口領域内に配置されて反射部が設けられたミラーとから構成され、ミラーは、一対のミラー連結部を介してこれらを通る回動軸を中心に回動可能に可動枠に支持され、ミラー連結部は、一端が可動枠に固定され、他端がミラーに固定された複数の連結部材から構成されているようにしてもよい。ミラー連結部は、例えば２つの連結部材から構成されていればよい。
【００１２】
上記光スイッチ装置において、ミラー連結部は、ミラーが配置された側より可動枠に形成された切欠き内に配設されているようにしてもよく、ミラー連結部を構成する連結部材は、一対のミラー連結部を通る回動軸の方向とは異なる方向に延在する延在部を備えるようにしてもよい。
また、上記光スイッチ装置において、ミラー連結部は、２つの連結部材に加え、これらの間かつミラーの回動軸上に配置された連結部材を備えるようにしてもよい。
【００１３】
上記、光スイッチ装置において、可動構造体は、円形に形成されていてもよく、この場合、連結部材は、円形に形成された可動構造体の周方向に延在する延在部を備えるようにしてもよい。
同様に、上記光スイッチ装置において、可動枠は、リング状に形成され、ミラーは、円形に形成されているようにしてもよく、この場合、連結部を構成する連結部材は、リング状に形成された可動枠の周方向に延在する延在部を備えるようにしてもよく、ミラー連結部を構成する連結部材は、円形に形成されたミラーの周方向に延在する延在部を備えるようにしてもよい。
【００１４】
また、上記光スイッチ装置において、連結部は、２つの連結部材に加え、これらの間かつ可動構造体の回動軸上に配置された連結部材を備えるようにしてもよい。
また、上記光スイッチ装置において、連結部は、開口領域の側より枠部材に形成された切欠き内に配設されているようにしてもよい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
［実施の形態１］
図１は、本発明の実施の形態における光スイッチ装置の構成例を示す概略的な断面図（ａ）と平面図（ｂ）である。図１では、主に光スイッチ装置の１構成単位である一つのミラーを備えたスイッチ素子を部分的に示している。
【００１６】
この光スイッチ装置の構成について説明すると、まず、例えば、シリコンからなる半導体基板１０１を備え、半導体基板１０１には、複数の素子から構成された集積回路（図示せず）が形成されている。集積回路の上には、層間絶縁膜１０２が形成されている。層間絶縁膜１０２上には、更に配線層１０４，層間絶縁膜１０５が形成され、配線層１０４は、この下層にある図示しない配線などに接続電極１０３を介して接続している。
【００１７】
また、半導体基板１０１の上には、層間絶縁膜１０２，１０５を介して支持部材１２０が固定され、支持部材１２０は、枠部（枠部材）１３０を支持している。支持部材１２０は、金などの導電材料から構成され、層間絶縁膜１０５に形成されたスルーホールを通じ、層間絶縁膜１０２上に形成された所定の配線層１０４に電気的に接続されている。なお、支持部材１２０は、制御電極部１４０が形成されている空間を囲う枠状の構造体とすればよい。また、支持部材１２０は、枠部１３０の所定の箇所を支持する状態としてもよい。
【００１８】
また、枠部１３０は、可動部開口領域３０１の中にミラー１３１，可動枠１３２からなる可動構造体を支持している。ミラー１３１は、可動枠１３２のミラー開口領域３２１の中に配置された直径５００μｍ程度の円板であり、いずれかの面に反射面が形成されている。なお、反射面は、ミラー１３１の一部に形成するようにしてもよい。枠部１３０，可動枠１３２，及びミラー１３１は、例えば金などの導電材料から構成してもよい。この場合、ミラー１３１は、支持部材１２０を介して前述した配線層に電気的に接続された可動電極となる。なお、可動枠１３２，ミラー１３１などを絶縁材料から構成し、この表面に金属膜を形成してミラー１３１に可動電極を設けるようにしてもよい。
【００１９】
以上に説明したように、枠部１３０により回動可能に支持されている可動構造体は、図１（ｂ）に示すように、まず、可動枠１３２が、各々２つの連結部材からなる一対の連結部１６１を介して枠部１３０の内側に支持されている。これらの連結部材は、一端が枠部１３０に固定され他端が可動枠１３２に固定されている。連結部材は、例えば、トーションバースプリングなど、ねじりを受けて弾性変形する棒状や板状のばね部材である。可動枠１３２は、一対の連結部１６１を通る回動軸を中心に回動可能とされている。
【００２０】
また、ミラー１３１が、各々２つの連結部材からなる一対のミラー連結部１６２を介して可動枠１３２の内側に支持されている。これらの連結部材は、一端が可動枠１３２に固定され他端がミラー１３１に固定されている。ミラー１３１は、一対のミラー連結部１６２を通る回動軸を中心に回動可能とされている。各連結部は、例えば板状，棒状などの形状の連結部材から構成されている。本実施の形態では、一対の連結部１６１を通る回動軸と一対のミラー連結部１６２を通る回動軸とは、互いに直交するように連結部材が配列されている。
【００２１】
一方、ミラー１３１の下方の半導体基板１０１上には、層間絶縁膜１０２，１０５を介してミラー１３１の回動動作を制御するための制御電極部（固定電極）１４０が形成されている。本実施の形態において、制御電極部１４０は、金などの導電材料から構成され、層間絶縁膜１０５に形成されたスルーホールを通し、層間絶縁膜１０２上に形成された所定の配線層１０４に電気的に接続されている。
【００２２】
また、図１（ａ）の光スイッチ装置では、半導体基板１０１に形成されている図示していない集積回路の一部として、制御回路１５０が構成されている。制御回路１５０は、例えば、いずれかの制御電極部１４０と可動電極であるミラー１３１との間に所定の電位差を生じさせることにより、選択された制御電極部１４０とミラー１３１とに電荷を誘導し、これらの電荷にクーロン力を作用させることで、ミラー１３１を回動させる。
【００２３】
ミラー１３１は、誘導された電荷に働く静電力による回動軸周りのトルクと、可動部が回動することにより連結部１６１，ミラー連結部１６２に生じた逆向きのトルクが釣り合う位置で静止する。また、制御回路１５０は、制御電極とミラー１３１との間の電位差を解消し、ミラー１３１に発生している電荷を放電させることで、ミラー１３１の回動状態を解消させる。
【００２４】
ここで、可動構造体についてより詳細に説明する。可動枠１３２は、枠部１３０の可動部開口領域３０１の中心を通る所定の軸を中心に回動可能となるように、上記軸上の２箇所に設けられた各々２つの連結部材からなる一対の連結部１６１により、枠部１３０に吊設しかつ軸着している。また、ミラー１３１は、枠部１３０の可動部開口領域３０１の中心を通って上記軸とは直交する直交軸を中心に回動可能となるように、この直交軸上の２箇所に設けられた各々２つの連結部材からなる一対のミラー連結部１６２により、可動枠１３２に吊設しかつ軸着している。
【００２５】
以上に説明したように構成した本実施の形態によれば、各連結部を各々２つの連結部材から構成するようにしたので、重力などによるミラー１３１の半導体基板１０１方向への変位を抑制できる。従って、ミラー１３１が半導体基板１０１に近づくことによるミラー１３１の回動範囲の減少、すなわち、ミラー１３１の回転角度の減少を抑制できるようになる。
【００２６】
［実施の形態２］
つぎに、本発明の他の実施の形態について説明する。本実施の形態では、枠部１３０，可動枠１３２，及び，ミラー１３１を、図２の平面図に示すように構成した。なお、他の部分は、図１（ａ）と同様である。
本実施の形態では、まず、可動枠１３２を枠部１３０の内側に回動可能に支持する一対の連結部２６２を、各々２つの連結部材から構成し、かつ、２つの連結部材が、可動枠１３２の回動軸に対して対称に傾いているようにした。
【００２７】
また、同様に、ミラー１３１を可動枠１３２の内側に回動可能に支持する一対のミラー連結部２６２を、各々２つの連結部材から構成し、かつ、２つの連結部材が、ミラー１３１の回動軸に対して対称に傾いているようにした。図２では、各連結部を構成する２つの連結部材が、周囲に行くほど間隔を狭めるように傾けている。なお、各連結部を構成する２つの連結部材は、ミラー１３１の中心方向に行くほど間隔を狭めるようにしてもよい。
【００２８】
連結部２６１を構成する２つの連結部材の枠部１３０との接続部分の間隔を狭くすることで、可動枠１３２がより容易に回動しやすくなる。同様に、ミラー連結部２６２を構成する２つの連結部材の可動枠１３２との接続部分の間隔を狭くすることで、ミラー１３１がより容易に回動しやすくなる。
また、連結部２６１を構成する２つの連結部材の可動枠１３２との接続部分の間隔を狭くすることでも、可動枠１３２がより容易に回動しやすくなる。同様に、ミラー連結部２６２を構成する２つの連結部材のミラー１３１との接続部分の間隔を狭くすることで、ミラー１３１がより容易に回動しやすくなる。
【００２９】
［実施の形態３］
つぎに、本発明の他の実施の形態について説明する。本実施の形態では、枠部１３０，可動枠１３２，及び，ミラー１３１を、図３の平面図に示すように構成した。なお、他の部分は、図１（ａ）と同様である。
本実施の形態では、まず、可動枠１３２が配設される可動部開口領域３０１の側に向けて、枠部１３０に連結部領域（切欠き）３０２を備えるようにした。また、ミラー１３１が配設されるミラー開口領域３２１側に向けて、可動枠１３２にミラー連結部領域（切欠き）３２２を備えるようにした。
【００３０】
このように連結領域を各々設け、連結部領域３０２内に２つの連結部材から構成された連結部３６１を配置し、ミラー連結部領域３２２内に２つの連結部材から構成されたミラー連結部３６２を配置するようにした。
これらのようにすることで、枠部１３０と可動枠１３２との間隔Ｄ１を、可動枠１３２が枠部１３０の内側に接触せずに回動可能な最も短いものとしても、連結部３６１を構成する２つの連結部材をより長い状態とすることが可能となる。これは、ミラー連結部３６２を構成する２つの連結部材についても同様である。
【００３１】
例えば、ミラー連結部３６２を通る軸を中心にミラー１３１を回動させるとき、誘導された電荷に働く静電力による回動軸周りのトルクに対し、ミラー連結部３６２に生じる逆向きのトルクが反発する。従って、ミラー連結部３６２に生じる逆向きのトルク（バネ力）が小さいほど、小さな力でミラー１３１が回動する。本実施の形態では、上述したように、ミラー連結部３６２を構成する２つの連結部材をより長くし、間隔Ｄ２の中に連結部材を配設した場合に比較して上記逆向きのトルクを小さくしたので、従来より小さな力でミラー１３１を回動させることが可能となる。このことは、連結部３６１についても同様である。
【００３２】
［実施の形態４］
つぎに、本発明の他の実施の形態について説明する。本実施の形態では、枠部１３０，可動枠１３２，及び，ミラー１３１を、図４の平面図に示すように構成した。なお、他の部分は、図１（ａ）と同様である。
本実施の形態では、可動枠１３２が、３つの連結部材から構成された連結部４６１により、枠部１３０に回動可能に連結されているようにした。図５に示すように、連結部４６１は、可動枠１３２の回動軸５０１上に配置された連結部材４６１ａと、この連結部材の両脇に配置された２つの連結部材４６１ｂとから構成されている。このように、連結部を複数の連結部材から構成するようにしても良い。
【００３３】
同様に、ミラー１３１が、３つの連結部材から構成されたミラー連結部４６２により、可動枠１３２に回動可能に連結されているようにした。ミラー連結部４６２も、ミラー１３１の回動軸上に配置された連結部材と、この連結部材の両脇に配置された２つの連結部材とから構成されている。
これらのように、各連結部を３つの連結部材から構成することで、回動軸のぶれが抑制されるようになる。
【００３４】
［実施の形態５］
つぎに、本発明の他の実施の形態について説明する。本実施の形態では、可動枠１３２及びミラー１３１を、図６に示すように、一対の連結部６６１，一対のミラー連結部６６２により支持するようにした。なお、他の部分は、図１（ａ）と同様である。
連結部６６１は、図６（ｂ）に示すように、２つの連結部材の各々に、一対の連結部６６１を通る軸ＸＸ’及び連結部材の延在方向とは異なる方向に延在する延在部６６１ａを備える。
【００３５】
同様に、ミラー連結部６６２も、２つの連結部材の各々に、一対の連結部６６１を通る軸ＸＸ’及び連結部材の延在方向とは異なる方向に延在する延在部６６２ａを備える。
従って、本実施の形態によれば、図３に示す連結部３６１，ミラー連結部３６２に比較し、連結部６６１，ミラー連結部６６２をより長くすることが可能となる。この結果、本実施の形態によれば、連結部６６１，ミラー連結部６６２におけるバネ力を、より広い範囲で制御することが可能となる。
【００３６】
［実施の形態６］
ところで、上述した実施の形態では、円形（円板状）のミラー１３１を用い、また、リング状の可動枠１３２を用いるようにしたが、これに限るものではなく、正方形状など矩形のミラーを用いるようにしてもよい。
しかしながら、矩形のミラーを回動させると、下部の制御電極などが固定されている固定領域に、矩形の一辺がすべて近づいていく。このため、矩形のミラーでは、固定領域と接触する危険性が増大する。
【００３７】
また、反射面を形成するためにミラー１３１の表面に金属膜を形成する場合、形成した金属膜に発生する応力が、円形のミラー１３１には均一に加わる。ミラーが矩形の場合、上記応力が均一に加わらず、ミラーが変形する場合がある。
以上のことなどから、ミラー１３１は、円形（円板）としたほうがよい。このように、ミラー１３１を円形とする場合、以下に説明するように、連結部を円弧状にしてもよい。
【００３８】
本実施の形態では、図７に示すように、可動枠１３２に、円弧状の一対の連結部領域７２２を設け、これらの各々に、ミラー１３１が回動する２つの軸が直交する交点を中心とする円周方向に延在する延在部７６２ａを備えたミラー連結部４６２を備えるようにした。同様に、枠部１３０に円弧状の一対の連結部領域７０２を設け、これらの各々に、上記交点を中心とする円周方向に延在する延在部７６１ａを備えた連結部７６１を備えるようにした。なお、他の部分は、図１（ａ）と同様である。
【００３９】
図７（ｂ）に示すように、延在部７６２ａをリング状の可動枠１３２の円周方向（一点鎖線の円弧で示す方向）に延在させることで、直線的に延長する場合に比較し、延在部７６２ａをより長くすることが可能となる。このように、連結部の長さをより長くすることが可能となるため、本実施の形態によれば、連結部の設計の自由度を向上させることができる。
【００４０】
なお、図６，図７に示した実施の形態においても、図４に示す実施の形態と同様に、図６，７に示す連結部を構成している２つの連結部材の間に、ミラー１３１もしくは可動枠１３２の回動軸上に配置された連結部材を新たに加え、各連結部を３つの連結部材から構成するようにしてもよい。
【００４１】
ところで、上述では、例えば、図３に示すように、連結部３６１は、
可動部開口領域３０１の側より枠部１３０に形成された連結部領域３０２の内部に配設されているようにしたが、これに限るものではない。例えば、図８に示すように、可動枠１３２に連結部領域８０２を形成し、この内部に連結部８６１が配設されているようにしても良い。これは、図４，図６，図７に示す実施の形態についても同様である。このようにすることで、例えば枠部１３０の幅をより狭くすることが可能となり、スイッチ素子をより小型化することが可能となる。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、枠部と可動構造体とを連結する連結部が、一端が前記枠部に固定され、他端が前記可動構造体に固定された２つの連結部材から構成されているようにした。この結果、本発明によれば、重力などによるミラーの基板方向への変位を抑制できる。従って、ミラーが基板に近づくことによるミラーの回動範囲の減少、すなわち、ミラーの回転角度の減少を抑制できるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における光スイッチ装置の構成例を示す概略的な断面図（ａ）と平面図（ｂ）である。
【図２】本発明の他の実施の形態における光スイッチ装置の一部構成例を示す概略的な平面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態における光スイッチ装置の一部構成例を示す概略的な平面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態における光スイッチ装置の一部構成例を示す概略的な平面図である。
【図５】本発明の他の実施の形態における光スイッチ装置の一部構成例を示す概略的な平面図である。
【図６】本発明の他の実施の形態における光スイッチ装置の一部構成例を示す概略的な平面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態における光スイッチ装置の一部構成例を示す概略的な平面図である。
【図８】本発明の他の実施の形態における光スイッチ装置の一部構成例を示す概略的な平面図である。
【図９】従来よりある光スイッチ装置の構成例を示す概略的な断面図（ａ）と平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
１０１…半導体基板、１０２…層間絶縁膜、１０３…接続電極、１０４…配線層、１０５…層間絶縁膜、１２０…支持部材、１３０…枠部、１３１…ミラー、１３２…可動枠、１４０…制御電極部、１５０…制御回路、１６１…連結部、１６２…ミラー連結部、３０１…可動部開口領域、３２１…ミラー開口領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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