(57)【要約】【課題】基材に拘らず表面にアルミナ皮膜を有する表面改質部品を得られるようにする。【解決手段】先ず、アルミニウムの非水溶媒電析浴中にて部品本体を電析し、部品本体の表面にアルミニウムの電析皮膜を形成させる（Ｓ１）。アルミニウムの非水溶媒電析浴としては、たとえば、非水溶媒としてのジメチルスルホン中に塩化アルミニウムを添加し、１１０℃程度まで加熱することにより形成させた、アルミニウム原子にジメチルスルホンが配位してなる金属錯イオンを含む電析浴を用いるようにする。次に、アルミニウムの電析皮膜の表面を陽極酸化処理してアルミナ化させて、アルミニウムの電析皮膜の表層にアルミナ皮膜を形成させて（Ｓ２）、アルミナ皮膜による表面改質部品１を得る。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品本体の所要個所における表面部に、非水溶媒電析浴中にて形成させるアルミニウムの電析皮膜を設け、且つ該アルミニウムの電析皮膜の表層に、該アルミニウムの電析皮膜を陽極酸化処理することにより形成させるアルミナ皮膜を設けてなる構成を有することを特徴とするアルミナ皮膜による表面改質部品。
【請求項２】
部品本体の基材を、Ａｌ合金、Ｃｕ合金、Ｎｉ合金、Ｃｏ合金、カーボン材のいずれか、若しくは、これらの複合材料とした請求項１記載のアルミナ皮膜による表面改質部品。
【請求項３】
部品本体の基材を、アルミニウム基複合材料とした請求項１記載のアルミナ皮膜による表面改質部品。
【請求項４】
非水溶媒電析浴の非水溶媒に、ジメチルスルホンを用いてアルミニウムの電析皮膜を形成させるようにしてなる請求項１、２又は３記載のアルミナ皮膜による表面改質部品。
【請求項５】
部品本体を、アルミニウムの非水溶媒電析浴中にて電析させることにより該部品本体の所要個所における表面部にアルミニウムの電析皮膜を形成させ、次に、該アルミニウムの電析皮膜の表層を陽極酸化処理してアルミナ皮膜を形成させることを特徴とするアルミナ皮膜による表面改質部品の製造方法。
【請求項６】
部品本体の基材を、Ａｌ合金、Ｃｕ合金、Ｎｉ合金、Ｃｏ合金、カーボン材のいずれか、若しくは、これらの複合材料とする請求項５記載のアルミナ皮膜による表面改質部品の製造方法。
【請求項７】
部品本体の基材を、アルミニウム基複合材料とする請求項５記載のアルミナ皮膜による表面改質部品の製造方法。
【請求項８】
非水溶媒電析浴の非水溶媒として、ジメチルスルホンを用いるようにする請求項５、６又は７記載のアルミナ皮膜による表面改質部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は耐摩耗性や耐食性を向上させるべく部品表面における全面あるいは所要個所に保護層となるアルミナ皮膜を設けてなるアルミナ皮膜による表面改質部品及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
金属製部品の環境条件に対する耐性を向上させることを目的として、該部品表面の全面、あるいは、所要個所に表面改質を施すことが広く一般に行なわれている。かかる表面改質のうち、特に、部品の表面をアルミナの皮膜で覆ったアルミナ皮膜による表面改質部品は、優れた耐摩耗性や耐食性（耐酸化性）を示すことが知られている。
【０００３】
このようなアルミナ皮膜を部品表面に形成させるために従来用いられている手法としては、部品の基材がアルミニウム合金製である場合には、該部品を、たとえば、硫酸浴中にて陽極として用いて所要の条件下で電解させることにより、部品表面に酸化皮膜としてのアルミナ皮膜を形成させる陽極酸化法が広く一般的に行なわれてきている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００４】
又、部品表面にアルミナ皮膜を形成させるための他の手法としては、部品に対しアルミナを溶射することにより部品表面にアルミナの溶射皮膜を形成させる溶射法（たとえば、特許文献２参照）、材料表面にアルミナゾルを塗布した後、焼き付けることによりアルミナ皮膜を形成させる方法（たとえば、特許文献３参照）、ＰＶＤ（物理蒸着）法により部品表面にアルミナ皮膜を形成させる方法（たとえば、特許文献４参照）等がある。
【０００５】
なお、本出願人は、先の出願（特願２００２−２３４１０１）において、ＡｌやＭｇ等のような還元電位が低い（イオン化傾向が大きい）金属であっても比較的穏やかな条件の下でめっき皮膜を形成できるようにするための電解めっき用メッキ浴及び複合めっき用メッキ浴並びにこれらの製造方法について提案している。
【０００６】
【特許文献１】
特開平９−２５５３４号公報
【特許文献２】
特開平１１−２３６９７６号公報
【特許文献３】
特開平１１−１４０６６０号公報
【特許文献４】
特開平９−２７９３６４号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、アルミナ皮膜の形成法として従来広く一般に実施されている上記特許文献１に示されている如き陽極酸化法は、装置が簡便で且つ取り扱いが容易であって設備コストやランニングコストを低く抑えることができ、又、部品の基材温度も上げる必要はなく、電解条件の制御により形成させるアルミナ皮膜の空孔率が制御できて、緻密な皮膜も作成できる等のメリットがあるが、適用できる部品の基材がアルミニウム合金に限定されるという問題がある。又、たとえ部品の基材がアルミニウム合金であったとしても、該基材の合金中に含まれる成分、たとえば、シリコン等が析出し、この析出物が粗大に生成したものでは、該析出物の存在する部分ではアルミナ皮膜がうまく形成されず、部品表面に形成させるアルミナ皮膜が不均一なものとなる虞が生じるという問題がある。更に、たとえば、カーボン繊維強化アルミニウム基複合材料のように、アルミニウム合金の基材中に、非アルミニウム金属又は非金属等の他素材の繊維又はフィラメントを含んだアルミニウム基複合材料製の部品に対してアルミナ皮膜による表面改質を行おうとする場合には、上記非アルミニウム金属又は非金属の繊維又はフィラメントが基材表面に露出した部分ではその表面にアルミナ皮膜を形成させることができないため、部品表面に形成させたアルミナ皮膜にクラックが生じてしまう虞も懸念される。
【０００８】
一方、上記特許文献２に示された溶射法や、特許文献３に示されたアルミナゾルを塗布して焼き付ける方法、特許文献４に示されたＰＶＤ法によれば、部品の基材がアルミニウム合金以外の基材であってもアルミナ皮膜を形成させることは可能であると考えられるが、それぞれ以下のような問題点がある。
【０００９】
すなわち、上記特許文献２に示された溶射法では、形成されるアルミナ皮膜がポーラスで緻密性がよくないという問題がある。又、溶射皮膜を形成可能な対象物としては、形状が単純なものに限定されるという問題がある。更に、上記溶射法によりアルミナ皮膜を形成させるためには、その実施に用いる装置の構成が複雑になるという問題もある。
【００１０】
上記特許文献３に示されたアルミナゾルを塗布して焼き付ける方法では、焼き付け処理に７５０℃以上の高温条件を必要とすることから、この方法の実施には熱処理炉等が必要になり、よって、実施に用いる装置構成が複雑になるという問題がある。
【００１１】
特許文献４に示されたＰＶＤ法では、実施に用いる装置の構成が複雑になるという問題があると共に、厚いアルミナ皮膜を形成させることが困難であり、更に、アルミナの蒸着皮膜を形成可能な対象物としては、形状が単純なものに限定されるという問題もある。
【００１２】
そこで、本発明者等は、上記各手法の欠点を解消し得るような、アルミナ皮膜の作成方法、すなわち、アルミニウム合金に粗大な析出物が生成した基材製や、カーボン繊維強化アルミニウム基複合材料のようなアルミニウム合金と他素材との複合材料製、更には、アルミニウム合金以外の基材製の部品であっても部品表面にアルミナ皮膜を製作でき、且つ皮膜形成時に基材温度を上げる必要がなくて簡便な装置によりアルミナ皮膜を製作でき、更に、部品表面に緻密なアルミナ皮膜を製作でき、形状が複雑な部品であってもアルミナ皮膜により表面改質を行なった部品を製造できるようにするための工夫、研究を重ねた結果、本出願人が特願２００２−２３４１０１にて提案した電解めっき用めっき浴及び複合めっき用めっき浴並びにこれらの製造方法を応用して部品表面にＡｌの電析皮膜（電解めっき皮膜）を形成させた後、該形成されたＡｌの電析皮膜を陽極酸化処理してアルミナ化させることにより、部品表面にアルミナ皮膜を形成できることを見出し、本発明をなした。
【００１３】
したがって、本発明の目的とするところは、簡便な装置により製作でき、皮膜形成時に基材温度を上げる必要がなく、更に、緻密なアルミナ皮膜を備え、しかも、基材としてアルミニウム合金以外のものであってもよく、更には、形状が複雑な場合にも部品表面に良好なアルミナ皮膜を有することができるようにしてあるアルミナ皮膜による表面改質部品及びその製造方法を提供しようとするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、部品本体の所要個所における表面部に、非水溶媒電析浴中にて形成させるアルミニウムの電析皮膜を設け、且つ該アルミニウムの電析皮膜の表層に、該アルミニウムの電析皮膜を陽極酸化処理することにより形成させるアルミナ皮膜を設けてなる構成を有するアルミナ皮膜による表面改質部品とする。
【００１５】
部品本体の所要個所を非水溶媒電析浴における陰極として用いて電析を行わせると、上記部品本体の所要個所の表面が導電性を備えてさえいれば、基材に拘らず部品表面にアルミニウムの電析皮膜が形成される。次に、この部品表面に形成されてなるアルミニウムの電析皮膜を陽極酸化処理すると、該アルミニウムの電析皮膜の表層が酸化されてアルミナ化され、これにより上記部品本体の所要個所における表面がアルミナ皮膜で被覆されることから、アルミナ皮膜による表面改質部品が得られることとなる。
【００１６】
上記非水溶媒電析処理と陽極酸化処理は、いずれも湿式プロセスであるため、皮膜形成時に部品本体の基材温度を上げる必要はなく、しかも、部品表面が浴中で濡れさえすれば、形状が複雑であっても部品表面の所要個所にアルミニウムの電析皮膜及び該アルミニウムの電析皮膜の陽極酸化によるアルミナ皮膜は形成される。
【００１７】
一方、部品本体を、アルミニウムの非水溶媒電析浴中にて電析させることにより該部品本体の所要個所における表面部にアルミニウムの電析皮膜を形成させ、次に、該アルミニウムの電析皮膜の表層を陽極酸化処理してアルミナ皮膜を形成させるアルミナ皮膜による表面改質部品の製造方法とすることにより、上記部品本体の形状及び基材に拘ることなく部品表面に良好なアルミナ皮膜を有する該アルミナ皮膜による表面改質部品を製造することができ、この製造の際、皮膜形成時に基材温度を上げる必要をなくすことができるために、上記アルミナ皮膜による表面改質部品の製造を、簡便な装置により実施でき、更に、緻密なアルミナ皮膜を備えた表面改質部品を製造することができる。
【００１８】
又、上記アルミナ皮膜による表面改質部品の部品本体の基材を、Ａｌ合金、Ｃｕ合金、Ｎｉ合金、Ｃｏ合金、カーボン材のいずれか、若しくは、これらの複合材料とすることにより、従来、緻密なアルミナ皮膜を容易に形成することが困難であった上記各素材あるいは複合材料を基材としたアルミナ皮膜による表面改質部品を得ることができる。
【００１９】
更に、部品本体の基材を、アルミニウム基複合材料（たとえば、カーボン繊維強化アルミニウム基複合材料）とすることにより、得られるアルミナ皮膜による表面改質部品を、低い熱膨張性、高温強度、耐摩耗性、耐環境性に優れた部品とすることができるため、たとえば、プラズマ雰囲気で用いられる装置の部品等への応用が可能となる。
【００２０】
更に又、非水溶媒電析浴の非水溶媒を、ジメチルスルホンとすると、アルミニウムの錯イオンを含む非水溶媒電析浴を容易に製作でき、このため、部品本体の非水溶媒電析処理による部品表面へのアルミニウムの電析皮膜を形成する工程を容易に実施できる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００２２】
図１は本発明のアルミナ皮膜による表面改質部品の製造方法の実施の一形態におけるフローを示すもので、先ず、部品本体の表面における表面改質を望む所要個所に、アルミニウムの非水溶媒電析浴（非水溶媒めっき浴）中にて電析（電気めっき）処理を行って上記部品本体の表面にアルミニウム（純アルミニウム）の電析皮膜を形成させ（ステップ１：Ｓ１）、しかる後、部品表面にアルミニウムの電析皮膜を形成させてなる上記部品を、陽極酸化処理することにより、上記部品表面のアルミニウムの電析皮膜の表層部を酸化させてアルミナ化させることにより、部品表面にアルミナ皮膜を形成させ（ステップ２：Ｓ２）、これによりアルミナ皮膜による表面改質部品１を得るようにする。
【００２３】
詳述すると、上記ステップ１で使用するアルミニウムの非水溶媒電析浴としては、所要の容器、たとえば、めっき槽内に所要量供給した非水溶媒としてのジメチルスルホン（ＤＭＳＯ２）に、Ａｌの無水塩の粉末又は粒子を加えて室温で混合した後、該混合液を徐々に温度を上昇させて、たとえば、１１０℃まで昇温させる。
【００２４】
これにより、上記Ａｌの無水塩は、上記混合液中においては、上記Ａｌの無水塩に由来するＡｌ原子に、ジメチルスルホンが配位してなる金属錯イオンを含む電析浴が形成される。すなわち、たとえば、金属無水塩として塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）を用いた場合には、
４ＡｌＣｌ３＋３ＤＭＳＯ２→３ＡｌＣｌ４−＋［Ａｌ（ＤＭＳＯ２）３］３＋
となり、アルミニウムの非水溶媒電析浴として、ジメチルスルホンを配位したＡｌの錯イオンを含んだ電析浴が形成される。
【００２５】
したがって、上記調製された電析浴中にて、図２（イ）に示す如きアルミナ皮膜による表面改質を望む所要の部品本体２を陰極（カソード）として定電流電解を行わせると、該部品本体２の表面にて上記Ａｌの錯イオンが還元され、図２（ロ）に示す如く、該錯イオン中のＡｌが上記部品本体２の表面に析出されて該部品本体２の表面に金属Ａｌの電析皮膜３が形成される。
【００２６】
次に、上記ステップ２では、上記ステップ１にて製作した図２（ロ）に示す如き部品表面にＡｌの電析皮膜３が形成されている部品本体２を、たとえば、シュウ酸浴中にて、陽極（アノード）として通電して陽極酸化処理するようにする。
【００２７】
これにより、上記部品本体２の表面に形成されているＡｌの電析皮膜３は、図２（ハ）に示す如く、表面側より陽極酸化処理され、上記Ａｌの電析皮膜３の表層がアルミナ化されることにより、図２（ニ）に示す如く、上記部品本体２の表面部の最外層側が、アルミナ皮膜４にて被覆された表面改質部品１が形成されるようになる。
【００２８】
このように、上記本発明のアルミナ皮膜による表面改質部品の製造方法によれば、部品本体２の表面に、一旦、Ａｌの電析皮膜３を形成させた後、該電析皮膜３の表層に、陽極酸化処理によるアルミナ皮膜４を形成させるようにしてあるため、上記部品本体２としては、アルミナ皮膜４による表面改質を望む所要個所の表面に、上記ジメチルスルホンを非水溶媒とする電析浴中にて陰極として通電できる導電性を備えていれば、基材の種類に拘らず、部品表面にアルミナ皮膜４を有してなるアルミナ皮膜による表面改質部品１とさせることができる。したがって、たとえば、部品本体２の基材としては、従来、単なる陽極酸化処理では部品表面にアルミナ皮膜をうまく形成させることが困難であった、アルミニウム合金の表面部に析出物が粗大に生成したものや、たとえば、カーボン繊維強化アルミニウム基複合材料のように、非アルミニウム合金又は非金属の繊維又はフィラメントを複合させてなるアルミニウム基複合材料を用いる場合であっても、その基材表面を上記カーボン材や粗大に生成した析出物の表面側を一旦Ａｌの電析皮膜３で被覆することができることから、該Ａｌの電析皮膜の表層にアルミナ皮膜を形成させることにより、アルミナ皮膜による表面改質部品とすべくアルミナ皮膜の形成を望む所要個所における部品表面に、全面亘り良好なアルミナ皮膜を形成させることができ、更には、アルミニウム合金以外の基材、たとえば、Ｆｅ合金、Ｃｕ合金、Ｎｉ合金、Ｃｏ合金、カーボン材、及び、該各素材同士若しくはこれらの素材とアルミニウム合金との複合材料製の基材を使用した部品本体２であっても、その基材表面に良好なアルミナ皮膜４を形成させてなるアルミナ皮膜による表面改質部品１とさせることができる。更に、上記陽極酸化処理の際には、形成されるアルミナ皮膜４における空孔率を制御できることから、緻密なアルミナ皮膜を形成させることが可能となる。
【００２９】
又、上記アルミニウムの非水溶媒電析浴を用いた電析処理、及び、陽極酸化処理は、いずれも湿式プロセスであるため、部品本体２の形状が複雑であったとしても、その部品表面を上記非水溶媒電析浴や、シュウ酸浴に中にて濡らすことができれば、アルミナ皮膜４を形成させることができる。更に、上記非水溶媒電析浴中における電析処理、及び、陽極酸化処理は、いずれも基材温度を上げる必要がないことから、処理の実施に用いる装置の構成を簡便なものとすることができると共に、取り扱いを容易なものとすることができる。
【００３０】
したがって、上記製造方法により製造する本発明のアルミナ皮膜による表面改質部品１は、基材の種類に拘らず、部品表面に、アルミニウムの電析皮膜３の層と、該アルミニウムの電析皮膜３の表層における緻密なアルミナ皮膜４とを有してなる構成とすることができるため、この部品表面の最外層として形成されているアルミナ皮膜４により耐摩耗性、耐酸化性に優れた部品とすることができる。
【００３１】
更に、部品本体２の基材を、カーボン繊維強化アルミニウム基複合材料とすれば、低い熱膨張性、高温強度、耐摩耗性、耐環境性に優れたアルミナ皮膜による表面改質部品１とすることができるため、たとえば、プラズマ雰囲気で用いられる装置の部品等への応用が可能となる。
【００３２】
なお、本発明は上記実施の形態のみに限定されるものではなく、上記においては、アルミニウムの非水溶媒電析浴に用いる非水溶媒としては、高温の温度条件を伴うことなく浴中に電析可能なＡｌの錯イオンを形成させることができれば、ジメチルスルホン以外の非水溶媒を用いるようにしてもよいこと、陽極酸化処理は、シュウ酸浴以外の陽極酸化処理に一般に用いられている浴を用いて行うようにしてもよいこと、アルミニウムの非水溶媒電析浴による電析処理や陽極酸化処理の前処理として、部品本体２の表面やアルミニウムの電析皮膜３の表面の洗浄処理等を適宜実施するようにしてもよいこと、陽極酸化処理により形成されるアルミナ皮膜４の表面に、封孔処理やその他の表面処理を適宜行うようにしてもよいこと、アルミナ皮膜は、部品本体の表面における全面又は所要個所に必要に応じて形成させるようにすればよいこと、その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００３３】
【実施例】
以下、本発明者等の行った実験結果について説明する。
【００３４】
カーボン繊維強化アルミニウム基複合材料を基材とする部品本体２に対し、アルミニウム電析浴として、ジメチルスルホンに塩化アルミニウムを溶かし込んだ非水溶媒電析浴を用いて電析を行ない、しかる後、シュウ酸浴を用いて陽極酸化処理を実施した。
【００３５】
その結果、図３に示す如きアルミナ皮膜による表面改質部品１を得た。
【００３６】
図３より明らかなように、部品本体２の表面部にて、基材のアルミニウム合金２ａ部分が露出している部分、及び、基材中に複合されているカーボン繊維５が部品表面に露出した部分のいずれにおいても、アルミニウムの非水溶媒電析浴中にて形成させるアルミニウムの電析皮膜３により一様に被覆することができ、したがって、該アルミニウムの電析皮膜３の表層を陽極酸化処理してアルミナ化することにより、部品表面が基材中に複合されているカーボン繊維２ｂの存在にも拘らず、部品表面がアルミナ皮膜４により良好に被覆されたカーボン繊維強化アルミニウム基複合材料が得られることが判明した。
【００３７】
【発明の効果】
以上述べた如く、本発明によれば、以下の如き優れた効果を発揮する。
（１）  部品本体の所要個所における表面部に、非水溶媒電析浴中にて形成させるアルミニウムの電析皮膜を設け、且つ該アルミニウムの電析皮膜の表層に、該アルミニウムの電析皮膜を陽極酸化処理することにより形成させるアルミナ皮膜を設けてなる構成を有するアルミナ皮膜による表面改質部品としてあるので、基材の種類に拘らず、部品表面に、アルミニウムの電析皮膜によるアルミニウムの電析皮膜の層と、該アルミニウムの電析皮膜の表層の緻密なアルミナ皮膜とを有してなる構成とすることができるため、該最外層側に形成されているアルミナ皮膜により耐摩耗性、耐酸化性に優れた部品とすることができる。
（２）  部品本体を、アルミニウムの非水溶媒電析浴中にて電析させることにより該部品本体の所要個所における表面部にアルミニウムの電析皮膜を形成させ、次に、該アルミニウムの電析皮膜の表層を陽極酸化処理してアルミナ皮膜を形成させるアルミナ皮膜による表面改質部品の製造方法とすることにより、上記部品本体の形状及び基材に拘ることなく部品表面に良好なアルミナ皮膜を有する該アルミナ皮膜による表面改質部品を製造することができ、この製造の際、皮膜形成時に基材温度を上げる必要をなくすことができるために、上記アルミナ皮膜による表面改質部品の製造を、簡便な装置により実施でき、更に、緻密なアルミナ皮膜を備えた表面改質部品を製造することができる。
（３）  部品本体のアルミナ皮膜による被覆を望む所要個所の表面が導電性を備えてさえいれば、部品本体の基材に拘らずアルミナ皮膜による表面改質部品を製造することができる。
（４）  非水溶媒電析処理と陽極酸化処理は、いずれも湿式プロセスであるため、皮膜形成時に部品本体の基材温度を上げる必要はなく、しかも、部品表面を浴中で濡らすことができれば、形状が複雑であってもアルミナ皮膜による表面改質部品を製造できる。
（５）  上記アルミナ皮膜による表面改質部品の部品本体の基材を、Ａｌ合金、Ｃｕ合金、Ｎｉ合金、Ｃｏ合金、カーボン材のいずれか、若しくは、該各素材の複合材料とすることにより、従来、緻密なアルミナ皮膜を容易に形成することが困難であった上記各素材あるいは複合材料を基材としたアルミナ皮膜による表面改質部品を得ることができる。
（６）  部品本体の基材を、アルミニウム基複合材料（たとえば、カーボン繊維強化アルミニウム基複合材料）とすることにより、得られるアルミナ皮膜による表面改質部品を、低い熱膨張性、高温強度、耐摩耗性、耐環境性に優れた部品とすることができるため、たとえば、プラズマ雰囲気で用いられる装置の部品等への応用が可能となる。
（７）  非水溶媒電析浴の非水溶媒を、ジメチルスルホンとすると、アルミニウムの錯イオンを含む非水溶媒電析浴を容易に製作でき、このため、部品本体の非水溶媒電析処理による部品表面へのアルミニウムの電析皮膜を形成する工程を容易に実施できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のアルミナ皮膜による表面改質部品の製造方法の実施の一形態のフローを示す図である。
【図２】図１の手順で行われる処理の内容を示すもので、（イ）は処理前の部品本体を、（ロ）は部品本体の表面にアルミニウムの電析皮膜を形成させた状態を、（ハ）はアルミニウムの電析皮膜の表面を陽極酸化処理する状態を、（ニ）はアルミニウムの電析皮膜の表層に陽極酸化処理によるアルミナ皮膜が形成された状態をそれぞれ示す部品の表面部分の断面を示す模式図である。
【図３】本発明者等の行ったアルミナ皮膜による表面改質部品の製造の実験結果として、カーボン繊維強化複合材料を基材とする部品本体の表面にアルミナ皮膜を形成させた場合を示す部品表面部分の断面を示す図である。
【符号の説明】
１  アルミナ皮膜による表面改質部品
２  部品本体
３  アルミニウムの電析皮膜
４  アルミナ皮膜
【図１】
2004346372.tif 000003
【図２】
2004346372.tif 000004
【図３】
2004346372.tif 000005