(57)【要約】【課題】記録媒体付近において均一な温度分布を保持することができ、均一な風速で送風することができる検査装置用送風装置及びそれを備えた検査装置筐体を提供する。【解決手段】ハードディスク記録媒体記録媒体７及びそれに記録する記録装置のための検査装置筐体１００において、送風ファン装置２００は、緩衝空間Ｓ１に対面した吸気口２１４から空気を吸気し、ブロアー型ファン２１２を用いてＨＥＰＡフィルタ２１３を介して排出口２１５から記録媒体７に対して一定の風量で送風排出する。排出した空気は記録媒体７により反射して吸気開口２１０ｄに戻り、緩衝空間Ｓ１から吸気口２１４、ブロアー型ファン２１２、緩衝空間Ｓ２、ＨＥＰＡフィルタ２１３、排出口２１５、記録媒体７及び吸気開口２１０ｄを介して緩衝空間Ｓ１に戻る空気の流れの循環路３０５を形成し、かつ吸気開口２１０ｄから外気を吸気して記録媒体７付近の温度分布を一定に保持する。【選択図】  図８
2004185662.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定中の記録媒体及びそれに記録する記録装置に対してエアーフィルタを介して送風する送風手段を備えた記録媒体及び記録装置のための検査装置用送風装置において、
上記送風手段は、
（ａ）上記記録媒体の上方に設けられる送風ファン装置と、
（ｂ）上記送風ファン装置の上方に設けられ、実質的に上記記録媒体に向かう下方にのみ吸気開口を有し、上記吸気開口から吸気した空気を一時的に蓄積する第１の緩衝空間を形成する送風ファン装置筐体とを備え、
上記送風ファン装置は、上記第１の緩衝空間に対面した吸気口から空気を吸気し、吸気した空気をファンを用いてエアフィルタを介して排出口から上記記録媒体に対して実質的に一定の風量で送風排出し、排出した空気は上記記録媒体により反射して上記吸気開口に戻り、これにより、上記第１の緩衝空間から上記吸気口、上記ファン、上記エアフィルタ、上記排出口、上記記録媒体及び上記吸気開口を介して上記第１の緩衝空間に戻る空気の流れの循環路を形成し、かつ上記吸気開口から外気を吸気することにより、上記記録媒体付近の温度分布を実質的に一定に保持することを特徴とする検査装置用送風装置。
【請求項２】
上記送風ファン装置内であって上記ファンと上記エアフィルタとの間に設けられ、上記ファンから排出される空気を一時的に蓄積して高圧状態にする第２の緩衝空間をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の検査装置用送風装置。
【請求項３】
上記ファンは上記吸気口からの空気を実質的に水平方向に送風排出するブロアー型ファンであることを特徴とする請求項１又は２記載の検査装置用送風装置。
【請求項４】
上記エアフィルタは高性能微粒子エアーフィルタであることを特徴とする請求項１乃至３のうちのいずれか１つに記載の検査装置用送風装置。
【請求項５】
上記記録媒体の側方の少なくとも１箇所に、外気が上記記録媒体及び上記吸気開口に直接に流れて向かうことを防止するためのパネルを設けたことを特徴とする請求項１乃至４のうちのいずれか１つに記載の検査装置用送風装置。
【請求項６】
上記記録媒体はハードディスク記録媒体であり、上記記録装置は磁気ヘッドを備えたことを特徴とする請求項１乃至５のうちのいずれか１つに記載の検査装置用送風装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のうちのいずれか１つに記載の検査装置用送風装置と、上記記録媒体に記録する記録装置とを備えたことを特徴とする検査装置筐体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばハードディスクドライブ装置のハードディスク等の記録媒体及びそれに記録する記録装置に対してエアーフィルタを介して送風する送風手段を備えた記録媒体及び記録装置のための検査装置用送風装置、並びに、当該送風装置を備えた検査装置筐体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えばハードディスクドライブ装置などの記録装置のための検査装置では、周囲の温度変化、風の影響を少なくするために、ハードディスクなどの記録媒体の回りをカバーで覆い、測定箇所の小さい範囲のみ開けたり、装置全体をカバーで覆ったりしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
記録媒体の回りをカバーで覆い、測定箇所の小さい範囲のみ開ける場合、記録媒体の周りのカバーが記録媒体の測定範囲に制限を加える。また外部からの温度、向きが不安定な風をすべて遮断できず、測定結果のばらつきにつながる。また、装置全体をカバーで覆っている場合においては、スピンドルやモータなどによる発熱で、装置のカバー内と外気の温度差が生じ、ヘッド付け替え時のドアの開閉によりカバー内の温度が乱れ、風が生じ、測定結果がばらついてしまうという問題点があった。
【０００４】
さらに、近年ハードディスクドライブの記録容量の増加に伴い、記録媒体の記録密度の向上がハードディスクメーカーによって行われてきた。それに伴い、磁気ヘッドのフライングハイトを安定に保つため面精度の高いガラス記録媒体の必要性が出てきた。ガラス記録媒体は、アルミ記録媒体に比べて割れやすく、割れたあとのガラス飛散の危険性がうたわれているのは周知の事実である。このガラス記録媒体による測定において、測定箇所の小さい範囲のみ開けているカバーは、安全性の問題から使用されない。装置全体をカバーで覆っている場合においては、安全性を高めるために、磁気ヘッドの付け替え時にスピンドルを停止させる。スピンドルを停止させることは、スピンドルの加速による発熱が記録媒体とその周囲の温度変化を引き起こし精度を悪化させる要因となる。
【０００５】
以上の問題点を解決するために、特許文献２においては、以下に示す測定装置用筐体が開示されている。「ハードディスク記録媒体７及びそれに記録する記録装置のための測定装置用筺体であり、送風ファン１０２は高性能微粒子エアーフィルタを備え、測定中のハードディスク記録媒体７及び記録装置に対して実質的に一定の温度と実質的に一定の風量で高性能微粒子エアーフィルタを介して送風する。また、自動扉１０３は、記録装置の測定中であるハードディスク記録媒体７及び記録装置の位置とその所定の周囲エリアを含む送風保護エリアＡ３に侵入しない位置に設けられ、測定装置用筺体１００内において、測定中ではないときに送風保護エリアＡ３と遮断する。」
【０００６】
【特許文献１】
米国特許第６，２２９，３０４号の明細書
【特許文献２】
特開２００２−２０８１３３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献２に開示された装置においては、装置全体をカバーで覆っているために、スピンドルやモータなどによる発熱で、装置のカバー内と外気の温度差が生じてしまう。カバー内の空気はファンが無い場合、スピンドルによって回転している記録媒体により、記録媒体の上方から記録媒体の中心に向けて引き込まれ記録媒体の水平方向に排出される。記録媒体が回転することにより、このような空気の流れが発生する。ファンは外気をそのまま取り入れているため、カバー内部の温度よりも低い温度の風を送風することになり、温度のばらつきをカバー内に発生させてしまう。カバーによってほぼ密閉される為、通風抵抗がファンの風量を制限し、風が磁気ヘッドや記録媒体に届きにくい原因となっている。ファンによる送風が弱く、記録媒体の回転によって発生する空気の流れが勝りファンからの冷たい外気と、カバー内の暖かい空気が記録媒体上で混ざることになり不安定な状態を作り出してしまう。また、カバー内外の温度差が頻繁に磁気ヘッドを新しいものに付け替えて測定する場合のカセットやヘッドの温度変化が温度ドリフトの原因となるという問題点があった。
【０００８】
本発明の目的は以上の問題点を解決し、従来技術に比較して、記録媒体付近において均一な温度分布を保持することができ、しかも均一な風速で送風することができる検査装置用送風装置及びそれを備えた検査装置筐体を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る検査装置用送風装置は、測定中の記録媒体及びそれに記録する記録装置に対してエアーフィルタを介して送風する送風手段を備えた記録媒体及び記録装置のための検査装置用送風装置において、
上記送風手段は、
（ａ）上記記録媒体の上方に設けられる送風ファン装置と、
（ｂ）上記送風ファン装置の上方に設けられ、実質的に上記記録媒体に向かう下方にのみ吸気開口を有し、上記吸気開口から吸気した空気を一時的に蓄積する第１の緩衝空間を形成する送風ファン装置筐体とを備え、
上記送風ファン装置は、上記第１の緩衝空間に対面した吸気口から空気を吸気し、吸気した空気をファンを用いてエアフィルタを介して排出口から上記記録媒体に対して実質的に一定の風量で送風排出し、排出した空気は上記記録媒体により反射して上記吸気開口に戻り、これにより、上記第１の緩衝空間から上記吸気口、上記ファン、上記エアフィルタ、上記排出口、上記記録媒体及び上記吸気開口を介して上記第１の緩衝空間に戻る空気の流れの循環路を形成し、かつ上記吸気開口から外気を吸気することにより、上記記録媒体付近の温度分布を実質的に一定に保持することを特徴とする。
【００１０】
上記検査装置用送風装置において、上記送風ファン装置内であって上記ファンと上記エアフィルタとの間に設けられ、上記ファンから排出される空気を一時的に蓄積して高圧状態にする第２の緩衝空間をさらに備えたことを特徴とする。
【００１１】
また、上記検査装置用送風装置において、上記ファンは上記吸気口からの空気を実質的に水平方向に送風排出するブロアー型ファンであることを特徴とする。
【００１２】
さらに、上記検査装置用送風装置において、上記エアフィルタは高性能微粒子エアーフィルタであることを特徴とする。
【００１３】
また、上記検査装置用送風装置において、上記記録媒体の側方の少なくとも１箇所に、外気が上記記録媒体及び上記吸気開口に直接に流れて向かうことを防止するためのパネルを設けたことを特徴とする。
【００１４】
さらに、上記検査装置用送風装置において、上記記録媒体はハードディスク記録媒体であり、上記記録装置は磁気ヘッドを備えたことを特徴とする。
【００１５】
またさらに、上記検査装置用送風装置において、上記検査装置用送風装置と、上記記録媒体に記録する記録装置とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態について説明する。
【００１７】
図１は、本発明に係る実施形態である記録装置のための検査装置筐体１００の正面から見た斜視図であり、図２は、図１の記録装置の磁気ヘッド１、カセット２及びヘッドローディング機構（以下、ＨＬＭという。）３とのその周辺装置を示す斜視図である。また、図８は、図１の検査装置筐体１００におけるＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００とハードディスク記録媒体７付近における空気の流れを示す縦断面の概略模式図である。
【００１８】
図１において、本実施形態に係る検査装置筐体１００は、磁気ヘッド１から、載置台８上に載置されたハードディスク記録媒体７に測定信号を書き込んだ後、書き込まれた測定信号を読み出して、その信号の強さや書込みトラックの幅などを測定することで、磁気ヘッドの性能を検査する記録装置のための検査装置筐体である。この検査装置筐体１００においては、図１及び図８に示すように、
（ａ）ハードディスク記録媒体７の上方に設けられるＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００と、
（ｂ）当該送風ファン装置２００の上方に設けられ、実質的にハードディスク記録媒体７に向かう下方にのみ吸気開口２１０ｄ（図８参照。）を有し、吸気開口２１０ｄから吸気した空気を一時的に蓄積する緩衝空間Ｓ１を形成する送風ファン装置筐体２１０とを備える。
【００１９】
ここで、送風ファン装置２００は、緩衝空間Ｓ１に対面した吸気口２１４から空気を吸気し、吸気した空気をブロアー型ファン２１２を用いて、ＨＥＰＡフィルタ２１３を介して排出口２１５からハードディスク記録媒体７に対して実質的に一定の風量で送風排出し、排出した空気はハードディスク記録媒体７の上面により反射して吸気開口２１０ｄに戻り、これにより、緩衝空間Ｓ１から吸気口２１４、ブロアー型ファン２１２、ＨＥＰＡフィルタ２１３、排出口２１５、ハードディスク記録媒体７及び吸気開口２１０ｄを介して緩衝空間Ｓ１に戻る空気の流れの循環路３０５を形成し、かつ吸気開口２１０ｄから外気を吸気することにより、ハードディスク記録媒体７付近の温度分布を実質的に一定に保持することを特徴としている。また、図７（ｂ）及び図８に示すように、送風ファン装置２００内であってブロアー型ファン２１２とＨＥＰＡフィルタ２１３との間に設けられ、ブロアー型ファン２１２から排出される空気を一時的に蓄積して高圧状態にする緩衝空間Ｓ２をさらに形成することにより、実質的に均一な風速で送風することができ、ハードディスク記録媒体７付近の温度分布を実質的により一定に保持することを特徴としている。
【００２０】
本明細書において、高性能微粒子エアーフィルタとは典型的には、サイズがサブミクロンにいたる種々の微粒子を９９．９％以上もの高効率で除去できるエアーフィルタの総称であり、本実施形態で用いるＨＥＰＡフィルタ２１３をはじめ、ＵＬＰＡフィルタなどの通称で市販されているエアーフィルタを含む。なお、本明細書の以下の記述においては、本発明の理解に充分で、特筆しない限りＨＥＰＡフィルタ２１３を用いて説明する。ＨＥＰＡフィルタ２１３は、Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒの略語であって、１９５０年代にアメリカのＮＡＳＡで開発されたものである。このＨＥＰＡフィルタ２１３は、０．３ミクロン以上のものであれば、粉塵、花粉、細菌などを問わず、あらゆる種類の微粒子を９９．９７％以上の効率で除去する性能を有するフィルタである。ここで、開発当初は、セルローズアスベストで製造されていたが、現在はグラスウールで製造されており、ペーパー形状の濾過材を折りたたんで使用している。
【００２１】
図１において、載置台１０上に載置テーブル１１が載置固定され、載置テーブル１１上に以下の検査装置が設けられる。図２の詳細図に示すように、測定対象物である磁気ヘッド１はカセットと呼ばれる治具（以下、カセットという。）２にばねなどの弾性体による付勢力で固定され、カセット２は、作業者によりＨＬＭ３上の所定位置に搭載される。Ｙ方向に移動するＹステージ５と、Ｙ方向とは直交するＸ方向に移動するＸステージ６とにより、ハードディスク記録媒体７の測定したい箇所に移動し測定が開始される。このとき、ハードディスク記録媒体７は、記録媒体載置台８上に載置され、スピンドル９により回転され、磁気ヘッド１はピエゾステージ４により微小精密な位置で位置決めがなされる。
【００２２】
詳細後述するＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００は、支持装置１０１の上側に連結された支持部材２２０により、ハードディスク記録媒体７の直上に位置するように支持される。また、ハードディスク記録媒体７を囲む三方の側面において外気避けのパネル１０３，１０４，１０５が、外気が直接にハードディスク記録媒体７に流入することを防止するために、当該検査装置筐体１００の外側側面に沿って設けられる。ここで、パネル１０４は、図３に示すように、ハードディスク記録媒体７の交換を容易にするために、上側に開くように開閉可能に設けられている。さらに、外気が直接にハードディスク記録媒体７に流入することを防止するとともに、ハードディスク記録媒体７が測定中において破壊して飛散したときに測定者に対して飛散することを防止するために、図４に示すように、ハードディスク記録媒体７を囲む手前側の二方の側面に、パネル１０８，１０９を設けてもよい。
【００２３】
図５は、図１のＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の上方から見たその斜視図であり、図６は、図１のＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の下方から見たその斜視図であり、図７（ａ）は図５及び図６のＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の上面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のＡ−Ａ’線についての横断面図である。以下、これらの図面を参照して、ＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の構造について詳細に説明する。
【００２４】
図５及び図７において、送風ファン装置２００の上面には、緩衝空間Ｓ１に対向して、円形形状の吸気口２１４を有するプレフィルタ２１１が設けられ、その直下にブロアー型ファン２１２が設けられる。ここで、ブロアー型ファン２１２を用いる理由は、いわゆる軸流型のファンを用いる場合に比較して、送風の空気の脈動を防止することができ、より風速を一定にすることができるからである。また、吸気口２１４にはワイヤー形式の保護用メッシュが設けられている。ブロアー型ファン２１２は、鉛直方向の軸２１２ａを中心として回転し、その軸２１２ａに平行な複数のブロアー羽２１２ｂを有して構成され、ブロアー羽２１２ｂがモータ２１２ｃにより回転することにより、矢印３００で示すように、吸気口２１４からプレフィルタ２１１を介して吸気した空気を、矢印３０１で示すように、水平方向（図５の左手前方向）で緩衝空間Ｓ２に送風する。そして、緩衝空間Ｓ２では、送風された空気を一時的に蓄積しかつ当該送風ファン装置２００内で吸気口２１４及び排出口２１５を除き密閉された緩衝空間Ｓ２においてより高圧な状態とした後、矢印３０２で示すように、ＨＥＰＡフィルタ２１３を介して、図６に示す台形形状の排出口２１５から送風排出する。これにより、好ましくは０．５ｍ／ｓｅｃないし２ｍ／ｓｅｃの風速で実質的に一定な風量で送風排出することができる。なお、排出口２１５の形状については詳細後述するが、排出口２１５は、図６及び図７に示すように、ＨＥＰＡフィルタ２１３の出力口よりも狭い範囲５００で狭小化され、上記緩衝空間Ｓ２における高圧化に寄与している。また、排出口２１５にはワイヤー形式の保護用メッシュが設けられている。
【００２５】
図１の検査装置筐体１００におけるＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００とハードディスク記録媒体７付近における空気の流れを示す図８において、送付ファン装置２００の上方に形成される緩衝空間Ｓ１は、ハードディスク記録媒体７の上面に向かう下方方向に形成された矩形形状の吸気開口２１０ｄを除き、送風ファン装置筐体２１０の上面２１０ａ、側面２１０ｂ，２１０ｃ、並びに、図８の紙面に平行な２つの側面（図示できず。）により閉ざされた空間を形成している。また、送風ファン装置２００の排出口２１５からハードディスク記録媒体７の上面までの距離は、送風される空気の風速が弱くならないように、できる限り短いことが好ましいが、例えば、好ましくは、２０ｍｍないし４００ｍｍまでの範囲であり、より好ましくは、１００ｍｍないし３００ｍｍまでの範囲に設定される。なお、送風ファン装置筐体２１０の２１０ｃの下側に、外気避けのパネル１０５が連結されてハードディスク記録媒体７の側方までに延在している。また、当該検査装置筐体１００内において、できる限り循環路３０５における空気の流れを保持するために、ハードディスク記録媒体７の交換作業エリアの領域面積は必要最小限にすることが望ましい。
【００２６】
以上のように構成された送風ファン装置２００においては、図８の矢印３０１に示すように、緩衝空間Ｓ１に対面した吸気口２１４から空気を吸気し、そして、矢印３０２に示すように、吸気した空気をブロアー型ファン２１２を用いて緩衝空間Ｓ２を介してＨＥＰＡフィルタ２１３に送風排出する。このとき、緩衝空間Ｓ２は、ブロアー型ファン２１２から排出される空気を一時的に蓄積して高圧状態にし、緩衝空間Ｓ２内の空気は、矢印３０３に示すように、ＨＥＰＡフィルタ２１３を介して排出口２１５からハードディスク記録媒体７に対して実質的に一定の風量で送風排出される。排出した空気はハードディスク記録媒体７の上面に送風された後、当該上面により反射して吸気開口２１０ｄに戻る。このように、緩衝空間Ｓ１から吸気口２１４、ブロアー型ファン２１２、緩衝空間Ｓ２、ＨＥＰＡフィルタ２１３、排出口２１５、ハードディスク記録媒体７及び吸気開口２１０ｄを介して緩衝空間Ｓ１に戻る空気の流れの循環路３０５を形成する。ここで、排出口２１５から排出された空気はすべて吸気開口２１０ｄに戻ることはなく、排出口２１５から排出された空気の一部ではあるが、例えば６０％以上の空気が戻るものと推定される。一方、吸気開口２１０ｄには、この循環路３０５における空気の流れに重畳して外気３１０が吸気される。
【００２７】
循環路３０５における空気の流れにおいて、特に、送風ファン装置２００内で空気の温度が上昇するが、これを相殺するように、吸気開口２１０ｄから若干量の外気３１０を取り入れることが好ましい。すなわち、空気の流れの循環路３０５に加えて、循環路３０５の空気の温度よりの低い外気３１０を若干量だけ取り入れることにより、循環された後ハードディスク記録媒体７に送風される空気の温度を実質的に一定とし、ハードディスク記録媒体７の上面付近では空気が循環路３０５中にあるので、ハードディスク記録媒体７付近の温度分布（詳しくは、ハードディスク記録媒体７の上面における水平方向の位置に関する温度分布）を実質的に一定にすることができる。また、空気の流れの循環路３０５を形成することにより、従来技術に比較して風速をより均一にすることができる。
【００２８】
さらに、より好ましくは、当該検査装置筐体１００を載置する環境に依存して、吸気開口２１０ｄから取り入れる外気の量を、吸気開口２１０ｄの開口面積を調整することにより、調整して形成する。ただし、当該吸気開口２１０ｄの開口面積を小さくしすぎると、循環路３０５の空気の循環量が低減して、温度の一定保持の効果が低下するので、注意を要するものと考えられる。
【００２９】
図９は、変形例に係る検査装置筐体１００におけるＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００とハードディスク記録媒体７付近における空気の流れを示す縦断面の概略模式図である。図９においては、送風ファン装置２００と当該装置筐体２１０の側面２１０ｃとの間にもう１つの吸気開口２１０ｅを設け、２つの空気の循環路３０５，３０６を形成したことを特徴としている。このように構成することにより、排出口２１５から排出された空気から吸気開口２１０ｄに戻る割合を図８の実施形態に比較して高くすることができ、循環路３０５，３０６の全体の空気の流れ量を大きくすることができ、ハードディスク記録媒体７に送風される空気の温度をより実質的に一定とし、これにより、ハードディスク記録媒体７付近の温度分布をより実質的に一定にすることができる。
【００３０】
図１０は、実施形態に係るＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の下面における排出口２１５の形状を示す概略模式図である。図１０において、Ｐ１，Ｐ２は、送風ファン装置２００の直下でＸステージ６によりＸ方向に移動するハードディスク記録媒体７の載置両端部を示す位置を、送風ファン装置２００の下面に写像して仮想的に図示したものである。
【００３１】
図１０において、ハードディスク記録媒体７が位置Ｐ１から位置Ｐ２まで移動してハードディスク記録媒体７の電気的記録再生特性が測定される。ハードディスク記録媒体７の位置Ｐ１では、中心Ｏ１を軸としてハードディスク記録媒体７が回転し、磁気ヘッド１が周半径方向に移動して測定され、例えば、スキュー角が±３０度の範囲で磁気ヘッド１が移動するとき、位置Ｐ１での記録装置の測定可能エリアは５０１で示す扇形形状の領域となる。また、ハードディスク記録媒体７の位置Ｐ２では、中心Ｏ２を軸としてハードディスク記録媒体７が回転し、磁気ヘッド１が周半径方向に移動して測定され、例えば、スキュー角が±３０度の範囲で磁気ヘッド１が移動するとき、位置Ｐ２での記録装置の測定可能エリアは５０２で示す扇形形状の領域となる。さらに、Ｘステージ６の移動によりＸ方向にハードディスク記録媒体７が位置Ｐ１から位置Ｐ２まで移動するときの記録装置の測定可能エリア全体はエリア５０１，５０２に、エリア５０３を加えた領域となる。本実施形態において、排出口２１５を台形形状で形成しているのは、位置Ｐ１、Ｐ２及びその間の位置でハードディスク記録媒体７上の測定可能エリア全体のエリアにすべて、温度や風速が実質的に一定の風を送風するためである。上述のように、送風範囲が測定範囲に限定されるように排出口の形状を形成すれば、送風ファン装置２００から排出される風の速度が増すので、ブロアー型ファン２１２を効率的に働かせることができる。また、記録媒体７付近を通過する横風が及ぼす測定結果への影響を低減することができる。
【００３２】
図１１は、第１の変形例に係るＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の下面における排出口２１５ａの形状、並びに、磁気ヘッド１のスキュー角が３０度のときにＹステージ５の移動により磁気ヘッド１が描く軌道５０５を示す概略模式図であり、図１２は、第１の変形例に係るＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の下面における排出口２１５ａの形状、並びに、磁気ヘッド１のスキュー角が−３０度のときにＹステージ５の移動により磁気ヘッド１が描く軌道５０６を示す概略模式図である。
【００３３】
図１１において、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３は、送風ファン装置２００の直下でＹステージ５によりＹ方向に移動するときのハードディスク記録媒体７の３箇所の載置位置を示す位置を、送風ファン装置２００の下面に写像して仮想的に図示したものである。ハードディスク記録媒体７が位置Ｐ１から位置Ｐ２を介して位置Ｐ３に移動したとき、その中心もＯ１からＯ２を介してＯ３に移動し、このときの測定点をＭ１，Ｍ２，Ｍ３で示す。従って、Ｙステージ５の移動により磁気ヘッド１が描く軌道は５０５で示すような直線となる。また、図１２において、Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３は、送風ファン装置２００の直下でＹステージ５によりＹ方向に移動するときのハードディスク記録媒体７の３箇所の載置位置を示す位置を、送風ファン装置２００の下面に写像して仮想的に図示したものである。ハードディスク記録媒体７が位置Ｐ１１から位置Ｐ１２を介して位置Ｐ１３に移動したとき、その中心もＯ１１からＯ１２を介してＯ１３に移動し、このときの測定点をＭ１１，Ｍ１２，Ｍ１３で示す。従って、Ｙステージ５の移動により磁気ヘッド１が描く軌道は５０６で示すような直線となる。この第１の変形例では、Ｘステージ６及びＹステージ５の移動により磁気ヘッド１が移動するときに測定点のすべてのエリアをカバーするために、矩形形状の排出口２１５ａとしている。これにより、実際の測定範囲に限って送風する場合に用いることができる。
【００３４】
図１３は、第２の変形例に係るＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の下面における排出口２１５ｂの形状及び記録装置の測定可能エリア５１０を示す概略模式図である。第２の変形例では、ハードディスク記録媒体７が移動しないタイプのスピンスタンド装置の場合であって、記録装置の測定範囲は、実施形態や第１の変形例に比較して更に限定でき、磁気ヘッド１のスキュー角が±３０度のときに、測定可能エリア５１０は図１３に示すように扇形形状となる。従って、排出口２１５ｂの形状を三角形状で形成している。
【００３５】
本発明者らは、当該検査装置筐体１００を用いてハードディスク記録媒体７の測定を行ったときのハードディスク記録媒体７のトラックプロファイル特性を測定したが、この測定結果によれば、従来技術に比較して、トラックプロファイル特性のバラツキがきわめて小さくなったことを確認した。
【００３６】
環境悪化要因として、当該検査装置筐体１００の近傍に載置されるイオン発生器や空調装置等による外気による影響が考えられるが、本実施形態に係る検査装置筐体１００によれば、送風ファン装置２００により、緩衝空間Ｓ１に対面した吸気口２１４から空気を吸気し、吸気した空気をブロアー型ファン２１２を用いて、ＨＥＰＡフィルタ２１３を介して排出口２１５からハードディスク記録媒体７に対して実質的に一定の風量で送風排出し、排出した空気はハードディスク記録媒体７の上面により反射して吸気開口２１０ｄに戻り、これにより、緩衝空間Ｓ１から吸気口２１４、ブロアー型ファン２１２、ＨＥＰＡフィルタ２１３、排出口２１５、ハードディスク記録媒体７及び吸気開口２１０ｄを介して緩衝空間Ｓ１に戻る空気の流れの循環路３０５を形成し、かつ吸気開口２１０ｄから外気を吸気するように構成したので、ハードディスク記録媒体７付近の温度分布を実質的に一定に保持することができる。また、送風ファン装置２００内であってブロアー型ファン２１２とＨＥＰＡフィルタ２１３との間に設けられ、ブロアー型ファン２１２から排出される空気を一時的に蓄積して高圧状態にする緩衝空間Ｓ２をさらに形成することにより、実質的に均一な風速で送風することができ、ハードディスク記録媒体７付近の温度分布を実質的により一定に保持することができる。
【００３７】
以上の作用効果により、さらに、以下の特有の効果が得られる。
（１）検査装置筐体１００内においてより安定な環境での測定を実現することができ、ハードディスク記録媒体７の測定結果のバラツキを従来技術に比較して小さくすることができる。すなわち、ハードディスク記録媒体７及びそれに測定信号を書き込む磁気ヘッド１の周囲の温度、温度分布、風の環境を一定に保ち、安定した測定結果を得ることができる。
（２）ハードディスク記録媒体７を回しっぱなしにできるのでスピンドル回転変化時に生じる温度変化によるハードディスクの伸びや縮みの影響を実質的に少なくすることができる。
（３）ハードディスク記録媒体７に対して測定信号を書き込み、読み出すための電気回路部の増幅器やスピンドル９のモータの寿命を延伸できる。
（４）常に送風しているのでスピンドル９のモータを常に回転させることができ、スピンドル９のモータの立ち上げスピードを気にせずに測定を行うことができる。
【００３８】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明に係る記録装置のための検査装置筐体によれば、測定中の記録媒体及びそれに記録する記録装置に対してエアーフィルタを介して送風する送風手段を備えた記録媒体及び記録装置のための検査装置用送風装置において、上記送風手段は、（ａ）上記記録媒体の上方に設けられる送風ファン装置と、（ｂ）上記送風ファン装置の上方に設けられ、実質的に上記記録媒体に向かう下方にのみ吸気開口を有し、上記吸気開口から吸気した空気を一時的に蓄積する第１の緩衝空間を形成する送風ファン装置筐体とを備え、上記送風ファン装置は、上記第１の緩衝空間に対面した吸気口から空気を吸気し、吸気した空気をファンを用いてエアフィルタを介して排出口から上記記録媒体に対して実質的に一定の風量で送風排出し、排出した空気は上記記録媒体により反射して上記吸気開口に戻り、これにより、上記第１の緩衝空間から上記吸気口、上記ファン、上記エアフィルタ、上記排出口、上記記録媒体及び上記吸気開口を介して上記第１の緩衝空間に戻る空気の流れの循環路を形成し、かつ上記吸気開口から外気を吸気するように構成したので、上記記録媒体付近の温度分布を実質的に一定に保持することができる。これにより、検査装置筐体内においてより安定な環境での測定を実現することができ、記録媒体の測定結果のバラツキを従来技術に比較して小さくすることができる。
【００３９】
また、上記検査装置用送風装置において、上記送風ファン装置内であって上記ファンと上記エアフィルタとの間に設けられ、上記ファンから排出される空気を一時的に蓄積して高圧状態にする第２の緩衝空間をさらに備える。従って、実質的に均一な風速で送風することができ、記録媒体付近の温度分布を実質的により一定に保持することができる。
【００４０】
さらに、上記検査装置用送風装置において、上記ファンは上記吸気口からの空気を実質的に水平方向に送風排出するブロアー型ファンである。従って、いわゆる軸流型のファンを用いる場合に比較して、送風の空気の脈動を防止することができ、より風速を一定にすることができる。
【００４１】
またさらに、上記検査装置用送風装置において、上記排出口は実際の測定範囲に送風が限定されるような形状を有している。従って、温度や風速が実質的に一定の風を効率良く送風することができる。また、測定結果への悪影響を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る実施形態である記録装置のための検査装置筐体１００の正面から見た斜視図である。
【図２】図１の記録装置の磁気ヘッド１、カセット２及びヘッドローディング機構３とのその周辺装置を示す斜視図である。
【図３】図１の検査装置筐体１００においてパネル１０４を上方に開いたときの検査装置筐体１００の斜視図である。
【図４】図１の検査装置筐体１００において正面側の２面をパネル１０８，１０９で閉じたときの斜視図である。
【図５】図１のＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の上方から見たその斜視図である。
【図６】図１のＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の下方から見たその斜視図である。
【図７】（ａ）は図５及び図６のＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の上面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線についての横断面図である。
【図８】実施形態に係る図１の検査装置筐体１００におけるＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００とハードディスク記録媒体７付近における空気の流れを示す縦断面の概略模式図である。
【図９】変形例に係る検査装置筐体１００におけるＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００とハードディスク記録媒体７付近における空気の流れを示す縦断面の概略模式図である。
【図１０】実施形態に係るＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の下面における排出口２１５の形状及び記録装置の測定可能エリア５０１，５０２，５０３を示す概略模式図である。
【図１１】第１の変形例に係るＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の下面における排出口２１５ａの形状、並びに、磁気ヘッド１のスキュー角が３０度のときにＹステージ５の移動により磁気ヘッド１が描く軌道５０５を示す概略模式図である。
【図１２】第１の変形例に係るＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の下面における排出口２１５ａの形状、並びに、磁気ヘッド１のスキュー角が−３０度のときにＹステージ５の移動により磁気ヘッド１が描く軌道５０６を示す概略模式図である。
【図１３】第２の変形例に係るＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置２００の下面における排出口２１５ｂの形状及び記録装置の測定可能エリア５１０を示す概略模式図である。
【符号の説明】
１…磁気ヘッド、
２…カセット、
３…ヘッドローディング機構（ＨＬＭ）、
４…ピエゾステージ、
５…Ｙステージ、
６…Ｘステージ、
７…ハードディスク記録媒体、
８…記録媒体載置台、
９…スピンドル、
１０…載置台、
１１…載置テーブル、
１００…検査装置筐体、
１０１…支持装置、
１０３，１０４，１０５，１０８，１０９…パネル、
２００…ＨＥＰＡフィルタ付き送風ファン装置、
２１０…送風ファン装置筐体、
２１０ａ…送風ファン装置筐体の上面、
２１０ｂ，２１０ｃ…送風ファン装置筐体の側面、
２１０ｄ，２１０ｅ…吸気開口、
２１１…プレフィルタ、
２１２…ブロアー型ファン、
２１３…ＨＥＰＡフィルタ、
２１４…吸気口、
２１５，２１５ａ…排出口、
２２０…支持部材、
５００…排出口の範囲、
３０１，３０２，３０３…空気の流れ、
３０５，３０６…空気の流れの循環路、
３１０…外気、
５０１，５０２，５０３，５１０…測定可能エリア、
５０５，５０６…Ｙステージの移動により磁気ヘッドが描く軌道、
Ｓ１，Ｓ２…緩衝空間。
【図１】
2004185662.tif 000003
【図２】
2004185662.tif 000004
【図３】
2004185662.tif 000005
【図４】
2004185662.tif 000006
【図５】
2004185662.tif 000007
【図６】
2004185662.tif 000008
【図７】
2004185662.tif 000009
【図８】
2004185662.tif 000010
【図９】
2004185662.tif 000011
【図１０】
2004185662.tif 000012
【図１１】
2004185662.tif 000013
【図１２】
2004185662.tif 000014
【図１３】
2004185662.tif 000015