(57)【要約】【課題】光源の波長を正確にモニタする波長モニタとその基準値設定方法を提供すること。【解決手段】波長可変光源１からの波長多重通信に用いられる光をハーフミラーで３つの光に分岐する。これらの分岐光をそのまま、スロープフィルタ７を介して及びエタロン８を介してフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ３で受光する。スロープフィルタ７によってグリッドの基準となる波長を確定し、エタロン８によってその微小な変化を検出する。これによって波長を正確にモニタできる。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を第１〜第３の分岐光に分岐する光分岐部と、
前記光分岐部より分岐された第１の分岐光を直接受光する第１の光電変換部と、
入射波長に対して透過率特性が連続して変化する特性を有し、前記光分岐部より分岐された第２の分岐光が入射するスロープフィルタと、
前記スロープフィルタを介して得られる第２の分岐光を受光する第２の光電変換部と、
波長多重光のグリッド間隔に相当する周期で変動する特性を有し、前記光分岐部より分岐された第３の分岐光が入射するエタロンと、
前記エタロンを介して得られる第３の分岐光を受光する第３の光電変換部と、
前記第２の光電変換出力を第１の光電変換出力で正規化した値を算出し、該値とあらかじめ保持されているスロープフィルタの正規化された出力とを比較することにより入射光のグリッドの波長を選択し、前記第３の光電変換出力を第１の光電変換出力で正規化し、選択されたグリッドの波長の前記エタロンでの正規化された基準値と比較することにより、グリッドからのずれを算出し、これに基づいて入射光の波長を検出する波長モニタ部と、
波長多重通信に使用される光の波長毎に、前記スロープフィルタの出力を正規化した値及び前記エタロンの出力を正規化した基準値を保持するメモリと、具備することを特徴とする波長モニタ。
【請求項２】
少なくとも前記光分岐部、前記エタロン及び前記スロープフィルタを保持する恒温層と、該恒温層を所定範囲の温度に保つ温度調整部とを更に有するものであることを特徴とする請求項１記載の波長モニタ。
【請求項３】
前記波長多重光のグリッドは、前記エタロンの透過特性の山と谷の中間位置にくるように調整したことを特徴とする請求項１記載の波長モニタ。
【請求項４】
前記スロープフィルタは、中心波長を入射光の波長変化範囲外としたバンドパスフィルタであることを特徴とする請求項１記載の波長モニタ。
【請求項５】
入射光を第１〜第３の分岐光に分岐する光分岐部と、
前記光分岐部より分岐された第１の分岐光を直接受光する第１の光電変換部と、
入射波長に対して透過率特性が連続して変化する特性を有し、前記光分岐部より分岐された第２の分岐光が入射するスロープフィルタと、
前記スロープフィルタを介して得られる第２の分岐光を受光する第２の光電変換部と、
波長多重光のグリッドに相当する周期で変動する特性を有し、前記光分岐部より分岐された第３の分岐光を透過させるマッハツェンダー型フィルタと、
前記マッハツェンダー型フィルタを介して得られる第３の分岐光を受光する第３の光電変換部と、
前記第２の光電変換出力を第１の光電変換出力で正規化した値を算出し、該値とあらかじめ保持されているスロープフィルタの正規化された出力とを比較することにより入射光のグリッドの波長を選択し、前記第３の光電変換出力を第１の光電変換出力で正規化し、選択されたグリッドの波長の前記マッハツェンダー型フィルタでの正規化された基準値と比較することにより、グリッドからのずれを算出し、これに基づいて入射光の波長を検出する波長モニタ部と、
波長多重通信に使用される光の波長毎に、前記スロープフィルタの出力を正規化した値及び前記マッハツェンダー型フィルタの出力を正規化した基準値を保持するメモリと、具備することを特徴とする波長モニタ。
【請求項６】
請求項１の波長モニタにおけるエタロンの基準値を設定する方法であって、
波長多重光の変化範囲のうちの１つのグリッドの波長の光を入射したときに得られるエタロンからの正規化出力を算出し、
波長多重光の変化範囲のうちの他のグリッドの光を入射したときに得られるエタロンからの正規化された基準値を算出し、
前記波長多重光の各グリッドの波長における基準値を直線補間によって算出することを特徴とする波長モニタの基準値設定方法。
【請求項７】
請求項５の波長モニタにおけるマッハツェンダー型フィルタの基準値を設定する方法であって、
波長多重光の変化範囲のうちの１つのグリッドの波長の光を入射したときに得られるマッハツェンダー型フィルタからの正規化出力を算出し、
波長多重光の変化範囲のうちの他のグリッドの光を入射したときに得られるマッハツェンダー型フィルタからの正規化された基準値を算出し、
前記波長多重光の各グリッドの波長における基準値を直線補間によって算出することを特徴とする波長モニタの基準値設定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザ光源を用いた波長多重光通信の信号光波長をモニタするための波長モニタ装置及びその基準値設定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年光通信の分野では、１本の光ファイバに多数の波長のレーザ光を同時に伝送する波長多重通信方式が用いられている。このような波長多重型通信方式によれば、限られた波長帯域内にチャンネル数を多くするためには、各チャンネルの波長を正確に規定すると共に、チャンネル間で波長間隔をできるだけ狭くして波長多重を行う必要がある。波長多重通信方式では所定の波長帯域内に数十〜数百に及ぶ信号波長が配置される。信号波長チャンネル間のノイズ干渉（クロストーク）や信号自体がグリッドから外れることは伝送品質に大きな影響を与える。従って送信用のレーザには高い安定性が求められる。通常送信用のレーザとして用いられる分布帰還型レーザダイオード（ＢＦＤレーザ）は伝送波長間隔が１００ＧＨｚのシステムでは±３ＧＨｚの波長安定性が求められる。ＢＦＤレーザは通常２５０ｐｍ／℃（３０ＧＨｚ）の波長ドリフト特性を有している。従って上記の安定度を達成するためには、０．１℃の精度で温度制御することが必要となる。
【０００３】
しかるにこのような従来のレーザ光源装置における波長制御は、分布帰還型半導体レーザを用いた光源にあっては電流や周囲温度等の制御量と発光波長との関係をあらかじめ認識しておき、所望の発光波長に応じて制御量を変化させるようにしたオープンループによる制御方式が用いられている。又外部共振器型レーザ光源装置にあっても、共振波長の制御量と発光波長との関係をあらかじめ認識しておき、所望の発光波長に応じて制御量を変化させるようにしたオープンループによる制御方式が用いられている。
【０００４】
しかしながら実際には外部環境温度の変化や素子固体間のばらつきがあり、温度制御で波長を高精度に安定させることが難しい。そのため外部で波長をモニタし、フィールドバック制御することにより波長を安定化させる必要がある。
【０００５】
又レーザ光の波長をモニタする波長モニタ装置としては、透過波長が連続的に変化するスロープフィルタを用い、このフィルタを透過するレベルに基づいて波長を計測するようにした波長モニタが用いられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかるにスロープフィルタを用いた従来の波長モニタ装置では、十分な精度，分解能が得られないという欠点があった。そこで高精度でレーザ光源の波長を制御するためには、波長多重光の発光波長を高精度で確認することができる波長モニタ装置が求められている。
【０００７】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、請求項１〜５の発明は狭い波長範囲で高分解能を有する周期性のエタロンやマッハツェンダー型フィルタを用いて、波長多重光の光源の波長を正確に測定することができる波長モニタを提供することを目的とする。又本願の請求項６，７の発明はこのような波長モニタにおいて、グリッドの波長での基準値の設定を容易にするようにした基準値設定方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本願の請求項１の発明は、入射光を第１〜第３の分岐光に分岐する光分岐部と、前記光分岐部より分岐された第１の分岐光を直接受光する第１の光電変換部と、入射波長に対して透過率特性が連続して変化する特性を有し、前記光分岐部より分岐された第２の分岐光が入射するスロープフィルタと、前記スロープフィルタを介して得られる第２の分岐光を受光する第２の光電変換部と、波長多重光のグリッド間隔に相当する周期で変動する特性を有し、前記光分岐部より分岐された第３の分岐光が入射するエタロンと、前記エタロンを介して得られる第３の分岐光を受光する第３の光電変換部と、前記第２の光電変換出力を第１の光電変換出力で正規化した値を算出し、該値とあらかじめ保持されているスロープフィルタの正規化された出力とを比較することにより入射光のグリッドの波長を選択し、前記第３の光電変換出力を第１の光電変換出力で正規化し、選択されたグリッドの波長の前記エタロンでの正規化された基準値と比較することにより、グリッドからのずれを算出し、これに基づいて入射光の波長を検出する波長モニタ部と、波長多重通信に使用される光の波長毎に、前記スロープフィルタの出力を正規化した値及び前記エタロンの出力を正規化した基準値を保持するメモリと、具備することを特徴とするものである。
【０００９】
本願の請求項２の発明は、請求項１の波長モニタにおいて、少なくとも前記光分岐部、前記エタロン及び前記スロープフィルタを保持する恒温層と、該恒温層を所定範囲の温度に保つ温度調整部とを更に有することを特徴とするものである。
【００１０】
本願の請求項３の発明は、請求項１の波長モニタにおいて、前記波長多重光のグリッドは、前記エタロンの透過特性の山と谷の中間位置にくるように調整したことを特徴とするものである。
【００１１】
本願の請求項４の発明は、請求項１の波長モニタにおいて、前記スロープフィルタは、中心波長を入射光の波長変化範囲外としたバンドパスフィルタであることを特徴とするものである。
【００１２】
本願の請求項５の発明は、入射光を第１〜第３の分岐光に分岐する光分岐部と、前記光分岐部より分岐された第１の分岐光を直接受光する第１の光電変換部と、入射波長に対して透過率特性が連続して変化する特性を有し、前記光分岐部より分岐された第２の分岐光が入射するスロープフィルタと、前記スロープフィルタを介して得られる第２の分岐光を受光する第２の光電変換部と、波長多重光のグリッドに相当する周期で変動する特性を有し、前記光分岐部より分岐された第３の分岐光を透過させるマッハツェンダー型フィルタと、前記マッハツェンダー型フィルタを介して得られる第３の分岐光を受光する第３の光電変換部と、前記第２の光電変換出力を第１の光電変換出力で正規化した値を算出し、該値とあらかじめ保持されているスロープフィルタの正規化された出力とを比較することにより入射光のグリッドの波長を選択し、前記第３の光電変換出力を第１の光電変換出力で正規化し、選択されたグリッドの波長の前記マッハツェンダー型フィルタでの正規化された基準値と比較することにより、グリッドからのずれを算出し、これに基づいて入射光の波長を検出する波長モニタ部と、波長多重通信に使用される光の波長毎に、前記スロープフィルタの出力を正規化した値及び前記マッハツェンダー型フィルタの出力を正規化した基準値を保持するメモリと、具備することを特徴とするものである。
【００１３】
本願の請求項６の発明は、請求項１の波長モニタにおけるエタロンの基準値を設定する方法であって、波長多重光の変化範囲のうちの１つのグリッドの波長の光を入射したときに得られるエタロンからの正規化出力を算出し、波長多重光の変化範囲のうちの他のグリッドの光を入射したときに得られるエタロンからの正規化された基準値を算出し、前記波長多重光の各グリッドの波長における基準値を直線補間によって算出することを特徴とするものである。
【００１４】
本願の請求項６の発明は、請求項５の波長モニタにおけるマッハツェンダー型フィルタの基準値を設定する方法であって、波長多重光の変化範囲のうちの１つのグリッドの波長の光を入射したときに得られるマッハツェンダー型フィルタからの正規化出力を算出し、波長多重光の変化範囲のうちの他のグリッドの光を入射したときに得られるマッハツェンダー型フィルタからの正規化された基準値を算出し、前記波長多重光の各グリッドの波長における基準値を直線補間によって算出することを特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
次に本発明の実施の形態１による波長モニタ装置を含むレーザ光源装置について説明する。このレーザ光源装置は波長可変光源１を有している。波長可変光源１は波長多重光のいずれかの波長を発振する光源であって、分布帰還型のレーザダイオード（ＬＤ）によって構成される。波長多重光は一定の波長間隔で多数の波長の光を多重するので、夫々の所定の波長をグリッドの波長という。波長可変光源１の出力はモジュレータ（Ｍ）２を介してアッテネータ（ＡＴＴ）３に与えられる。アッテネータ３は外部からの制御信号に基づいてその強度レベルを制御するものであり、その出力は光分岐器４に与えられる。光分岐器４は入射された光を２分岐し、その一方を波長モニタ装置の光学ユニットに与えると共に、他方の光を波長多重光の光源として用いるものである。
【００１６】
これらの間には光ファイバで波長可変光源からの光を連結して各ユニットに伝えるものとする。この光ファイバは偏波面保存型の光ファイバであることが好ましい。又光分岐器４としては光ファイバを融着させた構造の分岐器としてもよく、又ビームスプリッタを用いて構成することもできる。
【００１７】
次に光学ユニットについて詳細に説明する。光学ユニットは光を分岐するためのハーフミラー５，６が光源に対して直列に配置されている。これらのハーフミラー５，６は光源の光を３つに分岐する光分岐部である。光分岐部においては各分岐された光のレベルを等しくしてもよく、この場合はハーフミラー５の反射率は３３％、ハーフミラー６の反射率は５０％とする。ハーフミラー５で反射された光は第１の受光素子であるフォトダイオードＰＤ１に入射される。又ハーフミラー６で入射された光はスロープフィルタ７を介して光は第２の受光素子であるフォトダイオードＰＤ２に与えられる。スロープフィルタ７は入射光の波長範囲で透過率が単調に変化し、その波長−透過率特性が既知のフィルタである。スロープフィルタ７は入射光の波長を大まかに決定するために用いられる。スロープフィルタには、広帯域バンドパスフィルタを用いてもよく、この場合は中心波長を入射光の変化範囲からずらせて傾斜部分を用いる。又ハーフミラー６を透過した光はエタロン８に入射される。エタロン８は波長可変光源１が用いられる波長多重光のグリッドに対応した周期のＦＳＲ（フリースペクトラルレンジ）を有するもので、ファブリペロー型の狭周期のフィルタである。エタロン８は例えば厚さ１ｍｍのガラス板の両面に入射光の約１／８λの２層の反射膜を施したソリッドエタロンであり、ここでは例えば１５％程度の低い反射率の反射膜としている。エタロン８は波長に対して透過特性が周期的に変化するが、波長多重光の各グリッドの波長ではエタロンからの出力の変化が最も大きい点となるようにしておくことが好ましい。そしてエタロン８を透過した分岐光を受光する位置に第３の受光素子であるフォトダイオードＰＤ３を配置する。これらの光学素子は温度を所定値に保つため恒温槽９内に収納しておくものとする。光学素子を保持する恒温槽９には温度を所定値に保つための温度制御部１０が接続されている。
【００１８】
さてフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ３の出力は信号処理部内の受光増幅器１１〜１３に与えられる。受光増幅器１１〜１３は光信号を電気信号に変換し、増幅するものであり、夫々フォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ３と共に第１〜第３の光電変換部を構成している。これらの受光増幅器の出力はＡ／Ｄ変換器１４を介してマイクロコンピュータ１５に与えられる。マイクロコンピュータ１５はこれらの出力に基づいて光源の波長をモニタする波長モニタ部１５Ａ、検出された波長に基づいて波長を所定値にするための波長制御部１５Ｂ及び光量レベルを一定にするための光量制御部１５Ｃの機能を達成するものである。マイクロコンピュータ１５には波長のデータを保存すると共に、プログラムを記憶したメモリ１６が接続されている。又外部の機器からのデータを入出力するためのインターフェース（Ｉ／Ｆ）１７が接続される。マイクロコンピュータ１５の波長制御部１５Ｂからの出力はＤ／Ａ変換器１８を介してＬＤドライバ１９に与えられる。ＬＤドライバ１９は波長制御信号に基づいて波長可変光源１内の波長可変レーザダイオードの電流等を制御することによって、波長を制御するものである。光量制御部１５Ｃの出力はＤ／Ａ変換器２０を介してアッテネータ３に与えられる。これによりアッテネータ３からの出力レベルが所定値となるように設定される。
【００１９】
ここでメモリ１６にはスロープフィルタ７の正規化された透過率−波長特性が波長多重光のグリッドの波長毎にあらかじめ保持されている。図２はスロープフィルタ７の正規化された特性と波長多重光のグリッドのチャンネルＣｈ１〜Ｃｈ１６を示している。
【００２０】
又メモリ１６には、エタロン８からの出力を正規化した値も保持される。エタロン８からの出力は図３に示すように波長に対して周期的な出力の変動を示すため、エタロン８の周期と波長多重光のグリッドとが正確に一致している場合には、例えば図３に示すようにグリッド毎に全て同一の値となる。しかし周期とグリッドとがわずかにずれた場合には、図４に示すように各グリッド毎にわずかに異なった値となる。従って通常は図４に示すように、各グリッドの正規化された出力比がメモリ１６に保持されている。
【００２１】
次に本実施の形態による波長モニタの動作について、図５のフローチャートを用いて説明する。波長可変光源１からの光はモジュレータ２、アッテネータ３を介して光分岐器４に入射される。光分岐器４で更に分岐された光は光学ユニット内のハーフミラー５，６に入射する。ハーフミラー５で反射された光は第１のフォトダイオードＰＤ１に入射し、透過した光はハーフミラー６に入射する。ハーフミラー６で反射された光はスロープフィルタ７を通ってフォトダイオードＰＤ２に入射する。又ハーフミラー６を透過した光はエタロン８に入射し、透過した分岐光がフォトダイオードＰＤ３によって受光される。ここで前述したようにエタロン８は１５％程度の低い反射率の反射膜を施しているため、表面反射光の波長に対する特性は周期的に変動し、その周期はエタロンのフリースペクトラムレンジ（ＦＳＲ）によって定まる。
【００２２】
一方スロープフィルタ７は、フォトダイオードＰＤ１，ＰＤ２，ＰＤ３に得られた出力は受光増幅器１１，１２，１３によって夫々出力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３に変換する。これらの値はＡ／Ｄ変換器１４を介してマイクロコンピュータ１５に入力される（ステップＳ１）。次いでステップＳ２において、第２の分岐光のレベルＰ２を第１の分岐光のレベルＰ１で割算することによって、スロープフィルタ７の特性を正規化することができる。図２はこの正規化されたスロープフィルタ７の全体の特性を示しており、正規化後の特性に基づいて入射光の波長をおおまかに算出できる。従ってステップＳ３において、メモリ１６からこの比に最も近い波長多重光のグリッドの波長データλｉを読出す。次いでステップＳ４において、メモリ１６よりエタロン８から得られる波長λｉにおける基準値を読出す。基準値はエタロン８のＦＳＲがグリッドに正確に一致しているときには、基準値は図３に示すように常に同一の値となり、一致していなければ図４に示すように波長毎に異なった値となる。そしてステップＳ５において、エタロン８の出力Ｐ３をＰ１で除算して正規化する。ステップＳ５で求められた出力より基準波長からの波長の変化分Δλを算出する（ステップＳ６）。こうして基準波長λｉ　とそこから相違した波長Δλを算出することができる。そしてステップＳ７でこの基準波長λｉとΔλとを加算することによって、入射した光の波長λを正確に算出して出力することができる。更に波長制御部１５Ｂでは、発光波長と設定された波長との誤差を算出し、その誤差が０となるように波長可変光源の発光波長を制御する。制御信号はＬＤドライバ１９に与えられ、波長可変光源１の温度や電流が制御される。光量制御部１５Ｃでは、設定されたレベルとなるように光アッテネータ３の減衰比を制御する。こうすれば前述した波長モニタを用いて正確にレーザ光源の発光波長を制御することができる。
【００２３】
（実施の形態２）
次に本発明の実施の形態２について説明する。この実施の形態では波長モニタのエタロンの正規化値を波長多重光の全チャンネルについての基準値を算出することなく、所定のチャンネルの特性、例えば両端の特性を測定し、その測定結果から補間に基づいて各チャンネルの基準値を算出するようにしたものである。この実施の形態においても全体構成は前述した図１に示す実施の形態１と同様である。
【００２４】
図６は補間処理の動作を示すフローチャートである。直線補間の処理を開始すると、まずステップＳ１１において光源の波長を最短波長のチャンネル、例えばチャンネル１として、その波長の光を入力する。次いでステップＳ１２においてその比Ｐ３／Ｐ１を算出し、その比をα１とする。次いでステップＳ１３において最長波長のチャンネルｍ、例えばチャンネル１６の波長の光を入力し、そのときの比Ｐ３／Ｐ１を算出し、そのαｍとする（ステップＳ１４）。次いでステップＳ１５において各チャンネル毎に直線補間によってそのときの基準値を算出する。これは次式に示すようにチャンネル数をｍ（この場合１６）とすると、各チャンネルの基準値αｉは次式で算出できる。
αｉ＝α１−（ｉ−１）（α１−αｍ）／（ｍ−１）
こうして各チャンネルの基準値を算出した後、メモリ１６に保持しておく。こうすれば各チャンネル毎にグリッドの波長の光を与えてその比から各チャンネルの基準値を算出する処理が不要となり、校正作業を容易に行うことができる。こうして得られる直線補間された値はそのままメモリ１６に保持しておいてもよく、又直線補間が行える２つの値、α１，αｍのみを保持しておき、スロープフィルタ７から得られた現在の波長の概略値λに基づいてそのグリッドの波長の基準値を直線補間によってその都度算出するようにしてもよい。
【００２５】
又、この実施の形態ではエタロン８として反射率１５％のコーティングを有するソリッドエタロンを用いている。エタロン８の反射率を大きくすれば透過率の変動幅は大きくなるが、サイン波状の波形からずれてくる。又反射率を小さくすればよりサイン波に近い透過特性となるが、振幅値が小さくなるため分解能が低下する。従ってこの反射率は例えば１０〜２０％の範囲であることが好ましく、ここではエタロンの反射率を１５％としている。又エタロンの厚さを例えば１ｍｍとすることによってＦＳＲを１００ＧＨｚとすることができる。更にエタロンはソリッドエタロンだけでなく、一対の平行平板から成る空隙エタロンであってもよい。
【００２６】
又前述した実施の形態１，２では、狭周期のフィルタとしてファブリペロー型エタロンフィルタを用いているが、マッハツェンダー型のフィルタを用いることもできる。更に周期的な特性を有するフィルタのＦＳＲを波長多重光の伝送波長（グリッド）と同一としているが、その整数分の１としてもよい。又高分解能を確保するため、基準波長が山と谷の中間になるようにすることが好ましい。又波長モニタとして、図１に示す光分岐器４を含むことができる。光分岐器４は光ファイバを融着して光ファイバを通過する光の一部を分岐させてもよく、又ビームスプリッタを用いるものであってもよい。
【００２７】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本願の請求項１〜５の発明によれば、エタロンやマッハツェンダー型フィルタの高分解能を生かしつつ広い範囲で波長多重光の光源とする光源装置の波長を正確にモニタすることができる。又光学系部分を極めて小型化することができ、又可動部がないため信頼性を向上させることもできる。請求項２の発明によれば、光学系の主要部品を恒温槽に保持し、一定温度に保っているため、温度変化の影響を受けない波長モニタとすることができる。又本願の請求項６，７の波長設定装置によれば、波長多重光の各グリッド毎に基準値を算出する必要がなく、調整処理を極めて容易に行うことができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１による波長モニタを含むレーザ光源装置の全体構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の正規化されたスロープフィルタの波長−透過率特性を示すグラフである。
【図３】本実施の形態によるエタロンの正規化された波長−透過率特性とその波長多重光のグリッドを示すグラフ（その１）である。
【図４】本実施の形態によるエタロンの正規化された波長−透過率特性とその波長多重光のグリッドを示すグラフ（その２）である。
【図５】実施の形態１による波長モニタの動作を示すフローチャートである。
【図６】実施の形態２による波長モニタの波長補間処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１　波長可変光源
２　モジュレータ
３　アッテネータ
４　光分岐器
５，６　ビームスプリッタ
７　スロープフィルタ
８　エタロン
９　恒温槽
１０　温度制御部
１１〜１３　受光増幅器
１４　Ａ／Ｄ変換器
１５　マイクロコンピュータ
１５Ａ　波長モニタ部
１５Ｂ　波長制御部
１５Ｃ　光量制御部
１６　メモリ
１７　インターフェース
１８，２０　Ｄ／Ａ変換器
１９　ＬＤドライバ
ＰＤ１〜ＰＤ３　フォトダイオード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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