(57)【要約】      （修正有）【課題】貫通孔または／及び非貫通孔を有するプリント配線板を作製するに際して、貫通孔または／及び非貫通孔へのレジスト形成を簡易かつ確実に達成し、かつ画像再現性が良好な電子写真方式によるプリント配線板の作製方法を提供する。【解決手段】電子写真感光層３及びキャリアフィルム４の少なくとも２層から成るドライフィルムのキャリアフィルムの反対面側をラミネートした後、電子写真感光層の帯電処理の前までに、キャリアフィルムと貫通孔２または／及び非貫通孔の開口部の電子写真感光層とを除去し、該開口部を除く回路形成用基板１の両面に電子写真感光層を形成することを特徴とする電子写真方式によるプリント配線板の作製方法。【選択図】  図１
2004214254.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔または／及び非貫通孔を有する基板表面に金属めっき処理により金属導電層を設けた回路形成用基板の両面に、電子写真感光層及びキャリアフィルムの少なくとも２層から成るドライフィルムのキャリアフィルムの反対面側をラミネートした後、電子写真感光層の帯電処理の前までに、キャリアフィルムと貫通孔または／及び非貫通孔の開口部の電子写真感光層とを除去し、該開口部を除く回路形成用基板の両面に電子写真感光層を形成することを特徴とする電子写真方式によるプリント配線板の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子写真方式によるプリント配線板の作製方法に関し、より詳しくは、貫通孔または／及び非貫通孔を有するプリント配線板を作製するに際して、電子写真感光層によるドライフィルムを適用することを特徴とする電子写真方式によるプリント配線板の作製方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線板の製造方法はサブトラクティブ法とアディティブ法の２つに大別される。サブトラクティブ法は絶縁性基板に銅等の金属導電層を設けた回路形成用基板上にレジスト画像を形成し、そのレジスト画像で被覆されていない金属導電層をエッチングにより取り除く方法である。アディティブ法は絶縁性基板上の配線パターン部にのみ金属導電層を形成する方法である。これら以外に、導電性基板上にめっきレジストでレジスト画像を設け、このレジスト画像以外の導電性基板上に金属めっきを施して金属配線パターンを作製し、次いでレジスト画像を除去した後、金属配線パターンのみを絶縁性材料に転写する配線転写法等が提案されている。本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法はサブトラクティブ法に属する。
【０００３】
一般的に、上記レジスト画像を形成する方法に関しては、感光性高分子から成るドライフィルム及び液状フォトレジスト等のフォトポリマーが用いられており、該フォトポリマーとしてはネガ型とポジ型の２種類が存在する。つまり、フォトポリマーは、形成したフォトポリマー層に光を照射して該フォトポリマー分子に化学変化を生じさせて、現像液に対する溶解性を変化させるが、光が照射された部分が重合・硬化して、現像液に対して不溶性となるのがネガ型、逆に光が照射された部分の官能基が変化し、現像液に対する溶解性を示すようになる（他に化学増幅系等メカニズムは複数）ポジ型である。何れの場合にも、現像液による処理後に導電性基板上に残存する、現像液に不溶の感光材料がエッチングレジスト性を有するレジスト画像となる。その後、エッチング、レジスト剥離を行うことにより所望の配線パターンが得られる。
【０００４】
また、近年の電子機器の小型、多機能化に伴い、機器内部に使用されるプリント配線板も高密度化や回路パターンの微細化が進められており、そのような条件を達成する手段としては、プリント配線板の多層化が挙げられる。多層プリント配線板は、多層構造を成すために、一般にスルーホール、バイアホールと呼ばれる、内壁を導電体で被覆した貫通孔、非貫通孔といった細孔を通じて各層間の導通が行われている。
【０００５】
上記フォトポリマー層を用いて、貫通孔または／及び非貫通孔（以下、孔）を有する導電性基板に配線パターンを形成する方法としては、ドライフィルムを用いるテンティング法、または穴埋めインクを用いる穴埋め法、ポジ型液状フォトレジストを用いる方法等が挙げられる。（ネガ型液状フォトレジストを単独で用いる場合は、ネガ型フォトポリマーでは孔の内部まで光硬化することは困難である。）以下に最も一般的なフォトポリマードライフィルムを用いるテンティング法を説明する。
【０００６】
一般的なドライフィルムを用いる場合には、ネガ型フォトポリマーのシートから成るドライフィルムを回路形成用基板上にラミネートした後、孔の径よりも大きな径のランド（のりしろ）を形成するように光を照射して、孔を光硬化したドライフィルムで完全に蓋をする（テンティングする）ことにより、孔内壁の金属導電層のエッチングレジストを達成する。しかしながら、この方法においては、露光時点でのパターン形成の位置ズレ等が発生した場合、アルカリ現像後の段階で孔の蓋に隙間が生じるため、孔の内壁をエッチングレジストすることができず、不良品となってしまうので工程管理に注意を要する。さらには、蓋のランドが必須であるために配線密度の向上を妨げることや、フォトポリマー層の厚みが大きいため高解像度化に制約があるといった欠点もあるが、コスト等の点で現状最も普及している方法でもある（例えば、非特許文献１参照）。
【０００７】
一方、電子写真法を用いたプリント配線板の作製では、上記のようなフォトポリマーを用いたドライフィルムや液状フォトレジストによる方法とは異なり、レジスト層の膜厚を少なく設定することが可能なことから、塗布乾燥条件、アルカリ現像条件、エッチング液の液まわり等に有利であり、細線再現性、生産性に優れている。また、電子写真感光層を形成するに際して通常は液状の塗布材料を用いるため、レジスト層が基板の凹凸に追従し断線やクワレ等の欠陥を少なくすることが可能である。また、アルカリ現像液のメンテナンス性、高感度ゆえレーザー直描への対応可能性、塗布後基板の取り扱い性、または孔の一括レジストが可能等々、他のレジスト材料に比べ優れた特性が多いため、実用化への期待が注がれている。
【０００８】
なお、本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法に適用される電子写真感光層としては、光導電層を用いるものとフォトメモリー性感光層を用いるものが挙げられる。両者は、その工程上で比較すると静電潜像を形成するに際して、露光処理と帯電処理の順序が入れ替わるだけであり、以下にそれぞれの処理工程を説明する。
【０００９】
光導電層を用いた電子写真方式によるプリント配線板の作製方法は、絶縁性基板の両面に金属導電層及び光導電層を設けた回路形成用基板を両面同時現像することで、両面にレジスト画像を形成させることが可能である。具体的には、暗中で光導電層表面を帯電し、その後所定の波長の光によるパターン露光により、露光部の電荷が消失して静電潜像が形成され、その後帯電電荷と同極性を持った微細なトナー粒子を露光部である電荷の消失した部位に付着させることにより行われる。電子写真方式では、現像電極と呼ばれる導電性部材を静電潜像面と対向して設置し、この電極に同極性のバイアス電圧を印加することにより、トナー粒子の露光部への付着が促進され、高画質なトナー画像が得られる。この後トナー画像の熱定着処理を行えば、被現像体両面にレジスト画像を形成することが可能である（例えば、特許文献１、２参照）。
【００１０】
また、フォトメモリー性感光層を用いたプリント配線板の作製方法は、金属導電層上にフォトメモリー性感光層を設けた回路形成用基板上に所定のパターンの露光処理を施すことにより、フォトメモリー性感光層に露光パターンに応じた帯電特性の差を誘起させておき、次いでフォトメモリー性感光層表面を全面帯電処理を施せば露光パターンに応じた静電潜像が形成されるから、光導電層を用いた場合と同様にフォトメモリー性感光層上にレジスト画像を形成することが可能である（例えば、特許文献３参照）。
【００１１】
具体的な電子写真方式による孔を有するプリント配線板の作製は、次の様にしてなされる。孔を有する回路形成用基板の両面に、浸漬塗布等により電子写真感光層を設け、感光層表面の帯電及び露光を行うことにより、露光部分に沿った静電潜像が形成される。該静電潜像に対してトナー現像処理を行ってトナー画像を形成する。（この際、孔の内壁面は帯電処理時に帯電されないため、トナー現像処理により孔の内壁もトナー膜が形成される。）次いで、該トナー画像をレジストとして、トナー画像部以外の電子写真感光層を溶解除去し、トナー画像と電子写真感光層とからなる金属導電層のレジスト画像が作製される。金属導電層の不要部のエッチング除去及びそれ以降のプリント配線板の作製工程は、従来と同様にして行うことができる。
【００１２】
しかしながら、孔を有する回路形成用基板への電子写真感光層の形成は、電子写真感光材料を含有する塗布液を浸漬塗布法等により塗布及び乾燥するため、塗布浸漬時における孔内への気泡のが混入、もしくは孔からの液だれ等がしばしば問題となっている。孔内に気泡が混入した場合は、使用する塗布液の粘度及び乾燥特性によっては、孔の開口部に薄い膜が形成されてしまう場合があり、この上にトナー膜を形成したとしても、例えばエッチング処理より前に孔開口部の膜が割れた場合には、孔の内壁はレジストされず不良品となる。また、孔からの液だれが起こった場合には、基板表面の電子写真感光層に膜厚ムラを引き起こすこととなるため、微細なパターンが要求される場合には、画像カブリ等による配線短絡の欠陥となり易い。このような問題は、昨今の様々な径及び深さの孔を有するプリント配線板においては、塗布液の性状等の制御だけでは解決が困難となってきている。
【００１３】
【特許文献１】
特開昭５２−２４３７号公報
【特許文献２】
特開平６−２２４５４１号公報
【特許文献３】
特開２００２−１５８４２２号公報
【非特許文献１】
「プリント回路技術便覧  第２版」、プリント回路学会、１９９３年２月、
９６〜９９頁
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、貫通孔または／及び非貫通孔を有するプリント配線板を作製するに際して、貫通孔または／及び非貫通孔へのレジスト形成を簡易かつ確実に達成し、かつ画像再現性が良好な電子写真方式によるプリント配線板の作製方法を提供しようとするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するために鋭意検討した結果、貫通孔または／及び非貫通孔を有する基板表面に金属めっき処理により金属導電層を設けた回路形成用基板の両面に、電子写真感光層及びキャリアフィルムの少なくとも２層から成るドライフィルムのキャリアフィルムの反対面側をラミネートした後、電子写真感光層の帯電処理の前までに、キャリアフィルムと貫通孔または／及び非貫通孔の開口部の電子写真感光層とを除去し、該開口部を除く回路形成用基板の両面に電子写真感光層を形成することを特徴とする電子写真方式によるプリント配線板の作製方法を適用すれば、従来からの問題点を解決することを見出した。
【００１６】
すなわち、本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法によれば、回路形成用基板への電子写真感光層の形成は、液状材料を塗布するのではなく、基本的にドライフィルムの形態を有する材料をラミネートしてなされるので、孔からの液だれに配慮する必要がなくなるばかりでなく、ラミネート後から帯電の略直前までの期間にキャリアフィルムを剥離除去することにより、回路形成用基板面に接着していない孔の開口部にあたる電子写真感光層をキャリアフィルムと一緒に除去し、該回路形成用基板の孔内壁を除く両面のみに電子写真感光層が形成されるので、液状材料の塗布の場合に見られたような不用意な孔開口部への電子写真感光層による膜形成がなくなる。したがって、液だれに起因する孔周辺での画像欠陥や、孔内壁のレジスト不良による欠陥を確実になくすことが可能となり、すなわち、孔へのレジスト形成を簡易かつ確実に達成し、かつ画像再現性が良好となる。
【００１７】
さらには、本発明においては、一般的なフォトポリマーを用いたドライフィルムのように孔のテンティングを行わず、電子写真方式によるトナー膜により孔の内壁を保護することが可能であるため、露光時点でのパターン形成の位置ズレ等が発生した場合においても、完全に孔からパターンが外れない限りにおいて孔の断線欠陥を引き起こすことがなくなり、かつ前述のようにフォトポリマーを用いたドライフィルムに比較して感光層を薄くすることが可能となるため、これらの観点からも本発明の課題を優位に解決することが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法について、図面を使用して詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法の工程概念図である。ここでは、上記した２種類の電子写真感光層のうち、フォトメモリー性感光層の場合（露光後帯電処理にて静電潜像を得る場合）を示している。まず、図示しないラミネート装置により、孔２を有する回路形成用基板１の両面に本発明に係わる電子写真感光層３及びキャリアフィルム４から成るドライフィルムをラミネートし（図１（ａ））、次いでマスク５を介して電子写真感光層の両面に対して所定の露光処理を施すことにより、露光パターンに応じた帯電特性の差を誘起させておき（図１（ｂ））、その後キャリアフィルム４を剥離することにより、非貫通孔の開口部を除く回路形成用基板１の両面のみに電子写真感光層３を形成する（図１（ｃ））。続いて、両面に所定の帯電処理を施すことにより、所望の配線パターンに従った静電潜像を得（図１（ｄ））、さらに図示しない電子写真トナー現像装置により静電潜像上及び孔の内壁へトナー膜６を形成することによりトナー画像を得る（図１（ｅ））。その後は一般のサブトラクティブ法と同様の工程で、アルカリ現像工程、エッチング工程、及びレジスト剥離工程を経て孔を有するプリント配線板が作製される。
【００２０】
本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法によれば、キャリアフィルム剥離工程は、少なくとも帯電工程の略直前までに行われれば良く、上記のフォトメモリー性感光層においては、キャリアフィルム剥離工程（図１（ｃ））を露光工程（図１（ｂ））の前に入れ替えても良い。さらに、電子写真感光層として光導電層を用いる場合（帯電後露光処理にて静電潜像を得る場合）には、図１を参考に、ラミネート工程（図１（ａ））、キャリアフィルム剥離工程（図１（ｃ））、帯電工程（図１（ｄ））、露光工程（図１（ｂ））と続き、その後は同様に処理すれば良い。
【００２１】
次に、本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法に係わる、貫通孔または／及び非貫通孔内を含む基板表面に金属導電層を設けた回路形成用基板は、基本的には、絶縁性基板の両面に金属導電層を設けた積層板、或いは貫通孔または／及び非貫通孔を形成する工程を有する多層プリント配線板製造時の孔形成前の外層板（内層に絶縁層を介して配線パターン層、グランド層等を有する積層板）等に対して、ポンチ、ドリル、またはパルスレーザー等を用いて貫通孔または／及び非貫通孔を形成し、さらに所定のめっき処理を施すことにより、該貫通孔または／及び非貫通孔の内壁に金属導電層を設けることによって得られる。例えば、貫通孔及び非貫通孔による層間接続を行う上記多層プリント配線板に関しては、「ＪＰＣＡ規格、ビルドアップ配線板」（１９９８年５月、日本プリント回路工業会発刊）に記載されており、一般的なスルーホール、バリードバイアホール、ブラインドバイアホール等、基本的にサブトラクティブ法で適用可能なものに対応することが可能である。
【００２２】
上記の絶縁性基板の両面に金属導電層を設けた積層板としては、例えば「プリント回路技術便覧−第二版−」（（社）プリント回路学会編、日刊工業新聞社発刊）に記載されているものを使用することができる。絶縁性基板としては、紙基材またはガラス基材にエポキシ樹脂またはフェノール樹脂等を含浸させたもの、ポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム等が挙げられる。導電層の材料としては、例えば、銅、銀、アルミ等が挙げられる。
【００２３】
本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法に係わる金属めっき処理の方法としては、例えば、めっき導電層が銅の場合には、「表面実装技術」（１９９３年６月号、日刊工業新聞社発刊）等記載の無電解めっき工程、無電解めっき−電解めっき工程、直接電解めっき工程等を適用することができる。
【００２４】
次に、本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法に係わるドライフィルムに関して説明する。ドライフィルムは少なくともキャリアフィルムと電子写真感光層の２層から成っておれば良く、電子写真感光層は媒体に溶解せしめてキャリアフィルム上に塗布して形成し、その厚みは３から１５μｍ程度であれば良く、５から１０μｍが好適である。さらに、場合によっては、保存時の物理的衝撃や組成の経時変化に対する安定性の面から、電子写真感光層等を挟んでキャリアフィルムと反対面に、ポリエチレン等の保護フィルムを設けても良い。
【００２５】
キャリアフィルムとしては、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレンテレフタレート、アラミド、カプトン、ポリメチルペンテン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等のフィルムを使用することができる。さらに、電子写真感光層を塗布する面の接着性を制御するため、コロナ処理やプライマー処理が施されたフィルムを用いることも可能である。
【００２６】
また、基本的には上記のように電子写真感光層を含むドライフィルムを回路形成用基板面に対して、キャリアフィルムの反対側面、すなわち電子写真感光層が接するように貼りあわせることによりラミネートするが、必要に応じてドライフィルムのキャリアフィルム上に塗布された電子写真感光層上に、さらに、回路形成用基板と電子写真感光層の接着力や電子写真特性等の向上のため、必要に応じカゼイン、ポリビニルアルコール、ヒドロキシエチルセルロース、フェノール樹脂、スチレン／無水マレイン酸共重合体、マレイン酸／アクリル酸共重合体、アクリル酸／メタクリル酸共重合体、ポリアクリル酸、及びこれら高分子電解質のアルカリ金属塩及び／またはアンモニウム塩、エタノールアミン類及びそれらの塩酸塩、しゅう酸塩、リン酸塩、クエン酸、及び酒石酸等のヒドロキシカルボン酸、及びそれらの塩、グリシン、アラニン、グルタミン酸等のアミノ酸、スルファミン酸等の脂肪族アミノスルホン酸、エチレンジアミン四酢酸、ニトリロ三酢酸、トリエチレンンテトラミン六酢酸等の（ポリ）アミノポリ酢酸、アミノトリ（メチレンホスホン）酸、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、エチレンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）等の（ポリ）アミノポリ（メチレンホスホン酸）及びその類似物、及びこれら化合物の酸基の少なくとも一部がアルカリ金属塩或いはアンモニウム塩等からなる中間層を設けても良い。
【００２７】
中間層にはさらに、酸化チタン、アルミナ、シリカ、ジルコニア、及び酸化アンチモン等のサブミクロン微粒子を併用しても良い。中間層の厚みには特に制限はないが、光導電層の接着性を目的とするのであれば、用いる支持体に関係なく厚くとも５μｍ程度で良い。また、中間層の電気伝導度が低いと光導電層の電荷の散逸が起こりにくく、光感度が低下してトナー画像の解像度が低下するから、中間層の電気伝導度は１０-9Ｓ／ｃｍ以上が好ましい。
【００２８】
本発明に係わる電子写真感光層は、前述のように光導電層を用いるものとフォトメモリー性感光層を用いるものが挙げられるが、これらは少なくとも電子写真感光体と結着樹脂とを含有する。
【００２９】
光導電性層に含まれる電子写真感光体としては、公知の有機または無機の光導電性化合物を使用できる。有機光導電性化合物としては、無金属或いは金属（酸化物）フタロシアニン及びナフタロシアニン、及びその誘導体等が挙げられる。無機光導電性化合物としては、酸化亜鉛、酸化チタン、及び硫化カドミウム等が挙げられる。これらの光導電性化合物は単独または２種類以上混合して用いても良い。
【００３０】
また、フォトメモリー性感光層に含まれる電子写真感光体としては、ポリビニルカルバゾール／ｏ−ニトロベンゼン／トリクロロ酢酸の混合物、ポリビニルカルバゾール・トリニトロフルオレノン−ジアゾニウム塩系、ポリビニルカルバゾール・ジアルキルアミノ置換色素系、テトラシアノ−ｐ−キノジメタン・銅錯体等が挙げられる。本発明に係わる不可逆性のフォトメモリー性を有する感光体としては、ここで挙げた化合物や混合物に限定されず、フォトメモリーの性質を有する化合物であれば適用できる。例えば、特開２００２−１５８４２２号公報に記載されている化合物も適用可能である。
【００３１】
本発明に係わる電子写真感光層に用いられる結着樹脂は、帯電性能を満足し、アルカリ可溶性を有するものが好ましい。また、金属導電層をエッチングする際に使用するエッチング液に対して耐性を有する必要もある。その具体例としては、スチレン／マレイン酸モノエステル共重合体、メタクリル酸／メタクリル酸エステル共重合体、スチレン／メタクリル酸／メタクリル酸エステル共重合体、アクリル酸／メタクリル酸エステル共重合体、スチレン／アクリル酸／メタクリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル／クロトン酸共重合体、及び酢酸ビニル／クロトン酸／メタクリル酸エステル共重合体等の、スチレン、（メタ）アクリル酸エステル、酢酸ビニル、及び安息香酸ビニル単量体等と（メタ）アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸等、もしくは無水マレイン酸及びフマル酸のモノエステル等のカルボキシル基含有単量体との共重合体、フェノール樹脂等が挙げられる。これらの結着樹脂はアルカリ可溶性、膜強度等を制御するために種々の単量体を共重合させたものでも良い。また、２種以上のアルカリ可溶樹脂を混合して用いても良い。
【００３２】
電子写真感光体の結着樹脂に対する混合比は、所望する電子写真感光層の電子写真特性、より詳しくは用いる電子写真感光体化合物の電子写真特性、によって異なるが、所望する帯電電位が安定的に得られる結着樹脂の最低塗布量において、所望する光感度が得られる最低量の光導電性化合物の混合比が適当であり、具体的には結着樹脂に対して１〜１００重量％程度であり、さらには５〜４０重量％程度が適当である。
【００３３】
本発明に係わる電子写真感光層によるドライフィルムの作製は、上記のキャリアフィルム上に、カーテンコート法、バーコート法、スプレーコート法、ロールコート法、スピナーコート法等の公知の塗布方法により電子写真感光層形成用塗布液の塗布を行い、さらに必要に応じて中間層の塗布及び保護フィルム層の積層を行う。塗布液は、上記の電子写真感光層を構成する成分を適当な溶媒に溶解して作製する。また、塗布液には必要に応じて、電子写真感光体及び結着樹脂のほかに電子写真感光層の膜物性、塗布液の粘度等を改良する目的で、増感剤、可塑剤、界面活性剤、及びその他の添加剤を加えることができる。
【００３４】
塗布液の作製に使用する溶剤としては、本発明に使用される電子写真感光体と結着樹脂を均一に溶解できるものであれば良く、具体的には、メタノール、エタノール、１−プロパノール等のアルコール類、ＴＨＦ、１，４−ジオキサン、１，２−ジメトキシエタン、エチレングリコールモノメチルエーテル、１−メトキシ−２−プロパノール等のエーテル類、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、酢酸エチル、酢酸メチル、酢酸イソブチル等のエステル類、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミド類、ジメチルスルホキシド等が挙げられるが、これらに限定されるものではなく、塗布方法と乾燥条件等によって適当なものを単独または２種以上を選択して使用できる。塗布液の固形分濃度についても、塗布方法と乾燥条件等によって適切な濃度を選択できる。
【００３５】
なお、本発明における、電子写真感光層及びキャリアフィルムの少なくとも２層から成るドライフィルムのキャリアフィルムの反対面側とは、上記で説明した電子写真感光層からなるドライフィルムの構成に対して、中間層を有さない場合には電子写真感光層面側であり、電子写真感光層と中間層を有する場合には中間層面側である。
【００３６】
本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法における画像パターン露光方法としては、キセノンランプ、タングステンランプ、蛍光灯を光源とした反射画像露光、フィルムマスクを用いた片面、両面密着露光、マスクを通した直接投影露光、またはレーザ光、発光ダイオード等による走査露光が挙げられる。走査露光を行う場合には、Ｈｅ−Ｎｅレーザー、Ｈｅ−Ｃｄレーザー、アルゴンレーザー、クリプトンイオンレーザー、ルビーレーザー、ＹＡＧレーザー、窒素レーザー、色素レーザー、エキシマレーザー等のレーザー光源を発光波長に応じてＳＨＧ波長変換して走査露光する、あるいは液晶シャッター、マイクロミラーアレイシャッターを利用して露光することも可能である。
【００３７】
また、本発明に係わる帯電方法としては、従来からコロトロン方式及びスコロトロン方式等の非接触帯電方法、また導電ロール帯電等の接触帯電方法が知られており、本発明に係わる電子写真感光層が一様に帯電できれば何れの方式を採用しても良い。上記の露光方法と組み合わせて、電子写真感光層上に静電潜像が形成される。
【００３８】
本発明における電子写真法によるトナー画像形成方法としては、乾式現像法（カスケード現像、磁気ブラシ現像、パウダークラウド現像）や、トナー粒子を適当な絶縁性液体中に分散させた液体トナーによる現像法を用いることができる。これらのうち、液体現像法は乾式現像法に比してトナー粒子を安定に小粒径にできるため、より微細なトナー画像を形成できるので、本発明においては液体現像法を用いることが好ましい。
【００３９】
具体的には本発明に係わる液体現像装置としては、基本的な構成としては以下の様な方式の装置を用いることができる。従来より用いられている静電潜像形成面を上下方向に向けて略水平に搬送し、その上面または下面から片面に液体トナーを供給する片面横現像、特開平２−９１６４９号公報等に記載の様な基板を立てて略鉛直に搬送し、その片面にトナー供給する片面縦現像、特開平６−２２４５４１号公報等に記載の様な基板を寝かせて略水平に搬送し、その上下両側から基板両面にトナー供給する両面横現像、特開平１０−１４２９４９号に記載の様に基板を立てて略鉛直に搬送し、その両面にトナー供給する両面縦現像等の方式が挙げられ、トナー画像形成方法の基本的な部分は、これらに挙げられる電子写真現像法による液体現像方法に従う。
【００４０】
本発明で用いられる液体トナーは後工程である回路部の電子写真感光層の溶出除去に対してレジスト性を有するものでなければならない。このためにトナー粒子の成分としては、例えばメタクリル酸、メタクリル酸エステル等からなるアクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂、酢酸ビニルとエチレンまたは塩化ビニル等との共重合体、塩化ビニル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリビニルブチラールの様なビニルアセタール樹脂、ポリスチレン、スチレンとブタジエン、メタクリル酸エステル等との共重合体、ポリエチレン、ポリプロピレン及びその塩化物、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンイソフタレート等のポリエステル樹脂、ポリカプラミドやポリヘキサメチレンアジポアミド等のポリアミド樹脂、ビニル変性アルキッド樹脂、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース等のセルロースエステル誘導体、その他ワックス等を含有することは好ましい。また、トナーには現像あるいは定着等に悪影響を及ぼさない範囲で、色素や電荷制御剤を含有させることもできる。さらにトナーの荷電は、電子写真感光層へのコロナ帯電時の帯電極性に応じて正、負を使い分ける必要がある。
【００４１】
現像法としては、静電潜像と同極性を有するトナーを用いて適当なバイアス電圧の印加の下で露光部を現像する反転現像を用いる。これにより帯電されることのない孔の内壁へもトナー膜形成が可能となり、本発明の目的である孔の一括レジストが実現される。形成されたトナー画像は、例えば加熱定着、圧力定着、溶剤定着等の方法により定着し、付着されたトナー粒子を成膜する。この様にして形成したトナー画像をレジストとして、トナー画像部以外の電子写真感光層を溶出液により除去して、導電性基板上に電子写真感光層とトナー画像とからなるレジスト画像を形成する。
【００４２】
トナー画像部以外の電子写真感光層を溶出除去するための方法としては、基本的には溶出液を使用した一般的にフォトポリマードライフィルム等に用いられるのと同様のシャワー溶出処理機等を使用することができる。本発明で用いられる溶出液は塩基性化合物を含有する。塩基性化合物としては、例えばケイ酸アルカリ金属塩、アルカリ金属水酸化物、リン酸及び炭酸アルカリ金属塩、リン酸及び炭酸アンモニウム塩等の無機塩基性化合物、エタノールアミン類、エチレンジアミン、プロパンジアミン類、トリエチレンテトラミン、モルホリン等の有機塩基性化合物等を用いることができる。上記塩基性化合物は単独または混合物として使用できる。また、溶出液の溶剤としては水を用いることが好ましい。
【００４３】
本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法では、レジスト画像部以外の露出した金属導電層をエッチングにより除去する。エッチング工程では、「プリント回路技術便覧」（社団法人日本プリント回路工業会編、１９９７年刊行、日刊工業新聞社発行）記載の方法等を使用することができる。エッチンング液は金属導電層を溶解除去できるもので、また電子写真感光層及びトナーが耐性を有しているものであれば良い。一般に金属導電層に銅層を使用する場合には塩化第二鉄水溶液、塩化第二銅水溶液等を使用することができる。
【００４４】
また、本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法においては、一般のフォトポリマードライフィルムフォトレジスト等を利用したプリント配線板作製時と同様に、レジスト画像はエッチング工程後、非回路部の溶出除去で使用した溶出液よりもさらにアルカリ性の強い溶液で処理することにより除去することができる。また、必要に応じてメチルエチルケトン、ジオキサン、メタノール、エタノール、プロパノール等の電子写真感光層の結着樹脂を溶解する有機溶剤を併用することもできる。
【００４５】
【実施例】
以下で、実施例により、さらに詳細に本発明の効果を説明するが、本発明はこれにより限定されるものではない。なお、実施例中の「部」及び「％」はそれぞれ「重量部」及び「重量％」を示す。また、本実施例では非貫通孔は扱わないが、非貫通孔に関しても貫通孔と同様のプロセスで処理可能である。
【００４６】
実施例１
下記の表１の処方に基づいたフォトメモリー性感光体による塗液を調液した。片面にコロナ処理を施した厚み１６μｍのポリエチレンテレフタラートフィルム（三菱化学ポリエステルフィルム（株）製、Ｈ５００）のコロナ処理面上に、カーテンコート法を用いて、乾燥後の電子写真感光層の厚みが８μｍとなるように塗布し、本発明に係わるドライフィルムを得た。
【００４７】
【表１】
2004214254.tif 000003
【００４８】
ガラス基材エポキシ樹脂板の両面に銅箔を張り合わせた両面銅張積層板（三菱ガス化学（株）製、２００×３００×０．８ｍｍ、銅厚１８μｍ）に、０．３ｍｍφ及び０．５ｍｍφの貫通孔を１００個ずつ開けた後、無電解銅めっき−電解銅めっき処理（奥野製薬（株）、ＯＰＣプロセスＭ）を施し、貫通孔内部を含む積層板表面に厚さ１０μｍの銅めっき層を設け、貫通孔を有する回路形成用基板を得た。
【００４９】
次いで、弾性熱ロール対及び金属熱ロール対の順に配置されたラミネータを用いて、上記回路形成用基板の両面にドライフィルムをラミネートした。この際熱ロールの温度は、前段１１０℃、後段９５℃として処理した。
【００５０】
キャリアフィルムを剥離しない状態で、電子写真感光層上に画像パターンを描画した露光マスクを乗せ、吸引密着機構を有する焼付用高圧水銀灯光源装置；ユニレックＵＲＭ３００（ウシオ電機（株）製）を用いて３０秒間紫外線露光を行った。さらに、基板を反転し、非露光面を同様にして、３０秒間露光を行い、両面のフォトメモリー性感光層上に帯電特性の差を誘起させた。
【００５１】
その後、４０℃に設定した弾性熱ロールを通しながら、キャリアフィルムを均一な速度で剥離した。この際、孔の剥離形状を観察したところ、回路形成用基板の孔開口部のエッジに沿って、良好に孔開口部の電子写真感光層が除去されていた。
【００５２】
次いで、電子写真感光層をコロナ帯電機（帯電印加電圧；＋５．０ｋＶ）を用いて両面に電荷を与えた後、コロナ帯電終了より３０秒後の紫外線露光部と未露光部の表面電位を測定したところ、露光部は＋８０Ｖ、未露光部は＋２３０Ｖであり、静電潜像が形成できていることが確認された。さらに、静電潜像を三菱ＯＰＣプリンティングシステム用正電荷トナー（三菱製紙（株）製、「ＯＤＰ−ＴＷ」）を用いて、バイアス電圧＋１７０Ｖを印加して反転現像を行い、トナー画像を得た。７０℃で１０分間加熱してトナー画像を定着させ、良好な定着画像を得た。
【００５３】
トナー画像部以外の電子写真感光層を３５℃２％炭酸ナトリウム水溶液を用いて溶出除去することにより、トナー画像及び電子写真感光層からなるレジスト画像を形成した。さらに、残存するトナー画像と電子写真感光層をエッチングレジストとして、積層板に４５℃に加熱された塩化第二鉄溶液（サンハヤト製、Ｈ２０Ｌ）をスプレー圧２．５ｋｇ／ｃｍ2で２分間スプレーすることにより銅層をエッチング除去した。その後、３％水酸化ナトリウム水溶液でエッチングレジストを除去して、所望の孔を有するプリント配線板を作製した。該プリント配線板を詳細に観察したところ、孔開口部周辺表面に短絡欠陥が見られることもなく、全ての孔において導通が得られたばかりでなく、孔内壁の断面観察においてもクワレ等のエッチングレジスト不良は観察されなかった。
【００５４】
実施例２
実施例１において、ドライフィルムのラミネート工程後、露光工程の略直前にキャリアフィルム剥離工程を実施した（露光工程とキャリアフィルム剥離工程を入れ替えた）以外は実施例１と同様にして、プリント配線板の作製を試みた。
【００５５】
その結果、剥離工程後において、回路形成用基板の孔開口部のエッジに沿って、良好に孔開口部の電子写真感光層が除去されていた。さらに、出来上がった孔を有するプリント配線板を詳細に観察したところ、実施例１と同様に、孔開口部周辺表面に短絡欠陥が見られることもなく、全ての孔において導通が得られたばかりでなく、孔内壁の断面観察においてもクワレ等のエッチングレジスト不良は観察されなかった。
【００５６】
実施例３
下記の表２の処方に基づいた光導電性感光体による塗液を調液した。片面にコロナ処理を施した厚み１６μｍのポリエチレンテレフタラートフィルム（三菱化学ポリエステルフィルム（株）製、Ｈ５００）のコロナ処理面上に、カーテンコート法を用いて、乾燥後の電子写真感光層の厚みが８μｍとなるように塗布し、本発明に係わるドライフィルムを得た。
【００５７】
【表２】
2004214254.tif 000004
【００５８】
実施例１と同様に、ガラス基材エポキシ樹脂板の両面に銅箔を張り合わせた両面銅張積層板（三菱ガス化学（株）製、２００×３００×０．８ｍｍ、銅厚１８μｍ）に、０．３ｍｍφ及び０．５ｍｍφの貫通孔を１００個ずつ開けた後、無電解銅めっき−電解銅めっき処理（奥野製薬（株）、ＯＰＣプロセスＭ）を施し、貫通孔内部を含む積層板表面に厚さ１０μｍの銅めっき層を設け、貫通孔を有する回路形成用基板を得た。
【００５９】
次いで、弾性熱ロール対及び金属熱ロール対の順に配置されたラミネータを用いて、上記回路形成用基板の両面にドライフィルムをラミネートした。この際熱ロールの温度は、前段１１０℃、後段９５℃として処理した。
【００６０】
その後、４０℃に設定した弾性熱ロールを通しながら、キャリアフィルムを均一な速度で剥離した。この際、孔の剥離形状を観察したところ、回路形成用基板の孔開口部のエッジに沿って、良好に孔開口部の電子写真感光層が除去されていた。
【００６１】
電子写真感光層をコロナ帯電機（帯電印加電圧；＋５．０ｋＶ）を用いて両面に＋２６０Ｖの電荷を与えた後、電子写真感光層上に画像パターンを描画した露光マスクを乗せ、吸引密着機構を有するハロゲン灯光源装置を用いて２秒間露光を行った。さらに、基板を反転し、非露光面を同様にして、２秒間露光を行い、両面の光導電性感光層上に静電潜像を得た。この際、露光部は＋１５Ｖ、未露光部は＋２４０Ｖであり、静電潜像は良好なコントラストを有していた。
【００６２】
さらに、得られた静電潜像を三菱ＯＰＣプリンティングシステム用正電荷トナー（三菱製紙（株）製、「ＯＤＰ−ＴＷ」）を用いて、バイアス電圧＋１３０Ｖを印加して反転現像を行い、トナー画像を得た。７０℃で１０分間加熱してトナー画像を定着させ、良好な定着画像を得た。その後は実施例１と同様の工程により、所望の孔を有するプリント配線板を作製した。このプリント配線板を詳細に観察したところ、孔開口部周辺表面に短絡欠陥が見られることもなく、全ての孔において導通が得られたばかりでなく、孔内壁の断面観察においてもクワレ等のエッチングレジスト不良は観察されなかった。
【００６３】
比較例１
実施例１と同様の塗液を浸漬塗布法により、実施例１と同様の孔を有する回路形成用基板の孔内部を含む両面へ、乾燥後の厚みが８μｍとなるように塗布した。乾燥後、孔と孔開口部周辺を観察したところ、孔内部に気泡を含んだまま塗布され、孔の開口部に電子写真感光層の膜が形成している状態が８箇所観察された。さらに、φ０．３ｍｍの孔の開口部周辺は塗布膜厚ムラが目立たないが、φ０．５ｍｍの孔の開口部周辺は明らかな液だれによる塗布膜厚ムラが観察された。
【００６４】
その後、実施例１と同様の処理を施し、最終的に孔を有するプリント配線板を作製した。得られたプリント配線板を詳細に観察した結果、φ０．５ｍｍの孔開口部の周辺に液だれに沿ったトナーカブリが観察され、配線の短絡欠陥となった。さらに、孔の導通試験においても、３箇所の断線が確認され、断面観察した全ての孔内壁においてクワレ等の欠陥が確認された。
【００６５】
【発明の効果】
以上説明したごとく、本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法では、貫通孔または／及び非貫通孔を有する基板表面に金属めっき処理により金属導電層を設けた回路形成用基板の両面に、電子写真感光層及びキャリアフィルムの少なくとも２層から成るドライフィルムのキャリアフィルムの反対面側をラミネートした後、電子写真感光層の帯電処理の前までに、キャリアフィルムと貫通孔または／及び非貫通孔の開口部の電子写真感光層とを除去し、該開口部を除く回路形成用基板の両面に電子写真感光層を形成することにより、貫通孔または／及び非貫通孔へのレジスト形成を簡易かつ確実に達成し、かつ細部にわたり良好な画像再現性を実現するという秀逸な効果をもたらす。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電子写真方式によるプリント配線板の作製方法の工程概念図。
【符号の説明】
１  回路形成用基板
２  孔
３  電子写真感光層
４  キャリアフィルム
５  マスク
【図１】
2004214254.tif 000005