(57)【要約】【課題】連結部が通る軸を中心に、より小さな力でミラーが回動できるようにする。【解決手段】枠部１３０と可動枠１３２とを連結する連結部１６１は、枠部１３０の開口領域の側より枠部１３０に形成された切欠きである連結部領域３０２に配設し、可動枠１３２とミラー１３１とを連結するミラー連結部１６２は、可動枠１３２の開口領域の側より可動枠１３２に形成された切欠きであるミラー連結部領域３２２に配設する。【選択図】        図１
2004240011.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部材を介して基板の上に離間して支持された枠部材と、この枠部材の開口領域内で少なくとも一対の連結部材を介してこれらを通る回動軸を中心に回動可能に支持された板状の可動構造体とを少なくとも備え、前記可動構造体の一部には反射部が設けられ、前記可動構造体の回動により前記反射部を変位させて光スイッチ動作を行う光スイッチ装置において、
前記連結部材は、前記開口領域の側より前記枠部材に形成された切欠き内に配設されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項２】
請求項１記載の光スイッチ装置において、
前記可動構造体は、開口領域を有する可動枠とこの可動枠の開口領域内に配置されて前記反射部が設けられたミラーとから構成され、
前記ミラーは、一対のミラー連結部材を介してこれらを通る回動軸を中心に回動可能に前記可動枠に支持され、
前記ミラー連結部材は、前記ミラーが配置された側より前記可動枠に形成された切欠き内に配設されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項３】
支持部材を介して基板の上に離間して支持された枠部材と、この枠部材の開口領域内で少なくとも一対の連結部材を介してこれらを通る回動軸を中心に回動可能に支持された板状の開口領域を有する可動枠と、この可動枠の開口領域内に配置され、一対のミラー連結部材を介してこれらを通る回動軸を中心に回動可能に前記可動枠に支持されて反射部が設けられたミラーとを少なくとも備え、前記ミラーの回動により前記反射部を変位させて光スイッチ動作を行う光スイッチ装置において、
前記ミラー連結部材は、前記ミラーが配置された側より前記可動枠に形成された切欠き内に配設され、
前記連結部材は、前記開口領域の側より前記可動枠に形成された切欠き内に配設されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項４】
請求項２または３記載の光スイッチ装置において、
前記ミラー連結部材は、一対のミラー連結部材を通る回動軸の方向とは異なる方向に延在する延在部を備える
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項５】
請求項４記載の光スイッチ装置において、
前記ミラー連結部材の延在部は、少なくともその一部に複数の屈曲部を備えてジグザグに形成されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項６】
請求項２〜５のいずれか１項に記載の光スイッチ装置において、
前記可動枠は、リング状に形成され、
前記ミラーは、円形に形成されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項７】
請求項６記載の光スイッチ装置において、
前記連結部材は、前記リング状に形成された可動枠の周方向に延在する延在部を備える
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項８】
請求項６または７記載の光スイッチ装置において、
前記ミラー連結部材は、前記円形に形成されたミラーの周方向に延在する延在部を備える
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項９】
請求項１記載の光スイッチ装置において、
前記可動構造体は、円形に形成されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項１０】
請求項９記載の光スイッチ装置において、
前記連結部材は、前記円形に形成された可動構造体の周方向に延在する延在部を備える
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の光スイッチ装置において、
前記連結部材の延在部は、少なくともその一部に複数の屈曲部を備えてジグザグに形成されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項１２】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の光スイッチ装置において、
前記連結部材は、一対の連結部材を通る回動軸の方向とは異なる方向に延在する延在部を備える
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【請求項１３】
請求項１２記載の光スイッチ装置において、
前記連結部材の延在部は、少なくともその一部に複数の屈曲部を備えてジグザグに形成されている
ことを特徴とする光スイッチ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回動するミラーにより信号光の経路を変更する光スイッチ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インターネット通信網などにおける基盤となる光ネットワークにおいて必須となる波長分割多重技術（ＷＤＭ）には、光スイッチ装置が必要不可欠な要素部品となる。この種の光スイッチ装置には、光導波路型やＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）型などがあるが、中でも、回動する微細な反射面を有するＭＥＭＳ型の光スイッチ装置が有望視されている。
【０００３】
このＭＥＭＳ型の光スイッチ装置は、例えば、固定構造体と可動ミラーを有する反射構造体とから構成されている。固定構造体は、土台となる基板及びこの上に形成された電極などである。反射構造体は、支持部材と可動部材を有し、ミラーとして作用する可動部材が、固定構造体と離間してトーションバネ（ヒンジ）によって支持部材に接続されている。
このように構成された光スイッチは、固定構造体と回動する反射構造体との間に働く引力、あるいは反発力によって反射構造体が回動することで光路を切り替えるスイッチング動作を行う。
【０００４】
上記光スイッチは、例えば、図７（ａ）の側面図に示すように構成されている（非特許文献１参照）。図７（ａ）において、基板７０１には、凸領域７０２が形成され、凸領域７０２の上面に制御電極７０３が形成されている。また、基板７０１の上には、凸領域７０２の上部に開口領域を有する枠体７０４が配設されている。枠体７０４の開口領域内には、図７（ｂ）の平面図に示すように、可動枠７０５とミラー７０６とが配置され、可動枠７０５は、一対のヒンジ７０７により枠体７０４に吊設され、ミラー７０６は、一対のヒンジ７０８により可動枠７０５に吊設されている。ミラー７０６の一方の面には、反射面が形成されている。
【０００５】
ヒンジ７０７は、枠体７０４の内側の開口領域の中心を通る軸上に配置され、この軸を中心に、可動枠７０５は回動可能とされている。また、ヒンジ７０８は、可動枠７０５の内側の開口領域の中心を通る軸上に配置され、この軸を中心に、ミラー７０６は回動可能とされている。ここで、ヒンジ７０７による軸とヒンジ７０８による軸とは直交し、ミラー７０６は、２軸動作が可能な状態となっている。また、このように回動可能とされているミラー７０６の下部に設けられている制御電極７０３は、図示しない配線に接続し、ミラー７０６を駆動するための静電力を発生する。
【０００６】
なお、出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を本件の出願時までに発見するには至らなかった。
【０００７】
【非特許文献１】
Ｔａｅ−Ｓｉｋ  Ｋｉｍ，Ｓａｎｇ−Ｓｈｉｎ  Ｌｅｅ，Ｙｏｕｎｇｊｏｏ  Ｙｅｅ，Ｊｏｎｇ  ＵＫ  Ｂｕ，Ｈｙｕｎ−Ｈｏ  Ｏｈ，Ｃｈｉｌ−ＧｅｕｎＰａｒｋ，ａｎｄ  Ｍａｎ−Ｈｙｏ  Ｈａ  ”ＥＬＥＣＴＲＯＳＴＡＴＩＣ  ＭＩＣＲＯＭＩＲＲＯＲ  ＷＩＴＨ  ＢＵＩＬＴ−ＩＮ  ＬＡＲＧＥ  Ａｉｒ−ＧＡＰ  ＦＯＲ  ＷＩＤＥ  ＲＡＮＧＥ  ＯＦ  ＲＯＴＡＴＩＯＮＡＬ  ＡＣＴＵＡＴＩＯＮ”，Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ  ｏｐｔｉｃａｌ  ＭＥＭＳ  ２００１，ＩＥＥＥ／ＬＥＯＳ，ｐ９９，１００（２００１）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したような光スイッチ装置では、より少ない電力でスイッチ動作が行えるようにすることが要求されている。この要求を満たすための一つに、上述したように回動するミラーを、より少ない電力で回動させることがある。ミラーをより少ない電力で回動させるためには、ミラーがより小さな力で回動できるようにすればよい。
【０００９】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、連結部が通る軸を中心に、より小さな力でミラーが回動できるようにすることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光スイッチ装置は、支持部材を介して基板の上に離間して支持された枠部材と、この枠部材の開口領域内で少なくとも一対の連結部材を介してこれらを通る回動軸を中心に回動可能に支持された板状の可動構造体とを少なくとも備え、可動構造体の一部には反射部が設けられ、可動構造体の回動により反射部を変位させて光スイッチ動作を行うものであり、連結部材が、開口領域の側より枠部材に形成された切欠き内に配設されているようにしたものである。
この装置によれば、枠部材と可動構造体との間隙より長い連結部材により、可動構造体が枠部材に連結された状態となっている。
【００１１】
上記光スイッチ装置において、連結部材が、一対の連結部材を通る回動軸の方向とは異なる方向に延在する延在部を備えるようにしてもよい。また、連結部材の延在部が、少なくともその一部に複数の屈曲部を備えてジグザグに形成されているようにしてもよい。
【００１２】
上記光スイッチ装置において、可動構造体は、開口領域を有する可動枠とこの可動枠の開口領域内に配置されて反射部が設けられたミラーとから構成され、ミラーは、一対のミラー連結部材を介してこれらを通る回動軸を中心に回動可能に可動枠に支持され、ミラー連結部材は、ミラーが配置された側より可動枠に形成された切欠き内に配設されているようにしてもよい。
【００１３】
この場合、ミラー連結部材が、一対のミラー連結部材を通る回動軸の方向とは異なる方向に延在する延在部を備えるようにしてもよい。また、ミラー連結部材の延在部が、少なくともその一部に複数の屈曲部を備えてジグザグに形成されているようにしてもよい。また、枠部材に可動枠を支持する連結部材は、開口領域の側より可動枠に形成された切欠き内に配設されているようにしてもよい。
【００１４】
上記光スイッチ装置において、可動構造体は、円形に形成されていてもよい。
また、上記光スイッチ装置において、可動枠が、リング状に形成され、ミラーが、円形に形成されているようにしてもよい。
これらの場合、連結部材は、円形に形成された可動構造体の周方向に延在する延在部を備えるようにすれば、延在部を直線的に延在させる場合に比較して、延在部をより長くすることが可能となる。同様に、ミラー連結部材が、円形に形成されたミラーの周方向に延在する延在部を備えるようにしてもよい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
［実施の形態１］
図１は、本発明の実施の形態における光スイッチ装置の構成例を示す概略的な断面図（ａ）と平面図（ｂ）である。図１では、主に光スイッチ装置の１構成単位である一つのミラーを備えたスイッチ素子を部分的に示している。
【００１６】
この光スイッチ装置の構成について説明すると、まず、例えば、シリコンからなる半導体基板１０１を備え、半導体基板１０１には、複数の素子から構成された集積回路（図示せず）が形成されている。集積回路の上には、層間絶縁膜１０２が形成されている。層間絶縁膜１０２上には、更に配線層１０４，層間絶縁膜１０５が形成され、配線層１０４は、この下層にある図示しない配線などに接続電極１０３を介して接続している。
【００１７】
また、半導体基板１０１の上には、層間絶縁膜１０２，１０５を介して支持部材１２０が固定され、支持部材１２０は、枠部（枠部材）１３０を支持している。支持部材１２０は、金などの導電材料から構成され、層間絶縁膜１０５に形成されたスルーホールを通じ、層間絶縁膜１０２上に形成された所定の配線層１０４に電気的に接続されている。なお、支持部材１２０は、制御電極部１４０が形成されている空間を囲う枠状の構造体とすればよい。また、支持部材１２０は、枠部１３０の所定の箇所を支持する状態としてもよい。
【００１８】
また、枠部１３０は、ミラー１３１，可動枠１３２からなる可動構造体を支持している。ミラー１３１は、例えば、直径５００μｍ程度の円板であり、いずれかの面に反射面が形成されている。また、可動枠１３２は、リング状の部材である。なお、反射面は、ミラー１３１の一部に形成するようにしてもよい。枠部１３０，可動枠１３２，及びミラー１３１は、例えば金などの導電材料から構成してもよい。この場合、ミラー１３１は、支持部材１２０を介して前述した配線層に電気的に接続された可動電極となる。なお、可動枠１３２，ミラー１３１などを絶縁材料から構成し、この表面に金属膜を形成してミラー１３１に可動電極を設けるようにしてもよい。
【００１９】
以上に説明したように、枠部１３０により回動可能に支持されている可動構造体は、図１（ｂ）に示すように、まず、可動枠１３２が、一対の連結部（連結部材）１６１を介して枠部１３０の内側に支持されている。可動枠１３２は、一対の連結部１６１を通る回動軸を中心に回動可能とされている。また、ミラー１３１が、一対のミラー連結部（ミラー連結部材）１６２を介して可動枠１３２の内側に支持されている。ミラー１３１は、一対のミラー連結部１６２を通る回動軸を中心に回動可能とされている。各連結部は、トーションバースプリングなど、ねじりを受けて弾性変形する棒状や板状のばね部材である。本実施の形態では、一対の連結部１６１を通る回動軸と一対のミラー連結部１６２を通る回動軸とは、互いに直交するようにトーションバースプリングが配列されている。
【００２０】
一方、ミラー１３１の下方の半導体基板１０１上には、層間絶縁膜１０２，１０５を介してミラー１３１の回動動作を制御するための制御電極部（固定電極）１４０が形成されている。本実施の形態において、制御電極部１４０は、金などの導電材料から構成され、層間絶縁膜１０５に形成されたスルーホールを通し、層間絶縁膜１０２上に形成された所定の配線層１０４に電気的に接続されている。
【００２１】
また、図１（ａ）の光スイッチ装置では、半導体基板１０１に形成されている図示していない集積回路の一部として、制御回路１５０が構成されている。制御回路１５０は、例えば、いずれかの制御電極部１４０と可動電極であるミラー１３１との間に所定の電位差を生じさせることにより、選択された制御電極部１４０とミラー１３１とに電荷を誘導し、これらの電荷にクーロン力を作用させることで、ミラー１３１を回動させる。
【００２２】
ミラー１３１は、誘導された電荷に働く静電力による回動軸周りのトルクと、可動部が回動することにより連結部１６１，ミラー連結部１６２に生じた逆向きのトルクが釣り合う位置で静止する。また、制御回路１５０は、制御電極とミラー１３１との間の電位差を解消し、ミラー１３１に発生している電荷を放電させることで、ミラー１３１の回動状態を解消させる。
【００２３】
ここで、可動構造体についてより詳細に説明する。可動枠１３２は、枠部１３０の可動部開口領域３０１の中心を通る所定の軸を中心に回動可能となるように、上記軸上の２箇所に設けられたトーションバースプリングのように作用する一対の連結部１６１により、枠部１３０に吊設しかつ軸着している。また、ミラー１３１は、枠部１３０の可動部開口領域３０１の中心を通って上記軸とは直交する直交軸を中心に回動可能となるように、この直交軸上の２箇所に設けられたトーションバースプリングのように作用する一対のミラー連結部１６２により、可動枠１３２に吊設しかつ軸着している。
【００２４】
加えて、枠部１３０は、可動枠１３２及びミラー１３１が配設される可動部開口領域３０１の側に向けて、連結部１６１の一部が配設される連結部領域（切欠き）３０２を備える。また、可動枠１３２は、ミラー１３１が配設されるミラー開口領域３２１側に向けて、ミラー連結部１６２の一部が配設されるミラー連結部領域（切欠き）３２２を備える。
【００２５】
従って、本実施の形態によれば、一対の連結部領域３０２により、可動枠１３２周端との距離が他の領域（Ｄ１）より長い部分が、枠部１３０の一部に設けられている。同様に、一対のミラー連結部領域３２２により、ミラー１３１周端との距離が、他の領域（Ｄ２）より長い部分が、可動枠１３２の一部に設けられている。なお、２つの連結部領域３０２は、連結部１６１が通る軸上に配置され、２つのミラー連結部領域３２２は、ミラー連結部１６２が通る軸上に配置されている。
【００２６】
このように構成したので、本実施の形態によれば、枠部１３０と可動枠１３２との間隙Ｄ１より長い連結部１６１により、可動枠１３２が枠部１３０に連結された状態となっている。また、可動枠１３２とミラー１３１との間隙Ｄ２より長いミラー連結部１６２により、ミラー１３１が可動枠１３２に連結された状態となっている。
【００２７】
例えば、ミラー連結部１６２を通る軸を中心にミラー１３１を回動させるとき、誘導された電荷に働く静電力による回動軸周りのトルクに対し、ミラー連結部１６２に生じる逆向きのトルクが反発する。従って、ミラー連結部１６２に生じる逆向きのトルク（バネ力）が小さいほど、小さな力でミラー１３１が回動する。本実施の形態では、上述したように、間隔Ｄ２よりミラー連結部１６２を長くし、間隔Ｄ２の長さで連結部を構成した場合に比較して上記逆向きのトルクを小さくしたので、従来より小さな力でミラー１３１を回動させることが可能となる。このことは、連結部１６１についても同様である。
【００２８】
ところで、間隙Ｄ２を長く（広く）すれば、ミラー連結部１６２を長くすることが可能である。しかしながら、間隔Ｄ２を長くすると、反射部として機能しない領域が、ミラー素子全体の中でより広い領域を占有するようになる。これは、ミラー１３１の面積を可能な限り大きくしてミラー素子全体をより微細化するという方向に反する。連結部１６１についても同様であり、間隔Ｄ１を長くすれば、連結部１６１を長くすることができるが、無駄な領域が増える。
【００２９】
これらのことに対し、本実施の形態では、枠部１３０に連結部領域３０２を設け、可動枠１３２に連結部領域３２２を設けることで、間隔Ｄ１，Ｄ２を広げることなく、連結部１６１，ミラー連結部１６２を長くしたので、無駄な領域が増えることが抑制されている。また、可動枠１３２の幅を狭く（細く）することがないので、可動枠１３２の機械的強度を低下させることもない。
【００３０】
［実施の形態２］
つぎに、本発明の他の実施の形態について説明する。本実施の形態では、枠部１３０，可動枠１３２，及び，ミラー１３１を、図２の平面図に示すように構成した。なお、他の部分は、図１（ａ）と同様である。
本実施の形態では、可動枠１３２に設けた一対のミラー連結部領域３２２の各々に、可動部開口領域３０１の中心を通る軸ＹＹ’とは異なる方向に延在部２６２ａを備えたミラー連結部２６２を備えるようにした。同様に、枠部１３０に設けた一対の連結部領域３０２の各々に、可動部開口領域３０１の中心を通る軸の方向とは異なる方向に延在部２６１ａを備えた連結部２６１を備えるようにした。各連結部は、トーションバースプリングなど、ねじりを受けて弾性変形する棒状や板状のばね部材である。
【００３１】
従って、本実施の形態によれば、図１（ｂ）に示す連結部１６１，ミラー連結部１６２に比較し、連結部２６１，ミラー連結部２６２をより長くすることが可能となる。この結果、本実施の形態によれば、連結部２６１，ミラー連結部２６２におけるバネ力を、より広い範囲で制御することが可能となる。
【００３２】
［実施の形態３］
つぎに、本発明の他の実施の形態について説明する。本実施の形態では、枠部１３０，可動枠１３２，及び，ミラー１３１を、図３の平面図に示すように構成した。なお、他の部分は、図１（ａ）と同様である。
本実施の形態では、可動枠１３２に設けた一対のミラー連結部領域３２２の各々に、ミラー連結部３６２を備えるようにした。本実施の形態のミラー連結部３６２は、まず、可動部開口領域３０１の中心を通る軸ＹＹ’とは異なる方向に延在する延在部３６２ａを備える。また、ミラー連結部３６２は、軸ＹＹ’とは異なる方向に凹凸が交互に並んだ複数の屈曲部からなる延在部３６２ｂを備える。ここでは、延在部３６２ａ，３６２ｂは、軸ＹＹ’と垂直な方向に延在している。
【００３３】
同様に、本実施の形態においては、枠部１３０に設けた一対の連結部領域３０２の各々に、可動部開口領域３０１の中心を通る軸の方向とは異なる方向に延在する延在部３６１ａ，３６１ｂを備えた連結部３６１を備えるようにした。延在部３６１ｂは、ほぼ軸ＹＹ’の方向に凹凸が交互に並んだ複数の屈曲部から構成されている。
本実施の形態によれば、図２に示した実施の形態と同様に、連結部３６１，ミラー連結部３６２の長さを、広い範囲で制御できる。また、本実施の形態によれば、複数の屈曲部からなる延在部３６１ｂ，３６２ｂを備えている。
【００３４】
例えば、延在部３６１ｂでは、この延在方向（図３（ｂ）のＹＹ’軸の方向）にバネ力が発生する。この結果、例えば、図３（ｂ）のＹＹ’軸の方向に重力が加わる状態で本光スイッチ装置が用いられる場合、可動枠１３２が上記重力により変位してこの端部が枠部１３０の内縁に接触する状態が、一対の連結部３６１により抑制できるようになる。
なお、上述では、延在部３６１ｂ及び延在部３６２ｂを複数の矩形の屈曲部を備えてジグザグに形成したが、これに限るものではない。延在部３６１ｂ及び延在部３６２ｂは、複数の三角形の屈曲部を備えてジグザグに形成し、のこぎり歯のような形状としてもよい。
【００３５】
［実施の形態４］
ところで、上述した実施の形態では、円形（円板状）のミラー１３１を用い、また、リング状の可動枠１３２を用いるようにしたが、これに限るものではなく、正方形状など矩形のミラーを用いるようにしてもよい。
しかしながら、矩形のミラーを回動させると、下部の制御電極などが固定されている固定領域に、矩形の一辺がすべて近づいていく。このため、矩形のミラーでは、固定領域と接触する危険性が増大する。
【００３６】
また、反射面を形成するためにミラー１３１の表面に金属膜を形成する場合、形成した金属膜に発生する応力が、円形のミラー１３１には均一に加わる。ミラーが矩形の場合、上記応力が均一に加わらず、ミラーが変形する場合がある。
以上のことなどから、ミラー１３１は、円形（円板）としたほうがよい。このように、ミラー１３１を円形とする場合、以下に説明するように、連結部を円弧状にしてもよい。
【００３７】
本実施の形態では、図４に示すように、可動枠１３２に、円弧状の一対の連結部領域４２２を設け、これらの各々に、ミラー１３１が回動する２つの軸が直交する交点を中心とする円周方向に延在する延在部４６２ａを備えたミラー連結部４６２を備えるようにした。同様に、枠部１３０に円弧状の一対の連結部領域４０２を設け、これらの各々に、上記交点を中心とする円周方向に延在する延在部４６１ａを備えた連結部４６１を備えるようにした。なお、他の部分は、図１（ａ）と同様である。
【００３８】
図４に示すように、延在部４６２ａをリング状の可動枠１３２の円周方向に延在させることで、直線的に延長する場合に比較し、延在部４６２ａをより長くすることが可能となる。このように、連結部の長さをより長くすることが可能となるため、本実施の形態によれば、連結部の設計の自由度を向上させることができる。
【００３９】
また、連結部の延在部を直線的に延長させる場合、図５（ａ）に示すように重力が加わると、点Ａと点Ｂとが近づく方向に延在部が変形し、場合によっては、点Ａと点Ｂとが接触する。このように接触する状態が発生すると、ミラーや可動枠の回動動作を阻害することになる。
これに対し、連結部の延在部を円弧状に延長させる場合、図５（ｂ）に示すように重力が加わっても、点Ａ’と点Ｂ’とが同じ方向に移動するように延在部が変形するため、点Ａ’と点Ｂ’との接触が発生しにくい。
なお、図４に示す円弧状に形成された延在部に、図３に示したように、複数の屈曲部を備えてジグザグに形成された領域を設けるようにしても良いことはいうまでもない。
【００４０】
ところで、上述では、例えば図１（ｂ）に示すように、連結部１６１は、可動部開口領域３０１の側より枠部１３０に形成された連結部領域３０２の内部に配設されているようにしたが、これに限るものではない。例えば、図６に示すように、可動枠１３２に連結部領域６０２を形成し、この内部に連結部６６１が配設されているようにしてもよい。これは、図２，図３，図４に示す実施の形態についても同様である。このようにすることで、例えば、枠部１３０の幅をより狭くすることが可能となり、スイッチ素子をより小型化することが可能となる。
【００４１】
なお、上述した実施の形態では、枠部内に可動枠とこの内側のミラーとを配置し、ミラーを２軸動作可能なものとしたが、これに限るものではない。枠部内にミラーのみを配置し、枠部内で一対の連結部でミラーを回動可能に支持し、１軸動作のミラーに、上記実施の形態を適用するようにしても同様である。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、枠部と可動構造体とを連結する連結部が、開口領域の側より枠部に形成された切欠き内に配設されているようにした。この結果、本発明によれば、枠部と可動構造体の間隙より長い連結部により、可動構造体が枠部に連結された状態となり、連結部が通る軸を中心に、より小さな力で反射部が形成されたミラーが回動できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における光スイッチ装置の構成例を示す概略的な断面図（ａ）と平面図（ｂ）である。
【図２】本発明の他の実施の形態における光スイッチ装置の一部構成例を示す概略的な平面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態における光スイッチ装置の一部構成例を示す概略的な平面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態における光スイッチ装置の一部構成例を示す概略的な平面図である。
【図５】連結部の構成を部分的に示す平面図である。
【図６】本発明の他の実施の形態における光スイッチ装置の一部構成例を示す概略的な平面図である。
【図７】従来よりある光スイッチ装置の構成例を示す概略的な断面図（ａ）と平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
１０１…半導体基板、１０２…層間絶縁膜、１０３…接続電極、１０４…配線層、１０５…層間絶縁膜、１２０…支持部材、１３０…枠部、１３１…ミラー、１３２…可動枠、１４０…制御電極部、１５０…制御回路、１６１…連結部、１６２…ミラー連結部、３０１…可動部開口領域、３０２…連結部領域（切欠き）、３２１…ミラー開口領域、３２２…ミラー連結部領域。
【図１】
2004240011.tif 000003
【図２】
2004240011.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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