(57)【要約】【課題】複数の加工装置とそれらを制御する制御装置からなる製造システムにおいて、加工装置へ電力を供給する電力供給設備を小容量化することにより、工場設備の低コスト化、省エネルギー化に貢献し、かつ加工装置の低コスト化を実現する。【解決手段】制御装置としてのホストコンピュータ７は、加工装置としての半導体製造装置１、２、３の装置制御スケジューリングを行なった後に半導体製造装置１、２、３の消費電力制限値を決定して半導体製造装置１、２、３に通信ライン６を通して指令する。半導体製造装置１、２、３は、その指令に従って消費電力プロファイル情報と蓄電手段を利用して消費電力制御を行なう。これにより、製造システム全体の消費電力の平均化と半導体製造装置１、２、３の蓄電手段の低容量化が可能であり、工場の電力供給設備４の小容量化と半導体製造装置１、２、３の低コスト化が実現できる。【選択図】　　　図１
2004104018.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電力供給設備から給電されて蓄電する蓄電手段を備え該電力供給設備から給電されて作動する複数の加工装置と、該複数の加工装置を制御するための制御装置とを具備し、前記制御装置は前記加工装置に対して消費電力制限タイミングと消費電力制限値を指令し、前記加工装置は前記消費電力制限タイミングで該加工装置内の各負荷が消費する電力のうち前記消費電力制限値を超える電力を前記蓄電手段から給電するように制御することを特徴とする製造システム。
【請求項２】
前記加工装置は、前記電力供給設備および前記蓄電手段から給電されて該加工装置内の各負荷に給電する複数の電源部と、該複数の電源部のうち前記消費電力制限値を超える電力分に対応する単数または複数の電源部の給電元を前記消費電力制限タイミングで前記電力供給設備から前記蓄電手段に切り換える切換手段とを備えることを特徴とする請求項１に記載の製造システム。
【請求項３】
前記加工装置は、前記電力供給設備から給電されて該加工装置内の各負荷に給電する電源部と、該加工装置内の複数の負荷のうち前記消費電力制限値を超える電力分に対応する単数または複数の負荷の給電元を前記消費電力制限タイミングで前記電源部から前記蓄電手段に切り換える切換手段とを備えることを特徴とする請求項１に記載の製造システム。
【請求項４】
前記加工装置は、前記電力供給設備および前記蓄電手段から給電されて該加工装置内の各負荷に給電する電源部と、前記消費電力制限値を超える電力分が前記蓄電手段から前記電源部へ給電されるように少なくとも該蓄電手段の放電または前記電源供給設備から該加工装置への給電を制御する充放電制御手段とを備えることを特徴とする請求項１に記載の製造システム。
【請求項５】
前記制御装置は、前記複数の加工装置の消費電力プロファイル情報と前記電力供給設備の電力供給能力情報とから、前記加工装置の消費電力制限タイミングおよび消費電力制限値を算出し、該加工装置の制御スケジュールを作成することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の製造システム。
【請求項６】
前記加工装置は、前記制御装置から指令された消費電力制限タイミングと消費電力制限値に対し、該加工装置に搭載されている前記蓄電手段の仕様がその指令を満足できるものか否かを判断して前記制御装置に応答する手段を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の製造システム。
【請求項７】
前記制御装置は、前記加工装置からの応答結果に応じて、最適な前記蓄電手段への変更を警告する手段を備えたことを特徴とする請求項６に記載の製造システム。
【請求項８】
前記制御装置は、前記加工装置に搭載されている前記蓄電手段の仕様を検知する手段を備え、その蓄電手段の仕様を考慮して前記加工装置の消費電力制御タイミングと消費電力制限値を算出し、前記加工装置の制御スケジュールを作成することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の製造システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工装置とその制御装置等からなる製造システムの電力制御方法に関するもので、加工装置が半導体製造装置である場合、特に有効なものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体製造装置は、その高性能化にともない装置消費電力が増大している。そして、絶え間ない高性能化の要求により、今後も装置の消費電力は増加し続けることが予想される。
【０００３】
その半導体製造装置を多数設置して半導体生産を行う半導体製造工場では、各装置の要求する電力を設置台数分だけ供給可能な電力供給設備を準備する必要があり、生産ラインに何十台、何百台と半導体製造装置が並ぶ大規模工場において、その電力供給設備は巨大なものとなる。
【０００４】
電力供給設備を少容量化するためには、各装置におけるピーク電力を抑え、消費電力の平均化を行うことが有効である。そのため、特願２００１−３３２６６８（以下、先願発明という）では、装置内に蓄電手段を設け、装置の消費電力プロファイル情報を用いて、ピーク電力消費時の電力供給の一部を電力供給設備から蓄電手段に切り換えることにより、消費電力の平均化を実現する方法が提案されている。
【０００５】
消費電力プロファイルとは、装置の消費電力を測定し、時系列的に示したもので、図３がその一例である。同図においては、起動時、待機時、処理１，２，３の消費電力を時系列的に示している。
【０００６】
先願発明の特徴は、装置毎に消費電力上限値を設定する機能を持たせたことである。蓄電池と消費電力プロファイル情報を利用して、設定された消費電力上限値を超えないように設備給電から蓄電池給電に切り換えることでピーク電力を抑え、消費電力の平均化を実現している。
【０００７】
図９は、先願発明に係る半導体製造システムを示すブロック図である。同図に示すような半導体製造装置３台等からなる製造システムに、上記した消費電力プロファイル情報等を適用した場合について以下に説明する。
【０００８】
各装置は、工場の電力供給設備４より電源ライン５を通して電力の供給を受ける。図２は、半導体製造装置内部の電力供給形態の一例を示す。
図２において、電力は、工場設備である電力供給設備４から切換器８を通して電源部９に供給される。電源部９は、電源Ａ、電源Ｂ、電源Ｃによって電力を本体部１０のユニットが使用する電源形態に変換してユニットＡ、ユニットＢ、ユニットＣへ供給する。
【０００９】
蓄電池１３は、電流調整器１２を通して電力供給設備４から給電される電力を蓄電し、電力供給設備４と同じ電源形態で切換器８を通して電源部９へ給電する。また、制御部１１は、本体部１０の各ユニットおよび切換器８、並びに電流調整器１２を制御する。
【００１０】
図３は半導体製造装置の消費電力プロファイル、図４は半導体製造装置内の各電源の消費電力プロファイルである。各電源の消費電力プロファイルを加え合わせたものが装置の消費電力プロファイルとなる。予め、このような装置全体および各電源の消費電力プロファイルを作成し、記憶装置に保存しておく。
【００１１】
３台の半導体製造装置が稼動した場合の消費電力を図１０に示す。ここで、図１０（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、各装置の消費電力を示し、図１０（Ｄ）は、製造システム全体の消費電力を示す。また、図１１は、従来例に係る消費電力上限設定後の消費電力を説明するためのグラフである。
【００１２】
電力供給設備の供給能力が最大１２０ｋＶＡとすると、図１０（Ｄ）から分かるように、ピーク時には１２０ｋＶＡ分の電力が不足する。そこで、図１１（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）のように、各装置のピーク電力を４０ｋＶＡに制限するように各装置に消費電力上限値を設定する。
【００１３】
制御部１１は、処理１時に上限値超過が４０ｋＶＡ発生するため、この超過分の電力に相当する電源の組み合わせを選択し、記憶しておく。この場合は、電源Ａが選択される。処理１時に、制御部１１は、切換器８により選択した電源Ａの給電元を電源供給設備４から蓄電池１３に切り換える。
【００１４】
また、蓄電池１３から供給される電力とその供給デューティより各処理時における蓄電池充電電流を算出しておき、制御部１１は、電流調整器１２によって蓄電池充電電流を制御する。
【００１５】
このようにして図１１（Ｄ）のように、全体の消費電力を設備の供給能力内に収めることができる。この時、各装置には、４０ｋＶＡ＊１／３（ｈ）＝１３．３ｋＶＡｈの蓄電池容量が必要になる。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ピーク電力が大きい場合、むやみに電力供給設備の小容量化を目指すと、各装置に設ける蓄電手段の容量が大きくなって装置の大型化やコスト増を招き、逆に工場設備コストの増大に繋がってしまうという問題があった。
【００１７】
また、装置の消費電力上限値は、電力供給設備の設備供給能力と装置の設置台数より決定されるため、装置台数が増加するなどして条件に変更が生じた場合には各装置の消費電力上限値を算出し直し、オペレータが各装置に再設定する必要があった。
【００１８】
本発明では、装置の蓄電手段の小容量化と電力供給設備の小容量化をバランスよく可能にし、また状況の変化に対応して自動的に最適な生産性をもたらす製造システムを提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の製造システムは、電力供給設備から給電されて蓄電する蓄電手段を備え該電力供給設備から給電されて作動する複数の加工装置と、該複数の加工装置を制御するための制御装置とを具備し、前記制御装置は前記加工装置に対して消費電力制限タイミングと消費電力制限値を指令し、前記加工装置は前記消費電力制限タイミングで該加工装置内の各負荷が消費する電力のうち前記消費電力制限値を超える電力を前記蓄電手段から給電するように制御することを特徴とする。
【００２０】
本発明の製造システムの好ましい一実施形態において、前記加工装置は、前記電力供給設備および前記蓄電手段から給電されて該加工装置内の各負荷に給電する複数の電源部と、該複数の電源部のうち前記消費電力制限値を超える電力分に対応する単数または複数の電源部の給電元を前記消費電力制限タイミングで前記電力供給設備から前記蓄電手段に切り換える切換手段とを備える。
【００２１】
本発明の製造システムの好ましい別の実施形態において、前記加工装置は、前記電力供給設備から給電されて該加工装置内の各負荷に給電する電源部と、該加工装置内の複数の負荷のうち前記消費電力制限値を超える電力分に対応する単数または複数の負荷の給電元を前記消費電力制限タイミングで前記電源部から前記蓄電手段に切り換える切換手段とを備える。
【００２２】
本発明の製造システムの好ましいさらに別の実施形態において、前記加工装置は、前記電力供給設備および前記蓄電手段から給電されて該加工装置内の各負荷に給電する電源部と、前記消費電力制限値を超える電力分が前記蓄電手段から前記電源部へ給電されるように少なくとも該蓄電手段の放電または前記電源供給設備から該加工装置への給電を制御する充放電制御手段とを備える。
【００２３】
本発明において、前記制御装置は、前記複数の加工装置の消費電力プロファイル情報と前記電力供給設備の電力供給能力情報とから、前記加工装置の消費電力制限タイミングおよび消費電力制限値を算出し、該加工装置の制御スケジュールを作成することが好ましい。また、前記加工装置は、前記制御装置から指令された消費電力制限タイミングと消費電力制限値に対し、該加工装置に搭載されている前記蓄電手段の仕様がその指令を満足できるものか否かを判断して前記制御装置に応答する手段を備えたものであるとよい。
【００２４】
また、本発明において、前記制御装置は、前記加工装置からの応答結果に応じて、最適な前記蓄電手段への変更を警告する手段を備えたものであるとよい。さらに、前記制御装置は、前記加工装置に搭載されている前記蓄電手段の仕様を検知する手段を備え、その蓄電手段の仕様を考慮して前記加工装置の消費電力制御タイミングと消費電力制限値を算出し、前記加工装置の制御スケジュールを作成するとよい。
【００２５】
【作用】
先願発明では、装置は各々独立で稼動することを前提に、工場の電力供給設備能力と装置の設置台数より消費電力上限値を決定する方法が説明されているが、近年、大規模な半導体製造工場では多数の半導体製造装置の集中情報管理を行うために、ホストコンピュータと半導体製造装置をＬＡＮ等の通信手段で接続した、いわゆるオンライン設備が標準的に敷設されている。このオンライン設備を利用して電力供給設備に応じた最適な装置制御スケジューリングを行なう方法が特願２００１−３４２１１９に提案されている。
【００２６】
装置制御スケジューリングを行なわないで装置を稼動する場合には、各装置の消費電力上限値は工場の電力供給能力と装置設置台数で決定される。そして、従来例に示すように、すべての装置のピーク電力消費が重なることを想定しなくてはならないため、ピーク電力が大きい場合は各装置への削減要求も大きくなり、その部分の電力をカバーするため、大容量の蓄電手段を用意する必要があった。
【００２７】
一方、装置制御スケジューリングを行なうと、ピーク電力をずらして複数の装置が稼動するため、全体としての消費電力ピークを大幅に抑制できる。よって、これに先願発明を適用した本願発明によると、各装置の消費電力制限はより少ない量で済み、蓄電手段のサイズダウン、コストダウンが可能になる。
【００２８】
また、装置台数や電力供給能力の変動に対してもオンライン設備を使って自動的に各装置の消費電力制限を変更することが可能になり、設定変更忘れやミスなどによるトラブルの防止やオペレータの省力化にもつながる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
本発明の製造システムの好ましい第１の実施形態では、電力供給設備から給電されて蓄電する蓄電手段と、該電力供給設備および該蓄電手段から給電されて加工装置内の各負荷に給電する電源部と、該電源部への給電を該電力供給設備と該蓄電手段で切り換え手段を備えた複数の加工装置と、該複数の加工装置を制御するための制御装置を具備し、前記制御装置が前記加工装置に対して消費電力制限タイミングと消費電力制限値を指令し、前記加工装置が消費電力制限タイミングで消費電力制限値に対応する電力分の給電を前記電力供給設備から前記蓄電手段に切り換えるように制御する。この構成により、オンライン設備を利用した装置制御スケジューリングを行なった上で各装置の消費電力制限を行なうことで、さらに効果的な省電力方法を提供することができる。
【００３０】
また、本発明の製造システムの好ましい第２の実施形態では、電力供給設備から給電されて蓄電する蓄電手段と、前記蓄電手段の充放電を制御する手段と、前記蓄電手段から給電されて加工装置内の各負荷に給電する電源部を備えた複数の加工装置と、前記複数の加工装置を制御するための制御装置を具備し、前記制御装置は前記加工装置に対して消費電力制限タイミングと消費電力制限値を指令し、前記加工装置が消費電力制限タイミングで消費電力制限値に対応する電力分の給電を前記電力供給設備から前記蓄電手段に切り換えるように制御する。
【００３１】
【実施例】
次に、本発明の実施例を説明する。
［第１の実施例］
半導体製造工場には、複数の半導体製造装置が設置されており、図１は、半導体露光装置等の半導体製造装置に対する電力供給およびオンライン接続形態を示している。
【００３２】
同図において、電力は、電力供給設備４から電源ライン（ケーブル）５を通し、各半導体製造装置１，２，３に供給される。また、各半導体製造装置１，２，３は、通信ライン（ケーブル）６によってオンラインでホストコンピュータ７と接続され、各種情報の入出力が行なわれる。
【００３３】
図２は、図１の半導体製造装置１の内部の電力供給形態を示している。同図において、電力は、工場設備である電力供給設備４から切換器８を通し、電源部９に供給される。電源部９は、電源Ａ、電源Ｂ、電源Ｃによって、電力を本体部１０のユニットが使用する電源形態に変換してユニットＡ、ユニットＢ、ユニットＣへ供給する。
【００３４】
蓄電池１３は、電流調整器１２を通して電力供給設備４から給電される電力を蓄電し、電力供給設備４と同じ電源形態で切換器８を通して電源部９へ給電する。また、制御部１１は、本体部１０の各ユニットＡ，Ｂ，Ｃおよび切換器８、並びに電流調整器１２を制御する。
【００３５】
図３は、図２の半導体製造装置１の消費電力プロファイルであり、図４は、図２の半導体製造装置における各電源Ａ，Ｂ，Ｃ、すなわち各ユニットＡ，Ｂ，Ｃの消費電力プロファイルである。各電源Ａ，Ｂ，Ｃの消費電力プロファイルを加え合わせたものが半導体製造装置１の消費電力プロファイルとなる。予め、このような装置１の全体および各電源Ａ，Ｂ，Ｃの消費電力プロファイルを作成し、記憶装置に保存しておく。
【００３６】
また、消費電力を制限するタイミングを示す消費電力制限タイミングとその時の消費電力制限値は、ホストコンピュータ７が決定し、通信ライン６を通して半導体製造装置１、２、３に指令する。以降に説明するように、半導体製造装置１、２、３は、消費電力制限タイミングにおいて、電力供給設備４からの供給電力を消費電力制限値以上消費しないように制御される。
【００３７】
制御部１１は、消費電力制限タイミングにおける消費電力制限値と装置の消費電力プロファイルから、制限値を遵守できるかどうかを調査する。遵守できない場合は、そのタイミングでの各電源の消費電力プロファイルより超過電力分に相当する最適な電源の組み合わせを選択し、記憶しておく。消費電力制限タイミングで給電元を電力供給設備４から蓄電池１３に切り換えることにより、電力供給設備４からの電力消費を指令通りに制限できる。また、本実施例においては、蓄電池１３から供給される電力とその供給タイミング情報より、各処理時における蓄電池充電スケジュールを作成しておく。
【００３８】
次に、ホストコンピュータ７による消費電力制限タイミングと消費電力制限値の算出方法および実際の動作例を述べる。
【００３９】
本実施例においては、まず特願２００１−３４２１１９で提案された方法によって装置制御をスケジューリングする。装置制御スケジューリングのために、ホストコンピュータ７は、各装置から消費電力プロファイル情報を収集する。そして、全体の消費電力ピークを抑え、かつ最適な生産性をもたらす装置制御スケジューリングを行なう。
【００４０】
図５が装置制御スケジューリングの結果である。同図において、図５（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、各々半導体製造装置１、２、３の消費電力を示し、図５（Ｄ）は、全体の消費電力を示す。
【００４１】
スケジューリング後には、電源供給能力内に収めるために、全体で２０ｋＶＡ分のピーク電力を削減すれば良い。各装置に振り分けると、６．７ｋＶＡ分の削減となり、これは従来例のわずか約１７％である。
【００４２】
図６に各装置の消費電力制限を行なった結果を示す。同図において、図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、半導体製造装置１、２、３の消費電力を示し、図６（Ｄ）は、全体の消費電力を示す。
【００４３】
図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）のそれぞれ点線の部分を削減すると、全体の消費電力が設備供給能力内に収まることが分かる。ホストコンピュータ７は、このように算出した消費電力制限タイミングと消費電力制限値を半導体製造装置１、２、３に対して通知する。
【００４４】
各半導体製造装置１，２，３は、消費電力制限タイミングで消費電力制限値に対して最適な電源を選択して給電元を蓄電池に切り換え、消費電力制限を行なう。これを具体的に説明する。
【００４５】
半導体製造装置１では、図６（Ａ）の点線部の電力を蓄電池でまかなうために、図４の各電源の消費電力プロファイル情報より適当な電源の組み合わせを選択し、記憶しておく。この場合は、電源Ｂの待機時電力がそれに相当する。蓄電池容量で考えても、６．７ｋＶＡ＊２／３（ｈ）＝４．５ｋＶＡｈと、従来例の約３０％で済む。この削減効果は、ピーク電力と平均電力の差が大きいほど大きくなる。
【００４６】
半導体製造装置２、３でも同様に、図６（Ｂ）、（Ｃ）より、適当な電源の組み合わせを選択し、記憶しておく。
【００４７】
こうして装置制御スケジュールに従って、半導体製造装置１、２、３の稼動がはじまると、各装置１，２，３に通知された消費電力制限タイミングで制御部１１は切換器８を制御し、選択した電源の給電元を電力供給設備４から蓄電池１３に切り換える。また、予め作成した蓄電池充電スケジュールに従い、制御部１１は電流調整器１２を制御して蓄電池１３の充電を行なう。
【００４８】
このようにして、図６（Ｄ）に示すように、全体の消費電力を電力供給設備４の供給能力内に収めることができる。
【００４９】
また、電力プロファイルと消費電力制限値とから必要な蓄電池仕様は決まる。予め装置の蓄電池仕様を装置に記憶させておいて必要な蓄電池仕様と比較し、消費電力制限を守れない場合には、警告を出して蓄電池仕様の変更を要求したり、また逆に蓄電池仕様に余裕のある場合には、最適な蓄電池仕様を提示することも可能である。これをオンライン設備を通じて、ホストコンピュータ７側に行なわせても良い。
【００５０】
さらに、ホストコンピュータ７が装置制御スケジューリングを行なう際に、オンラインを通じて各装置の蓄電池仕様情報を収集することにより、各装置の蓄電池仕様に応じた消費電力制限スケジューリングを行なうことができる。
【００５１】
さらに、装置台数や蓄電池仕様、設備の電力供給能力に変更があった場合には、自動的に装置制御スケジュールや消費電力制限タイミングと消費電力制限値を再度算出し直し、オンライン設備を通して各装置に再設定することも可能である。
【００５２】
［第２の実施例］
図７を用いて本発明の第２の実施例を説明する。
本実施例において、半導体製造工場には、複数の半導体製造装置が設置されており、図７はその中の１台の装置における電力供給形態を示している。電力は、工場設備である電力供給設備４から電源部９に供給される。電源部９は、電源Ａ、電源Ｂ、電源Ｃによって、電力を本体部１０のユニットが使用する電源形態に変換して切換器８を通してユニットＡ、ユニットＢ、ユニットＣへ供給する。
【００５３】
蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃは、電流調整器１２（電流調整器Ａ、Ｂ、Ｃ）を通して設備から給電される電力を何らかの電源形態で蓄電し、各ユニットが使用する電源形態で切換器８を通してユニットＡ、Ｂ、Ｃへ給電する。また、制御部１１は、本体部１０の各ユニットおよび切換器８、並びに電流調整器１２を制御する。
半導体製造装置の構成以外は、上記した第１の実施例と同様である。
【００５４】
制御部１１は、消費電力制限タイミングに入る前に、切換器８を制御してユニットへの給電を電源から蓄電池に切り換える。また、蓄電池使用電力プロファイルをもとに蓄電池充電スケジュールを作成し、制御部１１が電流調整器１２を制御して充電電流を調整し、蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃを充電する。
【００５５】
このようにして、装置の消費電力を制限値以内に抑えることができる。
【００５６】
［第３の実施例］
図８は、第３の実施例に係る半導体製造装置の電力供給形態を示すブロック図である。
本実施例では、上記した第２の実施例において電源と蓄電池を切り換える方法に代わって充放電コントローラ１４を利用して蓄電池の充放電電力を制御することにより、第２の実施例と同様の結果を得ることができる。
【００５７】
電力は、工場設備である電力供給設備４から電源部９に供給される。電源部９は、蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃによって電力を本体部１０のユニットが使用する電源形態に変換してユニットＡ、ユニットＢ、ユニットＣへ供給する。蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃは、電力供給設備４から給電される電力を何らかの電源形態で蓄電し、ユニットが使用する電源形態に変換してユニットＡ、ユニットＢ、ユニットＣへ給電する。制御部１１は、本体部１０の各ユニットＡ，Ｂ，Ｃおよび電源部９の充放電コントローラＡ、Ｂ、Ｃを制御する。
【００５８】
充放電コントローラＡ、Ｂ、Ｃは、制御部１１からの指令によって蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃの充電／放電量を制御する。充電量が電力供給設備４から見た半導体製造装置１の消費電力に相当し、放電量は装置内部での消費電力に相当する。したがって、充電量＝放電量ならば、設備から供給された電力がそのまま電源部に供給される。充電量＞放電量ならば、（充電量−放電量）が蓄電池に充電される。充電量＜放電量ならば、（充電量＋蓄電池からの給電）が電源部に供給される。
【００５９】
消費電力制限動作に至るまでの説明は、上記した第１の実施例と同様である。すなわち、制御部１１は、電源部９の充放電コントローラＡ、Ｂ、Ｃによって電源部９の蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃの充電量と放電量を制御する。つまり、各装置１，２，３に通知された消費電力制限タイミングと消費電力制限値より、制御部１１は、電源部９の充放電コントローラＡ、Ｂ、Ｃによって電源部９の蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃの放電量を制御する。また、電源部９の蓄電池から供給される電力とその供給デューティより各処理時における蓄電池充電電流を算出しておき、制御部１１は、電源部９の充放電コントローラによって電源部９の蓄電池Ａ、Ｂ、Ｃの充電量を制御する。
【００６０】
このようにして、上記した第２の実施例と同様に、装置の消費電力を制限値以内に抑えることができる。
【００６１】
以上説明したように、上記した第１〜第３の実施例によれば、近年、半導体製造工場に標準的に敷設されているオンライン設備を利用して半導体製造工場の電力供給設備を小容量化できるため、余分な設備投資をすることなく、工場設備の低コスト化、省エネルギー化に貢献できる。さらに、各装置の蓄電手段を小容量化できるため、装置自体のコストダウン、サイズダウンが可能となり、トータルとして最適な省エネルギーシステムを構築できる。
【００６２】
また、オンライン設備を通して自動的に消費電力制限値を設定できるため、オペレータの省力化につながり、また電力供給設備や装置台数、装置搭載蓄電手段の変更に応じて自動的に消費電力制限値の設定変更が可能なため、状況の変化に応じて常に最適な省電力システムを実現できる。
【００６３】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、装置の蓄電手段の小容量化と電力供給設備の小容量化をバランスよく可能にし、また状況の変化に対応して自動的に最適な生産性をもたらす製造システムが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施例における半導体製造システムを示すブロック図である。
【図２】第１の実施例および従来例における半導体製造装置の電力供給形態を示すブロック図である。
【図３】第１の実施例における半導体製造装置の消費電力プロファイルを示すグラフである。
【図４】第１の実施例における電源別消費電力プロファイルを示すグラフであり、（Ａ）は電源Ａの消費電力プロファイル、（Ｂ）は電源Ｂの消費電力プロファイル、（Ｃ）は電源Ｃの消費電力プロファイルをそれぞれ示す。
【図５】第１の実施例における装置制御スケジューリング後の消費電力を説明するためのグラフであり、（Ａ）は装置１の消費電力、（Ｂ）は装置２の消費電力、（Ｃ）は装置３の消費電力、（Ｄ）は全体の消費電力をそれぞれ示す。
【図６】第１の実施例における消費電力制限後の消費電力を説明するためのグラフであり、（Ａ）は装置１の消費電力、（Ｂ）は装置２の消費電力、（Ｃ）は装置３の消費電力、（Ｄ）は全体の消費電力をそれぞれ示す。
【図７】第２の実施例における半導体製造装置の電力供給形態を示すブロック図である。
【図８】第３の実施例における半導体製造装置の電力供給形態を示すブロック図である。
【図９】先願発明に係る半導体製造システムを示すブロック図である。
【図１０】先願発明に係る消費電力を説明するためのグラフであり、（Ａ）は装置１の消費電力、（Ｂ）は装置２の消費電力、（Ｃ）は装置３の消費電力、（Ｄ）は全体の消費電力をそれぞれ示す。
【図１１】先願発明に係る消費電力上限設定後の消費電力を説明するためのグラフであり、（Ａ）は装置１の消費電力、（Ｂ）は装置２の消費電力、（Ｃ）は装置３の消費電力、（Ｄ）は全体の消費電力をそれぞれ示す。
【符号の説明】１：半導体製造装置１，２：半導体製造装置２，３：半導体製造装置３，４：電力供給設備，５：電源ライン，６：通信ライン，７：ホストコンピュータ，８：切換器，９：電源部，１０：本体部，１１：制御部，１２：電流調整器，１３：蓄電池。
【図１】
2004104018.tif 000003
【図２】
2004104018.tif 000004
【図３】
2004104018.tif 000005
【図４】
2004104018.tif 000006
【図５】
2004104018.tif 000007
【図６】
2004104018.tif 000008
【図７】
2004104018.tif 000009
【図８】
2004104018.tif 000010
【図９】
2004104018.tif 000011
【図１０】
2004104018.tif 000012
【図１１】
2004104018.tif 000013