(57)【要約】【課題】支持体夫々の積層方向の厚みを薄くすることによる被支持体積層支持装置の軽量化。【解決手段】被支持体２の夫々を各別に載置支持する載置面６を備えた板状の支持体３を設け、それら支持体３の夫々に、載置面６に載置された被支持体２の外周縁部に接当して、被支持体２の載置面６に沿う方向での移動を規制する複数の突出部７を載置面６から突出する状態で設け、突出部７の夫々には、それが設けられた支持体３に隣接する支持体３の載置面６側への移動位置を被支持体２の厚さよりも大なる位置に規制するように、隣接する支持体３を受け止める受け部、及び、隣接する支持体３の載置面６に沿う方向での相対移動を規制するように、隣接する支持体３の被係合部と係合する係合部を設ける。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被支持体を積層状態に支持する被支持体積層支持装置であって、
前記被支持体の夫々を各別に載置支持する載置面を備えた板状の支持体が設けられ、
それら支持体の夫々には、前記載置面に載置された前記被支持体の外周縁部に接当して、前記被支持体の前記載置面に沿う方向での移動を規制する複数の突出部が、前記載置面から突出しかつ前記被支持体の外周縁部に対して分散配置される状態で設けられ、
前記突出部の夫々には、それが設けられた支持体に隣接する支持体の載置面側への移動位置を前記被支持体の厚さよりも大なる位置に規制するように、隣接する支持体を受け止める受け部、及び、隣接する支持体の前記載置面に沿う方向での相対移動を規制するように、隣接する支持体の被係合部と係合する係合部が設けられている被支持体積層支持装置。
【請求項２】
前記支持体には、その周縁部から前記載置面に載置される前記被支持体の存在箇所にまで延びる切欠きが形成されている請求項１記載の被支持体積層支持装置。
【請求項３】
前記被支持体を載置した前記支持体の複数を積層させた積層支持体群を収納する収納ケースが、前記積層支持体群の収納及び取り出しのために開閉自在に構成され、且つ、閉じ状態において、前記積層支持体群を積層方向に押圧し、かつ、前記積層支持体群の積層方向と交差する方向の移動の規制するように構成されて設けられている請求項１又は２に記載の被支持体積層支持装置。
【請求項４】
前記収納ケースが、前記積層支持体群の積層方向に伸びて、前記積層支持体群における各支持体についての前記積層方向と交差する方向での移動を接当規制する規制体を外部から挿入自在に構成されている請求項３に記載の被支持体積層支持装置。
【請求項５】
前記突出部が前記規制体を貫通可能な筒状に形成されて、前記規制体が前記突出部を貫通するように構成されている請求項４に記載の被支持体積層支持装置。
【請求項６】
前記被支持体を載置した前記支持体の複数を積層させた積層支持体群を載置自在な基枠に、前記積層支持体群の積層方向に伸びて、前記積層支持体群における各支持体についての前記積層方向と交差する方向での移動を接当規制する規制材が設けられ、前記積層支持体群を前記基枠との間で挟持する押圧部材が、前記規制材の先端部に取り付け自在に設けられて、前記積層支持体群が、前記基枠と前記押圧部材とにより積層状態に保持されるように構成されている請求項１又は２に記載の被支持体積層支持装置。
【請求項７】
前記突出部が前記規制材を貫通可能な筒状に形成されて、前記規制材が前記突出部を貫通するように構成されている請求項６に記載の被支持体積層支持装置。
【請求項８】
前記積層状態に保持された前記積層支持体群を収納する保持ケースが、前記積層支持体群の収納及び取り出しのために開閉自在に構成され、且つ、閉じ状態において、前記積層支持体群の積層方向及びそれと交差する方向の移動の規制するように構成されて設けられている請求項６又は７に記載の被支持体積層支持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状の被支持体を積層状態に支持する被支持体積層支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
かかる被支持体積層支持装置は、半導体のウェハや液晶に使用するガラス等の板状の被支持体を積層状態に支持するものである。
そして、上記のような被支持体積層支持装置の従来の構成においては、板状の被支持体の夫々を各別に載置支持する載置面を備えた支持体が設けられ、その支持体の夫々は、上面を凹入形成して底部に載置面を備える凹入部が形成されており、載置面に載置された前記被支持体はその外周縁部が凹入部の側壁に接当して被支持体の載置面に沿う方向での移動を規制し、凹入部の底部に載置面を備えることにより隣接する支持体の載置面側への移動位置を前記被支持体の厚さよりも大なる位置に規制し、隣接する支持体の被係合部と凹入部とが係合して隣接する支持体の載置面に沿う方向での相対移動を規制するように構成されていた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−８２７８９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
近年の板状の被支持体は、例えば、半導体のウェハであれば径の大きさが８インチから１２インチに移行したり、液晶に使用するガラスであれば液晶画面の大画面化に伴いそれに使用するガラスも大型なものとなるなど大型化が顕著であり、その大型化した板状の被支持体を積層状態に支持する被支持体積層支持装置も当然に大型なものとなる。従って、被支持体積層支持装置の大型化によって被支持体積層支持装置自体の重量も増大してしまうものであるが、上記従来の構成であれば、被支持体の前記載置面に沿う方向での移動の規制、隣接する支持体の載置面側への移動位置を前記被支持体の厚さよりも大なる位置に規制、並びに、隣接する支持体の前記載置面に沿う方向での相対移動の規制を行うために、支持体に積層方向の凹入部が形成されており、凹入部を形成することにより支持体は積層方向に厚肉となるために重く、重い支持体を備えた被支持体積層支持装置も重量増大となるため、被支持体積層支持装置を搬送する際の負担が大きなものであった。
そして、被支持体積層支持装置自体から発生するアウトガスにより収納してある被支持体が影響を受けるおそれがあり、例えば、板状の被支持体として半導体のウェハを収納した場合では、発生したアウトガスによりウェハの素材の特性が変わってしまうおそれがあり、被支持体積層支持装置における支持体の素材として樹脂や金属等が考えられるものの、支持体の材質をアウトガスの対策として有効な金属製とした場合には、上記課題は特に顕著なものとなる。
また、上記例示したように板状の被支持体が半導体のウェハであり、前工程を行う工場と後工程を行う工場とが離れた場所、例えば、前工程の工場が国内であり後工程の工場が国外である場合のように、板状の支持体の搬送距離が長距離である場合でも、上記課題が顕著なものである。
【０００５】
本発明の目的は、支持体夫々の積層方向の厚みを薄くして被支持体積層支持装置を軽量化する点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１によれば、板状の被支持体を積層状態に支持する被支持体積層支持装置において、前記被支持体の夫々を各別に載置支持する載置面を備えた板状の支持体が設けられ、それら支持体の夫々には、前記載置面に載置された前記被支持体の外周縁部に接当して、前記被支持体の前記載置面に沿う方向での移動を規制する複数の突出部が、前記載置面から突出しかつ前記被支持体の外周縁部に対して分散配置される状態で設けられ、前記突出部の夫々には、それが設けられた支持体に隣接する支持体の載置面側への移動位置を前記被支持体の厚さよりも大なる位置に規制するように、隣接する支持体を受け止める受け部、及び、隣接する支持体の前記載置面に沿う方向での相対移動を規制するように、隣接する支持体の被係合部と係合する係合部が設けられていることを特徴としている。
すなわち、載置面から突出しかつ前記被支持体の外周縁部に対して分散配置される状態で設けられた突出部によって、被支持体の前記載置面に沿う方向での移動を規制、隣接する支持体の載置面側への移動位置を前記被支持体の厚さよりも大なる位置に規制、並びに、隣接する支持体の前記載置面に沿う方向での相対移動の規制が行われている。
つまり、上記した規制がすべて突出部によって行われているため、支持体は被支持体を載置面上に単に載置させるだけでよく、支持体を被支持体を受け止めるだけの薄い形状にできて軽量なものとすることができ、この軽量となった支持体を複数備える被支持体積層支持装置も軽量化することができるに至った。
【０００７】
請求項２によれば、前記支持体には、その周縁部から前記載置面に載置される前記被支持体の存在箇所にまで延びる切欠きが形成されていることを特徴としている。
すなわち、被支持体を被支持体積層支持装置から他の所に移載する際、切欠きを通して被支持体の載置する側の面から作用させることができ、例えば、被支持体の載置する側の面の反対側を吸着保持して搬送するほかに、被支持体の載置する側の面を吸着保持して搬送したり、被支持体を把持して搬送したりすることもできるようになり、被支持体を被支持体積層支持装置から他の所に移載する際に移載方法の選択肢が増え、使い勝手が良い被支持体積層支持装置が得られる。
【０００８】
請求項３によれば、前記被支持体を載置した前記支持体の複数を積層させた積層支持体群を収納する収納ケースが、前記積層支持体群の収納及び取り出しのために開閉自在に構成され、且つ、閉じ状態において、前記積層支持体群を積層方向に押圧し、かつ、前記積層支持体群の積層方向と交差する方向の移動の規制するように構成されて設けられていることを特徴としている。
すなわち、積層支持体群を収納ケースに収納している状態では、積層支持体群が積層方向に押圧され、かつ、前記積層支持体群の積層方向と交差する方向の移動の規制された状態で収納されているため、積層支持体群における支持体が積層方向や積層方向と交差する方向にずれ動くことがなく、収納ケースの内壁に接当する等による被支持体の破損の可能性を抑えることができる。
【０００９】
請求項４によれば、前記収納ケースが、前記積層支持体群の積層方向に伸びて、前記積層支持体群における各支持体についての前記積層方向と交差する方向での移動を接当規制する規制体を外部から挿入自在に構成されていることを特徴としている。
すなわち、規制体を収納ケース外部から挿入することにより、積層支持体群における各支持体についての積層方向と交差する方向の移動を接当規制することができるため、規制体を収納ケース外部から挿入した状態で、収納ケースによる積層支持体群に対する積層方向と交差する方向の移動の規制を解除することにより、積層支持体群における各支持体についての積層方向と交差する方向での移動の規制を維持した状態で積層支持体群を収納ケースから取り出すことができる。従って、積層支持体群を収納ケースから取り出す際に各支持体が積層方向と交差する方向に位置ずれすることがなく、その後の支持体の移動させる作業が行いやすくなる。
【００１０】
請求項５によれば、前記突出部が前記規制体を貫通可能な筒状に形成されて、前記規制体が前記突出部を貫通するように構成されていることを特徴としている。
すなわち、規制体を収納ケース外部から挿入することにより、積層支持体群における各支持体についての前記積層方向と交差する方向の移動を突出部にて全周にわたって接当規制することができるため、各支持体についての前記積層方向と交差する方向の移動を確実に接当規制することができ、各支持体が積層方向と交差する方向に位置ずれすることをより確実になくすことができる。
【００１１】
請求項６によれば、前記被支持体を載置した前記支持体の複数を積層させた積層支持体群を載置自在な基枠に、前記積層支持体群の積層方向に伸びて、前記積層支持体群における各支持体についての前記積層方向と交差する方向での移動を接当規制する規制材が設けられ、前記積層支持体群を前記基枠との間で挟持する押圧部材が、前記規制材の先端部に取り付け自在に設けられて、前記積層支持体群が、前記基枠と前記押圧部材とにより積層状態に保持されるように構成されていることを特徴としている。
すなわち、基枠と前記押圧部材とにより積層状態に保持されている積層支持体群は、各支持体が押圧部材にて積層方向に押圧されているとともに積層方向と交差する方向での移動は規制材にて規制されているため、積層支持体群が崩れるおそれがなく、被支持体積層支持装置を容易に移載することができる。
【００１２】
請求項７によれば、前記突出部が前記規制材を貫通可能な筒状に形成されて、前記規制材が前記突出部を貫通するように構成されていることを特徴としている。
すなわち、規制材により積層支持体群における各支持体についての積層方向と交差する方向の移動を突出部にて全周にわたって接当規制することができるため、各支持体についての前記積層方向と交差する方向の移動を確実に接当規制することができ、各支持体が積層方向と交差する方向に位置ずれすることをより確実になくすことができる。
【００１３】
請求項８によれば、前記積層状態に保持された前記積層支持体群を収納する保持ケースが、前記積層支持体群の収納及び取り出しのために開閉自在に構成され、且つ、閉じ状態において、前記積層支持体群の積層方向及びそれと交差する方向の移動の規制するように構成されて設けられていることを特徴としている。
すなわち、積層支持体群を保持ケースに収納している状態では、積層支持体群が積層方向に押圧され、かつ、前記積層支持体群の積層方向と交差する方向の移動の規制された状態で収納されているため、積層支持体群が保持ケースの内壁に接当する等により被支持体が破損してしまう可能性を抑えることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
〔第１実施形態〕
以下、本発明に係る被支持体積層支持装置の第１実施形態を、板状の被支持体の一例を半導体のウェハ２とし、そのウェハ２を積層状態に支持するウェハ積層支持装置１に適用する場合について図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１に示すように、被支持体積層支持装置としてのウェハ積層支持装置１は、被支持体としてのウェハ２の夫々を各別に載置支持する載置面６を備えた板状の支持体３と、ウェハ２を載置した支持体３の複数を積層させた積層支持体群４を収納する収納ケース５とで構成されている。
【００１６】
図２に示すように、支持体３の夫々には、前記載置面６に載置された前記ウェハ２の外周縁部２ａに接当して、前記ウェハ２の前記載置面６に沿う方向での移動を規制する複数の突出部７が、前記載置面６から突出しかつ前記ウェハ２の外周縁部２ａに対して分散配置される状態で設けられ、前記突出部７の夫々には、それが設けられた支持体３に隣接する支持体３の載置面６側への移動位置を前記ウェハ２の厚さよりも大なる位置に規制するように、隣接する支持体３を受け止める受け部７ａ、及び、隣接する支持体３の前記載置面６に沿う方向での相対移動を規制するように、隣接する支持体３の被係合部８と係合する係合部７ｂが設けられている。また、前記支持体３には、その周縁部３ａから前記載置面に載置される前記ウェハ２の存在箇所３ｂにまで延びる切欠き９が形成されている。
【００１７】
前記支持体３の夫々について詳述すると、図２、図４に示すように、支持体３は、前記載置面６を備えた薄い四角板状に形成された支持体本体１０と、この支持体本体１０とは別体に構成された突出係止部材１１と、ゴムやスポンジ等の合成樹脂により構成された緩衝部材１２とにより構成されている。前記支持体本体１０の夫々には、その４辺ある周縁部３ａの１辺から支持体３の中心部に向けて載置面６に載置されるウェハ２の存在箇所３ｂにまで延びる切欠き９が形成され、残る３辺のうちの対向する２辺の夫々に後述する規制体２１が係合する切欠き係合部１３が形成されている。また、支持体本体３には、支持体本体３における前記存在箇所３ｂ内に位置して積層方向に貫通する３つの内孔１４と、支持体本体３における前記存在箇所３ｂより周縁部３ａ側に位置して積層方向に貫通する３つの外孔１５とが形成されている。尚、支持体本体１０は、アルミニウムやステンレス等の金属、若しくは、強度及びアウトガスに対して有効な効果を有する合成樹脂にて構成されている。
【００１８】
図４に示すように、前記突出係止部材１１の夫々は、先端部１１ａと基端部１１ｂと、これら先端部１１ａや基端部１１ｂより大径のフランジ部１１ｃとで構成されており、基端部１１ｂを前記支持体本体１０の外孔１５に載置面６側から嵌合して支持体本体１０に取り付けられるように構成してある。尚、支持体本体１０に取り付けた状態において載置面６から突出している先端部１１ａとフランジ部１１ｃとが前記突出部７に相当し、フランジ部１１ｃが前記受け部７ａに相当し、先端部１１ａが前記係合部７ｂに相当する。また、支持体３における３つの突出係止部材１１のうちの１つが４辺ある周縁部３ａのうちの切欠き９及び切欠き係合部１３が形成されていない１辺寄りに設けられており、その１つの突出係止部材１１は筒状で挿通口１１ｄが形成されている。
そして、前記緩衝部材１２の夫々は、柱状の柱部１９と柱部１９の両端に備えられて柱部１９より大径で面状の面状部２０とで構成されている。
【００１９】
前記突出係止部材１１の夫々は、基端部１１ｂを前記支持体本体１０の外孔１５に載置面６側から嵌合して支持体３に取り付けられており、前記緩衝部材１２の夫々は、一方の面状部２０が載置面６上に位置し、他方の面状部２０が裏面１６上に位置するように支持体本体１０の内孔１４に嵌合して設けられている。尚、外孔１５の裏面１６側は係合部７ｂと係合する被係合部８に構成されている。
【００２０】
図２に示すように、上記のように支持体本体１０に突出係止部材１１と緩衝部材１２とを設けた状態とした支持体３は、３つの突出係止部材１１にて囲まれる載置面６にウェハ２を載置すると、ウェハ２は３つの緩衝部材１２における面状部２０上に位置するとともに、そのウェハ２の載置面６に沿う方向への移動は突出係止部材１１のフランジ部１１ｃへの接当によって規制されるように構成されている。
また、図４、図５に示すように、ウェハ２を載置した支持体３の複数を積層させて積層支持体群４とした状態では、突出係止部材１１の先端部１１ａは載置面６側に隣接する支持体３の被係合部８に係合した状態であり、支持体３同士の載置面６に沿う方向での相対移動が規制されているとともに、隣接する支持体３の載置面６と裏面１６との間には突出係止部材１１のフランジ部１１ｃが介在することによって所定の間隔が形成されており、載置しているウェハ２は隣接する支持体２の夫々に備えた緩衝部材１２に挟まれる状態で位置するように構成されている。
つまり、支持体３の複数を積層させて積層支持体群４とした状態でのウェハ２は、載置面６に沿う方向への移動が突出係止部材１１のフランジ部１１ｃにて規制されているとともに、積層方向への移動が緩衝部材１２により緩衝されながら載置面６と裏面１６とにより規制されている。
【００２１】
図１、図３、図４に示すように、積層支持体群４における最も頂部に位置する支持体３には、この支持体３の係合部７ａと係合する被係合孔２８ａを形成した係合板２８が載置されており、積層支持体群４に係合板２８を載置させた状態で前記収納ケース５に収納するように構成されている。
【００２２】
次に、前記収納ケース５について説明する。前記収納ケース５は、前記ウェハ２を載置した前記支持体３の複数を積層させた積層支持体群４を収納するものであり、前記積層支持体群４の収納及び取り出しのために開閉自在に構成され、且つ、閉じ状態において、前記積層支持体群４を積層方向に押圧し、かつ、前記積層支持体群４の積層方向と交差する方向の移動の規制するように構成されて設けられている。また、前記収納ケース５が、前記積層支持体群４の積層方向に伸びて、前記積層支持体群４における各支持体３についての前記積層方向と交差する方向での移動を接当規制する規制体２１を外部から挿入自在に構成されている。また、前記突出部７が前記規制体２１を貫通可能な筒状に形成されて、前記規制体２１が前記突出部７を貫通するように構成されている。
【００２３】
前記収納ケース５について詳述すると、図１に示すように、収納ケース５は、底板２２に側壁２３を立設して収納部２４を形成したケース体２５と、収納部２４を閉塞する蓋体２６と、収納部２４を閉塞した状態において蓋体２６をケース体２５に固定する固定機構２７とで構成されており、収納部２４を開放した開き状態と蓋体２６にて収納部２４を閉塞した閉じ状態とに開閉自在に構成されている。また、固定機構２７は、蓋体２６に備えた固定具２７ａとケース体２５に備えた被固定具２７ｂとで構成されている。
そして、ケース体２５の底板２２には、収納する積層支持体群４の最も底部に位置する支持体３の被係合部８に係合する第１係合突起２２ａが形成されており、この第１係合突起２２ａは、挿通口１１ｄを形成した突出係止部材１１を嵌合した外孔１５における被係合部８と係合する第１係合突起２２ａは形成さられておらず、残る２つの被係合部８に係合するように２つの第１係合突起２２ａが形成されている。そして、蓋体２６の内面には、収納部２４を閉塞した状態において積層支持体群４に載置した係合板２８に形成した前記被係合孔２８ａの夫々に係合する第２係合突起２６ａが形成されている。従って、収納ケース５に収納された積層支持体群５は、収納ケース５を閉じ状態とすることで、ケース体２５と蓋体２６とによって積層支持体群５の積層方向の移動が規制されているとともに、第１係合突起２２ａ及び第２係合突起２６ａにより積層支持体群５の積層方向と交差する方向の移動が規制されている。
また、ケース体２５の底板２２には、収納された積載支持体群４における前記突出係止部材１１の挿通口１１ｄと前記切欠き係合部１３との直下に位置する３箇所には、規制体２１を外部から収納部２４側に挿入自在となるように挿通孔２２ｂが形成されている。
【００２４】
次に、積層支持体群４からのウェハ２の取り出しについて説明する。図５に示すように、収納ケース５に収納されている積層支持体群４からウェハ２の取り出す際に収納ケース５を載置する作業台２９には、積層支持体群４における支持体３についての積層方向と交差する方向での移動を接当規制しながら積層支持体群４を持ち上げる規制体２１が３本設けられ、作業台２９の横側には、規制体２１により持ち上げられた積層支持体群４における隣接する支持体３同士の間隔を広げる間隔調節装置３１（図４参照）と、間隔調節装置３１により支持体３同士の間隔が広げられた積層支持体群４からウェハ２を取り出す取出装置３２（図６参照）とが備えられている。
【００２５】
前記規制体２１の夫々には、先端側の小径部２１ａと基端側の大径部２１ｂとが備えられており、規制体２１の夫々は作業台２９の上面から引退した状態と作業台２９の上面から突出する状態とに切り替えられるように構成されている。
間隔調節装置３１は、積層支持体群４における支持体３と同数のフォーク３１ａを上下方向に並べて備えてあり、フォーク３１ａ同士の間隔が狭い幅狭状態とフォーク３１ａを夫々上昇させてフォーク３１ａ同士の感覚が広い幅広状態とに切り換えられるように構成されている。
取出装置３２は、アーム３２ａの先端上部に吸着部３２ｂを備えてあり、支持体３に支持されているウェハ２を切欠き９を通して載置面６側から吸着保持して取り出し可能に構成されている。
【００２６】
つまり、収納ケース５に収納されている積層支持体群４からウェハ２を取り出すには、まず、収納ケース５を作業台２９上に移載し、その移載させた収納ケース５のケース体２５をフック３０により載置台２９に固定し、前記固定具２７による固定を解除するとともに、蓋体２６を取り外して開き状態とする。
【００２７】
この状態から、図５（イ）に示すように、前記規制体２１の夫々を作業台２９の上面から引退した状態から、作業台２９の上面から突出する状態に切り替えると、規制体２１の夫々は挿入孔２２ｂを通って収納部２４側に侵入するとともに、１本の規制体２１の小径部２１ａが各支持体３における挿通口１１ｄに相通した状態で、かつ、残る２本の規制体２１の小径部２１ａが切欠き係合部１３に係合しするとともに各規制体２１の大径部２１ｂが収納されている積層支持体群４の最も底部に位置する支持体３の裏面に接当した状態となる。そして、図５（ロ）に示すように、規制体２１の夫々を作業台２９の上面からさらに突出させることにより、各規制体２１の大径部２１ｂにより積層支持体群４が押し上げられて、積層支持体群４を底板２２の側壁２３上端よりも上方に持ち上げられる。
【００２８】
底板２２の側壁２３上端よりも上方に持ち上げられた積層支持体群４に対して、図４（イ）に示すように、幅狭状態の間隔調節装置３１のフォーク３１ａの夫々が、前記フランジ部１１ｃが介在することにより形成される支持体３同士の間、或いは、最も頂部に位置する支持体３と係合板２８との間に介挿させ、図４（ロ）に示すように、フォーク介挿させた状態の間隔調節装置３１を幅広状態とすることにより、最も低部に位置する支持体３を除くその他の支持体３並びに係合板２８の夫々が所定量持ち上げられ、支持体３の載置面６上にウェハ２を取出し可能なスペースが形成される。ウェハ２を取出し可能なスペースが形成されている状態において、取出装置３２の吸着部３２ｂにてウェハ２を切欠き９を通して載置面６側から吸着保持し、アーム３２ａを上昇させるとともに引き抜くことによってウェハ２は積層支持体群４から取り出される。
【００２９】
〔第２実施形態〕
以下、本発明に係る被支持体積層支持装置の第２実施形態を、板状の被支持体の一例を半導体のウェハ２とし、そのウェハ２を積層状態に支持するウェハ積層支持装置１に適用する場合について図面に基づいて説明する。尚、この第２実施形態において、第１実施形態と同様の構成のものは第２実施形態においても符号を同一とし説明は省略する。
【００３０】
図８、図９に示すように、被支持体積層支持装置としてのウェハ積層支持装置１には、ウェハ２を載置した支持体３の複数を積層させた積層支持体群４を後述するように積層状態に保持された状態で収納する保持ケース３７が備えられている。
【００３１】
前記ウェハ２を載置した前記支持体３の複数を積層させた積層支持体群４を載置自在な板状の基枠４１に、前記積層支持体群４の積層方向に伸びて、前記積層支持体群４における各支持体３についての前記積層方向と交差する方向での移動を接当規制する規制材３８が設けられ、前記積層支持体群４を前記基枠４１との間で挟持する板状の押圧部材４０が、前記規制材３８の先端側に取り付け自在に設けられており、前記積層支持体群４の積層状態は、前記基枠４１と前記押圧部材４０とにより保持されるように構成されている。前記規制材３８は棒状に形成されており、規制材３８の先端側には締め付け部材３９の雌ねじ部と螺合する雄ねじ部３８ａが備えられているとともに、基端側には抜け止め用の大径部３８ｂが備えられている。
【００３２】
また、基枠４１における積層支持体群４を載置する側の面には、積層支持体群４の最も底部に位置する支持体３の被係合部８の夫々と係合する凸部４１ｂが計３箇所に形成されており、凸部４１ｂの夫々には規制材３８が貫通可能なように底板貫通孔４１ａが形成されており、基枠４１における積層支持体群４を載置させる側の面とは反対側の面には、前記規制材３８における大径部３８ｂが入り込む凹入部が形成されている。また、押圧部材４０における積層支持体群４に載置させる側の面には、積層支持体群４の最も頂部に位置する支持体３の突出係止部材１１の先端部１１ａの夫々と係合する凹部４０ｂが計３箇所に形成されており、凹部４０ｂの夫々には規制材３８が貫通可能なように頂板貫通孔４０ａが形成されている。
【００３３】
そして、前記支持体３に設けられる前記突出部７が前記規制材３８を貫通可能な筒状に形成されて、前記規制材３８が前記突出部７を貫通するように構成されている。尚、第１実施形態では、支持体３における３つの突出係止部材１１のうちの１つが筒状でその１つの突出係止部材１１に挿通口１１ｄが形成されていたが、第２実施形態では、支持体３における３つの突出係止部材１１の夫々が筒状で突出係止部材１１の夫々に挿通口１１ｄが形成されている。
【００３４】
つまり、積層支持体群４を積層状態に保持する際は、基枠４１の凸部４１ｂの夫々と積層支持体群４における支持体３の被係合部８の夫々とが係合するように基枠４１に積層支持体群４を載置し、積層支持体群４における支持体３の突出係止部材１１の先端部１１ａの夫々と押圧部材４０の凹部４０ｂ夫々とが係合するように積層支持体群４に押圧部材４０を載置して、基枠４１と押圧部材４０との間に積層支持体群４を挟んだ状態とし、規制材３８の夫々を先端側から、基枠４１の底板貫通孔４１ａ、積層支持体群４の挿通口１１ｄ、押圧部材４０の頂板貫通孔４０ａの順に貫通させ、押圧部材４０から突出した規制材３８の先端部に締め付け部材３９を螺合させて取り付ける。
そうすることにより、積層支持体群４における各支持体３は、規制材３８により積層方向と交差する方向での移動を接当規制するとともに、規制材３８の雄ねじ部３８ａと締め付け部材３９の雌ねじ部３９ａとの螺合による締め付けにより、押圧部材４０並びに基枠４１が積層支持体群４側に押し付けられて積層方向に沿う方向の移動が規制されて積層支持体群４を積層状態に保持することができる。
【００３５】
次に、前記保持ケース３７について説明する。図９、図１０に示すように、前記保持ケース３７は、前記積層状態に保持された前記積層支持体群４を収納するように構成されており、前記積層支持体群４の収納及び取り出しのために開閉自在に構成され、且つ、閉じ状態において、前記積層支持体群４の積層方向及びそれと交差する方向の移動の規制するように構成されて設けられている
【００３６】
前記保持ケース３７について詳述すると、保持ケース３７は、保持空間４２を形成したケース部分４３と、保持空間４２を閉塞する蓋部分４４と、保持空間４２を閉塞した状態において蓋部分４４をケース部分４３に固定するロック機構４５とで構成されており、保持空間４２を開放した開き状態と蓋部分４４にて保持空間４２を閉塞した閉じ状態とに開閉自在に構成されている。また、ロック機構４５は、蓋部分４４に備えたロック具４５ａとケース部分４３に備えた被ロック具４５ｂとで構成されている。
そして、ケース部分４３の内面には、上記したように積層支持体群４を保持した状態における基枠４１に積層方向と交差する方向に接当する第１突部４３ａが形成されており、蓋部分４４の内面には、保持空間４２を閉塞した状態において上記したように積層支持体群４を保持した状態における締め付け部材３９に積層方向と交差する方向に接当する第２突部４４ａが形成されている。従って、閉じ状態の保持ケース３７内に位置する積層支持体群４は、ケース部分４３と蓋部分４４とによって積層支持体群５の積層方向の移動が規制されているとともに、第１突部４３ａ及び第２突部４４ａにより積層支持体群５の積層方向と交差する方向の移動が規制されている。
【００３７】
前記収納ケース５に収納されている積層支持体群４からウェハ２を取り出すには、保持ケース３７から積層状態に保持された積層支持体群４を取り出すとともに、この積層状態に保持された積層支持体群４を作業台２９上の所定の箇所に移載する。この移載した状態（図１１参照）から締め付け部材３９の夫々を取り外すとともに規制材３８の夫々を積層支持体群４から引き抜き、その後、前記規制体２１のうちの前記切欠き係合部１３に係合する２本の規制体２１の夫々を作業台２９の上面から引退した状態から、作業台２９の上面から突出する状態に切り替えると、突出する状態に切り替えた２本の規制体２１の小径部２１ａが切欠き係合部１３に係合するとともに各規制体２１の大径部２１ｂが基枠４１の裏面に接当し、さらに突出させることにより積層支持体群４が各規制体２１の大径部２１ｂにより持ち上げられる。
この後の、間隔調節装置３１並びに取出装置３２によるウェハの取り出しは第１実施形態と同様であるため説明は省略する。
【００３８】
〔別実施形態〕
上記した第１実施形態及び第２実施形態では、第１実施形態における係合板や第２実施形態の基枠及び押圧部材をそれぞれ専用の板状の部材を用いたが、ウェハを載置支持していない支持体を、第１実施形態では係合板としたり第２実施形態では基枠や押圧部材としたりしても良い。
すなわち、例えば第１実施形態おいては、図１２に示すように、積層支持体群４に係合板２８としての支持体３を載置させた状態で収納ケース５に収納するように構成する。つまり、蓋体２６の内面に、第２係合突起に代えて凹形状の係合凹部２６ｂを形成し、積層支持体群４を収納ケース５に収納した状態では、係合板２８としての支持体３における被係合部８の夫々と積層支持体群４における最も頂部に位置する支持体３の係合部７ｂの夫々とが係合し、係合板２８としての支持体３における先端部１１ａの夫々と蓋体２６の係合凹部２６ｂの夫々とが係合する。よって、積層支持体群４における最も頂部に位置する支持体３に載置支持されたウェハ２は、その最も頂部に位置する支持体３の緩衝部材１２と係合板２８としての支持体３の緩衝部材１２とによって挟まれる状態で位置するように構成されている。
また、第２実施形態においては、基枠としての支持体に積層支持体群を載置し、この積層支持体群に押圧部材としての支持体を載置させる。つまり、積層支持体群を積層状態に保持した状態では、機枠としての支持体における先端部の夫々と積層支持体群における最も底部に位置する支持体の被係合部とが係合し、積層支持体群における最も頂部に位置する支持体の先端部と押圧部材としての支持体の被係合部とが係合する。よって、積層支持体群における最も頂部に位置する支持体に載置支持されたウェハは、その最も頂部に位置する支持体の緩衝部材と押圧部材としての支持体の緩衝部材とによって挟まれる状態で位置するように構成されている。
尚、係合板としての支持体や押圧部材としての支持体は突出係止部材を備えなくてもよく、例えば第１実施形態であれば、係合板としての支持体の外孔と蓋体の第２係合突起が係合するように構成してもよい。
【００３９】
上記した第１実施形態では、収納ケースに収納されている積層支持体群からウェハを取り出す際に、固定具による固定を解除するとともに蓋体を取り外して開き状態とした収納ケースに対して、規制体の夫々を挿通させたが、固定具による固定を解除しただけの閉じ状態の収納ケースに対して、規制体の夫々を挿通させてもよい。
つまり、収納ケースを作業台上の所定の箇所に移載し、その移載させた収納ケースのケース体をフックにより作業台に固定し、前記固定具による固定を解除する。この状態から、前記規制体の夫々を作業台の上面から引退した状態から、作業台の上面から突出する状態に切り替えることにより、規制体の夫々は挿入孔を通って収納部側に侵入し、その侵入した規制体の先端部によって蓋体が押し上げられて収納ケースを開き状態とすることができる。
【００４０】
上記した第１実施形態及び第２実施形態では、支持体本体に突出部を備えた突出係止部材を設けて、支持体本体と突出部とを別体に構成したが、支持体本体の載置面側に突出部を一体形成してもよい。尚、この実施形態では、裏面側に被係合部を凹入形成して、この凹入形成した被係合部と突出部の係合部と係合するように構成する。
また、係合部を凸形状とし被係合部を凹形状としたが、係合部を凹形状とし被係合部を凸形状としてもよく、受け部をフランジ部としてフランジ状に形成したが、突出部から載置面に沿う方向に部分的に突出させて受け部を形成してもよい。
【００４１】
上記した第１実施形態及び第２実施形態では、支持体本体における前記存在箇所内に位置して積層方向に貫通する内孔を３つ形成したが、内孔の数は３つに限られるものではなく、内孔を１つや２つ或いは４以上形成してもよく、また、内孔を形成しなくてもよい。内孔を形成しない場合は載置面や裏面に緩衝部材を付着させる。
【００４２】
上記した第１実施形態及び第２実施形態では、支持体の切欠き係合部に２本の規制体の小径部が係合させて、積層支持体群における支持体についての積層方向と交差する方向での移動を接当規制したが、支持体に切欠き係合部を形成せずに、前記２本の規制体の小径部を支持体の周縁部に接当させることで、積層支持体群における支持体の積層方向と交差する方向での移動を接当規制してもよい。
【００４３】
上記した第１実施形態及び第２実施形態では、被支持体として、半導体のウェハとしたが、液晶用のガラスでもよく、被支持体の形状や大きさは実施形態に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態における収納状態を示すウェハ積層支持装置の斜視図
【図２】第１実施形態における支持体の平面図
【図３】第１実施形態における収納状態を示す断面正面図
【図４】（イ）第１実施形態における積層支持体群を示す一部拡大側面図
（ロ）第１実施形態における支持体を持ち上げた状態を示す一部拡大側面図
【図５】（イ）第１実施形態における規制体を示す側面図
（ロ）第１実施形態における積層支持体群を持ち上げた状態を示す側面図
【図６】第１実施形態におけるウェハを取り出した状態を示す斜視図
【図７】第１実施形態におけるウェハを取り出した状態を示す側面図
【図８】第２実施形態における積層支持大群の斜視図
【図９】第２実施形態における収納状態を示すウェハ積層支持装置の斜視図
【図１０】第２実施形態における収納状態を示す断面正面図
【図１１】第２実施形態における積層支持大群を作業台に載置した状態を示す側面図
【図１２】別実施形態における収納状態を示す断面正面図
【符号の説明】
１    被支持体積層支持装置
２    被支持体
２ａ  外周縁部
３    支持体
３ａ  周縁部
３ｂ  存在箇所
４    積層支持体群
５    収納ケース
６    載置面
７    突出部
７ａ  受け部
７ｂ  係合部
９    切欠き
２１    規制体
３７    保持ケース
３８    規制材
４０    押圧部材
４１    基枠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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