(57)【要約】　　　（修正有）【課題】容易な作業で実現できる接着力を低減させる方法を提供する。【解決手段】（メタ）アクリル酸もしくは（メタ）アクリル酸エステルと少なくとも１種の重合性モノマーを用いて重合させてなる樹脂を主成分とする接着剤に高エネルギー線を照射し、また、照射後に加熱または冷却することで、接着力を低減させる。また、両面接着テープにより貼り合わされた接着構造体に高エネルギー放射線を照射しつつ或いは照射した後に加熱、または冷却することで接着構造体を解体する。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（メタ）アクリル酸もしくは（メタ）アクリル酸エステルと少なくとも１種の重合性モノマー用いて重合させてなる樹脂を主成分とする接着剤に高エネルギー線を照射することを特徴とする接着力を低減させる方法。
【請求項２】
（メタ）アクリル酸もしくは（メタ）アクリル酸エステルと少なくとも１種の重合性モノマー用いて重合させてなる樹脂を主成分とする接着剤の接着剤層を両面に有する両面接着テープにより貼り合わされた接着構造体に高エネルギー放射線を照射しながら或いは照射した後で接着構造体を解体する接着構造体の解体方法。
【請求項３】
（メタ）アクリル酸もしくは（メタ）アクリル酸エステルと少なくとも１種の重合性モノマー用いて重合させてなる樹脂を主成分とする接着剤に高エネルギー線を照射した後で，加熱，又は，冷却することを特徴とする接着力の低減方法。
【請求項４】
（メタ）アクリル酸もしくは（メタ）アクリル酸エステルと少なくとも１種の重合性モノマー用いて重合させてなる樹脂を主成分とする接着剤の接着剤層を両面に有する両面接着テープにより貼り合わされた接着構造体に高エネルギーの放射線を照射した後，加熱，又冷却することを特徴とする接着構造体の解体方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は接着剤の接着力を低下させる方法及びそれを用いた接着構造体の解体方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
粘着テープや接着剤は広く利用されておりさまざまな被着体に対して接着力を有するが，一旦接着したものを剥離する時には被着体を損傷することがあった。そこで、熱や紫外線照射により粘着剤を硬化させ初期接着力を減少させ，簡単に剥離することができる粘着テープが開発されている。これらの粘着テープは半導体ウエハー研磨工程や，ダイシング工程のようなウエハーの一時的な固定工程，さらにはプリント基盤などのマスキング工程等に広範に用いられている。
【０００３】
なかでも初期接着力を大きく減少させることができる粘着剤としては，熱収縮性基材の表面に発泡性接着剤層を設けた接着体テープを使用し，剥離時に接着剤層を加熱発泡させることによって接着体との接着強度を低減させ，被着体と接着剤の体積膨張係数差から生じる接着体と被着体界面の応力を利用して再剥離を容易にする技術がある。このような加熱による発泡を利用した再剥離技術は特開平３−６４３８１号公報に記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，上記剥離方法は接着剤中に発泡剤などを添加することが必要であり，このために接着体の作製が非常に煩雑になるという問題点があった。
本発明は上記の問題を解決するものであり，その目的とするところは，容易な作業で実現できる接着力を低減させる方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載された発明（以下，第１発明という）は（メタ）アクリル酸もしくは（メタ）アクリル酸エステルと少なくとも１種の重合性モノマーを用いて重合させてなる樹脂を主成分とする接着剤に高エネルギー線を照射することを特徴とする接着力を低減させる方法である。
【０００６】
請求項２に記載された発明（以下，第２発明という）は，第１発明の接着剤層を有する両面接着テープにより貼り合わされた接着構造体に高エネルギー放射線を照射しつつ或いは照射した後で解体する接着構造体の解体方法である。
【０００７】
請求項３に記載された発明は，第１発明において，高エネルギー線を照射した後，加熱，又は冷却することを特徴とする接着力を低減させる方法。
【０００８】
請求項４に記載された発明は，第２発明において，高エネルギー線を照射した後に加熱，又は冷却することを特徴とする接着構造体の解体方法。
【０００９】
以下，本発明を詳細に説明する。
本発明における接着剤は粘着性を示す粘着剤であってもよい。
本発明の接着剤は、（メタ）アクリル酸，もしくは（メタ）アクリル酸エステルと少なくとも１種の重合性モノマーを用いて重合させてなる樹脂を主成分とする。
【００１０】
ここで樹脂を溶剤に溶解させれば溶剤型接着剤とすることができる。また、ホットメルト性樹脂である場合はホットメルト型接着剤とすることができる。なかでも自己粘着性をもつ樹脂や可塑化することにより粘着性が付与される樹脂は接着剤に粘着力を与えることができるので好ましい。
【００１１】
自己粘着性を持つ樹脂としては，例えば，アクリル樹脂などが挙げられる。アクリル樹脂の組成は特に限定されないが，構成モノマーとしてメチル（メタ）アクリレート，エチル（メタ）アクリレート，イソプロピル（メタ）アクリレート，ｎ−ブチル（メタ）アクリレート，２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート，イソブチル（メタ）アクリレート，ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート，ラウリル（メタ）アクリレート，２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート，ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート，２−ヒドロキシメチル（メタ）アクリレート，ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート，マレイン酸，イタコン酸，（メタ）アクリルアミド，Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド，ジアセトン（メタ）アクリルアミド，グリシジル（メタ）アクリレート，スチレン，ビニルトルエン，酢酸ビニル，（メタ）アクリロニトリル，１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート，ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート，ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート，１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート，ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート，ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート，トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート，ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート，ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート，ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート，テトラヒドロフルフリール（メタ）アクリレート，トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート，スチレン，α−メチルメチルスチレン及びこれらの誘導体を含むポリマーが好適に用いられる。
【００１２】
なお、（メタ）アクリル酸，（メタ）アクリル酸エステルのみから構成されていても良く、他の樹脂や可塑剤成分が添加されていても良い。
【００１３】
アクリル樹脂は，他の樹脂成分が混合されていても良い。アクリル樹脂と混合される樹脂は特に限定されないが，例えば，ポリエステル樹脂，ポリビニルブチラール樹脂，ポリビニルアセタール樹脂，ポリウレタン系樹脂，エチレン−酢酸ビニル系樹脂，エチレン−エチルアクリレート系樹脂，及び，ポリアミド樹脂などが挙げられる。
【００１４】
また、可塑化することにより粘着性が付与される樹脂としては、ポリビニルブチラール樹脂，ポリビニルアセタール樹脂，ポリウレタン系樹脂，エチレン−酢酸ビニル系樹脂，エチレン−エチルアクリレート系樹脂に対して，例えば，トリエチレングリコール−ジ−２−エチルブチレート。トリエチレングリコール−ジ−２−エチルヘキサノエート，トリエチレングリコール−ジ−２−ヘプタノエート等の可塑剤が添加された樹脂などが挙げられる。
【００１５】
ポリエステル樹脂に対する可塑剤としては，例えば、水酸基を含有する脂肪族炭化水素化合物，又は水酸基を有する芳香族炭化水素化合物，脂肪族グリシジル基を有する低分子化合物，又は芳香族グリシジル基を含有する低分子化合物が好適に用いられる。例えば，ポリヒドロキシアルカン，アルキレングリコール，ポリオキシアルキレングリコール，ポリエーテルポリオール，水酸基を末端に有するポリアルカジエン，ビスフェノールＡのポリエチレングリコール付加物，ビスフェノールＡのポリエチレングリコール付加物，水酸基を末端に有するポリエステルオリゴマー，水酸基を末端に有するポリカプロラクトン，水酸基を末端に有するポリカーボネート，アクリルポリオール，エチレン−酢酸ビニル共重合体の（部分）けん化物，ポリビニルアルコール，ひまし油，ケトン樹脂，キシレン樹脂，及びこれらの脂肪族，及び，ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、芳香族エポキシ樹脂、これらの水添加物、臭素化物、脂肪族エポキシ樹脂などがある。
【００１６】
これらの可塑剤は樹脂の組成にもよるが，樹脂１００重量部に対して１０重量部〜１０００重量部添加されることが好ましい。可塑剤添加料は樹脂１００重量部に対して２０〜５００重量部がさらに好ましい。
【００１７】
本発明で用いる粘接着体組成物には，その性能を阻害しない範囲で必要に応じて，脂肪族水酸基含有化合物，熱可塑性樹脂，密着性向上剤，充填剤，補強剤，軟化剤，粘度調整剤，揺変剤，安定剤，酸化防止剤，着色剤，脱水剤，難燃剤，帯電防止剤，発泡剤、防カビ剤などが添加されてもよい。これらは単独で用いられてもよく，２種以上が併用されてもよい。
【００１８】
本発明の接着力を低減させる方法及び接着構造体の解体方法に用いる高エネルギー線は，電子線，Ｘ線，γ線が好適に用いられる。
【００１９】
電子線，Ｘ線やγ線の線量は，樹脂中の（メタ）アクリル酸，及び（メタ）アクリル酸エステルの組成にもよるが，０．１ｋＧｙ〜３０００ｋＧｙが好ましい。より好ましい線量は１０ｋＧｙ〜１０００ｋＧｙである。
【００２０】
電子線を照射すると，メタクリル酸のカルボキシル基が脱炭酸し，樹脂のメタクリル酸のα炭素にラジカルが生じる。このラジカルは，メタクリル酸のα位メチル基の存在で比較的安定であるので，水素引抜よりもラジカル停止反応で架橋を形成する。このため，粘着テープは硬化し，タックを失うことで接着力は減少する。
【００２１】
更には，架橋反応と同時に，脱炭酸で生じた二酸化炭素は発泡し，粘着テープ／被着体界面において，発泡によるひずみが発生するので，接着力は減少する。
【００２２】
（実施例１）
主鎖を形成するモノマーとしてブチルアクリレートを９０重量部，メタクリル酸１０重量部，１，６−ヘキサンジオールジアクリレート１重量部，光開始剤として，「イルガキュア８１９」（チバスペシャルティーケミカルズ社製）１重量部を遮光下で撹拌混合した後，液中の溶解酸素を除去するために窒素で１０分間バブリングし，光重合性組成物を得た。
【００２３】
上記光重合性組成物を，表面がコロナ処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム上に，厚みが５０μｍになるように塗工膜を形成し，更にその塗工膜上に，表面が離形処理されたポリエチレンテレフタレートフィルムを被覆し，光重合性組成物からなる塗工膜が表面がコロナ処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム，及び，表面が離形処理されたポリエチレンテレフタレートで挟持された積層体を得た。
【００２４】
上記積層体に，４００ｎｍに最大発光波長域を有する蛍光灯を用いて，３６０ｎｍ以下の波長域の光を実質的に含まない近紫外線を，１ｍＷ／ｃｍ２の照射強度で１０分間照射し，表面がコロナ処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム上に粘着剤が積層された粘着シートを得た。
【００２５】
この粘接着剤シートを５０ｍｍ×２５ｍｍのサイズに切断し，剥離強度試験用粘着シートとした。
【００２６】
次に表面が離形処理されたポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し，粘接着体シートの粘接着体層上にステンレス板（２ｍｍ厚，５０ｍｍ×１２０ｍｍ）ラミネートし，剥離強度測定用試験体とした。
【００２７】
（１）　初期剥離強度の測定
上記剥離強度測定用試験体を２５ｍｍ幅に切断した後，テンシロン型引張試験機を用いて剥離速度３００ｍｍ／分で９０°剥離試験を行い，初期剥離強度を測定した。
（２）紫外線照射後の剥離強度の測定
電子線照射装置（ＥＢＣ３００−６０）を用いて，剥離強度測定用試験体のポリエチレンテレフタレートフィルム面に対し，加速電圧２５０ｋＶで１０ｋＧｙ，１００ｋＧｙ，５００ｋＧｙの線量の電子線照射を行なった。電子線照射後の剥離強度測定用試験体に対して，テンシロン型引張試験機を用いて，剥離速度３００ｍｍ／分で９０°剥離試験を行い，剥離強度を測定した。これらの測定結果を表１，及び表２に示した。
【００２８】
【表１】
2004091738.tif 000002
【００２９】
【表２】
2004091738.tif 000003
【００３０】
【発明の効果】
放射線照射により硬化，発泡させて，接着力を低下させることができるので
発泡剤などの添加物を必要とせず，単純な組成の接着剤の接着力を低減させることができ、接着構造体を容易に解体することができる。