(57)【要約】【課題】周方向に均一な環状溝部を備えるスタンパ作製用メタルマスタを効率よく製造することができるスタンパ作製用メタルマスタの製造方法及び製造装置を提供する。【解決手段】メタルマスタの製造装置４０は、環状領域１６を除いてマスキングされたスタンパ作製用メタルマスタの中間材１０を収容し、且つ、中間材１０を腐食可能であるエッチング液を貯留して中間材１０を浸漬するための浸漬槽４４と、浸漬槽４４のエッチング液に気泡を吐出して攪拌するための給気手段４６と、を備える。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
グルーブ及び／又はピットが形成された情報領域を有する面の外周に沿って前記グルーブ及び／又はピットよりも深さ方向及び幅方向双方において大きい環状段部が形成された光ディスク基板を製造するためのスタンパを作製するために用いられ、前記情報領域を形成するための前記グルーブ及び／又はピット列に相当する情報パターンと、前記環状段部を形成するための環状溝部と、を備えるスタンパ作製用メタルマスタの製造方法であって、
前記情報パターンが形成された中間材を用意し、前記環状溝部に相当する環状領域を除いて前記中間材をマスキングしてエッチング液に浸漬し、該エッチング液内に気泡を吐出して攪拌しつつ前記環状領域をエッチングすることにより前記環状溝部を形成するようにしたことを特徴とするスタンパ作製用メタルマスタの製造方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記環状領域が上向きとなるように前記中間材を前記エッチング液に浸漬し、前記環状領域に向けて上方から気泡を吐出するようにしたことを特徴とするスタンパ作製用メタルマスタの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記中間材の環状領域に向けて気泡を環状に吐出するようにしたことを特徴とするスタンパ作製用メタルマスタの製造方法。
【請求項４】
所定の環状領域を除いてマスキングされたスタンパ作製用メタルマスタの中間材を収容し、且つ、該中間材を腐食可能であるエッチング液を貯留して前記中間材を浸漬するための浸漬槽と、該浸漬槽のエッチング液中に吐出孔から気泡を吐出して攪拌するための給気手段と、を含んでなることを特徴とするスタンパ作製用メタルマスタの製造装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記給気手段は、前記浸漬槽の支持部に支持された中間材の環状領域に向けて前記吐出孔から気泡を環状に吐出するように構成されたことを特徴とするスタンパ作製用メタルマスタの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク基板を製造するためのスタンパ作製用メタルマスタの製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光ディスク基板の製造方法としては、まずガラス基板にフォトレジストを塗布してレーザー光線を照射し、感光したフォトレジストを除去することにより所定の凹凸を有するガラスマスタを製作し、更にガラスマスタの凹凸をスタンパ作製用メタルマスタ、スタンパにこの順で転写し、金型内にスタンパを配設して樹脂成形する方法が知られている。尚、この方法によれば光ディスク基板の情報領域にはガラスマスタと凹凸が反対のピット、グルーブが形成されるが、メタルマスタの凹凸を転写してマザーを作製し、マザーの凹凸を転写してスタンパを作製すれば、ガラスマスタと凹凸が等しいピット、グルーブを光ディスク基板に形成することができる。
【０００３】
ここで、本明細書では、「スタンパ作製用メタルマスタ」という用語は、ピット、グルーブ等を形成するための微細凹凸をスタンパに転写するための母型という意義で用いることとする。即ち、ガラスマスタを転写して得られたメタルマスタを母型としてスタンパを作製する場合はこのメタルマスタがスタンパ作製用メタルマスタに相当し、このメタルマスタを転写して得られたマザーを母型としてスタンパを作製する場合はマザーがスタンパ作製用メタルマスタに相当する。
【０００４】
近年、記録容量の大幅な増加を図るべく、光ディスク基板に０．１ｍｍ程度の薄い光透過層を形成した光ディスクの開発が進められている。このような光ディスクは厚さのばらつきが情報の記録、読み取り精度に大きく影響する。
【０００５】
０．１ｍｍ程度の薄い光透過層を光ディスク基板に形成する方法としては、高速回転に対するトラッキングの追従性がよいという点でスピンコート法が好ましいが、遠心力で樹脂を中心側から外周側に展延すると、樹脂は外周近傍で盛り上がる傾向があり、光透過層は外周近傍が中心側よりも厚く形成されやすい。このような光透過層の厚さのばらつきは情報の記録、読み取り精度を低下させる要因となる。
【０００６】
又、光ディスク基板も成形後の冷却速度のばらつきにより、外周近傍が中心側よりも厚くなりやすい。尚、成形後、光ディスク基板に切削加工を施すことで厚さのばらつきを修正することができるが、このような切削加工は光ディスクの生産性を大幅に低下させることとなる。
【０００７】
このような問題に対する解決案の一つとして、本出願の出願人と同一の出願人は、光ディスク基板におけるグルーブ及び／又はピットが形成された情報領域を有する面の外周に沿ってグルーブ及び／又はピットよりも深さ方向及び幅方向双方において大きい環状段部を形成することを提案している（例えば、特許文献１参照。）。即ち、光ディスク基板の外周に環状段部を形成することで、スピンコート法で中心側から外周に展延される樹脂を環状段部に受容することができ、光透過層の外周近傍が中心側よりも厚くなることを防止できる。
【０００８】
尚、このような効果を得るためには５０μｍ程度の深さの環状段部を形成する必要があるが、情報領域のピット、グルーブの深さは一般的には２００ｎｍ以下であり、ガラスマスタのフォトレジストを用いて環状段部を形成するための環状溝部を形成することはできない。又、硬質のガラス基板に対し切削加工で環状溝部を形成することも困難である。これに対し、スタンパ作製用メタルマスタに環状溝部を形成し、スタンパ作製用メタルマスタを転写して環状凸部を備えたスタンパを形成し、環状凸部の先端が金型の内周面に当接するようにスタンパを金型内に配設して、金型内に樹脂を封入することにより環状段部を備える光ディスク基板を製造することができる（前記特許文献１参照。）。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００２―２９８４５０号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、スタンパの環状凸部と金型の間に微細な隙間が生じやすく、この隙間に樹脂が浸入して光ディスク基板の環状段部にバリが発生することがあった。このバリのためにスピンコートにおける樹脂の展延が阻害されて光透過層の厚さが不均一となる等の問題が生じた。尚、成形後、光ディスク基板に切削加工を施すことでバリを除去することができるが、このような切削加工は光ディスクの生産性を大幅に低下させることとなる。
【００１１】
バリが発生する原因は、スタンパ作製用メタルマスタの環状溝部を周方向に均一に形成することが困難であるためである。即ち、このような周方向に不均一な深さのスタンパ作製用メタルマスタの環状溝部を転写してスタンパの環状凸部を形成すると、環状凸部の形状も周方向に不均一な高さとなり、スタンパの環状凸部と金型の間に微細な隙間が生じていた。尚、多数のスタンパ作製用メタルマスタを製作して環状溝部の形状を検査し、精度のよいスタンパ作製用メタルマスタを選別したり、環状溝部の加工速度を遅くすることで環状溝部の形状精度がよいスタンパ作製用メタルマスタを用意しうるが、光ディスクの生産性を大幅に低下させるこことなる。
【００１２】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、周方向に均一な深さの環状溝部を備えるスタンパ作製用メタルマスタを効率よく製造することができるスタンパ作製用メタルマスタの製造方法及びスタンパ作製用メタルマスタの製造装置を提供することをその課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、スタンパ作製用メタルマスタの中間材をマスキングしてエッチング液に浸漬し、更にエッチング液を気泡で攪拌して中間材を腐食させて環状溝部を形成することにより上記課題を解決するに至った。
【００１４】
即ち、次のような本発明により、上記課題の解決を図ったものである。
【００１５】
（１）グルーブ及び／又はピットが形成された情報領域を有する面の外周に沿って前記グルーブ及び／又はピットよりも深さ方向及び幅方向双方において大きい環状段部が形成された光ディスク基板を製造するためのスタンパを作製するために用いられ、前記情報領域を形成するための前記グルーブ及び／又はピット列に相当する情報パターンと、前記環状段部を形成するための環状溝部と、を備えるスタンパ作製用メタルマスタの製造方法であって、前記情報パターンが形成された中間材を用意し、前記環状溝部に相当する環状領域を除いて前記中間材をマスキングしてエッチング液に浸漬し、該エッチング液内に気泡を吐出して攪拌しつつ前記環状領域をエッチングすることにより前記環状溝部を形成するようにしたことを特徴とするスタンパ作製用メタルマスタの製造方法。
【００１６】
（２）前記環状領域が上向きとなるように前記中間材を前記エッチング液に浸漬し、前記環状領域に向けて上方から気泡を吐出するようにしたことを特徴とする前記（１）のスタンパ作製用メタルマスタの製造方法。
【００１７】
（３）前記中間材の環状領域に向けて気泡を環状に吐出するようにしたことを特徴とする前記（１）又は（２）のスタンパ作製用メタルマスタの製造方法。
【００１８】
（４）下側面に複数の吐出孔が周方向適宜な間隔で形成された環状の吐出管を前記中間材の上方に同心的に配設し、該吐出孔から気泡を環状に吐出するようにしたことを特徴とする前記（３）のスタンパ作製用メタルマスタの製造方法。
【００１９】
（５）気泡を環状に吐出するための吐出孔を、前記中間材の環状領域における径方向内側及び外側に対応して少なくとも２列の環状に配置し、且つ、径方向内側の吐出孔からの気泡の吐出量と径方向外側の吐出孔からの気泡の吐出量との比を調節することにより、前記環状溝部の幅方向の深さ分布を調節するようにしたことを特徴とする前記（３）又は（４）のスタンパ作製用メタルマスタの製造方法。
【００２０】
（６）気泡が前記中間材の近傍、且つ、該中間材から離間した位置まで到達するように前記エッチング液内への気泡の吐出強さを設定したことを特徴とする前記（１）乃至（５）のいずれかのスタンパ作製用メタルマスタの製造方法。
【００２１】
（７）前記（１）乃至（６）のいずれかに記載のスタンパ作製用メタルマスタの製造方法により得たスタンパ作製用メタルマスタの前記環状溝部を転写することにより環状凸部を備えたスタンパを得ることを特徴とするスタンパの製造方法。
【００２２】
（８）前記（７）に記載のスタンパの製造方法により得たスタンパを、前記環状凸部の先端が金型の内周面に当接するように前記金型内に配設し、該金型内に樹脂を封入し、前記スタンパの環状凸部を転写することにより前記環状段部を備えた光ディスク基板を得ることを特徴とする光ディスク基板の製造方法。
【００２３】
（９）前記（８）に記載の光ディスク基板の製造方法により得た光ディスク基板の前記情報領域を有する側面にスピンコート法で光透過層を形成する工程を含むことを特徴とする光ディスクの製造方法。
【００２４】
（１０）所定の環状領域を除いてマスキングされたスタンパ作製用メタルマスタの中間材を収容し、且つ、該中間材を腐食可能であるエッチング液を貯留して前記中間材を浸漬するための浸漬槽と、該浸漬槽のエッチング液中に吐出孔から気泡を吐出して攪拌するための給気手段と、を含んでなることを特徴とするスタンパ作製用メタルマスタの製造装置。
【００２５】
（１１）前記浸漬槽は、前記環状領域が上向きとなるように前記中間材を支持するための支持部を備えることを特徴とする前記（１０）のスタンパ作製用メタルマスタの製造装置。
【００２６】
（１２）前記給気手段は、前記浸漬槽の支持部に支持された中間材の環状領域に向けて前記吐出孔から気泡を環状に吐出するように構成されたことを特徴とする前記（１０）又は（１１）のスタンパ作製用メタルマスタの製造装置。
【００２７】
（１３）前記給気手段は、前記吐出孔が下側面に周方向適宜な間隔で複数形成された環状の吐出管を含んで構成され、前記浸漬槽の支持部は前記吐出管の下方で前記中間材を同心的に支持するように構成されたことを特徴とする（１２）のスタンパ作製用メタルマスタの製造装置。
【００２８】
（１４）前記吐出孔は、前記中間材の環状領域における径方向内側及び外側に対応して少なくとも２列の環状に配置されたことを特徴とする前記（１２）又は（１３）のスタンパ作製用メタルマスタの製造装置。
【００２９】
（１５）前記給気手段は、径方向内側の吐出孔からの気泡の吐出量と径方向外側の吐出孔からの気泡の吐出量とが個別に調節可能とされたことを特徴とする前記（１４）のスタンパ作製用メタルマスタの製造装置。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００３１】
図１は本実施形態に係るスタンパ作製用メタルマスタの製造装置の構造を模式的に示す斜視図、図２は同スタンパ作製用メタルマスタの製造装置の給気手段の吐出管を斜め下方から見た斜視図である。
【００３２】
このスタンパ作製用メタルマスタの製造装置の構成の理解のため、まず同スタンパ作製用メタルマスタの製造装置で加工されるスタンパ作製用メタルマスタの中間材、スタンパ作製用メタルマスタ、同スタンパ作製用メタルマスタを転写して得られるスタンパ、同スタンパを配設した金型で成形される光ディスク基板、同光ディスク基板に光透過層を形成した光ディスクの構造について簡単に説明しておく。
【００３３】
スタンパ作製用メタルマスタの中間材１０は、材質がニッケルの略円形薄膜状体で、図３（Ａ）に示されるように、多数の微細な凹凸で構成される情報パターン１２が片面に形成されている。尚、図３（Ａ）中の符号１４はエッチング液に対して耐食性を有する被覆層で、情報パターン１２の周囲の環状領域１６を除いて中間材１０をマスキングしている。
【００３４】
スタンパ作製用メタルマスタ１８は、図３（Ｂ）に示されるように、中間材１０の環状領域１６に環状溝部２０を形成したものである。
【００３５】
図４に示されるように、スタンパ２２も材質がニッケルの略円形薄膜状体で、スタンパ作製用メタルマスタ１８の情報パターン１２と凹凸が反対の情報パターン２４と、環状溝部２０と凹凸が反対の環状凸部２６と、を備えている。このスタンパ２２は図５に示されるように、第１の金型２８、第２の金型３０の間に配設されて使用される。具体的にはスタンパ２２は、情報パターン２４と反対側の面において第１の金型２８に真空吸着されて支持され、及び／又はスタンパ押え治具（図示省略）に支持され、環状凸部２６の先端が第２の金型３０に当接するように配設される。
【００３６】
光ディスク基板３２は、スタンパ２２の情報パターン２４と凹凸が反対のグルーブ及び／又はピット（図示省略）が形成された情報領域３４と、情報領域３４を有する面の外周に沿って情報領域３４のグルーブ及び／又はピットよりも深さ方向及び幅方向の双方において大きい環状段部３６と、を備えている。
【００３７】
図６に示されるように、光ディスク３８は、光ディスク基板３２の情報領域３４を有する面に所定の機能層（図示省略）を形成し、該機能層に更に光透過層３９を形成したものである。
【００３８】
図１に戻って、メタルマスタの製造装置４０は、環状領域１６を除いてマスキングされたスタンパ作製用メタルマスタの中間材１０を収容し、且つ、中間材１０を腐食可能であるエッチング液を貯留して中間材１０を浸漬するための浸漬槽４４と、浸漬槽４４のエッチング液に吐出孔４８から気泡を吐出して攪拌するための給気手段４６と、を備えている。
【００３９】
浸漬槽４４は、環状領域１６が上向きとなるように中間材１０を支持するための支持部４５を備えている（図３（Ａ）参照）。
【００４０】
給気手段４６は、浸漬槽４４の支持部４５に支持された中間材１０の環状領域４２に向けて吐出孔４８から気泡を環状に吐出するように構成されている。具体的には、給気手段４６は、図２に示されるように、吐出孔４８が下側面に周方向適宜な間隔で複数形成された環状の吐出管５０を備え、浸漬槽４４の支持部４５は吐出管５０の下方で中間材１０を同心的に支持するように構成されている。尚、吐出管５０には配管５２を介してポンプ５４が連結されている。
【００４１】
次に、スタンパ作製用メタルマスタの製造装置４０を用いたスタンパ作製用メタルマスタ、スタンパ、光ディスク基板及び光ディスクの製造方法について説明する。
【００４２】
図７は光ディスク３６の製造方法の概略を示すフローチャート、図８はスタンパ作製用メタルマスタ１８の製造方法の詳細を示すフローチャートである。
【００４３】
まず、従来と同様にガラス基板にフォトレジストを塗布し、ピット、グルーブ等に相当するパターンでレーザー光線を照射して現像処理を施し、感光部を除去することによりガラスマスタ（図示省略）を製作する。このガラスマスタに無電解メッキ法で０．１μｍ程度のニッケルの導電性膜を形成してから、スルファミン酸ニッケル溶液中にガラスマスタを浸漬し、電解メッキ法により、約３００μｍの厚さまでニッケルの膜を成長させる。このニッケルの膜をガラスマスタから剥離することによりスタンパ作製用メタルマスタの中間材１０が得られる。
【００４４】
次に、中間材１０の全面を被覆層１４でマスキングしてから、環状領域１６の被覆層１４をコンパスカッター等で切断して除去する。このように環状領域１６を除いてマスキングした中間材１０を環状領域１６が上向きとなるように浸漬槽４４の支持部４５に支持してエッチング液中に浸漬する。
【００４５】
ここで、吐出管５０の吐出孔４８から中間材１０の環状領域１６に向けて上方から気泡を環状に吐出してエッチング液を攪拌する。尚この際、気泡が中間材１０の近傍、且つ、中間材１０から離間した位置まで到達するようにエッチング液内への気泡の吐出強さを設定しておく。気泡は中間材１０の環状領域１６に向けて一旦下降してからエッチング液との比重の差のために上昇し、吐出管５０の径方向内側及び外側を通り抜けてエッチング液の表面から上方に放出される。
【００４６】
このように気泡を用いることでエッチング液を均一に攪拌することができる。又、吐出管５０から中間材１０の環状領域１６に向けて環状に気泡を吐出するので特に中間材１０の環状領域１６の近傍を周方向に均一に攪拌することができる。
【００４７】
これにより、中間材１０の環状領域１６が腐食されて環状溝部２０が形成される。エッチング液が攪拌されることにより腐食が促進され、環状溝部１６を効率よく形成することができる。又、エッチング液が均一に攪拌されるので、環状溝部１６を周方向に均一な深さに形成することができる。
【００４８】
尚、中間材１０に気泡が付着すると、中間材１０にエッチング液が触れにくくなるのでそれだけ腐食の進行が妨げられたり、気泡が付着した部分と付着していない部分との腐食の進行に差が生じて環状溝部の形状が不均一となりうるが、中間材１０から離間した位置まで気泡が到達するように気泡の吐出強さを設定しているので、中間材１０に気泡が付着することがなく効率よく、均一な形状で環状溝部１６を形成することができる。尚、気泡は中間材１０に対し上方から吐出されて一旦中間材１０に接近するが、エッチング液中で吐出の付勢力が減衰されると気泡はエッチング液との比重の差のために上昇して中間材１０から離間するたので、中間材１０に気泡が付着することを確実に防止することができる。
【００４９】
又、吐出管５０が環状であるので気泡は吐出管５０の径方向内側を通り抜けることができ、吐出管５０の下方近傍に気泡が残留することを防止することができる。これにより、エッチング液への気泡の供給、エッチング液からの気泡の放出が規則的に繰返され、エッチング液の均一な攪拌を確実に実現することができる。
【００５０】
環状溝部２０を形成した後、洗浄し、被覆層１４を除去してから情報パターン１２の反対側の面を研磨することによりスタンパ作製用メタルマスタ１８が完成する。
【００５１】
このようにして得られたスタンパ作製用メタルマスタ１８を用いて上記中間材１０の製造と同様の電解メッキ工法の要領で、情報パターン１２に対応する情報パターン２４と、環状溝部２０に対応する環状凸部２６とを備えたスタンパ２２が得られる。環状溝部１６が周方向に均一な形状に形成されているので、環状凸部２６も周方向に均一な形状に形成される。尚、スタンパ２２についても情報パターン２４の反対側の面を研磨する。
【００５２】
次にスタンパ２２を、情報パターン２４と反対側の面において第１の金型２８に真空吸着し、及び又はスタンパ押え治具で支持し、環状凸部２６の先端が第２の金型３０の内周面に当接するように第１の金型２８と第２の金型３０との間に配設する。更に、第１の金型２８と第２の金型３０との間に樹脂を封入し、スタンパ２２の環状凸部２６を転写することにより環状段部３６を備えた光ディスク基板３２が得られる。光ディスク基板３２の情報領域３４にはスタンパ２２の情報パターン２４と凹凸が反対の情報パターンが転写される。尚、光ディスク基板３２は外径が約１２０ｍｍ、厚さが約１．１ｍｍの略円板形状に成形される。
【００５３】
スタンパ２２の環状凸部２６が周方向に均一な形状に形成されているので、環状凸部２６の先端が第２の金型３０の内周面に均一に当接し、スタンパ２２と第２の金型３０との間への樹脂の浸入を防止することができる。尚、スタンパ２２と第２の金型３０との間に樹脂が浸入しても、その量は微小に制限される。即ち、光ディスク基板３２の外周のバリを大幅に低減することができる。
【００５４】
次に、光ディスク基板２８の情報領域３４を有する面に反射層等の所定の機能層（図示省略）を形成する。例えば、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）タイプの場合は反射層のみを形成し、Ｒ（Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）タイプの場合は反射層に更に有機色素等の記録層を形成する。またＲＷ（Ｒｅ−ｗｒｉｔａｂｌｅ）タイプの場合は、反射層に更に相変化材等の記録層を形成する。
【００５５】
次に、光ディスク基板にスピンコート法で光透過層３９を形成する。具体的には、光ディスク基板３２の情報領域３４を有する面の中心近傍に流動性及び放射線硬化性を有する樹脂素材を供給し、光ディスク基板３２を回転させて、遠心力により厚さが約０．１ｍｍとなるように樹脂素材を展延する。樹脂素材は光ディスク基板３２の外周の近傍で環状段部３６に収容されるので、光透過層３９は外周の近傍が中心側よりも厚く形成されることがない。このように展延された樹脂素材に紫外線、電子線等を照射することにより樹脂素材が硬化し、光透過層３９が形成される。更に必要に応じて中心部を打ち抜いて中心孔（図示省略）を形成することにより厚さが約１．２ｍｍの光ディスク３８が完成する。
【００５６】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図９に示されるように、本第２実施形態は、前記第１実施形態に対し、吐出管５０に、中間材１０の環状領域１６における径方向内側及び外側に対応して２列の環状に配置された、径方向内側の内側吐出孔４８Ａと、径方向外側の外側吐出孔４８Ｂと、を形成し、内側吐出孔４８Ａからの気泡の吐出量と外側吐出孔４８Ｂからの気泡の吐出量とを個別に調節可能としたことを特徴としている。他の構成については前記第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００５７】
このように内側吐出孔４８Ａからの気泡の吐出量と外側吐出孔４８Ｂからの気泡の吐出量とを個別に調節することにより、スタンパ作製用メタルマスタ１８の環状溝部２０の幅方向の深さ分布を調節することができる。例えば、図１０（Ａ）〜（Ｃ）に示されるような、様々な断面形状の環状溝部をスタンパ作製用メタルマスタに形成することができる。
【００５８】
光ディスクの外周近傍が厚くなることを防止するという点では、図１０（Ｂ）に示されるような環状溝部を形成し、光ディスク基板の環状段部を径方向外側に向かって深くなる形状とすることが好ましい。一方、図５に示されるような金型を用いて、スタンパの環状凸部の先端と金型とを確実に当接させ、バリの発生を防止するためには、図１０（Ａ）又は（Ｃ）に示されるような環状溝部を形成し、スタンパに幅方向中央近傍が凹んだ環状凸部を形成することが好ましい。即ち、環状溝部の幅方向の深さ分布は金型の形状、光透過層を形成するためのスピンコートの条件等に応じて適宜選択すればよい。
【００５９】
尚、本第２実施形態において、吐出管に２列の環状の吐出孔を形成しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、３列以上の環状の吐出孔を吐出管に形成し、各列毎からの気泡の吐出量を調節することにより、環状溝部の幅方向の深さ分布を調節してもよい。
【００６０】
又、前記第１実施形態及び第２実施形態において、スタンパ作製用メタルマスタ１８はガラスマスタを母型として得られたものであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、まずガラスマスタを母型としてメタルマスタを作製し、このメタルマスタを母型としてマザーを製作し、このマザーをスタンパ作製用メタルマスタとして転写することによりスタンパを作製してもよい。尚、この場合、環状溝部は上記の製造装置、製造方法によりマザーに形成し、メタルマスタには環状溝部を形成しない。このようにすることで、ガラスマスタの情報パターンと凹凸が等しいグルーブ及び／又はピットを光ディスク基板の情報領域に形成することができる。
【００６１】
又、前記第１実施形態及び第２実施形態において、給気手段４６は、複数の吐出孔が周方向適宜な間隔で形成された吐出管を備えているが、本発明はこれに限定されるものではなく、気泡を環状に吐出することができれば吐出部の構造はとくに限定されない。例えば、多孔質の材料を略円形に成形した吐出部としてもよい。尚、吐出部の下方に気泡が残留することを防止するためには吐出部は環状であることが好ましい。
【００６２】
一方、気泡が吐出部に付着しにくい場合には、例えば円板形状の吐出部としてもよい。
【００６３】
又、気泡がスタンパ作製用メタルマスタの中間材に付着しにくい場合には環状領域が下方を向くように中間材を支持し、中間材に向けて下方から気泡を吐出するようにしてもよい。
【００６４】
又、エッチング液を充分均一に攪拌することができれば必ずしも気泡を環状に吐出する必要はない。例えば、中間材の中心軸に沿って気泡を吐出したり、中心軸に対して対象的な複数の位置から気泡を吐出してもよい。
【００６５】
又、前記第１実施形態及び第２実施形態において、光ディスク基板は情報領域３４及び環状段部３６を片面に備えているが、本発明はこれに限定されるものではなく、情報領域及び環状段部を両面に備える光ディスク基板の製造についても本発明は当然適用可能である。尚、この場合、光ディスク基板を厚さが約１．０ｍｍとなるように成形し、両面に０．１ｍｍの光透過層を形成することで厚さが１．２ｍｍの光ディスクが得られる。
【００６６】
（実施例）
前記第１実施形態に示した製造装置４０でスタンパ作製用メタルマスタの中間材１０を浸漬槽４４に約３０分間収容して環状溝部２０を形成した。
【００６７】
（比較例１）
攪拌機を用いてエッチング液を機械的に攪拌し、他の条件は実施例と同様とした。
【００６８】
（比較例２）
エッチング液を攪拌せずに、中間材１０を浸漬槽４４に放置した。他の条件は実施例と同様とした。
【００６９】
（比較例３）
エッチング液を攪拌せずに、中間材１０を浸漬槽４４で振動させた。他の条件は実施例と同様とした。
【００７０】
実施例及び比較例１〜３で形成された環状溝部の深さを周方向等間隔な４箇所で測定した。４箇所の深さの最大値、最小値の差を最大値で除して深さの変動率を算出した。これらの結果を表１に示す。
【００７１】
【表１】
2004246989.tif 000003
【００７２】
実施例は、比較例１及び３に対し環状溝部の深さの変動率が小さいことがわかる。一方、比較例２は環状溝部の深さの変動率が０であるが、実施例に対して環状溝部の深さが１／３以下であり、エッチング液による腐食の進行が遅いことがわかる。尚、エッチング液による腐食は初期段階で急速に進行し、次第に腐食の速度が減速していく傾向があり、比較例２の条件でエッチングの時間を３倍にしても３倍の深さまで環状溝部を形成することはできず、比較例２は実施例に対し生産効率が著しく低い。
【００７３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、スタンパ作製用メタルマスタの中間材をエッチング液に浸漬し、エッチング液を気泡で攪拌しつつ中間材の環状領域をエッチングすることにより、周方向に均一な環状溝部を備えるスタンパ作製用メタルマスタを効率よく製造することが可能となるという優れた効果がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態に係るスタンパ作製用メタルマスタの製造装置の構造を模式的に示す斜め上方から見た斜視図
【図２】同スタンパ作製用メタルマスタの製造装置の給気手段の吐出管を斜め下方から見た斜視図
【図３】同スタンパ作製用メタルマスタの製造装置におけるメタルマスタの環状溝部の形成工程を模式的に示す側断面図
【図４】同スタンパ作製用メタルマスタを転写して得られるスタンパの構造を模式的に示す側断面図
【図５】同スタンパを配設した金型による光ディスク基板の外周近傍の成形を模式的に示す側断面図
【図６】同光ディスク基板に光透過層を形成した光ディスクの外周近傍の構造を模式的に示す側断面図
【図７】光ディスクの製造方法の概要を示すフローチャート
【図８】スタンパ作製用メタルマスタの製造方法の詳細を示すフローチャート
【図９】本発明の第２実施形態に係るスタンパ作製用メタルマスタの製造装置の吐出管の構造を拡大して示す断面図
【図１０】同スタンパ作製用メタルマスタの製造装置で形成される環状溝部の形状を拡大して示す断面図
【符号の説明】
１０…スタンパ作製用メタルマスタの中間材
１２、２４…情報パターン
１４…被覆層
１６…環状領域
１８…スタンパ作製用メタルマスタ
２０…環状凸部
２２…スタンパ
２６…環状凸部
２８…第１の金型
３０…第２の金型
３２…光ディスク基板
３４…情報領域
３６…環状段部
３８…光ディスク
３９…光透過層
４０…スタンパ作製用メタルマスタの製造装置
４４…浸漬槽
４５…支持部
４６…給気手段
４８…吐出孔
４８Ａ…内側吐出孔
４８Ｂ…外側吐出孔
５０…吐出管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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