(57)【要約】【課題】　強誘電性液晶に代表されるスメクティック液晶では、従来の配向処理だけでは均一な配向を実現することが困難であった。【解決手段】液晶注入口が設けられるパネル領域の外側に、ダミー領域としてスペースをつくっておく。次いで、２枚の基板を重ね合わせた後、分断して所望のパネルサイズに切り出す際に、まず、パネル領域の他にダミー領域を残した状態で、その他の分断箇所を分断して切り出す。次いで、液晶注入口部分にダミー領域が残っている状態で液晶を注入する。最後に液晶注入後、直ちにダミー領域を分断して切り離し、この後で単安定化処理を行う。【選択図】　図１
2004046214.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　パネル領域から離れた位置に開口部を有するシールパターンを間に有する一対の基板間に液晶を前記シールパターンの開口部から注入し、
前記開口部と前記パネル領域の間で前記一対の基板を分断することを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
【請求項２】
　一対の基板間に液晶を有する液晶表示装置の作製方法であって、
　一方の基板にパネル領域から離れた位置に開口部を有するシールパターンを一つもしくは複数形成し、
　前記基板ともう一方の基板を貼り合わせ、
　前記貼り合わせた基板に第１の分断処理を施して一つの前記シールパターンを有する一対の基板を形成し、
　前記一対の基板間に液晶を前記シールパターンの開口部から注入し、
　前記開口部のと前記パネル領域の間で前記一対の基板に第２の分断処理を施すことを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
【請求項３】
一対の基板間に液晶を有する液晶表示装置の作製方法であって、
　一方の基板にパネル領域から離れた位置に開口部を有するシールパターンを一つもしくは複数形成し、
　前記基板に第１の分断処理を施して一つの前記シールパターンを有する基板を形成し、
　前記基板ともう一方の基板を貼り合わせて一対の基板を形成し、、
　前記一対の基板間に液晶を前記シールパターンの開口部から注入し、
前記開口部のと前記パネル領域の間で前記一対の基板に第２の分断処理を施すことを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
【請求項４】
　請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、前記分断処理の際、切り離す工程における分断のスクライブを行うことを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
【請求項５】
　請求項１乃至４のいずれか一項において、前記液晶はスメクティック液晶であることを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
【請求項６】
　請求項１乃至５のいずれか一項において、前記スメクティック液晶は強誘電性液晶であることを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
【請求項７】
請求項１乃至6のいずれか一項において、前記第２の分断処理を行った後、単安定化処理を行うことを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴという）で構成された回路を有する半導体装置およびその作製方法に関する。例えば、液晶表示パネルに代表される電気光学装置を部品として搭載した電子機器に関する。特に、強誘電性液晶を用いた液晶表示装置に関する。
【０００２】
　なお、本明細書中において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指し、電気光学装置、半導体回路および電子機器は全て半導体装置である。
【背景技術】
【０００３】
　従来の液晶パネルでは、液晶を互いに平行に配置した２枚の基板の間に挟み込んだ構造をしている。そして、その２枚の基板うち、液晶が接する基板表面には、液晶分子がある一定の配向となるように、なんらかの配向処理がなされている場合が多い。
【０００４】
　上記配向処理としては、基板の上に配向膜と呼ばれる薄膜をあらかじめ成膜しておき、その後、配向膜を布で一方向にこするラビング法や、偏光紫外光を配向膜に照射して、配向膜に異方性をもたせる光配向法などが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２３７６３５号公報
【０００６】
　数ある液晶材料のうち、サーモトロピック型の液晶材料としては配向処理によって、分子がおおよそ一定方向を向く性質を有する液晶であるネマティック液晶、分子群が同じ方向を向き、更に層状に並ぶタイプの液晶であるスメクティック液晶、ネマティック液晶の特性に加え、ツイスト（らせん）構造を持つ液晶であるコレステリック液晶などがある。
【０００７】
　反強誘電性液晶や強誘電性液晶に代表されるスメクティック液晶では、上記配向処理だけでは均一な配向を実現することが困難であった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
　強誘電性液晶を用いた場合、従来の配向処理では均一な配向を実現することが困難な理由を以下に説明する。
【０００９】
　図７に示すように、従来の配向処理を行った一対の基板間に存在する強誘電性液晶は、注入した直後では、液晶の配向方向１０１が概略配向処理した方向１０２と一致しているけれども、厳密には２種類の異なった配向方向１０１Ａと、配向方向１０１Ｂとが基板面内で混在している。これは、強誘電性液晶の分子自体が配向処理した方向１０２に近い方向に並ぶ性質がある一方、強誘電性液晶の持つ自発分極の向き１０３が第一の基板側１０３Ａと第二の基板側１０３Ｂの２通りあるため、この間で配向状態が異なってしまうことが起因している。この混在した配向状態を偏光顕微鏡で観察すると、ドメイン１０４とよばれるモザイク状の配向パターンが見えたり、ジグザグ状の境界線が見えたりする。従って、良好な表示を得ることができない。
【００１０】
　上記ドメイン１０４や境界線の存在が、光漏れや画像ムラなど液晶配向不良として認識され、表示画像品位に多大な悪影響をおよぼしてしまう。良好な表示が得られる液晶表示装置として機能させるためには少なくとも、液晶分子の配向方向をどちらかに統一させて、ドメイン１０４をなくす必要がある。
【００１１】
　これを達成するための方法の一つとしては、次のようなものがある。すなわち、一対の基板間に挟まれた強誘電性液晶に対して、まず基板に面内に均一な熱をかけることで液晶を相転移させ、等方相（Ｉ相）、またはカイラルネマティック相（Ｎ＊相）の状態にする。その後、一対の基板間に、基板と垂直な方向に直流電界を印加しながら、徐々に温度を下げる。やがて相転移点を下回る温度になったときに、強誘電性液晶が等方相（Ｉ相）やカイラルネマティック相（Ｎ＊相）から、カイラルスメクティックＣ相（ＳｍＣ＊相）などに戻る。このとき液晶に対して電界が印加されていれば、強誘電性液晶のもつ自発分極の向きは電界の向きに応じて一方向に揃う性質があるため、２種類の異なった配向方向のうち、どちらか一方の配向が安定になり、その結果として液晶分子の配向方向が統一されることになる。温度が下がって、カイラルスメクティックＣ相（ＳｍＣ＊相）に相転移をおこした後で、電界をゼロにする。この液晶配向手段は、単安定化と呼ばれている。
【００１２】
　理論的には上記単安定化方法で、強誘電性液晶を均一に配向させることが出来るはずだが、実際には一部の領域で、本来の配向とは異なった配向をするなど、単安定化不良をおこすことが多い。これは、シールやスペーサなど、パネルを構成する他の構造物からの影響が原因になる場合がある。また、液晶注入時や液晶の単安定化時において、処理条件が不適切であったことが原因になる場合もある。
【００１３】
　図８に示すように、単安定化不良２０１は特にパネルの注入口付近２０２に発生する場合が多い。注入口付近２０２は、液晶注入時にパネルに入る全ての液晶分子の通り道２０３となる部分である。一般的にはパネルの信頼性上、出来るだけ注入口を狭くするために、注入口付近２０２に注入される液晶が局所的に集中する。従って、注入口付近２０２は、パネルのほかの部分に比べて、極端に多くの液晶が通過する部分となる。
【００１４】
そして、注入される液晶が、その通り道部分の配向膜に対して、液晶の通り道２０３に沿って摩擦の効果を生じさせる。摩擦の効果が顕著な場合は、ちょうど液晶が配向膜をラビングするような効果が現れ、その結果、その部分の液晶の配向を変化させるほどのものになる。液晶の通り道２０３に沿って生じる摩擦効果により生じる液晶の配向の方向と、パネル作製者が意図してつくった配向処理方向２０４とは必ずしも一致するわけではない。一致しない場合、結果として局所的に単安定化不良２０１を生じることになる。
【００１５】
　また、単安定化不良対策のため、単安定化不良が発生しないような、液晶注入条件や配向処理条件、単安定化条件を最適化する方法も考えられるが、これを実施しようとすると、条件出しが煩雑であり、また各条件のマージンも狭いようである。発明者らが実施した実験の結果では、完全に上記単安定化不良を除去する条件を見出すことはできなかった。
【００１６】
　もう一つの対策として、液晶パネルにおける液晶注入口の位置を調整して、液晶注入口と表示エリアとの位置をできるかぎり離すように配置し、単安定化不良が表示エリアにかからないようにする方法も考えられる。しかし、この方法では、液晶注入口と表示エリアの間に距離をおく分、パネル内部に余計なスペースが発生することになる。加えて、この方法では、製造コストや、液晶パネルの周辺装置のコストなどの引き下げを狙う場合、一般的にパネルサイズを小さくする方針で検討されるが、この点で不利に働く。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
そこで、本発明では、液晶注入口が設けられるパネル領域の外側に、ダミー領域としてスペースをつくっておく。シールを描画する際、ダミー領域にはパネル側からの注入口をそのまま長く伸ばすように配置する。次いで、２枚の基板を重ね合わせた後、分断して所望のパネルサイズに切り出す際に、まず、パネル領域の他にダミー領域を残した状態で、その他の分断箇所を分断して切り出す。この段階ではパネル領域とダミー領域は一体となっており、暫定的に、液晶注入口が長いパネルになっている。次いで、液晶注入口部分にダミー領域が残っている状態で液晶を注入する。最後に液晶注入後、直ちにダミー領域を分断して切り離し、この後で単安定化処理を行う。
【００１８】
　以上の手順によって、単安定化不良なく強誘電性液晶をある一定の方向に配向させることができる。
【００１９】
　本発明においては、液晶注入口と液晶封止口とが一致しておらず、液晶注入時にある液晶注入口は、後に分断されることを特徴としている。本明細書において液晶注入口とは、液晶注入の際に最初に液晶と接する部分を指しており、液晶封止口とは、最終的に接着材によって液晶の封止を行う部分を指している。
【００２０】
　本明細書で開示する発明の構成は、一対の基板間にスメクティック液晶を有する液晶表示装置の作製方法であって、一方の基板に液晶封止口から延長して液晶注入口が設けられたシールパターンを形成する工程と、一対の基板を貼り合わせる工程と、基板を分断して液晶封止口と液晶注入口が連結した一対の基板を形成する工程と、一対の基板間にスメクティック液晶を前記液晶注入口から注入する工程と、液晶を注入した後、前記液晶注入口と前記液晶封止口とを切り離す工程とを有することを特徴とする。
【００２１】
　また、基板を分断した後に貼り合わせを行ってもよく、他の発明の構成は、一対の基板間にスメクティック液晶を有する液晶表示装置の作製方法であって、一方の基板に液晶封止口から延長して液晶注入口が設けられたシールパターンを形成する工程と、一方の基板を分断して液晶封止口と液晶注入口が連結した一対の基板を形成する工程と、一対の基板間にスメクティック液晶を前記液晶注入口から注入する工程と、液晶を注入した後、前記液晶注入口と前記液晶封止口とを切り離す工程とを有することを特徴とする。
【００２２】
　上記各構成において、前記分断をする工程の際、切り離す工程における分断のスクライブを行うことを特徴としている。
【００２３】
　また、請求項１乃至３のいずれか一項において、前記スメクティック液晶は強誘電性液晶であることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２４】
　強誘電性液晶のパネルにおいて、パネルサイズを大きくすることなく、液晶単安定化不良を簡単に除去することができ、液晶表示装置の表示品位を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
　本発明の実施形態について、以下に説明する。
【００２６】
　図１を用いて、本発明の作製手順を説明する。
【００２７】
　まず、液晶注入口３０２が設けられるパネル領域３０３の外側に、ダミー領域３０４としてスペースをつくっておく。シール３０５を描画する際には、パネル領域３０３の周縁にシールパターンを配置する。シールパターンはその開口部をパネル領域からダミー領域方向に離れるように形成して液晶注入口３０２を形成する。このシールパターンは基板上に一カ所もしくは複数箇所形成される。
【００２８】
　次いで、２枚の基板を貼り合わせる。（図１（Ａ））
【００２９】
　次いで一対の基板を分断して、液晶注入口３０２を有するシールパターンを一つ備えた所望のパネルサイズに分断し、切り出す。この時、図１（Ｂ）に示すように、パネル領域３０３とダミー領域３０４の間の分断箇所３０６を残した状態で、その他の分断箇所３０７を分断して切り出す。この段階ではパネル領域３０３とダミー領域３０４が一体となっている。暫定的に、液晶注入口３０２が長い１枚のパネルになっている。
【００３０】
　次いで、液晶注入口３０２であるシールパターンの開口部からスメクティック液晶の一種である強誘電性液晶を注入する。（図１（Ｃ））なお、液晶注入後すぐに単安定化処理を行うと、ダミー領域３０４付近に単安定化不良が発生してしまう。
【００３１】
　そこで、液晶注入後すぐにダミー領域３０４を分断し、切り離す（図１（Ｄ））。分断する箇所は、パネルエリアとシールパターンの開口部の間に当たる部分とも言える。この後で単安定化処理３０８を行う。（図１（Ｅ））なお、ダミー領域３０４を分断し、切り離す際に、パネル分断に伴う液晶にかかるストレスの影響で、液晶の配向の乱れ３１０が生じてしまう場合もあるが、この配向乱れはその後の単安定化処理３０８で除去できる。
【００３２】
　以上の構成でなる本発明について、以下に示す実施例でもってさらに詳細な説明を行うこととする。
【実施例】
【００３３】
　［実施例１］
　本実施例では、単純マトリクス型の強誘電性液晶パネルの構成およびその作製工程について、以下に説明する。ここでは、単純マトリクス型パネルの例を示すが、特に限定されず、アクティブマトリクス型パネルにも応用できることはいうまでもない。また、液晶材料としては相系列が等方相（I相）→カイラルネマティック相（Ｎ＊相）→カイラルスメクティック相（ＳｍＣ＊相）→結晶相である液晶材料を使用した。
【００３４】
図２（Ａ）、図２（Ｂ）は単純マトリクス型パネルを作製する際に使用される基板の一例である。第１のガラス基板４０１上に、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ）からなる導電性透明膜がストライプ状に配置されている。また、これらのストライプパターン４０２それぞれに、アルミニウムからなる外部取り出し配線群４０３が配置されている。この配線群４０３は、ＩＴＯのストライプパターン４０２のどちらか一端で電気的に接続されており、そこからＩＴＯストライプパターン４０２とは逆の方向に伸びている。一本のＩＴＯストライプパターン４０２には配線群４０３のうちのどれか一本のみが電気的に接続されている。
【００３５】
　一本のＩＴＯストライプパターン４０２とそれと電気的に接続された一本の配線群４０３の組み合わせで、一組のアドレス線４０４を形成している。別個のアドレス線４０４同士の間では互いに電気的に独立している。パネルを形成したとき、ＩＴＯのストライプパターン４０２はパネルの内側にあり、画素電極に相当する。一方、配線群４０３はパネルの内側から外側にかけて伸びていて、ここから外部入力端子に接続するための取り出し配線となる。
【００３６】
第１のガラス基板４０６にも第１の基板４０１と同様、ＩＴＯのストライプパターン４０７と配線群４０８の組があり、アドレス線４０９が存在する。ただし、ストライプの方向は第１の基板４０１のものと異なり、後で第１の基板４０１と第２の基板４０６を重ね合わせたときに、それぞれの基板の各ストライプパターン４０２、４０７が交差して、その交差部がマトリクス状配置の各画素４１１に相当するように形成されている。
【００３７】
上記の配線配置からすると、第１および第２のガラス基板４０１、４０６はいずれも、配線群４０３、４０８は、ＩＴＯストライプパターン４０２、４０７からなる画素エリアの周辺の四辺のうち、いずれか一辺側４１３、４１４に集中して存在することになる。図２（Ｃ）に示すように、あとで両基板４０１、４０６を重ね合わせて一枚のパネル４１２になったときには、第１の基板の配線群４０３と第２の基板の配線群４０８はパネルの四辺のうち、お互いに隣り合う二辺４１３、４１４を占めることになる。このことを逆にいうと、パネルの四辺のうち、両基板の配線群が配置されていない辺が二辺４１５、４１６ある、ということになる。この二辺４１５、４１６のうちのどちらか一辺に液晶注入口を配置することになるが、この部分に相当する両基板４０１、４０６の対応するエリア４０５、４１０には、別途、ダミー領域４１７としてあらかじめスペースをとっておく。
【００３８】
図３のように、第１および第２の基板５０１、５０２の上に、ポリイミド系配向膜５０３を印刷法により成膜する。膜厚は３０〜１００ｎｍである。強誘電性液晶の場合は、配向膜５０３に対する液晶のプレチルト角が０〜１度程度の水平配向の配向膜材料を使用するのが、液晶配向特性上望ましいようである。配向膜５０３を印刷した後は、ホットプレートで８０℃、２分間の仮焼成を行い、その後、クリーンオーブンで１８０℃、６０分の本焼成を行う。
【００３９】
　その後、レーヨンなどの布で、第１および第２の基板上に成膜された配向膜５０３を一方向５０４Ａ、５０４Ｂに擦る、ラビング処理を行う。ラビングを行うことで液晶を配向させる機能を配向膜５０３に付与する事ができる。ラビング方向５０４Ａ、５０４Ｂは、両基板を重ね合わせたときに互いに反平行となるようにする。ラビングした後は、この工程で発生したパーティクルを除去するため、水洗リンス洗浄を行う。
【００４０】
　第１および第２の基板のうち、どちらか一方の基板に対して、紫外線硬化型のシール材５０５をディスペンス法により描画する。シール材５０５はパネルを形成するときに、パネルの側壁となって液晶をパネル内に封じ込める役割とともに、第１と第２の基板５０１、５０２の間をある一定のギャップを保持して貼り合わせ接着する役割がある。液晶をパネルに導入するために必要な液晶注入口５０６も、この工程でシールパターンの描画により形成する。本実施例の液晶パネルでは２μｍのギャップを形成している。セルギャップが薄いため、ＴＮパネルなどでは通常行なわれる、シール材５０５に対してギャップ保持物質の添加は、本実施例の場合、不要である。
【００４１】
　このとき液晶注入口部分であるシールパターンの開口部は、パネル領域端部からダミー領域５０７方向に離れて形成されている。
【００４２】
　一方、シール描画を行わなかった側の基板に対しては、スペーサ５０８の散布を行う。スペーサ５０８は、酸化シリコンからなる球状（球の直径が２μｍを中心とする分布をもっている）の物質である。イソプロピルアルコール（５０ｍｌ）中にスペーサ５０８（２ｍｇ）を混入した後、超音波による分散を１５分間行う。その直後に、基板にこの液（２ｍｌ）を滴下して、１５００ｒｐｍで基板を回転させて、基板全面にスペーサ５０８が分散されるようにする。この操作をもう一度繰り返して、結果として顕微鏡観察から５０〜１００個／ｍｍ2の散布密度を得る。
【００４３】
　両方の基板に対して、それぞれ上記処理を行った後、重ね合わせる。重ね合わせる際に、基板の法線方向に平行に均一な加圧をかけて、一対の基板間隔（セルギャップ）を制御する。一方、重ね合わせを行う治具は、基板に対して加圧をかけながらシール材に対して紫外線を照射できるように、基板を保持する定盤の一部が紫外線透過性をもった構成をしている。一対の基板に充分な加圧がかけられた状態を保持しながら、重ね合わせた一対の基板に対して紫外線照射を行い、シール材５０５を硬化させる。
【００４４】
　次に、図１（Ａ）に示すように、互いに重ね合わされた基板に対して第１の分断を行う。分断は、分断したい部分にガラスカッターでけ罫書き線（スクライブライン）３０６、３０７を入れた後、この位置に相当する裏面側から局部的に加圧をかけることによって行う。裏面側からの局部的な加圧により、スクライブライン３０７に対してストレスがかかり、スクライブライン３０７に沿って基板が分断される。
【００４５】
　第１の分断により、図１（Ｂ）のように重ね合わされた基板から個々のパネルが切り出される。パネルの画素エリアに相当する領域は、２枚の基板が重なり合っている。一方（ここでは図示していないが）、画素エリアから伸びている配線群は外部入力端子として、外部回路と接続させるため、その一部領域を表面に露出させる。そして、この時点では、パネル領域３０３と開口部に当たる液晶注入口３０２の間にあるスクライブライン３０６に対してのみ、スクライブラインは入れておくが、分断は行わないこととする。従って、この段階では、パネル領域３０３とダミー領域３０４がとりあえずくっついた状態の、仮パネル３１１という形で切り出される。
【００４６】
　その後、スメクティック液晶の一種である強誘電性液晶をディップ法により注入する（図１（Ｃ））。まず、仮パネル３１１と液晶を含む系を真空にする。そして、この系を１００℃に加熱して、液晶を等方相に変化させる。この状態では液晶の粘度が低くなるので、通常のネマティック液晶の注入と同じ技術が使える。この後ではじめて仮パネル３１１の液晶注入口３０２を液晶と接触させて液晶の注入を始める。毛管現象の作用である程度まで注入された後は、系の真空度を徐々に下げ、最終的に常圧にまで戻す。この過程では、仮パネル３１１内部と系の圧力差を利用して液晶を注入している。液晶が仮パネル３１１内全面に注入されたことを確認して、系の温度を徐々に室温まで戻す。
【００４７】
　液晶が注入された後は、液晶注入前にパネル領域３０３と開口部に当たる液晶注入口３０２の間に入れたスクライブライン３０６を手で分断し、パネル領域３０３とダミー領域３０４を切り離す第２の分断を行う。（図１（D））第２の分断を行わずに単安定化を行った場合、単安定化不良を引き起こす要素はダミー領域３０４内に発生することになるが、第２の分断によりダミー領域は切り離されるため、パネル領域３０３で単安定化不良を引き起こす要素が存在しない。
【００４８】
　ダミー領域３０４を切り離したあとは、液晶封入口３０２に紫外線硬化樹脂（ここでは図示していない）を塗布する。そして、紫外線照射によりこの紫外線硬化樹脂を硬化させて、液晶封入口３０２を封止する。
【００４９】
この後、図４のように、パネルの第１および第２の基板６０１、６０４に形成されている配線群からなる、外部入力端子６０２、６０５にＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ　Ｐｒｉｎｔ　Ｃｉｒｃｕｉｔ）６０３、６０６を接続する。外部入力端子６０２、６０５は基板分断時に表面に露出していて、外部からの回路の接続が可能になっている。ＦＰＣ６０３、６０６はポリイミドなどの有機樹脂フィルムに銅配線が形成されていて、異方性導電性接着剤で外部入力端子と接続する。異方性導電性接着剤は接着剤と、その中に混入され金などがメッキされた数十〜数百ミクロン径の導電性表面を有する粒子により構成され、この粒子が外部入力端子と銅配線とに接触することにより、両者で電気的な接触が形成される。ＦＰＣ６０３、６０６は基板との接着強度を高めるために、外部入力端子６０２、６０５の外側にはみだして接着されている。異方性導電性着剤とともに、端部には樹脂層（ここでは図示しない）が設けられていて、この部分における機械的強度を高めている。
【００５０】
第１の基板６０１の外部入力端子６０２に接続された第１のＦＰＣ６０３と、第２の基板６０４の外部入力端子６０５に接続された第２のＦＰＣ６０６とを直流電源６０７に接続する。その後、パネルをホットプレートの上に乗せ、パネル面内に均一に１００℃の温度を掛ける。パネルが充分に加熱されたら、直流電源６０７をオンして、パネルに対して直流電圧６０８を印加する。この工程では、第１のＦＰＣ６０３間内ではすべて同じ第１の電圧Ｖ１が印加され、第２のＦＰＣ６０６間内でもすべて同じ第２の電圧Ｖ２が印加される。第１の電圧Ｖ１と、第２の電圧Ｖ２の間との電位差は５Ｖである。その後、電圧６０８を印加したまま、徐々にパネルに掛ける温度を低くするように、ホットプレートの温度を制御する。本実施例では２．０℃／分の降下速度で温度制御している。
【００５１】
　ホットプレートの温度が２５℃まで下がった後で、第１の電圧Ｖ１と、第２の電圧Ｖ２との間の電位差を０Ｖにする。そして、直流電源６０７からＦＰＣ６０３、６０６をはずした後は、第１のＦＰＣ６０３と第２のＦＰＣ６０６との間を短絡しておく。のちに、パネルを表示装置に組み込む際に、ＦＰＣ６０３、６０６同士の短絡を解除して、それからＦＰＣ６０３、６０６を駆動回路に接続する。
【００５２】
　こうして、強誘電性液晶を用いた単純マトリクス表示装置が完成する。
【００５３】
　［実施例２］
本発明を実施することによって液晶モジュール（単純マトリクス型液晶モジュールまたはアクティブマトリクス型液晶モジュール）を組み込んだ全ての電子機器が完成される。
【００５４】
　その様な電子機器としては、ビデオカメラ、デジタルカメラ、ヘッドマウントディスプレイ（ゴーグル型ディスプレイ）、カーナビゲーション、プロジェクタ、カーステレオ、パーソナルコンピュータ、携帯情報端末（モバイルコンピュータ、携帯電話または電子書籍等）などが挙げられる。それらの一例を図５、図６に示す。
【００５５】
図５（Ａ）はパーソナルコンピュータであり、本体２００１、画像入力部２００２、表示部２００３、キーボード２００４等を含む。
【００５６】
図５（Ｂ）はビデオカメラであり、本体２１０１、表示部２１０２、音声入力部２１０３、操作スイッチ２１０４、バッテリー２１０５、受像部２１０６等を含む。
【００５７】
図５（Ｃ）はモバイルコンピュータ（モービルコンピュータ）であり、本体２２０１、カメラ部２２０２、受像部２２０３、操作スイッチ２２０４、表示部２２０５等を含む。
【００５８】
図５（Ｄ）はゴーグル型ディスプレイであり、本体２３０１、表示部２３０２、アーム部２３０３等を含む。
【００５９】
図５（Ｅ）はプログラムを記録した記録媒体（以下、記録媒体と呼ぶ）を用いるプレーヤーであり、本体２４０１、表示部２４０２、スピーカ部２４０３、記録媒体２４０４、操作スイッチ２４０５等を含む。なお、このプレーヤーは記録媒体としてＤＶＤ（Ｄｉｇｔｉａｌ　Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ　Ｄｉｓｃ）、ＣＤ等を用い、音楽鑑賞や映画鑑賞やゲームやインターネットを行うことができる。
【００６０】
　図５（Ｆ）はデジタルカメラであり、本体２５０１、表示部２５０２、接眼部２５０３、操作スイッチ２５０４、受像部（図示しない）等を含む。
【００６１】
　図６（Ａ）は携帯電話であり、本体２９０１、音声出力部２９０２、音声入力部２９０３、表示部２９０４、操作スイッチ２９０５、アンテナ２９０６、画像入力部（ＣＣＤ、イメージセンサ等）２９０７等を含む。
【００６２】
　図６（Ｂ）は携帯書籍（電子書籍）であり、本体３００１、表示部３００２、３００３、記憶媒体３００４、操作スイッチ３００５、アンテナ３００６等を含む。
【００６３】
　図６（Ｃ）はディスプレイであり、本体３１０１、支持台３１０２、表示部３１０３等を含む。
【００６４】
　以上の様に、本発明の適用範囲は極めて広く、あらゆる分野の電子機器の作製方法に適用することが可能である。また、本実施例の電子機器は実施の形態、実施例１、または実施例２のどのような組み合わせからなる構成を用いても実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】重ね合わせた基板から仮パネルを切り出すところから、液晶プロセスに至るまでの工程図。
【図２】強誘電性液晶パネルを作製するときに使用する基板の一例と、両基板を重ね合わせたときの様子を示す図。
【図３】２枚の基板からパネルを作製するプロセスを示す図。
【図４】ＦＰＣ取り付け後のプロセスを示す図。
【図５】電子機器の一例を示す図。
【図６】電子機器の一例を示す図。
【図７】強誘電性液晶をパネルに注入したときの様子を示す図である。
【図８】液晶の通り道と、単安定化不良の発生する様子を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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