(57)【要約】【課題】プリント配線板とマスクフィルムが離れなくならないようにして容易に分離できるようにする。【解決手段】プリント配線板３とマスクフィルム１の真空密着部において、前記マスクフィルム１と、このマスクフィルムのプリント配線板３に密着する面の一端に設置したセパレータ５を設け、このセパレータ５が部材を注入または排出することにより膨張または収縮させて前記プリント配線板３と前記マスクフィルム１の間隔を制御する形状可変手段からなることを特徴とする。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板とマスクフィルムの真空密着部において、前記マスクフィルムと、このマスクフィルムのプリント配線板に密着する面の一端に設置したセパレータを設け、このセパレータが部材を注入または排出することにより膨張または収縮させて前記プリント配線板と前記マスクフィルムの間隔を制御する形状可変手段からなることを特徴とするプリント配線板とマスクフィルムとの着脱装置。
【請求項２】
部材が気体または液体からなる請求項１記載のプリント配線板とマスクフィルムとの着脱装置。
【請求項３】
部材が空気からなり、形状可変手段がセパレータの注入口より圧縮空気を入れたり大気開放するエアーユニットからなる請求項１または２記載のプリント配線板とマスクフィルムとの着脱装置。
【請求項４】
セパレータの配置をプリント配線板の１辺、２辺または４辺にそれぞれ設けた請求項１，２または３記載のプリント配線板とマスクフィルムとの着脱装置。
【請求項５】
セパレータの配置をプリント配線板の１隅、２隅または４隅にそれぞれ設けた請求項１，２または３記載のプリント配線板とマスクフィルムとの着脱装置。
【請求項６】
セパレータの配置をプリント配線板の１辺に複数個所設けた請求項１，２または３記載のプリント配線板とマスクフィルムとの着脱装置。
【請求項７】
セパレータの配置をプリント配線板の両面に同時に設けた請求項１，２または３記載のプリント配線板とマスクフィルムとの着脱装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のうちの１つのプリント配線板とマスクフィルムとの着脱装置を備えたことを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント配線板とマスクフィルムとの着脱装置およびその配線基板の露光装置に関し、特にプリント配線板とマスクフィルムが容易に分離できるよういした着脱装置およびその露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、プリント配線板は、プリント配線となる導体部を設けた基板上から露光装置により露光して所定パターンのプリント配線を形成している。この場合、プリント配線板の露光面と、感光性樹脂インクにマスクパターンを露光処理するマスクフィルムとが真空密着される必要がある。
【０００３】
図４は、従来例のプリント配線板とマスクフィルムとの真空密着部を説明する透視断面図である。すなわち、セットテーブル４上にプリント配線板３が載置され、その上にマスクフィルム１を貼り付けたガラス板２が設けられている。プリント配線板３とマスクフィルム１との間の真空密着部は、マスクフィルム１を貼り付けるガラス板２と、回路パターンが形成されたマスクフィルム１と、感光性樹脂インクを表面に塗布しタックフリー乾燥を行ったプリント配線板３から構成されている。
【０００４】
次に、この装置の動作を説明する。まず、予め真空吸着等によりガラス板２にマスクフィルム１がランプ照射面と反対面に密着固定する。そして露光完了後に真空が解除されプリント配線板３とマスクフィルム１は機械的に離される。なお、一般にプリント配線板３側はセットテーブル４に設けられた真空穴で吸着されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述した露光装置のプリント配線板３とマスクフィルム１との真空密着部では、プリント配線板３の表面上にある感光性樹脂インクはタックフリー乾燥を行っているものの、その感光性樹脂インクは、露光エネルギーを吸収することや真空密着で強く密着されることからタック性が生じ、露光が完了し真空を解除した後に、プリント配線板３とマスクフィルム１が引っ付いて離れなくなるという欠点があった。
【０００６】
従来のプリント配線板３とマスクフィルム１の真空密着部では、一般的にはプリント配線板３はセットテーブル４側で、マスクフィルム１はガラス板２側でそれぞれ真空吸着によりセットされており、露光完了後マスクフィルム１とプリント配線板３はそれぞれ真空吸着されたまま外されるが、タック性が生じた場合、プリント配線板３はマスクフィルム１に貼り付き、セットテーブル４から外れてしまうからである。
【０００７】
本発明の目的は、このような問題を解決し、プリント配線板とマスクフィルムが離れなくならないようにして容易に分離できる配線基板とマスクフィルムとの着脱装置およびその配線基板の露光装を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の構成は、プリント配線板とマスクフィルムの真空密着部において、前記マスクフィルムと、このマスクフィルムのプリント配線板に密着する面の一端に設置したセパレータを設け、このセパレータが部材を注入または排出することにより膨張または収縮させて前記プリント配線板と前記マスクフィルムの間隔を制御する形状可変手段からなることを特徴とする。
【０００９】
本発明において、部材が気体または液体からなり、また、部材が空気からなり、形状可変手段がセパレータの注入口より圧縮空気を入れたり大気開放するエアーユニットからなることができる。
【００１０】
また、本発明において、セパレータの配置を、プリント配線板の１辺、２辺または４辺にそれぞれ設けたり、プリント配線板の１隅、２隅または４隅にそれぞれ設けたり、プリント配線板の１辺に複数個所設けたりでき、また、セパレータの配置をプリント配線板の両面に同時に設けることもできる。
【００１１】
本発明の露光装置の構成は、これらのうちの１つのプリント配線板とマスクフィルムとの着脱装置を備えたことを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施形態を図面により詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態を説明するプリント配線板とマスクフィルムの真空密着部の透視斜視図だである。本実施形態は、プリント配線板３のフォト工法で一般的に行われる露光処理に於いて、特に液状の感光性樹脂インクを用いマスクフィルム１とプリント配線板３とを真空密着させて露光処理する場合に適用される。この露光装置において、露光完了後に感光性樹脂インクの持つタック性によりマスクフィルム１とプリント配線板３とが貼り付き離れなくなることを防止するように、露光装置のプリント配線板３とマスクフィルム１の真空密着部において、感光性樹脂インクにマスクパターンを露光処理するためのマスクフィルム１とマスクフィルム１のプリント配線板３に密着する面の一端に設置したセパレータ５が設けられている。
【００１３】
このセパレータ５は、その注入口６より圧縮空気を入れたり大気開放するエアーユニット７から構成されている。圧縮空気の注入及び大気開放は、注入口６の手前に設置されたエアーユニット７により制御される。
【００１４】
次に、この装置の動作を、図２（ａ）〜（ｃ）の断面図により説明する。まず、図２（ａ）の真空吸着前の場合、予め真空吸着等によりガラス板２にマスクフィルム１を、露光装置のランプ照射面と反対面に吸着固定する。マスクフィルム１のプリント基板と密着する面の一端には、袋状のセパレータ５が接着されており、注入口６より圧縮空気を入れた場合にセパレータ５は膨張し、大気開放した場合にセパレータ５は収縮し平たくつぶれる構造となっている。
【００１５】
次に、図２（ｂ）のプリント配線板３とマスクフィルム１を真空密着し露光する場合には、セパレータ５は大気開放された状態で平たくつぶされた状態となっている。プリント配線板３が供給されセットテーブル４上に同じく真空吸着等により吸着固定される。この状態でガラス板２とセットテーブル４が接近することにより、マスクフィルム１とプリント配線板３も接近し、更にマスクフィルム１とプリント配線板３間を真空引きすることにより、マスクフィルム１とプリント配線板３を真空密着させる。この状態で露光処理を行う。
【００１６】
さらに、図２（ｃ）の露光処理が完了した場合、露光処理が完了しマスクフィルム１とプリント配線板３は、その間の真空を解除した後、プリント配線板３とマスクフィルム１を離そうとした場合、感光性樹脂インクはタックフリー乾燥を行っているものの露光エネルギーを吸収することや真空密着で強く密着されることから新たにタック性が生じ貼り付く場合が生じる。
【００１７】
本実施形態の真空密着部では、マスクフィルム１とプリント配線板３との間の真空を解除した後、セパレータ５に圧縮空気が注入され袋状のセパレータ５がマスクフィルム１及びガラス板２に対し垂直方向に膨張し、プリント配線板３とマスクフィルム１間に隙間ができることから、容易にプリント配線板３とマスクフィルム１を離すことができる。
【００１８】
図３（ａ）〜（ｅ）および図４（ａ）（ｂ）は本発明の他の実施形態を説明する部分斜視図である。他の実施形態としては、図３（ａ）（ｂ）のように、セパレータ５ａ，５ｂの配置をプリント配線板３の２辺、４辺にそれぞれ設けたもの、また、図３（ｃ）〜（ｅ）のように、セパレータ５ｃ，５ｄ，５ｅの配置をプリント配線板３の１隅、２隅、４隅にそれぞれ設けたものが考えられる。また、図４（ａ）のように、セパレータ５ｆの配置をプリント配線板３の１辺に複数個所設けたものや、図４（ｂ）のように、両面同時処理時の場合もある。
【００１９】
この両面同時処理時の場合、セパレータ５ｆの配置を両面プリント配線板３ａ，ｂに同時に設けたものであるが、対面に本構造のものを設置することにより、プリント配線板３の表裏面で同様の処理が行え、同様の効果を同時に得ることができる。
【００２０】
これらはプリント配線板上の回路パターンや感光性樹脂インクの膜厚やプリント配線板のサイズによって発生するタック性が異なるため、それに対応した最適な構成を選択することになる。ただし、それぞれ次のような短所・長所を有しているので、考慮する必要がある。
【００２１】
複数のセパレータを使用する場合、短所として、真空密着露光の場合に真空引きが必要であり、真空がリークし易くなり、これを解消するためには構造的に複雑になる欠点があり、コスト面で高価となる。また、長所では、使用するセパレータを選択できる様にすることで、前述した異なるタック性に対し対応が可能となる。
【００２２】
また、単体のセパレータを使用する場合、短所そして、前述した異なるタック性に対し対応できない場合があり、また、長所として、構造がシンプルとなりコスト面でも安価となる。
【００２３】
なお、これら実施形態では、セパレータとして、圧縮空気を入れたもので説明したが、空気の代りに他のガス、不燃性気体を用いることもでき、また、圧力（水圧）のかかる水や液体でも同様のものが可能である。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の構成によれば、プリント配線板のフォト工法で一般的に行われる露光処理において、特に液状の感光性樹脂インクを用いマスクフィルムとプリント配線板とを真空密着させて露光処理する場合において、露光完了後に感光性樹脂インクの持つタック性により、マスクフィルムとプリント配線板とが貼り付き離れなくなることを防止でき、露光装置の真空密着部に関し効果がある。
【００２５】
本発明によると、露光完了時プリント配線板とマスクフィルムを離す時にその間に設けた袋状のセパレータに圧縮空気を注入し膨張させることにより、プリント配線板とマスクフィルムの間に隙間が生じタック性による貼り付きが解除されるため、その状態から容易に離すことが可能となるからである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を説明するマスクフィルムとプリント配線板との着脱装置の透視斜視図。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は図１のセパレータ部分の動作を説明する断面図。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は本発明の他の実施形態を説明する透視斜視図。
【図４】（ａ）（ｂ）は本発明のさらに他の実施形態を説明する透視斜視図。
【図５】従来例のマスクフィルムとプリント配線板との着脱装置の透視斜視図。
【符号の説明】
１　　マスクフィルム
２　　ガラス板
３　　プリント配線板
４　　セットテーブル
５，５ａ〜５ｆ　　セパレータ
６　　注入口
７　　エアーユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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