(57)【要約】【課題】封着において、外囲器を構成する２枚の基板の押圧を、簡易、且つ均一に行うことで、良好な画像表示を行うことができる表示パネルを効率良く製造する方法および装置を提供する。【解決手段】２枚の基板２、３を、少なくとも一方の基板の外周部に形成したガラス封着材４を挟むように対向配置した後、これら２枚の基板を封着する際、封着時の加熱温度で所定の押圧力となる均一加圧袋２６により押圧して封着することで表示パネルを製造する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の基板を、ガラス封着材を挟んで対向配置した後、均一加圧袋により押圧して封着する表示パネルの製造方法。
【請求項２】
均一加圧袋が、２枚の基板の封着部を押圧する請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項３】
２枚の基板の封着部の、辺部と角部とで押圧力が異なるように構成した均一加圧袋で押圧する請求項２に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項４】
ガラス封着材を挟んで対向配置した２枚の基板を押圧する、均一加圧袋を備える表示パネルの製造装置。
【請求項５】
均一加圧袋が、２枚の基板の封着部を押圧する請求項４に記載の表示パネルの製造装置。
【請求項６】
２枚の基板の封着部の、辺部と角部とで押圧力が異なるように構成した均一加圧袋を備える請求項５に記載の表示パネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）やフィールドエミッションディスプレイ（以下、ＦＥＤと記す）など、対向する２枚の基板により構成される外囲器を有する表示パネルの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
対向する２枚の基板により構成される外囲器を備える表示パネルとしては、例えばＰＤＰやＦＥＤなどがある。これらの表示パネルは、ガラス基板を２枚の基板として用い、２枚の基板を低融点ガラス材料からなるガラス封着材でシールすることにより外囲器を形成したものである。この外囲器を形成する製造方法を、図１１、図１２および図１３を参照しながら説明する。
【０００３】
図１１は、表示パネルの製造方法において、主に、外囲器を形成する部分の製造工程のフローを示すものであり、また、図１１の中での、クリップを装着（Ｓ３４）した状態を示す平面図が図１２であり、その図１２におけるＡ−Ａ’矢視断面図が図１３である。
【０００４】
まず、表示パネル１が有する、対向する２枚の基板である、第一の基板２と第二の基板３とをそれぞれ受入れた後（Ｓ１１およびＳ２１）、それぞれ表示パネル１として必要な構造物を形成するための工程を実施し（図示せず）、その後、少なくともどちらか一方の基板の外周部、図１１では例として、第二の基板３の外周部に、低融点ガラスを主含有する封着材ペーストを塗布（Ｓ２５）し、それを乾燥（Ｓ２６）することで、ガラス封着材４を形成する。次に、これら２枚の基板をガラス封着材４を挟みこむようにステージ２３上で対向配置（Ｓ３１）した状態で、アライメントし（Ｓ３２）、その後、基板固定機構２２で固定（Ｓ３３）した後に、その周辺部に一定の挟み力を有するクリップ２１を複数個、装着（Ｓ３４）することで、ガラス封着材４を形成した封着部５を押圧する。この状態が図１３である。そして、これら複数個のクリップ２１を装着したままの状態でステージ２３ごと、ガラス封着材４の溶融温度まで加熱処理する封着（Ｓ３５）を行った後、さらに必要な工程を実施し（図示せず）、その後、複数個のクリップ２１を脱着する（Ｓ３９）ことで、対向する第一の基板２と第二の基板３とにより構成される外囲器を備える表示装置１が完成する（Ｓ４０）。（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平０１−２１１８１７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の技術では以下のような課題があった。
【０００７】
対向配置された２枚の基板２、３の押圧に用いるクリップ２１は、図１２に示すように、基板周辺部に複数個装着、配置され、対角が３０インチを越える表示パネルにおいては２０個以上の数が必要であり、表示パネル１のサイズが大きくなるほどクリップ２１の個数を増加させなければならない。
【０００８】
これは、封着の際、封着部５に配設されたガラス封着材４を均一に押圧して、第一の基板２と第二の基板３との間隔を精度良くすることが、表示パネル１が良好な画像表示を行うために重要だからである。
【０００９】
ここで、クリップ２１の個数が少なかったり、挟み力がばらついていたりすると、押圧の均一性が悪化し、封着後の２枚の基板２、３の間隔が不均一となり、表示パネル１の画像表示特性に悪影響を与えてしまう場合がある。
【００１０】
以上より、２枚の基板２、３の間隔が均一な表示パネル１を製造するためには、装着するクリップ２１の個数はできるだけ多く、且つその挟み力は均一となるようにすることが好ましいのであるが、そのことは、クリップ２１の装着と脱着とに時間を要し、また、クリップ２１個々の挟み力の管理が必要であることから、生産性の悪化を招くという問題が生じる場合があった。
【００１１】
本発明はこれら課題を鑑みてなされたものであり、封着における基板の押圧を簡易に且つ均一に行うことで、良好な画像表示を行うことができる表示パネルを効率良く製造する方法および装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を実現するために本発明の表示パネルの製造方法は、２枚の基板を、ガラス封着材を挟んで対向配置した後、所定量の気体を封入した袋により押圧して封着するものである。
【００１３】
また、上記目的を実現するために本発明の表示パネルの製造装置は、ガラス封着材を挟んで対向配置した２枚の基板を押圧する、所定量の気体を封入した袋を備えるものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の請求項１に記載の発明は、２枚の基板を、ガラス封着材を挟んで対向配置した後、所定量の気体を封入した袋により押圧して封着する表示パネルの製造方法である。
【００１５】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記袋が、２枚の基板の封着部を押圧するものである。
【００１６】
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記袋が、複数からなり、２枚の基板の封着部の辺部と角部とで、封入した気体の量が異なるものである。
【００１７】
また、請求項４に記載の発明は、ガラス封着材を挟んで対向配置した２枚の基板を押圧する、所定量の気体を封入した袋を備える表示パネルの製造装置である。
【００１８】
また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記袋が、２枚の基板の封着部を押圧するものである。
【００１９】
また、請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、前記袋が、複数からなり、２枚の基板の封着部の辺部と角部とで、封入した気体の量が異なるものである。
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図１〜図１０を用いて説明する。なお、図１〜図１０においては、図１１〜図１３と同じものについては同じ番号を付している。
【００２１】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１による表示パネルの製造方法の、主に、外囲器を形成する部分の製造工程のフローを示すものである。また、図２は本発明の実施の形態による表示パネルの製造装置である基板封着搬送装置の概略構成を示す平面図であり、図３は図２におけるＢ−Ｂ’矢視断面図である。図を判りやすくするために、図２においてはフレーム２４を一点鎖線で示し、また、図３においては基板固定機構２２を省略して示している。
【００２２】
表示パネル１の外囲器は、厚さ３ｍｍ程度のガラス基板である第一の基板２と第二の基板３とが、外周部の封着部５においてガラス封着材４で封着した構成である。なお、２枚の基板２、３の間には、表示パネル１として必要な構造物が存在しているが、本発明の実施の形態ではその説明を省略する。
【００２３】
第一の基板２と第二の基板３の、少なくともどちらか一方の外周部に、低融点ガラスを主含有する封着材ペーストを塗布、乾燥することでガラス封着材４を形成する。具体的には図１に示すように、第二の基板３を受入れ（Ｓ２１）した後、表示パネル１として必要な構造物を形成するための工程を実施し（図示せず）、その後、低融点ガラス粉末（例えば、ＡＳＦ２３００  旭硝子製）と樹脂を含有した溶剤（例えば、ビークルＣ  東京応化製）を混練した封着材ペーストを塗布し（Ｓ２５）、封着材ペーストに含有される溶剤および樹脂成分を除去するための３５０℃、４０分の乾燥（Ｓ２６）を行なうことで、ガラス封着材４を形成する。
【００２４】
一方、第一の基板２は、受入れ（Ｓ１１）の後、表示パネル１として必要な構造物を形成するための工程を実施する（図示せず）。
【００２５】
次に、第一の基板２と、ガラス封着材４を形成した第二の基板３とを、ステージ２３上でガラス封着材４を挟み込むように対向配置して（Ｓ３１）、アライメントし（Ｓ３２）、基板固定機構２２により固定（Ｓ３３）した後、第一の基板２側から、例えば気体を密封することで所定の内圧Ｐ１（Ｐａ）とした袋により構成した均一加圧袋２６を搭載したフレーム２４を支柱２５を介して下降させ、均一加圧袋２６を押さえた状態で固定する。これにより、均一加圧袋２６の容積が小さくなるため、均一加圧袋２６の内圧はＰ２（Ｐａ）に高まる。そして、内圧がＰ２（Ｐａ）に高まった均一加圧袋２６から作用する力により、第一の基板２と第二の基板３とは押圧されることとなるが、この状態においては、いわゆるパスカルの原理、すなわち、密閉された容器の中で静止している流体内の１点の圧力をある大きさだけ増すと流体内のすべての点の圧力は、同じだけ増すということにより、均一加圧袋２６の高められた内圧Ｐ２（Ｐａ）は全ての箇所で同じとなり、したがって、第一の基板２と第二の基板３とは、均一加圧袋２６により、封着部５において均一に押圧された状態となる（Ｓ３４）。
【００２６】
すなわち、均一加圧袋２６とは、内部に気体などの流体を封入、密閉して構成することで、パスカルの原理に基づく均一な押圧力を対象物、本実施の形態では第一の基板２（の封着部５）に作用させるものである。したがって、均一な内圧を対象物に対して、素直に作用させるという観点から、袋の材質としては、剛性の低い材質が好ましい。
【００２７】
そしてこの状態のまま、搬送し、４００℃、２０分の加熱処理によりガラス封着材４を溶融させる封着（Ｓ３５）を行い、さらに必要な工程を実施し（図示せず）、その後、フレーム２４を支柱２５を介して上昇させ、均一加圧袋２６による押圧状態を解除する（Ｓ３９）ことで、表示パネル１が完成する（Ｓ４０）。
【００２８】
ここで、封着（Ｓ３５）での加熱処理時において、均一加圧袋２６も加熱され、内部に封入された気体が膨張し、この膨張により均一加圧袋２６も膨張するが、均一加圧袋２６の膨張が、第一の基板２とフレーム２４との間隔を押し広げようとする方向の成分を含むものであるならば、封着の加熱処理時において均一加圧袋２６の内圧は上昇し、Ｐ３（Ｐａ）となる。そしてこのＰ３（Ｐａ）により、第一の基板２と第二の基板３とを押圧するように作用するが、この押圧力が、従来のクリップ２１による挟み力に相当する力であることが必要である。また、この際の押圧力も、先に述べたパスカルの原理により、均一加圧袋２６の全ての箇所において等しく、したがって、押圧は均一なものとなる。
【００２９】
ここでＰ３（Ｐａ）は、均一加圧袋２６の容積、その弾性状態（収縮の方向性など）、中に封入する気体の量およびその種類、フレーム２４の固定の位置（高さ）などから決定されるものであり、したがって、封着の加熱処理時に必要な押圧力が得られるように、これら諸条件を勘案した上で、Ｐ２（Ｐａ）、Ｐ１（Ｐａ）を含め、設計すれば良い。例えば、先に記載したフリット材料であるＡＳＦ２３００を用いて封着するためには４００℃程度の加熱処理が必要であり、４００℃で、Ｐ３＝１．４×１０５（Ｐａ）となる量の、例えば窒素ガスを封入した均一加圧袋２６を用いることが必要となる。
【００３０】
ここで、均一加圧袋２６の形状としては、密閉構造であればチューブのようなものでも良く、また材質としては、耐熱性の高いシリカクロスなどが挙げられる。また、中に封入する気体の種類としては、高温下においても安定な不活性ガスが適当であり、中でも安価な窒素が好ましい。但し、高温下においても安定なものであれば特に気体に限るものではなく、流体であれば良い。
【００３１】
以上のように、本実施の形態によれば、第一の基板２と第二の基板３とを対向させた後、これら２枚の基板を封着する際、封着時の加熱温度で所定の押圧力となる均一加圧袋２６で押圧することにより、従来の押圧手段であった複数個のクリップを全てなくすことができ、しかも従来より押圧を均一なものとすることができる。
【００３２】
（実施の形態２）
以下に、本発明の実施の形態２によるＰＤＰの製造方法について説明する。
【００３３】
図４は本発明の実施の形態２によるＰＤＰの製造方法により製造されるＰＤＰの、概略構成を示す平面図であり、図５は、同じく概略構成を示す断面斜視図である。
【００３４】
ＰＤＰ１の前面板６は、第一の基板２の一主面上に形成したＮ本の走査電極７とＮ本の維持電極８とからなる表示電極９（Ｎ本目を示す場合はその数字を付す）と、その表示電極９を覆う誘電体層１０と、さらにその誘電体層１０を覆う、例えばＭｇＯによる保護層１１とを有する構造である。走査電極７と維持電極８は、電気抵抗の低減を目的として、透明電極７ａ、８ａに金属材料からなるバス電極７ｂ、８ｂを積層した構造としている。
【００３５】
背面板１２は、第二の基板３の一主面上に形成したＭ本のデータ電極１３（Ｍ本目を示す場合はその数字を付す）と、そのデータ電極１３を覆う誘電体層１４と、誘電体層１４上のデータ電極１３の間に相当する場所に位置する隔壁１５と、隔壁１５間の蛍光体層１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂとを有する構造である。
【００３６】
そして、前面板６と背面板１２とは、隔壁１５を挟んで、表示電極９とデータ電極１３とが直交するように対向し、画像表示領域１７の外の周囲をガラス封着材４により封止した構成であり、前面板６と背面板１２との間に形成された放電空間１８には、例えばＮｅ−Ｘｅ５％の放電ガスが６６．５ｋＰａ（５００Ｔｏｒｒ）の圧力で封入されている。
【００３７】
そして、放電空間１８の表示電極９とデータ電極１３との交差部が放電セル１９（単位発光領域）として動作する。
【００３８】
図６は、本発明の実施の形態２によるＰＤＰの製造方法の工程フローを示す図である。また、図７は本発明の実施の形態によるＰＤＰの製造装置である基板封着搬送装置を示す平面図であり、図８は図７におけるＢ−Ｂ’矢視断面図である。図を判りやすくするために、図７においてはフレーム２４を一点鎖線で示し、また、図８においては基板固定機構２２を省略して示している。
【００３９】
ＰＤＰ１の外囲器は、厚さ３ｍｍ程度のガラス基板である第一の基板２と第二の基板３とが、外周部の封着部５においてガラス封着材４で封着した構成である。なお、２枚の基板２、３の間には、図５に示した構造物が存在するが、図８においては、簡略化して隔壁１５のみを示している。
【００４０】
次に、ＰＤＰ１の製造方法について説明する。まず、前面板６の製造工程である前面板工程であるが、これは、ガラスのような透明、且つ絶縁性の第一の基板２を受け入れ（Ｓ１１）、これを洗浄する。次に、ＩＴＯなどの透明性の導電材料からなる膜をスパッタリング法などにより成膜し、フォトエッチング法などによりパターニングを行い、透明電極７ａ、８ａを形成する（Ｓ１２）。次に、透明電極７ａ、８ａ上にＡｇ厚膜をパターン化して形成することによりバス電極７ｂ、８ｂを形成する（Ｓ１３）。続いて、低融点ガラスを印刷などで塗着し、乾燥・焼成を行うことで、誘電体層１０を形成する（Ｓ１４）。次に、例えばＭｇＯからなる保護層１１を形成する（Ｓ１５）。
【００４１】
次に、背面板１２の製造工程である背面板工程について説明する。ガラスのような絶縁性の第二の基板３を受け入れ（Ｓ２１）、これを洗浄する。次に、Ａｇ厚膜をパターン化して成膜することにより、データ電極１３を形成する（Ｓ２２）。続いて、データ電極１３を覆う状態で第二の基板３に誘電体層１４を形成し、次に、隔壁１５を形成する（Ｓ２３）。この隔壁１５の形成方法としては、例えば隔壁材料を印刷法などにより全面に塗着、乾燥をした後、ドライフィルムを用いてのフォトリソグラフィー法とサンドブラスト法により形成する方法がある。次に、蛍光体材料をラインジェット法などにより隔壁１５間に塗着し乾燥させることにより、蛍光体層１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂを形成する（Ｓ２４）。次いで、低融点ガラス粉末（例えば、ＡＳＦ２３００  旭硝子製）と樹脂を含有した溶剤（例えば、ビークルＣ  東京応化製）を混練した封着材ペーストを、第二の基板３の外周部に塗布し（Ｓ２５）、その後、封着材ペーストに含有される溶剤および樹脂成分を除去するための３５０℃、４０分の乾燥（Ｓ２６）を行なうことで、ガラス封着材４を形成する。乾燥（Ｓ２６）の際に、同時に蛍光体層１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂに含まれるバインダーの除去も行われる。
【００４２】
そして、第一の基板２と、ガラス封着材４を形成した第二の基板３とを、ステージ２３上でガラス封着材４を挟み込むように対向配置して（Ｓ３１）、アライメントし（Ｓ３２）、基板固定機構２２により固定（Ｓ３３）した後、第一の基板２側から、例えば気体を密封することで所定の内圧Ｐ１（Ｐａ）とした袋により構成した均一加圧袋２６を搭載したフレーム２４を支柱２５を介して下降させ、均一加圧袋２６を押さえた状態で固定する。これにより、均一加圧袋２６の容積が小さくなるため、均一加圧袋２６の内圧はＰ２（Ｐａ）に高まる。そして、内圧がＰ２（Ｐａ）に高まった均一加圧袋２６から作用する力により、第一の基板２と第二の基板３とは押圧されることとなるが、この状態においては、いわゆるパスカルの原理により、均一加圧袋２６の高められた内圧Ｐ２（Ｐａ）は全ての箇所で同じとなり、したがって、第一の基板２と第二の基板３とは、均一加圧袋２６により、封着部５において均一に押圧された状態となる（Ｓ３４）。
【００４３】
そしてこの状態のまま、搬送し、４００℃、２０分の加熱処理によりガラス封着材４を溶融させる封着（Ｓ３５）を行い、次に、ＰＤＰ１の外囲器をベーキングしながら内部の真空排気を行う排気・ベーキング工程（Ｓ３６）を行い、その後、ＮｅとＸｅなどからなる放電ガスを封入する放電ガス封入工程（Ｓ３７）を行う。そしてチップ管をチップオフする封止（Ｓ３８）を行った後、フレーム２３を支柱２２を介して上昇させ、均一加圧袋２６による押圧状態を解除する（Ｓ３９）ことで、ＰＤＰが完成する（Ｓ４０）。
【００４４】
ここで、封着（Ｓ３５）での加熱処理時において、均一加圧袋２６も加熱され、内部に封入された気体が膨張し、この膨張により均一加圧袋２６も膨張するが、均一加圧袋２６の膨張が、第一の基板２とフレーム２４との間隔を押し広げようとする方向の成分を含むものであるならば、封着の加熱処理時において均一加圧袋２６の内圧は上昇し、Ｐ３（Ｐａ）となる。そしてこのＰ３（Ｐａ）により、第一の基板２と第二の基板３とを押圧するように作用するが、この押圧力が、従来のクリップ２１による挟み力に相当する力であることが必要である。また、この際の押圧力も、先に述べたパスカルの原理により、均一加圧袋２６の全ての箇所において等しく、したがって、押圧は均一なものとなる。
【００４５】
ここでＰ３（Ｐａ）は、均一加圧袋２６の容積、その弾性状態（収縮の方向性など）、中に封入する気体の量およびその種類、フレーム２４の固定の位置（高さ）などから決定されるものであり、したがって、封着の加熱処理時に必要な押圧力が得られるように、これら諸条件を勘案した上で、Ｐ２（Ｐａ）、Ｐ１（Ｐａ）を含め、設計すれば良い。
【００４６】
ここで、均一加圧袋２６の形状としては、密閉構造であればチューブのようなものでも良く、また材質としては、耐熱性の高いシリカクロスなどが挙げられる。また、中に封入する気体の種類としては、高温下においても安定な不活性ガスが適当であり、中でも安価な窒素が好ましい。但し、高温下においても安定なものであれば特に気体に限るものではなく、流体であれば良い。
【００４７】
以上のように、本実施の形態によれば、第一の基板２と第二の基板３とを対向させた後、これら２枚の基板を封着する際、封着時の加熱温度で所定の押圧力となる均一加圧袋２６で押圧することにより、従来の押圧手段であった複数個のクリップを全てなくすことができ、しかも従来より押圧を均一なものとすることができる。
【００４８】
（実施の形態３）
図９および図１０は、本実施の形態３による表示パネルの製造方法において用いる製造装置である基板封着搬送装置の、他の例を示す平面図である。実施の形態１および２とは、均一加圧袋２６が複数に分割された状態であることが異なる。このように均一加圧袋２６を分割することにより、その領域毎に基板を押圧する力を変化させることが可能となる。特に図１０に示すように、基板の角部４箇所を分割し、その角部の均一加圧袋２６ａの気体封入量を、辺部の均一加圧袋２６ｂより多くすることにより、封着の加熱処理時での押圧力が高くなるようにしている。具体的には、角部の均一加圧袋２６ａには、４００℃で１．６×１０５Ｐａの圧力になるように窒素ガスを予め封入している。これにより、辺部の封着部５より相対的にガラス封着材の量が多く、より高い押圧力の必要な角部の封着部５に対して、押圧力を高くすることができ、第一の基板２と第二の基板３との封着の信頼性を更に高めることが可能となる。
【００４９】
本実施の形態では、押圧力を変更したい部分に応じて均一加圧袋２６の数量を増やし、それぞれの気体封入量を変化させれば良いことは言うまでもない。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、封着における基板の押圧を簡易に且つ均一に行うことで、良好な画像表示を行うことができる表示パネルを効率良く製造する方法および装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１による表示パネルの製造方法の製造工程のフローを示す図
【図２】本発明の実施の形態１による表示パネルの製造方法で用いる基板封着搬送装置の概略構成を示す平面図
【図３】図２におけるＢ−Ｂ’矢視断面図
【図４】本発明の実施の形態２によるプラズマディスプレイパネルの製造方法により製造されるプラズマディスプレイパネルの概略構成を示す平面図
【図５】本発明の実施の形態２によるプラズマディスプレイパネルの製造方法により製造されるプラズマディスプレイパネルの概略構成を示す断面斜視図
【図６】本発明の実施の形態２によるプラズマディスプレイパネルの製造方法の製造工程のフローを示す図
【図７】本発明の実施の形態２によるプラズマディスプレイパネルの製造方法で用いる基板封着搬送装置の概略構成を示す平面図
【図８】図７におけるＢ−Ｂ’矢視断面図
【図９】本発明の実施の形態３による表示パネルの製造方法で用いる基板封着搬送装置の概略構成を示す平面図
【図１０】同じく、本発明の実施の形態３による表示パネルの製造方法で用いる基板封着搬送装置の概略構成を示す平面図
【図１１】従来の表示パネルの製造方法の製造工程のフローを示す図
【図１２】従来の表示パネルの製造方法の製造工程における、クリップ装着後の概略の状態を示す平面図
【図１３】図１２におけるＡ−Ａ’矢視断面図
【符号の説明】
１  表示パネル（プラズマディスプレイパネル）
２  第一の基板
３  第二の基板
４  ガラス封着材
５  封着部
２６  均一加圧袋
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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