(57)【要約】【課題】　製造が容易であって検出精度が優れている流量及び流速測定装置を提供すること。【解決手段】　検出対象である主流管１内の流れ１０の一部が分流管２内に導入され、流れ１１となる。分流管２は、流れが大きく変向する変曲部２ｃと、変曲部２ｃの上流側及び下流側に隆起部２ａ，２ｂを有する。主流管１管外において分流管２の変曲部２ｃ底部には、支持体４に同表面より突出して固着された検出素子５が配置され、その検出面はその近傍の流路面２ｅ，２ｆより突出している。検出素子５に対向する対向面２ｄは検出面に向かって突出している。かくして、変曲部２ｃにおいて、流れ１１から、検出素子５の検出面に斜めに当たるダウンフロー１２が定常的に形成される。【選択図】　図１
2004029033.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　検出対象である主流管内の流れが導入される分流管と、
　前記分流管内の流れに曝され、流れに関する量を検出する検出素子と、
　前記分流管内に設けられ、前記検出素子の検出面に斜めに当たるような流れを形成する流れ制御手段と、
　を有することを特徴とする流れに関する測定装置。
【請求項２】
　前記検出素子が、前記分流管内の流れ方向が変化する変曲部に配置されていることを特徴とする請求項１記載の流れに関する測定装置。
【請求項３】
　前記変曲部の少なくとも上流部ないし該上流部近傍に、前記流れ制御手段が形成されていることを特徴とする請求項２記載の流れに関する測定装置。
【請求項４】
　前記流れ制御手段として、前記検出素子の少なくとも上流側において、該検出素子の検出面より隆起している流路面が形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項５】
　前記検出素子の流れ方向に沿って少なくとも上流側の流路面が、基本的に前記検出面に向かって傾斜している斜面又は凹曲面であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項６】
　前記分流管内において、前記検出素子の少なくとも上流側に、前記斜面又は前記凹曲面を備えた三角状のコーナ部、弧状部、又は直線状の延在部を配置したことを特徴とする請求項５記載の流れに関する測定装置。
【請求項７】
　前記検出素子が、前記分流管の管壁に配置されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項８】
　前記検出素子が、前記分流管内の流れの中に配置されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項９】
　前記検出素子の検出面が、該検出面近傍の流路面と同一平面上にないことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項１０】
　前記検出素子の検出面が前記検出面近傍の流路面より突出していることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項１１】
　前記検出素子を前記分流管に対して取付けるための支持体を有し、
　前記検出素子が前記支持体表面より突出して該支持体に支持されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項１２】
　前記分流管の前記検出素子に対向する流路面が、該検出素子に向かって突出していることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項１３】
　前記分流管の前記検出素子に対向する流路面が、前記検出素子に向かって曲面状又は多角形状に突出していることを特徴とする請求項１２記載の流れに関する測定装置。
【請求項１４】
　前記検出素子の上流及び／又は下流において、前記分流管の流れ断面径を拡大及び／又は縮小したことを特徴とする請求項２〜１３のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項１５】
　前記分流管の導入口及び／又は導出口の近傍に、溜まりが形成されたことを特徴とする請求項１〜１４のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項１６】
　前記分流管内の流れが速い部分に、前記検出素子の検出面が曝されていることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項１７】
　前記検出素子を中心として、該検出素子の上流側と下流側の流路が基本的に対称に形成されていることを特徴とする請求項１〜１６のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項１８】
　前記検出素子と前記分流管とが別体に形成され、該検出素子と該分流管が互いに対して脱着可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１〜１７のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項１９】
　前記分流管の管壁に貫通窓が形成されていること、
　前記検出素子が前記分流管と別体の支持体に該支持体表面より突出して支持されていること、
　前記貫通窓から前記検出素子が前記分流管内に突出するよう、前記支持体と前記分流管が互いに取り付けられていることを特徴とする請求項１〜１８のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項２０】
　前記分流管内において流れが絞られる部分と、流れが変向する部分が形成され、
　前記流れが絞られる部分の下流であって、前記流れが変向する部分又は該変向する部分の下流側近傍に前記検出素子が配置されていることを特徴とする請求項１〜１９のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項２１】
　前記検出素子が温度に基づいて、流量及び／又は流速を少なくとも含む流れに関する量を測定するものであることを特徴とする請求項１〜２０のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項２２】
　前記検出素子の上流側及び下流側に前記流れ制御手段が設けられ、
　前記分流管の入口から出口へ向かって流れる順流及び該出口から入口へ向かって流れる逆流の両方について、流れに関する量を検出することを特徴とする請求項１〜２１のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【請求項２３】
　検出対象である主流管内の流れが導入される分流管と、
　前記分流管の壁部において前記分流管内の流れに曝され、流れに関する量を検出する検出素子と、
　前記分流管内に設けられ、前記検出素子の検出面に斜めに当たるような流れを形成する流れ制御手段と、
　を有することを特徴とする流れに関する測定装置。
【請求項２４】
　検出対象である主流管内の流れを導入して該流れを該主流管外に取り出す分流管と、
　前記分流管の前記主流管外へ突出している部分に配置され、流れに関する量を検出する検出素子と、
　前記分流管内に設けられ、前記検出素子の検出面に斜めに当たるような流れを形成する流れ制御手段と、
　を有することを特徴とする流れに関する測定装置。
【請求項２５】
　検出対象である主流管内の流れが導入される分流管と、
　前記分流管内の流れに曝され、流れに関する量を検出する検出素子と、
　前記分流管内に設けられ、前記検出素子の検出面に斜めに当たるような流れを形成する流れ制御手段と、
　を有し、
　前記検出面が該検出面近傍の流路面より突出していること、
　を特徴とする流れに関する測定装置。
【請求項２６】
　検出対象である主流管内の流れが導入される分流管と、
　前記分流管内の流れに曝されるよう支持体を介して該分流管に対して取り付けられ、流れに関する量を検出する検出素子と、
　前記分流管内に設けられ、前記検出素子の検出面に斜めに当たるような流れを形成する流れ制御手段と、
　を有し、
　前記検出面が前記検出素子の支持体表面より突出するよう、該検出素子が該支持体に支持されていること、
　を特徴とする流れに関する測定装置。
【請求項２７】
　測定対象管内の流れを検出管内に取り出すこと、
　前記検出管内に取り入れた流れを該検出管内で変向させること、
　前記検出管内の前記流れが変向する部分において、該検出管内に取り入れられた流れがその検出面に対して斜めに当たるよう検出素子が配置されていること、
　を特徴とする流れに関する測定装置。
【請求項２８】
　検出対象である主流管内の流れが導入され、該導入した流れを変向する変曲部を備え、該変曲部に窓が形成されている分流管と、
　前記窓内から前記分流管内の流れに曝されるよう支持体を介して該分流管に対して取り付けられ、流れに関する量を検出するための検出素子と、
　前記分流管内に設けられ、前記検出素子の検出面に斜めに当たるような流れを形成する流れ制御手段と、
　を有し、
　前記支持体が前記検出素子を駆動ないし制御するための回路基板を含むこと、
　前記支持体と前記分流管が互いに対して脱着可能に取り付けられていること、
　を特徴とする流れに関する測定装置。
【請求項２９】
　２輪の車両に搭載される内燃機関に適用される流れに関する測定装置であることを特徴とする請求項１〜２８のいずれか一記載の流れに関する測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、流れに関する諸量を測定するための装置に関し、中でも温度に依存する検出素子及び／又は半導体チップ上に一体形成された検出素子を用いた流量及び流速測定装置に関し、例えば、車両又は産業用エンジンの燃焼制御用質量流量センサ、或いは、産業用空調システムやコンプレッサ圧空供給システム用の質量流量センサ、更には家庭用ガスコンロの空燃比制御用流量センサとして好適に適用される測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
　特表平９−５０３３１１号公報には、「内燃機関の吸気を測定する装置のためのセンサ支持体であって、センサ支持体と、流量媒体内に挿入されたプレート上のセンサ素子とが設けられており、該センサ素子が、温度に関連した少なくとも一つの測定抵抗器を有しており、センサ素子が、センサ支持体の切欠内にこのセンサ支持体とほぼ同一面を成して収容されている型式のもの」が提案されている。また、同公報の実施例において、「センサ素子はプレート状の形状を有していて、その最大の表面が、流れ込む媒体に対してほぼ平行に整列されている。」と記載されている。
【０００３】
　さらに、同公報には、「装置の製造時には、センサ素子の表面を、できるだけセンサ支持体の表面と同一面になるように切欠内に接着することが重要である。何故ならば、例えば非均一に塗布された接着層に基づく最小のずれが存在しても、渦流及び剥離領域が発生することになり、この渦流及び剥離領域は、センサ素子の特に表面において測定抵抗器の熱導出に不都合な影響を与え、測定結果を誤らせることになるからである。」と記載されている。
【特許文献１】特表平９−５０３３１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
　しかしながら、上記特表平９−５０３３１１号公報に提案されているように、「センサ素子の表面を、センサ支持体の表面と同一面になるように切欠内に接着する」ためには高度で精密な製造技術を要し、これによって製造効率が低下するという問題がある。
【０００５】
　また、センサ素子の表面とセンサ支持体の表面とが同一面であることを保証するためには、精密な検査が必要であるという更なる問題が生じる。
【０００６】
　本発明の目的は、製造が容易であって検出精度が優れている流れに関する測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
　本発明の第１の視点に係る測定装置は、分流管内の流れに作用するよう設けられ、検出素子の検出面に向かって斜めに当たるような流れを形成する手段を有する。この流れ制御手段によって、定常的に検出素子の検出面に検出すべき流れが供給され、確実に該検出面上を検出すべき流れが流れるようになると考えられる。加えて、検出面近傍における渦流及び剥離の発生が抑制されるため、検出精度及び再現性が向上されると考えられる。
【０００８】
　また、この測定装置においては検出面上における流れが安定化されていると考えられるから、この検出面と該検出部両側の流路面とを必ずしも同一面上に位置させなくともよい。換言すれば、この測定装置は、検出面と該検出部近傍の流路面との間の段差を許容し、又流路面に対する検出素子検出面の相対的な位置精度の許容幅を拡大する。
【０００９】
　ゆえに、本発明の第１の視点に係る測定装置によれば、上述した特表平９−５０３３１１号公報に記載されているように、検出素子をその支持体の切欠内に、検出素子表面と支持体表面とが厳密に同一面となるよう接着する必要がなくされる。すなわち、この測定装置は、接着厚み誤差によって生じる、検出面と該検出部両側の流路面との間の段差を許容する。この結果、装置の製造が容易化され、寸法検査の精度を低くすることができる。
【００１０】
　このように本発明の第１の視点に係る測定装置は、上記段差を許容するから、検出素子とその支持体を別体に構成して、或いは、検出素子及びその支持体と分流管とを別体に構成して、検出素子を主流管に対して固着された分流管に対して脱着可能に取付けることが可能となる。この結果、長期間の使用により劣化ないし汚染した検出素子を交換することが可能とされる。
【００１１】
　ここで、本発明の第１の視点に係る測定装置による効果を下記に例示する。
(１)　検出素子の検出面に向かって斜めに当たる流れ（ダウンフロー）を形成することによって、検出面近傍において渦流及び剥離の発生が抑制され、この結果、安定した検出性と再現性を得ることが出来る。
(２)　検出面と検出素子支持体表面とが非同一面であっても検出が可能である。これによって、検出素子の組み付けが容易となる。
(３)　上記ダウンフローが形成されていることによって、流路壁部において流れに関する量、例えば流量及び流速の正確で安定した検出が可能となる。この場合には、検出素子表面ないし検出面のみが流路内に露出していれば十分である。
(４)　流路壁部での流量及び流速等の検出が可能であるため、検出素子と分流管を別体とすることができ、分流管及び検出素子の構造がそれぞれ簡素化され、両者の製造が容易となる。
(５)　順流及び逆流の両方を測定できるよう、或いは順流及び逆流のいずれか一方を選択的に測定し他方の流れの影響を受け難いよう、要求に応じて分流管の流路形状を構成することができる。
(６)　分流路を形成するため、耐汚染性と機械的取扱性の向上が図られる。
【００１２】
　本発明の第２の視点に係る測定装置は、分流管の壁部ないし管壁において分流管内の流れに曝され、流れに関する量を検出する検出素子と、分流管内に設けられ、検出素子の検出面に向かって斜めに当たるような流れを形成する手段を有する。この測定装置によれば、検出素子と分流管を別体とすることができ、分流管及び検出素子の構造がそれぞれ簡素化され、両者の製造が容易となる。
【００１３】
　本発明の第３の視点に係る測定装置は、分流管において主流管外へ突出している部分に配置され、流れに関する量を検出する検出素子を有する。この測定装置によれば、検出素子の組み付けが容易とされ、又主流管及びその管外近傍の設計自由度が向上される。
【００１４】
　本発明の第４の視点に係る測定装置は、検出素子の検出面が検出面近傍ないし隣接する流路面より突出している。また、本発明の第５の視点に係る測定装置は、検出素子の検出面が検出素子支持体表面より突出している。
【００１５】
　本発明の第６の視点に係る測定装置は、測定対象管（主流管）内の流れを検出管（分流管）内に取り出し、検出管内に取り入れた流れをこの検出管内で大きく変向ないし反転させ、この変向部ないし反転部或いはこれらの下流側近傍において検出管内に取り入れられた流れが斜めに当たるよう検出素子が配置されている。本発明の第７の視点に係る測定装置は、変曲部に窓が形成されている分流管と、検出素子を駆動ないし制御するための回路基板を含み、分流管に対して脱着可能な検出素子支持体と、を有している。
【００１６】
　なお、従属項はそれぞれ、各独立項に記載された発明の原理に反しない限り、各独立項に適用されうる。
【発明の効果】
【００１７】
　本発明によれば、製造が容易であって検出精度が優れている、流量ないし流速等の流れに関する量を測定する装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
　以下、本発明の好ましい実施の形態を説明する。
【００１９】
　本発明の好ましい実施の形態においては、分流管（検出管）の変曲部において、検出素子の検出面が該分流管内に曝されている。更に好ましくは、主流管（測定対象管）に直交する方向に変曲管（分流管）が取り付けられ、この変曲管の変曲部（折曲部、流路が曲がる部分）に検出素子（検出部）が設けられる。或いは、分流管の流れが反転する部分又は流れの向きが大きく変更される部分ないし近傍に、検出素子ないし検出部が配置される。また好ましくは、分流管内の流れが速い部分に、検出面が曝される。また好ましくは、分流管内において流れが絞られ、続いて流れが変向する部分ないしその近傍に検出面が曝される。
【００２０】
　本発明の好ましい実施の形態においては、検出面に斜めに当たる流れ（ダウンフロー）を発生させるために、検出素子を流路内の変曲部に配置する。変曲部では必ず流体の方向が変化するために、このダウンフローを定常的に得ることが容易である。また、この変曲部又はその少なくとも上流側の流路面が、凹曲面又は凸曲面、或いは検出部に向かって延在する傾斜面を含んでいる場合、このダウンフローを発生させる上で更に効果的である。
【００２１】
　本発明の好ましい実施の形態においては、分流管内の分流路に導入された流体から、隆起部と変曲部によって、検出面に対するダウンフローを定常的に形成する。
【００２２】
　本発明の好ましい実施の形態においては、検出管（分流管となる）の中央にセパレータ（隔壁）が設けられ、このセパレータによって検出管に導入された流れが反転ないし大きく変向される。
【００２３】
　本発明の好ましい実施の形態においては、検出素子の検出面に斜めに当たる流れ（ダウンフロー）乃至検出面に対し斜めに流れる流れを形成するための流れ制御手段として、検出素子の少なくとも上流、或いは上流及び／又は下流において、検出面より隆起している流路面がある。
【００２４】
　上記隆起の形態としては、検出面に斜めに当たる流れを形成できるものであればよく、好ましくは、凹状又は凸状に隆起したり、隆起表面が直線的、多角形状又は凹曲面状の傾斜面とされる。
【００２５】
　本発明の好ましい実施の形態においては、検出素子の検出面の高さと、流れ方向に沿って該検出面近傍の流路面の高さの差、すなわち段差を、±０．５ｍｍ以下、さらに好ましくは±０．４ｍｍ以下、より好ましくは±０．３ｍｍ以下とする。なお、プラスは検出面の方が高い場合、マイナスは低い場合である。より好ましくは、検出面を該検出面近傍の流路面より突出させ、上記段差を０．０５〜０．５ｍｍの範囲、さらに好ましくは０．０５〜０．４ｍｍの範囲、或いは０．０５〜０．３ｍｍの範囲とする。
【００２６】
　特に、隆起部と検出部（検出素子がある領域）の境界域において、隆起部流路面よりも検出面が凸側にある構造は、検出面上における渦流の発生を防止する上で有利な構造である。
【００２７】
　また、上記境界域において、隆起部流路面と検出部の間に隙間を設けることにより、乱れた流れを効果的に封じることが可能となる。
【００２８】
　本発明の好ましい実施の形態においては、分流管の変曲部がベンチュリ管の一部を構成する。
【００２９】
　本発明の好ましい実施の形態においては、検出素子の支持体として、回路基板ないし回路を含むプレートを用いる。更には、この回路基板の裏面ないし回路部品の搭載されていない面において、検出素子を、回路基板面より突出した状態で形成ないし支持することにより、検出素子の流路ないし分流管への組み付けが容易となる。これによって、検出素子の検出面が回路基板面と同一平面上に厳密に位置するよう、高密度配置された回路部品の間に検出素子を接着するというような、高度な製造技術を用いず、通常の実装回路基板の裏面に印刷配線を施し、同基板上の所定位置に検出素子を突出させたまま設置でき、斯くして製造が容易となるという利点が生じる。
【００３０】
　本発明の好ましい実施の形態においては、検出素子を検出素子支持体又は回路基板支持体に実装して使用することができる。検出素子支持体や回路基板支持体は、検出素子とともに流路内に露出される必要はなく、分流管の流路壁ないし隆起部によって隔てられた分流管外空間の方に、位置することができる。この形態によれば、検出素子の交換が容易である。好ましくは、分流管が、分流管と検出素子又は検出素子の支持体間の隙間をシールするシール部を備える。
【００３１】
　本発明の好ましい実施の形態においては、検出素子と分流管とが別体とされ、検出素子が前記分流管に対して脱着可能に取り付けられる。さらに好ましくは、分流管と、検出素子を保持する回路基板支持体とを別体とし、測定時にはこれらを互いに組み付けて用いる。検出素子は回路基板支持体に直接接着することもでき、位置合わせのため、この支持体に若干の凹みを設けてもよい。
【００３２】
　本発明の好ましい実施の形態においては、検出素子が、分流管内の流壁ないし管壁、中でも外壁に配置されている。場合によっては、検出素子が、分流管内の流れの中に配置される。
【００３３】
　本発明の好ましい実施の形態において、検出素子は、主流路からバイパスされた分流路内に曝されるよう、或いは主流路からバイパスされた分流路のさらに分流路内に曝されるよう設置される。
【００３４】
　本発明の好ましい実施の形態においては、分流管の導入口及び／又は導出口の近傍に、溜まりが形成される。これによって、微粒子や粉塵等による検出素子の汚染が高度に防止される。
【００３５】
　本発明の好ましい実施の形態においては、分流管の上流部に縮径部が形成される。これによって、微粒子や粉塵等による検出素子の汚染が高度に防止される。また、分流管の下流部に、導入口から導出口に向かう順流方向に沿って拡径部、換言すれば、導出口から導入口に向かう逆流方向に沿って縮径部を有する測定装置によれば、順流測定時、逆流の影響が抑制される。
【００３６】
　本発明の好ましい実施の形態においては、検出素子を中心として、検出素子の上流側と下流側の流路が基本的に対称に形成されている。このような装置によれば、基本的に導入口から導出口に向かって流れる順流及び基本的にその反対方向に流れる逆流の両方を好適に測定できる。
【００３７】
　本発明の好ましい実施の形態においては、分流管の流れ方向に直交する方向に沿って切断した断面形状が、円状、半円状、楕円状及び矩形状から選択される形状のいずれか一種以上である。
【００３８】
　本発明の好ましい実施の形態においては、検出素子が温度に基づいて、流量及び／又は流速を少なくとも含む流れに関する量を測定するものである。
【実施例】
【００３９】
　以上説明した本発明の好ましい実施の形態をさらに明確化するために、以下図面を参照して、本発明の一実施例を説明する。
【００４０】
［実施例１］
　図１（Ａ）及び図１（Ｂ）は本発明の実施例１に係る測定装置の説明図であり、図１（Ａ）は分流管の縦断面を概略的に示す説明図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）に示した検出部付近の拡大図である。図１（Ａ）及び図１（Ｂ）を参照すると、この測定装置においては、分流管２が主流管１に基本的に直交するよう取り付けられている。分流管２内には、検出対象である主流管１内の流れが導入される。
【００４１】
　分流管２は、分流管２内に取り込んだ流れを反転できるよう曲折されている。分流管２は、主流管１に取り付けられた状態で主流管１内の流れ１０と略直交する方向に延在する互いに平行な２つの直流部と、これら２つの直流部（直流路）を接続する変曲部２ｃと、一方の直流部の側面（流れ１０と直交する面）に設けられた導入口と、他方の直流部の端面（流れ１０に平行な面）に設けられた導出口と、を有している。変曲部２ｃ近傍において、流路面２ｅ，２ｆは所定の曲率を有し、変曲部２ｃ近傍において流れが大きく変向ないし概略反転される。この変曲部２ｃにおいて分流管２底壁に検出部３が設けられている。この検出部３は主流管１の管外に位置され、交換可能とされている。
【００４２】
　また、分流管２内において、検出部３の上流及び下流には、管壁が流れ断面中心方向に向かって凹状に隆起したような、隆起部２ａ，２ｂが形成されている。隆起部２ａ，２ｂ上の流路面２ｅ，２ｆは凹曲面に形成されている。変曲部２ｃにおいて、検出部３に対向する流路面である対向面２ｄは、検出部３に向かって凸な凸曲面に形成されている。
【００４３】
　次に、検出部３近傍の詳細な構造を説明する。図１（Ｂ）を参照して、検出素子５が、接着層６を介して支持体４の凹部底面に、支持体４表面より突出した状態で固着されている。支持体４は、検出素子５の検出面（図１（Ｂ）中左側面）が分流管２底壁に形成された窓を介して分流管２内に曝されるよう分流管２底面に取り付けられている。検出素子５と隆起部２ａ，２ｂの間には、それぞれ僅かな隙間が形成されている。検出素子５の検出面は、検出素子５に隙間をもって隣接する流路面２ｅ，２ｆと、概略同一高さにあるか、或いはそれらより分流管２内へ突出され又は逆に後退した位置にある。
【００４４】
　また、変曲部２ｃにおいて、検出素子５のある側の流れが速くなり、対向面２ｄ側の流れは遅くなっていると考えられる。
【００４５】
　引き続き、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）を参照して、分流管２内の流れを説明する。すなわち、主流管１内の流れ１０が分流管２内に導入され、流れ１０と略直交する方向に流れる流れ１１が生じる。変曲部２ｃにおいて、流れ１１から、検出部３に向かって斜めに流れ、検出素子５の検出面に概略斜めに当たるダウンフロー１２が発生する。その後、分流管２内の流れは流れ１０と合流する。
【００４６】
　なお、図１（Ａ）を参照すると、分流管２の流路は、変曲部３を中心として概略対称に形成されているため、流れ１１，１２の方向に流れる順流及びそれと略反対方向に流れる逆流の両方を好適に測定可能である。また、分流管２の導入口が主流管１内の流れ１０と直交する平面で開口していることにより、分流管２の導入口奥部に流速の低い部分が形成され、ここに粉塵が滞留すると考えられる。これによって、検出素子５の汚染が防止される。
【００４７】
　ここで、図１（Ｂ）に示した検出素子５を詳細に説明する。図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は検出素子の説明図であって、図２（Ａ）は斜視図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）に示した検出素子に形成されている薄膜抵抗体を説明するための断面図である。
【００４８】
　図２（Ａ）を参照して、この検出素子５は、基本的に半導体チップに４つの薄膜抵抗体が設けられたものである。より具体的には、半導体層３０上にダイヤフラム部２２とリム部２１が設けられている。ダイヤフラム部２２には、(１)上流温度センサ２３及び(２)下流温度センサ２４と、上流温度センサ２３，２４の間に配置された(３)ヒータ２０が設けられいる。一方、リム部２１には(４)雰囲気温度センサ２５が設けられている。ダイヤフラム部２２は、極薄化され熱絶縁が図られている。
【００４９】
　次に、ヒータ２０，雰囲気温度センサ２５，上流温度センサ２３及び下流温度センサ２４をそれぞれ構成する各薄膜抵抗体の構造について説明する。図２（Ｂ）を参照して、半導体層３０上に第１のＳｉＮ絶縁膜３１が形成されている。第１のＳｉＮ絶縁膜上３１上には、白金抵抗体３３がパターン形成されている。白金抵抗体３３の所定部分上には、白金抵抗体３３に電気的に接続されたパッド３４が形成されている。第１のＳｉＮ絶縁膜上３１上の残りの部分には、白金抵抗体３３を覆うように第２のＳｉＮ絶縁膜３２が形成されている。パッド３４が外部回路に電気的に接続されて白金抵抗体３３を介しヒータ２０に電力が供給されることにより、ヒータ２０が発熱する。
【００５０】
　次に、この検出素子を用いた流速や流量等の流れに関する諸量の検出原理を説明する。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は検出素子の測定原理の説明図であり、図３（Ａ）は検出素子上のダイヤフラム位置による温度分布を示す等温線図であり、図３（Ｂ）は同グラフである。
【００５１】
　図２（Ａ）〜図３（Ｂ）を参照して、上記検出原理を下記に説明する。
(１)ヒータ２０が雰囲気温度に対して常に一定の温度差をもつよう、ヒータ２０に供給する電力を制御する。
(２)したがって、流れがない場合には、上流温度センサ２３と下流温度センサ２４の温度はほぼ等しくなっている。
(３)しかし、流れがある場合には、上流温度センサ２３の温度はその表面から熱が逃げるため低下する。下流温度センサ２４の温度はヒータ２０からの熱入力が増加するため、温度変化は上流温度センサ２３のそれよりも小さい。なお、下流温度センサ２４の温度は上昇する場合もある。
(４)上流温度センサ２３と下流温度センサ２４の温度差に基づき流量や流速等を検出し、この温度差の符号から流れ方向を検出する。なお、上記温度差は、温度による電気抵抗の変化に基づき検出することができる。
【００５２】
［実施例２］
　次に、本発明の実施例２に係る測定装置として、前記実施例１の分流管が有する構造に加えて、流れ断面径が変化する構造を備えた分流管を用いた例を説明する。よって、下記の説明においては重複を避けるため、主として、実施例２に係る装置が、前記実施例１と異なる部分について説明し、同様の部分については適宜前記実施例１の記載を参照することができるものとする。
【００５３】
　図４は、本発明の実施例２に係る測定装置の説明図であって、分流管の縦断面を概略的に示している。図４を参照すると、この流量測定装置の分流管４２は、上流側の直流部に流れ断面径を流れ方向に沿って縮小ないし絞られた部分（これを以下「縮径部」４２ｇという）を有し、下流側の直流部に流れ断面径を流れ方向に沿って拡径した部分（これを以下「拡径部」４２ｈという）を有する。これによって、分流管４２の上流部及び下流部にそれぞれ、流速が遅い部分、すなわち溜まり４２Ｉ，４２Ｊが形成されている。
【００５４】
　また、検出素子４５が、接着層４６を介して支持体４４の凹部底面に、支持体４４表面より突出した状態で固着されている。支持体４４は、検出素子４５の検出面が分流管４２内に曝されるよう分流管４２の底面に取り付けられている。詳細には、変曲部４２ｃの底側において、検出素子４５の検出面が分流管４２内に曝されている。検出素子４５の両側には、管壁が内側に向かって凹曲面状に隆起した隆起部４２ａ，４２ｂが形成されている。隆起部４２ａ，４２ｂの流路面４２ｅ，４２ｆは曲面状に形成されている。変曲部４２ｃにおいて、検出素子４５に対向する流路面である対向面４２ｄは、検出素子４５に向かって凸な凸曲面に形成されている。
【００５５】
　ここで、分流管４２内の流れを説明する。主流管１の流れ１０から分流管４２に流れ４３が導入される。変曲部４２ｃにおいて、検出素子４５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー４４が発生する。その後、分流管２内の流れは主流管１の流れ１０と再び合流する。
【００５６】
［測定１］
　以上説明した本発明の実施例２に係る測定装置を用い、さらに、検出素子検出面の同近傍流路面に対する高さＨ（これを「段差量Ｈ」という）、及び測定対象である主流管内の流速を変えて、検出素子の流速に関する検出出力を測定した。図５は、測定１における段差量の定義を説明するための図である。図５を参照して、流路面４２ｅ，４２ｆ（流路面４２ｆは図４参照）より、検出素子５の検出面が突出している場合（凸の場合）の高さの符号を「＋」とし、後退している場合（凹の場合）の高さの符号を「−」とする。
【００５７】
　また、比較のため、比較例に係る測定装置を用いて、前記実施例２に係る測定装置と同様に測定を行った。図６は比較例に係る測定装置の説明図であって、その主流管の縦断面を概略的に示している。図６を参照すると、この比較例に係る測定装置は、主流管１内の流れ断面方向に沿ってほぼ中央に、検出素子２０５が配置されている。検出素子２０５は、接着層２０６を介して支持体２０４の凹部底面に固着されている。より詳細には、検出素子２０５の検出面が、主流管１の流れ１０方向に向かう管軸方向に対して１０度傾斜するよう、支持体２０４が主流管１内に保持され、流れ１０がこの検出面によく当たるようにされている。
【００５８】
［測定１の測定条件］
　ここで、測定１の測定条件を下記に記す。
主流管の管径：５０ｍｍ、
分流管の外形寸法：Ｌ４０×Ｗ７×Ｈ１４ｍｍ、
分流管の導入口：５×１０ｍｍ、
分流管の導出口：５×５ｍｍ、
分流管の径大部：５×５ｍｍ、
分流管の径小部：５×２．５ｍｍ、
分流管の隆起部の曲率：４ｍｍ、
対向面の曲率：３．５ｍｍ、
検出素子（半導体チップ）の外形寸法：３×３×ｔ０．４ｍｍ、
検出素子のダイヤフラム部：１ｍｍ×１ｍｍ×ｔ１μｍ、
検出素子の白金抵抗体：Ｐｔ／Ｔｉ＝膜厚比５／１、
検出素子のパッド：Ａｕ。
【００５９】
　図７は測定１の結果を示すグラフである。ここで、同図中、出力変化率(％)とは、段差量Ｈ（図５参照）が実質的に０の場合、すなわち、検出素子の検出面とその近傍の流路面とが同一平面上にある場合の出力を１００％として、各出力を換算したものである。
【００６０】
　図７を参照すると、実施例２の装置の方が比較例の装置より、段差量による流速検出出力の変化が格段に小さくなっていることが分かる。また、図７より、実施例２の装置によれば、広い流速範囲にわたって流速を正確に検出できることがわかる。また別に、実施例２の装置は逆流を検出することができるが、比較例の装置はそれが困難である。
【００６１】
［実施例３］
　本発明の実施例３として、本発明による測定装置に適用される検出素子の種々の形状を説明する。図８（Ａ）〜図８（Ｃ）は、本発明の実施例３に係り、本発明による流量測定装置に適用される種々の検出素子の説明図であり、それぞれ上図が平面図、下図が平面中央部の断面図である。
【００６２】
　図８（Ａ）に示した検出素子は、前記実施例１及び２で用いた検出素子と同様に、正方形タイプであり、正方形の中央部にダイヤフラム部５０が設けられている。図８（Ｂ）に示した検出素子は長方形タイプであり、長方形の端部にダイヤフラム部５１が設けられている。また、図８（Ｃ）に示した検出素子も長方形タイプであり、長方形の中央部にダイヤフラム部５２が設けられている。
【００６３】
［実施例４］
　本発明の実施例４として、本発明による測定装置に用いられる分流管の種々の形態を示す。なお、本発明の実施例４に係る測定装置が、前記実施例１又は２に係る測定装置と同様な点については、適宜前記実施例１又は前記実施例２の記載を参照するものとする。
【００６４】
［実施例４−１］
　図９は、本発明の実施例４−１に係る分流管の縦断面を概略的に示す説明図である。図９を参照して、この分流管１６２は、流路面１６２ｅ，１６２ｆ及び対向面１６２ｄが多角形状の面に形成されている以外は、前記実施例２に係る分流管４２（図４参照）と同様の構成を有している。すなわち、この分流管１６２は、上流側の直流部に縮径部１６２ｇ及び溜まり１６２Ｉを備え、下流側の直流部に拡径部１６２ｈ及び溜まり１６２Ｊを備えている。そして、検出素子１６５が、接着層１６６を介して支持体１６４の凹部底面に、支持体１６４表面より突出した状態で固着されている。支持体１６４は、検出素子１６５の検出面が分流管１６２内に曝されるよう分流管１６２の底面に取り付けられている。詳細には、変曲部１６２ｃの底側において、検出素子１６５の検出面が分流管１６２内に曝されている。検出素子１６５の両側には、管壁が内側に向かって凹状に隆起した隆起部１６２ａ，１６２ｂが形成されている。隆起部１６２ａ，１６２ｂの流路面１６２ｅ，１６２ｆは多角形状の面に形成されている。対向面１６２ｄは、検出素子１６５に向かって凸な多角形状に形成されている。
【００６５】
　ここで、分流管１６２内の流れを説明する。主流管１の流れ１０から分流管１６２に流れ１６３が導入される。変曲部１６２ｃにおいて、検出素子１６５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー１６４が発生する。その後、分流管１６２内の流れは主流管１の流れ１０と再び合流する。
【００６６】
［実施例４−２］
　図１０（Ａ）は本発明の実施例４−２に係る分流管の縦断面を概略的に示す説明図である。この分流管６２においては、変曲部６２ｃの両側に隆起部６２ａ，６２ｂが設けられている。変曲部６２ｃの両側すなわち隆起部６２ａ，６２ｂの流路面６２ｅ，６２ｆは多角形状に形成されている。支持体６４に固着された検出素子６５に対向する対向面６２ｄは検出素子６５に向かって突出する多角形状に形成されている。流れ１０の一部が分流管６２に導入されてなる流れ６６から、検出素子６５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー６７が生じる。
【００６７】
［実施例４−３］
　図１０（Ｂ）は本発明の実施例４−３に係る分流管の縦断面を概略的に示す説明図である。この分流管７２においては、変曲部７２ｃの両側に隆起部７２ａ，７２ｂが設けられている。変曲部７２ｃの両側すなわち隆起部７２ａ，７２ｂの流路面７２ｅ，７２ｆは多角形状に形成されている。支持体７４に固着された検出素子７５に対向する対向面７２ｄは検出素子７５に向かって凸曲面状に形成されている。流れ１０の一部が分流管７２に導入されてなる流れ７６から、検出素子７５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー７７が生じる。
【００６８】
［実施例４−４］
　図１１（Ａ）は本発明の実施例４−４に係る分流管の縦断面を概略的に示す説明図である。この分流管８２内の流れの中には、変曲部８２ｃの流れ断面方向中央部において、両側に隆起部の一種である弧状部をそれぞれ備えた、支持体８４が位置されている。これら弧状部の検出素子８５側の流路面８４ｅ，８４ｆは凹曲面状に形成されている。検出素子８５の背後において、分流管８２の隆起部８２ａ，８２ｂの流路面も凹曲面状に形成されている。検出素子８５は、支持体８４に形成された凹部底面に固着され、その検出面は流れ断面方向略中央部の流れに曝されている。検出素子８５に対向する対向面８２ｄは検出素子８５に向かって突出する凸曲面状に形成されている。測定対象である流れ１０の一部が分流管８２内に導入されてなる流れ８６から、検出素子８５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー８７が生じる。
【００６９】
［実施例４−５］
　図１１（Ｂ）は本発明の実施例４−５に係る分流管の縦断面の一部を概略的に示す説明図である。この分流管は、図１１（Ａ）に示した分流管８２と、検出素子８５の支持形態が異なっている。すなわち、支持体８４内の一側面及び他側面にそれぞれ開口する二つの切欠き（窓）が形成されている。二つの切欠きは、段差をもって互いに連通している。幅の大きな切欠きに回路基板８４ａが嵌合され、幅の小さな切欠きの方に検出素子８５が嵌合されている。
【００７０】
［実施例４−６］
　図１１（Ｃ）は本発明の実施例４−６に係る分流管の縦断面の一部を概略的に示す説明図である。この分流管９２内の流れの中には、変曲部９２ｃの流れ断面方向中央部において、両側に隆起部の一種である三角コーナ部をそれぞれ備えた、支持体９４が位置されている。これら三角コーナ部の検出素子９５側の流路面９４ｅ，９４ｆは凹曲面状に形成されている。検出素子９５の背後において、分流管９２の流路面は矩形状に形成されている。検出素子９５は、支持体９４に形成された凹部底面に固着され、その検出面は流れ断面方向略中央部の流れに曝されている。検出素子９５に対向する一方の対向面９２ｄは検出素子９５に向かって突出する凸曲面状に形成されている。測定対象である流れ１０の一部が分流管９２内に導入されてなる流れ９６から、検出素子９５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー９７が生じる。
【００７１】
［実施例４−７］
　図１２（Ａ）は本発明の実施例４−７に係る分流管の縦断面の一部を概略的に示す説明図である。この分流管１０２内の流れの中には、変曲部１０２ｃの流れ断面方向中央部において、両側に隆起部の一種であって上流側及び下流側に向かってそれぞれ延在する延在部を備えた、支持体１０４が位置されている。これら延在部の検出素子１０５側の流路面１０４ｅ，１０４ｆは検出素子１０５に向かって傾斜していく傾斜面とされている。変曲部１０２ｃの両側であって検出素子１０５の背後には、隆起部１０２ａ，１０２ｂが形成されている。隆起部１０２ａ，１０２ｂの流路面は、支持体１０４側に向かって突出し、かつ、流路面１０４ｅ，１０４ｆと略平行な傾斜面とされている。検出素子１０５は、支持体１０４に形成された凹部底面に固着され、その検出面は流れ断面方向略中央部の流れに曝されている。検出素子１０５に対向する一方の対向面１０２ｄは検出素子１０５に向かって突出した多角形状に形成されている。測定対象である流れ１０の一部が分流管１０２内に導入されてなる流れ１０６から、検出素子１０５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー１０７が生じる。
【００７２】
［実施例４−８］
　図１２（Ｂ）は本発明の実施例４−８に係る分流管の縦断面の一部を概略的に示す説明図である。この分流管１１２内の流れの中には、変曲部１１２ｃの流れ断面方向中央部において、両側に隆起部の一種であって上流側及び下流側に向かってそれぞれ延在する三角コーナ部を備えた、支持体１１４が位置されている。これら三角コーナ部の検出素子１１５側の流路面１１４ｅ，１１４ｆは検出素子１１５に向かって傾斜していく傾斜面とされている。変曲部１１２ｃの両側であって検出素子１１５の背後には、矩形状の流路面が形成されている。検出素子１１５は、支持体１１４に形成された凹部底面に固着され、その検出面は流れ断面方向略中央部の流れに曝されている。検出素子１１５に対向する対向面１１２ｄは検出素子１１５に向かって突出した多角形状に形成されている。測定対象である流れ１０の一部が分流管１１２内に導入されてなる流れ１１６から、検出素子１１５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー１１７が生じる。
【００７３】
［実施例４−９］
　図１３（Ａ）は本発明の実施例４−９に係る分流管の縦断面の一部を概略的に示す説明図である。この分流管１２２内には、その上流側直流部に縮径部１２２ｇ及び溜まり１２２Ｉ、その下流側直流部に拡径部１２２ｈ及び溜まり１２２Ｊが、互いに対称的に形成されている。そして、分流管１２２内には、変曲部１２２ｃの両側に隆起部１２４ａ，１２４ｂが設けられている。変曲部１２２ｃの両側すなわち隆起部１２４ａ，１２４ｂの流路面１２４ｅ，１２４ｆは凹曲面状に形成されている。支持体１２４に固着された検出素子１２５に対向する対向面１２２ｄは検出素子１２５に向かって突出する凸曲面状に形成されている。測定対象である流れ１０の一部が分流管１２２内に導入されてなる流れ１２６から、検出素子１２５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー１２７が生じる。
【００７４】
［実施例４−１０］
　図１３（Ｂ）は本発明の実施例４−１０に係る分流管の縦断面の一部を概略的に示す説明図である。この実施例４−１０に係る分流管１７２は、前記実施例４−９に係る分流管１２２（図１３（Ａ）参照）に対して、流路面が多角形である点で相違し、その他の構成は同様である。詳細には、この分流管１７２内には、その上流側直流部に縮径部１７２ｇ及び溜まり１７２Ｉ、その下流側直流部に拡径部１７２ｈ及び溜まり１７２Ｊが、互いに対称的に形成されている。そして、分流管１７２内には、変曲部１７２ｃの両側に隆起部１７４ａ，１７４ｂが設けられている。変曲部１７２ｃの両側すなわち隆起部１７４ａ，１７４ｂの流路面１７４ｅ，１７４ｆは多角形状（全体としては凹状）に形成されている。支持体１７４に固着された検出素子１７５に対向する対向面１７２ｄは検出素子１７５に向かって突出する多角形状（全体としては凸状）に形成されている。測定対象である流れ１０の一部が分流管１７２内に導入されてなる流れ１７６から、検出素子１７５の検出面に対して斜めに当たるダウンフロー１７７が生じる。
【００７５】
　以上説明した実施例４に係る測定装置等において、分流管が検出素子が位置する変曲部を中心としておおよそ対称な流路形状を有するものは、順流及び逆流の両方の測定に好適に用いることができる。また、分流管の上流部に縮径部を有する測定装置によれば、微粒子や粉塵等による検出素子の汚染が高度に防止される。また、分流管の下流部に縮径部を有する測定装置によれば、順流測定時、逆流の影響が抑制される。
【００７６】
　次に、本発明による測定装置を、種々の車両のエンジンの吸気系に取り付けた適用例を説明する。
【００７７】
［適用例１］
　適用例１は、本発明による測定装置を、主として４輪の車両に搭載されるエンジンの吸気系に取り付けた例である。図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）は、本発明による測定装置の適用例１を説明するための図であって、図１４（Ａ）は全体図、図１４（Ｂ）は本発明による測定装置が設置された部分の拡大図である。
【００７８】
　図１４（Ａ）を参照して、この吸気系ないし燃料噴射制御系の概略を説明すると、この系には、上流から下流に向かって、吸気が導入されるエアクリーナ１３０、吸気の流量ないし流速測定部１３１、スロットルバルブ１３２、インジェクタ１３３から燃料が噴射されスパークプラグによって点火され、バルブを備えたシリンダ１３７、シリンダ１３７の下流側排気管内に設けられた酸素センサ１３５、及び３元触媒１３６が、配管を介し互いに連通可能とされて設けられている。
【００７９】
　本発明による測定装置は、エアクリーナ１３０とスロットルバルブ１３２間に位置する測定部１３１に設置される。特に、図１４（Ｂ）を参照して、この測定装置は、図１や図４などに示したような形状の分流管１４２が、図１４（Ａ）に示した吸気管に直交した状態で接続されるよう、ケース１３９を介して吸気管に取り付けられている。分流管１４２の変曲部底面には、シリコン素子と一体的に形成された検出素子１４５が配置され、検出素子１４５はその裏面の素子一体型回路１４１と電気的に接続されている。素子一体型回路１４１はコネクタ１４０を介して、エンジンコントロールユニット１３８等に電気的に接続される。検出素子１４５及び素子一体型回路１４１はケース１３９に対して脱着可能に或いはケース１３９が上記吸気管に対して脱着可能に取り付けられ、これによって検出素子１４５が交換可能とされている。
【００８０】
　エンジンコントロールユニット１３８は、この素子一体型回路１４１からの測定信号及び酸素センサ１３５から出力される排気ガス中の酸素濃度信号を受信し、これらの信号及びその他の受信信号に基づいて、インジェクタ１３３の燃料噴射量及びタイミング、スパークプラグ１３４の点火タイミングを制御する。なお、エンジンコントロールユニット１３８は、エンジン回転数、スロットル開度及びクランク角度等も演算している。
【００８１】
［適用例２］
　適用例２は、本発明による測定装置を、主として２輪の車両に搭載されるエンジンの吸気系に取り付けた例である。図１５（Ａ）及び図１５（Ｂ）は、本発明による測定装置の適用例２を説明するための図であって、図１５（Ａ）は全体図、図１５（Ｂ）は本発明による測定装置が設置された部分の拡大図である。
【００８２】
　図１５（Ａ）及び図１５（Ｂ）を参照すると、シリンダ１５１に接続する二輪車用吸気管（エアファンネル）１５４に、吸気の流量ないし流速等を測定するため、本発明による測定装置が付設されている。この測定装置は、二輪車用吸気管１５４の管外に位置するケース１５２と、二輪車用吸気管１５４の管内に突出している分流路部１５３を有し、ケース１５２と分流路部１５３は一体化されている。分流路部１５３にはこれに導入される吸気に曝されるよう検出素子が設けられ、ケース１５２にはこの検出素子を制御するための回路基板が内蔵されている。
【００８３】
　このように、本発明による測定装置は、特に、２輪用の流量及び流速等測定装置、特に２輪用エンジンの吸気を測定する装置として、好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の実施例１に係る装置の説明図であり、（Ｂ）は、（Ａ）に示した検出部付近の拡大図である。
【図２】（Ａ）及び（Ｂ）は検出素子の説明図であって、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は（Ａ）に示した検出素子に形成されている薄膜抵抗体を説明するための断面図である。
【図３】図３（Ａ）及び図３（Ｂ）は、本発明の実施例１に係る装置で用いられる検出素子の測定原理の説明図であり、図３（Ａ）は検出素子上のダイヤフラム位置による温度分布を示す等温線図であり、図３（Ｂ）は同グラフである。
【図４】本発明の実施例２に係る流量測定装置の説明図である。
【図５】本発明の実施例２に係る流量測定装置を用いた測定１における、段差量の定義を説明するための図である。
【図６】測定１で用いた、比較例に係る流量測定装置の説明図である。
【図７】測定１の結果を示すグラフである。
【図８】（Ａ）〜（Ｃ）は本発明の実施例３に係り、本発明による流量測定装置に適用される種々の検出素子の説明図であり、それぞれ上図が平面図、下図が平面中央部の断面図である。
【図９】本発明の実施例４−１に係る分流管の説明図である。
【図１０】（Ａ）は本発明の実施例４−２及び（Ｂ）は同４−３に係る分流管の説明図である。
【図１１】（Ａ）は本発明の実施例４−４に係る分流管、（Ｂ）は同４−５に係る分流管の部分、及び（Ｃ）は同４−６に係る分流管のそれぞれ説明図である。
【図１２】（Ａ）は本発明の実施例４−７及び（Ｂ）は同４−８に係る分流管の説明図である。
【図１３】（Ａ）は本発明の実施例４−９及び（Ｂ）は同４−１０に係る分流管の説明図である。
【図１４】本発明による測定装置の適用例１を説明するための図であり、（Ａ）は全体図、（Ｂ）は測定装置が設置された部分の拡大図である。
【図１５】本発明による測定装置の適用例２を説明するための図であり、（Ａ）は全体図、（Ｂ）は測定装置が設置された部分の拡大図である。
【符号の説明】
【００８５】
　１　主流管
　２　分流管
　２ａ，２ｂ　隆起部
　２ｃ　変曲部
　２ｄ　対向面
　２ｅ，２ｆ　流路面
　３　検出部
　４　支持体
　５　検出素子
　６　接着層
１０　主流管内の流れ
１１　分流管へ導入された流れ
１２　検出素子に対して斜めに当たる流れ（ダウンフロー）
２０　ヒータ
２１　リム部
２２　ダイヤフラム部
２３　上流温度センサ
２４　下流温度センサ
２５　雰囲気温度センサ
３０　半導体層
３１　第１のＳｉＮ絶縁膜
３２　第２のＳｉＮ絶縁膜
３３　白金抵抗体
３４　パッド
【図１】
2004029033.tif 000003
【図２】
2004029033.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2004029033.tif 000010
【図９】
2004029033.tif 000011
【図１０】
2004029033.tif 000012
【図１１】
2004029033.tif 000013
【図１２】
2004029033.tif 000014
【図１３】
2004029033.tif 000015
【図１４】
2004029033.tif 000016
【図１５】
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