(57)【要約】【課題】精度よくドット抜けしている液滴吐出ノズルを検出し判定すること。【解決手段】この液滴吐出ノズルの検査方法及び検出装置は、液滴吐出ノズルが液滴を吐出するタイミングに応じて液滴のサンプリングを開始する（ステップＳ１０３、ステップＳ１０４）。サンプリングデータの解析（ステップＳ１０７）においては、同じ液滴吐出ノズルでの吐出間における連続したＬｏｗ信号の件数と、異なる液滴吐出ノズル間における連続したＬｏｗ信号の件数とは顕著な差が生ずることを利用して、連続したＬｏｗ信号が所定の閾値以上であれば、ドット抜け液滴吐出ノズルと判定する。そして、Ｌｏｗ信号の件数とドット抜け液滴吐出ノズルの個数との関係は１次関数で表すことができるので、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの直前における、正常に液滴を吐出している液滴吐出ノズルを基準としてドット抜け液滴吐出ノズルの位置を特定する。【選択図】      図４
2004314533.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、前記液滴の有無を検出するにあたり、
前記液滴吐出ヘッドと前記光とが一定の距離となったときに、前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴吐出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非吐出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得するためのサンプリングを開始するサンプリング工程と、
前記サンプリング工程において最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上の場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド進行方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定する端部液滴吐出ノズル判定工程と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ノズル間移動に関する閾値以上の場合には、１つの液滴吐出ノズルが吐出していると判定する液滴吐出ノズル判定工程と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに関する閾値以上の場合には、少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定するドット抜け液滴吐出ノズル判定工程と、
各閾値と、前記液滴非検出信号の計数値との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を特定する工程と、
を有することを特徴とする液滴吐出ノズルの検査方法。
【請求項２】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える複数の液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、複数の液滴吐出ヘッドにおける前記液滴の有無を順次検出するにあたり、
前記液滴吐出ヘッドと前記光とが一定の距離となったときに、前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴吐出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非吐出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得するためのサンプリングを開始するサンプリング工程と、
前記サンプリング工程において最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上の場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド進行方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定する端部液滴吐出ノズル判定工程と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ノズル間移動に関する閾値以上の場合には、１つの液滴吐出ノズルが吐出していると判定する液滴吐出ノズル判定工程と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに関する閾値以上の場合には、少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定するドット抜け液滴吐出ノズル判定工程と、
各閾値と、前記液滴非検出信号の計数値との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を特定する工程と、
前記液滴非検出信号の計数値が前記複数の液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値以上である場合には、先の液滴吐出ヘッドにおける全液滴吐出ノズル数と、正常に吐出できる液滴吐出ノズル数及びドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数の和との差分の液滴吐出ノズル数を求め、両者に差がある場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド移動方向反対側端部の液滴吐出ノズルに、前記差分のドット抜けした液滴吐出ノズルが存在すると判定する工程と、
前記液滴非検出信号の計数値と前記複数の液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値との関係から求めたドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数の方が、前記差分の液滴吐出ノズルの数よりも大きい場合には、両者の差分が次の液滴吐出ヘッドの移動方向側端部からドット抜けを発生している液滴吐出ノズルの数であると判定する工程と、
を有することを特徴とする液滴吐出ノズルの検査方法。
【請求項３】
さらに、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの直前における、正常に液滴を吐出している液滴吐出ノズルを基準として、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を加算することで、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルを特定することを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ノズルの検査方法。
【請求項４】
前記前サンプリング工程においては、液滴吐出のタイミングに応じて、前記前サンプリングを開始することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液滴吐出ノズルの検査方法。
【請求項５】
前記ドット抜けに関する閾値は、前記液滴吐出ノズル間移動に関する閾値よりも大きいことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液滴吐出ノズルの検査方法。
【請求項６】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、前記液滴の有無を検出するにあたり、
前記液滴吐出ヘッドと前記光とが一定の距離となったときに、前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴吐出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非吐出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得するためのサンプリングを開始するサンプリング手順と、
前記サンプリング工程において最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上の場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド進行方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定する端部液滴吐出ノズル判定手順と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ノズル間移動に関する閾値以上の場合には、１つの液滴吐出ノズルが吐出していると判定する液滴吐出ノズル判定手順と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに関する閾値以上の場合には、少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定するドット抜け液滴吐出ノズル判定手順と、
各閾値と、前記液滴非検出信号の計数値との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を特定する手順と、
をコンピュータに実行させることを特徴とする液滴吐出ノズルの検査プログラム。
【請求項７】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える複数の液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、複数の液滴吐出ヘッドにおける前記液滴の有無を順次検出するにあたり、
前記液滴吐出ヘッドと前記光とが一定の距離となったときに、前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴吐出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非吐出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得するためのサンプリングを開始するサンプリング手順と、
前記サンプリング工程において最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上の場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド進行方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定する端部液滴吐出ノズル判定手順と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ノズル間移動に関する閾値以上の場合には、１つの液滴吐出ノズルが吐出していると判定する液滴吐出ノズル判定手順と、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに関する閾値以上の場合には、少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定するドット抜け液滴吐出ノズル判定手順と、
各閾値と、前記液滴非検出信号の計数値との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を特定する手順と、
前記液滴非検出信号の計数値が前記複数の液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値以上である場合には、先の液滴吐出ヘッドにおける全液滴吐出ノズル数と、正常に吐出できる液滴吐出ノズル数及びドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数の和との差分の液滴吐出ノズル数を求め、両者に差がある場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド移動方向反対側端部の液滴吐出ノズルに、前記差分のドット抜けした液滴吐出ノズルが存在すると判定する手順と、
前記液滴非検出信号の計数値と前記複数の液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値との関係から求めたドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数の方が、前記差分の液滴吐出ノズルの数よりも大きい場合には、両者の差分が次の液滴吐出ヘッドの移動方向側端部からドット抜けを発生している液滴吐出ノズルの数であると判定する手順と、
をコンピュータに実行させることを特徴とする液滴吐出ノズルの検査プログラム。
【請求項８】
さらに、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの直前における、正常に液滴を吐出している液滴吐出ノズルを基準として、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を加算することで、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルを特定することを特徴とする請求項６又は７に記載の液滴吐出ノズルの検査プログラム。
【請求項９】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズルを検査するものであり、
前記液滴吐出ノズルから吐出される液滴の軌跡と交差する光を発生させる光源と、
前記液滴吐出ヘッドと前記光源からの前記光とを相対的に移動させて、前記液滴が前記光を遮蔽した場合には液滴検出信号を生成し、それ以外の場合には液滴非検出信号を生成する受光手段と、
前記液滴吐出ヘッドと前記光とが一定の距離となったときに、前記液滴検出信号又は前記液滴非検出信号を所定のサンプリングレートでパルス状に取得するためのサンプリングを開始し、
前記サンプリングにおいて取得した最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上の場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド進行方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定し、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたノズル間移動に関する閾値以上の場合には、１つのノズルが吐出していると判定し、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに関する閾値以上の場合には、少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定し、
さらに、各閾値と、前記液滴非検出信号の計数値との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を特定するドット抜け判定部と、
を有することを特徴とする液滴吐出ノズルの検査装置。
【請求項１０】
液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える複数の液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズルを検査するものであり、
前記液滴吐出ノズルから吐出される液滴の軌跡と交差する光を発生させる光源と、
前記液滴吐出ヘッドと前記光源からの前記光とを相対的に移動させて、前記液滴が前記光を遮蔽した場合には液滴検出信号を生成し、それ以外の場合には液滴非検出信号を生成する受光手段と、
前記液滴吐出ヘッドと前記光とが一定の距離となったときに、前記液滴検出信号又は前記液滴非検出信号を所定のサンプリングレートでパルス状に取得するためのサンプリングを開始し、
前記サンプリングにおいて取得した最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上の場合には、前記液滴吐出ノズル列における進行方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定し、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたノズル間移動に関する閾値以上の場合には、１つのノズルが吐出していると判定し、
前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに関する閾値以上の場合には、少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定し、
さらに、各閾値と、前記液滴非検出信号の計数値との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を特定し、
前記液滴非検出信号の計数値が前記複数の液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値以上の場合には、先の液滴吐出ヘッドにおける全液滴吐出ノズルの数と、正常に吐出できる液滴吐出ノズル数及びドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数の和との差分の液滴吐出ノズル数を求め、両者に差がある場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド移動方向反対側端部の液滴吐出ノズルに前記差分のドット抜けした液滴吐出ノズルがあると判定し、
前記液滴非検出信号の計数値と前記複数の液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値との関係から求めたドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数の方が、前記差分のドット抜け液滴吐出ノズル数よりも大きい場合には、両者の差分が次の液滴吐出ヘッドの移動方向側端部からドット抜けを発生している液滴吐出ノズルの数であると判定するドット抜け判定部と、
を有することを特徴とする液滴吐出ノズルの検査装置。
【請求項１１】
前記ドット抜け判定部は、さらに、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの直前における正常に液滴を吐出している液滴吐出ノズルを基準として、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を加算して、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルを特定することを特徴とする請求項９又は１０に記載の液滴吐出ノズルの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液滴吐出法における液滴吐出ノズルのドット抜け検出に関し、さらに詳しくは、精度よくドット抜けしている液滴吐出ノズルを検出できる液滴吐出ノズルの検査方法及び液滴吐出ノズルの検査プログラム、並びに液滴吐出ノズルの検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット法に代表される液滴吐出法は、液滴吐出ノズルから吐出させた液滴を、対象物の任意の場所に付着させることができるので、液滴としてインクを用いて画像を形成する印刷用途に広く用いられている。また、この他にも、近年においては、カラーフィルタ材料やオーバーコート材料等を基板上に塗布して液晶パネル等の電気光学パネルのカラーフィルタ基板や素子基板を製造する用途にも応用されてきている。
【０００３】
液滴吐出法では、液滴吐出ノズルから液滴を吐出させるので、液滴吐出ノズルの目詰まりが発生すると、印刷用途においては画像内にドットの抜けが生じ、画質を劣化させてしまう。また、液晶パネル電気光学パネルにおいては、カラーフィルタやオーバーコートの欠陥等によって、画素欠陥や表示ムラといった問題が発生する。このため、液滴吐出法においては、液滴が吐出されない液滴吐出ノズルを検知して、吸引・清掃によって液滴吐出ノズルの目詰まりを防止する必要がある。このような液滴吐出の有無を検知するものとしては、例えば特許文献１に、第１の液滴を検出したパルスの終わりから第２の液滴を検出したパルスまでの時間で、液滴吐出の有無を判定する判定装置が開示されている。
【０００４】
この判定装置によれば、第１の液滴を検出したパルスの終わりから第２の液滴を検出したパルスまでの時間が第１の閾値よりも少ない場合、第１と第２の液滴は、同じ液滴吐出ノズルから吐出されたものと判定される。前記時間が第１の閾値よりも大きく、第２の閾値よりも小さい場合には、第１と第２の液滴は異なる液滴吐出ノズルから吐出されたと判断される。これによって、２個の液滴吐出ノズルから液滴が吐出されていると判断できるので、正常に吐出している液滴吐出ノズルの数を計数できる。そして、前記時間が第２の閾値よりも大きくなった場合には、第１と第２の液滴の間には、少なくとも１以上のドット抜け液滴吐出ノズルがあると判断される。
【０００５】
【特許文献１】
特開平２００２−１９２７４０号公報  Ｐ５〜Ｐ１２、図８〜図１０
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この判定装置では、最初に検出した液滴の信号が、液滴吐出ノズル列の端における液滴吐出ノズルから吐出されたものかどうかまでは判定できないので、端の液滴吐出ノズルから液滴が吐出されたか否かの確認をする必要がある。このため、端の液滴吐出ノズルのみを吐出して、ドット抜けを検出している。このように、全液滴吐出ノズルの吐出に加え、端の液滴吐出ノズルを改めて吐出させなければならないので、ドット抜け液滴吐出ノズルの検出には時間を要し、また、余分な液を吐出することになる。
【０００７】
また、例えば１００個の液滴吐出ノズルから液滴を吐出し、ドット抜け液滴吐出ノズルを検査する場合において、１〜１０番目の液滴吐出ノズル、及び９１〜１００番目の液滴吐出ノズルはドット抜け液滴吐出ノズルであるとする。この場合、この判定装置では、検査対象液滴吐出ノズル数が１００、検出液滴吐出ノズル数は８０、ドット抜け液滴吐出ノズルは０と判定されてしまい、液滴吐出ノズル列両端におけるどちらかの液滴吐出ノズルが２０個不吐出であるところまでしか判定できない。この場合に、両端の液滴吐出ノズル（１番目と１００番目）を吐出させようとしても、これらの液滴吐出ノズルはドット抜け液滴吐出ノズルなので、いずれの液滴吐出ノズルも不吐出であるところまでは判定できるが、不吐出の液滴吐出ノズルが液滴吐出ノズル列の両端から何個存在するかは不明である。したがって、この判定装置では、どの液滴吐出ノズルが不吐出であるかまでは判定できない。
【０００８】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、精度よくドット抜けしている液滴吐出ノズルを検出し判定すること、ドット抜け検出の速度を向上させることのうち、少なくとも１つを達成できる液滴吐出ノズルの検査方法及び液滴吐出ノズルの検査プログラム、並びに液滴吐出ノズルの検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法は、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、前記液滴の有無を検出するにあたり、前記液滴吐出ヘッドと前記光とが一定の距離となったときに、前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴吐出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非吐出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得するためのサンプリングを開始するサンプリング工程と、前記サンプリング工程において最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上の場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド進行方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定する端部液滴吐出ノズル判定工程と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ノズル間移動に関する閾値以上の場合には、１つの液滴吐出ノズルが吐出していると判定する液滴吐出ノズル判定工程と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに関する閾値以上の場合には、少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定するドット抜け液滴吐出ノズル判定工程と、各閾値と、前記液滴非検出信号の計数値との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を特定する工程と、を有することを特徴とする。
【００１０】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査プログラムは、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、前記液滴の有無を検出するにあたり、前記液滴吐出ヘッドと前記光とが一定の距離となったときに、前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴吐出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非吐出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得するためのサンプリングを開始するサンプリング手順と、前記サンプリング工程において最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上の場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド進行方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定する端部液滴吐出ノズル判定手順と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ノズル間移動に関する閾値以上の場合には、１つの液滴吐出ノズルが吐出していると判定する液滴吐出ノズル判定手順と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに関する閾値以上の場合には、少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定するドット抜け液滴吐出ノズル判定手順と、各閾値と、前記液滴非検出信号の計数値との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を特定する手順と、をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００１１】
この液滴吐出ノズルの検査方法は、サンプリング手順において取得した最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上である場合には、液滴吐出ノズル列における液滴吐出ヘッド移動方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定する。このように、移動方向側端部における液滴吐出ノズルが不吐出か否かを判定できるので、この当該端部の液滴吐出ノズルを基準とすれば、他のドット抜け液滴吐出ノズルの位置を精度よく特定できる。また、１回の走査でドット抜け液滴吐出ノズルを判定できるので、ドット抜け検出の速度を向上させることができる。ここで、液滴非検出信号の件数とドット抜け液滴吐出ノズルの個数との関係は１次関数で表されるものであり、ｋ＝（（ｖ×ｙ×ｆ）−（Ｐ−Ｄ−ｄ））／Ｐを用いることが好ましい。ここで、ｋはドット抜け（不吐出）液滴吐出ノズル数、ｙは液滴非検出信号の件数、ｖは液滴吐出ノズルを備えた液滴吐出ヘッドの移動速度、ｆはサンプリング周波数、Ｐは液滴吐出ノズルピッチ、Ｄは受光部の計測領域径、ｄは液滴の直径である。また、液滴吐出信号及び液滴非吐出信号は、所定のサンプリングレートで取得されるので、サンプリングレートの数だけ離散的なデータが存在することになる。
【００１２】
また、本発明に係る液滴吐出ノズルの検査プログラムによれば、本発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法をコンピュータに実行させることができる。なお、本発明でいうコンピュータには、いわゆるパーソナルコンピュータやワークステーションあるいはＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）の他、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）とメモリその他の電子素子によって構成されるハードウェアも含む（以下同様）。
【００１３】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法は、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える複数の液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、複数の液滴吐出ヘッドにおける前記液滴の有無を順次検出するにあたり、前記液滴吐出ヘッドと前記光とが一定の距離となったときに、前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴吐出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非吐出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得するためのサンプリングを開始するサンプリング工程と、前記サンプリング工程において最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上の場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド進行方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定する端部液滴吐出ノズル判定工程と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ノズル間移動に関する閾値以上の場合には、１つの液滴吐出ノズルが吐出していると判定する液滴吐出ノズル判定工程と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに関する閾値以上の場合には、少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定するドット抜け液滴吐出ノズル判定工程と、各閾値と、前記液滴非検出信号の計数値との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を特定する工程と、前記液滴非検出信号の計数値が前記複数の液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値以上である場合には、先の液滴吐出ヘッドにおける全液滴吐出ノズル数と、正常に吐出できる液滴吐出ノズル数及びドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数の和との差分の液滴吐出ノズル数を求め、両者に差がある場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド移動方向反対側端部の液滴吐出ノズルに、前記差分のドット抜けした液滴吐出ノズルが存在すると判定する工程と、前記液滴非検出信号の計数値と前記複数の液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値との関係から求めたドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数の方が、前記差分の液滴吐出ノズルの数よりも大きい場合には、両者の差分が次の液滴吐出ヘッドの移動方向側端部からドット抜けを発生している液滴吐出ノズルの数であると判定する工程と、を有することを特徴とする。
【００１４】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査プログラムは、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える複数の液滴吐出ヘッドの前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出させつつ、前記液滴の軌跡と交差する光を発生させるとともに、前記液滴吐出ヘッドと前記光とを相対的に移動させて、複数の液滴吐出ヘッドにおける前記液滴の有無を順次検出するにあたり、前記液滴吐出ヘッドと前記光とが一定の距離となったときに、前記液滴が前記光を遮蔽した場合に生成される液滴吐出信号、又は前記液滴が前記光を遮蔽した以外の場合に生成される液滴非吐出信号を、所定のサンプリングレートでパルス状に取得するためのサンプリングを開始するサンプリング手順と、前記サンプリング工程において最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上の場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド進行方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定する端部液滴吐出ノズル判定手順と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められた液滴吐出ノズル間移動に関する閾値以上の場合には、１つの液滴吐出ノズルが吐出していると判定する液滴吐出ノズル判定手順と、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに関する閾値以上の場合には、少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定するドット抜け液滴吐出ノズル判定手順と、各閾値と、前記液滴非検出信号の計数値との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を特定する手順と、前記液滴非検出信号の計数値が前記複数の液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値以上である場合には、先の液滴吐出ヘッドにおける全液滴吐出ノズル数と、正常に吐出できる液滴吐出ノズル数及びドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数の和との差分の液滴吐出ノズル数を求め、両者に差がある場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド移動方向反対側端部の液滴吐出ノズルに、前記差分のドット抜けした液滴吐出ノズルが存在すると判定する手順と、前記液滴非検出信号の計数値と前記複数の液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値との関係から求めたドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数の方が、前記差分の液滴吐出ノズルの数よりも大きい場合には、両者の差分が次の液滴吐出ヘッドの移動方向側端部からドット抜けを発生している液滴吐出ノズルの数であると判定する手順と、をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００１５】
この液滴吐出ノズルの検査方法は、複数の液滴吐出ヘッドを有する場合には、液滴吐出ヘッド間移動時における複数の液滴非検出信号の計数値と、液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値とを比較する。そして、先の液滴吐出ヘッドの移動方向反対側端部におけるドット抜け液滴吐出ノズルと、次の液滴吐出ヘッドの移動方向側端部におけるドット抜け液滴吐出ノズルとを特定できる。これにより、複数の液滴吐出ヘッドに対して液滴吐出ノズルのドット抜けを検出する場合でも、移動方向側端部における液滴吐出ノズルが不吐出か否かを判定できる。そして、この当該端部の液滴吐出ノズルを基準とすれば、次の液滴吐出ヘッドの端部以外におけるドット抜け液滴吐出ノズルの位置も精度よく特定できる。また、１回の走査でドット抜け液滴吐出ノズルを判定できるので、ドット抜け検出の速度を向上させることができる。また、本発明に係る液滴吐出ノズルの検査プログラムによれば、本発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法をコンピュータに実行させることができる。
【００１６】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法は、上記液滴吐出ノズルの検査方法において、さらに、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの直前における、正常に液滴を吐出している液滴吐出ノズルを基準として、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を加算することで、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルを特定することを特徴とする。
【００１７】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査プログラムは、上記液滴吐出ノズルの検査方法において、さらに、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの直前における、正常に液滴を吐出している液滴吐出ノズルを基準として、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を加算することで、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルを特定することを特徴とする。
【００１８】
この液滴吐出ノズルの検査方法は、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの直前における、正常に液滴を吐出している液滴吐出ノズルを基準としてドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を加算するので、液滴吐出ノズル列の端部以外であっても、容易にドット抜けが発生している液滴吐出ノズルを特定できる。なお、液滴吐出ノズルの個数は、液滴非吐出信号の件数と、ドット抜け液滴吐出ノズルの個数との関係から求めることができる。また、本発明に係る液滴吐出ノズルの検査プログラムによれば、本発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法をコンピュータに実行させることができる。
【００１９】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法は、上記液滴吐出ノズルの検査方法において、前記前サンプリング工程においては、液滴吐出のタイミングに応じて、前記前サンプリングを開始することを特徴とする。
【００２０】
この液滴吐出ノズルの検査方法は、液滴吐出のタイミングを基準として前サンプリングを開始するので、液滴吐出と同時に前サンプリングを開始することにより、制御を容易にすることができる。
【００２１】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法は、上記液滴吐出ノズルの検査方法において、前記ドット抜けに関する閾値は、前記液滴吐出ノズル間移動に関する閾値よりも大きいことを特徴とする。
【００２２】
このように、ドット抜けに関する閾値を、液滴吐出ノズル間移動に関する閾値よりも大きくしているので、ドット抜け液滴吐出ノズルが存在する場合には、両者の差が顕著に現れる。これにより、精度よくドット抜け液滴吐出ノズルを検出することができる。なお、十分な検出精度を維持するためには、ドット抜けに関する閾値は、液滴吐出ノズル間移動に関する閾値の２倍以上が好ましく、より好ましくは３倍以上である。
【００２３】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査装置は、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズルを検査するものであり、前記液滴吐出ノズルから吐出される液滴の軌跡と交差する光を発生させる光源と、前記液滴吐出ヘッドと前記光源からの前記光とを相対的に移動させて、前記液滴が前記光を遮蔽した場合には液滴検出信号を生成し、それ以外の場合には液滴非検出信号を生成する受光手段と、前記液滴吐出ヘッドと前記光とが一定の距離となったときに、前記液滴検出信号又は前記液滴非検出信号を所定のサンプリングレートでパルス状に取得するためのサンプリングを開始し、前記サンプリングにおいて取得した最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上の場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド進行方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定し、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたノズル間移動に関する閾値以上の場合には、１つのノズルが吐出していると判定し、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに関する閾値以上の場合には、少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定し、さらに、各閾値と、前記液滴非検出信号の計数値との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を特定するドット抜け判定部と、を有することを特徴とする。
【００２４】
この液滴吐出ノズルの検査装置は、サンプリング手順において取得した最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上である場合には、液滴吐出ノズル列における液滴吐出ヘッド移動方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定する。このように、移動方向側端部における液滴吐出ノズルが不吐出か否かを判定できるので、この当該端部の液滴吐出ノズルを基準とすれば、他のドット抜け液滴吐出ノズルの位置を精度よく特定できる。また、１回の走査でドット抜け液滴吐出ノズルを判定できるので、ドット抜け検出の速度を向上させることができる。
【００２５】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査装置は、液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズルを一定の間隔で直線状に配列した液滴吐出ノズル列を備える複数の液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズルを検査するものであり、前記液滴吐出ノズルから吐出される液滴の軌跡と交差する光を発生させる光源と、前記液滴吐出ヘッドと前記光源からの前記光とを相対的に移動させて、前記液滴が前記光を遮蔽した場合には液滴検出信号を生成し、それ以外の場合には液滴非検出信号を生成する受光手段と、前記液滴吐出ヘッドと前記光とが一定の距離となったときに、前記液滴検出信号又は前記液滴非検出信号を所定のサンプリングレートでパルス状に取得するためのサンプリングを開始し、前記サンプリングにおいて取得した最初の液滴検出信号を取得するまでの液滴非検出信号の計数値が、予め定めた最初の液滴検出に関する閾値以上の場合には、前記液滴吐出ノズル列における進行方向側端部の少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定し、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたノズル間移動に関する閾値以上の場合には、１つのノズルが吐出していると判定し、前記液滴非検出信号の計数値が予め定められたドット抜けに関する閾値以上の場合には、少なくとも１つ以上の液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定し、さらに、各閾値と、前記液滴非検出信号の計数値との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を特定し、前記液滴非検出信号の計数値が前記複数の液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値以上の場合には、先の液滴吐出ヘッドにおける全液滴吐出ノズルの数と、正常に吐出できる液滴吐出ノズル数及びドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数の和との差分の液滴吐出ノズル数を求め、両者に差がある場合には、前記液滴吐出ノズル列における前記液滴吐出ヘッド移動方向反対側端部の液滴吐出ノズルに前記差分のドット抜けした液滴吐出ノズルがあると判定し、前記液滴非検出信号の計数値と前記複数の液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値との関係から求めたドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数の方が、前記差分のドット抜け液滴吐出ノズル数よりも大きい場合には、両者の差分が次の液滴吐出ヘッドの移動方向側端部からドット抜けを発生している液滴吐出ノズルの数であると判定するドット抜け判定部と、を有することを特徴とする。
【００２６】
この液滴吐出ノズルの検査装置は、複数の液滴吐出ヘッドを有する場合には、液滴吐出ヘッド間移動時における複数の液滴非検出信号の計数値と、液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値とを比較する。そして、先の液滴吐出ヘッドの移動方向反対側端部におけるドット抜け液滴吐出ノズルと、次の液滴吐出ヘッドの移動方向側端部におけるドット抜け液滴吐出ノズルとを特定できる。これにより、複数の液滴吐出ヘッドに対して液滴吐出ノズルのドット抜けを検出する場合でも、移動方向側端部における液滴吐出ノズルが不吐出か否かを判定できる。そして、この当該端部の液滴吐出ノズルを基準とすれば、次の液滴吐出ヘッドの端部以外におけるドット抜け液滴吐出ノズルの位置も精度よく特定できる。また、１回の走査でドット抜け液滴吐出ノズルを判定できるので、ドット抜け検出の速度を向上させることができる。
【００２７】
また、次の発明に係る液滴吐出ノズルの検査装置は、上記液滴吐出ノズルの検査装置において、前記ドット抜け判定部は、さらに、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの直前における正常に液滴を吐出している液滴吐出ノズルを基準として、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を加算して、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルを特定することを特徴とする。
【００２８】
この液滴吐出ノズルの検査装置は、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの直前における、正常に液滴を吐出している液滴吐出ノズルを基準としてドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を加算する。これにより、液滴吐出ノズル列の端部以外であっても、容易にドット抜けが発生している液滴吐出ノズルを特定できる。なお、液滴吐出ノズルの個数は、液滴非吐出信号の件数と、ドット抜け液滴吐出ノズルの個数との関係から求めることができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施の形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるものあるいは実質的に同一のものが含まれる。以下の説明では、液滴吐出の方式としてインクジェット方式を例として、また、液滴吐出ヘッドとしては、複数の液滴吐出ノズルを備えたインクジェットヘッドを例として説明する。なお、本発明は、工業用インクジェット、印刷に用いるインクジェットプリンタ等といったインクジェットのみならず、液滴を吐出する液滴吐出ノズルを複数個有する液滴吐出方式全般に対して適用できる。
【００３０】
図１は、この発明の実施の形態に係る液滴吐出ノズルの検査装置を示す説明図である。この発明の実施の形態に係る液滴吐出ノズルの検査方法及び検出装置は、次の構成に特徴がある。すなわち、同じ液滴吐出ノズルでの吐出間における連続したＬｏｗ信号の件数と、異なる液滴吐出ノズル間における連続したＬｏｗ信号の件数とは顕著な差が生ずることを利用して、連続したＬｏｗ信号が所定の閾値以上であれば、ドット抜け液滴吐出ノズルと判定する。Ｌｏｗ信号の件数とドット抜け液滴吐出ノズルの個数との関係から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの直前における、正常に液滴を吐出している液滴吐出ノズルを基準としてドット抜け液滴吐出ノズルの位置を特定する。
【００３１】
まず、図１を用いて、この発明の実施の形態に係る液滴吐出ノズルの検査装置の構成を説明する。この液滴吐出ノズルの検査装置１００は、液滴検出部３０と、ドット抜け判定部２０とを有しており、液滴吐出装置２００の近傍に配置される。液滴吐出装置２００の液滴吐出ヘッド１は、キャリッジ４に取り付けられており、図１のＸ方向に移動する。
【００３２】
図１（ｂ）に示すように、この液滴吐出ヘッド１では、液滴吐出ノズル１０はＸ方向と平行に配列されている。そして、カラーフィルタ基板や素子基板、あるいは印刷用紙その他の液滴吐出対象物Ｅに対してカラーフィルタ材料やインク等を吐出する場合には、液滴吐出ヘッド１を固定してステージ２をＹ方向に往復させる。ドット抜けの検出は、例えば所定の時間液滴を吐出した場合あるいは１枚の基板に対する吐出が終了した後に、ドット抜け検出モードに入るようにする。本実施の形態においては、ステージ２から離れたドット抜け検出領域Ａでドット抜け検知動作を実行する。
【００３３】
図２は、液滴検出部を示す説明図である。ドット抜け検出領域Ａには、液滴検出部３０が備えられている。この液滴検出部３０は、光源３２と、この光源３２から出射する検出光を受光して、その光量に応じた大きさの出力を発する受光部３１とを対向して配置されることにより構成されている。光源３２には、例えばレーザーや発光ダイオードを使用することができ、本実施の形態においてはレーザーを使用する。また、受光部３１には、通常用いられるフォトセンサその他の受光素子を使用することができる。
【００３４】
光源３２から出射する検出光３３は、受光部３１まで到達してここで検出される。液滴吐出ヘッド１のドット抜けを検出する際には、液滴吐出ヘッド１の各液滴吐出ノズル１０１〜１０ｎから吐出した液滴１２が検出光３３を横切るように、液滴吐出ヘッド１を図のＸ方向に走査させる。受光部３１は、図２（ｂ）に示すように、受光部３１の計測領域を液滴１２が通過している場合には、液滴検出信号としてＨｉｇｈ（以下Ｈ）信号を出力する。そして、単に光源からの出射光を入力として受光している場合には、液滴非検出信号としてＬｏｗ（以下Ｌ）信号を出力する。これによって、液滴１２の吐出、不吐出を検出することができる。なお、受光部３１は、この逆の入力−出力特性を持つものでも構わない。
【００３５】
図３は、この発明の実施の形態に係るドット抜け判定部の構成を示す機能ブロック図である。ドット抜け判定部２０は、受光部出力検出部２２と、処理部２４と、記憶部２６とを含む構成である。受光部３１の出力Ｓは、まず受光部出力検出部２２に取り込まれ、Ａ／Ｄ変換される。処理部２４は、受光部出力検出部２２から所定のサンプリング周波数ｆで、受光部３１の出力Ｓをディジタル信号として取り込む。そして、この出力ＳのＨ信号とＬ信号との件数に基づいて、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズル及びドット抜けが発生していない液滴吐出ノズルを判定する。記憶部２６は、処理部２４がデータ処理をしている間、必要に応じてデータを格納しておくために使用する。
【００３６】
なお、記憶部２６は、ハードディスク装置や光磁気ディスク装置、フラッシュメモリ等の不揮発性のメモリや、ＣＤ−ＲＯＭ等のような読み出しのみが可能な記憶媒体、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）のような揮発性のメモリ、あるいはこれらの組み合わせにより構成されるものとする。また、この処理部２４は専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、この処理部２４はメモリ及びＣＰＵ（中央演算装置）により構成され、処理部２４の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。また、このドット抜け判定部２０には、周辺機器として入力装置、表示装置などを接続し（いずれも図示省略）、これらの制御プログラムをメモリにロードして実行することにより前記周辺機器の機能を実現させるものであってもよい。さらに、ドット抜け判定部２０には、周辺機器として入力装置、表示装置など（いずれも図示省略）を接続してもよい。ここで、入力装置とはキーボード、マウス等の入力デバイスのことをいう。表示装置とはＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）や液晶表示装置等のことをいう。次に、本発明の実施の形態に係る液滴吐出ノズルの検査方法の手順について説明する。次の説明においては、必要に応じて図１〜図３を参照されたい。
【００３７】
図４は、この発明の実施の形態に係る液滴吐出ノズルの検査方法における一連の処理手順を説明するフローチャートである。まず、ドット抜け判定部２０の処理部２４から発信されるドット抜け検出指令によって、光源３２からレーザーの照射が開始する（ステップＳ１０１）。そして、処理部２４からの液滴吐出ヘッド移動指令によって、液滴吐出ヘッド１がドット抜け検出領域Ａへの移動を開始する（ステップＳ１０２）。次に、処理部２４からの液滴吐出命令によって、液滴吐出ヘッド１の各液滴吐出ノズル１０１〜１０ｎから所定の吐出周波数で液滴を吐出させる（ステップＳ１０３）。これと同時に、処理部２４は、受光部３１からの出力Ｓのサンプリングを開始する（ステップＳ１０４）。なお、液滴検出部３０に第１番目の液滴吐出ノズル１０１が到達するよりも前に、液滴１２の吐出を開始する。
【００３８】
処理部２４が、液滴吐出ヘッド１の全液滴吐出ノズル１０１〜１０ｎに対する液滴吐出に関するデータを取得したら、サンプリングを終了して（ステップＳ１０５）、液滴吐出を終了する（ステップＳ１０６）。そして、処理部２４はサンプリングデータを解析して（ステップＳ１０７）、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルとドット抜けが発生していない液滴吐出ノズル、及びそれらの個数を判定し、すべての処理手順が終了する。そして、別工程で、ドット抜けが発生した液滴吐出ノズルを選択、あるいはその液滴吐出ノズルの近傍のエリアをクリーニングユニット６で吸引・清掃して、ドット抜けを解消する。次に、この発明に係る液滴吐出ノズルの検査方法におけるドット抜け判定方法について説明する。
【００３９】
図５は、この発明に係る液滴吐出ノズルのドット抜け判定方法を示す説明図である。この発明に係るドット抜け判定法方法は、まず、液滴検出部３０から検出されたＨ信号とＬ信号との件数に基づいて、ドット抜けの有無を判定する。本発明は、液滴吐出ノズルピッチＰが受光部３１の計測領域Ｄに対して十分広い場合（受光部３１の計測領域Ｄに対して約２倍以上の長さ）に対して有効である。このように、液滴吐出ノズルピッチが広い場合には、図５（ａ）に示すように、同じ液滴吐出ノズルにおける吐出間の連続した信号の件数と、異なる液滴吐出ノズル間における吐出の連続したＬ信号の件数とに、顕著な差が生ずる。したがって、液滴検出部３０の情報をサンプリングしたデータに、異なる液滴吐出ノズル間の吐出に相当する連続したＬ信号が存在すれば、そこには１個の液滴吐出ノズル分のドット抜けは発生していないことになる（図５（ａ））。
【００４０】
そして、図５（ｂ）に示すように、液滴検出部３０の情報をサンプリングしたデータに、ある程度連続したＬ信号の件数があり、それがドット抜けに相当する連続したＬ信号の件数以上であれば、そこにドット抜けした液滴吐出ノズル（ドット抜け液滴吐出ノズル）が存在することになる。後述するように、Ｌ信号の件数とドット抜けした液滴吐出ノズルの個数との関係は、１次関数で表すことができるので、連続したＬ信号の件数が分かれば、ドット抜けした液滴吐出ノズルの個数を求めることができる。
【００４１】
次に、液滴吐出ノズル列両端の液滴吐出ノズルが吐出しているか否かを判定する方法を説明する。液滴吐出ヘッド１の進行方向側端部の液滴吐出ノズル１０１が吐出しているか否かを判定するには、図５（ｃ）に示すように、サンプリングの開始から最初の液滴検出信号を取得するまでのサンプリング件数（Ｌ信号の件数）と、最初の液滴検出に関する所定の閾値とを比較すればよい。本発明においては、液滴吐出ノズル１０等の吐出開始位置から液滴検出部３０までの距離は常に一定とするので、最初の液滴検出に関する所定の閾値はこの距離に相当するＬ信号の件数となる。最初の液滴検出信号を取得するまでにおけるＬ信号の件数と前記所定の閾値との差が、ドット抜けに相当する閾値以上ならば、液滴吐出ノズル１０１側にドット抜け液滴吐出ノズルが存在すると判定できる。ドット抜けした液滴吐出ノズルの個数は、上述の通り、Ｌ信号の件数とドット抜けした液滴吐出ノズルの個数との関係を利用すればよい。
【００４２】
また、液滴吐出ヘッド１が１個の場合には、最後の液滴を検出し終えてからサンプリング終了までのサンプリング件数を調べ、最後の液滴検出に関する所定の閾値と比較する。これにより、液滴吐出ヘッド１の進行方向反対側端部におけるドット抜け液滴吐出ノズルの個数を調べることができる。ここで、最後の液滴を検出に関する所定の閾値は、液滴吐出ヘッド１の進行方向反対側端部の液滴吐出ノズル１０ＥＮＤが正常に吐出している場合において、最後の液滴を検出し終えてからサンプリング終了までのＬ信号の件数である。このとき、液滴吐出ヘッド１の進行方向反対側端部における液滴吐出ノズル１０ＥＮＤのデータ取得終了から、サンプリングが終了するまでの時間は常に一定とする。
【００４３】
複数の液滴吐出ノズル列が一定の間隔をもって直線状に配列されている場合や、複数の液滴吐出ヘッドが存在する場合であっても、上記ドット抜け検出は同様に適用できる。複数液滴吐出ノズル列、複数液滴吐出ヘッドの場合でも、前の液滴吐出ノズル列から次の液滴吐出ノズル列へ、前の液滴吐出ヘッドから次の液滴吐出ヘッドへ移動する際には、それに相当するＬ信号の件数データを予めドット抜け判定部２０の記憶部２６に格納しておく。ただし、ドット抜け、液滴吐出ノズル列間移動、液滴吐出ヘッド間移動に相当する連続したＬ信号は、それぞれ異なる値とする必要がある。
【００４４】
次に、ドット抜けした液滴吐出ノズルの判定についてより具体的に説明する。表１、表２は、各液滴に対するＨ信号の件数とＬ信号の件数とを整理したものである。例えば、液滴吐出ノズル間移動に関する閾値として液滴吐出ノズル間移動に相当するＬ信号の件数を１１０、ドット抜けに関する閾値としてドット抜けに相当するＬ信号の件数を５１０とする。ドット抜け判定部２０は、各液滴毎にＬ信号の件数をチェックし、１１０件に近いデータ（３、９、１２滴目等）、があれば、そこで液滴吐出ノズル間移動があったものと判定する。表１においては、３滴目のＬ信号が１１０件なので、３滴目のＨ信号までは第１液滴吐出ノズル１０１から吐出されたものと判定し、４滴目からは第２液滴吐出ノズル１０２から吐出されたものと判定する。６滴目のＬ信号は５１０件であるので、ここでドット抜け液滴吐出ノズルが存在すると判定する。したがって、４滴目から６滴目のＨまでは、第２液滴吐出ノズル１０２から吐出されたものと判定し、７滴目からは第４液滴吐出ノズル１０４から吐出されたものと判定する。そして、第３液滴吐出ノズル１０３は不吐出であると判定される。
【００４５】
【表１】
2004314533.tif 000003
【００４６】
【表２】
2004314533.tif 000004
【００４７】
次に、液滴吐出ヘッド間移動について説明する。液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値として、液滴吐出ヘッド間移動に相当するＬ信号の件数を４００００件とする。３００滴目のＬ信号は４５１００件であり、４００００件よりも多いので、ここで液滴吐出ヘッド間移動が発生したと判定する。液滴吐出ヘッド間移動が発生しているので、ここで、先の第１液滴吐出ヘッド１１の液滴吐出ノズル状況を確認する。例えば、第１〜第３液滴吐出ノズル１０１〜１０３がドット抜けしており、それ以外ではドット抜けが確認できなかったとする。そして、２９７滴目のＬ信号で第９５液滴吐出ノズル１０９５までは吐出が確認でき、３００滴目のＬ信号で液滴吐出ヘッド間移動が発生したので、第９６液滴吐出ノズル１０９６までの吐出が確認できる。第９７液滴吐出ノズルから液滴吐出ヘッド間移動しているので、第９７液滴吐出ノズル１０９７〜第１００液滴吐出ノズル１０１００まではドット抜けが発生していると判断する。
【００４８】
液滴吐出ヘッド間移動においては４５１００件のＬ信号が計数されており、液滴吐出ヘッド間移動に関する閾値である４００００件より５１００件多い。したがって、この増加分がドット抜け液滴吐出ノズルの個数に相当するＬ信号の件数である。ドット抜けに相当するＬ信号は５１０件なので、５１００／５１０＝１０から、１０液滴吐出ノズルのドット抜け液滴吐出ノズルが存在すると判定する。第１液滴吐出ヘッド１１は、第９７液滴吐出ノズル１０９７〜第１００液滴吐出ノズル１０１００までの４液滴吐出ノズルがドット抜けしていることが分かっているので、第２液滴吐出ヘッド１２は、第１液滴吐出ノズル１０１〜第６液滴吐出ノズル１０６までの６液滴吐出ノズルがドット抜けしていると判定できる。次に、この発明の液滴吐出ノズルの検査方法におけるドット抜け判定手順の詳細を説明する。
【００４９】
図６は、液滴吐出ヘッドの位置を検出する構成を示す説明図である。また、図７は、この発明の実施の形態に係るドット抜け判定手順を説明するフローチャートである。この実施の形態においては、ドット抜け検出の条件として、液滴吐出の周波数Ｆを１０ｋＨｚ、受光部３１の出力Ｓを取得するサンプリング周波数ｆは２５０ｋＨｚ、液滴吐出ヘッド１の移動速度ｖは１００ｍｍ／ｓｅｃ．受光部３１の計測領域径Ｄは９０μｍ、液滴吐出ヘッド１の液滴吐出ノズルピッチＰは１６０μｍ、液滴１２の直径ｄは２６μｍとする。
【００５０】
上記サンプリング周波数ｆと液滴吐出の周波数Ｆとの関係から、処理部２４は１個の液滴あたり２５件のサンプリングデータを取得することになる。液滴１２が受光部３１の計測領域を通過するとＨ信号が出力され、それ以外はＬ信号が出力されるので、Ｈ信号とＬ信号との合計が２５件ということになる。液滴１２の速度、及び受光部３１の感度にもよるが、上記条件においてはＨ信号が５件、Ｌ信号が２０件程度に分かれる。また、上記条件の下では、異なる液滴吐出ノズル間の移動において、１１０件程度のＬ信号が発生する。なお、液滴吐出時におけるＨ信号、Ｌ信号の件数、及び異なる液滴吐出ノズル間の移動におけるＬ信号の件数は、液滴吐出ノズルピッチＰ、受光部３１の計測領域径Ｄ、サンプリング周波数ｆ、受光部３１の感度、液滴吐出ヘッド１の移動速度ｖ等の条件によって変化する。
【００５１】
かかる条件の下で、まず、上記ステップＳ１０６で取得したサンプリングデータから、前サンプリング件数を計算する（ステップＳ２０１）。ここで、前サンプリング件数とは、最初の液滴検出信号を取得するまでに取得した、液滴非検出信号のサンプリングデータ件数である。次に、最初の液滴を基準として、取得したサンプリングデータを、受光部３１で検出した各吐出液滴のＨ信号とＬ信号とに分ける（ステップＳ２０２）。
【００５２】
次に、前サンプリング件数が所定の閾値ｍ（ｍは自然数）よりも大きいか否かを判断する（ステップＳ２０３）。液滴吐出ヘッド１の各液滴吐出ノズル１０１〜１０ｎが、常に同じ場所から吐出を開始するようにしておけば、吐出開始場所から液滴検出部３０までの距離は常に一定となる。液滴の吐出開始と同時にサンプリングを開始すれば、この距離において取得されるＬ信号数は常に一定となる。したがって、この閾値ｍは、吐出開始場所から液滴検出部３０までの距離ｌにおいて取得されるＬ信号の数である。実際には、図６に示すように、エンコーダー４０等の位置検出手段で液滴吐出ヘッド１の位置を検出する。そして、第１液滴吐出ノズル１０１と液滴検出部３０との距離が所定の距離ｌになったときに、液滴を吐出させるとともにサンプリングを開始する。このようにすれば、第１液滴吐出ノズル１０１と液滴検出部３０との距離を常に一定としてサンプリングを開始するので、サンプリング開始時からのＬ信号数を計数することによって、第１液滴吐出ノズルの吐出に関する情報を取得できる。
【００５３】
なお、第１液滴吐出ノズル１０１と液滴検出部３０との距離ｌを常に一定としてサンプリングを開始すればよい。したがって、液滴吐出のタイミングとサンプリング開始のタイミングとを揃える必要はなく、液滴吐出のタイミングがサンプリング開始のタイミングより早くとも、遅くとも構わない。ただし、液滴吐出のタイミングとサンプリング開始のタイミングとを揃えると、制御やデータ処理が簡易になるので好ましい。
【００５４】
前サンプリング件数が所定の閾値ｍ（例えばＬ信号が５００００件）よりも大きい場合には（ステップＳ２０３：Ｙｅｓ）、第１液滴吐出ノズル１０１を含めた複数の液滴吐出ノズルにドット抜けがあると判断する（ステップＳ２０４）。次に、このように判断する理由について説明する。表３は、第１液滴吐出ノズルが吐出している場合における１個の液滴に対するＨ信号及びＬ信号の件数を、表４は、第１液滴吐出ノズルが吐出していない場合における１個の液滴に対するＨ信号及びＬ信号の件数を示す。
【００５５】
【表３】
2004314533.tif 000005
【００５６】
【表４】
2004314533.tif 000006
【００５７】
表３においては、前サンプリング件数は５００００件であり、閾値ｍと等しいので、１個目の液滴は、第１液滴吐出ノズル１０１から吐出されたものと判断できる。一方、表４においては、前サンプリング件数は５０５１０件であり、閾値より５１０件多くなっている。このように、第１液滴吐出ノズル１０１から液滴が吐出されない場合には、前サンプリング件数は必ず閾値ｍよりも多くなる。なお、ドット抜けに相当するＬ信号の件数は、サンプリング周波数ｆ、液滴吐出ヘッドの移動速度ｖ等によって変化するが、本実施例においては５１０件である。したがって、表４の場合には、第１液滴吐出ノズル１０１がドット抜けしていると判定される。
【００５８】
図８は、ドット抜け液滴吐出ノズルと受光部の計測領域との関係を示す説明図である。上記条件において、１個の液滴吐出ノズル１０ｎがドット抜けしているとすると、液滴を検出できない領域ｔ（未検出領域ｔ）は、
２×液滴吐出ノズルピッチＰ−受光部の計測領域径Ｄ−液滴の直径ｄ・・・（１）
で表すことができる。同様に、２個の液滴吐出ノズルがドット抜けしている場合には、
３×液滴吐出ノズルピッチＰ−受光部の計測領域径Ｄ−液滴の直径ｄ・・・（２）
で表すことができる。そして、ｋ個の液滴吐出ノズルがドット抜けしている場合には、
（ｋ＋１）×液滴吐出ノズルピッチＰ−受光部の計測領域径Ｄ−液滴の直径ｄ・・・（３）
となる。
【００５９】
上記条件のもとでは、２×１６０（μｍ）−９０（μｍ）−２６（μｍ）＝２０４（μｍ）が未検出領域ｔとなる。この距離を液滴吐出ヘッド１が進む間に検出されるＬ信号の件数ｙは、
（未検出領域ｔ）／（液滴吐出ヘッドの移動速度ｖ）／（サンプリング周波数ｆ）・・・（４）
で表すことができる。すなわち、１液滴吐出ノズルのドット抜けが発生している場合には、（２０４（μｍ）／１０５（μｍ／ｓｅｃ．））／（１／（２５０×１０００（ｓｅｃ．））＝５１０となる。すなわち、Ｌ信号が５１０件程度検出されると、１液滴吐出ノズルのドット抜けが発生していると判定できる。同様に、２個の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生している場合には、Ｌ信号が９１０件程度検出される。この関係を表したのが表５である。また、図９は、表５の関係をプロットした説明図である。
【００６０】
【表５】
2004314533.tif 000007
【００６１】
これらの関係から、Ｌ信号の件数ｙとドット抜け液滴吐出ノズル数ｋとの間には、
ｋ＝（ｙ−１１０）／４００・・・（５）
の関係がある。
式（３）と式（４）とを連立させて、ｋについて整理して一般化すると、
ｋ＝（（ｖ×ｙ×ｆ）−（Ｐ−Ｄ−ｄ））／Ｐ・・・（６）
となる。
【００６２】
したがって、液滴吐出ヘッドのある領域における連続するＬ信号の件数が判明すれば、当該領域においてドット抜けしている液滴吐出ノズル数ｋを求めることができる。
【００６３】
表４の例においては、Ｌ信号の前サンプリング件数が５０５１０件であり、閾値ｍが５００００なので、その差５１０件のＬ信号によってドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数ｋを求める（ステップＳ２０５）。すなわち、５１０件を式（５）のｙに代入すると、ｋ＝１なので、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数は１となる。このようにして、把握したドット抜けの発生している液滴吐出ノズル（この場合は第１液滴吐出ノズル１０１）を、ドット抜け判定部２０の記憶部２６に記憶する（ステップＳ２０６）。
【００６４】
次に、Ｌ信号の数が液滴吐出ヘッド間移動に相当するＬ信号の数よりも多いか否かを判定する（ステップＳ２０７）。少ない場合には（ステップＳ２０７：Ｎｏ）、１液滴吐出ノズルのドット抜けに相当するＬ信号の数よりも多いか否かを判定する（ステップＳ２０８）。本実施の形態では、１液滴吐出ノズルのドット抜けに相当するＬ信号の数は５１０である。少ない場合には（ステップＳ２０８：Ｎｏ）、Ｌ信号の数が液滴吐出ノズル間移動に対応したＬ信号の数（本実施の形態では１１０件）よりも多いか否かを判定する（ステップＳ２０９）。少ない場合には（ステップＳ２０９：Ｎｏ）、液滴吐出ノズル間移動は発生していないと判断し（ステップＳ２１０）、すべての液滴に対して上記判定が終了したか否かを判定する（ステップＳ２１１）。未処理の液滴がある場合は（ステップＳ２１１：Ｎｏ）ステップＳ２０７に戻って上記手順を繰り返す。すべての液滴に対して処理が終了したら（ステップＳ２１１：Ｙｅｓ）、ドット抜け検出手順が終了する。
【００６５】
上記ステップＳ２０９において、Ｌ信号の数が液滴吐出ノズル間移動に相当するＬ信号の数以上である場合には（ステップＳ２０９：Ｙｅｓ）、現在判定してい液滴は、先に調べた液滴とは異なる隣のノズルから吐出されたものと判定される。そして、この液滴が吐出された液滴吐出ノズルはドット抜けが発生していないと判断できる。このようにして、把握した液滴吐出ノズルの情報（この場合は正常に作動している情報）を、ドット抜け判定部２０の記憶部２６に記憶する（ステップＳ２１２）。未処理の液滴がある場合は（ステップＳ２１１：Ｎｏ）ステップＳ２０７に戻って上記手順を繰り返す。すべての液滴に対して処理が終了したら（ステップＳ２１１：Ｙｅｓ）、ドット抜け検出手順が終了する。
【００６６】
上記ステップＳ２０８において、Ｌ信号の数が１個の液滴吐出ノズルのドット抜けに相当するＬ信号の数よりも多い場合には（ステップＳ２０８：Ｙｅｓ）、上記式（５）によってドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数を計算する（ステップＳ２１３）。そして、把握したドット抜け液滴吐出ノズルの数を、ドット抜け判定部２０の記憶部２６に記憶する（ステップＳ２１４）。未処理の液滴がある場合は（ステップＳ２１１：Ｎｏ）ステップＳ２０７に戻って上記手順を繰り返す。すべての液滴に対して処理が終了したら（ステップＳ２１１：Ｙｅｓ）、ドット抜け検出手順が終了する。
【００６７】
上記ステップＳ２０７において、Ｌ信号の数が液滴吐出ヘッド間の移動に相当するＬ信号の数（ここでは４００００件）よりも多い場合には（ステップＳ２０７：Ｙｅｓ）、すでに１つの液滴吐出ヘッドに対する判定が終了している。したがって、直前の液滴吐出ヘッドにおいて把握した液滴吐出ノズルの情報（ドット抜けの発生している液滴吐出ノズル及び発生していない液滴吐出ノズルの情報）を、ドット抜け判定部２０の記憶部２６から読み出す（ステップＳ２１５）。なお、複数の液滴吐出ヘッドを用いる例は、図２（ｃ）に示してある。
【００６８】
続いて、把握できた液滴吐出ノズルの数が規定の全液滴吐出ノズル数（ここでは１００個）と等しい場合には（ステップＳ２１６：Ｙｅｓ）、この液滴吐出ヘッド１１（図２（ｃ））でドット抜けは発生していないと判断する。次に、液滴吐出ヘッドの番号を、現在ドット抜けを調べた液滴吐出ヘッドの番号から、次にドット抜けを調べる液滴吐出ヘッドの番号へ変更する（ステップＳ２１７）。そして、ステップＳ２０７に戻って上記手順を繰り返す。すべての液滴に対して処理が終了したら（ステップＳ２１１：Ｙｅｓ）、ドット抜け検出手順が終了する。
【００６９】
把握できた液滴吐出ノズル数が規定の全液滴吐出ノズル数と等しくない場合には（ステップＳ２１６：Ｎｏ）、規定の全液滴吐出ノズル数に足りない液滴吐出ノズル分のドット抜けが、最終の液滴吐出ノズル１０１００側からの液滴吐出ノズルで発生していると判定する（ステップＳ２１８）。例えば、液滴吐出ヘッド１から吐出させた液滴吐出ノズルは全部で１００個であり、第９６液滴吐出ノズル１０９６までは吐出が確認できたとする。このとき、第９６液滴吐出ノズル１０９６以降で、液滴吐出ヘッド間移動に対応したＬ信号の数よりもＬ信号の数の方が多かった場合には、第９７〜第１００液滴吐出ノズル１０９７〜１０１００はドット抜けが発生していないと判定できる。そして、現在ドット抜けを調べている液滴吐出ヘッドにおいて把握した液滴吐出ノズルの情報（ドット抜けの発生している液滴吐出ノズル及び発生していない液滴吐出ノズルの情報）を、ドット抜け判定部２０の記憶部２６へ記憶する（ステップＳ２１９）。次に、液滴吐出ヘッド番号を変更し（ステップＳ２２０）、液滴吐出ヘッド間移動距離と、次の液滴吐出ヘッドにおける最初の液滴検出までのＬ信号から、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数を計算する（ステップＳ２２１）。
【００７０】
ここで、液滴吐出ヘッド間移動時におけるＬ信号数から、規定の液滴吐出ヘッド間移動に相当するＬ信号の件数（ここでは４００００件）を差し引いた値で、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルの個数を計算する。このドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数が、前液滴吐出ヘッドの最終の液滴吐出ノズル１０１００側においてドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数よりも多かった場合には（ステップＳ２２２：Ｙｅｓ）、両者の差を現在の液滴吐出ヘッドにおける液滴吐出ノズル１０１側からドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数と判定する（ステップＳ２２３）。そして、現在の液滴吐出ヘッドにおいて、把握したドット抜けの発生している液滴吐出ノズル数及び液滴吐出ノズルをドット抜け判定部２０の記憶部２６に記憶する（ステップＳ２２４）。
【００７１】
なお、複数の液滴吐出ヘッドのドット抜けを調べる場合、最後の液滴吐出ヘッドに関しては、後サンプリング件数と、後サンプリング件数の閾値とを比較することによって、最後の液滴吐出ヘッドの進行方向反対側端部においてドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数を調べることもできる。ここで、後サンプリング件数とは、最後の液滴吐出ヘッドにおける最後の液滴を検出した後から、サンプリング終了までにおいて検出したＬ信号の件数である。例えば、実際に検出した後サンプリング件数と後サンプリング件数の閾値との差分が、上記ドット抜けに関する閾値以上の場合には、最後の液滴吐出ヘッドの進行方向反対側端部において、少なくとも１個の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定できる。
【００７２】
同様に、液滴吐出ヘッドが単独である場合にも、後サンプリング件数を利用して、液滴吐出ヘッドの進行方向反対側端部においてドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数を調べることができる。なお、この場合の後サンプリング件数とは、ドット抜け検出対象である液滴吐出ヘッドにおける最後の液滴を検出した後から、サンプリング終了までにおいて検出したＬ信号の件数である。そして、実際に検出した後サンプリング件数と後サンプリング件数の閾値との差分が、上記ドット抜けに関する閾値以上の場合には、液滴吐出ヘッドの進行方向反対側端部において、少なくとも１個の液滴吐出ノズルにドット抜けが発生していると判定できる。
【００７３】
液滴吐出ヘッド間移動時において、ドット抜けの発生している液滴吐出ノズル数が、前液滴吐出ヘッドの最終の液滴吐出ノズル１０１００側においてドット抜けが発生している液滴吐出ノズル数と同じ場合には（ステップＳ２２２：Ｎｏ）、未処理の液滴があるか否かを判定し（ステップＳ２１１）、未処理の液滴がある場合は（ステップＳ２１１：Ｎｏ）ステップＳ２０７に戻って上記手順を繰り返す。液滴吐出ヘッド１２（図２（ｃ））におけるすべての液滴に対して処理が終了したら（ステップＳ２１１：Ｙｅｓ）、ドット抜け検出手順が終了する。
【００７４】
以上の判定手順により、ドット抜けの発生した液滴吐出ノズルを精度よく検出し、特定することができる。また、液滴吐出ヘッド１を、液滴検出部３０へ１回走査させるだけでドット抜けの発生した液滴吐出ノズルを検出し、特定することができる。従来は２回の走査が必要であったが、本発明においては１回の走査で十分なので、ドット抜けの検出速度を従来よりも向上させることができる。また、吐出用液体の消費量もそれだけ低減できる。特に工業用のインクジェットにおいて、液晶等の高価な材料を吐出する際には、材料の消費量が低減できるため有効である。さらに、ドット抜けが発生している液滴吐出ノズルを精度よく特定できるので、目詰まりを起こした液滴吐出ノズルを個別に、又はその液滴吐出ノズル近傍の領域を吸引することができる。これによって、すべての液滴吐出ノズルから吸引しなくともよいので、吸引する液体の量を低減できる。液晶等の高価な材料を吐出する際には有効である。
【００７５】
なお、上記実施の形態に係る本発明の液滴吐出ノズルの検査方法は、予め用意されたプログラムを上記処理部２４ロードして実行することによって実現することができる。このプログラムは、インターネットなどのネットワークを介して配布することもできる。また、このプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録され、所定のインターフェースを介して上記処理部２４へロードすることによって実行することもできる。ここで、コンピュータで読み取り可能な記録媒体とは、フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＤＶＤ等の可搬媒体、あるいはコンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記録装置をいう。
【００７６】
さらに、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネットなどのネットワークや電話回線などの通信回線を解してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものを含むものとする。また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、上記プログラムは、前述した機能を本発明に係る電気光学パネルを備えた電気光学装置や電子機器へすでに記録されているプログラムと組み合わせて実現できるものであってもよい。
【００７７】
（本発明の適用対象）
この液滴吐出ノズルの検査方法等は、液滴吐出方式で、例えば電気光学パネルの素子基板やカラーフィルタ基板を製造する場合にも、その液滴吐出ノズルを検査するために適用できる。前記電気光学パネルとしては、透過型又は反射型の電気光学パネルであり、図示しない照明装置をバックライトとして用いる。なお、アクティブマトリックス型のカラー電気光学パネルであっても同様である。また、パッシブマトリクス型の電気光学パネルのみならず、アクティブマトリクス型の電気光学パネル（例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）をスイッチング素子として備えた電気光学パネル）にも同様に適用することができる。また、透過型又は反射型の電気光学パネルだけでなく、エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電界放出表示装置、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置などのように、複数の画素毎に表示状態を制御可能な各種の電子光学装置においても本発明を同様に適用することができる。また、エレクトロルミネッセンス装置（有機、無機）においては、発光色を白色とし、装置の前面にカラーフィルタを配置することによりフルカラー表示を行うものに対しても適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態に係る液滴吐出ノズルの検査装置を示す説明図。
【図２】液滴検出部を示す説明図。
【図３】この発明の実施の形態に係るドット抜け判定部の構成を示す機能ブロック図。
【図４】この発明の実施の形態に係る液滴吐出ノズルの検査方法における一連の処理手順を説明するフローチャート。
【図５】この発明に係る液滴吐出ノズルのドット抜け判定方法を示す説明図。
【図６】液滴吐出ヘッドの位置を検出する構成を示す説明図。
【図７】この発明の実施の形態に係るドット抜け判定手順を説明するフローチャート。
【図８】ドット抜け液滴吐出ノズルと受光部の計測領域との関係を示す説明図。
【図９】表５の関係をプロットした説明図。
【符号の説明】
１、１１、１２  液滴吐出ヘッド、  １０  液滴吐出ノズル、  １２  液滴、  ２０  判定部、  ２２  受光部出力検出部、  ２４  処理部、  ２６  記憶部、３０  液滴検出部、  ３１  受光部、  ３２  光源、  ３３  検出光、  １００  液滴吐出ノズルの検査装置、  ２００  液滴吐出装置
【図１】
2004314533.tif 000008
【図２】
2004314533.tif 000009
【図３】
2004314533.tif 000010
【図４】
2004314533.tif 000011
【図５】
2004314533.tif 000012
【図６】
2004314533.tif 000013
【図７】
2004314533.tif 000014
【図８】
2004314533.tif 000015
【図９】
2004314533.tif 000016