(57)【要約】【課題】本発明は、機能液タンクに貯留する機能液を効率的に使用することができると共に、送液通路内の機能液も効率的に使用可能な機能液供給装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することをその課題としている。【解決手段】本発明は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド４１の駆動に伴い、給液管路１１３を介して、機能液を貯留する機能液タンク１１２から当該機能液滴吐出ヘッド４１に連続的に機能液を供給する機能液供給装置において、給液管路１１３に介設され、給液管路を介して供給される機能液の有無を検出する第１検出手段１９１と、第１検出手段１９１の検出結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッド４１に供給する機能液のリキッドエンドを判別するリキッドエンド判別手段２と、を備えたことを特徴とする。【選択図】  図７
2004249630.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドの駆動に伴い、給液管路を介して、前記機能液を貯留する機能液タンクから当該機能液滴吐出ヘッドに連続的に機能液を供給する機能液供給装置において、
前記給液管路に介設され、前記給液管路を介して供給される前記機能液の有無を検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果に基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドに供給する前記機能液のリキッドエンドを判別するリキッドエンド判別手段と、を備えたことを特徴とする機能液供給装置。
【請求項２】
前記検出手段は、前記機能液滴吐出ヘッドの近傍に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置。
【請求項３】
前記検出手段は、前記機能液の付着により、その共振周波数が変化する圧電素子と、
前記圧電素子を共振させる発振手段と、
前記圧電素子の共振周波数の変化を検出する周波数検出手段と、を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の機能液供給装置。
【請求項４】
前記給液管路には、管継手が介設されており、
前記圧電素子は、前記管継手に取り付けられ、前記管継手を介して前記給液管路に介設されていることを特徴とする請求項３に記載の機能液供給装置。
【請求項５】
前記圧電素子は、水晶片と、前記水晶片の両面に密着形成された１対の電極と、で構成された水晶振動子であり、
前記一対の電極のうち、一方の電極が前記機能液を検出するための検出部となっており、
前記検出部となる電極は、撥液加工されていることを特徴とする請求項３または４に記載の機能液供給装置。
【請求項６】
前記検出手段は、前記給液管路に介設され、前記給液管路を介して供給される前記機能液の有無を検出する第１検出手段と、
前記第１検出手段より上流側の前記給液管路に介設され、前記給液管路を介して供給される前記機能液の有無を検出する第２検出手段と、で構成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項７】
前記第１検出手段が「有」を、前記第２検出手段が「無」を、所定時間継続して検出したときに、機能液のニアエンドを報知する報知手段を更に備えたことを特徴とする請求項６に記載の機能液供給装置。
【請求項８】
前記機能液タンクは、当該機能液タンクに貯留する機能液の液面が前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面よりも低い位置に配設されており、
前記機能液タンクを加圧することにより、当該機能液タンクの前記機能液を供給する加圧手段と、
前記リキッドエンド判別手段がリキッドエンドと判別したときに、前記加圧手段の駆動を停止させる制御手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の機能液供給装置と、
機能液を吐出することにより、ワークに描画を行う機能液滴吐出ヘッドと、
前記機能液滴吐出ヘッドを制御するヘッド制御手段と、を備え、
前記ヘッド制御手段は、前記リキッドエンド判別手段がリキッドエンドを判別したときには、前記機能液滴吐出ヘッドの駆動を停止することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記第１検出手段から前記機能液滴吐出ヘッドに至る前記給液管路には、少なくともワーク１枚分の描画が可能な機能液で満たされており、
前記機能液滴吐出ヘッドの描画中に、前記リキッドエンド判別手段がリキッドエンドを判別したときには、前記ヘッド制御手段は、前記ワークへの描画終了後に前記機能液滴吐出ヘッドの駆動を停止することを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項９または１０に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液のリキッドエンドを判別する機能液供給装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することをその目的としている。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、液滴吐出装置の一種として、インク通路（送液流路）を介し、記録ヘッド（機能液滴吐出ヘッド）にインクを供給するインク貯留器（機能液タンク）を備えたインクジェット記録装置が知られている。このようなインクジェット記録装置では、記録ヘッドに形成されたノズルと、インク貯留器内に貯留するインクの液面との高低差、すなわち両者間の水頭差、が予め規定されており、所定の水頭差が維持されることにより、インク貯留器から記録ヘッドに安定して機能液が供給されるようになっている。このため、インク通路に設けた圧力センサにより検出したインク貯留器のインク残量が所定量を下回り、記録ヘッドに安定したインクの供給ができなくなると、インクエンド（リキッドエンド）と判断される。（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平４−７７２６４号公報（第１頁−第４頁）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このようなインクジェット記録装置では、インク貯留器内にインクが貯留された状態であっても、記録ヘッドに安定したインクの供給ができなくなるとインクエンドと判断されるため、インク貯留器のインクを効率的に使用することができないという問題が生じる。特に、工業応用の液滴吐出装置では、高価な機能液が用いられるため問題となる。
【０００５】
また、上記のインクジェット記録装置では、インクエンド時でもインク通路にはインクが満たされたままであり、インク通路内のインクはインク貯留器交換後にも利用可能となっている。しかしながら、特殊な機能液を用いる工業応用の液滴吐出装置では、送液流路および機能液滴吐出ヘッド内で新旧の機能液が混合すると製品の品質等に悪影響を与える場合があるため、機能液タンクの交換時には、給液管路内の機能液を全て排出する必要があり、リキッドエンド時に給液管路内に残留した機能液は、使用することができずに無駄となっていた。更に、工業応用の液滴吐出装置は大型のものが多く、給液管路が長くなっているため、機能液タンクの交換毎に給液管路に残留する大量の機能液が無駄となり、問題となる。
【０００６】
そこで、本発明は、機能液タンクに貯留する機能液を効率的に使用することができると共に、送液通路内の機能液も効率的に使用可能な機能液供給装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することをその目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドの駆動に伴い、給液管路を介して、機能液を貯留する機能液タンクから当該機能液滴吐出ヘッドに連続的に機能液を供給する機能液供給装置において、給液管路に介設され、給液管路を介して供給される機能液の有無を検出する検出手段と、検出手段の検出結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液のリキッドエンドを判別するリキッドエンド判別手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、検出手段の検出結果に基づいて、リキッドエンドの判別が為されるので、機能液タンクに貯留する機能液を使い切り、機能液タンクによる機能液の供給が途絶えたとき、すなわち、検出手段が給液管路を介して供給される機能液を検出しなかったとき、にリキッドエンドと判断される。したがって、機能液タンク内の機能液が空になっても、検出手段を介設した位置において、給液管路が機能液で満たされていればリキッドエンドと判別されないので、機能液タンクから検出手段に至る給液管路内の機能液も使い切ることができる。
【０００９】
この場合、検出手段は、機能液滴吐出ヘッドの近傍に配設されていることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに至る給液管路において、機能液タンクから検出手段に至る給液管路を長く取ることができ、リキッドエンド時に給液管路内に残留する機能液量を減少させることができると共に、給液管路内の機能液を効率的に利用することが可能となる。
【００１１】
本発明は、検出手段は、機能液の付着により、その共振周波数が変化する圧電素子と、圧電素子を共振させる発振手段と、圧電素子の共振周波数の変化を検出する周波数検出手段と、を有していることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、圧電素子の共振周波数を検出することにより、機能液の有無を検出することができる。
【００１３】
この場合、給液管路には、管継手が介設されており、圧電素子は、管継手に取り付けられ、管継手を介して給液管路に介設されていることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、管継手に圧電素子を取り付けることにより、圧電素子を給液管路に介設することができる。
【００１５】
この場合、圧電素子は、水晶片と、水晶片の両面に密着形成された１対の電極と、で構成された水晶振動子であり、一対の電極のうち、一方の電極が機能液を検出するための検出部となっており、検出部となる電極は、撥液加工されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、撥液加工により、検出部となる電極に接触する機能液が無くなったときには、速やかに機能液がはじかれるので、電極に機能液が付着したままになることを防止することができ、機能液の有無を適切に検出することが可能である。
【００１７】
この場合、検出手段は、給液管路に介設され、給液管路を介して供給される機能液の有無を検出する第１検出手段と、第１検出手段より上流側の給液管路に介設され、給液管路を介して供給される機能液の有無を検出する第２検出手段と、で構成されていることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、リキッドエンド判別手段は、給液管路の２ヶ所に設けられた第１検出手段および第２検出手段の検出結果に基づいて、リキッドエンドの判断を行うので、より正確な判断を行うことができる。具体的には、両検出手段が機能液を検出しなかったときに、リキッドエンドと判断する。これにより、片方の検出手段のみが機能液を検出しなかったとき（例えば、給液管路内に気泡が侵入した等の場合）には、リキッドエンドと判断されず、誤判断を防止でき、リキッドエンド判断の信頼性を向上させることができる。
【００１９】
この場合、第１検出手段が「有」を、第２検出手段が「無」を、所定時間継続して検出したときに、機能液のニアエンドを報知する報知手段を更に備えたことが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、第１検出手段が「有」、第２検出手段「無」を検出した場合であって、この状態が所定時間継続したときには、機能液のニアエンドであるとみなされ、報知手段によりニアエンドを報知するので、ユーザに機能液タンクの交換等の準備やリキッドエンドが近いことの注意を促すことができる。
【００２１】
この場合、機能液タンクは、当該機能液タンクに貯留する機能液の液面が機能液滴吐出ヘッドのノズル面よりも低い位置に配設されており、機能液タンクを加圧することにより、当該機能液タンクの機能液を供給する加圧手段と、リキッドエンド判別手段がリキッドエンドと判別したときに、加圧手段の駆動を停止させる制御手段と、を更に備えることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、機能液タンクに貯留する機能液の液面が機能液滴吐出ヘッドのノズル面よりも低い位置に配設され、機能液の供給が機能液タンクと機能液滴吐出ヘッドとの水頭差に影響を受けている場合にも、加圧手段により、機能液が加圧供給されるので、機能液タンクが空になるまで機能液を使用することが可能である。また、リキッドエンドと判別されたときには、加圧手段の駆動が停止されるので、リキッドエンドと共に機能液の供給を停止させることができる。
【００２３】
本発明の液滴吐出装置は、上記の機能液供給装置と、機能液を吐出することにより、ワークに描画を行う機能液滴吐出ヘッドと、機能液滴吐出ヘッドを制御するヘッド制御手段と、を備え、ヘッド制御手段は、リキッドエンド判別手段がリキッドエンドを判別したときには、機能液滴吐出ヘッドの駆動を停止することを特徴とする。
【００２４】
この構成によれば、リキッドエンドが判別されると、機能液滴吐出ヘッドの駆動が停止されるので、機能液不足によるワークへの描画不良を防止することが可能である。
【００２５】
この場合、第１検出手段から機能液滴吐出ヘッドに至る給液管路には、少なくともワーク１枚分の描画が可能な機能液で満たされており、機能液滴吐出ヘッドの描画中に、リキッドエンド判別手段がリキッドエンドを判別したときには、ヘッド制御手段は、ワークへの描画終了後に機能液滴吐出ヘッドの駆動を停止することが好ましい。
【００２６】
この構成によれば、ワークへの描画中にリキッドエンドが判別されても、当該ワークへの描画処理を完了させることができる。したがって、連続して描画処理を行わなければならない場合においても、描画途中のワークが無駄になることがなく、効率よく描画処理を行うことが可能となる。
【００２７】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２８】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２９】
これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドから機能液を効率よく吸引可能な液滴吐出装置を用いて製造されるため、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００３０】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３１】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明を適用した液滴吐出装置の外観斜視図、図２は、本発明の機能液供給装置を適用した液滴吐出装置の右側面図である。両図に示すように、液滴吐出装置１は、機能液を吐出するための吐出手段１１と、吐出手段１１のメンテナンスを行うメンテナンス手段１２と、各手段に液体（例えば、機能液）を供給すると共に不要となった液体を回収する液体供給回収手段１３と、各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段１４と、を備えている。
【００３３】
両図に示すように、吐出手段１１、およびメンテナンス手段１２のフラッシングユニット９４（後述する）は、アングル材を方形に組んで構成した架台２１の上部に固定した石定盤２２の上に配設されており、機能液供給回収手段１３およびエアー供給手段１４の大部分は、架台２１に添設された機台２３に組み込まれている。機台２３には、大小２つの収容室２４ａ、２４ｂが形成されており、大きいほうの収容室２４ａには機能液供給回収手段１３のタンク類が収容され、小さいほうの収容室２４ｂにはエアー供給手段１４の主要部が収容されている。また、機台２３上には、後述する機能液供給回収手段１３の給液タンク１１２（機能液タンク）を載置するタンクベース２５および機台２３の長手方向（すなわちＸ軸方向）にスライド自在に支持された移動テーブル２６が設けられており、移動テーブル２６上にはメンテナンス手段１２の吸引ユニット８１（後述する）およびワイピングユニット９１（後述する）を載置する共通ベース２７が固定されている。
【００３４】
なお、両図に示すように、液滴吐出装置１は制御ＰＣ２に接続されており、液滴吐出装置１の各手段は、制御ＰＣ２によって制御されている。また、図示省略したが、この液滴吐出装置１には、上記した各手段の他に、ワークＷの位置を認識するワーク認識カメラや、吐出手段１１のヘッドユニット３１（後述する）の位置確認を行うヘッド認識カメラ、各種インジケータ等の付帯装置が設けられており、これらも制御ＰＣ２によりコントロールされている。
【００３５】
この液滴吐出装置１は、本発明の機能液供給装置を適用したもので、機能液供給回収手段１３の給液タンク１１２から、吐出手段１１の機能液滴吐出ヘッド４１（後述する）に特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を供給すると共に、機能液滴吐出ヘッド４１からワークＷに機能液を吐出させ、基板等のワークＷに描画を行うものである。以下、各手段について説明する。
【００３６】
吐出手段１１は、機能液を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッド４１を搭載するヘッドユニット３１と、ヘッドユニット３１を支持するメインキャリッジ３２と、ワークＷを載置し、ワークＷを機能液滴吐出ヘッド４１に対して相対的に走査させるＸ・Ｙ移動機構３３と、を有している。
【００３７】
図３および図４に示すように、ヘッドユニット３１は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド４１と、複数の機能液滴吐出ヘッド４１を搭載するサブキャリッジ５１と、各機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面４８を下面に突出させてサブキャリッジ５１に取り付けるためのヘッド保持部材５５と、で構成されている。
【００３８】
図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド４１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４３を有する機能液導入部４２と、機能液導入部４２に連なる２連のヘッド基板４４と、機能液導入部４２の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４５と、を備えている。各接続針４３は、配管アダプタ６２を介して給液タンク１１２に接続されており、機能液導入部４２は、各接続針４３から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド本体４５は、２連のポンプ部４６と、多数の吐出ノズル４９を形成したノズル面４８を有するノズルプレート４７と、を有しており、ポンプ部４６の作用により吐出ノズル４９から機能液滴を吐出するようになっている。なお、ノズル面４８には、多数（１８０個）の吐出ノズル４９から成る２列の吐出ノズル４９列が形成されている。
【００３９】
サブキャリッジ５１は、機能液滴吐出ヘッド４１を搭載する本体プレート５２を有している。図３に示すように、本体プレート５２は、一部が切り欠かれた略方形の厚板で構成され、機能液滴吐出ヘッド４１を位置決め固定するための装着開口（図示省略）が形成されている。装着開口は、固定した各機能液滴吐出ヘッド４１の吐出ノズル４９が副走査方向（Ｙ軸方向）に対して（一部重複して）連続するように形成されている。また、本体プレート５２には、液滴吐出ヘッド４１と給液タンク１１２を配管接続するための配管ジョイント６２が設けられている。配管ジョイント６２は、一端に各機能液滴吐出ヘッド４１（の接続針４３）と接続した配管アダプタ６１からのヘッド側配管部材を接続し、もう一端には給液タンク１１２からの装置側配管部材を接続するための１２個のソケット６３を有している。
【００４０】
図２に示すように、メインキャリッジ３２は、後述するＹ軸テーブル７６に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材７１と、吊設部材７１の下面に取り付けられ、（ヘッドユニット３１の）θ方向に対する位置補正を行うためのθテーブル７２と、θテーブル７２の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体７３と、で構成されている。キャリッジ本体７３には、ヘッドユニット３１を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット３１を位置決め固定するようになっている。なお、図示省略したが、キャリッジ本体７３には、ワークＷを認識するためのワーク認識カメラが配設されている。
【００４１】
Ｘ・Ｙ移動機構３３は、図１に示すように、ワークＷを吸着（固定）する吸着テーブル７５を有し、吸着テーブル７５を介してワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル７４と、Ｘ軸テーブル７４と直交し、メインキャリッジ３２を介してヘッドユニット３１をＹ軸方向（副走査方向）に移動させるＹ軸テーブル７６と、を備えている。ワークＷの平坦度を維持すると共に、ヘッドユニット３１を正確に移動させることができるように、Ｘ軸テーブル７４は、石定盤２２の長辺に沿う中心線に軸線を合致させて石定盤２２上に固定され、Ｙ軸テーブル７６は、Ｘ軸テーブル７４を跨いで、石定盤２２の短辺に沿う中心線に軸線を合致させて石定盤２２上に固定されている。
【００４２】
ここで、吐出手段１１の一連の動作を簡単に説明する。ヘッドユニット３１およびセットされたワークＷの位置補正がなされ、機能液を吐出する準備が終了すると、先ず、Ｘ・Ｙ移動機構３３（Ｘ軸テーブル７４）が、ワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に往復動させる。ワークＷの往復動と同期して、複数の機能液滴吐出ヘッド４１が駆動し、ワークＷに対する機能液滴の選択的な吐出動作が行われる。ワークＷが一往復動すると、Ｘ・Ｙ移動機構３３（Ｙ軸テーブル７６）は、ヘッドユニット３１を副走査（Ｙ軸）方向に移動させる。そして、ワークＷの主走査方向へ往復動と機能液滴吐出ヘッド４１の駆動が再び行われる。なお、本実施形態では、ヘッドユニット３１に対して、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット３１を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ヘッドユニット３１を固定とし、ワークＷを主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００４３】
次に、メンテナンス手段１２について説明する。メンテナンス手段１２は、機能液滴吐出ヘッド４１を保守して、機能液滴吐出ヘッド４１が適切に機能液を吐出できるようにするもので、吸引ユニット８１、ワイピングユニット８２、フラッシングユニット８３を備えている（図１参照）。
【００４４】
吸引ユニット８１は、上記した機台２３の共通ベース２７に載置されており、移動テーブル２６を介して、機台２３の長手方向、すなわちＸ軸方向、にスライド自在に構成されている。吸引ユニット８１は、機能液滴吐出ヘッド４１の機能液を吸引することにより、機能液滴吐出ヘッド４１を保守するためのもので、ヘッドユニット３１（の機能液滴吐出ヘッド４１）に機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド４１内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う場合に用いられる。
【００４５】
吸引ユニット８１は、各機能液滴吐出ヘッド４１に密着させる１２個のキャップ８３を有するキャップユニット８２と、各機能液滴吐出ヘッド４１に密着させたキャップ８３を介して機能液の吸引を行う吸引ポンプ８４と、各キャップ８３と吸引ポンプ８４を接続する吸引用チューブ８５と、キャップユニット８２を支持する支持部材８６と、支持部材８６を介してキャップユニット８７を昇降させ、キャップ８３を機能液滴吐出ヘッド４１から離接させる昇降機構（図示省略）と、を有している（図５参照）。
【００４６】
図１および図２に示すように、ワイピングユニット９１は、吸引ユニット８１と同じく共通ベース２７上に設けられており、機能液滴吐出ヘッド４１のクリーニング等の後に、機能液が付着して汚れた各機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面４８をＸ軸方向に移動しながら拭き取るものである。ワイピングユニット９１は、拭き取り用のワイピングシート（図示省略）を繰り出しながら巻き取っていく巻取りユニット９２と、ワイピングシートをノズル面４８に接触させるための拭き取りローラ（図示省略）を有する拭き取りユニット９３と、で構成されており、これらは互いに突き合わせた状態で配設されている。なお、繰り出されたワイピングシートには、後述する洗浄液供給系１０３から洗浄液が供給されており、機能液滴吐出ヘッド４１に付着した機能液を効率よく拭き取れるようになっている。
【００４７】
フラッシングユニット９４は、ワークＷへの描画時において、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド４１のフラッシング動作、すなわち全吐出ノズル４９からの予備吐出（無駄打ち）、により順に吐出される機能液を受けるためのものである。フラッシングユニット９４は、吐出させる機能液を受ける一対のフラッシングボックス９５を有しており、一対のフラッシングボックス９５は、吸着テーブル７５を挟んでＸ軸テーブル７４に固定されている。すなわち、フラッシングボックス９５は、主走査に伴いワークＷと共にヘッドユニット３１へ向かって移動する構成となっており、ワークＷへの描画中に機能液滴吐出ヘッド４１の吐出ノズル４９に順次臨んで、フラッシング動作により吐出される機能液をフラッシングボックス９５で受けられるようになっている。なお、本実施形態のフラッシング動作は、全吐出ノズル４９からの予備吐出を行う構成であるが、例えば、使用する吐出ノズル４９のみに予備吐出をさせるといったように、一部の吐出ノズル４９だけに予備吐出を行わせる構成としてもよい。
【００４８】
なお、フラッシング動作は、ワークＷへの描画時だけではなく、ワークＷの入れ替え時等、ワークＷに対する描画が一時的に休止される待機中にも行う必要がある。係る場合、ヘッドユニット３１が、クリーニング位置、すなわち吸引ユニット８１のキャップユニット８２の直上部、まで移動した後、各機能液滴吐出ヘッド４１は、対応する各キャップ８３に向けて定期的にフラッシングを行うようになっている。
【００４９】
次に、機能液供給回収手段１３について説明する。液体供給回収手段１３は、ヘッドユニット３１の各機能液滴吐出ヘッド４１に機能液を供給する機能液供給系１０１と、メンテナンス手段１２の吸引ユニット８１で吸引した機能液を回収する機能液回収系１０２と、ワイピングユニット９１に機能材料の溶剤を洗浄用として供給する洗浄液供給系１０３と、フラッシングユニット９４で受けた機能液を回収する廃液回収系１０４とで構成されている。図２に示すように、機台２３の大きいほうの収容室２４ａには、図示右側から順に機能液供給系１０１の加圧タンク１１１、機能液回収系１０２の再利用タンク１４１、洗浄液供給系１０３の洗浄液タンク１５１が横並びに配設されている。また、再利用タンク１４１および洗浄液タンク１５１の近傍には、小型に形成した廃液回収系１０４の廃液タンク１６１が設けられている。
【００５０】
図５に示すように、機能液供給系１０１は、大量（３Ｌ）の機能液を貯留する加圧タンク１１１と、加圧タンク１１１から送液された機能液を貯留すると共に、各機能液滴吐出ヘッド４１に機能液を供給する給液タンク１１２と、機能液を供給する給液管路を形成し、これらを配管接続する給液チューブ１１３と、で構成されている。加圧タンク１１１は、エアー供給手段１４から導入される圧縮気体（不活性ガス）により、給液チューブ１１３を介して貯留する機能液を給液タンク１１２に圧送している。
【００５１】
給液タンク１１２は、図１および図２に示すように上記した機台２３のタンクベース２５上に固定されており、両側に液位窓１２２を有すると共に、加圧タンク１１１からの機能液を貯留するタンク本体１２１と、両液位窓１２２に臨んで機能液の液位（水位）を検出する液位検出器１２３と、タンク本体１２１が載置されるパン１２４と、パン１２４を介してタンク本体１２１を支持するタンクスタンド１２５と、を備えている。
【００５２】
両図に示すように、タンク本体１２１（の蓋体）の上面には、加圧タンク１１１に連なる給液チューブ１１３が繋ぎこまれており、またヘッドユニット３１側に延びる給液チューブ１１３の６つの給液用コネクタ１２６と、エアー供給手段１４と接続するエアー供給チューブ１７２（後述する）用の加圧用コネクタ１２７が１つ設けられている。タンク本体１２１は、機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面４８よりも低い位置に配設されていると共に、エアー供給手段１４から圧縮エアーの供給を受けており、タンク本体１２１内に貯留する機能液を供給所定の供給圧力で機能液滴吐出ヘッド４１に供給するようになっている。なお、加圧用コネクタ１２７に接続されるエアー供給チューブ１７２には、大気開放ポートを有する三方弁１３１が介設されており、給液タンク１１２内の圧力を大気開放可能に構成されている（図５参照）。
【００５３】
液位検出器１２３は、機能液の上限、すなわちオーバーフロー、を検出するものである。そして、加圧タンク１１１に接続された給液チューブ１１３には、液位調節バルブ１３２が介設されており、液位検出器１２３からの検出結果に基づいて液位調節バルブ１３２を開閉制御することにより、タンク本体１２１に貯留する機能液の液位が常に上限値を下回るように調整されている。
【００５４】
機能液滴吐出ヘッド４１に延びる６本の各給液チューブ１１３は、複数の継手１３３を介して、機能液滴吐出ヘッド４１に接続されている。Ｙ軸テーブル７６に固定され、ヘッドユニット３１近傍に設けられた（６個の）継手１３３は、Ｔ字継手１３４で構成されている。そして、機能液滴吐出ヘッド４１に延びる６本の各給液チューブ１１３は、このＴ字継手１３４を介してそれぞれ２本に分岐しており、計１２本の給液分岐チューブ１３５を形成している（図５参照）。１２本の給液分岐チューブ１３５は、装置側配管部材としてヘッドユニット３１に設けた配管ジョイント６２の１２個のソケット６３に接続している。各給液分岐チューブ１３５には、分岐給液通路を閉塞するための供給用バルブ１３６が介設されており、制御ＰＣ２により開閉制御されている。なお、詳細は後述するが、６個の各Ｔ字継手１３４には、機能液検出装置１９１の水晶振動子１９２が埋め込まれている。また、各給液分岐チューブ１３５内には、およそワークＷ１枚分の描画に必要な機能液を満たすことが可能となっている。
【００５５】
機能液回収系１０２は、吸引ユニット８１で吸引した機能液を貯留するためのもので、吸引した機能液を貯留する再利用タンク１４１と、吸引ポンプ８４に接続され、吸引した機能液を再利用タンク１４１へ導く回収用チューブ１４２と、を有している。
【００５６】
図１および図２に示すように、洗浄液供給系１０３は、ワイピングユニット９１のワイピングシートに洗浄液を供給するためのもので、洗浄液を貯留する洗浄液タンク１５１と、洗浄液タンク１５１の洗浄液を供給するための洗浄液供給チューブ１５２とを有している。なお、洗浄液の供給は、洗浄液タンク１５２に、エアー供給手段１４から圧縮エアーを導入することにより為される。また、洗浄液には、比較的揮発性の高い溶剤が用いられる。
【００５７】
廃液回収系１０４は、フラッシングユニット９４に吐出した機能液を回収するためのもので、回収した機能液を貯留する廃液タンク１６１と、フラッシングユニット９４と廃液タンク１６１とを接続する廃液用チューブ１６２と、廃液用チューブ１６２に介設され、フラッシングユニット９４に吐出された機能液を廃液タンク１６１に導く廃液用ポンプ１６３と、を有している。
【００５８】
次に、エアー供給手段１４について説明する。図５に示すように、エアー供給手段１４は、例えば加圧タンク１１１や給液タンク１１２等の各部に不活性ガス（Ｎ２）を圧縮した圧縮エアーを等に供給するもので、不活性ガスを圧縮するエアーポンプ１７１と、エアーポンプ１７１によって圧縮された圧縮エアーを各部に供給するためのエアー供給チューブ１７２と、を備えている。そして、エアー供給チューブ１７２には、圧縮エアーの供給先に応じて圧力を所定の一定圧力に保つためのレギュレータ１７３が設けられている。
【００５９】
なお、給液タンク１１２に接続されるエアー供給チューブ１７２には、上記した三方弁１３１の他に、制御ＰＣ２に接続された圧力コントローラ１７４が介設されている。圧力コントローラ１７４は、レギュレータ１７３から送られた圧縮エアーを適宜減圧して給液タンク１１２に送ると共に、三方弁１３１を開閉制御することにより、給液タンク１１２に対する加圧力を調節可能となっている。また、Ｔ字継手１３４に埋め込まれた水晶振動子１９２（後述する）は、Ｔ字継手１３４内における機能液の有無を検出可能であると共に、Ｔ字継手１３４内の圧力も検出可能となっている。そして、圧力コントローラ１７４は、制御ＰＣ２を介して水晶振動子１９２と接続されており、水晶振動子１９２による検出結果に基づいて、給液タンク１１２を加圧するようになっている。
【００６０】
また、本実施形態は、加圧タンク１１１および給液タンク１１２に圧縮エアーが直接導入される構成であるが、加圧タンク１１１および給液タンク１１２をアルミニウム等で構成した加圧ボックス（図示省略）に個別に収容し、加圧ボックスを介して加圧タンク１１１および給液タンク１１２を個別に加圧する構成としても良い。具体的には、加圧タンク１１１および給液タンク１１２に通気孔等を設けて、これらを加圧ボックスの内部と連通させ、加圧ボックスの内部と加圧タンク１１１および給液タンク１１２内部の圧力を同圧に保つようにする。そして、エアーポンプ１７１からの圧縮エアーを加圧ボックスに供給することで、加圧タンク１１１および給液タンク１１２内部を加圧する。この構成によれば、加圧ボックスを介して、加圧タンク１１１および給液タンク１１２が加圧されているので、直接加圧タンク１１１および給液タンク１１２に圧縮エアーを供給する構成に比べてこれらを均一に加圧することができ、加圧タンク１１１および給液タンク１１２内部の圧力コントロールを適切に行うことができる。
【００６１】
次に、液滴吐出装置１を制御する制御ＰＣ２について説明する。制御ＰＣ２は、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ１８１と、各種記憶領域を有し、液滴吐出装置１の制御プログラムや各種データを記憶するハードディスク１８２と、ハードディスク１８２に記憶されたプログラム等に基づいて、各種データを演算処理するＣＰＵ１８３と、を備えており、これらはバス１８４により互いに接続されている。また、制御ＰＣ２は、各種データやメッセージ等を表示し、ユーザの視認に用いられるモニタディスプレイ１８５を備えている（図６参照）。
【００６２】
ところで、制御ＰＣ２には、機能液滴吐出ヘッド４１に供給する機能液のリキッドエンドを判断するための機能液検出装置１９１が接続されており、制御ＰＣ２がヘッドユニット３１（機能液滴吐出ヘッド４１）に供給する機能液のリキッドエンドを判断して、液滴吐出装置１の各手段を制御するようになっている。機能液検出装置１９１は、いわゆるＱＣＭ（Ｑｕａｒｔｚ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｍｉｃｒｏｂａｌａｎｃｅ：水晶微量天秤）を応用したもので、図５ないし図７に示すように、液滴吐出装置１の給液管路に配設され、検出部２０３を有する水晶振動子１９２と、水晶振動子１９２を共振させると共に、水晶振動子１９２の共振周波数を測定する発振・測定回路１９３と、を備えている。
【００６３】
水晶振動子１９２は、検出部２０３に付着する機能液量（機能液の質量）および検出部２０３が受ける圧力に比例して水晶振動子１９２の共振周波数が変化する性質を有しており、機能液検出装置１９１では、発振・測定回路１９３を用いて、給液管路に配設された水晶振動子１９２を共振させると共に、その共振周波数を測定するようになっている。そして、制御ＰＣ２は、発振・測定回路１９３で測定された水晶振動子１９２の共振周波数に基づいて、給液管路を介して供給される機能液の有無を判別し、機能液のリキッドエンドを判断できるようになっている。
【００６４】
水晶振動子１９２は、水晶を薄い板状にカット（ＡＴカット）した水晶片２０１と、水晶片２０１の両面に取り付けた一対の電極２０２と、を有している。電極２０２は、金や銀等で構成された薄膜電極であり、機能液に対する耐食性が考慮されている。水晶振動子１９２は、片側の面を除いて後述の取付け部材２０４で覆われており（モールドされており）、取付け部材２０４に覆われていない電極２０２部分が検出部２０３となっている。送液される機能液の有無の変化に対して、水晶振動子１９２の共振周波数を精度良く追従させるために、検出部２０３の表面には、機能液に対する撥液加工が施されている。なお、検出部２０３となる電極２０２以外の部分を取付け部材２０４で全て覆うようにしても良い。
【００６５】
水晶振動子１９２は、液滴吐出装置１の６本の各給液チューブ１１３に介設された継手１３３に取付け部材２０４を介して配設されている。具体的には、上記したヘッドユニット３１近傍に配設された各Ｔ字継手１３４に１個ずつ、このＴ字継手１３４より上流に配設された６個の各継手１３３に１個ずつ、計１２個の水晶振動子１９２が配設されている。そして、１本の給液チューブ１１３には、２個の水晶振動子１９２が配設されており、水晶振動子１９２は、Ｔ字継手１３４とその上流の継手の２ヶ所に設けられている（図５および図７参照）。また、図７に示すように、水晶振動子１９２は、継手１３３内を送液される機能液の流れを妨げないように、検出部２０３が給液管路内に面すると共に、検出部２０３と給液管路とが略平行になるように各継手１３３内に配設されている。なお、本実施形態では、１本の給液チューブ１１３に２個の水晶振動子１９２を配設するようになっているが、水晶振動子１９２の数は実情に合わせて任意に変更可能である。また、水晶振動子１９２の配設位置も上記したものに限られるものではなく、例えば、給液管路内に残留する機能液量を極力減らすために、サブキャリッジ５１の配管ジョイント６２内に水晶振動子１９２を配設することも可能である。
【００６６】
取付け部材２０４は、水晶振動子１９２の検出部２０３を給液管路内に向けて、継手１３３内に配設するための媒介部材である。取付け部材２０４は、水晶振動子１９２の電極２０２から液滴吐出装置１の他の部分に通電することを防止するために、絶縁体で構成されている。図７に示すように、取付け部材２０４は、継手１３３に固定するための固定部２０５を有している。取付け部２０５と継手１３３との間には、機能液に耐食性のあるシール部材２０６を介設されており、取付け部材２０４から機能液漏れすることを防止できるようになっている。
【００６７】
図６に示すように、発振・測定回路１９３は、水晶振動子１９２の電極２０２に接続されており、接続された電極２０２に所定の交流電圧を印加することにより、水晶振動子１９２を共振周波数で共振（発振）させる発振手段と、水晶振動子１９２の共振周波数（発振周波数）を測定する周波数カウンタと、を有している。発振・測定回路１９３は制御ＰＣ２に接続されており、周波数カウンタによる測定結果は、制御ＰＣ２に送信されるようになっている。なお、発振・測定回路１９３により、請求項にいう発振手段が構成されている。
【００６８】
ここで、機能液滴吐出ヘッド４１に供給する機能液のリキッドエンドの判断手順とこれに伴う液滴吐出装置１の一連の制御について説明する。なお、説明の便宜のために、同一の給液チューブ１１３に配設された２個の水晶振動子１９２のうち、Ｔ字継手１３４に配設された水晶振動子１９２を第１水晶振動子１９２ａ、Ｔ字継手１３４よりも上流の継手１３３に配設された水晶振動子１９２を第２水晶振動子１９２ｂ、とする。
【００６９】
本実施形態では、Ｔ字継手１３４が（供給する）機能液で満たされているときの第１水晶振動子１９２ａの共振周波数に基づいて第１基準値が、第２水晶振動子１９２ｂが配設された継手１３３が機能液で満たされているときの第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数に基づいて第２基準値が、設定されている。第１および第２水晶振動子１９２ａ、１９２ｂの検出部２０３に付着する機能液量が減少すると、第１および第２水晶振動子１９２ａ、１９２ｂの共振周波数は上昇して、それぞれの基準値を上回るようになっている。第１基準値および第２基準値は、制御ＰＣ２に予め記憶されており、制御ＰＣ２は、これらの基準値とこれらの基準値に対応する第１および第２水晶振動子１９２ａ、１９２ｂの共振周波数とを比較することにより、水晶振動子１９２が配設された各継手１３３（１３４）内の機能液の有無を判別することができるようになっている。
【００７０】
図５を参照して具体的に説明する。加圧タンク１１１から機能液が十分に供給されて給液タンク１１２に機能液が貯留した状態では、機能液滴吐出ヘッド４１に至る給液管路は機能液で満たされている。したがって、第１および第２水晶振動子１９２ａ、１９２ｂの検出部２０３は、供給される機能液と接触した状態となり、（測定された）第１水晶振動子１９２ａの共振周波数≦第１基準値、（測定された）第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数≦第２基準値となっている。
【００７１】
しかし、加圧タンク１１１に貯留する機能液を使い果たし、給液タンク１１２内の機能液が消尽すると、機能液の供給に伴い、給液タンク１１２から機能液滴吐出ヘッド４１に至る給液管路内の機能液は上流側（給液タンク１１２側）から次第に空になっていく。そして、給液管路の空の部分が第２水晶振動子１９２ｂの検出部２０３まで達すると、検出部２０３に接触する機能液の減少に伴って、第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数が次第に上昇していき、測定した第１水晶振動子１９２ａの共振周波数≦第１基準値、測定した第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数＞第２基準値であることが判別される。そして、第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数＞第２基準値の状態が所定時間継続すると、制御ＰＣ２は、第２水晶振動子１９２ｂが配設されている継手１３３内の機能液が空である、すなわち供給する機能液がリキッドエンドに近いニアエンドである、と判断して、ニアエンドであることをモニタディスプレイ１８５に表示し、リキッドエンドに近いことをユーザに報知する。
【００７２】
ニアエンドの判断がなされた後、更に機能液が供給されると、給液管路の空の部分が第２水晶振動子１９２ｂの検出部２０３まで達し、第１水晶振動子１９２ａの共振周波数＞第１基準値、第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数＞第２基準値となる。これにより、制御ＰＣ２は、第２水晶振動子１９２ｂが配設されている継手１３３および第１水晶振動子１９２ａが配設されているＴ字継手１３４内の機能液が空であると判別し、供給する機能液がリキッドエンドに達したと判断する。
【００７３】
なお、本実施形態では、第１水晶振動子１９２ａの共振周波数≦第１基準値、第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数＞第２基準値の状態が所定時間継続しなくても、規定された一定時間内に第１水晶振動子１９２ａの共振周波数≦第１基準値、第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数＞第２基準値の状態が複数回繰り返される場合には、ニアエンドと判断するようになっている。かかる場合、第１水晶振動子１９２ａの共振周波数＞第１基準値、第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数＞第２基準値とならなくても、第１水晶振動子１９２ａの共振周波数＞第１基準値となった時点でリキッドエンドに達したと判断する。
【００７４】
機能液がリキッドエンドであると判断すると、制御ＰＣ２は、モニタディスプレイ１８５にリキッドエンドであることを表示させると共に、機能液の供給が必要な液滴吐出装置１の動作、例えば、クリーニング動作やフラッシング動作、を停止させる。但し、リキッドエンドが判断されても、各給液分岐チューブ１３５には、およそワークＷ１枚分の描画に必要な機能液が残されているので、ワークＷの描画中にリキッドエンドが判断された場合には、機能液滴吐出ヘッド４１の駆動を継続して行い、当該ワークＷへの描画を終了させた後に、機能液滴吐出ヘッド４１の駆動を停止させる。
【００７５】
なお、第１水晶振動子１９２ａの共振周波数≦第１基準値、第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数＞第２基準値となっても、この状態が所定時間継続しなかった場合や、第１水晶振動子１９２ａの共振周波数＞第１基準値であっても第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数≦第２基準値である場合には、給液管路に気泡が混入したとみなし、所定時間クリーニング動作を行うようになっている。
【００７６】
また、本実施形態では、６本の給液チューブに配設された６個の第２水晶振動子１９２ｂのうち、共振周波数＞第２基準値の状態で所定時間経過した水晶振動子１９２が１つでもあれば、ニアエンドと判断するようになっている。また、６本の給液チューブのうち、第１水晶振動子１９２ａの共振周波数＞第１基準値、第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数＞第２基準値と判断される水晶振動子１９２を有する給液チューブ１１３が１本でもあれば、リキッドエンドと判断するようになっている。
【００７７】
また、本実施形態では、第１水晶振動子１９２ａおよび第２水晶振動子１９２ｂの共振周波数の測定は、機能液滴吐出ヘッド４１への給液と同期して行われる。具体的には、機能液滴吐出ヘッド４１の駆動時（ワークＷの描画時およびフラッシング時）およびクリーニング動作時に行われるようになっている。
【００７８】
このように、本実施形態では、継手１３３に配設した水晶振動子１９２の共振周波数に基づいて継手１３３内を満たす機能液の有無を判別し、継手１３３内の機能液が空になったときにリキッドエンドが判断される。したがって、給液タンク１１２内の機能液が空となっても、リキッドエンドとならずに給液チューブ１１３内の機能液も使用することができる。すなわち、リキッドエンド時に給液タンク１１２に残留することがなく、また、給液チューブ１１３に残留する機能液も削減することができるので、高価な機能液を無駄にせず、効率的に使用することが可能である。
【００７９】
なお、本実施形態では、機能液検出装置１９１の検出子として水晶振動子１９２を使用しているが、水晶振動子１９２に代えて、圧電セラミック発振子やＳＡＷデバイス等の圧電素子を用いることも可能である。
【００８０】
ここで、上記の液滴吐出装置１を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図８は、液晶表示装置３０１の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置３０１は、ガラス基板３２１を主体として対向面に透明導電膜（ＩＴＯ膜）３２２および配向膜３２３を形成した上基板３１１および下基板３１２と、この上下両基板３１１，３１２間に介設した多数のスペーサ３３１と、上下両基板３１１，３１２間を封止するシール材３３２と、上下両基板３１１，３１２間に充填した液晶３３３とで構成されると共に、上基板３１１の背面に位相基板３４１および偏光板３４２ａを積層し、且つ下基板３１２の背面に偏光板３４２ｂおよびバックライト３４３を積層して、構成されている。
【００８１】
通常の製造工程では、それぞれ透明導電膜３２２のパターニングおよび配向膜３２３の塗布を行って上基板３１１および下基板３１２を別々に作製した後、下基板３１２にスペーサ３３１およびシール材３３２を作り込み、この状態で上基板３１１を貼り合わせる。次いで、シール材３３２の注入口から液晶３３３を注入し、注入口を閉止する。その後、位相基板３４１、両偏光板３４２ａ，３４２ｂおよびバックライト３４３を積層する。
【００８２】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば、スペーサ３３１の形成や、液晶３３３の注入に利用することができる。具体的には、機能液としてセルギャップを構成するスペーサ材料（例えば、紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂）や液晶を導入し、これらを所定の位置に均一に吐出（塗布）させていく。先ずシール材３３２を環状に印刷した下基板３１２を吸着テーブルにセットし、この下基板３１２上にスペーサ材料を粗い間隔で吐出し、紫外線照射してスペーサ材料を凝固させる。次に、下基板３１２のシール材３３２の内側に、液晶３３３を所定量だけ均一に吐出して注入する。その後、別途準備した上基板３１１と、液晶を所定量塗布した下基板３１２を真空中に導入して貼り合わせる。
【００８３】
このように、上基板３１１と下基板３１２とを貼り合わせる前に、液晶３３３をセルの中に均一に塗布（充填）するようにしているため、液晶３３３がセルの隅など細部に行き渡らない等の不具合を解消することができる。
【００８４】
なお、機能液（シール材用材料）として紫外線硬化樹脂或いは熱硬化樹脂を用いることで、上記のシール材３３２の印刷をこの液滴吐出装置１で行うことも可能である。同様に、機能液（配向膜材料）としてポリイミド樹脂を導入することで、配向膜３２３を液滴吐出装置１で作成することも可能である。
【００８５】
以上のように、液滴吐出装置１を用いて液晶表示装置３０１の製造する場合、上記した液滴吐出装置１は、効率よく機能液を使用して無駄となる機能液量を削減することができるので、効率的に液晶表示装置３０１を製造することができる。
【００８６】
ところで、このように構成された液滴吐出装置１は、携帯電話やパーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載される上記の液晶表示装置３０１の他、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。すなわち、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。
【００８７】
有機ＥＬ装置の製造に、上記した液滴吐出装置１を応用した例を簡単に説明する。有機ＥＬ装置は、図９に示すように、有機ＥＬ装置４０１は、基板４２１、回路素子部４２２、画素電極４２３、バンク部４２４、発光素子４２５、陰極４２６（対向電極）、および封止用基板４２７から構成された有機ＥＬ素子４１１に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。回路素子部４２２は基板４２１上に形成され、複数の画素電極４２３が回路素子部４２２上に整列している。そして、各画素電極４２３間にはバンク部４２４が格子状に形成されており、バンク部４２４により生じた凹部開口４３１に、発光素子４２５が形成されている。陰極４２６は、バンク部４２４および発光素子４２５の上部全面に形成され、陰極４２６の上には、封止用基板４２７が積層されている。
【００８８】
有機ＥＬ装置４０１の製造工程では、予め回路素子部４２２上および画素電極４２３が形成されている基板４２１（ワークＷ）上の所定の位置にバンク部４２４が形成された後、発光素子４２５を適切に形成するためのプラズマ処理が行われ、その後に発光素子４２５および陰極４２６（対向電極）を形成される。そして、封止用基板４２７を陰極４２６上に積層して封止して、有機ＥＬ素子４１１を得た後、この有機ＥＬ素子４１１の陰極４２６をフレキシブル基板の配線に接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部４２２の配線を接続することにより、有機ＥＬ装置４０１が製造される。
【００８９】
液滴吐出装置１は、発光素子４２５の形成に用いられる。具体的には、機能液滴吐出ヘッド３１に発光素子材料（機能液）を導入し、バンク部４２４が形成された基板４２１の画素電極４２３の位置に対応して、発光素子材料を吐出させ、これを乾燥させることで発光素子４２５を形成する。なお、上記した画素電極４２３や陰極４２６の形成等においても、それぞれに対応する液体材料を用いることで、液滴吐出装置１を利用して作成することも可能である。
【００９０】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、上記したプレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、機能液充填時における機能液の消費量を削減できるので、製造コストを削減することが可能である。
【００９１】
【発明の効果】
以上のように、本発明の機能液供給装置によれば、圧電素子を用いて給液管路内の機能液の有無を検出し、機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液のリキッドエンドを判断しているので、機能液を効率的に使用することが可能である。すなわち、機能液タンク内に貯留する機能液を空になるまで使用できるだけではなく、機能液タンクと機能液滴吐出ヘッドを接続する給液管路内に残留する機能液を削減することができる。
【００９２】
また、本発明の液滴吐出装置は、上記の機能液供給装置を適用しているため、給液タンク内の機能液を使い切ることが可能であると共に、給液管路内の機能液も効率よく使用でき、高価な機能液を無駄にすることがない。
【００９３】
また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器は、効率よく機能液を使用可能な上記の液滴吐出装置を用いて製造されているので、効率よく製造を行うことができ、製造コストを削減することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態における機能液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図２】本実施形態における機能液滴吐出装置の右側面図である。
【図３】ヘッドユニットの平面図である。
【図４】（ａ）は機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図、（ｂ）は機能液滴吐出ヘッドを配管アダプタに装着したときの断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態における機能液滴吐出ヘッド、これに接続される機能液供給系、エアー供給手段、および吸引ユニットの模式図である。
【図６】機能液検出装置の模式図である。
【図７】機能液検出装置廻りを説明した模式図である。
【図８】本発明の製造方法を用いて製造した液晶表示装置の断面図である。
【図９】本発明の製造方法を用いて製造した有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１  液滴吐出装置                    ２  制御ＰＣ
１４  エアー供給手段                ４１  機能液滴吐出ヘッド
１１２  給液タンク                  １１３  給液チューブ
１３３  継手                        １８５  モニタディスプレイ
１９１  機能液検出装置            １９２ａ  第１水晶振動子
１９２ｂ  第２水晶振動子              １９３  発振・測定回路
２０２  電極                        ２０３  検出部
２０４  取付け部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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