(57)【要約】【課題】接着工程の大幅削減化を図って製造コストを低減化し、内部応力の発生を抑えて変形の防止を図り、信頼性の向上を得られるインクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】ＰＺＴ基板１を切削加工して凹面１Ａを形成する第１の工程、この基板をさらに切削加工して突部ａを形成する第２の工程、突部と突部相互間の凹面に亘って溝８を設ける第３の工程、溝に分極性圧電体５を埋込み貼着する第４の工程、分極性圧電体にインク流路１１を設ける第５の工程、インク流路を介して電気配線１２を形成する第６の工程、分極性圧電体とＰＺＴ基板を分割する第７の工程、分割面にノズルプレート６を貼着する第８の工程、ノズルプレートにオリフィス孔７を設ける第９の工程、分極性圧電体とＰＺＴ基板に断面Ｌ字状でインク供給口体２を備えた天板蓋３を貼着する第１０の工程を具備する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の無極性圧電体基板に対し、その上面を切削加工して凹面を形成する第１の工程と、
この無極性圧電体基板の上面をさらに切削加工して、無極性圧電体基板上面の離間対向する部位に突部を形成する第２の工程と、
上記対向する突部および、これら突部相互間の凹面に亘って溝を設ける第３の工程と、
上記溝に接着剤を塗布したうえで分極性圧電体を埋め込み、この分極性圧電体を上記溝に貼着する第４の工程と、
上記分極性圧電体に、互いに所定の間隔を存して並行に細溝からなるインク流路を設ける第５の工程と、
これらインク流路を介して分極性圧電体および無極性圧電体基板の凹部面に亘ってメッキを施し電気配線を形成する第６の工程と、
上記分極性圧電体および無極性圧電体基板を左右に分割する第７の工程と、
これら分極性圧電体と無極性圧電体基板の分割面に接着剤を塗布して、ノズルプレートを貼着する第８の工程と、
上記ノズルプレートに、上記インク流路の位置に対応してオリフィス孔を設ける第９の工程と、
上記分極性圧電体上面と無極性圧電体基板の突部上面および側面に亘って接着剤を塗布し、この塗布面に断面Ｌ字状に形成されインク供給口体を備えた天板蓋を貼着して、これら部材で囲まれた空間部をインク室となす第１０の工程と
を具備することを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項２】
焼成加工により予め凹部と凹部周囲に沿って枠部が形成された無極性圧電体基板に対して、枠部上面と凹部底面に亘って溝を設ける第１の工程と、
上記溝に接着剤を塗布したうえで分極性圧電体を埋め込み、この分極性圧電体を無極性圧電体基板に設けられた溝に貼着する第２の工程と、
上記分極性圧電体に、互いに所定の間隔を存して並行に細溝からなるインク流路を設ける第３の工程と、
これらインク流路を介して分極性圧電体および無極性圧電体基板の凹部面に亘ってメッキを施し電気配線を形成する第４の工程と、
上記分極性圧電体および無極性圧電体基板を左右に分割する第５の工程と、
これら分極性圧電体と無極性圧電体基板の分割面に接着剤を塗布して、ノズルプレートを貼着する第６の工程と、
上記ノズルプレートに、上記インク流路の位置に対応してオリフィス孔を設ける第７の工程と、
上記分極性圧電体上面と無極性圧電体基板の突部上面および側面に亘って接着剤を塗布して、平板状に形成されインク供給口体を備えた天板蓋を貼着し、これら部材で囲まれた空間部をインク室となす第８の工程と
を具備することを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェット方式のプリンタ装置に用いられるインクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンタヘッドに備えられるインク吐出機構として、電圧印加によってせん断変形（シェアモード）を生じる圧電体であって、この圧電体に構成するインク流路の体積を変化させインクを塗布する技術が、［特許公報１］あるいは［特許公報２］等に開示されている。
【０００３】
【特許公報１】
特開昭６３−２５２７５０号公報
【０００４】
【特許公報２】
特開２０００−２９６６１８号公報
ここに記載されるシェアモード型のインクジェットプリンタヘッドは、以下に述べるような製造工程を経て得られる。
【０００５】
極性の異なるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ：Ｐｂ（ＺｒｘＴｉｌ−ｘ）Ｏ３  ）を互いに貼り合せた無極性ＰＺＴ基板に、埋め込み用の溝を形成する。上記溝に接着剤を塗布して分極性圧電体を埋め込み固定する。
【０００６】
そして、分極性圧電体と無極性ＰＺＴ基板一部に亘って、ダイシング装置で細溝からなるインク流路を設け、さらにインク流路に沿ってメッキ加工による電気配線を形成する。
【０００７】
上記分極性圧電体と無極性ＰＺＴ基板上に、窓枠状に加工した無極性ＰＺＴ枠である天板枠を接着する。そのあと、天板枠と分極性圧電体および無極性ＰＺＴ基板を切断し左右に分割する。これらの切断面にポリイミド（ＰＩ）シート材からなるノズルプレートを接着し、インク吐出用のオリフィス孔を開口する。
【０００８】
インク供給口体を備えたＰＺＴ板を天板枠上面に接着して、天板枠の上面開口部を閉成し内部空間をインク室となす。ノズルプレートに保護部品を貼付け、駆動用ＩＣを搭載したフレキシブル基板を電気配線に接続し、インク供給用チューブを介してインク供給口体とインクタンクを接続することにより完成する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来構造のインクジェットプリンタヘッドでは、インク室を形成するのに、インク流路および電気配線を形成したＰＺＴ基板と分極性圧電体に天板枠を接着する方式をもって構成していた。
【００１０】
したがって、接着工程が必要で手間がかかり作業性が悪く、コストに悪影響を与えている。実際の使用にあたって、接着剤とＰＺＴ基板および分極性圧電体との熱膨張係数の相違に起因する内部応力の発生と、それにともなうヘッドの変形の虞れが大であり、最終歩留りの低下などの問題が生じている。
【００１１】
本発明は上記事情に着目してなされたものであり、その目的とするところは、接着工程の大幅削減化を図ることにより、製造コストの低減化が得られ、かつ内部応力の発生を抑えて変形の防止を図り、信頼性の向上を得られるインクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供しようとするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し目的を達成するために、本発明のインクジェットプリンタヘッドの製造方法は、平板状の無極性圧電体基板上面を切削加工して凹面を形成する第１の工程と、この無極性圧電体基板の上面をさらに切削加工して無極性圧電体基板上面の離間対向する位置に突部を形成する第２の工程と、対向する突部およびこれら突部相互間の凹面に亘って溝を設ける第３の工程と、溝に接着剤を塗布したうえで分極性圧電体を埋め込み分極性圧電体を溝に貼着する第４の工程と、分極性圧電体に互いに所定の間隔を存して並行に細溝からなるインク流路を設ける第５の工程と、これらインク流路を介して分極性圧電体および無極性圧電体基板の凹部面に亘ってメッキを施し電気配線を形成する第６の工程と、分極性圧電体および無極性圧電体基板を左右に分割する第７の工程と、これら分極性圧電体と無極性圧電体基板の分割面に接着剤を塗布してノズルプレートを貼着する第８の工程と、ノズルプレートにインク流路の位置に対応してオリフィス孔を設ける第９の工程と、分極性圧電体と無極性圧電体基板の突部上面および側面に亘って接着剤を塗布し塗布面に断面Ｌ字状に形成されインク供給口体を備えた天板蓋を貼着してこれら部材で囲まれた空間部をインク室となす第１０の工程とを具備する。
【００１３】
上記課題を解決し目的を達成するために、本発明のインクジェットプリンタヘッドの製造方法は、焼成加工により予め凹部と凹部周囲に沿って枠部が形成された無極性圧電体基板に対して枠部上面と凹部底面に亘って溝を設ける第１の工程と、溝に接着剤を塗布したうえで分極性圧電体を埋め込みこの分極性圧電体を無極性圧電体基板溝に貼着する第２の工程と、分極性圧電体に互いに所定の間隔を存して並行に細溝からなるインク流路を設ける第３の工程と、これらインク流路を介して分極性圧電体および無極性圧電体基板の凹部面に亘ってメッキを施し電気配線を形成する第４の工程と、分極性圧電体および無極性圧電体基板を左右に分割する第５の工程と、これら分極性圧電体と無極性圧電体基板の分割面に接着剤を塗布してノズルプレートを貼着する第６の工程と、ノズルプレートにインク流路の位置に対応してオリフィス孔を設ける第７の工程と、分極性圧電体上面と無極性圧電体基板の突部上面および側面に亘って接着剤を塗布して平板状に形成されインク供給口体を備えた天板蓋を貼着しこれら部材で囲まれた空間部をインク室となす第８の工程とを具備する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面にもとづいて説明する。
【００１５】
図１は、本発明の第１の実施の形態における完成したインクジェットプリンタヘッドの斜視図であり、図２（Ａ）〜（Ｃ）はインクジェットプリンタヘッドの製造工程を順に示す斜視図であり、図３（Ａ）〜（Ｇ）は図２（Ｃ）に引き続いてインクジェットプリンタヘッドの製造工程を順に示す斜視図である。
【００１６】
上記インクジェットプリンタヘッドは、電極をもたない無極性圧電体基板たとえばＰＺＴで形成されている基板１の上面一部が、断面略Ｌ字状の天板蓋３で覆われている。天板蓋３の上面部にはインク供給口体２が設けられる。
【００１７】
上記ＰＺＴ基板１の一側面には分極性圧電体５が嵌め込まれ、さらにこの表面にノズルプレート６が取付けられる。これらＰＺＴ基板１と、天板蓋３と、分極性圧電体５およびノズルプレート６で囲まれる内部には、後述するようにインク流路と、分極性圧電体５で形成されたインク流路壁面を圧電効果で変形させるために電圧を印加する電気配線と、インク室を形成する壁面を有している。
【００１８】
上記ノズルプレート６は、たとえばポリイミド製であり、インクを吐出するためのオリフィス孔７が所定間隔を存して一列に設けられている。また、ノズルプレート６と、天板蓋３と、インク供給口体２は、それぞれ熱硬化性エポキシ接着剤を用いて貼着されている。
【００１９】
ここで使用する上記熱硬化性エポキシ接着剤は、１液式と２液式のいずれを用いてもよいが、ノズルプレート６の貼着に用いる接着剤は塗布厚さを３μｍ以下に制御する必要がある。
【００２０】
つぎに、インクジェットプリンタヘッドの製造工程を順に説明する。
図２（Ａ）に示すように、極性が付与されていない無極性圧電体基板であるＰＺＴ基板１を用意する。このＰＺＴ基板１は、板厚が約５ｍｍ程度の矩形状の平坦な板体であって、これをたとえばダイシング装置に搬入する。
【００２１】
図２（Ｂ）に示すように、第１の工程として、ダイシング装置でＰＺＴ基板１の上面を両側部を残して切削加工し、ＰＺＴ基板１上面を凹状に形成する。この凹面１Ａは、上述したインク室を形成するために設けられる。
【００２２】
図２（Ｃ）に示すように、第２の工程として、ダイシング装置による切削方向を９０°変更して、ＰＺＴ基板１上面の残された両側部の凸部の一端部と他端部および中央部を凹面１Ａと同じ深さ寸法で切削し、凹面１Ａと同一平面となす。ＰＺＴ基板１上面には左右両側に離間して２個づつの、合計４個の突部ａが設けられる。
【００２３】
さらに、第３の工程として、左右の突部ａ間に亘って凹面１Ａよりも深い位置になるような深さの溝８を設けて、突部ａを前後に分割している。したがって、ＰＺＴ基板１の上面には合計８個の突部ａが形成されることになる。
【００２４】
上記凹面１Ａは配線を引き出し、かつこの配線と駆動用ＩＣを搭載したフレキシブル基板とを接続する空間を確保するために形成される。したがって、上記凹面１Ａは、配線幅、配線本数もしくは駆動用ＩＣを搭載したフレキシブル基板の幅寸法の設定によっては、省略することは可能である。
【００２５】
図３（Ａ）に示すように、第４の工程として、上記溝８に接着剤を塗布してから、極性を付与した分極性圧電体５を埋め込み接着固定する。溝８から凹面１Ａにはみ出た接着剤部分およびＰＺＴ基板１と分極性圧電体５との段差部分を研磨装置を用いて研磨し、同一平面に均す。
【００２６】
図３（Ｂ）に示すように、第５の工程として、それぞれの分極性圧電体５に対して、インク流路１１を形成する。このインク流路１１は、分極性圧電体５の上面から凹面１Ａ方向に刻設される所定深さの多数条の細溝であり、分極性圧電体５の長さ方向に微小の間隔を存して並列配置している。インク流路１１の加工にあたって、たとえばダイシング装置が用いられる。
【００２７】
図３（Ｃ）に示すように、第６の工程として、ＰＺＴ基板１にたとえばメッキ法により電気配線１２を形成する。この電気配線１２で上記分極性圧電体５をシュアモード変形させ、インク吐出用の電圧を印加するようになっている。
【００２８】
電気配線１２は、無電解Ｎｉメッキ加工により通電層を形成し、この通電層の上にさらに電解Ａｕメッキ加工を施すことによって得られているが、インク流路１１内の金属膜が均一の厚さで、異常成長による短絡を起さない限りにおいて、配線金属の種類および形成方法は限定されない。
【００２９】
図３（Ｄ）に示すように、第７の工程として、ダイシング装置を用いてＰＺＴ基板１を分割する。分割位置は、分極性圧電体５を長手方向に沿って二分割する位置および、一対の分極性圧電体５から等距離離間した凹面１Ａ上の中央部位置であり、ＰＺＴ基板１は４分割される。これら分割体Ｓがそれぞれインクジェットプリンタヘッドとなる。
【００３０】
図３（Ｅ）に示すように、第８の工程として、各分割体Ｓにおける分極性圧電体５が分割された際に生成された表面に接着剤を塗布して、たとえばポリイミド製のノズルプレート（図にハッチングで示す）６を貼り付ける。
【００３１】
図３（Ｆ）に示すように、第９の工程として、貼り付けたノズルプレート６に対し、インク吐出口となる複数のオリフィス孔７を設ける。これらオリフィス孔７の位置は、上記分極性圧電体５に形成したインク流路１１の位置と対応し、連通する。直径が極めて小さい孔であるため、たとえばレーザ光加工により開孔する。
【００３２】
ついで、第１０の工程として、インク供給口体２を有する天板蓋３をＰＺＴ基板１と分極性圧電体５に亘って接着する。上記天板蓋３は水平面部３ａと垂直面部３ｂとが一体形成されてなり、断面Ｌ字状に形成される。
【００３３】
天板蓋３の水平面部３ａは、分割体Ｓの長手方向と同一の長さで、かつ分割された分極性圧電体５とＰＺＴ基板１の上面に突出する突部ａ幅寸法と同一に設定されている。また、天板蓋３の垂直面部３ｂは突部ａの高さ寸法と同一に設定されている。
【００３４】
天板蓋３の接着にあたって、ＰＺＴ基板１の突部ａ上面と側面および分極性圧電体５の分割上面、もしくは天板蓋３の裏面に接着剤を塗布する。接着剤の塗布は、たとえばディスペンサ方式を用いる。
【００３５】
図３（Ｇ）は、天板蓋３をＰＺＴ基板１と分極性圧電体５に接着した状態を示していて、これら天板蓋３とＰＺＴ基板１および分極性圧電体５で囲撓される空間部が上記インク室となる。
【００３６】
そして、ここでは図示しないが、上記電気配線１２に駆動用ＩＣを搭載したフレキシブル基板を接続し、ノズルプレート６に金属製の保護部品を取付け、インク供給用チューブを介してインク供給口体２とインクタンクを接続することにより、インクジェットプリンタヘッドが完成する。
【００３７】
このようなインクジェットプリンタヘッド構造を採用することにより、接着剤層の数が従来構造のものに比べて減少する。そのため、接着剤とＰＺＴ基板１および分割性圧電体５との熱膨張係数の違いに起因する内部応力の発生と、それにともなうインクジェットヘッドの変形を抑制することができる。
【００３８】
工程が減少するので、インクジェットプリンタヘッドの最終歩留りを向上させることができ、従来のインクジェットプリンタヘッドの製造工程と比較して容易になる。
【００３９】
また、ＰＺＴ基板１にインク室を形成するため凹面１Ａを設け、断面Ｌ字状とした天板蓋３を掛止して接着固定するようにしたので、天板蓋３の位置決め精度を低下でき、天板蓋３の位置決めに起因する不良を確実に回避する。
【００４０】
そして、インクジェットプリンタヘッドを構成する部材点数の減少による重量軽減化にともない、印刷時におけるプリンタヘッドの移動を軽減でき、印刷速度の向上に寄与する。
【００４１】
なお、上述の第１の実施の形態では、上記ＰＺＴ基板１を切削加工して凹面１Ａを形成するようにしたので、天板蓋３はインク供給口体２を備えた水平面部３ａと、この水平面部３ａの一側縁に沿って垂直に形成される垂直面部３ｂとから形成され複雑となる。
【００４２】
接着剤の塗布は、互いに直角をなす２つの面、すなわちインク供給口体２を有する水平面部３ａと有さない垂直面部３ｂの２面に塗布を行う必要がある。ディスペンサを使用する方式では、互いに直角をなす２面に塗布を行うので手間がかかってしまう。
【００４３】
そこで、本発明の第２の実施の形態を図面にもとづいて説明する。
第２の実施の形態は図４〜図６に示していて、図４は完成した状態のインクジェットプリンタヘッドの斜視図、図５（Ａ）〜（Ｃ）はインクジェットプリンタヘッドの製造工程を順に説明する図、図６（Ａ）〜（Ｇ）は図５（Ｃ）に引き続いてインクジェットプリンタヘッドの製造工程を順に説明する図である。
【００４４】
図４に示すように、上記インクジェットプリンタヘッドは、無極性圧電体基板であるＰＺＴ基板２０の上面一部が、インク供給口体２１を備えた平板状の天板蓋２２で覆われている。
【００４５】
上記ＰＺＴ基板２０の一側面に分極性圧電体２３が嵌め込まれ、さらにこの表面に複数のインク吐出口であるオリフィス孔２４を備えたノズルプレート２５が取付けられている。
【００４６】
これらＰＺＴ基板２０と、天板蓋２２と、分極性圧電体２３およびノズルプレート２５で囲まれる内部には、後述するようにインク流路と、分極性圧電体２３で形成されたインク流路壁面を圧電効果で変形させるために電圧を印加する電気配線と、インク室を形成する壁面を有している。
【００４７】
上記ノズルプレート２５は、たとえばポリイミド製であり、上記オリフィス孔２４が所定間隔を存して一列に設けられている。また、ノズルプレート２５と、天板蓋２２と、インク供給口体２１は、それぞれ熱硬化性エポキシ接着剤を用いて接着されている。
【００４８】
つぎに、インクジェットプリンタヘッドの製造工程を順に説明する。
図５（Ａ）に示すように、極性が付与されていない無極性圧電体基板であるＰＺＴ基板２０を用意する。このＰＺＴ基板２０は、板厚が約５ｍｍ程度の矩形状の板体であって、焼成前に上面に２つの凹部２６を形成しておき、それから焼成する。これら凹部２６の周囲は枠部２７となる。
【００４９】
図５（Ｂ）に示すように、第１の工程として、ダイシング装置でそれぞれの凹部２６の略中央部分を切削加工して溝２８を形成する。これら溝２８は、ＰＺＴ基板２０の枠部２７上面および凹部２６底面に亘って設けられる。
【００５０】
図５（Ｃ）に示すように、第２の工程として、上記溝２８に接着剤を塗布してから、極性を付与した分極性圧電体２３を埋め込み接着固定する。溝２８からはみ出た接着剤部分およびＰＺＴ基板２０と分極性圧電体２３の段差部分を研磨装置で研磨して同一平面に均す。
【００５１】
図６（Ａ）に示すように、第３の工程として、それぞれの凹部２６内に突出する分極性圧電体２３に対して、インク流路２９を形成する。このインク流路２９は、分極性圧電体２３の上面に微小の間隔を存して並行して設けられる細溝状であり、その加工にあたってたとえばダイシング装置が用いられる。
【００５２】
図６（Ｂ）に示すように、第４の工程として、ＰＺＴ基板２０にたとえばメッキ法により電気配線３０を形成する。この電気配線３０は、それぞれの分極性圧電体２３に対応して設けられ、ＰＺＴ基板２０の両側縁から凹部２６の側面部と底面部を介して上記分極性圧電体２３に設けられるインク流路２９と対向し、かつインク流路相互間にかけてメッキ加工される。
【００５３】
図６（Ｃ）に示すように、第５の工程として、ダイシング装置を用いてＰＺＴ基板２０を分割する。分割位置は、上記分極性圧電体２３に沿って、分極性圧電体２３を左右に二分割する位置と、凹部２６相互間の中央部位置であり、これらの分割体Ｎがそれぞれインクジェットプリンタヘッドとなる。
【００５４】
図６（Ｄ）に示すように、第６の工程として、各分割体Ｎにおける分極性圧電体２３の分割面に接着剤を塗布して、たとえばポリイミド製のノズルプレート（図にハッチングで示す）２５を貼り付ける。
【００５５】
図６（Ｅ）に示すように、第７の工程として、ノズルプレート２５にインク流路２９の位置に対応して複数のオリフィス孔２４を設ける。これらオリフィス孔２９はインク吐出口となる直径の極めて小さい孔であるため、たとえばレーザ光加工により開孔する。
【００５６】
ついで、第８の工程として、インク供給口体２１を有する天板蓋２２をＰＺＴ基板２０と分極性圧電体２３上面に亘って接着する。天板蓋２２は平板状に形成されていて、凹部２６の上面開口を閉成する。これら天板蓋２２とＰＺＴ基板２０および分極性圧電体２３で囲撓される空間部が上記インク室となる。
【００５７】
そして、ここでは図示しないが、上記電気配線３０に駆動用ＩＣを搭載したフレキシブル基板を接続し、ノズルプレート２５に対して金属製の保護部品を取付け、インク供給用チューブを介してインク供給口体２１とインクタンクを接続することにより、インクジェットプリンタヘッドが完成する。
【００５８】
このインクジェットプリンタヘッドであれば、接着剤層の数が第１の実施の形態よりもさらに減少する。そのため、接着剤と圧電体基板との熱膨張係数の違いに起因する内部応力の発生と、それにともなうインクジェットヘッドの変形を抑制できることは第１の実施の形態以上となる。
【００５９】
なお、この第２の実施の形態の場合は、第１の実施の形態と比較してＰＺＴ基板にインク室を形成するための凹面を切削加工する工程を省くことができるが、その一方で、電気配線３０を凹部２６の側面部および底面部に設ける必要がある。
【００６０】
ここでは、液体レジストのスプレー塗布を用いてレジストパターニングを行い、ＰＺＴ基板２０上でレジストパターンが開口した部分に無電解メッキで通電層を形成した後、電解メッキを行うことで電気配線３０を形成できる。
【００６１】
このように、ＰＺＴ基板２０の焼成時に凹部２６を形成する方式では、上記天板蓋２２の形状を単なる板状にできて部材加工のコストが低減する。そして、天板蓋２２の接着面が一面ですむため、接着剤の塗布が簡単になって、接着不良が発生し難いことで有利である。
【００６２】
また、凹部２６を焼成で形成する場合、天板蓋側に焼成で凹部を形成し、ＰＺＴ基板２０側は平板状とする方法が考えられる。この場合、従来のように天板枠を天板蓋に接着する工程が省かれるという利点のほか、接着剤硬化工程における加熱時に天板蓋が変形し難い断面形状となる。
【００６３】
したがって、天板蓋とＰＺＴ基板を貼り合せたあとのインクジェットプリンタヘッドの変形に起因するノズルの位置ずれを抑制でき、製造条件による印字品質の低下を抑制可能とする利点を有する。
【００６４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、接着工程の大幅削減化を図ることにより、製造コストの低減化が得られ、かつ内部応力の発生を抑えて変形の防止を図り製品の信頼性の向上を得られる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係り、インクジェットプリンタヘッドの斜視図。
【図２】同実施の形態に係り、インクジェットプリンタヘッドの製造工程を順に説明する図。
【図３】同実施の形態に係り、図２に引き続いてインクジェットプリンタヘッドの製造工程を順に説明する図。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係り、インクジェットプリンタヘッドの斜視図。
【図５】同実施の形態に係り、インクジェットプリンタヘッドの製造工程を順に説明する図。
【図６】同実施の形態に係り、図５に引き続いてインクジェットプリンタヘッドの製造工程を順に説明する図。
【符号の説明】
１，２０…ＰＺＴ基板（無極性圧電体基板）、１Ａ…凹面、２６…凹部、ａ…突部、８，２８…溝、５，２３…分極性圧電体、１１，２９…インク流路、１２，３０…電気配線、６，２５…ノズルプレート、７，２４…オリフィス孔、２，２１…インク供給口体、３，２２…天板蓋。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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