(57)【要約】【課題】ワークを研磨する定盤の作業面の形状を、簡単な手段によって凸方向と凹方向の両方向に変形させることができるようにする。【解決手段】同軸状に位置する円環形の上定盤１１と下定盤１２とでワークＷを研磨する研磨装置において、上記下定盤１２に、該下定盤１２の底部に取り付けられて熱で該定盤の径方向に伸縮するベース部材２２と、このベース部材２２の温度を制御する温度制御装置２５とからなる形状制御機構２４を設け、上記ベース部材２２を伸縮させて下定盤１２の底部側の定盤幅Ｙを変化させることにより、下定盤１２の上面側にある作業面１２ａを凸形と凹形とに変形させる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨のための作業面を上面に備えた円形又は円環形の定盤を中心軸線の回りに回転させながら、上記作業面でワークを研磨する研磨装置において、
上記定盤が、底部側の定盤径を変化させることによって上記作業面を変形させる形状制御機構を有することを特徴とするワークの研磨装置。
【請求項２】
同軸状に位置する円環形の上定盤と下定盤とを有し、これら両定盤のうち少なくとも下定盤に上記形状制御機構が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
上記形状制御機構が、定盤の底部に取り付けられて熱で該定盤の径方向に伸縮するベース部材と、このベース部材の温度を制御する温度制御装置とを有していて、上記ベース部材が、上記定盤より熱膨張係数の大きい素材で形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨装置。
【請求項４】
上記温度制御装置が、熱流体又は電熱ヒーターの何れかを熱媒体として上記ベース部材を温度制御するように構成されていることを特徴とする請求項３に記載の研磨装置。
【請求項５】
上記定盤が、冷却媒体を流すための冷却室を内部に有し、この冷却媒体で研磨に伴う熱変形を防止するように構成されていることを特徴とする請求項１から４までの何れかに記載の研磨装置。
【請求項６】
研磨のための作業面を上面に備えた円形又は円環形の定盤を中心軸線の回りに回転させながら、上記作業面でワークを研磨するに当たり、研磨が終了したワークの平坦度に応じて上記定盤の底部側の定盤径を変化させることにより上記作業面を変形させ、そのあと上記研磨を行うことを特徴とするワークの研磨方法。
【請求項７】
同軸状に位置する円環形の上定盤と下定盤とを有していて、下定盤の底部側の定盤幅を変化させることによって該下定盤の作業面を上定盤の作業面に合わせて変形させることを特徴とする請求項６に記載の研磨方法。
【請求項８】
上記定盤の底部に該定盤より熱膨張係数の大きいベース部材を取り付け、このベース部材を温度制御して定盤の径方向に伸縮させることにより上記作業面を変形させることを特徴とする請求項６又は７に記載の研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハやガラス基板あるいは磁気ディスク基板のような板状のワークを定盤の作業面に押し付けて研磨加工するための技術に関するものであり、更に詳しくは、上記定盤の作業面の形状をコントロールする手段を備えたワークの研磨技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ワークの表面を研磨加工して平坦化する研磨装置として、従来より、ワークの両面を研磨する両面研磨装置と、ワークの片面を研磨する片面研磨装置とが知られている。このうち両面研磨装置は、図７に示すように、同軸状に位置する円環状の上定盤１と下定盤２とを有していて、これらの定盤１，２を中心軸線Ｌの回りに通常は互いに逆方向に回転させながら、遊星運動するキャリヤ３に保持されたワーク４を上記両定盤１，２の作業面１ａ，２ａの間に挟持させて研磨するものである。また、片面研磨装置は、一つの円形の定盤を有していて、回転する該定盤の作業面に、加圧プレートに保持されたワークを押し付けて研磨するものである。
【０００３】
これらの研磨装置においては、始めは平坦であった定盤の作業面がワークの研磨とともに摩耗し、その平坦度が低下するため、ワークの研磨精度も低下するという問題がある。即ち、両面研磨装置の場合を例にして説明すると、図７に示すように、上下の定盤１，２の作業面１ａ，２ａは最初は平坦であるが、ワーク４の研磨加工を行うと、加工回数、両定盤の回転比、ワークの形状といった各種加工条件に応じて第８図（Ａ）又は（Ｂ）あるいは（Ｃ）のように凹形に変形し、加工精度が悪化していく。また、加工条件によって作業面が凸形に変形する場合もある。このため従来では、研磨されたワークの平坦度が一定限度まで低下すると、修正キャリヤで上記作業面１ａ，２ａを修正して平坦化するのが一般的であった。
【０００４】
ところが、このような修正キャリヤを使用する方法は、該修正キャリヤを両定盤１，２間に介在させて装置を運転することにより、該修正キャリヤで両定盤の作業面を研磨して平坦化するものであるため、作業に時間がかかるだけでなく、重たい修正キャリヤを取り扱うことによる危険性も伴う。
【０００５】
また、最近の研究から、上下の定盤１，２の作業面１ａ，２ａは、必ずしも図７に示すように全体が互いに平行な平面である必要はなく、図９（Ａ）に示すように、上定盤１の作業面１ａが全体的に凹で下定盤２の作業面２ａが全体的に凸であるか、あるいは同図（Ｂ）に示すように、上定盤１の作業面１ａが全体的に凸で下定盤２の作業面側が全体的に凹であるといったように、相互にマッチングする形状をしていれば、ワークを精度良く研磨できることが確かめられている。また、作業面１ａ，２ａの相対する部分が互いに平行でなくても、例えば図１０（Ａ），（Ｂ）に示すように、相互にマッチングする凸と凹の関係にあれば良い場合が多いことも分かっている。
【０００６】
従って、研磨加工で摩耗した両定盤１，２の作業面１ａ，２ａの形状をこのようにマッチングする形にコントロールすることができれば、修正キャリヤによる修正を行う必要がなくなる。さらに、研磨するワークの形状等によっては、定盤の作業面が凸形又は凹形をしている方が良い場合もあり、このような場合には、作業面をそのような形状に変形させる必要が生じる。
なお、各図における作業面の凹凸の度合いは、分かり易くするため誇張されて表示されているが、実際の凹凸の度合いはμｍ単位で非常に微少である。このことは、後述する本発明の実施例の説明においても同様である。
【０００７】
ここで、特許文献１及び２には、定盤の内部に圧力流体を供給することにより該定盤を変形させ、それによって作業面の形状をコントロールする技術が開示されている。即ち、特許文献１には、片面研磨装置において、定盤とこの定盤を支持する定盤受けとの間の流路に冷却水を流通させ、この冷却水の圧力を調整することにより定盤を変形させて作業面を凸形に変形させるか、あるいは凹形の度合いを小さくする技術について開示されている。また、特許文献２には、同じく片面研磨装置において、定盤の上面と研磨布との間にダイアフラムを介在させ、このダイアフラムに空気圧を導入することにより研磨布の表面形状を凸形や凹形に変形させる技術が開示されている。
【０００８】
しかしながらこれらの方法は、何れも、流体圧力を定盤の内部に加えることによって該定盤又は研磨布を外向きに変形させる方式であるため、該定盤又は研磨布を凸方向に変形させることはできるが、凸と凹の両方向に変形させることは実質的に不可能に近い。特許文献２には、研磨布を凹状にも変形させることが述べられているが、空気圧を低下させることによってダイヤフラムを収縮させ、それによって該ダイヤフラムの表面を窪ませるやりかたであるため、実際に安定した凹形状を得るのは困難である。
しかも、流体を使用しているため圧力変動による影響を受け易く、定盤形状が微妙に変化して研磨精度を維持することが非常に難しい。特に後者の方法は、空気圧を利用しているため、空気の圧縮性による影響をも受けて形状安定性が非常に悪く、研磨精度の維持が更に困難である。
【０００９】
また、特許文献３には、定盤表面を機械的に変形させることによって作業面の形状を変化させるようにしたものが開示されている。これは、円形の定盤の下面中央部と中間部と外周部とを高さの異なる環状の支持部に支持させて、該定盤を中央の支持部と外周の支持部とにボルトで固定することにより、該定盤を上に凸の形に湾曲させたもので、上述した従来例と違って流体圧力を使用していないため、形状安定性に勝れている。しかし、定盤形状の調整を多数のボルトのねじ込み量を調整することによって行わなければならないため、調整作業が非常に面倒である。しかも、定盤形状を凸形にしか変形させることができず、凸形と凹形の両方に変形させることはできない。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００２−３２６１５５号公報
【特許文献２】
特開２０００−２０２７６７号公報
【特許文献３】
特開平１０−９４９５７号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の主要な技術的課題は、ワークを研磨する定盤の作業面の形状を、簡単な手段によって凸方向と凹方向の両方向に変形させることができるようにすることにある。
【００１２】
本発明の他の技術的課題は、上記作業面を変化させたあとの形状安定性を高めることにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明によれば、研磨のための作業面を上面に備えた円形又は円環形の定盤を中心軸線の回りに回転させながら、上記作業面でワークを研磨する研磨装置において、上記定盤が、底部側の定盤径を変化させることによって上記作業面を変形させる形状制御機構を有することを特徴とするワークの研磨装置が提供される。
【００１４】
上記構成を有する本発明において、形状制御機構によって定盤の底部側の定盤径を中間状態より広げた場合には、該定盤の上端部側に、該上端部を下向きに窪ませる力が作用し、この力によって作業面は凹方向に変形し、上記定盤径を中間状態より狭めた場合には、定盤の上端部側に、該上端部を上向きに膨出させる力が作用し、この力によって上記作業面は凸方向に変形する。従って、上記作業面を凹又は凸の両方向に簡単に変形させることができる。
【００１５】
本発明の具体的な構成態様によれば、上記研磨装置が、同軸状に位置する円環形の上定盤と下定盤とを有していて、これら両定盤のうち少なくとも下定盤に上記形状制御機構が設けられている。
【００１６】
本発明において、上記形状制御機構は、定盤の底部に取り付けられて熱で該定盤の径方向に伸縮するベース部材と、このベース部材の温度を制御する温度制御装置とを有していて、上記ベース部材が、上記定盤より熱膨張係数の大きい素材で形成されている。
【００１７】
このように、ベース部材の熱変形を利用して上記定盤径又は定盤幅を変化させることにより、流体圧力を利用する従来例のように圧力変動や空気の圧縮性などの影響を受けることがないので、作業面の形状を変化させた後の形状維持精度を著しく高めることができる。
【００１８】
上記温度制御装置は、熱流体又は電熱ヒーターの何れかを熱媒体として上記ベース部材を温度制御する構成であることが望ましい。
【００１９】
本発明の好ましい構成態様によれば、上記定盤が、冷却媒体を流すための冷却室を内部に有していて、この冷却媒体で研磨に伴う熱変形を防止するように構成されており、この冷却装置とは別に上記形状制御機構が設けられている。
【００２０】
また、本発明によれば、研磨のための作業面を上面に備えた円形又は円環形の定盤を中心軸線の回りに回転させながら、上記作業面でワークを研磨するに当たり、研磨が終了したワークの平坦度に応じて上記定盤の底部側の定盤径を変化させることにより上記作業面を変形させ、そのあと上記研磨を行うことを特徴とするワークの研磨方法が提供される。
【００２１】
本発明の方法の具体例では、同軸状に位置する円環形の上定盤と下定盤とを有していて、下定盤の底部側の定盤幅を変化させることによって該下定盤の作業面を上定盤の作業面に合わせて変形させるようにする。
【００２２】
また、本発明において好ましくは、上記定盤の底部に該定盤より熱膨張係数の大きいベース部材を取り付け、このベース部材を温度制御して定盤の径方向に伸縮させることにより上記作業面を変形させるようにすることである。
【００２３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る研磨装置の第１実施例を概略的に示すもので、この第１実施例は、ワークＷの両面を研磨加工する両面研磨装置である。この研磨装置１０Ａは、同軸状に位置する円環状の上定盤１１及び下定盤１２と、これら両定盤１１，１２の中心部に位置する太陽歯車１３と、両定盤１１，１２の外周を取り囲むように位置する内歯歯車１４と、これらの太陽歯車１３と内歯歯車１４とに噛合する複数のキャリヤ１５とを有している。これらの定盤１１，１２及び歯車１３，１４は、図示しない駆動機構に接続され、この駆動機構で、設定された方向に設定された回転数で駆動回転されるようになっている。
【００２４】
そして、ワークＷの研磨時には、該ワークＷを上記キャリヤ１５のワーク保持孔内に嵌合させることで該キャリヤ１５に保持させ、上記両歯車１３，１４を回転させることによって該キャリヤ１５を遊星運動させながら、上記ワークＷを回転する上下の定盤１１，１２で両側から挟持して研磨するものである。これらの定盤１１，１２の表面には研磨パッド１６が貼られていて、この研磨パッド１６の表面が定盤１１，１２の作業面１１ａ，１２ａを形成しており、この研磨パッド１６でワークＷが研磨される。従って、この研磨装置はポリッシング装置である。しかし研磨装置は、上述したような研磨パッドを持たないラッピング装置であってもよい。
【００２５】
なお、この研磨装置１０Ａにおける上記以外の構成については、以下に説明する点を除いて公知の研磨装置と実質的に同じであって、本発明の要旨とも直接関係がないので、これ以上の具体的な説明は省略する。
【００２６】
上記研磨装置１０Ａにおける上下の定盤１１，１２は、熱膨張係数の小さい低熱膨張鋳物により形成されていて、これらの定盤１１，１２の内部には、冷却室１８がそれぞれ形成されている。この冷却室１８は、各定盤１１，１２の内部に形成した凹部１９を、該定盤１１，１２の底部に固定した円環状のベース部材２１，２２で塞ぐことにより形成されるもので、ワークＷの研磨加工時にこの冷却室１８内に一定温度の冷却水を流すことにより、ワークＷとの摩擦による発熱で定盤が熱変形するのを防止している。このときの冷却水の温度は、一般的に２０±３℃程度が好ましいが、研磨条件によって異なる場合がある。また、上記定盤の熱膨張係数は、例えば１．５×１０−６／Ｋ（２０〜１００℃）程度である。
【００２７】
なお、この説明では、定盤１１，１２の作業面１１ａ，１２ａ側を「上端部」側又は「上面」側と表現し、ベース部材２１，２２を取り付けた側を「底部」側と表現することとする。これは上定盤１１と下定盤１２とに共通である。
【００２８】
上記下定盤１２には、作業面１２ａの形状を凹方向と凸方向の両方向に変形させるための形状制御機構２４が設けられている。この形状制御機構２４は、下定盤１２の底部に取り付けられて熱で定盤の径方向に伸縮する円環状をした上記ベース部材２２と、このベース部材２２の温度を制御する温度制御装置２５とを有していて、上記ベース部材２２が、例えばＳＵＳ（ステンレス鋼）のような、高剛性で上記定盤１１，１２よりも熱膨張係数の大きい素材によって形成されている。
【００２９】
なお、上定盤１１にはこのような形状制御機構２４が設けられていないため、上記ベース部材２１としては、該上定盤１１と同様に熱膨張係数の小さい素材で形成したものが使用されている。
【００３０】
上記温度制御装置２５は、図４からも分かるように、ベース部材２２に螺旋状又は同心円状に取り付けられた温調パイプ２６と、この温調パイプ２６内に熱媒体として温水や蒸気などの熱流体を供給する供給装置２７とを有している。上記温調パイプ２６は、図示したようにベース部材２２の外面に取り付けても、内部に埋め込んでも構わない。また、上記温調パイプ２６の断面形状は円形であっても、矩形であっても、それ以外の形状であっても良い。そして、この供給装置２７で上記熱流体を一定の温度範囲、例えば１０〜４０℃の範囲内で温度調節することにより、上記ベース部材２２をその温度に応じた量だけ下定盤１２の径方向に伸縮させてその部材幅Ｘを大小に変化させ、それによって下定盤１２の底部側の定盤幅Ｙを大小に変化させるようにしている。
【００３１】
この場合、作業面１２ａの形状をコントロールする必要のない初期状態では、上記温調パイプ２６内に中間温度（例えば２５℃）の熱流体を常時流しておくことで、上記ベース部材２２を中間温度に加熱して中間伸長状態に保持し、下定盤１２の底部側の定盤幅Ｙを実質的に伸縮が零かそれに近い中間状態に保つことにより、上記作業面１２ａを一定の初期形状に保持しておき、該作業面１２ａの形状をコントロールする必要が生じた場合に、上記熱流体の温度を上述した中間温度から必要な大きさだけ上昇させるか、又は低下させることにより、上記ベース部材２２を上述した中間伸長状態から更に温度に応じた量だけ伸長させるか、又は縮小させるように制御するのが望ましい。
【００３２】
そして、熱流体の温度を下げて上記ベース部材２２を中間伸長状態から縮小させた場合には、図２に示すように、下定盤１２の底部側の定盤幅Ｙが中間状態から狭まるため、該下定盤１２の上端部側には、該上端部の中央部分を上向きに膨出させる力が作用し、この力によって該上端部従って作業面１２ａは凸方向に変形する。この場合の変形量は、熱流体の温度を調節することによって調節することができる。作業面をこのように凸方向に変形させることにより、平坦であった作業面を凸形に変えたり、凸形をした作業面の変形度を大きくしたり、更には、凹形をした作業面の変形度を小さくしたり平坦や凸形に変えるなどのコントロールを行うことができる。
【００３３】
それとは逆に、熱流体の温度を上げて上記ベース部材２２を中間伸長状態から更に伸長させた場合には、図３に示すように、下定盤１２の底部側の定盤幅Ｙが上記中間状態から広がるため、該下定盤１２の上端部側には、該上端部の中央部分を下向きに窪ませる力が作用し、この力によって該上端部従って作業面１２ａは凹方向に変形する。この場合の変形量は、熱流体の温度を調節することによって調節することができる。作業面をこのように凹方向に変形させることにより、平坦であった作業面を凹形に変えたり、凹形をした作業面の変形度を大きくしたり、更には、凸形をした作業面の変形度を小さくしたり平坦や凹形に変えるなどのコントロールを行うことができる。
【００３４】
また、図２及び図３には、下定盤１２の底部を内外両方向にほぼ均等に変形させる場合が示されているが、内側方向への変形を規制し、外側方向だけに伸縮するように構成することもでき、この場合には、下定盤１２の上面即ち作業面１２ａを、定盤全体として凸形又は凹形をなすように変形させることができる。
【００３５】
かくして、熱媒体を介して上記ベース部材２２を温度制御することにより、下定盤１２の作業面１２ａを凹又は凸の両方向に必要量だけ簡単に変形させることができる。しかも、ベース部材２２を熱変形させて上定盤１１の底部側の定盤幅Ｙを大小に変化させることで作業面１２ａを変形させる方式であるため、流体圧力を利用する従来例のように圧力変動や空気の圧縮性などの影響を受けることがなく、作業面の形状を変化させた後の形状維持精度も勝れている。
【００３６】
上記構成を有する研磨装置１０ＡでワークＷを研磨加工する場合、上下の定盤１１，１２の作業面１１ａ，１２ａは、初期段階では図１に示すように平坦であっても、ワークＷの研磨と共に次第に摩耗していき、加工回数や両定盤１１，１２の回転比、あるいはワークＷの形状といった各種加工条件に応じて凸形や凹形に変形し、加工精度が悪化していく。そこで、研磨が終了したワークＷの平坦度あるいは両面の平行度が一定限度まで低下したところで、上記形状制御機構２４により下定盤１２の作業面１２ａの形状を、上定盤１１の作業面１１ａの形状に合わせてコントロールする。
【００３７】
即ち、上定盤１１の作業面１１ａが凹形をしているときは、下定盤１２の作業面１２ａをこれに合わせて凸形に変形させるが、この場合には、図２に示すように、熱流体の温度を低下させることによって上記ベース部材２２の部材幅Ｘを縮小させ、下定盤１２の底部側の定盤幅Ｙを縮小させて上記作業面１２ａを凸形に変形させる。また、上定盤１１の作業面１１ａが凸形をしているときは、下定盤１２の作業面１２ａをこれに合わせて凹形に変形させるが、この場合には、図３に示すように、上記熱流体の温度を上昇させることによって上記ベース部材２２の部材幅Ｘを伸長させ、下定盤１２の底部側の定盤幅Ｙを広げて上記作業面１２ａを凹形に変形させる。
【００３８】
かくして、下定盤１２の作業面１２ａの形状を上定盤１１の作業面１１ａの形状に合わせてコントロールすることにより、上下両定盤１１，１２の作業面１１ａ，１２ａの形状を簡単にマッチングさせることができ、それによって研磨精度を維持することができる。また、研磨すべきワークによっては、上述したように下定盤１２の作業面１２ａの形状を上定盤１１に合わせるのではなく、該上定盤の作業面が平坦である初期段階から、下定盤の作業面を凸形又は凹形に変形させて研磨を行うこともできる。
なお、上記形状制御機構２４は、必要に応じて上定盤１１側に設けることもでき、あるいは、上定盤１１と下定盤１２の両方に設け、両方の定盤の作業面の形状をコントロールするように構成することもできる。
【００３９】
また、上述した実施例では、下序盤１２のベース部材２２を温度調節する熱媒体として、熱流体を使用しているが、この熱流体の代わりに電熱ヒーターを用いることもできる。この場合、この電熱ヒーターを上記ベース部材の内部に螺旋状に埋め込むか、あるいは該ベース部材の外面に取り付け、温度制御装置でヒーター温度を制御するように構成される。
【００４０】
図５は本発明の第２実施例を示すもので、この第２実施例の研磨装置１０Ｂが上記第１実施例の研磨装置１０Ａと相違する点は、形状調整機構２４が、流体圧シリンダー３０等のアクチュエーターで下定盤１２の底部側の定盤幅Ｙを変化させるように構成されている点である。即ち、図６からも分かるように、上記下定盤１２の底部には、複数の流体圧シリンダー３０が放射状に配設され、これらのシリンダー３０を同期的に駆動することによって底部側の定盤幅Ｙを伸縮させるように構成されている。従って、この底部に取り付けられたベース部材２２は、若干の伸縮性を有することが必要である。
【００４１】
なお、図示した例では、上記シリンダー３０として、シリンダボディ３１の両側からロッド３２が突出する両ロッドタイプのものが使用されているが、片側だけからロッドが突出する片ロッドタイプであっても良い。
【００４２】
この第２実施例の上記以外の構成及び作用は実質的に第１実施例と同じであるから、第１実施例と同一の構成部分に第１実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。
【００４３】
なお、上記実施例では、本発明を両面研磨装置に適用した場合について説明したが、本発明は片面研磨装置にも適用することができる。この片面研磨装置は、一つの定盤を有していて、回転する該定盤の作業面に、加圧プレートに保持させたワークを押し付けて研磨するものであって、上記定盤が円環状をしている場合には、この定盤が、上記第１実施例又は第２実施例の下定盤１２のように構成される。また、上記定盤が円形をしている場合には、該定盤の底部に、円形のベース部材と温度制御装置とからなる形状制御機構が取り付けられるか、あるいは、アクチュエーターからなる形状制御機構が取り付けられ、これらの形状制御機構で定盤の底部側を径方向に伸縮させることにより、該定盤の上面の作業面が、全体として凸形かあるいは凹形に変形させられる。
【００４４】
【発明の効果】
このように本発明によれば、ワークを研磨する定盤の作業面の形状を、簡単な手段によって凸方向と凹方向の両方向に変形させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る研磨装置の第１実施例を概略的に示す断面図である。
【図２】図１の研磨装置の下定盤の作業面を凸形に変形させた場合の断面図である。
【図３】図１の研磨装置の下定盤の作業面を凹形に変形させた場合の断面図である。
【図４】図１の研磨装置の下定盤の下面図である。
【図５】本発明に係る研磨装置の第２実施例を概略的に示す断面図である。
【図６】図５の研磨装置の下定盤の下面図である。
【図７】従来の研磨装置を概略的に示す断面図である。
【図８】（Ａ）〜（Ｃ）は、図７の研磨装置の定盤の異なる摩耗状態を示す断面図である。
【図９】（Ａ）、（Ｂ）は、上下の定盤の作業面の形状がマッチングしている状態を示す断面図である。
【図１０】（Ａ）、（Ｂ）は、上下の定盤の作業面の形状がマッチングしている他の状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１０Ａ，１０Ｂ      研磨装置
１１      上定盤
１２      下定盤
１１ａ，１２ａ      作業面
１８      冷却室
２１，２２      ベース部材
２４      形状制御装置
２５      温度制御装置
【図１】
2004314192.tif 000003
【図２】
2004314192.tif 000004
【図３】
2004314192.tif 000005
【図４】
2004314192.tif 000006
【図５】
2004314192.tif 000007
【図６】
2004314192.tif 000008
【図７】
2004314192.tif 000009
【図８】
2004314192.tif 000010
【図９】
2004314192.tif 000011
【図１０】
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