(57)【要約】　　　（修正有）【課題】ＩＣテスタの異常や停止を示すランプを監視し、異常が発生したり、停止したときに直ちに対応する必要があった。そこで、ランプを直接見ることなく、常時監視が行えるテストシステムを実現することを目的にする。【解決手段】被試験対象を試験するＩＣテスタ１と、このＩＣテスタ１の状態をネットワークＬを介してサーバに送り、さらに保守者の持つ携帯端末に無線により送信し、また携帯端末からＩＣテスタ１内の搬送装置の動きを制御することを特徴とするものである。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験対象を試験するＩＣテスタと、
このＩＣテスタの状態を携帯端末に無線により送信する無線部と
を有することを特徴とするテストシステム。
【請求項２】
無線部は、携帯端末からの制御信号を無線により受信し、ＩＣテスタを制御することを特徴とする請求項１記載のテストシステム。
【請求項３】
被試験対象を試験するＩＣテスタと、
このＩＣテスタに前記被試験対象を搬送する搬送装置と、
この搬送装置の状態を携帯端末に無線により送信する無線部と
を有することを特徴とするテストシステム。
【請求項４】
無線部は、携帯端末からの制御信号を無線により受信し、搬送装置を制御することを特徴とする請求項３記載のテストシステム。
【請求項５】
被試験対象を試験するＩＣテスタと、
このＩＣテスタとネットワークを介して接続し、ＩＣテスタからの状態データを格納し、状態データをネットワークに公開するサーバと、
前記ネットワークに接続し、携帯端末と無線通信を行う無線部と
を有することを特徴とするテストシステム。
【請求項６】
被試験対象を試験するＩＣテスタと、
このＩＣテスタとネットワークを介して接続し、ＩＣテスタからの状態データを格納するサーバと、
このサーバに接続し、携帯端末と無線通信を行う無線部と
を有することを特徴とするテストシステム。
【請求項７】
サーバは状態データを公開するＷＷＷサーバ手段を設けたことを特徴とする請求項５または６記載のテストシステム。
【請求項８】
サーバは状態データを電子メールで送信する電子メールサーバ手段を設けたことを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載のテストシステム。
【請求項９】
ネットワークに接続し、被試験対象を試験し、状態データをネットワークに公開するＩＣテスタと、
前記ネットワークに接続し、携帯端末と無線通信を行う無線部と
を設けたことを特徴とするテストシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被試験対象を試験するテストシステムに関し、直接見ることなく、常時監視が行えるテストシステムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣテスタは、被試験対象、例えば、ＩＣ，ＬＳＩ等に試験信号を与え、被試験対象の出力と期待値とを比較し、良否の判定を行う（例えば、特許文献１参照）。そして、ＩＣテスタを多数用いて、被試験対象の試験を行っている。このようなシステムを図５に示し以下に説明する。
【０００３】
図５において、ＩＣテスタ１は、ネットワークＬに接続され、図示しない被試験対象（以下ＤＵＴと略す）を試験する。また、ＩＣテスタ１は、試験部１１、制御部１２、ランプ１３を有する。試験部１１は、ＤＵＴの試験を行う。制御部１２は、点灯手段１２１を有し、試験部１１を制御する。点灯手段１２１は、ランプ１３を点灯させる。コントロールターミナル２は、ネットワークＬに接続され、ネットワークＬを介して、ＩＣテスタ１に対して、テストプログラムのロード、各種設定、ラン／ストップ制御等を行う。エンジニアリングワークステーション（以下ＥＷＳ）３は、ネットワークＬに接続され、ネットワークＬを介して、ＩＣテスタ１に対して、デバック、データ収集等を行い、トラブル解析等を行う。
【０００４】
このような装置の動作を以下に説明する。コントロールターミナル２は、ネットワークＬを介して、ＩＣテスタ１に対して、テストプログラムのロード、各種設定等を行う。そして、ＩＣテスタ１に対して、動作指示をする。これにより、ＩＣテスタ１の制御部１２は、テストプログラムに基づいて、試験部１１に対して制御を行い、試験部１１はＤＵＴの良否の判定を行う。
【０００５】
また、コントロールターミナル２が、ネットワークＬを介して、ＩＣテスタ１に対して、停止指示を行う。これにより、ＩＣテスタ１の制御部１２は、試験部１１を停止させる。
【０００６】
次に、ランプ１３の点灯動作を、図６を用いて説明する。制御部１２の点灯手段１２１は、ＩＣテスタ１が停止中の場合、ランプ１３を赤色に点灯させる（Ｓ１１，Ｓ１２）。ＩＣテスタ１が動作中の場合、点灯手段１２１は、ＤＵＴがフェイルかどうか判断し、フェイルでない場合、ランプ１３を青色に点灯させる（Ｓ１１，Ｓ１３，Ｓ１４）。そして、フェイルの場合、点灯手段１２１は、フェイルの回数が所定回数かどうか判断し（Ｓ１１，Ｓ１３，Ｓ１５）、所定回数でない場合、再び、フェイルかどうか判断する（Ｓ１３）。所定回数フェイルになった場合、点灯手段１２１はランプ１３に黄色を点灯させ、異常を知らせる（Ｓ１６）。
【０００７】
【特許文献１】
特開２０００−２９２５００号公報（段落番号０００２〜００２１、図３）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このようなシステムでは、常時、ランプ１３を監視して、ＩＣテスタ１の故障対応をしなければならなかった。一方、ＩＣテスタ１の故障確率は小さいが、ＩＣテスタ１の停止状態が長く続くと、テストコストの増加を招き、結果として、ＤＵＴのコスト増加の要因となってしまう。そのため、ランプ１３を常時監視しなければならなかった。また、ＩＣテスタ１はクリーンルームに設置されているため、定期的に見回るとしても、クリーンルーム内に入るために、その都度、時間を要してしまうという問題点があった。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、直接見ることなく、常時監視が行えるテストシステムを実現することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の本発明は、
被試験対象を試験するＩＣテスタと、
このＩＣテスタの状態を携帯端末に無線により送信する無線部と
を有することを特徴とするものである。
【００１１】
請求項２記載の本発明は、請求項１記載の本発明において、
無線部は、携帯端末からの制御信号を無線により受信し、ＩＣテスタを制御することを特徴とするものである。
【００１２】
請求項３記載の本発明は、
被試験対象を試験するＩＣテスタと、
このＩＣテスタに前記被試験対象を搬送する搬送装置と、
この搬送装置の状態を携帯端末に無線により送信する無線部と
を有することを特徴とするものである。
【００１３】
請求項４記載の本発明は、請求項３記載の本発明において、
無線部は、携帯端末からの制御信号を無線により受信し、搬送装置を制御することを特徴とするものである。
【００１４】
請求項５記載の本発明は、
被試験対象を試験するＩＣテスタと、
このＩＣテスタとネットワークを介して接続し、ＩＣテスタからの状態データを格納し、状態データをネットワークに公開するサーバと、
前記ネットワークに接続し、携帯端末と無線通信を行う無線部と
を有することを特徴とするものである。
【００１５】
請求項６記載の本発明は、
被試験対象を試験するＩＣテスタと、
このＩＣテスタとネットワークを介して接続し、ＩＣテスタからの状態データを格納するサーバと、
このサーバに接続し、携帯端末と無線通信を行う無線部と
を有することを特徴とするものである。
【００１６】
請求項７記載の本発明は、請求項５または６記載の本発明において、
サーバは状態データを公開するＷＷＷサーバ手段を設けたことを特徴とするものである。
【００１７】
請求項８記載の本発明は、請求項５〜７のいずれかに記載の本発明において、
サーバは状態データを電子メールで送信する電子メールサーバ手段を設けたことを特徴とするものである。
【００１８】
請求項９記載の本発明は、
ネットワークに接続し、被試験対象を試験し、状態データをネットワークに公開するＩＣテスタと、
前記ネットワークに接続し、携帯端末と無線通信を行う無線部と
を設けたことを特徴とするものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図５と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。なお、点灯手段１２１、ランプ１３は本発明の主要部ではないので、図示を省略する。
【００２０】
図１において、無線部４は、ＩＣテスタ１に接続し、ＩＣテスタ１の状態を無線により送信する。携帯端末５は、無線部４の送信を無線で受信する。
【００２１】
このような装置の動作を以下で説明する。図２は図１に示す装置の動作を示したフローチャートである。なお、ＩＣテスタ１の動作は図３に示す装置と同様なので、説明を省略する。
【００２２】
無線部４は、制御部１２からのデータにより、ＤＵＴがフェイルかどうか判断し、フェイルでない場合、何も行わない（Ｓ２１）。そして、フェイルの場合、無線部４は、フェイルの回数が所定回数かどうか判断し（Ｓ２１，Ｓ２２）、所定回数でない場合、再び、制御部１２からのデータにより、フェイルかどうか判断する（Ｓ２１）。所定回数フェイルになった場合、無線部４は異常を携帯端末５に知らせる（Ｓ２３）。
【００２３】
このように、無線部４が、ＩＣテスタ１の状態に基づいて、無線により携帯端末５に通知するので、ＩＣテスタ１の状態を知らせることができ、ＩＣテスタ１を直接見なくとも、常時監視することができる。
【００２４】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、ＩＣテスタ１の異常時に無線部４が通知する構成を示したが、ＩＣテスタ１の進捗状況に応じて通知する構成や各種データを送信する構成でもよい。例えば、すべてのＤＵＴのテストが終了前に通知等を行う。
【００２５】
また、無線部４は送信だけを行う構成を示したが、携帯端末５が無線により制御信号を出力し、この制御信号を無線部４が受信し、ＩＣテスタ１に渡す構成にしてもよい。これにより、ＩＣテスタ１が携帯端末５により制御される構成にしてもよい。
【００２６】
そして、図３に示すように、搬送装置６、例えば、ハンドラやプローバに、無線部７を設ける構成でもよい。搬送装置６は、図示しないＤＵＴをＩＣテスタ１に取り付け取り外しを行う。無線部７は、搬送装置６に接続し、搬送装置６の状態を無線により、携帯端末５に送信する。また、無線部７は、携帯端末５からの制御信号を無線により受信し、搬送装置６を制御する。
【００２７】
次に、第３の実施例を図４を用いて説明する。図４において、複数のＩＣテスタ１０は、クリーンルームＣＲに設置され、ネットワークＬに接続され、ＤＵＴを試験し、ウェハ、ロットの状況データや異常等の状態データを出力する。サーバ２０は、ネットワークＬに接続され、データサーバ２１、ＷＷＷ（Ｗｏｒｌｄ　ＷｉｄｅＷｅｂ）サーバ２２を有し、ＩＣテスタ１０の状態データを格納し、データを公開する。データサーバ２１は、ＩＣテスタ１０からのデータを格納し、ＨＴＭＬ（Ｈｙｐｅｒ　Ｔｅｘｔ　Ｍａｒｋｕｐ　Ｌａｎｇｕａｇｅ）データにする。ＷＷＷサーバ２２は、データサーバ２１のＨＴＭＬデータを受け取り、公開する。無線ＬＡＮアクセスポイント３０は無線部で、ネットワークＬに接続し、無線通信を行う。ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ　Ｄｉｇｔａｌ　Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）４０は携帯端末で、ブラウザ４１を有し、無線ＬＡＮアクセスポイント３０と通信を行い、サーバ２０にアクセスする。ブラウザ４１は、ＷＷＷサーバ２２のＨＴＭＬデータの表示を行う。
【００２８】
このような装置の動作を以下に説明する。ＩＣテスタ１０はＤＵＴの試験を行い、状態データをネットワークＬを介して、サーバ２０に送る。サーバ２０のデータサーバ２１は状態データを格納し、この状態データをＨＴＭＬデータに変換し、ＷＷＷサーバ２２に渡す。このＨＴＭＬデータには、リフレッシュタグを設定する。例えば、”＜ｍｅｔａ　ｈｔｔｐ−ｅｑｕｉｖ＝”ｒｅｆｒｅｓｈ”　ｃｏｎｔｅｎｔ＝”５”＞”と記述し、５秒ごとにページをリフレッシュさせる。これにより常時監視が行える。
【００２９】
ＰＤＡ４０は、無線ＬＡＮアクセスポイント３０、ネットワークＬを介して、サーバ２０のＷＷＷサーバ２２にアクセスする。そして、ＷＷＷサーバ２２はＨＴＭＬデータをＰＤＡ４０に送り、ＰＤＡ４０のブラウザ４１がＨＴＭＬデータを表示させ、リフレッシュタグにより、所望時間ごとに、ＨＴＭＬデータをＷＷＷサーバ２２から読み直す。
【００３０】
このように、サーバ２０のＷＷＷサーバ２２がネットワークＬ、無線ＬＡＮアクセスポイント３０を介してＰＤＡ４０に無線でＩＣテスタの状態を知らせることができるので、ＩＣテスタ１０を直接見なくとも、常時監視することができる。
【００３１】
また、無線ＬＡＮアクセスポイント３０をクリーンルームＣＲ外に設けることができるので、ＩＣテスタ１０が高速なＤＵＴを試験時に影響を与えることを防止することができる。
【００３２】
なお、サーバ２０に、ＷＷＷサーバ２２の代わりに電子メールサーバを設け、ＰＤＡ４０に、ブラウザ４１の代わりに電子メーラを設ける構成にしてもよい。この場合、データサーバ２１が状況データを電子メールとして電子メールサーバに格納し、ＰＤＡ４０の電子メーラが、無線ＬＡＮアクセスポイント３０、ネットワークＬを介して、サーバ２０の電子メールサーバにアクセスして、状態データの電子メールを取得する。また、同時に設けられている構成でもよい。
【００３３】
また、ネットワークＬに接続する無線ＬＡＮアクセスポイント３０を設けた構成を示したが、サーバ２０に直接接続し、ＰＤＡ４０と無線で通信を行う無線部を設けた構成でもよい。
【００３４】
そして、ＩＣテスタ１０と別にサーバ２０を設けた構成を示したが、ＩＣテスタ１０内にデータサーバ２１、ＷＷＷサーバ２２を設ける構成でもよい。
【００３５】
【発明の効果】
請求項１，２によれば、無線部が、ＩＣテスタの状態に基づいて、無線により携帯端末に通知するので、ＩＣテスタの状態を知らせることができ、ＩＣテスタを直接見なくとも、常時監視することができる。
【００３６】
請求項３，４によれば、無線部が、搬送装置の状態に基づいて、無線により携帯端末に通知するので、搬送装置の状態を知らせることができ、搬送装置を直接見なくとも、常時監視することができる。
【００３７】
請求項５〜８によれば、サーバが無線部を介して携帯端末に無線でＩＣテスタの状態を知らせることができるので、ＩＣテスタを直接見なくとも、常時監視することができる。
【００３８】
また、無線部をクリーンルーム外に設けることができるので、ＩＣテスタが高速な被試験対象を試験時に影響を与えることを防止することができる。
【００３９】
請求項９によれば、ＩＣテスタがネットワーク、無線部を介して携帯端末に無線でＩＣテスタの状態を知らせることができるので、ＩＣテスタを直接見なくとも、常時監視することができる。
【００４０】
また、無線部をクリーンルーム外に設けることができるので、ＩＣテスタが高速な被試験対象を試験時に影響を与えることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図２】図１に示す装置の動作を示したフローチャートである。
【図３】本発明の第２の実施例を示した構成図である。
【図４】本発明の第３の実施例を示した構成図である。
【図５】従来のテストシステムの構成を示した図である。
【図６】図５に示す装置の動作を示したフローチャートである。
【符号の説明】
１，１０　ＩＣテスタ
４，７　無線部
５　携帯端末
６　搬送装置
２０　サーバ
２１　ＷＷＷサーバ
３０　無線ＬＡＮアクセスポイント
４０　ＰＤＡ
４１　ブラウザ
Ｌ　ネットワーク
【図１】
2004005414.tif 000003
【図２】
2004005414.tif 000004
【図３】
2004005414.tif 000005
【図４】
2004005414.tif 000006
【図５】
2004005414.tif 000007
【図６】
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