(57)【要約】【課題】ユニットや部材等の構成要素を確実に固定しながらしかもその着脱を容易かつ短時間で行うことの可能な、電子部品製造装置用の構成要素固定装置を提供する。【解決手段】ユニット固定装置１は、筐体側プレート（第１の固定部材）２、ユニット側プレート（第２の固定部材）３、プレート２，３を固定する固定爪４と固定治具５、等から構成される。固定治具５は、弾性部材からなるフック（掛け止め部）６を備えたレバー７と、プレート２，３の固定面に対して傾斜する傾斜方向にレバー７を固定する固定ブロック８とから構成される。フック６を、筐体側プレート２の凹部２ａに掛け止めた状態で、レバー７を固定ブロック８の傾斜面に固定することにより、レバー７を固定ブロック８の傾斜面に沿った傾斜方向に引っ張る力を発生させ、その引っ張り力に起因するプレート２，３間の固定力を発生させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品製造装置を構成する複数の構成要素のうち、少なくとも１つの構成要素を別の構成要素に対して着脱可能に固定するための構成要素固定装置において、
第１の構成要素に設けられた第１の固定部材と、
第２の構成要素に設けられて前記第１の固定部材に固定される第２の固定部材と、
弾性を利用して前記第１と第２の固定部材同士を固定する固定治具とを備え、
前記固定治具は、前記第１と第２の固定部材の少なくとも一方に係合して第１と第２の固定部材間に前記弾性を利用した固定力を発生させる固定位置と、係合先の固定部材を解放する解放位置との間で動作するレバーを有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の電子部品製造装置用の構成要素固定装置。
【請求項２】
前記固定治具は、掛け止め部を備えた前記レバーと、前記第１と第２の固定部材間の固定面に対して傾斜する傾斜方向にレバーを固定する固定ブロックを有し、掛け止め部と固定ブロックとを第１と第２の固定部材にそれぞれ接続し、かつ、前記弾性を利用してレバーを固定ブロックに固定することにより、レバーを傾斜方向に引っ張る力を発生させ、その引っ張り力に起因する第１と第２の固定部材間の固定力を発生させるように構成された、
ことを特徴とする請求項１に記載の電子部品製造装置用の構成要素固定装置。
【請求項３】
前記掛け止め部は、弾性部材を用いて構成されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の電子部品製造装置用の構成要素固定装置。
【請求項４】
前記掛け止め部は、弾性部材を介して前記レバーに接続される、
ことを特徴とする請求項２または請求項３に記載の電子部品製造装置用の構成要素固定装置。
【請求項５】
前記レバーは、弾性部材を介して前記固定ブロックに接続される、
ことを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれかに記載の電子部品製造装置用の構成要素固定装置。
【請求項６】
前記固定ブロックは、弾性部材を介して前記第２の固定部材に接続される、
ことを特徴とする請求項２乃至請求項５のいずれかに記載の電子部品製造装置用の構成要素固定装置。
【請求項７】
前記弾性部材は、板バネ、コイルスプリング、トーションバー、ゴム、の中から選択された弾性部材である、
ことを特徴とする請求項３乃至請求項６のいずれかに記載の電子部品製造装置用の構成要素固定装置。
【請求項８】
前記第１と第２の固定部材を、前記固定治具とは異なる部分で固定する固定爪を備えた、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の電子部品製造装置用の構成要素固定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置等の電子部品を製造するための電子部品製造装置に関するものであり、特に、製造装置を構成する各種の部材やユニット等の構成要素を固定するための構成要素固定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置等の電子部品を製造するための電子部品製造装置は、多数の部材やユニット等の多様な構成要素から構成されている。特に、近年は、メンテナンス性向上のため、機能毎にユニットを構成し、着脱可能な状態で装置に固定されることが多くなっている。図３は、電子部品製造装置の筐体に複数のユニットを固定した状態を示す構成図である。この図３に示すように、複数のユニット３１の各々は、製造装置の筐体３２、または別のユニットや部材に対して、複数箇所に配置された固定部３３により固定されている。
【０００３】
また、図４は、図３に示す固定部３３の構成の一例を示す部分拡大断面図である。この図４に示すように、ユニット３１が筐体３２の表面に対して直角方向に固定される場合の固定部３３は、例えば、「Ｌ」字状の固定金具４１と、この固定金具４１をユニット３１と筐体３２にそれぞれ固定するための固定ボルト４２等から構成されている。この場合、「Ｌ」字状の固定金具４１における第１の直線部分４１ａは、固定ボルト４２によりユニット３１の表面に固定されており、第１の直線部分４１ａと直交する第２の直線部分４１ｂは、固定ボルト４２により筐体３２の表面に固定されている。
【０００４】
さらに、着脱可能に固定される固定対象となるユニットや部材等の構成要素を、固定先となる筐体、または別のユニットや部材等の構成要素に対して固定ボルト等の固定治具により直接固定する方法等も採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−８３８０１号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、電子部品製造装置が故障した場合、故障したユニットや部材を交換して電子部品製造装置を修理することが多い。また、ユニットや部材を取り外した状態でのメンテナンスが要求されることも多い。さらに、生産工程中に脱落して製造装置内に入った半導体装置やゴミ等を除去するためにユニットや部材を取り外す必要が発生することも多い。
【０００７】
このように、電子部品製造装置においては、ユニットや部材等の構成要素の取り外しが、かなり高い頻度で要求される。しかしながら、図Ｐ２に示すような固定ボルト等の固定治具を用いた従来の固定部の構成の場合、複数の固定治具ボルトの取り外しや取り付けを順次行う等の必要から、構成要素の着脱に時間がかかる。そのため、上記のような電子部品製造装置の修理、メンテナンス等の作業時間に占める構成要素の着脱時間が大きくなり、その結果、電子部品製造装置の停止時間が長くなり、生産性を低下させる要因となっていた。
【０００８】
また、固定ボルト等の固定治具は、何らかの作業工具を使用しないと操作できないため、作業現場にそのような作業工具を常備するか、あるいは、メンテナンス作業員が常に作業工具を携帯しなくてはならないという問題もあった。すなわち、作業現場に作業工具を常備するためには、一定のスペースが必要となるため、作業現場のスペース効率が低下する。また、メンテナンス作業員が常に作業工具を携帯する場合には、移動時に作業工具の確認を行う等により作業員の移動時における作業効率の低下にもつながる。さらに、いずれの場合でも、工具管理のための作業工数が必要となるため、生産コストの増大にもつながる。
【０００９】
その上、作業工具の使用に不慣れな作業員の場合等には、構成要素の着脱時間がさらに長くなり、電子部品製造装置の停止時間がさらに長くなってしまうという問題もあった。
【００１０】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、ユニットや部材等の構成要素を確実に固定しながらしかもその着脱を容易かつ短時間で行うことの可能な、電子部品製造装置用の構成要素固定装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、固定治具として、固定位置と解放位置との間で動作するレバーを有する弾性利用の固定治具を使用することにより、ユニットや部材等の構成要素を確実に固定しながらしかもその着脱を容易かつ短時間で行うことを可能にしたものである。
【００１２】
なお、本発明において重要な用語の定義は次の通りである。
「構成要素」は、電子部品製造装置を構成する単位となる個々の構成要素を意味する用語であり、各種のユニットや部材だけでなく、筐体等の他の構成要素も含めた広い概念である。
【００１３】
請求項１の発明は、電子部品製造装置を構成する複数の構成要素のうち、少なくとも１つの構成要素を別の構成要素に対して着脱可能に固定するための構成要素固定装置において、第１の構成要素に設けられた第１の固定部材と、第２の構成要素に設けられて第１の固定部材に固定される第２の固定部材と、弾性を利用して第１と第２の固定部材同士を固定する固定治具とを備えたことを特徴としている。ここで、固定治具は、第１と第２の固定部材の少なくとも一方に係合して第１と第２の固定部材間に弾性を利用した固定力を発生させる固定位置と、係合先の固定部材を解放する解放位置との間で動作するレバーを有する。
【００１４】
この発明によれば、固定対象となるユニットや部材に設けた固定部材と、固定先となる筐体、または別のユニットや部材に設けた固定部材とを、固定位置と解放位置との間で動作するレバーを有する弾性利用の固定治具により確実かつ容易に短時間で固定することができる。すなわち、作業工具を使用する必要なしに、手動でレバーを操作するだけで、固定対象となるユニットや部材を固定先の筐体、ユニット、部材等に確実かつ容易に短時間で固定できる。また、ユニットや部材の取り外しも、同様に手動でレバーを操作するだけで、容易かつ短時間に行うことができる。
【００１５】
請求項２の発明は、請求項１の電子部品製造装置用の構成要素固定装置において、固定治具が、掛け止め部を備えたレバーと、第１と第２の固定部材間の固定面に対して傾斜する傾斜方向にレバーを固定する固定ブロックを有することを特徴としている。この固定治具は、掛け止め部と固定ブロックとを第１と第２の固定部材にそれぞれ接続し、かつ、弾性を利用してレバーを固定ブロックに固定することにより、レバーを傾斜方向に引っ張る力を発生させ、その引っ張り力に起因する第１と第２の固定部材間の固定力を発生させるように構成される。
【００１６】
この発明によれば、固定対象となるユニットや部材に設けた固定部材と、固定先となる筐体、または別のユニットや部材に設けた固定部材とを、掛け止め部を備えたレバーと、固定部材間の固定面に対して傾斜する傾斜方向にレバーを固定する固定ブロックを有する弾性利用の固定治具により確実かつ容易に短時間で固定することができる。特に、固定面に対して傾斜方向にレバーを固定することにより、レバー操作に必要な力を小さくしながら、しかも、レバーを固定ブロックに固定した状態では高い固定力を確保することができる。また、この発明の固定装置は、市販のスナップ錠等の入手が容易な固定治具を適宜利用する等により、低コストで作製可能である。
【００１７】
請求項３の発明は、請求項２の電子部品製造装置用の構成要素固定装置において、掛け止め部が弾性部材を用いて構成されていることを特徴としている。
請求項４の発明は、請求項２または請求項３の電子部品製造装置用の構成要素固定装置において、掛け止め部が弾性部材を介してレバーに接続されることを特徴としている。
【００１８】
請求項５の発明は、請求項２乃至請求項４のいずれかの電子部品製造装置用の構成要素固定装置において、レバーが弾性部材を介して固定ブロックに接続されることを特徴としている。
請求項６の発明は、請求項２乃至請求項５のいずれかの電子部品製造装置用の構成要素固定装置において、固定ブロックが弾性部材を介して第２の固定部材に接続されることを特徴としている。
【００１９】
請求項７の発明は、請求項３乃至請求項６のいずれかの電子部品製造装置用の構成要素固定装置において、弾性部材が、板バネ、コイルスプリング、トーションバー、ゴム、の中から選択された弾性部材であることを特徴としている。
【００２０】
以上のような発明によれば、板バネ、コイルスプリング、トーションバー、ゴム、等の入手が容易な既存の弾性部材を、掛け止め部、掛け止め部とレバーとの接続部、レバーと固定ブロックとの接続部、固定ブロックと固定部材との接続部、等に適宜使用することにより、固定治具を自由に設計し、固定対象となるユニットや部材に応じた最適な固定装置を容易に作製することができる。
【００２１】
請求項８の発明は、請求項１乃至請求項７のいずれかの電子部品製造装置用の構成要素固定装置において、第１と第２の固定部材を、固定治具とは異なる部分で固定する固定爪を備えたことを特徴としている。
【００２２】
この発明によれば、第１と第２の固定部材を、一端で固定治具により固定し、別の一端で固定爪により固定する等の固定方式が可能となるため、固定構造の信頼性を確保しながら、しかも、固定治具の数を少なくして固定装置を小型・簡略化することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下には、上記のような本発明を適用した実施の形態について図面を参照しながら具体的に説明する。
【００２４】
［１．実施形態の構成］
図１は、本発明の実施形態として、電子部品製造装置のユニットを筐体に接続するユニット固定装置の１つの形態を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。この図１に示すように、本実施形態のユニット固定装置１は、筐体に接続される筐体側プレート（第１の固定部材）２、ユニットに接続されるユニット側プレート（第２の固定部材）３、プレート２，３の図中左側の端部を固定する固定爪４、プレート２，３の図中右側部分を固定する固定治具５、等から構成されている。
【００２５】
ここで、固定治具５は、フック（掛け止め部）６を備えたレバー７と、プレート２，３の固定面に対して傾斜する傾斜方向にレバー７を固定する固定ブロック８とから構成されている。このうち、固定ブロック８は、ボルト９等によりユニット側プレート３に装着されており、プレート２，３の固定面である主表面に対して４０度傾斜する傾斜面を備えている。
【００２６】
レバー７は、固定ブロック８に対して軸７ａにより回動可能に支持されており、図中破線で示す解放位置（図中左側に傾いた状態）と、図中実線で示すような固定位置、すなわち、固定ブロック８の傾斜面に固定される固定位置（図中右側に傾いた状態）との間で動作するようになっている。また、フック６は、弾性部材から構成されており、レバー７に対して軸６ａにより回動可能に支持されている。
【００２７】
そして、このフック６の先端部６ｂを、筐体側プレート２に設けられた凹部２ａに掛け止めた状態で、レバー７を固定ブロック８の傾斜面に固定することにより、レバー７を固定ブロック８の傾斜面に沿った傾斜方向に引っ張る力を発生させ、その引っ張り力に起因するプレート２，３間の固定力を発生させるように構成されている。
【００２８】
なお、図２に示すように、筐体側プレート２と固定爪４は筐体１１に接続され、固定治具５を装着したユニット側プレート３はユニット１２に接続されている。この図２においては、一例として、筐体側プレート２と固定爪４をボルト１３等により筐体１１に接続すると共に、固定治具５を装着したユニット側プレート３を、ボルト１４等によりユニット１２に接続した状態が示されている。しかし、これらのプレート２，３や固定爪４は、一般的に、筐体１１やユニット１２から着脱可能とする必要がない場合が多いため、溶接等により筐体１１やユニット１２に完全に固定したり、あるいは、筐体１１やユニット１２の成形時に一体成形したりしてもよい。
【００２９】
［２．実施形態の作用］
以上のような構成を有する本実施形態のユニット固定装置によれば、筐体１１とユニット１２とを着脱可能に固定することができる。
【００３０】
すなわち、ユニット１２を筐体１１に取り付ける場合には、図１に示すように、筐体１１に接続された筐体側プレート２と、ユニット１２に接続されたユニット側プレート３とを重ね、ユニット側プレート３の一端（図中左端）を筐体１１に接続された固定爪４に挿入して固定する。この状態から、ユニット側プレート３上に装着された固定治具５を操作して、筐体側プレート２とユニット側プレート３の反対側の部分を固定する。この操作の詳細は次の通りである。
【００３１】
まず、図１に示すように、レバー７を図中破線で示す解放位置側に動作させることにより、このレバー７に対して軸６ａで支持されたフック６の先端部６ｂを、筐体側プレート２に設けられた凹部２ａに挿入する。この状態で、レバー７を、図中破線で示す解放位置から図中実線で示す固定位置に動作させ、固定ブロック８の傾斜面に固定する。
【００３２】
この場合、フック６は、その弾性によって伸び、レバー７を固定ブロック８の傾斜面に沿って筐体１１側（図中左斜め下方）に引っ張る力が発生する。この引っ張り力は、固定ブロック８を通して、Ｚ方向（図中上下方向）の固定力に変換され、筐体側プレート２−ユニット側プレート３間を固定する。その結果、これらのプレート２，３に接続された筐体１１とユニット１２とが固定される。
【００３３】
また、ユニット１２を筐体１１から取り外す場合には、レバー７を、上記の操作とは逆に、固定位置から解放位置に動作させることにより、プレート２，３間の固定力が解放されるため、続いて固定爪４からユニット側プレート３を引き出すことにより、筐体１１からユニット１２を取り外すことができる。
【００３４】
なお、上記の説明においては、ユニットを筐体に固定する場合について説明したが、プレートの接続先を部材や別のユニットに置き換えることにより、各種の構成要素を別の各種の構成要素に着脱可能に固定し、また取り外すことができる。
【００３５】
［３．実施形態の効果］
以上のような本実施形態のユニット固定装置によれば、次のような効果が得られる。
【００３６】
まず、固定対象となる構成要素に設けたプレートと、固定先となる構成要素に設けたプレートとを、フックを備えたレバーと、プレート間の固定面に対して傾斜する傾斜方向にレバーを固定する固定ブロックを有する弾性利用の固定治具により確実かつ容易に短時間で固定することができる。
【００３７】
すなわち、構成要素間をボルト等の固定治具によって固定していた従来の固定方法においては何らかの作業工具を使用する必要があったが、本実施形態においては、作業工具を使用する必要なしに、手動でレバーを操作するだけで、固定対象となる構成要素を固定先の構成要素に確実かつ容易に短時間で固定できる。また、構成要素の取り外しも、同様に手動でレバーを操作するだけで、容易かつ短時間に行うことができる。
【００３８】
したがって、本実施形態によれば、従来に比べてユニットや部材等の着脱時間を大幅に短縮することができ、修理時間、メンテナンス時間を短縮して、電子部品製造装置の停止時間を短縮できるため、生産性を向上することができる。また、作業現場に作業工具を常備したり、メンテナンス作業員が作業工具を常に持ち歩いたりする必要がなくなるため、作業現場におけるスペース効率の向上や、作業員の移動時における作業効率の向上にもつながる。さらに、工具管理のための作業工数を削減できるため、生産コストの削減にもつながる。
【００３９】
その上、作業工具の使用に不慣れな作業員であっても、レバーの手動操作は極めて容易であるため、ユニットや部材等の着脱時間が長くなることはない。したがって、作業員の経験や熟練度に関係なく、電子部品製造装置の停止時間をできるだけ短縮することができ、高い生産性を確保することができる。
【００４０】
本実施形態においては特に、固定面に対して傾斜方向にレバーを固定することにより、レバー操作に必要な力を小さくしながら、しかも、レバーを固定ブロックに固定した状態では高い固定力を確保することができる。また、本実施形態のユニット固定装置は、市販のスナップ錠等の入手が容易な固定治具を適宜利用する等により、低コストで作製可能である。
【００４１】
また、本実施形態においては、２枚のプレートを、一端で固定治具により固定し、別の一端で固定爪により固定する固定方式としているため、固定構造の信頼性を確保しながら、しかも、固定治具の数を少なくして固定装置を小型・簡略化することができる。
【００４２】
［４．他の実施形態］
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で他にも多種多様な形態が実施可能である。
【００４３】
例えば、前記実施形態においては、フックを弾性部材から構成し、フックの弾性力によって構成要素間の固定力を得る場合について説明したが、フック−レバー間に、板バネ、コイルバネ、トーションバー、ゴム等の弾性部材を用いてもよい。また、レバー−固定ブロック間、固定ブロック−第２の固定部材間に弾性材料を設けてもよい。さらに、これらの構成を適宜組み合わせることも可能である。本発明においては、このように、固定治具の各部に弾性部材を適宜使用することにより、固定治具を自由に設計し、固定対象となるユニットや部材に応じた最適な固定装置を容易に作製することができる。
【００４４】
また、前記実施形態においては、ユニットと筐体を固定するための一組のユニット固定装置として、１つの固定治具と１つの固定爪を使用した場合について説明したが、本発明における固定装置はこれに限らず、ある構成要素間を固定する一組のユニット固定装置に固定爪を使用せず、複数の固定治具を使用することも可能である。逆に、一組のユニット固定装置を、複数の固定治具と固定爪を組み合わせて構成することも可能である。
【００４５】
そしてまた、前記実施形態においては、レバーの掛け止め部をフックとしたが、掛け止め部の具体的な構成は自由に変更可能である。また、このような掛け止め部を備えたレバーと、このレバーを傾斜方向に固定する固定ブロックからなる固定治具の具体的な構成は自由に変更可能である。例えば、前記実施形態においては、固定ブロックの傾斜面の角度をプレートの固定面である主表面から４０度傾斜する角度としたが、傾斜面の角度は自由に設定可能である。
【００４６】
さらに、このような、レバーと固定ブロックからなる固定治具は、前述したように、市販のスナップ錠等の入手が容易な固定治具を適宜利用できる等の優れた利点を有するが、本発明において使用する固定治具は、これに限らず、固定位置と解放位置との間で動作するレバーを有する弾性利用の固定治具である限り、各種の固定治具を同様に適用可能であり、同様に優れた効果が得られるものである。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、固定治具として、固定位置と解放位置との間で動作するレバーを有する弾性利用の固定治具を使用することにより、ユニットや部材等の構成要素を確実に固定しながらしかもその着脱を容易かつ短時間で行うことの可能な、電子部品製造装置用の構成要素固定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態として、電子部品製造装置のユニットを筐体に接続するユニット固定装置の１つの形態を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図。
【図２】図１に示すユニット固定装置によりユニットを筐体に接続した状態を示す側面図。
【図３】従来の電子部品製造装置において筐体に複数のユニットを固定した状態を示す構成図。
【図４】図３に示す固定部の構成の一例を示す部分拡大断面図。
【符号の説明】
１．．．ユニット固定装置
２．．．筐体側プレート（第１の固定部材）
３．．．ユニット側プレート（第２の固定部材）
４．．．固定爪
５．．．固定治具
６．．．フック（掛け止め部）
６ａ，７ａ．．．軸
６ｂ．．．先端部
７．．．レバー
８．．．固定ブロック
９．．．ボルト
１１．．．筐体
１２．．．ユニット
１３，１４．．．ボルト
【図１】
2004186441.tif 000003
【図２】
2004186441.tif 000004
【図３】
2004186441.tif 000005
【図４】
2004186441.tif 000006