(57)【要約】【課題】より高精度な原点位置再現性が得られ、レンズ駆動機構を省スペースで実現させることができる光学要素の駆動装置、該駆動装置を有する露光装置、デバイス製造方法、光学特性調整方法を提供する。【解決手段】固定部材と保持部材とを有し、該保持部材を光軸方向に移動させ、光学特性を調整する光学要素の駆動装置において、前記固定部材と前記保持部材との間が少なくとも２枚以上の板ばね部材によって接続されており、これらの部材が接続されて形成された空間領域内で、前記固定部材を構成する領域とそれ以外の領域とが、前記保持部材の光軸方向への移動によって接する接触部構造を有する構成とする。【選択図】　　　　　　図３
2004029431.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部材と保持部材とを有し、該保持部材を該保持部材に保持された光学要素と共に前記固定部材に対して光軸方向に移動させ、光学特性を調整する光学要素の駆動装置において、
前記固定部材と前記保持部材との間が少なくとも２枚以上の板ばね部材によって接続されており、これらの部材が接続されて形成された空間領域内で、前記固定部材を構成する領域とそれ以外の領域とが、前記保持部材の光軸方向への移動によって接する接触部構造を有することを特徴とする光学要素の駆動装置。
【請求項２】
前記接触部構造は、前記保持部材の光軸方向への移動によって前記固定部材の少なくとも一部と前記保持部材の少なくとも一部とが接触するようにした構造であることを特徴とする請求項１に記載の光学要素の駆動装置。
【請求項３】
前記固定部材の少なくとも一部と前記保持部材の少なくとも一部とが接触する位置が、前記光学要素の光軸により近い位置に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の光学要素の駆動装置。
【請求項４】
前記接触部構造は、前記保持部材の光軸方向への移動によって前記固定部材の少なくとも一部と前記板ばね部材の少なくとも一部とが接触するようにした構造であることを特徴とする請求項１に記載の光学要素の駆動装置。
【請求項５】
前記板ばね部材と前記固定部材とが接触する位置が、前記保持部材により近い位置に設けられていることを特徴とする請求項４に記載の光学要素の駆動装置。
【請求項６】
前記板ばね部材と前記固定部材とは、その接触幅が可及的に狭く、前記接触幅の内径位置が可及的に保持部材に接近するように構成されていることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の光学要素の駆動装置。
【請求項７】
前記板ばね部材と前記固定部材とは、３点以上の接点、または円環状の接点で接触するように構成されていることを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載の光学要素の駆動装置。
【請求項８】
前記板ばね部材を中間に、前記板ばね部材が前記鏡筒部材と前記保持部材に固定され、前記保持部材の外径以上の位置に、前記接触幅を有した、位置決め部材が前記板ばね部材を介して、前記保持部材又は前記固定部材と挟む状態が存在することを特徴とする請求項４〜７のいずれか１項に記載の光学要素の駆動装置。
【請求項９】
前記空間領域は、前記各部材の接続により形成された平行四辺形のリンク機構による密閉された空間領域であり、該空間領域内を圧力調整して前記保持部材を光学要素と共に光軸方向へ移動させる構成を有することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の光学要素の駆動装置。
【請求項１０】
前記固定部材の少なくとも一部と前記保持部材の少なくとも一部とが、前記空間領域内を加圧状態又は大気開放状態とすることにより接触する構成を有することを特徴とする請求項９に記載の光学要素の駆動装置。
【請求項１１】
前記保持部材の少なくとも一部又は前記固定部材の少なくとも一部と前記板ばね部材の少なくとも一部とが、前記空間領域内を加圧状態又は大気開放状態とすることにより接触する構成を有することを特徴とする請求項９に記載の光学要素の駆動装置。
【請求項１２】
前記固定部材が、前記保持部材を支持して光軸方向への移動を案内する鏡筒であることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の光学要素の駆動装置。
【請求項１３】
請求項１２項に記載の光学要素の駆動装置を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１５】
光学要素の駆動装置によって保持部材と該保持部材に保持された光学要素を共に固定部材に対して光軸方向に移動させ、光学特性を調整する光学特性調整方法において、前記光学要素の駆動装置を請求項１〜１２のいずれか１項に記載の光学要素の駆動装置によって構成したことを特徴とする光学特性調整方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学要素の駆動装置、該駆動装置を有する露光装置、デバイス製造方法、光学特性調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩ等の固体素子の集積度および動作速度を向上させるため、回路パターンの微細化が進んでいる。現在これらのパターン形成には、量産性と解像性能に優れた縮小投影露光法による半導体露光装置が広く用いられている。この方法は転写パターンが描画された原版であるマスク上の回路パターンを投影レンズを介して一括して被露光基板上であるシリコンウエハに転写するものである。また、数多くの異なる種類のパターンを有する原版（マスク）を基板（シリコンウエハ）に転写する。高集積度の回路を作成するためには、解像性能だけでなく重ね合せ精度の向上が不可欠である。
【０００３】
半導体露光装置における重ね合せ誤差はアライメント誤差、像歪み、および倍率誤差に分類される。アライメント誤差は、原版（マスク）と基板（ウエハ）との相対位置調整によって軽減される。一方、倍率誤差は、投影光学系の一部を光軸方向に移動させることによって調整可能である。光軸方向に移動させる際には、移動方向以外の他成分、とりわけ平行偏心、および傾き誤差が大きくならないようにしなければならない。
上記のような重ね合わせ誤差が生じた場合、半導体露光装置の投影倍率調整としてレンズ移動装置が用いられ、レンズ位置を光軸方向に移動させることで重ね合わせ誤差を補正する。レンズ位置を変位センサによって計測しているが、温度変動などによって出力値が変動（ドリフト）する可能性がある。このことは、倍率、収差等の誤差を生じる結果につながるため、相対的な基準位置補正を行うことが望ましい。そのため、原点位置を設け、その位置を基準として用いることでレンズ位置調整を行う。
【０００４】
従来、レンズ移動装置がレンズ及びレンズを保持する保持部材（可動部）及び固定されている鏡筒（固定部）及び可動部と固定部を繋ぐ上下対となる板ばねによって構成され、原点位置として突き当て（可動部が最も下がって突起などの部材に当たって止まる位置）を機械的最下点とする方法が提案されている（特開平０９−１０６９４４号公報）。図５に従来例を図示する。図５において、６１はレンズ、６２はレンズ６１を保持し、かつ上下に移動する保持部材（可動部）である。また、６３は可動部６２の基準となる鏡筒（固定部）、６４は上下２枚１組以上で可動部６２と固定部６３とに対称的に配置し、固定され、長方形リンクのばね機構をなす板ばねである。６５は可動部から腕として伸ばしたクランプ天板、６６はクランプ天板６５に取り付けたターゲット、６７は空気圧力により力を発生させ、クランプ天板６５を上下に移動させる駆動要素である。６８はターゲット６６（レンズ６１）と固定部６３との変位を計測する変位センサ、６９は変位センサ６８を固定部６３に固定するセンサホルダである。７０はセンサホルダ６９の突起物であり、可動部６２が最も下がって突起物に当たって止まることを目的とした突き当てである。可動部６２が最も下がった位置で突き当てと接触し、その位置を原点位置としてレンズ移動を行い、重ね合わせ誤差を補正する。同時に、変位センサ６８とターゲット６６とが接触による破損防止も兼ねている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例では、設置後に変位センサ及び突き当て等のメンテナンスを行うには有効な手段であるが、以下の場合においては不具合が生じる。まず、従来例のレンズ駆動機構に設けている突き当て構造は、前記長方形リンクのばね機構内部で前記板ばねと前記可動部外径部が接する点と同一面（径方向）で且つ可動部外径に近い位置で基準点（接触点）を設けていないので、前記可動部に傾き及び平行偏芯誤差等が生じている場合、原点位置への影響度が大きくなり、位置到達時間への悪影響や設計ストロークからのずれ等が生じる。このため、接合部との平面度を高精度に組み立てなければならない。また、可動部から伸ばしたターゲット板、変位センサ及びセンサホルダ等からなる突き当て構造を、ばね機構外部に設けているため、そのためのスペースが余分に必要となる。ゆえに、従来例も含め上記のような広範囲な場合においても、精度の高いレンズの原点位置として突き当て構造が、省スペースで設けられる構成が望まれる。
【０００６】
そこで、本発明は、より高精度な原点位置再現性が得られ、レンズ駆動機構を省スペースで実現させることができる光学要素の駆動装置、該駆動装置を有する露光装置、デバイス製造方法、光学特性調整方法を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、つぎの（１）〜（１５）のように構成した光学要素の駆動装置、該駆動装置を有する露光装置、デバイス製造方法、光学特性調整方法を提供するものである。
（１）固定部材と保持部材とを有し、該保持部材を該保持部材に保持された光学要素と共に前記固定部材に対して光軸方向に移動させ、光学特性を調整する光学要素の駆動装置において、
前記固定部材と前記保持部材との間が少なくとも２枚以上の板ばね部材によって接続されており、これらの部材が接続されて形成された空間領域内で、前記固定部材を構成する領域とそれ以外の領域とが、前記保持部材の光軸方向への移動によって接する接触部構造を有することを特徴とする光学要素の駆動装置。
（２）前記接触部構造は、前記保持部材の光軸方向への移動によって前記固定部材の少なくとも一部と前記保持部材の少なくとも一部とが接触するようにした構造であることを特徴とする上記（１）に記載の光学要素の駆動装置。
（３）前記固定部材の少なくとも一部と前記保持部材の少なくとも一部とが接触する位置が、前記光学要素の光軸により近い位置に設けられていることを特徴とする上記（２）に記載の光学要素の駆動装置。
（４）前記接触部構造は、前記保持部材の光軸方向への移動によって前記固定部材の少なくとも一部と前記板ばね部材の少なくとも一部とが接触するようにした構造であることを特徴とする上記（１）に記載の光学要素の駆動装置。
（５）前記板ばね部材と前記固定部材とが接触する位置が、前記保持部材により近い位置に設けられていることを特徴とする上記（４）に記載の光学要素の駆動装置。
（６）前記板ばね部材と前記固定部材とは、その接触幅が可及的に狭く、前記接触幅の内径位置が可及的に保持部材に接近するように構成されていることを特徴とする上記（４）または上記（５）に記載の光学要素の駆動装置。
（７）前記板ばね部材と前記固定部材とは、３点以上の接点、または円環状の接点で接触するように構成されていることを特徴とする上記（４）〜（６）のいずれかに記載の光学要素の駆動装置。
（８）前記板ばね部材を中間に、前記板ばね部材が前記鏡筒部材と前記保持部材に固定され、前記保持部材の外径以上の位置に、前記接触幅を有した、位置決め部材が前記板ばね部材を介して、前記保持部材又は前記固定部材と挟む状態が存在することを特徴とする上記（４）〜（７）のいずれかに記載の光学要素の駆動装置。
（９）前記空間領域は、前記各部材の接続により形成された平行四辺形のリンク機構による密閉された空間領域であり、該空間領域内を圧力調整して前記保持部材を光学要素と共に光軸方向へ移動させる構成を有することを特徴とする
上記（１）〜（８）のいずれかに記載の光学要素の駆動装置。
（１０）前記固定部材の少なくとも一部と前記保持部材の少なくとも一部とが、前記空間領域内を加圧状態又は大気開放状態とすることにより接触する構成を有することを特徴とする上記（９）に記載の光学要素の駆動装置。
（１１）前記保持部材の少なくとも一部又は前記固定部材の少なくとも一部と前記板ばね部材の少なくとも一部とが、前記空間領域内を加圧状態又は大気開放状態とすることにより接触する構成を有することを特徴とする上記（９）に記載の光学要素の駆動装置。
（１２）前記固定部材が、前記保持部材を支持して光軸方向への移動を案内する鏡筒であることを特徴とする上記（１）〜（１１）のいずれかに記載の光学要素の駆動装置。
（１３）上記（１２）に記載の光学要素の駆動装置を有することを特徴とする露光装置。
（１４）上記（１３）に記載の露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
（１５）光学要素の駆動装置によって保持部材と該保持部材に保持された光学要素を共に固定部材に対して光軸方向に移動させ、光学特性を調整する光学特性調整方法において、前記光学要素の駆動装置を上記（１）〜（１２）のいずれかに記載の光学要素の駆動装置によって構成したことを特徴とする光学特性調整方法。
【０００８】
【発明の実施の形態】
上記構成を適用して光学要素の駆動装置を構成することにより、構造的に簡便で、適用する環境・条件範囲が広く、設計が容易で、より再現精度の高い原点位置及び原点位置到達時間の向上を図ることが可能となる光学要素の駆動装置を得ることができ、像の重ね合わせをより高精度にかつ速やかに行えることが可能となる。
また、上記構成を適用して、例えばレンズ駆動機構を構成するに際して、保持部材と鏡筒を構成する固定部材とが、少なくとも２枚以上の板ばねで接続された４節リンクによるばね機構を構成し、前記リンク内部で前記保持部材と前記鏡筒とが接する位置を光学要素（レンズ）の原点位置（基準位置）として用いることで、省スペースとする設計が可能となる。その際、前記保持部材と前記鏡筒とが光学要素（レンズ）の光軸に最も近い位置で接するように構成することで、その接点位置が光学要素（レンズ）の原点位置（基準位置）となり、精度の高い原点位置を得ることが可能となる。ここで、原点位置（基準位置）とは、光学要素（レンズ）の位置補正を行う際の、相対的な基準位置のことである。
また、前記リンク内部で前記板ばねと前記鏡筒とが接するように構成し、両者が接する位置を光学要素（レンズ）の原点位置（基準位置）として用いることで、省スペースとする設計が可能となる。その際、前記板ばねと前記鏡筒とが前記保持部材に最も近い位置で接するように構成することで、その接点位置が光学要素（レンズ）の原点位置（基準位置）となり、精度の高い原点位置を得ることが可能となる。また、前記板ばねと前記鏡筒とが径方向にある幅を持った範囲内で接触し、接触可能な範囲を狭く、つまり接触幅の外径位置を可能な限り内径側に近づけるあるいは径方向に点接触とすることで、軸対称の位置で接触させることができる。さらに、接触幅の内径位置が可能な限り保持部材に接近している。これらの条件を満たす接点によってより再現精度の高い原点位置（基準位置）を得る事が可能となる。また、前記板ばねと前記鏡筒との接点を３点以上又は円環状とし、その接点位置を前記光学素子の原点位置（基準位置）として用いることで、チルト方向に低剛性なリンクばね構造で適用可能となる。また、前記接触幅を有した、前記位置決め部材が板ばねを介して、前記保持部材又は前記鏡筒部材と挟むことで、さらに再現精度の高い原点位置を得ることが可能となる。
また、レンズ駆動機構に駆動力が働いていない状態、つまり板ばねが前記保持部材による自重変形である状態で前記板ばねと前記鏡筒とが接するように構成することにより、前記レンズ駆動機構の共振を抑止することが可能となる。
また、レンズ駆動機構に駆動力を働かせている状態で、前記保持部材と前記鏡筒とが接するように構成することにより、基準位置に達する時間が短縮され、原点位置到達時間のより短縮化を図ることが可能となる。
したがって、このようなレンズ駆動機構を露光装置に適用すれば、像の重ね合わせ精度の向上及び高い信頼性、簡便な構造で省スペースな露光装置を実現することができ、スループットの向上を図ることが可能となる。また、光学特性調整方法にこのようなレンズ駆動機構を用いることにより、より高精度な原点位置再現性が得られ、省スペース化が可能となる光学特性調整方法を提供することができる。
【０００９】
【実施例】
以下に、本発明の実施例について説明する。
［実施例１］
図１は、本発明の実施例１に係る半導体露光装置の投影光学系ユニットの一部を示す図である。図１において、１は本実施例の半導体露光装置における投影光学系を含む鏡筒、２は鏡筒１を支持する本体定盤、３は表面に感光剤を塗布してあるウエハ、４はウエハ３を支持するウエハステージ、５はウエハ３に転写するパターンを描写したレチクル（原版）、６はレチクル５を保持するレチクルステージ、７はレチクル５に露光光で照明する照明系光学ユニットの一部、８は本体定盤２上に位置し、レチクルステージ６を保持する外筒、９は投影光学系の一部となる、駆動するレンズ駆動ユニットである。照明系光学ユニット７によりレチクル５を露光し、投影光学系レンズ（鏡筒１の内部）を介してウエハ３にレチクル５のパターンを転写する。
【００１０】
図２は、本実施例の投影光学系ユニットの一部であるレンズ駆動機構を説明する図である。図２において、１１は投影光学系の一部であるレンズ、１２はレンズを保持し、かつ上下に移動する可動部、１３は可動部１２の基準となる固定部、１４は可動部１２及び固定部１３の上下に固定され、ばね機構をなす円環状の板ばね、１５は上下各２個ずつ設け、板ばね１４と可動部１２及び固定部１３とを締結させる円環状の板ばね押えである。上記の構成において、板ばね押え１５により、可動部１２及び固定部１３と板ばね１４とを締結させた４点を繋いだ、断面が平行四辺形の４節リンクばね機構の駆動要素をもち、可動部１２を移動させる駆動力とばね力の釣り合いにより、レンズ１１（可動部１２）位置を移動させる。駆動要素は案内要素を兼ねている。基本的に可動部１２及び固定部１３は円筒形状であり、板ばね１４が可動部１２の内径エッジ及び固定部１３の外径エッジ及び板ばね押え１５の内径又は外径のエッジにより断面の平行四辺形の４節が決まり、板ばね１４と可動部１２と固定部１３より密閉された空間容積の変化によって可動部１２と固定部１３が相対移動する。移動は光軸方向であり、４節により形成される断面平行四辺形の上辺が下辺より光軸に近い場合光軸上を下に変位し、逆に下辺が上辺より光軸に近い場合光軸上を上に変位する。固定部１３に少なくとも１ヶ所密閉された空間に達する穴を設け、その穴を通じて密閉空間内の体積変化を、外部から駆動流体の圧力変化、例えば圧力コントローラなどで調整し、可動部１２の位置を変化させる。
【００１１】
図３は、本実施例の突き当て機能を持つレンズ駆動機構を説明する図（半断面図）である。同図において２１は投影光学系の一部であるレンズ、２２はレンズを支持する保持部材、２３は保持部材２２を支持し、上下に移動する可動部、２４は側面に長方形貫通穴を１ヶ所設け、可動部２３の基準となる固定部（鏡筒）、２５は可動部２３及び固定部２４の上下に固定され、ばね機構をなす円環状の板ばね、２６は上下各２個ずつ設け、板ばね２５と可動部２３及び固定部２４とをボルトによって締結させ、各締結間隔が内側と外側で等間隔となるようにボルト穴を配置した、円環状の板ばね押え、２７は可動部２３（レンズ２１）と固定部２４の変位を計測する変位センサ、２８は変位センサ２７を固定させるセンサホルダ、２９は変位センサ２７の位置微調整を行い、センサホルダ２８によって変位センサ２７を固定させるセンサ調整板、３０は板ばね２５と接触することにより、その接触位置が原点となる突き当て、３１は変位センサ２７のターゲットとなり、さらに最大変位の設定値以上移動しないように突き当て３０と接触するターゲット板、３２は固定部２４に設けた長方形貫通穴から外部にエアを漏れないよう密閉させる空間密閉板、３３は可動部２３及び固定部２４及び板ばね２５に囲まれた空間にエアを供給する継ぎ手である。
【００１２】
上記の構成において、同面上に配置された２つの板ばね押え２６の径方向間隔は、同様に相対する面の２つの板ばね押え２６の径方向間隔と等しく、可動部が上下移動する際に板ばね２５が可動部２３及び固定部２４及び板ばね押え２６の頂点によって拘束され、その拘束される点が平行四辺形リンクのばね機構となる。実施例１では、上面の板ばね２５の内径側は可動部２３の端点であり、板ばね２５の外径側は外径側に配置した板ばね押え２６の内径側の端点である。下面の板ばね２５の内径側は内径側に配置した板ばね押え２６の外径側の端点であり、板ばね２５の外径側は固定部２４の端点である。板ばねを拘束する各々端点はレンズ駆動機構の傾き偏芯及び平行偏芯等の性能に影響するため、ストローク２００μｍに対して傾き偏芯０．５秒、平行偏芯０．３μｍの性能を満足させるには、固定部２４及び可動部２３においては０．５μｍ程度の真円度、板ばね押えにおいては１０μｍ程度の真円度と、精度良い加工が必要とされる。
【００１３】
囲まれた平行四辺形リンクのばね機構内の空間にエア圧力をかけることにより、空間容積が増加する方向、つまり図では可動部２３（レンズ２１）が上昇し、逆に減圧させると、空間容積が減少する方向、つまり図では可動部２３（レンズ２１）が下降する。大気開放を行い、エア空間内部の圧力と大気圧が同等の状態（圧力０時）で、上板ばね２５と固定部２４から突起している突き当て３０とが接触し、その接触位置が変位センサ２７の原点位置となり、温度変動などによるセンサドリフトが生じた場合調整が可能となる。また、上板ばね２５と突き当て３０とが接触することで、変位センサ２７がターゲット板３１との接触による破損防止も兼ねている。突き当て３０の位置は可動部外径から最も近い位置であり、突き当て３０の径方向の幅は極力狭くする。
【００１４】
実施例１では、突き当て３０の内径位置は、可動部外径から径方向に０．３ｍｍの位置であり、幅は先程の内径位置から径方向に０．５ｍｍである。最大変位（最大圧力）の設定値以上になると、ターゲット板３１と突き当て３０とが接触し、板ばねの応力限界値を超えないような構造となっている。また、上面の内側に配置した板ばね押え２６と、突き当て３０とで板ばね２５を挟む構造となっている。変位センサ２７を固定されているセンサ調整板２９は上下に微調整が可能であり、変位センサ２７とターゲット板３１とのギャップを調整する。空間密閉板３２は固定部２４と接触する部分は弾力性のある部材（例えばゴム材など）が取り付けられ、空間密閉板３２と固定部２４とがネジ締結されることで、固定部２４と空間密閉板３２との隙間をなくし、外部にエアがもれないようにする。
【００１５】
実施例１において、可動部外径から最も近い位置つまり板ばね２５の拘束点に最も近い位置で、板ばね２５と固定部２４から突起した突き当て３０と接触させることで、板ばねの変形が最小の状態で突き当て３０と接することになり、板ばねの変形から派生する傾き偏芯誤差等の誤差成分を最小限に抑え、ターゲット板３１（レンズ２１）と変位センサ２７との計測精度の信頼性を高め、この接触点を変位センサ２７の原点位置として、温度変動等によるセンサドリフトの補正が可能となる。さらに、板ばね２５を上面の内側に配置した板ばね押え２６と突き当て３０とで挟む構成をもつことで、上記の性能が向上する。また、変位センサ２７の原点位置となる突き当て構造及び変位センサ等を、可動部２３及び固定部２４及び板ばね２５に囲まれた空間内部に設置することにより、レンズ駆動機構が省スペースで実現でき、より再現精度の高い原点位置及び原点位置到達時間の向上が得られ、光学補正をより高精度にかつ速やかに行える。また、エア空間内部の圧力と大気圧が同等の状態（圧力０時）に板ばね２５と突き当て３０が接触することにより、可動部２３に取り付けた上板ばね押え２６の補強もあって、レンズ駆動機構の共振を防止している。
【００１６】
［実施例２］
図４は、本発明の実施例２に係る突き当て機能を持つレンズ駆動機構を説明する図である。図４において、４１は投影光学系の一部であるレンズ、４２はレンズを支持する保持部材、４３は保持部材４２を支持し、上下に移動する可動部、４４は長方形貫通穴を１ヶ所設け、可動部４３の基準となる固定部（鏡筒）、４５は可動部４３及び固定部４４の上下に固定され、ばね機構をなす円環状の板ばね、４６は上下各２個ずつ設け、板ばね４５と可動部４３及び固定部４４とをボルトによって締結させ、各締結間隔が内側と外側で等間隔となるようにボルト穴を配置した、円環状の板ばね押え、４７は可動部４３（レンズ４１）と固定部４４の変位を計測する変位センサ、４８は変位センサ４７を固定させるセンサホルダ、４９は変位センサ４７の位置微調整を行い、センサホルダ４８によって変位センサ４７を固定させるセンサ調整板、５０は固定部４４から突き出した突起部、５１は変位センサ４７のターゲットとなり、さらに可動部４３から突き出し、突起部５０との接触面の平面度が可動部４３の上面に対して高精度であるターゲット板、５２は固定部４４に設けた長方形貫通穴から外部にエアを漏れないよう密閉させる空間密閉板、５３は可動部４３及び固定部４４及び板ばね４５に囲まれた空間にエアを供給する継ぎ手である。
【００１７】
上記構成において、基本的な構造は実施例１と同様であり、上下の板ばね押え４６の径方向間隔は等しく、板ばねが拘束される可動部４３及び固定部４４及び板ばね押え４６の端点は実施例１と同様の加工精度が必要である。可動部４３及び固定部４４及び板ばね４５に囲まれた平行四辺形リンクのばね機構内の空間にエア圧力をかけることにより、可動部４３（レンズ４１）が上昇し、逆に減圧させると、可動部４３（レンズ４１）が下降する。圧力設定最大時に、固定部から突き出した突起部５０と可動部４３から突き出したターゲット板５１とが接触し、その接触位置が変位センサ４７の基準位置となり、温度変動などによるドリフトが生じた場合の調整が可能となる。空間密閉板５２は固定部４４と接触する部分は弾力性のある部材（例えばゴム材など）が取り付けられ、空間密閉板５２と固定部４４とがネジ締結されることで、固定部４４と空間密閉板５２との隙間をなくし、外部にエアがもれないようにする。
【００１８】
実施例２において、圧力最大値を変位センサ４７の基準位置とすると、エア空間の圧力が大気圧と同等になるよう大気開放を行い、自然な大気開放で原点（基準）位置に達する実施例１より、圧力調整により強制的に行う実施例２の方が基準位置に達する時間が短縮される。実施例１の場合、大気開放により原点（基準）位置に達するためエア空間内部の圧力が大気圧に近づく程、内部エアの抜けるスピードつまり原点位置に達するスピードが減速されるが、実施例２の場合、常に加圧の状態で基準位置に達するため、基準位置到達スピードに大きな変化はなく、到達時間の短縮が図られる。
【００１９】
【発明の効果】
本発明によれば、より高精度な原点位置再現性が得られ、レンズ駆動機構を省スペースで実現させることができる光学要素の駆動装置、該駆動装置を有する露光装置、デバイス製造方法、光学特性調整方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１に係る半導体露光装置の投影光学系ユニットを説明する図である。
【図２】本発明の実施例１に係る投影光学系ユニットの一部であるレンズ駆動機構を説明する図である。
【図３】本発明の実施例１に係る突き当て機能を持つレンズ駆動機構を説明する図（半断面図）である。
【図４】本発明の実施例２に係る突き当て機能を持つレンズ駆動機構を説明する図である。
【図５】従来例を説明する図である。
【符号の説明】
１：鏡筒
２：本体定盤
３：ウエハ
４：ウエハステージ
５：レチクル（原版）
６：レチクルステージ
７：照明系光学ユニットの一部
８：外筒
９：レンズ駆動ユニット
１１：レンズ
１２：可動部
１３：固定部
１４：板ばね
１５：板ばね押え
２１：レンズ
２２：保持部材
２３：可動部
２４：固定部
２５：板ばね
２６：板ばね押え
２７：変位センサ
２８：センサホルダ
２９：センサ調整板
３０：突き当て
３１：ターゲット板
３２：空間密閉板
３３：継ぎ手
４１：レンズ
４２：保持部材
４３：可動部
４４：固定部
４５：板ばね
４６：板ばね押え
４７：変位センサ
４８：センサホルダ
４９：センサ調整板
５０：突起部
５１：ターゲット板
５２：空間密閉板
５３：継ぎ手
６１：レンズ
６２：保持部材（可動部）
６３：鏡筒（固定部）
６４：板ばね
６５：クランプ天板
６６：ターゲット
６７：駆動要素
６８：変位センサ
６９：センサホルダ
７０：突き当て
【図１】
2004029431.tif 000003
【図２】
2004029431.tif 000004
【図３】
2004029431.tif 000005
【図４】
2004029431.tif 000006
【図５】
2004029431.tif 000007