(57)【要約】【目的】水晶片に励振電極対を３個設けて小型化を促進する多周波振動子を提供する。【構成】同一の水晶片に両主面間で対向する複数の励振電極対を形成し、前記励振電極対の厚みを異ならせて複数の振動周波数を得た構成とする。また、前記励振電極対の中心は同心円上として、等間隔に配置された構成とする。また、前記励振電極対間に音響的結合を遮断する溝を設けた構成とする。また、前記水晶片を矩形状として前記励振電極対を３個とした構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一の水晶片に両主面間で対向する複数の励振電極対を形成し、前記励振電極対の厚みを異ならせて複数の振動周波数を得たことを特徴とする多周波型水晶振動子。
【請求項２】
前記励振電極対の中心は同心円上として、等間隔に配置された請求項１の多周波型水晶振動子。
【請求項３】
前記励振電極対間に音響的結合を遮断する溝を設けた請求項１の多周波型水晶振動子。
【請求項４】
前記水晶片を矩形状として前記励振電極対を３個とした請求項１の多周波型水晶振動子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は多周波型水晶振動子（以下、多周波振動子とする）を産業上の技術分野とし、特に水晶片に複数の励振電極対を設けて異なる振動周波数を得た多周波振動子に関する。
【０００２】
（発明の背景）水晶振動子は特に周波数制御素子として知られ、周波数基準源として例えば光通信システム用の１５０ＭＨｚ帯の水晶発振器に組み込まれる。このようなものでは、伝送キャリア用として、１５０ＭＨｚ帯の３周波が必要とされる。
【０００３】
（従来技術の一例）第３図は一従来例を説明する図で、同図（ａ）は水晶片１の図、同図（ｂ）は水晶振動子の断面図である。
水晶振動子はＡＴカットとした水晶片１からなる。水晶片１は矩形状として両主面間で対向した励振電極対２（ａｂ）を有し、各励振電極対２（ａｂ）から一端部両側に引出電極３（ａｂ）を延出する。通常では、水晶片１を容器本体４に収容し、カバー５を被せて密閉封入される。
【０００４】
容器本体４は凹状として積層セラミックからなり、外表面には実装用の外部端子６を有する。そして、引出電極３（ａｂ）の延出した水晶片１の一端部両側を導電性接着剤等７によって内底面に固着する。カバー５は金属からなり、例えば容器本体４の枠上面に設けた図示しない金属リングや厚膜にシームやビーム溶接によって接合される。なお、水晶片１の励振電極対２（ａｂ）及びカバー５は外部端子６に電気的に接続する。
【０００５】
このようなものでは、振動周波数帯をいずれも１５０ＭＨｚとしてそれぞれ接近した３周波の水晶振動子を形成し、図示しないセット基板上の各発振回路に接続する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
（従来技術の問題点）しかしながら、上記構成の水晶振動子では、１５０ＭＨｚ帯の３周波を個別に形成してセット基板に搭載するので、セット基板の板面面積を大きくして小型化を阻害する問題があった。
【０００７】
（発明の目的）本発明は小型化を促進する多周波振動子を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１では、同一の水晶片に両主面間で対向する複数の励振電極対を形成し、前記励振電極対の厚みを異ならせて複数の振動周波数を得る。これにより、一枚の水晶片で多周波を得られるとともに、水晶片を同一容器内に収容できるので、小型化を促進する。
【０００９】
請求項２では、前記励振電極対の中心は同心円上として等間隔に配置する。したがって、各励振電極対の間隔を最大にして音響的結合を防止する。これにより、スプリアスの発生を防止する。
【００１０】
請求項３では、前記励振電極対間に音響的結合を遮断する溝を設けたので、前記励振電極対間の相互干渉を防止してスプリアスの発生を防止する。
【００１１】
請求項４では、前記水晶片を矩形状として前記励振電極対を３個としたので、例えば１５０ＭＨｚ帯での伝送キャリアに対応できる。
【００１２】
【実施例】
第１図は本発明の一実施例を説明する水晶振動子の図で、特に水晶片の平面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
【００１３】
水晶振動子は前述したようにＡＴカットした水晶片１からなる。この実施例では、矩形状ここでは正方形とした水晶片１に第１、第２及び第３の３つの励振電極対２１、２２、２３（ａｂ）を形成する。各励振電極対２１、２２、２３（ａｂ）は水晶片１の同心円上に等間隔でここでは正三角形の頂点に配置される。各励振電極対２１、２２、２３（ａｂ）からは引出電極３１、３２、３３（ａｂ）が外周部に延出する。
【００１４】
各引出電極３１、３２、３３（ａｂ）の延出した水晶片１の外周部６箇所は、図示しない導電性接着剤によって容器本体の内底面に固着する。容器本体（未図示）の外表面には各励振電極対２１、２２、２３（ａｂ）に電気的に接続した３対計６個及びカバーに接続するアース端子の外部端子が形成される。
【００１５】
そして、第１、第２及び第３の励振電極対の開口面側に露出した励振電極２１ａ、２２ａ、２３ａ上に例えばイオンビームを照射して、即ち質量を減じて振動周波数を低い方から高い方向に調整する。振動周波数は１５０ＭＨｚ帯の近接した３周波とする。
【００１６】
このような構成であれば、同一の水晶片１に３つの励振電極対２１、２２、２３（ａｂ）を形成したので３周波を得られる。そして、これを容器本体内に収容するので、水晶振動子の小型化を促進する。
【００１７】
また、この例では、各励振電極対２１、２２、２３（ａｂ）は同心円上に配置されて等間隔で即ち三角形の頂点に配置される。したがって、３つの励振電極対２１、２２、２３（ａｂ）の間隔を最大にして音響的結合を防止し、スプリアスの発生を抑制する。なお、周波数帯が１５０ＭＨｚとした高周波帯なので、周波数調整時の質量低下によって例えば約１７０ＭＨｚ間での２０ＭＨｚの範囲内で振動周波数を可変できる。
【００１８】
【他の事項】
上記実施例では励振電極対２１、２２、２３（ａｂ）を同心円状にして等間隔に配置したが、例えば各励振電極対２１、２２、２３（ａｂ）間に貫通した溝８を設けて音響的結合を防止してもよい。この場合、励振電極対２１、２２、２３（ａｂ）は同心円状に配置しなくてもよい。また、溝は半貫通でもよく、音響結合度及び強度等によって決定される。
【００１９】
また、イオンビームを照射して即ち質量を減じて振動周波数を調整したが、例えば蒸着によって金属を付加して調整できることは勿論である。この場合、振動周波数は低下する方向で調整される。
【００２０】
また、励振電極対は３対として説明したが、基本的には２対以上の励振電極対を形成する場合に適用できる。そして、水晶片１は容器本体に収容して水晶振動子としたが、例えば容器本体内にＩＣチップをも収容して水晶発振器を構成することもできる。但し、この場合の外部端子は基本的に電源、アース及び３つの出力端子となり、このような場合でも本発明の技術的範囲に属する。
【００２１】
【発明の効果】
本発明は、同一の水晶片に両主面間で対向する複数の励振電極対を形成し、前記励振電極対の厚みを異ならせて複数の振動周波数を得るので、小型化を促進する多周波振動子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を説明する水晶振動子の図で、特に水晶片の平面図である。
【図２】本発明の他の実施例を説明する水晶振動子の図で、特に水晶片の平面図である。
【図３】従来例を説明する図で、同図（ａ）は水晶片の平面図、同図（ｂ）は水晶振動子の断面図である。
【符号の説明】
１  水晶片、２、２１、２２、２３  励振電極対、３、３１、３２、３３  引出電極、４  容器本体、５  カバー、６  外部端子、７  導電性接着剤、８  溝。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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