(57)【要約】【課題】簡易な処理により、確実に突沸を防止することが可能な蒸着方法、該蒸着方法を実現する蒸着装置、該蒸着方法により製造された有機エレクトロルミネセンス表示装置、電子機器、および、該蒸着方法を含む有機エレクトロルミネセンスの製造方法を提供する。【解決手段】真空蒸着室において、蒸着材料であるアルミニウムを加熱する場合に、アルミニウムが融解した時点「Ｔ１」を検出し、時点「Ｔ１」の検出直後にアルミニウムの加熱にかかる電力を２．５ｋＷから２．２ｋＷに下げる。【選択図】      図４
2004185835.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被蒸着体に蒸着される蒸着材料を加熱し、
加熱される前記蒸着材料の形状変化を検出し、当該検出結果を用いて前記蒸着材料が融解したか否かを判定し、前記蒸着材料が融解したと判定された場合に、前記蒸着材料の加熱にかかる出力レベルを、融解した時点における出力レベルより下げる
ことを特徴とする蒸着方法。
【請求項２】
前記蒸着材料の加熱にかかる出力レベルを、融解した時点における出力レベルより下げた後、被蒸着体に蒸着される蒸着膜の厚みに応じて、融解した時点における出力レベルに到達しない範囲内で、出力レベルを上げること特徴とする請求項１に記載の蒸着方法。
【請求項３】
前記蒸着材料は、電力供給に応じた熱エネルギーにより加熱され、
前記蒸着材料が融解したと判定された場合に、前記蒸着材料の加熱にかかる電力を、融解した時点における電力の９５％未満にする
ことを特徴とする請求項１あるいは２に記載の蒸着方法。
【請求項４】
前記蒸着材料は、アルミニウムであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１に記載の蒸着方法。
【請求項５】
前記蒸着材料は、窒化ボロンを有する部材上に設置され、前記部材に前記出力レベルに応じた電力を供給することにより加熱されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１に記載の蒸着方法。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１に記載の蒸着方法により蒸着された前記蒸着材料の薄膜層を有することを特徴とする有機エレクトロルミネセンス表示装置。
【請求項７】
請求項６に記載の有機エレクトロルミネセンス表示装置を表示部として有することを特徴とする電子機器。
【請求項８】
請求項１から５のいずれか１に記載の蒸着方法による蒸着膜の形成工程を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネセンス表示装置の製造方法。
【請求項９】
被蒸着体に蒸着される蒸着材料を加熱する加熱手段と、
前記加熱手段により加熱される蒸着材料の形状変化を検出し、当該検出結果を用いて前記蒸着材料が融解したか否かを判定する融解判定手段と、
前記融解判定手段により、前記蒸着材料が融解したと判定された場合に、前記加熱手段による前記蒸着材料の加熱にかかる出力レベルを、融解した時点における出力レベルより下げる加熱制御手段と、
を具備することを特徴とする蒸着装置。
【請求項１０】
前記融解判定手段は、
前記蒸着材料の形状を取得し、取得した形状を用いて形状変化を検出する形状変化検出手段と、
前記形状変化検出手段が前記蒸着材料の形状を取得可能となるように前記蒸着材料の像を反射する反射手段とを含む
ことを特徴とする請求項９に記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、蒸着方法、蒸着装置、蒸着膜を有する有機エレクトロルミネセンス表示装置、該有機エレクトロルミネセンス表示装置を備えた電子機器、および、該有機エレクトロルミネセンス表示装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）表示装置に含まれる有機ＥＬ表示素子は、電界中において発光する発光層の他、該発光層の電極として機能するアルミニウム層などの薄膜層を有している。この種の薄膜形成方法のひとつとして、真空蒸着法が広く用いられている。真空蒸着法は、真空環境下において蒸着材料を加熱して蒸発させ、被蒸着体の表面に蒸着材料を凝着させる成膜法である。
【０００３】
ところで、三態変化の過程により蒸着材料を大別すると、蒸着材料は、フッ化リチウムなどの昇華型の蒸着材料と、アルミニウムなどの融解後に蒸発する蒸着材料とに分類される。このうち、後者の蒸着材料を加熱する場合には、突沸が生じることがしばしばある。突沸とは、蒸着材料の加熱中に、該蒸着材料に局部的な沸騰が生じることにより、突発的かつ急激に蒸着材料の液滴が飛散する現象である。このような突沸が生じると、高温の蒸着材料の液滴が飛散し、該液滴が蒸着中の有機ＥＬ表示素子に付着することがある。有機ＥＬ表示素子に液滴が付着すると有機ＥＬ表示素子の構成部に熱的損傷を与え、該構成部を破壊してしまうという問題が生じる。
【０００４】
これに対処する技術としては、蒸着材料をルツボにより加熱する蒸着装置において有効な技術として、次のような技術が知られている。まず、ＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅｃｏｕｐｌｅｄ  ｄｅｖｉｃｅ）カメラにより、蒸着材料の溶湯を撮像し、その撮像により得た画像を用いて、該溶湯における突沸（スプラッシュ）の発生直前の状態を検出する。ここで、突沸の発生直前の状態とは、溶湯において波立ちが発生した状態や、色が変化した状態をいう。このような突沸の発生直前の状態を検出した場合に、電子銃の出力を低減することにより、蒸着材料への過剰な熱供給を防止し、突沸を予防することができる（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−１４３７１８号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような突沸防止策は、溶湯における波立ち発生の検出や、色変化の検出などにかかる処理が複雑であり、また、その処理量が多くなってしまうという欠点を有している。例えば、波立ち発生の検出であれば、液面における微細な形状変化を検出しなければならないため、その処理は複雑なものとなる。一方、色変化の検出であれば、局所的に生じる微細な色変化を検出しなければならないため処理が複雑であるし、しかも、画像データは必然的にカラー画像データとなるため、大きなデータ量を処理しなければならない。さらに、いずれの検出方法を用いた場合であっても、検出ミスが生じる可能性があった。この結果、従来の突沸予防策は、確実に突沸を防止するという観点からみると、十分とは言いがたいものであった。
【０００７】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡易な処理により、確実に突沸を防止することが可能な蒸着方法、該蒸着方法を実現する蒸着装置、該蒸着方法により製造された有機エレクトロルミネセンス表示装置、電子機器、および、該蒸着方法を含む有機エレクトロルミネセンス表示装置の製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、この発明にかかる蒸着方法は、被蒸着体に蒸着される蒸着材料を加熱し、加熱される前記蒸着材料の形状変化を検出し、当該検出結果を用いて前記蒸着材料が融解したか否かを判定し、前記蒸着材料が融解したと判定された場合に、前記蒸着材料の加熱にかかる出力レベルを、融解した時点における出力レベルより下げることを特徴とする。
このような蒸着方法によれば、蒸着材料が融解すると、該蒸着材料の加熱にかかる出力レベルが融解した時点における出力レベルより下げられるため、融解後の蒸着材料に過剰な熱量が加えられることがない。この際、出力レベルの低減は、蒸着材料が融解したか否かに応じて行われるため、出力レベルの低減のタイミングを簡易な処理により検出でき、確実に突沸を防止することができる。
【０００９】
ここで、上記蒸着方法において、前記蒸着材料の加熱にかかる出力レベルを、融解した時点における出力レベルより下げた後、被蒸着体に蒸着される蒸着膜の厚みに応じて、融解した時点における出力レベルに到達しない範囲内で、出力レベルを上げることが好ましい。
このように、融解時に低減した出力レベルを上げることにより、蒸着膜の生成時間を短縮することが可能となる。
【００１０】
また、上記蒸着方法において、前記蒸着材料は、電力供給に応じた熱エネルギーにより加熱され、前記蒸着材料が融解したと判定された場合に、前記蒸着材料の加熱にかかる電力を、融解した時点における電力の９５％未満にすることが好ましい。
【００１１】
なお、上記蒸着方法において、前記蒸着材料としては、例えばアルミニウムを適用することが可能である。
また、前記蒸着材料は、窒化ボロンを有する部材上に設置され、前記部材に前記出力レベルに応じた電力を供給することにより加熱されることが好ましい。
【００１２】
また、本発明の有機エレクトロルミネセンス表示装置は、上記蒸着方法により蒸着された前記蒸着材料の薄膜層を有することを特徴とする。上述したように、本発明にかかる蒸着方法によれば、蒸着中に突沸が生じ得ないため、有機エレクトロルミネセンス表示装置が有する薄膜層の品質が良好なものとなり、該有機エレクトロルミネセンス表示装置の品質の向上につながる。
さらに本発明は、この有機エレクトロルミネセンス表示装置を表示部として有することを特徴とする電子機器を提供する。
くわえて、本発明は、上記蒸着方法による蒸着膜の形成工程を含む有機エレクトロルミネセンス表示装置の製造方法を提供する。
【００１３】
以上のものとは別の観点から、この発明は被蒸着体に蒸着される蒸着材料を加熱する加熱手段と、前記加熱手段により加熱される蒸着材料の形状変化を検出し、当該検出結果を用いて前記蒸着材料が融解したか否かを判定する融解判定手段と、前記融解判定手段により、前記蒸着材料が融解したと判定された場合に、前記加熱手段による前記蒸着材料の加熱にかかる出力レベルを、融解した時点における出力レベルより下げる加熱制御手段と、を具備することを特徴とする蒸着装置を提供する。
このような蒸着装置によれば、蒸着材料が融解すると、該蒸着材料の加熱にかかる出力レベルが、加熱制御手段により低減されるため、融解した蒸着材料に過剰な熱量が加えられることがない。これにより、蒸着材料の突沸の発生を未然に防止しつつ、蒸着することが可能となる。ここで、出力レベルの低減は、蒸着材料が融解したか否かに応じて行われるため、出力レベルを下げるタイミングを簡易な処理により検出でき、また、確実に突沸を防止することができる。
前記融解判定手段は、前記蒸着材料の形状を取得し、取得した形状を用いて形状変化を検出する形状変化検出手段と、前記形状変化検出手段が前記蒸着材料の形状を取得可能となるように前記蒸着材料の像を反射する反射手段とを含むことが好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
図１は、本発明の実施形態にかかる蒸着装置の構成を示す図である。この図に示すように、蒸着槽１１０は、窓１１４を有する密閉槽であり、密閉空間である蒸着室１１２を有している。蒸着室１１２においては、電源部１４０の一対の端子１４２が設けられている。これらの端子１４２は、窒化ボロンを含む舟型の治具１３０（以下、「ボート」と称する。）を保持すると共に、電源部１４０からの電力をボート１３０に供給する。
【００１６】
ボート１３０は、上面に窪み１３２を有しており、その窪み１３２に設置された蒸着材料を、電源部１４０から供給される電力に応じて加熱（抵抗加熱）する。蒸着材料は、融解後に蒸発する物質であればその種類は問われないが、この実施形態においては、アルミニウムを蒸着材料の一例として説明する。
ボート１３０の上方に設けられた保持部１８０は、アルミニウムが蒸着される被蒸着体１８５を、その被蒸着面がボート１３０と対向するように保持する。また、真空ポンプ１２０は、蒸着室１１２内の空気を排出して、蒸着室１２２を減圧状態にする。
【００１７】
また、蒸着槽１１０の外部には、カメラ１５０が設けられている。このカメラ１５０は、ＣＣＤなどの撮像素子を有し、窓１１４を介して、ボート１３０により加熱されるアルミニウムを一定の時間間隔で撮像し、その撮像データＣＤを後述の制御部１７０に供給する。
【００１８】
窓１１４は、例えば硬質ガラスであり、自身へのアルミニウムの蒸着を防止すべく、蒸着槽１１０において下方に設けられている。このため、カメラ１５０は、ボート１３０の窪み１３２に収容されるアルミニウムを、直接窓１１４を介して撮像することができない。
【００１９】
これに対処すべく、本実施形態においては、蒸着室１１２に鏡面体１６０を配置し、該鏡面体１６０により、カメラ１５０に向けてアルミニウムの像を反射する構成を採っている。ここで、鏡面体１６０は、ボート１３０の上方に設けられているため、鏡面体１６０にもアルミニウムが蒸着されることとなるが、アルミニウムは鏡面性を有しているため、鏡面体１６０の機能を損なうことがない。このように蒸着室１１２に鏡面体１６０を配置することにより、カメラ１５０により直接アルミニウムを撮像することができない位置に窓１１４が設けられたとしても、カメラ１５０は、鏡面体１６０に映るアルミニウムの反射像を撮像することができる。
【００２０】
制御部１７０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）や、撮像データＣＤを一時的に記憶するメモリ、時間を示す時間信号を生成するタイマクロックなどを含んでおり、電源部１４０や真空ポンプ１２０を制御する。さらに詳述すると、制御部１７０は、カメラ１５０から供給された映像データＣＤを用いて、アルミニウムの形状変化を検出し、当該検出結果を用いて、アルミニウムが融解したか否かを判定する。制御部１７０は、アルミニウムが融解したと判定すると、電源部１４０からボート１３０に供給する電力の出力レベルを下げる。また、電源部１４０は、制御部１７０の制御の下、複数の出力レベルの電力をボート１３０に供給する。
なお、図示しないが、蒸着装置１００には、ユーザが蒸着の開始などを指示するための操作パネルが設けられている。
【００２１】
次に、蒸着装置１００において、アルミニウムが蒸着される被蒸着体１８５の一例として有機ＥＬ表示素子について説明する。図２は、有機ＥＬ表示素子の製造工程において、陰極（アルミニウム蒸着膜）の形成直前の有機ＥＬ表示素子の部分断面図である。
この図に示すように、光透過性を有するガラス等の基板２１０上には、陽極２２０、正孔注入層２３０、電子輸送性発光層２４０および電子注入性バッファ層２５０が、この順で基板２１０側から積層されている。このうち、陽極２２０は、例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）などからなる光透過性の導電膜であり、スパッタリング法などの成膜法により形成される。
【００２２】
また、正孔注入層２３０は、例えばＴＰＤやα‐ＮＰＤなどの正孔注入性材料の薄膜層であり、電子輸送性発光層２４０は、Ａｌｑ３などの発光性材料の薄膜層である。これらの正孔注入層２３０および電子輸送性発光層２４０の各々は、１０〜５０ｎｍ程度の膜厚を有することが望ましい。次いで、電子注入性バッファ層２５０は、ＬｉＦなどの電子注入性材料の薄膜層であり、１〜１０ｎｍ程度の膜厚を有することが望ましい。以上の正孔注入層２３０、電子輸送性発光層２４０および電子注入性バッファ層２５０の各々は、真空蒸着法などにより形成される。なお、これら３層の蒸着材料の各々は、昇華型の蒸着材料であるため、蒸着時において突沸が問題となることは少ない。
【００２３】
次いで、電子注入性バッファ層２５０の上面には、陰極として機能するアルミニウム蒸着膜が、２００ｎｍの膜厚により形成される。ここで、アルミニウムは、融解後に蒸発する蒸着材料である。したがって、何ら策を講じないとすると、蒸着時に突沸が生じてしまう。そこで、本実施形態においては、蒸着装置１００により、以下のようにして有機ＥＬ表示素子に含まれる電子注入性バッファ層２５０にアルミニウムを蒸着する。
【００２４】
図３は、蒸着装置１００の制御部１７０が実行する蒸着処理のフローチャートである。この処理は、突沸の発生を防止しつつ、上記有機ＥＬ表示素子にアルミニウムを蒸着する処理である。また、図４は、蒸着処理において、電源部１４０からボート１３０に供給する電力と経過時間との関係を示すグラフである。以下、これらの図を参照して蒸着処理を説明する。
なお、前提としてユーザは、有機ＥＬ表示素子のうち電子注入性バッファ層２５０側がボート１３０と対向するように、有機ＥＬ表示素子を保持部１８０に取り付け、また、ボート１３０の窪み１３２に、直径６ｍｍ×長さ１０ｍｍ程度の略円柱体のアルミニウム（蒸着材料）を収容する。
【００２５】
まず、操作パネルを介してユーザから蒸着の開始の指示が入力されると、制御部１７０は、蒸着室１１２内の気圧が１０−７ｔｏｒｒ程度の高真空状態となるように、真空ポンプ１２０により蒸着室１１２内の空気を排気する。続いて、制御部１７０は、電源部１４０により２．５ｋＷの電力をボート１３０に供給する（図３：ステップＳ１、図４：時点「０」）。
【００２６】
次いで、制御部１７０は、カメラ１５０から供給される映像データＣＤを用いて、アルミニウムが完全に融解したか否かを判定する（ステップＳ２）。一般に、図５（ａ）に示すような円柱体Ｆ１のアルミニウム片が完全に融解すると、その直後においては、アルミニウムは、表面張力により図５（ｂ）に示すような球体Ｆ２に変形する。本実施形態においてはこの性質を利用して、制御部１７０は、アルミニウムの形状（像）が、図５（ａ）に示される円柱体Ｆ１から、図５（ｂ）に示される球体Ｆ２へ変形したことを検出すると、アルミニウムが融解したと判定する。制御部１７０は、ステップＳ２における判定結果が否定的である期間に渡り、ステップＳ１において、２．５ｋＷの電力をボートに供給し続ける。
【００２７】
一方、ステップＳ２の判定結果が肯定的となり、アルミニウムが完全に融解した場合、このままアルミニウムを加熱し続けると、アルミニウムに突沸が発生し、その液滴が飛散してしまう。そこで、本実施形態にかかる蒸着装置１００においては、次のようにして突沸の発生を防止する。
【００２８】
すなわち、ステップＳ２の判定結果が肯定的となれば、制御部１７０は、電源部１４０からボート１３０に供給する電力を、２．５ｋＷから２．２ｋＷへと下げる（図３：ステップＳ３、図４：時点「Ｔ１」）。このように、アルミニウムの融解と略同時にボート１３０への供給電力を下げることにより、ボート１３０からアルミニウムに与えられる単位時間あたりの熱量が、融解前における熱量より低減される。これにより、ボート１３０により加熱されるアルミニウムのうち、特にボート１３０近傍の部分に過剰な熱量が加わることがないため、球体Ｆ２のアルミニウム［図５（ｂ）参照］は、突沸することなくボート１３０の窪み１３２内にゆっくりと広がる。この後、蒸着室１１２においては、アルミニウムの蒸発が開始し蒸着膜が成長する。本発明者によれば、この実施形態において、供給電力を２．２ｋＷにすると、蒸着膜は、０．１ｎｍ／ｓの蒸着速度にて成長することが実験的に確認されている。
なお、効果的に突沸を防止する観点から、ステップＳ２からステップＳ３において低減される電力は、この例で示すように、アルミニウムが融解した時点における電力の９５％未満とすることが望ましい。
【００２９】
続いて、制御部１７０は、タイマクロックから出力される時間信号を用いて、電力を２．２ｋＷに下げてから１００秒経過したか否かを判定し、蒸着膜の膜厚がおおよそ１０ｎｍに達したか否かを判定する（ステップＳ４）。さらに詳述すると、供給電力が２．２ｋＷである場合、蒸着膜は、０．１ｎｍ／ｓの蒸着速度にて成長する。このため、電力を２．２ｋＷに下げてから１００秒経過したら、蒸着膜の膜厚はおおよそ１０ｎｍに達する。制御部１７０は、この判定結果が否定的である期間に渡り、ステップＳ３において、２．２ｋＷの電力をボートに供給し続ける。
【００３０】
一方、ステップＳ４の判定結果が肯定的になれば、制御部１７０は、電源部１４０からボート１３０に供給する電力を、２．２ｋＷから２．３ｋＷへと上げる（図３：ステップＳ５、図４：時点「Ｔ２」）。本発明者によれば、この実施形態において、供給電力を２．３ｋＷにすると、蒸着膜は、０．２ｎｍ／ｓの蒸着速度にて成長することが実験的に確認されている。
【００３１】
続いて、制御部１７０は、タイマクロックから供給される計時信号を用いて、電力を２．３ｋＷに上げてから２００秒経過したか否かを判定し、蒸着膜の膜厚がおおよそ５０ｎｍに達したか否かを判定する（ステップＳ６）。さらに詳述すると、蒸着膜は、電力が２．３ｋＷである場合には、０．２ｎｍ／Ｓの蒸着速度により成長しているため、電力を２．３ｋＷに上げてから２００秒経過すると、蒸着膜の膜厚は、おおよそ５０ｎｍに達する。制御部１７０は、この判定結果が否定的である期間に渡り、ステップＳ５において、２．３ｋＷの電力をボートに供給し続ける。
【００３２】
一方、ステップＳ６の判定結果が肯定的となれば、制御部１７０は、電源部１４０からボート１３０に供給する電力を、２．３ｋＷから２．４ｋＷへと上げる（図３：ステップＳ７、図４：時点「Ｔ３」）。本発明者によれば、この実施形態において、供給電力を２．４ｋＷにすると、蒸着膜は、０．４ｎｍ／ｓの蒸着速度にて成長することが実験的に確認されている。
【００３３】
ここで、図４における時点「Ｔ２」および時点「Ｔ３」において、電力を段階的に上げているのは次の理由による。すなわち、有機ＥＬ表示素子への熱的損傷を回避しつつ、蒸着速度を上げるためである。一般に供給電力を上げれば、蒸着速度が上昇し、短時間で蒸着膜を形成することが可能である。しかし、蒸着開始直後から高速で蒸着した場合、有機ＥＬ表示素子のうち蒸着膜が接する部分に加わる熱量が大きくなり、有機ＥＬ表示素子に熱的損傷を与えるという問題が生じる。そこで、本実施形態においては、蒸着開始から１０ｎｍの膜厚に達するまでは、０．１ｎｍ／ｓの低速で蒸着し、その後、蒸着膜の成長と共に、段階的に蒸着速度を上げるようになっている。なお、供給電力を段階的に上げる場合、突沸を防止する観点から、供給電力は、２．５ｋＷに達しない範囲内で上昇される必要がある。
【００３４】
続いて、制御部１７０は、ステップＳ７において電力を２．４ｋＷに上げてから３７５秒経過したか否かを判定することにより、蒸着膜の膜厚がおおよそ２００ｎｍに達したか否かを判定する（ステップＳ８）。より詳細には、蒸着膜は、供給電力が２．４ｋＷである場合には、０．４ｎｍ／ｓの蒸着速度にて成長するため、電力を２．４ｋＷに上げてから３７５秒経過すると、蒸着膜の膜厚は、おおよそ２００ｎｍに達する。制御部１７０は、この判定結果が否定的である期間に渡り、ステップＳ７において、２．４ｋＷの電力をボートに供給し続ける。
一方、ステップＳ８の判定結果が肯定的になれば、アルミニウム蒸着膜の膜厚は、略２００ｎｍに達する。したがって、制御部１７０は、蒸着処理を終了する。
【００３５】
以上説明したように、本実施形態にかかる蒸着処理によれば、アルミニウムの融解と略同時に、ボート１３０に供給する電力を下げることにより、突沸を未然に防ぐことが可能である。このため、突沸を起因として、有機ＥＬ表示素子２００に液滴が付着することがないため、有機ＥＬ表示素子２００に熱的な損傷を与えるおそれがない。
【００３６】
ところで、従来の突沸防止策にあっては、溶湯の波立ちの発生や、色の変化などといったといった突沸の発生直前の状態を検出し、該状態が検出されると、電子ビームの出力レベルを下げる構成となっていた。このため、上述したように、処理が複雑であり、また、その処理量が多くなってしまうという欠点を有している。さらに、いずれの検出方法を用いた場合であっても、突沸の発生直前の状態を確実に検出することは、極めて困難である。
【００３７】
これに対し、本実施形態においては、ボート１３０に供給する電力を下げるタイミングとして、アルミニウムが融解した時点を採用している。このため、突沸を防止するにあたり、アルミニウム全体の形状が変形したか否かのみを検出すればよい。またこの際、単一色の画像データによるデータ処理が可能である。これらにより、従来の突沸防止策と比較して、処理量が大幅に低減し、かつ、扱うデータ量も大幅に低減する。
【００３８】
しかも、アルミニウム全体の形状変化の検出は、波立ち発生の検出や、色変化の検出などと比較して、検知プロセスが単純なため検出ミスがおきにくく、出力レベル（電力）を低減すべきタイミングを、正確に検出することができる。つまり、本実施形態によれば、突沸の発生を確実に予防することが可能となる。
【００３９】
このような蒸着処理により、有機ＥＬ表示素子２００においては、図６に示すように、電子注入性バッファ層２５０の上面に、２００ｎｍのアルミニウム蒸着膜（陰極２６０）が形成される。この構成の下、有機ＥＬ表示素子２００において、陽極２２０と、蒸着された陰極２６０とにより、正孔注入層２３０、電子輸送性発光層２４０および電子注入性バッファ層２５０に電圧が印加されると、電子輸送性発光層２４０において電子と正孔とが再結合し、電子のエネルギーが光として出射される。
【００４０】
ここで、有機ＥＬ表示素子２００に含まれる陰極２６０は、蒸着装置１００により形成された蒸着膜であるため、有機ＥＬ表示素子２００における陰極２６０以外の構成部は、突沸による熱的損傷を受けていない。したがって、有機ＥＬ表示素子２００は、突沸が生じ得る蒸着装置により形成された蒸着膜を有する有機ＥＬ表示素子と比較して、その品質が良好なものとなる。
【００４１】
なお、本発明は、上述した実施形態に限られず、実施形態に種々の改良・変形などを加えることが可能である。
例えば、蒸着材料を加熱する加熱手段として、抵抗加熱式のボート１３０を適用したが、加熱手段は、電子ビームにより蒸着材料を加熱する電子銃などであっても良い。このような蒸着装置においては、蒸着材料の融解の検出と略同時に電子ビームの出力レベルを下げることにより突沸を防止することが可能である。
【００４２】
また、上述した実施形態においては、アルミニウムの融解時における形状変化を検出するにあたり、カメラ１５０から供給される映像データＣＤを用いたがこれに限られない。例えば、距離計測用の超音波センサなどでアルミニウムの形状変化を検出する構成としても良い。ここで、超音波センサを適用した場合、超音波センサにより、円柱体Ｆ１のアルミニウムの端面までの距離変化を検出することにより、アルミニウムの形状変化を検出することが可能である。これにより、さらに簡易な処理により、出力レベルを低減するタイミングを検出することが可能となる。
【００４３】
上述の蒸着処理においては、制御部１７０が、蒸着膜が所定の膜厚に到達したか否かを判定するにあたり、蒸着速度から算出された時間を用いて判定したが、これに限られない。例えば、蒸着槽１１２内に膜厚計測器を設置し、該膜厚計測器の計測結果により、所定の膜厚に到達したか否かを判定する構成としても良い。
【００４４】
最後に、以上説明した蒸着装置１００において形成された蒸着膜（陰極２６０）を有する有機ＥＬ表示素子２００を含む有機ＥＬ表示装置を、表示部として適用した電子機器について説明する。
例えば、図７は、該有機ＥＬ表示装置を搭載した携帯電話機３００の外観を示す斜視図である。この図において、携帯電話機３００は、複数の操作ボタン３１０の他、受話口３２０、送話口３３０とともに、有機ＥＬ表示装置３４０を備えている。有機ＥＬ表示装置３４０は、上述した有機ＥＬ表示素子２００の他、該有機ＥＬ表示素子２００に電圧を印加する構成などを含んでおり、例えば、電話番号、日付・時刻といった各種情報を表示する。
また、携帯電話機３００以外にも、有機ＥＬ表示素子２００を含む有機ＥＬ表示装置は、コンピュータや、プロジェクタ、デジタルカメラ、ムービーカメラ、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）、車載機器、複写機、オーディオ機器などの各種電子機器の表示部として用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態にかかる蒸着装置を示す図である。
【図２】蒸着膜が形成される直前の有機ＥＬ表示素子の部分断面図である。
【図３】同蒸着装置において実行される蒸着処理のフローチャートである。
【図４】同蒸着処理を説明するための図である。
【図５】同蒸着装置において、蒸着材料の融解を説明するための図である。
【図６】同有機ＥＬ表示素子の部分断面図である。
【図７】同有機ＥＬ表示素子を適用した携帯電話機の斜視図である。
【符号の説明】
１００  蒸着装置、１４０  電源部、１５０  カメラ、１６０  鏡面体、１７０制御部、２００  有機ＥＬ表示素子、２６０  陰極、３００  電子機器、３４０  有機ＥＬ表示装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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