(57)【要約】【課題】例えば、流体化された混合物質を微小な流路内に設けられた触媒による化学反応（触媒反応）により、所望の流体物質を生成する小型化学反応装置において、装置全体を小型化する。【解決手段】第１〜第３基板１〜３はこの順で積層されている。第２基板２の第１基板１との対向面には蛇行した微小な流路１１が形成されている。流路１１内には触媒層が設けられている。流路１１の一端部近傍には酸化剤噴射器１３が設けられている。酸化剤噴射器１３は、超小型でノズルから液体を粒子状に且つその噴射量を制御して噴射させるものであり、いわゆるピエゾジェット方式、静電ジェット方式等の噴射器からなっている。酸化剤噴射器１３には、小型の液体（酸化剤）貯蔵容器から所定の液体が毛細管現象により自動的に供給されるようになっている。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに接合された一対の小型の基板と、該両基板間に設けられた微小な流路と、該流路の近傍における前記両基板間に設けられ、前記流路に化学反応引き起こす材料を噴射して供給する小型の噴射器とを備えていることを特徴とする小型化学反応装置。
【請求項２】
請求項１に記載の発明において、前記噴射器には、前記一対の基板の外部に設けられた小型の材料貯蔵容器から前記材料が細管を介して毛細管現象により自動的に供給されるようになっていることを特徴とする小型化学反応装置。
【請求項３】
請求項１に記載の発明において、前記材料は酸化剤を含み、前記流路で、噴射された前記酸化剤から酸素を生成することを特徴とする小型化学反応装置。
【請求項４】
請求項３に記載の発明において、前記流路で、前記酸化剤から生成された酸素と別に供給された流体に含まれている一酸化炭素とを反応させて二酸化炭素を生成することを特徴とする小型化学反応装置。
【請求項５】
請求項１に記載の発明において、前記材料は、燃焼用燃料と酸化剤との混合液を含み、前記流路で、前記材料の触媒燃焼反応による燃焼により熱エネルギーを発生することを特徴とする小型化学反応装置。
【請求項６】
請求項３〜５のいずれかに記載の発明において、前記酸化剤は過酸化水素またはその水溶液あるいは一酸化二窒素水溶液であることを特徴とする小型化学反応装置。
【請求項７】
請求項１に記載の発明において、前記噴射器は、ノズル内の前記材料を加熱して膜沸騰によりノズル内に発生した気泡による圧力でノズル内の液状の前記材料を粒子状に噴射させる噴射器であることを特徴とする小型化学反応装置。
【請求項８】
請求項１に記載の発明において、前記流路を加熱するための熱源を備えていることを特徴とする小型化学反応装置。
【請求項９】
請求項８に記載の発明において、前記熱源は薄膜ヒータであることを特徴とする小型化学反応装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の発明において、前記熱源は、前記一対の基板のうちの一方の基板の他方の基板と対向する側とは反対側の面側に設けられた流路内に供給される熱流体であることを特徴とする小型化学反応装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は小型化学反応装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
化学反応の技術分野では、燃料を改質する燃料改質系とこの燃料改質系で改質された改質燃料ガスにより発電する燃料電池が化学反応装置として提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２７７１３９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来の化学反応装置システムでは、改質器で燃料を改質する際に生じる副生成物である有毒な一酸化炭素を、ＣＯ変成器及びＣＯ選択酸化反応器を用いて低濃度にしている。このような構造では、ＣＯ変成器及びＣＯ選択酸化反応器のみならず、一酸化炭素を酸化させるためにシステム外から供給される空気の経路や必要に応じて設けられる制御弁が必要になり装置が複雑且つ大型化してしまうため化学反応装置の小型化の障害となっていた。一方、モバイル機器の普及に従い、効率よく電力を供給でき且つ携帯性に優れた電池が要望されてきた。
そこで、この発明は、装置全体を小型化することができる小型化学反応装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、互いに接合された一対の小型の基板と、該両基板間に設けられた微小な流路と、該流路の近傍における前記両基板間に設けられ、前記流路に化学反応引き起こす材料を噴射して供給する小型の噴射器とを備えていることを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記噴射器には、前記一対の基板の外部に設けられた小型の材料貯蔵容器から前記材料が細管を介して毛細管現象により自動的に供給されるようになっていることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記材料は酸化剤を含み、前記流路で、噴射された前記酸化剤から酸素を生成することを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、前記流路で、前記酸化剤から生成された酸素と別に供給された流体に含まれている一酸化炭素とを反応させて二酸化炭素を生成することを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記材料は、燃焼用燃料と酸化剤との混合液を含み、前記流路で、前記材料の触媒燃焼反応による燃焼により熱エネルギーを発生することを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明は、請求項３〜５のいずれかに記載の発明において、前記酸化剤は過酸化水素またはその水溶液あるいは一酸化二窒素水溶液であることを特徴とするものである。
請求項７に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記噴射器は、ノズル内の前記材料を加熱して膜沸騰によりノズル内に発生した気泡による圧力でノズル内の液状の前記材料を粒子状に噴射させる噴射器であることを特徴とするものである。
請求項８に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記流路を加熱するための熱源を備えていることを特徴とするものである。
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の発明において、前記熱源は薄膜ヒータであることを特徴とするものである。
請求項１０に記載の発明は、請求項８に記載の発明において、前記熱源は、前記一対の基板のうちの一方の基板の他方の基板と対向する側とは反対側の面側に設けられた流路内に供給される熱流体であることを特徴とするものである。
そして、この発明によれば、流路の近傍における両基板間に流路に材料を噴射して供給する小型の噴射器を設けているので、噴射器で材料を効率よく流路内で拡散できるため化学反応を迅速に促進できるので流路構造を小型化でき、この小型の噴射器で必要ガス生成可能な材料を噴射して供給すると、従来のような一酸化炭素を酸化させるために供給される空気の経路が不要となり、したがって装置全体を小型化することができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
図１はこの発明の一実施形態としての小型化学反応装置の要部の斜視図を示したものである。この小型化学反応装置は、互いに積層（例えば陽極接合）された小型の第１〜第３基板１〜３を備えている。この場合、一例として、第１、第３基板１、３はガラスからなり、第２基板２はシリコンやアルミ等の金属または合金からなっている。第１基板１の所定の２箇所には流入用細管４及び流出用細管５の各一端部が挿入される円孔７、８が設けられている。
【０００７】
次に、図２は図１に示す小型化学反応装置を上から見た透過平面図を示し、図３は図２のＡ−Ａ線に沿う断面図を示したものである。第２基板２の第１基板１との対向面には、半導体製造技術で蓄積された微細加工技術を用いて、蛇行した微小な流路１１が形成されている。流路１１の幅及び深さは、一例として、共に５００μｍ程度以下となっている。
【０００８】
流路１１内には触媒層１２が設けられている。触媒層１２は第２基板２の流路１１の表面に被膜された多孔質膜（図示せず）に担持されている。流路１１の一端部は円孔７を介して流入用細管４の一端部に接続され、他端部は円孔８を介して流出用細管５の一端部に接続されている。第１基板１と第２基板２との間において流路１１の一端部近傍には酸化剤噴射器１３が設けられている。第１基板１の上面には酸化剤収納部２３が設けられ、酸化剤収納部２３の下面には酸化剤噴射器１３に連通する円孔９が設けられている。酸化剤噴射器１３には酸化剤収納部２３から酸化剤が円孔９を介して、毛細管現象により自動的に供給されるようになっている。
【０００９】
酸化剤噴射器１３は、超小型でノズルから液状の材料を粒子状に且つその噴射量を制御して噴射させるものであり、ノズル内の材料を加熱して膜沸騰によりノズル内に発生した気泡による圧力でノズル内の材料を粒子状に噴射させる噴射器、電歪素子（ピエゾ素子）の変形によりノズル内に発生した圧力波でノズル内の液状の材料を粒子状に噴射させる噴射器（いわゆるピエゾジェット方式）、ノズル内の振動板の静電力による振動によりノズル内の液状の材料を粒子状に噴射させる噴射器（いわゆる静電ジェット方式）、酸化剤収納部２３から供給された酸化剤を気化して散布する噴射器等からなっている。
【００１０】
酸化剤噴射器１３から噴射される材料の一つである酸化剤は、その物理特性に応じて噴射時に液体の状態でも気体の状態でもよいが、できる限り流路１１内で充分拡散されることが好ましい。気体の場合、酸化剤収納部２３に圧縮液化された状態で収納されることが望ましい。また、酸化剤収納部２３から供給される酸化剤または酸化剤噴射器１３から噴射される酸化剤には、流路１１内で一酸化炭素を酸化する反応に対して不活性な溶媒または不活性なガス等の添加剤が含まれていてもよい。
【００１１】
第２基板２の第３基板３との対向面にはＴａＳｉＯｘやＴａＳｉＯｘＮ等の抵抗体薄膜からなる蛇行した薄膜ヒータ１４が形成されている。薄膜ヒータ１４は、この小型化学反応装置における化学反応（触媒反応）が所定の熱条件による吸熱反応を伴うとき、化学反応時に流路１１内の触媒層１２に所定の熱エネルギーを供給するためのものであり、流路１１内を常温から４００℃程度までの範囲で任意の温度に加熱することができる。この場合、蛇行した薄膜ヒータ１４は、蛇行した流路１１と平面的に一致させているが、一致しないようにしてもよい。また、薄膜ヒータ１４は流路１１全面を覆うようなべた状としてもよい。
【００１２】
第３基板３の第２基板２との対向面中央部には座ぐり加工により凹部１５が形成され、この凹部１５内に薄膜ヒータ１４が配置されている。第３基板３は、薄膜ヒータ１４を保護するほかに、凹部１５内の空間に熱伝導性の低い気体を封止することで薄膜ヒータ１４の熱拡散を防止し、熱効率を良くするためのものである。また、凹部１５内は、より断熱性能を高めるため、ほぼ真空としてもよい。
【００１３】
次に、この発明に係る小型化学反応装置を燃料改質型の燃料電池を用いた燃料電池システムに適用した場合について説明する。図４は燃料電池システム２１の一例の要部のブロック図を示したものである。この燃料電池システム２１は、発電用燃料部２２、酸化剤収納部２３、燃料気化部２４、改質部２５、一酸化炭素除去部２６、発電部２７、充電部２８等を備えている。
【００１４】
発電用燃料部２２は、発電用燃料（例えばメタノール水溶液）が封入された小型の発電用燃料貯蔵容器からなり、発電用燃料を燃料気化部２４に供給する。酸化剤収納部２３は、液状の酸化剤（例えば過酸化水素またはその水溶液あるいは一酸化二窒素水溶液）が封入された小型の酸化剤貯蔵容器からなり、貯蔵された液体酸化剤は一旦酸化剤噴射器１３に供給されてから酸化剤噴射器１３から一酸化炭素除去部２６に噴射される。
【００１５】
燃料気化部２４は、図１〜図３に示す小型化学反応装置と同様の構造となっている。ただし、この場合、流路１１内には触媒層１２は設けられていない。また、流入用細管４及び円孔７は備えていない。さらに、円孔９は酸化剤収納部２３の代わりに発電用燃料部２２である小型の発電用燃料貯蔵容器に接続されており、酸化剤噴射器１３の代わりに燃料噴射器が発電用燃料を噴射する。燃料噴射器は、酸化剤噴射器１３と同様の構造で可能である。
【００１６】
そして、燃料気化部２４では、燃料噴射器から発電用燃料が流路１１の一端部に供給されると、流路１１内において、薄膜ヒータ１４の加熱（１２０℃程度）により、発電用燃料を気化させ、この気化された発電用燃料ガス（例えば発電用燃料がメタノール水溶液の場合、ＣＨ３ＯＨ＋Ｈ２Ｏ）を流出用細管５から流出させる。
【００１７】
燃料気化部２４で気化された発電用燃料ガス（ＣＨ３ＯＨ＋Ｈ２Ｏ）は改質部２５に供給される。この場合、改質部２５も、図１〜図３に示す小型化学反応装置と同様の構造となっている。ただし、この場合、触媒層１２は、例えば、Ｃｕ、ＺｎＯ、Ａｌ２Ｏ３等からなる改質触媒を含むものからなっている。また、円孔９及び酸化剤噴射器１３のような噴射器は備えていない。さらに、流入用細管４は燃料気化部２４の流出用細管５に連続して設けられている。
【００１８】
そして、改質部２５では、燃料気化部２４からの発電用燃料ガス（ＣＨ３ＯＨ＋Ｈ２Ｏ）が流入用細管４を介して流路１１の一端部に供給されると、流路１１内において、薄膜ヒータ１４の加熱（２８０℃程度）により、次の式（１）に示すような吸熱反応を引き起こし、水素と副生成物の二酸化炭素とを生成する。
ＣＨ３ＯＨ＋Ｈ２Ｏ→３Ｈ２＋ＣＯ２……（１）
【００１９】
上記式（１）の左辺における水（Ｈ２Ｏ）は、反応の初期では、発電用燃料部２２の発電用燃料に含まれているものでよいが、反応の中期以降では後述する発電部２７の発電に伴い生成される水を回収して改質部２５に供給するようにしてもよい。また、発電部２７の発電中の上記式（１）の左辺のおける水（Ｈ２Ｏ）の供給源は、発電部２７のみでもよく、発電部２７及び発電用燃料部２２でも、また発電用燃料部２２のみでもよい。なお、このとき微量ではあるが、一酸化炭素が改質部２５内で生成されることがある。
【００２０】
そして、上記式（１）の右辺の生成物（水素、二酸化炭素）及び微量の一酸化炭素は改質部２５の流出用細管５から流出される。改質部２５の流出用細管５から流出された生成物のうち、水素及び一酸化炭素は一酸化炭素除去部２６に供給され、二酸化炭素は分離されて大気中に放出される。
【００２１】
次に、一酸化炭素除去部２６も、図１〜図３に示すような構造となっている。ただし、この場合、触媒層１２は、例えば、Ｒｕ、Ｐｔ、Ａｌ２Ｏ３等を有する選択酸化触媒を含むものからなっている。
【００２２】
そして、一酸化炭素除去部２６では、改質部２５からの水素、二酸化炭素及び一酸化炭素が流入用細管５を介して流路１１の一端部に供給され、且つ、酸化剤噴射器１３から液体酸化剤が流路１１の一端部に供給されると、流路１１内において、薄膜ヒータ１４の加熱（１８０℃程度）により、次のような反応が生じる。
【００２３】
すなわち、液体酸化剤が過酸化水素またはその水溶液である場合には、次の式（２）に示すように、過酸化水素の分解により酸素と水とが生成され、そして次の式（３）に示すように、そのうちの酸素と一酸化炭素とが反応し、二酸化炭素が生成される。
２Ｈ２Ｏ２→Ｏ２＋２Ｈ２Ｏ……（２）
Ｏ２＋２ＣＯ→２ＣＯ２………（３）
【００２４】
一方、液体酸化剤が一酸化二窒素水溶液である場合には、一酸化二窒素水溶液の気化により一酸化二窒素と水とが生成され、そして次の式（４）に示すように、そのうちの一酸化二窒素と一酸化炭素とが反応し、窒素と二酸化炭素とが生成される。
Ｎ２Ｏ＋ＣＯ→Ｎ２＋ＣＯ２……（４）
【００２５】
そして、最終的に一酸化炭素除去部２６の流出用細管５に到達する流体はそのほとんどが水素、二酸化炭素（場合によって水、窒素を含む）となる。
【００２６】
上記一連の反応後の生成物は水素及び二酸化炭素（場合によって水、窒素を含む）で構成されるが、これらの生成物のうち、二酸化炭素は発電部２７に到達する前に水素から分離されて大気中に放出されるようにしてもよい。この場合、一酸化炭素除去部２６から発電部２７には高濃度の水素が供給される。
【００２７】
次に、発電部２７及び充電部２８について説明する。発電部２７は、図５に示すように、周知の固体高分子型の燃料電池からなっている。すなわち、発電部２７は、Ｐｔ、Ｃ等の触媒が付着された炭素電極からなるカソード３１と、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｃ等の触媒が付着された炭素電極からなるアノード３２と、カソード３１とアノード３２との間に介在されたフィルム状のイオン導電膜３３と、を有して構成され、カソード３１とアノード３２との間に設けられた２次電池やコンデンサ等からなる充電部２８に電力を供給するものである。
【００２８】
この場合、カソード３１の外側には空間部３４が設けられている。この空間部３４内には一酸化炭素除去部９からの水素が供給され、カソード３１に水素が供給される。また、アノード３２の外側には空間部３５が設けられている。この空間部３５内には大気中からマイクロポンプを介して取り込まれた酸素が供給され、アノード３２に酸素が供給される。
【００２９】
そして、カソード３１側では、次の式（５）に示すように、水素から電子（ｅ−）が分離した水素イオン（プロトン；Ｈ＋）が発生し、イオン導電膜３３を介してアノード３２側に通過するとともに、カソード３１により電子（ｅ−）が取り出されて充電部２８に供給される。
３Ｈ２→６Ｈ＋＋６ｅ−……（５）
【００３０】
一方、アノード３２側では、次の式（６）に示すように、充電部２８を経由して供給された電子（ｅ−）とイオン導電膜３３を通過した水素イオン（Ｈ＋）と酸素とが反応して副生成物の水が生成される。
６Ｈ＋＋（３／２）Ｏ２＋６ｅ−→３Ｈ２Ｏ……（６）
【００３１】
以上のような一連の電気化学反応（式（５）及び式（６））は概ね室温〜８０℃程度の比較的低温の環境下で進行し、電力以外の副生成物は、基本的に水のみとなる。発電部２７で生成された電力は充電部２８に供給され、これにより充電部２８が充電される。
【００３２】
発電部２７で生成された副生成物としての水は回収されることが望ましい。この場合、上述の如く、発電部２７で生成された水の少なくとも一部を改質部２５に供給するようにすると、発電用燃料部２２内に当初封入される水の量を減らすことができ、また回収される水の量を減らすことができる。
【００３３】
ところで、現在、研究開発が行われている燃料改質方式の燃料電池に適用されている燃料としては、少なくとも、水素元素を含む液体燃料または液化燃料または気体燃料であって、発電部２７により、比較的高いエネルギー変換効率で電気エネルギーを生成することができる燃料であればよく、上記のメタノールの他、例えば、エタノール、ブタノール等のアルコール系の液体燃料や、ジメチルエーテル、イソブタン、天然ガス（ＣＮＧ）等の液化ガス等の常温常圧で気化される炭化水素からなる液体燃料、あるいは、水素ガス等の気体燃料等を良好に適用することができる。
【００３４】
ここで、上記構成の小型化学反応装置では、例えば一酸化炭素除去部２６に適用した場合、流路１１に液体酸化剤を供給するための超小型の酸化剤噴射器１３を第１基板１と第２基板２との間において流路１１の一端部近傍に設けているので、この超小型の酸化剤噴射器１３で例えば酸素ガス生成可能な過酸化水素またはその水溶液を効率よく流路内で拡散できるために化学反応を迅速に促進できるので流路構造を小型化でき、さらに、従来のような空気供給装置等からの空気を一酸化炭素除去部に供給する空気供給経路が不要になり、従って装置全体を小型化することができるので携帯性に優れた装置の電源として応用が可能である。また、この小型化により、燃料電池システム２１自体の寸法並びに形状を、乾電池等の汎用の化学電池や特定のデバイス専用のバッテリの寸法並びに形状と一致するように設計しやすくなり、携帯性に優れた利点を得ることができる。
【００３５】
なお、上記実施形態では、熱源として薄膜ヒータ１４を用いた場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、図６及び図７に示すこの発明の他の実施形態のようにしてもよい。すなわち、図６はこの発明の他の実施形態としての小型化学反応装置の要部の透過平面図を示し、図７は図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図を示したものである。
【００３６】
この場合、第２基板２の第３基板３との対向面には薄膜ヒータは設けられていない。その代わりに、第３基板３の第２基板２との対向面には熱流体流路４１が設けられている。この場合、熱流体流路４１は、流路１１形成領域に対応する部分に互いに隔離されて設けられた複数例えば３つの隔離流路４１ａと、流路１１形成領域の両側にそれぞれ３つの隔離流路４１ａと接続されて設けられた共通流入側流路４１ｂ及び共通流出側流路４１ｃとからなっている。第３基板３の所定の２箇所には円形状の流入口４２及び流出口４３が共通流入側流路４１ｂ及び共通流出側流路４１ｃの各一端部に接続されて設けられている。
【００３７】
そして、図示していないが、流入口４２には熱流体供給用細管の一端部が挿入され、流出口４３には熱流体排出用細管の一端部が挿入されている。熱流体供給用細管の他端部及び熱流体排出用細管の他端部は、第１〜第３基板１〜３の外部に設けられた、マイクロポンプ及びヒータを有する熱流体回路の両端部に接続されている。そして、ヒータにより加熱した熱流体として、シリコンオイル等の高温の液体、あるいは、水蒸気、空気、窒素等の高温の気体を熱流体流路４１内に供給すると、この供給された熱流体による熱エネルギーで流路１１内が所定の温度に加熱される。
【００３８】
また、図８及び図９に示すこの発明のさらに他の実施形態のようにしてもよい。すなわち、図８はこの発明の他の実施形態としての小型化学反応装置（ただし、改質部２５に適用した場合）の要部の透過平面図を示し、図９は図８のＣ−Ｃ線に沿う断面図を示したものである。
【００３９】
この小型化学反応装置は、互いに積層（例えば陽極接合）された小型の第１〜第３基板５１〜５３を備えている。この場合、一例として、第１、第３基板５１、５３はシリコンやアルミ等の金属または合金からなり、第２基板５２はガラスからなっている。第１基板５１の内面（第２基板５２と対向する側の面）には、半導体製造技術で蓄積された微細加工技術を用いて、蛇行した微小な第１流路５４が形成されている。第１流路５４の幅及び深さは、一例として、共に５００μｍ程度以下となっている。
【００４０】
第１流路５４内には、例えばＣｕ、ＺｎＯ、Ａｌ２Ｏ３等からなる改質触媒を含む改質触媒層５５が設けられている。第１流路５４の一端部は、第１基板５１に形成された円孔５６を介して流入用細管（図示せず）の一端部に接続されている。第１流路５４の他端部は、第１基板５１に形成された円孔５７を介して流出用細管（図示せず）の一端部に接続されている。
【００４１】
第３基板５３の内面（第２基板５２と対向する側の面）には、半導体製造技術で蓄積された微細加工技術を用いて、蛇行した微小な第２流路５８が形成されている。第２流路５８の幅及び深さは、一例として、共に５００μｍ程度以下となっている。この場合、蛇行したな第２流路５８は、蛇行した第１流路５４と平面的に一致させているが、一致しないようにしてもよく、要は、両流路５４、５８が多くの部分で平面的に重なっていればよい。
【００４２】
第２流路５８内には、例えばＰｔ、Ａｕ、Ａｇ等からなる燃焼触媒を含む燃焼触媒層５９が設けられている。第２基板５２と第３基板５３との間において第２流路５８の一端部近傍には噴射器６０が設けられている。噴射器６０には、図示しない小型の液体貯蔵容器から液体（後述する燃焼用燃料と液体酸化剤との混合液）が液体供給用細管及び第３基板５３に形成された円孔６１を介して、毛細管現象により自動的に供給されるようになっている。第２流路５８の他端部は、第３基板５３に形成された円孔６２を介して燃焼ガス排出用細管（図示せず）の一端部に接続されている。燃焼ガス排出用細管の他端部は大気中に開放されている。
【００４３】
第３基板５３の外面にはＴａＳｉＯｘやＴａＳｉＯｘＮ等の抵抗体薄膜からなる蛇行した薄膜ヒータ６３が形成されている。薄膜ヒータ６３は、触媒燃焼反応の開始時のみに、第２流路５８内の燃焼触媒層５９に所定の熱エネルギーを供給するためのものである。この場合、蛇行した薄膜ヒータ６３は、蛇行した第２流路５９と平面的に一致させているが、一致しないようにしてもよい。また、薄膜ヒータ６３は第２流路５８全面を覆うようなべた状としてもよい。
【００４４】
第１流路５４の近傍の所定の箇所には薄膜サーミスタや半導体薄膜熱電対等からなる薄膜温度センサ（図示せず）が設けられている。薄膜温度センサは、第１流路５４内の温度を検出し、その温度検出信号を燃料電池システム２１の制御回路（図示せず）に供給するようになっている。そして、燃料電池システム２１の制御回路は、この温度検出信号に基づいて、第１流路５４内の温度が適温となるように、噴射器６０から噴射される液体の単位時間当たりの噴射量を制御するようになっている。
【００４５】
次に、この改質部２５としての小型化学反応装置の動作の一部について説明する。噴射器６０から燃焼用燃料と液体酸化剤との混合液が第２流路５８の一端部に供給されると、このとき薄膜ヒータ６５の触媒燃焼反応の開始時のみの発熱による熱エネルギーにより第２流路５８内が所定温度（例えば２８０℃程度）に加熱されていることにより、次のような反応が生じる。
【００４６】
すなわち、燃焼用燃料が例えばメタノールであり、液体酸化剤が過酸化水素またはその水溶液である場合、まず、次の式（７）に示すように、過酸化水素の分解により酸素と水とが生成され、またメタノールの気化によりメタノールガス（ＣＨ３ＯＨ）が生成される。
２Ｈ２Ｏ２→Ｏ２＋２Ｈ２Ｏ……（７）
【００４７】
そして、上記式（７）の右辺の酸素とメタノールガス（ＣＨ３ＯＨ）とが燃焼触媒層５９上で次の式（８）に示す燃焼反応により燃焼し、この燃焼により熱エネルギーが発生する。
ＣＨ３ＯＨ＋（３／２）Ｏ２→ＣＯ２＋２Ｈ２Ｏ……（８）
【００４８】
この発生した熱エネルギーは第２基板５２を介して第１流路５４内を加熱するのに用いられる。一方、上記式（８）の右辺の燃焼ガス（ＣＯ２＋２Ｈ２Ｏ）のうち少なくともＣＯ２は円孔６２及び燃焼ガス排出用細管を介して大気中に放出される。
【００４９】
ここで、第１流路５４により構成される改質部２５の反応炉内の必要加熱温度は２８０℃程度である。そして、第１流路５４内の加熱温度は薄膜温度センサによって検出され、その温度検出信号は燃料電池システム２１の制御回路に供給される。燃料電池システム２１の制御回路は、この温度検出信号に基づいて、第１流路５４内の温度が適温（２８０℃程度）となるように、噴射器６０から噴射される液体の単位時間当たりの噴射量を制御する。
【００５０】
この場合、噴射器６０は、上述の如く、ヘッド（ノズル）から液体を粒子状に噴射させるものであるので、ヘッドに印加される単位時間当たりのパルス数を制御して、ヘッドから単位時間当たりに噴射される粒子状液体の数を制御すると、第１流路５４内の温度が適温（２８０℃程度）となるようにすることができる。
【００５１】
ここで、噴射器６０から噴射されるメタノールと過酸化水素との混合割合について説明する。上記式（７）から次の式（９）が求められる。
３Ｈ２Ｏ２→（３／２）Ｏ２＋３Ｈ２Ｏ……（９）
そして、この式（９）と上記式（８）とから、モル比で、メタノール１に対して過酸化水素３の割合で混合されている。
【００５２】
ところで、この改質部２５としての小型化学反応装置では、第２流路５８に燃焼用燃料（メタノール）と過酸化水素またはその水溶液との混合液を供給するための超小型の噴射器６０を第２基板５２と第３基板５３との間において第２流路５８の一端部近傍に設けているので、この超小型の噴射器６０でメタノールガス及び酸素ガス生成可能な混合液を供給することにより、従来のような外部から酸素を供給するための空気供給経路が不要となり、従って装置全体を小型化することができるので携帯性に優れた装置の電源として応用が可能である。また、この小型化により、燃料電池システム２１自体の寸法並びに形状を、乾電池等の汎用の化学電池や特定のデバイス専用のバッテリの寸法並びに形状と一致するように設計することが容易にできる。
【００５３】
なお、図８及び図９に示す場合において、薄膜ヒータ６３は、図３に示す凹部１５付き基板３で覆うようにしてもよい。また、薄膜ヒータ６３の代わりに、図７に示す熱流体流路５１付き基板３を用いるようにしてもよい。一方、図１〜図３に示す場合において、第３基板３を省略してもよい。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、流路の近傍における両基板間に流路に材料を噴射して供給する小型の噴射器を設けているので、この小型の噴射器で材料を効率よく流路内で拡散できるため、化学反応を迅速に促進できるので流路構造を小型化でき、また、従来のような一酸化炭素を酸化させるために供給される空気の経路が不要となり、したがって装置全体を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態としての小型化学反応装置の要部の斜視図。
【図２】図１に示す小型化学反応装置の透過平面図。
【図３】図３のＡ−Ａ線に沿う断面図。
【図４】この発明に係る小型化学反応装置を備えた燃料電池システムの一例の要部のブロック図。
【図５】図４に示す発電部及び充電部の概略構成図。
【図６】この発明の他の実施形態としての小型化学反応装置の要部の透過平面図。
【図７】図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図。
【図８】この発明のさらに他の実施形態としての小型化学反応装置の要部の透過平面図。
【図９】図８のＣ−Ｃ線に沿う断面図。
【符号の説明】
１  第１基板
２  第２基板
３  第３基板
４  流入用細管
５  流出用細管
７〜９  円孔
１１  流路
１２  触媒層
１３  酸化剤噴射器
１４  薄膜ヒータ
２１  燃料電池システム
２２  発電用燃料部
２３  酸化剤収納部
２４  燃料気化部
２５  改質部
２６  一酸化炭素除去部
２７  発電部
２８  充電部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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