(57)【要約】【課題】磁束量を減ずることなくコイルの巻回スペースを増大することができるリニアモータを提供する。【解決手段】リニアモータ１は、固定子２と可動子３を備え、固定子２の上方に固定された永久磁石列５と、可動子３の下方に固定された複数の磁極部材７とから成る。永久磁石列５は、その配列方向に一定間隔で交互に配置されたＮ極及びＳ極から成る。複数の磁極部材７は、夫々、永久磁石列５に向かって垂直方向に延びていると共に高さが同じであり、これらの磁極部材７の先端は、エアギャップを介して永久磁石列５と対向している。磁極部材７には絶縁材８が被覆され、絶縁材８の周りには型巻巻線９が嵌装される。磁極部材７は先端以外で絶縁材８が被覆される部分において絶縁材８の厚さ分だけ磁極部材７の厚さが薄く形成される。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁束を発生する磁束発生体と、前記磁束発生体に向かって延びている磁極と、当該磁極を被覆する絶縁材と、該絶縁材の周りに巻回されたコイルとを備えるリニアモータにおいて、前記磁極は前記磁束発生体に対向する先端を有し、当該先端以外で前記絶縁材が被覆される部分において、前記絶縁材の厚さ分だけ厚さが薄いことを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
磁束を発生する磁束発生体と、前記磁束発生体に向かって延びている磁極と、当該磁極の周りに巻回されたコイルとを備えるリニアモータにおいて、前記磁極は、前記磁束発生体に対向する当該磁極の先端に向かってテーパ形状であり、前記コイルの内周面は前記磁極のテーパ形状と相補的な形状であることを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】
磁束を発生する複数の磁束発生体と、前記磁束発生体に向かって延びていると共に前記磁束発生体に沿って一定間隔で配列された複数の磁極と、当該複数の磁極に夫々巻回された複数のコイルとを備えるリニアモータにおいて、前記複数の磁極のうち互いに隣接する一対の磁極の一方には当該磁極の先端側に前記コイルの１つが巻回され、前記互いに隣接する一対の磁極の他方には当該磁極の根元側に前記コイルの他の１つが巻回されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項４】
前記複数のコイルは、ｎ相コイル（ｎは自然数）を形成すると共に、該ｎ相コイルに対応する前記磁極のｎ×ｍ組（ｍは自然数）は、前記磁束発生体の個数が（ｎ×ｍ−１）個又は（ｎ×ｍ＋１）個の占める幅に相当する幅を有していることを特徴とする請求項３記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記複数のコイルはｎ相コイルを形成すると共に、該ｎ相のうちの一相のコイルは前記磁極の連続する３つに対応していることを特徴とする請求項３又は４記載のリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータに関し、特に位置決め装置用のリニアモータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
リニアモータは、例えば位置決め装置に用いられて、ベース上のリニアガイドに支持されたテーブルを駆動する。
【０００３】
図５に示す位置決め装置は、ベース１００と、ベース１００の上面中央に固定された誘導型のリニアモータＬＭと、このリニアモータＬＭの両側においてベース１００の上面に固定され、リニアモータＬＭと平行に配列された一対のリニアガイドＬＧと、リニアモータＬＭ及び一対のリニアガイドＬＧの上に固定されたテーブル１０１とを備える（図５（ａ））。
【０００４】
リニアモータＬＭは、ベース１００の上面中央に固定された固定部材１０２ａ、及び固定部材１０２ａの上面に固定された永久磁石１０３を含む固定子１０２と、永久磁石１０３の上方に配されると共に、テーブル１０１の下面にボルト等により固定された可動子１０４とから成る（図５（ｂ））。可動子１０４は、その移動方向に一定間隔で配列された複数のストレート状磁極を備える。これらの磁極には夫々所定の厚さの絶縁体が被覆されており、さらにその周りに三相コイルが巻回されている。該三相コイルによって発生する磁束は、永久磁石１０３の配列方向に対し直交する。また、永久磁石１０３と可動子１０４との間には、所定寸法のエアギャップが形成されている。
【０００５】
リニアガイドＬＧは、固定子１０２の両側においてベース１００の上面に固定され、固定子１０２と夫々平行な一対の案内レール１０５と、案内レール１０５の各々には、２つのスライダ１０６が載置されており、計４つのスライダ１０６はテーブル１０１の下面に固定されている。
【０００６】
リニアモータＬＭの可動子１０４の三相コイルに電流を流すと、その電流によって可動子１０４の複数のストレート状磁極に発生する磁束と永久磁石１０３の磁束との相互作用により、可動子１０４と固定子１０２との間に相対的な推力が働き、可動子１０４が案内レール１０５に沿って移動し、もってテーブル１０１が案内レール１０５に案内されつつ移動する。可動子１０４の三相コイルに反対方向の電流を流すと可動子１０４には反対方向の駆動力が作用して、可動子１０４が反対方向に動き出す。かくして、可動子１０４の三相コイルへの電流の方向を適宜に選択すれば、可動子１０４ひいてはテーブル１０１を所定位置に移動することができる。
【０００７】
従来は、可動子１０４の磁極が発生する磁界を強くするために磁極の先端部を太くしてその面積を広くしている（図６（ａ））。この場合、コイルが巻回される磁極の根元部は相対的に細くなり、コイルを直接磁極に巻回する際の手間がかかる。また、コイルを磁極に直接巻回する必要があり、コイルを高密度に巻回するのが困難であると共に、磁極とコイルとの間にコイルが巻回されない構造上避けることのできないすきまを生じるので、得られる磁界の強さに限界がある。
【０００８】
そこで、この手間を省くために、通常、磁極の先端から根元までの太さを同じにして予めコイル状に形成された、コイル自体が予め高密度に巻回されているものとして型巻巻線を挿入していているが（ストレート状磁極）（図６（ｂ））、この場合は、コイルが巻回されない磁極とのすきまの極小化を図ることができるが磁極が発生する磁束量がその分低減してしまうことになる。
【０００９】
更に、可動子１０４の複数の磁極が一定間隔で配列されている場合は、コイルは１つおきの磁極に巻回されている。これは、全ての磁極にコイルを巻回するとコイル同士が近接してしまい、隣接するコイル間に間隙が確保できなくなるからである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のコイルスペースには、磁極を被覆する絶縁材のためのスペースを確保しなければならず、その分磁極の先端部を太くすることができず、磁極が発生する磁束量が低減する。
【００１１】
また、可動子１０４の磁極がストレート形状である場合は、コイルの嵌装時にコイルが磁極と擦れて地絡等の不具合を起こし易く、組立て性に劣る。
【００１２】
さらに、可動子１０４の複数の磁極が一定間隔で配列されている場合は、１つおきの磁極にしかコイルを巻回することができないので、コイルの巻回スペースを有効に利用することができない。
【００１３】
本発明の第１の目的は、磁束量を減ずることなくコイルの巻回スペースを増大することができるリニアモータを提供することにある。
【００１４】
本発明の第２の目的は、組立て性を向上させることができるリニアモータを提供することにある。
【００１５】
本発明の第３の目的は、磁極間のコイルの巻回スペースを有効に利用することができるリニアモータを提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上述の第１の目的を達成するために、請求項１記載のリニアモータは、磁束を発生する磁束発生体と、前記磁束発生体に向かって延びている磁極と、当該磁極を被覆する絶縁材と、該絶縁材の周りに巻回されたコイルとを備えるリニアモータにおいて、前記磁極は前記磁束発生体に対向する先端を有し、当該先端以外で前記絶縁材が被覆される部分において、前記絶縁材の厚さ分だけ厚さが薄いことを特徴とする。
【００１７】
請求項１記載のリニアモータによれば、磁極が先端以外で絶縁材が被覆される部分において絶縁材の厚さ分だけ厚さが薄いので、コイルの巻回スペースを絶縁材の厚さ分だけ増大することができ、磁束量を減ずることなくコイルの巻回スペースを増大することができる。
【００１８】
上述の第２の目的を達成するために、請求項２記載のリニアモータは、磁束を発生する磁束発生体と、前記磁束発生体に向かって延びている磁極と、当該磁極の周りに巻回されたコイルとを備えるリニアモータにおいて、前記磁極は、前記磁束発生体に対向する当該磁極の先端に向かってテーパ形状であり、前記コイルの内周面は前記磁極のテーパ形状と相補的な形状であることを特徴とする。
【００１９】
請求項２記載のリニアモータによれば、磁極が先端に向かってテーパ形状であり、コイルの内周面が磁極のテーパ形状と相補的な形状であるので、コイルを磁極に確実に巻回することができ、もって組立て性を向上させることができる。
【００２０】
上述の第３の目的を達成するために、請求項３記載のリニアモータは、磁束を発生する複数の磁束発生体と、前記磁束発生体に向かって延びていると共に前記磁束発生体に沿って一定間隔で配列された複数の磁極と、当該複数の磁極に夫々巻回された複数のコイルとを備えるリニアモータにおいて、前記複数の磁極のうち互いに隣接する一対の磁極の一方には当該磁極の先端側に前記コイルの１つが巻回され、前記互いに隣接する一対の磁極の他方には当該磁極の根元側に前記コイルの他の１つが巻回されていることを特徴とする。
【００２１】
請求項３記載のリニアモータによれば、互いに隣接する一対の磁極の一方には当該磁極の先端側にコイルの１つが巻回され、互いに隣接する一対の磁極の他方には当該磁極の根元側にコイルの他の１つが巻回されているので、磁極間のコイルの巻回スペースを有効に利用することができる。
【００２２】
請求項４記載のリニアモータは、請求項３記載のリニアモータにおいて、前記複数のコイルは、ｎ相コイル（ｎは自然数）を形成すると共に、該ｎ相コイルに対応する前記磁極のｎ×ｍ組（ｍは自然数）は、前記磁束発生体の個数が（ｎ×ｍ−１）個又は（ｎ×ｍ＋１）個の占める幅に相当する幅を有していることを特徴とする。
【００２３】
請求項４記載のリニアモータによれば、基本単位となる幅内の磁極部材の数を、基本単位となる幅内の磁束発生体の数に対し±１としたことにより、両者を一致させる場合や、±２以上の差を設ける場合より、コギング推力やトルクリップルの発生を低減でき、スムーズで高精度な運動を得ることができる。
【００２４】
請求項５記載のリニアモータは、請求項３又は４記載のリニアモータにおいいて、前記複数のコイルはｎ相コイルを形成すると共に、該ｎ相のうちの一相のコイルは前記磁極の連続する３つに対応していることを特徴とする。
【００２５】
請求項５記載のリニアモータによれば、一相のコイルを３個を単位としたコイルから構成することができ、２種類の一相のコイルを交互に繰り返すことにより容易に三相に限らず複数相のコイルを組立てることができ、もって組立て性を向上させることができると共に、各相における渡り線を短くでき、コイル間を接続したまま結線でき、コイル間の接続個数も少なくすることができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施の形態に係るリニアモータを図面を参照しながら説明する。
【００２７】
図１（ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係るリニアモータの側面図（断面図）、及び図１（ｂ）は、図１（ａ）のリニアモータの可動子の断面図である。
【００２８】
図１（ａ）におけるリニアモータ１は、例えば図４の従来の位置決め装置１に用いられて、ベース１００の上面に固定された固定子２と、テーブル１０１の下面に適宜な方法で固定された可動子３とを備え、ベース１００上のリニアガイドＬＧに支持されたテーブル１０１を駆動する。
【００２９】
図１において、リニアモータ１は、ベース１００の上面中央に固定された固定部材４、及び固定部材４の上面に固定された略直方体の永久磁石列５（磁束発生体）を含む固定子２と、この永久磁石列５の上方において永久磁石列５の配列方向に向かって延びると共に、テーブル１０１の下面に適宜な方法で固定されたヨーク６、及びヨーク６の下面に固定された複数の磁極部材７を含む可動子３とから成る。永久磁石列５は、図１（ａ）でその配列方向に一定間隔で交互にＮ極及びＳ極となるように配置されている。
【００３０】
また、複数の磁極部材７は、夫々、永久磁石列５に向かって垂直方向に延びたストレート状であると共に高さが同じである。これらの磁極部材７の先端は、所定寸法のエアギャップを介して永久磁石列５と対向している。複数の磁極部材７には夫々所定の厚さの絶縁材８が被覆されている。
【００３１】
図２は、本発明の第１の実施の形態に係るリニアモータにおける磁極部材の断面図である。
【００３２】
図２において、複数の磁極部材７は、夫々、先端以外で絶縁材８が被覆されている部分が絶縁材８の厚さ分だけ厚さが薄く、例えば０．３〜０．４ｍｍだけ薄く形成され、該先端以外の部分に絶縁材８が被覆された状態では、磁極部材７の先端部の外周面と絶縁材８の外周面とは同一面をなす。
【００３３】
上記のような複数の磁極部材７の各々には、１つおきに、予めコイル状に形成された、いわゆる型巻巻線９が嵌装され、複数の型巻巻線９は三相コイルを形成する。型巻巻線９が嵌装された磁極部材７は、型巻巻線９に電流を流すことにより、磁極となる。さらに、複数の磁極部材７の各先端部に型巻巻線９の脱落を防止するための絶縁材から成る脱落防止部材１０が係止される。
【００３４】
型巻巻線９によって発生する磁束は、永久磁石列５の配列方向に対して直交しており、この磁束と永久磁石列５の磁束との相互作用によって、永久磁石列５と型巻巻線９との間に推力が働き、可動子３が移動する。
【００３５】
上記第１の実施の形態によれば、磁極部材７は先端以外で絶縁材８が被覆される部分において絶縁材８の厚さ分だけ厚さが薄いので、型巻巻線９の嵌装スペースを絶縁材８の厚さ分だけ増大することができ、磁束量を減ずることなく型巻巻線９の嵌装スペースを増大することができる。
【００３６】
図３は、本発明の第２の実施の形態に係るリニアモータにおける磁極部材の断面図である。
【００３７】
本発明第２の実施の形態に係るリニアモータは、本発明の第１の実施の形態に係るリニアモータと構成が基本的に同じであり、第１の実施の形態では磁極部材７がストレート形状であるのに対して、本実施の形態では先端に向かってテーパ形状の略切頭角錐台形である点が異なる。
【００３８】
図３において、複数の磁極部材７は、夫々、後述するテーパ形状傾斜角度の略切頭角錐台形をなしており、永久磁石列５に向かって垂直方向に延びていると共に高さが同じである。これらの磁極部材７の先端は、エアギャップを介して永久磁石列５と対向している。
【００３９】
また、複数の磁極部材７は、夫々、先端以外で絶縁材８が被覆される部分において絶縁材８の厚さ分だけ厚さが薄く、例えば０．３〜０．４ｍｍだけ薄く形成され、該先端以外の部分に絶縁材８が被覆された状態では、磁極部材７の先端部の外周面と絶縁材８の外周面とは同一面をなす。
【００４０】
上記のような複数の磁極部材７の各々には、１つおきに、予めコイル状に形成された、いわゆる型巻巻線９が嵌装され、複数の型巻巻線９は三相コイルを形成する。型巻巻線９が嵌装された磁極部材７は、型巻巻線９に電流を流すことにより、磁極となる。型巻巻線９の内周部は、磁極部材７の上記略切頭角錐台形と相補的な形状をなす。さらに、複数の磁極部材７の各先端部に型巻巻線９の脱落を防止するための、絶縁材から成る脱落防止部材１０が係止される。
【００４１】
上記磁極部材７のテーパ形状の傾斜角度は、下記（１）式を満たすように決定されることが好ましい。
【００４２】
Ｗ１＋２ｔ＞　Ｗ２　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　…（１）
ここで、Ｗ１は磁極となる磁極部材７の根元の磁極幅、Ｗ２は磁極となる磁極部材７の先端の磁極幅、及びｔは絶縁材８の厚さである。厳密には、絶縁材８の厚さｔは、そのテーパ形状の傾斜角度に依存するが、傾斜角度が９０°とみなすことにより、絶縁材８の厚さｔにおいて最大の値を選び、最も余裕がある状態としている。
【００４３】
上記磁極部材７のテーパ状の傾斜角度は、下記（２）式を満たすように決定されることがさらに好ましい。
【００４４】
（√３）・ｄ・（ｍ−ｎ＋１）／２
≧ｂ−ａ≧　（√３）・ｄ・（ｍ−ｎ−１）／２　…（２）
ここで、ａは絶縁材８の厚さを含む根元のスロット幅、ｂはコイルの先端のスロット幅、ｄはコイルの直径、ｍはコイルの先端の列数、及びｎはコイル根元の列数である。
【００４５】
上記第２の実施の形態によれば、上記第１の実施の形態の効果に加えて、磁極部材７がテーパ形状の略切頭角錐台形であり、型巻巻線９の内周部が磁極部材７の略切頭角錐台形と相補的な形状をなすので、型巻巻線９を磁極部材７に確実に締まり嵌めをすることができ、もって組立て性を向上させることができる。
【００４６】
上記第２の実施の形態において、磁極部材７は、先端に向かってテーパ形状傾斜角度の略切頭角錐台形としたが、その先端までテーパ形状としてもよい。これにより、型巻巻線９の嵌装時に型巻巻線９が磁極部材７と擦れて地絡等の不具合を起こしにくくして、もって組立て性をより向上させることができる。
【００４７】
図４は、本発明の第３の実施の形態に係るリニアモータ１の断面図である。
【００４８】
本発明の第３の実施の形態に係るリニアモータＬＭは、本発明の第１の実施の形態に係るリニアモータと構成が基本的に同じであり、第１の実施の形態では複数の磁極部材７の１つおきに型巻巻線９が嵌装されているのに対して、本実施の形態では各磁極部材７毎に型巻巻線９が嵌装されている点が異なる。
【００４９】
図４において、複数の磁極部材７は、夫々、ストレート状であり、永久磁石列５に向かって垂直方向に延びていると共に高さが同じである。これらの磁極部材７の先端は、エアギャップを介して永久磁石列５と対向している。
【００５０】
また、複数の磁極部材７は、夫々、先端以外で絶縁材８が被覆される部分において絶縁材８の厚さ分だけ厚さが薄く、例えば０．３〜０．４ｍｍだけ薄く形成され、該先端以外の部分に絶縁材８が被覆された状態では、磁極部材７の先端部の外周面と絶縁材８の外周面とは同一面をなす。
【００５１】
上記のような複数の磁極部材７の各々には、予めコイル状に形成された、いわゆる型巻巻線９が嵌装され、複数の型巻巻線９は三相コイルを形成する。複数の磁極部材７のうち互いに隣接する一対の磁極部材７において、一対の磁極部材７の一方の先端側に一の型巻巻線９が嵌装され、他方の根元側に他の型巻巻線９が嵌装されている。各磁極部材７毎に型巻巻線９が嵌装されているので、型巻巻線９に電流を流すことにより、磁極部材７は全て磁極となる。型巻巻線９は、高さが磁極部材７の高さの半分である。さらに、複数の磁極部材７の各先端部に型巻巻線９の脱落を防止するための、絶縁材から成る脱落防止部材１０が係止される。
【００５２】
上記第３の実施の形態によれば、複数の磁極部材７のうち互いに隣接する一対の磁極部材７において、一対の磁極部材７の一方の先端側に一の型巻巻線９が嵌装され、他方の根元側に他の型巻巻線９が嵌装されているので、磁極部材７間の型巻巻線９の嵌装スペースを有効に利用することができる。
【００５３】
また、複数の型巻巻線９は、三相の型巻巻線９を形成すると共に、該三相のうちの一相の型巻巻線９’は、互いに隣接する３本の磁極部材７に対応して嵌装され且つ中央の１本とその両側の２本とでは、巻線の巻回方向が逆になるように、すなわち、極性が反転するようにされる。他の二相も同様に形成される。具体的には、図４で左側の型巻巻線９’を構成する型巻巻線９は、左から順にバーＶ，Ｖ，バーＶ、中央の型巻巻線９’を構成する型巻巻線９は、左から順にバーＵ，Ｕ，バーＵ、右側の型巻巻線９’を構成する型巻巻線９は、左から順にバーＷ，Ｗ、バーＷとされる。ここで、バーＶはＶに対して位相が反転したものを云い、このことは、Ｕ，Ｗについても同様である。これにより、一相の型巻巻線９’を３個を単位とした型巻巻線９から構成することができ、２種類の一相の型巻巻線９を交互に繰り返すことにより容易に三相に限らず複数相の型巻巻線９を組立てることができ、もって組立て性を向上させることができると共に、各相における渡り線を短くでき、型巻巻線間を接続したまま結線でき、型巻巻線間の接続個数も少なくすることができる。
【００５４】
また、図４の例では、上記のような基本単位を３つづつ連結した形をしているが、これに限らず、最低１つの基本単位であってもよい。
【００５５】
さらに、この三相の型巻巻線９は各相それぞれ３個の型巻巻線９’から成り、３個の型巻巻線９’は磁極部材７の９本に対応して嵌装される。磁極部材７の９本及び９つのスロットの全長は、図４の例では、８極の永久磁石列５の占める幅と等しくなるようにされる（８極９スロット）。或いは、磁極部材７の９本及び９つのスロットの全長を１０極の永久磁石列５の占める幅と等しくなるようにしてもよい（１０極９スロット）。即ち、８極９スロット又は１０極９スロットが基本単位となる。ｎ相のコイルを形成するときは、一般式として（ｎ×ｍ−１）極（ｎ×ｍ）スロット又は（ｎ×ｍ＋１）極（ｎ×ｍ）スロットが基本単位となる（ｎ，ｍは自然数）。これにより、基本単位となる幅内の磁極部材７の数を、基本単位となる幅内の永久磁石の数に対し±１としたことにより、両者を一致させる場合や、±２以上の差を設ける場合より、コギング推力やトルクリップルの発生を低減でき、スムーズで高精度な運動を得ることができる。
【００５６】
尚、上記第３の実施の形態において、型巻巻線９の高さを磁極部材７の高さの半分としたが、磁極部材７が夫々均一の磁束を発生すればよく、型巻巻線９の高さを磁極部材７の高さの複数等分としてもよい。
【００５７】
また、上記第３の実施の形態において、例えば、基本単位として、Ｕ，Ｖ，Ｗ，Ｕ，Ｖ，Ｗ，Ｕ，Ｖ，Ｗのように配してもよい。
【００５８】
上記第１から第３の実施の形態は、適宜組み合わせて実施してもよいのはいうまでもない。
【００５９】
上記実施の形態では、コイルとしての型巻巻線９を磁極部材７に嵌装するとしたが、コイルは手巻きコイルを磁極部材７に巻回してもよい。組立て性が優れる点において、型巻巻線の方が好ましいのはいうまでもない。
【００６０】
上記実施の形態では、固定子２に永久磁石列５、及び可動子３に型巻巻線９が嵌装された磁極部材７を固定したが、これに代えて、固定子に電磁石及び可動子に磁石を固定、又は固定子に電磁石及び可動子に電磁石を固定してもよい。
【００６１】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１記載のリニアモータによれば、磁極が先端以外で絶縁材が被覆される部分において絶縁材の厚さ分だけ厚さが薄いので、コイルの巻回スペースを絶縁材の厚さ分だけ増大することができ、磁束量を減ずることなくコイルの巻回スペースを増大することができる。
【００６２】
請求項２記載のリニアモータによれば、磁極が先端に向かってテーパ形状であり、コイルの内周面が磁極のテーパ形状と相補的な形状であるので、コイルを磁極に確実に巻回することができ、もって組立て性を向上させることができる。
【００６３】
請求項３記載のリニアモータによれば、互いに隣接する一対の磁極の一方には当該磁極の先端側にコイルの１つが巻回され、互いに隣接する一対の磁極の他方には当該磁極の根元側にコイルの他の１つが巻回されているので、磁極間のコイルの巻回スペースを有効に利用することができる。
【００６４】
請求項４及び５記載のリニアモータによれば、複数のコイルはｎ相コイルを形成すると共に、該ｎ相のうちの一相のコイルは磁極の３つに対応しているので、２種類の一相のコイルを交互に繰り返すことにより容易にｎ相のコイルを組立てることができ、もって組立て性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係るリニアモータの側面図（断面図）、及び図１（ｂ）は、図１（ａ）のリニアモータの可動子の断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るリニアモータにおける磁極部材の断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係るリニアモータにおける磁極部材の断面図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態に係るリニアモータ１の断面図である。
【図５】図５（ａ）は、従来のリニアモータが用いられた位置決め装置の平面図、及び図５（ｂ）は、図５（ａ）の位置決め装置の正面図である。
【図６】
従来のリニアモータの断面図であり、（ａ）は、先端部を太くした磁極を示し、（ｂ）は、ストレート状磁極を示す。
【符号の説明】
５　永久磁石列
７　磁極部材
８　絶縁材
９　型巻巻線
【図１】
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【図２】
2004007884.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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