(57)【要約】　　　（修正有）【課題】光ディスク装置における光路制御装置および光路制御方法に関し、光ディスク装置の光路中の素子へのビームの照射位置を移動させて当該素子へのビーム照射による焼けなどを自動的に回避し、寿命を改善して素子の交換の手間を回避する。【解決手段】レーザ照射源７１から放射されたレーザ光が媒体７６に到達するまでの経路上に配置された素子群、および媒体７６から反射されたレーザ光が検出素子８０で検出されるまでの経路上に配置された素子群のうちの１つあるいは複数の素子に当該レーザ光の照射される位置を移動させる移動機構１０１を備える。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置における光路制御装置において、
レーザ照射源から放射されたレーザ光が媒体に到達するまでの経路上に配置された素子群、および媒体から反射されたレーザ光が検出素子で検出されるまでの経路上に配置された素子群のうちの１つあるいは複数の素子に当該レーザ光の照射される位置を移動させる移動機構を備えたことを特徴とする光路制御装置。
【請求項２】
前記検出素子で検出される信号の強度あるいはＳ／Ｎ比が低下したときに、前記移動機構を調整して大きくなる位置に移動させる手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の光路制御装置。
【請求項３】
装置における光路制御方法において、
レーザ照射源から放射されたレーザ光が媒体に到達するまでの経路上に配置された素子群、および媒体から反射されたレーザ光が検出素子で検出されるまでの経路上に配置された素子群のうちの１つあるいは複数の素子に当該レーザ光の照射される位置を当該素子に設けた移動機構により移動させて、前記検出素子で検出される信号の強度あるいはＳ／Ｎ比を大きくすることを特徴とする光路制御方法。
【請求項４】
前記検出素子で検出される信号の強度あるいはＳ／Ｎ比が所定値よりも小さくなったときに前記移動機構により素子を移動させて当該信号の強度あるいはＳ／Ｎ比を大きくしたことを特徴とする請求項４記載の光路制御方法。
【請求項５】
光装置において、
レーザ照射源から放射されたレーザ光が媒体に到達するまでの経路上に配置された素子群、および媒体から反射されたレーザ光が検出素子で検出されるまでの経路上に配置された素子群のうちの１つあるいは複数の素子に当該レーザ光の照射される位置を移動させる移動機構を備えたことを特徴とする光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、装置における光路制御装置、光路制御方法および光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光ディスク装置における光学系は、図８に示すように、媒体をリードする場合、レーザ７１から発した光は、コリメーターレンズ７２を透過し偏光面がそろえられビームスプリッタ（１）７３により立上ミラー７４により媒体７６へと向かう。対物レンズ７５は、媒体７６に向かった光を媒体７６で焦点を結ぶように働く。媒体７６の磁場によるカー効果で偏光面が変えられた光は、対物レンズ７５，立上ミラー７４，ビームスプリッタ（１）７３を通りビームスプリッタ（２）７７に向かう。ビームスプリッタ（２）７７では、トラック，フォーカス制御を行うためのサーボ系の光学系と媒体７６に書かれた信号を読み取る光学系へと２つに分けられる。
【０００３】
媒体７６に書かれた信号を読み取る光学系は、波長板７８により、光の偏光面を＋４５度して、偏光ビームスプリッタ７９で、光を分割する。ＭＯディテクター８０は、その２つの光を電気信号に変える。その電気信号をヘッドアンプ２３で加算増幅，差動増幅し、ＩＤ信号，ＭＯ信号を読み取る。ＭＯ信号を変調しリードデータを得る。
【０００４】
ビームスプリッタ（２）７７で分けられたトラック，フォーカス制御を行うためのサーボ系の光学系光路は、ビームスプリッタ（３）８２でＴＥＳ（ＴＲＡＣＫ　ＥＲＲＯＲ　ＳＩＧＮＡＬ）を分け、２分割したＴＥＳディテクター８３で電気信号に変換し、ヘッドアンプ２３で増幅する。
【０００５】
ＦＥＳ（ＦＯＣＵＳ　ＥＲＲＯＲ　ＳＩＧＮＡＬ）は、Ｓレンズ８４，ビームスプリッタ（３）８２，Ｓプリズム８５を介してＦＥＳディテクタ８６で電気信号に変換し、ヘッドアンプ２３で増幅する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
近年、レーザーダイオードの発達により、今まで赤色レーザーから青色レーザーが使用されビーム径が小さくなり、それに伴い、大容量記録が可能になっている。光の周波数が上がったこと（Ｅ∝ｆ２）とビーム径が小さくなったことにより、光エネルギー密度も増加しかつ光の通る光路は常に一定であるために、ビームスプリッターやディテクターの余剰なエネルギーにより結晶格子またはセンサー粒子を傷つけて劣化が徐々に始まる。結晶格子またはセンサー粒子のほんの少数が破壊されても装置での機能上はさほど問題にはならないが、欠陥が増え過ぎたり、変色して部分的な大きな欠陥となると、ＭＯ，ＴＥＳ，ＦＥＳ信号の信号レベルが低下しノイズが増大するために大幅にＳ／Ｎが低下し、装置としての機能を満たさなくなる。
【０００７】
このため、上述した劣化が、光ディスク装置としての寿命を短くすることとなる。ここで、欠陥が増えて機能をなさなくなった部分，変色等により部分的に機能をなさなくなった部分を以降、「焼け」と呼ぶようにします。
【０００８】
そこで、いつも光路は一定であるので、ビームスプリッターやディテクターの光のあたる部分のみ結晶格子の破壊やセンサー粒子の破壊が徐々に進んでしまう。また、光のあたっていなかった部分は結晶格子やセンサー粒子は正常なので、現在光があたっている部分に焼けが発生した場合、光のあたる部分を少しずらすことにより焼けが発生しても正常に動作させることが望まれている。
【０００９】
本発明は、これらの問題を解決するため、光ディスク装置の光路中の素子へのビームの照射位置を移動させて当該素子へのビーム照射による焼けなどを自動的に回避し、寿命を改善して素子の交換の手間を回避することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
図１を参照して課題を解決するための手段を説明する。
【００１１】
図１において、媒体７６は、レーザ光を照射してデータを読み書きするものである。
【００１２】
キャリッジ１０２は、媒体７６の該当位置にフォーカスしたレーザ光を照射したり、反射したレーザ光を取り込んだりなどするためのものである。
【００１３】
固定光学系１０３は、レーザ光を発生させてキャリッジ１０２を経由して媒体２６にレーザ光を照射したり、反射して帰ってきたレーザ光を電気信号に変換したり、フォーカス、トラックサーボなどの各種制御を行うための信号を検出したりなどするものである。
【００１４】
移動機構１０１は、固定光学系１０３で使用される素子についてレーザ光の照射される位置を移動させるための機構である（図中の３４ないし４０）。
【００１５】
次に、動作を説明する。
固定光学系１０３を構成するレーザ７１から放射されたレーザ光をキャリッジ１０２を介して媒体７６に照射し、反射して帰ってきたレーザ光を固定光学系１０３を構成するディテクタで検出すると共に、レーザ照射源から放射されたレーザ光が媒体に到達するまでの経路上に配置された素子群、および媒体から反射されたレーザ光が検出素子で検出されるまでの経路上に配置された素子群のうちの１つあるいは複数の素子に当該レーザ光の照射される位置を移動させる移動機構１０１を設け、検出素子で検出される信号の強度あるいはＳ／Ｎ比が低下したときに、移動機構１０１を調整して大きくなる位置に移動させるようにしている。
【００１６】
この際、媒体７６のロード時に信号の強度あるいはＳ／Ｎ比が所定値よりも小さいときに、移動機構１０１により大きくなる位置に素子を移動させるようにしている。
【００１７】
従って、光ディスク装置の光路中の素子へのビームの照射位置を移動させて当該素子へのビーム照射による焼けなどを自動的に回避し、寿命を改善して素子の交換の手間を回避することが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に、図１から図７を用いて本発明の実施の形態および動作を順次詳細に説明する。ここで、図１の７１から８０、８２から８６、および２３は、図８と同様であるので説明を省略する。
【００１９】
図１は、本発明のシステム構成図を示す。
図１において、移動機構１０１は、レーザ光の当たる素子の位置を移動させる機構であって、図中のビームスプリッタ（１）昇降機３４、ビームスプリッタ（２）昇降機３５、波長板昇降機３６、偏向ビームスプリッタ昇降機３７、ＭＯディテクタ昇降機３８、ビームスプリッタ（３）昇降機３９、ＴＥＳディテクタ昇降機４０などから構成されるものである。これらをディテクタおよびビームスプリッタに分けて以下順次説明する。
【００２０】
図２は、本発明の焼損例を示す。
図２の（ａ）は、ディテクタ焼損例を示す。左側に示すようにディテクタにレーザ光が照射されて図示の損傷部のＳ／Ｎが所定閾値よりも低下したと検出された場合、点線の円で示すように移動させ（移動機構１０１については図３参照）、右側に示すように、Ｓ／Ｎ比を元の値にほぼ復元することが可能となる。
【００２１】
図２の（ｂ）は、ビームスプリッタ焼損例を示す。これもディテクタと同様に、左側に示すようにビームスプリッタにレーザ光が照射されて図示の損傷部のＳ／Ｎが所定閾値よりも低下したと検出された場合、点線の円で示すように移動させ（移動機構１０１については図３参照）、右側に示す、透過光および反射光の両者について、Ｓ／Ｎ比を元の値にそれぞれほぼ復元することが可能となる。
【００２２】
図３は、本発明の移動機構例を示す。
図３の（ａ）は、昇降の場合の移動機構の具体例を示す。
【００２３】
図３の（ａ−１）は、昇降機構（手動）の例を示す。上段は側面断面図を示し、下段は底面図を示す。ここで、テーブル１１１上に昇降対象の素子（例えば図１のＭＯディテクタ３８）を搭載し、エンクロジャ１１２内に設けたネジ１１３を操作者がドライバなどで回転させると、当該ネジ１１３の回転に伴いテーブル１１１上の素子が昇降する。この際、回転防止棒１１４でテーブル１１１の回転が防止されると共に、スプリング１１５でネジ１１３のガタ（隙間）などによる影響が生じないようにテーブル１１１を上方向に押し上げている。
【００２４】
図３の（ａ−２）は、昇降機構（自動）の例を示す。上段は側面断面図を示し、下段は底面図を示す。ここで、電磁石１１６に通電して力（所定の吸引力あるいは所定の反発力）を発生させることで図３の（ａ−１）と同様に、テーブル１１を昇降させ、媒体７６のロード時などにＳ／Ｎ比が所定閾値以下となったときに自動的にＳ／Ｎ比を元に復元することが可能となる。
【００２５】
図３の（ｂ）は、左右移動の場合の移動機構（手動）の具体例を示す。
図３の（ｂ−１）は、移動機（手動）の例を示す。左側は左側面図を示し、右側は正面断面図を示す。ここで、テーブル１１１上に左右移動対象の素子を搭載し、エンクロジャ１１２内に設けたネジ１１３を操作者がドライバなどで回転させると、当該ネジ１１３の回転に伴いテーブル１１１上の素子が左右移動する。
【００２６】
図３の（ｂ−２）は、左右移動の場合の移動機構（自動）の具体例を示す。左側は左側面図を示し、右側は正面断面図を示す。ここで、磁石１１８の間に設けた電磁石１２０に通電して力（所定の吸引力あるいは所定の反発力）を発生させることで図３の（ｂ−１）と同様に、テーブル１１を左右方向移動させ、媒体７６のロード時などにＳ／Ｎ比が所定閾値以下となったときに自動的にＳ／Ｎ比を元に復元することが可能となる。
【００２７】
尚、光学素子自体の光の当たる部分がピンポイントであり、移動することにより機能を失ってしまう素子，または、移動することにより光路が変わってしまい再調整が必要な素子については移動はできないので対象外となる。ここで、図１により固定光学系の各素子を分類すると、移動できない素子としては、レーザー７１，コリメートレンズ７２，Ｓレンズ８４，Ｓプリズム８５，ＦＥＳディテクタ８６であり、上下方向のみ移動可能な素子は、ＭＯディテクタ８１，ＴＥＳディテクタ８３であり、光路に対して上下左右移動可能な素子は、ビームスプリッタ（１）７３，ビームスプリッタ（２）７７，偏光ビームスプリッタ７９，ビームスプリッタ（３）８３である。
【００２８】
図４および図５は、本発明の制御フローチャートを示す。以下、図６の回路ブロック図によって制御する場合の動作を説明する。
【００２９】
図４において、Ｓ１は、ＭＰＵがメモリより３４〜４０の各昇降機の位置電流の設定値を取得する。
【００３０】
Ｓ２は、ＭＰＵがＤＳＰを介して各ドライバ１６〜２２に位置電流設定値通り電流を流し３３〜４０の位置を決める。
【００３１】
Ｓ３は、光ディスク（媒体７６）に書かれた製造情報を読み込む。
Ｓ４は、ＴＥＳ信号が異常か判別する。ＹＥＳの場合には、ＴＥＳ信号が異常で、本願発明に係わる移動機構によるレーザ光の素子への照射位置に焼けが発生したと判明したので、図５のＳ１１に進む。ＮＯの場合には、正常と判明したので、Ｓ５に進む。
【００３２】
Ｓ５は、ＦＥＳ信号が異常か判別する。ＹＥＳの場合には、ＦＥＳ信号が異常で、本願発明に係わる移動機構によるレーザ光の素子への照射位置に焼けが発生したと判明したので、Ｓ３１に進む。ＮＯの場合には、正常と判明したので、Ｓ６に進む。
【００３３】
Ｓ６は、ＩＤ信号が異常か判別する。ＹＥＳの場合には、ＩＤ信号が異常で、本願発明に係わる移動機構によるレーザ光の素子への照射位置に焼けが発生したと判明したので、図５のＳ２１に進む。ＮＯの場合には、正常と判明したので、終了する。
【００３４】
（１）　Ｓ４のＹＥＳでＴＥＳ信号の異常（信号の劣化）と判明した場合：
図５において、Ｓ１１は、ＤＳＰがドライバ２２を制御しＴＥＳディテクタ４０を上下し信号が改善する電流を探す。
【００３５】
Ｓ１２は、改善する電流がないか判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ１３でＤＳＰがドライバ２２を制御してＴＥＳディテクタを元の位置に戻す。そして、図４のＳ３１に進む。一方、Ｓ１２のＮＯの場合には、図４のＳ４１に進む。
【００３６】
（２）　Ｓ５のＹＥＳでＦＥＳ信号の異常（信号の劣化）と判明した場合：
図４において、Ｓ３１は、ＤＳＰがドライバ２１を制御しビームスプリッタ（３）３９を上下して信号が改善する電流を探す。
【００３７】
Ｓ３２は、改善する電流がないか判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ３３に進む。ＮＯの場合には、改善する電流が有りと判明したので、Ｓ４１に進む。
【００３８】
Ｓ３３は、ＤＳＰがドライバ２１を制御しビームスプリッタ（３）３９を元の位置に戻す。
【００３９】
Ｓ３４は、ＤＳＰがドライバ１７を制御しビームスプリッタ（２）３５を上下し信号が改善する電流を探す。
【００４０】
Ｓ３５は、改善する電流がないか判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ３６に進む。ＮＯの場合には、改善する電流が有りと判明したので、Ｓ４１に進む。
【００４１】
Ｓ３６は、ＤＳＰがドライバ１７を制御しビームスプリッタ（２）３５を元の位置に戻す。
【００４２】
Ｓ３７は、ＤＳＰがドライバ１６を制御しビームスプリッタ（１）を上下して信号が改善する電流を探す。
【００４３】
Ｓ３８は、改善する電流がないか判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ３９に進む。ＮＯの場合には、改善する電流が有りと判明したので、Ｓ４１に進む。
【００４４】
Ｓ３９は、ＤＳＰがドライバ１６を制御しビームスプリッタ（１）３４を元の位置に戻す。
【００４５】
Ｓ４０は、ＤＳＰがＭＰＵにアラーム（素子を移動させてもＳ／Ｎ改善不可の旨のメッセージ）を表示する。そして、終了する。
【００４６】
（３）　Ｓ６のＹＥＳでＩＤ信号の異常（信号の劣化）と判明した場合：
図５において、Ｓ２１は、ＤＳＰがドライバ２０を制御しＭＯディテクタ３８を上下し信号が改善する電流を探す。
【００４７】
Ｓ２２は、改善する電流がないか判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ２３に進む。ＮＯの場合には、改善する電流があると判明したので、図４のＳ４１に進む。
【００４８】
Ｓ２３は、ＤＳＰがドライバ２０を制御しＭＯディテクタ３８を元の位置に戻す。
【００４９】
Ｓ２４は、ＤＳＰがドライバ１９を制御し偏向ビームスプリッタ３７を上下し信号が改善する電流を探す。
【００５０】
Ｓ２５は、改善する電流がないか判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ２６に進む。ＮＯの場合には、改善する電流があると判明したので、図４のＳ４１に進む。
【００５１】
Ｓ２６は、ＤＳＰがドライバ１９を制御し偏向ビームスプリッタ３７を元の位置に戻す。
【００５２】
Ｓ２７は、ＤＳＰがドライバ１８を制御し波長板３６を上下し信号が改善する電流を探す。
【００５３】
Ｓ２８は、改善する電流がないか判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ２９に進む。ＮＯの場合には、改善する電流があると判明したので、図４のＳ４１に進む。
【００５４】
Ｓ２９は、ＤＳＰがドライバ１８を制御し波長板３６を元の位置に戻す。そして、図４のＳ３４に進む。
【００５５】
図４において、Ｓ４１は、ＤＳＰがＭＰＵに改善した場所と電流値を通知する。
【００５６】
Ｓ４２は、ＭＰＵがメモリに改善した電流値を書き換える。
Ｓ４３は、ＭＰＵがメモリに改善前の電流値を焼損履歴として残す。そして、終了する。
【００５７】
以上によって、媒体７６から読出した信号をもとに、ＴＥＳ信号、ＦＥＳ信号、ＩＤ信号の異常（信号劣化）が検出されたときに、図１の移動機構１０１（３４から４０）を所定の順番で順次制御（上下移動、左右移動）させ、信号が改善されたときにその改善された電流値に更新すると共にメモリに当該更新した電流値を記憶、および直前の電流値を損傷した場所の履歴として保存することにより、逐次、ＴＥＳ信号、ＦＥＳ信号、ＩＤ信号のＳ／Ｎ比などが所定閾値以下となって異常と判明した場合に、自動的にレーザ光の照射される場所を移動させてＳ／Ｎ比を自動的に改善することが可能となる。
【００５８】
図６は、本発明の回路ブロック図を示す。これは、既述した図１の構成に対して使用する回路ブロック図であって、既述した図４および図５のフローチャートに従い、レーザ光の照射する素子の位置を移動させて、Ｓ／Ｎ比を自動的に改善するときの回路ブロック図である。
【００５９】
図６において、ＭＰＵ１は、マイクロプロセッサであって、プログラムに従い全体を統括制御するものである。
【００６０】
メモリ２は、データを記憶するものであって、ここでは、移動機構１０１（図１の３４〜４０の移動機構）に対して、良好なＳ／Ｎ比が得られる電流値を記憶するものである。
【００６１】
インタフェース３は、ホスト装置との間でデータの授受を行うためのインタフェースである。
【００６２】
水晶振動子４は、クロックを発生するものである。
ＯＤＣ光ディスクコントローラ５は、光ディスクをフォーマットしたり、ＥＣＣ処理を行ったりなどの制御を行うものである。
【００６３】
リード／ライトＬＳＩ回路６は、光ディスク（媒体７６）にデータをライトしたり、リードしたりするものである。
【００６４】
ＤＳＰ７は、高速に各種制御を行うものであって、ここでは、ドライバなどを駆動したり、ＴＥＳ検出回路９、ＦＥＳ検出回路１０などからの信号を取り込んで各種制御を行ったりなどするものである。
【００６５】
ドライバ１１から２２は、モータ、アクチュエータ、昇降機などを駆動するものである。
【００６６】
移動機構１０１は、スプリッタなどを上下、あるいは左右に移動させるものである。
【００６７】
図７は、本発明のＭＯ波形例を示す。
図７の（ａ）は焼損時の波形を示し、図７の（ｂ）は焼損回避あるいは焼損前の波形を示す。ここで、素子にレーザ光が照射されて焼損した時には、ＭＯ信号の波形として、高調波成分がのり振幅が図示のように小さくなる。ここで、高調波成分はノイズであり、Ｎが大きくなったのとＳが小さくなったのでＳ／Ｎ比が結果的に低下している。当該Ｓ／Ｎ比が所定値よりも低下したときは、既述したようにして、移動機構１０１により上下、あるいは左右にレーザ光の照射場所を既述した図２に示すように、移動させてＳ／Ｎ比の回復した電流値（場所）に設定し、自動的にＳ／Ｎ比の劣化を復元することが可能となる。
【００６８】
（付記１）
装置における光路制御装置において、
レーザ照射源から放射されたレーザ光が媒体に到達するまでの経路上に配置された素子群、および媒体から反射されたレーザ光が検出素子で検出されるまでの経路上に配置された素子群のうちの１つあるいは複数の素子に当該レーザ光の照射される位置を移動させる移動機構を備えたことを特徴とする光路制御装置。
【００６９】
（付記２）
前記検出素子で検出される信号の強度あるいはＳ／Ｎ比が低下したときに、前記移動機構を調整して大きくなる位置に移動させる手段を備えたことを特徴とする付記１記載の光路制御装置。
【００７０】
（付記３）
前記媒体のロード時に前記信号の強度あるいはＳ／Ｎ比が所定値よりも小さいときに、前記移動機構により大きくなる位置に前記素子を移動させることを特徴とする付記１あるいは付記２記載の光路制御装置。
【００７１】
（付記４）
装置における光路制御方法において、
レーザ照射源から放射されたレーザ光が媒体に到達するまでの経路上に配置された素子群、および媒体から反射されたレーザ光が検出素子で検出されるまでの経路上に配置された素子群のうちの１つあるいは複数の素子に当該レーザ光の照射される位置を当該素子に設けた移動機構により移動させて、前記検出素子で検出される信号の強度あるいはＳ／Ｎ比を大きくすることを特徴とする光路制御方法。
【００７２】
（付記５）
前記検出素子で検出される信号の強度あるいはＳ／Ｎ比が所定値よりも小さくなったときに前記移動機構により素子を移動させて当該信号の強度あるいはＳ／Ｎ比を大きくしたことを特徴とする付記４記載の光路制御方法。
【００７３】
（付記６）
光装置において、
レーザ照射源から放射されたレーザ光が媒体に到達するまでの経路上に配置された素子群、および媒体から反射されたレーザ光が検出素子で検出されるまでの経路上に配置された素子群のうちの１つあるいは複数の素子に当該レーザ光の照射される位置を移動させる移動機構を備えたことを特徴とする光装置。
【００７４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、光ディスク装置の光路中の素子へのビームの照射位置を移動させて当該素子へのビーム照射による焼けなどを自動的に回避し、寿命を改善して素子の交換の手間を回避することが可能となる。これにより、
（１）光学素子をマニュアルで移動可能にして、光学素子に焼けが発生した場合、焼けのない部分に移動するだけで修理可能となり、交換部品が少なくてすむ。
【００７５】
（２）光学素子を媒体ロード時に、焼けと思われる箇所の光学素子を動かし、焼けのない部分に移動させ、光学素子の焼けを自動的に回避し、光学素子の焼けによる光ディスク装置の機能停止を防止できる。
（３）履歴として、焼けた素子と焼けた電流値を記録し、光学素子の状況を容易に把握できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光ディスク装置の光学系概略図である。
【図２】本発明の焼損例である。
【図３】本発明の移動機構例である。
【図４】本発明の制御フローチャート（その１）である。
【図５】本発明の制御フローチャート（その２）である。
【図６】本発明回路ブロック図である。
【図７】本発明のＭＯ波形例である。
【図８】従来の光ディスク装置の光学系概略図である。
【符号の説明】
１：ＭＰＵ
２：メモリ
１１〜２２：ドライバ
３４：ビームスプリッタ（１）昇降機
３５：ビームスプリッタ（２）昇降機
３６：波長板昇降機
３７：偏向ビームスプリッタ昇降機
３８：ＭＯディテクタ昇降機
３９：ビームスプリッタ（３）昇降機
４０：ＴＥＳディテクタ昇降機
７１：レーザ
７２：コリメータレンズ
７３：ビームスプリッタ（１）
７４：立上ミラー
７５：対物レンズ
７６：媒体
７７：ビームスプリッタ（２）
７８：波長板
７９：偏向ビームスプリッタ
８０：ＭＯディテクタ
８３：ＴＥＳディテクタ
８６：ＦＥＳディテクタ
１０１：移動機構
１０２：キャリッジ
１０３：固定光学系
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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