(57)【要約】　　　（修正有）【課題】水平移動、回転下圧のツーステップ式のラッチ下圧気密動作を行い作動時に押し板とウエハケースケース本体の接触を防止でき、ウエハケース内部の気密性とラッチ固定力を高めるウエハケースゲートのラッチ機構の提供。【解決手段】カム１で連接棒２，２’を駆動し、連接棒２，２’のもう一端に押し板４，４’が枢接され、押し板４，４’がガイドブロック３，３’の水平移動ガイド溝及び曲線経路ガイド溝に沿ってスライドする。連接棒２，２’がカム１の駆動を受けて前進する時、押し板４，４’が先にウエハケース本体の挿入溝内に挿入され、続いて押し板４，４’が曲線経路ガイド溝に沿ってスライドして回転し押し板４，４’の前端が上昇してウエハケース本体の挿入溝側縁に当接し、水平移動及び回転下圧の二段式動作によりウエハケースゲート６を制圧して気密を形成する。【選択図】　　　　図１
2004104062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハケースゲートのラッチ機構において、該ラッチ機構はウエハケースゲートに組み付けられて、ウエハケースゲートをウエハケース本体にラッチ固定するのに用いられ、該ラッチ機構は、
中央軸心がウエハケースゲートに枢設され、並びに周縁に少なくとも一つの第１カム溝が形成された少なくとも一つのカムと、
一端に第１短軸が凸設され、この第１短軸が該カムの第１カム溝内に挿入され、もう一端に第１枢転部が形成された少なくとも一つの連接棒と、
ウエハケースゲートに固定されると共に第１ガイド構造を具えた少なくとも一つのガイドブロックと、
少なくとも一つの押し板とされ、各押し板に該連接棒の第１枢転部と枢接される第２枢転部が設けられ、並びに第２ガイド構造が設けられてガイドブロックの第１ガイド構造に対してスライドし、第２ガイド構造が第１ガイド構造に沿ってスライドする時に該押し板を先にウエハケース本体の側縁部分にスライドさせて挿入させ、さらに第２枢転部が回転して押し板の前端を上昇させてウエハケース本体の側縁部分に圧接させて、ウエハケースゲートをウエハケース本体内部に向けて制圧し移動させてラッチして気密を形成する、上記少なくとも一つの押し板と、
を具えたことを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構。
【請求項２】
請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、ウエハケース本体の開口側縁に少なくとも一つの挿入溝が形成され、押し板の前端が上昇してウエハケース本体の該挿入溝の側縁に圧接されることを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構。
【請求項３】
請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、ガイドブロックの第１ガイド構造が水平移動ガイド溝と曲線経路ガイド溝を具え、第２ガイド構造が第１ガイド構造に沿って移動する時、押し板が先に水平移動ガイド溝に沿ってスライドしてウエハケース本体の側縁部分に挿入され、更に曲線経路ガイド溝に沿ってスライドし第２枢転部で回転して押し板の前端が上昇してウエハケース本体の側縁に圧接されることを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構。
【請求項４】
請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、連接棒の第１枢転部が凸棒とされ、押し棒の第２枢転部が凹溝とされたことを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構。
【請求項５】
請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、ガイドブロックの第１ガイド構造がガイド溝とされ、押し板の第２ガイド構造が案内ブロックとされたことを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構。
【請求項６】
請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、連接棒にさらに斜向溝が形成され、且つさらに、
少なくとも一つの第１横連接棒とされ、各第１横連接棒の一端に第２短軸が凸設され、該第２短軸にブシュが套設されて並びに連接棒の斜向溝内に挿入され、第１横連接棒のもう一端に凸棒が形成された、上記少なくとも一つの第１横連接棒と、
少なくとも一つの第１側ガイドブロックとされ、各第１側ガイドブロックがフックでウエハケースゲートに固定され、並びにガイド溝が設けられ、該ガイド溝がもう一つの水平移動ガイド溝ともう一つの曲線経路ガイド溝を具えた、上記少なくとも一つの第１側ガイドブロックと、
少なくとも一つの第１側押し板とされ、各第１側押し板に凹溝が設けられて第１横連接棒の凸棒と枢接され、並びに第１側ガイドブロックのガイド溝をスライドする案内ブロックが設けられた、上記少なくとも一つの第１側押し板と、
を具え、以上の構造により、側方向よりウエハケースゲートをウエハケース本体にラッチ固定することを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構。
【請求項７】
請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、カムに少なくとも一つの第２カム溝が形成され、且つさらに、
少なくとも一つの第２横連接棒とされ、各第２横連接棒の一端に第３短軸が凸設され、該第３短軸にブシュが套設されて並びに連接棒の第２カム溝内に挿入され、第２横連接棒のもう一端に凸棒が形成された、上記少なくとも一つの第２横連接棒と、
少なくとも一つの第２側ガイドブロックとされ、各第２側ガイドブロックがフックでウエハケースゲートに固定され、並びにガイド溝が設けられ、該ガイド溝が一つの水平移動ガイド溝と一つの曲線経路ガイド溝を具えた、上記少なくとも一つの第２側ガイドブロックと、
少なくとも一つの第２側押し板とされ、各第２側押し板に凹溝が設けられて第２横連接棒の凸棒と枢接され、並びに第２側ガイドブロックのガイド溝をスライドする案内ブロックが設けられた、上記少なくとも一つの第２側押し板と、
を具え、側方向よりウエハケースゲートをウエハケース本体にラッチ固定することを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構。
【請求項８】
請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、連接棒がさらに二つのガイド柱を具え、連接棒がウエハケースゲートをスライドして直線運動を行うことを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は一種の低摩擦、微粒粉塵が少なく、気密性が良好で信頼度の高いラッチ機構に係り、特にウエハケースゲートをウエハケース本体にラッチ固定するラッチ機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のウエハケース本体にウエハケースゲートをラッチするラッチ機構は、いずれも回転盤により駆動され、ラッチボルトをスライドさせて伸出させてラッチ固定を完成する（例えば特許文献１、２、３参照。）。
【０００３】
上述の周知の技術は使用する棒部品の数が少なく、動作が簡単であるが、下圧密封動作がないため、ウエハケース内部に気密効果を達成させることはできず、且つ作動時に摩擦により微粒粉塵を発生する欠点がある。
【０００４】
別に、ゲートをウエハケース本体にラッチするラッチ機構があり、それはゲート中央或いは両側にカムが設けられ、各ラッチ機構がカムにおいて二つのカム溝を具え、それぞれ上下に平行設置された２本の長い連接棒を駆動し、且つこの２本の長い連接棒の相互の対応位置にそれぞれ接触可能な斜面が設けられている。２本の長い連接棒が二つのカム溝によりそれぞれ駆動されてそれぞれ軸方向に移動する時、２本の長い連接棒の相対運動により二つの斜面が相互に当接して２本の長い連接棒間の距離が拡大され、これによりゲートを制圧してウエハケース内部に向けて移動させ、その気密性を増加するように形成されている（例えば特許文献４参照）。
【０００５】
しかしこのようなラッチ構造は二つのカム溝と２本の長い連接棒を使用し、棒部品の数量が多く構造が複雑である。このほか、２本の長い連接棒の相対スライエド接触摩擦距離が長く、摩擦による粉塵を発生してウエハケースを汚染しやすく、理想的でない。
【０００６】
【特許文献１】
米国特許第５５８６５８５号明細書
【特許文献２】
米国特許第５７５２７９６号明細書
【特許文献３】
米国特許第５９８８３９２号明細書
【特許文献４】
米国特許第５９１５５６２号明細書
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の主要な目的は、一種のウエハケースゲートのラッチ機構を提供することにあり、それは、水平移動、回転下圧のツーステップ式のラッチ下圧気密動作を行い作動時に押し板とウエハケース本体の接触を防止でき、ウエハケース内部の気密性とラッチ固定力を高める機構であるものとする。
【０００８】
本発明のもう一つの目的は、ウエハケースゲートのラッチ機構を提供することにあり、それは、連接棒間の摩擦点数と接触面積を減少でき、粉塵微粒子が発生してウエハケース内部を汚染するのを防止できる機構であるものとする。
【０００９】
本発明のさらにもう一つの目的は、ウエハケースゲートのラッチ機構を提供することにあり、それは、機構の運動棒部品数量と構造を簡易化し、連接棒材料コストを節約し、並びに機構の運動の信頼度を高めた機構であるものとする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、ウエハケースゲートのラッチ機構において、該ラッチ機構はウエハケースゲートに組み付けられて、ウエハケースゲートをウエハケース本体にラッチ固定するのに用いられ、該ラッチ機構は、
中央軸心がウエハケースゲートに枢設され、並びに周縁に少なくとも一つの第１カム溝が形成された少なくとも一つのカムと、
一端に第１短軸が凸設され、この第１短軸が該カムの第１カム溝内に挿入され、もう一端に第１枢転部が形成された少なくとも一つの連接棒と、
ウエハケースゲートに固定されると共に第１ガイド構造を具えた少なくとも一つのガイドブロックと、
少なくとも一つの押し板とされ、各押し板に該連接棒の第１枢転部と枢接される第２枢転部が設けられ、並びに第２ガイド構造が設けられてガイドブロックの第１ガイド構造に対してスライドし、第２ガイド構造が第１ガイド構造に沿ってスライドする時に該押し板を先にウエハケース本体の側縁部分にスライドさせて挿入させ、さらに第２枢転部が回転して押し板の前端を上昇させてウエハケース本体の側縁部分に圧接させて、ウエハケースゲートをウエハケース本体内部に向けて制圧し移動させてラッチして気密を形成する、上記少なくとも一つの押し板と、
を具えたことを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構としている。
請求項２の発明は、請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、ウエハケース本体の開口側縁に少なくとも一つの挿入溝が形成され、押し板の前端が上昇してウエハケース本体の該挿入溝の側縁に圧接されることを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構としている。
請求項３の発明は、請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、ガイドブロックの第１ガイド構造が水平移動ガイド溝と曲線経路ガイド溝を具え、第２ガイド構造が第１ガイド構造に沿って移動する時、押し板が先に水平移動ガイド溝に沿ってスライドしてウエハケース本体の側縁部分に挿入され、更に曲線経路ガイド溝に沿ってスライドし第２枢転部で回転して押し板の前端が上昇してウエハケース本体の側縁に圧接されることを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構としている。
請求項４の発明は、請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、連接棒の第１枢転部が凸棒とされ、押し棒の第２枢転部が凹溝とされたことを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構としている。
請求項５の発明は、請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、ガイドブロックの第１ガイド構造がガイド溝とされ、押し板の第２ガイド構造が案内ブロックとされたことを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構としている。
請求項６の発明は、請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、連接棒にさらに斜向溝が形成され、且つさらに、
少なくとも一つの第１横連接棒とされ、各第１横連接棒の一端に第２短軸が凸設され、該第２短軸にブシュが套設されて並びに連接棒の斜向溝内に挿入され、第１横連接棒のもう一端に凸棒が形成された、上記少なくとも一つの第１横連接棒と、
少なくとも一つの第１側ガイドブロックとされ、各第１側ガイドブロックがフックでウエハケースゲートに固定され、並びにガイド溝が設けられ、該ガイド溝がもう一つの水平移動ガイド溝ともう一つの曲線経路ガイド溝を具えた、上記少なくとも一つの第１側ガイドブロックと、
少なくとも一つの第１側押し板とされ、各第１側押し板に凹溝が設けられて第１横連接棒の凸棒と枢接され、並びに第１側ガイドブロックのガイド溝をスライドする案内ブロックが設けられた、上記少なくとも一つの第１側押し板と、
を具え、以上の構造により、側方向よりウエハケースゲートをウエハケース本体にラッチ固定することを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構としている。
請求項７の発明は、請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、カムに少なくとも一つの第２カム溝が形成され、且つさらに、
少なくとも一つの第２横連接棒とされ、各第２横連接棒の一端に第３短軸が凸設され、該第３短軸にブシュが套設されて並びに連接棒の第２カム溝内に挿入され、第２横連接棒のもう一端に凸棒が形成された、上記少なくとも一つの第２横連接棒と、
少なくとも一つの第２側ガイドブロックとされ、各第２側ガイドブロックがフックでウエハケースゲートに固定され、並びにガイド溝が設けられ、該ガイド溝が一つの水平移動ガイド溝と一つの曲線経路ガイド溝を具えた、上記少なくとも一つの第２側ガイドブロックと、
少なくとも一つの第２側押し板とされ、各第２側押し板に凹溝が設けられて第２横連接棒の凸棒と枢接され、並びに第２側ガイドブロックのガイド溝をスライドする案内ブロックが設けられた、上記少なくとも一つの第２側押し板と、
を具え、側方向よりウエハケースゲートをウエハケース本体にラッチ固定することを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構としている。
請求項８の発明は、請求項１に記載のウエハケースゲートのラッチ機構において、連接棒がさらに二つのガイド柱を具え、連接棒がウエハケースゲートをスライドして直線運動を行うことを特徴とする、ウエハケースゲートのラッチ機構としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明のラッチ機構は、ウエハケースゲートに組み付けられ、それは、少なくとも一つのカム、少なくとも一つの連接棒、少なくとも一つのガイドブロック、及び少なくとも一つの押し板を具えている。そのうち、カムはその中央の軸がゲートに枢設され、並びに周縁に少なくとも一つの第１カム溝が形成され、該第１カム溝が軸心との距離が比較的接近する近端と、軸心との距離が比較的遠い遠端とを具えている。各連接棒に斜向溝が設けられ、且つ連接棒の一端に第１短軸が凸設され、この第１短軸に第１回転部が套設され、並びにカムの第１カム溝内に挿入され、また各連接棒のもう一端に第１枢転部が形成されている。各ガイドブロックはゲートのウエハケース本体側縁の挿入溝に対応する位置に固定され、並びに第１ガイド構造が設けられ、この第１ガイド構造が、水平移動ガイド溝と曲線経路ガイド溝を具えている。各押し板に第２枢転部が設けられて、連接棒の第１枢転部と枢接され、並びに第２ガイド構造が設けられてガイドブロックの第１ガイド構造に対してスライドし、第２ガイド構造が第１ガイド構造に沿ってスライドする時、押し板を先に水平移動ガイド溝によりスライドさせてウエハケース本体の挿入溝内に挿入させ、さらに曲線経路ガイド溝によりスライドさせて第２枢転部の回転により押し板の前端を上昇させてウエハケース本体の挿入溝側縁に当接させ、ゲートを制圧してウエハケース本体内部に移動させてラッチ固定し並びに気密を形成する。
【００１２】
本発明は連接棒末端に直接押し板が枢設され、連接棒がカムの駆動を受けて前進する時、押し板が先に水平移動ガイド溝によりスライドしてウエハケース本体の挿入溝内に挿入され、続いて押し板が曲線経路ガイド溝に沿ってスライドし回転し、押し板前端が上昇してウエハケース本体の挿入溝側縁に当接し、ウエハケースゲートを制圧して気密を形成する。これにより、本発明は作動時に水平移動、回転下圧のツーステップ式のラッチ下圧気密動作を行い、押し板とウエハケース本体の接触を防止でき、ウエハケース内部の気密性とラッチ固定を高め、且つ連接棒間の摩擦点数と接触面積を減少し、発生する粉塵によるウエハケース内部の汚染を防止し、並びに、機構の運動する連接棒数と構造を簡易化し、連接棒材料コストを減らし、機構の運動の信頼性を高めることができる。
【００１３】
ゆえに本発明は新規性を有し、産業上の利用を提供でき、且つ確実にその機能は増進されており、特許の要件に符合する。
【００１４】
【実施例】
図１は本発明の実施例がウエハケースゲート６に組み付けられた実施状態表示図である。本実施例では一つのカム１の中央軸心１０がウエハケースゲート６の右側に枢設され（左側も同様）、この軸心１０が外界より自動化開放機構或いは手動方式で回されて該ウエハケースゲート６が開閉される。実際の応用時には、左右の二つのカムは同期に回転して併せて開放されるか或いは併せて閉じ合わされる。しかし、観察比較に便利であるように、図１の右側のカムはラッチ位置に反転され、左側のカムは開放位置に回転させられている。
【００１５】
本実施例中、カム１の周縁に二つのカム溝１１、１１’が形成されてそれぞれ連接棒２、２’を駆動し、別に二つのガイドブロック３、３’がウエハケースゲート６に固定され、且つ連接棒２、２’の末端に押し板４、４’が枢設されている。
【００１６】
本実施例の細部構造は図２の立体分解図に示されるようであり、連接棒２の一端に短軸２１が凸設され並びに回転部２１０（ブシュ２１０）が活動式にカム１のカム溝１１内に挿入され、連接棒２の別の一端に枢転部２２（二つの同軸の凸棒２２）が形成されている。カム１のカム溝１１は軸心１０との距離が比較的近い近端１１１と、軸心１０との距離が比較的遠い遠端１１２を具えている。
【００１７】
ガイドブロック３はフック３２でウエハケースゲート６の、ウエハケース本体７（図５参照）の側縁７１の挿入溝７２に対応する位置に係合固定される。ガイドブロック３の固定方式は熱溶着、ロック、嵌め止め、或いはその他の固定方式が採用されうるが、当然、ウエハケースゲート６と一体成形で形成されてもよい。ガイドブロック３の二側内縁に二つの平行な第１ガイド構造３１（ガイド溝３１）が凹設され、各ガイド溝３１が水平移動ガイド溝３１１と曲線経路ガイド溝３１２を具えている（図３参照）。
【００１８】
押し板４の中段が二つの同軸の第２枢転部４１（凹溝４１）で連接棒２の二つの凸棒２２と枢接を形成し、図４に示されるように、本実施例の凹溝４１は開放式凹溝とされ且つ開口幅が凸棒２２の直径よりやや小さく形成されて、凸棒２２が開口より凹溝４１内に圧入されて組立完成する。且つ該開口は押し板４回転時に脱落しない位置に開設されるのが好ましい。押し板４の後段に第２ガイド構造４２（二つの同軸の案内ブロック４２）が凸設されて、それぞれガイドブロック３の二つのガイド溝３１内に対応し挿入される。
【００１９】
図５に示されるように、本実施例のカム１が未回転の時、連接棒２の短軸２１がちょうどカム溝１１の近端１１１部分に位置し、この時、連接棒２の前端に枢設された押し板４がウエハケース本体７の挿入溝７２内に未挿入である。
【００２０】
図６に示されるように、本実施例のカム１が回転する時、カム溝１１が連接棒２を駆動して押し板４を押動して前方に行進させ、このとき連接棒２が二つのガイド柱２７、２８によりウエハケースゲート６の滑り溝（図示せず）をスライドし並びに直線運動する。図示されるように、押し板４の案内ブロック４２が水平移動ガイド溝３１１に沿って前方に移動することにより、押し板４の前端４０が先にウエハケース本体７の挿入溝７２内に挿入される。
【００２１】
図７に示されるように、本実施例のカム１が続いて回転し連接棒２の短軸２１がカム溝１１の遠端１１２部分に接近する時、押し板４の案内ブロック４２が曲線経路ガイド溝３１２に沿ってスライドし、これにより押し板４がその凹溝４１を軸心として回転し、ゆえに押し板４前端４０が上昇し並びにウエハケース本体７の挿入溝７２側縁に圧接され、こうしてウエハケースゲート６がウエハケース本体７内部に向けて移動して、ウエハケースゲート６がウエハケース本体７にラッチ固定され、また気密パッキング８が圧力を受けて気密を形成し、且つ下圧過程中に押し板４とウエハケース本体７の挿入溝７２間が相対運動の摩擦を発生しないものとされている。
【００２２】
以上述べたように、本発明は作動時に水平移動、回転下圧のツーステップ式のラッチ下圧気密動作を有し、押し板４とウエハケース本体７の接触を防止でき、ウエハケース内部の気密性とラッチ固定を高めることができる。このほか、本発明は単一の連接棒２の末端の押し板４の枢設を利用し、その使用する棒部品数量が減らされ、且つ連接棒間に相互の摩擦が発生せず、ゆえに摩擦により微粒子の発生する機会が減らされ、微粒子によるウエハケース内部の汚染を防止でき、並びに棒部品数量と構造を簡易化でき、連接棒材料コストを節約でき、機構の運動の信頼度を高め、これらは周知の技術に較べて増進された機能である。
【００２３】
このほか、上述の実施例中の凸棒２２と凹溝４１の対応枢転構造はこれに限定されるわけではなく、凹凸枢接構造が反対とされてもよく、或いはその他の同じ効果を有する枢転構造とされうる。また、上の実施例中の案内ブロック４２とガイド溝３１の対応ガイド構造も上述したものに限定されるわけではなく、その凹凸ガイド構造が反対に設けられてもよく、またその他の同じ効果を達成するガイド構造とされることもできる。
【００２４】
また、図２に示されるように、連接棒２には更に斜向溝２３が形成され、これは回転部２４０（ブシュ２４０）を通して横連接棒２４を案内して側方向に前進後退させるのに用いられ、横連接棒２４の前端に側押し板２５が枢設され、その構造と作動方式は前述の押し板４と同じであり、ガイドブロック２６により側方向よりウエハケースゲート６がウエハケース本体７にラッチ固定され、側方向の気密効果が強化されている。
【００２５】
図８に示される実施例では、もう一種の横連接棒２４’が、カム１’のもう一つのカム溝１２の案内により、側押し板２５’を駆動して側方向よりウエハケースゲート６をウエハケース本体７にラッチ固定する。
【００２６】
図９に示される実施例では、上述の二種類の横連接棒２４、２４’の構造が総合され、横連接棒２４が連接棒２の斜向溝２３の案内を受け、もう一つの横連接棒２４’がカム１’のもう一つのカム溝１２の案内を受け、三つの側押し板２５、２５’が側方向よりウエハケースゲートをウエハケース本体にラッチ固定する。
【００２７】
【発明の効果】
総合すると、本発明はその目的、手段、機能のいずれにおいても周知の技術の特徴とは異なっており、ウエハケースゲートのラッチ機構の一大突破である。なお、以上の実施例は本発明の実施範囲を限定するものではなく、本発明に基づきなしうる細部の修飾或いは改変は、いずれも本発明の請求範囲に属するものとする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例をウエハケースゲートに組み付けた実施状態表示図である。
【図２】本発明の実施例の立体分解図である。
【図３】本発明の実施例のガイドブロックの拡大断面図である。
【図４】本発明の実施例の押し板と連接棒の枢接表示図である。
【図５】本発明の実施例の連続動作図である。
【図６】本発明の実施例の連続動作図である。
【図７】本発明の実施例の連続動作図である。
【図８】本発明の別の実施例の側押し板組み付け表示図である。
【図９】本発明のさらに別の実施例の側押し板組み付け表示図である。
【符号の説明】
１、１’　カム　　　　　　　　　１０　軸心
１１、１１’、１２　カム溝　　　１１１　近端
１１２　遠端　　　　　　　　　　２３　斜向溝
２、２’　連接棒　　　　　　　　２１　短軸
２１０、２４０　ブシュ　　　　　２２　凸棒
２４、２４’　横連接棒　　　　　２５、２５’　側押し板
２６　ガイドブロック　　　　　　２７、２８　ガイド柱
３、３’　ガイドブロック　　　　３１　ガイド溝
３１１　水平移動ガイド溝　　　　３１２　曲線経路ガイド溝
３２　フック　　　　　　　　　　４２　案内ブロック
４、４’　押し板　　　　　　　　４０　前端
４１　凹溝　　　　　　　　　　　６　ウエハケースゲート
７　ウエハケース本体　　　　　　７１　側縁
７２　挿入溝　　　　　　　　　　８　気密パッキング
【図１】
2004104062.tif 000003
【図２】
2004104062.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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