(57)【要約】【課題】圧電素板を効率よく安定した状態でコンベックス加工することを目的とする。【解決手段】課題を解決するために本発明は、２枚の圧電素板のうち少なくとも１枚の一方の面に金属片を配置する工程と、該圧電素板２枚を該金属片を間に挟んで接着剤で接着し貼り合わせる工程と、前記接着した圧電素板の貼り合わせた反対の主面をコンベックス加工する工程と、該圧電素板の周波数測定を行う工程と、前記主面を加工した圧電素板を剥離する工程により小型プラノコンベックス圧電素板を加工することで、課題を解決する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の圧電素板のうち少なくとも１枚の一方の面に金属片を配置する工程と、該圧電素板２枚を該金属片を間に挟んで接着剤で接着し貼り合わせる工程と、前記接着した圧電素板の貼り合わせた反対の主面をコンベックス加工する工程と、該圧電素板の周波数測定を行う工程と、前記主面を加工した圧電素板を剥離する工程と、からなるプラノコンベックス圧電素板の加工方法。
【請求項２】
前記金属片の少なくとも片面中央部が凹状に成っている請求項１記載のプラノコンベックス圧電素板の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、小型圧電素板として例えば水晶振動子をプラノコンベックスにする加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プラノコンベックス型圧電素板は、特殊な計測用や通信機用のＡＴ板水晶振動子において実用化されており、その外形が直径１０ミリ以上もあり、又生産数も少ないこともあって、水晶圧電素板を丸目たあと、内面が球面状に凹んだ皿に砥粒を付着させ、回転させた皿に水晶圧電素板を押しつけ研磨方法により加工していた。
【０００３】
その具体的な加工の一例としては図４に示すように、半凸球面状の板に圧電素板を貼付けて、半凹球面状の研磨皿を用いて研磨を行う機械加工が行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述の加工方法では、昨今の圧電素板の外形寸法が小さいくなる傾向にあり、小型化した圧電素板を従来の加工方法で行うことが非常に難しくなっている現状にある。その現象例としては、加工精度バラツキが生じたり、圧電素板の扱いに手間取ったり、加工精度に起因する周波数のバラツキが生じたりなどで、小型化が進んだ現状を背景にしながら圧電素板のコンベックス加工が行われている。またこれらを背景に更には、量産化の要求も強まることから、上述する諸特性のバラツキの改善に加え、量産化する上での歩留まりの向上も要求されている。
【０００５】
これに対し、例えば特開昭５８−２１７２６２号公報に記載あるような、量産性の向上を目指したコンベックス加工の手法がある。同公報によれば、圧電劾果を示すウエハを、接着剤で交互に接着する工程と、前記接着したウエハの外周を加工する工程と、前記外周加工されたウエハを２枚一組に剥離する工程と、前記ウエハをパイピング加工でバイコンベックス振動片に加工する工程と、前記振動片を１枚に分離する工程とからなる小型プラノコンベックス振動片の加工方法である。ここで、パイピングとは発明者が名付けたもので、前記振動片を鋳鉄製のパイプ中に砥粒と共に入れパイプを回転させて加工するものである。
【０００６】
このように同公報では、小片した振動片を加工する上での改善策ではあるが、コンベックス加工を行う加工量や、加工時間の管理をするのは難しいという課題がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述の課題を解消し、低コストでコンベックス加工を量産化した加工方法であり、具体的には、２枚の圧電素板のうち少なくとも１枚の一方の面に少なくとも片面中央部が凹状に成っている金属片を配置する工程と、該圧電素板２枚を該金属片を間に挟んで接着剤で接着し貼り合わせる工程と、前記接着した圧電素板の貼り合わせた反対の主面をコンベックス加工する工程と、該圧電素板の周波数測定を行う工程と、前記主面を加工した圧電素板を剥離する工程と、からなる小型プラノコンベックス圧電素板の加工方法である。
【０００８】
要するに、コンベックス加工を行う過程で、圧電素板の加工量を圧電素板の周波数測定を行うことで、所望となるコンベックス加工量をリアルタイムで確認することのできるプラノコンベックス圧電素板の加工方法である。このように本発明によれば、従来の加工方法を更に改善し、圧電素板の加工工程における量産化を実現し、工程歩留まりを向上させることができる。また、加工状態を加工対象物で圧電素板の周波数を直接測定することから、加工時間の無駄も改善することができ、課題を解決するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従ってこの発明の実施例を説明する。なお、各図において同一の符号は同様の対象を示すものとする。本願発明の一実施例とするコンベックス加工の一例を図１にて説明する。図１（ａ）〜図１（ｆ）は本発明のコンベックス加工の圧電素板１の工程フローを示すものである。
【００１０】
図１に示す本発明の加工工程では、（１）圧電素板１のうち少なくとも１枚の一方の面に金属片を配置する工程と、（２）該圧電素板１、２枚を該金属片を間に挟んで接着剤３で接着し貼り合わせる工程と、（３）前記接着した圧電素板１の貼り合わせた反対の主面をコンベックス加工する工程と、（４）該圧電素板１の周波数測定を行う工程と、（５）前記主面を加工した圧電素板１をに剥離する工程とにより小型プラノコンベックス圧電素板１の加工を行う。なお、コンベックス加工はバレル方式により行われる。
【００１１】
要するに、本発明の特徴としては、コンベックス加工を行う過程で、圧電素板１の加工量を圧電素板１の周波数測定を行うことで、所望となるコンベックス加工量をコンベックス加工と周波数測定を繰り返して、所望のコンベックス振動子を同時に２個得ることができる圧電素板１の加工方法であり、図１中の周波数測定を行う工程を数回繰り返すことで、所望のコンベックス加工（周波数として測定する）を実現することができる。
【００１２】
一方、図２に示す側面断面図は、本発明のコンベックス加工を行う圧電素板１の形態を示したものである。図２（ａ）は一例として圧電素板１の外形寸法が１０ミリ前後の水晶振動子の素板で、その素板を２枚貼り合わせ、１組とした状態を示す。２枚の水晶振動子（圧電素板１）の間には電極となる金属片２を配置し、コンベックス加工の過程で中で、周波数測定を行う工程を含んでいる。このとき金属片２は、少なくとも片面中央部が凹状に成っていることから金属片の中心部では圧電素板１とに隙間があくような形状となっている。
【００１３】
図２（ｂ）は周波数測定を行う場合の一例であり、上側の圧電素板１１は挟まれた金属片２と金属板４との間で、例えばネットワークアナライザ方式などで周波数を測定することで、コンベックス加工量の進行状況を確認するものである。また、同様に上側の圧電素板１２は挟まれた金属片２と金属板４との間で、例えばネットワークアナライザ方式などで周波数を測定することで、コンベックス加工量の進行状況を確認することもできる。
なお、電極となる金属片２には金材、銀材、アルミ材と一般的な金属膜材料でことが足り、圧電素板１の貼り合わせについては、低融点の接着剤３などを用いるものである。また、圧電素板１を貼り合わせた状態の拡大図を図３に示す。
【００１４】
このように本発明によれば、従来の加工方法を更に改善し、圧電素板１の加工工程における量産化を実現し、工程歩留まりを向上させることができる。また、加工状態を加工対象物で圧電素板１の周波数を直接測定することから、加工時間の無駄も改善することができ、課題を解決するものである。
【００１５】
【発明の効果】
本発明により、圧電素板の小型化に対してコンベックス加工時間の短縮が実現でき、加工精度の向上により振動子自体の品質を維持することができる。また、製造工程における歩留まりの向上と品質管理の強化を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す工程フロー図である。
【図２】本発明の圧電素板の状態を示す側面断面図である。
【図３】本発明の圧電素板を貼り合わせた状態を示す拡大図である。
【図４】従来用いられているコンベックス加工の一例を示す。
【符号の説明】
１　　　圧電素板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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