(57)【要約】【課題】シール部からのペーストの漏出を防止することができるペースト吐出装置を提供することを目的とする。【解決手段】ペーストを吐出するペースト吐出装置のポンプ機構におけるポート切り換え部を構成し、プランジャ２６とともに回転するプランジャブロック３２と固定されたシールブロック３３とのシール部（シール面３３ａと摺動面３２ａ）からペーストの漏出を防止するシール機構において、シールブロック３３に設けられた外周面とシリンダブロック３２から軸方向に延出して設けられた内周面とを対向して略円環状空間のハウジング部を形成し、ハウジング部内にＯリングとＰＴＦＥなどの自己潤滑性材質を組み合わせたリング状の外部シール部材３６を装着する。これによりシール部から漏出したペーストのハウジング部外への漏出を外部シール部材３６によって防止することができる。【選択図】　図２
2004132337.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘性体とフィラー成分とを混合したスラリー状のペーストを吐出するペースト吐出装置であって、回転駆動手段によって回転軸廻りに回転しこの回転軸と直交する摺動面を介して固定されたシール部材のシール面と摺接するシリンダブロックと、このシリンダブロックの回転軸方向に設けられ前記摺動面の回転軸心を中心とする同一円周上の等配位置に開孔した開孔部を有する複数のシリンダ孔と、それぞれのシリンダ孔に挿入されたプランジャと、このプランジャを前記シリンダブロックの回転と同期して往復動させる駆動手段と、前記シール面に設けられ前記シリンダブロックの所定回転位置において前記シリンダ孔の開孔部と連通する第１の連通ポートおよび第２の連通ポートと、前記シール部材を介して前記第１の連通ポートおよび第２の連通ポートとそれぞれ連通する第１の外部ポート及び第２の外部ポートと、前記シール面の外周側に位置し前記シール部材とシリンダブロックとによって閉囲された略円環状空間のハウジング部と、このハウジング部内に装着され自己潤滑性材質の第１シール材と弾発性に富む材質の第２シール材より成る略リング形状の外部シール部材とを備えたことを特徴とするペースト吐出装置。
【請求項２】
前記ハウジング部は、前記シール部材に設けられた外周面と前記シリンダブロックから軸方向に延出して設けられた内周面とを対向させて形成され、前記外部シール部材の第２シール材を前記シール部材の外周面に嵌着し、前記外部シール部材の第１シール材を前記シリンダブロックの内周面に摺接させることを特徴とする請求項１記載のペースト吐出装置。
【請求項３】
前記ハウジング部は、前記シール部材から軸方向に延出して設けられた内周面と、前記シリンダブロックに設けられた外周面とを対向させて形成され、前記外部シール部材の第１シール材を前記シリンダブロックの外周面に摺接させ、前記外部シール部材の第２シール材を前記シール部材の内周面に嵌着することを特徴とする請求項１記載のペースト吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性ペーストなどの粘性体とフィラー成分とを混合したスラリー状のペーストを吐出するペースト吐出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体チップなどの電子部品をプリント基板やリードフレームなどに接合する方法として、樹脂接着剤が多用される。樹脂接着剤の種類として樹脂中に金属粉など導電性の成分を添加して接合部に導電性を持たせた導電ペーストが知られている。導電ペーストは、接着剤としての機能を有するとともに、接合部を電気的に導通させることができるので、半導体素子を基板に固着させるとともに基板の電極と導通させる目的などに使用される。
【０００３】
この導電ペーストは、主剤としてのエポキシ樹脂、エポキシ樹脂を硬化させる硬化剤および硬化促進剤などの樹脂接着剤としての成分に、導電性を有する金属粉を混入させたものである。金属粉としては銀粉が多用され、導電性を向上させるために粒状やフレーク状などの各種形状の銀粉を混ぜ合わせたスラリー状で供給される。
【０００４】
この導電性ペーストを塗布する塗布装置には、導電性ペーストを吐出する吐出装置が備えられており、従来よりプランジャの往復動によってシリンダ室内に導電性ペーストを吸入し吐出するプランジャ式の吐出装置が知られている。そしてプランジャの往復動による吐出は間欠的にしか行えないことから、吐出を間断なく行って高能率のペースト塗布を行う必用がある場合には、一般に複数のプランジャを備えた多連プランジャ型のペースト吐出装置が用いられる（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
このような多連プランジャ型のペースト吐出装置は、それぞれのプランジャから順次吐出されるペーストを１つの固定された吐出ポートから吐出させる必要があることから、ポート切り替え機能を備えている。一般にこのポート切換に際しては、プランジャ孔が設けられたシリンダブロックの開孔面を吐出ポートが設けられた固定ブロックに対して摺接させ、各プランジャの開孔部を吐出ポートに順次連通させるようにしている。この方式においては、シリンダブロックの開孔面と固定ブロックの摺接面は２つの部材の間からのペーストの漏出を防止するシール部として機能する。このため、この摺接面は隙間が生じないように部品加工において高精度の面仕上げを行い、動作時には所定の面圧を加える機構を用いるなどのペースト漏出防止措置を講じている。
【０００６】
【特許文献１】
実開平２−７８７７３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、導電性ペーストは銀粉などのフィラー成分や固形粒子を多量に含んだスラリー状であることから、従来のペースト吐出装置では、ペーストの成分構成によっては、上記シール部の摺動隙間に挟まれた固形粒子が摺動面に付着しやすく、摺動面の密着性が阻害されてシール部から外部へのペーストの漏出が避けられなかった。
【０００８】
そこで本発明は、シール部からのペーストの漏出を防止することができるペースト吐出装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のペースト吐出装置は、粘性体とフィラー成分とを混合したスラリー状のペーストを吐出するペースト吐出装置であって、回転駆動手段によって回転軸廻りに回転しこの回転軸と直交する摺動面を介して固定されたシール部材のシール面と摺接するシリンダブロックと、このシリンダブロックの回転軸方向に設けられ前記摺動面の回転軸心を中心とする同一円周上の等配位置に開孔した開孔部を有する複数のシリンダ孔と、それぞれのシリンダ孔に挿入されたプランジャと、このプランジャを前記シリンダブロックの回転と同期して往復動させる駆動手段と、前記シール面に設けられ前記シリンダブロックの所定回転位置において前記シリンダ孔の開孔部と連通する第１の連通ポートおよび第２の連通ポートと、前記シール部材を介して前記第１の連通ポートおよび第２の連通ポートとそれぞれ連通する第１の外部ポート及び第２の外部ポートと、前記シール面の外周側に位置し前記シール部材とシリンダブロックとによって閉囲された略円環状空間のハウジング部と、このハウジング部内に装着され自己潤滑性材質の第１シール材と弾発性に富む材質の第２シール材より成る略リング形状の外部シール部材とを備える。
【００１０】
請求項２記載のペースト吐出装置は、請求項１記載のペースト吐出装置であって、前記ハウジング部は、前記シール部材に設けられた外周面と前記シリンダブロックから軸方向に延出して設けられた内周面とを対向させて形成され、前記外部シール部材の第２シール材を前記シール部材の外周面に嵌着し、前記外部シール部材の第１シール材を前記シリンダブロックの内周面に摺接させる。
【００１１】
請求項３記載のペースト吐出装置は、請求項１記載のペースト吐出装置であって、前記ハウジング部は、前記シール部材から軸方向に延出して設けられた内周面と、前記シリンダブロックに設けられた外周面とを対向させて形成され、前記外部シール部材の第１シール材を前記シリンダブロックの外周面に摺接させ、前記外部シール部材の第２シール材を前記シール部材の内周面に嵌着する。
【００１２】
本発明によれば、固定されたシール部材と回転するシリンダブロックとのシール面の外周側に、シール部材とシリンダブロックとによって閉囲された円環状空間のハウジング部を設け、このハウジング部材に自己潤滑性材質と弾発性に富む材質とを組み合わせた略リング形状の外部シール部材を装着することにより、シール面から漏出したペーストのハウジング部外への漏出を外部シール部材によって防止することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１のダイボンディング装置の斜視図、図２は本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の断面図、図３は本発明の実施の形態１のペースト吐出装置のプランジャディスクの斜視図、図４は本発明の実施の形態１のペースト吐出装置のシールディスクの斜視図、図５は本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の外部シールの形状説明図、図６は本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の外部シールの装着状態の説明図、図７は本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の動作説明図である。
【００１４】
まず図１を参照してダイボンディング装置の構造を説明する。図１においてチップ供給部１にはウェハシート２が図示しない保持テーブルによって保持されている。ウェハシート２には多数の半導体素子であるチップ３が貼着されている。チップ供給部１の側方には搬送路５が配設されており、搬送路５は基板であるリードフレーム６を搬送し、ペースト塗布位置およびボンディング位置にリードフレーム６を位置決めする。チップ供給部１の上方にはボンディングヘッド４が配設されており、ボンディングヘッド４は図示しない移動機構により水平移動および上下動する。
【００１５】
搬送路５の側方にはペースト塗布部９が配設されている。ペースト塗布部９は移動テーブル１０にＬ型のブラケット１５を介して塗布ノズル１８を装着して構成されている。塗布ノズル１８は、不動のプレート１６ａ上に固定配置されたペースト吐出装置１６と可撓性の管部材であるチューブ１７によって連結されている。
【００１６】
ペースト吐出装置１６は、さらにチューブ２０を介してシリンジ１９と連結されている。シリンジ１９内にはエポキシ樹脂などの粘性体と銀粉などの導電性のフィラー成分とを混合した導電性ペースト（以下、単に「ペースト」と略記する。）が貯溜されており、ペースト吐出装置１６を駆動することにより、シリンジ１９内のペーストはペースト吐出装置１６によって吸入・吐出され、チューブ１７を介して塗布ノズル１８へ圧送される。そして塗布ノズル１８の下端部に設けられた塗布口より吐出されてリードフレーム６の塗布エリア６ａに塗布される。
【００１７】
移動テーブル１０は、Ｙ軸テーブル１１上にＸ軸テーブル１２を段積みし、さらにその上にＬ型のブラケット１３を介してＺ軸テーブル１４を垂直方向に結合して構成されている。Ｙ軸テーブル１１、Ｘ軸テーブル１２、Ｚ軸テーブル１４は、それぞれＹ軸モータ１１ａ、Ｘ軸モータ１２ａ、Ｚ軸モータ１４ａを備えている。Ｘ軸モータ１２ａ、Ｙ軸モータ１１ａおよびＺ軸モータ１４ａを駆動することにより、塗布ノズル１８はリードフレーム６上で水平方向および上下方向に移動する。したがって、移動テーブル１０は塗布ノズル１８をリードフレーム６に対して相対的に移動させる移動手段となっている。
【００１８】
リードフレーム６上面のチップ３の搭載位置は、ペースト７が塗布される塗布エリア６ａとなっている。塗布ノズル１８を塗布エリア６ａ内に位置させ、塗布ノズル１８からペースト７を吐出させながら塗布ノズル１８を移動させることにより、塗布エリア６ａ内には所定の描画パターンでチップボンディング用のペースト７が描画塗布される。
【００１９】
このペースト塗布後、リードフレーム６は搬送路５上をボンディング位置８に送られ、位置決めされる。、そして塗布エリア６ａ内に塗布されたペースト７上に、ボンディングヘッド４のノズル４ａによってチップ供給部１からピックアップされたチップ３がボンディングされる。
【００２０】
次に図２を参照してペースト吐出装置１６の構造について説明する。図２において、ペースト吐出装置１６は外筒部２１に回転駆動手段としてのモータ２２によって駆動される軸型の多連プランジャポンプを内蔵した構成となっている。モータ２２の回転軸２３には、円筒状の回転体２８が結合されている。回転体２８は軸受け２９に軸支されて回転自在となっており、回転体２８の内径部２８ａには、プランジャホルダ３１が装着されている。プランジャホルダ３１は回転体２８に対して回転軸方向の摺動が許容され、かつ回転体２８からの回転が伝達される。
【００２１】
プランジャホルダ３１の先端部には、プランジャディスク３２が固着されている。プランジャホルダ３１とプランジャディスク３２には、それぞれ複数のシリンダ孔３１ｂ，３２ｂが回転軸方向に連通して設けられており、シリンダ孔３１ｂ，３２ｂには、プランジャ２６が挿入されている。プランジャホルダ３１とプランジャディスク３２は、複数のシリンダ孔が設けられたシリンダブロックを構成する。
【００２２】
それぞれのプランジャ２６の上側の端部は、回転体２８の基部に設けられた開口部２８ｂを介して上方へ突出した連結端部２６ｂとなっており、プランジャ２６はフランジ部２６ａとプランジャホルダ３１との間に介装されたスプリング２７によって上方に付勢されている。連結端部２６ｂにはカムフォロア２５が装着されており、カムフォロア２５は外筒部２１に固着された円筒カム２４に当接している。
【００２３】
モータ２２によって回転体２８を回転駆動させることにより、プランジャホルダ３１，プランジャディスク３２が回転し、これによりプランジャ２６はプランジャホルダ３１，プランジャディスク３２とともに回転軸廻りに回転する。この回転に伴い、それぞれのプランジャ２６は、プランジャホルダ３１，プランジャディスク３２の回転に同期して、円筒カム２４のカム形状に追従した軸方向の往復動を行う。モータ２２および円筒カム２４は、プランジャ２６をシリンダブロックの回転と同期して往復動させる駆動手段となっている。円筒カム２４のカム形状は、３つのプランジャ２６を所定順序・タイミングで往復動させるような形状となっており、これにより後述するペーストの吸入・吐出動作が連続して行われる。
【００２４】
図３を参照して、プランジャディスク３２について説明する。プランジャディスク３２は、アルミナなどの硬質のセラミックや超硬合金などの硬質材より成り、ディスク本体部の外縁部から軸方向に筒状部３２ｄが延出して設けられた形状となっている。ディスク本体部には回転軸方向に複数のシリンダ孔３２ｂが設けられている。ディスク本体部の上面は、回転軸と直交する摺動面３２ａとなっており、外筒部２１に固定されたシール部材であるシールディスク３３のシール面３３ａに摺接する。そしてシリンダ孔３２ｂは、摺接面３２ａの回転軸心を中心とする同一円周上の等配位置に開孔している。筒状部３２ｄの内周面３２ｅには、後述する外部シール部材３６の外周摺動部３６ａが摺接する。
【００２５】
シリンダ孔３２ｂの開孔部の周囲には、掻き取り溝３２ｃが形成されている。掻き取り溝３２ｃは、プランジャディスク３２がシールディスク３３に対して回転することによりペーストの吸入・吐出を行うポンピング動作時において、シール面３３ａに付着するペースト中の粒子成分を掻き取ることにより、プランジャディスク３２とシールディスク３３との摺接面からのペーストの過剰な漏出を防止することを目的とするものである。
【００２６】
図４を参照して、シールディスク３３の形状について説明する。シールディスク３３は、プランジャディスクと同様の硬質材より成り、上面側が段付き形状に加工された段付き凸部を有するディスク部材である。段付き凸部の上面は、プランジャディスク３２に摺接するシール面３３ａとなっており、シール面３３ａには２つの円弧溝状の凹部３３ｂ、３３ｃが設けられている。シールディスク３３には、シリンダ孔３２ｂの径方向位置に対応した円周上の２等配位置に、貫通孔３４ａ，３４ｂが設けられており、貫通孔３４ａ，３４ｂは凹部３３ｂ、３３ｃにそれぞれ連通している。
【００２７】
プランジャディスク３２の摺動面３２ａがシールディスク３３のシール面３３ａに摺接した状態でプランジャディスク３２が回転すると、プランジャディスク３２の所定回転位置において、凹部３３ｂ、３３ｃはシリンダ孔３２ｂの開孔部と連通する。したがって、凹部３３ｂ、３３ｃは、シール面３３ａに設けられシリンダブロックの所定回転位置においてシリンダ孔３２ｂの開孔部と連通する第１の連通ポート及び第２の連通ポートとなっている。
【００２８】
段付き凸部の外周面３３ｅは、後述する外部シール部材３６の内周固定部３６ｂが嵌着する嵌着面となっており、段付き面３３ｆは、外部シール部材３６の外周摺動部３６ａの端面に接触して軸方向位置を保持するシール保持面となっている。また、シール面３３ａの外周エッジ３３ｄは、面取り加工が施されていないシャープエッジ形状のままとなっており、後述するようにシール面３３ａが摺接面３２ａに摺接した状態で、シール隙間の口開きを生じないようになっている。
【００２９】
図２において、プランジャホルダ３１には径方向に突出した鍔部３１ａが設けられており、鍔部３１ａと回転体２８の端面との間には皿バネ３０が装着されている。皿バネ３０は、プランジャホルダ３１を下方に押圧することによりプランジャディスク３２の摺動面３２ａをシールディスク３３のシール面３３ａに対して所定面圧で押圧する。この面圧により、摺動面３２ａとシール面３３ａとの密着が確保される。
【００３０】
プランジャディスク３２をシールディスク３３に摺接させた状態では、シール面３３ａの外周側には、シールディスク３３に設けられた外周面３３ｅと、プランジャディスク３２から軸方向に延出して設けられた筒状部３２ｄの内周面３２ｅとが対向した略円環状空間のハウジング部３７（図６参照）が形成される。ハウジング部３７内には、外部シール部材３６が装着される。
【００３１】
外部シール部材３６は、図５に示すように外周摺動部３６ａ、内周固定部３６ｂの２つのシール部材で構成される略リング形状のシール部材である。外周摺動部３６ａは自己潤滑性材質の第１シール材（例えばＰＴＦＥ（４フッ化エチレン樹脂）など）を矩形断面のリング状に成形したものであり、自己潤滑性を有していることから、他部材のシール面に摺接して装着された際の摩擦係数が低く、耐摩耗性に富むなど、摺動性に優れている。
【００３２】
内周固定部３６ｂには、弾発性に富む材質の第２シール材（ゴム系素材）より成るＯリングが用いられ、装着状態において弾発力によってシール面に対してシール面圧を与える。外周摺動部３６ａの内面側には内周固定部３６ｂの断面形状にならった凹部が全周にわたって設けられており、内周固定部３６ｂを外周摺動部３６ａの内周面に組み合わせる際の位置保持が容易となっている。
【００３３】
外部シール部材３６がハウジング部３７に装着された状態では、図６に示すように、内周固定部３６ｂがシールディスク３３の外周面３３ｅに嵌着し、外周摺動部３６ａの一方側の軸方向端面が段付き面３３ｆに当接する。また外周摺動部３６ａの外周面はプランジャブロック３２の内周面３２ｅに摺接する。そしてペースト吐出装置１６の稼動状態においては、内周固定部３６ｂはシールディスク３３に弾発力によって固定された状態を保ち、外周摺動部３６ａは回転するプランジャブロック３２の内周部３２ｅと良好な摺動性で摺接状態にある。
【００３４】
この稼動状態においては、シール面３３ａと摺動面３２ａとのシール隙間から、ペーストがハウジング部３７内にわずかに漏出する。そしてこれらのペーストのハウジング部３７外への漏出は、外部シール部材３６によって防止される。このとき、ハウジング部３７内に溜まったペーストは、外部シール３６の内周固定部３６ｂを外周面３３ｅに対して、また外周摺動部３６ａを段付き面３３ｆと内周面３２ｅに押し付けるように作用し、外部シール部材３６によるペーストのシール性能を向上させる。また前述のようにシール面３３ａの外周エッジ３３ｄがシャープエッジ形状となっていることから、ハウジング部３７内のペーストがシール隙間内に進入しにくくなっており、シール隙間が増大する口開きを防止するという効果を有する。
【００３５】
シールディスク３３の貫通孔３４ａ、３４ｂは、外筒部２１の端面に設けられた第１の外部ポート３５ａ、第２の外部ポート３５ｂにそれぞれ連通している。第１の外部ポート３５ａは、チューブ２０を介してシリンジ１９（図１）と接続されており、第２の外部ポート３５ｂはチューブ１７を介して塗布ノズル１８（図１）と接続されている。
【００３６】
貫通孔３４ａが凹部３３ｂを介してシリンダ孔３２ｂと連通した状態において、プランジャ２６が引き込み方向（図２において上方）へ移動することにより、シリンダ孔３２ｂ内にはシリンジ１９に貯溜されていたペーストがチューブ２０を介して供給される。第１の外部ポート３５ａは、シリンジ１９から供給されるペーストを導入する供給ポートとなっている。
【００３７】
そしてペーストを吸入したシリンダ孔３２ｂが凹部３３ｃを介して貫通孔３４ｂと連通した状態においてプランジャ２６が押し出し方向（図２において下方）に移動することにより、シリンダ孔３２ｂ内のペーストが第２の外部ポート３５ｂから吐出される。第２の外部ポート３５ｂは、ペーストを外部に吐出する吐出ポートとなっている。
【００３８】
次に図７を参照して、ペースト吐出装置１６によるペーストの吸引、吐出動作時における凹部３３ｂ、３３ｃと、シリンダ孔３２ｂとの位置関係について説明する。本実施の形態では、３つのプランジャ２６を、連通ポートである凹部３３ｂ、３３ｃを介して２つの外部ポート３５ａ、３５ｂに交互に連通させるポート切り換えにより、ペーストの吐出を連続して行うようにしている。
【００３９】
図７（ａ）は、３つのシリンダ孔３２ｂ−Ａ、３２ｂ−Ｂ、３２ｂ−Ｃが矢印方向へ回転移動する過程において、シリンダ孔３２ｂ−Ａが貫通孔３４ａの位置と一致し、シリンダ孔３２ｂ−Ａへのペーストの供給が行われている状態を示している。このとき、シリンダ孔３２ｂ−Ｃはペーストの吐出を終えて凹部３３ｃから外れるタイミングにあり、シリンダ孔３２ｂ−Ｂが凹部３３ｃの端部に到達して新たにペーストの吐出を開始するタイミングを示している。そして図７（ａ）から図７（ｂ）までの間に、シリンダ孔３２ｂ−Ａへのペーストの供給、シリンダ孔３２ｂ−Ｂからのペーストの吐出が継続して行われる。
【００４０】
この後図７（ｃ）のタイミングにおいて、シリンダ孔３２ｂ−Ａは凹部３３ｃの端部に到達して新たにペーストの吐出を開始する。このとき、シリンダ孔３２ｂ−Ｂは凹部３３ｃからはずれペーストの吐出を終了する。このように、３つのシリンダ孔３２ｂのうち、いずれかが常にペーストを吐出する状態にあり、これにより外部ポート３５ｂ（吐出ポート）からは間断なくペーストが吐出される。
【００４１】
このペースト吐出動作において、フィラー成分や固形粒子を多量に含んだスラリー状のペーストを使用する場合においても、前述のようにシールディスク３３とプランジャディスク３２とのシール隙間から漏出したペーストは、外部シール部材３６によって外部への漏出が防止されることから、ペースト吐出動作におけるペースト漏出を最小限に抑制することができ、漏出したペーストが装置内を汚損する不具合を防止することができる。
【００４２】
（実施の形態２）
図８は本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の断面図、図９は本発明の実施の形態２のペースト吐出装置のプランジャディスクの斜視図、図１０は本発明の実施の形態２のペースト吐出装置のシールディスクの斜視図、図１１は本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の外部シールの形状説明図、図１２は本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の外部シールの装着状態の説明図である。
【００４３】
本実施の形態２は、実施の形態１における外部シール部材３６の構成を変更した例を示している。図８において、ペースト吐出装置１６１は、実施の形態１に示すペースト吐出装置１６と同様のペースト吐出機構を備えており、プランジャディスク１３２とシールディスク１３３と外部シール部材１３６のみが、図２と異なっている。
【００４４】
図９に示すように、プランジャディスク１３２は、上面側が段付き形状に加工されて段付き凸部となったディスク部材であり、段付き凸部の上面は回転軸と直交する摺動面１３２ａとなっている。摺動面１３２ａは、外筒部２１に固定されたシール部材であるシールディスク１３３のシール面１３３ａ（図８参照）に摺接する。摺動面１３２ａには、実施の形態１に示すシリンダ孔３２ｂと同様配置、同様機能のシリンダ孔１３２ｂが開孔しており、開孔部の周囲には掻き取り溝１３２ｃが形成されている。
【００４５】
段付き凸部の外周面１３２ｅは、後述する外部シール部材１３６の内周摺動部１３６ｂが摺接する摺動面となっており、段付き面１３２ｆは、内周摺動部１３６ｂの端面に接触して軸方向位置を保持するシール保持面となっている。また、摺動面１３２ａの外周エッジ１３２ｄは、面取り加工が施されていないシャープエッジ形状のままとなっており、実施の形態１と同様に、シール隙間が増大する口開きを防止するという効果を有する。
【００４６】
図１０を参照して、シールディスク１３３の形状について説明する。シールディスク１３３は、ディスク本体部の外縁部から軸方向に筒状部１３３ｄが延出して設けられた形状となっており、ディスク本体部の上面はプランジャディスク１３２に摺接するシール面１３３ａが設けられている。シール面１３３ａには、実施の形態１に示す凹部３３ｂ、３３ｃと同様配置、同様機能の凹部１３３ｂ、１３３ｃが形成されており、凹部１３３ｂ、１３３ｃには、貫通孔１３４ａ、１３４ｂがそれぞれ連通している。筒状部１３３ｄの内周面１３３ｅは外部シール部材１３６の外周固定部１３６ａが嵌着する嵌着面となっている。
【００４７】
プランジャディスク１３２をシールディスク１３３に摺接させた状態では、シール面１３３ａの外周側には、シールディスク１３３から軸方向に延出して設けられた筒状部１３３ｄの内周面１３３ｅと、プランジャディスク１３２に設けられた外周面１３２ｅとが対向した略円環状空間のハウジング部１３７が形成される。ハウジング部１３７内には、外部シール部材１３６が装着される。
【００４８】
外部シール部材１３６は、図１１に示すように外周固定部１３６ａ、内周摺動部１３６ｂの２つのシール部材で構成される略リング形状のシール部材である。外周固定部１３６ａには、実施の形態１に示す内周固定部３６ｂと同様の性質、機能の第２シール材より成るＯリングが用いられる。内周摺動部１３６ｂは、実施の形態１に示す外周摺動部３６ａと同様の材質、機能の第１シール材を矩形断面のリング状に成形したものである。内周摺動部１３６ｂの外面側には外周固定部１３６ａの断面形状にならった凹部が全周にわたって設けられており、外周固定部１３６ａを内周摺動部１３６ｂの外周面に組み合わせる際の位置保持が容易となっている。
【００４９】
外部シール部材１３６がハウジング部１３７に装着された状態では、図１２に示すように、まず内周摺動部１３６ｂがプランジャディスク１３２の外周面１３２ｅに摺接し、内周摺動部１３６ｂの一方側の軸方向端面が段付き面１３２ｆに当接する。また外周固定部１３６ａの外周面は、シールブロック１３３の内周面１３３ｅに嵌着する。
【００５０】
そしてペースト吐出装置１６１の稼動状態においては、外周固定部１３６ａはシールディスク１３３の内周面１３３ｅに弾発力によって固定された状態を保ち、内周摺動部１３６ｂは回転するプランジャブロック１３２の外周面１３２ｅと良好な摺動性で摺接状態にある。この稼動状態において、シール面１３３ａと摺動面１３２ａとのシール隙間から漏出したペーストは、実施の形態１と同様に、外部シール部材１３６によってハウジング部１３７から外部への漏出が防止される。
【００５１】
【発明の効果】
本発明によれば、固定されたシール部材と回転するシリンダブロックとのシール面の外周側に、シール部材とシリンダブロックとによって閉囲された円環状空間のハウジング部を設け、このハウジング部材に自己潤滑性材質と弾発性に富む材質とを組み合わせた略リング形状の外部シール部材を装着することにより、シール面から漏出したペーストのハウジング部外への漏出を外部シール部材によって防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１のダイボンディング装置の斜視図
【図２】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の断面図
【図３】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置のプランジャディスクの斜視図
【図４】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置のシールディスクの斜視図
【図５】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の外部シールの形状説明図
【図６】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の外部シールの装着状態の説明図
【図７】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の動作説明図
【図８】本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の断面図
【図９】本発明の実施の形態２のペースト吐出装置のプランジャディスクの斜視図
【図１０】本発明の実施の形態２のペースト吐出装置のシールディスクの斜視図
【図１１】本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の外部シールの形状説明図
【図１２】本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の外部シールの装着状態の説明図
【符号の説明】
１６、１６１　ペースト吐出装置
２２　モータ
２６　プランジャ
２８　回転体
３２、１３２　プランジャディスク
３２ａ、１３２ａ　摺動面
３２ｂ、１３２ｂ　シリンダ孔
３３、１３３　シールディスク
３３ａ、１３３ａ　シール面
３５ａ　第１の外部ポート
３５ｂ　第２の外部ポート
３６，１３６　外部シール部材
３６ａ　外周摺動部
３６ｂ　内周固定部
１３６ａ　外周固定部
１３６ｂ　内周摺動部
３７、１３７　ハウジング部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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