(57)【要約】【課題】小形、軽量で、製造コストが低い真空用モータを提供する。【解決手段】真空チャンバー１に設けたモータ取付穴３の周縁３ａに取付けられて使用される真空用モータ４において、モータ本体６の負荷側端部に、モータ取付穴３にＯリング１２を挟むようにして固定される取付フランジ８を有する減速機本体７を取り付け、取付フランジ８に、樹脂で構成され、減速機本体７の出力軸７ａに接触して、減速機本体７およびモータ本体６の内部空間と、真空チャンバー１の内部空間とを仕切る真空シール９ａ，９ｂを固定する。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバーに設けたモータ取付穴の周縁に取付けられて使用される真空用モータにおいて、
モータ本体の負荷側端部に、前記モータ取付穴にＯリングを挟むようにして固定される取付フランジを有する減速機本体を取り付け、前記取付フランジに、樹脂で構成され、減速機の出力軸に接触して、減速機本体およびモータ本体の内部空間と、真空チャンバーの内部空間とを仕切る真空シールを固定したことを特徴とする真空用モータ。
【請求項２】
前記取付フランジが、軸方向の両端部付近にそれぞれ真空シールを固定し、かつ中央部に前記真空シール間の空気を真空引きする中間引きポートを設けたシール保持部と、前記シール保持部に取付けられ、あるいは一体に形成されて、前記真空チャンバーのモータ取付穴の周縁に取付けられるリング状のチャンバー取付部とを有することを特徴とする請求項１に記載の真空用モータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空チャンバーに取付けられ、基板搬送用ロボットなどの駆動装置等として用いられる真空用モータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の真空用モータは、駆動部全体を、真空チャンバーで構成される真空環境内に入れて使用している（特許文献１参照）。この場合、真空チャンバー内と真空用モータないのシールは、回転軸と、ハウジングなどの固定部との隙間を磁性流体など高価な部品を用いて塞ぐようにしている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−２４３６０９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の真空用モータにおいては、次のような問題がある。
（１）真空用モータのケースが、大気、真空の隔壁を兼ねたものとなるため、必要とする機　　械的強度以上にケースを丈夫にする必要がある。そのため、真空用モータが全体的に　　大きく、また重いものになってしまう。
（２）駆動部に使用する材料等も、真空環境に適したものしか使用できないので、コストが　　かかる。また、特注品になるので、製造に時間がかかる。
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、小形、軽量で、製造コストが低い真空用モータを提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明は、真空チャンバーに設けたモータ取付穴の周縁に取付けられて使用される真空用モータにおいて、モータ本体の負荷側端部に、前記モータ取付穴にＯリングを挟むようにして固定される取付フランジを有する減速機本体を取り付け、前記取付フランジに、樹脂で構成され、減速機の出力軸に接触して、減速機本体およびモータ本体の内部空間と、真空チャンバーの内部空間とを仕切る真空シールを固定するようにしたものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
図１は本発明の実施例を示す真空用モータの側断面図で、真空チャンバーに取り付けた状態を示している。
図において、１は真空チャンバー、２は前記真空チャンバーの床部、３は前記床部２に設けたモータ取付穴、４は真空用モータで、検出器５を有するモータ本体６と、前記モータ本体６の先端部に取り付けた減速機本体７とからなっている。前記減速機７本体は、負荷側に取付フランジ８を有している。前記取付フランジ８は、軸方向の両端部付近にそれぞれ真空シール９ａ，９ｂを固定し、かつ中央部に前記真空シール９ａ，９ｂ間の空気を真空引きする中間引きポート１０を設けたシール保持部８ａと、前記シール保持部８ａに取付けられ、あるいは一体に形成されて、前記真空チャンバー１のモータ取付穴３の周縁３ａに取付けられるリング状のチャンバー取付部８ｂとを有している。
前記真空シール９ａ，９ｂは、樹脂で構成され内周面が減速機本体７の出力軸７ａに接触しており、モータ本体６と減速機本体７の内部空間と真空チャンバー１の内部空間とを仕切っている。１１は前記シール保持部８ａに取付けたシールカバーである。
前記取付フランジ８のチャンバー取付部８ｂは、前記真空チャンバー１のモータ取付穴３の周縁３ａに、図示しないボルト等によって締付け固定される。前記チャンバー取付部８ｂをモータ取付穴３の周縁３ａに締付けるときは、前記周縁３ａに設けたリング状の溝３ｂにＯリング１２を挿入して、周縁３ａとチャンバー取付部８ｂ間に隙間が生じないようにしている。
このような構成において、前記真空チャンバー１内の真空引きは次のようにして行う。
まず、真空チャンバー１内を真空引きを開始する前に、前記中間引きポート１０から前記真空シール９ａ，９ｂ間を真空引きする。その後、真空チャンバー１内部の真空引きを開始する。
このようにすることにより、真空チャンバー１内と取付フランジ８内とがともに真空になり圧力が均等になるので、各真空シール９ａ，９ｂにかかる圧力、特に真空チャンバー１側の真空シール９ａにかかる圧力を軽減することができる。
これにより真空シール９ａ，９ｂが高真空に耐えることができる。
このような構成において、真空用モータ４を駆動すると、真空用モータ４内部に塵埃等が発生するが、真空シール９ａ，９ｂによって、モータ本体６と減速機本体７の内部空間と真空チャンバー１の内部空間とを仕切っているので、モータ６と減速機７の内部から真空チャンバー１内に塵埃等が入り込むことはない。
また、真空用モータ４の外部においては、前記周縁３ａとチャンバー取付部８ｂ間にＯリング１２が介在しているので、周縁３ａとチャンバー取付部８ｂ間に隙間はなく、真空チャンバー１外の大気が、周縁３ａの部分から真空チャンバー１内に入り込むことはない。
【０００７】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば次のような効果がある。
（１）モータ本体と減速機本体は、大気中に配置し、減速機本体の回転軸の一部分のみ真空　環境内に配置しているので、モータ本体と減速機本体の外枠部分から塵埃等が真空環境　中に排出されるおそれがない。したがって、外枠部分を、必要とする機械的強度以上に　丈夫にする必要がなく、真空用モータ全体を小形、軽量にすることができる。
（２）駆動部に使用する材料等も、真空環境に適したものにする必要がないので、、低コス　トで、かつ製造にかかる時間も短縮することができる。
（３）真空チャンバー内と取付フランジ内とがともに真空になり圧力が均等になるので、真　空シールにかかる圧力を軽減することができ、真空シールが高真空に耐えることができ　る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す真空用モータの側断面図で、真空チャンバーに取り付けた状態を示している。
【符号の説明】
１　　真空チャンバー
２　　床部
３　　モータ取付穴
３ａ　周縁
３ｂ　溝
４　　真空用モータ
５　　検出器
６　　モータ本体
７　　減速機本体
７ａ　出力軸
８　　取付フランジ
８ａ　シール保持部
８ｂ　チャンバー取付部
９ａ，９ｂ　真空シール
１０　中間引きポート
１１　シールカバー
１２　Ｏリング
【図１】
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