(57)【要約】【課題】工具表面に付着した切粉等の異物を除去することにより、加工面に発生する傷を防止でき、工具表面に存在する砥粒の量と加工点に存在する加工液の量とを一定とすることにより、除去深さ（除去量）を安定させることができ、より高精度な加工を可能とする研磨装置を提供する。【解決手段】研磨装置１０のクリーニング手段２０は、ブラシ２１と、加工液を供給する手段２２と、ブラシ２１から加工液を吸引する手段２３とを有し、加工液吸引手段２３は、供給された加工液の量を吸引するのに十分な吸引力を有し、ブラシ２１の研磨工具１に接触する部分の幅は、研磨工具１が被削材に接触して加工に関与する幅以上とする。【選択図】　　　　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨工具のクリーニングを行うためのクリーニング手段を有する研磨装置であって、
前記クリーニング手段は、
前記研磨工具に接触して該研磨工具を直接クリーニングする手段と、
加工液を供給する手段と、
前記研磨工具を直接クリーニングする手段から前記加工液を吸引する手段とを有し、
前記加工液を吸引する手段は、
供給された前記加工液を吸引するのに十分な吸引力を有することを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記研磨工具に接触して該研磨工具を直接クリーニングする手段は、
前記研磨工具に接触する部分が弾性体あることを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項３】
前記弾性体の前記研磨工具に接触する部分の幅は、
前記研磨工具が被削材に接触して加工に関与する幅以上であることを特徴とする請求項２記載の研磨装置。
【請求項４】
前記弾性体は、
ブラシ状であることを特徴とする請求項２または３記載の研磨装置。
【請求項５】
前記ブラシ状の弾性体が有する複数の毛の少なくとも一部が接触していることを特徴とする請求項４記載の研磨装置。
【請求項６】
前記ブラシ状の弾性体は、
筒状の部材に毛が植えられたものであることを特徴とする請求項４または５記載の研磨装置。
【請求項７】
前記ブラシ状の弾性体が有する毛は、
前記研磨工具の表面に存在する凹部の幅の平均値よりも径が小さいことを特徴とする請求項４、５または６記載の研磨装置。
【請求項８】
前記ブラシ状の弾性体は、
前記クリーニング時における前記研磨工具との相対的な移動方向から見たときに毛と毛の間に隙間がないことを特徴とする請求項４から７のいずれか１項に記載の研磨装置。
【請求項９】
前記弾性体は、
スポンジ状であることを特徴とする請求項２または３記載の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨装置に関し、特に光学素子等の超精密研磨を行うための研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
荷重制御によって行われる研磨は、プレストンの経験則にしたがって除去量と加工条件との関係が決まる。プレストンの経験則は以下のようにあらわすことができる。
δ＝ｋ×Ｐ×Ｖ×ｔ（δ；　除去量、ｋ；　比例定数、Ｐ；　圧力、Ｖ；　工具と加工点の相対速度（工具周速）　、ｔ；　滞留時間）
なお、本発明においては、δは除去深さ、Ｐは荷重と考えても差し支えない。
【０００３】
近年の光学素子等の加工のような高精度加工においては、数ｎｍから数１０ｎｍのレベルの除去深さ精度を望まれている。
【０００４】
高精度な加工物の例として、Ｘ線用ミラーがあるが、その最終加工工程は荷重制御による研磨であり、形状計測→研磨→形状計測→研磨・・・という工程を複数回繰り返すことにより長時間かけて所望の精度をようやく達成している状況である。
【０００５】
従来の砥石のクリーニング方法及び装置としては、例えば、導電性ブラシを使用して砥石に固着する研削屑を除去することによるドレッシング作用を期待していた。これは砥石表面を清浄に維持しながら研削を行うことによって、安定した加工を行おうとするものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
すなわち、砥石の研削作業と同時に、インプロセスの状態で、研削屑が固着した砥石面を、汚れを発生させることなく、効率の良いドレッシング作用をなすことにより、生産性を阻害しないクリーニング方法を提供しようとしている。
【０００７】
具体的には、ワークの研削作業中の砥石に、導電性ブラシのブラシ部を摺接して砥石の砥粒間に固着する研削屑を除去し、同時に、ブラシに微弱な電流を流して研削屑を電気分解的に剥離除去し、もしくは強電流を流して砥石面との間に放電作用を行わせて研削屑を剥離除去し、もしくは超音波振動装置でブラシに超音波を印加して研削屑を剥離除去する、またはこれらいずれかを選択という構成を採っている。
【０００８】
また、従来の研磨装置には研磨パッド表面の凹部に研磨剤中の固形成分や、ＳｉＯ２　絶縁膜や金属電極膜から研磨によって除去されたＳｉＯ２　や金属、及び研磨パットの破片等の研磨クズが堆積する問題があった。堆積した研磨剤や研磨クズが多数集まると、これらが凝集を起こし、大きな塊を生じ、これらの塊が研磨中にウェハと研磨パットの間に巻き込まれた場合に、キズ発生の原因となる。
【０００９】
そこで、従来、これら研磨剤や研磨クズの堆積物の問題を解決するために、研磨パッド表面の凹部に堆積した研磨剤や研磨屑をブラシでクリーニングして研磨中のキズ発生を防止する研磨装置があった（例えば、特許文献２参照）。
【００１０】
この装置は、具体的には、研磨パッド表面の凹部に堆積した研磨剤や、研磨クズを排出するための、ナイロンブラシあるいは噴射水を吹き付ける機構を研磨装置に具備させることにより、研磨剤や研磨クズの堆積物による研磨面の傷の発生を防止している。
【００１１】
また、工具表面の洗浄機構と加工液の回収機構とを備えて、工具の加工面に付着した異物等を除去する研磨装置もある（例えば、特許文献３参照）。この装置は、工具を洗浄ブラシで洗浄しつつ研磨加工を行い、また、洗浄ブラシに洗浄液を供給して、工具の加工面から異物を除去して、高品質の研磨加工を行うが、工具の表面に洗浄ブラシが押しつけられており、工具の回転により洗浄ブラシが工具の表面から切り屑等の異物を除去する。また、研磨装置は、洗浄ブラシに適宜洗浄液を供給している。
【００１２】
【特許文献１】
特開平５−１３１３６７号公報
【特許文献２】
特開平１１−３３３６９５号公報
【特許文献３】
特開２００１−１７０８６４号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
たしかに、この装置によれば、工具表面に付着した区切粉を含めた異物を除去することができる。しかし、この装置によっても、工具表面に存在する砥粒の量を一定とし、加工点に存在する加工液の量を一定とすることによって、除去深さ（除去量）を安定させること、つまり、上記プレストンの経験則の比例定数ｋを安定させることはできない。
【００１４】
そこで、本発明では、工具表面に付着した切粉等の異物を除去することにより、加工面に発生する傷を防止でき、工具表面に存在する砥粒の量と加工点に存在する加工液の量とを一定とすることにより、除去深さ（除去量）を安定させることができ、ひいては、より高精度な加工を可能とする研磨装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１記載の発明によれば、研磨装置は、研磨工具のクリーニングを行うためのクリーニング手段を有する研磨装置であって、クリーニング手段は、研磨工具に接触して研磨工具を直接クリーニングする手段と、加工液を供給する手段と、研磨工具を直接クリーニングする手段から加工液を吸引する手段とを有し、加工液を吸引する手段は、供給された加工液を吸引するのに十分な吸引力を有することを特徴とするものである。
【００１６】
請求項２記載の発明によれば、研磨装置は、研磨工具に接触して研磨工具を直接クリーニングする手段は、研磨工具に接触する部分が弾性体ある請求項１記載の研磨装置であることを特徴とするものである。
【００１７】
請求項３記載の発明によれば、研磨装置は、弾性体の研磨工具に接触する部分の幅は、研磨工具が被削材に接触して加工に関与する幅以上である請求項２記載の研磨装置であることを特徴とするものである。
【００１８】
請求項４記載の発明によれば、研磨装置は、弾性体は、ブラシ状である請求項２または３記載の研磨装置であることを特徴とするものである。
【００１９】
請求項５記載の発明によれば、研磨装置は、ブラシ状の弾性体が有する複数の毛の少なくとも一部が接触している請求項４記載の研磨装置であることを特徴とするものである。
【００２０】
請求項６記載の発明によれば、研磨装置は、ブラシ状の弾性体は、筒状の部材に毛が植えられたものである請求項４または５記載の研磨装置であることを特徴とするものである。
【００２１】
請求項７記載の発明によれば、研磨装置は、ブラシ状の弾性体が有する毛は、研磨工具の表面に存在する凹部の幅の平均値よりも径が小さい請求項４、５または６記載の研磨装置であることを特徴とするものである。
【００２２】
請求項８記載の発明によれば、研磨装置は、ブラシ状の弾性体は、クリーニング時における研磨工具との相対的な移動方向から見たときに毛と毛の間に隙間がない請求項４から７のいずれか１項に記載の研磨装置であることを特徴とするものである。
【００２３】
請求項９記載の発明によれば、研磨装置は、弾性体は、スポンジ状である請求項２または３記載の研磨装置であることを特徴とするものである。
【００２４】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して、本発明による研磨装置の実施の形態を詳細に説明する。
【００２５】
図１には、本発明による研磨装置の一実施形態における研磨装置の全体図が示されている。研磨装置１０は、工具１と、工具軸２と、直動スライド（スピンドル）３と、荷重センサ４と、荷重発生機構部５と、コラム６とから構成される。
【００２６】
図１に示すように、工具１は、回転するタイヤ形状、球形状、それらの形状の一部からなる形状、円盤状、または円筒状であり、直動スライドを兼ねたスピンドル３に固定されている。回転した工具１が、以下のようなしくみで、３軸直動テーブル８に置かれている被加工部７と接触して被加工部７を研磨する。
【００２７】
荷重発生機構部５は、直動スライド３に所定の荷重を与え、その荷重が工具１に伝達されて工具１と被加工部７の被加工面との間に荷重が発生する。
【００２８】
発生した荷重を荷重センサ４が検知して、その荷重を所定の荷重になるように図示していない制御部、例えば、パソコンから荷重発生機構部５へ指令を出す。
【００２９】
被加工部７は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸およびＸ軸、Ｙ軸と平行な回転軸のＡ軸、Ｂ軸の動きによって、被加工面の法線を工具荷重負荷方向と一致させるいわゆる法線制御が可能となっている。
【００３０】
直動スライドを兼ねたスピンドル３中に接線方向の力を検出するセンサーを備えている。
【００３１】
図２には、設計形状と被加工面の研磨前の形状測定結果との誤差のイメージ図が示されている。
【００３２】
図２に示したように、所望の設計形状と被加工面の研磨前の形状測定結果との誤差が存在し、その誤差から各加工点における除去量または除去深さを決定する。
【００３３】
対象とする被加工面を加工する前に、この被加工面と同じ材料を加工することによって除去量または除去深さと加工条件との関係を事前につかんでおく必要がある。この関係については、従来より次式で示すようなプレストンの経験則が知られている。
【００３４】
δ＝ｋ×Ｐ×Ｖ×ｔ（δ；　除去量、ｋ；　比例定数、Ｐ；　圧力、Ｖ；　工具と加工点の相対速度（工具周速）、ｔ；　滞留時間）
なお、本発明においては、δは除去深さ、Ｐは荷重と考えても差し支えない。
【００３５】
一般的に、比例定数ｋは、被加工物の材質や工具により決まる定数である。加工条件として上記のＰ、Ｖ、ｔを設定したときに、その加工においてｋが一定であれば除去深さは一義的に決まる。つまり、ｋを安定させることで除去深さを精度よく得ることができる。
【００３６】
前述のように、ｋは被加工物の材質や工具により決まる定数であるといわれているが、工具材質は加工中に極力変化しないものが選択されるべきであり、ウレタン樹脂などが使用されている。
【００３７】
また、工具の表面に存在する砥粒や切粉や加工液（ここでは潤滑のためや冷却のために使用される液体を指す。ただし、その液体は砥粒を含有してもよい）の量が変化すると、ｋは変化してしまう。つまり、除去深さが変化してしまう。
【００３８】
図３には、本発明による研磨装置の一実施形態におけるクリーニング機構の側面図が示されている。
【００３９】
前述のような工具表面に存在する砥粒や切粉や加工液の量を安定させるために本発明による研磨装置には図３に示すようなクリーニング機構が備わっている。
ただし、これは一例にすぎず、本発明はこの図に限定されるものではない。
【００４０】
以上を前提として、本発明による研磨装置の一実施形態たる第１実施例について以下説明する。
【００４１】
本実施例においては、図１に示した加工装置に図３のクリーニング機構を設置してマルテンサイト系ステンレス鋼の研磨を行う。
【００４２】
実際の研磨に先立ち、気孔の存在するウレタン樹脂製の研磨工具をツルーイングした後に、砥粒を含む加工液を供給しながら、図３のクリーニング機構をはずした状態でマルテンサイトステンレス鋼を研磨した。
【００４３】
図４には、研磨距離と除去深さの関係をあらわす表が示されている。横軸を研磨距離（ｍｍ）、縦軸を除去深さ（ｎｍ）とする。
図４に示すように、研磨距離（スタート点からのツールパスの長さ）が増加すると除去深さが増加し、その後、除去深さが安定する状態になる。この状態は研磨工具表面に充分な砥粒が供給された状態である。
【００４４】
研磨工具表面に充分な砥粒が供給された状態にするために、本実施例では研磨の対象とする被削材と同じ材料を研磨したわけであるが、研磨工具表面に砥粒を強制的に擦り込むことを行ってもよい。
ただし、本実施例の方法が高精度を得るには最適である。
【００４５】
次に、図３のクリーニング機構をセッティングして本番の研磨加工を行う。　図３において、クリーニング機構２０は、クリーニング用ブラシ２１（以下　ブラシ２１という）と、加工液供給部２２と、加工液吸引部２３とから構成される。
【００４６】
ブラシ２１は、弾性体からなり、研磨工具１に接触して、研磨工具１の回転にともない、研磨工具１を直接クリーニングする。
研磨工具１に接触しているブラシ９の幅は、研磨工具１の被削材に接触して加工に関与する幅以上であり、研磨工具１が一回転すると、研磨工具１の被削材に接触して加工に関与する領域がすべてクリーニングされることになる。
【００４７】
また、加工液供給部２２は、加工液を供給し、加工液吸引部２３は、クリーニング用ブラシ２１の毛に吸い込まれた加工液をノズルによって吸引する。
加工液の供給と吸引はポンプにつながったチューブにより行われ、供給用ポンプの流量の設定を５ｃｃ／ｍｉｎとして、吸引用ポンプの流量の設定を８ｃｃ／ｍｉｎとして、吸引力を、供給された加工液の量を充分吸引する以上の能力に設定した。
【００４８】
ブラシ９に使用されている毛は密度が高く存在する方が、毛細管現象に似た効果で加工液を吸引する力が大となるので望ましい。
本実施例では植毛式のブラシを使用したが、植毛した穴の中ではブラシの毛は密に存在していて、穴の外でも隣り合う毛と毛の少なくとも一部が接触している。
【００４９】
図５には、本発明による研磨装置の一実施形態における植毛タイプブラシの植毛用穴の断面図が示されている。
【００５０】
研磨工具１の回転により、図５のブラシ３０と研磨工具１が相対的に移動するわけであるが、図５の上下方向がその移動方向であり、その方向から見るとブラシ３０の毛と毛の間に隙間がない。すなわち、植毛用穴は、図５における左右でずれた位置に存在する。
【００５１】
これにより、研磨工具１がクリーニングされたときに、クリーニングされない個所が残ることを防ぐことができる。
【００５２】
なお、弾性体と研磨工具との相対移動は、通常は研磨工具の回転により生じるが、それに限定されるものではなく、本発明は、弾性体と研磨工具どちらが動いても適用される。
【００５３】
図６には、本発明による研磨装置の一実施形態におけるブラシの毛の径と除去精度の関係をあらわす表が示されている。横軸を毛の直径（ｍｍ）、縦軸を除去精度（３σ／除去深さ）とする。
【００５４】
ここでは、研磨加工を行った結果のブラシの毛の太さと除去精度の関係を調べた。所定の距離を研磨したときの除去深さに対して、その除去深さのばらつきを３σで表し、その値を除去深さで割ったものを除去精度とした。ブラシの毛の太さは０．０５ｍｍ以下が好ましく、工具表面に存在する凹部の幅、つまり、工具表面に存在する気孔の径の平均値である０．０７ｍｍより細い径を持つ毛が有効であるという結果が得られた。
【００５５】
図７には、本発明による研磨装置の一実施形態におけるクリーニングの模式図が示されている。すなわち、この図は、クリーニング用ブラシの毛と、研磨工具表面との接触イメージをあらわしている。
図のように、ブラシの毛が細いと、工具表面に存在する凹部にも毛がとどくので、有効なクリーニングが可能となる。
【００５６】
すなわち、有気孔の研磨工具による研磨のときには、表面に存在する凹部の幅の平均値よりも径の太さが小さい毛を有するブラシを用いることで、工具表面の凹部の中にまで毛が入り込むことができるので、工具表面の凹部のなかに存在する余分な砥粒、また切粉やその他の異物を除去することができる。
【００５７】
なお、ここで、有気孔の研磨工具のみでなく、研磨工具の表面に凹凸があるものはこの範ちゅうに含める。
【００５８】
次に、本発明による研磨装置の一実施形態たる第２実施例について以下説明する。
【００５９】
第２実施例は、前述した第１実施例と同様の研磨装置で、ウレタン製の研磨工具を使用して、無電解ニッケルの研磨を行うものである。
【００６０】
実際の研磨に先立ち、研磨工具をツルーイングした後に、砥粒を含む加工液を供給しながら、図３のクリーニング機構２０をはずした状態で無電解ニッケルを研磨した。
【００６１】
第１実施例と同様に、除去深さが増加した後に一定となったところで研磨を終了して、図３のクリーニング機構２０をセッティングした。この段階では研磨工具表面には充分な砥粒が存在している。
【００６２】
図８と図９には、本実施例に用いられるブラシの一例が示されている。
【００６３】
本実施例では、実施例１の植毛タイプのブラシ３０から替えて、まず、図８に示すような筒状の部材に毛が植えてあるブラシを採用した。つまり、図３のクリーニング機構２０において、クリーニング用ブラシ２１の部分が図８のブラシ４０となるわけであるが、ここでは図８のブラシ４０の筒状部４１の後方（毛４２が植えられていない方）にもチューブを接続して、そのチューブをポンプにつなぎ、加工液の吸引を行った。
【００６４】
この状態で先ほど使用した無電解ニッケルのワークを除去深さが一定となるまで研磨した。
その後に、実際の研磨を行った。研磨工具の回転数は２００ｒｐｍ、荷重は１００ｇｆ、砥粒はアルミナとして滞留時間制御による研磨を行った。
【００６５】
無電解ニッケル上の加工点における余分な加工液は存在せず、必要最低限の加工液が存在している状態であった。研磨によって得られた除去精度は３０ｎｍ以下の値となった。
【００６６】
ここで、図８に示したブラシの替りに図９に示すようなブラシを使用してもよい。
図９の（ａ）に示されたブラシの単体５０は、図８のブラシ４０を小径化したものであり、これを複数個集合させたものを、集合体として、図９の（ｂ）に示されたようなクリーニング用ブラシ６０として使用する。この場合もブラ６０の筒状部６１の後方（毛６２が植えられていない方）にもチューブを接続して、そのチューブをポンプにつなぎ、加工液の吸引を行う。
【００６７】
次に、本発明による研磨装置の一実施形態たる第３実施例について以下説明する。
【００６８】
第３実施例は、前述した第２実施例と同様の研磨装置で、木紛をウレタン樹脂で固めた材料で作成された研磨工具を使用して、無電解ニッケルの研磨を行うものである。
【００６９】
実際の研磨に先立ち、研磨工具をツルーイングした後に、ダイヤモンド砥粒を含むペーストを加工面全体に塗布してから、加工液を供給しつつ図３のクリーニング機構２０をはずした状態で無電解ニッケルを研磨した。
【００７０】
第１実施例と同様に、除去深さが増加した後に一定となったところで研磨を終了して、図３のクリーニング機構２０をセッティングした。
【００７１】
この段階では研磨工具表面には充分な砥粒が存在している。ここで、スポンジ状の弾性体を第１実施例の植毛タイプのブラシから替えて、本実施例では採用した。この状態で先ほど使用した無電解ニッケルのワークを除去深さが一定となるまで研磨した。
【００７２】
その後に、実際の研磨を行った。研磨工具の回転数は１００ｒｐｍ、荷重は１５０ｇｆ、砥粒はダイヤモンドとして滞留時間制御による研磨を行った。無電解ニッケル上の加工点における余分な加工液は存在せず、必要最低限の加工液が存在している状態であった。
【００７３】
よって、加工液によって加工面にあらかじめ塗布しておいた砥粒を含むペーストが加工前に洗い流されることがなく、必要量の砥粒供給が実現できた。研磨によって得られた除去精度は３５ｎｍ以下の値となった。
【００７４】
【発明の効果】
請求項１から９記載の発明によれば、研磨工具に接触して研磨工具を直接クリーニングする機構によって、研磨工具表面に存在する余分な砥粒や加工液、また切粉やその他の異物を除去することができる。また、加工液を供給する機構によって、常に新しい加工液を供給することができる。さらに、研磨工具を直接クリーニングする機構部から加工液を吸引する機構によって、クリーニングによって加工液とともに除去された余分な砥粒、および切粉やその他の異物を再び研磨工具や加工点にもどることを抑制する。加えて、加工液を吸引する機構による吸引力は、供給された加工液の量を充分吸引する以上の能力を持つことで、余分な砥粒、および切粉やその他の異物を含んだ加工液が充分に吸引される。以上によって、加工にかかわる加工液や砥粒の量を一定とすることができ、切粉を含む異物を除去することができる。これらによって除去深さを安定させることができ、高精度な加工が可能となる。また、加工面の傷発生を防止できる。
【００７５】
請求項２から９記載の発明によれば、研磨工具に接触して研磨工具を直接クリーニングする機構の研磨工具に接触する部分を弾性体としたことで、研磨工具に傷をつけたり変形させることがなくなる。
【００７６】
請求項３から９記載の発明によれば、研磨工具に接触する部分の弾性体の幅は研磨工具が被削材に接触して加工に関与する幅以上であるので、研磨工具の加工に関与する部分のクリーニングが可能となる。
【００７７】
請求項４から８記載の発明によれば、弾性体はブラシ状となっていることで、その毛によって余分な加工液や砥粒、切粉その他の異物を除去できるので、加工面の傷発生を防止できる。また、工具表面での砥粒と加工液の量を一定とすることができるので、除去深さを安定させることができ、高精度な加工が可能となる。
【００７８】
請求項５から８記載の発明によれば、ブラシ状の弾性体は隣り合う毛と毛の少なくとも一部が接触しているので、毛細管現象に似た効果で余分な加工液を有効に吸引することができる。
【００７９】
請求項６から８記載の発明によれば、ブラシ状の弾性体は、筒状の部材に毛が植えてあるので、毛の部分は毛細管現象に似た効果で余分な加工液を有効に吸引するとともに、工具表面の余分な砥粒と、切粉やその他の異物を除去でき、筒状の部分はその後方に吸引のためのチューブを接続することで、余分な砥粒や、切粉およびその他の異物を含んだ加工液を加工点近傍から除去することができる。
【００８０】
請求項７、８記載の発明によれば、ブラシ状の弾性体は、有気孔の研磨工具による研磨のときには、表面に存在する凹部の幅の平均値よりも径の太さが小さい毛を有することで、工具表面の凹部の中にまで毛が入り込むことができるので、工具表面の凹部のなかに存在する余分な砥粒、また切粉やその他の異物を除去することができる。
なお、本発明は、有気孔の研磨工具に限定されるものではなく、表面に凹凸がある研磨工具であれば、すべて適用される。
【００８１】
請求項８記載の発明によれば、弾性体は、研磨工具のクリーニング時に、研磨工具と相対的に移動するので、両者が擦れ合う。よって、研磨工具表面のクリーニングが行われ、工具表面に存在する余分な砥粒や加工液、また切粉やその他の異物を除去することできる。さらに、弾性体は移動方向から見たときに隙間がないので、両者が擦れ合うときに研磨工具表面で加工に関与する部分において、弾性体が接触しない個所がないことになる。よって、研磨工具表面で加工に関与する部分がすべてクリーニングされる。
【００８２】
請求項９記載の発明によれば、弾性体はスポンジ状となっているので、工具表面に存在する余分な砥粒や加工液、また切粉やその他の異物を除去することできる。特に加工液の吸水率が高いため、余分な加工液を有効に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による研磨装置の一実施形態における加工装置の全体図である。
【図２】設計形状と被加工面の研磨前の形状測定結果との誤差のイメージ図である。
【図３】本発明による研磨装置の一実施形態におけるクリーニング機構の側面図である。
【図４】本発明による研磨装置の一実施形態における研磨距離と除去深さの関係をあらわす表である。
【図５】本発明による研磨装置の一実施形態における植毛タイプブラシの植毛用穴の断面図が示されている。
【図６】本発明による研磨装置の一実施形態におけるブラシの毛の径と除去精度の関係をあらわす表である。
【図７】本発明による研磨装置の一実施形態におけるクリーニング用ブラシの毛と研磨工具表面との接触イメージ図である。
【図８】本発明による研磨装置の一実施形態において用いられるブラシの斜視外観図である。
【図９】本発明による研磨装置の一実施形態において用いられるブラシの斜視外観図である。
【符号の説明】
１　工具（研磨工具）
２　工具軸
３　直動スライド（スピンドル）
４　荷重センサ
５　荷重発生機構部
６　コラム
７　被加工部
８　３軸直動テーブル
１０　研磨装置
２０　クリーニング機構
２１、３０、４０、５０、６０　クリーニング用ブラシ（ブラシ）
２２　加工液供給部
２３　加工液吸引部
４１、５１、６１　筒状部
４２、５２、６２　毛
【図１】
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【図２】
2004106094.tif 000004
【図３】
2004106094.tif 000005
【図４】
2004106094.tif 000006
【図５】
2004106094.tif 000007
【図６】
2004106094.tif 000008
【図７】
2004106094.tif 000009
【図８】
2004106094.tif 000010
【図９】
2004106094.tif 000011