(57)【要約】【課題】従来技術のブレーズド回折格子よりも輝度変化パターンを向上するとともに、観察領域の広域化を図ること。【解決手段】本発明によれば、長辺部と短辺部とが交互に規則的に配置されることによって、立断面形状が鋸刃形状となるような光入射面を有するブレーズド回折格子１０において、光入射面のうち長辺部によって形成されてなる少なくとも１つの斜面Ａ上に、直線状の凹部Ｃを１つあるいは複数備える。【選択図】    図１
2004246193.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長辺部と短辺部とが交互に規則的に配置されることによって、立断面形状が鋸刃形状となるような光入射面を有するブレーズド回折格子において、
前記光入射面のうち前記長辺部によって形成されてなる少なくとも１つの面上に、直線状の凹部または凸部を１つあるいは複数備えたブレーズド回折格子。
【請求項２】
請求項１に記載のブレーズド回折格子において、
前記光入射面のうち前記長辺部によって形成されてなる各面上に、直線状の凹部または凸部を、格子線の並列方向とほぼ平行になるように、１つあるいは複数備えたブレーズド回折格子。
【請求項３】
請求項１に記載のブレーズド回折格子において、
前記光入射面のうち前記長辺部によって形成されてなる各面上に、直線状の凹部または凸部を、格子線の並列方向とほぼ直交するように、１つあるいは複数備えたブレーズド回折格子。
【請求項４】
請求項１乃至３のうち何れか１項に記載のブレーズド回折格子において、
前記凹部または凸部を各面上に３つ以上備えた場合には、各面上において、複数の凹部または凸部をそれぞれほぼ等ピッチで備えるようにしたブレーズド回折格子。
【請求項５】
請求項１乃至３のうち何れか１項に記載のブレーズド回折格子において、
前記凹部または凸部を各面上に３つ以上備えた場合には、各面上において、複数の凹部または凸部をそれぞれ異なるピッチで備えるようにしたブレーズド回折格子。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載のブレーズド回折格子において、
前記複数の凹部または凸部は、それぞれ形状および寸法をほぼ等しくしたブレーズド回折格子。
【請求項７】
請求項４または請求項５に記載のブレーズド回折格子において、
前記複数の凹部または凸部のうち、形状および寸法のうちの少なくとも何れかが他とは異なる凹部または凸部を少なくとも１つ備えたブレーズド回折格子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ブレーズド回折格子に係り、更に詳しくは、輝度変化パターンの向上、および観察領域の広域化を図るようにしたブレーズド回折格子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般的なブレーズド回折格子２０は、その断面構造を図１２に示すように、光が入射する光入射面２２の立断面形状が鋸刃形状をなし、典型的な格子ピッチｄｙは、およそ０．５〜１μｍ程度であり、典型的な格子の高さｈは０．１〜１μｍ程度である。そして、緩やかな斜面Ａと、急峻な斜面Ｂとが交互に規則的にジグザグ配置されることによって、立断面形状が鋸刃形状となるように構成されている。
【０００３】
このようなブレーズド回折格子２０は、電子線による描画、あるいはエッチングによる方法によって作製されている。この場合、ブレーズド回折格子２０が全体に亘って均一な回折効率が得られるように、各斜面Ａ，Ｂが可能な限り平坦になるように作製されている。
【０００４】
しかしながら、ブレーズド回折格子のうち、入射光λに対する回折効果の大きい長辺部である斜面Ａに凹凸部を備えることによって、従来のブレーズド回折格子２０よりも輝度変化パターンを向上するとともに、観察領域の広域化を図ることができることがわかった。
【０００５】
すなわち、本発明は、入射光に対する回折効果の大きい長辺部によって形成されてなる斜面上に凹凸を設け、もって、従来技術よりも輝度変化パターンを向上するとともに、観察領域の広域化を図ることが可能なブレーズド回折格子を提供することを目的とする。
【０００６】
【目的を達成するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明では、以下のような手段を講じる。
【０００７】
すなわち、請求項１の発明は、長辺部と短辺部とが交互に規則的に配置されることによって、立断面形状が鋸刃形状となるような光入射面を有するブレーズド回折格子において、光入射面のうち長辺部によって形成されてなる少なくとも１つの斜面上に、直線状の凹部または凸部を１つあるいは複数備えている。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明のブレーズド回折格子において、光入射面のうち長辺部によって形成されてなる各面上に、直線状の凹部または凸部を、格子線の並列方向とほぼ平行になるように、１つあるいは複数備えている。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項１の発明のブレーズド回折格子において、光入射面のうち長辺部によって形成されてなる各面上に、直線状の凹部または凸部を、格子線の並列方向とほぼ直交するように、１つあるいは複数備えている。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１乃至３のうち何れか１項の発明のブレーズド回折格子において、凹部または凸部を各面上に３つ以上備えた場合には、各面上において、複数の凹部または凸部をそれぞれほぼ等ピッチで備えている。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項１乃至３のうち何れか１項の発明のブレーズド回折格子において、凹部または凸部を各面上に３つ以上備えた場合には、各面上において、複数の凹部または凸部をそれぞれ異なるピッチで備えている。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項４または請求項５の発明のブレーズド回折格子において、複数の凹部または凸部は、それぞれ形状および寸法をほぼ等しくしている。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項４または請求項５の発明のブレーズド回折格子において、複数の凹部または凸部のうち、形状および寸法のうちの少なくとも何れかが他とは異なる凹部または凸部を少なくとも１つ備えている。
【００１４】
従って、以上のような手段を講じたブレーズド回折格子においては、以下の（１）から（４）に示すように、従来のブレーズド回折格子ではなし得なかった作用効果を奏することができる。
【００１５】
（１）長辺部によって形成される斜面で回折した回折光の一部を、別の方向に射出することができる。その結果、特定の観察領域から観察した際に、輝度変化のあるパターンを知覚することができるようになる。
【００１６】
（２）観察領域を広げることができる。
【００１７】
（３）回折光の一部を散乱光にすることができ、白みを帯びた射出光を得ることができる。
【００１８】
（４）従来技術のブレーズド回折格子の作製に適用されている作製プロセスで模造することはもはや現実的に不可能である。その結果、許諾していない第３者によって作製されることはない。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２０】
なお、以下の各実施の形態の説明に用いる図中の符号は、図１２と同一部分については同一符号を付して示すことにする。
【００２１】
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態を図１から図５を用いて説明する。
【００２２】
図１は、第１の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図であって、各斜面Ａに凹部Ｃを２つずつ備えた構成である。
【００２３】
図２も、第１の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図であって、各斜面Ａに３つ以上の凹部Ｃを備え、凹部Ｃ同士を等ピッチで配置した構成である。
【００２４】
図３は、第１の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の変形構成例を示す斜視図であって、各斜面Ａに複数の凸部Ｄを備え、凸部Ｄ同士を等ピッチで配置した構成である。
【００２５】
すなわち、本実施の形態に係るブレーズド回折格子は、斜面Ａ上に、格子ピッチ方向（ジグザグ方向）に直線状に延びる凹部Ｃまたは凸部Ｄを備えている。
【００２６】
図１に示すようなブレーズド回折格子１０では、各斜面Ａ上にそれぞれ凹部Ｃが２本ずつ備えられた構成を一例として示しているが、凹部Ｃは、各斜面Ａ上に１本ずつ、あるいは図２に示すように３本以上ずつ備えられた構成としても良い。また、各斜面Ａ毎に、異なる本数の凹部Ｃをそれぞれ備えるようにしても良い。
【００２７】
凹部Ｃが、各斜面Ａに３本以上ずつ備えられた場合は、図２に示すようなブレーズド回折格子１１のように、同一斜面Ａ上に設けられた凹部Ｃは、それぞれ等ピッチｄで配置することによって構成している。
【００２８】
また、凹部Ｃに代えて凸部Ｄを備えるようにしても良い。図３に示すようなブレーズド回折格子１２は、図２に示す凹部Ｃに代えて、凸部Ｄを備えた構成の一例を示すものである。凹部Ｃおよび凸部Ｄの幅ｗは十分に光の散乱効果、もしくは光の回折効果を得るために数μｍ以下であることが望ましく、それはブレーズド回折格子２０の一般的な格子ピッチｄｙ（０．５〜１μｍ）と比較しても十分小さいため、加工も困難ではない。また、凹部Ｃの断面形状は、図４（ａ）、図４（ｂ）、および図４（ｃ）に示すように、半円形、三角形、四角形の形状とすることが望ましい。凸部Ｄの断面形状もまた、図４（ｄ）、図４（ｅ）、および図４（ｆ）に示すように、半円形、三角形、四角形の形状とすることが望ましい。
【００２９】
図４に示すような断面形状もまた、加工上の困難さを伴うものではない。しかしながら、このような凹部Ｃまたは凸部Ｄの形状、寸法、個数、配置方向等を再現するには、極めて複雑であるために、従来技術のブレーズド回折格子の作製に適用されている作製プロセスは容易ではなく、これら情報が提供されていない第３者が作製することは極めて困難である。
【００３０】
次に、以上のように構成した本実施の形態に係るブレーズド回折格子の作用について説明する。
【００３１】
図１２に示すように、斜面Ａを形成している長辺部と、斜面Ｂを形成している短辺部とが交互に規則的にジグザグ配置されることによって、立断面形状が鋸刃形状となるような光入射面を形成しているようなブレーズド回折格子では、斜面Ａにより入射光λの大部分を回折光として特定方向へ射出することができる。同時に、斜面Ｂによる回折光の発生を低く押さえることができる。
【００３２】
本実施の形態に係るブレーズド回折格子は、このような作用をもつ従来技術のブレーズド回折格子２０の斜面Ａ上に、例えば図１から図３に示すように、直線状の凹部Ｃまたは凸部Ｄを１つあるいは複数備えている。
【００３３】
このような構成によって、斜面Ａにおける回折光は、特定の一方向ではなく任意方向へと散乱される。特に、図２および図３に示すように、複数の凹部Ｃおよび凸部Ｄが離散的に存在する場合には、凹部Ｃおよび凸部Ｄにおいて、局所的な光の指向性散乱が得られる。
【００３４】
この散乱の程度は、凹部Ｃまたは凸部Ｄの配置方向、配置場所、数、形状およ寸法、隣接する凹部Ｃまたは凸部Ｄとのピッチからなるパラメータに依存する。したがって、これらパラメータの値を適宜調節することによって、回折光を所定方向へ振り分けることができるようになり、従来技術のブレーズド回折格子２０では奏することができなかった効果を得ることが可能となる。
【００３５】
例えば、従来技術のブレーズド回折格子２０では、回折光は一定方向にしか得られなかったため一様に輝くように見えていたが、本実施の形態に係るブレーズド回折格子では、回折光の光量を部分的に変化させることができるので、輝度変化のあるパターンを実現することが可能となる。特に、図２および図３に示すように、隣接する凹部Ｃまたは凸部Ｄ間のピッチｄが一定になるように配置することによって、ブレーズド回折格子の表面上において特定の光散乱効果を実現することが可能となる。
【００３６】
たとえば、直線状の凹部Ｃまたは凸部Ｄを、ブレーズド回折格子の格子ピッチｄｙの方向（ジグザグ方向）と平行に配置することによって、斜面Ａによる回折光を観察した際に、左右方向（格子ピッチｄｙの方向に直交する方向）に散乱する光を得ることができ、観察領域を左右方向に広げることが可能となる。
【００３７】
また、凹部Ｃおよび凸部Ｄ間の隣接ピッチｄを狭めることによって、入射光は効率良く散乱されるようになり、白みを帯びた射出光を観察することも可能となる。
【００３８】
なお、本実施の形態では、図１から図３に示すように、斜面Ａ上に凹部Ｃまたは凸部Ｄの何れかが選択的に配置された構成を示していているが、上述したような作用効果は、このような構成に限られるものではなく、斜面Ａ上に凹部Ｃおよび凸部Ｄの両方が配置された構成であっても同様の効果を実現することができる。
【００３９】
また、図５（ａ）および図５（ｂ）の立断面図に示すように、凹部Ｃおよび凸部Ｄの断面形状自体をブレーズド形状に加工するようにしても良い。このような構成とすることによって、光の射出方向に更にバリエーションを持たせるようにすることも可能となる。
【００４０】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態を図６から図７を用いて説明する。
【００４１】
図６は、第２の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図であって、各斜面Ａに複数の凹部Ｃを備え、隣接する凹部Ｃ同士のピッチｄがそれぞれ異なる（ｄ１≠ｄ２≠ｄ３≠ｄ４≠ｄ５）ように配置した構成である。
【００４２】
図７は、第２の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の変形構成例を示す斜視図であって、各斜面Ａに複数の凸部Ｄを備え、隣接する凸部Ｄ同士のピッチｄがそれぞれ異なる（ｄ１≠ｄ２≠ｄ３≠ｄ４）ように配置した構成である。
【００４３】
すなわち、本実施の形態に係るブレーズド回折格子は、斜面Ａ上に、格子ピッチ方向に直線状に延びる凹部Ｃまたは凸部Ｄを、各斜面Ａ上に３本以上ずつ備え、同一斜面Ａ上に設けられた凹部Ｃまたは凸部Ｄを、それぞれ隣接する凹部Ｃまたは凸部Ｄとのピッチが異なるようにしている。
【００４４】
図６に示すようなブレーズド回折格子１３は、同一斜面Ａ上に設けられた凹部Ｃを、それぞれ隣接する凹部Ｃとのピッチが異なるようにして配置した例を示している。
【００４５】
図６および図７いずれの場合であっても、隣接するピッチｄは、全てが異なる必要はなく、他とは異なるピッチを有する箇所が少なくとも１箇所あればよい。図７に示すようなブレーズド回折格子１４は、同一斜面Ａ上に設けられた凸部Ｄを、それぞれ隣接する凸部Ｄとのピッチが異なるようにして配置した例を示している。
【００４６】
凹部Ｃおよび凸部Ｄは十分に光の散乱効果、もしくは光の回折効果を得るために数μｍ以下であることが望ましく、それはブレーズド回折格子２０の一般的な格子ピッチｄｙ（０．５〜１μｍ）と比較しても十分小さいため、加工も困難ではない。また、凹部Ｃの断面形状は、図４（ａ）、図４（ｂ）、および図４（ｃ）に示すように、半円形、三角形、四角形の形状とすることが望ましい。凸部Ｄの断面形状もまた、図４（ｄ）、図４（ｅ）、および図４（ｆ）に示すように、半円形、三角形、四角形の形状とすることが望ましい。
【００４７】
このような断面形状もまた、加工上の困難さを伴うものではない。しかしながら、このような凹部Ｃまたは凸部Ｄの形状、寸法、個数、配置方向等を再現するには、極めて複雑であるために、従来技術のブレーズド回折格子の作製に適用されている作製プロセスは容易ではなく、これら情報が提供されていない第３者が作製することは極めて困難である。
【００４８】
次に、以上のように構成した本実施の形態に係るブレーズド回折格子の作用について説明する。
【００４９】
本実施の形態に係るブレーズド回折格子は、図１２に示すような従来技術のブレーズド回折格子２０の斜面Ａ上に、例えば図６から図７に示すように、直線状の凹部Ｃまたは凸部Ｄを３つ以上備え、さらに、隣接する凹部Ｃまたは凸部Ｄとのピッチのうち、他のピッチと異なる箇所が少なくとも１箇所あるように構成されている。
【００５０】
このような構成によって、斜面Ａにおける回折光は、特定の一方向ではなく任意方向へと散乱され、凹部Ｃおよび凸部Ｄのおのおのにおいて、局所的な光の指向性散乱が得られる。
【００５１】
この散乱の程度は、第１の実施の形態でも記載したように、凹部Ｃまたは凸部Ｄの配置方向、配置場所、数、形状および寸法、隣接する凹部Ｃまたは凸部Ｄとのピッチからなるパラメータに依存する。本実施の形態では、隣接する凹部Ｃおよび凸部Ｄのピッチのうち、他のピッチと異なる箇所が少なくとも１箇所あるように構成されているので、ピッチ鋸となる凹部Ｃまたは凸部Ｄにおいて、他の箇所とは異なる光散乱が実現される。
【００５２】
したがって、これらパラメータの値を適宜調節することによって、回折光を所定方向へ振り分けることができるようになり、従来技術によるブレーズド回折格子２０では奏することができなかった作用効果を得ることが可能となる。
【００５３】
例えば、従来技術によるブレーズド回折格子２０では、回折光は一定方向にしか得られなかったため一様に輝くように見えていたが、本実施の形態に係るブレーズド回折格子では、回折光の光量を部分的に変化させることができるので、輝度変化のあるパターンを実現することが可能となる。本実施の形態では、それに加えて、おのおのの凹部Ｃまたは凸部Ｄのピッチを変えることによって、それぞれ異なる光散乱を得ることが可能となる。
【００５４】
また、直線状の凹部Ｃまたは凸部Ｄを、ブレーズド回折格子のピッチ方向ｄｙと平行に配置しているので、第１の実施の形態と同様に、斜面Ａによる回折光を観察した際に、左右方向（ピッチ方向ｄｙに直交する方向）に散乱する光を得ることができ、観察領域を左右方向に広げることが可能となる。
【００５５】
なお、本実施の形態では、図６および図７に示すように、斜面Ａ上に凹部Ｃまたは凸部Ｄの何れかが選択的に配置された構成を示していているが、上述したような作用効果は、このような構成に限られるものではなく、斜面Ａ上に凹部Ｃおよび凸部Ｄの両方が配置された構成であっても同様の効果を実現することができる。
【００５６】
また、図５（ａ）および図５（ｂ）の立断面図に示すように、凹部Ｃおよび凸部Ｄの断面形状自体をブレーズド形状に加工するようにしても良い。このような構成とすることによって、光の射出方向に更にバリエーションを持たせるようにすることも可能となる。
【００５７】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態を図８から図９を用いて説明する。
【００５８】
図８は、第３の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図であって、各斜面Ａに凹部Ｃを３つずつ備え、隣接する凹部Ｃ同士を等ピッチで配置した構成である。
【００５９】
図９も、第３の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図であって、各斜面Ａに凸部Ｄを３つずつ備え、隣接する凸部Ｄ同士を等ピッチで配置した構成である。
【００６０】
すなわち、本実施の形態に係るブレーズド回折格子は、斜面Ａ上に、格子ピッチ方向（ジグザグ方向）とほぼ直交するように直線状に延びる凹部Ｃまたは凸部Ｄを、各斜面Ａ上に３本以上ずつ備え、同一斜面Ａ上に設けられた凹部Ｃまたは凸部Ｄを、それぞれ隣接する凹部Ｃまたは凸部Ｄとのピッチｄを等しくしている。
【００６１】
図８に示すブレーズド回折格子１５は、同一斜面Ａ上に設けられた凹部Ｃを、それぞれ隣接する凹部Ｃとのピッチｄが等しくなるように配置した例を示している。
【００６２】
図９に示すブレーズド回折格子１６は、同一斜面Ａ上に設けられた凸部Ｄを、それぞれ隣接する凸部Ｄとのピッチｄが等しくなるようにして配置した例を示している。
【００６３】
部Ｃおよび凸部Ｄの幅ｗは十分に光の散乱効果、もしくは光の回折効果を得るために数μｍ以下であることが望ましく、それはブレーズド回折格子２０の一般的な格子ピッチｄｙ（０．５〜１μｍ）と比較しても十分小さいため、加工も困難ではない。また、図４に示すように、凹部Ｃおよび凸部Ｄの断面形状は、半円形、三角形、四角形の形状とすることが望ましい。このような断面形状もまた、加工上の困難さを伴うものではない。しかしながら、このような凹部Ｃまたは凸部Ｄの形状、寸法、個数、配置方向等を再現するには、極めて複雑であるために、従来技術のブレーズド回折格子の作製に適用されている作製プロセスは容易ではなく、これら情報が提供されていない第３者が作製することは極めて困難である。
【００６４】
本実施の形態に係るブレーズド回折格子は、上述したように構成しているので、第１の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。ただし、凹部Ｃおよび凸部Ｄの延伸方向が、第１の実施の形態の場合に対してほぼ直交する方向になるようにしているので、斜面Ａによる回折光を観察した際に、格子ピッチｄｙの方向に散乱する光を得ることができ、観察領域を格子ピッチｄｙの方向に広げることが可能となる。
【００６５】
（第４の実施の形態）
第４の実施の形態を図１０から図１１を用いて説明する。
【００６６】
図１０は、第４の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図であって、各斜面Ａに凹部Ｃを３つずつ備え、隣接する凹部Ｃ同士のピッチがそれぞれ異なる（ｄ１≠ｄ２）ように配置した構成である。
【００６７】
図１１も、第４の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図であって、各斜面Ａに凸部Ｄを３つずつ備え、隣接する凸部Ｄ同士のピッチがそれぞれ異なる（ｄ１≠ｄ２）ように配置した構成である。
【００６８】
すなわち、本実施の形態に係るブレーズド回折格子は、斜面Ａ上に、格子ピッチ方向とほぼ直交するように直線状に延びる凹部Ｃまたは凸部Ｄを、各斜面Ａ上に３本以上ずつ備え、同一斜面Ａ上に設けられた凹部Ｃまたは凸部Ｄを、それぞれ隣接する凹部Ｃまたは凸部Ｄとのピッチが異なるようにしている。
【００６９】
図１０に示すようなブレーズド回折格子１７は、同一斜面Ａ上に設けられた凹部Ｃを、それぞれ隣接する凹部Ｃとのピッチが異なるように配置した例を示している。
【００７０】
図１１に示すようなブレーズド回折格子１８は、同一斜面Ａ上に設けられた凸部Ｄを、それぞれ隣接する凸部Ｄとのピッチが異なるようにして配置した例を示している。
【００７１】
図１０および図１１いずれの場合であっても、隣接するピッチは全てが異なる必要はなく、他とは異なるピッチを有する箇所が少なくとも１箇所あればよい。
【００７２】
凹部Ｃおよび凸部Ｄは十分に光の散乱効果、もしくは光の回折効果を得るために数μｍ以下であることが望ましく、それはブレーズド回折格子２０の一般的な格子ピッチｄｙ（０．５〜１μｍ）と比較しても十分小さいため、加工も困難ではない。また、図４に示すように、凹部Ｃおよび凸部Ｄの断面形状は、半円形、三角形、四角形の形状とすることが望ましい。このような断面形状もまた、加工上の困難さを伴うものではない。しかしながら、このような凹部Ｃまたは凸部Ｄの形状、寸法、個数、配置方向等を再現するには、極めて複雑であるために、従来技術のブレーズド回折格子の作製に適用されている作製プロセスは容易ではなく、これら情報が提供されていない第３者が作製することは極めて困難である。
【００７３】
本実施の形態に係るブレーズド回折格子は、上述したように構成しているので、第２の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。ただし、凹部Ｃおよび凸部Ｄの延伸方向が、第１の実施の形態の場合に対してほぼ直交する方向になるようにしているので、斜面Ａによる回折光を観察した際に、格子ピッチｄｙの方向に散乱する光を得ることができ、観察領域を格子ピッチｄｙの方向に広げることが可能となる。
【００７４】
以上、本発明の好適な実施の形態について、添付図面を参照しながら説明したが、本発明はかかる構成に限定されない。特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の技術的範囲に属するものと了解される。たとえば、上記各実施例では、反射型のブレーズド回折格子についてその効果を説明したが、上述したような作用効果は、反射型のブレーズド格子格子の場合のみならず、透過型のブレーズド回折格子に対してであっても同様に奏することができる。
【００７５】
【発明の効果】
本発明によるブレーズド回折格子は以上説明したような構成により、以下のような効果を実現することができる。
【００７６】
（１）ブレーズド回折格子の緩やかな斜面上に直線状の微細な凹部／凸部を構成したことにより回折光の一部を別の方向に射出することができ、特定の観察領域から観察した際に輝度変化のあるパターンを実現することができる。
【００７７】
（２）ブレーズド回折格子の緩やかな斜面上に直線状の微細な凹部／凸部を備えたことにより回折光の一部を別の方向に射出することができ、観察領域を広げることができる。
【００７８】
（３）ブレーズド回折格子の緩やかな斜面上に直線状の微細な凹部／凸部を構成したことにより回折光の一部を散乱光にすることができ、白みを帯びた射出光を得ることができる。
【００７９】
（４）ブレーズド回折格子の緩やかな斜面上に微細な凹部／凸部を所定の仕様で備えた構成とすることにより、通常のブレーズド回折格子の作製プロセスだけでは模造が不可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図（各斜面Ａに凹部を２つずつ備えた場合）
【図２】第１の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図（各斜面Ａに３つ以上の凹部をそれぞれ等ピッチで備えた場合）
【図３】第１の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の変形構成例を示す斜視図（各斜面Ａに３つ以上の凸部をそれぞれ等ピッチで備えた場合）
【図４】凹部および凸部の断面形状の例を示す断面図
【図５】ブレーズド形状加工された凹部および凸部の例を示す模式図
【図６】第２の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図（各斜面Ａに３つ以上の凹部をそれぞれ異なるピッチで備えた場合）
【図７】第２の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図（各斜面Ａに３つ以上の凸部をそれぞれ異なるピッチで備えた場合）
【図８】第３の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図（各斜面Ａに３つ以上の凹部をそれぞれ等ピッチで備えた場合）
【図９】第３の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図（各斜面Ａに３つ以上の凸部をそれぞれ等ピッチで備えた場合）
【図１０】第４の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図（各斜面Ａに３つ以上の凹部をそれぞれ異なるピッチで備えた場合）
【図１１】第４の実施の形態に係るブレーズド回折格子の光入射面の構成例を示す斜視図（各斜面Ａに３つ以上の凸部をそれぞれ異なるピッチで備えた場合）
【図１２】従来技術によるブレーズド回折格子の断面構造図
【符号の説明】
ｄｙ…格子ピッチ、Ａ，Ｂ…斜面、Ｃ…凹部、Ｄ…凸部、λ…入射光、１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０…ブレーズド回折格子、２２…光入射面
【図１】
2004246193.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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