(57)【要約】【課題】挿入損失を増大させること無く、減衰量が大きい周波数領域を拡大した弾性表面波装置を提供する。【解決手段】入力端子ＩＮと出力端子ＯＵＴとの間の直列に接続配置した複数の直列腕共振器５４〜５６と、直列とグランド端子ＧＮＤとの間の複数の並列に配置した複数の並列腕共振器５７〜６０とを有するとともに、全ての並列腕共振器５７〜６０の反共振周波数を略一致させ、かつ、一部の並列腕共振器５７、６０の共振周波数と他の並列腕共振器５８、５９の共振周波数とを異ならせる。【選択図】図４
2004007094.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に、共通電極と複数の電極指とからなる２つの櫛歯状電極を前記複数の電極指が互いにかみ合うように配置してなるインターデジタルトランスデューサと該インターデジタルトランスデューサを挟み込むように形成された１対の反射器とよりなる複数の弾性表面波共振器と、入力端子と、出力端子と、グランド端子と、これらを接続する配線パターンとを有する弾性表面波装置であって、
前記複数の弾性表面波共振器は、入力端子と出力端子との間に直列的に接続配置した複数の直列腕共振器と、各直列腕共振器の入力端子側あるいは出力端子側とグランド端子との間に配置した複数の並列腕共振器とから成り、前記全ての並列腕共振器の反共振周波数を略一致させながら、前記複数の並列腕共振器うち、少なくとも１つの並列腕共振器の共振周波数が、他の並列腕共振器の共振周波数と異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項２】
前記全ての直列腕共振器の共振周波数を略一致させながら、前記直列腕共振器のうち、少なくとも１つの直列腕共振器の反共振周波数が、他の直列腕共振器の反共振周波数と異なっていることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項３】
圧電基板上に、共通電極と複数の電極指とからなる２つの櫛歯状電極を前記複数の電極指が互いにかみ合うように配置してなるインターデジタルトランスデューサと該インターデジタルトランスデューサを挟み込むように形成された１対の反射器とよりなる複数の弾性表面波共振器と、入力端子と、出力端子と、グランド端子と、これらを接続する配線パターンとを有する弾性表面波装置であって、
前記複数の弾性表面波共振器は、入力端子と出力端子との間に直列的に接続配置した複数の直列腕共振器と、各直列腕共振器の入力端子側あるいは出力端子側とグランド端子との間に配置した複数の並列腕共振器とから成り、
前記全ての直列腕共振器の共振周波数を略一致させながら、前記直列腕共振器のうち、少なくとも１つの直列腕共振器の反共振周波数が、他の直列腕共振器の反共振周波数と異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項４】
前記弾性表面波共振器の前記電極指幅をＬ、隣り合う電極指の間隔をＳとして、式（Ｄ＝Ｌ／（Ｌ＋Ｓ））から導かれるメタライゼーション比Ｄが、前記少なくとも一つの並列腕共振器と前記他の並列腕共振器との間で異なっていることを特徴とする請求項１又は２いずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項５】
前記弾性表面波共振器の前記電極指幅をＬ、隣り合う電極指の間隔をＳとして、式（Ｄ＝Ｌ／（Ｌ＋Ｓ））から導かれるメタライゼーション比Ｄが、前記少なくとも一つの直列腕共振器と前記他の直列腕共振器との間で異なっていることを特徴とする請求項２又は３いずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項６】
前記弾性表面波共振器の電極指の厚みが、前記少なくとも一つの並列腕共振器と前記他の並列腕共振器との間で異なっていることを特徴とする請求項１又は２いずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項７】
前記弾性表面波共振器の電極指の厚みが、前記少なくとも一つの直列腕共振器と前記他の直列腕共振器との間で異なっていることを特徴とする請求項２又は３いずれかに記載の弾性表面波装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、移動体通信機器等の無線通信回路の帯域通過フィルタに用いられる弾性表面波装置に関するものであり、特に複数の弾性表面波共振器を梯子型に接続してラダー型フィルタを構成した弾性表面波装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、移動体通信機器において高周波用の帯域フィルタと用いられる弾性表面波装置が知られている。例えば、特公昭５６−１９７６５号公報には、圧電基板上に複数の弾性表面波共振器を形成してラダー型フィルタ回路を構成して成る弾性表面波装置が開示されている。
【０００３】
図９に上述の先行技術に代表される一般的な弾性表面波装置の回路構成を示す。弾性表面波装置５１０は、弾性表面波共振器５３０、５４０、５５０、５２５、５３５、５４５、５５５がラダー（梯子）型に互いに接続されている。また、この共振器５３０、５４０・・・の具体的な電極構造を図１０に示す。
【０００４】
図１０は１ポート型の弾性表面波共振器７００の電極部分のみを模式的に示した平面図である。共振器７００は中央に配置されたインターデジタルトランスデューサ（以下、ＩＤＴ）７１０の両側に反射器７２０、７３０を配置した構造を有する。ＩＤＴ７１０は、櫛歯状電極７１０ａと、櫛歯状電極７１０ｂとが互いに噛み合う構造を有する。このような構造の共振器７００のＩＤＴ７１０で励振された表面波が、反射器７２０、７３０で反射されて定在波が発生し、反射器７２０、７３０間にこの定在波が閉じ込められ共振器７００は高いＱ値を有する共振器として動作する。この共振器７００のインピーダンス特性においては、周知のように、インピーダンスが非常に低くなる共振周波数と、インピーダンスが非常に高くなる反共振周波数が存在する。
【０００５】
そして、図９に示すように弾性表面波装置５１０の共振器５３０、５４０・・・の接続は、入力端子５７０と出力端子５８０との間の直列に共振器５３０、５４０、５５０が互いに直列に接続されている（以下、この共振器のそれぞれを「直列腕共振器」という）。また、その直列とグランド端子との間の並列に、共振器５２５、５３５、５４５、５５５が並列に接続されている（以下、この共振器のそれぞれを「並列腕共振器」という）。なお、直列腕共振器５３０、５４０、５５０と並列腕共振器と５２５、５３５、５４５、５５５とは、入出力間において、それぞれ交互に接続配置されている。この直列腕共振器５３０と並列腕共振器５２５の１組で１段のＳＡＷフィルタを構成している。
【０００６】
直列腕共振器５３０、５４０、５５０、並列腕共振器５２５、５３５、５４５、５５５共に前述のような所定のインピーダンス特性を有するため、直列腕共振器５３０、５４０、５５０の共振周波数と、並列腕共振器５２５、５３５、５４５、５５５の反共振周波数と略一致させることにより、入出力インピーダンスを特性インピーダンスと整合させて通過帯域を構成している。
【０００７】
また、並列腕共振器５２５、５３５、５４５、５５５の共振周波数付近では非常に低いインピーダンスとなって通過帯域より低周波側の減衰極が形成され、逆に直列腕共振器５３０、５４０、５５０の反共振周波数付近では非常に高いインピーダンスとなって通過帯域より高周波側の減衰極が形成される。図１１（ａ）に直列腕共振器５３０、５４０、５５０、及び並列腕共振器５２５、５３５、５４５、５５５のインピーダンス特性を、図１１（ｂ）にこれらの組み合わせで得られるフィルタの伝送特性を示す。
【０００８】
しかし、このようなラダー型フィルタにおいては、減衰極における減衰量は大きいものの減衰極から離れると急速に減衰量が小さくなり、減衰量が大きい周波数領域が狭い為、改善が求められている。
【０００９】
この問題を改善する方法として、通過帯域より低周波側の阻止域において減衰量が大きい領域を拡大する為には、一部の並列腕共振器の電極指ピッチを他の並列腕共振器と異ならせ、通過帯域より高周波側の阻止域において減衰量が大きい領域を拡大する為には、一部の直列腕共振器の電極指ピッチを他の直列腕共振器と異ならせ、それぞれ減衰極を分散させる方法がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
例えば、図９の弾性表面波装置５１０において、複数の並列腕共振器５２５〜５５５のうち、２つの並列腕共振器５２５、５５５の電極指ピッチを他の並列腕共振器５３５、５４５の電極指ピッチより広くすることで、図１２に示すように並列腕共振器５２５、５５５の共振周波数ｆｒ２を他の並列腕共振器５３５、５４５の共振周波数ｆｒ１より低周波側にシフトさせ、それによりフィルタの伝送特性上の通過帯域より低周波側に存在する減衰極を分散させ、減衰量が大きい周波数領域を広げることができる。しかし、それに伴って並列腕共振器５２５、５５５の反共振周波数ｆａ２も同時に他の並列腕共振器５３５、５４５の反共振周波数ｆａ１から低周波側にシフトするため、図４の比較例に示すように、通過帯域の挿入損失が増大するという問題が生じる。この例では図４（ｂ）から判るように、通過帯域の高周波側の挿入損失が顕著に悪化している。
【００１１】
同様に、直列腕共振器５３０〜５５０において一部の直列腕共振器の電極指ピッチを他の直列腕共振器の電極指ピッチより広く又は狭くすることにより、一部の直列腕共振器の反共振周波数を他の直列腕共振器の反共振周波数と異ならせることにより、フィルタの伝送特性上の通過帯域より高周波側に存在する減衰極を分散させ、減衰量が大きい領域を広げることができるが、同時に共振周波数も変化する為、やはり通過帯域の挿入損失が悪化する問題が生じる。
【００１２】
この問題を解決する為、特開平１１−５５０６７号公報には、一部の並列腕共振器において、並列腕共振器を基準電位に接続する為のワイヤの長さを、他の並列腕共振器と異ならせることによりワイヤ自体のもつインダクタンス値を異ならせ、通過帯域より低周波側の阻止域の減衰極を分散させて減衰量の大きい周波数領域を広げる手法が開示されている。これによれば並列腕共振器の反共振周波数を変化させずに共振周波数のみを変化させる為、通過帯域の挿入損失を悪化させること無く、通過帯域より低周波側の阻止域に存在する減衰極を分散させて、減衰量が大きい周波数領域を広げることが出来る。
【００１３】
しかしながら、この手法ではワイヤの長さを長くすることや電極面積を大きくする必要があり、小型・低背化が強く要求される移動体通信機用のＳＡＷフィルタには適用が難しい。また現在では小型化の要求に対応するべく弾性表面波素子をパッケージにフリップチップ実装した弾性表面波フィルタが主流になっているが、これには前記公報の技術を適用することは不可能である。
【００１４】
本発明は上述の問題点に鑑みて案出されたものであり、通過帯域における挿入損失を維持したままで、通過帯域より低周波側と高周波側の阻止域において、減衰量が大きい周波数領域を広くする事ができ、同時に小型化にも対応可能な弾性表面波装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために請求項１に記載の発明では、圧電基板上に、共通電極と複数の電極指とからなる２つの櫛歯状電極を前記複数の電極指が互いにかみ合うように配置してなるインターデジタルトランスデューサと該インターデジタルトランスデューサを挟み込むように形成された１対の反射器とよりなる複数の弾性表面波共振器と、入力端子と、出力端子と、グランド端子と、これらを接続する配線パターンとを有する弾性表面波装置であって、
前記複数の弾性表面波共振器は、入力端子と出力端子との間に直列的に接続配置した複数の直列腕共振器と、各直列腕共振器の入力端子側あるいは出力端子側とグランド端子との間に配置した複数の並列腕共振器とから成り、前記全ての並列腕共振器の反共振周波数を略一致させながら、前記複数の並列腕共振器うち、少なくとも１つの並列腕共振器の共振周波数が、他の並列腕共振器の共振周波数と異なっていることを特徴とする弾性表面波装置を提供する。
【００１６】
また、請求項２に記載の発明では、全ての並列腕共振器の反共振周波数を略一致させながら、前記並列腕共振器のうち、少なくとも１つの並列腕共振器の共振周波数が、他の並列腕共振器の共振周波数と異なっており、且つ、全ての直列腕共振器の共振周波数を略一致させながら、前記直列腕共振器のうち、少なくとも１つの直列腕共振器の反共振周波数が、他の直列腕共振器の反共振周波数と異なっていることを特徴とする弾性表面波装置を提供する。
【００１７】
また、請求項３に記載の発明では、全ての直列腕共振器の共振周波数を略一致させながら、前記直列腕共振器のうち、少なくとも１つの直列腕共振器の反共振周波数が、他の直列腕共振器の反共振周波数と異なっていることを特徴とする弾性表面波装置弾性表面波装置を提供する。
【００１８】
また、請求項４、５に記載の発明では、前記弾性表面波共振器の前記電極指幅をＬ、隣り合う電極指の間隔をＳとして、式（Ｄ＝Ｌ／（Ｌ＋Ｓ））から導かれるメタライゼーション比Ｄが、前記少なくとも一つの並列腕共振器と前記他の並列腕共振器との間で異なっているか、及び／または、少なくとも一つの直列腕共振器と前記他の直列腕共振器との間で異なっていることを特徴とする弾性表面波装置を提供する。
【００１９】
また、請求項６、７に記載の発明では、前記弾性表面波共振器の電極指の厚みを異ならせることで、前記少なくとも一つの並列腕共振器と前記他の並列腕共振器との間で異なっているか、及び／または、少なくとも一つの直列腕共振器と前記他の直列腕共振器との間で異なっていることを特徴とする弾性表面波装置を提供する。
【作用】
本発明の構成によれば、全ての並列腕共振器の反共振周波数を略一致させながら、前記複数の並列腕共振器うち、少なくとも１つの並列腕共振器の共振周波数が、他の並列腕共振器の共振周波数と異なっていることにより、フィルタの伝送特性で、通過帯域における挿入損失を増加させずに、通過帯域より低周波側の阻止域に存在する減衰極を分散させ、減衰量が大きい周波数領域を広げることができる。
【００２０】
また同様にして、本発明によれば、全ての直列腕共振器の共振周波数を略一致させながら、前記複数の直列腕共振器のうち、少なくとも１つの直列腕共振器の反共振周波数が、他の直列腕共振器の反共振周波数と異なっていることにより、フィルタの伝送特性で、通過帯域における挿入損失を増加させずに、通過帯域より高周波側の阻止域に存在する減衰極を分散させ、減衰量が大きい周波数領域を広げることができる。
【００２１】
また同様にしてこれらを組合わせることにより、通過帯域より低周波側の阻止域に存在する減衰極を分散させ、同時に高周波側の阻止域に存在する減衰極を分散させ、減衰量が大きい周波数領域を広げることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の弾性表面波装置を図面に基づいて詳説する。
図１は本発明の実施の形態に係る弾性表面波装置の構造を示す図であり、図２は本発明の特徴部分を説明するための並列腕共振器の拡大図である。
【００２３】
図１において、弾性表面波装置Ａは入力端子（ＩＮ）と出力端子（ＯＵＴ）との間の直列に複数の直列腕共振器５４、５５、５６が直列に接続され、前記直列とグランド端子（ＧＮＤ）との間の複数の並列に、並列腕共振器５７、５８、５９、６０がそれぞれ並列に接続されている。
【００２４】
直列腕共振器５４、５５、５６及び並列腕共振器５７、５８、５９、６０は、圧電基板１の主面に何れも中央にＩＤＴ５４ａ〜６０ａを有し、その両側に反射器５４ｂ、５４ｃ、５５ｂ、５５ｃ・・・６０ｂ、６０ｃを形成した構造を有する。
【００２５】
圧電基板１は所定カット角、所定伝搬方向となるように矩形状に切断処理された水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、四ホウ酸リチウム等から成る。
また、ＩＤＴ５４ａ〜６０ａ及びその両側の反射器５４ｂ〜６０ｃは、例えば、アルミニウム薄膜からなり、その厚みは０．２μｍ程度で所定のパターンに被着形成されている。また、ＩＤＴ５４ａ〜６０ａ及びその両側の反射器５４ｂ〜６０ｃの電極指幅及び電極指間隔は、例えば、弾性表面波の波長λに対して略１／４λとなっている。
【００２６】
そして、入力端子（ＩＮ）から直列にＩＤＴ５４ａ〜５６ａが接続され出力端子（ＯＵＴ）につながって直列を形成している。また、ＩＤＴ５７ａ〜６０ａの一方側が各反射器５７ｂ、５８ｃ、５９ｃ、６０ｂを通じて直列に接続されており、他方側が各反射器５７ｃ、５８ｂ、５９ｂ、６０ｃによりグランド端子（ＧＮＤ）に接続されて各並列を形成している。
【００２７】
そして、本実施の形態では並列腕共振器５７〜６０のうち、並列腕共振器５７、６０の共振周波数と反共振周波数との差が他の並列腕共振器５８、５９の共振周波数と反共振周波数との差と相違している。
以下にＩＤＴ５４ａ〜６０ａの電極構造を説明する。図２（ａ）（ｂ）に並列腕共振器５７〜６０のＩＤＴ５７ａ〜６０ａの構造を示す。図２において（ａ）はＩＤＴ５８ａ、５９ａの要部拡大図、（ｂ）はＩＤＴ５７ａ、６０ａの要部拡大図である。特に図２では、電極指幅をＬ、電極指間隔をＳ、電極指幅Ｌと電極指間隔Ｓとを合わせた長さを電極指ピッチＰとして記載している。
【００２８】
本実施の形態において、特徴的なところは、全ての並列腕共振器の反共振周波数を略一致させながら、複数の並列腕共振器うち、少なくとも１つの並列腕共振器の共振周波数が、他の並列腕共振器の共振周波数と異なっていることにある。
【００２９】
具体的な手段として、例えば、電極指ピッチＰはそのままで、電極指ピッチＰに対する電極指幅Ｌの比であるメタライゼーション比Ｄを変化させている。このメタライゼーション比は以下の式で表される。
Ｄ＝Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）
図のＩＤＴ５８ａ、５９ａは（ａ）に示すようにメタライゼーション比を０．３５に設計している。また、ＩＤＴ５７ａ、６０ａは、（ｂ）に示すように、メタライゼーション比を０．６５に設計している。なお、ＩＤＴ５４ａ〜６０ａの厚みは一定の厚さに設計されている。
【００３０】
このように、一部の並列腕共振器５７、６０のメタライゼーション比Ｄを他の並列腕共振器５８、５９のメタライゼーション比Ｄと異ならせることによって、一部の並列腕共振器５７、６０の共振周波数と反共振周波数との差を他の並列腕共振器５８、５９の共振周波数と反共振周波数との差と異ならせ、次にメタライゼーション比Ｄは変えずに一部の並列腕共振器５７、６０の電極指ピッチを大きく（または小さく）することによって一部の並列腕共振器５７、６０のインピーダンス特性を周波数軸上で低周波側に（または高周波側に）シフトさせ、一部の並列腕共振器５７、６０の反共振周波数を他の並列腕共振器５８、５９の反共振周波数と略一致させる。こうして全ての並列腕共振器５７〜６０の反共振周波数を略一致させながら、一部の並列腕共振器の共振周波数を、他の並列腕共振器の共振周波数と異ならせることができるものである。これにより、フィルタの伝送特性において通過帯域における挿入損失を増加させること無く、通過帯域より低周波側の阻止域に存在する減衰極を分散させ、減衰量が大きい周波数領域を広げることができる。
【００３１】
また、直列腕共振器５４〜５６中の一部の直列腕共振器におけるメタライゼーション比Ｄを異ならせた場合も同様の効果が得られる。例えば、一部の直列腕共振器５５のメタライゼーション比Ｄを他の直列腕共振器５４、５６のメタライゼーション比Ｄと異ならせることによって一部の直列腕共振器５５の共振周波数と反共振周波数との差を他の直列腕共振器５４、５６の共振周波数と反共振周波数との差と異ならせ、次にメタライゼーション比Ｄは変えずに一部の直列腕共振器５５の電極指ピッチを大きく（または小さく）することによって一部の直列腕共振器５５のインピーダンス特性を周波数軸上で低周波側に（または高周波側に）シフトさせ、一部の直列腕共振器５５の共振周波数を他の直列腕共振器５４、５６の共振周波数と略一致させる。こうして全ての直列腕共振器５４〜５６の共振周波数を略一致させたままで、一部の直列腕共振器の反共振周波数を、他の直列腕共振器の反共振周波数と異ならせることができるものである。これによってフィルタの伝送特性において、通過帯域における挿入損失を増加させること無く、通過帯域より高周波側の阻止域に存在する減衰極を分散させ、減衰量が大きい周波数領域を広げることが出来る。
【００３２】
また、これらを組み合わせることにより、通過帯域より低周波側の阻止域に存在する減衰極を分散させると同時に高周波側の阻止域に存在する減衰極を分散させ、低周波側と高周波側の両方の阻止域に於いて減衰量が大きい周波数領域を広げることができる。
【００３３】
なお、上記実施の形態では、弾性表面波装置Ａにおいて、一部の弾性表面波共振器の共振周波数と反共振周波数との差を他の弾性表面波共振器の共振周波数と反共振周波数との差と異ならせることを、弾性表面波共振器のメタライゼーション比を異ならせることで実現した。これは図７に示すように、電極指のメタライゼーション比を変化させることで弾性表面波共振器の共振周波数と反共振周波数の差である△ｆが変化する為である。しかしこれに限定されず、図８に示すように、弾性表面波共振器Ａにおいて、一部の弾性表面波共振器の電極膜厚を変えることでも共振周波数と反共振周波数の差である△ｆが変化し、同様の効果を得ることが出来る。
【００３４】
具体的には、一部の並列腕共振器の電極指の膜厚を他の並列腕共振器の電極指膜厚よりも厚くすることにより、一部の並列腕共振器の共振周波数と反共振周波数との差を他の並列腕共振器の共振周波数と反共振周波数との差と異ならせ、次にメタライゼーション比Ｄは変えずに一部の並列腕共振器の電極指ピッチを大きく（または小さく）することによって一部の並列腕共振器のインピーダンス特性を周波数軸上で低周波側に（または高周波側に）シフトさせ、一部の並列腕共振器の反共振周波数を他の並列腕共振器の反共振周波数と略一致させる。こうして全ての並列腕共振器の反共振周波数を略一致させながら、一部の並列腕共振器の共振周波数を、他の並列腕共振器の共振周波数と異ならせることができる。直列腕共振器においても同様の手法で共振周波数と反共振周波数との差を変化させることができる。
【００３５】
さらに他の方法としては、一部の弾性表面波共振器の電極材料や圧電材料を他の弾性表面波共振器と相違させることでも、共振周波数と反共振周波数との差を他の弾性表面波共振器と相違させることができる。
【００３６】
【実施例】
（実験例１）
本発明の効果を実証するのに、図１の弾性表面波装置Ａを作製した。具体的には以下の寸法で作製した。図３には並列腕共振器５７、６０のメタライゼーション比を０．６５、それ以外の並列腕共振器５８、５９のメタライゼーション比を０．３５にし、直列腕共振器５４〜５６のメタライゼーション比を０．５に設定した場合の各共振器のインピーダンス特性を示す。なお、図３では縦軸はインピーダンス（Ω）であり、横軸は周波数（ＭＨｚ）としている。
【００３７】
図に示すように、並列腕共振器５７、６０と並列腕共振器５８、５９の反共振周波数ｆａが略一致したままで、並列腕共振器５７、６０の共振周波数ｆｒ２と並列腕共振器５８、５９の共振周波数ｆｒ１とが異なっていることが判る。
（実験例２）
図４（ａ）に上述の直列腕共振器５４〜５６と並列腕共振器５７〜６０による図１の弾性表面波装置Ａによるフィルタの伝送特性を示す。比較例として、図９の弾性表面波装置５１０の並列腕共振器５２５、５５５の電極指ピッチを他の並列腕共振器５３５、５４５の電極指ピッチに比べて大きすることにより通過帯域より低周波側の減衰極を分散させた場合の弾性表面波フィルタの伝送特性も同時に示す。図４（ｂ）は図４（ａ）の通過帯域付近の拡大図である。なお、図の縦軸は減衰量（ｄＢ）であり、横軸は周波数（ＭＨｚ）である。
【００３８】
図４（ａ）によれば、本発明も比較例も通過帯域より低周波側の阻止域における減衰極を分散させることにより、減衰量が大きい周波数領域を広げることができているが、図４（ｂ）を見ると、比較例は本発明に比べて通過帯域の高域側である１９７０〜１９９０ＭＨｚ付近の挿入損失が増大し、挿入損失の規格を満足していないことが判る。
【００３９】
この比較例では、一部の並列腕共振器５２５、５５５の電極指ピッチを広くすることによって図１２に示すように共振周波数をｆｒ１からｆｒ２にシフトさせているが、これに伴って同じように反共振周波数がｆａ１からｆａ２にシフトしており、これによって通過帯域の挿入損失が増大してしまうのである。
【００４０】
これに対して、本発明では図３に示すように、並列腕共振器５７〜６０全ての反共振周波数ｆａを略一致させているために通過帯域の高周波側である１９７０〜１９９０ＭＨｚ付近の挿入損失が増大することは無い。
（実験例３）
上記実験例１では並列腕共振器のメタライゼーション比を高くさせる例で示したが、直列腕共振器のメタライゼーション比を変化させた場合の共振器とフィルタの特性を図５、図６に示す。
【００４１】
図１の弾性表面波装置Ａにおいて、直列腕共振器５５のメタライゼーション比を０．６５、他の直列腕共振器５４、５６のメタライゼーション比を０．３５とし、並列腕共振器のメタライゼーション比を全て０．５とした。図５は、それぞれの共振器の周波数特性であり、図６はその場合のフィルタの伝送特性である。図６には比較例として、図９の弾性表面波装置５１０において直列腕共振器５４０の電極指ピッチを他の直列腕共振器５３０、５５０の電極指ピッチより小さくすることにより、通過帯域より高周波側の減衰極を分散させた場合のフィルタの伝送特性も同時に示す。
【００４２】
図５に示すように、直列腕共振器５５のメタライゼーション比を０．６５、他の直列腕共振器５４、５６のメタライゼーション比を０．３５とすることにより、直列腕共振器５５の共振周波数ｆｒと反共振周波数ｆａ２の差を他の直列腕共振器５４、５６の共振周波数ｆｒと反共振周波数ｆａ１の差と異ならせ、かつ共振周波数ｆｒを他の直列腕共振器と一致させることにより、共振周波数ｆｒを略一致させたままで直列腕共振器５５の反共振周波数ｆａ２と他の直列腕共振器５４、５６の反共振周波数ｆａ１とを異ならせることができる。
【００４３】
それによって図６に示すように、通過帯域より高周波側の阻止域の１９３０ＭＨｚ付近に反共振周波数ｆａ１に対応する減衰極が、１９４６ＭＨｚ付近に反共振周波数ｆａ２に対応する減衰極がそれぞれ形成され、このように減衰極を分散させることにより減衰量が大きい周波数領域を広げることが出来る。なお、全ての直列腕共振器の共振周波数は略一致しているので、比較例のように通過帯域の挿入損失が増加することも無い。
【００４４】
【発明の効果】
本発明の構成によれば、全ての並列腕共振器の反共振周波数を略一致させたままで、少なくとも１つの並列腕共振器の共振周波数と他の並列腕共振器の共振周波数とを異ならせ、及び／または、全ての直列腕共振器の共振周波数を略一致させたままで、少なくとも１つの直列腕共振器の反共振周波数と他の直列腕共振器の反共振周波数とを異ならせることにより、フィルタの伝送特性において、通過帯域の挿入損失を増大させること無く、減衰極を分散させて減衰量が大きい周波数領域を広げることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の弾性表面波装置の平面図である。
【図２】（ａ）（ｂ）は並列腕共振器のＩＤＴの要部拡大図である。
【図３】本発明の弾性表面波共振器のインピーダンス特性を示す図である。
【図４】（ａ）は本発明と比較例の弾性表面波フィルタの伝送特性を示す図であり、（ｂ）は（ａ）の通過帯域付近の拡大図である。
【図５】本発明の第２の実施形態における各共振器のインピーダンス特性を示す図である。
【図６】（ａ）は本発明の第２の実施形態と比較例における弾性表面波フィルタの伝送特性を示す図であり、（ｂ）は（ａ）の通過帯域付近の拡大図である。
【図７】弾性表面波共振器のメタライゼーション比の変化による△ｆの変化を示す図である。
【図８】弾性表面波共振器の電極膜厚の変化による△ｆの変化を示す図である。
【図９】従来の弾性表面波装置の回路構成を示す図である。
【図１０】従来の弾性表面波共振器を説明するための模式図である。
【図１１】（ａ）は従来の一般的な弾性表面波フィルタにおける各共振器のインピーダンス特性を示す図であり、（ｂ）は従来の一般的な弾性表面波フィルタの伝送特性を示す図である。
【図１２】従来の並列腕共振器のインピーダンス特性を示す図である。
【符号の説明】
Ａ：　弾性表面波装置
１：圧電基板
５４〜５６：　直列腕共振器
５７〜６０：　並列腕共振器
６１：　入力端子
６２：　出力端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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