(57)【要約】【課題】エレクトロマイグレーション耐性あるいはストレスマイグレーション耐性を大幅に改善した金属配線を備える半導体装置を提供する。【解決手段】銅配線１０７を、シリコン低濃度領域１０４と、その上部に設けられたシリコン固溶層１０６からなる構成とする。シリコン固溶層１０６は、銅配線１０７を構成する銅の結晶構造中にシリコンが格子間元素または置換元素として配置された構造となっている。シリコン固溶層１０６を構成するシリコン含有銅は、銅の結晶構造（面心立方格子；格子定数３．６オングストローム）を維持しつつ格子間元素または置換元素としてシリコンが導入された状態となっている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、該半導体基板上に形成された絶縁膜と、該絶縁膜中に埋設された金属配線とを備え、前記金属配線は、固溶原子を含むことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置において、
前記金属配線を構成する金属が銅または銅含有合金であることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の半導体装置において、
前記固溶原子の原子半径が１．４オングストローム以下であることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれかに記載の半導体装置において、
前記固溶原子はシリコンであることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかに記載の半導体装置において、
前記固溶原子は前記金属配線の上部に偏在していることを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
請求項１乃至５いずれかに記載の半導体装置において、
前記固溶原子の導入された領域が、前記金属配線表面近傍において固溶層を形成していることを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
請求項６に記載の半導体装置において、
前記固溶層における前記固溶原子の濃度は、０．１原子％以上９原子％以下であることを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
請求項６または７に記載の半導体装置において、
前記金属配線中、前記固溶層を除く領域における前記固溶原子の濃度は、０．１原子％未満であることを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
請求項６乃至８いずれかに記載の半導体装置において、
前記固溶層の厚みは、前記金属配線の厚みの４０％以下であることを特徴とする半導体装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９いずれかに記載の半導体装置において、
前記金属配線の上部に、ＳｉＣ、ＳｉＮ、ＳｉＯＮまたはＳｉＯＣを含む膜をさらに備えることを特徴とする半導体装置。
【請求項１１】
半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に金属配線を形成する工程と、
前記金属配線を構成する金属とは異なる原子を含むガスを前記金属配線に照射し、前記金属配線中に固溶原子を導入する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記金属配線を形成する前記工程の後、前記金属配線の上部に前記金属配線を構成する金属の酸化層を形成する工程をさらに含み、その後、前記酸化層の表面に前記ガスを照射し、前記金属配線中に固溶原子を導入することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項１１または１２に記載の半導体装置の製造方法において、
前記酸化層を形成する前記工程は、前記金属配線の表面を有機酸により洗浄した後、純水によりリンスする工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１１乃至１３いずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記金属配線中に前記固溶原子を導入した後、前記金属配線上にＳｉＣ、ＳｉＮ、ＳｉＯＮまたはＳｉＯＣを含む膜を形成する工程をさらに含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１１乃至１４いずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記金属配線を構成する金属とは異なる前記原子は、シリコンであることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１６】
請求項１１乃至１５いずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記金属配線を構成する金属は、銅または銅含有金属であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属配線を備える半導体装置およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年における半導体装置の高集積化への要請から、配線やプラグの材料として銅が広く用いられるようになってきた。銅は、従来用いられていたアルミニウムに比べ、抵抗が低く、エレクトロマイグレーション耐性にも優れるという特徴を有している。
【０００３】
しかし、素子の微細化がさらに進行するにつれ、こうした銅を用いた配線においてもエレクトロマイグレーションの発生が問題となるようになってきた。銅配線を構成する銅膜は、通常めっき法などにより形成されるが、この場合、銅膜は多数の多結晶構造の銅粒子が集合した形態となる。こうした構造の銅配線に電圧を印加すると、銅粒子の粒界を経由して物質移動が起こり、結果としてエレクトロマイグレーションが発生する。配線幅の小さい配線においては、銅粒子のサイズも小さくなることから、このような粒界を介した物質移動によるマイグレーションの問題はより顕著となる。こうしたエレクトロマイグレーションに対する耐性は素子寿命と密接に関連し、エレクトロマイグレーション耐性に劣る素子は素子寿命が短い。
【０００４】
一方、銅を用いた配線構造において、最近、ストレスマイグレーションの発生が取り沙汰されている。図１は、ダマシン法により形成した銅多層配線の断面模式図である。下層配線１２１ａの上部に上層配線１２１ｂが接続した構成となっており、上層配線１２１ｂは、接続プラグとその上部に形成された配線からなっている。図１（ａ）では、上層配線１２１ｂ側に空洞１２２が発生している。すなわち、上層配線１２１ｂを構成するビアの部分に空洞が生じている。一方、図１（ｂ）では、下層配線１２１ａの上面に空洞１２２が発生している。このような空洞１２２は、半導体プロセス中の熱履歴等により銅配線中に内部応力が生じることが原因と考えられる。図１（ａ）では、上層配線１２１ｂ中に、銅の「吸い上げ」が起こり、ビア中で銅が上方にマイグレートすることにより空洞１２２が発生するものと考えられる。図１（ｂ）では、下層配線１２１ａ中で水平方向に銅がマイグレートし、この結果、空洞１２２が発生するものと考えられる。こうした応力にともなう銅の物質移動の現象をストレスマイグレーションという。このような空洞が生じると、接続プラグと配線との接続不良が生じ、半導体装置の歩留が低下したり、長期の使用により半導体装置の動作が不安定になったりする。
【０００５】
特許文献１には、銅配線中にＭｇ、Ｚｒ、Ｓｎ等の異種元素を導入して銅合金を形成することによりエレクトロマイグレーション耐性を向上できることが記載されている。しかしながら、同文献記載の技術では、銅配線の導電率が上昇する等の問題が生じたることがあった。また、エレクトロマイグレーション耐性の向上にはある程度有効であっても、ストレスマイグレーション耐性の向上を図ることが難しかった。
【０００６】
一方、ストレスマイグレーションの発生を抑制する技術として、従来、銅配線の上部に銅シリサイド層を形成する技術が知られている。特許文献２には、ストレスマイグレーション耐性等を向上する目的で、銅配線上部にＣｕシリサイド層が形成する技術が開示されている。しかしながら、こうしたシリサイド層を形成した場合でも、ストレスマイグレーションを完全に抑制することは困難である。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１１−２０４５２４号公報
【特許文献２】
特開平９−３２１０４５号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、その目的とするところは、従来技術に比し、エレクトロマイグレーション耐性あるいはストレスマイグレーション耐性を大幅に改善した金属配線を備える半導体装置を提供することにある。
さらに本発明は、こうした半導体装置を安定的に製造できるプロセスを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、半導体基板と、該半導体基板上に形成された絶縁膜と、該絶縁膜中に埋設された金属配線とを備え、前記金属配線は、固溶原子を含むことを特徴とする半導体装置が提供される。
【００１０】
この半導体装置は、固溶原子を含む金属配線を備えている。ここで、「固溶」とは二種類の物質が固体で互いに溶けた状態をいい、銅シリサイドのようなシリサイド化合物に代表される金属間化合物を含まない。「固溶」は置換型と侵入型の２種類に大別される。置換型固溶とは、結晶を構成する格子が異種原子により置換された形態の固溶状態をいう。侵入型固溶とは、結晶を構成する格子の間の空間に異種原子が配置された形態の固溶をいう。
【００１１】
本発明における金属配線は、固溶原子を含む構成を有し、これにより、優れたエレクトロマイグレーション耐性およびストレスマイグレーション耐性を実現している。
【００１２】
なお、従来技術の項において銅配線の表面にシリサイドを形成した構成を記載したが、これは上述のように金属間化合物に相当する。シリサイドを設けた構成では、後述するように充分なストレスマイグレーション耐性が得られないことがある。
【００１３】
また本発明によれば、半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に金属配線を形成する工程と、前記金属配線を構成する金属とは異なる原子を含むガスを前記金属配線に照射し、前記金属配線中に固溶原子を導入する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【００１４】
本発明の方法によれば、エレクトロマイグレーション耐性やストレスマイグレーション耐性に優れる半導体装置を安定的に得ることができる。
【００１５】
本発明の半導体装置の製造方法において、前記金属配線を形成する前記工程の後、前記金属配線の上部に前記金属配線を構成する金属の酸化層を形成する工程をさらに含み、その後、前記酸化層の表面に前記ガスを照射し、前記金属配線中に固溶原子を導入する構成とすることができる。また、前記酸化層を形成する前記工程は、前記金属配線の表面を有機酸により洗浄した後、純水によりリンスする工程を含む構成とすることができる。こうすることによって、上記特性を有する半導体装置を安定的に得ることができる。
【００１６】
さらに、前記金属配線中に前記固溶原子を導入した後、前記金属配線上にＳｉＣ、ＳｉＮ、ＳｉＯＮまたはＳｉＯＣを含む膜を形成する工程をさらに含む構成とすることができる。こうした材料からなる膜を配線上に形成することによって、隣接配線間の寄生容量の増大を最小限に低減しつつ金属配線を構成する金属が層間絶縁膜へ拡散することを効果的に抑制することができる。
【００１７】
本発明において、金属配線を構成する金属は、銅または銅含有合金とすることができる。固溶原子は、金属配線を構成する金属結晶に対して、侵入型または置換型の形態で導入され得る性状および大きさを有する。構成配線を銅または銅含有合金とする場合、固溶原子の原子半径は１．４オングストローム以下とすることが望ましい。こうすることにより、ストレスマイグレーション耐性に優れる固溶体を安定的に実現することができる。
【００１８】
固溶原子としては、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂｅ、Ｚｎ、Ａｕ、Ｇａ、Ｍｇ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔ等を例示することができる。このうち、より優れたストレスマイグレーション耐性を得る観点から、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂｅ、Ｚｎ、Ａｕ、Ｇａ、Ｍｇ、Ｎｉ、Ｐｄが好ましく、さらに、高いストレスマイグレーション耐性を安定的にかつ歩留まり良く得る観点から、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂｅ、Ｚｎが好ましい。本発明においては、こうした原子を固溶原子として金属配線に導入する。このような金属配線を安定的に得るためには、当該原子を、金属配線を構成する金属と金属間化合物を形成しないように導入することが重要となる。具体的には、当該原子の選択、当該原子を導入する条件、導入対象となる金属配線の表面状態の制御等により、固溶状態を安定的に実現することができる。
【００１９】
なお、ストレスマイグレーション耐性等に優れる固溶状態を安定的に得る観点からは、固溶原子として、金属配線を構成する金属と周期表における異なる族に属するものを選択することが好ましい。
【００２０】
固溶原子は金属配線の表面近傍に導入されていることが好ましい。また、固溶原子の導入された領域は、金属配線表面近傍の固溶層をなすこととすることができる。
【００２１】
固溶層における固溶原子の濃度は、金属配線を構成する金属に対する固溶範囲内とすることが好ましい。たとえばシ銅配線に対してシリコンを導入する場合、０．１原子％以上９原子％以下であることが好ましい。こうすることによって、ストレスマイグレーション耐性やエレクトロマイグレーション耐性を一層顕著に改善することができる。
【００２２】
また上記金属配線中、固溶層を除く領域における固溶原子の濃度は、０．１原子％未満であることが好ましい。また、金属配線中、固溶層の厚みは、金属配線の厚みの４０％以下とすることができる。こうすることによって、配線抵抗の上昇を抑えつつストレスマイグレーション耐性やエレクトロマイグレーション耐性を改善することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
第一の実施の形態
図２は本実施形態に係る半導体装置の構成を示す断面図である。この半導体装置は、不図示のシリコン基板上に成膜された絶縁膜１０１の上に絶縁膜１０２が積層され、絶縁膜１０２に設けられた溝部に銅配線１０７が設けられた構成を有している。銅配線１０７の側面と底面は、バリアメタル膜１０３により覆われている。銅配線１０７の上面は、拡散防止膜１０８により覆われており、更にその上に層間絶縁膜１１０が積層している。
【００２４】
銅配線１０７は、シリコン低濃度領域１０４と、その上部に設けられたシリコン固溶層１０６より構成されている。シリコン固溶層１０６は、銅配線１０７を構成する銅の結晶構造中にシリコンが格子間元素または置換元素として配置された構造となっている。この点、銅およびシリコンが反応して金属間化合物を形成するシリサイドとは、本質的に構造が異なっている。シリコン固溶層１０６を構成するシリコン含有銅は、図３（ａ）のような構造を有しているものと考えられる。すなわち、シリコン固溶層１０６では、銅の結晶構造（面心立方格子；格子定数３．６オングストローム）を維持しつつ格子間元素または置換元素としてシリコンが導入された状態となっている。一方、図３（ｂ）は銅シリサイドの構造を模式的に示したものである。銅シリサイドは、シリコン固溶層と異なり、銅の結晶構造は維持されず、銅とシリコンがともに結晶を構成している。ちなみに銅シリサイドＣｕ５Ｓｉの結晶構造は、β-Mn型構造、格子定数６．２オングストロームである。こうした結晶構造の相違を示すデータについては、実施例にて後述する。
【００２５】
本実施形態では、シリコン低濃度領域１０４により配線の低い抵抗が実現されるとともに、上述した構造のシリコン固溶層１０６によりストレスマイグレーション耐性およびエレクトロマイグレーション耐性が顕著に向上する。
【００２６】
上記構造のシリコン含有銅を安定的に得るためには、銅膜表面に銅酸化膜を形成した状態でモノシランを照射する方法が有効である。この方法により本発明の意図とする固溶層が安定的に得られる理由は必ずしも明らかではないが、銅酸化膜の介在により、銅とシリコンの急激な反応が抑制され、銅シリサイドの形成が抑えられることによるものと考えられる。上記方法では、いったん銅、酸化銅、シリコン化合物層がこの順で積層した構造が形成される。その後、熱処理を行うと、シリコン化合物層へ銅が拡散し、シリコン含有銅層が形成される。これは、銅へのシリコンの拡散に比べシリコン化合物への銅の拡散の方が速いことによるものと思われる。こうした拡散の態様が、シリコン固溶層の形成に寄与しているものと考えられる。なお、銅膜表面に銅酸化膜を形成せず、フレッシュな銅が露出した状態でモノシランを照射した場合、銅シリサイドが形成されやすい。銅表面に堆積したシリコンが速やかに銅と反応し、銅シリサイドを生成するからである。
【００２７】
図４は、上述したシリコン固溶層を安定的に形成するプロセスを示す図である。初めに銅配線をダマシンプロセスにより形成する（Ｓ１０１）。次に、シュウ酸水溶液を用い銅表面の酸化層を除去する（Ｓ１０２）。その後、純水リンスを行い、残存するシュウ酸や不純物を除去する（Ｓ１０３）。
【００２８】
つづいて、防食剤、たとえばベンゾトリアゾール（ＢＴＡ）等のアゾール系化合物を含む液により銅配線の表面を防食処理する（Ｓ１０４）。本実施形態では、ＢＴＡを使用する。この処理により、銅表面にＢＴＡが付着し、銅の酸化が抑制される。
【００２９】
次に、処理した基板を成膜室に移動した後、成膜室を真空雰囲気にし、ＢＴＡを揮発させる（Ｓ１０５）。その後、銅配線に対してシラン照射を行う（Ｓ１０６）。シラン照射は、例えばモノシラン（ＳｉＨ４）を照射する等の方法により行うことができる。この照射により、銅配線中にシリコンが導入される。その後、ＳｉＣＮ等の拡散防止膜をＣＶＤ法により成膜する（Ｓ１０６）。
【００３０】
以上のプロセスにおいて、ステップ１０６におけるシラン照射の条件を最適化することにより、シリコン固溶層を安定的に形成することが可能となる。具体的には、銅表面に薄膜の酸化層を残存させた状態でシランを照射すること、および、シラン原料ガスの流量を過剰とならないよう最適の範囲とすること等である。酸化層の厚みの制御に関しては、ステップ１０２およびステップ１０３の条件を調整することにより、酸化層厚みを好適に制御可能である。
【００３１】
また、固溶層を安定的に形成するためには、配線を構成する金属の結晶格子定数と、導入する異種原子の原子半径との関係が重要となる。格子定数に対して原子半径が大きすぎると、本発明の目的に合致する好ましい固溶体を形成し難くなることがあり、エレクトロマイグレーション耐性およびストレスマイグレーション耐性の改良効果が充分に得られない場合がある。配線金属を銅とした場合、銅の格子定数（面心立方格子；格子定数３．６オングストローム）を考慮すると、原子半径は１．４オングストローム以下であることが好ましい。こうした原子半径の異種原子を選択すれば、侵入型固溶体を比較的安定に形成することができる。
【００３２】
第二の実施の形態
図５は第二の実施の形態の半導体装置の製造工程手順を示す断面図である。トランジスタなどの半導体素子が形成された半導体基板（不図示）上に、下地絶縁膜１０１および膜厚５００ｎｍのＳｉＯ２絶縁膜１０２を成膜した後、ドライエッチングによりＳｉＯ２絶縁膜１０２に溝配線用パターンを形成する（図５（ａ））
次に、図５（ｂ）に示すように、露出した下地絶縁膜１０１およびＳｉＯ２絶縁膜１０２の上に、バリアメタルとしてＴａ／ＴａＮ膜１０５（Ｔａ膜およびＴａＮ膜がこの順で積層した膜）を膜厚３０ｎｍで成膜する。次いで溝配線用パターンを埋め込むように、電解メッキ法によりＣｕ層１０８を形成する。
【００３３】
次に、図５（ｃ）に示すように、溝外部のＣｕ層１０８およびＴａ／ＴａＮ膜１０５をＣＭＰにより除去し、Ｃｕ配線１０７を形成する。このＣｕ配線１０７の表面を、シュウ酸水溶液を用いて洗浄し、銅表面の酸化層を除去する。その後、純水リンスを行い、残存するシュウ酸や不純物を除去する。つづいて、ＢＴＡ水溶液により銅配線の表面を処理する。この処理により、銅表面に防食材であるＢＴＡが付着する。
【００３４】
次に、処理した基板を成膜室に移動した後、成膜室を真空雰囲気にし、ＢＴＡを揮発させる。この処理を終了した時点で、Ｃｕ配線１０７表面には酸化銅薄膜が残存する。この酸化銅薄膜は、上述したシュウ酸処理後のリンス工程で形成されたものである。
【００３５】
この酸化銅薄膜を介してシラン照射することにより、図５（ｄ）に示すように、銅配線上部にシリコン固溶層１０６が形成される。シラン照射は、ここではモノシラン（ＳｉＨ４）を照射する方法を採用する。具体的には、プラズマＣＶＤ装置内において、ＳｉＨ４ガス流量１０〜５００ｓｃｃｍ、Ｎ２ガス流量１００〜１０００ｓｃｃｍ、処理圧力２０Ｔｏｒｒ以下の条件とし、処理時間は各ガスの流量や処理室の圧力にも依存するが、たとえば１５０秒間以下とする。これにより、銅層上部にシリコン含有層を形成する。
【００３６】
次に、図５（ｅ）に示すように、シリコン固溶層１０６およびＳｉＯ２絶縁膜１０２の上にＣｕ拡散防止膜として膜厚５０ｎｍのＳｉＣＮ膜１０９を成膜する。この成膜は、上記プラズマＣＶＤ装置内で、ＳｉＨ（ＣＨ３）３、ＮＨ３、およびＨｅの反応ガスを用いたプラズマＣＶＤ法により行うことができる。
【００３７】
その後、上記プラズマＣＶＤ装置により、膜厚５００ｎｍのＳｉＯ２層間絶縁膜１１０を成膜する。以上により本実施形態に係る配線構造を得ることができる。
【００３８】
本実施形態において、シリコン固溶層１０６の形成に際し、原料ガスとしてＳｉＨ４を用いたが、Ｓｉ２Ｈ６やＳｉＨ２やＳｉＨ２Ｃｌ２といった無機シランガスを用いることもできる。シラン照射は、Ｏ２を含まないガス雰囲気中で、処理温度２００℃以上４５０℃以下、処理圧力２０Ｔｏｒｒ以下として行うことができる。
【００３９】
また、シリコン固溶層１０６にシリコンが拡散されているため、上層のＣｕ拡散防止膜との密着性が良好となる。なお、Ｃｕ拡散防止膜との密着性をより向上させるために、Ｃｕ配線１０７中、シリコンが上部に偏在していることが好ましく、シリコン濃度が配線上部で最も高くなるようにすることが望ましい。
【００４０】
シリコン固溶層１０６中のシリコン濃度は、０．１原子％以上、より好ましくは１原子％以上とすることが好ましい。こうすることにより、ストレスマイグレーション耐性およびエレクトロマイグレーション耐性の改善効果が一層顕著となる。また、シリコン濃度の上限については、シリコンが銅配線中に固溶し得る範囲とすることが必要であり、たとえば、９原子％以下、より好ましくは７原子％以下とする。こうすることにより、銅シリサイドとは異なる固溶体を安定的に得ることができる。シリコン固溶層１０６の厚みは、抵抗上昇を抑制する観点から、ある程度薄くすることが好ましい。たとえば、シリコン濃度０．１原子％以上の領域をシリコン固溶層とし、当該シリコン固溶層を、金属配線の高さの４０％以下、より好ましくは２０％以下とすることにより、配線抵抗やコンタクト抵抗と、ストレスマイグレーション耐性およびエレクトロマイグレーション耐性とのバランスに優れる配線構造を得ることができる。
【００４１】
本実施の形態によれば、エレクトロマイグレーション耐性およびストレスマイグレーション耐性を大幅に改善した金属配線を備える半導体装置が得られる。
【００４２】
第三の実施の形態
図６は本実施形態に係る半導体装置の構造を示す断面図である。この半導体装置は、下層配線２５５がビアプラグを介して上層配線２６０に接続された構成を有する。
【００４３】
下層配線２５５は積層膜に形成された溝部に設けられている。この溝部は、半導体基板（不図示）上に成膜された下地絶縁膜２０１、ＳｉＣＮ膜２０２、梯子型の水素化シロキサンであるＬ−Ｏｘ（日本電気株式会社の商標）膜２０３およびＳｉＯ２膜２０４からなる積層膜に形成されている。下層配線２５５の側面と底面はＴａ／ＴａＮ膜２０８に覆われている。Ｌ−Ｏｘ膜とは、ラダーオキサイドとよばれる梯子型の水素化シロキサンである。
【００４４】
ここで、梯子型水素化シロキサンとは梯子型の分子構造を有するポリマーのことであり、配線遅延防止の観点から誘電率２．９以下のものが好ましく、また膜密度が低いものが好ましい。たとえば、膜密度が1.50ｇ／ｃｍ３以上1.58ｇ／ｃｍ３以下、６３３nmの屈折率が1.38以上1.40以下であることが好ましい。こうした膜材料の具体例としてＬ−Ｏx等を例示することができる。なお、Ｌ−Ｏxのポーラス化した絶縁材料を用いることもできる。
【００４５】
ビアプラグは、ＳｉＯ２膜２０４上のＳｉＣＮ膜２１１およびＳｉＯ２膜２１２からなる積層膜に形成された孔部に設けられている。その孔部の側面と底面はＴａ／ＴａＮ膜２２０に覆われ、その中がシリコン含有銅で埋め込まれている。
【００４６】
上層配線２６０は積層膜に形成された溝部に設けられている。その溝部は、ＳｉＯ２膜２１２、ＳｉＣＮ膜２１３、Ｌ−Ｏｘ膜２１６およびＳｉＯ２膜２１７からなる積層膜に形成されている。上層配線２６０の側面はＴａ／ＴａＮ膜２２０に覆われ、上層配線２６０の上面にはＳｉＣＮ膜２２２が形成されている。
【００４７】
次に、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。
【００４８】
図７〜図１０は第三の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す断面図である。なお、すでに述べた実施の形態と同様な工程については、その詳細な説明は省略する。
【００４９】
本実施の形態に係る半導体装置の製造方法では、半導体素子を有する基板上に成膜された下地絶縁膜２０１上に、第１溝配線の溝部形成のためのエッチングストッパー膜としてＳｉＣＮ膜２０２をプラズマＣＶＤ法により５０ｎｍ成膜する。次に、第１の銅溝配線の層間絶縁膜として低誘電率層間絶縁膜であるＬ−Ｏｘ膜２０３を塗布法により３００ｎｍ成膜し、４００℃の焼成をＮ２雰囲気で３０分行う。次に、ＳｉＯ２膜２０４をプラズマＣＶＤ法により１００ｎｍ成膜する。その後、ＳｉＯ２膜２０４とＬ−Ｏｘ膜２０３をドライエッチングして、第１溝配線パターン２０７を形成する。
【００５０】
次に、ドライエッチングによりエッチングストッパー膜であるＳｉＣＮ膜２０２のエッチバックを行い、下地半導体素子との導通面を開口し、エッチング残渣除去のためのウェット剥離を行い、第１溝配線パターン２０７を形成する。次に、バリアメタルとしてＴａ／ＴａＮ膜２０８を３０ｎｍスパッタリング法により成膜し、つづいて、Ｔａ／ＴａＮ膜２０８の上にＣｕ膜２０９を膜厚１００ｎｍでスパッタリング法により成膜する。その後、電解メッキ法によりＣｕ膜２０９を７００ｎｍ成膜し、第１溝配線パターン２０７を埋め込んでから、結晶化のためにＮ２雰囲気で４００℃、３０分の熱処理を行う（図７（ｂ））。
【００５１】
次に、ＳｉＯ２膜２０４上のＣｕ膜２０９およびＴａ／ＴａＮ膜２０８をＣＭＰにより除去し、シュウ酸処理、純水リンスを経て、ＢＴＡ溶液による表面処理を行う。これにより、Ｃｕ表面がＢＴＡ層で酸化防止処理された第１の銅溝配線が形成される（図７（ｃ））。
【００５２】
次に、第1の銅溝配線上のＢＴＡ層を熱分解により除去するため、プラズマＣＶＤ装置内で、処理温度２００〜４５０℃、Ｎ２ガス流量１００〜１０００ｓｃｃｍ、処理圧力２０Ｔｏｒｒ以下の条件で１分間程度、熱処理を行う。さらに、ＢＴＡ層除去後、ＳｉＨ４ガス流量１０〜５００ｓｃｃｍ、Ｎ２ガス流量５０００ｓｃｃｍ、処理圧力２０Ｔｏｒｒ以下の条件で第１の銅溝配線に２４０秒間熱処理を行い、シリコン固溶層２５０を形成する（図７（ｄ））。
【００５３】
その後、Ｃｕ拡散防止膜となるＳｉＣＮ膜２１１（膜厚５０ｎｍ）、層間絶縁膜となるＳｉＯ２膜２１２（膜厚４００ｎｍ）、エッチングストッパー膜となるＳｉＣＮ膜２１３（膜厚５０ｎｍ）を順次成膜する。その上に第２溝配線の層間絶縁膜としてＬ−Ｏｘ膜２１６を３００ｎｍ塗布・焼成し、その上にＳｉＯ２膜２１７を１００ｎｍ成膜する。つづいて反射防止膜２２５とフォトレジスト２１４を塗布し、フォトリソグラフィー技術を用いて、フォトレジストにビア用レジストパターン２１５を形成する（図８（ｅ））。
【００５４】
次に、ビア用レジストパターン２１５を用いてドライエッチングを行い、ＳｉＣＮ膜２１１の上部に到達する孔を形成する（図８（ｆ））。その後、アッシングと剥離液処理により、フォトレジスト２１４、反射防止膜２２５およびレジスト残渣を除去する。
【００５５】
次に、再び反射防止膜２２５を塗布・焼成し、その上にフォトレジスト２１８を塗布し、フォトリソグラフィー技術を用いて、フォトレジストに第２溝配線用レジストパターン２１９を形成する（図９（ｇ））。
【００５６】
つづいて、第２溝配線用レジストパターン２１９から、ＳｉＯ２膜２１７、Ｌ−Ｏｘ膜２１６、および反射防止膜２２５をエッチングストッパー膜となるＳｉＣＮ膜２１３までエッチングする。その後、アッシングを行い、第２溝配線用のフォトレジスト２１８および反射防止膜２２５を除去し、エッチングによりビア底のＳｉＣＮ膜２１１を除去する。次に、剥離液によりエッチング残渣を除去する（図９（ｈ））。
【００５７】
その後、電解メッキ法によりＣｕ膜を７００ｎｍ成膜した後、ＣＭＰを行い、図１０（ｊ）に示すように、上部配線およびビアプラグを構成する銅膜２２３を形成する。
【００５８】
次に、第１の銅溝配線と同様にして、シュウ酸処理、純水リンスおよびＢＴＡによる防食処理を行った後、ＢＴＡ層を除去しＳｉＨ４を照射する。これにより、銅膜２２３およびシリコン固溶層２５０からなる上層配線２６０を形成し（図１０（ｊ））、その後、Ｃｕ拡散防止膜としてＳｉＣＮ膜２２２を膜厚５０ｎｍ成膜し、配線構造を形成する（図１０（ｋ））。この際、シリコン濃度は、配線の表面で最も高く、底面方向に向かうにつれて低くなっている。
【００５９】
第四の実施の形態
本実施形態は、シングルダマシン構造の二層銅配線に本発明を適用した例である。図１１は本実施の形態に係る半導体装置の構造を示す断面図である。本実施の形態に係る半導体装置は、下層配線２５５がシリコン含有銅プラグ２２８を介して上層配線２７０に接続された構成を有している。
【００６０】
下層配線２５５は積層膜に形成された溝部に設けられている。その溝部は、半導体基板（不図示）上に成膜された下地絶縁膜２０１、ＳｉＣＮ膜２０２、Ｌ−Ｏｘ膜２０３およびＳｉＯ２膜２０４からなる積層膜に形成されている。下層配線２５５の側面と底面はＴａ／ＴａＮ膜２０８に覆われている。
【００６１】
シリコン含有銅プラグ２２８は、ＳｉＯ２膜２０４上のＳｉＣＮ膜２１１およびＳｉＯ２膜２１２からなる積層膜に形成された孔部に設けられている。その孔部の側面と底面はＴａ／ＴａＮ膜２２６に覆われている。
【００６２】
上層配線２７０は積層膜に形成された溝部に設けられている。その溝部は、ＳｉＣＮ膜２１３、L−Ｏｘ膜２１６およびＳｉＯ２膜２１７からなる積層膜に形成されている。上層配線２７０の側面と底面はＴａ／ＴａＮ膜２２０に覆われ、上層配線２７０の上面にはＳｉＣＮ膜２２２が形成されている。
【００６３】
次に、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。
【００６４】
図１２〜図１５は本実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す断面図である。
【００６５】
本実施形態では、まず第三の実施の形態と同様にして下層配線２５５まで形成する。この際、シリコン濃度は、配線表面で最も高く、底面方向に向かうにつれて低くなっている。
【００６６】
次に、第三の実施の形態と同様にしてＳｉＣＮ膜２１１、層間絶縁膜であるＳｉＯ２膜２１２までを順に形成する（図１２（ａ））。
【００６７】
次に、成膜したＳｉＯ２膜２１２上に反射防止膜２２５とフォトレジスト２１４を塗布し、フォトリソグラフィー技術を用いて、ビア用レジストパターン２１５を形成する（図１２（ｂ））。
【００６８】
さらに、ドライエッチング技術によりビアレジストパターンからＳｉＯ２膜２１２をエッチングして、ビア用パターンを形成する。その後、アッシングを行い、フォトレジスト２１４と反射防止膜２２５を除去する（図１２（ｃ））。次に、ビア底のＳｉＣＮ膜２１１をエッチバックする。次に、剥離液によりエッチング残渣を除去する（図１２（ｄ））。
【００６９】
その後、スパッタリング法により、膜厚３０ｎｍのＴａ／ＴａＮ膜２２６を成膜し、この上にシード用のＣｕ膜（不図示）を形成した後、電解メッキ法によりＣｕ膜２２７を７００ｎｍ成膜し、ビアパターンに埋め込む。その後、結晶化のために４００℃の熱処理を行う（図１３（ｅ））。
【００７０】
次に、ＳｉＯ２膜２１２上のＣｕ膜２２７およびＴａ／ＴａＮ膜２２６をＣＭＰにより除去し、シュウ酸処理、純水リンス処理を経た後、ＢＴＡ溶液による表面処理によりＣｕ表面がＢＴＡ層で酸化防止処理された銅ビアプラグを形成する（図１３（ｆ））。
【００７１】
次に、第３実施の形態で下層配線２５５を形成した際と同じ工程によりシリコン含有銅プラグ２２８を形成し、第２のＣｕ拡散防止膜としてＳｉＣＮ膜２１３を５０ｎｍ成膜する（図１３（ｇ））。
【００７２】
次に、第２の層間絶縁膜としてＬ−Ｏｘ膜２１６を３００ｎｍ塗布・焼成し、その上にＳｉＯ２膜２１７を１００ｎｍ成膜する。次に、反射防止膜２２５とフォトレジスト２１８を塗布し、フォトリソグラフィー技術を用いて、フォトレジスト２１８に第２溝配線用レジストパターン２１９を形成する（図１４（ｈ））。
【００７３】
次に、フォトレジスト２１８をマスクにして、第２溝配線の層間絶縁膜であるＳｉＯ２膜２１７とＬ−Ｏｘ膜２１６をエッチングする。次に、アッシングによりフォトレジスト２１８と反射防止膜２２５を除去する。次に、全面エッチバックにより、第２のＣｕ拡散防止膜のＳｉＣＮ膜２１３を除去する。次に、剥離液によりエッチング残渣を除去する（図１４（ｉ））。
【００７４】
その後、スパッタリング法により、Ｔａ／ＴａＮ膜２２０を３０ｎｍ成膜し、Ｔａ／ＴａＮ膜２２０の上にシード用のＣｕ膜（不図示）を１００ｎｍ成膜する。次に、電解メッキ法によりＣｕ膜２２１を７００ｎｍ成膜し、次いでＣＭＰにより、上部配線を形成する。その後、配線表面をシュウ酸水溶液を用いて洗浄し、銅表面の酸化層を除去し、純水リンスを行い、残存するシュウ酸や不純物を除去する。つづいて、ＢＴＡ水溶液により銅配線の表面を処理する。この処理により、銅表面に防食材であるＢＴＡが付着する図１４（ｊ））。
【００７５】
次に、下層配線２５５およびシリコン含有銅プラグ２２８の形成工程と同様にして、ＢＴＡ層を除去し、ＳｉＨ４を照射することにより上層配線２７０を形成し（図１５（ｋ））、Ｃｕ拡散防止膜としてＳｉＣＮ膜２２２を膜厚５０ｎｍで成膜する（図１５（ｌ））。上層配線２７０中のシリコン濃度は、配線表面で最も高く、底面方向に向かうにつれて低くなっている。
【００７６】
上述のように、本実施の形態にて形成された配線は、配線全体にシリコンを拡散させ、シリコン含有金属配線を形成することにより、最表面のみにシリサイド層を形成する場合よりも、金属配線の金属粒子の移動を抑制する効果が向上できる。
【００７７】
さらに、本実施形態では、シングルダマシン構造を採用しているため、ビアと上層配線の間にバリアメタル膜が介在する構造となるため、ストレスマイグレーション耐性が向上する。
【００７８】
以上、実施の形態に基づいて本発明を説明したが、これらは例示であり、その構成やプロセスを適宜変更することができる。
【００７９】
たとえば、上記実施の形態において、層間絶縁膜にＳｉＯ２膜を用いた実施の形態において、溝配線層間絶縁膜と同様にＬ−Ｏｘ膜とＳｉＯ２膜の積層構造を用いてもよい。また、Ｌ−Ｏｘ膜のマスク絶縁膜としてＳｉＯ２膜を用いているが、Ｌ−Ｏｘとのエッチング選択性に優れ、アッシングおよびウェット剥離液に対する耐性が優れていれば、ＳｉＣ膜、ＳｉＣＮ膜、およびＳｉＯＣ膜などの絶縁膜を用いても良い。さらに、低誘電率層間絶縁膜としてＬ−Ｏｘを用いているが、ＳｉＯＦ膜、ＳｉＯＣ膜、および有機膜などの、ＳｉＯ２膜より比誘電率が低い絶縁膜であればよい。
【００８０】
上記実施の形態では銅配線を用いたが、配線中にＡｌ、Ａｇ（銀）、Ｗ（タングステン）、Ｍｇ（マグネシウム）、Ｂｅ（ベリリウム）、Ｚｎ（亜鉛）、Ｐｃ（パラジウム）、Ｃｄ（カドミウム）、Ａｕ（金）、Ｈｇ（水銀）、Ｐｔ（白金）、Ｚｒ（ジルコニウム）、Ｔｉ（チタン）、Ｓｎ（スズ）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｎｄ（ネオジウム）およびＦｅ（鉄）といった異種元素のうち少なくとも一つと合金を形成した銅合金配線とすることもできる。
【００８１】
また上記実施の形態ではバリアメタルにＴａ／ＴａＮ膜を用いたが、バリアメタルは、Ｔｉ、ＴｉＮ、ＴｉＳｉＮ、Ｔａ、ＴａＮ、およびＴａＳｉＮのうち少なくとも一つ有する構成とすることもできる。
【００８２】
また、配線表面に酸化防止膜を形成するためにＢＴＡを用いているが、他のアゾール系化合物等を用いることもできる。ＢＴＡより溶解度の高いＢＴＡ誘導体であってもよい。
【００８３】
また、第四の実施の形態において、ビアプラグの表面にシリコン固溶層を形成してもよい。この場合、図１３（ｆ）の段階でビアの表面処理を適宜行い、その後、シラン照射する。これにより、ストレスマイグレーション耐性やエレクトロマイグレーション耐性をさらに向上させることができる。
【００８４】
【実施例】
実施例１
シリコン基板上にメッキ法により銅膜を形成し、その後、アニール、シュウ酸処理、純水リンスおよびＢＴＡ（ベンゾトリアゾール）処理を行った。以上の処理を行った銅膜を複数用意し、その一つを試料１とする。
【００８５】
さらに、真空雰囲気下、上記銅膜に対して３５０℃〜４００℃に昇温してＢＴＡを揮発させ、その後、モノシランを照射し、試料２を得た。シラン照射条件は、ＳｉＨ４ガス流量１０〜５００ｓｃｃｍ、Ｎ２ガス流量１００〜１０００ｓｃｃｍ、処理圧力２０Ｔｏｒｒ以下、処理時間１００秒間とした。
【００８６】
また、真空雰囲気下、上記銅膜に対して３５０℃〜４００℃に昇温してＢＴＡを揮発させた後、アンモニアプラズマ処理を行った後、モノシランを照射し、試料３を得た。アンモニアプラズマ処理条件は、アンモニア５０〜５００sccm、ＲＦパワー５０Ｗ〜３００Ｗ、処理時間５〜３０secとした。モノシランの照射は、ＳｉＨ４ガス流量１０〜５００sccm、処理時間１００secとした。
【００８７】
得られた試料について電子線回折分析を行った。図１６〜図１８は、試料１〜３に対応し、その格子定数等から、それぞれ、銅、シリコン含有銅（シリコン固溶体）および銅シリサイドであることが確認された。分析条件は以下のようにした。
【００８８】
TEM観察：電子線加速電圧200kV
電子回折：電子線加速電圧200kV、電子線プローブ径 約3nm
EDX分析：電子線加速電圧200kV、STEM-EDX分析時電子線プローブ径 約1nm
図１６〜図１８の結果から、試料２は試料１（純銅）と同じ格子定数を有し同じ結晶構造をとることが明らかになった。また、試料３は、これらと異なる格子定数、結晶構造をとることが明らかになった。以下、結晶構造の解析結果を示す。
試料１、２
Cuおよびシリコン含有銅  立方晶(面心立方構造)  a=3.6オングストローム
試料３
Cu5Si  立方晶(β-Ｍｎ型構造) a=6.2オングストローム
【００８９】
実施例２
本実施例では、図１９に示すような、下層のＭ１配線および上層のＭ２配線がビアで接続された２層銅配線構造を作製し、歩留試験を行った。配線構造は、以下の２点の試料を用意し評価した。
【００９０】
(i)第二の実施の形態と同様の方法で作製したもの。下層のＭ１配線および上層のＭ２配線の表面を、実施例１の試料２と同様にして処理した。
【００９１】
(ii)第二の実施の形態で説明したプロセスにおいて、シラン照射条件、シュウ酸処理およびその後のリンス工程等における条件を変更し、銅シリサイドを形成したもの。下層のＭ１配線および上層のＭ２配線の表面を、実施例１の試料３と同様にして処理した。
【００９２】
これらの処理により得られた配線表面について、その結晶構造を電子線回折により確認したところ、試料(i)がシリコン固溶体、(ii)が銅シリサイドであることが確認された。
【００９３】
この２層配線構造は、ビアチェーンとよばれるものであり、５０万本のビアと、その上部および下部に設けられた配線とからなる。配線およびビアはいずれも銅からなる。ビアチェーンの端部２点に所定の電圧を印加することにより、これらの配線およびビアからなる配線の電気抵抗が測定される。これをチェーン抵抗とよぶ。チェーン抵抗は、ビアの接続状態の良否を判別するのに有効な手法である。本実施例では、シリコンウエハ上に設けられた各チップに上記ビアチェーンを形成し、各ビアチェーンの抵抗値を測定した。測定値が基準値以下の場合は合格、基準値を超える場合は不合格とした。全チップ数のうち合格したチップの占める割合をビア歩留りとした。
【００９４】
評価結果を図２０に示す。第二の実施の形態で記載した方法で作製した素子は、銅シリサイドを形成したものに比べ、歩留まりが向上した。
【００９５】
実施例３
図２１は二層配線によるビアチェーンの歩留まりの評価結果を示すグラフである。銅中にシリコンが固溶した(i)の試料は、シリサイド銅配線よりも良好な歩留まりを示すことが確認された。
【００９６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、エレクトロマイグレーション耐性あるいはストレスマイグレーション耐性を大幅に改善した金属配線を備える半導体装置を提供することができる。したがって、素子寿命の長い半導体装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ストレスマイグレーションの発生状況を説明するための図である。
【図２】実施の形態に係る配線構造を示す図である。
【図３】シリコン固溶層および銅シリサイドの結晶構造の相違を示す図である。
【図４】実施の形態における銅配線形成プロセスのフローチャートである。
【図５】実施の形態における銅配線形成プロセスを示す工程断面図である。
【図６】実施の形態における銅配線形成プロセスを示す工程断面図である。
【図７】実施の形態における銅配線形成プロセスを示す工程断面図である。
【図８】実施の形態における銅配線形成プロセスを示す工程断面図である。
【図９】実施の形態における銅配線形成プロセスを示す工程断面図である。
【図１０】実施の形態における銅配線形成プロセスを示す工程断面図である。
【図１１】実施の形態における銅配線形成プロセスを示す工程断面図である。
【図１２】実施の形態における銅配線形成プロセスを示す工程断面図である。
【図１３】実施の形態における銅配線形成プロセスを示す工程断面図である。
【図１４】実施の形態における銅配線形成プロセスを示す工程断面図である。
【図１５】実施の形態における銅配線形成プロセスを示す工程断面図である。
【図１６】銅の電子回折図形である。
【図１７】シリコン固溶層の電子回折図形である。
【図１８】銅シリサイドの電子回折図形である。
【図１９】実施例で用いた２層配線の構造を説明するための図である。
【図２０】実施例におけるストレスマイグレーション耐性の評価結果を示す図である。
【図２１】実施例におけるエレクトロマイグレーション耐性の評価結果を示す図である。
【符号の説明】
１０１  絶縁膜
１０２  絶縁膜
１０３  バリアメタル膜
１０４  シリコン低濃度領域
１０５  Ｔａ／ＴａＮ膜
１０６  シリコン固溶層
１０７  銅配線
１０８  拡散防止膜
１０９  ＳｉＣＮ膜
１１０  層間絶縁膜
１２１ａ  下層配線
１２１ｂ  上層配線
１２２  空洞
２０１  下地絶縁膜
２０２  ＳｉＣＮ膜
２０３  Ｌ−Ｏｘ膜
２０４  ＳｉＯ２膜
２０５  フォトレジスト
２０７  第1溝配線パターン
２０８  Ｔａ／ＴａＮ膜
２０９  Ｃｕ膜
２１１  ＳｉＣＮ膜
２１２  ＳｉＯ２膜
２１３  ＳｉＣＮ膜
２１４  フォトレジスト
２１５  ビア用レジストパターン
２１６  Ｌ−Ｏｘ膜
２１７  ＳｉＯ２膜
２１８  フォトレジスト
２１９  第２溝配線用レジストパターン
２２０  Ｔａ／ＴａＮ膜
２２１  Ｃｕ膜
２２２  ＳｉＣＮ膜
２２３  銅膜
２２５  反射防止膜
２２６  Ｔａ／ＴａＮ膜
２２７  Ｃｕ膜
２２８  シリコン含有銅プラグ
２５０  シリコン固溶層
２５５  下層配線
２６０  上層配線
２７０  上層配線
【図１】
2004214267.tif 000003
【図２】
2004214267.tif 000004
【図３】
2004214267.tif 000005
【図４】
2004214267.tif 000006
【図５】
2004214267.tif 000007
【図６】
2004214267.tif 000008
【図７】
2004214267.tif 000009
【図８】
2004214267.tif 000010
【図９】
2004214267.tif 000011
【図１０】
2004214267.tif 000012
【図１１】
2004214267.tif 000013
【図１２】
2004214267.tif 000014
【図１３】
2004214267.tif 000015
【図１４】
2004214267.tif 000016
【図１５】
2004214267.tif 000017
【図１６】
2004214267.tif 000018
【図１７】
2004214267.tif 000019
【図１８】
2004214267.tif 000020
【図１９】
2004214267.tif 000021
【図２０】
2004214267.tif 000022
【図２１】
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