(57)【要約】【課題】設備トラブル情報、メンテナンス情報、メンテナンス結果情報から、メンテナンスを予測できるメンテナンス指示システムを提供する。【解決手段】設備トラブル情報２１と、メンテナンス情報２３と、メンテナンス結果情報２４とから、各トラブル項目毎に、メンテナンスの有効性について確認し、有効性が確認されたものについて「トラブル―メンテナンス」ルールを作成する関連分析部１５と、入力した設備トラブル情報２１と、関連分析部１５が作成した「トラブル―メンテナンス」ルールとに基づいて実施すべきメンテナンス指示を出力する対策分析部１６と、対策分析部１６が出力したメンテナンス指示を表示する指示手段１７とを有する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
設備で発生した設備トラブルに関する設備トラブル情報を収集する設備トラブル情報収集手段と、
設備において実施したメンテナンスに関するメンテナンス情報、設備において実施したメンテナンスの結果に関するメンテナンス結果情報、および前記収集した設備トラブル情報を記憶する記憶手段と、
記憶手段が記憶している設備トラブル情報と、メンテナンス情報と、メンテナンス結果情報とから、各トラブル項目毎に、メンテナンスの有効性について確認し、有効性が確認されたものについて「トラブル―メンテナンス」ルールを作成する関連分析部と、
入力した設備トラブル情報と、関連分析部が作成した「トラブル―メンテナンス」ルールとに基づいて実施すべきメンテナンス指示を出力する対策分析部と、
対策分析部が出力したメンテナンス指示を表示する指示手段とを、
有することを特徴とするメンテナンス指示システム。
【請求項２】
基板のランドに半田を印刷する半田印刷手段と前記半田印刷の状態を検査する半田印刷検査手段とを有する半田印刷部と、前記の印刷された半田の所定位置に部品を装着する部品装着手段と前記部品の装着状態を検査する部品装着検査手段とを有する部品装着部と、前記印刷された半田を溶融硬化して半田付けする半田付け手段と前記半田付けの状態を検査する半田付け検査手段とを有する半田付け部とを備えた実装基板生産システムにおいて、請求項１記載のメンテナンス指示システムを備え、設備トラブル情報が、半田印刷部と部品装着部と半田付け部のいずれかで発生した設備トラブルに関するものであり、メンテナンス情報が、半田印刷部と部品装着部と半田付け部のいずれかで実施したメンテナンスに関するものであり、メンテナンス結果情報が半田印刷部と部品装着部と半田付け部のいずれかで実施したメンテナンスの結果に関するものである実装基板生産システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、基板に部品を実装する実装基板生産システムおよびメンテナンス指示システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
実装基板生産システムの従来例を図９に基づいて説明する。
【０００３】
図９に示すように、基板移送ライン１１０に沿ってその上流側から、半田印刷部１０１、部品装着部１０２、半田付け部１０３が順次配列している。
【０００４】
半田印刷部１０１においては、半田印刷手段１０４が、基板等の被印刷物のランド上にクリーム半田を印刷する。半田印刷検査手段１０５が、基板及び半田印刷部１０１の状態と印刷状態とを検査する。
【０００５】
部品装着部１０２においては、部品装着手段１０６が、ＸＹ駆動装置によって吸着ノズルを移動し、吸着ノズルが電子部品を部品供給位置から基板上の装着位置まで移送し、基板のランドに印刷されたクリーム半田上に電子部品を装着する。この電子部品の装着は、部品認識カメラにより吸着ノズルの吸着ミスを管理しながら行う。部品装着検査手段１０７が、部品や部品装着部１０２の状態と部品装着状態とを検査する。
【０００６】
半田付け部１０３においては、半田印刷され電子部品を装着され搬送コンベア上に載置されて搬送される基板を、半田付け手段１０８が、リフロー炉内で、ヒータとフアンによる熱風によって半田を溶融し、冷却硬化して半田付けする。半田付け検査手段１０９が、半田付け部１０３の状態と半田付けの状態とを検査する。
【０００７】
そして、設備にトラブルが発生した場合には、設備が停止し、各設備のモニタにトラブルメッセージが表示され、そのメッセージに基づいて、マシンオペレータが、復旧処理を行う。
【０００８】
又、予防保全として、各設備に対して、マシンオペレータの判断で、適時に所定のメンテナンスを実施している。
【０００９】
又、製品の品質については、設備トラブルやメンテナンス実施とは関連なく、個別に独立して集計・分析が行われる。
【００１０】
又、設備の品質については、設備トラブルやメンテナンス実施とは関連なく、個別に独立して集計・分析が行われる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記の従来例の構成では、製品の検査と、トラブル処理と、メンテナンスの実施とに関するデータが、独立して相互関連がとれない状態で集計・分析されているので、従来例のデータ集積・分析システムでは、製品の検査と、トラブル処理と、メンテナンスの実施との間で、原因から結果を、結果から原因を、メンテナンスやアクションからその結果を予測又は推定することができないという問題点がある。
【００１２】
上記のように、結果の予測と推定ができないために、設備トラブルや製品不良が突発的に発生し、安定した品質を確保できないという問題点がある。
【００１３】
又、結果の予測と推定ができないために、メンテナンスが過度になったり不足したりすることが避けられないという問題点がある。
【００１４】
又、発生したトラブルの処理も、対策が場当たり的になり、ベテランオペレータの経験に対する依存度が大きく、数値化、ルール化することができず、適切な対策を迅速にとることが困難で、トラブルシュートに多大の時間を要し、不良要因解析、不良対策が大幅に遅れ、多量の不良発生と、設備稼働率の大幅低下を招くことがあるという問題点がある。
【００１５】
本発明は、上記の問題点を解決し、設備トラブル情報と、メンテナンス情報、メンテナンス結果情報とを関連を持たせて集計・分析し、この集計・分析結果から、メンテナンスを予測することができるメンテナンス指示システムおよびこれを備えた実装基板生産システムを提供することを課題としている。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明のメンテナンス指示システムは、上記の課題を解決するために、設備で発生した設備トラブルに関する設備トラブル情報を収集する設備トラブル情報収集手段と、設備において実施したメンテナンスに関するメンテナンス情報、設備において実施したメンテナンスの結果に関するメンテナンス結果情報、および前記収集した設備トラブル情報を記憶する記憶手段と、記憶手段が記憶している設備トラブル情報と、メンテナンス情報と、メンテナンス結果情報とから、各トラブル項目毎に、メンテナンスの有効性について確認し、有効性が確認されたものについて「トラブル―メンテナンス」ルールを作成する関連分析部と、入力した設備トラブル情報と、関連分析部が作成した「トラブル―メンテナンス」ルールとに基づいて実施すべきメンテナンス指示を出力する対策分析部と、対策分析部が出力したメンテナンス指示を表示する指示手段とを、有することを特徴とする。
【００１７】
上記発明のメンテナンス指示システムは、従来の技術において述べた実装基板生産システムに適用すると好適である。
【００１８】
【実施例】
本発明の実装基板生産システムの一実施例を図１〜図８に基づいて説明する。
【００１９】
図１、図２に示すように、基板移送ライン１０に沿ってその上流側から、半田印刷部１、部品装着部２、半田付け部３が順次配列している。
【００２０】
半田印刷部１においては、半田印刷手段４が、基板等の被印刷物のランド上にクリーム半田を印刷する。半田印刷検査手段５が、基板及び半田印刷部１の状態と印刷状態とを検査する。
【００２１】
部品装着部２においては、部品装着手段６が、ＸＹ駆動装置によって吸着ノズルを移動し、吸着ノズルが電子部品を部品供給位置から基板上の装着位置まで移送し、基板のランドに印刷されたクリーム半田上に電子部品を装着する。この電子部品の装着は、部品認識カメラにより吸着ノズルの吸着ミスを管理しながら行う。部品装着検査手段７が、部品や部品装着部２の状態と部品装着状態とを検査する。
【００２２】
半田付け部３においては、半田印刷され電子部品を装着され搬送コンベア上に載置されて移送される基板を、半田付け手段８が、リフロー炉内で、ヒータとフアンによる熱風によって半田を溶融し、冷却後、硬化して半田付けする。半田付け検査手段９が、半田付け部３の状態と半田付けの状態とを検査する。
【００２３】
上記までは、従来例と異ならないが、本実施例は、以下の構成が従来例と異なる。
【００２４】
設備トラブル情報収集手段１１のネットワークによるリアルタイム処理とオペレータが操作するキーイン手段１３によって、半田印刷部１、部品装着部２、半田付け部３の各加工手段と検査手段とからの設備トラブル情報２１と設備品質情報２５を収集し、記憶手段１４に記憶させると共に対策分析部１６に入力する。本実施例での設備トラブル情報２１は、例えば、半田印刷手段４のマーク認識エラー、クリーニング用ロール紙切れエラー等、又、部品装着手段６の部品吸着ノズル詰まり、トップテープ切れ、ノズル切替えエラー等、又、半田付け手段８の基板落下エラー、雰囲気温度低下エラー、Ｏ２濃度上昇エラー等である。これらの情報は、図２に示すように、記憶手段１４の設備トラブル情報データベース３１に記憶される。又、本実施例での設備品質情報２５は、例えば、半田印刷手段４のマーク認識ずれ量分布等、又、部品装着手段６の部品吸着不良率、部品認識不良率等、又、半田付け手段８の温度プロファイル、コンベアスピード、Ｏ２濃度等である。これらの情報は、図２に示すように、記憶手段１４の設備品質情報データベース３５に記憶される。
【００２５】
オペレータが操作するキーイン手段１３が、メンテナンス情報２３とそのメンテナンスを実施した結果が良好であったか、不良であったか、副次的な現象が発生したか等のメンテナンス結果情報２４とを、記憶手段１４に入力する。本実施例でのメンテナンス情報２３とメンテナンス結果情報２４とは、例えば、部品装着手段６の吸着ノズル掃除、フィルタ交換、半田付け手段８の基板搬送幅縮小調整、基板投入間隔調整、外気温度管理、Ｎ２ガス流量増加等に関するものである。これらの情報は、図２に示すように、記憶手段１４のメンテナンス情報データベース３３に記憶される。
【００２６】
製品品質情報収集手段１２のネットワークが、半田印刷部１、部品装着部２、半田付け部３の各検査手段からの製品品質情報２２を収集し、記憶手段１４に記憶させると共に対策分析部１６に入力する。本実施例での製品品質情報２２は、例えば、半田印刷検査手段５からの印刷カスレ、印刷ずれ、印刷半田の有無、不良率等、部品装着検査手段７からの部品欠品、部品立ち、部品装着位置ずれ、部品装着極性ミス、不良率等、半田付け検査手段からの部品欠品、部品立ち、部品装着位置ずれ、部品装着極性ミス、不良率等である。これらの情報は、図２に示すように、記憶手段１４の製品品質情報データベース３２に記憶される。この場合、オペレータが操作するキーイン手段１３によっても入力できる。
【００２７】
上記のようにして収集された情報を処理する本実施例の構成と動作を図１、図２に基づいて説明する。
【００２８】
関連分析部１５が、記憶手段１４が記憶している設備トラブル情報２１と、製品品質情報２２と、メンテナンス情報２３と、メンテナンス結果情報２４と、設備品質情報２５とから各情報間における各情報の各項目内容を組合せその頻出度を分析して、トラブルと品質とメンテナンス間で、原因から結果を、結果から原因を、メンテナンス又はアクションから結果を予測又は推定するルール１８を作成する。
【００２９】
例えば、本実施例では、関連分析部１５は、設備トラブル情報データベース３１の各トラブル項目毎に、メンテナンス情報データベース３３のメンテナンス記録とメンテナンス結果記録とに基づいて、そのメンテナンスの有効性について確認し、有効性が確認されたものについては、「トラブル−メンテナンス」ルール１８として記憶しておく。
【００３０】
又、関連分析部１５は、設備品質情報データベース３５の各項目毎に、メンテナンス情報データベース３３のメンテナンス記録とメンテナンス結果記録とに基づいて、そのメンテナンスの有効性について確認し、有効性が確認されたものについては、「設備品質−メンテナンス」ルール１８として記憶しておく。
【００３１】
同様にして、関連分析部１５は、設備トラブル情報データベース３１の各項目と、メンテナンス情報データベース３３の各項目と、設備品質情報データベース３５の各項目の夫々に対して、製品品質情報データベース３２の不良率や、検査項目の個々について、急激な増減があった特異点の有無とその相関性とを確認し、相関性が確認されたものについては、「製品品質−トラブル」ルール１８、「製品品質−メンテナンス」ルール１８、「製品品質−設備品質」ルール１８として記憶しておく。
【００３２】
関連分析部１５は、以上のようなルールを予め登録し、更に、日常生産活動の中で、追加して登録蓄積して、これらのルールを増加させて行く。
【００３３】
関連分析部１５によって各種のルールが登録された後に、本実施例の対策分析部１６がこれらのルールを利用する動作を図１、図２に基づいて説明する。
【００３４】
図２に示すように、対策分析部１６が、上記のルール１８に基づいて、設備トラブル情報２１と、製品品質情報２２と、設備品質情報２５と、メンテナンス情報２３と、メンテナンス結果情報２４とから、実施すべきメンテナンス指示又はアクション指示を指示手段１７に出力し、指示手段１７が、メンテナンス指示又はアクション指示を表示する。
【００３５】
例えば、本実施例では、対策分析部１６は、設備トラブル情報収集手段１１から設備トラブル情報２１を受けると、「トラブル−メンテナンス」ルール１８に基づいて、リアルタイムに、有効性が確認されているメンテナンスを実施するようにとのメンテナンス指示を指示手段１７に出力し、指示手段１７が、このメンテナンス指示を表示する。
【００３６】
又、対策分析部１６は、設備トラブル情報収集手段１１から設備品質不良が発生したという設備品質情報２５を受けると、「設備品質−メンテナンス」ルール１８に基づいて、リアルタイムに、有効性が確認されているメンテナンスを実施するようにとのメンテナンス指示を指示手段１７に出力し、指示手段１７が、このメンテナンス指示を表示する。
【００３７】
又、対策分析部１６は、製品品質情報収集手段１２から製品品質不良が発生したという製品品質情報２２を受けると、「製品品質−メンテナンス」ルール１８に基づいて、リアルタイムに、有効性が確認されているメンテナンスを実施するようにとのメンテナンス指示を指示手段１７に出力し、指示手段１７が、このメンテナンス指示を表示する。
【００３８】
図３は、設備トラブル、設備品質不良が発生しメンテナンスを実施した場合に、データベースに登録しておく情報の内容の一例である。発生時刻、復帰時刻、メンテナンス結果等を合わせて登録している。
【００３９】
図４〜図６は、関連分析部１５が、各ルールを決定していくアルゴリズムのフローチャートである。
【００４０】
図４は、「トラブル−メンテナンス」ルール１８を決定する場合のアルゴリズムである。
【００４１】
図４のステップ＃１において、関連分析部１５は、設備トラブル情報データベース３１から、同一トラブルを抽出・集計し、最も頻度が高いトラブルを抽出して、ステップ＃２に進む。
【００４２】
ステップ＃２において、関連分析部１５は、抽出したトラブルについて、メンテナンスの内容毎に、集計し直し、ステップ＃３に進む。
【００４３】
ステップ＃３において、関連分析部１５は、各メンテナンス項目毎に、結果が良好な割合を演算し、ステップ＃４に進む。
【００４４】
ステップ＃４において、関連分析部１５は、良好な割合を有為基準、例えば７０％、と比較し、有為基準以上であれば、そのメンテナンスが有効であると判断し、ステップ＃５に進み、有為基準未満であれば、そのメンテナンスが無効であると判断し、ステップ＃６に進む。
【００４５】
ステップ＃５において、関連分析部１５は、「トラブル−メンテナンス」ルール１８を登録し、ステップ＃６に進む。
【００４６】
ステップ＃６において、関連分析部１５は、設備トラブル情報データベース３１から、次の同一トラブルを集計し、ステップ＃２に戻る。
【００４７】
これを、本実施例の実装基板生産システムについて具体的に説明する。例えば、部品装着手段６において、「部品吸着ノズル切替えエラー」のトラブルが発生した場合、設備品質情報収集手段１１を介して、「部品吸着ノズル切替えエラー」の設備トラブル情報２１が記憶手段１４と関連分析部１５とに伝えられ、「ノズルの清掃」というメンテナンスが実施され、このトラブルが１０回発生し、１０回そのメンテナンスが実施され、９回は良好な結果が得られたとする。良好な結果が得られなかった１回は、ノズル切替え部品の破損によるもので、「ノズルの清掃」では、良好な結果が得られなかったとする。この場合には、９０％の確率でメンテナンスが成功しているので、関連分析部１５が、「部品吸着ノズル切替えエラー」が発生した場合には、「ノズルの清掃」を「トラブル−メンテナンス」ルール１８として登録する。
【００４８】
図５は、関連分析部１５が、「設備品質−メンテナンス」ルール１８を決定する場合のアルゴリズムである。
【００４９】
図５のステップ＃１において、関連分析部１５は、設備品質情報データベース３５から、同一の設備品質不良を抽出・集計し、最も頻度が高い設備品質不良、例えば、「吸着不良率基準オーバー」を抽出して、ステップ＃２に進む。
【００５０】
ステップ＃２において、関連分析部１５は、抽出した「吸着不良率基準オーバー」について、メンテナンスの内容毎に、例えば、「ノズル清掃」、「フイルター交換」、「カセット交換」、「ロール交換」等を集計し直し、ステップ＃３に進む。
【００５１】
ステップ＃３において、関連分析部１５は、「吸着不良率基準オーバー」の各メンテナンス項目毎に、結果が良好な割合を演算し、ステップ＃４に進む。
【００５２】
ステップ＃４において、関連分析部１５は、良好な割合を有為基準、例えば７０％、と比較し、有為基準以上であれば、そのメンテナンスが有効であると判断し、ステップ＃５に進み、有為基準未満であれば、そのメンテナンスが無効であると判断し、ステップ＃６に進む。
【００５３】
ステップ＃５において、関連分析部１５は、「設備品質−メンテナンス」ルール１８を登録し、ステップ＃６に進む。
【００５４】
ステップ＃６において、関連分析部１５は、設備品質情報データベース３５から、次の同一トラブルを集計し、ステップ＃２に戻る。
【００５５】
図６は、関連分析部１５が、「製品品質−トラブル」ルール１８、「製品品質−メンテナンス」ルール１８、「製品品質−設備品質」ルール１８を決定する場合のアルゴリズムである。
【００５６】
図６のステップ＃１において、関連分析部１５は、製品品質情報データベース３２から、同一の品質変化点（特異点）、例えば、或る時間において、基板半田付け不良率が５％上昇した時点、を抽出し、ステップ＃２に進む。
【００５７】
ステップ＃２において、関連分析部１５は、設備トラブル情報データベース３１から、抽出した同一の品質変化点（特異点）における同一トラブル、例えば、「部品吸着ノズル切替えエラー」、「基板搬送エラー」等を抽出し、ステップ＃３に進む。
【００５８】
ステップ＃３において、関連分析部１５は、メンテナンス情報データベース３３から、前記の抽出した特異点の周辺、例えば、前後１時間においてのメンテナンス実施履歴、例えば、「部品装着手段の搬送系エラー対策調整を行った」、「ノズルフィルターを交換した」、「カセットの点検精度再調整をした」等を抽出し、且つ、これらのメンテナンスを実施した場合の、前記の抽出した特異点の変化、例えば、メンテナンスの結果、「不良が減少した」、「不良が増加した」、「変化なし」等を確認して、ステップ＃４に進む。
【００５９】
ステップ＃４において、関連分析部１５は、設備品質情報データベース３５から、前記の抽出した特異点の周辺、例えば、前後１時間において発生した内容、例えば、「部品吸着不良率が一定レベルを越えた」、「製品認識不良率が一定レベルを越えた」等を抽出し、ステップ＃５に進む。
【００６０】
ステップ＃５において、関連分析部１５は、前記の抽出した同一の品質変化点（特異点）毎に、「同一トラブル」、「同一メンテナンス」、「同一設備不良」の発生割合を演算し、ステップ＃６に進む。
【００６１】
ステップ＃６において、関連分析部１５は、前記の演算された発生割合を有為基準、例えば７０％、と比較し、有為基準以上であれば、その「同一トラブル」、「同一メンテナンス」、「同一設備不良」が、製品品質の品質変化点（特異点）に関連性がありと判断して、ステップ＃７に進み、有為基準未満であれば、その「同一トラブル」、「同一メンテナンス」、「同一設備不良」が、製品品質の品質変化点（特異点）に関連性がないと判断し、ステップ＃８に進む。
【００６２】
ステップ＃７において、関連分析部１５は、「製品品質−トラブル」ルール１８、「製品品質−メンテナンス」ルール１８、「製品品質−設備品質」ルール１８を登録し、ステップ＃８に進む。
【００６３】
ステップ＃８において、関連分析部１５は、製品品質情報データベース３２から、次の特異点を抽出し、ステップ＃２に戻る。
【００６４】
図７は、対策分析部１６が、「製品品質−トラブル」ルール１８、「製品品質−メンテナンス」ルール１８、「製品品質−設備品質」ルール１８、「トラブル−メンテナンス」ルール１８、「設備品質−メンテナンス」ルール１８に基づいて、製品品質情報２２と、設備トラブル情報２１と、設備品質情報２５とから、「メンテナンス指示」又は「アクション指示」を決定するアルゴリズムを示すフローチャートである。
【００６５】
記憶手段１４は、定期的に、設備トラブル情報収集手段１１と、製品品質情報収集手段１２と、オペレータが操作するキーイン手段１３によって、設備トラブル情報２１、製品品質情報２２、メンテナンス情報２３、メンテナンス結果情報２４、設備品質情報２５の入力を受けて記憶している。
【００６６】
製品品質に特異点、例えば、製品品質が急激に上昇又は下降した、或いは、緩やかに上昇又は下降傾向にある、或いは、短期間に急激な上昇・下降を繰り返している等が発生した場合、又は、トラブル、例えば、ノズル切替えエラーが発生した場合、又は、設備品質不良、例えば、吸着不良率が基準値を越えた場合に、対策分析部１６が、どの「製品品質−メンテナンス」ルール１８、「トラブル−メンテナンス」ルール１８、「設備品質−メンテナンス」ルール１８に当てはまるかを検索して、メンテナンス項目、例えば、カセットの点検再調整をしなさい、ノズルを清掃しなさい、フィルタを交換しなさい等のメンテナンス項目を決定し、表示手段１７に伝え、表示手段１７がこのメンテナンス項目を表示する。
【００６７】
図８は、上記のメンテナンス指示内容を示す図である。
【００６８】
【発明の効果】
本発明によれば、収集記憶された設備トラブル情報と、メンテナンス情報と、メンテナンス結果情報とから、実施すべきメンテナンス指示を的確に表示できるので、オペレータは、メンテナンスによる対策が必要な場合に、前記指示によって、即時に、対策を実施し、不良の拡大を即時に防止できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実装基板生産システムの一実施例の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の要部の詳細を示すブロック図である。
【図３】図１のトラブル−メンテナンスの内容を示す図である。
【図４】図１と図２における「トラブル−メンテナンス」ルールを決定するアルゴリズムを示すフローチャートである。
【図５】図１と図２における「設備品質−メンテナンス」ルールを決定するアルゴリズムを示すフローチャートである。
【図６】図１と図２における「製品品質−トラブル」ルールと「製品品質−メンテナンス」ルールと「製品品質−設備品質」ルールとを決定するアルゴリズムを示すフローチャートである。
【図７】図１と図２におけるメンテナンス指示のアルゴリズムを示すフローチャートである。
【図８】図１と図２におけるメンテナンス指示の内容を示す図である。
【図９】従来例の実装基板生産システムの構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１　半田印刷部
２　部品装着部
３　半田付け部
４　半田印刷手段
５　半田印刷検査手段
６　部品装着手段
７　部品装着検査手段
８　半田付け手段
９　半田付け検査手段
１０　基板移送
１１　設備トラブル情報収集手段
１２　製品品質情報収集手段
１３　キーイン手段
１４　記憶手段
１５　関連分析部
１６　対策分析部
１７　指示手段
１８　予測・推定ルール
２１　設備トラブル情報
２２　製品品質情報
２３　メンテナンス情報
２４　メンテナンス結果情報
２５　設備品質情報
３１　設備トラブル情報データベース
３２　製品品質情報データベース
３３　メンテナンス情報データベース
３５　設備品質情報データベース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004005602.tif 000009
【図８】
2004005602.tif 000010
【図９】
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