(57)【要約】【課題】ウエハを切断加工して得られるチップの剥離回収性、さらに薬品処理や保管及び輸送安定性に優れ、環境への負荷を低減させた使用方法を提供する。【解決手段】基材層の少なくとも片面に実質的に反応性成分を含まない粘着層を強固に一体化したウエハ加工用粘着テープであって、該ウエハ加工用粘着テープを拡張する力を剥離する力に変換することを特徴ととし、２０〜８０℃の温度範囲において、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠して測定される１８０度引き剥がし粘着力が、０．１〜１０Ｎ／２５ｍｍの範囲にあり、２３℃におけるせん断剥離強度が、０．５〜３ＭＰａの範囲にあり、２３℃における当該粘着層のヤング率Ｅ′が、２〜１２ＭＰａの範囲にあることを特徴とする粘着テープを用いることにより、チップの剥離回収性、さらに薬品処理や保管及び輸送安定性に優れ、環境への負荷を低減させたウエハ加工方法を提供する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材層の少なくとも片面に実質的に反応性成分を含まない粘着層を強固に一体化したウエハ加工用粘着テープであって、該ウエハ加工用粘着テープに外部から加えられる拡張する力を剥離する力に変換することを特徴とするウエハ加工用粘着テープ。
【請求項２】
基材層の少なくとも片面に粘着層を強固に一体化したウエハ加工用粘着テープであって、
（１）２３℃におけるせん断剥離強度が、０．５〜３ＭＰａの範囲にあり、
（２）２３℃における粘着層のヤング率Ｅ′が、２〜１２ＭＰａの範囲にあり、
（３）２０〜８０℃の温度範囲において、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠して測定される１８０度引き剥がし粘着力が、０．１〜１０Ｎ／２５ｍｍの範囲にあることを特徴とするウエハ加工用粘着テープ。
【請求項３】
前記粘着層が、オレフィン系重合体を主成分として含有することを特徴とする請求項１ないし２項に記載のウエハ加工用粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハ加工用粘着テープ及びその使用方法に関し、より詳細には、主に半導体ウエハやセラミックウエハ等のウエハ加工工程において、ウエハをチップに切断加工する際ウエハを固定保持するために用いるウエハ加工用粘着テープに関する。
【０００２】
【従来の技術】
シリコン、ガリウムヒ素、ゲルマニウムケイ素などの半導体ウエハは、大きな径を有するウエハの状態で電子回路パターンを形成させた後、ウエハの裏面を研削して、この半導体ウエハをチップに切断加工し剥離回収する工程（ダイシング工程）を経て、マウント及びモールド工程に移され実装される。このダンシング工程においては、半導体ウエハを固定保持してチップに切断加工するために、ウエハ加工用粘着テープが用いられている。また、石英ガラスや光通信用の光学素子に使用されるセラミックスなどのウエハを、チップに切断加工する際にもウエハ加工用粘着テープが用いられる。
【０００３】
このウエハ加工用粘着テープには、粘着力を低くできない感圧型のウエハ加工用粘着テープのほか、粘着力をエネルギー線（紫外線）により低くできるエネルギー線（紫外線）硬化型ウエハ加工用粘着テープが使用されている。
【０００４】
粘着力を低くできない感圧型のウエハ加工用粘着テープの場合、チップを剥離回収する（ピックアップ）するには、通常チップの裏面を直接針で突き上げることによりピックアップする方式が採用されているが、チップ裏面に針先による打撃痕が発生し、薄く脆いチップの場合は割れてしまう問題がある。
【０００５】
そこで、厚さが１５０μｍ以下の半導体チップや非常に脆く傷つけたくない材料や用途のチップには、チップを針先で触れない方式（非貫通方式）でも剥離回収できるエネルギー線硬化型ウエハ加工用粘着テープや加熱発泡型ウエハ加工用粘着テープが提案され使われている。まず、エネルギー線硬化型ウエハ加工用粘着テープの場合は、エネルギー（紫外）線により粘着層内に含まれる反応性成分を架橋硬化させて、非貫通方式に対応できる剥離回収性を達成している。この場合、粘着層内の反応により収縮する力が、チップとの粘着面積を減少させ剥離する力になっている。一方、加熱発泡型ウエハ加工用粘着テープの場合は、熱エネルギーなどにより粘着層内に含まれる反応性成分を発泡膨張させて、非貫通方式に対応できる剥離回収性を達成している。この場合、粘着層内の反応により膨張する力が、チップとの粘着面積を減少させ剥離する力になっている。
【０００６】
いずれも、外部からのエネルギー（紫外線や熱）を粘着層内の化学反応に変換することで、剥離する力として収縮力あるいは膨張力を生み出すことを基にして、考案された従来の技術である。
【０００７】
しかしながら、エネルギー線硬化型や加熱発泡型のウエハ加工用粘着テープは、長期保存安定性に劣るため、温度、湿度、光などを厳しく管理したウエハ加工設備や、同様に管理された保管および輸送環境を必要とし、さらに厳しい管理下でも使用可能な期限が短いという問題があった。また、このタイプのウエハ加工用粘着テープでは、エネルギー線源（ランプ等）の劣化や温度、湿度、光などの加工や保存環境の何らかの変動により粘着力を制御できなくなると、不良品が大量に発生することもある。
【０００８】
長期保存安定性や粘着力の安定性に優れる粘着テープとして、特開平７−２３３３５４号公報（特許文献１）、特開平１０−２９８５１４号公報（特許文献２）、特開平１１−４３６５５号公報（特許文献３）、特開平１１−２１５１９号公報（特許文献４）、特開平１１−１０６７１６号公報（特許文献５）、特開２００２−２１２５２３号公報（特許文献６）には、いずれも粘着層に特定のα−オレフィン共重合体を含む表面保護フィルムが開示されている。しかし、性能要求の厳しいウエハ加工用途に適した粘着テープに関する記載はない。
【０００９】
欠けや亀裂の拡大によるチップの損壊を防ぐウエハ加工用粘着テープとして、特開２００２−１５５２４９号公報（特許文献７）には、粘着層に特性の粘弾性を有するウエハ加工用粘着テープ及びその製造方法並びに使用方法が開示されている。しかし、エネルギー線硬化型ウエハ加工用粘着テープと同じレベルの易剥離性に関すること、特に、薄く脆いチップにダメージを与えない方式で剥離回収することに関する記載はない。
【００１０】
【特許文献１】特開平７−２３３３５４号公報
【特許文献２】特開平１０−２９８５１４号公報
【特許文献３】特開平１１−４３６５５号公報
【特許文献４】特開平１１−２１５１９号公報
【特許文献５】特開平１１−１０６７１６号公報
【特許文献６】特開２００２−２１２５２３号公報
【特許文献７】特開２００２−１５５２４９号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上述した従来のウエハ加工粘着テープでは達成できなかった、ウエハを加工する際十分な粘着力を有すると共に、チップの欠けの発生を極小化し、糊残り等の汚染を無くし、エネルギー線照射装置や加熱装置等の特殊な装置を用いないで薄く脆いチップにダメージを与えない方式で剥離回収でき、長期保存環境や輸送環境での安定性に優れ、さらに薬品処理も可能にする安定性を有し、取り扱う際の安全性に優れ、廃棄処理する際に環境への負荷が少ない材料からなるウエハ加工用粘着テープを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、実質的に反応性成分を含まない粘着層と基材層を強固に一体化して、粘着テープを外部から加えられる拡張する力をチップと粘着層を剥離する力に変換することにより、ウエハ加工する際に必要な粘着力を確保してその粘着力を低減させること無しに、チップにダメージを与えない非貫通方式で剥離回収できることを見出し、また、その様な特定のウエハ加工用粘着テープを用いることにより、従来のウエハ加工用粘着テープでは達成し得なかったウエハ加工時の固定保持力と易剥離性の両立に加え、薬品処理に対する安定性、さらに長期保管あるいは船便輸送を想定した環境での安定性を併せ持つことを見出して本発明に至った。
【００１３】
即ち、本発明においては、基材層の少なくとも片面に実質的に反応性成分を含まない粘着層を強固に一体化したウエハ加工用粘着テープであって、該ウエハ加工用粘着テープに外部から加えられる拡張する力を剥離する力に変換することを特徴とするウエハ加工用粘着テープが提供される。
【００１４】
また、本発明においては、基材層の少なくとも片面に粘着層を強固に一体化したウエハ加工用粘着テープであって、
（１）２３℃におけるせん断剥離強度が、０．５〜３ＭＰａの範囲にあり、
（２）２３℃における粘着層のヤング率Ｅ′が、２〜１２ＭＰａの範囲にあり
（３）２０〜８０℃の温度範囲において、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠して測定される１８０度引き剥がし粘着力が、０．１〜１０Ｎ／２５ｍｍの範囲にあることを特徴とするウエハ加工用粘着テープが提供される。
【００１５】
本発明においては、さらに、前記粘着層が、オレフィン系重合体を主成分として含有することが好ましい。
【００１６】
さらにまた、前記粘着層が、炭素原子数２〜１２のα−オレフィンから選ばれる少なくとも２種のα−オレフィンを主な単位成分とするα−オレフィン共重合体の、１種または２種以上の混合物を主成分として含有するものであることが、より好ましい。
【００１７】
また、本発明においては、前記基材層が、１層または複数の層からなり、オレフィン系重合体を主成分として含有することであることが、より好ましい。
【００１８】
前記基材層が、表面層と中間層とからなり、粘着層、中間層、表面層の順に３層積層されてなることが、より好ましい。
【００１９】
また、本発明に係わるウエハ加工用粘着テープは、共押出成形法によって成形されてなるものであることが、より好ましい。
【００２０】
また、本発明に係わるウエハ加工用粘着テープを、（１）前記粘着層を介してウエハの一方の面に貼り付ける工程と、（２）ウエハをチップに切断加工する工程と、（３）そのままの状態でチップを薬品処理する工程と、（４）そのままの状態で保管及び輸送する工程と、（５）該ウエハ加工用粘着テープを拡張してチップを剥離回収する工程と、をから選ばれる単独或いは複数のウエハ加工工程に渡って使用してウエハからチップを製造することが、より好ましい。
【００２１】
さらに、前記チップを剥離回収する工程が、針先を丸めた突き上げ針が該ウエハ加工用粘着テープを貫通せずに押し上げることで該ウエハ加工用粘着テープを実質的に拡張させ、チップと該粘着層の間を剥離させてチップを回収することであると好ましい。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のウエハ加工用粘着テープ（以下「本発明の粘着テープ」という）及びその使用方法（以下「本発明の使用方法」という）について、添付図面を参照して具体的に説明する。
なお、全図において同一又は相当部分については、同一の符号を付すこととする。
【００２３】
図１は、本発明の粘着テープの一実施形態を示す断面図である。同図に示されるように、本発明の粘着テープ１０は、基材層１と、基材層１の片面に積層された粘着層２とからなる。
【００２４】
本発明の粘着層２は、実質的に反応性成分を含まない粘着層であり、例えば、紫外線等のエネルギー線照射処理や加熱処理では、架橋反応や分解反応などの化学反応が実質的におこらず、処理前後で粘着力等の特性が変化しない粘着層であることが望ましい。
【００２５】
また、本発明の粘着層２は、被着体であるウエハに対しても、実質的に反応性成分を含まない粘着層であり、この反応性成分として、例えば、腐蝕性イオンとして、ナトリウムイオン、カリウムイオン、塩素イオン、弗素イオン、亜硝酸イオン、硝酸イオン、燐酸イオン、硫酸イオン等や、金属イオンとして、鉄イオン、ニッケルイオン、銅イオン、アルミニウムイオン、クロムイオン等を含まない粘着層であることが望ましい。例えば、ウエハが電子回路を有する場合、腐蝕性イオンは回路が断線したり、金属イオンは回路を短絡する不具合を発生し易くなるため、回路に影響を与えないレベルまで腐食性イオンと金属イオンを低減しなければならない。さらに、本発明の基材層１は、粘着層２に比べて反応性成分を含まないことが好ましく、腐蝕性イオンや金属イオンも粘着層２比べてより低いレベルであることが好ましい。
【００２６】
本発明の粘着テープ１０は、実質的に反応性成分を含まない粘着層２と基材層１とから構成されるので、保管及び輸送環境を管理維持するためのエネルギーを殆ど必要としないことと、回路に悪影響のある反応性成分を含まず且つエネルギー線（紫外線）など装置も必要としないので、取り扱い作業者が作業し易い環境と安全安心を提供できることなどが、反応性成分を含む従来からのウエハ加工用粘着テープに比べて非常に有用である。
【００２７】
本発明の粘着テープ１０は、基材層や粘着層の原料及び粘着テープの製造工程から反応性成分である腐食性イオンと金属イオンを排除することにより、イオン分析値として１ｐｐｍ未満にすることが好ましい。
【００２８】
本発明の粘着テープ１０は、基材層１と粘着層２は強固に一体化したものであり、例えば、碁盤目状にナイフで切れこみを入れた後粘着層２と基材層１の界面を粘着テープで剥離状況を観察する（碁盤目剥離）テストで全面に剥離が発生しないレベルにすることが、該粘着テープ１０に外部から加えられる拡張する力を剥離する力に変換する効率が高くなるので、好ましい。
【００２９】
図２は、本発明が使用されるウエハ加工工程でチップを剥離回収する工程における拡張剥離モデル（以下「本発明の拡張剥離モデル」という）を示す。
【００３０】
図２を基に、本発明の粘着テープ１０に外部から加えられる拡張する力を剥離する力に変換することについて、本発明の拡張剥離モデルより説明する。
【００３１】
切断加工後の剥離回収する工程で、粘着テープ１０を外部から加えられる拡張する力として、チップ間隔を広げるために拡張する力とチップ裏面側を突き上げ針によりテープが実質的に伸ばされ拡張する力が、図２の最下段の断面拡大図に示した矢印の方向に働く。この拡張する力を効率よく変換すれば、図２上部に示したチップ裏面図のように、チップと粘着層との間に剥離が進行する力が働いて密着部分の面積が低減しゼロになり剥離するモデルが、拡張剥離モデルである。
【００３２】
図３は、図２に示した本発明の拡張剥離モデルについて、有限要素法を適用するための解析モデルの全体図と、その計算手法から得られる結果を示す断面積概念図である。図３では、拡張による強制変位Ｍからチップと粘着層の界面に発生する最大せん断応力の位置を有限要素法により剥離長さＬが求められることを示している。
【００３３】
本発明の拡張する力を剥離する力に変換するとは、拡張による強制変位Ｍからチップと粘着層界面に発生する最大せん断応力が、せん断剥離強度を超える時剥離が進行するとした全く新しい考えを基にして考案されたものであり、図３の断面概念図に示す。
【００３４】
図３を基にして、拡張による強制変位Ｍからチップと粘着層の界面に発生する最大せん断応力の位置から剥離長さＬが求められることを説明する。
【００３５】
そこで、有限要素法の計算に広く使われているＨｉｂｂｉｔｔ，Ｋａｒｌｓｓｏｎ  ＆  Ｓｏｒｅｎｓｅｎ，Ｉｎｃ．製の解析ソフト：ＡＢＡＱＵＳ（Ｖｅｒｓｉｏｎ５．８）へ、図３の解析モデルと材料の定義を組み立ててから計算することにより、剥離長さＬを大きくする因子（すなわち、外部から加えられる拡張する力を剥離する力に変換するための因子）が求められる。
【００３６】
まず、ＡＢＡＱＵＳへ解析モデルの組み立て方を示す。
《解析モデル》
・解析モデルは、左右対称のため１／２モデルとする。
・縦方向要素分割を粘着層は６分割にして、基材層は１０分割として、解析モデルの要素数は８０３２個に設定する。
・ＡＢＡＱＵＳへの入力ファイルでは、要素は平面ひずみ要素を用いる。粘着層と中間層の要素タイプは、ＴＹＰＥ＝ＣＰＥ４Ｈとして、大ひずみ解析に強いタイプとし、表面層の要素タイプは、ＴＹＰＥ＝ＣＰＥ４Ｉとして、１層でも曲げが表現できるタイプとする。
・切断加工（ダイシング）後は、チップ間距離が通常０．０３ｍｍとなることから、解析モデルでは半分の０．０１５ｍｍにする。拡張による強制変位Ｍは、約０．０８〜約１ｍｍの範囲を取りうる。拡張すると強制変位Ｍは、最小に近いＭ＝０．０８５ｍｍを用いる。なお、強制変位Ｍが０．１ｍｍを超え大きくすると、剥離長さＬがより長くなる関係である。
次に、本発明の粘着テープに関する材料の定義と、ＡＢＡＱＵＳへの入力例を示す。
【００３７】
次に、ＡＢＡＱＵＳへの材料の定義を最適化する方法を示す
《材料の定義》
・基材層は弾性材料としてヤング率Ｅ′，ポアソン比のみを入力する。
・粘着層は「ほぼ非圧縮性であるエラストマー（ポアソン比がほぼ０．５である材料）の弾性特性」として定義する。本発明の粘着テープに適用できる粘着層及び基材層からなる実測値のＳＳカーブより読み取った応力・歪みの値を入力する。
さらに、ＡＢＡＱＵＳへの入力例の一部を示す。
《ＡＢＡＱＵＳへの入力例》
：
＊ＳＵＲＦＡＣＥ  ＤＥＦＩＮＩＴＩＯＮ，  ＮＡＭＥ＝ＥＬＩ  （接触面定義）
ＥＬＩＮ，  ｓ３
＊ＲＩＧＩＤ  ＳＵＲＦＡＣＥ，  ＮＡＭＥ＝ＲＩＧＩＤ，  ＲＥＦＮＯＤＥ＝２００００，  ＴＹＰＥ＝ＳＥＧＭＥＮＴＳ  （剛体壁定義）
ＳＴＲＡＴ，  ５．１，  ０．１０５
ＬＩＮＥ，  ０．０１５，  ０．１０５
ＬＩＮＥ，  ０．０１５，  ０．２
＊ＳＵＲＦＡＣＥ  ＩＮＴＥＲＡＣＴＩＯＮ，  ＮＡＭＥ＝ｈａｋｕ            （接触面の組み合わせ）
＊ＣＯＮＴＡＣＴ  ＰＡＩＲ，  ＩＮＴＥＲＡＣＴＩＯＮ＝ｈａｋｕ            （接触面の組み合わせ）
ＥＬＩ，  ＲＩＧＩＤ
＊ＩＮＩＴＩＡＬ  ＣＯＮＤＩＴＩＯＮＳ，  ＴＹＰＥ＝ＣＯＮＴＡＣＴ        （接着された接着対の指定）
ＥＬＩ，  ＲＩＧＩＤ，  ＴＯＰ（スレーブ面、マスター面、スレーブ面上にある節点集合名）
：
＊ＤＥＢＯＮＤ，ＳＬＡＶＥ＝ＥＬＩ，ＭＡＳＴＥＲ＝ＲＩＧＩＤ，ＴＩＭＥＩＮＣＲＥＭＥＮＴ＝０．００１，ＦＲＥＱ＝９９９９，ＯＵＴＰＵＴ＝ＢＯＴＨ
０．０    ，  １．０
０．００５，  ０．０
＊ＦＲＡＣＴＵＲＥ  ＣＲＩＴＥＲＩＯＮ，  ＴＹＰＥ＝ＣＲＩＴＩＣＡＬ  ＳＴＲＥＳＳ，  ＤＩＳＴＡＮＣＥ＝０．０１，  ＴＯＬＥＲＡＮＣＥ＝０．１
０．０１５，  １．８        （垂直方向剥離強度、せん断剥離強度）
＊ＣＯＮＴＡＣＴ  ＰＲＩＮＴ
ＣＳＴＲＥＳＳ，  ＣＤＩＳＰ
ＤＢＴ，  ＤＢＳＦ，  ＤＢＳ
＊ＰＲＩＮＴ，  ＣＯＮＴＡＣＴ＝ＹＥＳ
＊＊
＊ＮＯＤＥ  ＰＲＩＮＴ，  ＦＲＥＱ＝１００
＊ＥＬ  ＰＲＩＮＴ，  ＦＲＥＱ＝１００
＊ＥＮＤ  ＳＴＥＰ
このようにして、有限要素法の解析ソフト：ＡＢＡＱＵＳに本発明の拡張剥離モデルを組み入れ、材料の定義を最適化してから、剥離長さＬを大きく出来る因子を計算した。その主因子であるせん断剥離強度と粘着層のヤング率Ｅ′と剥離長さＬの関係を示す計算結果を、図４と図５に示す。
【００３８】
図４は、せん断剥離強度を２．４〜０．７ＭＰａに変化させた場合の最大せん断応力発生位置（剥離長さＬ）を計算した結果例である。
【００３９】
本発明の粘着テープにおいて、２３℃におけるせん断剥離強度が、０．５〜３ＭＰａの範囲にあることが好ましい。せん断剥離強度が、０．５ＭＰａ未満であると、例えば切断加工する際の衝撃によるチップが飛びや剥がれを防止することが困難になり好ましくない。せん断剥離強度が、３ＭＰａを越えて大きくなり過ぎると、剥離回収が悪化することがあり好ましくなく、図４からも剥離回収が悪化する傾向を示している。
【００４０】
図５は、粘着層のヤング率Ｅ′を２．８〜１１．４ＭＰａに変化させた場合の最大せん断応力発生位置（剥離長さＬ）を計算した結果例である。
【００４１】
本発明の粘着テープにおいて、２３℃粘着層２のヤング率Ｅ′が、２〜１２ＭＰａの範囲にあることが、拡張する力を剥離する力に変換する効率を高めて拡張剥離性を発現できることから、好ましい。粘着層のヤング率Ｅ′が、２ＭＰａ未満であると、剥離回収が悪化するので好ましくなく、図５からも、粘着層のヤング率Ｅ′が小さくなると剥離長さＬが短くなる傾向を示している。粘着層のヤング率Ｅ′が、１２ＭＰａを越えて大きくなり過ぎると、粘着層が硬くなり過ぎるため被着体であるウエハに密着することが難しくなり、貼り付け不良が発生し易くなり、切断加工する際の衝撃によりチップが飛びや剥がれが発生し易くなるので、好ましくない。
【００４２】
また、本発明の粘着テープにおいて、２３℃粘着層２のヤング率Ｅ′が、２〜１２ＭＰａの範囲にあるは、ウエハに接する粘着層が十分に硬いことを示し、切断加工する際に回転刃によってウエハに発生する内部応力を抑えられ、チップ欠けの発生を防止できる。ウエハを切断加工する際にチップ欠けを防止する方法としてワックス固定方法が知られているが、この方法に使用されるワックスのヤング率Ｅ′が約１０ＭＰａ程度であり、ウエハの内部応力の発生を抑える同じ原理からチップ欠けの発生を抑制している。
【００４３】
ウエハ加工用粘着テープでは、加工時はウエハを固定できる粘着力があり、加工後は易しく剥離できることが重要な品質である。
【００４４】
本発明の粘着テープについては、ウエハ加工、薬品処理、保管及び輸送の際に曝される２０〜８０℃の温度範囲において、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠して測定される１８０度引き剥がし粘着力が、０．１〜１０Ｎ／２５ｍｍの範囲にあることが好ましく、さらに、２０℃での１８０度引き剥がし粘着力が、０．１〜５Ｎ／２５ｍｍの範囲にあると、針先を丸めた突き上げ針が該ウエハ加工用粘着テープを貫通せずに押し上げる方式でもチップを剥離回収することが容易になるので、より好ましい。１８０度引き剥がし粘着力が、０．１Ｎ／２５ｍｍ未満であると、例えば、切断加工する際にチップ飛びが発生したり薬品処理、或いは輸送の際に剥がれ易くなるので、好ましくない。１８０度引き剥がし粘着力が、１０Ｎ／２５ｍｍを越えて大きくなり過ぎると、剥離回収が悪化することがあり好ましくない。
【００４５】
本発明の粘着テープにおいて、粘着層２の厚さは、１〜５０μｍ程度の範囲にあることが好ましい。本発明の拡張剥離モデルの計算から、粘着層２の厚さが薄いほうがより剥離回収性に優れるが、粘着力の均一性や安定性から、５〜３０μｍ程度の範囲にあることが、より好ましい。
【００４６】
本発明の粘着テープにおいて、基材層１のヤング率Ｅ′は、１００〜１０００ＭＰａの範囲にあることが好ましい。基材層１のヤング率Ｅ′が、１００ＭＰａ未満であると、拡張しても剥離が進行しなくなり易剥離性が悪化し好ましくない。本発明の拡張剥離モデルの計算から、基材層１のヤング率Ｅ′が大きい程剥離回収性に優れるが、基材層１のヤング率Ｅ′が、１０００ＭＰａを越えてしまうと、通常の装置では拡張でき難くなるため、好ましくない。
【００４７】
本発明の粘着テープにおいて、基材層１の厚さは、５０〜５００μｍ程度の範囲にあることが好ましい。本発明の拡張剥離モデルの計算から、基材層１の厚さが厚いほうがより剥離回収性に優れるが、５００μｍを越えてしまうと、テープとして取り扱い性が悪化し好ましくない。また、基材層１の厚さが、５０μｍ未満であると、切断加工時に破れる恐れがあり好ましくない。
【００４８】
本発明の粘着層２は、前記基材層１の片面に積層され、その主成分として、オレフィン系重合体を含有するものがウエハ加工に対して安定であり好ましく、特に、極性基を含まないオレフィン系重合体を主成分として含有するするものが好ましい。被着体であるウエハに対して化学的に影響を与えて変色等の不良を発生させる可能性を完全に無くせる点で、腐蝕性イオンや金属イオンを含まないオレフィン系重合体が望ましい。
【００４９】
さらに、本発明の粘着層２は、炭素原子数２〜１２のα−オレフィンから選ばれる少なくとも２種のα−オレフィンを主な単位成分とするα−オレフィン共重合体を主成分とすることが好ましく、２種以上のα−オレフィン共重合体がブレンドされていても良い。また、前記α−オレフィン共重合体と、熱可塑性エラストマー、エチレンと他のα−オレフィンとのコオリゴマーからなり、α−オレフィン共重合体が連続相を形成し、熱可塑性エラストマーが分散相を形成しているものが好ましい。
【００５０】
本発明の粘着層においては、α−オレフィン共重合体が連続相を形成し、熱可塑性エラストマーが分散相を形成しているとにより、ウエハ面への凹凸追従性を確保する柔らかさとチップを剥離回収するために必要な粘着層のヤング率Ｅ′の両方を満足させることが可能になり易い。加工、薬品処理や保管あるいは輸送される温度域約２０〜８０℃においてウエハ及びチップとの密着性が保持でき、且つ粘着層のガラス転移温度が低下するので、本発明の粘着テープと被着体であるウエハ面に隙間なく密着させることができ、１８０度引き剥がし粘着力試験で代表される粘着力を適正な範囲に調整することができる。
【００５１】
本発明の粘着層を構成する炭素原子数２〜１２のα−オレフィンとしては、例えば、エチレン、プロピレン、１−ブテン、１−ペンテン、３−メチル−１−ブテン、１−ヘキセン、４−メチル−１−ペンテン、３−メチル−１−ペンテン、１−ヘプテン、１−オクテン、１−デセン、１−ドデセン等が挙げられる。これらのα−オレフィンから選ばれる少なくとも２種の単量体からなる共重合体を、粘着層２の主成分とする場合、粘着層２中に占めるこのα−オレフィン共重合体の総含有割合は、通常、３０重量％以上、なかでも特に５０重量％以上とすることが好ましい。
【００５２】
これらのα−オレフィン共重合体の中でも、プロピレン、１−ブテンおよび炭素原子数５〜１２のα−オレフィンの３成分を共重合してなる共重合体を含有する粘着層が好ましい。特に、プロピレン１０〜８５モル％、１−ブテン３〜６０モル％および炭素原子数５〜１２のα−オレフィン１０〜８５モル％の構造単位組成を有する共重合体を含有する粘着層は、常温付近からウエハ加工温度域すなわち約２０℃〜約８０℃の温度範囲でウエハを固定保持するための粘着特性に優れる点で好ましく、さらに、プロピレン１５〜７０モル％、１−ブテン５〜５０モル％およびα−オレフィン１５〜７０モル％の構造単位組成の割合で含む共重合体を含有する粘着層が好ましい。炭素原子数５〜１２のα−オレフィンとしては、４−メチル−１−ペンテンが好ましい。
【００５３】
また、このプロピレン、１−ブテンおよび炭素原子数５〜１２のα−オレフィンの３成分を共重合してなる共重合体を粘着層に含有する場合、粘着層中に占めるこの共重合体の含有割合は、通常、３０重量％以上、好ましくは４０重量％以上である。
【００５４】
前記の熱可塑性エラストマーの具体例としては、ポリスチレン系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、ポリウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラストマーなどが挙げられる。
【００５５】
この熱可塑性エラストマーの好ましい構造としては、構造要素であるブロック共重合体が、一般式Ａ−Ｂ−ＡまたはＡ−Ｂで表されるものである。ここで、Ａは芳香族ビニル重合体ブロックまたは結晶性を示すオレフィン重合体ブロックを示し、Ｂはジエン重合体ブロック、またはこれを水素添加してなるオレフィン重合体ブロックを示す。
【００５６】
ポリスチレン系エラストマーとしては、硬質部（結晶部）となるポリスチレンブロックと、軟質部となるジエン系モノマー重合体ブロックとのブロック共重合体またはその水素添加重合体が挙げられ、より具体的には、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）、スチレン・エチレン・プロピレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＰＳ）などを例示することができる。これらは、１種単独でも２種以上を組み合わせても用いられる。
【００５７】
例えばスチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体は、スチレン系重合体ブロックを平均分子量に換算して１２０００〜１０００００程度、イソプレン重合体ブロックを平均分子量に換算して１００００〜３０００００程度含むものである。このＳＩＳにおけるスチレン重合体ブロック／イソプレン重合体ブロックの含有割合は、通常、重量比で５〜５０／５０〜９５であり、好ましくは１０〜３０／７０〜９０である。
【００５８】
スチレン・エチレン・プロピレン・スチレンブロック共重合体は、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体を水素添加してなるものである。
【００５９】
このＳＩＳの具体例としては、ＪＳＲ株式会社から商品名：ＪＳＲ  ＳＩＳ（登録商標）として、またはシェル化学株式会社から商品名：クレイトンＤ（登録商標）として市販されているものなどが挙げられる。また、ＳＥＰＳの具体例としては、株式会社クラレから商品名：セプトン（登録商標）として市販されているものなどが挙げられる。
【００６０】
前記ポリオレフィン系エラストマーとして、硬質部となるポリプロピレン等の結晶性の高いポリマーを形成するポリオレフィンブロックと、軟質部となる非晶性を示すモノマー共重合体ブロックとのブロック共重合体が挙げられ、具体的には、オレフィン（結晶性）・エチレン・ブチレン・オレフィン（結晶性）ブロック共重合体、ポリプロピレン・ポリエチレンオキシド・ポリプロピレンブロック共重合体、ポリプロピレン・ポリオレフィン（非晶性）・ポリプロピレンブロック共重合体等を例示することができる。具体例としては、ＪＳＲ株式会社から商品名：ＤＹＮＡＲＯＮとして市販されているものが挙げられる。
【００６１】
前記ポリエステル系エラストマーとして具体的には、ポリブチレンテレフタレート・ポリエーテル・ポリブチレンテレフタレートブロック共重合体等を例示することができる。
【００６２】
本発明の粘着テープの、粘着層の成分として、前記熱可塑性エラストマーを用いる場合、粘着層に占める熱可塑性エラストマーの含有割合は、通常、０〜６０重量％で、好ましくは、５〜４０重量％である。
【００６３】
本発明の粘着テープにおいて、粘着層２の粘着力で示される粘着性能を向上させるため、前記炭素原子数２〜１２のα−オレフィンの３成分を共重合してなるα−オレフィン共重合体に加えて、他のα−オレフィン共重合体を含有させた粘着層とすることができる。このとき、前記のプロピレン、１−ブテンおよび炭素原子数５〜１２のα−オレフィンの３成分からなる共重合体と、他のα−オレフィン共重合体の粘着層中に占める合計の含有量は、少なくとも５０重量％以上であることが好ましい。
【００６４】
前記他のα−オレフィン共重合体としては、エチレン、プロピレン、１−ブテンおよび１−ヘキセンから選ばれる少なくとも２種のα−オレフィンからなる共重合体が好ましい。このα−オレフィン共重合体としては、エチレン・プロピレン共重合体、エチレン・１−ブテン共重合体、エチレン・１−ヘキセン共重合体、プロピレン・１−ブテン共重合体、プロピレン・１−ヘキセン共重合体、１−ブテン・１−ヘキセン共重合体等を例示できる。この共重合体の具体例としては、三井化学株式会社から商品名：タフマーＡ、タフマーＰ等（「タフマー」は登録商標）で市販されているものなどを挙げることができる。
【００６５】
また、前記のエチレンと他のα−オレフィンとのコオリゴマーは、エチレンと他のα−オレフィンとの低分子量共重合体であって、常温で液体状のものである。α−オレフィンとしては、例えば、プロピレン、１−ブテン、１−ペンテン、１−ヘキセン、１−オクテン、１−デセン、１−ドデセン、１−テトラデセン、１−ヘキサデセン、１−オクタデセン、４−メチル−１−ペンテン等の炭素数３〜２０のα−オレフィンが挙げられる。これらの中でも、炭素数３〜１４のα−オレフィンが好ましい。
【００６６】
このコオリゴマーは、通常、数平均分子量が１００〜１００００の範囲のものであり、好ましくは数平均分子量が２００〜５０００の範囲のものである。また、このコオリゴマー中のエチレン単位含有量は、通常、３０〜７０モル％、好ましくは４０〜６０モル％である。
【００６７】
本発明の粘着テープの、粘着層の構成成分中に、前記コオリゴマーを用いる場合、このコオリゴマーの粘着層に占める含有割合は、通常０〜２０重量％、好ましくは０〜１０重量％である。
【００６８】
本発明の粘着テープにおいて、粘着層の構成成分として、前記炭素原子数２〜１２のα−オレフィンの３成分を共重合してなるα−オレフィン共重合体に加えて、前記の他のα−オレフィン共重合体を用いると、ガラス転移温度が低下し、１８０度引き剥がし粘着力とせん断剥離強度とヤング率Ｅ′を適正な範囲に調整できるとともに、低温粘着特性を改善できる点で有利である。
【００６９】
また、粘着層の構成成分として、前記α−オレフィン系共重合体とエチレンと他のα−オレフィンとのコオリゴマーの組み合わせからなる混合樹脂を用いると、ガラス転移温度が低下し、１８０度引き剥がし粘着力とせん断剥離強度とヤング率Ｅ′を適正な範囲に調整することができるとともに、粘度を適正な範囲に調整できる点で有利である。
【００７０】
また、粘着層の構成成分として、前記α−オレフィン系共重合体と熱可塑性エラストマーとからなる混合樹脂を用いると、ガラス転移温度とせん断剥離強度とヤング率Ｅ′とを適正な範囲に調整することができるとともに、室温（２０℃程度）から高温（８０℃程度）の温度範囲に渡って必要とする１８０度引き剥がし粘着力を改善できる点で有利である。
【００７１】
本発明の粘着テープの粘着層には、前記α−オレフィン系共重合体、熱可塑性エラストマー、およびエチレンと他のα−オレフィンとのコオリゴマー以外に、さらに各種＋の副成分を、本発明の目的を損ねない範囲で含んでいてもよい。例えば、液状ブチルゴム等の可塑剤、ポリテルペン等のタッキファイヤーなどを含んでいてもよい。本発明において、これらの副成分の内接着性を示す官能基、不飽和結合を有するものは、貼り付けた後での粘着強度の経時変化（加温、加圧、湿度、紫外線等による）や被着体へ悪影響を起こさせないように、その種類を選択し、配合量も最小限にすることが好ましい。
【００７２】
また、本発明の粘着テープの粘着層には、この種の粘着層の素材に一般的に配合される各種添加剤を含有していてもよい。例えば、無機系或いは有機ポリマー系の充填剤、顔料、紫外線吸収剤、酸化防止剤、耐熱安定剤、滑剤等を含有していてもよい。
【００７３】
また、前記したα−オレフィン系共重合体、熱可塑性エラストマー、各種添加剤およびエチレンと他のα−オレフィンとのコオリゴマー、各種の副成分、さらに各種添加剤の中から、被着体であるウエハに対して悪影響を与えないもので本発明の粘着層が構成されることが、ウエハ加工後のチップの信頼性をより高めるには、より好ましい。
【００７４】
基材層１は、単層あるいは２層以上の薄層品からなり、その構成成分として、合成樹脂、天然樹脂などの伸長性と強さを併せ持つ材料であるならば限定されずに自由に選択できる。  基材層１のヤング率Ｅ′を１００〜１０００ＭＰａの範囲に調整し易い点と、耐水性、耐熱性、耐メッキ液性、耐エッチング液性、廃棄処理性等から、基材層１は、非ハロゲン系合成樹脂を主成分とするものが好ましく、具体例としては、オレフィン系重合体、ポリアミド、ポリエステル、ポリエーテル、ポリカーボネート、ポリウレタンなどが挙げられる。
【００７５】
本発明の基材層１としては、ウエハ加工に対する安定性に優れる点と、使用後に焼却処理する場合にダイオキシンに代表されるハロゲン化合物等の有毒ガスが発生しない点と、粘着層と強固な接着を形成し易い点とから、その構成成分としては、とりわけ、オレフィン系重合体を主成分とするものが好ましい。
【００７６】
オレフィン系重合体としては、具体的には、低密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、また、エチレンと炭素数３〜１２のα−オレフィン、スチレン、酢酸ビニル、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸エステル、アイオノマー等の各種ビニル化合物との共重合体等ポリエチレン系重合体が挙げられ、共重合体はランダム共重合体でもブロック共重合体でも良く、炭素数４以上のα−オレフィン共重合体を挙げることができる。本発明において主成分とは、それ以外の含まれている構成成分に比べて、相対的に最も大きな割合で含まれる構成成分を言う。前記基材層１における前記α−オレフィンを含む重合体の含有量は、通常、５０〜１００重量％程度であり、好ましくは７０〜１００重量％程度である。
【００７７】
また、基材層１のヤング率Ｅ′を１００〜１０００ＭＰａの範囲に調整する方法として、ヤング率Ｅ′が１０００ＭＰａより高いオレフィン系重合体場合、ヤング率Ｅ′が１００ＭＰａより低い熱可塑性エラストマーと複合化する方法が知られており、そのアロイ構造としては、オレフィン系重合体が連続相を形成し、熱可塑性エラストマーが分散相を形成しているものであることが、好ましい。
【００７８】
前記熱可塑性エラストマーとしては、本発明の粘着性で用いたのと同様のポリマーを用いることが出来る。
【００７９】
図６は、本発明の粘着テープの、別の実施形態を示す断面図である。同図に示されるように、本発明の粘着テープ１０は、中間層３と表面層４からなる基材層１と、中間層３の片面に積層された粘着層２とからなる。
【００８０】
基材層が２層以上の複数層から構成される場合には、複数の層を単層と見なして基材層１のヤング率Ｅ′として、そのヤング率Ｅ′が１００〜１０００ＭＰａの範囲にあるものであることが好ましい。各層に粘着テープとして要求される各種の特性を分担して受け持たせるように構成することができる。
【００８１】
例えば、基材層１の中間層３には、拡張剥離性を高めるために最適なヤング率Ｅ′と加工時の伸び特性や、引き裂き耐性を付与し、また、耐候安定剤を添加して耐候性をより高めることができる。基材層１の最外層には表面疵の耐性を付与し、また、拡張時の滑り性を付与し巻き上げた保護フィルムが簡単に巻戻せるように粘着層との剥離性を付与した態様が挙げられる。また、隣合う層は、その構成成分が、溶融共押出しによって強固に接着できるものであれば、いずれのものからなる層であってもよい。
【００８２】
また、基材層１のうち、粘着層２に接する側の中間層３は、前記のα−オレフィンを含む重合体の１種単独または２種以上の混合物を主成分として含有していると、粘着層２と基材層１の一部中間層３を強固に一体化できるので好ましい。
【００８３】
前記粘着層２に接する中間層３における前記α−オレフィンを含む重合体の含有量は、通常、５０〜１００重量％程度であり、好ましくは７０〜１００重量％程度である。
【００８４】
本発明の粘着テープにおいて、基材層１の最外層である表面層４の主成分は、エチレン系重合体であることが好ましい。なかでも、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体が好適である。この場合、基材層１の最外層となる表面層４における前記エチレン系共重合体の含有量は、通常、５０〜１００重量％程度であり、好ましくは７０〜１００重量％程度であり、他のα−オレフィン（共）重合体などが含まれていても良い。
【００８５】
また、基材層１が中間層３と表面層４からなる場合、中間層３の厚さは、好ましくは４０〜４００μｍ程度であり、表面層は、好ましくは５〜５０μｍ程度である。
【００８６】
基材層１は、この種の粘着テープの基材層に一般に用いられる各種添加剤を含有していてもよい。例えば、各種の充填剤、顔料、紫外線吸収剤、酸化防止剤、耐熱安定剤、滑剤等を被着体であるウエハに対して影響を与えない程度に含有していてもよい。
【００８７】
図７は、本発明の粘着テープの、他の実施形態を示す断面図である。同図に示すように、本発明の粘着テープ１０は、基材層１と、基材層１の表面に積層された粘着層２と、粘着層２側にセパレータ５が設けられる。
【００８８】
図８は、本発明の粘着テープの、他の実施形態を示す断面図である。同図に示すように、本発明の粘着テープ１０は、中間層３と表面層４からなる基材層１と、中間層３の表面に積層された粘着層２とからなり、その粘着層２側に、セパレータ５が設けられる。
【００８９】
セパレータ３の構成成分として、焼却処理する場合にダイオキシンに代表されるハロゲン化合物等の有毒ガスが発生しない合成樹脂や合成樹脂をコートした紙などが好ましい。中でも、本発明のセパレータ３として、ポリエステル樹脂に離型層を成形させた加工フィルム等が好ましい。セパレータには、例えば、各種の充填剤、顔料、紫外線吸収剤、酸化防止剤、耐熱安定剤、滑剤等を、被着体のウエハに対して影響を与えない程度に含有していてもよいが、特にシリコーン系オイル等の剥離剤は含まないことが、より好ましい。セパレータ３の厚さとして、例えば１０〜３００μｍであり、好ましくは３０〜１５０μｍである。
【００９０】
本発明の粘着テープ１０を、コア材に巻きつけてロール状に保管でき、必要な量だけ引き出して使用できる。また、本発明の粘着テープ１０の粘着層側にセパレータ３を貼り付けて、コア材に巻きつけてロール状に保管でき、セパレータを剥がしながら必要な量だけ引き出して使用できる。さらにまた、あらかじめセパレータ１０に保持した本発明の粘着テープ１０を所望の形に打ち抜いてロール状に保管し、必要に応じて引き出して使用できる。
【００９１】
また、本発明の粘着テープは、基材層および粘着層を構成する素材を、それぞれ溶融加熱して共押出し成形し所定の厚さを有する多層構造の積層フィルムを製造する方法、即ち共押出成形法によって成形されてなるものが、基材層と粘着層を強固に一体化できる点と、高効率でしかも省エネルギーため安価に製造できる点で、好ましい。また、２層以上の多層ダイを用いた共押出成形法によって、１層以上の基材層と粘着層を有する粘着テープを同時に成形できる。多層ダイを用いた共押出成形法として、例えば、各層の溶融物をあらかじめ層状に組み合わせて一体としたものをフラットダイに送り込みダイ内で接着させる方法（フィードブロック法）、各層の溶融物をフラットダイ内の別のマニホールドに送り込み、ダイ内の共通の場所（一般にはダイリップ入り口前）にて、各層を層状に接合して一体としたものをフラットダイに送り込みダイ内で接着させる方法（多数マニホールド法）、さらにフィードブロック法と多数マニホールド法の組み合わせた方法等が挙げられる。
【００９２】
以上のようにして得られた本発明に粘着テープ１０を、（１）前記粘着層を介してウエハの一方の面に貼り付ける工程と、（２）ウエハをチップに切断加工する工程と、（３）そのままの状態でチップを薬品処理する工程と、（４）そのままの状態で保管及び輸送する工程と、（５）該ウエハ加工用粘着テープを拡張してチップを剥離回収する工程と、をから選ばれる単独或いは複数のウエハ加工工程に渡って使用して、特に薄く脆いウエハからチップを製造することが、好ましい。
【００９３】
図９は、本発明の粘着テープ１０を用いた製造方法の一例を示している。すなわち、（１）本発明の粘着テープ１０の粘着層２を介してウエハ２０の一方の面と固定し、同時に本発明の粘着テープ１０の周辺部に当たる粘着層２を介して、リングフレーム２１に固定する貼り付ける工程と、（２）ウエハ２０をチップに切断加工する工程と、（３）該ウエハ加工用粘着テープを拡張してチップを剥離回収する工程と、を含むダイシング工程で使われる。
【００９４】
ウエハとしては、一般的な固体のものであればいずれのものでもよく、例えば絶縁体としては、ガラス、セラミック、硬質プラスチックなど、半導体としては、シリコン、ゲルマニウム、セレン、テルル等の元素半導体；ＧａＡｓ、ＧａＰ、ＩｎＳｂ等の２元系化合物半導体；ＡｌＧａＡｓ等の３元系化合物半導体；ＡｌＧａＩｎＡｓ等の４元系化合物半導体；ＳｎＯ２、ＺｎＯ、ＴｉＯ２、Ｙ２Ｏ５等の金属酸化物半導体など、その他の金属酸化物からなるものなどが挙げられる。ウエハの厚さは数１０μｍ〜数ｍｍ、ウエハの面積は、数１０ｍｍ２〜数１００００ｍｍ２であるものが使用でき、形状は円形、正方形、長方形などのいずれでもよい。
【００９５】
また、ウエハをチップに切断加工する工程としては、ダイヤモンド切削刃を高速に回転させながら切断する方法が一般的に知られている。他に、高圧水、レーザー光等で切断加工する方法もある。
【００９６】
本発明の粘着テープ１０に関する別の製造方法として、（１）本発明の粘着テープ１０の粘着層２を介してウエハ２０の一方の面と固定し、同時に本発明の粘着テープ１０の周辺部に当たる粘着層２を介して、リングフレーム２１に固定する貼り付ける工程と、（２）ウエハをチップに切断加工する工程と、（３）そのままの状態でチップを薬品処理する工程と、（４）該ウエハ加工用粘着テープを拡張してチップを剥離回収する工程と、を含むダイシング・薬品処理工程で使われる。
【００９７】
また、薬品処理する工程は、酸やアルカリからなる薬品液による処理が行われる。一般に、薬品処理とは、薬品により洗浄する場合と、薬品によりメッキ膜等の加工をする場合がある。
【００９８】
まず、薬品により洗浄する場合は、複数枚のウエハをウエハキャリアーに入れて、洗浄液に浸漬するか、洗浄液をスプレーして、一括して洗浄する方法が採用されている。通常、超音波など、物理力を併用して洗浄効率を上げている。除去すべき汚染物は、微粒子、金属、有機物、自然酸化膜である。
【００９９】
微粒子の除去には、例えば、ＮＨ４ＯＨ／Ｈ２Ｏ２／Ｈ２Ｏ（ＡＰＭ）、コリン溶液（ＣＨ３）３Ｎ（ＯＨ）ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ／Ｈ２Ｏ２洗浄液などが使用され、金属の除去には、Ｈ２ＳＯ４／Ｈ２Ｏ２（ＳＰＭ）洗浄液、ＨＣｌ／Ｈ２Ｏ２／Ｈ２Ｏ（ＨＰＭ）、ＨＦ／Ｈ２Ｏ（ＤＨＦ）洗浄液、ＨＦ／ＮＨ４Ｆ／Ｈ２Ｏ（ＢＨＦ）洗浄液、ＨＦ／ＨＮＯ３／ＣＨ３ＣＯＯＨ（弗硝酢酸）、ＨＣｌ／ＨＮＯ３（王水）、ＨＮＯ３などが使用され、有機物の除去には、ＳＰＭ洗浄液、ＡＰＭ洗浄液、水酸化アンモニウム液、水酸化ナトリウム液等が使用され、自然酸化膜の除去には、ＤＨＦ洗浄液、ＢＨＦ洗浄液等が使用される。
【０１００】
次に、薬品により加工する場合は、例えば、メッキ液で処理加工することにより新たな膜を成膜できる。その代表例として無電解メッキは、金属塩を含む溶液中に、可溶性の還元剤，ｐＨ調整剤、メッキ液の安定化剤等からなり、メッキする物を浸漬すると、還元剤の酸化によって、放出される電子が金属イオンに転移し、金属皮膜が得られるもので化学還元作用を利用した方法である。通常、約４０〜８０℃に加温された酸性〜アルカリ性を示すメッキ液が使用される。
【０１０１】
本発明の粘着テープ１０に関する別の製造方法として、（１）本発明の粘着テープ１０の粘着層２を介してウエハ２０の一方の面と固定し、同時に本発明の粘着テープ１０の周辺部に当たる粘着層２を介して、リングフレーム２１に固定する貼り付ける工程と、（２）ウエハをチップに切断加工する工程と、（３）そのままの状態で保管及び輸送する工程と、（４）該ウエハ加工用粘着テープを拡張してチップを剥離回収する工程と、を含むダイシング・保管輸送工程で使われる。
【０１０２】
また、保管及び輸送する工程は、例えば室内蛍光灯下に曝される状況や船便に使用される一般コンテナや倉庫での１年以上の長期間である。本発明の粘着テープは、反応性成分を含まないので、前記保管及び輸送する工程では何ら特性が変化しないため、特別に管理された環境以外でも使用するできる。
【０１０３】
本発明の粘着テープ１０に関する別の製造方法として、（１）本発明の粘着テープ１０の粘着層２を介してウエハ２０の一方の面と固定し、同時に本発明の粘着テープ１０の周辺部に当たる粘着層２を介して、リングフレーム２１に固定する貼り付ける工程と、（２）ウエハをチップに切断加工する工程と、（３）そのままの状態でチップを薬品処理する工程と、（４）そのままの状態で保管及び輸送する工程と、（５）該ウエハ加工用粘着テープを拡張してチップを剥離回収する工程と、を含むダイシング・薬品処理・保管輸送工程で使われる。
【０１０４】
図１０は、前記チップを剥離回収する工程が、針先を丸めた突き上げ針が該ウエハ加工用粘着テープを貫通せずに押し上げること（非貫通方式）で該ウエハ加工用粘着テープを実質的に拡張し、チップと該粘着層の間を剥離させてチップを回収する方法が、好ましい。チップに対して針先による打撃痕や衝撃を与えずに好ましい。突き上げ針先の半径ｒが、５０〜３００μｍの範囲が好ましく、チップ裏面側に貼り付けた本発明の粘着テープに入り込まないように針先を丸めることが、針先でチップ裏面を突き上げながら同時に本発明の粘着テープが針先を滑るように拡張されるので、剥離回収性がより高まり好ましい。
【０１０５】
また、電子回路パターンが形成された半導体ウエハの表面からウエハ厚みよりも浅い切り込み深さの溝を形成し、その後半導体ウエハの裏面研削をすることで、ウエハの厚みを薄くするとともに最終的に個々のチップへ分割するウエハ裏面研削によりチップに切断加工する工程にも、本発明の粘着テープは応用が可能であり、使用方法として有用である。
【０１０６】
また、本発明の粘着テープは、上記以外にも、薬品処理する工程や保管及び輸送する工程などの工程だけに使用しても、十分に有用である。
【０１０７】
【実施例】
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでない。
なお、以下の実施例において、ヤング率Ｅ′、粘着力、せん断剥離強度、イオン分析、耐薬品性、チップ飛び、チップ欠け、汚染性、拡張性、ピックアップ性、安定性を下記に示す測定方法により試験し、評価した。
【０１０８】
（１）ヤング率Ｅ′
粘着層だけを厚さ１〜２ｍｍに成形して得られたシートからＪＩＳ  Ｋ７１６２−１９９４に準拠して試験片を作成し、ＪＩＳ  Ｋ７１６１−１９９４に記載のプラスチック引張特性の試験方法に準拠して、２３℃の温度下で引張試験を実施した。この引張試験より得られた応力−ひずみ曲線から、２３℃における粘着層のヤング率Ｅ′を算出した。
【０１０９】
（２）粘着力
ＪＩＳ  Ｚ０２３７−２０００に記載の１８０度引き剥がし粘着力に準拠して、２３℃、５０％ＲＨにおいて試験片である粘着テープをＳＵＳ−ＢＡ板に貼り付けて、２０℃、５０℃、８０℃の温度に設定した恒温槽内に３０分間放置した後、１８０度引きはがし粘着力（単位：Ｎ／２５ｍｍ）を測定した。
【０１１０】
（３）せん断剥離強度
島津製作所製引張り試験装置を用いて、温度２３℃、湿度５０％（ＲＨ）下、２ｍｍ厚のＳＵＳ３０４−ＢＡ板に幅１０ｍｍ試験片を貼りつけ長さ１０ｍｍで貼りつけた後、垂直方向に３００ｍｍ／ｍｉｎ引張り速度で剥離し、そのとき要する力（単位：Ｎ／１０ｍｍ×１ｍｍ）を測定した。なお、剥離が進行する幅が１ｍｍとして、せん断剥離強度（ＭＰａ）に換算した。
【０１１１】
（４）イオン分析
約２．５ｃｍ角に切り取った試験片である粘着テープ５ｇと純水１５０ｇを２００ｍｌのテフロン（登録商標）容器に入れ、容器に入れ、オートクレーブを用いて１００℃に加温下６０分間抽出した後、サンプルを取り出し、ホットプレート上で抽出液を２５ｇまで濃縮したものをイオン分析した。腐蝕性イオンであるＮａ＋、Ｋ＋、Ｃｌ−、Ｆ−、ＮＯ２−、ＮＯ３−、ＰＯ４３−、ＳＯ４２−は、イオンクロマト分析により、また金属イオンであるＦｅ２＋、Ｃｕ２＋、Ｃｒ２＋、Ａｌ３＋、Ｚｎ２＋、Ｎｉ２＋は、原子吸光分析により定量分析した。
定量分析値を次式代入して、イオン分析値を算出した。
イオン分析値（ｐｐｍ）＝定量分析値×抽出液量（２５ｇ）÷サンプル量（５ｇ）
なお、抽出液を濃縮したことでイオン分析値の検出限界を、０．０１ｐｐｍまで高められた。
【０１１２】
（５）耐薬品性
ｐＨ試験紙を置いた４インチシリコンウエハ上から試験片である粘着テープを貼り付け、ＨＦ／ＨＮＯ３／ＣＨ３ＣＯＯＨ＝１／９／３（弗硝酢酸）、ＨＣｌ／ＨＮＯ３＝１／３（王水）、１０％ＮＨ４ＯＨ（アンモニア水）の３種類の薬品液に、室温（２３℃）下３０分間浸漬した。
ｐＨ試験紙がｐＨ７の色を保持し、且つウエハに糊残り等の汚染が無い場合を合格（○で示す）し、ＰＨ試験紙が変化する場合、或いはウエハに糊残り等の汚染が発生する場合を不合格（×で示す）した。
【０１１３】
（６）チップ飛び
マウンター（ヒューグル・エレクトロニクス製  ＨＳ−７８００）を用いて、貼り付け温度２３℃において、試験片である粘着テープを介してシリコンウエハ（Ｐ型、厚さ１００μｍ、直径６インチ）のミラー面をフレーム（ディスコ製  ＭＤＦＴＦ−２−６−１−Ｈ）に張りつけ固定した後、ダイサー（ディスコ製  ＤＡＤ３２０）にセットし、ブレード（ＮＢＣ−ＺＨ−２０５０、サイズ：２７ＨＥＤＤ）の回転速度３００００回転／ｍｉｎ、切断速度７０ｍｍ／ｍｉｎ、切り込み量はフルカットでフィルムを３０μｍ深さまで切り込む様にし、切削水量（２０℃の恒温水使用）はウエハ面へのノズルから１．５Ｌ／ｍｉｎ、回転ブレード落射ノズルから１．０Ｌ／ｍｉｎとし、１ｍｍ角サイズのチップにダイシング加工した。
【０１１４】
６インチのウエハ１枚当たり、チップサイズ１ｍｍ角の飛散数が１個未満の場合を合格（○で示す）とし、チップサイズ１ｍｍ角の飛散数が１個以上の場合を不合格（×で示す）とした。
【０１１５】
（７）チップ欠け
マウンター（ヒューグル・エレクトロニクス製  ＨＳ−７８００）を用いチップフライが発生しない貼り付け温度にて、試験片である粘着テープの粘着層をシリコンウエハ（Ｐ型、厚さ１００μｍ、直径６インチ）のミラー面に貼付け、粘着テープを介してシリコンウエハをフレーム（ディスコ製  ＭＤＦＴＦ−２−６−１−Ｈ）に張りつけ固定した後、ダイサー（ディスコ製  ＤＡＤ３２０）にセットし、ブレード（ＮＢＣ−ＺＨ−２０５０、サイズ：２７ＨＥＤＤ）の回転速度３００００回転／ｍｉｎ、切断速度７０ｍｍ／ｍｉｎ、切り込み量はフルカットでフィルムを３０μｍ深さまで切り込む様にし、切削水量（２０℃の恒温水使用）はウエハ面へのノズルから１．５Ｌ／ｍｉｎ、回転ブレード落射ノズルから１．０Ｌ／ｍｉｎとし、３ｍｍ角サイズのチップにダイシング加工した。
【０１１６】
次いで、６インチウエハからダイシング加工される全ての３ｍｍ角サイズのチップについて、光学顕微鏡（倍率１００倍）によりチップの切削加工面から発生したチップ欠けの最大長さ（μｍ）を測定した。１枚のウエハからランダムに選んだ１００個のチップにおいて、チップ欠けが全て１０μｍ以内の場合を合格（○で示す）とし、１０μｍ越えるチップ欠けが１個でも発生した場合を不合格（×で示す）とした。
【０１１７】
（８）汚染性
マウンター（ヒューグル  エレクトロニクス製  ＨＳ−７８００）を用いチップフライが発生しない貼り付け温度にて、試験片である粘着テープを介してシリコンウエハ（Ｐ型、厚さ１００μｍ、直径６インチ）のミラー面をフレーム（ディスコ製ＭＤＦＴＦ−２−６−１−Ｈ）に張りつけ固定した後、ダイサー（ディスコ製  ＤＡＤ３２０）にセットし、ブレード（ＮＢＣ−ＺＨ−２０５０、サイズ：２７ＨＥＤＤ）の回転速度３００００回転／ｍｉｎ、切断速度７０ｍｍ／ｍｉｎ、切り込み量はフルカットでフィルムを３０μｍ深さまで切り込む様にし、切削水量（２０℃の恒温水使用）はウエハ面へのノズルから１．５Ｌ／ｍｉｎ、回転ブレード落射ノズルから１．０Ｌ／ｍｉｎとし、３ｍｍ角サイズのチップにダイシング加工した。
【０１１８】
次いで、６インチウエハからダイシング加工される全ての３ｍｍ角サイズのチップについて、光学顕微鏡（倍率１００倍）により切削屑の有無を観察した。１枚のウエハからランダムに選んだ１００個のチップにおいて、切削屑や切削液が付着しているチップが無いを合格（○で示す）とし、切削屑や切削液が付着しているチップが１個でも発生した場合を不合格（×で示す）とした。
【０１１９】
（９）拡張性
マウンター（ヒューグル・エレクトロニクス製  ＨＳ−７８００）を用いチップフライが発生しない貼り付け温度にて、試験片である粘着テープを介してシリコンウエハ（Ｐ型、厚さ１００μｍ、直径６インチ）のミラー面をフレーム（ディスコ製ＭＤＦＴＦ−２−６−１−Ｈ）に張りつけ固定した後、ダイサー（ディスコ製  ＤＡＤ３２０）にセットし、ブレード（ＮＢＣ−ＺＨ−２０５０、サイズ：２７ＨＥＤＤ）の回転速度３００００回転／ｍｉｎ、切断速度７０ｍｍ／ｍｉｎ、切り込み量はフルカットでフィルムを３０μｍ深さまで切り込む様にし、切削水量（２０℃の恒温水使用）はウエハ面へのノズルから１．５Ｌ／ｍｉｎ、回転ブレード落射ノズルから１．０Ｌ／ｍｉｎとし、３ｍｍ角サイズのチップにダイシング加工した。
【０１２０】
次に、ウエハ拡張機（ヒューグル  エレクトロニクス製  ＨＳ−１８００）を用いて、ダイシング加工後の粘着テープを２３℃にて、そのウエハの貼着された粘着テープ部分を直径１８０ｍｍの円柱状の押圧具で上方にストローク１０ｍｍまで押し上げることで、粘着テープ上に貼着されたチップ間隔を拡張した。拡張性の評価は、次の３項目の基準（ａ）〜（ｃ）を全て満たす場合を合格（○で示す）として、何れか一項目でも達成できない場合を不合格（×で示す）とした。
【０１２１】
基準（ａ）：前記押圧具の端部部分に接触した粘着テープ厚さが、非接触部の厚さに対して９０％以上であること。即ち、ネッキングしないこと。
基準（ｂ）：拡張されたチップ間隔が、１００μｍ以上であること。
基準（ｃ）：チップ間隔の縦方向と横方向の比が、０．７以上１．３以下であること。
【０１２２】
（１０）ピックアップ性
マウンター（ヒューグル・エレクトロニクス製  ＨＳ−７８００）を用いチップフライが発生しない貼り付け温度と圧力にて、試験片である粘着テープを介してシリコンウエハ（Ｐ型、厚さ１００μｍ、直径６インチ）のミラー面をフレーム（ディスコ製  ＭＤＦＴＦ−２−６−１−Ｈ）に張りつけ固定した後、ダイサー（ディスコ製  ＤＡＤ３２０）にセットし、ブレード（ＮＢＣ−ＺＨ−２０５０、サイズ：２７ＨＥＤＤ）の回転速度３００００回転／ｍｉｎ、切断速度７０ｍｍ／ｍｉｎ、切り込み量はフルカットでフィルムを３０μｍ深さまで切り込む様にし、切削水量（２０℃の恒温水使用）はウエハ面へのノズルから１．５Ｌ／ｍｉｎ、回転ブレード落射ノズルから１．０Ｌ／ｍｉｎとし、５ｍｍ角サイズのチップにダイシング加工した。
【０１２３】
さらに、ピックアンドプレース装置（ヒューグル・エレクトロニクス製  ＤＥ３５）を用いて、ダイシング加工後の粘着テープを、室温（２３℃）で引き下げ量５ｍｍにしてチップの間隔を拡張した後、針先をｒ＝２５０μｍに丸めた突き上げ針を０．８ｍｍ高さにして、ピックアップ間隔を０．８秒後にピックアップする条件における捕獲率（％）を調査し、次に基準によりピックアップ性を評価した。チップ４９個（１トレー）のピックアップを３回実施して、全てピックアップできる場合は合格（○で示す）とし、１個でもピックアップできない場合は不合格（×で示す）とした。
【０１２４】
（１１）安定性
上記（６）チップ飛び、（７）チップ欠け、（８）汚染性、（９）拡張性、（１０）ピックアップ性の試験について、（Ａ）２３℃５０％ＲＨの室内に蛍光灯が常時当たる所にで１ヶ月曝す条件（室内保管条件）、（Ｂ）６０℃８０％ＲＨの恒温恒湿槽内に１ヶ月曝す条件（船便輸送条件）の２条件で安定性の評価を同様に行った。
【０１２５】
（Ａ）室内保管条件と（Ｂ）船便輸送条件について、それぞれ、チップ飛び、チップ欠け、汚染性、拡張性、ピックアップ性の５種類の試験評価を全て合格した場合を安定性合格（◎で示す）とし、前記５種類の試験評価を１つでも不合格となった場合を安定性不合格（▲で示す）とした。
【０１２６】
（実施例１）
粘着テープ１０を構成する各層の材料として、以下の材料を用いた。すなわち、基材層１を構成する成分として低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ；密度０．９２ｋｇ／ｍ３）６０重量部と、エチレン・メタアクリル酸共重合体（ＥＭＡＡ；三井・デュポンポリケミカル（株）製ニュクレルＴＭＡＮ４２１３Ｃ）４０重量部を用い、粘着層２を構成する成分としフロピレン・１−ブテン・４−メチル−１−ペンテン共重合体（ＰＢ（４−ＭＰ）；プロピレン成分４６モル％、１−ブテン成分２４モル％、４−メチル−１−ペンテン成分３０モル％）６０重量部と、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ；ＪＳＲ（株）製ＳＩＳ５２２９Ｎ）８重量部と、エチレンとα−オレフィンのコオリゴマー（ＬＥＯ；三井化学（株）製ルーカントＴＭＨＣ−２０）４重量部と、オレフィン結晶・エチレン・ブチレン・オレフィン結晶ブロック共重合体（ＣＥＢＣ：ＪＳＲ（株）製ＤＹＮＡＲＯＮＴＭ６２００Ｐ）８重量部と、プロピレン重合体（ｈ−ＰＰ；密度０．９１ｋｇ／ｍ３）１６重量部と、基材層に用いたＬＤＰＥ  ４重量部とを用いた。前記ヤング率Ｅ′の測定方法に従って測定し、粘着層２のヤング率Ｅ′は、１１．４ＭＰａ（２３℃）の結果を示した。
【０１２７】
次いで、各層の材料をフルルライト型のスクリューを備えた押し出し機により溶融した。成形条件（溶融温度）は、粘着層：２３０℃、基材層：２４０℃であり、この２層の溶融樹脂を多層ダイ内で積層させた（共押出温度：２３０℃）。押し出された粘着テープを冷却し、スリットして巻き取った。
【０１２８】
このようにして得られた粘着テープは、１層からなる基材層と粘着層が積層されたものであり、各層の厚さは、粘着層：２５μｍ、基材層：１２５μｍで、合計厚さ１５０μｍであった。
【０１２９】
前記粘着力の測定方法に従って測定し、１８０度引きはがし粘着力は、０．２Ｎ／２５ｍｍ（２０℃）、０．５Ｎ／２５ｍｍ（５０℃）、０．４Ｎ／２５ｍｍ（８０℃）であった。
【０１３０】
前記せん断剥離強度の測定方法に従って測定し、せん断剥離強度は、０．６ＭＰａ（２３℃）であった。
【０１３１】
さらに、前記イオン分析試験に従って、得られた粘着テープのイオン分析を試験し、腐食性イオンであるＮａ＋、Ｋ＋、Ｃｌ−、Ｆ−、ＮＯ２−、ＮＯ３−、ＰＯ４３−、ＳＯ４２−、及び金属イオンであるＦｅ２＋、Ｃｕ２＋、Ｃｒ２＋、Ａｌ３＋、Ｚｎ２＋、Ｎｉ２＋の分析値を表２に示す。得られた粘着テープは、腐食性イオン及び金属イオンを実質的に含まないことを実証した。
【０１３２】
さらに、前記耐薬品性試験に従って、得られた粘着テープの耐薬品性を試験し、弗硝酢酸、王水、アンモニア水への浸漬試験に全て合格した評価結果を表２に示す。得られた粘着テープは、腐蝕性の強い酸及びアルカリの薬品にでも十分に耐性があり、薬品処理する工程に最適な粘着テープであることを実証した。
【０１３３】
次に、ダイシング工程に関する試験として、前記チップ飛び試験、前記チップ欠け試験、前記汚染性試験、前記拡張性試験、前記ピックアップ性試験に従って、得られた粘着テープについて試験し、この５種類に試験に全て合格した結果を表２に示す。得られた粘着テープは、ダイシング工程での加工性と非貫通方式のピックアップ装置に対応できる剥離回収性に優れており、ダイシング工程に最適な粘着テープであることを実証した。
【０１３４】
さらに、前記安定性試験に従って、得られた粘着テープの安定性を試験し、室内保管条件と船便輸送条件の両方に合格した評価結果を表２に示す。得られた粘着テープは、保管及び輸送工程に最適な粘着テープであること実証した。
【０１３５】
（実施例２）
粘着テープ１０を構成する各層の材料として、基材層１の成分として、実施例１と同じＬＤＰＥ  ６０重量部と、エチレン・ブテン共重合体（ＥＢ−Ａ；密度０．８７ｋｇ／ｍ３）４０重量部を用い、粘着層２の成分として、実施例１と同じＰＢ（４−ＭＰ）  ６８重量部と、ＳＩＳ  ８重量部と、ＬＥＯ  ４重量部と、ＣＥＢＣ  ８重量部と、ｈ−ＰＰ  １２重量部とを用いた。前記粘着層２のヤング率Ｅ′の測定結果を表２に示す。
【０１３６】
表１に示される条件により、実施例１と同様にして粘着テープを成形し、セパレータ（東セロ（株）製、トーセロセパレータＴＭＳＰ  Ｔ−１８、厚さ３１μｍ）を粘着層面に設けた後、スリットして巻き取った。
得られたウエハ加工用粘着テープの測定・評価結果を表２に示す。
【０１３７】
（実施例３）
粘着テープ１０を構成する各層の材料として、基材層１のうち表面層４の成分として、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ；密度０．９６ｇ／ｃｍ３）を用い、基材層１の中間層３の成分として、プロピレン・エチレン・１−ブテンランダム共重合体（ｒ−ＰＰ；エチレン成分５モル％、１−ブテン成分５モル％）７０重量部と、実勢例２と同じＥＢ−Ａ  ２８重量部と、表面層に用いたＨＤＰＥ  ２重量部を用い、粘着層２の成分として、実施例１と同じＰＢ（４−ＭＰ）  ７２重量部と、ＳＩＳ  ８重量部と、ＬＥＯ  ４重量部と、ＣＥＢＣ  ８重量部と、ｈ−ＰＰ  ８重量部とを用いた。前記粘着層２のヤング率Ｅ′の測定結果を表２に示す。
【０１３８】
表１に示される条件により、実施例１と同様にして粘着テープを成形し、セパレータ（東セロ（株）製、トーセロセパレータＴＭＳＰ  Ｔ−１８、厚さ３１μｍ）を粘着層面に設けた後、スリットして巻き取った。
得られたウエハ加工用粘着テープの測定・評価結果を表２に示す。
【０１３９】
（実施例４）
粘着テープ１０を構成する各層の材料として、基材層１のうち表面層４の成分として、実施例３と同じＨＤＰＥを用い、基材層１の中間層３の成分として、実施例３と同じｒ−ＰＰ  ７０重量部と、実勢例２と同じＥＢ−Ａ  ２８重量部と、実施例３と同じＨＤＰＥ  ２重量部を用い、粘着層２の成分として、実施例１と同じＰＢ（４−ＭＰ）  ７６重量部と、ＳＩＳ  ８重量部と、ＬＥＯ  ４重量部と、ＣＥＢＣ  ８重量部と、ｈ−ＰＰ  ４重量部とを用いた。前記粘着層２のヤング率Ｅ′の測定結果を表２に示す。
【０１４０】
表１に示される条件により、実施例１と同様にして粘着テープを成形し、セパレータ（東セロ（株）製、トーセロセパレータＴＭＳＰ  Ｔ−１８、厚さ３１μｍ）を粘着層面に設けた後、スリットして巻き取った。
得られたウエハ加工用粘着テープの測定・評価結果を表２に示す。
【０１４１】
（実施例５）
粘着テープ１０を構成する各層の材料として、基材層１のうち表面層４の成分として、実施例３と同じＨＤＰＥを用い、基材層１の中間層３の成分として、実施例３と同じｒ−ＰＰ  ７０重量部と、実勢例２と同じＥＢ−Ａ  ２８重量部と、実施例３と同じＨＤＰＥ  ２重量部を用い、粘着層２の成分として、実施例１と同じＰＢ（４−ＭＰ）  ７０重量部と、ＳＩＳ  １０重量部と、ＬＥＯ  ５重量部と、ＣＥＢＣ  １０重量部と、ｈ−ＰＰ  ５重量部とを用いた。前記粘着層２のヤング率Ｅ′の測定結果を表２に示す。
【０１４２】
表１に示される条件により、実施例１と同様にして粘着テープを成形し、セパレータ（東セロ（株）製、トーセロセパレータＴＭＳＰ  Ｔ−１８、厚さ３１μｍ）を粘着層面に設けた後、スリットして巻き取った。
得られたウエハ加工用粘着テープの測定・評価結果を表２に示す。
【０１４３】
（実施例６）
粘着テープ１０を構成する各層の材料として、基材層１のうち表面層４の成分として、実施例１と同じＬＤＰＥ  ４０重量部と、ＥＭＡＡ  ２０重量部と、実施例３と同じＨＤＰＥ  ４０重量部とを用い、基材層１の中間層３の成分として、実施例３と同じｒ−ＰＰ  ９０重量部と、実勢例２と同じＥＢ−Ａ  ８重量部と、実施例３と同じＨＤＰＥ  ２重量部を用い、粘着層２の成分として、実施例１と同じＰＢ（４−ＭＰ）  ６０重量部と、ＳＩＳ  ２０重量部と、ＬＥＯ  ５重量部と、ＣＥＢＣ  １０重量部と、実施例３と同じＨＤＰＥ  ５重量部とを用いた。前記粘着層２のヤング率Ｅ′の測定結果を表２に示す。
【０１４４】
表１に示される条件により、実施例１と同様にして粘着テープを成形し、スリットして巻き取った。
得られたウエハ加工用粘着テープの測定・評価結果を表２に示す。
【０１４５】
【表１】
2004186398.tif 000003
【０１４６】
【表２】
2004186398.tif 000004
【０１４７】
【発明の効果】
従来のウエハ加工用粘着テープでは、『エネルギー線照射装置や加熱装置等の特殊な装置を用いるＵＶ硬化型粘着テープ或いは加熱発泡型粘着テープなどの反応型の粘着テープでなければ、薄く脆いチップを剥離し回収することができないとすること』が、常識であった。
【０１４８】
本発明の粘着テープは、非反応型の粘着テープであっても薄く脆いチップを剥離回収できることを初めて示し、さらに、チップを剥離回収する工程が、針先を丸めた突き上げ針が該ウエハ加工用粘着テープを貫通せずに押し上げることで該ウエハ加工用粘着テープを実質的に拡張し、チップと該粘着層の間を剥離させてチップを回収することることを実証した。
【０１４９】
また、従来から使用されているエネルギー線硬化型や加熱発泡型のウエハ加工用粘着テープでは、長期に渡り保管する場合や輸送する場合に温度・湿度・光を管理した環境が必要であり、その管理と維持のために多くのエネルギーを必要とし、使用期限を過ぎると粘着層に含まれる反応性成分が劣化し、品質が不安定になるため使用されずに廃棄され、さらに、酸やアルカリ等の薬品で処理する場合、粘着層が薬品と反応して糊残りや変色等の不良発生も避けられなかった。その上、反応性成分がアレルギー発症原因物質や発ガン性物質である場合や使用されるエネルギー線（例えば紫外線）は、取り扱い作業者の作業環境を悪化させ、さらに健康に悪影響がでる恐れがあった。
【０１５０】
本発明の粘着テープは、反応性成分を実質的にふくまないので、前記従来品では必須であった保管及び輸送環境を管理維持するためのエネルギーを殆ど必要としない省エネルギーの点と、取り扱い作業者へ優しい作業環境と安全安心を提供できる点から効果が大きい。
【０１５１】
さらに、本発明の粘着テープは、使用期限が実質的に無いため、使用期限切れで廃棄することもないので環境負荷低減とコスト低減での効果が高い。
【０１５２】
本発明の粘着テープの使用方法によれば、２０〜８０℃の温度範囲に曝されるダイシング工程、薬品処理工程、保管及び輸送工程を単独あるいは複数組み合わせたウエハ加工工程において、高品質なウエハ加工や状態を長期に渡って保持できることを初めて可能にした。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の粘着テープの一実施形態を示す断面図である。
【図２】ウエハ加工工程でチップを剥離回収する工程における拡張剥離モデルを示す概念図である
【図３】本発明の拡張剥離モデルについて、計算科学の手法を用いるための解析モデルの全体図とその計算結果を示す断面概念図である。
【図４】本発明の拡張剥離モデルの計算結果を示す断面図である。
【図５】本発明の拡張剥離モデルの計算結果を示す別の断面図である。
【図６】本発明の粘着テープについて、別の実施形態を示す断面図である。
【図７】本発明の粘着テープについて、他の実施形態を示す断面図である。
【図８】本発明の粘着テープについて、他の実施形態を示す断面図である。
【図９】本発明の使用方法例を示す斜視模式図である。
【図１０】非貫通方式のピックアップ装置を示す断面模式図である。
【符号の説明】
１  基材層
２  粘着層
３  中間層
４  表面層
５  セパレータ
６  ロール
１０  粘着テープ
２０  ウエハ
２１  リングフレーム
【図１】
2004186398.tif 000005
【図２】
2004186398.tif 000006
【図３】
2004186398.tif 000007
【図４】
2004186398.tif 000008
【図５】
2004186398.tif 000009
【図６】
2004186398.tif 000010
【図７】
2004186398.tif 000011
【図８】
2004186398.tif 000012
【図９】
2004186398.tif 000013
【図１０】
2004186398.tif 000014