(57)【要約】【課題】焦点距離ｆを増して走査線長Ｗを長くしても、短い全長Ｌを有し且つ高い光学性能を有するｆθレンズを備えたコンパクトな光走査装置を提供する。【解決手段】光走査装置は、コリメータレンズ２、シリンドリカルレンズ３、光偏向器５、ｆθレンズ６およびアナモルフィックレンズ１０を備える。ｆθレンズ６は、第１レンズ７Ａと第２レンズ７Ｂとを貼り合わせた第１接合レンズ７、第３レンズ８Ａと第２レンズ７Ｂとを貼り合わせた第２接合レンズ８、および、正のパワーを有する第５レンズ９の３群５枚で構成される。ｆθレンズ６は、Ｌ／ｆ　＜　０．１００および０．０４　≦　ｒ１／ｒ４　≦　０．３１の関係式を満たして構成される。但し、Ｌ：ｆθレンズ６の全長、ｆ：ｆθレンズ６の焦点距離、ｒ１：第１レンズ７Ａの光入射側屈折面の曲率半径、ｒ４：第３レンズ８Ａの光入射側屈折面の曲率半径。【選択図】　　　　図１
2004029420.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から発せられた光ビームを反射偏向させて走査させる光偏向器と、
理想像高が焦点距離と半画角との積となる歪曲特性を有し、前記光偏光器で反射偏向した光ビームを被走査面上に結像させる結像光学系と、
を備え、
前記結像光学系は、前記光ビームの入射側から順に、
第１レンズおよび第２レンズを貼り合わせて構成され負のパワーを有する第１接合レンズと、
第３レンズおよび第４レンズを貼り合わせて構成され正のパワーを有する第２接合レンズと、
正のパワーを有する第５レンズとを配列して構成され、且つ、次式（１）および（２）を満たして構成されることを特徴とする光走査装置。
【数１】
2004029420.tif 000064
【数２】
2004029420.tif 000065
ここで、上式（１）中、Ｌは、前記第１接合レンズの光入射面から前記第５レンズの光出射面までの光軸方向の長さ、ｆは、前記第１接合レンズ，前記第２接合レンズおよび前記第５レンズの合成焦点距離を示しており、上式（２）中、ｒ１は、前記第１レンズにおける前記光ビームの入射側屈折面の曲率半径、ｒ４は、前記第３レンズにおける前記光ビームの入射側屈折面の曲率半径を示している。
【請求項２】
請求項１記載の光走査装置であって、前記光ビームが４０５ナノメートル付近の中心波長をもつと共に、前記結像光学系は次式（２Ａ）を満たして構成される、光走査装置。
【数３】
2004029420.tif 000066
【請求項３】
請求項１記載の光走査装置であって、前記光ビームが６３５ナノメートル付近の中心波長をもつと共に、前記結像光学系は次式（２Ｂ）を満たして構成される、光走査装置。
【数４】
2004029420.tif 000067
【請求項４】
請求項１記載の光走査装置であって、前記光ビームが７８５ナノメートル付近の中心波長をもつと共に、前記結像光学系は次式（２Ｃ）を満たして構成される、光走査装置。
【数５】
2004029420.tif 000068
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載の光走査装置であって、
前記第１レンズおよび前記第２レンズは、次式（３）で定義される部分アッベ数νに基づいて次式（４）を満たす光学材料で構成される、光走査装置。
【数６】
2004029420.tif 000069
【数７】
2004029420.tif 000070
ここで、上式（３）中、Ｎは、前記光ビームの使用波長域の中心波長に対する屈折率、ＮＭＩＮは、前記光ビームの使用波長域の下限値に対する屈折率、ＮＭＡＸは、前記光ビームの使用波長域の上限値に対する屈折率を示しており、上式（４）中、ν１は、前記第１レンズの部分アッベ数、ν２は、前記第２レンズの部分アッベ数を示している。
【請求項６】
請求項５記載の光走査装置であって、４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（４Ａ）を満たして構成される、光走査装置。
【数８】
2004029420.tif 000071
【請求項７】
請求項５記載の光走査装置であって、６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（４Ｂ）を満たして構成される、光走査装置。
【数９】
2004029420.tif 000072
【請求項８】
請求項５記載の光走査装置であって、７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（４Ｃ）を満たして構成される、光走査装置。
【数１０】
2004029420.tif 000073
【請求項９】
請求項１〜８の何れか１項に記載の光走査装置であって、
前記第３レンズおよび前記第４レンズは、次式（３）で定義される部分アッベ数νに基づいて次式（５）を満たす光学材料で構成される、光走査装置。
【数１１】
2004029420.tif 000074
【数１２】
2004029420.tif 000075
ここで、上式（３）中、Ｎは、前記光ビームの使用波長域の中心波長に対する屈折率、ＮＭＩＮは、前記光ビームの使用波長域の下限値に対する屈折率、ＮＭＡＸは、前記光ビームの使用波長域の上限値に対する屈折率を示しており、上式（５）中、ν３は、前記第３レンズの部分アッベ数、ν４は、前記第４レンズの部分アッベ数を示している。
【請求項１０】
請求項９記載の光走査装置であって、４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（５Ａ）を満たして構成される、光走査装置。
【数１３】
2004029420.tif 000076
【請求項１１】
請求項９記載の光走査装置であって、６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（５Ｂ）を満たして構成される、光走査装置。
【数１４】
2004029420.tif 000077
【請求項１２】
請求項９記載の光走査装置であって、７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（５Ｃ）を満たして構成される、光走査装置。
【数１５】
2004029420.tif 000078
【請求項１３】
請求項１〜１２の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記結像光学系は次式（６）を満たして構成される、光走査装置。
【数１６】
2004029420.tif 000079
ここで、上式（６）中、ｆ１は、前記第１接合レンズの焦点距離を示している。
【請求項１４】
請求項１３記載の光走査装置であって、４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記結像光学系は次式（６Ａ）を満たして構成される、光走査装置。
【数１７】
2004029420.tif 000080
【請求項１５】
請求項１３記載の光走査装置であって、６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記結像光学系は次式（６Ｂ）を満たして構成される、光走査装置。
【数１８】
2004029420.tif 000081
【請求項１６】
請求項１３記載の光走査装置であって、７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記結像光学系は次式（６Ｃ）を満たして構成される、光走査装置。
【数１９】
2004029420.tif 000082
【請求項１７】
請求項１〜１６の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記結像光学系は次式（７）を満たして構成される、光走査装置。
【数２０】
2004029420.tif 000083
ここで、上式（７）中、ｆ３は、前記第５レンズの焦点距離を示している。
【請求項１８】
請求項１〜１７の何れか１項に記載の光走査装置であって、
前記光源と前記光偏向器との間の光路上に、前記光源から発せられた光ビームを前記光偏光器の回転軸方向にのみ集束させて当該光偏光器の反射面上に結像させる結像光学系が更に配設されると共に、
前記請求項１記載の結像光学系は、前記第５レンズから出射した光ビームを、前記光偏光器の回転軸方向に集束させて前記被走査面上に結像させるアナモルフィックレンズを更に備えている、光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザー光などの光ビームを反射偏向させて走査させる光走査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、レーザープリンターやスキャナーなどの２次元画像装置は、レーザー光を精密に走査させる光走査装置を搭載している。この種の光走査装置では、レーザー光は、ガルバノミラーや回転多面鏡（ポリゴンミラー）などの光偏向器で反射偏向され、感光ドラムなどの被走査面上を走査する。光偏向器は等角速度で回転するが、被走査面上ではレーザー光を等速度で走査させなければならない。そこで、光偏向器で反射偏向したレーザー光を被走査面上で等速度で走査させる光学系としてｆθ（エフ・シータ）レンズが採用されている。ｆθレンズは、理想像高ｙに関してｙ＝ｆω（ｆ：焦点距離，ω：半画角）を満たす歪曲特性をもつ光学系である。
【０００３】
図４０および図４１は、ｆθレンズを搭載した光走査装置の従来例を示す図である。図４０は、Ｙ−Ｚ平面に沿って展開する光走査装置の概略構成図であり、図４１は、図４０に示す光走査装置の光軸に沿って展開する垂直面図である。図４０および図４１中、符号１００は光源（半導体レーザー）、１０１はコリメータレンズ、１０２はシリンドリカルレンズ、１０３はポリゴンミラー、１０４はｆθレンズ、１０５はアナモルフィックレンズ、１０６は被走査面を表している。尚、図示するＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は互いに直交する。
【０００４】
光源１００は、駆動回路（図示せず）によって変調されたレーザー光１０７を発振する。そのレーザー光１０７は、コリメータレンズ１０１で平行光にされ、シリンドリカルレンズ１０２で集束されて、ポリゴンミラー（回転多面鏡）１０３の反射面１０３ｒの上で線状に結像する。ポリゴンミラー１０３は回転軸１０３ｃを中心に毎分数万回転しており、ｆθレンズ１０４は、反射面１０３ｒからの入射光の等角速度運動を等速度運動に変換する光学系であるため、ポリゴンミラー１０３の反射面１０３ｒで反射した光ビームは、等角速度に偏向してＹ方向に走査する。アナモルフィックレンズ１０５は、ｆθレンズ１０４から入射した光を、主走査方向（Ｙ方向）に対する垂直方向（Ｘ方向）に集束させて被走査面１０６の上に結像させる。
【０００５】
図４０に示すように、被走査面１０６上に走査線長Ｗに亘って光ビームを走査させるため、ｆθレンズ１０４は広い全画角θをもつ必要がある。また、近年は、画像の大サイズ化が進行し、長い走査線長Ｗをもつ光走査装置が要求されている。光ビームの使用波長でのｆθレンズ１０４の焦点距離をｆで表すとき、Ｗ＝ｆθの関係式が成立する。よって、全画角θを一定のまま、走査線長Ｗを拡大しようとすれば、ｆθレンズ１０４の焦点距離ｆは大きくなる。他方、ｆθレンズ１０４の焦点距離ｆを一定のまま、走査線長Ｗを拡大しようとする場合には、その全画角θを広くしなければならない。かかる場合は、ｆθレンズ１０４の口径が大きくなり、ｆθレンズ１０４の精密加工とその光学的諸収差の補正とが難しくなり、ｆθレンズ１０４の高コスト化を招き易くなる。
【０００６】
また、近年は、光走査装置のコンパクト化も要求されている。光走査装置のコンパクト化を目指した従来技術としては、日本国特許３０２４９０６号公報に記載の光走査装置が公知である。図４２に示すように、その公報記載の光走査装置に搭載されるｆθレンズ１０４は、負のパワー（屈折力）を有する第１レンズ１１１、正のパワーを有する第２レンズ１１２および正のパワーを有する第３レンズ１１３の３群３枚で構成される。そのｆθレンズ１０４の全長Ｌ（第１レンズ１１１の光入射側の屈曲面１１１ｉと第３レンズ１１３の光出射側の屈曲面１１３ｅとの面間距離）と、焦点距離ｆとの間には、０．１００≦Ｌ／ｆ≦０．１０８の関係式が成立するため、その全長Ｌは０．１００×ｆ以上の長さになる。近年は、その全長Ｌを更に短くしても光学性能が劣化しないｆθレンズが要求されていた。
【０００７】
また、光源１００が半導体レーザーで構成される場合、半導体レーザーの発振波長は動作温度に応じて変化する。ｆθレンズ１０４の色収差に起因して、その発振波長の変化に応じて光ビームの結像位置が変化し、被走査面１０６上で安定したビームスポットが得られず、画像の解像度が低下するという問題があった。例えば、半導体レーザーの光出力を急峻に立ち上げた場合、その光出力の立上げ時に半導体レーザーの動作温度が急上昇し、レーザー光の波長は長波長側へシフトする。その光出力が安定した後は、レーザー点灯状態でも動作温度が下がるために波長は短波長側へシフトする。また、半導体レーザーには、温度変化によって中心波長が不連続に変化するというモードホップや、低出力で多数の縦モードを発生させるという不安定さがある。光走査装置の用途が広くなると、半導体レーザーを低出力から高出力の間で発振させる必要がでてくるため、被走査面１０６上に安定したビームスポットを形成するようにｆθレンズ１０４の色収差を改善することが要求されていた。例えば、４００ｎｍ〜４１０ｎｍの使用波長域の半導体レーザーを採用した場合、従来の３群３枚のｆθレンズ１０４では、画角端で約０．２ｍｍもの倍率色収差が発生し、高い解像度を得ることが難しかった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
以上の状況に鑑みて本発明が課題とするところは、（１）焦点距離ｆを増して走査線長Ｗを長くしても、短い全長Ｌを有し且つ高い光学性能を有するｆθレンズを実現し、コンパクトな光走査装置を提供すること、（２）高い色収差補正能力をもつｆθレンズを実現すること、にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、光源から発せられた光ビームを反射偏向させて走査させる光偏向器と、理想像高が焦点距離と半画角との積となる歪曲特性を有し、前記光偏光器で反射偏向した光ビームを被走査面上に結像させる結像光学系と、を備え、前記結像光学系は、前記光ビームの入射側から順に、第１レンズおよび第２レンズを貼り合わせて構成され負のパワーを有する第１接合レンズと、第３レンズおよび第４レンズを貼り合わせて構成され正のパワーを有する第２接合レンズと、正のパワーを有する第５レンズとを配列して構成され、且つ、次式（１）および（２）を満たして構成されることを特徴としている。
【００１０】
【数２１】
2004029420.tif 000003
【００１１】
【数２２】
2004029420.tif 000004
【００１２】
ここで、上式（１）中、Ｌは、前記第１接合レンズの光入射面から前記第５レンズの光出射面までの光軸方向の長さ、ｆは、前記第１接合レンズ，前記第２接合レンズおよび前記第５レンズの合成焦点距離を示しており、上式（２）中、ｒ１は、前記第１レンズにおける前記光ビームの入射側屈折面の曲率半径、ｒ４は、前記第３レンズにおける前記光ビームの入射側屈折面の曲率半径を示している。
【００１３】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の光走査装置であって、前記光ビームが４０５ナノメートル付近の中心波長をもつと共に、前記結像光学系は次式（２Ａ）を満たして構成されるものである。
【００１４】
【数２３】
2004029420.tif 000005
【００１５】
請求項３に係る発明は、請求項１記載の光走査装置であって、前記光ビームが６３５ナノメートル付近の中心波長をもつと共に、前記結像光学系は次式（２Ｂ）を満たして構成されるものである。
【００１６】
【数２４】
2004029420.tif 000006
【００１７】
請求項４に係る発明は、請求項１記載の光走査装置であって、前記光ビームが７８５ナノメートル付近の中心波長をもつと共に、前記結像光学系は次式（２Ｃ）を満たして構成されるものである。
【００１８】
【数２５】
2004029420.tif 000007
【００１９】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記第１レンズおよび前記第２レンズは、次式（３）で定義される部分アッベ数νに基づいて次式（４）を満たす光学材料で構成されるものである。
【００２０】
【数２６】
2004029420.tif 000008
【００２１】
【数２７】
2004029420.tif 000009
【００２２】
ここで、上式（３）中、Ｎは、前記光ビームの使用波長域の中心波長に対する屈折率、ＮＭＩＮは、前記光ビームの使用波長域の下限値に対する屈折率、ＮＭＡＸは、前記光ビームの使用波長域の上限値に対する屈折率を示しており、上式（４）中、ν１は、前記第１レンズの部分アッベ数、ν２は、前記第２レンズの部分アッベ数を示している。
【００２３】
請求項６に係る発明は、請求項５記載の光走査装置であって、４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（４Ａ）を満たして構成されるものである。
【００２４】
【数２８】
2004029420.tif 000010
【００２５】
請求項７に係る発明は、請求項５記載の光走査装置であって、６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（４Ｂ）を満たして構成されるものである。
【００２６】
【数２９】
2004029420.tif 000011
【００２７】
請求項８に係る発明は、請求項５記載の光走査装置であって、７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（４Ｃ）を満たして構成されるものである。
【００２８】
【数３０】
2004029420.tif 000012
【００２９】
請求項９に係る発明は、請求項１〜８の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記第３レンズおよび前記第４レンズは、次式（３）で定義される部分アッベ数νに基づいて次式（５）を満たす光学材料で構成されるものである。
【００３０】
【数３１】
2004029420.tif 000013
【００３１】
【数３２】
2004029420.tif 000014
【００３２】
ここで、上式（３）中、Ｎは、前記光ビームの使用波長域の中心波長に対する屈折率、ＮＭＩＮは、前記光ビームの使用波長域の下限値に対する屈折率、ＮＭＡＸは、前記光ビームの使用波長域の上限値に対する屈折率を示しており、上式（５）中、ν３は、前記第３レンズの部分アッベ数、ν４は、前記第４レンズの部分アッベ数を示している。
【００３３】
請求項１０に係る発明は、請求項９記載の光走査装置であって、４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（５Ａ）を満たして構成されるものである。
【００３４】
【数３３】
2004029420.tif 000015
【００３５】
請求項１１に係る発明は、請求項９記載の光走査装置であって、６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（５Ｂ）を満たして構成されるものである。
【００３６】
【数３４】
2004029420.tif 000016
【００３７】
請求項１２に係る発明は、請求項９記載の光走査装置であって、７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（５Ｃ）を満たして構成されるものである。
【００３８】
【数３５】
2004029420.tif 000017
【００３９】
請求項１３に係る発明は、請求項１〜１２の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記結像光学系は次式（６）を満たして構成されるものである。
【００４０】
【数３６】
2004029420.tif 000018
【００４１】
ここで、上式（６）中、ｆ１は、前記第１接合レンズの焦点距離を示している。
【００４２】
請求項１４に係る発明は、請求項１３記載の光走査装置であって、４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記結像光学系は次式（６Ａ）を満たして構成されるものである。
【００４３】
【数３７】
2004029420.tif 000019
【００４４】
請求項１５に係る発明は、請求項１３記載の光走査装置であって、６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記結像光学系は次式（６Ｂ）を満たして構成されるものである。
【００４５】
【数３８】
2004029420.tif 000020
【００４６】
請求項１６に係る発明は、請求項１３記載の光走査装置であって、７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記結像光学系は次式（６Ｃ）を満たして構成されるものである。
【００４７】
【数３９】
2004029420.tif 000021
【００４８】
請求項１７に係る発明は、請求項１〜１６の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記結像光学系は次式（７）を満たして構成されるものである。
【００４９】
【数４０】
2004029420.tif 000022
【００５０】
ここで、上式（７）中、ｆ３は、前記第５レンズの焦点距離を示している。
【００５１】
請求項１８に係る発明は、請求項１〜１７の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記光源と前記光偏向器との間の光路上に、前記光源から発せられた光ビームを前記光偏光器の回転軸方向にのみ集束させて当該光偏光器の反射面上に結像させる結像光学系が更に配設されると共に、前記請求項１記載の結像光学系は、前記第５レンズから出射した光ビームを、前記光偏光器の回転軸方向に集束させて前記被走査面上に結像させるアナモルフィックレンズを更に備えているものである。
【００５２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の種々の実施の形態について説明する。
【００５３】
光走査装置の全体構成．
図１は、本発明の実施の形態に係る光走査装置の全体構成を示す概略図である。尚、図示するＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は互いに直交する。図１には、紙面に平行なＹ−Ｚ平面に沿って展開している光走査装置の概略構成が表示されている。また、図２は、図１に示す光走査装置の光軸に沿って展開する垂直面図である。
【００５４】
この光走査装置は、コリメータレンズ２とシリンドリカルレンズ３とからなる第１結像光学系、平面鏡４、回転多面鏡を有する光偏向器（ポリゴンミラー）５、そして、ｆθレンズ６とアナモルフィックレンズ１０とからなる第２結像光学系を備えて構成されている。本実施の形態では、光偏向器５としてポリゴンミラーを採用するが、本発明ではそれに限らずガルバノミラーなどを採用してもよい。
【００５５】
半導体レーザーからなる光源１は、所定の中心波長をもつ光ビーム１２を発振してコリメータレンズ２に向けて出力する。第１結像光学系において、コリメータレンズ２は、入射する光ビーム１２を平行光に屈折させる。次いで、シリンドリカルレンズ３は、コリメータレンズ２からの入射光１２ａを、光偏向器５の回転軸方向（Ｘ方向）にのみ集束させる。シリンドリカルレンズ３から出射した光ビーム１２ｂは、平面鏡４で反射した後に光偏向器５の反射面５ｒ上で線状に結像する。
【００５６】
前記光偏向器５の反射面５ｒは回転軸５ｃに対して平行に加工されている。その反射面５ｒは、回転軸５ｃを中心軸として右回りに等角速度で高速回転しており、その反射面５ｒで反射した光ビーム１２ｃを、ｆθレンズ６の光軸方向（Ｚ方向）に直交するＹ方向に偏向させ走査させる。また、第２結像光学系を構成するｆθレンズ６は、理想像高ｙが焦点距離ｆと半画角ωとの積になる歪曲特性を有しており、等角速度で偏向して入射する光ビーム１２ｃを主走査方向（Ｙ方向）へ等速度で走査させる。
【００５７】
そして、アナモルフィックレンズ１０は、ｆθレンズ６から入射した光ビーム１２ｄを、主走査方向（Ｙ方向）に直交し且つｆθレンズ６の光軸に直交する副走査方向（Ｘ方向）に集束させて被走査面１１上に結像させる。このアナモルフィックレンズ１０は、光偏向器５の反射面５ｒの垂直度のズレによって生ずる反射光の倒れを補正（面倒れ補正）する特性と、後述するサジッタル像面の湾曲を補正する特性とを備えている。光偏向器５には複数の反射面が断面多角形状に形成されている。各反射面は、加工精度のバラツキによって回転軸５ｃの方向から径方向に僅かに倒れることがある。その反射面の倒れによって、ｆθレンズ６に入射する光ビーム１２ｃの偏向方向はＸ方向へ僅かにずれてしまう。本実施の形態では、図２に示すように、副走査方向に光ビームを集束させるアナモルフィックレンズ１０を導入しているため、光偏向器５の反射面５ｒと被走査面１１上の最終像面とが光学的に共役な関係になる。よって、反射面５ｒの倒れによって光ビーム１２ｃの進行方向が若干ずれたとしても、反射面５ｒと共役な結像点に光ビームを走査させることができる。これにより、光ビームを等速度（等ピッチ）で精密に走査させることが可能となる。
【００５８】
また、前記ｆθレンズ６によって、メリディオナル像面およびサジッタル像面にて湾曲像面が生じる。一般に、ｆθレンズ６の光軸と主光線とを含む平面（メリディオナル平面）上の光束によってメリディオナル光束が定義される。本光走査装置では、メリディオナル平面は、ｆθレンズ６の光軸を含み主走査方向（Ｙ方向）に平行なＹ−Ｚ平面であり、メリディオナル像面は、そのメリディオナル平面上のメリディオナル光束によって形成される像面である。また、主光線を含みメリディオナル光束に垂直な光束によってサジッタル光束が定義され、サジッタル像面は、そのサジッタル光束によって形成される像面として定義される。後述するように、本実施の形態に係るｆθレンズ６はそのメリディオナル像面の湾曲を補正し得る光学性能を有する。また、アナモルフィックレンズ１０は、主走査方向（Ｙ方向）における屈折力と副走査方向（Ｘ方向）における屈折力とが異なるレンズであって、入射する光ビームを副走査方向へ集束させ結像させると共に、そのサジッタル像面の湾曲を補正する光学性能を有する。このようなアナモルフィックレンズ１０としては、特開平３−２４９７２２号公報記載の「光ビーム走査装置」のアナモルフィックレンズを採用すればよい。
【００５９】
本実施の形態では、アナモルフィックレンズ１０とｆθレンズ６とは分離されているが、本発明ではこれに限らず、アナモルフィックレンズ１０をｆθレンズ６の一部構成要素としてｆθレンズ６と一体化してもよい。
【００６０】
また、図１に示すように、第１結像光学系においてコリメータレンズ２からシリンドリカルレンズ３へ向かう光ビーム１２ａは、第２結像光学系におけるｆθレンズ６とアナモルフィックレンズ１０との間の光路を横断して平面鏡４に到達して反射し、光偏向器５の鏡面上に結像する。第１結像光学系と第２結像光学系をそのように配置することで、光走査装置内の限られたスペースにおいて必要な光路長を確保できるため、光走査装置をコンパクトに設計できる。また、ｆθレンズ６の全長Ｌが短い程に設計上の自由度が増すため、光走査装置をコンパクト化し易くなる。
【００６１】
ｆθレンズの構成．
図３は、本実施の形態に係るｆθレンズ６の一例を示す概略断面図である。ｆθレンズ６は、光ビームの入射側から順に、正のパワーを有する第１レンズ７Ａと負のパワーを有する第２レンズ７Ｂとを貼り合わせた第１接合レンズ７、正のパワーを有する第３レンズ８Ａと負のパワーを有する第４レンズ８Ｂとを貼り合わせた第２接合レンズ８、そして、正のパワーを有する第５レンズ９を配列した３群５枚で構成されている。ここで、レンズのパワー（屈折力）は、当該レンズの焦点距離の逆数として定義される。
【００６２】
このｆθレンズ６は、光軸方向に全長Ｌの寸法を有する。具体的には、全長Ｌは、第１接合レンズ７の光ビーム入射型の屈曲面Ｓ１の光軸上の点Ｐｉと、第５レンズ９の光ビーム出射側の屈曲面Ｓ１０の光軸上の点Ｐｅとの間の距離である。今、ｆθレンズ６の焦点距離、すなわち第１レンズ７Ａ〜第５レンズ９の合成焦点距離をｆと定めるとき、このｆθレンズ６は次の条件式（１）を満たすように構成される。
【００６３】
【数４１】
2004029420.tif 000023
【００６４】
上式（１）を満たすことで、焦点距離ｆに比べて非常に小さな全長Ｌをもつｆθレンズ６を作製できる。
【００６５】
今、ｒ１：第１レンズ７Ａの光ビーム入射側の屈曲面Ｓ１の曲率半径、ｒ４：第３レンズ８Ａの光ビーム光ビーム入射側の屈曲面Ｓ５の曲率半径、と定めるとき、ｆθレンズ６は、更に、次の条件式（２）を満たすように構成される。
【００６６】
【数４２】
2004029420.tif 000024
【００６７】
上式（２）を満たすことで、メリディオナル像面の湾曲補正が可能となる。すなわち、比率ｒ１／ｒ４が上式（２）の上限値（＝０．３１）を超えると、メリディオナル像面は軸上像点に対してプラス側に湾曲しオーバー（補正過剰）となる。他方、比率ｒ１／ｒ４が上式（２）の下限値（＝０．０４）未満では、メリディオナル像面は軸上像点に対してマイナス側に湾曲しアンダー（補正不足）となる。従って、比率ｒ１／ｒ４を上式（２）で規定される数値範囲に収めることで、メリディオナル像面を適性に平坦化できる。例えば、レーザープリンターの分野では、高解像度の画像を得るために、被走査面１１を走査する光ビームのスポット径は小さいことが望ましい。像面湾曲の補正により、被走査面１１上を走査する光ビームのスポット径を均一に抑えることができる。
【００６８】
また、第１接合レンズ７および第２接合レンズ８の光学材料としては、部分アッベ数νで規定する硝材または光学プラスチック材を選定するのが好ましい。部分アッベ数νは、次式（３）で定義される。
【００６９】
【数４３】
2004029420.tif 000025
【００７０】
上式（３）中、Ｎ：光ビームの中心波長に対するレンズの屈折率、ＮＭＩＮ：光ビームの使用波長域の下限値（最小波長）に対するレンズの屈折率、ＮＭＡＸ：前記光ビームの使用波長域の上限値（最大波長）に対するレンズの屈折率、を示している。部分アッベ数νの分母は、光ビームの最大波長と最小波長間の波長変化に対する屈折率変化を表しており、部分アッベ数νは、その屈折率変化に対する屈折率ＮＡの割合を表している。部分アッベ数νが小さい程に光学材料の分散性は高くなり、部分アッベ数νが大きい程に光学材料の分散性は低くなる。
【００７１】
第１接合レンズ７については、正のパワーを有する第１レンズ７Ａの部分アッベ数ν１と、負のパワーを有する第２レンズ７Ｂの部分アッベ数ν２との間には、次の条件式（４）が成立することが好ましい。
【００７２】
【数４４】
2004029420.tif 000026
【００７３】
色収差には、軸上色収差（光ビームの波長によって異なる光軸上の結像位置の差）と、倍率色収差（光ビームの波長によって異なる像高方向の結像位置の差）とが存在する。第１レンズ７Ａの光学材料の分散性を、第２レンズ７Ｂの光学材料のそれよりも高く選定し、比率ν１／ν２を上式（４）で規定する数値範囲内に収めることで、ｆθレンズ６の軸上色収差と倍率色収差の双方を補正することが可能となる。
【００７４】
更に、第２接合レンズ８については、正のパワーを有する第３レンズ８Ａの部分アッベ数ν３と、負のパワーを有する第４レンズ８Ｂの部分アッベ数ν４との間に、次の条件式（５）が成立することが好ましい。
【００７５】
【数４５】
2004029420.tif 000027
【００７６】
第３レンズ８Ａの光学材料の分散性を、第４レンズ８Ｂの光学材料のそれよりも低く選定し、比率ν４／ν３を上式（５）で規定する数値範囲内に収めることで、ｆθレンズ６の軸上色収差と倍率色収差の双方を許容範囲内に補正できる。このように、上記接合レンズ７，８の各々を構成する２枚の単体レンズの部分アッベ数の比率ν１／ν２，ν４／ν３に着目し、上式（４），（５）を成立させることで、３群３枚構成のｆθレンズでは難しかった倍率色収差の補正を高精度に行うことが可能である。
【００７７】
また、上記ｆθレンズ６の湾曲収差を補正すべく、第１接合レンズ７の合成焦点距離ｆ１（＜０）について次の条件式（６）が成立することが好ましい。
【００７８】
【数４６】
2004029420.tif 000028
【００７９】
上式（６）を満たすことで、メリディオナル像面の湾曲を更に適性に補正することが可能となる。すなわち、比率｜ｆ１｜／ｆが上式（６）の上限値（＝０．３５）を超えると、メリディオナル像面は軸上像点に対してプラス側に湾曲しオーバー（補正過剰）となる。他方、比率｜ｆ１｜／ｆが上式（６）の下限値（＝０．２４）未満では、メリディオナル像面は軸上像点に対してマイナス側に湾曲しアンダー（補正不足）となる。従って、比率｜ｆ１｜／ｆを上式（６）で規定される数値範囲に収めることで、メリディオナル像面を平坦化できる。
【００８０】
更に、被走査面１１に結像される光ビームの走査特性（リニアリティ）を向上させるために、上記第５レンズ９の焦点距離ｆ３（＞０）について次の条件式（７）が成立することが望ましい。
【００８１】
【数４７】
2004029420.tif 000029
【００８２】
上式（７）は、ｆθレンズ６の焦点距離ｆに対する、第５レンズ９の焦点距離ｆ３の比率ｆ３／ｆを所定範囲内に収めることを示している。すなわち、比率ｆ３／ｆが上式（７）の上限値（＝０．６７）を超えると、被走査面１１における光ビームの走査速度は、中心部に比べて周辺部に行く程に遅くなり、比率ｆ３／ｆが上式（７）の下限値（＝０．４３）未満では、その走査速度は、中心部に比べて周辺部に行く程に速くなるという現象が起きる。従って、上の条件式（７）を満たす場合は、走査速度の時間変化は許容範囲内に抑えられ、光ビームを等ピッチで精密走査させることができ、画質の向上が可能となる。
【００８３】
以上の構成を有するｆθレンズ６のより具体的な形態を以下に説明する。
【００８４】
第１の実施の形態．
第１の実施の形態に係るｆθレンズ６は、中心波長４０５ｎｍ、最大波長４１０ｎｍおよび最小波長４００ｎｍの使用波長域をもつ光ビームについて好適となるように設計される。特にその使用波長域について光学性能を最適化するために、ｆθレンズ６は、次の条件式（２Ａ），（４Ａ），（５Ａ）および（６Ａ）を満たすことが好ましい。
【００８５】
【数４８】
2004029420.tif 000030
【００８６】
【数４９】
2004029420.tif 000031
【００８７】
【数５０】
2004029420.tif 000032
【００８８】
【数５１】
2004029420.tif 000033
【００８９】
（第１実施例）本実施の形態に係るｆθレンズ６の第１実施例を以下に説明する。図３は、この第１実施例のｆθレンズ６の概略断面図である。以下の表１に、第１実施例のｆθレンズ６の焦点距離ｆと、Ｆ値（Ｆナンバー）と、全画角θと、光源１で発振されるレーザ光の使用波長域とを示す。
【００９０】
【表１】
2004029420.tif 000034
【００９１】
また、第１実施例のｆθレンズ６の光学的特性を示す諸量を、以下の表２に示す。
【００９２】
【表２】
2004029420.tif 000035
【００９３】
図３に示すように、第１レンズ７Ａ〜第５レンズ９は、屈曲面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６，Ｓ７，Ｓ８を有する。表２は、屈曲面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６，Ｓ７，Ｓ８の曲率半径を、それぞれ、ｒ（１），ｒ（２），ｒ（３），ｒ（４），ｒ（５），ｒ（６），ｒ（７），ｒ（８）で示し、第ｉ屈曲面Ｓｉ（ｉ：１〜７の整数）と第ｉ＋１屈曲面Ｓｉ＋１との間の光軸上の面間距離をｄ（ｉ）で示している。屈曲面Ｓ１〜Ｓ７に関する面間距離ｄ（ｉ）の総和は、ｆθレンズ６の全長Ｌに等しい。尚、Ｓ１：第１レンズ７Ａの光入射側屈曲面、Ｓ２：第１レンズ７Ａの光出射側屈曲面、Ｓ３：第２レンズ７Ｂの光出射側屈曲面、Ｓ４：第３レンズ８Ａの光入射側屈曲面、Ｓ５：第３レンズ８Ａの光出射側屈曲面、Ｓ６：第３レンズ８Ａの光出射側屈曲面、Ｓ７：第５レンズ９の光入射側屈曲面、Ｓ８：第５レンズ９の光出射側屈曲面、である。表２の中でｒ（３）＝∞である。これは、屈曲面Ｓ３が曲率ゼロのフラット形状を有することを意味する。
【００９４】
また、上記表２では、第１レンズ７Ａ，第２レンズ７Ｂ，第３レンズ８Ａ，第４レンズ８Ｂおよび第５レンズ９のｄ線での屈折率を、それぞれ、ｎｄ（１），ｎｄ（２），ｎｄ（４），ｎｄ（５）およびｎｄ（７）で示し、第１レンズ７Ａ，第２レンズ７Ｂ，第３レンズ８Ａ，第４レンズ８Ｂおよび第５レンズ９のｄ線のアッベ数を、それぞれ、νｄ（１），νｄ（２），νｄ（４），νｄ（５）およびνｄ（７）で示している。
【００９５】
また、上述の条件式（１），（２），（４），（５），（６），（７）で使用した各種比率の数値を以下に示す。
【００９６】
【数５２】
2004029420.tif 000036
【００９７】
但し、Ｎ１：第１レンズ７Ａの中心波長４０５ｎｍに対する屈折率、Ｎ１ｕ：第１レンズ７Ａの最大波長４１０ｎｍに対する屈折率、Ｎ１Ｌ：第１レンズ７Ａの最小波長４００ｎｍに対する屈折率、Ｎ２：第２レンズ７Ｂの中心波長４０５ｎｍに対する屈折率、Ｎ２ｕ：第２レンズ７Ｂの最大波長４１０ｎｍに対する屈折率、Ｎ２Ｌ：第２レンズ７Ｂの最小波長４００ｎｍに対する屈折率、Ｎ３：第３レンズ８Ａの中心波長４０５ｎｍに対する屈折率、Ｎ３ｕ：第３レンズ８Ａの最大波長４１０ｎｍに対する屈折率、Ｎ３Ｌ：第３レンズ８Ａの最小波長４００ｎｍに対する屈折率、Ｎ４：第４レンズ８Ｂの中心波長４０５ｎｍに対する屈折率、Ｎ４ｕ：第４レンズ８Ｂの最大波長４１０ｎｍに対する屈折率、Ｎ４Ｌ：第４レンズ８Ｂの最小波長４００ｎｍに対する屈折率、を示している。
【００９８】
第１実施例では、前記比率Ｌ／ｆ，ｒ１／ｒ４，ν１／ν２，ν４／ν３，｜ｆ１｜／ｆおよびｆ３／ｆの数値は、条件式（１），（２Ａ），（４Ａ），（５Ａ），（６Ａ）および（７）を満たすことが分かる。
【００９９】
以上の光学特性を有するｆθレンズ６の球面収差（縦収差）を測定した。図４は、３波長（４０５ｎｍ，４００ｎｍ，４１０ｎｍ）の光ビームに関する球面収差図である。ｆθレンズ６で屈折した光ビームが光軸と交わる点は、入射瞳に入る高さ（入射瞳半径）によって異なる。図４の球面収差図の縦軸は、入射瞳半径の端を”１”に規格化した瞳座標を示しており、その横軸は、ｆθレンズ６で屈折した光ビームが光軸と交わる位置すなわち球面収差ΔＳ２（単位：ミリメートル）を示している。また、収差曲線２０ｃ，２０ｕ，２０ｄは、それぞれ、波長４０５ｎｍ，４１０ｎｍ，４００ｎｍの光ビームに対応する曲線である。また、図４に、瞳座標がゼロの値をとるときの収差曲線２０ｃ，２０ｕ，２０ｄの部分拡大図２１と、瞳座標が”１”の値をとるときの収差曲線２０ｃ，２０ｕ，２０ｄの部分拡大図２２とを示す。
【０１００】
図４に示す球面収差ΔＳ２の測定結果から、最小波長４００ｎｍと最大波長４１０ｎｍとの間の軸上色収差は０．００８１ｍｍであり、軸上色収差が適性に補正されていることが分かった。
【０１０１】
また、第１実施例のｆθレンズ６の非点収差（縦収差）を測定した。図５は、３波長（４０５ｎｍ，４００ｎｍ，４１０ｎｍ）の光ビームに関する非点収差図である。図５に示す収差図の横軸は、各波長のメリディオナル像面およびサジッタル像面の軸上像点からのズレΔＳ３（単位：ミリメートル）を示し、その縦軸は半画角ω（単位：°）を示している。図５中、符号２３Ｓｃは、中心波長４０５ｎｍの光束のサジッタル像面、２３Ｓｕは、最大波長４１０ｎｍの光束のサジッタル像面、２３Ｓｄは、最小波長４００ｎｍの光束のサジッタル像面を示しており、また、符号２３Ｍｃは、中心波長４０５ｎｍの光束のメリディオナル像面、２３Ｍｕは、最大波長４１０ｎｍの光束のメリディオナル像面、２３Ｍｄは、最小波長４００ｎｍの光束のメリディオナル像面を示している。また、図５に、半画角ωが２２．７５°となる付近のメリディオナル像面の収差曲線２３Ｍｕ，２３Ｍｃ，２３Ｍｄの部分拡大図２４を示す。
【０１０２】
図５に示す収差図により、各波長のメリディオナル像面は比較的平坦に補正されていることが分かる。
【０１０３】
また、第１実施例のｆθレンズ６の横収差を測定した。図６〜図１１に、３波長（４１０ｎｍ，４０５ｎｍ，４００ｎｍ）の光ビームに関するｆθレンズ６の横収差図を示す。横収差は、入射瞳の高さｈ＊の位置を通過した光束が像面を貫く像点の、主光線の像点からのズレとして定義される。図６〜図１１の横軸は入射瞳の高さｈ＊を示している。また、図６，図８および図１０の縦軸は、メリディオナル光束についてのＹ方向の横収差ΔＹ（単位：ミリメートル）を示し、図７，図９および図１１の縦軸は、サジッタル光束についてのＸ方向の横収差ΔＸ（単位：ミリメートル）を示している。
【０１０４】
更に、光偏向器５で反射偏向した主光線の偏向方向とｆθレンズ６の光軸とがなす角度をφで表すとすれば、図６と図７は、角度φ＝２２．７０°のときの横収差図、図８と図９は角度φ＝１５．８９°のときの横収差図、そして、図１０と図１１は角度φ＝０°のときの横収差図である。
【０１０５】
以上の図６〜図１１には、横収差の波長変化が表示されている。図６，図８および図１０には、それぞれ、中心波長４０５ｎｍの光束の収差曲線２５ｃ、最大波長４１０ｎｍの光束の収差曲線２５ｕ、および最小波長４００ｎｍの光束の収差曲線２５ｄが表示される。また、図６と図８には、それぞれ、入射瞳の高さｈ＊がゼロになる付近の収差曲線２５ｃ，２５ｕ，２５ｄの部分拡大図２６が表示されている。また、図７，図９および図１１には、それぞれ、中心波長４０５ｎｍの光束の収差曲線２７ｃ、最大波長４１０ｎｍの光束の収差曲線２７ｕ、および最小波長４００ｎｍの光束の収差曲線２７ｄを表示した。
【０１０６】
図６〜図１１の横収差の測定結果により、使用波長域４００ｎｍ〜４１０ｎｍでの倍率色収差は、最大で０．００３６ｍｍであり、倍率色収差が適性に補正されていることが確認された。
【０１０７】
次に、第１実施例のｆθレンズ６の走査特性の指標となるｆθ特性を測定したところ、ｆθ特性は０．２９％であり、良好な数値が得られた。ｆθ特性は、以下の手順Ａ〜Ｅによって測定される。
【０１０８】
手順Ａ：ｆθレンズ６の全画角θを１０等分して、光偏向器５の平均回転角度＜θ＞を計算する。＜θ＞＝θ／１０／２である。図１２に示すように、光偏向器５の平均回転角度＜θ＞に対して、入射光１５は光偏向器５で反射し、光ビーム１６から光ビーム１６’へ角度変化２×＜θ＞で偏向する。また、光ビームが被走査面１１上を等速度で走査する理想状態では、その平均回転角度＜θ＞に対する光ビームの走査距離は、Ｗ／１０となる（Ｗ＝ｆθ：走査線長）。
【０１０９】
手順Ｂ：光偏向器５が平均回転角度＜θ＞づつ回転する各時点で、被走査面１１上の光ビームの照射位置を測定する。１回の走査開始から走査終了までの期間に、１１点の照査位置Ｙ１〜Ｙ１１が測定される。光ビームが被走査面１１上を等速度で走査する理想状態では、被走査面１１上の走査開始位置をＹ１とすれば、Ｙ２＝Ｙ１＋Ｗ／１０，Ｙ３＝Ｙ２＋Ｗ／１０，…，Ｙｎ＋１＝Ｙｎ＋Ｗ／１０，Ｙ１１＝Ｙ１０＋Ｗ／１０、となる。
【０１１０】
手順Ｃ：各照査位置間の測定距離Ｙｎ＋１−Ｙｎ（ｎ＝１〜１０）を計算する。この測定距離Ｙｎ＋１−Ｙｎは各照査位置間における光ビームの走査速度に略比例すると考えられる。
【０１１１】
手順Ｄ：理想状態での照射位置間距離Ｗ／１０に対する測定距離Ｙｎ＋１−Ｙｎの比率Ｄｎを計算する。すなわち、比率Ｄｎ（ｎ＝１〜１０）は次式（８）に従って計算される。
【０１１２】
【数５３】
2004029420.tif 000037
【０１１３】
手順Ｅ：比率Ｄｎ（ｎ＝１〜１０）の最大値をＤｍａｘ、その最小値をＤｍｉｎ、比率Ｄｎの算術平均値をＤａｖｅで表すとき、ｆθ特性（単位：パーセント）は次式（９）に従って算出される。
【０１１４】
【数５４】
2004029420.tif 000038
【０１１５】
ｆθ特性の値が小さい程に、ｆθレンズ６のリニアリティは良好になり、光ビームを等ピッチで走査させることができる。
【０１１６】
以下の表３に、上記した照射位置Ｙｎ、距離Ｙｎ＋１−Ｙｎおよび比率Ｄｎの測定値を示す。
【０１１７】
【表３】
2004029420.tif 000039
【０１１８】
また、以下の表４に、表３に掲げた測定値を用いて算出した比率Ｄｎの最大値Ｄｍａｘ、最小値Ｄｍｉｎ、平均値Ｄａｖｅおよびｆθ特性の値を示す。
【０１１９】
【表４】
2004029420.tif 000040
【０１２０】
（第２実施例）次に、第２の実施の形態に係るｆθレンズ６の第２実施例を以下に説明する。図１３は、第２実施例のｆθレンズ６の概略断面図である。また、表５に、第２実施例のｆθレンズ６の焦点距離ｆと、Ｆ値（Ｆナンバー）と、全画角θと、光源１で発振されるレーザ光の使用波長域とを示す。
【０１２１】
【表５】
2004029420.tif 000041
【０１２２】
また、第２実施例のｆθレンズ６の光学特性を示す諸量は、以下の表６の通りである。
【０１２３】
【表６】
2004029420.tif 000042
【０１２４】
また、上述の条件式（１），（２），（４），（５），（６），（７）で使用した各種比率の数値を以下に示す。
【０１２５】
【数５５】
2004029420.tif 000043
【０１２６】
本実施例では、前記比率Ｌ／ｆ，ｒ１／ｒ４，ν１／ν２，ν４／ν３，｜ｆ１｜／ｆおよびｆ３／ｆの数値は、条件式（１），（２Ａ），（４Ａ），（５Ａ），（６Ａ）および（７）を満たすことが分かる。
【０１２７】
以上の光学特性を有するｆθレンズ６の軸上色収差、非点収差、倍率色収差およびｆθ特性を、上記第１実施例と同様な方法で測定した。
【０１２８】
図１４は、３波長（４０５ｎｍ，４００ｎｍ，４１０ｎｍ）の光ビームに関するｆθレンズ６の球面収差図である。図１４に示す収差図には、中心波長４０５ｎｍに対する収差曲線３１ｃと、最大波長４１０ｎｍに対する収差曲線３１ｕと、最小波長４００ｎｍに対する収差曲線３１ｄとがプロットされている。また、図１４に、瞳座標がゼロの値をとる付近の収差曲線３１ｃ，３１ｕ，３１ｄの部分拡大図３２と、瞳座標が”１”の値をとる付近の収差曲線３１ｃ，３１ｕ，３１ｄの部分拡大図３３とを示す。図１４に示す球面収差ΔＳ２の測定結果から、最大波長４１０ｎｍと最小波長４００ｎｍとの間の軸上色収差は０．０１９６ｍｍであり、軸上色収差が適性に補正されていることが分かった。
【０１２９】
また、図１５は、３波長（４０５ｎｍ，４００ｎｍ，４１０ｎｍ）の光ビームに関する非点収差図である。図１５中、符号３４Ｓｃは、中心波長４０５ｎｍの光束のサジッタル像面、３４Ｓｕは、最大波長４１０ｎｍの光束のサジッタル像面、３４Ｓｄは、最小波長４００ｎｍの光束のサジッタル像面を示しており、また、符号３４Ｍｃは、中心波長４０５ｎｍの光束のメリディオナル像面、３４Ｍｕは、最大波長４１０ｎｍの光束のメリディオナル像面、３４Ｍｄは、最小波長４００ｎｍの光束のメリディオナル像面を示している。また、図１５に、半画角ωが２２．７５°となる付近のメリディオナル像面の収差曲線３４Ｍｕ，３４Ｍｃ，３４Ｍｄの部分拡大図３５を示す。
【０１３０】
図１５に示す収差図により、各波長のメリディオナル像面は比較的平坦に補正されていることが分かる。
【０１３１】
また、図１６〜図２１は、３波長（４０５ｎｍ，４００ｎｍ，４１０ｎｍ）の光ビームに関するｆθレンズ６の横収差図である。図１６，図１８および図２０は、それぞれ、上記の角度φが２２．７５°，１５．９３°および０°の場合のメリディオナル光束についての横収差ΔＹを表している。図中の符号３６ｃは、中心波長４０５ｎｍの光束の収差曲線、３６ｕは、最大波長４１０ｎｍの光束の収差曲線、３６ｄは、最小波長４００ｎｍの光束の収差曲線を示す。図１６と図１８には、それぞれ、入射瞳の高さｈ＊がゼロになる付近の収差曲線３６ｃ，３６ｕ，３６ｄの部分拡大図３７が表示されている。
【０１３２】
また、図１７，図１９および図２１は、それぞれ、角度φが２２．７５°，１５．９３°および０°の場合のサジッタル光束についての横収差ΔＸを表している。図中の符号３８ｃは、中心波長４０５ｎｍの光束の収差曲線、３８ｕは、最大波長４１０ｎｍの光束の収差曲線、３８ｄは、最小波長４００ｎｍの光束の収差曲線を示す。
【０１３３】
以上の図１６〜図２１の横収差の測定結果により、使用波長域４００ｎｍ〜４１０ｎｍでの倍率色収差は、最大で０．００２５ｍｍであり、倍率色収差が適性に補正されていることが確認された。
【０１３４】
また、第２実施例のｆθレンズ６のｆθ特性は０．３３％であり、良好な数値が得られた。以下の表７に、上記した照射位置Ｙｎ、距離Ｙｎ＋１−Ｙｎおよび比率Ｄｎの測定値を示す。
【０１３５】
【表７】
2004029420.tif 000044
【０１３６】
また、以下の表８に、表７に掲げた測定値を用いて算出した比率Ｄｎの最大値Ｄｍａｘ、最小値Ｄｍｉｎ、平均値Ｄａｖｅおよびｆθ特性の値を示す。
【０１３７】
【表８】
2004029420.tif 000045
【０１３８】
第２の実施の形態．
次に、第２の実施の形態に係るｆθレンズ６について説明する。このｆθレンズ６は、中心波長６３５ｎｍ、最大波長６４５ｎｍおよび最小波長６２５ｎｍの使用波長域をもつ光ビームについて好適となるように設計される。特にその使用波長域について光学性能を最適化するために、ｆθレンズ６は、次の条件式（２Ｂ），（４Ｂ），（５Ｂ）および（６Ｂ）を満たすことが好ましい。
【０１３９】
【数５６】
2004029420.tif 000046
【０１４０】
【数５７】
2004029420.tif 000047
【０１４１】
【数５８】
2004029420.tif 000048
【０１４２】
【数５９】
2004029420.tif 000049
【０１４３】
本実施の形態に係るｆθレンズ６の一実施例を以下に説明する。図２２は、本実施例のｆθレンズ６の概略断面図である。また、以下の表９に、本実施例のｆθレンズ６の焦点距離ｆと、Ｆ値（Ｆナンバー）と、全画角θと、光源１で発振されるレーザー光の使用波長域とを示す。
【０１４４】
【表９】
2004029420.tif 000050
【０１４５】
また、本実施例のｆθレンズ６の光学特性を示す諸量は、以下の表１０の通りである。
【０１４６】
【表１０】
2004029420.tif 000051
【０１４７】
また、上述の条件式（１），（２），（４），（５），（６），（７）で使用した各種比率の数値を以下に示す。
【０１４８】
【数６０】
2004029420.tif 000052
【０１４９】
但し、Ｎ１：第１レンズ７Ａの中心波長６３５ｎｍに対する屈折率、Ｎ１ｕ：第１レンズ７Ａの最大波長６４５ｎｍに対する屈折率、Ｎ１Ｌ：第１レンズ７Ａの最小波長６２５ｎｍに対する屈折率、Ｎ２：第２レンズ７Ｂの中心波長６３５ｎｍに対する屈折率、Ｎ２ｕ：第２レンズ７Ｂの最大波長６４５ｎｍに対する屈折率、Ｎ２Ｌ：第２レンズ７Ｂの最小波長６２５ｎｍに対する屈折率、Ｎ３：第３レンズ８Ａの中心波長６３５ｎｍに対する屈折率、Ｎ３ｕ：第３レンズ８Ａの最大波長６４５ｎｍに対する屈折率、Ｎ３Ｌ：第３レンズ８Ａの最小波長６２５ｎｍに対する屈折率、Ｎ４：第４レンズ８Ｂの中心波長６３５ｎｍに対する屈折率、Ｎ４ｕ：第４レンズ８Ｂの最大波長６４５ｎｍに対する屈折率、Ｎ４Ｌ：第４レンズ８Ｂの最小波長６２５ｎｍに対する屈折率、を示している。
【０１５０】
本実施例では、前記比率Ｌ／ｆ，ｒ１／ｒ４，ν１／ν２，ν４／ν３，｜ｆ１｜／ｆおよびｆ３／ｆの数値は、条件式（１），（２Ｂ），（４Ｂ），（５Ｂ），（６Ｂ）および（７）を満たすことが分かる。
【０１５１】
以上の光学特性を有するｆθレンズ６の軸上色収差、非点収差、倍率色収差およびｆθ特性を、上記第１実施例と同様な方法で測定した。
【０１５２】
図２３は、３波長（６３５ｎｍ，６２５ｎｍ，６４５ｎｍ）の光ビームに関するｆθレンズ６の球面収差図である。図２３に示す収差図には、中心波長６３５ｎｍに対する収差曲線４３ｃと、最大波長６４５ｎｍに対する収差曲線４３ｕと、最小波長６２５ｎｍに対する収差曲線４３ｄとがプロットされている。また、図２３に、瞳座標がゼロの値をとる付近の収差曲線４３ｃ，４３ｕ，４３ｄの部分拡大図４５と、瞳座標が”１”の値をとる付近の収差曲線４３ｃ，４３ｕ，４３ｄの部分拡大図４４とを示す。図２３に示す球面収差ΔＳ２の測定結果から、最大波長６４５ｎｍと最小波長６２５ｎｍとの間の軸上色収差は０．０５２８ｍｍであり、軸上色収差が適性に補正されていることが分かった。
【０１５３】
また、図２４は、３波長（６３５ｎｍ，６２５ｎｍ，６４５ｎｍ）の光ビームに関する非点収差図である。図２４中、符号４６Ｓｃは、中心波長６３５ｎｍの光束のサジッタル像面、４６Ｓｕは、最大波長６４５ｎｍの光束のサジッタル像面、４６Ｓｄは、最小波長６２５ｎｍの光束のサジッタル像面を示しており、また、符号４６Ｍｃは、中心波長６３５ｎｍの光束のメリディオナル像面、４６Ｍｕは、最大波長６４５ｎｍの光束のメリディオナル像面、４６Ｍｄは、最小波長６２５ｎｍの光束のメリディオナル像面を示している。
【０１５４】
図２４に示す収差図により、各波長のメリディオナル像面は比較的平坦に補正されていることが分かる。
【０１５５】
また、図２５〜図３０は、３波長（６３５ｎｍ，６２５ｎｍ，６４５ｎｍ）の光ビームに関するｆθレンズ６の横収差図である。図２５，図２７および図２９は、それぞれ、上記の角度φが２２．５０°，１５．７５°および０°の場合のメリディオナル光束についての横収差ΔＹを表している。図中の符号４７ｃは、中心波長６３５ｎｍの光束の収差曲線、４７ｕは、最大波長６４５ｎｍの光束の収差曲線、４７ｄは、最小波長６２５ｎｍの光束の収差曲線を示す。また、図２５と図２７には、それぞれ、入射瞳の高さｈ＊がゼロになる付近の収差曲線４７ｃ，４７ｕ，４７ｄの部分拡大図４８が表示されている。
【０１５６】
また、図２６，図２８および図３０は、それぞれ、角度φが２２．５０°，１５．９３°および０°の場合のサジッタル光束についての横収差ΔＸを表している。図中の符号４９ｃは、中心波長６３５ｎｍの光束の収差曲線、４９ｕは、最大波長６４５ｎｍの光束の収差曲線、４９ｄは、最小波長６２５ｎｍの光束の収差曲線を示す。
【０１５７】
以上の図２５〜図３０の横収差の測定結果により、使用波長域６２５ｎｍ〜６３５ｎｍでの倍率色収差は、最大で０．００２９ｍｍであり、倍率色収差が適性に補正されていることが確認された。
【０１５８】
また、本実施例のｆθレンズ６のｆθ特性は０．２７％であり、良好な数値が得られた。以下の表１１に、上記した照射位置Ｙｎ、距離Ｙｎ＋１−Ｙｎおよび比率Ｄｎの測定値を示す。
【０１５９】
【表１１】
2004029420.tif 000053
【０１６０】
また、以下の表１２に、表１１に掲げた測定値を用いて算出した比率Ｄｎの最大値Ｄｍａｘ、最小値Ｄｍｉｎ、平均値Ｄａｖｅおよびｆθ特性の値を示す。
【０１６１】
【表１２】
2004029420.tif 000054
【０１６２】
第３の実施の形態．
次に、第３の実施の形態に係るｆθレンズ６について説明する。このｆθレンズ６は、中心波長７８５ｎｍ、最大波長８００ｎｍおよび最小波長７７０ｎｍの使用波長域をもつ光ビームについて好適となるように設計される。特にその使用波長域について光学性能を最適化するために、ｆθレンズ６は、次の条件式（２Ｃ），（４Ｃ），（５Ｃ）および（６Ｃ）を満たすことが好ましい。
【０１６３】
【数６１】
2004029420.tif 000055
【０１６４】
【数６２】
2004029420.tif 000056
【０１６５】
【数６３】
2004029420.tif 000057
【０１６６】
【数６４】
2004029420.tif 000058
【０１６７】
本実施の形態に係るｆθレンズ６の一実施例を以下に説明する。図３１は、本実施例のｆθレンズ６の概略断面図である。また、以下の表１３に、本実施例のｆθレンズ６の焦点距離ｆと、Ｆ値（Ｆナンバー）と、全画角θと、光源１で発振されるレーザー光の使用波長域とを示す。
【０１６８】
【表１３】
2004029420.tif 000059
【０１６９】
また、本実施例のｆθレンズ６の光学特性を示す諸量は、以下の表１４の通りである。
【０１７０】
【表１４】
2004029420.tif 000060
【０１７１】
また、上述の条件式（１），（２），（４），（５），（６），（７）で使用した各種比率の数値を以下に示す。
【０１７２】
【数６５】
2004029420.tif 000061
【０１７３】
但し、Ｎ１：第１レンズ７Ａの中心波長７８５ｎｍに対する屈折率、Ｎ１ｕ：第１レンズ７Ａの最大波長８００ｎｍに対する屈折率、Ｎ１Ｌ：第１レンズ７Ａの最小波長７７０ｎｍに対する屈折率、Ｎ２：第２レンズ７Ｂの中心波長７８５ｎｍに対する屈折率、Ｎ２ｕ：第２レンズ７Ｂの最大波長８００ｎｍに対する屈折率、Ｎ２Ｌ：第２レンズ７Ｂの最小波長７７０ｎｍに対する屈折率、Ｎ３：第３レンズ８Ａの中心波長７８５ｎｍに対する屈折率、Ｎ３ｕ：第３レンズ８Ａの最大波長８００ｎｍに対する屈折率、Ｎ３Ｌ：第３レンズ８Ａの最小波長７７０ｎｍに対する屈折率、Ｎ４：第４レンズ８Ｂの中心波長７８５ｎｍに対する屈折率、Ｎ４ｕ：第４レンズ８Ｂの最大波長８００ｎｍに対する屈折率、Ｎ４Ｌ：第４レンズ８Ｂの最小波長７７０ｎｍに対する屈折率、を示している。
【０１７４】
本実施例では、前記比率Ｌ／ｆ，ｒ１／ｒ４，ν１／ν２，ν４／ν３，｜ｆ１｜／ｆおよびｆ３／ｆの数値は、条件式（１），（２Ｃ），（４Ｃ），（５Ｃ），（６Ｃ）および（７）を満たすことが分かる。
【０１７５】
以上の光学特性を有するｆθレンズ６の軸上色収差、非点収差、倍率色収差およびｆθ特性を、上記第１実施例と同様な方法で測定した。
【０１７６】
図３２は、３波長（７８５ｎｍ，７７０ｎｍ，８００ｎｍ）の光ビームに関するｆθレンズ６の球面収差図である。図３２に示す収差図には、中心波長７８５ｎｍに対する収差曲線５５ｃと、最大波長８００ｎｍに対する収差曲線５５ｕと、最小波長７７０ｎｍに対する収差曲線５５ｄとがプロットされている。また、図３２に、瞳座標がゼロの値をとる付近の収差曲線５５ｃ，５５ｕ，５５ｄの部分拡大図５６と、瞳座標が”１”の値をとる付近の収差曲線５５ｃ，５５ｕ，５５ｄの部分拡大図５７とを示す。図３２に示す球面収差ΔＳ２の測定結果から、最大波長８００ｎｍと最小波長７７０ｎｍとの間の軸上色収差は０．０２０４ｍｍであり、軸上色収差が適性に補正されていることが分かった。
【０１７７】
また、図３３は、３波長（７８５ｎｍ，７７０ｎｍ，８００ｎｍ）の光ビームに関する非点収差図である。図３３中、符号５８Ｓｃは、中心波長７８５ｎｍの光束のサジッタル像面、５８Ｓｕは、最大波長８００ｎｍの光束のサジッタル像面、５８Ｓｄは、最小波長７７０ｎｍの光束のサジッタル像面を示しており、また、符号５８Ｍｃは、中心波長７８５ｎｍの光束のメリディオナル像面、５８Ｍｕは、最大波長８００ｎｍの光束のメリディオナル像面、５８Ｍｄは、最小波長７７０ｎｍの光束のメリディオナル像面を示している。
【０１７８】
図３３に示す収差図により、各波長のメリディオナル像面は比較的平坦に補正されていることが分かる。
【０１７９】
また、図３４〜図３９は、３波長（７８５ｎｍ，７７０ｎｍ，８００ｎｍ）の光ビームに関するｆθレンズ６の横収差図である。図３４，図３６および図３８は、それぞれ、上記の角度φが２２．５０°，１５．７５°および０°の場合のメリディオナル光束についての横収差ΔＹを表している。図中の符号５９ｃは、中心波長７８５ｎｍの光束の収差曲線、５９ｕは、最大波長８００ｎｍの光束の収差曲線、５９ｄは、最小波長７７０ｎｍの光束の収差曲線を示す。また、図３４と図３６には、それぞれ、入射瞳の高さｈ＊がゼロになる付近の収差曲線５９ｃ，５９ｕ，５９ｄの部分拡大図６０が表示されている。
【０１８０】
また、図３５，図３５および図３５は、それぞれ、角度φが２２．５０°，１５．９３°および０°の場合のサジッタル光束についての横収差ΔＸを表している。図中の符号６１ｃは、中心波長７８５ｎｍの光束の収差曲線、６１ｕは、最大波長８００ｎｍの光束の収差曲線、６１ｄは、最小波長７７０ｎｍの光束の収差曲線を示す。
【０１８１】
以上の図３４〜図３９の横収差の測定結果により、使用波長域７７０ｎｍ〜８００ｎｍでの倍率色収差は、最大で０．００１４ｍｍであり、倍率色収差が適性に補正されていることが確認された。
【０１８２】
また、本実施例のｆθレンズ６のｆθ特性は０．２９％であり、良好な数値が得られた。以下の表１５に、上記した照射位置Ｙｎ、距離Ｙｎ＋１−Ｙｎおよび比率Ｄｎの測定値を示す。
【０１８３】
【表１５】
2004029420.tif 000062
【０１８４】
また、以下の表１６に、表１５に掲げた測定値を用いて算出した比率Ｄｎの最大値Ｄｍａｘ、最小値Ｄｍｉｎ、平均値Ｄａｖｅおよびｆθ特性の値を示す。
【０１８５】
【表１６】
2004029420.tif 000063
【０１８６】
【発明の効果】
以上の如く、本発明の請求項１に係る光走査装置によれば、上式（１）を満たすことで、焦点距離ｆに比べて短い全長Ｌをもつコンパクトな結像光学系を構成できるため、コンパクトな光走査装置を実現できる。また、上式（２）を満たすことで、結像光学系はメリディオナル像面の湾曲を適性に補正できる。本請求項に係る発明では上式（１）および（２）の双方の条件が両立し得るため、高い光学性能を有し且つコンパクトな光走査装置の作製が可能である。
【０１８７】
請求項２によれば、特に４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームについて、メリディオナル像面の湾曲を適性に補正し得るコンパクトな結像光学系が実現可能である。
【０１８８】
請求項３によれば、特に６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームについて、メリディオナル像面の湾曲を適性に補正し得るコンパクトな結像光学系が実現可能である。
【０１８９】
請求項４によれば、特に７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームについて、メリディオナル像面の湾曲を適性に補正し得るコンパクトな結像光学系が実現可能である。
【０１９０】
請求項５によれば、上式（４）を満たすことで、軸上色収差と倍率色収差を補正し得る結像光学系が実現可能である。
【０１９１】
請求項６によれば、特に４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、軸上色収差と倍率色収差を適性な範囲内に補正し得る結像光学系を実現できる。
【０１９２】
請求項７によれば、特に６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、軸上色収差と倍率色収差を適性な範囲内に補正し得る結像光学系を実現できる。
【０１９３】
請求項８によれば、特に７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、軸上色収差と倍率色収差を適性な範囲内に補正し得る結像光学系を実現できる。
【０１９４】
請求項９によれば、上式（５）を満たすことで、軸上色収差と倍率色収差を適性に補正し得る結像光学系が実現可能である。
【０１９５】
請求項１０によれば、特に４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、軸上色収差と倍率色収差を適性な範囲内に補正し得る結像光学系を実現できる。
【０１９６】
請求項１１によれば、特に６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、軸上色収差と倍率色収差を適性な範囲内に補正し得る結像光学系を実現できる。
【０１９７】
請求項１２によれば、特に７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、軸上色収差と倍率色収差を適性な範囲内に補正し得る結像光学系を実現できる。
【０１９８】
請求項１３によれば、上式（６）を満たすことで、メリディオナル像面の湾曲を更に適性に補正し得る結像光学系を実現することが可能である。
【０１９９】
請求項１４によれば、特に４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、メリディオナル像面の湾曲を適性に補正し得る結像光学系が実現可能である。
【０２００】
請求項１５によれば、特に６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、メリディオナル像面の湾曲を適性に補正し得る結像光学系が実現可能である。
【０２０１】
請求項１６によれば、特に７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、メリディオナル像面の湾曲を適性に補正し得る結像光学系が実現可能である。
【０２０２】
請求項１７によれば、上式（７）を満たすことで、光ビームの走査特性を良好にし得る結像光学系が実現可能である。
【０２０３】
そして、請求項１８によれば、光偏光器の反射面の垂直度にズレが存在する場合に、そのズレによって生ずる反射光の倒れを補正できるため、光ビームを被走査面上に等ピッチで精密に走査させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る光走査装置の全体構成を示す概略図である。
【図２】図１に示す光走査装置の光軸に沿って展開する垂直面図である。
【図３】本実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の概略断面図である。
【図４】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第１実施例の球面収差図である。
【図５】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第１実施例の非点収差図である。
【図６】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第１実施例の横収差図である。
【図７】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第１実施例の横収差図である。
【図８】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第１実施例の横収差図である。
【図９】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第１実施例の横収差図である。
【図１０】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第１実施例の横収差図である。
【図１１】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第１実施例の横収差図である。
【図１２】ｆθ特性を説明するための図である。
【図１３】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第２実施例の概略断面図である。
【図１４】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第２実施例の球面収差図である。
【図１５】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第２実施例の非点収差図である。
【図１６】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第２実施例の横収差図である。
【図１７】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第２実施例の横収差図である。
【図１８】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第２実施例の横収差図である。
【図１９】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第２実施例の横収差図である。
【図２０】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第２実施例の横収差図である。
【図２１】第１の実施の形態に係るｆθレンズの第２実施例の横収差図である。
【図２２】第２の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の概略断面図である。
【図２３】第２の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の球面収差図である。
【図２４】第２の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の非点収差図である。
【図２５】第２の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の横収差図である。
【図２６】第２の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の横収差図である。
【図２７】第２の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の横収差図である。
【図２８】第２の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の横収差図である。
【図２９】第２の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の横収差図である。
【図３０】第２の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の横収差図である。
【図３１】第３の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の概略断面図である。
【図３２】第３の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の球面収差図である。
【図３３】第３の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の非点収差図である。
【図３４】第３の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の横収差図である。
【図３５】第３の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の横収差図である。
【図３６】第３の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の横収差図である。
【図３７】第３の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の横収差図である。
【図３８】第３の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の横収差図である。
【図３９】第３の実施の形態に係るｆθレンズの一実施例の横収差図である。
【図４０】Ｙ−Ｚ平面に沿って展開する光走査装置の従来例を示す図である。
【図４１】図４０に示す光走査装置の光軸に沿って展開する垂直面図である。
【図４２】従来のｆθレンズを示す概略断面図である。
【符号の説明】
１　光源
２　コリメータレンズ
３　シリンドリカルレンズ
４　平面鏡
４ｒ　反射面
５　光偏向器
５ｒ　反射面
６　ｆθレンズ
７　第１接合レンズ
８　第２接合レンズ
９　第５レンズ
１０　アナモルフィックレンズ
１１　被走査面
【図１】
2004029420.tif 000084
【図２】
2004029420.tif 000085
【図３】
2004029420.tif 000086
【図４】
2004029420.tif 000087
【図５】
2004029420.tif 000088
【図６】
2004029420.tif 000089
【図７】
2004029420.tif 000090
【図８】
2004029420.tif 000091
【図９】
2004029420.tif 000092
【図１０】
2004029420.tif 000093
【図１１】
2004029420.tif 000094
【図１２】
2004029420.tif 000095
【図１３】
2004029420.tif 000096
【図１４】
2004029420.tif 000097
【図１５】
2004029420.tif 000098
【図１６】
2004029420.tif 000099
【図１７】
2004029420.tif 000100
【図１８】
2004029420.tif 000101
【図１９】
2004029420.tif 000102
【図２０】
2004029420.tif 000103
【図２１】
2004029420.tif 000104
【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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