(57)【要約】【課題】本発明は所定の寸法を有するペリクル容器の中にサイズの異なる多種類のペリクルを正確かつ安定した状態で収納して、保管或は搬送することが出来るようにしたペリクルの収納方法を目的とする。【解決手段】ペリクルＡのペリクル枠１の下面に貼着される保護フィルム５の外周縁の一部をペリクル枠１より突出させて複数の押さえ代５ｂを形成し、かつペリクル収納容器Ｂの蓋７の天井内周面にペリクル挟持部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆを突設し、ペリクル収納容器Ｂ内に収納されたペリクルＡの前記押さえ代５ｂを該ペリクル挟持部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆとトレー６とで挟持するようにしたペリクルの収納方法である。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
トレーとこのトレーに被蓋される蓋とよりなる収納容器内にペリクルを保管、搬送するために収納する方法に於て、ペリクル枠の下面に貼着された保護フィルムの外周縁を該ペリクル枠より突出させて突出部を形成し、前記ペリクルの収納に際して、前記トレー及び蓋で該保護フィルムの突出部を挟持することを特徴としたペリクルの収納方法。
【請求項２】
前記収納容器の蓋の天井内周面所定位置にペリクル挟持部を突設し、前記トレーに蓋を被蓋した際に前記保護フィルムの突出部をペリクル挟持部で押圧して挟持することを特徴とした請求項１のペリクルの収納方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はペリクル枠の上縁にペリクル膜が接着剤を介して貼着されて形成されたペリクルを収納し得るペリクルの収納方法に係り、特に、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）、ＴＦＴＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクル（以下、「マスク」という）に固着して使用されるサイズの異なる多種類のペリクルを安定した状態で保管したり、搬送したりすることが出来るペリクルの収納方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ペリクルは、所定幅を有するペリクル枠に透明薄膜からなるペリクル膜を接着剤等を用いて張着されたものであり、ペリクル膜はマスクとは所定の距離（ペリクル枠高さ）をおいてマスク上に位置させ、マスク上に塵埃等の異物等が付着するのを防止するものである。
【０００３】
フォトリソグラフィ工程において、異物等がペリクル上に付着したとしても、それ等の像はフォトレジストが塗布された半導体ウェハ上には結像しない。従って、マスクをペリクルで保護することにより、異物等の像による半導体集積回路の短絡や断線等、また液晶ディスプレイ（以下、「ＬＣＤ」という）の欠陥を防止することが出来、フォトリソグラフィ工程での製造歩留りが向上する。
【０００４】
更にマスクのクリーニング回数が減少して、その寿命を延ばす等の効果がペリクルにより得られる。
【０００５】
半導体用ペリクル及びＬＣＤ用ペリクルにおいては、共に露光工程におけるスループット向上のために露光する光の透過率が高いことが要求される。そのために、透明薄膜の片面或いは両面に反射防止層が設けられるようになってきている。反射防止層は単層或いは２層以上の層で構成されることもある。
【０００６】
最外層に用いる反射防止層の材料としては、後述の特許文献１に開示されたテトラフルオロエチレン−ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレンポリマー、或いは特許文献２に開示されたポリフルオロアクリレート、或いは特許文献３に開示された主鎖に環状構造を有するフッ素ポリマーであるデュポン社製のテフロンＡＦ（商品名）、或いは旭硝子社製のサイトップ（商品名）等が提案されている。
【０００７】
最外層の反射防止層の材料の多くは、フッ素含有ポリマーや、フッ化カルシウムやフッ化マグネシウム等の無機フッ素系材料が用いられている。透明薄膜層（中心層）材料の多くはニトロセルロースやセルロースアセテートプロピオネート、カーボネート化アセチルセルロース等のセルロース誘導体及びこれらの混合物が用いられている。
【０００８】
ＬＣＤではＴＦＴ（薄膜トランジスタ）の実用化により大画面化、高精細化、大容量化等が達成されつつあるが、ＴＦＴ−ＬＣＤ製造で使用されるペリクルもこれに対応して大型化及び面内の光透過性の均一性が求められ、また半導体製造用のペリクルにおいても均一な高光線透過率を持つペリクル膜が求められているが、更にペリクル自身及びその周辺からミクロンオーダーの塵埃等の異物の発生も許されないペリクルが求められている。
【０００９】
このようなマスク保護装置としてのペリクルは、ペリクル枠と、該ペリクル枠の一側面に接着剤を介して張着されたペリクル膜とから構成されるものである。
【００１０】
特に、ペリクルに関わるペリクル容器の収納形態は、ペリクル収納容器一個に一種類のペリクルを収納しており、コスト、製品保管スペースの有効活用、ケース洗浄等の生産性に悪影響を及ぼす虞があった。
【００１１】
【特許文献１】
特開昭６１−２０９４４９号公報
【特許文献２】
特開平１−１００５４９号公報
【特許文献３】
特開平３−３９９６３号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、前述の従来例のペリクル収納方法は、一個のペリクル収納容器に一種類のペリクルしか収納できないので、極めて多種類の形状の異なるペリクルを収納する場合には、それに対応する数の収納容器を用意しなければならなかった。
【００１３】
従って、従来は多種類のペリクル収納容器を必要とするために、コスト高になると共にかつペリクルを収納する前の収納容器或はペリクルを収納した後の収納容器を保管したりする広いスペースを必要とし、さらにはペリクル収納容器の洗浄効率を低下させる等の多くの問題があった。
【００１４】
本発明に関わるペリクルの収納方法は、前述の従来の多くの問題点に鑑み開発された全く新しい技術である。特に、本発明の収納方法を使用することによって、一個の収納容器にペリクル枠に取付けられる保護フィルムサイズ以下のペリクルを全て収納することが可能となり、これによってコストが大幅に改善され、かつ製品保管スペースを有効に活用することが出来る。さらに、収納容器の洗浄作業効率を著しく向上させることが出来る等の多大な効果を有する全く新しい技術を提供するものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、前記目的を達成するために鋭意研究を行った結果、ペリクルをペリクル収納容器に収納して保管する過程をよく観察すると、一個のペリクル収納容器に一種類のペリクルを収納しており、コストを悪化させたり、ペリクル製品を保管する広いスペースを必要としたり、さらにペリクル収納容器の洗浄作業効率を低下させる虞があることを見出し、本発明を成すに至ったものである。
【００１６】
本発明のペリクルの収納方法の第１発明の要旨は、トレーとこのトレーに被蓋される蓋とよりなる収納容器内にペリクルを保管、搬送するために収納する方法に於て、ペリクル枠の下面に貼着された保護フィルムの外周縁を該ペリクル枠より突出させて突出部を形成し、前記ペリクルの収納に際して、前記トレー及び蓋で該保護フィルムの突出部を挟持することを特徴としたペリクルの収納方法である。
【００１７】
前述の第１発明のペリクルの収納方法に於ては、ペリクル枠の下面に貼着された保護フィルムの外周縁をペリクル枠より突出させて突出部を形成し、ペリクルを収納容器に収納する際に、該突出部をトレーと蓋とで挟持するようにしたので、前記収納容器には、トレー内に収納し得る所定サイズの保護フィルムより小さい寸法を持ったペリクルは全て収納することが出来る。
【００１８】
従って、大きなサイズを持った収納容器を一種類用意すれば、サイズの異なる多種類のペリクルを収納することが出来、これによって収納容器の種類を著しく少なくすることが出来る。さらに、収納容器のコストを大幅に安価にし、かつ収納容器の洗浄作業効率を著しく向上させ、収納容器の保管スペースを小さくして場所を有効に活用することが出来る。
【００１９】
本発明のペリクルの収納方法の第２発明の要旨は、前記収納容器の蓋の天井内周面所定位置にペリクル挟持部を突設し、前記トレーに蓋を被蓋した際に前記保護フィルムの突出部をペリクル挟持部で押圧して挟持することを特徴とした第１発明のペリクルの収納方法である。
【００２０】
前述の第２発明に於ては、ペリクル収納容器の蓋の天井内周面所定位置にペリクル挟持部を突設し、トレーに蓋を被蓋した際に、該ペリクル挟持部で保護フィルムの突出部を挟持するようにしたので、ペリクル収納容器内に収納したペリクルを安定した状態で確実に保持することが出来る。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係るペリクルの収納方法の一実施例を具体的に説明すると、図１はトレーと蓋とよりなるペリクル収納容器内にペリクルを収納する状態の斜視説明図、図２は前記図１のトレーに蓋を被蓋した状態の断面説明図である。
【００２２】
Ａはペリクルであって、ペリクル枠１の上縁には接着剤２を介してペリクル膜３が張着されている。ペリクル枠１の下縁（下面）にはペリクルＡをフォトマスクやレティクル（以下、単にマスクという）に貼り付ける時に使用される粘着剤４が塗着されると共に、この粘着材４にはペリクルＡの貼り着け時に簡単に剥離し得る保護フィルム５が貼り着けされている。また、この保護フィルム５の側縁所定位置には耳部５ａと所定の間隔を保って複数の押さえ代５ｂよりなる突出部が一体的に突設されている。
【００２３】
ペリクル枠１としては、ペリクル膜３を支持し得る枠であればどのような材質であっても良いが、表面をアルマイト処理したアルミフレームやクロムメッキ等を施した金属枠等の支持枠、更にはエンジニアリングプラスチック等で製造した樹脂支持枠等が用いられ、その形状も方形、円形等、他の種々の形状であっても良い。通常は、製造の容易さ、強度等の点から金属枠が用いられる。
【００２４】
ペリクル膜３の透明薄膜層（中心層）材料としては、ニトロセルロース、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート、エチルセルロース、カーボネート化アセチルセルロース等のセルロース誘導体が使用出来る。
【００２５】
これらのセルロース誘導体は、夫々単独で用いても良いが、２種以上のセルロース誘導体との混合物を用いても良い。使用するセルロース誘導体は、高分子量のもの程、薄膜の形状保持性が良いため好ましい。
【００２６】
即ち、数平均分子量が３万以上、好ましくは５万以上である。このような材料のうち、ニトロセルロースは旭化成株式会社製、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネートはイーストマン・コダック社製のものが夫々市販されており、容易に入手することが出来る。
【００２７】
セルロース誘導体の溶媒としては、２−ブタノン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、乳酸エチル、酢酸セロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等、及びこれ等の溶媒の混合系が使用される。
【００２８】
セルロース誘導体等の溶液は、予め異物除去のための濾過をしてから、スピンコートする。透明薄膜（中心層）の膜厚は、溶液粘度や基板の回転速度を変化させることにより適宜変化させることが出来る。基板上に形成された薄膜に含まれている溶媒はホットプレート、オーブン等で揮発させる。
【００２９】
ペリクル膜３の反射防止層は単層或いは２層以上の層で構成されるが、単層の場合（表裏に反射防止層を形成すると、ペリクル膜３の層数は３層）は、反射防止層の屈折率ｎ１が透明薄膜（中心層）の屈折率ｎＣに対してｎ１＝（ｎＣ）１／２の時に反射防止効果は最大となり、この値に近い反射防止層材料を選択する程、反射防止効果は大きくなる。反射防止層の厚みｄは、反射防止すべき波長をλとするとｎ１×ｄ＝λ／４とすれば良い。
【００３０】
また、反射防止層が２層の場合（前述と同様に表裏に反射防止層を形成するとペリクル膜３の層数は５層）は、透明薄膜層に接する層を高屈折率反射防止層にし、最外層を低屈折率反射防止層とするが、最外層の反射防止層から順に屈折率と厚みをｎ１、ｄ１及びｎ２、ｄ２とすると、ｎ２／ｎ１＝（ｎＣ）１／２の時に反射防止効果は最大となり、この値に近いｎ２／ｎ１の反射防止層材料を選択する程、反射防止効果は大きくなる。
【００３１】
反射防止層の厚みｄ１、ｄ２は、反射防止すべき波長をλとすると、ｎ１×ｄ１＝ｎ２×ｄ２＝λ／４とすれば良い。中心層にはセルロース誘導体、ポリビニルブチラール、ポリビニルプロピオナール等を使用することが出来、その場合にはこれらの屈折率は１．５前後であるから、（ｎＣ）１／２が約１．２２となる。従って、反射防止層材料の屈折率としては、反射防止層が単層の場合、ｎ２／ｎ１が１．２２に近い程、反射防止効果が大きくなり、好ましい。
【００３２】
最外層として用いる低屈折率反射防止層の材料としては、テトラフルオロエチレン−ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレンポリマー、ポリフルオロアクリレート、主鎖に環状構造を有するフッ素ポリマーであるデュポン社製のテフロンＡＦ（商品名）、旭硝子社製のサイトップ（商品名）等のフッ素系材料が使用出来る。
【００３３】
テフロンＡＦは、γ線、電子線、α線等の放射線や遠紫外線等の光を照射することにより、濾過性、制電性、ペリクル膜３とペリクル枠１との接着性が向上する。
【００３４】
次に前述のペリクル膜３の具体的な一実施例を説明する。先ず、セルロースアセテートプロピオネート（イーストマン・コダック社製、「ＣＡＰ４８２−２０」、以下「ＣＡＰ」という）を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶解し、ＣＡＰ溶液を作製する。
【００３５】
かつ、反射防止層としての含フッ素樹脂を溶媒に溶解した溶液を作製する。先ず、塗布用基板をスピンコーターにセットして、調整したＣＡＰ溶液を、フィルターで濾過し、その濾過液の適当量を上記塗布用基板上に滴下し、その後、塗布用基板を１０００ｒｐｍで４５秒間回転させ、次に、ホットプレートで溶媒を蒸発せしめ、シリコンウェーハ上にＣＡＰからなる厚さ１〜２μｍの透明薄膜層（中心層）を形成した。
【００３６】
次いで、上記で調整した含フッ素樹脂溶液を、フィルターで濾過し、その濾過液を上記中心層の上に数ｃｃ滴下し、６００ｒｐｍで３０秒間回転させた後、風乾し、更にホットプレート上で乾燥し、反射防止層を形成した。
【００３７】
さらに、２３℃、相対湿度５０％の条件下で塗布用基板により剥離し、更に含フッ素樹脂溶液数ｃｃを上記基板から剥離した２層膜の中心層露出面に滴下し、６００ｒｐｍで３０秒間回転させた後、風乾して反射防止層を形成し、３層膜を得た。続いて、上面に紫外線硬化型接着剤を用いて、表面をアルマイト処理をしたアルミニウム製の金属で出来ているペリクル枠１に、３層のペリクル膜３を接着した。
【００３８】
次に、前述のような構成を有するペリクルＡを安定した状態で収納することが出来る本発明のペリクルの収納方法について、図１及び図２に於てその具体例を詳述する。
【００３９】
本発明に係るペリクルの収納方法を実施するに当っては、前記ペリクルＡの保護フィルム５のサイズ以下のものを収納し得るトレー６と、このトレー６に被蓋し得る蓋７とよりなるペリクル収納容器Ｂが用いられる。
【００４０】
該ペリクル収納容器Ｂのトレー６及び蓋７は各々アクリル樹脂、ＰＥＴ樹脂、ＡＢＳ樹脂等の材料が一般的に使用されており、かつこれ等のトレー６及び蓋７の成形に当っては、射出成形法、真空成形法等の成形法が用いられる。
【００４１】
前述のトレー６及び蓋７は、次の理由によって導電性を有していることが好ましい。即ち、トレー６及び蓋７が導電性を有していると、帯電による塵埃が付着しにくくなり、トレー６及び蓋７の異物除去作業が軽減されるためである。このようにトレー６及び蓋７に導電性を持たせるためには、トレー６及び蓋７を成形する際の副資材として導電物質、例えば導電性カーボンブラック、金属粉等を成形資材となる樹脂の中に混入すれば良い。
【００４２】
前述のペリクル収納容器Ｂの蓋７の天井内周面の所定位置には、所定の間隔を保って複数のペリクル挟持部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆが夫々突設されている。従って、該蓋７を前記トレー６に被蓋した際には、これ等のペリクル挟持部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆが、トレー６内に収納されたペリクルＡの保護フィルム５の周辺縁に設けられた複数の突出部の押さえ代５ｂに当接されるように構成されている。
【００４３】
本発明のペリクルの収納方法に於ては、前述のようにペリクルＡの保護フィルム５の周辺縁に押さえ代５ｂよりなる突出部を突設し、かつペリクルＡをペリクル収納容器Ｂ内に収納した際に、前記突出部をペリクル挟持部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆで押圧することによって、保護フィルム５を蓋７とトレー６とで挟持するようにしたので、ペリクルＡをペリクル収納容器Ｂ内で正確かつ安定した状態で保持することが出来る。
【００４４】
従って、本発明の方法に於ては、蓋７とトレー６との一部で保護フィルム５の突出部を挟持するようにしたので、一個のペリクル収納容器Ｂの中には、保護フィルムのサイズ以下のサイズを持った種々のペリクルＡを安定した状態で収納することが出来る。
【００４５】
前述の実施例に於ては、保護フィルム５の外周縁に複数の突起状の押さえ代５ｂよりなる突出部を設けたが、該突出部は必ずしも突起状でなくても良く、所定の巾を持った帯状のものでも良い。また、蓋７に設けるペリクル挟持部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆも突起状に形成せずに、例えばリブ状に形成して構成することも可能である。
【００４６】
従って、本発明のペリクル収納方法を実施することによって、ペリクル収納容器の種類を少なくしてコストを大幅に低減させることが出来、かつペリクル収納容器ＢにペリクルＡを収納する作業、ペリクルＡを取り出す作業、或いはペリクル収納容器Ｂを洗浄する作業等を各々極めて効率良くすることが出来る。また、ペリクルＡを保管したり或いは搬送するに当ってのスペースを著しく有効的に活用することが出来る。
【００４７】
【発明の効果】
本発明に係るペリクルの収納方法に於ては、ペリクル枠の下面に貼着された保護フィルムの外周縁をペリクル枠より突出させて突出部を形成し、ペリクルを収納容器に収納する際に、該突出部をトレーと蓋とで挟持するようにしたので、前記収納容器には、トレー内に収納し得る所定サイズの保護フィルムより小さい寸法を持ったペリクルは全て収納することが出来る効果を有している。
【００４８】
従って、大きなサイズを持った収納容器を一種類用意すれば、サイズの異なる多種類のペリクルを収納することが出来、これによって収納容器の種類を著しく少なくすることが出来る効果がある。さらに、収納容器のコストを大幅に安価にし、かつ収納容器の洗浄作業効率を著しく向上させ、収納容器の保管スペースを小さくして場所を有効に活用することが出来る効果も有している。
【００４９】
また本発明に於いて、ペリクル収納容器の蓋の天井内周面所定位置にペリクル挟持部を突設し、トレーに蓋を被蓋した際に、該ペリクル挟持部で保護フィルムの突出部を挟持するようにした場合には、ペリクル収納容器内に収納したペリクルを安定した状態で確実に保持することが出来る効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】トレーと蓋とよりなるペリクル収納容器内にペリクルを収納する状態の斜視説明図である。
【図２】前記図１のトレーに蓋を被蓋した状態の断面説明図である。
【符号の説明】
１    …ペリクル枠
２    …接着剤
３    …ペリクル膜
４    …粘着材
５    …保護フィルム
５ａ  …耳部
５ｂ  …押さえ代
６    …トレー
７    …蓋
８ａ  …ペリクル挟持部
８ｂ  …ペリクル挟持部
８ｃ  …ペリクル挟持部
８ｄ  …ペリクル挟持部
８ｅ  …ペリクル挟持部
８ｆ  …ペリクル挟持部
Ａ    …ペリクル
Ｂ    …ペリクル収納容器
【図１】
2004240010.tif 000003
【図２】
2004240010.tif 000004