(57)【要約】【構成】物流ＣＰＵ２０は生産ＣＰＵ２２から搬送要求を受け取ると、そのフラグから特急品であることを検出し、特急品を搬入したステーションを優先度の高い待機ポジションとして指定する。そしてこのステーションから特急品を搬出すると、そのステーションの優先度を低下させ、次の搬入先のステーションの優先度を高める。【効果】特急品の所在に従って、特急品を搬出予定のステーションが優先度の高い待機ポジションとなり、特急品の搬送効率を増すことができる。また待機中の搬送車を他の搬送指令に割り付けることもできるので、特急品以外の搬送を犠牲にすることがない。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送車を所定の走行ルートに沿って走行させながら、搬送指令を割り付けるようにした搬送車システムにおいて、
搬送車の待機ポジションの管理手段を設けて、特急品の搬出予定のステーションもしくはその上流側の近傍を待機ポジションとして、搬送車を優先的に待機させ、かつ前記特急品の所在に従って、前記搬送車を優先的に待機させる待機ポジションの位置を変更するようにしたことを特徴とする、搬送車システム。
【請求項２】
生産管理用のシステムから、搬送車システムへの特急品の搬送要求に従って、特急品の所在を検出するようにしたことを特徴とする、請求項１の搬送車システム。
【請求項３】
走行ルートに沿って複数の待機ポジションを設けて、各待機ポジションに対して優先度を指定し、かつ特急品が搬入されると、その搬出予定のステーションもしくはその上流側で近傍の待機ポジションの優先度を増し、特急品を搬出すると、前記優先度を増した待機ポジションの優先度を低下させるようにしたことを特徴とする、請求項１または２の搬送車システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の利用分野】
この発明は、天井走行車や無人搬送車、有軌道台車などの搬送車を用いて、物品を搬送するシステムに関する。
【０００２】
【従来技術】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１１０７６６号公報
【０００４】
半導体の製造などでは、特急品の搬送が要求されることがある。一般に半導体の製造などでは、処理装置などを管理する生産ＣＰＵと物流を管理する物流ＣＰＵの２種類のコンピュータが設けられ、生産ＣＰＵは物流ＣＰＵに物品の搬送を要求し、物流ＣＰＵは、搬送依頼に従って、天井走行車などの搬送車に搬送指令を割り付ける。そして搬送が完了すると、その旨を搬送車が物流ＣＰＵに報告し、物流ＣＰＵは生産ＣＰＵに搬送の完了を報告する。
【０００５】
特急品には、緊急に生産している試作品や、生産遅れなどを回復するために特に急いで生産している量産品などがある。またこれ以外に、処理後の物品を保管するバッファのない処理装置などからの物品の搬送も、特急品の搬送と見なすこともできる。
【０００６】
特許文献１は、特急品の搬送時に、特急品を保管した棚から出庫口への物品の搬出と同時に、無人搬送車を出庫口へ呼び込み、出庫口へ物品と無人搬送車とが同時に到着するように制御することを開示している。しかしながら実際には、出庫口へ無人搬送車と物品とが同時に到着するように制御することは困難である。例えば搬送指令を割り付け可能な無人搬送車の有無やその位置は時々刻々変化し、物品に合わせて到着できるような無人搬送車が存在する場合は稀である。
【０００７】
これらのため、特急品の搬送を急ぐには、特急品を搬出する予定のステーションに、無人搬送車を予め待機させた方が確実である。しかし特急品が搬出可能になる時刻を正確に予測することは困難で、それまでの間、無人搬送車を特急品の搬出に割り付けて、他の搬送作業を犠牲にする必要が生じる。
【０００８】
【発明の課題】
この発明の基本的課題は、特急品と他の物品とをバランスを保ちながら搬送できるようにした搬送車システムを提供することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、特急品の所在を、生産管理用のＣＰＵからの最小限の情報で検出できるようにすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、特急品の所在が変化することに伴って、搬送車を優先的に待機させるポジションを変更するための、具体的な構成を提供することにある。
【０００９】
【発明の構成】
この発明は、搬送車を所定の走行ルートに沿って走行させながら、搬送指令を割り付けるようにした搬送車システムにおいて、搬送車の待機ポジションの管理手段を設けて、特急品の搬出予定のステーションもしくはその上流側の近傍を待機ポジションとして搬送車を優先的に待機させ、かつ前記特急品の所在に従って、前記搬送車を優先的に待機させる待機ポジションの位置を変更するようにしたことを特徴とする（請求項１）。
【００１０】
好ましくは、生産管理用のシステムから、搬送車システムへの搬送要求に従って、特急品の所在を検出するようにする（請求項２）。
【００１１】
また好ましくは、走行ルートに沿って複数の待機ポジションを設けて、各待機ポジションに対して優先度を指定し、かつ特急品が搬入されると、その搬出予定のステーションもしくはその上流側で近傍の待機ポジションの優先度を増し、特急品を搬出すると、前記優先度を増した待機ポジションの優先度を低下させるようにする（請求項３）。
【００１２】
【発明の作用と効果】
この発明では、特急品の搬出予定のステーションや、その近傍で搬送車の走行ルートでの上流側を待機ポジションとして、搬送車を優先的に待機させる。そして搬送車を優先的に待機させる待機ポジションの位置を、特急品の所在に従って変更する。
【００１３】
そして待機ポジションを多数設けて、特急品の所在地の待機ポジションの優先度を高め、例えば特急品を搬出するとその待機ポジションの優先度を低下させて、優先度の変更により、どの待機ポジションに搬送車を待機させるかを制御しても良い。あるいは、特急品の所在地などの限られたポジションを待機ポジションとして、特急品を例えば搬入すると待機ポジションに指定し、特急品を例えば搬出すると、待機ポジションから外しても良い。この場合、例えば特急品の搬入などにより、そのステーションやその上流側の近傍などが待機ポジションとなり、特急品の搬出などにより、その位置が待機ポジションではなくなったものとする。
【００１４】
待機ポジションで待機している搬送車は、特急品以外の搬送にも割り付けることができる。このため、特急品の搬送に搬送車を予め割り付けて待機させる場合と異なり、他に優先度の高い搬送作業が生じれば、特急品に備えて待機中の搬送車を割り付けることもでき、特急品以外の搬送を犠牲にすることがない。また走行ルートは一般に一方通行で、特急品の搬送に備えて搬送車が待機している位置を、他の搬送車が通過する必要が生じれば、特急品の搬送のために待機ポジションで待機している搬送車を追い出して、他の搬送車が走行できるようにすることもできる。このため、特急品の搬送のために、走行ルートを塞ぐこともない。以上のように、この発明では、特急品の搬送と他の搬送作業とを両立させながら、かつ走行ルートを塞がずに、特急品を搬送できる（請求項１）。
【００１５】
請求項２の発明では、生産管理用のシステムから搬送車システムへの搬送要求に従って、特急品の所在を検出する。このため、特急品の所在確認のための追加的な情報交換を、生産管理用システムと搬送車システムとの間で行う必要がない。従って、本発明を採用する場合のシステム変更を、最小限にすることができる。
【００１６】
請求項３の発明では、走行ルートに沿って複数の待機ポジションを設けて、特急品の所在に従って、待機ポジションの優先度を変更するので、簡単に特急品の搬送に備えて所定のポジションに優先的に搬送車を待機させ、かつ特急品の搬出を終えたステーションやその上流側の待機ポジションで、搬送車が待機する確率を低下させることができる。
【００１７】
【実施例】
図１〜図５に、実施例の搬送車システム２を示す。実施例では搬送車として、天井走行車１０を用いるが、無軌道で走行する無人搬送車や有軌道台車などでもよい。搬送車システム２は例えばクリーンルーム内に設けられ、走行ルートは一方通行で、比較的短距離の走行ルート４と長距離の幹線系走行ルート５とに分けられている。走行ルート４，５の間には、原材料や仕掛品などのバッファとしての自動倉庫６，８があり、走行ルート５から天井走行車１０により搬送されてきた物品は、例えば自動倉庫６に一旦入庫され、次いで走行ルート４に沿って別の天井走行車１０により搬送され、自動倉庫８に入庫されて、走行ルート５へと搬出される。走行ルート５に沿って、多数の処理装置１２やストッカ１４，１６、検査場１７などが設けられている。
【００１８】
処理装置１２やストッカ１４，１６，検査場１７などに対して、言い換えると天井走行車１０が物品の移載を行う各ポジションに対してステーションが設けられ、これらのステーションは同時に天井走行車１０の待機ポジションでもある。ステーションは原則として待機ポジションでもあるが、待機ポジションとならないステーションを設けてもよい。またステーションとステーションとの間隔が大きな場所などでは、ステーション以外の位置に待機ポジションを設けてもよい。また処理装置１２などに対して、原則として各１個のステーションが設けられるが、ストッカ１４などのように、１つの設備に対して２つのステーションを設けて、物品の搬入位置と搬出位置とが異なるようにしてもよい。実施例では特急品の搬送を行うので、２つ以上のステーションを設けた設備に対して物品を搬入した場合、特急品が搬出されてくる側のステーション、もしくはその近傍で上流側の待機ポジションの優先度を高めるようにする。
【００１９】
走行ルート４は天井走行車１０が一方通行で走行するものとするが、走行ルート４から分岐する袋小路区間などを設けて、袋小路区間では天井走行車１０の台数を１台以下に制限し、前後双方向に走行できるようにしてもよい。また走行ルート４は、図１のような単純なループ状のものに限らず、バイパスや分岐などを設けたものでもよい。
【００２０】
搬送車システム２の管理用のＣＰＵ（コントロール・プロセッシング・ユニット）として、物流ＣＰＵ２０がある。また処理装置１２などの設備の管理用のＣＰＵとして、生産ＣＰＵ２２がある。生産ＣＰＵ２２は処理装置１２や検査場１７などを管理し、半導体基板や液晶基板などの物品の搬送を、物流ＣＰＵ２０に依頼する。物流ＣＰＵ２０は生産ＣＰＵ２２からの搬送要求に従って、搬送指令を天井走行車１０に割り付け、物品を荷積みするステーション（Ｆｒｏｍ位置のステーション）から、物品を荷下ろしするステーション（Ｔｏ位置のステーション）まで搬送する。そして特急品の搬送は、試作品の搬送や生産の遅れが生じている品種に対するリカバリ生産などのために行われ、特に試作品の搬送では、量産品の搬送とは搬送経路が異なる場合がある。例えば量産品の搬送では、走行ルート４に沿った最終搬送地は自動倉庫８であるが、試作品の場合、検査場１７で試作品を検査し、直ちに人手により搬出するなどのことがある。
【００２１】
図２に、特急品の搬送要求２６と、これに伴う待機ポジション（ステーションなど）の優先度の変更を示す。２４は生産系ＬＡＮで、生産ＣＰＵ２２は生産系ＬＡＮ２４を介して処理装置１２などと通信し、物流ＣＰＵ２０に対して搬送要求２６を送信する。なお生産ＣＰＵ２２と物流ＣＰＵ２０は、物理的には同一のコンピュータ内に設けてもよい。このような場合でも、処理するプロセスの内容が異なるので、これらは実質的に２つのＣＰＵ２０，２２であると見なすことができる。搬送要求２６では、搬送をスタートするステーション（Ｆｒｏｍデータ）と搬送先のステーション（Ｔｏデータ）、並びに搬送要求のＩＤや搬送物品のＩＤなどが記述され、これ以外に特急品であるか否かのフラグが記述されている。実施例では、特急品のフラグとして例えば２ビットを割り当て、先頭の１ビットは特急品であることを示すビットで、次の１ビットは搬送要求中のＴｏ位置のステーションが最終搬送地であることを示すビットである。なお２８は、物流ＣＰＵ２０から生産ＣＰＵ２２への搬送報告である。
【００２２】
物流ＣＰＵ２０には、優先度管理部３０を設け、優先度管理部３０中の特急品チェック部３２は受信した搬送要求２６中のフラグをチェックして、特急品か否かを検出すると共に、次の搬送先が最終搬送先であるかどうかをチェックする。即ち次の搬送先が最終搬送先であれば、それ以上の特急品の搬送を考慮する必要はない。また待機管理部３６は、待機ポジションの位置と、その優先度、並びに待機中の天井走行車１０の有無を、例えば走行ルート４に沿ったマップの形式で記憶している。
【００２３】
物流ＣＰＵ２０は搬送要求２６を受信すると、物流系ＬＡＮ３８を介して、天井走行車１０に搬送指令を割り付ける。搬送指令の割付では待機管理部３６のデータを用い、Ｆｒｏｍ位置のステーションで待機している天井走行車や、それよりも上流側で待機している天井走行車などに対して、搬送指令を割り付ける。ところで特急品の搬送の場合、自動倉庫６からの搬出以外の作業では、荷積みを行うべきステーション（Ｆｒｏｍ位置のステーション）へ特急品を既に搬送したはずである。また１つの処理装置などに２つ以上のステーションが存在する場合、Ｆｒｏｍ位置のステーションに特急品を搬入したはずで、どのステーションに物品を搬入すれば、どのステーションから物品を搬出するか、物流ＣＰＵ２０には既知のはずである。
【００２４】
実施例では、特急品を搬入したステーション（特急品の搬送指令でＴｏ位置となったステーション）などに対して、待機ポジションとしての優先度を増すので、特急品を搬出するステーションに既に天井走行車が待機している場合が多い。このような場合、待機中の天井走行車に直ちに搬送指令を割り付けることができる。また特急品の搬送用に、問題のステーションよりもやや上流側のステーションで天井走行車を待機させている場合も、同様にＦｒｏｍ位置のステーションまで、待機中の天井走行車を走行させればよい。この他に、自動倉庫６から特急品を初めて搬出する場合がある。このような場合に備え、走行ルート４の起点となる自動倉庫６に面したステーションは、待機ポジションとしての優先度を高い値にしておく。またこれ以外に、自動倉庫６ではなく、処理装置１２や検査場１７から特急品の処理工程が始まることがある。このような場合、好ましくは生産ＣＰＵ２２は物流ＣＰＵ２０に、特急品の搬送要求よりも前のタイミングで、処理装置１２などに特急品があることを通知し、物流ＣＰＵ２０は、その処理装置１２やその近傍の上流側などの待機ポジションの優先度を高めるようにする。
【００２５】
以上のようにして、待機中の天井走行車を特急品の搬送に割り付け、特急品の搬送を開始する。これに伴って、特急品の所在がステーションから天井走行車に変化するので、特急品の搬送に備えて待機していたステーションや、その上流側近傍の待機ポジションなどの優先度を低下させる。特急品を次のステーションに荷下ろしすると、そのステーションの待機ポジションとしての優先度を高くする、あるいはそのステーションよりもやや上流側の待機ポジションの優先度を高くする。待機ポジションの優先度の変更は優先度変更部３４で行い、これによって待機管理部３６が記憶する、待機ポジションの位置とその優先度付きの走行ルート４のマップは、常時更新される。
【００２６】
待機管理部３６は、各待機ポジションの位置と優先度、並びにその待機ポジションで待機中の天井走行車の有無、を記憶する。待機ポジションの決定は、物流ＣＰＵ２０や天井走行車１０が行い、優先度の高い待機ポジションから優先的に天井走行車１０が待機するので、特急品の所在地、即ち特急品を搬入したステーションや搬出予定のステーション、あるいはこれらの上流側で近傍の位置に、天井走行車１０が優先的に待機することになる。
【００２７】
図３に、搬送要求２６と待機ポジションの優先度の変更との関係を示す。特急品チェック部３２は搬送要求２６中のフラグをチェックして、特急品であるかどうかを検出すると共に、次の搬送先が最終位置がどうかをチェックする。そして最終位置の場合、次の搬送先のステーションなどに対して優先度を高める処理を省略する。天井走行車１０には、物流ＣＰＵにより搬送指令が割り付けられ、搬送済みの報告が行われると、Ｆｒｏｍ位置のステーションなどに対する優先度を低下させ、Ｔｏ位置のステーションなどに対して、優先度をアップする。優先度のレベルは例えば２〜１６程度、好ましくは４〜８程度とし、自動倉庫６に面したステーションや特急品の所在地となっているステーションを、例えば最高優先度の待機ポジションとし、特急品を搬出したステーションを通常の優先度（例えば４〜８段階での最低レベルの優先度や下から２段目程度の優先度）とする。
【００２８】
なお、待機ポジションの数が天井走行車の数に比べて充分多い場合、例えば５倍以上多い場合、優先度を通常のレベルに戻し、より優先度の高い待機ポジションが天井走行車の台数分存在すると、天井走行車は通常の優先度のステーションではほとんど待機しないことになる。従って、特急品が所在する待機ポジションの優先度を高め、特急品を搬出するとそのポジションの優先度を低下させても、特急品の所在地を待機ポジションとして指定し、特急品を搬出し終わると、その位置を待機ポジションから外すものとして扱うのと、結果に大差は生じない。これらの違いは、一々待機ポジションを追加／削除して、その位置などを天井走行車に通知するよりも、優先度の管理のみで待機位置を変更する方が、制御上簡単な点にある。
【００２９】
図４に、自動倉庫６から自動倉庫８までの特急品の搬送過程で、優先度の高い待機ポジション（この場合はステーション）の位置が、どのように変化するかを模式的に示す。例えば特急品が処理装置１２−１に存在する場合、ステーション１の優先度が高められ、特急品をステーション１から例えばステーション４へ搬入すると、ステーション１の優先度を低下させて、ステーション４の優先度を増加させる。
【００３０】
図５に、実施例の動作アルゴリズムを示す。搬送要求が特急品の搬送要求かどうかをチェックし、最終位置への搬送かどうかをチェックする。特急品の搬送で最終位置以外への搬送であれば、Ｆｒｏｍ位置のステーションの優先度を低下させ、Ｔｏ位置のステーションの優先度をアップする。最終位置への特急品の搬送の場合、Ｆｒｏｍ位置のステーションの優先度を低下させる。そして各ステーションの優先度に従って、天井走行車を配備する。
【００３１】
以上のように実施例では、特急品の搬送を速やかに行い、かつ特急品以外の搬送でも待ち時間を短くしたいとの要求を、特急品を搬出する予定のステーションやその上流側で近傍の待機ポジションの優先度を増すことにより実現する。優先度を増した待機ポジションで待機する天井走行車は、他の搬送作業に割り付けることもできるので、待機時間の間、他の搬送作業を犠牲にすることはない。また待機している天井走行車により、後続の天井走行車の走行が阻害されることもない。
【００３２】
特急品の所在は搬送要求中のＴｏデータと、特急品に関するフラグとを用いて検出し、これらは元々特急品の搬送のために必要なデータなので、物流ＣＰＵが生産ＣＰＵから追加して入手する必要のある情報がない。言い換えると物流ＣＰＵ側での処理を変えるだけで、生産ＣＰＵ側の処理を変更せずに、特急品の所在地に優先的に天井走行車を配備することができる。
【００３３】
実施例では走行ルート４，５間に自動倉庫６，８を配置したが、工程内の走行ルートと工程間の走行ルートとを分岐などで接続し、天井走行車１０がこれらの双方を走行できるようにしても良い。このような例を図６に示すと、４２は新たな搬送車システムで、１３は新たな処理装置、４４，４４’は工程内用の走行ルート、４５は工程間の基幹となる走行ルート、４６は分岐器で、４７は走行ルート４５と逆方向への走行用のバイパスである。
【００３４】
搬送車システム４２の場合、特急品を搬入したステーション、あるいはこのステーションに物品を搬入した物品を搬出するステーションの、待機ポジションとしての優先度を高める。そしてこれらのステーションから物品を搬出すると、待機ポジションとしての優先度を、特急品の搬入前の値に低下させる。他の点では図１〜図５の実施例と同様で、特急品をあるステーションに搬入すると、そのステーションよりも上流で近傍の待機ポジションの優先度を増して、物品の搬出後にその待機ポジションの優先度を低下させても良い。
【００３５】
実施例では処理装置に特急品を搬入すると、直ちにその位置やその上流側の近傍を優先度の高い待機ポジションにするようにしたが、各処理装置での処理時間の概要が物流ＣＰＵに既知の場合、予測処理時間の７０％程度の値を表などで記憶し、この時間の経過後に優先度を高めるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の搬送車システムのレイアウトを示す図
【図２】実施例での、特急品の搬送と待機ポジションの優先度の変更とを模式的に示す図
【図３】実施例での、搬送要求を用いた優先度の変更を模式的に示す図
【図４】実施例での、特急品の搬送に伴う高優先度の待機ポジションの移動を模式的に示す図
【図５】実施例での待機ポジションの優先度管理のアルゴリズムを示すフローチャート
【図６】変形例の搬送車システムのレイアウトを示す図
【符号の説明】
４２，２      搬送車システム
４，５        走行ルート
６，８        自動倉庫
１０          天井走行車
１２，１３    処理装置
１４，１６    ストッカ
１７          検査場
２０          物流ＣＰＵ
２２          生産ＣＰＵ
２４          生産系ＬＡＮ
２６          搬送要求
２８          搬送報告
３０          優先度管理部
３２          特急品チェック部
３４          優先度変更部
３６          待機管理部
３８          物流系ＬＡＮ
４４，４４’  走行ルート
４５          走行ルート
４６          分岐器
４７，４７’  バイパスルート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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