(57)【要約】【課題】低電気抵抗（高導電性）と高耐食性を、長期間、安定して維持することができ、しかも低コストである、基材が金属製の、燃料電池のセパレータの提供。【解決手段】（１）表面に基材自身の酸化皮膜１１ａを有する金属の基材１１と、基材の酸化皮膜の表面に形成された導電性薄膜１２（貴金属皮膜１２Ａまたは原子レベルで形成されたＣ皮膜１２Ｂ）と、を有する燃料電池用セパレータ１０。（２）基材自身の酸化皮膜１１ａと導電性薄膜１２との間に密着性を高める中間層１３が形成されている。（３）導電性薄膜１２の表面にさらに炭素（カーボン）塗膜が形成されている。【選択図】        図１
2004185998.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に基材自身の酸化皮膜を有する金属の基材と、
前記基材の酸化皮膜の表面に形成された導電性薄膜と、
を有する燃料電池用セパレータ。
【請求項２】
前記導電性薄膜が金属薄膜である請求項１記載の燃料電池用セパレータ。
【請求項３】
前記導電性薄膜が貴金属薄膜である請求項１記載の燃料電池用セパレータ。
【請求項４】
前記導電性薄膜が原子レベルで形成された炭素（Ｃ）からなる炭素薄膜である請求項１記載の燃料電池用セパレータ。
【請求項５】
前記基材自身の酸化皮膜と前記導電性薄膜との間に密着性を高める中間層が形成されている請求項１記載の燃料電池用セパレータ。
【請求項６】
前記導電性薄膜が金属薄膜であり、前記中間層が、Ｔｉ，Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗの金属あるいはＳｉ、Ｂの半金属元素から選択された１種以上の元素からなる層（Ｍｅ）である、請求項５記載の燃料電池用セパレータ。
【請求項７】
前記導電性薄膜が原子レベルで形成された炭素（Ｃ）からなる炭素薄膜であり、
前記中間層が、
Ｔｉ，Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗの金属あるいはＳｉ、Ｂの半金属元素から選択された１種以上の元素からなる層（Ｍｅ）と、
該（Ｍｅ）層の上に形成された、炭素（Ｃ）と、金属あるいは半金属元素の元素（Ｍｅ）とを含有し、前記基材から離れるにつれて炭素（Ｃ）の配合割合が多くなる、（炭素−Ｍｅ）傾斜層と、
の何れか少なくとも１層からなる、請求項５記載の燃料電池用セパレータ。
【請求項８】
前記導電性薄膜の表面にさらにカーボン塗膜が形成されている請求項１記載の燃料電池用セパレータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、燃料電池のセパレータに関し、とくに固体高分子電解質型燃料電池の金属セパレータの表面処理層の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
固体高分子電解質型燃料電池は、膜−電極アッセンブリ（ＭＥＡ：Ｍｅｍｂｒａｎｅ−Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ  Ａｓｓｅｍｂｌｙ  ）とセパレータとからなるセルを１層以上重ねてモジュールとし、モジュールを積層して構成される。
ＭＥＡは、イオン交換膜からなる電解質膜とこの電解質膜の一面に配置された触媒層からなる電極（アノード）および電解質膜の他面に配置された触媒層からなる電極（カソード）とからなる。ＭＥＡとセパレータとの間には、通常、拡散層が設けられる。この拡散層は、触媒層への反応ガスの拡散をよくするためのものである。セパレータは、アノードに燃料ガス（水素）を供給する燃料ガス流路およびカソードに酸化ガス（酸素、通常は空気）を供給するための酸化ガス流路が形成されるとともに、隣接するセル間の電子の通路を構成している。
セル積層体のセル積層方向両端に、ターミナル（電極板）、インシュレータ、エンドプレートを配置し、セル積層体をセル積層方向に締め付け、セル積層体の外側でセル積層方向に延びる締結部材（たとえば、テンションプレート）とボルトにて固定して、スタックが形成される。
固体高分子電解質型燃料電池では、アノード側で、水素を水素イオン（プロトン）と電子にする反応が行われ、水素イオンは電解質膜中をカソード側に移動し、カソード側で、酸素と水素イオンおよび電子（隣りのＭＥＡのアノードで生成した電子がセパレータを通してくる、または、セル積層体の一端のセルのアノードで生成した電子が外部回路を通してセル積層体の他端のセルのカソードにくる）から水を生成する反応が行われる。
アノード側：Ｈ２  →２Ｈ＋  ＋２ｅ−  
カソード側：２Ｈ＋  ＋２ｅ−  ＋（１／２）Ｏ２  →Ｈ２  Ｏ
セパレータは、導電性をもつ必要があるため、金属、または炭素、または導電性樹脂から構成されるか、または金属セパレータと樹脂フレームとの組み合わせから構成される。カーボンセパレータ、導電性樹脂セパレータは、酸性水に触れても化学的に安定しているので、導電性を維持できるが、流路を形成したときに流路底面に強度上必要な厚さを有していなければならないので厚さが厚くなり、スタック長が長くなるという問題がある。メタルセパレータは強度が大のため流路のための凹凸を形成しても厚さは薄くてよくスタック長が短くなるが、酸性水による腐食とそれによる導電性低下、出力低下が問題になる。すなわち、メタルセパレータを用いるには、メタルセパレータが導電性と耐食性を長期間維持できることが必要である。
特開２００１−９３５３８は、燃料電池のメタルセパレータの基材（ステンレス）表面に、基材とは別金属材料の耐酸性皮膜と、導電性皮膜とを設けることを開示している。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−９３５３８号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のメタルセパレータでは、耐酸性皮膜を基材とは別金属材料で形成するため、コストアップとなるという問題があった。
本発明の目的は、低電気抵抗（高導電性）と高耐食性を、長期間、安定して維持することができ、しかも低コストである、基材が金属製の、燃料電池のセパレータを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明はつぎの通りである。
（１）  表面に基材自身の酸化皮膜を有する金属の基材と、
前記基材の酸化皮膜の表面に形成された導電性薄膜と、
を有する燃料電池用セパレータ。
（２）  前記導電性薄膜が金属薄膜である（１）記載の燃料電池用セパレータ。
（３）  前記導電性薄膜が貴金属薄膜である（１）記載の燃料電池用セパレータ。
（４）  前記導電性薄膜が原子レベルで形成された炭素（Ｃ）からなる炭素薄膜である（１）記載の燃料電池用セパレータ。
（５）  前記基材自身の酸化皮膜と前記導電性薄膜との間に密着性を高める中間層が形成されている（１）記載の燃料電池用セパレータ。
（６）  前記導電性薄膜が金属薄膜であり、前記中間層が、Ｔｉ，Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗの金属あるいはＳｉ、Ｂの半金属元素から選択された１種以上の元素からなる層（Ｍｅ）である、（５）記載の燃料電池用セパレータ。
（７）  前記導電性薄膜が原子レベルで形成された炭素（Ｃ）からなる炭素薄膜であり、
前記中間層が、
Ｔｉ，Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗの金属あるいはＳｉ、Ｂの半金属元素から選択された１種以上の元素からなる層（Ｍｅ）と、
該（Ｍｅ）層の上に形成された、炭素（Ｃ）と、金属あるいは半金属元素の元素（Ｍｅ）とを含有し、前記基材から離れるにつれて炭素（Ｃ）の配合割合が多くなる、（炭素−Ｍｅ）傾斜層と、
の何れか少なくとも１層からなる、（５）記載の燃料電池用セパレータ。
（８）  前記導電性薄膜の表面にさらにカーボン塗膜が形成されている（１）記載の燃料電池用セパレータ。
【０００６】
上記（１）、（２）、（３）、（４）の燃料電池用セパレータでは、金属セパレータ表面にその金属自身の酸化皮膜を形成し、その表面に導電性薄膜を形成したので、導電性薄膜により低電気抵抗が得られ（高導電性）、また、導電性薄膜にピンホールがあっても酸化皮膜によりセパレータ基材の溶け出しが抑制され（高耐食性）、さらに、酸化皮膜を基材自身の酸化皮膜としたため別金属の酸化皮膜とする従来（特許文献１のもの）に比べて酸化皮膜を低コストで形成できる（低コスト）。
上記（５）、（６）、（７）の燃料電池用セパレータでは、基材自身の酸化皮膜と導電性薄膜との間に密着性を高める中間層が形成されているので、表面処理層の密着性が確保され、それによって、耐久性が得られ、高導電性と高耐食性が長期間確保される。
上記（８）の燃料電池用セパレータでは、上記（１）の表面処理層の上に、さらにＣ塗膜を形成したので、上記（１）の表面処理層の作用が得られる他、耐久性に係る信頼性が、Ｃ塗膜を形成した分、より一層向上される。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の燃料電池用セパレータの望ましい実施例を、図１〜図５を参照して説明する。
図中、図１は本発明の実施例１（導電性薄膜が金属薄膜である場合）を示し、
図２は本発明の実施例２（金属薄膜が原子レベルで形成された炭素（Ｃ）からなる炭素薄膜である場合）を示し、
図３は本発明の実施例３（導電性薄膜の上にＣ塗膜が形成された場合）を示す。
図４〜図１３は試験仕様とその結果を示す。
本発明の実施例１〜３にわたって共通するまたは類似する部分には、本発明の実施例１〜３にわたって同じ符合を付してある。
【０００８】
まず、本発明の実施例１〜３にわたって共通するまたは類似する部分を説明する。
本発明が適用されるセパレータが組み付けられる燃料電池は、燃料電池自動車等に搭載される。ただし、自動車以外に搭載されてもよい。
本発明が適用されるセパレータが組み付けられる燃料電池は固体高分子電解質型燃料電池であり、ＭＥＡとセパレータとの積層からなるスタック構成は、従来技術で説明した一般の固体高分子電解質型燃料電池の構成に準じる。
【０００９】
本発明の燃料電池のセパレータ１０は、メタルセパレータであり、図１に示すように、表面に基材自身の酸化皮膜（不動態膜）１１ａを有する金属の基材１１と、基材１１の酸化皮膜１１ａの表面に形成された導電性薄膜１２とを、有する。
セパレータ基材１１の金属は、ステンレス（ＳＵＳ）、鋼（スチール）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、チタン（Ｔｉ）、チタン合金などを含む。
酸化皮膜１１ａは、基材１１がステンレスの場合はＣｒ２  Ｏ３  、ＮｉＯ、Ｆｅ２  Ｏ３  を含み、基材がＡｌの場合はＡｌ２  Ｏ３  を含み、基材がＴｉの場合はＴｉＯ２  含み、基材が鋼の場合はＦｅ２  Ｏ３  を含む。
酸化皮膜１１ａは、基材１１を空気中に放置することにより自然形成されたものであってもよいし、酸化雰囲気（酸化溶液）中に置くことにより形成されたものでもよい。
基材酸化膜１１ａは基材１１の耐食性能を向上している。
【００１０】
導電性薄膜１２は、金属薄膜１２Ａ、または原子レベルで形成された炭素（Ｃ）からなる炭素薄膜１２Ｂ、である。
金属薄膜１２Ａを構成する金属は、たとえば貴金属であり、貴金属はたとえばＡｕである。炭素薄膜１２Ｂは、原子レベルで形成されたものであり、炭素粉末と樹脂バインダーから形成される塗膜１４は含まない。貴金属も炭素も高耐食性である。
導電性薄膜１２の厚さは、たとえば、通常、ナノメータ（ｎｍ）のオーダーの厚さであり（ただし、０．０１〜１０μｍであればよい）、厚さが数十ミクロン（μｍ）の塗膜１４に比べて薄い。導電性薄膜１２の形成方法は、蒸着、スパッタ、イオンプレーティングなどを含むＰＶＤ、またはＣＶＤである。ここで、ＰＶＤはｐｈｙｓｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  の略であり、ＣＶＤはｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  の略である。また、金属系薄膜１２Ａの場合には、めっきを用いることもできる。
【００１１】
基材自身の酸化皮膜１１ａと導電性薄膜１２との間に、密着性、耐食性を高める中間層１３が形成されていることが望ましい。導電性薄膜１２のみでは耐食性、密着性が不足し、中間層１３のみでは導電性、耐食性が不足するので、密着性、耐食性を高めるために、基材自身の酸化皮膜１１ａの上に中間層１３を形成し、その上に導電性薄膜１２を形成するのが望ましい。
【００１２】
中間層１３は、基材酸化膜１１ａとの密着性、結合性、すなわちＯ（酸素原子）との結合性が良いとともに、導電性薄膜１２との密着性、結合性が良い性質をもつ構成、材料が選択される。
導電性薄膜１２が、図１に示すように、金属薄膜１２Ａである場合、中間層１３は、Ｔｉ，Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗの金属あるいはＳｉ、Ｂの半金属元素から選択された１種以上の元素からなる層（Ｍｅ）１３ａである。これらの元素がＯとの結合性がよく、基材酸化膜１１ａとの密着性、結合性がよい。また、金属または半金属のため、金属薄膜１２Ａとの結合性もよい。
導電性薄膜１２が、図２に示すように、原子レベルで形成された炭素（Ｃ）からなる炭素薄膜１２Ｂである場合、中間層１３は、（イ）Ｔｉ，Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗの金属あるいはＳｉ、Ｂの半金属元素から選択された１種以上の元素からなる層（Ｍｅ）１３ａと、（ロ）（Ｍｅ）層１３ａの上に形成された、炭素（Ｃ）と、金属あるいは半金属元素の元素（Ｍｅ）とを含有し、基材１１から離れるにつれて炭素（Ｃ）の配合割合が多くなる、（炭素−Ｍｅ）傾斜層１３ｂと、の何れか少なくとも１層からなる。（イ）の層１３ａはＯとの結合性がよく、基材酸化膜１１ａとの密着性、結合性がよい。（ロ）の層１３ｂは（イ）の層１３ａとの結合性と、炭素薄膜１２Ｂとの密着性、結合性がよい。
【００１３】
図３に示すように、導電性薄膜１２の上に、さらに炭素（Ｃ）塗膜１４を形成してもよい。その場合の表面処理層の構成は、基材１１、基材表面の基材酸化膜１１ａ、必要に応じて設けられる中間層１３、金属薄膜１２Ａまたは原子レベルで形成された炭素（Ｃ）からなる炭素薄膜１２Ｂからなる導電性薄膜１２、Ｃ塗膜１４の順となる。ただし、Ｃ塗膜１４を設けることは必須ではない。
【００１４】
導電性薄膜１２が、図２に示すように、原子レベルで形成された炭素（Ｃ）からなる炭素薄膜１２Ｂである場合、中間層１３および炭素薄膜１２Ｂの形成は、図１４に示すつぎのバリエーション（変形例）Ｉ〜ＸＩＩをとることができる。
ただし、図１４における各記号および文字は、それぞれ、つぎを示す。
「金属セパレータ」：基材１１とその表面の基材酸化膜１１ａ
「Ｍｅ」：Ｔｉ，Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗの金属あるいはＳｉ、Ｂの半金属元素から選択された１種以上の元素からなる層
「ＭｅＣ」：上記Ｍｅ元素の炭化物
「ＭｅＣ傾斜層」：厚さ方向にＭｅからＣに組成が徐変する層
「Ｍｅ（Ａ）」、「Ｍｅ（Ｂ）」：Ｍｅ（Ａ）＝Ｗ（タングステン）、Ｍｅ（Ｂ）＝Ｃ（クロム）のような２種類の元素の組み合わせ、当然、３種類以上の組み合わせも可能である。
「炭素＋ＭｅまたはＭｅＣ層」：最表面の炭素層にＭｅまたはＭｅＣを原子レベルで複合化した層、＋は複合化を示す。
【００１５】
図１４のバリエーションＩ〜ＸＩＩ  はつぎの通りである。
バリエーションＩ：金属セパレータ、ＭｅまたはＭｅＣ層、炭素−ＭｅまたはＭｅＣ傾斜層、炭素層（Ｃ薄膜）
バリエーションＩＩ：金属セパレータ、炭素−ＭｅまたはＭｅＣ傾斜層、炭素層（Ｃ薄膜）
バリエーションＩＩＩ  ：金属セパレータ、ＭｅまたはＭｅＣ層、炭素層（Ｃ薄膜）
バリエーションＩＶ：金属セパレータ、炭素−ＭｅまたはＭｅＣ傾斜層
バリエーションＶ：金属セパレータ、Ｍｅ（Ｂ）またはＭｅ（Ｂ）Ｃ層、Ｍｅ（Ａ）またはＭｅ（Ａ）Ｃ−Ｍｅ（Ｂ）またはＭｅ（Ｂ）Ｃ傾斜層、炭素−Ｍｅ（Ａ）またはＭｅ（Ａ）Ｃ傾斜層、炭素層（Ｃ薄膜）
バリエーションＶＩ：金属セパレータ、Ｍｅ（Ａ）またはＭｅ（Ａ）Ｃ−Ｍｅ（Ｂ）またはＭｅ（Ｂ）Ｃ傾斜層、炭素−Ｍｅ（Ａ）またはＭｅ（Ａ）Ｃ傾斜層、炭素層（Ｃ薄膜）
バリエーションＶＩＩ  ：金属セパレータ、Ｍｅ（Ｂ）またはＭｅ（Ｂ）Ｃ層、Ｍｅ（Ａ）またはＭｅ（Ａ）Ｃ層、炭素層（Ｃ薄膜）
バリエーションＶＩＩＩ：金属セパレータ、Ｍｅ（Ａ）またはＭｅ（Ａ）Ｃ−Ｍｅ（Ｂ）またはＭｅ（Ｂ）Ｃ傾斜層、炭素−Ｍｅ（Ａ）またはＭｅ（Ａ）Ｃ傾斜層、炭素層（Ｃ薄膜）
バリエーションＩＸ：金属セパレータ、ＭｅまたはＭｅＣ層、炭素＋ＭｅまたはＭｅＣ−ＭｅまたはＭｅＣ傾斜層、炭素＋ＭｅまたはＭｅＣ層
バリエーションＸ：金属セパレータ、炭素＋ＭｅまたはＭｅＣ−ＭｅまたはＭｅＣ傾斜層、炭素＋ＭｅまたはＭｅＣ層
バリエーションＸＩ：金属セパレータ、ＭｅまたはＭｅＣ層、炭素＋ＭｅまたはＭｅＣ層
バリエーションＸＩＩ：金属セパレータ、炭素＋ＭｅまたはＭｅＣ−ＭｅまたはＭｅＣ傾斜層
【００１６】
つぎに、本発明の各実施例の構成を説明する。
実施例１
本発明の実施例１の燃料電池用セパレータ１０は、表面に基材自身の酸化皮膜１１ａを有する金属の基材１１と、その上の中間層１３と、その上の導電性薄膜１２と、を有する。導電性薄膜１２は金属薄膜１２Ａである。中間層１３は、Ｔｉ，Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗの金属あるいはＳｉ、Ｂの半金属元素から選択された１種以上の元素からなる層（Ｍｅ）１３ａである。
【００１７】
実施例２
本発明の実施例２の燃料電池用セパレータ１０は、表面に基材自身の酸化皮膜１１ａを有する金属の基材１１と、その上の中間層１３と、その上の導電性薄膜１２と、を有する。導電性薄膜１２は原子レベルで形成された炭素（Ｃ）からなる炭素薄膜１２Ｂである。中間層１３は、Ｔｉ，Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗの金属あるいはＳｉ、Ｂの半金属元素から選択された１種以上の元素からなる層（Ｍｅ）１３ａと、該（Ｍｅ）層１３ａの上に形成された、炭素（Ｃ）と、金属あるいは半金属元素の元素（Ｍｅ）とを含有し、前記基材から離れるにつれて炭素（Ｃ）の配合割合が多くなる、（炭素−Ｍｅ）傾斜層１３ｂと、の何れか少なくとも１層からなる。
【００１８】
実施例３
本発明の実施例３の燃料電池用セパレータ１０は、本発明の実施例１または実施例２の燃料電池用セパレータの導電性薄膜１２の上に、Ｃ塗膜１４を形成したものからなる。
【００１９】
つぎに、本発明の作用を説明する。
本発明の燃料電池用セパレータ１０では、金属セパレータの基材１１表面にその金属自身の酸化皮膜１１ａを形成し、その表面に導電性薄膜１２を形成したので、導電性薄膜１２により低電気抵抗が得られ、高導電性が得られる。また、導電性薄膜１２にピンホールがあっても酸化皮膜１１ａによりセパレータ基材１１の溶け出しが抑制され、高耐食性が得られる。さらに、酸化皮膜を基材１１自身の酸化皮膜１１ａとしたため、別金属の酸化皮膜とする従来（特許文献１のもの）に比べて酸化皮膜１１ａを低コストで形成できる。
【００２０】
また、基材自身の酸化皮膜１１ａと導電性薄膜１２との間に密着性を高める中間層１３が形成されているので、表面処理層１２、１３の、基材１１との密着性が確保され、それによって、耐久性が得られ、高導電性と高耐食性が長期間確保される。
【００２１】
さらに、表面処理層の導電性薄膜１２の上に、さらにＣ塗膜１４を形成した場合は、上記の表面処理層の、高導電性と高耐食性と密着性の作用の他に、耐久性に係る信頼性が、Ｃ塗膜１４を形成した分、より一層向上される。
【００２２】
つぎに、本発明の燃料電池セパレータ１０と比較例の、耐食性、接触抵抗、密着性の試験を行って、結果を比較し、本発明の燃料電池セパレータが十分な耐食性、低接触抵抗（高導電性）、表面処理層の密着性を有することを確認したので、以下、それを説明する。
【００２３】
テストピース（ＴＰ）は以下の通りである。ただし、記号「＊」は本発明を示し、その他は比較例を示す。
〔ＴＰＩ：Ａｕ薄膜系〕
▲１▼未処理／ＳＵＳ３１６Ｌ（酸化膜有り）
▲２▼１０ｎｍＡｕスパッタ／ＳＵＳ３１６Ｌ（ＩＥ（Ｉｏｎ  Ｅｃｈｉｎｇ）無し、酸化膜有り）
▲３▼１０ｎｍＡｕスパッタ／ＳＵＳ３１６Ｌ（Ａｒ−ＩＥ、酸化膜無し）
＊▲４▼１０ｎｍＡｕスパッタ／１０ｎｍＣｒスパッタ／ＳＵＳ３１６Ｌ（ＩＥ無し、酸化膜有り）
▲５▼１０ｎｍＡｕスパッタ／１０ｎｍＣｒスパッタ／ＳＵＳ３１６Ｌ（Ａｒ−ＩＥ、酸化膜無し）
〔ＴＰＩＩ：Ｃ薄膜系〕
▲１▼未処理／ＳＵＳ３１６Ｌ（酸化膜有り）
▲２▼５０ｎｍＣスパッタ／５０ｎｍＣ→Ｃｒ傾斜スパッタ／ＳＵＳ３１６Ｌ（Ａｒ−ＩＥ、酸化膜無し）
＊▲３▼５０ｎｍＣスパッタ／５０ｎｍＣ→Ｃｒ傾斜スパッタ／ＳＵＳ３１６Ｌ（Ａｒ−ＬＥ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｃｈｉｎｇ、軽目のＩＥのこと）、薄い酸化膜）
＊▲４▼５０ｎｍＣスパッタ／５０ｎｍＣ→Ｃｒ傾斜スパッタ／ＳＵＳ３１６Ｌ（ＩＥ無し、厚い酸化膜（▲１▼と同じ））
【００２４】
Ｉ．耐食性試験
１）  耐食性試験条件
耐食性試験は、図４に示す、カップル電流試験方法によった。試料と対極（燃料電池でセパレータが接触する焼成カーボン：黒鉛）とを酸性水溶液（燃料電池においてセパレータがさらされる環境を模擬した酸性の水溶液）に浸漬し、温度を燃料電池運転温度の８０℃として、セパレータ金属Ｍｅがイオンとなって溶出するときの電流密度を、試料と対極の外部回路に設置した電流計によって測定した。腐食時間を１００時間とした。プラス電流はＭｅが＋イオンとなって溶出するときの電流であるから、腐食を起こすことを意味し、０またはマイナス電流を示す場合は、腐食、耐食性上問題ないことを意味する。
すなわち、
評価条件：カップル電流測定試験
腐食条件：ｐＨ２硫酸、８０℃
腐食時間：１００Ｈ
対極材質：焼成カーボン
２）  溶出イオン量の定量
腐食液をＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｅｄ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｐｌａｓｍａ：誘導結合プラズマ発光分析法）により分析した。
【００２５】
３）  耐食性試験結果
Ａｕ薄膜系テストピースＴＰ１の上記▲１▼〜▲５▼の、ＳＵＳ基材のイオン溶出量の試験結果を図５に示す。図５の棒グラフは左から順に上記ＴＰ１の▲１▼、▲２▼、▲３▼、▲４▼、▲５▼である。図５の棒グラフの各棒の３つの区域のうち、上区域がＳＵＳ基材中のＮｉの溶出量、中間区域がＳＵＳ基材中のＣｒの溶出量、下区域がＳＵＳ基材中のＦｅの溶出量である。左から４番目の▲４▼が本発明であるが、本発明ではＮｉ、Ｃｒ、Ｆｅのイオン溶出量が測定可能限界以下で、実質的に溶出無しと見られる。
【００２６】
また、Ｃ薄膜系テストピースＴＰ２の上記▲１▼〜▲４▼の、ＳＵＳ基材のイオン溶出量の試験結果を図６に示す。図６の棒グラフは左から順に上記ＴＰ２の▲１▼、▲２▼、▲３▼、▲４▼である。図６の棒グラフの各棒の３つの区域のうち、上区域がＳＵＳ基材中のＮｉの溶出量、中間区域がＳＵＳ基材中のＣｒの溶出量、下区域がＳＵＳ基材中のＦｅの溶出量である。左から３番目の▲３▼と左から４番目の▲４▼が本発明であるが、本発明ではＮｉ、Ｃｒ、Ｆｅのイオン溶出量が左から１番目の▲１▼と左から２番目の▲２▼に比べて少なく、耐食性が改善されていることがわかる。
【００２７】
耐食性試験をまとめると、つぎのイ）、ロ）となる。
イ）中間Ｃｒ層１３の有無にかかわらず、酸化膜１１ａの存在する本発明のテストピースが耐食性（耐溶出）が良好である。
ロ）Ｃ薄膜系でも、酸化膜１１ａの残存量が増加するにつれ、耐食性が改善される。
【００２８】
ＩＩ．導電性試験
１）  導電性試験条件
導電性試験は、図７に示す、接触抵抗試験方法により行った。試験では、試験前後の電気接触抵抗を測定した。抵抗測定では、基材１１（表面に酸化膜１１ａ有り）に表面処理を施した、前述の耐食性試験の、ＴＰ１の▲１▼〜▲５▼、ＴＰ２の▲１▼〜▲４▼と同じテストピースを用いて、それを拡散布（燃料電池の拡散層と同じカーボンクロス）を介して極板で挟み、面圧を燃料電池の面圧に近い２０ｋｇｆ／ｃｍ２  、電流を１Ａとし、両極間の電圧Ｖを測定して接触抵抗を次式により求めた。
抵抗Ｒ＝Ｖ／Ｉ、  （Ｉ＝１Ａ）
【００２９】
２）  導電性試験結果
Ａｕ薄膜系テストピースＴＰ１の▲１▼〜▲５▼（耐食性試験のＡｕ薄膜系テストピースＴＰ１の▲１▼〜▲５▼と同じ仕様）の、接触抵抗の測定結果を図８に示す。図８の５対の棒グラフは左から順に上記ＴＰ１の▲１▼、▲２▼、▲３▼、▲４▼、▲５▼である。図８の各対の２本の棒グラフのうち左が腐食前の接触抵抗を示し、右が腐食後の接触抵抗を示す。左から４番目の対の棒グラフ▲４▼が本発明であり、低い接触抵抗を示す。
【００３０】
また、Ｃ薄膜系テストピースＴＰ２の▲１▼〜▲４▼（耐食性試験のＣ薄膜系テストピースＴＰ２の▲１▼〜▲４▼と同じ仕様）の、接触抵抗の測定結果を図９に示す。図９の４対の棒グラフは左から順に上記ＴＰ２の▲１▼、▲２▼、▲３▼、▲４▼である。図９の各対の２本の棒グラフのうち左が腐食前の接触抵抗を示し、右が腐食後の接触抵抗を示す。左から３番目の対の棒グラフ▲３▼と左から４番目の対の棒グラフ▲４▼が本発明であり、低い接触抵抗を示す。
【００３１】
導電性試験をまとめると、つぎの通りである。
イ）ＳＵＳ基材１１表面の酸化膜１１ａの有無にかかわらず、表面処理付与（導電性薄膜１２の形成）により低い接触抵抗を示すことがわかる。
ロ）その理由として、図１０のイメージグラフに示すように、セパレータ面直方向の抵抗は、拡散層とセパレータとの接触抵抗および基材酸化膜の固有抵抗等を含むが、そのうちセパレータ面直方向の抵抗の主要抵抗部分を占めるのは、拡散層とセパレータとの接触抵抗であり、基材酸化膜の厚さが数ｎｍと非常に小さいため抵抗への寄与は小さい。そのため、導電性薄膜１２の形成により接触抵抗が少なくなる方が、セパレータ面直方向の抵抗減少に効いて、酸化膜１１ａによる抵抗増加はあってもセパレータ面直方向の抵抗増加にあまり効かず、両方を合わせて見ると、セパレータ面直方向の抵抗が減少するものと考えられる。
【００３２】
なお、図１０の３つの棒グラフのうち、左が処理無しでＴＰ１の▲１▼で比較例の場合、真中がＴＰ１の▲４▼で本発明の場合、右がＡｒ−ＩＥでＴＰ１の▲５▼の比較例の場合である。そして、左の処理無しのＴＰ１の▲１▼における棒グラフの３つの区域のうち、上区域が拡散布（カーボンクロス）と基材酸化膜の接触抵抗、中間区域が基材酸化膜の抵抗、下区域がＳＵＳ基材の抵抗を示す。真中のＴＰ１の▲４▼の本発明の棒グラフの５つの区域のうち、上から１番目の区域が拡散布（カーボンクロス）と導電性薄膜との接触抵抗、上から２番目の区域が導電性薄膜の抵抗、上から３番目の区域が下地膜（中間層Ｍｅ層）の抵抗、上から４番目の区域が基材酸化膜の抵抗、上から５番目の区域がＳＵＳ基材の抵抗を示す。また、右のＡｒ−ＩＥのＴＰ１の▲５▼の棒グラフの４つの区域のうち、上から１番目の区域が拡散布（カーボンクロス）と導電性薄膜との接触抵抗、上から２番目の区域が導電性薄膜の抵抗、上から３番目の区域が下地膜（中間層Ｍｅ層）の抵抗、上から４番目の区域がＳＵＳ基材の抵抗を、それぞれ、示す。
【００３３】
ＩＩＩ  ．  密着性試験（表面処理層１２、１３の基材との密着性の試験）
１）  密着性試験条件
密着性試験は、図１１に示す、ウォータージェット試験方法により行った。試験におけるノズルでの水圧は約２００ＭＰａ（２０００気圧）である。
薄膜残留率（％）＝Ｍ／Ｍ０  ×１００
ここで、
Ｍ：ウォータージェット後の薄膜量（図１４（ｂ））
Ｍ０  ：ウォータージェット前の薄膜量（図１４（ａ））
とし、蛍光Ｘ線などにより元素を提供した。
【００３４】
２）  密着性試験結果
Ａｕ薄膜系テストピースＴＰ１の▲２▼〜▲５▼（耐食性試験のＡｕ薄膜系テストピースＴＰ１の▲２▼〜▲５▼と同じ仕様）の、密着性試験結果を図１２に示す。図１２の４対の棒グラフは左から順に上記ＴＰ１の▲２▼、▲３▼、▲４▼、▲５▼である。図１２の各対の２本の棒グラフのうち左が密着性試験前のＡｕ薄膜残留率を示し、右が密着性試験後のＡｕ薄膜残留率を示す。左から３番目の対の棒グラフ▲４▼が本発明であり、高いＡｕ薄膜残留率（密着性良好）を示す。
【００３５】
また、Ｃ薄膜系テストピースＴＰ２の▲２▼〜▲４▼（耐食性試験のＣ薄膜系テストピースＴＰ２の▲２▼〜▲４▼と同じ仕様）の、密着性試験結果を図１３に示す。図１３の３対の棒グラフは左から順に上記ＴＰ２の▲２▼、▲３▼、▲４▼である。図１３の各対の２本の棒グラフのうち左が密着性試験前のＣ薄膜残留率を示し、右が密着性試験後のＣ薄膜残留率を示す。左から２番目の対の棒グラフ▲３▼が本発明であり、高いＣ薄膜残留率（密着性良好）を示す。
【００３６】
密着性試験結果をまとめるとつぎの通りである。
〔密着性試験前〕
イ）下地Ｍｅ層１３が無い場合には、Ａｒ−ＩＥにより、酸化膜１１ａを除去すれば密着性を確保可能である。
ロ）下地Ｍｅ層１３がある場合には、基材酸化膜１１ａの有無によらず密着性を確保可能である。
〔密着性試験後〕
イ）下地Ｍｅ層１３が無い場合には、腐食により、Ａｕ薄膜／基材界面が腐食され密着性が低下する。
ロ）下地Ｍｅ層１３がある場合には、腐食後も良好な耐蝕性（下地Ｍｅによるバリア効果、基材酸化膜１１ａによる耐食性向上による）が得られる。
【００３７】
【発明の効果】
請求項１、２、３、４の燃料電池用セパレータによれば、金属セパレータ表面にその基材金属自身の酸化皮膜を形成し、その表面に導電性薄膜を形成したので、導電性薄膜により低電気抵抗が得られ（高導電性）、また、導電性薄膜にピンホールがあっても酸化皮膜によりセパレータ基材の溶け出しが抑制され（高耐食性）、さらに、酸化皮膜を基材自身の酸化皮膜としたため別金属の酸化皮膜とする従来（特許文献１のもの）に比べて酸化皮膜を低コストで形成できる（低コスト）。
請求項５、６、７の燃料電池用セパレータによれば、基材自身の酸化皮膜と導電性薄膜との間に密着性を高める中間層が形成されているので、表面処理層の密着性が確保され、それによって、耐久性が得られ、高導電性と高耐食性が長期間確保される。
請求項８の燃料電池用セパレータによれば、導電性薄膜の上に、さらにＣ塗膜を形成したので、請求項１の表面処理層の作用（高導電性）が得られる他、耐久性に係る信頼性が、Ｃ塗膜を形成した分、より一層向上される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１の燃料電池用セパレータの一部分の拡大断面図である。
【図２】本発明の実施例２の燃料電池用セパレータの一部分の拡大断面図である。
【図３】本発明の実施例３の燃料電池用セパレータの一部分の拡大断面図である。
【図４】本発明の燃料電池用セパレータの耐食性試験（カップル電流試験方法）実行中の断面図である。
【図５】本発明の燃料電池用セパレータの耐食性試験結果（ＴＰ１▲１▼〜▲５▼のイオン溶出量）を示すグラフである。
【図６】本発明の燃料電池用セパレータの耐食性試験結果（ＴＰ２▲１▼〜▲４▼のイオン溶出量）を示すグラフである。
【図７】本発明の燃料電池用セパレータの導電性試験（接触抵抗試験方法）実行中の断面図である。
【図８】本発明の燃料電池用セパレータの導電性試験結果（ＴＰ１▲１▼〜▲５▼の腐食前後の接触抵抗）を示すグラフである。
【図９】本発明の燃料電池用セパレータの導電性試験結果（ＴＰ２▲１▼〜▲４▼の腐食前後の接触抵抗）を示すグラフである。
【図１０】導電性試験における燃料電池用セパレータＴＰ１▲１▼、▲４▼、▲５▼の、各テストピースにおける、各層間の接触抵抗または各層の固有抵抗の割合のイメージを示す棒グラフである。
【図１１】本発明の燃料電池用セパレータの密着性試験（ウォータジェットによる試験方法）実行中の断面図である。
【図１２】本発明の燃料電池用セパレータの密着性試験結果（ＴＰ１▲２▼〜▲５▼の密着性試験前後のＡｕ薄膜残留率）を示すグラフである。
【図１３】本発明の燃料電池用セパレータの密着性試験結果（ＴＰ２▲２▼〜▲４▼の密着性試験前後のＣ薄膜残留率）を示すグラフである。
【図１４】本発明の燃料電池用セパレータのうち導電性薄膜がＣ薄膜である場合の、酸化膜を有する基材表面に形成される、Ｃ薄膜、中間層の部分の、とりうるバリエーションＩ〜ＸＩＩの断面図である。
【符号の説明】
１０  セパレータ
１１  基材
１１ａ  基材自身の酸化膜
１２  導電性薄膜
１２ａ  貴金属薄膜（たとえば、Ａｕ薄膜）
１２ｂ  原子レベルで形成されたＣ薄膜
１３  中間層
１３ａ  Ｍｅ層
１３ｂ  Ｃ−Ｍｅ傾斜層
１４  Ｃ塗膜
【図１】
2004185998.tif 000003
【図２】
2004185998.tif 000004
【図３】
2004185998.tif 000005
【図４】
2004185998.tif 000006
【図５】
2004185998.tif 000007
【図６】
2004185998.tif 000008
【図７】
2004185998.tif 000009
【図８】
2004185998.tif 000010
【図９】
2004185998.tif 000011
【図１０】
2004185998.tif 000012
【図１１】
2004185998.tif 000013
【図１２】
2004185998.tif 000014
【図１３】
2004185998.tif 000015
【図１４】
2004185998.tif 000016