(57)【要約】【課題】焦点距離ｆを増して走査線長Ｗを長くしても、短い全長Ｌを有し且つ高い光学性能を有するｆθレンズを備えたコンパクトな光走査装置を提供する。【解決手段】光走査装置は、コリメータレンズ２とシリンドリカルレンズ３とからなる第１結像光学系と、光ビームを反射偏向させて走査させる光偏向器５と、ｆθレンズ６とアナモルフィックレンズ１０とからなる第２結像光学系と、を備える。ｆθレンズ６は、負のパワーを有する第１レンズ７、正のパワーを有する第２レンズ８および正のパワーを有する第３レンズ９の３枚３群構成を有する。ｆθレンズ６は、Ｌ／ｆ＜０．１００および０．１０≦ｒ１／ｒ３≦０．２６の関係式を満たして構成される。但し、Ｌ：ｆθレンズ６の全長、ｆ：ｆθレンズ６の焦点距離、ｒ１：第１レンズ７の光ビーム入射側屈折面の曲率半径、ｒ３：第２レンズ８の光ビーム入射側屈折面の曲率半径。【選択図】　　　　図１
2004029416.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から発せられた光ビームを反射偏向させて走査させる光偏向器と、
理想像高が焦点距離と半画角との積となる歪曲特性を有し、前記光偏光器で反射偏向した光ビームを被走査面上に結像させる結像光学系と、を備え、
前記結像光学系は、前記光ビームの入射側から順に、負のパワーを有する第１レンズ、正のパワーを有する第２レンズおよび正のパワーを有する第３レンズを配列して構成され、且つ、次式（１）および（２）を満たして構成されることを特徴とする光走査装置。
【数１】
2004029416.tif 000050
【数２】
2004029416.tif 000051
ここで、上式（１）中、Ｌは、前記第１レンズの光入射面から前記第３レンズの光出射面までの光軸方向の長さ、ｆは、前記第１レンズ，前記第２レンズおよび前記第３レンズの合成焦点距離を示しており、上式（２）中、ｒ１は、前記第１レンズにおける前記光ビームの入射側屈折面の曲率半径、ｒ３は、前記第２レンズにおける前記光ビームの入射側屈折面の曲率半径を示している。
【請求項２】
請求項１記載の光走査装置であって、前記光ビームが４０５ナノメートル付近の中心波長をもつと共に、前記結像光学系は次式（２Ａ）を満たして構成される、光走査装置。
【数３】
2004029416.tif 000052
【請求項３】
請求項１記載の光走査装置であって、前記光ビームが６３５ナノメートル付近の中心波長をもつと共に、前記結像光学系は次式（２Ｂ）を満たして構成される、光走査装置。
【数４】
2004029416.tif 000053
【請求項４】
請求項１記載の光走査装置であって、前記光ビームが７８５ナノメートル付近の中心波長をもつと共に、前記結像光学系は次式（２Ｃ）を満たして構成される、光走査装置。
【数５】
2004029416.tif 000054
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載の光走査装置であって、
前記第１レンズ、前記第２レンズおよび前記第３レンズは、次式（３）で定義される部分アッベ数νに基づいて次式（４）を満たす光学材料で構成される、光走査装置。
【数６】
2004029416.tif 000055
【数７】
2004029416.tif 000056
ここで、上式（３）中、ＮＡは、前記光ビームの使用波長域の中心波長に対する屈折率、ＮＭＩＮは、前記光ビームの使用波長域の下限値に対する屈折率、ＮＭＡＸは、前記光ビームの使用波長域の上限値に対する屈折率を示しており、上式（４）中、νｐｓは、前記第２レンズおよび前記第３レンズの部分アッベ数、νｎｇは、前記第１レンズの部分アッベ数を示している。
【請求項６】
請求項５記載の光走査装置であって、４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（４Ａ）を満たして構成される、光走査装置。
【数８】
2004029416.tif 000057
【請求項７】
請求項５記載の光走査装置であって、６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（４Ｂ）を満たして構成される、光走査装置。
【数９】
2004029416.tif 000058
【請求項８】
請求項５記載の光走査装置であって、７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（４Ｃ）を満たして構成される、光走査装置。
【数１０】
2004029416.tif 000059
【請求項９】
請求項１〜８の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記結像光学系は次式（５）を満たして構成される、光走査装置。
【数１１】
2004029416.tif 000060
ここで、上式（５）中、ｆ１は、前記第１レンズの焦点距離を示している。
【請求項１０】
請求項９記載の光走査装置であって、４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記結像光学系は次式（５Ａ）を満たして構成される、光走査装置。
【数１２】
2004029416.tif 000061
【請求項１１】
請求項９記載の光走査装置であって、６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記結像光学系は次式（５Ｂ）を満たして構成される、光走査装置。
【数１３】
2004029416.tif 000062
【請求項１２】
請求項９記載の光走査装置であって、７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記結像光学系は次式（５Ｃ）を満たして構成される、光走査装置。
【数１４】
2004029416.tif 000063
【請求項１３】
請求項１〜１２の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記結像光学系は次式（６）を満たして構成される、光走査装置。
【数１５】
2004029416.tif 000064
ここで、上式（６）中、ｆ３は、前記第３レンズの焦点距離を示している。
【請求項１４】
請求項１〜１３の何れか１項に記載の光走査装置であって、
前記光源と前記光偏向器との間の光路上に、前記光源から発せられた光ビームを前記光偏光器の回転軸方向にのみ集束させて当該光偏光器の反射面上に結像させる結像光学系が更に配設されると共に、
前記請求項１記載の結像光学系は、前記第３レンズから出射した光ビームを、前記光偏光器の回転軸方向に集束させて前記被走査面上に結像させるアナモルフィックレンズを更に備えている、光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザー光などの光ビームを反射偏向させて走査させる光走査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、レーザープリンターやスキャナーなどの２次元画像装置は、レーザー光を精密に走査させる光走査装置を搭載している。この種の光走査装置では、レーザー光は、ガルバノミラーや回転多面鏡（ポリゴンミラー）などの光偏向器で反射偏向され、感光ドラムなどの被走査面上を走査する。光偏向器は等角速度で回転するが、被走査面上ではレーザー光を等速度で走査させなければならない。そこで、光偏向器で反射偏向したレーザー光を被走査面上で等速度で走査させる光学系としてｆθ（エフ・シータ）レンズが採用されている。ｆθレンズは、理想像高ｙに関してｙ＝ｆω（ｆ：焦点距離，ω：半画角）を満たす歪曲特性をもつ光学系である。
【０００３】
図１１および図１２は、ｆθレンズを搭載した光走査装置の従来例を示す図である。図１１は、Ｙ−Ｚ平面に沿って展開する光走査装置の概略構成図であり、図１２は、図１１に示す光走査装置を光軸に沿って展開した垂直面図である。図１１および図１２中、符号１００は光源（半導体レーザー）、１０１はコリメータレンズ、１０２はシリンドリカルレンズ、１０３はポリゴンミラー、１０４はｆθレンズ、１０５はアナモルフィックレンズ、１０６は被走査面を表している。尚、図示するＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は互いに直交する。
【０００４】
光源１００は、駆動回路（図示せず）によって直接変調されたレーザー光１０７を発振する。そのレーザー光１０７は、コリメータレンズ１０１で平行光にされ、シリンドリカルレンズ１０２で集束されて、ポリゴンミラー（回転多面鏡）１０３の反射面１０３ｒの上で線状に結像する。ポリゴンミラー１０３は回転軸１０３ｃを中心に毎分数万回転しており、ｆθレンズ１０４は、反射面１０３ｒからの入射光の等角速度運動を等速度運動に変換する光学系であるため、ポリゴンミラー１０３の反射面１０３ｒで反射した光ビームは、等角速度で偏向してＹ方向に走査する。アナモルフィックレンズ１０５は、ｆθレンズ１０４から入射した光を、主走査方向（Ｙ方向）に対する垂直方向（Ｘ方向）に集束させて被走査面１０６の上に結像させる。
【０００５】
図１１に示すように、被走査面１０６上に走査線長Ｗに亘って光ビームを走査させるため、ｆθレンズ１０４は広い全画角θをもつ必要がある。また、近年は、画像の大サイズ化が進行し、長い走査線長Ｗをもつ光走査装置が要求されている。光ビームの使用波長でのｆθレンズ１０４の焦点距離をｆで表すとき、Ｗ＝ｆθの関係式が成立する。よって、全画角θを一定のまま、走査線長Ｗを拡大しようとすれば、ｆθレンズ１０４の焦点距離ｆは大きくなる。他方、ｆθレンズ１０４の焦点距離ｆを一定のまま、走査線長Ｗを拡大しようとする場合には、その全画角θを広くしなければならない。かかる場合は、ｆθレンズ１０４の口径が大きくなり、ｆθレンズ１０４の精密加工とその光学的諸収差の補正とが難しくなり、ｆθレンズ１０４の高コスト化を招き易くなる。
【０００６】
また、近年は、光走査装置のコンパクト化も要求されている。光走査装置のコンパクト化を目指した従来技術としては、日本国特許３０２４９０６号公報に記載の光走査装置が公知である。図１３に示すように、その公報記載の光走査装置に搭載されるｆθレンズ１０４は、負のパワー（屈折力）を有する第１レンズ１１１、正のパワーを有する第２レンズ１１２および正のパワーを有する第３レンズ１１３の３群３枚で構成される。そのｆθレンズ１０４の全長Ｌ（第１レンズ１１１の光入射側の屈曲面１１１ｉと第３レンズ１１３の光出射側の屈曲面１１３ｅとの面間距離）と、焦点距離ｆとの間には、０．１００≦Ｌ／ｆ≦０．１０８の関係式が成立するため、その全長Ｌは０．１００×ｆ以上の長さになる。近年は、その全長Ｌを更に短くしても光学性能が劣化しないｆθレンズが要求されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
以上の状況に鑑みた本発明の課題は、焦点距離ｆを増して走査線長Ｗを長くしても、短い全長Ｌを有し且つ高い光学性能を有するｆθレンズを備えたコンパクトな光走査装置を提供する点にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、光源から発せられた光ビームを反射偏向させて走査させる光偏向器と、理想像高が焦点距離と半画角との積となる歪曲特性を有し、前記光偏光器で反射偏向した光ビームを被走査面上に結像させる結像光学系と、を備え、前記結像光学系は、前記光ビームの入射側から順に、負のパワーを有する第１レンズ、正のパワーを有する第２レンズおよび正のパワーを有する第３レンズを配列して構成され、且つ、次式（１）および（２）を満たして構成されることを特徴としている。
【０００９】
【数１６】
2004029416.tif 000003
【００１０】
【数１７】
2004029416.tif 000004
【００１１】
ここで、上式（１）中、Ｌは、前記第１レンズの光入射面から前記第３レンズの光出射面までの光軸方向の長さ、ｆは、前記第１レンズ，前記第２レンズおよび前記第３レンズの合成焦点距離を示しており、上式（２）中、ｒ１は、前記第１レンズにおける前記光ビームの入射側屈折面の曲率半径、ｒ３は、前記第２レンズにおける前記光ビームの入射側屈折面の曲率半径を示している。
【００１２】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の光走査装置であって、前記光ビームが４０５ナノメートル付近の中心波長をもつと共に、前記結像光学系は次式（２Ａ）を満たして構成されるものである。
【００１３】
【数１８】
2004029416.tif 000005
【００１４】
請求項３に係る発明は、請求項１記載の光走査装置であって、前記光ビームが６３５ナノメートル付近の中心波長をもつと共に、前記結像光学系は次式（２Ｂ）を満たして構成されるものである。
【００１５】
【数１９】
2004029416.tif 000006
【００１６】
請求項４に係る発明は、請求項１記載の光走査装置であって、前記光ビームが７８５ナノメートル付近の中心波長をもつと共に、前記結像光学系は次式（２Ｃ）を満たして構成されるものである。
【００１７】
【数２０】
2004029416.tif 000007
【００１８】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記第１レンズ、前記第２レンズおよび前記第３レンズは、次式（３）で定義される部分アッベ数νに基づいて次式（４）を満たす光学材料で構成されるものである。
【００１９】
【数２１】
2004029416.tif 000008
【００２０】
【数２２】
2004029416.tif 000009
【００２１】
ここで、上式（３）中、ＮＡは、前記光ビームの使用波長域の中心波長に対する屈折率、ＮＭＩＮは、前記光ビームの使用波長域の下限値に対する屈折率、ＮＭＡＸは、前記光ビームの使用波長域の上限値に対する屈折率を示しており、上式（４）中、νｐｓは、前記第２レンズおよび前記第３レンズの部分アッベ数、νｎｇは、前記第１レンズの部分アッベ数を示している。
【００２２】
請求項６に係る発明は、請求項５記載の光走査装置であって、４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（４Ａ）を満たして構成されるものである。
【００２３】
【数２３】
2004029416.tif 000010
【００２４】
請求項７に係る発明は、請求項５記載の光走査装置であって、６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（４Ｂ）を満たして構成されるものである。
【００２５】
【数２４】
2004029416.tif 000011
【００２６】
請求項８に係る発明は、請求項５記載の光走査装置であって、７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記光学材料は次式（４Ｃ）を満たして構成されるものである。
【００２７】
【数２５】
2004029416.tif 000012
【００２８】
請求項９に係る発明は、請求項１〜８の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記結像光学系は次式（５）を満たして構成されるものである。
【００２９】
【数２６】
2004029416.tif 000013
【００３０】
ここで、上式（５）中、ｆ１は、前記第１レンズの焦点距離を示している。
【００３１】
請求項１０に係る発明は、請求項９記載の光走査装置であって、４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記結像光学系は次式（５Ａ）を満たして構成されるものである。
【００３２】
【数２７】
2004029416.tif 000014
【００３３】
請求項１１に係る発明は、請求項９記載の光走査装置であって、６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記結像光学系は次式（５Ｂ）を満たして構成されるものである。
【００３４】
【数２８】
2004029416.tif 000015
【００３５】
請求項１２に係る発明は、請求項９記載の光走査装置であって、７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ前記光ビームに対して、前記結像光学系は次式（５Ｃ）を満たして構成されるものである。
【００３６】
【数２９】
2004029416.tif 000016
【００３７】
請求項１３に係る発明は、請求項１〜１２の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記結像光学系は次式（６）を満たして構成されるものである。
【００３８】
【数３０】
2004029416.tif 000017
【００３９】
ここで、上式（６）中、ｆ３は、前記第３レンズの焦点距離を示している。
【００４０】
そして、請求項１４に係る発明は、請求項１〜１３の何れか１項に記載の光走査装置であって、前記光源と前記光偏向器との間の光路上に、前記光源から発せられた光ビームを前記光偏光器の回転軸方向にのみ集束させて当該光偏光器の反射面上に結像させる結像光学系が更に配設されると共に、前記請求項１記載の結像光学系は、前記第３レンズから出射した光ビームを、前記光偏光器の回転軸方向に集束させて前記被走査面上に結像させるアナモルフィックレンズを更に備えて構成されたものである。
【００４１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００４２】
光走査装置の全体構成．
図１は、本発明の実施の形態に係る光走査装置の全体構成を示す概略図である。尚、図示するＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は互いに直交する。図１には、紙面に平行なＹ−Ｚ平面に沿って展開している光走査装置の概略構成が表示されている。また、図２は、図１に示す光走査装置を光軸に沿って展開した垂直面図である。
【００４３】
この光走査装置は、コリメータレンズ２とシリンドリカルレンズ３とからなる第１結像光学系、平面鏡４、回転多面鏡を有する光偏向器（ポリゴンミラー）５、そして、ｆθレンズ６とアナモルフィックレンズ１０とからなる第２結像光学系を備えて構成されている。本実施の形態では、光偏向器５としてポリゴンミラーを採用するが、本発明ではそれに限らずガルバノミラーなどを採用してもよい。
【００４４】
半導体レーザーからなる光源１は、所定の中心波長をもつ光ビーム１２を発振してコリメータレンズ２に向けて出力する。第１結像光学系において、コリメータレンズ２は、入射する光ビーム１２を平行光に屈折させる。次いで、シリンドリカルレンズ３は、コリメータレンズ２からの入射光１２ａを、光偏向器５の回転軸方向（Ｘ方向）にのみ集束させる。シリンドリカルレンズ３から出射した光ビーム１２ｂは、平面鏡４で反射した後に光偏向器５の反射面５ｒ上で線状に結像する。
【００４５】
前記光偏向器５の反射面５ｒは回転軸５ｃに対して平行に加工されている。その反射面５ｒは、回転軸５ｃを中心軸として右回りに等角速度で高速回転しており、その反射面５ｒで反射した光ビーム１２ｃを、ｆθレンズ６の光軸方向（Ｚ方向）に直交するＹ方向に偏向させ走査させる。また、第２結像光学系を構成するｆθレンズ６は、理想像高ｙが焦点距離ｆと半画角ωとの積になる歪曲特性を有しており、等角速度で偏向して入射する光ビーム１２ｃを主走査方向（Ｙ方向）へ等速度で走査させる。
【００４６】
そして、アナモルフィックレンズ１０は、ｆθレンズ６から入射した光ビーム１２ｄを、主走査方向（Ｙ方向）に直交し且つｆθレンズ６の光軸に直交する副走査方向（Ｘ方向）に集束させて被走査面１１上に結像させる。このアナモルフィックレンズ１０は、光偏向器５の反射面５ｒの垂直度のズレによって生ずる反射光の倒れを補正（面倒れ補正）する特性と、後述するサジッタル像面の湾曲を補正する特性とを備えている。光偏向器５には複数の反射面が断面多角形状に形成されている。各反射面は、加工精度のバラツキによって回転軸５ｃの方向から径方向に僅かに倒れることがある。その反射面の倒れによって、ｆθレンズ６に入射する光ビーム１２ｃの偏向方向はＸ方向へ僅かにずれてしまう。本実施の形態では、図２に示すように、副走査方向に光ビームを集束させるアナモルフィックレンズ１０を導入しているため、光偏向器５の反射面５ｒと被走査面１１上の最終像面とが光学的に共役な関係になる。よって、反射面５ｒの倒れによって光ビーム１２ｃの進行方向が若干ずれたとしても、反射面５ｒと共役な結像点に光ビームを走査させることができ、光ビームを等速度（等ピッチ）で精密に走査させることが可能となる。
【００４７】
また、前記ｆθレンズ６によって、メリディオナル像面およびサジッタル像面にて湾曲像面が生じる。一般に、ｆθレンズ６の光軸と主光線とを含む平面（メリディオナル平面）上の光束によって、メリディオナル光束が定義される。本光走査装置では、メリディオナル平面は、ｆθレンズ６の光軸を含み主走査方向（Ｙ方向）に平行なＹ−Ｚ平面であり、メリディオナル像面は、そのメリディオナル平面上のメリディオナル光束によって形成される像面である。また、主光線を含みメリディオナル光束に垂直な光束によってサジッタル光束が定義される。サジッタル像面は、そのサジッタル光束によって形成される像面として定義される。後述するように、本実施の形態に係るｆθレンズ６はそのメリディオナル像面の湾曲を補正する光学性能を有する。また、アナモルフィックレンズ１０は、主走査方向（Ｙ方向）における屈折力と副走査方向（Ｘ方向）における屈折力とが異なるレンズであって、入射する光ビームを副走査方向へ集束させ結像させると共に、そのサジッタル像面の湾曲を補正する光学性能を有する。このようなアナモルフィックレンズ１０としては、特開平３−２４９７２２号公報記載の「光ビーム走査装置」のアナモルフィックレンズを採用すればよい。
【００４８】
本実施の形態では、アナモルフィックレンズ１０とｆθレンズ６とは分離されているが、本発明ではこれに限らず、アナモルフィックレンズ１０をｆθレンズ６の一部構成要素としてｆθレンズ６と一体化してもよい。
【００４９】
また、図１に示すように、第１結像光学系においてコリメータレンズ２からシリンドリカルレンズ３へ向かう光ビーム１２ａは、第２結像光学系におけるｆθレンズ６とアナモルフィックレンズ１０との間の光路を横断して平面鏡４に到達して反射し、光偏向器５の鏡面上に結像する。第１結像光学系と第２結像光学系をそのように配置することで、光走査装置内の限られたスペースにおいて必要な光路長を確保できるため、光走査装置をコンパクトに設計できる。また、ｆθレンズ６の全長Ｌが短い程に設計上の自由度が増すため、光走査装置をコンパクト化し易くなる。
【００５０】
ｆθレンズの構成．
図３は、上記ｆθレンズ６の概略断面図である。このｆθレンズ６は、光ビームの入射側から順に、負のパワーを有する第１レンズ７、正のパワーを有する第２レンズ８、および正のパワーを有する第３レンズ９の３群３枚で構成されている。ここで、レンズのパワー（屈折力）は、当該レンズの焦点距離の逆数（＝１／ｆ）として定義される。
【００５１】
このｆθレンズ６は、光軸方向に全長Ｌの寸法を有する。具体的には、全長Ｌは、第１レンズ７の光ビーム入射側の屈折面Ｓ１の光軸上の点Ｐｉと、第３レンズ９の光ビーム出射側の屈折面Ｓ６の光軸上の点Ｐｅとの間の距離である。今、ｆθレンズ６の焦点距離、すなわち第１レンズ〜第３レンズの合成焦点距離をｆと定めるとき、このｆθレンズ６は次の条件式（１）を満たすように構成される。
【００５２】
【数３１】
2004029416.tif 000018
【００５３】
上式（１）を満たすことで、焦点距離ｆに比べて非常に小さな全長Ｌをもつｆθレンズ６を作製できる。
【００５４】
今、ｒ１：第１レンズ７の光ビーム入射側の屈折面Ｓ１の曲率半径、ｒ３：第３レンズ９の光ビーム出射側の屈折面Ｓ６の曲率半径、と定めるとき、ｆθレンズ６は、更に、次の条件式（２）を満たすように構成される。
【００５５】
【数３２】
2004029416.tif 000019
【００５６】
上式（２）を満たすことで、メリディオナル像面の湾曲補正が可能となる。すなわち、比率ｒ１／ｒ３が上式（２）の上限値（＝０．２６）を超えると、メリディオナル像面は軸上像点に対してプラス側に湾曲しオーバー（補正過剰）となる。他方、比率ｒ１／ｒ３が上式（２）の下限値（＝０．１０）未満では、メリディオナル像面は軸上像点に対してマイナス側に湾曲しアンダー（補正不足）となる。従って、比率ｒ１／ｒ３を上式（２）で規定される数値範囲に収めることで、メリディオナル像面を適性に平坦化できる。例えば、レーザープリンターの分野では、高解像度の画像を得るために、被走査面１１を走査する光ビームのスポット径は小さいことが望ましい。像面湾曲の補正により、被走査面１１上を走査する光ビームのスポット径を均一に抑えることができる。
【００５７】
また、第１レンズ７、第２レンズ８および第３レンズ９の光学材料としては、部分アッベ数νで規定する硝材または光学プラスチック材を選定するのが好ましい。部分アッベ数νは、次式（３）で定義される。
【００５８】
【数３３】
2004029416.tif 000020
【００５９】
上式（３）中、ＮＡ：光ビームの中心波長に対するレンズの屈折率、ＮＭＩＮ：光ビームの使用波長域の下限値（最小波長）に対するレンズの屈折率、ＮＭＡＸ：前記光ビームの使用波長域の上限値（最大波長）に対するレンズの屈折率、を示している。部分アッベ数νの分母は、光ビームの最大波長と最小波長間の波長変化に対する屈折率変化を表しており、部分アッベ数νは、その屈折率変化に対する屈折率ＮＡの割合を表している。部分アッベ数νが小さい程に光学材料の分散性は高くなり、部分アッベ数νが大きい程に光学材料の分散性は低くなる。
【００６０】
負のパワーをもつ第１レンズ７の部分アッベ数νｎｇと、正のパワーをもつ第２レンズ８および第３レンズ９の部分アッベ数νｐｓとの間には、次の条件式（４）が成立することが好ましい。
【００６１】
【数３４】
2004029416.tif 000021
【００６２】
色収差には、軸上色収差（光ビームの波長によって異なる光軸上の結像位置の差）と、倍率色収差（光ビームの波長によって異なる像高方向の結像位置の差）とが存在する。第１レンズ７の光学材料の分散性を、第２レンズ８および第３レンズ９の光学材料のそれよりも高く選定し、比率νｐｓ／νｎｇを上式（４）で規定する数値範囲内に収めることで、ｆθレンズ６の軸上色収差を許容範囲内に補正することが可能となる。
【００６３】
また、上記ｆθレンズ６の湾曲収差を補正すべく、上記第１レンズ７の焦点距離ｆ１（＜０）について次の条件式（５）が成立することが好ましい。
【００６４】
【数３５】
2004029416.tif 000022
【００６５】
上式（５）を満たすことで、メリディオナル像面の湾曲を更に適性に補正することが可能となる。すなわち、比率｜ｆ１｜／ｆが上式（５）の上限値（＝０．３３）を超えると、メリディオナル像面は軸上像点に対してプラス側に湾曲しオーバー（補正過剰）となる。他方、比率｜ｆ１｜／ｆが上式（５）の下限値（＝０．２６）未満では、メリディオナル像面は軸上像点に対してマイナス側に湾曲しアンダー（補正不足）となる。従って、比率｜ｆ１｜／ｆを上式（５）で規定される数値範囲に収めることで、メリディオナル像面を適性に平坦化できる。
【００６６】
更に、被走査面１１に結像される光ビームの走査特性（リニアリティ）を向上させるために、上記第３レンズ９の焦点距離ｆ３（＞０）について次の条件式（６）が成立することが望ましい。
【００６７】
【数３６】
2004029416.tif 000023
【００６８】
上式（６）は、ｆθレンズ６の焦点距離ｆに対する、第３レンズ９の焦点距離ｆ３の比率ｆ３／ｆを所定範囲内に収めることを示している。すなわち、比率ｆ３／ｆが上式（６）の上限値（＝０．６６）を超えると、被走査面１１における光ビームの走査速度は、中心部に比べて周辺部に行く程に遅くなり、比率ｆ３／ｆが上式（６）の下限値（＝０．４１）未満では、その走査速度は、中心部に比べて周辺部に行く程に速くなるという現象が生じる。従って、上の条件式（６）を満たす場合は、走査速度の時間変化は許容範囲内に抑えられ、光ビームを等ピッチで精密走査させることができ、画質の向上が可能となる。
【００６９】
以上の構成を有するｆθレンズ６のより具体的な形態を以下に説明する。
【００７０】
第１の実施の形態．
以下、第１の実施の形態に係るｆθレンズ６について説明する。ｆθレンズ６は、中心波長４０５ｎｍ、最大波長４１０ｎｍおよび最小波長４００ｎｍの使用波長域をもつ光ビームについて好適となるように設計される。特にその使用波長域について光学性能を最適化するために、ｆθレンズ６は、次の条件式（２Ａ），（４Ａ）および（５Ａ）を満たすことが好ましい。
【００７１】
【数３７】
2004029416.tif 000024
【００７２】
【数３８】
2004029416.tif 000025
【００７３】
【数３９】
2004029416.tif 000026
【００７４】
本実施の形態に係るｆθレンズ６の実施例を以下に説明する。表１に、本実施例のｆθレンズ６の焦点距離ｆと、Ｆ値（Ｆナンバー）と、光源１で発振されるレーザ光の使用波長域とを示す。
【００７５】
【表１】
2004029416.tif 000027
【００７６】
図３に示すように、第１レンズ７，第２レンズ８および第３レンズ９は屈曲面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６を有する。今、屈曲面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６の曲率半径を、それぞれ、ｒ（１），ｒ（２），ｒ（３），ｒ（４），ｒ（５），ｒ（６）で示し、第ｉ屈曲面Ｓｉ（ｉ：１〜５の整数）と第ｉ＋１屈曲面Ｓｉ＋１との間の光軸上の面間距離をｄ（ｉ）で示すものとする。屈折面Ｓ１〜Ｓ６に関する面間距離ｄ（ｉ）の総和はｆθレンズ６の全長Ｌに等しい。また、第１レンズ７，第２レンズ８および第３レンズ９のｄ線での屈折率を、それぞれｎｄ（１），ｎｄ（３）およびｎｄ（５）で示し、第１レンズ７，第２レンズ８および第３レンズ９のｄ線のアッベ数を、それぞれνｄ（１），νｄ（３）およびνｄ（５）で示すものとする。このとき、ｆθレンズ６の光学特性を示す諸量は、以下の表２の通りである。
【００７７】
【表２】
2004029416.tif 000028
【００７８】
表２の中でｒ（２）＝ｒ（５）＝∞である。これは、第２屈曲面Ｓ２と第５屈曲面Ｓ５が曲率ゼロのフラット形状を有することを意味する。
【００７９】
また、上述の条件式（１），（２），（４），（５），（６）で使用した各種比率の数値を以下に示す。
【００８０】
【数４０】
2004029416.tif 000029
【００８１】
但し、Ｎｐｓ：第２レンズ８および第３レンズ９の中心波長４０５ｎｍに対する屈折率、Ｎｐｓ１：第２レンズ８および第３レンズ９の最大波長４１０ｎｍに対する屈折率、Ｎｐｓ２：第２レンズ８および第３レンズ９の最小波長４００ｎｍに対する屈折率、Ｎｎｇ：第１レンズ７の中心波長４０５ｎｍに対する屈折率、Ｎｎｇ１：第１レンズ７の最大波長４１０ｎｍに対する屈折率、Ｎｎｇ２：第１レンズ７の最小波長４００ｎｍに対する屈折率、を示している。
【００８２】
本実施例では、前記比率Ｌ／ｆ，ｒ１／ｒ３，νｐｓ／νｎｇ，｜ｆ１｜／ｆおよびｆ３／ｆの数値は、条件式（１），（２Ａ），（４Ａ），（５Ａ），（６）を満たすことが分かる。
【００８３】
以上の光学特性を有するｆθレンズ６の球面収差（縦収差）を測定した。図４は、３波長（４０５ｎｍ，４００ｎｍ，４１０ｎｍ）の光ビームに関する球面収差図である。ｆθレンズ６で屈折した光ビームが光軸と交わる点は、入射瞳に入る高さ（入射瞳半径）によって異なる。図４の球面収差図の縦軸は、入射瞳半径の端を”１”に規格化した瞳座標を示しており、その横軸は、ｆθレンズ６で屈折した光ビームが光軸と交わる位置すなわち球面収差ΔＳ２（単位：ミリメートル）を示している。また、収差曲線２０ｃ，２０ｕ，２０ｄは、それぞれ、波長４０５ｎｍ，４１０ｎｍ，４００ｎｍの光ビームに対応する曲線である。また、図４に、瞳座標がゼロの値をとる付近の収差曲線２０ｃ，２０ｕ，２０ｄの部分拡大図２２と、瞳座標が”１”の値をとる付近の収差曲線２０ｃ，２０ｕ，２０ｄの部分拡大図２３とを示す。
【００８４】
図４に示す球面収差ΔＳ２の測定結果から、中心波長４０５ｎｍと最大波長４１０ｎｍとの間の軸上色収差は０．０１８ｍｍ、最大波長４１０ｎｍと最小波長４００ｎｍとの間の軸上色収差は０．００６６ｍｍであり、軸上色収差が適性に補正されていることが分かった。
【００８５】
また、本実施例のｆθレンズ６の非点収差（縦収差）を測定した。図５は、中心波長４０５ｎｍの光ビームに関する非点収差図である。図５に示す収差図の横軸は、メリディオナル像面およびサジッタル像面の軸上像点からのズレΔＳ３（単位：ミリメートル）を示し、その縦軸は半画角ω（単位：°）を示している。また、図５中、符号２１Ｍは、メリディオナル像面の収差曲線、２１Ｓは、サジッタル像面の収差曲線を示している。図５により、メリディオナル像面は比較的平坦に補正されていることが分かる。
【００８６】
また、本実施例のｆθレンズ６の走査特性の指標となるｆθ特性を測定したところ、ｆθ特性は０．３３％であり、良好な数値が得られた。ｆθ特性は、以下の手順Ａ〜Ｅによって測定される。
【００８７】
手順Ａ：ｆθレンズ６の全画角θを１０等分して、光偏向器５の平均回転角度＜θ＞を計算する。＜θ＞＝θ／１０／２である。図６に示すように、光偏向器５の平均回転角度＜θ＞に対して、入射光１５は光偏向器５で反射し、光ビーム１６から光ビーム１６’へ角度変化２×＜θ＞で偏向する。また、光ビームが被走査面１１上を等速度で走査する理想状態では、その平均回転角度＜θ＞に対する光ビームの走査距離は、Ｗ／１０となる（Ｗ＝ｆθ：走査線長）。
【００８８】
手順Ｂ：光偏向器５が平均回転角度＜θ＞づつ回転する各時点で、被走査面１１上の光ビームの照射位置を測定する。１回の走査開始から走査終了までの期間に、１１点の照査位置Ｙ１〜Ｙ１１が測定される。光ビームが被走査面１１上を等速度で走査する理想状態では、被走査面１１上の走査開始位置をＹ１とすれば、Ｙ２＝Ｙ１＋Ｗ／１０，Ｙ３＝Ｙ２＋Ｗ／１０，…，Ｙｎ＋１＝Ｙｎ＋Ｗ／１０，Ｙ１１＝Ｙ１０＋Ｗ／１０、となる。
【００８９】
手順Ｃ：各照査位置間の測定距離Ｙｎ＋１−Ｙｎ（ｎ＝１〜１０）を計算する。この測定距離Ｙｎ＋１−Ｙｎは各照査位置間における光ビームの走査速度に略比例すると考えられる。
【００９０】
手順Ｄ：理想状態での照射位置間距離Ｗ／１０に対する測定距離Ｙｎ＋１−Ｙｎの比率Ｄｎを計算する。すなわち、比率Ｄｎ（ｎ＝１〜１０）は次式（７）に従って計算される。
【００９１】
【数４１】
2004029416.tif 000030
【００９２】
手順Ｅ：比率Ｄｎ（ｎ＝１〜１０）の最大値をＤｍａｘ、その最小値をＤｍｉｎ、比率Ｄｎの算術平均値をＤａｖｅで表すとき、ｆθ特性（単位：パーセント）は次式（８）に従って算出される。
【００９３】
【数４２】
2004029416.tif 000031
【００９４】
ｆθ特性の値が小さい程に、ｆθレンズ６のリニアリティは良好になり、光ビームを等ピッチで走査させることができる。
【００９５】
以下の表３に、上記した照射位置Ｙｎ、距離Ｙｎ＋１−Ｙｎおよび比率Ｄｎの測定値を示す。
【００９６】
【表３】
2004029416.tif 000032
【００９７】
また、以下の表４に、表３に掲げた測定値を用いて算出した比率Ｄｎの最大値Ｄｍａｘ、最小値Ｄｍｉｎ、平均値Ｄａｖｅおよびｆθ特性の値を示す。
【００９８】
【表４】
2004029416.tif 000033
【００９９】
第２の実施の形態．
次に、第２の実施の形態に係るｆθレンズ６について説明する。ｆθレンズ６は、中心波長６３５ｎｍ、最大波長６４５ｎｍおよび最小波長６２５ｎｍの使用波長域をもつ光ビームについて好適となるように設計される。特にその使用波長域について光学性能を最適化するために、ｆθレンズ６は、次の条件式（２Ｂ），（４Ｂ）および（５Ｂ）を満たすことが好ましい。
【０１００】
【数４３】
2004029416.tif 000034
【０１０１】
【数４４】
2004029416.tif 000035
【０１０２】
【数４５】
2004029416.tif 000036
【０１０３】
本実施の形態に係るｆθレンズ６の実施例を以下に説明する。表５に、本実施例のｆθレンズ６の焦点距離ｆと、Ｆ値（Ｆナンバー）と、光源１で発振されるレーザー光の使用波長域とを示す。
【０１０４】
【表５】
2004029416.tif 000037
【０１０５】
また、本実施例のｆθレンズ６の光学特性を示す諸量は、以下の表６の通りである。
【０１０６】
【表６】
2004029416.tif 000038
【０１０７】
また、上述の条件式（１），（２），（４），（５），（６）で使用した各種比率の数値を以下に示す。
【０１０８】
【数４６】
2004029416.tif 000039
【０１０９】
但し、Ｎｐｓ：第２レンズ８および第３レンズ９の中心波長６３５ｎｍに対する屈折率、Ｎｐｓ１：第２レンズ８および第３レンズ９の最大波長６４５ｎｍに対する屈折率、Ｎｐｓ２：第２レンズ８および第３レンズ９の最小波長６２５ｎｍに対する屈折率、Ｎｎｇ：第１レンズ７の中心波長６３５ｎｍに対する屈折率、Ｎｎｇ１：第１レンズ７の最大波長６４５ｎｍに対する屈折率、Ｎｎｇ２：第１レンズ７の最小波長６２５ｎｍに対する屈折率、を示している。
【０１１０】
本実施例では、前記比率Ｌ／ｆ，ｒ１／ｒ３，νｐｓ／νｎｇ，｜ｆ１｜／ｆおよびｆ３／ｆの数値は、条件式（１），（２Ｂ），（４Ｂ），（５Ｂ），（６）を満たすことが分かる。
【０１１１】
以上の光学特性を有するｆθレンズ６の軸上色収差、非点収差およびｆθ特性を、使用波長域を除いて上記第１の実施の形態と同様な方法で測定した。
【０１１２】
図７は、３波長（６２５ｎｍ，６３５ｎｍ，６４５ｎｍ）の光ビームに関するｆθレンズ６の球面収差図である。図７に示す収差図には、中心波長６３５ｎｍに対する収差曲線３０ｃと、最大波長６４５ｎｍに対する収差曲線３０ｕと、最小波長６２５ｎｍに対する収差曲線３０ｄとがプロットされている。また、図７に、瞳座標がゼロの値をとる付近の収差曲線３０ｃ，３０ｕ，３０ｄの部分拡大図３２と、瞳座標が”１”の値をとる付近の収差曲線３０ｃ，３０ｕ，３０ｄの部分拡大図３３とを示す。図７に示す球面収差ΔＳ２の測定結果から、最大波長６４５ｎｍと最小波長６２５ｎｍとの間の軸上色収差は０．０５２８ｍｍであり、軸上色収差が適性に補正されていることが分かった。
【０１１３】
また、図８は、中心波長６３５ｎｍの光ビームに関する非点収差図である。図８中、符号３１Ｓは、サジッタル像面の収差曲線、３１Ｍは、メリディオナル像面の収差曲線を示している。図８により、メリディオナル像面は比較的平坦に補正されていることが分かる。
【０１１４】
また、本実施例のｆθレンズ６のｆθ特性は０．２５％であり、良好な数値が得られた。以下の表７に、上記した照射位置Ｙｎ、距離Ｙｎ＋１−Ｙｎおよび比率Ｄｎの測定値を示す。
【０１１５】
【表７】
2004029416.tif 000040
【０１１６】
また、以下の表８に、表７に掲げた測定値を用いて算出した比率Ｄｎの最大値Ｄｍａｘ、最小値Ｄｍｉｎ、平均値Ｄａｖｅおよびｆθ特性の値を示す。
【０１１７】
【表８】
2004029416.tif 000041
【０１１８】
第３の実施の形態．
次に、第３の実施の形態に係るｆθレンズ６について説明する。ｆθレンズ６は、中心波長７８５ｎｍ、最大波長８００ｎｍおよび最小波長７７０ｎｍの使用波長域をもつ光ビームについて好適となるように設計される。特にその使用波長域について光学性能を最適化するために、ｆθレンズ６は、次の条件式（２Ｃ），（４Ｃ）および（５Ｃ）を満たすことが好ましい。
【０１１９】
【数４７】
2004029416.tif 000042
【０１２０】
【数４８】
2004029416.tif 000043
【０１２１】
【数４９】
2004029416.tif 000044
【０１２２】
本実施の形態に係るｆθレンズ６の実施例を以下に説明する。表９に、本実施例のｆθレンズ６の焦点距離ｆと、Ｆ値（Ｆナンバー）と、光源１で発振されるレーザー光の使用波長域とを示す。
【０１２３】
【表９】
2004029416.tif 000045
【０１２４】
また、本実施例のｆθレンズ６の光学特性を示す諸量は、以下の表１０の通りである。
【０１２５】
【表１０】
2004029416.tif 000046
【０１２６】
また、上述の条件式（１），（２），（４），（５），（６）で使用した各種比率の数値を以下に示す。
【０１２７】
【数５０】
2004029416.tif 000047
【０１２８】
但し、Ｎｐｓ：第２レンズ８および第３レンズ９の中心波長７８５ｎｍに対する屈折率、Ｎｐｓ１：第２レンズ８および第３レンズ９の最大波長８００ｎｍに対する屈折率、Ｎｐｓ２：第２レンズ８および第３レンズ９の最小波長７７０ｎｍに対する屈折率、Ｎｎｇ：第１レンズ７の中心波長７８５ｎｍに対する屈折率、Ｎｎｇ１：第１レンズ７の最大波長８００ｎｍに対する屈折率、Ｎｎｇ２：第１レンズ７の最小波長７７０ｎｍに対する屈折率、を示している。
【０１２９】
本実施例では、前記比率Ｌ／ｆ，ｒ１／ｒ３，νｐｓ／νｎｇ，｜ｆ１｜／ｆおよびｆ３／ｆの数値は、条件式（１），（２Ｃ），（４Ｃ），（５Ｃ），（６）を満たすことが分かる。
【０１３０】
以上の光学特性を有するｆθレンズ６の軸上色収差、非点収差およびｆθ特性を、使用波長域を除いて上記第１の実施の形態と同様な方法で測定した。
【０１３１】
図９は、３波長（７７０ｎｍ，７８５ｎｍ，８００ｎｍ）の光ビームに関するｆθレンズ６の球面収差図である。図９に示す収差図には、中心波長７８５ｎｍに対する収差曲線４０ｃと、最大波長８００ｎｍに対する収差曲線４０ｕと、最小波長７７０ｎｍに対する収差曲線４０ｄとがプロットされている。また、図９に、瞳座標がゼロの値をとる付近の収差曲線４０ｃ，４０ｕ，４０ｄの部分拡大図４２と、瞳座標が”１”の値をとる付近の収差曲線４０ｃ，４０ｕ，４０ｄの部分拡大図４３とを示す。図９に示す球面収差ΔＳ２の測定結果から、最大波長８００ｎｍと最小波長７７０ｎｍとの間の軸上色収差は０．０９５６ｍｍであり、軸上色収差が適性に補正されていることが分かった。
【０１３２】
また、図１０は、中心波長７８５ｎｍの光ビームに関するｆθレンズ６の非点収差図である。図１０中、符号４１Ｓは、サジッタル像面の収差曲線、４１Ｍは、メリディオナル像面の収差曲線を示している。図１０により、メリディオナル像面は比較的平坦に補正されていることが分かる。
【０１３３】
また、本実施例のｆθレンズ６のｆθ特性は０．３７％であり、良好な数値が得られた。以下の表１１に、上記した照射位置Ｙｎ、距離Ｙｎ＋１−Ｙｎおよび比率Ｄｎの測定値を示す。
【０１３４】
【表１１】
2004029416.tif 000048
【０１３５】
また、以下の表１２に、表１１に掲げた測定値を用いて算出した比率Ｄｎの最大値Ｄｍａｘ、最小値Ｄｍｉｎ、平均値Ｄａｖｅおよびｆθ特性の値を示す。
【０１３６】
【表１２】
2004029416.tif 000049
【０１３７】
【発明の効果】
以上の如く、本発明の請求項１に係る光走査装置によれば、上式（１）を満たすことで、焦点距離ｆに比べて短い全長Ｌをもつコンパクトな結像光学系を構成できるため、コンパクトな光走査装置を実現できる。また、上式（２）を満たすことで、結像光学系はメリディオナル像面の湾曲を適性に補正できる。本請求項に係る発明では上式（１）および（２）の双方の条件が両立し得るため、高い光学性能を有し且つコンパクトな光走査装置の作製が可能である。
【０１３８】
請求項２によれば、特に４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームについて、メリディオナル像面の湾曲を適性に補正し得るコンパクトな結像光学系が実現可能である。
【０１３９】
請求項３によれば、特に６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームについて、メリディオナル像面の湾曲を適性に補正し得るコンパクトな結像光学系が実現可能である。
【０１４０】
請求項４によれば、特に７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームについて、メリディオナル像面の湾曲を適性に補正し得るコンパクトな結像光学系が実現可能である。
【０１４１】
請求項５によれば、上式（４）を満たすことで、軸上色収差を許容範囲内に補正し得る結像光学系が実現可能である。
【０１４２】
請求項６によれば、特に４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、軸上色収差を適性な範囲内に補正し得る結像光学系を実現できる。
【０１４３】
請求項７によれば、特に６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、軸上色収差を適性な範囲内に補正し得る結像光学系を実現できる。
【０１４４】
請求項８によれば、特に７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、軸上色収差を適性な範囲内に補正し得る結像光学系を実現できる。
【０１４５】
請求項９によれば、上式（５）を満たすことで、メリディオナル像面の湾曲を更に適性に補正し得る結像光学系を実現することが可能である。
【０１４６】
請求項１０によれば、特に４０５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、メリディオナル像面の湾曲を適性に補正し得る結像光学系が実現可能である。
【０１４７】
請求項１１によれば、特に６３５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、メリディオナル像面の湾曲を適性に補正し得る結像光学系が実現可能である。
【０１４８】
請求項１２によれば、特に７８５ナノメートル付近の中心波長をもつ光ビームに対して、メリディオナル像面の湾曲を適性に補正し得る結像光学系が実現可能である。
【０１４９】
請求項１３によれば、上式（６）を満たすことで、光ビームの走査特性を良好にし得る結像光学系が実現可能である。
【０１５０】
そして、請求項１４によれば、光偏光器の反射面の垂直度にズレが存在する場合に、そのズレによって生ずる反射光の倒れを補正できるため、光ビームを被走査面上に等ピッチで精密に走査させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る光走査装置の全体構成を示す概略図である。
【図２】図１に示す光走査装置を光軸に沿って展開した垂直面図である。
【図３】本実施の形態に係るｆθレンズの概略断面図である。
【図４】第１の実施の形態に係るｆθレンズの球面収差図である。
【図５】第１の実施の形態に係るｆθレンズの非点収差図である。
【図６】ｆθ特性を説明するための図である。
【図７】第２の実施の形態に係るｆθレンズの球面収差図である。
【図８】第２の実施の形態に係るｆθレンズの非点収差図である。
【図９】第３の実施の形態に係るｆθレンズの球面収差図である。
【図１０】第３の実施の形態に係るｆθレンズの非点収差図である。
【図１１】Ｙ−Ｚ平面に沿って展開する光走査装置の従来例を示す図である。
【図１２】図１１に示す光走査装置を光軸に沿って展開した垂直面図である。
【図１３】従来のｆθレンズを示す概略断面図である。
【符号の説明】
１　光源
２　コリメータレンズ
３　シリンドリカルレンズ
４　平面鏡
４ｒ　反射面
５　光偏向器
５ｒ　反射面
６　ｆθレンズ
７　第１レンズ
８　第２レンズ
９　第３レンズ
１０　アナモルフィックレンズ
１１　被走査面
【図１】
2004029416.tif 000065
【図２】
2004029416.tif 000066
【図３】
2004029416.tif 000067
【図４】
2004029416.tif 000068
【図５】
2004029416.tif 000069
【図６】
2004029416.tif 000070
【図７】
2004029416.tif 000071
【図８】
2004029416.tif 000072
【図９】
2004029416.tif 000073
【図１０】
2004029416.tif 000074
【図１１】
2004029416.tif 000075
【図１２】
2004029416.tif 000076
【図１３】
2004029416.tif 000077
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月11日(2003.6.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
【数４０】
2004029416.tif 000078
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
【数４６】
2004029416.tif 000079
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１５】
０
【表７】
2004029416.tif 000080
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２７】
【数５０】
2004029416.tif 000081