(57)【要約】【課題】より簡便な手段によって、大きなひずみをより少ない減面率やパス数で材料中に導入することを可能とする、新しい温間多方向圧延方法を提供し、これによる超微細結晶粒組織を有する、強度、延性に優れた鋼材を製造する。【解決手段】平均粒径３μｍ以下の超微細結晶粒組織を有する超微細粒鋼材の製造のための温間圧延方法であって、鋼材に対して圧延温度範囲が３５０℃−８００℃の温度域で２パス以上の圧延を行う際に、少くとも１回以上のオーバル形状の孔型による圧延と他形状の孔型による圧延とを行う。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
平均粒径３μｍ以下の超微細結晶粒組織を有する超微細粒鋼材の製造のための温間圧延方法であって、鋼材に対して圧延温度範囲が３５０℃−８００℃の温度域で２パス以上の圧延を行う際に、少くとも１回以上のオーバル形状の孔型による圧延と他形状の孔型による圧延とを行うことを特徴とする温間圧延方法。
【請求項２】
オーバル形状の孔型による圧延に引き続いて他形状の孔型による圧延を行うことを特徴とする請求項１の温間圧延方法。
【請求項３】
他形状の孔型が、角形、丸形の形状のものであることを特徴とする請求項１または２の温間圧延方法。
【請求項４】
全パス数：Ｎのうち、Ｎ＞２において、オーバル孔型による圧延を２回以上、最大Ｎ／２以下の回数行うことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかの温間圧延方法。
【請求項５】
連続する２パス圧延を行うことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかの温間圧延方法。
【請求項６】
孔型形状がオーバルと角の２パス圧延の２パス圧延において、素材から角形孔型圧延後の減面率を２０％以上とすることを特徴とする請求項５の温間圧延方法。
【請求項７】
孔型形状がオーバルと角の２パス圧延の組み合わせの圧延では、組み合わせ２回の圧延では減面率４０％以上、組み合わせ３回の圧延では減面率６０％以上とすることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかの温間圧延方法。
【請求項８】
オーバル孔型で圧延後の材料の最大短軸長がオーバル圧延前の素材対辺長さの７０％以下である圧延工程を含むことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかの温間圧延方法。
【請求項９】
少くとも材料内部の５０体積％の領域に塑性ひずみ１．５以上を発生させることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかの温間圧延方法。
【請求項１０】
材料内部の９０体積％以上の領域に塑性ひずみ２以上を発生させることを特徴とする請求項９の温間圧延方法。
【請求項１１】
次の（１）式で表される圧延条件パラメータＺが１１以上（圧延直前の組織がフェライト，ベイナイト，マルテンサイト，パーライトなどＦｅの結晶構造がｂｃｃである場合）あるいは２０以上（圧延直前の組織がオーステナイトでＦｅの結晶構造がｆｃｃである場合）であることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかの温間圧延方法。
【数１】
2004346420.tif 000008
ε：ひずみ
ｔ：圧延開始から終了までの時間（ｓ）
Ｔ：圧延温度（℃，多パス圧延の場合は各パスの圧延温度を平均したもの）
Ｑ：圧延直前の組織がフェライト，ベイナイト，マルテンサイト，パーライトを母相とする場合は２５４０００。オーステナイトを母相とする場合は３０００００を用いる。
【請求項１２】
初期素材と最終圧延後の減面率を９０％以下とすることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかの温間圧延方法。
【請求項１３】
Ｃ断面またはＬ断面の平均結晶粒径が３ミクロン以下である超微細粒鋼を製造することを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかの温間圧延方法。
【請求項１４】
Ｃ断面またはＬ断面の平均結晶粒径が１ミクロン以下である超微細粒鋼を製造することを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかの温間圧延方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この出願の発明は、粒径３μｍ以下の超微細結晶粒組織を有する強度・延性に優れた超微細粒鋼材の製造のための、新しい温間圧延方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
超微細粒鋼は、合金元素を添加せずに、強度を著しく上昇させることのでき、同時に、延性・脆性遷移温度も著しく低下させることができると考えられることから、この出願の発明者らも、工業的にこの超微細粒鋼を実現するために検討を進め、温間多パス圧延（文献１）方法や多方向加工（文献２）の方法を発明してきた。
【０００３】
ただ、温間多方向圧延を容易化ができれば、超微細粒鋼のより広範な使用につながるものの、発明者らの検討の過程においてもこのことは必ずしも容易ではなかった。
【０００４】
それと言うのも、技術的な難しさのひとつとして、一定以上のひずみを材料中に導入することが必要だからである。たとえば、臨界ひずみは１．５−２．３、望ましくは３程度であるが、ひずみ３の場合、減面率では９５％に相当し、大変形加工を行わねばならないのである。直径１０ｍｍの丸棒を最終製品として得ようとした場合、直径４５ｍｍから温間加工してゆく必要があり、変形抵抗が高い温間温度域でこの大ひずみを導入するためには、素材を大きくしなければならない、また、どうしても圧延パス数が多くなるという問題があった。
【０００５】
そこで、大きなひずみをより少ない減面率やパス数で材料中に導入することができれば、より容易に超微細組織を得ることができ、工業的にみて、圧延効率が高まる等多くの利点がある。
【０００６】
この出願の発明者らにおいても、これまでに、多方向圧延に関しては、アンビルで多方向から圧縮する方法（文献２）や２方向圧下圧延技術を提案してきた。しかしながら、多方向加工は、大ひずみを効率的に導入できる方法であるものの、少なくとも２方向から加工することが、一定の技術上の難しさを含んでいた。
【０００７】
【文献】
１：特開２０００−３０９８５０
２：特開２００１−２４０９１２
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、この出願の発明は、以上のとおりの背景を踏まえてなされたものであって、発明者らによるこれまでの検討から得られた知見をさらに発展させ、より簡便な手段によって、大きなひずみをより少ない減面率やパス数で材料中に導入することを可能とする、新しい温間多方向圧延方法を提供し、これによる超微細結晶粒組織を有する、強度、延性に優れた鋼材の製造方法を提供することを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この出願の発明は、上記の課題を解決するものとして、第１には、平均粒径３μｍ以下の超微細結晶粒組織を有する超微細粒鋼材の製造のための温間圧延方法であって、鋼材に対して圧延温度範囲が３５０℃−８００℃の温度域で２パス以上の圧延を行う際に、少くとも１回以上のオーバル形状の孔型による圧延と他形状の孔型による圧延とを行うことを特徴とする温間圧延方法を提供し、第２には、オーバル形状の孔型による圧延に引き続いて他形状の孔型による圧延を行うことを特徴とする温間圧延方法を提供する。
【００１０】
また、上記方法について、第３には、他形状の孔型が、角形、丸形の形状のものであることを特徴とする温間圧延方法を提供する。
【００１１】
第４には、全パス数：Ｎのうち、Ｎ＞２において、オーバル孔型による圧延を２回以上、最大Ｎ／２以下の回数行うことを特徴とする前記いずれかの温間圧延方法を、第５には、連続する２パス圧延を行うことを特徴とする前記いずれかの温間圧延方法を、第６には、孔型形状がオーバルと角の２パス圧延において、素材から角形孔型圧延後の減面率を２０％以上とすることを特徴とする温間圧延方法を、第７には、孔型形状がオーバルと角の２パス圧延の組み合わせの圧延で、組み合わせ２回の圧延では減面率４０％以上、組み合わせ３回の圧延では減面率６０％以上とすることを特徴とする温間圧延方法を提供する。
【００１２】
そして、この出願の発明は、第８には、オーバル孔型で圧延後の材料の最大短軸長がオーバル圧延前の素材対辺長さの７０％以下である圧延工程を含むことを特徴とする前記いずれかの温間圧延方法を、第９には、少くとも材料内部の５０体積％の領域に塑性ひずみ１．５以上を導入することを特徴とする前記いずれかの温間圧延方法を、第１０には、材料内部の９０体積％以上の領域に塑性ひずみ２以上を導入することを特徴とする温間圧延方法を、第１１には、次の（１）式で表される圧延条件パラメータＺが１１以上（圧延直前の組織がフェライト，ベイナイト，マルテンサイト，パーライトなどＦｅの結晶構造がｂｃｃである場合）あるいは２０以上（圧延直前の組織がオーステナイトでＦｅの結晶構造がｆｃｃである場合）であることを特徴とする温間圧延方法を、
【００１３】
【数２】
2004346420.tif 000002
ε：ひずみ
ｔ：圧延開始から終了までの時間（ｓ）
Ｔ：圧延温度（℃，多パス圧延の場合は各パスの圧延温度を平均したもの）
Ｑ：圧延直前の組織がフェライト，ベイナイト，マルテンサイト，パーライトを母相とする場合は２５４０００。オーステナイトを母相とする場合は３０００００を用いる。
【００１４】
第１２には、初期素材と最終圧延後の減面率を９０％以下とすることを特徴とする温間圧延方法を提供し、第１３には、Ｃ断面またはＬ断面の平均結晶粒径が３ミクロン以下である超微細粒鋼を製造することを特徴とする温間圧延方法を、第１４には、Ｃ断面またはＬ断面の平均結晶粒径が１ミクロン以下である超微細粒鋼を製造することを特徴とする温間圧延方法を提供する。
【００１５】
以上のとおりの特徴を有するこの出願の発明は、発明者の検討によって得られた新しい知見に基づいて完成されたものである。すなわち、従来より、棒鋼の製造方法として、孔型の溝を有するロールを用いて圧延を行うカリバー圧延が一般的であることが知られており、孔型の形状は、角形（スクエア形、ダイヤモンド型）、オーバル形、丸形に大別される。カリバー（溝ロール）圧延を温間温度域で行うことで、多パス圧延によって、超微細粒フェライト主体組織を得ることができる（文献１）。そして、オーバル孔型を用いることが、棒鋼のＬ断面（棒の長手方向の平行な断面）フェライト粒の形状の等軸化に有効であることが見出されている。
【００１６】
発明者による鋭意研究の結果、今般、オーバル孔型と角形、丸型等の他種の孔型を組み合わせたカリバー圧延を適切な温度域で行うことによって、比較的少ない減面率でも、材料中に大きなひずみを導入しえることを見出し、技術として確立することができた。
【００１７】
【発明の実施の形態】
この出願の発明は上記のとおりの特徴をもつものであるが、以下にその実施の形態について説明する。
【００１８】
この出願の発明の温間圧延方法は、前記のように、オーバル孔型と他種の孔型との圧延を組合わせることによって、平均粒径３μｍ以下の超微細結晶粒組織を有する鋼材を製造可能としている。この場合の圧延に用いる溝ロールは、オーバル孔型のものと、これとは異なる種類の孔型のものである。
【００１９】
ここでオーバル孔型の溝ロールについては、上型と下型とによって形成される孔形が、円形（丸形）ではなく、いわば円形（丸形）が偏平化された形状を有している。このオーバル孔型に組合わされる他種の孔型としては、角、菱形、丸形あるいはこれらに類似の各種のものであってよい。
【００２０】
この出願の発明においては、平均粒径３μｍ以下の超微細結晶粒組織を有する超微細粒鋼材の製造のための温間圧延方法として、鋼材に対して圧延温度範囲が３５０℃−８００℃の温度域で２パス以上の圧延を行う際に、少くとも１回以上のオーバル形状の孔型による圧延と他形状の孔型による圧延とを行う。
【００２１】
そして、実際には、オーバル形状の孔型による圧延に引き続いて他形状の孔型による圧延を行うことや、全パス数：Ｎのうち、Ｎ＞２において、オーバル孔型による圧延を２回以上、最大Ｎ／２以下の回数行うこと、連続する２パス圧延を行うこと等を好ましい形熊としている。
【００２２】
たとえばオーバル孔型と角型とを組合わせる場合には、全圧延パスのうち孔型形状がオーバル−角の組み合わせによる圧延を２回以上含むことや、また、オーバル−角−角−オーバル−角のように、オーバル−角の組み合わせの中間に角による圧延が入っていること、オーバル−角−オーバル−角の４パス、オーバル−角−オーバル−角−オーバル−角の６パスの圧延等が考慮される。もちろん、この場合でも、角は丸形状や菱形等であってもいい。
【００２３】
この出願の発明の圧延方法においては、温間加工により大きな歪を導入することによって生じたミクロな局所方位差が超微細結晶粒の起源となり、加工中あるいは加工後に起きる回復過程において、粒内の転位密度が低下すると同時に結晶粒界が形作られて超微細粒組織が形成される。ただ、温度が低いと回復が十分でないため、転位密度の高い加工組織が残存する。一方、温度が高すぎると不連続再結晶あるいは通常の粒成長により結晶粒が粗大化して３μｍ以下の超微細粒組織は得られない。それゆえに、圧延温度は３５０℃〜８００℃に限定している。
【００２４】
また、この出願の発明では、温間加工により扁平化した加工粒から超微細結晶粒が生成し、歪の増加にともなってそれが増加するが、ほぼ全体が超微細結晶粒からなる組織を得るには、少なくとも１．５の歪が必要である。
【００２５】
より具体的には、少くとも材料内部の５０体積％の領域に塑性ひずみ１．５以上、さらには２以上を導入することによって、その領域には、超微細粒を形成させることができる。望ましくは、材料内部９０％以上の領域に塑性ひずみ２以上を導入することによって、その領域には超微細粒領域を形成することができる。
【００２６】
導入するひずみが大きいほど、微細粒間の方位差角は大きくなる。すなわち、大角粒界が多くなる。ひずみ３が導入できると、微細粒の粒界に大角粒界の割合が十分となる。したがって、ひずみ３以上の領域が全断面の５０％以上、望ましくは８０％以上あれば、力学的性質の優れた棒鋼ができあがる。
【００２７】
また、主たる圧下方向の加工に加え、それとおおよそ９０°の角度をなす別の方向からの圧下を組み合わせて、少なくとも２方向からの加工歪を与えることによって、超微細結晶粒の方位を分散して大角粒界の割合を増加することができる。
【００２８】
そして、発明者らのこれまでの研究により、温間強加工によって形成される超微細粒の平均粒径は、加工温度と歪速度に依存することが明らかになった。結晶粒径は、加工温度と歪速度の関数である前記の式（１）の圧延条件パラメータＺの増加にともなって微細化する。平均粒径１μｍ以下の組織を得るには、圧延条件パラメータＺをある臨界値以上にする必要がある。小型試料を用いた１パス大歪圧縮加工による実験の結果、その臨界値はｂｃｃ構造の鉄（フェライト、ベイナイト、マルテンサイト、パーライト等）の場合はおよそ１１、ｆｃｃ構造（オーステナイト）の場合はおよそ２０になることがわかった（図１７）。
【００２９】
なお、式（１）におけるひずみ（ε）は、工業的に簡便なひずみである真ひずみでよい。たとえば、棒鋼の初期面積をＳｏ、圧延後のＣ断面面積をＳとすると、減面率Ｒは
Ｒ＝（Ｓｏ−Ｓ）／Ｓｏ          （２）
で表される。すると、真ひずみε
ε＝−Ｌｎ（１−Ｒ）
で表される。また、真ひずみに代わり、有限要素法により計算されるもの（たとえば、春海佳三郎、他「有限要素法入門」（共立出版（株）：１９９０年３月１５日）でもよい。より具体的には、塑性ひずみの計算は、次の表１のフロートによって行うことができる。
【００３０】
【表１】
2004346420.tif 000003
【００３１】
この出願の発明の温間圧延方法では、以上のことから、パラメータＺが１１以上（ｂｃｃ構造）または２０以上（ｆｃｃ構造）となるように圧延の条件が設定されることが望ましい。
【００３２】
また、この出願の発明においては、好適な形態として、素材のオーバル孔型圧延と角形孔型圧延の２パス圧延において、孔型形状がオーバルと角の２パス圧延で、減面率を２０％以上とすることや、孔型形状がオーバルと角の２パス圧延の組み合わせ２回の圧延では４０％以上、組み合わせ３回の圧延では６０％以上とすること、オーバル孔型で圧延後の材料の最大短軸長がオーバル圧延前の素材対辺長さの７０％以下である圧延工程を含むことを例示することができる。
【００３３】
そして、この出願の発明の温間圧延法が適用できる鋼材の組成に関しては、相変態による高強度化の機構を全く利用せず、強度を高めるための合金元素の添加を必要としないために鋼の組成が制限されることがなく、たとえば、フェライト単相鋼や、オーステナイト単相鋼等のような相変態の存在しない鋼種等の、広い成分範囲の鋼材を用いることができる。より具体的には、たとえば、組成が、重量％で、
Ｃ：０．００１％以上１．２％以下、
Ｓｉ：０．１％以上２％以下、
Ｍｎ：０．１％以上３％以下、
Ｐ：０．２％以下、
Ｓ：０．２％以下、
Ａｌ：１．０％以下、
Ｎ：０．０２％以下、
Ｃｒ，Ｍｏ，Ｃｕ，Ｎｉが合計で３０％以下、
Ｎｂ，Ｔｉ，Ｖが合計で０．５％以下、
Ｂ：０．０１以下、
残部Ｆｅおよび不可避的不純物といった、合金元素が添加されていない組成のものを１つの例として示すことができる。もちろん、上記のＣｒ，Ｍｏ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｎｂ，Ｔｉ，Ｖ，Ｂ等の合金元素は、必要に応じて上記の範囲を超えて添加することも可能であるし、逆に全く含まれていなくてもよい。
【００３４】
そこで以下に実施例を示し、さらに詳しく説明する。もちろん、以下の例によって発明が限定されることはない。
【００３５】
【実施例】
次の表２は、実施例において用いられた供試鋼の化学組成（残部はＦｅ）を示したものである。
【００３６】
【表２】
2004346420.tif 000004
【００３７】
＜実施例１＞
表２ａの組成を有する平均フェライト粒径５ミクロンのフェライト＋パーライト組織をもつ２４ｍｍ角の棒鋼を、圧延温度５２０−４５０℃で、図１に示す孔型を用いた６パスカリバー圧延を行った。この図１における孔型寸法（ｍｍ）の概要は次の表３のとおりである。
【００３８】
【表３】
2004346420.tif 000005
【００３９】
図２に圧延各パスごとの断面形状変化と減面率を示す。素材２４×２４ｍｍの角棒が、１パス目のオーバル孔型で圧延された時の減面率は３７％、２パス目の角孔型で圧延された時の減面率は２１％、３パス目のオーバル孔型で圧延された時の減面率は１５％、４パス目の角孔型で圧延された時の減面率は２４％、５パス目のオーバル孔型で圧延された時の減面率は１３％、６パス目の角孔型で圧延された時の減面率は１２％である。また、素材から２パス目の１７ｍｍの角棒への減面率は４４％、素材から４パス目の１３ｍｍの角棒への減面率は７１％、素材から２パス目の１７ｍｍの角棒への減面率は８０％である。
【００４０】
図３〜図９には、有限要素法により計算された材料内部の塑性ひずみ分布を示す。図５より、オーバル−角の２パス圧延で、すでに材料内部に塑性ひずみ１．５を越えるような領域が存在していることがわかる。その面積率は７５％である。図６に示すように、オーバル−角−オーバルの３パス圧延後には、塑性ひずみ２以上の領域が全体の９２％を占め、さらに、図７に示すオーバル−角−オーバル−角の４パス圧延後には、塑性ひずみ３以上の領域が全体の９５％を占めていることがわかる。さらに、図９のオーバル−丸と圧延を行うと、１００％の領域で塑性ひずみ３以上となる。
【００４１】
２パス後の減面率は約４９％（減面率Ｒを単純に真ひずみｅになおすとｅ＝−ｌｎ（１−Ｒ／１００）より、ｅ＝０．６７）、４パス後で７１％（減面率を単純に真ひずみになおすと１．２３）、６パス後で８０％（減面率を単純に真ひずみになおすと１．６１）であるにも関わらず、材料内部にはきわめて大きな塑性ひずみが生じていることがわかる。これは、オーバル孔型と角孔型を組み合わせて圧延したことにより、単純な断面減少から計算されるひずみよりはるかに大きなひずみが生じるためである。
【００４２】
図１０、図１１に組織のＳＥＭ写真を示す。図５に対応する図１０の▲１▼、▲２▼の部位には１ミクロン以下の微細なフェライト粒が生成し、▲３▼の部位には微細粒が生成していない。図７に対応する図１１の組織写真によれば、ほぼ全域が１ミクロン以下の超微細フェライト粒の超微細組織からなっている。
【００４３】
４パス後１３ｍｍ角の材料の力学的性質を表４に示した。また、圧延前の２４角棒の性質も比較に示した。２倍の降伏強さ、液体窒素温度でも脆性破壊せず、Ｊの吸収エネルギーを有していた。
【００４４】
【表４】
2004346420.tif 000006
【００４５】
＜実施例２〜４＞
表１ａの組成を有する平均フェライト粒径５ミクロンのフェライト＋パーライト組織をもつ２４ｍｍ角の棒鋼を、圧延温度４００℃、６００℃および７００℃で、図１に示す（１）、（２）の孔型を用いた２パスカリバー圧延を行った。図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に棒鋼中心部（図１０の▲１▼に相当する部分）のＳＥＭ組織を示すが、平均粒径０．５、１、１．５ミクロンと微細なフェライト粒径が得られている。
＜実施例５＞
表１ｂの組成を有する平均フェライト粒径２０ミクロンのフェライト＋パーライト組織をもつ直径１５ｍｍの棒鋼を、圧延温度４５０−５５０℃で、図１３に示す孔型を用いたカリバー圧延を行い、直径８ｍｍまで６パス圧延を行った。表５にはカリバーの寸法概要を示した。図１４に圧延各パスごとの断面形状変化と減面率を示す。また、図１５には６パス後の組織のＳＥＭ写真を示すが、減面率約７４％であるにも関わらず、微細なフェライト粒組織からなっていた。力学的性質に関して、ビッカース硬さを図１５の写真の下に併記するが２７０−３１０と引張強さで８００ＭＰａ以上の優れた性質が得られている。
【００４６】
【表５】
2004346420.tif 000007
【００４７】
＜比較例１＞
表１ａの組成を有する平均フェライト粒径５ミクロンのフェライト＋パーライト組織をもつ２４ｍｍ角の棒鋼を、圧延温度５００℃で、図１に示す孔型を用いて、１３ｍｍ角になるまで、減面率７０％（ひずみ１．２）の７パスカリバー圧延を行った。オーバル孔型による圧延は含まれていない。図１６のＳＥＭ写真に示すように、棒鋼の中心部には微細粒の生成はなかった。
＜比較例２＞
表１ａの組成を有する直径１１５ｍｍの棒鋼を、９００℃に加熱後、圧延温度８７０−８５０℃で、角形孔型を用いて、２４ｍｍ角になるまで、減面率９４％（ひずみ３．１）のカリバー圧延を行った。オーバル孔型による圧延は含まれていない。平均粒径は５μｍで微細粒の生成はなかった。力学的性質を表２に示すが、降伏強さ、引張強さは４８０、５６０ＭＰａであった。
【００４８】
【発明の効果】
以上詳しく説明したとおり、この出願の発明によって、より簡便な手段によって、大きなひずみをより少ない減面率やパス数で材料中に導入することを可能とする、新しい温間多方向圧延方法を提供し、これによる超微細結晶粒組織を有する、強度、延性に優れた鋼材の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における孔型を示した図である。
【図２】圧延後の棒鋼のＣ断面を示した図である。
【図３】素材のメッシュ図である。
【図４】１パス・オーバル後の塑性ひずみを示した図である。
【図５】２パス・角孔型後の塑性ひずみを示した図である。
【図６】３パス・オーバル後の塑性ひずみを示した図である。
【図７】４パス・角孔型後の塑性ひずみを示した図である。
【図８】５パス・オーバル後の塑性ひずみを示した図である。
【図９】６パス・丸孔後の塑性ひずみを示した図である。
【図１０】２パス・角孔型後の組織のＳＥＭ像である。
【図１１】４パス・角孔型後の組織のＳＥＭ像である。
【図１２】実施例２〜４の組織のＳＥＭ像である。
【図１３】孔型を示した図である。
【図１４】圧延後の棒鋼のＣ断面を示した図である。
【図１５】組織のＳＥＭ像である。
【図１６】比較例１の組織のＳＥＭ像である。
【図１７】パラメータＺと平均粒径との関係を示した図である。
【図１】
2004346420.tif 000009
【図２】
2004346420.tif 000010
【図３】
2004346420.tif 000011
【図４】
2004346420.tif 000012
【図５】
2004346420.tif 000013
【図６】
2004346420.tif 000014
【図７】
2004346420.tif 000015
【図８】
2004346420.tif 000016
【図９】
2004346420.tif 000017
【図１０】
2004346420.tif 000018
【図１１】
2004346420.tif 000019
【図１２】
2004346420.tif 000020
【図１３】
2004346420.tif 000021
【図１４】
2004346420.tif 000022
【図１５】
2004346420.tif 000023
【図１６】
2004346420.tif 000024
【図１７】
2004346420.tif 000025