(57)【要約】【課題】高精細化が進む陽極基板において、絶縁層を多層としても陽極ペーストの落とし込みが容易になり、陽極層と配線層の電気的接続に優れる蛍光表示管を提供する。【解決手段】絶縁性基板上に配線層および絶縁層が積層形成され、上記配線層に連通するスルーホール等が上記絶縁層に形成され、上記スルーホール等を介して上記配線層に電気的に接続する陽極層が形成され、該陽極層上に蛍光体層が形成された陽極基板を備えてなる蛍光表示管であって、上記絶縁層が  ２  層以上積層され、第２層目以後の絶縁層に形成されるスルーホール等の寸法が配線層上に形成される第１層目のスルーホール等の寸法よりも大きい。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性基板上に配線層および絶縁層が積層形成され、前記配線層に連通するスルーホールまたはビアホールが前記絶縁層に形成され、前記スルーホールまたはビアホールを介して前記配線層に電気的に接続する陽極層が形成され、該陽極層上に蛍光体層が形成された陽極基板を備えてなる蛍光表示管であって、
前記絶縁層が  ２  層以上積層され、第２層目以後の絶縁層に形成されるスルーホールまたはビアホール寸法が配線層上に形成される第１層目のスルーホールまたはビアホール寸法よりも大きく、かつ第２層目のスルーホールまたはビアホールの平面積に第１層目のスルーホールまたはビアホールの平面積が含まれることを特徴とする蛍光表示管。
【請求項２】
第２層目以後の絶縁層に形成されるスルーホールまたはビアホール寸法が隣接する配線層に接触しない大きさの寸法であることを特徴とする請求項１記載の蛍光表示管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は蛍光表示管に関し、特に電気的特性に優れ、かつ製造性に優れた蛍光表示管に関する。
【０００２】
【従来の技術】
家電製品、計測器、医療機器、車載用表示器などの表示部に所定のパターンあるいはグラフィックを表示する表示素子や、バックライト、プリンタヘッド、複写機用光源などの各種光源、平面テレビ等に蛍光表示管が多用されている。蛍光表示管は、真空外囲器の一部を構成するガラス基板表面に蛍光体層表面を有する陽極層や配線層、絶縁層を備えた陽極基板が形成され、この陽極基板上方に電子を放射するためのフィラメント、放射電子の動きを制御するグリット等を組み合わせて発光表示を行なっている。
【０００３】
従来の陽極基板を図３により説明する。図３は陽極基板のスルーホール部分の拡大断面図である。
陽極基板１１は、図３（ａ）に示すように、ガラス基板１２上に印刷法またはフォトリソグラフィ法により配線層１３および２層の絶縁層１４が形成されている。この絶縁層１４の表面にスルーホール１４ａを介して電気的に接続する陽極層１５をスクリーン印刷および焼成することにより形成し、その後、この陽極層１５上に蛍光体層１６が形成されている。
従来、電気的絶縁の信頼性を上げるために、絶縁層１４を  ２  層以上で形成することが知られている（特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平５−３４２９８９号公報（段落［００１０］）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
陽極基板上に形成される蛍光体層で構成される画素の高精細化が進むと、スルーホールまたはビアホール（以下、スルーホールと略称する）の径および画素間の距離が小さくなる。またピンホールを防ぎ、電気的特性を向上させる必要から絶縁層を積層体で形成することが必要になる。
しかしながら、上記要求を満足させようとする場合、以下の問題が生じた。
（１）１２０μｍ  未満の小径スルーホールの場合、図３（ｂ）に示すように、第２層目のスクリーン印刷の際に僅かな印刷ずれによりスルーホールが潰れてしまい、陽極層と配線層の電気的接続が得られなくなる。
（２）フォトリソグラフィ法のみで絶縁層を形成し、スルーホールを設けようとすると、スルーホール等の壁面が配線面に対して切り立った形状になり、陽極層を形成する陽極ペーストの落とし込みが十分でなくなる。その結果、陽極層と配線層の電気的接続が十分でなくなる。
（３）スクリーン印刷に用いる陽極ペーストの粘度や流れ性などのペースト特性を改良したとしても、画素間の距離が約  ０．４５ｍｍ  より狭くなると第２層目の絶縁層を精度よく形成できない。
【０００６】
本発明は、このような問題に対処するためになされたもので、高精細化が進む陽極基板において、絶縁層を多層としても陽極ペーストの落とし込みが容易になり、陽極層と配線層との電気的接続に優れる蛍光表示管の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の蛍光表示管は、絶縁性基板上に配線層および絶縁層が積層形成され、上記配線層に連通するスルーホールが上記絶縁層に形成され、上記スルーホールを介して上記配線層に電気的に接続する陽極層が形成され、該陽極層上に蛍光体層が形成された陽極基板を備えてなる蛍光表示管であって、上記絶縁層が  ２  層以上積層され、第２層目以後の絶縁層に形成されるスルーホールの寸法が配線層上に形成される第１層目のスルーホールの寸法よりも大きく、かつ第２層目のスルーホールまたはビアホールの平面積に第１層目のスルーホールまたはビアホールの平面積が含まれることを特徴とする。
本発明において、スルーホールの寸法とは、スルーホールの平面形状が円形の場合その直径の長さ、多角形の場合各頂点間の最大長さをいう。
また、第２層目以後の絶縁層に形成されるスルーホールの寸法が隣接する配線層に接触しない大きさの寸法であることを特徴とする。
【０００８】
２  層以上積層される絶縁層において、第２層目以後の絶縁層に形成されるスルーホール寸法を配線層上に形成される第１層目のスルーホールの寸法よりも大きくすることにより、スルーホール等の壁面の断面形状がなだらかになる。そのため陽極ペーストの落とし込みが容易になる。
また、第２層目以後の絶縁層に形成されるスルーホールの寸法を隣接する配線層に接触しない大きさの寸法とすることにより、電気的短絡などが生じない電気特性に優れた蛍光表示管が得られる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の蛍光表示管を構成する陽極基板を図１に示す。図１は陽極基板のスルーホール部分の拡大断面図である。
陽極基板１は、絶縁性基板２上に配線層３が形成され、その上に絶縁層４ａおよび４ｂの積層体である絶縁層４が形成されている。絶縁層４は  ２  層以上、好ましくは  ２  〜  ４  層形成することが好ましい。  １  層であると絶縁耐力が低下し、  ４  層をこえると製造工程が煩雑になる。
【００１０】
絶縁層４の形成方法は、配線層３が形成された絶縁性基板２上にスルーホール孔を有するパターンにて、低融点フリットガラスペーストをスクリーン印刷法によりパターン印刷して焼成することにより絶縁層４ａを形成する。次いで絶縁層４ａのスルーホール孔よりも大きいパターンにて絶縁層４ａ上にスクリーン印刷して焼成することにより第２層目となる絶縁層４ｂを形成する。第１層絶縁層４ａおよび第２層目絶縁層４ｂは同一ペーストを用いてもよく、また異なるペーストを用いてもよい。
【００１１】
スルーホールの平面形状としては、配線層３と陽極層５とが電気的接続をとれればよく、具体的な平面形状としては円、楕円などの丸形、方形、角形などの多角形が挙げられる。
スルーホールの孔の設計寸法の一例としては、第１層の絶縁層４ａに対して一辺約  ６５  μｍ  の正方形とし、第２層の絶縁層４ｂに対して約  １００  μｍ  ×  ７５  μｍの長方形とする例が挙げられる。スルーホールは、平面図でみて第２層に設けられた約  １００  μｍ  ×  ７５  μｍ  の長方形内に第１層の一辺約  ６５  μｍ  の正方形が含まれる配置とする。
上記方法で絶縁層４を形成することにより、スルーホール４ｃの断面形状が開口部側に開いた階段状または傾斜状になる。階段状または傾斜状により、陽極層５を形成する際の陽極ペーストの落とし込みが容易になる。
また、絶縁層４ａおよび４ｂの層厚さはそれぞれ焼成前で  ２０〜２５  μｍ  、焼成後で  １５〜２０  μｍ  が一例として挙げられ、  ２  層とすることにより絶縁耐力が向上する。
なお、絶縁層４は上記のように、スクリーン印刷を繰り返すことで形成する以外に、第１層目をフォトリソグラフィ法で形成し、第２層目をスクリーン印刷法で形成することができる。
【００１２】
第２層目以後の絶縁層に形成されるスルーホールの寸法は、平面図でみて、第１層目の絶縁層に形成されるスルーホールの寸法を含み、第２層目以後の絶縁層に形成されるスルーホールの最大寸法は隣接する配線層に接触しない大きさとする。
蛍光体層で構成される画素の高精細化が進むと画素間のピッチも狭くなり、配線層が画素に隣接して配置される。第２層目以後に形成されるスルーホールの寸法が大きくなり過ぎると画素同士が隣接する配線層を介して短絡する場合が生じる。このため、スルーホールの最大寸法は隣接する配線層に接触しない大きさ、好ましくは画素間のピッチの半分以下の寸法とする。
【００１３】
次いで、上記絶縁層４に形成されたスルーホール４ｃを介して配線層３に電気的に接続する陽極層５が形成される。
陽極層５は、陽極ペーストを用いてスクリーン印刷またはスピンコート塗布法等により塗布、焼成することにより形成できる。陽極ペーストとしては、従来公知の陽極ペースト、例えばエチルセルローズなどのバインダー樹脂を溶解したブチルカルビトールなどの溶媒に、導電剤として蛍光体と反応しない導電性カーボン、酸化アルミニウムなどの印刷性向上剤を配合した陽極ペーストが挙げられる。
本発明の蛍光表示管は絶縁層に形成されるスルーホールの断面形状が階段状または傾斜状であるので、陽極ペーストの種類、および粘度などの物性に依存しないで陽極層５を形成でき、陽極基板製造の生産性が向上する。
【００１４】
陽極層５上に蛍光体粒子からなる蛍光体層６を印刷法により形成して陽極基板１が得られる。なお、蛍光体層６の形成は周知の方法を用いることができる。
本発明の蛍光表示管は、上記陽極基板１を用いて作製される。本発明の蛍光表示管の断面図を図２に示す。
蛍光表示管は、陽極基板１と、この陽極基板１上方にグリット７と陰極８とを設け、フェースガラス９およびスペーサガラス１０を用いて封着して真空引きして形成される。
上記陽極基板を用いることにより、スルーホールの潰れがなくなり、蛍光表示管の表示品位が向上する。
【００１５】
【発明の効果】
本発明の蛍光表示管は、陽極基板上に形成される絶縁層が  ２  層以上積層され、第２層目以後の絶縁層に形成されるスルーホールの寸法が配線層上に形成される第１層目のスルーホールの寸法よりも大きいので、第１層および第２層の位置合わせがずれた場合であってもスルーホールにペーストだれが発生し難くなり、スルーホールの潰れのない多層絶縁層の形成が可能となる。
また、第２層目以後のスルーホールの寸法が第１層目のスルーホールの寸法よりも大きいので、スルーホールの断面形状が階段状または傾斜状となる。その結果、スルーホールを介して陽極層を形成する場合、絶縁層の層厚さが厚くなっても陽極層を形成するためのペーストの落とし込みが容易になり、電気的接続性が良好になる。
【００１６】
また、第２層目以後の絶縁層に形成されるスルーホールの寸法が隣接する配線層に接触しない大きさの寸法であるので、高精細化が進む蛍光表示管であっても蛍光体層で構成される画素同士の短絡が生じない。その結果表示品質に優れる蛍光表示管が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】陽極基板のスルーホール部の拡大断面図である。
【図２】蛍光表示管の断面図である。
【図３】従来の陽極基板のスルーホール部の拡大断面図である。
【符号の説明】
１    陽極基板
２    絶縁性基板
３    配線層
４    絶縁層
５    陽極層
６    蛍光体層
７    グリット
８    陰極
９    フェースガラス
１０  スペーサガラス
【図１】
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【図２】
2004214148.tif 000004
【図３】
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