(57)【要約】【課題】半導体レーザアレイに対する集光レンズ部の位置調整を容易にした半導体レーザ装置を提供する。【解決手段】半導体レーザ装置１は、複数のレーザ出射点Ｐを配列した半導体レーザアレイＡに対する集光レンズ部Ｆの位置調整を可能にすべく発案されたものであり、集光レンズ部Ｆの位置調整を容易にするため、集光レンズ部Ｆは可動台１７上に固定される。また、レーザ光の光軸Ｌに対して直交する方向に延在する第１の調整ネジ２２を利用することにより、可動台１７は、第１の調整ネジ２２の回動量に応じた微調整が可能になり、半導体レーザアレイＡに対する集光レンズ部Ｆの位置調整を容易にする。また、集光レンズ部Ｆを固定した可動台１７と半導体レーザアレイＡとを同じベースＢ上に搭載することで、半導体レーザアレイＡに対する集光レンズ部Ｆの光軸合わせを正確に行うことができる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレーザ出射点を有する半導体レーザアレイと、
前記半導体レーザアレイから出射したレーザ光を集光させる集光レンズ部と、
前記集光レンズ部を固定した可動台と、
前記半導体レーザアレイ及び前記可動台を載置したベースと、
前記レーザ光の光軸に対して直交する方向に延在する第１の調整ネジとを備え、
前記ベース上に搭載した前記可動台を前記第１の調整ネジの回動によって可動させることを特徴とする半導体レーザ装置。
【請求項２】
前記第１の調整ネジが前記ベースにねじ込まれている状態で、前記第１の調整ネジのヘッド部は前記ベースから露出し、前記第１の調整ネジの先端は前記可動台の外形面に当接していることを特徴とする請求項１記載の半導体レーザ装置。
【請求項３】
前記第１の調整ネジが前記可動台にねじ込まれている状態で、前記第１の調整ネジのヘッド部は前記可動台から露出し、前記第１の調整ネジの先端は前記ベースの外形面に当接していることを特徴とする請求項１記載の半導体レーザ装置。
【請求項４】
前記レーザ光の前記光軸に沿って延在する第２の調整ネジを更に備え、前記ベース上に搭載した前記可動台を前記第２の調整ネジの回動によって可動させることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の半導体レーザ装置。
【請求項５】
前記第２の調整ネジが前記ベースにねじ込まれている状態で、前記第２の調整ネジのヘッド部は前記ベースから露出し、前記第２の調整ネジの先端は前記可動台の外形面に当接していることを特徴とする請求項４記載の半導体レーザ装置。
【請求項６】
前記レーザ光の前記光軸に対して直交し且つ前記第１の調整ネジの延在方向に対して直交する方向に延在する第３の調整ネジを更に備え、前記ベース上に搭載した前記可動台を前記第３の調整ネジの回動によって可動させることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の半導体レーザ装置。
【請求項７】
前記ベースに対して前記可動台を固定する締め付けネジを更に備え、この締め付けネジは、前記可動台を貫通すると共に、前記ベースにねじ込まれていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項記載の半導体レーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固定レーザの励起や微細加工処理等の光源として利用される半導体レーザ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、レーザ加工や医療用としてＹＡＧレーザが利用されているが、このＹＡＧレーザは、固体レーザの励起において発光エネルギのうち僅かな部分しか利用することができないので、大がかりなレーザ発生装置や冷却装置を必要としている。これに対し、半導体レーザは、変換効率が高くコンパクトであり、冷却装置の小型化が可能であるが、高出力化のためにアレイ化が必要である。しかしながら、複数の出射点を有する半導体レーザアレイの各出射点から出射した光は所定の放射角度で放出される発散光であり、その状態のままでは、高出力のレーザ光として利用し難い。そこで、複数の出射点から放出されるレーザ光のそれぞれを一点に集光させる必要があり、これを解決する技術として、特許第３０７１３６０号公報がある。この公報に記載された半導体レーザ装置には、複数のレーザ出射点を直線的に配列した半導体レーザアレイから出射した各レーザ光を、複数のレンズを用いて一点に集光させる技術が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特許第３０７１３６０号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来の半導体レーザ装置の技術思想を利用すると、複数枚の集光レンズからなるレンズ群によってスポット的なレーザ光を作り出すことはできる。しかしながら、レンズ群とレーザ光との光軸合わせを適切に行わないと、レーザ光の出力を最大限に発揮することができないので、従来においては、別途用意した大がかりな調整治具等を利用していたが、半導体レーザアレイに対する集光レンズ部の位置調整を容易に行うことはできなかった。なお、集光レンズ群を前後、左右、上下に微動させながら集光点の位置調整を行った後に、集光レンズ群がズレないように接着剤で固定してしまうと、点検や修理時において再調整することができず、場合によっては、半導体レーザ装置自体の新品交換が余儀無くされる。
【０００５】
本発明は、特に、半導体レーザアレイに対する集光レンズ部の位置調整を容易にした半導体レーザ装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る半導体レーザ装置は、複数のレーザ出射点を有する半導体レーザアレイと、半導体レーザアレイから出射したレーザ光を集光させる集光レンズ部と、集光レンズ部を固定した可動台と、半導体レーザアレイ及び可動台を載置したベースと、レーザ光の光軸に対して直交する方向に延在する第１の調整ネジとを備え、ベース上に搭載した可動台を第１の調整ネジの回動によって可動させることを特徴とする。
【０００７】
この半導体レーザ装置は、複数のレーザ出射点を配列した半導体レーザアレイに対する集光レンズ部の位置調整を可能にすべく発案されたものであり、集光レンズ部の位置調整を容易にするため、集光レンズ部は可動台上に固定される。また、レーザ光の光軸に対して直交する方向に延在する第１の調整ネジを利用することにより、可動台は、第１の調整ネジの回動量に応じた微調整が可能になり、半導体レーザアレイに対する集光レンズ部の位置調整を容易にする。また、集光レンズ部を固定した可動台と半導体レーザアレイとを同じベース上に搭載することで、半導体レーザアレイに対する集光レンズ部の光軸合わせを正確に行うことができる。
【０００８】
また、第１の調整ネジがベースにねじ込まれている状態で、第１の調整ネジのヘッド部はベースから露出し、第１の調整ネジの先端は可動台の外形面に当接していると好適である。この場合、第１の調整ネジのヘッド部に外部からアクセスして、ヘッド部を所定の方向に回すと、第１の調整ネジが、レーザ光の光軸に対して直交する方向に進退し、調整ネジの進退量に合致する量だけ可動台を微調整することができる。
【０００９】
また、第１の調整ネジが可動台にねじ込まれている状態で、第１の調整ネジのヘッド部は可動台から露出し、第１の調整ネジの先端はベースの外形面に当接していると好適である。この場合、第１の調整ネジのヘッド部に外部からアクセスして、ヘッド部を所定の方向に回すと、第１の調整ネジが、レーザ光の光軸に対して直交する方向に進退し、調整ネジの進退量に合致する量だけ可動台を微調整することができる。
【００１０】
また、レーザ光の光軸に沿って延在する第２の調整ネジを更に備え、ベース上に搭載した可動台を第２の調整ネジの回動によって可動させると好適である。レーザ光の光軸に沿って延在する第２の調整ネジを利用することで、可動台は、第２の調整ネジの回動量に応じた微調整が可能になり、半導体レーザアレイに対する集光レンズ部の位置調整は容易である。そして、第１の調整ネジと第２の調整ネジとの組み合わせによって、集光レンズ部の幅広い位置調整が可能になる。
【００１１】
また、第２の調整ネジがベースにねじ込まれている状態で、第２の調整ネジのヘッド部はベースから露出し、第２の調整ネジの先端は可動台の外形面に当接していると好適である。この場合、第２の調整ネジのヘッド部に外部からアクセスして、ヘッド部を所定の方向に回すと、第２の調整ネジが、レーザ光の光軸に沿って進退し、調整ネジの進退量に合致する量だけ可動台を微調整することができる。
【００１２】
また、レーザ光の光軸に対して直交し且つ第１の調整ネジの延在方向に対して直交する方向に延在する第３の調整ネジを更に備え、ベース上に搭載した可動台を第３の調整ネジの回動によって可動させると好適である。第３の調整ネジを利用することで、可動台は、第３の調整ネジの回動量に応じた微調整が可能になり、半導体レーザアレイに対する集光レンズ部の位置調整は容易である。特に、第１の調整ネジと第２の調整ネジと第３の調整ネジとの組み合わせによって、集光レンズ部の３次元的な幅広い位置調整が可能になる。
【００１３】
また、ベースに対して可動台を固定する締め付けネジを更に備え、この締め付けネジは、可動台を貫通すると共に、ベースにねじ込まれていると好適である。締め付けネジの採用で、可動台をベースに対してしっかり固定させることができる。また、点検や修理時における集光レンズ部の再微調整をも可能にする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明に係る半導体レーザ装置の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００１５】
［第１の実施形態］
図１〜図３に示すように、半導体レーザ装置１は、熱伝導率の高い材質（例えば、ステンレスや表面がニッケルメッキされた真鍮など）からなる金属製のベースＢを有し、このベースＢの後端には、陽極端子２及び陰極端子３が並設されている。この陽極端子２の先端は外部に露出し、陽極端子２の基端は、ベースＢ上に配置した陽電極板２ａに連結されている。同様に、この陰極端子３の先端は外部に露出し、陰極端子３の基端は、ベースＢ上に配置した陽電極板３ａに連結されている。また、ベースＢの前端には、光ファイバＷの先端に固定された円筒形のフェルール５が装填されている。
【００１６】
さらに、ベースＢの中央には、半導体レーザアレイＡ（図１１参照）を収容するための冷却ブロック４が一体に形成され、ベースＢの一部をなす冷却ブロック４内には、半導体レーザアレイＡを冷却するための冷媒（水）通路６が設けられている。この冷媒通路６の一端は、ベースＢ内に形成した第１の連通路７の一端に連結され、第１の連通路７の他端は、ベースＢの後端に設けられた冷媒供給端子８に連結されて、外部からの冷媒（水）の供給を可能にしている。同様に、冷却ブロック４内の冷媒通路６の他端は、ベースＢ内に形成した第２の連通路９の一端に連結され、第２の連通路９の他端は、ベースＢの後端に設けられた冷媒排出端子１０に連結されている。このような構成によって、冷却ブロック４内で冷却水を流動させることができるので、半導体レーザアレイＡの出力波長シフトや出力強度劣化等の出力特性変動、更には素子自体の破壊を抑えることができる。
【００１７】
このような冷却ブロック４内に固定された半導体レーザアレイＡ（図１１参照）は、複数個（例えば、２〜１００個）のレーザ出射点Ｐを一列に配列した構造を有し、縦×横が２×１００μｍ程度の大きさからなるレーザ出射点Ｐは、一直線状に整列している。このようなレーザ出射点Ｐの前方には、ファストアクシスコリメータレンズ［ＦＡＣ］１１及びビーム変換システム［ＢＴＳ］１２が配置され、これら光学部品１１，１２は、棚部１３上に接着剤を介して固定される。そして、ＦＡＣ１１は、上下左右に拡散するレーザ光を、上下方向において平行光に変換するものであり、ＢＴＳ１２は、ビームを９０度回転させるものである。しかしながら、このような光学部品１１，１２を利用しても、ベースＢの前端に配置された光ファイバＷの端面にレーザ光を集光することはできない。そこで、３枚のレンズからなる光学系が、半導体レーザアレイＡと光ファイバＷとの間に配置される。
【００１８】
この光学系は、スローアクシスコリメータレンズ［ＳＡＣ］１４，ファストアクシスフォーカスレンズ［ＦＡＦ］１５及びスローアクシスフォーカスレンズ［ＳＡＦ］１６からなり、各レンズ１４〜１６は光学ベンチ１８上に固定され、ＦＡＦ１５及びＳＡＦ１６により集光レンズ部Ｆが構成される。この光学ベンチ１８は、金属（例えば、表面をアルマイト加工したアルミニウム）からなる可動台１７上に接着剤を介して固定されている。このようなレンズ１４〜１６を、ベースＢとは別部品の可動台１７上に載置させることで、半導体レーザアレイＡに対する集光レンズ部Ｆの微妙な位置調整を可能にし、組立時の微調整は言うに及ばず、点検や修理時における集光レンズ部Ｆの再微調整をも可能にしている。
【００１９】
そこで、位置調整機構１Ａについて説明する。この位置調整機構１Ａは、Ｈ形をなす可動台１７を有し、この可動台１７の左右方向において、ベースＢには、左右調整ネジ用の第１保持部２１が突出して形成されている。左右の各第１保持部２１には、六角穴付きの第１の調整ネジ（左右調整ネジ）２２が２本ずつ螺着され、各第１の調整ネジ２２は、光軸Ｌに対して直交する方向に延在する。そして、各調整ネジ２２は、ベースＢの一部をなす第１保持部２１にねじ込まれており、各調整ネジ２２のヘッド部２２ａは、ベースＢの一部をなす第１の保持部２１から露出し、各調整ネジ２２の先端は、可動台１７の外形面の一部をなす前面１７ｃに当接する。
【００２０】
よって、可動台１７は、第１の調整ネジ２２の回動量に応じた微調整が可能になり、半導体レーザアレイＡに対する集光レンズ部Ｆの位置調整を容易にする。また、集光レンズ部Ｆを固定した可動台１７と半導体レーザアレイＡとを同じベースＢ上に搭載させることで、半導体レーザアレイＡに対する集光レンズ部Ｆの光軸合わせが正確に行われることになる。この場合、第１の調整ネジ２２のヘッド部２２ａに外部からアクセスして、六角棒レンチにより、ヘッド部２２ａを所定の方向に所定量だけ回すと、第１の調整ネジ２２が、レーザ光の光軸Ｌに対して直交する方向に進退し、調整ネジ２２の進退量に合致する量だけ可動台１７を簡単に微調整することができる。
【００２１】
また、左右の各第１保持部２１には、第１の調整ネジ（左右調整ネジ）２２が２本ずつ螺着されている。よって、並設した２本の第１の調整ネジ２２のうち一方を前進させ他方を後退させたり、並設した２本の両方を、前進させたり後退させたりすることで、半導体レーザアレイＡに対する集光レンズ部Ｆの左右の位置ズレを極めて高い自由度をもって調整することができる。この調整は、ベースＢの前端に配置された光ファイバＷの端面にレーザ光を集光させるにあたって、左右方向におけるレーザ光の集光調整に利用される。
【００２２】
同様に、Ｈ形をなす可動台１７の前後方向において、ベースＢには、前後調整ネジ用の第２保持部３１が突出して形成されている。前後の各第２保持部３１には、六角穴付きの第２の調整ネジ（前後調整ネジ）３２が２本ずつ螺着され、各第２の調整ネジ３２は、光軸Ｌに沿って延在する。そして、各調整ネジ３２は、ベースＢの一部をなす第２保持部３１にねじ込まれており、各調整ネジ３２のヘッド部３２ａは、第２の保持部３１から露出し、各調整ネジ３２の先端は、可動台１７の外形面の一部をなす前面１７ａ及び後面１７ｂに当接する。
【００２３】
よって、可動台１７は、第２の調整ネジ３２の回動量に応じた微調整が可能になり、半導体レーザアレイＡに対する集光レンズ部Ｆの位置調整を容易にする。この場合、第２の調整ネジ３２のヘッド部３２ａに外部からアクセスして、六角棒レンチにより、ヘッド部３２ａを所定の方向に所定量だけ回すと、第２の調整ネジ３２が、レーザ光の光軸Ｌに沿って進退し、調整ネジ３２の進退量に合致する量だけ可動台１７を簡単に微調整することができる。
【００２４】
また、前後の各第２保持部３１には、第２の調整ネジ（前後調整ネジ）３２が２本ずつ螺着されている。よって、並設した２本の第２の調整ネジ３２のうち一方を前進させ他方を後退させたり、並設した２本の両方を、前進させたり後退させたりすることで、半導体レーザアレイＡに対する集光レンズ部Ｆの前後の位置ズレを極めて高い自由度をもって調整することができる。この調整は、光ファイバＷの端面にレーザ光を集光させるにあたって、前後方向におけるレーザ光の集光点の調整に利用される。
【００２５】
同様に、Ｈ形をなす可動台１７には、レーザ光の光軸Ｌに対して直交し且つ第１の調整ネジ２２の延在方向に対して直交する方向に延在する４本の第３の調整ネジ（上下調整ネジ）４２が設けられている。六角穴付きの第３の調整ネジ４２は、前後において２本ずつ配置され、各調整ネジ４２は、可動台１７にねじ込まれており、各調整ネジ４２のヘッド部４２ａは可動台１７から露出し、各調整ネジ４２の先端は、ベースＢの外形面の一部をなす上面２ａに当接する。
【００２６】
よって、可動台１７は、第３の調整ネジ４２の回動量に応じた微調整が可能になり、半導体レーザアレイＡに対する集光レンズ部Ｆの位置調整を容易にする。この場合、第３の調整ネジ４２のヘッド部４２ａに外部からアクセスして、六角棒レンチにより、ヘッド部４２ａを所定の方向に所定量だけ回すと、第３の調整ネジ４２が、レーザ光の光軸Ｌに対して直交する方向に進退し、調整ネジ４２の進退量に合致する量だけ可動台１７を簡単に微調整することができる。
【００２７】
また、可動台１７の前後において、第３の調整ネジ（上下調整ネジ）４２が２本ずつ配置されている。よって、並設した２本の第３の調整ネジ４２のうち一方を前進させ他方を後退させたり、並設した２本の両方を、前進させたり後退させたりすることで、半導体レーザアレイＡに対する集光レンズ部Ｆの上下の位置ズレを極めて高い自由度をもって調整することができる。この調整は、光ファイバＷの端面にレーザ光を集光させるにあたって、上下方向におけるレーザ光の集光調整に利用される。特に、第１の調整ネジ（左右調整ネジ）２２と第２の調整ネジ（前後調整ネジ）３２と第３の調整ネジ（上下調整ネジ）４２との組み合わせによって、集光レンズ部Ｆの３次元的な幅広い位置調整が可能になる。
【００２８】
このような位置調整を可能にする第１〜第３の調整ネジ２２，３２，４２と別に、位置調整機構１Ａは、集光レンズ部Ｆの位置調整作業後に可動台１７をベースＢに対し固定するための、六角穴付きの締め付けネジ４５を４本備えている。各締め付けネジ４５は、光軸Ｌに対して直交する上下方向に延在すると共に、可動台１７を貫通し、この状態で、締め付けネジ４５の先端部分はベースＢにねじ込まれている。それぞれの締め付けネジ４５を可動台１７の四隅に配置することで、可動台１７の固定は確実なものになる。締め付けネジ４５の採用により、集光レンズ部Ｆの位置調整作業後において、可動台１７をベースＢに対し接着剤で固定する必要がなくなる。従って、必要に応じて、締め付けネジ４５を締めたり緩めたりすることで、点検や修理時における集光レンズ部Ｆの再微調整が可能になる。
【００２９】
［第２の実施形態］
第２の実施形態に係る半導体レーザ装置５０の位置調整機構５０Ａについて説明する。
【００３０】
図４〜図６に示すように、可動台５１の底面には突起部５１ａが一体に形成され、ベース５２には、突起部５１ａを収容する凹部５２ａが形成されている。さらに、ベース５２の両側面５２ｂには、六角穴付きの第１の調整ネジ（左右調整ネジ）５３が２本ずつ螺着され、各第１の調整ネジ５３は、光軸Ｌに対して直交する方向に延在する。そして、各調整ネジ５３は、ベース５２にねじ込まれており、各調整ネジ５３のヘッド部５３ａは、ベース５２の両側面５２ｂから露出し、各調整ネジ５３の先端は、可動台５１の一部をなす突起部５１ａの外形面に当接する。
【００３１】
また、可動台５１には、レーザ光の光軸Ｌに対して直交し且つ第１の調整ネジ５３の延在方向に対して直交する方向に延在する４本の第３の調整ネジ（上下調整ネジ）５４が設けられている。六角穴付きの第３の調整ネジ５４は、前後において２本ずつ配置され、各調整ネジ５４は、可動台５１にねじ込まれており、各調整ネジ５４のヘッド部５４ａは可動台５１から露出し、各調整ネジ５４の先端は、ベース５２の外形面の一部をなす上面５２ｃに当接する。
【００３２】
さらに、半導体レーザ装置５０の位置調整機構５０Ａは、集光レンズ部Ｆの位置調整作業後において、ベース５２に対し可動台５１を固定するための第１の締め付けネジ５６と第２の締め付けネジ５７とを備えている。第１の締め付けネジ５６は、光軸Ｌに対して直交する上下方向に延在すると共に、ベース５２を貫通し、この状態で、締め付けネジ５６の先端部分は可動台５１にねじ込まれている。第１の締め付けネジ５６は、ベース５２の底面５２ｃ側から六角棒レンチをアクセスさせることができると共に、左右に一本ずつ配置されている。また、第２の締め付けネジ５７も同様の構成であるが、突起部５１ａに螺着されると共に、前後に一本ずつ配置されている。
【００３３】
［第３の実施形態］
第３の実施形態に係る半導体レーザ装置６０の位置調整機構６０Ａについて説明する。
【００３４】
図７〜図９に示すように、ベース６２には突起部６２ａが一体に形成され、可動台６１には、突起部６２ａを収容する凹部６１ａが形成されている。さらに、可動台６１の両側面６１ｂには、六角穴付きの第１の調整ネジ（左右調整ネジ）６３が２本ずつ螺着され、各第１の調整ネジ６３は、光軸Ｌに対して直交する方向に延在する。そして、各調整ネジ６３は、可動台６１にねじ込まれており、各調整ネジ６３のヘッド部６３ａは、可動台６１の両側面６１ｂから露出し、各調整ネジ６３の先端は、ベース６２の一部をなす突起部６２ａの外形面に当接する。
【００３５】
また、ベース６２には、レーザ光の光軸Ｌに対して直交し且つ第１の調整ネジ６３の延在方向に対して直交する方向に延在する４本の第３の調整ネジ（上下調整ネジ）６４が設けられている。六角穴付きの第３の調整ネジ６４は、前後において２本ずつ配置され、各調整ネジ６４は、ベース６２にねじ込まれており、各調整ネジ６４のヘッド部６４ａはベース６２の底面６２ｂから露出し、各調整ネジ６４の先端は、可動台６１の外形面に当接する。
【００３６】
さらに、半導体レーザ装置６０の位置調整機構６０Ａは、集光レンズ部Ｆの位置調整作業後において、ベース６２に対し可動台６１を固定するための締め付けネジ６６を備えている。この締め付けネジ６６は、光軸Ｌに対して直交する上下方向に延在すると共に、ベース６２を貫通し、この状態で、締め付けネジ６６の先端部分は可動台６１にねじ込まれている。締め付けネジ６６は、ベース６２の底面６２ｂ側から六角棒レンチをアクセスさせることができると共に、左右に一本ずつ配置されている。
【００３７】
［第４の実施形態］
第４の実施形態に係る半導体レーザ装置７０の位置調整機構７０Ａについて説明する。
【００３８】
図１０に示すように、断面Ｌ字状の可動台７１と断面Ｌ字状のベース７２とを突き合わせることで、位置調整機構７０Ａの小型化を図っている。さらに、可動台７１の一側面７１ｂには、六角穴付きの第１の調整ネジ（左右調整ネジ）７３が４本螺着され、各第１の調整ネジ７３は、光軸Ｌに対して直交する方向に延在する。そして、各調整ネジ７３は、可動台７１にねじ込まれており、各調整ネジ７３のヘッド部７３ａは、可動台７１の側面７１ｂから露出し、各調整ネジ７３の先端は、ベース７２の外形面に当接する。
【００３９】
また、ベース７２には、レーザ光の光軸Ｌに対して直交し且つ第１の調整ネジ７３の延在方向に対して直交する方向に延在する４本の第３の調整ネジ（上下調整ネジ）７４が設けられている。六角穴付きの第３の調整ネジ７４は、前後において２本ずつ配置され、各調整ネジ７４は、ベース７２にねじ込まれており、各調整ネジ７４のヘッド部７４ａはベース７２から露出し、各調整ネジ７４の先端は、可動台７１の外形面に当接する。
【００４０】
さらに、半導体レーザ装置７０の位置調整機構７０Ａは、集光レンズ部Ｆの位置調整作業後において、ベース７２に対し可動台７１を固定するための第１の締め付けネジ７６及び第２の締め付けネジ７７を備えている。第１の締め付けネジ７６は、ベース７２に対する可動台７１の上下方向の締結を可能にする。各第１の締め付けネジ７６は、光軸Ｌに対して直交する上下方向に延在すると共に、ベース７２を貫通し、この状態で、締め付けネジ７６の先端部分は可動台７１にねじ込まれている。これに対し、第２の締め付けネジ７７は、ベース７２に対する可動台７１の左右方向の締結を可能にする。第２の締め付けネジ７７は、光軸Ｌに対して直交する左右方向に延在すると共に、可動台７１を貫通し、この状態で、締め付けネジ７７の先端部分はベース７２にねじ込まれている。
【００４１】
本発明に係る半導体レーザ装置は、前述した実施形態に限定されない。例えば、図１１に示す半導体レーザアレイＡを複数積層したいわゆるスタック型のものを利用してもよい。
【００４２】
【発明の効果】
本発明による半導体レーザ装置は、以上のように構成されているため、次のような効果を得る。すなわち、複数のレーザ出射点を有する半導体レーザアレイと、半導体レーザアレイから出射したレーザ光を集光させる集光レンズ部と、集光レンズ部を固定した可動台と、半導体レーザアレイ及び可動台を載置したベースと、レーザ光の光軸に対して直交する方向に延在する第１の調整ネジとを備え、ベース上に搭載した可動台を第１の調整ネジの回動によって可動させることにより、半導体レーザアレイに対する集光レンズ部の位置調整が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る半導体レーザ装置の第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示した半導体レーザ装置の平面図である。
【図３】図１に示した半導体レーザ装置の側面図である。
【図４】本発明に係る半導体レーザ装置の第２実施形態の要部である位置調整機構を示す斜視図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】図４のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。
【図７】本発明に係る半導体レーザ装置の第３実施形態の要部である位置調整機構を示す斜視図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図９】図７のＩＸ−ＩＸ線に沿う断面図である。
【図１０】本発明に係る半導体レーザ装置の第３実施形態の要部である位置調整機構を示す斜視図である。
【図１１】半導体レーザアレイを示す斜視図である。
【符号の説明】
１，５０，６０，７０…半導体レーザ装置、１Ａ，５０Ａ，６０Ａ，７０Ａ…位置調整機構、１７，５１，６１，７１…可動台、２２，５３，６３，７３…第１の調整ネジ、２２ａ，５３ａ，６３ａ，７３ａ…第１の調整ネジのヘッド部、３２…第２の調整ネジ、３２ａ…第２の調整ネジのヘッド部、４２，５４，６４，７４…第３の調整ネジ、４５，５６，５７，６６，７６，７７…締め付けネジ、Ａ…半導体レーザアレイ、Ｂ，５２，６２，７２…ベース、Ｐ…レーザ出射点、Ｆ…集光レンズ部、Ｌ…光軸。
【図１】
2004246158.tif 000003
【図２】
2004246158.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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