(57)【要約】【課題】ロッドの応答性を向上し、ロッドに加えられる荷重を高精度に設定し得るようにする。【解決手段】アクチュエータ本体１１に往復動自在となったピストンには、先端に吸着ビット１９を有する作動ロッド１２が設けられている。アクチュエータ本体１１には調圧ブロック２１が固定されており、この調圧ブロック２１には空気が流入する入力ポート２６と、前進用流体室１４に連通する出力ポート２７と、空気を排出する排出ポート２８とが形成され、スプール３３が回転自在に組み込まれている。このスプール３３はモータ４２により駆動され、出力ポート２７と入力ポート２６との連通開度、および出力ポート２７と排出ポート２８との連通開度を変化させる。モータ４２は圧力センサ４４からの検出信号に基づいてコントローラ４６からの信号により制御される。【選択図】　　図１
2004132416.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被駆動部材に荷重を加える作動ロッドを軸方向に往復動自在に収容し、前記作動ロッドを前進方向に加圧する前進用流体室と後退方向に加圧する後退用流体室とが形成されたアクチュエータ本体と、
前記アクチュエータ本体に取り付けられ、流体が流入する入力ポート、前記前進用流体室または前記後退用流体室の少なくともいずれか一方の流体室に連通する出力ポート、および流体を排出する排出ポートが形成された調圧ブロックと、
前記調圧ブロックに設けられ、前記出力ポートと前記入力ポートの連通開度および前記出力ポートと前記排出ポートの連通開度を変化させる開度調整手段と、
前記出力ポートの圧力を検出する圧力センサからの検出信号に基づいて前記開度調整手段に制御信号を送る制御手段とを有することを特徴とする流体圧アクチュエータの駆動制御装置。
【請求項２】
被駆動部材に荷重を加える作動ロッドを軸方向に往復動自在に収容し、前記作動ロッドを前進方向に加圧する前進用流体室と後退方向に加圧する後退用流体室とが形成されたアクチュエータ本体と、
前記アクチュエータ本体に取り付けられ、流体が流入する入力ポート、前記前進用流体室または前記後退用流体室の少なくともいずれか一方の流体室に連通する出力ポート、および流体を排出する排出ポートが形成された調圧ブロックと、
前記調圧ブロックに設けられ、前記出力ポートと前記入力ポートの連通開度および前記出力ポートと前記排出ポートの連通開度を変化させるスプールと、
前記調圧ブロックに取り付けられ、前記スプールを駆動して前記連通開度を変化させるモータと、
それぞれの前記出力ポートの圧力を検出する圧力センサからの検出信号に基づいて前記モータに制御信号を送る制御手段とを有することを特徴とする流体圧アクチュエータの駆動制御装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の流体圧アクチュエータの駆動制御装置において、前記作動ロッドの先端に部品を吸着保持する吸着ビットを設け、前記吸着ビットに負圧空気を供給する真空流路を前記作動ロッドに形成したことを特徴とする流体圧アクチュエータの駆動制御装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の流体圧アクチュエータの駆動制御装置において、前記アクチュエータ本体は前記作動ロッドを軸方向に往復動自在に支持する流体軸受を有し、前記入力ポートに供給された流体を前記流体軸受に案内する流路を前記調圧ブロックに形成したことを特徴とする流体圧アクチュエータの駆動制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は空気圧などの流体によって往復動する作動ロッドに加えられる荷重を調整するようにした流体圧アクチュエータの駆動制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
部品を被搭載部材にまで搬送して被搭載部材に取り付けるための部品搭載装置は、上下動するロッドが設けられた搬送部材ないし搬送ヘッドを有し、ロッドの先端には部品を保持する保持具が設けられている。たとえば、半導体チップなどの電子部品を実装基板やテストボードに搭載するためのチップマウンタにあっては、水平方向に移動自在となった搬送ヘッドに、先端に電子部品を保持するための保持具を有するロッドが上下動自在に装着されている。このような部品搭載装置にあっては、部品収容部に収容された電子部品をロッド先端の保持具によって保持し、ロッドを上昇移動させた後に、実装基板にまで搬送して所定の位置に搭載するようにしている。
【０００３】
電子部品を保持する保持具としては、真空によって電子部品を吸着保持する吸着ビットや、空気圧シリンダまたは電動モータを駆動源として電子部品をフィンガーやアームによって把持するようにした開閉式のものなどがある。いずれのタイプにあっても、実装基板などの被搭載部材に対して押し付け力を加えて部品を搭載する場合があり、その場合には部品の種類によって押し付け力を相違させている。また、保持された部品を上昇移動させる際には、部品の荷重に応じて上昇力を相違させたり、作動速度に応じて上昇速度を変化させるようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
保持具が設けられたロッドを空気圧シリンダなどの流体圧アクチュエータによって上下動するようにした部品搭載装置にあっては、ロッドを上下動するための空気圧シリンダに供給する圧縮空気の圧力を高精度に調整する必要がある。しかも、チップマウンタなどの部品搭載装置にあっては、部品搭載作業効率の向上を図るために、迅速にロッドを上下動する必要がある。しかし、空気圧シリンダに供給される空気は圧縮性があることから、圧力調整器と空気圧シリンダとが離れていると、圧力調整器の出力ポートから流出した圧縮空気が減衰して空気圧シリンダに供給されることになるとともに、圧力調整器と空気圧シリンダとの間に応答遅れが発生してしまうことになる。
【０００５】
本発明の目的は、流体圧アクチュエータにより駆動されるロッドの応答性を向上することにある。
【０００６】
本発明の他の目的は、ロッドに加えられる荷重を高精度に設定し得るようにすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の流体圧アクチュエータは、被駆動部材に荷重を加える作動ロッドを軸方向に往復動自在に収容し、前記作動ロッドを前進方向に加圧する前進用流体室と後退方向に加圧する後退用流体室とが形成されたアクチュエータ本体と、前記アクチュエータ本体に取り付けられ、流体が流入する入力ポート、前記前進用流体室または前記後退用流体室の少なくともいずれか一方の流体室に連通する出力ポート、および流体を排出する排出ポートが形成された調圧ブロックと、前記調圧ブロックに設けられ、前記出力ポートと前記入力ポートの連通開度および前記出力ポートと前記排出ポートの連通開度を変化させる開度調整手段と、前記出力ポートの圧力を検出する圧力センサからの検出信号に基づいて前記開度調整手段に制御信号を送る制御手段とを有することを特徴とする。
【０００８】
本発明の流体圧アクチュエータの駆動制御装置は、被駆動部材に荷重を加える作動ロッドを軸方向に往復動自在に収容し、前記作動ロッドを前進方向に加圧する前進用流体室と後退方向に加圧する後退用流体室とが形成されたアクチュエータ本体と、前記アクチュエータ本体に取り付けられ、流体が流入する入力ポート、前記前進用流体室または前記後退用流体室の少なくともいずれか一方の流体室に連通する出力ポート、および流体を排出する排出ポートが形成された調圧ブロックと、前記調圧ブロックに設けられ、前記出力ポートと前記入力ポートの連通開度および前記出力ポートと前記排出ポートの連通開度を変化させるスプールと、前記調圧ブロックに取り付けられ、前記スプールを駆動して前記連通開度を変化させるモータと、それぞれの前記出力ポートの圧力を検出する圧力センサからの検出信号に基づいて前記モータに制御信号を送る制御手段とを有することを特徴とする。
【０００９】
本発明の流体圧アクチュエータの駆動制御装置は、前記作動ロッドの先端に部品を吸着保持する吸着ビットを設け、前記吸着ビットに負圧空気を供給する真空流路を前記作動ロッドに形成したことを特徴とする。また、前記アクチュエータ本体は前記作動ロッドを軸方向に往復動自在に支持する流体軸受を有し、前記入力ポートに供給された流体を前記流体軸受に案内する流路を前記調圧ブロックに形成したことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形態である流体圧アクチュエータの駆動制御装置を示す断面図であり、図２は図１に示された圧力調整器と流体圧アクチュエータを示す斜視図であり、図３は図２における３−３線に沿う断面図であり、図４は図２における４−４線に沿う断面図である。
【００１１】
図１に示す取付ベース１０は図示しない移動部材により水平方向垂直方向とに移動自在となっており、この取付ベース１０には外形がほぼ直方体形状となったアクチュエータ本体１１が上下方向を向いて固定され、このアクチュエータ本体１１は２つのブロック１１ａ，１１ｂを締結することにより形成されている。このアクチュエータ本体１１には作動ロッド１２がアクチュエータ本体１１を貫通して上下方向に往復動自在に収容されており、作動ロッド１２の両端部はアクチュエータ本体１１の端面から外部に突出している。作動ロッド１２にはこれと一体にピストン１３が設けられており、アクチュエータ本体１１内にはピストン１３の両側に位置させて作動ロッド１２を下方つまり前進方向に加圧するための前進用流体室１４と、作動ロッド１２を上方つまり後退方向に加圧するための後退用流体室１５とが形成されている。
【００１２】
アクチュエータ本体１１と作動ロッド１２とを有する流体圧アクチュエータとしては、ピストン１３を備えたタイプ以外に、ダイヤフラムやベローズを備えたタイプを使用することができ、ダイヤフラムやベローズを備えたタイプにおいてもこれらの部材によってアクチュエータ本体内には前進用と後退用の流体室が区画形成される。
【００１３】
作動ロッド１２の内部には真空流路１６が軸方向に貫通して形成され、この真空流路１６は真空ホース１７を介して真空源１８に接続されるようになっている。一方、作動ロッド１２の下端部は小径部となっており、この部分はワークである電子部品Ｗを真空吸着する吸着ビット１９となっている。したがって、吸着ビット１９により部品収容部に収容された電子部品Ｗを吸着し、取付ベース１０を介してアクチュエータ本体１１を上昇移動させた状態のもとで、取付ベース１０を移動部材によって水平方向に移動させることにより、電子部品Ｗは実装基板などの被搭載部材にまで搬送される。次いで、アクチュエータ本体１１を下降移動させることにより、電子部品Ｗを実装基板に押し付けて搭載することができる。また、吸着ビット１９により部品収容部に収容された電子部品Ｗを吸着し、取付ベース１０を介してアクチュエータ本体１１を予め設定押圧制御し、下降移動させた状態のもとで、取付ベース１０を移動部材によって、水平移動させ電子部品Ｗを実装基板などの被搭載部材にまで搬送し、そこで取付ベース自体を下降移動させ、電子部品Ｗを実装基板に押し付けて搭載することもできる。ワークを保持する保持具としては、図１に示す吸着ビット１９以外に、圧縮空気や真空によって開閉作動するフィンガーやハンドを用いるようにしても良い。
【００１４】
電子部品Ｗを搭載する際には、電子部品Ｗは吸着ビット１９により被搭載部材に押し付けられることになり、その際に作動ロッド１２およびピストン１３を円滑に移動させるために、アクチュエータ本体１１には多孔質の樹脂や金属からなる流体軸受として空気軸受つまりエアベアリング２０ａ，２０ｂが組み込まれ、エアベアリング２０ａ，２０ｂの内周面に形成される空気層を介して作動ロッド１２とピストン１３は支持され、作動ロッド１２には大きな摺動抵抗が加わることなく、円滑に往復動することになる。
【００１５】
アクチュエータ本体１１には、図２に示されるように、直方体形状の調圧ブロック２１がボルト２２により固定されており、調圧ブロック２１とアクチュエータ本体１１は貫通孔２３に取り付けられる図示しないボルトにより図１に示した取付ベース１０に固定されるようになっている。この調圧ブロック２１により作動ロッド１２に対して供給される圧力を調整するための圧力調整器が形成されている。
【００１６】
図１に示すように、調圧ブロック２１には空気圧源２４に給気流路２５ａを介して接続される入力ポート２６が形成され、給気流路２５ａには空気圧源２４からの空気を入力ポート２６に供給する状態と供給を遮断する状態とに切り換えるための切換弁３１ａが設けられている。入力ポート２６に供給された空気の圧力を調圧してアクチュエータ本体１１内の前進用流体室１４に連通する出力ポート２７と、外部に空気を排出する排出ポート２８とがそれぞれ調圧ブロック２１に形成されている。排出ポート２８には外部に空気が排出される際の排気音の発生を防止し、異物が内部に入り込むのを防止するためにフィルタ２９が組み込まれている。
【００１７】
後退用流体室１５には作動ロッド１２およびピストン１３の自重を相殺するための流体が供給されるようになっており、調圧ブロック２１に後退用流体室１５に連通して形成された給気ポート３０には給気通路２５ｂを介して空気圧源２４に接続されている。この給気通路２５ｂにはリリーフ付き減圧弁３１ｂが設けられ、この減圧弁３１によって減圧された圧縮空気は常に後退用流体室１５に供給されるようになっている。
【００１８】
図１に示すように、調圧ブロック２１に形成された収容孔２１ａにはほぼ円筒形状のスリーブ３２が固定され、スリーブ３２内にはスプール３３が回転移動自在に装着されている。図５はスリーブ３２とスプール３３を示す一部切り欠き斜視図であり、スプール３３の内部には連通孔３４が形成されている。スリーブ３２の外周には図５に示すように入力ポート２６，出力ポート２７および排出ポート２８に対応してそれぞれのポートに連通する環状溝２６ａ，２７ａ，２８ａが形成されている。
【００１９】
図６（Ａ）はそれぞれのスリーブ３２とスプール３３の環状溝２６ａ，２７ａ２８ａに対応する部分の断面図であり、それぞれの部分にはスリーブ３２の内周面と環状溝とを連通させる径方向の孔が形成されている。図６に示すように、スリーブ３２には円周方向に９０度毎に４つの入力孔３５ａが形成され、円周方向に６０度毎に６つの出力孔３６ａが形成され、円周方向に９０度毎に４つの排出孔３７ａが形成されている。スリーブ３２の径方向の基準線Ｒ上に形成された２つの出力孔３６ａは、基準線Ｒ上に形成された２つの入力孔３５ａに対して円周方向に同一の位相となっており、排出孔３７ａは入力孔３５ａに対して図６において反時計方向に３０度ずれている。
【００２０】
スリーブ３２内に回転移動自在に組み込まれるスプール３３は、図６（Ａ）に矢印で示すように、反時計方向を＋方向とし、時計方向を−とすると、基準線Ｒに対して時計方向と反時計方向とにそれぞれ正逆両方向に３０度回転移動する。図６（Ａ）は出力ポート２７に対する圧縮空気の供給を停止した停止時におけるスプール３３の状態を示しており、スプール３３内の連通孔３４は閉じられている。
【００２１】
図６（Ａ）に示すように、スプール３３にはスリーブ３２に形成された入力孔、出力孔および排出孔に対応して連通孔３４と外周面とを連結させる径方向の孔が形成されている。スプール３３には、図６に示すように、円周方向に９０度毎に４つの入力孔３５ｂが形成され、円周方向に６０度毎に６つの出力孔３６ｂが形成され、円周方向に９０度毎に４つの排出孔３７ｂが形成されている。図６（Ａ）はスリーブ３２に形成された入力孔３５ａ，出力孔３６ａ，排出孔３７ａがスプール３３にそれぞれ対応して形成された入力孔３５ｂ，出力孔３６ｂ，排出孔３７ｂと連通することなく、遮断された状態である不作動位置にスプール３３が設定された状態を示す。
【００２２】
この不作動位置では、スプール３３の入力孔３５ｂはスリーブ３２の入力孔３５ａに対して−方向に３０度ずれており、スプール３３の出力孔３６ｂもスリーブ３２の入力孔３６ａに対して−方向に３０度ずれており、スプール３３の排出孔３７ｂはスリーブ３２の排出孔３７ａに対して＋方向に３０度ずれている。したがって、スプール３３を不作動位置から反時計方向、つまり＋方向に回転させると、スプール３３の入力孔３５ｂと出力孔３６ｂは、徐々にスリーブ３２の入力孔３５ａと出力孔３６ａとにそれぞれ連通し始め、＋方向に３０度回転させると、連通開度は全開状態となる。このような＋方向の回転においては、排出孔３７ｂは排出孔３７ａには連通しない。図６（Ｂ）はスプール３３が不作動位置から＋３０度回転した状態を示す。
【００２３】
これに対して、スプール３３を図６（Ａ）に示す不作動位置から時計方向つまり−方向に回転させると、スプール３３の出力孔３６ｂと排出孔３７ｂは、徐々にスリーブ３２の出力孔３６ａと排出孔３７ａとにそれぞれ連通し始め、−方向に３０度回転させると、連通開度は全開状態となる。このような−方向の回転においては、入力孔３５ｂは入力孔３５ａには連通しない。図６（Ｃ）はスプール３３が不作動位置から−３０度回転した状態を示す。
【００２４】
このように、スプール３３を図６において不作動位置から反時計方向に回転させると、入力ポート２６と出力ポート２７が連通孔３４を介して連通する連通開度は徐々に大きくなり、３０度回転させると全開状態となる。この回転方向では排出ポート２８は閉じた状態を維持する。これに対して、スプール３３を不作動位置から時計方向に回転させると、排出ポート２８と出力ポート２７が連通孔３４を介して連通する連通開度は徐々に大きくなり、３０度回転させると全開状態となる。この回転方向では入力ポート２６は閉じた状態を維持する。
【００２５】
したがって、スプール３３を正逆いずれかの方向に回転させて、出力ポート２７の入力ポート２６または排出ポート２８との連通開度を変化させることによって入力ポート２６から前進用流体室１４に供給される圧縮空気の圧力が調整される。前進用流体室１４に対して供給される空気の圧力を調整することにより、作動ロッド１２に加えられる推力を調整することができる。
【００２６】
入力ポート２６に供給された空気をエアベアリング２０ａ，２０ｂに供給するために、図１に示すように、軸受ポート３８ａ，３８ｂと入力ポート２６は流路３９ａにより連通され、図４に示すように、軸受ポート３８ｃと入力ポート２６は流路３９ｂにより連通されている。このように、入力ポート２６に供給された圧縮空気は常にエアベアリング２０ａ，２０ｂに供給されるので、作動ロッド１２を小さな摺動抵抗で往復動させることができ、作動ロッド１２に対して前進方向の推力を加える際に高精度で押し付け力を調整することができる。一方、スプール３３の外周面とスリーブ３２の内周面との間の僅かな隙間には、入力ポート２６から供給される圧縮空気が入り込んで、空気層が形成されており、スプール３３も空気層を介して円滑に回転させることができる。この空気層は、スプール３３の外周面に複数本の環状溝４０を形成することによって破壊させることなく、確実に形成されることになる。
【００２７】
調圧ブロック２１には架台４１によりモータ４２が取り付けられており、このモータ４２のシャフトは継手４３を介してスプール３３に連結されている。したがって、モータ４２を駆動することによってスプール３３は正逆両方向に３０度の範囲内で回転されることになる。
【００２８】
図３に示すように、調圧ブロック２１には出力ポート２７の圧力を検出する圧力センサ４４が取り付けられており、圧力センサ４４と出力ポート２７との間には図３に示すように圧力導入路４５が形成されている。圧力センサ４４からの出力信号は図１に示すコントローラ４６に送られ、コントローラ４６からはモータドライバ４７を介してモータ４２に出力信号が送られる。
【００２９】
コントローラ４６には外部の制御機器から目標圧力信号が送られるようになっており、出力ポート２７の実際の圧力が目標圧力となるようにコントローラ４６からは出力信号が送られる。図１に示すように、調圧ブロック２１にはスプール３３の回転角度を検出するための角度センサ４８が設けられており、この角度センサ４８からはコントローラ４６にフィードバック信号が送られるようになっている。
【００３０】
上述した駆動装置により電子部品を吸着搬送する場合には、部品供給部の位置にまで作動ロッド１２を移動部材により水平移動させた状態のもとで、吸着ビット１９を電子部品Ｗに向けて移動部材により下降移動させて電子部品Ｗを吸着ビット１９に吸着保持する。次いで、移動部材によりアクチュエータ本体１１を上昇移動させた後に駆動装置を所定の位置まで水平方向に搬送した後に吸着保持した電子部品を被搭載部材に押し付けて搭載することになる。このような電子部品を搬送のために図示する駆動装置を使用した場合には、入力ポート２６と出力ポート２７の連通開度と、出力ポート２７と排出ポート２８の連通開度を変化させることによって、部品の種類などに応じて作動ロッド１２により部品を押し付ける際の押し付け力を変化させることができる。たとえば、押し付け力を数ｇから数ｋｇにまで変化させることができる。
【００３１】
出力ポート２７に流出する調圧された圧縮空気は、調圧ブロック２１がアクチュエータ本体１１に直接取り付けられているので、ホースや配管を介することなく、直接前進用流体室１４に供給されることになり、圧力減衰や調整圧力の時間遅れなどを発生させることなく、高い応答性で高精度の荷重を加えながら作動ロッド１２を前進移動させることができる。また、配管やホースが不要となるので、複数の流体圧アクチュエータを１つの取付ベース１０に集合させて取り付けることができ、限られたスペースに多くの流体圧アクチュエータを組み付けることができる。
【００３２】
図１に示す駆動装置は上述のように作動ロッド１２に前進方向の推力を加える際には、作動ロッド１２に加えられる荷重を調整するようにし、作動ロッド１２を後退移動させる際には給気ポート３０に供給される圧縮空気を調圧することなく後退用流体室１５に供給するようにして作動ロッド１２などの自重を相殺するようにしているが、後退移動させる際に作動ロッド１２に加えられる荷重を調整するようにしても良い。その場合には、出力ポート２７を後退用流体室１５に連通させ、前進用流体室１４に給気ポート３０を連通させる。
【００３３】
図７は本発明の他の実施の形態である流体圧アクチュエータの駆動制御装置を示し、この駆動制御装置は図１に示した流体圧アクチュエータと同様に作動ロッド１２を上下方向に往復動するようにしたアクチュエータ本体１１を備えている。この場合には作動ロッド１２を前進移動するときと後退移動するときのいずれにおいても作動ロッド１２に加えられる荷重を調整し得るようにしている。このため、アクチュエータ本体１１に固定される調圧ブロック４９には、図１に示した構造の調圧ブロック２１が２つ取り付けられることになる。図７において破線を境として図中上側の部分により作動ロッド１２の前進移動時の荷重が調整され、下側の部分により作動ロッド１２の後退移動時の荷重が調整される。それぞれの部分の内部構造は図１に示したものと同様である。
【００３４】
このように作動ロッド１２に対して前進方向と後退方向との両方の推力を調整することができるようにした場合においても、作動ロッド１２とピストン１３の自重を相殺するように、後退用流体室１５に供給される圧力を設定するようにしても良く、その場合には後退方向の推力を手動方式の圧力調整器としても良い。
【００３５】
前述した調圧ブロック２１とこの中に組み込まれたスプール３３などにより形成される圧力調整器つまりレギュレータは、前述した流体圧アクチュエータの駆動用のみならず、入力ポート２６に供給された圧縮空気を所定の圧力に減圧して出力ポート２７に吐出するためであれば、他の空気圧作動機器に対する流体の供給用としても使用することができる。
【００３６】
前述した圧力調整器は、スプール３３を回転させて連通開度を変化させることによって出力ポート２７に吐出される圧縮空気の圧力を調整するようにしているが、圧力調整器としては、他のタイプのものを使用することができる。
【００３７】
図８は他のタイプの圧力調整器を示す空気圧回路図であり、この圧力調整器は図１に示した調圧ブロックと同様に調圧ブロックを有しており、この中には図８に示す空気圧回路が組み込まれている。この圧力調整器は、出力ポート２７と入力ポート２６との連通開度と、出力ポート２７と排出ポート２８との連通開度とを変化させるパイロット弁５１を有しており、パイロット圧室と入力ポート２６との連通は給気用２方弁５２により制御され、パイロット圧室と外部との連通は排出用２方弁５３により制御される。
【００３８】
この圧力調整器を作動ロッド１２の前進時の荷重の調整に使用するときには出力ポート２７は前進用流体室１４に接続され、後退時の荷重の調整に使用するときには出力ポート２７は後退用流体室１５に接続される。また、前進時と後退時の両方の荷重を調整する場合には、２つの圧力調整器がアクチュエータ本体１１に固定される。さらに、圧力調整器としては、図８におけるパイロット弁５１を有しないタイプを使用することができる。
【００３９】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、図示する駆動装置は上下方向に往復動する作動ロッドを駆動するために使用されるが、水平方向や傾斜方向に駆動する場合にも本発明を適用することができる。また、作動媒体としての流体としては、空気以外に不活性ガスや油圧などの他の流体を使用することができる。
【００４０】
【発明の効果】
本発明によれば、作動ロッドを往復動自在に収容するアクチュエータ本体に対して、アクチュエータ本体内の流体室に供給される圧力を調整する圧力調整器の調圧ブロックを直接取り付けるようにしたので、調圧ブロックに形成される出力ポートを直接流体室に連通させることができる。これにより、配管やホースをアクチュエータ本体の周囲に這い回すことが不要となり、作動ロッドの応答性を向上させることができる。また、アクチュエータ本体の周囲に配管やホースが這い回ることが防止されるので、アクチュエータ本体がシンプルな構造になり、限られたスペースに多くのアクチュエータ本体を配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である流体圧アクチュエータの駆動制御装置を示す断面図である。
【図２】図１に示された圧力調整器と流体圧アクチュエータを示す斜視図である。
【図３】図２における３−３線に沿う断面図である。
【図４】図２における４−４線に沿う断面図である。
【図５】スリーブとスプールを示す一部切り欠き斜視図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｃ）はスプールの作動状態を示す断面図である。
【図７】（Ａ）は本発明の他の実施の形態である流体圧アクチュエータの駆動制御装置を示す正面図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）の側面図である。
【図８】本発明の他の実施の形態である流体圧アクチュエータの駆動制御装置における圧力調整器を示す空気圧回路図である。
【符号の説明】
１０　　　取付ベース
１１　　　アクチュエータ本体
１１ａ　　第１ブロック
１１ｂ　　第２ブロック
１２　　　作動ロッド
１３　　　ピストン
１４　　　前進用流体室
１５　　　後退用流体室
１６　　　真空流路
１７　　　真空ホース
１８　　　真空源
１９　　　吸着ビット
２０ａ，２０ｂ　　エアベアリング
２１　　　調圧ブロック
２１ａ　　収容孔
２２　　　ボルト
２３　　　貫通孔
２４　　　空気圧源
２５ａ，２５ｂ　　　給気流路
２６　　　入力ポート
２７　　　出力ポート
２８　　　排出ポート
２９　　　フィルタ
３０　　　給気ポート
３１　　　電磁弁
３２　　　スリーブ
３３　　　スプール
３４　　　連通孔
３５ａ　　入力孔
３６ａ　　出力孔
３７ａ　　排出孔
３８ａ，３８ｂ　　軸受ポート
３９ａ，３９ｂ　　流路
４０　　　環状溝
４１　　　架台
４２　　　モータ
４３　　　継手
４４　　　圧力センサ
４５　　　圧力導入路
４６　　　コントローラ（制御手段）
４７　　　モータドライバ
４８　　　角度センサ
４９　　　調圧ブロック
５１　　　パイロット弁
５２　　　給気用２方弁
５３　　　排出用２方弁
【図１】
2004132416.tif 000003
【図２】
2004132416.tif 000004
【図３】
2004132416.tif 000005
【図４】
2004132416.tif 000006
【図５】
2004132416.tif 000007
【図６】
2004132416.tif 000008
【図７】
2004132416.tif 000009
【図８】
2004132416.tif 000010