(57)【要約】【課題】この発明は、理想的な内向角（１０°〜１２°）を有する実体顕微鏡に使用でき、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察の実現に寄与し得るようにすることにある。【解決手段】２つの観察光軸ｍ１、ｍ２を含む平面を、該２つの観察光軸ｍ１、ｍ２の二等分線を中心ｐに９０°回転させた平面に対して略垂直に交差するように半透明鏡１１を配置し、上記２つの観察光軸ｍ１、ｍ２が試料２０側から上記半透明鏡１１に反射した２つの照明光軸ｎ１、ｎ２上に照明用ファイバ１７１、１７２を配置するようにして、所期の目的を達成した。【選択図】　　図１
2004029575.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリノー型の実体顕微鏡の対物レンズ先端に着脱自在に装着されるものであって、所望のグリノー角（内向角）を持つ２つの観察光軸上に対して該観察光軸外より照明光を導き試料を照射する実体顕微鏡用同軸落射照明装置において、
前記２つの観察光軸上に配置され、且つ、前記２つの観察光軸を含む平面を、前記２つの観察光軸の二等分線を中心に９０°回転させた平面に対して略垂直に交差するように配置した半透明鏡と、
前記２つの観察光軸が前記試料側から前記半透明鏡に反射した２つの照明光軸上に配置される光源と
を具備することを特徴とする実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項２】
前記半透明鏡を、試料面に対して４５°よりも鋭角に（平行近辺の角度に）配置して、ミラーを前記２つの観察光軸が前記試料側から前記半透明鏡により反射した方向に配置し、前記ミラーにより反射した照明光軸上にそれぞれの光源を配置したことを特徴とする請求項１記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【請求項３】
前記照明光軸上に、２つの照明光軸を含む平面に対して略垂直に交差するように配置したミラーと、前記ミラーにより前記２つの照明光軸が反射した軸上に光源を配置したことを特徴とする請求項１記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば実体顕微鏡に係り、特に、その対物レンズ先端に装着することで、同軸落射照明を実現する実体顕微鏡用同軸落射照明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、実体顕微鏡は、生きたままの生物等の標本を観察したり、各種の作業に用いたり、あるいは半導体デバイス工程での各種検査や作業に用いられている。このような実体顕微鏡は、例えば反射率の高い半導体ウエハ等の検査に用いる場合、その照明光軸と反射光軸が一致していないと観察系に入射する光量が激減して観察不能になってしまうことで、そのような検査を行う際に、専用の同軸落射照明装置が必要となる。
【０００３】
そこで、このような同軸落射照明装置としては、特公昭６３―１０４０８号公報に開示されるように、実体顕微鏡の対物レンズ先端に着脱自在に取付けることで、選択的に同軸落射照明を可能とする技術が提案されている。
【０００４】
この提案される技術は、実体顕微鏡の２つの観察光軸を含む平面に対して、２つの照明光軸が同方向から垂直に交差するように２つの光源を配置する。そして、これら観察光軸と前記照明光軸の交点には、２つの光源からの照明光を観察光軸と同軸とするために、２つの観察光軸に対して等角度で交差するように２枚の半透明鏡を配置する。これにより、２つの光源から発せられた照明光は、２つの観察光軸に対応した２つの半透明鏡で反射された後、観察光軸と同軸を成して試料を照明するように構成されている。
【０００５】
しかしながら、上記同軸落射照明装置では、通常の実体顕微鏡のグリノー角（内向角）が１０°や１２°であったりすると、対物レンズ先端において、内向角により収束する左右２つの光束が殆ど重なってしまうために、対物レンズ先端で、それぞれの必要光束分の半透明鏡を２枚、互いに干渉しないように配置するのが物理的に難であるという問題を有する。
【０００６】
そこで、上記同軸落射照明装置にあっては、必要光束径よりも狭い面積の半透明鏡を配置するか、あるいは内向角を大きくして対応する方法を採ることが必要となる。
【０００７】
ところが、上記方法では、必要光束径よりも狭くすると、ズーム低倍に、いわゆる「ケラレ」が発生したり照野が満たされなかったりする虞があり、対物レンズ先端で収束する内向角を大きくすると、像の平坦性が失われるばかりでなく、実体顕微鏡全体が大型となるという不都合を有する。
【０００８】
係る事情は、特に、グローバーやボンダーやテスター等の装置に組み込まれることが多い実体顕微鏡にとって、サイズが大型となるということは、致命的となる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
以上述べたように、従来の実体顕微鏡用同軸落射照明装置では、所望の照野を得るのが困難となったり、大型となるという問題を有する。
【００１０】
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、理想的な内向角（１０°〜１２°）を有する実体顕微鏡に使用でき、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察の実現に寄与し得るようにした実体顕微鏡用同軸落射照明装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明は、グリノー型の実体顕微鏡の対物レンズ先端に着脱自在に装着されるものであって、所望のグリノー角（内向角）を持つ２つの観察光軸上に対して該観察光軸外より照明光を導き試料を照射する実体顕微鏡用同軸落射照明装置において、前記２つの観察光軸上に配置され、且つ、前記２つの観察光軸を含む平面を、前記２つの観察光軸の二等分線を中心に９０°回転させた平面に対して略垂直に交差するように配置した半透明鏡と、前記２つの観察光軸が前記試料側から前記半透明鏡に反射した２つの照明光軸上に配置される光源とを備えて構成した。
【００１２】
上記構成によれば、光源からの光は、半透明鏡により対物レンズの光軸と同軸方向に反射されて試料に照射される。これにより、理想的な内向角（１０°〜１２°）を有する実体顕微鏡に使用できる上に、光束の「ケラレ」の防止が実現されて所望の照野を実現することが可能となり、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察の実現に寄与される。
【００１３】
また、この発明は、前記半透明鏡を、試料面に対して４５°よりも鋭角に（平行近辺の角度に）配置して、ミラーを前記２つの観察光軸が前記試料側から前記半透明鏡により反射した方向に配置し、前記ミラーにより反射した照明光軸上にそれぞれの光源を配置する構成とした。
【００１４】
上記構成によれば、光源からの光は、ミラーを介して半透明鏡により対物レンズの光軸と同軸方向に反射されて試料に照射される。これにより、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察を実現しつつ、観察光軸に対する半透明鏡の傾斜角が小さくなることにより、心ずれ量を最小限にすることが可能となるうえ、薄型化が図れて作業空間の増加が図れる。
【００１５】
また、この発明は、前記照明光軸上に、２つの照明光軸を含む平面に対して略垂直に交差するように配置したミラーと、前記ミラーにより前記２つの照明光軸が反射した軸上に光源を配置して構成した。
【００１６】
上記構成によれば、照明光軸上に配置したミラーに対向して配置した光源からの光は、ミラーを介して半透明鏡により対物レンズの光軸と同軸方向に反射されて試料に照射される。これにより、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察を実現したうえで、さらに、光源をサイドに配置することが可能となり、その配置構成の自由度が得られると共に、奥行き方向の薄型化の促進が図れる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
図１は、この発明の第１の実施の形態に係る実体顕微鏡用同軸落射照明装置を示すもので、同図（ａ）は、断面図を示し、同図（ｂ）は底面側を断面図で示したものである。
【００１９】
即ち、枠体１０には、観察光軸ｍ１、ｍ２と照明光軸ｎ１、ｎ２の交点に半透明鏡１１が配され、その照明光軸ｎ１、ｎ２上に２つのコンデンサレンズ１２１、１２２が配される。そして、この枠体１０には、実体顕微鏡の対物レンズ１３の先端に取付けるための実体顕微鏡取付部１４が設けられる。この実体顕微鏡取付部１４は、実体顕微鏡の対物レンズ先端１３に、例えばクランプビス１５を用いて着脱自在に取付けられる。
【００２０】
また、枠体１０の照明光軸ｎ１、ｎ２上のコンデンサレンズ１２１、１２２には、その半透明鏡１１と反対側にファイバ取付部１６１、１６２が設けられる。このファイバ取付部１６１、１６２には、不図示の光源からの照明光を導くための照明用ファイバ１７１、１７２の端部が挿入されて、ビス１８１、１８２で固定される。そして、このコンデンサレンズ１２１、１２２とファイバ取付部１６１、１６２の間には、例えばフィルタ挿入部１９１、１９２が設けられ、このフィルタ挿入部１９１、１９２には、例えば目の疲労防止用の淡青色フィルタや、照明光のムラを取り除く為のフロスト等が選択的に挿着される。
【００２１】
上記照明用ファイバ１７１、１７２は、２つの光源からそれぞれのファイバにより光を導くタイプでも良いし、光源が１つで、ファイバの束を途中で２つに分割したタイプのものを使用しても良い。
【００２２】
ここで、上記観察光軸ｍ１、ｍ２は、グリノー型実体顕微鏡の左右２つの観察光軸ｍ１、ｍ２と合致しており、図２に示すようにその内向角２θ＝１０°（θ＝５°）を持って実体顕微鏡のステージに搭載される試料面で合致するように、上記半透明鏡１１が、２つの観察光軸ｍ１、ｍ２を含む平面を２つの観察光軸ｍ１、ｍ２の二等分線ｐを中心に９０°回転させた平面に対して略垂直に交差し、さらに２つの観察光軸ｍ１、ｍ２を含む平面に対して４５°を成すように上記枠体内に配置される。そして、２つのコンデンサレンズ１２１、１２２と照明用ファイバ１７１、１７２の端部は、２つの観察光軸ｍ１、ｍ２が試料２０（図３参照）側から前記半透明鏡１１に反射したそれぞれ２つの照明光軸ｎ１、ｎ２上に配される。
【００２３】
上記２つの照明光軸ｎ１、ｎ２を含む平面は、２つの観察光軸ｍ１、ｍ２を含む平面に垂直、かつ試料面と平行である。さらに、２つの照明光軸ｎ１、ｎ２は、図２（ｃ）に示すように半透明鏡１１に対して例えば内向角２θ＝１０°（θ＝５°）の傾きを有している。
【００２４】
上記構成において、枠体１０には、実体顕微鏡取付部１４が、図３に示すように実体顕微鏡９の対物レンズ１３の先端に嵌装され、クランプビス１５を用いて固定される。ここで、２つの照明用ファイバ１７１、１７２から発せられると、その光は、コンデンサレンズ１２１、１２２により集光されて照明光軸ｎ１、ｎ２に沿って進み、半透明鏡１１で反射され、観察光軸ｍ１、ｍ２に沿って進み試料２０を照射して同軸落射照明を行う。そして、試料２０からの観察光は、再び、観察光軸ｍ１、ｍ２に沿って逆方向に進み、上記半透明鏡１１に導かれて該半透明鏡１１を透過し、実体顕微鏡９の対物レンズ１３に導かれ、同軸落射照明観察行われる。
【００２５】
このように、上記実体顕微鏡用同軸落射照明装置は、２つの観察光軸ｍ１、ｍ２を含む平面を、該２つの観察光軸ｍ１、ｍ２の二等分線を中心ｐに９０°回転させた平面に対して略垂直に交差するように半透明鏡１１を配置し、上記２つの観察光軸ｍ１、ｍ２が試料２０側から上記半透明鏡１１に反射した２つの照明光軸ｎ１、ｎ２上に照明用ファイバ１７１、１７２を配置して構成した。
【００２６】
上記構成によれば、照明用ファイバ１７１、１７２の端部から出射された光は、半透明鏡１１により対物レンズ１３の光軸と同軸方向に反射されて試料２０に照射される。これにより、離想定な内向角（１０°〜１２°）を有する実体顕微鏡に使用できて、光束の「ケラレ」の防止が実現されて所望の照野を実現することが可能となり、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察の実現に寄与される。
【００２７】
また、これによれば、２つの観察光軸ｍ１、ｍ２に対して同軸に照明光を導くための半透明鏡１１を１枚で構成しているので、一般に用いられる内向角１０°や１２°を有する実体顕微鏡９に対して使用しても、干渉することなく、半透明鏡を配置でき、かつズーム低倍でも「ケラレ」が発生することなく、同軸落射照明を行うことができる。また、半透明鏡１１が１枚であるため、半透明鏡１１による相対的な心ずれ量を最小限に設定することが可能となる。
【００２８】
また、この発明は、上記第１の実施の形態に限ることなく、その他、図４及び図５に示す第２の実施の形態、図６及び図７に示す第３の実施の形態の如く構成しても良い。但し、図４及び図５、図６及び図７の説明においては、上記図１乃至図３と同一部分について、同一符号を付して、その説明を省略する。
【００２９】
先ず、図４及び図５に示す第２の実施の形態では、枠体１０に対して半透明鏡１１１を観察光軸ｍ１、ｍ２上に試料面に対して４５°よりも鋭角な略平行近辺に配置し、その２つの照明光軸ｎ１、ｎ２上に照明光軸ｎ１、ｎ２を半透明鏡１１１に折り返すようにミラー２１を配置する。
【００３０】
即ち、半透明鏡１１１は、図５に示すように試料面に対して例えば２２．５°を成す角度で枠体に配置され、内向角２θ＝１０°（θ＝５°）を有して２つの観察光軸ｍ１、ｍ２が試料２０側から上記半透明鏡１１１で反射した方向、例えば照明光軸と６７．５°の角度を成してミラー２１を配置する。そして、照明用ファイバ１７１、１７２は、上記ミラー２１により反射した照明光軸ｎ１、ｎ２上にそれぞれ配置される。ここで、２つの照明光軸ｎ１、ｎ２を含む平面は、２つの観察光軸ｍ１、ｍ２を含む平面に垂直、かつ試料面と平行で、該２つの照明光軸ｎ１、ｎ２は、上記半透明鏡１１１に対して内向角２θ＝１０°（θ＝５°）の傾きを有する。
【００３１】
上記構成により、枠体１０は、上述した第１の実施の形態と同様に実体顕微鏡９の対物レンズ１３の先端に装着され、落射照明を行う際に、照明用ファイバ１７１、１７２の端部から照明光が発せられる。すると、照明用ファイバ１７１、１７２の端部から発せられた照明光は、ミラー２１により反射されて半透明鏡１１１に導かれ、該半透明鏡１１１により反射されて観察光軸ｍ１、ｍ２と同軸上に偏向され、試料２０に照射され、同軸落射照明による観察が可能となる。
【００３２】
上記実施の形態によれば、上述した第１の実施の形態と同様の効果の他に、観察光軸ｍ１、ｍ２に対する半透明鏡１１１の光軸の傾斜角が少ないため、心ずれ量が少なくすることが可能となると共に、枠体１０の厚さ寸法を薄くすることが可能となり、ＷＤが大きくなり、作業空間の増加を図ることができる。
【００３３】
また、上記第２の実施の形態においては、半透明鏡１１１を観察光軸ｍ１、ｍ２上に試料２０面に対して４５°よりも鋭角な略平行となるように枠体に配置し、その２つの照明光軸ｎ１、ｎ２上に照明光軸ｎ１、ｎ２を半透明鏡１１１で折り返すようにミラー２１を配置するように構成したが、半透明鏡１１１とミラー２１の配置関係は、これに限られるものでなく、例えば図６に示すような構成にしても同様な効果が得られる。
【００３４】
図６では、半透明鏡１１１は、上記図５の半透明鏡１１１とは反対方向に２２．５°を成す角度で配置され、内向角２θ＝１０°（θ＝５°）を有して２つの観察光軸ｍ１、ｍ２が試料２０側から上記半透明鏡１１１で反射した方向、例えば照明光軸と５７．５°の角度を成してミラー２１を配置する。このとき、照明光軸ｎ１、ｎ２を含む平面は、２つの観察光軸ｍ１、ｍ２を含む面に垂直である必要はなく、この場合、照明用ファイバ１７１、１７２の端部を斜め下方へ向けて配置して照明される。
【００３５】
このように構成することで、第２の実施の形態と同様の効果を達成できる上に、実体顕微鏡本体後方に配される照明用ファイバ１７１、１７２がステージ上方へ逃がされているので、第２の実施の形態でアームを回避するように照明用ファイバ１７１、１７２が自由に配置されていたのに比べて、ステージ上面及び上方の空間を有効に使うことができる。
【００３６】
また、図７及び図８に示す第３の実施の形態では、枠１０に対して、半透明鏡１１２を観察光軸ｍ１、ｍ２と照明光軸ｎ１、ｎ２の交点に配置する。そして、枠体の２つの照明光軸ｎ、ｎ′上には、ミラー２２１、２２２が配置され、このミラー２２１、２２２により偏向された光軸ｋ１、ｋ２上には、コンデンサレンズ１２１、１２２が配置される。
【００３７】
また、枠体１０には、照明光軸ｎ１、ｎ２上のコンデンサレンズ１２１、１２２に対してミラー２２１、２２２と反対側にファイバ取付部１６１、１６２が設けられる。そして、この枠体１０のファイバ取付部１６１、１６２には、上記照明用ファイバ１７１、１７２の端部が収容されて、図示しないビス等を用いて取付けられる。
【００３８】
ここで、ミラー２２１、２２２は、図８に示すように照明光軸ｎ１、ｎ２上に、２つの照明光軸ｎ１、ｎ２を含む平面に対して垂直に交差するように配置される。そして、上記コンデンサレンズ１２１、１２２と照明用ファイバ１７１、１７２は、上記ミラー２２１、２２２により照明光軸ｎ１、ｎ２が反射した光軸ｋ１、ｋ２上にそれぞれ配置される。この光軸ｋ１、ｋ２は、２つの照明光軸ｎ１、ｎ２を含む平面に対して平行かつ、試料２０面に対しても平行である。
【００３９】
上記ミラー２２１は、光軸ｋ１に対して例えば４７．５°の角度を成しており、ミラー２２２は、軸ｋ２に対して例えば４２．５°の角度を成している。これらミラー２２１、２２２を用いて照明光軸ｎ１、ｎ２を折り返えすことで、照明用ファイバ１７１、１７２の端部から出射される照明光の出射方向を制御する。
【００４０】
また、上記照明用ファイバ１７１、１７２の端部から出射される照明光の出射方向が平行に設定される。この際、左右の照度差を等しくするために、２つの照明用ファイバ１７１、１７２から半透明鏡１１２までの左右の光路長は、等しく設定される。
【００４１】
上記構成により、枠体１０は、上述した第１及び第２の実施の形態と同様に実体顕微鏡９の対物レンズ１３の先端に装着され、落射照明を行う際に、照明用ファイバ１７１、１７２の端部から照明光が発せられる。すると、照明用ファイバ１７１、１７２から発せられた照明光は、ミラー２２１、２２２により反射された後、半透明鏡１１２により偏向され、試料２０に対して実体顕微鏡９の観察光軸ｍ１、ｍ２と同軸で照明され、同軸落射照明による観察が可能となる。
【００４２】
上記実施の形態によれば、上記各実施の形態と同様な効果が得られ、さらに、ファイバをサイドから挿入できることで、奥行き方向の寸法の軽減が図るので、奥行き方向に制限のある実体顕微鏡用の架台と組み合わせて使用するときなどは有効的である。
【００４３】
上記第３の実施の形態においては、枠体１０の２つの照明光軸ｎ１、ｎ２上にミラー２２１、２２２を配置して、このミラー２２１、２２２により偏向された光軸ｋ１、ｋ２上にコンデンサレンズ１２１、１２２を配置するように構成したが、その他、例えば図９乃至図１２に示すように構成しても、同様の効果が期待される。
【００４４】
図９では、ミラー２２１、２２２及びコンデンサレンズ１２１、１２２に換えて凹面鏡２３１、２３２を、照明光軸ｎ１、ｎ２上に配置するように構成したものである。
【００４５】
図１０は、２枚のミラー２２１、２２２を１枚のミラー２４で構成するようにしたものである。
【００４６】
図１１は、２枚のミラー２２１、２２２を照明光軸に直交する光軸ｋ１、ｋ２に対して例えば４２．５°の角度で略対称に対向配置すると共に、このミラー２２１、２２２に対向して照明用ファイバ１７１、１７２の端部をそれぞれ配置するように構成したものである。
【００４７】
図１２は、２枚の凹面鏡２３１、２３２を照明光軸ｎ１、ｎ２に直交する光軸ｋ１、ｋ２に対して例えば４２．５°の角度で略対称に対向配置すると共に、この凹面鏡２３１、２３２に対向して照明用ファイバ１７１、１７２をそれぞれ配置するように構成したものである。
【００４８】
また、この発明は、上記第１乃至第３の各実施の形態に限ることなく、その他、図１３に示す第４の実施の形態、及び図１４に示す第５の実施の形態の如く構成しても良い。但し、図１３及び図１４の説明においては、上記図１乃至図１２と同一部分について、同一符号を付して、その説明を省略する。
【００４９】
図１３に示す第４の実施の形態では、照明光軸ｎ１、ｎ２上の照明用ファイバ１７１、１７２と半透明鏡１１との間にポラライザ３０１、３０２を介在して、観察光軸ｍ１、ｍ２上の半透明鏡１１と実体顕微鏡９の対物レンズ１３の先端との間にアナライザ３１を、互いにクロスニコルとなるように配置するように構成したものである。この第４の実施の形態によれば、さらに、簡易偏向観察を容易に行うことが可能となる。
【００５０】
また、図１４に示す第５の実施の形態では、照明用ファイバ１７１、１７２のフォーカシングを可能とするように枠体１０のファイバ取付部１６１、１６２に対してファイバ支持部３２１、３２２を照明光軸ｎ１、ｎ２方向に移動自在に組付け、このファイバ支持部３２１、３２２に対して照明用ファイバ１７１、１７２の端部を挿着する。ファイバ支持部３２１、３２２は、その基端側が枠体１０の端部から突出され、その突出部位間が連結板３３を介して相互間が矢印Ｘ方向に移動自在に連結される。
【００５１】
連結板３３には、操作レバー３３１が設けられ、この操作レバー３３１を挟んで長孔３３２、３３３が、上記２つのファイバ支持部３２１、３２２に対応して設けられる。そして、この連結板３３は、その長孔３３２、３３３に段付きビス３４１、３４２が挿通されて、該段付きビス３４１、３４２がファイバ支持部３２１、３２２にそれぞれ螺着される。ここで、連結板３３は、２つの照明用ファイバ１７１、１７２の相互間を位置決めした状態で、その長孔３３２、３３３の作用により段付きビス３４１、３４２を、該長孔３３２、３３３に沿って案内してファイバ支持部３２１、３２２の矢印Ｘ方向の移動を許容する。
【００５２】
上記構成により、照明用ファイバ１７１、１７２のフォーカシングを行う場合には、連結板３３の操作レバー３３１を手にして連結板３３３と共に、ファイバ支持部３２１、３２２を矢印Ｙ方向に移動させる。すると、ファイバ支持部３２１、３２２は、それぞれ照明光軸ｎ１、ｎ２方向に移動される。この際、ファイバ支持部３２１、３２２は、連結板３３の長孔３３２、３３３と段付きビス３４１、３４２の作用により、それぞれ矢印Ｘ方向に移動調整されることにより、照明光軸ｎ１、ｎ２方向に移動されて照明用ファイバ１７１、１７２のフォーカシングを実行する。
【００５３】
このフォーカシング調整時、例えばコンデンサレンズ１２１、１２２と照明用ファイバ１７１、１７２のクリアランスを狭めると照野は広がり、より低い倍率時でも対応でき、逆にコンデンサレンズ１２１、１２２と照明用ファイバ１７１、１７２のクリアランスを広げると照野は狭くなり（ＮＡが大）、より高い倍率時でも対応することができる。これにより、低倍から高倍までの高いズーム比を備えた実体顕微鏡に対応することが可能となる。
【００５４】
また、この第５の実施の形態では、照明用ファイバ１７１、１７２を照明光軸ｎ１、ｎ２方向に移動調整してフォーカシングを行うように構成した場合を代表して説明したが、これに限ることなく、例えばコンデンサレンズ１２１、１２２を照明光軸ｎ１、ｎ２方向に移動調整してフォーカシングを行うように構成することも可能で、同様の効果が期待される。
【００５５】
なお、上記第４及び第５の実施の形態においては、相互を組み合わせて構成することも可能である。そして、この第４及び第５の実施の形態は、上述した第１乃至第３の実施の形態と組み合わせて構成することも可能で、その組み合わせにより、さらに有効な効果が期待される。
【００５６】
また、上記第１乃至第５の実施の形態においては、光源として照明用ファイバ１７１、１７２を用いて構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、光源として、ランプを用いて構成することも可能で、略同様の効果が期待される。
【００５７】
よって、この発明は、上記各実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記各実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。
【００５８】
例えば各実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【００５９】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明によれば、理想的な内向角（１０°〜１２°）を有する実体顕微鏡に使用でき、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察の実現に寄与し得るようにした実体顕微鏡用同軸落射照明装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態に係る実体顕微鏡用同軸落射照明装置を示した一部断面図である。
【図２】図１の配置構成を示した原理図である。
【図３】図１を実体顕微鏡に装着した状態を示した側面図である。
【図４】この発明の他の実施の形態に係る実体顕微鏡用同軸落射照明装置を示した一部断面図である。
【図５】図４の配置構成を示した原理図である。
【図６】図４の実施の形態の変形例を示す側面図である。
【図７】この発明の他の実施の形態に係る実体顕微鏡用同軸落射照明装置を示した一部断面図である。
【図８】図６の配置構成を示した原理図である。
【図９】図６の実施の形態における変形例を示した構成説明である。
【図１０】図６の実施の形態における他の変形例を示した構成図である。
【図１１】図６の実施の形態における他の変形例を示した構成図である。
【図１２】図６の実施の形態における他の変形例を示した構成図である。
【図１３】この発明の他の実施の形態に係る実体顕微鏡用同軸落射照明装置を示した一部断面図である。
【図１４】この発明の他の実施の形態に係る実体顕微鏡用同軸落射照明装置を示した一部断面図である。
【符号の説明】
９　…　実体顕微鏡
１０　…　枠体
１１、１１１、１１２　…　半透明鏡
１２１、１２２　…　コンデンサレンズ
１３　…　対物レンズ
１４　…　実体顕微鏡取付部
１５　…　クランプビス
１６１、１６２　…　ファイバ取付部
１７１、１７２　…　照明用ファイバ
１８１、１８２　…　ビス
１９１、１９２　…　フィルタ挿入部
２０　…　試料
２１　…　ミラー
２２１、２２２　…　ミラー
２３１、２３２　…　凹面鏡
２４　…　ミラー
３０１、３０２　…　ポラライザ
３１　…　アナライザ
３２１、３２２　…　ファイバ支持部
３３　…　連結板
３３１　…　操作レバー
３３２、３３３　…　長孔
３４１、３４２　…　段付きビス
ｍ１、ｍ２　…　観察光軸
ｎ１、ｎ２　…　照明光軸
ｋ１、ｋ２　…　光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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