(57)【要約】【課題】従来の光メモリの利便性を保持しながら回折限界を越える高密度な記録を行う。【解決手段】記録媒体１は、周期的な凹凸形状を有する基板２の凹凸形状を有する面に導電性層４を形成し、導電性層３の凹凸形状を有する面に凹凸形状５を有する記録層４を形成する。情報を記録したり再生するために記録媒体１に照射するレーザ光の偏光方向を、記録媒体１の連続した記録情報が並ぶ方向に対して略平行にして、照射したレーザ光のエネルギを微小領域に記録層４の凹凸形状５の溝１５に集中させて電磁場のエネルギに変換させて、微小な領域での記録と再生を可能にする。【選択図】    図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
周期的な凹凸形状を有する基板の凹凸形状を有する面に導電性層を形成し、導電性層の凹凸形状を有する面に凹凸形状の記録層を形成したことを特徴とする記録媒体。
【請求項２】
周期的な凹凸形状を有する透明基板の凹凸形状を有する面に凹凸形状の記録層を形成し、記録層の凹凸形状を有する面に導電性層を形成し、導電性層の凹凸形状を有する面に凹凸形状の記録層を形成したことを特徴とする記録媒体。
【請求項３】
前記記録層の凹凸形状を保護する保護層を設けた請求項１又は２記載の記録媒体。
【請求項４】
周期的な凹凸形状を有する透明基板の凹凸形状を有する面に凹凸形状の記録層を形成し、記録層の凹凸形状を有する面に導電性層を形成しことを特徴とする記録媒体。
【請求項５】
前記記録層の凹凸形状を３角波形状にした請求項１乃至４のいずれかに記載の記録媒体。
【請求項６】
前記記録層の凹凸形状は、２次元の周期構造を有する請求項５記載の記録媒体。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の記録媒体に情報を記録し、記録した情報を再生する情報記録再生装置であって、
前記記録媒体の記録層の周期的な凹凸形状の隣接する複数の凹凸に跨って直線偏光のレーザ光を集光して照射する光照射ユニットと、前記記録媒体からの反射光又は透過光を検出して記録情報を読み出す光信号検出ユニットを有し、
前記光照射ユニットから照射するレーザ光の偏光方向を、前記記録層の連続した記録情報が並ぶ方向に対して略平行にしたことを特徴とする情報記録再生装置。
【請求項８】
前記光信号検出ユニットは、集光レンズとピンホールを用いた共焦点光学系を有する請求項７記載の情報記録再生装置。
【請求項９】
前記光照射ユニットは、記録媒体の集光される光のスポットサイズより狭い領域に、大きさの異なる複数の記録マークを形成し、多値情報を記録する請求項７又は８記載の情報記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光により情報を記録する記録媒体及び記録媒体に対して情報を記録したり、記録した情報を再生する情報記録再生装置、特に高密度の記録と再生の実現に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開２０００−２９３８８８号公報
【特許文献２】特開２０００−２５１２８２号公報
現在実用化されている光メモリに情報を記録するときは、回折限界にまで集光したレーザ光を光メモリへ照射し、光メモリの記録層に対して熱的あるいは磁気的変調を与えて情報の記録を行う。また、光メモリに記録した情報を再生するときは、記録マークによって変調される反射光強度又は偏光状態の変化を検出して記録情報を再生している。このような情報記録方法は、記録密度がレーザ波長と対物レンズの開口数でほぼ決定されてしまう。しかしながら、近年のコンピュータ等の情報機器を取り巻く情報量の増大に対応していくためには、上記条件で決定される記録密度の限界を越えるような大容量な光メモリが必要とされている。
【０００３】
このような次世代の大容量光メモリとして有望視されているものとして、例えば特許文献１や特許文献２等に近接場光を利用して情報の記録と再生を行う近接場光を利用した情報記録再生装置が提案されている。この近接場光を発生させる近接場光プローブ３０は、図１６に示すように、ガラス基板等の透光性基板３１に金やアルミなどの金属膜３２を堆積させ、この金属膜３２に光の波長以下の大きさの微小開口３３を形成して構成している。そして近接場光プローブ３０の微小開口３３に対物レンズ３４を介して光を集光して照射し、微小開口３３に近接して配置された記録媒体３５上の波長以下の微小な領域に対して電磁場のエネルギーを与える。このようにして対物レンズ３４で集光させた場合よりも記録媒体３５の微小な領域に対して情報の記録し、記録した情報を再生するようにして、従来の光メモリよりも高密度で大容量なものを実現するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前記対物レンズによって光を集光させて記録媒体に情報を記録したり再生する方法では、回折限界を越えるような高密度で情報を記録することは困難である。また、近接場光を利用した場合は、近接場光プローブと記録媒体が近接して配置する必要があることや、記録媒体表面に情報を記録させるため、振動や空気中の塵などの付着に弱く、従来の光ディスクのように簡便に扱えるようにすることは困難である。
【０００５】
この発明はかかる短所を改善し、従来の光メモリの利便性を保持しながら回折限界を越える高密度な記録を行うことができる記録媒体及び情報記録再生装置を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明の記録媒体は、周期的な凹凸形状を有する基板の凹凸形状を有する面に導電性層を形成し、導電性層の凹凸形状を有する面に凹凸形状の記録層を形成し、記録媒体に照射される光のエネルギを所定の領域に集中した電磁場のエネルギに変換させて、微小な領域での記録と再生を可能にする。
【０００７】
この発明の第２の記録媒体は、周期的な凹凸形状を有する透明基板の凹凸形状を有する面に凹凸形状の記録層を形成し、記録層の凹凸形状を有する面に導電性層を形成し、導電性層の凹凸形状を有する面に凹凸形状の記録層を形成し、２つの記録層に異なる情報を記録できるようにして記録容量を２倍にする。
【０００８】
前記記録層の凹凸形状を保護する保護層を設け、記録層の凹凸形状が破損することを防ぐ。
【０００９】
この発明の第３の記録媒体は、周期的な凹凸形状を有する透明基板の凹凸形状を有する面に凹凸形状の記録層を形成し、記録層の凹凸形状を有する面に導電性層を形成し、記録層にごみが付着したり傷を付けることを防ぐ。
【００１０】
前記記録層の凹凸形状を３角波形状にして、光のエネルギを微小領域に集中させることが望ましい。
【００１１】
また、記録層の凹凸形状を２次元の周期構造にして、１次元の周期構造の場合よりも照射した光を情報の記録又は再生したい領域に集光させる。
【００１２】
この発明の情報記録再生装置は、前記記録媒体に情報を記録し、記録した情報を再生する情報記録再生装置であって、記録媒体の周期的な凹凸形状の隣接する複数の凹凸に跨って直線偏光のレーザ光を集光して照射する光照射ユニットと、記録媒体からの反射光又は透過光を検出して記録情報を読み出す光信号検出ユニットを有し、光照射ユニットから照射するレーザ光の偏光方向を、記録媒体の連続した記録情報が並ぶ方向に対して略平行にして、照射したレーザ光のエネルギを微小領域に集中させる。
【００１３】
また、光信号検出ユニットは、集光レンズとピンホールを用いた共焦点光学系を有し、再生したい情報が記録された部分に隣接する領域からの光信号を検出することを低減し、情報を含む光信号を効率よく検出する。
【００１４】
さらに、光照射ユニットは、記録媒体の集光される光のスポットサイズより狭い領域に、大きさの異なる複数の記録マークを形成し、多値情報を記録する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
この発明の記録媒体１は、図１（ａ）の斜視図に示すように、ディスク形状に形成され、中心部分が情報記録再生装置の回転軸と結合されてモーターによって回転駆動される。この記録媒体１は、図１（ｂ）の断面図に示すように、３角波形状を有したガラスやプラスチック材料などの基板２に導電性層３と記録層４が積層され、記録層４の表面は同心円状の凹凸形状５になっている。導電性層３は、金や銀、銅、アルミ、チタン、クロムなどの金属類の他、合金や半導体などを用いて形成される。記録層４は、相変化記録材料を始め、光磁気記録材料や追記型の記録材料に用いられる有機材料又は無機材料などを用いて形成される。ここで記録層４は、それぞれの記録材料とこれと組み合わせて用いられる誘電体層などを含むものとする。例えば、相変化材料を用いた記録層４は、図２の断面図に示すように、相変化層４２を挟んで上下に誘電体層４１，４３を設けて構成される。この導電性層３と記録層４の膜厚は、選択する材料によって異なるが、例えば導電性層３として銀を使用し、相変化層４２としてＡｇＩｎＳｎＴｅを使用し、誘電体層４１，４３としてＺｎＳ・ＳｉＯ２を使用した場合、導電性層３の膜厚は１００ｎｍ、相変化層４２の膜厚は１７ｎｍ、誘電体層４１，４３の膜厚はそれぞれ２０ｎｍとなる。
【００１６】
この記録媒体１の記録層４に相変化層４２を有し、記録媒体１に情報を記録したり、記録された情報を再生する情報記録再生装置の光学ユニット６は、図（ａ）の構成図に示すように、光源７とコリメートレンズ８とビームスプリッタ９と対物レンズ１０と集光レンズ１１及びフォトダイオード等の光検出器１２を有する。記録媒体１に情報を記録するときは、光源７から例えば波長６５０ｎｍの半導体レーザ光を出射し、このレーザ光をコリメートレンズ８で平行光に変換してビームスプリッタ９を通し、例えば開口数が０．８の対物レンズ１０で集光して記録媒体１に照射して記録媒体１の記録層４に情報を記録する。記録媒体１に記録した情報を再生するときは、記録媒体１の記録層４が破壊しない程度の強度のレーザ光を光源７からコリメートレンズ８とビームスプリッタ９及び対物レンズ１０を介して記録媒体１に連続照射し、記録媒体１からの反射光をビームスプリッタ９で反射して集光レンズ１１で光検出器１２に集光して記録媒体１からの反射光強度を光検出器１２で検出する。
【００１７】
また、記録媒体１の記録層４に、例えば光磁気記録材料などを使用し、記録媒体１からの反射光強度ではなく偏光の変化を利用して情報の再生を行う場合は、図２（ｂ）の構成図に示すように、記録媒体１からの反射光の偏光方向を４５度回転させる１／２波長板１３を設け、１／２波長板１３を通った反射光をビームスプリッタ１４で２つに分けて集光レンズ１１，１１ａで光検出器１２，１２ａに集光し、光検出器１２，１２ａの出力信号の差分を検出して情報を再生する。
【００１８】
この記録媒体１に光学ユニット６で情報を記録したり再生するときは、記録媒体１を回転しながら、光学ユニット６を記録媒体１の表面と平行に移動して、情報を記録したり再生する位置にレーザ光を照射する。この記録媒体１に対するレーザ光の照射は、図４に示すように、対物レンズ１０で集光されたレーザ光が記録媒体１の記録層４表面の凹凸部分、例えば対物レンズ１０側から見て３つの溝に照射される。この照射するレーザ光の偏光方向（光の電界成分の振動方向）は、図４の紙面に対して平行となるように構成されている。このとき、記録層４への情報の記録や再生は、レーザ光の集光スポットの中心がある溝１５のごく近傍に対して行われる。この記録層４に情報を記録したり再生するときの状態を図５の拡大断面図を参照して説明する。
【００１９】
対物レンズ１０で集光された光は、ほぼガウス型の強度分布となっている。したがってレーザ光の集光スポットの中心がある溝１５に入射したレーザ光の強度は、隣接する溝１５ａ，１５ｂに入射される光強度よりも強くなっている。各溝１５，１５ａ，１５ｂに入射したレーザ光は、導電性層３の効果によって各溝１５，１５ａ，１５ｂの先端付近１６，１６ａ，１６ｂに強い電磁場を発生する。この電磁場の強度は、各溝１５，１５ａ，１５ｂに照射される光強度の差と各溝１５，１５ａ，１５ｂの中心に対する光強度や位相分布の違いなどにより顕著な差が発生し、溝１５の先端付近１６の電磁場の強度が著しく大きくなる。また、各溝１５，１５ａ，１５ｂで発生する電磁場強度は、対物レンズ１０によって形成される集光スポットや光の波長と溝のピッチｐと溝の深さｄ及び記録層４や導電性層３の種類などの条件によって異なり、記録や再生の必要に応じて決定される。例えば、導電性層３として銀を使用し、相変化層４２としてＡｇＩｎＳｎＴｅを使用し、誘電体層４１，４３としてＺｎＳ・ＳｉＯ２を使用し、光源７から波長４１０ｎｍのレーザ光を出射し、開口数０．８５の対物レンズ１０で集光させて照射した場合、照射される集光スポットの中心強度の１／ｅ２になるところの直径は５００ｎｍ以下となり、溝のピッチｐを約２００ｎｍ、溝の深さｄを約１５０ｎｍとすることによって、溝１５の先端付近１６の電磁場の強度を隣接する溝１５ａ，１５ｂの先端付近１６ａ，１６ｂの電磁場の強度の５倍以上にすることができ、集光スポットの中心部分の溝１５に対してだけ情報を記録し、記録した情報を再生することができる。
【００２０】
このように記録媒体１に導電性層３を形成するとともに、導電性層３と記録層４に３角波形状の凹凸を形成し、記録媒体１に照射されるレーザ光のエネルギを所定の領域に集中した電磁場のエネルギに変換させることにより、従来の光メモリより微小な領域に情報を記録することができるとともに記録した情報を再生することができ、より高密度に情報を記録することができる。
【００２１】
前記説明では記録媒体１の記録層４の表面に３角波形状の凹凸を形成した場合について説明したが、図６に示すように、波状に近い形状の凹凸を形成しても、溝の先端部の微小な領域に情報を記録することができる。
【００２２】
また、前記説明では記録媒体１を、３角波形状や波状に近い凹凸を有する基板２の凹凸面に導電性層３を積層し、導電性層３の凹凸面に記録層４を積層した場合について説明したが、図７（ａ），（ｂ）に示すように、３角波形状や波状に近い凹凸を有する透明基板２の凹凸面に記録層４を積層し、記録層４の凹凸面に導電性層３を積層して記録媒体１ａを形成しても良い。この場合、透明基板２の厚さは、記録媒体１ａに十分な剛性を与えられればよく、例えばガラスを用いた場合では１ｍｍもあれば十分である。
【００２３】
この記録媒体１ａに情報を記録したり、記録した情報を再生する場合は、図８に示すように、光学ユニット６により透明基板２側からレーザ光を照射し、前記と同様に、記録層３の凹凸面の溝に集光してレーザ光のエネルギを所定の領域に集中した電磁場のエネルギに変換させる。このようにして従来の光メモリより微小な領域に情報を記録することができるとともに記録した情報を再生することができ、より高密度に情報を記録することができる。
【００２４】
また、図９に示すように、記録媒体１ａの導電性層３の凹凸面に、保護層１７を設けることにより、記録媒体１ａの凹凸面が破損することを防ぐことができる。この保護層１７の材質と膜厚については、特に限定されるものではなく、保護層１７としては、例えば紫外線硬化樹脂を数１０クロン〜数１００ミクロン塗布して構成することが可能である。
【００２５】
また、図１０に示すように、３角波形状や波状に近い凹凸を有する透明基板２の凹凸面に記録層４を積層し、記録層４の凹凸面に導電性層３を積層して、さらに導電性層３の凹凸面に第２の記録層４ａを積層し、この第２の記録層４ａの凹凸面を第２の透明基板２ａで覆って記録媒体１ｂを形成しても良い。このように導電性層３の両面に記録層４と第２の記録層４ａを設け、記録媒体１ｂの両面に情報を記録することにより、１枚の記録媒体１ｂに記録する容量を２倍にすることができる。また、透明基板２と第２の透明基板２ａを同じ材質で厚さを同じに形成すると、光学ユニット６の光源７から同じ波長のレーザ光を照射して対物レンズ１０で記録層４と第２の記録層４ａにそれぞれ集光したときに発生する収差を抑えることができる。
【００２６】
さらに、図１１（ａ）の平面図と（ｂ）のＡ−Ａ断面図と（ｃ）のＢ−Ｂ断面図に示すように、２次元の凹凸形状を有する基板２に導電性層３と記録層４を積層して記録媒体１ｃを形成しても良い。この記録媒体１ｃにおいて、情報が記録される方向はＡ−Ａ方向であり、ピッチｑの凹凸の部分に連続したデータ列が記録される。このピッチｑは、Ａ−Ａ方向と直交するＢ−Ｂ方向の凹凸のピッチｐより長くなっている。このようにピッチｑをピッチｐより長くするのは、隣接する記録データとの分離の度合が、ピッチｐで表わされる方向の方がピッチｑで表される方向よりも良好であるためである。すなわちピッチｑよりピッチｐを小さくしても隣接する記録マーク間の干渉は少なく、１つの記録マークの記録再生を行うことができる。このピッチｑの大きさは、例えばピッチｐを約２００ｎｍとした場合、ピッチｑは４００ｎｍ程度にすれば良い。
【００２７】
この記録媒体１ｃで情報を記録するための記録マークは、記録しておきたい情報にしたがってその大きさが区別された多値データとなる。例えば、図１２の部分拡大図に示すように、溝の部分に大きさの異なる２種類のマーク１８を記録する場合では、何も記録しない場合を含めて３値の記録を実現することができる。この記録マークの多値化については、例えば記録層４に相変化材料を用い、光学ユニット６の光源７から出射するレーザ光を強度変調して、記録層４に照射するレーザ光の強度と照射時間を可変すれば良い。
【００２８】
このように各種記録媒体１〜１ｃに情報を記録したり、記録した情報を再生する光学ユニット６で記録媒体１〜１ｃに記録した情報を再生するとき、記録媒体１〜１ｃに記録された情報を含むレーザ光を集光レンズ１１から光検出器１２に集光するとき、図１３の構成図に示すように、集光レンズ１１と光検出器１２の間にピンホール１９を有する絞り２０を設け、ビームスプリッタ９で分岐されたレーザ光を集光レンズ１１を用いてピンホール１９に集光し、ピンホール１９からの透過光を光検出器１２で検出するいわゆる共焦点の光学系を構成することにより、より良好な再生信号を得ることができる。このピンホール１９の大きさは集光レンズ１１の集光限界程度の大きさのもの、例えば、レーザ光の波長を６５０ｎｍ、集光レンズ１１の開口数を０．３とした場合、２μｍ程度の大きさのピンホール１９を設ければ良い。記録媒体１からの反射光は、図５に示すように、再生したい情報が記録されている溝１５の部分と隣接する溝１５ａ，１５ｂの部分から反射してくる光が重なり合った状態となる。このような反射光を集光レンズ１１で集光すると、平行平面波を集光させた場合よりも集光スポットのサイズは大きくなり、その中心部分に再生したい記録情報を反映した光強度の成分が多く含まれる。この再生したい記録情報を反映した光強度の成分が多く含まれる範囲をピンホール１９で透過することにより、記録情報を反映した光強度の成分から良好な再生信号を得ることができる。
【００２９】
前記各記録媒体１〜１ｃは記録された情報を記録層４の反射光により再生する場合について説明したが、記録層４の透過光により情報を再生する場合について説明する。
【００３０】
記録層４の透過光により情報を再生する記録媒体１ｄは、図１４の断面図に示すように、３角波形状や波状に近い凹凸を有する透明基板２の凹凸面に導電性層３ａを積層し、導電性層３ａの凹凸面に記録層４を積層して、さらに記録層４の凹凸面を第２の透明基板２ａで覆って形成している。この記録媒体１ｄの導電性層３ａは、金や銀、銅、アルミ、チタン、クロムなどの金属類や合金あるいはや半導体など、照射したレーザ光が効率よく透過するように、膜厚が最大で５０ｎｍの薄膜となるように形成されている。
【００３１】
この記録媒体１ｄに情報を記録したり、記録した情報を再生する光学ユニット６は、図１５の構成図に示すように、記録媒体１ｄを挟んで設けられた光照射ユニット２１と光信号検出ユニット２２を有する。光照射ユニット２１は、例えば波長が４０５ｎｍのレーザ光を出射する光源７とコリメートレンズ８及び対物レンズ１０を有し、光信号検出ユニット２２は、集光レンズ１１及び光検出器１２を有する。そして記録媒体１ｄに情報を記録するとき、光源７から出射したレーザ光をコリメートレンズ８で平行光に変換し、対物レンズ１０で記録媒体１ｄに集光して、記録層４に情報を記録する。記録層４に記録した情報を再生するときは、光源７から記録層４が破壊に至らない強度のレーザ光を連続照射し、記録媒体１ｄからの透過光を集光レンズ１１で光検出器１２に集光して、透過光の強度を検出し、記録媒体１ｄに記録した情報を再生する。
【００３２】
前記説明では記録媒体１〜１ｄを円形ディスク形状にした場合について説明したが、記録媒体１〜１ｄを角型のカードタイプなどに形成しても良い。
【００３３】
【発明の効果】
この発明は以上説明したように、周期的な凹凸形状を有する基板の凹凸形状を有する面に導電性層を形成し、導電性層の凹凸形状を有する面に凹凸形状の記録層を形成し、記録媒体に照射される光のエネルギを所定の領域に集中した電磁場のエネルギに変換させて、微小な領域での記録と再生を可能にするから、より高密度の記録を行うことができる。
【００３４】
また、導電性層の両面に周期的な凹凸形状を有する記録層を形成することにより、２つの記録層に異なる情報を記録でき、記録容量を２倍にすることができる。
【００３５】
さらに、記録層の凹凸形状を保護層で保護することにより、記録層の凹凸形状が破損することを防ぎ、情報を安定して記録するとともに、記録した情報を精度良く再生することができる。
【００３６】
また、周期的な凹凸形状を有する透明基板の凹凸形状を有する面に凹凸形状の記録層を形成し、記録層の凹凸形状を有する面に導電性層を形成することにより、記録層にごみが付着したり傷を付けることを防ぎ、良好な記録と再生を実現する。
【００３７】
また、記録層の凹凸形状を３角波形状にして、光のエネルギを微小領域に集中させることにより、より高密度な記録と再生を実現することができる。
【００３８】
さらに、記録層の凹凸形状を２次元の周期構造にして、１次元の周期構造の場合よりも照射した光を情報の記録又は再生したい領域に集光させ、記録密度を向上させるとともに安定した記録と再生を実現することができる。
【００３９】
また、情報を記録したり再生するために記録媒体に照射するレーザ光の偏光方向を、記録媒体の連続した記録情報が並ぶ方向に対して略平行にすることにより、照射したレーザ光のエネルギを微小領域に集中させることができ、より高密度な記録と再生を行うことができる。
【００４０】
さらに、記録媒体に記録した情報を再生する光信号検出ユニットを、集光レンズとピンホールを用いた共焦点光学系にすることにより、再生したい情報が記録された部分に隣接する領域からの光信号を検出することを低減し、情報を含む光信号を効率よく検出して記録された情報を良好に再生することができる。
【００４１】
また、光照射ユニットは、記録媒体の集光される光のスポットサイズより狭い領域に、大きさの異なる複数の記録マークを形成することにより、多値情報を記録することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の記録媒体の構成図である。
【図２】記録媒体の構成を示す部分断面図である。
【図３】記録再生用の光学ユニットの構成図である。
【図４】記録媒体に対するレーザ光の集光状態を示す模式図である。
【図５】記録媒体に照射したレーザ光で発生する電磁場の領域を示す模式図である。
【図６】第２の記録媒体の構成を示す断面図である。
【図７】第３の記録媒体の構成を示す断面図である。
【図８】第３の記録媒体に対する光学ユニットの配置図である。
【図９】保護層を有する記録媒体の構成を示す断面図である。
【図１０】第４の記録媒体の構成を示す断面図である。
【図１１】第５の記録媒体の構成を示す断面図である。
【図１２】記録媒体に多値の記録をするときの記録マークを示す部分拡大図である。
【図１３】共焦点光学系の光信号検出ユニットを有する光学ユニットの構成図である。
【図１４】透過光により情報を再生する記録媒体の構成を示す断面図である。
【図１５】透過光により情報を再生する光学ユニットの構成図である。
【図１６】近接場光プローブを使用した情報記録再生装置の構成図である。
【符号の説明】
１；記録媒体、２；基板、３；導電性層、４；記録層、５；凹凸形状、
６；光学ユニット、７；光源、８；コリメートレンズ、
９；ビームスプリッタ、１０；対物レンズ、１１；集光レンズ、
１２；光検出器、１３；１／２波長板、１５；溝、１７；保護層、
１９；ピンホール、２０；絞り、４１，４３；誘電体層、４２；相変化層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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