(57)【要約】【課題】従来不可能であった微細な気泡の脱泡を可能とし、従来の装置の面倒な洗浄作業を不要とする。【解決手段】本願発明に係る脱気機は、密封された流体通路中に配置されると共に互いに対向して当該通路の一部を構成する第１処理用面１及び第２処理用面２の少なくとも２つの処理用面と、両処理用面１，２を圧接する接面圧力付与機構とを備え、第１処理用面１に対し、第２処理用面２を相対的に回転させることにより、両処理用面１，２間にて、被処理流動体の微細化を行うものである。第１処理用面１と第２処理用面２とは、上記接面圧力付与機構によって互いに圧接或いは近接された状態にされ、上記の回転にて、被処理流動体が、第１処理用面１と第２処理用面２との間に流体膜を形成しながら両処理用面１，２間を通過することで、当該被処理流動体について、所望の微細化状態を得るものである。【選択図】          図１
2004174297.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を微細化して、脱泡等の脱気処理を行う、微細化装置付脱気機において、
微細化装置は、互いに対向するように配設され少なくとも一方が他方に対して回転する第１及び第２の少なくとも２つの円盤と、両円盤の間を所定間隔に保つ間隔保持機構とを備え、両円盤の対向面の夫々は、鏡面研磨が施された処理用面であり、
微細化装置は、当該処理用面間に被処理物を導入する流入部と、両処理用面から被処理物を排出する流出部とを備え、上記の回転により両処理用面間にて、被処理物の微細化の処理が行われるものであることを特徴とする微細化装置付脱気機。
【請求項２】
被処理物を微細化して、脱泡等の脱気処理を行う、微細化装置付脱気機において、
微細化装置は、第１及び第２の少なくとも２つの処理用部材と、フローティング機構と、付勢機構と、離反機構とを備え、
両処理用部材の夫々は、互いに対向するように配設された処理用面を備え、両処理用部材の少なくとも一方が他方に対して回転することにより、両処理用面間にて微細化の処理を行うものであり、
両処理用面の夫々は、鏡面研磨が施され、両処理用面の間に被処理物が供給されるものであり、
フローティング機構は、第１及び第２の処理用部材の少なくとも一方に設けられたものであり、両処理用部材間の近接・離反を可能とすると共に、回転により両処理用部材の少なくとも一方に生じた偏心挙動を、両処理用部材の少なくとも他方が吸収するものであり、
付勢機構は、両処理用部材を近接させる方向に作用させるものであり、
離反機構は、両処理用部材を離反させる方向に作用させるものであり、
離反機構は、処理用部材の少なくとも上記回転時、付勢機構の作用に抗して、微小間隔を両処理部材間に確保することが可能なものであることを特徴とする微細化装置付脱気機。
【請求項３】
第１及び第２の処理用部材間を通り抜けた処理物を抽出する減圧ポンプを備えたことを特徴とする請求項２記載の微細化装置付脱気機。
【請求項４】
互いに対向するように配設され少なくとも一方が他方に対して回転することにより微細化処理を行う、第１及び第２の少なくとも２つの処理用部材を備え、上記回転の中心側から両処理用部材の間に流体を供給し、当該流体を上記第１及び第２の処理用部材の外側に排出するものであり、
上記の第１及び第２の両処理用部材は、少なくともその一方が他方に対して、近接・離反可能に配設され、
両処理用部材を少なくとも近接させる方向に作用する付勢機構を備え、
上記の第１及び第２の処理用部材は、流体が両処理用部材間を通過しようとする力を両処理用部材の離反する方向に作用させる、動圧発生機構を備えたことを特徴とする微細化装置付脱気機。
【請求項５】
互いに対向するように配設され少なくとも一方が他方に対して回転することにより微細化処理を行う、第１及び第２の少なくとも２つの処理用部材を備え、上記回転の中心側から両処理用部材の間に流体を供給し、当該流体を上記第１及び第２の処理用部材の外側に排出するものであり、
上記の第１及び第２の両処理用部材は、少なくともその一方が他方に対して、近接・離反可能に配設され、
両処理用部材を少なくとも近接させる方向に作用する付勢機構を備え、
上記両処理用部材は、鏡面研磨が施された平坦部を備え、処理用部材の一方は、平坦部に溝を備え、
上記の溝は、処理用部材の中心側から処理用部材の外側に向かって伸びると共に、当該溝内を通って、処理用部材の中心から処理用部材の外側に通り抜けようとする流体の流路を制限する、流路制限部を備えたこと特徴とする微細化装置付脱気機。
【請求項６】
上記の流路制限部は、回転の中心側から処理用部材の外側に向けて漸次溝の断面積を小さくすることによって形成されたものであることを特徴とする請求項５記載の微細化装置付脱気機。
【請求項７】
上記の第１及び第２の処理用部材の少なくとも一方が、フローティング機構を備え、このフローティング機構は、両処理用部材間の上記近接・離反を可能とすると共に、回転により両処理用部材の少なくとも一方に生じた偏心挙動を、両処理用部材の少なくとも他方が吸収するものであることを特徴とする請求項４乃至６の何れかに記載の微細化装置付脱気機。
【請求項８】
互いに対向するように配設され少なくとも一方が他方に対して回転することにより微細化処理を行う、第１及び第２の少なくとも２つの処理用部材を備え、上記回転の中心側から両処理用部材の間に、被処理物を搬送する或いは被処理物自身となる流体を供給し、当該流体を上記第１及び第２の処理用部材の外側に排出するものであり、
フローティング機構と、付勢機構と、動圧発生機構とを備え、
フローティング機構は、上記の第１及び第２の両処理用部材の、一方を他方に対して、近接・離反可能に配すると共に、両処理用部材の回転軸の向きを変えることを可能とするものであり、
付勢機構は、上記の両処理用部材を少なくとも近接させる方向に付勢するものであり、
動圧発生機構は、流体が両処理用部材間を通過しようとする力を、両処理用部材の離反する方向に作用させることによって、両処理用部材間の間隔を０．１〜１０μｍの微小間隔とするものであることを特徴とする微細化装置付脱気機。
【請求項９】
被処理流動体に所定の圧力を付与する流体圧付与機構と、この所定圧力の被処理流動体が流される密封された流体流路に設けられた第１処理用部と第１処理用部に対して相対的に接近離反可能な第２処理用部（２０）の少なくとも２つの処理用部と、
これらの処理用部において互いに対向する位置に設けられた第１処理用面及び第２処理用面の少なくとも２つの処理用面と、
第１処理用部と第２処理用部とを相対的に回転させる、回転駆動機構とを備え、
両処理用面間にて、上記被処理流動体の微細化の処理を行うものであり、
第１処理用部と第２処理用部のうち少なくとも第２処理用部は所定のバランス比に設定された受圧面を備えるものであり、且つ、この受圧面の少なくとも一部が第２処理用面により構成され、
接近離反可能且つ相対的に回転する第１処理用面と第２処理用面との間に所定圧力の被処理流動体が通されることにより、上記被処理流動体が所定膜厚の流体膜を形成しながら両処理用面間を通過することで、当該被処理流動体について、所望の微細化の状態を得るものであることを特徴とする微細化装置付脱気機。
【請求項１０】
第１処理用面及び第２処理用面の少なくとも一方の、微振動やアライメントを調整する緩衝機構を備えたことを特徴とする請求項９記載の微細化装置付脱気機。
【請求項１１】
第１処理用面及び第２処理用面の一方又は双方の、磨耗などによる軸方向の変位を調整して、両処理用面間の流体膜の膜厚を維持することを可能とする変位調整機構を備えたものであることを特徴とする請求項９又は１０記載の微細化装置付脱気機。
【請求項１２】
被処理流動体に加える圧力の調整機構を備えたこと特徴とする請求項９乃至１１の何れかに記載の微細化装置付脱気機。
【請求項１３】
上記第１処理用面と第２処理用面との間の最大間隔を規定し、それ以上の両処理用面の離反を抑止する離反抑止部を備えることを特徴とする請求項９乃至１２の何れかに記載の微細化装置付脱気機。
【請求項１４】
上記第１処理用面と第２処理用面との間の最小間隔を規定し、それ以上の両処理用面の近接を抑止する近接抑止部を備えることを特徴とする請求項９乃至１３の何れかに記載の微細化装置付脱気機。
【請求項１５】
第１処理用面と第２処理用面の双方が、互いに逆の方向に回転するものであることを特徴とする請求項９乃至１４の何れかに記載の微細化装置付脱気機。
【請求項１６】
上記第１処理用面と第２処理用面の一方或いは双方の温度を調整する、温度調整用のジャケットを備えることを特徴とする請求項９乃至１５の何れかに記載の微細化装置付脱気機。
【請求項１７】
上記第１処理用面及び第２処理用面の一方或いは双方の少なくとも一部は、鏡面加工されたものであることを特徴とする請求項９乃至１６の何れかに記載の微細化装置付脱気機。
【請求項１８】
上記第１処理用面及び第２処理用面の一方或いは双方は、凹部を備えたものであることを特徴とする請求項９乃至１７の何れかに記載の微細化装置付脱気機。
【請求項１９】
上記の流体通路とは独立した別途の導入路を備え、上記第１処理用面と第２処理用面の少なくとも何れ一方には、上記の導入路に通じる開口部を備え、導入路から送られてきた移送物を、上記処理中の被処理流動体に導入することが可能なものであることを特徴とする請求項９乃至１８の何れかに記載の微細化装置付脱気機。
【請求項２０】
被処理流動体に所定の圧力を付与する流体圧付与機構と、この所定圧力の被処理流動体が流される密封された流体流路に接続された第１処理用面及び第２処理用面の少なくとも２つの相対的に接近離反可能な処理用面と、両処理用面間に接面圧力を付与する接面圧力付与機構と、第１処理用面と第２処理用面とを相対的に回転させる回転駆動機構と、を備えることにより、両処理用面間にて、被処理流動体の微細化の処理を行うものであり、
接面圧力が付与されつつ相対的に回転する第１処理用面と第２処理用面との間に所定圧力の被処理流動体が通されることにより、上記被処理流動体が所定膜厚の流体膜を形成しながら両処理用面間を通過することで、当該被処理流動体について、所望の微細化の状態を得るものであることを特徴とする微細化装置付脱気機。
【請求項２１】
被処理流動体に所定の圧力を付与し、この所定の圧力を受けた被処理流動体が流される密封された流体流路に、第１処理用面及び第２処理用面の少なくとも２つの相対的に接近離反可能な処理用面を接続し、両処理用面を接近させる接面圧力を付与し、第１処理用面と第２処理用面とを相対的に回転させ且つこれらの処理用面間に被処理流動体を通過させて、当該被処理流動体の微細化の処理を行うものであり、
少なくとも被処理流動体に付与した上記の所定の圧力を両処理用面を離反させる離反力とし、当該離反力と上記接面圧力とを、処理用面間の被処理流動体を介して均衡させることにより、両処理用面間を所定の微小間隔に維持し、被処理流動体を所定の厚みの流体膜として両処理用面間を通過させて、所望の微細化の状態を得るものであることを特徴とする微細化による脱気方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、微細化装置付脱気機及び微細化による脱気方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被処理物について脱気処理を行う脱気装置として、例えば液体から当該液体中の泡を抜く脱泡機がある。
この脱泡機は、内部が真空のタンク（ベッセル）内に配された円筒状の外側ロータと、当該外側ロータの内側に外側ロータと同心に配された円筒状の内側ロータと、モータによって回転する中空のシャフトとを備えたものであり、内側ロータは、上記のシャフトに接続され、外側ロータに対し相対的に回転する。
上記の筒状の内側ロータの周面部は、パンチングプレートにて形成されている。また、筒状の外側ロータの周面部は、上記パンチングプレートよりもきめの細かいスクリーンにて形成されている。
【０００３】
この脱泡機の動作を次に説明する。
上記シャフト内は、脱泡処理を行う液の通路となっており、シャフト内を通って、当該液は、内側ロータ内に導入される。このように、高速回転するシャフト内部を液体が通過することにより、液相はシャフト内壁面側に、気泡はシャフト中心側へ遠心分離される。このとき、気泡は、液相に先んじて、真空下のベッセル内に引かれ、膨張し脱気される。
続いて内側ロータ内に導入された上記の液相は、回転による遠心力にて、薄膜効果が発生し脱泡が進む。そして、内部側ロータのパンチングプレートを通過し、細分化される。このように細分化されることにより、脱泡が促進する。更に、パンチングプレートを通り抜けた液は、外側ロータに接し、そのスクリーンを通過する。当該スクリーンを通り抜けた液は、真空中で霧状にされ、ベッセル内壁に衝突してベッセル内壁を流れ落ち脱泡が完了する。
【０００４】
上記の通り、この脱泡機は、処理対象を上記のパンチングプレートやスクリーンの目へ通すことにより、主として処理対象の微細化を行う。このような微細化は、対象が内包する気泡の発散を促進させるものであり、当該脱気機は、このような作用を利用して脱気処理を円滑に行おうとするものである。
上記の微細化によって脱泡できる気泡の大きさは、上記のパンチングプレートやスクリーンの目の細かさに大きく依存する。
【０００５】
しかし、パンチングプレートやスクリーンの目を細かくするには、物理的な限界があり、パンチングプレートやスクリーンの目よりも遥かに細かい気泡の除去には向かないものであった。即ち、このような構造の脱泡機では、１０〜２０μｍの微細化（霧状化）が限界であり、１〜２μｍといった超微細化は不可能であった。
また処理対象物が、エマルションやサスペンションの場合、あらかじめ例えば高速の攪拌機や分散機でエマルションやサスペンション化されたものを当該脱気機で脱気処理する必要があった。
また、先の処理によって、パンチングプレートやスクリーンの目が汚れ、目詰まりが生じるので、次の脱泡処理に当該脱泡機を使用する前に、これらのパンチングプレートやスクリーンを十分に洗浄する必要がある。
このようなパンチングプレートやスクリーンは洗浄性が悪く、その洗浄（汚れの除去）は、極めて面倒な作業である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本願発明は、上記事情に基づいてなされたものであり、上記の従来の微細化の機構と全く異なる微細化の機構を備えた脱気機を提供することにより、処理対象の更なる微細化による従来不可能とされた微細な気泡の除去を可能とし、更に、面倒なパンチングプレートやスクリーンの洗浄を不要として、上記問題の解決を図る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本願第１の発明に係る微細化装置付脱気機は、被処理物を微細化して、脱泡等の脱気処理を行うものであり、次の構成を採る。
微細化装置は、互いに対向するように配設され少なくとも一方が他方に対して回転する第１及び第２の少なくとも２つの円盤と、両円盤の間を所定間隔に保つ間隔保持機構とを備える。両円盤の対向面の夫々は、鏡面研磨が施された処理用面である。また、この微細化装置は、当該処理用面間に被処理物を導入する流入部と、両処理用面から被処理物を排出する流出部とを備え、上記の回転により両処理用面間にて、被処理物の微細化の処理が行われるものである。ここで微細化の処理とは、被処理物の表面積の拡大を目的とする場合は勿論、霧状化の粒子径、液滴径を細かくすること、例えばエマルションやサスペンション（分散物）、リポソームの場合、その粒子径を、細かくすることを含むものである。
脱気機は、微細化により被処理物の成分の一部を気化して抽出できるものであり、脱泡機、脱ガス機、脱モノマー機、脱溶媒機などを含む。
【０００８】
本願第２の発明に係る微細化装置付脱気機は、被処理物を微細化して、脱泡等の脱気処理を行うものであり、次の構成を採る。
微細化装置は、第１及び第２の少なくとも２つの処理用部材と、フローティング機構と、付勢機構と、離反機構とを備える。両処理用部材の夫々は、互いに対向するように配設された処理用面を備え、両処理用部材の少なくとも一方が他方に対して回転することにより、両処理用面間にて微細化の処理を行うものである。両処理用面の夫々は、鏡面研磨が施され、両処理用面の間に被処理物が供給されるものである。フローティング機構は、第１及び第２の処理用部材の少なくとも一方に設けられたものであり、両処理用部材間の近接・離反を可能とすると共に、回転により両処理用部材の少なくとも一方に生じた偏心挙動を、両処理用部材の少なくとも他方が吸収するものである。付勢機構は、両処理用部材を近接させる方向に作用させるものであり、離反機構は、両処理用部材を離反させる方向に作用させるものである。また、離反機構は、処理用部材の少なくとも上記回転時、付勢機構の作用に抗して、微小間隔を両処理部材間に確保することが可能なものである。
【０００９】
本願第３の発明に係る微細化装置付脱気機は、上記本願第２の発明に係る微細化装置付脱気機にあって、第１及び第２の処理用部材間を通り抜けた処理物を抽出する減圧ポンプを備えたことを特徴とする。
【００１０】
本願第４の発明に係る微細化装置付脱気機は、互いに対向するように配設され少なくとも一方が他方に対して回転することにより微細化処理を行う、第１及び第２の少なくとも２つの処理用部材１０１，１０２を備え、上記回転の中心側から両処理用部材１０１，１０２の間に流体を供給し、当該流体を上記第１及び第２の処理用部材１０１，１０２の外側に排出するものである。上記の第１及び第２の両処理用部材１０１，１０２は、少なくともその一方が他方に対して、近接・離反可能に配設されている。両処理用部材１０１，１０２を少なくとも近接させる方向に作用する付勢機構１０３を備える。上記の第１及び第２の処理用部材１０１，１０２は、流体が両処理用部材１０１，１０２間を通過しようとする力を両処理用部材１０１，１０２の離反する方向に作用させる、動圧発生機構１０４を備える。
【００１１】
本願第５の発明に係る微細化装置付脱気機は、互いに対向するように配設され少なくとも一方が他方に対して回転することにより微細化処理を行う、第１及び第２の少なくとも２つの処理用部材１０１，１０２を備え、上記回転の中心側から両処理用部材１０１，１０２の間に流体を供給し、当該流体を上記第１及び第２の処理用部材１０１，１０２の外側に排出するものである。上記の第１及び第２の両処理用部材１０１，１０２は、少なくともその一方が他方に対して、近接・離反可能に配設されている。両処理用部材１０１，１０２を少なくとも近接させる方向に作用する付勢機構１０３を備える。上記両処理用部材１０１，１０２は、鏡面研磨が施された平坦部を備え、処理用部材の一方は、平坦部に溝を備える。上記の溝は、処理用部材の中心側から処理用部材の外側に向かって伸びると共に、当該溝内を通って、処理用部材の中心から処理用部材の外側に通り抜けようとする流体の流路を制限する、流路制限部を備える。
【００１２】
本願第６の発明に係る微細化装置付脱気機では、上記本願第５の発明に係る微細化装置付脱気機にあって、上記の流路制限部は、回転の中心側から処理用部材の外側に向けて漸次溝の断面積を小さくすることによって形成されたものである。
【００１３】
本願第７の発明に係る微細化装置付脱気機では、上記本願第４乃至６の何れかの発明に係る微細化装置付脱気機にあって、上記の第１及び第２の処理用部材１０１，１０２の少なくとも一方が、フローティング機構を備え、このフローティング機構は、両処理用部材１０１，１０２間の上記近接・離反を可能とすると共に、回転により両処理用部材１０１，１０２の少なくとも一方に生じた偏心挙動を、両処理用部材１０１，１０２の少なくとも他方が吸収するものであることを特徴とする。
【００１４】
本願第８の発明に係る微細化装置付脱気機は、互いに対向するように配設され少なくとも一方が他方に対して回転することにより微細化処理を行う、第１及び第２の少なくとも２つの処理用部材１０１，１０２を備え、上記回転の中心側から両処理用部材１０１，１０２の間に、被処理物を搬送する或いは被処理物自身となる流体を供給し、当該流体を上記第１及び第２の処理用部材１０１，１０２の外側に排出するものである。フローティング機構と、付勢機構と、動圧発生機構とを備える。フローティング機構は、上記の第１及び第２の両処理用部材１０１，１０２の、一方を他方に対して、近接・離反可能に配すると共に、両処理用部材１０１，１０２の回転軸の向きを変えることを可能とするものである。付勢機構は、上記の両処理用部材１０１，１０２を少なくとも近接させる方向に付勢するものである。動圧発生機構は、流体が両処理用部材１０１，１０２間を通過しようとする力を、両処理用部材１０１，１０２の離反する方向に作用させることによって、両処理用部材１０１，１０２間の間隔を０．１〜１０μｍの微小間隔とするものである。
【００１５】
本願第９の発明に係る微細化装置付脱気機は、被処理流動体に所定の圧力を付与する流体圧付与機構と、この所定圧力の被処理流動体が流される密封された流体流路に設けられた第１処理用部１０と第１処理用部１０に対して相対的に接近離反可能な第２処理用部２０の少なくとも２つの処理用部と、これらの処理用部１０，２０において互いに対向する位置に設けられた第１処理用面１及び第２処理用面２の少なくとも２つの処理用面と、第１処理用部１０と第２処理用部２０とを相対的に回転させる回転駆動機構とを備え、両処理用面１，２間にて、上記被処理流動体の微細化の処理を行うものである。第１処理用部１０と第２処理用部２０のうち少なくとも第２処理用部２０は所定のバランス比に設定された受圧面を備えるものであり、且つ、この受圧面の少なくとも一部が第２処理用面２により構成されている。接近離反可能且つ相対的に回転する第１処理用面１と第２処理用面２との間に所定圧力の被処理流動体が通されることにより、上記被処理流動体が所定膜厚の流体膜を形成しながら両処理用面１，２間を通過することで、当該被処理流動体について、所望の微細化の状態を得るものである。
【００１６】
本願第１０の発明に係る微細化装置付脱気機は、上記本願第９の発明に係る微細化装置付脱気機にあって、第１処理用面１及び第２処理用面２の少なくとも一方の、微振動やアライメントを調整する緩衝機構を備えたことを特徴とする。
【００１７】
本願第１１の発明に係る微細化装置付脱気機は、上記本願第９又は１０の発明に係る微細化装置付脱気機にあって、第１処理用面１及び第２処理用面２の一方又は双方の、磨耗などによる軸方向の変位を調整して、両処理用面１，２間の流体膜の膜厚を維持することを可能とする変位調整機構を備えたものであることを特徴とする。
【００１８】
本願第１２の発明に係る微細化装置付脱気機は、上記本願第９乃至１１の何れかの発明に係る微細化装置付脱気機にあって、被処理流動体に加える圧力の調整機構を備えたこと特徴とする。
【００１９】
本願第１３の発明に係る微細化装置付脱気機は、上記本願第９乃至１２の何れかの発明に係る微細化装置付脱気機にあって、上記第１処理用面１と第２処理用面２との間の最大間隔を規定し、それ以上の両処理用面１，２の離反を抑止する離反抑止部を備えることを特徴とする。
【００２０】
本願第１４の発明に係る微細化装置付脱気機は、上記本願第９乃至１３の何れかの発明に係る微細化装置付脱気機にあって、上記第１処理用面１と第２処理用面２との間の最小間隔を規定し、それ以上の両処理用面１，２の近接を抑止する近接抑止部を備えることを特徴とする。
【００２１】
本願第１５の発明に係る微細化装置付脱気機では、上記本願第９乃至１４の何れかの発明に係る微細化装置付脱気機にあって、第１処理用面１と第２処理用面２の双方が、互いに逆の方向に回転するものである。
【００２２】
本願第１６の発明に係る微細化装置付脱気機では、上記の本願第９乃至１５の何れかの発明に係る微細化装置付脱気機にあって、上記第１処理用面１と第２処理用面２の一方或いは双方の温度を調整する、温度調整用のジャケットを備える。
【００２３】
本願第１７の発明に係る微細化装置付脱気機では、上記本願第９乃至１６の何れかの発明に係る微細化装置付脱気機にあって、上記第１処理用面１及び第２処理用面２の一方或いは双方の少なくとも一部が、鏡面加工されたものであることを特徴とする。
【００２４】
本願第１８の発明に係る微細化装置付脱気機では、上記本願第９乃至１７の何れかの発明に係る微細化装置付脱気機にあって、上記第１処理用面１及び第２処理用面２の一方或いは双方は、凹部を備えたものである。
【００２５】
本願第１９の発明に係る微細化装置付脱気機は、上記本願第９乃至１８の何れかの発明に係る微細化装置付脱気機にあって、上記の流体通路とは独立した別途の導入路を備え、上記第１処理用面１と第２処理用面２の少なくとも何れ一方には、上記の導入路に通じる開口部を備え、導入路から送られてきた移送物を、上記処理中の被処理流動体に導入することが可能なものである。
【００２６】
本願第２０の発明に係る微細化装置付脱気機は、被処理流動体に所定の圧力を付与する流体圧付与機構と、この所定圧力の被処理流動体が流される密封された流体流路に接続された第１処理用面１及び第２処理用面２の少なくとも２つの相対的に接近離反可能な処理用面と、両処理用面１，２間に接面圧力を付与する接面圧力付与機構と、第１処理用面１と第２処理用面２とを相対的に回転させる回転駆動機構と、を備えることにより、両処理用面１，２間にて、被処理流動体の微細化の処理を行うものである。この微細化装置付脱気機では、接面圧力が付与されつつ相対的に回転する第１処理用面１と第２処理用面２との間に所定圧力の被処理流動体が通されることにより、上記被処理流動体が所定膜厚の流体膜を形成しながら両処理用面１，２間を通過することで、当該被処理流動体について、所望の微細化の状態を得るものである。
【００２７】
本願第２１の発明に係る微細化による脱気方法では、被処理流動体に所定の圧力を付与し、この所定の圧力を受けた被処理流動体が流される密封された流体流路に、第１処理用面１及び第２処理用面２の少なくとも２つの相対的に接近離反可能な処理用面を接続し、両処理用面１，２を接近させる接面圧力を付与し、第１処理用面１と第２処理用面２とを相対的に回転させ且つこれらの処理用面１，２間に被処理流動体を通過させて、当該被処理流動体の微細化の処理を行う。この脱気方法は、少なくとも被処理流動体に付与した上記の所定の圧力を両処理用面１，２を離反させる離反力とし、当該離反力と上記接面圧力とを、処理用面１，２間の被処理流動体を介して均衡させることにより、両処理用面１，２間を所定の微小間隔に維持し、被処理流動体を所定の厚みの流体膜として両処理用面１，２間を通過させて、所望の微細化の状態を得るものである。
【００２８】
上記の構成を採る本願第１乃至２１の発明は、被処理物を微細化して脱泡等の脱気処理を行う、微細化装置付脱気機において、２つの処理用面の少なくとも一方を回転して、もう一方の処理用面との間にて、処理対象の微細化を行うという新規な微細化の手段を提供したものであり、このように、微細化のために、従来のパンチングプレートやメッシュという構成を排除して、これら部材の面倒な洗浄という作業を不要とした。
そして、パンチングプレートやメッシュでは、不可能であった微細な気泡の抽出（排除）を可能とした。また、この脱気機は、２つの利点がある。その１点は、霧状に噴出する時の液滴径についてであり、これは、真空雰囲気に曝される表面積即ち界面の面積を多くし（大きくし）脱気能力を増大することができという点である。もう１点は、通常乳化機などで処理されたものは脱気機に導入される場合が多く、この点、この発明に係る脱気機は、その乳化機と脱気機とを１台で済ませることができるということである。
上記の通り、この脱気機は、微細化装置によって、被処理物を気泡を含んだ液体とする場合、上記にて、液体を微細化することにより、液体が内包する気体を発散しやすいものとしたものである。被処理対象については、上記ように気泡を内包する液体に限られず、二種以上の液状成分を有する液体から、一部の液状成分を微細化して気化させ、他の液状成分と分離するのにも用いることができる。また、被処理対象が、固体の混合物や化合物であり、その固形分について微細化による気化の促進により除去できるものであれば、これを含むものである。例えば、被処理物をポリマーとした場合、当該ポリマー中の不要なモノマー（揮発性物質）を微細化して気化させて除去することができる。被処理物が、固体と液体とが混合したものである場合も、気体部と液体部の何れか一方について、微細化により除去するのに、この脱気機を用いることができる。
また、脱気機には、被処理物中の水分も（微細化により）水蒸気として抜くことができるものも含む。
【００２９】
特に、本願第２の発明にあっては、上記の微細化装置付脱気機にあって、フローティング機構を備えることにて、微細化のために、必要とされる両処理用面間の微小間隔を、回転や各部の膨張係数の差にて回転で生じた熱による歪みで阻害されることなく、確実に維持できるものとし、精度の高い処理を可能とした。
また、本願第３の発明にあっては、微細化した被処理物を減圧ポンプにより減圧することにより、その移動を確実に行えるものとした。また、このような減圧ポンプによる減圧を利用して、微細化後の被処理物の、除去しようとする気体の気化を促進し、液状部との分離をより、確実なものとした。
具体的には、脱泡の場合を例に採ると、減圧ポンプにより、真空或いは真空に近い状態に減圧することにより、微細化された被処理物は、界面積が増大し、且つ微小な気泡が膨張し、被処理物に内包されているガス、溶剤、モノマー（揮発性物質）を蒸気等に気化して抜くことができる（これらのガス等を抽出の目的物とする場合も同様の作用にて当該抽出を行うことができる）。
上記の真空度（減圧の程度）は、気化させるものと残るものとの分離に適するように設定すればよい。
【００３０】
とりわけ、本願の上記第４乃至第８の発明に係る脱気機は、メカニカルシールにおける軸封の機構を、微細化のための手段として利用するという独創的な発想により、高精度の微細化の処理が出来しかも生産性の高い、シンプルな構造の脱気機を提供することを可能とし、上記問題の解決を図ったものであり、相対的に回転する少なくもと２つの処理用面間の間隔を所定の微小間隔に設定することができ、大きなせん断力を被処理流動体に与えることができる微細化装置を備えた脱気機を提供し、更に、被処理流動体の適応粘度領域が広い脱気装置を提供する。
即ち、本願の上記第４乃至第８の発明に係る脱気機は、上記の構成を採ることにより、付勢機構１０３の付勢に対し、動圧発生機構１０４が流体の両処理用部材１０１，１０２間を通過しようとする力を利用して両処理用部材１０１，１０２間の離反力を発生させ、少なくとも、付勢機構１０３の付勢と当該離反力との均衡により、両処理用部材１０１，１０２間について、機械的な方法では不可能であった、処理に必要な微小な間隔を確保することを可能とした。
【００３１】
特に、本願第５の発明に係る脱気機は、上記の動圧発生機構１０４について、より好ましい手段を提供し得たものである。即ち、上記本願第５の発明に係る脱気機は、双方の処理用部材１０１，１０２に鏡面研磨による平坦部を具備せしめると共に、当該平坦部の一方に、処理用部材の中心側から処理用部材の外側に流体が移動する経路を提供する溝を設けて、当該溝を鏡面研磨された両平坦部及び流路制限部にて、囲まれた空間とする。このため、溝を通り抜けようとする流体が流路制限部によって行き場を失い、少なくとも付勢機構１０３にて押し合わされた両平坦部の間に入り込み、両平坦部間（両処理用部材１０１，１０２間）に、機械的な方法では不可能であった、微細化の処理に適した微小間隔を確保する。
また、本願第６の発明に係る脱気機では、流路制限部が、回転の中心側から処理用部材の外側に向けて漸次溝の断面積を小さくすることによって、流体の通り抜けようとする力を徐々に受けるものであり、より円滑な上記の微小間隔の確保を可能とした。
更に、本願第７の発明に係る脱気機では、処理用部材１０１，１０２が、フローティング機構によって、両処理用部材間の上記近接・離反のみならず、回転により両処理用部材１０１，１０２の少なくとも一方に生じた偏心挙動を、両処理用部材１０１，１０２の少なくとも他方が吸収する。このため、回転や発生した熱による処理用部材の変形によって、両平坦部間（両処理用部材１０１，１０２間）の各位置における間隔の不均衡を是正し、両平坦部間（両処理用部材１０１，１０２間）の各位置における隙間を一定のものとして、より確実で均一な処理を可能とした。
即ち、フローティング機構によって、上記回転における、回転軸の芯振れ、軸膨張、第１処理用部材１０１の面振れ、振動を吸収することができ、上記の作用を奏することができる。
本願第８の発明に係る脱気機は、フローティング機構の下、付勢機構と動圧発生機構とにおいて生じた力の均衡により、両処理用部材間の間隔を０．１〜１０μｍの微小間隔とし、従来不可能であった微細化処理を実現した。
【００３２】
本願第９の発明にあっては、第１処理用面１と第２処理用面２の間隔を、従来他の分野で行われているような機械的に一定に保つという方式とは全く異なる発想により、所定の微小間隔に設定するようにした微細化装置を備えた脱気機を提供する。即ち、上記の通り、メカニカルシールに用いられ原理を利用して、受圧面を所定のバランス比に設定しておくことにより、被処理用流動体に掛けた所定の圧力を、第１処理用部１０及び第２処理用部２０の接近又は離反に作用させる。受圧面として、第２処理用面２は、両処理用部を離反させる方向に、上記の所定の圧力を作用させる。受圧面として、第２処理用面２は、両処理用部を離反させる方向に、上記の所定の圧力を作用させる。
第２処理用部２０には、必要に応じて、第２処理用面２の他、第２処理用面２と反対側を臨む受圧面（近接用調整面）と、第２処理用面２と同じ側に形成された受圧面（離反用調整面）とを設定することができる。
この場合第２処理用面２と離反用調整面とは、被処理用流動体に掛けた所定の圧力を受けて、第１処理用部１０に対して第２処理用部２０を離反させる方向に移動させる力を発生する。但し不要であれば、上記の離反用調整面は、設けなくてもよい（ここで、離反用調整面を設ける場合は、第２処理用面２と離反用調整面の双方を纏めて離反用面と称する。離反用調整面を設けない場合、離反用面は、第２処理用面２そのものである）。
そして、近接用調整面は、被処理用流動体に掛けた所定の圧力を受けて、第１処理用部１０に対して第２処理用部２０を接近させる方向に移動する力を発生する（近接用調整面が複数ある場合、全近接用調整面を纏めて近接用面と呼ぶ。近接用調整面が１つの場合は、当該近接用調整面のみが近接用面である）。
この場合、このような両処理用部を接近させる方向に上記所定の圧力を働かせる近接用面の面積と、離反用面の面積との比（面積比）をバランス比と呼び、近接用面の面積を離反用面の面積よりも大きくすることによって、上記所定の圧力のうち両処理用部を接近する方に働く力を離反させる方に働く力よりも大きいものとすることができる。
逆に、離反用面の面積を近接用面の面積よりも大きくすることによって、上記所定の圧力のうち両処理用部を離反する方に働く力を接近させる方に働く力よりも大きいものとすることができる。
また、上記の近接用面を設けないことにより、上記所定の圧力を全て離反用面で受け、当該所定の圧力の全てを上記の離反に働く力とすることができる。
これにて、他の要因によって生じた、両処理用部を接近させる力或いは離反させる力に対して、被処理用流動体に掛けた所定の圧力による両処理用部の接近又は離反の作用とを均衡させ、上記第１処理用面１と第２処理用面２との間に所望の微小な膜厚の流体膜を形成することができるのである。
即ち、このように、両処理用面１、２間を微小間隔に調整することにより、必要な大きさの剪断力を被処理流動体に付与することができる。その結果、従来得ることがでなかった超微細化を、実現した。即ち、被処理流動体に対して、両処理用面１，２間を通過する際、一定の微小隙間で大きなせん断力が与えられるものであり、かつ一定の微小な隙間より霧状に噴出することにより、１０ミクロン以下のオーダーの微細化を可能として、そのようなレベルの微細な気泡の抽出（除去）を可能とした。即ち、両処理用部１０，２０間の間隔を、従来の（パンチングプレートやメッシュを用いる）方法では、物理的に不可能であった微小なものとすることを可能として、より微小な微細化を実現して、より細かい気泡の脱気を可能とした。
【００３３】
本願第１０の発明にあっては、緩衝機構を備えることにより、芯振れなどのアライメントを吸収し、接触による磨耗などを原因とする事故の危険性を排除することができる。
本願第１１の発明にあっては、上記の変位調整機構にて、第１処理用面１及び第２処理用面２の間隔を保ち、流体膜の膜厚を所定の厚みに維持することにより、長期に渡って、確実な微細化処理を行うことが可能となり、脱気処理をより精度良く行えるものとした。
本願第１２の発明にあっては、被処理流動体に加える圧力の調整機構にて、第１処理用面１と第２処理用面２との間の隙間を調整できるので、これにて上記の流体膜の厚みの調整が可能である。従って、当該調整にて所望の微細化処理を選択し得、被処理流動体の粘度などの特性に合わせ脱気性能の向上が可能となり、また除去しようする気泡の大きさ（細かさ）にきめ細やかに対応することができる。
【００３４】
本願第１３の発明にあっては、上記の第１処理用面１と第２処理用面２との間の最大間隔を規定し、それ以上の両処理用面１，２の離反を抑止する離反抑止部を備えるため、第１処理用面１と第２処理用面２との間の隙間が必要以上に広がることを防止し、均一な微細化の処理を確実且つ円滑に行うことを可能とした。本願第１４の発明にあっては、上記の第１処理用面１と第２処理用面２との間の最小間隔を規定し、それ以上の両処理用面１，２の近接を抑止する近接抑止部を備えることによって、第１処理用面１と第２処理用面２との間の隙間が必要以上に狭まることを防止し、微細化の処理を確実且つ円滑に行うことを可能とした。
【００３５】
本願第１５の発明にあっては、第１処理用面１と第２処理用面２の双方が、互いに逆の方向に回転するものであり、このように、第１処理用面１と第２処理用面２の双方を互いに逆の方向に回転させるとによって、より大きな剪断力を発生させることが可能となり、より微小なオーダーの処理を可能とし、効率良く脱気を行うことを可能とした。
本願第１６の発明にあっては、温度調整用のジャケットにて、第１処理用面１及び第２処理用面２の一方或いは双方を、微細化の処理を行うのに適した温度に加熱或いは冷却することを可能として、より能率良くまた、確実な微細化の処理を可能とした。
【００３６】
本願第１７の発明にあっては、鏡面加工にて、第１処理用面１及び第２処理用面２間における上記微細化の処理をより高精度に行うことを可能とし、またより微細な処理を実現し得た。
本願第１８の発明にあっては、第１処理用面１又は第２処理用面２或いはその双方に凹部を形成することにより、攪拌能力を高めて、より効率的な微細化の処理を可能とし、また回転時凹部に動圧が発生することにより非接触で回転し確実に流体膜を形成する。
本願第１９の発明にあっては、処理を施す被処理流動体に対して、所望とする別途の物質や被処理流動体を、適宜混入することを可能として、装置の利用の範囲を広範なものとした。
【００３７】
本願第２０の発明にあっては、密封された流体流路に接続された第１処理用面１１と第２処理用面１２の間に、所定の圧力が付与された被処理流動体が通され、これにより、第１処理用面１１と第２処理用面１２とを離反させる力が作用する。他方、両処理用面１、２間には、接面圧力付与機構により接面圧力が付与され、且つ、相対的に接近離反可能であると同時に回転する第１処理用面１と第２処理用面２との間に被処理流動体を通過させる。その結果、処理流動体により両処理用面１、２間を離反させる方向に加えられる力と、接面圧力付与機構によって両処理用面１，２間に付与される接面圧力とが均衡し、両処理用面１、２間の間隔が所定の微小間隔に保たれるものであり、被処理流動体は流体膜を形成しながら両処理用面１、２間を通過する。
上記の接面圧力付与機構については、第１処理用面１と第２処理用面２とを近接させる方向に力を加えるものであり、スプリング、空気圧又は油圧等の流体圧（正圧）の加圧装置、被処理流動体に掛けた所定の圧力受けて両処理用面１，２を接近させる方向に働く接近用の受圧面の、少なくとも何れか一つにより構成することができる。
一方、このような接面圧力付与機構の押圧力（接面圧力）に抗する両処理用面１，２を離反させる離反力としては、第１或いは第２処理用面１，２などの被処理流動体に掛けた所定の圧力を離反方向に働かせる受圧面において受けた当該圧力、第１処理用面１と第２処理用面２とを相対的に回転させることによって生じた遠心力、空気圧又は油圧等の流体圧（負圧）を利用した吸引装置による吸引力、比処理流動体の粘性などを掲げることができる。
上記のバランス比の設定により、被処理流動体に掛けた所定の圧力のうち、接面圧力付与機構による押圧力として作用するものと、離反力として作用するものとの、大小を決定することができる。
被処理流動体は、上記の接面圧力と離反力の均衡の上で、被処理流動体は所定の微小厚さを有する流動体（即ち、流体膜）を形成して、両処理用面１、２間を通過するものであり、所定膜厚を示すように上記諸条件を調整することにより、両処理用面１、２間の間隔が所定の微小間隔に保たれた状態となる。
【００３８】
本願第２１の発明にあっては、従来不可能であった脱気における被処理物の超微細化を可能とし、また、従来の脱気処理中の微細化に必要であったパンチングプレートやメッシュを不要として、その洗浄という手間を排除した。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき本願発明の実施の形態について説明する。
図１及び図２（Ａ）へ本願発明の一実施の形態を示す。この図１は、本願発明に係る脱気機の微細化装置Ｇの一部切欠縦断面図である。図２（Ａ）は、図１に示す脱気機の要部略縦断面図である。
説明の便宜上、各図中、Ｕは上方を、Ｓは下方を示している。
【００４０】
先ず、脱気機の構成について説明する。
この脱気機は、微細化装置Ｇと、減圧ポンプなどの周知の減圧装置（この実施の形態において図示せず。）とを備える。
上記の微細化装置Ｇは、被処理流動体に対する、ミクロン単位からナノメータ単位の微小なオーダーの微細化の処理に適したものであり、単一液体及び液体同士、液体と固体（粉体）、固体（粉体）同士、気体と液体、或いは、気体と固体（粉体）について、除去（抽出）成分の脱気による処理を施すのに適したものである。
図１に示す通り、この微細化装置は、第１ホルダ１１（メイティングリングホルダ）と、第１ホルダ１１の前方（上方）に配置された第２ホルダ２１（コンプレッションリングホルダ）と、第２ホルダ２１と共に第１ホルダ１１を覆うケース３と、流体圧付与機構ｐと、接面圧付与機構４とを備える。
以下微細化装置の構成について、順に説明する。
【００４１】
第１ホルダ１１には、第１処理用部１０と、回転軸５０と、攪拌羽根６とが設けられている。
第１処理用部１０は、メイティングリングと呼ばれる金属製の環状体であり、鏡面加工された第１処理用面１を備える。
回転軸５０は、第１ホルダ１１の中心にボルトなどの固定具５１にて固定されたものであり、その後端が電動機などの回転駆動装置５（回転駆動機構）と接続され、回転駆動装置５の駆動力を第１ホルダ１１に伝えて、当該第１ホルダ１１を回転させる。第１処理用部１０は、回転軸５０と同心に第１ホルダ１１前部（上端）へ取り付けられ、回転軸５０の回転にて、上記第１ホルダ１１と一体となって回転する。また、攪拌羽根６は、プレ攪拌（微細化の前処理）を行うために設けられたものであり、第１ホルダ１１前部（上面）において、環状の第１処理用部１０の内側に、回転軸５０と同心となるように第１ホルダ１１に軸止されている。
【００４２】
第１ホルダ１１の前部（上面）には、第１処理用部１０を受容することが可能な受容部が設けられており、当該受容部内にＯリングと共に第１処理用部１０をはめ込むことにて、第１ホルダ１１への第１処理用部１０の上記取付けが行われている。更に、第１処理用部１０は、回り止めピン１２にて、第１ホルダ１１に対して回転しないように固定されている。但し回り止めピン１２に代え、焼き嵌めなどの方法にて、回転しないように固定するものとしても良い。
上記の第１処理用面１は、第１ホルダ１１から露出して、第２ホルダ２１側を臨む。この第１処理用面１は、第１ホルダ１１にはめ込まれてから、研磨やラッピング、ポリッシングなどの鏡面加工を施すのが好ましい。
第１処理用部１０の材質は、セラミックや焼結金属、耐磨耗鋼、その他金属に硬化処理を施したものや、硬質材をライニングやコーティング、メッキなどを施工したものを採用する。特に、回転するため、軽量な素材にて第１処理用部１０を形成するのが望ましい。
【００４３】
上記のケース３は、軸挿通口３１と、排出部３２とを備えた有底の容器であり、その内部空間３０に、上記の第１ホルダ１１を収容する。軸挿通口３１は、ケース３の底部中央に設けられ、ケース３の内外を連絡する貫通口であり、上記の回転軸５０を挿通するものである。ケース３外部（下方）に配置された回転駆動装置５から上記の軸挿通口３１を通じて回転軸５０先端をケース３内部に挿通せしめ、上記の通りケース３内の第１ホルダ１１と回転軸５０とを接続する。
【００４４】
第２ホルダ２１には、第２処理用部２０と、被処理流動体の導入部２２と、接面圧力付与機構４とが設けられている。
第２処理用部２０は、コンプレッションリングと呼ばれる金属製の環状体であり、鏡面加工された第２処理用面２と、第２処理用面２の内側に位置して当該第２処理用面２に隣接する受圧面２３（以下離反用調整面２３と呼ぶ。）とを備える。図示の通り、この離反用調整面２３は、傾斜面である。第２処理用面２に施す鏡面加工は、第１処理用面１と同様の方法を採用する。また、第２処理用部２０の素材についても、第１処理用部１０と同様のものを採用する。離反用調整面２３は、環状の第２処理用部２０の内周面２５と隣接する。
【００４５】
第２ホルダ２１の底部（下部）には、収容部４０が形成され、その収容部４０内に、上記のＯリングと共に第２処理用部２０が受容されている。また、回り止め４５にて、第２処理用部２０は、第２ホルダ２１に対して回転しないよう、受容されている。上記の第２処理用面２は、第２ホルダ２１から露出する。
第２ホルダ２１は、図１に示すように、ケース３の開口部（上部）に配置されて当該開口部を覆い、周知の密閉手段３３にて、ケース３の内部空間３０を密閉する。この状態において、第２処理用面２は、ケース３内にて、第１処理用部１０の第１処理用面１と対面する。この処理用面１，２間において、第１処理用部１０及び第２処理用部２０の内側（中心側）が、（請求項１の）被処理物の流入部であり、第１処理用部１０及び第２処理用部２０の外側が、（請求項１の）被処理物の流出部である。
【００４６】
流体圧付与機構ｐは、第２ホルダ２１の外部（上部）において、上記の導入部２２と接続されている。この流体圧付与機構ｐは、微細化の処理を施す被処理流動体に、一定の送り込み圧を掛けるコンプレッサなどの加圧装置である。
【００４７】
接面圧力付与機構４は、第１処理用面１に対して第２処理用面２を、圧接又は近接した状態に押圧するものであり、この接面圧力と流体圧力（被処理流動体の流体圧）等の両処理用面１、２間を離反させる力との均衡によって、上記の所定膜厚の流体膜を発生させる（言い換えれば、両処理用面１、２間の間隔を所定の微小間隔に保つ）。
具体的には、この実施の形態において、接面圧力付与機構４は、上記の収容部４１と、収容部４１の奥に（最深部）に設けられた発条受容部４２と、スプリング４３と、エア導入部４４とにて構成されている。
但し、接面圧力付与機構４は、上記収容部４１と、上記発条受容部４２と、スプリング４３と、エア導入部４４の少なくとも、何れか１つを備えるものであればよい。
【００４８】
収容部４１は、収容部４１内の第２処理用部２０の位置を深く或いは浅く（上下に）変位することが可能なように、第２処理用部２０を遊嵌している。
上記のスプリング４３の一端は、発条受容部４２の奥に当接し、スプリング４３の他端は、収容部４１内の第２処理用部２０の前部（上部）と当接する。図１において、スプリング４３は、１つしか現れていないが、複数のスプリング４４にて、第２処理用部２０の各部を押圧するものとするのが好ましい。即ち、スプリング４３の数を増やすことによって、より均等な押圧力を第２処理用部２０に与えることができるからである。従って、第２ホルダ２１については、スプリング４３が数本から数十本取付けられたマルチ型とするのが好ましい。
【００４９】
この実施の形態において、上記の通りエア導入部４４にて他から、空気を収容部４１内に導入することを可能としている。このような空気の導入により、収容部４１と第２処理用部２０との間を加圧室として、スプリング４３と共に、空気圧を押圧力として第２処理用部２０に与えることができる。従って、エア導入部４４から導入する空気圧を調整することにて、運転中に（第１処理用面１に対する第２処理用面２の）接面圧力を調整することが可能である。尚空気圧を利用するエア導入部４４の代わりに、油圧などの他の流体圧にて押圧力を発生させる機構を利用しても実施可能である。
接面圧力付与機構４は、上記の押圧力（接面圧力）の一部を供給し調節する他、変位調整機構と、緩衝機構とを兼ねる。
詳しくは、接面圧力付与機構４は、変位調整機構として、始動時や運転中の軸方向への伸びや磨耗による軸方向変位にも、空気圧の調整によって追従し、当初の押圧力を維持できる。また、接面圧力付与機構４は、上記の通り、第２処理用部２０を変位可能に保持するフローティング機構を採用することによって、微振動や回転アライメントの緩衝機構としても機能するのである。
【００５０】
以上の構成を備えた第１の実施の形態に係る脱気機にあっては、次の作用により、脱気の処理がなされる。
まず、処理を施す被処理流動体が、流体圧付与機構ｐから一定の送圧を受けて、密閉されたケース３の内部空間へ、導入部２２より導入される。他方、回転駆動装置５（回転駆動機構）によって、第１処理用部１０が回転する。これにより、第１処理用面１と第２処理用面２とは微小間隔を保った状態で相対的に回転する。
ケース３の内部空間に導入された被処理流動体は、（流入部から入り）微小間隔を保った両処理用面１，２間で、流体膜となり、第１処理用面１の回転により第２処理用面２との間で剪断を受けることにて微細化される。ここで、第１処理用面１と第２処理用面２とは、１μｍから１ｍｍ（特に、１μｍから１０μｍ）の微小間隔に調整されることにより、数ｎｍ単位の超微粒化をも可能とする。
処理された被処理流動体は、両処理用面１，２間を経て（流出部から出て）、排出部３２から排出される。排出部３２から、排出された被処理物は、既述の減圧装置にて、真空或いは減圧された雰囲気内にて霧状にされ、雰囲気内の他に当たることによって流動体として流れ落ちたものが脱気後の液状物として回収される。
この実施の形態において、図１に示すように、ケース３が設けられているが、このようなケース３を微細化装置Ｇに設けずに実施することが可能である（図示しない）。例えば、脱気機を減圧タンク（真空タンク）として、そのタンク内部に、微細化装置Ｇを配置して、実施することが可能である。その場合、当然上記の排出部３２は、微細化装置Ｇには備えられない。
尚、攪拌羽根６は、上記被処理流動体の送圧を受けて第１ホルダ１１に対して回転し、上記の両処理用面１，２間における処理に先立ち、被処理流動体を攪拌する。
【００５１】
上記のように、第１処理用面１と第２処理用面２とは、機械的なクリアランスの設定では不可能とされたμｍ単位の微小間隔に調整され得るものであるが、そのメカニズムを次に説明する。
第１処理用面１と第２処理用面２とは、相対的に接近離反可能であり、且つ相対的に回転する。この例では、第１処理用面１が回転し、第２処理用面２が軸方向に摺動して第１処理用面に対して接近離反する。
よって、この例では、第２処理用面２の軸方向位置が、力（前述の接面圧力と離反力）のバランスによって、μｍ単位の精度で設定されることにより、両処理用面１，２間の微小間隔の設定がなされる。
【００５２】
接面圧力としては、接面圧力付与機構４において、エア導入部４４から正圧（空気圧）を付与した場合の当該圧力、スプリング４３の押圧力を挙げることができる。
他方、離反力としては、離反側の受圧面（即ち、第２処理用面２及び離反用調整面２３）に作用する流体圧と、第１処理用部１の回転による遠心力と、エア導入部４４に負圧を掛けた場合の当該負圧とを挙げることができる。
そして、これらの力の均衡によって、第２処理用面２が第１処理用面１に対して所定の微小間隔を隔てた位置にて安定することにより、μｍ単位の精度での設定が実現する。
【００５３】
離反力をさらに詳しく説明する。
まず、流体圧に関しては、密閉された流路中にある第２処理用部２０は、流体圧付与機構ｐから被処理流動体の送り込み圧力（流体圧）を受ける。その際、流路中の第１処理用面に対向する面（第２処理用面２と離反用調整面２３）が離反側の受圧面となり、この受圧面に流体圧が作用して、流体圧による離反力が発生する。
次に、遠心力に関しては、第１処理用部１０が高速にすると、流体に遠心力が作用し、この遠心力の一部は両処理用面１，２を互いに遠ざける方向に作用する離反力となる。
更に、上記のエア導入部４４から負圧を（第２処理用部２０へ）与えた場合には、当該負圧が離反力として作用する。
以上、本願の説明においては、第１第２の処理用面１，２を互いに離反させる力を離反力として説明するものであり、上記の示した力を離反力から排除するものではない。
【００５４】
上述のように、密閉された被処理流動体の流路において、処理用面１，２間の被処理流動体を介し、離反力と、接面圧力付与機構４が奏する接面圧力とが均衡した状態を形成することにより、両処理用面１，２間に、所望の微細化の処理を行うのに適した流体膜を形成する。このように、この微細化装置は、処理用面１，２間に強制的に流体膜を介することにより、従来の機械的な微細化装置では、不可能であった微小な間隔を、両処理用面１，２維持するを可能として、高精度な脱気処理を実現したのである。
【００５５】
言い換えると処理用面１，２間における流体膜の膜厚は、上述の離反力と接面圧力の調整により、所望の厚みに調整し、必要とする微細化の処理を行うことができる。従って、流体膜の厚みを小さくしようとする場合、離反力に対して相対的に接面圧力が大きくなるように、接面圧力或いは離反力を調整すればよく、逆に流体膜の厚みを大きくようとすれば、接面圧力に対して相対的に離反力が大きくなるように、離反力或いは接面圧力を調整すればよい。
接面圧力を増加させる場合、接面圧力付与機構４において、エア導入部４４から正圧（空気圧）を付与し、又は、スプリング４３を押圧力の大きなものに変更或いはその個数を増加させればよい。
離反力を増加させる場合、流体圧付与機構ｐの送り込み圧力を増加させ、或いは第２処理用面２や離反用調整面２３の面積を増加させ、またこれに加えて、第２処理用部２０の回転を調整して遠心力を増加させ或いはエア導入部４４からの負圧（空気圧）を付与すればよい。スプリング４３は、伸びる方向に押圧力を発する押し発条としたが、縮む方向に力を発する引き発条として、接面圧力付与機構４の構成の一部又は全部とすることが可能である。
【００５６】
さらに、接面圧力及び離反力の増加減少の要素として、上記の他に粘度などの被処理流動体の性状も加えることができ、このような被処理流動体の性状の調整も、上記の要素の調整として、行うことができる。
【００５７】
なお、離反力のうち、離反側の受圧面（即ち、第２処理用面２及び離反用調整面２３）に作用する流体圧は、メカニカルシールにおけるオープニングフォースを構成する力として理解される。
メカニカルシールにあっては、第２処理用部２０がコンプレッションリングに相当するが、この第２処理用部２０に対して流体圧が加えられた場合に、第２処理用部２を第１処理用部１から離反する力が作用する場合、この力がオープニングフォースとされる。
より詳しくは、上記の第１の実施の形態のように、第２処理用部２０に離反側の受圧面（即ち、第２処理用面２及び離反用調整面２３）のみが設けられている場合には、送り込み圧力の全てがオープニングフォースを構成する。なお、  第２処理用部２０の背面側にも受圧面が設けられている場合（具体的には、後述する図２（Ｂ）及び図９の場合）には、送り込み圧力のうち、離反力として働くものと接面圧力として働くものとの差が、オープニングフォースとなる。
【００５８】
ここで、図２（Ｂ）を用いて、第２処理用部２０の他の実施の形態について説明する。
図２（Ｂ）に示す通り、この第２処理用部２０の収容部４１より露出する部位であり且つ内周面側に、第２処理用面２と反対側（上方側）を臨む近接用調整面２４が設けられている。
即ち、この実施の形態において、接面圧力付与機構４は、収容部４１と、エア導入部４４と、上記近接用調整面２４とにて構成されている。但し、接面圧力付与機構４は、上記収容部４１と、上記発条受容部４２と、スプリング４３と、エア導入部４４と、上記近接用調整面２４の少なくとも、何れか１つを備えるものであればよい。
【００５９】
この近接用調整面２４は、被処理流体に掛けた所定の圧力を受けて第１処理用面１に第２処理用面２を接近させる方向に移動させる力を発生させ、近接用接面圧力付与機構４の一部として、接面圧力の供給側の役目を担う。一方第２処理用面２（と前述の離反用調整面２３と）は、被処理流体に掛けた所定の圧力を受けて第１処理用面１から第２処理用面２を離反させる方向に移動させる力を発生させ、離反力（の一部について）の供給側の役目を担うものである。
近接用調整面２４と、第２処理用面２（及び離反用調整面２３）とは、共に前述の被処理流動体の送圧を受ける受圧面であり、その向きにより、上記接面圧力の発生と、離反力の発生という異なる作用を奏する。
【００６０】
この近接用調整面２４の面積Ａ１と、第２処理用部２０の第２処理用面２と離反側受圧面２３との合計面積Ａ２との面積比（Ａ１／Ａ２）は、バランス比Ｋと呼ばれ、上記のオープニングフォースの調整に重要である。
近接用調整面２４の先端と離反側受圧面２３の先端とは、共に環状の第２調整用部２０の内周面２５（先端線Ｌ１）に規定されている。このため、近接用調整面２４の基端線Ｌ２をどこに置くかの決定で、バランス比の調整が行われる。
即ち、この実施の形態において、被処理用流動体の送り出しの圧力をオープニングフォースとして利用する場合、第２処理用面２及び離反用調整面２３との合計面積を、近接用調整面２４の面積より大きいものとすることによって、その面積比率に応じたオープニングフォースを発生させることができる。
【００６１】
上記のオープニングフォースについては、上記バランスライン、即ち近接用調整面２４の面積Ａ１を変更することで、被処理流動体圧力（流体圧）により調整できる。
摺動面実面圧Ｐ（接面圧力のうち流体圧によるもの）は次式で計算される。
Ｐ＝Ｐ１×（Ｋ−ｋ）＋Ｐｓ
ここでＰ１は、被処理流動体の圧力（流体圧）を示し、Ｋは上記のバランス比を示し、ｋはオープニングフォース係数を示し、Ｐｓはスプリング及び背圧力を示す。
この（バランスラインの調整により）摺動面実面圧Ｐを調整することで処理用面１，２間を所望の微小隙間量（隙間幅）にし被処理流動体による流動体膜を形成させ所望の微細化処理を行うのである。
【００６２】
通常、両処理用面１，２間の流体膜の厚みを小さくすれば、被処理物（被処理流動体）をより細かくすることができる。逆に、当該流体膜の厚みを大きくすれば、処理が粗くなり単位時間あたりの処理量が増加する。従って、上記の摺動面実面圧Ｐ（以下面圧Ｐ）の調整により、両処理用面１，２間の間隔（隙間）を調整して、所望の微細化を行うことができる。
この関係を纏めると、上記の微細化処理を粗くする場合、バランス比を小さくし、面圧Ｐを小さくし、上記隙間を大きくして、上記膜厚を大きくすればよい。逆に、上記の微細化処理をより細かくする場合、バランス比を大きくし、面圧Ｐを大きくし、上記隙間を小さくし、上記膜厚を小さくする。
このように、接面圧力付与機構４の一部として、近接用調整面２４を形成して、そのバランスラインの位置にて、接面圧力の調整、即ち処理用面間の隙間を調整するものとしても実施可能である。
【００６３】
上記の隙間の調整には、既述の通り、他に、前述のスプリング４３の押圧力や、エア導入部４４の空気圧を考慮して行う。また、流体圧即ち被処理流動体の送り圧力の調整や、更に、第１処理用部１０（第１ホルダ１１）の回転（遠心力）の調整（も、重要な調整の要素（パラメータ）である。
上述の通り、この装置は、第２処理用部２０と、第２処理用部２０に対して回転する第１処理用部１０とについて、被処理流動体の送り込み圧力と当該回転遠心力、また接面圧力で圧力バランスを取り両処理用面に所定の流体膜を形成させ所望のせん断力を被処理流動体に与える構成にしている。またリングの少なくとも一方をフローティング構造とし芯振れなどのアライメントを吸収し接触による磨耗などの危険性を排除している。
【００６４】
この図２（Ｂ）の実施の形態においても、上記の調整用面を備える以外の構成については、図１に示す実施の形態と同様である。
また、図２（Ｂ）に示す実施の形態において、図９に示すように、上記の離反側受圧面２３を設けずに実施することも可能である。この場合、上記のバランス比Ｋは、近接用調整面２４の面積Ａ１と、第２処理用部２０の第２処理用面２の面積Ａ２との、面積比（Ａ１／Ａ２）となる。
図２（Ｂ）や図９に示す実施の形態のように、近接用調整面２４を設ける場合、近接用調整面２４の面積Ａ１を上記の面積Ａ２よりも大きいものとすること、即ちメカニカルシールにおけるアンバランス型とすることにより、オープニングフォースを発生させずに、逆に、被処理流動体に掛けられた所定の圧力は、全て接面圧力として働くことになる。このような設定も可能であり、この場合、他の離反力を大きくすることにより、両処理用面１，２を均衡させることができる。
【００６５】
上記の実施の形態において、既述の通り、スプリング４３は、摺動面（処理用面）に均一な応力を与える為に、取付け本数は、多いほどよい。但し、このスプリング４３については、図３（Ａ）へ示すように、シングルコイル型スプリングを採用することも可能である。これは、図示の通り、中心を環状の第２処理用部２０と同心とする１本のコイル型スプリングである。
第２処理用部２０と第２ホルダ２１との間のシールには、既述の通りＯリングを用いるのがよいが、このようなＯリングに代え、或いはＯリングと共に、図３（Ｂ）へ示すベローズ２６や、図３（Ｃ）へ示すダイアフラム２７を設けても実施可能である。
【００６６】
図４に示すように、第２ホルダ２１には、第２処理用面２（第２処理用部２０）とを、冷却或いは加熱して、その温度を調整することが可能な温度調整用ジャケット４６が設けられている。また、ケース３にも、同様の目的の温度調整用ジャケット３５が設けられている。
第２ホルダ２１の温度調整用ジャケット４６は、第２ホルダ２１内において、収容部４１の側面に形成された水回り用の空間であり、第２ホルダ２１の外部に通じる通路４７，４８と連絡している。通路４７，４８は、何れか一方が温度調整用ジャケット４６に、冷却用或いは加熱用の媒体を導入し、何れか他方が当該媒体を排出する。
また、ケース３の温度調整用ジャケット３５は、ケース３の外周を被覆する被覆部３４にて、ケース３の外周面と当該被覆部３４との間に設けられた、加熱用水或いは冷却水を通す通路である。
この実施の形態では、第２ホルダ２１とケース３とが、上記の温度調整用のジャケットを備えるものとしたが、第１ホルダ１１にも、このようなジャケットを設けて実施することが可能である。
【００６７】
接面圧力付与機構４の一部として、図１及び図２に示す構成と共に、図５に示すシリンダ機構７を設けて実施することも可能である。
このシリンダ機構７は、第２ホルダ２１内に設けられたシリンダ空間部７０と、シリンダ空間部７０を収容部４１と連絡する連絡部７１と、シリンダ空間部７０内に収容され且つ連絡部７１を通じて第２処理用部２０と連結されたピストン体７２と、シリンダ空間部７０上部に連絡する第１ノズル７３と、シリンダ空間部７０下部に第２ノズル７４と、シリンダ空間部７０上部とをピストン体７２との間に介された発条などの押圧体７５とを備えたものである。
【００６８】
ピストン体７２は、シリンダ空間部７０内にて上下に摺動可能であり、ピストン体７２の当該摺動にて第２処理用部２０が上下に摺動して、第１処理用面１と第２処理用面２との間の隙間を変更することができる。
具体的には、コンプレッサなどの圧力源（図示せず。）と第１ノズル７３とを接続し、第１ノズル７３からシリンダ空間部７０内のピストン体７２上方に空気圧（正圧）を掛けることにて、ピストン体７２を下方に摺動させ、第２処理用部２０を第１及び第２処理用面１，２間の隙間を狭める（閉じる方向に移動させる）ことができる。またコンプレッサなどの圧力源（図示せず。）と第２ノズル７４とを接続し、第２ノズル７４からシリンダ空間部７０内のピストン体７２下方に空気圧（正圧）を掛けることにて、ピストン体７２を上方に摺動させ、第２処理用部２０を第１及び第２処理用面１，２間の隙間を広げる（開く方向に移動させる）ことができる。このように、ノズル７３，７４にて得た空気圧で、接面圧力を調整できるのである。
【００６９】
収容部４１内における第２処理用部２０の上部と、収容部４１の最上部との間に余裕があっても、ピストン体７がシリンダ空間部７０の最上部７０ａと当接するよう設定することにより、このシリンダ空間部７０（の最上部７０ａ）が、両処理用面１，２間の隙間の幅の上限を規定する。即ち、ピストン体７とシリンダ空間部７０の最上部７０ａとが、両処理用面１，２の離反を抑止する離反抑止部（両処理用面１，２間の隙間の最大開き量を規制する機構）として機能する。
【００７０】
また、両処理用面１，２とが当接していなくても、ピストン体７がシリンダ空間部７０の最下部７０ｂと当接するよう設定することにより、このシリンダ空間部７０（の最下部７０ｂ）が、両処理用面１，２間の隙間の幅の下限を規定する。即ち、ピストン体７とシリンダ空間部７０の最下部７０ｂとが、両処理用面１，２の近接を抑止する近接抑止部（両処理用面１，２間の隙間の最小開き量を規制する機構）として機能する。
このように上記隙間の最大及び最小の開き量を規制しつつ、ピストン体７とシリンダ空間部７０の最上部７０ａとの間隔ｚ１（換言するとピストン体７とシリンダ空間部７０の最下部７０ｂとの間隔ｚ２）を上記ノズル７３，７４の空気圧にて調整する。
【００７１】
ノズル７３，７４は、別個の圧力源に接続されたものとしてもよく、一つの圧力源を切り換えて（つなぎ換えて）接続するものとしてもよい。
また圧力源は、正圧を供給するものでも負圧を供給するものでも何れでも実施可能である。真空などの負圧源と、ノズル７３，７４とを接続する場合、上記の動作は反対になる。
前述の他の接面圧力付与機構４に代え或いは前述の接面圧力付与機構４の一部として、このようなシリンダ機構７を設けて、被処理流動体の粘度や性状によりノズル７３，７４に接続する圧力源の圧力や間隔ｚ１，ｚ２の設定を行い流動体液膜の厚みを所望値にしせん断力をかけ微細化を行うことができる。特に、このようなシリンダ機構７にて、洗浄時や蒸気滅菌時など摺動部の強制開閉を行い洗浄や滅菌の確実性を上昇させることも可能とした。
【００７２】
図６（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、第１処理用部１０の第１処理用面１に、第１処理用部１０の中心側から外側に向けて（径方向について伸びる）溝状の凹部１３…１３を形成して実施してもよい。この場合、図６（Ａ）へ示すように、凹部１３…１３は、第１処理用面１上をカーブして或いは渦巻き状伸びるものとして実施可能であり、図６（Ｂ）へ示すように、個々の凹部１３がＬ字状に屈曲するものであっても実施可能であり、また、図６（Ｃ）に示すように、凹部１３…１３ｆは真っ直ぐ放射状に伸びるものであっても実施可能である。
【００７３】
また、図６（Ｄ）へ示すように、図６（Ａ）〜（Ｃ）の凹部１３は、第１処理用面１の中心側に向かう程深いものとなるように勾配をつけて実施するのが好ましい。また、溝状の凹部１３は、連続したものの他、断続するものであっても実施可能である。
この様な凹部１３を形成することにより被処理流動体の吐出量（供給量）の増加または発熱量の減少への対応や、キャビテーションコントロールや流体軸受けなど効果がある。
上記の図６に示す各実施の形態において、凹部１３は、第１処理用面１に形成するものとしたが、第２処理用面２に形成するものとしても実施可能であり、更には、第１及び第２の処理用面１，２の双方に形成するものとしても実施可能である。
【００７４】
処理用面に、上記の凹部１３やテーパを設けない場合、若しくは、これらを処理用面の一部に偏在させた場合、処理用面１，２（平滑部）の面粗度が被処理流動体（流体）に与える影響は、上記（凹部１３を形成するもの）に比して、大きいものとなる。従って、このような場合、被処理流動体（流体）の粒子が小さくなればなるほど、面粗度を下げる（きめの細かいものとする）必要がある。特にナノサイズの超微化を行う場合その処理用面の面粗度については、既述の鏡面（鏡面加工を施した面）とするほうが所望のせん断力を与える上で有利である。
【００７５】
図７に示すように、導入部２２とは別に、第２処理用部２０に第２処理用面２に開口する供給通路２８を設け、当該供給通路２８を通じて他より、第１処理用面１と第２処理用面２との間の被処理流動体（流体）に直接違った物質または、被分断流動体の一部を投入するものとしても実施可能である。
【００７６】
図１に示す実施の形態において、不動の第２処理用部２０（第２ホルダ２１）に対して、第１処理用部１０（第１ホルダ１１）が回転駆動装置５より回転力を受けて回転するものであった。この他、図８に示すように、第２ホルダ２１を、別途の副回転駆動装置５２へ別途の回動軸５３（以下副回動軸５３と呼ぶ。）を介して接続して、第１ホルダ１１と逆方向に回転させるものとしても、より大きな剪断力を得る上で、効果的である。
この場合、前述の回転軸５０と上記の副回転軸５３とは、同心に配置される。そして。被処理流動体（流体）の導入部２２は、副回転駆動装置５２の内部及び副回転軸５３に設けられた中空の通路として形成され、ロータリージョイント（図示せず。）を利用して、被処理流動体（流体）を、副回転駆動装置５２の反対側（上方）より、第２処理用部２０の中心へ放出する。このようにケース３内に導入されて両処理用面１，２間にて処理された被処理流動体は、排出部３２より外部へ排出される。
【００７７】
この図８に示す装置では、回転速度を上げて大きなせん断力を得ようとする場合、極めて有効である。またこの場合、第１ホルダ１１と第２ホルダ２１の回転の速さ（回転数）は、同じとしても、異なるものとしても何れでも実施可能である。
この図８に示す実施の形態では、攪拌用羽根６は、設けていない。
【００７８】
図３乃至図８に示す実施の形態においても、特に明示した以外の構成については図１又は図２に示す実施の形態と同様である。
図１に示す実施の形態では、プレ分散を目的とする攪拌羽根６を有するものを示したが、この他、プレ分散としない場合は、このような攪拌羽根６を持たないものとしても実施可能である（図示しない）。
【００７９】
また、上記各実施の形態において、被処理流動体は、環状の第２処理用部２或いは第１処理用部１０の内側から外側に移動するものとした。この他、処理される被処理流動体を第２処理用部２或いは第１処理用部１０の外部からその内部へ移動させることによって、第１処理用面１と第２処理用面２との間を通過させるものとしてもよい（図示しない）。例えば、図１に示す装置の排出部を導入部として、導入部を排出部とするように変更して実施することも可能である。この場合、図１に示す排出部側から加圧する。但し、図１に示す導入部側から負圧で吸引するものとしても実施可能である。
【００８０】
このように、被処理流動体の移動を、第２処理用部２或いは第１処理用部１０の外部からその内部へ向けて行う場合、図６（Ｅ）に示すように、第１処理用部１０の第１処理用面１に、第１処理用部１０の外側から中心側に向けて伸びる溝状の凹部１３…１３を形成して実施することも可能である。このような図６（Ｅ）に示す凹部１３…１３を形成することにより、前述のバランス比については、１００％以上のアンバランス型とするのが好ましい。この結果、回転時に、上記の溝状の凹部１３…１３に動圧が発生し、両処理用面１，２は確実に非接触で回転でき、接触による磨耗などの危険がなくなる。
この図６（Ｅ）に示す実施の形態において、被処理流体の圧力による離反力は、凹部１３の内端１３ａにて発生する。
【００８１】
また、上記の各実施の形態において、ケース３内は全て密封されたものとしたが、この他、第１処理用部１０及び第２処理用部２０の内側のみ密封され、その外側は開放されたものとしても実施可能である。即ち、第１処理用面１及び第２処理用面２との間を通過するまでは流路は密封され、被処理流動体は送圧を全て受けるものとするが、通過後は、流路は開放され処理後の被処理流動体は送圧を受けないものとしてもよい。
加圧装置は、既述のとおり、コンプレッサを用いて実施するのが好ましいが、常に被処理流動体に所定の圧力を掛けることが可能であれば、他の手段を用いて実施することも可能である。例えば、被処理流動体の自重（重力）を利用して、常に一定の圧力を被処理流動体に付与するものとしても実施可能である。
【００８２】
上記の各実施の形態における微細化装置について総括すると、被処理流動体に所定の圧力を付与し、この所定の圧力のを受けた被処理流動体が流される密封された流体流路に、第１処理用面１及び第２処理用面２の少なくとも２つの接近離反可能な処理用面を接続し、両処理用面１，２を接近させる接面圧力を付与し、第１処理用面１と第２処理用面２とを相対的に回転させることにより、メカニカルシールにおいてシールに利用される流体膜を、被処理流動体を用いて発生させ、メカニカルシールと逆に（流体膜をシールに利用するのではなく）、当該流体膜を第１処理用面１及び第２処理用面２の間から敢えて漏らして、微細化の処理を、両面間１，２にて膜とされた被処理流動体に施し、回収することを特徴とするものである。
このような画期的な微細化処理の方法により、両処理用面１，２間の間隔を１μから１ｍｍとする調整、特に、１〜１０μとする調整を可能とした。
【００８３】
上記の実施の形態において、装置内は密閉された流体の流路を構成するものであり、被処理流動体（被処理物）を、脱気機の導入部側に設けた流体圧付与機構ｐにて、被処理流動体は加圧されたものであった。
この他、このような流体圧付与機構ｐを用いて加圧するものではなく、被処理流動体の流路は開放されたものであっても実施可能である。
図１０乃至図１３へ、そのような微細化装置付脱気機の一実施の形態を示す。図１０は脱気機の略縦断面図である。図１１は、その一部切欠要部略縦断面図である。図１２は、図１０に示す微細化装置が備える第１処理用部材１の平面図である。図１３は、上記脱気機の第１及び第２処理用部材１，２の一部切欠要部略縦断面図である。
【００８４】
この図１０乃至図１３に示す脱気機は、上記の通り、大気圧下で、脱気処理の対象となる流体（以下、上述してきた被処理流動体を、必要に応じて、このように単に「流体」と呼ぶ。）或いはこのような処理の対象物を搬送する流体が投入されるものである。
図１０に示す通り、この脱気機は、微細化装置Ｇと、減圧ポンプＱとを備えたものである。この微細化装置Ｇは、回転部材である第１処理用部材１０１と、当該処理用部材１０１を保持する第１ホルダ１１１と、固定部材である第２処理用部材１０２と、当該第２処理用部材１０２が固定された第２ホルダ１２１と、付勢機構１０３と、動圧発生機構１０４と、第１ホルダ１１１と共に第１処理用部材１０１を回転させる駆動部１０５と、ハウジング１０６と、流体を供給（投入する）する導入部１０７と、流体を減圧ポンプＱへ排出する排出部１０８とを備える。
【００８５】
上記の第１処理用部材１０１と第２処理用部材１０２は、夫々、円柱の中心をくり抜いた形状の環状体である。両処理用部材１０１，１０２は、両処理用部材１０１，１０２の夫々が呈する円柱の一底面を処理用面１１０，１２０とする部材である。
上記の処理用面１１０，１２０は、鏡面研磨された平坦部を有する。この実施の形態において、第２処理用部材１０２の処理用面１２０は、面全体に鏡面研磨が施された平坦面である。また、第１処理用部材１０１の処理用面１１０は、面全体を第２処理用部材１０２と同様の平坦面とするが、図３へ示す通り、平坦面中に、複数の溝１１２…１２を有する。この溝１１２…１２は、第１処理用部材１０１が呈する円柱の中心を中心側として円柱の外周方向へ、放射状に伸びる。上記の第１及び第２の処理用部材１０１，１０２の処理用面１１０，１２０についての、鏡面研磨は、面粗度Ｒａ０．０１〜１．０μｍとするのが好ましい。この鏡面研磨について、Ｒａ０．０３〜０．３μｍとするのがより好ましい。
処理用部材１０１，１０２の材質については、硬質且つ鏡面研磨が可能なものを採用する。処理用部材１０１，１０２のこの硬さについて、少なくともビッカース硬さ１５００以上、望ましくはビッカース硬さ１８００以上とする。また、線膨張係数が小さい素材を、採用するのが好ましい。微細化処理にて熱を発する部分と他の部分との間で、膨張率の差が大きいと歪みが発生して、適正なクリアランスの確保に影響するからである。
このような処理用部材１０１，１０２の素材として、特に、ＳＩＣ（シリコンカーバイト／ビッカース硬さ２０００〜２５００）、表面にＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン／ビッカース硬さ３０００〜４０００）コーティングが施されたＳＩＣ、ＷＣ（タングステンカーバイト／ビッカース硬さ１８００）、表面にＤＬＣコーティングが施されたＷＣ、ＺｒＢ２  やＢＴＣ，Ｂ４  Ｃに代表されるボロン系セラミック（ビッカース硬さ４０００〜５０００）などを採用するのが好ましい。
【００８６】
ハウジング１０６は、有底の筒状体であり、上方が上記の第２ホルダ１２１に覆われている。第２ホルダ１２１は、下面に上記第２処理部材１０２が固定されており、上方に上記導入部７が設けられている。導入部１０７は、外部から流体や被処理物を投入するためのホッパ１７０を備える。
上記の駆動部１０５は、電動機などの動力源（図示せず。）と、当該動力源から動力の供給を受けて回転するシャフト１５０とを備える。
上記回転は、第１処理用部材１０１の直径を１００ｍｍとした場合毎分２万回転、第１処理用部材１０１の直径を２００ｍｍとした場合毎分１万回転、第１処理用部材１０１の直径を４００ｍｍとした場合毎分５千回転である。即ち、第１処理用部材１０１の回転時の周速度という観点では、約６３００メートル毎分であり、これは、処理用面１１０と処理用面１２０のドライコンタクトを防止できるために可能となったのである。
図１０に示すように、シャフト１５０は、ハウジング１０６の内部に配され上下に伸びる。そして、シャフト１５０の上端部に上記の第１ホルダ１１１が、設けられている。第１ホルダ１１１は、第１処理用部材１０１を保持するものであり、上記の通りシャフト１５０に設けられることにより、第１処理用部材１０１の処理用面１１０を第２処理用部材１０２の処理用面１２０に対応させる。
【００８７】
第１ホルダ１１１は、円柱状体であり、上面中央に、第１処理用部材１０１が固定されている。第１処理用部材１０１は、第１ホルダ１１１と一体となるように、固着され、第１ホルダ１１１に対してその位置を変えない。
一方、第２ホルダ１２１の上面中央には、第２処理用部材１０２を受容する受容凹部１２４が形成されている。
上記の受容凹部１２４は、環状の横断面を有する。第２処理用部材１０２は、受容凹部１２４と、同心となるように円柱状の受容凹部１２４内に収容される。
【００８８】
詳しくは、上記の受容凹部１２４内には、第２処理用部材１０２と別体の環状体１２３が収容される。受容凹部１２４の底面（天部１２４ａ）には、突起物１２７（ピン）が設けられている。環状体１２３の上記天部１２４ａを臨む面（上面）には、この突起物１２７を収容することが可能な凹部１２６が設けられている。突起物１２７は、環状体１２３の第２ホルダ１２１に対する回り止めである。突起物１２７は、凹部１２６内に余裕（遊び）を持つように収容される。
この環状体１２３の、受容凹部１２４の天部１２４ａと反対側（下方）に、第２処理用部材１０２が収容される。環状体１２３の天部１２４ａと反対側の面（下面）には、突起物１２５（ピン）が設けられている。第２処理用部材１０２の研磨用面１２０と反対側の面には、上記突起物１２５を収容する凹部１２２が設けられている。突起物１２５は、環状体１２３に対する第２処理用部材１０２の回り止めである。突起物１２５は、凹部１２２内に余裕（遊び）を持つように収容される。
【００８９】
そして、この第２ホルダ１２１が、上記の付勢機構１０３を備える。付勢機構１０３は、ゴム製のＯリングやバネなどの弾性体を用いるのが好ましい。具体的には、この実施の形態において、上記の環状体１２３について、その（上下）両端面間に複数の貫通孔１３１…１３１が設けられており、この貫通孔１３１…１３１に、付勢機構１０３となる複数のバネ１３０…１３０が収容される。これにて、第２処理用部材１０２の上面（処理用面１２０と反対側の面）と、受容凹部１２４の底（天面１２４ａ）との間に、第２処理用部材１０２を第１処理用部材１０１に向けて付勢する付勢機構１０３が介される。即ち、バネ１３０…１３０は、第２処理用部材１０２の処理用面１２０と反対側の面（底面）を押圧し、第１処理用部材１０１側（下方）に第２処理用部材１０２を付勢する。上記のバネ１３０…１３０は、受容凹部１２４の底１２４ａ上において、偏りなく分布する。
付勢機構１０３にバネを採用する場合、上記の通り複数のバネを用意するのに代え、第２処理用部材１０２の内周面の内径よりも大きく且つ第２処理用部材１０２の外径よりも小さな径を有するバネを一つ用意することによっても実施することができる。付勢機構１０３は、第２処理用部材１０２の処理用面１２０と反対側の面（図１０及び図１１において第２処理用部材１０２の上面）の各部に、偏りなく均一な付勢力を掛けることが可能なものであればよく、上記のバネに限定するものではない。
即ち、上記において、付勢機構１０３は、バネ１３１のみにて構成されたものとしたが、この他、付勢機構１０３は、上記のバネ１３１に代え、或いはバネ１３１と共に、空気などの流体圧を利用した付勢手段を用いて実施することも可能である。
具体的には、図１０に示すように、付勢機構１０３の一部として、高圧空気導入口１３２を設けて、付勢力の調整を行うものとしても実施可能である。この場合、付勢機構１０３は、高圧空気導入口１３２のみにて構成するものであってもよく、また、図１０に示す通り、バネ１３１と高圧空気導入口１３２とによって構成するものであってもよい。
【００９０】
一方、受容凹部１２４の内径は、第２処理用部材１０２の外径よりも大きく、これにて、上記の通り同心に配設した際、第２処理用部材１０２の外周面１０２ｂと受容凹部１２４の内周面との間には、図１１に示すように、隙間ｔ１が設定される。
同様に、第２処理用部材１０２の内周面１０２ａと受容凹部１２４の中心部外周面との間には、図１１に示すように、隙間ｔ２が設定される。
上記隙間ｔ１、ｔ２の夫々は、振動や偏芯挙動を吸収するためのものであり、動作寸法以上確保され且つシールが可能となる大きさに設定する。例えば、第１処理用部材１０１の直径が１００ｍｍから４００ｍｍの場合、当該隙間ｔ１、ｔ２の夫々は、０．１〜０．３ｍｍとするのが好ましい。
第１ホルダ１１１は、その内ホルダ１１５と共に、シャフト１５０へ一体に固定され、シャフト１５０と共に回転する。また、上記の突起物１２５，１２７によって、環状体１２３を介しても、第２ホルダ１２１に対して、第２処理用部材１０２は回らない。しかし、両処理用面１１０，１２０間に、微細化処理に必要な０．１〜１０ミクロンの微小な間隔ｔ（クリアランス／図１３（Ｂ）参照）を確保するため、受容凹部１２４の底面（天部１２４ａ）と環状体１２３の上記天部１２４ａを臨む面（上面）と間に隙間ｔ３が設けられる。この隙間ｔ３については、上記のクリアランスと共に、シャフト１５０の振れや伸びを考慮して設定する。
【００９１】
上記のように、隙間ｔ１〜ｔ３の設定により、第１処理用部材１０１は、第２処理用部材１０２に対して近接・離反する方向に可変であるのみならず、その処理用面１１０の中心や向き（方向ｚ１，ｚ２について）も可変としている。
即ち、この実施の形態において、付勢機構１０３と、上記隙間ｔ１〜ｔ３とが、フローティング機構を構成し、このフローティング機構によって、少なくとも第２処理用部材１０２の中心や傾きを、数ミクロンから数ミリの程度の僅かな量、可変としている。これにて、回転軸の芯振れ、軸膨張、第１処理用部材１０１の面振れ、振動を吸収する。
尚、上記突起物１２５と凹部１２２の間、及び突起物１２７と凹部１２６との間の遊びによって、第２処理用部材１０２の上記フローティング機構の動作は、確保され、これらの回り止めの機構に、当該動作が阻害されない。
【００９２】
第１処理用部材１０１の研磨用面１１０が備える前記の溝１１２について、更に詳しく説明する。溝１１２の後端は、第１処理用部材１０１の内周面１０１ａに達するものであり、その先端を第１処理用部材１０１の外側ｙ（外周面側）に向けて伸ばす。この溝１１２は、図１２（Ａ）へ示すように、その横断面積を、環状の第１処理用部材１０１の中心ｘ側から、第１処理用部材１０１の外側ｙ（外周面側）に向かうにつれて、漸次減少するものとしている。
溝１１２の左右両側面１１２ａ，１１２ｂの間隔ｗ１は、第１処理用部材１０１の中心ｘ側から、第１処理用部材１０１の外側ｙ（外周面側）に向かうにつれて小さくなる。また、溝１１２の深さｗ２は、図１２（Ｂ）へ示すように、第１処理用部材１０１の中心ｘ側から、第１処理用部材１０１の外側ｙ（外周面側）に向かうにつれて、小さくなる。即ち、溝１１２の底１１２ｃは、第１処理用部材１０１の中心ｘ側から、第１処理用部材１０１の外側ｙ（外周面側）に向かうにつれて、浅くなる。
このように、溝１１２は、その幅及び深さの双方を、外側ｙ（外周面側）に向かうにつれて、漸次減少するものとして、その横断面積を外側ｙに向けて漸次減少させている。そして、溝１１２の先端（ｙ側）は、行き止まりとなっている。即ち、溝１１２の先端（ｙ側）は、第１処理用部材１０１の外周面１０１ｂに達するものではなく、溝１１２の先端と外周面１０１ｂとの間には、外側平坦面１１３が介在する（この外側平坦面１１３は、処理用面１１０の一部である）。
この実施の形態において、このような溝１１２の左右両側面１１２ａ，１１２ｂと底１１２ｃとが流路制限部を構成している。この流路制限部と、第１処理用部材１０１の溝１１２周囲の平坦部と、第２処理用部材１０２の平坦部とが、動圧発生機構１０４を構成している。
但し、溝１１２の幅及び深さの何れか一方についてのみ、上記の構成を採るものとして、断面積を減少させるものとしてよい。その場合、上記の構成を採らない、左右両側面１１２ａ，１１２ｂ或いは底１１２ｃは、流路制限部とならず、動圧発生機構１０４の構成要素とならない。
上記の動圧発生機構１０４は、第１処理用部材１０１の回転時、両処理用部材１０１，１０２間を通り抜けようとする流体によって、両処理用部材１０１，１０２の間に所望の微小間隔を確保することを可能とする、両処理用部材１０１，１０２を離反させる方向に働く力を発生させる。このような動圧の発生により、両処理用面１１０，１２０間に、０．１〜１０μｍの微小間隔を発生させることができる。このような微小間隔は、処理の対象によって、調整し選択すればよいのであるが、１〜６μｍとするのが好ましく、より好ましくは、１〜２μｍである。この脱気機においては、上記のような微小間隔による従来にない微細な気泡等の脱泡等の処理が可能である。
【００９３】
溝１１２…１１２の夫々は、真っ直ぐ、中心ｘ側から外側ｙに伸びるものであっても実施可能である。但し、この実施の形態において、図１２（Ａ）に示すように、第１処理用部材１０１の回転方向ｒについて、溝１１２の中心ｘ側が、溝１１２の外側ｙよりも、先行するように（前方に位置するように）、湾曲して溝１１２を伸びるものとしている。
このように溝１１２…１１２が湾曲して伸びることにより、動圧発生機構１０４による離反力の発生をより効果的に行うことができる。
【００９４】
次に、この脱気機の動作について説明する。
導入部１０７（ホッパ１７０）から投入された、被処理物である流体Ｒは、環状の第２処理用部材１０２の中空部（中央）を通り、第１処理用部材１０１の回転よる遠心力を受けた流体は、両処理用部材１０１，１０２間に入り、回転する第１処理用部材１０１の処理用面１１０と、第２処理用部材１０２の処理用面１２０との間にて、微細化の処理が行われ、その後、両処理用部材１０１，１０２の外側に出て、排出部１０８から減圧ポンプＱ側へ排出される。
上記において、環状の第２処理用部材１０２の中空部に入った流体Ｒは、図１３（Ａ）へ示すように、先ず、回転する第１処理用部材１０１の溝１１２に入る。一方、鏡面研磨された（平坦部である）両処理用面１１０，１２０は、空気や窒素などの気体を通しても気密性が保たれている。従って、回転による遠心力を受けても、そのままでは、付勢機構１０３によって、押し合わされた両処理用面１１０，１２０の間に、溝１１２から流体は入り込むことはできない。しかし、流路制限部として形成された溝１１２の上記両側面１１２ａ，１１２ｂや底１１２ｃに、流体Ｒは徐々に突き当たり、両処理用面１１０，１２０を離反させる方向に働く動圧を発生させる。これによって、流体Ｒが溝１１２から平坦面に滲み出し、両処理用面１１０，１２０の間に微小間隔（クリアランス）を確保することができる。そして、このような鏡面研磨された平坦面の間で、微細化の処理が行われる。また上述の溝１１２の湾曲が、より確実に流体へ遠心力を作用させ、上記動圧の発生をより効果的にしている。
このように、この脱気機は、動圧と付勢機構１０３による付勢力との均衡にて、両鏡面（処理用面１１０，１２０）間に、微細な間隔（クリアランス）を確保することを可能とした。そして、上記の構成により、当該微細間隔は、１μｍ以下の超微細なものとすることができる。
また、上記フローティング機構の採用により、処理用面１１０，１２０間のアライメントの自動調整が可能となり、回転や発生した熱による各部の物理的な変形に対して、処理用面１１０，１２０間の各位置における、クリアランスのばらつきを、抑制し、当該各位置における上記の小間隔の維持を可能とした。
【００９５】
尚、上記の実施の形態において、フローティング機構は、第２ホルダ１２１にのみ設けられた機構であった。この他、第２ホルダ１２１に代え、或いは第２ホルダ１２１と共に、フローティング機構を、第２ホルダ１２１にも設けるものとして実施することも可能である。
【００９６】
図１４乃至図１６に、上記の溝１１２について、他の実施の形態を示す。
図１４（Ａ）（Ｂ）に示すように、溝１１２は、流路制限部の一部として、先端に平らな壁面１１２ｄを備えるものとして実施することができる。また、この図１４に示す実施の形態では、底１１２ｃにおいて、第１壁面１１２ｄと、内周面１０１ａとの間に段差１１２ｅが設けられており、この段差１１２ｅも流路制限部の一部を構成する。
図１５（Ａ）（Ｂ）に示すように、溝１１２は、複数に分岐する枝部１１２ｆ…１１２ｆを備えるものとし、各枝部１１２ｆがその幅を狭めることにより流路制限部を備えるものとしても実施可能である。
図１４及び図１５の実施の形態においても、特に示した以外の構成については、図１０乃至図１３に示す実施の形態と同様である。
【００９７】
また、上記の各実施の形態において、溝１１２の幅及び深さの少なくとも何れか一方について、第１処理用部材１０１の内側から外側に向けてその寸法を漸次小さくすることにて、流路制限部を構成するものとした。この他、図１６（Ａ）や図１６（Ｂ）へ示す通り、溝１１２の幅や深さを変化させずに、溝１１２に終端面１１２ｆを設けることによって、このような溝１１２の終端面１１２ｆを流路制限部とすることができる。図１２、図１４及び図１５に示す実施の形態において示した通り、動圧発生は、溝１１２の幅及び深さを既述の通り変化させることによって溝１１２の底や両側面を傾斜面とすることで、この傾斜面が流体に対する受圧部になり動圧を発生させた。一方図１６（Ａ）（Ｂ）に示す実施の形態では、溝１１２の終端面が流体に対する受圧部になり動圧を発生させる。
また、この図１６（Ａ）（Ｂ）に示す場合、溝１１２の幅及び深さの少なくとも何れか一方の寸法を漸次小さくすることも併せて実施することができる。
尚、溝１１２の構成について、上記の図１２、図１４乃至図１６に示すものに限定するものではなく、他の形状の流路制限部を備えたものとして実施することが可能である。
例えば、図１２、図１４乃至図１６示すものでは、溝１１２は、第１処理用部材１０１の外側に突き抜けるものではなかった。即ち、第１処理用部材１０１の外周面と、溝１１２との間には、外側平坦面１１３が存在した。しかし、このような実施の形態に限定するものではなく、上述の動圧を発生されることが可能であれば、溝１１２は、第１処理用部材１０１の外周面側に達するものであっても実施可能である。
例えば、図１６（Ｂ）に示す第１処理用部材１０１の場合、点線で示すように、溝１１２の他の部位よりも断面積が小さな部分を、外側平坦面１１３に形成して実施することができる。
また、溝１１２を、上記の通り内側から外側へ向けて漸次断面積を小さくするように形成し、溝１１２の第１処理用部材１０１の外周に達した部分（終端）を、最も断面積が小さいものとすればよい（図示せず）。但し、動圧を効果的に発生させる上で、図１２、図１４乃至図１６に示すように、溝１１２は、第１処理用部材１０１の外周面側に突き抜けないほうが好ましい。
【００９８】
上記の各実施の形態では、第１処理用部材１０１のみが回転し、第２処理用部材１０２は、回転しないものとした。この他、第１処理用部材１０１のみならず、第２処理用部材１０２も回転するものとしても実施可能である。この場合、第２処理用部材１０２は、第１処理用部材１０１の回転方向ｒに対し、逆方向に回転するものとする。
このような脱気機として、例えば、図１７に示すように、既述の駆動部１０５とは別個の、シャフト１５０ａを備えた駆動部１０５ａを設けて、ハウジング１０６と独立して形成された第２ホルダ１２１を回転させればよい。この場合、駆動部５ａのシャフト１５０ａを中空として、このシャフト１５０内部を導入部１０７とする。
図１７に示す脱気機では、図１０及び図１１に示す脱気機と同様、フローティング機構は、第２ホルダ１２１が備えるものである。この他、第２ホルダ１２１に代え或いは第２ホルダ１２１と共に第１ホルダ１１１もフローティング機構を備えるものとしても実施可能である。
【００９９】
ここで、上記図１０乃至図１７に示す各実施の形態について、総括する。
この脱気機は、平坦処理用面を有する回転部材と同じく平坦処理用面を有する固定部材とをそれらの平坦処理用面で同心的に相対向させ、回転部材の回転下に固定部材の開口部より被粉砕原料を供給しながら両部材の対向平面処理用面間より該被粉砕原料を微細化して処理する脱気機において機械的にクリアランスを調整するのではなく、回転部材に増圧機構を設けてその圧力発生によりクリアランスを保持しかつ機械的クリアランス調整では、不可能であった１〜６μｍの微小クリアランスを可能とし微細化能力が著しく向上出来たものである。
即ち、この脱気機は、回転部材と固定部材がその外周部に平坦処理用面を有しその平坦処理用面において、面上の密封機能を有することで流体静力学的（ハイドロスタティック）一流体動力学的（ハイドロダイナミック）な力、或いは、エアロスタティック−エアロダイナミックな力を発生させる高速回転式の脱気機を提供しようとするものである。上記の力は、上記密封面間に僅かな間隙を発生させ、また非接触で機械的に安全で高度な微細化機能を有した脱気機を提供することができる。この僅かな隙間が形成されうる要因は、一つは、回転部材の回転速度によるものであり、もう一つは、被処理物（流体）の投入側と排出側の圧力差によるものである。投入側に圧力付与機構が付設されている場合は、投入側に圧力付与機構が付設されていない場合即ち大気圧下で被処理物（流体）を投入される場合、圧力差が無いわけであるから回転部材の回転速度だけで密封面間の分離を生じさせる必要がある。これは、ハイドロダイナミックもしくはエアロダイナミック力として知られている。
【０１００】
減圧ポンプＱ（図１０）を上記微細化装置Ｇの排出部に接続したものを示したが、既述の通りハウジング１０６（ケース３）を設けず、また減圧ポンプＱを設けずに、図１８（Ａ）に示すように脱気機を減圧用のタンクＴとして、当該タンクＴの中に、微細化装置Ｇを配設することにて実施することが可能である。
この場合、タンクＴ内を真空或いは真空に近い状態に減圧することにて、微細化装置Ｇにて微細化された被処理物をタンクＴ内に霧状に噴射せしめ、タンクＴの内壁にぶつかって流れ落ちる被処理物を回収すること、或いはこのような流れ落ちる被処理物に対して気体（蒸気）として分離されタンクＴ内上部に充満するものを回収することにて、処理後の目的物を得ることができる。
また、減圧ポンプＱを用いる場合も、図１８（Ｂ）へ示すように、微細化装置Ｇに、減圧ポンプＱを介して、気密なタンクＴを接続することにより、当該タンクＴ内にて、処理後の被処理物を霧状にして、目的物の分離（抽出）を行うことができる。
更に、図１８（Ｃ）へ示すように、減圧ポンプＱを直接微細化装置Ｇに接続し、当該タンクＴに、減圧ポンプＱと、減圧ポンプＱとは別の流体Ｒの排出部とを接続して、目的物の分離を行うことができる。この場合、気化部については、減圧ポンプＱに吸いよせられ、液体Ｒ（液状部）は排出部より、気化部とは別に排出される。
【０１０１】
【発明の効果】
本願第１乃至２１の発明の実施によって、微細化のために、従来のパンチングプレートやメッシュという構成を排除して、これら部材の面倒な洗浄という作業を不要とした。そして、パンチングプレートやメッシュでは、不可能であった微細な気泡の抽出（排除）を可能とした。
特に、本願第４乃至第８の発明の実施によって、被粉砕原料を流体とし、或いは被粉砕原料を流体中に投入する場合において、上下二枚の部材（処理用部材）のクリアランスを１５μｍ以下にすることを実現した。
また、本願第９〜２１の発明の実施によって、不純物の混入がなく、被処理流動体の適応粘度域が広く且つ被処理流動体に対して大きなせん断力を与えられると共に、高い精度で微細化が可能な脱気機及び脱気方法を提供することを可能とし、高精度で微細化が出来しかも生産性の高い、シンプルな構造の脱気機及び脱気方法を提供し得た。
即ち、メカニカルシールにおける軸封の機構を、微細化のための手段として利用することにより、高精度で微細化が出来しかも生産性の高い、シンプルな構造の脱気機及び脱気方法を提供し得た。特にこの発明の実施によって、被処理流動体の送り込み圧力（流体圧）や、コンプレッションリング（第２処理用部）の背圧またメイティングリング（第１処理用部）の回転などで被処理流動体の粘度域に制限を受けず、被処理流動体膜の厚みを微小量から調整でき、従来の装置では、不可能であった数ｎｍ（ナノメートル）程度の微細化をも可能としかつ、微振動やアライメント、軸方向変位など緩衝装置を設けているため不純物など発生無くして高度な微細化状態を得ることが出来る。また簡単な機構であるため、装置の制御に熟練を要せず、無人化、自動化も容易であり、装置は安定稼動し生産性が高く安価に製作できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の一実施の形態に係る装置の一部切欠縦断面図である。
【図２】（Ａ）は上記装置の要部略縦断面図であり、（Ｂ）は他の実施の形態の要部略縦断面図である。
【図３】（Ａ）は更に他の実施の形態の要部略縦断面であり、（Ｂ）は又他の実施の形態の要部略縦断面図であり、（Ｃ）は又更に他の実施の形態の要部略縦断面図である。
【図４】更に又他の実施の形態の要部略縦断面図である。
【図５】又他の実施の形態の要部略縦断面図である。
【図６】（Ａ）は更に他の実施の形態の要部略横断面であり、（Ｂ）は又他の実施の形態の要部略横断面図であり、（Ｃ）は又更に他の実施の形態の要部略横断面図であり、（Ｄ）は又他の実施の形態の一部切欠要部略縦断面図であり、（Ｅ）は更に他の実施の形態の要部略横断面である。
【図７】更に他の実施の形態の要部略縦断面図である。
【図８】又更に他の実施の形態の縦断面図である。
【図９】又更に他の実施の形態の要部略縦断面図である。
【図１０】本願発明の、更に他の実施の形態に係る脱気機の一部切欠縦断面図である。
【図１１】図１０に示す脱気機の、第１処理用部材１及び第１ホルダ１１を中心とする要部略縦断面図である。
【図１２】（Ａ）は図１０に示す上記脱気機の第１処理用部材１の平面図であり、（Ｂ）はその要部縦断面図である。
【図１３】（Ａ）は図１０に示す脱気機の第１及び第２処理用部材１，２の要部縦断面図であり、（Ｂ）は微小間隔が開けられた上記第１及び第２処理用部材１，２の要部縦断面図である。
【図１４】（Ａ）は第１処理用部材１の他の実施の形態の平面図であり、（Ｂ）はその要部略縦断面図である。
【図１５】（Ａ）は第１処理用部材１の、更に他の実施の形態の平面図であり、（Ｂ）はその要部略縦断面図である。
【図１６】（Ａ）は第１処理用部材１のまた他の実施の形態の平面図であり、（Ｂ）は第１処理用部材１の更にまた他の実施の形態の平面図である。
【図１７】脱気機の他の実施の形態を示す一部切欠略縦断面図である。
【図１８】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、夫々、微細化後の被処理物の分離方法について、蒸気以外の実施の形態を示す説明図である。
【符号の説明】
１    第１処理用部材
２    第２処理用部材
３    付勢機構
４    動圧発生機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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