(57)【要約】【目的】処理液と洗浄液を混ぜることなく共通の流路で処理液又は洗浄液を噴射パイプに供給して平版印刷版に噴射する。【構成】エッチング処理装置１０では、アルミニウムウェブＷへ苛性ソーダ又は洗浄水を噴射する噴射パイプ１４、１５がエッチング処理槽１２に設けられている。噴射パイプ１４、１５に苛性ソーダ又は洗浄水を供給する共通管３０、３４は下り勾配になっているので、噴射パイプ１４、１５から噴射されなかった苛性ソーダ又は洗浄水は自重で第１流路切換弁２８、３２から排出される。これによって、苛性ソーダと洗浄水が混ざり合った液が噴射パイプ１４、１５から噴射されることはない。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平版印刷版の支持体となるアルミニウムウェブの表面に処理液又は洗浄液を噴射する噴射パイプと、
前記噴射パイプに処理液又は洗浄液を供給する共通流路と、
前記共通流路に処理液を供給する処理液供給機構と、
前記共通流路に洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、
前記共通流路、前記処理液供給機構、及び前記洗浄液供給機構の接続部に設けられ、前記処理液供給機構、又は前記洗浄液供給機構を前記共通流路に連通させるべく流路を切換える第１流路切換弁と、
を備え、
前記共通流路と前記第１流路切換弁との間が下り勾配となっており、前記処理液供給機構又は前記洗浄液供給機構による供給が停止された時、前記共通流路に残留した処理液又は洗浄液を前記共通流路から排出させることを特徴とする平版印刷版の製造装置。
【請求項２】
前記第１流路切換弁から前記処理液供給機構の流路及び前記洗浄液供給機構の流路が下り勾配となっていることを特徴とする請求項１に記載の平版印刷版の製造装置。
【請求項３】
前記洗浄液供給機構は、
洗浄液を貯留する洗浄液タンクと、
洗浄液を前記洗浄液タンクから前記共通流路に供給する洗浄液供給流路と、
前記洗浄液供給流路に接続され、前記共通流路から還流した洗浄液を排出する排出流路と、
前記洗浄液供給流路と前記排出流路の接続部に設けられ、流路を切換えて前記洗浄液タンクの洗浄液を前記共通流路へ供給させ、又は前記共通流路から還流した洗浄液を前記排出流路から排出させる第２流路切換弁と、
を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の平版印刷版の製造装置。
【請求項４】
前記洗浄液タンクは、
タンク内に貯留された洗浄液を昇温する昇温機構を有することを特徴とする請求項３に記載の平版印刷版の製造装置。
【請求項５】
前記噴射パイプがアルミニウムウェブの搬送経路の両側にノズルを対向させて設けられ、対向する前記ノズルの間にアルミニウムウェブがない時に、対向する前記ノズルが互いに洗浄液を噴射し合って洗浄し合うことを特徴とする請求項１に記載の平版印刷版の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は平版印刷版の支持体となるアルミニウムウェブの表面に処理液を噴射して表面処理を行い、表面処理後にアルミニウムウェブの処理面に洗浄液を噴射して処理面の洗浄を行う表面処理装置を備えた平版印刷版の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
平版印刷版の支持体となるアルミニウムウェブのエッチング処理として、走行するアルミニウムウェブの表面にスプレー管によりエッチング液を噴射させる方法が利用されている。エッチング進行度の高い苛性ソーダ水溶液等のエッチング液によりエッチング処理を行うような場合、エッチング液を長時間、アルミニウムウェブに付着させておくと、アルミニウムウェブが溶断してしまう。
【０００３】
このため、エッチング液をアルミニウムウェブに噴射させた次の工程で、スプレー管により洗浄水を処理面に噴射してエッチング液を洗い流すようになっている。しかし、エッチング処理中に何らかの理由で製造ラインが停止した場合、アルミニウムウェブの表面にエッチング液が付着した状態で処理槽内に停滞することになる。これによって、アルミニウムウェブの局部的なエッチングが進行し、溶断してしまうことがある。
【０００４】
そこで、図７に示すように、アルミニウムウェブ１１０が走行停止すると、エッチング液を噴射する噴射パイプ１０２からアルミニウムウェブ１１０に洗浄水を噴射して処理面を洗浄するエッチング処理装置１００が考案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
エッチング処理装置１００は、エッチング液と洗浄水を共通の噴射パイプ１０２から噴射することにより、洗浄液で噴射パイプ１０２内をも洗浄できるという効果を有する。また、噴射パイプ１０２の設置できる本数に限りがある中で、設置された全ての噴射パイプ１０２から洗浄水を噴射できるので、洗浄が充分に行えるという効果を有する。
【０００６】
しかしながら、エッチング装置１００は、エッチング液の噴射から洗浄水の噴射に切換える時、又は洗浄水の噴射からエッチング液の噴射に切換える時に、配管１０４に残留したエッチング液又は洗浄水も一緒に噴射してしまう。このため、厳密なエッチング条件の制御が妨げられるという問題があった。
【０００７】
また、従来のエッチング処理装置１００では、エッチング液等が噴射パイプ１０２のノズル近傍に析出し、その塊がアルミニウムウェブ１１０に落下してしまう。これによって、アルミニウムウェブ１１０に局部的なエッチングが進行し、溶断してしまうという問題があった。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１０−１４０３７５号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上述の事情に鑑み、本発明は、洗浄液と処理液を混ぜることなく共通の流路で処理液又は洗浄液を噴射パイプに供給してアルミニウムウェブに噴射し、且つ噴射パイプのノズル近傍を噴射パイプの外側から洗浄することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の平版印刷版の製造装置は、平版印刷版の支持体となるアルミニウムウェブの表面に処理液又は洗浄液を噴射する噴射パイプと、前記噴射パイプに処理液又は洗浄液を供給する共通流路と、前記共通流路に処理液を供給する処理液供給機構と、前記共通流路に洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、前記共通流路、前記処理液供給機構、及び前記洗浄液供給機構の接続部に設けられ、前記処理液供給機構、又は前記洗浄液供給機構を前記共通流路に連通させるべく流路を切換える第１流路切換弁と、を備え、前記共通流路と前記第１流路切換弁との間が下り勾配となっており、前記処理液供給機構又は前記洗浄液供給機構による供給が停止された時、前記共通流路に残留した処理液又は洗浄液を前記共通流路から排出させることを特徴とする。
【００１１】
請求項１に記載の平版印刷版の製造装置では、処理液が処理液供給機構によって共通流路に供給される。そして、処理液は共通流路から噴射パイプに供給され、走行中のアルミニウムウェブの表面に噴射される。これによって、アルミニウムウェブの表面処理が行われる。また、アルミニウムウェブの走行が停止されると第１流路切換弁によって流路が切換えられ、洗浄液が洗浄液供給機構によって共通流路に供給される。そして、洗浄液は共通流路から噴射パイプに供給され、アルミニウムウェブの表面を洗浄する。
【００１２】
ここで、共通流路と第１流路切換弁との間は下り勾配となっている。このため、処理液供給機構又は洗浄液供給機構による供給が停止された時、共通流路に残留した処理液又は洗浄液は排出される。
【００１３】
これによって、共通流路へ供給する液を処理液から洗浄液へ、又は洗浄液から処理液へ切換えた時、共通流路には処理液又は洗浄液が残留していないので、処理液と洗浄液が混ざり合った液をアルミニウムウェブに噴射するということが防止されている。従って、アルミニウムウェブの表面処理の条件を厳密に制御することが可能となる。
【００１４】
請求項２に記載の平版印刷版の製造装置は、請求項１に記載の平版印刷版の製造装置であって、前記第１流路切換弁から前記処理液供給機構の流路及び前記洗浄液供給機構の流路が下り勾配となっていることを特徴とする。
【００１５】
請求項２に記載の平版印刷版の製造装置では、第１流路切換弁から処理液供給機構及び洗浄液供給機構の流路が下り勾配になっている。このため、処理液供給機構又は洗浄液供給機構による供給が停止された時に第１流路切換弁に処理液又は洗浄液が残留することはない。
【００１６】
従って、処理液供給機構又は洗浄液供給機構により処理液と洗浄液が混ぜ合わされた液を共通流路に供給してしまうということが防止されている。
【００１７】
請求項３に記載の平版印刷版の製造装置は、請求項１又は２に記載の平版印刷版の製造装置であって、前記洗浄液供給機構は、洗浄液を貯留する洗浄液タンクと、洗浄液を前記洗浄液タンクから前記共通流路に供給する洗浄液供給流路と、前記洗浄液供給流路に接続され、前記共通流路から還流した洗浄液を排出する排出流路と、前記洗浄液供給流路と前記排出流路の接続部に設けられ、流路を切換えて前記洗浄液タンクの洗浄液を前記共通流路へ供給させ、又は前記共通流路から還流した洗浄液を前記排出流路から排出させる第２流路切換弁と、を有することを特徴とする。
【００１８】
請求項３に記載の平版印刷版の製造装置の洗浄液供給機構では、洗浄液が洗浄液タンクに貯留されている。洗浄液は洗浄液供給流路によって洗浄液タンクから共通流路に供給される。洗浄液供給流路には排出流路が接続されており、洗浄液供給流路と排出流路の接続部には、第２流路切換弁が設けられている。
【００１９】
この第２流路切換弁により流路が切換えられて、洗浄液タンクの洗浄液が共通流路に供給され、又は洗浄液共通流路から還流した洗浄液が排出流路から排出される。
【００２０】
ここで、洗浄液は共通流路を流れる時に共通流路の内側に付着した処理液の洗浄を行っているので、共通流路から還流した洗浄液には処理液が混入している。しかし、共通流路から還流した洗浄液は排出流路から排出され、洗浄液タンクには流入しない。従って、洗浄液タンクの洗浄液に処理液が混入することが防止されている。
【００２１】
請求項４に記載の平版印刷版の製造装置は、請求項３に記載の平版印刷版の製造装置であって、前記洗浄液タンクは、タンク内に貯留された洗浄液を昇温する昇温機構を有することを特徴とする。
【００２２】
請求項４に記載の平版印刷版の製造装置では、洗浄液タンクに設けられた昇温機構によってタンク内に貯留された洗浄液が昇温される。これによって、アルミニウムウェブ、共通流路、及び噴射パイプの洗浄に最も適した温度の洗浄液を洗浄液タンクからアルミニウムウェブ、共通流路、及び噴射パイプへ供給することが可能となる。
【００２３】
請求項５に記載の平版印刷版の製造装置は、請求項１に記載の平版印刷版の製造装置であって、前記噴射パイプがアルミニウムウェブの搬送経路の両側にノズルを対向させて設けられ、対向する前記ノズルの間にアルミニウムウェブがない時に、対向する前記ノズルが互いに洗浄液を噴射し合って洗浄し合うことを特徴とする。
【００２４】
請求項５に記載の平版印刷版の製造装置では、噴射パイプがアルミニウムウェブの搬送経路の両側にノズルを対向させて設けられており、対向するノズルの間にアルミニウムウェブがない時に、対向するノズルが互いに洗浄液を噴射し合って洗浄し合う。
【００２５】
これによって、処理液噴射中に噴射パイプの外側に付着した処理液及び処理液噴射時に飛散したアルミニウムウェブの粒子等が洗い流されるので、処理液及び処理液噴射時に飛散したアルミニウムウェブの粒子等が噴射パイプの外側に析出し、塊となってアルミニウムウェブに落下することによるアルミニウムウェブの溶断が防止されている。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
【００２７】
図１に示すように、平版印刷版の製造装置を構成するエッチング処理装置１０には、エッチング処理槽１２が設けられており、このエッチング処理槽１２の中を平版印刷版の支持体であるアルミニウムウェブＷが搬送ローラ３３に巻き掛けられ、Ｖ字状に搬送される。アルミニウムウェブＷの搬送経路の両側には複数の噴射パイプ１４、１５が配設されている。この噴射パイプ１４、１５は、アルミニウムウェブＷの幅方向に延出しており、ノズル５４、５６、５８、６０（図４参照）からアルミニウムウェブＷの表面に処理液としての苛性ソーダ水溶液を噴射してエッチング処理を行う。
【００２８】
エッチング処理槽１２の下流には、洗浄槽１６が設けられており、この洗浄槽１６の中をエッチング処理槽１２でエッチング処理をされたアルミニウムウェブＷが搬送ローラ３７に巻き掛けられＶ字状に搬送される。アルミニウムウェブＷの搬送経路の両側には複数の噴射パイプ１８が配設されている。この噴射パイプ１８がアルミニウムウェブＷの表面に洗浄水を噴射して表面に付着した苛性ソーダ水溶液を洗い流す。これによって、苛性ソーダ水溶液によるエッチングの進行が止まる。
【００２９】
しかし、アルミニウムウェブＷのロールの交換等の理由で、アルミニウムウェブＷの搬送が停止された場合、表面に苛性ソーダ水溶液が付着した状態で、エッチング処理槽１２に長時間停滞する。これにより局部的にエッチングが進行し、アルミニウムウェブＷが溶断することがある。
【００３０】
これを防止するためにアルミニウムウェブＷの搬送が停止された時には、エッチング処理槽１２の噴射パイプ１４、１５から表面に洗浄液としての洗浄水を噴射して苛性ソーダ水溶液を洗い流す。
【００３１】
ここから、エッチング処理装置１０の具体的構成について説明する。
【００３２】
図１に示すように、エッチング処理装置１０には、苛性ソーダ水溶液が貯留される苛性ソーダ水溶液タンク２０が設けられている。苛性ソーダ水溶液タンク２０に貯留された苛性ソーダ水溶液には、苛性ソーダ水溶液供給ポンプ２２を備える苛性ソーダ水溶液供給管２４の吸入口が挿入されている。苛性ソーダ水溶液供給管２４の途中からは苛性ソーダ水溶液供給管２６が分岐して延出している。
【００３３】
苛性ソーダ水溶液供給管２４の他端部は第１流路切換弁２８（三方弁）を介して共通管（共通流路）３０の基端部に接続されている。共通管３０は、分岐してそれぞれの先端部に噴射パイプ１４が取付けられている。同様に、苛性ソーダ水溶液供給管２６の他端部は第１流路切換弁３２（三方弁）を介して共通管（共通流路）３４の基端部に接続されている。共通管３４は、分岐してそれぞれの先端部に噴射パイプ１５が取付けられている。
【００３４】
上記構成により、第１流路切換弁２８、３２が苛性ソーダ水溶液供給管２４と共通管３０、及び苛性ソーダ水溶液２６と共通管３４が連通するように操作された後、苛性ソーダ水溶液供給ポンプ２２が作動されると、苛性ソーダ水溶液が図中矢印Ａで示すように、苛性ソーダ水溶液タンク２０から噴射パイプ１４、１５へ供給されアルミニウムウェブＷの表面に噴射される。これによって、アルミニウムウェブＷのエッチング処理が行われる。
【００３５】
また、エッチング処理槽１２の底部には排水口１２Ａが設けられている。この排水口１２Ａには排水流路切換弁３６（三方弁）、苛性ソーダ水溶液循環ポンプ３８、フィルタ４０を備える苛性ソーダ水溶液循環配管４２の一端部が接続されている。この苛性ソーダ水溶液循環配管４２の他端部は苛性ソーダ水溶液タンク２０に接続されている。
【００３６】
これによって、苛性ソーダ水溶液循環ポンプ３８が作動されると、図中矢印Ｂで示すように、エッチング処理に使われ排水口１２Ａから排出された苛性ソーダ水溶液は、フィルタ４０で、エッチング処理時に飛散したアルミニウムウェブＷの粒子等の不純物を取り除かれて苛性ソーダ水溶液タンク２０に還流する。
【００３７】
また、エッチング処理装置１０には、洗浄水を貯留する洗浄水タンク（洗浄液タンク）４４が設けられている。洗浄水タンク４４に貯留された洗浄水には、第２流路切換弁４６、洗浄水供給ポンプ４８を備える洗浄水供給管（洗浄液供給流路）５０の吸入口が挿入されている。また、洗浄水供給管５０の途中から洗浄水供給管（洗浄液供給流路）５２が分岐して延出している。
【００３８】
洗浄水供給管５０の他端部は第１流路切換弁２８を介して共通管３０の基端部に接続されている。同様に、洗浄水供給管５２は第１流路切換弁３２を介して共通管３４の基端部に接続されている。
【００３９】
ここで、アルミニウムウェブＷのロールの交換等の理由で、アルミニウムウェブＷの搬送が停止された時の苛性ソーダ水溶液と洗浄水の流れについて説明する。
【００４０】
まず、苛性ソーダ水溶液供給ポンプ２２の作動が停止される。図２に示すように、共通管３０、３４、及び苛性ソーダ水溶液供給管２４、２６は、下り勾配になっている。このため、噴射パイプ１４、１５から噴射されずに噴射パイプ１４、１５、及び共通管３０、３４に残留した苛性ソーダ水溶液は、自重により図中矢印Ｃ方向へ流れ、苛性ソーダ水溶液タンク２０に還流する。
【００４１】
次に、第１流路切換弁２８、３２により流路を切換え、共通管３０と洗浄水供給管５０、及び共通管３４と洗浄水供給管５２を連通させる。また、第２流路切換弁４６を操作する。ここで、洗浄水供給ポンプ４８が作動される。図３に矢印Ｄで示すように、洗浄水が、洗浄水タンク４４から噴射パイプ１４、１５へ供給されアルミニウムウェブＷに噴射される。これによって、アルミニウムウェブＷに付着している苛性ソーダ水溶液が洗い流される。
【００４２】
ここで、洗浄水が共通管３０、３４を流れる時に、苛性ソーダ水溶液は共通管３０、３４に残留しておらず、洗浄水と一緒に噴射パイプ１４、１５から噴射されるということはない。従って、エッチング条件の厳密な制御が妨げられるということが防止されている。また、苛性ソーダ水溶液が無駄にならない。
【００４３】
また、洗浄水は、共通管３０、３４を流れる時に、共通管３０、３４の内側を洗浄するので、共通管３０、３４の内側に苛性ソーダ水溶液が析出することが防止されている。
【００４４】
また、図４に示すように、噴射パイプ１４、１５は、アルミニウムウェブＷの両面に苛性ソーダ水溶液を噴射するべくアルミニウムウェブＷの搬送経路の両側に設けられているが、噴射パイプ１４はアルミニウムウェブＷの搬送経路の両側に位置するノズル５４、５６を対向させ、噴射パイプ１５はアルミニウムウェブＷの搬送経路の両側に位置するノズル５８、６０を対向させている。これにより、搬送経路にアルミニウムウェブＷがない時、ノズル５４とノズル５６は、互いに洗浄水を噴射し合い、互いに洗浄し合うことができる。同様に、ノズル５８とノズル６０も、互いに洗浄し合うことができる。
【００４５】
従って、エッチング処理中に噴射パイプ１４、１５の外側に付着した苛性ソーダ水溶液及びエッチング処理中に飛散したアルミニウムウェブＷの粒子等が析出し、塊となってアルミニウムウェブＷの上に落下することによるアルミニウムウェブＷの溶断が防止されている。
【００４６】
また、図３に示すように、アルミニウムウェブＷの洗浄を行った洗浄水は排水口１２Ａから排出され、排水流路切換弁３６まで流れる。排水流路切換弁３６には、排水管６２の一端部が接続され、排水管６２の他端部は、排水ピット６４へ延出している。これによって、排水流路切換弁３６が切換えられ、苛性ソーダ水溶液循環配管４２と排水管６２が連通されると、エッチング処理槽１２から排出された洗浄水は、図中矢印Ｅで示すように、排水ピット６４へ送られる。
【００４７】
そして、アルミニウムウェブＷの搬送が再開される状況になると、洗浄水供給ポンプ４８の作動が停止される。上述したように、共通管３０、３４は下り勾配となっており、加えて図５に示すように、洗浄水供給管５０、５２も下り勾配となっている。
【００４８】
このため、噴射されずに噴射パイプ１４、１５、及び共通管３０、３４に残留した洗浄水は、図中矢印Ｆで示すように、洗浄水排水管（排出流路）６８に流れるように切換えられた第２流路切換弁４６へ還流され、図中矢印Ｇで示すように、排水ピット６６に排水される。これによって、苛性ソーダ水溶液の噴射を再開する時に、洗浄水も一緒に噴射されるということがないので、エッチング条件の厳密な制御が妨げられるということが防止されている。
また、噴射パイプ１４、１５、及び共通管３０、３４の内側を洗浄し、苛性ソーダ水溶液が混入した洗浄水が、洗浄水タンク４４に還流しないので、洗浄水タンク４４の洗浄水に苛性ソーダ水溶液が混入するということがない。
【００４９】
また、洗浄水タンク４４には、ヒーター（昇温機構）７０が備えられており、洗浄水タンク４４の洗浄水を昇温する。これによって、アルミニウムウェブＷの処理面、噴射パイプ１４、１５、及び共通管３０、３４の洗浄に最も適した温度の洗浄水を供給することができる。
【００５０】
今回、洗浄水の温度と洗浄水の流量を決定するために、洗浄時間を６０秒と定め、洗浄水温度を２０℃、５０℃、７０℃と変え、また、噴射パイプ１４、１５の１本当りの流量を無段階に変えて、アルミニウムウェブの洗浄状態、スプレー管の洗浄状態、排水影響の３項目について実験を行った。
【００５１】
アルミニウムウェブの洗浄状態については、洗浄後のアルミニウムウェブに溶断が有るか否かを確認し、スプレー管の洗浄状態については、洗浄後所定時間経過時に噴射パイプ及び共通管に苛性ソーダが析出しているか否かを確認した。また、排水影響については、噴射パイプから噴射され排水となった洗浄水の水量が、排水設備によって処理できる量であるか否かを確認した。
【００５２】
その結果、図５に示す表のように、水温２０℃、５０℃で噴射パイプ１４、１５の１本当りの流量が２０Ｌ／ｍｉｎ〜２５Ｌ／ｍｉｎ、水温７０℃で噴射パイプ１４、１５の１本当りの流量が１５Ｌ／ｍｉｎ〜２５Ｌ／ｍｉｎである場合に、上記３項目の判定が「○」となった。
【００５３】
この判定結果に基づき、本実施形態では、洗浄水の温度が７０℃、噴射パイプ１４、１５を流れる流量が１本当り２０Ｌ／ｍｉｎ、洗浄時間が６０秒とされている。
【００５４】
なお、本実施形態では、アルミニウムウェブに苛性ソーダ水溶液を噴射することによるエッチング処理について説明したが、他の平版印刷版の支持体、エッチング液についても適用可能である。また、エッチング処理に限らず、他の薬液処理についても適用可能である。
【００５５】
【発明の効果】
本発明は上記構成としたので、洗浄液と処理液を混ぜることなく共通の流路で処理液又は洗浄液を噴射パイプに供給し、且つ噴射パイプのノズル近傍を噴射パイプの外側から洗浄することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態に係るエッチング処理装置を示す概略図である
【図２】本実施形態に係るエッチング処理装置を示す概略図である。
【図３】本実施形態に係るエッチング処理装置を示す概略図である。
【図４】本実施形態に係るエッチング処理装置のエッチング処理槽を示す概略図である。
【図５】本実施形態に係るエッチング処理装置を示す概略図である。
【図６】本実施形態に係るエッチング処理装置による洗浄効果、排水影響の判定結果を示す表である。
【図７】従来例に係るエッチング処理装置を示す概略図である。
【符号の説明】
１０    エッチング処理装置（平版印刷版の製造装置）
１４    噴射パイプ
１５    噴射パイプ
２０    苛性ソーダ水溶液タンク（処理液供給機構）
２２    苛性ソーダ水溶液供給ポンプ（処理液供給機構）
２４    苛性ソーダ水溶液供給管（処理液供給機構）
２６    苛性ソーダ水溶液供給管（処理液供給機構）
２８    第１流路切換弁
３０    共通管（共通流路）
３２    第１流路切換弁
３４    共通管（共通流路）
４４    洗浄水タンク（洗浄液供給機構、洗浄液タンク）
４６    第２流路切換弁
４８    洗浄水供給ポンプ（洗浄液供給機構）
５０    洗浄水供給管（洗浄液供給機構、洗浄液供給流路）
５２    洗浄水供給管（洗浄液供給機構、洗浄液供給流路）
５４    ノズル
５６    ノズル
５８    ノズル
６０    ノズル
６８    洗浄水排水管（排出流路）
７０    ヒーター（昇温機構）
Ｗ            アルミニウムウェブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004249181.tif 000007
【図６】
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【図７】
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