(57)【要約】【課題】計測用センサまたは電気ケーブルまたはアンプの周囲温度によって影響を受けたセンサ出力を補正し、計測結果の誤差を防止することができるセンサシステムを実現する。【解決手段】温度センサ１１により計測される温度情報を無線送信する無線タグ５を、変位センサ１（計測用センサ）とアンプ２と電気ケーブル３の各々に少なくとも一つ実装し、アンプ２は、温度センサ１１により計測された温度に基づいて変位センサ１の出力信号を補正するための校正データを保持し、無線タグ５から温度情報を受信し、この温度情報に基づいて該当する校正データを取得し、変位センサ１の出力信号を補正する。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測用センサ及び前記計測用センサの出力信号を増幅するアンプと、前記計測用センサと前記アンプを接続する電気ケーブルとを具備するセンサシステムであって、
温度センサが接続され、この温度センサにより計測される温度情報を無線送信する無線タグを、前記計測用センサと前記アンプと前記電気ケーブルの各々に少なくとも一つ実装し、
前記無線タグから温度情報を受信する受信手段と、
前記温度センサにより計測された温度に基づいて前記計測用センサの出力信号を補正するための校正データを保持する校正データ記憶手段と、
前記受信手段により受信された温度情報に基づいて前記校正データ記憶手段の該当する校正データを取得し、前記計測用センサの出力信号を補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とするセンサシステム。
【請求項２】
変位センサ及び前記変位センサの出力信号を増幅するアンプと、前記変位センサと前記アンプを接続する電気ケーブルとを具備するセンサシステムであって、
前記変位センサの検知面とは異なる面に実装され、対向する方向に在る障害物との距離を検出する障害物センサと、
前記障害物センサに接続され、前記検出された距離情報を無線送信する無線タグと、
前記無線タグから距離情報を受信する受信手段と、
障害物との距離に基づいて前記変位センサの出力信号を補正するための校正データを保持する校正データ記憶手段と、
前記受信手段により受信された距離情報に基づいて前記校正データ記憶手段の該当する校正データを取得し、前記変位センサの出力信号を補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とするセンサシステム。
【請求項３】
前記受信手段により受信された距離情報に基づいて警報情報を出力する報知手段を備えたことを特徴とする請求項２に記載のセンサシステム。
【請求項４】
複数種類の計測用センサ及び前記各計測用センサの出力信号を増幅するアンプと、前記各計測用センサと前記アンプを接続する複数の電気ケーブルとを具備するセンサシステムであって、
前記計測用センサに実装され、この計測用センサの仕様情報を保持する記憶手段を有し、該仕様情報を無線送信する無線タグと、
前記無線タグから仕様情報を受信する受信手段と、
前記計測用センサの出力信号を補正するための校正データを、該当する仕様情報に対応づけて保持する校正データ記憶手段と、
前記受信手段により受信された仕様情報に基づいて前記校正データ記憶手段の該当する校正データを取得し、当該計測用センサの出力信号を補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とするセンサシステム。
【請求項５】
前記計測用センサの出力信号値を特定計測単位の計測値に変換するための変換データを保持する変換データ記憶手段と、
前記補正後の出力信号を前記変換データに基づいて変換する変換手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかの項に記載のセンサシステム。
【請求項６】
計測用センサ及び前記計測用センサの出力信号を増幅するアンプと前記アンプに接続され、前記増幅後のセンサ出力信号を無線送信する無線タグとを回転物に実装し、
前記無線タグからセンサ出力信号を受信する受信手段を備えたことを特徴とするセンサシステム。
【請求項７】
前記無線タグは、
前記センサ出力信号の値を特定計測単位の計測値に変換するための変換データを保持する変換データ記憶手段と、
前記変換データに基づいて前記センサ出力信号を変換する変換手段と、
を具備することを特徴とする請求項６に記載のセンサシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、変位センサ、圧力センサ等の計測用センサを用いたセンサシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
変位センサ、圧力センサ等の計測用センサは、使用環境（媒体や周囲温度）によって測定精度（検知感度やドリフト）が異なる。このため、一般的に、使用環境に応じて、例えば計測時の周囲温度に該当する温度特性の校正データに基づいて計測データの補正が行われる。この補正を自動的に行うために、例えば従来の変位センサとして、センサ内に温度センサを備え、その検知温度に基づいて演算係数を補正するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２５８４５２号公報（第６頁）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、計測用センサを用いて所望の計測項目の測定を行うセンサシステムは、一般的に、計測用センサ及びこのセンサ出力を増幅するアンプと、それら計測用センサとアンプを接続する電気ケーブル等から構成されている。しかし、従来のセンサシステムでは以下に示すような問題があり、測定上使い勝手が悪く、その改善が要望されている。
【０００５】
従来のセンサシステムでは、電気ケーブルまたはアンプの周囲温度によってセンサ出力が影響を受けることがある。したがって、上述した従来の計測用センサ（例えば変位センサ）を用い、センサの周囲温度を検知して検知データを補正しても、センサシステムの計測結果としては誤差が生じるという問題がある。
【０００６】
さらに、従来のセンサシステムはセンサ出力を増幅して出力するが、この出力電圧を所望の計測値（例えば変位センサの場合、被測定物との距離）に変換する計測器が必要となる。このため設備コストの負担が大きいという問題もある。
【０００７】
また、変位センサの場合、被測定物の測定対象部位または被測定物とは異なる物体が所定距離の範囲内にあると、検知結果に誤差が生じる。しかし、従来のセンサシステムでは、測定上の障害物によって測定が影響を受けることを考慮していないので、誤差を含む計測データが正常な計測結果として出力される。この結果、測定者が誤った計測データを正しいものとして使用する虞がある。
【０００８】
また、シャフト等の回転物に計測用センサを取り付けて計測するシステムでは、回転物からセンサ出力を取り出すために、スリップリングやテレメータ等を使用する。しかしながら、スリップリングやテレメータを用いると、その構造が複雑且つ大きなものとなる。このため、システムの簡略化が要望されている。
【０００９】
また、計測用センサには検知範囲や検知精度などの仕様が異なる複数種類がある。そして、センサシステムは、各計測用センサ毎に各々専用のアンプを具備し、計測用センサの仕様に合った校正データに基づいてセンサ出力を補正している。このため、設備コストの負担が大きく、アンプを統合したいという要望がある。
【００１０】
本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、計測用センサまたは電気ケーブルまたはアンプの周囲温度によって影響を受けたセンサ出力を補正し、計測結果の誤差を防止することができるセンサシステムを提供することにある。
【００１１】
また、本発明は、センサ出力を所望の計測値に変換して出力することができるセンサシステムを提供することも目的とする。
【００１２】
また、本発明は、変位センサを用いるセンサシステムにおいて、測定上の障害物によって測定が影響を受けることを考慮し、測定者が誤った計測データを正しいものとして使用することを防止することができるセンサシステムを提供することも目的とする。
【００１３】
また、本発明は、シャフト等の回転物に計測用センサを取り付けて計測するセンサシステムにおいて、回転物からセンサ出力を取り出す構造を簡略化することができるセンサシステムを提供することも目的とする。
【００１４】
また、本発明は、検知範囲や検知精度などの仕様が異なる複数種類の計測用センサに対して、アンプを統合することができるセンサシステムを提供することも目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載のセンサシステムは、計測用センサ及び前記計測用センサの出力信号を増幅するアンプと、前記計測用センサと前記アンプを接続する電気ケーブルとを具備するセンサシステムであって、温度センサが接続され、この温度センサにより計測される温度情報を無線送信する無線タグを、前記計測用センサと前記アンプと前記電気ケーブルの各々に少なくとも一つ実装し、前記無線タグから温度情報を受信する受信手段と、前記温度センサにより計測された温度に基づいて前記計測用センサの出力信号を補正するための校正データを保持する校正データ記憶手段と、前記受信手段により受信された温度情報に基づいて前記校正データ記憶手段の該当する校正データを取得し、前記計測用センサの出力信号を補正する補正手段とを備えたことを特徴としている。
【００１６】
請求項２に記載のセンサシステムは、変位センサ及び前記変位センサの出力信号を増幅するアンプと、前記変位センサと前記アンプを接続する電気ケーブルとを具備するセンサシステムであって、前記変位センサの検知面とは異なる面に実装され、対向する方向に在る障害物との距離を検出する障害物センサと、前記障害物センサに接続され、前記検出された距離情報を無線送信する無線タグと、前記無線タグから距離情報を受信する受信手段と、障害物との距離に基づいて前記変位センサの出力信号を補正するための校正データを保持する校正データ記憶手段と、前記受信手段により受信された距離情報に基づいて前記校正データ記憶手段の該当する校正データを取得し、前記変位センサの出力信号を補正する補正手段とを備えたことを特徴としている。
【００１７】
請求項３に記載のセンサシステムにおいては、前記受信手段により受信された距離情報に基づいて警報情報を出力する報知手段を備えたことを特徴とする。
【００１８】
請求項４に記載のセンサシステムは、複数種類の計測用センサ及び前記各計測用センサの出力信号を増幅するアンプと、前記各計測用センサと前記アンプを接続する複数の電気ケーブルとを具備するセンサシステムであって、前記計測用センサに実装され、この計測用センサの仕様情報を保持する記憶手段を有し、該仕様情報を無線送信する無線タグと、前記無線タグから仕様情報を受信する受信手段と、前記計測用センサの出力信号を補正するための校正データを、該当する仕様情報に対応づけて保持する校正データ記憶手段と、前記受信手段により受信された仕様情報に基づいて前記校正データ記憶手段の該当する校正データを取得し、当該計測用センサの出力信号を補正する補正手段とを備えたことを特徴としている。
【００１９】
請求項５に記載のセンサシステムにおいては、前記計測用センサの出力信号値を特定計測単位の計測値に変換するための変換データを保持する変換データ記憶手段と、前記補正後の出力信号を前記変換データに基づいて変換する変換手段とを備えたことを特徴とする。
【００２０】
請求項６に記載のセンサシステムは、計測用センサ及び前記計測用センサの出力信号を増幅するアンプと前記アンプに接続され、前記増幅後のセンサ出力信号を無線送信する無線タグとを回転物に実装し、前記無線タグからセンサ出力信号を受信する受信手段を備えたことを特徴としている。
【００２１】
請求項７に記載のセンサシステムにおいては、前記無線タグは、前記センサ出力信号の値を特定計測単位の計測値に変換するための変換データを保持する変換データ記憶手段と、前記変換データに基づいて前記センサ出力信号を変換する変換手段とを具備することを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について順次説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態によるセンサシステムの構成を示すブロック図である。この図１に示すセンサシステムは、変位センサ（計測用センサ）により被測定物までの距離を計測するものである。
図１において、センサヘッド１ａを有する変位センサ１は、該センサ１の出力信号による計測データ８を出力するアンプ２と電気ケーブル３により接続されている。アンプ２には電源４が接続されており、電源が供給される。変位センサ１とアンプ２と電気ケーブル３には、温度センサ１１が接続される無線タグ５が、各々に少なくとも一つ実装されている。電気ケーブル３については、そのケーブル長を考慮して、周囲温度の差分を検出するために複数の無線タグ５が実装される。温度センサ１１は、無線タグ５に実装されるものであってもよく、あるいは、変位センサ１，アンプ２，電気ケーブル３に実装されてもよい。
【００２３】
無線タグ５は、自己と接続されている温度センサ１１により計測された温度情報を無線送信する。この温度情報は、アンプ２に接続されている受信アンテナ７で受信され、アンプ２に出力される。アンプ２及び電気ケーブル３に実装されている無線タグ５から送信された温度情報は、中継アンテナ６を経由して受信アンテナ７で受信される。
【００２４】
図２は、図１に示す無線タグ５の構成を示すブロック図である。図２に示すように、無線タグ５は、Ａ／Ｄ（Ａｎａｌｏｇ／Ｄｉｇｉｔａｌ）変換器２１、メモリ２２、無線送受信回路２３、ＣＰＵ２４のそれぞれが、バス２５に共通接続され、構成されている。
Ａ／Ｄ変換器２１は、接続される温度センサ１１により計測された温度情報をデジタル化して無線送受信回路２３へ出力する。
メモリ２２には温度センサ１１のそれぞれにユニークに付される識別子情報（センサＩＤ）が記録されている。
無線送受信回路２３は、デジタル化された温度情報とともにメモリ２２のセンサＩＤを無線送信する。このセンサＩＤにより、アンプ２が当該温度センサ１１の実装位置を特定する。
【００２５】
なお、ＣＰＵ２４は、アンプ２から再計測等に関するコマンドを受信してそのコマンドを実行するために用いられるが、本発明を実現するううえで必須構成となるものではない。
【００２６】
なお、上記無線タグとしては、非接触ＩＣカード等に使用されている非接触ＩＣチップが利用可能である。
【００２７】
図３は、図１に示すアンプ２の構成を示すブロック図である。図３において、アンプ２は、増幅部３１と補正部３２と変換部３３と校正データ記憶部３４と変換データ記憶部３５を具備する。
増幅部３１は、電気ケーブル３を介して入力される変位センサ１の出力信号を増幅する。
校正データ記憶部３４には、温度センサ１１により計測された温度に基づいて変位センサ１の出力信号を補正するための校正データが、予め設定され、保持されている。この校正データは、変位センサ１の使用環境（媒体や温度）に合致するものとして予め求められたものである。媒体としては、例えば空気、水、油などがあり、今回の使用環境の媒体用の校正データが設定される。そして、校正データには、各温度センサ１１の温度の組み合わせ毎に、変位センサ１の増幅後の出力信号の電圧と、その補正値との関係を一義的に特定する情報が含まれている。
補正部３２には、受信アンテナ７により受信された温度情報が入力される。補正部３２は、入力された温度情報に基づいて校正データ記憶部３４の該当する校正データを取得し、増幅後のセンサ出力信号を補正する。
【００２８】
変換データ記憶部３５には、変位センサ１の増幅後の出力信号値を距離についての計測単位（例えばミリメートル）の計測値に変換するための変換データが、予め設定され、保持されている。この変換データは、変位センサ１の増幅後の出力信号の電圧と、変位センサ１と被測定物の間の距離との関係を一義的に特定する情報が含まれている。
変換部３３は、補正部３２により補正済みのセンサ出力信号を、変換データ記憶部３５の変換データに基づいて変換し、計測データ８（例えばミリメートル単位の距離のデータ）を出力する。
【００２９】
上述した第１の実施形態によれば、変位センサ及び電気ケーブル及びアンプの各々の周囲温度を取得し、その温度に基づいて変位センサの出力信号を補正する。これにより、変位センサまたは電気ケーブルまたはアンプの周囲温度によって影響を受けたセンサ出力を補正し、計測結果の誤差を防止することができる。
【００３０】
さらに、センサ出力信号を所定の変換データに基づいて変換して出力するので、変位センサの出力を所望の計測値（例えばミリメートル単位の距離のデータ）に変換して出力することができる。
【００３１】
なお、上述した第１の実施形態では、変位センサを計測用センサの一例に挙げて説明したが、他のセンサ、例えば圧力センサにも同様に適用することができる。
【００３２】
次に、第２の実施形態を説明する。図４は、本発明の第２の実施形態によるセンサシステムの構成を示すブロック図である。この図４に示すセンサシステムは、上記図１のシステムと同様に、変位センサにより被測定物までの距離を計測するものである。以下の説明において、図１〜図３の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。
【００３３】
図４に示すシステムでは、変位センサ１のセンサヘッド１ａの検知面とは異なる面（この例では側面）に、障害物センサ４１が実装されている。この障害物センサ４１は無線タグ５に接続されている。障害物センサ４１は、自己と対向する方向に在る障害物との距離を検出する。無線タグ５は、この障害物センサ４１により検出された距離情報を無線送信する。この距離情報は、中継アンテナ６を介して受信アンテナ７により受信され、アンプ２へ出力される。
【００３４】
アンプ２において、校正データ記憶部３４には、障害物との距離に基づいて変位センサ１の出力信号を補正するための校正データが、予め設定され、保持されている。変位センサ１は、被測定物の測定対象部位または被測定物とは異なる物体が所定距離の範囲内にあると、該障害物の影響を受けて検知結果に誤差を生じる。校正データ記憶部３４に設定される校正データには、障害物との距離と検知結果の誤差との関係を一義的に特定する情報が含まれている。
補正部３２には、受信アンテナ７により受信された距離情報が入力される。補正部３２は、入力された距離情報に基づいて校正データ記憶部３４の該当する校正データを取得し、増幅後のセンサ出力信号を補正する。
【００３５】
なお、アンプ２に音声または警報ランプ等の表示により警報を出力する報知部を設けるようにしてもよい。この報知部は、受信アンテナ７により受信された距離情報に基づく距離が、変位センサ１の検知結果が障害物の影響を受けて誤差を生じる所定の範囲内であった場合に、警報を出力する。
【００３６】
上述した第２の実施形態によれば、障害物との距離に基づいて変位センサの出力信号を補正するので、障害物の影響を受けた計測データを測定者がそのまま使用してしまうことを防止できる。
【００３７】
さらに、障害物との距離に基づいて警報を発するようにすれば、障害物による誤差が発生することを通知して測定者に注意を促すことができる。
【００３８】
次に、第３の実施形態を説明する。図５は、本発明の第３の実施形態によるセンサシステムの構成を示すブロック図である。この図５に示すセンサシステムは、回転物（シャフト等）に変位センサ（計測用センサ）を取り付けて、被測定物までの距離を計測するものである。以下の説明において、図１〜図３の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。
【００３９】
図４に示すシステムでは、回転物５０に変位センサ５１と無線タグ５２と電源４が実装されている。変位センサ５１と無線タグ５２は、それぞれに電源４から電源供給を受ける。変位センサ５１はアンプを内蔵しており、増幅済みのセンサ出力信号を無線タグ５２へ出力する。無線タグ５２は、図２に示すものと同様の構成であるが、温度センサ１１の代わりに変位センサ５１が接続されている。
【００４０】
無線タグ５２は、メモリ２２に、図３の変換データ記憶部３５と同様の変換データを保持している。そして、ＣＰＵ２４は、その変換データに基づいて、変位センサ５１のセンサ出力信号を距離についての計測単位（例えばミリメートル）の計測データに変換する。無線タグ５２は、入力されるセンサ出力信号をＡ／Ｄ変換器２１によりデジタル化し、変換データ記憶部３５の変換データに基づいて計測データに変換後、無線送信する。送信されたセンサ出力信号は、中継アンテナ６を経由して受信アンテナにより受信され、受信システム５３へ出力される。
【００４１】
なお、受信システム５３に、センサ出力信号を距離についての計測単位の計測データに変換する機能を設けるようにしてもよいが、上記実施形態のように無線タグ５２に設けることによって受信システムの構成を簡略化できる。
【００４２】
上述した第３の実施形態によれば、無線送信によって回転物からセンサ出力を取り出すので、スリップリングやテレメータを備える必要がなく、システムの構造を簡略化することができる。
【００４３】
さらに、無線タグによりセンサ出力信号を特定計測単位の計測データ（例えばミリメートル単位の距離のデータ）に変換するので、受信システムの構成を簡略化することができる。
【００４４】
なお、上述した第３の実施形態では、変位センサを計測用センサの一例に挙げて説明したが、他のセンサ、例えば圧力センサにも同様に適用することができる。
【００４５】
次に、第４の実施形態を説明する。図６は、本発明の第４の実施形態によるセンサシステムの構成を示すブロック図である。この図６に示すセンサシステムは、検知範囲や検知精度などの仕様が異なる複数種類の変位センサ（計測用センサ）を備えるものである。以下の説明において、図１〜図３の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。
【００４６】
図６に示すシステムでは、仕様が異なる３種類の変位センサ１−１〜１−３を備えている。変位センサ１−１〜１−３は、各々の仕様のセンサヘッド１ａ−１〜１ａ−３を有する。変位センサ１−１〜１−３は、それぞれ電気ケーブル３によりアンプ６２と接続されている。
【００４７】
各変位センサ１−１〜１−３には、無線タグ６１−１〜６１−３がそれぞれ実装されている。無線タグ６１−１〜６１−３は、図２に示すものと同様の構成であるが、温度センサ１１は接続されておらず、Ａ／Ｄ変換器２１を具備していない。無線タグ６１−１〜６１−３のメモリ２２には、当該変位センサ１−１〜１−３のセンサＩＤと仕様情報が予め設定されている。この仕様情報は、センサの種類、検知範囲、検知精度、校正データなどの情報から構成されている。
【００４８】
無線タグ６１−１〜６１−３は、それぞれにメモリ２２のセンサＩＤと仕様情報を無線送信する。このセンサＩＤと仕様情報は、受信アンテナ７により受信され、アンプ６２へ出力される。アンプ６２は、図３に示すものと同様の構成であるが、校正データ記憶部３４を具備していない。アンプ６２の補正部３２は、受信アンテナ７を介して受信したセンサＩＤと仕様情報に基づいて、該当する変位センサ１−１〜１−３のセンサ出力信号を補正する。
【００４９】
上述した第４の実施形態によれば、変位センサに当該仕様情報を有する無線タグを実装して該仕様情報をアンプへ無線送信し、アンプは受信した仕様情報に基づいて該当するセンサ出力信号を補正するので、仕様が異なる複数種類の変位センサに対してアンプを統合することができる。これにより、センサの仕様毎に専用のアンプを備える必要がなく、設備コストを削減することが可能となる。
【００５０】
なお、上述した第４の実施形態では、変位センサを計測用センサの一例に挙げて説明したが、他のセンサ、例えば圧力センサにも同様に適用することができる。
【００５１】
以上、本発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、変位センサや圧力センサ等の計測用センサを用いて所望の計測項目の測定を行うセンサシステムの使い勝手を向上させることができる。
【００５３】
請求項１に記載の発明によれば、計測用センサ及び電気ケーブル及びアンプの各々の周囲温度を取得し、その温度に基づいて計測用センサの出力信号を補正するので、計測用センサまたは電気ケーブルまたはアンプの周囲温度によって影響を受けたセンサ出力を補正し、計測結果の誤差を防止することができる。
【００５４】
請求項２に記載の発明によれば、障害物との距離に基づいて変位センサの出力信号を補正するので、障害物の影響を受けた計測データを測定者がそのまま使用してしまうことを防止できる。
【００５５】
請求項３に記載の発明によれば、障害物との距離に基づいて警報を発するので、障害物による誤差が発生することを通知して測定者に注意を促すことができる。
【００５６】
請求項４に記載の発明によれば、計測用センサに当該仕様情報を有する無線タグを実装して該仕様情報を無線送信し、受信した仕様情報に基づいて該当するセンサ出力信号を補正するので、仕様が異なる複数種類の計測用センサに対してアンプを統合することができる。これにより、計測用センサの仕様毎に専用のアンプを備える必要がなく、設備コストを削減することが可能となる。
【００５７】
請求項６に記載の発明によれば、無線送信によって回転物からセンサ出力を取り出すので、スリップリングやテレメータを備える必要がなく、システムの構造を簡略化することができる。
【００５８】
請求項５，７に記載の発明によれば、センサ出力信号を所定の変換データに基づいて変換して出力するので、計測用センサ（例えば変位センサ）の出力を所望の計測値（例えばミリメートル単位の距離のデータ）に変換して出力することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態によるセンサシステムの構成を示すブロック図である。
【図２】無線タグ５の構成を示すブロック図である。
【図３】アンプ２の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の第２の実施形態によるセンサシステムの構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の第３の実施形態によるセンサシステムの構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の第４の実施形態によるセンサシステムの構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１，５１…変位センサ、１ａ…センサヘッド、２，６２…アンプ、３…電気ケーブル、４…電源、５，５２，６１…無線タグ、６…中継アンテナ、７…受信アンテナ、１１…温度センサ、４１…障害物センサ、５０…回転物、５３…受信システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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