(57)【要約】【課題】積層する枚数が増えて多層すなわち、複数枚の銅張積層板シートを自動で貼り合わせて精度の良好な銅張積層板シートの貼り合わせ方法およびその装置を提供することにある。【解決手段】上下動可能で、下死点の位置にある第１ステージ１１上に積層された第１銅張積層板シートＷ１をセットすると共に第２ステージ３上に積層しようとする第２銅張積層板シートＷ２をセットし、前記第２ステージ３を回動させて前記第１ステージ１１の上方に対向せしめた状態で、第１ステージ１１の上面と第２ステージ３の下面との間の予め設定された設定距離Ｌから前記第１銅張積層板シートＷ１の厚さｔと第２銅張積層板シートＷ２の厚さｔを差し引いた距離（Ｌ−ｎｔ）だけ前記第１ステージ１１を上昇せしめて第１銅張積層板シートＷ１に第２銅張積層板シートＷ２をｎ層貼り合わせることを特徴とする。【選択図】      図１
2004314430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下動可能で、下死点の位置にある第１ステージ上に積層された第１銅張積層板シートをセットすると共に第２ステージ上に積層しようとする第２銅張積層板シートをセットし、前記第２ステージを回動させて前記第１ステージの上方に対向せしめた状態で、第１ステージの上面と第２ステージの下面との間の予め設定された設定距離から前記第１銅張積層板シートの厚さと第２銅張積層板シートの厚さを差し引いた距離だけ前記第１ステージを上昇せしめて第１銅張積層板シートに第２銅張積層板シートを貼り合わせることを特徴とする銅張積層板シートの貼り合わせ方法。
【請求項２】
前記第１銅張積層板シートの厚さにおける１層の厚さがｔで、しかも（ｎ−１）層からなる厚さで、また、第２銅張積層板シートの厚さが第１銅張積層板シートの厚さｔと同じ厚さで、前記第１ステージを上昇せしめる距離が前記設定距離から（ｎ＊ｔ）の距離を差し引いた距離であることを特徴とする請求項１記載の銅張積層板シートの貼り合わせ方法。
【請求項３】
前記第１ステージ上に１層づつ第１銅張積層板シートをセットして第２ステージにセットされた第２銅張積層板シートと貼り合わせ、順次ｎ層貼り合わせることを特徴とする請求項２記載の銅張積層板シートの貼り合わせ方法。
【請求項４】
ｎ層貼り合わせを行う際、常に１層目と最上層とで位置決め用のマーク認識を行うと共に各層ともマーク認識の位置が異なることを特徴とする請求項３記載の銅張積層板シートの貼り合わせ方法。
【請求項５】
第１銅張積層板シートをセットすると共に下死点の位置から上下動駆動手段により上下動可能な第１ステージと、第２銅張積層板シートをセットすると共に回動駆動手段により回動可能な第２ステージと、この第２ステージを回動させて前記第１ステージの上方に対向せしめた状態で、前記第１ステージと第２ステージの間隔を、前記第１銅張積層板シート、第２銅張積層板シートの枚数、厚さに応じて下死点からの第１ステージのストロークが調整自在であることを特徴とする銅張積層板シートの貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、複数枚の銅張積層板シートを自動で貼り合わせる銅張積層板シートの貼り合わせ方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の複数枚の銅張積層板シートを貼り合わせる銅張積層板シートの貼り合わせ方法は、例えば図７に示されているように、第１ステージ１０１上に銅張積層板シートとしての積層されるワークＷ１がセットされると共に第１ステージ１０１の上方の対向した位置に第２ステージ１０３が設けられると共に第１ステージ１０１の下面に銅張積層板シートとしての積層するワークＷ２がセットされる。そして、このワークＷ２とワークＷ１とが重ね合わせられた状態で、アライメント用撮像カメラ１０５でワークＷ２とワークＷ１とのマーク認識を観察し、位置がズレている場合には図示省略のＸ、Ｙ、θ軸駆動手段により前記第１ステージ１０１をＸ、Ｙ、θ軸方向へ移動させて位置のズレを調整する。その後、図示省略のヒータによりワークＷ２とワークＷ１とが接合されてワークＷ２とワークＷ１との貼り合わせが終了する。
【０００３】
このとき、従来の貼り合わせ方法では、固定された第２ステージ１０３と第１ステージ１０１との間隔は固定もしくは２位置設定であった。
【０００４】
【特許文献１】
特願２００３−１１０２９８
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の貼り合わせ方法において、銅張積層板シートとしての積層するワークＷ２の枚数が増えるにつれて、銅張積層板シートとしての積層されるワークＷ１の高さが厚くなり、第２ステージ１０３と第１ステージ１０１との間隔が少なくなる。したがって、ある枚数に達するとワークＷ１がワークＷ２に当たってしまうため、積層することができる枚数に制約が生じる。
【０００６】
そこで、積層枚数を増やすべく第２ステージ１０３と第１ステージ１０１との間隔を広くすると、アライメント用撮像カメラ１０５での画像認識の際、ワークＷ１、ワークＷ２上に設けられたアライメントマークを認識するために焦点深度の深いレンズを必要とするが、焦点深度を越える間隔の場合、精度の高い画像認識ができなくなるという問題があった。
【０００７】
この発明は上述の課題を解決するためになされたもので、その目的は、積層する枚数が増えて多層すなわち、複数枚の銅張積層板シートを自動で貼り合わせて精度の良好な銅張積層板シートの貼り合わせ方法およびその装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１によるこの発明の銅張積層板シートの貼り合わせ方法は、上下動可能で、下死点の位置にある第１ステージ上に積層された第１銅張積層板シートをセットすると共に第２ステージ上に積層しようとする第２銅張積層板シートをセットし、前記第２ステージを回動させて前記第１ステージの上方に対向せしめた状態で、第１ステージの上面と第２ステージの下面との間の予め設定された設定距離から前記第１銅張積層板シートの厚さと第２銅張積層板シートの厚さを差し引いた距離だけ前記第１ステージを上昇せしめて第１銅張積層板シートに第２銅張積層板シートを貼り合わせることを特徴とするものである。
【０００９】
したがって、上下動可能で、下死点の位置にある第１ステージ上に積層された第１銅張積層板シートがセットされると共に第２ステージ上に積層しようとする第２銅張積層板シートがセットされる。その後、前記第２ステージが回動されて前記第１ステージの上方に対向せしめた状態に固定される。この状態で、第１ステージの上面と第２ステージの下面との間の予め設定された設定距離から前記第１銅張積層板シートの厚さと第２銅張積層板シートの厚さを差し引いた距離だけ前記第１ステージが上昇されて第１銅張積層板シートに第２銅張積層板シートが貼り合わせられる。
【００１０】
而して、前記第１銅張積層板シートの厚さと第２銅張積層板シートの厚さに応じて、設定距離から前記第１銅張積層板シートの厚さと第２銅張積層板シートの厚さを差し引いた距離だけ前記第１ステージを自動で上昇せしめることができ、第１銅張積層板シートに第２銅張積層板シートが正確かつ容易に貼り合わせられる。
【００１１】
請求項２によるこの発明の銅張積層板シートの貼り合わせ方法は、請求項１記載の銅張積層板シートの貼り合わせ方法において、前記第１銅張積層板シートの厚さにおける１層の厚さがｔで、しかも（ｎ−１）層からなる厚さで、また、第２銅張積層板シートの厚さが第１銅張積層板シートの厚さｔと同じ厚さで、前記第１ステージを上昇せしめる距離が前記設定距離から（ｎ＊ｔ）の距離を差し引いた距離であることを特徴とするものである。
【００１２】
したがって、前記第１銅張積層板シートの厚さにおける１層の厚さがｔで、しかも（ｎ−１）層からなる厚さで、また、第２銅張積層板シートの厚さが第１銅張積層板シートの厚さｔと同じ厚さで、前記第１ステージを上昇せしめる距離を前記設定距離から（ｎ＊ｔ）の距離を差し引いた距離とすることにより、積層する枚数をｎとして指定することで、第１ステージが前記設定距離から（ｎ＊ｔ）の距離を差し引いた距離だけ自動で上昇される。
【００１３】
而して、積層する枚数をｎとして指定するだけで、ｎ枚の銅張積層板シートが正確かつ容易に貼り合わせられる。
【００１４】
請求項３によるこの発明の銅張積層板シートの貼り合わせ方法は、請求項２記載の銅張積層板シートの貼り合わせ方法において、前記第１ステージ上に１層づつ第１銅張積層板シートをセットして第２ステージにセットされた第２銅張積層板シートと貼り合わせ、順次ｎ層貼り合わせることを特徴とするものである。
【００１５】
したがって、前記第１ステージ上に１層づつ第１銅張積層板シートをセットして第２ステージにセットされた第２銅張積層板シートと貼り合わせ、順次ｎ層貼り合わせることにより、同じ厚さのｎ枚の銅張積層板シートが自動で、正確かつ容易に貼り合わせられる。
【００１６】
請求項４によるこの発明の銅張積層板シートの貼り合わせ方法は、請求項３記載の銅張積層板シートの貼り合わせ方法において、ｎ層貼り合わせを行う際、常に１層目と最上層とで位置決め用のマーク認識を行うと共に各層ともマーク認識の位置が異なることを特徴とするものである。
【００１７】
したがって、ｎ層貼り合わせを行う際、常に１層目と最上層とで位置決め用のマーク認識が行われると共に各層ともマーク認識の位置が異なることにより、ｎ層の位置決めが正確かつ容易に行われる。
【００１８】
請求項５によるこの発明の銅張積層板シートの貼り合わせ装置は、第１銅張積層板シートをセットすると共に下死点の位置から上下動駆動手段により上下動可能な第１ステージと、第２銅張積層板シートをセットすると共に回動駆動手段により回動可能な第２ステージと、この第２ステージを回動させて前記第１ステージの上方に対向せしめた状態で、前記第１ステージと第２ステージの間隔を、前記第１銅張積層板シート、第２銅張積層板シートの枚数、厚さに応じて下死点からの第１ステージのストロークが調整自在であることを特徴とするものである。
【００１９】
したがって、前記第１ステージと第２ステージの間隔が、前記第１銅張積層板シート、第２銅張積層板シートの枚数、厚さに応じて下死点からの第１ステージのストロークが調整されて上昇されて前記第１銅張積層板シートと第２銅張積層板シートとの貼り合わせが自動で、正確かつ容易に行われる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
図２および図３を参照するに、箱形状用の下部フレーム１が立設されている。この下部フレーム１上の前側における右側には第２ステージ３を退避せしめておくための複数の支柱５が立設されれていると共にこの各支柱５上には位置決めストッパピン７、９が設けられている。前記下部フレーム１上の前側における左側には第１ステージ１１が設けられている。
【００２２】
前記各支柱５上に設けられた位置決めストッパピン７、９上に第２ステージ３が退避されていて、この第２ステージ３は第１ステージ１１に重ね合わせられるように１８０度回転されるよう設けられている。すなわち、下部フレーム１上の前側における中央部には前後方向であるＹ軸方向へ延伸した回転シャフト１３が回転自在に設けられている。この回転シャフト１３の前後端は下部フレーム１上に立設されたブラケット１５に支承されていて、そのブラケット１５間の回転シャフト１３には複数のクランプ部材１７を介して第２ステージ３が一体化されている。前記回転シャフト１３の後端にはギヤ１９が装着されていて、このギヤ１９には別の駆動ギヤ２１が噛合されている。この駆動ギヤ２１には下部フレーム１の一部に固定されたエアー回転用シリンダー装置２３の出力軸２５が装着されている。また、エアー回転用シリンダー装置２３には回転角度を検出するエンコーダが備えられている。さらに、回転シャフト１３の後部には例えば半円形状のバランス用ウエイト２７が設けられている。
【００２３】
上記構成より、エアー回転用シリンダー装置２３を駆動せしめると、出力軸２５、駆動ギヤ２１およびギヤ１９を介して回転シャフト１３を正方向へ回転せしめることにより、第２ステージ３が１８０度回転されて図３に示されているように第１ステージ１１に重ね合わせられることになる。第２ステージ３の１８０度回転はエンコーダにより検出されるものである。しかも、半円形状のバランス用ウエイト２７も同方向へ回転されて第２ステージ３の回転時のバランスが保たれる。
【００２４】
前記第１ステージ１１は図４を併せて参照するに、前記第２ステージ３より一回り小さな矩形状の箱体からなっていると共に銅張積層板としての第１ワークＷ１が真空吸引されるべく吸着手段の一部を構成する複数の吸引用孔が形成されている。また、この複数の吸引用孔から真空吸引するための真空ポンプに接続されたジョイントが前記第１ステージ１１に設けられている。
【００２５】
前記下部フレーム１上の前側における左側前後端には図２および図３に示されているように、第２ステージ３が１８０度回転して第１ステージ１１に重ね合わされるときに位置決めされるために複数の支柱３１が立設されれていると共にこの各支柱３１上には位置決めストッパピン３３が設けられていると共にその各位置決めピン３３の内側にはセンサー３５が設けられている。また、第２ステージ３が１８０度回転して各位置決めストッパピン３３に位置決めされると、上方からクランプせしめるためのクランプ部材３７が９０度水平に回転可能に設けられている。なお、第１ステージ１１に対して第２ステージ３が１８０度回転して重ね合わされたとき、第１ステージ１１との間には一定の間隔が設けられている。
【００２６】
前記第１ステージ（銅張積層板用ステージ）１１としては、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸およびθ軸に移動自在に設けられている。より詳細には、図４に示されているように、下部フレーム１にはＸ軸方向へ延伸したガイドプレート３９が敷設されていると共にこのガイドプレート３９はスライダを介してＸ軸キャレッジ４１がＸ軸方向へ移動自在に設けられている。Ｘ軸キャレッジ４１の図４において右側面部にはナット部材４３が設けられていると共にこのナット部材４３にはボールねじ４５が螺合されている。このボールねじ４５の一端にはＸ軸用サーボモータ４７が連結されている。このＸ軸用サーボモータ４７には位置を検出するエンコーダ４９が備えられている。
【００２７】
前記Ｘ軸キャレッジ４１上にはＹ軸方向へ延伸したガイドプレート５１が敷設されていると共にこのガイドプレート５１にはスライダを介してＹ軸キャレッジ５３がＹ軸方向へ移動自在に設けられている。Ｙ軸キャレッジ５３の前部にはナット部材５５が設けられていると共にこのナット部材５５にはボールねじ５７が螺合されている。このボールねじ５７の一端にはＹ軸用サーボモータ５９が連結されている。このＹ軸用サーボモータ５９には位置を検出するエンコーダ６１が備えられている。
【００２８】
前記Ｙ軸キャレッジ５３上には例えばボールねじとリンク機構からなるθ軸駆動部６３が設けられていると共にこのθ軸駆動部６３には回転テーブル６５が回転可能に連結されている。この回転テーブル６５の上部にはＺ軸ステージユニット６７が設けられ、このＺ軸ステージユニット６７上にはＺ軸ステージ取付用部材６９を介して前記第１ステージ１１が取り付けられている。
【００２９】
前記Ｚ軸ステージユニット６７は、図５および図６を参照してより詳細に説明すると、前記回転テーブル６５上にはブラケット７１が設けられている。このブラケット７１の図５において例えば右側側面にはＺ軸駆動手段としての例えばサーボモータ７３が設けられている。このサーボモータ７３には高精度分解能のエンコーダ７５が備えられている。また、前記サーボモータ７３の出力軸には図５において左右方向へ延伸した送りねじ７７が連結されている。しかも、この送りねじ７７にはナット部材７９が螺合されている。前記エンコーダ７５は例えば送りねじ７７の送りリードを１ｍｍとした場合に、１回転当たり１０００パルスとなるように構成されていれば、前記第１ステージ１１をミクロン単位で上下動させることが可能である。
【００３０】
このナット部材７９上には例えば図５において右斜め上がりに傾斜した第１楔部材８１が一体化されている。この第１楔部材８１上には例えば図５において左斜め下がりに傾斜した第２楔部材８３が当接（接触）して設けられている。この第２楔部材８３上には支持フレーム８５を介して前記Ｚ軸ステージ取付用部材６９に一体化されている。
【００３１】
図６に示されているように、図６においてナット部材７９の両側における下部にはＶ溝を下部に備えたＶ溝ブロック８７が設けられている。この各Ｖ溝ブロック８７の下部には図６において紙面に対して直交する方向へ延伸したクロスローラ８９が前記ブラケット７１上に設けられている。
【００３２】
上記構成により、サーボモータ７３を駆動させると、送りねじ７７が回転される。この送りねじ７７の回転によりナット部材７９を介して例えば第１楔部材８１が図５において左方向へ移動される。その結果、クロスローラ８９に案内されて溝ブロック８７を介してナット部材７９がスムーズに移動されることになる。前記ナット部材７９が左方向へ移動されると、第２楔部材８３が上方へ移動される。その結果、支持フレーム８５、Ｚ軸ステージ取付用部材６９を介して前記第１ステージ１１が上方へ移動されることになる。また、サーボモータ７３を逆方向に駆動させると、上述した動作と逆の動作となり、前記第１ステージ１１が下方へ移動されることになる。
【００３３】
上記構成により、サーボモータ７３を正方向へ駆動させると、上述した動作により前記第１ステージ１１がＺ軸方向である上方向へ上昇することで図４の状態から一定の高さまで上昇して１８０°回転した前記第２テージ３に重ね合わせられることになる。また、Ｘ軸用サーボモータ４７、Ｙ軸用サーボモータ５９を駆動せしめると、それぞれボールねじ４５、５７が回転し、ナット部材４３、５５を介して第１ステージ１１がＸ軸、Ｙ軸方向へ移動されることになる。さらに、θ軸駆動部６３を駆動せしめると、回転テーブル６５がθ軸方向へ回転されるから、第１ステージ１１がθ軸方向へ回転されることになる。したがって、第１ステージ１１はＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向へ移動されると共にθ軸方向へ回転されることになる。
【００３４】
再度、図２および図３を参照するに、下部フレーム１の右側手前には種々のスイッチ類を備えた操作パネルを含むとともに画像処理部を有する制御部９１が設けられている。
【００３５】
つぎに、第１ステージ１１上に積層された第１銅張積層板シートであるワークＷ１と第２ステージ３上に積層しようとする第２銅張積層板シートであるワークＷ２とを貼り合わせる方法について説明する。なお、ワークＷ１，Ｗ２はポリイミドフィルムと銅箔からなる片面銅張り基板（ＣＣＬ：Ｃｏｐｐｅｒ  ＣｌａｄＬａｍｉｎａｔｅ）に接着剤を貼り合わせた積層シートを意味している。まず、作業者が、パターン面を上にした例えば厚さがｔからなるワークＷ１を図１に示すごとく、第１ステージ１１上に画かれた目印線Ｍ（図４参照）をガイドにして仮位置決めした後、作業者が図示省略の操作パネルに設けられているクランプボタンを押すと、ワークＷ１が第１ステージ１１に図示省略の吸着手段の作用で吸引用孔から真空吸着されて図１（Ａ）に示すごとくセットされる。また、作業者が、例えば厚さがｔからなるワークＷ２を、図１に示したごとく、第２ステージ３上に置き、第２ステージ３を仮位置決めした後、作業者が、操作パネルに設けられているクランプボタンを押すと、ワークＷ２が第２ステージ３に吸着手段の作用で吸引用穴から真空吸着されて図１（Ａ）に示すごとくセットされる。
【００３６】
この状態で、作業者が、操作パネルに設けられている起動ボタンを押すと、自動シーケンスが起動し、貼り合わせが開始される。
【００３７】
図１（Ａ）に示すごとく、第２ステージ３が１８０度倒れてきて、第１ステージ１１に対して第２ステージ３が上方位置にて対向する。このとき、第１ステージ１１は下死点の位置にあり、第１ステージ１１の上面と第２ステージ３の下面との間隔すなわち、距離は例えば予め設定された設定距離Ｌを維持している。
【００３８】
この状態で、図４に示したサーボモータ７３を正方向へ駆動させることで、第１ステージ１１を上昇させる。このときの上昇量は（Ｌ−２ｔ）である。その結果、ワークＷ１上にワークＷ２が重ねられる。
【００３９】
ＣＣＤカメラ９３が退避位置より第２ステージ３の上方位置に移動されてきて、１層目と２層目のマーク認識がハッチングの位置で行われ、ずれ量が測定される。そして、サーボモータ７３を逆方向へ駆動させることで、第１ステージ１１を下死点の位置まで下降させる。その後、Ｘ軸、Ｙ軸およびθ軸を移動させて自動調心が行われる。サーボモータ７３を正方向へ駆動させることで、第１ステージ１１を上昇量（Ｌ−２ｔ）だけ上昇させる。図示省略のヒータでワークＷ１とワークＷ２とが加熱されて接合される。第２ステージ３の吸着を解放させる。ワークＷ１はそのまま吸着把持にある。そして、第２ステージ３を１８０度反転させると共に第１ステージ１１を下死点の位置まで下降させる。
【００４０】
これで、２層目の貼り合わせが終了し、引き続き３層目の貼り合わせを行う。
【００４１】
作業者がワークＷ２（３層目）を図１（Ｂ）に示したごとく、第２ステージ３にセットし、起動ボタンにて３層目の貼り合わせが開始される。図１（Ｂ）に示すごとく、第２ステージ３が１８０度倒れてきて、第１ステージ１１に対して第２ステージ３が上方位置にて対向する。サーボモータ７３を正方向へ駆動させることで、第１ステージ１１を上昇させる。このときの上昇量は（Ｌ−３ｔ）である。その結果、２枚のワークＷ１上にワークＷ２が重ねられる。
【００４２】
ＣＣＤカメラ９３が退避位置より図１（Ｂ）に示すごとく、第２ステージ３の上方位置に移動されてきて、１層目と３層目のマーク認識がハッチングの位置で行われ、ずれ量が測定される。そして、サーボモータ７３を逆方向へ駆動させることで、第１ステージ１１を下死点の位置まで下降させる。その後、Ｘ軸、Ｙ軸およびθ軸を移動させて自動調心が行われる。ステッピングモータ７３を正方向へ駆動させることで、第１ステージ１１を上昇量（Ｌ−２ｔ）だけ上昇させる。図示省略のヒータで２枚のワークＷ１とワークＷ２とが加熱されて接合される。第２ステージ３の吸着を解放させる。３枚のワークＷ１はそのまま吸着把持にある。そして、第２ステージ３を１８０度反転させると共に第１ステージ１１を下死点の位置まで下降させる。
【００４３】
これで、３層目の貼り合わせが終了し、以降、引き続きｎ層目の貼り合わせを行う。
【００４４】
作業者がワークＷ２（ｎ層目）を図１（Ｃ）に示したごとく、第２ステージ３にセットし、起動ボタンにてｎ層目の貼り合わせが開始される。図１（Ｃ）に示すごとく、第２ステージ３が１８０度倒れてきて、第１ステージ１１に対して第２ステージ３が上方位置にて対向する。サーボモータ７３を正方向へ駆動させることで、第１ステージ１１を上昇させる。このときの上昇量は（Ｌ−ｎｔ）である。その結果、（ｎ−１）枚のワークＷ１上にワークＷ２が重ねられる。
【００４５】
ＣＣＤカメラ９３が退避位置より図１（Ｃ）に示すごとく、第２ステージ３の上方位置に移動されてきて、１層目とｎ層目のマーク認識がハッチングの位置で行われ、ずれ量が測定される。そして、サーボモータ７３を逆方向へ駆動させることで、第１ステージ１１を下死点の位置まで下降させる。その後、Ｘ軸、Ｙ軸およびθ軸を移動させて自動調心が行われる。サーボモータ７３を正方向へ駆動させることで、第１ステージ１１を上昇量（Ｌ−ｎｔ）だけ上昇させる。図示省略のヒータで（ｎ−１）枚のワークＷ１とワークＷ２とが加熱されて接合される。第２ステージ３の吸着を解放させる。ｎ枚のワークＷ１はそのまま吸着把持にある。そして、第２ステージ３を１８０度反転させると共に第１ステージ１１を下死点の位置まで下降させる。その結果、ｎ層の貼り合わせが終了することになる。
【００４６】
したがって、積層することのできる枚数の制限を撤廃することができ、前記第１銅張積層板シートＷ１の厚さｔと第２銅張積層板シートＷ２の厚さｔに応じて、設定距離Ｌから前記第１銅張積層板シートＷ１の厚さｔと第２銅張積層板シートＷ２の厚さｔを差し引いた距離（Ｌ−ｎｔ）だけ前記第１ステージを自動で上昇せしめることができ、第１銅張積層板シートＷ１に第２銅張積層板シートＷ２を正確かつ容易に貼り合わせることができる。
【００４７】
ｎ層貼り合わせを行う際、常に１層目と最上層とで位置決め用のマーク認識が行われると共に各層ともマーク認識の位置が異なることにより、ｎ層の位置決めを正確かつ容易に行うことができる。また、アライメントマーク認識の際の精度向上を図ることができる。
【００４８】
なお、この発明は前述した実施の形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことによりその他の態様で実施し得るものである。
【００４９】
【発明の効果】
以上のごとき発明の実施の形態の説明から理解されるように、請求項１の発明によれば、上下動可能で、下死点の位置にある第１ステージ上に積層された第１銅張積層板シートがセットされると共に第２ステージ上に積層しようとする第２銅張積層板シートがセットされる。その後、前記第２ステージが回動されて前記第１ステージの上方に対向せしめた状態に固定される。この状態で、第１ステージの上面と第２ステージの下面との間の予め設定された設定距離から前記第１銅張積層板シートの厚さと第２銅張積層板シートの厚さを差し引いた距離だけ前記第１ステージが上昇されて第１銅張積層板シートに第２銅張積層板シートが貼り合わせられる。
【００５０】
而して、前記第１銅張積層板シートの厚さと第２銅張積層板シートの厚さに応じて、設定距離から前記第１銅張積層板シートの厚さと第２銅張積層板シートの厚さを差し引いた距離だけ前記第１ステージを自動で上昇せしめることができ、第１銅張積層板シートに第２銅張積層板シートを正確かつ容易に貼り合わせることができる。
【００５１】
請求項２の発明によれば、前記第１銅張積層板シートの厚さにおける１層の厚さをｔで、しかも（ｎ−１）層からなる厚さで、また、第２銅張積層板シートの厚さが第１銅張積層板シートの厚さｔと同じ厚さで、前記第１ステージを上昇せしめる距離を前記設定距離から（ｎ＊ｔ）の距離を差し引いた距離とすることにより、積層する枚数をｎとして指定することで、第１ステージが前記設定距離から（ｎ＊ｔ）の距離を差し引いた距離だけ自動で上昇せしめることができる。
【００５２】
而して、積層する枚数をｎとして指定するだけで、ｎ枚の銅張積層板シートを正確かつ容易に貼り合わせることができる。
【００５３】
請求項３の発明によれば、前記第１ステージ上に１層づつ第１銅張積層板シートをセットして第２ステージにセットされた第２銅張積層板シートと貼り合わせ、順次ｎ層貼り合わせることにより、同じ厚さのｎ枚の銅張積層板シートを自動で、正確かつ容易に貼り合わせることができる。
【００５４】
請求項４の発明によれば、ｎ層貼り合わせを行う際、常に１層目と最上層とで位置決め用のマーク認識が行われると共に各層ともマーク認識の位置が異なることにより、ｎ層の位置決めを正確かつ容易に行うことができる。
【００５５】
請求項５の発明によれば、前記第１ステージと第２ステージの間隔が、前記第１銅張積層板シート、第２銅張積層板シートの枚数、厚さに応じて下死点からの第１ステージのストロークが調整されて上昇されて前記第１銅張積層板シートと第２銅張積層板シートとの貼り合わせを自動で、正確かつ容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）〜（Ｃ）はこの発明の銅張積層板シートの貼り合わせ方法の動作を説明する説明図である。
【図２】この発明の銅張積層板シートの貼り合わせ装置の斜視図である。
【図３】第２ステージを１８０度倒したときの銅張積層板シートの貼り合わせ装置の斜視図である。
【図４】第１ステージ部分を拡大した斜視図である。
【図５】図４におけるＺステージユニット部分の拡大正面図である。
【図６】図５におけるＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【図７】従来の銅張積層板シートの貼り合わせ装置の正面概略図である。
【符号の説明】
１  下部フレーム
３  第２ステージ
１１  第１ステージ
１３  回転シャフト
４１  Ｘ軸キャレッジ
４７  Ｘ軸用サーボモータ
５３  Ｙ軸キャレッジ
５９  Ｙ軸用サーボモータ
６３  θ軸駆動部
６５  回転テーブル
６７  Ｚ軸ステージユニット
７３  サーボモータ（Ｚ軸駆動手段）
７５  エンコーダ
７７  送りネジ
７９  ナット部材
８１  第１楔部材
８３  第２楔部材
９１  制御部
９３  ＣＣＤカメラ
Ｗ１  第１銅張積層板シート
Ｗ２  第２銅張積層板シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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