(57)【要約】　　　（修正有）【課題】ケミカルフィルタが有する不都合をなくした空気清浄装置を提供する。【解決手段】除塵フィルタと光触媒ユニットとを含む空気清浄装置であって、前記光触媒ユニットを実質的にボロンを含有しない通気性光触媒体で構成するようにして、フッ酸分解．蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発生分光法で分析した場合のボロン含有量が１０マイクロｇ／ｇ以下のものとし、空気中のボロン濃度を増加させずに有機ガスを除去する。【選択図】　図１
2004132620.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
除塵フィルタと光触媒ユニットとを含む空気清浄装置であって、前記光触媒ユニットを実質的にボロンを含有しない通気性光触媒体で構成するようにしたことを特徴とする空気清浄装置。
【請求項２】
前記通気性光触媒体は、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発光分光法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）で分析した場合のボロン含有量が１００μｇ／ｇ以下で、且つ、ＢＥＴ一点法で測定した場合の比表面積が１０ｍ２／ｇ以下であることを特徴とする請求項１記載の空気清浄装置。
【請求項３】
前記通気性光触媒体は、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発生分光法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）で分析した場合のボロン含有量が１０μｇ／ｇ以下であることを特徴とする請求項１に記載の空気清浄装置。
【請求項４】
前記通気性光触媒体は、シート状に形成されたものであることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の空気清浄装置。
【請求項５】
前記シート状に形成された通気性光触媒体は、気流の通過方向に互いに離間状態で複数枚を積層したものであることを特徴とする請求項４に記載の空気清浄装置。
【請求項６】
前記実質的にボロンを含有しないシート状に形成された通気性光触媒体は、実質的にボロンを含有しないガラスクロス等のガラス繊維成形品に光触媒を坦持させたものであることを特徴とする請求項４又は５に記載の空気清浄装置。
【請求項７】
前記光触媒ユニットの上流側に、１次側除塵フィルタを設けたことを特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の空気清浄装置。
【請求項８】
ユニット本体内に、実質的にボロンを含有しない通気性光触媒体と、光源とを収容し、空気清浄装置のケーシングに載置自在としたことを特徴とする光触媒ユニット。
【請求項９】
前記通気性光触媒体は、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発光分光法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）で分析した場合のボロン含有量が１００μｇ／ｇ以下で、且つ、ＢＥＴ一点法で測定した場合の比表面積が１０ｍ２／ｇ以下であることを特徴とする請求項８記載の光触媒ユニット。
【請求項１０】
前記通気性光触媒体は、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発生分光法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）で分析した場合のボロン含有量が１０μｇ／ｇ以下であることを特徴とする請求項８に記載の光触媒ユニット。
【請求項１１】
前記通気性光触媒体は、シート状に形成されたものであることを特徴とする請求項８乃至１０の何れかに記載の光触媒ユニット。
【請求項１２】
前記シート状に形成された通気性光触媒体は、気流の通過方向に互いに離間状態で複数枚を積層したものであることを特徴とする請求項１１に記載の光触媒ユニット。
【請求項１３】
前記実質的にボロンを含有しないシート状に形成された通気性光触媒体は、実質的にボロンを含有しないガラスクロス等のガラス繊維成形品に光触媒を坦持させたものであることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の光触媒ユニット。
【請求項１４】
前記ユニット本体の上流側に１次側除塵フィルタを設けたことを特徴とする請求項８乃至１３の何れかに記載の光触媒ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気中のボロン濃度を一定に且つ微量に制御する必要のある環境において、ケミカルフィルタの代替として用いることができる光触媒ユニットと、この光触媒ユニットを備えた空気清浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、空気中のボロン濃度を一定に且つ微量に制御する必要のある環境において、除塵だけでなく有機ガスも除去する必要が有る場合、除塵フィルタが有機ガスに対する除去機能を有していないため、除塵フィルタにケミカルフィルタを組み合わせて用いるようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ケミカルフィルタは確かに有機ガスの除去機能に優れているものの、寿命が短く、メンテナンスに手間がかかり、また、捕集した有機ガスが離脱してせっかくの清浄環境を再び汚染してしまうということがあった。詳しく云えば、寿命の短いケミカルフィルタは定期交換が必要であることに加え、そのほとんどが再生できないため、ランニングコストの大幅な増大を招くという不都合があった。また、ケミカルフィルタには有機ガスに対する分解機能がなく、また、上流ガスの種類や濃度の特異変動により、ケミカルフィルタに一旦吸着した有機ガスや反応副生成物（ＮＯ２−）の再放出等に起因する２次汚染が発生することがあった。
そこで、本発明は、このようなケミカルフィルタが有する不都合をなくした空気清浄装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、前記要望に応えるべく鋭意検討の結果、光触媒ユニットを通気性光触媒体で構成し、この通気性光触媒体を実質的にボロンを含有しないものとすることにより、即ち、材料製造時にボロンを組成成分として故意に添加しないもの、具体的には、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発光分光法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）で分析した場合のボロン含有量が１００μｇ／ｇ以下で、且つ、ＢＥＴ一点法で測定した場合の比表面積が１０ｍ２／ｇ以下のものとすること、また、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発生分光法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）で分析した場合のボロン含有量が１０μｇ／ｇ以下のものとすることにより、空気中のボロン濃度を増加させない状態で有機ガスを除去できることを知見した。
更に、前記通気性光触媒体をシート状に形成し、これらを気流の通過方向に互いに離間状態で複数枚を積層することにより、ケミカルフィルタに代替可能な有機ガス捕捉機能が得られ、しかも、一旦捕捉された有機ガスも不用意に離脱しないことを知見した。
更に、光触媒ユニットの上流側に、１次側除塵フィルタを設けることにより、長寿命でメンテナンス性に優れたものとなることを知見した。
本発明の空気清浄装置は、かかる知見に基づきなされたもので、請求項１記載の通り、除塵フィルタと光触媒ユニットとを含む空気清浄装置であって、前記光触媒ユニットを実質的にボロンを含有しない通気性光触媒体で構成するようにしたことを特徴とする。
また、請求項２記載の空気清浄装置は、請求項１記載の空気清浄装置において、前記通気性光触媒体は、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発光分光法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）で分析した場合のボロン含有量が１００μｇ／ｇ以下で、且つ、ＢＥＴ一点法で測定した場合の比表面積が１０ｍ２／ｇ以下であることを特徴とする。
また、請求項３記載の空気清浄装置は、請求項１に記載の空気清浄装置において、前記通気性光触媒体は、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発生分光法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）で分析した場合のボロン含有量が１０μｇ／ｇ以下であることを特徴とする。
また、請求項４記載の空気清浄装置は、請求項１乃至３の何れかに記載の空気清浄装置において、前記通気性光触媒体は、シート状に形成されたものであることを特徴とする。
また、請求項５記載の空気清浄装置は、請求項４に記載の空気清浄装置において、前記シート状に形成された通気性光触媒体は、気流の通過方向に互いに離間状態で複数枚を積層したものであることを特徴とする。
また、請求項６記載の空気清浄装置は、請求項４又は５に記載の空気清浄装置において、前記実質的にボロンを含有しないシート状に形成された通気性光触媒体は、実質的にボロンを含有しないガラスクロス等のガラス繊維成形品に光触媒を坦持させたものであることを特徴とする。
また、請求項７記載の空気清浄装置は、請求項１乃至６の何れかに記載の空気清浄装置において、前記光触媒ユニットの上流側に、１次側除塵フィルタを設けたことを特徴とする。
また、本発明の光触媒ユニットは、請求項８記載の通り、ユニット本体内に、実質的にボロンを含有しない通気性光触媒体と、光源とを収容し、空気清浄装置のケーシングに載置自在としたことを特徴とする。
また、請求項９記載の光触媒ユニットは、請求項８記載の光触媒ユニットにおいて、前記通気性光触媒体は、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発光分光法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）で分析した場合のボロン含有量が１００μｇ／ｇ以下で、且つ、ＢＥＴ一点法で測定した場合の比表面積が１０ｍ２／ｇ以下であることを特徴とする。
また、請求項１０記載の光触媒ユニットは、請求項８に記載の光触媒ユニットにおいて、前記通気性光触媒体は、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発生分光法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）で分析した場合のボロン含有量が１０μｇ／ｇ以下であることを特徴とする。
また、請求項１１記載の光触媒ユニットは、請求項８乃至１０の何れかに記載の光触媒ユニットにおいて、前記通気性光触媒体は、シート状に形成されたものであることを特徴とする。
また、請求項１２記載の光触媒ユニットは、請求項１１に記載の光触媒ユニットにおいて、前記シート状に形成された通気性光触媒体は、気流の通過方向に互いに離間状態で複数枚を積層したものであることを特徴とする。
また、請求項１３記載の光触媒ユニットは、請求項１１又は１２に記載の光触媒ユニットにおいて、前記実質的にボロンを含有しないシート状に形成された通気性光触媒体は、実質的にボロンを含有しないガラスクロス等のガラス繊維成形品に光触媒を坦持させたものであることを特徴とする。
また、請求項１４記載の光触媒ユニットは、請求項８乃至１３の何れかに記載の光触媒ユニットにおいて、前記ユニット本体の上流側に１次側除塵フィルタを設けたことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の空気清浄装置は、例えば、ファンフィルタユニットなど、少なくとも除塵フィルタと光触媒ユニットとを含む空気清浄装置であれば、特にその種類や構成は限定されるものではない。また、既存のクリーンルームとその空調設備、ミニエンバイロメント等の局所制御空間、クリーンベンチ、エアシャワー装置、パスボックス、クリーントンネル、クリーンストッカ、クリーンブース、クリーンセル（清浄空気吹出装置）等の空気清浄設備や装置に前記光触媒ユニットを組み込んで構成する場合も本発明の空気清浄装置として含まれるものである。
【０００６】
前記除塵フィルタとしては、実質的にボロンを含有しないのであれば、ＵＬＰＡフィルタ、ＨＥＰＡフィルタ、中性能エアフィルタ、粗塵用エアフィルタ等、所望の清浄度に応じ、任意のフィルタが使用される。
【０００７】
前記光触媒ユニットに用いる光源としては、紫外線ランプ、低圧水銀灯、殺菌灯、ブラックライト蛍光灯等が用いられるが、その内、低波長２５４ｎｍの殺菌灯は、光触媒への有効照射光量が強くでき、光触媒作用が強くなることや、オゾンレスであることから好ましい。特に、医療、薬品、食品などバイオロジカル分野においては、殺菌灯と光触媒の併用は除菌効果が高いことから好ましい。さらに、クリーンルームにおいて、菌や微生物の除去にも対応でき、殺菌灯の使用が好ましい。
【０００８】
前記光触媒としては、光照射により励起され、ガス状汚染物質を分解できるものであればいずれでもよい。酸化チタンや酸化亜鉛など、数多くのものが提案されているが、分解効率や、安全性、安定度の点から酸化チタンが好ましい。この酸化チタンは、ルチル型、アナターゼ型あるいはこれらの共存型のいずれでもかまわないが、低エネルギの光を反応させるには、ルチル型が適しており、また、反応の活性を高めるには、アナターゼ型が適している。また、前記光触媒に、Ｐｔ、Ａｇ、Ｐｄ、ＲｕＯ２、Ｃｏ３Ｏ４の添加がガス状汚染物質の分解が促進されるので好ましい。
【０００９】
前記光触媒体の形状は、クロス状、ハニカム状、ペーパ状、ビーズ／粒子の充填層、多孔体状等があり、通気性を実現できるものであれば、いかなるものでも構わないが、光触媒ユニットの増設により圧損上昇を低く抑えられ、且つ紫外線の漏洩が無く各種ガス状汚染物質の分解が安全に行われることから、１０〜５０％の開口率を有する網目状基材に光触媒を固定させてなる通気性シートとすることが好ましい。前記開口率が１０％未満になると、光透過性が低下することに加え、通気性も悪くなり、光触媒ユニットの圧損が大きくなる恐れがあり、開口率５０％を超えると、光触媒の効果が低減することに加え、紫外線が光触媒ユニットから外部へ漏洩し光触媒ユニットの安全性が問題となる。
【００１０】
何れにしても、光触媒ユニットを構成する光触媒体は、実質的にボロンを含有しないことが必要である。ここでいう実質的にボロンを含有しないこととは、材料製造時にボロンを組成成分として故意に添加しないこと、具体的には、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発光分光法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）で分析した場合のボロン含有量が１００μｇ／ｇ以下で、且つ、ＢＥＴ一点法で測定した場合の比表面積が１０ｍ２／ｇ以下であること、或いは、フッ酸分解・蒸発乾固−アルカリ溶融抽出後、高周波誘導結合プラズマ発生分光法（ＩＣＰ−ＡＥＳ）で分析した場合のボロン含有量が１０μｇ／ｇ以下であることをいう。
【００１１】
また、前記光触媒体と被処理ガスとの接触面積を増大し、通気時の圧力損失を低く抑えるために、前記実質的にボロンを含有しない通気性シート状光触媒体は、ボロンを含有しないガラス繊維成形品（例えばガラスクロス）に光触媒を坦持させたものであることが好ましい。詳しく言えば、ボロンを含有しないガラスクロス等のガラス繊維成形品としては、Ｒガラス、Ｓガラス、Ｔガラス、Ｕガラス、石英ガラス等材料製造時ボロンを組成成分として故意に添加していないガラス繊維からなるものであれば、何れのものでも構わないが、経済性などから、Ｒガラス、Ｓガラスを用いることが好ましい。
また、光触媒体の加熱再生の可能性から言えば、光触媒自体は加熱再生が容易であることから、材料製造時ボロンを組成成分として故意に添加していないものであれば、ボロンの発生が無い上に耐熱性も高く、加熱再生光触媒体の基材への使用が好ましい。
【００１２】
また、ガス状汚染物質の吸着機能の点からは、光触媒体表面が多孔質化されたものの使用が好ましいが、比表面積が大きくなると、ボロンの発生がしやすくなるので、判断の目安としては、ＢＥＴ一点法で測定した場合の比表面積が１０ｍ２／ｇ以下であることが好ましい。
尚、前記光触媒体のボロン含有量が１０μｇ／ｇ以下である場合には、前記ＢＥＴ一点法で測定した場合の比表面積は特に考慮する必要がなくなる。
【００１３】
また、前記光触媒ユニットの有機ガス除去効果を高める観点から、光触媒ユニットを構成する光触媒体は、通気性シートの形状に構成し、これらを複数枚、離間状態に積層して配置することが好ましい。ここでいう離間状態とは、通気性シート状光触媒体の大部分が接することなく、好ましくは１〜１０ｍｍ程度の間隔を有するような積層状態をいうものである。
【００１４】
また、前記光触媒ユニットを長寿命化する観点から、前記光触媒ユニットの上流側に、１次側除塵フィルタを設けることが好ましい。
前記１次側除塵フィルタとしては、ボロンを含有しないのであれば、粗塵用エアフィルタ、中性能エアフィルタ、ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等のフィルタが使用される。
【００１５】
次に、図面に基づき本発明空気清浄装置の一実施の形態につき、説明する。
図１は、本発明の光触媒ユニット１０を備えたファンフィルタユニット３０を示すもので、シロッコファンからなるファン３２を備えた外形寸法が５７３ｍｍ×１１７３ｍｍ×２６０ｍｍのファンユニット３１の空気吹き出し口３３に５７０ｍｍ×１１７０ｍｍ×７５ｍｍのＵＬＰＡフィルタからなる除塵フィルタ３５を備え、ファンユニット３１のファン３２で吸引された空気が除塵フィルタ３５で清浄化され、清浄空気として下方に吹き出されるようになっている。
【００１６】
また、ファンユニット３１の天井部３４には、ケミカルフィルタに代え、光触媒ユニット１０が載置固定されている。
この光触媒ユニット１０の詳細を説明すれば、図３乃至図８に示すように、下方から順に、ダミーボックス１１と、触媒ボックス１２と、光源ボックス１３と、触媒ボックス１２とが、４段に積層され、互いにキャッチクリップ１４で連結自在となっている。尚、図中１５は取っ手を示す。
【００１７】
ダミーボックス１１はファンフィルタユニット３０のファン３２の収容空間を確保するために用いられるもので、このような空間を特に必要としない場合には、省略することもできる。
【００１８】
触媒ボックス１２，１２間に介装される光源ボックス１３内には、光源１３ａとして、波長２５４ｎｍの紫外線ランプが４本並行に等間隔に配列されている。
尚、図略の安定器やグローランプなどの前記光源１３ａについての電気補助系統はファンフィルタユニット３０の天井部３４に設けた電気ボックス３６内に収容するようにした。
【００１９】
前記各触媒ボックス１２は、後記詳述する触媒ホルダー２０を１２個備えるもので、図面で上下方向に３個ずつ、左右方向４列の配置とされている。そして各列毎に、ガイドレール１２ａが左右両側に設けられており、触媒ホルダー２０はこのガイドレール１２ａに案内されて、シール剤を用いることなくメカニカルシールされた状態で触媒ボックス内１２内に収容されることとなる。尚、触媒ホルダー２０を触媒ボックス１２内に収容したり、取り出したりする際には、上側のガイドレール１２ａを固定しているビス１２ｂを弛めて、ガイドレール１２ａの一部を取り外すことで、簡単に行える。
【００２０】
前記触媒ホルダー２０は、図７及び図８に詳細を示したとおり、枠体２０ａの一部をビス２０ｂで取り外し自在とされ、また、枠体２０ａ内にはガイドレール２０ｃが設けられ、アナターゼ型の酸化チタンからなる光触媒を繊維径９μｍのＳガラス繊維（米国ＡＧＹ製Ｓガラス繊維）からなる開口率２５％のガラスクロスに５質量％坦持させてなる１９５ｍｍ×１４５ｍｍ×０．６ｍｍの通気性シート状光触媒体２０ｄを４枚、ガイドレール２０ｃに案内されて、シール剤を用いることなくメカニカルシールされた状態で触媒ホルダー２０内に収容できるようになっている。
【００２１】
かくして、図４及び図５に示すように、下方から順に、ダミーボックス１１と、触媒ボックス１２と、光源ボックス１３と、触媒ボックス１２とをキャッチクリップ１４で留めて、４段に積層した際には、通気性シート状光触媒体２０ｄが光源１３ａを挟んで上下方向に４層ずつ、それぞれ気流の通過方向に離間状態で積層配置されることになる。
そして、このように一体化された外形寸法５４３ｍｍ×８４３ｍｍ×２４０ｍｍの光触媒ユニット１０は、ファンフィルタユニット３０の天井部３４に載置して固定するだけで、簡単に取り付けることができる。また、従来のケミカルフィルタを備えたファンフィルタユニットのケミカルフィルタと前記光触媒ユニットとを交換し、本発明の光触媒ユニットを備えた空気清浄装置に組み立てることもできる。
【００２２】
図２は、本発明空気清浄装置と光触媒ユニットの変形例を示すもので、上記した光触媒ユニット１０の気流の通過方向上流側にも５４３ｍｍ×８４３ｍｍ×７５ｍｍの中性能エアフィルタからなる１次側除塵フィルタ３７を設けたものである。このように、気流の通過方向上流側に１次側除塵フィルタ３７を設けることにより、光触媒の表面への塵埃付着が軽減され、光触媒の寿命が長寿命化する。
【００２３】
前記空気清浄装置の光触媒ユニットは、空調系に設置し、ファンが駆動されると、空気が気流方向に積層された通気性シート状光触媒体を通過して流れることになる。この空気が通気性シート状光触媒体に接触し、空気中の有機ガス等の汚染物質が通気性シート状光触媒体に一旦捕捉され、更に坦持された光触媒によって分解されて無害化され、その後、空気は下流の除塵フィルタによって更に清浄化される。
【００２４】
図９及び図１０は、本発明の空気清浄装置と光触媒ユニットの他の変形例を示すものである。本変形例の空気清浄装置は、前記変形例の空気清浄装置のシロッコファン３２を備えるファンフィルタユニット３０に代えて、軸流ファン５１を備えた薄型のファンフィルタユニット５０の上に光触媒ユニット４０を載置したものである。
【００２５】
前記光触媒ユニット４０の本体ケーシング４１内の中央には光源４３として、波長２５４ｎｍの紫外線ランプを光触媒ユニット本体ケーシング４１の奥行き方向に３本平行に等間隔で配列するようにしている。また、前記光源４３の上下には、触媒ホルダー４２、４２を配置している。尚、安定器４４、４４、４４や具ローランプ４５、４５、４５などの光源４３についての電気補助系統は光触媒ユニット４０の本体ケーシング４１の背面に設けた電気ボックス４６内に収容するようにしている。
【００２６】
前記触媒ホルダー４２は、図１１及び図１２に示すように、枠体４２ａの一辺をビス４２ｂで取り外し自在とされ、この中に、断面コ字状の枠部材４２ｃと通気性シート状光触媒体４２ｄとをそれぞれ４枚ずつ順に交互に重ね合わせたものを、枠形状の金属製のシール部材４２ｅ及び保護用ラス網４２ｆで挟持するとともに収容されている。このように、本体ケーシング４１の開口部となる側に、枠形状の金属製のシール部材４２ｅを収容することによりシール剤を用いることなくメカニカルシールされた状態で触媒ホルダー４２内に収容できるようになっている。尚、前記通気性シート状光触媒体４２ｄは、アナターゼ型の酸化チタンからなる光触媒を繊維径９μｍのＳガラス繊維（米国ＡＧＹ製　Ｓガラス繊維）からなる開口率２５％のガラスクロスに５質量％坦持させたものを使用している。
【００２７】
このように、本体ケーシング４１内の中央に光源４３を配置し、その上下に触媒ホルダー４２、４２を設けるようにしているので、通気性シート状光触媒体４２ｄが光源４３を挟んで上下方向に４層ずつ、それぞれ気流の通過方向に離間状態で積層配置されることになる。
【００２８】
【実施例】
以下、本発明の空気清浄装置の具体的な実施例を比較例と共に説明する。
（実施例１）
前記図１に示す空気清浄装置の光触媒ユニットの通気性シート状光触媒体を、光源ボックスを挟んで配置される上下の触媒ボックス内に光源に近接させて１２枚ずつ１層だけ、即ち、上下に２層、合計で２４枚収容し、これを実施例１とした。
【００２９】
（実施例２）
前記図２に示す空気清浄装置の光触媒ユニットの通気性シート状光触媒体を、光源ボックスを挟んで配置される上下の触媒ボックス内に光源に近接させて１２枚ずつ１層だけ、即ち、上下に２層、合計で２４枚収容し、これを実施例２とした。
【００３０】
（実施例３）
前記図２に示す空気清浄装置の光触媒ユニットの通気性シート状光触媒体を、光源ボックスを挟んで配置される上下の触媒ボックス内に１２枚ずつ４層、即ち、上下に８層、合計で９６枚収容し、これを実施例３とした。
【００３１】
実施例１から３記載の通気性シート状光触媒体は、アナターゼ型の酸化チタンからなる光触媒を繊維径９μｍの米国ＡＧＹ製Ｓガラス繊維からなる開口率２５％のガラスクロスに５質量％坦持させたものを使用している。
【００３２】
（実施例４）
実施例１の通気性シート状光触媒体に代え、アナターゼ型の酸化チタンからなる光触媒を、繊維径９μｍのＲガラス繊維からなる開口率２５％のガラスクロスに５質量％坦持したものに交換し、これを実施例４とした。
【００３３】
（比較例１）
実施例１の通気性シート状光触媒体に代え、アナターゼ型の酸化チタンからなる光触媒を繊維径９μｍのＥガラス繊維からなる開口率２５％のガラスクロス（日東紡績製）に５質量％坦持させたものに交換し、これを比較例１とした。
【００３４】
（比較例２）
実施例２の光触媒ユニットに代え、５００ｍｍ×８００ｍｍ×１２０ｍｍのケミカルフィルタを、５４３ｍｍ×８４３ｍｍ×１２０ｍｍのダミーボックス上に取り付けたものに交換し、これを比較例２とした。
【００３５】
（比較例３）
前記図１に示す空気清浄装置の光触媒ユニットの通気性シート状光触媒体を、光源ボックスを挟んで配置される下方の触媒ボックス内のみに光源に近接させて、１層だけ、即ち、合計で１２枚収容し、これを比較例３とした。
【００３６】
（比較例４）
前記図１に示す空気清浄装置の光触媒ユニットの通気性シート状光触媒体を、光源ボックスを挟んで配置される下方の触媒ボックス内のみに光源に近接させて、１２枚ずつ２層を密着させて１層にし、即ち、１層で、合計で２４枚収容し、これを比較例４とした。
【００３７】
（比較例５）
実施例１の通気性シート状光触媒体に代え、アナターゼ型の酸化チタンからなる光触媒を繊維径９μｍの高珪酸ガラス繊維からなる開口率２５％の高珪酸ガラスクロス（日本無機製　シリグラス）に５質量％坦持させたものに交換し、これを比較例５とした。
【００３８】
次に、このようにして得られた実施例１乃至４並びに比較例１乃至５の各空気清浄装置について、下記の特性につき試験・評価した。
（ウェーハ表面ＤＯＰ吸着量測定）
上記各空気清浄装置を、６００ｍ３で空気循環率９５％の実験用クリーンルームの空調系に据え付け、ファン風量２０ｍ３／分で運転した。そして、直径２０ｃｍ、厚み６００μｍの円盤型シリコンウェーハ（通称８インチウェーハ）を不活性ガス２８０℃×３時間で加熱清浄化処理した後、前記クリーンルーム雰囲気内及び前記空気清浄装置の直下に２４時間放置し、ウェーハ加熱脱着／ＧＣ−ＭＳ法により、ウェーハ表面のＤＯＰ吸着量を測定し、その結果を表１に示した。尚、空気清浄装置運転前のウェーハ表面のＤＯＰ吸着量は、１．３３ｎｇ／ｃｍ２であった。
【００３９】
（圧力損失）
前記運転中の圧力損失をＪＩＳＢ９９０８所定の測定方法によって測定した。
【００４０】
（寿命評価）
寿命Ａ
前記ＤＯＰ吸着量測定における空気清浄装置直下でのウェーハ表面のＤＯＰ吸着量を０．２ｎｇ／ｃｍ２未満に維持できる時間を寿命Ａとして評価した。
寿命Ｂ
前記ＤＯＰ吸着量測定におけるクリーンルーム雰囲気内でのウェーハ表面のＤＯＰ吸着量を０．２ｎｇ／ｃｍ２未満に維持できる時間を寿命Ｂとして評価した。
尚、ウェーハ表面のＤＯＰ吸着量が０．２ｎｇ／ｃｍ２未満であると、ゲート酸化膜の絶縁破壊などが起こらないレベルの目安、即ち、ウェーハに不良が生じないレベルの目安とされている。
【００４１】
（ワンパスによるＤＯＰ吸着量コントロール性）
次に、前記ＤＯＰの吸着量測定において、空気清浄装置をワンパスで運転した際のウェーハ表面のＤＯＰ吸着量を測定し、空気清浄装置直下での吸着量を０．２ｎｇ／ｃｍ２未満に制御できる場合を○、制御できない場合を×として表１に示した。
【００４２】
（循環運転によるＤＯＰ吸着量コントロール性）
次に、前記ＤＯＰの吸着量測定において、クリーンルーム内に清浄な外気を導入しながら空気清浄装置を連続循環運転した際のウェーハ表面のＤＯＰ吸着量を測定し、クリーンルーム雰囲気内での吸着量を０．２ｎｇ／ｃｍ２未満に制御できる場合を○、制御できない場合を×として表１に示した。
【００４３】
（メンテナンスフリー性）
光触媒を寿命がきたら交換と廃棄が必要な場合を×、不活性ガス中で１８０℃、１時間の加熱再生処理でメンテナンス可能な場合を△、そのような加熱再生処理を必要とせずメンテナンスフリーが可能な場合を○として評価し、表１に示した。
【００４４】
【表１】
2004132620.tif 000003
【００４５】
前記表１から明らかなように、本発明実施例の場合、空気中のボロン濃度を増加させない状態で、従来のケミカルフィルタと同程度ないしは１０％ダウン程度のＤＯＰの吸着性を圧力損失を小さくして達成でき、ケミカルフィルタの代替として利用できることが明らかである。しかも、本発明実施例の場合、ケミカルフィルタに比べて、寿命が長く、しかも、メンテナンス性にも優れることが確認できた。
【００４６】
【発明の効果】
このように、本発明の空気清浄装置によれば、空気中のボロン濃度を増加させない状態で、従来のケミカルフィルタの代替として光触媒ユニットを用いることができ、長寿命で、メンテナンス性に優れ、しかも、吸着物質の離脱による飛散の恐れがない、空気清浄装置を提供できる。また、本発明の光触媒ユニットによれば、ファンフィルタユニット等に簡単に取り付けることができ、また、既設のケミカルフィルタと取り替え自在であるため、前記空気清浄装置を簡単に構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明空気清浄装置の正面図
【図２】本発明空気清浄装置の変形例の正面図
【図３】本発明光触媒ユニットの平面図
【図４】同正面図
【図５】図３のＶ−Ｖ線断面図
【図６】図５の要部拡大断面図
【図７】本発明光触媒ユニットに装着される触媒ホルダーの斜視図
【図８】同分解状態で示した斜視図
【図９】（ａ）本発明空気清浄装置の変形例の斜視図（ｂ）同ＩＸ−ＩＸ線断面図
【図１０】図９の光触媒ユニットの同Ｘ−Ｘ線断面図
【図１１】本発明光触媒ユニットに装着される触媒ホルダーの斜視図
【図１２】同分解状態で示した斜視図
【符号の説明】
１０　光触媒ユニット
１１　ダミーボックス
１２　触媒ボックス
１２ａガイドレール
１２ｂビス
１３　光源ボックス
１３ａ光源
１４　キャッチクリップ
１５　取っ手
２０　触媒ホルダー
２０ａ枠体
２０ｂビス
２０ｃガイドレール
２０ｄ通気性シート状光触媒体
３０　ファンフィルタユニット
３１　ファンユニット
３２　ファン
３３　空気吹き出し口
３４　天井部
３５　除塵フィルタ
３６　電気ボックス
３７　１次側除塵フィルタ
４０　光触媒ユニット
４１　光触媒ユニット本体ケーシング
４２　触媒ボックス
４２ａ枠体
４２ｂビス
４２ｃ枠部材
４２ｄ通気性シート状光触媒体
４２ｅシール部材
４２ｆラス網
４３　光源
４４　安定器
４５　グローランプ
４６　電気ボックス
５０　ＰＦＴユニット
５１　軸流ファン
５２　ケミカルフィルタ
５４　ＰＦＴユニットの天井部
６０　除塵フィルタ
【図１】
2004132620.tif 000004
【図２】
2004132620.tif 000005
【図３】
2004132620.tif 000006
【図４】
2004132620.tif 000007
【図５】
2004132620.tif 000008
【図６】
2004132620.tif 000009
【図７】
2004132620.tif 000010
【図８】
2004132620.tif 000011
【図９】
2004132620.tif 000012
【図１０】
2004132620.tif 000013
【図１１】
2004132620.tif 000014
【図１２】
2004132620.tif 000015