(57)【要約】【課題】高精度な浮上量保証が可能で、且つ浮上選別を実施することなく検査用ヘッドが使用可能で、且つ検査時間に影響が出る浮上量調整を回避可能な突起検査用ヘッドを提供する。【解決手段】検査用ヘッドのスライダに熱膨張係数が異なる材料を使用し、発熱による熱膨張係数差による熱膨張突出（サーマルプロトリュージョン）を生じる熱式浮上量調整素子を設けることにより、浮上量の設定が熱膨張突出でカバーできる範囲で任意に設定可能となり、検査用ヘッドのイニシャルな浮上ばらつきが熱式浮上量調整素子により調整可能となった。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダを有して回転する磁気記録媒体上に浮上させた状態で磁気記録媒体の突起検査を行う突起検査用ヘッドにおいて、
温度変化により該検査用ヘッドの浮上量を変化させる熱式浮上量調整素子が該ヘッドのスライダに形成されていることを特徴とする磁気記録媒体の突起検査用ヘッド。
【請求項２】
前記熱式浮上量可変素子は、該検査用ヘッドの浮上最下点付近に、少なくとも熱膨張係数が異なる材料を近接させた部位として形成されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の突起検査用ヘッド。
【請求項３】
前記熱式浮上量可変素子は、少なくとも、加熱部と加熱による体積が増加する体積可変部とを含むことを特徴とする請求項１あるいは２に記載の磁気記録媒体の突起検査用ヘッド。
【請求項４】
磁気記録媒体を回転させ、磁気記録媒体上に検査用ヘッドを浮上させた状態で磁気記録媒体の突起検査を行う突起検査方法において、
前記突起検査用ヘッドとして、請求項１〜３のいずれかに記載のヘッドを用いることを特徴とする磁気記録媒体の突起検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高記録密度磁気記録に好適な磁気記録媒体に係わり、特に磁気記録媒体に存在する浮上阻害要因となる突起欠陥個所の有無を検出する検査方法及び検査用ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、コンピュータ周辺機器をはじめ情報家電の記憶装置としての磁気ディスク装置には、高記録密度磁気記録の実現による大容量化に対する要求が高まっている。磁気ディスク装置は、磁気ヘッド及び磁気記録媒体等から構成され、磁気記録媒体は高速回転し、磁気ヘッドはサブミクロンオーダの隙間（スペーシング）で磁気記録媒体表面上を高速浮上もしくは走行している。
【０００３】
磁気ディスク装置の記録密度はｂ／ｉｎ２（ｂｉｔｓ  ｐｅｒ  ｓｑｕａｒｅ  ｉｎｃｈ）で記述されることが一般的である。ｂ／ｉｎ２は１平方インチ当りのビット数で、磁気記録媒体の円周方向に対する記録密度である線記録密度と、磁気記録媒体のトラック（半径）方向に対する記録密度であるトラック密度の積である。１ｂ／ｉｎ２は６４５．２ｂ／ｍｍ２（ｂｉｔｓ  ｐｅｒ  ｓｑｕａｒｅ  ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ）に相当する。線記録密度はＢＰＩ（ｂｉｔｓ  ｐｅｒ  ｉｎｃｈ）やＦＣＩ（ｆｌｕｘ  ｃｈａｎｇｅｓ  ｐｅｒ  ｉｎｃｈ）で記述される。ＢＰＩは１インチ当りのビット数、ＦＣＩは１インチ当りの磁束反転数である。
【０００４】
ＢＰＩとＦＣＩの関係は符号変換方式により異なるが、例えば最近主流である１６−１７変換方式では、ＦＣＩの１６／１７倍がＢＰＩとなる。１ＢＰＩは２５．４ＢＰＭ（ｂｉｔｓ  ｐｅｒ  ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ）に相当し、１ＦＣＩは２５．４ＦＣＭ（ｆｌｕｘ  ｃｈａｎｇｅｓ  ｐｅｒ  ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ）に相当する。トラック密度はＴＰＩ（ｔｒａｃｋｓ  ｐｅｒｉｎｃｈ）で記述される。ＴＰＩは１インチ当りに存在するトラック数である。１ＴＰＩは２５．４ＴＰＭ（ｔｒａｃｋｓ  ｐｅｒ  ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ）に相当する。磁気ディスク装置の高記録密度磁気記録化は、線記録密度とトラック密度の増加により実現されてきた。
【０００５】
磁気ディスク装置に使用される磁気記録媒体は、主にＮｉ−Ｐメッキを施したＡｌ合金基板、もしくは非磁性の中間膜を施したガラス基板などの非磁性基板上に、蒸着法やスパッタ法などで、Ｃｒなどの下地膜を介して、主にＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＮｉＣｒ、ＣｏＣｒＴａなどの一軸磁気異方性を有するＣｏ基合金磁性膜を形成し、更に耐摺動性、耐腐食性に優れた保護膜及び潤滑膜を構成した金属薄膜型磁気記録媒体が用いられている。
【０００６】
磁気ディスク装置で更なる高記録密度磁気記録を実現する一手法として、磁気ディスク装置に使用される磁気ヘッドと磁気記録媒体のスペーシングを低減する策がある。磁気記録媒体に記録される磁化遷移領域は、磁気ヘッドの素子部から発生している磁束の広がりに依存する。磁束の広がりは、磁気ヘッドと磁気記録媒体とのスペーシングが近くなるほど縮小する。このため磁気ヘッドと磁気記録媒体のスペーシングを低減することにより、磁気記録媒体に記録される磁化遷移領域が微細化され、高記録密度磁気記録が可能となる。
【０００７】
従来の磁気ディスク装置は、磁気ヘッドが常に磁気記録媒体上に存在し、非稼動時には磁気ヘッドが磁気記録媒体上に静止するＣｏｎｔａｃｔ  Ｓｔａｒｔ  Ｓｔｏｐ（ＣＳＳ）方式が採用されていた。しかし最近の磁気ディスク装置では、耐衝撃性とスペーシング低減を理由に、非稼動時に磁気ヘッドが磁気記録媒体上から退避するＬｏａｄ／Ｕｎｌｏａｄ方式が採用されるようになっている。
【０００８】
Ｌｏａｄ／Ｕｎｌｏａｄ方式では、ＣＳＳ方式のように磁気記録媒体上に磁気ヘッドが静止することがないため、磁気記録媒体の表面に磁気ヘッドの吸着防止のための表面形状が必要ない。
【０００９】
このＬｏａｄ／Ｕｎｌｏａｄ方式の採用により、磁気記録媒体及び前記磁気記録媒体に使用する磁気記録媒体用ガラス基板に要求される性能として、表面に磁気ヘッドの浮上を阻害する突起が存在せず、表面形状が平滑であればあるほど、磁気ヘッドと磁気記録媒体のスペーシング低減に有利であるという認識が定着化している。
【００１０】
スペーシングを低減するためには、磁気ヘッドが磁気記録媒体上で、安定して浮上もしくは走行している必要がある。スペーシングが狭小化した場合、磁気ヘッドが磁気記録媒体上で安定に浮上しない場合には、磁気ディスク装置において磁気ヘッドが突起に衝突し磁気ヘッド自身の位置がずれる現象や、振動によるランナウトという現象として不具合が生じる。このため磁気記録媒体に要求される特性として、スペーシング低減のため浮上阻害要因となる欠陥個所が存在しないことが望ましい。しかし実際には磁気ディスクの製造工程において、様々な要因から欠陥が発生する可能性があるため、製造後の磁気記録媒体は、浮上特性を検査する必要がある。
【００１１】
磁気記録媒体の浮上特性検査としては、磁気ディスクに要求される所望の浮上量で、検出素子を備えた検査用ヘッドを浮上させ、浮上阻害要因となる欠陥が磁気ディスクに存在した場合に、欠陥と検出素子の接触により生じる信号を検出することで、欠陥の有無を判定する方法が用いられている。検出素子としては、例えば音響効果素子もしくはピエゾ素子のような衝撃音波（アコースティックエミッション波、以下ＡＥ波）を電気エネルギーに変換する素子を検査用ヘッドのスライダに装着し、検査用ヘッドと欠陥が接触した際に生じる衝撃音波を電気エネルギーに変換することで欠陥検出を実現している。
【００１２】
また他には、例えば特開平８−１６７１２１（特許文献１）に開示されているように、磁気ディスク装置に使用されている磁気ヘッドと同じように、磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗素子（Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ  Ｅｌｅｍｅｎｔ、以下ＭＲと称する）を構成した薄膜磁気ヘッドを検査用ヘッドとして用い、検査用ヘッドと欠陥が接触した際に生じる接触熱による磁気抵抗素子の抵抗変化（サーマルアスピリティ）を検出することで、欠陥検出を実現している。
【００１３】
前記のように、磁気記録媒体上に存在する浮上阻害要因となる欠陥との接触を検出素子により感知する浮上特性検査では、検査用ヘッドの浮上量を磁気ディスクに要求される所望の浮上特性を満足するような浮上量に制御することが重要である。磁気記録媒体の内周部から外周部にかけて同一回転数で検査用ヘッドを浮上させた場合、内周部と外周部では周速が異なる。このため検査ヘッドの浮上量が周速によって変化が小さいヘッドスライダ形状を採用し制御性を向上させたり、他には例えば特開平５−２９９６３（特許文献２）に開示されているように、検査する磁気記録媒体の回転数を段階的に変化させることにより、検査用ヘッドの浮上量を所望の浮上量に制御する方法が提案されている。
【００１４】
また、磁気ディスク装置を装置稼動時の温度よりも高い温度環境となるよう加熱した状態で回転する磁気ディスク上の所定摺動領域にヘッドスライダを摺動させて、該ヘッドスライダの記録媒体対向面に露出するヘッド素子保護膜を平坦面に研磨する方法が特開平５−３６０４７（特許文献３）に開示されている。しかし、本開示例は磁気記録媒体の突起検査用ヘッドに関する技術を開示したものではない。
【００１５】
【特許文献１】
「特開平８−１６７１２１号公報」
【特許文献２】
「特開平５−２９９９６３号公報」
【特許文献３】
「特開平５−３６０４７号公報」
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来技術により、磁気記録媒体に存在する浮上阻害要因となる欠陥個所の有無を検出する検査が実施されてきた。ところが、更なる高記録密度磁気記録を達成するためスペーシングの狭小化が加速されており、このため磁気記録媒体の浮上特性の保証に関して、今まで以上に高精度な保証が要求されている。
【００１７】
従来の技術では、検査用ヘッドの浮上量の周速依存性が小さいスライダ形状の採用や、検査回転数の段階的設定により、検査用ヘッドの浮上量を制御することで浮上保証の精度を確保していたが、検査用ヘッド個体差による浮上量のばらつきが依然として問題となっていた。検査用ヘッド個体差による浮上量のばらつきを抑制するため、例えば所望浮上量となる検査用ヘッドのみを選別し使用する方法が採られた。しかし検査用ヘッドの浮上量産別は、使用可能な検査用ヘッド員数の減少から、検査コストが増加するという問題が生じた。
【００１８】
他の解決策として、検査用ヘッド個体差による浮上量のばらつきを抑制するため、検査回転数を検査用ヘッド個別に設定する方法が採られた。この方法ではほとんどの検査用ヘッドが使用可能であるが、検査用ヘッド毎に検査回転数が異なるため、検査時間にばらつきが生じてしまい、回転数が低い検査用ヘッドでは検査時間が増加するという問題が生じた。
【００１９】
また磁気ディスク装置が複数の機種である場合、機種毎に所望とする浮上量が異なるケースが存在する。磁気ディスク装置の機種別に検査用ヘッドを個別に準備したり、検査用ヘッドの浮上選別実施により、所望される浮上量別に検査用ヘッドを確保するのは、必要となる検査用ヘッドの員数が膨大となり、検査コストの増加につながる。一方、同一の検査用ヘッドを用いて異なった所望浮上量を設定するには、回転数の変更等の手法が取られるが、ヘッド浮上量の個体差のばらつきが大きい場合、高精度な浮上保証が望めないという問題が残る。
【００２０】
本発明の目的は、スペーシングの狭小化に対して高精度な浮上量保証での対応が可能で、且つ検査用ヘッドの浮上選別等を実施することなくほとんどの検査用ヘッドが使用可能となり、且つ検査用ヘッド毎に回転数設定を変化させるような検査時間に影響が出る浮上量調整を回避可能な磁気記録媒体の浮上阻害要因となる欠陥検査方法及び検査用ヘッドを提供することにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、スライダを有して回転する磁気記録媒体上に浮上させた状態で磁気記録媒体の突起検査を行う突起検査用ヘッドにおいて、温度変化により該検査用ヘッドの浮上量を変化させる熱式浮上量可変素子が該ヘッドのスライダに形成されているようにし、該ヘッドを磁気記録媒体の突起検査に用いるようにした。
【００２２】
また、前記熱式浮上量可変素子は、該検査用ヘッドの浮上最下点付近に、少なくとも熱膨張係数が異なる材料を近接させた部位として形成され、加熱部と加熱による体積が増加する体積可変部とを含むようにした。
【００２３】
【発明の実施の形態】
まず、本発明の実施の形態の概要を述べる。本発明では、検査用ヘッドの浮上最下点付近に、少なくとも２種類以上の熱膨張係数が異なる材料を近接させた部位を形成した。この熱膨張係数が異なる材料を近接させた部位に熱を供給して、熱膨張係数差により一方の材料において体積の増加による熱膨張突出（サーマルプロトリュージョン）を生じさせた。この熱膨張突出により、検査用ヘッドの浮上最下点の浮上量が変化する。この少なくとも２種類以上の熱膨張係数が異なる材料を近接させた部位を、以下、熱式浮上量調整素子部と呼ぶ。
【００２４】
熱式浮上量調整素子部はその体積をもたらす熱の供給を行う部分を含んでおり、薄膜型磁気ヘッドに採用されているように、コイルのような線路を施し、電流の通電によりコイル抵抗損（銅損）やコイル渦電流損、磁気コアのヒステリシス損、磁気コア渦電流損等による発熱を利用するものである。
【００２５】
熱式浮上量調整素子の熱膨張突出量により検査用ヘッドの浮上最下点の浮上量を変化させるため、従来技術で問題となっていた検査回転数変化による浮上量制御のように検査時間が変わることが無く、検査時間に影響無く浮上量制御が可能となった。熱式浮上量調整素子は、使用する材料の組合せ、すなわち熱膨張係数差により熱膨張突出量の制御が可能である。また電流の通電量により、発熱の程度が制御可能であり、発熱量の制御により熱式浮上量調整素子の熱膨張突出量が制御可能である。従って従来技術では所望する浮上量の検査用ヘッドの選定が必要であったが、熱式浮上量調整素子により浮上量の設定が熱膨張突出でカバーできる範囲で任意に設定可能となる。
【００２６】
このため検査用ヘッドのイニシャルな浮上ばらつきが熱式浮上量調整素子により調整可能となるため、浮上選別等の実施することなくほとんどの検査用ヘッドが使用可能となった。更に、電流通電量の制御を行うことで、検査用ヘッドの浮上量が容易に変化可能なため、検査用ヘッド毎に回転数設定を変化させるような検査時間に影響が出る浮上量調整が回避可能となった。
【００２７】
以下、本発明の実施例について、図面を参照しさらに詳細に説明する。
＜実施例１＞
図１は本発明の突起検査用ヘッドの一実施例の形態のヘッドスライダ図である。スライダ１１のサイズはピコスライダとした。スライダ１１の材料はアルミナ（熱膨張係数７．５〜８．５［１０−６Ｋ−１］）を用いた。スライダ１１は、２レールとセンターパッドにより構成されるスライダ形状とした。このスライダ形状では、浮上最下点はセンターパッドの流出端寄りとなっている。スライダ１１の背面にはピエゾ素子１２が搭載されている。ピエゾ素子１２からは、検査用ヘッドスライダに欠陥が接触した際に生じる衝撃音波を電気エネルギーに変換し検出するための信号線１３が接続されている。
【００２８】
従来技術の突起検査用ヘッドは、スライダ１１、ピエゾ素子１２及び信号線１３により構成されていた。しかし本発明の突起検査用ヘッドには、浮上最下点近傍に熱的浮上量調整素子１４を形成した。熱的浮上量調整素子１４の材料はＣｕ（熱膨張係数１７〜１８［１０−６Ｋ−１］）を用いた。熱的浮上量調整素子１４は、コイル状部分を有し、電流の通電によりコイル抵抗損（銅損）やコイル渦電流損、磁気コアのヒステリシス損、磁気コア渦電流損等による発熱を利用した加熱が可能である。該熱式浮上量調整素子には電流供給線１５（Ｃｕ）が接続されている。
【００２９】
図２はヘッドスライダをサスペンションに組立てた一実施例の形態の検査用ヘッド図である。図１で詳細を説明したヘッドスライダ２１は、サスペンション２２に取付けられており、ピエゾ素子からの信号線と熱的浮上量調整素子への電流供給線の配線２３がまとめられている。検査用ヘッドの浮上量ばらつきを抑制するため、サスペンション２２の加重は、センターパッドの流出端寄りの浮上最下点での浮上量が１０ｎｍとなるように２．５ｇから３．５ｇの範囲で調整した。浮上量は、ザイゴ社製ペガサス２０００ＦＨＴ浮上測定機を用いて、測定周速を１５ｍ／ｓ、スキュー角０度の設定で測定した。
【００３０】
図３は本発明の一実施例の検査用ヘッドによる突起検出のモデル図である。検査用ヘッドのスライダ３１が、回転している磁気記録媒体３２上を浮上もしくは走行している。磁気記録媒体３２の表面に突起３３が存在する場合には、スライダ３１と突起３３が衝突した際に発生する衝撃音波を装着されたピエゾ素子が電気エネルギーに変換することで欠陥検出を実現している。本発明の一実施例では、検査用ヘッドの浮上量を８ｎｍとした。イニシャルの状態で、検査用ヘッドはヘッド組立て時に浮上量が１０ｎｍとなるように調整されているが、実際には浮上量のヘッド個体差が発生しており、数ｎｍのばらつきを持っている。
【００３１】
この数ｎｍのばらつきを補正するため、熱式浮上量調整素子３５に電流供給配線３４から電流を供給し、浮上量調整素子３５はこの電流の通電によるコイル抵抗損（銅損）やコイル渦電流損、磁気コアのヒステリシス損、磁気コア渦電流損等による発熱で、熱式浮上量調整素子３５とヘッドスライダ３１との熱膨張係数差（各々の熱膨張係数は上記）により、体積の増加による熱膨張突出（サーマルプロトリュージョン）を生じる。この熱膨張突出により、検査用ヘッドの浮上最下点の浮上量が変化する。電流供給配線３４を介して熱式浮上量調整素子３５に供給する電流量を調整することで、使用する突起検査用ヘッドの浮上量のばらつきを補正することが可能となる。
【００３２】
突起検査用ヘッドの浮上量のばらつきを補正は、あらかじめ突起高さが８ｎｍと概知であるバンプディスクを使用し、浮上量調整を実施した。浮上量調整は、まず突起検査用ヘッドを回転している磁気記録媒体上に浮上させ、周速を１５ｍ／ｓ、スキュー角０度の設定でバンプにヒットさせる。この状態である一定レベル範囲のピエゾ出力が得られた場合には、突起検査用ヘッドの浮上量が８ｎｍであることを意味する。ピエゾ出力が得られない、もしくはある一定レベル以下である場合には、突起検査用ヘッドの浮上量が高く８ｎｍ以上で、スライダと突起が衝突していないことを意味する。
【００３３】
その場合に、ある一定レベル範囲のピエゾ出力が得られるまで、電流供給配線３５を介して熱式浮上量調整素子３４に電流を供給し、熱膨張突出（サーマルプロトリュージョン）させることで浮上量調整を実施する。ここで、浮上量調整を実施する前に、ピエゾ出力がある一定レベル以上であることは、イニシャルの状態で検査用ヘッド浮上量が１０ｎｍとなるように調整されているためあり得ない。
【００３４】
図４に本発明の一実施例の熱式浮上量調整素子の熱膨張突出量と通電電流量の関係図、図５に熱膨張突出量とヘッド浮上量変化量の関係図を示す。図４から分かるように、通電電流量に比例して熱式浮上量調整素子の熱膨張突出量が増加し、熱膨張突出量の増加とともにヘッド浮上量変化量ヘッが負の量で増加、すなわちヘッド浮上量が低下している事が分かる。熱膨張突出量の測定には、デジタルインスツルメンツ社製走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）ナノスコープＩＩＩを用いた。測定範囲は５０μｍ×５０μｍ、スキャンライン数は２５６本、スキャン速度は１本／秒である。
【００３５】
図６は本発明の一実施例の検査用ヘッドを用いた検査方法及び検査設備の構成図である。図６に示すように検査設備は検査用ヘッド５１を、高速回転する磁気記録媒体５２上に浮上もしくは走行させる。検査用ヘッド５１と磁気記録媒体５２はスピンドル制御機構５３により制御される。検査用ヘッド５１からの検出信号は、突起検出機構５９として処理される増幅回路５４、フィルタ回路５５、スライス比較回路５６、検出回路５７及びこれらを制御するパーソナルコンピュータ５８により構成される。スピンドル制御機構５３はスピンドルモータとスピンドルモータを駆動する駆動回路と、磁気記録媒体５２の回転数、回転方向及び角度位置を検出するロータリーエンコーダ、検査用ヘッド５１を取付けるためのヘッド取付け部、磁気記録媒体５１との相対角度及び高さを設定するためのヘッド取付け機構、また検査用ヘッド５１を磁気記録媒体５２上で半径位置を変化させながら高速浮上もしくは走行させるための制御回路からなる。
【００３６】
突起検出機構５９において検査用ヘッド５１からの出力処理は、検査用ヘッド出力を増幅回路５４により増幅し、ノイズ除去等を目的としたフィルタ回路５５を通過させた後に、スライス比較回路５６で検査用ヘッド出力と定常時の電圧レベルを比較し、検出回路５７においてスライスレベルを超えた出力レベルのものを突起欠陥等の情報として検出する。
【００３７】
またスライスレベルはパーソナルコンピュータ５８により、スライス比較回路５６の設定を変更することにより変化可能である。スピンドル制御機構５３とパーソナルコンピュータ５８を連動して操作することにより、パーソナルコンピュータ５８において検査用ヘッド５１からの検出出力の大きさや時間変化のデータを蓄積し、突起等の高さ情報及び大きさを類推するような突起欠陥検査が可能となる。またパーソナルコンピュータ５８に熱式浮上量調整素子電流制御６０を連動することにより、突起検出機構５９の結果をフィードバックしながら、所望の浮上量となるように検査用ヘッド５１に供給する電流量を制御することが可能となる。
＜実施例２＞
図７は本発明の突起検査用ヘッドの一実施例の形態のヘッドスライダ図である。スライダ６１のサイズはピコスライダとした。スライダ６１の材料はアルミナを用いた。スライダ１１は、２レールとセンターパッドにより構成されるスライダ形状とした。このスライダ形状では、浮上最下点はセンターパッドの流出端寄りとなっている。スライダ６１には、実際に磁気ディスク装置に使用される磁気ヘッドと同じく薄膜型磁気ヘッドの素子が形成されている。磁気抵抗効果素子６２を突起検査用素子として用い、検査用ヘッドと欠陥が接触した際に生じる接触熱による磁気抵抗素子の抵抗変化（サーマルアスピリティ）を検出することで、欠陥検出を実現している。
【００３８】
磁気抵抗素子の抵抗変化は信号線６３を介して図６に示した突起検出機構にて処理される。磁気抵抗効果素子６２の部位は、浮上最下点となるようにリセス量３ｎｍとなるような構造となっており、材料にはパーマロイ系アモルファス材料を使用した。浮上最下点近傍の磁気抵抗効果素子６２に近接して熱式浮上量調整素子６４を構成した。熱的浮上量調整素子６４の材料はＣｕを用いた。
【００３９】
熱的浮上量調整素子６４は、コイル状部分を有し、電流の通電によりコイル抵抗損（銅損）やコイル渦電流損、磁気コアのヒステリシス損、磁気コア渦電流損等による発熱を利用した加熱が可能である。該熱式浮上量調整素子には電流供給線６５（Ｃｕ）が接続されている。電流の通電によるコイル抵抗損（銅損）やコイル渦電流損、磁気コアのヒステリシス損、磁気コア渦電流損等による発熱で、熱式浮上量調整素子６４が、ヘッドスライダ６１との熱膨張係数差により、体積の増加による熱膨張突出（サーマルプロトリュージョン）が生じる。この熱膨張突出により、検査用ヘッドの浮上最下点の浮上量が変化する。電流供給配線６５を介して熱的浮上量調整素子６４に供給する電流量を調整することで、使用する突起検査用ヘッドの浮上量のばらつきを補正することが可能となる。
【００４０】
実施例２においても、図４及び図５に前述したような結果、すなわち通電電流量に比例して熱式浮上量調整素子の熱膨張突出量が増加し、ヘッド浮上量が低下する結果が得られた。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の突起検査用ヘッドでは、検査用ヘッドのスライダに熱膨張係数が異なる材料を塔載し、発熱による熱膨張係数差による熱膨張突出（サーマルプロトリュージョン）を生じる熱式浮上量調整素子を設けることにより、浮上量の設定が熱膨張突出でカバーできる範囲で任意に設定可能となった。このため検査用ヘッドのイニシャルな浮上ばらつきが熱式浮上量調整素子により調整可能となるため、浮上選別等の実施することなくほとんどの検査用ヘッドが使用可能となった。更に、電流通電量の制御を行うことで、検査用ヘッドの浮上量が容易に変化可能なため、検査用ヘッド毎に回転数設定を変化させるような検査時間に影響が出る浮上量調整が回避可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の突起検査用ヘッドの一実施例の形態のヘッドスライダ図である。
【図２】ヘッドスライダをサスペンションに組立てた一実施例の形態の検査用ヘッド図である。
【図３】本発明の一実施例の検査用ヘッドによる突起検出のモデル図である。
【図４】本発明の一実施例の熱式浮上量調整素子の熱膨張突出量と通電電流量の関係図である。
【図５】本発明の一実施例の熱式浮上量調整素子の熱膨張突出量とヘッド浮上量変化量の関係図である。
【図６】本発明の一実施例の検査用ヘッドを用いた検査方法及び検査設備の構成図である。
【図７】本発明の突起検査用ヘッドの一実施例の形態のヘッドスライダ図である。
【符号の説明】
１１…スライダ、１２…ピエゾ素子、１３…信号線、１４…熱式浮上量調整素子、１５…電流供給線、２１…ヘッドスライダ、２２…サスペンション、２３…配線、３１…スライダ、３２…磁気記録媒体、３３…突起、３４…熱式浮上量調整素子、３５…電流供給配線、５１…検査用ヘッド、５２…磁気記録媒体、５３…スピンドル制御機構、５４…増幅回路、５５…フィルタ回路、５６…スライス比較回路、５７…検出回路、５８…パーソナルコンピュータ、５９…突起検出機構、６０…熱式浮上量調整素子電流制御、６１…スライダ、６２…磁気抵抗効果素子、６３…信号線、６４…熱式浮上量調整素子、６５…電流供給線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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