(57)【要約】【課題】製造が容易であり、たわみを少なくすることができる定盤を提供する【解決手段】（Ａ）ブレーン比表面積２５００〜５０００ｃｍ２／ｇのセメント１００質量部と、（Ｂ）ＢＥＴ比表面積５〜２５ｍ２／ｇの微粒子１０〜４０質量部と、（Ｃ）ブレーン比表面積２５００〜３００００ｃｍ２／ｇで、かつ上記セメントよりも大きなブレーン比表面積を有する無機粒子１５〜５５質量部と、（Ｄ）減水剤と、（Ｅ）水とを含む配合物の硬化体からなる定盤であって、該硬化体にプレストレスを導入した定盤。上記無機粒子（Ｃ）は、ブレーン比表面積５０００〜３００００ｃｍ２／ｇの無機粒子Ａ１０〜５０質量部と、ブレーン比表面積２５００〜５０００ｃｍ２／ｇの無機粒子Ｂ５〜３５質量部とからなることが好ましい。上記配合物は、（Ｆ）粒径２ｍｍ以下の細骨材を含むことができる。【選択図】          なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）ブレーン比表面積２５００〜５０００ｃｍ２／ｇのセメント１００質量部と、（Ｂ）ＢＥＴ比表面積５〜２５ｍ２／ｇの微粒子１０〜４０質量部と、（Ｃ）ブレーン比表面積２５００〜３００００ｃｍ２／ｇで、かつ上記セメントよりも大きなブレーン比表面積を有する無機粒子１５〜５５質量部と、（Ｄ）減水剤と、（Ｅ）水とを含む配合物の硬化体からなる定盤であって、該硬化体にプレストレスを導入したことを特徴とする定盤。
【請求項２】
上記無機粒子（Ｃ）が、ブレーン比表面積５０００〜３００００ｃｍ２／ｇの無機粒子Ａ１０〜５０質量部と、ブレーン比表面積２５００〜５０００ｃｍ２／ｇの無機粒子Ｂ５〜３５質量部とからなる請求項１記載の定盤。
【請求項３】
（Ｆ）粒径２ｍｍ以下の細骨材を含む請求項１又は２に記載の定盤。
【請求項４】
（Ａ）ブレーン比表面積２５００〜５０００ｃｍ２／ｇのセメント１００質量部と、（Ｂ）ＢＥＴ比表面積５〜２５ｍ２／ｇの微粒子１０〜４０質量部と、（Ｃ）ブレーン比表面積２５００〜３００００ｃｍ２／ｇで、かつ上記セメントよりも大きなブレーン比表面積を有する無機粒子１５〜５５質量部と、（Ｄ）減水剤と、（Ｅ）水と、（Ｇ）金属繊維、有機繊維及び炭素繊維からなる群より選ばれる１種以上の繊維とを含む配合物の硬化体からなる基層部と、
（Ａ）ブレーン比表面積２５００〜５０００ｃｍ２／ｇのセメント１００質量部と、（Ｂ）ＢＥＴ比表面積５〜２５ｍ２／ｇの微粒子１０〜４０質量部と、（Ｃ）ブレーン比表面積２５００〜３００００ｃｍ２／ｇで、かつ上記セメントよりも大きなブレーン比表面積を有する無機粒子１５〜５５質量部と、（Ｄ）減水剤と、（Ｅ）水とを含む配合物の硬化体からなる表層部とを有する定盤であって、基層部の硬化体にプレストレスを導入したことを特徴とする定盤。
【請求項５】
上記無機粒子（Ｃ）が、ブレーン比表面積５０００〜３００００ｃｍ２／ｇの無機粒子Ａ１０〜５０質量部と、ブレーン比表面積２５００〜５０００ｃｍ２／ｇの無機粒子Ｂ５〜３５質量部とからなる請求項４記載の定盤。
【請求項６】
基層部及び／又は表層部の配合物に、（Ｆ）粒径２ｍｍ以下の細骨材を含む請求項４又は５に記載の定盤。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セメント系硬化体からなる定盤に関し、特に、大型の定盤でも製造が容易であり、たわみを少くすることができる定盤に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、計測器や半導体製造装置などに装着される定盤、その他各種の実験台や除震台として使用される定盤として、天然石材で形成された定盤が使用されている。また、最近では、石材に変えてセラミックス製の定盤が開発されている（例えば、非特許文献１、２参照）。
【０００３】
【非特許文献１】
「Ｆｉｎｅ  Ｃｅｒａｍ  Ｒｅｐｏｒｔ  Ｖｏｌ．１６  Ｎｏ．５」、１９９８年、１０１−１０３頁
【非特許文献２】
「工業材料  Ｖｏｌ．３１  Ｎｏ．１２」、１９８３年、１８８−１８９頁
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記天然石材で形成された定盤では、高価であるほか、天然石材の加工性に難があり、しかも打撃による変形が大きいという問題がある。一方、セラミックス製の定盤は、耐磨耗性が高く、打撃による反発係数も小さいので、定盤として信頼性が高い。しかしながら、セラミックス製の定盤もまた高価であり、しかも寸法が１ｍ×１ｍを越えるような大型の定盤の場合、これを一体物として製造することは困難であり、複数のセラミックスセグメントの組み合わせ構造とするため、大型定盤の製造に手間がかかるという問題がある。さらに近年、大型の定盤が求められるようになり、その大きさは数ｍにも及ぶことがある。このような大型の定盤では、自重によるたわみが生じやすくなり、製造時に精度良く研磨等した表面も、現場に敷設した際にはたわみによって良好な表面精度が得られないという欠点があった。
そこで、本発明では、大型の定盤でも製造が容易であり、たわみを少なくすることができる定盤を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究した結果、特定の材料を含む配合物の硬化体からなる定盤であれば、上記課題を解決することができることを見出し、本発明を完成した。
【０００６】
即ち、本発明は、（Ａ）ブレーン比表面積２５００〜５０００ｃｍ２／ｇのセメント１００質量部と、（Ｂ）ＢＥＴ比表面積５〜２５ｍ２／ｇの微粒子１０〜４０質量部と、（Ｃ）ブレーン比表面積２５００〜３００００ｃｍ２／ｇで、かつ上記セメントよりも大きなブレーン比表面積を有する無機粒子１５〜５５質量部と、（Ｄ）減水剤と、（Ｅ）水とを含む配合物の硬化体からなる定盤であって、該硬化体にプレストレスを導入したことを特徴とするものである（請求項１）。このように構成した定盤は、そのマトリックスが、プレストレスの導入がない状態においても１００ＭＰａ以上の超高強度を発現し得るものであるとともに、硬化前のマトリックスの流動性が高いため、成形等の製造作業を容易かつ迅速に行なうことができ、しかも、プレストレスの導入後には、たわみが少なく非常に高い引張強度やせん断強度を発現することができる。
上記無機粒子（Ｃ）は、ブレーン比表面積５０００〜３００００ｃｍ２／ｇの無機粒子Ａ１０〜５０質量部と、ブレーン比表面積２５００〜５０００ｃｍ２／ｇの無機粒子Ｂ５〜３５質量部とから構成することができる（請求項２）。このようにブレーン比表面積の異なる２種の無機粒子を用いることによって、流動性及び強度発現性をより一層向上させることができる。
上記定盤は、（Ｆ）粒径２ｍｍ以下の細骨材を含むことができる（請求項３）。
【０００７】
また、本発明は、（Ａ）ブレーン比表面積２５００〜５０００ｃｍ２／ｇのセメント１００質量部と、（Ｂ）ＢＥＴ比表面積５〜２５ｍ２／ｇの微粒子１０〜４０質量部と、（Ｃ）ブレーン比表面積２５００〜３００００ｃｍ２／ｇで、かつ上記セメントよりも大きなブレーン比表面積を有する無機粒子１５〜５５質量部と、（Ｄ）減水剤と、（Ｅ）水と、（Ｇ）金属繊維、有機繊維及び炭素繊維からなる群より選ばれる１種以上の繊維とを含む配合物の硬化体からなる基層部と、
（Ａ）ブレーン比表面積２５００〜５０００ｃｍ２／ｇのセメント１００質量部と、（Ｂ）ＢＥＴ比表面積５〜２５ｍ２／ｇの微粒子１０〜４０質量部と、（Ｃ）ブレーン比表面積２５００〜３００００ｃｍ２／ｇで、かつ上記セメントよりも大きなブレーン比表面積を有する無機粒子１５〜５５質量部と、（Ｄ）減水剤と、（Ｅ）水とを含む配合物の硬化体からなる表層部とを有する定盤であって、基層部の硬化体にプレストレスを導入したことを特徴とするものである（請求項４）。このように構成した定盤は、基層部に金属繊維等を含むことによって、曲げ強度や破壊エネルギー等を向上させることができる。
上記無機粒子（Ｃ）は、ブレーン比表面積５０００〜３００００ｃｍ２／ｇの無機粒子Ａ１０〜５０質量部と、ブレーン比表面積２５００〜５０００ｃｍ２／ｇの無機粒子Ｂ５〜３５質量部とから構成することができる（請求項５）。
上記定盤は、基層部及び／又は表層部の配合物に、（Ｆ）粒径２ｍｍ以下の細骨材を含むことができる（請求項６）。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明で使用するセメントとしては、普通ポルトランドセメント、早強ポルトランドセメント、中庸熱ポルトランドセメント、低熱ポルトランドセメント等の各種ポルトランドセメントが挙げられる。
本発明において、定盤の早期強度を向上させようとする場合には、早強ポルトランドセメントを使用することが好ましく、硬化前の配合物の流動性を向上させようとする場合には、中庸熱ポルトランドセメントや低熱ポルトランドセメントを使用することが好ましい。
【０００９】
セメントのブレーン比表面積は、２５００〜５０００ｃｍ２／ｇ、好ましくは３０００〜４５００ｃｍ２／ｇである。該値が２５００ｃｍ２／ｇ未満であると、水和反応が不活発になって、定盤の強度が低下する等の欠点があり、５０００ｃｍ２／ｇを超えると、セメントの粉砕に時間がかかり、また、所定の流動性を得るための水量が多くなるため、定盤の寸法変化が大きくなる等の欠点がある。
【００１０】
本発明で使用する微粒子としては、シリカフューム、シリカダスト、フライアッシュ、スラグ、火山灰、シリカゾル、沈降シリカ等が挙げられる。
一般に、シリカフュームやシリカダストは、そのＢＥＴ比表面積が５〜２５ｍ２／ｇであり、粉砕等をする必要がないので、本発明の微粒子として好適である。
【００１１】
微粒子のＢＥＴ比表面積は、５〜２５ｍ２／ｇ、好ましくは８〜２５ｍ２／ｇである。該値が５ｍ２／ｇ未満であると、配合物を構成する粒子の充填性に緻密さを欠くため、定盤の強度が低下する等の欠点があり、２５ｍ２／ｇを超えると、所定の流動性を得るための水量が多くなるため、定盤の強度が低下する等の欠点がある。
微粒子の配合量は、セメント１００質量部に対して１０〜４０質量部、好ましくは２０〜４０質量部である。配合量が１０〜４０質量部の範囲外では、流動性が極端に低下するので定盤の製造に手間がかかる等の欠点がある。
【００１２】
本発明で使用する無機粒子としては、セメント以外の無機粒子であり、スラグ、石灰石粉末、長石類、ムライト類、アルミナ粉末、石英粉末、フライアッシュ、火山灰、シリカゾル、炭化物粉末、窒化物粉末等が挙げられる。中でも、スラグ、石灰石粉末、石英粉末は、コストの点や硬化後の品質安定性の点で好ましく用いられる。
無機粒子は、ブレーン比表面積が２５００〜３００００ｃｍ２／ｇ、好ましくは４５００〜２００００ｃｍ２／ｇで、かつセメント粒子よりも大きなブレーン比表面積を有する。
無機粒子のブレーン比表面積が２５００ｃｍ２／ｇ未満であると、セメントとのブレーン比表面積の差が小さくなり、高い流動性（自己充填性）を確保することが困難になるので定盤の製造に手間がかかる等の欠点があり、３００００ｃｍ２／ｇを超えると、粉砕に手間がかかるため材料が入手し難くなったり、所定の流動性が得られ難くなるので定盤の製造に手間がかかる等の欠点がある。
【００１３】
無機粒子がセメントよりも大きなブレーン比表面積を有することによって、無機粒子が、セメントと微粒子との間隙を埋める粒度を有することになり、高い流動性（自己充填性）等を確保することができる。
無機粒子とセメントとのブレーン比表面積の差は、硬化前の流動性と硬化後の強度発現性の観点から、１０００ｃｍ２／ｇ以上が好ましく、２０００ｃｍ２／ｇ以上がより好ましい。
無機粒子の配合量は、セメント１００質量部に対して１５〜５５質量部、好ましくは２０〜５０質量部である。配合量が１５〜５５質量部の範囲外では、流動性が極端に低下するので定盤の製造に手間がかかる等の欠点がある。
【００１４】
本発明においては、無機粒子として、異なる２種の無機粒子Ａ及び無機粒子Ｂを併用することができる。
この場合、無機粒子Ａと無機粒子Ｂは、同じ種類の粉末（例えば、石灰石粉末）を使用してもよいし、異なる種類の粉末（例えば、石灰石粉末及び石英粉末）を使用してもよい。
無機粒子Ａは、ブレーン比表面積が５０００〜３００００ｃｍ２／ｇ、好ましくは６０００〜２００００ｃｍ２／ｇのものである。また、無機粒子Ａは、セメント及び無機粒子Ｂよりもブレーン比表面積が大きいものである。
無機粒子Ａのブレーン比表面積が５０００ｃｍ２／ｇ未満であると、セメントや無機粒子Ｂとのブレーン比表面積の差が小さくなり、前記の１種の無機粒子を用いる場合と比べて、流動性等を向上させる効果が小さくなるばかりか、２種の無機粒子を用いているために、材料の準備に手間がかかるので、好ましくない。該ブレーン比表面積が３００００ｃｍ２／ｇを超えると、粉砕に手間がかかるため、材料が入手し難くなったり、所定の流動性が得られ難くなるので定盤の製造に手間がかかる等の欠点がある。
【００１５】
また、無機粒子Ａが、セメント及び無機粒子Ｂよりも大きなブレーン比表面積を有することによって、無機粒子Ａが、セメント及び無機粒子Ｂと、微粒子との間隙を埋めるような粒度を有することになり、より優れた流動性等を確保することができる。
無機粒子Ａとセメント及び無機粒子Ｂとのブレーン比表面積の差（換言すれば、無機粒子Ａと、セメントと無機粒子Ｂのうちブレーン比表面積の大きい方とのブレーン比表面積の差）は、硬化前の流動性と硬化後の強度発現性の観点から、１０００ｃｍ２／ｇ以上が好ましく、２０００ｃｍ２／ｇ以上がより好ましい。
【００１６】
無機粒子Ｂのブレーン比表面積は、２５００〜５０００ｃｍ２／ｇである。また、セメントと無機粒子Ｂとのブレーン比表面積の差は、１００ｃｍ２／ｇ以上が好ましく、硬化前の作業性と硬化後の強度発現性の観点から、２００ｃｍ２／ｇ以上がより好ましい。
無機粒子Ｂのブレーン比表面積が２５００ｃｍ２／ｇ未満であると、流動性が低下して自己充填性が得られ難くなるので定盤の製造に手間がかかる等の欠点があり、５０００ｃｍ２／ｇを超えると、ブレーン比表面積の数値が無機粒子Ａに近づくため、前記の１種の無機粒子を用いる場合と比べて、流動性等を向上させる効果が小さくなるばかりか、２種の無機粒子を用いているために、材料の準備に手間がかかるので、好ましくない。
また、セメントと無機粒子Ｂとのブレーン比表面積の差が１００ｃｍ２／ｇ以上であることによって、配合物を構成する粒子の充填性が向上し、より優れた流動性等を確保することができる。
【００１７】
無機粒子Ａの配合量は、セメント１００質量部に対して１０〜５０質量部、好ましくは１５〜４０質量部である。無機粒子Ｂの配合量は、セメント１００質量部に対して５〜３５質量部、好ましくは１０〜３０質量部である。無機粒子Ａ及び無機粒子Ｂの配合量が前記の数値範囲外では、前記の１種の無機粒子を用いる場合と比べて、流動性等を向上させる効果が小さくなるばかりか、２種の無機粒子を用いているために、材料の準備に手間がかかるので、好ましくない。
無機粒子Ａと無機粒子Ｂの合計量は、セメント１００質量部に対して１５〜５５質量部、好ましくは２５〜５０質量部である。合計量が１５〜５５質量部の範囲外では、流動性が極端に低下するので定盤の製造に手間がかかる等の欠点がある。
【００１８】
減水剤としては、リグニン系、ナフタレンスルホン酸系、メラミン系、ポリカルボン酸系の減水剤、ＡＥ減水剤、高性能減水剤又は高性能ＡＥ減水剤を使用することができる。これらのうち、減水効果の大きな高性能減水剤又は高性能ＡＥ減水剤を使用することが好ましく、特に、ポリカルボン酸系の高性能減水剤又は高性能ＡＥ減水剤を使用することが好ましい。
減水剤の配合量は、セメント、微粒子及び無機粒子の合計量１００質量部に対して、固形分換算で０．１〜４．０質量部が好ましく、０．１〜２．０質量部がより好ましい。配合量が０．１質量部未満では、混練が困難になるとともに、流動性が低下し、定盤の製造に手間がかかる等の欠点がある。配合量が４．０質量部を超えると、材料分離や著しい凝結遅延が生じ、また、定盤の強度等が低下することもある。
なお、減水剤は、液状または粉末状のいずれでも使用することができる。
【００１９】
配合物を調製する際の水の量は、セメント、微粒子及び無機粒子の合計量１００質量部に対して、好ましくは１０〜３０質量部、より好ましくは１２〜２５質量部である。水の量が１０質量部未満では、混練が困難になるとともに、流動性が低下し、定盤の製造に手間がかかる等の欠点がある。水の量が３０質量部を超えると、定盤の強度等が低下する。
【００２０】
本発明で用いる配合物には、細骨材を配合することができる。
細骨材としては、川砂、陸砂、海砂、砕砂、珪砂等又はこれらの混合物を使用することができる。
細骨材は、粒径２ｍｍ以下のものを用いることが好ましい。ここで、細骨材の粒径とは、８５％質量累積粒径である。細骨材の粒径が２ｍｍを超えると、硬化後の機械的特性が低下するので好ましくない。
また、細骨材は、７５μｍ以下の粒子の含有量が２．０質量％以下のものを用いることが好ましい。該含有量が２．０質量％を超えると、配合物の流動性が極端に低下し、定盤の製造に手間がかかるので、好ましくない。
【００２１】
なお、本発明においては、定盤の強度等から、最大粒径が２ｍｍ以下の細骨材を用いることが好ましく、最大粒径が１．５ｍｍ以下の細骨材を用いることがより好ましい。また、流動性等から、７５μｍ以下の粒子の含有量が１．５質量％以下である細骨材を用いることがより好ましい。
細骨材の配合量は、配合物の流動性や定盤の強度等の観点から、セメント、微粒子、無機粒子の合計量１００質量部に対して１３０質量部以下であることが好ましく、自己収縮や乾燥収縮の低減、水和発熱量の低減等の観点から、１０〜１３０質量部（さらには３０〜１３０質量部、特に４０〜１３０質量部）であることがより好ましい。
【００２２】
本発明において２層型の定盤を製造する場合は、基層部を構成する配合物に、金属繊維、有機繊維及び炭素繊維からなる群より選ばれる１種以上の繊維を配合することができる。
金属繊維は、定盤の曲げ強度等を大幅に高める観点から、配合される。
金属繊維としては、鋼繊維、ステンレス繊維、アモルファス繊維等が挙げられる。中でも、鋼繊維は、強度に優れており、また、コストや入手のし易さの点からも好ましいものである。金属繊維の寸法は、配合物中における金属繊維の材料分離の防止や、定盤の曲げ強度の向上の点から、直径が０．０１〜１．０ｍｍ、長さが２〜３０ｍｍであることが好ましく、直径が０．０５〜０．５ｍｍ、長さが５〜２５ｍｍであることがより好ましい。また、金属繊維のアスペクト比（繊維長／繊維直径）は、好ましくは２０〜２００、より好ましくは４０〜１５０である。
【００２３】
金属繊維の形状は、直線状よりも、何らかの物理的付着力を付与する形状（例えば、螺旋状や波形）が好ましい。螺旋状等の形状にすれば、金属繊維とマトリックスとが引き抜けながら応力を担保するため、曲げ強度が向上する。
金属繊維の好適な例としては、例えば、直径が０．５ｍｍ以下、引張強度が１〜３．５ＧＰａの鋼繊維からなり、かつ、１２０ＭＰａの圧縮強度を有するセメント系硬化体のマトリックスに対する界面付着強度（付着面の単位面積当たりの最大引張力）が３ＭＰａ以上であるものが挙げられる。本例において、金属繊維は、波形または螺旋形の形状に加工することができる。また、本例の金属繊維の周面上に、マトリックスに対する運動（長手方向の滑り）に抵抗するための溝または突起を付けることもできる。また、本例の金属繊維は、鋼繊維の表面に、鋼繊維のヤング係数よりも小さなヤング係数を有する金属層（例えば、亜鉛、錫、銅、アルミニウム等から選ばれる１種以上からなるもの）を設けたものとしてもよい。
【００２４】
金属繊維の配合量は、配合物中の体積百分率で、好ましくは４％以下、より好ましくは０．５〜３％、特に好ましくは１〜３％である。該配合量が４％を超えると、流動性等を確保するために単位水量が増大するうえ、配合量を増やしても金属繊維の補強効果が向上しないため、経済的でなく、さらに、混練物中でいわゆるファイバーボールを生じ易くなるので、好ましくない。
【００２５】
有機繊維及び炭素繊維は、定盤の破壊エネルギー等を高める観点から、配合される。
有機繊維としては、ビニロン繊維、ポリプロピレン繊維、ポリエチレン繊維、アラミド繊維等が挙げられる。中でも、ビニロン繊維及び／又はポリプロピレン繊維は、コストや入手のし易さの点で好ましく用いられる。
炭素繊維としては、ＰＡＮ系炭素繊維やピッチ系炭素繊維が挙げられる。
有機繊維及び炭素繊維の寸法は、配合物中におけるこれら繊維の材料分離の防止や、硬化後の破壊エネルギーの向上の点から、直径が０．００５〜１．０ｍｍ、長さ２〜３０ｍｍであることが好ましく、直径が０．０１〜０．５ｍｍ、長さ５〜２５ｍｍであることがより好ましい。また、有機繊維及び炭素繊維のアスペクト比（繊維長／繊維直径）は、好ましくは２０〜２００、より好ましくは３０〜１５０である。
【００２６】
有機繊維及び炭素繊維の配合量は、配合物中の体積百分率で好ましくは１０．０％以下、より好ましくは１．０〜９．０％、特に好ましくは２．０〜８．０％である。配合量が１０．０％を超えると、流動性等を確保するために単位水量が増大するうえ、配合量を増やしても繊維の増強効果が向上しないため、経済的でなく、さらに、混練物中にいわゆるファイバーボールを生じ易くなるので、好ましくない。
【００２７】
次に、プレストレスが導入されない状態における配合物（ペースト又はモルタル）の物性（フロー値、圧縮強度、曲げ強度、破壊エネルギー）を説明する。
配合物（ペースト又はモルタル）のフロー値は、好ましくは２３０ｍｍ以上、より好ましくは２４０ｍｍ以上である。
また、無機粒子として無機粒子Ａ及び無機粒子Ｂを用いた場合、配合物のフロー値は、好ましくは２４０ｍｍ以上、より好ましくは２５０ｍｍ以上である。特に、７５μｍ以下の粒子の含有量が２．０質量％以下である細骨材を用いた場合には、該フロー値は、好ましくは２５０ｍｍ以上、より好ましくは２６５ｍｍ以上、特に好ましくは２８０ｍｍ以上である。なお、本明細書中において、フロー値とは、「ＪＩＳ  Ｒ  ５２０１（セメントの物理試験方法）１１．フロー試験」に記載される方法において、１５回の落下運動を行なわないで測定した値（本明細書中において、「０打フロー値」ともいう。）である。
また、前記フロー試験において、フロー値が２００ｍｍに達する時間は、好ましくは１０．５秒以内、より好ましくは１０．０秒以内である。
【００２８】
硬化体（ペースト又はモルタル）の圧縮強度は、好ましくは１２０ＭＰａ以上、より好ましくは１３０ＭＰａ以上である。
硬化体（ペースト又はモルタル）の曲げ強度は、好ましくは１５ＭＰａ以上、より好ましくは１８ＭＰａ以上、特に好ましくは２０ＭＰａ以上である。特に、配合物が金属繊維を含む場合には、硬化体の曲げ強度は、好ましくは３０ＭＰａ以上、より好ましくは３２ＭＰａ以上、特に好ましくは３５ＭＰａ以上である。
硬化体（ペースト又はモルタル）の破壊エネルギーは、例えば、金属繊維、有機繊維及び炭素繊維のいずれか１種以上を配合した場合において、好ましくは１０ＫＪ／ｍ２以上、より好ましくは２０ＫＪ／ｍ２以上である。
【００２９】
本発明の配合物の混練方法は、特に限定されるものではなく、例えば、（ａ）水、減水剤以外の材料（具体的には、セメント、微粒子、無機粒子及び細骨材）を予め混合して、プレミックス材を調製しておき、該プレミックス材、水及び減水剤をミキサに投入し、混練する方法、（ｂ）粉末状の減水剤を用意し、水以外の材料（具体的には、セメント、微粒子、無機粒子、減水剤及び細骨材）を予め混合して、プレミックス材を調製しておき、該プレミックス材及び水をミキサに投入し、混練する方法、（ｃ）各材料を各々個別にミキサに投入し、混練する方法、等を採用することができる。
混練に用いるミキサは、通常のコンクリートの混練に用いられるどのタイプのものでもよく、例えば、揺動型ミキサ、パンタイプミキサ、二軸練りミキサ等が用いられる。
【００３０】
繊維を含まない配合物を用いて定盤を製造する場合は、繊維を含まない配合物を所定の型枠に流し込んで硬化させ、該硬化体にプレストレスを導入し、必要に応じて表面を研磨して本発明の定盤を製造する。プレストレスの導入方法は、従来から行なわれているプレテンション方式とポストテンション方式のいずれを用いて行なっても差し支えない。
２層型の定盤を製造する場合は、例えば、繊維を含まない配合物を所定の型枠に流し込んで表層部を調整し、その後、繊維を含む配合物を該型枠内に流し込んで基層部を調製して硬化させ、該硬化体にプレストレスを導入し、必要に応じて表層部を研磨することにより製造することができる。プレストレスの導入方法は、従来から行なわれているプレテンション方式とポストテンション方式のいずれを用いて行なっても差し支えない。なお、２層型の定盤においては、プレストレスの導入は、基層部に導入することが好ましい。
プレストレスを導入することにより、大型の定盤であっても、たわみを少なくでき、非常に高い引張強度やせん断強度を発現することができる。
また、本発明で用いる配合物は、０打フロー値が２３０ｍｍ以上と流動性に優れ、自己充填性を有するので、定盤の製造（特に成形）を容易に行なうことができる。
なお、養生方法は、特に限定されるものではなく、気中養生や蒸気養生等を行なえばよい。
【００３１】
【実施例】
以下、実施例により本発明を説明する。
［１．使用材料］
以下に示す材料を使用した。
（１）セメント；低熱ポルトランドセメント（太平洋セメント社製；ブレーン比表面積３２００ｃｍ２／ｇ）
（２）微粒子；シリカフューム（ＢＥＴ比表面積１０ｍ２／ｇ）
（３）無機粒子Ａ；石英粉末（ブレーン比表面積７５００ｃｍ２／ｇ）
（４）無機粒子Ｂ；石英粉末（ブレーン比表面積４０００ｃｍ２／ｇ）
（５）骨材；珪砂（最大粒径０．６ｍｍ、７５μｍ以下の粒子の含有量０．３質量％）
（６）金属繊維；鋼繊維（直径：０．２ｍｍ、長さ：１３ｍｍ）
（７）減水剤；ポリカルボン酸系高性能ＡＥ減水剤
（８）水；水道水
前記材料を用いた実施例１〜２の配合条件を表１に示す。
【００３２】
【表１】
2004224589.tif 000002
【００３３】
［２．配合物（モルタル）の調製及び評価］
各材料を個別に二軸練りミキサに投入し、混練した。混練後、次のように配合物及び硬化体の物性を測定し評価した。
（１）フロー値
「ＪＩＳ  Ｒ  ５２０１（セメントの物理試験方法）１１．フロー試験」に記載される方法において、１５回の落下運動を行なわないで測定した。
（２）２００ｍｍ到達時間
上記フロー試験において、フロー値が２００ｍｍに達するまでの時間を測定した。
（３）圧縮強度
各混練物をφ５０×１００ｍｍの型枠内に流し込み、２０℃で４８時間前置き後、９０℃で４８時間蒸気養生して、硬化体（３本）を作製した後、「ＪＩＳ  Ａ１１０８（コンクリートの圧縮試験方法）」に準じて、該硬化体の圧縮強度を測定した。硬化体（３本）の測定値の平均値を圧縮強度とした。
（４）曲げ強度
各混練物を４×４×１６ｃｍの型枠内に流し込み、２０℃で４８時間前置き後、９０℃で４８時間蒸気養生して、硬化体（３本）を作製した後、「ＪＩＳ  Ｒ  ５２０１（セメントの物理試験方法）」に準じて、該硬化体の曲げ強度を測定した。載荷条件は、下支点間距離１２ｃｍ、上支点間距離４ｃｍの４点曲げとした。硬化体（３本）の測定値の平均値を曲げ強度とした。
（５）破壊エネルギー
破壊エネルギーは、上記曲げ強度試験において、荷重が最大荷重に達してから、最大荷重の１／３に低下するまでの間の荷重−荷重点変位の積分値を、供試体断面積で除した値として算出した。なお、荷重点変位としては、曲げ試験機のクロスヘッド変位量を用いた。
結果を表２に示す。
【００３４】
【表２】
2004224589.tif 000003
【００３５】
［プレストレスを導入した定盤（２層型）の製造］
前述の実施例１、２の配合物を用いて、定盤の作製およびたわみの有無を測定した。一辺が５ｍ、厚さ２０ｃｍのたて打ち型枠に、初めに実施例１の金属繊維を含まない配合物を高さ１０ｃｍとなるよう流し込んだ。その上にプレストレスト用シース管を縦横２本づつ等間隔に配置した。次に実施例２の金属繊維を含む配合物を流し込み合計の高さを２０ｃｍとなるようにした。脱型後、９０℃で４８時間の蒸気養生した後、鋼棒（引っ張り応力１２００ＭＰａ）を入れ、応力度８００ＭＰａで緊張させた。また比較のために、プレストレストを導入しない定盤も製造した。
両定盤は表面を研磨後、大型曲げ試験機に３等分点に乗せられそのたわみを測定した。その結果、プレストレストを導入した定盤の中央部と周辺部のたわみは実用上問題のない程度であったが、プレストレストを導入していない定盤は数μｍ程度のたわみが生じており、再研磨が必要であることが判明した。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の定盤では、大型の定盤であっても、たわみが少なく非常に高い引張強度やせん断強度を発現することができる。
また、本発明の定盤は、流動性に優れる配合物を用いて製造されるので、その製造（特に成形）を容易に行なうことができる。