(57)【要約】      （修正有）【課題】スクラッチおよびエロージョンを低減しつつ、高い研磨速度で被研磨面を研磨可能な研磨布を提供する。【解決手段】母材と、この母材中に０．１体積％以上５体積％以下で分散された平均径０．０５μｍ以上２９０μｍ以下の空孔および凹部形成材の少なくとも一方からなる領域と残部有機材料からなることを特徴とする研磨布を提供する。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
平均径０．０５μｍ以上２９０μｍ以下の空孔および凹部形成材の少なくとも一方からなる領域０．１体積％以上５体積％以下と、残部有機材料とからなることを特徴とする研磨布。
【請求項２】
１００ＭＰａ以上６００ＭＰａ以下の圧縮弾性率を有することを特徴とする請求項１に記載の研磨布。
【請求項３】
前記領域を、１体積％以上４体積％以下有することを特徴とする請求項１または２に記載の研磨布。
【請求項４】
前記領域の平均径は、１μｍ以上１００μｍ以下であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の研磨布。
【請求項５】
前記有機材料は、１，２−ポリブタジエン樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリエチレン、ポリエステル系樹脂、ジエン系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、スチレン系ブロック共重合体エラストマー、熱可塑性ポリウレタン系エラストマー、共役ジエン系ゴム、エチレン−α−オレフィン系ゴム、およびウレタン系樹脂からなる群から選択される少なくとも１種を含むことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の研磨布。
【請求項６】
前記凹部形成材は、水溶性固形物であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の研磨布。
【請求項７】
前記水溶性固形物は、デキストリンおよびシクロデキストリンからなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の研磨布。
【請求項８】
半導体基板上に被処理膜を形成する工程と、
前記被処理膜にスラリーを供給して研磨布により研磨処理を施す工程とを具備し、
前記研磨布は、母材と、この母材中に０．１体積％以上５体積％以下で分散された平均径０．０５μｍ以上２９０μｍ以下の空孔および凹部形成材の少なくとも一方からなる領域とを具備し、前記母材の前記被処理膜に対向する主面の粗さは５μｍ以下であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項９】
前記被処理膜は、前記半導体基板上に設けられた凹部を有する絶縁膜上に堆積された導電膜であり、
前記被処理膜は、前記研磨処理により前記凹部に埋め込まれて埋め込み配線層を形成することを特徴とする請求項８に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
前記絶縁膜は、比誘電率が２．５未満の第１の絶縁膜を形成する工程と、この第１の絶縁膜上に比誘電率が第１の絶縁膜より大きい第２の絶縁膜を形成する工程とにより形成されることを特徴とする請求項９に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
前記被処理膜を形成する前に、前記半導体基板に溝を形成する工程をさらに具備し、前記被処理膜は、前記半導体基板上に堆積された絶縁膜であり、前記被処理膜は、前記研磨処理により前記溝内に埋め込まれて埋め込み絶縁膜を形成することを特徴とする請求項８に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨布および半導体装置の製造方法に係り、特に、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）に用いられる研磨布およびこれを用いた半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＬＳＩの高集積化に伴なって配線の微細化が急速に進み、そのデザインルールは０．１μｍ未満となりつつある。これに加えて、配線ＲＣの遅延を緩和するためには新材料の導入が必須とされ、現在、導電材料としては低抵抗のＣｕ（ρ：１．８μΩｃｍ）、絶縁材料としては低誘電率（ｋ：＜２．５）の絶縁膜が用いられようとしている。
【０００３】
Ｃｕ配線は、ＣＭＰを用いて絶縁膜中に埋め込まれ、ダマシン配線として形成されるのが主流である。ＣＭＰにおいては、通常はスラリーを被研磨面に供給し、研磨布を被研磨面に当接して回転させることによって研磨が行なわれる。このとき研磨布の表面に保持されるスラリーの量、およびスラリー中に含有される研磨粒子の粒径は、研磨特性に大きく影響を及ぼす。
【０００４】
例えば、粗大な研磨粒子を含有するスラリーを用いて研磨が行なわれると、研磨後の表面にはスクラッチが生じる。現在、ゾルゲル法を用いて生成されたコロイダルシリカの一次粒子径は、０．０２μｍ（１σ：０．００５μｍ）と制御されているものの、こうしたコロイダルシリカを溶媒に分散してなるスラリーを放置した場合、条件によっては粒子が凝集して、最大で１０μｍ以上の粗大な二次粒子に成長することがある。実質的には、１μｍ程度の粗大粒子がスラリー中に存在するとスクラッチへの影響は甚大である。
【０００５】
研磨粒子を含有しないスラリーを用いてＣＭＰが行なわれる場合でも、半導体基板からのはがれ、ダスト、および反応生成物などがμｍオーダーの大きさとなると、スクラッチを生じさせる要因となることが考えられる。
【０００６】
いずれの場合も、研磨後の表面に生じたスクラッチは、配線ショートの原因となって半導体装置の誤動作を引き起こすおそれがある。このため、研磨に寄与する小さい粒子および有効粒子のみを研磨布表面に保持して、必要以上に粒径の大きな粗大粒子や、ダストなどキズを生じさせる因子は、速やかに研磨布表面から排除することが求められている。
【０００７】
また、Ｃｕ等の導電材料が埋め込まれる低誘電率の絶縁膜は、多くの場合、有機成分を含有する疎水性材料である。導電材料を埋め込んで低誘電率絶縁膜の表面を露出する際には、研磨摩擦が大きくなるために膜はがれも生じやすい。はがれた物質は、スラリー中の粗大粒子と同程度に大きな寸法を有して、研磨後の表面にスクラッチを引き起こす原因となる。しかも、疎水性材料は粗大粒子を吸着しやすいため、より激しくスクラッチを生じたり、それを核として膜剥がれが生じるおそれがある。
【０００８】
軟質研磨布を用いることによってスクラッチを低減することができるものの、この場合には、エロージョン３００Å以下という厳しい半導体デザインルールを満たすことが困難となる。このため、圧縮弾性率が１５０ＭＰａ以上の硬質研磨布が使用されている。
【０００９】
従来の硬質研磨布は、例えばＩＣ１０００（ロデール・ニッタ社）などのように、低エロージョンに主眼が置かれたものが多い（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３および特許文献４参照）。これらにおいては、研磨布の母材に対して５体積％を越える空孔もしくは水溶性固形物を含有させることによって、研磨粒子の保持を達成している。
【００１０】
また、単位面積における大小の空孔の個数を規定した研磨布も提案されている（例えば、特許文献５参照）。この文献では、平均孔径が０．３ｍｍ以上単独発泡の個数を１個／ｃｍ２以上とし、０．１ｍｍ以下の単独発泡の個数を１００個／ｃｍ２以下と規定している。
【００１１】
こうした研磨布を用いて研磨を行なった場合には、いずれも研磨後の表面におけるスクラッチを十分に低減することが困難であった。
【００１２】
なお、砥粒を含有する研磨布においては、砥粒の分散性を高めて安定した研磨性能を得るために、空隙の占める割合を５体積％以上と規定することが提案されている（例えば、特許文献６参照）。固定砥粒研磨布であるので、スラリーではなく水のみを供給して研磨が行なわれる。したがって、これにおいては、研磨布の表面に保持されるスラリーの量や、スラリーとの相互作用は考慮されておらず、その必要もない。
【００１３】
【特許文献１】
特開２０００−３３５５２号公報
【００１４】
【特許文献２】
特開２００１−３３４４５５号公報
【００１５】
【特許文献３】
特開２０００−３５４９６６号公報
【００１６】
【特許文献４】
米国特許第５，９７６，０００号公報
【００１７】
【特許文献５】
特開２００１−２４４２２３号公報
【００１８】
【特許文献６】
特開２００２−１０３２３４号公報
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、スクラッチおよびエロージョンを低減しつつ、高い研磨速度で被研磨面を研磨可能な研磨布、およびこれを用いた半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の一態様は、平均径０．０５μｍ以上２９０μｍ以下の空孔および凹部形成材の少なくとも一方からなる領域０．１体積％以上５体積％以下と、残部有機材料とからなることを特徴とする研磨布を提供する。
【００２１】
また本発明の他の態様は、半導体基板上に被処理膜を形成する工程と、
前記被処理膜にスラリーを供給して研磨布により研磨処理を施す工程とを具備し、
前記研磨布は、母材と、この母材中に０．１体積％以上５体積％以下で分散された平均径０．０５μｍ以上２９０μｍ以下の空孔および凹部形成材の少なくとも一方からなる領域とを具備し、前記母材の前記被処理膜に対向する主面の粗さは５μｍ以下であることを特徴とする半導体装置の製造方法を提供する。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を説明する。
【００２３】
本発明者らは、研磨布上に供給されたスラリーを効率よく被処理基板に適用して、スクラッチを低減しつつ研磨を行なうには、研磨布の母材中に分散される空孔および／または凹部形成材からなる機能付与領域の割合および平均径に、最適な範囲が存在することを見出した。なお、分散とは、空孔および／または凹部形成材が凝集せずに、本来の個々の寸法を実質的に維持して母材中に存在していることをさす。また、凹部形成材とは、研磨中に水に接触することにより溶解して、研磨布の表面に凹部を形成する水溶性固形物である。この場合、研磨布表面の凹部は水溶性固形物跡ということができ、研磨布の内部には、水溶性固形物が維持される。
【００２４】
所定の割合とすることによって、空孔および／または水溶性固形物は、次のような機能を研磨布に付与することができる。空孔は、研磨布の表面においてスラリーの保持を確実にし、適切な柔軟性を付与する。水溶性固形物のうち、研磨布の表面に存在するものは、前述の空孔と同様に機能し、研磨布の内部に存在するものは、研磨布に適切な硬さを付与する。
【００２５】
図１は、研磨布の断面および表面の状態を模式的に示す断面図である。図１（ａ）および図１（ｂ）は、それぞれコンディショニングの前および後の状態である。
【００２６】
図１（ａ）に示されるように、有機材料からなる母材１０中には空孔および／または水溶性固形物からなる機能付与領域１１が分散されている。研磨布の表面は、こうした機能付与領域１１に起因して生じる段差１２とフィールド部１３とにより構成され、段差１２の高さおよび密度は、分散される機能付与領域１１の大きさおよび密度に依存する。フィールド部１３は、研磨中に被処理膜に対向する母材の主面ということができる。
【００２７】
研磨布のコンディショニングを行なうことによって、フィールド部１３の表面には、図１（ｂ）に示されるように微細な粗さが生じる。研磨布の表面粗さＲａは、通常５μｍ以下、好ましくは１〜３μｍの範囲内である。コンディショニングが行なわれない場合には、研磨布の表面粗さＲａは０．０５μｍ以下と小さく、この場合にはスラリーを十分に保持することが困難となる。スラリーの種類にかかわらず、コンディショニング後の研磨布の表面粗さＲａは上述した範囲であることが望まれる。すなわち、研磨粒子を含まないスラリーが用いられる場合も、研磨布表面を親水性としてスラリーとの相互作用を高めるために、表面粗さＲａを５μｍ以下とすることが好ましい。
【００２８】
特に研磨粒子を含有するスラリーが用いられる場合、粗大な研磨粒子を保持しやすい研磨布は、研磨後の表面にスクラッチを生じさせやすい。例えば、過剰の空孔または水溶性固形物が存在する研磨布がこれに相当する。粗大粒子の滞留サイトが表面に存在する研磨布、具体的には、０．３ｍｍ以上の独立発泡が存在する研磨布もまた、スクラッチを低減することが困難となる。
【００２９】
本発明の実施形態にかかる研磨布においては、母材中に分散されるのは、所定の平均径を有する空孔および／または水溶性固形物からなる機能付与領域であり、砥粒は存在しない。平均径０．０５μｍ以上２９０μｍ以下の空孔および／または水溶性固形物からなる機能付与領域０．１体積％以上５体積％以下と規定し、残部は有機材料のみで構成しているので、研磨後の表面のスクラッチを低減することが可能となった。
【００３０】
水溶性固形物の平均径は、含有される水溶性固形物粒子の平均径であり、空孔の平均径は、研磨布の表面あるいはカッターなどで切断して得られた断面を、ＳＥＭ観察して測定された値である。
【００３１】
母材は、所定の形状に成形するのが容易であり、適切な硬度および弾性等を付与できることなどから、有機材料の硬化物から構成される。有機材料としては、熱可塑性樹脂、エラストマー、ゴムおよび硬化性樹脂（熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂等、熱、光などにより硬化される樹脂）等を、単独でまたは組み合わせて用いることができる。
【００３２】
熱可塑性樹脂としては、例えば、１，２−ポリブタジエン樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリエチレン等のポリオレフィン系樹脂、ポリスチレンやＡＢＳ樹脂等のスチレン系樹脂、ポリアクリル系樹脂｛（メタ）アクリレート系樹脂等｝、ビニルエステル系樹脂（アクリル系樹脂を除く）、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリフッ化ビニリデン等のフッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、およびポリアセタール樹脂等が挙げられる。
【００３３】
エラストマーとしては、例えば、ジエン系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー（ＴＰＯ）、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）およびその水素添加ブロック共重合体（ＳＥＢＳ）等のスチレン系ブロック共重合体エラストマー、熱可塑性ポリウレタン系エラストマー（ＴＰＵ）、熱可塑性ポリエステル系エラストマー（ＴＰＥＥ）、ポリアミド系エラストマー（ＴＰＡＥ）等の熱可塑性エラストマー、シリコーン樹脂系エラストマー、およびフッ素樹脂系エラストマー等が挙げられる。
【００３４】
ゴムとしては、例えば、ブタジエン系ゴム（高シスブタジエンゴム、低シスブタジエンゴム等）、イソプレン系ゴム、スチレン−ブタジエン系ゴム、スチレン−イソプレン系ゴム等の共役ジエン系ゴム、アクロルニトリル−ブタジエン系ゴム等のニトリル系ゴム、アクリル系ゴム、エチレン−プロピレン系ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン系ゴム等のエチレン−α−オレフィン系ゴムおよびブチルゴムや、シリコーンゴム、フッ素ゴム等のその他のゴムが挙げられる。
【００３５】
硬化性樹脂としては、例えば、ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、ポリウレタン−ウレア系樹脂、ウレア系樹脂、ケイ素系樹脂、フェノール系樹脂、およびビニルエステル系樹脂等が挙げられる。
【００３６】
上述したような有機材料は、酸無水物基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、エポキシ基、またはアミノ基等により変性されたものであってもよい。変性させることによって、後述する水溶性固形物や、スラリーとの親和性を調節することができる。
【００３７】
有機材料は、その一部または全部が架橋された架橋重合体とすることができるが、非架橋重合体でもよい。また、母材は、架橋重合体のみから構成されてもよく、架橋重合体と非架橋重合体との混合物であってもよい。架橋方法は特に限定されず、有機過酸化物、硫黄、硫黄化合物等を用いた化学架橋、あるいは電子線照射等による放射線架橋などにより行なうことができる。
【００３８】
「水溶性固形物」における「水溶性」とは、水と接触することにより、母材から遊離することができる性質をさす。したがって、水溶性固形物には、例えば、水溶性高分子等の水に溶解する物質の他、吸水性樹脂等の水との接触により膨潤（ゲル化）し、これにより遊離することのできる物質が含まれる。水溶性固形物は後述するように、通常、所定の大きさで母材中に分散されており、有機系および無機系のいずれを用いてもよい。
【００３９】
有機系水溶性固形物としては、例えば、デキストリン、シクロデキストリン、マンニット、糖類（乳糖等）、セルロース類（ヒドロキシプロピルセルロース、メチルセルロース等）、でんぷん、蛋白質、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルスルホン酸、ポリアクリル酸、ポリエチレンオキサイド、水溶性の感光性樹脂、およびスルホン化ポリイソプレン等を挙げることができる。
【００４０】
また、無機系水溶性固形物としては、例えば、酢酸カリウム、硝酸カリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、臭化カリウム、リン酸カリウム、および硫酸カリウム等を挙げることができる。
【００４１】
有機系および無機系のいずれの水溶性固形物も、水と接触することにより溶解するので、被処理基板を研磨する作用は有していない。
【００４２】
母材からの溶出を調整するために、上述したような水溶性固形物にカップリング処理および／またはコーティング処理等を施してもよい。
【００４３】
水溶性固形物は、母材との組み合わせに応じて適宜選択し、単独でまたは２種以上の混合物として用いることができる。特に、１，２−ポリブタジエン樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリエチレン、ポリエステル系樹脂、ジエン系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、スチレン系ブロック共重合体エラストマー、熱可塑性ポリウレタン系エラストマー、共役ジエン系ゴム、エチレン−α−オレフィン系ゴムおよびウレタン系樹脂からなる群から選択される少なくとも１種を母材として用い、デキストリンおよびシクロデキストリンからなる群から選択される少なくとも１種の水溶性固形物を分散させることが好ましい。
【００４４】
母材中に水溶性固形物が分散された研磨布は、例えば以下のような手法により作製することができる。まず、母材となる有機材料を溶融しつつ、水溶性固形物を混練することによって研磨布の原料を得る。有機材料の架橋を必要としない場合は、これを冷却し、例えば直径６００ｍｍの円形シートに加工することによって、水溶性固形物が分散された研磨布が得られる。
【００４５】
一方、有機材料を架橋させる場合には、必要に応じて化学架橋剤などを混練して研磨布の原料に加えてもよい。架橋を必要とする場合は、さらに架橋に必要な所定温度への加熱や放射線照射などを行なって、有機材料の架橋反応を生じさせた後に冷却する。その後、上述と同様に、例えば直径６００ｍｍの円形シートに加工することによって、水溶性固形物が分散された研磨布が得られる。
【００４６】
スラリーを良好に保持するために、必要により研磨布の表面に溝を形成してもよい。溝の形状は特に限定されないが、螺旋形状、同心円形状、格子形状、複数穴形状、さらにはこれらの複合形状などが挙げられる。溝は、例えば、シートに切削を行なうことにより形成することができる。あるいは、溝を有する型を用いてシートを成型し、シートの成型と同時に表面に溝を形成してもよい。
【００４７】
以下に、有機材料としてペルプレンＳ−２００１（熱可塑性ポリエステルエラストマー：東洋紡績株式会社製）を用い、水溶性固形物としては、種々の平均径のデキシーパール（水溶性固形物β−シクロデキストリン：横浜国際バイオ研究所製）を用いて研磨布を作製した例を説明する。
【００４８】
まず、ペルプレンＳ−２００１を２１０℃で加熱溶融しつつ、水溶性固形物としてのデキシーパールを下記表１に示すような処方で配合して混練し、研磨布原料を得た。これを冷却して直径６００ｍｍの円形シート状に加工して、Ｎｏ．１〜３２の研磨布を作製した。さらに、水溶性固形物を加えない以外は前述と同様の手法により、Ｎｏ．３３の研磨布を得た。
【００４９】
また、平均粒径２０μｍの空孔が３体積％の割合で分散されたポリウレタン製の研磨布をＮｏ．３４として準備した。
【００５０】
Ｎｏ．１〜３４の研磨布の圧縮弾性率は、いずれも約３００ＭＰａであった。
【００５１】
【表１】
2004241625.tif 000002
【００５２】
Ｎｏ．６の研磨布の表面を電子顕微鏡に観察したところ、１ｃｍ２の領域内には、３００μｍ以上の水溶性固形物は存在しないことが確認された。すなわち、有機材料からなる非研磨性の母材中に分散された水溶性固形物の粒子は、複数個が凝集して大粒径の粒子を形成することなく、個々の粒子が単独で分散しているものと推測される。
【００５３】
本発明の実施形態にかかる研磨布は、Ｃｕダマシン配線の形成に好適に用いることができる。
【００５４】
図２は、本発明の一実施形態にかかる方法を表わす工程断面図である。
【００５５】
まず、図２（ａ）に示すように、素子（図示せず）が形成された半導体基板１００上に、無機絶縁膜１０１、および積層絶縁膜１０３、１０４を介して、バリアメタル膜１０５および配線材料膜１０６を堆積する。
【００５６】
無機絶縁膜１０１には、Ｗ（タングステン）からなるプラグ１０２が埋め込まれている。積層絶縁膜は、比誘電率が２．５未満の第１の絶縁膜１０３と、この第１の絶縁膜上に形成され、比誘電率が第１の絶縁膜より大きい第２の絶縁膜１０４とから構成される。
【００５７】
第１の絶縁膜１０３は、例えば、ポリシロキサン、ハイドロジェンシロセスキオキサン、ポリメチルシロキサン、メチルシロセスキオキサンなどのシロキサン骨格を有する膜、ポリアリーレンエーテル、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾシクロブテンなどの有機樹脂を主成分とする膜、および多孔質シリカ膜などのポーラス膜からなる群から選択される少なくとも一種を用いて形成することができる。ここでは、ＬＫＤ５１０９（ＪＳＲ製）を用いて、２０００Åの膜厚で第１の絶縁膜１０３を形成した。
【００５８】
この上に形成される第２の絶縁膜１０４はキャップ絶縁膜として作用し、例えば、ＳｉＣ、ＳｉＣＨ、ＳｉＣＮ、ＳｉＯＣ、ＳｉＮ、およびＳｉＯＣＨからなる群から選択される少なくとも一種の比誘電率２．５以上の絶縁材料を用いて形成することができる。こうした材料からなる第２の絶縁膜１０４の表面は、疎水性を有する。ここでは、ブラックダイヤモンド（ＡＭＡＴ製）を用いて１０００Åの膜厚で第２の絶縁膜１０４を形成した。
【００５９】
バリアメタル膜１０５および配線材料１０６は、上述したような積層絶縁膜１０３、１０４に配線溝Ａを設けた後、スパッタリング法およびメッキにより全面に堆積される。バリアメタル膜１０５は、ＴａＮにより膜厚２００Åで形成することができ、配線材料膜１０６は、Ｃｕにより膜厚５０００Åで形成することができる。
【００６０】
なお、図２（ａ）に示す例においては、バリアメタル膜１０５および配線材料膜１０６が設けられる絶縁膜は、第１の絶縁膜１０３と第２の絶縁膜１０４との積層構造であるが、単層の絶縁膜を用いてもよい。
【００６１】
次いで、バリアメタル膜１０５および配線材料膜１０６の不要部分をＣＭＰにより除去して、第２の絶縁膜１０４表面を露出した。ＣＭＰは、余分な配線材料膜１０６の除去（１ｓｔポリッシュ）および余分なバリアメタル膜１０５の除去（２ｎｄポリッシュ）の２工程で行なった。
【００６２】
（１ｓｔポリッシュ）
まず、以下に示す条件でＣＭＰを行なって、図２（ｂ）に示すようにバリアメタル膜１０５の表面を露出した。
【００６３】
スラリー：ＣＭＳ７３０３／７３０４（ＪＳＲ社製）
流量：２５０ｃｃ／ｍｉｎ
研磨布：ＩＣ１０００（ロデール・ニッタ社製）
荷重：３００ｇｆ／ｃｍ２
キャリアおよびテーブルの回転数は、いずれも１００ｒｐｍとして、１分間の研磨を行なった。ここでの研磨は、バリアメタル膜１０５で停止され、疎水性を示す第２の絶縁膜１０４は露出されないので、従来の研磨布（ＩＣ１０００）を用いて研磨したが、本発明の実施形態にかかる研磨布を用いることもできる。
【００６４】
（２ｎｄポリッシュ）
次に、第２の絶縁膜１０４上のバリアメタル膜１０５を研磨により除去して、第２の絶縁膜１０４表面を露出させる（タッチアップ工程）。
【００６５】
まず、上述したように作製された３４種の研磨布に対し、ブロッキーダイヤモンドドレッサー＃８０（ノリタケ社製）を用いて以下の条件でコンディショニングを行なった。
【００６６】
ドレッサー圧力：１００ｇｆ／ｃｍ２
（ドレッサー回転数）／（テーブル回転数）：２０ｒｐｍ／２０ｒｐｍ
水流速：３００ｃｃ／ｍｉｎ
コンディショニング時間：６０秒
コンディショニング後における研磨布表面のフィールド部１３の表面粗さは、１〜３μｍであった。
【００６７】
タッチアップ工程では、１ｓｔポリッシュで被研磨面に生じたスクラッチを除去するとともに、１ｓｔポリッシュで生じたエロージョンや段差などを低減することが要求される。適切な粗さを表面に有し、かつ母材が適切な硬さを備えた研磨布を用いることによって、これを達成することができる。
【００６８】
適切な粗さは、コンディショニングを行なうことによって形成される。通常、＃５０〜５００程度で粒度の制御されたダイヤモンドドレッサーを用いれば、母材の表面が機械的に引き千切られて、研磨布表面（フィールド部１３の表面）の粗さＲａを５μｍ以下程度とすることができる。コンディショニング後の研磨布の表面は、図１（ｂ）に示したような状態となる。
【００６９】
なお、従来のように空孔の平均径が大きいか、あるいは割合が高い研磨布では、母材の領域が低減されるためにドレッシング中に変形しやすい。そのため、ドレッサーの機械的作用を十分に得ることができず、ドレッサーの番手に即した適切な表面粗さを得ることが困難であった。これに対して本発明の実施形態においては、母材中に分散される水溶性固形物の平均径および割合を所定の範囲内に規定しているので、適切な表面粗さを容易に得ることが可能となった。
【００７０】
コンディショニングにより研磨布表面に形成された５μｍ以下の凹凸は、研磨中には、研磨圧力により押し付けられて潰れるため、凹凸は実質的にほとんど存在しないと考えられる。しかしながら、研磨圧力から開放されると表面の凹凸が回復し、粒径１０μｍ程度の粗大な研磨粒子を速やかに排除して、粗大粒子とならない研磨粒子（研磨に寄与する実効粒子）を保持することができる。
【００７１】
粗大な研磨粒子を速やかに研磨布表面から排除してエロージョンを低減するために、研磨布の圧縮弾性率は、１００〜６００ＭＰａ程度であることが好ましく、３００ＭＰａ以上６００ＭＰａ以下がより好ましい。
【００７２】
上述したようにコンディショニングが行なわれたＮｏ．１〜３４の研磨布を用い、図２（ｃ）に示すように第２の絶縁膜１０４の表面を露出した。
【００７３】
研磨に当たっては、図３に示すように、トップリング３０３に保持された半導体基板３０２を、ターンテーブル３００上に配置された研磨布３０１に、３００ｇｆ／ｃｍ２の荷重で当接させ、ターンテーブル３００およびトップリング３０３をいずれも１００ｒｐｍで回転させた。研磨布３０１上には、スラリー供給口３０５からスラリー３０７を２００ｃｃ／ｍｉｎの流量で供給して、１分間の研磨を行なった。図３中には、研磨布３０１のコンディショニングを行なうためのドレッサー３０６および純水供給口３０４も、併せて示してある。
【００７４】
スラリー３０７は、コロイダルシリカ（一次粒子径：２０ｎｍ）５重量％を、純水に分散させて調製した。さらに、ｐＨ調整剤としてのＫＯＨを加えてｐＨを９程度とし、酸化剤としてのＨ２Ｏ２を０．１ｗｔ％、および添加剤としての乳酸を１ｗｔ％配合した。さらに、４０℃の加熱を６０分間行なって粒子の凝集を加速させたスラリーを調製した。得られたスラリーにおいては、粒径１μｍ以上の粗大粒子が１００００個／１ｃｃ以上存在することが確認された。タッチアップ工程で通常用いられるスラリーにおいては、粒径１μｍ以上の粗大粒子の割合は１００個／１ｃｃ程度である。本実施形態では、粗大粒子が著しく多量に存在している過酷な条件のスラリーを用いて研磨を行なうことにより、研磨布の効果を調べた。
【００７５】
タッチアップ工程により、配線材料膜１０６は第２の絶縁膜１０４に埋め込まれ、ライン／スペース：０．１μｍ／０．１μｍの配線が形成された。この配線の表面を、ＫＬＡ２１３９（ＫＬＡ社製）により観察してスクラッチを調べた。また、ＡＬＰＨＡ−ＳＴＥＰ２００（ＴＥＮＣＯＲ  ＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ社製）を用いてエロージョンを調べた。得られた結果を、ＴａＮ研磨速度とともに下記表２に示す。
【００７６】
【表２】
2004241625.tif 000003
【００７７】
被研磨面の１ｃｍ２の領域内においてスクラッチは２０個以下、エロージョンは３００Å以下であれば許容される。また、研磨の安定性という観点から、ＴａＮの研磨速度は８００Å／ｍｉｎ以上であることが要求される。
【００７８】
上記表２に示されるように、平均径が０．０５μｍ以上２９０μｍ以下の水溶性固形物を、０．１体積％以上５体積％以下の割合で含有する研磨布（Ｎｏ．２〜１１、１９〜２１、２４〜２６、２９〜３１、および３４）は、前述の判断基準を全て満たしている。
【００７９】
粒径１μｍ以上２９０μｍ以下の水溶性固形物が０．１体積％以上５体積％以下の割合で含有された研磨布（Ｎｏ．４〜１１、２４〜２６、２９〜３１および３４）の場合には、特に良好な結果が得られており、これは空孔の場合でも、さらには水溶性固形物と空孔とが同時に存在する研磨布においても、同様であると推測される。
【００８０】
スクラッチ、エロージョン、および研磨速度の３項目全てを、より優れた範囲とするためには、母材中に分散される水溶性固形物の割合が１体積％以上４体積％以下であることが好ましい。また、研磨布のコンディショニング速度を適切な範囲内としつつ十分な寿命を確保するために、水溶性固形物の平均径は１μｍ以上１００μｍ以下であることが、より好ましい。
【００８１】
これに対して、母材中に分散される水溶性固形物の平均径および割合の少なくとも一方が本発明の実施形態の範囲から外れた場合には、スクラッチ、エロージョンおよびＴａＮ研磨速度の条件を全て満足することはできない。
【００８２】
平均径が０．０５μｍ未満の水溶性固形物を含有する研磨布（Ｎｏ．１）を用いた場合には、スクラッチおよびエロージョンはともに顕著となり、十分に大きなＴａＮ研磨速度も得られない。
【００８３】
一方、含有される水溶性固形物の平均径が２９０μｍを越える研磨布（Ｎｏ．１２〜１７）を用いた場合には、スクラッチが増加する。
【００８４】
また、水溶性固形物が含有されない研磨布（Ｎｏ．３３）では、スラリーや純水の濡れむらがみられた。長期的安定性を考えた場合、乾燥した研磨布表面に粒子が付着して、スクラッチを生じさせる懸念がある。水溶性固形物の割合が０．１体積％未満の場合（Ｎｏ．１８，２３，２８）には、濡れを向上させるといった効果を得ることができない。一方、５体積％を越えると（Ｎｏ．２２，２７，３２）、一旦減少したスクラッチが増加する傾向にある。これは、水溶性固形物が過剰に存在していることにより、粗大粒子のトラップサイトが表面に多く存在するためと考えられる。
【００８５】
また、前述したように、研磨布のコンディショニングは母材を機械的に引き千切るように行なわれる。このため、空孔や水溶性固形物が研磨布に多く存在すると、母材が大きなかたまりとして削り取られて、５μｍを越える大きな凹部が部分的に形成されるおそれがある。さらに、コンディショニング速度も大きくなるため、研磨布寿命も短くなってしまう。
【００８６】
よって、本発明の実施形態において、研磨布中に分散される水溶性固形物の平均径は０．０５μｍ以上２９０μｍ以下、その割合は０．１体積％以上５体積％以下に規定される。
【００８７】
なお、コンディショニングにより研磨布表面に形成される微細な凹凸は、スラリー中に存在する粗大粒子の粒径を考慮して適宜選択することができる。すでに説明したように、スクラッチは、主として粗大粒子により被研磨面に形成されることから、研磨布がこうした粗大粒子を保持しなければスクラッチの発生を低減することができる。
【００８８】
本発明の実施形態にかかる研磨布を用いた研磨は、ＳＴＩ（Ｓｈａｌｌｏｗ  Ｔｒｅｎｃｈ  Ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）の形成に適用することも可能である。
【００８９】
図４を参照して、これについて説明する。
【００９０】
まず、図４（ａ）に示すように、ＣＭＰストッパー膜２０１が設けられた半導体基板２００に溝を形成し、その上に絶縁膜２０２を堆積する。ここで、ＣＭＰストッパー膜２０１としてはＳｉＮが用いられ、絶縁膜２０２としては、例えば、ＨＤＰ（高密度プラズマ）法により成膜したＳｉＯ２を用いることができる。ＣＭＰストッパー膜２０１としてはＣ（カーボン）を、また、絶縁膜２０２としては有機ＳＯＧなどの塗布型絶縁膜を用いることもできる。ＣＭＰストッパー膜２０１として用いられるＣやＳｉＮは、多くの場合、疎水性を有している。しかも、ＳｉＮはζ電位がほぼ等電点であることから、ＣＭＰストッパー膜２０１は、研磨によりスクラッチが生じやすい。
【００９１】
次いで、絶縁膜２０２の不要部分をＣＭＰにより除去して、図４（ｂ）に示すようにＣＭＰストッパー膜２０１表面を露出した。ＣＭＰ条件は以下のとおりとした。研磨布としては、有機材料としてのポリエステル中に平均径２００μｍの空孔が２体積％の割合で分散された発泡ポリエステル（Ｎｏ．３５）を用意した。
【００９２】
スラリー：セリア粒子：０．５ｗｔ％＋ポリアクリル酸：０．０１ｗｔ＋純水（ｐＨ６）
流量：／３００ｃｃ／ｍｉｎ
研磨布：Ｎｏ．３５
荷重：３００ｇｆ／ｃｍ２
キャリアおよびテーブルの回転数は、いずれも１００ｒｐｍとして、１分間の研磨を行なった。
【００９３】
比較のために、ＩＣ１０００を用いた以外は前述と同様の条件で、絶縁膜２０２の研磨を行なった。ＩＣ１０００中には、平均径が約３０μｍの空孔が３０体積％程度の割合で分散されており、その圧縮弾性率は約２９０ＭＰａであった。
【００９４】
研磨後のストッパー膜２０１の表面を、ＫＬＡ２１３９（ＫＬＡ社製）により観測した。その結果、ＩＣ１０００を用いた場合には、ストッパー膜２０１上のスクラッチ数は８８個／ウェハーであったのに対し、Ｎｏ．３５の研磨布を用いた場合には、２個／ウェハーであった。このことから、本発明の実施形態にかかる研磨布を用いた研磨によって、スクラッチを著しく低減できることが確認された。
【００９５】
なお、Ｎｏ．２〜１１、１９〜２１、２４〜２６、２９〜３１および３４の研磨布を用いて絶縁膜２０２の研磨を行なった場合も、同様の効果が期待できる。
【００９６】
さらに、平均径および割合が所定の範囲内であれば、空孔と水溶性固形物とが母材中に同時に存在していてもよく、得られる効果に何ら影響を及ぼすことはない。
【００９７】
【発明の効果】
上述したように、本発明の態様によれば、スクラッチおよびエロージョンを低減しつつ、高い研磨速度で被研磨面を研磨可能な研磨布、およびこれを用いた半導体装置の製造方法が提供される。
【００９８】
本発明によれば、例えば、次世代で要求されるデザインルール０．１μｍ以下の配線を有する高性能・高速な半導体装置を製造することが可能となり、その工業的価値は絶大である。
【図面の簡単な説明】
【図１】研磨布の断面および表面の状態を模式的に示す概略図。
【図２】本発明の一実施形態にかかる半導体装置の製造方法を表わす工程断面図。
【図３】本発明の一実施形態にかかる半導体装置の製造方法を表わす概略図。
【図４】本発明の他の実施形態にかかる半導体装置の製造方法を表わす工程断面図。
【符号の説明】
１０…母材，１１…機能付与領域，１２…段差，１３…フィールド部，１００…半導体基板，１０１…絶縁膜，１０２…プラグ，１０３…低誘電率絶縁膜，１０４…キャップ絶縁膜，１０５…バリアメタル膜，１０６…配線材料膜，Ａ…溝，２００…半導体基板，２０１…ＣＭＰストッパー膜，２０２…絶縁膜，３００…ターンテーブル，３０１…研磨布，３０２…半導体基板，３０３…トップリング，３０４…純水供給口，３０５…スラリー供給口，３０６…ドレッサー，３０７…スラリー。
【図１】
2004241625.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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