(57)【要約】【課題】振動板の電気的接地が不安定であり、接地構造がコストアップを招くことになる。【解決手段】振動板１２に接着固定されたフレーム部材３の内部には振動板１２側から反対側まで貫通する、振動板１２を接地するための導電性部材５０を設け、導電性部材５０の一端部５０ａは半田５１によって振動板１２と電気的に接続し、他端部５０ｂは電装基板２４の接地電極と半田５２によって電気的に接続した。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルを設けたノズル板と、前記ノズルが連通する液室を形成する流路板と、前記液室の少なくとも１つの壁面を形成する変形可能な振動板とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板に  固定されたフレーム部材の内部を前記振動板側から反対側まで貫通する、前記振動板を接地するための導電性部材を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
液滴を吐出するノズルを設けたノズル板と、前記ノズルが連通する液室を形成する流路板と、前記液室の少なくとも１つの壁面を形成する変形可能な振動板とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板に  固定されたフレーム部材の内部を前記振動板側から反対側まで貫通する、前記ノズル板を接地するための導電性部材を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
液滴を吐出するノズルを設けたノズル板と、前記ノズルが連通する液室を形成する流路板と、前記液室の少なくとも１つの壁面を形成する変形可能な振動板と、前記ノズル板を縁部を覆うノズルカバーとを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板に  固定されたフレーム部材の内部を前記振動板側から反対側まで貫通する、前記ノズルカバーを接地するための導電性部材を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記導電性部材は前記フレーム部材に形成した穴に圧入されて設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記導電性部材は前記フレーム部材の成形時にインサート成形されて設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記導電性部材と被接地部材とは半田により電気的に接合されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記導電性部材の接地側は前記振動板を変形させる駆動手段に駆動電圧を与えるための電装基板の電気的接地部分に接続されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記フレーム部材は熱硬化性樹脂で形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記導電性部材はスズめっきされていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
インク滴を吐出して画像を記録するインクジェット記録装置において、前記インク滴を吐出する請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開平１１−３４３２４号公報
【０００３】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置（画像形成装置）として用いるインクジェット記録装置の記録ヘッドとして用いる液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドは、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室（吐出室、圧力室、加圧液室、インク液室、インク室等とも称される。）と、この液室内のインクを加圧する駆動手段とを備え、駆動手段で液室内インクを加圧することでノズルからインク滴を吐出する。
【０００４】
このようなインクジェットヘッドとして、液滴を吐出するノズルを設けたノズル板と、前記ノズルが連通する液室を形成する流路板と、液室の少なくとも１つの壁面を形成する変形可能な振動板と、この振動板を変形させる積層型圧電素子を備えたものが知られている。
【０００５】
ところが、積層型圧電素子は圧電体の積層界面に電極層として銀−パラジウム等の合金を介して積層され、且つこれらの金属が層間の圧電体を接合する役割を持っているため、導電性の振動板を接合した積層型圧電素子の最上層でも同様なことが言え、振動板は１つの電極層となって容量結合により電気的なイオンが蓄積され、振動板がインクを介して電気的な低い電位差のあるところと接合されていると電流が流れることになる。具体的には、振動板とノズル板とが絶縁状態であって、且つノズル板がノズルカバーなどを通じて接地されている状態である。このとき、容量結合によって振動板に誘起された電圧で、振動板からインクを介してノズル板を経てノズルカバーを介してアースに電流が流れる。これによって、振動板の金属イオン、例えば振動板をニッケルで形成している場合にはＮｉイオンが流れ出すことになる。
【０００６】
ところが、振動板には効率的に圧電素子の変位を液室に伝達するため、数μｍ程度の薄層のダイアフラム部を形成しているので、イオン流出が起こるとダイアフラム部には簡単に穴が明くことになる。このように振動板に穴が明くと、インク液室内のインクが圧電素子の周囲に浸入して圧電機能を減殺し、その結果吐出不良が発生する。
【０００７】
また、振動板以外にも、ノズル板が電気的に浮遊した状態にあると、静電気等で高電位となり、インクにダメージを与えたり、被記録媒体やヘッドの維持回復機構等のノズル板に近づく部材に放電したりする悪影響が生じることがある。さらに、ノズルカバーが電気的に浮遊した状態にあると、静電気等で高電位となり、ノズル板、被記録媒体やヘッドの維持回復機構等のノズル板に近づく部材に放電したりする悪影響が生じることがある。
【０００８】
そこで、例えば振動板については、
【特許文献１】に記載されているようにノズルカバーの内面側に振動板の端部を圧接して振動板を接地するようにしたインクジェットヘッドが知られている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、
【特許文献１】に記載のインクジェットヘッドのようにノズルカバーの内面側に振動板の端部を圧接する様にすると、ノズルカバーを引っかくことにより、発塵したり、接触面積が狭く接触抵抗が大きく不安定となりがちになる。この場合、確実に接続するために、導電性接着剤塗布やはんだ付けを行うことは，ノズルカバーの内側であるためできない。また、ノズルカバーを更に本体のアースに確実に接地する手段が必要となり、コストが高くなる。さらに、振動板をノズルカバーに接触できるまで大きくしなければならず、この点でもコストが高くなる、という課題がある。
【００１０】
また、ノズル板やノズルカバーを通じて振動板を接地する場合、振動板及びノズルカバーを撥水処理の施されているノズル板と電気的に導通させることが難しい。すなわち、導電性接着剤は撥水面につきにくく硬化時に長時間加熱する必要があり、またノズルカバーをノズル板に圧接しても撥水膜は導電しにくく、安定した接続が得られ難い。さらに、ノズルカバーとの接触部分だけ撥水膜を除去するためには、マスキング処理などが必要となり、ノズル板のコストが高くなり、その上前述したと同様にノズルカバーを本体のアースに接地する手段が必要となるという課題がある。
【００１１】
さらに、絶縁基板上の導通パターンを通じて振動板、ノズル板を接地する場合、導通パターンからはＦＰＣケーブルのＧＮＤを通じて接地することになるが、通常、ＦＰＣケーブルにはＨＯＴ側の電極もあるため、この部分にインクが付着するとショートを起こしてしまうことになる。そのため、ノズルカバーによってインクがＦＰＣケーブル側に流出しないように確実に封止をしなければならず、撥水処理したノズルカバーとノズルの間の隙間を埋めることは非常に困難、或いはコストがかかるという課題がある。
【００１２】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ヘッド構成部品が簡単な構成で接地されて高い信頼性が得られる液滴吐出ヘッド及びこのヘッドを搭載したインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、振動板に  固定されたフレーム部材の内部を振動板側から反対側まで貫通する、振動板を接地するための導電性部材を設けたものである。
【００１４】
他の本発明に係る液滴吐出ヘッドは、振動板に  固定されたフレーム部材の内部を振動板側から反対側まで貫通する、ノズル板を接地するための導電性部材を設けたものである。
【００１５】
更に他の本発明に係る液滴吐出ヘッドは、振動板に  固定されたフレーム部材の内部を振動板側から反対側まで貫通する、ノズルカバーを接地するための導電性部材を設けたものである。
【００１６】
これらの本発明に係る液滴吐出ヘッドにおいては、導電性部材はフレーム部材に形成した穴部に圧入されて設けられ、或いは、導電性部材はフレーム部材の成形時にインサート成形されて設けられている構成とできる。
【００１７】
また、導電性部材と被接地部材とは半田により電気的に接合されていること、導電性部材の接地側は振動板を変形させる駆動手段に駆動電圧を与えるための電装基板の電気的接地部分に接続されていること、フレーム部材は熱硬化性樹脂で形成されていること、導電性部材はスズめっきされていることが好ましい。
【００１８】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。本発明の液滴吐出ヘッドの第１実施形態に係るインクジェットヘッドについて図１ないし図４を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドのノズル面側からの斜視説明図、図３は同ヘッドのフレーム部材側からの斜視説明図、図４は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図である。
【００２０】
このインクジェットヘッドは、流路ユニット１とアクチュエータユニット２とをフレーム部材３上に積層して固定し、更にノズルカバー４を装着したものである。
【００２１】
流路ユニット１は、流路板１１と、この流路板１１の下面に接合した振動板１２と、流路板１１の上面に接合したノズル板１３とを接合して積層し、これらによってインク滴を吐出するノズル１５が連通する流路であるノズル連通路１５ａ及び液室１６、液室１６にインクを供給するための共通液室１８に連通するインク供給口１９などを形成している。
【００２２】
アクチュエータユニット２は、流路ユニット１の振動板１２を変形させて液室１６内のインクを加圧するための圧力発生手段（アクチュエータ手段）である電気機械変換素子としての２列の積層型圧電素子２１と、この圧電素子２１を接合固定する基板２２とを備えている。なお、圧電素子２１の間には支柱部２３を設けている。この支柱部２３は圧電素子部材を分割加工することで圧電素子２１と同時に形成した部分であるが、駆動電圧を印加しないので単なる支柱となる。
【００２３】
また、このアクチュエータユニット２では、圧電素子２１に図示しない駆動回路（駆動ＩＣ）に接続するためのＦＰＣなどの電装基板２４を接続して、ユニットを構成している。電装基板２４もユニット構成部材とすることで、取り扱いが容易になる。
【００２４】
フレーム部材３には、アクチュエータユニット２を収納する貫通部３１及び共通液室１８となる凹部、この共通液室１８に外部からインクを供給するためのインク供給穴３２を形成している。このフレーム部材３は、例えばエポキシ系樹脂などの熱硬化性樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成している。
【００２５】
そして、これらの流路ユニット１とアクチュエータユニット２とを接着剤で接合し、更にアクチュエータユニット２をフレーム部材３に接着剤で接合して流路ユニット１とアクチュエータユニット２を一体的に固定している。
【００２６】
そして、これにノズルカバー４を取付けることで、ノズル板１５の周縁部（ヘッド外周部）を被覆して、ノズル板１５表面に付着するインクが内部に侵入しないようにしている。このノズルカバー４には１つの開口４１を形成している。
【００２７】
ここで、流路板１１は、例えば結晶面方位（１１０）の単結晶シリコン基板を水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ）などのアルカリ性エッチング液を用いて異方性エッチングすることで、ノズル連通路１５ａ、加圧液室１６となる凹部や穴部を形成したものであるが、単結晶シリコン基板に限られるものではなく、その他のステンレス基板や感光性樹脂などを用いることもできる。
【００２８】
振動板１２は、ニッケルの金属プレートから形成したもので、例えばエレクトロフォーミング法（電鋳法）で作製しているが、この他、金属板や金属と樹脂板との接合部材などを用いることもできる。この振動板１２に圧電素子２１及び支柱部２３を接着剤接合し、更にフレーム部材３を接着剤接合している。
【００２９】
ノズル板１３は各液室１６に対応して直径１０〜３０μｍのノズル１５を形成し、流路板１に接着剤接合している。このノズル板１３としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、金属とポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂との組み合せ、、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。
【００３０】
圧電素子１２は、圧電材料と内部電極とを交互に積層した積層型圧電素子（ここではＰＺＴ）である。この実施形態では、圧電素子２１の圧電方向としてｄ３３方向の変位を用いて液室１６内インクを加圧する構成としているが、圧電素子２１の圧電方向としてｄ３１方向の変位を用いて加圧液室１６内インクを加圧する構成とすることもできる。また、１つの基板２２に１列の圧電素子２１が設けられる構造とすることもできる。
【００３１】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、圧電素子２１に対して選択的に２０〜５０Ｖの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された圧電素子２１が積層方向に伸長して振動板１２をノズル１５方向に変形させ、液室１６の容積／体積変化によって加圧液室１６内のインクが加圧され、ノズル１５からインク滴が吐出（噴射）される。
【００３２】
そして、インク滴の吐出に伴って加圧液室１６内の液圧力が低下し、このときのインク流れの慣性によって加圧液室１６内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、圧電素子２１への電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板１２が元の位置に戻って加圧液室１６が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。このとき、共通液室１８から加圧液室１６内にインクが充填される。そこで、ノズル５のインクメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次のインク滴吐出のために圧電素子２１にパルス電圧を印加しインク滴を吐出させる。
【００３３】
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや引き−押し打ちを行うこともできる。
【００３４】
そこで、このインクジェットヘッドにおける振動板１２を接地する構造について説明する。
振動板１２に  固定されたフレーム部材３の内部には振動板１２側から反対側まで貫通する、振動板１２を接地するための導電性部材５０を設けている。
【００３５】
この導電性部材５０は、フレーム部材３を成形した後、フレーム部材３に貫通形成した穴内に圧入して固定して設けることができる。これにより、フレーム部材３と導電性部材５０との界面にインクが染み込み電装基板２４までインクが及ぶのを防止することができ、なおかつ簡便に貫通固定することができる。
【００３６】
あるいは、導電性部材５０はフレーム部材３を成形するときにインサート成形して設けることができる。これにより、フレーム部材３と導電性部材５０との界面にインクが染み込み電装基板２４までインクが及ぶのを防止することができる。
【００３７】
この導電性部材５０の振動板１２側端部（一端部）５０ａは幅広の平板状とし、振動板１２側と反対側の端部（他端部）５０ｂはフレーム部材３から突き出した突起状にしている。そして、導電性部材５０の一端部５０ａは導電性接着剤又は半田５１によって振動板１２と電気的に接続し、他端部５０ｂは電装基板２４に形成した穴を通して、電装基板２４の接地電極と導電性接着剤又は半田５２によって電気的に接続している。
【００３８】
半田付けで接続することで、安価に、短時間に、低抵抗で安定した接続ができる。また、電気機械変換素子を駆動する電装基板２４の電気的接地部分に接続することで、特別な配線を必要とせず、安価に、確実に接地することができる。
【００３９】
また、導電性部材５０は、りん青銅材，ステンレス材，黄銅材等で形成し、表面をスズめっき処理している。スズめっき処理をすることではんだ付け時のはんだ濡れ性がよく、またインサート成形時の熱による表面酸化で接続抵抗が増加することもない。
【００４０】
このように、このインクジェットヘッドにおいては、フレーム部材を貫通した導電性部材を介して振動板を電気的に接地するので高い信頼性が得られ、しかも、振動板と導電性部材とを発塵することなく、導電性接着剤やはんだ接続、スポット溶接等を用いて確実に接続でき、振動板のサイズも必要最小限に小さくできる。
【００４１】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの第２実施形態に係るインクジェットヘッドについて図５及び図６を参照して説明する。なお、図５は同ヘッドのノズル面側からの斜視説明図、図６は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図である。
この実施形態では、振動板１２に  固定されたフレーム部材３の内部には振動板１２側から反対側まで貫通する、ノズル板１３を接地するための導電性部材６０を設けている。
【００４２】
この導電性部材６０は、フレーム部材３を成形した後、フレーム部材３に貫通形成した穴内に圧入して固定し、或いはフレーム部材３を成形するときにインサート成形して設けることができる。
【００４３】
この導電性部材６０の振動板１２側はノズル板１３近傍まで延びてその端部（一端部）６０ａは幅広の平板状とし、振動板１２側と反対側の端部（他端部）６０ｂはフレーム部材３から突き出した突起状にしている。そして、導電性部材６０の一端部６０ａは導電性接着剤又は半田５１によってノズル板１３と電気的に接続し、他端部６０ｂは電装基板２４に形成した穴を通して、電装基板２４の接地電極と導電性接着剤又は半田５２によって電気的に接続している。
【００４４】
このように、フレーム部材を貫通した導電性部材を介してノズル板を電気的に接地しているので、ノズル板が電気的に浮遊して静電気等で高電位となり、インクにダメージを与えたり、転写紙（被記録媒体）やヘッドの維持回復機構等のノズル板に近づく部材に放電したりする悪影響が無くなり、高い信頼性が得られ、しかもノズル板を接地する構造が簡単で、低コスト化も図れる。
【００４５】
なお、フレーム部材に熱硬化性樹脂を使用することで、はんだ付けやスポット溶接等の熱にも耐えることができ、また、導電性部材圧入後のクリープが熱可塑性樹脂に比べて少なく、インサート成形時の導電性部材への密着度も熱可塑性樹脂に比較して高いので、インクの染み込みを確実になくすことができる．
【００４６】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの第３実施形態に係るインクジェットヘッドについて図７及び図８を参照して説明する。なお、図７は同ヘッドのノズル面側からの斜視説明図、図８は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図である。
この実施形態では、振動板１２に  固定されたフレーム部材３の内部には振動板１２側から反対側まで貫通する、ノズルカバー４を接地するための導電性部材７０を設けている。
【００４７】
この導電性部材７０は、フレーム部材３を成形した後、フレーム部材３に貫通形成した穴内に圧入して固定し、或いはフレーム部材３を成形するときにインサート成形して設けることができる。
【００４８】
この導電性部材７０の振動板１２側の端部（一端部）７０ａはノズルカバー４の外側まで延びる幅広の平板状とし、振動板１２側と反対側の端部（他端部）７０ｂはフレーム部材３から突き出した突起状にしている。そして、導電性部材７０の一端部７０ａは導電性接着剤又は半田５１によってノズルカバー４と電気的に接続し、他端部７０ｂは電装基板２４に形成した穴を通して、電装基板２４の接地電極と導電性接着剤又は半田５２によって電気的に接続している。
【００４９】
このように、フレーム部材を貫通した導電性部材を介してノズルカバーを電気的に接地しているので、ノズルカバーが電気的に浮遊して静電気等で高電位となり、ノズル板、転写紙（被記録媒体）やヘッドの維持回復機構等のノズルカバーに近づく部材との間で放電したりする悪影響が無くなり、高い信頼性が得られ、しかもノズルカバーを接地する構造が簡単で、低コスト化も図れる。
【００５０】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について図９及び図１０を参照して説明する。なお、図９は同記録装置の斜視説明図、図１０は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【００５１】
このインクジェット記録装置は、記録装置本体１１１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部１１２等を収納し、装置本体１１１の下方部には前方側から多数枚の用紙１１３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）１１４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙１１３を手差しで給紙するための手差しトレイ１１５を開倒することができ、給紙カセット１１４或いは手差しトレイ１１５から給送される用紙１１３を取り込み、印字機構部１１２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１１６に排紙する。
【００５２】
印字機構部１１２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１２１と従ガイドロッド１２２とでキャリッジ１２３を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ１２３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドからなるヘッド１２４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ１２３にはヘッド１２４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ１２５を交換可能に装着している。
【００５３】
インクカートリッジ１２５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
【００５４】
また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド１２４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【００５５】
ここで、キャリッジ１２３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド１２１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド１２２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ１２３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ１２７で回転駆動される駆動プーリ１２８と従動プーリ１２９との間にタイミングベルト１３０を張装し、このタイミングベルト１３０をキャリッジ１２３に固定しており、主走査モーター１２７の正逆回転によりキャリッジ１２３が往復駆動される。
【００５６】
一方、給紙カセット１１４にセットした用紙１１３をヘッド１２４の下方側に搬送するために、給紙カセット１１４から用紙１１３を分離給装する給紙ローラ１３１及びフリクションパッド１３２と、用紙１１３を案内するガイド部材１３３と、給紙された用紙１１３を反転させて搬送する搬送ローラ１３４と、この搬送ローラ１３４の周面に押し付けられる搬送コロ１３５及び搬送ローラ１３４からの用紙１１３の送り出し角度を規定する先端コロ１３６とを設けている。搬送ローラ１３４は副走査モータ１３７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００５７】
そして、キャリッジ１２３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１３４から送り出された用紙１１３を記録ヘッド１２４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１３９を設けている。この印写受け部材１３９の用紙搬送方向下流側には、用紙１１３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１４１、拍車１４２を設け、さらに用紙１１３を排紙トレイ１１６に送り出す排紙ローラ１４３及び拍車１４４と、排紙経路を形成するガイド部材１４５，１４６とを配設している。
【００５８】
記録時には、キャリッジ１２３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド１２４を駆動することにより、停止している用紙１１３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙１１３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙１１３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙１１３を排紙する。
【００５９】
また、キャリッジ１２３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド１２４の吐出不良を回復するための回復装置１４７を配置している。回復装置１４７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ１２３は印字待機中にはこの回復装置１４７側に移動されてキャッピング手段でヘッド１２４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００６０】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド１２４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００６１】
このように、このインクジェット記録装置においては本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載しているので、高い信頼性が得られる。
【００６２】
なお、上記実施形態においては、本発明に係る液滴吐出ヘッドをインクジェットヘッドに適用したが、インク以外の液体の滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する液滴吐出ヘッド、遺伝子分析試料を吐出する液滴吐出ヘッドなどにも適用することできる。また、上記実施形態では、振動板を有する電気機械変換素子を駆動手段に用いたヘッドで説明したが、その他の静電型ヘッド、サーマル型ヘッド（ただし、振動板はない。）にも適用することができる。
【００６３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、振動板に  固定されたフレーム部材の内部を振動板側から反対側まで貫通する、振動板を接地するための導電性部材を設けたので、簡単な構成で振動板を確実に接地できてヘッドの信頼性が向上する。
【００６４】
他の本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、振動板に  固定されたフレーム部材の内部を振動板側から反対側まで貫通する、ノズル板を接地するための導電性部材を設けたので、簡単な構成でノズル板を確実に接地できてヘッドの信頼性が向上する。
【００６５】
更に他の本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、振動板に  固定されたフレーム部材の内部を振動板側から反対側まで貫通する、ノズルカバーを接地するための導電性部材を設けたので、簡単な構成でノズルカバーを確実に接地できて信頼性が向上する。
【００６６】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたので、低コストで高い信頼性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出ヘッドの第１実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図２】同ヘッドのノズル面側からの斜視説明図
【図３】同ヘッドのフレーム部材側からの斜視説明図
【図４】同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図５】本発明の液滴吐出ヘッドの第２実施形態に係るインクジェットヘッドのノズル面側からの斜視説明図
【図６】同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図７】本発明の液滴吐出ヘッドの第３実施形態に係るインクジェットヘッドのノズル面側からの斜視説明図
【図８】同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図９】本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例を示す斜視説明図
【図１０】同記録装置の機構部の側面説明図
【符号の説明】
１…流路ユニット、２…アクチュエータユニット、３…フレーム部材、４…ノズルカバー、１１…流路板、１２…振動板、１３…ノズル板、１５…ノズル、１６…液室、２４…電装基板、５０、６０、７０…導電性部材、１２４…記録ヘッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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