(57)【要約】【課題】  現像除去部に残渣の残存が少なく、平坦性に優れた画素を製造し得て、ベーク炉の汚染の少ない、感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】  バインダー樹脂（ｂ）、光重合性化合物（ｃ）、光重合開始剤（ｄ）、溶剤（ｆ）およびバインダー樹脂（ｂ）を構成する構成単位に導くモノマーを少なくとも１種含有し、該モノマーを感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、０．０１０〜０．１６質量％含む感光性樹脂組成物。【選択図】          なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
バインダー樹脂（ｂ）、光重合性化合物（ｃ）、光重合開始剤（ｄ）、溶剤（ｆ）およびバインダー樹脂（ｂ）を構成する構成単位に導くモノマーを少なくとも１種含有し、該モノマーを感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、０．０１０〜０．１６質量％含む感光性樹脂組成物。
【請求項２】
バインダー樹脂（ｂ）を構成する構成単位に導くモノマーが、少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が（メタ）アクリル酸である請求項２に記載の感光性樹脂組成物
【請求項４】
バインダー樹脂（ｂ）の含有量が、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、５〜９０質量％である請求項１〜３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
さらに、着色剤（ａ）を含有する請求項１〜４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
バインダー樹脂（ｂ）を合成した後、バインダー樹脂中（ｂ）に未反応で残存するバインダー樹脂の構成単位に導くモノマーの一部または全部を一旦精製して除去し、得られた精製バインダー樹脂を用いて感光性樹脂組成物を調製する際に、バインダー樹脂の構成単位に導くモノマーを加えて、その含有量を調整する、請求項１〜５のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を製造する方法。
【請求項７】
バインダー樹脂（ｂ）を合成した後、得られたバインダー樹脂を用いて感光性樹脂組成物を調製するときに、バインダー樹脂の構成単位に導くモノマーの量が前記の範囲に入るように、精製段階においてバインダー樹脂中の、構成単位に導くモノマーの量を調整する請求項１〜５のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を製造する方法。
【請求項８】
請求項１〜５のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターン。
【請求項９】
請求項８に記載のパターンを含むカラーフィルタ。
【請求項１０】
請求項９に記載のカラーフィルタを具備してなる液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線硬化型インキやフォトレジストなどに広く利用されている感光性樹脂組成物に関するものであり、特に、カラー液晶表示装置や撮像素子などに使用される着色画像（以下、画素と呼ぶことがある。）を形成するために好適な感光性樹脂組成物に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶表示装置や撮像素子などにおけるカラーフィルタは通常、ガラスやシリコンウェハーなどの基板上に、赤、緑および青の三原色画素を形成することにより製造されている。また、これら画素間を遮光するために、通常ブラックマトリックスが設けられる。そして、これら各色の画素を形成するには、ブラックマトリックスがパターン形成された基板上に、各色に相当する顔料を含有する感光性樹脂組成物をスピンコーターにより均一に塗布した後、加熱乾燥（以下、プリベークということがある。）し、その塗膜を露光、現像し、さらに必要に応じて加熱硬化（以下、ポストベークということがある。）する方法が採用されており、これらの操作をカラーフィルタに必要とされる色毎に繰り返すことにより、各色の画像を得ている。このような感光性樹脂組成物として、顔料およびバインダー樹脂とともに、光重合性モノマーおよび光重合開始剤を含有する組成物が多く使用されている。また、ブラックマトリックスの形成にも、黒色顔料を含有する感光性樹脂組成物を用いることがある。従来、カラーフィルタ用感光性樹脂組成物としては、例えば、（メタ）アクリル系バインダー樹脂、顔料、分散剤、光重合開始剤、光重合性モノマーからなるカラーフィルタ用感光性樹脂組成物が知られている（特許文献１）。
また、バインダー樹脂としてベンジルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体を含むカラーフィルタ用感放射線性樹脂組成物に有機カルボン酸としてシュウ酸、イタコン酸、フタル酸、マロン酸、シトラコン酸やメサコン酸を添加することが知られている（特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１−１５２４４９号公報  １頁５〜１９行目
【特許文献２】特開平５−３４３６３１号公報  ２頁左欄２〜１０行目、２頁左欄４４〜５０行目、５頁左欄６〜４２行目、６頁表１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、本発明者は、特許文献２においては、具体的に用いられている有機カルボン酸を添加した感放射線性樹脂組成物を用いてパターンを形成する際に、現像除去部にまだ残渣が残存したり、得られた膜の平坦性が不十分であったりすることを見出した。
また、本発明者は、この技術では、得られた膜が耐熱性や熱安定性に劣るため、その後の熱処理工程で劣化、分解を起こし、膜の劣化物や分解物がベーク炉を汚染するという問題を見出した。
本発明の目的は、現像除去部に残渣の残存が少なく、平坦性に優れた画素を製造し得て、ベーク炉の汚染の少ない、感光性樹脂組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者は、鋭意検討の結果、感光性樹脂組成物に、そのバインダー樹脂を構成する構成単位に導くモノマーを特定量含有させることで、前述の課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
すなわち本発明は、バインダー樹脂（ｂ）、光重合性化合物（ｃ）、光重合開始剤（ｄ）、溶剤（ｆ）およびバインダー樹脂（ｂ）を構成する構成単位に導くモノマーを少なくとも１種含有し、該モノマーを感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、０．０１０〜０．１６質量％含む感光性樹脂組成物を提供する。
また、本発明は、バインダー樹脂（ｂ）を合成した後、バインダー樹脂中（ｂ）に未反応で残存するバインダー樹脂の構成単位に導くモノマーの一部または全部を一旦精製して除去し、得られた精製バインダー樹脂を用いて感光性樹脂組成物を調製する際に、バインダー樹脂の構成単位に導くモノマーを加えて、その含有量を調整する、記載の感光性樹脂組成物を製造する方法、およびバインダー樹脂（ｂ）を合成した後、得られたバインダー樹脂を用いて感光性樹脂組成物を調製するときに、バインダー樹脂の構成単位に導くモノマーの量が前記の範囲に入るように、精製段階においてバインダー樹脂中の、構成単位に導くモノマーの量を調整する感光性樹脂組成物を製造する方法を提供する。
さらに、本発明は、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン、前記のパターンを含むカラーフィルタおよび前記のカラーフィルタを具備してなる液晶表示装置を提供する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の感光性樹脂組成物によれば、後工程での熱処理においてベーク炉の汚染が原因で生じる歩留まり低下および現像残渣が原因で生じる歩留まり低下の両方の問題を、バランスよく解決できる感光性樹脂組成物を提供することができる。したがって、本発明の感光性樹脂組成物を用いて、カラーフィルタを作製する場合、生産性に優れ、かつ高品質なカラーフィルタを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明を詳細に説明する。
【０００８】
本発明の感放射線性樹脂組成物において用いられるバインダー樹脂（ｂ）としては、公知の樹脂を用いることができる。中でも、少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸から導かれる構成単位を有する重合体が好ましく用いられる。
【０００９】
少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸から導かれる構成単位を有する重合体としては、例えば、不飽和モノカルボン酸や、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの不飽和多価カルボン酸などの分子中に少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸などを併用してもよい。ここで、不飽和モノカルボン酸としては、例えば、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸などが挙げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。なお、本明細書および特許請求の範囲において、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸およびメタクリル酸からなる群から選ばれる少なくとも１種を表す。
不飽和多価カルボン酸は、その酸無水物、具体的には無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などであってもよい。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ（２−メタクリロイロキシアルキル）エステルであってもよく、例えば、こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、こはく酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）などであってもよい。不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモノ（メタ）アクリレートであってもよく、例えば、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレートなどであってもよい。これらのカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
【００１０】
少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸から導かれる構成単位を有する重合体において、少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸と共重合可能な他の構成単位に導くモノマーとしては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族ビニル化合物；
メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、ｉ−プロピルアクリレート、ｉ−プロピルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、ｉ−ブチルアクリレート、ｉ−ブチルメタクリレート、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｓｅｃ−ブチルメタクリレート、ｔ−ブチルアクリレート、ｔ−ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、３−ヒドロキシプロピルアクリレート、３−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチルアクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、３−ヒドロキシブチルアクリレート、３−ヒドロキシブチルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、２−メトキシエチルアクリレート、２−メトキシエチルメタクリレート、２−フェノキシエチルアクリレート、２−フェノキシエチルメタクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、メトキシプロピレングリコールアクリレート、メトキシプロピレングリコールメタクリレート、メトキシジプロピレングリコールアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類；
２−アミノエチルアクリレート、２−アミノエチルメタクリレート、２−ジメチルアミノエチルアクリレート、２−ジメチルアミノエチルメタクリレート、２−アミノプロピルアクリレート、２−アミノプロピルメタクリレート、２−ジメチルアミノプロピルアクリレート、２−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、３−アミノプロピルアクリレート、３−アミノプロピルメタクリレート、３−ジメチルアミノプロピルアクリレート、３−ジメチルアミノプロピルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類；
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類；
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類；
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類；
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物；
アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽和アミド類；
マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドなどの不飽和イミド類；
１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類；
ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−ｎ−ブチルアクリレート、ポリ−ｎ−ブチルメタクリレート、ポリシロキサンの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基またはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類などを挙げることができる。これらのモノマーは、それぞれ単独で、または２種以上を混合して使用することができる。
【００１１】
前記の少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸から導かれる構成単位を有する重合体におけるカルボキシル基含有モノマー単位の含有量は、質量分率で通常１０〜５０質量％、好ましくは１５〜４０質量％、とりわけ好ましくは２５〜４０質量％である。前記のカルボキシル基含有モノマー単位の含有量が、１０〜５０質量％であると、現像液に対する溶解性が良好であり、現像時にパターンが正確に形成される傾向があり、好ましい。
前記の少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸から導かれる構成単位を有する重合体としては、具体的には、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／アリル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／グリセロールモノ（メタ）アクリレート共重合体などが挙げられる。なお、本明細書および特許請求の範囲において、（メタ）アクリレートとは、アクリレートおよびメタクリレートからなる群から選ばれる少なくと１種であることを示す。
【００１２】
中でも、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／スチレン共重合体などが好ましい。
【００１３】
前記の少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸から導かれる構成単位を有する重合体は、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテートなどの溶剤中に、（少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸から導かれる構成単位を有する重合体を構成するモノマーを溶解させ、アゾビスイソブチロニトリルなどの重合開始剤を添加し、７０〜９０℃で、空気雰囲気下で、２〜５時間保温したのち、室温まで温度を低下させて反応を停止することで、合成することができる。
また、前記の重合体の合成について、例えば、特開２０００−９８６０６号、特開２０００−１９４１３２号公報に記載されている。
【００１４】
得られた重合体はメタノールなどの溶剤で洗浄することで、未反応で残存しているバインダー樹脂の構成単位に導くモノマーを除去することができる。また、メタノールなどの溶剤での洗浄を適度にすることで、重合体を構成する構成単位に導くモノマーの残存量を管理することができる。
【００１５】
本発明の感光性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂（ｂ）において、そのポリスチレン換算重量平均分子量は、通常５，０００〜５０，０００であり、好ましくは８，０００〜４０，０００の範囲であり、とりわけ好ましくは１０，０００〜３５，０００である。分子量が前記の範囲にあると、塗膜硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、好ましい。
また、バインダー樹脂（ｂ）において、その酸価は、通常５０〜１５０であり、好ましくは６０〜１４０、とりわけ好ましくは８０〜１３５である。酸価が、前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向があり、好ましい。ここで酸価はバインダー樹脂（ｂ）１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【００１６】
前記のバインダー樹脂（ｂ）の含有量は、感光性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、通常５〜９０質量％、好ましくは１０〜７０質量％である。バインダー樹脂（ｂ）の含有量が、前記の範囲にあると、現像液への溶解性が十分であり、非画素部分の基板上に現像残渣が発生しにくく、また現像時に露光部の画素部分の膜減りが生じにくく、非画素部分の抜け性が良好とあり、好ましい。
【００１７】
本発明の感光性樹脂組成物中における、バインダー樹脂（ｂ）を構成する構成単位に導くモノマーとしては、前記のバインダー樹脂の構成単位に導くモノマーであり、好ましくは少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられ、とりわけ好ましくは１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸としては、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸が挙げられ、好ましくは（メタ）アクリル酸が挙げられる。
バインダー樹脂（ｂ）を構成する構成単位に導くモノマーの量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、０．０１０％以上０．１６％以下、好ましくは、０．０１０％以上０．１５％以下、更に好ましくは、０．０２％以上０．１２％以下である。バインダー樹脂（ｂ）を構成する構成単位に導くモノマーの量が前記の範囲にあると、塗膜の熱処理工程時にベーク炉内の汚染を少なくすることができ、かつ未露光部に残渣が発生しにくいため、好ましい。
【００１８】
本発明の感光性樹脂組成物は着色剤（ａ）を含むことができる。着色剤（ａ）を含まないときには、オーバーコート、フォトスペーサーなどを形成するのに用いることができ、着色剤（ａ）を含むときには、カラーフィルタなどを形成するために用いられる感光性樹脂組成物として用いることができる。
【００１９】
前記の着色剤（ａ）は、顔料であることが好ましく、前記の顔料は有機顔料または無機顔料であることができる。
無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩のような金属化合物が挙げられ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属の酸化物または複合金属酸化物が挙げられる。
また有機顔料として具体的には、カラーインデックス（Colour Index）（The Society of Dyers and Colourists 出版）で、ピグメント（Pigment）に分類されている化合物が挙げられる。より具体的には、以下のようなカラーインデックス（Ｃ.Ｉ.）番号の化合物が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【００２０】
有機顔料および無機顔料として、具体的には、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメント（Pigment）に分類されている化合物が挙げられる。具体的には、例えばＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１９４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２１４などの黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３などのオレンジ色の顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメンレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６５などの赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０などの青色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８などのバイオレット色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６などの緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５などのブラウン色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７などの黒色顔料などが挙げられ、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッドバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６およびＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６から選ばれる少なくとも一つの顔料を含有していることが好ましい。
【００２１】
これらの着色剤（ａ）は、それぞれ単独で、または２種以上組み合わせて用いることができる。着色剤（ａ）を含む場合、感光性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、通常５〜６０質量％、好ましくは１０〜５５質量％の範囲で用いられる。着色剤（ａ）の含有量が、前記の範囲にあると、薄膜にしても画素の色濃度が十分であり、また現像時に非画素部の抜け性が低下することがないため、残渣が発生しにくい傾向があり、好ましい。
【００２２】
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物（ｃ）は、光および後述する光重合開始剤（ｄ）の作用で重合しうる化合物であり、単官能モノマーの他、２官能、その他の多官能モノマーであることができる。
単官能モノマーの具体例としては、ノニルフェニルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、Ｎ−ビニルピロリドンなどが挙げられる。
また２官能モノマーの具体例としては、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのビス（アクリロイロキシエチル）エーテル、３−メチルペンタンジオールジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
その他の多官能モノマーの具体例としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。なかでも、２官能以上の多官能モノマーが好ましく用いられる。
前記の光重合性化合物（ｃ）は、感光性樹脂組成物中のバインダー樹脂（ｂ）および光重合性化合物（ｃ）の合計１００質量部に対して、通常１〜６０質量部、好ましくは５〜５０質量部の範囲で含有される。光重合性化合物（ｃ）の含有量が、前記の基準で１〜６０質量部の範囲であると、画素部の強度や平滑性が良好になる傾向があり、好ましい。
【００２３】
次に、本発明の感光性樹脂組成物に含まれる光重合開始剤（ｄ）は、トリアジン化合物、アセトフェノン化合物およびビイミダゾール化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種と多官能チオール化合物とを含むものが好ましい。より好ましくは、ビイミダゾール化合物と多官能チオール化合物とを含む。前記の光重合開始剤（ｄ）を含む感光性樹脂組成物はより高感度となり、またこれを用いて形成する膜はその画素部の強度や表面平滑性がより良好となる。さらに、光重合開始助剤を併用することで、得られる感光性樹脂組成物は更に高感度となり、これを用いてカラーフィルタを形成する際の生産性が向上するので、好ましい。
【００２４】
前記の光重合開始剤（ｄ）に含まれうるトリアジン化合物としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
【００２５】
また、本発明の感光性樹脂組成物の光重合開始剤（ｄ）に含まれうるアセトフェノン化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕−２−メチルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられる。
【００２６】
さらに、本発明の感光性樹脂組成物の光重合開始剤（ｄ）に含まれうるビイミダゾール化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、３−ジクロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール（例えば、特開平６−７５３７２号公報および特開平６−７５３７３号公報など参照。）、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラ（アルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラ（ジアルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラ（トリアルコキシフェニル）ビイミダゾール（例えば、特公昭４８−３８４０３号公報および特公昭４８−３８４０３号公報など参照。）、４，４’５，５’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物（例えば、特開平７−１０９１３号公報など参照。）などが挙げられ、好ましくは２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、３−ジクロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。
【００２７】
本発明の感光性樹脂組成物の光重合開始剤（ｄ）に含まれうる多官能チオール化合物は、分子中にチオール基を２個以上有する化合物であり、特に脂肪族基にチオール基を複数有する脂肪族多官能チオール化合物が好ましい。
本発明に使用することができる脂肪族多官能チオールの例としては、ヘキサンジチーオル、デカンジチオール、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、ブタンジオールビスチオプロピオネート、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレ−ト、ブタンジオールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネートおよび、これらの他に、多価ヒドロキシ化合物のチオグリコレート、チオプロピオネートなどが挙げられ、好ましくはトリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレートおよびペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネートなどが挙げられ、とりわけ好ましくはペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネートが挙げられる。
【００２８】
また、本発明の効果を損なわない程度であれば、この分野で通常用いられている光重合開始剤等を併用することができ、例えば、ベンゾイン系、ベンゾフェノン系、チオキサントン系、アントラセン系、およびその他の開始剤が挙げられる。より具体的には以下のような化合物を挙げることができ、これらをそれぞれ単独で、または２種以上組み合わせて用いることができる。
【００２９】
（ｉ）ベンゾイン系
ベンゾイン、
ベンゾインメチルエーテル、
ベンゾインエチルエーテル、
ベンゾインイソプロピルエーテル、
ベンゾインイソブチルエーテルなど。
【００３０】
（ｉｉ）ベンゾフェノン系
ベンゾフェノン、
ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、
４−フェニルベンゾフェノン、
４−ベンゾイル−４′−メチルジフェニルサルファイド、
３，３′，４，４′−テトラ（tert−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、
２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなど。
【００３１】
（ｉｉｉ）チオキサントン系
２−イソプロピルチオキサントン、
４−イソプロピルチオキサントン、
２，４−ジエチルチオキサントン、
２，４−ジクロロチオキサントン、
１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなど。
【００３２】
（ｉｖ）アントラセン系
９，１０−ジメトキシアントラセン、
２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、
９，１０−ジエトキシアントラセン、
２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなど。
【００３３】
（ｖ）その他
２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキシド、
２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、
１０−ブチル−２−クロロアクリドン、
２−エチルアントラキノン、
ベンジル、
９，１０−フェナンスレンキノン、
カンファーキノン、
フェニルグリオキシル酸メチル、
チタノセン化合物など。
【００３４】
また、光重合開始剤（ｄ）に光重合開始助剤（ｅ）を組み合わせて用いることもできる。光重合開始助剤（ｅ）としては、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
【００３５】
前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。
【００３６】
前記のアルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
【００３７】
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００３８】
光重合開始剤（ｄ）は、単独でも複数を組み合わせて使用しても差し支えない。また、光重合開始助剤（ｅ）として市販のものを用いることもできる。市販の光重合開始助剤（ｅ）としては、例えば、商品名「ＥＡＢ−Ｆ」（保土谷化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００３９】
本発明の感光性樹脂組成物に用いることができる光重合開始剤（ｄ）および光重合開始助剤（ｅ）の組み合わせとしては、ジエトキシアセトフェノン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマー／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの組み合わせなどが挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの組み合わせが挙げられる。
【００４０】
本発明の感光性樹脂組成物において、光重合開始剤（ｄ）の合計量は、バインダー樹脂（ｂ）および光重合性化合物（ｃ）の合計１００質量部に対し、好ましくは０．１〜４０質量部、より好ましくは１〜３０質量部の範囲である。また、光重合開始助剤（ｅ）の合計量は、前記の基準で、好ましくは０．１〜５０質量部、より好ましくは１〜４０質量部の範囲である。
光重合開始剤（ｄ）の合計量が前記の範囲にあると、感光性樹脂組成物が高感度となり、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成した画素部の強度や、前記の画素の表面における平滑性が良好になる傾向があり、好ましい。前記に加えて、光重合開始助剤（ｅ）の量が前記の範囲にあると、得られる感光性樹脂組成物の感度がさらに高くなり、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成するカラーフィルタの生産性が向上する傾向にあり、好ましい。
【００４１】
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる溶剤（ｆ）としては、この分野で用いられている各種のものを用いることができる。溶剤（ｆ）の具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテルおよびエチレングリコールモノブチルエーテルのようなエチレングリコールモノアルキルエーテル類；
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテルおよびジエチレングリコールジブチルエーテルのようなジエチレングリコールジアルキルエーテル類；
メチルセロソルブアセテートおよびエチルセロソルブアセテートのようなエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類；
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテートおよびメトキシペンチルアセテートのようなアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類；
ベンゼン、トルエン、キシレンおよびメシチレンのような芳香族炭化水素類；
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトンおよびシクロヘキサノンのようなケトン類；
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコールおよびグリセリンのようなアルコール類；
３−エトキシプロピオン酸エチルおよび３−メトキシプロピオン酸メチルのようなエステル類；
γ−ブチロラクトンのような環状エステル類などが挙げられる。中でも、好ましくは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが挙げられる。
【００４２】
これらの溶剤（ｆ）は、それぞれ単独で、または２種類以上混合して用いることができる。
前記の溶剤（ｆ）の使用量は、感光性樹脂組成物全体に対して、通常６０〜９０質量％、好ましくは７０〜８５質量％である。溶剤（ｆ）の含有量が、前記の範囲にあると、塗布性が良好になる傾向があり、好ましい。
【００４３】
本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、顔料分散剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止材などの添加剤（ｇ）を混合使用することもできる。
【００４４】
前記の充填剤として具体的には、ガラス、シリカ、アルミナなどが、他の高分子化合物として具体的には、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレートなどを用いることができる。
【００４５】
前記の顔料分散剤としては、市販の顔料分散剤を用いることができ、例えば、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられる。前記の界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でKP（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄化学（株）製）、エフトップ（トーケムプロダクツ社製）、メガファックス（大日本インキ化学工業（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（以上、旭硝子（株）製）、ソルスパース（ゼネカ（株）製）、EFKA（EFKA CHEMICALS社製）、PB821（味の素（株）製）などが挙げられる。
【００４６】
前記の密着促進剤として具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【００４７】
前記の酸化防止剤として具体的には、２，２’−チオビス（４−メチル−６−tert−ブチルフェノール）、２，６−ジ−tert−ブチル−４−メチルフェノールなどが挙げられる。
【００４８】
前記の紫外線吸収剤として具体的には、２−（３−tert−ブチル−２−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００４９】
前記の凝集剤として具体的には、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００５０】
本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして調製することができる。すなわち、着色剤（ａ）を予め溶剤（ｆ）と混合し、着色材料の平均粒子径が０．２μｍ以下程度となるまで、ビーズミルなどを用いて分散させる。この際、必要に応じて顔料分散剤が使用され、またバインダー樹脂（ｂ）の一部または全部が配合されることもある。得られた分散液に、バインダー樹脂（ｂ）の残り、光重合性化合物（ｃ）および光重合開始剤（ｄ）、必要に応じて添加剤（ｇ）、さらには必要により追加の溶剤（ｆ）を、所定の濃度となるように添加し、目的の感光性樹脂組成物を得ることができる。
【００５１】
こうして調製された感光性樹脂組成物は、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して前記の層を露光し、現像することによりパターンを形成することができる。
具体的には、例えば、感光性樹脂組成物を以下のようにして基材上に塗布し、光硬化および現像を行って、ブラックマトリックスまたは着色画像とすることができる。
まず、この組成物を基板（通常はガラス）上にスピンコートし、プリベークすることにより溶剤を除去して、平滑な塗膜を得る。このときの塗膜の厚さは、およそ１〜３μｍ程度である。
このようにして得られた塗膜に、目的のブラックマトリックスまたは画像を形成するためのネガマスクを介して紫外線を照射する。この際、露光部全体に均一に平行光線が照射され、かつマスクと基板の正確な位置合わせが行われるよう、マスクアライナーなどの装置を使用するのが好ましい。
さらにこの後、硬化の終了した塗膜を希アルカリ水溶液に接触させて未露光部を溶解させ、現像することにより、目的とするブラックマトリックスまたは画像が得られる。現像後、必要に応じて１５０〜２３０℃で１０〜６０分程度のポストベークを施すこともできる。
【００５２】
パターニング露光後の現像に使用する現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤を含む水溶液である。前記のアルカリ性化合物は、無機および有機のアルカリ性化合物のいずれでもよい。
【００５３】
前記の無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。
【００５４】
また、前記の有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。これらの無機および有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独でまたは２種以上組み合わせて用いることができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の好ましい濃度は、０．０１〜１０質量％の範囲であり、より好ましくは０．０３〜５質量％である。
【００５５】
前記のアルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤またはカチオン系界面活性剤のいずれでもよい。
【００５６】
前記のノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン／オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
【００５７】
前記のアニオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
【００５８】
前記のカチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩または第四級アンモニウム塩などが挙げられる。
【００５９】
これらの界面活性剤は、それぞれ単独で用いることも、また２種以上組み合わせて用いることもできる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、通常０．０１〜１０質量％の範囲、好ましくは０．０５〜８質量％、より好ましくは０．１〜５質量％である。
【００６０】
以上のような感光性樹脂組成物の塗布、乾燥、得られる乾燥塗膜へのパターニング露光、そして現像という各操作を経て、感光性樹脂組成物中の着色材料の色に相当する画素またはブラックマトリックスが得られ、さらにこれらの操作を、カラーフィルタに必要とされる色の数だけ繰り返すことにより、カラーフィルタが得られる。すなわち、カラーフィルタは通常、ブラックマトリックスならびに、赤、緑および青の三原色画素を基板上に配置したものであるが、ある色に相当する着色材料を含む本発明の感光性樹脂組成物を用いて上記の操作を行うことにより、その色のブラックマトリックスまたは画素を得て、他の色についても所望の色に相当する着色材料を含む本発明の感光性樹脂組成物を用いて同様の操作を行い、ブラックマトリックスおよび三原色画素を基板上に配置することができる。もちろん、ブラックマトリックスおよび三原色のうちいずれか一色、二色または三色にのみ、本発明の感光性樹脂組成物を適用することも可能である。なお、遮光層であるブラックマトリックスは、例えば、クロム層などで形成されることもある。
【００６１】
そして、本発明の感光性樹脂組成物を用いて製造されたカラーフィルタは、面内の膜厚差が小さく、例えば、１〜３μｍの膜厚において、面内膜厚差を０．１５μｍ以下、さらには０．０５μｍ以下とすることができる。したがって、こうして得られるカラーフィルタは、平滑性および透明性に優れたものであり、またこれをカラー液晶表示装置に組み込むことにより、優れた品質の液晶パネルを高い歩留りで製造することができる。
【実施例】
【００６２】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。例中、含有量ないし使用量を表す％および部は、特にことわらないかぎり質量基準である。
【００６３】
本実施例で用いる成分は以下の通りで、以下、省略して表示することがある。
（ａ−１）Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４
（ａ−２）Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９
（ａ−３）Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６
（ａ−４）Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０
（ｂ−１）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、ポリスチレン換算重量平均分子量は２５，０００、バインダー樹脂中に含まれるメタクリル酸の量は、バインダー樹脂に対して質量分率で０．０８％。］
（ｂ−２）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、ポリスチレン換算重量平均分子量は２５，０００、バインダー樹脂中に含まれるメタクリル酸の量は、バインダー樹脂に対して質量分率で０．２８％。］
（ｂ−３）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、ポリスチレン換算重量平均分子量は２５，０００、バインダー樹脂中に含まれるメタクリル酸の量は、バインダー樹脂に対して質量分率で０．４５％。］
（ｂ−４）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、ポリスチレン換算重量平均分子量は２５，０００、バインダー樹脂中に含まれるメタクリル酸の量は、バインダー樹脂に対して質量分率で０．６８％。］
（ｂ−５）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、ポリスチレン換算重量平均分子量は２５，０００、バインダー樹脂中にメタクリル酸は含まれない。］
（ｂ−６）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、ポリスチレン換算重量平均分子量は３５，０００、バインダー樹脂中にメタクリル酸は含まれない。］
（ｂ−７）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、ポリスチレン換算重量平均分子量は３５，０００、バインダー樹脂中に含まれるメタクリル酸の量は、バインダー樹脂に対して質量分率で０.３９％。］
（ｂ−８）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は８３、ポリスチレン換算重量平均分子量は２５，０００、バインダー樹脂中にメタクリル酸は含まれない。］
（ｂ−９）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は８３、ポリスチレン換算重量平均分子量は２５，０００、バインダー樹脂中に含まれるメタクリル酸の量は、バインダー樹脂に対して質量分率で０．４１％。］
（ｂ−１０）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、ポリスチレン換算重量平均分子量は２８，０００、バインダー樹脂中に含まれるメタクリル酸の量は、バインダー樹脂に対して質量分率で０．１０％。］
（ｂ−１１）バインダー樹脂：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体［メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、ポリスチレン換算重量平均分子量は２５，０００、バインダー樹脂中に含まれるメタクリル酸の量は、バインダー樹脂に対して質量分率で０．０２％。］
（ｃ−１）光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（日本化薬（株）製  KAYARAD DPHA）
（ｄ−１）光重合開始剤：２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン
（ｄ−２）光重合開始剤：２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン
（ｄ−３）光重合開始剤：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン
（ｅ−１）光重合開始助剤：２，４−ジエチルチオキサントン
（ｅ−２）光重合開始助剤：４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（ｆ）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
（ｇ）エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業（株）製）〕
【００６４】
上記のバインダー樹脂（ｂ）中に含まれる、バインダー樹脂を構成する構成単位を導くモノマーであるメタクリル酸の含有量の測定については、ＧＣ法を用いて、以下の条件で行った。
装置；６８９０型（Ａｇｉｌｅｎｔ社製）または同等品
カラム；ＤＢ−５（Ａｇｉｌｅｎｔ社製）
内部標準物質；２−オクタノン
【００６５】
上記のバインダー樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量の測定については、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で行なった。
装置；ＨＬＣ-８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム；ＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬ
カラム温度；４０℃
溶媒；ＴＨＦ
流速；１．０ｍｌ／ｍｉｎ
被検液固型分濃度；０．００１〜０．０１質量％
注入量；５０μｌ
検出器；ＲＩ
校正用標準物質；ＴＳＫ  ＳＴＡＮＤＡＲＤ  ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ  Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−１、Ａ−２５００、Ａ−５００（東ソー（株）製）
【００６６】
実施例１
〔感光性樹脂組成物１および樹脂溶液１の調製〕
（ａ−１）                ５．３６質量部
（ａ−２）                １．３４質量部
ポリエステル系顔料分散剤  ２．５４質量部
（ｂ−１）                ５．０４質量部
（ｃ−１）                ３．３６質量部
（ｄ−１）                ０．５０質量部
（ｄ−２）                ０．５０質量部
（ｅ−１）                ０．５０質量部
（ｆ）                  ７９．９１質量部
（ｇ）                    ０．８４質量部
を混合して感光性樹脂組成物１を得た。感光性樹脂組成物１中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０．０２％であった。
また、
（ｂ−１）                ５．００質量部
（ｆ）                  ４５．００質量部
を混合して樹脂溶液１を得た。
【００６７】
５センチ角のコーニング社製＃１７３７ガラス基板を、中性洗剤、水およびアルコールで順次洗浄してから乾燥した。このガラス基板上に、上記の感光性樹脂組成物１をスピンコートし、次にクリーンオーブン中、１００℃で３分間プリベークして揮発分を除去した。冷却後、前記の基板を、ウシオ電機（株）製の超高圧水銀ランプを用いて大気雰囲気下、１５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で光照射し塗膜Ａを得た。
一方、感光性樹脂組成物１に代えて樹脂溶液１を用いて、上記と同様にして塗膜Ｂを得た。
また、別に、塗膜Ａの途中段階で得られるプリベーク後の基板を、露光せずに、非イオン系界面活性剤０．１２％と水酸化カリウム０．０４％を含む水系現像液に２３℃で８０秒間浸漬して現像し、水洗後、乾燥し基板Ｃを得た。
（評価）
上記の塗膜Ａを空気雰囲気下において２２０℃で６０分間加熱しところ、その重量減少率は、塗膜Ａでは８．５％であった。減少した分は、完全には除去されず、ベーク炉内を汚染するが、ベーク炉の汚染物が炉の内壁から落下して塗膜に付着することによる歩留まりは改善した。
また、塗膜Ｂを上記と同様に処理したところ、その重量減少率は１５．３％であった。
上記基板Ｃの透過率は、１００％で感光性樹脂組成物の残渣はなかった。また、その面内の膜厚差を膜厚計（ＤＥＫＴＡＫ３（（株）ＵＬＶＡＣ製））を用いて測定したところ、１８Åであった。
【００６８】
実施例２
〔感光性樹脂組成物Ｇの調製〕
（ａ−３）                  ４．５７４質量部
（ａ−４）                  １．９６０質量部
ポリエステル系顔料分散剤    １．５０２質量部
（ｂ−１０）                ４．７２２質量部
（ｃ−１）                  ３．８６３質量部
（ｄ−３）                  １．０３０質量部
（ｅ−２）                  ０．３４３質量部
（ｆ）                    ８１．９６０質量部
を混合して感光性樹脂組成物Ｇを得た。
【００６９】
ガラス基板〔コーニング社製、「＃１７３７」〕の上に、感光性樹脂組成物Ｇをスピンコート法で塗布したのち、１００℃で３分間乾燥して揮発分を揮発させて、感光性樹脂組成物の層を形成した。
冷却後、この感光性樹脂組成物層にフォトマスクを介さずｉ線〔波長３６５ｎｍ〕を照射して露光した。ｉ線の光源としては、超高圧水銀ランプを用い、照射光量は１５０ｍＪ／ｃｍ2とした。次いで、露光後のガラス基板（表面には着色感光性樹脂組成物層が形成されている）を、現像液（質量分率で水酸化カリウムを０．０５％、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２％それぞれ含む水溶液）に浸漬して現像し、純水で洗浄した。その後、空気雰囲気下において２２０℃で２０分間加熱して、透明なパターンを形成した。得られたパターン上には、残渣は見られなかった。
【００７０】
前記の緑画素が形成された基板の上に、感光性樹脂組成物１をスピンコート法で塗布したのち、１００℃で３分間乾燥して揮発分を揮発させて、感光性樹脂組成物の層を形成した。次いで、ガラス基板を、現像液（質量分率で水酸化カリウムを０．０５％、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２％それぞれ含む水溶液）に浸漬して現像し、純水で洗浄した。その後、空気雰囲気下において２２０℃で２０分間加熱して、透明なパターンを形成した。感光性樹脂組成物１を塗布して塗膜を形成する前後で、緑画素部分の明度値変化［ＯＳＰ−ＳＰ２００（オリンパス光学（株）製）を用いて測定。］は０．９９であった。
【００７１】
実施例３
〔感光性樹脂組成物２および樹脂溶液２の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−２）に変更する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物２および樹脂溶液２を得た。感光性樹脂組成物２中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０．０７％であった。
【００７２】
（評価）
感光性樹脂組成物２および樹脂溶液２を用いる以外は実施例１と同様にして、空気雰囲気下において２２０℃で６０分間加熱したときの重量減少率は、感光性樹脂組成物２では９．１％、樹脂溶液１では２１．４％であった。減少した分は、完全には除去されず、ベーク炉内を汚染するが、ベーク炉の汚染物が塗膜に付着することによる歩留まりは改善した。基板の透過率は、１００％で感光性樹脂組成物の残渣はなかった。また、面内の膜厚差は２２Åであった。
実施例１の感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物２に変更する以外は実施例１と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は１．２２であった。
【００７３】
実施例４
〔感光性樹脂組成物の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−３）に変更する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物３および樹脂溶液３を得た。感光性樹脂組成物３中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０．１１％であった。
【００７４】
（評価）
感光性樹脂組成物３および樹脂溶液３を用いる以外は実施例と同様にして、空気雰囲気下において２２０℃で６０分間加熱したときの重量減少率は、感光性樹脂組成物３では９．６％、樹脂溶液１では２６．４％であった。減少した分は、完全には除去されず、ベーク炉内を汚染するが、ベーク炉の汚染物が塗膜に付着することにより生じる歩留まりは改善した。基板の透過率は、１００％で感光性樹脂組成物の残渣はなかった。また、面内の膜厚差は２４Åであった。
さらに、実施例２において、感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物３に変更する以外は実施例２と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は０．８７であった。
【００７５】
実施例５
〔感光性樹脂組成物の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−７）に変更する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物４および樹脂溶液４を得た。感光性樹脂組成物４中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０．１０％であった。
【００７６】
（評価）
感光性樹脂組成物４および樹脂溶液４を用いる以外は実施例１と同様にして、空気雰囲気下において２２０℃で６０分間加熱したときの重量減少率は、感光性樹脂組成物４では８．６％、樹脂溶液４では２４．２％であった。減少した分は、完全には除去されず、ベーク炉内を汚染するが、ベーク炉の汚染物が塗膜に付着することによる歩留まりは改善した。基板の透過率は、１００％で感光性樹脂組成物の残渣はなかった。また、面内の膜厚差は２３Åであった。
さらに、実施例２において、感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物４に変更する以外は実施例２と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は１．１９であった。
【００７７】
実施例６
〔感光性樹脂組成物５および樹脂溶液５の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−９）に変更する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物５および樹脂溶液５を得た。感光性樹脂組成物５中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０．１０％であった。
【００７８】
（評価）
感光性樹脂組成物５、樹脂溶液５を用いる以外は実施例１と同様にして、空気雰囲気下において２２０℃で６０分間加熱したときの重量減少率は、感光性樹脂組成物５では９．５％、樹脂溶液４では２７．９％であった。減少した分は、完全には除去されず、ベーク炉内を汚染するが、ベーク炉の汚染物が塗膜に付着することによる歩留まりは改善した。基板の透過率は、１００％で感光性樹脂組成物の残渣はなかった。また、面内の膜厚差は１９Åであった。
さらに、実施例２の感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物５に変更する以外は実施例２と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は１．４２であった。
【００７９】
比較例１
〔感光性樹脂組成物６および樹脂溶液６の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−４）に変更する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物６、樹脂溶液６を得た。感光性樹脂組成物６中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０．１７％であった。
【００８０】
（評価）
感光性樹脂組成物６、樹脂溶液６を用いる以外は実施例１と同様にして、空気雰囲気下において２２０℃で６０分間加熱したときの重量減少率は、感光性樹脂組成物６では１０．６％、樹脂溶液６では３７．１％であった。減少した分は、完全には除去されず、ベーク炉内を汚染し、ベーク炉の汚染物が塗膜に付着し歩留まりが低下した。基板の透過率は、１００％で感光性樹脂組成物の残渣はなかった。また、面内の膜厚差は２８Åであった。
さらに、実施例２の感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物６に変更する以外は実施例２と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は１．７２であった。
【００８１】
比較例２
〔感光性樹脂組成物７および樹脂溶液７の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−５）に変更する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物７および樹脂溶液７を得た。感光性樹脂組成物７中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０％であった。
【００８２】
（評価）
感光性樹脂組成物７、樹脂溶液７を用いる以外は実施例１と同様にしたとき、基板の透過率は、９７％で基板に感光性樹脂組成物の残渣が付着した。また、面内の膜厚差は３２Åであった。
さらに、実施例２において、感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物７に変更する以外は実施例２と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は３．０２であった。
【００８３】
比較例３
〔感光性樹脂組成物８および樹脂溶液８の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−６）に変更する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物８、樹脂溶液８を得た。感光性樹脂組成物８中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０％であった。
【００８４】
（評価）
感光性樹脂組成物８、樹脂溶液８を用いる以外は実施例１と同様にたとき、基板の透過率は、９６％で基板に感光性樹脂組成物の残渣が付着した。また、面内の膜厚差は２２Åであった。
さらに、実施例２において、感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物８に変更する以外は実施例２と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は２．８９であった。
【００８５】
比較例４
〔感光性樹脂組成物９および樹脂溶液９の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−８）に変更する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物９、樹脂溶液９を得た。感光性樹脂組成物９中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０％であった。
【００８６】
（評価）
感光性樹脂組成物９、樹脂溶液９を用いる以外は実施例１と同様にしたとき、基板の透過率は、９５％で基板に感光性樹脂組成物の残渣が付着した。また、面内の膜厚差は３２Åであった。
さらに、実施例２において、感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物９に変更する以外は実施例２と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は５．８９であり、不良であった。
【００８７】
比較例５
〔感光性樹脂組成物１０の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−５）に変更し、更に、マロン酸０．２質量部を添加する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物１０を得た。感光性樹脂組成物１０中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０％であり、また、マロン酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で１．０％であった。
【００８８】
（評価）
感光性樹脂組成物１０を用いる以外は実施例１と同様にしたとき、基板の透過率は、１００％で基板に感光性樹脂組成物の残渣はなかった。また、面内の膜厚差は８８Åであり、不良であった。
さらに、実施例２において、感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物１０に変更する以外は実施例２と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は６．４２であり、不良であった。
【００８９】
比較例６
〔感光性樹脂組成物１１の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−５）に変更し、更に、マレイン酸０．２質量部を添加する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物１１を得た。感光性樹脂組成物１１中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０％であり、また、マレイン酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で１．０％であった。
【００９０】
（評価）
感光性樹脂組成物１１を用いる以外は実施例１と同様にしたとき、基板の透過率は、１００％で基板に感光性樹脂組成物の残渣はなかった。また、面内の膜厚差は８２Åであり、不良であった。
さらに、実施例２において、感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物１０に変更する以外は実施例２と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は６．４４であり、不良であった。
【００９１】
比較例７
〔感光性樹脂組成物１２の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−１１）に変更する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物１２を得た。感光性樹脂組成物１２中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０．００５％であった。
【００９２】
（評価）
感光性樹脂組成物１２、樹脂溶液１２を用いる以外は実施例１と同様にしたとき、基板の透過率は、９８％で基板に感光性樹脂組成物の残渣が付着した。また、面内の膜厚差は３０Åであった。
さらに、実施例２において、感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物１２に変更する以外は実施例２と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は３．００であった。
【００９３】
比較例８
〔感光性樹脂組成物１３の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−５）に変更し、更に、マロン酸０．０２質量部を添加する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物１３を得た。感光性樹脂組成物中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０％であり、また、マロン酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で０．１％であった。
【００９４】
（評価）
感光性樹脂組成物１３を用いる以外は実施例１と同様にしたとき、基板の透過率は、９８％で基板に感光性樹脂組成物の残渣が付着した。また、面内の膜厚差は５２Åであり、不良であった。
さらに、実施例２において、感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物１３に変更する以外は実施例２と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は４．６２であり、不良であった。
【００９５】
比較例９
〔感光性樹脂組成物１４の調製〕
（ｂ−１）を（ｂ−５）に変更し、更に、マレイン酸０．０２質量部を添加する以外は実施例１と同様にして感光性樹脂組成物１４を得た。感光性樹脂組成物１４中のメタクリル酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で０％であり、また、マレイン酸の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で０．１％であった。
【００９６】
（評価）
感光性樹脂組成物１４を用いる以外は実施例１と同様にしたとき、基板の透過率は、９８％で、基板に感光性樹脂組成物の残渣が付着した。また、面内の膜厚差は５４Åであり、不良であった。
さらに、実施例２において、感光性樹脂組成物１を感光性樹脂組成物１４に変更する以外は実施例２と同様にしたところ、緑画素部分の明度変化は４．７４であり、不良であった。
【産業上の利用可能性】
【００９７】
本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルタの製造に用いられる。