(57)【要約】【課題】射出成型機等の樹脂成型機を用いて、光学部品を樹脂によって成型する場合、成型品に溶融樹脂劣化に伴う異物が混入してしまうことがあった。【解決手段】溶融した樹脂と接触する面を備え、当該接触面の少なくとも一部を、母材あるいは母材に含まれている一部の成分の酸化膜皮膜で覆われている樹脂成型機用部材が得られる。当該部材を用いて成型を行うことにより、溶融樹脂劣化に伴う異物が成型品に混入するのを防止できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部材内面のうち、溶融した樹脂が接触する面の少なくとも一部が、前記部材の母材あるいは母材に含まれている一部の成分の酸化膜皮膜で覆われていることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項２】
請求項１において、前記酸化膜が不働態金属酸化膜であることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項３】
請求項１において、前記母材がアルミニウムまたはアルミニウムを少なくとも含有する鉄であり、前記酸化膜皮膜は前記母材の直接酸化によって生成されたアルミナ膜であることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項４】
請求項１において、前記母材はアルミニウムを３重量％〜７重量％含有するステンレススチールであり、前記酸化膜皮膜は前記母材の表面に酸化性ガスを接触させて熱処理を行うことにより選択的に形成されたアルミナ不働態膜であることを特徴する樹脂成型機。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかにおいて、前記部材はスクリュー、シリンダー、ノズル、金型、ダイ、及び、ロールのうちの少なくとも一つであることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれかにおいて、前記樹脂は光学成型品用樹脂であることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項７】
請求項６において、前記樹脂は非極性ポリオレフィン樹脂またはシクロオレフィン樹脂であることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかにおいて、前記成型機は画面対角が２８インチ以上の大型平板液晶ディスプレイ光学樹脂製成型品を成型するためのものであることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項９】
部材内面のうち、溶融した樹脂が接触する面の少なくとも一部が、前記部材の母材あるいは母材に含まれている一部の成分の酸化膜皮膜で覆われていることを特徴とする樹脂成型機用部材。
【請求項１０】
請求項９において、前記酸化膜が不働態金属酸化膜であることを特徴とする樹脂成型機用部材。
【請求項１１】
請求項９において、前記母材がアルミニウムまたはアルミニウムを少なくとも含有する鉄であり、前記酸化膜皮膜は前記母材の直接酸化によって生成されたアルミナ膜であることを特徴とする樹脂成型機用部材。
【請求項１２】
請求項９において、前記母材はアルミニウムを３重量％〜７重量％含有するステンレススチールであり、前記酸化膜皮膜は前記母材の表面に酸化性ガスを接触させて熱処理を行うことにより選択的に形成されたアルミナ不働態膜であることを特徴する樹脂成型機用部材。
【請求項１３】
請求項３または４において、前記アルミナ膜の膜厚が５ｎｍから１００ｎｍであることを特徴とする樹脂成型機用部材。
【請求項１４】
請求項１１または１２において、前記アルミナ膜の膜厚が５ｎｍから１００ｎｍであることを特徴とする樹脂成型機用部材。
【請求項１５】
請求項３または４において、前記アルミナ膜の膜厚が５０から３００オングストロームであることを特徴とする樹脂成型機用部材。
【請求項１６】
請求項１１または１２において、前記アルミナ膜の膜厚が５０から３００オングストロームであることを特徴とする樹脂成型機用部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は樹脂成型機に関し、特に、樹脂成型機部材の不働態膜に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光・レーザ技術の発展に伴い、従来ガラス等の透明材料が使われていた光学レンズ、プリズム、導光体等の光学部材に、透明樹脂材料が用いられるようになった。樹脂製の光学材料は、ガラスに比べて軽量であり、かつ、従来ガラスでは困難であった非曲面あるいは複雑化した微細形状の光学部材を、簡便に大量生産できる利点がある。現状、これら樹脂製の光学部材を使用した光学機器は、以前と比べて格段に軽量化・小型化されてきた。
【０００３】
例えば、高性能カメラに搭載される望遠レンズ用光学レンズは、従来曲面ガラスを複数枚重ねて使用していたため、望遠レンズが大型化、重量化し、取り扱いにくかった。しかし、非曲面樹脂レンズを使用することによりレンズの枚数を大幅に削減することが可能になり、望遠レンズが軽量かつ小型化され、誰にでも簡単に取り扱えるようになった。
【０００４】
最近、需要が拡大している平板液晶ディスプレイにも、複雑な形状をした樹脂製光学シートあるいは板が使用されている。これら透明樹脂による光学部材がなければ、平板ディスプレイの薄肉化、軽量化は不可能である。特に、最近急激に需要を拡大した画面対角が２８インチ以上の大型平板液晶ディスプレイは、現在ディスプレイの主流であるＣＲＴより、圧倒的に薄型で、かつ軽量であることが特徴であり、持ち運びが容易で、壁にかけることができ、室内の省スペース化を実現できる画期的なディスプレイである。この薄型化、軽量化が実現したのも、透明樹脂による光学部材が存在するからである。このように、透明樹脂の光学部材への適用例は、飛躍的に向上している。
【０００５】
透明樹脂の光学部材は、射出成型、押出成型等、通常の樹脂成型機を用いて、加熱溶融・注型・冷却固化の工程を経て作製される。
【０００６】
最近の樹脂製光学部材は、ますます薄型化、大型化、表面形状微細化しており、計算された光学形状を形成させるため、溶融樹脂を低粘度化し、流動性を確保する必要が出てきた。
【０００７】
樹脂の溶融粘度を低くする方法として、樹脂そのものの特性を変える方法もあるが、簡便に樹脂材料を低粘度化させる方法は、溶融時の温度を高くすることである。しかし、樹脂の溶融温度を高くすることは、樹脂の分解劣化温度に近づくことにもなる。
【０００８】
光学部材は、その透明度が重要である。樹脂成型工程において、加熱溶融される樹脂は、その温度が高温になるほど分解劣化しやすくなる。また、高温溶融時に酸素が存在すると、反応して容易に酸化劣化される。
【０００９】
通常、酸化劣化温度は分解劣化温度より低温である。酸化劣化された樹脂は着色したり、屈折率が変化したりする。これらは、そのまま成型品中に残留され、異物となるため、透明度が落ち、品質劣化の原因となる。また、高温での滞留時間が長いほど、酸化劣化をうけやすい。
【００１０】
酸化劣化され、成型品中に残留した異物は、やけ、黒点、イエロー、ぶつ、フィシュアイ、ゲル等と呼ばれ、成型不良の大きな要因である。
【００１１】
その対策として、最近は、成型機中を窒素封止したり、酸素を含む空気を強制排気するような構造の成型機が開発され、利用されている。
【００１２】
しかし、系内の酸素を完全に除去することは不可能であり、不良を完全になくすことは出来ない。また、高温溶融状態での滞留時間を短くすると、未溶融の樹脂がそのまま成型品中に押し出され、不良原因となるため、最適な成型条件を見つけることが非常に困難である。
【００１３】
やけ等の酸化劣化物が発生する原因に、成型機を構成する部材のうち、溶融樹脂が接触するシリンダー、スクリュー、ノズル、ダイ等の材質の表面粗さが関係している。これら表面に凹凸があると、その部分に溶融樹脂が長期間滞留し、劣化し、やがてはがれて成型品に混入する。そのため、これら表面は、通常、十分に研磨される。また、それでも不十分の場合は、めっきやコーティングが施され、表面を平坦化させている。
【００１４】
更に、表面を十分に平坦化しても、樹脂と部材表面の親和性が強いと、付着・滞留しやすくなり、酸化劣化の原因となる。これらのことは、射出成型機における金型にも生じる問題である。
【００１５】
部材表面に付着・滞留した樹脂は、表面の触媒性により、酸化劣化を促進される。また、表面に施されためっきやコーティングは、物理的、時には化学的にはがれることがあり、成型品中に混入するため、これも不良の原因となる。よって、表面に使用される材料は十分に吟味される必要があるが、全てを満たす最適な方策は、未だ開発されていない。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、樹脂との親和性が弱く、不活性かつはがれることのない不働態表面処理を施された金属部材を用いることで、成型品に混入する溶融樹脂劣化に起因する異物をなくし、歩留まりを飛躍的に向上させることが出来る成型機を提供することを目的とする。
【００１７】
また、本発明は、樹脂との親和性が弱く、不活性かつはがれることのない不働態表面処理を施された金属部材を用いることで、成型品に混入する溶融樹脂劣化に起因する異物をなくし、歩留まりを飛躍的に向上させることが出来る成型機用部材を提供することを目的とする。
【００１８】
更に、本発明は、画面対角が２８インチ以上の大型平板液晶ディスプレイ用樹脂光学成型品を歩留まり良く成型するために必要な成型機用部材を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明の一態様によれば、高温で溶融した樹脂が接触する面に使用される部材において、その接触面が、母材あるいは母材に含まれている一部の成分が直接酸化されて形成された酸化膜皮膜で覆われていることを特徴とする樹脂成型機用部材が得られる。
【００２０】
ここで用いられる酸化膜を形成可能な金属は、不働態金属酸化物を形成可能な金属であることが望ましく、アルミニウムであると更に好ましい。
【００２１】
酸化膜皮膜となる金属は、その母材の構成成分の中の一成分であり、直接酸化処理によって皮膜形成されることが望ましい。
【００２２】
母材中の不働態酸化皮膜形成用金属成分の含有量は、例えば、それがアルミニウムの場合、３重量％〜７重量％であることが好ましい。
【００２３】
さらに、上記いずれかにおいて形成された金属酸化膜の厚さが５ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが望ましい。
【００２４】
本発明の成型機用部材は、その母材の必要な表面に酸化性ガスを接触させ、熱処理を行うことにより不働態酸化皮膜を形成した部材である。酸化性ガスとしては、酸素もしくは水分を含んだガスであると望ましい。
【００２５】
酸素もしくは水分を含む酸化性ガスを母材に接触させることで、不働態酸化皮膜を容易に形成させることが出来る。
【００２６】
製造時に使用する酸素濃度は、５００ｐｐｂ〜１００ｐｐｍ、好ましくは、１ｐｐｍ〜５０ｐｐｍである。水分濃度は、２００ｐｐｂ〜５０ｐｐｍ、好ましくは、５００ｐｐｂ〜１０ｐｐｍである。また、水素を含む混合ガスであると更に望ましい。
【００２７】
本発明の形成方法において、酸化処理温度は７００℃〜１２００℃、好ましくは８００℃〜１１００℃である。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下では、本発明に係る構成、作用に関して説明する。
【００２９】
本発明者等は、高温で溶融時の樹脂劣化が起こりにくい樹脂成型機用部材を調査する過程において、高温で溶融した樹脂が接触する接触面が、母材あるいは母材に含まれている一部の成分を直接酸化して形成した不働態酸化皮膜で覆われている樹脂成型機用部材が、他部材と比べ、高温・長期間でも溶融樹脂が劣化させにくい性能があることを突き止め、本発明に想到した。
【００３０】
まず、本発明を具体的に説明する。図１は本発明の樹脂成型機用部材の一例を示す部分概略断面図である。
【００３１】
図１に示された本発明の一実施形態に係る樹脂成型機用部材３は、基板１の一表面上に形成された酸化皮膜層２を有している。図示された基板１は、通常使用されているステンレス鋼、炭素鋼等、通常使用されている鋼材で構成される。但し、使用される鋼材中には不働態酸化皮膜を形成可能な成分が存在しなければならない。
【００３２】
鋼材の中に含まれる成分としては、不働態酸化皮膜を形成可能な鉄、コバルト、ニッケル、クロム、アルミニウムが好ましい。また、酸化されるべき金属は一種類であって、その金属が選択的に酸化されることで、酸化皮膜中の酸化物配列が規則的になるため、緻密になり、より安定した酸化皮膜となる。
【００３３】
さらに、その成分がアルミニウムであるとより好ましい。図示された酸化皮膜層の平均厚さは５ｎｍ以上１００ｎｍであるが、溶融樹脂と部材界面の摩擦により発生した静電気をトンネル効果によって金属母材へ流し去ることによって、酸化皮膜の絶縁破壊を防止するためには、５０〜３００オングストローム、すなわち、５ｎｍ〜３０ｎｍ程度の厚さが好ましい。
【００３４】
以下、一例としてアルミニウム含有ステンレス鋼の酸化皮膜形成方法を説明する。
【００３５】
アルミニウム含有ステンレス鋼の表面に酸化性ガスを接触させ、熱処理を行うことにより、他金属の酸化膜を含まない酸化アルミニウムから成る不働態膜を形成することが可能である。
【００３６】
耐食性に優れる酸化アルミニウム不働態膜をアルミニウム含有ステンレス鋼の表面に形成する事により、従来からの加工性、硬度といった問題点を克服し、成型機用部材として適した酸化アルミニウム不働態膜の形成を可能にした。
【００３７】
また、従来に比べ、安価で短時間の処理が可能で、酸化アルミニウム不働態膜処理の生産性の向上が実現できる。
【００３８】
より具体的な形成方法は、酸素もしくは水分を含む酸化性ガスにアルミニウム含有ステンレス鋼に接触させ酸化アルミニウム不働態膜を形成させる。
【００３９】
その酸素濃度は、５００ｐｐｂ〜１００ｐｐｍ、好ましくは１ｐｐｍ〜５０ｐｐｍであり、また水分濃度は、２００ｐｐｂ〜５０ｐｐｍ、好ましくは５００ｐｐｂ〜１０ｐｐｍである。
【００４０】
さらに、酸化性ガス中に水素を含む酸化性混合ガスであると好ましい。
【００４１】
アルミニウム含有ステンレス鋼は、アルミニウムの他に、鉄、クロム、ニッケルといったステンレス鋼成分が含有されており、酸化性成分が多量に存在すると他金属もアルミニウムと一緒に酸化されてしまい、他金属酸化膜の存在しない酸化アルミニウム不働態膜を形成することは困難であり、また、酸化性成分が少なすぎると酸化膜が形成できないため、他金属は酸化されず、アルミニウムのみ酸化されるような上記に記載の酸化性雰囲気で処理を行うことにより、酸化アルミニウム不働態膜が形成可能となる。また、さらに過剰な酸化性雰囲気においても還元性の水素を添加し、酸化雰囲気の酸化性成分の濃度を幅広く設定することを可能にした。
【００４２】
また、水素を添加することにより、より緻密で強固な酸化アルミニウム不働態膜を形成することが可能である。
【００４３】
本発明の酸化皮膜形成温度は、酸化処理温度が７００℃〜１２００℃、好ましくは８００℃〜１１００℃である。前記記載の他金属酸化膜の存在しない酸化アルミニウム不働態膜の形成方法において、選択的にアルミニウムのみを酸化するため上記温度で酸化を行い、他金属の酸化を防止することができる。７００℃以下では鉄やクロムも酸化されてしまい、また１２００℃以上では、形成された酸化アルミニウム不働態膜の表面に酸化アルミニウムの結晶が析出してしまい、流体を供給すると析出した酸化アルミニウムの結晶が剥離してしまい、また亀裂が生じてしまうため、供給流体が汚染してしまう恐れがあるため、処理温度は７００℃〜１２００℃が適している。
【００４４】
本発明の形成方法は、酸化処理時間は３０分〜３時間である。酸化アルミニウム不働態膜形成にかかる時間が３０分〜３時間と短いため、従来のようなアルミニウム被覆後に熱処理を施すといった手間がかからず、生産性の向上が可能である。
【００４５】
このようにして作成された酸化皮膜が形成された本発明の樹脂成型機用部材上に、無色透明樹脂であるシクロオレフィンポリマーペレットをおき、その劣化挙動を調査した。
【００４６】
比較として、酸化皮膜のない鉄製部材、およびニッケルメッキされた部材にも同様に樹脂をおいた。
【００４７】
ホットプレートを用いて徐々に部材を加熱した。２５０℃を越えたあたりで樹脂は溶融した。
【００４８】
さらに温度を上げていくと、２７０℃を越えたあたりで、鉄製部材、およびニッケルメッキされた部材上においた樹脂は茶色に着色し始めた。
【００４９】
一方、酸化皮膜上においた樹脂は、その無色透明性を維持していた。
【００５０】
更に細かく観察すると、鉄製部材、およびニッケルメッキされた部材上においた樹脂の劣化は、その部材表面との界面から発生しており、すなわち、これらの表面が劣化を促進するなんらかの触媒作用を持つことが容易に想像される。つまり、酸化皮膜は、溶融樹脂に対し、不活性であることを意味する。
【００５１】
また、これらの部材上にのせた樹脂を同様に加熱溶融させ、劣化が始まる前に冷却し、固化させ、その樹脂の剥離性を調べたところ、鉄製部材上に固化させた樹脂は、強力にその表面と接着されており、ラジオペンチで樹脂をはさんで剥がした際に、樹脂が鉄製部材表面に残留するものもあった。
【００５２】
また、ニッケルメッキ表面上で固化させた樹脂を剥離した際、メッキ表面まで剥離されるケースが見受けられた。
【００５３】
一方、酸化皮膜上で固化させた樹脂を、ラジオベンチで樹脂をはさんで剥がしたところ、表面に若干の跡が残るものの、問題なく剥がすことが出来た。
【００５４】
本発明における部材を用いた成型機は、樹脂成型に用いられる成型機であれば、どのような成型機に対しても有効である。
【００５５】
樹脂成型に用いられる成型機とは、射出成型機、トランスファ成型機、押出成型機、ブロー成型機、圧縮成型機、真空成型機等の樹脂成型を行うための機械のことである。
【００５６】
また、成型品を得るための成型機だけでなく、配合剤を添加したり、樹脂ペレットを作成するための押出成型機、溶融混練機、ロール混練機等にも本部材を適用することが出来る。
【００５７】
本発明の部材は、これら成型機のなかでも、溶融樹脂と接触する部分に適用される。
【００５８】
図２に、一例として射出成型機８の構造を示す。図示されているように、射出型機８は、シリンダー５、スクリュー４、ノズル６、及び、金型７を備え、シリンダー４には、ホッパーから樹脂ペレットが供給される。
【００５９】
このうち、スクリュー４、シリンダー５、ノズル６、及び、金型７は溶融樹脂と接触しているから、これらの部材は、溶融樹脂と接触する面を備えた部材を構成している。射出成型機の例を上げたが、射出成型機のほか、押出成型機のダイやロール、混練機のスクリュー、ロールにも本発明は適用可能である。
【００６０】
本発明における部材を用いた成型機に使用される樹脂材料は、特に制限はないが、本発明が解決する不良原因が頻発する光学レンズおよびプリズムや光学シート、反射板等の透明光学成型品あるいは、微細表面形状成型板に対して利用される樹脂に対して特に有効である。
【００６１】
更に、その樹脂がシクロオレフィンポリマーであると、効果を最大限に活用することができる。
【００６２】
図３に、大型平板液晶ディスプレイ１４の構造を示す。図示された大型平板液晶ディスプレイ１４は、一表面に第１の光学フィルム９を備え、他表面に第２の光学フィルム１０を有している。第２の光学フィルム１０の裏面には、拡散板１１、導光板１２、及び、反射板１３が設けられ、これらはいずれも大型である。
【００６３】
この大型平板液晶ディスプレイのうち、大型反射板１３、大型導光板１２、大型光学フィルム９及び１０には、透明もしくは精密成形品が使用されている。
【００６４】
本発明における部材は、大型反射板１３、大型導光板１２、大型フィルム９、１０等の画面対角が２８インチ以上の大型平板液晶ディスプレイ樹脂製成型品を成型する際における成型機用部材として、特に有効である。また、本発明は、フッ素樹脂、ＰＦＡ、フロロカーボン系樹脂のフィルム等の成型にも適用できる。
【００６５】
【発明の効果】
本発明によれば、高温で溶融した樹脂が接触する面に使用される部材において、他部材と比べ高温・長期間でも溶融樹脂が劣化されにくくなることを特徴とする。この場合、母材あるいは母材に含まれている一部の成分が直接酸化されて形成された不働態酸化皮膜で覆われている樹脂成型機用部材が得られ、これらの部材を使用した樹脂成型機によって、成型を行うことにより、高精度の樹脂成型品を得ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の酸化皮膜を施した部材の模式図である。
【図２】図２は、本発明の部材が適用される一例である射出成型機の模式図である。
【図３】図３は、本発明の部材を用いた成型機を用いて成型される成型品を使用した大型平板液晶ディスプレイ構造模式図である。
【符号の説明】
１        基板
２        酸化皮膜
３        成型機用部材
４        スクリュー
５        シリンダー
６        ノズル
７        金型
８        射出成型機
９        光学フィルム１
１０      光学フィルム２
１１      拡散板
１２      導光板
１３      反射板
１４      大型液晶ディスプレイ
【図１】
2004262133.tif 000003
【図２】
2004262133.tif 000004
【図３】
2004262133.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成15年3月4日(2003.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部材内面のうち、溶融した樹脂が接触する面の少なくとも一部が、前記部材の母材あるいは母材に含まれている一部の成分の酸化膜皮膜で覆われていることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項２】
請求項１において、前記酸化膜が不働態金属酸化膜であることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項３】
請求項１において、前記母材がアルミニウムまたはアルミニウムを少なくとも含有する鉄であり、前記酸化膜皮膜は前記母材の直接酸化によって生成されたアルミナ膜であることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項４】
請求項１において、前記母材はアルミニウムを３重量％〜７重量％含有するステンレススチールであり、前記酸化膜皮膜は前記母材の表面に酸化性ガスを接触させて熱処理を行うことにより選択的に形成されたアルミナ不働態膜であることを特徴する樹脂成型機。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかにおいて、前記部材はスクリュー、シリンダー、ノズル、金型、ダイ、及び、ロールのうちの少なくとも一つであることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれかにおいて、前記樹脂は光学成型品用樹脂であることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項７】
請求項６において、前記樹脂は非極性ポリオレフィン樹脂またはシクロオレフィン樹脂であることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかにおいて、前記成型機は画面対角が２８インチ以上の大型平板液晶ディスプレイ光学樹脂製成型品を成型するためのものであることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項９】
部材内面のうち、溶融した樹脂が接触する面の少なくとも一部が、前記部材の母材あるいは母材に含まれている一部の成分の酸化膜皮膜で覆われていることを特徴とする樹脂成型機用部材。
【請求項１０】
請求項９において、前記酸化膜が不働態金属酸化膜であることを特徴とする樹脂成型機用部材。
【請求項１１】
請求項９において、前記母材がアルミニウムまたはアルミニウムを少なくとも含有する鉄であり、前記酸化膜皮膜は前記母材の直接酸化によって生成されたアルミナ膜であることを特徴とする樹脂成型機用部材。
【請求項１２】
請求項９において、前記母材はアルミニウムを３重量％〜７重量％含有するステンレススチールであり、前記酸化膜皮膜は前記母材の表面に酸化性ガスを接触させて熱処理を行うことにより選択的に形成されたアルミナ不働態膜であることを特徴する樹脂成型機用部材。
【請求項１３】
請求項３または４において、前記アルミナ膜の膜厚が５ｎｍから１００ｎｍであることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項１４】
請求項１１または１２において、前記アルミナ膜の膜厚が５ｎｍから１００ｎｍであることを特徴とする樹脂成型機用部材。
【請求項１５】
請求項３または４において、前記アルミナ膜の膜厚が５０から３００オングストロームであることを特徴とする樹脂成型機。
【請求項１６】
請求項１１または１２において、前記アルミナ膜の膜厚が５０から３００オングストロームであることを特徴とする樹脂成型機用部材。