(57)【要約】      （修正有）【課題】構成が比較的簡単で、制御も比較的容易で、カセット載置部に対するカセットの搬入・搬出の作業における安全性を確保できる装置を提供する。【解決手段】カセット載置部１０に複数のカセット載置台１８ａを横方向に並列して配置し、各カセット載置台１８ａを相互に独立してカセット搬入・搬出高さ位置Ａとその上方の基板受け渡し高さ位置Ｂとの間で上下方向へ往復移動自在に保持し、各カセット載置台１８ａを上下方向へ往復移動させるカセットエレベータ２０ａを設置する。カセット載置部１０と基板処理部１４との間に介在する基板搬送部１２に、カセット載置台１８ａの配列方向に沿って移動自在に基板搬送ロボット３８を配置し、基板搬送ロボット３８を各カセットＣに順次アクセスさせてカセットＣ内から基板Ｗを１枚ずつ取り出し基板処理部１４へ搬送する。【選択図】      図２
2004186447.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の基板を収容するカセットを複数、横方向に並列して載置するためのカセット載置部と、
基板の処理が行われる基板処理部と、
この基板処理部と前記カセット載置部との間に介在して設けられ、カセット載置部に載置される複数のカセットの配列方向に沿って移動自在に配置され、各カセットに順次アクセスしてカセット内から基板を１枚ずつ取り出し基板処理部へ搬送する基板搬送手段と、
を備えた基板処理装置において、
前記カセット載置部を、
横方向に並列して配置され、それぞれカセットを１台ずつ載置することが可能で、相互に独立してカセット搬入・搬出高さ位置とその上方の基板受け渡し高さ位置との間でそれぞれ上下方向へ往復移動自在に保持された複数のカセット載置台と、この各カセット載置台を上下方向へそれぞれ往復移動させる上下駆動手段とで構成したことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記各カセット載置台の前面側に、カセット載置面の前端縁から下方向に前面遮蔽板がそれぞれ延設された請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記カセット載置部の、前記基板搬送手段と反対の側の前記基板受け渡し高さ位置に、前記カセット載置台上に載置されたカセットを隠蔽する前面上部カバーが配設された請求項１または請求項２記載の基板処理装置。
【請求項４】
複数枚の基板を収容するカセットを複数、横方向に並列して載置するためのカセット載置部と、
基板の処理が行われる基板処理部と、
この基板処理部と前記カセット載置部との間に介在して設けられ、カセット載置部に載置される複数のカセットの配列方向に沿って移動自在に配置され、各カセットに順次アクセスしてカセット内から基板を１枚ずつ取り出し基板処理部へ搬送する基板搬送手段と、
前記カセット載置部の、前記基板搬送手段と反対の側に、カセット載置部のカセット載置面より下方の部分を隠蔽するように配設された前面下部カバーと、
を備えた基板処理装置において、
前記カセット載置部を、
横方向に並列して配置され、それぞれカセットを１台ずつ載置することが可能で、相互に独立してカセット搬入・搬出高さ位置とその下方であって前記前面下部カバーによってカセットが隠蔽される基板受け渡し高さ位置との間でそれぞれ上下方向へ往復移動自在に保持された複数のカセット載置台と、この各カセット載置台を上下方向へそれぞれ往復移動させる上下駆動手段とで構成したことを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
前記カセット載置部と前記基板搬送手段との間に、前記基板受け渡し高さ位置に相当する部分に基板搬送手段によるカセットからの基板の取り出しを許容する開口部を有する隔壁が介設された請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記各カセット載置台に、そのカセット載置台上に載置されるカセットの上方を覆う侵入防止部材がそれぞれ取着された請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記カセット載置部の、前記基板搬送手段と反対の側に、カセット載置部のカセット搬入・搬出高さ位置に相当する部分を遮蔽してカセット載置部への侵入を阻止するシャッタを開閉自在に配設し、前記カセット載置部へのカセットの搬入・搬出時に前記シャッタをスイッチ操作によって開放するようにした請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）用ガラス基板等の基板に対して各種の処理を施す基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板処理部において基板、例えば半導体ウエハを１枚ずつ処理する基板処理装置では、複数枚のウエハを整列して収容したカセットからウエハを１枚ずつ順次取り出して基板処理部へ搬送し、基板処理部においてウエハを枚葉式で処理した後、基板処理部から搬送される処理済みのウエハを１枚ずつカセットに収容する、といった一連の流れで作業が行われる。図９は、このような基板処理装置の概略構成、特にローダ・アンローダ部の概略構成の１例を示す部分断面側面図である。
【０００３】
図９に示した基板処理装置は、複数枚の半導体ウエハＷを整列して収容したカセットＣや空のカセットを複数、横方向（紙面に対し垂直な方向）に並列して載置することができるカセット載置台２を有するカセット載置部１と、基板搬送ロボット４が設置された基板搬送部３と、ウエハＷを枚葉式で処理する各種の基板処理部５とを備えて構成されている。図中の符号６は、クリーンエアーをダウンフローさせる空調装置である。
【０００４】
カセットＣは、矩形の一辺を台形状とした平面形状を有する箱体であり、一側面（前面）が全面開口し、その反対側の細幅になった側面（後面）にも開口部が形成された外観を有し、内側面には水平保持溝が複数本、上下方向に並列して形設されている。そして、カセットＣには、複数枚のウエハＷが互いに平行に上下方向に整列して収容され、カセットＣからのウエハＷの取り出しおよびカセットＣへの処理済みウエハの挿入は、前面の開口を通して行われる。このカセットＣは、カセット載置台２上に、前面の開口を奥側（基板搬送部３側）に向けて載置される。
【０００５】
基板搬送ロボット４は、カセット載置台２上に載置されたカセットＣの内部に対して進退自在のウエハ支持アーム７を有し、その支持アーム７を上下方向へ移動させる上下移動機構８、および、カセット載置台２上に載置される複数のカセットＣの配列方向（紙面に対し垂直な方向）に沿って全体を往復移動させる自走式移動機構９を具備している。そして、この基板搬送ロボット４は、カセット載置台２上に載置される複数のカセットＣに順次アクセスし、カセットＣ内からウエハＷを１枚ずつ取り出して基板処理部５へ搬送し、基板処理部５での処理を終えた処理済みウエハを１枚ずつカセットＣ内へ挿入して収容する。
【０００６】
ところで、カセット載置台２上へのカセットＣの搬入やカセット載置台２上からのカセットＣの搬出は、人手やロボットによって行われるが、カセット載置台２上のカセットＣに対し基板搬送ロボット４がウエハＷを出し入れしているときに、例えば、作業者が別のカセットＣをカセット載置台２上に置いたりカセット載置台２上から持ち上げたりしていると、作業者の手が基板搬送ロボット４のウエハ支持アーム７と接触する恐れがあり、危険である。また、カセットＣは、上記したように前・後面がそれぞれ開口した構造であるため、基板搬送ロボット４がカセットＣに対しウエハＷを出し入れしているときに、カセットＣの開口部を通して基板搬送ロボット４のウエハ支持アーム７と作業者の手指とが接触する可能性もあり、危険である。
【０００７】
このような危険を少しでも回避するために、カセット載置部１と基板搬送部３との間に設置される隔壁に形成されたウエハ受け渡し用の開口にシャッタを設け、カセット載置台２上にカセットＣが載置されているときだけシャッタを開いて開口を開放し、カセット載置台２上からカセットＣが取り去られるとシャッタを閉じて開口を閉塞する、といったことが行われている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００８】
また、カセット載置部１の、基板搬送部３と反対の側にシャッタを設置し、作業工程に応じてシャッタを開閉させる、といったことも考えられる。さらに、カセット載置部１と基板搬送部３との間、および、カセット載置部１の、基板搬送部３と反対の側にそれぞれシャッタを設置することも考えられる。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１１−２５１３９２号公報（第４頁、第５頁、図２）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、カセット載置部と基板搬送部との間に設置される隔壁の開口にシャッタを設ける構成では、基板搬送ロボットがカセット載置台上のカセットに対しウエハを出し入れしているときに、そのカセットの隣の位置で作業者が別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりする可能性があるので、カセット載置台のカセット載置区画数だけシャッタを設ける必要がある。そして、それぞれのシャッタを作業状況に応じて各別にタイミング良く開閉させる必要がある。このため、構成が複雑になり、制御も複雑になる、といった問題点がある。また、この構成だけでは、シャッタを開いて基板搬送ロボットがカセットに対しウエハを出し入れしているときに、カセットの開口部を通して基板搬送ロボットのウエハ支持アームと作業者の手指とが接触する、といった問題は依然として解決されない。
【００１１】
また、カセット載置部の、基板搬送部と反対の側にシャッタを設置する構成でも、基板搬送ロボットがカセット載置台上のカセットに対しウエハを出し入れしている隣の位置で作業者が別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりする可能性があるので、カセット載置台のカセット載置区画数だけシャッタを設ける必要があり、また、それぞれのシャッタを作業状況に応じて各別にタイミング良く開閉させる必要がある。このため、構成が複雑になり、制御も複雑になる、といった問題点がある。また、作業者がカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりするときには、シャッタを開かないといけないので、その際の危険性は依然として残る。さらに、カセット載置部と基板搬送部との間、および、カセット載置部の、基板搬送部と反対の側にそれぞれシャッタを設置する構成では、上述したことから分かるように、カセット載置台のカセット載置区画数の２倍の数のシャッタを設ける必要があり、また、それぞれのシャッタを作業状況に応じて各別に開閉させる必要がある。このため、構成がさらに複雑になり、制御も一層複雑になる、といった問題点がある。
【００１２】
また、カセット載置部にシャッタを設置する構成において、シャッタ開放時に基板搬送ロボットを停止させることも考えられるが、一旦停止させた基板搬送ロボットの復帰には時間を要するし、シャッタ開放時における基板の搬送停止により基板の搬送タクトが著しく悪くなる、といった問題点がある。
【００１３】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、構成が比較的簡単で、制御も比較的容易であって、カセット載置部に対するカセットの搬入・搬出の作業における安全性を確保することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、複数枚の基板を収容するカセットを複数、横方向に並列して載置するためのカセット載置部と、基板の処理が行われる基板処理部と、この基板処理部と前記カセット載置部との間に介在して設けられ、カセット載置部に載置される複数のカセットの配列方向に沿って移動自在に配置され、各カセットに順次アクセスしてカセット内から基板を１枚ずつ取り出し基板処理部へ搬送する基板搬送手段と、を備えた基板処理装置において、前記カセット載置部を、横方向に並列して配置され、それぞれカセットを１台ずつ載置することが可能で、相互に独立してカセット搬入・搬出高さ位置とその上方の基板受け渡し高さ位置との間でそれぞれ上下方向へ往復移動自在に保持された複数のカセット載置台と、この各カセット載置台を上下方向へそれぞれ往復移動させる上下駆動手段とで構成したことを特徴とする。
【００１５】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の基板処理装置において、前記各カセット載置台の前面側に、カセット載置面の前端縁から下方向に前面遮蔽板をそれぞれ延設したことを特徴とする。ここで、カセット載置台の前面側とは、カセット載置台に対してカセットの搬入・搬出を行う作業者の側から見た前面側を意味する。以下、前面あるいは前端縁または後端縁と言う場合も、これに準じる。
【００１６】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２記載の基板処理装置において、前記カセット載置部の、前記基板搬送手段と反対の側の前記基板受け渡し高さ位置に、前記カセット載置台上に載置されたカセットを隠蔽する前面上部カバーを配設したことを特徴とする。ここで、カセットを隠蔽するとは、カセット載置台に対してカセットの搬入・搬出を行う作業者からカセットを隠蔽することを意味する。
【００１７】
請求項４に係る発明は、複数枚の基板を収容するカセットを複数、横方向に並列して載置するためのカセット載置部と、基板の処理が行われる基板処理部と、この基板処理部と前記カセット載置部との間に介在して設けられ、カセット載置部に載置される複数のカセットの配列方向に沿って移動自在に配置され、各カセットに順次アクセスしてカセット内から基板を１枚ずつ取り出し基板処理部へ搬送する基板搬送手段と、前記カセット載置部の、前記基板搬送手段と反対の側に、カセット載置部のカセット載置面より下方の部分を隠蔽するように配設された前面下部カバーと、を備えた基板処理装置において、前記カセット載置部を、横方向に並列して配置され、それぞれカセットを１台ずつ載置することが可能で、相互に独立してカセット搬入・搬出高さ位置とその下方であって前記前面下部カバーによってカセットが隠蔽される基板受け渡し高さ位置との間でそれぞれ上下方向へ往復移動自在に保持された複数のカセット載置台と、この各カセット載置台を上下方向へそれぞれ往復移動させる上下駆動手段とで構成したことを特徴とする。
【００１８】
請求項５に係る発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置において、前記カセット載置部と前記基板搬送手段との間に、前記基板受け渡し高さ位置に相当する部分に基板搬送手段によるカセットからの基板の取り出しを許容する開口部を有する隔壁を介設したことを特徴とする。
【００１９】
請求項６に係る発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理装置において、前記各カセット載置台に、そのカセット載置台上に載置されるカセットの上方を覆う侵入防止部材をそれぞれ取着したことを特徴とする。
【００２０】
請求項７に係る発明は、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の基板処理装置において、前記カセット載置部の、前記基板搬送手段と反対の側に、カセット載置部のカセット搬入・搬出高さ位置に相当する部分を遮蔽してカセット載置部への侵入を阻止するシャッタを開閉自在に配設し、前記カセット載置部へのカセットの搬入・搬出時に前記シャッタをスイッチ操作によって開放するようにしたことを特徴とする。
【００２１】
請求項１に係る発明の基板処理装置においては、カセット載置部が、横方向に並列して配置され相互に独立して上下方向へ往復移動する複数のカセット載置台で構成されており、基板の取り出しを行おうとするカセットが載置されたカセット載置台は、上下駆動手段により上方向へ移動させられて基板受け渡し高さ位置に保持され、このカセット載置台上に載置されたカセットに基板搬送手段がアクセスして、そのカセットから基板の取り出しが行われる。一方、別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりする作業は、カセット搬入・搬出高さ位置に保持されているカセット載置台に対して行われる。したがって、基板受け渡し高さ位置において基板搬送手段がカセットから基板を取り出しているときに、カセット搬入・搬出高さ位置において作業者が別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりしても、作業者の手が基板搬送手段と接触する恐れがない。また、基板受け渡し高さ位置において基板搬送手段がカセットから基板を取り出しているときに、カセットの開口部を通して基板搬送手段の一部と作業者の手指とが接触する可能性も無い。
【００２２】
請求項２に係る発明の基板処理装置では、カセット載置台の前面側には、カセット載置面の前端縁から下方向に前面遮蔽板が延設されているので、カセット載置台が上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置に保持されたときに、そのカセット載置台のカセット載置面より下方の位置から基板搬送手段側へ作業者の手などが侵入することが妨げられ、安全が確保される。
【００２３】
請求項３に係る発明の基板処理装置では、カセット載置部の、基板搬送手段と反対の側の基板受け渡し高さ位置に前面上部カバーが配設されており、カセット載置台が上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置に保持されたときに、そのカセット載置台上に載置されたカセットが前面上部カバーによって隠蔽されるので、基板受け渡し高さ位置において基板搬送手段による基板の取り出しが行われているカセットに作業者の身体の一部が接触する可能性が無くなる。
【００２４】
請求項４に係る発明の基板処理装置においては、カセット載置部が、横方向に並列して配置され相互に独立して上下方向へ往復移動する複数のカセット載置台で構成されており、基板の取り出しを行おうとするカセットが載置されたカセット載置台は、上下駆動手段により下方向へ移動させられて基板受け渡し高さ位置に保持され、前面下部カバーによってカセット載置台上のカセットが隠蔽される。このように隠蔽されたカセットに基板搬送手段がアクセスして、そのカセットから基板の取り出しが行われる。一方、別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりする作業は、カセット搬入・搬出高さ位置に保持されているカセット載置台に対して行われる。したがって、基板受け渡し高さ位置において基板搬送手段がカセットから基板を取り出しているときに、カセット搬入・搬出高さ位置において作業者が別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりしても、作業者の手が基板搬送手段と接触する恐れがない。また、基板受け渡し高さ位置において基板搬送手段がカセットから基板を取り出しているときに、カセットの開口部を通して基板搬送手段の一部と作業者の手指とが接触する可能性も無い。
【００２５】
請求項５に係る発明の基板処理装置では、カセット載置部と基板搬送手段との間に介設された隔壁により、カセット載置部側から基板搬送手段側へ作業者の手などが侵入することが妨げられる。そして、基板搬送手段によるカセットからの基板の取り出しは、隔壁の、基板受け渡し高さ位置に相当する部分に設けられた開口部を通して支障無く行われる。
【００２６】
請求項６に係る発明によると、請求項１に係る発明のようにカセット搬入・搬出高さ位置の上方に基板受け渡し高さ位置が設定された基板処理装置では、作業者が別のカセットを置いたり持ち上げたりしているカセット載置台の上方空間を通して、その隣のカセット載置台上に載置されて上方向へ移動し基板受け渡し高さ位置で基板搬送手段による基板の取り出しが行われているカセットの方へ作業者の手が侵入することが、作業者による作業が行われているカセット載置台に取着された侵入防止部材によって妨げられる。また、請求項４に係る発明のようにカセット搬入・搬出高さ位置の下方に基板受け渡し高さ位置が設定された基板処理装置では、作業者が別のカセットを置いたり持ち上げたりしているカセット載置台側から、その隣の、下方向へ移動したカセット載置台の上方空間を通して、基板受け渡し高さ位置で基板搬送手段による基板の取り出しが行われているカセットの方へ作業者の手が侵入することが、基板の取り出しが行われているカセットが載置されたカセット載置台に取着された侵入防止部材によって妨げられる。
【００２７】
請求項７に係る発明の基板処理装置では、カセット載置部の、基板搬送手段と反対の側に配設されたシャッタによってカセット載置部のカセット搬入・搬出高さ位置に相当する部分が遮蔽されることにより、カセット載置部へ作業者の身体の一部が侵入することが完全に阻止される。一方、カセット載置部へのカセットの搬入・搬出時には、スイッチ操作によってシャッタが開放されるので、カセット載置部へのカセットの搬入や搬出は支障無く行われる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図１ないし図８を参照しながら説明する。
【００２９】
図１ないし図４は、この発明の実施形態の１例を示し、図１は、基板処理装置を正面から（カセットの搬入・搬出を行う作業者側から）見た図であり、図２ないし図４はそれぞれ、図１に示した装置のローダ・アンローダ部（インデクサ部）の概略構成を示す部分断面側面図であって、各段階の動作状態をそれぞれ示す図である。この基板処理装置は、カセット載置部１０と基板搬送部１２と基板処理部１４とを備えて構成されている。基板処理部１４では、基板、例えば半導体ウエハＷが枚葉式で処理される。図中の符号１６は、クリーンエアーをダウンフローさせる空調装置である。
【００３０】
カセット載置部１０には、複数、図示例では３つのカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃが横方向に並列して配置されている。各カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃには、それぞれカセットＣを１台ずつ載置することができるようになっている。カセットＣは、前述したような形状および構造を有し、複数枚のウエハＷを整列して収容することが可能である。各カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、相互に独立してそれぞれ上下方向へ往復移動自在に保持されている。また、カセット載置部１０には、各カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃをそれぞれ上下方向へ移動させるためのカセットエレベータ２０ａ、２０ｂ、２０ｃが設置されている。カセットエレベータ２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、どのような駆動機構のものであってもよく、例えばスピードコントローラを備えたエアーシリンダや電動モータによって駆動される直動機構などで構成される。このカセットエレベータ２０ａ、２０ｂ、２０ｃによりカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、下方のカセット搬入・搬出高さ位置Ａと上方の基板受け渡し高さ位置Ｂとの間をそれぞれ上下方向へ往復移動させられるようになっている。
【００３１】
カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃの前面側（図１の正面側）には、カセット載置面の前端縁から下方向に前面遮蔽板２２ａ、２２ｂ、２２ｃが延設されている。前面遮蔽板２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、図２および図４に示すように、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃがカセット搬入・搬出高さ位置Ａに保持されているとき、カセット載置部１０の前面下部カバー２４によって隠蔽される。また、前面遮蔽板２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、図３に示すように、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃが基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されているときに下端が前面下部カバー２４の上端縁の近傍で上端縁より下方に位置するような長さ寸法に形成されている。
【００３２】
また、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃの背面側には、カセット載置面の後端縁から上方向に背面板２６ａ、２６ｂ、２６ｃが延設されている。背面板２６ａ、２６ｂ、２６ｃには、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃ上に載置されたカセットＣの全面開口した前面形状（基板搬送部１２側に向いた一側面の形状）に対応する矩形状の透孔２８ａ、２８ｂ、２８ｃが形成されている。カセットＣからのウエハＷの出し入れは、その透孔２８ａ、２８ｂ、２８ｃを通して行われる。また、背面板２６ａ、２６ｂ、２６ｃの上端縁から前方に突き出すように、斜め上方に傾斜した侵入防止板３０ａ、３０ｂ、３０ｃが延設されている。この侵入防止板３０ａ、３０ｂ、３０ｃにより、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃ上に載置されるカセットＣの上方が覆われるようになっている。
【００３３】
さらに、カセット載置部１０の前面側（基板搬送部１２と反対の側）の上部には、前面上部カバー３２が配設されている。この前面上部カバー３２により、上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されるカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃ上に載置されたカセットＣが隠蔽されるようになっている。
【００３４】
カセット載置部１０と基板搬送部１２との間には、隔壁３４が介設されており、この隔壁３４には、基板受け渡し高さ位置Ｂに相当する部分、すなわち、図３に示すようにカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃが上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されたときに背面板２６ａ、２６ｂ、２６ｃの透孔２８ａ、２８ｂ、２８ｃの全部と重なる部分に、縦方向の寸法が透孔２８ａ、２８ｂ、２８ｃと同等で横方向に長い矩形状の開口部３６が形成されている。この隔壁３４は、カセット載置部１０側から基板搬送部１２側へ作業者の手などが侵入することを阻止するために設置されている。そして、カセットＣからのウエハＷの出し入れの際には、隔壁３４に設けられた開口部３６を通してウエハＷの受け渡しが行われる。
【００３５】
基板搬送部１２には、基板搬送ロボット３８が設置されている。基板搬送ロボット３８の構成は、図９に示した装置と同様である。すなわち、基板搬送ロボット３８は、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃ上に載置されたカセットＣの内部に対して進退自在のウエハ支持アーム４０を有し、その支持アーム４０を上下方向へ移動させる上下移動機構４２、および、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃの配列方向（紙面に対し垂直な方向）に沿って全体を往復移動させる自走式移動機構４４を具備している。基板搬送ロボット３８は、ウエハ支持アーム４０が隔壁３４の開口部３６に対向するように配置される。そして、この基板搬送ロボット３８は、上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されるカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃ上に載置されたカセットＣに順次アクセスし、カセットＣ内からウエハＷを１枚ずつ取り出して基板処理部１４へ搬送し、基板処理部１４での処理を終えた処理済みウエハを１枚ずつカセットＣ内へ挿入して収容する。
【００３６】
上記した構成を備えた基板処理装置においては、３つのカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃが横方向に並列して配置されており、各カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、相互に独立してそれぞれ上下方向へ往復移動するようになっている。そして、図３に示すように、ウエハＷの取り出しを行おうとするカセットＣが載置されたカセット載置台１８ｂは、カセットエレベータ２０ｂにより上方向へ移動させられて基板受け渡し高さ位置Ｂに保持される。この基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されるカセット載置台１８ｂ上に載置されたカセットＣに基板搬送ロボット３８がアクセスして、そのカセットＣからウエハＷの取り出しが行われる。一方、別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりする作業は、図２に示すように、カセット搬入・搬出高さ位置Ａに保持されているカセット載置台１８ａに対して行われる。したがって、基板受け渡し高さ位置Ｂにおいて基板搬送ロボット３８がカセット載置台１８ｂ上のカセットＣからウエハＷを取り出しているときに、カセット搬入・搬出高さ位置Ａにおいて作業者が別のカセットＣをカセット載置台１８ａ上に置いたりカセット載置台１８ａ上から持ち上げたりしても、作業者の手が基板搬送ロボット３８のウエハ支持アーム４０と接触する恐れがない。また、基板受け渡し高さ位置Ｂにおいて基板搬送ロボット３８がカセット載置台１８ｂ上のカセットＣからウエハＷを取り出しているときに、カセットＣの開口部を通して基板搬送ロボット３８のウエハ支持アーム４０と作業者の手指とが接触する可能性も無い。
【００３７】
また、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃの前面側には前面遮蔽板２２ａ、２２ｂ、２２ｃが設けられているので、図３に示したようにカセット載置台１８ｂが上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されたときに、そのカセット載置台１８ｂのカセット載置面より下方の位置から基板搬送部部１２側へ作業者の手などが侵入することが妨げられる。さらに、カセット載置部１０の前面側上部には前面上部カバー３２が設けられているので、図３に示したように、カセット載置台１８ｂが上方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されたときに、そのカセット載置台１８ｂ上に載置されたカセットＣが前面上部カバー３２によって隠蔽される。したがって、基板受け渡し高さ位置Ｂにおいて基板搬送ロボット３８によるウエハＷの取り出しが行われているカセットＣに作業者の身体の一部が接触する可能性が無くなる。
【００３８】
また、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃには、その上に載置されるカセットＣの上方を覆うように侵入防止板３０ａ、３０ｂ、３０ｃが取着されている。このため、図２に示したように、カセット搬入・搬出高さ位置Ａに保持されたカセット載置台１８ａに対して作業者がカセットＣを置いたり持ち上げたりしている際に、そのカセット載置台１８ａの上方空間を通して、その隣の位置で図３に示したようにカセット載置台１８ｂ上に載置されて上方向へ移動し基板受け渡し高さ位置Ｂで基板ロボット３８によるウエハＷの取り出しが行われているカセット１８ｂの方へ作業者の手が侵入することは、カセット載置台１８ａに取着された侵入防止板３０ａによって妨げられる。
【００３９】
次に、図５および図６は、この発明の別の実施形態を示し、図５は、基板処理装置を正面から見た図であり、図６は、図５に示した装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図である。図５および図６において、図１ないし図４で用いた符号と同一の符号を付した各構成部材は、図１ないし図４に関して説明した上記各部材と同一機能を有するものであり、それらについての説明を省略する。
【００４０】
図５および図６に示す基板処理装置には、カセット載置部１０の前面下部カバー２４の手前側に、前面下部カバー２４と間隔を設けて外面下部カバー４６が配設され、カセット載置部１０のカセット搬入・搬出高さ位置Ａに相当する部分に、外面下部カバー４６と前面上部カバー３２とで区画される開口４８が形成されるようにしている。カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃに対するカセットＣの搬入・搬出は、その開口４８を通して行われる。そして、前面下部カバー２４と外面下部カバー４６との間の空間に、シャッタ５０が配設されるとともに、シャッタ５０を駆動させるエアーシリンダ等のシャッタ駆動機構５２が設置されている。シャッタ５０は、開口４８を完全に閉塞してカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃへの侵入を阻止する高さ位置と、開口４８を完全に開放して外面下部カバー４６に隠蔽される高さ位置との間で、上下方向へ往復移動自在に支持されている。シャッタ５０を駆動させるシャッタ駆動機構５２は、図示していないがスイッチにより操作され、シャッタ５０は、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃへのカセットＣの搬入・搬出時に、作業者がスイッチ操作することによって随時開放される。
【００４１】
図５および図６に示した構成を備えた基板処理装置では、シャッタ５０によってカセット載置部１０のカセット搬入・搬出高さ位置Ａに相当する部分の開口４８が閉塞されることにより、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃ側へ作業者の身体の一部が侵入することが完全に阻止される。一方、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃへカセットＣを搬入しカセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃからカセットＣを搬出する際には、作業者のスイッチ操作によってシャッタ５０が開かれ開口４８が開放されるので、カセット載置台１８ａ、１８ｂ、１８ｃへのカセットＣの搬入や搬出の作業を支障無く行うことができる。
【００４２】
次に、図７および図８は、上記とは異なる発明の１実施形態を示し、基板処理装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図であって、各段階の動作状態をそれぞれ示す図である。図７および図８においても、既に説明した部材と同一機能を有する構成部材については、図１ないし図４で用いた符号と同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００４３】
この基板処理装置にも、カセット載置部１０に複数のカセット載置台５４が横方向に並列して配置されている。各カセット載置台５４は、それぞれカセットＣを１台ずつ載置することができ、相互に独立してそれぞれ上下方向へ往復移動自在に保持されている。また、カセット載置部１０には、各カセット載置台５４をそれぞれ上下方向へ移動させるためのカセットエレベータ５６が設置されている。このカセットエレベータ５６によりカセット載置台５４は、上方のカセット搬入・搬出高さ位置Ａと下方の基板受け渡し高さ位置Ｂとの間をそれぞれ上下方向へ往復移動させられるようになっている。そして、カセット載置台５４が下方へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されたとき、カセット載置台５４上に載置されたカセットＣが前面下部カバー２４によって隠蔽されるようになっている。
【００４４】
カセット載置台５４の背面側には、カセット載置面の後端縁から上方向に背面板５８が延設されている。背面板５８には、カセット載置台５４上に載置されたカセットＣの全面開口した前面形状に対応する矩形状の透孔６０が形成されており、この透孔６０を通してカセットＣからのウエハＷの出し入れが行われる。また、背面板５８の上端縁から水平方向へ前方に突き出すように侵入防止板６２が延設されており、この侵入防止板６２により、カセット載置台５４上に載置されるカセットＣの上方が覆われるようになっている。
【００４５】
カセット載置部１０と基板搬送部１２との間には、カセット載置部１０側から基板搬送部１２側へ作業者の手などが侵入することを阻止するための隔壁６４が介設されている。この隔壁６４に、下方の基板受け渡し高さ位置Ｂに相当する部分、すなわち、図８に実線で示すようにカセット載置台５４が下方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されたときに背面板５８の透孔６０の全部と重なる部分に、縦方向の寸法が透孔６０と同等で横方向に長い矩形状の開口部６６が形成されており、この開口部６６を通してウエハＷの受け渡しが行われる。
【００４６】
基板搬送部１２の構成は、図１ないし図４に示した装置と同様であり、基板搬送部１２に基板搬送ロボット３８が設置されている。この基板搬送ロボット３８は、ウエハ支持アーム４０が隔壁６４の開口部６６に対向するように配置される。そして、この基板搬送ロボット３８は、下方向へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されるカセット載置台５４上に載置されたカセットＣに順次アクセスし、カセットＣ内からウエハＷを１枚ずつ取り出して基板処理部１４へ搬送し、基板処理部１４での処理を終えた処理済みウエハを１枚ずつカセットＣ内へ挿入して収容する。
【００４７】
上記した構成を備えた基板処理装置においては、図８に実線で示すように、ウエハＷの取り出しを行おうとするカセットＣが載置されたカセット載置台５４が、カセットエレベータ５６により下方向へ移動させられて基板受け渡し高さ位置Ｂに保持される。この基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されるカセット載置台５４上に載置されたカセットＣに基板搬送ロボット３８がアクセスして、そのカセットＣからウエハＷの取り出しが行われる。一方、別のカセットをカセット載置台上に置いたりカセット載置台上から持ち上げたりする作業は、図７に示すように、また、図８に二点鎖線で示すように、カセット搬入・搬出高さ位置Ａに保持されているカセット載置台５４に対して行われる。したがって、下方の基板受け渡し高さ位置Ｂにおいて基板搬送ロボット３８がカセット載置台５４上のカセットＣからウエハＷを取り出しているときに、カセット搬入・搬出高さ位置Ａにおいて作業者が別のカセットＣを別のカセット載置台５４上に置いたり別のカセット載置台５４上から持ち上げたりしても、作業者の手が基板搬送ロボット３８のウエハ支持アーム４０と接触する恐れがない。また、下方へ移動して基板受け渡し高さ位置Ｂに保持されるカセット載置台５４上に載置されたカセットＣは、図８に実線で示すように前面下部カバー２４によって隠蔽されているので、基板受け渡し高さ位置Ｂにおいて基板搬送ロボット３８がカセット載置台５４上のカセットＣからウエハＷを取り出しているときに、カセットＣの開口部を通して基板搬送ロボット３８のウエハ支持アーム４０と作業者の身体の一部とが接触する可能性も無い。
【００４８】
また、カセット載置台５４には、その上に載置されるカセットＣの上方を覆うように侵入防止板６２が取着されている。このため、図７に示したように、カセット搬入・搬出高さ位置Ａに保持されたカセット載置台５４に対して作業者がカセットＣを置いたり持ち上げたりしている際に、そのカセット載置台５４側から、その隣の、下方向へ移動したカセット載置台５４の上方空間を通して、基板受け渡し高さ位置Ｂで基板搬送ロボット３８によるウエハＷの取り出しが行われているカセットＣの方へ作業者の手が侵入することは、カセットＣからのウエハＷの取り出しが行われているカセット載置台５４に取着された侵入防止板６２によって妨げられる。
【００４９】
図７および図８に示した装置構成においても、図５および図６に示したように、カセット載置部１０に前面上部カバー３２および外面下部カバー４６を配設するとともに、前面上部カバー３２と外面下部カバー４６とで区画されカセット搬入・搬出高さ位置Ａに相当する部分に形成される開口４８に、スイッチ操作によって動作するシャッタ５０を配設するようにしてもよい。
【００５０】
【発明の効果】
請求項１および請求項４に係る各発明によると、構成が比較的簡単で、制御も比較的容易であって、カセット載置部に対するカセットの搬入・搬出の作業における安全性を確保することができる基板処理装置を提供することができる。
【００５１】
請求項２、請求項３および請求項５ないし請求項７に係る各発明の基板処理装置では、それぞれ安全性をより高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施形態の１例を示し、基板処理装置を正面から見た図である。
【図２】図１に示した装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図である。
【図３】同じく図１に示した装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図であって、図２とは異なる段階の動作状態を示す図である。
【図４】同じく図１に示した装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図であって、図２および図３とは異なる段階の動作状態を示す図である。
【図５】この発明の別の実施形態を示し、基板処理装置を正面から見た図である。
【図６】図５に示した装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図である。
【図７】図１に示した発明とは異なる発明の１実施形態を示し、基板処理装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図である。
【図８】同じく、基板処理装置のローダ・アンローダ部の概略構成を示す部分断面側面図であって、図７とは異なる段階の動作状態を示す図である。
【図９】従来の基板処理装置のローダ・アンローダ部の概略構成の１例を示す部分断面側面図である。
【符号の説明】
１０  カセット載置部
１２  基板搬送部
１４  基板処理部
１６  空調装置
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、５４  カセット載置台
２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、５６  カセットエレベータ
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ  前面遮蔽板
２４  前面下部カバー
２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、５８  カセット載置台の背面板
２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、６０  透孔
３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、６２  侵入防止板
３２  前面上部カバー
３４、６４  隔壁
３６、６６  開口部
３８  基板搬送ロボット
４０  ウエハ支持アーム
４２  上下移動機構
４４  自走式移動機構
４６  外面下部カバー
４８  開口
５０  シャッタ
５２  シャッタ駆動機構
Ｗ  半導体ウエハ
Ｃ  カセット
Ａ  カセット搬入・搬出高さ位置
Ｂ  基板受け渡し高さ位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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