(57)【要約】【課題】十分な弾性を備え、かつ、ワーク表面には搬送具のワーク保持面が接触した跡がつくことのない搬送具の製造方法を提供すること。【解決手段】基体２がエラストマー硬化体で構成され、かつ、基体２における少なくともワーク保持面にはエラストマー硬化体に樹脂シート３が積層されてなる搬送具１０の製造方法であって、樹脂シート３の少なくとも一方の面を所定のガス雰囲気下で放電処理によって改質した後、この改質面に接合補強剤を塗布し、しかる後に、加硫剤を含有する未加硫エラストマー組成物を樹脂シート３の接合補強剤塗布面に接した状態で金型内で加熱加圧することにより、樹脂シート３とエラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、搬送具１０を成形する。【選択図】      図１
2004249574.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送具における基体がエラストマー硬化体で構成され、かつ、当該基体における少なくともワーク保持面には前記エラストマー硬化体に樹脂シートが積層されてなる搬送具の製造方法であって、
樹脂シートの少なくとも一方の面を所定のガス雰囲気下で放電処理によって改質した後、当該改質面に対して接合補強剤を介して、加硫剤を含有する未加硫エラストマー組成物を重ねた状態で加熱加圧することにより、前記樹脂シートと前記エラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、前記搬送具を成形することを特徴とする搬送具の製造方法。
【請求項２】
搬送具における基体がエラストマー硬化体で構成され、かつ、当該基体における少なくともワーク保持面には前記エラストマー硬化体に樹脂シートが積層されてなる搬送具の製造方法であって、
樹脂シートの少なくとも一方の面を所定のガス雰囲気下で放電処理によって改質した後、当該改質面に接合補強剤を塗布し、しかる後に、加硫剤を含有する未加硫エラストマー組成物を前記樹脂シートの接合補強剤塗布面に接した状態で加熱加圧することにより、前記樹脂シートと前記エラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、前記搬送具を成形することを特徴とする搬送具の製造方法。
【請求項３】
搬送具における基体がエラストマー硬化体で構成され、かつ、当該基体における少なくともワーク保持面には前記エラストマー硬化体に樹脂シートが積層されてなる搬送具の製造方法であって、
樹脂シートの少なくとも一方の面を所定のガス雰囲気下で放電処理によって改質し、接合補強剤および加硫剤を含有する未加硫エラストマー組成物を前記樹脂シートの改質面に接した状態で加熱加圧することにより、前記樹脂シートと前記エラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、前記搬送具を成形することを特徴とする搬送具の製造方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記搬送具として、ベルト面に前記ワーク保持面を構成する突起を備えた搬送ベルトを製造することを特徴とする搬送具の製造方法。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記搬送具として、吸着面が前記ワーク保持面となる吸盤を成形することを特徴とする搬送具の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種ワークを搬送するための搬送具の製造方法に関するものである。さらに詳しくは、搬送具における基体がエラストマー硬化体で構成され、かつ、基体における少なくともワーク保持面にはエラストマー硬化体に樹脂シートが積層されてなる搬送具の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、液晶表示装置の製造工程におけるパネルの搬送、自動車のガラスの搬送などには、ベルト面に突起を備えた搬送ベルトや吸盤が用いられており、このような搬送具は、従来、エラストマー硬化体で構成されている。
【０００３】
一方、放電処理を利用して、フッ素樹脂シートと、軟質塩化ビニル樹脂、ポリエチレン樹脂、ウレタン樹脂、あるいはステンレス板とを接着する技術が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−２７３５４６号公報（第３頁−第４頁）
【特許文献２】
特開平１０−３０６１６６号公報（第３頁−第４頁）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の搬送具では、エラストマー硬化体に含まれる加硫剤やワックスなどの成分がワークに付着することを避けることができない。このため、ワーク表面には搬送具のワーク保持面が接触した跡がついてしまうという問題点がある。
【０００６】
ここに本願発明者は、搬送具における基体をエラストマー硬化体で構成する一方、少なくともワーク保持面については基体に樹脂シートを積層することを提案するものである。
【０００７】
すなわち、本発明の課題は、十分な弾性を備え、かつ、ワーク表面には搬送具のワーク保持面が接触した跡がつくことのない搬送具の製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明では、搬送具における基体がエラストマー硬化体で構成され、かつ、当該基体における少なくともワーク保持面には前記エラストマー硬化体に樹脂シートが積層されてなる搬送具の製造方法であって、樹脂シートの少なくとも一方の面を所定のガス雰囲気下で放電処理によって改質した後、当該改質面に対して接合補強剤を介して、加硫剤を含有する未加硫エラストマー組成物を重ねた状態で加熱加圧することにより、前記樹脂シートと前記エラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、前記搬送具を成形することを特徴とする。
【０００９】
例えば、搬送具における基体がエラストマー硬化体で構成され、かつ、当該基体における少なくともワーク保持面には前記エラストマー硬化体に樹脂シートが積層されてなる搬送具の製造方法において、樹脂シートの少なくとも一方の面を所定のガス雰囲気下で放電処理によって改質した後、当該改質面に接合補強剤を塗布し、しかる後に、加硫剤を含有する未加硫エラストマー組成物を前記樹脂シートの接合補強剤塗布面に接した状態で加熱加圧することにより、前記樹脂シートと前記エラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、前記搬送具を成形する。
【００１０】
ここで、樹脂シートしてのフッ素系樹脂シートの少なくとも一方の面を、ガス雰囲気下０．１〜１．１ｋｇ／ｃｍ２の圧力下で低温プラズマ処理によって改質した後、フッ素系樹脂シートの改質面に接合補強剤としてのシランカップリング剤を塗布し、しかる後に、加硫剤が含有された未加硫エラストマー組成物をフッ素系樹脂シートのシランカップリング剤塗布面に接した状態で加熱加圧することにより、フッ素系樹脂シートとエラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、前記搬送具を成形することが好ましい。
【００１１】
本発明の別の形態では、ワークを搬送するための搬送具の製造方法において、前記搬送具における基体を構成するエラストマー硬化体、および前記基体における少なくともワーク保持面で前記エラストマー硬化体に積層された樹脂シートを備える複合材によって前記搬送具を製造するにあたって、前記樹脂シートの少なくとも一方の面を所定のガス雰囲気下で放電処理によって改質し、接合補強剤および加硫剤を含有する未加硫エラストマー組成物を前記樹脂シートの改質面に接した状態で加熱加圧することにより、前記樹脂シートと前記エラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、前記搬送具を成形することを特徴とする。
【００１２】
ここで、フッ素系樹脂シートの少なくとも一方の面を、ガス雰囲気下０．１〜１．１ｋｇ／ｃｍ２の圧力下で低温プラズマ処理によって改質した後、接合補強剤としてのシランカップリング剤、および加硫剤を含有する未加硫エラストマー組成物をフッ素系樹脂シートの改質面に接した状態で加熱加圧することにより、フッ素系樹脂シートとエラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、前記搬送具を成形することが好ましい。
【００１３】
本発明において、前記搬送具として、例えば、ベルト面に前記ワーク保持面を構成する突起を備えた搬送ベルト、あるいは、吸着面が前記ワーク保持面となる吸盤を製造する。
【００１４】
本発明に係る搬送具は、基体がエラストマー硬化体で構成されているため、搬送具としての弾性を備え、かつ、少なくともワーク保持面では、エラストマー硬化体の表面に樹脂シートが積層されている。このため、ワークを保持した際、ワークはエラストマー硬化体に接触しないので、エラストマー硬化体に含まれる成分がワークに付着することがなく、ワーク表面には搬送具のワーク保持面が接触した跡がつくことがない。また、本発明では、樹脂シートの表面を所定のガス雰囲気下での放電処理によって改質し、かつ、シランカップリング剤や接着剤などの接合補強剤を用いたので、加硫剤を含む未加硫エラストマー組成物を樹脂シートの表面に接触させた状態で金型内で加熱加圧、あるいはロール等で圧延後、加熱するだけで、樹脂シートとエラストマー硬化体とを強固に接合一体化することができる。それ故、搬送具に応力が繰り返し加わっても、樹脂シートがエラストマー硬化体から剥がれるということがない。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
【００１６】
［実施の形態１］
図１（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１に係る搬送具の説明図である。
【００１７】
図１（Ａ）、（Ｂ）に示すいずれの搬送具１０も、ベルト面１１にワーク保持面を構成する突起１２を備えた搬送ベルトである。この搬送具１０は、ベルト部分１３および突起１２を構成する基体２がクロロプレンゴム、シリコンゴム、ＩＩＲ、ＥＰＤＭ、ＮＢＲ、フッ素ゴムなどのエラストマー硬化体で構成され、かつ、ベルトの上面全体には、突起１２の部分も含めてエラストマー硬化体の表面にフッ素系樹脂シートなどの樹脂シート３が積層されている。
【００１８】
［実施の形態２］
図２（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態２に係る搬送具の断面図、および底面図である。
【００１９】
図２に示すように、本形態の搬送具２０は、吸着面２１がワーク保持面となる吸盤である。この搬送具２０は、ワーク保持面となる円形の吸盤部２２と、この吸盤部２２から上方に延びた円筒部２３とを備えており、吸盤部２２の中央位置には、円筒部２３の穴に連通する穴２４が形成されている。また、吸盤部２２の穴２４の回りには、空気がスムーズに流れるように複数のリブ２５が形成されている。
【００２０】
本形態において、搬送具２０は、吸盤部２２および円筒部２３を備えた基体２が、クロロプレンゴム、シリコンゴム、ＩＩＲ、ＥＰＤＭ、ＮＢＲ、フッ素ゴムなどのエラストマー硬化体で構成され、かつ、少なくとも吸盤部の内面には、エラストマー硬化体の表面に、フッ素系樹脂シートなどの樹脂シート３が積層されている。
【００２１】
［実施の形態３］
図３は、本発明の実施の形態３に係る搬送具を模式的に示す説明図である。
【００２２】
図３に示すように、本形態の搬送具３０は、上面がワーク保持面３１となる断面六角形のベルトであり、ベルト本体３２を構成する基体２が、クロロプレンゴム、シリコンゴム、ＩＩＲ、ＥＰＤＭ、ＮＢＲ、フッ素ゴムなどのエラストマー硬化体で構成され、かつ、その上面からなるワーク保持面３１では、エラストマー硬化体の表面にフッ素系樹脂シートなどの樹脂シート３が積層されている。
【００２３】
［第１の製造方法］
このような搬送具を製造するにあたって、本形態では、樹脂シートの少なくとも一方の面を所定のガス雰囲気下で放電処理によって改質した後、改質面に接合補強剤をシランカップリング剤を塗布し、しかる後に、加硫剤が含有された未加硫エラストマー組成物を樹脂シートの接合補強剤塗布面に接した状態で金型内で加熱加圧することにより、樹脂シートとエラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、搬送具を成形する。具体的には、樹脂シートしてのフッ素系樹脂シートの少なくとも一方の面を、ガス雰囲気下０．１〜１．１ｋｇ／ｃｍ２の圧力下で低温プラズマ処理によって改質した後、フッ素系樹脂シートの改質面に接合補強剤としてのシランカップリング剤を塗布し、しかる後に、加硫剤が含有された未加硫エラストマー組成物をフッ素系樹脂シートのシランカップリング剤塗布面に接した状態で金型内で加熱加圧することにより、フッ素系樹脂シートとエラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、搬送具を成形する。
【００２４】
ここで行う低温プラズマ処理とは、電子温度は高いがガス温度が低い領域で発生するプラズマ（非平衡プラズマともいう）を利用して行う処理であり、プラズマ中を活性種であるイオン、電子、ラジカル、真空紫外線等を素材表面に作用させ、エッチング、インプランテーション、ラジカル生成等の表面改質を行い、表面を活性化する技術である。このインプランテーションの際、水酸基、カルボニル基、カルボキシル基等の官能基が素材表面に導入され、密着性の改善、濡れ性の向上効果が得られる。これらは、シランカップリング剤と未加硫エラストマー組成物の加硫剤に作用して、密着性を著しく向上させるのみならず、様々な応力に耐えうる強固な複合界面を生成する。
【００２５】
この低温プラズマ処理に用いるガスとしては、Ｈｅ、Ａｒ、Ｎｅ、Ｋｒ、Ｘｅ等の不活性ガス、ＣＯ２、ＣＯ等の炭素酸化物ガス、Ｏ２等の酸化性ガス、ＣＦ４等の反応ガス、エチレン、プロピレン等の重合性不飽和化合物ガス、空気等があげられる。これらは、目的に応じて、適宜に選択され、単独もしくは組み合わせて用いられる。ただし、本発明では、低温プラズマ処理を、０．１〜１．１ｋｇ／ｃｍ２の圧力下で行うことから、なかでも、不活性ガスと、炭素酸化物ガスと、重合性不飽和化合物ガスとを組み合わせた混合ガス用いることが好適であり、なかでも特に、ＡｒとＣＯ２とエチレンの混合ガスを用いることが好適である。
【００２６】
そして、混合ガスを用いる場合、不活性ガス１００モルに対し、重合性不飽和化合物ガスを１〜１５モル、炭素酸化物ガスを１〜２０モル配合することが好ましく、最も好ましいのは、不活性ガス１００モルに対し、重合性不飽和化合物ガスを３〜１０モル、炭素酸化物ガスを１〜１２モル配合することである。重合性不飽和化合物ガスと炭素酸化物ガスの配合割合が多くなると、初期放電電圧が高くなり、放電処理しにくくなるからである。
【００２７】
また、放電処理の方法としては、所定のガス雰囲気中に樹脂シートの処理すべき面を曝し、電極間に、例えば３〜４０ｋＨｚといった高周波電圧を印加することにより行われる。なお、放電処理時の温度は、特に制限はないが、通常１０〜８０℃の範囲が好ましく、特に２５〜６０℃の範囲が好適である。
【００２８】
本発明において、低温プラズマ処理を、０．１〜１．１ｋｇ／ｃｍ２の圧力下で行うのは、つぎのような理由による。すなわち、０．１ｋｇ／ｃｍ２未満の圧力下で行おうとすれば、系を真空に保つ必要から特殊な装置が必要となり、設備コストが高くなることと、ガス密度が低くなるため、均一かつ充分な改質面が得られないからである。一方、１．１ｋｇ／ｃｍ２を超えると、ガスの消費量が増大するにもかかわらずそれ以上の処理効果は得られず、経済的でない。
【００２９】
このようにして製造した搬送具では、基体がエラストマー硬化体で構成されているため、搬送具としての弾性を備え、かつ、少なくともワーク保持面では、エラストマー硬化体の表面に樹脂シートが積層されている。このため、ワークを保持した際、ワークはエラストマー硬化体に接触しないので、エラストマー硬化体に含まれる成分がワークに付着することがなく、ワーク表面には搬送具のワーク保持面が接触した跡がつくことがない。
【００３０】
また、搬送具を製造するにあたって、樹脂シートの表面を所定のガス雰囲気下での低温プラズマ処理によって改質し、かつ、シランカップリング剤や接着剤などの接合補強剤を用いたので、加硫剤を含む未加硫エラストマー組成物を樹脂シートの表面に接触させた状態で金型内で加熱加圧するだけで、樹脂シートとエラストマー硬化体とを強固に接合一体化することができる。それ故、搬送具に応力が繰り返し加わっても、樹脂シートがエラストマー硬化体から剥がれるということがない。なお、加硫剤を含む未加硫エラストマー組成物を樹脂シートの表面に接触させた状態でロール等で圧延後、加熱する方法でも、樹脂シートとエラストマー硬化体とを強固に接合一体化することができる。
【００３１】
このような搬送具において、樹脂シートとしては、シート状のフッ素系樹脂シートを用いることが好ましい。フッ素系樹脂シートは、耐候性、耐汚染性、摺動性、耐薬品性、耐熱性、耐熱水性に優れている。なお、必要に応じて各種の充填剤（グラファイト、カーボンやガラス等の短繊維、二硫化モリブデン等）を配合したものであってもよい。特に、耐折り強さ、高引き裂き強さ等の特性が要求される場合には、これらに留意して、他の配合成分を選択することが好適である。
【００３２】
具体的なフッ素系樹脂としては、四フッ化エチレン（ＰＴＦＥ）、四フッ化エチレン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、四フッ化エチレン−パーフロロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、三フッ化塩化エチレン（ＰＣＴＦＥ）、六フッ化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）等があるが、なかでも、取扱いの容易さ、入手のし易さ、価格等の点から、特にＥＴＦＥやＰＦＡが好適である。
【００３３】
また、未加硫エラストマー組成物としては、未硬化のエラストマー成分と、加硫剤と、必要に応じて適宜の充填剤等を配合してなる組成物があげられる。このエラストマー成分としては、各種のものが用いられるが、クロロプレンゴム、シリコンゴム、ＩＩＲ、ＥＰＤＭ、ＮＢＲ、フッ素ゴムなどが適している。
【００３４】
そして、エラストマー成分と組み合わせて用いる加硫剤としては、有機過酸化物、金属酸化物、ポリオール等があげられる。有機過酸化物としては、各種のものが用いられるが、なかでも、ジアルキル系過酸化物が好適である。
【００３５】
このジアルキル系過酸化物の具体例としては、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ジ−ｔ−アミルパーオキサイド、ｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン−（３）、α，α´−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ジイソプロピルベンゼン、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，３−ビス（ｔ−ブチルパーオキシイソプロピル）ベンゼン、ｎ−ブチル−４，４−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）バレレート、２，２−ビス（４，４−ジ−ｔ−ブチルパーオキシシクロヘキシ）プロパン、２，２−ビス−（ｔ−ブチルパーオキシ）ブタン、１，１−ジ−（ｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン等があげられる。なかでも、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサンは、取扱いが比較的容易で、一般に入手しやすいことから特に好適である。また、金属酸化物としては、ＺｎＯ、ＭｇＯ、ＰｂＯ、Ｐｂ３Ｏ４等があげられる。
【００３６】
さらに、低温プラズマ処理によって得られた樹脂シートの改質面に塗布するシランカップリング剤（接合補強剤）の具体例としては、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトシキシラン、γ−メタクリロキシプロピルメトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシププロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シラン、γ−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等があげられる。ただし、これらのシランカップリング剤のうち、アミノ官能性シラン化合物は、有効な接着促進剤であるが、多量に使用すると、１００℃程度の高温に連続的に曝されると顕著な変色を引き起こしたり、硬化劣化が進んで接着力が低下したりするので、なるべく単独で用いないのが好ましい。また、イソシアネート系シランカップリングを用いると、接合しようとする材料、接合形態にかかわらず、ほぼ一定以上の高強度の接合面が得られるので、適用範囲が広く、好適である。
【００３７】
そして、これらのシランカップリング剤は、そのまま用いてもよいし、そのままでは用いにくい場合は塗布作業性の点から、水、溶剤等によって希釈して用いてもよい。その場合、希釈倍率は、シランカップリング剤の種類や接合させるエラストマー成分の種類にもよるが、通常、１．１〜２０倍に設定することが、作業性の上で好適である。
【００３８】
シランカップリング剤（希釈液を含む）の樹脂シートの改質面への塗布量は、特に限定されるものではないが、通常、１０〜４０ｇ／ｍ２に設定することが好適である。すなわち、塗布量が１０ｇ／ｍ２より少ないと、接着力が安定しにくく、逆に４０ｇ／ｍ２を超えると、射出成形や圧縮成形の際、圧力によって塗布面と平行な方向に滲み出して成形金型を汚損し、成形物の取り出しに支障をきたすおそれがあるからである。
【００３９】
また、シランカップリング剤の塗布方法は、特に限定するものではなく、どのような塗布方法によっても差し支えはないが、均一に塗布する点で、スプレー塗布か好適である。
【００４０】
なお、通常、シランカップリング剤を二つの素材間の接合補強に用いる場合、片方の素材面にシランカップリング剤を塗布し、その塗布面を乾燥してから、もう一つの素材との接合を行うことが一般的であるが、本発明では、樹脂シートの改質面に塗布したシランカップリング剤が未乾燥の状態で、この面を直ちに未加硫エラストマー組成物と接するようにして、加熱もしくは加熱加圧により両者の一体成形を行うと、より高強度の接合界面が得られ、好適である。
【００４１】
すなわち、樹脂シートとエラストマー硬化体を高強度で接合するには、未加硫エラストマー組成物の、樹脂シートに対する濡れ性が大きく影響すると考えられるが、シランカップリング剤を未乾燥の濡れた状態のまま加硫エラストマー組成物と接触させ、加熱または加熱加圧によって一工程で成形一体化すると、未加硫エラストマー組成物の接触圧を受けて、樹脂シートの改質面に対するシランカップリング剤の濡れと未加硫エラストマー組成物に対するシランカップリング剤の濡れとが同時に実現し、このとき、シランカップリング剤と未加硫エラストマー組成物とが、互いの接触圧と未加硫エラストマー組成物の流動によって相互に混合・拡散し合う。これにより、低温プラズマ処理面／シランカップリング剤／未加硫エラストマー組成物の界面は、加硫剤の働きにより三者が混在した状態で架橋され、従来にない高強度の接合界面が得られると考えられる。
【００４２】
なお、シランカップリング剤が「未乾燥の状態」とは、乾燥のためにシランカップリング剤塗布面を放置したり風乾等に供することなく、塗布作業終了後すぐの状態をいう。
【００４３】
そして、前記のシランカップリング剤のうち、メタクリロキシ基を含むメタクリロキシ系シランカップリング剤は、一般に、その水溶液を調製した上で、その調製液を目的とする面に吹き付け、乾燥させてカップリング効果を発現させるようにしているが、本発明では、このメタクリロキシ系シランカップリング剤を原液のまま、樹脂シートの改質面に塗布するだけで、樹脂シートと未加硫エラストマー組成物に対し、強固な接合界面を形成することができる。また、メタクリロキシ系シランカップリング剤によれば、工程が大幅に簡略化でき、かつ非常に接合強度に優れたものが得られる。これは、メタクリロキシ系シランカップリング剤のメタクリロキシ基が、加水分解することなくそのまま改質面に供給され、加硫剤を介して、直接架橋に関与するためと考えられる。
【００４４】
なお、本発明において、未加硫エラストマー組成物を硬化させるための加熱もしくは加熱加圧条件は、エラストマー組成物の種類や目的とする硬化体の大きさや厚みにもよるが、通常、加熱温度を１２０〜１８０℃とし、加熱時間を１〜６０分とすることが好適である。加圧条件は、成形装置の種類等に応じて適宜設定される。
【００４５】
成形装置は、特に限定するものはでないが、一般的な射出成形機や、加圧成形機等を用いることができる。
【００４６】
このようにして得られた搬送具では、樹脂シートとしてフッ素系樹脂シートを用いた場合であっても、特殊な圧力範囲で行う低温プラズマ処理による緻密かつ均一な表面処理と、シランカップリング剤と、未加硫エラストマー組成物に含有される加硫剤との複合的な架橋効果とが相俟って、フッ素系樹脂シートとエラストマー硬化体の接合面が、従来にない高強度で一体化される。
【００４７】
［第１の製造方法の変形］
上記第１の製造方法では、樹脂シートを放電処理によって改質した後、この改質面に接合補強剤を塗布したが、加硫剤を含有する未加硫エラストマー組成物の方に接合補強剤を塗布することにより、樹脂シートの改質面に対して接合補強剤を介して、加硫剤を含有する未加硫エラストマー組成物を重ね、しかる後に加熱加圧する方法でもよい。
【００４８】
［第２の製造方法］
図１および図２を参照して説明した搬送具を製造するにあたっては、樹脂シートの少なくとも一方の面を所定のガス雰囲気下で放電処理によって改質し、接合補強剤としてのシランカップリング剤、および加硫剤が含有された未加硫エラストマー組成物を樹脂シートの改質面に接した状態で金型内で加熱加圧することにより、樹脂シートとエラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、搬送具を成形してもよい。具体的には、フッ素系樹脂シートの少なくとも一方の面を、ガス雰囲気下０．１〜１．１ｋｇ／ｃｍ２の圧力下で低温プラズマ処理によって改質した後、接合補強剤としてのシランカップリング剤、および加硫剤を含有する未加硫エラストマー組成物をフッ素系樹脂シートの改質面に接した状態で金型内で加熱加圧することにより、フッ素系樹脂シートとエラストマー硬化体とを接合一体化するとともに、搬送具を成形する。
【００４９】
この場合、シランカップリング剤としては前記のものを用いることができる。ただし、シランカップリング材を塗布する方法の場合には、その塗布作業性を考慮して、シランカップリング剤をそのまま用いる以外に、溶剤希釈されたものを用いる場合を含んでいたが、未加硫エラストマー組成物に含有させる場合には、シランカップリング剤を希釈することなく、そのまま配合すればよい。
【００５０】
ここで、シランカップリング剤の配合割合は、特に限定されるものではないが、なかでも特に、未加硫エラストマー組成物１００重量部（以下「部」と略す）に対し０．１〜２．０部に設定することが好適である。すなわち、配合割合が０．１部より少ないと、得られる複合材の接合界面強度が安定しないおそれがあり、逆に２．０部を超えると、得られる複合材において、エラストマー硬化体の機械的特性が損なわれるおそれがあるからである。
【００５１】
［別の製造方法］
上記形態では、放電処理として、低温プラズマ処理を行ったが、アルゴンガス、窒素ガスおよび炭酸ガスからなる混合ガス中での放電処理を利用してもよい。ここで、アルゴンガスの役割は、フッ素系樹脂シート表面の劣化物を取り除き、かつ、フッ素系樹脂の主鎖切断を抑えながら表面を活性化させ、窒素ガスおよび炭酸ガスによる反応を引き起こすことにある。また、窒素ガスおよび炭酸ガスの役割は、放電処理面に効果的に酸素含有官能基および窒素含有官能基を導入することにある。なお、混合ガスの組成としては、アルゴンガス１００モルに対して窒素ガスは１〜１０モル、炭酸ガスは１〜１５モルが好ましく、最も好ましいのは、アルゴンガス１００モルに対して窒素ガス３〜５モル、炭酸ガスは３〜１０モルである。アルゴンガスに対して窒素ガスと炭酸ガスの量が多くなると、初期放電電圧が高くなり、放電処理しにくくなる。また、この雰囲気下に、空気が混入した場合、放電しにくくなるため、空気の混入を避ける必要がある。
【００５２】
また、不活性ガス、重合性不飽和化合物ガスおよび炭素酸化物ガスの混合ガス中での放電処理を利用してもよい。この場合、不活性ガスの役割は、放電を安定化させ、フッ素系樹脂シート表面の劣化物を取り除き、かつポリマー主鎖の切断を抑えながらフッ素系樹脂シート表面を活性化させ、重合性不飽和化合物ガスおよび炭素酸化物ガスによる反応を引き起こすことにある。この場合、不活性ガスとしては、ヘリウムガス、アルゴンガス、ネオンガス、クリプトンガス、キセノンガス、ラドンガスなどが挙げられるが、ヘリウムガス、アルゴンガスが好ましく、特にアルゴンガスが好ましい。また、重合性不飽和化合物ガスとしては、例えばエチレンガス、プロピレンガスなどの二重結合を有する化合物ガスが挙げられ、エチレンガスが好ましい。また、炭素酸化物ガスとしては、表面重合物に効果的に酸素官能基を導入する役割であるから、炭酸ガス、一酸化炭素が挙げられ、特に炭酸ガスは、フッ素系樹脂シート表面に強固に密着する表面反応物が得られるので好ましい。また、混合ガスの組成としては、不活性ガス１００モルに対して重合性不飽和化合物ガスは１〜１５モル、炭素酸化物ガスは１〜２０モルが好ましく、最も好ましいのは、不活性ガス１００モルに対して重合性不飽和化合物ガスは３〜１０モル、炭素酸化物ガスは１〜１２モルである。不活性ガスに対して重合性不飽和化合物ガスと炭素酸化物ガスの量が多くなると、初期放電電圧が高くなり、放電処理しにくくなる。また、この雰囲気下に、空気が混入した場合、放電しにくくなるため、空気の混入を避ける必要がある。
【００５３】
また、放電処理としては、プラズマ放電の他にも、コロナ放電（火花放電）、グロー放電などを適用できる。いずれの場合も、ガス雰囲気中に処理表面を曝し、電極間に３ｋＨｚ〜４０ｋＨｚの高周波電圧を印加することにより放電処理する。放電の形態は混合ガスの組成により異なり、先述したようにアルゴンガスに対する窒素ガスと炭酸ガスの量が多くなるとプラズマ放電またはグロー放電からコロナ放電（火花放電）に変わる。またＭ放電処理時の圧力は、混合ガスをガス状に維持できる圧力であれば特に制限ないが、通常０．９〜１．１ｋｇ／ｃｍ２の範囲であればよい。大気圧下で行う表面処理であるため、高価な装置を必要としない点で好ましい。放電処理時の温度は、特に制限ないが、通常１０〜８０℃の範囲であればよく、好ましくは２５〜６０℃の範囲である。
【００５４】
また、上記形態では、接合補強剤としてシランカップリング剤を用いたが、ポリエステル系接着剤、ウレタン系接着剤、エポキシ系接着剤、ナイロン系接着剤、エチレン−酢酸ビニル系接着剤、アクリル系接着剤、ゴム系接着剤等の接着剤を用いてもよい。
【００５５】
なお、搬送具としては、上記形態においても、ロボットハンドのワーク把持部に対して本発明を適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１に係る搬送具を模式的に示す説明図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態２に係る搬送具を模式的に示す断面図、および底面図である。
【図３】本発明の実施の形態３に係る搬送具を模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
２  基体
３  樹脂シート
１０、２０、３０  搬送具
１１  ベルト面
１２  ワーク保持面を構成する突起
１３  ベルト部分
２１  吸着面
２２  吸盤部
２３  円筒部
２４  穴
２５  リブ
３１  ワーク保持面
３２  ベルト本体
【図１】
2004249574.tif 000003
【図２】
2004249574.tif 000004
【図３】
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