(57)【要約】【課題】活性の大きな金属薄帯を酸化させることなく回収し、次工程へ受け渡しができる液体金属急冷装置を得る。【解決手段】本発明の液体金属急冷装置は、排気装置に接続され不活性ガスを導入するリーク調整バルブをもつチャンバと、チャンバ内に設けられ高速回転する回転冷却体と、原料金属を溶融・貯留し回転冷却体に噴射するノズル容器と、ノズル容器を加熱する高周波コイルと、フランジ７とゲートバルブ５からなり回転冷却体で急速冷却凝固した金属薄帯をその雰囲気を保ったまま回収する試料回収部２とを備え、この試料回収部２は、ゲートバルブの回転冷却体側にシャッタ機構３を設けたものである。また、シャッタ機構３に代えて、バルブを有する排気口を用いてもよい。【選択図】　　図１
2004106013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気装置に接続され不活性ガスを導入するリーク調整バルブをもつチャンバと、前記チャンバ内に設けられ高速回転する回転冷却体と、原料金属を溶融・貯留し前記回転冷却体に噴射するノズル容器と、前記ノズル容器を加熱する高周波コイルと、フランジとゲートバルブからなり前記回転冷却体で急速冷却凝固した金属薄帯をその雰囲気を保った状態で回収する試料回収部とを備えた液体金属急冷装置において、
前記試料回収部は、前記ゲートバルブの前記回転冷却体側にシャッタ機構を設けたことを特徴とする液体金属急冷装置。
【請求項２】
排気装置に接続され不活性ガスを導入するリーク調整バルブをもつチャンバと、前記チャンバ内に設けられ高速回転する回転冷却体と、原料金属を溶融・貯留し前記回転冷却体に噴射するノズル容器と、前記ノズル容器を加熱する高周波コイルと、フランジとゲートバルブからなり前記回転冷却体で急速冷却凝固した金属薄帯をその雰囲気を保った状態で回収する試料回収部とを備えた液体金属急冷装置において、
前記試料回収部は、バルブを有する排気口を備えたことを特徴とする液体金属急冷装置。
【請求項３】
前記試料回収部は、前記ゲートバルブの前記回転冷却体側ににシャッタ機構を備えたことを特徴とする請求項２記載の液体金属急冷装置。
【請求項４】
前記排気口を前記シャッタ機構と前記フランジとの間に設けたことを特徴とする請求項２または３記載の液体金属急冷装置。
【請求項５】
前記試料回収部のゲートバルブ直上の内壁径（Ｒｔ）は、前記ゲートバルブのシール部内径（Ｒｓ）より小さいことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液体金属急冷装置。
【請求項６】
前記試料回収部内部に試料を回収する試料回収容器を備えたことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の液体金属急冷装置。
【請求項７】
前記試料回収容器の高さＬは、前記シャッタ機構と前記ゲートバルブの距離より短いことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の液体金属急冷装置。
【請求項８】
前記シャッタ機構は、少なくとも２個有しそのうちの１個が前記金属薄帯を切断するものであることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の液体金属急冷装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アモルファス金属および結晶質薄帯をはじめとする金属薄帯の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
金属箔帯の製造法の１つとして、溶融金属（以下溶湯という）をノズル容器のノズルから高速回転する回転冷却体の外周面に向けて噴射し、リボン状あるいはテープ状に急速冷却凝固させる方法が知られており、この方法は液体急冷法といわれる。この方法は、回転冷却体の種類によって、単ロール法、双ロール法、遠心急冷法などに分類される。これらの方法によって、溶湯の成分、組成および冷却条件などを適切に選ぶことによって金属薄帯を得ることができる（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特公平８−１８１１４号公報（第１―３頁、第１図）
【０００４】
ところで、液体急冷法による金属薄帯の製造は作製する金属の成分により大気中で行なわれる場合もあり、アルゴン、ヘリウム、あるいは窒素などの不活性ガス中さらには真空中で行なわれる場合もある。特に、作製する金属薄帯が酸化しやすいもの、言い換えると、活性が高いものでは、酸化あるいは自然発火を防ぐためにも、不活性ガス中あるいは真空中雰囲気での製造が不可欠である。
従来の代表的な製造装置を図１５に示す。図１５は不活性ガス中あるいは真空中で単ロール法により金属薄帯を製造する装置である。図において、１は液体金属急冷装置、２は試料回収部、４は試料回収容器、５はゲートバルブ、７はフランジ、８は試料導入部、９はチャンバ、１０、回転冷却体、１１は高周波コイル、１２はノズル容器、１３はノズル昇降機構、１４は溶湯噴射用の加圧ガス導入管、１４ａは噴射ガス用バルブ、１５はリーク調整バルブである。
この液体金属急冷装置１は、チャンバ９に回転冷却体１０、高周波コイル１１、溶解るつぼを兼ねた耐熱性のノズル容器１２が収容されている。そして、溶解用金属原料をノズル容器１２に装入し、この容器１２を溶湯噴射用加圧ガス導入管１４と接続させ、ノズル昇降機構１３の駆動により、ノズル容器１２を回転冷却体１０の真上に降下させるための準備をする。次に、噴射ガス用バルブ１４ａ、リーク調整バルブ１５を閉じて、チャンバ９から排気し、チャンバ９内が所定の真空度に達した後に、回転冷却体１０を必要な周速度に回転させると共に、ノズル容器１２内の溶解用金属原料の高周波溶解を行なう。溶解用金属原料の溶解が完了した後、ノズル昇降機構１３を駆動してノズル容器１２を回転冷却体１０の直上まで降下させると同時に、電磁バルブ１４ａを開き、適当な圧力のアルゴンガス、ヘリウムガスあるいは窒素などの不活性ガスでノズル容器１２からその内部の溶湯を回転冷却体１０の外周面に向かって噴射することにより、真空中での金属薄帯の製造を行なう。また、リーク調整バルブ１５を通してアルゴン、ヘリウムあるいは窒素などの不活性ガスをチャンバ９内に導入することにより、不活性ガス雰囲気中で金属薄帯を製造することもできる。
製造された金属薄帯は単ロール法の場合は回転冷却体の周速に従って試料導入部８を経て試料回収部２へ飛行し、蓄積される。また、双ロール法の場合は回転冷却体の下部に試料回収部２を設けそこに蓄積される。蓄積された金属薄帯が酸化しやすいもの、言い換えると、活性が高いものであるものは、酸化あるいは自然発火を防ぐためにも、不活性ガス中あるいは真空中雰囲気での製造され、回収部がグローブボックス（図示せず）等の不活性ガスあるいは真空中で取り扱いが行なえるような構成になっていることが望ましい。
また、少量生産や小型の実験装置には、図１５に示すような装置（真壁技研製）がある。これは試料回収部２の直前にゲートバルブ５を設け、フランジ７の脱着により試料回収部２を取り外しができる。この試料回収部２をグローブボックスなど不活性雰囲気へ装入し、次工程作業が不活性雰囲気中で行なうことができ、また、少量生産や小型の実験装置に適している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この従来の液体金属急冷装置においては、試料作製条件のばらつきにより試料回収部に金属薄帯が収まりきれずゲートバルブの閉時に金属薄体をゲートバルブの弁により切断し、これにより弁に金属粉が付着し、ゲートバルブの寿命を低減させる、また最悪の事態では、ゲートバルブを閉め回収部をはずした際に、回収部がリークを起こす場合があるという問題点があった。
そこで、本発明はこれらの問題点を解決するもので、活性の大きな金属薄帯を酸化させることなく回収し、次工程へ受け渡しができる液体金属急冷装置を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明はつぎの構成にしている。
（１）排気装置に接続され不活性ガスを導入するリーク調整バルブをもつチャンバと、前記チャンバ内に設けられ高速回転する回転冷却体と、原料金属を溶融・貯留し前記回転冷却体に噴射するノズル容器と、前記ノズル容器を加熱する高周波コイルと、フランジとゲートバルブからなり前記回転冷却体で急速冷却凝固した金属薄帯をその雰囲気を保った状態で回収する試料回収部とを備えた液体金属急冷装置において、前記試料回収部は、前記ゲートバルブの前記回転冷却体側にシャッタ機構を設けたものである。
（２）排気装置に接続され不活性ガスを導入するリーク調整バルブをもつチャンバと、前記チャンバ内に設けられ高速回転する回転冷却体と、原料金属を溶融・貯留し前記回転冷却体に噴射するノズル容器と、前記ノズル容器を加熱する高周波コイルと、フランジとゲートバルブからなり前記回転冷却体で急速冷却凝固した金属薄帯をその雰囲気を保った状態で回収する試料回収部とを備えた液体金属急冷装置において、前記試料回収部は、バルブを有する排気口を備えたものである。
（３）前記試料回収部は、前記ゲートバルブの前記回転冷却体側ににシャッタ機構を備えたものである。
（４）前記排気口を前記シャッタ機構と前記フランジとの間に設けたものである。
（５）前記試料回収部のゲートバルブ直上の内壁径（Ｒｔ）は、前記ゲートバルブのシール部内径（Ｒｓ）より小さくしたものである。
（６）前記試料回収部内部に試料を回収する試料回収容器を備えたものである。
（７）前記試料回収容器の高さＬは、前記シャッタ機構と前記ゲートバルブの距離より短くしたものである。
（８）前記シャッタ機構は、少なくとも２個有しそのうちの１個が前記金属薄帯を切断するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
本発明の金属急冷装置の全体構成は従来と同じである（図１５）。
試料作製前にあらかじめ真空チャンバ９内は１×１０−３Ｐａに排気した後、アルゴンガスを満たし試料作製を行う。ノズル容器１２から回転冷却体１０の外周面に向かって噴射することにより、作製された金属薄帯は回転冷却体１０の周速に従って試料導入部８へと移動する。試料導入部８から試料回収部２への金属薄帯の取り扱いについて、以下に述べる。
【０００８】
（第１の実施例）
本発明の第１の実施例を図１示す。図１は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。図において、３はシャッタ機構であり、他の符号は従来と同じである。
試料導入部８を経て移動してきた金属薄帯は、開かれた状態のシャッタ機構３およびゲートバルブ５を通過し試料回収部２へ飛行し、蓄積される。このとき金属薄帯作製条件のばらつきにより、作製された金属薄帯は試料回収部２に収まりきれずシャッタ機構部３よりもあふれる状態の場合があるが、この場合にもシャッタ機構３を閉じ、そこで金属薄帯が切断されるため、ゲートバルブ５を閉めることにより、あふれた金属薄帯は閉じたシャッタ機構３の上部に残り、シャッタ機構３のより下の金属薄帯は試料回収部に収まる。フランジ７から試料回収部２を取り外し、試料回収部２をアルゴングローブボックス（図示せず）に装入し、試料の回収を行なった。
本実施例によれば、酸素含有量１０ｐｐｍであったアルゴングローブボックス雰囲気は酸素濃度が上昇することなく試料回収ができる。一方、従来のシャッタ機構のついていない（図１６）ものでは、アルゴンボックスでの試料回収時、５回に１度以上の頻度でグローブボックス中の酸素含有量が上昇した。これは、ゲートバルブからの酸素のリークである。
【０００９】
（第２の実施例）
本発明の第２の実施例を図２示す。図２は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。図の符号は第１の実施例と同じである。第１の実施例と異なる点は、ゲートバルブ５の直上の円筒部内径をゲートバルブのシール部の内径より狭くしたものである。
金属薄帯の試料回収の動作は、第１の実施例と同じである。
本実施例によれば、ゲートバルブ５直上の円筒部内径がゲートバルブのシール部の内径より狭いため、金属薄帯がもろく破片粉が発生しやすい場合にはゲートバルブをいためることなく試料を回収することができる。第１の実施例の場合このような破片粉が発生しやすい試料では、酸素含有量１０ｐｐｍであったアルゴングローブボックス雰囲気中での試料回収時、１０回に１度程度の頻度でグローブボックス中の酸素含有量が上昇した。しかし、本実施例では酸素濃度上昇することなく試料回収ができる。
【００１０】
（第３の実施例）
本発明の第３の実施例を図３示す。図３は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。図において、４は試料回収容器であり、他の符号は第２の実施例と同じである。
試料導入部８を経て移動してきた金属薄帯は、開かれた状態のシャッタ機構３およびゲートバルブ５を通過し試料回収部２へ飛行し、試料回収容器４に蓄積される。
この試料回収容器を設けたことによりグローブボックスでの試料回収時に試料回収容器４のみを取り出せばよく、作業性が向上するばかりでなく、ゲートバルブに金属薄帯由来の金属粉が付着せず、ゲートバルブの寿命が向上する。なお試料回収容器には取手がついていると、さらに作業性が向上する。
【００１１】
（第４の実施例）
本発明の第４の実施例を図４示す。図４は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。図の符号は第３の実施例と同じである。第３の実施例と異なる点は、ゲートバルブ５の直上の円筒部内径をゲートバルブのシール部の内径より狭くしたものである。
試料導入部８を経て移動してきた金属薄帯は、開かれた状態のシャッタ機構３およびゲートバルブ５を通過し試料回収部２へ飛行し、試料回収容器４に蓄積される。このとき金属薄帯作製条件のばらつきにより、作製された金属薄帯は試料回収部２に収まりきれずシャッタ機構部３よりもあふれる状態の場合があるが、この場合にもシャッタ機構３を閉じ、そこで金属薄帯が切断されるため、ゲートバルブ５を閉めることにより、あふれた金属薄帯は閉じたシャッタ機構３の上部に残り、シャッタ機構３より下の金属薄帯は試料回収部２に収まる。さらに、ゲートバルブ５直上の円筒部内径がゲートバルブ５のシール部の内径より狭いため、金属薄帯がもろく破片粉が発生しやすい場合でもゲートバルブをいためることなく試料を回収することができる。また、試料回収容器を設けたことによりグローブボックスでの試料回収時に試料回収容器のみを取り出せばよく、作業性が向上するばかりでなく、ゲートバルブに金属薄帯由来の金属粉が付着せず、ゲートバルブの寿命が向上する。なお試料回収容器には取手がついていると、さらに作業性が向上する。
本実施例によれば、酸素濃度上昇することなく試料回収ができる。第３の実施例では、金属薄帯がもろく、破片粉が発生しやすい試料において、酸素含有量１０ｐｐｍであったアルゴングローブボックス雰囲気中での試料回収時に、１０回に１度程度の頻度でグローブボックス中の酸素含有量が上昇していた。
【００１２】
（実施例５）
本発明の第５の実施例を図５示す。図５は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。図において、３ａは第１のシャッタ機構、３ｂは第２のシャッタ機構３ｂであり、他の符号は第４の実施例と同じである。
試料導入部を経て移動してきた金属薄帯は、開かれた状態の第１のシャッタ機構３ａを通過し、閉じられた第２のシャッタ機構３ｂ直前で蓄積される。作製された金属薄帯は第１のシャッタ機構３ａよりもあふれる状態の場合があるが、この場合にも第１のシャッタ機構３ａを閉じ、そこで金属薄帯が切断されるため、第２のシャッタ機構３ｂを開けることにより、あらかじめ開けてあったゲートバルブ５を通過し試料回収部に収まる。
金属薄帯の弾性が大きな場合、第１の実施例では収まりきれない場合があったが、本実施例によれば、試料回収が容易にできる。
【００１３】
（第６の実施例）
本発明の第６の実施例を図６示す。図６は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。図の符号は第５の実施例と同じである。第５の実施例と異なる点は、ゲートバルブ５の直上の円筒部内径をゲートバルブのシール部の内径より狭くしたものである。
金属薄帯の試料回収の動作は、第５の実施例と同じである。
本実施例によれば、ゲートバルブ５直上の円筒部内径がゲートバルブのシール部の内径より狭いので、金属薄帯がもろく破片粉が発生しやすい場合でもゲートバルブをいためることなく試料を回収することができる。金属薄帯の弾性が大きく、かつ、もろいため破片粉を発生しやすい性質があっても、試料回収が容易にできる。
【００１４】
（第７の実施例）
本発明の第７の実施例を図７示す。図７は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。図の符号は第３の実施例と同じである。第３の実施例と異なる点は、試料回収容器４の高さをシャッタ機構部３とゲートバルブ５間の長さより短くし、試料回収容器４をこの間に設置したものである。
試料導入部８を経て移動してきた金属薄帯は、開かれた状態のシャッタ機構３を通過し、閉じられたゲートバルブ５上に置かれた、高さＬの試料回収容器４に蓄積される。このとき金属薄帯作製条件のばらつきにより、作製された金属薄帯は試料回収部２に収まりきれずシャッタ機構部３よりもあふれる状態の場合があるが、この場合にもシャッタ機構３を閉じ、そこで金属薄帯が切断されるため、ゲートバルブ５を閉めることにより、あふれた金属薄帯は閉じたゲートバルブ５上に設置された試料回収容器４に蓄積される。この後、ゲートバルブを開くことにより、試料回収容器４は試料回収部へ格納される。従って、例えば、グローブボックスでの試料回収時に試料回収容器のみを取り出せばよい。
本実施例によれば、作業性が向上するばかりでなく、ゲートバルブに金属薄帯由来の金属粉が付着せず、ゲートバルブの寿命が向上する。なお試料回収容器には取手がついていると、さらに作業性が向上する。
【００１５】
（第８の実施例）
本発明の第８の実施例を図８示す。図８は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。図において、６は排気口、６ａは排気口６に備えられたバルブであり、他の構成は従来と同じである。
試料導入部８を経て移動してきた金属薄帯は、開かれた状態のゲートバルブ５を通過し試料回収部２へ飛行し、蓄積される。このとき金属薄帯作製条件のばらつきにより、作製された金属薄帯は試料回収部２に収まりきれずゲートバルブ５よりもあふれる状態の場合があるが、排気口６から真空引きを行なうことにより金属薄帯は試料回収部２に収まる。その後ゲートバルブ５、排気口に備えられたバルブ６ａを閉じた後、フランジ７から試料回収部２を取り外し、試料回収部２をアルゴングローブボックス（図示せず）に装入することにより、試料の回収を行なえる。この実施例に従うと、ゲートバルブに金属薄帯から発生する破片粉が付着することなくゲートバルブの寿命が向上する。
【００１６】
（第９の実施例）
本発明の第９の実施例を図９示す。図９は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。構成および符号は、第８の実施例と同じである。異なる点はゲートバルブ５の直上の円筒部内径をゲートバルブのシール部の内径より狭くしたことである。
試料導入部８を経て移動してきた金属薄帯は、開かれた状態のゲートバルブ５を通過し試料回収部２へ飛行し、蓄積される。このとき金属薄帯作製条件のばらつきにより、作製された金属薄帯は試料回収部２に収まりきれずゲートバルブ５よりもあふれる状態の場合があるが、排気口６から真空引きを行なうことにより金属薄帯は試料回収部２に収まる。さらに、ゲートバルブ直上の円筒部内径がゲートバルブのシール部の内径より狭いため、金属薄帯が非常にもろく、排気口のからの真空引きによる収縮の際に破片粉が発生しやすい場合でもゲートバルブをいためることなく試料を回収することができる。フランジ７から試料回収部５を取り外し、試料回収部２をアルゴングローブボックス（図示せず）に装入することにより、試料の回収を行なえる。
本実施例によれば、ゲートバルブに金属薄帯から発生する破片粉が付着することなくゲートバルブの寿命が向上する。
【００１７】
（実施例１０）
本発明の第１０の実施例を図１０示す。図１０は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。構成および符号は、第１の実施例と同じである。異なる点は、排気口６を設けたことである。
試料導入部８を経て移動してきた金属薄帯は、開かれた状態のシャッタ機構３およびゲートバルブ５を通過し試料回収部２へ飛行し、蓄積される。このとき金属薄帯作製条件のばらつきにより、作製された金属薄帯は排気口６からの真空引きにもかかわらず試料回収部２に収まりきれずシャッタ機構部３よりもあふれる状態の場合があるが、この場合にはシャッタ機構３を閉じ、そこで金属薄帯が切断されるため、ゲートバルブを閉めることにより、あふれた金属薄帯は閉じたシャッタ機構３の上部に残り、シャッタ機構３より下の金属薄帯は試料回収部に収まる。
【００１８】
（実施例１１）
本発明の第１１の実施例を図１１示す。図１１は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。構成および符号は、第１０の実施例と同じである。異なる点は、ゲートバルブ５の直上の円筒部内径をゲートバルブのシール部の内径より狭くしたものである。
試料導入部８を経て移動してきた金属薄帯は、開かれた状態のシャッタ機構３およびゲートバルブ５を通過し試料回収部２へ飛行し、蓄積される。このとき金属薄帯作製条件のばらつきにより、作製された金属薄帯は排気口６からの真空引きにもかかわらず試料回収部２に収まりきれずシャッタ機構部３よりもあふれる状態の場合があるが、この場合にはシャッタ機構３を閉じ、そこで金属薄帯が切断されるため、ゲートバルブ５を閉めることにより、あふれた金属薄帯は閉じたシャッタ機構３の上部に残り、シャッタ機構のより下の金属薄帯は試料回収部２に収まる。
本実施例によれば、ゲートバルブ直上の円筒部内径がゲートバルブのシール部の内径より狭いため、金属薄帯がもろく破片粉が発生しやすい場合にもゲートバルブをいためることなく試料を回収することができる。
【００１９】
（実施例１２）
本発明の第１２の実施例を図１２示す。図１２は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。構成および符号は、第１１の実施例と同じである。異なる点は、排気口６をシャッタ機構３とゲートバルブ５との間に設けたことである。
試料導入部を経て移動してきた金属薄帯は、開かれた状態のシャッタ機構３を通過し閉じられたゲートバルブ５上に蓄積される。このとき金属薄帯作製条件のばらつきにより、作製された金属薄帯はシャッタ機構とゲートバルブとの間に設けられた排気口６からの真空引きにもかかわらずシャッタ機構部３よりもあふれる状態の場合があるが、この場合にはシャッタ機構３を閉じ、そこで金属薄帯が切断されるため、ゲートバルブ５を開き、再度閉めることにより、金属薄帯は試料回収部２に収まる。
【００２０】
（第１３の実施例）
本発明の第１３の実施例を図１３示す。図１３は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。構成および符号は、第１２の実施例と同じである。異なる点は、ゲートバルブ５の直上の円筒部内径をゲートバルブのシール部の内径より狭くしたものである。
図１３は第１３の実施例を示す液体金属急冷装置の試料回収部付近を示す模式図である。試料導入部８を経て移動してきた金属薄帯は、開かれた状態のシャッタ機構３を通過し閉じられたゲートバルブ５上に蓄積される。このとき金属薄帯作製条件のばらつきにより、作製された金属薄帯はシャッタ機構３とゲートバルブ５との間に設けられた排気口６からの真空引きにもかかわらずシャッタ機構部３よりもあふれる状態の場合があるが、この場合にはシャッタ機構３を閉じ、そこで金属薄帯が切断されるため、ゲートバルブ５を開き、再度閉めることにより、金属薄帯は試料回収部２に収まる。
本実施例によれば、ゲートバルブ直上の円筒部内径がゲートバルブのシール部の内径より狭いため、金属薄帯がもろく破片粉が発生しやすい場合にもゲートバルブをいためることなく試料を回収することができる。
【００２１】
（第１４の実施例）
本発明の第１４の実施例を図１４示す。図１４は液体金属急冷装置の試料回収部の詳細を示す側断面図である。構成および符号は、第７の実施例と同じである。異なる点は、排気口６をシャッタ機構３とゲートバルブ５との間に設けたことである。
試料導入部を経て移動してきた金属薄帯は、開かれた状態のシャッタ機構３を通過し、閉じられたゲートバルブ５上に置かれた、高さＬの試料回収容器４に蓄積される。このとき金属薄帯作製条件のばらつきにより、作製された金属薄帯は試料回収部２に収まりきれずシャッタ機構部３よりもあふれる状態の場合があるが、この場合にもシャッタ機構３を閉じ、そこで金属薄帯が切断されるため、ゲートバルブ５を閉めることにより、あふれた金属薄帯は閉じたゲートバルブ上に設置された試料回収容器４に蓄積される。この後、ゲートバルブ５を開くことにより、試料回収容器４は試料回収部へ格納される。従って、例えば、グローブボックスでの試料回収時に試料回収容器のみを取り出せばよい。
本実施例によれば、作業性が向上するばかりでなく、ゲートバルブに金属薄帯由来の金属粉が付着せず、ゲートバルブの寿命が向上する。なお試料回収容器には取手がついていると、さらに作業性が向上する。
なお、以上の実施例では単ロール法を例に説明を行なったが、双ロール法などの場合においても試料回収部を金属薄帯が蓄積される部位に設置すれば実施可能である。
【００２２】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の液体金属急冷装置は、試料回収部のゲートバルブの回転冷却体側にシャッタ機構または排気口を設けたので、活性の大きな金属薄帯を酸化させることなく回収し、次工程へ受け渡しができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図３】本発明の第３の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図４】本発明の第４の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図５】本発明の第５の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図６】本発明の第６の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図７】本発明の第７の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図８】本発明の第８の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図９】本発明の第９の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図１０】本発明の第１０の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図１１】本発明の第１１の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図１２】本発明の第１２の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図１３】本発明の第１３の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図１４】本発明の第１４の実施例を示す試料回収部の側断面図である。
【図１５】液体金属急冷装置の全体構成を示す側断面図である。
【図１６】従来の液体金属急冷装置の試料回収部を示す側断面図である。
【符号の説明】
１　液体金属急冷装置
２　試料回収部
３　シャッタ機構
３ａ　第１のシャッタ機構
３ｂ　第２のシャッタ機構
４　試料回収容器
５　ゲートバルブ
６　排気口
６ａ　排気口用バルブ
７　フランジ
８　試料導入部
９　チャンバ
１０　回転冷却体
１１　高周波コイル
１２　ノズル容器
１３　ノズル昇降機構
１４　加圧ガス導入管
１４ａ　噴射ガス用バルブ
１５　リーク調整バルブ
【図１】
2004106013.tif 000003
【図２】
2004106013.tif 000004
【図３】
2004106013.tif 000005
【図４】
2004106013.tif 000006
【図５】
2004106013.tif 000007
【図６】
2004106013.tif 000008
【図７】
2004106013.tif 000009
【図８】
2004106013.tif 000010
【図９】
2004106013.tif 000011
【図１０】
2004106013.tif 000012
【図１１】
2004106013.tif 000013
【図１２】
2004106013.tif 000014
【図１３】
2004106013.tif 000015
【図１４】
2004106013.tif 000016
【図１５】
2004106013.tif 000017
【図１６】
2004106013.tif 000018