(57)【要約】【課題】  装置全体の大きさをコンパクトにし、かつ処理速度を速めることができ、しかもスペーサテープの乾燥状態をより均一化することのできるとともに、洗浄性も良好で洗浄効率に優れたスペーサテープの洗浄装置およびスペーサテープの洗浄方法を提供する。【解決手段】  連続的に搬送される使用済みのスペーサテープを洗浄するためのスペーサテープの洗浄装置であって、上流側に配置した洗浄室と、洗浄室の下流側に配置した乾燥室と、洗浄室内に配設され、前記洗浄室内を通過するスペーサテープに対して、スペーサ表面に洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、洗浄室内で洗浄され、乾燥室内を通過するスペーサテープの表面に付着する洗浄液を吹き飛ばす、前記乾燥室に配設された水切り手段とを備える。【選択図】  図１
2004214634.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続的に搬送される使用済みのスペーサテープを洗浄するためのスペーサテープの洗浄装置であって、
上流側に配置した洗浄室と、
前記洗浄室の下流側に配置した乾燥室と、
前記洗浄室内に配設され、前記洗浄室内を通過するスペーサテープに対して、スペーサ表面に洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、
前記洗浄室内で洗浄され、乾燥室内を通過するスペーサテープの表面に付着する洗浄液を吹き飛ばす、前記乾燥室に配設された水切り手段と、
を備えることを特徴とするスペーサテープの洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄ノズルが、前記洗浄室内を通過するスペーサテープに対して、スペーサテープの両側の表面に対して洗浄液を噴射するように、スペーサの両面側に位置するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄ノズルが、スペーサテープの搬送方向に揺動可能に構成され、これにより、スペーサテープに対する洗浄液の噴射角度を変更することができるように構成されていることを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄ノズルが、スペーサテープの幅方向に揺動可能に構成され、これにより、スペーサテープに対する洗浄液の噴射角度を変更することができるように構成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄室の乾燥室に連絡する下流側には、スペーサテープ表面に付着する洗浄液を吹き飛ばす水切り手段が配設されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項６】
前記洗浄室が、複数の区画された洗浄室を備えていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項７】
前記洗浄室内に洗浄ノズルから噴出された洗浄液を回収して、循環することにより、再使用するように構成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項８】
前記洗浄室が、複数の区画された洗浄室のうち、下流側の洗浄室内に洗浄ノズルから噴出された洗浄液を回収して、上流側の洗浄室の洗浄ノズルに循環することにより、再使用するように構成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項９】
前記洗浄液を循環する通路に不純物除去装置を配設し、この不純物除去装置を通過することにより、不純物が除去された洗浄液を繰り返し循環するように構成されていることを特徴とする請求項７から８のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項１０】
前記不純物除去装置が、磁石から構成されていることを特徴とする請求項９に記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項１１】
前記洗浄室内で、スペーサテープが上下方向に交互に搬送されるように構成されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項１２】
前記乾燥室内で、スペーサテープが上下方向に交互に搬送されるように構成されていることを特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項１３】
前記乾燥室が、一定の乾燥温度になるように維持されるように構成されていることを特徴とする請求項１から１２のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項１４】
前記乾燥室内の乾燥温度が、６０℃〜９０°Ｃの範囲に維持されるように構成されていることを特徴とする請求項１３に記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項１５】
前記水切り手段が、圧縮空気が噴出されるエアナイフ、または加熱空気が噴出されるホットエアナイフから構成されていることを特徴とする請求項１から１４のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項１６】
前記エアナイフまたは前記ホットエアナイフが、空気または加熱空気を圧送る配管の軸方向に沿って形成されたスリット状の開口から噴出されるように構成されていることを特徴とする請求項１５に記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項１７】
前記エアナイフまたは前記ホットエアナイフの配管が、二重管から構成され、
内側の配管が、軸方向に沿って形成されたスリット状の内側開口を備え、
外側の配管が、軸方向に沿って形成され、前記内側の配管の内側開口と略１８０°異なる向きに配置されたスリット状の外側開口を備え、
内側の配管を圧送された空気または加熱空気が、内側の配管の内側開口から二重管の間隙に入り、外側の配管の外側開口を介して、スペーサテープに噴射されるように構成されていること特徴とする請求項１６に記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項１８】
前記乾燥室の下流側の出口近傍のスペーサテープの搬送路に磁石を配置し、この磁石によりスペーサテープの表面に付着している磁性体を吸着するように構成されていることを特徴とする請求項１から１７のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項１９】
前記洗浄ノズルが、洗浄室内のスペーサテープの搬送路の上流域および下流域にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１から１８のいずれかに記載のスペーサテープの洗浄装置。
【請求項２０】
連続的に搬送される使用済みのスペーサテープを洗浄するためのスペーサテープ洗浄方法であって、
上流側に配置した洗浄室内に配設された洗浄ノズルを介して、洗浄室内を通過するスペーサテープに対して、スペーサ表面に洗浄液を噴射して洗浄した後、
前記洗浄室の下流側に配置した乾燥室内において、前記洗浄室内で洗浄され、乾燥室内を通過するスペーサテープの表面に付着する洗浄液を、前記乾燥室に配設された水切り手段によって、吹き飛ばし乾燥することを特徴とするスペーサテープの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品実装用フィルムキャリアテープ（ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ、Ｔ−ＢＧＡ（Tape Ball Grid Array）テープ、ＣＳＰ(Chip Size Package)テ
ープ、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）テープ、ＣＯＦ（Chip on
Film）テープ、２メタル（両面配線）テープ、多層配線用テープなど）（以下、単に「
電子部品実装用フィルムキャリアテープ」という）の製造工程において使用した使用済みのスペーサテープを洗浄するためのスペーサテープの洗浄装置およびスペーサテープの洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス産業の発達に伴い、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）などの電子部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加しているが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望され、これら電子部品の実装方法として、最近ではＴＡＢテープ、ＣＯＦテープ、Ｔ-ＢＧＡテープおよびＡＳＩＣテープなどの電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープを用いた実装方式が採用されている。特に、パーソナルコンピュータなどのように高精細化、薄型化、液晶画面の額縁面積の狭小化が要望されている液晶表示素子（ＬＣＤ）を使用する電子産業においてその重要性が高まっている。
【０００３】
このような電子部品実装用フィルムキャリアテープでは、樹脂フィルムに電子部品あるいは配線パターンを形成するために、例えば、整面塗布、露光、現像、エッチング剥離、スクリーン印刷、メッキ、電気検査、外観検査などの各処理を実施してから製品とされる。
【０００４】
このため、幾度も異なる工程を経てから製品とされるため、製造の途中では、電子部品実装用フィルムキャリアテープの表面を保護する目的で、エンボステープからなるスペーサテープを介装することによって、このスペーサテープとともに、リールなどに巻き回して次の工程へと搬送されている。
【０００５】
なお、銅箔と絶縁フィルムとのラミネート工程、ＴＡＢテープ等の検査工程などでは、フラットテープからなるスペーサテープなどが使用されている。
【０００６】
このようなエンボステープまたはフラットテープなどのスペーサテープは、１回の使用で破棄されてしまうと、結果的に製品コストの高騰を招来することから、洗浄して繰り返し使用することが望ましい。
【０００７】
ところが、このようなスペーサテープを再使用する場合は、他の工程で使用される場合もあるので、完全に洗浄してから使用しなければならない。
【０００８】
従来、このようなスペーサテープを洗浄するには、図３に示したような洗浄装置が用いられている。すなわち、先ず、使用後のスペーサテープ２を巻回した巻き出しロール４が巻き出し側にセットされる。そして、この巻き出しロール４から順次シート状に繰り出され、ガイドローラａ，ｂ，ｃ，ｄなどに案内されることにより、純水６が貯留された水室８の純水中に、スペーサテープ２が浸漬され通過することによって洗浄され、その後、巻き取りロール１４に巻き取られるようになっている。
【０００９】
また、水室８内では、図示しない超音波発生装置が設置され、この超音波発生装置から発せられる超音波により、水室８の純水中をスペーサテープ２が浸漬、通過する際に、ス
ペーサテープ２の表面から微細な不純物などが取り除かれるようになっている。また、水室８の外方には、空気噴出が行なわれるエアナイフ１０および加熱空気が噴出されるホットエアナイフ１２が配置され、これらのエアナイフ１０，１２から噴出される圧縮空気または加熱空気により、テープ２の表面に付着している洗浄液が吹き飛ばされ、乾燥されるようになっている。
【００１０】
従って、エアナイフ１０、ホットエアナイフ１２により乾燥された後のスペーサテープ２'が巻き取りロール１４に巻き取られるようになっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、このように超音波発生装置を用いてスペーサテープ２の表面から汚れを落す場合には、超音波によりスペーサテープ２の表面から汚れを落す場合であっても、そのスペーサテープ２は、洗浄液に浸かった状態で水室８内を搬送されるため、洗浄が進むにつれて、スペーサテープ２の表面から洗い落とされた汚れが洗浄液中に蓄積することになる。
【００１２】
従って、このような汚染された洗浄液中をスペーサテープ２が浸漬、通過することになるため、スペーサテープ２の表面に再びごみが付着してしまうという問題があった。
【００１３】
従って、このようにスペーサテープ２の表面にごみなどが付着したまま、エアナイフ１０，１２によって乾燥した場合に、ごみなどがスペーサテープ２の表面に付着したまま乾燥されることがあり、このようなスペーサテープ２を電子部品実装用フィルムキャリアテープの各種の製造工程に用いた場合、このごみなどが電子部品実装用フィルムキャリアテープに付着して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの短絡などの原因となるおそれがあった。
【００１４】
しかも、超音波により汚れを落す場合には、搬送速度を大きくし過ぎると、超音波による洗浄効果が低下してしまうため、搬送速度を上げるにも限界がある。また、洗浄液に接する時間を長くするためには、水室８を大型にする必要があり、洗浄装置全体も大型化してしまうことになる。
【００１５】
また、従来の洗浄装置では、エアナイフ１０およびホットエアナイフ１２は、１本の配管の外周面に軸方向に延びたスリット状の開口を形成し、この開口からテープ幅方向に空気または加熱空気を噴出する構造である。このため、この開口から噴出される空気の量は、圧縮空気源に近い程多く、圧縮空気の供給源から遠ざかると噴出量が少なくなり、スペーサテープ２の幅方向にわたって乾燥状態が不均一になり易いという問題があった。
【００１６】
本発明は、このような現状に鑑み、装置全体の大きさをコンパクトにし、かつ処理速度を速めることができ、しかもスペーサテープの乾燥状態をより均一化することのできるとともに、洗浄性も良好で洗浄効率に優れたスペーサテープの洗浄装置およびスペーサテープの洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、連続的に搬送される使用済みのスペーサテープを洗浄するためのスペーサテープの洗浄装置であって、
上流側に配置した洗浄室と、
前記洗浄室の下流側に配置した乾燥室と、
前記洗浄室内に配設され、前記洗浄室内を通過するスペーサテープに対して、スペーサ
表面に洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、
前記洗浄室内で洗浄され、乾燥室内を通過するスペーサテープの表面に付着する洗浄液を吹き飛ばす、前記乾燥室に配設された水切り手段と、
を備えることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明のスペーサテープの洗浄方法は、連続的に搬送される使用済みのスペーサテープを洗浄するためのスペーサテープ洗浄方法であって、
上流側に配置した洗浄室内に配設された洗浄ノズルを介して、洗浄室内を通過するスペーサテープに対して、スペーサ表面に洗浄液を噴射して洗浄した後、
前記洗浄室の下流側に配置した乾燥室内において、前記洗浄室内で洗浄され、乾燥室内を通過するスペーサテープの表面に付着する洗浄液を、前記乾燥室に配設された水切り手段によって、吹き飛ばし乾燥することを特徴とする。
【００１９】
このように構成することによって、上流側に配置した洗浄室内に配設された洗浄ノズルを介して、洗浄室内を通過するスペーサテープに対して、スペーサ表面に洗浄液を噴射して洗浄するので、従来のように、洗浄液中にスペーサが浸漬されることがないので、スペーサテープの表面に再びごみが付着することなく、極めて洗浄性に優れている。
【００２０】
従って、スペーサテープの表面に付着する洗浄液は、このようなごみなどが残存しない洗浄液であり、このスペーサテープの表面に付着する洗浄液を、乾燥室に配設された水切り手段によって、吹き飛ばし乾燥するので、乾燥後のスペーサテープの表面は完全に洗浄された状態で乾燥されることになる。
【００２１】
このように洗浄、乾燥されたスペーサテープを、電子部品実装用フィルムキャリアテープの各種の製造工程に用いた場合、ごみなどが電子部品実装用フィルムキャリアテープに付着せず、電子部品実装用フィルムキャリアテープの短絡などの原因となることもない。
【００２２】
さらに、従来の超音波洗浄を行なう場合のように、スペーサテープを浸漬する純水を貯留する大きな水室、この水室と別に設けたエアーナイフなどの乾燥装置を設ける必要がないので、装置が非常にコンパクトである。
【００２３】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記洗浄ノズルが、前記洗浄室内を通過するスペーサテープに対して、スペーサテープの両側の表面に対して洗浄液を噴射するように、スペーサの両面側に位置するように配置されていることを特徴とする。
【００２４】
このように、洗浄ノズルがスペーサの両面側に位置し、スペーサテープの両側の表面に対して洗浄液を噴射するので、スペーサテープの両側の表面を同時に洗浄することができ、洗浄性も良好で洗浄効率に優れている。
【００２５】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記洗浄ノズルが、スペーサテープの搬送方向に揺動可能に構成され、これにより、スペーサテープに対する洗浄液の噴射角度を変更することができるように構成されていることを特徴とする。
【００２６】
このように構成することによって、スペーサテープに対する洗浄液の噴射角度をスペーサテープの搬送方向に変更することができるので、テープの表面の搬送方向にわたって、すみずみまで洗浄液を吹付けることが可能で、均一に汚れを取ることができ、洗浄液の使用量も少なくすることができる。
【００２７】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記洗浄ノズルが、スペーサテープの幅方向に揺動可能に構成され、これにより、スペーサテープに対する洗浄液の噴射角度を変
更することができるように構成されていることを特徴とする。
【００２８】
従って、スペーサテープに対する洗浄液の噴射角度をスペーサテープの幅方向に変更することができるので、テープの表面の幅方向にわたって、すみずみまで均一に汚れを取ることができ、洗浄液の使用量も少なくすることができる。
【００２９】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記洗浄室の乾燥室に連絡する下流側には、スペーサテープ表面に付着する洗浄液を吹き飛ばす水切り手段が配設されていることを特徴とする。
【００３０】
このように、洗浄室の乾燥室に連絡する下流側、すなわち、乾燥室への直前に、水切り手段が配設されており、これにより、スペーサテープ表面に付着する洗浄液を吹き飛ばすので、洗浄室において洗浄液をほとんど回収して再使用することができる。
【００３１】
また、このように洗浄液を吹き飛ばした後、スペーサテープを乾燥室に供給することができるので、乾燥室内へ供給されたスペーサテープの表面には、ほとんど洗浄液が残存しないので、後の乾燥室内での乾燥効率を向上させることができる。
【００３２】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記洗浄室が、複数の区画された洗浄室を備えていることを特徴とする。
【００３３】
このように構成することによって、上流側に位置する洗浄室で洗浄された後、下流側に位置する洗浄室でさらに洗浄されることになるので、洗浄性がさらに向上するとともに、洗浄効率に優れることになる。
【００３４】
しかも、これらの複数の洗浄室は、相互に区画されて分離された状態であるので、上流側の洗浄に使用して噴射された洗浄液が、下流側の洗浄室に飛散して浸入することがないので、下流側での洗浄性が低下することがない。
【００３５】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記洗浄室内に洗浄ノズルから噴出された洗浄液を回収して、循環することにより、再使用するように構成されていることを特徴とする。
【００３６】
このように構成することによって、洗浄液を有効に使用することができる。
【００３７】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記洗浄室が、複数の区画された洗浄室のうち、下流側の洗浄室内に洗浄ノズルから噴出された洗浄液を回収して、上流側の洗浄室の洗浄ノズルに循環することにより、再使用するように構成されていることを特徴とする。
【００３８】
このように構成することによって、上流側の洗浄室での洗浄を予備洗浄として、下流側の洗浄室内に洗浄ノズルから噴出され、スペーサテープの洗浄に使用された後の洗浄液を、上流側の洗浄室の洗浄ノズルから噴出される洗浄液として用いることができ、洗浄液を有効に使用することができる。
【００３９】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記洗浄液を循環する通路に不純物除去装置を配設し、この不純物除去装置を通過することにより、不純物が除去された洗浄液を繰り返し循環するように構成されていることを特徴とする。
【００４０】
このように洗浄液を循環する通路に不純物除去装置を配設し、この不純物除去装置を通
過することにより、不純物が除去された洗浄液を繰り返し循環して、使用するので、常に清浄な洗浄液で洗浄を行うことができ、洗浄性、洗浄効率がさらに向上する。
【００４１】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記不純物除去装置が、磁石から構成されていることを特徴とする。
【００４２】
このように構成することによって、洗浄に使用した後の洗浄液中に含まれる例えば、装置などから発生し、スペーサテープの表面に付着して洗浄によって洗い落とされた鉄粉、磁性を帯びた塵埃などの磁性体を除去することができる。
【００４３】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記洗浄室内で、スペーサテープが上下方向に交互に搬送されるように構成されていることを特徴とする。
【００４４】
このように構成することによって、スペーサ−テープの搬送、洗浄に必要な洗浄室のスペースを小さくすることができ、装置をコンパクトにすることができる。
【００４５】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記乾燥室内で、スペーサテープが上下方向に交互に搬送されるように構成されていることを特徴とする。
【００４６】
このように構成することによって、スペーサテープを十分に乾燥室内に乾燥のために滞留することができるとともに、スペーサ−テープの搬送、乾燥に必要な乾燥室のスペースを小さくすることができ、装置をコンパクトにすることができる。
【００４７】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記乾燥室が、一定の乾燥温度になるように維持されるように構成されていることを特徴とする。
【００４８】
このように構成することによって、乾燥室に配設された水切り手段による吹き飛ばし乾燥とともに、加熱などによる乾燥室内の乾燥温度による乾燥の相乗効果によって乾燥効率を向上することができる。
【００４９】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記乾燥室内の乾燥温度が、６０℃〜９０°Ｃの範囲に維持されるように構成されていることを特徴とする。
【００５０】
このような温度範囲に乾燥室内の乾燥温度があれば、スペーサテープの品質を低下することなく、スペーサテープの乾燥を速やかに行なうことができる。
【００５１】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記水切り手段が、圧縮空気が噴出されるエアナイフ、または加熱空気が噴出されるホットエアナイフから構成されていることを特徴とする。
【００５２】
このように構成することによって、エアナイフから噴出される圧縮空気、ホットエアナイフから噴出される加熱空気の作用によって、スペーサテープ表面の洗浄液が吹き飛ばされ、乾燥されるので、スペーサテープの表面を幅方向にわたって均一に乾燥することができる。
【００５３】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記エアナイフまたは前記ホットエアナイフが、空気または加熱空気を圧送る配管の軸方向に沿って形成されたスリット状の開口から噴出されるように構成されていることを特徴とする。
【００５４】
このような構成であれば、スリット状の開口から、スペーサテープの幅方向全体に向け
て、噴出空気を勢い良く噴出させることができ、スペーサテープの幅方向にわたって均一に乾燥することができるとともに、乾燥効率が向上する。
【００５５】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記エアナイフまたは前記ホットエアナイフの配管が、二重管から構成され、
内側の配管が、軸方向に沿って形成されたスリット状の内側開口を備え、
外側の配管が、軸方向に沿って形成され、前記内側の配管の内側開口と略１８０°異なる向きに配置されたスリット状の外側開口を備え、
内側の配管を圧送された空気または加熱空気が、内側の配管の内側開口から二重管の間隙に入り、外側の配管の外側開口を介して、スペーサテープに噴射されるように構成されていること特徴とする。
【００５６】
このように構成することによって、内側の配管を圧送された空気または加熱空気が、内側の配管の内側開口から二重管の間隙に入り、この間隙に入っていったん滞留することになる。そして、この間隙に滞留した空気が、内側の配管の内側開口と略１８０°異なる向きに配置された外側の配管のスリット状の外側開口を介して噴射されるので、外側の配管のスリット状の外側開口全体から、略均一な風量および圧力で、空気または加熱空気が、スペーサテープに対して噴射されることになる。
【００５７】
従って、空気または加熱空気の供給源に近い側あるいは遠い側であっても、略均一な量および圧力で、空気または加熱空気を、スペーサテープに対して噴出することができるので、スペーサテープ表面の乾燥にムラの発生が少なくなる。
【００５８】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記乾燥室の下流側の出口近傍のスペーサテープの搬送路に磁石を配置し、この磁石によりスペーサテープの表面に付着している磁性体を吸着するように構成されていることを特徴とする。
【００５９】
このように、乾燥室の下流側の出口近傍のスペーサテープの搬送路に磁石を配置し、この磁石によりスペーサテープの表面に付着している磁性体を吸着するので、
従って、乾燥室で乾燥された後のスペーサテープの表面に乾燥後も残存、付着する、鉄粉、磁性を帯びた塵埃などの磁性体をスペーサテープの表面から取り除くことができるので、より清浄なスペーサテープを得ることができる。
【００６０】
また、本発明のスペーサテープの洗浄装置は、前記洗浄ノズルが、洗浄室内のスペーサテープの搬送路の上流域および下流域にそれぞれ設けられていることを特徴とする。
【００６１】
このように、洗浄室内において、上流域に設けた洗浄ノズルと、下流域に設けた洗浄ノズルによって、複数回の洗浄を行うことになるので、洗浄性、洗浄効率がさらに向上する。
【発明の効果】
【００６２】
本発明によれば、本発明によれば、上流側に配置した洗浄室内に配設された洗浄ノズルを介して、洗浄室内を通過するスペーサテープに対して、スペーサ表面に洗浄液を噴射して洗浄するので、従来の超音波洗浄を行なう場合のように、洗浄液中にスペーサが浸漬されることがないので、スペーサテープの表面に再びごみが付着することなく、極めて洗浄性に優れている。
【００６３】
従って、スペーサテープの表面に付着する洗浄液は、このようなごみなどが残存しない洗浄液であり、このスペーサテープの表面に付着する洗浄液を、乾燥室に配設された水切り手段によって、吹き飛ばし乾燥するので、乾燥後のスペーサテープの表面は完全に洗浄
された状態で乾燥されることになる。
【００６４】
このように洗浄、乾燥されたスペーサテープを、電子部品実装用フィルムキャリアテープの各種の製造工程に用いた場合、ごみなどが電子部品実装用フィルムキャリアテープに付着せず、電子部品実装用フィルムキャリアテープの短絡などの原因となることもない。
【００６５】
さらに、従来の超音波洗浄を行なう場合のように、スペーサテープを浸漬する純水を貯留する大きな水室、この水室と別に設けたエアーナイフなどの乾燥装置を設ける必要がないので、装置が非常にコンパクトである。
【００６６】
また、本発明の洗浄装置によれば、スペーサテープの洗浄効率を超音波洗浄を行なう場合に比べて、処理能力を早めることができる。また、洗浄装置全体の大きさをコンパクトに収めることもできる。さらに、乾燥室内は高温に維持されているので、乾燥効率が良好である。さらに、エアナイフあるいはホットエアナイフからなる水切り手段で表面の水が吹き飛ばされてから、乾燥室内に導出されるので、乾燥効率が向上される。
【００６７】
さらに、洗浄ノズルをスペーサテープ搬送路の上流域および下流域に設けたので、最初の洗浄ノズルで洗浄し、その後の洗浄ノズルを仕上げ洗浄として使用することができる。
【００６８】
また、洗浄ノズルは、揺動可能な配管に連結されていることにより、噴出角度を調整できるので、テープの洗浄が部分的に片寄ってしまうこともない。
【００６９】
さらに、エアナイフあるいはホットエアナイフからの噴出空気は、二重管の外方のスリット状の開口から噴出されるので、噴出量を平均化することができる。したがって、乾燥のムラが発生しにくい。また、乾燥室の外方に構成されるスペーサテープの搬送路、あるいは洗浄液を循環するポンプの吸い込み口側に磁石を設けることにより、テープ表面あるいは洗浄液の中に仮に磁性を帯びた塵埃等があるとしても、それらを取り除くことができる。
【００７０】
さらに、本発明に係る洗浄方法によれば、装置の小型化が図れ、かつ処理速度を向上させることが出来、しかも、洗浄のムラあるいは乾燥のムラなどが少なく、コストダウンに寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００７１】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
【００７２】
図１は、本発明のスペーサテープの洗浄装置の実施例の概略を示す概略図である。
【００７３】
なお、この洗浄装置２０は、箱体形状の洗浄装置本体２２を備えている。この洗浄装置本体２２内には、略中央の位置に、洗浄・乾燥部２２ａが配置されている。
【００７４】
この洗浄・乾燥部２２ａには、図示しないが、緊密なシール構造を備え、図２の紙面の手前側に開閉自在な扉が設けられている。これにより、洗浄・乾燥部２２ａ内へのスペーサテープの装着、メンテナンスなどができるようになっている。
【００７５】
ところで、このような洗浄装置本体２２内には、図３に示した場合と同様に、電子部品実装用フィルムキャリアテープの各種の工程で使用した使用済みスペーサテープ２が巻回された巻き出しロール４が、巻き出し側（図１の左側）に上下２段に設置されている。
【００７６】
また、洗浄後のスペーサテープ２'を巻き取るための巻き取りロール１４が、巻き取り
側（図１の右側）に上下２段に設置されている。
【００７７】
なお、図示しないが、実際には、巻き出しロール４ならびに巻き取りロール１４は、同じ高さに、それぞれもう一つずつ設置されている。すなわち、紙面の奥側に、それぞれ並んで併設されている。したがって、図１の洗浄装置２０では、合計で４つの巻き出しロール４から繰り出されたスペーサテープ２が、４つの巻き取りロール１４に巻き取られるようになっている。
【００７８】
各巻き出しロール４から繰り出されたシート状のスペーサテープ２は、ガイドローラｅ１を介して、洗浄・乾燥部２２ａに搬送されるようになっている。
【００７９】
洗浄・乾燥部２２ａは、図１に示したように、上流側に配置した洗浄室Ａと、この洗浄室Ａの下流に配置した乾燥室Ｂとを備えている。
【００８０】
また、洗浄室Ａは、上流側に配置した第１の洗浄室２４と、第１の洗浄室２４の下流側に配置した第２の洗浄室２６とを備えている。
【００８１】
なお、図示しないが、洗浄室Ａと乾燥室Ｂとの間の連絡通路３０は、シールされている。
【００８２】
そして、上記のようにガイドローラｅ１を介して、洗浄・乾燥部２２ａに搬送されたスペーサテープ２は、図示しないが、第１の洗浄室２４の上部に形成されたスリット状の開口部を介して、第１の洗浄室２４内に案内されるようになっている。
【００８３】
この第１の洗浄室２４内に案内されたスペーサテープ２は、第１の洗浄室２４内を、下方にガイドローラｅ１から、第１の洗浄室２４の下方に配置されたガイドローラｅ２まで搬送されるようになっている。
【００８４】
そして、ガイドローラｅ２まで搬送されたスペーサテープ２は、ガイドローラｅ２から、第２の洗浄室２６の下方に配置されたガイドローラｅ３へと水平方向に搬送されて、第２の洗浄室２６内に案内されるようになっている。
【００８５】
なお、図示しないが、水平方向に搬送されるスペーサテープ２は、第１の洗浄室２４と第２の洗浄室２６との間に配置された遮蔽板２５に形成されたスリット状の開口を介して、第１の洗浄室２４から第２の洗浄室２６へと案内されるようになっている。
【００８６】
そして、第２の洗浄室２６内に案内されたスペーサテープ２は、ガイドローラｅ３から、第２の洗浄室２６の上方に配置されたガイドローラｅ４へと上方に案内、搬送されるようになっている。
【００８７】
また、第２の洗浄室２６内を上方にガイドローラｅ４へ案内されたスペーサテープ２は、乾燥室Ｂの上方に配置されたガイドローラｅ５へと水平方向に案内されて、第２の洗浄室２６と乾燥室Ｂとの間に配置した連絡通路３０を介して、乾燥室Ｂへ搬送されるようになっている。
【００８８】
さらに、乾燥室Ｂ内では、乾燥室Ｂの上方に配置されたガイドローラｅ５から、乾燥室Ｂの上方に配置されたガイドローラｅ６まで下方に案内された後、ガイドローラｅ６から、乾燥室Ｂの外部上方に配置したガイドローラｅ７まで、上方に案内、搬送されるようになっている。
【００８９】
なお、図示しないが、乾燥室Ｂの上方に設けられたスリット状の開口を介して、乾燥室Ｂの外部へとスペーサテープ２が搬送されるようになっている。
【００９０】
そして、スペーサテープ２が、ガイドローラｅ７を介して、巻き取りロール１４に巻き取られるようになっている。
【００９１】
このように、洗浄室Ａと乾燥室Ｂ内で、搬送の途中で、上下交互に配置され複数のガイドローラｅ１〜ｅ７を介して、洗浄室Ａと乾燥室Ｂ内で、スペーサテープ２が上下方向に交互に搬送されるので、スペーサ−テープの搬送、洗浄、乾燥に必要な洗浄室Ａおよび乾燥室Ｂのスペースを小さくすることができ、装置をコンパクトにすることができる。
【００９２】
洗浄室Ａの第１の洗浄室２４には、ガイドローラｅ１からガイドローラｅ２へ第１の洗浄室２４内を下方に案内、搬送されるスペーサテープ２を挟んで、互いに対向する位置に配置した洗浄ノズル３２ａ，３４ａからなる洗浄装置が２組設置されている。その一つは上段のテープ２を、他の一つは下段のテープ２を洗浄するために設置されている。
【００９３】
そして、洗浄ノズル３２ａによりテープ２の一方面を、洗浄ノズル３４ａによりテープ２の他方面を洗浄するようになっている。これにより、この洗浄室Ａの第１の洗浄室２４では、テープ２の両側がもれなく洗浄される。また、これらの洗浄ノズル３２ａ，３４ａは、洗浄液を図示しない洗浄液源から圧送する配管の軸方向に沿って所定間隔おきに取付られている。
【００９４】
なお、この配管は、図示しない駆動機構によって、配管の軸を中心としてスペーサテープ２の搬送方向、または配管の軸方向、すなわちスペーサテープ２の幅方向、またはその両方向に揺動可能に構成されている。
【００９５】
従って、スペーサテープ２に対する洗浄ノズル３２ａ，３４ａからの洗浄液の噴射角度をスペーサテープ２の搬送方向、幅方向に変更することができるので、スペーサテープ２の搬送方向、幅方向にわたって、スペーサテープ２のスペーサテープ２の表裏両面のすみずみまで、ムラなく洗浄液を吹付けることが可能で、均一に汚れを取ることができ、洗浄液の使用量も少なくすることができる。
【００９６】
なお、第１の洗浄室２４内の上方近傍の側部には、外部と排気を図るための開口２１が形成されている。そして、この開口２１に、洗浄液が浸入して、外部に噴射された洗浄液が排気されるのを防止するために、洗浄ノズル３２ａ，３４ａ側との間に仕切り板２３が配置されている。
【００９７】
なお、図示しないが、仕切り板２３にも、スリット状の開口が設けられており、このスリット状の開口を介して、スペーサテープ２が下方に案内されるようになっている。
【００９８】
また、第１の洗浄室２４と第２の洗浄室２６との間には、遮蔽板２５が配置されている。
【００９９】
この遮蔽板２５は、第２の洗浄室２６の上方に配置された圧縮空気を噴出する水切り手段を構成するエアナイフ４４，４４から構成される水切りゾーンに、第１の洗浄室２４で洗浄ノズル３２ａ，３４ａから噴射された洗浄液が、飛散して浸入するのを防止するためのものである。これにより、下流側の第２の洗浄室２６内での洗浄性が低下することがないようになっている。
【０１００】
なお、この遮蔽板２５にも、図示しないが、スペーサテープ２が通る部分にのみ、スリ
ット状の開口が形成され、このスリット状の開口を介して、第１の洗浄室２４から第２の洗浄室２６へと案内されるようになっている。
【０１０１】
また、遮蔽板２５の下端は、貯水槽３８の内に没しており、これにより、第１の洗浄室２４と第２の洗浄室２６とが完全に分離されるようになっている。
【０１０２】
一方、第２の洗浄室２６内には、第１の洗浄室２４の場合と略同様に、ガイドローラｅ３からガイドローラｅ４へ第２の洗浄室２６内を上方に案内搬送されるスペーサテープ２を挟んで、互いに対向する位置に洗浄ノズル３２ｂ，３４ｂからなる洗浄装置が設置されている。
【０１０３】
そして、この第２の洗浄室２６においても、第１の洗浄室２４の場合と同様に、洗浄ノズル３２ｂ，３４ｂを介して、洗浄液が噴射され、これによりテープ２の表裏両面が洗浄されるようになっている。
【０１０４】
なお、この洗浄ノズル３２ｂ，３４ｂも、第１の洗浄室２４の洗浄ノズル３２ａ，３４ａと同様に、洗浄液を図示しない洗浄液源から圧送する配管の軸方向に沿って所定間隔おきに取付られ、配管の軸を中心としてスペーサテープ２の搬送方向、または配管の軸方向、すなわちスペーサテープ２の幅方向、またはその両方向に揺動可能に構成されている。
【０１０５】
なお、この場合、洗浄液としては、特に限定されるものではないが、例えば、純水、界面活性剤を含んだ中性の洗浄液などを使用することができる。
【０１０６】
そして、先ずこの洗浄液は、図示しない洗浄液タンクなどの洗浄液源から、第２の洗浄室２６の洗浄ノズル３２ｂ，３４ｂ側に供給され、第２の洗浄室２６内で洗浄のために使用される。
【０１０７】
その後、第２の洗浄室２６で洗浄に使用された洗浄液は、洗浄室Ａの底部に設けられた貯水槽３８内に自然落下して、予め貯水槽３８内に貯留されている洗浄液に加わるようにして収容されるようになっている。
【０１０８】
そして、貯水槽３８内に貯留されている洗浄液は、ポンプＰならびにフィルタＦを介して、第１の洗浄室２４の洗浄ノズル３２ａ，３４ａ側に供給されるようになっている。
【０１０９】
このように構成することによって、上流側の第１の洗浄室２４での洗浄を予備洗浄として、下流側の第２の洗浄室２６内に洗浄ノズル３２ｂ，３４ｂから噴出され、スペーサテープ２の洗浄に使用された後の洗浄液を、上流側の第１の洗浄室２４の洗浄ノズル３２ａ，３４ａから噴出される洗浄液として用いることができ、洗浄液を有効に使用することができる。
【０１１０】
さらに、洗浄室Ａ内においては、最下位に位置するガイドローラｅ２、ｅ３よりも、貯水槽３８の液面の方が低くなるように貯水槽３８の液面を制御するように設定されている。すなわち、貯水槽３８の一定の液面を超えた洗浄液は、ドレン配管４２を介して、外部に排水されるようになっており、常に一定の液面が維持されるようになっている。
【０１１１】
これにより、第１の洗浄室２４の洗浄ノズル３２ａ，３４ａによって洗浄さされたスペーサテープ２が、洗浄された後に、ガイドローラｅ２、ｅ３の間を水平に搬送されて、第２の洗浄室２６内へ案内される間に、貯水槽３８に貯留された洗浄液に浸漬されないようになっている。
【０１１２】
これにより、第１の洗浄室２４の洗浄ノズル３２ａ，３４ａによって洗浄さされたスペーサテープ２が、汚染された貯水槽３８に貯留された洗浄液によって汚染されるのが防止されるようになっている。
【０１１３】
第２の洗浄室２６の下乾燥室Ｂに連絡する下流側上部、すなわち、乾燥室Ｂに通じる連絡通路３０の手前側には、圧縮空気を噴出するエアナイフ４４，４４が設けられている。
【０１１４】
すなわち、第２の洗浄室２６内を、ガイドローラｅ３から、ガイドローラｅ４へと上方に案内、搬送されるスペーサテープ２を挟んで、互いに対向する位置にエアナイフ４４，４４が設けられている。
【０１１５】
このエアナイフ４４も、洗浄ノズル３２ｂ，３４ｂの場合と同様に、１本のスペーサテープ２を挟んで、スペーサテープ２の搬送路に対し両側に設けられており、これにより、スペーサテープ２の両側に付着した水分を圧縮空気で吹き飛ばすことが可能となっている。
【０１１６】
なお、このエアナイフ４４は、洗浄ノズル３２ｂ，３４ｂから噴射され、飛散した洗浄液の影響を受けないように、洗浄ノズル３２ｂ，３４ｂから離して、第２の洗浄室２６の十分に高い位置に配置されている。
【０１１７】
このように、エアナイフ４４によって、洗浄液を吹き飛ばした後、スペーサテープ２を乾燥室Ｂに供給することができるので、乾燥室Ｂ内へ供給されたスペーサテープ２の表面には、ほとんど洗浄液が残存しないので、後の乾燥室Ｂ内での乾燥効率を向上させることができる。
【０１１８】
また、乾燥室Ｂ内には、ガイドローラｅ５から、ガイドローラｅ６へと下方に案内、搬送されるスペーサテープ２を挟んで、互いに対向する位置に、すなわち、スペーサテープ２の搬送路に対して、両側にホットエアナイフ４６ａ、４６ａが配置されている。
【０１１９】
同様に、乾燥室Ｂ内には、ガイドローラｅ６から、ガイドローラｅ７へと上方に案内、搬送されるスペーサテープ２を挟んで、互いに対向する位置に、すなわち、スペーサテープ２の搬送路に対して、両側にホットエアナイフ４６ｂ、４６ｂが配置されている。
【０１２０】
これらのホットエアナイフ４６ａ、４６ａと、ホットエアナイフ４６ｂ、４６ｂの高さ位置は、同じ高さ位置とすることもできるが、高さ位置を相互に変えて、相互に干渉しないように配置することができる。
【０１２１】
この場合、これらのホットエアナイフ４６ａ、４６ｂは、加熱空気、例えば、９０°Ｃ付近に加熱された加熱空気を噴出するホットエアナイフ４６とするのが好ましい。
【０１２２】
また、この乾燥室Ｂ内においては、図示しないが、例えば、赤外線ヒータ、遠赤外線ヒータ、シーズヒータなどのヒータなどにより、室内の温度そのものが高温状態に維持され、図示しないセンサ、制御装置を介して、一定の温度となるように温度管理がされている。
【０１２３】
この乾燥室Ｂ内の温度は、６０℃〜９０℃程度であることが好ましく、さらに好ましくは６５℃以上９０℃以下であるのが望ましい。このような温度範囲に乾燥室内の乾燥温度があれば、スペーサテープの品質を低下することなく、スペーサテープの乾燥を速やかに行なうことができる。
【０１２４】
さらに、エアナイフ４４およびホットエアナイフ４６の構造について、図２を参照しながら詳細に説明する。
【０１２５】
すなわち、エアナイフ４４およびホットエアナイフ４６の構造は、内側に配置される第１の配管４９と、外側に配置される第２の配管５０とを有し、第１の配管４９ならびに第２の配管５０のいずれにもそれぞれ、スリット状の内側開口５４と外側開口５５が軸方向に形成されている。そして、これらの開口５４，５５は、内側と外側とで同一の向きに配置されるのではなく、１８０°異なる向きに設置されている。
【０１２６】
従って、図２に示したように、内側の第１の配管４９の内方に矢印Ｄ方向に、圧送された空気または加熱空気が、その後、第１の配管４９の内方を通りながら、先ず、内側の第１の配管４９のスリット状の開口５４を通過して、二重管の間隙５６、すなわち、外側の第２の配管５０との間に画成される間隙５６に貯留される。
【０１２７】
そして、この間隙に滞留した空気が、内側の第１の配管４９のスリット状の開口５４と略１８０°異なる向きに配置された、すなわち、反対側に開口した外側の第２の配管５０のスリット状の外側開口５５を介して、外方に噴出される。
【０１２８】
従って、外側の配管のスリット状の外側開口全体から、略均一な風量および圧力で、空気または加熱空気が、スペーサテープ２に対して噴射されることになる。これにより、第２の配管５０の外側開口５５から噴出されてくる空気は、どの位置であっても略同程度の風量を有し、圧縮空気の供給源から遠い程少なくなるといった不具合が解消される。
【０１２９】
従って、空気または加熱空気の供給源に近い側あるいは遠い側であっても、略均一な量および圧力で、空気または加熱空気を、スペーサテープ２に対して噴出することができるので、スペーサテープ２表面の乾燥にムラの発生が少なくなる。
【０１３０】
よって、このようなエアナイフ４４またはホットエアナイフ４６の構造であれば、シート状のテープ２を、略同程度に洗浄液の水滴を吹き飛ばすことができる。なお、このときの風量は、１５〜５０ｍ／ｓ程度であることが好ましい。
【０１３１】
また、上記乾燥室Ｂでは、温度センサなどを配置することにより、温度管理がなされているので、独立した乾燥室Ｂの温度環境により、洗浄後のテープ２'を全体的に乾燥する
ことができる。したがって、巻き取りロール１４には、自然乾燥およびエアーナイフ４４、ホットエアナイフ４６により、略均一に乾燥されたテープ２'が巻き取られることにな
る。
【０１３２】
以上、本発明の一実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に何ら限定されない。
【０１３３】
例えば、上記実施例では、洗浄し、乾燥した後のテープ２'は、そのまま巻き取りロー
ル１４に巻き取るようにしているが、乾燥室Ｂと巻き取りロール１４との間に、不純物除去装置として、例えば、乾燥室Ｂの下流側の出口近傍のスペーサテープの搬送路に磁石を配置して、磁石による通路を設け、この磁石の間にテープ２'を導いた後、巻き取りロー
ル１４で巻き取るようにしても良い。
【０１３４】
このようにすれば、乾燥室Ｂで乾燥された後のスペーサテープ２'の表面に乾燥後も残
存、付着する、鉄粉、磁性を帯びた塵埃などの磁性体を、吸着してスペーサテープの表面から取り除くことができるので、より清浄なスペーサテープを得ることができる。
【０１３５】
また、洗浄室Ａにおいて、洗浄液を循環する通路に不純物除去装置として、洗浄液を再使用するために用いるポンプの上流側にも、磁石を配置することができる。このように、洗浄液を循環して使用する際に、磁石を通して用いれば、洗浄液の中に混在している磁性を帯びた塵埃などを取り除くことができる。
【０１３６】
従って、常に清浄な洗浄液で洗浄を行うことができ、洗浄性、洗浄効率がさらに向上する。
【０１３７】
さらに、上記実施例では、洗浄室Ａを、上流側に配置した第１の洗浄室２４と、第１の洗浄室２４の下流側に配置した第２の洗浄室２６の２つの洗浄室から構成したが、この洗浄室を３つ以上の洗浄室から構成することもできる。この場合に、複数の区画された洗浄室のうち、下流側の洗浄室内に洗浄ノズルから噴出された洗浄液を回収して、上流側の洗浄室の洗浄ノズルに循環することにより、再使用するようにすれば、洗浄液の使用効率が向上することになる。
【０１３８】
このように、本実施例によれば、電子部品実装用フィルムキャリアテープの各工程で、一度使用されたスペーサテープ２であっても、連続的に洗浄し乾燥した状態で、巻き取りロール１４に巻き取ることができる。
【０１３９】
しかも、直接洗浄液を吹付けて洗浄し、その後、高温状態に維持された乾燥室内において、エアナイフあるいはホットエアナイフなどからなる水切り手段で積極的に水切りを行なって乾燥するので、搬送速度を大幅に速めることができる。これにより、処理能力を改善することができる。
【０１４０】
なお、実験によれば、これまでの３倍程度にまで早く処理することができた。したがって、結果として、プリント配線板などのコスト低減に寄与することができる。
【０１４１】
なお、上記実施例では、電子部品実装用フィルムキャリアテープに用いるスペーサテープに適用した実施例について説明したが、その他の製品を製造するために用いるスペーサテープに適用することももちろん可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４２】
【図１】図１は、本発明の一実施例による洗浄方法を実施するのに好適な洗浄装置を示した概略正面図である。
【図２】図２は、図１の実施例のエアナイフならびにホットエアナイフに採用された二重管構造を示した斜視図である。
【図３】図３は、従来の洗浄装置の正面図である。
【符号の説明】
【０１４３】
２  スペーサテープ
４  巻き出しロール
６  純水
８    水室
１０、１２  エアナイフ
１４  巻き取りロール
２０  洗浄装置
２１  開口
２２  洗浄装置本体
２２ａ      洗浄・乾燥部
２３  仕切り板
２４  第１の洗浄室
２５  遮蔽板
２６  第２の洗浄室
３０  連絡通路
３２ａ，３４ａ    洗浄ノズル
３２ｂ，３４ｂ    洗浄ノズル
３８  貯水槽
４２  ドレン配管
４４  エアナイフ
４６ａ      、４６ｂ  ホットエアナイフ
４９  配管
５０  配管
５４，５５  開口
５６  間隙
９０  以上
Ａ    洗浄室
ａ，ｂ，ｃ，ｄ    ガイドローラ
Ｂ    乾燥室
ｅ１〜ｅ７  ガイドローラ
Ｆ    フィルタ
Ｐ    ポンプ
【図１】
2004214634.tif 000003
【図２】
2004214634.tif 000004
【図３】
2004214634.tif 000005