(57)【要約】【課題】Ｘ−Ｙ軸方向の微細な位置調整を行った後に外力にかかわらずその位置を保持し得る微動装置を提供する。【解決手段】微動装置１は支持台２とその支持台２上に固定される駆動部３とを備えている。駆動部３では第２可動部１０のＸ−Ｙ軸方向が微細に調整されるが、その調整時には、ヒンジ部３２の内側が支持台２から浮上した状態となっている。調整終了後は、支持台２と駆動部３との間を給排ポート２７等を介して真空引きすることによってヒンジ部３２の弾力に抗して支持台２上に駆動部３を密着させる。これにより、Ｘ−Ｙ軸方向に調整された第２可動部１０が外力によって位置ずれを生じることがなくなる。【選択図】　　　図１
2004104023.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部とその固定部に対して所定方向に変位自在に連結された可動部とが設けられた駆動部を備え、可動部の位置を前記所定方向に微細に調整する微動装置において、
前記可動部を固定する位置と、その固定を解除する位置とに切り換える切り換え手段を設けたことを特徴とする微動装置。
【請求項２】
固定部とその固定部に対してＸ−Ｙ軸方向に変位自在に連結された可動部とが設けられた駆動部を備え、可動部のＸ−Ｙ軸方向の位置を微細に調整する微動装置において、
前記可動部に対してＺ軸方向に重なるように配置された支持部材と、
前記固定部に対して前記可動部をＺ軸方向に弾力で支持するヒンジ部と、
前記支持部材に設けられ、可動部をヒンジ部の弾力に抗して支持部材上に吸着する吸着手段とを備えたことを特徴とする微動装置。
【請求項３】
支持部材は、前記固定部に固定されていることを特徴とする請求項２記載の微動装置。
【請求項４】
前記吸着手段は、前記支持部材の前記可動部側に設けられた多孔質体と、その多孔質体に連通されて多孔質体表面に真空を発生させるためのポートとを備えていることを特徴とする請求項２記載の微動装置。
【請求項５】
前記可動部及び支持部材は、相対向する面が平坦面に形成され、前記多孔質体の表面はその支持部材の平坦面上に配置されていることを特徴とする請求項４記載の微動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可動部の位置を所定方向に微細に調整する微動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子や光デバイス等の部品実装装置においては、被実装部品を高精度に位置決めをするための微動装置が用いられている。従来、かかる微動装置の一種として、図６（ａ）に示すような２軸方向（図６（ａ）ではＸ軸−Ｙ軸）の位置決めを行うための微動装置６１がある。
【０００３】
この微動装置６１は略四角環状の外枠６２を有している。外枠６２内部には第１可動部６３が設けられている。第１可動部６３のＹ軸方向の両端部と外枠６２との間には、それぞれ一対づつ、微動装置６１を平面視した場合において略コ字状に形成されたばね部６４が介在されている。各端部において、一対のバネ部６４はその開口側が相対向するように設けられ、開口側の一端部が外枠６２と、他端部が第１可動部６３と一体に連結されている。このため、第１可動部６３はＹ軸方向に変位することが可能となっている。また、各端部においては、一対のばね部６４の間で、かつ外枠６２と第１可動部６３との間には第１ベローズ６５がそれぞれ介装されている。外枠６２には、第１ベローズ６５内部の圧力作用室と給排ポートＰとを連通する第１流路６６がそれぞれ貫設されている。
【０００４】
第１可動部６３は略四角環状の内枠６７を有している。内枠６７内部には第２可動部６８が設けられている。第２可動部６８のＸ軸方向の両端部と内枠６７との間には、それぞれ一対づつ、微動装置６１を平面視した場合において略コ字状に形成されたばね部６９が介在されている。各端部において、一対のバネ部６９はその開口側が相対向するように設けられ、開口側の一端部が内枠６７と、他端部が第２可動部６８と一体に連結されている。このため、第２可動部６８はＸ軸方向に変位することが可能となっている。また、各端部においては、一対のばね部６９の間で、かつ内枠６７と第２可動部６８との間には第２ベローズ７０がそれぞれ介装されている。内枠６７には、第２ベローズ７０内部の圧力作用室と図示しない給排ポートとを連通する第２流路７１がそれぞれ貫設されている。そして、この第２可動部６８には、図示しないワークが直接又は他方向（例えば、Ｚ軸方向）への位置調整を行う微動装置を介して間接的に載置される。
【０００５】
従って、この微動装置６１では図示しない圧力供給源から第１流路６６を介して第１ベローズ６５内部の圧力作用室に加圧流体を給排すると、第１ベローズ６５は伸縮して第１可動部６３及び第２可動部６８をＹ軸方向へ変位させる。他方、図示しない圧力供給源から第２流路７１を介して第２ベローズ７０内部の圧力作用室に加圧流体を給排すると、第２ベローズ７０は伸縮して第２可動部６８をＸ軸方向へ変位させる。各ばね部６４，６９にひずみゲージを設けるなど、センサ等によって第２可動部６８の変位量を測定し、その変位量に基づいて各圧力作用室内の圧力をフィードバック制御することにより、第２可動部６８、すなわちワークのＸ−Ｙ軸方向の微細な位置調整を行うことができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来の微動装置６１は所定の設置面上に設置される。しかし、微動装置６１を設置面７２上に直接設置すると、第１可動部６３や第２可動部６８の変位時においてこれら可動部６３，６８と設置面７２との間に摩擦が生じることになる。この摩擦の発生は可動部６３，６８のスムーズな変位の妨げとなる。また、可動部６３，６８の位置調整において、摩擦力を考慮して圧力作用室内の圧力を調整しなければならなくなり、複雑な制御が必要となってしまうという問題もある。
【０００７】
そこで、通常は図６（ｂ）に示すように、微動装置６１に脚７３等を設けて設置面とは非接触の状態で設置される。しかしながら、このような設置構成では第２可動部６８と設置面７２との間に空間が存在するため、第２可動部６８が不安定な状態となり得る。
【０００８】
すなわち、微動装置６１を各種作業装置に用いた場合、これら各種作業装置の中には例えばチップボンディング装置のように第２可動部６８上のワークに対しＺ軸方向に荷重を作用させるものがある。また、ワークに対してＺ軸方向とは異なる方向に荷重を作用させる装置もある。この場合、ワークに作用した荷重は同ワークを直接又は間接的に載置している第２可動部６８にも作用する。前述したように微動装置６１は設置面７２との間に空間が存在するため、荷重の作用によって所定位置に位置調整された第２可動部６８が位置ずれしてしまう。
【０００９】
そこで、本発明は、上記問題を解消し得る微動装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
以下に、上記課題を解決し得る手段等について項を分けて列挙する。なお、必要に応じてその作用、効果、具体的手段等についても付記する。また、この欄において括弧書きで示した部材等は後述する第１の実施形態における対応する構成を示す。
【００１１】
手段１．固定部とその固定部に対して所定方向に変位自在に連結された可動部とが設けられた駆動部を備え、可動部の位置を前記所定方向に微細に調整する微動装置において、
前記可動部を固定する位置と、その固定を解除する位置とに切り換える切り換え手段を設けたことを特徴とする微動装置。
【００１２】
手段１によれば、駆動部において可動部（第２可動部１０）が所定方向に微細に調整される際には、切り換え手段（多孔質体２３、ポート２５，２７等）によって可動部を固定解除位置にしておくことで、微細な調整が可能となる。また、その調整後は、切り換え手段によって可動部を固定位置に切り換えることで、可動部の調整後の位置を確定することができる。
【００１３】
手段２．固定部とその固定部に対してＸ−Ｙ軸方向に変位自在に連結された可動部とが設けられた駆動部を備え、可動部のＸ−Ｙ軸方向の位置を微細に調整する微動装置において、
前記可動部に対してＺ軸方向に重なるように配置された支持部材と、
前記固定部に対して前記可動部をＺ軸方向に弾力で支持するヒンジ部と、
前記支持部材に設けられ、可動部をヒンジ部の弾力に抗して支持部材上に吸着する吸着手段とを備えたことを特徴とする微動装置。
【００１４】
手段２によれば、駆動部において可動部（第２可動部１０）がＸ−Ｙ軸方向に調整される際には、吸着手段（多孔質体２３等）を非作動として可動部を支持部材（支持台２）上に吸着しないようにしておくことで、Ｘ−Ｙ軸方向の微細な調整が可能となる。また、その調整後は、吸着手段によってヒンジ部の弾力に抗して支持部材上に可動部を吸着することで、可動部の調整後の位置を確定することができる。また、その吸着状態では可動部に対してＺ軸方向に力が作用しても、その力を支持部材によって支えることができ、可動部の調整位置がずれてしまうのを防止することができる。
【００１５】
手段３．支持部材は、前記固定部に固定されていることを特徴とする手段２記載の微動装置。
【００１６】
手段３によれば、支持部材が固定部に固定されることで、駆動部と支持部材とを一体的なものとして製作及び取り扱うことができ、支持部材と可動部との間の微細な間隔を予め設定することができる。
【００１７】
手段４．前記吸着手段は、前記支持部材の前記可動部側に設けられた多孔質体と、その多孔質体に連通されて多孔質体表面に真空を発生させるためのポートとを備えていることを特徴とする手段２記載の微動装置。
【００１８】
手段４によれば、ポートを介して多孔質体に吸引力を発生させることから、可動部に対して万遍なく均等な吸引力を作用させることができる。なお、このような吸引力に基づく可動部の固定方法を採用したことで、可動部の非固定時には当該可動部の微調整の妨げとならない利点がある。
【００１９】
手段５．前記可動部及び支持部材は、相対向する面が平坦面に形成され、前記多孔質体の表面はその支持部材の平坦面上に配置されていることを特徴とする手段４記載の微動装置。
【００２０】
手段５によれば、可動部の固定時には、支持部材は可動部を面接触によって受けることができることから、Ｚ軸方向の外力等を支持部材が十分に受けることができ、可動部の位置ずれや歪み等を極力なくすことができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
［第１の実施形態］
以下に、第１の実施形態について図１乃至図４を参照しつつ説明する。なお、図１は微動装置の斜視図であり、図２は微動装置の分解斜視図であり、図３及び図４は微動装置の一部断面図、具体的には図１のＡ−Ａ線一部断面図である。
【００２２】
図１に示すように、この微動装置１は２軸方向（図１ではＸ軸−Ｙ軸）の位置決めを行うための装置である。微動装置１は平板状の支持台２と、同支持台２と同一の平面積を有し支持台２に載置された駆動部３を備えている。なお、本実施形態では支持台２の上に駆動部３を載置した場合について説明する。
【００２３】
駆動部３は前述した従来の微動装置と同様の構成を備えている。すなわち、駆動部３は略四角環状の外枠４と、外枠４内部に設けられた第１可動部５を有している。なお、外枠４の平面形状は四角形状に限られないが、この場合でも枠内の平面形状は四角形状であることが好ましい。第１可動部５のＹ軸方向の両端部と外枠とはそれぞれ一対の略コ字状に形成されたばね部６によって連結され、第１可動部５は外枠４に対しＹ軸方向に変位可能となっている。また、各端部には第１ベローズ７がそれぞれ介装されている。外枠４のＹ軸方向両端部の側面には第１給排ポート８が設けられ、第１給排ポート８と第１ベローズ７内部の圧力作用室とが図示しない第１流路によって連通されている。
【００２４】
第１可動部５は略四角環状の内枠９と、内枠９内部に設けられた第２可動部１０を有している。第２可動部１０は駆動部３を平面視した場合において、その略中央部に設けられている。第２可動部１０のＸ軸方向の両端部と内枠９とはそれぞれ一対の略コ字状に形成されたばね部１１によって連結され、第２可動部１０はＸ軸方向に変位可能となっている。また、各端部には第２ベローズ１２がそれぞれ介装されている。外枠４のＸ軸方向両端部の側面には第２給排ポート１３が設けられ、第２給排ポート１３と第２ベローズ１２内部の圧力作用室とが図示しない第２流路によって連通されている。そして、この第２可動部１０には、図示しないワークが直接又は他の装置を介して間接的に載置される。
【００２５】
従って、図示しない圧力供給源から図示しない第１流路を介して第１ベローズ７内部の圧力作用室に加圧流体を給排すると、第１ベローズ７は伸縮して第１可動部５及び第２可動部１０をＹ軸方向へ変位させる。他方、図示しない圧力供給源から図示しない第２流路を介して第２ベローズ１２内部の圧力作用室に加圧流体を給排すると、第２ベローズ１２は伸縮して第２可動部１０をＸ軸方向へ変位させる。センサ等によって第２可動部１０の変位量を測定し、その変位量に基づいて各圧力作用室内の圧力をフィードバック制御することにより、第２可動部１０、すなわちワークのＸ−Ｙ軸方向の位置調整を行うことができる。
【００２６】
図２乃至図４に示すように、前記支持台２には前記駆動部３を載置する載置面２１の略中央部に、前記第２可動部１０とほぼ同程度の平面積を有する凹部２２が設けられている。さらに、この凹部２２の底面の略中央部には多孔質体２３が、その上面が載置面２１と面一となるように設けられている。前述した通り、駆動部３は支持台２と同一平面積を有し、しかも第２可動部１０は駆動部３の略中央部に設けられている。このため、多孔質体２３は第２可動部１０の下に設けられることになる。そして、凹部２２は第２可動部１０とほぼ同程度の平面積を有していることから、多孔質体２３は第２可動部１０よりも平面積が小さくなっている。
【００２７】
多孔質体２３の下側には流通溝２４が形成されている。支持台２の一側面には給排ポート２５が設けられており、この給排ポート２５と流通溝２４とが第１通路２６を介して連通されている。給排ポート２５には真空装置又は加圧装置が接続された図示しない切換装置からの配管が接続されている。図示しない制御装置により切換装置を制御し、加圧装置と給排ポートとが接続されると給排ポート２５には加圧気体が供給される。すると、かかる加圧気体が給排ポート２５、第１通路２６、流通溝２４を介して多孔質体２３に供給され、さらに同多孔質体２３内部を流通した後、第２可動部１０との間に噴出する。
【００２８】
他方、図示しない制御装置により切換装置を制御し、真空装置と給排ポート２５とが接続されると、給排ポート２５には真空圧が作用する。すると、多孔質体２３と第２可動部１０との間や凹部２２内の気体が多孔質体２３内部、流通溝２４、第１通路２６を介して給排ポート２５から吸引される。
【００２９】
なお、多孔質体２３は、例えば焼結アルミニウム、焼結銅、焼結ステンレス等の金属材料によって構成することができるが、それ以外にも、焼結三フッ化樹脂、焼結四フッ化樹脂、焼結ナイロン樹脂、焼結ポリアセタール樹脂等の合成樹脂材料や、焼結カーボン、焼結セラミックスなどによって構成することもできる。
【００３０】
支持台２の一側面には、前記給排ポート２５とは異なる位置に真空ポート２７が設けられている。真空ポート２７は前記凹部２２の底面に開口する第２通路２８を介して凹部２２内に連通されている。真空ポート２７には図示しない制御装置によって制御される図示しない真空装置からの配管が接続されている。真空装置が駆動されると、真空ポート２７に真空圧が作用する。すると、凹部２２内の気体が第２通路２８を介して真空ポート２７に吸引される。
【００３１】
支持台２の載置面に載置された駆動部３において、前記外枠４のＸ軸方向両端部には固定部３１が設けられている。この固定部３１において駆動部は支持台２に対してビス止めされている。ビスは列状に複数設けられている。なお、ビス以外の固定部材を用いたり溶接等をしたりして駆動部３を支持台２に固定することも可能である。
【００３２】
図３及び図４に示すように、外枠４のＸ軸方向両端部には固定部３１の内側にヒンジ部３２が設けられている。ヒンジ部３２は駆動部３の上面と支持台２側の下面とを貫通するように形成された第１貫通孔３３と、第１貫通孔３３内と駆動部３のＹ軸方向の側面とを貫通するように形成された第２貫通孔３４とにより構成されている。駆動部３はこのヒンジ部３２が形成されていることにより、当該ヒンジ部３２の撓みによって、ヒンジ部３２より内側部位がＺ軸方向へ移動し得る状態となっている。なお、ヒンジ部３２は貫通孔３３，３４を設ける構成以外でも、その部分を肉薄に形成する等して構成することも可能である。
【００３３】
以上のように構成された微動装置１では、次のとおり動作する。すなわち、まず制御装置により切換装置を制御し、加圧装置と給排ポート２５とを接続して給排ポート２５に加圧気体を供給する。すると、かかる加圧気体が給排ポート２５、第１通路２６、流通溝２４を介して多孔質体２３に供給され、さらに同多孔質体２３内部を流通した後、第２可動部１０との間に噴出する。これにより、図３に示すように駆動部３の前記ヒンジ部３２よりも内側、すなわち第１可動部５と第２可動部１０がＺ軸方向へ支持台２から浮上する。この浮上により生じる支持台２の載置面２１と駆動部３との間の距離は１０μｍ程度といった微小なものである。なお、ヒンジ部３２によって、その内側部位はそもそも図３に示されるように浮上した位置が通常位置とされていることから、積極的に加圧エアを供給する必要はないが、加圧エアを多孔質体２３から噴出させることにより、確実に可動部５，１０をＸ軸方向に浮上させることができる。そして、この浮上状態で、第２可動部１０のＸ−Ｙ軸方向の位置調整を行う。
【００３４】
次に、第２可動部１０の位置調整が終了すると、制御装置により切換装置を制御し、真空装置と給排ポート２５とを接続して給排ポート２５に真空圧を作用させる。すると、多孔質体２３と駆動部３との間や凹部２２内の気体が多孔質体２３内部、流通溝２４、第１通路２６を介して給排ポート２５に吸引される。加えて、制御装置により真空装置を駆動し、真空ポート２７に真空圧を作用させる。すると、多孔質体２３と駆動部３との間や凹部２２内の気体が第２通路２８を介して真空ポート２７に吸引される。これにより、多孔質体２３の上面と駆動部３の下面との間に吸引力が作用し、図４に示すようにヒンジ部３２が弾力に抗して撓み、駆動部３は全体として平板状となる。そして、この吸引力により、第２可動部１０は多孔質体２３の上面に密着した状態（ロック状態）となる。
【００３５】
このように、本実施形態の微動装置１では、図示しないワークが直接又は間接的に載置される第２可動部１０の位置調整を、第１可動部５及び第２可動部１０を支持台２から浮上させた状態で行うため、設置面２１との間に摩擦が生じることはない。このため、第１可動部５及び第２可動部１０はスムーズに変位することができる。また、第２可動部１０の位置調整において、摩擦力を考慮してベローズの圧力作用室内の圧力を調整する必要もなく、圧力制御を容易に行うことができる。
【００３６】
加えて、第２可動部１０の位置調整が終了すれば、真空引きによって第２可動部１０を多孔質体２３の上面に密着させるため、第２可動部１０上に設置されるワークにＺ軸方向やその他の方向に荷重が作用してその荷重が第２可動部１０にも作用したとしても、第２可動部１０に生ずる位置ずれを大幅に低減させることができる。その結果、第２可動部１０に生ずる外力にかかわらず、駆動部３におけるＸ−Ｙ軸方向の高精度な位置決め状態を維持することができる。
【００３７】
なお、上記例では、第２可動部１０のみを真空引きするようにしたが、ヒンジ部３２の内側全体を真空引きするようにしてもよい。この場合、駆動部３には形成される多数の隙間があるため、支持台２と駆動部３との間に形成される真空室を複数設けることが好ましい。
【００３８】
［第２の実施形態］
以下に、第２の実施形態について図５を参照しつつ説明する。なお、図５は微動装置の断面図である。
【００３９】
図５に示すように、この微動装置４１は一軸方向（図５ではＺ軸）の位置決めを行うための装置である。微動装置４１を構成する平板状の支持台４２には、その上面に、Ｚ軸方向へ伸縮する大型の第１ベローズ４３が設けられている。この第１ベローズ４３を介在して支持台２のＺ軸方向の上方にはワーク４４を載置するためのワーク載置台４５が設けられている。
【００４０】
第１ベローズ４３の内側において、支持台４２とワーク載置台４５との間にはＺ軸方向へ伸縮する大型の第２ベローズ４６が設けられている。支持台４２の側面には第１給排ポート４７が設けられている。第１給排ポート４７は第１通路４８を介して第１ベローズ４３と第２ベローズ４６との間に連通されている。第１給排ポート４７は図示しない圧力制御装置、例えば圧力制御弁からの配管が接続されている。従って、圧力制御装置により第１ベローズ４３と第２ベローズ４６との間の圧力を制御すれば、その圧力に応じて両ベローズ４３，４６はＺ軸方向に伸縮する。
【００４１】
第２ベローズ４６の内側において、支持台４２の上面には同上面からＺ軸方向に突出するように支持部４９が設けられている。支持部４９とワーク載置台４５との間には第１ベローズ４３及び第２ベローズ４６よりも小型の第３ベローズ５０が設けられている。支持台４２の側面には前記第１給排ポート４７とは異なる位置に第２給排ポート５１が設けられている。第２給排ポート５１は支持台２と支持体の内部に形成された第２通路５２を介して第３ベローズ５０の内部と連通されている。第２給排ポート５１は図示しない圧力制御装置、例えば圧力制御弁からの配管が接続されている。従って、圧力制御装置により第３ベローズ５０内部の圧力を制御すれば、その圧力に応じて第３ベローズ５０はＺ軸方向に伸縮する。
【００４２】
なお、第２ベローズ４６と第３ベローズ５０との間は、連通路５３を介して大気に開放されており、それらの間の圧力は大気圧となっている。この大気開放空間が存在することにより、第１ベローズ４３と第２ベローズ４６との間の圧力と、第３ベローズ５０内の圧力とが干渉しあうことを防止している。
【００４３】
以上のように構成された微動装置４１では、圧力制御装置により第１ベローズ４３と第２ベローズ４６との間の圧力を、ワーク４４とワーク載置台４５とを合わせた重量を相殺しうるだけの圧力に制御する。両ベローズ４３，４６はその圧力に応じてＺ軸方向に伸縮する。これにより、ワーク４４とワーク載置台４５とを合わせた重量がキャンセルされる。
【００４４】
次いで、圧力制御装置により第３ベローズ５０内の圧力を制御する。ワーク４４とワーク載置台４５の重量は第１ベローズ４３と第２ベローズ４６との間の圧力調整でキャンセルされており、しかも第３ベローズ５０は他のベローズ４３，４６よりも小型であるため、その内部の圧力調整においては微小な調整が可能となる。
【００４５】
従って、本実施形態の微動装置４１によれば、第３ベローズ５０内の微小な圧力調整によりワーク４４のＺ軸方向の位置を微調整することができる。
【００４６】
なお、以下においては、第２の実施形態から把握される特徴的手段について、必要に応じてその作用効果等を交えつつ説明する。
【００４７】
手段１１．ワークをＺ軸方向に持ち上げた状態でそのワークをＺ軸方向に微調整位置決めを行う微動装置において、
ワークが載置されるワーク載置台、ワーク載置台の下方に配置された支持台、それらワーク載置台と支持台との間に配置されＺ軸方向に伸縮する大小の各ベローズ、及びそれら大小の各ベローズの内部に個別に流体を給排すべく支持台側に設けられた各給排ポートを備えたことを特徴とする微動装置。
【００４８】
かかる手段１１によれば、大ベローズ（第１ベローズ４３）の伸縮によってワーク及びワーク載置台の自重をキャンセルする一方、小ベローズ（第３ベローズ５０）の伸縮によってワーク及びワーク載置台のＺ軸方向の微細な位置決めを行い得る。
【００４９】
手段１２．上記手段１１において、小ベローズは大ベローズの内部に設けられていることを特徴とする微動装置。
【００５０】
手段１２によれば、ベローズの設置領域を小さくすることができ、微動装置の小型化を図ることができる。また、小ベローズは微細な位置決めに利用されるところ、大ベローズ内部に配置されていることによって小ベローズに物理的な外力がかかるのを防止することができる。
【００５１】
手段１３．手段１２において、大ベローズと小ベローズとの間には、大ベローズ内部の圧力が小ベローズに作用しないようにするための中間ベローズを設けたことを特徴とする微動装置。
【００５２】
手段１３によれば、中間ベローズ（第２ベローズ４６）の存在により、微細な位置決めに利用される小ベローズに対して大ベローズからの圧力が作用するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の微動装置を示す斜視図。
【図２】第１実施形態の微動装置を示す分解斜視図。
【図３】駆動部の浮上状態を示す微動装置の一部断面図。
【図４】駆動部のロック状態を示す微動装置の一部断面図
【図５】第２実施形態の微動装置を示す断面図。
【図６】（ａ）は従来の微動装置の平面図、（ｂ）はその正面図。
【符号の説明】
１…微動装置、２…支持台、３…駆動部、４…外枠、５…第１可動部、６…ばね部、７…第１ベローズ、９…内枠、１０…第２可動部、１１…ばね部、１２…第２ベローズ、２１…載置面、２２…凹部、２３…多孔質体、２５…給排ポート、２７…真空ポート、３１…固定部、３２…ヒンジ部、３３…第１貫通孔、３４…第２貫通孔、４１…微動装置、４２…支持台、４３…第１ベローズ、４５…ワーク載置台、４６…第２ベローズ、４７…第１給排ポート、４９…支持部、５０…第３ベローズ、５１…第２給排ポート、５３…連通路。
【図１】
2004104023.tif 000003
【図２】
2004104023.tif 000004
【図３】
2004104023.tif 000005
【図４】
2004104023.tif 000006
【図５】
2004104023.tif 000007
【図６】
2004104023.tif 000008