(57)【要約】【課題】気体透過膜の設置数の変更を、大幅な改造を要することなく、容易に行うことができる真空脱気ユニット及び該真空脱気ユニットに用いる真空ポンプユニットを提供する。【解決手段】真空容器１０内の真空室１０ｃに気体のみを透過し液体の透過を阻止する気体透過膜２０を配設し、前記真空室１０ｃが減圧されることにより前記気体透過膜２０を透過させて液体から溶存気体を脱気する真空脱気ユニットにおいて、前記真空容器１０を複数接続可能にする接続手段１１と、該接続手段１１により複数の真空容器１０が接続される際に隣り合う真空容器１０内の前記真空室１０ｃ同士を連通する連通手段１２とを備えている。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器内の真空室に気体のみを透過し液体の透過を阻止する気体透過膜を配設し、前記真空室が減圧されることにより前記気体透過膜を透過させて液体から溶存気体を脱気する真空脱気ユニットにおいて、
前記真空容器を複数接続可能にする接続手段と、該接続手段により複数の真空容器が接続される際に隣り合う真空容器の前記真空室同士を連通する連通手段とを備えていることを特徴とする真空脱気ユニット。
【請求項２】
上記接続手段は、係合部と該係合部に係脱可能な形状の被係合部とからなり、これら係合部と被係合部とを、上記真空容器が複数接続される際の接合面と被接合面とに、それぞれ配設していることを特徴とする請求項１記載の真空脱気ユニット。
【請求項３】
上記連通手段は、上記真空室に連通する接続連通口と該接続連通口に接続可能な形状の被接続連通口とからなり、これら接続連通口と被接続連通口とを、上記真空容器が複数接続される際の接合面と被接合面とに、それぞれ配設していることを特徴とする請求項１又は２記載の真空脱気ユニット。
【請求項４】
上記真空容器に着脱可能な接続部と、該接続部を上記真空容器に装着した際に上記真空容器内の真空室に連通する真空吸引口とを備えたことを特徴とする請求項１乃至３何れか１項記載の真空脱気ユニットに用いる真空ポンプユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体透過膜により液体から溶存気体を脱気する真空脱気ユニット及び該真空脱気ユニットに用いる真空ポンプユニットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液体クロマトグラフ等の分析装置や検査装置では、分析・測定の精度を高めるために、サンプル液や溶媒、緩衝液等から予め溶存気体を脱気するが、その際に、気体のみを透過し液体の透過を阻止するチューブ状気体透過膜内に液体を流通させながら、該チューブ状気体透過膜の雰囲気を真空ポンプで減圧し、チューブ状気体透過膜内に流通する液体から溶存気体を脱気する真空脱気装置を用いる。
従来、この種の真空脱気装置において、複数種類の液体からそれぞれ溶存気体を脱気するには、一つの真空容器内に独立した複数本のチューブ状気体透過膜を設け、このチューブ状気体透過膜毎に異なる種類の液体を流通させるようにしたり（例えば、特許文献１、図２参照。）、一つの真空容器内に一本のチューブ状気体透過膜を有する真空脱気ユニットを複数設け、これら真空脱気ユニットを、複数の真空吸引口を有する真空ポンプに接続し、前記真空脱気ユニット毎に異なる種類の液体を流通されるようにしたり（例えば、特許文献１、図１参照。）していた。
【０００３】
しかしながら、上記前者の従来技術において同時に脱気可能な液体数を増やすには、上記真空容器内におけるチューブ状気体透過膜の本数を増設する必要があり、それには真空容器の大幅な改造が必要なため、実際には真空容器内のチューブ状気体透過膜の本数が予め増加された他の装置へ交換されているのが現状であった。
また、同様に上記後者の従来技術において同時に脱気可能な液体数を増やすには、真空脱気ユニットを一つの真空ポンプに対して並列的に増設する必要があるため、真空ポンプの真空吸引口を増設したり、真空引き用の配管を増加したり等の大幅な改造が必要な上、その配管回路が複雑になり、装置も大型化してしまうという問題があった。
【０００４】
【特許文献１】
特開平８−３３２３０７号公報  （第１図、第２図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来事情に鑑みてなされたものであり、その課題とする処は、気体透過膜の設置数の変更を、大幅な改造を要することなく、容易に行うことができる真空脱気ユニット及び該真空脱気ユニットに用いる真空ポンプユニットを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために第一の発明は、真空容器内の真空室に気体のみを透過し液体の透過を阻止する気体透過膜を配設し、前記真空室が減圧されることにより前記気体透過膜を透過させて液体から溶存気体を脱気する真空脱気ユニットにおいて、前記真空容器を複数接続可能にする接続手段と、該接続手段により複数の真空容器が接続される際に隣り合う真空容器の前記真空室同士を連通する連通手段とを備えていることを特徴とする。
【０００７】
ここで、上記気体透過膜の態様は、上記真空室が減圧されることにより液体から溶存気体を脱気するようにすれば特に限定されないが、好ましい態様としては、内部に液体を流通可能なチューブ状に構成され、上記真空容器外から同真空容器内の上記真空室を通って同真空容器外へ通り抜けるように配設される。
また、上記接続手段とは、上記真空室の気密性を維持した状態で上記真空容器を複数接続可能にするものであればよく、好ましい態様としては、上記真空容器に凸状の係合部と該係合部に係脱可能な凹状の被係合部とを設け、これら係合部と被係合部との嵌合により複数の上記真空容器が接続されるようにした態様や、上記真空容器にフック状の掛合部と該掛合部に掛脱可能な被掛合部とを設け、これら掛合部と被掛合部との掛合により複数の上記真空容器が接続されるようにした態様等が挙げられ、その他、上記真空室の気密性を維持できればネジ部材により複数の上記真空容器を接続可能にした態様としてもよい。
また、上記連通手段は、上記接続手段により複数の真空容器が接続された際に隣り合う真空容器内の前記真空室同士を気密された状態で連通するようにした構成を意味し、例えば、上記真空容器に接続パイプと該接続パイプにＯリングを介して接続可能なパイプ挿入孔を設け、複数の上記真空容器が接続される際にこれら接続パイプとパイプ挿入孔とが接続されるようにした態様等が挙げられる。
【０００８】
更に、第二の発明では、上記接続手段は、係合部と該係合部に係脱可能な形状の被係合部とからなり、これら係合部と被係合部とを、上記真空容器が複数接続される際の接合面と被接合面とに、それぞれ配設していることを特徴とする。
ここで、上記係合部と上記被係合部には、嵌脱可能な凸部と凹部や、フック状掛合部と該フック状掛合部に掛脱可能な被掛合部等を含む。
【０００９】
更に、第三の発明では、上記連通手段は、上記真空室に連通する接続連通口と該接続連通口に接続可能な形状の被接続連通口とからなり、これら接続連通口と被接続連通口とを、上記真空容器が複数接続される際の接合面と被接合面とに、それぞれ配設していることを特徴とする。
【００１０】
また、第四の発明の真空ポンプユニットは、上記真空容器に着脱可能な接続部と、該接続部を上記真空容器に装着した際に上記真空容器内の真空室に連通する真空吸引口とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１乃至３は、本発明の一例である真空脱気ユニットＡ及び真空ポンプユニットＢを示す。
真空脱気ユニットＡは、真空容器１０内の真空室１０ｃに、気体のみを透過し液体の透過を阻止する例えばチューブ状の気体透過膜２０を配設し、真空ポンプユニットＢによって前記真空室１０ｃが減圧されることにより前記気体透過膜２０を透過させて液体から溶存気体を脱気するように構成され、複数接続されて用いられる。
【００１２】
真空容器１０は、中空の直方体状を呈し、その内部空間を、真空ポンプユニットＢによって真空にされる真空室１０ｃとしている。該真空室１０ｃは、真空容器１０の周壁により気密に覆われ、且つ後述する連通手段１２により外部と連通された空間である。
尚、この真空容器１０の外面には、気体透過膜２０を挿入するための開口部（図示せず）及び該開口部を気密に閉鎖する蓋部材（図示せず）が配設されている。
【００１３】
また、この真空容器１０の外面には、該真空容器１０を複数接続可能にする接続手段１１と、該接続手段により複数の前記真空容器１０が接続された際に、隣り合う真空容器１０，１０内の前記真空室１０ｃ同士を連通する連通手段１２とが具備されている。
【００１４】
接続手段１１は、係合部１１ａと該係合部１１ａに係脱可能な形状の被係合部１１ｂとからなり、これら係合部１１ａと被係合部１１ｂとを、上記真空容器１０が複数接続される際の接合面１０ａと被接合面１０ｂとに、それぞれ配設している。
【００１５】
前記係合部１１ａは、真空容器１０の周壁と一体に形成された複数の突起であり、本実施の形態の好ましい一例によれば、縦断面凸状を呈し、真空容器１０の上記接合面１０ａに所定間隔を置いて３箇所配設されている。
前記被係合部１１ｂは、真空容器１０の一体に形成され且つ前記係合部１１ａに嵌脱可能な凹部であり、真空容器１０が複数接続される際に各係合部１１ａに対応するように、真空容器１０の被接合面１０ｂに所定間隔を置いて３箇所配設されている。
【００１６】
また、上記連通手段１２は、接続連通口１２ａと該接続連通口１２ａに接続可能な形状の被接続連通口１２ｂとからなり、これら接続連通口１２ａと被接続連通口１２ｂとを、上記接合面１０ａと上記被接合面１０ｂとに、それぞれ配設している。
【００１７】
前記接続連通口１２ａは、真空容器１０内の真空室１０ｃに連通するパイプ１２ａ１を環状ブラケット１２ａ２内に嵌め込み、該環状ブラケット１２ａ２を真空容器１０の接合面１０ａに固定してなる。
前記被接続連通口１２ｂは、真空容器１０の被接合面１０ｂに、前記環状ブラケット１２ａ２と嵌脱可能な凹部１２ｂ１を一体に形成し、該凹部１２ｂ１の底面に貫通形成されたパイプ挿通孔１２ｂ２の内周面に、環状溝を形成して弾性材料からなるＯリング１２ｂ３を嵌め合わせてなる。そして、この被接続連通口１２ｂは、真空容器１０が複数接続された際に隣り合う真空容器１０の接続連通口１２ａに対応するように配置されている。
【００１８】
気体透過膜２０は、気体のみを透過し液体の透過を阻止する膜材を、真空容器１０内で密閉流路を構成すべく配設してなり、本実施の形態の好ましい一例によれば、フッ素樹脂等の膜材をチューブ状に加工してトグロ状に巻き、その両開口端部２１，２２を、真空容器１０の同一外面（図１における手前側の外面）に露出させている。
【００１９】
また、真空ポンプユニットＢは、筺体３０内に周知の真空ポンプ（図示せず）及び制御回路（図示せず）等を内在するとともに、真空容器１０の正面にスイッチやＯＮ／ＯＦＦランプ、表示盤等を必要に応じて配設してなり、筺体３０の側面を、上記真空容器１０の被接合面１０ｂに接合可能な接合面３０ａとしている。
【００２０】
そして、前記筺体３０の接合面３０ａには、上記真空容器１０の被係合部１１ｂに着脱可能な接続部３１と、該接続部３１を上記真空容器１０の被係合部１１ｂに装着した際に、上記真空容器１０の真空室１０ｃに連通させる真空吸引口３２とが具備されている。
【００２１】
前記接続部３１は、真空容器１０の係合部１１ａと略同形状の凸部であり、真空容器１０における複数の被係合部１１ｂに嵌脱可能なように、筺体３０の接合面３０ａに複数配設されている。
【００２２】
前記真空吸引口３２は、真空容器１０の接続連通口１２ａと略同様に、パイプ３２ａと環状ブラケット３２ｂとから構成され、真空脱気ユニットＡの被接続連通口１２ｂに対応させて、筺体３０の接合面３０ａに固定されている。
前記パイプ３２ａは、筺体３０内の真空ポンプの吸引口（図示せず）に接続され、且つ真空容器１０のパイプ挿通孔１２ｂ２に気密に挿通されるように形成されている。
また、環状ブラケット３２ｂは、真空容器１０における被接続連通口１２ｂの凹部１２ｂ１に嵌脱可能な形状に形成されている。
【００２３】
尚、図中符号６０は、複数接続された際の真空脱気ユニットＡの内、真空ポンプユニットＢと逆側最端部（図１における右端部）の真空脱気ユニットＡの接続連通口１２ａを閉鎖する閉鎖栓であり、合成ゴム等の弾性材料から形成されている。
【００２４】
而して、上記実施の形態によれば、複数の真空脱気ユニットＡにおける隣り合う接合面１０ａと被接合面１０ｂとを当接させるようにして、係合部１１ａと被係合部１１ｂとを嵌合し、且つ接続連通口１２ａと被接続連通口１２ｂとを接続することで、複数の真空脱気ユニットＡが、それらの真空室１０ｃを連通させて接続され、一体化された状態となる。
【００２５】
更に、連接された複数の真空脱気ユニットＡの内、最端部の真空脱気ユニットＡの被接合面１０ｂに真空ポンプユニットＢの接合面３０ａを当接させるようにして、真空ポンプユニットＢの接続部３１と真空脱気ユニットＡの被係合部１１ｂとを嵌合し、且つ真空ポンプユニットＢの真空吸引口３２と真空脱気ユニットＡの被接続連通口１２ｂとを接続することで、複数の真空脱気ユニットＡと真空ポンプユニットＢとが、各真空室１０ｃを真空引き可能な状態で、一体的に連接される。
【００２６】
尚、当該真空脱気ユニットＡ及び真空ポンプユニットＢが設置される場所の状況等に応じては、真空ポンプユニットＢの真空吸引口３２と対応する真空脱気ユニットＡの被接続連通口１２ｂとを、上記のように直接的に接続せずに、外部と気密された可撓性チューブ４０を介して接続してもよいし（図３参照）、あるいは、所望とする真空脱気ユニットＡにおける接続連通口１２ａと、それに隣り合う真空脱気ユニットＡにおける被接続連通口１２ｂとを、前記可撓性チューブ４０を介して接続してもよい。
【００２７】
そして、上記のようにして接続された複数の真空脱気ユニットＡにおける気体透過膜２０の開口端部２１，２２には、脱気対象となる液体を流通させるための可撓性チューブ５０が接続される。
【００２８】
その際、例えば、図２に示すように、複数の真空脱気ユニットＡにおける気体透過膜２０を、可撓性チューブ５０により直列的に接続することで、液体内の溶存気体をより低減させる、すなわち脱気能力を増加させる構成としてもよいし、図３に示すように、複数の真空脱気ユニットＡにおける気体透過膜２０の開口端部２１，２２に、それぞれ可撓性チューブ５０を接続することで、複数の気体透過膜２０による流路をそれぞれ独立させ、気体透過膜２０毎に異なる液体を脱気するようにしてもよい。また、同図３に示す構成において、各可撓性チューブ５０に同一液体を流通させ、同一液体の流量増加に対応できるようにしてもよい。その他、複数の真空脱気ユニットＡの気体透過膜２０を可撓性チューブ５０により接続する態様は複数考えられるが、その接続態様は、当該真空脱気ユニットＡ及び真空ポンプユニットＢの用途や目的等に応じて自由に選択可能である。
【００２９】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような作用効果を奏する。
第一の発明によれば、複数の真空容器が接続手段により接続される際に、これら真空容器の複数の真空室が連通手段によって連通されるため、真空室同士の配管による接続が不要な上、何れかの真空容器における真空室の減圧により他の全ての真空容器における真空室の減圧が可能となる。
したがって、例えば、複数種類の液体のそれぞれを同時に脱気する場合、その液体種類の数だけ当該真空脱気ユニットを接続し、その接続された真空脱気ユニット毎に異なる液体を流通させ、何れかの真空容器における真空室を減圧することにより、各真空容器において気体透過膜により液体から溶存気体を脱気すればよく、また、同一の液体から脱気する際の脱気能力を増加させたい場合には、当該真空脱気ユニットの接続数を増加し、その接続された各真空脱気ユニットに同一の液体を流通させるようにすればよい。しかも、前記のようにして、当該真空脱気ユニットの接続数が増加した場合であっても、それら複数の真空脱気ユニットに接続される真空ポンプは、増設する必要がなく一台で済む。
よって、気体透過膜の設置数の変更を、真空容器の改造や真空引き配管の増減等、大幅な改造を要することなく、当該真空脱気ユニットの接続数の増減によって容易に行うことができる。
【００３０】
更に、第二の発明によれば、隣り合う真空容器における係合部と被係合部との係合により、これら真空容器の接合面と被接合面とが接合されるため、複数の当該真空脱気ユニットを接続する作業を容易にすることができる。しかも、複数の当該真空脱気ユニットを、接合面と被接合面との接合によってコンパクトに一体化させることができる。
【００３１】
更に、第三の発明によれば、複数の当該真空脱気ユニットの真空室を連通させる作業を、隣り合う真空容器同士を接合させることにより容易に行うことができる。
【００３２】
また、第四の発明の真空ポンプユニットによれば、接続部を上記真空脱気ユニットの真空容器に装着することで、当該真空ポンプユニットの真空吸引口が、真空容器内の真空室に連通される。したがって、上記真空脱気ユニットへの着脱が容易な真空ポンプユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる真空脱気ユニット及び真空ポンプユニットの一例を示す正面図であり、要部を断面で示している。
【図２】同真空脱気ユニット及び真空ポンプユニットの使用状態の一例を示す斜視図である。
【図３】同真空脱気ユニット及び真空ポンプユニットの使用状態の他例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０：真空容器
１１：接続手段
１１ａ：係合部
１１ｂ：被係合部
１０ｃ：真空室
１２：連通手段
１２ａ：接続連通口
１２ｂ：被接続連通口
２０：気体透過膜
Ａ：真空脱気ユニット
Ｂ：真空ポンプユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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