(57)【要約】【課題】  水分散型であっても、放射線照射により再剥離可能な特性を有し、しかも、放射線照射前には、優れた粘着性を発揮できる放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物を得る。【解決手段】  放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分とするモノマー成分（A1）、およびラジカル重合性官能基を有する反応性乳化剤（A2）を用いたエマルション重合により得られるアクリルエマルション系重合体（Ａ）と、放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）とを含有し、且つ前記放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）の割合が、前記アクリルエマルション系重合体（Ａ）１００重量部に対して２０〜２００重量部であることを特徴とする。加熱処理後のゲル分率が２０〜６０重量％となることが好ましい。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分とするモノマー成分（A1）、およびラジカル重合性官能基を有する反応性乳化剤（A2）を用いたエマルション重合により得られるアクリルエマルション系重合体（Ａ）と、放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）とを含有し、且つ前記放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）の割合が、前記アクリルエマルション系重合体（Ａ）１００重量部に対して２０〜２００重量部であることを特徴とする放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物。
【請求項２】
放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）が、重量平均分子量８０００以上の重合体を含有する高分子分散剤を用いて水に分散された水分散体として配合されている請求項１記載の放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物。
【請求項３】
加熱処理後のゲル分率が２０〜６０重量％となる請求項１又は２記載の放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物。
【請求項４】
請求項１、２又は３記載の放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物による粘着剤層を有することを特徴とする放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シート。
【請求項５】
シリコンミラーウエハのミラー面に対する接着力（２３℃×５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分）が、４．５Ｎ／２０ｍｍ以上であり、放射線照射処理後のシリコンミラーウエハのミラー面に対する接着力（２３℃×５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分）が、０．１Ｎ／２０ｍｍ以下である請求項４記載の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シート。
【請求項６】
半導体ウエハ加工用粘着シートである請求項４又は５記載の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シート。
【請求項７】
請求項４又は５記載の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを用いて被着体を加工する方法であって、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートに被着体を貼り合わせて、被着体に加工処理を施した後、放射線照射処理により、前記加工処理が施された被着体を放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートから剥離することを特徴とする被着体の加工方法。
【請求項８】
被着体が、微細加工部品である請求項７記載の被着体の加工方法。
【請求項９】
被着体が、電子系部品類である請求項７又は８記載の被着体の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、回路、各種プリント基板、各種マスク、リードフレームなどの微細加工部品の製造の際に表面保護や破損防止などのために使用される放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートおよび該粘着シートの粘着剤層に用いられる放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物に関する。特に、半導体ウエハの裏面研削時やダイシング時に使用される半導体ウエハ加工用粘着シートとして好適に用いられる放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートに関する。さらには、前記放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを用いた被着体の加工方法にも関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン、ガリウム、砒素などを素材の原料として含有する半導体ウエハは、大径の状態で製造された後、素子小片に切断分離（ダイシング）され、さらにマウント工程に移される。この際、半導体ウエハは、通常、粘着シートに貼付された状態で、ダイシングされた後、洗浄、エキスパンディング、ピックアップの各工程が加えられて、マウンティングの工程に移されている。半導体ウエハのダイシング工程からピックアップ工程に至る工程では、粘着シートとして、プラスチックフィルムからなる基材上に粘着剤が塗布された構成の粘着シートが用いられてきた。
【０００３】
このような半導体ウエハの製造方法において、ダイシング工程では、切断分離した素子小片が粘着シートから剥がれ落ちないことが要求されており、従って、粘着シートは高粘着性を有していることが要求されている。これに対して、ピックアップ工程では、素子小片は粘着シートから容易に剥離されなくてはならず、粘着シートには低粘着性が要求されている。この２つの相反した粘着性（接着性）を制御するために、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートが用いられている。つまり、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートは、放射線硬化前は、高粘着性を有しており、素子小片が粘着シートから剥がれ落ちない特性が発揮され、一方、放射線照射により粘着剤が硬化した後は、低粘着性となり、容易に素子小片が粘着シートから剥離される特性が発揮される。
【０００４】
このような用途において、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートとしては、粘着剤層を形成する粘着剤の粘着成分として、アクリル系ポリマーが用いられているアクリル系粘着シートが各種開示されている（特許文献１〜特許文献２参照）。このようなアクリル系ポリマーとしては、有機溶媒中にて合成されて調製されたものが用いられている。
【０００５】
このように、従来、粘着剤層を形成する粘着剤としては、溶剤型のアクリル系粘着剤が用いられてきた。しかし、溶剤型アクリル系粘着剤は有機溶媒中で合成され且つ有機溶剤を含有しており、粘着シートを製造する際の粘着剤の塗工時に溶剤が揮発するため、環境的に問題があり、水分散型のアクリル系粘着剤への転換が求められている。
【０００６】
一方、水分散型アクリル系粘着剤としては、各種粘着剤が提案されており、例えば、放射線硬化型再剥離用の水分散型アクリル系粘着剤ではないが、反応性乳化剤を用いたエマルジョン重合により得られるアクリル系のエマルション粘着剤が提案されている（特許文献３〜特許文献４参照）。反応性乳化剤を用いて製造された従来のアクリル系のエマルション粘着剤は、放射線硬化型再剥離用の水分散型アクリル系粘着剤ではないので、放射線の照射により、粘着剤が硬化して低粘着となり、容易に素子小片を粘着シートより剥離させる機能を有していない。また、乳化剤として反応性乳化剤を用いているのは、被着体である半導体ウエハへの汚染を低減させるためである。
【０００７】
また、放射線硬化型粘着シートとして、アニオン系乳化剤（非反応性のアニオン系乳化剤）を用いたエマルション重合により得られるアクリル系重合体を含む粘着剤が用いられている放射線硬化型粘着シートが提案されている（特許文献５参照）。
【０００８】
【特許文献１】特開昭６０−１８９９３８号公報
【特許文献２】特開昭６０−１９６９５６号公報
【特許文献３】特開平４−１８６８３２号公報
【特許文献４】特開平６−３２２３３８号公報
【特許文献５】特開平７−１９３０３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このように、アニオン系乳化剤を用いたエマルション重合により得られるアクリル系重合体を含む粘着剤が用いられている放射線硬化型粘着シートとして、特開平７−１９３０３２号公報に記載の実施例４で開示されているが、乳化剤としては、一般的なアニオン系乳化剤である非反応性のアニオン系乳化剤が用いられているので、溶剤型のアクリル系粘着剤に比べて、乳化剤を使用するために、半導体ウエハへの粘着力が低くなっている。そのため、ダイシング工程中で、切断分離された素子小片が粘着シートから剥離してしまう不具合が発生する場合があった。
【００１０】
従って、本発明の目的は、水分散型のアクリル系粘着剤組成物であっても、該粘着剤組成物により形成された粘着剤層は、放射線照射により再剥離可能な特性を有しており、しかも、放射線照射前には、優れた粘着性を発揮できる放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物および放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを提供することにある。
本発明の他の目的は、放射線照射前は、素子小片との粘着性が良好であるとともに、放射線照射後は、容易に素子小片を再剥離することができ、半導体ウエハ加工用粘着シートとして有用な放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、前記放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを用いた被着体の加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは前記目的を達成するために鋭意検討した結果、水分散型アクリル系粘着剤組成物を用いても、アクリルエマルション系重合体を調製する際のモノマー成分や乳化剤などの種類、放射線照射処理により再剥離させる機能を発揮させるために用いられる成分の種類及びその割合などをコントロールすることにより、再剥離するまでの粘着性を良好にすることができ、且つ放射線照射により容易に再剥離することができる放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートが得られることを見出した。特に、放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマーを、特定の分散剤を用いて調製された水分散体として用いると、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートの耐水接着性を向上させることができることを見出した。本発明はこれらの知見に基づいて完成されたものである。
【００１２】
すなわち、本発明は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分とするモノマー成分（A1）、およびラジカル重合性官能基を有する反応性乳化剤（A2）を用いたエマルション重合により得られるアクリルエマルション系重合体（Ａ）と、放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）とを含有し、且つ前記放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）の割合が、前記アクリルエマルション系重合体（Ａ）１００重量部に対して２０〜２００重量部であることを特徴とする放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物である。
【００１３】
前記放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）としては、重量平均分子量８０００以上の重合体を含有する高分子分散剤を用いて水に分散された水分散体として配合されていることが好ましい。
【００１４】
本発明の放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物では、加熱処理後のゲル分率が２０〜６０重量％となることが好ましい。
【００１５】
本発明は、また、前記放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物による粘着剤層を有することを特徴とする放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートである。このような放射線硬化再剥離型アクリル系粘着剤シートでは、シリコンミラーウエハのミラー面に対する接着力（２３℃×５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分）が、４．５Ｎ／２０ｍｍ以上であり、放射線照射処理後のシリコンミラーウエハのミラー面に対する接着力（２３℃×５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分）が、０．１Ｎ／２０ｍｍ以下であることが好ましい。放射線硬化再剥離型アクリル系粘着剤シートは、半導体ウエハ加工用粘着シートとして好適に用いることができる。
【００１６】
本発明は、さらにまた、前記放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを用いて被着体を加工する方法であって、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートに被着体を貼り合わせて、被着体に加工処理を施した後、放射線照射処理により、前記加工処理が施された被着体を放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートから剥離することを特徴とする被着体の加工方法である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物によれば、前記構成を有しているので、水分散型のアクリル系粘着剤組成物であっても、該粘着剤組成物により形成された粘着剤層は、放射線照射により再剥離可能な特性を有しており、しかも、放射線照射前には、優れた粘着性を発揮できる。このような放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物を用いて作製された放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートは、特に半導体ウエハの裏面研削時やダイシング時に使用される半導体ウエハ加工用粘着シートとして好適に用いることができ、半導体チップの製造時に行われるワイヤーボンディングにおいてアルミニウム表面と金製ワイヤーとの間で界面破壊が生じることがなく、高いシェア強度を維持させることができる。さらにまた、使用時または使用終了時に粘着シートの剥離を伴うような各種用途、たとえば、各種工業部材、特に半導体、回路、各種プリント基板、各種マスク、リードフレームなどの微細加工部品の製造に際に表面保護や破損防止などのために使用する放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートとして、幅広く利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分とするモノマー成分（A1）、およびラジカル重合性官能基を有する反応性乳化剤（A2）を用いたエマルション重合により得られるアクリルエマルション系重合体（Ａ）と、放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）とを含有している。また、前記放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）の割合は、前記アクリルエマルション系重合体（Ａ）１００重量部に対して２０〜２００重量部である。すなわち、本発明の放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物では、樹脂成分の主成分として特定のアクリルエマルション系重合体（Ａ）が用いられており、また、放射線照射処理により硬化性を発揮させる成分としての放射線硬化用モノマーとして、放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）が特定の割合で用いられている。従って、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物は、水分散型のアクリル系粘着剤組成物であっても、該粘着剤組成物により形成された粘着剤層は、放射線照射により再剥離可能な特性を有しており、しかも、放射線照射前には、優れた粘着性を発揮できる。もちろん、溶剤型のアクリル系粘着剤ではなく、水分散型のアクリル系粘着剤を用いているので、環境的にも優れている。
【００１９】
［アクリルエマルション系重合体（Ａ）］
アクリルエマルション系重合体（Ａ）は、前述のように、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分とするモノマー成分（A1）［単に、「モノマー成分（A1）」と称する場合がある］と、ラジカル重合性官能基を有する反応性乳化剤（A2）［単に、「反応性乳化剤（A2）」と称する場合がある］とを用いたエマルション重合により調製されたアクリルエマルション系重合体である。アクリルエマルション系重合体（Ａ）は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００２０】
モノマー成分（A1）は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとしており、必要に応じて前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他のモノマー（共重合性モノマー）が含有されていてもよい。（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸イソアミル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシルなどの（メタ）アクリル酸Ｃ1-20アルキル（直鎖状又は分岐鎖状のアルキル）エステルなどが挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、目的とする粘着性などに応じて適宜選択することができる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルは単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００２１】
本発明では、前述のように、前記主モノマーの他に、必要に応じてエマルション粒子の安定化、粘着剤層の支持体（基材）への密着性の向上、また被着体への初期接着性の向上などを目的として、共重合性モノマーを併用することができる。この共重合性モノマーは、全モノマー成分全量（モノマー混合物）中６０重量％以下（好ましくは４０重量％以下、さらに好ましくは２５重量％以下）の範囲で、モノマー混合物中の各モノマーの種類に応じて適宜その使用量を選択することができる。
【００２２】
共重合性モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸（アクリル酸、メタクリル酸）、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート等のカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イコタン酸等の酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸ボルニル、（メタ）アクリル酸イソボルニル等の（メタ）アクリル酸脂環式炭化水素エステル；（メタ）アクリル酸フェニル等の（メタ）アクリル酸アリールエステル；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等のビニルエステル類；スチレン等のスチレン系モノマー；（メタ）アクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有モノマー；アクリル酸２−ヒドロキシエチル、アクリル酸２−ヒドロキシプロピル等のヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルホリン、（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチル等の窒素原子含有系モノマー；（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチルなどのアルコキシ基含有モノマー；アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノ基含有モノマー；エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエン、イソブチレンなどのオレフィン系モノマー；ビニルエーテルなどのビニルエーテル系モノマーの他、Ｎ−ビニルピロリドン、メチルビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルピペリドン、ビニルピリミジン、ビニルピペラジン、ビニルピラジン、ビニルピロール、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾール、ビニルモルホリン等のビニル基含有複素環化合物や、Ｎ−ビニルカルボン酸アミド類などが挙げられる。
【００２３】
また、共重合性モノマーとして、例えば、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのマレイミド系モノマー；Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミドなどのイタコンイミド系モノマー；Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクルロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミドなどのスクシンイミド系モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー；（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシポリプロピレングリコールなどのグリコール系アクリルエステルモノマー；（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素（メタ）アクリレート、シリコーン（メタ）アクリレートなどの複素環、ハロゲン原子又はケイ素原子を含有するアクリル酸エステル系モノマーなども用いることができる。
【００２４】
さらにまた、共重合性モノマーとしては、接着剤組成物のゲル分率調整等のために、多官能性モノマーを用いることができる。多官能モノマーとしては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート等の（モノ又はポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレートや、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート等の（モノ又はポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレートなどの（モノ又はポリ）アルキレングリコールジ（メタ）アクリレートの他、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジビニルベンゼンなどが挙げられる。また、多官能性モノマーとして、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレートなども用いることができる。
【００２５】
本発明では、アクリルエマルション系重合体（Ａ）は、ラジカル重合性の炭素−炭素二重結合を、ポリマーの側鎖中や主鎖中に、もしくはポリマーの主鎖の末端に有するものを好適に用いることができる。このように、ラジカル重合性の炭素−炭素二重結合を有するアクリルエマルション系重合体（Ａ）は、例えば、ポリマーの側鎖中にラジカル重合性の炭素−炭素二重結合を有する場合、主鎖を構成するモノマー成分としてエポキシ基含有モノマー［（メタ）アクリル酸グリシジルなど］を用いて共重合を行い、さらに、カルボキシル基又はその誘導体の基（酸無水物基など）を有するモノマー成分［例えば、（メタ）アクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート等のカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イコタン酸等の酸無水物基含有モノマーなど］を用いて、前記エポキシ基と、前記カルボキシル基又はその誘導体の基（酸無水物基など）とを反応させることにより、調製することができる。
【００２６】
なお、（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、モノマー成分（A1）の主成分として用いられているので、モノマー成分（A1）全量に対して５０重量％以上の割合であることが望ましいが、４０重量％以上であってもよい。（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、モノマー成分（A1）全量に対して６０重量％以上（特に、７５重量％以上）であることが好ましい。なお、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの含有割合の上限は、特に制限されず、例えば、モノマー成分（A1）全量に対して１００重量％（好ましくは９９重量％、さらに好ましくは９８重量％）であってもよい。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの含有割合が低すぎると、良好な剥離力および凝集力を発揮する粘着剤が得られない場合がある。
【００２７】
反応性乳化剤（A2）は、乳化剤としての機能を有しているとともに、分子中にラジカル重合性官能基（例えば、エテニル基、プロペニル基、アリル基やアリルエーテル基等のラジカル重合性の炭素−炭素二重結合を有する基など）を有している。特に、本発明の放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物中には、放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）が含まれているので、反応性乳化剤（A2）は、放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）との相互作用によってか、放射線照射処理前の粘着力を高める機能も有している。すなわち、従来では、反応性乳化剤は、被着体に対する汚染を低減するために用いられていたが、本発明では、反応性乳化剤は、その機能も有しているが、放射線照射処理前の粘着力を高める機能も有していることが重要となっている。従って、本発明の粘着剤組成物は、従来の粘着剤組成物とは、その構成のみならず、その効果も異なっている。
【００２８】
反応性乳化剤（A2）としては、各種乳化剤（例えば、ノニオンアニオン系反応性乳化剤、アニオン系乳化剤、ノニオン系乳化剤など）に、プロペニル基やアリルエーテル基等のラジカル重合性官能基（ラジカル反応性基）が導入された形態を有する（又は該形態に相当する）反応性乳化剤が挙げられる。反応性乳化剤（A2）は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００２９】
反応性乳化剤（A2）が、ノニオンアニオン系乳化剤にラジカル重合性官能基が導入された形態を有する（又は該形態に相当する）ラジカル重合性官能基を有するノニオンアニオン系反応性乳化剤である場合、前記ノニオンアニオン系乳化剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸ナトリウム、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸アンモニウム、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸ナトリウム、ポリオキシエチレンアルキルスルホコハク酸ナトリウムなどが挙げられる。なお、このようなノニオンアニオン系乳化剤としては、エチレンオキサイド又はプロピレンオキサイドの平均付加モル数が３０以下（好ましくは２０以下、さらに好ましくは１５以下）であることが望ましい。
【００３０】
なお、本発明において、ノニオンアニオン系乳化剤とは、非イオン性の親水性基を持つアニオン系乳化剤のことを意味している。従って、ノニオンアニオン系乳化剤には、非イオン性の親水性基（例えば、ポリオキシエチレンやポリオキシプロピレン等のポリオキシアルキレン基など）を有していないアニオン系乳化剤に、アルキレンオキサイド（エチレンオキサイドやプロピレンオキサイド等）の付加によるポリオキシアルキレン基などの非イオン性の親水性基を有する乳化剤が含まれる。
【００３１】
また、反応性乳化剤（A2）が、アニオン系乳化剤にラジカル重合性官能基が導入された形態を有する（又は該形態に相当する）ラジカル重合性官能基を有するアニオン系反応性乳化剤である場合、前記アニオン系乳化剤としては、ラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アンモニウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００３２】
さらにまた、反応性乳化剤（A2）が、ノニオン系乳化剤にラジカル重合性官能基が導入された形態を有する（又は該形態に相当する）ラジカル重合性官能基を有するノニオン系反応性乳化剤である場合、前記ノニオン系乳化剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックポリマーなどが挙げられる。
【００３３】
反応性乳化剤（A2）において、ラジカル重合性官能基の含有割合としては特に制限されないが、例えば、反応性乳化剤（A2）の１分子中にラジカル重合性官能基が１つ含まれていればよく、また、２つ以上含まれていてもよい。
【００３４】
反応性乳化剤（A2）としては、例えば、ラジカル重合性官能基を有するノニオンアニオン系反応性乳化剤として、商品名「アデカソープＳＥ−１０Ｎ」（旭電化工業（株）製；エチレンオキサイドの平均付加モル数１０）、商品名「アクアロンＨＳ−２０」（第一工業製薬（株）製；（エチレンオキサイドの平均付加モル数２０）、商品名「アクアロンＨＳ−１０」（第一工業製薬（株）製；（エチレンオキサイドの平均付加モル数１０）、商品名「アクアロンＨＳ−０５」（第一工業製薬（株）製；エチレンオキサイドの平均付加モル数５）などが市販されている。
【００３５】
本発明では、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを半導体ウエハ加工用粘着シートとして用いる場合、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物中の不純物イオンが問題となる場合がある。そのため、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物としては、含まれる不純物イオンが低減又は除去されていることが望ましい。従って、反応性乳化剤（A2）としては、例えば、ＳＯ42-イオンの濃度が１００μｇ／ｇ以下であることが望ましい。また、反応性乳化剤（A2）としては、アンモニウム塩型の乳化剤を用いることが望ましい。なお、不純物イオンを低減又は除去する方法としては、例えば、イオン交換樹脂法、膜分離法、アルコールを用いた不純物の沈殿ろ過法などの適宜な方法を用いることができる。
【００３６】
反応性乳化剤（A2）の割合としては、モノマー成分（A1）１００重量部に対して０．１〜５重量部、好ましくは０．５〜３重量部程度である。反応性乳化剤（A2）の配合量がモノマー成分（A1）１００重量部に対して５重量部を超えると、ダイシング工程の際に、又はその後の工程で、素子小片が粘着シートから剥離してしまう場合がある。一方、反応性乳化剤（A2）の割合がモノマー成分（A1）１００重量部に対して０．１重量部未満では、安定した乳化状態が維持できない場合がある。
【００３７】
なお、ラジカル重合性官能基を有していない乳化剤を、反応性乳化剤（A2）と併用することができる。このようなラジカル重合性官能基を有していない乳化剤としては、例えば、ラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アンモニウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸ナトリウム、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸アンモニウム、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸ナトリウム、ポリオキシエチレンアルキルスルホコハク酸ナトリウムなどのアニオン系乳化剤やノニオンアニオン系乳化剤；ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックポリマーなどのノニオン系乳化剤などが挙げられる。
【００３８】
アクリルエマルション系重合体（Ａ）の調製方法としては、モノマー成分（A1）および反応性乳化剤（A2）を用いたエマルション重合による調製方法であれば特に制限されない。このようなエマルション重合に際しては、重合開始剤、連鎖移動剤などを用いることができる。
【００３９】
前記重合開始剤としては、例えば、２，２´−アゾビスイソブチロニトリル、２，２´−アゾビス（２−アミジノプロパン）ジヒドロクロライド、２，２´−アゾビス［２−（５−メチル−２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］ジヒドロクロライド、２，２´−アゾビス（２−メチルプロピオンアミジン）二硫酸塩、２，２´−アゾビス（Ｎ，Ｎ´−ジメチレンイソブチルアミジン）などのアゾ系重合開始剤；過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウムなどの過硫酸塩；ベンゾイルパーオキサイド、ｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、過酸化水素などの過酸化物系重合開始剤；過酸化物と還元剤との組み合わせによるレドックス系開始剤［例えば、過酸化物とアスコルビン酸との組み合わせ（過酸化水素水とアスコルビン酸との組み合わせ等）、過酸化物と鉄（ＩＩ）塩との組み合わせ（過酸化水素水と鉄（ＩＩ）塩との組み合わせ等）、過硫酸塩と亜硫酸水素ナトリウムとの組み合わせ等によるレドックス系重合開始剤など］が挙げられる。重合開始剤単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００４０】
重合開始剤の使用量としては、その種類やモノマー成分（A1）の種類などに応じて適宜決定することができ、通常、モノマー成分（A1）１００重量部に対して０．０１〜１重量部、好ましくは０．０２〜０．５重量部であることが望ましい。
【００４１】
前記連鎖移動剤は、例えば、アクリルエマルション系重合体（Ａ）の分子量を調整するためなどで使用することができる。連鎖移動剤としては、特に制限されず、公知乃至慣用の連鎖移動剤、例えば、ラウリルメルカプタン、グリシジルメルカプタン、メルカプト酢酸、２−メルカプトエタノール、チオグリコール酸、チオグリコール酸２−エチルヘキシル、２，３−ジメチルカプト−１−プロパノールなどが挙げられる。連鎖移動剤は単独で用いてもよく２種以上を併用してもよい。連鎖移動剤の使用量は、通常、モノマー成分（A1）１００重量部に対して０．００１〜０．５重量部程度である。
【００４２】
アクリルエマルション系重合体（Ａ）は、モノマー成分（A1）および反応性乳化剤（A2）と、必要に応じて重合開始剤や連鎖移動剤などとを用いたエマルション重合により得られる。従って、アクリルエマルション系重合体（Ａ）は、エマルションの形態で調製されている。前記エマルション重合方法としては、公知乃至慣用のエマルション重合方法を採用することができる。具体的には、一般的な一括仕込み方法（一括重合方法）、モノマー滴下方法、モノマーエマルジョン滴下方法などを利用したエマルション重合方法が挙げられる。モノマーなどを滴下する場合は、連続的に滴下してもよく、分割して滴下してもよい。なお、重合温度は、重合開始剤の種類などに応じて適宜選択することができ、例えば、５〜１００℃の範囲から選択できる。
【００４３】
なお、アクリルエマルション系重合体（Ａ）のゲル分率は、３０重量％以下（好ましくは２５重量％以下）であることが望ましい。アクリルエマルション系重合体（Ａ）のゲル分率が３０重量％を超えると、放射線照射前の粘着力が低下する。前記アクリルエマルション系重合体（Ａ）のゲル分率は、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物のゲル分率と同様にして測定することができる。
【００４４】
［放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）］
放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）［単に、「ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）」と称する場合がある］としては、α線、β線、γ線、中性子線、電子線などの電離性放射線や、紫外線などにより硬化可能なものであれば特に限定されないが、放射線照射後に効率よく３次元網状化を行うことができるのもが好ましい。ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）としては、（メタ）アクリレートと多価アルコールとのエステル化物［例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレートなど］；エステルアクリルオリゴマー；２−プロペニル−ジ−３−ブテニルシアヌレート、トリス（２−メタクリロキシエチル）イソシアヌレートなどのシアヌレート系化合物やイソシアヌレート系化合物などが挙げられる。ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００４５】
ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）の粘度は、特に制限されないが、放射線照射処理前に、シリコンミラーウエハに対して、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物の粘着剤層の粘着力を高めるためには、例えば、２５℃における粘度（ＢＨ型粘度計により測定；ローター：Ｎｏ．４、回転数：１０ｒｐｍ）が５Ｐａ・ｓｅｃ以上（好ましくは１０Ｐａ・ｓｅｃ以上）であることが望ましい。
【００４６】
ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）の割合は、アクリルエマルション系重合体（Ａ）１００重量部に対して２０〜２００重量部であることが重要であり、好ましくは３０〜１５０重量部、さらに好ましくは５０〜１２０重量部である。ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）の割合が、アクリルエマルション系重合体（Ａ）１００重量部に対して２０重量部より少ないと、放射線照射処理前の粘着力が低下し、ダイシング工程時に、素子小片が剥離してしまう場合があり、また、放射線照射処理後の粘着力の低下があまり生じず、ピックアップ工程で素子小片を容易に剥離することができなくなる場合がある。一方、ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）の割合が、アクリルエマルション系重合体（Ａ）１００重量部に対して２００重量部より多いと、放射線照射処理前の粘着力が低下し、ダイシング工程時に素子小片が剥離してしまう場合がある。
【００４７】
なお、放射線として紫外線を照射して硬化処理する場合などでは、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物中には、予め、光反応開始剤（光増感剤）が配合されていることが好ましい。前記光反応開始剤としては、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル系開始剤；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３´−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ポリビニルベンゾフェノン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のベンゾフェノン系化合物；ベンジルジメチルケタール等のケタール系化合物；チオキサンソン、２−クロロチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２，４−ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジクロロチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソン、ドデシルチオキサンソン等のチオキサンソン系化合物の他、ベンジル、ベンゾイン、アセトフェノン系開始剤、α−ケトール系化合物、芳香族スルホニルクロリド系化合物、光活性オキシム系化合物などが挙げられる。また、光反応開始剤としては、１−［４−（２−ヒドロキシエチル）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（例えば、チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製の商品名「イルガキュア２９５９」など）、商品名「ＥＳＡＣＵＲＥ  ＫＩＰ  ＥＭ」（日本シーベルヘグナー社製）、商品名「ＥＳＡＣＵＲＥ  ＤＰ  ２５０」（日本シーベルヘグナー社製）なども用いることができる。
【００４８】
光反応開始剤としては、作業性向上などの観点から、水溶性や水分散性が良好な光反応開始剤を好適に用いることができる。また、光反応開始剤は、ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）に溶解させた状態で添加して用いてもよい。
【００４９】
光反応開始剤の使用量としては、特に制限されないが、アクリルエマルション系重合体（Ａ）１００重量部に対して０．１〜１０重量部程度の範囲から選択することができる。
【００５０】
なお、前記光反応開始剤とともに光反応促進剤を併用することもできる。
【００５１】
放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物は、アクリルエマルション系重合体（Ａ）、およびラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）を含有しており、必要に応じて、架橋剤の他、粘着付与剤、老化防止剤、充填剤、着色剤（顔料や染料など）、剥離調整剤、可塑剤、軟化剤、界面活性剤等の添加剤などが配合されていてもよい。特に、架橋剤を用いることが好ましく、架橋剤を用いることにより、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物の加熱処理後のゲル分率を調整することができる。このような架橋剤としては、特に制限されないが、例えば、２官能以上のエポキシ系架橋剤、イソシアネート系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、メラミン樹脂系架橋剤、金属キレート系架橋剤、過酸化物系架橋剤などが挙げられる。架橋剤は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００５２】
具体的には、架橋剤としては、Ｎ，Ｎ，Ｎ´，Ｎ´−テトラグリシジル−ｍ−キシレンジアミン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−グリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル等のエポキシ系架橋剤；トリレンジイソシアネート（ブロック）等のイソシアネート系架橋剤（ブロックイソシアネート系架橋剤など）；商品名「カルボジライトＶ−０１（日精紡（株）製）」等のカルボジイミド系架橋剤；ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル等のエポキシ系架橋剤；商品名「エラストロンＢＮ−６９（第一工業製薬（株）製）」等の水分散型イソシアネート系架橋剤；商品名「エポクロスＷＳ−５００（（株）日本触媒製）」等のオキサゾリン系架橋剤；商品名「ケミタイトＰＺ−３３（（株）日本触媒製）」等のアジリジン系架橋剤；商品名「カルボジライトＶ−０２（日清紡（株）製）」等の親水化処理カルボジイミド系架橋剤；ヘキサメチロールメラミンなどの活性メチロール、ヘキサメトキシメチルメラミンなどの活性アルコキシメチル等の活性メチロール基や活性アルコキシメチル基を含有する架橋剤；商品名「オルガチックスＡＩ１３５（松本製薬工業（株）製）」等の金属キレート系架橋剤などが挙げられる。
【００５３】
架橋剤の使用量としては、例えば、アクリルエマルション系重合体（Ａ）１００重量部に対して０．０１〜１０重量部、好ましくは０．０５〜５重量部、さらに好ましくは０．１〜３重量部程度の範囲から選択することができる。
【００５４】
放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物は、アクリルエマルション系重合体（Ａ）と、ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）とを混合することにより得られる。アクリルエマルション系重合体（Ａ）と、ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）とを混合する方法としては、特に制限されないが、作業性などの観点から、ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）を水に分散させてエマルションとして、アクリルエマルション系重合体（Ａ）に、エマルション状態のラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）の水分散体を添加して混合する方法が好ましい。なお、ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）を水に分散させてエマルションとする際には、乳化剤や分散剤（特に、重量平均分子量が８０００以上の重合体を含有する高分子分散剤）を用いることができる。分散剤として、重量平均分子量が８０００以上の重合体を含有する高分子分散剤を用いると、放射線硬化前の耐水接着性を向上させることができる。そのため、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物を、例えば、半導体ウエハの製造の際に用いられる半導体ウエハ加工用粘着シートにおける粘着剤層を形成する粘着剤として用いた場合、半導体ウエハを素子小片へダイシングする際に、水をかけながらダイシングを行っても、素子小片の剥離を防止することができ、半導体ウエハの製造効率を高めることができる。
【００５５】
高分子分散剤における重合体の重量平均分子量としては、８０００以上であれば特に制限されないが、１００００以上であることが好ましく、さらには１５０００以上（特に３００００以上）であることが好適である。なお、高分子分散剤における重合体の重量平均分子量の上限としては、特に制限されず、例えば、５０００００以下（好ましくは３０００００以下、さらに好ましくは１０００００以下）であってもよい。このような高分子分散剤における重合体としては、例えば、モノマー成分として（メタ）アクリル酸等のカルボキシル基含有モノマー成分が用いられた重合体（特に、共重合体）や、ポリビニルアルコールなどが挙げられる。前記ポリビニルアルコールにおいて、けん化度としては５０％以上（例えば、５０〜１００％、好ましくは７０〜９９％、さらに好ましくは８０〜９５％）であってもよい。なお、高分子分散剤は、通常、前記重合体のみから構成されているが、必要に応じて各種添加剤等が含まれていてもよい。
【００５６】
また、ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）を水に分散させてエマルションとする際に用いられる乳化剤としては、特に限定されるものではないが、ラジカル重合性官能基を有する反応性乳化剤を好適に用いることができる。
【００５７】
ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）を水に分散させてエマルションとする際に用いられる分散剤（特に、高分子分散剤）や乳化剤の使用量としては、ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）を水に分散させてエマルションとすることができる量であれば特に制限されない。前記分散剤（特に、高分子分散剤）の使用量としては、例えば、ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）１００重量部に対して０．１〜１０重量部（好ましくは０．５〜５重量部、さらに好ましくは１〜３重量部）程度の範囲から選択することができる。また、乳化剤の使用量としては、例えば、ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）１００重量部に対して０．１〜１０重量部（好ましくは０．５〜５重量部、さらに好ましくは１〜３重量部）程度の範囲から選択することができる。
【００５８】
放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物を、加熱処理により乾燥・硬化させることにより、粘着剤層を形成することができる。放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物における加熱処理後（且つ放射線照射処理前）のゲル分率としては、特に制限されないが、２０〜６０重量％（好ましくは３０〜５５重量％）であることが望ましい。放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物は、加熱処理後のゲル分率が６０重量％を超えていると、放射線照射処理前の粘着力が低く、ダイシング工程で素子小片が剥離してしまう場合がある。一方、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物は、加熱処理後のゲル分率が２０重量％未満であると、放射線照射による粘着力の低下が十分でなく、また、被着体を汚染する場合がある。
【００５９】
なお、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物において、加熱処理後（且つ放射線照射処理前）のゲル分率は、例えば、加熱処理後（且つ放射線照射処理前）の放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物（例えば、粘着剤層）を、約０．１ｇサンプリングして精秤（浸漬前の重量）し、これを約５０ｍｌの酢酸エチル中に室温（２０〜２５℃程度）で１週間浸漬したのち、溶剤（酢酸エチル）不溶分を取り出し、該溶剤不溶分を１３０℃で約１時間乾燥した後、秤量（浸漬・乾燥後の重量）して、ゲル分率算出式「ゲル分率（重量％）＝［（浸漬・乾燥後の重量）／（浸漬前の重量）］×１００」を用いて、算出することができる。
【００６０】
前記ゲル分率の測定において、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物の加熱処理とは、粘着剤層を形成する際などで行われる加熱による乾燥処理や硬化処理のことを意味している。この際の加熱温度としては、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物の組成などに応じて適宜選択することができる。
【００６１】
［放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シート］
本発明の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートは、前記放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物による粘着剤層を有している。具体的には、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートとしては、例えば、支持体（基材）と、該支持体上に形成された、前記放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物による粘着剤層（「放射線硬化再剥離型粘着剤層」と称する場合がある）とを有する構成などが挙げられる。なお、該放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートは、被着体に貼着後、放射線照射処理により再剥離することが可能な構成を有している。
【００６２】
放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートにおいて、放射線硬化再剥離型粘着剤層の厚さは、特に制限されないが、例えば、１〜１００μｍ、好ましくは２〜２０μｍ程度である。
【００６３】
放射線硬化再剥離型粘着剤層の形成方法としては、公知乃至慣用の形成方法を採用することができ、例えば、支持体上に、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物を塗布する方法（塗布方法）、剥離フィルム上に、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物を塗布して放射線硬化再剥離型粘着剤層を形成した後、該放射線硬化再剥離型粘着剤層を支持体上に転写する方法（転写方法）などが挙げられる。
【００６４】
なお、放射線照射処理前の放射線硬化再剥離型粘着剤層のゲル分率は、特に制限されないが、前述のように、３０重量％以下（好ましくは２５重量％以下）であることが望ましい。
【００６５】
前記放射線硬化再剥離型粘着剤層は、支持体上に形成することができる。該支持体としては、例えば、プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材；金属箔、金属板などの金属系基材；紙などの紙系基材；布、不織布、ネットなどの繊維系基材；ゴムシートなどのゴム系基材；発泡シートなどの発泡体等の適宜な薄葉体を用いることができる。支持体は、１種または２種以上を組み合わせて使用してもよい。支持体としては、プラスチックのフィルムやシートが好ましい。プラスチックのフィルムやシートの素材（プラスチック材）としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のα−オレフィンをモノマー成分とするオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル系樹脂；ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）；酢酸ビニル系樹脂；ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）；ポリアミド（ナイロン）、全芳香族ポリアミド（アラミド）等のアミド系樹脂；ポリイミド系樹脂；ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）などが挙げられる。プラスチック材は単独で用いられていてもよく、２種以上組み合わせられた混合状態で用いられていてもよい。なお、プラスチックのフィルムやシートは、無延伸状態であってもよく、１軸又は２軸の延伸処理が施された延伸状態であってもよい。
【００６６】
支持体としては、紫外線などの放射線の透過を阻害しないものを使用することが好ましい。
【００６７】
支持体の片面または両面には、放射線硬化再剥離型粘着剤層との密着力の向上等を目的に、コロナ処理やプラズマ処理等の物理的処理、下塗り剤等の化学的処理などの適宜な表面処理が施されていてもよい。
【００６８】
支持体の厚さとしては、例えば、１０〜３００μｍ、好ましくは３０〜２００μｍ程度である。
【００６９】
なお、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートには、本発明の効果を阻害しない範囲で他の層が設けられていてもよい。
【００７０】
本発明の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートとしては、前記放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物による粘着剤層（放射線硬化再剥離型粘着剤層）を支持体上に設けて、シート状やテープ状などの形態としたものを用いることができる。前記放射線硬化再剥離型粘着剤層の保護のために、放射線硬化再剥離型粘着剤層上に剥離フィルムが積層されていてもよい。このような放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートは、巻回体とすることができ、例えば、剥離フィルム（セパレータ）で放射線硬化再剥離型粘着剤層を保護した状態でロール状に巻き取られて巻回体となっていてもよい。また、剥離フィルムを用いない場合は、支持体の背面にシリコーン系剥離剤や長鎖アルキル系剥離剤などの剥離処理剤により背面処理を施すことにより、該背面処理面で放射線硬化再剥離型粘着剤層を保護した状態でロール状に巻き取って巻回体とすることができる。
【００７１】
剥離フィルムとしては、例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブデン等の剥離処理剤により表面処理されたプラスチックフィルム（例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の合成樹脂フィルムなど）や紙等の剥離処理層を有する基材；ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共重合体等のフッ素系ポリマーからなる低接着性基材；オレフィン系樹脂（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなど）等の無極性ポリマーからなる低接着性基材などを用いることができる。なお、剥離フィルムは公知乃至慣用の方法により形成することができる。また、剥離フィルムの厚さ等も特に制限されない。
【００７２】
剥離フィルムには、紫外線透過防止処理などの放射線透過防止処理が施されていてもよい。剥離フィルムに放射線透過防止処理が施されていると、環境紫外線等の通常空間に存在する放射線により、放射線硬化再剥離型粘着剤層中のラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）が反応して、粘着性が低下することを防止又は抑制することができる。
【００７３】
なお、前記剥離フィルムは、ラベル加工や放射線硬化再剥離型粘着剤層の平滑性向上のためなどでも、必要に応じて設けることができる。
【００７４】
特に、本発明の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを半導体ウエハ加工用粘着シートとして用いる場合には、支持体としてポリエチレンテレフタレート製フィルム、ポリブチレンテレフタレート製フィルム、ポリエチレンナフタレート製フィルムなどのポリエステル系フィルム；２軸延伸ポリプロピレン製フィルム、低密度ポリエチレン製フィルムなどのポリオレフィン系フィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体製フィルム、およびこれらのフィルムを含む多層フィルムなどを用いることが好ましい。特に支持体としてポリオレフィン系フィルムを用いた場合、シリコーン系剥離処理剤を用いなくても巻回体とすることが可能であり、この場合、ウエハ等の被着体へのシリコーン汚染を起こすことがないので、特に好ましい形態といえる。
【００７５】
本発明では、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートは、放射線照射処理前には優れた粘着力を発揮でき、放射線照射処理後には、優れた剥離性（再剥離性）を発揮することができる。放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートの放射線照射処理前の粘着力（接着力）としては、特に制限されないが、高接着力を有していることが重要であり、例えば、放射線照射処理前のシリコンミラーウエハのミラー面に対する接着力（２３℃×５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分）が、４．５Ｎ／２０ｍｍ以上（好ましくは４．８Ｎ／２０ｍｍ以上）であることが望ましい。
【００７６】
また、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートの放射線照射処理後の接着力としては、低接着力を有していることが重要であり、例えば、放射線照射処理後のシリコンミラーウエハのミラー面に対する接着力（２３℃×５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分）が、０．１Ｎ／２０ｍｍ以下（好ましくは０．０８Ｎ／２０ｍｍ以下、さらに好ましくは０．０５Ｎ／２０ｍｍ以下）であることが望ましい。
【００７７】
このように、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートは、シリコンミラーウエハのミラー面に対する接着力（２３℃×５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分）が、４．５Ｎ／２０ｍｍ以上であり、放射線照射処理後のシリコンミラーウエハのミラー面に対する接着力（２３℃×５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分）が、０．１Ｎ／２０ｍｍ以下であると、放射線照射前には、優れた粘着性を発揮できるとともに、放射線照射により、粘着性を効果的に低下させて、良好な剥離性を発揮できる。具体的には、例えば、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを半導体ウエハ加工用粘着シートとして用いた場合、放射線照射前は、素子小片との粘着性が良好であり、放射線照射後は、容易に素子小片を再剥離することができる。
【００７８】
このように、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートが放射線照射処理前には、優れた粘着力を発揮することができるのは、反応性乳化剤（A2）と、放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマー（Ｂ）とが組み合わせて用いられているためである。
【００７９】
本発明の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートは、特に半導体ウエハ加工用粘着シートとして好適に用いることができるが、その用途はなんら限定されるものではなく、例えば、半導体、回路、各種プリント基板、各種マスク、リードフレームなどの微細加工部品［特に、半導体ウエハ（シリコンウエハなど）、多層基板、積層セラミック、一括封止モジュール等の電子系部品類］の製造の際の表面保護や破損防止、あるいは異物等の除去、マスキングなどにも使用することができる。
【００８０】
［被着体の加工方法］
本発明の被着体の加工方法は、前記放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを用いて被着体を加工する方法であり、具体的には、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートに被着体を貼り合わせて、被着体に加工処理を施した後、放射線照射処理により、前記加工処理が施された被着体を放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートから剥離することにより、加工処理が施された被着体を得る被着体の加工方法である。このように、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートにより被着体の表面の保護や破損の防止を図りつつ、被着体を加工することができるので、被着体が脆弱なものであっても、優れた精度で加工を容易に行うことができる。
【００８１】
このような被着体の加工方法により、被着体の種類及び加工処理方法などに応じて、各種物品が製造される。前記被着体の加工方法を利用することにより製造される物品としては、例えば、被着体として、下記に示される半導体ウエハ等の電子系部品類を用いた場合、電子部品（例えば、半導体チップを具備する電子部品など）が製造される。従って、本発明の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートは、半導体ウエハの研削や切断の加工時に好適に用いることができる。
【００８２】
前記加工方法において、被着体（被加工体）としては、特に制限されず、例えば、脆弱な被加工体であってもよい。具体的には、被着体としては、前述のように、例えば、半導体、回路、各種プリント基板、各種マスク、リードフレームなどの微細加工部品［特に、半導体ウエハ（シリコンウエハなど）、多層基板、積層セラミック、一括封止モジュール等の電子系部品類］などが挙げられる。被着体は単独で用いられていてもよく、２種以上組み合わせて用いられていてもよい。
【００８３】
また、被着体の加工処理としては、特に制限されず、例えば、半導体ウエハの研削や切断の加工などの種々の加工処理（例えば、半導体ウエハの裏面研磨処理加工、薄型研削加工、ダイシング処理加工、微細加工、切断加工など）などが挙げられる。
【実施例】
【００８４】
以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。なお、以下において部とあるのは、すべて重量部を意味する。
【００８５】
（実施例１）
冷却管、窒素導入管、温度計、撹拌装置を備えた反応容器に、水：５０部、および重合開始剤として商品名「ＶＡ−０５７」（和光純薬社製）：０．１部を仕込み、撹拌下で１時間窒素置換した。その後、容器内の温度を６０℃に昇温し、さらに、水：５０部、モノマー成分としてアクリル酸メチル：１００部、アクリル酸：２部、連鎖移動剤としてラウリルメルカプタン：０．１部、および乳化剤として反応性乳化剤であるエーテルサルフェート型の反応性ノニオンアニオン系界面活性剤［商品名「アデカソープＳＥ−１０Ｎ」旭電化工業（株）製］：１部を乳化機で乳化して得られたエマルション溶液を、内浴温度を６０℃にて、４時間かけて滴下し、さらに、６０℃で３時間熟成を行った。その後、１０重量％のアンモニア水溶液で中和して、ゲル分率が１０重量％のアクリルエマルション系重合体（「アクリル系重合体Ａ」と称する場合がある）を調製した。
【００８６】
また、別途、多官能モノマーとして商品名「ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ」（日本化薬社製）：１００部に、光開始剤として商品名「イルガキュア１８４」（チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製）を３部添加し溶解させた後、さらに、分散剤としてポリビニルアルコール（重量平均分子量：３７０００、けん化度：８８％）：２部、および水：５０部を添加して乳化機で乳化し、多官能モノマーエマルション溶液（「多官能モノマーエマルション溶液Ｂ」と称する場合がある）を調製した。
【００８７】
アクリル重合体Ａ：１００部（固形分）に、架橋剤として１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−グリシジルアミノメチル）シクロヘキサン（商品名「テトラッドＣ」三菱瓦斯化学（株）製）を０．２部、多官能モノマーエマルション溶液Ｂを７０部（モノマー分）添加して、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤（「アクリル系粘着剤Ａ」と称する）を調製した。
【００８８】
アクリル系粘着剤Ａを、ポリオレフィンフィルム（厚さ：７０μｍ）のコロナ放電処理が施された片面に塗工した後、８０℃で３分間乾燥させて、厚さ（乾燥後の厚さ）：１０μｍの粘着剤層を形成し、該粘着剤層面に、片面にシリコーン剥離処理が施されているポリエステルフィルム（厚さ：３８μｍ）のシリコーンは栗処理面を貼り合わせて、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを作製した。なお、該放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートにおいて、アクリル系粘着剤Ａによる粘着剤層のゲル分率は、４５重量％であった。
【００８９】
（実施例２）
モノマー成分としてアクリル酸メチル：７０部、アクリル酸ｎ−ブチル：３０部、およびアクリル酸：２部を用いたこと以外は、実施例１と同様にしてアクリルエマルション系重合体（「アクリル重合体Ｂ」と称する）を調製した。なお、このアクリル系重合体Ｂのゲル分率は、８重量％であった。さらに、このアクリル重合体Ｂを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤（「アクリル系粘着剤Ｂ」と称する）を調製した。さらにまた、このアクリル系粘着剤Ｂを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを作製した。なお、該放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートにおいて、アクリル系粘着剤Ｂによる粘着剤層のゲル分率は、４７重量％であった。
【００９０】
（実施例３）
分散剤としてポリビニルアルコール（重量平均分子量：３７０００、けん化度：８８％）：２部の代わりに、エーテルサルフェート型界面活性剤（商品名「ハイテノールＮ−１７」第一工業製薬社製）：２部を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、多官能モノマーエマルション溶液（「多官能モノマーエマルション溶液Ｇ」と称する場合がある）を調製した。また、この多官能モノマーエマルション溶液Ｇを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤（「アクリル系粘着剤Ｇ」と称する）を調製した。さらにまた、このアクリル系粘着剤Ｇを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを作製した。なお、該放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートにおいて、アクリル系粘着剤Ｇによる粘着剤層のゲル分率は、４５重量％であった。
【００９１】
（比較例１）
乳化剤として、非反応性乳化剤であるエーテルサルフェート型界面活性剤（商品名「ラテムルＥ１１８Ｂ」花王社製）を１部用いたこと以外は、実施例１と同様にして、アクリルエマルション系重合体（「アクリル重合体Ｃ」と称する）を調製した。なお、このアクリル重合体Ｃのゲル分率は９重量％であった。さらに、このアクリル重合体Ｃを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤（「アクリル系粘着剤Ｃ」と称する）を調製した。さらにまた、このアクリル系粘着剤Ｃを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを作製した。なお、該放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートにおいて、アクリル系粘着剤Ｃによる粘着剤層のゲル分率は、４３重量％であった。
【００９２】
（比較例２）
乳化剤として、非反応性乳化剤であるエーテルサルフェート型界面活性剤（商品名「ハイテノールＮ−１７」第一工業製薬社製）を１部用いたこと以外は、実施例１と同様にして、アクリルエマルション系重合体（「アクリル重合体Ｄ」と称する）を調製した。なお、このアクリル重合体Ｄのゲル分率は９重量％であった。さらに、このアクリル重合体Ｄを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤（「アクリル系粘着剤Ｄ」と称する）を調製した。さらにまた、このアクリル系粘着剤Ｄを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを作製した。なお、該放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートにおいて、アクリル系粘着剤Ｄによる粘着剤層のゲル分率は、４４重量％であった。
【００９３】
（比較例３）
多官能モノマーエマルション溶液Ｂの添加量を、アクリル重合体Ａ：１００部（固形分）に対して１０部（モノマー分）としたこと以外は、実施例１と同様にして、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤（「アクリル系粘着剤Ｅ」と称する）を調製した。さらにまた、このアクリル系粘着剤Ｅを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを作製した。なお、該放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートにおいて、アクリル系粘着剤Ｅによる粘着剤層のゲル分率は、６０重量％であった。
【００９４】
（比較例４）
多官能モノマーエマルション溶液Ｂの添加量を、アクリル重合体Ａ：１００部（固形分）に対して２５０部（モノマー分）としたこと以外は、実施例１と同様にして、放射線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤（「アクリル系粘着剤Ｆ」と称する）を調製した。さらにまた、このアクリル系粘着剤Ｆを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを作製した。なお、該放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートにおいて、アクリル系粘着剤Ｆによる粘着剤層のゲル分率は、２３重量％であった。
【００９５】
（評価）
各実施例および各比較例により得られた放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートについて、以下の各測定方法又は評価方法により、放射線照射処理前の粘着力、放射線照射処理後の粘着力、ダイシング性を評価した。評価結果は、表１に示した。
【００９６】
（放射線照射処理前の粘着力の測定方法）
各実施例および各比較例に係る放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを、幅２０ｍｍ、長さ１００ｍｍの大きさに切断して、シリコンミラーウエハ（商品名「ＣＺＮ＜１００＞２．５−３．５（４インチ）」信越半導体株式会社製）のミラー面に、２３℃の雰囲気下、ハンドローラーを１往復させて圧着し、２３℃で３０分放置した後、粘着シートを剥離させるのに要する力（接着力）を、２３℃×５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分の条件で、測定した。
【００９７】
（放射線照射処理後の粘着力の測定方法）
各実施例および各比較例に係る放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートを、幅２０ｍｍ、長さ１００ｍｍの大きさに切断して、シリコンミラーウエハ（商品名「ＣＺＮ＜１００＞２．５−３．５（４インチ）」信越半導体株式会社製）のミラー面に、２３℃の雰囲気下、ハンドローラーを１往復させて圧着し、２３℃で３０分放置した後、紫外線（照射エネルギー：４５０ｍＪ／ｃｍ2）を粘着シート面側から１６秒間照射した。その後、粘着シートを剥離させるのに要する力（接着力）を、２３℃×５０％ＲＨ雰囲気下、１８０°剥離、引張速度３００ｍｍ／分の条件で、測定した。
【００９８】
（ダイシング性の評価方法）
各実施例および各比較例に係る放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートに、２３℃で、裏面を研磨（♯２０００仕上げ）された厚さ２００μｍの６インチウエハをマウントした後、以下の条件で２３℃でダイシングした。このダイシング中に、ウエハ小片が粘着シートから剥離したかどうかを観察し、全く剥離しなかった場合を「○」、１〜４個剥離した場合を「△」、５個以上剥離した場合を「×」として評価した。
ダイシング条件
ダイサー：ＤＩＳＣＯ社製の装置名「ＤＦＤ−６５１」
ブレード：ＤＩＳＣＯ社製の装置名「２０５０−２７ＨＥＣＣ」
ブレード回転数：４００００ｒｐｍ
ダイシング速度：８０ｍｍ／ｓｅｃ
ダイシング深さ：３０μｍ
ダイシングサイズ：２ｍｍ×２ｍｍ
【００９９】
【表１】
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【０１００】
表１より明らかなように、実施例１〜２の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートは、放射線照射処理前の粘着力が高く、また、ダイシング性が良好であり、しかも、放射線照射処理後の粘着力は大きく低下しており、放射線照射処理により容易に剥離させることができる。また、実施例３の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートは、放射線照射処理後の粘着力は、実施例１〜２の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートと同等であるが、放射線照射前の粘着力は、実施例１〜２の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートより若干低くなっており、また、ダイシング性が若干低くなっている。これは、実施例１〜２の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートでは、多官能モノマーをエマルション状態に調製する際に、分散剤として、重量平均分子量が８０００以上の重合体による高分子分散剤が用いられているが、実施例３の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートでは、分子量が小さい化合物（界面活性剤）による分散剤が用いられているために、実施例３の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートは実施例１〜２の放射線硬化再剥離型アクリル系粘着シートよりも耐水性が低くなっており、ダイシング性が若干低下していると思われる。
【０１０１】
これに対し、比較例１および２では、放射線照射処理後の粘着力は実施例と同等であるが、乳化剤として非反応性の乳化剤を用いているので、放射線照射処理前の粘着力が低く、ダイシング性が不良となっている。比較例３では、多官能モノマー成分の量が少ないので、放射線照射処理前の粘着力が低く、ダイシング性が不良となっており、また、放射線照射処理後の粘着力が高くなっている。比較例４では、放射線照射処理後の粘着力は実施例と同等であるが、多官能モノマー成分の量が多すぎるので、放射線照射処理前の粘着力が低く、ダイシング性が不良となっている。
【０１０２】
従って、適度な量の放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマーを用いるとともに、アクリルエマルション系重合体（Ａ）を調製する際の乳化剤として、ラジカル重合性官能基を有する反応性乳化剤を用いることにより（この際、特に、前記放射線硬化用ラジカル重合性多官能モノマーを、重量平均分子量８０００以上の重合体を含有する高分子分散剤を用いて水に分散された水分散体として用いることにより）、水系で塗工できる粘着剤を得ることができるとともに、該粘着剤による粘着剤層は、放射線照射処理前は優れた高粘着性を有しており、微細加工後の素子小片が粘着シートから剥がれ落ちず、また、放射線照射処理後は優れた低粘着性を有しており、容易に素子小片が粘着シートから再剥離できる特性を効果的に発揮できる。