(57)【要約】【課題】画質の優れたトップエミッション型の有機ＥＬディスプレイパネルに採用されると好適な非固定側基板の加工技術を提供する【解決手段】内部にＥＬ素子部１を収めたトップエミッション型の有機ＥＬディスプレイのパッケージ２のうち、ＥＬ素子部１を固定しない側である透明な非固定側基板２２を製造する。レジストが塗布されて処理容器３内の所定位置に位置したガラス板Ｇの表面に、エッチング液供給系６がフッ酸系のエッチング液Ｌをノズル５から上方に霧状に噴射させて供給し、エッチングが行われる。周縁がリブ２２０である凹部がガラス板Ｇの表面に形成される。固定されたノズル５に対してガラス板Ｇが移動機構により移動し、エッチング液Ｌが均一に供給される。非固定側基板２２の内側の表面２２１の平坦度が高いため、表示される画像の質が高くなる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方が透明電極である一対の電極で有機薄膜を挟んで当該一対の電極により有機薄膜に電圧を印加して有機薄膜を発光させる有機ＥＬディスプレイパネルであって、
前記有機薄膜及び前記一対の電極より成るＥＬ素子部と、
ＥＬ素子部を内部に収めたパーケージとから成り、
このパッケージは、前記ＥＬ素子部が固定される固定側基板と、前記ＥＬ素子を固定していない非固定側基板とから成り、
非固定側基板は、前記ＥＬ素子部が内部に位置する凹部を有してこの凹部の周縁はリブとなっており、この凹部は、エッチング液を霧状にして供給することで行われたエッチングにより形成されたものであることを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２】
少なくとも一方が透明電極である一対の電極で有機薄膜を挟んで当該一対の電極により有機薄膜に電圧を印加して有機薄膜を発光させる有機ＥＬディスプレイパネルであって、
前記有機薄膜及び前記一対の電極より成るＥＬ素子部と、
ＥＬ素子部を内部に収めたパーケージとから成り、
このパッケージは、前記ＥＬ素子部が固定される固定側基板と、前記ＥＬ素子を固定していない非固定側基板とから成り、
非固定側基板は透明であって、この非固定側基板を通して前記ＥＬ素子部からの光を出射するトップエミッション型であり、
さらに、非固定側基板は光を透過させる面を底面とする凹部を有してこの凹部の周縁はリブとなっており、この凹部は、エッチング液を霧状にして供給することで行われたエッチングにより形成されたものであることを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項３】
内部にＥＬ素子部を収めた有機ＥＬディスプレイパネルのパッケージのうち、ＥＬ素子部を固定しない側である非固定側基板を製造する方法であって、
ガラス板に所定のパターンでレジストを塗布する工程と、
レジスト塗布されたガラス板にフッ酸系のエッチング液を霧状にして供給してエッチングすることで周縁がリブである凹部を形成する工程とを含むことを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネルの非固定側基板の製造方法。
【請求項４】
内部にＥＬ素子部を収めたトップエミッション型の有機ＥＬディスプレイパネルのパッケージのうち、ＥＬ素子部を固定しない側である透明な非固定側基板を製造する方法であって、
ガラス板に所定のパターンでレジストを塗布する工程と、
レジスト塗布されたガラス板にフッ酸系のエッチング液を霧状にして供給してエッチングすることで周縁がリブである凹部を形成する工程とを含むことを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネルの非固定側基板の製造方法。
【請求項５】
内部にＥＬ素子部を収めた有機ＥＬディスプレイのパッケージのうち、ＥＬ素子部を固定しない側である非固定側基板を製造する装置であって、
レジストが塗布されて所定位置に位置したガラス板の表面を臨む位置に設けられたノズルと、ガラス板の表面にフッ酸系のエッチング液をノズルから霧状に噴射させて供給することでエッチングするエッチング液供給系とを備えており、
周縁がリブである凹部をエッチングによってガラス板の表面に形成するものであることを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネルの非固定側基板の製造装置。
【請求項６】
内部にＥＬ素子部を収めたトップエミッション型の有機ＥＬディスプレイのパッケージのうち、ＥＬ素子部を固定しない側である透明な非固定側基板を製造する装置であって、
レジストが塗布されて所定位置に位置したガラス板の表面を臨む位置に設けられたノズルと、ガラス板の表面にフッ酸系のエッチング液をノズルから霧状に噴射させて供給することでエッチングするエッチング液供給系とを備えており、
周縁がリブである凹部をエッチングによってガラス板の表面に形成するものであることを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネルの非固定側基板の製造装置。
【請求項７】
前記ノズルは、所定位置に位置したガラス板の下方に設けられており、上方にエッチング液を噴射させてガラス板の下面に付着させてエッチングするものであることを特徴とする請求項５又は６記載の有機ＥＬディスプレイパネルの非固定側基板の製造装置。
【請求項８】
前記ノズル又は前記ガラス板を相対的に移動させてエッチング液を均一に供給する移動機構を備えていることを特徴とする請求項５、６又は７記載の有機ＥＬディスプレイパネルの非固定側基板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願の発明は、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）として最近有望視されている有機ＥＬディスプレイに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
有機ＥＬディスプレイは、有機ＥＬ素子を利用したディスプレイである。有機ＥＬ素子は、有機薄膜を一対の電極で挟んだ構造であり、光を取り出す都合から、少なくとも一方はインジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）のような透明電極とされる。一対の電極に直流電圧を印加し、一方から電子を、他方からホールを有機薄膜に注入する。有機薄膜中でこれらのキャリアが再結合して励起し、これが基底状態に戻る際に発光が生ずる。
【０００３】
有機ＥＬディスプレイは、自発光であるため、液晶ディスプレイのようなバックライトは不要である。その上、高速応答性に優れ、薄型化や低駆動電圧化が容易である。また、液晶ディスプレイなどに比べると、製造工程がシンプルである。このようなことから、次世代のディスプレイ技術として注目されており、携帯電話などへの実用化が既に始まっている。
【０００４】
現状の有機ＥＬディスプレイパネルの構造について、図５を使用して説明する。図５は、現状の有機ＥＬディスプレイパネルの断面概略図である。図５に示す有機ＥＬディスプレイパネルは、一対の電極１１，１２とこの一対の電極１１，１２で挟まれた有機薄膜１３より成るＥＬ素子部１と、ＥＬ素子部１を内部に収納したパッケージ２とから成る。尚、有機ＥＬディスプレイパネルとは、有機ＥＬディスプレイのうち、駆動回路等を除いたパッケージ２とその内部の構成要素から成るものを指している。
【０００５】
光を取り出す都合から、一対の電極１１，１２の少なくとも一方は、ＩＴＯのような透明電極とされる。また、画素一つ一つを駆動させるアクティブ型の場合、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が一方の電極として形成される。パッケージ２は、ＥＬ素子部１が固定される固定側基板２１と、ＥＬ素子部１が固定されない側の非固定側基板２２とから成る。現状の有機ＥＬディスプレイは、いわゆるボトムエミッション型であり、図５に示す例もこれに属する。即ち、固定側基板２１はガラス製で、透明である。ＥＬ素子部１からの光は、固定側基板２１を透過して出射する。つまり、固定側基板２１が、画像を見る人の側に位置している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
図５に示すようなボトムエミッション型の有機ＥＬディスプレイパネルは、パッケージ２の固定側基板２１を通して光を出射させるため、光の利用効率が悪いという問題がある。即ち、固定側基板２１には、ＥＬ素子部１を駆動するための回路が形成されており、通常の単純な透明体に比べて光の透過率が悪い。この問題を解決するには、トップエミッション型の有機ＥＬディスプレイパネルが有効であり、トップエミッション型が将来有望であると考えられている。図６は、トップエミッション型の有機ＥＬディスプレイパネルの断面概略図である。
トップエミッション型では、図６に示すように、各ＥＬ素子部１からの光は、そのまま非固定側基板２２を通して放出される。非固定側基板２２は、ＥＬ素子部１を固定しないため、単純な透明体にすることができ、高い透過率にすることができる。このため、ボトムエミッション型に比べて光の利用効率も高い。
【０００７】
ここで、図６に示すように、トップエミッション型では、非固定側基板２２の周縁にリブを形成することが必要である。リブ形成は、非固定側基板２２の基になる透明なガラス板を加工して形成する。現状では、サンドブラスト法によりリブ形成を行うことが検討されている（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ＦＰＤ  Ｗｏｒｌｄ誌，２００２年１月号，ｐ１１６−１１８参照）。
しかしながら、サンドブラスト法によると、図６に拡大して示すように、加工後の表面の平坦度が悪いという欠点がある。特に、トップエミッション型のように、その部分を通して光を取り出す構造である場合、サンドブラスト加工された表面の凹凸が画像ムラや画質のチラツキ等を発生させる問題がある。また、サンドブラスト法によると、マイクロクラックが生じやすい。このため、強度上の問題や耐久性の点での問題を生じやすい。この点は、ボトムエミッション型であっても変わらない。
【０００８】
本願の発明は、かかる課題を解決するためになされたものであり、画質の優れたトップエミッション型の有機ＥＬディスプレイパネルに採用されると好適な非固定側基板の加工技術を提供する技術的意義を有するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本願の請求項１記載の発明は、少なくとも一方が透明電極である一対の電極で有機薄膜を挟んで当該一対の電極により有機薄膜に電圧を印加して有機薄膜を発光させる有機ＥＬディスプレイパネルであって、
前記有機薄膜及び前記一対の電極より成るＥＬ素子部と、
ＥＬ素子部を内部に収めたパーケージとから成り、
このパッケージは、前記ＥＬ素子部が固定される固定側基板と、前記ＥＬ素子を固定していない非固定側基板とから成り、
非固定側基板は、前記ＥＬ素子部が内部に位置する凹部を有してこの凹部の周縁はリブとなっており、この凹部は、エッチング液を霧状にして供給することで行われたエッチングにより形成されたものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項２記載の発明は、少なくとも一方が透明電極である一対の電極で有機薄膜を挟んで当該一対の電極により有機薄膜に電圧を印加して有機薄膜を発光させる有機ＥＬディスプレイパネルであって、
前記有機薄膜及び前記一対の電極より成るＥＬ素子部と、
ＥＬ素子部を内部に収めたパーケージとから成り、
このパッケージは、前記ＥＬ素子部が固定される固定側基板と、前記ＥＬ素子を固定していない非固定側基板とから成り、
非固定側基板は透明であって、この非固定側基板を通して前記ＥＬ素子部からの光を出射するトップエミッション型であり、
さらに、非固定側基板は光を透過させる面を底面とする凹部を有してこの凹部の周縁はリブとなっており、この凹部は、エッチング液を霧状にして供給することで行われたエッチングにより形成されたものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項３記載の発明は、内部にＥＬ素子部を収めた有機ＥＬディスプレイパネルのパッケージのうち、ＥＬ素子部を固定しない側である非固定側基板を製造する方法であって、
ガラス板に所定のパターンでレジストを塗布する工程と、
レジスト塗布されたガラス板にフッ酸系のエッチング液を霧状にして供給してエッチングすることで周縁がリブである凹部を形成する工程とを含むという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項４記載の発明は、内部にＥＬ素子部を収めたトップエミッション型の有機ＥＬディスプレイパネルのパッケージのうち、ＥＬ素子部を固定しない側である透明な非固定側基板を製造する方法であって、
ガラス板に所定のパターンでレジストを塗布する工程と、
レジスト塗布されたガラス板にフッ酸系のエッチング液を霧状にして供給してエッチングすることで周縁がリブである凹部を形成する工程とを含むという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項５記載の発明は、内部にＥＬ素子部を収めた有機ＥＬディスプレイのパッケージのうち、ＥＬ素子部を固定しない側である非固定側基板を製造する装置であって、
レジストが塗布されて所定位置に位置したガラス板の表面を臨む位置に設けられたノズルと、ガラス板の表面にフッ酸系のエッチング液をノズルから霧状に噴射させて供給することでエッチングするエッチング液供給系とを備えており、
周縁がリブである凹部をエッチングによってガラス板の表面に形成するものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項６記載の発明は、内部にＥＬ素子部を収めたトップエミッション型の有機ＥＬディスプレイのパッケージのうち、ＥＬ素子部を固定しない側である透明な非固定側基板を製造する装置であって、
レジストが塗布されて所定位置に位置したガラス板の表面を臨む位置に設けられたノズルと、ガラス板の表面にフッ酸系のエッチング液をノズルから霧状に噴射させて供給することでエッチングするエッチング液供給系とを備えており、
周縁がリブである凹部をエッチングによってガラス板の表面に形成するものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項７記載の発明は、前記請求項５又は６の構成において、前記ノズルは、所定位置に位置したガラス板の下方に設けられており、上方にエッチング液を噴射させてガラス板の下面に付着させてエッチングするものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項８記載の発明は、前記請求項５、６又は６の構成において、前記ノズル又は前記ガラス板を相対的に移動させてエッチング液を均一に供給する移動機構を備えているという構成を有する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の実施の形態（以下、実施形態）について説明する。
まず、有機ＥＬディスプレイパネルの発明の実施形態について説明する。図１は、本願発明の有機ＥＬディスプレイパネルの断面概略図である。図１に示す有機ＥＬディスプレイパネルは、トップエミッション型であり、基本的な構造は、図６に示すものと同様である。違いは、非固定側基板２２にある。この実施形態のものは、エッチング液を霧状にして供給することで行うミストエッチング法により凹部が形成されている。図６に示すサンドブラスト法により形成されたものと比べると、リブ２２０の断面形状が異なっている。即ち、本実施形態では、リブ２２０は内側（パネルの中心に近い側）の側面がテーパ面となっている。テーパ面の角度（図１中に拡大してθで示す）は、８０〜８７度程度とすることが好ましい。この程度のテーパ面にしておくと、凹部底部の面積を充分に取りつつ、リブ２２０の強度を高くできる。
【００１１】
図１に示す実施形態のものは、図１中に拡大して示すように、非固定側基板２２の内側面２２１の平坦度が非常に高くなっている。これは、ミストエッチング法による効果である。非固定側基板２２の外側面２２２は、各種の研磨法を任意に選択して平坦度を確保することができる。内側面は、リブ２２０があるために研磨が難しい。本実施形態では、ミストエッチング法によるため、非常に平坦度が高い。
本実施形態の非固定側基板２２は、トップエミッション型有機ＥＬディスプレイ用であるため、透明であってそれを通して光を出射する部材である。本実施形態のものは、表面２２１，２２２の平坦度が高いため、表示される画像の質が高くなる。
【００１２】
次に、非固定側基板の製造方法の発明の実施形態及び非固定側基板の製造装置の発明の実施形態について説明する。
図２は、実施形態に係る非固定側基板の製造装置の概略構成を示す図である。図２に示す装置は、内部でエッチング処理が行われる処理容器３と、処理容器３にガラス板Ｇを搬入するとともに処理後にガラス板Ｇを搬出する搬送系４と、処理容器３内に位置したガラス板Ｇの表面を臨む位置に設けられたノズル５と、ノズル５を通してガラス板Ｇの表面にフッ酸系のエッチング液Ｌを霧状にして供給することでエッチングするエッチング液供給系６とを備えている。
【００１３】
搬送系４は、本実施形態ではコロ方式となっている。即ち、搬送ラインに沿って設けられた多数の搬送コロ４１によって搬送系４は構成されている。本実施形態では、ガラス板Ｇのエッチングする面を下側にしながらガラス板Ｇを搬送するようになっている。ガラス板Ｇは、エッチングする必要のない端部の位置で各搬送コロ４１に乗るようになっている。
【００１４】
ノズル５は、処理容器３内の搬送ラインの下方に設けられている。エッチング液供給系６は、エッチング液Ｌを溜めた液溜め６１と、液溜め６１とノズル５とをつなぐ配管６２と、配管６２上に設けられたバルブ６３や送液ポンプ６４などから構成されている。また、処理容器３の底部は漏斗状になっており、そこには使用済みのエッチング液Ｌを回収するエッチング液回収部７が設けられている。
【００１５】
図３は、図２に示すノズル５の形状について示した斜視図である。図３に示すように、本実施形態では、ガラス板Ｇの搬送方向に対して垂直に複数のノズル５が並べられている。各ノズル５は上部に噴射孔５０を設けた管状であり、水平な面内に等間隔で互いに平行に設けられている。各噴射孔５０も、各ノズル５において等間隔である。
各噴射孔５０は、ガラス板Ｇの搬送方向に対して斜めの４５度の方向に細長い。従って、各噴射孔５０から噴射されるエッチング液Ｌは、図３に示すように、この方向に長い逆錐状に広がるようになっている。
図３に示す各噴射孔５０の配置は、ガラス板Ｇに対して均一にエッチング液Ｌが供給されるよう工夫されている。この点について、図４を使用して説明する。図４は、各噴射孔５０が、ガラス板Ｇに対してエッチング液Ｌが均一に供給されるようにしている点を示した図である。
【００１６】
図４の中ほどに、一つのノズル５の各噴射孔５０から噴射されるエッチング液Ｌを示す。図４の下部には、ガラス板Ｇの幅方向で見た各噴射孔５０からのエッチング液Ｌの噴射量の分布を示す。ノズル５の上方をガラス板Ｇが通過する際、ガラスＧの下面の各点は、いずれかの噴射孔５０からエッチング液Ｌの供給を受ける。この際、この際、隣り合う二つの噴射孔５０の丁度中間の位置の真下を通る点Ｐは、その隣り合う二つの噴射孔５０からエッチング液Ｌの供給を受けることになる。この場合、この点Ｐは、逆推状のエッチング液Ｌの広がりの端部に位置するので、図４の下部に示すように、一つの噴射孔５０から受け取るエッチング液Ｌの量は、他の点の１／２程度であり、両隣の噴射孔５０で一つの噴射孔５０分のエッチング液Ｌの供給を受ける。従って、ガラス板Ｇの各点のエッチング液Ｌの供給量は、均一である。
【００１７】
尚、処理容器３の搬送ライン上の手前側には、不図示のレジスト塗布機が設けられている。また、処理容器３の搬送ライン上の後方には、不図示の洗浄機が設けられている。レジスト塗布機や洗浄機は、現状の物を任意に選択して採用し得る。
図２に示す装置は、エッチング液Ｌを均一にガラス板Ｇに供給するため、静止したノズル５に対してガラス板Ｇを移動させる移動機構を備えている。移動機構は、搬送系４によって兼用されている。即ち、搬送系４を構成する搬送コロ４１のうち、処理容器３内に設けられたものが移動機構を構成している。
【００１８】
図２において、不図示のレジスト塗布機により所定のパターンでレジストが塗布された所定の形状のガラス板Ｇが、搬送系４により処理容器３内に搬入される。エッチング液Ｌを各ノズル５から噴射させながら、処理容器３内の搬送コロ４１がガラス板Ｇを移動させて各ノズル５の上方を通過させる。この際、霧状になったエッチング液Ｌがガラス板Ｇの下面に付着する。これにより、ガラス板Ｇの下面が少しエッチングされる。
【００１９】
処理容器３内の搬送コロ４１は、ガラス板Ｇが各ノズル５の上方を通過した後、ガラス板Ｇを停止させ、今度は逆方向に移動させる（後退させる）。そして、再びガラス板Ｇが各ノズル５の上方を通過する際、霧状になったエッチング液Ｌが付着する。これにより、ガラス板Ｇの下面がさらに少しエッチングされる。処理容器３内の搬送コロ４１は、ガラス板Ｇを各ノズル５の上方を通過させた後、一旦停止させ、逆転させて再び搬送方向に移動させる（前進する）。このような往復運動を数回繰り返し、霧状のエッチング液Ｌを少しずつ付着させながら少しずつエッチングしていく。所定の深さのエッチングが行える回数だけ往復運動を行ったら、ガラス板Ｇは処理容器３から搬出される。その後、ガラス板Ｇは、不図示の洗浄機に搬入される。洗浄機では、純水がガラス板Ｇの表面に供給され、残留したエッチング液Ｌ等が洗い流される。尚、大きなガラス版Ｇを一括して加工し、その後切断して１つ１つの非固定側基板２２とすることがある。
【００２０】
このようなエッチング液Ｌを霧状に供給するミストエッチング法によると、エッチングされた面の平坦度が高くなる。ウェットエッチング法としては、対象物をエッチング液に浸けるディップ法が多く採用されるが、発明者の研究によると、ディップ法では平坦度が悪く、トップエミッション型有機ＥＬディスプレイパネルの非固定側基板の製造には採用できない。エッチング液を霧状にして付着させることでエッチングするミストエッチング法によると、トップエミッション型有機ＥＬディスプレイパネルの非固定側基板製造用として充分に平坦度の高いエッチングが行える。尚、前述したようにリブ２２０の内側面がテーパ面となるのは、ウェットエッチングによるためである。ウェットエッチングは等方的に進行するため、好適なテーパ面が得られる。
【００２１】
また、本実施形態では、ガラス板Ｇのエッチングする面を下側に向け、エッチング液Ｌを下方から噴射させて付着させている。この点も、平坦度の高いエッチングに貢献している。上方から噴射させるタイプであると、万が一、送液ポンプ６４の圧力等の異常により、ある程度の大きさの液滴が放出された場合に問題を生ずる。即ち、ある程度の大きさの液滴の状態でエッチング液が被エッチング面に付着してしまい、液滴が付着した箇所でエッチングが異常に多く進行し、平坦度が低下してしまう。下方から噴射させるタイプであると、このような問題はない。
【００２２】
上記構成に係る装置及び方法の細部について説明する。
エッチング液は、対象物であるガラス板Ｇの材質により若干異なるが、基本的にはフッ酸系である。例えば、森田化学株式会社から販売されているものが使用できる。ガラス板Ｇとしては、いわゆる青板や白板、ソーダライムガラス、ホウ珪酸ガラス等が考えられるが、フッ酸系のエッチング液ですべてエッチング可能である。
【００２３】
レジストは、フッ酸に対して耐食性があることが必要であるが、例えばフジ写真フィルムアーチ株式会社のＦＨ−８９０Ｋ等が使用できる。レジストの塗布は、例えばスクリーン印刷等の周知の方法を採用することができる。
エッチング液を霧状に噴射するノズル５の孔の大きさは、例えば幅（図３にＷで示す）は、８０〜１５０ｍｍ程度、長さ（図３にＬｇで示す）は、１００〜１５０ｍｍ程度で良い。噴射圧力は、０．１５ＭＰａ〜０．２５ＭＰａ程度で良い。
【００２４】
上記実施形態では、ガラス板Ｇを移動させながらエッチング液Ｌを均一に供給したが、静止したガラス板Ｇに対して、ガラス板Ｇに平行な面内でノズル５を移動させるようにしてもよく、ガラス板Ｇの移動とノズル５の移動とを併用したりしても良い。
尚、有機ＥＬディスプレイの構成としては、ＲＧＢの三色のＥＬ素子部を個別に形成したもの、青色のＥＬ素子部と色変換膜の組み合わせでＲＧＢの各色を発光させるもの、白色のＥＬ素子部とカラーフィルタの組み合わせたもののいずれでも良い。
また、上記実施形態では、トップエミッション型を採り上げたが、本願発明は、ボトムエミッション型についても実施できる。この場合でも、パッケージを構成する非固定側基板の加工がサンドブラスト法でなく、ウェットエッチング法により行われるので、強度上の問題や耐久性の点での問題が生じないという効果が得られる。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明した通り、本願の請求項１記載の有機ＥＬディスプレイパネルによれば、パッケージを構成する非固定側基板の加工がサンドブラスト法でなく、ウェットエッチング法により行われるので、強度上の問題や耐久性の点での問題が生じない。
また、請求項２記載の有機ＥＬディスプレイパネルによれば、上記効果に加え、トップエミッション型であるため、光の利用効率が高い。従って、小消費電力でありながら明るい画像が得られる。また、非固定側基板は、ＥＬ素子部からの光を透過させる面を底面とする凹部が、エッチング液を霧状にして供給することで行うエッチングにより形成されているので、凹部底面の平坦度が高い。このため、画質ムラやチラツキの無い高品質の画像が表示できる。
また、請求項３記載の方法又は請求項５記載の装置によれば、上記請求項１の効果を有する有機ＥＬディスプレイパネルを製造することができる。
また、請求項４記載の方法又は請求項６記載の装置によれば、上記請求項２の効果を有する有機ＥＬディスプレイパネルを製造することができる。
また、請求項７記載の装置によれば、ノズルが下方からエッチング液を噴射させてガラス板に供給するので、さらに平坦度の高いエッチングが行える。このため、画質ムラやチラツキがさらに低減した高品質の画像表示に貢献できる。
また、請求項８記載の発明によれば、ノズル又はガラス板を相対的に移動させる移動機構が設けられているので、より均一なエッチング液の供給が行える。このため、画質ムラやチラツキがさらに低減した高品質の画像表示に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の有機ＥＬディスプレイパネルの断面概略図である。
【図２】実施形態に係る非固定側基板の製造装置の概略構成を示す図である。
【図３】図２に示すノズル５の形状について示した斜視図である。
【図４】各噴射孔５０が、ガラス板Ｇに対してエッチング液Ｌが均一に供給されるようにしている点を示した図である。
【図５】現状の有機ＥＬディスプレイパネルの断面概略図である。
【図６】トップエミッション型の有機ＥＬディスプレイパネルの断面概略図である。
【符号の説明】
１  ＥＬ素子部
２  パッケージ
２１  固定側基板
２２  非固定側基板
３  処理容器
４  搬送系
４１  搬送コロ
５  ノズル
５０  噴射孔
６  エッチング液供給系
Ｇ  ガラス板
Ｌ  エッチング液
【図１】
2004186042.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004186042.tif 000005
【図４】
2004186042.tif 000006
【図５】
2004186042.tif 000007
【図６】
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