(57)【要約】【課題】ＭＲヘッドのノイズに対して測定効率がよくかつ測定精度を向上することができ、あるいはＭＲヘッドのノイズ、特に、その読出信号のベースラインのポッピングノイズやピークノイズを定量的に測定きる磁気ヘッドのノイズ特性測定方法および測定装置を提供することにある。【解決手段】この発明は、１トラックの読出信号の平均値を検出して、この平均値を基準としてＭＲヘッドから得られる読出信号の正極側のピークあるいは負極側のピークを検出して検出されたピークの位置から所定時間遅延させてウインドパルスを発生させ、このウインドパルスによるウインドーの範囲における読出信号のレベルが平均値を基準として生成した検出レベル以上になる個数をトラックについて検出しかつ検出レベルを変化させて検出レベル対個数について特性を測定することにより磁気ヘッドのノイズ特性を得るものである。【選択図】　　　図１
2004145986.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＭＲヘッドを有する磁気ヘッドのノイズ特性を測定するノイズ特性測定方法において、
１トラック分の読出信号の平均値を検出して、この平均値を基準として前記ＭＲヘッドから得られる読出信号の正極側のピークあるいは負極側のピークを検出して検出されたピークの位置から所定時間遅延させてウインドパルスを発生させ、このウインドパルスによるウインドーの範囲における前記読出信号のレベルが前記平均値を基準として生成した検出レベルと等しいか、絶対値として前記検出レベルを越える個数を前記トラックあるいは所定のトラックについて検出しかつ前記検出レベルを変化させて前記検出レベル対前記個数について特性を測定することにより磁気ヘッドのノイズ特性を得る磁気ヘッドのノイズ特性測定方法。
【請求項２】
前記ウインドーの範囲における検出は、１個とする請求項１記載の磁気ヘッドのノイズ特性測定方法。
【請求項３】
前記ピークの検出は、前記読出信号の正極側のピークおよび負極側のピークを検出するものであり、正極側および負極側ともに絶対値で前記平均値の５０％のレベルを超えたときにピークの検出が行われ、検出された負極側のピークに応じて発生する前記ウインドパルスにより正極側の読出信号のベース部分のレベルについての個数が検出され、検出された正極側のピークに応じて発生する前記ウインドパルスにより負極側の読出信号のベース部分のレベルについての個数が検出され、正極側と負極側について前記検出レベル対前記個数について特性がそれぞれ測定され、それぞれの特性からそれぞれに標準偏差あるいは平均値が算出されて、算出された標準と所定の標準偏差とが比較されあるいは算出された平均値が所定の範囲内か否かが判定されることで前記磁気ヘッドの良否が判定される請求項２記載の磁気ヘッドのノイズ特性測定方法。
【請求項４】
ＭＲヘッドを有する磁気ヘッドのノイズ特性を測定するノイズ特性測定装置において、
１トラック分の読出信号の平均値を検出する平均値手段と、
この平均値を基準として前記ＭＲヘッドから得られる読出信号の正極側のピークあるいは負極側のピークを検出するピーク検出回路と、
前記ＭＲヘッドから得られる読出信号のレベルが前記平均値を基準として生成した検出レベルと等しいか、あるいは前記検出レベルを絶対値として越えるレベルであることを検出するレベル検出回路と、
前記ピーク検出回路により検出されたピークの位置から所定時間遅延させてウインドパルスを発生するウインドパルス発生回路と、
このウインドパルスを受けてこのウインドパルスが示すウインドーの範囲における前記レベル検出回路の検出信号の個数をカウントするカウンタと、
このカウンタが前記トラックあるいは所定のトラックについて検出したカウント値を前記検出レベルを変化させて前記検出レベル対前記個数について特性を前記磁気ヘッドのノイズ特性として測定する処理装置とを備える磁気ヘッドのノイズ特性測定装置。
【請求項５】
前記ウインドーの範囲における検出は、１個とする請求項５記載の磁気ヘッドのノイズ特性測定装置。
【請求項６】
前記ピーク検出回路は、前記読出信号の正極側のピークおよび負極側のピークを検出するものであって、正極側および負極側ともに絶対値で前記平均値の５０％のレベルを超えたときにピークを検出するものであり、
前記レベル検出回路は、前記読出信号の正極側のレベルと負極側のレベルについてそれぞれの前記検出レベルと等しいか、あるいは絶対値においてそれぞれの前記検出レベルを越えているかを示す正極側と負極側の検出信号を発生するものであり、
ウインドパルス発生回路は、検出された負極側のピークに応じて第１のウインドパルスと検出された正極側のピークに応じて発生する第２のウインドパルスを発生し、
前記カウンタは、前記第１のウインドパルスと前記正極側の検出信号とにより正極側の検出信号の個数をカウントする第１のカウンタと前記第２のウインドパルスと前記負極側の検出信号とにより負極側の検出信号の個数をカウントする第２のカウンタとを有し、
前記処理装置は、前記第１および第２のカウンタのカウント値を受けて、正極側と負極側について前記検出レベル対前記個数について特性を得て、それぞれの特性からそれぞれに標準偏差あるいは平均値を算出して、算出された標準と所定の標準偏差とが比較されあるいは算出された平均値が所定の範囲内か否かが判定されることで前記磁気ヘッドの良否を判定する請求項５記載の磁気ヘッドのノイズ特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、磁気ヘッドのノイズ特性測定方法および測定装置に関し、詳しくは、ＭＲ／ＧＭＲ／ＴＭＲ型の磁気ヘッド（以下ＭＲヘッド）による磁気ヘッドのノイズ、特に、ＭＲヘッドのノイズに対して測定効率がよくかつ測定精度を向上することができ、あるいはその読出信号のベースラインのポッピングノイズやピークノイズを定量的に測定できるような磁気ヘッドのノイズ特性測定方法および測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来技術として、ベース部分を押し上げるベースラインのポッピングノイズに対応するものとしてＭＲヘッドのベースシフト検査装置が公知である（特許文献１）。しかし、これは、ベースラインに乗るノイズまでの検査はできない。
従来のピーク側のノイズ測定は、トラックアベレッジ電圧（ＴＡＡ電圧）の変動を測定することで行われるが、現在のディスクの高い記録密度からみれば、平均値での測定によるピーク側のノイズの測定精度はよくない。
一方、ハードディスク装置の磁気ヘッドは、近年、ＭＲヘッドを組み込んだ複合磁気ヘッドが用いられ、ディスクの記録密度は、数ギガ／インチと向上の一途を辿っていて、そのトラック数も１０，０００／インチ以上にもなり、読出信号のレベルも低くなっており、ＭＲヘッドのノイズの影響が問題となってきている。
このようなディスクの記録密度向上に対応して、高精度にＭＲヘッドのノイズ検査をするものとして、ＭＲヘッドの磁気ディスクテスタ（特許文献２）を利用して波形解析によりＭＲヘッドのノイズを測定することが考えられる。
この発明に対応する適切な従来技術がないので、これを参考にして、以下、この発明の課題について説明する。
【０００３】
【特許文献１】
特開平７−１９２２３２号公報
【特許文献２】
特開平１０−２２６８２号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
図５は、ＭＲヘッドの磁気ディスクテスタを利用した波形解析による磁気ヘッドテスタのブロック図である。
ハード磁気ディスク（以下単にディスク）１は、スピンドル２に装着されて回転する。このディスクの表裏あるいは表裏いずれかに検査対象となる磁気ヘッド３が装着される。その磁気ヘッド３は、サスペンションスプリング３１を介して支持アーム（図示せず）に支持されている。そして、キャリッジ機構６にそれぞれの支持アームが取付けられている。この磁気ヘッド３は、データ書込み用にインダクティブヘッドを、データ読出用にＭＲヘッドを有している。磁気ヘッド３は、キャリッジ機構６によりディスク１の半径の方向に沿って移動して、その表あるいは裏面の所定のトラックＴＲに位置決めされて電気的な性能の検査がなされる。
ここで、キャリッジ機構６とスピンドル２等の駆動系は、データ処理装置５により駆動制御回路６１が制御されて、駆動制御回路６１により磁気ヘッド３の移動やディスク１の回転が制御される。
磁気ヘッド３と支持アームとの関係は、磁気ヘッド３が支持アームの移動方向の延長線上に取付けられるものと、支持アームの移動方向に対して直角方向に取付けられるものとがあるが、図では延長線上に配置されるものを示してある。
【０００５】
図５において、まず、磁気ヘッド検査回路４のテスト信号発生回路４１が発生する周波数ｆ０のテスト信号ＳＴが書込制御回路４２に加えられる。このテスト信号ＳＴに従ってそれに対応するテストデータが書込制御回路４２で生成されて書込／読出アンプ４３に加えられる。生成されたテストデータは、書込／読出アンプ４３から所定のレベルの書込電流に換えられて磁気ヘッド３を介して磁気ディスク１の所定のトラックＴＲに順次書込まれる。
磁気ディスク１上にテストデータの書込みが終了すると、書込まれたテストデータは、磁気ヘッド３により順次に書込／読出アンプ４３を介して正相，逆相の２つの信号として読出され、レベル調整用アンプ（ＡＭＰ）４４に送出される。ここでレベル調整された２つの読出信号（それぞれが周波数ｆ０のテスト信号ＳＴに対応する信号）は、次にスライスレベル設定回路４５とピーク波形検出回路４６とに入力される。
【０００６】
スライスレベル設定回路４５は、１トラックの読出信号の平均値を作成するトラック平均値作成回路（ＴＡＡ作成回路）４５１とスライスレベル作成回路４５２とにより構成される。ＴＡＡ作成回路４５１は、トラック・アベレッジ・アンプリチュードと言われるものであり、ここでは読出信号１トラック分のピーク−ツウ−ピークの平均電圧値を発生する。なお、ＴＡＡの電圧値は、読出信号の正極側と負極側とで独立に算出される場合もある。
ＴＡＡ作成回路４５１は、例えば、包絡線検波回路とトラック１周積分回路、そしてピーク検出回路等により構成される（図示せず）。その出力であるＴＡＡの電圧値はスライスレベル作成回路４５２に送出される。スライスレベル作成回路４５２は、ＴＡＡ作成回路４５１の出力ＴＡＡのレベルに対して所定の％の電圧値を閾値（スライスレベル）として発生する。所定の％は、データ処理装置５のＭＰＵ５１から送出される％を設定する信号ＰＳによる。この回路で生成したスライスレベルは、正極側と負極側のピークに対して発生し、それぞれピーク波形検出回路４６に送出される。
【０００７】
ピーク波形検出回路４６は、ピーク波形増幅回路４６１とピーク波形記憶回路４６３とを有し、先のテスト信号発生回路４１から動作クロック信号としてクロックＴを受ける。
ピーク波形増幅回路４６１は、スライスレベル設定回路４５から所定の検査レベルを示す正極側のスライスレベルを受けて正極側のピークを検出して増幅する差動増幅回路４６１Ｐと、スライスレベル設定回路４５から所定の検査レベルを示す負極側のスライスレベルを受けて負極側のピークを検出して増幅する差動増幅回路４６１Ｎとからなる。
ピーク波形記憶回路４６３は、Ａ／Ｄ変換回路４６２を介してそれぞれの差動増幅回路４６１Ｐ，４６１Ｎの出力を受けてピーク部分７Ｐ，７Ｎ（図６参照）の波形をそれぞれに記憶する。データ処理装置５は、ＭＰＵ５１によりピーク波形記憶回路４６３から、これに記憶されたピーク部分７Ｐ，７Ｎを読出して所定の解析プログラムを実行してノイズ解析をする。
なお、この場合の波形の解析は、図６に示すような読出信号のピーク部分の波形を解析してピーク部分７Ｐ，７Ｎに所定のレベル以上のノイズが乗っているか否かを、その波形の形状から解析するものである。図６において、Ｒは、読出信号の波形（再生波形）であり、ＶｔｈＰ，ＶｔｈＮは、それぞれ検査のために設定される正極側，負極側のスライスレベルであり、ＴＡＡは、読出信号１トラック分のピーク−ツウ−ピークの平均電圧値である。
【０００８】
このようなＭＲヘッドの磁気ディスクテスタを利用した磁気ヘッドテスタによる波形記憶によるノイズ特性測定は、ピーク部分について常時発生するノイズについては高精度に測定することが可能であるが、ランダムに発生するノイズや、ピーク部分以外の読出信号の波形（読出波形）、特に読出波形のベース部分、すなわち、データ信号に対応するピークに対してこれ以外の信号部分に乗るピークノイズ、ベース部分を押し上げるベースポッピングノイズ、やピーク部分以外にランダムに乗るピークノイズまでも解析するとなると、波形のデータ量が多くなり、かつ、その波形部分、部分でノイズを解析することが必要になるため、測定処理に時間がかかるとともに解析それ自体が難しいものとなる。
もちろん、１トラック分の全読出信号の波形を記録して解析することも可能であるが、膨大な処理時間が要求される上に、それがどのようなノイズであるかの解析は難しいところである。
しかし、ピーク部分に定常的に乗るノイズの測定だけでは磁気ヘッド（ＭＲヘッド）の検査が追いつかなくなってきていて、より高い精度で磁気ヘッドを選別する検査の要請があるが、現在のところピーク部分以外でのノイズ特性測定について有効な方法が提案されていないのが現状である。しかも、前記のような波形解析を採用すると時間がかかる。さらに、前記したように、ピーク側の従来のノイズ測定は、ＴＡＡの変動により測定しているので測定精度が悪い。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点および前記の要請に応えるものであって、ＭＲヘッドのノイズに対して測定効率がよくかつ測定精度を向上することができる磁気ヘッドのノイズ特性測定方法および測定装置を提供することにある。
さらに、この発明の他の目的は、ＭＲヘッドのノイズ、特に、その読出信号（読出波形）のベースラインのポッピングノイズやピークノイズを定量的に測定できる磁気ヘッドのノイズ特性測定方法および測定装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、この発明の磁気ヘッドのノイズ特性測定方法および測定装置は、１トラック分の読出信号の平均値を検出して、この平均値を基準としてＭＲヘッドから得られる読出信号の正極側のピークあるいは負極側のピークを検出して検出されたピークの位置から所定時間遅延させてウインドパルスを発生させ、このウインドパルスによるウインドーの範囲における読出信号のレベルが前記の平均値を基準として生成した検出レベルと等しいか、絶対値として検出レベルを越える個数を前記のトラックあるいは所定のトラック（以下これらを検査トラックという）について検出しかつ検出レベルを変化させて検出レベル対個数について特性を測定することにより磁気ヘッドのノイズ特性を得るものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
このように、この発明では、負極側のピークあるいは正極側のピークから正極側あるいは負極側のいずれかのベース部分のノイズをウインドパルスを発生してそのウインド内で検出し、検出基準となる検出レベルを順次変化させていき、検出レベルを絶対値として超えた読出信号のレベルの個数を検査トラックにおいて検出レベル対個数の特性として得る。このことで、読出信号のピーク以外での磁気ヘッドの定常的なノイズ特性を物理量として測定することができる。
ところで、ＭＲヘッドの電流増幅特性やアンプの増幅特性が変化した場合には、読出信号の大きさが変わるが乗るノイズは、この信号の上であり、検出レベル対個数についての特性は、相対的に左右にシフトするだけである。その相対的にみた特性にはあまり変化がなく、その相対的な特性の形態は、読出信号に乗ったノイズの特性を物理的に表している。
その結果、ＭＲヘッドのノイズ、特に、その読出信号のベースラインのポッピングノイズやピークノイズを定量的に測定できる磁気ヘッドのノイズ特性測定方法および測定装置を容易に実現できる。
なお、検査トラックは、１トラック分の読出信号の平均値を検出したトラックの場合もあるが、その次のトラックであることも多く、必ずしも読出信号の平均値を検出したトラックとなる訳ではない。
【００１１】
【実施例】
図１は、この発明の磁気ヘッドのノイズ特性測定方法を適用した磁気ヘッドのノイズ特性測定装置の主要部のブロック図、図２は、その読出信号の波形に対するノイズ特性測定方法の説明図、図３は、ベース部分に乗るノイズ特性測定結果の説明図、そして図４は、ピーク部分に乗るノイズ特性測定結果の説明図である。なお、図５，図６と同一の構成要素は同一の符号で示し、それらの説明を割愛する。
読出信号のベース部分のノイズを測定するために、図１においては、図５のピーク波形検出回路４６に換えてノイズ検出回路４６０を設ける。
ノイズ検出回路４６０は、ピーク波形検出回路４６にさらにウインドパルス生成回路４６４と、レベル検出回路４６５、そしてノイズカウント回路４６６とを加えたものである。
なお、図１では、図５の磁気ヘッド検査回路４のテスト信号発生回路４１と、書込制御回路４２、書込／読出アンプ４３、そして機構系、機構制御系のキャリッジ機構６、スピンドル２、ディスク１、駆動制御回路６１等の記載は省略し、この発明に関係のある回路部分を主体として示してある。
【００１２】
ウインドパルス生成回路４６４は、正極側の回路として、アンプ（ＡＭＰ）４４から得られる読出信号Ｒと、スライスレベル設定回路４５から正極側のＴＡＡのレベルの５０％のスライスレベル（５０％ＰＯＳ）とを受けて正極側のピークを比較するコンパレータ４６４Ｐ、コンパレータ４６４Ｐから正極側のピーク検出パルスを受けてこれを遅延時間Ｔｄ分遅延させる遅延回路４６４ＰＤ、そしてこれから遅延パルスを受けて読出波形のベースライン部分でウインドーを発生する負極側のウインドパルス発生回路４６４ＮＷを有している。
さらに、ウインドパルス生成回路４６４は、負極側の回路として、アンプ（ＡＭＰ）４４から得られる読出信号Ｒと、スライスレベル設定回路４５から負極側のＴＡＡのレベルの５０％のスライスレベル（５０％ＮＥＧ）とを受けて負極側のピークを比較する負極側のピークのコンパレータ４６４Ｎ、コンパレータ４６４Ｎから負極側のピーク検出パルスを受けてこれを遅延時間Ｔｄ分遅延させる遅延回路４６４ＮＤ、そしてこれから遅延パルスを受けて読出波形のベースライン部分でウインドーを発生する正極側ウインドパルス発生回路４６４ＰＷを有している。
【００１３】
レベル検出回路４６５は、スライスレベル設定回路４５から所定の検査レベルを示す正極側のスライスレベルを受けて読出信号Ｒの正極側の信号レベルがスライスレベルを越えたときに検出信号を発生するコンパレータ４６５Ｐと、スライスレベル設定回路４５から所定の検査レベルを示す負極側のスライスレベルを受けて読出信号Ｒの負極側の信号レベルがスライスレベル未満となったときに（絶対値でスライスレベルを越えたときに）検出信号を発生するコンパレータ４６５Ｎとからなる。
ノイズカウント回路４６６は、ワンショット回路４６６ＳＰ，４６６ＳＮ，ベースノイズカウンタ４６６ＣＰ，４６６ＣＮとからなる。
ワンショット回路４６６ＳＰは、コンパレータ４６５Ｐからの検出信号を受けて所定のパルス幅のパルスを検出信号として発生してベースノイズカウンタ４６６ＣＰに加える。ワンショット回路４６６ＳＮは、コンパレータ４６５Ｎからの検出信号を受けて所定のパルス幅のパルスを検出信号として発生してベースノイズカウンタ４６６ＣＮに加える。
【００１４】
これらワンショット回路４６６ＳＰ，４６６ＳＮは、ウインドー内での検出信号を１個として扱うために設けられたものであり、ワンショット期間内に検出信号がさらに発生してもそれを排除して検出信号を１個発生するものである。したがって、前記のワンショット回路が発生するパルスの所定のパルス幅、すなわち、ワンショット期間は、正極側と負極側のそれぞれのウインドー期間にほぼ対応している。
ベースノイズカウンタ４６６ＣＰは、ワンショット回路４６６ＳＰを介した検出信号を受けてこれをカウントし、ベースノイズカウンタ４６６ＣＮは、ワンショット回路４６６ＳＮを介した検出信号を受けてこれをカウントする。これらベースノイズカウンタ４６６ＣＰ，４６６ＣＮによる１トラック分のカウント値は、データ処理装置５のＭＰＵ５１に読込まれる。
データ処理装置５は、ＭＰＵ５１とメモリ５２とインタフェース５３、そしてディスプレイ５４等がバス５５を介して相互に接続されていて、メモリ５２には、スライスレベル可変レベル検出プログラム５２ａとノイズ特性表示プログラム５２ｂ、磁気ヘッド良否判定プログラム５２ｃ、そしてピーク波形記憶回路４６３の波形データからノイズを解析するノイズ解析プログラム５２ｄ等が格納され、作業領域５２ｅを有している。
【００１５】
次に、ノイズ特性の検出動作について説明すると、まず、ウインドパルス生成回路４６４のコンパレータ４６４Ｐは、図２（ａ）に示すように、アンプ（ＡＭＰ）４４から得られる読出信号Ｒを受けて正極側のＴＡＡ（ＰＯＳ）のレベルを基準としてこれの５０％のスライスレベルＰＯＳ５０％を越えた読出信号のレベルに対応して検出パルスＰ（図２（ｂ）参照）を発生する。
検出パルスＰは、遅延回路４６４ＰＤで遅延されて負極側ウインドパルス発生回路４６４ＮＷに入力され、負極側ウインドパルス発生回路４６４ＮＷが読出波形のベースライン部分に対応するウインドパルスＮＷを発生する（図２（ｃ）のＮｅｇウインドー参照）。なお、遅延時間Ｔｄは、読出波形のベースライン部分でウインドパルスＮＷが発生するような値に設定されている。
負極側も同様に、コンパレータ４６４Ｎは、図２（ａ）に示すように、アンプ（ＡＭＰ）４４から得られる読出信号Ｒから負極側のＴＡＡ（ＮＥＧ）の５０％のスライスレベルＮＥＧ５０％よりも低下した（絶対値として越えた）読出信号のレベルに対応して検出パルスＮ（図２（ｃ）のＰｏｓウインドー参照）を発生する。この検出パルスＮは、遅延回路４６４ＮＤで遅延されて正極側のウインドパルス発生回路４６４ＰＷが読出波形のベースライン部分に対応してウインドパルスＰＷを発生する。なお、負極側の遅延時間Ｔｄは、正極側の遅延時間Ｔｄと等しくなくてもよいが、読出波形のベースライン部分でウインドパルスＰＷが発生するような値に選択される。
ところで、負極側のコンパレータ４６４Ｎは、実際には読出信号Ｒを反転させた信号を受けるので、その検出形態はコンパレータ４６４Ｐと同じになるが、図２（ａ）では、負極側について反転波形を別に示していないので、図２（ａ）に合わせて前記のような説明としている。
【００１６】
ベースノイズカウンタ４６６ＣＰは、ウインドパルスＰＷを受けてこのウインドパルスが発生している期間のワンショット回路４６６ＳＰからの検出信号を受けてそれを１トラック分カウントする。ベースノイズカウンタ４６６ＣＮは、ウインドパルスＮＷを受けてこのウインドパルスの発生している期間のワンショット回路４６６ＳＮからの検出信号を受けてそれを１トラック分カウントする。
これらベースノイズカウンタカ４６６ＣＰ，４６６ＣＮのカウント値は、ＭＰＵ５１に読込まれた後にリセットされる。それは、ＭＰＵ５１からのリセット信号ＲＳによる。このリセットがされた後に、次の検出レベル（スライスレベル）がＭＰＵ５１によりスライスレベル設定回路４５を介して設定されて、この検出レベルに応じて次の１トラック部の検出信号をベースノイズカウンタ４６６ＣＰ，４６６ＣＮがそれぞれにカウントする。
このようにしてコンパレータ４６５Ｐ，４６５Ｎに設定された正極側，負極側の検出レベル（ＴＡＡのレベルに対して所定の％で設定されたスライスレベル）ごとに１トラック分のベース部分のレベルのカウント値がベースノイズカウンタカ４６６ＣＰ，４６６ＣＮで検出されてＭＰＵ５１にその都度読込まれる。
なお、ここでは、コンパレータ４６５Ｐ，４６５Ｎに設定される検出レベルは、データ処理装置５の制御により低いレベルから順次増加させる制御がなされて順次設定されていく。しかし、逆に検出レベルを順次減少させるものであってもよい。
【００１７】
データ処理装置５のメモリ５２に記憶されたスライスレベル可変レベル検出プログラム５２ａは、ＭＰＵ５１により実行され、ＭＰＵ５１は、コンパレータ４６５Ｐ，４６５Ｎに設定する検出レベルを順次変化させて設定し、それぞれの検出レベルに応じて得られるベースノイズカウンタ４６６ＣＰ，４６６ＣＮのカウント値を採取する。
ＭＰＵ５１は、このプログラムを実行して、インタフェース５３を介して正極側，負極側の検出レベル（設定スライスレベル）をＴＡＡのレベルの、例えば、１０％で設定して１０％から５％づつ順次増加させていき、増加させた各検出レベルごとにトラック１周分のノイズカウントデータをベースノイズカウンタカ４６６ＣＰ，４６６ＣＮから読込む。それぞれの読込んだデータをメモリ５２の作業領域５２ｅに検出レベル（設定スライスレベル）に対応させて順次記憶していく。
ノイズ特性表示プログラム５２ｂは、ＭＰＵ５１により実行され、ＭＰＵ５１は、図３（ａ），（ｂ）に示されるように、作業領域５２ｅのデータから読出信号Ｒのレベルについての検出レベル対検出個数の分布グラフをディスプレイ５４（図１参照）上に表示する。なお、図３は、ベース部分に乗るノイズ特性測定結果の説明図である。
図３（ａ），（ｂ）に示されるグラフは、縦軸が検出された個数、横軸がＴＡＡのレベルに対する設定スライスレベルの％、すなわち、検出レベルである。これらのデータは、正極側ノイズ（Ｐ側）と負極側ノイズ（Ｎ側）の特性に対応するものとして検出レベル対検出個数のデータとして作業領域５２ｅにすでに記憶されている。
さらに、ＭＰＵ５１は、作業領域５２ｅに採取した検出レベル対検出個数のデータに対して、それを微分して、微分したデータからＰ側とＮ側について標準偏差σあるいは３σを算出して作業領域５２ｅに記憶するとともに、算出した標準偏差に基づいて、図３（ｃ），（ｄ）に示されるような分布グラフをディスプレイ５４上に表示する。
【００１８】
ここで、図３（ａ），（ｂ）に示される特性について説明すると、ＭＲヘッドの電流増幅特性やアンプの増幅特性が磁気ヘッド（ＭＲヘッド）の読出特性に応じて変化した場合には、図２（ａ）に示す読出信号Ｒの振幅レベルが変化し、ベース部分のレベルあるいはピークレベルは上下にシフトするが、これに乗っているノイズは、シフトした特性の上に乗って同様な比率で変化するので、検出レベル（スライスレベル）を変化させた場合に検出レベルに応じて検出される読出信号Ｒのウインドー範囲の個数は、個数が検出される開始時点と個数が検出されなくなる終了時が多少広がるだけであって、全体的にみた相対的な検出個数のグラフ特性にはあまり変化がない。
このとき、外乱の影響によるノイズが含まれていたとしても、ここで、１トラック分の検出レベル対検出個数のデータを採れば、外乱の影響は平均化される。
【００１９】
その結果、ＭＲヘッドの電流増幅特性やアンプの増幅特性が変化した場合のベース部分の波形は上下にシフトするだけであり、スライスレベル（検出レベル）を変化させて採取した検出レベルを越えた読出信号のレベルの個数の特性グラフにおける、その相対的なグラフの傾斜形状は、そのときに磁気ヘッドにより生成されるノイズの特性を保持している。
言い換えれば、ＭＲヘッドの電流増幅特性やアンプの増幅特性が変化した場合には、図３（ａ），（ｂ）において、特性が相対的に多少左右にシフトするだけであり、その形態には大きな変化はなく、グラフの相対的な形態は、読出信号に乗ったノイズの特性を物理的に表している。それを１トラック分平均化した状態で採取すれば外乱の影響が抑制されて、磁気ヘッドのノイズ特性を表すものとして扱うことができる。そこで、この特性の標準偏差を採ることで、読出信号のベース部分のノイズ特性を測定することができ、磁気ヘッド（ＭＲヘッド）の良否を判定することが可能になる。
ところで、磁気ヘッド（ＭＲヘッド）の良否を判定は、標準偏差σだけでなく、平均値μによっても可能である。例えば、図３（ａ）に示すＰ側分布を標準的な良品の磁気ヘッドとすれば、これの平均値μ（＝２０％）を基準として所定の範囲、例えば、２０％を基準値として、これに対して±１０％の範囲を磁気ヘッドが良となる判定範囲として設定して検査磁気ヘッドにつてい算出された平均値μを判定することでもよい。
なお、この平均値μと磁気ヘッドの特性との関係については、図４において別途説明する。
【００２０】
磁気ヘッド良否判定プログラム５２ｃは、ＭＰＵ５１により実行され、ＭＰＵ５１は、ノイズ特性表示プログラム５２ｂの実行により算出されたσあるいは３σを作業領域５２ｅから読み出してあらかじめ記憶されている所定の標準偏差（σあるいは３σに対応する比較基準値）と比較して算出された標準偏差σが所定値以上のとき、例えば、図３（ｄ）に示すような状態のときにノイズ異常の磁気ヘッドとして不合格と判定する。
なお、比較対象となる標準偏差の所定値（σあるいは３σに対応する比較基準値）は、不合格となった磁気ヘッドについて前記の測定により標準偏差を算出して、その結果から求めたものである。
ところで、以上のスライスレベルの設定とその変更から設定レベルを越えたレベルの個数の採取、判定処理等は、順次行われるものであり、単純な処理と表示処理、統計処理であるので、前記説明で処理の流れが理解できると思われる。したがって、ここでは処理の全体的なフローチャートは割愛する。
さらに、ノイズ解析プログラム５２ｄの処理についても先に課題のところで説明しかつ一般的なものであるので割愛する。
【００２１】
スライスレベルを変化させて、スライスレベルを超えたレベルの個数をカウントする前記のベース部分に乗るノイズ特性測定は、ピーク部分に乗るノイズの特性測定にもそのまま適用できる。
説明の都合上、図５との関係で図１では、ピーク波形記憶回路４６３を有するピーク波形検出回路４６を設けているが、必ずしも、この発明では、ピーク波形検出回路４６を設ける必要はない。
それは、ピーク部分に対してスライスレベルを変動させて同様な個数を得ればよいからである。例えば、図２には、読出波形の後半の波形として１００％を越えたピークを持つＰ側の波形が記載してある。このような波形に対してピークを検出するスライスレベルを、ピーク波形検出回路４６を削除した前記の図１の回路において、例えば、８０％〜１５０％の範囲で変化させていくことで可能である。
図４は、スライスレベルを８０％〜１５０％の範囲で変化させたときの、ピーク部分に乗るノイズ特性測定結果の説明図である。
図４（ａ）〜（ｄ）は、図３（ａ）〜（ｄ）に対応していて、ピーク部分に乗るノイズの特性測定結果は、これら各図において、実線で示す波形が良品の磁気ヘッド（ＭＲヘッド）の基準となる特性であり、点線で示す波形が不良品の磁気ヘッドの一例である。
標準偏差σについてのＰ側分布は、不良品の磁気ヘッドでは点線で示すように大きな値となっている。また、不良品の磁気ヘッドでは、図３で説明した平均値μについては、不良品の磁気ヘッドでは、点線で示すように、１１５％と良品である１００％＋１０％＝１１０％の上限値を越えている。
標準偏差σについてのＮ側分布は、不良品の磁気ヘッドでは点線で示すようにさらに大きな値となっている。ただし、不良品の磁気ヘッドの平均値μについては実質的に変化はなく、良品と同等である。
このように不良品ヘッドは、標準偏差σについてばかりでなく、Ｐ側分布あるいはＮ側分布のいずれかで平均値μが基準値となる平均値μの±１０％の範囲を越える値となったとき、不良と判定できる。
なお、この平均値μの±１０％の範囲は、検査する磁気ヘッドの特性に応じて適宜選択されるものである。
【００２２】
以上説明してきたが、実施例では、読出信号の正極側のピークおよび負極側のピークを検出して、正極側および負極側ともに絶対値で平均値（ＴＡＡ）の５０％のレベルを超えたときにピークの検出が行われているが、ピークの検出は、正極側あるいは負極側のいずれかだけであってもよく、検出レベルの基準は、平均値（ＴＡＡ）の５０％に限定されるものではない。
また、実施例では、検出された負極側のピークから発生するウインドパルスにより正極側の読出信号のベース部分のノイズが検出され、検出された正極側のピークから発生するウインドパルスにより負極側の読出信号のベース部分のノイズが検出されているが、正極側あるいは負極側のいずれか一方のベース部分のノイズに対して検出が行われ、検出レベル対検出個数の特性が採取さればよい。
さらに、読出信号Ｒに対してウインドパルスの発生させる位置は、遅延回路４６４ＰＤ，４６４ＮＤの遅延時間Ｔｄを可変として外部から設定できるようにすれば、読出信号Ｒの任意の位置でのノイズ特性が測定できることはもちろんである。
また、実施例では、前記のベース部分に乗るノイズ特性測定について、Ｎ側分布では、負側でスライスレベルを変化させて、Ｐ側分布では、正側でスライスレベルを変化させているが、負側のベースラインのポッピングノイズが正側に現れることもあり、逆に正側のベースラインのポッピングノイズが負側に現れることもある。そこで、負側のスライスレベルの変化を正極から“０”、そして負側に変化させるようにし、正側のスライスレベルの変化を負極から、“０”、そして負側に変化させるようにしてもよい。この場合には、負側のスライスレベルの正極側での検出個数は、負側のものとして負側のカウンタでカウントし、正側のスライスレベルの負極側での検出個数は、正側のものとして正側のカウンタでカウントするようにする。
さらに、実施例では、ワンショット回路４６６Ｓを設けて、ウインドー内での検出信号を１個に制限しているが、１トラック分の検出をしているので、この発明では、検出信号の数を、ウインドー内で１個に制限する必要はない。
【００２３】
【発明の効果】
以上の説明のとおり、この発明では、負極側のピークあるいは正極側のピークから正極側あるいは負極側のいずれかのベース部分のノイズをウインドパルスを発生してそのウインドー内で検出し、検出基準となる検出レベルを順次変化させていき、検出レベルを絶対値として超えた読出信号のレベルの個数を検査トラックにおいて検出レベル対個数の特性として得る。このことで、読出信号のピーク以外での磁気ヘッドの定常的なノイズ特性を物理量として測定することができる。
その結果、ＭＲヘッドのノイズ、特に、その読出信号のベースラインのポッピングノイズやピークノイズを定量的に測定できる磁気ヘッドのノイズ特性測定方法および測定装置を容易に実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明の磁気ヘッドのノイズ特性測定方法を適用した磁気ヘッドのノイズ特性測定装置の主要部のブロック図である。
【図２】図２は、読出信号に対するノイズ特性測定方法の説明図である。
【図３】図３は、そのノイズ特性測定結果の説明図である。
【図４】図４は、ピーク部分に乗るノイズ特性測定結果の説明図である。
【図５】図５は、ＭＲヘッドの磁気ディスクテスタを利用した波形解析による磁気ヘッドテスタのブロック図である。
【図６】図６は、図５におけるテスタの磁気ヘッドの読出信号の説明図である。
【符号の説明】
１…磁気ディスク、２…スピンドル、
３…磁気ヘッド、
４…磁気ヘッド検査回路、４１…テスト信号発生回路、
４２…書込制御回路、４３…書込／読出アンプ、
４４…レベル調整用アンプ（ＡＭＰ）、
４５…スライスレベル設定回路、
４６…ピーク波形検出回路、
４５１…トラック平均値作成回路（ＴＡＡ作成回路）、
４５２…スライスレベル作成回路、４６０…ノイズ検出回路、
４６１…ピーク波形増幅回路、４６１Ｐ，４６１Ｎ…差動増幅回路、
４６５…レベル検出回路、４６５Ｐ，４６５Ｎ…コンパレータ、
４６２…Ａ／Ｄ変換回路、
４６３…ピーク波形記憶回路、
４６４ＰＤ，４６４ＮＤ…遅延回路、
４６４…ウインドパルス生成回路、４６６…ノイズカウント回路、
４６６ＳＰ，４６６ＳＮ…ワンショット回路、
４６４ＰＷ，４６４ＮＷ…ウインドパルス発生回路、
４６６ＣＰ，４６６ＣＮ…ベースノイズカウンタ、
５…データ処理装置、
５１…ＭＰＵ、５２…メモリ、
５２ａ…スライスレベル可変レベル検出プログラム、
５２ｂ…ノイズ特性表示プログラム、
５２ｃ…磁気ヘッド良否判定プログラム、
５２ｄ…ノイズ解析プログラム、
５２ｅ…作業領域、５３…インターフェース、
５４…ディスプレイ、
６…キャリッジ機構、
６１…駆動制御回路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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