(57)【要約】【課題】単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ内の粉塵が外部に飛散するのを抑制することができる単結晶引上装置の粉塵除去装置および方法を提供する。【解決手段】単結晶引上装置のチャンバ１０周囲を覆う遮蔽手段と、この遮蔽手段によって覆われた空間Ｓ内に外気を供給する給気手段と、空間Ｓ内の空気を外部に排出する排気手段とを備える。この排気手段には、空間Ｓ内の空気を外部に排出する前段階で当該空気中に含まれる粉塵を捕集するＨＥＰＡフィルタ３２が設けられている。【選択図】        図１
2004224606.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶引上装置のチャンバ周囲を覆う遮蔽手段と、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給する給気手段と、上記空間内の空気を外部に排出する排気手段とを備えてなり、
上記排気手段には、上記空間内の空気を外部に排出する前段階で当該空気中に含まれる粉塵を捕集するフィルタが設けられていることを特徴とする単結晶引上装置の粉塵除去装置。
【請求項２】
上記排気手段は、上記空間内の空気を吸引する吸込みフードを有し、この吸込みフードが上記チャンバの近傍に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
【請求項３】
上記吸込みフードは、排気用ファンの吸引側に可撓管を介して接続されていることを特徴とする請求項２に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
【請求項４】
上記給気手段は、上記空間内に外気を送り込む給気用ファンを有し、この給気用ファンの吐出口と上記吸込みフードとが上記空間内で上記チャンバを挟むように対向配置されていることを特徴とする請求項２または３に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
【請求項５】
上記給気用ファン、上記排気用ファンおよび上記吸込みフードは、何れも水平方向に移動自在な状態で保持されていることを特徴とする請求項４に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
【請求項６】
上記単結晶引上装置には、そのチャンバ内に供給された不活性ガスを排気するための排気設備が備えられ、
この排気設備は、上記チャンバに接続された排気管と、この排気管を介して上記チャンバ内の不活性ガスを吸引する真空ポンプとからなり、
上記排気管の途中には、クリーニング用の排気ラインが接続され、この排気ライン上には、上記排気管内の気体を上記排気ラインに導入するための吸引ポンプが設けられるとともに、上記排気ラインを流れる気体中の粉塵を分離するサイクロンが設けられ、上記吸引ポンプの吸引流量が調整可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
【請求項７】
上記給気手段は、上記吸引ポンプの吸引流量に応じて、上記空間内に供給する外気の流量を調整可能となっていることを特徴とする請求項６に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
【請求項８】
上記給気手段には、上記空間内に送り込む外気中の粉塵を捕集するフィルタが設けられていることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
【請求項９】
上記遮蔽手段として、無帯電性の合成樹脂シートを用いたことを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置。
【請求項１０】
単結晶引上装置のチャンバ周囲を遮蔽手段で覆い、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給すると同時に、上記空間内の空気を吸引して外部に排出し、当該空気を外部に排出する過程で、当該空気中に含まれる粉塵をフィルタにより除去するようにしたことを特徴とする単結晶引上装置の粉塵除去方法。
【請求項１１】
上記単結晶引上装置の解体清掃を上記空間内で行うようにしたことを特徴とする請求項１０に記載の単結晶引上装置の粉塵除去方法。
【請求項１２】
上記チャンバ内の不活性ガスを排気する排気管内に外気を導入して、上記排気管内および上記チャンバ内の粉塵を燃焼させた後に、上記単結晶引上装置の解体清掃を行うようにしたことを特徴とする請求項１１に記載の単結晶引上装置の粉塵除去方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、単結晶引上装置の解体清掃時等に用いて好適な粉塵除去装置および方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、単結晶引上装置のチャンバ内に供給された不活性ガス（Ａｒガスなど）を排気する排気設備として、例えば図３に示すような排気設備が知られている。
この排気設備は、チャンバ１０の下端部に接続された排気管１４と、この排気管１４を介してチャンバ１０内の不活性ガスを吸引する真空ポンプ１５Ａとを備えている。チャンバ１０は、所定の清浄度に保たれたクリーンルーム１１内に設置される一方、真空ポンプ１５Ａは、クリーンルーム１１と隣接するポンプ室１２等に設置されている。
また、チャンバ１０の上部には、チャンバ１０内に不活性ガスを供給する給気設備の給気管（図示省略）が接続されており、この給気設備によりチャンバ１０内に不活性ガスが供給されている状態において上記真空ポンプ１５Ａが作動することにより、チャンバ１０内に、所定経路に沿った不活性ガスの流れが形成されるようになっている。
【０００３】
一方、チャンバ１０内には、シリコン融液が貯留された石英ルツボが配設されており、この石英ルツボ内の融液に種結晶を浸して、種結晶および石英ルツボを逆方向に回転させながら、種結晶を徐々に引き上げることにより、その下にシリコンの単結晶が育成されるようになっている。この単結晶の育成中には、石英ルツボに含まれる酸素とシリコン融液とが結合してシリコン酸化物（ＳｉＯ、ＳｉＯ２  ）が生成され、このシリコン酸化物が気化して上記不活性ガスの流れに沿って進行する過程で冷却されることにより、粉塵となってチャンバ１０の内壁面やチャンバ１０内の各部材の表面、排気管１４の内壁面等に付着し、これが時間の経過とともに徐々に堆積するようになっている。
【０００４】
このため、上記のような不活性ガスの排気設備には、例えば図３に示すようなクリーニング装置が設けられている（例えば特許文献１参照）。
このクリーニング装置においては、上記排気管１４の途中に、管内を流れる不活性ガス中の粉塵を分離する第１サイクロン１６が設けられ、この第１サイクロン１６下端のダストチャンバ１６ａには、クリーニング用の排気ライン１８の一端が接続されている。この排気ライン１８の他端側には図示省略のスクラバが設けられ、このスクラバと第１サイクロン１６との間には、第２サイクロン１７Ａと吸引ポンプ１７Ｂとを直列に接続してなるクリーニングユニット１７が設けられている。
【０００５】
上記構成からなるクリーニング装置において、上記排気管１４のクリーニングを行う際には、チャンバ１０内を大気に開放した後に、排気ライン１８の一端を第１サイクロン１６下端のダストチャンバ１６ａに接続し、この状態で吸引ポンプ１７Ｂを駆動する。その際に、吸引ポンプ１７Ｂによる吸引流量を段階的に又は徐々に大きくすることにより、排気管１４内等に堆積した粉塵を徐々に燃焼させ、それら粉塵が完全に燃焼した後で、吸引ポンプ１７Ｂによる吸引流量を増大させることにより排気管１４内等から粉塵を剥離させて、これを第１および第２サイクロン１６、１７Ａにより分離・捕集する。このため、上記構成からなるクリーニング装置によれば、排気管１４内の急激な温度および圧力の上昇を伴わずに、排気管１４内に堆積した粉塵の殆ど全てを短時間で容易かつ安全に除去することができる。すなわち、吸引ポンプ１７Ｂによる吸引力が強い場合には、粉塵が急激に燃焼して排気管１４内の温度および圧力が急激に上昇する虞があったが、上記構成からなるクリーニング装置によれば、このような現象の発生を防止することができる。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−２１９５９１号公報（第４頁〜第６頁、図４）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のクリーニング装置は、主に排気管１４内の粉塵を除去することを目的として設けられた装置であるため、当該装置だけでは、チャンバ１０の内壁面やチャンバ１０内の各部材等に付着した粉塵を完全に取り除くことができなかった。
このため、単結晶引上装置の解体清掃時には、チャンバ１０内の粉塵が外部に飛散して、クリーンルーム１１内の清浄度が悪化するとともに、上記外部に飛散した粉塵が当該単結晶引上装置のチャンバ１０内やクリーンルーム１１内の他の単結晶引上装置のチャンバ内に侵入して、単結晶の品質を低下させたり歩留まりを悪化させたりするなど、単結晶の製造に悪影響を及ぼす虞があった。
【０００８】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ内の粉塵が外部に飛散するのを抑制することができる単結晶引上装置の粉塵除去装置および方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の本発明に係る単結晶引上装置の粉塵除去装置は、単結晶引上装置のチャンバ周囲を覆う遮蔽手段と、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給する給気手段と、上記空間内の空気を外部に排出する排気手段とを備えてなり、上記排気手段には、上記空間内の空気を外部に排出する前段階で当該空気中に含まれる粉塵を捕集するフィルタが設けられていることを特徴とするものである。
【００１０】
この請求項１に記載の発明によれば、単結晶引上装置のチャンバ周囲が遮蔽手段により覆われて、この遮蔽手段により覆われた空間内に給気手段により外気が供給されるとともに、排気手段により上記空間内の空気が外部に排出され、当該空気が外部に排出される前段階で、当該空気中に含まれる粉塵がフィルタにより除去されることとなるので、単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ内の粉塵が外部に飛散するのを抑制することができる。
したがって、単結晶引上装置が設置されたクリーンルーム内を所定の清浄度に保つことができ、その結果として、単結晶の品質を向上させ、歩留まりを改善することができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記排気手段は、上記空間内の空気を吸引する吸込みフードを有し、この吸込みフードが上記チャンバの近傍に配置されていることを特徴とするものである。
【００１２】
この請求項２に記載の発明によれば、吸込みフードがチャンバの近傍に配置されているので、チャンバ周囲の粉塵を容易かつ速やかに除去することができる。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記吸込みフードは、排気用ファンの吸引側に可撓管を介して接続されていることを特徴とするものである。
【００１４】
この請求項３に記載の発明によれば、吸込みフードが排気用ファンの吸引側に可撓管を介して接続されているので、吸込みフードや排気用ファンの設置位置や向きを調整するのが容易となる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項２または３に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記給気手段は、上記空間内に外気を送り込む給気用ファンを有し、この給気用ファンの吐出口と上記吸込みフードとが上記空間内で上記チャンバを挟むように対向配置されていることを特徴とするものである。
【００１６】
この請求項４に記載の発明によれば、給気用ファンの吐出口と吸込みフードとがチャンバを挟むように対向配置されているので、チャンバ近傍の粉塵を効率良く補集することができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記給気用ファン、上記排気用ファンおよび上記吸込みフードは、何れも水平方向に移動自在な状態で保持されていることを特徴とするものである。
【００１８】
この請求項５に記載の発明によれば、給気用ファン、排気用ファンおよび吸込みフードが何れも水平方向に移動自在な状態で保持されているので、各々を所望位置に設置するのが容易となる。また、複数の単結晶引上装置に対して、給気用ファン、排気用ファンおよび吸込みフードの各々を共用することができる。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記単結晶引上装置には、そのチャンバ内に供給された不活性ガスを排気するための排気設備が備えられ、この排気設備は、上記チャンバに接続された排気管と、この排気管を介して上記チャンバ内の不活性ガスを吸引する真空ポンプとからなり、上記排気管の途中には、クリーニング用の排気ラインが接続され、この排気ライン上には、上記排気管内の気体を上記排気ラインに導入するための吸引ポンプが設けられるとともに、上記排気ラインを流れる気体中の粉塵を分離するサイクロンが設けられ、上記吸引ポンプの吸引流量が調整可能に構成されていることを特徴とするものである。
【００２０】
この請求項６に記載の発明によれば、排気管の途中に、クリーニング用の排気ラインが接続され、この排気ライン上に、排気管内の気体を排気ラインに導入するための吸引ポンプが設けられるとともに、排気ラインを流れる気体中の粉塵を分離するサイクロンが設けられ、かつ上記吸引ポンプの吸引流量が調整可能に構成されているので、排気管内の急激な温度および圧力の上昇を伴わずに、排気管内やチャンバ内に堆積した粉塵を安全かつ容易に除去することが可能となる。
【００２１】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記給気手段は、上記吸引ポンプの吸引流量に応じて、上記空間内に供給する外気の流量を調整可能となっていることを特徴とするものである。
【００２２】
この請求項７に記載の発明によれば、吸引ポンプの吸引流量に応じて、上記空間内に供給する外気の流量を調整可能となっているので、外気が過剰に供給されて排気管やチャンバ内の圧力が急激に上昇するのを防止することができる。
【００２３】
請求項８に記載の発明は、請求項１〜７の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記給気手段には、上記空間内に送り込む外気中の粉塵を捕集するフィルタが設けられていることを特徴とするものである。
【００２４】
この請求項８に記載の発明によれば、上記空間内に送り込む外気中の粉塵をフィルタで除去するようにしたので、外部から上記空間内に粉塵や雑菌等が侵入するのを防止することができる。
【００２５】
請求項９に記載の発明は、請求項１〜８の何れかに記載の単結晶引上装置の粉塵除去装置において、上記遮蔽手段として、無帯電性の合成樹脂シートを用いたことを特徴とするものである。
【００２６】
この請求項９に記載の発明によれば、遮蔽手段として無帯電性の合成樹脂シートを用いるようにしたので、遮蔽手段に粉塵が付着するのを防止することができ、遮蔽手段を撤去する際に粉塵がクリーンルーム内に飛散するのを防止することができる。
【００２７】
請求項１０に記載の本発明に係る単結晶引上装置の粉塵除去方法は、単結晶引上装置のチャンバ周囲を遮蔽手段で覆い、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給すると同時に、上記空間内の空気を吸引して外部に排出し、当該空気を外部に排出する過程で、当該空気中に含まれる粉塵をフィルタにより除去するようにしたことを特徴とするものである。
【００２８】
この請求項１０に記載の発明によれば、単結晶引上装置のチャンバ周囲を遮蔽手段で覆い、この遮蔽手段によって覆われた空間内に外気を供給すると同時に、上記空間内の空気を吸引して外部に排出し、当該空気を外部に排出する過程で、当該空気中に含まれる粉塵をフィルタにより除去するようにしたので、チャンバ周囲の粉塵がクリーンルーム内に飛散するのを抑制することができる。
したがって、クリーンルーム内を所定の清浄度に保つことができ、その結果として、単結晶の品質を向上させ、歩留まりを改善することができる。
【００２９】
請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載の単結晶引上装置の粉塵除去方法において、上記単結晶引上装置の解体清掃を上記空間内で行うようにしたことを特徴とするものである。
【００３０】
この請求項１１に記載の発明によれば、単結晶引上装置の解体清掃を上記空間内で行うようにしたので、単結晶引上装置の解体清掃時にチャンバ内の粉塵がクリーンルーム内に飛散するのを抑制することができる。
【００３１】
請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載の単結晶引上装置の粉塵除去方法において、上記チャンバ内の不活性ガスを排気する排気管内に外気を導入して、上記排気管内および上記チャンバ内の粉塵を燃焼させた後に、上記単結晶引上装置の解体清掃を行うようにしたことを特徴とするものである。
【００３２】
この請求項１２に記載の発明によれば、排気管内に外気を導入して、排気管およびチャンバ内の粉塵を燃焼させた後に、単結晶引上装置の解体清掃を行うようにしたので、排気管やチャンバ内の急激な温度および圧力の上昇を伴わずに、排気管内やチャンバ内に堆積した粉塵を安全に除去することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
図１および図２は、本発明に係る単結晶引上装置の粉塵除去装置の一実施形態を示すもので、図中符号１０が単結晶引上装置のチャンバである。このチャンバ１０は、所定の清浄度に保たれたクリーンルーム１１内に設置され、このチャンバ１０の解体清掃時等には、その周囲が無帯電性の合成樹脂シート（遮蔽手段）２０によって覆われるようになっている。この合成樹脂シート２０は、支持枠によって内側から支持され、不使用時には折り畳めるように構成されている。
【００３４】
この合成樹脂シート２０によって覆われた空間Ｓ内には、給気用ファン２１が設置され、この給気用ファン２１の吸引側には、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ）フィルタ２２を介して外気取り込み用のホース２３が接続されている。この外気取り込み用のホース２３は、合成樹脂シート２０と床面１１ａとの間に形成される隙間、或いは合成樹脂シート２０に予め設けられた開口部を通って上記空間Ｓの外側へと延び、その先端部に外気取込口２３ａを有している。給気用ファン２１とＨＥＰＡフィルタ２２は、図２に示すように、キャスタ付きの昇降台２４上にそれぞれ載置されて、水平方向および鉛直方向の各々に移動可能な状態で保持されている。また、給気用ファン２１の吐出口２１ａ近傍には、整流用の溝部または突部が形成され、これら溝部または突部によって、吐出口２１ａから吐出される外気が全面ほぼ均一となるように構成されている。また、給気用ファン２１は、吸引ポンプ１７Ｂ（後述）の吸引流量に応じて、上記空間Ｓ内に供給する外気の流量を任意に調整可能となっている。これら給気用ファン２１、ＨＥＰＡフィルタ２２および外気取り込み用のホース２３等によって、上記空間Ｓ内に外気を供給する給気手段が構成されている。
【００３５】
さらに、上記空間Ｓ内のチャンバ１０近傍には、チャンバ１０を挟んで給気用ファン２１の吐出口２１ａと対向する位置に、上記空間Ｓ内の空気を吸引する吸込みフード２６が配置されている。この吸込みフード２６は、図２に示すように、キャスタ付きの昇降台２７上に載置されて、水平方向および鉛直方向にそれぞれ移動可能な状態で保持されている。吸込みフード２６は、その前端の吸引側から後端の吐出側に向けて内径が漸次小径となるように形成され、その前端周縁部には、外側または内側に折曲げ可能な風向調整板２６ａが取り付けられている。
【００３６】
吸込みフード２６の後端部には、図１に示すように、上記空間Ｓの内外に跨る状態で設けられたジャバラホース（可撓管）２８の一端が接続され、このジャバラホース２８の他端には、クリーンルーム１１の床面１１ａを貫通する状態で設けられた中継管２９の一端が管継手２８ａにより接続されている。
【００３７】
一方、クリーンルーム１１の床面１１ａ下方のピット１３内には、排気用ファン３１が設置されている。この排気用ファン３１の吸引側には、吸込みフード２６より吸い込んだ上記空間Ｓ内の空気中に含まれる粉塵を捕集するＨＥＰＡフィルタ３２を介して、ジャバラホース３０の一端が接続され、このジャバラホース３０の他端には、上記中継管２９の他端が管継手２９ａにより接続されている。また、排気用ファン３１とＨＥＰＡフィルタ３２は、台車（図示省略）上にそれぞれ載置されて、水平方向に移動可能な状態で保持されている。これら排気用ファン３１、ＨＥＰＡフィルタ３２、ジャバラホース２８、３０、中継管２９および吸込みフード２６等によって、上記空間Ｓ内の空気を外部に排出する排気手段が構成されている。
【００３８】
他方、チャンバ１０の上部には、チャンバ１０内に不活性ガスを供給する給気設備の給気管（図示省略）が接続される一方、チャンバ１０の下端部には、チャンバ１０内の不活性ガスを排出する排気設備（図３）の排気管１４の一端が接続されている。
排気管１４の他端には、図３に示すように、この排気管１４を介してチャンバ１０内の不活性ガスを吸引する真空ポンプ１５Ａが接続され、この真空ポンプ１５Ａの吸引側には、ブースタ１５Ｂが接続されている。また、排気管１４の途中には、管内を流れる不活性ガスの流量を調整するための電動式のコントロール弁１９ａや、管を開閉するためのエア作動式のアングル弁１９ｂなどが設けられる他、管内を流れる不活性ガス中の粉塵を分離する第１サイクロン１６が設けられ、この第１サイクロン１６下端のダストチャンバ１６ａには、クリーニング用の排気ライン１８の一端が接続されている。この排気ライン１８の他端側には図示省略のスクラバが設けられ、このスクラバと第１サイクロン１６との間には、第２サイクロン（サイクロン）１７Ａと吸引ポンプ１７Ｂとを直列に接続してなるクリーニングユニット１７が設けられている。
【００３９】
次に、上記構成からなる粉塵除去装置を用いた粉塵除去方法の一実施形態について説明する。
先ず、単結晶引上装置からシリコン単結晶を取り出した後、チャンバ１０を大気開放した状態で、クリーニングユニット１７の吸引ポンプ１７Ｂを作動させることにより、チャンバ１０内および排気管１４内に外気を導入して、チャンバ１０内および排気管１４内の粉塵を徐々に燃焼させる。具体的には、チャンバ１０内を大気に開放した後に、排気ライン１８の一端を第１サイクロン１６下端のダストチャンバ１６ａに接続し、この状態で吸引ポンプ１７Ｂを駆動する。その際に、吸引ポンプ１７Ｂによる吸引流量を段階的に又は徐々に大きくすることにより、排気管１４内等に堆積した粉塵を徐々に燃焼させ、それら粉塵が完全に燃焼した後で、吸引ポンプ１７Ｂによる吸引流量を増大させることにより排気管１４内等から粉塵を剥離させて、これを第１および第２サイクロン１６、１７Ａにより分離・捕集する。
【００４０】
次いで、本実施形態の粉塵除去装置を設置する。すなわち、チャンバ１０周囲を合成樹脂シート２０によって覆い、この合成樹脂シート２０によって覆われた空間Ｓ内に、給気用ファン２１、ＨＥＰＡフィルタ２２および吸込みフード２６を昇降台２４、２７に載せた状態のまま搬入し、給気用ファン２１に外気取り込み用のホース２３を、吸込みフード２６にジャバラホース２８をそれぞれ接続する。そして、排気用ファン３１とＨＥＰＡフィルタ３２を台車に載せた状態のままピット１３内の所定位置に配置し、各ジャバラホース２８、３０を中継管２９にそれぞれ接続する。
【００４１】
次いで、吸込みフード２６および給気用ファン２１の水平位置や高さ、向き等を調整して、両者をチャンバ１０の両側から対向配置させ、この状態で給気用ファン２１および排気用ファン３１を作動させる。これにより、外気取り込み用のホース２３からＨＥＰＡフィルタ２２を介して上記空間Ｓ内に清浄な外気が供給されるとともに、上記空間Ｓ内の空気が吸込みフード２６からジャバラホース２８、３０および中継管２９等を介して外部に排出され、当該空気が外部に排出される前段階で、当該空気中に含まれる粉塵がＨＥＰＡフィルタ３２により除去されることとなる。したがって、この状態では、上記空間Ｓ内の粉塵を速やかに除去することができ、チャンバ１０周囲の粉塵が外部（空間Ｓの外側）に飛散するのを抑制することができる。
【００４２】
以上の準備が完了したら、単結晶引上装置の解体清掃作業を開始する。すなわち、メインチャンバ１０Ａとプルチャンバ１０Ｂとを分離させて、チャンバ１０内の各部材（ルツボ、ヒータ、熱遮蔽部材等）を取り出し、これら部材やチャンバ１０の内壁面に付着した粉塵を除去する。これら部材等の清掃が完了したら、消耗部品の交換等を行いつつ各部材をチャンバ１０内の元の位置に戻し、メインチャンバ１０Ａとプルチャンバ１０Ｂとを再び結合させる。その後、所定時間経過してから給気用ファン２１および排気用ファン３１をそれぞれ停止させ、本実施形態の粉塵除去装置を撤去する。
【００４３】
このように、本実施形態によれば、単結晶引上装置のチャンバ１０周囲を合成樹脂シート２０で覆い、この合成樹脂シート２０によって覆われた空間Ｓ内に外気を供給すると同時に、上記空間Ｓ内の空気を吸引して外部に排出し、当該空気を外部に排出する過程で、当該空気中に含まれる粉塵をＨＥＰＡフィルタ３２により除去するようにしたので、単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ１０周囲の粉塵がクリーンルーム１１内に飛散するのを抑制することができる。
したがって、クリーンルーム１１内を所定の清浄度に保つことができ、その結果として、単結晶の品質を向上させ、歩留まりを改善することができる。
【００４４】
また、チャンバ１０内および排気管１４内に外気を導入して、チャンバ１０内および排気管１４内の粉塵（ＳｉＯ）を燃焼させた後に、単結晶引上装置の解体清掃を行うようにしたので、排気管１４やチャンバ１０内の急激な温度および圧力の上昇を伴わずに、排気管１４内やチャンバ１０内に堆積した粉塵を安全に除去することができる。
【００４５】
また、上記空間Ｓ内に送り込む外気中の粉塵をＨＥＰＡフィルタ２２で除去するようにしたので、外部から上記空間Ｓ内に粉塵や雑菌等が侵入するのを防止することができる。
さらに、給気用ファン２１と吸込みフード２６とをチャンバ１０の近傍で対向配置させるようにしたので、チャンバ１０近傍の粉塵を効率良く補集することができる。
【００４６】
そして、給気用ファン２１、排気用ファン３１および吸込みフード２６が何れも水平方向に移動自在な状態で保持されているので、各々を所望位置に設置するのが容易となる。また、複数の単結晶引上装置に対して、給気用ファン２１、排気用ファン３１および吸込みフード２６の各々を共用することができる。
【００４７】
また、本実施形態では、遮蔽手段として無帯電性の合成樹脂シート２０を用いるようにしたので、合成樹脂シート２０に粉塵が付着するのを防止することができ、合成樹脂シート２０を撤去する際に粉塵がクリーンルーム１１内に飛散するのを防止することができる。
また、本実施形態では、排気用ファン３１をピット１３内に配置するようにしたので、粉塵等の発生をさほど気にすることなく排気用ファン３１の移動やメンテナンス作業等を行うことができ、その結果それら作業の効率を向上させることができる。
【００４８】
なお、この実施形態では、単結晶引上装置の解体清掃時に粉塵除去装置を用いるようにしたが、これ以外のとき（例えば、単結晶引上装置の運転中や、チャンバ１０周囲に浮遊粒子が急発生したときなど）に当該粉塵除去装置を用いることも可能である。また、この実施形態では、チャンバ１０内および排気管１４内に外気を導入した後に、当該粉塵除去装置を設置するようにしたが、外気導入前に設置しておくようにしてもよい。
また、この実施形態では、給気用ファン２１、排気用ファン３１および吸込みフード２６等をそれぞれ１台ずつ設ける構成としたが、各々を複数設ける構成とすることも可能である。
【００４９】
なお、本実施形態の効果を実際に検証したところ、単結晶引上装置の解体清掃時に粉塵除去装置を用いなかった場合には、クリーンルーム１１内のパーティクル数が基準値（例えば、３０，０００個／ｍ３  ）以下となるのに約１５分を要したのに対して、本実施形態の粉塵除去装置を用いた場合には、約９分間でクリーンルーム１１内のパーティクル数を基準値以下とすることができた。すなわち、この実施形態の粉塵除去装置によれば、単結晶引上装置の解体清掃時にチャンバ１０内の粉塵がクリーンルーム１１内に飛散するのを効果的に抑制できることが確認された。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、単結晶引上装置の解体清掃時等にチャンバ内の粉塵が外部に飛散するのを抑制することができる。
したがって、単結晶引上装置が設置されたクリーンルーム内を所定の清浄度に保つことができ、その結果として、単結晶の品質を向上させ、歩留まりを改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る単結晶引上装置の粉塵除去装置の一実施形態を示す概略構成図である。
【図２】図１の単結晶引上装置のチャンバ周囲を拡大した図である。
【図３】単結晶引上装置の排気設備およびこれに設けられたクリーニング装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１０    チャンバ
１４    排気管
１５Ａ  真空ポンプ
１７Ａ  第２サイクロン（サイクロン）
１７Ｂ  吸引ポンプ
１８    排気ライン
２０    合成樹脂シート（遮蔽手段）
２１    給気用ファン（給気手段）
２２    ＨＥＰＡフィルタ（フィルタ；給気手段）
２３    外気取り込み用のホース（給気手段）
２６    吸込みフード（排気手段）
２８、３０  ジャバラホース（可撓管；排気手段）
２９    中継管（排気手段）
３１    排気用ファン（排気手段）
３２    ＨＥＰＡフィルタ（フィルタ；排気手段）
【図１】
2004224606.tif 000003
【図２】
2004224606.tif 000004
【図３】
2004224606.tif 000005