(57)【要約】【課題】厚さが数十μｍである薄膜材６の吸着を行うことができる吸着パッド１を提供する。【解決手段】吸着パッド１は、吸引ポンプに接続された円筒状の導管部２と、導管部２の先端に形成されて薄膜材６の表面に吸着する吸着部３とを備え、吸着部３に通気孔４を設けることにより吸着部３の吸着力を調整する構成となっている。また、導管部２と吸着部３とはバネ５を介して接続されており、吸着部３は導管部２の延在方向に移動可能となっている。このような構造から、厚さが数十μｍである薄膜材６を問題なく吸着することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸引ポンプに接続された導管部と、前記導管部の先端に形成されて薄膜材の表面に吸着する吸着部とを備え、前記吸着部に通気孔を設けることを特徴とする吸着パッド。
【請求項２】
前記吸着部は樹脂製の材料で形成されることを特徴とする請求項１記載の吸着パッド。
【請求項３】
前記吸着部はバネを介して前記導管部と接続されることを特徴とする請求項１記載の吸着パッド。
【請求項４】
複数個の前記通気孔を設けることを特徴とする請求項１記載の吸着パッド。
【請求項５】
吸着パッドの吸着部を薄膜材に当接させる工程と、吸引することにより前記薄膜材を前記吸着パッドに吸着する工程とを備えた吸着方法に於いて、
前記薄膜材は厚さ数十μｍであり、前記吸着部に通気孔を設けて、前記薄膜材が前記吸着部に入り込むのを防止することを特徴とする吸着方法。
【請求項６】
前記薄膜材は、アルミ箔、銅箔、紙、ガラス基板、半導体ウェハ、フレキシブルシート、銅板、圧延銅箔または積層基板であることを特徴とする請求項５記載の吸着方法。
【請求項７】
複数個の前記吸着パッドが、前記薄膜材に同時に当接して吸着を行うことを特徴とする請求項５記載の吸着方法。
【請求項８】
輸送される薄膜材と同等の大きさを有するテーブルが設けられたヘッドと、前記テーブルに設けられて吸引ポンプに接続された複数個の吸着パッドとを備え、
前記吸着パッドの先端に形成されて前記薄膜材の表面に吸着する吸着部に通気孔を設けることにより、前記吸着部の吸着力を調整して、前記薄膜材を吸着して輸送することを特徴とする輸送ロボット。
【請求項９】
前記テーブルに、マトリックス状に前記吸着パッドを設けることを特徴とする請求項８記載の輸送ロボット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、厚さが数十μｍ程度の極めて薄い膜状の材料を吸着して輸送することができる吸着パッドおよびそれを用いた吸着方法、輸送ロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
薄く形成された板状の材料を輸送するための治具として、従来から吸着パッドが広く使用されている。図５を参照して、従来型の吸着パッド１００の一例を説明する（例えば、特許文献１参照）。ここでは、真空ポンプ等の吸引手段に接続された導管部１０１の先端に樹脂等の柔軟性を有する材料から成る吸着部１０２が設けられている。吸着される板状の材料１０３の表面に吸着部１０２が接触して、導管部１０１を介して吸引手段により吸引を行うことで、板状の材料１０３を吸着する。吸着パッド１００により吸着された板状の材料１０３は、所望の箇所に輸送することができる。
【０００３】
また、板状の材料から形成される製品としては、例えば、表面に銅箔が形成されたアルミ基板がある。この場合は、アルミニウム等の金属の基板上に銅等から成る導電パターンが形成されている。そして、アルミ基板と導電パターンとは、両者の間の絶縁層により絶縁されている。
【０００４】
表面に導電パターンが形成されたアルミ基板からなる回路基板の製造方法を説明する。金属基板は例えばアルミ基板が所定の幅で用意され、導電パターンとなる導電箔も所定の幅で用意される。ここで、銅箔の裏面には接着剤となる樹脂が塗布されて用意される。そして、金属基板に導電箔を圧着させることにより、導電箔と金属基板とは一体化されて回路基板となる。導電箔をエッチング等により部分的に除去することにより、導電パターンは形成される。その後に、ＩＣ等の回路素子を固着する工程、ワイヤボンドの工程、基板を分割する工程、封止の工程等を経て、混成集積回路装置が製造される。
【０００５】
図６を参照して、アルマイト基板と銅箔とを圧着させる工程を説明する（例えば、特許文献２参照）。アルマイト板１１３Ｂは所定の幅で用意され、銅箔１１３Ｃもアルマイト板１１３Ｂと同等の幅で用意される。ここで、銅箔１１３Ｃの裏面には、接着剤となる絶縁性樹脂が塗布されている。そして、アルマイト板１１３Ｂ上に銅箔１１３Ｃを重畳させてから、２つのロール１２０により、上下方向から圧力を加えることにより、両者は圧着されていた。
【０００６】
【特許文献１】
特開平０５−１７７５７１号公報（第１頁、第１図）
【０００７】
【特許文献２】
特開平０６−０９１８３６号公報（第１頁、第１図）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したようなロールによる基板の積層方法では、ロール１２０の圧力により、アルマイト板１１３Ｂ上で銅箔１１３Ｃが移動してしまい、両者の位置関係がずれてしまう問題を有していた。更に、このような問題を解決するために、約１メートル四方に形成されたアルマイト板１１３Ｂおよび銅箔１１３Ｃを積層させた後に、プレス機で両者を圧着させる積層方法がある。しかしながら、板状の材料の輸送および積層は人力で行っていたので積層の精度が悪いという問題があった。
【０００９】
更に、厚さが数十μｍのアルミ箔や紙の薄膜材を従来例に示すような吸着パッド１００を用いて吸着した場合、薄膜材の剛性が弱いことから、薄板材が吸着パッド１００に吸い込まれてしまい、薄板材の吸着が困難である問題があった。
【００１０】
本発明は、上記した問題を鑑みて成されたものである。従って、本発明の主な目的は、薄膜状の材料を吸着して輸送することを可能とする吸着パッドおよびそれを用いた吸着方法、更には輸送ロボットを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の吸着パッドは、吸引ポンプに接続された円筒状の導管部と、前記導管部の先端に形成されて薄膜材の表面に吸着する吸着部とを備え、前記吸着部に通気孔を設けることを特徴とする。吸着部に通気孔を設けることで、吸引ポンプによる吸引力を調節して、薄膜材の変形・破壊を防止することができる。
【００１２】
本発明の吸着方法は、吸着パッドの吸着部を薄膜材に当接させる工程と、吸引することにより前記薄膜材を前記吸着パッドに吸着する工程とを備えた吸着方法に於いて、前記薄膜材は厚さ数十μｍであり、前記吸着部に通気孔を設けて、前記薄膜材が前記吸着部に入り込むのを防止することを特徴とする。
【００１３】
本発明の輸送ロボットは、輸送される薄膜材と同等の大きさを有するテーブルが設けられたヘッドと、前記テーブルに設けられて吸引ポンプに接続された複数個の吸着パッドとを備え、前記吸着パッドの先端に形成されて前記薄膜材の表面に吸着する吸着部に通気孔を設けることにより、前記吸着部の吸着力を調整して、前記薄膜材を吸着して輸送することを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（吸着パッドの構成および吸着方法を説明する第１の実施の形態）
図１を参照して本発明の吸着パッド１の構成を説明する。本発明の吸着パッド１は、吸引ポンプ（図示せず）に接続された円筒状の導管部２と、導管部２の先端に形成されて薄膜材６の表面に吸着する吸着部３とを備え、吸着部３に通気孔４を設ける構成となっている。
【００１５】
導管部２は、例えば金属製のパイプ状の部材であり、吸着部３が設けられない方の端部は、末端が吸引ポンプ等の吸引手段に接続されている。
【００１６】
吸着部３は、導管部３の先端に接続されており、樹脂等の柔軟性を有する材料から形成されている。薄板材６に当接する箇所の吸着部３は、他の箇所よりも径が広く形成されている。
【００１７】
通気孔４は、吸着部３の側面に形成された孔であり、複数個が設けられても良い。通気孔４の大きさは、外部から空気が吸着部３に進入できる程度に形成される。従って、吸引ポンプが動作して吸引が行われている間は、通気孔４から吸着部３内部に外気が進入する。
【００１８】
バネ５は、吸着部３の内部に形成され、導管部２と吸着部３とを機械的に接続している。従って、吸着部３は、導管部２の延在方向に沿って移動することができる。
【００１９】
薄膜材６は、例えば、厚さが数十μｍ程度に形成されたアルミ箔、銅箔または紙等である。薄膜材６は剛性が非常に小さいので、局所的に吸引力が作用すると、変形・破壊が発生するおそれがあるが、上述した通気孔４の作用によりそれを防止することができる。
【００２０】
続いて同じく図１を参照して、吸着パッド１を用いた吸着方法を説明する。本発明の吸着方法は、吸着パッド１の吸着部３を薄膜材６に当接させる工程と、吸引することにより薄膜材６を吸着パッド１に吸着する工程とを備えた吸着方法に於いて、薄膜材６は厚さ数十μｍであり、吸着部３に通気孔を設けて、薄膜材６が吸着部３に入り込むのを防止している。
【００２１】
吸着部３の側面部には、複数個の通気孔４が設けられているので、吸着パッドに吸引力を与えている間は、通気孔４を介して吸着パッド１内部に外気が進入する。従って、吸通気孔４の作用により引手段による吸引力は適度に減衰され、薄膜材６が吸着部３に吸い込まれてしまうのを防止することができる。
【００２２】
また、例えば、薄膜材６が１メートル四方と大きい場合に於いては、複数個の吸着パッド１を同時に薄膜材６に当接させることで、大きな薄膜材６の吸着を行うことができる。
【００２３】
（輸送ロボットの構成を説明する第２の実施の形態）
図２を参照して、本発明の吸着パッド１が装着された輸送ロボット２０の構成を説明する。図２（Ａ）は輸送ロボット２０が有するヘッド２４の斜視図であり、図２（Ｂ）は輸送ロボット２０の外形を示す図である。
【００２４】
輸送される薄膜材６と同等の大きさを有するテーブル２５Ｂが設けられたヘッド２４と、テーブル２５Ｂに設けられて吸引ポンプに接続された複数個の吸着パッド２６とを備え、吸着パッド２６の先端に形成されて薄膜材６の表面に吸着する吸着部３に通気孔４を設けることにより、吸着部３の吸着力を調整して、薄膜材６を吸着して輸送する構成となっている。ここでは、輸送ロボット２０には、吸引力が小さい第１のパッド２６と吸引力が大きい第２のパッド２７が設けられ、薄膜材６を吸着するのは、吸引力が小さい第１のパッド２６である。そして、輸送ロボット２０のヘッド２４には、上段テーブル２５Ａと下段テーブル２５Ｂが設けられ、下段テーブル２５Ｂにマトリックス状に第１のパッド２６が設けられている。これらの構成要素を以下にて説明する。
【００２５】
上段テーブル２５Ａは、テーブル状に形成されており、第３のアーム２３Ｃに固定されている。そして、ヘッド２４を構成する他の要素を支持するはたらきを有する。具体的には、第１のパッド２６、下段テーブル２５Ｂおよびシリンダ２８が、上段テーブル２５Ａに取り付けられている。また、上段テーブル２５Ａには、下段テーブル２５Ｂを昇降させる昇降機構も取り付けられる。
【００２６】
下段テーブル２５Ｂは板状に形成されており、その平面的な大きさは輸送される板状の材料１３と同等である。下段テーブル２５Ｂの周辺部の下面には、複数個の第１のパッド２６が取り付けられており、更にその他の箇所にも複数個の第１のパッド２６が取り付けられている。下段テーブル２５Ｂ自体は、上段テーブル２５Ａが有する昇降手段に取り付けられている。従って、この昇降手段を操作することにより、下面に多数個の第１のパッド２６を有する下段テーブル２５Ｂが上下に移動することになる。具体的には、下段テーブル２５Ｂを上方向に移動させることにより、相対的に第２のパッド２７が第１のパッド２６よりも下方に延在するようになる。それに対して、下段テーブル２５Ｂを下方向に移動させることにより、相対的に第１のパッド２６が第２のパッド２７よりも下方に延在するようになる。また、下段テーブル２５Ｂには孔が設けられており、この孔から第２のパッド２７を下方に突出している。
【００２７】
第２のパッド２７は、上段テーブル２５Ａに複数個が取り付けられている。第２のパッド２７は比較的大きな吸引力を有しているので、重量が数十キログラムの板状の材料を吸着して持ち上げることができる。
【００２８】
第１のパッド２６は、下段テーブル２５Ｂに複数個が取り付けられている。第１のパッド２６は、比較的小さな吸引力を有し且つその径も小さいので、厚さが数十μｍ程度の薄い板状の材料１３を吸着して持ち上げることができる。更に前記第１の実施の形態で説明した構成を有しているので、薄い板状の材料１３を吸着しても、その材料に変形等が発生しない。また、第１のパッド２６は、第２のパッド２７と比較すると、多数個が設けられているので、安定して板状の材料１３を輸送することができる。
【００２９】
次に第１のパッド２６と第２のパッド２７との使い分けについて説明する。吸着する材料の厚さおよび剛性に応じて、第１のパッド２６と第２のパッド２７は使い分ける。薄い板状の材料１３の吸着は重量が重く剛性が弱いので第１のパッド２６で行い、厚い板状の材料１３の吸着は重量が重たいので第２のパッド２７で行っている。具体的には、重量が重たいコール板１３Ｅ、アルマイト板１３Ｂおよびアルミ板１３Ｄの吸着は第２のパッド２７で行っている。そして、厚さ数十μｍ程度の銅箔１Ｃ、クッション紙およびアルミ箔１３Ｆの吸着は、第１のパッド２６で行っている。なお、ヘッド２４の上部には、制御部（図示せず）が設けられており、第１のパッド２６および第２のパッド２７の移動と吸着動作を制御している。
【００３０】
シリンダ２８は、上段テーブル２５Ａに装着されており、その端部に第３のパッド２８Ａを有している。シリンダ２８の下端に設けられる第３のパッド２８は、板状の材料１３の端部にその場所が対応している。ここでは、１つのシリンダ２８のみが図示されているが、シリンダ２８は、ヘッド２４の平面的な対角の箇所に２個が装着されている。シリンダ２８の垂直に延在する部分は伸縮が可能と成っており、この箇所を伸縮させることにより、第３のパッド２８Ａを上下させることができる。第３のパッド２８Ａは、他のパッドと同様に、吸引力により板状の材料１３を吸引する働きを有する。シリンダ２８の具体的な動作に関しては後述する。
【００３１】
次に、ヘッド２４上部に設けた傾斜機構について説明する。ヘッド２４は傾斜機構を有しており、この傾斜機構によりヘッド２４全体を傾斜させることができる。特に板状の材料１３を、大きな吸引力を有する第２のパッド２７で吸着した場合、板状の材料１３の同伴が問題となる。従って、第２のパッド２７で板状の材料１３を吸着した後に、傾斜機構によりヘッド２４全体を傾斜させることで、第２のパッド２７が吸着した板状の材料１３のみを確実に輸送することができる。この方法の詳細に関しては後述する。
【００３２】
図２（Ｂ）を参照して、上記したヘッド２４を有する輸送ロボット２０の構成について説明する。輸送ロボット２０は、次のような構成を有している。全体の土台となる第１の台座２１Ａと、水平方向の回転を行う第１の関節２２Ａと、第１の関節上に設置された第２の台座２１Ｂと、垂直方向の回転を行う第２の関節２２Ｂ、第３の関節２２Ｃおよび第４の関節２２Ｄと、第２の関節２２Ｂと第４の関節２２Ｄとの間に設けた第１のアーム２３Ａ、第２のアーム２３Ｂおよび第３のアーム２３Ｃと、第３のアームに接続するヘッド２４とから輸送ロボット２０は構成されている。
【００３３】
（回路基板の製造装置の構成を説明する第３の実施の形態）
図３を参照して製造装置の構成を説明する。本発明の回路基板の製造装置は、回路基板の材料となる板状の材料１３を積層させて積層材料１１Ａを形成する積層装置１０と、積層装置１０から輸送された積層材料１１Ａを圧着して回路基板を形成する圧着装置とを有し、積層装置１０は、種類の異なる板状の材料１３をその種類毎に用意する複数の材料ステージ１２と、板状の材料１３を積層させる積層ステージ１１と、材料ステージ１２および積層ステージ１１に囲まれるように配置された輸送ロボット２０とから成る。そして、輸送ロボット２０により板状の材料１３を所定の順番に１枚ずつ積層ステージ１１に輸送することを特徴とする。図３（Ａ）は、積層装置１０の平面図であり、図３（Ｂ）はその断面図である。このような構成を有する積層装置１０の詳細を以下にて説明する。
【００３４】
ここで、第１の実施の形態で説明した吸着パッド１は、材料ステージ１２Ａ、Ｃ、１２Ｆに積層させたクッション紙１３Ａ、銅箔１３Ｃおよびアルミ箔１３Ｆを吸着・輸送することに用いられる。
【００３５】
材料ステージ１２Ａ〜１２Ｆは、それぞれ種類の異なる板状の材料１３が載置されており、上方から見ると規則的に配置されている。具体的に、材料ステージ１２Ａ〜１２Ｆは、積層ステージ１１と共に輸送ロボット２０を取り囲むように四角の形状に配置されている。そして、各々の材料ステージ１２Ａ〜１２Ｆと輸送ロボット２０との距離は、輸送ロボット２０のヘッド２４が材料ステージ１２Ａ〜１２Ｆに到達する範囲で設定される。また、積層ステージ１１と輸送ロボット２０との距離も、輸送ロボット２０のヘッド２４が積層ステージ１１に到達する範囲で設定される。積層ステージ１２Ａ〜１２Ｆの平面的な大きさは、そこに載置される材料よりも大きく形成され、１メートル四方以上の大きさに形成される。詳細は後述するが、それぞれの材料ステージ１２Ａ〜１２Ｆに積層された板状の材料は、中央部に配置された輸送ロボット２０により１枚ずつ輸送され、積層ステージ１１に所定の順序で積層される。
【００３６】
それぞれの材料ステージ１２Ａ〜１２Ｆに載置される材料は、金属基板となるアルマイト板１３Ｂおよび銅箔１３Ｃと、間材となるアルミ板１３Ｄなどであり、その大きさは約１メートル四方の大きさに統一されて積層されている。具体的には、材料ステージ１２Ａ〜１２Ｆには、クッション紙１３Ａ、アルマイト板１３Ｂ、銅箔１３Ｃ、アルミ板１３Ｄ、コール板１３Ｅおよびアルミ箔１３Ｆが積層されている。ここで、銅箔１３Ｃの裏面には、銅箔１３Ｃとアルマイト板１３Ｂとの接着剤となる絶縁成接着剤が塗布されている。
【００３７】
なお、材料ステージ１２Ｆでは、ロール状に巻かれたアルミ箔１３Ｆが用意されても良い。そして、材料ステージ１２Ｆに、アルミ箔１３Ｆを自動的に供給する装置を追加することにより、アルミ箔を自動的に材料ステージ１２Ｆに供給することができる。更に、他の材料ステージ１２と同じく、約１メートル四方にカットされたアルミ箔１３Ｆが用意されても良い。
【００３８】
積層ステージ１１は、上記した材料ステージ１２と同様に、輸送ロボット２０のヘッドが到達する箇所に配置される。そして、輸送ロボット２０により所定の順序で材料ステージ１２から材料を１枚ずつ輸送して、積層ステージ１１上に積層させる。その後にプレス（図示せず）を用いて、積層された板状の材料をプレスすることにより、アルマイト板１３Ｂと銅箔１３Ｃは圧着される。板状の材料１３Ａ〜１３Ｆを１枚ずつ輸送して積層ステージ１１に積層させる方法については後述する。
【００３９】
また、積層ステージ１１にて数十セット分の回路装置を構成する板状の材料が積層された積層材料１１Ａは、自走式の移送装置（図示せず）に載置される。そして、移送装置により、積層材料１１Ａは圧着装置（図示せず）に移送されてセットされる。その後に、圧着装置により積層材料１１Ａをプレスすることにより、アルマイト板１３Ｂと銅箔１３Ｃとが圧着されて、回路基板を構成する。
【００４０】
図３（Ｂ）を参照して、前述したように、輸送ロボット２０は、積層ステージ１１および材料ステージ１２に囲まれるように配置されており、次のような構成を有している。全体の土台となる第１の台座２１Ａと、水平方向の回転を行う第１の関節２２Ａと、第１の関節上に設置された第２の台座２１Ｂと、垂直方向の回転を行う第２の関節２２Ｂ、第３の関節２２Ｃおよび第４の関節２２Ｄと、第２の関節２２Ｂと第４の関節２２Ｄとの間に設けた第１のアーム２３Ａ、第２のアーム２３Ｂおよび第３のアーム２３Ｃと、第３のアームに接続するヘッド２４とから輸送ロボット２０は構成されている。
【００４１】
上記したように、輸送ロボット２０は、水平方向の回転を行う第１の関節２２Ａと、垂直方向の回転を行う第２の関節２２Ｂ〜第４の関節２２Ｄを有している。従って、これらの関節２２の回転を所定の動作で制御することにより、ヘッド２４を３次元的に移動させることができる。また、ヘッド２４は、基本的にその平行性が保たれている。上記の説明では、輸送ロボット２０は合計で４つの関節を有するが、ヘッド２４の平行性を保ちながら３次元的に移動させることができる範囲で、関節の数を変化させることもできる。
【００４２】
（板状の材料１３の吸着方法を説明する第４の実施の形態）
図４を参照して、上記したヘッド２４を用いて、材料ステージ１２に積層された板状の材料１３を吸着する方法を具体的に説明する。
【００４３】
図４（Ａ）を参照して、積層して準備された銅箔１３Ｃを吸着する方法を説明する。ここで輸送する板状の材料である銅箔１３Ｃは、厚さが数十μｍと非常に薄く且つ重量も軽い。従って、吸着力の弱い第１のパッド２６を用いてその吸着を行う。このことから、ヘッド２４の状態は同図に示すように、第１のパッド２６を固定する下段テーブル２５Ｂが下降して、第１のパッド２６の下端が、第２のパッド２７の下端よりも下方に突き出た形となっている。第１のパッド２６の吸引力は弱いので、その吸引力による銅箔１３Ｃの変形は小さい。従って、下方の他の銅箔１３Ｃが同伴してしまう危険性も低い。
【００４４】
更に、第１の実施の形態で説明したように、第１のパッド２６の吸着部には、通気孔４が設けられているので、厚さが数十μｍ程度と薄い銅箔、アルミ箔またはクッション紙が、吸引圧により変形・破壊してしまうのを防止することができる。
【００４５】
図４（Ｂ）を参照して、材料ステージ１２Ｅに載置されたコール板１３Ｅを吸着する方法を説明する。コール板１３Ｅは、積層ステージ１１に材料を積層される際に、最も下方に載置されて受け皿となる鋼製のものであるので、コール板１３Ｅの重量は数十キログラムと重い。従って、コール板１３Ｅの吸着は、吸着力の大きい第２のパッド２７を用いて行う。このことから、ヘッド２４の状態は同図に示すように、第１のパッド２６を固定する下段テーブル２５Ｂが上昇して、第２のパッド２７の下端が、第１のパッド２６の下端よりも下方に突き出た形となっている。第２のパッド２７は、その形状的な大きさおよび吸引力が、第１のパッド２６よりも大きいため、数十キログラムのコール板１３Ｅを輸送することができる。
【００４６】
また、上記では、約１メートル四方に形成された混成集積回路装置の材料の輸送に関して説明を行ったが、本発明を用いて他の材料を輸送することも可能である。具体的には、ガラス基板、半導体ウェハ、フレキシブルシート、銅箔、圧延銅箔、樹脂材と金属体が積層された積層基板等の輸送を、本発明を用いて輸送することが可能である。
【００４７】
【発明の効果】
本発明では、以下に示すような効果を奏することができる。
【００４８】
吸着パッド１の吸着部３に通気孔４を設けることにより、吸引ポンプ等の吸引手段による吸引力を調整して、吸着される薄膜材６が吸引力により変形・破壊されるのを防止することができる。
【００４９】
更に、導管部２と吸着部３とはバネ５を介して接続されているので、吸着パッド１が薄膜材６に当接する際に、吸着部３をソフトに薄膜材６に当接させることができる。
【００５０】
更にまた、上記した吸着パッド１を、輸送ロボット２０のヘッド２４に装着することにより、約１メートル四方の薄膜材６の吸着および輸送を問題なく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の吸着パッドの断面図である。
【図２】本発明の輸送ロボットが有するヘッドの斜視図（Ａ）、輸送ロボットの概略図（Ｂ）である。
【図３】本発明の製造装置の平面図（Ａ）、断面図（Ｂ）である。
【図４】本発明の製造装置が有するヘッドの断面図（Ａ）、断面図（Ｂ）である。
【図５】従来の吸着パッドの断面図である。
【図６】従来の板状の材料の積層方法を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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