(57)【要約】【課題】　容器本体と、容器本体を閉じる蓋と、蓋を施錠する施錠部材および施錠部材を噛み合わせる保持部材を有する、蓋を施錠または解錠するための装置とを備えたウエハー状物体用容器に関して、蓋が確実に閉じられていない容器の搬送を防止する。【解決手段】　施錠部材（６）に、第１信号部材（１３）を配置し、第２信号部材（１４）を、上記施錠部材（６）に保持部材（７）を噛み合わせるために重要な位置に配置し、この第２信号部材（１４）に対し、上記第１信号部材（１３）が適切に作用するように関連付ける。【選択図】　図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
　容器本体と、容器本体を閉じる蓋と、蓋を施錠する施錠部材および施錠部材を噛み合わせる保持部材を有する、蓋を施錠または解錠するための装置とを備えたウエハー状物体用容器であって、
　施錠部材（６）に、第１信号部材（１３）が配置され、
　第２信号部材（１４）が、上記施錠部材（６）に保持部材（７）を噛み合わせるために重要な位置に配置されており、
　この第２信号部材（１４）に対し、上記第１信号部材（１３）が適切に作用するように関連付けられていることを特徴とする容器。
【請求項２】
　上記第１信号部材（１３）が、蓋（３）上、または、蓋（３）内に配置されている上記施錠部材（６）の領域に配置されており、
　上記第２信号部材（１４）が、上記蓋（３）上、または、上記蓋（３）内に配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の容器。
【請求項３】
　上記第２信号部材（１４）が、開口部（１２）として、上記蓋（３）の外側に設けられており、
　上記第１信号部材（１３）が、上記施錠部材（６）が上記保持部材（７）に噛み合う場所において上記開口部（１２）を覆う信号板（１１）により構成されていることを特徴とする、請求項２に記載の容器。
【請求項４】
　上記開口部（１２）が、透明に閉鎖されていることを特徴とする、請求項３に記載の容器。
【請求項５】
　上記第１信号部材（１３）が、上記施錠部材（６）に備えられ、上記保持部材（７）に噛み合う歯止め（８）上に配置されており、
　上記第２信号部材（１４）が、上記保持部材（７）上または上記保持部材（７）内に配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の容器。
【請求項６】
　上記第１信号部材（１３）が、歯止め（８）自体により形成されていることを特徴とする、請求項５に記載の容器。
【請求項７】
　上記第１および第２信号部材（１３；１４）のいずれか一方が、他方の信号部材（１４；１３）により起動できる感知器として設けられていることを特徴とする、請求項５または６に記載の容器。
【請求項８】
　上記感知器が、電気式感知器、磁気式感知器、電磁気式感知器、光学式感知器、ホール式感知器のいずれかであることを特徴とする、請求項７に記載の容器。
【請求項９】
　上記感知器が、信号線（１８）を介して、制御装置（１９）を接続できる信号出力部と接続されていることを特徴とする、請求項７または８に記載の容器。
【請求項１０】
　上記感知器が、容器本体（２）内、または、蓋（３）内に配置された、読み取り装置（２１）を使用することによって無線方式で読み出すことができる応答器（２０）に対して、信号線（１８）を介して接続されていることを特徴とする、請求項７または８に記載の容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、ウエハー状物体(wefer-like objects)用の容器に関するものであって、容器本体と、容器本体を閉じる蓋(door)と、蓋を施錠する施錠部材および施錠部材を噛み合わせる保持部材を有する、蓋を施錠または解錠するための装置とを備えたウエハー状物体用容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
　半導体部品の製造中、半導体ウエハーについては、半導体部品を形成するために分割する前に、多数の中間工程にさらすことになる。また、製造工程中に、半導体ウエハーを、個々の処理場（treatment station）間で搬送する必要がある。この目的のために、半導体ウエハーは、閉鎖された容器内に置かれる。そして、容器を閉じたままで搬送を行う。半導体ウエハーについては、特定の製造期間中、容器の中に入れたままであるが、他の容器に移し替えてもよい。このように、容器は、半導体ウエハーを保存または貯蔵（magazine）するためにも機能する。
【０００３】
　このような種類の容器は、例えば平面表示装置（flat-screen monitors）の製造中のように、ウエハー状物体を搬送する必要がある、他の工業部門においても使用できる。
【０００４】
　ウエハー状物体用のこのような容器が、特許文献１に開示されている。特許文献１に開示されている容器は、ウエハー状物体（この場合は、半導体ウエハー）を押し入れることができる容器本体、および、蓋を備えている。また、この容器は、蓋を施錠および解錠するための装置を備えている。
【０００５】
　蓋を施錠および解錠するための装置は、蓋に配置されている施錠部材と、施錠部材が入り込むための、容器本体にある窪みとを含むものである。施錠部材は、施錠部材の施錠と解錠とを行うことができる起動機構（actuating mechanism）に接続されている。この起動機構は、全ての施錠部材に対して同時に、施錠部材の施錠と解錠とを行えることが好ましい。この起動機構は、周縁の移動部が、施錠部材が接線に沿って作動するように移動する回転円盤を含んでいる。回転円盤が回転するとき、施錠時には施錠部材が窪みに入り込み、解錠時には施錠部材が窪みから抜き取られるように、移動部が移動する。施錠部材が窪みに入り込んだ施錠状態、および、施錠部材が抜き取られた解錠状態のどちらの状態でも、回転ウエハー（回転円盤）は、その回転位置（回転範囲）における末端位置にある。回転円盤には、外側からこれら２つの末端位置を視認できるようにする信号発生器が備えられている。従って、施錠部材が、窪みに確実に入り込むと、施錠状態を間接的に表すことができる。
【特許文献１】独国特許出願公開第１９５３５１７８号明細書（ＤＥ１９５３５１７８Ａ１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
　特許文献１の場合、施錠状態の表示が、間接的に行われることが不利である。なぜなら、蓋が適切に閉じていない場合、すなわち、施錠部材が伸ばされているにもかかわらず窪みに入り込んでいない場合でも、施錠状態が表示されるが、蓋は閉じていないからである。従って、容器を搬送する間に、蓋が意図に反して開いてしまう可能性がある。その結果、不利益な結果に繋がってしまうことがある。なぜなら、第１に、容器内のウエハー状物体が、蓋が開くことにより汚染されてしまうからである。第２に、容器を搬送する間に蓋が意図に反して開いてしまうことにより、ウエハー状物体が滑り出す可能性があるからである。さらに、工作物の破損に繋がるこれらの不都合に加えて、第３に、人身傷害の可能性を排除することができないからである。特に、頭上で（例えば、作業室の天井で）容器の搬送を行う場合には、人身障害の可能性を排除することができない。なぜなら、もし、ウエハー状物体、特に、直径の大きな半導体ウエハー（例えば、３００ｍｍ）が、容器から滑り出ると、半導体ウェハーは、比較的薄いウエハーなので、滑ったり落下したりする場合、危険な切り傷に繋がることがある。
【０００７】
　従って、本発明は、蓋が確実に閉じられていない容器の搬送を防止することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
　本発明では、上記の目的を、第１信号部材を、少なくとも１つの施錠部材に配置し、第２信号部材を、上記施錠部材に保持部材を噛み合わせるために重要な位置に配置し、この第２信号部材（１４）に対し、上記第１信号部材（１３）が適切に作用するように関連付けることにより達成する。このような信号部材は、施錠状態を単に表示するため、あるいは、他の処理用の信号を誘発するために使用できる。いずれの場合にも、上記の構成により、表示または信号の誘発が、施錠部材が保持部材と噛み合うときに行われることが確実になる。これとは反対に、例えば従来技術に基づく構成の場合、施錠部材が壊れるか、または、変形することがあるので、施錠部材のための誘発機構（trigger mechanism）が施錠位置にあっても、施錠部材自体が保持部材に噛み合っておらず、その結果、蓋が有効に施錠されていない場合がある。
【０００９】
　さらに、少なくとも１つの施錠部材が、本発明に基づいて形成されている場合について言及する。この場合、少なくとも１つの施錠部材が適切に施錠されているときには、蓋が有効に施錠されているとみなすことができる。当然、いくつか、または全ての施錠部材に、信号部材を備えることができる。その結果、蓋の施錠の安全性が高まる。
【００１０】
　本発明の改良形では、第１信号部材を、蓋上または蓋内に配置されている施錠部材の部分に配置し、第２信号部材を、蓋上または蓋内に配置する。この改良形の結果として、第１信号部材が、蓋の領域における第２信号部材に、適切に作用する関係（operative connection）を得ることができる。
【００１１】
　この場合、上記構成に加えて、第２信号部材を、蓋の外側における開口部として設けてもよい。この場合、第１信号部材は、施錠部材が保持部材に噛み合う場所において開口部を覆う信号板（signal plate）によって構成される。この実施例は、閉鎖状態(closure state)を視覚化できる非常に簡単な解決法を表している。第１信号部材が開口部を覆うと、外部から開口部を通して第１信号部材が見えるようになるからである。この場合、施錠部材は、施錠部材が保持部材に噛み合う場所にあるので、この表示は、閉鎖状態の信頼性が高い表示である。
【００１２】
　この実施例の改良形として、開口部を透明に閉鎖するようにしてもよい。一方では、信号板自体が、開口部の閉鎖を行うということが考えられる。しかし、開口部を透明に被覆することにより、開口部が常に閉鎖されることが保証される。その結果、容器が閉じている場合、および、蓋は閉じているが施錠されていない場合の何れの場合にも、容器内部に粒子が入り込めない。
【００１３】
　本発明の他の改良形では、第１信号部材を、施錠部材に備えられ、保持部材に噛み合う歯止め(pawl)に配置し、第２信号部材を、保持部材上または保持部材内に配置している。この実施例は、閉鎖状態についての特に信頼のおける照合（check）を表している。なぜなら、第１および第２信号部材は、相互作用という点では、保持部材において、歯止めに直接配置されるからであり、その結果、閉鎖状態が、この点において直接監視される。
【００１４】
　１つの簡単な実施例を、歯止め自体により形成されている第１信号部材によって達成できる。このことは、閉鎖状態を検出するために使用されている歯止め自体の物理的特性により達成できる。例えば、歯止めの光学的特性、磁気的特性、または、電気的特性を利用できる。
【００１５】
　本発明の他の改良形では、第１、および、第２信号部材が、いずれについても（in each case）、他方の信号部材により起動できる感知器(sensor)として設けられている。このような感知器によって、閉鎖を自動的に検出することができる。
【００１６】
　この場合、感知器を、電気式感知器、磁気式感知器、光学式感知器、または、ホール式感知器（Hall sensor）として形成することが、特に好都合である。ここで、例えば、感知器を用いて、それぞれ他方の信号部材の電気的特性、磁気的特性、電磁気的特性、光学的特性、または、周波数影響特性（frequency-influencing characteristics）を、感知器を反応させる（trigger）ために使用する。この場合も、これら感知器を、歯止め自体により反応させることができる。もちろん、反応させるための特別な部材（special triggering element）を備えてもよい。この目的のために、例えば、保持部材にリード接触部（reed contact）を配置し、歯止めに永久磁石を配置してもよい。この方法により、歯止めの電磁石はリード接触を作動させる。その結果、電気的に監視するための切り替え状態が切り替わる。同様の方法で、他の種類の感知器を操作することができる。
【００１７】
　本発明の有利な改良例では、感知器を、信号線を介して、信号出力部に接続する。そして、外部制御装置を、信号出力部に接続する。容器の閉鎖状態は、この外部制御装置によって自動的に監視される。容器が適切に閉じられていない場合、そのことが制御装置により判断され、さらなる処置が誘発される。最も簡単な場合、この処置とは、蓋の閉鎖が失敗していることについての警報を表示または放出することである。
【００１８】
　本発明のさらに他の変形例では、感知器を、容器内または蓋内に配置されており、読み取り装置(reading unit)を使用することにより無線方式で読み取ることができる応答器(transponder)に、信号線を介して接続する。応答器は、電磁気交番磁界（electromagnetic alternating field）を印加することにより、第１に、内部操作用のエネルギーが、交番磁界から供給される部品である。第２に、それらは、交番磁界を介して、読み取り装置に接続されている。この読み取り装置には、少なくとも応答器により出力された信号が、読み取り装置へ交番磁界を介して伝送される。この種類の信号は、例えば、応答器における記憶装置の記憶内容であってもよい。
【００１９】
　このような応答器を配置することにより、蓋の閉鎖状態に関する状態情報を、容器自身に記憶させ、適切な読み取り装置を介して無線方式で読み出すことができる。この実施例は、特に、容器が自動的に搬送される設備において重要である。従って、読み取り装置を備え、この読み取り装置を介して、現在搬送されている容器の閉鎖状態を読み出す制御装置を、搬送経路の様々な場所に配置できる。従って、閉鎖の失敗が生じると、搬送操作を中断できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
　本発明を、典型的な実施例を用いて、以下に、より詳しく説明する。添付した図１は、施錠機構を有する本発明に基づく容器の、蓋の内側に沿った断面図である。図２は、蓋が施錠されている場合の、図１に示した容器の正面図である。図３は、蓋が解錠されている場合の、図１に示した容器の正面図である。図４は、光学式感知器、または、ホール効果(Hall effect)に基づく感知器を有する容器の概略図である。図５は、電気機械式感知器（electromechanical sensors）を有する容器の概略図である。図６は、蓋内に応答器を有する容器の概略図である。図７は、容器本体内に応答器を有する容器の概略図である。
【００２１】
　全ての図が示すように、本発明に基づく、ウエハー状物体用容器１は、容器本体２、および、容器本体２を閉じる蓋３を備えている。図１に示すように、容器１は、起動機構５を有する施錠機構４も備えており、起動機構５上で施錠部材６が作用するようになっている。保持部材７は、容器本体２へ差し込まれる。各施錠部材６は、歯止め８で、固定部材７に噛み合う。起動機構５は、鍵受け１０が備えられている円盤９を有する鍵の形状に設計されている。円盤９は、回転できるように取り付けられており、鍵（特に図示せず）を、鍵受け１０に差し込むことにより回転できる。施錠部材６は、円盤９の周縁に取り付けられている。円盤９が回転することにより、施錠部材９は、円盤９の接線に沿って移動する。基本的に施錠部材６の縦方向への移動を表すこの移動により、歯止め８が、保持部材７へ押し込まれる。
【００２２】
　図１から分かるように、本発明に基づく容器１は、２つの施錠機構４を供えている。さらに、各施錠機構４は、２つの施錠部材６を有している。そして、これら２つの施錠部材６は、全て、それらの歯止め８で、４つの固定部材に噛み合う。また、図１に示すように、施錠部材６は、信号板１１を備えている。そして、蓋３は、開口部１２を備えている。開口部１２と信号板１１とは、施錠部材６が保持部材７に噛み合う位置において信号板１１が開口部１２を覆うように備えられている。この状態を図２に示す。本体容器２の蓋３が施錠されていない場合、あるいは、適切に施錠されていない場合、信号板１１は開口部１２を覆わない。その結果、開口部１２において信号板１１が見えない。この状態を図３に示す。信号板１１には、蓋３と向かい合う側に色付きの印付けが都合よく施されているので、図３に示す状態のとき、施錠がまだ行われていないか、あるいは、施錠が適切に行われていないことが明らかになる。図２に示す状態に達した場合にのみ、蓋３は、容器本体２内に適切に施錠されている。このことは、開口部１２を通して信号板１１の着色された識別表示が現れることによって可視化される。その結果、作業者は、適切な施錠が行われたことを知り、容器１を搬送のために放出すること、あるいは、搬送そのものを行うことができる。
【００２３】
　図４に記載の本発明に基づく容器の場合、第１信号部材１３が、歯止め８に固定されている。この第１信号部材は、保持部材７に配置されている第２信号部材１４を刺激するという特性を有している。第２信号部材１４と保持部材７とが、例えば、光学式感知器の場合、第１信号部材を、高反射膜（highly reflective films）により構成してもよい。もし、第２信号部材１４が、リード接触部ならば、第１信号部材１３として歯止め８に磁石を配置する。当然、歯止め８が、例えば、十分な反射特性、あるいは、十分な磁気特性を有しているならば、第１信号部材の特性を歯止め８自体によって達成させることもできる。
【００２４】
　施錠部材４が噛み合う場合、特に、歯止め８が保持部材７に噛み合う場合、第１信号部材１３は、第２信号部材１４の周辺部に到達する。これにより、第１信号部材１３が信号を出力するので、第２信号部材１４が刺激される。
【００２５】
　図５に記載の容器の構成は、上記と同様に動作する。ただし、この構成では、第２信号部材１４が、接触誘発部材（contact-triggering elements）１６を備えた切り替え接触部（swtching contacts）１５を有している。接触誘発部材１６は、この場合、第１信号部材１３の機能を果たす歯止め８により起動される。従って、接触誘発部材１６が、バネ１７の動きに反発して上方向または下方向へ押され、これにより、切り替え接触部１５が起動される。従って、切り替え機能を誘発できる。図４および図５に示すように、各第２信号部材１４は、信号線１８を介して制御装置１９と接続されている。従って、第２信号部材を使用することにより、信号を、制御装置１９へ信号線１８を介して供給できる。この信号を、例えば、対応する施錠信号が、第１信号部材１３および第２信号部材１４により誘発され、信号線１８を介して制御装置１９へ提供された場合にのみ、制御装置が容器１の搬送を許可するように使用してもよい。
【００２６】
　図６および図７に示した例では、信号線１８を、応答器２０に接続している。この場合、応答器２０を、図６に示すように蓋３に配置するか、あるいは、図７に示すように容器本体２に配置する。信号線１８を介して、切り替え状態信号が、応答器２０へ供給され、応答器２０に記憶される。従って、例えば、自動搬送設備の搬送経路、または、適切な受信局（receiving station）に配置できる外部読み取り装置２１を介して、応答器２０の内容を読み出すことができる。したがって、切り替え状態信号を読み出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】施錠機構を有する本発明に基づく容器の、蓋の内側に沿った断面図である。
【図２】蓋が施錠されている場合の、図１に示した容器の正面図である。
【図３】蓋が解錠されている場合の、図１に示した容器の正面図である。
【図４】光学式感知器、または、ホール効果に基づく感知器を有する容器の概略図である。
【図５】電気機械式感知器を有する容器の概略図である。
【図６】蓋内に応答器を有する容器の概略図である。
【図７】容器本体内に応答器を有する容器の概略図である。
【符号の説明】
【００２８】
　１　　容器
　２　　容器本体
　３　　蓋
　４　　施錠機構
　５　　起動機構
　６　　施錠部材
　７　　保持部材
　８　　歯止め
　９　　円盤
　１０　　鍵受け
　１１　　信号板
　１２　　開口部
　１３　　第１信号部材
　１４　　第２信号部材
　１５　　切り替え接触部
　１６　　接触誘発部材
　１７　　バネ
　１８　　信号線
　１９　　制御装置
　２０　　応答器
　２１　　読み取り装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【外国語明細書】
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1　Abstract
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2　Representative Drawing
Fig. 5
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