(57)【要約】【課題】例えば燃料電池における電解質膜のような薄膜に存在する微細なガス透孔（欠陥）を容易に検知すると共に、必要な場合には、その補修もできるようにする。【解決手段】本来ガス不透過性であり微細なガス透孔の存在が欠陥とされる燃料電池用電解質膜１０の一方の面１０ａを検出媒体１１に密接させる。その面と他方の面１０ｂとの間に圧力差を生じさせ、圧力差を利用して検出媒体１１が一方の面１０ａから他方の面１０ｂに透過するかどうかを検知する。乾燥後に固化するシリカゾルのような材料を検出媒体に用いると、欠陥検出と同時にその補修も完了する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜における欠陥の検出方法であって、薄膜の第１の面を検出媒体と隣接して配置する工程と、第１の面側とその反対の面である第２の面側とに圧力差を生じさせる工程と、該圧力差に起因して検出媒体が第１の面から第２の面に透過したときにそれを検知する工程、とを少なくとも含むことを特徴とする薄膜の欠陥検出方法。
【請求項２】
燃料電池用電解質膜の欠陥の検出方法であって、電解質膜の第１の面を検出媒体と隣接して配置する工程と、第１の面側とその反対の面である第２の面側とに圧力差を生じさせる工程と、該圧力差に起因して検出媒体が第１の面から第２の面に透過したときにそれを検知する工程、とを少なくとも含むことを特徴とする燃料電池用電解質膜の欠陥検出方法。
【請求項３】
燃料電池用電解質膜が高分子電解質膜であることを特徴とする請求項２に記載の薄膜の欠陥検出方法。
【請求項４】
欠陥の検出を、電解質膜の両面に触媒層を備えた電極の形で行うことを特徴とする請求項２または３に記載の燃料電池用電解質膜の欠陥検出方法。
【請求項５】
検出媒体がシリカゾルまたはアルミナゾルのいずれかである請求項２〜４のいずれかに記載の燃料電池用電解質膜の欠陥検出方法。
【請求項６】
請求項２〜５のいずれかに記載の燃料電池用電解質膜の欠陥検出方法を実施するための装置であって、被検査体としての電解質膜を支持する手段と、支持手段により支持された電解質膜の一方面側に開放面を有する第１のチャンバーと、他方面側に開放面を有する第２のチャンバーと、第１のチャンバーと第２のチャンバーとの間に圧力差を生じさせる手段と、を少なくとも備えており、第１のチャンバーと第２のチャンバーのいずれか一方に収容された検出媒体は形成された圧力差によって支持手段により支持された電解質膜を透過して他方のチャンバーへ向けて移動できるようにされていることを特徴とする燃料電池用電解質膜の欠陥検出装置。
【請求項７】
請求項２〜４いずれか記載の欠陥検出方法を用いて燃料電池用電解質膜における欠陥を補修する方法であって、検出媒体として欠陥である透孔内で固化する物性を備えた補修液を用い、該補修液が電解質膜の一方の面から他方の面に透過した後に、透孔内に充填した該補修液を固化させる工程を含むことを特徴とする燃料電池用電解質膜の欠陥補修方法。
【請求項８】
補修液がシリカゾルまたはアルミナゾルのいずれかである請求項７記載の薄膜の欠陥補修方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜、特に、本来ガス不透過性でありサブミクロン以下のオーダーの透孔が存在することはガス透過（ガスクロス）を誘引することから欠陥とされる燃料電池の電解質膜のような薄膜の欠陥検出方法と装置および該欠陥検出方法を用いた薄膜の欠陥補修方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本来ガス不透過性であり、ガスの透過を許容するような透孔が存在する場合には、該透孔は欠陥とされ、少なくともそのような欠陥を含む部分は、使用に供されないような材料は多く存在する。例えば、燃料電池で用いられる電解質膜はそのような材料である。図５は、固体高分子型燃料電池の要部を示しており、電極（ＭＥＡ：Ｍｅｍｂｒａｎｅ−Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ  Ａｓｓｅｍｂｌｙ）１がセパレータ２を挟持して多数配置される。電極１は、イオン交換膜からなる電解質膜３の両面にアノードおよびカソードとして機能する触媒層４が積層され、さらに、その上にガス拡散層５が積層される。アノードおよびカソードにはセパレータ２に形成された流路を介して燃料ガス（水素）および酸化ガス（酸素、通常は空気）が供給される。燃料ガスと酸化ガスが混合（ガスクロス）しないように、電解質膜３はガス不透過性である必要がある。
【０００３】
このような電解質膜において、ガスの透過を許容する透孔（欠陥）はきわめて微少なもの（サブミクロ以下であり、２０〜１００ｎｍ程度であることが多い）であり、目視でその欠陥を検知することは容易でなく、微少な欠陥を含んだままで使用に供される場合も起こり得る。そのような場合に、燃料電池の寿命は極端に短くなるので、透孔欠陥の検出は緊要な課題となっている。
【０００４】
特許文献１（特開２００２−９０３４６号公報）には、固体電解質型燃料電池の電解質として用いられる絶縁性セラミックシートの貫通孔（欠陥）検査方法として、該シートの両面を、平行に配置される２枚の電極板で挟み、該電極間に直流高電圧を印加したときに発生する放電電流を検出することにより、該セラミックシート中に存在することのある孔の最短長２Å以上の貫通孔（欠陥）の有無を検査する方法が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−９０３４６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
特開２００２−９０３４６号公報に記載の方法は、絶縁性セラミックシートの貫通孔（欠陥）を検査する方法としては高い有効性を示すと考えられる。しかし、被検査体としての薄膜が高分子膜のような場合には、放電電流により発生する熱によって変質あるいは変形したり、場合によっては燃焼することも起こり得る。また、絶縁性セラミックシートを単体で検査する場合には有効であるが、燃料電池の場合、電解質膜はその両面に触媒層（電極触媒層）を積層した電極の形とされ、あるいは、さらにその上に拡散層を積層した形とされ、それがセパレータなどとの組み付け工程に供されるのが普通であり、該組み付け工程の直前において電解質膜の通気欠陥があるかどうかをチェックするのが最も安全率の高いチェック方法となるが、上記の検査方法は、電極に対して、あるいは、その上に拡散層を積層したものに対して、それを適用することはできない。
【０００７】
また、特開２００２−９０３４６号公報に記載の方法を含め、これまでの薄膜における透孔欠陥検出方法は、いずれも欠陥の有無を検出するに止まっており、欠陥としての透孔の具体的な場所を認識することは困難であり、さらに、そのような欠陥を正常な状態に補修することはまったく意識されていない。
【０００８】
本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、被検査体としての薄膜の材質を問わず適用可能であり、かつ、欠陥の位置を容易に特定することのできる改良された薄膜、特に燃料電池用電解質膜の欠陥（微細なガス透孔）の検出方法と装置を提供することにある。本発明の他の目的は、上記の方法を利用して、欠陥の検出と同時に当該欠陥の補修をも行うことのできる欠陥補修方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明による薄膜の欠陥検出方法は、例えば本来ガス不透過性であり微細なガス透孔の存在が欠陥とされるような薄膜における欠陥の検出方法であって、薄膜の第１の面を検出媒体と隣接して配置する工程と、第１の面側とその反対の面である第２の面側とに圧力差を生じさせる工程と、該圧力差に起因して検出媒体が第１の面から第２の面に透過したときにそれを検知する工程、とを少なくとも含むことを特徴とする。
【００１０】
本発明の方法によれば、圧力差に起因して検出媒体が一方の面から他方の面に透過したことを、目視を含む任意の方法で検知することにより、当該薄膜にはガス透孔（欠陥）が存在することを、その位置と共に検出することができる。検出媒体はそれを検知する手段や方法を勘案して適宜のものを選択すればよい。検出媒体は液状のものであってもよくガス状のものであってもよい。液状体の場合はゾル溶液やゲル溶液であってもよい。透明な液状体あるいはガス状体中に被検査体である薄膜と識別可能な色素や蛍光物質を混入したものであってもよい。
【００１１】
圧力差は、検出媒体が一方の面から他方の面に透過できるだけの圧力であればよく、被検査体としての薄膜が破壊しない範囲で、被検査体に応じて適宜設定する。圧力差は検出媒体を加圧することにより形成してもよく、検出媒体に隣接している面とは反対の面側に負圧を生じさせることにより形成してもよく、また、加圧と負圧の双方を同時に被検査体に適用してもよい。本発明の欠陥検出方法は圧力差のみによるものであり、被検査体が加熱されることはないので、熱により変性しやすい物性を備えた薄膜に対して本発明を適用することは特に効果的である。
【００１２】
被検査体としての薄膜に特に制限はない。しかし、燃料電池、特に固体高分子型燃料電池における前記した電極の一部を構成する電解質膜は、通常１０〜５０μｍ程度の薄膜であり、そこに２０〜１００ｎｍ程度の微少な透孔が存在するとガスクロスの要因となる。そのために、セパレータと共にモジュールとして組み込む前に、そのような透孔欠陥を検出することは実際の燃料電池の組み立て製造においてきわめて重要なことであり、大きな実用性を持つ。
【００１３】
従って、本出願の第２の発明は、燃料電池用電解質膜の欠陥の検出方法であって、電解質膜の第１の面を検出媒体と隣接して配置する工程と、第１の面側とその反対の面である第２の面側とに圧力差を生じさせる工程と、該圧力差に起因して検出媒体が第１の面から第２の面に透過したときにそれを検知する工程、とを少なくとも含むことを特徴とする燃料電池用電解質膜の欠陥検出方法である。この方法では、検査に際して被検査体が加熱されることはないので、被検査体である電解質膜が熱により変性しやすい高分子電解質膜であっても、欠陥である透孔を確実に検出することが可能となる。
【００１４】
検出媒体は、電解質膜の種類や透過した検出媒体を検知する手段や方法を考慮して適宜のものを選択すればよい。一例として不活性ガスが挙げられる。電解質膜の一方の面に検出媒体としての不活性ガスを加圧状態で送り込み、他方の面には欠陥である透孔を透過して噴出する不活性ガスを検知する手段（例えば水）を配置する。水を配置する場合には、気泡が現れることにより、欠陥の存在とその位置とを明瞭に把握することができる。この場合、検査により電解質膜が物性的に変化することはなく、欠陥が検出されなかった電解質膜はそのまま使用することができる。
【００１５】
検出媒体の他の例として液状体が挙げられる。好ましくは、電解質膜を変性させることなくかつ乾燥後に固化するシリカやアルミナなどのゾル溶液やゲル溶液が挙げられる。この場合には、検査終了後に固化した被検出媒体を目視によりあるいは反射光検知のような手段により容易に検出できる利点がある。例えば水のような透明な液体に被検査体である薄膜と識別可能な色素や蛍光物質を混入したものであってもよい。いずれの場合も、圧力差は、適宜の手段により加圧した状態で検出媒体を電解質膜の一方の面に供給することにより形成することができる。検出媒体に隣接している面とは反対の面側に負圧を生じさせて圧力差を形成し、検出媒体を吸い上げるようにしてもよい。両者を同時に行ってもよい。検出媒体として液状体を用いる場合には、検出媒体に隣接している面とは反対の面側は開放した状態としておいてよい。
【００１６】
検出媒体として粒径の揃ったゾル溶液、例えば、２ｎｍ，１０ｎｍ，１００ｎｍのような粒径のシリカゾル溶液あるいはアルミナゾル溶液を用いることもできる。この場合には、用いるゾル溶液により、電解質膜に散在する透孔の大きさを推定することも可能となる。
【００１７】
上記のように本発明による燃料電池用電解質膜の欠陥検出方法は、電解質膜の両面に圧力差を基本的を形成し、その圧力差により検出媒体が電解質膜を透過するか否かにより、欠陥の有無が判断される。従って、電解質膜の一方の面あるいは両面に他の材料が存在していても、それが、用いる検出媒体を透過する性質のものであれば、本発明による方法は支障なく実施できる。本発明の他の態様は、上記の事実を踏まえたものであり、欠陥の検出を、電解質膜の両面に触媒層を備えた電極の形で行うことを特徴とする。この方法によれば、セパレータと共に電極をモジュールとして組み込む直前に、電解質膜の欠陥を検出することができるので、欠陥を含んだままで燃料電池として組み立てられるのを確実に防止することができ、実用上の大きな効果となる。
【００１８】
本出願の第３の発明は、上記した燃料電池用電解質膜の欠陥検出方法を実施するための装置として、被検査体としての電解質膜を支持する手段と、支持手段により支持された電解質膜の一方面側に開放面を有する第１のチャンバーと、他方面側に開放面を有する第２のチャンバーと、第１のチャンバーと第２のチャンバーとの間に圧力差を生じさせる手段と、を少なくとも備えており、第１のチャンバーと第２のチャンバーのいずれか一方に収容された検出媒体は形成された圧力差によって支持手段により支持された電解質膜を透過して他方のチャンバーへ向けて移動できるようにされていることを特徴とする燃料電池用電解質膜の欠陥検出装置に関する。この装置において、第１のチャンバーと第２のチャンバーとの間に圧力差を生じさせる手段は、一方のチャンバー内に加圧した状態で検出媒体を供給し、他方のチャンバーは大気圧に維持するか負圧となるように負圧発生源に接続する手段などを採用することができる。
【００１９】
本出願は第４の発明として、上記した電解質膜の欠陥検出方法を用いて燃料電池用電解質膜における欠陥を補修する方法をも開示する。この方法では、検出媒体として欠陥である透孔内で固化する物性を備えた補修液を用い、該補修液が電解質膜の一方の面から他方の面に透過した後に、透孔内に充填した該補修液を固化させる工程を含むことを特徴とする。補修液としては、シリカゾルまたはアルミナゾルのようなゾル溶液を用いることができる。粒径の揃ったゾル溶液、例えば、２ｎｍ，１０ｎｍ，１００ｎｍのような粒径のゾル溶液を用いることもできる。後者の場合には、用いるゾル溶液により、電解質膜に散在する透孔の大きさを推定することが可能となり、透孔発生原因特定へのフィードバックや最適な補修液選定（粒径選定）へのフィードバックのような利点がもたらされる。補修後の電解質膜は、そのまま正規の電解質膜として利用可能であり、電極のコスト低減がもたらされる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、欠陥を検出すべき薄膜が燃料電池で使用される電解質膜である場合を例として、本発明を実施の形態に基づき説明する。図１は、本発明による欠陥検出方法を説明するための模式図であり、図２、図３は該検出方法を実施するための装置の一例を示している。
【００２１】
図１において、欠陥を検出しようとする薄膜は１０で示される。この例においては、薄膜１０は電解質膜単体でもよく、上記したように電極（ＭＥＡ）とされたものでもよいが、以下の説明では、薄膜を電解質膜単体１０として説明する。欠陥検出方法を実施するに際して、該電解質膜１０は、その一方の面１０ａを検出媒体（例えばシリカゾル）１１に向けかつ検出媒体１１に密着した姿勢とされ、他方の面１０ｂは開放した面とされる。その状態で、検出媒体１１を加圧し、およびまたは、他方の面１０ｂ側から吸引する。
【００２２】
もし、電解質膜１０に微細な透孔（欠陥）１０ｃがある場合には、該透孔１０ｃを通して検出媒体１１は開放面１０ｂ側に現れる（１０ｄ）。なお、検出媒体１１には親水性を持たせるために親水性の界面活性剤を入れることが望ましく、それにより、微細な細孔１０ｃを透過する時間を短縮することができ、検出感度が良好となる。検出媒体１１が目で識別できるように彩色などが施されていれば、その位置と共に欠陥の存在を確実に視認することができる。また、検出媒体１１が加水分解したシリカゾル溶液のような場合には、検出と同時に乾燥が進み、含水ゲルを経て乾燥ゲルとなり、欠陥部で白化する。それにより、欠陥の認識は容易となる。電解質膜１０（電極を被検査体とする場合は触媒層）が可視光を吸収するものであれば、白化部との光反射率が異なるので、光センサーによる欠陥部の自動検出も可能となる。
【００２３】
また、欠陥である微細な透孔１０ｃは乾燥ゲルにより充填されて閉鎖され、ガスを透過させない状態となる。充填した乾燥ゲルが燃料電池における電気化学反応に不活性（絶縁体）のものであれば、乾燥ゲルにより閉鎖された微細な細孔１０ｃは補修されたということができ、欠陥検出テストの終了後に、それを正規の電解質膜あるいは電極として使用することができる。
【００２４】
シリカゾルやアルミナゾルには、粒径毎にクラス分けされたものが存在する。例えば、粒径１０ｎｍ以下のもの、１０〜２０ｎｍのもの、２０〜３０ｎｍのものなどである。そのような粒径の異なるゾル溶液を用いることにより、欠陥である微細な透孔をその径の大きさと共に認識することができる。例えば、粒径１０〜２０ｎｍのものと、２０〜３０ｎｍのものとを検出媒体として用いた場合には欠陥を検出することができなかったが、粒径１０ｎｍ以下のものを用いた場合には、白化部が検出されるという場合が起こり得る。この場合には、欠陥の位置と共に、該欠陥が１０ｎｍ以下の径ものであることを知ることができる。
【００２５】
なお、欠陥サイズが大きく、小粒子だけでは充分に充填が不均一となる場合には、大粒子を使用することとなるが、シリカゾルは、粒子径が小さいほど、また適正な粒度分布（大粒子、中粒子、小粒子の組み合わせ）を持つほど、充填率が高くなり強固な乾燥ゲルとなる。そこで、大粒子だけでは充分な充填率が得られない場合には、粒度分布を与えたシリカゾルを使用するなどの対応により充填効率を高くする必要がある。このような場合に、粒径を変えたシリカゾルを用い、欠陥のランク分けをしておくことはきわめて有効となる。
【００２６】
前記したように、電解質膜１０の両面に触媒層を備えた電極（ＭＥＡ）の状態で、上記の検出方法を実施することもできる。その場合には、検出媒体は、本来ガス透過性である触媒層の表面に現れるが、その位置から、容易に電解質膜の欠陥位置を予測することができる。また、同様に欠陥補修の効果も得られる。
【００２７】
次に、上記の方法を実施するための装置の一例を説明する。図２は装置全体を示しており、図２ａは各部材を分解して示す斜視図、図２ｂは組み付けた状態を示す側面図である。図３は被検査体である電解質膜あるいは電極（ＭＥＡ）を固定するための治具を説明する図であり、図３ａは各部材を分解して示す斜視図、図３ｂは組み付けた状態を示す側面図である。この例において、検出装置Ａは、固定治具２０と該固定治具２０を上下から圧接挟持する締め付け具３０とで構成される。
【００２８】
固定治具２０は、検出媒体溜まり２１を持つ下部材２２と、下部材２２の周囲に配置した可撓性のシール材２３と、シール材２３を上から押さえるための上部材２４とを備える。下部材２２の底面には検出媒体溜まり２１に連通する検出媒体挿入口２１ａと残留気体の抜き口２１ｂが形成される。シール材２３の厚みは被検査体である電解質膜または電極４０の厚みよりもやや厚くされる。上部材２４は中央部に被検査体４０の面積よりも幾分小さい面積の開口２５を有している。検出に際し、被検査体４０は、下部材２２の上にシール材２３で周囲を囲まれるようにして配置され、その上に、上部材２４が置かれる。
【００２９】
締め付け具３０は、上カバー３１と下カバー３２を備える。上カバー３１と下カバー３２は、共に固定治具２０の平面積よりも大きな平面積を有し、周囲の対向する位置にはそれぞれ多数のネジ穴３３が形成されている。また、上カバー３１には、上部材２４の開口２５内に連通する位置に吸気口３４が形成され、下カバー３２における下部材２２の底面に形成した検出媒体挿入口２１ａおよび残留気体の抜き口２１ｂに連通する位置には、開口３５、３６が形成されている。
【００３０】
検出に際しては、下カバー３２を平坦面にセットし、被検査体４０を挟持した固定治具２０を、下カバー３２に形成した開口３５、３６と下部材２２の底面に形成した検出媒体挿入口２１ａ、残留気体の抜き口２１ｂとが適宜の手段により液密に連通するようにして、下カバー３２の上に配置する。そのときに、好ましくは適宜のシール材（不図示）を配置して、下部材２２に形成した検出媒体溜まり２１が開口３５、３６などを通して外部と連通するのをより確実に阻止する。
【００３１】
次に、上部材２４の開口２５の外側領域を囲むようにして適宜のシール材（不図示）を配置し、その上から上カバー３１をそのネジ穴３３が下カバー３２のネジ穴３３と対向する位置となるようにして載置する。そして、ネジ５３により、全体を一体に締め付け固定する。それにより、被検査体である電解質膜あるいは電極４０は、周囲を密封され、下面を検出媒体溜まり２１に面した状態で、固定治具２０内に固定される。
【００３２】
図示しない検出媒体貯留タンクから図示しない管路を経て、さらに、開口３５と検出媒体挿入口２１ａを通って、例えばシリカゾルである検出媒体を検出媒体溜まり２１に送り込む。検出媒体溜まり２１内の空気は残留気体抜き口２１ｂから排出され、検出媒体溜まり２１内は検出媒体で満たされる。上カバー３１に形成した吸気口３４から吸引して検出媒体溜まり２１との間に差圧を形成する。検出媒体に所要の圧力を加えるか、あるいは吸引と加圧の双方により差圧を形成してもよい。もし、被検査体４０に微細の透孔である欠陥が存在する場合には、検出媒体は差圧により欠陥を透過して上面側に露出する。所定時間経過後に上カバー３１を開く。それにより、被検査体４０の表面を目視することができるので、欠陥がある場合には、表面に露見した検出媒体の存在により、容易に欠陥の存在を認識することができる。上カバー３１を透明な材料で形成する場合には、上カバー３１を開くことなく欠陥の検知が可能となる。
【００３３】
【実施例】
欠陥の存在する電極（ＭＥＡ）を用いて行った実施例について説明する。検出媒体として、加水分解したシリカゾルであり、粒径が、＜１０ｎｍ，１０〜２０ｎｍ，２０〜３０ｎｍである３種を用意した。ＳｉＯ２濃度は２０〜２１重量％となるように調整した。調整したシリカゾルの比重はおおよそ１．１〜１．４であった。これらのシリカゾルは無定形シリカ粒子が水中に分散してコロイド状をなしており、粒子の形状は球形である。
【００３４】
これらのシリカゾルを図２、図３に示す装置の検出媒体挿入口２１ａから検出媒体溜まり２１内に導入し、上カバー３１に形成した吸気口３４から吸引する方法で差圧を形成して検出実験を実施した。検出媒体と吸引側の差圧は１０ｋＰａとした。最初に、粒径１０〜２０ｎｍ，２０〜３０ｎｍのシリカゾルを用い、６０ｓｅｃの吸引を行ったが、特に欠陥は検出されなかった。試験終了後の電極表面の観察例の写真を図４ａに示す。
【００３５】
次に、粒径＜１０ｎｍのシリカゾルを用い、６０ｓｅｃの吸引を行った。その結果、欠陥部に存在する検出媒体の白化が認められた。その観察写真を図４ｂに示す（図で矢印で示す箇所が白化部である）。吸引を止め３０ｓｅｃ程度の乾燥で、白化したシリカが存在した。その観察写真を図４ｃに示す。この白化により、透孔を特定した欠陥を検出することが可能であった。さらに、欠陥の最大径も知ることができた。用いた電極は触媒層としてカーボン系材料を用いており、可視光の吸収が顕著であることから、白化部との光反射率が異なっており、光センサーによる自動検出も可能であった。
【００３６】
さらにシリカゾルを乾燥させると、含水ゲルを経て乾燥ゲルとなり、欠陥は充填された乾燥ゲルにより閉塞されて補修された。すなわち、シリカゾルは実質的にガス不透過性でありかつ絶縁体であることから、補修後の電極は欠陥のないものとして使用することができる。
【００３７】
【発明の効果】
本発明によれば、例えば燃料電池で使用する電解質膜のような被検査体としての薄膜について、そこに存在する微少なガス透孔である欠陥を、その位置と共に容易に検出することができる。また、欠陥の検出と同時に当該欠陥の補修を行うこともできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による欠陥検出方法を説明するための模式図。
【図２】本発明による欠陥検出装置の全体を示す図であり、図２ａは各部材を分解して示す斜視図、図２ｂは組み付けた状態を示す側面図。
【図３】被検査体である電解質膜あるいは電極（ＭＥＡ）を固定するための固定治具を説明する図であり、図３ａは各部材を分解して示す斜視図、図３ｂは組み付けた状態を示す側面図。
【図４】本発明の方法により電極の欠陥検出試験を行った結果を示す写真。
【図５】固体高分子型燃料電池の要部を示す図。
【符号の説明】
１０…電解質膜、１０ｃ…欠陥としての微細な細孔、１１…検出媒体、Ａ…検出装置、２０…固定治具、２１…検出媒体溜まり、３０…固定治具を上下から圧接挟持する締め付け具、４０…被検査体（電解質膜または電極）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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