(57)【要約】　　　（修正有）【課題】高精度な差圧検出機能及びそれに伴う圧力調整機能を持つ小型の弁装置を提供する。【解決手段】互いに封止された２つの領域室の圧力変動に素早く応答して当該内外領域の圧力変動を極力制限する小型で高精度な弁装置１０であって、弁体収容部材５２と、不動の基板５４と、１つの領域室の圧力変動に感応する筒状弁体５６と、他の領域室の圧力変動に感応するコマ状弁体５８と、筒状弁体と共に作動する浮動板６０と、浮動板とコマ状弁体との間に配置されたガイド棒６２と、浮動板と基板との間に配置されたストッパー棒６４と、大径コイルばね６６と、小径コイルばね６８と、により構成される。【選択図】　　図２
2004132528.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに封止された外側密封室と内側密封室とを有する２つの領域室の圧力変動に素早く応答して当該内外領域の圧力変動を極力制限する小型で高精度な弁装置１０であって、
弁体収容部材５２と、基板５４と、筒状弁体５６と、コマ状弁体５８と、浮動板６０と、ガイド棒６２と、ストッパー棒６４と、大径コイルばね６６と、小径コイルばね６８と、により構成されており、
弁体収容部材５２の一端が一方の領域室へ連通しており、
基板５４が該弁体収容部材５２の他端を閉じることにより２つの領域間を分断しており、かつ中央部に２つの領域間を連通する開口部８６を有しており、
該開口部８６を貫通している筒状弁体５６が、弁板８８であってコマ状弁体５８を受け入れる開口部９０を有している有孔弁板８８と、該弁板８８の周辺部から立ち上がり前記基板５４の開口部８６を貫通して他方の領域室まで伸びている円筒部９２であって複数の気流貫通手段９８、１００を有している円筒部９２と、を有しており、
コマ状弁体５８が、筒状弁体５６の円筒部９２内にあり他方の領域室側に位置している無孔弁板１０８と、筒状弁体５６の開口部９０内にて摺動案内され一方の領域室側まで伸びている案内部分１０６と、を有しており、
浮動板６０が筒状弁体５６の円筒部９２の開放端部を閉じており、かつ貫通孔１２０を有しており、
ガイド棒６２が一端部をこの貫通孔１２０に摺動自在に受け入れられ、他端部は前記コマ状弁体５８に支承されており、
ストッパー棒６４が浮動板６０と基板５４との間に設けてあり、
大径コイルばね６６が浮動板６０と基板５４との間に配置され、
小径コイルばね６８が浮動板６０とガイド棒６２との間に配置されている、
ことから成る弁装置。
【請求項２】
互いに封止された外側密封室と内側密封室とを有する２つの領域室の圧力変動に素早く応答して当該内外領域の圧力変動を極力制限する小型で高精度な弁装置１０ａであって、
弁体収容部材５２ａと、基板５４ａと、筒状弁体５６ａと、コマ状弁体５８ａと、浮動板６０ａと、ガイド棒６２ａと、ストッパー棒６４ａと、大径コイルばね６６ａと、小径コイルばね６８ａと、により構成されており、
弁体収容部材５２ａの一端が一方の領域室へ連通しており、
基板５４ａが該弁体収容部材５２ａの他端を閉じることにより２つの領域間を分断しており、かつ中央部に２つの領域間を連通する開口部８６ａを有しており、
該開口部８６ａを貫通している筒状弁体５６ａが、弁板８８ａであってコマ状弁体５８ａを受け入れる開口部９０ａを有している有孔弁板８８ａと、該弁板８８ａの周辺部から立ち上がり前記基板５４ａの開口部８６ａを貫通して一方の領域室まで伸びている円筒部９２ａであって複数の気流貫通手段９８ａ、１００ａを有している円筒部９２ａと、を有しており、
コマ状弁体５８ａが、筒状弁体５６ａの円筒部９２ａ内にあり一方の領域室側に位置している無孔弁板１０８ａと、筒状弁体５６ａの開口部９０ａ内にて摺動案内され他方の領域室側まで伸びている案内部分１０６ａと、を有しており、
浮動板６０ａが筒状弁体５６ａの円筒部９２ａの開放端部を閉じており、かつ貫通孔１２０ａを有しており、
ガイド棒６２ａが一端部をこの貫通孔１２０ａに摺動自在に受け入れられ、他端部は前記コマ状弁体５８ａに支承されており、
ストッパー棒６４ａが浮動板６０ａと基板５４ａとの間に設けてあり、
大径コイルばね６６ａが浮動板６０ａと基板５４ａとの間に配置され、
小径コイルばね６８ａが浮動板６０ａとガイド棒６２ａとの間に配置されている、
とから成る弁装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、一方の領域室の内部圧力をＰ１とし、他方の領域室の内部圧力をＰ２としたとき、設計圧力を、Ｐ１−Ｐ２＝−０．０５　〜　＋０．０５ＭＰａとなるようにバネ強度を設定してあることを特徴とする弁装置。
【請求項４】
請求項３において、Ｐ１−Ｐ２＞０．００５ＭＰａ又は、Ｐ２−Ｐ１＞０．００５ＭＰａの関係に成った時、自動的に作動するようにバネ強度を設定してあることを特徴とする弁装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、安全弁に関し、より詳細には、互いに封止された外側密封室と内側密封室とを有する内外２つの領域室の圧力変動に素早く応答して当該内外領域の圧力変動を極力制限するように迅速に作動可能な小型で高精度な安全弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
高圧アニール装置等のように例えば大型の外側密封室の内部に小型の内側密封室を備えている二つの領域から成る二重封止室を有する装置において、必要に応じて外側密封室と内側密封室との圧力を調整する場合、夫々の密封室へ連通する導管より必要量の窒素ガスを供給することにより内部の圧力調整をすることは当業界においては広く知られている。
【０００３】
また、外部から気体が侵入しないようにしかつ二次側の圧力の影響を受け難いようにするため、蒸気ボイラー、温水ボイラー、圧力容器等に取付けられるベローズを備えた安全弁であって、二次側圧力が大気圧から真空圧まで変動する条件下や停止時において、弁の一次側及び二次側ともに弁体を通して外部から気体が侵入しないように、気密な溶接接合構造とし、二次側を容器等の密閉部に溶接接続した安全弁も知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
更に、減圧及び加圧兼用容器に用いる弁装置であって、一つのＴ字管の脚部を該容器への連結部となし、別のＴ字管の脚部を真空ポンプ系への連結部となし、一方のＴ字管の片腕部と別のＴ字管の片腕部との端部を内径ｄの環状弁座を挟持する状態で接合させ、接合両Ｔ字管の腕部内をその軸方向に延在するステムによって中心を垂直に貫通された状態でそのステムに固着された直径＞ｄの円板弁を、環状弁座の容器側の面に当接するように配置し、容器側のＴ字管の他の片腕部の端部を閉じ、その閉鎖端部の中心を貫通して前記ステムの延長部が軸方向に滑動自在にかつ気密状態に枢着して外部まで延在しており、真空ポンプ系側のＴ字管の他の片腕部の端部を閉じ、その閉鎖端部の中心を貫通して前記ステムの延長部が軸方向に滑動自在にかつ気密状態に枢着して外部にまで延在しており、円板弁が弁座当接位置から容器への連結部をなす脚部を横切ってほぼ越える位置まで所定距離にわたりステム軸方向に移動することができかつその逆移動が可能なようにステムをその外部延長部を介して外部から駆動する手段を備えている弁装置も知られている（例えば特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−２９５９５２号公報
【特許文献２】
特許第２９４９０２４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらの公知の弁装置は、装置自体が大型化しており、狭い室内へ設置するには不向きである。また例えば内側密封室素材として高温に耐え得る石英ガラスを使用しているような装置（例えば、ある種の高圧アニール装置）においては、当該石英ガラス自体が高価なため、出来るだけその厚みを薄く成形しており、そのため当該石英ガラス室の内外圧力の差が大きくなると該ガラスは容易に割れることがある。しかしてそのような石英ガラス室の損傷は大きな経済的損失を招くので、そのような破損を極力防止する必要があり、そのためにはかなり高精度な差圧検出機能及びそれに伴う圧力調整機能を持つ弁装置が必要となる。しかしながら、上記の公知弁装置には残念ながらそのような機能を期待することが出来ない。そこで、本件発明では、かかる要求を満たすような小型で高精度な弁装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
互いに封止された外側密封室と内側密封室とを有する２つの領域室の圧力変動に素早く応答して当該内外領域の圧力変動を極力制限する小型で高精度な弁装置であって、弁体収容部材と、基板と、筒状弁体と、コマ状弁体と、浮動板と、ガイド棒と、ストッパー棒と、大径コイルばねと、小径コイルばねと、により構成される。ここで弁体収容部材の一端は一方の領域室へ連通し、基板が弁体収容部材の他端を閉じることにより２つの領域間を分断しており、かつ中央部に２つの領域間を連通する開口部を有し、この開口部を貫通している筒状弁体が、弁板であってコマ状弁体を受け入れる開口部を有している有孔弁板と、該弁板の周辺部から立ち上がり前記基板の開口部を貫通して他方の領域室まで伸びている円筒部であって複数の気流貫通手段を有している円筒部と、を有しており、コマ状弁体が、筒状弁体の円筒部内にあり他方の領域室側に位置している無孔弁板と、筒状弁体の開口部内にて摺動案内され一方の領域室側まで伸びている案内部分と、を有しており、浮動板が筒状弁体の円筒部の開放端部を閉じており、かつ貫通孔を有しており、ガイド棒が一端部をこの貫通孔に摺動自在に受け入れられ、他端部は前記コマ状弁体に支承されており、大径コイルばねが浮動板と基板との間に配置され、小径コイルばねが浮動板とガイド棒との間に配置されている。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下の実施例においては、内側密封室素材として高価な石英ガラスを使用している高圧アニール装置へ装着した本発明の弁装置について記述する。しかしながら、本発明の弁装置は、石英ガラスを用いた高圧アニール装置にのみ使用されるものでは無く、その他の材料を用いた高圧アニール以外の種々の制御装置、加工処理装置、等にもおいても同様に適切に使用されうることは当業者にとって明らかである。
【０００９】
図１は本発明の弁装置１０を装着した高圧アニール装置１２の概略図である。この高圧アニール装置１２は、一般に鋼製の頑丈な圧力容器１４を有しており、圧力容器１４の内部には高価な石英ガラスより成る反応容器１６が収容されている。反応容器１６の内部には、液晶用ガラス基板やシリコンウエーハ等の高圧アニール処理されるべき薄板１８及びこれらの薄板１８を所定の間隔に保持するためのカセット２０が収容されている。この反応容器１６の下部はエンドキャップ２２により閉じられている。また、このエンドキャップ２２は圧力容器１４の内部と反応容器１６の内部とを封止分断している。更に、圧力容器１４の内部には、反応容器１６の内部を加熱するため、該反応容器１６の周辺（図示の例では、側方及び上方）に公知のようにヒーターが配置されている。
【００１０】
エンドキャップ２２と圧力容器１４の底部との間の空間２４には反応容器１６内へ加熱水蒸気を供給するための加熱水蒸気供給装置２６が収容されている。この装置２６は、端部が給水源へ連結されている給水ライン２８と、給水ライン２８を開閉するための弁３０と、給水ライン２８により供給された水を収容するタンク３２と、タンク３２から反応容器１６内へ連結し当該容器１６へ蒸気を提供する蒸気供給ライン３４と、加熱水蒸気供給装置２６全体を加熱するためのヒーター（図示なし）と、により構成されている。前記タンク３２へ対して、本発明の弁装置１０が装着されている。この弁装置１０は、反応容器１６内の圧力を、蒸気供給ライン３４を介して感知すると同時に、当該空間２４内の圧力を感知し、これにより反応容器１６内の圧力と空間２４内の圧力とを常時ほぼ同じ値に維持する働きをし、これにより反応容器１６の破損を防止している。
【００１１】
本発明の弁装置１０を拡大して示している図２及び図３を参照しながら、本発明の弁装置１０についてより詳細に述べる。図２において、本発明の弁装置１０は、接続管５０と、弁体収容部材５２と、基板５４と、筒状弁体５６と、コマ状弁体５８と、浮動板６０と、ガイド棒６２と、ストッパー棒６４と、大径コイルばね６６と、小径コイルばね６８と、より構成されている。
【００１２】
接続管５０は、弁装置１０を前記タンク３２へ接続しかつ反応容器１６内部の圧力を、ライン３４及びタンク３２を介して、弁装置１０へ伝達する。弁体収容部材５２が該接続管５０の上方部分へ配置されている。接続管５０と弁体収容部材５２とを連結するため接続管５０の上端部にはフランジ７０が、また弁体収容部材５２の下端部には同様のフランジ７２が形成されており、これらのフランジがシール手段７４を介してクランプ手段等の締め付け手段７６によって締め付け固着されている。締め付け手段７６はクランプ手段の代わりボルトナット等の固着手段を使用することも出来る。また、図示の例ではシール手段７４がフランジ７２へ装着されているが、必要に応じて、フランジ７０側へ装着出来ることも明らかである。弁体収容部材５２は、有底筒体形状を有する筒状弁体５６を収容するための拡径室７８を内部に画定されて概ねお椀形状を有しており、該拡径室７８の外周縁には上方フランジ８０が形成されている。
【００１３】
上方フランジ８０には、基板５４が該拡径室７８の上部を閉じるように、シール手段８２を介してボルトナット等の締め付け手段８４によって固着されている。締め付け手段８４はボルトナット手段の代わりにクランプ手段等の固着手段を使用することも出来る。この基板５４の中央部分には筒状弁体５６が貫通するための円形の開口部８６が形成されている。基板５４の開口部８６へ嵌合する筒状弁体５６は、弁板８８であって中央部分にコマ状弁体５８が入り込むための開口部９０を有している有孔弁板８８と、該弁板８８の周辺部から立ち上がっている円筒部９２と、を好ましくは一体的に有して成る。より詳細には、この筒状弁体５６は、図３に示すように、有孔弁板８８の外周縁にはシール手段９４（図２）を収容するための凹み９６が形成され、更に、円筒部９２には、そこを介して気流が迅速に流通出来るように、該円筒部９２を貫通している例えば４個の大きな丸穴９８と、その間に形成された４個の小さな丸穴１００と、が形成されている。更に、該円筒部９２は、有孔弁板８８と反対側の端部に肉厚が多少大きくなっている肉厚壁面１０２を有しており、その壁面１０２の内面には内ネジ１０４が形成されている。
【００１４】
筒状弁体５６の有孔弁板８８に設けた開口部９０へ嵌合するコマ状弁体５８は、該開口部９０へ直接嵌合して該開口部９０によって摺動案内される概ね十字形断面形状を有している案内部分１０６と、好ましくは該案内部分１０６と一体をなし前記筒状弁体５６の有孔弁板８８上面へ接する無孔弁板１０８と、により構成されている。更に、該コマ状弁体５８の無孔弁板１０８には、筒状弁体５６の有孔弁板８８へ接する部分にシール手段１１０を収容するための凹み１１２が形成されている。また、前記凹み１１２が形成されている面と反対側の面の該無孔弁板１０８中央部分には凹部１１４が形成されている。
【００１５】
前記筒状弁体５６の肉厚壁面１０２に形成された内ネジ１０４には、浮動板６０が螺合しそこに固着されている。この浮動板６０の中心位置には貫通孔１２０が設けられている。この貫通孔１２０にはガイド棒６２の一端部が摺動自在に受け入れられており、ガイド棒６２の他端部は前記コマ状弁体５８の凹部１１４に受け入れられるように配置されている。また、浮動板６０の外周縁からは３個又は４個のストッパー棒６４が基板５４へ向かってほぼ垂直に垂れ下がり適当な公知の固着手段でそこへ固着されている。このストッパー棒６４は浮動板６０が基板５４の方へ移動した時に、コイルばね６６があまり接近しすぎ気流が筒状弁体５６の内外へ自由に流動するのを阻止することを防止するため、浮動板６０と基板５４とが異常に接近することを阻止する機能を有する。なお、このストッパー棒６４は、基板５４側へ装着することも可能である。
【００１６】
更に、筒状弁体５６の外側であって浮動板６０と基板５４との間には大径のコイルばね６６が配置されている。これにより浮動板６０が常時基板５４から離れる方向に付勢されるように弾性保持され、その結果、該浮動板６０へ螺合している筒状弁体５６が基板５４の下面を押圧し、基板５４と筒状弁体５６との間を介して流動する気流が完全に遮断されている。一方、ガイド棒６２の外周側であって浮動板６０と該ガイド棒６２自体に設けたばね受部１２２との間には小径のコイルばね６８が配置されている。これによりガイド棒６２が常時コマ状弁体５８を筒状弁体５６側へ弾性保持し、その結果、コマ状弁体５８の無孔弁板１０８が筒状弁体５６の有孔弁板８８へ圧着し、筒状弁板５６の開口部９０を介して流動する気流が完全に遮断されている。その結果、反応容器１６内の圧力は、直接、接続管５０と弁体収容部材５２とを介して、基板５４の下面と、筒状弁体５６の有孔弁体８８の下面と、コマ状弁体５８の案内部分１０６と、に伝達されるが、浮動板６０やガイド棒６２やストッパー棒６４へ伝達されることは無い。反対に、空間２４内の圧力は、基板５４の上面と筒状弁体５６の有孔弁板８８の上面とコマ状弁体５８の無孔弁板１０８の上面へは、直接、伝達されるが、基板５４の下面以降には伝達されない。
【００１７】
この発明においては、例えば、反応容器１６の内部圧力をＰ１とし、反応容器１６の外部であって圧力容器１４の内部の圧力をＰ２としたとき、設計圧力を、Ｐ１−Ｐ２＝−０．０５　〜　＋０．０５ＭＰａとなるようにバネ強度を設定して置く。しかして作動時の圧力関係はＰ１−Ｐ２＝０．００１〜０．００５ＭＰａであることが望ましいとする。ここで、圧力容器１４内において反応容器１６内の圧力（Ｐ１）が、Ｐ１−Ｐ２＞０．００５ＭＰａ又は、Ｐ２−Ｐ１＞０．００５ＭＰａの関係に成った時、本発明の弁装置１０が自動的に作動するように設定されているのである。
【００１８】
もし、Ｐ１とＰ２との関係が上述の許容範囲を越え、例えば、Ｐ１−Ｐ２＞０．００５ＭＰａとなり、反応容器１６内の圧力が異常に高くなったときには、図４に示すように、コマ状弁体５８が、小径コイルばね６８の弾性力に抗して、図面において上方へ押し上げられる。このとき、筒状弁体５６はシール手段９４によって基板５４へ封止関係に保持されている。このため、ガイド棒６２が上方へ押し上げられ、該コイルばね６８が縮む。コマ状弁体５８の上方移動は、小径コイルばね６８が浮動板６０とガイド棒６２のばね受部１２２との間で最も圧縮される位置までは可能であるが、コマ状弁体５８が最も上方へ移動した時においても当該コマ状弁体５８の案内部分１０６が筒状弁体５６の開口部９０から抜け出すことはない寸法関係と成っている。このため、反応容器１６内の高圧流体が、矢印１２４で示すように、有孔弁板８８の開口部９０、コマ状弁体５８の案内部分１０６を介して筒状弁体５６内へ流れ、次いで、該筒状弁体５６の筒状壁部分に形成した大小の丸穴９８、１００を介して、圧力がＰ２である圧力容器１４内へ流れ出る。このため、反応容器１６内の圧力Ｐ１は迅速に圧力容器１４内の圧力Ｐ２まで減圧され、こうして反応容器内の圧力と圧力容器内の圧力とが等しい値となる。
【００１９】
一方、もし、Ｐ１とＰ２との関係が上述の許容範囲を越え、例えば、Ｐ２−Ｐ１＞０．００５ＭＰａとなり、圧力容器１４内の圧力が異常に高くなったときには、図５に示すように、筒状弁体５６の有孔弁板８８の上面とコマ状弁体５８の無孔弁板１０８の上面が加圧されて大径コイルばね６６の弾性力に抗して基板５４の下方へ押圧される。そのため、筒状弁体５６が拡径室７８内へ押し込まれ、該筒状弁体５６の有孔弁板８８が基板５４から下方へ遊離する。この遊離量はストッパー棒６４が基板５４へ接触する距離によって調整出来る。このとき、コマ状弁体５６の無孔弁板１０８がシール手段１１０によって筒状弁体５６の有孔弁板８８へ封止関係に保持されている。しかして、筒状弁体５６が拡張室７８内へ移動すると、圧力容器１４内の高圧流体は図５において矢印１２６で示すように、筒状弁体５６の丸穴９８を介して当該筒状弁体５６内へ流れ、次いで該丸穴９８又は１００を介して弁体収容部材５２の拡径室７８内へ流れ出す。こうして、圧力容器１４内の高圧流体は迅速について反応容器１６内へ流入し、
反応容器内の圧力と圧力容器内の圧力とが等しい値となる。
【００２０】
何れの場合も、反応容器１６内の圧力（Ｐ１）と圧力容器１４内の圧力（Ｐ２）とが等しい値に復帰すると、コイルばね６６、６８が作動して、筒状弁体５６及びコマ状弁体５８を初期位置まで急速に迅速に復帰させる。
【００２１】
図６は、別の実施例を示す図２と同様の図である。図６に示す実施例が図２に示す実施例と異なる点は、図２に示す実施例において、基板に対する筒状弁体とコア状弁体との位置関係を逆にした点である。その他の点ではストッパー棒の取付け位置を浮動板ではなく、基板に代えただけで、両者に実質的な構造上の相違は無い。そこで図６に関しては、図２において使用した符号に「ａ］を付してその作用についてのみ述べる。
【００２２】
もし、上述のＰ１とＰ２との関係が上記の許容範囲を越え、例えば、Ｐ２−Ｐ１＞０．００５ＭＰａとなり、圧力容器１４内の圧力（Ｐ２）が異常に高くなったときには、コマ状弁体５８ａが、小径コイルばね６８ａの弾性力に抗して、図面において下方へ押し下げられる。このとき、筒状弁体５６ａはシール手段９４ａによって基板５４ａへ封止関係に保持されている。このため、ガイド棒６２ａが下方へ押し下げられ、該コイルばね６８ａが縮む。このため、圧力容器１４内の高圧流体が、有孔弁板８８ａの開口部９０ａ、コマ状弁体５８ａの案内部分１０６ａを介して筒状弁体５６ａ内へ流れ、次いで、該筒状弁体５６ａの筒状壁部分に形成した大小の丸穴９８ａ、１００ａを介して、圧力がＰ１である反応容器１６内へ流れ込む。このため、圧力容器１４内の圧力Ｐ２は迅速に反応容器１６内の圧力Ｐ１まで減圧され、こうして反応容器内の圧力と圧力容器内の圧力とが等しい値となる。
【００２３】
一方、もし、Ｐ１とＰ２との関係が上述の許容範囲を越え、例えば、Ｐ１−Ｐ２＞０．００５ＭＰａとなり、反応容器１６内の圧力が異常に高くなったときには、筒状弁体５６ａの有孔弁板８８ａの下面とコマ状弁体５８ａの無孔弁板１０８ａの下面が加圧されて大径コイルばね６６ａの弾性力に抗して基板５４ａの方へ押圧される。そのため、筒状弁体５６ａが拡径室７８ａ内から上方へ押し出され、該筒状弁体５６ａの有孔弁板８８ａが基板５４ａから上方へ遊離する。この遊離量はストッパー棒６４ａが浮動板６０ａへ接触する距離によって調整出来る。このとき、コマ状弁体５６ａの無孔弁板１０８ａがシール手段１１０ａによって筒状弁体５６ａの有孔弁板８８ａへ封止関係に保持されている。しかして、筒状弁体５６ａが拡張室７８ａ内から上方へ移動すると、反応容器１６内の高圧流体は、筒状弁体５６ａの丸穴９８ａを介して当該筒状弁体５６ａ内へ流れ、次いで該丸穴９８ａ又は１００ａを介して圧力容器１４内へ流れ出す。こうして、反応容器１６内の高圧流体は迅速について圧力容器１４内へ流入し、反応容器内の圧力と圧力容器内の圧力とが等しい値となる。
【００２４】
何れの場合も、反応容器１６内の圧力と圧力容器１４内の圧力とが等しい値に復帰すると、コイルばね６６ａ、６８ａが作動して、筒状弁体５６ａ及びコマ状弁体５８ａを初期位置まで急速に迅速に復帰させる。
【００２５】
【発明の効果】
本発明によれば、装置自体が極めて小型であり、狭い圧力容器内の室内空間へ設置することが可能である。また例えば反応容器素材として、高温に耐え得る石英ガラスを使用しているような高圧アニール装置においても、反応容器と圧力容器との間の差圧を極力僅差に調整維持出来るので、圧力差による当該反応容器の破損をほぼ完全に防止することが出来る。このため、高価な石英ガラスの厚みをこれまで以上に薄くしても当該石英ガラスの損傷ということが発生しない。そのため、高価な石英ガラスを非常に有効にかつ効果的に使用することが出来る。よって、これまでのような石英ガラス室の損傷に伴う大きな経済的損失は全く無くなった。また、この安全弁装置はかなり高精度な差圧検出機能及びそれに伴う圧力調整機能を持つので、多種の実験装置、成形処理装置において非常に有効に使用出来る高価を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の弁装置を装着した高圧アニール装置の概略図である。
【図２】本発明に係る弁装置の第１の実施例を示す組立図である。
【図３】本発明に係る弁装置の筒状弁体を示す図である。
【図４】本発明に係る弁装置の作動状態を示す図である。
【図５】本発明に係る弁装置の別の作動状態を示す図である。
【図６】本発明に係る弁装置の第２の実施例を示す組立図である。
【符号の説明】
１０：弁装置　　　　　　　　　　　１２：高圧アニール装置
１４：圧力容器　　　　　　　　　　１６：反応容器
１８：薄板　　　　　　　　　　　　２０：カセット
２２：エンドキャップ　　　　　　　２４：空間
２６：加熱水蒸気供給装置　　　　　２８：給水ライン
３０：弁　　　　　　　　　　　　　３２：タンク
３４：蒸気供給ライン　　　　　　　５０：接続管
５２：弁体収容部材　　　　　　　　５４：基板
５６：筒状弁体　　　　　　　　　　５８：コマ状弁体
６０：浮動板　　　　　　　　　　　６２：ガイド棒
６４：ストッパー棒　　　　　　　　６６：大径コイルばね
６８：小径コイルばね　　　　　　　７０、７２：フランジ
７４：シール手段　　　　　　　　　７６：締め付け手段
７８：拡径室　　　　　　　　　　　８０：上方フランジ
８２：シール手段　　　　　　　　　８４：締め付け手段
８６：開口部　　　　　　　　　　　８８：有孔弁板
９０：開口部　　　　　　　　　　　９２：円筒部
９４：シール手段　　　　　　　　　９６：凹み
９８、１００：丸穴　　　　　　　　１０２：肉厚壁面
１０４：内ネジ　　　　　　　　　　１０６：案内部分
１０８：無孔弁板　　　　　　　　　１１０：シール手段
１１２、１１４：凹み　　　　　　　１２０：貫通孔
１２２：ばね受部　　　　　　　　　１２４、１２６：矢印
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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