(57)【要約】【課題】液体中の溶存空気量を調整でき、また、脱気膜の寿命の長い脱気装置とすることを課題とする。【解決手段】膜脱気装置１４へ送水される脱気前の塗布液又は膜脱気装置１４から排水された脱気後の塗布液Ｌの少なくとも一方の溶存酸素量が溶存酸素測定器３０、３２によって測定される。測定結果に基づき、制御部３４が真空バルブ２２の開度を調整することで、膜脱気装置１４の脱気度を変えて塗布液中の溶存酸素量の変動を抑える。また、脱気膜１８に常時同じ負荷が作用しないため、脱気膜１８の寿命が長くなり、ランニングコストを下げることができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体中の溶存空気を除去する液体の脱気システムにおいて、
脱気装置へ送水される脱気前の液体又は該脱気装置から排水された脱気後の液体の少なくとも一方の液体の溶存空気量を検出する溶存空気量検出手段と、
前記脱気装置が脱気する溶存空気量の脱気量を変える脱気調整手段と、
前記溶存空気量検出手段の検出結果に基づき前記脱気調整手段を制御して前記脱気装置の脱気度を調整する制御手段と、を有することを特徴とする液体の脱気システム。
【請求項２】
前記脱気調整手段が、前記脱気装置と真空ポンプを接続する配管に設けられた減圧調整バルブであり、前記制御手段が前記減圧調整バルブの開度を調整することを特徴とする請求項１に記載の液体の脱気システム。
【請求項３】
液体中の溶存空気を除去する液体の脱気システムにおいて、
脱気前の液体と脱気後の液体の流路がそれぞれ共通とされ多列配置された脱気装置群と、
前記脱気装置群へ送水される脱気前の液体又は該脱気装置群から排水された脱気後の液体の少なくとも一方の液体の溶存空気量を検出する溶存空気量検出手段と、
前記脱気装置群を構成する脱気装置のうち使用する脱気装置へ液体を送水する切替え手段と、
前記溶存空気量検出手段の検出結果に基づき前記切替え手段を操作し選択した脱気装置へ液体を送水させる制御手段と、を有することを特徴とする液体の脱気システム。
【請求項４】
前記切替え手段が、各脱気装置の流入管に設けられた開閉弁であり、前記制御手段が前記開閉弁の開閉操作をすることを特徴とする請求項３に記載の液体の脱気システム。
【請求項５】
ウェブに塗布される液体中の溶存空気を除去する液体の脱気方法において、
脱気装置へ送水される脱気前の液体又は該脱気装置から排水された脱気後の液体の少なくとも一方の液体の溶存空気量に基づき、脱気装置の脱気度を調整することを特徴とする液体の脱気方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体中に溶存する空気を脱気する液体の脱気システム及び液体の脱気方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
感光性平版印刷版は、一般にコイル状のアルミニウム版（以下「ウエブ」という）に、例えば、砂目立て、陽極酸化、化成処理等の表面処理を単独又は適宜組み合わせて行い、次いで、塗布液が塗布される塗布工程を経て、乾燥工程へ回される。
【０００３】
塗布液の塗布工程において、溶存空気が含有した塗布液をそのまま塗布すると、気泡によって泡はじき、縦スジ、ピンホール等の欠陥が塗布面に生じ、ウェブに均一な感光層を形成することができない。このため、ウェブに塗布される塗布液中に含有する溶存空気を除去する必要がある。
【０００４】
このような液中の溶存空気を効率的に除去する方法としては、図７に示すように、リザーブタンク１００に貯留された塗布液Ｌを送液ポンプ１０２で多列に配置された脱気装置１０４へ送ることで、液中の溶存空気を取り除き、そのままフィルタ１０６を通して塗布装置１０８に送る方法が一般的である（特許文献１参照）。
【０００５】
ところで、塗布装置１０８からリザーブタンク１００への戻り液量の変化、脱気装置１０４から塗布装置１０８へ送る塗布液量の変更、ストックタンク１２０からリザーブタンク１００への塗布液の供給タイミング等によって、リザーブタンク１００内の塗布液の溶存空気量が変動するため、脱気後の塗布液の溶存空気量が変動し、塗布装置での塗布故障の原因となることがある。このため、負荷変動に対応できるように複数の脱気装置１０４を配置して溶存空気量の変動を最小限に抑えている。
【０００６】
しかし、複数の脱気装置を配置すると、特に、脱気装置として膜脱気装置を用いた場合、脱気膜１０５の劣化により能力が低下するため、定期的に脱気膜１０５を交換しなければならず、ランニングコストが増加する。
【０００７】
また、製品の品種等により塗布方式が変わってくるため、塗布液に要求される溶存空気量の条件（溶存空気量の多少の条件）も異なってくる。しかし、従来の脱気装置は、真空ポンプ１１０を駆動し常に一定の真空度で脱気するだけ、すなわち、一定の条件にセットされているだけで、脱気後の塗布液の溶存空気量を臨機応変に調整することができなかった。
【０００８】
【特許文献１】
特開平９−２５３４５９号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記事実を考慮し、液体中の溶存空気量を調整でき、また、脱気膜の寿命の長い脱気装置とすることを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、液体中の溶存空気を除去する液体の脱気システムにおいて、脱気装置へ送水される脱気前の液体又は該脱気装置から排水された脱気後の液体の少なくとも一方の液体の溶存空気量を検出する溶存空気量検出手段と、前記脱気装置が脱気する溶存空気量の脱気量を変える脱気調整手段と、前記溶存空気量検出手段の検出結果に基づき前記脱気調整手段を制御して前記脱気装置の脱気度を調整する制御手段と、を有することを特徴としている。
【００１１】
請求項１に記載の発明では、脱気装置へ送水される脱気前の液体又は脱気装置から排水された脱気後の液体の少なくとも一方の溶存空気量が溶存空気量検出手段によって検出される。溶存空気量検出手段の検出結果に基づき、制御手段が脱気調整手段を制御して脱気装置の脱気度を調整することで、液体中の溶存空気量の変動を抑えることができる。
【００１２】
また、製品の品種等により要求される溶存空気量の条件が変化しても、脱気装置の脱気度を調整できる構成なので、条件変化に対応できる。さらに、脱気装置が膜脱気装置の場合、膜に常時同じ負荷が作用しないため、膜の寿命が長くなり、ランニングコストを下げることができる。
【００１３】
なお、液体として水の溶存空気量を調整する場合は、脱気装置から排水された脱気後の水の溶存空気量を検出してフィードバック制御すればよいが、液体として溶剤の溶存空気量を調整する場合には、溶剤が混合液なので飽和気体量を絶対値で正確に測定できない。このため、脱気装置の前後（脱気前、脱気後）の溶存空気量を検出し、この検出結果に基づいて脱気量を調整することで、所望の溶存空気量とすることができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、前記脱気調整手段が、前記脱気装置と真空ポンプを接続する配管に設けられた減圧調整バルブであり、前記制御手段が前記減圧調整バルブの開度を調整することを特徴としている。
【００１５】
請求項２に記載の発明では、脱気装置を真空状態とする真空ポンプと脱気装置とを接続する配管に、減圧調整バルブが設けられている。この減圧調整バルブの開度を調整することで、真空度を変えて脱気装置の脱気度を制御している。この構成では、真空ポンプを駆動制御する必要がないので、制御が簡単になる。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、液体中の溶存空気を除去する液体の脱気システムにおいて、
脱気前の液体と脱気後の液体の流路がそれぞれ共通とされ多列配置された脱気装置群と、前記脱気装置群へ送水される脱気前の液体又は該脱気装置群から排水された脱気後の液体の少なくとも一方の溶存空気量を検出する溶存空気量検出手段と、前記脱気装置群を構成する脱気装置のうち使用する脱気装置へ液体を送水する切替え手段と、前記溶存空気量検出手段の検出結果に基づき前記切替え手段を操作し選択した脱気装置へ液体を送水させる制御手段と、を有することを特徴としている。
【００１７】
請求項３に記載の発明では、脱気装置が多列（並列、直列）に配置され、脱気装置群となっている。脱気装置群には、脱気前の液体と脱気後の液体が流れる共通の流路がそれぞれ設けられている。また、脱気装置群へ送水される脱気前の液体又は脱気装置群から排水された脱気後の液体の少なくとも一方の溶存空気量が溶存空気量検出手段によって検出される。
【００１８】
溶存空気量検出手段によって検出された検出結果に基づき、制御手段が切替え手段を操作して選択した脱気装置へ液体を送水することで（使用する脱気装置の台数を変える）脱気量を調整し、液体中の溶存空気量の変動を抑えることができる。
【００１９】
また、複数の脱気装置を運転しても、平均すると各脱気装置の使用頻度が落ちるので、膜脱気の場合、膜の寿命が長くなり、ランニングコストを下げることができる。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、前記切替え手段が、各脱気装置の流入管に設けられた開閉弁であり、前記制御手段が前記開閉弁の開閉操作をすることを特徴としている。
【００２１】
請求項４に記載の発明では、切替え手段として、各脱気装置の流入管に開閉弁を設け、制御手段により開閉弁の開閉操作をすることで、液体を送水する脱気装置を選択する。
【００２２】
請求項５に記載の発明は、ウェブに塗布される液体中の溶存空気を除去する液体の脱気方法において、脱気装置へ送水される脱気前の液体又は該脱気装置から排水された脱気後の液体の少なくとも一方の液体の溶存空気量に基づき、脱気装置の脱気度を調整することを特徴としている。
【００２３】
【発明の実施の形態】
図１に示すように、第１実施形態に係る液体の脱気システムは、液体として塗布液Ｌ（有機溶剤系）を貯留するリザーブタンク１０を備えている。リザーブタンク１０の底壁１０Ｂには、送水管１２が接続されている。この送水管１２の下流側は膜脱気装置１４に接続されており、送水管１２に配置された送液ポンプ１６によって、リザーブタンク１０に貯留された塗布液が脱気膜１８の表側に送水される。なお、リザーブタンク１０には、塗布液が減少するとストックタンク１２０から塗布液が送水され、また、塗布装置２６からの戻り液がリザーブされる。
【００２４】
脱気膜１８は、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体で製造されたシート状或は袋状の薄膜（サイズ：８０００×３５０ｍｍ）が使用されているが、他の脱気膜としては、フッ素樹脂フィルムが使用でき、四弗化エチレン−六弗化プロピレン共重合体樹脂フィルム、四弗化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂フィルム、四弗化エチレン−エチレン共重合樹脂フィルムを用いることができる。フッ素樹脂フィルム膜厚として、１００μｍ以下が好ましく、５０μｍ以下がより好ましい。
【００２５】
脱気膜１８の裏面側には、吸引管２０が接続されている。この吸引管２０を通じて真空ポンプ３６により脱気膜１８の裏面側が吸引され、後述する真空バルブ２２により真空度が６７×１０２Ｐａ〜１０６×１０２Ｐａの範囲で調整される。
そして、この脱気膜１８により、溶存酸素量が下がった塗布液Ｌは排水管２４に設けられたろ過装置２８を経て塗布装置２６に送液される。この塗布装置２６でウェブＷに塗布液Ｌが均一に塗布される。
【００２６】
また、送水管１２には溶存酸素測定器３０が取付けられ、排水管２４には溶存酸素測定器３２が取付けられている。溶存酸素測定器３０は、脱気前の塗布液の溶存酸素量を測定して測定値を制御部３４へ出力する。また、溶存酸素測定器３２は、脱気後の塗布液の溶存酸素量を測定して測定値を制御部３４へ出力する。
【００２７】
溶存酸素測定器は、一例として金からなる酸素極を正極とし、鉛を負極とする酸素鉛電池から構成されている。フッ素樹脂製の隔膜を通って拡散している塗布液中の酸素は正極で還元され、両極間に酸素濃度に比例した電流が流れる。この電流をサーミスタの端子電圧として検出し、電圧の変化から溶存酸素量を測定する。
【００２８】
一方、吸引管２０には、真空バルブ２２が取付けられている。この真空バルブ２２は、制御部３４によって開度が調整され、膜脱気装置１４の脱気度が調整される。
【００２９】
また、本発明に適する塗布液は有機溶剤系に限定されず水系でも構わない。水系塗布液は、微細気泡の発生を効果的に抑制できるので、粘度が１ｃ．ｐ．以上のものが好適であり、５ｃ．ｐ．以上のより高粘度の水系塗布液がより好適である。
【００３０】
水系塗布液の塗布は、一層でも、複数層でもよく、多層送液塗布装置にも応用することもできる。ウェブＷ（支持体）は、アルミニウム、ＰＥＴ等、特に限定されない。
【００３１】
また、膜脱気装置１４を構成するハウジングの材質、形状は特に限定されず、さらに、脱気膜も非多孔質であるか多孔質であるかは関係なく、形態もシート状でも、袋状でもよく、中空糸の中の圧力を下げてその周りへ塗布液を通すようにしてもよい。
【００３２】
次に、第１実施形態に係る液体の脱気システムの作用について説明する。
【００３３】
この実施例では、膜脱気装置１４の脱気膜１８の表面側の容積を１．２５リットル、また、膜脱気装置１４へ送液する塗布液の容量を、１．５リットル／分としている。そして、溶存酸素量を測定してフィードバック制御を行わず、膜脱気装置１台を連続運転して塗布液を脱気する従来の脱気システムと本実施例を比較して説明する。
【００３４】
本実施例では、溶存酸素測定器３０により、膜脱気装置１４へ送水される塗布液の溶存酸素量を連続して測定し測定値Ａを制御部３４へ出力する。制御部３４は、製品データとして予め入力された塗布液の設計溶存酸素量から真空バルブ２２の開度を演算し、真空ポンプ３６による真空度を１００％〜７０％の範囲で調整する。ここでは、真空度を６７×１０２Ｐａ〜１０６×１０２Ｐａの範囲で調整している。
【００３５】
次に、溶存酸素測定器３２が膜脱気装置１４から排水された塗布液の溶存酸素量を連続して測定し測定値Ｂを制御部３４へ出力する。すなわち、塗布液に含まれる溶存酸素量をフィードバック制御するのであるが、塗布液は混合液であるため、測定値Ｂが必ずしも正確であるとは限らない。
【００３６】
このため、溶存酸素測定器３０の測定値Ａと測定値Ｂとの開きが所定値より大きいとき、測定値Ｂから演算された真空バルブ２２の開度に一定の割り増し値を加算し、真空度を制御して脱気装置の脱気度を調整する。また、測定値Ａと測定値Ｂとの開きが所定値より小さいときは、測定値Ｂから演算された真空バルブ２２の開度で真空度を制御して脱気装置の脱気度を調整する。
【００３７】
この結果、図２の表に示すように、従来の脱気システムでは、真空度を常時４０×１０２Ｐａとして脱気しており、１時間の測定結果によると（脱気装置から排水された塗布液を連続的に測定）、溶存酸素量の削減率が７５％〜９５％の範囲で振れるが、本実施例では、溶存酸素量の削減率の振れが８０％〜８５％の範囲で収束している。
【００３８】
このように、膜脱気装置１４による脱気度を調整することで、塗布液中の溶存酸素量の変動を抑えることができる。逆に言えば、製品の品種等により要求される溶存酸素量の条件が変化しても、脱気装置の脱気度を調整できるため対応が可能となる。さらに、膜脱気装置１４の脱気膜１８に常時同じ負荷が作用しないため、脱気膜１８の寿命が長くなり、ランニングコストを下げることができる。
【００３９】
なお、本実施例の膜脱気装置１４に付与される真空度（脱気度）は、６００×１０２Ｐａ〜１３×１０２Ｐａの範囲で調整可能とされているが、運転範囲としては、２６７×１０２Ｐａ以下が好ましく、より好ましくは４０×１０２Ｐａ以下である。
【００４０】
また、真空ポンプの出力を駆動制御してもよいが、真空度を安定させ難いので開度で真空度を制御した方が好ましい。さらに、本実施例では、溶存空気量として溶存酸素量を測定する溶存酸素測定器を用いて測定する場合について説明したが、溶存窒素量を測定する測定器を用いることもできる。
【００４１】
また、真空度を制御する方法として、真空バルブの開度の調整ではなく、真空バルブを開閉（オン、オフ）する方法も考えられる。
【００４２】
次に、第２実施形態の液体の脱気システムについて説明する。
【００４３】
図３に示すように、第２実施形態では、３台の膜脱気装置３８、４０、４２が並列に配置されている。
【００４４】
すなわち、共通管としての送水管１２から３本の分岐管４４，４６、４８がそれぞれ膜脱気装置３８、４０、４２の流入口に接続されており、分岐管４４，４６、４８には、開閉弁５０、５２、５４が取付けられている。この開閉弁５０、５２、５４は、制御部３４と接続されており、制御信号によって開閉動作を行う。
【００４５】
また、膜脱気装置３８、４０、４２の排水口には、排水管５６、５８、６０が接続されている。排水管５６、５８、６０の排水側は１本の排水管２４に集水され、ろ過装置２８を経て塗布装置２６に送液される。
【００４６】
さらに、排水管５６、５８、６０には、開閉弁７４、７６、７８が取付けられている。この開閉弁７４、７６、７８は、制御部３４と接続されており、分岐管側の開閉弁５０、５２、５４と同期して開閉動作を行う。
【００４７】
ここで、送水管１２及び排水管２４には、それぞれ溶存酸素測定器３０、３２が取付けられており、塗布液の溶存酸素量を測定して測定値を制御部３４へ出力する。
【００４８】
また、脱気膜１８の裏面側には、吸引管６２、６４、６６が接続されている。この吸引管６２、６４、６６は、吸引管２０に接続されている。そして、吸引管２０に設けられた真空ポンプ３６によりそれぞれの膜脱気装置の脱気膜１８の裏面側が吸引される。また、吸引管６２、６４、６６には、真空バルブ６８、７０、７２が取付けられている。この真空バルブ６８、７０、７２は、制御部３４によって開度がそれぞれ調整され、膜脱気装置３８、４０、４２の真空度が調整される。
【００４９】
次に、第２実施形態に係る液体の脱気システムの作用について説明する。
【００５０】
この実施例では、膜脱気装置３８、４０、４２の脱気膜１８の表面側の容積をそれぞれ１．２５リットル、また、送水管１２へ送液される塗布液の容量を、４．０リットル／分としている。そして、溶存酸素量を測定してフィードバック制御を行わず、膜脱気装置３台を連続運転して塗布液を脱気する従来の脱気システムと本実施例を比較して説明する。
【００５１】
本実施例では、溶存酸素測定器３０により膜脱気装置１４へ送水される塗布液の溶存酸素量を連続して測定し測定値Ａを制御部３４へ出力する。制御部３４は、製品データとして予め入力された塗布液の設計溶存酸素量から真空バルブ６８、７０、７２の開度を算出し、真空ポンプ３６による真空度を１００％〜７０％の範囲で調整する。ここでは、真空度を６７×１０２Ｐａ〜１０６×１０２Ｐａの範囲で調整している。
【００５２】
また、溶存酸素測定器３２の測定値Ｂによるフィードバック制御は第１実施形態と同じである。
【００５３】
なお、本実施例では、真空バルブ６８、７０、７２の開度をすべて同一にすることを前提として脱気量を調整しているが、排水管５６、５８、６０及び分岐管４４，４６、４８にそれぞれ溶存酸素測定器を計６個取付けて、各排水管５６、５８、６０から排水される塗布液の溶存酸素量が一定となるように真空バルブの開度を調整することもできる。これにより、脱気膜の劣化による脱気度の変動をキャンセルできる。
【００５４】
一方、製品の品種により塗布液に要求される溶存酸素量の条件（溶存酸素量の多少の条件）が変わった場合、運転停止する膜脱気装置に接続された分岐管の開閉弁と排水管の開閉弁を閉じて、運転する脱気装置の台数を変更する。例えば、膜脱気装置３８の運転停止するときは、真空バルブ６８を全閉して、脱気膜１８に作用する負荷を取り除く。
【００５５】
このような制御を行うことで、図４の表に示すように、従来の脱気システムでは、膜脱気装置３台を連続運転し真空度を常時４０×１０２Ｐａとして脱気しており、１時間の測定結果によると（膜脱気装置から排水された塗布液を連続的に測定）、溶存酸素量の削減率が７５％〜８５％の範囲で振れた。また、脱気装置１台の寿命を２年とすると、１２年に亘って連続運転するためには（１２年／２年）×３台＝１８台必要となる。
【００５６】
一方、本実施例では、真空度の調整と、１台から３台の切替え運転により、溶存酸素量の削減率の振れが８０％〜８５％の範囲で収束している。また、使用頻度が異なるため、３台の脱気装置のうち、一台の寿命が２年、他の一台の寿命が３年、残りの一台の寿命が４年となった。
【００５７】
この結果、図４の表に示すように、（１２年／２年）×１台＋（１２年／３年）×１台＋（１２年／４年）×１台＝１３台となり、従来システムと比較すると、１８台−１３台＝５台の削減となる。
【００５８】
このように、本実施例では、平均すると各脱気装置の使用頻度が落ちるので、脱気膜の寿命が長くなり、ランニングコストを下げることができる。
【００５９】
なお、第２実施形態では、脱気装置を並列に多列したが、図５に示すように、膜脱気装置８０、８２を直列に配置して、塗布液の流れを二方向弁８４で切替え、使用する膜脱気装置の台数を変えてもよい。なお、真空バルブ８６、８８の開度を調整して、脱気度を変える構成は第２実施形態と同様である。
【００６０】
また、図６に示すように、膜脱気装置ではなく、脱気タンク９０を減圧することで塗布液を脱気する減圧脱気方法に本発明の脱気システムを適用することもできる。
【００６１】
ここで、ＰＳ版となるウェブの全体の製造工程を簡単に説明しておく。
【００６２】
ＰＳ版は、９９．５重量％アルミニウムに、銅を０．０１重量％、チタンを０．０３重量％、鉄を０．３重量％、ケイ素を０．１重量％含有するＪＩＳ―Ａ１０５０アルミニウム材の厚み０．３０ｍｍ圧延板を、４００メッシュのパミストン（共立窯業製）の２０重量％水性懸濁液と、回転ナイロンブラシ（６，１０−ナイロン）とを用いてその表面を砂目立てした後、よく水で洗浄した。
【００６３】
これを１５重量％水酸化ナトリウム水溶液（アルミニウム４．５重量％含有）に浸漬してアルミニウムの溶解量が５ｇ／ｍ２  になるようにエッチングした後、流水で水洗した。さらに、１重量％硝酸で中和し、次に０．７重量％硝酸水溶液（アルミニウム０．５重量％含有）中で、陽極時電圧１０．５ボルト、陰極時電圧９．３ボルトの矩形波交番波形電圧（電流比ｒ＝０．９０、特公昭５８−５７９６号公報実施例に記載されている電流波形）を用いて１６０クーロン／ｄｍ２の陽極時電気量で電解粗面化処理を行った。水洗後、３５℃の１０重量％水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬して、アルミニウム溶解量が１ｇ／ｍ２  になるようにエッチングした後、水洗した。次に、５０℃３０重量％の硫酸水溶液中に浸漬し、デスマットした後、水洗した。
【００６４】
さらに、３５℃の硫酸２０重量％水溶液（アルミニウム０．８重量％含有）中で直流電流を用いて、多孔性陽極酸化皮膜形成処理を行った。すなわち電流密度１３Ａ／ｄｍ２  で電解を行い、電解時間の調節により陽極酸化皮膜重量２．７ｇ／ｍ２  とした。ジアゾ樹脂と結合剤を用いたネガ型感光性平版印刷版を作成する為に、この支持体を水洗後、７０℃のケイ酸ナトリウムの３重量％水溶液に３０秒間浸漬処理し、水洗乾燥した。
【００６５】
以上のようにして得られたアルミニウム支持体は、マクベスＲＤ９２０反射濃度計で測定した反射濃度は０．３０で、ＪＩＳ  Ｂ００６０１に規定する中心線平均粗さＲａは０．５８μｍであった。
【００６６】
次に上記支持体にメチルメタクリレート／エチルアクリレート／２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸ナトリウム共重合体（平均分子量約６万）（モル比５０／３０／２０）の１．０重量％水溶液をロールコーターにより乾燥後の塗布量が０．０５ｇ／ｍ２  になるように塗布した。
【００６７】
さらに、塗布液として下記感光液−１を、本形態で用いたバーコーターを用いて塗布し、１１０℃で４５秒間乾燥させた。乾燥塗布量は２．０ｇ／ｍ２  であった。
感光液−１
ジアゾ樹脂−１                        ０．５０ｇ
結合剤−１                                                      ５．００ｇ
スチライトＨＳ−２（大同工業（株）製）  ０．１０ｇ
ビクトリアピュアブルーＢＯＨ                  ０．１５ｇ
トリクレジルホスフェート                          ０．５０ｇ
ジピコリン酸                                                  ０．２０ｇ
ＦＣ−４３０（３Ｍ社製界面活性剤）      ０．０５ｇ
溶剤
１−メトキシ−２−プロパノール          ２５．００ｇ
乳酸メチル                          １２．００ｇ
メタノール                                                  ３０．００ｇ
メチルエチルケトン                                  ３０．００ｇ
水                                                                      ３．００ｇ
上記のジアゾ樹脂―１は、次ぎのようにして得たものである。まず、４−ジアゾジフェニルアミン硫酸塩（純度９９．５％）２９．４ｇを２５℃にて、９６％硫酸７０ｍｌに徐々に添加し、かつ２０分間攪拌した。これに、パラホルムアルデヒド（純度９２％）３．２６ｇを約１０分かけて徐々に添加し、該混合物を３０℃にて、４時間攪拌し、縮合反応を進行させた。なお、上記ジアゾ化合物とホルムアルデヒドとの縮合モル比は１：１である。この反応生成物を攪拌しつつ氷水２リットル中に注ぎ込み、塩化ナトリウム１３０ｇを溶解した冷濃厚水溶液で処理した。この沈澱物を吸引濾過により回収し、部分的に乾燥した固体を１リットルの水に溶解し、濾過し、氷で冷却し、かつ、ヘキサフルオロリン酸カリ２３ｇを溶解した水溶液で処理した。最後に、この沈澱物を濾過して回収し、かつ風乾して、ジアゾ樹脂−１ｇを得た。
【００６８】
結合剤−１は、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／アクリロニトリル／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（重量比５０／２０／２６／４、平均分子量７５，０００、酸含量０．４ｍｅｑ／ｇ）の水不溶性、アルカリ水可溶性の皮膜形成性高分子である。
【００６９】
スチライトＨＳ−２（大同工業（株）製）は、結合剤よりも感脂性の高い高分子化合物であって、スチレン／マレイン酸モノ−４−メチル−２−ペンチルエステル＝５０／５０（モル比）の共重合体であり、平均分子量は約１００，０００であった。このようにして作成した感光層の表面に下記の様にしてマット層形成用樹脂液を吹き付けてマット層を設けた。
【００７０】
マット層形成用樹脂液としてメチルメタクリレート／エチルアクリレート／２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸（仕込重量比６５：２０：１５）共重合体の一部をナトリウム塩とした１２％水溶液を準備し、回転霧化静電塗装機で霧化頭回転数２５，０００ｒｐｍ、樹脂液の送液量は４．０ｍｌ／分、霧化頭への印加電圧は−９０ｋＶ、塗布時の周囲温度は２５℃、相対湿度は５０％とし、塗布液２．５秒で塗布面に蒸気を吹き付けて湿潤させ、ついで湿潤した３秒後に温度６０℃、湿度１０％の温風を５秒間吹き付けて乾燥させた。マットの高さは平均約６μｍ、大きさは平均約３０μｍ、塗布量は１５０ｍｇ／ｍ２  であった。
【００７１】
【発明の効果】
本発明は上記構成としたので、液体中の溶存空気量を調整でき、また、脱気膜の寿命の長い脱気装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る液体の脱気システムを示す説明図である。
【図２】第１実施形態に係る液体の脱気システムと従来の脱気システムを比較した表である。
【図３】第２実施形態に係る液体の脱気システムを示す説明図である。
【図４】第２実施形態に係る液体の脱気システムと従来の脱気システムを比較した表である。
【図５】第３実施形態に係る液体の脱気システムを示す説明図である。
【図６】第４実施形態に係る液体の脱気システムを示す説明図である。
【図７】従来の塗布液の脱気システムを示す説明図である。
【符号の説明】
２２      真空バルブ（脱気調整手段、減圧調整バルブ）
３０      溶存酸素測定器（溶存空気量検出手段）
３２      溶存酸素測定器（溶存空気量検出手段）
３４      制御部（制御手段）
３８      脱気装置（脱気装置群）
４０      脱気装置（脱気装置群）
４２      脱気装置（脱気装置群）
５０      開閉弁（切替え手段）
５２      開閉弁（切替え手段）
５４      開閉弁（切替え手段）
７４      開閉弁（切替え手段）
７６      開閉弁（切替え手段）
７８      開閉弁（切替え手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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