(57)【要約】【課題】比較的弱い空気流によっても高い捕集効率で容易に空気の清浄化を行えるエアフィルタ部材を提供することにある。【解決手段】このエアフィルタ部材は、ＰＴＦＥ製のステープルファイバーから実質的に構成される第１層を有し、濾過風速５．３ｃｍ／秒での圧力損失が２５Ｐａ以下であって、粒子径０．１μｍ以上の粒子についての捕集効率が７０％以上である。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリテトラフルオロエチレン製のステープルファイバーから実質的に構成される第１層を有し、
濾過風速５．３ｃｍ／秒での圧力損失が２５Ｐａ以下であって、粒子径０．１μｍ以上の粒子についての捕集効率が７０％以上である、
エアフィルタ部材。
【請求項２】
前記ステープルファイバーは分枝を有している、請求項１に記載のエアフィルタ部材。
【請求項３】
前記第１層は目付が５０ｇ／ｍ２以上２００ｇ／ｍ２以下である、請求項１または２に記載のエアフィルタ部材。
【請求項４】
前記ステープルファイバーをウォータージェット交絡処理して得られる、請求項１から３のいずれかに記載のエアフィルタ部材。
【請求項５】
エンボス加工が施されている、請求項１から４のいずれかに記載のエアフィルタ部材。
【請求項６】
支持体をさらに有し、
前記第１層は、前記支持体上に積層されている、
請求項１から５のいずれかに記載のエアフィルタ部材。
【請求項７】
前記第１層は、前記ステープルファイバーをウォータージェット交絡によって前記支持体上に積層することにより形成されている、請求項６に記載のエアフィルタ部材。
【請求項８】
前記支持体は、濾過風速５．３ｃｍ／秒での圧力損失が５Ｐａ以下である、請求項６または７に記載のエアフィルタ部材。
【請求項９】
１層以上のウェブシートからなる第２層をさらに有し、
前記第２層は、前記第１層上に積層されている、
請求項１から５のいずれかに記載のエアフィルタ部材。
【請求項１０】
前記第２層は、前記ステープルファイバーをウォータージェット交絡によって前記第１層上に積層されることにより形成されている、請求項９に記載のエアフィルタ部材。
【請求項１１】
前記第２層の存在に起因する濾過風速５．３ｃｍ／秒での圧力損失の上昇の程度が１０Ｐａ以内である、請求項９または１０に記載のエアフィルタ部材。
【請求項１２】
前記第２層はフッ素樹脂製のステープルファイバーから実質的になる、請求項９から１１のいずれかに記載のエアフィルタ部材。
【請求項１３】
前記フッ素樹脂製のステープルファイバーは、分枝を有するポリテトラフルオロエチレン燒結繊維である、請求項１２に記載のエアフィルタ部材。
【請求項１４】
前記第２層は分割繊維から実質的になる、請求項７から９のいずれかに記載のエアフィルタ部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エアフィルタ用部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
人の呼吸によって生じる空気流や自然に発生する比較的弱い空気流によっても空気の清浄化を行える器具等として、例えば、人の顔面に装着される面体マスクが挙げられる。
面体マスクは、通常、本体部と、本体部の一部に外気が通過可能に設けられたフィルタ部とを備えている。フィルタ部は、一定の捕集効率を有するシート状のフィルタ部材で構成されており、人の呼吸により外気が通過する際に外気中に浮遊する菌やミストを捕集する。
【０００３】
また、例えば、コンピュータのハードディスクドライブ等においても、筐体の一部に一定の捕集効率を有するフィルタ部材を装着してフィルタ部を設けることが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特公平８−３２７９１号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記面体マスクやコンピュータ関連製品等に用いられるフィルタ部材は、比較的弱い空気流によっても空気清浄を行えるよう、圧力損失が小さいことが要求される。
しかし、フィルタ部材は、医療等の分野で用いられるマスクや、半導体装置等に用いる場合は、圧力損失が小さいことに加えて、捕集効率が高いことも要求される。ここで、フィルタ部材の捕集効率を高める方法として、シート状のフィルタ部材を交互に折り返して波型形状にすること（プリーツ加工）で、濾過面積を大きくすることが考えられるが、プリーツ加工された分だけフィルタ部材の重量が増すため、マスク等の軽量化の観点からは好ましくない。
【０００６】
一方、捕集効率の高いフィルタ部材は、通常、圧力損失が高いため、このようなフィルタ部材を面体マスクに用いた場合、自然な呼吸が難しくなる。通常、フィルタ部材は、圧力損失が３０Ｐａを超えると、人の呼吸等の比較的弱い空気流によって清浄化空気量を得ることが困難になる。
本発明の目的は、比較的弱い空気流によっても高い捕集効率で容易に空気の清浄化を行えるエアフィルタ部材を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、意外にも、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥ）製のステープルファイバーからなるウェブを用いることにより、圧力損失が小さくかつ捕集効率の大きいエアフィルタ部材が得られることを見出した。
すなわち、本発明は、
（１）ＰＴＦＥ製のステープルファイバーから実質的に構成される第１層を有し、濾過風速５．３ｃｍ／秒での圧力損失が２５Ｐａ以下であって、粒子径０．１μｍ以上の粒子についての捕集効率が７０％以上であるエアフィルタ部材、
（２）ステープルファイバーは分枝を有している、（１）のエアフィルタ部材、
（３）第１層は目付が５０ｇ／ｍ２以上２００ｇ／ｍ２以下である、（１）または（２）のエアフィルタ部材、
（４）ステープルファイバーをウォータージェット交絡処理して得られる、（１）から（３）のいずれかのエアフィルタ部材、
（５）エンボス加工が施されている、（１）から（４）のいずれかのエアフィルタ部材、
（６）支持体をさらに有し、第１層は、支持体上に積層されている、（１）から（５）のいずれかのエアフィルタ部材、
（７）第１層は、ステープルファイバーをウォータージェット交絡によって支持体上に積層することにより形成されている、（６）のエアフィルタ部材、
（８）支持体は、濾過風速５．３ｃｍ／秒での圧力損失が５Ｐａ以下である、（６）または（７）のエアフィルタ部材、
（９）１層以上のウェブシートからなる第２層をさらに有し、第２層は、第１層上に積層されている、（１）から（５）のいずれかのエアフィルタ部材、
（１０）第２層は、ステープルファイバーをウォータージェット交絡によって第１層上に積層されることにより形成されている、（９）のエアフィルタ部材、
（１１）第２層の存在に起因する濾過風速５．３ｃｍ／秒での圧力損失の上昇の程度が１０Ｐａ以内である、（９）または（１０）のエアフィルタ部材、
（１２）第２層はフッ素樹脂製のステープルファイバーから実質的になる、（９）から（１１）のいずれかのエアフィルタ部材、
（１３）フッ素樹脂製のステープルファイバーは、分枝を有するＰＴＦＥ燒結繊維である、（１２）のエアフィルタ部材、
（１４）第２層は分割繊維から実質的になる、（７）から（９）のいずれかのエアフィルタ部材、
等を提供するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
［第１実施形態］
図１に、本発明の第１実施形態によるエアフィルタ部材１を示す。
このエアフィルタ部材１は、ウェブ（第１層）３で構成されている。
ウェブ３は、ＰＴＦＥ製のステープルファイバー（以下、ＰＴＦＥステープルファイバーともいう。）から実質的に構成される。ここで用いられるＰＴＦＥは、分枝（ループも含む。以下同様）を有するステープルファイバーが多く含まれるのが好ましい。また、繊維層の緻密化を図れる点で半焼成ＰＴＦＥが好ましい。なお、半焼成ＰＴＦＥとは、示差走査熱量分析（；Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ  Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｃａｌｏｒｉｍｅｔｒｙ、以下、ＤＳＣ）において、未焼成ＰＴＦＥの吸熱（６１５°Ｋ付近の吸熱）と焼成ＰＴＦＥの吸熱（６００°Ｋ付近の吸熱）の両方を表すものをいう。ＤＳＣは市販のＤＳＣ装置によって行うことができる。
【０００９】
ＰＴＦＥステープルファイバーは、国際公開第ＷＯ９４／２３０９８号パンフレットに記載された方法など、公知の方法により製造される。例えば、半焼成ＰＴＦＥのステープルファイバーは、半焼成ＰＴＥＦＥフィルムを擦過、解繊することにより作成される。
半焼成ＰＴＦＥフィルムは、公知の方法で製造される。具体的には、ＰＴＦＥフィルムは、例えば乳化重合法によって得られたＰＴＦＥ微粉末（ファインパウダー）に潤滑剤を添加して熟成させたものをペースト押出しし、次いでカレンダー成形によりシート状に形成した未焼成ＰＴＦＥフィルムを、未焼成ＰＴＦＥの融点（約３３７℃〜約３４７℃）から焼成ＰＴＦＥの融点（約３２７℃）との間の温度で熱処理することによって得られる。熱処理の方法としては、所定温度の雰囲気中で所定時間加熱する方法、所定温度の液浴中で所定時間加熱する方法等が挙げられる。
【００１０】
ＰＴＦＥフィルムの擦過、解繊は、公知の方法で行われる。具体的には、例えば、高速回転する少なくとも１対の針刃ロールの間に、ＰＴＦＥフィルムの一軸延伸物を通過させ、スプリットさせることにより行われる。ＰＴＦＥフィルムのスプリットに用いられる装置としては、特開昭５８−１８０６２１号公報に示されるものを用いることができるが、好ましくは、図２に示すような装置を用いることができる。
【００１１】
この装置は、１対の針刃ロール３１，３２と、送り手段及び引き取り手段（共に図示せず）とを備えている。針刃ロール３１，３２は、それぞれの外周面に針刃３４，３５が植針されている。送り手段は、ＰＴＦＥフィルム３０の一軸延伸物を針刃ロール３１，３２に送るための手段である。引き取り手段は、針刃ロール３１，３２の間を通過したＰＴＦＥフィルムを引き取るための手段である。
【００１２】
この装置では、送り手段によりＰＴＦＥフィルム３０を、針刃ロール３１，３２の間に通すと、ＰＴＦＥフィルムは、針刃ロール３１，３２が回転することで針刃３４，３５によって擦過、解繊され、これにより、ＰＴＦＥのステープルファイバー３６が得られる。
なお、本発明では、ステープルファイバー（以下、単に繊維ともいう。）は、後述するウェータージェット交絡処理を行った場合に繊維間の交絡がより促進される点で、分枝を含むものが好ましく用いられる。
【００１３】
得られた多数のステープルファイバーは、コンベア上に堆積され、コンベアの速度変化により目付を調整しながらシート状のウェブ３に加工される。
このように構成されたエアフィルタ部材１は、ウェブ３は、目付が５０〜２００ｇ／ｍ２の範囲内にあり、同じＰＴＦＥを原料とするものでもＰＴＦＥ延伸多孔膜（上述のＰＴＦＥ未焼成または半焼成テープを一軸または二軸方向に延伸して得られる多孔性を有する膜体）は含まれない。また、濾過風速５．３ｃｍ／秒での圧力損失が２５Ｐａ以下であって、粒子径０．１μｍ以上の粒子についての捕集効率が７０％以上である。
【００１４】
このようにして得られたウェブ３には、さらにウォータージェット交絡処理を施すのが好ましく、これにより、繊維間の交絡が進み、強度が向上し、繊維の脱落を防ぐことができる。ウォータージェット交絡処理は、公知の方法により行われるが、ここでは、通常のコットン繊維に用いられる条件が好ましく用いられる。
【００１５】
また、以上のような処理が施されたウェブ３に対し、エンボス加工を施してもよい。エンボス加工は、例えば、一方のロールの表面に所定の模様が彫刻されたロール対の間を通す等の方法により行われる。この場合は、ウェブ３の機械的強度が向上する。なお、エンボス加工は、ウォータージェット交絡処理前のシート状の段階で行ってもよい。
【００１６】
以上のように構成されたエアフィルタ部材１は、圧力損失が小さく捕集効率が高いことから、例えば面体マスクとして用いる場合は、半導体製造、医療、食品取扱等の分野においても好ましく用いられる。また、他の用途で用いた場合も、例えば、半導体機器のウエハボックス、また、医療用途の部屋の開閉のための制圧変動調整板、コンピュータボックス、ハードディスク制圧調整板、菌等の培養ボックス、燃料電池の吸気口等のフィルタ部に好ましく用いられる。特に、本実施形態のエアフィルタ部材１は、ＰＴＦＥのみで構成されているため、ＰＴＦＥの撥水性、耐薬品性等の性質を十分に発揮しうる用途に好ましく用いられる。
【００１７】
［第２実施形態］
ここでは、上記実施形態との相違に注目して説明する。
図３に、本発明の第２実施形態によるエアフィルタ部材１１を示す。ウェブは、図４に示すように、その構成繊維が蜘蛛の巣状に形成されている。
このエアフィルタ部材１１は、ウェブ（第１層）１３の他に、支持体１５をさらに有しており、ウェブ（第１層）１３は、支持体１５上に積層される。このエアフィルタ部材１１は、ウェブ１３が支持体１５に積層されることにより、機械的強度が向上し、振動や急な気流変化などの環境変化等に対応することができる。
【００１８】
ウェブ１３は、上記実施形態と同様のものが用いられる。ウェブ１３の支持体１５への積層の方法は、特に限定されないが、ウェブ１３と支持体１５との間の耐剥離性が向上される点で、ウォータージェット交絡処理によって支持体１５上に積層することにより形成されるのが好ましい。
支持体１５は、ウェブ１３より圧力損失が小さいもの、例えば、濾過風速５．３ｃｍ／秒での圧力損失が５Ｐａ以下のものが好ましく、２Ｐａ未満のものがより好ましい。このような支持体１５としては、具体的に、アラミド繊維、ナイロン繊維、ポリエステル繊維等の布帛が好ましく用いられる。
【００１９】
支持体１５は、ウェブ１３より圧力損失が小さいもの、例えば、濾過風速５．３ｍ／秒での圧力損失が５Ｐａ以下のものが好ましく、２Ｐａ未満のものがより好ましい。このような支持体１５としては、具体的に、アラミド繊維、ナイロン繊維、ポリエステル繊維等の布帛或いは金属線からなるメッシュが好ましく用いられる。
【００２０】
［第３実施形態］
ここでも、上記実施形態との相違に注目して説明する。
一般に、清浄な空間を得ようとする場合、空気中にかなりの量で存在する粒子径１μｍ程度以上の粒子によって、それより小さい粒子径の粒子の捕集を主目的とした高性能フィルタが目詰まりを起こして短時間で圧力損失が上昇してしまうことがある。このような事態を防止するため、この高性能フィルタよりも圧力損失が大きく捕集効率が小さいプレフィルタを併用する方法がある。
【００２１】
プレフィルタは、通常、高性能フィルタとの間に所定の間隔を空けて高性能フィルタの上流側に配置される。しかし、この場合、高性能フィルタとプレフィルタとは別々に配置されるため、これらのフィルタを設置するために所定のスペースを確保する必要がある。
図５に、本発明の第３実施形態によるエアフィルタ部材２１を示す。
【００２２】
そこで、本実施形態のエアフィルタ部材２１では、プレフィルタ２３と高性能フィルタであるウェブ２５とを一体化することにより、所定のスペースを確保する必要がなく、プレフィルタ２３とウェブ２５とを別個に配置する場合のような組み立てにかかる時間及びコストを抑えることができるようにしている。また、粒子径１μｍ程度以上の粒子は、ほぼプレフィルタ２３によって捕集されるため、ウェブ２５の早期の目詰まりを抑え、長期にわたり使用可能である。
【００２３】
このエアフィルタ部材２１は、第１ウェブ（第１層）２３の他に、第２ウェブ（第２層）２５をさらに有しており、第１ウェブ２３は、第２ウェブ２５上に積層される。第１ウェブ２３は、ウォータージェット交絡処理により第２ウェブ２５上に積層することにより形成されるのが好ましい。
第２ウェブ２３としては、この第２ウェブ２３の存在に起因するエアフィルタ部材２１全体として濾材透過風速５．３ｍ／秒における圧力損失の上昇の程度が１０Ｐａ以内となるものが用いられる。具体的にこのような性能を有する第２ウェブ２３としては、焼成ＰＴＦＥフィルム（前記ＰＴＦＥフィルムを焼成ＰＴＦＥの融点の温度で熱処理したもの）から得られる焼成ＰＴＦＥ繊維（ＰＴＦＥ焼結繊維）であるのが好ましい。
【００２４】
また、ＰＴＦＥ焼結繊維は、分枝を有するものが好ましい。また、全体がＰＴＦＥで構成されていることから、撥水性、耐薬品性等のフッ素樹脂の特性を十分に発揮させうる用途に好ましく用いられる。
また、捕塵量をより多く求める場合は、ウェブ２３として、ＰＴＦＥ焼結繊維に代えて分割繊維を用いてもよい。分割繊維には、例えば、ウォータージェット処理等を施すことによってより細い複数の繊維に分割されることが可能な繊維が含まれる。
【００２５】
このように構成されたエアフィルタ部材２１は、圧力損失が小さく捕集効率が高いことから、粗塵を多く含む環境下での使用に適している。
［他の実施形態］
（ａ）第１層となるウェブ３，１３，２３及び第２層となるウェブ２５は、２種以上のステープルファイバーが混紡されたものや２種以上のウェブをウォータージェット交絡処理して積層したものであってもよい。
【００２６】
（ｂ）第３実施形態において、ウェブ２３及び２５は、ＰＴＦＥ繊維からなるウェブに限定されず、他のフッ素樹脂繊維からなるウェブを用いることができる。また、ウェブ２３は第２実施形態と同様のウェブであってもよい。
【００２７】
【実施例】
［ウェブの作成］
まず、前記ＷＯ９４／２３０９８号パンフレットに記載された方法に従って、分枝を有するＰＴＦＥステープルファイバーからなるウェブを作成した。
具体的には、幅１６５ｍｍ、厚さ１２０μｍ、結晶転化率０．４５の半焼成フィルムを得た。なお、結晶転化率は、前記パンフレットに記載された方法に従って求めた。
【００２８】
次いで、この半焼成フィルムを、第１のロール（温度３００℃、周速０．２５ｍ／分）と第２のロール（温度３００℃、周速６．２５ｍ／分）との間を通すことにより長手方向に２５倍に一軸延伸した。
この半焼成フィルムを、図１に示す装置を用いて、フィルムの送り速度Ｖ１８ｍ／分に対して針刃ロールの周速Ｖ２６４ｍ／分の速度比Ｖ２／Ｖ１を８倍で擦過、解繊を行い、ステープルファイバーをコンベア上に堆積させて、コンベアの速度を調整して目付の異なる２種のウェブを得た。
【００２９】
得られたウェブは、一掴みのステープルファイバー約３００本全ての繊維についての測定によりその分枝の存在、長さの分布、繊度の平均を求める方法で、分枝を有するものが３０％程度含まれていた。また、ステープルファイバーの繊維長分布は、１０ｍｍ未満のものが１８％であり、２５ｍｍ以上のものは１３％であった。ステープルファイバーの平均繊維長は、数平均で１５．２ｍｍであった。また、ステープルファイバーは、繊度が１１．２デニール、平均繊維径が１３．５μｍであった。繊度は、前記一掴みのステープルファイバーの重量（分枝を有するステープルファイバーの場合は分枝も含めて）から算出した。平均繊維径は、ツェルベガウスター社製「ＯＦＤＡ１００」で測定して求めた。
【００３０】
得られたウェブは、一方のウェブ（ウェブＡ）が目付７５ｇ／ｍ２、他方のウェブ（ウェブＢ）が目付１５０ｇ／ｍ２であった。また、ウェブＡ及びＢは、手の指により適当な力で狭持しても、元の状態には戻らず復元性は肉眼では確認できなかった。
一方、上記半焼成フィルムに代えて焼成フィルム（結晶転化率１．０）を用いて、これを１０倍に一軸延伸したことを除いてはウェブＡ、Ｂの作成方法と同様にして、ウェブＣを作成した。
【００３１】
ウェブＣは、目付１００ｇ／ｍ２であった。ウェブＣには分枝を有するものが２５％程度含まれていた。また、ウェブＣのステープルファイバーの繊維長分布は、１０ｍｍ未満のものが２１％であり、２５ｍｍ以上のものは１３％であった。ステープルファイバーの平均繊維長は、数平均で１６．８ｍｍであった。また、ステープルファイバーは、繊度が２１．０デニール、平均繊維径は２２μｍであった。
【００３２】
また、ウェブＣは、手の指によりウェブを適当な力で押しつけても、弾性を有し元の状態への復元が容易であることが肉眼により確認できた。
［エアフィルタ部材の作成］
まず、アラミド繊維製のシート状の基材（以下、アラミド基材ともいう。）を２種類を用意した。アラミド基材の一方には帝人社製「Ｃｏ８０１０」（以下、基材Ａ）を用い、他方には同社製「Ｃｏ５１２４」（以下、基材Ｂ）を用いた。なお、基材Ａは、濾材透過風速が５．３ｃｍ／秒における圧力損失が２Ｐａであり、粒子径０．１μｍの粒子の捕集効率が０％であった。また、基材Ｂは、同一条件での圧力損失が１Ｐａ以下であり、同一条件での捕集効率が０％であった。
【００３３】
前述のウェブＡ及びＢを２つずつ用意し、それぞれ上記２種のアラミド基材上に載置し、水平ベルト走行式ウォータージェットニードル交絡装置を用いて公知の方法により、各アラミド基材上に各ウェブを交絡させてエアフィルタ部材を得た。ここで、ウェブＡについて、基材Ａに積層して得られるエアフィルタ部材を比較例１とし、基材Ｂに積層して得られるエアフィルタ部材を実施例１とした。また、ウェブＢについて、それ単体で得られるエアフィルタ部材を実施例２とし、基材Ａに積層して得られるエアフィルタ部材を比較例２とし、基材Ｂに積層して得られるエアフィルタ部材を比較例３とした。
【００３４】
さらに、ウェブＣについて、上記と同様の方法により、ウェブＢ上に交絡して積層したエアフィルタ部材を実施例３とし、それ単体で得られるエアフィルタ部材を比較例４とした。
以上、実施例１〜３及び比較例１〜４について、各エアフィルタ部材の構成、各エアフィルタ部材の第１層の目付、エアフィルタ部材の厚み、圧力損失、捕集効率を測定した。測定結果を表１に示す。なお、各エアフィルタ部材の第１層は、表１中の各エアフィルタ部材の構成の左側の層（１層のみで構成される場合は、その層）である。
【００３５】
【表１】
2004174307.tif 000003
【００３６】
なお、表中、厚み、捕集効率及び圧力損失の測定は以下のようにして行った。
［厚みの測定］
エアフィルタ部材の厚みは、ウォータージェット交絡処を行った後、水分乾燥後に測定した。具体的には、１００ｇ／ｃｍ２の荷重下で、ダイヤルゲージを用いて測定した。
【００３７】
［圧力損失の測定］
各実施例及び比較例のエアフィルタ部材の測定サンプルを、直径１００ｍｍのフィルタホルダーにセットし、コンプレッサーで入口側を加圧し、流速計で空気の透過する流量を５．３ｃｍ／秒に調整した。そして、このときの圧力損失をマノメータで測定した。
【００３８】
［捕集効率の測定］
各実施例及び比較例のエアフィルタ部材の測定サンプル（直径１００ｍｍ）を、５．３ｃｍ／秒の濾材透過風速で通過する気流の途中に気流の方向に垂直に配置するとともに、上流側においてコロイダルシリカの多分散粒子中の粒子径０．１μｍ及び０．３μｍの粒子をそれぞれの流速が約５万個／３０秒となるよう調整したときの下流側の粒子濃度を、それぞれパーティクルカウンタ（ＰＭＳ社製「ＬＡＳ  Ｘ  ＣＲＴ」）を用いて測定した。
【００３９】
【発明の効果】
本発明のエアフィルタ部材は、圧力損失が小さくかつ捕集効率の大きいため、比較的弱い空気流によっても高い捕集効率で容易に空気清浄を行うことができる。
また、本発明のエアフィルタ部材は、第１層を備えている場合は、これらがプレフィルタとして機能するため、第２層のフィルタ寿命が長くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態によるエアフィルタ部材を示す縦断面図。
【図２】ＰＴＦＥフィルムを擦過、解繊するための装置を示す縦断面図。
【図３】本発明の第２実施形態によるエアフィルタ部材を示す縦断面図。
【図４】図３のエアフィルタ部材を示す平面図。
【図５】本発明の第３実施形態によるエアフィルタ部材を示す縦断面図。
【符号の説明】
１，１１，２１  エアフィルタ部材
３，１３，２３  ウェブ
１５  支持体
２５  第２ウェブ
【図１】
2004174307.tif 000004
【図２】
2004174307.tif 000005
【図３】
2004174307.tif 000006
【図４】
2004174307.tif 000007
【図５】
2004174307.tif 000008