(57)【要約】【課題】印刷ローラとバックアップローラの押し圧調整を容易にし、パターンの不鮮明や凸部の磨耗破損の少ない、かつ、高速化により生産性向上が可能なマスクパターン形成機を設けた真空蒸着機を提供する。【解決手段】マスキング剤を付着させた凸部を有する印刷ローラと、走行するフィルムを該印刷ローラに押し当てるバックアップローラを有するマスクパターン形成機を設けた真空蒸着機において、前記印刷ローラの回転軸方向の両端に凸部を有することを特徴とした真空蒸着装置。【選択図】　図１
2004091805.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムに金属蒸着させない部分を設けるためにマスキング剤を付着させた第１の凸部を有する印刷ローラと、走行するフィルムを前記印刷ローラに押し当てるバックアップローラとを有するマスクパターン形成機を備え、前記第１の凸部の両外側に帯状の第２の凸部を設けた真空蒸着装置。
【請求項２】
第２の凸部を印刷ローラとフィルムとの接触面の両外側に設けた請求項１記載の真空蒸着装置。
【請求項３】
印刷ローラは、平板に第１の凸部および第２の凸部を設けた凸版を巻き付けたものであって、前記凸版を巻き付けた時の前記第１の凸部と第２の凸部の少なくともいずれかの付き合せ面は、前記印刷ローラの回転中心軸方向に対して斜めにしたことを特徴とする請求項１または２記載の真空蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルムコンデンサに用いる金属蒸着フィルムの製造方法に関するものであり、金属の非蒸着部分を設けるために、蒸着前のフィルムにマスキング剤を塗布して真空蒸着フィルムを製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
真空蒸着装置を用いて金属蒸着フィルムを製造する際、ポリエステルフィルムなどを用いた原反フィルムに、金属が蒸着しない幾何学模様の非蒸着部を形成することが行われている。その代表的な手法として、マスキング剤を用いたマスクパターン形成手法がある。
【０００３】
図６は、真空蒸着装置に設けられる従来のマスキング剤を用いたマスクパターン形成機を示し、マスキング剤供給ノズル１０３で加熱気化したマスキング剤を転写ローラ１０２で結露させ、転写ローラ１０２から弾性体の凸部を有する印刷ローラ１０１にマスキング剤を転写し、バックアップローラ１０４で走行するフィルム１０５を印刷ローラ１に押し当てて、印刷ローラ１０１のマスキング剤をフィルム１０５に転写することにより、マスクパターン形成を行う。
【０００４】
しかしながら、上記のようにフィルム１０５に印刷ローラ１０１のマスキング剤を転写する場合、フィルム１０５に対する印刷ローラ１０１の凸部の単位面積当たりの押し圧を適正に保つことが重要となる。
【０００５】
もし、凸部の押し圧が不足気味であると、マスキング剤の転写量が不足し、パターンの不鮮明やカスレを発生させ、充分に金属を非蒸着することができなくなる。また、凸部の押し圧が大き過ぎると、フィルムに対してはコンデンサを形成した際にフィルムへの絶縁欠陥等のダメージを与えることとなり、印刷ローラに対しては、凸部が過剰に磨耗したり、破損等を引き起こしたりすることとなる。
【０００６】
一方、印刷ローラ１０１に設けられる凸部の形状は、各種用途に応じたコンデンサ特性を得るため各種多様の幾何学模様をなしているのが現状である。その為、フィルム幅を長辺とし、フィルムの送り方向の単位長さを短辺とする長方形部分において、フィルム１０５に接する凸部の面積は一定ではなく、印刷ローラ１０１の回転位置によって、面積の少ない疎の部分と面積の多い密の部分が混在するものとなっている。
【０００７】
そして、印刷ローラ１０１の凸部の押し圧は、印刷ローラ１０１の凸部とバックアップローラ１０４との接触面によって分散される為、バックアップローラ１０４と印刷ローラ１０１との押し圧を一定に制御しても、印刷ローラ１の凸部の押し圧は、一定にはならない。
【０００８】
このため、印刷ローラ１０１とバックアップローラ１０４の押し圧は、印刷ローラ１０１の凸部が密な部分でも不足なく、また凸部が疎な部分でも過大にならないように設定することが必要である。しかしながら、現実には適正な調整が困難な為、不足する部分でマスキング剤の印刷が不鮮明になったり、過大な部分で凸部の磨耗破損が発生したりしていた。
【０００９】
あるいは、この課題を解決するための押し圧調整が出来ず、疎と密の差を少なくする非蒸着部の幾何学模様或いは配置を変更が必要となったために、所望の形状の非蒸着部が得られないことが発生していた。
【００１０】
また、生産性向上の為、印刷ローラ１０１の回転数を上げた場合、円周上凸部が疎の部分ではバックアップローラ１０４が印刷ローラ１０１に近づき、凸部が密な部分では離れることが繰り返さるため、バックアップローラがハンチングによる振動を起こし、このため、パターンの不鮮明、或いは破損、押し圧機構の破損等が起こり、結果として高速化が出来ない課題も有していた。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上述した従来の問題を解決し、印刷ローラとバックアップローラの押し圧調整を容易にし、不鮮明な非蒸着部のパターンや凸部の磨耗破損の少ない真空蒸着機を提供し、かつ高速化により生産性向上を可能としたものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明の真空蒸着機は、マスキング剤を付着させた第１の凸部の両外側に帯状の第２の凸部を印刷ローラに有する。さらに、その第２の凸部を、印刷ローラとフィルム接触面の両外側に設けた。また、印刷ローラは、平板に第１および第２の凸部を設けた凸版を巻き付けたものであり、凸版を巻き付けたときの、第１または第２の凸部の付き合せ面を印刷ローラの回転中心軸方向に対して斜め方向にした。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図１および図２を用いて説明する。
【００１４】
図１は、本実施の形態におけるマスクパターン形成手段の拡大斜視図であり、図２は、図１における本実施の形態におけるマスクパターン形成手段を備える真空蒸着装置の横断面概略図である。
【００１５】
図２で示す真空蒸着装置において、１４は真空槽であり、６は原反フィルム１１ａを引き出す引き出しロール、１００は引き出しロール６に続いて設けられたマスクパターン形成手段、１０はマスクパターン形成手段１００に更に続いて設けられた冷却ローラ、９は金属蒸着フィルム１１ｃを巻き取る巻き取りロールを示す。また、冷却ローラ１０の下方には、１３で示す蒸着用金属棒あるいは金属線｛以下、蒸着用金属棒（線）という｝を設置し、この蒸着用金属棒（線）１３はアルミニウム、亜鉛等を用いている。また、１２は、蒸着用金属棒（線）１３を加熱し、蒸発させる加熱ボートであり、蒸着用金属棒（線）１３から送給される金属を加熱ボート１２によりフィルムへの金属蒸着部を形成している。
【００１６】
次に、このような構成の真空蒸着装置の動作について説明する。
【００１７】
引き出しロール６から引き出された原反フィルム１１ａには、マスクパターン形成手段１００において、図２に示すような幾何学模様のマスク３６が形成される。さらに、冷却ローラ１０上において、加熱ボート１２で溶融蒸発した金属粒子（蒸気）がマスクが形成されたフィルム１１ｂのマスクされた部分以外に密着して金属蒸着が施される。
【００１８】
なお、金属蒸着部は、特に加熱ボート１２に限定されるものではなく、加熱ボート１２以外に、従来公知の装置のいずれもが適用可能であり、例えば、ルツボ、エレクトロビームガンなどを使用することができる。
【００１９】
また、本実施の形態で示す真空蒸着機例に適用される原反フィルムとしては、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリイミドフィルムが主として用いられるが、金属蒸着が可能なフィルムであれば、材質は特に限定されない。
【００２０】
次に、マスクパターン形成手段１００の動作について図１を用いてさらに詳細に説明する。マスクパターン形成手段１００は、図１に示すように、印刷ローラ１、転写ローラ２、バックアップローラ４を有する。これらのローラのうち転写ローラ２とバックアップローラ４の表面に凹凸はないが、印刷ローラ１は、表面に、マスク模様（幾何学模様）の第１の凸部３６ａを有し、その両外側に第２の凸部３６ｂを有している。また、転写ローラ２の下方には、マスキング剤を転写ローラ２の表面に塗布する供給ノズル３が設置されている。
【００２１】
そして、印刷ローラ１、転写ローラ２、バックアップローラ４が回転することにより、原反フィルム１１ａは、印刷ローラ１と転写ローラ２とに挟まれながら走行する。この時供給ノズル３は、加熱され蒸発したマスキング剤を転写ローラ２の表面に、凝縮塗布するようにしており、転写ローラ２表面に凝縮塗布されたマスキング剤は、転写ローラ２と接触している印刷ローラ１のマスク模様（幾何学模様）の第１の凸部３６ａに転写供給され、さらにこの第１の凸部３６ａに接触する原反フィルム１１ａへ幾何学模様のマスク３６が転写され、マスクが形成されたフィルム１１ｂを得る。
【００２２】
凝縮塗布についてさらに詳細に説明すると、供給ノズル３の内部にはオイル状のマスキング剤が入れられており、さらにヒーター（図示しない）を内蔵している。さらに供給ノズル３には、転写ローラ２の幅方向にわたって、スリット３ａを設けられており、ヒーターで温められたオイル状のマスキング剤が気化すると、スリット３ａを通過して、転写ローラ２の幅方向に一気に噴き出される。供給ノズル３と、転写ローラ２は真空蒸着装置内にあるので、供給ノズル３から出る気化したマスキング剤は勢いよく転写ローラに噴きつけられる。そして、転写ローラは回転させているので、常に全面にマスキング剤が塗布され続けることになる。
【００２３】
ここで、印刷ローラ１上の第１の凸部の両外側に設けられた第２の凸部３６ｂの役割について説明する。第２の凸部３６ｂがなくても、第１の凸部３６ａにより、フィルムへのマスキングはできるが、第１の凸部３６ａの形状が印刷ローラ１の回転位置により変化するため印刷ローラ１とバックアップローラ４の接触面積が変化しながら回転する。このため、両者間の弾性率が変化し、大きく弾みながら回転してしまう。このことにより、マスキング処理が完全に行われず、かすれが発生してしまう。そこで、本実施の形態における真空蒸着装置では、第１の凸部の両外側に第２の凸部３６ｂを有することで、印刷ローラ１とバックアップローラ４を全体的に一様な押し圧にできるので、適正な加圧力の調整が容易となり、高速化すなわち回転数が増加してもハンチングが起きにくくすることができる。
【００２４】
また、第２の凸部３６ｂは、少なくとも第１の凸部３６ａの両外側に設けてあれば、本発明の効果が得られるが、図１で示す様に、第２の凸部３６ｂをフィルム３と印刷ローラ１との接触面の外側に設けるようにすると、第２の凸部３６ｂをフィルム３に接触させないようにすることができ、不必要にフィルム３にマスキングさせないのでフィルム３のロスを発生させることがない。
【００２５】
なお、図１では、第２の凸部３６ｂを印刷ローラ１の端部より内側に設けた例を示しているが、本発明による効果は、少なくとも第１の凸部３６ａの両外側に設けてあれば得られるので、第２の凸部３６ｂは、印刷ローラの回転中心軸方向の端部にあってもよい。ただし、第２の凸部３６ｂは、バックアップローラと接触する位置にある必要があることは言うまでもない。
【００２６】
なお、本実施の形態では、平板に第１および第２の凸部を設けた凸版を巻き付けたものを印刷ローラ１に巻き付けたものであってもよく、凸版を巻き付けた時の第１の凸部３６ａと第２の凸部３６ｂの付き合せ面は、印刷ローラ回転軸方向に対して斜め方向に形成しており、印刷ローラとバックアップローラとの接触部で巻き付け合わせ面での凸部の欠落部分が無くすことができる。このことにより、適正な加圧力の調整が容易で、高速化すなわち回転数が増加してもハンチングが起きにくくすることができる。
【００２７】
このことについて、図５（ａ）および図５（ｂ）を用いてさらに詳細に説明する。図５（ａ）は、印刷ローラ１に巻き付けた凸版３６ｄの付き合わせた部分を示す図であり、３６ｃは第２の凸部３６ｂの付き合わせ面を示す。また、図５（ｂ）は、第２の凸部３６ｂの付き合わせ面３６ｃ付近の拡大図であり、図の左右方向が印刷ローラ１の回転中心軸方向となる。そして、付き合わせ面３６ｃは、この回転中心軸方向に対して、斜めの方向になるように付き合わせている。このようにすることで、印刷ローラ１が回転し、第１の凸部３６ｂのつなぎの部分とバックアップローラ４とが接触する際の、接触圧力の変化を時間的な幅を持たせられるので、衝撃をやわらげることができる。なお、本実施の形態では、付き合わせ面３６ｃを第１の凸部３６ｂに設ける例を示したが、第２の凸部３６ａの付き合わせ面でも同様に、回転中心軸方向に対して、斜めの方向になるように付き合わせると、尚一層、衝撃をやわらげる効果が得られる。
【００２８】
このようにしてマスクパターン形成機で得られた、マスクが形成されたフィルム１１ｂを、図１で示す冷却ローラ１０に送り、下方の加熱ボート１２から飛翔してきた金属粒子（蒸気）を付着させる工程を通過させる。この際、マスキング剤皮膜が形成されマスクされている部分は、金属粒子（蒸気）の熱でマスキング剤が蒸発するため、金属粒子（蒸気）の付着が防止される。このようにして、マスクが形成された部分を除いて金属蒸着されたフィルム１１ｃが得られる。
【００２９】
以下、本実施の形態を用いた実施例について説明する。
【００３０】
（実施例１）
図３を用いて、本実施の形態を用いた実施例１について説明する。図３は、本実施の形態の真空蒸着装置の印刷ローラの幾何学模様をなす第１の凸部３６ａによってフィルム上にできるマスク形成模様を示したものである。そして、２０はフィルムに分割電極を形成するための分割マージン、２２はフィルム走行方向に長さ方向のヒューズ形成マージンを示す。また、２３はヒューズ形成マージン２２の途中に設けたヒューズ形成部であり、コンデンサを自己回復させるために設けている。
【００３１】
そして、実施例１では、分割マージン２０の幅を０．５ｍｍとし、そのフィルム長さ方向の間隔（図中Ａ寸法）を３０ｍｍ間隔で設けた。また、長さ方向のマスク形成部２２の幅を０．５ｍｍとし、ヒューズ２３の幅を１ｍｍとした。また、図３で示すＢ寸法は、スリット後のフィルム幅に相当し、実施例１ではこの寸法を１２０ｍｍとした。そして、１枚のフィルムにつき、Ａ寸法とＢ寸法で形成される形状をフィルム長さ方向に４条分設けた。
【００３２】
上記したマスクパターンを持つフィルムを作成するために、幾何学模様を形成する第１の凸部（３６ａに相当する部分）と、幅方向に５００ｍｍ以上離して各２０ｍｍの幅を持つ第２の凸部（３６ｂに相当する部分）とを有する感光性樹脂製の平板を作成し、この平板を直径１５０ｍｍのローラに巻き付けて印刷ロールを作成した。なお凸部の高さは２ｍｍとした。
【００３３】
また、実施例１で用いるフィルムは５００ｍｍ幅とし、前述したように印刷ローラにより４条の同様のパターンが形成されるように設置する。
【００３４】
なお、４条分マスキングが形成されたフィルムは、１つのフィルムの幅が１２０ｍｍとなるようにスリットされる。なお、５００ｍｍ幅の両端各１０ｍｍはスリット時に除去される。
【００３５】
尚、平板を巻き付ける時の巻き付け始めと巻き付け終わりの繋ぎ部分の隙間は０．２ｍｍに成るようにした。
【００３６】
実施例１として、以上のような印刷ロールを作成した。
【００３７】
（実施例２）
本実施の形態の実施例２として、第２の凸部の巻き付け合わせ部は両側とも回転方向に対して斜め４５°にし、それ以外は実施例１と同様の印刷ロールを作成した。
【００３８】
（比較例１）
比較例として、図３に示す実施例１と同様のパターンを持つ第１の凸部のみを施し、第２の凸部を設けない印刷ロールを作成し、比較例１とした。
【００３９】
（比較検討）
上記、３個の印刷ロールを用いて、厚さ５μのポリエステルフィルムにマスクパターンを形成し、比較検討した。
【００４０】
尚、マスクパターン形成の確認は蒸着中のストロボ発光による、目視確認とした。また、マスクパターン再確認は、蒸着後フィルムの背面より照明を当て、１５倍の拡大鏡で目視確認を印刷ロール１周分約４７０ｍｍ行った。また、フィルムへの絶縁欠陥等のダメージは蒸着電極と冷却ローラの間に１００Ｖの直流電圧を印加し、絶縁欠陥数をカウントし確認した。
【００４１】
まず比較例１における結果について説明する。
【００４２】
比較例１では、蒸着速度２００ｍ／分で開始し、バックアップローラの押し圧を少しずつ上げていった。当初、形成されたヒューズ部はパターンが良好であったが、マスキング部は不鮮明となりカスレを発生させていた。これは、バックアップローラと接触する印刷ローラの凸部が、幾何学模様を形成する第１の凸部のみであるため、印刷ローラとバックアップローラの接触圧が変わって弾性率が大きく変化することが原因である。このため、両者は互いに弾みながら回転を続け、押し圧が変化するので、充分にマスキングが行われない。
【００４３】
そこで、カスレをなくすべく、マスキング部が鮮明となるまで、バックアップローラの押し圧を上げたが、フィルム上に発生した絶縁欠陥数は１５個／ｍ２を示した。さらに押し圧を上げると、絶縁欠陥数は１００個／ｍ２を超えた。これは、押し圧を上げすぎたために、フィルムが部分的にダメージを受け、破損等が発生したことによる。
【００４４】
さらに、マスキング部が鮮明となる押し圧で、蒸着速度を上げていくと、３００ｍ／分でマスキング部の後のヒューズ部が不鮮明となり、カスレを発生し始めた。また、バックアップローラの押し圧を増減しても鮮明にすることは出来なかった。
【００４５】
次に実施例１における結果について説明する。
【００４６】
まず、蒸着速度２００ｍ／分で開始し、バックアップローラの押し圧を少しずつ上げていった。当初、全パターンが不鮮明となり同様にかすれたパターン形成となったが、鮮明になるまで、バックアップローラの押し圧を上げると、ほほ同時に全パターンが鮮明となった。また絶縁欠陥数は０個／ｍ２であった。さらに押し圧を上げると絶縁欠陥数は１５個／ｍ２を示した。すなわち、蒸着速度２００ｍ／分では、適切な押し圧に設定すれば、パターンが鮮明になり、絶縁欠陥もなくなることがわかった。
【００４７】
さらに、マスキング部が鮮明となる押し圧で、蒸着速度を上げ、４００ｍ／分と６００ｍ／分で蒸着を行ったが、蒸着中のパターン不鮮明と絶縁欠陥数の増加は認められなかった。
【００４８】
これは、印刷ローラの両端に凸部を設けたことで、印刷ローラとバックアップローラの押し圧が一様にでき、弾性率の変化が小さくすることができたためである。
【００４９】
蒸着後、パターンを再確認すると、２００ｍ／分と４００ｍ／分は良好であったが、６００ｍ／分では印刷ローラの両端の第２の凸部の巻付け合わせ部後２０ｍｍ程度つまり印刷ローラの円周長さに１箇所、全パターンが不鮮明となり、かすれる部分が発生していた。これは、巻付け合わせ部にある僅かな隙間のため、フィルムに押し当てるローラが、第２の凸部の付き合わせ面で瞬間的に弾性力が弱まり、弾性力が変化するためにハンチングがおこっていることを示す。ここで、第２の凸部の巻付け合わせ部とは、図５の３６ｃを含む回転中心軸方向のラインであり、フィルムがこのラインに接触する部分の後に、マスクのカスレが起こっていた。
【００５０】
次に実施例２における結果について説明する。
【００５１】
蒸着中のパターン不鮮明と絶縁欠陥の状態については、実施例１と同様の結果であったが、蒸着後のパターン再確認では、実施例１で見られた、６００ｍ／分の蒸着速度での印刷ローラの両端の第２の凸部の巻付け合わせ部の後に相当する箇所に見られた、パターン不鮮明やカスレ部分がなく良好であった。
【００５２】
ここで、比較例１と、実施例１、２において、印刷ローラとバックアップローラとの接触面積について比較する。表１は、印刷ローラとバックアップローラの接触長さを５ｍｍとした場合の、印刷ローラの第１および第２の凸部がバックアップローラに直接、またはフィルムを介して間接的に接触する面積を示したものである。なお表１においては、ヒューズ部、ヒューズ形成マージン部、分割マージン部の３箇所の各部分を含むローラ回転位置での接触面積を計算し、比較例１と、実施例１、２についてそれぞれ示している。さらに表１では、ヒューズ部を含むローラ回転位置と分割マージン部を含むローラ回転位置での面積の比を示している。
【００５３】
なお、図４に、それぞれの回転位置で、バックアップローラと印刷ローラの第１および第２の凸部の接触する部分がどのような形状になるかを示した。
【００５４】
【表１】
2004091805.tif 000003
【００５５】
表１で示すように、比較例１では、接触面積が最大と最小では３１倍異なるのに対し、実施例では３．２倍に収めることができる。
【００５６】
印刷ローラのバックアップローラに対する弾性は、接触する凸部の面積と感光性樹脂等の弾性率の積で決まる。
【００５７】
比較例ではバックアップローラに対する弾性が３１倍に変化するため、適正な加圧力が調整しにくく、また、面積の大きい分割マージン部で調整すると、面積の小さいヒューズ部では過剰な押し圧となりフィルム絶縁欠陥が発生しやすくなる。また、調整出来ても、高速化すなわち回転数が増加してハンチングを起こしてしまい、４００ｍ／分の蒸着が出来なくなった。
【００５８】
実施例１では、バックアップローラに対する弾性を３．２倍に抑えられるため、適正な加圧力の調整が容易で、高速化すなわち回転数が増加してもハンチングを起こしにくいため、４００ｍ／分の蒸着が可能となった。
【００５９】
実施例２では、第２の凸部の巻き付け合わせ部の付き合わせ面は、回転中心軸方向に対して斜め４５°にした為印刷ロールを作成した為、バックアップロールと接触部で巻き付け合わせ部で、凸部が完全に欠落部分が無くなるため、実施例１で起こった蒸着速度６００ｍ／分での、第２の凸部の巻き付け合わせ部でのハンチングが解消できた。
【００６０】
尚、実施例１では、感光性樹脂製の平板を作成し、この平板を直径１５０ｍｍのローラに巻き付けて印刷ロールを作成したが、予めローラに同等の樹脂及びゴム等を貼り付け、彫刻、フライス、レーザ等で円周上に隙間のないエンドレスに、同様のローラ両端部に凸部を作成すれば、実施例２と同様蒸着速度６００ｍ／分の高速蒸着が可能となる。
【００６１】
なお、実施例として幾何学模様は、分割マージン幅を０．５ｍｍとし、分割ピッチを３０ｍｍとし、フィルム走行方向のヒューズ形成マージン幅を０．５ｍｍとしヒューズ寸法を１ｍｍとし、さらにフィルムは５００ｍｍ幅とし、スリット後のフィルム幅が１２０ｍｍとしたが、その他模様及びその他寸法形状でも同様の効果が得られる。
【００６２】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、印刷ローラのバックアップローラに対する弾性の差を少なく出来るため、適正な加圧力の調整が容易で、高速化すなわち回転数が増加してもハンチングを起こしにくい効果が得られる。
【００６３】
さらに、平面上の凸版を巻き付ける印刷ローラにおいて、凸版の巻き付け合わせ部の両端の凸部を回転方向に対して斜めにしたことで、平面上の凸版を巻き付ける印刷ローラでもバックアップロールと接触部で巻き付け合わせ部での凸部の欠落部分が無くなるため、適正な加圧力の調整が容易で、高速化すなわち回転数が増加してもハンチングを起こしにくくする効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマスクパターン形成機の拡大斜視図
【図２】本発明のマスクパターン形成機を備える真空蒸着装置の概略断面図
【図３】本発明の実施の形態の幾何学パターン平面図
【図４】バックアップローラと印刷ローラの凸部の接触する部分の形状を示す図
【図５】（ａ）印刷ローラに巻き付けた凸版の付き合わせた部分を示す図
（ｂ）凸部の付き合わせ面付近の拡大図
【図６】従来例のマスクパターン形成機の拡大斜視図
【符号の説明】
１　　印刷ローラ
４　バックアップローラ
１１ａ、１１ｂ　フィルム
３６ａ　第１の凸部
３６ｂ　第２の凸部
３６ｃ　付き合わせ面
３６ｄ　凸版
【図１】
2004091805.tif 000004
【図２】
2004091805.tif 000005
【図３】
2004091805.tif 000006
【図４】
2004091805.tif 000007
【図５】
2004091805.tif 000008
【図６】
2004091805.tif 000009