(57)【要約】【課題】ディスクサーボライターに磁気記録媒体を装着した時に偏心があっても、サーボパターンの中心ずれが少ない磁気記録ディスクを提供する。【解決手段】磁気記録媒体の内孔の形状を測定し、内孔の内接円の中心点を求め、求めた中心点を中心として、磁気記録媒体上の磁気パターンの描画領域外に、一定半径の円状に基準パターンを磁気的に形成する。基準パターン１２１が記録された磁気記録媒体１０７を２方向のステージを備えた媒体保持ベース４４１を介してディスクサーボライターの回転軸４３３に装着し、基準パターンの位置を再生ヘッド４４３で追従させ、再生ヘッドのヘッドスタックアセンブリ４４５のボイスコイル電流の変化を検知し、その電流の変化により磁気記録媒体の装着時における回転軸からの偏心量を計算し、この偏心量に応じて２方向のステージを駆動制御することで、偏心を少なくする。その後、磁気パターの記録を行う。【選択図】        図４
2004241082.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクサーボライターにより磁気パターンが記録される磁気記録媒体の内孔の形状を測定して、該内孔の内接円の中心点を求め、求めた該中心点を中心として、前記磁気記録媒体上の磁気パターンの描画領域外に、一定半径の円状に基準パターンを磁気的に形成する基準パターン形成ステップと、
前記基準パターンが記録された前記磁気記録媒体を２軸のステージを備えたホルダーを介してディスクサーボライターの回転軸に装着し、該基準パターンの位置を該ディスクサーボライターに設けられた再生ヘッドで追従させ、該再生ヘッドのヘッドスタックアセンブリの回転を駆動する回転駆動系の駆動電流の変化を検知し、該駆動電流の変化により該磁気記録媒体の装着時における該ディスクサーボライターの前記回転軸からの偏心度を求める偏心度把握ステップと、
前記ホルダーに設けられた前記２軸のステージを、前記偏心度に応じて駆動することにより、該磁気記録媒体の装着位置を移動させ、前記回転駆動系の駆動電流の変化を最小にする装着ずれ補正ステップと
を有することを特徴とする偏心補正方法。
【請求項２】
前記ホルダーに設けられた前記２軸のステージが２軸の直交ステージであることを特徴とする請求項１に記載の偏心補正方法。
【請求項３】
前記２軸の直交ステージが表面弾性波を用いた２方向ステージであることを特徴とする請求項２に記載の偏心補正方法。
【請求項４】
前記ステージに、前記磁気記録媒体を固定するための多数の真空吸着孔が設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の偏心補正方法。
【請求項５】
前記基準パターン形成ステップで前記基準パターンを磁気的に形成するのに磁気記録ヘッドを用いて行うことを特徴とする請求項１に記載の偏心補正方法。
【請求項６】
前記基準パターン形成ステップで前記基準パターンを磁気的に形成するのに基準パターンを磁気的に埋め込んだマスタディスクから磁気転写により行うことを特徴とする請求項１に記載の偏心補正方法。
【請求項７】
前記装着ずれ補正ステップの実行により前記偏心が補正された状態で、前記ホルダーに前記磁気記録媒体を完全に固定し、サーボパターンまたはその他の磁気パターンを記録する磁気パターン記録ステップを更に有することを特徴とする請求項１に記載の偏心補正方法。
【請求項８】
ディスクサーボライターにより磁気パターンが記録される磁気記録媒体の内孔の形状を測定して、該内孔の内接円の中心点を求め、求めた該中心点を中心として、前記磁気記録媒体上の磁気パターンの描画領域外に、一定半径の円状に基準パターンを磁気的に形成する基準パターン形成手段と、
前記基準パターンが記録された前記磁気記録媒体が２軸のステージを備えたホルダーを介してディスクサーボライターの回転軸に装着され、該基準パターンの位置を該ディスクサーボライターに設けられた再生ヘッドが追従している状態で、該再生ヘッドのヘッドスタックアセンブリの回転を駆動する回転駆動系の駆動電流の変化を検知し、該駆動電流の変化により該磁気記録媒体の装着時における該ディスクサーボライターの前記回転軸からの偏心度を求める偏心度把握手段と、
前記ホルダーに設けられた前記２軸のステージを、前記偏心度に応じて駆動することにより、該磁気記録媒体の装着位置を移動させ、前記回転駆動系の駆動電流の変化を最小にする装着ずれ補正手段と
を有することを特徴とする偏心補正システム。
【請求項９】
前記基準パターン形成手段は、
ディスクサーボライターにより磁気パターンが記録される磁気記録媒体の内孔の形状を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段から出力された画像信号を基に前記磁気記録媒体の内孔の形状を測定して、該内孔の内接円の中心点を求め、求めた該中心点を中心として、前記磁気記録媒体上の磁気パターンの描画領域外に、一定半径の円状に基準パターンを磁気的に形成するための磁気記録ヘッド位置指令信号を出力する画像処理手段と、
前記磁気記録ヘッド位置指令信号に応じて、前記中心点を中心として、前記磁気記録媒体上の磁気パターンの描画領域外に、一定半径の円状に基準パターンを磁気記録ヘッドを介して磁気的に形成する磁気記録ヘッド駆動系と
を含むことを特徴とする請求項８に記載の偏心補正システム。
【請求項１０】
前記偏心度把握手段は、
前記基準パターンが記録された前記磁気記録媒体が前記ホルダーに装着されて回転され、該基準パターンの位置を前記再生ヘッドが追従している状態で、該再生ヘッドのヘッドスタックアセンブリの回転駆動系の駆動電流を検出する駆動電流検出手段と、
検出した前記駆動電流と予め設定した目標値の差分値を制御用駆動電流として出力するサーボ補償手段と、
前記制御用駆動電流を前記ヘッドスタックアセンブリの回転駆動系に印加する電力手段と、
前記制御用駆動電流の変化をその平均値との差分により検知し、検知した該変化量により該磁気記録媒体の装着時における該ディスクサーボライターの前記回転軸からの偏心量を回転角度毎に計算し、計算した結果を基にＸ，Ｙ方向偏心信号を出力する偏心量計算手段と
を含むことを特徴とする請求項８または９に記載の偏心補正システム。
【請求項１１】
前記装着ずれ補正手段は、前記ホルダーに設けられた前記２軸のステージを、前記Ｘ，Ｙ方向偏心信号に応じて駆動するＸ，Ｙステージ制御手段であることを有することを特徴とする請求項８ないし１０のいずれかに記載の偏心補正システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスクにおいて、磁気ヘッドの位置検出に使用されるサーボパターン、ディスクの識別を行うためのＩＤパターン、プログラムなどを書き込む技術に関し、特にディスクサーボライターにおける偏心補正方法およびシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来例として、サーボパターンを書き込むディスクサーボライターについて説明する。図９は、磁気ディスクに、ヘッドの位置決め情報を書き込む従来のディスクサーボライターの全体の構造を示し、図１０はそのディスクサーボライターの主要部を上方からみた図である。
【０００３】
図９、図１０に示すように、このディスクサーボライターは、クロックパターンの書き込みと読み出しを行うクロックパターンディスク９０１と、このクロックパターンディスク１枚とＭ枚の磁気ディスク９０３をスタックしたディスクスタックユニット９０５と、このディスクスタックユニットを数千ｒｐｍで回転するスピンドルモータ９０７と、クロックパターンを生成するクロックパターンジェネレータ９０９と、クロックパターンディスク９０１にクロックパターンを書き込むクロックヘッド９１１と、クロックヘッドを位置決めするクロックヘッドポジショナー９１３と、サーボパターンを生成するサーボパターンジェネレータ９１５と、そのサーボパターンを磁気ディスク９０３に書き込む磁気記録ヘッド９１７と、スタックしたサーボパターンヘッド（磁気記録ヘッド）９１７を回転移動し位置決めするロータリーポジショナー９１９と、このロータリーポジショナーに内蔵されるロータリーエンコーダー９２１からロータリーポジショナーの位置を検出する位置検出部９２３と、この検出した位置と目標位置との誤差からサーボ補償値を求めるサーボ補償器９２５と、このサーボ補償値に基づいてロータリーポジショナー９１９の駆動電流を出力するパワーアンプ（電力増幅器）９２７とを有する。
【０００４】
このディスクサーボライターの動作について、以下に説明を行う。まず、クロックヘッド９１１は、クロックパターンジェネレータ９０９が生成するクロックパターンをクロックパターンディスク９０１の任意半径位置（図１１では最外周の９０２に示す）に記録する。
【０００５】
次に、ロータリーポジショナー９１９に内蔵されているロータリーエンコーダ９２１により、ロータリーポジショナー９１９の位置を位置検出部９２３で検出し、検出位置と目標位置との誤差を、サーボ補償器９２５とパワーアンプ９２７を通してロータリーポジショナー９１９にフィードバックして、各磁気記録ヘッド９１７を目標位置に追従させる。
【０００６】
この追従状態において、クロックパターンディスク９０１から読み出したクロックに同期しながら、サーボパターンジェネレータ９１５が発生するサーボパターンを磁気記録ヘッド９１７が磁気ディスク９０３に書き込みを行う。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００１−１２４２０号公報    明細書段落［０００６］
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような従来のディスクサーボライターへの磁気記録媒体９０１，９０３の装着は、磁気記録媒体の内孔９３１にスピンドルモータ９０７の軸９３３を挿入し、ディスク固定機構（図示しない）で固定されるが、磁気記録媒体の内孔９４１とスピンドルモータの軸９３３に隙間が無ければ装着できないため、その隙間のために磁気記録媒体の内孔９３１における内接円の中心とスピンドルモータの軸９３３とのずれが生じてしまう。このずれ量には規則性は無く、ランダムな量として発生し、ディスクサーボライターにおいて磁気パターンを記録した磁気記録媒体９０３をＨＤＤ（ハードディスクドライブ）として組み上げた場合にも、同様なずれが生じてしまう。
【０００９】
これらのずれが相殺する方向で発生すれば良いが、上記のようにランダムに発生するので、最悪の場合にはそれらのずれが相乗したずれとなる。このずれが大きいと、磁気ヘッドの位置制御が時間を要し、データのアクセス時間が長くなってしまうという解決すべき課題がある（特許文献１を参照）。
【００１０】
本発明の目的は、上述のような課題を解決し、ディスクサーボライターに磁気記録媒体を装着した時に偏心があっても、ステージ移動によって補正して再装着を行い、磁気記録媒体の内孔における内接円の中心点を中心としたサーボパターンを記録できるようにし、サーボパターンの中心ずれが少ない磁気記録ディスクを提供することができる、ディスクサーボライターにおける偏心補正方法および偏心補正装置を実現することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、以下の手段を講ずることにより、ディスクサーボライターのスピンドルモータの軸に、磁気記録媒体を装着する際に初期偏心があっても、偏心量を測定し、２方向のステージで偏心補正を行って、サーボパターンを記録することを特徴としている。
【００１２】
（１）基準パターンの形成
ａ．  磁気記録媒体における内孔の形状を測定することにより、その内孔の内接円の中心点を求める。
ｂ．  磁気記録媒体のサーボパターン等の描画領域外に、上記中心点を中心とし、一定半径の円状に基準パターンを磁気的に形成する。
【００１３】
（２）ディスクサーボライターに取り付けた際の偏心度の把握
ａ．  ディスクサーボライターに上記の磁気記録媒体を取り付け、ディスクサーボライターに設けられた再生ヘッドで、上記基準パターンを追従させ、再生ヘッドのヘッドスタックアセンブリの回転駆動系の駆動電流の変化を検知することにより、磁気記録媒体の装着時におけるディスクサーボライターのスピンドルモータの軸からのずれを把握する。
【００１４】
（３）装着ずれをステージ移動で補正して、ディスクサーボライターによる磁気記録媒体への記録
ａ．サーボトラックライターにおける磁気記録媒体の保持ベースに、表面弾性波による２方向ステージを設け、上の再生ヘッドのヘッドスタックアセンブリの回転駆動系の駆動電流の変化を最小にするように、ステージの移動を行い、初期装着時の偏心を補正する。
ｂ．偏心が補正された状態で、保持ベースに磁気記録媒体を完全に固定し、サーボパターンを記録する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１６】
本発明を適用した、磁気記録媒体への基準パターンの書き込み装着の構成例を図１および図２に示す。図１はその書き込み装置の全体の構成を示し、図２はその書き込み装置の主要部を上方から見た平面図である。
【００１７】
図１および図２に示すように、スピンドルモータ１０１の軸１０３の先端に、真空吸着式のディスクホルダー１０５が設けられ、概ねスピンドルモータの軸１０３に合うように、磁気記録媒体１０７を装着し、真空吸着によりディスクホルダー１０５に磁気記録媒体１０７を密着固定する。磁気記録媒体１０７の内孔１０９の上方には、内孔１０９の端面位置を観測するための高分解能のセンサ（ＣＣＤセンサ）１１１が設けられ、スピンドルモータ１０１を回転させながら、モータ１０１に直結されたエンコーダ１１３から出力される回転角度信号とセンサ１１１から出力される画像信号から、画像処理装置１１５において回転角度に対する内孔１０９の端面位置を測定し、内孔端面の各点での極座標を得る。
【００１８】
この内孔の端面位置を観測するための高分解能の測定方法として、例えば高分解能ＣＣＤ１１１で捉えた画像からデジタル処理により、端面位置を測定する方法や、端面に照射されたレーザー光の反射光と参照光との重畳を行い、干渉縞の位置から、端面位置を測定する方法が適用できる。
【００１９】
画像処理装置１１５において、磁気記録媒体１０７の内孔１０９の端面座標位置に対して、内接円を計算によって求め、その内接円の中心点を特定する。この中心点を原点として、画像処理装置１１５から磁気記録ヘッド駆動系１１７へ磁気記録ヘッド位置指令信号が出力され、装置に具備された磁気記録ヘッド１１９で、磁気記録媒体１０７の、後工程で記録するサーボパターンなどの磁気パターン領域外の位置に、上記中心点を中心とし、一定半径の円状に基準パターン１２１の書き込みを行う。
【００２０】
この基準パターン１２１は、後述する再生ヘッドの位置決めができるように、例えば、図３に示すように、特定のトラック位置に磁気再生ヘッドの位置を制御できるサーボパターンでなければならない。図３において、３０１は基準パターン１２１が記録される位置検出領域、３０３はアドレス領域、３０５はギャップ領域、３０７はグレイコード領域、３０９はクロック領域である。
【００２１】
図４は本発明におけるサーボトラックライターの全体の構造を示し、図５はそのサーボトラックライターを上方から見た図である。ここで、４０１はクロックパターンが記録されたクロックパターンディスク、４０７は複数の磁気記録媒体１０７とクロックパターンディスク４０１を同時に回転するスピンドルモータ、４１１はクロックパターンディスク４０１のクロックパターンを読み出すクロックヘッド、４１５はサーボパターンなどの磁気パターンを生成するサーボパターンジェネレータ、４１７はそのパターンを磁気記録媒体１０７に記録する磁気記録ヘッド、４１９はスタックされた磁気記録ヘッド４１７を保持するヘッドスタックアセンブリ、４２１はヘッドスタックアセンブリ４１９の回転角度を測定するエンコーダ、４２３はエンコーダ４２１の出力とクロックヘッド４１１の出力から磁気記録ヘッド４１７のヘッド位置とクロックを検出するヘッド位置＆クロック検出部、４２５は検出されたその記録ヘッド位置と目標値Ａとの差分（誤差）に応じた補償電流を生成するサーボ補償器、４２７はその補償電流に応じて誤差の減少する方向にヘッドスタックアセンブリ４１９を回転駆動するパワーアンプ、および４３３はスピンドルモータ４０７の軸である。
【００２２】
４４１〜４５７は本発明の特有な構成要素であって、４４１はスピンドルモータ４０７の軸４３３に対して磁気記録媒体１０７を固定するための真空吸着機構と磁気記録媒体１０７を移動させるためのＸ，Ｙステージの両方を備えた媒体保持ベース、４４３は磁気記録媒体１０７に記録された前述の位置検出用基準パターンを読み出すための磁気再生ヘッド、４４５はスタックした磁気再生ヘッド４４３を回転移動し位置決めするヘッドスタックアセンブリである。４４７は磁気再生ヘッド４４３が基準パターン１２１のトラックを追尾している時のヘッドスタックアセンブリ４４５の回転駆動系の駆動電流（ボイスコイル電流）の変化を検知することにより、磁気再生ヘッド４４３の位置を検出する再生ヘッド位置検出部、４４９は検出された再生ヘッド位置と目標値Ｂとの誤差に応じた補償値としてのボイスコイル電流を出力するサーボ補償器、４５１はサーボ補償器４４９からのボイスコイル電流を増幅して磁気再生ヘッド４４３を回転移動するヘッドスタックアセンブリ４４５のボイスコイル（図示しない）に供給することで、磁気再生ヘッド４４３を上記誤差が解消する位置に回転移動させるパワーアンプである。
【００２３】
４５３はスピンドルモータ４０７の軸４３３の回転角（即ち、磁気記録媒体回転角）を検出するエンコーダ、４５５はエンコーダ４５３からの磁気記録媒体回転角とサーボ補償器４４９からのボイスコイル電流とを入力して、磁気記録媒体１０７の装着時におけるディスクサーボライタのスピンドルモータ４０７の軸４３３からのずれに相当する、磁気記録媒体１０７の回転角度毎のＸ，Ｙ方向の偏心量を求める偏心量計算部、４５７は偏心量計算部４５５から出力するＸ，Ｙ方向の偏心信号に応じて媒体保持ベース４４１上のＸ，Ｙステージ（図６の６０１〜６０４）を駆動して、媒体保持ベース４４１上の磁気記録媒体１０７を上記偏心が解消される方向、位置に移動させるＸ，Ｙステージ制御部である。
【００２４】
図４および図５に示す本発明のサーボトラックライターは、図９および図１０に示す従来のサーボトラックライターに対して、磁気記録媒体１０７の偏心度を測定するための磁気再生ヘッド４４３、磁気再生ヘッドの位置制御系４４７〜４５７を設け、さらに磁気記録媒体１０７の媒体保持ベース４４１に真空吸着機構とＸ，Ｙステージを設けた点が大きく相違する。
【００２５】
なお、図４では、図面の簡素化のため、磁気記録ヘッド４１７、媒体保持ベース４４１に対する入力線、磁気再生ヘッド４４３に対する出力線はそれぞれ１枚分だけしか図示していないが、これら入力線、出力線は、サーボトラックライターに装着されている対応する全ての磁気記録ヘッド４１７、媒体保持ベース４４１、磁気再生ヘッド４４３にそれぞれ個別に接続されているものとする。これら複数の入力線、または出力線を伝送する信号の処理はスイッチ機能を用いた切り替え処理でよいが、並列同時処理でも実現できる。
【００２６】
図６は図４に示したサーボトラックライターの磁気記録媒体固定機構として機能する媒体保持ベース４４１の構造を示し、図７はその媒体保持ベース４４１に磁気記録媒体１０７を保持させた状態を示す。媒体保持ベース４４１には、図６に示すように、保持位置の調整可能な２方向の表面弾性波ステージ６０１〜６０４およびディスク（磁気記録媒体）１０７の保持を行う真空吸着孔６０５からなる真空チャックが設けられている。さらに詳細には、媒体保持ベース４４１には、Ｘ，Ｙの角度方向に４分割された超音波振動子からなる微動ステージ６０１〜６０４が設けられ、この超音波振動子の表面にはＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ：すだれ状電極弾性表面波変換器）の電極（交差指電極）が設けられており、特定の対向する２個をＸ方向移動用に、直交する２個をＹ方向移動用に用い、２個のＩＤＴに加える共振周波数の位相を調整することにより、超音波振動子（圧電振動子、電気ひずみ振動子、磁気ひずみ振動子のいずれでもよい）の表面に発生する表面弾性波は進行波または後退波となり、磁気記録媒体１０７を移動させるステージの役割を果たす。ここで、６０１はＸ方向表面弾性波ステージＡ、６０２はＸ方向表面弾性波ステージＢ、６０３はＹ方向表面弾性波ステージＡ、６０４はＹ方向表面弾性波ステージＢである。
【００２７】
表面弾性波ステージ６０１〜６０４による１回の磁気記録媒体１０７の移動は数ｎｍ程度での移動量となるが、これは後述する多数の真空吸着孔６０５による真空吸着によって磁気記録媒体１０７と媒体保持ベース４４１上の超音波振動子とが密着状態になり、横方向に移動に対してブレーキをかけるのに等しくなるためであり、何回かの繰り返しで所望の移動が精密に達成できる。
【００２８】
一方、この媒体保持ベース４４１はディスクホルダーとして真空チャックの役目も果たし、媒体保持ベース４４１に設けられた超音波振動子である表面弾性波ステージ上６０１〜６０４に多数の真空吸着孔（空気吸入孔ともいう）６０５が設けられ、表面弾性波ステージ上６０１〜６０４と磁気記録媒体１０７との隙間を吸引により負圧にすることにより、図７に示すように、磁気記録媒体１０７を超音波振動子が設けられた媒体保持ベース４４１に密着固定する。
【００２９】
次に、再び図４および図５を参照して、サーボトラックライターの全体の動作を説明する。
【００３０】
上記のような移動・固定機構が設けられた媒体保持ベース４４１上に図１、図２で説明したようにして基準パターン１２１が記録された磁気記録媒体１０７を装着し、上記の真空チャック機能で磁気記録媒体１０７を媒体保持ベース４４１に固定し、媒体保持ベース４４１が固定された回転軸４３３を介してスピンドルモータ４０７により所定の回転数で磁気記録媒体１０７を回転させる。
【００３１】
サーボトラックライターに設けられた磁気再生ヘッド４４３は、磁気記録媒体１０７に予め設けられた基準パターン１２１の特定トラックを追従するように制御されねばならない。そのため、ヘッド位置検出部４４７においてヘッドスタックアセンブリ４４５の回転駆動系の駆動電流（ボイスコイル電流）の変化を検知することで磁気再生ヘッド４４３の位置を検出し、この検出位置の座標値とあらかじめ設定した目標位置の座標値Ｂとの差分（誤差）からサーボ補償器４４９によりサーボ補償量としてボイスコイル電流を生成する。このボイスコイル電流をパワーアンプ４５１を介して磁気再生ヘッド４４３の回転用ボイスコイル（図示しない）に供給することで、磁気再生ヘッド４４３のフィードバック制御が達成される。
【００３２】
磁気記録媒体１０７の基準パターン１２１が、サーボトラックライターのスピンドルモータ４０７の軸４３３に対してどの方向にどの程度まで偏心しているかを、偏心量計算部４５５において、サーボ補償器４４９から出力するボイスコイル電流の値とスピンドルモータ４０７のエンコーダ４５３から出力する磁気記録媒体回転角とを基に回転角度毎に計算し、この計算結果をＸ，Ｙ方向偏心信号として偏心量計算部４５５からＸ，Ｙステージ制御部４５７へ出力される。
【００３３】
基準パターン１２１が、サーボトラックライターのスピンドルモータ４０７の軸４３３に対して、偏心している場合と、偏心していない場合の再生ヘッド駆動用ボイスコイルの電流波形を図８に示す。図８の（Ａ）は偏心が無い場合のボイスコイルの電流波形を示し、図８の（Ｂ）は偏心がある場合のボイスコイルの電流波形を示す。
【００３４】
図８の（Ｂ）に示すように、基準パターン１２１が、サーボトラックライターのスピンドルモータ４０７の軸４３３に対して偏心があると、再生ヘッド駆動用ボイスコイルの電流変化が大きくなる。スピンドルモータ４０７の軸４３３には回転角を測定できるエンコーダー４５３が設けられており、偏心量計算部４５５では、そのエンコーダー４５３の測定値を用いて、個々の回転角度における再生ヘッド駆動用ボイスコイルの電流の、その電流平均値（図８の（Ｂ）で破線で示す）に対する相違値を求め、この相違値を媒体保持ベース４４１のステージ６０１〜６０４のＸ，Ｙ方向成分に分離し、それをＸ，Ｙ方向偏心信号としてＸ，Ｙステージ制御部４５７へ出力し、Ｘ，Ｙステージ制御部４５７はそのＸ，Ｙ方向偏心信号を基に、磁気再生ヘッド４４３のヘッドスタックアセンブリ４４５の回転駆動系の駆動電流の変化を最小にするように、媒体保持ベース４４１に設けられた前述の表面弾性波式のＸ，Ｙステージ６０１〜６０３を駆動し、それにより磁気記録媒体１０７の移動を行い、初期装着時の偏心を補正する。
【００３５】
このように、ボイスコイル電流の検出およびステージ移動をフィードバック系として組み込むことにより、最終的には、基準パターン１２１のスピンドルモータ軸４３３に対する偏心度を、図８の（Ａ）に示すような、制御系のノイズに起因する量までに低減することが可能となる。クロックパターンディスク４０１についても、同様な手法で偏心補正を行った後に（図４においてその制御系の回路の図示は省略している）、このように偏心が補正された状態で、真空吸着により媒体保持ベース４４１に磁気記録媒体１０７を完全に固定し、クロックパターンディスク４０１からクロックヘッド４１１により読み出したクロックに基づいて、サーボパターンジェネレータ４１５によりサーボパターンなどの磁気パターンを磁気記録ヘッド４１７を介して磁気記録媒体１０７に書き込みを行う。
【００３６】
なお、クロックパターンディスク４０１の偏心の補正のための制御系は、磁気再生ヘッド４４３の場合と同様に、クロックヘッド位置検出部、サーボ補償器、パワーアンプ、偏心量計算部、Ｘ，Ｙステージ制御部で構成され、同様に動作する。この制御系も図面に書き込むと、図面が複雑になるので、図示は省略した。
【００３７】
（他の実施形態）
なお、本発明の好適な実施形態を例示して説明したが、本発明の実施形態は上記例示に限定されるものではなく、各請求項に記載の範囲内であれば、その構成部材等の置換、変更、追加、個数の増減、形状の変更等の各種変形は、全て本発明の実施形態に含まれる。
【００３８】
例えば、基準パターン形成工程で基準パターンを磁気的に形成するのに、磁気記録ヘッドを用いたが、基準パターンを磁気的に埋め込んだマスタディスクから磁気転写により行うとしてもよい。また、磁気記録媒体の微小移動と固定に適したホルダーとして超音波振動子と真空チャックを利用した媒体保持ベースを例示したが、本発明はこれに限定されず、例えば２軸の直交ステージでもよい。また、多数の磁気記録媒体を一度に処理するディスクサーボライターを例示したが、磁気記録媒体を一枚づづ処理するタイプのディスクサーボライターにも本発明は適用できることは勿論である。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ディスクサーボライターに磁気記録媒体を装着した時に偏心があっても、ステージ移動によって補正して再装着を行い、磁気記録媒体の内孔における内接円の中心点を中心としたサーボパターンを記録できるようにし、サーボパターンの中心ずれが少ない磁気記録ディスクを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における磁気記録媒体への基準パターンの書き込み装置の構成を一部切り欠き断面で示すブロック図付きの側面図である。
【図２】図１の書き込み装置の主要部を上方から見た平面図である。
【図３】本発明における基準パターンの形状を示す模式図である。
【図４】本発明におけるサーボトラックライターの制御系の回路構成と側面構造を示すブロック図付きの側面図である。
【図５】図４のサーボトラックライターを上方から見た平面図である。
【図６】本発明におけるサーボトラックライターにおける磁気記録媒体固定機構の媒体保持ベースの構造を示す平面図である。
【図７】図６の媒体保持ベースに磁気記録媒体を保持させた状態を示す側面図である。
【図８】本発明におけるサーボトラックライターの再生ヘッド駆動用ボイスコイルの電流波形を示し、（Ａ）は偏心が無い場合のボイスコイルの電流波形を示す波形図、（Ｂ）は偏心がある場合のボイスコイルの電流波形を示す波形図である。
【図９】従来のディスクサーボライターの制御系の回路構成と側面構造を示すブロック図付きの側面図である。
【図１０】図９の従来のディスクサーボライターを上方からみた平面図である。
【図１１】図９のクロックパターンディスクにおけるクロックパターンを示す裏面図である。
【符号の説明】
１０１  スピンドルモータ
１０３  スピンドルモータの軸
１０５  真空吸着式のディスクホルダ
１０７  磁気記録媒体
１０９  磁気記録媒体の内孔
１１１  高分解能のセンサ（ＣＣＤセンサ）
１１３  エンコーダ
１１５  画像処理装置
１１７  磁気記録ヘッド駆動系
１１９  磁気記録ヘッド
１２１  基準パターン
３０１  位置検出領域
３０３  アドレス領域
３０５  ギャップ領域
３０７  グレイコード領域
３０９  クロック領域
４０１  クロックパターンディスク
４０７  スピンドルモータ
４１１  クロックヘッド
４１５  サーボパターンジェネレータ
４１７  磁気記録ヘッド
４１９  ヘッドスタックアセンブリ
４２１  エンコーダ
４２３  ヘッド位置＆クロック検出部
４２５  サーボ補償器
４２７  パワーアンプ
４３３  スピンドルモータの軸
４４１  真空吸着機構とＸ，Ｙステージの両方を備えた媒体保持ベース
４４３  磁気再生ヘッド
４４５  ヘッドスタックアセンブリ
４４７  再生ヘッド位置検出部
４４９  サーボ補償器
４５１  パワーアンプ
４５３  エンコーダ
４５５  偏心量計算部
４５７  Ｘ，Ｙステージ制御部
６０１  Ｘ方向表面弾性波ステージＡ
６０２  Ｘ方向表面弾性波ステージＢ
６０３  Ｙ方向表面弾性波ステージＡ
６０４  Ｙ方向表面弾性波ステージＢ
６０５  真空吸着孔
９０１  クロックパターンディスク
９０２  クロックパターン
９０３  磁気ディスク
９０５  ディスクスタックユニット
９０７  スピンドルモータ
９０９  クロックパターンジェネレータ
９１１  クロックヘッド
９１３  クロックヘッドポジショナー
９１５  サーボパターンジェネレータ
９１７  磁気記録ヘッド
９１９  ロータリーポジショナー
９２１  エンコーダ
９２３  位置検出部
９２５  サーボ補償器
９２７  パワーアンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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