(57)【要約】【課題】マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて磁気転写する磁気転写方法において、マスター担体の保持位置およびスレーブ媒体の供給位置の位置決めの検証を行う。【解決手段】転写情報に対応した転写パターンを有する円盤状のマスター担体３とスレーブ媒体２とを密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置１０において、スレーブ媒体２と同一の検査用媒体５２を、その回転中心が所定の基準位置Ａと一致するように位置決めし、マスター担体３に供給密着させて、該検査用媒体５２に磁気転写を行い、磁気転写がなされた検査用媒体５２’における転写パターンの転写位置を転写位置検査手段５６により検査することにより、マスター担体３の保持位置を検証する。また、所定位置に保持されたマスター担体３に対してスレーブ媒体２と同一の検査用媒体６２を供給密着させて、該検査用媒体６２に磁気転写を行い、磁気転写がなされた検査用媒体６２’における転写パターンの転写位置を転写位置検査手段６６により検査することによりスレーブ媒体２の供給位置を検証する。【選択図】          図２
2004185716.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写情報に対応した転写パターンが形成された円盤状のマスター担体を所定位置に保持する保持手段と、前記マスター担体に対して円盤状のスレーブ媒体を供給して密着させる供給手段と、密着された前記マスター担体と前記スレーブ媒体とに転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁界印加手段とを備えた磁気転写装置における、前記保持手段による前記マスター担体の保持位置を検証するマスター担体保持位置検証方法であって、
前記保持手段により保持された前記マスター担体に対して、前記スレーブ媒体と同一形状の検査用媒体を所定の基準位置に位置決めした後供給し、該検査用媒体に磁気転写を行い、該検査用媒体における前記転写パターンの転写位置を検査することにより、前記マスター担体の保持位置を検証することを特徴とするマスター担体保持位置検証方法。
【請求項２】
転写情報に対応した転写パターンが形成された円盤状のマスター担体を所定位置に保持する保持手段と、前記マスター担体に対して円盤状のスレーブ媒体を供給して密着させる供給手段と、密着された前記マスター担体と前記スレーブ媒体とに転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁界印加手段とを備えた磁気転写装置における、前記保持手段による前記マスター担体の保持位置を検証するマスター担体保持位置検証装置であって、
前記スレーブ媒体と同一形状の検査用媒体と、
該検査用媒体を所定の基準位置に位置決めした後、前記保持手段により保持された前記マスター担体に対して供給して密着させる検査用媒体供給手段と、
前記マスター担体に密着されて磁気転写がなされた前記検査用媒体における前記転写パターンの転写位置を検査する転写位置検査手段とを備えてなることを特徴とするマスター担体保持位置検証装置。
【請求項３】
前記転写位置検査手段が、前記検査用媒体の中心に対する、該検査用媒体に転写された前記転写パターンの中心の偏心量を求めるものであることを特徴とする請求項２記載のマスター担体保持位置検証装置。
【請求項４】
転写情報に対応した転写パターンが形成された円盤状のマスター担体を所定位置に保持する保持手段と、前記マスター担体に対して円盤状のスレーブ媒体を供給して密着させる供給手段と、密着された前記マスター担体と前記スレーブ媒体とに転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁界印加手段とを備えた磁気転写装置における、前記マスター担体に対する前記スレーブ媒体の供給位置を検証するスレーブ媒体供給位置検証方法であって、
前記所定位置に保持された前記マスター担体に対して、前記スレーブ媒体と同一形状の検査用媒体を前記供給手段により供給して密着させ、該検査用媒体に磁気転写を行い、該検査用媒体における前記転写パターンの転写位置を検査することにより、前記マスター担体に対する前記スレーブ媒体の供給位置を検証することを特徴とするスレーブ媒体供給位置検証方法。
【請求項５】
転写情報に対応した転写パターンが形成された円盤状のマスター担体を所定位置に保持する保持手段と、前記マスター担体に対して円盤状のスレーブ媒体を供給して密着させる供給手段と、密着された前記マスター担体と前記スレーブ媒体とに転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁界印加手段とを備えた磁気転写装置における、前記マスター担体に対する前記スレーブ媒体の供給位置を検証するスレーブ媒体供給位置検証装置であって、
前記スレーブ媒体と同一形状の検査用媒体と、
前記所定位置に保持された前記マスター担体に、前記供給手段により供給され密着されて磁気転写がなされた前記検査用媒体における前記転写パターンの転写位置を検査する転写位置検査手段とを備えてなることを特徴とするスレーブ媒体供給位置検証装置。
【請求項６】
前記転写位置検査手段が、前記検査用媒体の中心に対する、該検査用媒体に転写された前記転写パターンの中心の偏心量を求めるものであることを特徴とする請求項５記載のスレーブ媒体供給位置検証装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体から円盤状のスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置における、マスター担体の保持位置の検証方法および装置に関するものである。
【０００２】
また、本発明は、転写情報に対応したパターンが形成された円盤状のマスター担体から磁気記録媒体によるスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置における、マスター担体に対するスレーブ媒体の供給位置の検証方法および装置に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】
従来より、磁性体の微細凹凸パターンにより転写情報を担持したマスター担体と転写を受ける磁気記録媒体によるスレーブ媒体とを密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報（例えばサーボ信号）に対応する磁化パターンをスレーブ媒体の記録面に転写記録する磁気転写が知られている（例えば、特許文献１および２参照）。
【０００４】
上記スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、前記マスター担体も円盤状で、同心円状に形成された転写パターンを有し、スレーブ媒体の片面または両面にこのマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００５】
この磁気転写を行う際の重要な課題の一つに、スレーブ媒体の回転中心に対して精度良く磁化パターンを転写することがある。特に、ハードディスク等のスレーブ媒体では、磁気転写後にドライブ装置に取りつけたときの回転中心と転写記録された磁化パターンとの中心とが精度良く一致していなければならず、これが大きくずれると、磁化パターンを良好に再生することができなくなり、転写記録された信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られなくなる問題がある。
【０００６】
上記点から、磁気転写では、転写信号の位置をスレーブ媒体の回転中心と合わせるために、マスター担体とスレーブ媒体の位置合わせを行う必要があり、この位置合わせを精度良く行うためにＣＣＤカメラなどの画像処理によって位置ずれを修正しつつ自動的に行えるようにした位置決め機構が提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【０００７】
また、本出願人は、マスター担体とスレーブ媒体とを密着させる密着ホルダに対してマスター担体をスレーブ媒体受け軸に対して位置決めした上で、該スレーブ媒体受け軸にスレーブ媒体を供給する方法を特願２００１−３０２２３１号において提案している。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１０−４０５４４号公報
【０００９】
【特許文献２】
特開平１０−２６９５６６号公報
【００１０】
【特許文献３】
特開２００１−２０９９７８号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、種々の位置決め機構が提案されているが、実際の転写を行うに当たっては、スレーブ媒体に転写される転写パターンの中心の、該スレーブ媒体の回転中心に対する偏心量が規定値内におさまっているか否かの検証が必要である。
【００１２】
しかしながら、その検証方法および装置はこれまで確立されていなかった。
【００１３】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、磁気転写装置におけるマスター担体の保持位置の検証方法および検証装置を提供することを目的とするものである。
【００１４】
また、本発明は、磁気転写装置におけるマスター担体に対するスレーブ媒体の供給位置の検証方法および検証装置を提供することを目的とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明のマスター担体保持位置検証方法は、転写情報に対応した転写パターンが形成された円盤状のマスター担体を所定位置に保持する保持手段と、前記マスター担体に対して円盤状のスレーブ媒体を供給して密着させる供給手段と、密着された前記マスター担体と前記スレーブ媒体とに転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁界印加手段とを備えた磁気転写装置における、前記保持手段による前記マスター担体の保持位置を検証するマスター担体保持位置検証方法であって、
前記保持手段により保持された前記マスター担体に対して、前記スレーブ媒体と同一形状の検査用媒体を所定の基準位置に位置決めした後供給し、該検査用媒体に磁気転写を行い、該検査用媒体における前記転写パターンの転写位置を検査することにより、前記マスター担体の保持位置を検証することを特徴とするものである。
【００１６】
本発明のマスター担体保持位置検証装置は、転写情報に対応した転写パターンが形成された円盤状のマスター担体を所定位置に保持する保持手段と、前記マスター担体に対して円盤状のスレーブ媒体を供給して密着させる供給手段と、密着された前記マスター担体と前記スレーブ媒体とに転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁界印加手段とを備えた磁気転写装置における、前記保持手段による前記マスター担体の保持位置を検証するマスター担体保持位置検証装置であって、
前記スレーブ媒体と同一形状の検査用媒体と、
該検査用媒体を所定の基準位置に位置決めした後、前記保持手段により保持された前記マスター担体に対して供給して密着させる検査用媒体供給手段と、
前記マスター担体に密着されて磁気転写がなされた前記検査用媒体における前記転写パターンの転写位置を検査する転写位置検査手段とを備えてなることを特徴とするものである。
【００１７】
上記マスター担体保持位置検証装置においては、前記転写位置検査手段が、前記検査用媒体の中心に対する、該検査用媒体に転写された前記転写パターンの中心の偏心量を求めるものであることが望ましい。転写位置検査手段の具体例としては、磁化パターンを現像する磁気現像手段と磁気現像された磁化パターンを光学的に検出する光学検査手段とからなるもの、スピンスタンドとデータ解析装置とからなるもの等の１次偏心量測定装置が挙げられる。
【００１８】
すなわち、上記本発明のマスター担体保持位置検証方法および装置は、マスター担体保持位置が所定の位置に保持されているか否かを検証する方法および装置であり、磁気転写を行うにあたって、マスター担体が所定の位置に保持されていることを保証するために使用することができる。
【００１９】
本発明のスレーブ媒体供給位置検証方法は、転写情報に対応した転写パターンが形成された円盤状のマスター担体を所定位置に保持する保持手段と、前記マスター担体に対して円盤状のスレーブ媒体を供給して密着させる供給手段と、密着された前記マスター担体と前記スレーブ媒体とに転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁界印加手段とを備えた磁気転写装置における、前記マスター担体に対する前記スレーブ媒体の供給位置を検証するスレーブ媒体供給位置検証方法であって、
前記所定位置に保持された前記マスター担体に対して、前記スレーブ媒体と同一形状の検査用媒体を前記供給手段により供給して密着させ、該検査用媒体に磁気転写を行い、該検査用媒体における前記転写パターンの転写位置を検査することにより、前記マスター担体に対する前記スレーブ媒体の供給位置を検証することを特徴とするものである。
【００２０】
本発明のスレーブ媒体供給位置検証装置は、転写情報に対応した転写パターンが形成された円盤状のマスター担体を所定位置に保持する保持手段と、前記マスター担体に対して円盤状のスレーブ媒体を供給して密着させる供給手段と、密着された前記マスター担体と前記スレーブ媒体とに転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁界印加手段とを備えた磁気転写装置における、前記マスター担体に対する前記スレーブ媒体の供給位置を検証するスレーブ媒体供給位置検証装置であって、
前記スレーブ媒体と同一形状の検査用媒体と、
前記所定位置に保持された前記マスター担体に、前記供給手段により供給され密着されて磁気転写がなされた前記検査用媒体における前記転写パターンの転写位置を検査する転写位置検査手段とを備えてなることを特徴とするものである。
【００２１】
上記スレーブ媒体供給位置検証装置においては、前記転写位置検査手段が、前記検査用媒体の中心に対する、該検査用媒体に転写された前記転写パターンの中心の偏心量を求めるものであることが望ましい。転写位置検査手段の具体例としては、磁化パターンを現像する磁気現像手段と磁気現像された磁化パターンを光学的に検出する光学検査手段とからなるもの、スピンスタンドとデータ解析装置とからなるもの等が挙げられる。
【００２２】
すなわち、上記本発明のスレーブ媒体供給位置検証方法および装置は、スレーブ媒体が所定の位置に供給されているか否かを検証する方法および装置であり、磁気転写を行うにあたり、スレーブ媒体が所定の位置に供給されていることを保証するために使用することができる。
【００２３】
【発明の効果】
本発明のマスター担体保持位置検証方法および装置は、保持手段により保持されたマスター担体に対して、スレーブ媒体と同一形状の検査用媒体を所定の基準位置に位置決めした後供給し、該検査用媒体に磁気転写を行い、該検査用媒体における転写パターンの転写位置を検査することにより、マスター担体の保持位置を検証するので、マスター担体が所定位置に精度よく保持されているか否かを容易かつ確実に検証することができる。実際の磁気転写を行う前にこのような検証を行い、所定位置に保持されていることを確認後に、すなわち所定位置に保持されていることが保証された状態で磁気転写を実行できるため、マスター担体の位置決め精度の信頼性を高めることができる。
【００２４】
なお、検証の結果マスター担体が所定位置でなかった場合には、保持位置の調整を行う等した後、再度マスター担体保持位置を検証し、マスター担体を所定位置に精度よく保持されることが確認されるまで、調整と検証とを繰り返すことにより、マスター担体が所定位置となったことが保証された状態で、磁気転写を行うことができるため、マスター担体の位置決め精度の信頼性を高めることができる。
【００２５】
本発明のスレーブ媒体供給位置検証方法および装置は、所定位置に保持されたマスター担体に対して、スレーブ媒体と同一形状の検査用媒体を磁気転写装置の供給手段により供給して密着させ、該検査用媒体に磁気転写を行い、該検査用媒体における転写パターンの転写位置を検査することにより、マスター担体に対するスレーブ媒体の供給位置を検証するので、スレーブ媒体がマスター担体に対して所定位置に精度よく供給されているか否かを容易かつ確実に検証することができる。実際の磁気転写を行う前にこのような検証を行い、スレーブ媒体が所定位置に供給されることを確認後に、すなわち所定位置に供給されることが保証された状態で磁気転写を実行できるため、偏心の少ない転写パターンを備えたスレーブ媒体を歩留まりよく生産することができる。
【００２６】
なお、検証の結果スレーブ媒体の供給位置が所定位置でなかった場合には、スレーブ媒体の供給位置の調整を行う等した後、再度スレーブ媒体供給位置を検証し、スレーブ媒体が所定位置に精度よく供給されることが確認されるまで、調整と検証とを繰り返すことにより、スレーブ媒体が所定位置となったことが保証された状態で、磁気転写を行うことができるため、偏心の少ない転写パターンを備えたスレーブ媒体を歩留まりよく生産することができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の検証方法および装置によりマスター担体位置およびスレーブ媒体供給位置の検証がなされる磁気転写装置の要部側面図である。なお、図は模式図であり、実際の寸法とは異なる比率で示している。
【００２８】
図１に示す磁気転写装置１０は、スレーブ媒体２（磁気記録媒体）の両側記録面にサーボ信号等に対応する転写パターンを有するマスター担体３、４をそれぞれ密着させ転写用磁界を印加して磁気転写を行うものである。この装置１０は、装置本体１１と、該本体１１の所定位置に支持される、情報担持面を鉛直方向に向けて２枚のマスター担体３、４を内部空間に保持しスレーブ媒体２の両面に対峙密着させるホルダ１３、１４と、該ホルダ１３、１４に保持されているマスター担体に、記録面を鉛直方向に向けてスレーブ媒体２を供給する、スレーブ媒体供給手段２０と、ホルダ１３、１４を回転させつつ転写用磁界を印加する図示しない磁界印加手段とを備えている。
【００２９】
スレーブ媒体２は、円盤状で所定径の中心孔２ａが開口されたハードディスクであり、ガラス板等からなる円盤状のベースの両面に磁性体層が形成された記録面を有する。なお、スレーブ媒体２は、高密度フレキシブルディスであってもよい。
【００３０】
マスター担体３、４はディスク状に形成され、その片面にスレーブ媒体２の記録面に密着される微細凹凸形状の磁性層による転写パターンを有し、これと反対側の面がそれぞれ後述の基準側ホルダ１３および反基準側ホルダ１４に保持される。
【００３１】
スレーブ媒体２の一方の記録面にサーボ信号等の情報を転写する第１のマスター担体３を保持する基準側ホルダ１３は、装置本体１１に固定されている基準側ホルダ支持部１５に支持され、スレーブ媒体２の他方の記録面にサーボ信号等の情報を転写する第２のマスター担体４を保持する反基準側ホルダ１４は、装置本体１１上を基準側ホルダ支持部１５に接離移動可能な反基準側ホルダ支持部１６に支持される。すなわち、第１のマスター担体３は、基準側ホルダ１３および該基準側ホルダ１３を支持する支持部１５によって、装置本体１１に対して所定の位置に保持され、第２のマスター担体４は、反基準側ホルダ１４および該反基準側ホルダ１４を支持する支持部１６によって、装置本体１１に対して所定の位置に保持される。
【００３２】
基準側ホルダ１３および反基準側ホルダ１４はそれぞれ、支持部１５および１６から取り外し可能とされており、支持部１５および１６への固定時には、位置の出る方式で機械的に固定される。例えば、ホルダ１３、１４の固定軸１３ａ、１４ａと支持部１５、１６の固定軸受け部１５ａ、１６ａの形状が嵌合するようにし、さらに固定軸受け部１５ａ、１６ａに位置決め面と、固定軸１３ａ、１４ａを該面に押し付ける抑え機構を備えればよい。これにより、ここでは、基準軸Ａとホルダ１３、１４の中心が一致するようにホルダ１３、１４が支持部１５、１６に支持するものとする。なお、以下において、基準側ホルダ１３に保持される第１のマスター担体を基準側マスター担体、反基準側ホルダ１４に保持される第２のマスター担体を反基準側マスター担体と称する。
【００３３】
反基準側ホルダ支持部１６は高精度スライダ１７によりＸ方向に移動可能とされており、このスライダ１７の精度により基準側ホルダ１６に対する反基準側ホルダ１７の位置決めがなされる。
【００３４】
スレーブ媒体供給手段２０は、基準側ホルダ１３に保持された基準側マスター担体３に対して、スレーブ媒体２を供給し密着させるものであり、スレーブ媒体２をその中心孔２ａで把持するロボットハンド２１と、ロボットハンド２１を支持する、装置本体１１上でＸ、Ｙ、Ｚ方向のそれぞれに移動可能とされている支持部２２と、該支持部２２の一部に取りつけられている照準２２ａと、基準側ホルダ１３の一部に取りつけられている照準１３ａとが一致するように支持部２２を移動させる、カメラ２３と図示しない画像処理部とからなる自動位置合わせ機構とを備えている。
【００３５】
ロボットハンド２１は、該スレーブ媒体２を、記録面を鉛直方向に向けて上記中心孔２ａの内径部を把持し、自動位置合わせ機構により、基準側ホルダ１３に保持された基準側マスター担体３に対して位置決めして供給する。
【００３６】
なお、ロボットハンド２１およびそれを支持する支持部２２は、支持台２６と共に、スライダ２５によりＸ方向に移動可能とされ、さらに、該支持台２６には、図示しないスライダが設けられて、支持部２２がＹ方向に移動可能とされ、さらに図示しない昇降手段により２２はＺ方向に移動可能とされている。なお、この支持部２２は、スレーブ媒体供給後、両ホルダを密着させる際には、図示しないスライダにより図中Ｙ方向に退避する構成とされている。
【００３７】
転写用磁界を印加する磁界印加手段は、面内記録の場合には、例えば、半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石が転写ホルダの両側に配設されてなり、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。また、図示しない転写ホルダ回転機構によりホルダを回転させて、スレーブ媒体２とマスター担体３、４の全面に転写用磁界を印加する。なお、磁界印加手段を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加手段は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石を転写ホルダの両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、転写ホルダを移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００３８】
なお、図１に示す磁気転写装置１０は、反基準側ホルダ支持部１６が高精度のスライド手段１７上に配置され、該スライド１７の機械精度の動作再現性により、反基準側マスター担体４を基準側マスター担体３に対して位置決めするものであるが、反基準側マスター担体３を支持する支持部に機械的に位置を調整可能とする位置調整機構を設けてもよい。あるいは、スレーブ媒体供給手段に設けられている自動位置合わせ機構と同様の自動位置合わせ機構を設けてもよい。
【００３９】
また、スレーブ媒体供給手段２０は、カメラと画像処理により自動位置合わせを行うものとしたが、機械精度の動作再現性により位置決めするものとしてもよい。例えば、本出願人による特願２００１−３０２２３１に記載のように、基準側ホルダ１３にスレーブ媒体２の中心孔２ａに嵌合する軸を設け、該軸とスレーブ媒体２の中心孔２ａの形状の精度で位置合わせを行うものとすればよい。
【００４０】
次に、磁気転写装置１０における磁気転写について簡単に説明する。
【００４１】
磁気転写は、同じマスター担体３、４により複数のスレーブ媒体２に対して連続的に行うものである。それぞれ基準側マスター担体３および反基準側マスター担体４を保持した基準側ホルダ１３および反基準側ホルダ１４を離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２をセットした後、反基準側ホルダ１４を基準側ホルダ１３に近接させる閉作動する。そして、スレーブ媒体２とマスター担体３、４とに均一に密着力を加え密着させる。
【００４２】
その後、ホルダ１３、１４に磁界印加手段を接近させ、ホルダ１３、１４を一体的に回転させつつ磁界印加手段によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加する。印加された転写用磁界は、マスター担体３、４の転写パターンにおけるスレーブ媒体２と密着した磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体３、４の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。磁気転写後に両ホルダ１３、１４を開作動し、磁気転写後のスレーブ媒体２を取り出して搬出し、次の新しいスレーブ媒体２を供給し、以下同様の磁気転写を繰り返し行う。
【００４３】
なお、片面磁気転写を行うようにしてもよく、その場合は、基準側ホルダ１３には、スレーブ媒体２の片側記録面にサーボ信号等の情報を転写するマスター担体３を保持し、反基準側ホルダ１４にはスレーブ媒体２の他側記録面に接触する弾性体（クッション材）を設置するのが好ましい。スレーブ媒体２は上記と同様にスレーブ供給手段２０によってマスター担体３に対して供給密着される。
【００４４】
上記磁気転写装置１０におけるマスター担体の位置決めおよびスレーブ媒体の位置決め方法は次の手順で行う。
【００４５】
まず、ホルダ１３、１４は離間した状態（開状態）とし、基準側ホルダ１３、反基準側ホルダ１４をそれぞれ支持部１５、１６から取り外し、各ホルダ１３、１４にそれぞれ基準側マスター担体３、反基準側マスター担体４を各ホルダ１３、１４の所定位置に位置決めして保持させる。マスター担体３、４のホルダ１３、１４の所定位置への位置決めは、例えば、測定顕微鏡またはＣＣＤカメラ等の位置観察手段を使用し、マスター担体３、４をＸＹ方向へ微調整することにより行う。また、マスター担体３、４を直接微動手段によってマニュアルでまたは自動的に位置調整しつつ行うことも可能である（本出願人による特願２００１−３０２２３１参照）。
【００４６】
次に、マスター担体３、４をそれぞれ保持したホルダ１３、１４をそれぞれの支持部１５、１６に前述の機械精度で取りつけ固定する。
【００４７】
ロボットハンド２１によりスレーブ媒体２をその中心孔で把持し、自動位置合わせ機構により、基準側ホルダ１３の照準１３ａとロボットハンド２１を支持する支持部２２の照準２２ａが一致するように位置決めして、マスター担体３に対して供給して密着させる。
【００４８】
反基準側マスター担体４を保持する反基準側ホルダ１４を支持する支持部１６をスライダ１７により基準側ホルダ１３方向に移動させ、スレーブ媒体２の他面に反基準側マスター担体４を密着させる。
【００４９】
実際の磁気転写を行う前には、上記磁気転写装置１０においてパターンが転写されるスレーブ媒体２において、スレーブ媒体２の回転中心に対する転写パターンの中心の偏心量が規定値以下に抑えられるか否かの検証を行い、この検証により該偏心量が規定値以下に抑えられた状態であることの保証を行う。
【００５０】
ここでは、本発明のマスター担体保持位置検証方法および装置、ならびに本発明のスレーブ媒体供給位置検証方法および装置を用い、マスター担体の保持位置、スレーブ媒体供給位置について、段階的に検証を行う。
【００５１】
まず、本発明のマスター担体保持位置検証方法および装置の一実施の形態について説明する。図２は、検証装置の概略構成を示すブロック図であり、図３は、図２の検証装置による検証方法の一実施形態を用いた保持位置保証方法フローを示すものである。
【００５２】
マスター担体保持位置検証装置５０は、スレーブ媒体２と同一形状の検査用媒体５２を３〜１０枚と、検査用媒体５２を基準の所定位置に位置決めした状態で、転写装置１０の所定位置に保持されている基準側マスター担体３に供給して密着させる検査用媒体供給手段５４と、磁気転写がなされた検査用媒体５２’上の転写パターンの中心の、該媒体５２’の回転中心からの偏心量の測定を行う転写位置検査手段５６とを備えている。検査用媒体供給手段５４は、検査用媒体５２を、転写装置１０の本体１１の所定の基準位置に位置決めして、基準側マスター担体３に供給するものであり、磁気転写装置１０に備えられている供給手段２０により構成してもよい。磁気転写用装置１０の供給手段２０は、上述の通り、自動位置合わせ機構を有するが、検査用媒体供給手段５４として使用する場合には、この自動位置合わせ機構をオフとし、自動位置合わせは行わず、転写装置１０の本体１１の所定の基準位置に位置決めするように制御される。なお、上述の検査用媒体５２としてもちろんスレーブ媒体２そのものを用いてもよい。
【００５３】
転写位置検査手段５６は、磁気現像と光学検査、もしくはスピンスタンドとデータ解析等の１次偏心測定を行うものであり、検査用媒体５２’の回転中心に対する転写パターンの中心の偏心、偏心角等を測定する。
【００５４】
次に、マスター担体保持位置を保証するための手順を図３のフローを参照して説明する。
【００５５】
まず、検査用媒体供給手段５４により、検査用媒体５２を転写装置１０の本体１１の所定の基準位置（基準軸Ａ）と中心が一致するように位置決めし、基準側マスター担体３に供給し密着させ、磁気転写を行う（Ｓ１）。検査用媒体５２としてはスレーブ媒体２と同一のものを用いる。また、予めトラックの一方向に初期磁化されているものを用いる。３枚から１０枚程度の検査用媒体５２について、順次磁気転写を行う。
【００５６】
次に、磁気転写を行った各検査用媒体５２’について、該媒体５２’に転写された転写パターンの中心位置の検査用媒体５２’の中心からの偏心量、偏心角を求め、転写が行われた複数枚の検査用媒体５２’のうち、偏心が最大だったものの偏心量（最大偏心量）およびその偏心の中心値を求める（Ｓ２）。
【００５７】
求められた偏心量から、基準側ホルダ１３に保持されている基準側マスター担体３の位置が所定位置であるか否かの判断を行う（Ｓ４）。ここでは基準軸Ａとマスター担体上の転写パターンの中心とが一致しているか否かの検証を行うものであり、具体的には、マスター担体３により検査用媒体５２’に転写された転写パターンの中心の、検査用媒体５２’の回転中心からの最大偏心量が、規定値（スレーブ媒体位置制御範囲）以内であるか否かの判断を行う。該最大偏心量が規定値内であれば（Ｓ４：Ｙｅｓ）、基準側マスター担体３の保持位置は所定位置であるとみなす。すなわち、基準側マスター担体３の保持位置が所定位置であると保証された状態となる。一方、最大偏心量が規定値外であれば（Ｓ４：Ｎｏ）、基準側ホルダ１３への基準側マスター担体３の取り付け直しを行い（Ｓ５）、最初のステップＳ１へ戻す。
【００５８】
次に、各検査用媒体５２’について、基準側マスター担体３により転写された転写パターンの中心に対する、反基準側マスター担体４により転写された転写パターンの中心のずれを求めることにより、基準側マスター担体３の偏心中心に対しての、反基準側マスター担体４の偏心中心のずれを求め（Ｓ６）、反基準側ホルダ１４に保持されている反基準側マスター担体４の位置が所定位置であるか否かの検証を行う（Ｓ７）。ここでは、検査用媒体５２’の一面の転写パターンの他面の転写パターンに対するずれが規定値以内であるか否かの判断を行う。
【００５９】
ずれが規定値以内であれば（Ｓ７：Ｙｅｓ）、反基準側マスター担体４の保持位置は所定位置であるとみなし、すなわち、反基準側マスター担体４の保持位置が所定位置であると保証された状態となる。両マスター担体の保持位置が保証された状態となり、マスター担体保持位置の保証を終了する。
【００６０】
一方、ずれが規定値外であれば（Ｓ７：Ｎｏ）、反基準側ホルダ１４への反基準側マスター担体４の取り付け直しを行い（Ｓ８）、最初のステップＳ１へ戻す。但し、この際は、基準側マスター担体３の位置は保証済みであるため（Ｓ３：Ｙｅｓ）、基準側マスター担体２の保持位置についての確認のステップ（Ｓ４）はパスし、反基準側マスター担体４についてのみ検証を行えばよい。
【００６１】
このように本発明のマスター担体保持位置検証装置および検証方法を用いることにより、容易かつ確実にマスター担体の保持位置が所定位置であることを保証することができる。
【００６２】
なお、反基準側ホルダの支持部にホルダ支持位置調整機構が備えられている磁気転写装置の場合は、反基準側ホルダ１４を取り外すことなく、該機構によりホルダ１４の位置を調整し、マスター担体４の保持位置を調整するようにしてもよい。また、反基準側ホルダを基準側ホルダに対して自動位置合わせを行う自動位置合わせ機構が備えられている磁気転写装置の場合は、該自動位置合わせ機構の画像処理部に位置合わせの補正値を入力することにより、反基準ホルダ１４の位置、すなわち反基準側マスター担体４の保持位置を調整を行うようにしてもよい。
【００６３】
次に、本発明のスレーブ媒体供給位置検証方法および装置の一実施の形態について説明する。図４は、検証装置の概略構成を示すブロック図であり、図５は、図４の検証装置による検証方法の一実施形態を用いた供給位置保証方法フローを示すものである。
【００６４】
スレーブ媒体供給位置検証装置６０は、スレーブ媒体２と同一形状の検査用媒体６２を３〜１０枚、および磁気転写がなされた検査用媒体６２’上の転写パターンの中心の、該媒体６２’の回転中心からの偏心量の測定を行う転写位置検査手段６６を備えている。
【００６５】
ここでは、スレーブ媒体供給手段２０によりスレーブ媒体を供給する際の供給位置精度を検証するものであるので、供給手段２０の自動位置合わせ機能をＯＮとする。
【００６６】
転写位置検査手段６６は、上述のマスター担体保持位置検証装置の転写位置検査手段５６と同様、磁気現像と光学検査、もしくはスピンスタンドとデータ解析等の１次偏心測定を行うものであり、検査用媒体の回転中心に対する転写パターンの中心の偏心、偏心角等を測定する。
【００６７】
次に、スレーブ媒体供給位置を保証するための手順を図５のフローを参照して説明する。
【００６８】
まず、磁気転写装置１０のスレーブ媒体供給手段２０により、検査用媒体６２を、自動位置合わせ機能による位置合わせを行い、転写装置１０の所定位置に保持されている基準側マスター担体３に供給し密着させ、磁気転写を行う（Ｓ１１）。検査用媒体６２としてはスレーブ媒体２と同一のものを用いる。また、予めトラックの一方向に初期磁化されているものを用いる。３枚から１０枚程度の検査用媒体６２３について、順次磁気転写を行う。
【００６９】
次に、磁気転写を行った各検査用媒体６２’について、該媒体６２’に転写された転写パターンの中心位置の検査用媒体６２’の中心からの偏心量、偏心角を求め、転写が行われた複数枚の検査用媒体６２’のうち、偏心が最大だったものの偏心量（最大偏心量）およびその偏心の中心値を求める（Ｓ１２）。
【００７０】
求められた最大偏心量および、一面の転写パターンの偏心中心と他面の転写パターンの偏心中心とのずれが規定値以内であるか否かの検証を行う（Ｓ１３）。
【００７１】
両者が規定値以内であれば（Ｓ１３：Ｙｅｓ）、スレーブ媒体供給位置の精度は良好であるとして検証を終了する。すなわち、スレーブ媒体が所定位置に供給されることが保証された状態となる。一方、少なくともいずれか一方が規定値外であれば（Ｓ１３：Ｎｏ）、スレーブ媒体供給位置に誤差があるとして、スレーブ媒体供給手段２０の自動位置合わせ機能の画像処理の補正値を入力する等して、スレーブ媒体供給位置を調整し（Ｓ１４）、最初のステップＳ１１に戻して、再度検証を行う。なお、スレーブ媒体２を機械的精度にて位置決めする供給手段を備えている場合には、機械的に位置調整を行えばよい。
【００７２】
このようにして本発明のスレーブ媒体供給位置検証装置および検証方法を用いることにより、容易かつ確実にスレーブ媒体が所定位置に供給されるものであることを保証することができる。
【００７３】
磁気転写装置１０について、以上の検証に基づいた保証を行った上で、スレーブ媒体２への磁気転写を行えば、スレーブ媒体２の回転中心に対する、転写パターンの中心の偏心を規定値以下とすることができ、ドライブ装置への取り付け時に再生不能等の欠陥を生じない磁気ディスク媒体を歩留まりよく生産可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】磁気転写装置の要部側面図
【図２】本発明のマスター担体保持位置検証装置の一実施形態の装置構成を示すブロック図
【図３】マスター担体保持位置保証フロー
【図４】本発明のスレーブ媒体供給位置検証装置の一実施形態の装置構成を示すブロック図
【図５】スレーブ媒体供給位置保証フロー
【符号の説明】
２    スレーブ媒体
２ａ    中心孔
３、４    マスター担体
１０    磁気転写装置
１１    装置本体
１３    基準側ホルダ
１４    反基準側ホルダ
２０    スレーブ媒体供給手段
５０    マスター担体保持位置検証装置
５２    検査用媒体
５４    検査用媒体供給手段
５６    転写位置検査手段
６０    スレーブ媒体供給位置検証装置
６２    検査用媒体
６６    転写位置検査手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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