(57)【要約】【課題】液晶パネルの積層方向における中心位置を高精度に算出することで液晶注入口を確実に封止を行うことができる加圧封止装置を提供すること。【解決手段】液晶パネルＳと緩衝材Ｃとを交互に、かつ、治具Ｊに対し補助部材Ｑを介して積層して保持するとともに積層方向に加圧する加圧機構３０と、加圧機構３０により保持されている液晶パネルＳを撮像し、画像に基づいて液晶パネルＳと緩衝材Ｃとの境界位置を検出する画像センサ４３と、画像センサ４３により検出された境界位置に基づいて間隙の積層方向における中心位置を算出する制御部１００と、この算出手段により算出された中心位置に基づいて液晶注入口に封止材により封止する塗布ノズル４６とを備えている。【選択図】　　図１
2004029239.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隙をもって相対向して配置された液晶パネルのを液晶注入口を封止する加圧封止装置において、
上記液晶パネルと緩衝材とを交互に、かつ、治具に対し補助部材を介して積層して保持するとともに積層方向に加圧する加圧保持手段と、
この加圧保持手段により保持されている上記液晶パネルを撮像する撮像手段と、
この撮像手段により得られた画像に基づいて上記液晶パネルと上記緩衝材との境界位置を検出する境界位置検出手段と、
この検出手段により検出された境界位置に基づいて上記間隙の上記積層方向における中心位置を算出する算出手段と、
この算出手段により算出された上記中心位置に基づいて上記液晶注入口に封止材により封止する封止手段とを備えていることを特徴とする加圧封止装置。
【請求項２】
上記算出手段は、液晶パネルｎ組目の中心位置ｙｎは、上記治具の上記積層方向における基準位置をｙ０、ずれ量をｄ０、液晶パネルの厚さをｔｓ、緩衝材の厚さをｔｃ、上記治具と上記緩衝材との間に配置された補助部材の厚さをｔｑとしたとき、
ｙｎ＝ｙ０＋ｄ０＋ｎ（ｔｓ＋ｔｃ）＋ｔｑ−ｔｓ／２＋Σｄｎ
であることを特徴とする加圧封止装置。
【請求項３】
液晶パネル体の内部に液晶を注入する液晶注入工程と、
複数の上記液晶パネル体を緩衝体と交互に積層して保持する保持工程と、
上記液晶パネル体をその積層方向に加圧する加圧工程と、
上記液晶パネル体と上記緩衝体との境界位置を撮像する撮像工程と、
この撮像工程により得られた画像に基づいて上記液晶パネルと上記緩衝材との境界位置を検出する境界位置検出工程と、
この検出手段により検出された境界位置に基づいて上記間隙の上記積層方向における中心位置を算出する算出工程と、
この算出手段により算出された上記中心位置に基づいて上記液晶注入口に封止材により封止する封止工程とを備えていることを特徴とする液晶パネル製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルの液晶注入口を封止するための加圧封止装置及び液晶パネル製造方法に関し、特に高精度に封止位置を位置決めできるものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネルは、一定の間隙をもって積層された２枚のガラス基板間に液晶が注入されて形成されている。このような液晶パネルを製造する工程において、２枚のガラス基板の間隙内に液晶を注入した後、液晶注入口を封止する加圧封止工程が行われる。この加圧封止工程では、最初に液晶パネルを加圧し、余分な液晶を注入口から排出させ、排出させた液晶を取り除く。次に、注入口に紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させて注入口を封止する。
【０００３】
加圧封止工程は、液晶パネルを均一に加圧し余分な液晶を注入口から排出させるものであるため、時間が非常に長くかかる。このため、１組１組行っていたのでは効率が悪い。そこで、液晶パネルを数十組重ねて同時に加圧して、加圧時間に数十組の液晶吸引から紫外線硬化樹脂の塗布まで行うようにしている。
【０００４】
なお、液晶パネルのみを重ねて加圧したのでは加圧力が不均一になるとともに、液晶パネルが割れる虞があるため、液晶パネルの間に緩衝材（例えば、ポリフロン等）を挟み込み、緩衝材と液晶パネルを交互に積み重ねるようにしている。
【０００５】
一方、液晶注入口は、液晶パネルの厚さ方向の中心位置にあるため、封止を行うためには、液晶パネルの中心位置を正確に算出し、紫外線硬化樹脂の塗布を行う必要がある。
【０００６】
ここで、加圧封止工程について説明する。図８は液晶パネルの積層方向における中心位置の従来の算出方法を示す説明図、図９は従来の算出方法を適用した加圧封止方法の工程を示すフローチャートで示す説明図である。ここではｍ組の液晶パネルＳを積層した場合におけるｎ組目の液晶パネルＳの中心位置ｙｎの算出方法について説明する。なお、１≦ｎ≦ｍである。
【０００７】
作業台において、治具Ｊ上にアルミ板Ｑ、緩衝材Ｃ、液晶パネルＳ、緩衝材Ｃ、液晶パネルＳ、…、アルミ板Ｑの順で作業者により積み重ねる。次に、加圧機構に移動し、起動スイッチを押す（ＳＴ１）。品種一致確認がされ（ＳＴ２）、不一致の場合にはＳＴ１に戻る。一致している場合には、加圧機構では、９０度回転し、液晶パネルＳの端面が水平となるように位置決めする。
【０００８】
重ねられた液晶パネルＳのうち、任意の１組の液晶パネルＳの中心から隣接した液晶パネルＳの中心までの距離をピッチＰとして、このピッチＰを一定と仮定する。その上で、予め積み重ねる液晶パネルＳの組数を設定しておき、液晶パネルＳの１組目の位置と液晶パネルＳのｍ組目の位置をティーチング（ＳＴ４）により設定して、ピッチＰを計算し、全ての液晶パネルＳの中心位置を算出する。算出順序を下記に説明する。なお、ティーチング方法は、塗布ヘッドを移動することにより、そのときのロボットアームのＹ軸の位置を記憶させることにより行う。
【０００９】
最初に１組目の液晶パネルＳの中心位置ｙ１をティーチングする。次に、ｍ組目の液晶パネルＳの中心位置ｙｍをティーチングする。中心位置ｙ１と中心位置ｙｍとの距離（ｙｍ−ｙ１）と設定組数ｍからピッチＰを算出する。
【００１０】
Ｐ＝（ｙｍ−ｙ１）／ｍ
次に、ｙ１、ｙｍ、Ｐからｎ組目の液晶パネルの中心位置ｙｎを算出する。
【００１１】
ｙｎ＝ｙ１＋（ｎ−１）・Ｐ
中心位置ｙｎは、
ｙｎ＝ｙ１＋（ｎ−１）（ｙｍ−ｙ１）／ｍ
となる。
【００１２】
一方、加圧により排出された液晶を吸引し、中心位置ｙｎに基づいて液晶パネルの液晶注入口に紫外線硬化樹脂を塗布する（ＳＴ５）。その後、加圧が完了し（ＳＴ６）、加圧機構において減圧し、紫外線を照射して封止し、加圧機構により液晶パネルＳを９０度回転し、加圧ヘッド３４を上昇させる（ＳＴ７）。そして、加圧封止装置１０により密封された液晶パネルＳを作業者が取出す（ＳＴ８）。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上述したような液晶パネルの中心位置の算出方法では次のような問題があった。すなわち、上記方法ではピッチが一定であると仮定して、ピッチＰを算出している。しかしながら、実際には緩衝材の厚みにばらつきがあることから、実際の液晶パネルＳ間のピッチもばらつく。このため、ティーチングを行った両端から離れた液晶パネルＳほど緩衝材の枚数分だけ、ピッチの誤差が累積されるという問題があった。したがって、積層組数が多くなるにしたがって、液晶パネルの中心に正確に塗布することができず、確実な封止できないという虞があった。
【００１４】
そこで本発明は、加圧封止工程において加圧されている液晶パネルの積層方向における中心位置を高精度に算出することで液晶注入口を確実に封止を行うことができる加圧封止装置及び液晶パネル製造方法を提供しようとするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し目的を達成するために、本発明の加圧封止装置及び液晶パネル製造方法は次のように構成されている。
【００１６】
（１）所定の間隙をもって相対向して配置された液晶パネルのを液晶注入口を封止する加圧封止装置において、上記液晶パネルと緩衝材とを交互に、かつ、治具に対し補助部材を介して積層して保持するとともに積層方向に加圧する加圧保持手段と、この加圧保持手段により保持されている上記液晶パネルを撮像する撮像手段と、この撮像手段により得られた画像に基づいて上記液晶パネルと上記緩衝材との境界位置を検出する境界位置検出手段と、この検出手段により検出された境界位置に基づいて上記間隙の上記積層方向における中心位置を算出する算出手段と、この算出手段により算出された上記中心位置に基づいて上記液晶注入口に封止材により封止する封止手段とを備えていることを特徴とする。
【００１７】
（２）上記（１）に記載された加圧封止装置であって、上記算出手段は、液晶パネルｎ組目の中心位置ｙｎは、上記治具の上記積層方向における基準位置をｙ０、ずれ量をｄ０、液晶パネルの厚さをｔｓ、緩衝材の厚さをｔｃ、上記治具と上記緩衝材との間に配置された補助部材の厚さをｔｑとしたとき、
ｙｎ＝ｙ０＋ｄ０＋ｎ（ｔｓ＋ｔｃ）＋ｔｑ−ｔｓ／２＋Σｄｎ
であることを特徴とする。
【００１８】
（３）液晶パネル体の内部に液晶を注入する液晶注入工程と、複数の上記液晶パネル体を緩衝体と交互に積層して保持する保持工程と、上記液晶パネル体をその積層方向に加圧する加圧工程と、上記液晶パネル体と上記緩衝体との境界位置を撮像する撮像工程と、この撮像工程により得られた画像に基づいて上記液晶パネルと上記緩衝材との境界位置を検出する境界位置検出工程と、この検出手段により検出された境界位置に基づいて上記間隙の上記積層方向における中心位置を算出する算出工程と、この算出手段により算出された上記中心位置に基づいて上記液晶注入口に封止材により封止する封止工程とを備えていることを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施の形態に係る加圧封止装置１０を示す図、図２は、図３は。なお、これらの図中矢印ＸＹＺは互いに直交する三方向を示しており、特に矢印ＸＹ方向は水平方向、矢印Ｚ方向は鉛直方向を示している。
【００２０】
加圧封止装置１０は、架台１１上に設けられた作業台２０、加圧機構３０、ヘッド機構４０、紫外線照射装置５０と、これら各機構・装置を制御する制御部１００とを備えている。
【００２１】
作業台２０は、保持台２１と、この保持台２１に設けられ後述するステージ２３を移動させるためのスライド用レール２２と、このスライド用レール２２上に設けられたステージ２３と、このステージ２３上に設けられ治具Ｊを固定するための治具固定具２４とを備えている。作業台２０においては、ステージ２３上に作業者が治具Ｊを用いて液晶パネルＳを位置決めを行う。
【００２２】
加圧機構３０は、架台１１上に設けられた支持台３１と、この支持台３１にθ軸方向に回転自在に支持されたアーム３２と、このアーム３２の一方に設けられ治具Ｊの基準面となるステージ３３と、アーム３２の他方側に設けられた加圧ヘッド３４と、架台１１内部に設けられアーム３２をベルト３５ａを介して回転駆動する回転用モータ３５とを備えている。加圧ヘッド３４は、ステージ３３側に移動することで所定の加圧力で被加圧体を加圧することができる。
【００２３】
ヘッド機構４０は、架台１１上に設けられ矢印ＸＹＺ方向の３軸ロボット４１と、この３軸ロボット４１により矢印ＸＹＺ方向に位置決めされるヘッド部４２とを備えている。ヘッド部４２には、治具Ｊに搭載された液晶パネルＳ等を撮像する画像センサ４３、液晶パネルＳの突出距離を測定する測長ユニット４４と、余分の液晶を吸引する吸引ノズル４５と、紫外線硬化樹脂を塗布する塗布ノズル４６とが搭載されている。
【００２４】
画像センサ４３は、液晶パネルＳと緩衝材Ｃとの境界近傍を撮像し、境界位置を検出する機能を有している。
【００２５】
紫外線照射装置５０は、紫外線硬化樹脂塗布後に紫外線を照射する時に加圧機構４０に治具Ｊを介して保持された液晶パネルＳの封止口真上の位置まで移動し、紫外線を照射する機能を有している。
【００２６】
制御部１００は、上述した各装置を制御する。また、画像センサ４３から入力された境界位置のデータに基づいて緩衝材Ｃの厚さのばらつきによるピッチ誤差を修正し、全ての液晶パネルＳの中心位置ｙ１〜ｙｍを算出する機能を有している。また、中心位置ｙ１〜ｙｍのデータ及び高さ位置ｚ１〜ｚｍのデータ等を記憶するメモリが設けられている。
【００２７】
このように構成された加圧封止装置１０によれば、次のようにして液晶パネルＳの液晶注入口の封止を行う。なお、加圧封止工程の前工程に液晶注入工程がある。液晶注入工程では、張り合わせた２枚のガラス基板Ｇ、すなわち液晶パネルＳの中に、液晶を注入する。まず、液晶が入ってない空の液晶パネルＳ内を減圧状態にして、液晶パネルＳの液晶注入口を液晶材料の中に浸す。浸した状態で圧力を常圧に戻すと、液晶材料が液晶注入口から徐々に液晶パネルＳの中に入っていく。こうして液晶が充満した液晶パネルＳをｍ組、作業台２０へ搬送する。
【００２８】
作業台２０において、治具Ｊ上にアルミ板Ｑ、緩衝材Ｃ、液晶パネルＳ、緩衝材Ｃ、液晶パネルＳ、…、アルミ板Ｑの順で作業者により積み重ねる。次に、加圧機構３０のステージ３３上に移動し、起動スイッチを押す（ＳＴ１０）。品種一致確認がされ（ＳＴ１１）、不一致の場合にはＳＴ１０に戻る。一致している場合には、加圧機構３０では、９０度回転し、液晶パネルＳの端面が水平となるように位置決めする。
【００２９】
加圧機構３０では、液晶パネルＳの積層方向に加圧を行い、液晶パネルＳ内の余分の液晶の排出を行う。この加圧中に各液晶パネルＳの中心位置ｙ１〜ｙｍ及び高さ位置ｚ１〜ｚｍの測定、液晶の吸引、紫外線硬化樹脂の塗布を行う。
【００３０】
液晶パネルＳの中心位置は初めにヘッド部４２の塗布原点出しを行った後、塗布原点位置から液晶パネルＳと緩衝材Ｃとの境界検出を行い、中心位置ｙ１〜ｙｍを算出する（ＳＴ１３）。
【００３１】
塗布原点出しは次のように行う。すなわち、ヘッド部４２のＹ軸を装置原点に移動する。次に、画像センサ４３の視野中心をαの近傍の位置ｙ０に移動する。次に、画像センサ４３で位置αを撮像し、境界検出を行う。最後に位置ｙ０と位置αとの距離をｄ０とし、位置αを算出する。
【００３２】
α＝ｙ０＋ｄ０
以上で位置αが塗布原点となる。
【００３３】
次に境界位置の検出及び中心位置ｙ１〜ｙｍの算出を行う。すなわち、ヘッド部４２を位置αからアルミ板Ｑの厚さｔｑ、緩衝材Ｃの厚さｔｃ、液晶パネルＳの厚さｔｓとを加えた位置β′に移動する。
【００３４】
β′＝ｙ０＋ｄ０＋ｔｓ＋ｔｃ＋ｔｑ
次に、位置β′で位置β（１組目の液晶パネルＳと緩衝材Ｃとの境界位置）を撮像し、境界検出を行い、境界位置を位置βとする。
【００３５】
次に、位置β′と位置βの距離をｄ１とし、位置βを算出する。
【００３６】
β＝ｙ０＋ｄ０＋ｔｓ＋ｔｃ＋ｔｑ＋ｄ１
次に、位置βから１組目の液晶パネルＳの中心位置ｙ１までの距離はｔｓ／２であるため、中心位置ｙ１は次の式で算出される。
【００３７】
ｙ１＝ｙ０＋ｄ０＋ｔｓ＋ｔｃ＋ｔｑ＋ｄ１−ｔｓ／２
次に、位置βから厚さｔｓと厚さｔｃを加えた位置γ′に移動する。
【００３８】
γ′＝ｙ０＋ｄ０＋２（ｔｓ＋ｔｃ）＋ｔｑ＋ｄ１
次に、位置γ′で位置γ（２組目の液晶パネルＳと緩衝材Ｃの境界位置）を撮像し、境界検出を行い、境界位置を位置γとする。
【００３９】
次に、位置γ′と位置γの距離をｄ２とし、位置γを算出する。
【００４０】
γ＝ｙ０＋ｄ０＋２（ｔｓ＋ｔｃ）＋ｔｑ＋ｄ１＋ｄ２
次に、位置γから液晶パネル２組目の中心位置ｙ２までの距離はｔｓ／２であるため、中心位置ｙ２は次の式で算出される。
【００４１】
ｙ２＝ｙ０＋ｄ０＋２（ｔｓ＋ｔｃ）＋ｔｑ＋ｄ１＋ｄ２−ｔｓ／２
次に、位置γから厚さｔｓと厚さｔｃを加えた位置δ′に移動する。
【００４２】
同様にして３組目以降の測定を行ってｍ組目までの中心位置ｙ３〜ｙｍを全て算出する。したがって、ｎ組目の液晶パネルＳの中心位置ｙｎの算出式は
ｙｎ＝ｙ０＋ｄ０＋ｎ（ｔｓ＋ｔｃ）＋ｔｑ−ｔｓ／２＋Σｄｎ　　…（１）
となる。
【００４３】
上記した中心位置ｙ１〜ｙｍのデータは制御部１００のメモリに格納される。
【００４４】
次に、液晶パネルＳの塗布面Ｓａの高さ位置算出方法について説明する。図６に示すように、測長ユニット４４で液晶パネルＳの塗布面Ｓａの高さ位置のばらつき測定を行う。液晶パネルＳの積み重ね作業は作業者により行われており、１組１組の液晶パネルＳの塗布面Ｓａの高さ位置に多少のばらつきが発生している。塗布時に塗布ノズル４６の先端と液晶パネルＳの塗布面Ｓａのギャップにばらつきがあると塗布が安定しないため、ギャップを一定にするために液晶パネルＳの塗布面Ｓａの高さ位置を１組１組測定する。
【００４５】
液晶パネルＳの塗布面Ｓａの高さ位置を測定する時は液晶パネルＳの中心に測長ユニット４４の先端を押し当てて行う。このため、上述したようにして検出された中心位置ｙ１〜ｙｍのデータを利用する。具体的には、中心位置ｙｎに画像センサ４３と測長ユニット４４のＹ軸方向の距離ｕを加えた位置（ｙｎ＋ｕ）にＹ軸を移動し検出する。すなわち、測長ユニット４４のＹ軸方向の位置が中心位置ｙｎとなるように位置決めする。
【００４６】
次に、ヘッド部４２の測長ユニット４４のみ下降し、吸引ノズル４５より下の位置まで移動する。次に、測長ユニット４４先端を１組目の液晶パネルＳの中心位置（ｙ１＋ｕ）に移動する。次に、Ｚ軸を高さ位置ｚ０に移動し、測長ユニット４４先端を液晶パネルＳの塗布面Ｓａに押し当てる。測長ユニット４４先端の押し当て量ｆ１から液晶パネル塗布面Ｓａの高さ位置ｚ１が算出される。
【００４７】
ｚ１＝ｚ０＋ｆ１
２組目以降の液晶パネルＳについても同様の測定手順で高さ位置の算出を行う。したがって、液晶パネルｎ組目の塗布面位置（Ｚ軸方向）は、
ｚｎ＝ｚ０＋ｆｎ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　…（２）
となる。
【００４８】
上記した高さ位置ｚ１〜ｚｍのデータを制御部１００のメモリに格納する。
【００４９】
以上で全ての液晶パネルＳについて中心位置ｙ１〜ｙｍ及び高さ位置ｚ１〜ｚｍの測定を終了し（ＳＴ１４）、液晶の吸引〜塗布確認を行う（ＳＴ１５）。
【００５０】
液晶の吸引工程においては、上述した１組目〜ｍ組目までの各液晶パネルＳの中心位置ｙ１〜ｙｍ及び高さ位置ｚ１〜ｚｍに基づいて吸引ノズル４５の位置決めを行う。Ｙ軸方向については中心位置ｙｎに画像センサ４３と吸引ノズル４５とのＹ軸方向の距離ｖを加えた位置とする。したがって、吸引ノズル４５はｎ組目の液晶パネルＳの場合においては、Ｙ軸方向は位置（ｙｎ＋ｖ）、Ｚ軸方向は位置（ｚｎ）に位置決めする。
【００５１】
次に、紫外線硬化樹脂の塗布を行う。上述したように、１組目〜ｍ組目までの各液晶パネルＳの中心位置ｙ１〜ｙｍ及び高さ位置ｚ１〜ｚｍに基づいて塗布ノズル４６の位置決めを行う。Ｙ軸方向については中心位置ｙｎに画像センサ４３と塗布ノズル４６とのＹ軸方向の距離ｗを加えた位置とする。したがって、塗布ノズル４６はｎ組目の液晶パネルＳの場合においては、Ｙ軸方向は位置（ｙｎ＋ｗ）、Ｚ軸方向は位置（ｚｎ）に位置決めする。
【００５２】
以上の手順で行うことにより、重ねられた液晶パネル１組毎に液晶パネルＳの中心位置で、しかも液晶パネルＳの塗布面Ｓａと塗布ノズル４６の先端とのギャップを一定にして塗布することが可能となる。
【００５３】
塗布・加圧が完了したら（ＳＴ１６）、加圧機構３０を減圧し、紫外線を照射し、加圧機構３０を９０°回転し、加圧ヘッド３４を上昇させる（ＳＴ１７）。そして、加圧封止装置１０により密封された液晶パネルＳを作業者が取出し（ＳＴ１８）、ＡＣＦ（異方性導電フィルム）を貼り付けるＡＣＦ貼り付け工程に移る。
【００５４】
上述したように加圧封止装置１０によれば、液晶パネルＳの積層方向における中心位置を液晶パネルと緩衝材との境界位置を画像処理を行うことによって検出しているので、紫外線硬化樹脂の塗布を行う際に高精度の位置決めができ、確実な封止を行うことができる。
【００５５】
なお、式（１）中Σｄｎにより、全ての液晶パネルＳの中心位置ｙｎを常に直前の中心位置に厚さ（ｔｓ＋ｔｃ）を加算した位置で境界検出を行うことになるので、誤差の累積を防止することができる。このため、高精度に中心位置ｙｎを算出することが可能となる。すなわち、画像センサ４３で測定した液晶パネルＳ中心の前回位置を基準にして次の測定を行うため、組数に関係なく誤差は累積しない。
【００５６】
さらに、液晶パネルＳの中心位置及び高さ位置の測定・算出・塗布は加圧中に行うことができるので、加圧封止装置１０における処理時間を短縮することができる。
【００５７】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではない。この他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
【００５８】
【発明の効果】
本発明によれば、加圧封止工程において加圧されている液晶パネルの中心位置を高精度に算出することで液晶注入口を確実に封止を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る加圧封止装置を示す斜視図。
【図２】同加圧封止装置に組み込まれた作業台及び加圧機構を示す側面図。
【図３】同加圧封止装置に組み込まれた加圧機構及びヘッド機構を示す側面図。
【図４】同加圧封止装置に組み込まれた治具及び液晶パネルを示す図
【図５】同加圧封止装置における中心位置算出方法を示す説明図。
【図６】同加圧封止装置における液晶パネル塗布面位置の高さばらつき修正方法を示す説明図。
【図７】同加圧封止装置における加圧封止工程をフローチャートで示す説明図。
【図８】従来の加圧封止装置における中心位置算出方法を示す説明図。
【図９】同加圧封止装置における加圧封止工程をフローチャートで示す説明図。
【符号の説明】
１０…加圧封止装置
２０…作業台
３０…加圧機構
４０…ヘッド機構
４１…３軸ロボット
４２…ヘッド部
４３…画像センサ
４４…測長ユニット
４５…吸引ノズル
４６…塗布ノズル
５０…紫外線照射装置
１００…制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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