(57)【要約】【課題】再生処理が必要な資材と再生処理が不必要な資材とを区別することなく適正量の在庫管理と発注の一元管理が可能な資材管理装置を提供する。【解決手段】製造装置に使用される資材が再生処理可能か否かを識別するための再生管理フラグ１０４と、資材を購入する発注先と再生処理する発注先とを識別するための再生発注管理フラグ２０１とを有する資材毎の管理情報を保持する材料マスターテーブル１００と、再生発注管理フラグ２０１により再生処理可能な資材に対して購入の発注管理と再生処理の発注管理とを行う発注管理部と、発注管理部と共に一元管理され、資材の在庫を管理する在庫管理部とを備える。【選択図】        図１
2004246695.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置に使用される資材が再生処理可能か否かを識別するための再生管理フラグと、
前記資材を購入する発注先と再生処理する発注先とを識別するための再生発注管理フラグとを有する前記資材毎の管理情報を保持するマスターテーブルと、
前記再生発注管理フラグにより再生処理可能な前記資材に対して購入の発注管理と再生処理の発注管理とを行う発注管理部と、
前記発注管理部と共に一元管理され、前記資材の在庫を管理する在庫管理部と、
を備える資材管理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の資材管理装置であって、
前記マスターテーブルは、前記資材の個体を識別するためのシリアルナンバー管理フラグをさらに有し、
前記発注管理部は、前記資材に対しシリアルナンバー毎に再生処理の発注管理を行い、
前記在庫管理部は、前記資材に対して前記シリアルナンバー毎に在庫状態を管理することが可能な資材管理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の資材管理装置であって、
前記マスターテーブルは、前記資材を再生処理可能な限界を示すしきい値をさらに有し、
前記発注管理部は、前記シリアルナンバー毎に保持されている前記資材の再生処理情報が前記しきい値以上のとき再生処理の発注を制限し、
前記在庫管理部は、前記シリアルナンバー毎に保持されている前記資材の再生処理情報が前記しきい値以上のとき当該前記資材の廃却を促すことを特徴とする資材管理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の資材管理装置であって、
前記再生処理可能な限界を示すしきい値は、再生処理の累積回数であることを特徴とする資材管理装置。
【請求項５】
請求項３に記載の資材管理装置であって、
前記再生処理可能な限界を示すしきい値は、累積使用時間であることを特徴とする資材管理装置。
【請求項６】
請求項２乃至請求項５のいずれかに記載の資材管理装置であって、
前記資材を前記シリアルナンバー毎に使用状況を表示し、前記在庫管理部及び前記発注管理部に対し操作可能な使用表示と、
前記資材を前記シリアルナンバー毎に在庫状況を表示し、前記在庫管理部及び前記発注管理部に対し操作可能な保管表示とを備え、
前記使用表示と前記保管表示とを切り替えることが可能な資材管理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製造装置に使用される資材の管理に係る発明であって、特に、半導体装置等の製造装置に使用され、再生処理が行われる資材の管理に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体装置の製造において行っていた資材の管理は、資材を消費した場合に、資材を新たに追加する入出庫管理のみであった。また、資材の発注管理においても、在庫が無くなった場合に、資材を新たに購入する発注処理のみであった。このような、資材の管理は半導体装置の製造に限らず、他の製品の資材管理にも、一般的に使用されていた。なお、ここで資材は、半導体装置に直接使用される原材料、半導体装置を製造するための装置に用いられる部材や半導体装置の製造中に消費される材料等も含む。以下において用いられる資材についても同様である。
【０００３】
また、リサイクル品を含めた資材の管理は、特許文献１及び特許文献２に示されている。特許文献１では、繰り返し使用できる資材と消耗してしまう資材とを区別して資材の購買管理、在庫管理、及び使用スケジュールを自動管理している。つまり、特許文献１は、受注を入力する手段と、入力された受注に必要な資材のうち再利用可能な資材について在庫量から必要量を割り当て減算すると共に使用して返却された資材を在庫量に加算する第１の手段と、入力された受注に必要な資材のうち再利用不可の資材について在庫量から必要量を割り当て減算する第２の手段とを備えるように構成していた。
【０００４】
特許文献２では、リサイクルシステムに関し、材料から最終廃却段階までのリサイクル処理を総合的に管理している。つまり、特許文献２は、廃却処分となった製品・部品・原材料及び市場において現在使用されている製品・部品・原材料を含む全ての再利用可能な製品・部品・原材料に関する情報をリサイクル情報として記憶したリサイクル情報メモリと、リサイクル情報メモリに記憶されているリサイクル情報に基づいて、再利用可能な製品・部品・原材料がリサイクルに使用可能な製品・部品・原材料として回収される時期及び量を予測する仮想リサイクル製品設計部と、予測した時期及び量に基づいて、再利用可能な製品・部品・原材料を用いたリサイクル製品の生産計画を設定する生産計画部とを備えるように構成していた。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−３１１２１１号公報（第２−７頁、第１−１１図）
【特許文献２】
特開２０００−１８１９５８号公報（第３−１２頁、第１−１０図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、半導体装置の製造において、例えば、拡散炉に用いられる石英管、エッチング装置の電極や真空ポンプなどは、しばらく使用していると表面が磨耗したり、劣化したりして再生処理が必要となる。このような再生処理が必要となる資材に対して、従来の技術で説明したような資材を消費した場合にのみ入出庫を管理したり、発注したりする資材の管理では適切な管理ができない問題点があった。ここで、再生処理とは、例えば、薬品を使用して新しい表面を出したり、物理的に削って新しい表面を出す表面加工などである。
【０００７】
また、資材の再生処理を発注する場合、資材を新たに購入するときと違って、中身の入れ替えや削るなどの加工であるため、支払い単価が異なる。この支払い単価の違いを、従来の技術で説明した資材の管理では管理することができず、同じ発注先に対しては同じ支払い単価となっていた。さらに、資材の再生処理を発注は、必ずしも資材の購入先と同じではなく、再生処理の専用業者に発注する場合がある。この場合も、従来の技術で説明した資材の管理では管理することができず、資材の購入先業者と再生業者とをあわせて管理することができない問題があった。
【０００８】
また、特許文献１及び特許文献２では、資材の管理においてリサイクル品の管理を含めている。このリサイクル品は、繰り返し使用できる材料である点については再生処理が必要となる資材と同じである。しかし、リサイクル品は製品に組立後は破棄されるまで何らの管理は必要ないが、再生処理が必要となる資材は、製造が行われている限りにおいて再生処理の発注等の管理が必要となる点が異なる。また、再生処理の発注においては、購入業者と異なる再生業者を管理する必要があるため、リサイクル品の管理とは異なる。よって、特許文献１及び特許文献２で示された管理を、再生処理が必要となる資材に対して利用することはできない。
【０００９】
そこで、本発明は、再生処理が必要な資材と再生処理が不必要な資材とを区別することなく適正量の在庫管理と発注の一元管理が可能な資材管理装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る解決手段は、製造装置に使用される資材が再生処理可能か否かを識別するための再生管理フラグと、資材を購入する発注先と再生処理する発注先とを識別するための再生発注管理フラグとを有する資材毎の管理情報を保持するマスターテーブルと、再生発注管理フラグにより再生処理可能な資材に対して購入の発注管理と再生処理の発注管理とを行う発注管理部と、発注管理部と共に一元管理され、資材の在庫を管理する在庫管理部とを備える。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて具体的に説明する。
【００１２】
（実施の形態１）
本実施の形態に係る資材管理装置は、半導体装置などを製造するラインにおいて在庫管理と発注管理とを一元管理している。この資材管理装置には、資材（以下、材料ともいう）毎の管理情報を保持するマスターテーブルを備えている。図１に、本実施の形態に係る資材管理装置のマスターテーブルの一部を示す。図１に示すマスターテーブルには、材料ＩＤ１０１、材料名１０２、保管場所管理フラグ１０３及び再生管理フラグ１０４が管理情報として含まれる。以下、図１に示すマスターテーブルを材料マスターテーブル１００ともいう。
【００１３】
ここで、材料ＩＤ１０１は資材の種類毎に個別に付けられる識別番号であり、同種の資材には同じ材料ＩＤ番号が付与される。そして、この材料ＩＤ１０１を共通項目として別のマスターテーブル等と関連付けをしている。材料名１０２は、資材の名称である。保管場所管理フラグ１０３は、資材の保管場所を管理しているか否かを識別するためのフラグである。再生管理フラグ１０４は、資材が再生処理可能か否かを識別するためのフラグである。図１で示すフラグは、０がＯＦＦ、１がＯＮとして示されている。
【００１４】
図１では、異なる種類の資材が１０種類示されており、材料ＩＤ１０１が１〜１０で、材料名１０２が材料Ａ〜材料Ｋで示されている。ここで、保管場所管理フラグ１０３から保管場所を管理している資材は、材料Ａ〜材料Ｃ、材料Ｅ〜材料Ｊである。また、再生管理フラグ１０４から再生処理可能な資材は、材料Ｂ、材料Ｃ、材料Ｅ、材料Ｆ及び材料Ｈである。
【００１５】
図２に、本実施の形態に係る資材管理装置の別のマスターテーブルの一部を示す。図２に示すマスターテーブルは、材料マスターテーブル１００とは別に設けられ、材料ＩＤ１０１で関連付けられている。また、図２に示すマスターテーブルの一部には、材料ＩＤ１０１、材料名１０２、再生発注管理フラグ２０１、発注先ＩＤ２０２及び単価２０３が管理情報として含まれている。以下、図２に示すマスターテーブルを発注先マスターテーブル２００ともいう。
【００１６】
ここで、再生発注管理フラグ２０１は、購入の発注先と再生処理の発注先とを識別するためのフラグである。この再生発注管理フラグ２０１は、０を新規購入の発注先、１を再生処理の発注先として示している。発注先ＩＤ２０２は、発注先の識別番号であり、発注先毎に異なる識別番号が付与されている。例えば、図２では材料Ｂと材料Ｆとが購入の発注先と異なる再生処理の発注先を有している。材料Ｂでは、購入の発注先として発注先ＩＤが１の発注先とは別に、再生処理の発注先として発注先ＩＤが２又は３の発注先を有している。材料Ｆでは、購入の発注先として発注先ＩＤが２の発注先とは別に、再生処理の発注先として発注先ＩＤが３の発注先を有している。
【００１７】
図３に、本実施の形態に係る資材管理装置のフローチャートの一部を示す。図３では、資材管理装置の在庫管理部が示されている。まず、操作及び表示部３０１において材料ＩＤの選択３０２をすると、データ処理部３０３が材料マスターテーブル１００を参照し、再生管理フラグ１０４の判定を行う。例えば、ＩＤ番号１の材料ＩＤ１０１を選択した場合、図１に示す材料マスターテーブル１００から再生管理フラグ１０４が参照されＯＦＦである判定がされる。また、ＩＤ番号２の材料ＩＤ１０１を選択した場合、同様に再生管理フラグ１０４が参照されＯＮであると判定される。
【００１８】
次に、再生管理フラグ１０４で識別された材料ＩＤ１０１は、在庫一覧３０４（図示せず）が表示される。この在庫一覧３０４を参照して、選択した資材の入出庫管理を行う。入出庫の管理データは、在庫テーブル４００に保存されている。図４に、本実施の形態に係る資材管理装置の在庫テーブル４００を示す。この在庫テーブル４００には、材料ＩＤ１０１、保管場所ＩＤ４０１及び在庫数４０２が保存されている。例えば、材料ＩＤ番号が１の資材は、保管場所ＩＤ４０１が１の場所に在庫数２０が保管されている。また、材料ＩＤ番号が４の資材は、在庫数７５が保管されている。ここで、材料ＩＤ番号が４の保管場所ＩＤ４０１番号は０である。これは、材料ＩＤ番号が４の資材が、材料マスターテーブル１００の保管場所管理フラグ１０３においてＯＦＦであり保管場所を管理していないためである。
【００１９】
図５に、本実施の形態に係る資材管理装置のフローチャートの一部を示す。図５では、資材管理装置の発注管理部が示されている。まず、操作及び表示部５０１において材料ＩＤ１０１の選択５０２をすると、データ処理部５０３が材料マスターテーブル１００を参照し、再生管理フラグ１０４の判定を行う。再生管理フラグ１０４がＯＦＦの資材の場合、購入一覧５０４（図示せず）が表示される。この購入一覧５０４から購入先を選定することにより、発注テーブル５０５（図示せず）に保存された発注先に資材を購入する発注依頼が行われる。発注先に関する管理情報は発注テーブル５０５に保存されており、発注先マスターテーブル２００に保存されている発注先ＩＤ２０２によって参照される。例えば、材料ＩＤ番号が１の材料Ａを発注する場合、発注先マスターテーブル２００で管理されている発注先ＩＤ番号１に関連した発注先情報を、発注テーブル５０５から呼び出し、この発注先に対し単価９８７００で発注する。
【００２０】
再生管理フラグがＯＮの資材の場合、さらにデータ処理部５０３が発注先マスターテーブル２００を参照し、再生発注管理フラグ２０１の判定を行う。再生発注管理フラグ２０１がＯＦＦの資材は、購入一覧５０４（図示せず）が表示される。この購入一覧５０４から購入先を選定することにより、発注テーブル５０５（図示せず）に保存された発注先に資材を購入する発注依頼が行われる。発注先に関する管理情報は発注テーブル５０５に保存されており、発注先マスターテーブル２００に保存されている発注先ＩＤ２０２によって参照される。一方、再生発注管理フラグ２０１がＯＮの資材は、再生出し一覧５０６（図示せず）が表示される。この再生出し一覧５０６から再生処理先を選定することにより、発注テーブル５０５に保存された再生処理先に資材の再生処理（以下、再生出しともいう）依頼が行われる。再生処理先に関する管理情報は発注テーブル５０５に保存されており、発注先マスターテーブル２００に保存されている発注先ＩＤ２０２によって参照される。
【００２１】
例えば、材料ＩＤ番号が２の材料Ｂの場合、材料マスターテーブル１００から再生管理フラグはＯＮである。そして、材料Ｂにおいて再生発注先管理フラグ２０１がＯＦＦの場合は、購入一覧５０４（図示せず）が表示される。ここでは、発注先ＩＤ番号が１、単価が１００００００と表示される。一方、材料Ｂにおいて再生発注先管理フラグがＯＮの場合は、再生出し一覧５０６（図示せず）が表示される。ここでは、発注先ＩＤ番号が２、単価が１０００００の発注先と発注先ＩＤ番号が３、単価が５００００の発注先とが表示される。つまり、新たに材料Ｂを購入したい場合は、購入一覧５０４から発注先ＩＤ番号が１の発注先を選択すれば、発注テーブル５０５から発注先ＩＤ番号が１の発注先の管理情報が呼び出され発注が行われる。一方、材料Ｂの再生出しを依頼したい場合は、再生出し一覧５０６から発注先ＩＤ番号が２又は３の発注先を選択すれば、発注テーブル５０５から発注先ＩＤ番号が２又は３の発注先の管理情報が呼び出され再生出し依頼が行われる。
【００２２】
また、新たに材料Ｂを購入した場合、新たに材料Ｂが入着した時に在庫テーブル（図示せず）の在庫数に発注した数が加算され、「入着前の在庫数＋発注した数」となる。一方、材料Ｂの再生出しを依頼したい場合、再生出しの依頼時に在庫テーブル（図示せず）の在庫数から発注した数が減算され、「依頼前の在庫数−発注した数」となり、再生出し後の入着した時に在庫テーブル（図示せず）の在庫数に発注した数が加算され、「入着前の在庫数＋発注した数」となる。つまり、再生出しを依頼したい場合は、在庫数を加算するだけでなく、在庫数から再生出し発注数を減算する処理が、在庫管理部と発注管理部の間で行われる。以上のように、本実施の形態では、再生出し処理も含めて在庫数を行うため、シリアルＮｏを管理せずに再生出しの管理だけを行うような材料であっても有効性である。
【００２３】
以上のように本実施の形態に係る資材管理装置は、再生管理フラグ１０４と、再生発注管理フラグ２０１とを有する材料マスターテーブル１００と、再生発注管理フラグ２０１により再生処理可能な資材に対して購入の発注管理と再生処理の発注管理とを行う発注管理部と、発注管理部と共に一元管理され、資材の在庫を管理する在庫管理部とを備えるので、再生処理が必要な資材と再生処理が不必要な資材とを区別することなく適正量の在庫管理と発注の一元管理が可能となる。特に、本実施の形態に係る資材管理装置では、発注管理において同じ種類の資材に対して購入の発注先と再生出しの発注先とを管理し、再生出し依頼の操作も行うことができる。
【００２４】
なお、半導体装置の製造において材料Ｂのように、購入先と再生処理先とを区別して管理する必要がある材料として、例えば、拡散炉に用いられる石英管やエッチング装置の電極、ポンプなどの一部がある。これらは、しばらく使用していると表面が磨耗したり、劣化したりするため、薬品を使ったり、物理的に削ったりして、新しい表面を出す再生処理（再生出し）を行う必要がある。また、これら再生処理先を管理するには、新規に当該資材を購入する場合に比べ単価が異なる点、及び購入先以外に再生処理専業が複数ある点などを考慮する必要がある。本実施の形態に係る資材管理装置においては、上記の点を考慮しつつ、再生処理が必要な資材と再生処理が不必要な資材とを一元管理している。
【００２５】
（実施の形態２）
本実施の形態に係る資材管理装置も、半導体装置などを製造するラインにおいて在庫管理と発注管理とを一元管理している。この資材管理装置には、資材毎の管理情報を保持するマスターテーブルを備えている。図６に、本実施の形態に係る資材管理装置のマスターテーブルの一部を示す。図６に示すマスターテーブルには、図１に示した材料マスターテーブル１００にさらにシリアルナンバー管理フラグ６０１が管理情報として追加されている。
【００２６】
ここで、シリアルナンバーは、資材の個体毎に個別に付けられる識別番号であり、シリアルナンバー管理フラグ６０１は、資材がシリアルナンバーで管理されているか否かを識別するためのフラグである。図６で示すフラグは、０がＯＦＦ、１がＯＮとして示されている。図６では、材料Ｂ、材料Ｆ及び材料Ｈがシリアルナンバー管理フラグ６０１がＯＮであり、シリアルナンバー管理が行われている。このシリアルナンバー管理フラグ６０１を設けることにより、個体を区別する資材と個体を区別しない資材とを同様に管理することができる。なお、本実施の形態に係る資材管理装置の発注先マスターテーブル２００は、図２に示した発注先マスターテーブル２００と同じであるため、本実施の形態では説明を省略する。
【００２７】
図７に、本実施の形態に係る資材管理装置のフローチャートの一部を示す。図７では、資材管理装置の在庫管理部が示されている。まず、操作及び表示部３０１において材料ＩＤの選択３０２をすると、データ処理部３０３が材料マスターテーブル１００を参照し、再生管理フラグ１０４の判定を行う。例えば、ＩＤ番号４の材料ＩＤ１０１を選択した場合、図６に示す材料マスターテーブル１００から再生管理フラグ１０４が参照されＯＦＦである判定がされる。また、ＩＤ番号６の材料ＩＤ１０１を選択した場合、同様に再生管理フラグ１０４が参照されＯＮであると判定される。
【００２８】
次に、再生管理フラグ１０４がＯＦＦの材料は、在庫一覧３０４（図示せず）が表示される。この在庫一覧３０４を参照して、選択した資材の入出庫管理を行う。入出庫の管理データは、在庫テーブル４００に保存されている。この在庫テーブル４００は、図４で示した在庫テーブル４００と同じであり、材料ＩＤ１０１、保管場所ＩＤ４０１及び在庫数４０２が保存されている。なお、例えば、材料ＩＤ番号が４の資材は、在庫数が７５保管されている。再生管理フラグ１０４がＯＮの材料でも、シリアルナンバー管理フラグ６０１がＯＦＦの場合は、在庫一覧３０４（図示せず）が表示される。例えば、材料ＩＤ番号が３の資材は保管場所ＩＤが５の場所に在庫数が５保管されている。
【００２９】
再生管理フラグ１０４がＯＮの材料で、シリアルナンバー管理フラグ６０１がＯＮの場合は、再生材料一覧７０１（図示せず）が表示される。この再生材料一覧７０１は、図８に示す在庫テーブル４００からの管理状態判定結果をもとにシリアルナンバー毎に一覧で表示される。ここで、図８に示す在庫テーブル４００は、図４に示した在庫テーブル４００にシリアルナンバー８０１欄が追加された構成になっている。そのため、シリアルナンバー８０１毎に、材料の在庫管理を行うことができる。また、材料ＩＤ１０１とシリアルナンバー８０１とを１つのユニークデータとして管理することにより、材料の個体別の処理経緯を追跡することができる。つまり、材料のトレーサービリティーを確保することができる。なお、材料に対して個体別に在庫管理を行うと、在庫数４０２の欄の値は、１又は０のいずれかの値しか取れなくなる。
【００３０】
図８に示す在庫テーブル４００は、再生管理テーブル９００からの管理状態通知を受けることにより、再生材料一覧７０１に管理状態判定結果を通知する。ここで、再生管理テーブル９００は、図９に示すような構成であり、材料ＩＤ１０１、シリアルナンバー８０１及び管理状態９０１が保存されている。管理状態９０１の欄には、番号が保存されている。この番号は、１が使用、２が保管、３が再生出し、０が廃却をそれぞれ表している。ここで、使用とは、在庫に保管されている材料を対象装置に取り付けて使用する操作である。保管とは、対象装置に取り付けられ、使用されている材料を取り外し在庫として保管場所に戻す操作である。再生出しとは、材料に対して再生処理を行う操作である。廃却とは、材料を廃棄する操作であり、再生処理可能な材料の場合は、これ以上使用も再生処理もできないときに行われる。
【００３１】
本実施の形態に係る再生材料一覧７０１では、使用表示７０２と保管表示７０３とを備えている。図１０に、使用表示７０２が示されている。図１０では、材料の使用状態が、シリアルナンバー８０１毎に表示されている。図１０で表示されている項目は、材料名１０２、シリアルナンバー８０１、状態９１０及び対象装置９１１である。また、使用表示７０２には、保管、廃却及び再生出しの操作を行うための操作ボタン９１２が表示されている。また、操作ボタン９１２には、保管表示７０３に切り替えるためのボタンも表示されている。図１１に、保管表示７０３が示されている。図１１では、材料の保管状態が、シリアルナンバー８０１毎に表示されている。図１１で表示されている項目は、材料名１０２、シリアルナンバー８０１、状態９１０及び保管場所４０１である。また、保管表示７０３には、使用、廃却及び再生出しの操作を行うための操作ボタン９１２が表示されている。また、操作ボタン９１２には、使用表示７０２に切り替えるためのボタンも表示されている。
【００３２】
具体例を示して再生材料一覧７０１の動作を以下に説明する。まず、再生材料一覧７０１のうち使用表示７０２を表示させる。図１０のように表示された使用表示７０２において、シリアルナンバーＡＡＡＡＡの材料Ｂを選択して保管の操作ボタン９１２を押す。この操作により、再生管理テーブル９００に保持されているシリアルナンバーＡＡＡＡＡの材料Ｂの管理状態９０１を変更する。図９では、シリアルナンバーＡＡＡＡＡの材料Ｂの管理状態９０１は１であり、使用状態であることが示されているが、この管理状態９０１を２の保管状態に変更する。この変更された管理状態９０１は、在庫テーブル４００に通知される。通知を受けた在庫テーブル４００は、シリアルナンバーＡＡＡＡＡの材料Ｂ（材料ＩＤ＝２）の保管場所ＩＤ４０１を更新し、在庫数４０２を０から１に変更する。以上の再生管理テーブル９００及び在庫テーブル４００の変更は、管理状態判定結果として再生材料一覧７０１に通知される。これにより、使用表示７０２からシリアルナンバーＡＡＡＡＡの材料Ｂの情報が消去され、保管表示７０３に状態９１０が保管（２）であるシリアルナンバーＡＡＡＡＡの材料Ｂの情報が追加される。
【００３３】
次に、図１０において、シリアルナンバーｅｅｅｅｅの材料Ｆを選択して廃却の操作ボタン９１２を押す。この操作により、再生管理テーブル９００に保持されているシリアルナンバーｅｅｅｅｅの材料Ｆの管理状態９０１を変更する。図９では、シリアルナンバーｅｅｅｅｅの材料Ｆの管理状態９０１は使用状態（１）であり、この管理状態９０１を廃却（０）の状態に変更する。この変更された管理状態９０１は、在庫テーブル４００に通知され、通知を受けた在庫テーブル４００は、シリアルナンバーｅｅｅｅｅの材料Ｆ（材料ＩＤ＝６）の在庫数４０２を０まま保持する。以上の再生管理テーブル９００及び在庫テーブル４００の変更は、管理状態判定結果として再生材料一覧７０１に通知される。これにより、使用表示７０２からシリアルナンバーｅｅｅｅｅの材料Ｆの情報が消去される。なお、再生管理テーブル９００及び在庫テーブル４００において、シリアルナンバーｅｅｅｅｅの材料Ｆは情報は保持される。これは、新たな材料Ｆが入庫した場合に、再びシリアルナンバーｅｅｅｅｅが付与されることを回避するためである。
【００３４】
次に、図１０において、シリアルナンバーＨＨの材料Ｈを選択して再生出しの操作ボタン９１２を押す。この操作により、再生管理テーブル９００に保持されているシリアルナンバーＨＨの材料Ｈの管理状態９０１を変更する。図９では、シリアルナンバーＨＨの材料Ｈの管理状態９０１は１であり、使用状態であることが示されているが、この管理状態９０１を３の再生出しの状態に変更する。この変更された管理状態９０１は、在庫テーブル４００に通知され、通知を受けた在庫テーブル４００は、シリアルナンバーＨＨの材料Ｈ（材料ＩＤ＝８）の在庫数４０２を０まま保持する。以上の再生管理テーブル９００及び在庫テーブル４００の変更は、管理状態判定結果として再生材料一覧７０１に通知される。これにより、使用表示７０２からシリアルナンバーｅｅｅｅｅの材料Ｆの情報が消去され、保管表示７０３に状態９１０が再生出し（３）であるシリアルナンバーＡＡＡＡＡの材料Ｂの情報が追加される。
【００３５】
次に、再生材料一覧７０１のうち保管表示７０３を表示させた場合について説明する。図１１のように表示された保管表示７０３において、シリアルナンバーＢＢＢの材料Ｂを選択して使用の操作ボタン９１２を押す。この操作により、再生管理テーブル９００に保持されているシリアルナンバーＢＢＢの材料Ｂの管理状態９０１を変更する。図９では、シリアルナンバーＢＢＢの材料Ｂの管理状態９０１は２であり、保管状態であることが示されているが、この管理状態９０１を１の使用の状態に変更する。この変更された管理状態９０１は、在庫テーブル４００に通知される。通知を受けた在庫テーブル４００は、シリアルナンバーＢＢＢの材料Ｂ（材料ＩＤ＝２）の保管場所ＩＤ４０１を更新し、在庫数４０２を１から０に変更する。以上の再生管理テーブル９００及び在庫テーブル４００の変更は、管理状態判定結果として再生材料一覧７０１に通知される。これにより、保管表示７０３からシリアルナンバーＢＢＢの材料Ｂの情報が消去され、使用表示７０２に状態９１０が使用であるシリアルナンバーＢＢＢの材料Ｂの情報が追加される。廃却、再生出しの動作は、基本的に使用表示７０２で行った場合と同じである。
【００３６】
図１２に、本実施の形態に係る資材管理装置のフローチャートの一部を示す。図１２では、資材管理装置の発注管理部が示されている。まず、操作及び表示部５０１において材料ＩＤ１０１の選択５０２をすると、データ処理部５０３が材料マスターテーブル１００を参照し、再生管理フラグ１０４の判定を行う。再生管理フラグ１０４がＯＦＦの資材の場合、購入一覧５０４（図示せず）が表示される。この購入一覧５０４から購入先を選定することにより、発注テーブル５０５（図示せず）に保存された発注先に資材購入の発注依頼が行われる。発注先に関する管理情報は発注テーブル５０５に保存されており、発注先マスターテーブル２００に保存されている発注先ＩＤ２０２によって参照される。
【００３７】
再生管理フラグがＯＮの資材の場合、データ処理部５０３が材料マスターテーブル１００を参照し、シリアルナンバー管理フラグ６０１の判定を行う。シリアルナンバー管理フラグ６０１がＯＦＦの資材の場合、さらにデータ処理部５０３が発注先マスターテーブル２００を参照し、再生発注管理フラグ２０１の判定を行う。再生発注管理フラグ２０１がＯＦＦの資材は、購入一覧５０４（図示せず）が表示される。この購入一覧５０４から購入先を選定することにより、発注テーブル５０５（図示せず）に保存された発注先に資材購入の発注依頼が行われる。一方、再生発注管理フラグ２０１がＯＮの資材は、再生出し一覧５０６（図示せず）が表示される。この再生出し一覧５０６から再生処理先を選定することにより、発注テーブル５０５に保存された再生処理先に資材の再生処理依頼が行われる。再生処理先に関する管理情報は発注テーブル５０５に保存されており、発注先マスターテーブル２００に保存されている発注先ＩＤ２０２によって参照される。
【００３８】
シリアルナンバー管理フラグ６０１がＯＮの資材の場合、さらにデータ処理部５０３が発注先マスターテーブル２００を参照し、再生発注管理フラグ２０１の判定を行う。再生発注管理フラグ２０１がＯＦＦの資材は、購入一覧５０４（図示せず）が表示される。この購入一覧５０４から購入先を選定することにより、発注テーブル５０５（図示せず）に保存された発注先に資材購入の発注依頼が行われる。発注先に関する管理情報は発注テーブル５０５に保存されており、発注先マスターテーブル２００に保存されている発注先ＩＤ２０２によって参照される。一方、再生発注管理フラグ２０１がＯＮの資材は、再生出し一覧５０６（図示せず）が表示される。ここで、シリアルナンバー管理フラグがＯＮであるため、材料の個体別の管理情報が表示された再生材料一覧７０１において再生処理が行われる。
【００３９】
つまり、図１０で示した使用表示７０２や図１１で示した保管表示７０３から、再生処理の必要な個体を選択して再生出し操作を行う。この操作により選択された個体は、当該材料の再生出し一覧５０６（図示せず）から再生処理先を選定することができる。以上の操作は、再生管理テーブル９００を介して、発注テーブル５０５に保存された再生処理先に資材の再生出し依頼が行われる。再生処理先に関する管理情報は発注テーブル５０５に保存されており、発注先マスターテーブル２００に保存されている発注先ＩＤ２０２によって参照される。
【００４０】
例えば、材料ＩＤ番号が２の材料Ｂの場合、材料マスターテーブル１００から再生管理フラグはＯＮである。そして、材料Ｂのシリアルナンバー管理フラグ６０１が図６よりＯＮである。次に、発注先マスターテーブル２００の再生発注先管理フラグ２０１がＯＦＦである場合は、材料Ｂの購入一覧５０４（図示せず）が表示される。ここでは、発注先ＩＤ番号が１、単価が１００００００と表示される。一方、再生発注先管理フラグ２０１がＯＮである場合は、材料Ｂは、個体別（シリアルナンバー別）に使用表示７０２や保管表示７０３に表示される。これらの表示から再生出しが必要な個体を選択して、再生出し操作した場合のみ再生出し一覧５０６（図示せず）として表示される。使用表示７０２のシリアルナンバーＡＡＡＡＡの材料Ｂを選択し、操作ボタン９１２の再生出しを操作すると、再生出し一覧５０６として発注先ＩＤ番号が２、単価が１０００００の発注先と発注先ＩＤ番号が３、単価が５００００の発注先とが表示される。再生出し一覧５０６から発注先ＩＤ番号が２の発注先を選択されると、その情報は再生処理管理テーブル９００を介して発注テーブル５０５に保存されたデータを参照してシリアルナンバーＡＡＡＡＡの材料Ｂの再生出し依頼が行われる。
【００４１】
以上のように、本実施の形態に係る資材管理装置は、材料マスターテーブル１００が、資材の個体を識別するためのシリアルナンバー管理フラグ６０１をさらに有し、発注管理部は、資材に対しシリアルナンバー８０１毎に再生処理の発注管理を行い、在庫管理部は、資材に対しシリアルナンバー８０１毎に在庫状態を管理するので、再生処理が必要な資材と再生処理が不必要な資材とを区別することなく適正量の在庫管理と発注の一元管理が可能となるとともに、資材を個体毎に使用、保管、廃却、再生出しの操作及び管理を行うことができ、且つ個体毎に操作及び管理の履歴を保存することができるため、資材のトレーサービリティーを確保することができる。
【００４２】
また、本実施の形態に係る資材管理装置は、資材をシリアルナンバー８０１毎に使用状況を表示し、在庫管理部及び発注管理部に対し操作可能な使用表示７０２と、資材をシリアルナンバー８０１毎に在庫状況を表示し、在庫管理部及び発注管理部に対し操作可能な保管表示７０３とを備え、使用表示７０２と保管表示７０３とを切り替えることが可能であるため、容易に資材の在庫状況や発注情報を参照することができ、資材に対し適切な操作が可能となる。
【００４３】
（実施の形態３）
本実施の形態に係る資材管理装置も、半導体装置などを製造するラインにおいて在庫管理と発注管理とを一元管理している。この資材管理装置には、資材毎の管理情報を保持するマスターテーブルを備えている。図１３に、本実施の形態に係る資材管理装置のマスターテーブルの一部を示す。図１３に示すマスターテーブルには、図６に示した材料マスターテーブル１００にさらに再生限度回数９２１と使用限度時間９２２とが管理情報として追加されている。再生限度回数９２１や使用限度時間は、再生処理可能な限界を示すしきい値であり、本実施の形態に係る資材管理装置は、このしきい値に基づいて再生処理の限度管理を行う。
【００４４】
ここで、再生限度回数９２１は、再生処理可能な材料において再生処理できる累積回数を示している。つまり、再生処理可能な材料は、再生処理を繰り返し行うと再生処理をしても使用される前の状態に戻らなくなる限度がある。また、使用限度時間９２２は、材料を使用することができる累積時間である。つまり、材料を使用し始めてから保管又は再生出しまでの時間を累積した限度時間が使用限度時間９２２である。これは、使用により劣化する特性を有する材料に適用される。これら再生処理に対して限度管理を行うのは、これら限度を超えた材料が製造工程で使用された場合に製品に与える影響が大きく、製品に対して十分な品質を確保できなくなるためである。
【００４５】
図１３で示されている再生限度回数９２１は、材料Ｂが３回、材料Ｆが２回で、使用限度時間９２２は、材料Ｈが１０００時間である。再生管理フラグがＯＮの材料Ｃ及び材料Ｅには、再生限度回数９２１や使用限度時間９２２は設定されていない。これは、材料Ｃ及び材料Ｅにはシリアルナンバー管理フラグが付与されていないため、材料の個体を識別することができず、再生回数や使用時間を管理していないからである。なお、本実施の形態に係る資材管理装置の発注先マスターテーブル２００は、図２に示した発注先マスターテーブル２００と同じであるため、本実施の形態では説明を省略する。
【００４６】
図１４に、本実施の形態に係る資材管理装置のフローチャートの一部を示す。図１４では、資材管理装置の在庫管理部が示されている。まず、操作及び表示部３０１において材料ＩＤの選択３０２をすると、データ処理部３０３が材料マスターテーブル１００を参照し、再生管理フラグ１０４の判定を行う。再生管理フラグ１０４がＯＦＦの材料は、在庫一覧３０４（図示せず）が表示される。次に、再生管理フラグ１０４がＯＮの材料は、データ処理部３０３が材料マスターテーブル１００を参照して、シリアルナンバー管理フラグ６０１の判定が行われる。シリアルナンバー管理フラグ６０１がＯＦＦの場合は、在庫一覧３０４（図示せず）が表示される。一方、シリアルナンバー管理フラグ６０１がＯＮの場合は、再生材料一覧７０１が表示される。この再生材料一覧７０１は、使用表示７０２と保管表示７０３とを備えている。
【００４７】
使用表示７０２と保管表示７０３とに表示される情報は、再生管理テーブル９００の管理状態通知が在庫テーブル４００を介して通知された管理状態判定結果の情報である。ここで、在庫テーブル４００は、実施の形態２で示された図８と同じである。しかし、本実施の形態に係る再生管理テーブル９００は、実施の形態２で示された図９と異なり材料ＩＤ１０１、シリアルナンバー８０１及び管理状態９０１に加えて、再生累積回数９３１、使用時間９３２及び使用累積時間９３３が追加された構成である。図１５に、本実施の形態に係る再生管理テーブル９００を示す。再生累積回数９３１、使用時間９３２及び使用累積時間９３３は、図１３で示した材料マスターテーブル１００の再生限度回数９２１及び使用限度時間９２２を管理するために設けられている。
【００４８】
ここで、再生累積回数９３１は、再生処理を行った累積回数を表している。使用時間９３２は、新規購入された材料又は再生処理後の材料が対象装置に取り付けられてからの再生管理テーブル９００に集計されるまでの時間を表している。使用累積時間９３３は、材料が新規に購入されてから再生管理テーブル９００に集計されるまでの累積時間を表している。
【００４９】
具体例を示して、本実施の形態に係る再生限度管理を以下に説明する。まず、図１０のように表示された使用表示７０２において、シリアルナンバーＡＡＡＡＡの材料Ｂを選択して保管の操作ボタン９１２を押す。この操作により、再生累積回数９３１が材料マスターテーブル１００に保存されている再生限度回数９２１以上であるか否かの限度判定が行われる。限度判定がＯＫの場合は、再生管理テーブル９００に保持されているシリアルナンバーＡＡＡＡＡの材料Ｂの管理状態９０１は使用（１）から保管（２）に変更される。なお、シリアルナンバーＡＡＡＡＡの材料Ｂの場合は、再生累積回数９３１は０であり、再生限度回数９２１の３回以上でないため、限度判定はＯＫと判断される。以降の処理は、実施の形態２と同じであるため説明を省略する。限度判定がＮＧとなった場合は、保管処理ができない旨のメッセージが表示され廃却以外の操作ができなくなる。なお、図１０では図示されていないが、操作するユーザが見て判断できるように、材料名称１０２や状態９１０等以外に、再生累積回数９３１、使用時間９３２や使用累積時間９３３も使用表示７０２に表示されている。
【００５０】
次に、図１１のように表示された保管表示７０３において、シリアルナンバーＧＧＧＧの材料Ｈを選択して使用の操作ボタン９１２を押す。この操作により、使用累積時間９３３が材料マスターテーブル１００に保存されている使用限度時間９２２以上であるか否かの限度判定が行われる。限度判定がＯＫの場合は、再生管理テーブル９００に保持されているシリアルナンバーＧＧＧＧの材料Ｈの管理状態９０１は保管（２）から使用（１）に変更される。なお、シリアルナンバーＧＧＧＧの材料Ｈの場合は、使用累積時間９３３は４５０時間であり、使用限度時間９２２の１０００時間以上でないため、限度判定はＯＫと判断される。以降の処理は、実施の形態２と同じであるため説明を省略する。ここで、シリアルナンバーＧＧＧＧの材料Ｈは、管理状態９０１が保管（２）から使用（１）に変更された時点から使用時間９３２及び使用累積時間９３３のカウントが開始され、次に管理状態９０１が使用（１）から保管（２）又は使用（１）から再生出し（３）へ変更されるまでカウントされる。限度判定がＮＧとなった場合には、保管処理ができない旨のメッセージが表示され廃却以外の操作ができなくなる。なお、図１１では図示されていないが、操作するユーザが見て判断できるように、材料名称１０２や状態９１０等以外に、再生累積回数９３１、使用時間９３２や使用累積時間９３３も管理表示７０３に表示されている。
【００５１】
図１６に、本実施の形態に係る資材管理装置のフローチャートの一部を示す。図１６では、資材管理装置の発注管理部が示されている。まず、操作及び表示部５０１において材料ＩＤ１０１の選択５０２をすると、データ処理部５０３が材料マスターテーブル１００を参照し、再生管理フラグ１０４の判定を行う。再生管理フラグ１０４がＯＦＦの資材の場合、購入一覧５０４（図示せず）が表示される。再生管理フラグがＯＮの資材の場合、データ処理部５０３が材料マスターテーブル１００を参照し、シリアルナンバー管理フラグ６０１の判定を行う。シリアルナンバー管理フラグ６０１がＯＦＦの資材の場合、さらにデータ処理部５０３が発注先マスターテーブル２００を参照し、再生発注管理フラグ２０１の判定を行う。再生発注管理フラグ２０１がＯＦＦの資材は、購入一覧５０４（図示せず）が表示される。一方、再生発注管理フラグ２０１がＯＮの資材は、再生出し一覧５０６（図示せず）が表示される。
【００５２】
シリアルナンバー管理フラグ６０１がＯＮの資材の場合、さらにデータ処理部５０３が発注先マスターテーブル２００を参照し、再生発注管理フラグ２０１の判定を行う。再生発注管理フラグ２０１がＯＦＦの資材は、購入一覧５０４（図示せず）が表示される。一方、再生発注管理フラグ２０１がＯＮの資材は、再生出し一覧５０６（図示せず）が表示される。ここで、シリアルナンバー管理フラグがＯＮであるため、材料の個体別の管理情報が表示された再生材料一覧７０１において再生処理が行われる。
【００５３】
例えば、図１１のように表示された保管表示７０３において、シリアルナンバーＤＤの材料Ｂを選択して再生出しの操作ボタン９１２を押す。この操作により、再生累積回数９３１が材料マスターテーブル１００に保存されている再生限度回数９２１以上であるか否かの限度判定が行われる。限度判定がＯＫの場合は、再生管理テーブル９００に保持されているシリアルナンバーＤＤの材料Ｂの管理状態９０１が保管（２）から再生出し（３）に変更される。なお、シリアルナンバーＤＤの材料Ｂの場合は、再生累積回数９３１が０回であり、再生限度回数９２１の３回以上でないため、限度判定はＯＫと判断される。以降の処理は、実施の形態２と同じであるため説明を省略する。
【００５４】
なお、図１０のように表示された使用表示７０２の場合も、上記と同様である。また、本実施の形態に係る資材管理装置では、図１３に示すように再生限度回数９２１のみで再生処理の限度管理を行う材料Ｂ及び材料Ｆと、使用限度時間９２２のみで再生処理の限度管理を行う材料Ｈとが示されているだけである。しかし、本発明はこれに限られず使用限度回数など他のしきい値を設定し管理しても良い。また、再生限度回数９２１と使用限度時間９２２とを組み合わせ、いずれかの限度を超えたときにＮＧと判断するような再生処理の限度管理を行うことも考えられる。
【００５５】
以上のように、本実施の形態に係る資材管理装置は、材料マスターテーブル１００が、資材を再生処理可能な限界を示すしきい値をさらに有し、発注管理部は、シリアルナンバー８０１毎に保持されている資材の再生処理情報がしきい値以上のとき再生処理の発注を制限し、在庫管理部は、シリアルナンバー８０１毎に保持されている資材の再生処理情報がしきい値以上のとき当該資材の廃却を促すので、再生処理が必要な資材と再生処理が不必要な資材とを区別することなく適正量の在庫管理と発注の一元管理が可能となるとともに、再生処理の限度管理をも管理することができる。この再生処理の限度管理により、適切な資材が製造工程に使用されることになるため製品の品質を確保することができる。
【００５６】
【発明の効果】
本発明に記載の資材管理装置は、再生管理フラグと、再生発注管理フラグとを有するマスターテーブルと、再生発注管理フラグにより再生処理可能な資材に対する購入の発注管理と再生処理の発注管理とを行う発注管理部と、発注管理部と共に一元管理され、資材の在庫を管理する在庫管理部とを備えるので、再生処理が必要な資材と再生処理が不必要な資材とを区別することなく適正量の在庫管理と発注の一元管理が可能となる。特に、本実施の形態に係る資材管理装置では、発注管理において再生出し操作を行うことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る資材管理装置の材料マスターテーブルを示す図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る資材管理装置の発注先マスターテーブルを示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る資材管理装置のフローチャートである。
【図４】本発明の実施の形態１に係る資材管理装置の在庫テーブルを示す図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係る資材管理装置のフローチャートである。
【図６】本発明の実施の形態２に係る資材管理装置の材料マスターテーブルを示す図である。
【図７】本発明の実施の形態２に係る資材管理装置のフローチャートである。
【図８】本発明の実施の形態２に係る資材管理装置の在庫テーブルを示す図である。
【図９】本発明の実施の形態２に係る資材管理装置の再生管理テーブルを示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態２に係る資材管理装置の使用表示を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態２に係る資材管理装置の保管表示を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態２に係る資材管理装置のフローチャートである。
【図１３】本発明の実施の形態３に係る資材管理装置の材料マスターテーブルを示す図である。
【図１４】本発明の実施の形態３に係る資材管理装置のフローチャートである。
【図１５】本発明の実施の形態３に係る資材管理装置の再生管理テーブルを示す図である。
【図１６】本発明の実施の形態３に係る資材管理装置のフローチャートである。
【符号の説明】
１００  材料マスターテーブル、１０１  材料ＩＤ、１０２  材料名、１０３保管場所管理フラグ、１０４  再生管理フラグ、２００  発注先マスターテーブル、２０１  再生発注管理フラグ、２０２  発注先ＩＤ、２０３  単価、３０１，５０１  操作及び表示部、３０２，５０２  材料ＩＤの選択、３０３，５０３  データ処理部、３０４  在庫一覧、４０１  保管場所ＩＤ、４０２  在庫数、５０４  購入一覧、５０５  発注テーブル、５０６  再生出し一覧、６０１  シリアルナンバー管理フラグ、７０１  再生材料一覧、７０２  使用表示、７０３  保管表示、８０１  シリアルナンバー、９０１  管理状態、９１０  状態、９１１  対象装置、９１２  操作ボタン、９２１  再生限度回数、９２２  使用限度時間、９３１  再生累積回数、９３２  使用時間、９３３  使用累積時間。
【図１】
2004246695.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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