(57)【要約】【課題】（１）小型高速パーピンＩＣテストシステムのＭＴＢＦ（Ｍｅａｎ　Ｔｉｍｅ　Ｂｅｔｗｅｅｎ　Ｆａｉｌｕｒｅｓ）の向上である。（２）小型高速パーピンＩＣテストシステムの小型化、低消費電力化である。（３）小型高速パーピンＩＣテストシステムの高速化である。（４）小型高速パーピンＩＣテストシステムの経済性の向上と低価格化である。（５）小型高速パーピンＩＣテストシステムのフェーズ問題への対応である。【解決手段】（１）同軸スイッチおよび、同軸スイッチ、同軸アッテネータ、　同軸アンプを一体化したＨＰカスタムスイッチマトリックスとそのドライバーを備付のコントローラを用いて、波形電圧をコントロールし、パーピンＩＣテストシステムの回路基盤および配線を含む、コンポーネントの「熱」による「劣化および破壊」を防止し、パーピンＩＣテストシステムの信頼性（ＭＴＢＦ）の向上、経済性の向上、低価格化、小型化、低消費電力化、高速化、を実現する。（２）ＨＰカスタムマトリックスのフェーズコントローラの機能および、全配線の線長を等しく同等にし、配線保護ボックスの中で配線フォームをとることによって、パーピンＩＣテストシステムのフェーズ問題に対処している。【選択図】図１
2004029010.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）プログラマブルパターンジェネレータ（ファンクション機能搭載）に、顧客仕様のデバイスプログラムを読み込み、当該ＰＰＧをコントローラで出力と停止の制御を行い、各位相の異なる矩形波の変調波または各周期の異なる搬送波の変調波を同軸スイッチに１種類１投入力し、全ＤＵＴのデバイス（試料）に必要な数の分を同じ同軸スイッチより出力し（１投Ｎ投）、マトリックスの各入力ポートに投入し、同軸アッテネータ、同軸アンプで電圧をドライバーとそのコントローラで制御し、マトリックスより１投２投出力し、一方はＤＵＴを経由してコンパレータへ、一方は測定の基準波形としてコンパレータへ出力し、コンパレータで２波形を比較し、試料の合否判定を行い、コントローラより測定値および判定結果をスクリーンへ表示するパーピンＩＣテストシステムであり、試料であるＩＣの顧客仕様により各種測定条件を決定する。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（２）機能として、マトリックス採用の為、比較的小型であり且つマトリックスのフェーズコントローラを用いて且つ、配線の線長を一定にし、配線フォームをとることによって、システムのフェーズ問題へ対処している。
【０００２】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各ＩＣの研究、開発、製造、保守の為のパーピンＩＣテストシステムに関する。
【０００３】
【従来の技術】
従来の産業用のＩＣテストシステムは、一般的に、ＩＣの駆動周波数を以前よりより高くすると熱による回路破壊および劣化またはＭＴＢＦ（Ｍｅａｎ　Ｔｉｍｅ　Ｂｅｔｗｅｅｎ　Ｆａｉｌｕｒｅｓ）などの信頼性の著しい不良を引き起こし、原状回復に要する経済的損失が大きく今後の当該機器の需要は望めなくなりつつある。
【０００４】
【特許文献１】
【非特許文献１】
１）．ＨＰ社内用カタログの抜粋（Ｓｗｉｔｃｈ全１２ページ）
２）．ＨＰ　Ｃｕｓｔｏｍ　Ｓｗｉｔｃｈ　Ｍａｔｒｉｃｓ　Ｐｒｏｄｕｃｔ　Ｎｏｔｅ（全２８ページ）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
熱による回路およびコンポーネントの破壊を防ぎ、ＭＴＢＦを格段に向上させる為。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
同軸スイッチ、同軸アッテネータ、同軸アンプを一体化したＨＰ製マトリックスを、そのドライバーを用いて、備付のコントローラでそのドライバーを制御しながら、パーピンＩＣテストシステムの回路及び配線を含むコンポーネントの「熱」による劣化および破壊を防止し、パーピンＩＣテストシステムの信頼性（ＭＴＢＦ）の向上を実現する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
ＩＣの動作周波数が、デジタルで１６ＧＨｚ程度まで、アナログで５０ＧＨｚまでを対象としＩＣ市場を鑑みながら現在は、計画化の段階であり、今後は実行プログラム化し、予算化を検討する予定である。
【０００８】
【実施例】
検討中。
【０００９】
【発明の効果】
ＩＣの動作周波数が、デジタルで１６ＧＨｚ程度まで、アナログで５０ＧＨｚまでを対象とし且つ従来品と比し小型化していて更にフェーズ問題の対応に近ずいている。
【図面の簡単な説明】
【図１】当該のパーピンＩＣテストシステム全体をイメージした概観図である。
【符号の説明】
１．プログラマブルパターンジェネレータ
２．同軸スイッチ
３．マトリックスおよびドライバー
４．ＤＵＴ
５．コンパレータ
６．コントローラ部
７．配線保護ボックス
【図１】
2004029010.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月13日(2003.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
ストシステム）
【特許請求の範囲】
【請求項１】本発明をより詳細に説述するために、添付の図面に従ってこれを説明する。
最初にファンクション機能としてプログラム化されたパターンを発振するプログラマブルパターンジェネレータ１より、顧客仕様のデバイスプログラムまたは測定パターンをコントローラ６で発振と停止の制御を行い、各位相の異なる矩形波の変調波または各周期の異なる搬送波の変調波を同軸スイッチ２に１種類１投入力し、全ＤＵＴ４の試料（ＩＣ）の測定に必要な分の数（２×８）を同じ同軸スイッチ２より出力し［１種類１投入力４投出力×２個×２種類（アナログ、デジタルを問わず）］、マトリックス３の各入力ポートに入力し、同軸アッテネータ、同軸アンプで波形電圧をドライバー３とそのコントローラ６で制御し、マトリックス３より１投２投出力し、一方はＤＵＴ４を経由してコンパレータ５へ、もう一方は測定の基準波形として直接コンパレータ５へ出力し、２本とも線長は等しくし、配線保護ボックス７で配線フォームをとり、コンパレータ５で２波形を比較し、コントローラ６より、測定値および合否結果をスクリーンへ表示するパーピンＩＣテストシステムであり、試料であるＩＣの顧客仕様によって、各種測定条件を明確にする。
【請求項２】プログラマブルパターンジェネレータより同軸スイッチを介してマトリックスまでの全配線の線長を等しく同一にし、且つマトリックスからコンパレータまでの全ての経路の異なる２種類の配線の線長を等しく同一にして、配線保護カバー内で配線のフォームをとり、ＨＰカスタムマトリックスの「フェーズコントローラ」を用いて、ＩＣテストのフェーズ問題に対処している請求項１のパーピンＩＣテストシステムである。
【請求項３】従来品と比し、小型で、低消費電力タイプの請求項１のパーピンＩＣテストシステムである。
【請求項４】デジタルで約１６ＧＨｚまで、アナログで５０ＧＨｚまでの高速型の請求項１のパーピンＩＣテストシステムである。
【請求項５】ＭＴＢＦ（Ｍｅａｎ　Ｔｉｍｅ　Ｂｅｔｗｅｅｎ　Ｆａｉｌｕｒｅｓ）が大幅な改善をする請求項１のパーピンＩＣテストシステムである。
【請求項６】経済性がよい、低価格タイプの請求項１のパーピンＩＣテストシステムである。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各ＩＣの研究、開発、製造、保守の為のパーピンＩＣテストシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の産業用のＩＣテストシステムは、一般的に、ＩＣの動作周波数を１．５ＧＨｚ以上にすると熱による回路基盤または配線などのコンポーネントの劣化および破壊、つまりＭＴＢＦ（ＭｅａｎＴｉｍｅ　Ｂｅｔｗｅｅｎ　Ｆａｉｌｕｒｅｓ）などの信頼性の不良を起こし、修理に要する損失が大きい。
【０００３】
【特許文献１】
【非特許文献１】
１）．ＨＰ社内用カタログの抜粋（Ｓｗｉｔｃｈ全１２ページ）
２）．ＨＰ　Ｃｕｓｔｏｍ　Ｓｗｉｔｃｈ　Ｍａｔｒｉｃｅｓ　Ｐｒｏｄｕｃｔ
Ｎｏｔｅ（全２８ページ）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
熱による回路基盤および配線を含むコンポーネントの劣化および破壊を防ぎ、ＭＴＢＦを向上させる事。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
同軸スイッチおよび、同軸スイッチ、同軸アッテネータ、同軸アンプを一体化したＨＰカスタムスイッチマトリックスを備付のコントローラでそのドライバーを用いて、波形電圧を制御しながら、パーピンＩＣテストシステムの回路基盤および配線を含むコンポーネントの「熱」による「劣化および破壊」を防止し、パーピンＩＣテストシステムの信頼性（ＭＴＢＦ）の向上を実現する。
【０００６】
【発明の実施の形態】
ＩＣの動作周波数が、デジタルで１６ＧＨｚ程度まで、アナログで５０ＧＨｚまでを対象としＩＣ市場を鑑みながら現在は、計画化の段階であり、今後は実行プログラム化し、予算化を検討する予定である。
【０００７】
【実施例】
検討中。
【０００８】
【発明の効果】
パーピンＩＣテストシステムの信頼性（ＭＴＢＦ）の向上を実現し、被測定ＩＣの試験周波数が、デジタルで１６ＧＨｚ程度まで、アナログで５０ＧＨｚまでのＩＣを対象とし、且つ従来品と比し小型化低消費電力化していて、更にフェーズ問題に対応している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のパーピンＩＣテストシステム全体をイメージした概観図および透視図であり、請求項１の測定原理を示している。
【符号の説明】
１．プログラマブルパターンジェネレータ
２．同軸スイッチ
３．マトリックスおよびドライバー
４．ＤＵＴ
５．コンパレータ
６．コントローラ部
７．配線保護ボックス