(57)【要約】【課題】吐出口からの液垂れを生じることがないノズルを提供する。【解決手段】前向きに吐出口２０ａ、２０ｂが形設され、上方に配設された処理液供給管１４に連通する接続孔２２と、接続孔に連通し吐出口より下方位置に形成された液溜め路２４ａ、２４ｂと、液溜め路の内径より細径に形成され液溜め路から上方向に延びる連絡路２６ａ、２６ｂと、連絡路の上端部から横方向に延びて吐出口に連通する吐出路２８ａ、２８ｂとを有するノズル１０を構成した。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前向きに吐出口が形設されるとともに、内部に前記吐出口に連通する液流路が形成され、上方に配設された処理液供給管から前記液流路へ処理液が供給されて、水平姿勢に保持された基板の表面へ処理液を吐出する基板への処理液供給用ノズルにおいて、
前記処理液供給管に連通する接続孔と、
この接続孔に連通し、吐出口より下方位置に形成された液溜め路と、
この液溜め路の内径より細径に形成され、液溜め路と前記吐出口とを流路接続する吐出経路と、
を有することを特徴とする基板への処理液供給用ノズル。
【請求項２】
前記液溜め路が横方向に延設されるとともに、前記吐出口が複数個、液溜め路に沿った方向に並列して設けられ、液溜め路と各吐出口とが各別に吐出経路によってそれぞれ流路接続された請求項１記載の基板への処理液供給用ノズル。
【請求項３】
前記吐出経路が、前記液溜め路から上方向に延びる連絡路と、この連絡路の内径より細径に形成され連絡路の上端部から横方向に延びて前記吐出口に連通する吐出路とから構成された請求項１または請求項２記載の基板への処理液供給用ノズル。
【請求項４】
前記液溜め路が、平行に並んで前後に一対設けられ、
前方側の液溜め路と各吐出口とを各別に流路接続する各吐出経路が、液溜め路から上方向に延びる連絡路と、この連絡路の内径より細径に形成され連絡路の上端部から横方向に延びて吐出口に連通する吐出路とからそれぞれ構成されるとともに、
後方側の液溜め路と各吐出口とを各別に流路接続する各吐出経路が、液溜め路から上方向に延び、かつ、前方側の液溜め路から上方向に延びる連絡路に対して前向きに傾斜した連絡路と、この連絡路の内径より細径に形成され連絡路の上端部から横方向に延びて吐出口に連通する吐出路とからそれぞれ構成された請求項２記載の基板への処理液供給用ノズル。
【請求項５】
前方側の液溜め路に流路接続された各吐出口と後方側の液溜め路に流路接続された各吐出口とがそれぞれ交互に配置された請求項４記載の基板への処理液供給用ノズル。
【請求項６】
壁面から前向きに突出した短管状突出部が形設され、その短管状突出部の先端面に前記吐出口が設けられた請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の基板への処理液供給用ノズル。
【請求項７】
前記吐出経路の吐出口付近が前方下向きに傾斜するように配置され、前記短管状突出部の前端部下部が水平方向に欠切された請求項６記載の基板への処理液供給用ノズル。
【請求項８】
基板を水平姿勢に保持する基板保持手段と、
この基板保持手段に保持された基板の表面へ処理液を供給する処理液供給手段と、
を備え、処理液によって基板を処理する基板処理装置において、
前記処理液供給手段として、請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の基板への処理液供給用ノズルを配設したことを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶表示装置用ガラス基板、半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の基板の表面へ洗浄液、現像液、エッチング液、剥離液等の処理液を供給する処理液供給装置の処理液供給用ノズル、ならびに、前記した各種基板の表面へ洗浄液、現像液、エッチング液、剥離液等の処理液を供給して基板を処理する基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶表示装置用ガラス基板等の基板を回転支持板上に水平姿勢で保持して鉛直軸回りに回転させながら、基板の表面へ洗浄液等の処理液を供給し、基板に対して洗浄等の処理を施す基板処理装置においては、基板の直上位置へノズルを移動させ、そのノズルの吐出口から処理液を吐出して、回転する基板の表面へ処理液を供給するようにしている。この場合、従来の装置では、図１０に示すように、ノズル５に形成された液流路７への処理液の供給は、ノズル５の上方に配設された処理液供給管８を通して行われている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−１７７８５５号公報（第６頁、第９頁、図２、図５、図９（ｃ））
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１０に示したように、ノズル５の上方からノズル５の液流路７へ処理液が供給される場合には、ノズル５への処理液の供給を停止した時にノズル５の吐出口６から処理液が垂れる、といったことが起こる。この液垂れの現象は、特に純水やフッ酸などように低粘度の処理液が使用される場合に顕著である。このような液垂れが発生すると、基板の処理の均一性に影響を及ぼすことになる。
【０００５】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、吐出口からの液垂れを生じることがない基板への処理液供給用ノズルを提供すること、ならびに、処理液供給用ノズルの吐出口からの液垂れを防止して基板の処理の均一性を確保することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、前向きに吐出口が形設されるとともに、内部に前記吐出口に連通する液流路が形成され、上方に配設された処理液供給管から前記液流路へ処理液が供給されて、水平姿勢に保持された基板の表面へ処理液を吐出する基板への処理液供給用ノズルにおいて、前記処理液供給管に連通する接続孔と、この接続孔に連通し、吐出口より下方位置に形成された液溜め路と、この液溜め路の内径より細径に形成され、液溜め路と前記吐出口とを流路接続する吐出経路と、を有することを特徴とする。
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１記載のノズルにおいて、前記液溜め路が横方向に延設されるとともに、前記吐出口が複数個、液溜め路に沿った方向に並列して設けられ、液溜め路と各吐出口とが各別に吐出経路によってそれぞれ流路接続されたことを特徴とする。
【０００８】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２記載のノズルにおいて、前記吐出経路が、前記液溜め路から上方向に延びる連絡路と、この連絡路の内径より細径に形成され連絡路の上端部から横方向に延びて前記吐出口に連通する吐出路とから構成されたことを特徴とする。
【０００９】
請求項４に係る発明は、請求項２記載のノズルにおいて、前記液溜め路が、平行に並んで前後に一対設けられ、前方側の液溜め路と各吐出口とを各別に流路接続する各吐出経路が、液溜め路から上方向に延びる連絡路と、この連絡路の内径より細径に形成され連絡路の上端部から横方向に延びて吐出口に連通する吐出路とからそれぞれ構成されるとともに、後方側の液溜め路と各吐出口とを各別に流路接続する各吐出経路が、液溜め路から上方向に延び、かつ、前方側の液溜め路から上方向に延びる連絡路に対して前向きに傾斜した連絡路と、この連絡路の内径より細径に形成され連絡路の上端部から横方向に延びて吐出口に連通する吐出路とからそれぞれ構成されたことを特徴とする。
【００１０】
請求項５に係る発明は、請求項４記載のノズルにおいて、前方側の液溜め路に流路接続された各吐出口と後方側の液溜め路に流路接続された各吐出口とがそれぞれ交互に配置されたことを特徴とする。
【００１１】
請求項６に係る発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のノズルにおいて、壁面から前向きに突出した短管状突出部が形設され、その短管状突出部の先端面に前記吐出口が設けられたことを特徴とする。
【００１２】
請求項７に係る発明は、請求項６記載のノズルにおいて、前記吐出経路の吐出口付近が前方下向きに傾斜するように配置され、前記短管状突出部の前端部下部が水平方向に欠切されたことを特徴とする。
【００１３】
請求項８に係る発明は、基板を水平姿勢に保持する基板保持手段と、この基板保持手段に保持された基板の表面へ処理液を供給する処理液供給手段とを備え、処理液によって基板を処理する基板処理装置において、前記処理液供給手段として、請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の基板への処理液供給用ノズルを配設したことを特徴とする。
【００１４】
請求項１に係る発明の基板への処理液供給用ノズルにおいては、処理液供給管を通って供給される処理液は、接続孔を通って液溜め路に流入し、液溜め路から吐出経路を通って吐出口へ送られ、吐出口から吐出されて、水平姿勢に保持された基板の表面へ供給される。そして、処理液の供給が停止された時、吐出口が液溜め路より上方に位置しているため、重力の作用によって処理液が吐出口から流出することはない。さらに、吐出口に流路接続する吐出経路の内径は、液溜め路の内径より細くされているので、吐出経路を満たした処理液が吐出口から流出して液垂れを生じる、といった恐れもない。
【００１５】
請求項２に係る発明のノズルでは、横方向に延設された液溜め路に沿った方向に複数個の吐出口が並列して設けられていることにより、処理液の供給量を多くしなくても、基板の表面上の広い範囲にわたって処理液を供給することができる。そして、液溜め路と各吐出口とは、液溜め路の内径より細径の吐出経路によってそれぞれ個別に流路接続されているので、上記したように吐出口からの液垂れを生じることがない。
【００１６】
請求項３に係る発明のノズルでは、液溜め路と吐出口とを流路接続する吐出経路が、液溜め路から上方向に延びる連絡路と、この連絡路の上端部から横方向に延びる吐出路とから構成されているので、処理液の供給が停止された時に、連絡路を満たした処理液が、重力の作用により吐出路を通って吐出口から流出することはない。また、吐出口に連通する吐出路の内径が連絡路の内径より細くされているので、吐出路を満たした処理液が吐出口から流出して液垂れを生じる心配も無い。
【００１７】
請求項４に係る発明のノズルでは、横方向に延設された各液溜め路に沿った方向にそれぞれ複数個の吐出口が並列して設けられていることにより、処理液の供給量を多くしなくても、基板の表面上の広い範囲にわたって処理液を供給することができる。そして、前方側の液溜め路と各吐出口および後方側の液溜め路と各吐出口とはそれぞれ、液溜め路の内径より細径の吐出経路によってそれぞれ個別に流路接続されているので、上記したように吐出口からの液垂れを生じることがない。さらに、液溜め路と吐出口とを流路接続する吐出経路が、液溜め路から上方向に延びる連絡路と、この連絡路の上端部から横方向に延びる吐出路とから構成されているので、処理液の供給が停止された時に、連絡路を満たした処理液が、重力の作用により吐出路を通って吐出口から流出することはない。また、吐出口に連通する吐出路の内径が連絡路の内径より細くされているので、吐出路を満たした処理液が吐出口から流出して液垂れを生じる心配も無い。
【００１８】
また、平行に並んで前後に設けられた一対の液溜め路のうちの後方側の液溜め路から上方向に延びる連絡路が、前方側の液溜め路から上方向に延びる連絡路に対して前向きに傾斜しているので、前方側の液溜め路に流路接続した吐出口の位置（吐出口からの処理液の吐出位置）と後方側の液溜め路に流路接続した吐出口の位置（吐出口からの処理液の吐出位置）とを前後方向においてずらさなくても、前方側の液溜め路に流路接続した吐出路の長さと後方側の液溜め路に流路接続した吐出路の長さとを同等程度にすることが可能である。このように、前方側の液溜め路に流路接続した吐出口と後方側の液溜め路に流路接続した吐出口とにおける位置ずれを無くしもしくは小さくするとともに、前方側の液溜め路に流路接続した吐出路の長さと後方側の液溜め路に流路接続した吐出路の長さとを同等程度にすることにより、各吐出口から基板の表面へ供給される処理液の吐出状態が均一化される。
【００１９】
請求項５に係る発明のノズルでは、前方側の液溜め路に流路接続された各吐出口と後方側の液溜め路に流路接続された各吐出口とがそれぞれ交互に配置されることにより、横方向に並列した複数の吐出口から基板表面への処理液の供給状態が均等化される。
【００２０】
請求項６に係る発明のノズルでは、壁面から前向きに突出した短管状突出部の先端面に吐出口が設けられていることにより、吐出口から吐出される処理液が壁面に付着する心配が無くなる。
【００２１】
請求項７に係る発明のノズルでは、吐出経路の吐出口付近を前方下向きに傾斜させるように配置することにより、吐出口から吐出された処理液が基板の表面に当たる時の処理液と基板表面とのなす角度を適切に調整することが可能になる。一方、吐出経路の吐出口付近を前方下向きに傾斜させることにより、処理液の供給が停止された時に吐出口から処理液が流出して液垂れを生じる可能性が出てくるが、短管状突出部の前端部下部が水平方向に欠切されていることにより、吐出口での液切れが良好となるので、液垂れを生じる可能性が無くなる。
【００２２】
請求項８に係る発明の基板処理装置においては、上記したような作用を奏する処理液供給用ノズルを備えているので、基板保持手段に水平姿勢で保持された基板の表面へ処理液供給用ノズルの吐出口から処理液が吐出されて、処理液による基板の処理が行われる。そして、基板の処理が終了して、処理液の供給が停止された時には、処理液が吐出口から流出して液垂れを生じる、といったことが起こらない。したがって、液垂れが原因で基板の処理が不均一になる心配は無い。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図１ないし図９を参照しながら説明する。
【００２４】
図１ないし図６は、この発明の実施形態の１例を示し、図１は、基板への処理液供給用ノズルの正面図であり、図２は、その平面図であり、図３は、その左側面図であり、図４は、図１のＩＶ−ＩＶ矢視断面図であり、図５は、図１のＶ−Ｖ矢視断面図であり、図６は、図１のＶＩ−ＶＩ矢視断面図である。なお、図２は、ノズルの上面で切断した状態の平面図を示し、図３は、ノズル保持板を除去した状態のノズルを図示し、また、図５および図６では、処理液供給管の図示を省略している。また、図７は、この発明に係る基板処理装置の要部の構成の１例を示す概略図である。
【００２５】
基板処理装置は、図７に示すように、液晶表示装置用ガラス基板等の基板１を水平姿勢に吸着保持するスピンチャック２を備え、スピンチャック２は、回転自在に支持されており、図示しないスピンモータによって鉛直軸回りに回転させられるようになっている。また、基板処理装置は、保持板１２によって片持ち式に水平姿勢に保持されたノズル１０を備え、このノズル１０に、処理液、例えば洗浄液の供給装置（図示せず）に流路接続された２本の処理液供給管１４、１４（図３および図４参照）が上方から接続されている。図示していないが、保持板１２は、水平面内において旋回可能な支持アームに支持され、支持アームはノズル移動機構に取着されている。そして、ノズル１０は、ノズル移動機構によって支持アームを旋回させることにより、スピンチャック２に保持された基板１の上方位置と基板１の側方の退避位置との間を往復移動し、ノズル移動機構によって支持アームを昇降させることにより、基板１の表面に近接し基板１の表面から上方へ離間するようになっている。
【００２６】
ノズル１０は、横長の直方体形状をなし内部に液流路が形成された本体ブロック１６を有し、本体ブロック１６の前壁面には、その中央より僅かに上方の位置に複数の短管状突出部１８ａ、１８ｂが、横方向に並列しそれぞれ壁面から前向きに突出するように形設されている。そして、各短管状突出部１８ａ、１８ｂの先端面にそれぞれ吐出口２０ａ、２０ｂが前向きに設けられている。このように、本体ブロック１６の前壁面から前向きに突出した短管状突出部１８ａ、１８ｂの先端面に吐出口２０ａ、２０ｂを設けるようにすると、吐出口２０ａ、２０ｂから吐出される洗浄液が前壁面に付着する心配が無くなるので好ましい。各部の寸法の１例を示すと、短管状突出部１８ａ、１８ｂの各突出長さは、どちらも５ｍｍであり、短管状突出部１８ａ、１８ｂの外径が４ｍｍで、吐出口２０ａ、２０ｂの口径が２ｍｍである。
【００２７】
本体ブロック１６の液流路は、縦方向に穿設され一対の処理液供給管１４、１４がそれぞれ連通接続される一対の接続孔２２、２２と、この各接続孔２２、２２の下端部にそれぞれ連通し本体ブロック１６の下部において横方向に延設された一対の液溜め路２４ａ、２４ｂと、この各液溜め路２４ａ、２４ｂと各吐出口２０ａ、２０ｂとをそれぞれ流路接続する吐出経路とで形成されている。一対の液溜め路２４ａ、２４ｂは、互いに平行に並んで前後に配置されている。吐出経路は、液溜め路２４ａ、２４ｂから上方向に延びる連絡路２６ａ、２６ｂと、この連絡路２６ａ、２６ｂの上端部から横方向に延びて吐出口２０ａ、２０ｂに連通する吐出路２８ａ、２８ｂとで形成されている。そして、前方側の液溜め路２４ａと各吐出口２０ａとは、各別に吐出経路（連絡路２６ａおよび吐出路２８ａ）によってそれぞれ流路接続され、また、後方側の液溜め路２４ｂと各吐出口２０ｂとは、各別に吐出経路（連絡路２６ｂおよび吐出路２８ｂ）によってそれぞれ流路接続されている。
【００２８】
液溜め路２４ａ、２４ｂは、吐出口２０ａ、２０ｂより下方位置に形成されており、液溜め路２４ａ、２４ｂの両端部は、円板栓３０によってそれぞれ閉塞されている。また、連絡路２６ａ、２６ｂは、液溜め路２４ａ、２４ｂの内径より細径に形成されており、前方側の液溜め路２４ａから上方向に延びる連絡路２６ａの上端部は、円板栓３２によって閉塞されている。そして、吐出口２０ａ、２０ｂに連通する吐出路２８ａ、２８ｂは、連絡路２６ａ、２６ｂの内径よりさらに細径に形成されている。各路の内径寸法の１例を示すと、液溜め路２４ａ、２４ｂの内径が８ｍｍで、連絡路２６ａ、２６ｂの内径が４ｍｍで、吐出路２８ａ、２８ｂの内径（吐出口２０ａ、２０ｂの口径）が２ｍｍである。
【００２９】
また、後方側の液溜め路２４ｂから上方向に延びる各連絡路２６ｂは、前方側の液溜め路２４ａから上方向に延びる各連絡路２６ａに対して前向きに傾斜するように形成されている。これにより、図５および図６に示すように、前方側の液溜め路２４ａに流路接続した吐出口２０ａが設けられた短管状突出部１８ａの突出長さに比べて、後方側の液溜め路２４ｂに流路接続した吐出口２０ｂが設けられた短管状突出部１８ｂの突出長さを若干短くするだけで、前方側の液溜め路２４ａに流路接続した吐出路２８ａの長さａと後方側の液溜め路２４ｂに流路接続した吐出路２８ｂの長さｂとが同等になっている。吐出路２８ａ、２８ｂの長さａ、ｂの寸法例を示すと、９ｍｍ〜１２ｍｍである。
【００３０】
上記した構成を有するノズル１０においては、処理液供給管１４、１４を通って供給される洗浄液は、接続孔２２、２２を通って液溜め路２４ａ、２４ｂに流入し、液溜め路２４ａ、２４ｂから吐出経路（連絡路２６ａ、２６ｂおよび吐出路２８ａ、２８ｂ）を通って吐出口２０ａ、２０ｂへ送られ、吐出口２０ａ、２０ｂから吐出されて、水平姿勢に保持された基板の表面へ供給される。そして、このノズル１０には、複数個の吐出口２０ａ、２０ｂが横方向に並列して設けられているので、ノズル１０への洗浄液の供給量を多くしなくても、基板の表面上の広い範囲にわたって洗浄液を供給することができる。また、前方側の液溜め路２４ａに流路接続した吐出口２０ａと後方側の液溜め路２４ｂに流路接続した吐出口２０ｂとにおける位置ずれが無く、かつ、前方側の液溜め路２４ａに流路接続した吐出路２８ａと後方側の液溜め路２４ｂに流路接続した吐出路２８ｂとが同等程度の長さであるため、吐出口２０ａおよび吐出口２０ｂからそれぞれ基板の表面へ供給される洗浄液の吐出状態が均一になる。さらに、前方側の液溜め路２４ａに流路接続された各吐出口２０ａと後方側の液溜め路２４ｂに流路接続された各吐出口２０ｂとがそれぞれ交互に配置されているので、横方向に並列した複数の吐出口２０ａ、２０ｂから基板表面への洗浄液の供給状態が均等になる。
【００３１】
そして、処理液供給管１４からの洗浄液の供給が停止された時は、吐出口２０ａ、２０ｂが液溜め路２４ａ、２４ｂより上方に位置しているため、重力の作用によって洗浄液が吐出口２０ａ、２０ｂから流出することがない。さらに、吐出口２０ａ、２０ｂに流路接続する吐出経路（連絡路２６ａ、２６ｂおよび吐出路２８ａ、２８ｂ）の内径が液溜め路２４ａ、２４ｂの内径より細くされており、しかも、吐出口２０ａ、２０ｂに連通する吐出路２８ａ、２８ｂの内径が連絡路２６ａ、２６ｂの内径より細くされているので、吐出経路を満たした洗浄液が吐出口２０ａ、２０ｂから流出して液垂れを生じる心配も無くなる。
【００３２】
なお、保持板１２によりノズル１０を、例えば鉛直面から２５°〜３０°程度だけ前方側へ傾けるようにして保持し、図８および図９に示すように吐出路２８ａ、２８ｂが前方下向きに傾斜するように配置するようにしてもよい。このようにすると、吐出口２０ａ、２０ｂから吐出された洗浄液が基板の表面に当たる時の洗浄液と基板表面とのなす角度を適切に調整することが可能になる。一方、吐出路２８ａ、２８ｂを前方下向きに傾斜させると、洗浄液の供給が停止された時に吐出口２０ａ、２０ｂから洗浄液が流出しやすくなり、液垂れを生じる可能性が出てくる。この不都合を解消するためには、短管状突出部１８ａ、１８ｂの前端部下部を、吐出路２８ａ、２８ｂの先端下部に到達する程度まで水平方向に欠り切いて、短管状突出部１８ａ、１８ｂに欠切平坦面３４ａ、３４ｂを形成するようにするとよい。このようにすると、吐出口２０ａ、２０ｂでの液切れが良好となるので、液垂れを生じる可能性が無くなる。
【００３３】
なお、上記した実施形態では、吐出経路を、液溜め路２４ａ、２４ｂから上方向に延びる連絡路２６ａ、２６ｂと、この連絡路２６ａ、２６ｂの上端部から横方向に延びて吐出口２０ａ、２０ｂに連通する吐出路２８ａ、２８ｂとで形成するようにしたが、吐出口が液溜め路より上方に位置し、かつ、吐出経路の内径が液溜め路の内径より細く形成されておれば、吐出経路の形態は特に限定されない。また、上記実施形態では、一対の液溜め路２４ａ、２４ｂを平行に並べて前後に配置するようにしたが、単一の液溜め路だけを設けるようにしてもよい。さらに、上記実施形態では、液溜め路２４ａ、２４ｂを横方向に延設し、複数個の吐出口２０ａ、２０ｂを横方向に並列して設けるようにしているが、単一の吐出口を有するノズルについても、この発明は適用し得るものである。
【００３４】
また、上記した実施形態では、洗浄液を基板の表面へ供給するノズルを例にして説明したが、この発明は、洗浄液供給用ノズルに限らず、現像液、エッチング液、剥離液等の他の処理液を供給するためのノズルについても同様に適用し得るものである。
【００３５】
【発明の効果】
請求項１に係る発明の基板への処理液供給用ノズルを使用すると、吐出口からの液垂れを防止することができ、基板の処理の均一性を保持することができる。
【００３６】
請求項２に係る発明のノズルでは、処理液の供給量を多くしなくても、基板の表面上の広い範囲にわたって処理液を供給することができ、各吐出口からの液垂れも防止される。
【００３７】
請求項３に係る発明のノズルでは、吐出口からの液垂れもより確実に防止することができる。
【００３８】
請求項４に係る発明のノズルでは、処理液の供給量を多くしなくても、基板の表面上の広い範囲にわたって処理液を供給することができ、各吐出口からの液垂れも確実に防止される。また、前方側の液溜め路に流路接続した吐出口の位置と後方側の液溜め路に流路接続した吐出口の位置とを前後方向においてずらさなくても、前方側の液溜め路に流路接続した吐出路の長さと後方側の液溜め路に流路接続した吐出路の長さとを同等程度にすることが可能であり、各吐出口から基板の表面へ供給される処理液の吐出状態を均一化することが可能になる。
【００３９】
請求項５に係る発明のノズルでは、横方向に並列した複数の吐出口から基板表面への処理液の供給状態を均等化することができる。
【００４０】
請求項６に係る発明のノズルでは、吐出口から吐出される処理液が壁面に付着する心配を無くすことができる。
【００４１】
請求項７に係る発明のノズルでは、吐出口から吐出された処理液が基板の表面に当たる時の処理液と基板表面とのなす角度を適切に調整することが可能になり、液垂れを生じる可能性も無くすことができる。
【００４２】
請求項８に係る発明の基板処理装置を使用すると、処理液供給用ノズルの吐出口からの液垂れを防止することができるので、基板の処理の均一性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施形態の１例を示し、基板への処理液供給用ノズルの正面図である。
【図２】図１に示したノズルの平面図である。
【図３】図１に示したノズルの左側面図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ矢視断面図である。
【図５】図１のＶ−Ｖ矢視断面図である。
【図６】図１のＶＩ−ＶＩ矢視断面図である。
【図７】この発明に係る基板処理装置の要部の構成の１例を示す概略図である。
【図８】図１に示したノズルの変形例を示し、ノズルの一部である短管状突出部の拡大斜視図である。
【図９】同じく、図１に示したノズルの変形例を示し、ノズルの一部である短管状突出部の拡大斜視図である。
【図１０】従来の処理液供給用ノズルの１例を示す側面図である。
【符号の説明】
１  基板
２  スピンチャック
１０  ノズル
１２  保持板
１４  処理液供給管
１６  本体ブロック
１８ａ、１８ｂ  短管状突出部
２０ａ、２０ｂ  吐出口
２２  接続孔
２４ａ、２４ｂ  液溜め路
２６ａ、２６ｂ  連絡路
２８ａ、２８ｂ  吐出路
３０、３２  円板栓
３４ａ、３４ｂ  欠切平坦面
【図１】
2004186357.tif 000003
【図２】
2004186357.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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