(57)【要約】【課題】複数の開口部を有するノズルを容易に製作する。【解決手段】ガラスフリットを含むペーストをシート状の樹脂シートに塗布し、ペーストが塗布された樹脂シートを積層することにより積層部材７１が得られる。積層部材７１の積層方向に関する厚みを調整しつつ、積層方向に沿う一の側面、および、一の側面に対向する他の側面に支持部材７６を固定し、積層部材７１を一の側面に平行な面で切断することにより第１分割部材が得られる。第１分割部材の切断面には支持部材７６がさらに固定され、第１分割部材を一の側面に直交する他の側面に平行な面で切断することにより第２分割部材７が得られる。第２分割部材７を焼成することにより、積層部材７１の樹脂シートが除去されるとともにペーストのガラスフリットが融着し、ガラスフリットの焼成体により隔てられた開口部を有するノズルが製作される。【選択図】　　　　図１１
2004121978.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の開口部を有するノズルを製作するノズル製作方法であって、
セラミックスもしくは金属、または、これらの粉体を含む材料により形成される第１の層と樹脂により形成される第２の層とを交互に積層する工程と、
積層した部材の積層方向に沿う一の側面に第１支持部材を固定する工程と、
前記第１支持部材を固定する工程の前または後に、前記積層した部材を前記一の側面に平行な面で切断し、前記一の側面を有する切断された部材を得る工程と、
前記切断された部材の切断面に第２支持部材を固定する工程と、
前記切断された部材を加熱して前記第２の層に対応する部分を除去する工程と、
を有することを特徴とするノズル製作方法。
【請求項２】
請求項１に記載のノズル製作方法であって、
前記第２の層が樹脂シートであり、
前記積層する工程が、
低軟化点ガラスの粉体を含むペーストを前記樹脂シートに塗布する工程と、
前記ペーストが塗布された前記樹脂シートを積層する工程と、
を有することを特徴とするノズル製作方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のノズル製作方法であって、
前記第１支持部材および前記第２支持部材が、低軟化点ガラスの粉体を含む接着剤を介して固定されることを特徴とするノズル製作方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載のノズル製作方法であって、
前記積層した部材の前記積層方向に関して、前記第１の層と前記第２の層とのうち少なくともどちらか一方の厚みに変化を付けることを特徴とするノズル製作方法。
【請求項５】
複数の開口部を有するノズルであって、
所定方向に配列された複数の開口部の間を隔てる複数の隔離部と、
前記複数の隔離部を両側から挟む支持部材と、
を備え、
前記隔離部が低軟化点ガラスを含む焼成体であることを特徴とするノズル。
【請求項６】
基板上にパターンを形成するパターン形成装置であって、
パターン形成材料を吐出する請求項５に記載のノズルと、
基板の主面に沿って前記所定方向にほぼ垂直な方向に前記ノズルを前記基板に対して相対的に移動する移動機構と、
を備えることを特徴とするパターン形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ノズルを製作する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、プラズマ表示装置や有機ＥＬ表示装置等に用いられるパネルに隔壁や電極のパターンを形成する方法として、サンドブラスト法（フォトリソグラフィ法とも呼ばれる。）、スクリーン印刷法、リフトオフ法等が知られている。しかしながら、これらの方法は煩雑であり、生産コストを増加させる要因となっている。そこで、近年、微細な複数の開口部（以下、「吐出口群」とも呼ぶ。）を有するノズルからペースト状のパターン形成材料を吐出して基板上にパターンを形成する手法が提案されている。
【０００３】
上記手法において使用されるノズルとしては、例えば、幅１０〜１００μｍ、長さ２００〜４００μｍ程度の矩形の吐出口が形成されたものが用いられ、従来、このようなノズルは研削加工により製作されていた。具体的には、厚みが１０〜１００μｍ程度の砥石を用いて被加工部材に微細な溝を形成し、溝の配列方向に一定のピッチにて被加工部材を送ることで、多数の微細な溝が形成される。そして、被加工部材の溝が形成された面に蓋部材を貼り合わせることにより、各溝の開口側が閉塞され、多数の微細な吐出口を有するノズルが製作される。
【０００４】
また、機械加工またはレーザ加工で形成された空所部に充填部材が充填されたシート部材を積層し、焼成した後、充填部材を除去することにより開口部を有する部材を製作する手法も知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
一方、板材を積層しつつ、交互に端面の位置をずらすことにより凹凸が形成された成形型を製作し、パターン形成材料が充填された成形型を基板に当接させることで隔壁のパターンを形成する手法も提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−２４７３７６号公報
【特許文献２】
特開２０００−３５３４６８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、研削によるノズルの製作では、複数の溝を形成するうちに砥石が磨耗してしまい、溝の形状がばらついてしまうという問題がある。また、耐磨耗性に優れたノズルを製作する際には、加工時間が長くなるとともに、砥石の磨耗がより顕著になる（その結果、１つの砥石で加工できる溝数が少なくなる）ことから、砥石が高価であることと相まってノズルの製作コストが高くなってしまう。さらに、被加工部材の溝が形成された面と貼り合せる蓋部材の当接面との間に微小な隙間がある場合に、貼り合わせに使用される接着剤の吐出口へのしみ出しや不足が生じたり、また、貼り合わせ時に溝の開口側に欠けが生じたりする恐れがある。
【０００８】
一方、放電加工やレーザ加工により微細な孔を形成してノズルを製作する手法も考えられるが、これらの手法では、孔の深さ方向に進むにつれて加工精度が低下するという問題がある。また、十分に深い孔を形成することや、孔の断面形状を所望の形状（例えば、矩形）にすることが困難となる。
【０００９】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、複数の開口部を有するノズルを容易に製作することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、複数の開口部を有するノズルを製作するノズル製作方法であって、セラミックスもしくは金属、または、これらの粉体を含む材料により形成される第１の層と樹脂により形成される第２の層とを交互に積層する工程と、積層した部材の積層方向に沿う一の側面に第１支持部材を固定する工程と、前記第１支持部材を固定する工程の前または後に、前記積層した部材を前記一の側面に平行な面で切断し、前記一の側面を有する切断された部材を得る工程と、前記切断された部材の切断面に第２支持部材を固定する工程と、前記切断された部材を加熱して前記第２の層に対応する部分を除去する工程とを有する。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のノズル製作方法であって、前記第２の層が樹脂シートであり、前記積層する工程が、低軟化点ガラスの粉体を含むペーストを前記樹脂シートに塗布する工程と、前記ペーストが塗布された前記樹脂シートを積層する工程とを有する。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のノズル製作方法であって、前記第１支持部材および前記第２支持部材が、低軟化点ガラスの粉体を含む接着剤を介して固定される。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載のノズル製作方法であって、前記積層した部材の前記積層方向に関して、前記第１の層と前記第２の層とのうち少なくともどちらか一方の厚みに変化を付ける。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、複数の開口部を有するノズルであって、所定方向に配列された複数の開口部の間を隔てる複数の隔離部と、前記複数の隔離部を両側から挟む支持部材とを備え、前記隔離部が低軟化点ガラスを含む焼成体である。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、基板上にパターンを形成するパターン形成装置であって、パターン形成材料を吐出する請求項５に記載のノズルと、基板の主面に沿って前記所定方向にほぼ垂直な方向に前記ノズルを前記基板に対して相対的に移動する移動機構とを備える。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１はパターン形成装置１の概略構成を示す図である。パターン形成装置１は、プラズマ表示装置のガラス基板（以下、「基板」という。）９上に隔壁パターン９１を形成する装置であり、隔壁が形成された基板９は他の工程を介してプラズマ表示装置の組立部品であるパネル（通常、リアパネル）となる。
【００１７】
パターン形成装置１では、基台１１上にステージ移動機構２が設けられ、ステージ移動機構２により基板９を保持するステージ３が図１中に示すＸ方向に移動可能とされる。基台１１にはステージ３を跨ぐようにしてフレーム１２が固定され、フレーム１２にはヘッド部４が取り付けられる。
【００１８】
ステージ移動機構２は、モータ２１にボールねじ２２が接続され、さらに、ステージ３に固定されたナット２３がボールねじ２２に取り付けられた構造となっている。ボールねじ２２の上方にはガイドレール２４が固定され、モータ２１が回転すると、ナット２３とともにステージ３がガイドレール２４に沿ってＸ方向に滑らかに移動する。
【００１９】
ヘッド部４は、基板９上にペースト状のパターン形成材料を吐出する吐出部４２、および、基板９に向けて紫外線を出射する硬化部４３を有し、吐出部４２および硬化部４３はフレーム１２に固定されたベース４１の下部に取り付けられる。パターン形成材料としては、例えば、光開始剤が１〜３０％、アクリル系モノマー等のバインダが５〜５０％、複数種類の低軟化点ガラスフリットが４０〜９０％、その他、溶剤や添加剤が混合されたものが使用される。吐出部４２の下面には、Ｙ方向に配列された吐出口群を有するノズル５が着脱可能に取り付けられる。硬化部４３は吐出部４２の（−Ｘ）側において基板９に向かって光を出射し、各吐出口に対応する光のスポットを基板９上に形成する。
【００２０】
吐出部４２には逆止弁４２１を有する供給管４２２が取り付けられ、供給管４２２は分岐しており、一方がポンプ４２３に接続され、他方が制御弁４２４を介してパターン形成材料を貯留するタンク４２５に接続される。硬化部４３は光ファイバ４３１を介して紫外線を発生する光源ユニット４３２に接続される。
【００２１】
ステージ移動機構２のモータ２１、ポンプ４２３、制御弁４２４および光源ユニット４３２は制御部６に接続され、これらの構成が制御部６により制御されることにより、パターン形成装置１による基板９上への隔壁パターンの形成が行われる。
【００２２】
図２は吐出部４２を（−Ｚ）側から（＋Ｚ）方向を向いて見たときの様子を示す図である。吐出部４２の下面には挿入口４２６が設けられ、吐出口群５１を有するノズル５が吐出部４２を貫通する固定ねじ（図示省略）等に付勢されることにより挿入口４２６に固定される。ノズル５の吐出口群５１は、図２中のＹ方向に配列形成され、吐出口群５１をＸ方向に関して両側から挟むようにして支持部材５６が設けられる。
【００２３】
図３はノズル５の吐出口群５１近傍をさらに拡大して示す図である。図３に示すように、吐出口群５１ではＸ方向に長い矩形の吐出口５２がＹ方向に所定のピッチにて配列され、吐出口５２間は隔離部５３により隔てられる。吐出口５２および隔離部５３と支持部材５６（平行斜線を付して図示）との間には、隔離部５３とともに吐出口５２を形成する側壁部５５が設けられ、隔離部５３および側壁部５５は、低軟化点ガラスの焼成体によりおよそ一体的に形成されている。
【００２４】
次に、パターン形成装置１が隔壁パターンを形成する動作について説明を行う。パターン形成装置１に基板９が搬入されると、制御部６が光源ユニット４３２を制御することにより、硬化部４３から紫外線の出射が開始され、吐出部４２から基板９に向かってパターン形成材料の吐出が行われる。吐出部４２からのパターン形成材料の吐出は、図１に示す逆止弁４２１、ポンプ４２３および制御弁４２４により行われる。まず、制御部６の制御により制御弁４２４が開放された状態でポンプ４２３が吸引動作を行う。このとき、逆止弁４２１によりパターン形成材料の逆流が阻止されるため、タンク４２５からポンプ４２３へとパターン形成材料が引き込まれる。次に、制御部６の制御により制御弁４２４が閉じられ、ポンプ４２３が押出動作を行う。これにより、吐出部４２から連続的にパターン形成材料が吐出される。
【００２５】
パターン形成材料の吐出が行われる際には、制御部６がステージ移動機構２のモータ２１を駆動制御し、吐出部４２の下方にて基板９の表面が（−Ｘ）方向に移動するように、ステージ３を連続的に移動させる。これにより、ノズル５の吐出口５２から吐出されたパターン形成材料が基板９上に順次付着しつつ、吐出部４２の相対的な進行方向の後方に配置されている硬化部４３からの紫外線が基板９上のパターン形成材料に照射される。パターン形成材料には紫外線により硬化（架橋反応）が開始する光開始剤が添加されており、パターン形成材料の硬化が硬化部４３により順次行われる。
【００２６】
パターン形成材料の吐出が続けられ、基板９上のパターン形成の終点が吐出部４２（または、ノズル５）の真下に達すると、パターン形成材料の吐出が停止される。その後、終点近傍のパターン形成材料の硬化を行うために基板９がさらに移動し、ステージ３の移動制御および紫外線の出射が停止される。
【００２７】
以上の工程にて形成された隔壁パターンは他の工程において焼成され、パターン形成材料中の樹脂分が除去されるとともに、低軟化点ガラスフリットが融着して隔壁が形成される。なお、溶剤を多く含むパターン形成材料が用いられる場合には、焼成工程の前に内部の溶剤を乾燥除去させる工程が行われる。
【００２８】
以上のように、パターン形成装置１では、吐出口群５１を有するノズル５からパターン形成材料を吐出しつつ、基板９の主面に沿って吐出口群５１の配列方向にほぼ垂直な方向にノズルを相対的に移動することにより、基板９上に所定のピッチにて適切な隔壁パターンを形成することができる。
【００２９】
次に、上述のノズル５の製作方法の一の例について説明を行う。図４はノズル５を製作する工程の流れを示す図である。まず、シート状のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）（以下、「樹脂シート」という。）に低軟化点ガラスフリット（例えば、軟化点が４５０〜５６０℃のものであり、ここでは、約５６０℃のもの）とアクリル系モノマーとを混合したペーストが塗布される（ステップＳ１１）。図５はペースト７３が塗布された樹脂シート７２を示す図である。樹脂シート７２は、例えば、３０ｍｍ角の大きさで、厚みが１００μｍのものが使用され、乾燥時におけるペースト７３の厚みが２００μｍとなるように表面にペースト７３が一様に塗布される。なお、樹脂シート７２は複数の樹脂シートが重ね合わせられることにより所定の厚み（すなわち、１００μｍ）とされてもよい。
【００３０】
続いて、ペースト７３が塗布された樹脂シート７２（正確には、乾燥した後のペースト７３を有する樹脂シート７２）が積層される（ステップＳ１２）。図６はペースト７３が塗布された樹脂シート７２が積層された積層部材７１を示す図であり、積層部材７１では、ペースト７３が塗布された樹脂シート７２が３３０枚だけ重ね合わせられ、かつ、表裏両面にペースト７３が塗布された樹脂シート７２が最下部にさらに重ねられる。これにより、ペースト７３と樹脂シート７２とが交互に積層された積層部材７１が形成される。このとき、樹脂シート７２とペースト７３との間に介在する空気層を無視すると、積層部材７１の積層方向に関する厚みはおよそ１００ｍｍ（厳密には、９９．５ｍｍ）となる。
【００３１】
積層部材７１の上面７１ａおよび下面７１ｂ（すなわち、法線が積層方向を向く面７１ａ，７１ｂ）には、図７に示すように、低軟化点ガラスフリットと光硬化性樹脂等からなる紫外線硬化性接着剤とが混合されたペースト状の接着剤７５（平行斜線を付して図示）を介して補助板７４（例えば、アルミにより形成された板）が固定される。
【００３２】
ここで、使用される紫外線硬化性接着剤としては、紫外線硬化性に加えて、熱硬化性、プライマー硬化性、または、嫌気硬化性等の硬化機能を有する接着剤が用いられることが好ましい。これにより、補助板７４を積層部材７１に取り付けた後に、接着剤７５の表面（すなわち、光を照射することが可能な部分）を紫外線により硬化させ、紫外線を照射することができない部分を加熱、プライマーまたは嫌気（例えば、空気の遮断と金属接触）により硬化させることが可能となり、補助板７４を積層部材７１に適切に固定することができる。プライマー硬化性を有する紫外線硬化性接着剤が利用される場合は２液性の接着剤とされ、一方の液体が積層部材７１の面７１ａ，７１ｂに塗布され、他方の液体が補助板７４の表面に塗布される。なお、紫外線硬化性以外の接着剤が利用されてもよい。
【００３３】
補助板７４が固定されると、積層部材７１に対して積層方向に沿って圧縮する力を補助板７４を介して作用させることにより、積層部材７１の積層方向に関する厚みが調整される（ステップＳ１３）。実際には、図７の積層部材７１の厚みは、樹脂シート７２とペースト７３との間に介在する空気層の影響により１００ｍｍを超えているため、この厚みがおよそ１００ｍｍとなるように積層方向に沿って積層部材７１が圧縮される。このとき、介在する空気層はいずれの位置におけるものも均等に圧縮または除去されることから、積層方向に関する樹脂シート７２の中心位置間の距離はいずれもほぼ等しくなる。
【００３４】
積層部材７１の厚みが調整されると、積層部材７１の積層方向に沿う一の側面、および、一の側面に対向する側面（例えば、図７中の符号７１ｃ，７１ｄを付す面）に、支持部材７６が補助板７４と同様に、接着剤７５を介して固定される（ステップＳ１４）。前述のように、接着剤７５は紫外線硬化性に加えて、熱硬化性、プライマー硬化性、または、嫌気硬化性等の硬化機能を有することから、支持部材７６は積層部材７１に適切に固定される。図８は、２つの補助板７４および２つの支持部材７６が固定された積層部材７１を示す図である。なお、支持部材７６は金属またはセラミックス（ガラスを含む）により形成されるが、接着剤７５が嫌気硬化性を有する紫外線硬化性接着剤である場合には、支持部材７６は金属により形成されることが好ましい。
【００３５】
続いて、２つの補助板７４および２つの支持部材７６が固定された積層部材７１は、側面７１ｃ（図７参照）と平行な面で切断され、図９に示すように、側面７１ｃを有する部材７０２（以下、「第１分割部材」という。）、および、残りの部材７０１が得られる（ステップＳ１５）。このとき、第１分割部材７０２において側面７１ｃに垂直な方向に関する積層部材７１の幅は４００μｍとされる。なお、以下の説明において、明記した場合を除き、切断後の各種部材についても切断前と同符号を付している。
【００３６】
ステップＳ１５で得られた残りの部材７０１は、切断面７０１ｃ側に支持部材７６が固定され（ステップＳ１４）、面７０１ｃと平行な面で残りの部材７０１が切断されることにより（ステップＳ１５）、もう１つの第１分割部材７０２が得られる。このように、残りの部材７０１に対してステップＳ１４，Ｓ１５を繰り返すことにより（ステップＳ１６）、複数の（例えば、数十個の）第１分割部材７０２が得られる。なお、ステップＳ１５での切断後に切断面に対して研磨が施されることにより、切断面の平坦性が向上されてもよい。
【００３７】
第１分割部材７０２の切断面７０２ｄには、図１０に示すように、支持部材７６が接着剤７５を介して固定される（ステップＳ１７）。これにより、幅が４００μｍの積層部材７１の両側（すなわち、切断面７０２ｄ（図９参照）に垂直な方向に関する両側）に接着剤７５を介して支持部材７６が固定された第１分割部材７０２が形成される。そして、積層部材７１の側面７１ｃ（図７参照）と直交しつつ積層方向に沿う第１分割部材７０２の側面７０２ｅに平行な面で第１分割部材７０２を切断することにより、図１１に示すように、第２分割部材７が取得される（ステップＳ１８）。このとき、第２分割部材７の側面７０２ｅの法線方向に関する長さは、およそ５ｍｍとされる。また、第１分割部材７０２の残りの部材７０３についてもさらに切断が繰り返されることにより（ステップＳ１８，Ｓ１９）、複数（例えば、数個の）の第２分割部材７が取得される。なお、ステップＳ１８においても、ステップＳ１５と同様に、切断後の切断面に対して研磨が施されてもよい。
【００３８】
図１２は、第２分割部材７の積層部材７１近傍を拡大して示す図である。図１２に示すように、積層部材７１は、ペースト７３を隔てて多数（本実施の形態の場合、３３１個）の樹脂シート７２を有し、積層部材７１の両側には、接着剤７５を介して支持部材７６（平行斜線を付して図示）が固定されている。既述のように、積層方向に関するペースト７３の厚みは２００μｍであり、樹脂シート７２の厚みは１００μｍである。また、第２分割部材７の積層部材７１の積層方向に垂直な方向かつ側面７０２ｅ（図１１参照）に沿う方向に関する幅は、ステップＳ１５における切断により決定されることから４００μｍであり、側面７０２ｅの法線方向の長さは、ステップＳ１８における切断により決定されることから５ｍｍである。
【００３９】
続いて、第２分割部材７は焼成炉に搬入され、加熱される（ステップＳ２０）。例えば、第２分割部材７は４７０℃で２０分間焼成され、樹脂シート７２や接着剤７５に含まれる樹脂成分が除去される。さらに、ペースト７３および接着剤７５に含まれるガラスフリットの軟化点付近の温度（例えば、５５０℃）まで焼成炉内を昇温し、１０数分間保持することでガラスフリットが融着し、ペースト７３および接着剤７５に対応する部分がほぼ一体的な低軟化点ガラスの焼成体とされる。その結果、図３に示すような吐出口群５１を有するノズル５が製作される。
【００４０】
図１２に示す第２分割部材７の積層部材７１、樹脂シート７２、ペースト７３、接着剤７５および支持部材７６はそれぞれ図３の吐出口群５１、吐出口５２、隔離部５３、側壁部５５および支持部材５６に対応しており、前述のように、隔離部５３および側壁部５５は低軟化点ガラスの焼成体とされる。ノズル５の吐出口群５１では、３３１個の吐出口５２が、図３中のＹ方向の厚さが２００μｍの隔離部５３を隔てて配列される。吐出口５２の形状は吐出口群５１の配列方向（すなわち、図３中のＹ方向）に１００μｍ、あるいは隔離部５３の焼成収縮があって、これより若干広い寸法に、配列方向に垂直な方向（すなわち、図３中のＸ方向）に４００μｍの幅を有する矩形とされ、深さ（すなわち、図３中のＺ方向に続く吐出口５２の深さ）が５ｍｍとされる。
【００４１】
また、吐出口群５１における吐出口５２の配列ピッチは、図１２において、積層方向に関する樹脂シート７２の中心位置間の距離に対応し、３００μｍとなる。ステップＳ１３において、積層部材７１は積層方向に関して均等に圧縮されつつ、厚みが調整されることから、ノズル５において配列ピッチが一定かつ位置精度の高い吐出口群５１を形成することができる。
【００４２】
なお、実験では熱膨張係数が４〜９×１０−６／℃の低軟化点ガラスフリットと熱膨張係数が２４×１０−６／℃のアルミニウムとの間であっても焼成後に密着した状態となることが確認されている。補助板、支持部材の材質はアルミニウムに限らずガラス（熱膨張係数３〜２０×１０−６／℃）等のセラミックス、チタン（同８．３×１０−６／℃）、鉄鋼（同１１．７×１０−６／℃）等であってもよい。
【００４３】
以上に説明したノズル製作方法では、ガラスの粉体を含む材料により形成される層（すなわち、ペースト７３が形成する層）と樹脂により形成される層（すなわち、樹脂シート７２が形成する層）とを交互に積層し、積層した部材に支持部材を固定しつつ、所望の大きさに切断する。そして、切断した部材を加熱して樹脂層を除去することにより、ピッチ精度および形状精度の高い複数の吐出口５２を持つノズル５を容易に製作することができる。また、ノズル５は吐出口５２の周囲がガラスによりほぼ一体的に形成されるため、耐磨耗性に優れるとともに安定した吐出が可能である。
【００４４】
従来のように研削によりノズルを製作する場合と比較して、上述のノズル製作方法では、積層部材７１を積層方向に関して均等に圧縮しつつ、厚みを調整するため、研削において多数の吐出口を形成する場合に、溝加工位置の公差の累積により生じる吐出口の位置ずれを防止することができる。また、積層部材７１の積層数を変更し、または、樹脂シート７２やペースト７３の積層方向に関する厚み、もしくは、ステップＳ１５，Ｓ１８における切断位置を変更するのみで、容易に吐出口群５１の吐出口５２の総数、または、吐出口５２の形状やピッチを変更することが可能であるとともに、１度に複数のノズル５を製作することが可能であるため、ノズル製作に係るコストおよびパターン形成に要するコストの削減を図ることができる。
【００４５】
以上のノズル製作方法により製作されたノズル５がパターン形成装置１の吐出部４２に使用されることにより、パターン形成装置１では、ピッチ精度および形状精度の高い隔壁パターンを形成することができる。また、ノズル５は耐磨耗性に優れるとともに、しみ出し等が防止されるため、安定して隔壁パターンを形成することができる。
【００４６】
次に、ノズル製作方法の他の例について、図４のノズル製作工程の流れに沿って説明を行う（ただし、ステップＳ１８，Ｓ１９は省略されたものとなる。）。図１３は他の例に係る積層部材７１０を示す図である。まず、前述の例と同様に、厚みが１００μｍの樹脂シート７２にペースト７３を乾燥時の厚みが２００μｍとなるように塗布し（ステップＳ１１）、ペースト７３が塗布された樹脂シート７２０を積層する。続いて、同様にペースト７３がそれぞれ乾燥時の厚み１９５μｍ、１９６μｍ、１９７μｍ、１９８μｍ、１９９μｍとなるよう塗布された１０５μｍの厚みの樹脂シート７２０ａ、１０４μｍの厚みの樹脂シート７２０ｂ、１０３μｍの厚みの樹脂シート７２０ｃ、１０２μｍの厚みの樹脂シート７２０ｄ、および、１０１μｍの厚みの樹脂シート７２０ｅを積層方向に関する両端部側から積層方向中央部に向かって樹脂シート７２０ａ、樹脂シート７２０ｂ、樹脂シート７２０ｃ、樹脂シート７２０ｄ、樹脂シート７２０ｅの順序で位置するように積層することにより、積層部材７１０が形成される（ステップＳ１２）。なお、下部に位置する樹脂シート７２０ａについては、両面にペースト７３が塗布されている。
【００４７】
続いて、積層部材７１０の上面７１０ａおよび下面７１０ｂに、それぞれ補助板７４が接着剤７５を介して固定され、積層部材７１０の積層方向に関する厚みが調整された後に積層方向に沿う一の側面７１０ｄに支持部材７６が接着剤７５を介して固定され（ステップＳ１３）、一の側面７１０ｄに対向する側面７１０ｃに支持部材７６が接着剤７５を介して固定される（ステップＳ１４）。図１４は２つの補助板７４および１つの支持部材７６が固定された積層部材７１０を示す図である。図１４の積層部材７１０は、側面７１０ｃ（図１３参照）に直交する他の側面７１０ｅに平行な面で切断され、図１５に示すように、側面７１０ｅを有する切断後の部材（以下、「第１切断部材」という。）７１１が得られる。このとき、側面７１０ｅの法線方向に関する積層部材７１０の長さは５ｍｍとされ、切断面に対して研磨が施される。
【００４８】
第１切断部材７１１は、積層部材７１０の側面７１０ｃ（図１３参照）と平行な面で切断され、図１６に示すように、第１切断部材７１１の切断後の部材であって側面７１０ｃを有する部材（以下、「第２切断部材」という。）７１２が得られる（ステップＳ１５）。また、第２切断部材７１２の切断面（すなわち、側面７１０ｃと平行な切断面）７１２ｄには、研磨がさらに施され、研磨後の第２切断部材７１２の切断面７１２ｄの法線方向に関する積層部材７１０の幅は４００μｍとされる。このように、第２切断部材７１２とされた状態において、研磨により積層部材７１０の幅が調整されることにより、積層部材７１０の幅の精度を高くすることが可能となる。
【００４９】
また、上述のステップＳ１５において、積層部材７１０を切断した残りの部材、および、第１切断部材７１１を切断した残りの部材に対してステップＳ１４，Ｓ１５が繰り返されることにより複数の第２切断部材７１２が得られてもよい（ステップＳ１６）。なお、上述のステップＳ１５，Ｓ１６で行われる処理には図４のステップＳ１８，Ｓ１９と実質的に同等の処理が含まれている。
【００５０】
このようにして得られた第２切断部材７１２の切断面７１２ｄには、支持部材７６（ただし、第２切断部材７１２に既に固定されている支持部材７６と同形状とされた支持部材７６）が接着剤７５を介して固定され（ステップＳ１７）、図１１の第２分割部材７と同様の部材が得られる。そして、この部材が焼成炉にて加熱されることにより（ステップＳ２０）、吐出口の周囲が低軟化点ガラスの焼成体により形成されたノズルが形成される。このノズルは、吐出口群の配列方向に関する吐出口の長さが両端部側から中央部に向かって１０５μｍ、１０４μｍ、１０３μｍ、１０２μｍ、１０１μｍとなり、中央部では１００μｍとなっているため、このノズルをパターン形成装置１に使用することにより、ノズル端部において吐出圧の低下等に起因する隔壁パターンの幅の細りを補償することができる。
【００５１】
なお、第１の層や第２の層の厚みに変化を付ける（すなわち、例えば厚みの異なる樹脂シートが積層される）位置は、必ずしも積層方向の端部側である必要はなく、例えば、積層方向中央部に位置する樹脂シートの厚みが薄くされたり、ノズルがマニホールドに固定される場合に、マニホールドの接続口に対応する位置における吐出口の形状が吐出口群の配列方向に関して小さくなるように樹脂シートの厚みに変化が付けられてもよい。
【００５２】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【００５３】
上記実施の形態において製作されるノズル５は、パターン形成装置１においてパターン形成材料の吐出に使用される以外に、他の用途に使用されてもよい。また、ノズル５の形状は、上記実施の形態に限定されず、用途に応じて適宜変更されてよい。
【００５４】
ペースト７３または接着剤７５に含まれる粉体は、必ずしも低軟化点ガラスフリットのみである必要はなく、セラミックス（ガラスを含む）または金属の粉体を含んだものであってもよい。
【００５５】
積層部材において、ペースト７３が形成する層はセラミックスまたは金属により形成されてもよく、また、樹脂シートにより形成される層はＰＥＴ以外の樹脂により形成されてもよい。さらに、樹脂シートにより形成される層は、必ずしもシート状である必要はないが、他方の層がペーストである場合には、シート状であることが好ましい。
【００５６】
図４に示すノズル製作工程の流れは、可能な範囲内で適宜変更されてもよい。例えば、積層部材に支持部材７６を固定するステップＳ１４の前にステップＳ１５の切断が行われてもよい。その場合、例えば、ステップＳ１２においてペースト７３が塗布された樹脂シートを積層する際に、乾燥後のペースト７３の上面に接着剤等が塗布され、ペースト７３が塗布された樹脂シート間が接着剤等により固定された積層部材が形成される。
【００５７】
パターン形成装置１において、上記実施の形態では、ステージ３が移動することによりヘッド部４が基板９に対して相対的に移動するが、ステージ３が固定され、ヘッド部４が移動してもよい。
【００５８】
パターン形成装置１は、有機ＥＬ表示装置や液晶表示装置等の他の種類の平面表示装置（フラットパネルディスプレイ）における隔壁や配線、電極等のパターンの形成に利用されてもよい。また、基板９もガラス基板には限定されず、樹脂基板、半導体基板等であってもよい。
【００５９】
【発明の効果】
請求項１ないし４の発明では、複数の開口部を持つノズルを容易に製作することができる。
【００６０】
また、請求項２の発明では、ノズルの複数の開口部を低軟化点ガラスの焼成体により隔てることができ、請求項３の発明では、ノズルの複数の開口部と支持部材との間を低軟化点ガラスの焼成体により形成することができる。
【００６１】
請求項６の発明では、低コストにて適切なパターンを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】パターン形成装置の概略構成を示す図である。
【図２】吐出部を示す底面図である。
【図３】吐出口群を拡大して示す図である。
【図４】ノズルを製作する工程の流れを示す図である。
【図５】ペーストが塗布された樹脂シートを示す図である。
【図６】積層部材を示す図である。
【図７】積層部材に補助板および支持部材が固定される様子を示す図である。
【図８】補助板および支持部材が固定された積層部材を示す斜視図である。
【図９】積層部材が切断される様子を示す図である。
【図１０】第１分割部材を示す斜視図である。
【図１１】第１分割部材が切断される様子を示す図である。
【図１２】積層部材を拡大して示す図である。
【図１３】積層部材の他の例を示す図である。
【図１４】補助板および支持部材が固定された積層部材を示す斜視図である。
【図１５】第１切断部材を示す斜視図である。
【図１６】第２切断部材を示す斜視図である。
【符号の説明】
１　パターン形成装置
２　移動機構
５　ノズル
７　第２分割部材
９　基板
５１　吐出口群
５２　吐出口
５３　隔離部
５６，７６　支持部材
７１，７１０　積層部材
７１ａ〜７１ｄ，７０１ｃ，７０２ｄ，７０２ｅ，７１０ａ〜７１０ｄ，７１０ｅ，７１２ｄ　面
７２，７２０，７２０ａ〜７２０ｅ　樹脂シート
７３　ペースト
７５　接着剤
７０２　第１分割部材
７１１　第１切断部材
７１２　第２切断部材
Ｓ１１〜Ｓ２０　ステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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