(57)【要約】　　【課題】　カラー光変調器において、アナログカラー変調と高い光学効率とを両立させ、また各色の変調器の色同期を高密度に集積したもので実現する。　　【解決手段】　光変調器１０は、光源からの光１５によって照明されるように配置される少なくとも１つの回折格子２０と、この回折格子２０とアパーチャ３０の形成されたプレート４０とをこれらの面に沿う方向に相対移動可能に構成されるＭＥＭＳアクチュエータ５０とを含む。回折格子２０またはプレート４０は、回折格子２０によって回折された光を選択された方向に向けるために、アクチュエータ５０によって、選択された相対位置に移動できる。この相対移動は連続的であっても離散的であってもよい。回折格子２０は、選択された波長を選択された回折次数に回折するようにブレーズされてもよい。　　【選択図】　　図１Ｂ
2004145334.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　光源からの光を変調するための光変調器であって、
　前記光源からの前記光によって照明されるように配置される少なくとも１つの回折格子であって、１組の離散的な複数の位置の間を移動可能に構成される、少なくとも１つの回折格子と、
　前記少なくとも１つの回折格子を前記１組の離散的な複数の位置の中から選択された位置に移動させて、それにより、前記回折格子によって回折される選択された波長からなる光を選択された方向に向けるように構成されるＭＥＭＳアクチュエータとを含むことを特徴とする光変調器。
【請求項２】
　前記少なくとも１つの回折格子は、前記選択された波長を選択された回折次数に回折するようにブレーズされることを特徴とする請求項１に記載の光変調器。
【請求項３】
　それぞれが異なる波長用にブレーズされた３つ以上のブレーズされた回折格子を含むことを特徴とする請求項２に記載の光変調器。
【請求項４】
　前記少なくとも１つの回折格子は、１つの平面内に複数の平行な溝を有し、前記平面に概ね平行な軸に沿って平行移動することにより移動できるように構成されることを特徴とする請求項１に記載の光変調器。
【請求項５】
　光源からの光を変調するための光変調器であって、
　前記光源からの前記光によって照明されるように配置される１つあるいは複数のブレーズされた回折格子であって、第１の平面に概ね平行に配置される、１つまたは複数のブレーズされた回折格子と、
　第２の平面に沿って移動可能に配置される少なくとも１つのアパーチャと、
　前記第２の平面に概ね平行に前記少なくとも１つのアパーチャを移動させて、それにより、前記１つあるいは複数のブレーズされた回折格子によって回折される光を前記少なくとも１つのアパーチャを通るように選択的に誘導可能に構成される少なくとも１つのＭＥＭＳアクチュエータとを含むことを特徴とする光変調器。
【請求項６】
　光源からの光を変調するための光変調器であって、
　前記光源からの前記光によって照明されるように配置されるブレーズされた回折格子と、
　前記光源からの前記光に対して所定の角度範囲内で前記回折格子を傾けて、それにより、前記回折格子によって回折される選択された波長からなる光を選択された方向に向けるように構成されるＭＥＭＳ熱作動式アクチュエータとを含むことを特徴とする光変調器。
【請求項７】
　前記ＭＥＭＳ熱作動式アクチュエータは、前記ブレーズされた回折格子を３つ以上の所定の独立した角度に傾けて、それにより、前記ブレーズされた回折格子によって回折される３つ以上の所定の波長のうちの１つからなる光を選択された方向に選択的に向けるように構成されることを特徴とする請求項６に記載の光変調器。
【請求項８】
　光源からの光を変調するための光変調器を製造するための方法であって、
　基板を配設するステップと、
　所定のピッチで複数の平行な溝を形成するとともに前記複数の平行な溝をブレーズすることにより、前記基板上に少なくとも１つの回折格子を形成し、それにより、選択された回折次数の光を回折する少なくとも１つの回折格子を形成するステップと、
　前記回折格子と前記基板から離隔して配置される出力アパーチャとの間の所望の空間的な関係を確立するように配置かつ構成されるＭＥＭＳアクチュエータを形成するステップとを含み、それにより、少なくとも１つの選択された波長の光が前記出力アパーチャを通して選択的に誘導可能なことを特徴とする光変調器の製造方法。
【請求項９】
　請求項８に記載の方法によって形成されることを特徴とする光変調器。
【請求項１０】
　アレイ状に配列される、請求項１ないし７および９のいずれか１項に記載の光変調器を複数含むことを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明はカラー光変調器に関し、より詳細には、ＭＥＭＳアクチュエータによって駆動されるカラー光変調器に関する。
【背景技術】
【０００２】
　高解像度および高輝度のカラー光変調器には、教育、ビジネス、科学、技術、保健、スポーツおよびエンターテイメントのための情報を表示する際の応用例を含む、数多くの応用例がある。油膜式プロジェクタ（oil-film projector）、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、デジタル光ミラーアレイおよびデフォーモグラフィックディスプレイ（deformographic display）のような、いくつかの光変調器が大型画面に投影するために適用されてきた。可視スペクトルの範囲では、光学的効率が高く、ピクセレーションが発生しにくくてフィルファクタが高く、電子制御によって駆動するのに都合がよく、熱的に耐性のある、反射デジタルミラーアレイのような光変調器が開発されてきた。グレースケール表示の場合、各マイクロミラーの傾斜制御に二値パルス幅変調が適用されてきた。色を変更する場合（カラー表示の場合）、そのような変調器は通常、シーケンシャルカラーホイール（回転式カラーフィルタ）か、個々の固定カラーフィルタが各変調器に取り付けられたものを複数用いてきた。後者の場合に、複数種のカラー画像（たとえば、赤、緑および青）は光学的に再合成される。二値パルス幅変調および色情報の同期はいずれも、オフチップの電子回路によって、オンチップあるいはオフチップのドライバを制御することにより達成されてきた。
【０００３】
　各画素において回折格子を制御することによりディスプレイ内の明るい画素および暗い画素が生成され、薄膜リボンと基板表面との間の間隙を変更することにより各画素の格子間隔が効果的に変更される回折光変調器およびディスプレイも開発されている。通常、この原理を利用するカラーディスプレイでは、各画素当たり３つの異なる回折格子および３つの関連するアクチュエータが必要とされてきた。
【０００４】
　マイクロミラータイプの変調器および回折格子タイプの変調器はいずれも、マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）技法に基づくアクチュエータを利用してきた。またＭＥＭＳアクチュエータは、マイクロモータ、マイクロスイッチおよび流体の流量を制御するためのバルブのような他の応用形態においても用いられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
　種々のカラー光変調器がそれらの応用形態において広く成功を収めているが、カラー光変調器および空間光変調器の分野において、アナログカラー変調と高い光学効率とを両立させること、および各画素変調器の色同期（の機能）を高密度に集積することなどの要求が依然として満たされていない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
　本発明の一態様は光源からの光を変調するための光変調器において具現され、その光変調器は、光源からの光によって照明されるように配置される少なくとも１つの回折格子と、１つあるいは復数の回折格子を移動させるように構成されるＭＥＭＳアクチュエータとを含む。１つあるいは復数の回折格子は、回折格子によって回折される選択された波長の光を選択された方向に向けるために、ＭＥＭＳアクチュエータによって、選択された位置に移動できる（連続的か、あるいは１組の離散的な位置の中かのいずれか）ように構成される。回折格子は、選択された波長を選択された回折次数に回折するようにブレーズされることができる。回折格子は、回折格子の平面に対して平行な軸に沿って平行移動できるように構成されることができるか、あるいは回折格子の平面に平行な軸を中心に傾けられるように構成されることができる。アパーチャに対して回折格子を平行移動させる代わりに（あるいはそれに加えて）、アパーチャが回折格子に対して移動するように構成されることもでき、その動きは平行移動とすることができる。必要に応じ、傾斜軸は、回折格子の溝に対して平行にすることができる。ＭＥＭＳアクチュエータは、ブレーズされた回折格子を、３つ以上の所定の離散的な角度に傾けるように構成され、ブレーズされた回折格子によって回折された３つ以上の所定の波長からなる光を、選択された方向に選択的に向けることができる（たとえば、３つの波長はＲＧＢパレットの赤、緑および青に対応する）。
【０００７】
　空間光変調器が、多数の個別の変調器を集積させて製造することにより、たとえば個々の変調器をアレイに配列することにより形成されることができる。
【０００８】
　本発明の別の態様は、光源からの光を変調するための光変調器を製造するための方法である。その方法全体は、基板を配設するステップと、適当なピッチで間隔を置いて配置される複数の平行な溝を形成するとともに、選択された回折次数の光を回折するためにその平行な溝をブレーズすることにより、基板上に少なくとも１つの回折格子を形成するステップと、少なくとも１つの選択された波長からなる光を、出力アパーチャを通るように選択的に誘導するために、回折格子と出力アパーチャ（基板から離隔して配置される）との間の所望の空間的な関係を確立するように配置かつ構成されるＭＥＭＳアクチュエータを形成するステップとを含む。
【０００９】
　こうして、本発明を用いて、光源からの光の色を変調するための方法が用いられる。その方法は、（ａ）ブレーズされた回折格子を、変調する対象の光によって照明され、その光を回折するように配置することと、（ｂ）ブレーズされた回折格子と出力アパーチャとの間の空間的な関係を変更可能にＭＥＭＳアクチュエータを配置することと（ＭＥＭＳアクチュエータは電気信号に応答して空間的な関係を変更可能に構成される）、（ｃ）ＭＥＭＳアクチュエータへの電気信号を制御し、選択された回折次数の回折された光の選択された波長を出力アパーチャに向けることとを含む。この方法では、ＭＥＭＳアクチュエータは、回折格子に平行な軸を中心に、ブレーズされた回折格子を傾けるように、あるいはブレーズされた回折格子に概ね平行な平面において出力アパーチャを平行移動するように、あるいは出力アパーチャに概ね平行な平面において、ブレーズされた回折格子を平行移動するように構成されることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
　本開示の特徴および利点は、添付の図面とともに以下に記載される詳細な説明を読むことにより当業者には容易に理解されよう。
【００１１】
　本明細書および添付の特許請求の範囲を通して、用語「ＭＥＭＳ」は従来の意味のマイクロエレクトロメカニカルシステムのことである。
【００１２】
　図面は理解が容易になるよう描かれており、一様な縮尺で描かれていない。詳細には、垂直方向および水平方向の縮尺は互いに異なる場合があり、図面によって変わる場合もある。
【００１３】
　本発明は任意の特定の動作原理から導かれる結果に限定されるものとして解釈されるべきではないが、反射型回折格子は以下の回折格子の式に従うことが知られている。
　ｍ×λ＝ｄ×（ｓｉｎθ(i)＋ｓｉｎθ(m)）、　　ｍ＝０、±１、±２、　．．．
ただし、λは光の波長を表し、ｍは回折次数として知られる整数を表し、ｄは回折格子ピッチを表し、θ(i)は回折格子に垂直な方向に対する入射光ビームの角度を表し、θ(m)は、回折格子に垂直な方向に対するｍ次の回折された光ビームの角度を表す。
【００１４】
　回折の包絡面最大値がある特定の次数にシフトするように回折格子の溝を形成する技法として、回折格子をブレーズするものが知られている。β＝０のときに回折の包絡面最大値が生じる。このとき、任意の溝の中央部および縁部からの光線間のファーフィールド光路差（β）は０である。反射型回折格子の場合、溝の面上にアルミニウムのような高い反射率の材料を用いることにより、効率が高められる。
【００１５】
　以下に記載される詳細な説明では、白色光源からの光のための波長変調素子の一実施形態で説明を始める。その変調素子は、上記光源から白色光を受光するように配置される少なくとも１つの回折格子（光の所定の波長に対してブレーズされている）と、光源とブレーズされた回折格子との間の、ブレーズされた回折格子上に配置される少なくとも１つのアパーチャと、電気信号によって駆動されるのに応じて光源およびアパーチャに対して回折格子を移動させ、アパーチャを通して所定の波長の光を選択的に戻すためのＭＥＭＳ手段とを含む。図１Ａは、カラー光変調器（全体として参照番号１０によって示される）のこの第１の実施形態の概略的な平面図であり、図１Ｂは概略的な側断面図である。この素子は、他の従来のＭＥＭＳおよびコンプリメンタリ金属酸化膜シリコン（ＣＭＯＳ）処理と互換性のあるプロセスによって形成される。
【００１６】
　図１Ａおよび図１Ｂに示されるように、変調器１０は、基板２５上に形成されるブレーズされた回折格子２０を含む。光源（図示せず）からの白色光１５が変調器１０に入射する。ブレーズされた回折格子２０は、それぞれ異なる波長あるいは色、たとえば赤、緑あるいは青に対してブレーズされた部分である、少なくとも３つの部分１００、１１０および１２０を有し、さらに白色光を反射するか、あるいは光を概ね反射しない（効果的には黒色のエリア）ように構成される第４の部分１３０を必要に応じて有する。回折格子の部分１００、１１０および１２０をそれぞれ赤、緑および青に対してブレーズすることにより、たとえばＲＧＢディスプレイが実現される。第４の部分１３０の場合の黒色のオプションが図１Ａに示される。部分１３０は、領域を、放射率が概ね１となるように形成する（ユニットエミッシビティにする＝反射率を０に近づける）ことにより黒色になされることができる。別法では、部分１３０は、入射する白色光を反射するための反射性の高いエリアを形成することにより、概ね白色に見えるようになされることができる。回折格子２０上のプレート４０は、白色光１５を通過させるアパーチャ３０を有する。
【００１７】
　回折格子２０の回折格子部分１００、１１０および１２０は、基板２５上に形成される。所望の形のブレーズされた回折格子が、選択された結晶方位で準備されている単結晶シリコン表面を適宜に異方性エッチングすることにより微細機械加工できることは当業者には理解されよう。ある波長範囲に対して、適当な従来のレジストおよびフォトリソグラフィを用いて、回折格子の溝パターンを画定することができる。回折格子の溝パターンを画定するための別の既知の方法は、レーザホログラフィである。別法では、回折格子部分は、回折格子マスクを用いて、感光性ポリマー材料を所望の周期（溝ピッチ）および角度にパターニングすることにより形成されることができる。回折格子マスクは、たとえば、従来の電子線リソグラフィ、イオンビームリソグラフィあるいはＸ線リソグラフィによって形成することができる。１つのマスクに、２つ以上の回折格子のためのパターンを含むことができる。そのようなマスクの種々の回折格子パターンが、同じあるいは異なる溝ピッチおよびブレーズ角を有する回折格子を形成することができる。その後、アルミニウムあるいは他の反射率の高い材料からなる薄膜が回折格子表面にコーティングされ、反射効率が高められる。
【００１８】
　アクチュエータ５０が回折格子２０に対するアパーチャ３０の動き（あるいは、原理的にはその逆も同様）を与える。アクチュエータ５０には、回折格子２０および基板２５の平面に平行な平面内に平行移動することにより、アパーチャ３０を移動させるリニアアクチュエータを用いることができる。したがって、アクチュエータ５０は平面内の動きを与える。図２は、そのようなリニアアクチュエータ５０の第１の実施形態の概略的な側断面図である。図２に示されるアクチュエータの実施形態は、従来の櫛歯形駆動式アクチュエータのような静電アクチュエータである。アクチュエータ５０は、従来の微細機械加工によってポリシリコンから形成されることができる。その上側可動素子６０はアパーチャ３０に取り付けられ、そのベース７０は基板２５に固定されてもよい。静電櫛歯形駆動素子８０および９０は、従来のように静電的にリニアに駆動するために、適当なタイミングを有する適当な電気信号に接続される。可動素子６０はプレート４０と一体に形成されることができる。こうして、アパーチャ３０は、個別のプレート４０内に形成されるのではなく、アクチュエータ５０の可動素子６０内に形成されることができ、その場合に、プレート４０は可動素子６０そのものであり、ベース７０は基板２５そのものであり得る。そのような実施形態では、櫛歯形静電駆動素子９０は基板２５上に形成され、櫛歯形静電駆動素子８０はプレート４０上に形成される。アクチュエータ５０の上側表面は、アルミニウムあるいは他の反射性の高い材料でコーティングされる。
【００１９】
　図１Ａに示されるように、アクチュエータ５０は、その平面内の種々の方向にアパーチャ３０を移動させるように配置される多数のセグメントから成るものであってもよい。アクチュエータ５０は、ブレーズされた各部分１００、１１０、１２０および１３０上に配置される独立した位置に対してアパーチャ３０を適当に位置決めするように、それぞれ独立して移動することができる。すなわち、１組のブレーズされた部分１００、１１０、１２０および黒色エリア１３０上にアパーチャ３０を適宜位置決めすることにより、所定のパレット内の任意の所望の色の組み合わせを選択することができる。こうして、電子信号に応答するＭＥＭＳリニアステップアクチュエータによって、アパーチャ３０は、その１組の回折格子部分１００〜１３０を有する回折格子２０に対して平行な２次元の平面内を移動する。
【００２０】
　アパーチャ３０は、入射光１５がブレーズされた回折格子部分１００、１１０あるいは１２０のうちの選択された１つの部分によって回折され、その後、アパーチャ３０を通って所望の出力方向に回折して戻される（あるいは、黒色エリア１３０が選択される場合には、そのエリアによって吸収される）ように、アクチュエータ５０によって選択的に位置決めされる。選択された回折格子部分がアパーチャ３０に対して位置決めされるとき、対応する波長あるいは色の光が選択されて出力される。出力方向に集光あるいは投影光学系（図示せず）を設けることができる。オフチップの色同期は不要である。
【００２１】
　図３は、本発明に従って形成されるカラー光変調器の第２の実施形態の概略的な斜視図である。図４は、図３に示される第２の実施形態の概略的な側断面図である。この実施形態は、一端において基板１４０に固定され、連続的にあるいは離散的（段階的）に平面外に傾けられる、ブレーズされた回折格子２０を有する。固定素子１５０は、回折格子２０の一端を支持し、かつ固定する。回折格子２０は、その平面に平行な軸、詳細には回折格子の溝に平行な軸を中心に傾けられる。回折格子２０の傾斜は、電気信号に応答して熱的に作動するリフトアーム５５を用いて達成される。再び、白色光１５（図３には示されない）は、集光あるいは投影光学系に向かって、所望の出力方向に選択的に回折される。応用形態に応じて、回折格子は、１組の所定の互いに異なる角度（たとえば、ＲＧＢディスプレイの場合に３つの異なる角度）で、あるいは連続的な所定の角度範囲で傾けられる。変調器１０は、回折格子２０をある特定の角度まで傾けることにより各画素の色を変調し、その傾斜角を正確に制御することにより白色光スペクトル内の任意の色を選択する。ディスクリートモードでは、ＲＧＢ色パレットの赤、緑および青を選択するように、３つの独立した傾斜角値が予め規定される。
【００２２】
　ポリシリコン、ＴａＡｌ、ＴｉＷあるいはＷＳｉＮのような抵抗性の材料を、熱作動式のリフトアーム５５を加熱するために用いることができる。サーマルインクジェットプリンティングの分野において知られている電力制御回路技術を用いて、熱作動式のリフトアーム５５を制御することができる。図１Ａおよび図１Ｂの実施形態と比較すると、図３の実施形態は、撓み（偏向）をより大きくし、動作周波数をより小さくする必要があるシステムへの応用形態に適している。全ての色に対して、画素当たり１つの回折格子が用いられる。本例においても、オフチップの色同期は不要である。
【００２３】
　図５は、回折格子プレート当たり２つの熱作動式リフトアーム５５、５６を有する構成のカラー光変調器の第３の実施形態の概略的な側断面図である。２つの熱作動式リフトアーム５５、５６は、センターピボット、すなわち固定素子１５０の両側に配置される。２つのアクチュエータは差動的に用いられることができ、すなわち一方が伸長し、他方が収縮することができる。
【００２４】
　図６は、本発明に従って形成されるアクチュエータの第２の実施形態の概略的な側断面図である。図６に示されるアクチュエータは、予め形成された単一構造の熱作動式アクチュエータ１８０であり、図３〜図５のような実施形態のアクチュエータとして用いることができる。図６の熱作動式アクチュエータ５５を形成するために、シリコン基板１４０上に、シリコン酸化物の領域１６０が形成される。酸化物領域１６０を形成するためのプロセスは、従来のＣＭＯＳ集積回路製造において知られているフィールド酸化膜プロセスである。ポリシリコンあるいは他の適当な抵抗性材料の層１７０が堆積され、パターニングされる。図６は依然として酸化物が存在する場合を示すが、酸化物１６０は、予め形成された単一構造のアクチュエータ５５を残すようにエッチングすることにより除去される。図６の単一構造の熱膨張ビームの熱作動式アクチュエータ５５は、適当な所望の初期変形を与えるために予め形成される。
【００２５】
　図７は、本発明に従って形成されるアクチュエータの第３の実施形態を含む、カラー光変調器の第４の実施形態の概略的な側断面図である。図７のアクチュエータ５５は、マルチセグメントの熱作動式リフトアームである。図７に示されるような、３セグメント有機熱作動式アクチュエータは、３つのヒータ材料層２００、２１０および２２０からなり、各ヒータ材料層は異なる熱膨張係数を有する２つのポリイミド間に狭持される。
【００２６】
　図８は、本発明に従って形成されるカラー光変調器内の光の３つの波長のための角度を示す概略的な側断面図である。図８は１．６０８μｍの回折格子ピッチと、２０°の均一なブレーズ角とを有するブレーズされた反射型回折格子２０から回折された光線２６０、２７０および２８０を示す。入射白色光１５は左から水平に進入し、回折格子２０の平面に対して角度２５０で入射する。光は回折格子から回折され、左上に向かって外側に戻され、回折された光線２６０、２７０および２８０は出力光学系（図示せず）に入射する。表１は、示した３つの色それぞれにおける、回折格子２０の面に垂直な方向に対する角度偏差を示す。これらの３つの小さな角度偏差は、波長の違いに対してこのような変化が無くなるように、完成した光学式投影系の中で光学的に補償されることができる。
【００２７】
【表１】
2004145334.tif 000003
【００２８】
　熱作動式アクチュエータは一般的に、同等のサイズの静電型あるいは圧電型アクチュエータよりも大きな力および撓み（偏向）を与えるが、動作時の消費電力がより高く、周波数がより低い。これらの素子は熱膨張を利用して、平面内および平面外への動きを与える。以上では、モノモルフおよびバイモルフ構造の両方が例示されてきた。１％以内という高い所望の位置決めの安定性を与えるために、加えられるエネルギーは厳密に制御され、熱作動式アクチュエータの周囲環境は、たとえば、窒素のようなガスを利用する不活性ガス充填パッケージを用いることにより制御される場合がある。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
　本発明は、たとえば、情報処理装置とともに用いるための所望の色の光源あるいはカラーの情報表示装置を含む、数多くの技術的な応用形態において有用なカラー光変調器を提供する。
【００３０】
　上記の内容は、本発明の特定の実施形態を説明および例示してきたが、添付の特許請求の範囲によって規定されるような本発明の範囲および精神から逸脱することなく、それに対する種々の変更形態および変形形態が当業者によってなされることができる。たとえば、その回折格子がある平面内で平行移動および／または回転するとともに、その平面から傾斜することにより移動することができるように、種々の実施形態が組み合わせられる場合もあり、圧電型アクチュエータのような他のタイプのアクチュエータが用いられる場合もある。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１Ａ】本発明にしたがって形成されるカラー光変調器の第１の実施形態の概略的な平面図である。
【図１Ｂ】図１Ａに示される第１の実施形態の概略的な側断面図である。
【図２】本発明にしたがって形成されるアクチュエータの第１の実施形態の概略的な側断面図である。
【図３】本発明にしたがって形成されるカラー光変調器の第２の実施形態の概略的な斜視図である。
【図４】図３に示される第２の実施形態の概略的な側断面図である。
【図５】本発明にしたがって形成されるカラー光変調器の第３の実施形態の概略的な側断面図である。
【図６】本発明にしたがって形成されるアクチュエータの第２の実施形態の概略的な側断面図である。
【図７】本発明にしたがって形成されるアクチュエータの第３の実施形態を含む、カラー光変調器の第４の実施形態の概略的な側断面図である。
【図８】本発明にしたがって形成されるカラー光変調器内の光の３つの波長のための角度を示す概略的な側断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
　１０　カラー光変調器
　１５　白色光（入射白色光）
　２０　回折格子（ブレーズされた回折格子）
　２５、１４０　基板
　３０　アパーチャ
　４０　プレート
　５０　リニアアクチュエータ
　５５、１８０　単一構造のアクチュエータ（熱作動式アクチュエータ）
　５５、５６　リフトアーム
　６０　上側可動素子
　７０　ベース
　８０、９０　静電櫛歯型駆動素子
１００、１１０、１２０、１３０　回折格子の部分
１４０　シリコン基板
１５０　固定素子
１６０　シリコン酸化物の領域
１７０　抵抗性材料の層
２００、２１０、２２０　ヒータ材料層
２６０、２７０、２８０　回折された光線
【図１Ａ】
2004145334.tif 000004
【図１Ｂ】
2004145334.tif 000005
【図２】
2004145334.tif 000006
【図３】
2004145334.tif 000007
【図４】
2004145334.tif 000008
【図５】
2004145334.tif 000009
【図６】
2004145334.tif 000010
【図７】
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【図８】
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