(57)【要約】【課題】生産計画の全体的な流れを反映した上で各工程内でのロット毎の出庫優先順位を自動的に決定できるようにした作業支援システムを提供する。【解決手段】ストッカＳへのロット２の入出庫を検出するストッカ入出庫検出手段３と、製品管理情報や作業進捗情報などの基礎情報を管理する基礎情報管理手段１５と、ストッカＳ内のロット格納番地などのストッカ情報を管理するストッカ情報管理手段１６と、ストッカＳ内のロット保管場所を把握するとともに、上記の基礎情報に基づいてロット２毎の処理の優先順位を決定する処理順位決定手段１７と、この処理順位決定手段１７で決定された各ロット２毎の優先順位およびその保管場所を作業者に対して指示する作業指示手段２０とを備えている。【選択図】　　　　図１
2004106950.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造設備に投入されるロットを一時的に保管するストッカが各工程毎に配備されるとともに、上記ストッカに対して当該ストッカへのロットの入出庫を検出するストッカ入出庫検出手段が設けられる一方、製品情報や当該製品の生産計画情報などの基礎情報を管理する基礎情報管理手段と、上記ストッカ内のロット格納番地などのストッカ情報を管理するストッカ情報管理手段と、上記ストッカ入出庫検出手段およびストッカ情報管理手段の各情報に基づいてストッカ内の実際のロット保管場所を把握するとともに、上記基礎情報管理手段の基礎情報に基づいてロット毎の処理の優先順位を決定する処理順位決定手段と、この処理順位決定手段で決定された各ロット毎の優先順位およびその保管場所を作業者に対して指示する作業指示手段と、を備えることを特徴とする作業支援システム。
【請求項２】
強制的に出庫されるべきロットを指定する強制払出指定手段を備え、上記処理順位決定手段は、上記基礎情報管理手段の基礎情報に基づいて決定されるロット処理の優先順位よりも上記強制払出指定手段で指定されたロットの処理を優先させるものであることを特徴とする請求項１記載の作業支援システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置などの製造ラインの各工程においてストッカに保管されている各仕掛品の出庫指示を適切に行えるようにした作業支援システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体装置の製造ラインでは、たとえば、ダイボンディングやワイヤボンディング、モールド等の組み立て工程、リードメッキ工程、検査工程等を経て製品が完成される。
【０００３】
このような製造ラインでは、仕掛品がロット単位でロットケースに収納された状態で各工程の製造設備Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…に投入され、また、各設備Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…間での搬送が行われる。なお、ここでは、仕掛品がロット単位でロットケースに収納された状態のものを単にロットと称するものとする。
【０００４】
また、各工程の製造設備Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…の処理時および搬送時のバッファとして、各工程の製造設備Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…に付属してロットを一時的に保管するストッカＳが配備されている。すなわち、仕掛品が収納されたロットは各工程のストッカＳに入庫されて一時的に保管され、適切な時期になるとストッカからロット単位で出庫された後、当該工程の製造設備Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…に投入されて所定の処理が行われる。そして、処理後のロットは、次の工程のストッカＳに搬送されて一時保管される。
【０００５】
ところで、ストッカＳに一時的に保管されているロットをその工程の製造設備Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…に投入する場合、処理を円滑に行う上で、作業のストッカＳから出庫すべきロットの優先順位を予め設定しておく必要がある。そこで、従来技術では、複数工程からなる所定の管轄エリアあるいは工場毎にロット進捗状況を監督する監督者を割り当て、また、各工程においてはストッカＳに保管されているロットを製造設備Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…まで搬送する作業者を割り当てている。
【０００６】
そして、監督者は各工程に配備されたストッカＳに保管されているロットの出庫時の優先順位を把握し、ストッカＳ内のロットを優先順位に従って並び替えるなどして、作業者が出庫作業を行い易いようにしている。また、その際、監督者は各ロットに優先順位を表記したタグ票を貼り付けるなどして作業者に出庫すべきロットの順番を伝達するようにしている。
【０００７】
一方、作業者は、ストッカＳ内に保管されている多数のロットの内から、ロットに貼り付けられたタグ票の内容を確認して優先して出庫すべきロットを選択し、選択したロットを製造設備まで搬送する。また、製品納期が早められるなど、緊急を要するロットについては、監督者が作業者に直接に指示を出してストッカに保管されているロットを早期に出庫するようにしている。
なお、作業支援システムに関連する先行技術文献としては、次のような特許文献１〜５がある。
【０００８】
【特許文献１】
特開平８−３１８４５３号公報（第４−６頁、図１）
【特許文献２】
特開平４−２７０４５９号公報（第２−６頁、図１）
【特許文献３】
特開平７−１２９６７２号公報（第３頁、図１）
【特許文献４】
特開平６−３４８３１０号公報（第３−６頁、図１，図１１）
【特許文献５】
特開平９−６６４４２号公報（第３−４頁、図１、図２）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来、監督者がストッカに保管されている各ロットの処理の優先順位を決定する場合、監督者は生産計画に則って一貫した優先順位を設定するといったことは行っておらず、所定の管轄エリア内あるいは各工場内で独自に優先順位を設定しているのが実情である。つまり、前工程からの進捗遅延状況や、生産計画に沿った工程処理予定日を把握した上でロットの出庫優先順位を決定するといったことは行われておらず、専ら監督者の経験によって各工程内で効率的に処理が行えるように優先順位が決定されている。
【００１０】
したがって、局所的な各工程ではロット処理が良好な着手手順となっている場合であっても、製造ライン全体では、予め設定した生産計画から大幅に納期が遅延するなどのトラブルが発生している。
【００１１】
また、従来は、専ら監督者の経験によって各工程内で効率的に処理が行えるように優先順位が決定されているので、各工程において、段取り替えなどの手間のかかる作業は、通常後回しにされ易い傾向になり、製造工期に偏りが生じるなどの問題があった。
【００１２】
さらに、従来、監督者は、ストッカ内のロットを優先順位に従って並び替えたり、ロットに優先順位を表記したタグ票を貼り付けるなどの作業を行うなど、余分な手間と労力が必要となっている。しかも、作業者は、ストッカ内に保管されている多数のロットの内から、ロットに貼り付けられたタグ票の内容を逐次確認することにより、優先して出庫すべきロットを選択する必要があるため、目的のロットを選択するまでに余分な時間がかかるだけでなく、作業者の不注意で目的外のロットを誤って選択してしまうといったミスを生じることがあった。
【００１３】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、生産計画の全体的な流れを反映した上で、各工程内でロット毎の出庫優先順位を適切に、かつ自動的に決定して作業者に的確に指示できるようにし、これによって、処理の進捗を円滑かつ効率的に行えるようにした作業支援システムを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するために、次のようにしている。
【００１５】
すなわち、請求項１記載の発明に係る作業支援システムは、製造設備に投入されるロットを一時的に保管するストッカが各工程毎に配備されるとともに、上記ストッカに対して、当該ストッカへのロットの入出庫を検出するストッカ入出庫検出手段が設けられる一方、製品情報や当該製品の生産計画情報などの基礎情報を管理する基礎情報管理手段と、上記ストッカ内のロット格納番地などのストッカ情報を管理するストッカ情報管理手段と、上記ストッカ入出庫検出手段およびストッカ情報管理手段の各情報に基づいてストッカ内の実際のロット保管場所を把握するとともに、上記基礎情報管理手段の基礎情報に基づいてロット毎の処理の優先順位を決定する処理順位決定手段と、この処理順位決定手段で決定された各ロット毎の優先順位およびその保管場所を作業者に対して指示する作業指示手段とを備えることを特徴としている。
【００１６】
請求項２記載の発明に係る作業支援システムは、請求項１記載の構成において、強制的に出庫されるべきロットを指定する強制払出指定手段を備え、上記処理順位決定手段は、上記基礎情報管理手段の基礎情報に基づいて決定されるロット処理の優先順位よりも上記強制払出指定手段で指定されたロットの処理を優先させるものであることを特徴としている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１に係る作業支援システムの要部構成を示すブロック図、図２はストッカの全体を示す斜視図である。
【００１８】
この実施の形態１における作業支援システム１は、半導体装置の製造ラインに対して適用されるもので、図６に示したように、製造ラインの各工程の製造設備Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，…には、ロットを一時的に保管するストッカＳが配備されている。
【００１９】
ストッカＳは、図２に示すように、たとえば複数段（ここでは３段）の各棚に複数（ここでは３個）のロット２が配置されるようになっている。そして、このストッカＳに対しては、当該ストッカＳへのロット２の入出庫を検出するストッカ入出庫検出手段３が設けられている。
【００２０】
このストッカ入出庫検出手段３は、本例では、ストッカＳ内の各ロット２の保管場所を特定できるように保管場所ごとにロット格納番地として付された所在地バーコード６、各ロット２を特定できるようにロット２ごとに付された固有のキーＮｏ．バーコード７、各バーコード６，７を読み取るために作業者によって操作される図示しないハンディタイプのバーコードリーダ、および出庫時に作業者によって操作される出庫ボタン８を備えてなる。また、ストッカＳにはロット２の各保管場所ごとに出庫状態と入庫状態をそれぞれ示すための入庫ランプ９および出庫ランプ１０が設けられており、出庫ランプ１０は出庫ボタン８内に内蔵されている。
【００２１】
さらに、この作業支援システム１では、ロット２の入出庫の制御処理を行うためにパーソナルコンピュータなどからなる制御装置１４を備えている。そして、この制御装置１４は、所定の制御プログラムをインストールすることにより、基礎情報管理手段１５、ストッカ情報管理手段１６、および処理順位決定手段１７が構築されるとともに、指示入力手段１８、タイマ１９、およびモニタ２０が設けられている。
【００２２】
上記の基礎情報管理手段１５は、製品情報や当該製品の生産計画情報などの基礎情報を管理するものである。また、ストッカ情報管理手段１６は、上記ストッカＳが所属する工程名や、ストッカＳ内のロット格納番地などのストッカ情報を管理するものである。さらに、処理順位決定手段１７は、上記ストッカ入出庫検出手段３およびストッカ情報管理手段１６の各情報に基づいてストッカＳ内の実際のロット保管場所を把握するとともに、上記基礎情報管理手段１５の基礎情報に基づいてロット２毎の処理の優先順位を決定するものである。
【００２３】
指示入力手段１８は、特許請求の範囲における強制払出指定手段に相当するもので、キーボードやマウス等からなり、必要に応じて強制的に出庫されるべきロット２を指定できるようになっている。この場合、処理順位決定手段１７は、基礎情報管理手段１５の基礎情報に基づいて決定されるロット処理の優先順位よりも指示入力手段１８で指定されたロットの処理を優先させる処理を行うように構成されている。
【００２４】
タイマ１９は、時刻管理のために現在時刻を計時するものである。また、モニタ２０は、特許請求の範囲における作業指示手段に相当するもので、液晶表示パネルやＣＲＴ等からなり、処理順位決定手段１７で決定された各ロット２毎の優先順位およびその保管場所を画面上で作業者に対して指示するようになっている。
【００２５】
次に、上記構成の作業支援システム１における作業者の作業手順、ならびに、これに伴う制御装置１４の各部の動作について説明する。
【００２６】
当該工程における仕掛かり対象となるロット２をストッカＳに入庫して一時的に保管する場合、まず、作業者が台車等でロット２をストッカＳまで搬入し、ストッカＳの入庫ランプ９が消灯している任意の場所にロット２を載置する。そして、ストッカ入出庫検出手段３を構成する図示しないバーコードリーダによって、入庫したロット２に付されているキーＮｏ．バーコード７、およびそのロット３の載置場所に付されている所在地バーコード６をそれぞれ読み取る。
【００２７】
バーコードリーダで読み取られたキーＮｏ．バーコード７の情報はロット２を特定するロットＩＤとして、また、所在地バーコード６はストッカＳ内の実際のロット２の保管場所を特定する保管場所ＩＤとして制御装置１４の処理順位決定手段１７に取り込まれる。
【００２８】
処理順位決定手段１７は、バーコードリーダでキーＮｏ．バーコード７を読み取って得られるロットＩＤと、所在地バーコード６を読み取って得られる保管場所ＩＤの情報、およびストッカ情報管理手段１６に予め格納されているストッカＳが所属する工程名やストッカＳ内のロット格納番地などのストッカ情報に基づいて、ストッカＳ内の各ロット２の実際の保管場所を把握する。そして、今回入庫されたロット２が載置された箇所にある入庫ランプ９を点灯して入庫が行われたことが分かるようにする。
【００２９】
続いて、処理順位決定手段１７は、図３のフローチャートに示す手順によって、ロット毎の処理の優先順位を決定する。
【００３０】
まず、基礎情報管理手段１５に予め格納されている製品情報や当該製品の生産計画情報などの基礎情報を収集する（ステップ１）。次いで、基礎情報に含まれる各ロット２の工程予定日時と、タイマ１９で計時される現日時の情報とから、進捗遅延日時を次式に基づいて計算する（ステップ２）。
進捗遅延日時＝現日時−工程予定日時　　　　　　……　▲１▼
ここで、進捗遅延日時が正であれば、現時点のロットは生産計画に基づく工程予定日時から遅れており、逆に、進捗遅延日時が負であれば、現時点のロットは、工程予定日時に対して余裕があることを示している。
【００３１】
次に、処理順位決定手段１７は、図４に示すように、製品情報や当該製品の生産計画情報などの基礎情報、ロット２を特定するロットＩＤ、各ロット２の保管場所を特定する保管場所ＩＤ、さらに進捗遅延日時の各情報を入手した後、図５に示すように、同一工程名、同一使用装置毎に、進捗遅延日時の大きいロットの順に優先順位を決定する。その際、進捗予定日時が同じであれば、入庫日時の早いロットから順に優先順位を決定する（ステップ３，４）。
【００３２】
こうして各ロット２について優先順位が決定されると、処理順位決定手段１７は、優先順位が決定された各ロット２の情報をモニタ２０に出力する。したがって、モニタ２０には、進捗遅延日時の大きいロットから順に、使用装置、ロットＩＤ、品種名、処理工数などの情報が表示される。
【００３３】
そのため、作業者は、ストッカＳ内のどのロット２を優先的に出庫すべきかを容易に認識することができる。さらに、処理順位決定手段１７は、ストッカＳ内において最も優先順位の高いロット２が保管されている位置にある出庫ランプ１０を点灯して作業者に明示する（ステップ５）。そのため、作業者は従来のようにタグ票を逐次確認しながら出庫すべきロットを探す必要がないので余分な労力が削減される。
【００３４】
このように、この実施の形態１の作業支援システム１は、製品の生産計画の全体的な流れを反映した上で各工程内でのロット２の出庫優先順位が自動的に決定されて作業者に的確に指示される。このため、監督者の経験に頼ることなく、製品処理の進捗を円滑かつ効率的に行うことが可能となる。また、各工程において、段取り替えなどの手間のかかる作業であっても後回しにされないので、製造工期に偏りが生じるなどの不都合も回避される。
【００３５】
ここで、上記のステップ４において、出庫対象となるロット２の優先順位が決定されてモニタ２０に表示されている状態で、指示入力手段１８により現在からの経過時間Ｔ（たとえば８時間後）を入力すると、処理順位決定手段１７は、基礎情報に基づいて各ロット２の処理に要する時間を計算し、その経過時間Ｔに到達した時に出庫対象となるべきロット２を抽出する。そして、モニタ２０の画面上において、その出庫対象となるロット２の横にたとえば★の印を表示する。
【００３６】
したがって、監督者や作業者は、どれくらいの時間が経過すると、どのロット２が出庫対象となるかを把握することができる。このように、ロット２毎に使用設備に投入される時期を予測することが可能となるので、そのロット２の処理に対して段取り替え等が必要であれば、その時期を見計らって準備を進めることができる。そのため、効率的な段取り替えを行うことができ、設備の稼働効率を向上させることが可能になる。
【００３７】
また、上記のステップ４において、出庫対象となるロット２の優先順位が決定されている場合でも、あるロット２について製品納期が早まったり、あるいは製造ラインの途中でロット２の欠陥が発見されるなどの不都合が生じたりするなど、ストッカＳ内に保管されているロット２の内、特定のロット２を最優先して出庫する必要が生じることがある。
【００３８】
そのような場合には、指示入力手段１８によって最優先に出庫すべきロット２を指定する。すると、これに応じて処理順位決定手段１７は、上記のようにして決定された処理の優先順位よりも指示入力手段１７によって指定されたロット２の出庫処理を優先させる強制払出処理を行う（ステップ７）。すなわち、指定されたロット２が優先順位の最上位の出庫対象となるようにモニタ２０の表示を入れ替えるとともに、その指定されたロット２が保管されている位置にある出庫ランプ１０を点灯して作業者に明示する。
以上のステップ１〜ステップ７の処理は、ストッカＳに新たなロット２が入庫されるたびに繰り返される。
【００３９】
作業者は、モニタ２０の表示内容および出庫ランプ１０の点灯場所を確認した後、出庫ランプ１０の点灯している場所にあるロット２を取り出して、出庫ボタン８を押す。これに応じて、入庫ランプ９および出庫ランプ１０が消灯する。ストッカＳから取り出したロットは、作業者が当該工程の製造設備まで搬送することで所定の処理が行われる。
【００４０】
なお、上記の実施の形態１では、半導体装置の製造ラインに対して本発明を適用した場合について説明したが、本発明はこのような製造ラインに限定されるものではなく、他の工業製品を生産する製造ラインに対して広く適用することができる。
【００４１】
【発明の効果】
本発明の作業支援システムによれば、次の効果が得られる。
（１）　請求項１記載の発明では、生産計画の全体的な流れを反映した上で各工程内でのロットの出庫優先順位を自動的に決定して作業者に的確に指示することができる。このため、監督者の経験に頼ることなく、処理の進捗を円滑かつ効率的に行うことが可能となる。また、各工程において、段取り替えなどの手間のかかる作業であっても後回しされることがないので、製造工期に偏りが生じるなどの不都合も回避される。
【００４２】
また、作業指示手段によって優先順位に沿って処理すべきロットがどれかが明確に示されるので、従来のように、監督者がストッカ内のロットを優先順位に従って並び替えたり、各ロットに優先順位を表記したタグ票を貼り付けるなどの作業が不要となり、進捗管理の手間と労力を削減することができる。しかも、作業者は作業指示手段で指示された内容に沿ってロットを出庫すればよく、従来のようにタグ票を逐次確認しながら出庫すべきロットを探す必要がなくなるので、作業者にとっても余分な労力が削減される。
【００４３】
さらに、各ロット毎に使用設備に投入される時期を予測することが可能となるので、そのロットの処理に対して段取り替え等が必要であれば、その時期を見計らって準備を進めることができる。そのため、効率的な段取り替えを行うことができ、設備の稼働効率を向上させることが可能になる。
【００４４】
（２）　請求項２記載の発明では、強制払出指定手段で最優先に出庫すべきロットを指定することで、処理順位決定手段は、基礎情報管理手段の基礎情報に基づいて決定されるロット処理の優先順位よりも強制払出指定手段で指定されたロットの出庫処理を優先させるので、製品納期が早まったり、製造ラインの途中で仕掛品に不都合が生じたりして、ストッカ内に保管されているロットの内の特定のロットを最優先して出庫する必要が生じた場合にも対応することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る作業支援システムの要部構成を示すブロック図である。
【図２】製造ラインの各工程においてロットを一時的に保管するために配備されたストッカを示す斜視図である
【図３】図１の制御装置における動作説明に供するフローチャートである。
【図４】本発明の作業支援システムにおいて、ロット毎に処理の優先順位を決定する方法を示す説明図である。
【図５】本発明の作業支援システムにおいて、出庫対象となるロットの優先順位が決定された場合の内容を示す説明図である。
【図６】半導体装置の製造ラインの一部を示す説明図である。
【符号の説明】
１　作業支援システム、Ｓ　ストッカ、２　ロット、３　ストッカ入出庫検出手段、１４　制御装置、１５　基礎情報管理手段、１６　ストッカ情報管理手段、１７　処理順位決定手段、１８　指示入力手段（強制払出指示手段）、２０　モニタ（作業指示手段）。
【図１】
2004106950.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004106950.tif 000005
【図４】
2004106950.tif 000006
【図５】
2004106950.tif 000007
【図６】
2004106950.tif 000008