(57)【要約】【課題】多数のハンダバンプなどの突起を有するウエハ表面に対して良好に貼合できるとともに容易に剥離でき、ハンダバンプの引き剥がしやウエハの破損を防止した粘着シートを提供する。【解決手段】本発明の粘着シート１０は、基材１１の片面に粘着層１２が形成され、この粘着層１２を介して突起１３を有するウエハ表面１４に剥離可能に貼合されたものであって、粘着層１２は、突起１３を有するウエハ表面１４に貼合された際にその突起１３に応じて凹み１５が形成されるとともに、凹みの復元率が５０％以上である。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の片面に粘着層が形成され、この粘着層を介して突起を有するウエハ表面に剥離可能に貼合される粘着シートであって、
粘着層は、突起を有するウエハ表面に貼合された際にその突起に応じて凹みが形成されるとともに、凹みの復元率が５０％以上であることを特徴とする粘着シート。
【請求項２】
粘着層の引張り弾性率が５×１０−２〜１×１０Ｎ／ｍｍ２ であることを特徴とする請求項１に記載の粘着シート。
【請求項３】
粘着層の厚さが５μｍ〜５ｍｍであることを特徴とする請求項１または２に記載の粘着シート。
【請求項４】
加熱によって、粘着層の粘着力が低下することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の粘着シート
【請求項５】
突起の高さが１μｍ〜３ｍｍのウエハ表面に貼合されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の粘着シート。
【請求項６】
ウエハの一方の面が研磨される間、ウエハの他方の面に貼合されることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハの搬送、加工、汚染防止、保護のために使用される半導体ウエハ加工用の粘着シートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路は、シリコン単結晶をスライスしてウエハとした後、該ウエハを研磨して薄板とし、このウエハに回路を形成して半導体ウエハを作製し、ダイシング、エキスパンディング等の工程を経てＩＣチップを形成し、次いで、ＩＣチップをピックアップすると同時にマウンティングすることにより製造されている。そして、上記半導体集積回路を製造する各過程において、粘着シートが使用されている。
従来の上記粘着シートとしては、樹脂フィルム等の基材フィルムの表面に、ゴムやアクリル樹脂等の粘着剤を設けた粘着シートが使用されていた。しかし、このような粘着剤を用いた粘着シートでは、経時変化により粘着剤が劣化し、ウエハ加工後に半導体ウエハから剥離しにくく、剥離後半導体ウエハに粘着剤が残ってしまうという問題を有していた。そこで、近年粘着シートとして、紫外線を照射することにより接着力が低下する紫外線硬化型粘着剤を使用した粘着シート（例えば、特許文献１〜４参照）が提案されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平８−１８８７５７号公報
【特許文献２】
特開平９−１１１２００号公報
【特許文献３】
特開平１１−２８８９０７号公報
【特許文献４】
特開２００２−８８３１９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、図３に示すような、半導体ウエハ３１上に回路３２および絶縁層３３を形成し、その裏面に回路３２から導通された多数のハンダバンプ３４が突出した形態の半導体装置が開発されている。そのため、前記粘着シートにおいては、この多数のハンダバンプが突出した面に良好に貼合することが要望されている。
しかしながら、前記従来の紫外線硬化型粘着剤を使用した粘着シートでは、図４に示すように、粘着シート４１が変形しないため、ハンダバンプ４２が突出した面４３に良好に貼合できない上に、ハンダバンプ４２を破損させるおそれがあった。
また、図５に示すように、ハンダバンプ４２が突出した面４３に隙間無く貼合できる粘着シート４４もあるが、その場合、粘着剤を硬化処理した際にハンダバンプ４２が粘着シート４４に埋め込まれるため、粘着シート４４を剥がしたときに、ハンダバンプ４２をウエハ４５から引き剥がしてしまうという問題があった。
本発明は、前記事情を鑑みてなされたものであり、多数のハンダバンプなどの突起を有するウエハ表面に対して良好に貼合できるとともに容易に剥離でき、ハンダバンプの引き剥がしやウエハの破損を防止した粘着シートを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の粘着シートは、基材の片面に粘着層が形成され、この粘着層を介して突起を有するウエハ表面に剥離可能に貼合される粘着シートであって、
粘着層は、突起を有するウエハ表面に貼合された際にその突起に応じて凹みが形成されるとともに、凹みの復元率が５０％以上であることを特徴とする。
本発明の粘着シートにおいては、粘着層の引張り弾性率が５×１０−２〜１×１０Ｎ／ｍｍ２ であることが好ましい。
また、粘着層の厚さが５μｍ〜５ｍｍであることが好ましい。
また、加熱によって、粘着層の粘着力が低下することが好ましい。
本発明の粘着シートは、突起の高さが１μｍ〜３ｍｍのウエハ表面に貼合される場合に適している。
さらには、本発明の粘着シートは、ウエハの一方の面が研磨される間、ウエハの他方の面に貼合される場合に適している。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の粘着シートの一例について図面を参照して説明する。
図１は、粘着シートの使用例を示す図である。この粘着シート１０は、基材１１の片面に粘着層１２が形成され、この粘着層１２を介して突起１３を有するウエハ表面１４に剥離可能に貼合されるものである。なお、本明細書において、突起１３とは、ハンダバンプなど、ウエハ表面１４に設けられ、その表面から突出したもののことである。
【０００７】
粘着シート１０を構成する基材１１としては、有機物又は無機物でシート状のものであれば特に制限されない。ここで、有機物としては、例えば、セルロース系樹脂、ポリアクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂等が挙げられる。また、無機物としては、例えば、各種金属、ガラス、セラミック等が挙げられる。
また、基材１１としては、引き剥がしの際に裂けない程度の引張り強度を有するものが好ましく、剥離性を良くする為にはフレキシブルなものが好ましい。
【０００８】
粘着層１２は、突起１３を有するウエハ表面１４に接する層であって、ウエハ表面１４に貼合された際にその突起１３に応じて凹み１５が形成されるとともに、凹みの復元率が５０％以上のものである。また、この復元率は７０％以上であることが好ましい。なお、粘着層の凹みの復元率が５０％未満しかないような粘着シートでは、柔軟性が不十分であるため、突起を吸収するように変形できないか、突起を吸収するように変形しても粘着層が突起に引っ掛かって剥離が困難になる。
【０００９】
凹みの復元率とは、｛（粘着シート１０がウエハ表面１４に貼合されている際の凹みの深さＬ１  ）−（粘着シート１０がウエハ表面１４から剥離された際の凹みの深さＬ２  ）｝／（粘着シート１０がウエハ表面１４に貼合されているときの凹みの深さＬ１  ）×１００（％）のことである。つまり、この値が大きいほど、粘着層が復元しやすい。
ここで、粘着シート１０がウエハ表面１４に貼合されている際の凹みの深さＬ１  は、突起の高さＬ３  （図３（ｂ）参照）に等しい。
また、粘着シート１０がウエハ表面１４から剥離された際の凹みの深さＬ２  とは、以下のようにして測定された値のことである。すなわち、まず、バンプ１個の最長幅が１５０μｍ、高さ１００μｍ、ピッチ３００μｍであって、１８個×１８個＝３２４個のバンプを有する治具に、粘着シートの粘着層をラミパッカー（ＬＰＤ２８０型）により線圧９．８〜１９．６Ｎで貼り付け、この貼り付けたものを７日間２３℃／６５％ＲＨの環境下に放置後、剥離する。そして、剥離した粘着シート２０（図２参照）の凹み３２４個の中から、ランダムに５点を選択して凹み深さａ１ ，ａ２ ・・・ａ５ を測定し、その５点の平均値を求めてその値を、凹みの深さＬ２  とする。この際、凹み深さａ１ ，ａ２ ・・・ａ５ の測定方法としては光学顕微鏡による焦点深度法を採用する。
【００１０】
このような粘着層１２は、紫外線重合硬化型粘着剤の塗膜に紫外線が照射され、重合硬化することで、粘着性を生じた層である。
ここで、紫外線重合硬化型粘着剤としては、例えば、ポリマーとモノマーとを含有し、ポリマー：モノマー＝５：５〜９：１（質量比）の範囲のものが挙げられる。また、紫外線重合硬化型粘着剤としては、例えば、ＥＶＡ系、オレフィン系、ポリエステル系、アクリル系、シリコーン系、ウレタン系等の粘着剤が挙げられる。これらの中でも、耐久性が良いことから、アクリル系粘着剤が好ましい。
【００１１】
アクリル系粘着剤は、アクリル系モノマーおよびアクリル系ポリマーから構成されるものである。
アクリル系粘着剤を構成するアクリル系モノマーとは、炭素数１〜１２のアルキル基を有するアクリレート単量体のことである。炭素数１〜１２のアルキル基を有するアクリレート単量体としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレートなどが挙げられ、これらは単独または２種類以上組み合わせて用いられる。
【００１２】
アクリル系粘着剤を構成するアクリル系ポリマーは、上記アクリレート単量体が重合したものである。また、アクリル系ポリマーは、上記アクリレート単量体と官能基を有する単量体とが共重合した共重合体であって、前記官能基と反応する架橋剤によって架橋されたものであってもよい。
アクリレート単量体と共重合できる官能基を有する単量体としては、例えば、カルボキシル基を有する（メタ）アクリル酸、マレイン酸、イタコン酸、クロトン酸、ヒドロキシル基を有するアクリル酸−２−ヒドロキシエチルエステル、アクリル酸−２−ヒドロキシプロピルエステル、２−ヒドロキシビニルエーテル、アミノ基を有するＮ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリレート、Ｎ−ターシャリーブチルアミノエチルアクリレート、エポキシ基を有するグリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどが挙げられる。
【００１３】
架橋剤としては、例えば、多官能イソシアネート系架橋剤であるトリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパン変成トリレンジイソシアネート、多官能エポキシ架橋剤であるエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、多官能アジリジン系架橋剤であるＮ，Ｎ’−ヘキサメチレン−１，６−ビス（１−アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン−トリ−β−アジリジニルプロピオネート、金属キレート系架橋剤であるアルミニウムのアセチルアセトン錯体、過酸化物であるベンゾイルパーオキサイド、メラミン系架橋剤などが挙げられ、これらは単独または２種類以上組み合わせて使用できる。
【００１４】
アクリル系粘着剤においては、分子内に２個以上の不飽和二重結合を含有する多官能モノマーが配合されても良い。この分子内に２個以上の不飽和二重結合を含有する多官能モノマーは、紫外線照射された際にアクリル系モノマーまたはポリマーと重合する。
分子内に２個以上の不飽和二重結合を含有する多官能モノマーとしては、例えば、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどが挙げられ、これらは単独または２種類以上組み合わせて使用できる。
この分子内に２個以上の不飽和二重結合を含有する多官能モノマーの配合量は粘着剤中の５質量％以下が好ましい。５質量％を超えると粘着層１２が固くなり、粘着層１２が凹まなくなるので、粘着シートをウエハに貼合できなくなることがある。
【００１５】
紫外線重合硬化型粘着剤には光反応開始剤が含まれており、この光反応開始剤によって重合硬化することで粘着層になる。光反応開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ジフェニルスルファイド、アントラセン、ベンゾフェノン、ジフェニルジスルファイド、ジアセチル、ヘキサクロルブタジエン、アセトフェノン、チオキサントンなどが挙げられ、これらは単独または２種類以上組み合わせて使用できる。
また、紫外線重合硬化型粘着剤は、加熱によってもラジカルが発生し、暗反応と呼ばれるゲル化現象を起こす場合がある為、重合禁止剤がｐｐｍオーダーで添加されていても良い。
【００１６】
紫外線重合硬化型粘着剤には、必要に応じて可塑剤を添加しても良い。可塑剤としては、例えば、フタル酸エステル系、アジピン酸エステル系、リン酸エステル系、トリメリット酸エステル系、クエン酸エステル系、エポキシ系及びポリエステル系等が挙げられ、これらは単独または２種類以上組み合わせて使用できる。可塑剤の添加量は、紫外線重合硬化型粘着剤１００質量部に対して１〜５０質量部であることが好ましく、５〜３０質量部であることがさらに好ましい。可塑剤の添加量が１質量部より少ないと可塑剤の効果が十分に発揮されず、５０質量部を超えると樹脂の凝集力が弱くなり好ましくない。
【００１７】
粘着層１２の引張り弾性率は、５×１０−２〜１×１０Ｎ／ｍｍ２ であることが好ましい。粘着層１２の引張り弾性率が上記範囲であれば、ウエハ表面１４からの剥離性がより高くなる。ここで、引張り弾性率（ヤング率）は、以下のようにして求める。まず、厚さ５００μｍの粘着層を作製し、サイズ１００×２５ｍｍに切り出し、チャッキング部分２５×２５ｍｍ（両端）にＰＥＴ（厚さ１００μｍ）を貼り合わせる。次いで、これを、引張り試験機（ＭＮＢ社製、型番ＴＣＭ−２ｋＮＢ、恒温チャンバー付き）に測定長さ５０ｍｍになるようセットし、常温（２３℃／６５％ＲＨ）、引張速度５０ｍｍ／分の条件で引張り変形率と変形応力を測定し、これらより引張弾性率を求める。
【００１８】
粘着層１２の厚さは、この粘着シート１０が貼合されるウエハ表面１４の突起１３の高さに応じて決定すればよいが、ウエハを確実に固定できることから、好ましくは５μｍ〜５ｍｍであり、さらに好ましくは５０μｍ〜２ｍｍであり、最も好ましくは１００μｍ〜５００μｍである。
【００１９】
粘着層１２の粘着力は、加熱によって低下することが好ましい。粘着層１２の粘着力が加熱によって低下すれば、粘着シート１０をウエハ表面１４からより容易に剥がせる。
【００２０】
ウエハ表面に貼合する前の粘着シートにおいては、必要に応じて、粘着層の上に剥離フィルム等の保護フィルムが貼合されていても良い。
【００２１】
上述した粘着シート１０を製造するには、まず、紫外線重合硬化型粘着剤を含有する塗工液を基材の片面に塗工し、次いで、その塗工液からなる塗膜に光源から紫外線を照射し、重合、硬化させて粘着層を形成させる。
ここで使用される光源としては、超高圧水銀灯、キセノンランプ、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。これらの中でも、ランプの寿命や紫外線量の点で高圧水銀灯またはメタルハライドランプが好ましい。また、紫外線照射量は１００ｍＪ〜５０００ｍＪであることが好ましく、１００ｍＪ〜１０００ｍＪであることがさらに好ましい。紫外線照射量が１００ｍＪ未満であると粘着層の重合度が低く凝集力が不足して剥離できなくなる可能性があり、５０００ｍＪを超えると紫外線照射時間が長くなり、生産性が低くなる。
【００２２】
この粘着シート１０を、回路が形成され、突起を有するウエハ表面１４に貼合する際には、ロールラミネーター（必要に応じて加熱できるもの）、プレス機、真空ラミネーター等を使用できる。粘着層１２の粘着力を高くしたい場合には、加熱、加圧及び紫外線照射などの処理を行っても良い。
ウエハ表面１４に貼合された粘着シート１０は、図１に示すように、ウエハ表面１４に設けられた突起１３に応じて凹み１５を形成する。
粘着シートが貼合されたウエハにおいては、例えば、粘着シートが貼合されていない側の表面が研磨され、その後、粘着シートはウエハから剥がされる。
このように、ウエハの一方の面を研磨する間に、粘着シートをウエハの他方の面に貼合する場合には、本発明の効果がとりわけ発揮されるため、この粘着シート１０は好適である。
【００２３】
粘着シート１０をウエハ表面１４から剥がす際には、４０℃〜１００℃に加熱することが好ましい。このように加熱することで、粘着層１２の粘着力が低下し、ウエハ表面１４を汚染することなく、より容易に粘着シート１０を剥がすことができる。さらに、１００℃を超えて加熱すると逆に粘着力が高くなる可能性がある。また、作業環境が悪化するおそれもある。
【００２４】
以上説明した粘着シート１０にあっては、粘着層１２が、突起１３を有するウエハ表面１４に貼合された際にその突起１３に応じて凹み１５が形成されるとともに、凹みの復元率が５０％以上であるので、十分な柔軟性を有しており、突起１３を有するウエハ表面１４に良好に貼合できる。また、突起１３に過剰な力が付与されないから、突起１３の破損を防止できる。その上、凹み１５が突起１３に引っ掛からず、容易に剥離できる上に、剥がした際に突起１３を引き剥がすことを防止できる。
このような粘着シート１０は、突起の高さＬ２ が１μｍ〜３ｍｍのウエハ表面１４に貼合される場合に、十分に上記効果を発揮できる。
【００２５】
【実施例】
＜実施例１＞
アクリル酸２−エチルヘキシル１０００ｇ、アクリル酸４０ｇ、分子量調整剤としてｎ−ドデシルメルカプタン０．１ｇ、重合開始剤として２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチル）バレロニトリル０．０３ｇをフラスコに投入し、重合した。さらに、アクリル酸２−エチルヘキシル２００ｇ及びアクリル酸１０ｇを投入し、冷却してアクリル系液状樹脂を得た。この液状樹脂１００ｇに対し、アセトフェノン系光重合開始剤（Ｃｉｂａ  Ｇｅｉｇｙ社製、製品名Ｄａｒｏｃｕｒ１１７３）３．０ｇ及びトリメチロールプロパントリメタクリート１．０ｇを投入して塗工液を得た。
次いで、易接着処理した１００μｍのＰＥＴシートの片面に、この塗工液を厚さ２００μｍに塗工し、続いて、窒素雰囲気中で紫外線を１０００ｍＪ／ｃｍ２ 照射して粘着層を形成させた。次いで、その粘着層に厚さ３８μｍの剥離ＰＥＴを貼り合せて粘着シートを得た。
【００２６】
この粘着シートを２５ｍｍ×１００ｍｍのサイズに裁断し、剥離ＰＥＴを剥がし、粘着層をシリコンウエハの裏面にロールラミネーターで貼り合わせた。なお、このシリコンウエハの裏面には、バンプ１個の最長幅が１５０μｍ、高さ１００μｍ、ピッチ３００μｍのハンダバンプが設けられている。
この粘着シートの粘着層は、突起であるハンダバンプを完全に吸収するように変形し、粘着層がウエハに密着したので、強固に固定できた。しかも、貼合後、一週間放置したが剥がれることは無かった。
また、シリコンウエハに貼合された粘着テープを、引張り試験機（ＭＮＢ社製、型番ＴＣＭ−２ｋＮＢ、恒温チャンバー付き）を用い、６０℃雰囲気中で粘着層を加熱して粘着力を低下せしめ、引張速度３００ｍｍ／分にて１８０°で剥がしたところ、５Ｎ／２５ｍｍという微弱な力でウエハから剥がせた。しかも、粘着剤はシリコンウエハ上に全く残らなかった。
なお、この粘着シートの粘着層の凹みの復元率は７７％であった。
【００２７】
さらに、以下のようにして粘着層の引張り弾性率を測定した。まず、厚さ５００μｍの粘着層を作製し、サイズ１００×２５ｍｍに切り出し、チャッキング部分２５×２５ｍｍ（両端）にＰＥＴ（厚さ１００μｍ）を貼り合わせた。次いで、これを、引張り試験機（同上）に測定長さ５０ｍｍになるようセットし、常温（２３℃／６５％ＲＨ）、引張速度５０ｍｍ／分の条件で引張り変形率と変形応力を測定した。その結果、粘着層の引張り弾性率は、変形率２００〜４００％において、１．１１×１０−１Ｎ／ｍｍ２ であった。
【００２８】
＜実施例２＞
シリコンウエハを、バンプ１個の最長幅が１５０μｍ、高さ１００μｍ、ピッチが２００μｍのハンダバンプが裏面に設けられたものに変更した以外は実施例１と同様にして試験した。この例においても、粘着シートは、ハンダバンプを完全に吸収するように変形し、密着していたので、一週間放置後でも剥がれなかった。
また、シリコンウエハに貼合された粘着テープを、実施例１と同様にして剥がしたところ、７Ｎという微弱な力でシリコンウエハから剥がせた。また、粘着剤はウエハに全く残らなかった。
【００２９】
＜実施例３＞
粘着層なす粘着剤にＤＯＰ（フタル酸ジ−２−エチルヘキシル）を１０ｇ添加した以外は実施例１と同様にして試験した。この例においても、粘着シートの粘着層は、ハンダバンプを完全に吸収するように変形し、密着していたので、一週間放置後でも剥がれなかった。
また、シリコンウエハに貼合された粘着テープを、実施例１と同様にして剥がしたところ、０．５Ｎという微弱な力でシリコンウエハから剥がせた。また、粘着剤はウエハに全く残らなかった。
なお、この粘着シートの粘着層の凹みの復元率は７３％であった。
【００３０】
＜比較例１＞
粘着剤を一般的な有機溶剤系アクリル粘着剤（綜研化学社製、製品名２０９２）に変更した以外は実施例１と同様にして粘着シートを得た。この粘着シートを、ロールラミネーターを用いて、実施例１のハンダバンプ付きシリコンウエハに貼り合わせようとしたが、粘着シートには凹みが形成されなかった。そのため、ハンダバンプを完全に吸収できず、粘着テープをシリコンウエハに密着させることができなかったので、ウエハを固定できなかった。しかも、一週間放置したところ、端部の１０〜２０ｍｍが剥がれていたため、接着力の測定はできなかった。
なお、この粘着シートの粘着層の凹みの復元率は３４％であった。
また、粘着層の引張り弾性率は、変形率２００〜４００％において、３．５１×１０−２Ｎ／ｍｍ２  であった。
【００３１】
＜比較例２＞
比較例１の粘着シートを、ロールラミネーターを用いて、実施例２のハンダバンプ付きシリコンウエハに貼り合わせようとしたが、粘着シートには凹みが形成されなかった。そのため、ハンダバンプを完全に吸収できず、粘着テープをシリコンウエハに密着させることができなかったので、ウエハを固定できなかった。しかも、一週間放置したところ、端部の１０〜２０ｍｍが剥がれていたため、接着力の測定はできなかった。
【００３２】
＜比較例３＞
トリメチロールプロパントリメタクリレートを添加しなかった以外は実施例１と同様にして粘着シートを作製した。この粘着シートは、ハンダバンプを完全に吸収するように変形し、密着していたので、シリコンウエハを固定でき、しかも一週間放置後でも剥がれなかった。
次いで、シリコンウエハに貼合された粘着テープを、実施例１と同様にして剥がしたところ、５０Ｎという大きな力を要した上に、シリコンウエハからきれいに剥がすことができず、粘着剤がウエハにかなり残った。
この粘着シートの粘着層の凹みの復元率を測定しようと試みたが、治具から剥離した粘着層がシート形状を留めておらず、破壊されていたので測定できなかった。
なお。この粘着シートの粘着層の引張り弾性率は、変形率２００〜４００％においては、８．３５×１０−３Ｎ／ｍｍ２ であった。
【００３３】
【発明の効果】
本発明の粘着シートによれば、多数のハンダバンプなどの突起を有するウエハに対して良好に貼合でき、容易に剥離できるとともに、ハンダバンプの引き剥がしやウエハの破損を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の粘着シートをウエハに貼合しているときの態様を示す断面図である。
【図２】ウエハから剥離された際の粘着シートを示す断面図である。
【図３】（ａ）は、ハンダバンプが設けられたウエハを示す側面図であり、（ｂ）は、ハンダバンプが設けられた部分の拡大断面図である。
【図４】従来の粘着シートをウエハに貼合したときの態様を示す断面図である。
【図５】従来の粘着シートをウエハに貼合したときの態様を示す断面図である。
【符号の説明】
１０  粘着シート
１１  基材
１２  粘着層
１３  突起
１４  ウエハ表面
１５  凹み
【図１】
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【図２】
2004346277.tif 000004
【図３】
2004346277.tif 000005
【図４】
2004346277.tif 000006
【図５】
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