(57)【要約】      （修正有）【課題】基板キャリアを適切に位置決めする基板キャリア支持体及びオ−バ−ヘッド移送フランジを提供する。【解決手段】  第１の態様において、基板キャリヤを支持する際に使用するための第１の装置が提供される。第１の装置は、基板キャリヤ本体１０５およびオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１と結合するように適合されるオーバーヘッド移送フランジ１１３を含む。オーバーヘッド移送フランジ１１３は、第１の側部１２３ａと、第１の側部の反対側にあり、第１の側部より幅が広い第２の側部１２３ｂとを有する。【選択図】  図２
2004262654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板キャリヤを支持する際に使用するための装置であって、
基板キャリヤ本体およびオーバーヘッドキャリヤ支持体と結合するように適合されるオーバーヘッド移送フランジを含み、前記オーバーヘッド移送フランジが、
第１の側部と、
前記第１の側部の反対側にあり、前記第１の側部より幅が広い第２の側部とを有する、装置。
【請求項２】
前記オーバーヘッド移送フランジが、前記第１の側部から前記第２の側部へ各々が延在する第３の側部および第４の側部を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第３の側部および前記第４の側部が、約６０度の角度で分離された、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記第３の側部と前記第４の側部の各々が、前記オーバーヘッドキャリヤ支持体の支持特徴と係合するように適合される係合特徴を含む、請求項２に記載の装置。
【請求項５】
前記係合特徴が、ブレードである、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
各ブレードが、尖っていないブレード縁部を有する、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
各ブレードが、丸みをつけたブレード縁部を有する、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記オーバーヘッド移送フランジの前記第３の側部の前記ブレードが、前記オーバーヘッドキャリヤ支持体の第１の支持特徴の傾斜表面と係合するように傾斜された表面を有し、
前記オーバーヘッド移送フランジの前記第４の側部の前記ブレードが、前記オーバーヘッドキャリヤ支持体の第２の支持特徴の傾斜表面と係合するように傾斜された表面を有する、請求項５に記載の装置。
【請求項９】
基板キャリヤであって、
１枚以上の基板を支持するように適合される基板キャリヤ本体と、
前記基板キャリヤ本体に結合され、オーバーヘッドキャリヤ支持体と結合するように適合されるオーバーヘッド移送フランジとを含み、前記オーバーヘッド移送フランジが、
第１の側部と、
前記第１の側部の反対側にあり、前記第１の側部より幅が広い第２の側部とを有する、装置。
【請求項１０】
前記オーバーヘッド移送フランジが、前記第１の側部から前記第２の側部へ各々が延在する第３の側部および第４の側部を含む、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記第３の側部と前記第４の側部の各々が、前記オーバーヘッドキャリヤ支持体の支持特徴と係合するように適合される係合特徴を含む、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記係合特徴が、ブレードである、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記オーバーヘッド移送フランジの前記第３の側部の前記ブレードが、前記オーバーヘッドキャリヤ支持体の第１の支持特徴の傾斜表面と係合するように傾斜された表面を有し、
前記オーバーヘッド移送フランジの前記第４の側部の前記ブレードが、前記オーバーヘッドキャリヤ支持体の第２の支持特徴の傾斜表面と係合するように傾斜された表面を有する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
基板キャリヤを支持する際に使用するための装置であって、
オーバーヘッド移送フランジを介して基板キャリヤを懸架するように適合されるオーバーヘッドキャリヤ支持体を含み、前記オーバーヘッドキャリヤ支持体が、
第１の側部と、
前記第１の側部の反対側にあり、前記第１の側部より幅が広い第２の側部とを有する、装置。
【請求項１５】
前記オーバーヘッドキャリヤ支持体が、前記第１の側部から前記第２の側部へ各々が延在する第３の側部および第４の側部を含む、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記第３の側部および前記第４の側部が、約６０度の角度で分離された、請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記第３の側部と前記第４の側部の各々が、前記オーバーヘッド移送フランジの係合特徴を支持するように適合される支持特徴を含む、請求項１５に記載の装置。
【請求項１８】
前記支持特徴が、前記オーバーヘッド移送フランジのブレードを係合するように適合されるチャネルである、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
前記オーバーヘッドキャリヤ支持体の前記第３の側部の前記チャネルが、前記オーバーヘッド移送フランジの第１のブレードの傾斜表面と係合するように傾斜された表面を有し、
前記オーバーヘッドキャリヤ支持体の前記第４の側部の前記チャネルが、前記オーバーヘッド移送フランジの第２のブレードの傾斜表面と係合するように傾斜された表面を有する、請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記第３の側部のチャネルおよび前記第４の側部のチャネルが、約６０度の角度で分離された、請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記オーバーヘッドキャリヤ支持体が、半導体デバイス製造施設内において基板を輸送する際に使用するためのオーバーヘッドコンベヤシステムと結合するように適合される、請求項１４に記載の装置。
【請求項２２】
前記オーバーヘッドキャリヤ支持体が、半導体デバイス製造施設内において基板を格納する際に使用するための格納棚と結合するように適合される、請求項１４に記載の装置。
【請求項２３】
前記オーバーヘッドキャリヤ支持体が、処理ツールの装填口に基板キャリヤを合体する動作と、前記処理ツールの装填口から前記基板キャリヤを切り離す動作の少なくとも１つを行っている間、前記基板キャリヤを支持するように適合される、請求項１４に記載の装置。
【請求項２４】
基板キャリヤを支持する方法であって、
１枚以上の基板を支持するように適合される基板キャリヤ本体と、
前記基板キャリヤ本体に結合され、オーバーヘッドキャリヤ支持体と結合するように適合されるオーバーヘッド移送フランジとを有し、前記オーバーヘッド移送フランジが、
第１の側部と、
前記第１の側部の反対側にあり、前記第１の側部より幅が広い第２の側部とを有する、基板キャリヤを提供すること、
前記オーバーヘッド移送フランジを介して前記基板キャリヤを懸架するように適合され、
第１の側部と、
前記第１の側部の反対側にあり、前記第１の側部より幅が広い第２の側部とを有する、オーバーヘッドキャリヤ支持体を提供すること、
前記基板キャリヤを支持するように、前記オーバーヘッド移送フランジと前記オーバーヘッドキャリヤ支持体とを結合することを含む、方法。
【請求項２５】
前記オーバーヘッド移送フランジと前記オーバーヘッドキャリヤ支持体とを結合することは、
前記オーバーヘッドキャリヤ支持体の底部の上方に前記オーバーヘッド移送フランジの少なくとも頂上部を上昇させること、
前記オーバーヘッドキャリヤ支持体と係合するように前記オーバーヘッド移送フランジを下降させることを含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記オーバーヘッドキャリヤ支持体の底部の上方に前記オーバーヘッド移送フランジの少なくとも最上部を上昇させることは、前記オーバーヘッド移送フランジの上昇中、前記オーバーヘッド移送フランジのフットプリントが、前記オーバーヘッドキャリヤ支持体のフットプリントと重なり合うように、前記オーバーヘッド移送フランジを上昇させることを含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
前記オーバーヘッドキャリヤ支持体が、半導体デバイス製造施設内において基板を輸送する際に使用するためのオーバーヘッドコンベヤシステムに結合された、請求項２４に記載の方法。
【請求項２８】
前記オーバーヘッドキャリヤ支持体が、半導体デバイス製造施設内において基板を格納する際に使用するための格納棚に結合された、請求項２４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の内容】
【０００１】
本願は、２００３年１月２７日に出願された米国仮特許出願第６０／４４３，１５３号の優先権を主張し、同出願全体は、本願明細書に参照により援用されたものとする。
【０００２】
関連出願の相互参照
本願は、本願と同一の譲受人に譲渡された同時係属中の以下の米国特許出願に関連し、各々の出願全体は、本願明細書に参照により援用されたものとする。
【０００３】
２００３年８月２８日に出願され、「Ｓｙｓｔｅｍ  Ｆｏｒ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｃａｒｒｉｅｒｓ」という発明の名称の米国特許出願第１０／６５０，３１０号（代理人事件整理番号第６９００号）
２００３年８月２８日に出願され、「Ｍｅｔｈｏｄ  ａｎｄ  Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ｆｏｒ  Ｕｓｉｎｇ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｍｏｖｅｍｅｎｔ  ｔｏ  Ａｃｔｕａｔｅ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｄｏｏｒ  Ｏｐｅｎｉｎｇ／Ｃｌｏｓｉｎｇ」という発明の名称の米国特許出願第１０／６５０，３１２号（代理人事件整理番号第６９７６号）
２００３年８月２８日に出願され、「Ｍｅｔｈｏｄ  ａｎｄ  Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ｆｏｒ  Ｕｎｌｏａｄｉｎｇ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｃａｒｒｉｅｒｓ  ｆｒｏｍ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ  Ｓｙｓｔｅｍｓ」という発明の名称の米国特許出願第１０／６５０，４８１号（代理人事件整理番号第７０２４号）
２００３年８月２８日に出願され、「Ｍｅｔｈｏｄ  ａｎｄ  Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ｆｏｒ  Ｓｕｐｐｌｙｉｎｇ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ  ｔｏ  ａ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｔｏｏｌ」という発明の名称の米国特許出願第１０／６５０，４７９号（代理人事件整理番号第７０９６号）
２００２年８月３１日に出願され、「Ｅｎｄ  Ｅｆｆｅｃｔｏｒ  Ｈａｖｉｎｇ  Ｍｅｃｈａｎｉｓｍ  Ｆｏｒ  Ｒｅｏｒｉｅｎｔｉｎｇ  Ａ  Ｗａｆｅｒ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｂｅｔｗｅｅｎ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｎｄ  Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ  Ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎｓ」という発明の名称の米国特許出願第６０／４０７，４５２号（代理人事件整理番号第７０９７／Ｌ号）
２００２年８月３１日に出願され、「Ｗａｆｅｒ  Ｌｏａｄｉｎｇ  Ｓｔａｔｉｏｎ  ｗｉｔｈ  Ｄｏｃｋｉｎｇ  Ｇｒｉｐｐｅｒｓ  ａｔ  Ｄｏｃｋｉｎｇ  Ｓｔａｔｉｏｎｓ」という発明の名称の米国特許出願第６０／４０７，３３７号（代理人事件整理番号第７０９９／Ｌ号）
２００３年８月２８日に出願され、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｄｏｏｒ  ｈａｖｉｎｇ  Ｄｏｏｒ  Ｌａｔｃｈｉｎｇ  ａｎｄ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｃｌａｍｐｉｎｇ  Ｍｅｃｈａｎｉｓｍ」という発明の名称の米国特許出願第１０／６５０，３１１号（代理人事件整理番号第７１５６号）
２００３年８月２８日に出願され、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｈａｎｄｌｅｒ  Ｔｈａｔ  Ｕｎｌｏａｄｓ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｃａｒｒｉｅｒｓ  Ｄｉｒｅｃｔｌｙ  Ｆｒｏｍ  ａ  Ｍｏｖｉｎｇ  Ｃｏｎｖｅｙｏｒ」という発明の名称の米国特許出願第１０／６５０，４８０号（代理人事件整理番号第７６７６号）
２００３年１月２７日に出願され、「Ｍｅｔｈｏｄｓ  ａｎｄ  Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ｆｏｒ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇ  Ｗａｆｅｒ  Ｃａｒｒｉｅｒｓ」という発明の名称の米国仮特許出願第６０／４４３，０８７号（代理人事件整理番号第７１６３／Ｌ号）
２００３年１月２７日に出願され、「Ｓｙｓｔｅｍｓ  ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄｓ  ｆｏｒ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇ  Ｗａｆｅｒ  Ｃａｒｒｉｅｒｓ  Ｂｅｔｗｅｅｎ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｔｏｏｌｓ」という発明の名称の米国仮特許出願第６０／４４３，００１号（代理人事件整理番号第８２０１／Ｌ号）
２００３年１月２７日に出願され、「Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  Ｓｔｏｒｉｎｇ  ａｎｄ  Ｌｏａｄｉｎｇ  Ｗａｆｅｒ  Ｃａｒｒｉｅｒｓ」という発明の名称の米国仮特許出願第６０／４４３，１１５号（代理人事件整理番号第８２０２／Ｌ号）
発明の分野
本発明は、一般的に、半導体デバイスの製造に関し、さらに詳しく言えば、基板キャリヤのオーバーヘッド移送フランジと、オーバーヘッド移送フランジを介して基板キャリヤを懸架するための支持体とに関する。
【発明の背景】
【０００４】
コンピュータ、モニタなどで使用するために、シリコン基板、ガラス板などの基板上に半導体デバイスが作製される。これらのデバイスは、薄膜堆積、酸化または窒化、エッチング、研磨、および熱処理およびリソグラフィ処理などの一連の製造ステップにより作製される。単一の処理ステーションにおいて複数の製造ステップが実行されてよいが、基板は、典型的に、製造ステップの少なくともいくつかを受けるために、処理ステーション間で輸送されなければならない。
【０００５】
基板は、一般的に、処理ステーションと他の場所との間での移送を行うためのカセットまたはポッド（以下、総称して「基板キャリヤ」と呼ぶ）に格納される。基板キャリヤは、処理ステーション間で手動で運ばれてよいが、基板キャリヤの移送は、典型的に、自動化される。例えば、基板キャリヤの自動ハンドリングは、エンドエフェクタにより基板キャリヤを持ち上げるロボットにより実行されてよい。一例として、基板キャリヤの頂上部に設けられたフランジと係合することにより基板キャリヤを持ち上げるエンドエフェクトが提案されている。１つの公知のタイプのエンドエフェクタは、支持板から下方内向きに延在して「Ｔ」字状のスロットを規定する支持板およびフィンガを含む。スロットは、キャリヤフランジにわたってその周りに水平方向に移動されてよい。エンドエフェクタフィンガから上向きに突出して、フランジ上に設けられたデテントと係合するピンが設けられてよい。
【０００６】
基板キャリヤを正常に輸送および移送するには、基板キャリヤの位置を高精度に制御する必要がある。基板キャリヤを適切に位置決めする基板キャリヤ支持体およびオーバーヘッド移送フランジを提供することが望まれる。
【発明の概要】
【０００７】
本発明の第１の態様において、基板キャリヤを支持する際に使用するための第１の装置が提供される。第１の装置は、基板キャリヤ本体およびオーバーヘッドキャリヤ支持体と結合するように適合されるオーバーヘッド移送フランジを含む。オーバーヘッド移送フランジは、第１の側部と、第１の側部の反対側にあり、第１の側部より幅が広い第２の側部とを有する。
【０００８】
本発明の第２の態様において、基板キャリヤが提供される。基板キャリヤは、（１）１枚以上の基板を支持するように適合される基板キャリヤ本体と、（２）基板キャリヤ本体に結合され、オーバーヘッドキャリヤ支持体と結合するように適合されるオーバーヘッド移送フランジとを含む。オーバーヘッド移送フランジは、第１の側部と、第１の側部の反対側にあり、第１の側部より幅が広い第２の側部とを有する。
【０００９】
本発明の第３の態様において、基板キャリヤを支持する際に使用するための第２の装置が提供される。第２の装置は、オーバーヘッド移送フランジを介して基板キャリヤを懸架するように適合されるオーバーヘッドキャリヤ支持体を含む。オーバーヘッドキャリヤ支持体は、第１の側部と、第１の側部の反対側にあり、第１の側部より幅が広い第２の側部とを有する。本発明の上記および他の態様によるシステムおよび装置のように、多数の他の態様が提供される。
【００１０】
本発明の他の特徴および態様は、例示的な以下の詳細な記載、特許請求の範囲、および添付の図面からさらに詳細に明らかになるであろう。
【詳細な説明】
【００１１】
本発明により、基板キャリヤ用のオーバーヘッド移送フランジと、オーバーヘッド移送フランジを介して基板を支持するための対応するオーバーヘッド支持体とが提供される。基板キャリヤは、１枚のみの基板を格納するように適合される単一基板キャリヤ、または複数の基板を格納するように適合される複数基板キャリヤであってよい。１つの態様において、オーバーヘッド支持体は、支持体が（オーバーヘッド移送フランジを捕捉するための）捕捉ウィンドウを与えるように適合され、このウィンドウは、オーバーヘッド移送フランジが支持体に近づくことができる方向において、より幅が広いウィンドウからより幅が狭いウィンドウへと変化する。第２の態様において、オーバーヘッド移送フランジとオーバーヘッド支持体は、オーバーヘッド移送フランジがオーバーヘッド支持体により支持されるとき、オーバーヘッド移送フランジが、オーバーヘッド支持体に対して、垂直方向以外の任意の方向に移動しないように適合される。さらなる態様において、オーバーヘッド移送フランジとオーバーヘッド支持体は、それによって支持される基板キャリヤが、キャリヤが走行する方向と反対の方向に衝突すれば、キャリヤのオーバーヘッド移送フランジが、オーバーヘッド支持体から分離して、キャリヤが落ちることができるように適合される。
【００１２】
これらの態様の各々は、独自に発明性を有するものであると見なされるが、少なくとも１つの実施形態において、オーバーヘッド移送フランジおよびオーバーヘッド支持体は、上述した態様の各々を具体化したものであってよい。本発明の図面および以下の記載により、上述した本発明の態様の各々を具体化する特別な構成が提供される。図１から図１２の構成は、例示的なものにすぎず、本発明に従って機能する別の構成がデザインされてよいことを理解されたい。
【００１３】
図１は、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３が、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３の可動トラック１０９に沿って第１のインライン方向１０７に第１および第２のキャリヤ１０５ａ、１０５ｂを輸送する際の、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３の一部分１０１の立面斜視図である。オーバーヘッド移送コンベヤ１０３の本発明の第１のオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａが、第１のキャリヤ１０５ａに固定され、その上方の中心に位置する本発明の第１のオーバーヘッド移送フランジ１１３ａを介して、第１のキャリヤ１０５ａを支持し、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３の本発明の第２のオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ｂが、第２のキャリヤ１０５ｂに固定され、その上方の中心に位置する本発明の第２のオーバーヘッド移送フランジ１１３ｂを介して、第２のキャリヤ１０５ｂを支持する。基板キャリヤ１０５ａ、１０５ｂに対してオーバーヘッド移送フランジ１１３ａ、１１３ｂの他の位置が用いられてよい。
【００１４】
図２は、図１に示すオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａおよびオーバーヘッド移送フランジ１１３ａのアセンブリをインライン方向１０７に沿って拡大した立面斜視図である。オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａは、支持板１１５と、支持板１１５上に固定され、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａをオーバーヘッド移送コンベヤ１０３の可動トラック１０９に不動に結合するように適合される結合クランプ１１７とを含む。オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａは、支持板１１５の上方に固定され、可動トラック１０９に沿ってオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａをさらに支持するように適合される可撓性ハンガ１１９をさらに含む。支持板１１５の第１の側部１２３ａの下方に、第１のブレードレシーバ１２１ａが固定され、第１の側部１２３ａとは反対の支持板１１５の第２の側部１２３ｂの下方に、第２のブレードレシーバ１２１ｂが固定される。オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａのさまざまな構成部品は、任意の適切な結合機構（例えば、ねじ、ボルト、接着剤など）を用いて結合されてよい。オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの構成部品のすべてまたは一部分が、一体に形成されてよい。
【００１５】
オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、ファスナ穴１２７などの適切な固定機構を介して、キャリヤ（例えば、第１のキャリヤ１０５ａ（図１））に取り付けるように適合されるフランジ板１２５を含む。第１のブレード１２９ａが、フランジ板１２５の第１の側部１３１ａから下方に延在し、第２のブレード１２９ｂ（図２では不明瞭であるので、図３を参照されたい）が、フランジ板１２５の第２の側部１３１ｂから下方に延在する。補強拡張部分１３３が、フランジ板１２５の第３の側部１３１ｃから下方に延在する。
【００１６】
以下にさらに説明するように、第１のブレードレシーバ１２１ａは、第１のブレード１２９ａを受け入れるように適合され、第２のブレードレシーバ１２１ｂは、第２のブレード１２９ｂを受け入れるように適合される。以下にさらに詳細に説明するように、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの支持板１１５、第１のブレードレシーバ１２１ａ、および第２のブレードレシーバ１２１ｂは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの第１および第２のブレードレシーバ１２１ａ、１２１ｂが、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの第１および第２のブレード１２９ａ、１２９ｂをそれぞれ受け入れる前に、オーバーヘッド移送フランジ１１３ｂが通過するように適合されるオーバーヘッドフランジ捕捉ウィンドウ１３７を規定する。
【００１７】
図３は、図２に示すオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａおよびオーバーヘッド移送フランジ１１３ａのアセンブリを拡大して示した底面図である。オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａおよびオーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの中心面（別々に図示せず）およびオーバーヘッド移送フランジ１１３ａの中心面（別々に図示せず）と一致する垂直面１３５に沿って揃えられる。図１を参照すると、垂直面１３５は、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３の縦向きの可動トラック１０９に揃えられることが好ましいが、本発明により、他の向き（例えば、ある一定の角度にあるか、または平行であるが位置がずれている向き）が与えられてもよい。
【００１８】
オーバーヘッドフランジ捕捉ウィンドウ１３７は、図３に示すように、一直線のように見える。オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａは、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａが、図３に示すオーバーヘッド移送フランジ１１３ａの相対位置から、オーバーヘッドフランジ捕捉ウィンドウ１３７を介して、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの方へ進むことができるように適合される。
【００１９】
第１のブレードレシーバ１２１ａは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの中心面（別々に図示せず）に対して第１の角度１３９ａで配向され、第２のブレードレシーバ１２１ｂは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの中心面に対して第２の角度１３９ｂで配向される。第１の角度１３９ａと第２の角度１３９ｂは、第２のブレードレシーバ１２１ｂが、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの中心面（別々に図示せず）を中心にして第１のブレードレシーバ１２１ａの対称であるような同等のものであることが好ましい。１つの実施形態において、第１のブレードレシーバ１２１ａと第２のブレードレシーバ１２１ｂとの間の第３の角度１４１は、約６０度である。他の角度（例えば、約１０〜２０度程度に小さい角度を含む）が用いられてよい。以下から明らかになるように、第３の角度１４１の範囲の選択は、以下に説明するように、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａおよびオーバーヘッド移送フランジ１１３ａの形状の他の態様に関係するものである。
【００２０】
第１のブレード１２９ａは、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの中心面（別々に図示せず）に対して第４の角度１３９ｃで配向され、第２のブレード１２９ｂは、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの中心面（別々に図示せず）に対して第５の角度１３９ｄで配向される。第４の角度１３９ｃおよび第５の角度ｄは、第２のブレード１２９ｂが、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの中心面（別々に図示せず）を中心にして第１のブレード１２９ａの対称であるような同等のものであることが好ましい。１つの実施形態において、第１のブレード１２９ａと第２のブレード１２９ｂとの間の第６の角度１４３は、約６０度である。他の角度が用いられてよい。オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａとオーバーヘッド移送フランジ１１３ａとの間を適切に相互作用させるために、第３の角度１４１と第６の角度１４３は、実質的に同等のものであることが好ましい。
【００２１】
図４は、図２に示すオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａおよびオーバーヘッド移送フランジ１１３ａのアセンブリを拡大して示した底面図である。図４は、図３に類似しているが、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａが、図３で占めていたオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対する位置（仮想輪郭で示す）から、オーバーヘッドフランジ捕捉ウィンドウ１３７を通過して前進し、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対して嵌合された位置に示されている点が異なる。この嵌合位置において、第１および第２のブレード１２９ａ、１２９ｂは、それらが合わさって、「Ｖ」字状または先端が切り取られた山形を実質的に形成し、それぞれの第１および第２のブレードレシーバ１２１ａ、１２１ｂ（これらも同様に、先端が切り取られた「Ｖ」字状または先端が切り取られた山形を実質的に形成）と密接した間隔の関係にあるが、まだそれらと係合されてはいない。これは、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの準備段階位置と呼んでよい。
【００２２】
オーバーヘッド移送フランジ１１３ａをオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａと係合させるために、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａをオーバーヘッドフランジ捕捉ウィンドウ１３７を通るように前進させる方法が用いられてよいが、本発明により、以下に記載するように、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａが、（水平方向の構成部品に近づくのではなく）オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの下方から上向きに上昇させて、図４の嵌合位置を想定することもできる。その後、図４に示すものと類似したインライン方向の前進を継続させて、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの第１のブレード１２９ａおよび第２のブレード１２９ｂが、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの第１のブレードレシーバ１２１ａおよび第２のブレードレシーバ１２１ｂとそれぞれ係合し、それらにより不動に支持されることができる。図４に示す断面Ｖ−Ｖが、図５から図１２を参照して図示し以下に記載する第１のブレードレシーバ１２１ａおよび第１のブレード１２９ａに垂直に切り取られた断面を表す。
【００２３】
図５および図６は、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの第１のブレードレシーバ１２１ａと、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの第１のブレード１２９ａとのそれぞれの部分の斜視図であり（断面を含む）、図７および図８は、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａおよびオーバーヘッド移送フランジ１１３ａの同じ部分の単純な断面図である。図５から図８は、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの第１のブレードレシーバ１２１ａおよび第２のブレードレシーバ１２１ｂ（図示せず）が、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの第１のブレード１２９ａおよび第２のブレード１２９ｂ（図示せず）を支持することになる結合プロセスを示す。
【００２４】
図５から図８に示す結合プロセス中、第１のブレードレシーバ１２１ａ（オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの支持板１１５に結合され、その下方に図示）と、第１のブレード１２９ａは、互いに対して移動し、第２のブレードレシーバ１２１ｂ（図示せず）と、第２のブレード１２９ｂ（図示せず）も、互いに対して移動する。ブレードとブレードレシーバのそれぞれの対の各々の間での相対的な動きは、実質的に類似しているが、第２のブレードレシーバ１２１ｂ（図示せず）と第２のブレード１２９ｂ（図示せず）との間の相対的な動きが、図５から図８および図１０から図１２に示す第１のブレードレシーバ１２１ａと第１のブレード１２９ａとの間の相対的な動きの逆または鏡像になる傾向がある点が異なる。このことから、図５から図８および図１０から図１２は、第１のブレードレシーバ１２１ａと第１のブレード１２９ａとの間の相対的な動きのみを示し、もう一方のブレードとブレードレシーバとの対の相対的な動きは、その鏡像であることを理解されたい。
【００２５】
図５から図８および図１０から図１２において、支持板１１５および第１のブレードレシーバ１２１ａは、２つの部品を結合させて示している。しかしながら、支持板１１５および第１のブレードレシーバ１２１ａは、単一の部品であってよい。
【００２６】
図５を参照すると、第１のブレードレシーバ１２１ａの第１の収容面１２１ａａが、平坦であることが好ましく、第１のブレードレシーバ１２１ａが第１のブレード１２９ａと係合する際に、同様に平坦であることが好ましい第１のブレード１２９ａの第１のブレード表面１２９ａａ（不明瞭）と摺動可能に連通するように適合される。また、第１のブレードレシーバ１２１ａの第２の収容面１２１ａｂ（不明瞭）が、平坦であることが好ましく、第１のブレード１２９ａの第１のブレード縁部１２９ａｂと接触するように適合される。本発明の少なくとも１つの実施形態において、第１のブレード縁部１２９ａｂは、重力により第１のブレードレシーバ１２１ａ内に収まるように適合され、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａと第１のブレードレシーバの第２の収容面１２１ａｂとの間の交差点により規定される第１のブレードレシーバ１２１ａの延長された頂点１２１ａｃと接触するように適合される。また、第１のブレードレシーバ１２１ａの第１の収容面１２１ａａは、必要に応じて、第１のブレード縁部１２９ａｂと接触するように適合される。第１のブレードレシーバ１２９ａの細長いリップ１２１ａｄは、第１のブレードレシーバ１２１ａの最右範囲１２１ａｅに位置することが好ましい。リップ１２１ａｄの他の位置が用いられてよい。
【００２７】
図５に、図４を参照して図示し上述したオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの第１のブレードレシーバ１２１ａに対する適当な準備段階位置にあるオーバーヘッド移送フランジ１１３ａの第１のブレード１２９ａを示し、図５は、図４に示す断面Ｖ−Ｖのものである。この準備段階位置が適当である１つの理由として、第１のブレード１２９ａが、第１のブレードレシーバ１２１ａ内の嵌め込み位置に近いため、第１のブレードレシーバ１２１ａをインライン方向１０７（図１を参照）に押しやり、第１のブレードレシーバ１２１ａに対して下降させるだけで、このような嵌め込みが達成されるということが挙げられる。図示した準備段階位置が適当である別の理由として、第１のブレード１２９ａが、複数の準備段階位置アクセス方向（例えば、第１の準備段階アクセス方向１４５ａ、第２の準備段階アクセス方向１４５ｂなど）からその位置に到達できるということが挙げられる。
【００２８】
第１の準備段階位置アクセス方向１４５ａは、図４を参照して図示し上述したような水平方向のアクセス方向である。コンベヤ（例えば、図１のオーバーヘッド移送コンベヤ１０３）に沿って連続するキャリヤ支持体の間（例えば、図１の第１のキャリヤ１０５ａと第２のキャリヤ１０５ｂとの間）に、十分なインライン間隔があれば、第１の準備段階位置アクセス方向１４５ａは、容易に適応されることができ、さらに、図示した準備段階位置を通って、インライン方向１０７（図１を参照）にオーバーヘッド移送フランジ１１３ａを簡単に継続して動かすだけで、第１のブレード１２９ａを、第１のブレードレシーバ１２１ａ内の嵌め込み位置の上方に直接配置できるため、継続性と単純性という利点を備えている。
【００２９】
第２の準備段階位置アクセス方向１４５ｂは、コンベヤに沿ったキャリヤ間の間隔が狭い場合（例えば、第１のキャリヤ１０５ａと第２のキャリヤ１０５ｂが、図１に示すオーバーヘッド移送コンベヤ１０３の可動トラック１０９に沿うような程度に間隔が狭い場合）、第１の準備段階位置アクセス方向１４５ａの代わりとなる実用的な方向である。第２の準備段階アクセス方向１４５ｂは、垂直アクセス方向であり、第１のブレード１２９ａと第２のブレード１２９ｂとにより形成された山形が、ブレードがブレードレシーバ１２１ａ、１２１ｂと接触することなく、第１のブレードレシーバ１２１ａと第２のブレードレシーバ１２１ｂとにより形成される山形の後方で密接して嵌合できるという利点を備える。
【００３０】
第１のブレード１２９ａと第２のブレード１２９ｂとにより形成された山形が、第１のブレードレシーバ１２１ａと第２のブレードレシーバ１２１ｂとにより形成された山形の後方で嵌合できるため、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａから上向きに上昇し、第１のブレードレシーバリップ１２１ａｄと、第１のブレードレシーバ１２１ａの最右範囲１２１ａｅを通って上向きに移動できることにより、第１のブレード１２９ａは、第１のブレードレシーバ１２１ａの後方（例えば、インライン方向１０７の後方）から第１のブレードレシーバ１２１ａの上方へ上昇して、図４および図５に示す適当な準備段階位置に到達する。第２の準備段階位置アクセス方向１４５ｂは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１Ａがオーバーヘッド移送フランジ１１３ａを支持することにある位置に非常に近いオーバーヘッド移送コンベヤ１０３の可動トラック１０９の長さに沿った位置にあるオーバーヘッド移送コンベヤ１０３に、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａを導入することにより、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａとオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａとの間で最小限のインライン横方向の動きをするだけで、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａをオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに嵌め込むことができるようになるという利点を備える。例えば、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａを上昇させている間、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａのフットプリントは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａのフットプリントと重なり合うものであってよい。
【００３１】
図６を参照すると、図５を参照してすべて上述した第１のブレードレシーバ１２１ａ、第１のブレード面１２９ａａ、および第１のブレードレシーバ１２１ａの最右範囲１２１ａｅが示されている。オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、インライン方向１０７（図４を参照）への移動を開始することにより、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａとオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａとの間の相対的な動きが生じる。詳しく言えば、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａが、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの方へ移動することにより、第１のブレード縁部１２９ａｂは、第１のブレードレシーバリップ１２１ａｄのすぐ上方にあり、第１のブレードレシーバ１２１ａの最も右側の範囲１２１ａｅに揃えられる。
【００３２】
第１のブレード１２９ａの第１のブレード縁部１２９ａｂと、第１のブレードレシーバ１２１ａのリップ１２１ａｄとの間には第１の間隙１４７ａがある。本発明の１つの実施形態において、第１の間隙１４７ａは、約３ｍｍ以下であることが好ましく、約１．５ｍｍ以下であることがより好ましい。他の間隙が用いられてよい。さらに、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａのフランジ板１２５（図２）と、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの支持板１１５との間には、第２の間隙１４７ｂがある。本発明の１つの実施形態において、第２の間隙１４７ｂも、約３ｍｍ以下であることが好ましく、約１．５ｍｍ以下であることがより好ましい。他の間隙が用いられてよい。典型的な半導体デバイス製造施設のクリーンルームのスペースは極めてコストがかかる可能性があるため、第１の間隙１４７ａおよび第２の間隙１４７ｂなどの間隙を最小限に維持することが好ましい。
【００３３】
オーバーヘッド移送フランジ１１３ａが、インライン方向１０７（図１を参照）に沿ってオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに近づくとき、第１のブレード１２９ａが、第１のブレードレシーバ１２１ａに直に（例えば、図５の断面に平行に）近づかないことによって、第１のブレード１２９ａに沿った特定の点（例えば、図６に示すように、第１のブレード１２９ａの第１のブレード縁部１２９ａｂに沿った点１２９ａｂａ）が、第１のブレードレシーバ１２１ａに対して垂直な方向に、第１のブレードレシーバリップ１２１ａｄ上の対応する点（例えば、図６に示すように、第１のブレードレシーバリップ１２１ａｄに沿った点１２１ａｄａ）を越えて通過することに留意されたい。さらに正確に言えば、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａが、インライン方向１０７（図１を参照）に、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの方へ進む際、第１のブレード１２９ａと第１のブレードレシーバ１２１ａとの間の垂直方向の収束（例えば、第１のブレード縁部１２９ａｂの「線」は、第１のブレードレシーバリップ１２１ａｄの方へ進む間、その「線」と平行である）と、第１のブレード１２９ａと第１のブレードレシーバ１２１ａとの間の横方向の相対的な動き（例えば、第１のブレード縁点１２９ａｂａは、第１のブレードレシーバリップ点１２１ａｄａを通って横方向に移動する）との組み合わせが生じることになる。
【００３４】
このような状況で、図５から図８および図１０から図１２に断面が示されているオーバーヘッド移送フランジ１１３ａとオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに沿ったそれぞれの点（別々に図示せず）がすべて、図４の断面Ｖ−Ｖのものであると考えられるわけではないが、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａとオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの示し方に必ずしも影響を与えることなく、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａとオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａとの間の距離に応じて、図面ごとに（例えば、図４の断面Ｖ−Ｖのものに近いオーバーヘッド移送フランジ１１３ａ上およびオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａ上の点で切り取られた断面図）変化するものと考えられるべきである。
【００３５】
図７を参照すると、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａが、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対してさらに移動することにより、第１のブレード縁部１２９ａｂは、第１のブレードレシーバの延長された頂部１２１ａｃのすぐ上方にある。オーバーヘッド移送フランジ１１３ａが、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対してこの位置にあると、第１のブレード１２９ａは、垂直経路１４９ａに沿って第１のブレードレシーバ１２１ａに対して落ちることが可能になることによって、第１のブレード縁部１２９ａｂは、第１のブレードレシーバの延長された頂部１２１ａｃとの線形接触を達成することができる。
【００３６】
この代わりとして、第１のブレード１２９ａが、水平経路１４９ｂに沿って同じ水平面において第１のブレードレシーバ１２１ａの方へさらに押し進められることにより、第１の縁部１２９ａｂと第１のブレードレシーバの第２の収容面１２１ａｂとの間に線形接触を得ることができる。さらなる別の代替案として、第１のブレード１２９ａは、水平成分と垂直成分の両方を有する傾斜経路１４９ｃを通って移動して、傾斜経路１４９ｃを介して達成されるものと同様の結果を達成することができる。傾斜経路１４９ｃは、特に、初期水平速度成分の寄与の後、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａをオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａへ降下または落下できるようにすることにより達成されることができる。
【００３７】
一例として、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａ（例えば、オーバーヘッド移送フランジ１１３が一部分である第１のキャリヤ１０５ａ）は、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３の可動トラック１０９と同じ速度で水平方向の推進されることができる（例えば、水平方向の搬送面を与える電動式ローラの設備や任意の他の手段によって）。第１のキャリヤ１０５の水平方向の速度を上げて、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａがオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに「近づく」ようにしてよく、第１のキャリヤ１０５ａ（およびそれに取り付けられたオーバーヘッド移送フランジ１１３ａ）は、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対して降下または落下するように適合されてよい。
【００３８】
オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対するオーバーヘッド移送フランジ１１３ａの横方向の位置が、図６に示すものである場合、またはオーバーヘッド移送フランジ１１３ａが、第１のブレードレシーバリップ１２１ａｄと衝突せずに第１のブレードレシーバリップ１２１ａｄを越えて通過し、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａ、第１のブレードレシーバの第２の収容面１２１ａｂ、または第１のブレードレシーバの延長された頂部１２１ａｃと接触するという条件で、図５に示すように、第１のブレード縁部１２９ａｂが、第１のブレードレシーバリップ１２１ａｄを通り過ぎる前でも、傾斜経路１４９ｃに類似した湾曲経路を開始することができる。
【００３９】
図８を参照すると、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、第１のブレードレシーバ１２１ａに支持された状態で示されており、この場合、第１のブレード１２９ａは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａ内に嵌め込まれている。第１のブレード縁部１２９ａｂは、第１のブレードレシーバの延長された頂部１２１ａｃと線形接触状態にあり、第１のブレード１２９ａは、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａと平面接触状態にある。
【００４０】
一例として、第１のブレード縁部１２９ａｂが、第１のブレードレシーバの延長された頂部１２１ａｃと線形接触する直前に、第１のブレード１２９ａは、右下向きに摺動されてよく、この場合、第１のブレード縁部１２９ａｂは、第１のブレードレシーバの第２の収容面１２１ａｂの上方に摺動して、それと線形接触状態になる。本発明の１つの実施形態において、第１のブレードレシーバの第２の収容面１２１ａｂは、垂直面に対して約２５度から３０度の角度に向いたものであることが好ましい。このような傾斜により、第１のブレード１２９Ａは、第１のブレード縁部１２９ａｂと第１のブレードレシーバの第２の収容面１２１ａｂとの接触点から下方に迅速に走行することになる。他の角度が用いられてよい。
【００４１】
この代わりとして、第１のブレード１２９ａは、左下向きに摺動されてよく、この場合、第１のブレード面１２９ａａは、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａの上方に摺動して、それと平面接触状態になる。本発明の少なくとも１つの実施形態において、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａは、垂直面に対して約２５度から３０度の角度に向いたものであることが好ましい。他の角度が用いられてよい。
【００４２】
第１のブレード１２９ａが、第１のブレードレシーバ１２１ａ内に着座している間（および第２のブレード１２９ｂが、第２のブレードレシーバ１２１ｂ内に着座している間（図４および図５を参照））、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａにより与えられる第１のブレード面１２９ａａの障害物により、横方向と後方方向（例えば、インライン方向１０７（図１を参照）とは反対の方向）の両方に制限されることが有益である。本発明の少なくとも１つの実施形態において、ブレード面および収容面は、平坦であることが好ましく、第１のブレード面１２９ａａと第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａとの間が密接して係合するように、垂直方向に対して相補的な配向を有する。前述したように、第２のブレードレシーバは、同様に、横方向の動きを制限する。また、平坦ではない表面が用いられてもよい。
【００４３】
同時に、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、第１のブレードレシーバの第２の収容面１２１ａｂにより与えられる第１のブレード縁部１２９ａｂの障害物により、前方方向（例えば、インライン方向１０７（図１を参照））に制限されることが有益である。第１のブレード縁部１２９ａｂおよび第１のブレードレシーバの第２の収容面１２１ａｂが摺動可能に連通するように適合されるときは常に、第１のブレード縁部１２９ａｂと第１のブレードレシーバの第２の収容面１２１ａｂとの間で滑らかな摺動が確保されるように、第１のブレード縁部１２９ａｂは、ある程度丸いものであってよい（例えば、鋭利な角を折ったもの、丸みをつけた縁部、切頭円錐など）。
【００４４】
しかしながら、第１のブレード縁部１２９ａｂと第１のブレードレシーバの第２の収容面１２１ａｂとの間の連通は、ほとんど、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａをオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａ上に置くプロセスの間にのみ起こると予想されることに留意されたい。すなわち、第１のブレード縁部１２９ａｂが、第１のブレードレシーバの延長された頂部１２１ａｃ内に嵌め込まれ、第１のキャリヤ１０５ａ（図１に図示）が、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３によりインライン方向１０７に輸送されていると、第１のキャリヤ１０５ａが、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対して前方にオーバーヘッド移送フランジ１１３ａを動かそうとする力を受ける可能性が比較的ほとんどない場合がある。以下にさらに説明するように、図９から図１２を参照すると、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、それを横方向に動かそうとする力、または、それを後方に動かそうとする力、またはこのような力の組み合わせを受ける可能性が高い。
【００４５】
図９は、インライン方向１０７に第１のキャリヤ１０５ａを運ぶために、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａとオーバーヘッド移送フランジ１１３ａとの間の本発明の結合を利用した、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３の一部分の斜視切取図である。オーバーヘッド移送コンベヤ１０３が第１のキャリヤ１０５ａを運ぶ際に通る経路に存在する物体１５１が、第１のキャリヤ１０５ａの角１０５ａａに衝突する。物体１５１は、プログラミングエラー、配置を間違えた機器、または任意の他の物体により、意図した経路から離れて移動したロボットなどの機械装置の一部分であってよい。オーバーヘッド移送コンベヤ１０３付近の位置に、意図的または意図せずに、他の多くの物体または製品が配置されることによって、第１のキャリヤの角１０５ａａで、第１のキャリヤ１０５ａとの衝突が起こってよい。
【００４６】
また、第１のキャリヤ１０５ａとの衝突は、物体（別々に図示せず）が、第１のキャリヤ１０５ａの底部、側部、上部、または後部と衝突することにより生じてもよい。対象物が、後方から第１のキャリヤ１０５ａに衝突することは予想されておらず、これは、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３の可動トラック１０９が、インライン方向１０７で高速に基板キャリヤを運ぶことが好ましいためである。
【００４７】
本発明のオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａおよびオーバーヘッド移送フランジ１１３ａの利点として、第１のキャリヤ１０５ａが、所定量の後方または横方向の力、例えば、３ポンド以上、または好ましくは、５ポンド以上の力を受けたとき、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３から予測可能および制御可能に外すことができることが挙げられる。すなわち、本発明の１つの実施形態において、第１のキャリヤ１０５ａが、前部または側部から第１のキャリヤ１０５ａへ向けられた１ポンドまたは２ポンドの力で衝突されれば、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、第１のキャリヤ１０５ａがオーバーヘッド移送コンベヤ１０３によりインライン方向１０７に継続的に運ばれるように、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａ内に留まることが好ましい。しかしながら、第１のキャリヤ１０５ａが、前部または側部から第１のキャリヤ１０５ａへ向けられた７ポンドまたは８ポンドの力で衝突されれば、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａから外れ、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３から離れる方向へ、さらに、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３により保持されている他の基板キャリヤから離れる方向へ下向きに落下することが好ましい。
【００４８】
上述したように、図１を参照すると、第１のキャリヤ１０５ａが、インライン方向１０７に可動トラック１０９に沿ってオーバーヘッド移送コンベヤ１０３により運ばれているとき、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対するオーバーヘッド移送フランジ１１３ａの一部での横方向の相対的な動き、前部と後部の相対的な動き、および後部と前部の相対的な動きは制限され、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３の通常の動作において、このような動きは本質的に防止される。オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対するオーバーヘッド移送フランジ１１３ａの下向きの動きも同様に制限される。しかしながら、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対するオーバーヘッド移送フランジ１１３ａの上向きの動きは、一般的に制限されない。
【００４９】
図９に示す物体１５１は、インライン方向１０７におけるオーバーヘッド移送コンベヤ１０３の速度、第１のキャリヤ１０５ａが物体１５１と衝突する角度、および第１のキャリヤ１０５ａの幅（例えば、可動トラック１０９から、物体１５１と第１のキャリヤ１０５ａとの間で衝突が生じる位置の距離）に応じて変化することになる横方向および後方の力を第１のキャリヤ１０５ａに与える可能性がある。しかしながら、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａは、水平面におけるオーバーヘッド移送フランジ１１３ａのねじれおよび並進の動きを制限することが好ましい。このようなことから、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３の可動トラック１０９へのダメージを防止するために、衝突から生じる水平方向の力は、ある程度再方向付けされなければならない。
【００５０】
インライン方向１０７においてオーバーヘッド移送フランジ１１３ａの正面から見た場合、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａ（図５）は後方に傾斜しており、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａおよび第２のブレードレシーバ１２１ｂ（図２を参照）上のそれに相当する面（図示せず）により形成された先端が切り取られた水平方向の山形は、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの前部付近の狭いアスペクトから、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの後部付近のより広いアスペクトへと増大する。後部外向きにテーパ状になった山形を形成する２つの後方傾斜面をこのように組み合わせると、係合面（例えば、第１のブレード表面１２９ａａと、第２のブレード１２９ｂ（図２を参照）上のそれに相当する面（図示せず））が、持ち上がるにつれて対応する支持面に沿って摺動し、それと係合連通した状態で、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａに対して後方上向きに「持ち上がる」。
【００５１】
動作中、上述したような後方上向きの傾斜面から構成される山形状の配置は、（例えば、衝突している間に）第１のキャリヤ１０５ａが受けることがある後方横向きの衝突力と協働して、第１のキャリヤ１０５ａのオーバーヘッド移送フランジ１１３ａを、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３のオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対して後方上向きに移動させる。オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａから外れることによって、第１のキャリヤ１０５ａがオーバーヘッド移送コンベヤ１０３から落下するようにしてよい。このような協働に関しては、図１０から図１２を参照しながら、以下に説明する。
【００５２】
図１０から図１２は、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの第１のブレードレシーバ１２１ａと、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの第１のブレード１２９ａとのそれぞれの部分の断面図であり、同図は、第１のキャリヤ１０５ａをオーバーヘッド移送コンベヤ１０３から外す分離プロセスを示す。図１０を参照すると、図５および図６に示すように、第１のブレード１２９ａが延在する方向に垂直な方向に、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａに対して力Ｆ１がかけられ、この力は、図１０に示すように、第１のキャリヤ１０５ａと物体１５１との間の衝撃から得られた力である。
【００５３】
第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａにより、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの第１のブレード１２９ａの横方向の動きに対して障害物が与えられなければ、力Ｆ１は、図８に示されているオーバーヘッド移送フランジ１１３ａが存在する水平面内において横方向に、第１のブレードレシーバ１２１ａから離れる方向に第１のブレード１２９ａを押しやる。しかしながら、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａは、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａと第１のブレード面１２９ａａとの間の平坦な連通により、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの横方向の動きを方向付けるため、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、全体的に見て、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対して後方上向きに摺動または「持ち上がる」第１のブレード面１２９ａａにより、力Ｆ１に反応する。
【００５４】
上述したように、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対して、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａが後方に動くということは、すなわち、第１のブレード面１２９ａａが、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａに沿って上向きに摺動するにつれ、図１０の断面が切り取られたオーバーヘッド移送フランジ１１３ａ上の点（図示せず）が紙面内に移動するということであり、さらに、図１０から図１２のオーバーヘッド移送フランジ１１３ａの断面が、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの異なる点で切り取られているということである。
【００５５】
再度、図１０を参照すると、Ｆ１の力に反応して、第１のブレード１２９ａの第１のブレード面１２９ａａは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａを方向１５３に持ち上げ、この方向は、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａの傾斜１５５に揃ったものである。オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの第１のブレード面１２９ａａと、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａとは、平坦な連通状態にあり、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの他方側上の相補面（図示せず）が同時に動作するため、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、第１のキャリヤ１０５ａと物体１５１（図９を参照）との間が衝突する前に、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３（図８を参照）に沿ってオーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａにより運ばれている間、持ち上がり時に、想定された水平方向の配向を維持する傾向を備えることができる。さらに、上述したように協働する表面を配置することにより、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａが持ち上がり、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａに対して後方に移動すると、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの中心面（図示せず）が、オーバーヘッド移送コンベヤ１０３の可動トラック１０９とほぼ揃った状態に維持されてよい。
【００５６】
図１１を参照すると、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａから完全に外されており、投射運動経路１５７で示すように、上向きの投射運動状態になり、この経路は、第１のブレードレシーバの第１の収容面１２１ａａの傾斜１５５から逸れている。この時点で、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、垂直方向の動きに制限されておらず、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａから離れて下向きに進むことになる。
【００５７】
図１１に、第１のブレード縁部１２９ａｂが、第１のブレードレシーバの延長された頂部１２１ａｃに対する間隙１４７ｃ、すなわち、第１のブレードレシーバの延長された頂部１２１ａｃの上方の第１のブレードレシーバリップ１２１ａｄの高さと一致する間隙を少なくとも達成するように持ち上がったオーバーヘッド移送フランジ１１３ａを示す。このようにして、第１のブレード縁部１２９ａｂは、第１のブレード１２９ａが第１のブレードレシーバ１２１ａに衝突するという危険性がなく、第１のブレードレシーバリップ１２１ａｄの上方を通ることができる。間隙１４７ｃは、約３ｍｍであることが好ましく、間隙１４７ｃの範囲は、上述したように、この実施形態では約５ポンドである所望の分離力に部分的に基づいて選択されることに留意されたい。所望の分離力が５ポンド未満であれば、より小さな間隙１４７ｃが選択されてよく、その逆も同様である。例えば、本発明の別の実施形態において、第１のキャリヤ１０５ａをオーバーヘッド移送コンベヤ１０３から外すためには、最大２０ポンドの力が必要な場合がある。このような実施形態において、より大きな間隙１４７ｃが望ましい場合がある（例えば、１つの実施形態において、約０．５インチ）。
【００５８】
図１２を参照すると、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａから離れるように後方下向きに通過し、このときの第１のブレード縁部１２９ａｂ上の連続点を投射運動経路１５７の残像で表す。第１のキャリヤ１０５ａ（図９を参照）は、物体１５１（図９を参照）との衝突後、第１のキャリヤ１０５ａを慎重に収集するためのネットまたは他の同様の機構に捕捉されてよい。
【００５９】
上述した記載は、本発明の例示的な実施形態のみを開示したものであり、本発明の範囲内にある上記に開示した装置および方法の修正は、当業者には容易に明らかであろう。例えば、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａおよびオーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、任意の適切な材料から形成されてよい（例えば、自由に摺動し、長期的な耐磨耗性がある材料）。オーバーヘッドキャリヤ支持体および／またはオーバーヘッド移送フランジの例示的な材料は、金属（例えば、ステンレス鋼、アルミニウムなど）、プラスチック（例えば、ポリカーボネート、ポリエチレン、他の超高分子量または高密度プラスチック、ナイロン、ＰＴＦＥなど）、または他の同様な材料を含む。プラスチック構成部品が成形されてよく、または別の方法で製造されてよい。
【００６０】
図１３は、このような構成部品の代替実施形態を示す、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａの第１のブレードレシーバ１２１ａと、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの第１のブレード１２９ａとの一部分の断面図である。図１３を参照すると、第１のブレードレシーバ１２１ａの最右範囲１２１ａｅと、第１のブレード１２９ａの第１のブレード縁部１２９ａｂは、垂直方向から約４５度に傾斜している（他の角度が用いられてよい）。このような構成により、最右範囲１２１ａｅと第１のブレード縁部１２９ａｂが傾いていない場合に比べ、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａの捕捉ウィンドウがより大きくなる。また、傾斜している場合、これらの面は、位置がずれていると互いに対して摺動することがあり、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａによりオーバーヘッド移送フランジ１１３ａを捕捉する支援をすることがある。
【００６１】
本願明細書において、主に、オーバーヘッド移送システムで使用するために、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａとオーバーヘッド移送フランジ１１３ａとを記載してきたが、任意の他の場所でオーバーヘッド移送フランジ１１３ａを有する基板キャリヤを支持および／または位置決めするために、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａ（またはその部分）が用いられてよいことを理解されたい。例えば、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａ（またはその部分）は、ストッカ、基板キャリヤクリーナ、処理ツールの一部である局所格納バッファ、炉またはウェットクリーンステーションなどのバッチ処理ツール内の基板キャリヤを支持および／または位置決めるために使用されてよい。
【００６２】
図１４は、本発明によるオーバー移送フランジを介して基板キャリヤを支持するように構成された複数の棚１７５ａ〜ｂの斜視図である。２つよりも多い数または少ない数の棚が用いられてよい。各棚１７５ａ〜ｂは、ブレードレシーバ１２１ａ、１２１ｂが結合された（または形成された）支持表面１７７ａ〜ｂを含む。このようにして、棚１７７ａ〜ｂは、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａ（図１から図１２）などのオーバーヘッド移送フランジを有する基板キャリヤを支持してよいオーバーヘッドキャリヤ支持体を形成する。ブレードレシーバ１２１ａの角度／寸法は、例えば、前述したものと同様のものであってよい。棚１７７ａ〜ｂは、基板キャリヤが支持される任意の場所に取り付けられてよい（例えば、ストッカ、基板キャリヤクリーナ、処理ツールの一部である局所格納バッファ、バッチ処理ツール内など）。本発明の１つ以上の実施形態において、棚１７５ａおよび／または１７５ｂは、可動のものであってよい。例えば、棚１７５ａおよび／または１７５ｂは、処理ツールの装填口へ／から基板キャリヤを合体させたり切り離したりするために使用されてよい。
【００６３】
図１５は、最上部の棚１７５ａが、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａを介して基板キャリヤ１７９を支持した状態にある図１４の棚１７５ａ〜ｂの斜視図である。基板キャリヤ１７９は、単一基板キャリヤであってよく、または複数基板キャリヤを収容するように適合されてよい。明らかなように、ブレードレシーバ１２１ａ、１２１ｂおよびオーバーヘッド移送フランジ１１３ａを使用することで、基板キャリヤを、高実装密度で積層でき、比較的少ない動きで格納棚上に格納し、そこから取り除くことができるようになる。
【００６４】
オーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、開いた基板コンテナまたはトレイとともに用いられてよい。オーバーヘッドキャリヤ支持体のブレードレシーバは、オーバーヘッドキャリヤ支持体の前部から後部（水平方向に対して）に傾斜されてよく、および／または、オーバーヘッド移送フランジのブレード縁部は、オーバーヘッド移送フランジの前部から後部（水平方向に対して）に傾斜されてよい。
【００６５】
以上、本発明の例示的な実施形態に関連して本発明を記載してきたが、他の実施形態が、特許請求の範囲により規定される本発明の趣旨および範囲内のものであることを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】オーバーヘッド移送コンベヤが第１および第２のキャリヤを輸送している際の、オーバーヘッド移送コンベヤの一部分の立面斜視図である。
【図２】図１に示すオーバーヘッドキャリヤ支持体およびオーバーヘッド移送フランジのアセンブリをインライン方向に沿って拡大して示した立面斜視図である。
【図３】図２に示すオーバーヘッドキャリヤ支持体およびオーバーヘッド移送フランジのアセンブリを拡大して示した底面図である。
【図４】図２に示すオーバーヘッドキャリヤ支持体およびオーバーヘッド移送フランジを拡大して示した底面図である。
【図５】オーバーヘッドキャリヤ支持体の第１のブレードレシーバと、オーバーヘッド移送フランジの第１のブレードとのそれぞれの部分の斜視図である（断面を含む）。
【図６】オーバーヘッドキャリヤ支持体の第１のブレードレシーバと、オーバーヘッド移送フランジの第１のブレードとのそれぞれの部分の斜視図である（断面を含む）。
【図７】オーバーヘッドキャリヤ支持体と、オーバーヘッド移送フランジとの同じ部分の単純な断面図である。
【図８】オーバーヘッドキャリヤ支持体と、オーバーヘッド移送フランジとの同じ部分の単純な断面図である。
【図９】オーバーヘッド移送コンベヤがキャリヤを保持して通る経路に存在する物体がキャリヤに衝突する、オーバーヘッドキャリヤ支持体とオーバーヘッド移送フランジとの間に本発明の結合を利用した、図１のオーバーヘッド移送コンベヤの一部分の斜視切取図である。
【図１０】図１のオーバーヘッド移送コンベヤからキャリヤが外れる分離プロセスを示した、オーベーヘッドキャリヤ支持体の第１のブレードレシーバと、オーバーヘッド移送フランジの第１のブレードとのそれぞれの部分の断面図である。
【図１１】図１のオーバーヘッド移送コンベヤからキャリヤが外れる分離プロセスを示した、オーベーヘッドキャリヤ支持体の第１のブレードレシーバと、オーバーヘッド移送フランジの第１のブレードとのそれぞれの部分の断面図である。
【図１２】図１のオーバーヘッド移送コンベヤからキャリヤが外れる分離プロセスを示した、オーベーヘッドキャリヤ支持体の第１のブレードレシーバと、オーバーヘッド移送フランジの第１のブレードとのそれぞれの部分の断面図である。
【図１３】このような構成部品の代替実施形態を示した、オーバーヘッドキャリヤ支持体の第１のブレードレシーバと、オーバーヘッド移送フランジの第１のブレードとの部分の断面図である。
【図１４】本発明によるオーバーヘッド移送フランジを介して基板キャリヤを支持するように構成された複数の棚の斜視図である。
【図１５】最上部の棚がオーバーヘッド移送フランジを介して基板キャリヤを支持する、図１４の棚の斜視図である。
【符号の説明】
【００６７】
１０３  オーバーヘッド移送コンベヤ
１０５ａ  第１のキャリヤ
１０５ｂ  第２のキャリヤ
１０７  第１のインライン方向
１０９  可動トラック
１１１ａ  第１のオーバーヘッドキャリヤ支持体
１１１ｂ  第２のオーバーヘッドキャリヤ支持体
１１３ａ  第１のオーバーヘッド移送フランジ
１１３ｂ  第２のオーバーヘッド移送フランジ
１１５  支持板
１１７  結合クランプ
１１９  可撓性ハンガ
１２１ａ  第１のブレードレシーバ
１２１ｂ  第２のブレードレシーバ
１２３ａ  支持板の第１の側部
１２３ｂ  支持板の第２の側部
１２５  フランジ板
１２７  ファスナ穴
１２９ａ  第１のブレード
１２９ｂ  第２のブレード
１３１ａ  フランジ板の第１の側部
１３１ｂ  フランジ板の第２の側部
１３１ｃ  フランジ板の第３の側部
１３３  補強拡張部分
１３７  オーバーヘッドフランジ捕捉ウィンドウ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【外国語明細書】
2004262654000001.pdf