(57)【要約】【課題】所要の高温分布をベルト幅方向で高度に均一化でき、しかも低温で走行するベルトを瞬時に高温化でき、更には加熱ロールの表面を均一に平滑化できるとともに、加熱ロールが金属製無端ベルトのエッジによって傷付くことがなく被加工品に対する均一な加熱と加圧が可能なダブルベルトマシーンにおける加熱・加圧方法と同ベルトマシーンを提供する。【解決手段】上下一対の金属製無端ベルト（１，２）  を、その対面ベルト領域で同一方向に駆動回転させて、前記対面ベルト領域において、対面するベルト（１，２）  間に被加工品（Ｗ）  を連続的に供給して同一方向に移送する。この移送の間に、前記対面ベルト領域において複数の誘導加熱ロール（１９）をもって各ベルト（１，２）  を対面方向に押圧すると同時に高温加熱して、上下ベルト（１，２）  間をベルト（１，２）  の回動とともに被加工品（Ｗ）  に対して連続処理を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下一対の金属製無端ベルトを、その対面ベルト領域で同一方向に駆動回転させること、
前記対面ベルト領域において、対面するベルト間に被加工物を連続的に供給して同一方向に移送すること、及び
この移送の間に、前記対面ベルト領域において誘導加熱ロールをもって各ベルトを対面方向に押圧すると同時に高温加熱すること、                        を含んでなることを特徴とするダブルベルトマシーンによる被加工品の加熱加圧方法。
【請求項２】
前記誘導加熱ロールにより前記一対の金属製無端ベルトを４００℃以上に加熱することを含んでなる請求項１記載の被加工品の加熱加圧方法。
【請求項３】
前記誘導加熱ロールの表面が硬度Ｈｖ８００〜１０００の層を有する誘導加熱ロールである請求項１記載の被加工品の加熱加圧方法。
【請求項４】
前記誘導加熱ロールの母材表面から少なくとも１．５ｍｍの深さにわたって硬化処理を行って、Ｈｓ５７〜８０の硬度とした誘導加熱ロールである請求項１〜３のいずれかに記載の被加工品の加熱加圧方法。
【請求項５】
上下に一対配され、その対面ベルト領域を同一方向に駆動される金属製の無端ベルトと、
上下の各無端ベルトの内部対面ベルト領域に対向して配され、各ベルトを対面方向に押圧可能な１以上の誘導加熱ロールと、
を少なくとも備えてなることを特徴とするダブルベルトマシーン。
【請求項６】
前記誘導加熱ロールの表面が硬度Ｈｖ８００〜１０００の層を有する誘導加熱ロールである請求項５記載のダブルベルトマシーン。
【請求項７】
前記誘導加熱ロールがその母材表面から少なくとも１．５ｍｍの深さまでＨｓ５７〜８０の硬度を有する誘導加熱ロールである請求項５又は６記載のダブルベルトマシーン。
【請求項８】
前記誘導加熱ロールがその母材表面に硬質メッキ膜を有するとともに、同ロールの母材の中心部に誘導加熱コイルを有し、同誘導加熱コイルを囲繞するように熱媒ジャケットを有してなり、同ロールの少なくとも前記熱媒ジャケットの囲繞領域がＨｓ５７以上の硬度を有するものである請求項５又は６記載のダブルベルトマシーン。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、上下に配された一対の金属製、好ましくはステンレススチール製無端ベルト間に被加工品が供給され、同被加工品が無端ベルト間を連続的に移送される間に特に加熱加圧される領域を備え、同無端ベルト上で被加工品に対して多様な連続処理をなすダブルベルトマシーンによる被加工品の加熱加圧方法とそのダブルベルトマシーンに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、金属製の無端ベルトを使って、様々な製品の加工や製造がなされるようになってきている。これらの加工や製造のための機械は、単にベルトマシーンと呼称されることが多い。このベルトマシーンの利点は、被加工品に対して多様な条件下で多様な処理が同一ベルト上で連続処理が可能であること、常に平面上で加工が可能であること、被加工品にはベルトを離れるまで張力がかからないことなどがある。そのベルトマシーンの種類も多様であり、例えばベルト上に溶融樹脂を流し込みながら直接フィルムを製造するフィルム成形機、或いは同じくベルト上を搬送されるシート製品の表面に薄膜をコーティングする塗工機などがある。これらのベルトマシーンの代表的な方式は、通常、単一の金属製無端ベルトを使い、そのベルト上で被加工品に対して所望の加工を行うシングルベルトマシーンと、上下の金属製無端ベルトの間にて被加工品に対して各種の加工を行うダブルベルトマシーンとの２種類が主たるものである。
【０００３】
前記シングルベルトマシーンの一例として、例えば特許文献１に開示されたベルトマシーンがある。このシングルベルトマシーンは、流動性の化学製品を粒子に成形するための滴下成形機である。この滴下成形機は、大気圧下において、流動性の化学製品が収容される内部室を有する回転スクリーンを回転させて、室内の圧力部材に流動性の化学製品を衝突させて流体圧力を生成し、スクリーンの開口を通って流動性の化学製品を押し出して点滴を形成せしめ、一方に走行する金属製の無端ベルトの搬送表面上に滴下させる。この搬送表面上で滴下した点滴は搬送され固化して粒子になり、そこから取り出されて収集される。この粒子としては、例えば薬剤、調味料、芳香剤、合成洗剤、樹脂安定剤などの化学製品からなる粒子である。
【０００４】
一方のダブルベルトマシーンは、被加工物を走行する上下ベルト間で搬送しながら同時に加熱／冷却、反応、加圧／積層、鏡面転写等の各種加工を連続的に行うものであり、例えば発泡樹脂ボード、ゴム、複合材シート又はボードの熱処理装置、或いはプリント基板表面に対する樹脂コーティング装置や、金属及びゴムとの貼り合わせ物の量産用装置、高温下で特殊処理するフレキシブル基板用のラミネート装置等を挙げることができる。例えば、特許文献２によれば、コイルアンテナにＩＣチップが実装されたインレットシートをカード基材間に配置させたワークＷを、上下に配され一方向に対向ベルト領域において走行する金属製の無端ベルトで挟持して、加熱・加圧装置により加熱したのち加圧するとともに冷却し、ＩＣチップ内蔵型の樹脂カードを製造するダブルベルトマシーンが開示されている。
【０００５】
また、このダブルベルトマシーンの他の例としては、例えば特許文献３には、同方向に同速度で進行する一対の金属製無端ベルトを直列に２組以上設置して、未発泡樹脂シートを前記一対のベルトをもって挟圧して移送しながら均一な気泡を有する発泡シートを連続して製造する方法が開示されている。この方法では、少なくとも前記第１組目と前記第２組目との各エンドレスベルトにより挟圧されて移送される発泡シートの両側部を使用樹脂の融点以下の温度に制御しており、また第２組目の前記エンドレスベルトを第１組目のそれより５〜１０００％増の速度で進行させ、第３組以降の前記エンドレスベルトを直前の組のエンドレスベルトとほぼ同速度で進行させる。第１組目と第２組目のエンドレスベルトにおける入口側のシート挟圧ベルト部分の温度と、出口側のシート挟圧ベルト部分の温度とをそれぞれ制御するとともに、第３組目以降のエンドレスベルトの温度を所定温度に制御している。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−２７６８７７号公報
【特許文献２】
特開平１１−３３８９９７号公報
【特許文献３】
特開平８−１５６１１９号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような金属製無端ベルトは、通常、その肉厚は（０．６〜３ｍｍ）と厚く、長さも８ｍを越えるものが多い。しかも、この種のベルトマシーンの特徴は、上述のごとく加熱・冷却・加熱加圧などの多様な処理を同一ベルト上で連続処理することができることであり、そのため加工しようとする製品によってはベルト自体の温度を４００℃以上にまで均一に昇温させると同時に高圧で加圧し、直後に階段状に近い温度変化で５０〜６０℃まで冷却しなければならないことである。
【０００８】
一般の加熱加圧ロールは内部に加熱／又は冷却媒体用のジャケットが単に形成されているに過ぎず、そのジャケットに加熱／又は冷却用媒体が流され、加熱加圧ロールの表面を加熱又は冷却している。しかしながら、この加熱用媒体を流す方式の加熱ロールでは、そのロール表面温度をせいぜい３００℃程度までしか昇温できず、しかも昇温時におけるロール軸方向の温度分布は、加熱用媒体の流動による影響から均一化することが極めて難しい。
【０００９】
ロール表面の温度分布のバラツキが広く許容される通常の加工分野の場合は別として、例えば既述したようなプリント基板の表面に対して樹脂をコーティングする場合や、金属箔とゴムやフィルムとの貼り合わせ、或いは４００℃以上の高温で且つ４９０Ｎ／ｃｍ以上の高加圧が必要なフレキシブル基板用のラミネーティングなど高精度の温度管理や圧力管理が必要な加工分野では、例えば温度条件などにおいて加工が可能であったとしても、温度分布や圧力分布に関して僅かなバラツキが生じると、製造された製品の特性にもバラツキが生じることが多く、歩留りが大幅に低下する。
【００１０】
なお、上述のごとく金属製無端ベルトが使われ多様な加工を連続して行うことができるベルトマシーンでは、ベルトの走行方向に高温域と低温域とが存在しても、ベルトは常時走行していることから、加熱・冷却ロールにより被加工品を直接加熱・冷却する通常のロールマシーンの場合とは異なり、高温域の直後に冷却ロールを配置し、ベルトからの伝熱を利用し、階段状に近い変化で低温域へと被加工品の温度を変更することができる。
【００１１】
しかし、ベルト幅方向の温度分布を高温域で高精度に均一加熱するには、前述したとおり熱媒体の流動による影響から、熱媒体による加熱ロールを適用して均一加熱することは極めて難しいし、４００℃以上は勿論、３００℃を超えて加熱することも熱媒の３００℃以上での連続安定性が困難なことを考慮すると、事実上困難である。
【００１２】
また、この種のダブルベルトマシーンには、既述したとおり、例えばフィルムの連続装置や各種のラミネーターがある。これらの機械を稼働させるには、上下無端ベルト間の加圧間隙をベルト幅方向で高精度に制御する必要がある。これは、単にベルトの平面度を高くすれば十分であるとは言えず、同ベルトを押圧するロール表面の平滑度も、その周方向に限らず軸方向における分布にバラツキがあってはならない。一方、上述のような加熱媒体を流すだけのロール構造では、高温下にあるロール表面の温度分布を高精度に制御しにくいことから、その温度分布に応じて、ロール熱膨張量が異なるため、ロール軸方向で外周差が生じ易い。
【００１３】
また、回転する加熱ロール面を高温高圧下で金属製無端ベルトが走行すると、ロールのベルト走行面、特にベルトのエッジ部分がロール面に噛みつきやすく、ロールの周面に周方向に連続する筋状の噛みつき傷がつきやすい。この傷は、加工製品に対する加工精度に大きく影響する。
【００１４】
ダブルベルトマシーンによる被加工品に対する加工は、既述したとおり過酷な加工条件の下で複数の工程を高精度に連続加工することが強く求められている。しかしながら、従来のこの種のダブルベルトマシーンによる加工では、特に加熱加圧部において、一般のロールマシーンに使われている単なる熱媒体を流すことによる加熱ロールが使われており、ロール内を流動する熱媒体の温度を流れ方向に均一化することは難しく、特にロール軸方向の温度のバラツキを無くすことは不可能である。また、ロール表面温度を３００℃以上の高温とすることができず、そのような高温加工が必要な場合に対応することも到底不可能である。
【００１５】
そこで、本発明者等は数多くの利点を有するダブルベルトマシーンにあって、その利点を生かし切れない加熱加圧手段について、様々な実験を繰り返した結果、従来からもロール単独では様々な分野に適用されているにも関わらず、ダブルベルトマシーンには一切使われたことのない誘導加熱ロールを適用することにより、既述した全ての課題が解決できることを見出した。
【００１６】
本発明は、こうしたベルトマシーンに特有の様々な課題を解消すべくなされたものであり、その具体的な目的は所要の高温がベルト幅方向で高度に均一化でき、しかも低温で走行するベルトを４００℃以上に高温化でき、更には加熱ロールの表面を均一に平滑化できるとともに、加熱ロールが金属製無端ベルトのエッジによって傷付くことがなく被加工品に対する均一な加熱と加圧が可能なダブルベルトマシーンによる加熱・加圧方法と同加熱・加圧方法が効果的に実施できるダブルベルトマシーンを提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段及び作用効果】
前記目的を達成するため、本発明方法の基本構成は上下一対の金属製無端ベルトを、その対面ベルト領域で同一方向に駆動回転させること、前記対面ベルト領域において、対面するベルト間に被加工物を連続的に供給して同一方向に移送すること、及びこの移送の間に、前記対面ベルト領域において誘導加熱ロールをもって各ベルトを対面方向に押圧すると同時に高温加熱することを含んでなることを特徴とするダブルベルトマシーンによる被加工品の加熱加圧方法にある。
【００１８】
この誘導加熱ロールは、例えばフィルムや紡糸などの延伸ロール、或いは各種のカレンダーロールや塗工ロールとして、加工品をロールに直接巻き掛け或いは直接接触させて加工するロールマシーンに多く使われているが、その加工対象の多くは柔軟性と可撓性に優れた材質からなり、しかも張力をかけて湾曲させながら加工しても材質の物性に大きな影響を与えない被加工品である。
【００１９】
一方、ダブルベルトマシーンをも含めて、この種のベルトマシーンでは、被加工品に対して直接加熱ロールを接触させることなく、０．６〜３ｍｍの肉厚をもつステンレス板などからなる金属製の無端ベルトを介して加熱するものである。しかも、その加工精度は製品の特性に影響を与えないため極めて高い精度が要求される場合が多い。その結果、金属製無端ベルトに接触させながら回転するために、金属ベルト面及びロール表面が互いに傷付くことを恐れるがために、ベルトマシーンにおける加熱ロールに誘導加熱ロールを採用することなど想定すらされなかったものと考えられる。
【００２０】
勿論、誘導加熱ロールをベルトマシーンに適用するためには、後述するごとき改良が必要ではあったが、様々な実験の結果、基本的には誘導加熱ロールを採用することにより、従来の加熱ロールでは達成されなかった多様な課題が一挙に解決された。すなわち、本発明のように誘導加熱ロールを使えば、ロール軸方向のロール表面における温度分布を高度に均一化でき、その誘導加熱によるベルトの温度も容易に４００℃以上まで昇温させることができる。さらには、加熱加圧加工時において生じるロール軸方向の外周差についても、その誘導コイルの配置とコイルごとの投入電圧を制御することにより容易に矯正することが可能である。
【００２１】
一般のベルトマシーンにあっては、既述したとおり金属製の無端ベルトが使われる。そのため、通常の誘導加熱ロールでは表面硬度が低すぎるため、高温高圧化にある無端ベルトとロール間の摩擦などにより、或いは特にベルトのエッジとロールとの接触領域で筋状の噛み付き傷が発生しやすい。これらの傷の発生は、高精度の加工が要求される分野では致命的な影響が出る。そこで、本発明方法にあっては、前記誘導加熱ロールの表面が硬度Ｈｖ８００〜１０００の層を有する誘導加熱ロールを用いることが好ましい。Ｈｖ８００より低いと前述のような傷が生じやすくなる。誘導加熱ロールの表面の硬度Ｈｖを８００〜１０００とするには硬質クロムメッキ等が挙げられる。
【００２２】
さらに本発明方法にあっては、前記誘導加熱ロールの母材表面から少なくとも１．５ｍｍの深さにわたり硬化処理を行い、Ｈｓ５７〜８０の硬度とすることが望ましい。ベルトマシーンによる加工時に、微小な塵芥が加熱加圧ロールとベルトとの間に侵入することがある。通常の誘導加熱ロールの表面には、例えばクロムメッキなどが施されているが、単なるクロムメッキなどでは前述のように微小な塵芥の侵入によりロール表面に食い込み微小な凹部が形成される。この凹部を仔細に調べると、メッキ層とともにロールの母材自体が凹んでいることが判明した。ロール表面におけるこのような微細な凹部でも、ベルトの温度分布に大きな影響を与えかねない。これを避けるためにはロールの母材自体の表面硬度を高くすることが好ましい。その硬度は、特にＨｓ５７以上とすれば前述のごとき凹部の発生が防止できる。Ｈｓ５７〜８０とする硬化処理としては、高周波焼き入れ等が挙げられる。
【００２３】
上述のダブルベルトマシーンにおける加熱加圧方法は、次の基本的な構成を備えたダブルベルトマシーンによって効果的に実施される。
すなわち、本発明に係るダブルベルトマシーンは、上下に一対配され、その対面ベルト領域を同一方向に駆動される金属製の無端ベルトと、上下の各無端ベルトの内部対面ベルト領域に対向して配され、各ベルトを対面方向に押圧可能な１以上の誘導加熱ロールとを少なくとも備えていることを特徴としている。また同ベルトマシーンは、上述のとおり前記誘導加熱ロールの表面が硬度Ｈｖ８００〜１０００の層を有することが望ましく、更には前記誘導加熱ロールの母材表面から少なくとも１．５ｍｍの深さまでＨｓ５７〜８０の硬度を有していることが好ましい。
【００２４】
また、前記誘導加熱ロールは、通常、上述のごとくロール表面にクロムメッキが施されていることが多いが、単なるクロムメッキであると硬度が低いため、既述したような様々な問題が発生する。また、通常、誘導加熱ロールは、同ロールの母材の中心部に誘導加熱コイルを有し、同誘導加熱コイルを囲繞するように熱媒ジャケットを有しており、同ロールの少なくとも空洞部である前記熱媒ジャケットの囲繞部分の硬度がＨｓ５７以上とすることが上述の理由と同じ理由から望ましい。
【００２５】
なお、本発明において、Ｈｖ硬度の測定方法はＪＩＳ  Ｚ２２４４に規定される方法、また、Ｈｓ硬度の測定方法はＪＩＳ  Ｚ２２４６に規定される方法によるものである。
【００２６】
【発明の実施形態】
以下、本発明の代表的な実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明のダブルベルトマシーンの一実施形態である金属箔ラミネート装置を模式的に示している。この実施形態によれば、上下に一対の金属製の無端ベルト１，２が配され、それらの各無端ベルト１，２は図示せぬフレームに設置された前後一対の駆動ロール３，４及び従動ロール５，６のそれぞれに掛け回されている。本実施形態では、上下に配された前記駆動ロール３，４は単一の駆動モーター７によってチェーン８を介して同調して駆動され、上下の無端ベルト１，２の対面領域では両ベルト１，２を同一方向に走行するようにしている。
【００２７】
上部無端ベルト１には複数（図示例では３本）の自由回転する案内ロール９が固設されており、また同無端ベルト１の張力を所要の張力に調整するテンションロール１０が配されている。このテンションロール１０は、シリンダー１１によって、張力付与位置と待機位置との間を移動する。この上部無端ベルト１の上記従動ロール５は、同じくシリンダー１２により加工位置と待機位置との間を垂直方向に往復動可能とされている。更に、前記従動ロール５は図示せぬ加熱手段を内蔵しており、被加工品Ｗに対して予備加熱できるようにしている。
【００２８】
一方の上記下部無端ベルト２にも自由回転する複数（図示例では２本）の案内ロール１３が配されている。本実施形態によれば、この下部無端ベルト２の張力は、図示せぬシリンダーによって水平方向に往復させることにより調整される。また、下部の従動ロール６も上部従動ロール５と同様に図示せぬ加熱手段を内蔵しており、供給される被加工品Ｗを予備的に加熱する。
【００２９】
上記上下一対の駆動ロール３，４は、下部の駆動ロール４に図示せぬ減速機を介して上記駆動モーター７に直結されており、同駆動ロール４の回転軸に配されたチェーンホイール１４、上部駆動ロール３の回転軸に配されたチェーンホイール１５、第１及び第２の補助チェーンホイール１６，１７を介して、前記上部駆動ロール３を同期駆動している。前記駆動モーター７としては、例えばインバーター制御によるサーボモーターなどが代表的である。また、減速機を使う場合には、通常はサイクロ型やコロネット型などの減速機が使われるが、減速機のバックラッシュに起因するギヤーマークを嫌う場合には遊星ローラー減速機を採用することが好ましい。
【００３０】
本実施形態による金属箔ラミネート装置は、被加工品である金属箔の原材Ｗが上下の従動ロール５，６側から導入され、上下の駆動ロール３，４側から送り出される。この対面ベルト領域において、前記原材Ｗは一方向に駆動回転する上下の無端ベルト１，２に挟まれた状態で直線状に移送される間に、前記無端ベルト１，２を介して４００℃の高温のもとに、７８４Ｎ／ｃｍの高圧をもって加熱加圧したのち、３０℃にまで冷却され、連続圧延された金属箔ラミネートの薄板を製造する。
【００３１】
図示例によれば、上部従動ロール５の下流側に配された上部無端ベルト１の案内ロール９の下流側に隣接した上下の各無端ベルト１，２の内部には、図示せぬ各熱風噴出口を対面ベルト領域を走行する無端ベルト１，２のベルト内面に向けた熱風チャンバー１８ａが対設されている。この熱風チャンバー１８ａは熱風循環式であり、ファン１８ｂから送り出された加熱空気を加熱部１８ｃで図示せぬヒーターにより規定温度に加熱して、図示せぬフィルターを通して熱風チャンバー１８ａに送り込む。加熱空気は熱風チャンバーの図示せぬ噴出口から上下無端ベルト１，２の対面ベルト領域を走行するベルト内面に噴出され、ベルト１，２を介して原材Ｗを３５０℃以上に加熱する。噴出された加熱空気は同熱風チャンバー１８ａの図示せぬ排出口から配管を通してファン１８ｂへと戻して循環させている。前記加熱空気を熱風チャンバー１８ａに送り込むための配管と、加熱空気を同熱風チャンバー１８ａからファン１８ｂへと戻す配管には、それぞれに加熱空気風量調整用ダンパー１８ｄ，１８ｅが取り付けられている。
【００３２】
また本実施形態にあっては、前記熱風チャンバー１８ａの下流側に隣接させて多数の加熱加圧ロール１９が上下無端ベルト１，２の内部に対向して配されている。この加熱加圧ロール１９に、本発明の特徴部である誘導加熱ロールが使われており、各誘導加熱ロール１９のうち下部無端ベルト２の内部に配された誘導加熱ロール１９はシリンダー２０により個別に加圧力（ロール間隙）が調整可能とされている。上下のベルト１，２の間隙は、予め設定されている金属板の板厚に応じて設定され、それらの各シリンダー２０により対向する各誘導加熱ロール１９間の間隔をベルト厚さを考慮して厳密に制御している。
【００３３】
前記誘導加熱ロール１９は、例えば図２に概略で示す構造を備えている。その構造を簡単に説明すると、ロール本体１９ａは中空とされ、その内部に図示せぬ外部の電源に接続された誘導コイル１９ｂが配されている。前記ロール本体１９ａには、同一軸心をもつ円周上に円筒状の熱媒体用ジャケット１９ｃが形成されて、このジャケット１９ｃには、例えばナフタレンなどの熱媒体が封入されて、４００℃以上の加熱を可能としている。この誘導加熱ロール１９によるベルトの加熱温度は上限が６００℃にまで昇温させることができ、従来の流動熱媒体による単なる加熱ロールと比較すると比較にならないほど昇温させることが可能であり、その剛性も最大７８４Ｎ／ｃｍの加圧に耐えられる剛性を備えている。
【００３４】
また、ジャケット付きの誘導加熱ロール１９は、投入電圧を制御することによりロール自体を所望の発熱量をもって均一に発熱させるとともに、ロール本体１９ａに形成されたジャケット１９ｃに封入された熱媒体も均一に加熱されるため、高精度に均一化された安定したロール表面温度が得られる。更に誘導コイルの本数を増やすとともに、その配列を調整することにより、高温高圧の過酷な条件下においても、ロール表面に対する高精度の外径形状が得られる。
【００３５】
さて、通常の誘導加熱ロールは、その表面に表面硬度がＨｖ８００程度の硬質クロムメッキが施される。しかしながら、硬質メッキであっても、ロール本体１９ａの母材の硬度が低い場合には、ダブルベルトマシーンの稼働時に、例えばステンレススチール製の無端ベルト１，２と各誘導加熱ロール１９との間に微小な塵芥が侵入することがある。このときベルトの硬度よりもロール母材の硬度が低いとクロムメッキを介して侵入した塵芥が食い込み、ロール母材を変形させてしまう。これを回避するためには、ロール母材自体の硬度を高める必要がある。そこで、本実施形態ではロール母材の表面に予め高周波焼き入れや、窒化処理等の硬化処理を行って硬度を高めておくことが好ましく、このときの硬度Ｈｓは５７〜８０であることが望ましい。
【００３６】
なお、その硬化処理の深さ範囲は１．５ｍｍ以上であることが好ましい。深さが浅すぎると、塵芥の食い込み時の応力に負けてしまい相変わらず凹陥部が形成されてしまう場合がある。本実施形態にあっては、ジャケット１９ｃを囲むロール本体１９ａ（厚み２ｍｍ）を、前述の硬度Ｈｓが５７〜８０となるように高周波焼き入れを行っている。
【００３７】
さて、以上の構成を備えた誘導加熱ロール１９を使って、上下の金属製無端ベルト１，２間に挟まれて移送速度（１ｍ／分）で移送される２枚の銅の原材Ｗ（原材の形状、幅３００ｍｍで厚み３５μｍ）の間に耐熱フィルム（幅２８０ｍｍで厚み１００μｍ）を設置して４００℃に加熱するとともに、両ベルト１，２間を４９０Ｎ／ｃｍの圧力をもって加圧処理を行い、次いで従来から使われている通常の流動熱媒体を使った複数の加熱加圧ロール２１群を通して最終的な加熱加圧を行い、所望のピーリング強度をもつ金属箔積層板を連続して製造した。この加熱加圧ロール２１の加熱温度は２８０℃であり、その加圧力は７８４Ｎ／ｃｍに設定した。
【００３８】
このような過酷な処理条件にも関わらず、上下の無端ベルト１，２及び各誘導加熱ロール１９には長期の使用にも傷が付かず、しかも全体に均一なピーリング強度をもった高品質の金属箔積層板を連続して製造することができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の代表的な実施形態であるダブルベルトマシーンの一構成例を示す正面図である。
【図２】誘導加熱ロールの断面図である。
【符号の説明】
１，２              上下の金属製無端ベルト
３，４              上下のベルト駆動ロール
５，６              上下の従動ロール
７                  駆動モーター
８                  チェーン
９，１３            案内ロール
１０                  テンションロール
１１，１２            シリンダー
１４，１５            チェーンホイール
１６，１７            補助チェーンホイール
１８ａ                熱風チャンバー
１８ｂ                第１ファン
１８ｃ                加熱部
１８ｄ，１８ｅ        加熱空気風量調整用ダンパー
１９                  誘導加熱ロール（加熱加圧ロール）
１９ａ                ロール本体
１９ｂ                誘導コイル
１９ｃ                熱媒体用ジャケット
２０                  シリンダー
２１                  加熱（冷却）加圧ロール
Ｗ                    被加工品（銅薄板の原材）
【図１】
2004314358.tif 000003
【図２】
2004314358.tif 000004