(57)【要約】【課題】イオン捕捉時の高周波電圧の振幅に依る質量ピークのシフトを防止し、質量の正確な同定を可能にする。【解決手段】制御部５は、リング電極１１へ印加している高周波電圧が特定の位相位置であるときに該電圧を停止するべくリング電圧発生器４を制御し、それから所定時間が経過した時点でイオン引き出しのためにエンドキャップ電極１２、１３への電圧を印加する。高周波電圧が特定の位相位置であるときに停止すると、それ以前の電圧振幅に拘わらず、所定時間経過時点でリング電圧は或る一定電圧に収束する。従って、そのタイミングでイオントラップ１からイオンを引き出すことにより、初期エネルギーを揃えて質量ピークのシフトを回避することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電極で囲まれる空間にイオンを捕捉するイオントラップと、該イオントラップから外側に引き出されたイオンを質量分析する飛行時間型質量分析器と、を具備する質量分析装置において、
ａ）分析対象であるイオンをイオントラップ内部のイオン捕捉空間に捕捉する電場を形成するために、前記イオントラップの少なくとも一つの電極にイオン捕捉用の高周波電圧を印加する捕捉用電圧印加手段と、
ｂ）前記イオン捕捉空間に捕捉されているイオンをイオントラップの外側に引き出して前記飛行時間型質量分析器に導入する引き出し電場を形成するために、前記イオントラップの少なくとも一つの電極に引き出し用の電圧を印加する引き出し用電圧印加手段と、
ｃ）前記イオン捕捉空間にイオンを捕捉した状態で、前記高周波電圧が所定の位相であるタイミングで以て該高周波電圧の印加を停止し、その後、所定の時間が経過した時点で引き出し用電圧を印加するべく、前記捕捉用及び引き出し用電圧印加手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする質量分析装置。
【請求項２】
複数の電極で囲まれる空間にイオンを捕捉するイオントラップと、該イオントラップから外側に引き出されたイオンを質量分析する飛行時間型質量分析器と、を具備する質量分析装置における質量分析方法であって、
ａ）前記イオントラップの少なくとも一つの電極にイオン捕捉用の高周波電圧を印加することにより、分析対象であるイオンをイオントラップ内部のイオン捕捉空間に捕捉するイオン捕捉ステップと、
ｂ）前記イオン捕捉空間にイオンを捕捉した状態で、前記高周波電圧が所定の位相であるタイミングで以て該高周波電圧の印加を停止する高周波電圧停止ステップと、
ｃ）前記高周波電圧の印加停止から所定の時間が経過した時点で、前記イオン捕捉空間に捕捉されているイオンをイオントラップの外側に引き出して前記飛行時間型質量分析器に導入する引き出し電場を形成するために、前記イオントラップの少なくとも一つの電極に引き出し用電圧を印加するイオン引き出しステップと、
を順次実行することを特徴とする質量分析方法。
【請求項３】
前記高周波電圧の印加を前記所定の位相位置において停止したした後、前記所定の時間が経過した時点で、その高周波電圧が印加されていた電極の電位が電圧印加停止前の該高周波電圧の振幅に拘わらず略一定値となる、という条件の下に、該所定の位相位置及び所定の時間が定められることを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置又は請求項２に記載の質量分析方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、質量分析装置及び質量分析方法に関し、更に詳しくは、イオントラップ装置をイオン源とする飛行時間型質量分析装置及び質量分析方法に関する。
【従来の技術】
【０００２】
飛行時間型質量分析装置は、通常、加速したイオンを電場及び磁場を有さない飛行空間内に導入し、イオン検出器に到達するまでの飛行時間に応じて各種イオンを質量数（質量／電荷）毎に分離するものである。こうした飛行時間型質量分析装置のイオン源として、イオントラップを利用したものが知られている。
【０００３】
典型的なイオントラップ１は、図４に示すように、中央のリング電極１１と、該リング電極１１を挟んで両側に設けられた一対のエンドキャップ電極１２、１３とにより構成される。通常、リング電極１１に高周波電圧を印加してイオントラップ１内部のイオン捕捉空間１４に四重極電場を形成し、該電場によってイオンを捕捉して蓄積する。イオンは、イオントラップ１の外側で生成された後にイオントラップ１内部に導入される場合と、イオントラップ１の内部で生成されるる場合とがあり得る。なお、イオントラップの理論的な説明は、非特許文献１などに詳しく記載されている。
【０００４】
こうした質量分析装置では様々な種類の試料が分析されるため、分析対象となるイオンの質量も試料に応じて大きく異なる。上記イオントラップでは、単にイオンを蓄積するのみならず、場合によっては、分析対象のイオンの質量数に応じて高周波電圧の大きさを変化させ、イオン捕捉のポテンシャルを最適値に保つことによりイオンの振動運動のクーリングを行ったり、質量数によるイオンの分離選別を行ったり、或いは、イオンの構造解析を行うために選別されたイオンを解離させたりする、といった処理が行われる。
【０００５】
飛行時間型質量分析器により質量分析を行う際には、上記のような各種の処理によりイオントラップ１内部に分析対象となるイオンが用意された時点で、リング電極１１への高周波電圧の印加を停止する。引き続いて、エンドキャップ電極１２、１３にイオン引き出し用の電圧を印加して、イオントラップ１内部にイオン引き出し用電場を形成する。この電場によりイオンは加速されて小孔１３ａを通ってイオントラップ１から飛び出し、飛行時間型質量分析器（ＴＯＦＭＳ＝Ｔｉｍｅ  ｏｆ  Ｆｌｉｇｈｔ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ）３へと導入されて質量分析が行われる。
【０００６】
【非特許文献１】
アール・イー・マーチ（Ｒ．  Ｅ．  Ｍａｒｃｈ）、  アール・ジェイ・フヘス（  Ｒ．  Ｊ．  Ｈｕｇｈｅｓ）著，「クァドルポール・ストレージ・マス・スペクトロメトリー（Ｑｕａｄｒｕｐｏｌｅ  Ｓｔｏｒａｇｅ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）」，  ジョン・ウィレイ・アンド・サンズ（Ｊｏｈｎ  Ｗｉｌｅｙ  ＆  Ｓｏｎｓ），  １９８９年，  ｐ．３１−１１０
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようにイオントラップ１からイオンを引き出す直前に、リング電極１１に印加されていた高周波電圧は、イオンの質量数やイオントラップ１内部で行われた処理の内容によって異なる。例えば高速スイッチなどを用いて高周波電圧の印加を停止したとしても、リング電極１１には高周波共振用のコイルや容量などが接続されているため、実際のリング電極１１の電圧（以下「リング電圧」という）は、図５に示すように、電圧停止時刻ｔｃ以降、リンギングを伴いながらエンドキャップ電極１２、１３と同電位（図５ではゼロ）に次第に近付いてゆく。つまり、リング電圧がエンドキャップ電極１２、１３の電圧（以下「エンドキャップ電圧」という）と同電位に安定するまでには、或る程度の時間を要する。
【０００８】
リング電圧がエンドキャップ電圧と同電位になる前にエンドキャップ電極１２、１３にイオン引き出し用の電圧を印加し、イオントラップ１からＴＯＦＭＳ３へ向けてのイオンの引き出しを行うと、イオントラップ１内部のイオン引き出し用電場が計算上の所望値からずれてしまう。それによって、引き出されたイオンが有する初期的な運動エネルギーにも誤差を生じる。しかも、上記リンギング状態時の振幅は高周波電圧停止前の高周波電圧の振幅に依って変化するため、電圧停止時刻ｔｃから一定時間経過後にイオン引き出しを行おうとしたとき、引き出し用電場のずれ量も変化する。
【０００９】
上記のようなイオンの初期的な運動エネルギーの誤差が僅かであるならば、質量スペクトル上での質量ピークの幅は殆ど変化せず、質量分解能には大きな影響を及ぼさない。しかしながら、運動エネルギーの誤差によってイオンが飛行空間内を飛行する時間が変化し、質量スペクトル上での質量ピークの位置ずれとして現れるため、質量の正確な特定が困難になるという問題を生じる。
【００１０】
一方、高周波電圧停止時刻ｔｃからイオンの引き出しまでの間に充分な時間（つまりリンギングが収まるのに充分な時間）を確保すれば、リング電圧は安定し、上記問題を回避することができる。しかしながら、その場合には、イオントラップ１にイオン捕捉用の四重極電場が無い状態がそれだけ長く続くので、イオン引き出し電場が形成される前にイオンが散逸してしまい、分析可能なイオン量が減少して充分な分析感度を得られなくなるという別の問題が発生する。
【００１１】
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、高い分析感度を維持しつつ、質量スペクトル上での質量ピークの位置のずれを防止し、質量特定の精度を高めることができる質量分析装置及び質量分析方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために成された第１発明は、複数の電極で囲まれる空間にイオンを捕捉するイオントラップと、該イオントラップから外側に引き出されたイオンを質量分析する飛行時間型質量分析器と、を具備する質量分析装置において、
ａ）分析対象であるイオンをイオントラップ内部のイオン捕捉空間に捕捉する電場を形成するために、前記イオントラップの少なくとも一つの電極にイオン捕捉用の高周波電圧を印加する捕捉用電圧印加手段と、
ｂ）前記イオン捕捉空間に捕捉されているイオンをイオントラップの外側に引き出して前記飛行時間型質量分析器に導入する引き出し電場を形成するために、前記イオントラップの少なくとも一つの電極に引き出し用の電圧を印加する引き出し用電圧印加手段と、
ｃ）前記イオン捕捉空間にイオンを捕捉した状態で、前記高周波電圧が所定の位相であるタイミングで以て該高周波電圧の印加を停止し、その後、所定の時間が経過した時点で引き出し用電圧を印加するべく、前記捕捉用及び引き出し用電圧印加手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴としている。
【００１３】
また、上記課題を解決するために成された第２発明は、複数の電極で囲まれる空間にイオンを捕捉するイオントラップと、該イオントラップから外側に引き出されたイオンを質量分析する飛行時間型質量分析器と、を具備する質量分析装置における質量分析方法であって、
ａ）前記イオントラップの少なくとも一つの電極にイオン捕捉用の高周波電圧を印加することにより、分析対象であるイオンをイオントラップ内部のイオン捕捉空間に捕捉するイオン捕捉ステップと、
ｂ）前記イオン捕捉空間にイオンを捕捉した状態で、前記高周波電圧が所定の位相であるタイミングで以て該高周波電圧の印加を停止する高周波電圧停止ステップと、
ｃ）前記高周波電圧の印加停止から所定の時間が経過した時点で、前記イオン捕捉空間に捕捉されているイオンをイオントラップの外側に引き出して前記飛行時間型質量分析器に導入する引き出し電場を形成するために、前記イオントラップの少なくとも一つの電極に引き出し用の電圧を印加するイオン引き出しステップと、
を順次実行することを特徴としている。
【００１４】
この第１及び第２発明においては、前記高周波電圧の印加を前記所定の位相位置において停止したした後、前記所定の時間が経過した時点で、その高周波電圧が印加されていた電極の電位が電圧印加停止前の該高周波電圧の振幅に拘わらず略一定値となる、という条件の下に、該所定の位相位置及び所定の時間が定められることを特徴としている。
【００１５】
なお、この発明に係る質量分析装置及び質量分析方法において、通常、イオン捕捉用の高周波電圧の印加対象はリング電極であり、イオン引き出し用電圧の印加対象はエンドキャップ電極であるが、必ずしもこれに限るものではない。
【００１６】
【発明の実施の形態、及び効果】
本発明に係る質量分析装置及び質量分析方法では、例えばリング電極への高周波電圧の印加を停止した後、未だリング電極の電圧がリンギングを生じている期間中に、リング電極の電圧がエンドキャップ電極と同電位となるタイミングでイオン引き出し用の電場を形成してイオンの引き出しを行う。上記リンギングの周波数は低いため、イオンの引き出しに要する時間内ではエンドキャップ電圧はほぼ一定と看做せる。このため、イオントラップから引き出されて飛行時間型質量分析器へと導入されるイオンが有する初期的な運動エネルギーがばらつかず、それらイオンの飛行時間が変化することもない。その結果、質量スペクトル上で質量ピークが一定の位置に現われるため、質量の正確な特定が可能になる。
【００１７】
分析対象のイオンの質量数等に応じて上記高周波電圧停止前の高周波電圧の振幅を変化させた場合、それによって高周波電圧停止以降のリンギングの振幅も変化する。しかしながら、本願発明者は、高周波電圧が所定の位相位置にあるときにその高周波電圧の印加を遮断するようにすれば、その後に発生するリンギングの大きさに拘わらず、所定時間経過時点でリング電極の電圧はエンドキャップ電極の電位か又は少なくとも或る一定電位になることを見い出した。上記所定の位相位置及び所定時間は、イオントラップや電源回路等を構成する電気回路の諸定数などに依存するが、構成が定まればほぼ一義的に定めることができる。従って、適宜の位相及び時間を予め実験的に求めておくことができ、上記制御手段は、質量分析時にはその値を用いて電圧印加の停止及び開始を制御すればよい。
【００１８】
このように本発明に係る質量分析装置及び質量分析方法では、高周波電圧が特定の位相位置にあるときに該電圧を停止するように正確に制御することにより、その高周波電圧の大きさに拘わらず、高周波電圧停止以降の特定の時点でリング電極の電圧がエンドキャップ電極と同電位となるように調整することができる。これにより、このタイミングで以てイオンの引き出しを行えば、イオンが持つ初期的な運動エネルギーがばらつかず、質量の正確な特定が可能になる。
【００１９】
また、高周波電圧停止以降の特定のタイミングにおいて、リング電極の電圧がエンドキャップ電極と同電位ではないにしても、或る一定の電圧となるように調整できれば、エンドキャップ電極に印加するイオン引き出し用の電圧をリング電極の電圧ずれの分だけ補正することにより、同一のイオン引き出し用電場を形成することができる。従って、その場合でも上記と同様に、質量の正確な同定が可能になる。
【００２０】
【実施例】
以下、本発明の一実施例である質量分析装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２１】
図１はこの質量分析装置の要部の構成図である。なお、図４と同一の構成要素には同一符号を付している。イオントラップ１は、１つのリング電極１１と２つの互いに対向するエンドキャップ電極１２、１３により構成されている。リング電極１１には高周波電圧が印加され、一対のエンドキャップ電極１２、１３との間に形成される四重極電場によってイオン捕捉空間１４を形成し、そこにイオンを捕捉する。エンドキャップ電極１２、１３にはそれぞれエンドキャップ電圧発生器１５、１６が接続されており、各分析ステップに応じた適当な電圧をエンドキャップ電極１２、１３に印加する。
【００２２】
例えばＭＡＬＤＩ（Ｍａｔｒｉｘ−Ａｓｓｉｓｔｅｄ  Ｌａｓｅｒ  Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ／Ｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ）イオン源２で発生させたイオンをイオントラップ１へと導入するときは、入射するイオンの運動エネルギーを減衰させるように電圧が印加される。また、ＴＯＦＭＳ３により質量分析を行う場合には、イオン捕捉空間１４からイオンを加速して３へと放出するように電圧が印加される。更にまた、イオントラップ内でイオンの選別や解離を行わせる場合には、イオン捕捉空間１４に、高周波電圧により生成されたイオン捕捉用四重極電場に重畳して、イオンの選別や励起を行うための電場を生成するべく電圧が印加される。
【００２３】
リング電極１１に高周波電圧を印加するためのリング電圧発生器４の一部として、リング電極１１にはコイル４２が接続されており、基本的には、このコイル４２と、リング電極１１とエンドキャップ電極１２、１３との間の静電容量（コンデンサ）とでＬＣ共振回路を形成している。厳密に言うと、それら電極１１、１２、１３間の静電容量のみならず、高周波電圧のモニタ回路（図示せず）や同調回路４３、高電圧スイッチ４６、４７の容量、配線などの容量の総和とコイル４２のインダクタンスとで共振周波数が決定される。
【００２４】
共振回路の駆動方法には、トランスを用いたものなど各種の方法があるが、ここではコイル４２の一端を直接的に高周波駆動源４１で駆動する方法を採用している。高周波駆動源４１で発生する駆動電圧の周波数は５００ｋＨｚに固定されており、同調回路４３を調整することによってＬＣ共振回路の共振周波数を５００ｋＨｚ近傍に合わせ、共振による増幅を行って高周波電圧を発生させる。本実施例では、同調回路４３には真空可変コンデンサ（いわゆる真空バリコン）を使用し、その容量を変化させることにより同調を達成している。もちろん、これ以外にも、例えばフェライトコア等を用いてコイル４２のインダクタンスを変化させることにより同調を達成する構成としてもよい。
【００２５】
リング電極１１には、更に高電圧スイッチ４６、４７を介して高電圧直流電源４４、４５が接続されている。これらはイオントラップ１へのイオン導入時の高周波高電圧の急速な立ち上げや、イオントラップ１からのイオンの放出時の高周波高電圧の急速な減衰などを行うために利用される。例えば、負極性の高周波高電圧を急速に立ち上げたい場合には、次のような手順で動作させる。
【００２６】
まず負高電圧直流電源４５に接続された高電圧スイッチ４７を閉じ、リング電極１１の電圧を負高電圧直流電源４５の電圧と同じに設定する。その後すぐに高電圧スイッチ４７を開く。共振回路はその後、共振周波数で発振を開始する。共振回路の発振を停止するときには、高電圧スイッチ４６、４７を共に閉じると同時に、高周波駆動源４１の出力をゼロにする。正及び負の高電圧直流電源４４、４５の電圧の絶対値が同一であって、高電圧スイッチ４６、４７の内部抵抗が同一であるため、高周波電圧はゼロになる。全てのイオンがイオントラップ１から排出された後に、両方の高電圧スイッチ４６、４７を開く。
【００２７】
制御部５は、上記のような各種の分析を実行するために、リング電圧発生器４やエンドキャップ電圧発生器１５、１６の動作を制御する。本実施例の質量分析装置の特徴は、この制御部５によるリング電圧発生器４及びエンドキャップ電圧発生器１５、１６の動作の制御方法にある。この点について、以下に説明する。
【００２８】
所望の質量数を有するイオンをイオン捕捉空間１４に捕捉して蓄積する際には、リング電圧発生器４よりリング電極１１に上記周波数の高周波電圧が印加され、それによってイオントラップ１内に四重極電場が形成されている。そのイオンをイオントラップ１の外側に引き出してＴＯＦＭＳ３に導入しようとする場合に、まず、高電圧スイッチ４６、４７を閉じることにより高周波電圧の印加を停止する。その後に、イオン引き出し電場が形成されるように、エンドキャップ電圧発生器１５、１６からエンドキャップ電極１２、１３に電圧を印加するわけであるが、従来、エンドキャップ電圧の印加のタイミングは、例えばリング電圧波形のリンギングが最小になるように、即ち、高周波電圧がピークの時にコイル４２に蓄えられた磁気エネルギーがゼロとなるようなタイミングに設定されていた。
【００２９】
図２は、こうした従来方法によるリング電圧の波形形状の一例を示すグラフであり、高周波電圧が０［Ｖ］、１［ｋＶ］、３［ｋＶ］、４［ｋＶ］、６［ｋＶ］の各条件における、高周波電圧停止前後のリング電圧波形を示している。図２中の時刻ｔｃが高周波電圧の印加停止時点である。従って、それよりも左方では高周波電圧がリング電極１１に印加されている状態である（但し、高周波電圧の振幅は大きいためグラフから上下にはみ出している）。時刻ｔｃで高電圧スイッチ４６、４７が共に閉じられ、リング電圧波形は急速に減衰する。その後、緩やかな振動波形（つまりリンギング）が見られるが、停止前の高周波電圧の大きさが異なると、振動波形の振幅も異なる。このため、時刻ｔｓにおいてイオン引き出しを行い、質量分析を行った結果として得られる質量スペクトル上では、イオン引き出し時刻ｔｓでのリング電圧の値によって質量ピークの位置がシフトするという問題が生じていた。これは上述した通りである。なお、図２において時刻ｔｃと時刻ｔｓとに見られるノイズは、それぞれ、高周波電圧の停止時とイオンの引き出し時とに高電圧スイッチが動作して大電流が流れたために発生したノイズである。
【００３０】
これに対し、リング電極１１への高周波電圧を停止するべく高電圧スイッチ４６、４７を閉じるタイミング（つまり時刻ｔｃ）を、その高周波電圧の特定の位相に合わせたときのリング電圧波形を、図３に示す。図２の場合と同様に、高周波電圧が０［Ｖ］、１［ｋＶ］、２［ｋＶ］、３［ｋＶ］、６［ｋＶ］の各条件における電圧波形である。図３で判るように、時刻ｔｃ直後でのリング電圧のリンギングは図２の場合よりも大きくなっているが、時刻ｔｓ近傍において、電圧停止前の高周波電圧の大きさに拘わらず、リング電圧がほぼ同電圧に収束するという現象がみられる。即ち、このタイミングでイオンの引出しを行うことにより、高周波電圧の停止前のその振幅とは無関係に、ほぼ同一の引き出し電場条件で以てイオンをイオントラップ１から引き出してＴＯＦＭＳ３に導入することができる。これによって、イオンの初期的な運動エネルギーがばらつくことによって質量ピークがシフトしてしまう、という不具合を回避することができる。
【００３１】
ここで規定すべき条件は、リング電極１１への高周波電圧の印加を停止するときの該高周波電圧の位相位置と、高周波電圧を停止してからイオン引き出しのためにエンドキャップ電極１２、１３へ電圧を印加するまでの遅延時間との２つである。図３に示す測定例では、その遅延時間は約５［μｓ］であるが、この値は各電極１１、１２、１３や高電圧スイッチ４６、４７、高電圧直流電源４４、４５などの容量、或いは高電圧スイッチ４６、４７の抵抗値などに依存する。また、高周波電圧を停止する際の適切な位相位置も異なる。但し、これらはいずれも装置の構成で定まる値であるので、一般的には、本装置を工場から出荷する以前の調整工程における測定の段階で、適切な値を実験的に求めておくことができる。
【００３２】
従って、そうして求めた値を制御部５に設定しておき、それに応じて動作制御を行うようにすれば、リング電極１１へ印加している高周波電圧を停止するために高電圧スイッチ４６、４７を閉じるタイミングを、高周波電圧の特定の位相に合わせることができ、また、その高周波電圧の振幅に拘わらず、その後に生じるリング電圧波形が或る一定電圧になるタイミングで、イオンの引き出しを行うことができる。また、上記のような２つの規定条件が変化する可能性がある場合には、自動的に最適条件を見つけるような動作を行うための制御プログラムを組み込んでおき、ユーザーが例えば質量校正などを行う際に、自動的に適切な条件を見出して設定するようにするとよい。
【００３３】
なお、図３に示す例では、時刻ｔｓにおいてリング電圧はこのときのエンドキャップ電圧であるゼロにほぼ収束したが、これは高周波電圧に拘わらず一定の電圧値でありさえすれば、ゼロでなく別の電圧であってもかまわない。その場合、エンドキャップ電圧に印加するイオン引き出し用の電圧を補正し、それに応じてＴＯＦＭＳ３を調整すれば、同様の性能が得られることは明らかである。
【００３４】
また、それ以外の点についても、上記実施例は本発明の一例にすぎず、本発明の趣旨の範囲で適宜変形や追加、修正を行っても本願特許請求の範囲に包含されることは明白である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である質量分析装置の要部の構成図。
【図２】従来方法による高周波電圧停止前後のリング電圧の波形形状の一例を示すグラフ。
【図３】本実施例の方法による高周波電圧停止前後のリング電圧の波形形状の一例を示すグラフ。
【図４】一般的なイオントラップの構成図。
【図５】リング電極への高周波電圧停止前後のリング電圧波形を模式的に示す図。
【符号の説明】
１…イオントラップ
１１…リング電極
１２、１３…エンドキャップ電極
１３ａ…小孔
１４…イオン捕捉空間
１５、１６…エンドキャップ電圧発生器
２…イオン源
３…飛行時間型質量分析器（ＴＯＦＭＳ）
４…リング電圧発生器
４１…高周波駆動源
４２…コイル
４３…同調回路
４４、４５…高電圧直流電源
４６、４７…高電圧スイッチ
５…制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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