(57)【要約】      （修正有）【課題】チップにダメージを与えない割断方法を提供する。【解決手段】片面にけがきキズ８２又は端面けがきキズ８３が形成され、反対面が粘着テープ９に貼り付いたウエハ８の、けがきキズ８２又は端面けがきキズ８３の裏側に粘着テープ９を介してエッジ２を合わせ、粘着テープ９に貼り付いたウエハ８に対して、前記片面側から気体１０１を吹き付けることにより、エッジ２を支点として前記ウエハ８を割断し、この時吹き付ける気体１０１によって脹らむ粘着テープ９をサポート３によって支える。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面にけがきキズ又は端面けがきキズが形成され反対面が粘着テープに貼り付いたウエハの、けがきキズ又は端面けがきキズの裏側に粘着テープを介してエッジを合わせ、粘着テープに貼り付いたウエハに対して、前記片面側から気体を吹き付けることにより、エッジを支点として前記ウエハを割断するウエハの割断方法。
【請求項２】
片面にけがきキズ又は端面けがきキズが形成され反対面が粘着テープに貼り付いたウエハを、けがきキズ又は端面けがきキズの間隔ずつ間歇的に移動する毎に、けがきキズ又は端面けがきキズの裏側に粘着テープを介してエッジを合わせ、粘着テープに貼り付いたウエハに対して、前記片面側から高圧大流量の気体を吹き付けることにより、エッジを支点として前記ウエハを割断するウエハの割断方法。
【請求項３】
エッジの近傍に配置されるか又はエッジと一体化したサポートにより、高圧大流量の気体を吹き付けた時の粘着テープの脹らみを支える請求項１又は２記載のウエハの割断方法。
【請求項４】
請求項１に記載のウエハに対して高圧大流量の気体を吹き付けるために設けた気体ノズルを、けがきキズ又は端面けがきキズの裏側に粘着テープを介して合わせたエッジの方向に沿って移動することにより、前記ウエハをエッジ沿いに割断して行く請求項１、２又は３記載のウエハの割断方法。
【請求項５】
請求項１に記載のウエハが工程順に従ってけがきキズ又は端面けがきキズの間隔ずつ間歇的に移動するに際し、移動中はウエハを貼り付けた粘着テープはエッジの上方に微かに浮いた状態か又は少なくとも圧接されない状態にあり、一旦停止したときには、けがきキズ又は端面けがきキズの裏側に粘着テープを介してエッジが合っており、このとき粘着テープに貼り付いたウエハに対して 請求項１に記載の片面側から高圧大流量の気体を吹き付けることにより前記ウエハを割断する請求項１、２、３又は４記載のウエハの割断方法。
【請求項６】
サポートの高さはエッジに近い側はエッジと同じか０〜５ｍｍの範囲でエッジよりも低く、遠い側に向け両側均等に又は不均等に０〜１５°下げた状態で、高圧大流量の気体を吹き付けることによって請求項１に記載のウエハを割断する請求項１、２、３、４又は５記載のウエハの割断方法。
【請求項７】
粘着テープに貼り付いたウエハを覆うように保護テープを載置することによりウエハを保護して実施する請求項１、２、３、４、５又は６記載のウエハの割断方法。
【請求項８】
片面にけがきキズ又は端面けがきキズが形成され反対面が粘着テープに貼り付いたウエハに対して、前記片面側から高圧大流量の気体を吹き出す気体ノズル、と、高圧大流量の気体を吹き出すタイミングに合わせてウエハに刻まれたけがきキズ又は端面けがきキズの裏側に粘着テープを介してエッジを当てることによりエッジを支点としてウエハを割断するエッジ、と、から成るウエハの割断装置。
【請求項９】
気体ノズルがエッジの方向に沿って移動可能な構造である請求項８記載のウエハの割断装置。
【請求項１０】
ウエハを貼り付けた粘着テープが高圧大流量の気体に吹かれて脹らみ過ぎるのを防ぐためのサポートを、エッジの近傍に又はエッジと一体化して設けた請求項８又は９記載のウエハの割断装置。
【請求項１１】
エッジがブレード又はサポートと一体化した請求項８、９又は１０記載のウエハの割断装置。
【請求項１２】
高圧大流量の気体を吹き出すタイミングに合わせてウエハのけがきキズ又は端面けがきキズの裏側が粘着テープを介してエッジの位置で一旦停止するように、ウエハを貼り付けた粘着テープを間歇的に移動させる移動手段を備えた請求項８、９、１０又は１１記載のウエハの割断装置。
【請求項１３】
サポートよりも突出していて割断の際けがきキズ又は端面けがきキズの裏側に合わせられるエッジ、と、高圧大流量の気体吹き出しの際にウエハを貼り付けた粘着テープが高圧大流量の気体に吹かれて脹らみ過ぎるのを防ぐためにエッジの近傍に又はエッジと一体に設けられた板状のものでエッジを中心として山形となるように角度の選択が可能なサポート、と、ウエハを貼り付けた粘着テープをけがきキズ又は端面けがきキズの間隔ずつ間歇的に移動させてウエハのけがきキズ又は端面けがきキズの裏側がエッジの位置に来た時一旦停止させる移動手段、と、一旦停止させた時ウエハを貼り付けた粘着テープに対して請求項１に記載の片面側から高圧大流量の気体を吹き出しながらエッジの方向に沿って移動することによりウエハを割断する気体ノズル、と、から成る請求項８、９、１０、１１又は１２記載のウエハの割断装置。
【請求項１４】
エッジがサポートから突出する量の調節が可能な構造であり、且つサポートの山型はエッジを挟み遠くへ向かって両側均等に若しくは不均等に下がるように調節可能な構造であるような、又は上記エッジがサポートから突出する量若しくはサポートの山型が両側に下がる角度が調節可能な構造であるような、請求項８、９、１０、１１、１２又は１３記載のウエハの割断装置。
【請求項１５】
エッジは、半径５〜３０ミクロンの丸みを有する請求項８、９、１０、１１、１２、１３又は１４記載のウエハの割断装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハの割断方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来は、ウエハの割断方法として、下側にある受け台にウエハのけがきキズ面を当て上方からブレードを押し当てて割断する方法や、上からけがきキズにゴムなどの素材で作った「当て」をあて下から尖ったブレードで突き上げて割断する方法などがあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の方法では、割断したときに出来るカスや受け台の角で、ウエハにダメージを与えてしまうことがあり、チップの歩留まりが悪かった。又、従来の方法でエアアイソレーション配線を有するウエハを割断するとエアアイソレーション配線を傷つけてしまうことから、エアアイソレーション配線を有するウエハを割断するためには、特開平５−２２６４６７、特開平６−３０２６８９に開示されているような特殊な方法が用いられてきた。
【０００４】
本発明は、割ったときに出来るカスや受け台の角で、ウエハにダメージを与えてしまうことのない、しかもエアアイソレーション配線を有するウエハを割断するためにも特殊な方法を必要としない、ウエハの割断方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は片面にけがきキズ又は端面けがきキズが形成され反対面が粘着テープに貼り付いたウエハの、けがきキズ又は端面けがきキズの裏側に粘着テープを介してエッジを合わせ、粘着テープに貼り付いたウエハに対して、前記片面側から気体を吹き付けることにより、エッジを支点として前記ウエハを割断するウエハの割断方法を提供する。
【０００６】
本発明において割断とは、劈開性を利用した割断とそれ以外の割断の双方を含む概念である。従来の方法では、割断の際に固体接触によってウエハに外力が加えられていたが、本発明においては気体を利用して割断する新規な方法と装置を提供する。解決すべき課題の項でも述べた如く、従来の方法ではチップの歩留まりが悪かったが、本発明の如く気体を利用することによりチップの歩留まりは、格段に向上する。
【０００７】
片面にけがきキズ又は端面けがきキズが形成され反対面が粘着テープに貼り付いたウエハを、けがきキズ又は端面けがきキズの間隔ずつ間歇的に移動する毎に、けがきキズ又は端面けがきキズの裏側に粘着テープを介してエッジを合わせ、粘着テープに貼り付いたウエハに対して、前記片面側から高圧大流量の気体を吹き付けることにより、エッジを支点として前記ウエハを割断する。
【０００８】
本発明においては、柔軟性、弾性及び粘着性に優れた粘着テープを用いる。
優れた柔軟性と弾性はエッジを支点としてウエハを割断する時に優れた屈曲性として必要である。優れた粘着性はウエハの割断後にチップが高圧大流量の気体によって吹き飛ばされないために必要である。
【０００９】
高圧大流量の気体としては、空気、窒素などが用いられる。高圧大流量の気体を用いるので、ウエハを割断するときの外力が固体接触の従来方法のように一点に集中することがなく、従って割断された時のチップのダメージは激減する。
【００１０】
ウエハに吹き付ける気体の圧力及び風量等はウエハの素材、けがきキズの深さ及び粘着テープの性質などの諸条件を考慮して調節する。この調節は、気体ノズルとウエハの間隔を変える方法、気体ノズルの元圧を変える方法、気体ノズルそのものを交換する方法などによって行う。又この調節とは別に、気体の吹きつけをパルス状にしたり、気体ノズルとウエハの間隔を振動的に変化させて割断を促進する方法も又本発明に属する。
【００１１】
ウエハを貼り付けた粘着テープの移動はダイシングリングなどの粘着テープ取り付けフレームを介して行われる。即ちウエハを貼り付けた粘着テープを粘着テープ取り付けフレームにセットしたものを移動手段に取り付けて行われる。けがきキズ又は端面けがきキズの間隔ずつ移動しては一旦停止し、けがきキズ又は端面けがきキズの裏側に粘着テープを介してエッジを合わせる。この時、粘着テープに貼り付いたウエハに対して、請求項１に記載の片面側から高圧大流量の気体を吹き付けることにより、エッジを支点として前記ウエハを割断する。
【００１２】
この方法は、エッジの近傍に配置されるか又はエッジと一体化したサポートによって、高圧大流量の気体を吹き付けた時の粘着テープの脹らみを支えることにより、更に安定したものとなる。サポートは、粘着テープの過度の脹らみと振動を防ぐことにより、チップをダメージから守る。粘着テープはウエハの割断前よりも割断後の方が吹き付けられた気体によって脹らみやすいからサポートは割断の後において、より重要であり、割断の前にはサポートを必要としない場合もある。
【００１３】
請求項１に記載のウエハに対して高圧大流量の気体を吹き付けるために設けた気体ノズルを、けがきキズ又は端面けがきキズの裏側に粘着テープを介して合わせたエッジの方向に沿って移動しながら高圧大流量の気体を吹き付けて、前記ウエハをエッジ沿いに割断して行くことにより安定して割断することが出来る。
【００１４】
ウエハのダメージ減少を目標とする場合は「００１３」の方法がよいが、高能率を目指す場合には気体吹き出し口のスリット化または気体ノズル複数設置の方法を採る場合もある。この気体吹き出し口のスリット化または気体ノズル複数設置はエッジの方向に合わせて行い、これによって「００１３」記載のノズルの移動は不要となるか、又は移動量が少なくて済む。
【００１５】
請求項１に記載のウエハが工程順に従ってけがきキズ又は端面けがきキズの間隔ずつ間歇的に移動するに際し、移動中はウエハを貼り付けた粘着テープはエッジの上方に微かに浮いた状態か又は少なくとも圧接されない状態にある。一旦停止したときには、けがきキズ又は端面けがきキズの裏側に粘着テープを介してエッジが合っており、このとき粘着テープに貼り付いたウエハに対して請求項１に記載の片面側から高圧大流量の気体を吹き付けることによりエッジを支点として前記ウエハを割断する。
【００１６】
サポートの高さは、エッジに近い側はエッジと同じか０〜５ｍｍの範囲でエッジよりも低く、遠い側に向け両側均等に又は不均等に０〜１５°下げた状態で、高圧大流量の気体を吹き付けることによって請求項１に記載のウエハを割断する。エッジに対するサポートの高さ、サポートがエッジから遠い側に向かって下がる角度は、吹き付ける気体の圧力及び風量並びにウエハの素材及び粘着テープの性質などの諸条件を考慮して調整される。
【００１７】
粘着テープの上方から高圧大流量の気体を吹き付けると、エッジを支点としてウエハは割断され粘着テープはサポートによって支えられる。この時エッジの位置を境として割断前よりも割断後の方が、粘着テープは気体の吹き付けによって脹らみやすい。従って、割断前よりも割断後のサポートの下げ角を大きくする場合もある。又割断前のサポートが不要の場合もある。
【００１８】
本発明によって割断を行う場合、粘着テープの屈曲性とともに、エッジが果たす役割は重要である。高圧大流量の気体を吹き付けることにより、粘着テープに貼り付いたウエハはエッジを支点として折れ曲がり、割断する。支点となるべきエッジは、１０ミクロン前後の半径の丸みを帯びているものが多い。従ってウエハが貼り付いた粘着テープは、エッジを支点として折れ曲がるために優れた屈曲性を要求される。
【００１９】
粘着テープの屈曲性が優れていれば、エッジを支点として充分に折れ曲がるので、又チップとチップとを充分に引き離すので、ウエハの割断はスムーズに行われる。この時エッジの、ブレード及びサポートとの関係はいろいろな場合がある。ブレードは通常エッジと一体のものであるが、後に図示するように、エッジがサポートと一体化する場合もある。
【００２０】
粘着テープに貼り付いたウエハを覆うように保護テープを載置してウエハを保護する方法は、吹き出し気体の含むダストや、吹き出し気体に巻き込まれる空気中のダストがウエハに衝突し、ウエハにダメージを与えたり残留することを防ぐのに有効な方法である。この保護テープは少なくともウエハが気体を吹き付けられる面を覆うように載置される。その周辺部は粘着テープの露出した粘着面に自然な形で粘着する。
【００２１】
又、本発明は、上記割断方法を実現するための装置を提供するものである。即ち、片面にけがきキズ又は端面けがきキズが形成され反対面が粘着テープに貼り付いたウエハに対して、前記片面側から高圧大流量の気体を吹き出す気体ノズル、と、高圧大流量の気体を吹き出すタイミングに合わせてウエハに刻まれたけがきキズ又は端面けがきキズの裏側に粘着テープを介してエッジを当てることによりエッジを支点としてウエハを割断するようなエッジ、と、から成るウエハの割断装置を提供する。
【００２２】
気体ノズルについては、気体ノズルを単体で用いる場合、気体ノズルを複数個エッジ方向に並べて用いる場合、ノズルの吹き出し口をエッジ方向に長いスリット状にしてエッジに沿わせる場合、等がある。気体ノズルを単体で用いる場合には、気体ノズルがエッジの方向に沿って移動可能な構造とするが、他の場合にもこの移動可能な構造は有効である。気体ノズルとしては丸型ノズルが適しているが、特にこれに限定するものではない。
【００２３】
ウエハを貼り付けた粘着テープが高圧大流量の気体に吹かれて脹らみ過ぎるのを防ぐために、エッジの近傍に又はエッジと一体化して、更にサポートを設けると安定して割断することが出来る。サポートは、粘着テープの過度の脹らみと振動を防ぐことにより、チップをダメージから守る。
【００２４】
高圧大流量の気体を吹き出すタイミングに合わせてウエハのけがきキズ又は端面けがきキズの裏側が粘着テープを介してエッジの位置で一旦停止するように、ウエハを貼り付けた粘着テープを間歇的に移動させる、移動手段を備えることにより、割断がスムーズに行われる。
【００２５】
本発明は更に、サポートよりも突出していて割断の際けがきキズ又は端面けがきキズの裏側に合わせられるエッジ、と、高圧大流量の気体吹き出しの際にウエハを貼り付けた粘着テープが高圧大流量の気体に吹かれて脹らみ過ぎるのを防ぐためにエッジの近傍に又はエッジと一体に設けられた板状のものでエッジを中心として山形となるように角度の選択が可能なサポート、と、ウエハを貼り付けた粘着テープをけがきキズ又は端面けがきキズの間隔ずつ間歇的に移動させてウエハのけがきキズ又は端面けがきキズの裏側がエッジの位置に来た時一旦停止させる移動手段、と、一旦停止させた時ウエハを貼り付けた粘着テープに対して請求項１に記載の片面側から高圧大流量の気体を吹き出しながらエッジの方向に沿って移動することによりウエハを割断する気体ノズル、と、から成る割断装置を提供する。
【００２６】
００２５に記載の板状のサポートは必ずしも平滑な板であることを要しない。ネット状でもよいし、板状で表面がザラザラ、凸凹、又は波状のものでもよい。又、粘着テープと接触する部分以外の形状を問うものでもない。又、移動する気体ノズルの動きに合わせて移動するタイプのものでもよいし、気体ノズルは移動してもエッジの近傍にあって又はエッジと一体となっていて移動しないものであってもよい。
【００２７】
エッジがサポートから突出する量の調節が可能な構造であり、且つサポートの山型はエッジを挟み遠くへ向かって両側均等に若しくは不均等に下がるように調節可能な構造であるような、又は上記エッジがサポートから突出する量若しくはサポートの山型が両側に下がる角度の何れかが調節可能な構造であるような割断装置であれば割断の作業は能率よく進行する。
【００２８】
エッジが、半径５〜３０ミクロンの丸みを有することによってチップの歩留まりが向上し、割断をスムーズに実施することが出来る。
【００２９】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態を実施例にもとづき図面を参照して説明する。
図１において、気体ノズル１、エッジ２、サポート３及び移動手段４から成る、ウエハ８の割断装置を示す。図２においては、図１の主要部を拡大し、説明を分かり易くするために粘着テープ９とこれに貼り付いているウエハ８とを特に大きく図示してある。又、図２は高圧大流量の気体を吹き出す瞬間のタイミングを示し、エッジ２は既にウエハ８に刻まれたけがきキズ８２又は端面けがきキズ８３の裏側８４に、粘着テープ９を介して当たった状態である。
【００３０】
粘着テープ９に貼り付いたウエハ８に対して、請求項１に記載の片面８６側から高圧大流量の気体１０１を吹き出す気体ノズル１と、高圧大流量の気体１０１を吹き出すタイミングに合わせてウエハ８に刻まれたけがきキズ８２又は端面けがきキズ８３の裏側８４に当てて割断するエッジ２とは、協同して粘着テープ９に貼り付いたウエハ８を割断する。
【００３１】
エッジ２の近傍のサポート３は、ウエハ８を貼り付けた粘着テープ９が高圧大流量の気体１０１に吹かれて脹らみ過ぎるのを防ぐ。エッジ２がサポート３から突出する量は、通常の使用範囲は０〜５ｍｍの範囲であり、サポート３がエッジ２を中心として両側に下がる角度は、通常の使用範囲は０〜１５°の範囲であるが、これらは機構的には更に広範囲の調節を可能としておくことが望ましい。
【００３２】
高圧大流量の気体を吹き出すタイミングに合わせてウエハ８のけがきキズ８２又は端面けがきキズ８３の裏側８４がエッジ２の位置で一旦停止するように、ウエハ８を貼り付けた粘着テープ９を間歇的に移動させる移動手段４を設ける。上記の如く、図２はこの移動が完了し、一旦停止した瞬間を示す。
【００３３】
図３は、図２の状態において、気体ノズル１が高圧大流量の気体１０１を吹き出すことにより、ウエハ８に割断が生じたところを示している。ウエハ８を貼り付けた粘着テープ９は、高圧大流量の気体１０１を吹きつけられることによりエッジ２を境として折れ曲がり、ウエハ８に割断が生じる。
【００３４】
この時、ウエハ８を貼り付けた粘着テープ９は、エッジ２を境として両側に５ｍｍ前後離れたあたりにおいて、脹らみ防止がその一つの目的であるサポート３で支えられることにより、過度の脹らみと振動が抑制されて、チップの受けるダメージが減少する。
【００３５】
本発明において用いられる粘着テープ９は、柔軟性、弾性、粘着性に富んだ品質のものであることを要する。高圧大流量の気体１０１の力とエッジ２とによって充分に折れ曲がる屈曲性、高圧大流量の気体１０１に吹かれてチップ８１が吹き飛ばされない程度の粘着性が必要である。
【００３６】
又、粘着テープ９は、高圧大流量の気体１０１を孕んで脹らむ時に、エッジ２からやや離れたところでサポート３に支えられ、その後気体１０１の吹き出しが止まった時には元の平らな状態に戻ることが可能であるような弾性が必要である。
【００３７】
図４は、けがきキズ８２のあるウエハ８を示す。けがきキズ８２又はその裏側にエッジ２を当て反対側（この場合上方）から高圧大流量の気体１０１を吹き付けて割断する。
【００３８】
図５は、端面けがきキズ８３のあるウエハ８を示す。端面けがきキズ８３又はその裏側にエッジ２を当て反対側（この場合上方）から高圧大流量の気体１０１を吹き付けて割断する。
【００３９】
図６〜図１４において、エッジ２、サポート３、ブレード２１の三者の各種位置関係のうちの幾つかを示す。
【００４０】
図６は、エッジ２とブレード２１とが一体で、サポート３がエッジ２の近傍にあり、サポート３がエッジ２の両側で遠くへ向けて下がっている場合を示す。図１、図２及び図３もこれと同じ位置関係である。
【００４１】
図７は、図６において、割断前のウエハ８側のサポート３が水平に近い状態、つまりサポート３がエッジ２の両側で遠くへ向けて下がって行く角度がこちら側だけ０°に近い状態を示す。
【００４２】
図８は、図６、図７、その他の状態において用いるブレードの形状の一例を示す。
【００４３】
図９〜図１４では、エッジ２とサポート３とが一体の場合の例を幾つか示す。そのうち図９〜図１１は、サポート３が二分割されたものを、図１２〜図１４では、サポートが一体化したものを示す。これらの内、図１２〜図１４の（ａ）及び図１１では、エッジに近い部分でサポートが尖った状態のうちの幾つかを示す。
【００４４】
図１５及び図１６は、従来方法を示す。図１５において１１は受け台、１２は受け台の角である。ブレード１３をけがきキズの上から突き下げてウエハ８を割断する。図１６においては、ウエハ８のけがきキズ８２をゴム製の「当て」１４で抑えてブレード１３で下から突き上げる。図１５及び図１６の従来方法の場合、ブレード１３が当たるときのウエハ両面の固体接触のショックでチップのダメージは多大である。
以上全ての図面において、エッジ、サポート、ブレード、ゴム製の「当て」等は、紙面に垂直な方向がこれらの長手方向である。
【００４５】
【実施例】
気体ノズル１に高圧の気体を供給するバルブの元圧は０．１〜０．５ＭＰａ、ブレード２１はセラミックブレードでその粘着テープ９に当たる部分は半径１０ミクロンのエッジ２である。エッジ２はサポート３よりも２ｍｍ突出していて、サポート３は平らな板でセラミックブレード２１を中心として左右に５°ずつ下がっている。
【００４６】
この状態でガリウム砒素のウエハ８を割断するのに、ウエハ８のけがきキズ８２の裏側８４に粘着テープ９を介してセラミックブレードのエッジ２を当て、高圧大流量の気体１０１を吹き付けながら気体ノズル１をエッジ２に沿って移動して割断した。このとき、ウエハ８を貼り付けた粘着テープ９は割断後の側でセラミックブレードのエッジ２から約５ｍｍ離れたあたりでサポート３に当たっていた。この方法で割断することにより、チップのダメージの少ない、極めて良好な結果を得た。
【００４７】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載するような効果を奏する。
【００４８】
本発明に係る方法によれば、割断の際、ウエハに対して直接的に固体接触による外力を加える必要がないから、出来上がったチップのダメージが従来の方法と比較して格段に少ない。これによりチップの歩留まりが遙かに向上して、コストダウンに寄与するところが多大である。又本発明に係る方法によれば、 エアアイソレーション配線を有するウエハの割断も特殊な方法によることなく可能であり、コストダウンに寄与するところが多大である。
【００４９】
このことは、ウエハに加わる外力が、高圧大流量の気体によって与えられるという、本発明が提供する新規な方法によって初めて可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る装置にウエハ付き粘着テープをセットしたところを示す概略図である。
【図２】図１の主要部を拡大した概略図である。
【図３】図２の状態から高圧大流量の気体を吹き出して割断した直後を示す概略図である。
【図４】一部にけがきキズを形成したウエハを示す図である。
【図５】一部に端面けがきキズを形成したウエハを示す図である。
【図６】エッジとブレードとが一体化した場合の両者とサポートとの関係を示す図である。
【図７】エッジとブレードとが一体化した場合の両者とサポートとの関係を示す図である。
【図８】ブレードの形状の一例を示す図である。
【図９】エッジとサポートとが一体化した場合であってサポートが二分されている場合を示す図である。
【図１０】エッジとサポートとが一体化した場合であってサポートが二分されている場合を示す図である。
【図１１】エッジとサポートとが一体化した場合であってサポートが二分されている場合を示す図である。
【図１２】エッジとサポートとが一体化した場合であって且つサポートが一体である場合を示す図である。
【図１３】エッジとサポートとが一体化した場合であって且つサポートが一体である場合を示す図である。
【図１４】エッジとサポートとが一体化した場合であって且つサポートが一体である場合を示す図である。
【図１５】従来方法を示す図である。
【図１６】従来方法を示す図である。
【符号の説明】
１      気体ノズル
２      エッジ
３      サポート
４      移動手段
７      粘着テープ取り付けフレーム
８      ウエハ
９      粘着テープ
１１    従来方法の受け台
１２    従来方法の受け台の角
１３    従来方法のブレード
１４    従来方法のゴム製の「当て」
２１    本発明方法のブレード
８１    チップ
８２    けがきキズ
８３    端面けがきキズ
８４    けがきキズ又は端面けがきキズの裏側
８６    詳細な説明中の「前記片面」又は「請求項１に記載の片面」１０１  高圧大流量の気体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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